エレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法
【課題】屋外用モバイル・デイスプレイとして使用した場合においても視認性を確保でき、消費電力を低減したエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造法を提供する。
【解決手段】陰極１０１と陽極１１１の両電極の間に挟持された複数の発光層１０４，１０６，１０８から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層１０５，１０７，１０９を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極１１２，１１３，１１４を形成した。更に望ましくは、前記発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極１０１側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされた。
【解決手段】陰極１０１と陽極１１１の両電極の間に挟持された複数の発光層１０４，１０６，１０８から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層１０５，１０７，１０９を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極１１２，１１３，１１４を形成した。更に望ましくは、前記発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極１０１側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法に関する。特に単一駆動電圧で、屋外での視認性を高め、低消費電力で、寿命改善をしたことを特徴とするモニター、ＴＶ等に適したフルカラーの発光が得られる縦型ＴＦＴ内蔵のエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、波長の異なる発光層を複数個有しているエレクトロルミネセンス素子が開発されている。特許文献１に示されている構造を図３に示す。厚み０．７ｍｍの透明ガラス基板１０の上にＩＴＯ（インジウム―スズ酸化物）をスパッタにより陽極１を形成し、真空蒸着装置により、ＩＴＯ陽極１の上にホール輸送層１１を形成する。このホール輸送層１１の上にホスト層「ＤＰＶＢｉ」にドーパント「ＢＣｚＶＢｉ」を１質量％ドープして蒸着し青色発光層の有機発光材料３ａを形成し、その上に「Ａｌｑ３」を蒸着して電子輸送層１２を形成し、陰極２を形成する。
【０００３】
同様に、ホール輸送層１１の上にホスト層「Ａｌｑ３」にドーパント「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」を１質量％ドープしたものを蒸着して緑色発光の有機発光材料３ｂが形成される。この上に「Ａｌｑ３」を蒸着して電子輸送層１２を形成し、陰極２を形成する。更にホール輸送層１１を形成した後、ホスト層「Ａｌｑ３」にドーパント「ＤＣＪＴＢ」を１質量％ドープしたものを蒸着して赤色発光材料３ｃを形成する。その上に「Ａｌｑ３」を蒸着して電子輸送層１２を形成し、陰極２を形成する。
【特許文献１】特開２００２−１６４１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記表示装置では、各ピクセルをストライプ状に形成しているため、青＋緑＋赤のフルカラーエレクトロルミネセンス表示部が大きくなる第１の欠点があった。また、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）素子をモバイル・デイスプレイとして使用した場合、自発光であるため屋外での、視認性が悪いという第２の欠点があった。更に、視認性を上げるため通電電流を上げると消費電力が増え、通電電流の増加に比例して寿命が短くなる第３の欠点があった。
【０００５】
本発明はこの様な従来の欠点を考慮し、屋外用モバイル・デイスプレイとして使用した場合においても視認性を確保でき、消費電力を低減したエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１の本発明では、陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成した。
【０００７】
請求項２の本発明では、陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中に複数のゲート電極を互いに千鳥形状に形成した。
【０００８】
請求項３の本発明では、発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように、発光性有機物質がドープされた。
【０００９】
請求項４の本発明では、発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだ。
【００１０】
請求項５の本発明では、前記エレクトロルミネセンス発光部は陰極と陽極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなる。
【００１１】
請求項６の本発明では、前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色としたものである。
【００１２】
請求項７の本発明では、前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色としたものである。
【００１３】
請求項８の本発明では、前記発光層は「Ａｌｑ３」を含む。
【００１４】
請求項９の本発明では、前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有する。
【００１５】
請求項１０の本発明では、前記発光層の組み合わせにより、発光色が青色光、緑色光、赤色光である。
【００１６】
請求項１１の本発明では、前記発光層の組み合わせにより、発光色が白色光であるもろである。
【００１７】
請求項１２の本発明では、前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより発光層の光量を調整した。
【００１８】
請求項１３の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成した。
【００１９】
請求項１４の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされた。
【００２０】
請求項１５の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだ。
【００２１】
請求項１６の本発明では、前記エレクトロルミネセンス発光部はソース電極及びドレイン電極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなる。
【００２２】
請求項１７の本発明では、前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色とした。
【００２３】
請求項１８の本発明では、前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色とした。
【００２４】
請求項１９の本発明では、前記発光層は「Ａｌｑ３」を含む。
【００２５】
請求項２０の本発明では、前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有する。
【００２６】
請求項２１の本発明では、前記発光層の組み合わせにより発光色が青色光、緑色光、赤色光である。
【００２７】
請求項２２の本発明では、前記発光層の組み合わせにより発光色が白色光である。
【００２８】
請求項２３の本発明では、前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより、発光層の光量を調整した。
【００２９】
請求項２４の本発明では、前記陰極またはソース電極を光透過性電極で形成した。
【００３０】
請求項２５の本発明では、前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、金属電極で形成した。
【００３１】
請求項２６の本発明では、前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、保護層とした。
【００３２】
請求項２７の本発明では、陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を陰極側から取り出した。
【００３３】
請求項２８の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を基板側から取り出したものである。
【００３４】
請求項２９の本発明では、基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電圧を加えた。
【００３５】
請求項３０の本発明では、基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電流を加えた。
【００３６】
請求項３１の本発明では、基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層を形成する工程と、各々の発光層上部に輸送層を設ける工程と、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成する工程と、前記ソース電極または陰極を光透過性金属層で形成する工程と、前記ドレイン電極または陽極を金属層で形成する工程とからなる。
【００３７】
請求項３２の本発明では、前記陰極はスパッタにより形成され、前記陽極は蒸着にて形成された。
【００３８】
請求項３３の本発明では、前記ソース電極はスパッタにより形成され、前記ドレイン電極は蒸着にて形成され。
【発明の効果】
【００３９】
本発明のエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法によれば、複数の発光層の上に輸送層を形成することにより発光層を選択でき、輸送層の形状により発光領域を指定できる。輸送層により発光部間のスペースを小さくできることにより高精細度化ができる。
【００４０】
また、これらの輸送層の中にゲート電極を挿入することにより、電子とホールの再結合をコントロールして基板側から又は陰極側から光を取り出すことにより、光取り出し効率を上げる事ができる。その結果、ゲート電極により光半透過層、光反射層を形成して、屋外においても視認性を上げて使用を可能とする、
更に、各輸送層の幅をコントロールすることにより、フルカラー発光させた時の色度特性の改善ができる。そして、各発光層は常にソース電極（陰極）、ドレイン電極（陽極）に加えられた電圧によりバイアスされている。その結果、各発光層が同じ時間通電されることにより、カラーシフトの少ない表示部を形成できる。
【００４１】
また、複数層を積層した発光部の構造により、寿命改善と消費電力削減が可能となると共に、単一の駆動電圧で使用できるエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、図１の断面図に従い、本発明を実施するための最良の形態１に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置１００を説明する。図１において、ガラス基板１０１の上にスパッタリング法により、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）透明陰極１０２が形成される。ＩＺＯ透明陰極１０２の上に、フッ化リチウム「ＬｉＦ」を厚さ５Å蒸着し、フッ化リチウムの上にＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ６．３ｅＶエネルギーバンドギャップ３．７ｅＶの「ＰＢＤ」を２００Å蒸着して電子輸送層１０３が形成される。
【００４３】
ついで、この電子輸送層１０３の上に、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ３．２ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．１ｅＶの赤色ドーパント「ＤＣＪＴＢ」を１重量％ドープしたものを厚さ２００Å蒸着して赤色発光層１０４が形成される。
【００４４】
