レジスト剥離方法およびその装置
【課題】 半導体ウエハをレジスト剥離液中で回転させて、半導体ウエハの一面に設けられたレジスト膜を剥離するとき、半導体ウエハに反りがあっても、半導体ウエハを安定良く回転させるようにする。
【解決手段】 開口部を有するウエハカセット１１内に複数枚の半導体ウエハ１８を間隔をおいて並列に収容する。次に、ウエハカセット１１を一対のウエハカセット挟持部４１で挟持し、このままレジスト剥離液３中に位置させる。次に、モータ４９の回転により、プーリ４０をウエハカセット挟持部４１およびウエハカセット１１と共に回転させる。この場合、半導体ウエハ１８はウエハカセット１１と共に回転されるため、半導体ウエハ１８に反りがあっても、半導体ウエハ１８を安定良く回転させることができる。
【解決手段】 開口部を有するウエハカセット１１内に複数枚の半導体ウエハ１８を間隔をおいて並列に収容する。次に、ウエハカセット１１を一対のウエハカセット挟持部４１で挟持し、このままレジスト剥離液３中に位置させる。次に、モータ４９の回転により、プーリ４０をウエハカセット挟持部４１およびウエハカセット１１と共に回転させる。この場合、半導体ウエハ１８はウエハカセット１１と共に回転されるため、半導体ウエハ１８に反りがあっても、半導体ウエハ１８を安定良く回転させることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はレジスト剥離方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、従来の半導体ウエハ用のレジスト剥離装置には、複数枚の半導体ウエハをバッチ処理するために、複数枚の半導体ウエハを収容することができるウエハカセットを用いるようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。この場合、ウエハカセットは、上方が開放された箱状であって、底部の一部に開口部が設けられた構造となっている。
【０００３】
そして、ウエハカセット内に複数枚の半導体ウエハを起立させた状態で間隔をおいて並列に収容し、ウエハカセットをレジスト剥離槽内に収容されているレジスト剥離液中に位置させている。この状態では、ほぼ円形状の半導体ウエハは、ウエハカセットの底部の開口部を介して、レジスト剥離槽内の底部に平行に設けられた２本のローラ上に載置されている。そして、ローラが回転すると、半導体ウエハはレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転され、これにより半導体ウエハの一面に設けられたレジスト膜を剥離している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２７９６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のレジスト剥離装置では、ウエハカセット内に起立した状態で間隔をおいて並列に収容された複数枚の半導体ウエハを２本のローラ上に載置し、ローラの回転により複数枚の半導体ウエハを直接回転させているので、特に、半導体ウエハに反りがある場合には半導体ウエハの回転が不安定となり、半導体ウエハが破損するおそれがあるという問題があった。
【０００６】
そこで、この発明は、レジスト剥離液中において複数枚のウエハを安定良く回転させることができるレジスト剥離方法およびその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうことを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項１に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項２に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項２に記載の発明において、前記ウエハカセットは、その支持棒を水平とされた状態で、前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中においてその支持板の中心を中心にして回転されることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項４に記載の発明において、前記レジスト剥離槽の外側に設けられたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側からウエハカセット挟持兼回転手段で挟持する工程と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させる工程と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段により前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項５に記載の発明において、前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程後に、前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記ウエハカセット載置台上に載置し、前記ウエハカセット挟持兼回転手段による前記ウエハカセットに対する挟持を解除することを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうレジスト剥離装置であって、前記ウエハカセットを挟持し、且つ、挟持された前記ウエハカセットを回転させるウエハカセット挟持兼回転手段と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段を移動させて、該ウエハカセット挟持兼回転手段に挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させるウエハカセット移動手段とを備えていることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項８に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持し、且つ、該挟持を解除する一対のウエハカセット挟持部材を有することを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持部材は、前記レジスト剥離槽の外側に配置されたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持することを特徴とするものである。
請求項１２に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記一対のウエハカセット挟持部材と共に前記ウエハカセットをその支持棒を水平とした状態でその支持板の中心を中心として回転させるウエハカセット回転手段を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、レジスト剥離液中においてウエハカセットをそれに収容された複数枚のウエハと共に回転させているので、ウエハに反りがあっても、複数枚のウエハを安定良く回転させることができ、ひいてはウエハが破損しにくいようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１はこの発明の一実施形態としてのレジスト剥離装置の基本的な動作を簡単に説明するために示す概略構成の正面図である。このレジスト剥離装置はフレーム１を備えている。フレーム１の上面の所定の箇所にはレジスト剥離槽２が設けられている。レジスト剥離槽２内にはレジスト剥離液３が収容されるようになっている。
【００１０】
