【課題】ヒータの温度を適切に制御することにより高い精度でガスを検出することができるガス検出装置の温度制御装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス検出装置の温度制御装置は、ガスセンサ部１２、温度に応じて抵抗値が変化するヒータ１５と、ガスセンサ部１２とヒータ１５との間に配置された絶縁層と、ガスセンサ部１２およびヒータ１５の動作を制御するエンジン制御装置３０を備えている。エンジン制御装置３０は、ヒータ１５への加熱のための通電を停止している期間におけるヒータ１５の抵抗値に応じてヒータ１５の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】
消費電力の増加を極力抑えつつガス感知層による吸湿を抑止して高い感度を維持するようにして、環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ガス感知層がガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動するガス検知駆動（Ｈｉｇｈ状態）と、ガス感知層が吸湿抑制温度となるように所定期間にわたりヒーター層をＯＮ／ＯＦＦ駆動する（パルスＯｎ状態とパルスＯｆｆ状態とを交互に繰り返す）吸湿抑制駆動と、を交互に行って、ガス感知層５の吸湿を抑制するような薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】特定物質の濃度を高感度に検出する、単純な構造のバイオセンサーを提供する。
【解決手段】液体試料中の基質または金属イオンを検出するバイオセンサーであって、基板１１上に配置された一対の電極１２と、一対の電極１２間の基板１１上に複数の微粒子１３を配列形成してなる微粒子層１４と、微粒子層１４の表面に固定されるとともに基質に特異的に作用する酵素１５と、一対の電極１２に接続されるとともに、微粒子層１４の電気伝導度を測定する測定器２０とを備えたことを特徴とするバイオセンサー１である。 （もっと読む）

基板（１）に配置された第１のメタライゼーション平面と、この第１のメタライゼーション平面に被着された、コンタクト孔（７）によって構造化されたパッシベーション層（６）と、このパッシベーション層（６）にかつコンタクト孔（７）内に厚膜技術で形成された感応性のセラミックス層（９）とを備えたセンサにおいて、セラミックス層（９）の固着を改善するために、第２のメタライゼーション平面として形成されていて、パッシベーション層（６）とセラミックス層（９）との間に配置された定着剤層（８）が設けられていることが提案される。
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【課題】電気接点数を低減することが可能な、ガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの信号ラインを有する、センサ・アレー、特にガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置において、少なくとも１つの信号ラインが少なくとも２つの並列ライン・ブランチに分岐され、少なくとも２つの並列ライン・ブランチ内にそれぞれ、少なくとも１つのセンサと、それぞれのセンサに直列に結合されている少なくとも１つのダイオードとが配置される。この場合、少なくとも２つのダイオードは電気的に逆の遮断方向を有し、少なくとも１つの信号ラインに印加された電位の極性により、少なくとも１つの信号ライン内を流れる電流の少なくとも大部分が、第１の並列ライン・ブランチ内を流れたか、または第２の並列ライン・ブランチ内を流れたかが決定される。 （もっと読む）

【課題】保護膜としての機能を果たしながら応答速度の低下を抑制できる水素透過膜を提供する。また、この水素透過膜を水素センサに適用して、応答速度が速い水素センサおよび水素検知方法を提供する。
【解決手段】本発明の水素透過膜は、リンを添加した酸化珪素からなる。また、本発明の水素センサは、半導体と、半導体の表面の少なくとも一部に付設する水素吸収体と、水素吸収体の露出した面を覆うとともに水素を透過する水素透過膜と、水素吸収体の付設位置を挟んで、半導体に水素吸収体によって導通しないように配置した対になる電極とを具備してなり、水素透過膜がリンを添加した酸化珪素からなり、水素吸収体への水素吸収の有無に対応する半導体の抵抗値変化を対になる電極間で計測することにより、水素の存在を検知可能とされてなる。 （もっと読む）

【課題】 被検知ガスに対して応答時間及び応答復帰時間が短い半導体式ガス検知素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物半導体を主成分とするガス感応部２を備える半導体式ガス検知素子１であって、前記ガス感応部２のガスを検知する側の表面と内部とに亘る孔部を有し、当該孔部が前記表面における溝状の開口部に連通している。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 簡単に準備可能であり、様々な用途に適用可能なセンサを提供すること。
【解決手段】 半導体材料の層、有機材料の層及び金属材料の層を備える多層構造をなすとともに気体状物質を検出する電気機器であって、前記半導体材料の層が、結晶構造を備え、前記有機材料（２）の層が、１を超えない被覆度を備えるとともに、目的の形態で自立した分子構造を有する物質からなるとともに、前記有機材料の層を構成する分子が前記半導体材料の層を構成する結晶構造の原子と結合するとともに前記検出される気体状物質と相互作用をすることにより前記多層構造内の結合の障壁高さを調整し、前記金属材料（３）の層が、検出される気体状物質を透過可能であるとともに該気体状物質に対して化学的に不活性であることを特徴とする電気機器である。 （もっと読む）