赤色発光層１０４の上に、「ＮＢＰ」を図１に示すようにマスク１を用いて２００Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層１（１０５）の下部を形成する。ホール輸送層１（１０５）の上には、マスク２を用いてＡｌによるゲート１（１１２）を形成する。ゲート１（１１２）の上にはマスク１を用いて２００Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層１（１０５）の上部を形成する。
【００４５】
ホール輸送層１（１０５）の上部には、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ２．９ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．３６ｅＶの緑色ドーパント「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」を１重量％ドープした緑色発光層１０６を５００Å蒸着して形成する。緑色発光層１０６の上には、「ＮＢＰ」を図１に示すようにマスク３を用いて２００Å厚に蒸着しホール輸送層２（１０７）下部を形成する。
【００４６】
ホール輸送層２（１０７）の上には、マスク４を用いてＡｌによるゲート２（１１３）を形成する。ゲート２（１１３）下部の上には、マスク３を用いて２００Å厚に蒸着しホール輸送層２（１０７）上部を形成する。ホール輸送層２（１０７）上部の上には、ＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．７ｅＶのホスト層「ＢＡｌｑ」にドーパント「Ｐｅｒｙｌｅｎｅ」を１重量％ドープしたものを、厚さ５００Å蒸着して青色発光の有機発光材料により青色発光層１０７を形成する。
【００４７】
青色発光層１０７の上には、「ＮＢＰ」を２００Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．３Ｖ，ＨＯＭＯ５．５ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．２ｅＶのホール輸送層３（１０９）下部を形成する。ホール輸送層３（１０９）下部の上には、マスク６を用いてＡｌによるゲート３（１１４）を形成する。
【００４８】
ゲート３（１１４）の上には、マスク５を用いて２００Å厚に蒸着しホール輸送層３（１０９）上部を形成する。次いで、このホール輸送層３（１０９）上部の上に、ＭＴＤＡＴＡから成るホール輸送層１１０を形成する。このホール輸送層１１０の上に「ＣｕＰｃ」を厚さ２０ｎｍ蒸着し「ＣｕＰｃ」の上に陽極１１１を形成する。
【００４９】
真空蒸着により、Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ等を用いて膜厚約０．４μｍの金属電極による陽極１１１を形成する。本発明において、陽極１１１が金属層で形成されている所に特徴がある。また陰極１０２を通って基板１０１側から光が外部に取り出されるところに特徴がある。
【００５０】
基板１０１側から光が外部に取り出されるため、光の外部取り出し効率が高くなる。ここで陰極１０２に負電圧、陽極１１１に正電圧を印加すると、電子輸送層１０３を介して発光層１０４、１０６，１０８に輸送された電子と、ホール輸送層１１０を介して輸送されたホールが、赤色発光層１０４内、緑色発光層１０６内、又青色発光層１０８内にて再結合して発光を行なう。
【００５１】
ここで、本発明のフルカラーエレクトロルミネセンス駆動表示装置１００においては、３層に形成された発光部１０４、１０６、１０８において、発光層のホスト層とドーパントのＬＵＭＯバンドギャップエネルギー差は０．３ｅＶ以上となるため、ドーパント層が発光する。
【００５２】
更には、３層の各発光層間にホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）を挟んでいるところに特徴がある。各発光層は間に、ホール輸送層１（１０５）を挟んで「Ａｌｑ３」２層、更にはホール輸送層２（１０７）を挟んで「ＢＡｌｑ」１層と、ホール輸送層３（１０９）が各有機物により連続して形成されていることを特徴とする。
【００５３】
ホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）はホールを通し電子を通さないため、ホール輸送層１（１０５）の下部は電子が上方へ移動しない。ホールはホール輸送層１（１０５）を通って陰極１０２へ進むため、陰極１０２からの電子と、ホール輸送層１（１０５）を通ったホールは、ホール輸送層１（１０５）下部で再結合するため赤色発光層１０４はホール輸送層１（１０５）下部で赤色発光する。
【００５４】
ホール輸送層２（１０７）は陰極１０２から注入された電子を通さない。ホール輸送層２（１０７）は、陽極１１１に輸送されたホールを通すため、緑色発光層１０６はホール輸送層２（１０７）下部でホール輸送層１（１０５）を除いた部分で緑色発光する。
【００５５】
陰極１０２から注入された電子は陽極１１１に向かって進むが、ホール輸送層３（１０９）は電子を通さない。陽極１１１から注入されたホールはホール輸送層３（１０９）を通すため、青色発光層１０８はホール輸送層２（１０７）を除いたホール輸送層３（１０９）下部で電子とホールが再結合して青色発光する。
【００５６】
青色材料は他の緑、赤色材料などに比べてエネルギーバンドギャップが大きいため電荷注入が悪くなる傾向がある。（電荷注入のためのエネルギー障壁が高い）本発明において、エネルギーバンドギャップが大きい青色発光層１０８を、陽極１１１下部のホール輸送層１１０の下に配置した所に特徴がある。
【００５７】
ホール輸送層１１０の下に位置するため青色発光層１０８の電荷注入が悪くなることはない。更に青色発光層の下部に形成された緑、赤色発光層のホスト層は、電子輸送層１０３と同じ、又は同類の電子輸送層材料で構成されるため、電子の輸送についても効率が良い。
【００５８】
また各発光層は多層化されて形成されるが、ホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）で発光色の異なる層が選択される所に本発明の特徴がある。陽極１１１から一番離れている赤色発光層１０４においても、ホール輸送層１１０、ホール輸送層３（１０９）、ホール輸送層２（１０７）を通してホールが輸送される。そして、赤色発光層１０４下部には電子輸送層１０３があり、電子が輸送されるため再結合効率が良い構成となっている。
【００５９】
このため図１において、赤色光１１７、緑色光１１６、青色光１１５は基板１０１側より取り出される。赤、緑、青をカラーフィルターと白色発光層を用いて得る場合に比べ、カラーフィルターによる吸収がないため、約３倍の明るさを得ることができる。また、従来の白色発光層を用いる場合の約１／３の電流で同一光量を得ることができる。
【００６０】
更に、３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキにくらべ膜厚のバラッキが小さくなることによる発光効率のバラッキを改善する。消費電流が１／３になることより電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。駆動電圧も青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子にくらべ３層が重なっているため、単一の電圧でよく、従来の図３にくらべ駆動が容易で回路を省略できる。
【００６１】
また、図３の青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子に比べ、ベタで発光するため、例えば発光巾が０．５ｍｍ、ピッチが０．５ｍｍにする必要がないので、発光面積を１／２にできる。これにより１／２の面積で同一の発光量を得ることができるため、高精細度化、高輝度化ができる。
【００６２】
更に本発明における第２の特徴は、ホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）には図１に示すようにゲート電極１（１１２）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極３（１１４）が形成される。
【００６３】
陰極１０２はソース電極、陽極１１１はドレイン電極としても働き、ソース電極１０２、ドレイン電極１１１とゲート電極１（１１２）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極３（１１４）により縦型ＴＦＴとして動作するところに特徴がある。
【００６４】
ソース電極１０３、ドレイン電極１１１に印加された電圧によりバイアスされゲート電極１（１１２）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極３（１１４）に印加される電圧により、赤色光１１７、緑色光１１６、青色光１１５の出力はコントロールされる。このため発光色に関係なく同一の電流がながれるため経時変化による色差が目立たなくなる。
【００６５】
次に、図２の断面図に従い、本発明を実施するための最良の形態２に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置２００を説明する。図２において、ガラス基板１０１の上にスパッタリング法にてＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）透明陰極１０２を形成する。ＩＺＯ透明陰極１０２の上に、フッ化リチウム「ＬｉＦ」を厚さ５Å蒸着し、フッ化リチウムの上にＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ６．３ｅＶエネルギーバンドギャップ３．７ｅＶの「ＰＢＤ」を２００Å蒸着して電子輸送層１０３を形成する。
【００６６】
ついで、この電子輸送層１０３の上に、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ３．２ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．１ｅＶの赤色ドーパント「ＤＣＪＴＢ」を１重量％ドープしたものを厚さ２００Å蒸着して赤色発光層１０４を形成する。
【００６７】
赤色発光層１０４の上に、「ＮＢＰ」を図２に示すようにマスク１を用いて１５０Å厚に蒸着しＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層４（２０５）の下部を形成する。ホール輸送層４（２０５）の上にはマスク７を用いてＡｌによるゲート４（２１２）を形成する。
【００６８】
ゲート４（２１２）の上には、マスク１を用いて１３０Å厚に蒸着しＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層４（２０５）の中部を形成する。ホール輸送層４（２０５）中部の上部には、マスク２を用いてＡｌによるゲート１（１１２）を形成する。
【００６９】
ゲート１（１１２）の上には、マスク１を用いて１３０Å厚に蒸着しＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層４（２０５）の上部を形成する。ホール輸送層４（２０５）上部の上には、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ２．９ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．３６ｅＶの緑色ドーパント「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」を１重量％ドープした緑色発光層１０６を５００Å蒸着して形成する。
【００７０】
緑色発光層１０６の上には、「ＮＢＰ」を図２に示すようにマスク８を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層５（２０７）下部を形成する。ホール輸送層５（２０７）の上にはマスク４を用いてＡｌによるゲート２（１１３）を形成する。
【００７１】
ゲート２（１１３）の上には、マスク３を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層５（２０７）中部を形成する。ホール輸送層５（２０７）中部の上には、マスク４を用いてＡｌによるゲート２（１１３）を形成する。ゲート２（１１３）の上にはマスク８用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層５（２０７）上部を形成する。
【００７２】
ホール輸送層５（２０７）上部の上には、ＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．７ｅＶのホスト層「ＢＡｌｑ」にドーパント「Ｐｅｒｙｌｅｎｅ」を１重量％ドープしたものを、厚さ５００Å蒸着して青色発光の有機発光材料により青色発光層１０７を形成する。
