振動片、振動子、発振器、電子機器
【課題】二次モードを抑制した振動片を実現する。
【解決手段】振動片１０は、基部１１と、基部１１の基端部１１ａから延在された振動腕１２，１３と、振動腕１２，１３の第１主面１２ａ，１３ａに形成された溝部２１ａ，２２ａ、および第２主面に形成された溝部２１ｂ、２２ｂと、各溝部の内壁面に設けられた励振電極３０，３１，４０，４１と、を有し、振動腕１２，１３の基端部１１ａからの長さＬａに対する、各励振電極の基端部１１ａからの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａが、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２の範囲に設定されている。このようにすれば、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量Ｃ１に対して１％以下にすることができ、二次モードのインピーダンスを高めること、電気機械結合係数Ｋ2を低く抑えること、によって、二次モードの励振をほぼ除去することができる。
【解決手段】振動片１０は、基部１１と、基部１１の基端部１１ａから延在された振動腕１２，１３と、振動腕１２，１３の第１主面１２ａ，１３ａに形成された溝部２１ａ，２２ａ、および第２主面に形成された溝部２１ｂ、２２ｂと、各溝部の内壁面に設けられた励振電極３０，３１，４０，４１と、を有し、振動腕１２，１３の基端部１１ａからの長さＬａに対する、各励振電極の基端部１１ａからの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａが、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２の範囲に設定されている。このようにすれば、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量Ｃ１に対して１％以下にすることができ、二次モードのインピーダンスを高めること、電気機械結合係数Ｋ2を低く抑えること、によって、二次モードの励振をほぼ除去することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片と、この振動片を有する振動子、発振器、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉形振動子において、基本振動モードとして、屈曲一次モードを利用するもの、屈曲
二次モードを利用するもの、さらに高次モードを利用するものがある。特に屈曲二次モー
ドにおいて十分な励振を行えるようするために、２本の振動腕寄りの主面上で隣接する逆
極性の励振電極の境界を振動腕長手方向に対して斜めに形成し、かつ振動腕基部の主面上
の各励振電極間に補助電極を設け、有効な励振電極長を長くした振動子が知られている（
例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５９−２１８０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような特許文献１では、有効な励振電極長を長くしてＣＩ値を低減することによっ
て、屈曲二次モードの励振効率を高めることが可能となる。しかし、屈曲一次モードを基
本モードとする場合においては、例えば、屈曲二次モードのインピーダンスが低いと、同
じ二次モードでスプリアス発振を起こすことがあり、スプリアスとしての屈曲二次モード
は抑制されなければならない。屈曲二次モードの抑制には、振動腕の長さに対する励振電
極の長さを適切な関係にコントロールしなければならない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部の基端部から第１方向に延在
され、屈曲振動する振動腕と、前記振動腕の主面に設けられた励振電極と、を有し、前記
振動腕の屈曲振動の二次モードの等価直列容量を、一次モードの等価直列容量の１０％以
下にするように、前記振動腕の前記基端部から先端までの長さＬａに対する前記基端部か
ら前記励振電極の先端側の端部までの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａが設定されたこと、を特徴
とする。
【０００７】
本適用例によれば、振動腕の基端部からの長さＬａ（以降、単に振動腕長さＬａと表す
ことがある）に対する励振電極の基端部から先端部までの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａを、二
次モードの等価直列容量が、一次モードの等価直列容量の１０％以下になるように設定す
ることで、二次モードのインピーダンスを高めることと、二次モードの電気機械結合係数
Ｋ2も小さくすること、とによって二次モードの励振を抑制することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に係る振動片において、前記振動腕の前記主面には、前記第１
方向に溝部が設けられ、前記励振電極の少なくとも一部に、前記溝部内に設けられている
こと、が好ましい。
【０００９】
振動片の共振周波数は、振動腕の形状（長さ、幅、厚さ）に依存するが、振動腕に溝部
を設けることにより、同じ共振周波数であれば、振動片を小型化することができる。そし
て、Ｌｂ／Ｌａを上記条件に設定することで、二次モードの励振を抑制することができる
。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に係る振動片において、前記Ｌｂ／Ｌａが、０．２８≦Ｌｂ／
Ｌａ≦０．５２の範囲にあること、が好ましい。
【００１１】
振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２とするこ
とで、二次モードの等価直列容量を一次モードの等価直列容量に対して１０％以下に抑え
ることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に係る振動片において、前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３４≦Ｌｂ／
Ｌａ≦０．４６の範囲にあることが、さらに好ましい。
【００１３】
振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６とするこ
とで、二次モードの等価直列容量を一次モードの等価直列容量に対して５％以下にするこ
とができ、一次モードに対して、二次モードの励振をさらに抑制することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に係る振動片において、前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３８≦Ｌｂ／
Ｌａ≦０．４２の範囲にあることが、より一層好ましい。
【００１５】
振動腕長さＬａと励振長さＬｂの比を、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２とすることで
