【課題】排水手段を熱湯の熱によって劣化させにくくするために、熱湯消毒工程の排水をする前に貯水部に水を供給したときに、被洗浄物に水がかからないようにする。
【解決手段】洗浄装置１０は、下部に洗浄水を貯える貯水部２１の上側に医療用器具を収容する洗浄槽２０と、洗浄槽２０の内周壁に形成された給水口２０ａから貯水部２１に給水源の水を洗浄水の一部として供給する洗浄水供給手段２８と、貯水部２１に湯を供給する熱湯供給手段４０と、医療用器具に貯水部２１の洗浄水を噴射する洗浄ノズル２４、２５と、貯水部２１の洗浄水を洗浄ノズル２４、２５に送出する洗浄ポンプ２７と、洗浄水を排水する排水手段として排水ポンプ３５を介装した排水管３４とを備え、洗浄槽２０には給水口２０ａから供給される水を洗浄槽２０内に収容した被洗浄物側に飛散するのを防止して貯水部２１に案内するガイド手段として、ガイドノズル３１とガイド板３２とを設けた。 （もっと読む）

【課題】基板の主面への処理液の飛散を抑制しつつ基板の端面を局所的に処理できる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、硬脆性基板の一種であるガラス基板（基板９０）の側端面９１Ｓをエッチングする。基板処理装置１００は、その外周面が基板９０の側端面９１に当接される当接面を形成するスポンジ体２１３（当接部材）と、スポンジ体２１３を回転させるスポンジ体回転駆動部２４０（回転駆動部）と、スポンジ体２１３に処理液を供給する処理液供給管２５１（処理液供給部）とを備える。搬送ローラー３１により＋ｙ方向に搬送される基板９０の側端面９１Ｓに対して、ｚ軸回りに回転するスポンジ体２１３の外周面が押し当てられることにより、基板９０の側端面９１Ｓのエッチングが行われる。 （もっと読む）

【課題】インゴットをスライスして形成されるウエハを１枚ずつ分離して、ウエハの表裏面を容易かつ均一に洗浄可能にするウエハの分離装置の提供。
【解決手段】支持台Ｃに接着剤により貼着されたインゴットが支持台Ｃの一部まで含めて短冊状にスライスされて形成されたウエハＷを、当該ウエハＷが支持台Ｃにぶら下げられた状態で保持するホルダ２０と、ウエハＷを１枚ずつ吸着して、支持台Ｃの部分で分離するための分離ハンド２２とを含む分離装置２である。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１がホイールコンベア７により厚さ方向Ｄ１に挟持された状態で、厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２にマスク１をホイールコンベア７により搬送する搬送工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ又は下面１ｂの少なくとも一方に対し洗浄液又は風を供給する洗浄工程と、を備え、ホイールコンベア７が、マスク１の搬送方向Ｄ２に沿って千鳥状に配列された複数の一対のホイール７ａ，７ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】車両支持用ベアリングやベアリング周辺部品などの形状が複雑な部品についても、表面に付着する油類を機械的に且つ高効率に除去できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液５０を収容し、筒状容器からなり周壁に油流入部が設けられた油回収部１１を中心部に有する洗浄槽１０と、洗浄液５０の通過が自在な材料からなり、洗浄すべき部品を収容して洗浄槽１０内の油回収部周囲に挿入される籠状の部品容器２０とを備え、洗浄槽１０内の洗浄液５０を槽内に循環させると共に、槽内の洗浄液５０が油回収部１１回りの両方向の旋回流を形成するように、吐出ノズル１０Ａ，１９Ａから洗浄槽内面の接線に沿って両方向へ洗浄液５０を吐出し、洗浄槽１０内の洗浄液５０を槽内に循環させると共に、槽内の洗浄液５０が上下方向の旋回流を形成するように、槽底部１０Ｂの２つの吐出ノズルから上方へ洗浄液を吐出する。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ及び下面１ｂに対し、厚さ方向Ｄ１に対して搬送方向Ｄ２の上流側に傾斜する方向Ｄ６に洗浄液３４を供給する洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１を厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２に搬送する工程と、搬送されるマスク１の洗浄面３（上面１ａ及び下面１ｂ）に洗浄液１４が供給された状態で、洗浄面３と平行かつ搬送方向Ｄ２と交差する方向Ｄ３に延びる軸回りに回転するローラブラシ１２ａ，１２ｂのブラシ１２ｃを洗浄面３に接触させる洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ジェット洗浄だけを行う洗浄モードと浸漬洗浄とジェット洗浄の双方を行う洗浄モードとを切り換え可能にする。
【解決手段】搬送コンベヤ１８によって被洗浄物Ｆを搬送する搬送経路に浸漬洗浄部８と噴射洗浄部１０が設けられている。浸漬洗浄部８には被洗浄物Ｆを浸漬する浸漬槽２４とサブタンク２６が配置されている。浸漬槽２４内の洗浄液とサブタンク２６内の洗浄液は互いに移送可能になっており、浸漬洗浄を行う洗浄モード時には、サブタンク２６内の洗浄液を浸漬槽２４に移送して、搬送コンベヤ１８上の被洗浄物Ｆが洗浄液中を通過するように浸漬槽２４の水位を高くし、浸漬洗浄をしない洗浄モードでは、浸漬槽２４内の洗浄液をサブタンク２６に移して、浸漬槽２４の水位を低くし、搬送コンベヤ１８により搬送される被洗浄物Ｆが洗浄液中を通らないようにする。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄と湿式洗浄とを選択的に実施できる基板処理設備及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】本発明による基板処理設備は、基板が載せられた容器が置かれるポート１１００及びインデックスロボット１２００を有するインデックス部１０００と、基板処理を遂行する処理部２００と、処理部２００とインデックス部１０００との間に配置されてこれらの間に搬送される基板が一時的に留まるバッファユニット４０００と、を含み、処理部２００は、基板を搬送するための移送路に沿って配置されるグルー除去用処理モジュール、基板冷却処理モジュール、加熱処理モジュール、及び機能水処理モジュールを含む。 （もっと読む）