【課題】センサ部を均一に昇温することができ、且つ、簡便に製造することができる酸素センサおよびそれを備えた駆動装置ならびに自動車両を提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、互いに対向する主面１１ａおよび裏面１１ｂを有する基材１１と、基材１１の先端部において主面１１ａ上に設けられ、所定のガスを検出するためのセンサ部１２と、基材１１の裏面１１ｂ側においてセンサ部１２に対応する位置に設けられ、センサ部１２を昇温させる第１加熱素子１５と、基材１１の裏面１１ｂ側に設けられ、第１加熱素子１５よりも基材１１の基端部側に配置された第２加熱素子１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供する。
【解決手段】 複数の孔を有する多孔質部材と多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたナノ構造体とを含む吸着剤である。ここで、ナノ構造体は炭素からなり得る。また、多孔質部材は２００℃以上の耐熱性を有することが好ましい。さらに、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、汎用性が高く、膜剥離、歪や基板の反りを防止できる積層薄膜電気配線板を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の積層薄膜電気配線板は、基板上に下部電気絶縁層と上部電気絶縁層を有し、下部電気絶縁層と上部電気絶縁層との間に電気配線層を有している。更に、本発明の積層薄膜電気配線板によれば、電気配線層に孔部を設けることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】検出すべきガス以外の影響を低減し、優れた応答特性を備えたガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のガスセンサは、所定のガスを検出するための検出部１６と、触媒金属を含んでおり、前記検出部の表面上に設けられた複数の孤立した触媒層１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 感応層における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れるガスセンサ素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ素子１は、結晶密度の異なる２つの層（基板側感応層４４、触媒側感応層４５）を有する感応層４１を備える。基板側感応層４４は、触媒側感応層４５に比べて高密度の結晶で構成されることから、密着性に優れるため、感応体側絶縁層３４（基板２）との剥離が生じがたく、また、基板側感応層４４自体の強度も高まるためクラックや膜ハガレなどの破損が生じがたい。また、触媒側感応層４５は、基板側感応層４４に比べて低密度の結晶で構成されており、酸化性ガスのガス選択性に優れた特性を有する。ガスセンサ素子１によれば、感応層４１における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れた特性を有する。 （もっと読む）

ガス混合物中に存在する個別のガスの検出または定量測定に適用可能であるという点で有用であり、小型であり低消費電力であるという点で好都合であるガス検知装置が、本明細書において開示される。これは、４つ以上のセンサー素子と、２つ以上の電極とを含んでなる。
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【課題】製造時に効率よくセンサチップをセンサベースに固定することができるガスセンサを提供することにある。
【解決手段】センサベース５と、センサベース５の主表面に対してその主表面が垂直になっている加熱型センサチップ１を備えたガスセンサであり、別の態様として、センサベース５と、加熱型センサチップ１と、前記センサチップ１に接続された複数のワイヤ２と、前記センサベース５に一列又は二列に立設され、前記ワイヤ２を介してセンサチップ１を保持する複数のピン３とを備えたガスセンサであり、前記ガスセンサにおいて前記加熱型センサチップ１を覆うセンサカバーを備えたこと、又は前記センサベースの主表面が方形であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 結露が十分に防止され、装置の小型化が可能で、且つ、十分な検知感度を有するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 化学的にガスを検知するセンサ素子部１００と、センサ素子部１００に接して設けられ水分を除去する水分除去部５０と、を備えるガスセンサ１ａ。 （もっと読む）

【課題】 位置精度よく印刷することができるスクリーン印刷方法を提供すること。
【解決手段】 スクリーンマスク１２０に、スクリーンマスク１２０と基板１０との位置合わせ基準となる基準パターン孔１２４を設け、パターン孔１２１と基準パターン孔１２４との位置関係に応じて、基板１０上に、基準パターン孔１２４を介して印刷される基準パターン６０ａと略同一の形状及び大きさを有する位置合わせパターン６０ｂを設けた。そして、スクリーンマスク１２０をダミー基板２００に当接させて印刷し、ダミー基板２００上に印刷された基準パターン６０ａの位置を検出した後、検出された基準パターン６０ａの位置と位置合わせパターン６０ｂが略同一位置となるように基板１０を位置決めし、この位置決め状態でスクリーンマスク１２０を当接させて印刷するようにした。 （もっと読む）

本発明は、酸化性ガスに対する感度が優れている酸化性ガスセンサを提供する。本発明の酸化性ガスセンサは、板厚方向に空間部２１を形成してなる基板２と、この空間部２１を覆うように基板の表面に形成される絶縁層３と、この絶縁層３の内部であって空間部２１に対応する位置に形成される発熱体５と、絶縁層３の表面であって発熱体５に対応する位置に形成されるガス感応体４と、このガス感応体４に接して設けられる一対の電極６と、を有し、ガス感応体４は、酸化スズを主成分とする薄膜状の感応層４１と、この感応層の表面の少なくとも一部に形成され、金を主成分とし、且つ通気性を有する触媒部４２と、を有する。触媒部は、質量膜厚が０．００８〜１７０ｎｍであることが好ましい。また、感応層は、柱状の酸化スズ結晶粒子が集合してなる構造を有しており、結晶粒子の平均短軸径が７〜６５ｎｍであることが好ましい。
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【課題】 感応膜の形成材料及び膜厚に工夫を凝らし、熱的耐久性やセンサ感度をより一層向上させるようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】 アンモニアガスセンサの感応膜４０は、固体超強酸物質でもって、３０（μｍ）よりも厚くかつ１００（μｍ）以下の膜厚を有するように形成されている。 （もっと読む）