基板洗浄装置
【課題】洗浄部近傍の吸引状態を確実に検出することが可能でかつ吸引気流に含まれる揮発性ガスと接触せずに安価な流量検出手段にて検出する。
【解決手段】揮発性洗浄剤が供給される洗浄部１０と、洗浄部１０を基板１の洗浄箇所に沿って相対移動させる移動手段３と、洗浄部１０の近傍の雰囲気を吸引して排出する排気手段２０とを備え、排気手段２０は、洗浄部１０の近傍に開口する吸込口２１と排気ファン２２を接続する吸引経路２３と、吸引経路２３に分岐接続された外気吸入経路２４と、外気吸入経路２４に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段２５とを備えている。
【解決手段】揮発性洗浄剤が供給される洗浄部１０と、洗浄部１０を基板１の洗浄箇所に沿って相対移動させる移動手段３と、洗浄部１０の近傍の雰囲気を吸引して排出する排気手段２０とを備え、排気手段２０は、洗浄部１０の近傍に開口する吸込口２１と排気ファン２２を接続する吸引経路２３と、吸引経路２３に分岐接続された外気吸入経路２４と、外気吸入経路２４に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段２５とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ用やプラズマディスプレイ用のガラス基板などの各種基板の所要箇所を揮発性洗浄剤を用いて洗浄する基板洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば上記ガラス基板の製造工程においては、図７に示すように、ガラス基板４１の端縁部に形成された電極４２に各種部品４４を実装する工程がある。その実装工程では、工程（ａ）で、供給されたガラス基板４１における電極４２が配置されている端縁部に付着している異物を除去する洗浄工程を行い、次に工程（ｂ）で、電極配置端縁部に異方性導電膜（ＡＣＦ）４３を貼り付けるＡＣＦ貼付工程を行い、次に工程（ｃ）で、電極配置位置に部品４４を供給して仮圧着した後、熱と圧力を加えて本圧着する工程が行われる。
【０００３】
上記基板端縁部の表面付着物を洗浄する基板洗浄装置としては、吐出ヘッドから洗浄テープに洗浄剤を供給した後、洗浄テープを押し付け部材の基板表面に対向する面に供給し、押し付け部材にて洗浄テープを基板端縁部に押し付け、その状態で押し付け部材と基板を相対移動させて基板端縁部を洗浄し、その後押し付け部材による押し付けを解除するという動作を行うようにしたものが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、上記押し付け部材における、基板表面に対向する面より洗浄テープの送り方向上手側の楔面に洗浄剤を吐出する吐出孔を設けたもの（特許文献２参照）や、洗浄テープに所要量の洗浄剤が確実に供給されているか否かを検出できるように、洗浄テープに洗浄剤を滴下させるノズルと、洗浄剤が滴下した部分の色調を変化させる洗浄剤と、色調の変化を検出するカメラを備えたものも知られている（特許文献３参照）。
【０００５】
また、基板端縁の不要薄膜を溶解除去する基板端縁洗浄装置として、基板端縁に向けて溶剤を吐出する溶剤吐出手段と、溶剤にて溶解された溶解物を溶剤とともに吸引する吸引手段と、溶剤吐出手段と吸引手段を同時に作動させた後、さらに吸引手段のみを作動させて基板端縁に溶剤が残らないように制御する制御手段とを備えたものが知られている（例えば、特許文献４参照）。
【特許文献１】特開２００１−１７０５９３号公報
【特許文献２】特開２００６−５８９０６号公報
【特許文献３】特開２００３−２２０３６９号公報
【特許文献４】特許第３３７３０４７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献１〜３に記載された基板洗浄装置においては、洗浄剤を含んだ洗浄テープを押し付け部材にて基板端縁部に押し付けている洗浄部で、洗浄剤中の有機溶剤などの揮発性の溶剤が揮発し、洗浄部の周辺に揮発ガスが滞留したり拡散したりするため、工場建屋内の全体的な換気とは別に洗浄部近傍で局所的な排気を行わないと、周辺の雰囲気の悪化を来たすという問題がある。そこで、特許文献１〜３に記載された基板洗浄装置においても、特許文献４に記載されているような吸引手段を設けて洗浄部の近傍の雰囲気を排気ファンで吸引して排気するように構成されている。
【０００７】
また、上記ガラス基板に対する部品の実装工程を、省人化又は無人化工場における自動生産によって行っている場合、上記吸引手段が確実に作動していない状態を生じると、作業者や管理者が気づかないうちに、基板洗浄装置の周辺で洗浄剤の揮発ガスの濃度が異常に高くなっている危険性がある。そこで、上記吸引手段には、排気ファンによる排気が正常に行われているか否かを確認できるように、その吸引経路、または排気ファン出口側の排気経路に流量センサ又は圧力センサなどの排気検出手段が配設されている。
【０００８】
しかし、吸引気流には揮発ガスが含まれているため、上記排気検出手段には耐薬品性と防爆構造を有する特殊仕様のものを用いる必要があり、設備コストが高くなるという問題がある。また、そのような排気検出手段は配設箇所に制限を受けることになり、かつそれに伴って排気検出手段の配設箇所より上流側で吸引経路が外れたり破損したりしてそこから外気が流入した場合には、洗浄部近傍の雰囲気の吸引が正常に行われていないのにそれを検出できない事態が発生するという問題がある。さらに、上記排気検出手段の構成では、その配設箇所で吸引経路の流路断面積が狭くなるので、排気ファンによる排気効率が低下するという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題に鑑み、洗浄部近傍での吸引状態を確実に検出することが可能でかつ吸引気流に含まれる揮発性ガスと接触せずに安価な流量検出手段にて検出することができ、また吸引経路の流路断面積を狭くする必要がなく、高い排気効率が得られる基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の基板洗浄装置は、揮発性洗浄剤が供給される洗浄部と、洗浄部近傍の雰囲気を吸引して排出する排気手段とを備えた基板洗浄装置において、排気手段は、洗浄部近傍に開口する吸込口と排気ファンを接続する吸引経路と、吸引経路に分岐接続された外気吸入経路と、外気吸入経路に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段とを備えたものである。
【００１１】