フレーム１の上面においてレジスト剥離槽２の外側（図１では左側）にはウエハカセット載置台４が設けられている。ウエハカセット載置台４上にはウエハカセット１１が載置されるようになっている。ウエハカセット載置台４およびウエハカセット１１の詳細については後で説明する。
【００１１】
ウエハカセット載置台４およびレジスト剥離槽２の上方にはウエハカセット移動機構２１が左右方向および上下方向に移動可能に設けられている。ウエハカセット移動機構２１の詳細については後で説明するが、ここでは簡単に説明すると、一対の支持棒２５間にガイド棒２６が設けられ、ガイド棒２６に一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が左右方向に移動可能に取り付けられた構造となっている。
【００１２】
次に、図１に示すレジスト剥離装置の基本的な動作について簡単に説明する。このレジスト剥離装置の初期状態では、図１において実線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はウエハカセット載置台４の上方に位置させられ、且つ、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１は互いに離間した位置に位置させられている。また、ウエハカセット載置台４上にはウエハカセット１１が載置されている。
【００１３】
そして、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至り、次いで、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに接近する方向に移動すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間にウエハカセット１１が挟持される（図１の一点鎖線参照）。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至ると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間に挟持されたウエハカセット１１が持ち上げられる。
【００１４】
次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が右方向に移動して右方向移動限位置に至ると、図１において一点鎖線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はレジスト剥離槽２の上方に位置する状態となる。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至ると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間に挟持されたウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中に位置する状態となる。
【００１５】
次に、後述する如く、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１による回転動作により、ウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中において回転される。すると、ウエハカセット１１内に収容された複数枚の半導体ウエハ（ここでは図示せず）がウエハカセット１１と共に回転し、これにより半導体ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離が行なわれる。
【００１６】
次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至り、次いで、左方向に移動して左方向移動限位置に至ると、図１において実線で示すような位置に至り、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はウエハカセット載置台４の上方に位置する状態となる。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至ると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間に挟持されたウエハカセット１１がウエハカセット載置台４上に載置される状態となる。
【００１７】
次に、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに離間する方向に移動すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１によるウエハカセット１１に対する挟持が解除される。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至ると、図１において実線で示す初期状態に戻る。
【００１８】
次に、図２（Ａ）および（Ｂ）はウエハカセット１１の２つの状態における斜視図を示す。このウエハカセット１１は、一対の円形状の支持板１２の内面外周部間に４本の円柱状の支持棒１３が等間隔に設けられた構造となっている。この場合、一対の支持板１２の各外面中央部には十字形状の係合凸部１４が設けられている。
【００１９】
また、所定の１本の支持棒１３の両端部には円弧状のアーム１５が設けられている。一方、一対の支持板１２の各内面外周部の所定の箇所には円弧状の凹部１６が設けられている。そして、所定の１本の支持棒１３の各アーム１５の先端部は各支持板１２の凹部１６の一端部に回動可能に取り付けられている。すなわち、所定の１本の支持棒１３は可動式となっている。
【００２０】
図２（Ａ）に示すように、所定の１本の支持棒１３の各アーム１５を各支持板１２の凹部１６内に収納した状態では、４本の支持棒１３は一対の支持板１２の内面外周部間に等間隔に配置されている。この状態から、所定の１本の支持棒１３をその各アーム１５の先端部を中心にして回動させると、図２（Ｂ）に示すように、残りの３本の支持棒１３の内側における空間に対してほぼ円形状の半導体ウエハ１８を出し入れすることが可能な状態となる。
【００２１】
ここで、図２（Ａ）に示す状態において、４本の支持棒１３の各内側には、図３に示すように、複数のほぼＶ字状のウエハ固定用溝１７が等間隔に設けられている。そして、半導体ウエハ１８は、その外周部において等間隔に離間する４箇所が４本の支持棒１３の各ウエハ固定用溝１７に食い込むことにより、ウエハカセット１１内に収容されるようになっている。
【００２２】
次に、図４はウエハカセット載置台４上にウエハカセット１１を載置した状態の正面図を示し、図５は図４のＶ−Ｖ線に沿う縦断面図を示す。ウエハカセット載置台４は方形状のベース板５を備えている。ベース板５の上面の所定の２箇所には載置板６が起立した状態で設けられている。載置板６の上部にはほぼ半円形状の収容溝７が設けられている。収容溝７の底部にはほぼ半円形状の係合溝８が設けられている。
【００２３】
そして、ウエハカセット１１は、その４本の支持棒１３の部分がウエハカセット載置台４の載置板６の収容溝７内に収容され、且つ、そのいずれか１本の支持棒１３がウエハカセット載置台４の載置板６の係合溝８に係合されることにより、ウエハカセット載置台４上に載置されるようになっている。
【００２４】
ここで、図５に示すように、ウエハカセット１１において、４本の支持棒１３は十字形状の係合凸部１４の「十」の字の各延長線上に配置されている。この結果、ウエハカセット１１の４本の支持棒１３のいずれをウエハカセット載置台４の載置板６の係合溝８に係合させても、十字形状の係合凸部１４の「十」の字の各延長方向は上下左右方向であり、十字形状の係合凸部１４の実質的な位置は常に一定である。
【００２５】