【００７３】
青色発光層１０７の上には、「ＮＢＰ」を１３０Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．３Ｖ，ＨＯＭＯ５．５ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．２ｅＶのホール輸送層６（２０９）下部を形成する。ホール輸送層６（２０９）下部の上には、マスク９を用いてＡｌによるゲート６（２１４）を形成する。
【００７４】
ゲート６（２１４）の上には、マスク５を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層６（２０９）中部を形成する。ホール輸送層６（２０９）中部の上には、マスク９を用いてＡｌによるゲート６（２１４）を形成する。
【００７５】
ゲート６（２１４）の上には、マスク５を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層６（２０９）上部を形成する。ホール輸送層６（２０９）上部の上には、ＭＴＤＡＴＡから成るホール輸送層１１０を形成する。このホール輸送層１１０の上に「ＣｕＰｃ」を厚さ２０ｎｍ蒸着し「ＣｕＰｃ」の上に陽極１１１を形成する。
【００７６】
真空蒸着により、Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ等の膜厚約０．４μｍの金属電極からなる陽極１１１を形成する。本発明において陽極１１１が金属層で形成され蒸着により形成されるため形成時に発光層を損傷しない特徴がある。
【００７７】
また、陰極１０２を通って基板１０１側からの光が外部に取り出されることに特徴がある。基板１０１側から光が外部に取り出されるため、光の外部取り出し効率が高くなる。ここで陰極１０２に負電圧、陽極１１１に正電圧を印加すると、電子輸送層１０３を介して発光層１０４、１０６，１０８に輸送された電子と、ホール輸送層１１０を介して輸送されたホールが、赤色発光層１０４内、緑色発光層１０６内、又青色発光層１０８内にて再結合して発光を行なう。
【００７８】
ここで、本発明のフルカラーエレクトロルミネセンス駆動表示装置２００においては、３層に形成された発光部１０４、１０６、１０８において発光層のホスト層とドーパントのＬＵＭＯバンドギャップエネルギー差は０．３ｅＶ以上となる。そのため、ドーパント層が発光する。
【００７９】
更に、３層の各発光層間にホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）を挟んでいるところに特徴がある。各発光層は間にホール輸送層４（２０５）を挟んで「Ａｌｑ３」２層、更にはホール輸送層５（２０７）を挟んで「ＢＡｌｑ」１層とホール輸送層６（２０９）が各有機物により連続して形成されていることを特徴とする。
【００８０】
ホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）はホールを通し電子を通さない。そのため、２０５の下部は電子が上方へ移動せず、ホールはホール輸送層４（２０５）を通って陰極１０２へ進む。その結果、陰極１０２からの電子とホール輸送層４（２０５）を通ったホールは、ホール輸送層４（２０５）下部で再結合するため、赤色発光層１０４はホール輸送層４（２０５）下部で赤色発光する。
【００８１】
ホール輸送層５（２０７）は陰極１０２から注入された電子を通さない。ホール輸送層５（２０７）は陽極１１１から輸送されたホールを通すため、緑色発光層１０６はホール輸送層５（２０７）下部でホール輸送層４（２０５）を除いた部分で緑色発光する。
【００８２】
陰極１０２から注入された電子は陽極１１１に向かって進むが、ホール輸送層６（２０９）は電子を通さない。陽極１１１から注入されたホールはホール輸送層６（２０９）を通すため、青色発光層１０８はホール輸送層５（２０７）を除いたホール輸送層６（２０９）下部で電子とホールが再結合して青色発光する。
【００８３】
青色材料は他の緑、赤色材料などに比べてエネルギーバンドギャップが大きいため、電荷注入が悪くなる傾向がある。（電荷注入のためのエネルギー障壁が高い）本発明においてエネルギーバンドギャップが大きい青色発光層１０８を陽極１１１下部のホール輸送層１１０の下に配置した所に特徴がある。
【００８４】
ホール輸送層１１０の下に位置するため電荷注入が悪くなることはない。更に青色発光層の下部に形成された緑、赤色発光層のホスト層は電子輸送層１０３と同じ、又は同類の電子輸送層材料で構成されるため、電子の輸送についても効率が良い。
【００８５】
また各発光層は多層化されて形成されるが、ホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）で発光色の異なる層が選択される所に本発明の特徴がある。
【００８６】
陽極１１１から一番離れている赤色発光層１０４においても、ホール輸送層１１０、ホール輸送層６（２０９）、ホール輸送層５（２０７）を通す。ホールが輸送され赤色発光層１０４下部には電子輸送層１０３があり、電子が輸送されるため再結合効率が良い構成となっている。このため図２において、赤色光２１７、緑色光２１６、青色光２１５は基板１０１側より取り出され、赤、緑、青をカラーフィルターと白色発光層を用いて得る場合に比べカラーフィルターによる吸収がないため、約３倍の明るさを得ることができる。
【００８７】
従来の白色発光層を用いる場合の約１／３の電流で同一光量を得ることができる。また３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキに比べ膜厚のバラッキが小さくなることによる発光効率のバラッキを改善する。そして、消費電流が１／３になることより、電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。駆動電圧も青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子にくらべ３層が重なっているため単一の電圧でよく、従来の図３にくらべ駆動が容易で回路を省略できる。
【００８８】
また、図３の青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子に比べ、ベタで発光するため、例えば発光巾０．５ｍｍ、ピッチ０．５ｍｍにとる必要がない。そのため、発光面積を１／２にできる。これらにより１／２の面積で同一の発光量を得ることができるため高精細度化、高輝度化ができる。
【００８９】
更に図２の本発明における第２の特徴は、ホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）には図２に示すようにゲート電極４（２１２）、ゲート電極１（１１２）、ゲート電極５（２１３）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極６（２１４）、ゲート電極３（１１４）がＡｌにより千鳥状に交互に形成されている。この様に、ゲート電極以外に光反射層としても働く所に特徴がある。
【００９０】
陰極１０２はソース電極、陽極１１１はドレイン電極としても働く。ソース電極１０２、ドレイン電極１１１とゲート電極４（２１２）、ゲート電極１（１１２）、ゲート電極５（２１３）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極６（２１４）、ゲート電極３（１１４）により縦型ＴＦＴとして動作する。ソース電極１０３、ドレイン電極１１１に印加された電圧によりバイアスされゲート電極４（２１２）、ゲート電極１（１１２）、ゲート電極５（２１３）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極６（２１４）、ゲート電極３（１１４）に印加される電圧により赤色光１１７、緑色光１１６、青色光１１５の出力はコントロールされる。
【００９１】
図１、図２において各ピクセルの隙間を開けて形成していないため、青＋緑＋赤のフルカラーエレクトロルミネセンス表示部を小さくでき高精細度化が可能となる。図１に示されたエレクトロルミネセンス表示部１００を屋外において、モバイル・デイスプレイとして使用した場合、ゲート電極１〜ゲート電極３が光反射層となる。ゲート電極１〜ゲート電極の所は光半透過型表示部を形成することになり視認性を改善する。
【００９２】
図２の表示装置２００を屋外において、モバイル・デイスプレイとして使用した場合、ゲート電極１〜ゲート電極６を千鳥状に形成することにより光反射型表示部を形成することになり視認性を更に改善することができる。
【００９３】
以上より、図１、図２の表示装置１００，２００は自発光のため、ＬＣＤとは異なり屋内外においバックライトが不要であるので、低消費電力化ができる。また、図１の表示装置１００により半透過型、図２の表示装置２００により反射型の表示部形成により、視認性を上げる事ができる。そのため、通電流を増やすことなく減らせるので、低消費電力化ができる。更に、３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキに比べ、膜厚のバラッキが小さくなる。その結果、発光効率のバラッキを改善し、消費電流が１／３になることにより電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。
【００９４】
これより本発明において、視認性の改善によりモバイル・デイスプレイとして使用でき、低消費電力化できるエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造法を提供することができる。
【００９５】
次に、図１および図２に従い、本発明を実施するための最良の形態３に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置を説明する。図１、図２において発光層１０４を赤色発光層、発光層１０６を緑色発光層として説明を行なったが、バンドギャップの一番小さい赤色発光層を緑色発光層、青色発光層の間に挟んだものである。
【００９６】
具体的には図１、図２において、発光層１０４を緑色発光層とし、発光層１０６を赤色発光層とし、発光層１０８を青色発光層とする。発光層形成の方法については、エレクトロルミネセンス駆動表示装置１００，２００と同じである。
【００９７】
陰極１０２に負電圧、陽極１１１に正電圧を印加すると、電子輸送層１０３を介して発光層１０４，１０６，１０８に輸送された電子と、ホール輸送層１１０を介して輸送されたホールが、バンドギャップエネルギーの一番小さい赤色発光層１０６内にて再結合として赤色発光を行なう。
【００９８】
電圧を上げていくと、緑色発光層１０４、青色発光層１０８が発光する。青色材料は他の緑、赤色材料などに比べてエネルギーバンドギャップが大きいため、電荷注入が悪くなる傾向がある。（電荷注入のためのエネルギー障壁が高い）本発明においてエネルギーバンドギャップが大きい青色発光層１０８を、陽極１１１下部のホール輸送層１１０の下に配置した所に特徴がある。
【００９９】
ホール輸送層１１０の下に位置するため電荷注入が悪くなることはない。更に青色発光層の下部に形成された緑、赤色発光層のホスト層は、電子輸送層１０３と同じ、又は同類の電子輸送層材料で構成されるため、電子の輸送についても効率が良い。
【０１００】
緑色発光層１０４については、陽極１１１より離れているため、ホールの輸送効率が悪い。しかし、バンドギャップエネルギーの一番小さい赤色発光層を緑色層の上部に設けてホール輸送効率を上げ、赤色、緑色、青色の発光バランスを改善した所に特徴がある。
【０１０１】
このため図１において、緑色光１０４、赤色光１０６、青色光１０８は基板１０１側より取り出され、赤、緑、青をカラーフィルターと白色発光層を用いて得る場合に比べ、カラーフィルターによる吸収がないため、約３倍の明るさを得ることができる。
【０１０２】
従来の白色発光層を用いる場合の約１／３の電流で同一光量を得ることができる。また３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキにくらべ膜厚のバラッキが小さくなる。その結果、発光効率のバラッキを改善し、消費電流が１／３になることより、電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。駆動電圧も青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子にくらべ３層が重なっているため、単一の電圧でよく、従来の図３にくらべ駆動が容易で回路を省略できる。
【０１０３】
また、図３の青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子に比べ、ベタで発光するため、例えば発光巾０．５ｍｍ、ピッチ０．５ｍｍととる必要がない、そのため、発光面積を１／２にできる。これにより１／２の面積で同一の発光量を得ることができるため高精細度化、高輝度化ができる。