この構成によれば、洗浄部近傍に開口する吸込口と排気ファンを接続する吸引経路に分岐接続した外気吸入経路に流量検出手段を設けているので、排気ファンが作動させて吸込口から洗浄部近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引すると、揮発ガスを含まない外気が外気吸入経路に吸入され、その吸入流量を流量検出手段にて検出することで、吸引気流に含まれる揮発性ガスと接触せずに安価な流量検出手段にて洗浄部近傍の吸引状態を確実に検出することができ、また外気吸入経路の分岐接続部を吸込口に配置すると、排気ファンの回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、分岐接続部より下流の吸引経路で吸引管が外れたり破損したりして吸込口での吸引状態が悪化した場合も確実に検出することができ、また流量検出のために吸引経路の流路断面積を狭くする必要がなく、かつ外気吸入経路に吸入される外気の流量は少なくて良いので、排気ファンの排気効率を向上することができる。
【００１２】
また、洗浄部は基板の洗浄箇所に洗浄部材を押し付け可能な押圧子を備え、押圧子における洗浄箇所に対向する面に洗浄部材を供給する洗浄部材供給手段と、洗浄部材に揮発性洗浄剤を含ませる洗浄剤供給手段と、洗浄部が基板の洗浄箇所に沿って相対移動する様に基板を移動させる移動手段とを設け、押圧子にて揮発性洗浄剤を含んだ洗浄部材を基板の洗浄箇所に接触させて基板の洗浄箇所に沿って相対移動させることで、基板の洗浄箇所を洗浄することができ、かつその洗浄部近傍の雰囲気を上記排気手段にて確実に吸引して排気することができる。
【００１３】
また、吸引経路を、吸込口を有する吸込口部材と吸引管にて構成し、吸込口部材における吸込口と吸引管の接続部との間に外気吸入経路の接続口を設けると、外気吸入経路の分岐接続を簡単に行え、かつその分岐接続部が吸込口の近傍に配置されるので、上記のように排気ファンが回転していない場合だけでなく、吸引管が吸込口より下流のどの箇所で外れたり、破損したりした場合についても、確実に検出することができる。
【００１４】
また、吸引経路と外気吸入経路の流路断面積の比を、吸引経路の流路断面積をＡ、外気吸入経路の流路断面積をＢとして、Ａ≧５０*Ｂ、好適にはＡ≧１００*Ｂとすると、吸引経路に外気吸入経路を分岐接続しても、吸引経路に吸入される外気の流量が極めて少ないため、排気ファンによる排気効率が低下することはない。
【００１５】
また、外気吸入経路の先端開口を、洗浄部の上部空間から離れた位置に配置すると、吸入される外気に揮発性ガスが含まれる恐れを無くすことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の基板洗浄装置によれば、洗浄部近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引する際に外気吸入経路に吸入される揮発ガスを含まない外気の流量を流量検出手段にて検出するので、安価な流量検出手段にて洗浄部近傍の吸引状態を検出でき、また外気吸入経路の分岐接続部を吸込口に配置することで、排気ファンの回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、分岐接続部より下流の吸引経路で吸引管が外れたり破損したりして吸込口での吸引状態が悪化した場合も確実に検出することができ、また流量検出のために吸引経路に狭い流路部を設ける必要がなく、かつ外気吸入経路に吸入される外気の流量は少なくて良いので、排気ファンの排気効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を、液晶表示パネルのガラス基板の端縁部を洗浄してその端縁部に付着した異物を除去する基板洗浄装置に適用した一実施形態について、図１〜図６を参照して説明する。
【００１８】
図１〜図３において、本実施形態の基板洗浄装置は、ガラス基板などの基板１を基板洗浄装置に搬入する基板搬送手段２と、基板搬送手段２から基板１を受け取って洗浄動作に伴う移動を行う移動手段３と、基板１の洗浄を行う洗浄機構部４とを備え、各々基台５上に配設されている。なお、基板１の搬出は、後続工程であるＡＣＦ貼付装置（図示せず）に設けられた、基板搬送手段２と同様の基板搬送手段（図示せず）にて行われる。
【００１９】
基板搬送手段２は、基板１を載置して両持支持する一対の支持アーム６ａ、６ａを有する基板載置部６と、基板載置部６を基板搬送方向であるＸ方向に往復移動させる駆動機構７にて構成されている。駆動機構７は、基板載置部６を移動自在に支持する支持レール部７ａと、モータ７ｃにて駆動されて基板載置部６を移動させる送りねじ機構７ｂにて構成されている。
【００２０】
移動手段３は、基板１の中央部を載置支持する基板保持部８と、基板保持部８をＸ方向と、それに直行するＹ方向と、垂直なＺ方向と、Ｚ軸回りのθ方向の移動及び位置決めを行う移動テーブル９にて構成されている。この移動手段３は、基板１を基板保持部８上に保持し、基板１の端縁部の洗浄箇所の一端を洗浄機構部４における後述の洗浄部１０に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って洗浄部１０が洗浄箇所に沿ってその他端まで相対移動するように基板１を移動させる。
【００２１】
洗浄機構部４について説明すると、洗浄部１０は、図２〜図６に示すように、基板保持部８にて保持された基板１の端縁部の上下に対向するように配置された一対の押圧子１１ａ、１１ｂを備え、両押圧子１１ａ、１１ｂをチャック機構（図示せず）にて開閉駆動するように構成されている。この押圧子１１ａ、１１ｂにて、基板１の端縁部の洗浄箇所の上下両面に洗浄部材である洗浄テープ１２を押し付けるように構成されている。なお、押圧子１１ａ、１１ｂ及びチャック機構（図示せず）は、基板１の高さ位置との位置ずれを吸収できるように上下方向に弾性的に支持されている。
【００２２】
洗浄テープ１２は、押圧子１１ａ、１１ｂのそれぞれに対応して設けられた、洗浄部材供給手段としての供給リール１３ａ、１３ｂから適宜ガイドローラ１４を介して押圧子１１ａ、１１ｂに供給され、押圧子１１ａ、１１ｂにおける基板１の洗浄箇所に対向する押圧面１５の上手側に設けられた傾斜ガイド面１６を通過して押圧面１５に導かれる。押圧面１５にて基板１の洗浄箇所に接触されて洗浄を行った後の洗浄テープ１２は、適宜ガイドローラ１４を介して回収リール１７ａ、１７ｂに巻き取られる。洗浄テープ１２は、供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂにて１回もしくは所定回数の洗浄動作毎にピッチ送りされる。