次に、図６はウエハカセット移動機構２１の要部の斜視図を示す。このウエハカセット移動機構２１は平面長方形状の支持板２２を備えている。支持板２２の中央部は、垂直に配置されたエアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａの上端部に取り付けられている。なお、図示していないが、エアーシリンダ２３のシリンダ本体はケース内に設けられている。ケースはレール上に移動可能に配置されている。
【００２６】
そして、一例として、ケース内に設けられたモータの駆動によりケース外に設けられたピニオンが回転し、該ピニオンがレールと平行に配置されたラック上を転動すると、ケースおよびエアーシリンダ２３と共に支持板２２が図６において左右方向に移動するようになっている。
【００２７】
支持板２２の前面両側にはアーム２４を介して支持棒２５が設けられている。一対の支持棒２５間には２本のガイド棒２６が設けられている。これらのガイド棒２６には一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が左右方向に移動可能に取り付けられている。なお、図６では、ウエハカセット挟持兼回転機構３１は長方形状の平板の如く図示しているが、これは図示の簡略化のためであり、その詳細については後で説明する。
【００２８】
一対の支持棒２５の各上面両端部にはエアーシリンダ２７のシリンダ本体２８が設けられている。エアーシリンダ２７のピストンロッド２９の先端部は、それぞれ対応するウエハカセット挟持兼回転機構３１上に設けられた取付金具３０に取り付けられている。そして、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９が共に前進すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに接近する方向に移動し、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９が共に後退すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに離間する方向に移動するようになっている。
【００２９】
次に、図７は一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分の縦断面図を示し、図８は図７のVIII−VIII線に沿う縦断面図を示す。この場合、図７は図８のVII−VII線に沿う縦断面図である。一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１は左右対称な構造であるので、代表として、図７において右側のウエハカセット挟持兼回転機構３１について説明する。
【００３０】
ウエハカセット挟持兼回転機構３１は長方形状の支持板３２を備えている。支持板３２の内面のほぼ４角には支柱３３が設けられている。支柱３３の先端面には、支持板３２と同じサイズのカバー３４が配置されている。カバー３４は、支柱３３にねじ込まれたねじ３５により、支持板３２の内面側に一定の間隔をおいて取り付けられている。支持板３２およびカバー３４の上部両側には、ガイド棒２６が挿通されるガイド孔３６が設けられている。
【００３１】
支持板３２の下部中央部には円形状の貫通孔３７が設けられている。支持板３２の貫通孔３７の周囲における内側には円筒形状の支持部３８が設けられている。カバー３４の下部中央部には、支持板３２の支持部３８よりもある程度大きめの円形状の貫通孔３９が設けられている。
【００３２】
支持板３２とカバー３４との間において支持板３２の支持部３８にはプーリ４０が回転可能に取り付けられている。プーリ４０は、支持板３２の支持部３８の内側においてカバー３４の貫通孔３９内に回転可能に配置された円板形状のウエハカセット挟持部４１を有する。すなわち、プーリ４０はウエハカセット挟持部材を兼ねている。ウエハカセット挟持部４１の内面中央部には十字形状の係合凹部４２が設けられている。
【００３３】
支持板３２およびカバー３４の上部中央部には軸４３が回転可能に設けられている。支持板３２とカバー３４との間における軸４３にはプーリ４４が取り付けられている。両プーリ４０、４４にはベルト４５が巻回されている。カバー３４の内側に突出された軸４３にはウォームホイール４６が取り付けられている。
【００３４】
支持板３２およびカバー３４の上面の一方側および他方側には取付金具４７、４８が設けられている。一方側の取付金具４７上にはモータ４９が設けられている。モータ４９の出力軸（ウォーム軸）５０の先端部は他方側の取付金具４８に回転可能に取り付けられている。モータ４９の出力軸５０はウォームホイール４６に噛み合わされている。そして、モータ４９の出力軸５０の回転は、ウォームホイール４６、軸４３、プーリ４４およびベルト４５を介してプーリ４０に伝達されるようになっている。
【００３５】
次に、上記構成のレジスト剥離装置の動作について説明する。このレジスト剥離装置の初期状態では、図１において実線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はウエハカセット載置台４の上方に位置させられ、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１は互いに離間した位置に位置させられている。すなわち、図６において、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａは前進し、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９は共に後退している。
【００３６】
また、図４に示すように、ウエハカセット１１は、その支持棒１３を水平とされた状態で、ウエハカセット載置台４上に載置されている。また、ウエハカセット１１内には複数枚の半導体ウエハ１８が起立した状態で等間隔で並列に収容されている。また、図５に示すように、ウエハカセット１１のいずれか１本の支持棒１３がウエハカセット載置台４の載置板６の係合溝８に係合されていることにより、ウエハカセット１１の十字形状の係合凸部１４の「十」の字の各延長方向は上下左右方向となっている。
【００３７】
さて、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａが後退すると、図９に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至り、一対のウエハカセット挟持部４１の十字形状の係合凹部４２がウエハカセット１１の両側の十字形状の係合凸部１４と対向する状態となる。
【００３８】
次に、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９が共に前進すると、図１０に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに接近する方向に移動し、一対のウエハカセット挟持部４１の十字形状の係合凹部４２がウエハカセット１１の両側の十字形状の係合凸部１４と係合し、一対のウエハカセット挟持部４１間にウエハカセット１１が挟持される。
【００３９】
次に、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａが前進すると、図１１に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至り、一対のウエハカセット挟持部４１間に挟持されたウエハカセット１１が持ち上げられる。次に、図１において、ウエハカセット移動機構２１が右方向に移動して右方向移動限位置に至ると、一点鎖線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分がレジスト剥離槽２の上方に位置する状態となる。
【００４０】
