光電変換モジュール用部品及び光電変換モジュール及び光電変換モジュール用部品の製造方法
【課題】本発明は、光電変換素子と光ファイバが挿通されるフェルール中の挿通孔に対する位置決め精度の高い光電変換モジュール用部品を提供する。
【解決手段】素子搭載面１２に開口するように貫通形成された挿通孔１１を有する樹脂製のフェルール１０と、フェルール１０の素子搭載面１２に取り付けられた光電変換素子２０とを有し、素子搭載面１２に第１位置合わせ部１３が設けられ、光電変換素子２０の第１位置合わせ部１３に対向する位置に第２位置合わせ部２３が設けられ、第１位置合わせ部１３と第２位置合わせ部２３とが当接して光電変換素子２０が素子搭載面１２に位置決めされている光電変換モジュール用部品３０によって上記課題が解決される。
【解決手段】素子搭載面１２に開口するように貫通形成された挿通孔１１を有する樹脂製のフェルール１０と、フェルール１０の素子搭載面１２に取り付けられた光電変換素子２０とを有し、素子搭載面１２に第１位置合わせ部１３が設けられ、光電変換素子２０の第１位置合わせ部１３に対向する位置に第２位置合わせ部２３が設けられ、第１位置合わせ部１３と第２位置合わせ部２３とが当接して光電変換素子２０が素子搭載面１２に位置決めされている光電変換モジュール用部品３０によって上記課題が解決される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光信号と電気信号とを相互に変換する光電変換モジュール用部品及び光電変換モジュール及び光電変換モジュール用部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の通信ネットワークの大容量化・高速化やスーパーコンピュータの処理能力の向上に伴って、伝送速度の向上が要請され、光インターコネクション技術が注目されている。光インターコネクションを実現するために、特許文献１に記載のような光電変換モジュールが知られている。この光電変換モジュールは、光電変換素子と光ファイバ及び電気配線を有し、ＬＳＩ等の信号処理装置との接続、あるいは信号処理装置とルータ等の外部インターフェイスとの接続等において、機器間の電気信号を光信号に置き換えてその伝送速度を向上させようとするものである。
【０００３】
このような光電変換モジュールは、光信号と電気信号とを変換する光電変換素子と、この光電変換素子が取り付けられたフェルールとからなる光電変換モジュール用部品に光電変換素子に光信号を伝送する光ファイバを装着して得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2006-59867号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような光電変換モジュールでは、光ファイバと光電変換素子との位置合わせに高い精度が要求される。光電変換素子としての発光素子から発する光信号を光ファイバへ導いたり、光ファイバを伝搬してきた光信号を光電変換素子としての受光素子へ導いたりする時に、光電変換素子の受発光面と光ファイバの端面との相対位置がずれていると、両者間で光信号が損失して光結合効率が低下する。
【０００６】
そこで本発明は、光電変換素子と光ファイバとの位置決め精度の高い光電変換モジュール、光電変換素子と光ファイバが挿通されるフェルール中の挿通孔に対する位置決め精度の高い光電変換モジュール用部品、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明によれば以下が提供される。
（１） 素子搭載面に開口するように貫通形成された挿通孔を有する樹脂製のフェルールと、
前記フェルールの前記素子搭載面に取り付けられた光電変換素子とを有し、
前記素子搭載面に第１位置合わせ部が設けられ、
前記光電変換素子の前記第１位置合わせ部に対向する位置に第２位置合わせ部が設けられ、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とが当接して前記光電変換素子が前記素子搭載面に位置決めされている光電変換モジュール用部品。
（２） 前記第１位置合わせ部及び前記第２位置合わせ部の表面に金属電極が設けられ、
前記光電変換素子と前記素子搭載面は互いの前記金属電極の熱圧着により固定されていることを特徴とする（１）に記載の光電変換モジュール用部品。
（３） 前記第１位置合わせ部は前記挿通孔の貫通方向に沿って突出してまたは凹んで形成され、
前記第２位置合わせ部は前記光電変換素子の光軸に沿って凹んでまたは突出して形成され、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とは嵌合により結合されていることを特徴とする（１）または（２）に記載の光電変換モジュール用部品。
（４） 前記フェルールは、前記光電変換素子の前記素子搭載面に対向する面に隣接する外周面を覆うように前記素子搭載面から前記光電変換素子側に突出する側壁を備えていることを特徴とする（１）から（３）のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品。
（５） （１）から（４）の何れか一項に記載の光電変換モジュール用部品と、
前記挿通孔に挿通された光ファイバとを備えた光電変換モジュール。
【０００８】
（６） 素子搭載面に第１位置合わせ部を備えたフェルールを射出成形する樹脂製のフェルール作成工程と、
受発光面が設けられる取付面に第２位置合わせ部を備えた光電変換素子を作成する光電変換素子作成工程とを有し、
前記フェルール作成工程および前記光電変換素子作成工程で得られた前記フェルールと前記光電変換素子を前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とを当接させて前記光電変換素子を前記素子搭載面に位置決めする光電変換モジュール用部品の製造方法。
（７） 前記フェルール作成工程において、前記フェルールは前記第１位置合わせ部の表面に金属電極を設けるようにインサート成形することを特徴とする（６）に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
（８） 前記光電変換素子作成工程において、前記光電変換素子は前記第２位置合わせ部をエッチングによって形成することを特徴とする（６）または（７）に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
（９） 前記フェルールの前記第１位置合わせ部の表面及び前記光電変換素子の前記第２位置合わせ部の表面に金属電極を設け、