【０１０４】
尚、ここにおいて上記呼称にて記載材料の正式名称は以下の通りである。
・「ＰＢＤ」・・２−（４−ビフェニルイル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール
・「ＮＢＰ」・・Ｎ，Ｎ’−Ｄｉ（（ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ−１−ｙｌ）−Ｎ，
Ｎ’−ｄｉｐｈｅｎｙｌ−ｂｅｎｚｉｄｉｎｅ）
・「Ａｌｑ３」・・Ｔｒｉｓ（８−ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎａｔｏ）
ａｌｕｍｉｎｕｍ
・「ＤＣＪＴＢ」・・（２−（１，１−Ｄｉｍｅｔｈｙｌｅｔｈｙｌ）−６−（２−（２，３，６，７−ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏ−１，１，７，７−ｔｅｒｔｒａｍｅｔｈｙｌ−１Ｈ，５Ｈ−ｂｅｎｚｏ［ｉｊ］ｑｕｉｎｏｌｉｚｉｎ−９−ｙｌ）ｅｔｈｅｎｙｌ）−４Ｈ−ｐｙｒａｎ−４−ｙｌｉｄｅｎｅ）ｐｒｏｐａｎｅｄｉｎｉｔｒｉｌｅ．
・「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」・・３−（２−Ｂｅｎｚｏｔｈｉａｚｏｌｙｌ）−７−（ｄｉｅｔｈｙｌａｍｉｎｏ）ｃｏｕｍａｒｉｎ．
・「ＢＡｌｑ」・・（１，１’−Ｂｉｓｐｈｅｎｙｌ−４−Ｏｌａｔｏ）ｂｉｓ（２−ｍｅｔｈｙｌ−８−ｑｕｉｎｏｌｉｎｐｌａｔｅ−Ｎ１，０８）Ａｌｕｍｉｎｕｍ．
「ＴＰＤ」・・（４、４‘、４“−ｔｒｉｓ（３−ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌｐｈｅｎｙｌａｍｉｎｏ）ｔｒｉｐｈｅｎｙｌａｎｉｎｅ）
「ＭＴＤＡＴＡ」・・（４，４‘−ｂｉｓ（３−ｍｅｎｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌｐｈｅｎｙｌａｍｉｎｏ）ｂｉｐｈｅｎｙｌ）
尚、本発明は、上記最良の形態１，２，３に限定されるものではなく、本発明の趣旨にもとづいて種々の変形をすることが可能であり、それらは本発明の範囲から除外するものではない。
【０１０５】
また、本発明ではガラス基板を用いた例を示したがプラスチック基板等についても適用できる。基板を薄膜金属として駆動表示装置を形成後、プラスチックベース材に張り合わせしてもよい。
【０１０６】
本発明では、輸送層としてホール輸送層を用いた例を示したが、ホスト層の特性に合わせて電子輸送層を用いた場合についても適用できる。更に、ホール輸送層と電子輸送層の両方を用いてもよい。
【０１０７】
本発明では、３層のフルカラーエレクトロルミネセンス駆動表示装置について説明を行なった。しかし、基板１０１、陰極１０２、陽極１１１の両電極を除いた１つの駆動表示装置ユニットとして、ｎ段積層することにより同一光量の場合、駆動電流は１／（２〜３）ｎとなるため、消費電流及び消費電力の削減ができる。
【０１０８】
また、本発明は蛍光発光によるエレクトロルミネセンス駆動表示装置について説明を行ったが、燐光発光を行なうエレクトロルミネセンス駆動表示装置についても適用行なうことができる。
【０１０９】
また、本発明の図２において、マスク２により形成されるゲート２０５に換えセンサー層３０５、マスク４により形成されるゲート２１３に換えセンサー層３１３、マスクにより形成されるゲート２１４に換えセンサー層３１４を形成して、エレクトロルミネセンス駆動表示装置を用いたインプット・ディスプレイを形成することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明を実施するための最良の形態１に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置１００の断面図である。
【図２】本発明を実施するための最良の形態２に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置２００の断面図である。
【図３】従来のエレクトロルミネセンス素子の基本的な構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１００ エレクトロルミネセンス駆動表示装置
１０１ 基板
１０２ 陰極（ソース電極）
１０３ 電子輸送層
１０４ 赤色発光層
１０５ 輸送層１
１０６ 緑色発光層
１０７ 輸送層２
１０８ 青色発光層
１０９ 輸送層３
１１０ ホール輸送層
１１１ 陽極（ドレイン電極）
１１２ ゲート電極１
１１３ ゲート電極２
１１４ ゲート電極３
１１５ 青色出力光
１１６ 緑色出力光
１１７ 赤色出力光
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法に関する。特に単一駆動電圧で、屋外での視認性を高め、低消費電力で、寿命改善をしたことを特徴とするモニター、ＴＶ等に適したフルカラーの発光が得られる縦型ＴＦＴ内蔵のエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、波長の異なる発光層を複数個有しているエレクトロルミネセンス素子が開発されている。特許文献１に示されている構造を図３に示す。厚み０．７ｍｍの透明ガラス基板１０の上にＩＴＯ（インジウム―スズ酸化物）をスパッタにより陽極１を形成し、真空蒸着装置により、ＩＴＯ陽極１の上にホール輸送層１１を形成する。このホール輸送層１１の上にホスト層「ＤＰＶＢｉ」にドーパント「ＢＣｚＶＢｉ」を１質量％ドープして蒸着し青色発光層の有機発光材料３ａを形成し、その上に「Ａｌｑ３」を蒸着して電子輸送層１２を形成し、陰極２を形成する。
【０００３】
同様に、ホール輸送層１１の上にホスト層「Ａｌｑ３」にドーパント「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」を１質量％ドープしたものを蒸着して緑色発光の有機発光材料３ｂが形成される。この上に「Ａｌｑ３」を蒸着して電子輸送層１２を形成し、陰極２を形成する。更にホール輸送層１１を形成した後、ホスト層「Ａｌｑ３」にドーパント「ＤＣＪＴＢ」を１質量％ドープしたものを蒸着して赤色発光材料３ｃを形成する。その上に「Ａｌｑ３」を蒸着して電子輸送層１２を形成し、陰極２を形成する。
【特許文献１】特開２００２−１６４１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記表示装置では、各ピクセルをストライプ状に形成しているため、青＋緑＋赤のフルカラーエレクトロルミネセンス表示部が大きくなる第１の欠点があった。また、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）素子をモバイル・デイスプレイとして使用した場合、自発光であるため屋外での、視認性が悪いという第２の欠点があった。更に、視認性を上げるため通電電流を上げると消費電力が増え、通電電流の増加に比例して寿命が短くなる第３の欠点があった。
【０００５】
本発明はこの様な従来の欠点を考慮し、屋外用モバイル・デイスプレイとして使用した場合においても視認性を確保でき、消費電力を低減したエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１の本発明では、陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成した。
【０００７】
請求項２の本発明では、陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中に複数のゲート電極を互いに千鳥形状に形成した。
【０００８】
請求項３の本発明では、発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように、発光性有機物質がドープされた。
【０００９】
請求項４の本発明では、発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだ。
【００１０】
請求項５の本発明では、前記エレクトロルミネセンス発光部は陰極と陽極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなる。
【００１１】
請求項６の本発明では、前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色としたものである。
【００１２】
請求項７の本発明では、前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色としたものである。
【００１３】
請求項８の本発明では、前記発光層は「Ａｌｑ３」を含む。
【００１４】
請求項９の本発明では、前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有する。
【００１５】
請求項１０の本発明では、前記発光層の組み合わせにより、発光色が青色光、緑色光、赤色光である。
【００１６】
請求項１１の本発明では、前記発光層の組み合わせにより、発光色が白色光であるもろである。
【００１７】
請求項１２の本発明では、前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより発光層の光量を調整した。
【００１８】
請求項１３の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成した。
【００１９】
請求項１４の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされた。
【００２０】
請求項１５の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだ。
【００２１】
請求項１６の本発明では、前記エレクトロルミネセンス発光部はソース電極及びドレイン電極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなる。
【００２２】
請求項１７の本発明では、前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色とした。
【００２３】
請求項１８の本発明では、前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色とした。
【００２４】
請求項１９の本発明では、前記発光層は「Ａｌｑ３」を含む。
【００２５】
請求項２０の本発明では、前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有する。
【００２６】
請求項２１の本発明では、前記発光層の組み合わせにより発光色が青色光、緑色光、赤色光である。
【００２７】
請求項２２の本発明では、前記発光層の組み合わせにより発光色が白色光である。
【００２８】
請求項２３の本発明では、前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより、発光層の光量を調整した。
【００２９】
請求項２４の本発明では、前記陰極またはソース電極を光透過性電極で形成した。
【００３０】
請求項２５の本発明では、前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、金属電極で形成した。
【００３１】
請求項２６の本発明では、前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、保護層とした。
【００３２】
請求項２７の本発明では、陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を陰極側から取り出した。
【００３３】
請求項２８の本発明では、基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を基板側から取り出したものである。
【００３４】
請求項２９の本発明では、基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電圧を加えた。
【００３５】
請求項３０の本発明では、基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電流を加えた。
【００３６】
請求項３１の本発明では、基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層を形成する工程と、各々の発光層上部に輸送層を設ける工程と、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成する工程と、前記ソース電極または陰極を光透過性金属層で形成する工程と、前記ドレイン電極または陽極を金属層で形成する工程とからなる。