、二次モードの等価直列容量を一次モードの等価直列容量に対して１％以下にすることが
でき、一次モードに対して、二次モードの励振をほぼ除去することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例に係る振動子は、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、前記
振動片が格納されたパッケージと、を有することを特徴とする。
【００１７】
振動片は、例えば、セラミック等で形成されたパッケージ内に実装される。パッケージ
内は真空状態にあることが好ましく、真空環境で振動片が振動することで、より一層安定
した振動を長期間にわたって維持することができる。
また、振動片がパッケージに収納されることで、扱いやすいうえ、湿度など外部環境か
ら振動片を保護することができる。
【００１８】
［適用例７］本適用例に係る発振器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、前記
振動片と接続された発振回路と、を有することを特徴とする。
【００１９】
このようにすれば、スプリアスである二次モードの励振を抑制しつつ発振器の小型化を
実現できる。
【００２０】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を有す
る、ことを特徴とする。
【００２１】
上記の振動片を用いることにより、二次モードの励振を抑制できることから、基本モー
ドである一次モードの安定化を実現できる。従って、タイミングデバイス等として、デジ
タル携帯電話、パーソナルコンピューター、電子時計、ビデオレコーダー、テレビなどの
電子機器に広く用いることができる。そして、振動片をパッケージ化した振動子や、発振
器も安定した正確な振動が可能であり、搭載される電子機器の品質向上に貢献することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】振動片を模式的に表し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示す断面図、（ｃ）は電極構成および結線を示す説明図。
【図２】振動片の等価回路。
【図３】周波数‐インピーダンス特性。
【図４】Ｌｂ／Ｌａと等価直列容量の関係を示すグラフであり、（ａ）は溝部の深さｔ１＝５μｍ、（ｂ）はｔ１＝３５μｍ、（ｃ）はｔ１＝４５μｍの場合。
【図５】Ｌｂ／Ｌａと電気機械結合係数Ｋ2の関係を示すグラフ。
【図６】振動子の概略構成を示す断面図。
【図７】発振器の構成例を示す説明図。
【図８】電子機器の一例として示す携帯電話機の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
（振動片）
【００２４】
図１は、振動片を模式的に表し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示
す断面図、（ｃ）は電極構成および結線を示す説明図である。なお、振動片１０は、Ｘ軸
と、Ｘ軸に対して垂直なＹ軸で構成される平面に展開されており、Ｚ軸は厚さを表す。ま
た、振動片１０の材質は特に限定されないが、水晶や、水晶以外の圧電材料、または、そ
れ以外の材料であってもよく、本実施例では、水晶振動片を例示しており、Ｘ軸が電気軸
、Ｙ軸が機械軸、Ｚ軸が光軸となるように、水晶の単結晶から切り出されたＺ板であって
、音叉形水晶振動片である。
【００２５】
振動片１０は、基部１１と、基部１１の基端部１１ａから第１方向としてのＹ軸方向に
互いに平行に延在された２本の振動腕１２，１３と、基部１１のＸ軸方向両側に突設され
た支持腕部１４，１５とから構成されている。なお、基端部１１ａからの振動腕１２，１
３の長さをＬａとする。
【００２６】
振動腕１２，１３それぞれの第１主面１２ａ，１３ａと、第１主面１２ａ，１３ａに向
かい合う第２主面１２ｂ，１３ｂと、には、基端部１１ａから振動腕先端方向に向かって
溝部２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂが形成されている。また、第１主面１２ａ，１３ａ
からの溝部２１ａ，２２ａの深さと、第２主面１２ｂ，１３ｂからの溝部２１ｂ，２２ｂ
の深さを共にｔ１とする。
【００２７】
図１（ａ），（ｃ）に示すように、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂそれぞれの内
壁面には、励振電極３０，３１，４０，４１が設けられており、基端部１１ａからの各励
振電極の長さをＬｂとする。本実施形態では、溝部２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂの基
端部１１ａからの長さと励振電極の長さＬｂを同じにしている。なお、溝部長さと励振電
極長さとが一致しなくてもよい。
【００２８】
続いて、振動片１０の電極構成を図１（ａ），（ｃ）を参照して説明する。励振電極３
０は、溝部２１ａの内壁面に形成されており、リード電極３４を経由して支持腕部１５の
上面端部に設けられる接続電極３５に接続されている。リード電極３４は基部１１上で分
岐されて振動腕１３の側面に形成された側面電極３３，３２を介して、振動腕１２の第２
主面１２ｂに延長されて溝部２１ｂの内壁面に設けられる励振電極３１に接続されている
。励振電極３１は、第１主面１２ａに対して励振電極３０と面対称である。なお、励振電
極３１に接続されるリード電極（図示せず）および接続電極３６もそれぞれ、リード電極
３４と接続電極３５に対して面対称である。
【００２９】
励振電極４０は、溝部２２ａの内壁面に形成されており、リード電極４４を経由して支
持腕部１４の上面端部に設けられる接続電極４５に接続されている。リード電極４４は基
部１１上から振動腕１２の側面に形成された側面電極４２，４３を介して、振動腕１２の
第２主面１２ｂに延長されて溝部２２ｂの内壁面に設けられる励振電極４１に接続されて
いる。励振電極４１は、第１主面１３ａに対して励振電極４０と面対称である。なお、励
振電極４１に接続されるリード電極（図示せず）および接続電極４６もそれぞれ、リード
電極４４と接続電極４５に対して面対称である。
【００３０】
図１（ｃ）に示すように、振動腕１２に設けられる励振電極３０，３１は、側面電極３
２，３３を介して接続電極３５，３６に接続されている。一方、振動腕１３の励振電極４
０，４１は、側面電極４２，４３を介して接続電極４５，４６に接続されている。ここで
、励振電極３０，３１と、励振電極４０，４１と、に逆極性となる交流電圧を印加すると
、振動腕１２，１３は、基端部１１ａ付近を振動の節としてＸ軸方向に屈曲振動する。
【００３１】
振動片１０の基本振動モードは一次モードの屈曲振動であるが、二次モードの屈曲振動
が含まれ、発振回路を構成したときに二次モードでスプリアス発振を起こす場合がある。
従って、基本モード（一次モード）の励振を安定的に行わせるためには、二次モードの屈
曲振動の励振を抑制することが求められる。
そのことについて振動片１０の等価回路を参照して説明する。