前記光電変換素子の前記金属電極と前記素子搭載面の前記金属電極を熱圧着により固定することを特徴とする（６）から（８）のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る光電変換モジュール用部品によれば、樹脂製フェルールの射出成形時に第１位置合わせ部を容易に精度良く形成でき、光電変換素子の作成時にエッチング等の半導体薄膜形成技術により第２位置合わせ部を精度良く形成できる。したがって、精度良く形成されたこれら第１位置合わせ部及び第２位置合わせ部を当接させることで、光電変換素子が素子搭載面に高精度に位置決めされた光電変換モジュール用部品を提供することができる。
【００１０】
また、このように光電変換素子が素子搭載面に高精度に位置決めされた光電変換モジュール用部品の挿通孔に光ファイバが挿入されているので、光電変換素子と光ファイバとを高精度に位置合わせすることができる。したがって、光結合効率の優れた光電変換モジュールを提供することができる。
【００１１】
更に、本発明に係る光電変換モジュールの製造方法によれば、第１位置合わせ部と第２位置合わせ部とを当接させて位置合わせするだけで、光電変換素子の受発光面を光ファイバに精度良く位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る光電変換モジュールの側断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光電変換モジュールの製造方法を示す説明図である。
【図３】本発明の第１変形例に係る光電変換モジュールの側断面図である。
【図４】本発明の第２変形例に係る光電変換モジュールの側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係る光電変換モジュール用部品及びこれを用いた光電変換モジュールを、図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は本発明の実施形態に係る光電変換モジュールを示す側断面図である。図１に示すように、光電変換モジュール１は、本発明に係る光電変換モジュール用部品３０を含む。光電変換モジュール用部品３０は、樹脂製のフェルール１０とフェルール１０に取り付けられた光電変換素子２０とを備え、この光電変換モジュール用部品３０に取り付けられた光ファイバ４０とを備えている。
【００１５】
フェルール１０は樹脂製であって射出成形で成形される略直方体状の部材である。フェルール１０の一面（図１中の左側面）は、光電変換素子２０が取り付けられる素子搭載面１２とされている。フェルール１０の内部には素子搭載面１２に開口する挿通孔１１が貫通形成されている。この挿通孔１１には光ファイバ４０が挿入されて固定されており、光ファイバ４０を介して外部機器と光信号の送受信を実行することができる。なお、光ファイバ４０の光軸と挿通孔１１の中心軸は一致されている。
【００１６】
素子搭載面１２のうち挿通孔１１の開口周辺は、素子搭載面１２の表面から挿通孔１１に向かって凹んだ凹部（第１位置合わせ部）１３とされている。換言すれば、挿通孔１１の素子搭載面１２側の開口は、素子搭載面１２にかけて拡径した凹部１３によりテーパ形状とされている。なお、このテーパ形状の凹部１３は円錐形としてもよいし、角錐形としてもよい。
【００１７】
また、図１に示すように、フェルール１０の凹部１３を含む素子搭載面１２には導電性のフェルール側電極１４が設けられている。このフェルール側電極１４の一端はフェルール１０の上面（挿通孔１１の貫通方向と平行な面のうちの一つ）まで延出され、外部機器と電気的に接続される外部端子１５が形成されている。また、フェルール側電極１４の他端は凹部（第１位置合わせ部）１３の表面まで延出して連続形成されていることが好ましい。
【００１８】
光電変換素子２０は、電気信号に応じて光信号を発する発光素子（面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ））や、光信号に応じて電気信号を発する受光素子（フォトダイオード）といった半導体素子である。光電変換素子２０は、光信号を受発光する受発光面２１が挿通孔１１の開口に臨むように素子搭載面１２に取り付けられている。
【００１９】
光電変換素子２０の取付面２２上には受発光面２１が形成されている。取付面２２において、受発光面２１の周囲にはテーパ形状の凸部２３（第２位置合わせ部）が形成されており、受発光面２１を含む領域がフェルール１０側に形成されている。なお、このテーパ形状の凸部２３は円錐形としてもよいし、角錐形としてもよい。
【００２０】
凸部２３は、光電変換素子２０をフェルール１０に取り付けた時に光電変換素子２０の受発光面２１が光ファイバ４０の端面４１に対向するように、フェルール１０の凹部１３と対応する位置に形成されている。また、凸部２３の形状は凹部１３の形状に当接する形状に形成されている。例えば、凹部１３が円錐形状である場合には凸部２３も円錐形状であり、凹部１３が角錐形状である場合には凸部２３も角錐形状であることが好ましい。なお、凹部１３及び凸部２３の高さは、１２５μｍの素線径の光ファイバを用いた場合には、約１００μｍ程度に形成することができる。凹部１３及び凸部２３の高さが光ファイバ４０に対して小さすぎると、光電変換素子２０のフェルール１０に対する位置決め精度を向上させにくいからである。
【００２１】
フェルール１０は樹脂製なので、フェルール１０を射出成形する際に凹部１３を精度良く作成することができる。また、光電変換素子２０は半導体素子なので、受発光面２１を作成する際に半導体薄膜加工技術を用いて凸部２３を精度良く作成することができる。したがって、光電変換素子２０をフェルール１０に取り付ける時には、精度良く作成された凹部１３及び凸部２３を当接させて嵌合させることで、光電変換素子２０の受発光面２１が挿通孔１１及び光ファイバ４０の端面４１に対向するように容易に精度良く位置合わせできる。
【００２２】
また、図１に示すように、光電変換素子２０の凸部２３を含む取付面２２の表面に導電性の素子側電極２４を設けてもよい。光電変換素子２０を素子搭載面１２に取り付けたとき、この素子側電極２４はフェルール１０の素子搭載面１２に設けられたフェルール側電極１４と当接し、導通する。このように、素子側電極２４は受発光面２１まで延出されており、外部端子１５から素子側電極２４を介して発光面２１へ電気信号を入力したり、受光面２１から素子側電極２４を介して外部端子１５から電気信号を取り出すことができる。
【００２３】
ここで素子側電極２４及びフェルール側電極１４とを互いに押し付けながら加熱して両者を熱圧着（拡散接合ともいう）させると、素子搭載面１２及び凹部（第１位置合わせ部）１３、並びに取付面２２及び凸部（第２位置合わせ部）２３の表面に設けられた金属電極（フェルール側電極１４及び素子側電極２４）の金属面間で光電変換素子２０を素子搭載面１２に取り付けることができるので好ましい。素子側電極２４及びフェルール側電極１４とを、バンプ接続やはんだ接続、接着剤を用いた場合と比べて、熱圧着した場合はバンプの大きさのばらつきの影響を受けず、あるいははんだや接着剤の塗布量のばらつきの影響を受けないので、光電変換素子２０とフェルール１０との位置決め精度が更に向上するからである。