次に、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａが後退すると、図１２に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至り、一対のウエハカセット挟持部４１間に挟持されたウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中に位置する状態となる。
【００４１】
次に、モータ４９が駆動し、プーリ４０が回転すると、一対のウエハカセット挟持部４１間に挟持されたウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中においてその支持板１２の中心を中心にして回転される。すると、ウエハカセット１１内に収容された複数枚の半導体ウエハ１８がウエハカセット１１と共に回転し、これにより半導体ウエハ１８の一面に設けられたレジスト膜の剥離が行なわれる。なお、以下の工程は上記説明から容易に理解し得るので省略する。
【００４２】
以上のように、このレジスト剥離装置では、レジスト剥離液３中においてウエハカセット１１をそれに収容された複数枚の半導体ウエハ１８と共に回転させているので、半導体ウエハ１８に反りがあっても、複数枚の半導体ウエハ１８を安定良く回転させることができ、ひいては半導体ウエハ１８が破損しにくいようにすることができる。
【００４３】
なお、例えば、図１において、一点鎖線で示すウエハカセット移動機構２１をさらに右方向に移動させ、洗浄工程、乾燥工程等を行ない、その後に、ウエハカセット１１をウエハカセット載置台４上に載置するようにしてもよい。また、ウエハカセット１１の支持棒１３は３本あるいは５本以上であってもよい。また、ウエハカセット１１において、可動式の支持棒１３は少なくとも１本あればよく、したがって例えば相隣接する２本としてもよい。さらに、ウエハカセット１１において、支持板１２の形状は、支持棒１３の本数に応じた多角形状としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】この発明の一実施形態としてのレジスト剥離装置の基本的な動作を簡単に説明するために示す概略構成の正面図。
【図２】（Ａ）および（Ｂ）はウエハカセットの２つの状態における斜視図。
【図３】ウエハカセットの支持棒の溝を説明するために示す図。
【図４】ウエハカセット載置台上にウエハカセットを載置した状態の正面図。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う縦断面図。
【図６】ウエハカセット移動機構の要部の斜視図。
【図７】一対のウエハカセット挟持兼回転機構の部分の縦断面図。
【図８】図７のVIII−VIII線に沿う縦断面図。
【図９】レジスト剥離装置の当初の動作を説明するために示す縦断面図。
【図１０】図９に続く動作を説明するために示す縦断面図。
【図１１】図１０に続く動作を説明するために示す縦断面図。
【図１２】図１１に続く動作を説明するために示す縦断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１ フレーム
２ レジスト剥離槽
３ レジスト剥離液
４ ウエハカセット載置台
１１ ウエハカセット
１２ 支持板
１３ 支持棒
１４ 係合凸部
１７ ウエハ固定用溝
１８ 半導体ウエハ
２１ ウエハカセット移動機構
２２ 支持板
２３ エアーシリンダ
２４ アーム
２５ 支持棒
２６ ガイド棒
２７ エアーシリンダ
３１ ウエハカセット挟持兼回転機構
３２ 支持板
３４ カバー
４０ プーリ
４１ ウエハカセット挟持部
４２ 係合凹部
４４ プーリ
４５ ベルト
４６ ウォームホイール
４９ モータ
５０ 出力軸（ウォーム軸）
【技術分野】
【０００１】
この発明はレジスト剥離方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、従来の半導体ウエハ用のレジスト剥離装置には、複数枚の半導体ウエハをバッチ処理するために、複数枚の半導体ウエハを収容することができるウエハカセットを用いるようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。この場合、ウエハカセットは、上方が開放された箱状であって、底部の一部に開口部が設けられた構造となっている。
【０００３】
そして、ウエハカセット内に複数枚の半導体ウエハを起立させた状態で間隔をおいて並列に収容し、ウエハカセットをレジスト剥離槽内に収容されているレジスト剥離液中に位置させている。この状態では、ほぼ円形状の半導体ウエハは、ウエハカセットの底部の開口部を介して、レジスト剥離槽内の底部に平行に設けられた２本のローラ上に載置されている。そして、ローラが回転すると、半導体ウエハはレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転され、これにより半導体ウエハの一面に設けられたレジスト膜を剥離している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２７９６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のレジスト剥離装置では、ウエハカセット内に起立した状態で間隔をおいて並列に収容された複数枚の半導体ウエハを２本のローラ上に載置し、ローラの回転により複数枚の半導体ウエハを直接回転させているので、特に、半導体ウエハに反りがある場合には半導体ウエハの回転が不安定となり、半導体ウエハが破損するおそれがあるという問題があった。
【０００６】
そこで、この発明は、レジスト剥離液中において複数枚のウエハを安定良く回転させることができるレジスト剥離方法およびその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうことを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項１に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項２に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項２に記載の発明において、前記ウエハカセットは、その支持棒を水平とされた状態で、前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中においてその支持板の中心を中心にして回転されることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項４に記載の発明において、前記レジスト剥離槽の外側に設けられたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側からウエハカセット挟持兼回転手段で挟持する工程と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させる工程と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段により前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明に係るレジスト剥離方法は、請求項５に記載の発明において、前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程後に、前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記ウエハカセット載置台上に載置し、前記ウエハカセット挟持兼回転手段による前記ウエハカセットに対する挟持を解除することを