【００２３】
押圧子１１ａ、１１ｂの傾斜ガイド面１６には、エタノールやイソプロピルアルコールなどの揮発性洗浄剤を洗浄テープ１２に向けて吐出するように、洗浄剤供給手段としての吐出孔１８が開口されている。揮発性洗浄剤は、洗浄テープ１２がピッチ送りされる前に、洗浄剤供給部（図示せず）から供給配管及び押圧子１１ａ、１１ｂに設けられた流路を介して吐出孔１８に所定量づつ圧送されて洗浄テープ１２に向けて吐出される。揮発性洗浄剤は、洗浄テープ１２に含まれると、単に洗浄テープ１２が濡れて色が変化することを含め洗浄テープ１２の色を変化させるものが用いられている。また、押圧子１１ａ、１１ｂの傾斜ガイド面１６に対向して、洗浄テープ１２の色の変化状態を検出する検出センサ１９が配設され、洗浄テープ１２に所要量の揮発性洗浄剤が適正に吐出されたことを確認できるように構成されている。
【００２４】
本実施形態の基板洗浄装置には、洗浄部１０の周辺の雰囲気を吸引する排気手段２０が設けられている。排気手段２０は、洗浄部１０の下部近傍に開口する吸込口２１と、基台５の下部に配設された排気ファン２２と、吸込口２１と排気ファン２２を接続する吸引経路２３と、吸引経路２３に分岐接続された外気吸入経路２４と、外気吸入経路２４に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段２５にて構成されている。排気ファン２２の排出口は排気ダクト２２ａにて工場設備の排気ダクト（図示せず）に接続されている。
【００２５】
吸引経路２３は、吸込口部材２６と吸引管２７にて構成されている。吸込口部材２６は、一端部上面に吸込口２１が設けられ、他端部に吸引管２７を接続する接続部２８が下方に突出させて設けられた細長い箱体にて構成されている。この吸込口部材２６の下面の吸込口２１と接続部２８の間の位置に、外気吸入経路２４を接続する接続口２９が設けられている。外気吸入経路２４の先端は洗浄部１０の上部空間から離れた斜め上方位置に配置され、その開口端にはフィルタ３０が取り付けられ、その直下に流量検出手段２５が配置されている。
【００２６】
具体例を示すと、吸引管２７には内径が５５ｍｍ程度のパイプが用いられ、外気吸入経路２４には内径が４ｍｍ程度のチューブ材が用いられ、排気ファン２２として最大風量が１８００ｌ／ｍｉｎのものが用いられる。この排気ファン２２にて１０００〜１８００ｌ／ｍｉｎ程度の風量で吸引した場合、吸引管２７にはほぼ同流量の吸引エアが流れ、それに伴って外気吸入経路２４には１．５〜３．０ｌ／ｍｉｎの流量のエア流量が流れる。このエア流量は、０．３〜１０．０ｌ／ｍｉｎの流量を検出することができる流量検出手段２５にて精度良く検出することができる。ここで、吸引経路２３の流路断面積をＡ、外気吸入経路２４の流路断面積をＢとして、Ａ＞Ｂで、好適にはＡ≧５０*Ｂ、径差で７倍以上、さらに好適にはＡ≧１００*Ｂ、径差で１０倍以上とすることで、吸込口２１からの雰囲気の吸引力に影響を与えず十分な吸引力を確保しつつ吸引経路２３を流れる吸引気流の流量を精度良く検出することができる。
【００２７】
次に、以上の構成の基板洗浄装置にて基板１の端縁部の洗浄を行う工程を説明する。基板搬送手段２にて基板１が基板洗浄装置に搬入されると、基板１を移動手段３の基板保持部８上に受け取る。移動手段３は、基板１の洗浄箇所である端縁部の一端が、洗浄部１０における一対の押圧子１１ａ、１１ｂの間に位置するように基板１を移動させて位置決めする。次に、洗浄部１０のチャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂ間の隙間を閉じ、押圧子１１ａ、１１ｂの押圧面１５にて洗浄テープ１２が基板１の洗浄箇所に接触された状態にする。
【００２８】
洗浄テープ１２は、押圧面１５に供給される前の傾斜ガイド面１６に対向位置しているときに吐出孔１８から洗浄剤が吐出されて、所要量の洗浄剤を含んだ状態で押圧面１５と基板１の洗浄箇所の間に供給されている。また、洗浄テープ１２に含んだ洗浄剤の滲み３１（図６参照）を検出センサ１９にて検出することで、洗浄テープ１２に洗浄剤を十分に含んでいることが確認されている。
【００２９】
また、基板洗浄装置の電源がオンされたときに、排気手段２０の排気ファン２２が作動され、洗浄部１０の近傍の雰囲気が吸込口２１から吸引され、吸引経路２３、排気ファン２２、排気ダクト２２ａを通して工場の排気ダクト（図示せず）に排出される。これによって、洗浄部１０の近傍に放散した揮発ガスが吸引されて効率的に外部に排出され、揮発ガスが滞留する危険が確実に解消されている。
【００３０】
また、その排気が適切に行われているか否かが、吸引経路２３中の吸引気流に伴って外気吸入経路２４に吸入される外気の流入流量を流量検出手段２５で検出することによって精度良く検出される。例えば、正常な吸引運転時には流量検出手段２５による検出流量が３．０ｌ／ｍｉｎ程度であるとして、その場合の下限流量閾値を１．５ｌ／ｍｉｎに設定し、検出流量がこの下限流量閾値まで低下すると、排気ファン２２の故障や吸引経路２３での吸引管２７の外れ・破損等により適正な吸引が行われていないと判断して、警報を発したり、基板洗浄装置の運転を停止したりする。
【００３１】
このように押圧子１１ａ、１１ｂの押圧面１５にて洗浄テープ１２が基板１の洗浄箇所に接触され、吸引手段２０が正常に作動している状態で、移動手段３を作動させて押圧子１１ａ、１１ｂを基板１の端縁部に沿って洗浄箇所の他端に向けて相対移動させる様に基板１を移動させることで、基板１の洗浄箇所を洗浄する。なお、この洗浄動作は、洗浄方向は１方向のみで行われ、かつ基板１の洗浄箇所に対し１回又は所定回数の洗浄動作が行われる。
【００３２】
その後、チャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂを開き、移動手段３にて基板１を洗浄部１０から離間させ、後続工程のＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）に受け渡す。そして、基板搬送手段２にて次の基板１が搬入され、以上の洗浄工程が繰り返される。また、１回もしくは、所定回数の洗浄動作毎に吐出孔１８から洗浄剤が吐出され、洗浄テープ１２に洗浄剤を十分に含んでいることが確認された後、供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂにて洗浄テープ１２がピッチ送りされる。
【００３３】