【００２４】
なお、凹部１３及び凸部２３の素子搭載面１２及び凹部（第１位置合わせ部）１３、並びに取付面２２及び凹部（第２位置合わせ部）２３の表面に設けられた金属電極（フェルール側電極１４及び素子側電極２４）は、全ての領域を互いに当接させる必要はない。光電変換素子２０を素子搭載面１２に固定できる所定の保持力が得られれば、フェルール側電極１４と素子側電極２４の一部のみが互いに熱圧着されていればよい。
【００２５】
例えば、フェルール側電極１４が素子搭載面１２及び第１位置合わせ部１３の表面に連続形成され、素子側電極２４が取付面２２及び第２位置合わせ部２３の表面に連続形成されている場合には、第１位置合わせ部１３と第２位置合わせ部２３の表面に形成された金属電極同士のみが熱圧着されていても良い。フェルール１０と光電変換素子２０が電気的に接合され、所定の保持力で固定することが可能である。
【００２６】
＜光電変換モジュールの製造方法＞
図２は上述した光電変換モジュール１の製造方法を示す工程図である。まず、図２（ａ）に示すように、フェルール１０の素子搭載面１２に凹部（第１位置合わせ部）１３を形成する。例えば、樹脂を所定の金型内に注入し、射出成形の一種であるインサート成形によって、フェルール側電極１４とともに、テーパ状の凹部１３が形成されたフェルール１０を作成する。このようにして、凹部（第１位置合わせ部）１３の表面に金属電極を設けるようにインサート成形することが好ましい。
【００２７】
次に、受発光面が設けられる取付面２２に凸部（第２位置合わせ部）２３を備えた光電変換素子２０を作成する。エッチング等、公知の半導体薄膜加工技術を適用して、予めテーパ状の凸部２３が形成された光電変換素子２０を作成する。例えば受発光面２１を含む領域の凸状を残すようにその周囲をエッチングするなどして凸部２３を形成することができる。
【００２８】
インサート成形及び半導体薄膜加工技術ともに既にミクロンオーダーの寸法精度が得られる確立された技術であるから、凹部１３及び凸部２３を互いに嵌合させた時に光電変換素子２０の受発光面２１が光ファイバ４０の端面４１に対向するように、凹部１３及び凸部２３を所定位置に精度良く形成することができる。
【００２９】
次に、凹部（第１位置合わせ部）１３と凸部（第２位置合わせ部）２３とを当接させて光電変換素子２０を素子搭載面１２に位置決めし、光電変換モジュール用部品３０を得る。図２（ｂ）に示すように、光電変換素子２０の凸部２３がフェルール１０の凹部１３に当接するように光電変換素子２０をフェルール１０の素子搭載面１２に位置合わせし、両者を固定して光電変換モジュール用部品３０を得る。なお、図２に示すようにフェルール１０の第１位置合わせ部１３の表面及び光電変換素子２０の第２位置合わせ部２３の表面に金属電極を設けた場合には、光電変換素子２０をフェルール１０に固定する際は、素子側電極２４をフェルール側電極１４に押し付けながら加熱して両者を熱圧着（拡散接合ともいう）することが好ましい。
【００３０】
この後、光ファイバ４０をフェルール１０の挿通孔１１の所定位置まで挿入し固定し、光電変換モジュール１が得られる。このように本実施形態に係る光電変換モジュール１によれば、光電変換素子２０が素子搭載面１２に高精度に位置決めされた光電変換モジュール用部品３０の挿通孔１１に光ファイバ４０が挿入されているので、光電変換素子２０と光ファイバ４０とを高精度に位置合わせすることができる。したがって、光結合効率の優れた光電変換モジュール１を提供することができる。
【００３１】
したがって、発光素子（光電変換素子）２０を発光させながら光ファイバ４０の発光素子２０とは反対側の端部からの出射光の照度を測定しながら、照度が最も大きい場所で光電変換素子２０を素子搭載面１２に取り付ける場合や、素子搭載面１２に基準点となるマークを付して当該マークを参照しつつ光電変換素子２０を取り付ける場合等と比べて、本実施形態に係る光電変換モジュールの製造方法によれば極めて容易に光電変換素子２０を素子搭載面１２に精度良く取り付けることができる。また、本実施形態に係る光電変換モジュール１の製造方法によれば、照度の測定装置やマークを観察するカメラ等の特別な組立設備も不要であり、製造コストを低減できる。
【００３２】
更に、本実施形態に係る光電変換モジュール用部品３０の製造方法によれば、フェルール側電極１４と素子側電極２４との間の熱圧着により光電変換素子２０がフェルール１０に対して固定される。したがって、フェルール側電極１４と素子側電極２４とをバンプ接続やはんだ接続あるいは接着剤を用いて固定した場合と比べて、本実施形態に係る光電変換モジュール１の製造方法によれば、バンプの大きさのばらつきの影響を受けず、あるいははんだや接着剤の塗布量のばらつきの影響を受けないので、より精度よく光電変換素子２０の受発光面２１を光ファイバ４０の端面４１に対向させることができる。
【００３３】
なお上述の実施形態では、光電変換素子２０を素子搭載面１２に搭載した後に光ファイバ４０をフェルール１０の挿通孔１１に挿入させた例を説明したが、光ファイバ４０をフェルール１０の挿通孔１１に挿入させた後に光電変換素子２０を素子搭載面１２に搭載してもよいことはもちろんである。
【００３４】
なお上述の例では、凹部１３及び凸部２３同士が嵌合された後に熱圧着されて光電変換素子２０がフェルール１０に対して固定される例を説明したが、光電変換素子２０とフェルール１０との間で位置決めができるように凹部１３及び凸部２３が互いに当接すれば、凹部１３及び凸部２３で光電変換素子２０をフェルール１０に対して固定する必要はない。例えば、凹部１３及び凸部２３で光電変換素子２０をフェルール１０に対して位置決めした後に、凹部１３及び凸部２３以外の部位に接着剤等を塗布して光電変換素子２０をフェルール１０に固定してもよい。
【００３５】
＜変形例＞
図３，４は本発明の変形例に係る光電変換モジュールの側面図である。本変形例に係る光電変換モジュール１ａは、本発明の光電変換モジュール用部品３０ａ、３０ｂを含み、凹部１３及び凸部２３の形状が上記実施形態と異なる他は、上記実施形態と同様の構成である。なお、図３において、上記実施形態と同様の構成については、上記実施形態と同様の符号を用いてその詳細な説明を省略する。
【００３６】
図３に示す光電変換モジュール用部品３０ａの素子搭載面１２には、挿通孔１１の開口付近が光電変換素子２０側に突出するようにテーパ状の凸部（第１位置合わせ部）１３ａが形成されている。また、光電変換素子２０の取付面２２には、凸部１３ａの凸状に対応するように受発光面２１を含む領域が凹むようにテーパ状の凹部（第２位置合わせ部）２３ａが形成されている。