【００３２】
図２は、本実施例に係る振動片の等価回路を示している。ここで、Ｃｄは並列容量、Ｌ
１は等価直列インダクタンス、Ｃ１は等価直列容量、Ｒ１は等価直列抵抗であって、等価
直列インダクタンスＬ１と、等価直列容量Ｃ１と、等価直列抵抗Ｒ１は、一次モードの等
価直列成分５１である。同様に、Ｌ２は等価直列インダクタンス、Ｃ２は等価直列容量、
Ｒ２は等価直列抵抗であって、等価直列インダクタンスＬ２と、等価直列容量Ｃ２と、等
価直列抵抗Ｒ２は、二次モードの等価直列成分５２である。なお、図示しないが、三次以
上の高次モードにおける等価直列成分も同様に表すことが可能である。
【００３３】
二次モードにおけるインピーダンスが低いと、発振回路を構成したときに二次モードで
スプリアス発振を起こす場合がある。そこで、周波数とインピーダンスの関係について説
明する。
図３は、屈曲振動を行わせる場合の周波数‐インピーダンス特性を模式的に示している
。図３に示すように周波数（ｆ）が高くなるに従いインピーダンスは低下する傾向を示す
。一次モードの周波数帯において、一次モードのインピーダンスの極値、二次モードの周
波数帯において二次モードのインピーダンスの極値が存在する。それぞれのモードにおい
て、インピーダンスが低いと励振しやすくなることから二次モードのインピーダンスを高
めておくことで、二次モードの励振を抑制できる。なお、インピーダンス特性は、等価直
列容量Ｃ１，Ｃ２に依存する。よって、強く励振させたい一次モードの等価直列容量Ｃ１
に対して、励振を抑制したい二次モードの等価直列容量Ｃ２を小さくすればよい。
そして、等価直列容量Ｃ１，Ｃ２は、振動腕長さＬａに対する励振電極長さＬｂの比（
Ｌｂ／Ｌａ）に依存する。このことについてシミュレーション結果を参照して説明する。
【００３４】
図４は、Ｌｂ／Ｌａと等価直列容量の関係を示すグラフである。（ａ）は溝部の深さｔ
１＝５μｍ、（ｂ）はｔ１＝３５μｍ、（ｃ）はｔ１＝４５μｍの場合を表している。縦
軸に等価直列容量（Ｆ）、横軸にＬｂ／Ｌａを表し、一次モードの等価直列容量Ｃ１と、
二次モードの等価直列容量Ｃ２とを比較している。なお、振動腕１２，１３の長さＬａを
１６００μｍ、振動腕の幅Ｗを１１５μ、振動腕の厚さｔを１００μｍとしてシミュレー
ションした。
図４（ａ），（ｂ），（ｃ）を俯瞰すると、一次モードの等価直列容量Ｃ１は、Ｌｂ／
Ｌａが大きくなっても若干の上昇傾向を示すが、ほぼフラットである。また、Ｌｂ／Ｌａ
が０．４の付近で二次モードの等価直列容量Ｃ２には最小値があることを示している。
【００３５】
そこで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を、一次モードの等価直列容量Ｃ１の１０％以
下にすれば、二次モードのインピーダンスを一次モードのインピーダンスよりも高くする
ことができることが推察できる。
これをＬｂ／Ｌａを変化させることで検証する。
（１）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２と
することで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量に対して１０％
以下に抑えることができる。
（２）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６と
することで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量Ｃ１に対して５
％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をさらに抑制すること
ができる。
（３）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２と
することで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量Ｃ１に対して１
％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をほぼ除去することが
できる。溝部の深さｔ１が０．４５μｍの場合には、二次モードの等価直列容量Ｃ２を０
．１％以下と極めて小さくできる。
【００３６】
続いて、振動片１０の励振しやすさの目安である電気機械結合係数Ｋ2について説明す
る。
図５は、Ｌｂ／Ｌａと電気機械結合係数Ｋ2の関係を示すグラフである。（ａ）は溝部
深さｔ１＝５μｍ、（ｂ）はｔ１＝３５μｍ、（ｃ）はｔ１＝４５μｍの場合を表してい
る。縦軸に電気機械結合係数Ｋ2（％）、横軸にＬｂ／Ｌａを表し、一次モードの電気機
械結合係数Ｋ12と、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22とを比較している。図５（ａ），
（ｂ），（ｃ）を俯瞰すると、一次モードにおける電気機械結合係数Ｋ12は、Ｌｂ／Ｌａ
の変化に対してほぼフラットであって、二次モードにおける電気機械結合係数Ｋ22は、図
４で示した等価直列容量の変化と同様に、Ｌｂ／Ｌａが０．４の付近で最小の極値がある
ことを示している。つまり、励振しにくい領域があることを示している。
【００３７】
そこで、電気機械結合係数Ｋ2を、Ｌｂ／Ｌａの変化させることで検証する。
（１）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２と
することで、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を一次モードの電気機械結合係数Ｋ12に
対して１％以下に抑えることができる。
（２）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６と
することで、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を一次モードの電気機械結合係数Ｋ12に
対して０．５％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をさらに
抑制することができる。
（３）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２と
することで、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を一次モードの電気機械結合係数Ｋ12に
対して０．１％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をほぼ除
去することができる。溝部の深さｔ１が０．４５μｍの場合には、ほとんど無視できるほ
どに二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を小さくできることが分かる。
【００３８】
以上説明した実施例によれば、基端部１１ａからの振動腕１２，１３の長さＬａに対す
る基端部１１ａからの励振電極３０，３１，４０，４１の長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａ＝０．