【００３７】
請求項３２の本発明では、前記陰極はスパッタにより形成され、前記陽極は蒸着にて形成された。
【００３８】
請求項３３の本発明では、前記ソース電極はスパッタにより形成され、前記ドレイン電極は蒸着にて形成され。
【発明の効果】
【００３９】
本発明のエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法によれば、複数の発光層の上に輸送層を形成することにより発光層を選択でき、輸送層の形状により発光領域を指定できる。輸送層により発光部間のスペースを小さくできることにより高精細度化ができる。
【００４０】
また、これらの輸送層の中にゲート電極を挿入することにより、電子とホールの再結合をコントロールして基板側から又は陰極側から光を取り出すことにより、光取り出し効率を上げる事ができる。その結果、ゲート電極により光半透過層、光反射層を形成して、屋外においても視認性を上げて使用を可能とする、
更に、各輸送層の幅をコントロールすることにより、フルカラー発光させた時の色度特性の改善ができる。そして、各発光層は常にソース電極（陰極）、ドレイン電極（陽極）に加えられた電圧によりバイアスされている。その結果、各発光層が同じ時間通電されることにより、カラーシフトの少ない表示部を形成できる。
【００４１】
また、複数層を積層した発光部の構造により、寿命改善と消費電力削減が可能となると共に、単一の駆動電圧で使用できるエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、図１の断面図に従い、本発明を実施するための最良の形態１に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置１００を説明する。図１において、ガラス基板１０１の上にスパッタリング法により、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）透明陰極１０２が形成される。ＩＺＯ透明陰極１０２の上に、フッ化リチウム「ＬｉＦ」を厚さ５Å蒸着し、フッ化リチウムの上にＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ６．３ｅＶエネルギーバンドギャップ３．７ｅＶの「ＰＢＤ」を２００Å蒸着して電子輸送層１０３が形成される。
【００４３】
ついで、この電子輸送層１０３の上に、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ３．２ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．１ｅＶの赤色ドーパント「ＤＣＪＴＢ」を１重量％ドープしたものを厚さ２００Å蒸着して赤色発光層１０４が形成される。
【００４４】
赤色発光層１０４の上に、「ＮＢＰ」を図１に示すようにマスク１を用いて２００Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層１（１０５）の下部を形成する。ホール輸送層１（１０５）の上には、マスク２を用いてＡｌによるゲート１（１１２）を形成する。ゲート１（１１２）の上にはマスク１を用いて２００Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層１（１０５）の上部を形成する。
【００４５】
ホール輸送層１（１０５）の上部には、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ２．９ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．３６ｅＶの緑色ドーパント「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」を１重量％ドープした緑色発光層１０６を５００Å蒸着して形成する。緑色発光層１０６の上には、「ＮＢＰ」を図１に示すようにマスク３を用いて２００Å厚に蒸着しホール輸送層２（１０７）下部を形成する。
【００４６】
ホール輸送層２（１０７）の上には、マスク４を用いてＡｌによるゲート２（１１３）を形成する。ゲート２（１１３）下部の上には、マスク３を用いて２００Å厚に蒸着しホール輸送層２（１０７）上部を形成する。ホール輸送層２（１０７）上部の上には、ＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．７ｅＶのホスト層「ＢＡｌｑ」にドーパント「Ｐｅｒｙｌｅｎｅ」を１重量％ドープしたものを、厚さ５００Å蒸着して青色発光の有機発光材料により青色発光層１０７を形成する。
【００４７】
青色発光層１０７の上には、「ＮＢＰ」を２００Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．３Ｖ，ＨＯＭＯ５．５ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．２ｅＶのホール輸送層３（１０９）下部を形成する。ホール輸送層３（１０９）下部の上には、マスク６を用いてＡｌによるゲート３（１１４）を形成する。
【００４８】
ゲート３（１１４）の上には、マスク５を用いて２００Å厚に蒸着しホール輸送層３（１０９）上部を形成する。次いで、このホール輸送層３（１０９）上部の上に、ＭＴＤＡＴＡから成るホール輸送層１１０を形成する。このホール輸送層１１０の上に「ＣｕＰｃ」を厚さ２０ｎｍ蒸着し「ＣｕＰｃ」の上に陽極１１１を形成する。
【００４９】
真空蒸着により、Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ等を用いて膜厚約０．４μｍの金属電極による陽極１１１を形成する。本発明において、陽極１１１が金属層で形成されている所に特徴がある。また陰極１０２を通って基板１０１側から光が外部に取り出されるところに特徴がある。
【００５０】
基板１０１側から光が外部に取り出されるため、光の外部取り出し効率が高くなる。ここで陰極１０２に負電圧、陽極１１１に正電圧を印加すると、電子輸送層１０３を介して発光層１０４、１０６，１０８に輸送された電子と、ホール輸送層１１０を介して輸送されたホールが、赤色発光層１０４内、緑色発光層１０６内、又青色発光層１０８内にて再結合して発光を行なう。
【００５１】
ここで、本発明のフルカラーエレクトロルミネセンス駆動表示装置１００においては、３層に形成された発光部１０４、１０６、１０８において、発光層のホスト層とドーパントのＬＵＭＯバンドギャップエネルギー差は０．３ｅＶ以上となるため、ドーパント層が発光する。
【００５２】
更には、３層の各発光層間にホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）を挟んでいるところに特徴がある。各発光層は間に、ホール輸送層１（１０５）を挟んで「Ａｌｑ３」２層、更にはホール輸送層２（１０７）を挟んで「ＢＡｌｑ」１層と、ホール輸送層３（１０９）が各有機物により連続して形成されていることを特徴とする。
【００５３】
ホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）はホールを通し電子を通さないため、ホール輸送層１（１０５）の下部は電子が上方へ移動しない。ホールはホール輸送層１（１０５）を通って陰極１０２へ進むため、陰極１０２からの電子と、ホール輸送層１（１０５）を通ったホールは、ホール輸送層１（１０５）下部で再結合するため赤色発光層１０４はホール輸送層１（１０５）下部で赤色発光する。
【００５４】
ホール輸送層２（１０７）は陰極１０２から注入された電子を通さない。ホール輸送層２（１０７）は、陽極１１１に輸送されたホールを通すため、緑色発光層１０６はホール輸送層２（１０７）下部でホール輸送層１（１０５）を除いた部分で緑色発光する。
【００５５】
陰極１０２から注入された電子は陽極１１１に向かって進むが、ホール輸送層３（１０９）は電子を通さない。陽極１１１から注入されたホールはホール輸送層３（１０９）を通すため、青色発光層１０８はホール輸送層２（１０７）を除いたホール輸送層３（１０９）下部で電子とホールが再結合して青色発光する。
【００５６】
青色材料は他の緑、赤色材料などに比べてエネルギーバンドギャップが大きいため電荷注入が悪くなる傾向がある。（電荷注入のためのエネルギー障壁が高い）本発明において、エネルギーバンドギャップが大きい青色発光層１０８を、陽極１１１下部のホール輸送層１１０の下に配置した所に特徴がある。
【００５７】
ホール輸送層１１０の下に位置するため青色発光層１０８の電荷注入が悪くなることはない。更に青色発光層の下部に形成された緑、赤色発光層のホスト層は、電子輸送層１０３と同じ、又は同類の電子輸送層材料で構成されるため、電子の輸送についても効率が良い。
【００５８】
また各発光層は多層化されて形成されるが、ホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）で発光色の異なる層が選択される所に本発明の特徴がある。陽極１１１から一番離れている赤色発光層１０４においても、ホール輸送層１１０、ホール輸送層３（１０９）、ホール輸送層２（１０７）を通してホールが輸送される。そして、赤色発光層１０４下部には電子輸送層１０３があり、電子が輸送されるため再結合効率が良い構成となっている。
【００５９】
このため図１において、赤色光１１７、緑色光１１６、青色光１１５は基板１０１側より取り出される。赤、緑、青をカラーフィルターと白色発光層を用いて得る場合に比べ、カラーフィルターによる吸収がないため、約３倍の明るさを得ることができる。また、従来の白色発光層を用いる場合の約１／３の電流で同一光量を得ることができる。
【００６０】
更に、３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキにくらべ膜厚のバラッキが小さくなることによる発光効率のバラッキを改善する。消費電流が１／３になることより電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。駆動電圧も青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子にくらべ３層が重なっているため、単一の電圧でよく、従来の図３にくらべ駆動が容易で回路を省略できる。
【００６１】
また、図３の青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子に比べ、ベタで発光するため、例えば発光巾が０．５ｍｍ、ピッチが０．５ｍｍにする必要がないので、発光面積を１／２にできる。これにより１／２の面積で同一の発光量を得ることができるため、高精細度化、高輝度化ができる。
【００６２】
更に本発明における第２の特徴は、ホール輸送層１（１０５）、ホール輸送層２（１０７）、ホール輸送層３（１０９）には図１に示すようにゲート電極１（１１２）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極３（１１４）が形成される。
【００６３】
陰極１０２はソース電極、陽極１１１はドレイン電極としても働き、ソース電極１０２、ドレイン電極１１１とゲート電極１（１１２）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極３（１１４）により縦型ＴＦＴとして動作するところに特徴がある。
【００６４】
ソース電極１０３、ドレイン電極１１１に印加された電圧によりバイアスされゲート電極１（１１２）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極３（１１４）に印加される電圧により、赤色光１１７、緑色光１１６、青色光１１５の出力はコントロールされる。このため発光色に関係なく同一の電流がながれるため経時変化による色差が目立たなくなる。
【００６５】
次に、図２の断面図に従い、本発明を実施するための最良の形態２に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置２００を説明する。図２において、ガラス基板１０１の上にスパッタリング法にてＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）透明陰極１０２を形成する。ＩＺＯ透明陰極１０２の上に、フッ化リチウム「ＬｉＦ」を厚さ５Å蒸着し、フッ化リチウムの上にＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ６．３ｅＶエネルギーバンドギャップ３．７ｅＶの「ＰＢＤ」を２００Å蒸着して電子輸送層１０３を形成する。