【００３７】
このような形状の凹部１３ａ，２３ａもインサート成形及び半導体薄膜加工技術により容易に精度良く作成することができる。したがって、上述の実施形態と同様に、本変形例によっても、精度良く形成された凹部１３ａ，２３ａを互いに当接させると、精度良く光電変換素子２０をフェルール１０に位置決めすることができる。
【００３８】
また、第１位置合わせ部１３，１３ａ及び第２位置合わせ部２３，２３ａの形状は光電変換素子２０をフェルール１０に位置決めできれば、錐形状のみに限定されることはない。例えば、第１位置合わせ部部１３，１３ａ，第２位置合わせ部２３，２３ａを、図４に示すように突起状の凸部２３ｂと、それと嵌合する凹部１３ｂにより形成してもよいことはもちろんである。この図４に示す変形例によっても、上述のように第１位置合わせ部１３ａ及び第２位置合わせ部２３ａを互いに当接させるだけで精度良く光電変換素子２０を素子搭載面１２に位置決めすることができる。
【００３９】
また、図４に示すように、本発明の変形例に係る光電変換モジュール用部品３０ｂは、第１位置合わせ部１３ｂは挿通孔１１の貫通方向に沿って凹んで形成され、第２位置合わせ部２３ｂは光電変換素子２０の光軸に沿って突出して形成され、第１位置合わせ部１３ｂと第２位置合わせ部２３ｂとが嵌合により結合されている。このような光電変換モジュール用部品３０ｂを備える光電変換モジュール１ｂによれば、第２位置決め部２３ｂを第１位置決め部１３ｂに嵌合させて光電変換素子２０をフェルール１０の素子搭載面１２に搭載する時には、光電変換素子２０とフェルール１０は互いの光軸方向に相対移動するので、互いの光軸が傾くことなく一致させることができるので、更に光の結合効率が向上する。なお、第１位置合わせ部１３ｂが突出し、第２位置合わせ部２３ｂが凹んで形成されていてもよいことはもちろんである。
【００４０】
なお、図３，４に示すように素子搭載面１２の外周に光電変換素子２０側に突出された側壁１６を延設させて光電変換素子２０の取付面２２に隣接する外周面を覆う構成としても良い。このように側壁１６が光電変換素子２０の外周を覆うことにより、光電変換素子２０に外力が作用しにくくし、光電変換素子２０がフェルール１０から脱落することを確実に防止できる。また、受発光面２１と光ファイバ４０との間に塵芥が侵入しにくい。なお、このような側壁１６は上述した図１の実施形態にも適用することができることはもちろんである。
【００４１】
また、フェルール側電極１４は、第１位置決め部１３ａ，１３ｂに相当する領域以外は、その外周面がフェルール１０で覆われていることが好ましい。また、フェルール側電極１４を介して光電変換素子２０に電気信号を伝達するため、高周波特性を考慮すると、フェルール側電極１４はできるだけ短いことが好ましい。したがって、図３，４に示すように、フェルール側電極１４の第１位置決め部１３ａ，１３ｂに相当する領域以外の部位を平板状に形成し、その端部をフェルール１０から露出させて外部端子１５とすることが好ましい。
【符号の説明】
【００４２】
１：光電変換モジュール、１０：フェルール、１１：挿通孔、１２：素子搭載面、１３，１３ｂ：凹部（第１位置合わせ部）、１３ａ：凸部（第１位置合わせ部）、１４：フェルール側電極、１５：外部端子、１６：側壁、２０：光電変換素子、２１：受発光面、２２：取付面、２３，２３ｂ：凸部（第２位置合わせ部）、２３ａ：凹部（第２位置合わせ部）、２４：素子側電極、３０：光電変換モジュール用部品、４０：光ファイバ、４１：端面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光信号と電気信号とを相互に変換する光電変換モジュール用部品及び光電変換モジュール及び光電変換モジュール用部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の通信ネットワークの大容量化・高速化やスーパーコンピュータの処理能力の向上に伴って、伝送速度の向上が要請され、光インターコネクション技術が注目されている。光インターコネクションを実現するために、特許文献１に記載のような光電変換モジュールが知られている。この光電変換モジュールは、光電変換素子と光ファイバ及び電気配線を有し、ＬＳＩ等の信号処理装置との接続、あるいは信号処理装置とルータ等の外部インターフェイスとの接続等において、機器間の電気信号を光信号に置き換えてその伝送速度を向上させようとするものである。
【０００３】
このような光電変換モジュールは、光信号と電気信号とを変換する光電変換素子と、この光電変換素子が取り付けられたフェルールとからなる光電変換モジュール用部品に光電変換素子に光信号を伝送する光ファイバを装着して得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2006-59867号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような光電変換モジュールでは、光ファイバと光電変換素子との位置合わせに高い精度が要求される。光電変換素子としての発光素子から発する光信号を光ファイバへ導いたり、光ファイバを伝搬してきた光信号を光電変換素子としての受光素子へ導いたりする時に、光電変換素子の受発光面と光ファイバの端面との相対位置がずれていると、両者間で光信号が損失して光結合効率が低下する。
【０００６】
そこで本発明は、光電変換素子と光ファイバとの位置決め精度の高い光電変換モジュール、光電変換素子と光ファイバが挿通されるフェルール中の挿通孔に対する位置決め精度の高い光電変換モジュール用部品、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明によれば以下が提供される。
（１） 素子搭載面に開口するように貫通形成された挿通孔を有する樹脂製のフェルールと、
前記フェルールの前記素子搭載面に取り付けられた光電変換素子とを有し、
前記素子搭載面に第１位置合わせ部が設けられ、
前記光電変換素子の前記第１位置合わせ部に対向する位置に第２位置合わせ部が設けられ、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とが当接して前記光電変換素子が前記素子搭載面に位置決めされている光電変換モジュール用部品。
（２） 前記第１位置合わせ部及び前記第２位置合わせ部の表面に金属電極が設けられ、
前記光電変換素子と前記素子搭載面は互いの前記金属電極の熱圧着により固定されていることを特徴とする（１）に記載の光電変換モジュール用部品。
（３） 前記第１位置合わせ部は前記挿通孔の貫通方向に沿って突出してまたは凹んで形成され、