４±０．０２の範囲に設定すれば、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直
列容量Ｃ１よりも０．１％以下に小さくできる。このことによって、二次モードのインピ
ーダンスを高くでき、また、電気機械結合係数Ｋ22も小さくすることが可能で、二次モー
ドの励振を抑制することができ、基本モードである一次モードを安定して屈曲振動させる
ことを可能にする。
【００３９】
なお、本実施形態では、振動片１０に溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを形成した
場合を説明したが、溝部がない場合でも、励振電極長さＬｂと振動腕長さＬａの比を、上
述した条件に設定すればよい。
また、溝部長さと励振電極長さとは同じ長さでなくてもよい。
（振動子）
【００４０】
続いて、前述した振動片１０を用いた振動子の１例について図面を参照して説明する。
図６は、振動子の概略構成を示す断面図である。振動子１００は、前述した振動片１０
と、この振動片１０を収容するパッケージベース１０１、及びパッケージベース１０１の
開口部を封止するリッド１０２とを主な構成要素としている。
【００４１】
パッケージベース１０１は、セラミックグリーンシート等を積層して焼成した箱体であ
り、凹状に形成されたキャビティ内部には、振動片１０を実装するための台座１０３と内
部実装電極１０６，１０７が形成されている。内部実装電極１０６は、振動片１０の接続
電極３６と電気的に接続され、内部実装電極１０７は、振動片１０の接続電極４６と電気
的に接続されている。パッケージベース１０１の外部底面には、外部実装端子１０４，１
０５が形成されている。外部実装端子１０４，１０５は、図示しないスルーホール等を介
して内部実装電極１０６、または内部実装電極１０７と電気的に接続されている。
【００４２】
リッド１０２は、本実施形態の場合には平板状であって、金属またはガラスが採用され
ることが多い。いずれの材質を採用する場合であっても、線膨張係数がパッケージベース
１０１と近似したものを採用することが望ましい。
【００４３】
振動片１０を収容するパッケージとしてのパッケージベース１０１の開口部を封止する
際、リッド１０２は接合材（図示せず）を介して接合される。接合材は、リッド１０２を
構成する材質により異なる。例えばリッド１０２が金属であった場合、接合材には低融点
金属で構成されたシールリングを用いる。一方、リッド１０２がガラスであった場合、接
合部材には低融点ガラスを採用することが好ましい。
【００４４】
パッケージベース１０１とリッド１０２で構成される空間は、減圧状態または真空状態
を保持できるように気密封止されている。
【００４５】
このように構成される振動子１００は、外部実装端子１０４，１０５を介した外部から
の駆動信号により振動片１０が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振す
る。
【００４６】
振動片１０は、パッケージ内に収納され、パッケージ内において、真空環境で振動され
ることで、より一層安定した振動を長期間にわたって維持することができる。また、パッ
ケージ内に収納されることで、扱いやすいうえ、湿度など外部環境から振動片１０を保護
することができる。
（発振器）
【００４７】
次に、前述した振動片１０を含んで構成される発振器について図面を参照して説明する
。
図７は、発振器の構成例を示す説明図である。発振器２００は、振動片１０と、この振
動片１０と並列に接続された発振回路２０１（例えば、インバーター）と、を含む。発振
回路２０１の一方端が前述した接続電極３６と接続され、他方端が前述した接続電極４６
と接続される。また、図示するように、振動片１０と発振回路２０１との一方の接続点と
接地端との間に接続された容量素子（コンデンサー）２０２と、振動片１０と発振回路２
０１との他方の接続点と接地端との間に接続された容量素子（コンデンサー）２０３と、
を更に備えてもよい。
【００４８】
以上に説明した発振器２００は、従来と同等の性能を保ちつつ小型化された発振器を提
供することが可能となる。また、振動片１０のＬｂ／Ｌａを前述したような適切な範囲に
設定することで、二次モードのインピーダンスを高くし、二次モードの励振を抑制し、基
本モードである一次モードの励振を安定させることができ、信頼性の高い発振器を実現で
きる。
（電子機器）
【００４９】
次に、前述した発振器２００を適用した電子機器について説明する。
図８は、電子機器の一例として示す携帯電話機の斜視図である。携帯電話機１０００は
表示部１００１と、複数の操作ボタン１００２と、受話口１００３と、送話口１００４と
を備え、内部回路構成要素のタイミングデバイスなどとして上述した振動子１００または
発振器２００を備えて構成されている。従って、前述したような振動子１００または発振
器２００を備えた信頼性の高い携帯電話機１０００を実現できる。
【００５０】
なお、本発明を適用した電子機器としては、上述したような携帯電話機１０００に限ら
ず、例えば、電子ブック、パーソナルコンピューター、ディジタルスチルカメラ、液晶テ
レビ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓
、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末などを挙げること
ができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０…振動片、１１…基部、１１ａ…基部の基端部、１２，１３…振動腕、２１ａ，２
１ｂ，２２ａ，２２ｂ…溝部、３０，３１，４０，４１…励振電極。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片と、この振動片を有する振動子、発振器、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉形振動子において、基本振動モードとして、屈曲一次モードを利用するもの、屈曲
二次モードを利用するもの、さらに高次モードを利用するものがある。特に屈曲二次モー
ドにおいて十分な励振を行えるようするために、２本の振動腕寄りの主面上で隣接する逆
極性の励振電極の境界を振動腕長手方向に対して斜めに形成し、かつ振動腕基部の主面上
の各励振電極間に補助電極を設け、有効な励振電極長を長くした振動子が知られている（
例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５９−２１８０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような特許文献１では、有効な励振電極長を長くしてＣＩ値を低減することによっ
て、屈曲二次モードの励振効率を高めることが可能となる。しかし、屈曲一次モードを基
本モードとする場合においては、例えば、屈曲二次モードのインピーダンスが低いと、同
じ二次モードでスプリアス発振を起こすことがあり、スプリアスとしての屈曲二次モード