【００６６】
ついで、この電子輸送層１０３の上に、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ３．２ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．１ｅＶの赤色ドーパント「ＤＣＪＴＢ」を１重量％ドープしたものを厚さ２００Å蒸着して赤色発光層１０４を形成する。
【００６７】
赤色発光層１０４の上に、「ＮＢＰ」を図２に示すようにマスク１を用いて１５０Å厚に蒸着しＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層４（２０５）の下部を形成する。ホール輸送層４（２０５）の上にはマスク７を用いてＡｌによるゲート４（２１２）を形成する。
【００６８】
ゲート４（２１２）の上には、マスク１を用いて１３０Å厚に蒸着しＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層４（２０５）の中部を形成する。ホール輸送層４（２０５）中部の上部には、マスク２を用いてＡｌによるゲート１（１１２）を形成する。
【００６９】
ゲート１（１１２）の上には、マスク１を用いて１３０Å厚に蒸着しＬＵＭＯ２．４５ｅＶ，ＨＯＭＯ５．４６ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．０ｅＶのホール輸送層４（２０５）の上部を形成する。ホール輸送層４（２０５）上部の上には、ホスト層「Ａｌｑ３」にＬＵＭＯ２．９ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．３６ｅＶの緑色ドーパント「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」を１重量％ドープした緑色発光層１０６を５００Å蒸着して形成する。
【００７０】
緑色発光層１０６の上には、「ＮＢＰ」を図２に示すようにマスク８を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層５（２０７）下部を形成する。ホール輸送層５（２０７）の上にはマスク４を用いてＡｌによるゲート２（１１３）を形成する。
【００７１】
ゲート２（１１３）の上には、マスク３を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層５（２０７）中部を形成する。ホール輸送層５（２０７）中部の上には、マスク４を用いてＡｌによるゲート２（１１３）を形成する。ゲート２（１１３）の上にはマスク８用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層５（２０７）上部を形成する。
【００７２】
ホール輸送層５（２０７）上部の上には、ＬＵＭＯ２．６ｅＶ，ＨＯＭＯ５．３ｅＶエネルギーバンドギャップ２．７ｅＶのホスト層「ＢＡｌｑ」にドーパント「Ｐｅｒｙｌｅｎｅ」を１重量％ドープしたものを、厚さ５００Å蒸着して青色発光の有機発光材料により青色発光層１０７を形成する。
【００７３】
青色発光層１０７の上には、「ＮＢＰ」を１３０Å厚に蒸着し、ＬＵＭＯ２．３Ｖ，ＨＯＭＯ５．５ｅＶ，エネルギーバンドギャップ３．２ｅＶのホール輸送層６（２０９）下部を形成する。ホール輸送層６（２０９）下部の上には、マスク９を用いてＡｌによるゲート６（２１４）を形成する。
【００７４】
ゲート６（２１４）の上には、マスク５を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層６（２０９）中部を形成する。ホール輸送層６（２０９）中部の上には、マスク９を用いてＡｌによるゲート６（２１４）を形成する。
【００７５】
ゲート６（２１４）の上には、マスク５を用いて１３０Å厚に蒸着しホール輸送層６（２０９）上部を形成する。ホール輸送層６（２０９）上部の上には、ＭＴＤＡＴＡから成るホール輸送層１１０を形成する。このホール輸送層１１０の上に「ＣｕＰｃ」を厚さ２０ｎｍ蒸着し「ＣｕＰｃ」の上に陽極１１１を形成する。
【００７６】
真空蒸着により、Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ等の膜厚約０．４μｍの金属電極からなる陽極１１１を形成する。本発明において陽極１１１が金属層で形成され蒸着により形成されるため形成時に発光層を損傷しない特徴がある。
【００７７】
また、陰極１０２を通って基板１０１側からの光が外部に取り出されることに特徴がある。基板１０１側から光が外部に取り出されるため、光の外部取り出し効率が高くなる。ここで陰極１０２に負電圧、陽極１１１に正電圧を印加すると、電子輸送層１０３を介して発光層１０４、１０６，１０８に輸送された電子と、ホール輸送層１１０を介して輸送されたホールが、赤色発光層１０４内、緑色発光層１０６内、又青色発光層１０８内にて再結合して発光を行なう。
【００７８】
ここで、本発明のフルカラーエレクトロルミネセンス駆動表示装置２００においては、３層に形成された発光部１０４、１０６、１０８において発光層のホスト層とドーパントのＬＵＭＯバンドギャップエネルギー差は０．３ｅＶ以上となる。そのため、ドーパント層が発光する。
【００７９】
更に、３層の各発光層間にホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）を挟んでいるところに特徴がある。各発光層は間にホール輸送層４（２０５）を挟んで「Ａｌｑ３」２層、更にはホール輸送層５（２０７）を挟んで「ＢＡｌｑ」１層とホール輸送層６（２０９）が各有機物により連続して形成されていることを特徴とする。
【００８０】
ホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）はホールを通し電子を通さない。そのため、２０５の下部は電子が上方へ移動せず、ホールはホール輸送層４（２０５）を通って陰極１０２へ進む。その結果、陰極１０２からの電子とホール輸送層４（２０５）を通ったホールは、ホール輸送層４（２０５）下部で再結合するため、赤色発光層１０４はホール輸送層４（２０５）下部で赤色発光する。
【００８１】
ホール輸送層５（２０７）は陰極１０２から注入された電子を通さない。ホール輸送層５（２０７）は陽極１１１から輸送されたホールを通すため、緑色発光層１０６はホール輸送層５（２０７）下部でホール輸送層４（２０５）を除いた部分で緑色発光する。
【００８２】
陰極１０２から注入された電子は陽極１１１に向かって進むが、ホール輸送層６（２０９）は電子を通さない。陽極１１１から注入されたホールはホール輸送層６（２０９）を通すため、青色発光層１０８はホール輸送層５（２０７）を除いたホール輸送層６（２０９）下部で電子とホールが再結合して青色発光する。
【００８３】
青色材料は他の緑、赤色材料などに比べてエネルギーバンドギャップが大きいため、電荷注入が悪くなる傾向がある。（電荷注入のためのエネルギー障壁が高い）本発明においてエネルギーバンドギャップが大きい青色発光層１０８を陽極１１１下部のホール輸送層１１０の下に配置した所に特徴がある。
【００８４】
ホール輸送層１１０の下に位置するため電荷注入が悪くなることはない。更に青色発光層の下部に形成された緑、赤色発光層のホスト層は電子輸送層１０３と同じ、又は同類の電子輸送層材料で構成されるため、電子の輸送についても効率が良い。
【００８５】
また各発光層は多層化されて形成されるが、ホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）で発光色の異なる層が選択される所に本発明の特徴がある。
【００８６】
陽極１１１から一番離れている赤色発光層１０４においても、ホール輸送層１１０、ホール輸送層６（２０９）、ホール輸送層５（２０７）を通す。ホールが輸送され赤色発光層１０４下部には電子輸送層１０３があり、電子が輸送されるため再結合効率が良い構成となっている。このため図２において、赤色光２１７、緑色光２１６、青色光２１５は基板１０１側より取り出され、赤、緑、青をカラーフィルターと白色発光層を用いて得る場合に比べカラーフィルターによる吸収がないため、約３倍の明るさを得ることができる。
【００８７】
従来の白色発光層を用いる場合の約１／３の電流で同一光量を得ることができる。また３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキに比べ膜厚のバラッキが小さくなることによる発光効率のバラッキを改善する。そして、消費電流が１／３になることより、電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。駆動電圧も青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子にくらべ３層が重なっているため単一の電圧でよく、従来の図３にくらべ駆動が容易で回路を省略できる。
【００８８】
また、図３の青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子に比べ、ベタで発光するため、例えば発光巾０．５ｍｍ、ピッチ０．５ｍｍにとる必要がない。そのため、発光面積を１／２にできる。これらにより１／２の面積で同一の発光量を得ることができるため高精細度化、高輝度化ができる。
【００８９】
更に図２の本発明における第２の特徴は、ホール輸送層４（２０５）、ホール輸送層５（２０７）、ホール輸送層６（２０９）には図２に示すようにゲート電極４（２１２）、ゲート電極１（１１２）、ゲート電極５（２１３）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極６（２１４）、ゲート電極３（１１４）がＡｌにより千鳥状に交互に形成されている。この様に、ゲート電極以外に光反射層としても働く所に特徴がある。
【００９０】
陰極１０２はソース電極、陽極１１１はドレイン電極としても働く。ソース電極１０２、ドレイン電極１１１とゲート電極４（２１２）、ゲート電極１（１１２）、ゲート電極５（２１３）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極６（２１４）、ゲート電極３（１１４）により縦型ＴＦＴとして動作する。ソース電極１０３、ドレイン電極１１１に印加された電圧によりバイアスされゲート電極４（２１２）、ゲート電極１（１１２）、ゲート電極５（２１３）、ゲート電極２（１１３）、ゲート電極６（２１４）、ゲート電極３（１１４）に印加される電圧により赤色光１１７、緑色光１１６、青色光１１５の出力はコントロールされる。
【００９１】
図１、図２において各ピクセルの隙間を開けて形成していないため、青＋緑＋赤のフルカラーエレクトロルミネセンス表示部を小さくでき高精細度化が可能となる。図１に示されたエレクトロルミネセンス表示部１００を屋外において、モバイル・デイスプレイとして使用した場合、ゲート電極１〜ゲート電極３が光反射層となる。ゲート電極１〜ゲート電極の所は光半透過型表示部を形成することになり視認性を改善する。
【００９２】
図２の表示装置２００を屋外において、モバイル・デイスプレイとして使用した場合、ゲート電極１〜ゲート電極６を千鳥状に形成することにより光反射型表示部を形成することになり視認性を更に改善することができる。
【００９３】
以上より、図１、図２の表示装置１００，２００は自発光のため、ＬＣＤとは異なり屋内外においバックライトが不要であるので、低消費電力化ができる。また、図１の表示装置１００により半透過型、図２の表示装置２００により反射型の表示部形成により、視認性を上げる事ができる。そのため、通電流を増やすことなく減らせるので、低消費電力化ができる。更に、３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキに比べ、膜厚のバラッキが小さくなる。その結果、発光効率のバラッキを改善し、消費電流が１／３になることにより電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。
【００９４】
これより本発明において、視認性の改善によりモバイル・デイスプレイとして使用でき、低消費電力化できるエレクトロルミネセンス駆動表示装置及びその製造法を提供することができる。
【００９５】
次に、図１および図２に従い、本発明を実施するための最良の形態３に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置を説明する。図１、図２において発光層１０４を赤色発光層、発光層１０６を緑色発光層として説明を行なったが、バンドギャップの一番小さい赤色発光層を緑色発光層、青色発光層の間に挟んだものである。
【００９６】
具体的には図１、図２において、発光層１０４を緑色発光層とし、発光層１０６を赤色発光層とし、発光層１０８を青色発光層とする。発光層形成の方法については、エレクトロルミネセンス駆動表示装置１００，２００と同じである。