前記第２位置合わせ部は前記光電変換素子の光軸に沿って凹んでまたは突出して形成され、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とは嵌合により結合されていることを特徴とする（１）または（２）に記載の光電変換モジュール用部品。
（４） 前記フェルールは、前記光電変換素子の前記素子搭載面に対向する面に隣接する外周面を覆うように前記素子搭載面から前記光電変換素子側に突出する側壁を備えていることを特徴とする（１）から（３）のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品。
（５） （１）から（４）の何れか一項に記載の光電変換モジュール用部品と、
前記挿通孔に挿通された光ファイバとを備えた光電変換モジュール。
【０００８】
（６） 素子搭載面に第１位置合わせ部を備えたフェルールを射出成形する樹脂製のフェルール作成工程と、
受発光面が設けられる取付面に第２位置合わせ部を備えた光電変換素子を作成する光電変換素子作成工程とを有し、
前記フェルール作成工程および前記光電変換素子作成工程で得られた前記フェルールと前記光電変換素子を前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とを当接させて前記光電変換素子を前記素子搭載面に位置決めする光電変換モジュール用部品の製造方法。
（７） 前記フェルール作成工程において、前記フェルールは前記第１位置合わせ部の表面に金属電極を設けるようにインサート成形することを特徴とする（６）に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
（８） 前記光電変換素子作成工程において、前記光電変換素子は前記第２位置合わせ部をエッチングによって形成することを特徴とする（６）または（７）に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
（９） 前記フェルールの前記第１位置合わせ部の表面及び前記光電変換素子の前記第２位置合わせ部の表面に金属電極を設け、
前記光電変換素子の前記金属電極と前記素子搭載面の前記金属電極を熱圧着により固定することを特徴とする（６）から（８）のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る光電変換モジュール用部品によれば、樹脂製フェルールの射出成形時に第１位置合わせ部を容易に精度良く形成でき、光電変換素子の作成時にエッチング等の半導体薄膜形成技術により第２位置合わせ部を精度良く形成できる。したがって、精度良く形成されたこれら第１位置合わせ部及び第２位置合わせ部を当接させることで、光電変換素子が素子搭載面に高精度に位置決めされた光電変換モジュール用部品を提供することができる。
【００１０】
また、このように光電変換素子が素子搭載面に高精度に位置決めされた光電変換モジュール用部品の挿通孔に光ファイバが挿入されているので、光電変換素子と光ファイバとを高精度に位置合わせすることができる。したがって、光結合効率の優れた光電変換モジュールを提供することができる。
【００１１】
更に、本発明に係る光電変換モジュールの製造方法によれば、第１位置合わせ部と第２位置合わせ部とを当接させて位置合わせするだけで、光電変換素子の受発光面を光ファイバに精度良く位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る光電変換モジュールの側断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光電変換モジュールの製造方法を示す説明図である。
【図３】本発明の第１変形例に係る光電変換モジュールの側断面図である。
【図４】本発明の第２変形例に係る光電変換モジュールの側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係る光電変換モジュール用部品及びこれを用いた光電変換モジュールを、図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は本発明の実施形態に係る光電変換モジュールを示す側断面図である。図１に示すように、光電変換モジュール１は、本発明に係る光電変換モジュール用部品３０を含む。光電変換モジュール用部品３０は、樹脂製のフェルール１０とフェルール１０に取り付けられた光電変換素子２０とを備え、この光電変換モジュール用部品３０に取り付けられた光ファイバ４０とを備えている。
【００１５】
フェルール１０は樹脂製であって射出成形で成形される略直方体状の部材である。フェルール１０の一面（図１中の左側面）は、光電変換素子２０が取り付けられる素子搭載面１２とされている。フェルール１０の内部には素子搭載面１２に開口する挿通孔１１が貫通形成されている。この挿通孔１１には光ファイバ４０が挿入されて固定されており、光ファイバ４０を介して外部機器と光信号の送受信を実行することができる。なお、光ファイバ４０の光軸と挿通孔１１の中心軸は一致されている。
【００１６】
素子搭載面１２のうち挿通孔１１の開口周辺は、素子搭載面１２の表面から挿通孔１１に向かって凹んだ凹部（第１位置合わせ部）１３とされている。換言すれば、挿通孔１１の素子搭載面１２側の開口は、素子搭載面１２にかけて拡径した凹部１３によりテーパ形状とされている。なお、このテーパ形状の凹部１３は円錐形としてもよいし、角錐形としてもよい。
【００１７】
また、図１に示すように、フェルール１０の凹部１３を含む素子搭載面１２には導電性のフェルール側電極１４が設けられている。このフェルール側電極１４の一端はフェルール１０の上面（挿通孔１１の貫通方向と平行な面のうちの一つ）まで延出され、外部機器と電気的に接続される外部端子１５が形成されている。また、フェルール側電極１４の他端は凹部（第１位置合わせ部）１３の表面まで延出して連続形成されていることが好ましい。
【００１８】
光電変換素子２０は、電気信号に応じて光信号を発する発光素子（面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ））や、光信号に応じて電気信号を発する受光素子（フォトダイオード）といった半導体素子である。光電変換素子２０は、光信号を受発光する受発光面２１が挿通孔１１の開口に臨むように素子搭載面１２に取り付けられている。
【００１９】
光電変換素子２０の取付面２２上には受発光面２１が形成されている。取付面２２において、受発光面２１の周囲にはテーパ形状の凸部２３（第２位置合わせ部）が形成されており、受発光面２１を含む領域がフェルール１０側に形成されている。なお、このテーパ形状の凸部２３は円錐形としてもよいし、角錐形としてもよい。