は抑制されなければならない。屈曲二次モードの抑制には、振動腕の長さに対する励振電
極の長さを適切な関係にコントロールしなければならない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部の基端部から第１方向に延在
され、屈曲振動する振動腕と、前記振動腕の主面に設けられた励振電極と、を有し、前記
振動腕の屈曲振動の二次モードの等価直列容量を、一次モードの等価直列容量の１０％以
下にするように、前記振動腕の前記基端部から先端までの長さＬａに対する前記基端部か
ら前記励振電極の先端側の端部までの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａが設定されたこと、を特徴
とする。
【０００７】
本適用例によれば、振動腕の基端部からの長さＬａ（以降、単に振動腕長さＬａと表す
ことがある）に対する励振電極の基端部から先端部までの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａを、二
次モードの等価直列容量が、一次モードの等価直列容量の１０％以下になるように設定す
ることで、二次モードのインピーダンスを高めることと、二次モードの電気機械結合係数
Ｋ2も小さくすること、とによって二次モードの励振を抑制することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に係る振動片において、前記振動腕の前記主面には、前記第１
方向に溝部が設けられ、前記励振電極の少なくとも一部に、前記溝部内に設けられている
こと、が好ましい。
【０００９】
振動片の共振周波数は、振動腕の形状（長さ、幅、厚さ）に依存するが、振動腕に溝部
を設けることにより、同じ共振周波数であれば、振動片を小型化することができる。そし
て、Ｌｂ／Ｌａを上記条件に設定することで、二次モードの励振を抑制することができる
。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に係る振動片において、前記Ｌｂ／Ｌａが、０．２８≦Ｌｂ／
Ｌａ≦０．５２の範囲にあること、が好ましい。
【００１１】
振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２とするこ
とで、二次モードの等価直列容量を一次モードの等価直列容量に対して１０％以下に抑え
ることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に係る振動片において、前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３４≦Ｌｂ／
Ｌａ≦０．４６の範囲にあることが、さらに好ましい。
【００１３】
振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６とするこ
とで、二次モードの等価直列容量を一次モードの等価直列容量に対して５％以下にするこ
とができ、一次モードに対して、二次モードの励振をさらに抑制することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に係る振動片において、前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３８≦Ｌｂ／
Ｌａ≦０．４２の範囲にあることが、より一層好ましい。
【００１５】
振動腕長さＬａと励振長さＬｂの比を、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２とすることで
、二次モードの等価直列容量を一次モードの等価直列容量に対して１％以下にすることが
でき、一次モードに対して、二次モードの励振をほぼ除去することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例に係る振動子は、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、前記
振動片が格納されたパッケージと、を有することを特徴とする。
【００１７】
振動片は、例えば、セラミック等で形成されたパッケージ内に実装される。パッケージ
内は真空状態にあることが好ましく、真空環境で振動片が振動することで、より一層安定
した振動を長期間にわたって維持することができる。
また、振動片がパッケージに収納されることで、扱いやすいうえ、湿度など外部環境か
ら振動片を保護することができる。
【００１８】
［適用例７］本適用例に係る発振器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、前記
振動片と接続された発振回路と、を有することを特徴とする。
【００１９】
このようにすれば、スプリアスである二次モードの励振を抑制しつつ発振器の小型化を
実現できる。
【００２０】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を有す
る、ことを特徴とする。
【００２１】
上記の振動片を用いることにより、二次モードの励振を抑制できることから、基本モー
ドである一次モードの安定化を実現できる。従って、タイミングデバイス等として、デジ
タル携帯電話、パーソナルコンピューター、電子時計、ビデオレコーダー、テレビなどの
電子機器に広く用いることができる。そして、振動片をパッケージ化した振動子や、発振
器も安定した正確な振動が可能であり、搭載される電子機器の品質向上に貢献することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】振動片を模式的に表し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示す断面図、（ｃ）は電極構成および結線を示す説明図。
【図２】振動片の等価回路。
【図３】周波数‐インピーダンス特性。
【図４】Ｌｂ／Ｌａと等価直列容量の関係を示すグラフであり、（ａ）は溝部の深さｔ１＝５μｍ、（ｂ）はｔ１＝３５μｍ、（ｃ）はｔ１＝４５μｍの場合。
【図５】Ｌｂ／Ｌａと電気機械結合係数Ｋ2の関係を示すグラフ。
【図６】振動子の概略構成を示す断面図。
【図７】発振器の構成例を示す説明図。
【図８】電子機器の一例として示す携帯電話機の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
（振動片）
【００２４】
図１は、振動片を模式的に表し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示
す断面図、（ｃ）は電極構成および結線を示す説明図である。なお、振動片１０は、Ｘ軸
と、Ｘ軸に対して垂直なＹ軸で構成される平面に展開されており、Ｚ軸は厚さを表す。ま
た、振動片１０の材質は特に限定されないが、水晶や、水晶以外の圧電材料、または、そ
れ以外の材料であってもよく、本実施例では、水晶振動片を例示しており、Ｘ軸が電気軸
、Ｙ軸が機械軸、Ｚ軸が光軸となるように、水晶の単結晶から切り出されたＺ板であって
、音叉形水晶振動片である。
【００２５】