なお、排気ファン２２による排気量及びその時の入力電力と、流量検出手段２５による検出流量との関係を予め求めておいて、流量検出手段２５による検出流量に基づいて排気ファン２２を駆動制御することで、排気ファン２２の排気量、すなわち吸込口２１での吸引気流の流量が所定流量となるように制御しても良い。また、流量検出手段２５による検出流量によって、吸込口２１の近傍での吸引状態をモニターできるようにしても良い。
【００３４】
本実施形態によれば、排気ファン２２を作動させて吸込口２１から洗浄部１０の近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引する際に、揮発ガスを含まない外気が外気吸入経路２４に吸入され、その吸入流量を流量検出手段２５にて検出するようにしているので、洗浄部１０からの吸引気流に含まれる揮発ガスと接触せずに安価な流量検出手段２５にて洗浄部１０近傍の吸引状態を確実に検出することができ、コスト低下を図ることができる。また、外気吸入経路２４の先端開口を、洗浄部１０の上部空間から離れた位置に配置しているので、吸入される外気に揮発ガスに含まれる恐れを無くすことができる。
【００３５】
また、吸引経路２３を、吸込口２１を有する吸込口部材２６と吸引管２７にて構成し、
吸込口部材２６における吸込口２１と吸引管２７の接続部２８との間に外気吸入経路２４の接続口２９を設けているので、外気吸入経路２４の分岐接続を簡単に行え、かつ外気吸入経路２４の分岐接続部が吸込口２１の近傍に配置されるので、排気ファン２２の回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、吸込口部材２６より下流の吸引経路２３で吸引管２７が外れたり破損したりしたために、吸込口２１での吸引状態が悪化した場合にも確実に検出することができ、洗浄部１０近傍の雰囲気の吸引状態を確実に検出して、高い安全性を確保できる。
【００３６】
また、従来のように流量検出手段の配置部で吸引経路２３の流路断面積を狭くする必要がなく、かつ外気吸入経路２４に吸入される外気の流量は少なくて良いので、排気ファン２２の排気効率を向上することができる。すなわち、吸引経路２３と外気吸入経路２４の流路断面積の比を、図５に示すように、吸引経路２３の流路断面積をＡ、外気吸入経路の流路断面積をＢとして、Ａ≧５０*Ｂ、好適にはＡ≧１００*Ｂとすることで、吸引経路２３に外気吸入経路２４を分岐接続しても、吸引経路２３に吸入される外気の流量が極めて少ないため、排気ファン２２による排気効率が低下することはない。
【００３７】
なお、上記実施形態では、洗浄部１０を、揮発性洗浄剤を含んだ洗浄テープ１２を押圧子１１ａ、１１ｂにて基板１の洗浄箇所に接触させるように構成し、この洗浄部１０が移動手段３にて基板１の洗浄箇所に沿って相対移動するように基板１を移動させているので、コンパクトな構成の洗浄部１０にて基板１の洗浄箇所を洗浄することができ．かつその洗浄部１０近傍の雰囲気を上記排気手段２０にて確実に吸引して排気することができるが、本発明における洗浄部はこれに限定されるものではなく、基板の洗浄箇所に向けて洗浄剤を直接吐出するようにした基板洗浄装置において、洗浄剤の回収手段を設けるとともに、揮発したガスを含む雰囲気を上記排気手段にて吸引して排気するように構成しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の基板洗浄装置によれば、洗浄部近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引する際に外気吸入経路に吸入される揮発ガスを含まない外気の流量を流量検出手段にて検出するので、安価な流量検出手段にて洗浄部近傍の吸引状態を検出でき、また外気吸入経路の分岐接続部を吸込口の近傍に配置することで、排気ファンの回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、分岐接続部より下流の吸引経路で吸引管が外れたり破損したりして吸込口での吸引状態が悪化した場合も確実に検出することができ、洗浄部近傍の揮発性ガスによる雰囲気の悪化を確実に防止した状態で基板を洗浄することができるので、各種基板に各種部品を実装する部品実装装置に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の基板洗浄装置の一実施形態の全体概略構成を示す斜視図。
【図２】同実施形態の要部構成を示す側面図。
【図３】図２の部分拡大側面図。
【図４】同実施形態における排気手段の構成を示す正面図。
【図５】図４の部分拡大正面図。
【図６】同実施形態における洗浄部と排気手段の要部構成を示す斜視図。
【図７】ガラス基板に対する部品実装工程を説明する斜視図。
【符号の説明】
【００４０】
１ 基板
３ 移動手段
１０ 洗浄部
１１ａ、１１ｂ 押圧子
１２ 洗浄テープ（洗浄部材）
１３ａ、１３ｂ 供給リール（洗浄部材供給手段）
１８ 吐出孔（洗浄剤供給手段）
２０ 排気手段
２１ 吸込口
２２ 排気ファン
２３ 吸引経路
２４ 外気吸入経路
２５ 流量検出手段
２６ 吸込口部材
２７ 吸引管
２８ 接続部
２９ 接続口
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ用やプラズマディスプレイ用のガラス基板などの各種基板の所要箇所を揮発性洗浄剤を用いて洗浄する基板洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば上記ガラス基板の製造工程においては、図７に示すように、ガラス基板４１の端縁部に形成された電極４２に各種部品４４を実装する工程がある。その実装工程では、工程（ａ）で、供給されたガラス基板４１における電極４２が配置されている端縁部に付着している異物を除去する洗浄工程を行い、次に工程（ｂ）で、電極配置端縁部に異方性導電膜（ＡＣＦ）４３を貼り付けるＡＣＦ貼付工程を行い、次に工程（ｃ）で、電極配置位置に部品４４を供給して仮圧着した後、熱と圧力を加えて本圧着する工程が行われる。
【０００３】
上記基板端縁部の表面付着物を洗浄する基板洗浄装置としては、吐出ヘッドから洗浄テープに洗浄剤を供給した後、洗浄テープを押し付け部材の基板表面に対向する面に供給し、押し付け部材にて洗浄テープを基板端縁部に押し付け、その状態で押し付け部材と基板を相対移動させて基板端縁部を洗浄し、その後押し付け部材による押し付けを解除するという動作を行うようにしたものが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、上記押し付け部材における、基板表面に対向する面より洗浄テープの送り方向上手側の楔面に洗浄剤を吐出する吐出孔を設けたもの（特許文献２参照）や、洗浄テープに所要量の洗浄剤が確実に供給されているか否かを検出できるように、洗浄テープに洗浄剤を滴下させるノズルと、洗浄剤が滴下した部分の色調を変化させる洗浄剤と、色調の変化を検出するカメラを備えたものも知られている（特許文献３参照）。