【００２０】
凸部２３は、光電変換素子２０をフェルール１０に取り付けた時に光電変換素子２０の受発光面２１が光ファイバ４０の端面４１に対向するように、フェルール１０の凹部１３と対応する位置に形成されている。また、凸部２３の形状は凹部１３の形状に当接する形状に形成されている。例えば、凹部１３が円錐形状である場合には凸部２３も円錐形状であり、凹部１３が角錐形状である場合には凸部２３も角錐形状であることが好ましい。なお、凹部１３及び凸部２３の高さは、１２５μｍの素線径の光ファイバを用いた場合には、約１００μｍ程度に形成することができる。凹部１３及び凸部２３の高さが光ファイバ４０に対して小さすぎると、光電変換素子２０のフェルール１０に対する位置決め精度を向上させにくいからである。
【００２１】
フェルール１０は樹脂製なので、フェルール１０を射出成形する際に凹部１３を精度良く作成することができる。また、光電変換素子２０は半導体素子なので、受発光面２１を作成する際に半導体薄膜加工技術を用いて凸部２３を精度良く作成することができる。したがって、光電変換素子２０をフェルール１０に取り付ける時には、精度良く作成された凹部１３及び凸部２３を当接させて嵌合させることで、光電変換素子２０の受発光面２１が挿通孔１１及び光ファイバ４０の端面４１に対向するように容易に精度良く位置合わせできる。
【００２２】
また、図１に示すように、光電変換素子２０の凸部２３を含む取付面２２の表面に導電性の素子側電極２４を設けてもよい。光電変換素子２０を素子搭載面１２に取り付けたとき、この素子側電極２４はフェルール１０の素子搭載面１２に設けられたフェルール側電極１４と当接し、導通する。このように、素子側電極２４は受発光面２１まで延出されており、外部端子１５から素子側電極２４を介して発光面２１へ電気信号を入力したり、受光面２１から素子側電極２４を介して外部端子１５から電気信号を取り出すことができる。
【００２３】
ここで素子側電極２４及びフェルール側電極１４とを互いに押し付けながら加熱して両者を熱圧着（拡散接合ともいう）させると、素子搭載面１２及び凹部（第１位置合わせ部）１３、並びに取付面２２及び凸部（第２位置合わせ部）２３の表面に設けられた金属電極（フェルール側電極１４及び素子側電極２４）の金属面間で光電変換素子２０を素子搭載面１２に取り付けることができるので好ましい。素子側電極２４及びフェルール側電極１４とを、バンプ接続やはんだ接続、接着剤を用いた場合と比べて、熱圧着した場合はバンプの大きさのばらつきの影響を受けず、あるいははんだや接着剤の塗布量のばらつきの影響を受けないので、光電変換素子２０とフェルール１０との位置決め精度が更に向上するからである。
【００２４】
なお、凹部１３及び凸部２３の素子搭載面１２及び凹部（第１位置合わせ部）１３、並びに取付面２２及び凹部（第２位置合わせ部）２３の表面に設けられた金属電極（フェルール側電極１４及び素子側電極２４）は、全ての領域を互いに当接させる必要はない。光電変換素子２０を素子搭載面１２に固定できる所定の保持力が得られれば、フェルール側電極１４と素子側電極２４の一部のみが互いに熱圧着されていればよい。
【００２５】
例えば、フェルール側電極１４が素子搭載面１２及び第１位置合わせ部１３の表面に連続形成され、素子側電極２４が取付面２２及び第２位置合わせ部２３の表面に連続形成されている場合には、第１位置合わせ部１３と第２位置合わせ部２３の表面に形成された金属電極同士のみが熱圧着されていても良い。フェルール１０と光電変換素子２０が電気的に接合され、所定の保持力で固定することが可能である。
【００２６】
＜光電変換モジュールの製造方法＞
図２は上述した光電変換モジュール１の製造方法を示す工程図である。まず、図２（ａ）に示すように、フェルール１０の素子搭載面１２に凹部（第１位置合わせ部）１３を形成する。例えば、樹脂を所定の金型内に注入し、射出成形の一種であるインサート成形によって、フェルール側電極１４とともに、テーパ状の凹部１３が形成されたフェルール１０を作成する。このようにして、凹部（第１位置合わせ部）１３の表面に金属電極を設けるようにインサート成形することが好ましい。
【００２７】
次に、受発光面が設けられる取付面２２に凸部（第２位置合わせ部）２３を備えた光電変換素子２０を作成する。エッチング等、公知の半導体薄膜加工技術を適用して、予めテーパ状の凸部２３が形成された光電変換素子２０を作成する。例えば受発光面２１を含む領域の凸状を残すようにその周囲をエッチングするなどして凸部２３を形成することができる。
【００２８】
インサート成形及び半導体薄膜加工技術ともに既にミクロンオーダーの寸法精度が得られる確立された技術であるから、凹部１３及び凸部２３を互いに嵌合させた時に光電変換素子２０の受発光面２１が光ファイバ４０の端面４１に対向するように、凹部１３及び凸部２３を所定位置に精度良く形成することができる。
【００２９】
次に、凹部（第１位置合わせ部）１３と凸部（第２位置合わせ部）２３とを当接させて光電変換素子２０を素子搭載面１２に位置決めし、光電変換モジュール用部品３０を得る。図２（ｂ）に示すように、光電変換素子２０の凸部２３がフェルール１０の凹部１３に当接するように光電変換素子２０をフェルール１０の素子搭載面１２に位置合わせし、両者を固定して光電変換モジュール用部品３０を得る。なお、図２に示すようにフェルール１０の第１位置合わせ部１３の表面及び光電変換素子２０の第２位置合わせ部２３の表面に金属電極を設けた場合には、光電変換素子２０をフェルール１０に固定する際は、素子側電極２４をフェルール側電極１４に押し付けながら加熱して両者を熱圧着（拡散接合ともいう）することが好ましい。
【００３０】
この後、光ファイバ４０をフェルール１０の挿通孔１１の所定位置まで挿入し固定し、光電変換モジュール１が得られる。このように本実施形態に係る光電変換モジュール１によれば、光電変換素子２０が素子搭載面１２に高精度に位置決めされた光電変換モジュール用部品３０の挿通孔１１に光ファイバ４０が挿入されているので、光電変換素子２０と光ファイバ４０とを高精度に位置合わせすることができる。したがって、光結合効率の優れた光電変換モジュール１を提供することができる。
【００３１】
したがって、発光素子（光電変換素子）２０を発光させながら光ファイバ４０の発光素子２０とは反対側の端部からの出射光の照度を測定しながら、照度が最も大きい場所で光電変換素子２０を素子搭載面１２に取り付ける場合や、素子搭載面１２に基準点となるマークを付して当該マークを参照しつつ光電変換素子２０を取り付ける場合等と比べて、本実施形態に係る光電変換モジュールの製造方法によれば極めて容易に光電変換素子２０を素子搭載面１２に精度良く取り付けることができる。また、本実施形態に係る光電変換モジュール１の製造方法によれば、照度の測定装置やマークを観察するカメラ等の特別な組立設備も不要であり、製造コストを低減できる。