振動片１０は、基部１１と、基部１１の基端部１１ａから第１方向としてのＹ軸方向に
互いに平行に延在された２本の振動腕１２，１３と、基部１１のＸ軸方向両側に突設され
た支持腕部１４，１５とから構成されている。なお、基端部１１ａからの振動腕１２，１
３の長さをＬａとする。
【００２６】
振動腕１２，１３それぞれの第１主面１２ａ，１３ａと、第１主面１２ａ，１３ａに向
かい合う第２主面１２ｂ，１３ｂと、には、基端部１１ａから振動腕先端方向に向かって
溝部２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂが形成されている。また、第１主面１２ａ，１３ａ
からの溝部２１ａ，２２ａの深さと、第２主面１２ｂ，１３ｂからの溝部２１ｂ，２２ｂ
の深さを共にｔ１とする。
【００２７】
図１（ａ），（ｃ）に示すように、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂそれぞれの内
壁面には、励振電極３０，３１，４０，４１が設けられており、基端部１１ａからの各励
振電極の長さをＬｂとする。本実施形態では、溝部２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂの基
端部１１ａからの長さと励振電極の長さＬｂを同じにしている。なお、溝部長さと励振電
極長さとが一致しなくてもよい。
【００２８】
続いて、振動片１０の電極構成を図１（ａ），（ｃ）を参照して説明する。励振電極３
０は、溝部２１ａの内壁面に形成されており、リード電極３４を経由して支持腕部１５の
上面端部に設けられる接続電極３５に接続されている。リード電極３４は基部１１上で分
岐されて振動腕１３の側面に形成された側面電極３３，３２を介して、振動腕１２の第２
主面１２ｂに延長されて溝部２１ｂの内壁面に設けられる励振電極３１に接続されている
。励振電極３１は、第１主面１２ａに対して励振電極３０と面対称である。なお、励振電
極３１に接続されるリード電極（図示せず）および接続電極３６もそれぞれ、リード電極
３４と接続電極３５に対して面対称である。
【００２９】
励振電極４０は、溝部２２ａの内壁面に形成されており、リード電極４４を経由して支
持腕部１４の上面端部に設けられる接続電極４５に接続されている。リード電極４４は基
部１１上から振動腕１２の側面に形成された側面電極４２，４３を介して、振動腕１２の
第２主面１２ｂに延長されて溝部２２ｂの内壁面に設けられる励振電極４１に接続されて
いる。励振電極４１は、第１主面１３ａに対して励振電極４０と面対称である。なお、励
振電極４１に接続されるリード電極（図示せず）および接続電極４６もそれぞれ、リード
電極４４と接続電極４５に対して面対称である。
【００３０】
図１（ｃ）に示すように、振動腕１２に設けられる励振電極３０，３１は、側面電極３
２，３３を介して接続電極３５，３６に接続されている。一方、振動腕１３の励振電極４
０，４１は、側面電極４２，４３を介して接続電極４５，４６に接続されている。ここで
、励振電極３０，３１と、励振電極４０，４１と、に逆極性となる交流電圧を印加すると
、振動腕１２，１３は、基端部１１ａ付近を振動の節としてＸ軸方向に屈曲振動する。
【００３１】
振動片１０の基本振動モードは一次モードの屈曲振動であるが、二次モードの屈曲振動
が含まれ、発振回路を構成したときに二次モードでスプリアス発振を起こす場合がある。
従って、基本モード（一次モード）の励振を安定的に行わせるためには、二次モードの屈
曲振動の励振を抑制することが求められる。
そのことについて振動片１０の等価回路を参照して説明する。
【００３２】
図２は、本実施例に係る振動片の等価回路を示している。ここで、Ｃｄは並列容量、Ｌ
１は等価直列インダクタンス、Ｃ１は等価直列容量、Ｒ１は等価直列抵抗であって、等価
直列インダクタンスＬ１と、等価直列容量Ｃ１と、等価直列抵抗Ｒ１は、一次モードの等
価直列成分５１である。同様に、Ｌ２は等価直列インダクタンス、Ｃ２は等価直列容量、
Ｒ２は等価直列抵抗であって、等価直列インダクタンスＬ２と、等価直列容量Ｃ２と、等
価直列抵抗Ｒ２は、二次モードの等価直列成分５２である。なお、図示しないが、三次以
上の高次モードにおける等価直列成分も同様に表すことが可能である。
【００３３】
二次モードにおけるインピーダンスが低いと、発振回路を構成したときに二次モードで
スプリアス発振を起こす場合がある。そこで、周波数とインピーダンスの関係について説
明する。
図３は、屈曲振動を行わせる場合の周波数‐インピーダンス特性を模式的に示している
。図３に示すように周波数（ｆ）が高くなるに従いインピーダンスは低下する傾向を示す
。一次モードの周波数帯において、一次モードのインピーダンスの極値、二次モードの周
波数帯において二次モードのインピーダンスの極値が存在する。それぞれのモードにおい
て、インピーダンスが低いと励振しやすくなることから二次モードのインピーダンスを高
めておくことで、二次モードの励振を抑制できる。なお、インピーダンス特性は、等価直
列容量Ｃ１，Ｃ２に依存する。よって、強く励振させたい一次モードの等価直列容量Ｃ１
に対して、励振を抑制したい二次モードの等価直列容量Ｃ２を小さくすればよい。
そして、等価直列容量Ｃ１，Ｃ２は、振動腕長さＬａに対する励振電極長さＬｂの比（
Ｌｂ／Ｌａ）に依存する。このことについてシミュレーション結果を参照して説明する。
【００３４】
図４は、Ｌｂ／Ｌａと等価直列容量の関係を示すグラフである。（ａ）は溝部の深さｔ
１＝５μｍ、（ｂ）はｔ１＝３５μｍ、（ｃ）はｔ１＝４５μｍの場合を表している。縦
軸に等価直列容量（Ｆ）、横軸にＬｂ／Ｌａを表し、一次モードの等価直列容量Ｃ１と、
二次モードの等価直列容量Ｃ２とを比較している。なお、振動腕１２，１３の長さＬａを
１６００μｍ、振動腕の幅Ｗを１１５μ、振動腕の厚さｔを１００μｍとしてシミュレー
ションした。
図４（ａ），（ｂ），（ｃ）を俯瞰すると、一次モードの等価直列容量Ｃ１は、Ｌｂ／
Ｌａが大きくなっても若干の上昇傾向を示すが、ほぼフラットである。また、Ｌｂ／Ｌａ
が０．４の付近で二次モードの等価直列容量Ｃ２には最小値があることを示している。
【００３５】
そこで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を、一次モードの等価直列容量Ｃ１の１０％以
下にすれば、二次モードのインピーダンスを一次モードのインピーダンスよりも高くする
ことができることが推察できる。
これをＬｂ／Ｌａを変化させることで検証する。
（１）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２と
することで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量に対して１０％
以下に抑えることができる。
（２）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６と
することで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量Ｃ１に対して５