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうレジスト剥離装置であって、前記ウエハカセットを挟持し、且つ、挟持された前記ウエハカセットを回転させるウエハカセット挟持兼回転手段と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段を移動させて、該ウエハカセット挟持兼回転手段に挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させるウエハカセット移動手段とを備えていることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項８に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持し、且つ、該挟持を解除する一対のウエハカセット挟持部材を有することを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持部材は、前記レジスト剥離槽の外側に配置されたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持することを特徴とするものである。
請求項１２に記載の発明に係るレジスト剥離装置は、請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記一対のウエハカセット挟持部材と共に前記ウエハカセットをその支持棒を水平とした状態でその支持板の中心を中心として回転させるウエハカセット回転手段を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、レジスト剥離液中においてウエハカセットをそれに収容された複数枚のウエハと共に回転させているので、ウエハに反りがあっても、複数枚のウエハを安定良く回転させることができ、ひいてはウエハが破損しにくいようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１はこの発明の一実施形態としてのレジスト剥離装置の基本的な動作を簡単に説明するために示す概略構成の正面図である。このレジスト剥離装置はフレーム１を備えている。フレーム１の上面の所定の箇所にはレジスト剥離槽２が設けられている。レジスト剥離槽２内にはレジスト剥離液３が収容されるようになっている。
【００１０】
フレーム１の上面においてレジスト剥離槽２の外側（図１では左側）にはウエハカセット載置台４が設けられている。ウエハカセット載置台４上にはウエハカセット１１が載置されるようになっている。ウエハカセット載置台４およびウエハカセット１１の詳細については後で説明する。
【００１１】
ウエハカセット載置台４およびレジスト剥離槽２の上方にはウエハカセット移動機構２１が左右方向および上下方向に移動可能に設けられている。ウエハカセット移動機構２１の詳細については後で説明するが、ここでは簡単に説明すると、一対の支持棒２５間にガイド棒２６が設けられ、ガイド棒２６に一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が左右方向に移動可能に取り付けられた構造となっている。
【００１２】
次に、図１に示すレジスト剥離装置の基本的な動作について簡単に説明する。このレジスト剥離装置の初期状態では、図１において実線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はウエハカセット載置台４の上方に位置させられ、且つ、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１は互いに離間した位置に位置させられている。また、ウエハカセット載置台４上にはウエハカセット１１が載置されている。
【００１３】
そして、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至り、次いで、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに接近する方向に移動すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間にウエハカセット１１が挟持される（図１の一点鎖線参照）。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至ると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間に挟持されたウエハカセット１１が持ち上げられる。
【００１４】
次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が右方向に移動して右方向移動限位置に至ると、図１において一点鎖線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はレジスト剥離槽２の上方に位置する状態となる。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至ると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間に挟持されたウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中に位置する状態となる。
【００１５】
次に、後述する如く、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１による回転動作により、ウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中において回転される。すると、ウエハカセット１１内に収容された複数枚の半導体ウエハ（ここでは図示せず）がウエハカセット１１と共に回転し、これにより半導体ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離が行なわれる。
【００１６】
次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至り、次いで、左方向に移動して左方向移動限位置に至ると、図１において実線で示すような位置に至り、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はウエハカセット載置台４の上方に位置する状態となる。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至ると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１間に挟持されたウエハカセット１１がウエハカセット載置台４上に載置される状態となる。
【００１７】
次に、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに離間する方向に移動すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１によるウエハカセット１１に対する挟持が解除される。次に、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至ると、図１において実線で示す初期状態に戻る。
【００１８】
次に、図２（Ａ）および（Ｂ）はウエハカセット１１の２つの状態における斜視図を示す。このウエハカセット１１は、一対の円形状の支持板１２の内面外周部間に４本の円柱状の支持棒１３が等間隔に設けられた構造となっている。この場合、一対の支持板１２の各外面中央部には十字形状の係合凸部１４が設けられている。
【００１９】