【課題】 洗浄サイクルタイムを一定にでき、かつ洗浄効果を上げることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ノズルを回転させて洗浄液を噴射するタービン式の洗浄装置であって、洗浄液が流入するヘッドパイプ３入口と、洗浄液の圧力を駆動源としてノズル１９を回転させるタービン５との間に、タービン５の回転調整を行う専用のインレットコア４を設けるとともに、ノズルロータ１７とノズル１９との間に整流格子として二段式ずれ格子１８を装着したことを特徴とする。専用のインレットコアを装着することで、タービンの回転速度を一定とし、洗浄サイクルタイムを一定にできる。また、洗浄効果を上げるために、整流格子として働くスタビライザに二段式ずれ格子を装着することで整流を細分化し、直進棒流性能を向上させて洗浄効果を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】クーラント、砥粒、あるいはシリコン粉に対する優れた洗浄性能を有し、かつ、その後のエッチング工程において良好なテクスチャーを形成することができるウェハ表面を作り上げることができるシリコンウェハ用表面処理剤組成物を提供する。
【解決手段】次の成分（ａ）〜（ｄ）からなる；（ａ）エーテル型非イオン界面活性剤０．１〜４０重量％、Ｒ−Ｏ−（ＡＯ）ｎ−Ｈ、Ｒ：炭素数８〜２４の直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基、ＡＯ：炭素数２〜４のオキシアルキレン基、ｎ：１〜１００（ｂ）アルキルポリグルコシド５〜４０重量％、Ｒ−Ｏ−（Ｇ）ｎ−Ｈ、Ｒ：炭素数１〜２２の直鎖又は分岐のアルキル基、Ｇ：炭素数５〜６の還元糖、ｎ：１〜５（ｃ）アルカリ剤１〜３０重量％（ｄ）水、前記成分（ａ）、（ｂ）、（ｃ）との合計量１００重量％中の残部。 （もっと読む）

【課題】研磨材や研磨屑等の無機粒子に対する洗浄性が向上したガラスハードディスク基板の製造方法の提供。
【解決手段】以下の工程（１）〜（４）を含む、ガラスハードディスク基板の製造方法。（１）ｐＨが１．０〜４．０である研磨液組成物を用いて被研磨ガラス基板を研磨する工程。（２）工程（１）で得られた基板を、ｐＨ１．０〜４．０の酸性洗浄剤組成物Ａに浸漬しながら、洗浄工程（３）に搬送する工程。（３）工程（２）で搬送された基板を、ｐＨ８．０〜１３．０のアルカリ性洗浄剤組成物Ｂを用いて浸漬洗浄する工程。（４）工程（３）で得られた基板を、ｐＨ１．０〜４．０の酸性洗浄剤組成物Ｃを用いてスクラブ洗浄する工程。 （もっと読む）

【課題】液処理の工程に応じて基板の上方における気流の状態を最適化可能な液処理装置、および液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを液処理する液処理装置１において、基板Ｗを水平に支持し、回転可能な支持部材１０と、支持部材１０の外周部１３との間に環状間隙ＧＰを形成する間隙形成部材２０と、基板Ｗに上方から処理液を供給する液供給部材３０と、環状間隙ＧＰを取り囲み、環状間隙ＧＰを介して、回転する基板Ｗから振り切られる処理液を回収するカップ４０と、間隙形成部材２０を昇降させる昇降機構１２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板上のＣｕ膜若しくはＣｕ合金膜をウェットエッチングすることによって配線等とする際に、Ｃｕ膜にダメージを与えないように剥離し、なおかつ、Ｃｕ膜の上に堆積させる層との間の接着力を低下させないフォトレジストの剥離液を用いた剥離液リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】主剤と極性溶媒と水からなる混合液およびレジスト成分からなる剥離液を繰り返し使用し、剥離液中のレジスト濃度が所定の値に達したら、剥離液の一部を排出管から排出し、新たな剥離液の供給を受けるレジスト剥離装置と、廃液タンクと、廃液タンク中の剥離液を蒸留する蒸留再生装置と、前記分離液中の主剤と極性溶媒の組成比率を調べる成分検査装置と、分離液の主剤と極性溶媒および水の比率が予め決められた比率になるように不足分の主剤と極性溶媒および水を追加して、混合液を調製する調合装置と混合液を貯留する供給タンクを有する。 （もっと読む）