％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をさらに抑制すること
ができる。
（３）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２と
することで、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直列容量Ｃ１に対して１
％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をほぼ除去することが
できる。溝部の深さｔ１が０．４５μｍの場合には、二次モードの等価直列容量Ｃ２を０
．１％以下と極めて小さくできる。
【００３６】
続いて、振動片１０の励振しやすさの目安である電気機械結合係数Ｋ2について説明す
る。
図５は、Ｌｂ／Ｌａと電気機械結合係数Ｋ2の関係を示すグラフである。（ａ）は溝部
深さｔ１＝５μｍ、（ｂ）はｔ１＝３５μｍ、（ｃ）はｔ１＝４５μｍの場合を表してい
る。縦軸に電気機械結合係数Ｋ2（％）、横軸にＬｂ／Ｌａを表し、一次モードの電気機
械結合係数Ｋ12と、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22とを比較している。図５（ａ），
（ｂ），（ｃ）を俯瞰すると、一次モードにおける電気機械結合係数Ｋ12は、Ｌｂ／Ｌａ
の変化に対してほぼフラットであって、二次モードにおける電気機械結合係数Ｋ22は、図
４で示した等価直列容量の変化と同様に、Ｌｂ／Ｌａが０．４の付近で最小の極値がある
ことを示している。つまり、励振しにくい領域があることを示している。
【００３７】
そこで、電気機械結合係数Ｋ2を、Ｌｂ／Ｌａの変化させることで検証する。
（１）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２と
することで、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を一次モードの電気機械結合係数Ｋ12に
対して１％以下に抑えることができる。
（２）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６と
することで、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を一次モードの電気機械結合係数Ｋ12に
対して０．５％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をさらに
抑制することができる。
（３）振動腕長さＬａと励振電極長さＬｂの比を、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２と
することで、二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を一次モードの電気機械結合係数Ｋ12に
対して０．１％以下にすることができ、一次モードに対して、二次モードの励振をほぼ除
去することができる。溝部の深さｔ１が０．４５μｍの場合には、ほとんど無視できるほ
どに二次モードの電気機械結合係数Ｋ22を小さくできることが分かる。
【００３８】
以上説明した実施例によれば、基端部１１ａからの振動腕１２，１３の長さＬａに対す
る基端部１１ａからの励振電極３０，３１，４０，４１の長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａ＝０．
４±０．０２の範囲に設定すれば、二次モードの等価直列容量Ｃ２を一次モードの等価直
列容量Ｃ１よりも０．１％以下に小さくできる。このことによって、二次モードのインピ
ーダンスを高くでき、また、電気機械結合係数Ｋ22も小さくすることが可能で、二次モー
ドの励振を抑制することができ、基本モードである一次モードを安定して屈曲振動させる
ことを可能にする。
【００３９】
なお、本実施形態では、振動片１０に溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを形成した
場合を説明したが、溝部がない場合でも、励振電極長さＬｂと振動腕長さＬａの比を、上
述した条件に設定すればよい。
また、溝部長さと励振電極長さとは同じ長さでなくてもよい。
（振動子）
【００４０】
続いて、前述した振動片１０を用いた振動子の１例について図面を参照して説明する。
図６は、振動子の概略構成を示す断面図である。振動子１００は、前述した振動片１０
と、この振動片１０を収容するパッケージベース１０１、及びパッケージベース１０１の
開口部を封止するリッド１０２とを主な構成要素としている。
【００４１】
パッケージベース１０１は、セラミックグリーンシート等を積層して焼成した箱体であ
り、凹状に形成されたキャビティ内部には、振動片１０を実装するための台座１０３と内
部実装電極１０６，１０７が形成されている。内部実装電極１０６は、振動片１０の接続
電極３６と電気的に接続され、内部実装電極１０７は、振動片１０の接続電極４６と電気
的に接続されている。パッケージベース１０１の外部底面には、外部実装端子１０４，１
０５が形成されている。外部実装端子１０４，１０５は、図示しないスルーホール等を介
して内部実装電極１０６、または内部実装電極１０７と電気的に接続されている。
【００４２】
リッド１０２は、本実施形態の場合には平板状であって、金属またはガラスが採用され
ることが多い。いずれの材質を採用する場合であっても、線膨張係数がパッケージベース
１０１と近似したものを採用することが望ましい。
【００４３】
振動片１０を収容するパッケージとしてのパッケージベース１０１の開口部を封止する
際、リッド１０２は接合材（図示せず）を介して接合される。接合材は、リッド１０２を
構成する材質により異なる。例えばリッド１０２が金属であった場合、接合材には低融点
金属で構成されたシールリングを用いる。一方、リッド１０２がガラスであった場合、接
合部材には低融点ガラスを採用することが好ましい。
【００４４】
パッケージベース１０１とリッド１０２で構成される空間は、減圧状態または真空状態
を保持できるように気密封止されている。
【００４５】
このように構成される振動子１００は、外部実装端子１０４，１０５を介した外部から
の駆動信号により振動片１０が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振す
る。
【００４６】
振動片１０は、パッケージ内に収納され、パッケージ内において、真空環境で振動され
ることで、より一層安定した振動を長期間にわたって維持することができる。また、パッ
ケージ内に収納されることで、扱いやすいうえ、湿度など外部環境から振動片１０を保護
することができる。
（発振器）
【００４７】
次に、前述した振動片１０を含んで構成される発振器について図面を参照して説明する
。
図７は、発振器の構成例を示す説明図である。発振器２００は、振動片１０と、この振
動片１０と並列に接続された発振回路２０１（例えば、インバーター）と、を含む。発振
回路２０１の一方端が前述した接続電極３６と接続され、他方端が前述した接続電極４６