【０００５】
また、基板端縁の不要薄膜を溶解除去する基板端縁洗浄装置として、基板端縁に向けて溶剤を吐出する溶剤吐出手段と、溶剤にて溶解された溶解物を溶剤とともに吸引する吸引手段と、溶剤吐出手段と吸引手段を同時に作動させた後、さらに吸引手段のみを作動させて基板端縁に溶剤が残らないように制御する制御手段とを備えたものが知られている（例えば、特許文献４参照）。
【特許文献１】特開２００１−１７０５９３号公報
【特許文献２】特開２００６−５８９０６号公報
【特許文献３】特開２００３−２２０３６９号公報
【特許文献４】特許第３３７３０４７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献１〜３に記載された基板洗浄装置においては、洗浄剤を含んだ洗浄テープを押し付け部材にて基板端縁部に押し付けている洗浄部で、洗浄剤中の有機溶剤などの揮発性の溶剤が揮発し、洗浄部の周辺に揮発ガスが滞留したり拡散したりするため、工場建屋内の全体的な換気とは別に洗浄部近傍で局所的な排気を行わないと、周辺の雰囲気の悪化を来たすという問題がある。そこで、特許文献１〜３に記載された基板洗浄装置においても、特許文献４に記載されているような吸引手段を設けて洗浄部の近傍の雰囲気を排気ファンで吸引して排気するように構成されている。
【０００７】
また、上記ガラス基板に対する部品の実装工程を、省人化又は無人化工場における自動生産によって行っている場合、上記吸引手段が確実に作動していない状態を生じると、作業者や管理者が気づかないうちに、基板洗浄装置の周辺で洗浄剤の揮発ガスの濃度が異常に高くなっている危険性がある。そこで、上記吸引手段には、排気ファンによる排気が正常に行われているか否かを確認できるように、その吸引経路、または排気ファン出口側の排気経路に流量センサ又は圧力センサなどの排気検出手段が配設されている。
【０００８】
しかし、吸引気流には揮発ガスが含まれているため、上記排気検出手段には耐薬品性と防爆構造を有する特殊仕様のものを用いる必要があり、設備コストが高くなるという問題がある。また、そのような排気検出手段は配設箇所に制限を受けることになり、かつそれに伴って排気検出手段の配設箇所より上流側で吸引経路が外れたり破損したりしてそこから外気が流入した場合には、洗浄部近傍の雰囲気の吸引が正常に行われていないのにそれを検出できない事態が発生するという問題がある。さらに、上記排気検出手段の構成では、その配設箇所で吸引経路の流路断面積が狭くなるので、排気ファンによる排気効率が低下するという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題に鑑み、洗浄部近傍での吸引状態を確実に検出することが可能でかつ吸引気流に含まれる揮発性ガスと接触せずに安価な流量検出手段にて検出することができ、また吸引経路の流路断面積を狭くする必要がなく、高い排気効率が得られる基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の基板洗浄装置は、揮発性洗浄剤が供給される洗浄部と、洗浄部近傍の雰囲気を吸引して排出する排気手段とを備えた基板洗浄装置において、排気手段は、洗浄部近傍に開口する吸込口と排気ファンを接続する吸引経路と、吸引経路に分岐接続された外気吸入経路と、外気吸入経路に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段とを備えたものである。
【００１１】
この構成によれば、洗浄部近傍に開口する吸込口と排気ファンを接続する吸引経路に分岐接続した外気吸入経路に流量検出手段を設けているので、排気ファンが作動させて吸込口から洗浄部近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引すると、揮発ガスを含まない外気が外気吸入経路に吸入され、その吸入流量を流量検出手段にて検出することで、吸引気流に含まれる揮発性ガスと接触せずに安価な流量検出手段にて洗浄部近傍の吸引状態を確実に検出することができ、また外気吸入経路の分岐接続部を吸込口に配置すると、排気ファンの回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、分岐接続部より下流の吸引経路で吸引管が外れたり破損したりして吸込口での吸引状態が悪化した場合も確実に検出することができ、また流量検出のために吸引経路の流路断面積を狭くする必要がなく、かつ外気吸入経路に吸入される外気の流量は少なくて良いので、排気ファンの排気効率を向上することができる。
【００１２】
また、洗浄部は基板の洗浄箇所に洗浄部材を押し付け可能な押圧子を備え、押圧子における洗浄箇所に対向する面に洗浄部材を供給する洗浄部材供給手段と、洗浄部材に揮発性洗浄剤を含ませる洗浄剤供給手段と、洗浄部が基板の洗浄箇所に沿って相対移動する様に基板を移動させる移動手段とを設け、押圧子にて揮発性洗浄剤を含んだ洗浄部材を基板の洗浄箇所に接触させて基板の洗浄箇所に沿って相対移動させることで、基板の洗浄箇所を洗浄することができ、かつその洗浄部近傍の雰囲気を上記排気手段にて確実に吸引して排気することができる。
【００１３】
また、吸引経路を、吸込口を有する吸込口部材と吸引管にて構成し、吸込口部材における吸込口と吸引管の接続部との間に外気吸入経路の接続口を設けると、外気吸入経路の分岐接続を簡単に行え、かつその分岐接続部が吸込口の近傍に配置されるので、上記のように排気ファンが回転していない場合だけでなく、吸引管が吸込口より下流のどの箇所で外れたり、破損したりした場合についても、確実に検出することができる。
【００１４】
また、吸引経路と外気吸入経路の流路断面積の比を、吸引経路の流路断面積をＡ、外気吸入経路の流路断面積をＢとして、Ａ≧５０*Ｂ、好適にはＡ≧１００*Ｂとすると、吸引経路に外気吸入経路を分岐接続しても、吸引経路に吸入される外気の流量が極めて少ないため、排気ファンによる排気効率が低下することはない。
【００１５】