【課題】 設備コスト、設置場所の縮小を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 基板Ｗに対して剥離処理と洗浄処理を行なう基板処理装置において、導入された空気を窒素ガスと酸素ガスのガス成分に分離して取り出し可能とするガス分離モジュール９と、この分離モジュール９から分離取り出された窒素ガス、酸素ガスをそれぞれ用いたマイクロナノバブル発生装置５、６を設け、各発生装置で発生した微小気泡を剥離部２、洗浄部３にそれぞれ供給する。 （もっと読む）

【課題】従来の定置洗浄方法を改良して、好適に連続洗濯機内の全体を自動洗浄することができる連続洗濯機の定置洗浄方法を提供する。
【解決手段】各浴槽６に配設され通常の洗濯時の水位よりも高水位に設定されたオーバーフロー管７と、オーバーフロー管から溢れ出た水を貯留する貯水タンク８と、貯水タンクの水を圧送するポンプ１１と、ポンプからの水を噴射すべく外側ハウジング２の内側に配設された噴射ノズル１０とを備え、浴槽内に洗浄液を入れて内側ハウジングを回動若しくは連続して回転することにより浴槽内を洗浄するとともに、噴射ノズルから洗浄液を外側ハウジング内に噴射して浴槽内の自動洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 基板の表裏両面を均一に処理することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 処理槽１１にエッチング液を貯留するエッチング液供給工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送してエッチング液が貯留された処理槽１１内に進入させる基板搬入工程と、ガラス基板１００の下面からエッチング液を吐出することによりガラス基板１００を搬送ローラ２１より上方で、かつ、処理槽１１に貯留されたエッチング液の液面より下方の位置まで浮上させるエッチング液吐出工程と、エッチング液の吐出を停止してガラス基板１００を搬送ローラ２１と当接する位置まで下降させる基板下降工程と、処理槽２１に貯留されたエッチング液を排出するエッチング液排出工程と、ガラス基板１００を搬送ローラ２１により搬送して処理槽１１より退出させる基板搬出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ＰＣＢを含有する絶縁油が付着したトランスコア用の鉄心を構成する個々の鋼板の洗浄を確実且つ容易に行うことができるトランスコア用鉄心の処理方法を得る。
【解決手段】 トランスコア１の鉄心２を構成する複数の矩形状の鋼板４に解体して、個々の鋼板４をそれぞれ洗浄して無害化処理するにあたり、上記鉄心２を、予め定めた鋼板４の積層枚数からなる鋼板束５に分割した後、これらの各鋼板束５について、長手方向の一端側を、該一端側において各鋼板４の相対的な位置が不動となるように結束した状態で複数のロール１７ａ〜１７ｃ間に通して、板面方向に湾曲する方向に連続的に曲げ加工し、隣接する鋼板同士をその曲率の差よって位置ずれを生じさせることにより個々の鋼板４に分離し、その分離した個々の鋼板を洗浄液６で洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、移動不可能又は移動困難な廃トランスを洗浄化処理することを目的としたものである。
【解決手段】
ライトを備えた光触媒入り洗浄液を収容する洗浄液タンクと、バルブと、送液並びに排液パイプと、送液及び排液ポンプと、前記洗浄液タンク、送液及び排液パイプ及び送液及び排液ポンプを載置できる台車とを組み合わせたことを特徴とするＰＣＢ汚染廃電気機器の処理装置により前記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】簡素な手法により２つのカップを一体に上昇させることが可能な液処理装置を提供する。
【解決手段】液処理装置１では、被処理基板の回転保持部２１を囲むように設けられた第１、第２のカップ５１、５２は、回転する被処理基板Ｗから飛散した処理液を下方側へ案内し、第１の駆動部６１０及び第２の駆動部６２０は、処理液を受け止める位置と、その下方側の位置との間で第１のカップ５１及び第２のカップ５２昇降させる。制御部７は、第１、第２のカップ５１、５２の同時上昇時、第１のカップ５１の上昇速度を第２のカップ５２の上昇速度よりも大きくし、第１のカップ５１またはその第１の昇降部材は、前記第２のカップ５２またはその第２の昇降部材に下方側から重なり合って、第１の駆動部の駆動力を伝達させることにより、これら第１のカップ５１と第２のカップ５２とを同時に上昇させる （もっと読む）