【００９７】
陰極１０２に負電圧、陽極１１１に正電圧を印加すると、電子輸送層１０３を介して発光層１０４，１０６，１０８に輸送された電子と、ホール輸送層１１０を介して輸送されたホールが、バンドギャップエネルギーの一番小さい赤色発光層１０６内にて再結合として赤色発光を行なう。
【００９８】
電圧を上げていくと、緑色発光層１０４、青色発光層１０８が発光する。青色材料は他の緑、赤色材料などに比べてエネルギーバンドギャップが大きいため、電荷注入が悪くなる傾向がある。（電荷注入のためのエネルギー障壁が高い）本発明においてエネルギーバンドギャップが大きい青色発光層１０８を、陽極１１１下部のホール輸送層１１０の下に配置した所に特徴がある。
【００９９】
ホール輸送層１１０の下に位置するため電荷注入が悪くなることはない。更に青色発光層の下部に形成された緑、赤色発光層のホスト層は、電子輸送層１０３と同じ、又は同類の電子輸送層材料で構成されるため、電子の輸送についても効率が良い。
【０１００】
緑色発光層１０４については、陽極１１１より離れているため、ホールの輸送効率が悪い。しかし、バンドギャップエネルギーの一番小さい赤色発光層を緑色層の上部に設けてホール輸送効率を上げ、赤色、緑色、青色の発光バランスを改善した所に特徴がある。
【０１０１】
このため図１において、緑色光１０４、赤色光１０６、青色光１０８は基板１０１側より取り出され、赤、緑、青をカラーフィルターと白色発光層を用いて得る場合に比べ、カラーフィルターによる吸収がないため、約３倍の明るさを得ることができる。
【０１０２】
従来の白色発光層を用いる場合の約１／３の電流で同一光量を得ることができる。また３層を重ねて形成することにより、単層のエレクトロルミネセンス素子の膜厚バラッキにくらべ膜厚のバラッキが小さくなる。その結果、発光効率のバラッキを改善し、消費電流が１／３になることより、電流バラッキ、寿命バラッキを改善する。駆動電圧も青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子にくらべ３層が重なっているため、単一の電圧でよく、従来の図３にくらべ駆動が容易で回路を省略できる。
【０１０３】
また、図３の青色、緑色、赤色を個別に発光させて得られる白色素子に比べ、ベタで発光するため、例えば発光巾０．５ｍｍ、ピッチ０．５ｍｍととる必要がない、そのため、発光面積を１／２にできる。これにより１／２の面積で同一の発光量を得ることができるため高精細度化、高輝度化ができる。
【０１０４】
尚、ここにおいて上記呼称にて記載材料の正式名称は以下の通りである。
・「ＰＢＤ」・・２−（４−ビフェニルイル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール
・「ＮＢＰ」・・Ｎ，Ｎ’−Ｄｉ（（ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ−１−ｙｌ）−Ｎ，
Ｎ’−ｄｉｐｈｅｎｙｌ−ｂｅｎｚｉｄｉｎｅ）
・「Ａｌｑ３」・・Ｔｒｉｓ（８−ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎａｔｏ）
ａｌｕｍｉｎｕｍ
・「ＤＣＪＴＢ」・・（２−（１，１−Ｄｉｍｅｔｈｙｌｅｔｈｙｌ）−６−（２−（２，３，６，７−ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏ−１，１，７，７−ｔｅｒｔｒａｍｅｔｈｙｌ−１Ｈ，５Ｈ−ｂｅｎｚｏ［ｉｊ］ｑｕｉｎｏｌｉｚｉｎ−９−ｙｌ）ｅｔｈｅｎｙｌ）−４Ｈ−ｐｙｒａｎ−４−ｙｌｉｄｅｎｅ）ｐｒｏｐａｎｅｄｉｎｉｔｒｉｌｅ．
・「Ｃｏｕｍａｒｉｎ６」・・３−（２−Ｂｅｎｚｏｔｈｉａｚｏｌｙｌ）−７−（ｄｉｅｔｈｙｌａｍｉｎｏ）ｃｏｕｍａｒｉｎ．
・「ＢＡｌｑ」・・（１，１’−Ｂｉｓｐｈｅｎｙｌ−４−Ｏｌａｔｏ）ｂｉｓ（２−ｍｅｔｈｙｌ−８−ｑｕｉｎｏｌｉｎｐｌａｔｅ−Ｎ１，０８）Ａｌｕｍｉｎｕｍ．
「ＴＰＤ」・・（４、４‘、４“−ｔｒｉｓ（３−ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌｐｈｅｎｙｌａｍｉｎｏ）ｔｒｉｐｈｅｎｙｌａｎｉｎｅ）
「ＭＴＤＡＴＡ」・・（４，４‘−ｂｉｓ（３−ｍｅｎｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌｐｈｅｎｙｌａｍｉｎｏ）ｂｉｐｈｅｎｙｌ）
尚、本発明は、上記最良の形態１，２，３に限定されるものではなく、本発明の趣旨にもとづいて種々の変形をすることが可能であり、それらは本発明の範囲から除外するものではない。
【０１０５】
また、本発明ではガラス基板を用いた例を示したがプラスチック基板等についても適用できる。基板を薄膜金属として駆動表示装置を形成後、プラスチックベース材に張り合わせしてもよい。
【０１０６】
本発明では、輸送層としてホール輸送層を用いた例を示したが、ホスト層の特性に合わせて電子輸送層を用いた場合についても適用できる。更に、ホール輸送層と電子輸送層の両方を用いてもよい。
【０１０７】
本発明では、３層のフルカラーエレクトロルミネセンス駆動表示装置について説明を行なった。しかし、基板１０１、陰極１０２、陽極１１１の両電極を除いた１つの駆動表示装置ユニットとして、ｎ段積層することにより同一光量の場合、駆動電流は１／（２〜３）ｎとなるため、消費電流及び消費電力の削減ができる。
【０１０８】
また、本発明は蛍光発光によるエレクトロルミネセンス駆動表示装置について説明を行ったが、燐光発光を行なうエレクトロルミネセンス駆動表示装置についても適用行なうことができる。
【０１０９】
また、本発明の図２において、マスク２により形成されるゲート２０５に換えセンサー層３０５、マスク４により形成されるゲート２１３に換えセンサー層３１３、マスクにより形成されるゲート２１４に換えセンサー層３１４を形成して、エレクトロルミネセンス駆動表示装置を用いたインプット・ディスプレイを形成することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明を実施するための最良の形態１に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置１００の断面図である。
【図２】本発明を実施するための最良の形態２に係るエレクトロルミネセンス駆動表示装置２００の断面図である。
【図３】従来のエレクトロルミネセンス素子の基本的な構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１００ エレクトロルミネセンス駆動表示装置
１０１ 基板
１０２ 陰極（ソース電極）
１０３ 電子輸送層
１０４ 赤色発光層
１０５ 輸送層１
１０６ 緑色発光層
１０７ 輸送層２
１０８ 青色発光層
１０９ 輸送層３
１１０ ホール輸送層
１１１ 陽極（ドレイン電極）
１１２ ゲート電極１
１１３ ゲート電極２
１１４ ゲート電極３
１１５ 青色出力光
１１６ 緑色出力光
１１７ 赤色出力光
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成したことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２】
陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中に複数のゲート電極を互いに千鳥形状に形成したことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項３】
発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項４】
発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項５】
前記エレクトロルミネセンス発光部は陰極と陽極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項６】
前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１、２，３、５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項７】
前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１、２，４、５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項８】
前記発光層は「Ａｌｑ３」を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項９】
前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１０】
前記発光層の組み合わせにより発光色が青色光、緑色光、赤色光であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１１】
前記発光層の組み合わせにより発光色が白色光であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１２】
前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより発光層の光量を調整したことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１３】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成したことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１４】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされたことを特徴とする請求項１３に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１５】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだことを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１６】
前記エレクトロルミネセンス発光部はソース電極及びドレイン電極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１７】
前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１３,１４、１６のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１８】
前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１３、１５、１６のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１９】
前記発光層は「Ａｌｑ３」を含むことを特徴とする請求項１３乃至１８のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２０】
前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有することを特徴とする請求項１３乃至１８のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２１】
前記発光層の組み合わせにより発光色が青色光、緑色光、赤色光であることを特徴とする請求項１３乃至２０のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２２】
前記発光層の組み合わせにより発光色が白色光であることを特徴とする請求項１３乃至２１のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２３】
前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより、発光層の光量を調整したことを特徴とする請求項１３乃至２２のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２４】
前記陰極またはソース電極を光透過性電極で形成したことを特徴とする請求項１乃至２３のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２５】
前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、金属電極で形成したことを特徴とする請求項１乃至２４のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス表駆動示装置。