また、外気吸入経路の先端開口を、洗浄部の上部空間から離れた位置に配置すると、吸入される外気に揮発性ガスが含まれる恐れを無くすことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の基板洗浄装置によれば、洗浄部近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引する際に外気吸入経路に吸入される揮発ガスを含まない外気の流量を流量検出手段にて検出するので、安価な流量検出手段にて洗浄部近傍の吸引状態を検出でき、また外気吸入経路の分岐接続部を吸込口に配置することで、排気ファンの回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、分岐接続部より下流の吸引経路で吸引管が外れたり破損したりして吸込口での吸引状態が悪化した場合も確実に検出することができ、また流量検出のために吸引経路に狭い流路部を設ける必要がなく、かつ外気吸入経路に吸入される外気の流量は少なくて良いので、排気ファンの排気効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を、液晶表示パネルのガラス基板の端縁部を洗浄してその端縁部に付着した異物を除去する基板洗浄装置に適用した一実施形態について、図１〜図６を参照して説明する。
【００１８】
図１〜図３において、本実施形態の基板洗浄装置は、ガラス基板などの基板１を基板洗浄装置に搬入する基板搬送手段２と、基板搬送手段２から基板１を受け取って洗浄動作に伴う移動を行う移動手段３と、基板１の洗浄を行う洗浄機構部４とを備え、各々基台５上に配設されている。なお、基板１の搬出は、後続工程であるＡＣＦ貼付装置（図示せず）に設けられた、基板搬送手段２と同様の基板搬送手段（図示せず）にて行われる。
【００１９】
基板搬送手段２は、基板１を載置して両持支持する一対の支持アーム６ａ、６ａを有する基板載置部６と、基板載置部６を基板搬送方向であるＸ方向に往復移動させる駆動機構７にて構成されている。駆動機構７は、基板載置部６を移動自在に支持する支持レール部７ａと、モータ７ｃにて駆動されて基板載置部６を移動させる送りねじ機構７ｂにて構成されている。
【００２０】
移動手段３は、基板１の中央部を載置支持する基板保持部８と、基板保持部８をＸ方向と、それに直行するＹ方向と、垂直なＺ方向と、Ｚ軸回りのθ方向の移動及び位置決めを行う移動テーブル９にて構成されている。この移動手段３は、基板１を基板保持部８上に保持し、基板１の端縁部の洗浄箇所の一端を洗浄機構部４における後述の洗浄部１０に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って洗浄部１０が洗浄箇所に沿ってその他端まで相対移動するように基板１を移動させる。
【００２１】
洗浄機構部４について説明すると、洗浄部１０は、図２〜図６に示すように、基板保持部８にて保持された基板１の端縁部の上下に対向するように配置された一対の押圧子１１ａ、１１ｂを備え、両押圧子１１ａ、１１ｂをチャック機構（図示せず）にて開閉駆動するように構成されている。この押圧子１１ａ、１１ｂにて、基板１の端縁部の洗浄箇所の上下両面に洗浄部材である洗浄テープ１２を押し付けるように構成されている。なお、押圧子１１ａ、１１ｂ及びチャック機構（図示せず）は、基板１の高さ位置との位置ずれを吸収できるように上下方向に弾性的に支持されている。
【００２２】
洗浄テープ１２は、押圧子１１ａ、１１ｂのそれぞれに対応して設けられた、洗浄部材供給手段としての供給リール１３ａ、１３ｂから適宜ガイドローラ１４を介して押圧子１１ａ、１１ｂに供給され、押圧子１１ａ、１１ｂにおける基板１の洗浄箇所に対向する押圧面１５の上手側に設けられた傾斜ガイド面１６を通過して押圧面１５に導かれる。押圧面１５にて基板１の洗浄箇所に接触されて洗浄を行った後の洗浄テープ１２は、適宜ガイドローラ１４を介して回収リール１７ａ、１７ｂに巻き取られる。洗浄テープ１２は、供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂにて１回もしくは所定回数の洗浄動作毎にピッチ送りされる。
【００２３】
押圧子１１ａ、１１ｂの傾斜ガイド面１６には、エタノールやイソプロピルアルコールなどの揮発性洗浄剤を洗浄テープ１２に向けて吐出するように、洗浄剤供給手段としての吐出孔１８が開口されている。揮発性洗浄剤は、洗浄テープ１２がピッチ送りされる前に、洗浄剤供給部（図示せず）から供給配管及び押圧子１１ａ、１１ｂに設けられた流路を介して吐出孔１８に所定量づつ圧送されて洗浄テープ１２に向けて吐出される。揮発性洗浄剤は、洗浄テープ１２に含まれると、単に洗浄テープ１２が濡れて色が変化することを含め洗浄テープ１２の色を変化させるものが用いられている。また、押圧子１１ａ、１１ｂの傾斜ガイド面１６に対向して、洗浄テープ１２の色の変化状態を検出する検出センサ１９が配設され、洗浄テープ１２に所要量の揮発性洗浄剤が適正に吐出されたことを確認できるように構成されている。
【００２４】
本実施形態の基板洗浄装置には、洗浄部１０の周辺の雰囲気を吸引する排気手段２０が設けられている。排気手段２０は、洗浄部１０の下部近傍に開口する吸込口２１と、基台５の下部に配設された排気ファン２２と、吸込口２１と排気ファン２２を接続する吸引経路２３と、吸引経路２３に分岐接続された外気吸入経路２４と、外気吸入経路２４に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段２５にて構成されている。排気ファン２２の排出口は排気ダクト２２ａにて工場設備の排気ダクト（図示せず）に接続されている。
【００２５】
吸引経路２３は、吸込口部材２６と吸引管２７にて構成されている。吸込口部材２６は、一端部上面に吸込口２１が設けられ、他端部に吸引管２７を接続する接続部２８が下方に突出させて設けられた細長い箱体にて構成されている。この吸込口部材２６の下面の吸込口２１と接続部２８の間の位置に、外気吸入経路２４を接続する接続口２９が設けられている。外気吸入経路２４の先端は洗浄部１０の上部空間から離れた斜め上方位置に配置され、その開口端にはフィルタ３０が取り付けられ、その直下に流量検出手段２５が配置されている。
【００２６】
具体例を示すと、吸引管２７には内径が５５ｍｍ程度のパイプが用いられ、外気吸入経路２４には内径が４ｍｍ程度のチューブ材が用いられ、排気ファン２２として最大風量が１８００ｌ／ｍｉｎのものが用いられる。この排気ファン２２にて１０００〜１８００ｌ／ｍｉｎ程度の風量で吸引した場合、吸引管２７にはほぼ同流量の吸引エアが流れ、それに伴って外気吸入経路２４には１．５〜３．０ｌ／ｍｉｎの流量のエア流量が流れる。このエア流量は、０．３〜１０．０ｌ／ｍｉｎの流量を検出することができる流量検出手段２５にて精度良く検出することができる。ここで、吸引経路２３の流路断面積をＡ、外気吸入経路２４の流路断面積をＢとして、Ａ＞Ｂで、好適にはＡ≧５０*Ｂ、径差で７倍以上、さらに好適にはＡ≧１００*Ｂ、径差で１０倍以上とすることで、吸込口２１からの雰囲気の吸引力に影響を与えず十分な吸引力を確保しつつ吸引経路２３を流れる吸引気流の流量を精度良く検出することができる。