また、所定の１本の支持棒１３の両端部には円弧状のアーム１５が設けられている。一方、一対の支持板１２の各内面外周部の所定の箇所には円弧状の凹部１６が設けられている。そして、所定の１本の支持棒１３の各アーム１５の先端部は各支持板１２の凹部１６の一端部に回動可能に取り付けられている。すなわち、所定の１本の支持棒１３は可動式となっている。
【００２０】
図２（Ａ）に示すように、所定の１本の支持棒１３の各アーム１５を各支持板１２の凹部１６内に収納した状態では、４本の支持棒１３は一対の支持板１２の内面外周部間に等間隔に配置されている。この状態から、所定の１本の支持棒１３をその各アーム１５の先端部を中心にして回動させると、図２（Ｂ）に示すように、残りの３本の支持棒１３の内側における空間に対してほぼ円形状の半導体ウエハ１８を出し入れすることが可能な状態となる。
【００２１】
ここで、図２（Ａ）に示す状態において、４本の支持棒１３の各内側には、図３に示すように、複数のほぼＶ字状のウエハ固定用溝１７が等間隔に設けられている。そして、半導体ウエハ１８は、その外周部において等間隔に離間する４箇所が４本の支持棒１３の各ウエハ固定用溝１７に食い込むことにより、ウエハカセット１１内に収容されるようになっている。
【００２２】
次に、図４はウエハカセット載置台４上にウエハカセット１１を載置した状態の正面図を示し、図５は図４のＶ−Ｖ線に沿う縦断面図を示す。ウエハカセット載置台４は方形状のベース板５を備えている。ベース板５の上面の所定の２箇所には載置板６が起立した状態で設けられている。載置板６の上部にはほぼ半円形状の収容溝７が設けられている。収容溝７の底部にはほぼ半円形状の係合溝８が設けられている。
【００２３】
そして、ウエハカセット１１は、その４本の支持棒１３の部分がウエハカセット載置台４の載置板６の収容溝７内に収容され、且つ、そのいずれか１本の支持棒１３がウエハカセット載置台４の載置板６の係合溝８に係合されることにより、ウエハカセット載置台４上に載置されるようになっている。
【００２４】
ここで、図５に示すように、ウエハカセット１１において、４本の支持棒１３は十字形状の係合凸部１４の「十」の字の各延長線上に配置されている。この結果、ウエハカセット１１の４本の支持棒１３のいずれをウエハカセット載置台４の載置板６の係合溝８に係合させても、十字形状の係合凸部１４の「十」の字の各延長方向は上下左右方向であり、十字形状の係合凸部１４の実質的な位置は常に一定である。
【００２５】
次に、図６はウエハカセット移動機構２１の要部の斜視図を示す。このウエハカセット移動機構２１は平面長方形状の支持板２２を備えている。支持板２２の中央部は、垂直に配置されたエアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａの上端部に取り付けられている。なお、図示していないが、エアーシリンダ２３のシリンダ本体はケース内に設けられている。ケースはレール上に移動可能に配置されている。
【００２６】
そして、一例として、ケース内に設けられたモータの駆動によりケース外に設けられたピニオンが回転し、該ピニオンがレールと平行に配置されたラック上を転動すると、ケースおよびエアーシリンダ２３と共に支持板２２が図６において左右方向に移動するようになっている。
【００２７】
支持板２２の前面両側にはアーム２４を介して支持棒２５が設けられている。一対の支持棒２５間には２本のガイド棒２６が設けられている。これらのガイド棒２６には一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が左右方向に移動可能に取り付けられている。なお、図６では、ウエハカセット挟持兼回転機構３１は長方形状の平板の如く図示しているが、これは図示の簡略化のためであり、その詳細については後で説明する。
【００２８】
一対の支持棒２５の各上面両端部にはエアーシリンダ２７のシリンダ本体２８が設けられている。エアーシリンダ２７のピストンロッド２９の先端部は、それぞれ対応するウエハカセット挟持兼回転機構３１上に設けられた取付金具３０に取り付けられている。そして、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９が共に前進すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに接近する方向に移動し、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９が共に後退すると、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに離間する方向に移動するようになっている。
【００２９】
次に、図７は一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分の縦断面図を示し、図８は図７のVIII−VIII線に沿う縦断面図を示す。この場合、図７は図８のVII−VII線に沿う縦断面図である。一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１は左右対称な構造であるので、代表として、図７において右側のウエハカセット挟持兼回転機構３１について説明する。
【００３０】
ウエハカセット挟持兼回転機構３１は長方形状の支持板３２を備えている。支持板３２の内面のほぼ４角には支柱３３が設けられている。支柱３３の先端面には、支持板３２と同じサイズのカバー３４が配置されている。カバー３４は、支柱３３にねじ込まれたねじ３５により、支持板３２の内面側に一定の間隔をおいて取り付けられている。支持板３２およびカバー３４の上部両側には、ガイド棒２６が挿通されるガイド孔３６が設けられている。
【００３１】
支持板３２の下部中央部には円形状の貫通孔３７が設けられている。支持板３２の貫通孔３７の周囲における内側には円筒形状の支持部３８が設けられている。カバー３４の下部中央部には、支持板３２の支持部３８よりもある程度大きめの円形状の貫通孔３９が設けられている。
【００３２】
支持板３２とカバー３４との間において支持板３２の支持部３８にはプーリ４０が回転可能に取り付けられている。プーリ４０は、支持板３２の支持部３８の内側においてカバー３４の貫通孔３９内に回転可能に配置された円板形状のウエハカセット挟持部４１を有する。すなわち、プーリ４０はウエハカセット挟持部材を兼ねている。ウエハカセット挟持部４１の内面中央部には十字形状の係合凹部４２が設けられている。
【００３３】
支持板３２およびカバー３４の上部中央部には軸４３が回転可能に設けられている。支持板３２とカバー３４との間における軸４３にはプーリ４４が取り付けられている。両プーリ４０、４４にはベルト４５が巻回されている。カバー３４の内側に突出された軸４３にはウォームホイール４６が取り付けられている。
【００３４】
支持板３２およびカバー３４の上面の一方側および他方側には取付金具４７、４８が設けられている。一方側の取付金具４７上にはモータ４９が設けられている。モータ４９の出力軸（ウォーム軸）５０の先端部は他方側の取付金具４８に回転可能に取り付けられている。モータ４９の出力軸５０はウォームホイール４６に噛み合わされている。そして、モータ４９の出力軸５０の回転は、ウォームホイール４６、軸４３、プーリ４４およびベルト４５を介してプーリ４０に伝達されるようになっている。
【００３５】
次に、上記構成のレジスト剥離装置の動作について説明する。このレジスト剥離装置の初期状態では、図１において実線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分はウエハカセット載置台４の上方に位置させられ、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１は互いに離間した位置に位置させられている。すなわち、図６において、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａは前進し、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９は共に後退している。