【００３２】
更に、本実施形態に係る光電変換モジュール用部品３０の製造方法によれば、フェルール側電極１４と素子側電極２４との間の熱圧着により光電変換素子２０がフェルール１０に対して固定される。したがって、フェルール側電極１４と素子側電極２４とをバンプ接続やはんだ接続あるいは接着剤を用いて固定した場合と比べて、本実施形態に係る光電変換モジュール１の製造方法によれば、バンプの大きさのばらつきの影響を受けず、あるいははんだや接着剤の塗布量のばらつきの影響を受けないので、より精度よく光電変換素子２０の受発光面２１を光ファイバ４０の端面４１に対向させることができる。
【００３３】
なお上述の実施形態では、光電変換素子２０を素子搭載面１２に搭載した後に光ファイバ４０をフェルール１０の挿通孔１１に挿入させた例を説明したが、光ファイバ４０をフェルール１０の挿通孔１１に挿入させた後に光電変換素子２０を素子搭載面１２に搭載してもよいことはもちろんである。
【００３４】
なお上述の例では、凹部１３及び凸部２３同士が嵌合された後に熱圧着されて光電変換素子２０がフェルール１０に対して固定される例を説明したが、光電変換素子２０とフェルール１０との間で位置決めができるように凹部１３及び凸部２３が互いに当接すれば、凹部１３及び凸部２３で光電変換素子２０をフェルール１０に対して固定する必要はない。例えば、凹部１３及び凸部２３で光電変換素子２０をフェルール１０に対して位置決めした後に、凹部１３及び凸部２３以外の部位に接着剤等を塗布して光電変換素子２０をフェルール１０に固定してもよい。
【００３５】
＜変形例＞
図３，４は本発明の変形例に係る光電変換モジュールの側面図である。本変形例に係る光電変換モジュール１ａは、本発明の光電変換モジュール用部品３０ａ、３０ｂを含み、凹部１３及び凸部２３の形状が上記実施形態と異なる他は、上記実施形態と同様の構成である。なお、図３において、上記実施形態と同様の構成については、上記実施形態と同様の符号を用いてその詳細な説明を省略する。
【００３６】
図３に示す光電変換モジュール用部品３０ａの素子搭載面１２には、挿通孔１１の開口付近が光電変換素子２０側に突出するようにテーパ状の凸部（第１位置合わせ部）１３ａが形成されている。また、光電変換素子２０の取付面２２には、凸部１３ａの凸状に対応するように受発光面２１を含む領域が凹むようにテーパ状の凹部（第２位置合わせ部）２３ａが形成されている。
【００３７】
このような形状の凹部１３ａ，２３ａもインサート成形及び半導体薄膜加工技術により容易に精度良く作成することができる。したがって、上述の実施形態と同様に、本変形例によっても、精度良く形成された凹部１３ａ，２３ａを互いに当接させると、精度良く光電変換素子２０をフェルール１０に位置決めすることができる。
【００３８】
また、第１位置合わせ部１３，１３ａ及び第２位置合わせ部２３，２３ａの形状は光電変換素子２０をフェルール１０に位置決めできれば、錐形状のみに限定されることはない。例えば、第１位置合わせ部部１３，１３ａ，第２位置合わせ部２３，２３ａを、図４に示すように突起状の凸部２３ｂと、それと嵌合する凹部１３ｂにより形成してもよいことはもちろんである。この図４に示す変形例によっても、上述のように第１位置合わせ部１３ａ及び第２位置合わせ部２３ａを互いに当接させるだけで精度良く光電変換素子２０を素子搭載面１２に位置決めすることができる。
【００３９】
また、図４に示すように、本発明の変形例に係る光電変換モジュール用部品３０ｂは、第１位置合わせ部１３ｂは挿通孔１１の貫通方向に沿って凹んで形成され、第２位置合わせ部２３ｂは光電変換素子２０の光軸に沿って突出して形成され、第１位置合わせ部１３ｂと第２位置合わせ部２３ｂとが嵌合により結合されている。このような光電変換モジュール用部品３０ｂを備える光電変換モジュール１ｂによれば、第２位置決め部２３ｂを第１位置決め部１３ｂに嵌合させて光電変換素子２０をフェルール１０の素子搭載面１２に搭載する時には、光電変換素子２０とフェルール１０は互いの光軸方向に相対移動するので、互いの光軸が傾くことなく一致させることができるので、更に光の結合効率が向上する。なお、第１位置合わせ部１３ｂが突出し、第２位置合わせ部２３ｂが凹んで形成されていてもよいことはもちろんである。
【００４０】
なお、図３，４に示すように素子搭載面１２の外周に光電変換素子２０側に突出された側壁１６を延設させて光電変換素子２０の取付面２２に隣接する外周面を覆う構成としても良い。このように側壁１６が光電変換素子２０の外周を覆うことにより、光電変換素子２０に外力が作用しにくくし、光電変換素子２０がフェルール１０から脱落することを確実に防止できる。また、受発光面２１と光ファイバ４０との間に塵芥が侵入しにくい。なお、このような側壁１６は上述した図１の実施形態にも適用することができることはもちろんである。
【００４１】
また、フェルール側電極１４は、第１位置決め部１３ａ，１３ｂに相当する領域以外は、その外周面がフェルール１０で覆われていることが好ましい。また、フェルール側電極１４を介して光電変換素子２０に電気信号を伝達するため、高周波特性を考慮すると、フェルール側電極１４はできるだけ短いことが好ましい。したがって、図３，４に示すように、フェルール側電極１４の第１位置決め部１３ａ，１３ｂに相当する領域以外の部位を平板状に形成し、その端部をフェルール１０から露出させて外部端子１５とすることが好ましい。
【符号の説明】
【００４２】
１：光電変換モジュール、１０：フェルール、１１：挿通孔、１２：素子搭載面、１３，１３ｂ：凹部（第１位置合わせ部）、１３ａ：凸部（第１位置合わせ部）、１４：フェルール側電極、１５：外部端子、１６：側壁、２０：光電変換素子、２１：受発光面、２２：取付面、２３，２３ｂ：凸部（第２位置合わせ部）、２３ａ：凹部（第２位置合わせ部）、２４：素子側電極、３０：光電変換モジュール用部品、４０：光ファイバ、４１：端面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子搭載面に開口するように貫通形成された挿通孔を有する樹脂製のフェルールと、
前記フェルールの前記素子搭載面に取り付けられた光電変換素子とを有し、
前記素子搭載面に第１位置合わせ部が設けられ、
前記光電変換素子の前記第１位置合わせ部に対向する位置に第２位置合わせ部が設けられ、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とが当接して前記光電変換素子が前記素子搭載面に位置決めされている光電変換モジュール用部品。
【請求項２】
前記第１位置合わせ部及び前記第２位置合わせ部の表面に金属電極が設けられ、