【００２７】
次に、以上の構成の基板洗浄装置にて基板１の端縁部の洗浄を行う工程を説明する。基板搬送手段２にて基板１が基板洗浄装置に搬入されると、基板１を移動手段３の基板保持部８上に受け取る。移動手段３は、基板１の洗浄箇所である端縁部の一端が、洗浄部１０における一対の押圧子１１ａ、１１ｂの間に位置するように基板１を移動させて位置決めする。次に、洗浄部１０のチャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂ間の隙間を閉じ、押圧子１１ａ、１１ｂの押圧面１５にて洗浄テープ１２が基板１の洗浄箇所に接触された状態にする。
【００２８】
洗浄テープ１２は、押圧面１５に供給される前の傾斜ガイド面１６に対向位置しているときに吐出孔１８から洗浄剤が吐出されて、所要量の洗浄剤を含んだ状態で押圧面１５と基板１の洗浄箇所の間に供給されている。また、洗浄テープ１２に含んだ洗浄剤の滲み３１（図６参照）を検出センサ１９にて検出することで、洗浄テープ１２に洗浄剤を十分に含んでいることが確認されている。
【００２９】
また、基板洗浄装置の電源がオンされたときに、排気手段２０の排気ファン２２が作動され、洗浄部１０の近傍の雰囲気が吸込口２１から吸引され、吸引経路２３、排気ファン２２、排気ダクト２２ａを通して工場の排気ダクト（図示せず）に排出される。これによって、洗浄部１０の近傍に放散した揮発ガスが吸引されて効率的に外部に排出され、揮発ガスが滞留する危険が確実に解消されている。
【００３０】
また、その排気が適切に行われているか否かが、吸引経路２３中の吸引気流に伴って外気吸入経路２４に吸入される外気の流入流量を流量検出手段２５で検出することによって精度良く検出される。例えば、正常な吸引運転時には流量検出手段２５による検出流量が３．０ｌ／ｍｉｎ程度であるとして、その場合の下限流量閾値を１．５ｌ／ｍｉｎに設定し、検出流量がこの下限流量閾値まで低下すると、排気ファン２２の故障や吸引経路２３での吸引管２７の外れ・破損等により適正な吸引が行われていないと判断して、警報を発したり、基板洗浄装置の運転を停止したりする。
【００３１】
このように押圧子１１ａ、１１ｂの押圧面１５にて洗浄テープ１２が基板１の洗浄箇所に接触され、吸引手段２０が正常に作動している状態で、移動手段３を作動させて押圧子１１ａ、１１ｂを基板１の端縁部に沿って洗浄箇所の他端に向けて相対移動させる様に基板１を移動させることで、基板１の洗浄箇所を洗浄する。なお、この洗浄動作は、洗浄方向は１方向のみで行われ、かつ基板１の洗浄箇所に対し１回又は所定回数の洗浄動作が行われる。
【００３２】
その後、チャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂを開き、移動手段３にて基板１を洗浄部１０から離間させ、後続工程のＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）に受け渡す。そして、基板搬送手段２にて次の基板１が搬入され、以上の洗浄工程が繰り返される。また、１回もしくは、所定回数の洗浄動作毎に吐出孔１８から洗浄剤が吐出され、洗浄テープ１２に洗浄剤を十分に含んでいることが確認された後、供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂにて洗浄テープ１２がピッチ送りされる。
【００３３】
なお、排気ファン２２による排気量及びその時の入力電力と、流量検出手段２５による検出流量との関係を予め求めておいて、流量検出手段２５による検出流量に基づいて排気ファン２２を駆動制御することで、排気ファン２２の排気量、すなわち吸込口２１での吸引気流の流量が所定流量となるように制御しても良い。また、流量検出手段２５による検出流量によって、吸込口２１の近傍での吸引状態をモニターできるようにしても良い。
【００３４】
本実施形態によれば、排気ファン２２を作動させて吸込口２１から洗浄部１０の近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引する際に、揮発ガスを含まない外気が外気吸入経路２４に吸入され、その吸入流量を流量検出手段２５にて検出するようにしているので、洗浄部１０からの吸引気流に含まれる揮発ガスと接触せずに安価な流量検出手段２５にて洗浄部１０近傍の吸引状態を確実に検出することができ、コスト低下を図ることができる。また、外気吸入経路２４の先端開口を、洗浄部１０の上部空間から離れた位置に配置しているので、吸入される外気に揮発ガスに含まれる恐れを無くすことができる。
【００３５】
また、吸引経路２３を、吸込口２１を有する吸込口部材２６と吸引管２７にて構成し、
吸込口部材２６における吸込口２１と吸引管２７の接続部２８との間に外気吸入経路２４の接続口２９を設けているので、外気吸入経路２４の分岐接続を簡単に行え、かつ外気吸入経路２４の分岐接続部が吸込口２１の近傍に配置されるので、排気ファン２２の回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、吸込口部材２６より下流の吸引経路２３で吸引管２７が外れたり破損したりしたために、吸込口２１での吸引状態が悪化した場合にも確実に検出することができ、洗浄部１０近傍の雰囲気の吸引状態を確実に検出して、高い安全性を確保できる。
【００３６】
また、従来のように流量検出手段の配置部で吸引経路２３の流路断面積を狭くする必要がなく、かつ外気吸入経路２４に吸入される外気の流量は少なくて良いので、排気ファン２２の排気効率を向上することができる。すなわち、吸引経路２３と外気吸入経路２４の流路断面積の比を、図５に示すように、吸引経路２３の流路断面積をＡ、外気吸入経路の流路断面積をＢとして、Ａ≧５０*Ｂ、好適にはＡ≧１００*Ｂとすることで、吸引経路２３に外気吸入経路２４を分岐接続しても、吸引経路２３に吸入される外気の流量が極めて少ないため、排気ファン２２による排気効率が低下することはない。
【００３７】