【００３６】
また、図４に示すように、ウエハカセット１１は、その支持棒１３を水平とされた状態で、ウエハカセット載置台４上に載置されている。また、ウエハカセット１１内には複数枚の半導体ウエハ１８が起立した状態で等間隔で並列に収容されている。また、図５に示すように、ウエハカセット１１のいずれか１本の支持棒１３がウエハカセット載置台４の載置板６の係合溝８に係合されていることにより、ウエハカセット１１の十字形状の係合凸部１４の「十」の字の各延長方向は上下左右方向となっている。
【００３７】
さて、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａが後退すると、図９に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至り、一対のウエハカセット挟持部４１の十字形状の係合凹部４２がウエハカセット１１の両側の十字形状の係合凸部１４と対向する状態となる。
【００３８】
次に、４つのエアーシリンダ２７のピストンロッド２９が共に前進すると、図１０に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１が互いに接近する方向に移動し、一対のウエハカセット挟持部４１の十字形状の係合凹部４２がウエハカセット１１の両側の十字形状の係合凸部１４と係合し、一対のウエハカセット挟持部４１間にウエハカセット１１が挟持される。
【００３９】
次に、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａが前進すると、図１１に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が上昇して上限位置に至り、一対のウエハカセット挟持部４１間に挟持されたウエハカセット１１が持ち上げられる。次に、図１において、ウエハカセット移動機構２１が右方向に移動して右方向移動限位置に至ると、一点鎖線で示すように、ウエハカセット移動機構２１の一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分がレジスト剥離槽２の上方に位置する状態となる。
【００４０】
次に、エアーシリンダ２３のピストンロッド２３ａが後退すると、図１２に示すように、一対のウエハカセット挟持兼回転機構３１の部分が下降して下限位置に至り、一対のウエハカセット挟持部４１間に挟持されたウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中に位置する状態となる。
【００４１】
次に、モータ４９が駆動し、プーリ４０が回転すると、一対のウエハカセット挟持部４１間に挟持されたウエハカセット１１がレジスト剥離槽２内のレジスト剥離液３中においてその支持板１２の中心を中心にして回転される。すると、ウエハカセット１１内に収容された複数枚の半導体ウエハ１８がウエハカセット１１と共に回転し、これにより半導体ウエハ１８の一面に設けられたレジスト膜の剥離が行なわれる。なお、以下の工程は上記説明から容易に理解し得るので省略する。
【００４２】
以上のように、このレジスト剥離装置では、レジスト剥離液３中においてウエハカセット１１をそれに収容された複数枚の半導体ウエハ１８と共に回転させているので、半導体ウエハ１８に反りがあっても、複数枚の半導体ウエハ１８を安定良く回転させることができ、ひいては半導体ウエハ１８が破損しにくいようにすることができる。
【００４３】
なお、例えば、図１において、一点鎖線で示すウエハカセット移動機構２１をさらに右方向に移動させ、洗浄工程、乾燥工程等を行ない、その後に、ウエハカセット１１をウエハカセット載置台４上に載置するようにしてもよい。また、ウエハカセット１１の支持棒１３は３本あるいは５本以上であってもよい。また、ウエハカセット１１において、可動式の支持棒１３は少なくとも１本あればよく、したがって例えば相隣接する２本としてもよい。さらに、ウエハカセット１１において、支持板１２の形状は、支持棒１３の本数に応じた多角形状としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】この発明の一実施形態としてのレジスト剥離装置の基本的な動作を簡単に説明するために示す概略構成の正面図。
【図２】（Ａ）および（Ｂ）はウエハカセットの２つの状態における斜視図。
【図３】ウエハカセットの支持棒の溝を説明するために示す図。
【図４】ウエハカセット載置台上にウエハカセットを載置した状態の正面図。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う縦断面図。
【図６】ウエハカセット移動機構の要部の斜視図。
【図７】一対のウエハカセット挟持兼回転機構の部分の縦断面図。
【図８】図７のVIII−VIII線に沿う縦断面図。
【図９】レジスト剥離装置の当初の動作を説明するために示す縦断面図。
【図１０】図９に続く動作を説明するために示す縦断面図。
【図１１】図１０に続く動作を説明するために示す縦断面図。
【図１２】図１１に続く動作を説明するために示す縦断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１ フレーム
２ レジスト剥離槽
３ レジスト剥離液
４ ウエハカセット載置台
１１ ウエハカセット
１２ 支持板
１３ 支持棒
１４ 係合凸部
１７ ウエハ固定用溝
１８ 半導体ウエハ
２１ ウエハカセット移動機構
２２ 支持板
２３ エアーシリンダ
２４ アーム
２５ 支持棒
２６ ガイド棒
２７ エアーシリンダ
３１ ウエハカセット挟持兼回転機構
３２ 支持板
３４ カバー
４０ プーリ
４１ ウエハカセット挟持部
４２ 係合凹部
４４ プーリ
４５ ベルト
４６ ウォームホイール
４９ モータ
５０ 出力軸（ウォーム軸）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうことを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項３】
請求項２に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項４】
請求項２に記載の発明において、前記ウエハカセットは、その支持棒を水平とされた状態で、前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中においてその支持板の中心を中心にして回転されることを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項５】
請求項４に記載の発明において、
前記レジスト剥離槽の外側に設けられたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側からウエハカセット挟持兼回転手段で挟持する工程と、
前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させる工程と、
前記ウエハカセット挟持兼回転手段により前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程と、
を有することを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項６】