【請求項２６】
前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、保護層としたことを特徴とする請求項１乃至２５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２７】
陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を陰極側から取り出したことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２８】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を基板側から取り出したことを特徴とする請求項１３乃至２６のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２９】
基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電圧を加えたことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項３０】
基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電流を加えたことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項３１】
基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層を形成する工程と、各々の発光層上部に輸送層を設ける工程と、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成する工程と、前記ソース電極または陰極を光透過性金属層で形成する工程と、前記ドレイン電極または陽極を金属層で形成する工程とからなることを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置の製造方法。
【請求項３２】
前記陰極はスパッタにより形成され、前記陽極は蒸着にて形成されたことを特徴とする請求項３１に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置の製造方法。
【請求項３３】
前記ソース電極はスパッタにより形成され、前記ドレイン電極は蒸着にて形成されたことを特徴とする請求項３１に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置の製造方法。
【請求項１】
陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成したことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２】
陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中に複数のゲート電極を互いに千鳥形状に形成したことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項３】
発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項４】
発光層を３層以上備え、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値が陰極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項５】
前記エレクトロルミネセンス発光部は陰極と陽極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項６】
前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１、２，３、５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項７】
前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１、２，４、５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項８】
前記発光層は「Ａｌｑ３」を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項９】
前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１０】
前記発光層の組み合わせにより発光色が青色光、緑色光、赤色光であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１１】
前記発光層の組み合わせにより発光色が白色光であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１２】
前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより発光層の光量を調整したことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１３】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成したことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１４】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされたことを特徴とする請求項１３に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１５】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各発光層は発光性有機物質のエネルギーバンドギャップの値がソース電極側より順に大きくなるように発光性有機物質がドープされ、間にバンドギャップの一番小さい発光層を挟んだことを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１６】
前記エレクトロルミネセンス発光部はソース電極及びドレイン電極の間に電子輸送層、発光層１、輸送層１、発光層２、輸送層２、発光層３、輸送層３、ホール輸送層よりなることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１７】
前記発光層１を赤色、発光層２を緑色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１３,１４、１６のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１８】
前記発光層１を緑色、発光層２を赤色、発光層３を青色としたことを特徴とする請求項１３、１５、１６のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項１９】
前記発光層は「Ａｌｑ３」を含むことを特徴とする請求項１３乃至１８のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２０】
前記発光層が互いに異なる発光スペクトルを有することを特徴とする請求項１３乃至１８のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２１】
前記発光層の組み合わせにより発光色が青色光、緑色光、赤色光であることを特徴とする請求項１３乃至２０のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２２】
前記発光層の組み合わせにより発光色が白色光であることを特徴とする請求項１３乃至２１のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２３】
前記発光層に挟まれる輸送層の巾を変えることにより、発光層の光量を調整したことを特徴とする請求項１３乃至２２のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２４】
前記陰極またはソース電極を光透過性電極で形成したことを特徴とする請求項１乃至２３のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２５】
前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、金属電極で形成したことを特徴とする請求項１乃至２４のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス表駆動示装置。
【請求項２６】
前記陽極またはドレイン電極を表示部全面に形成し、保護層としたことを特徴とする請求項１乃至２５のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２７】
陰極と陽極両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を陰極側から取り出したことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２８】
基板上に、ソース電極及びドレイン電極、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、各々の発光層上部に輸送層を設け、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成し光を基板側から取り出したことを特徴とする請求項１３乃至２６のいずれか一つに記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項２９】
基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電圧を加えたことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項３０】
基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層から成るエレクトロルミネセンス発光部において、前記ソース電極または陰極と、前記ドレイン電極または陽極との間に、同一の駆動電流を加えたことを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置。
【請求項３１】
基板上に、ソース電極または陰極と、ドレイン電極または陽極と、両電極の間に挟持された複数の発光層を形成する工程と、各々の発光層上部に輸送層を設ける工程と、前記各々の輸送層の中にゲート電極を形成する工程と、前記ソース電極または陰極を光透過性金属層で形成する工程と、前記ドレイン電極または陽極を金属層で形成する工程とからなることを特徴とするエレクトロルミネセンス駆動表示装置の製造方法。
【請求項３２】
前記陰極はスパッタにより形成され、前記陽極は蒸着にて形成されたことを特徴とする請求項３１に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置の製造方法。
【請求項３３】
前記ソース電極はスパッタにより形成され、前記ドレイン電極は蒸着にて形成されたことを特徴とする請求項３１に記載のエレクトロルミネセンス駆動表示装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００６−１９６２３７（Ｐ２００６−１９６２３７Ａ）
【公開日】平成１８年７月２７日（２００６．７．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−４６６３（Ｐ２００５−４６６３）
【出願日】平成１７年１月１２日（２００５．１．１２）
【出願人】（０００００１８８９）三洋電機株式会社 (18,308)
【出願人】（０００２１４８９２）鳥取三洋電機株式会社 (1,582)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年７月２７日（２００６．７．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１月１２日（２００５．１．１２）
【出願人】（０００００１８８９）三洋電機株式会社 (18,308)
【出願人】（０００２１４８９２）鳥取三洋電機株式会社 (1,582)
【Ｆターム（参考）】
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