なお、上記実施形態では、洗浄部１０を、揮発性洗浄剤を含んだ洗浄テープ１２を押圧子１１ａ、１１ｂにて基板１の洗浄箇所に接触させるように構成し、この洗浄部１０が移動手段３にて基板１の洗浄箇所に沿って相対移動するように基板１を移動させているので、コンパクトな構成の洗浄部１０にて基板１の洗浄箇所を洗浄することができ．かつその洗浄部１０近傍の雰囲気を上記排気手段２０にて確実に吸引して排気することができるが、本発明における洗浄部はこれに限定されるものではなく、基板の洗浄箇所に向けて洗浄剤を直接吐出するようにした基板洗浄装置において、洗浄剤の回収手段を設けるとともに、揮発したガスを含む雰囲気を上記排気手段にて吸引して排気するように構成しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の基板洗浄装置によれば、洗浄部近傍の揮発ガスを含む雰囲気を吸引する際に外気吸入経路に吸入される揮発ガスを含まない外気の流量を流量検出手段にて検出するので、安価な流量検出手段にて洗浄部近傍の吸引状態を検出でき、また外気吸入経路の分岐接続部を吸込口の近傍に配置することで、排気ファンの回転が低下したり止まったりした場合だけでなく、分岐接続部より下流の吸引経路で吸引管が外れたり破損したりして吸込口での吸引状態が悪化した場合も確実に検出することができ、洗浄部近傍の揮発性ガスによる雰囲気の悪化を確実に防止した状態で基板を洗浄することができるので、各種基板に各種部品を実装する部品実装装置に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の基板洗浄装置の一実施形態の全体概略構成を示す斜視図。
【図２】同実施形態の要部構成を示す側面図。
【図３】図２の部分拡大側面図。
【図４】同実施形態における排気手段の構成を示す正面図。
【図５】図４の部分拡大正面図。
【図６】同実施形態における洗浄部と排気手段の要部構成を示す斜視図。
【図７】ガラス基板に対する部品実装工程を説明する斜視図。
【符号の説明】
【００４０】
１ 基板
３ 移動手段
１０ 洗浄部
１１ａ、１１ｂ 押圧子
１２ 洗浄テープ（洗浄部材）
１３ａ、１３ｂ 供給リール（洗浄部材供給手段）
１８ 吐出孔（洗浄剤供給手段）
２０ 排気手段
２１ 吸込口
２２ 排気ファン
２３ 吸引経路
２４ 外気吸入経路
２５ 流量検出手段
２６ 吸込口部材
２７ 吸引管
２８ 接続部
２９ 接続口
【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性洗浄剤が供給される洗浄部と、洗浄部近傍の雰囲気を吸引して排出する排気手段とを備えた基板洗浄装置において、排気手段は、洗浄部近傍に開口する吸込口と排気ファンを接続する吸引経路と、吸引経路に分岐接続された外気吸入経路と、外気吸入経路に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段とを備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項２】
洗浄部は基板の洗浄箇所に洗浄部材を押し付け可能な押圧子を備え、押圧子における洗浄箇所に対向する面に洗浄部材を供給する洗浄部材供給手段と、洗浄部材に揮発性洗浄剤を含ませる洗浄剤供給手段と、洗浄部が基板の洗浄箇所に沿って相対移動する様に基板を移動させる移動手段とを設け、押圧子にて揮発性洗浄剤を含んだ洗浄部材を基板の洗浄箇所に接触させて洗浄箇所に沿って移動させることを特徴とする請求項１記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
吸引経路を、吸込口を有する吸込口部材と吸引管にて構成し、吸込口部材における吸込口と吸引管の接続部との間に外気吸入経路の接続口を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
吸引経路の流路断面積をＡ、外気吸入経路の流路断面積をＢとして、Ａ≧５０*Ｂであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
外気吸入経路の先端開口を、洗浄部の上部空間から離れた位置に配置したことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の基板洗浄装置。
【請求項１】
揮発性洗浄剤が供給される洗浄部と、洗浄部近傍の雰囲気を吸引して排出する排気手段とを備えた基板洗浄装置において、排気手段は、洗浄部近傍に開口する吸込口と排気ファンを接続する吸引経路と、吸引経路に分岐接続された外気吸入経路と、外気吸入経路に吸入される吸入流量を検出する流量検出手段とを備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項２】
洗浄部は基板の洗浄箇所に洗浄部材を押し付け可能な押圧子を備え、押圧子における洗浄箇所に対向する面に洗浄部材を供給する洗浄部材供給手段と、洗浄部材に揮発性洗浄剤を含ませる洗浄剤供給手段と、洗浄部が基板の洗浄箇所に沿って相対移動する様に基板を移動させる移動手段とを設け、押圧子にて揮発性洗浄剤を含んだ洗浄部材を基板の洗浄箇所に接触させて洗浄箇所に沿って移動させることを特徴とする請求項１記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
吸引経路を、吸込口を有する吸込口部材と吸引管にて構成し、吸込口部材における吸込口と吸引管の接続部との間に外気吸入経路の接続口を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
吸引経路の流路断面積をＡ、外気吸入経路の流路断面積をＢとして、Ａ≧５０*Ｂであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
外気吸入経路の先端開口を、洗浄部の上部空間から離れた位置に配置したことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の基板洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００８−２２１１５４（Ｐ２００８−２２１１５４Ａ）
【公開日】平成２０年９月２５日（２００８．９．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−６４４３４（Ｐ２００７−６４４３４）
【出願日】平成１９年３月１４日（２００７．３．１４）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年９月２５日（２００８．９．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月１４日（２００７．３．１４）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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