と接続される。また、図示するように、振動片１０と発振回路２０１との一方の接続点と
接地端との間に接続された容量素子（コンデンサー）２０２と、振動片１０と発振回路２
０１との他方の接続点と接地端との間に接続された容量素子（コンデンサー）２０３と、
を更に備えてもよい。
【００４８】
以上に説明した発振器２００は、従来と同等の性能を保ちつつ小型化された発振器を提
供することが可能となる。また、振動片１０のＬｂ／Ｌａを前述したような適切な範囲に
設定することで、二次モードのインピーダンスを高くし、二次モードの励振を抑制し、基
本モードである一次モードの励振を安定させることができ、信頼性の高い発振器を実現で
きる。
（電子機器）
【００４９】
次に、前述した発振器２００を適用した電子機器について説明する。
図８は、電子機器の一例として示す携帯電話機の斜視図である。携帯電話機１０００は
表示部１００１と、複数の操作ボタン１００２と、受話口１００３と、送話口１００４と
を備え、内部回路構成要素のタイミングデバイスなどとして上述した振動子１００または
発振器２００を備えて構成されている。従って、前述したような振動子１００または発振
器２００を備えた信頼性の高い携帯電話機１０００を実現できる。
【００５０】
なお、本発明を適用した電子機器としては、上述したような携帯電話機１０００に限ら
ず、例えば、電子ブック、パーソナルコンピューター、ディジタルスチルカメラ、液晶テ
レビ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓
、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末などを挙げること
ができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０…振動片、１１…基部、１１ａ…基部の基端部、１２，１３…振動腕、２１ａ，２
１ｂ，２２ａ，２２ｂ…溝部、３０，３１，４０，４１…励振電極。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部の基端部から第１方向に延在され、屈曲振動する振動腕と、
前記振動腕の主面に設けられた励振電極と、を有し、
前記振動腕の屈曲振動の二次モードの等価直列容量を、一次モードの等価直列容量の１
０％以下にするように、前記振動腕の前記基端部から先端までの長さＬａに対する前記基
端部から前記励振電極の先端側の端部までの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａが設定されたこと、
を特徴とする振動片。
【請求項２】
前記振動腕の前記主面には、前記第１方向に溝部が設けられ、
前記励振電極の少なくとも一部に、前記溝部内に設けられていること、を特徴とする請
求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記Ｌｂ／Ｌａが、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２の範囲にあること、
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項４】
前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６の範囲にあること、
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項５】
前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２の範囲にあること、
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が格納されたパッケージと、
を有することを特徴とする振動子。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片と接続された発振回路と、
を有することを特徴とする発振器。
【請求項８】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片を有する、
ことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
基部と、
前記基部の基端部から第１方向に延在され、屈曲振動する振動腕と、
前記振動腕の主面に設けられた励振電極と、を有し、
前記振動腕の屈曲振動の二次モードの等価直列容量を、一次モードの等価直列容量の１
０％以下にするように、前記振動腕の前記基端部から先端までの長さＬａに対する前記基
端部から前記励振電極の先端側の端部までの長さＬｂの比Ｌｂ／Ｌａが設定されたこと、
を特徴とする振動片。
【請求項２】
前記振動腕の前記主面には、前記第１方向に溝部が設けられ、
前記励振電極の少なくとも一部に、前記溝部内に設けられていること、を特徴とする請
求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記Ｌｂ／Ｌａが、０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２の範囲にあること、
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項４】
前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６の範囲にあること、
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項５】
前記Ｌｂ／Ｌａが、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２の範囲にあること、
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が格納されたパッケージと、
を有することを特徴とする振動子。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片と接続された発振回路と、
を有することを特徴とする発振器。
【請求項８】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片を有する、
ことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２５３５００（Ｐ２０１２−２５３５００Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１２３４７８（Ｐ２０１１−１２３４７８）
【出願日】平成２３年６月１日（２０１１．６．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月１日（２０１１．６．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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