請求項５に記載の発明において、前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程後に、前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記ウエハカセット載置台上に載置し、前記ウエハカセット挟持兼回転手段による前記ウエハカセットに対する挟持を解除することを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項７】
内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうレジスト剥離装置であって、前記ウエハカセットを挟持し、且つ、挟持された前記ウエハカセットを回転させるウエハカセット挟持兼回転手段と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段を移動させて、該ウエハカセット挟持兼回転手段に挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させるウエハカセット移動手段とを備えていることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項８】
請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項９】
請求項８に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１０】
請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持し、且つ、該挟持を解除する一対のウエハカセット挟持部材を有することを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持部材は、前記レジスト剥離槽の外側に配置されたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持することを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記一対のウエハカセット挟持部材と共に前記ウエハカセットをその支持棒を水平とした状態でその支持板の中心を中心として回転させるウエハカセット回転手段を有することを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１】
内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうことを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項３】
請求項２に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項４】
請求項２に記載の発明において、前記ウエハカセットは、その支持棒を水平とされた状態で、前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中においてその支持板の中心を中心にして回転されることを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項５】
請求項４に記載の発明において、
前記レジスト剥離槽の外側に設けられたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側からウエハカセット挟持兼回転手段で挟持する工程と、
前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させる工程と、
前記ウエハカセット挟持兼回転手段により前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程と、
を有することを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項６】
請求項５に記載の発明において、前記ウエハカセットを前記レジスト剥離液中において回転させる工程後に、前記ウエハカセット挟持兼回転手段をそれに挟持された前記ウエハカセットと共に移動させて、挟持された前記ウエハカセットを前記ウエハカセット載置台上に載置し、前記ウエハカセット挟持兼回転手段による前記ウエハカセットに対する挟持を解除することを特徴とするレジスト剥離方法。
【請求項７】
内部に複数枚のウエハが間隔をおいて並列に収容されたウエハカセットをレジスト剥離槽内のレジスト剥離液中において回転させ、これにより前記ウエハの一面に設けられたレジスト膜の剥離を行なうレジスト剥離装置であって、前記ウエハカセットを挟持し、且つ、挟持された前記ウエハカセットを回転させるウエハカセット挟持兼回転手段と、前記ウエハカセット挟持兼回転手段を移動させて、該ウエハカセット挟持兼回転手段に挟持された前記ウエハカセットを前記レジスト剥離槽内の前記レジスト剥離液中に位置させるウエハカセット移動手段とを備えていることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項８】
請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセットは、一対の円形状または多角形状の支持板の相対向する内面外周部間に３本以上の支持棒が間隔をおいて設けられ、前記支持棒の内側に複数のウエハ固定用溝が間隔をおいて設けられた構造であることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項９】
請求項８に記載の発明において、前記３本以上の支持棒のうちの少なくとも１本は、前記３本以上の支持棒の内側における空間に対する前記ウエハの出し入れのために、可動式となっていることを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１０】
請求項７に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持し、且つ、該挟持を解除する一対のウエハカセット挟持部材を有することを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持部材は、前記レジスト剥離槽の外側に配置されたウエハカセット載置台上にその支持棒を水平とされた状態で載置された前記ウエハカセットの一対の支持板をその両側から挟持することを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の発明において、前記ウエハカセット挟持兼回転手段は、前記一対のウエハカセット挟持部材と共に前記ウエハカセットをその支持棒を水平とした状態でその支持板の中心を中心として回転させるウエハカセット回転手段を有することを特徴とするレジスト剥離装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００９−１４１０３５（Ｐ２００９−１４１０３５Ａ）
【公開日】平成２１年６月２５日（２００９．６．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３１４１３９（Ｐ２００７−３１４１３９）
【出願日】平成１９年１２月５日（２００７．１２．５）
【出願人】（０００００１４４３）カシオ計算機株式会社 (8,748)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年６月２５日（２００９．６．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１２月５日（２００７．１２．５）
【出願人】（０００００１４４３）カシオ計算機株式会社 (8,748)
【Ｆターム（参考）】
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