【課題】装置全体の小型化および低コスト化を図れる湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０と温度センサ２０とを同一の素子形成基板１に集積化した複合センサ素子Ａを備えている。湿度センサ１０は、第１の下部電極１１と、第１の多孔質構造部１２と、第１の表面電極１３とで構成され、温度センサ２０は、第２の下部電極２１と、第２の多孔質構造部２２と、第２の表面電極２３とで構成されている。第１の下部電極１１と第２の下部電極２１とは構成材料および膜厚を同じとしてあり、第１の表面電極１３と第２の表面電極２３とは構成材料および膜厚を同じとしてある。第１の多孔質構造部１２と第２の多孔質構造部２２とは同一構造であって、素子形成基板１の一表面側に成膜したノンドープの多結晶シリコン層に対して陽極酸化処理および酸化処理を行うことにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、湿度変化に応じて、電気伝導度が大きく変化する湿度センサー材料、湿度センサー材料を用いた湿度センサー及び湿度センサー材料を用いた電気機器を提供する。
【解決手段】 少なくともＳｉＯ_２成分を含有する多孔質性の湿度センサー材料であって、該湿度センサー材料は、両端が開口したシリンダー状の多数の細孔を有し、さらに、前記細孔は、平均細孔径が５ｎｍより小さく、細孔径の標準偏差（σ）は、２〜４ｎｍとなっている。 （もっと読む）

【課題】 感応部と基板とが強固に密着しているとともに、極めて低濃度の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を検知する高感度の感応部を有するガス検知素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 揮発性有機化合物を検知するガス検知素子１は、基板１０と、前記基板上に設けられた金属酸化物を主成分とするガス感応部３０とを含んでなり、前記金属酸化物が、高周波誘導プラズマ溶射法により溶射された後、熱処理されたものであることを特徴とする。揮発性有機化合物を検知するガス検知素子１の製造方法は、高周波誘導プラズマ溶射法により基板１０上に金属酸化物を溶射する工程と、この溶射された金属酸化物を熱処理する工程とを含んでなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低い素子温度においても、低濃度の水素ガスに対して感度、応答性および選択性に優れるとともに、生産性および安全性にも優れた水素ガス検知素子、該水素ガス検知素子を有する水素ガスセンサ、該水素ガスセンサを用いた水素ガス検知方法を提供する。
【解決手段】本水素ガス検知素子は、基板１１上に、Ｒ₁₀₀₀／Ｒ₀ ≦ ０．９の抵抗変化特性を満たす酸化チタンを主成分とする薄膜１２を有する。上記Ｒ₀は、測定温度１００℃および水素ガス濃度０ｐｐｍにおける電気抵抗値を示し、Ｒ₁₀₀₀は、測定温度１００℃および水素ガス濃度１０００ｐｐｍにおける電気抵抗値を示す。本水素ガスセンサ２０は、上記水素ガス検知素子、加熱装置および必要に応じて紫外光源２８を有し、３０〜１５０℃の素子温度で、低濃度の水素ガスを高い感度で検知することができる。 （もっと読む）

試験材料のガス透過率を測定するためのセンサであって、水及び／又は酸素感知材料を含む電気伝導性の感知素子であって、感知素子を水及び／又は酸素と接触させたときの前記材料と水又は酸素との反応により、感知素子の電気伝導度の変化が生じる感知素子と、前記感知素子に電気的に接続されている２つの電極とを備えるセンサ。 （もっと読む）

ガス流の成分を感知するシステム、方法であり、システムは、（ａ）熱伝導性で、電気的に絶縁性である回路基板、（ｂ）前記基板に取り付けられ、前記成分を感知することができるガス感知素子、（ｃ）前記基板に取り付けられ、ガス感知素子と電気的特性が一致し、前記成分に反応しない基準素子、（ｄ）ガス感知素子と基準素子を相互接続する電子回路を備えるシステムである。そして、前記回路は、素子の両方を作動させ、素子間の電圧差を測定する。前記電圧差は、ガス流の成分の濃度に比例する。
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【課題】高分子湿度センサの感湿膜形成用電解質高分子溶液、それから製造されるインク、及びそのインクを用いた高分子膜湿度センサの製造に関す
る。
【解決手段】電解質高分子溶液は、電解質高分子、架橋剤、アルコール等の有機溶媒の単独又は混合物とする。製造されるインクは、電解質高分子溶
液に、インクジェットプリンタの適合した液流動性を確保するために、有機溶媒と、インクによるノズルの乾燥を防ぐ高沸点ヒューメクタントと、界面活性剤と
を添加し、インクを製造する。このインクをインクジェットプリンタを用いて、湿度センサの感湿膜を形成し、加熱熱処理によって湿度センサを製造する。湿度
センサの感湿膜に適した特性の電解質溶液、及びインクジェット用電解質インクの製造でき、インクジェット印刷、熱処理後、一定の厚さを有する感湿膜を形成
して、信頼性の高い湿度センサを製造できる。 （もっと読む）