前記光電変換素子と前記素子搭載面は互いの前記金属電極の熱圧着により固定されていることを特徴とする請求項１に記載の光電変換モジュール用部品。
【請求項３】
前記第１位置合わせ部は前記挿通孔の貫通方向に沿って突出してまたは凹んで形成され、
前記第２位置合わせ部は前記光電変換素子の光軸に沿って凹んでまたは突出して形成され、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とは嵌合により結合されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光電変換モジュール用部品。
【請求項４】
前記フェルールは、前記光電変換素子の前記素子搭載面に対向する面に隣接する外周面を覆うように前記素子搭載面から前記光電変換素子側に突出する側壁を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の光電変換モジュール用部品と、
前記挿通孔に挿通された光ファイバとを備えた光電変換モジュール。
【請求項６】
素子搭載面に第１位置合わせ部を備えたフェルールを射出成形する樹脂製のフェルール作成工程と、
受発光面が設けられる取付面に第２位置合わせ部を備えた光電変換素子を作成する光電変換素子作成工程とを有し、
前記フェルール作成工程および前記光電変換素子作成工程で得られた前記フェルールと前記光電変換素子を前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とを当接させて前記光電変換素子を前記素子搭載面に位置決めする光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項７】
前記フェルール作成工程において、前記フェルールは前記第１位置合わせ部の表面に金属電極を設けるようにインサート成形することを特徴とする請求項６に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項８】
前記光電変換素子作成工程において、前記光電変換素子は前記第２位置合わせ部をエッチングによって形成することを特徴とする請求項６または７に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項９】
前記フェルールの前記第１位置合わせ部の表面及び前記光電変換素子の前記第２位置合わせ部の表面に金属電極を設け、
前記光電変換素子の前記金属電極と前記素子搭載面の前記金属電極を熱圧着により固定することを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項１】
素子搭載面に開口するように貫通形成された挿通孔を有する樹脂製のフェルールと、
前記フェルールの前記素子搭載面に取り付けられた光電変換素子とを有し、
前記素子搭載面に第１位置合わせ部が設けられ、
前記光電変換素子の前記第１位置合わせ部に対向する位置に第２位置合わせ部が設けられ、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とが当接して前記光電変換素子が前記素子搭載面に位置決めされている光電変換モジュール用部品。
【請求項２】
前記第１位置合わせ部及び前記第２位置合わせ部の表面に金属電極が設けられ、
前記光電変換素子と前記素子搭載面は互いの前記金属電極の熱圧着により固定されていることを特徴とする請求項１に記載の光電変換モジュール用部品。
【請求項３】
前記第１位置合わせ部は前記挿通孔の貫通方向に沿って突出してまたは凹んで形成され、
前記第２位置合わせ部は前記光電変換素子の光軸に沿って凹んでまたは突出して形成され、
前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とは嵌合により結合されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光電変換モジュール用部品。
【請求項４】
前記フェルールは、前記光電変換素子の前記素子搭載面に対向する面に隣接する外周面を覆うように前記素子搭載面から前記光電変換素子側に突出する側壁を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の光電変換モジュール用部品と、
前記挿通孔に挿通された光ファイバとを備えた光電変換モジュール。
【請求項６】
素子搭載面に第１位置合わせ部を備えたフェルールを射出成形する樹脂製のフェルール作成工程と、
受発光面が設けられる取付面に第２位置合わせ部を備えた光電変換素子を作成する光電変換素子作成工程とを有し、
前記フェルール作成工程および前記光電変換素子作成工程で得られた前記フェルールと前記光電変換素子を前記第１位置合わせ部と前記第２位置合わせ部とを当接させて前記光電変換素子を前記素子搭載面に位置決めする光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項７】
前記フェルール作成工程において、前記フェルールは前記第１位置合わせ部の表面に金属電極を設けるようにインサート成形することを特徴とする請求項６に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項８】
前記光電変換素子作成工程において、前記光電変換素子は前記第２位置合わせ部をエッチングによって形成することを特徴とする請求項６または７に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【請求項９】
前記フェルールの前記第１位置合わせ部の表面及び前記光電変換素子の前記第２位置合わせ部の表面に金属電極を設け、
前記光電変換素子の前記金属電極と前記素子搭載面の前記金属電極を熱圧着により固定することを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の光電変換モジュール用部品の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１２−２０８１４７（Ｐ２０１２−２０８１４７Ａ）
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−７１４７０（Ｐ２０１１−７１４７０）
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００００２１３０）住友電気工業株式会社 (12,747)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００００２１３０）住友電気工業株式会社 (12,747)
【Ｆターム（参考）】
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