統合されたクリーナ及びドライヤシステム
物体の統合されたクリーニングのための方法及び装置は、同じプロセスチャンバにおける一連の湿式クリーニング及び真空乾燥を含む。本発明の統合されたクリーニングプロセスは、部材の移動を排除することができ、システム信頼性を高める。クリーニングされた物体を脱気及び汚染除去するために、真空汚染除去を提供することができる。１つの実施の形態において、クリーナシステムは、例えばスループットを高めるために、様々な移動を、ロボットによって行われる統合された移動に組み合わせる。例えば、統合されたロボット移動は、閉鎖された容器をインプットロードポートから取り上げ、蓋及び本体を一緒に移動させ、次いで、本体及び蓋を別々に、クリーニングされるためにクリーナの適当な位置へ配置することを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願は、米国特許仮出願第６１／２１８０６７号明細書の優先権を主張する。その発明の名称は"Integrated cleaner and drier system"であり、引用したことで本明細書に記載されたものとする。
【０００２】
本発明は、半導体製造工業において使用されるウェハキャリヤのような加工物若しくは加工物容器をクリーニングするための装置及び方法に関する。
【０００３】
背景
半導体構成部材の製造は、粒子、不純物、又は異物の制御等の清浄度を要求する。これらの粒子の存在は、加工されたウェハにおける良好なデバイスの歩留りに影響する恐れがある。つまり、これらのウェハの搬送は一般的に特別な搬送容器において行われる。この特別な搬送容器は、例えば、カセット、キャリヤ、又はトレー、また閉鎖可能若しくは封止可能な容器又はボックスを含み、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Interface）のポッド若しくはボックスを含む。ＦＯＵＰは一般的にウェハを支持するために２つの対面した長い側における櫛状の案内を有しており、取外し可能カバーによって閉鎖することができる。カバーが取り外されている場合、ＦＯＵＰは中空の容器であり、矩形の表面領域を備えたポット状の基礎を有している。
【０００４】
半導体ウェハを加工する際に要求される清浄度の基準を維持するために、ＦＯＵＰを時折クリーニングする必要がある。クリーニングプロセスを特別なクリーニング及び乾燥機器において行うことができる。清浄度の要求が高まっているため、現代の半導体工場でのクリーニングサイクルの回数は増加している。例えば１つのウェハから次のウェハへの伝播汚染を回避するためにＦＯＵＰを使用するたびにクリーニングすることが望ましい場合もある。
【０００５】
つまり、ＦＯＵＰの完全なクリーニングのために必要な時間を短縮することが望ましい。さらに、特にクリーニングサイクルの回数が増加していることを考慮し、クリーニング消耗品をできるだけ少なく保つことも望ましい。これに対して、現代の半導体工場の清浄度要求を満たすために、クリーニングは極めて徹底的でなければならない。
【０００６】
概要
本発明は、半導体加工物容器等の対象物の統合されたクリーニングのための方法及び装置を開示する。１つの実施の形態において、本発明は、同じプロセスチャンバにおける湿式クリーニング及び真空乾燥の連続を開示する。この統合されたクリーニングプロセスは、部材の移動を排除し、システム信頼性を高めることができる。この真空乾燥プロセスは、乾燥ガスを排除し、作動消耗品を減じることができる。その他の構成要素を含むことができる。この構成要素は、乾燥プロセスを補助しかつ液体凍結を阻止するためのＩＲ加熱機構、及び乾燥プロセス及び終点を開始するための湿度センサを含む。
【０００７】
１つの実施の形態において、本発明は、統合されたクリーニングプロセス及びシステムを開示し、最小限の残留液体による有効な対象物クリーニングを提供する。クリーニングプロセスは、金属汚染物等の不純物及び汚染粒子を除去するために、超音波、エアロゾル又は高圧によって供給されるクリーニング化学物質及び脱イオン水を含むことができる。乾燥プロセスは、ＩＲランプヒータ等のヒータによる真空乾燥を含むことができ、このヒータは、移動部品を用いることなく、クリーニングされた対象物を乾燥する。１つの実施の形態において、湿式クリーニング及び真空乾燥プロセスは、同じクリーニングチャンバにおいて順次に行われる。クリーニングプロセスの間に液体蒸気を除去するために湿式クリーニングプロセスの間に真空ポンピングを行うこともできる。
【０００８】
１つの態様において、本発明のクリーニングは、真空乾燥を補助するために最小限の残留液体を提供する。例えば、クリーニング液及びすすぎ液の所定量を配給することができ、例えば微細な液滴とエアロゾル気泡とを噴霧する。キャリヤガスを液体デリバリと混合することができる。高温ガス及び高温液体を利用することができる。迅速蒸発液体を使用することができ、これは例えば沸点が低く蒸気圧力が高いアルコールである。液体保持及び液体デッドスポットなしに良好な排水によって液体を除去することができる。例えば液体クリーニングサイクル中にクリーニングチャンバ内の真空圧力を維持することによって、液体蒸気を排気及び低いチャンバ圧力によって除去することができる。有効なクリーニングのために周期的クリーニングプロセスを行うことができる。対象物における残留液体を減じるために高温ガスパージを提供することができ、これは、その後の乾燥プロセスを促進する。クリーニングプロセスを最適化するためにシミュレーションが行われ、これは例えばクリーニングノズルの位置及び流れを最適化するためである。例えば、クリーニング溶剤は、クリーニング面の近くに集中させることができ、クリーニングされる対象物の角に配置することができる。容器の内側と外側とで異なるクリーニングプロセスを用いることができる。例えば、内側クリーニングの重点を、金属汚染除去及び揮発性有機成分の脱気に置くことができる。さらに、外側クリーニングよりも内側クリーニングをより徹底的に行うことができ、これにより、液体クリーナの消費を減じる。
【０００９】
１つの実施の形態において、本発明は、高いスループットを伴う有効な真空乾燥プロセスを開示する。本発明の真空乾燥は、部材の移動を提供しないので、これにより、クリーニング後の残留液体の迅速な蒸発を補助するための真空周囲環境とともに、システム信頼性を高めることができる。クリーニングチャンバを、有効なポンピング及び高いポンピングコンダクタンスを備えた構成を提供するように設計することができる。蒸気凝縮を減じるためにポンピング経路には最小限の障害物がある。本発明の真空乾燥は、さらに、残留液体の蒸発を補助し且つ液体凍結を阻止するために、ＩＲヒータ等の加熱器工を有することができる。ＩＲヒータの分配は、クリーニングされる対象物に均一な熱エネルギを提供するように配置することができ、液体蒸発及び蒸発速度の均一性を可能にする。例えば凝縮を最小限にするために、チャンバ壁部ヒータを設けることもできる。
【００１０】
１つの実施の形態において、クリーニングプロセス及びシステムは、真空汚染除去及び／又は脱気を含むことができる。汚染除去プロセスを、統合されたクリーナ・ドライヤチャンバにおいて、又は別個の真空チャンバにおいて行うことができる。汚染除去プロセスを、付加的にクリーニング及び乾燥プロセスの後に行うことができるか、又はクリーニングを行わずに別個に行うことができる。例えば、汚染除去プロセスは、新たな容器のためのガス抜き等の、プラスチックエージングを提供することができる。
【００１１】
１つの実施の形態において、本発明は、例えば容器クリーナ等の容器プロセシングシステムにおいて、基板容器を引き渡すための装置及び方法を開示する。１つの実施の形態において、本発明は、様々な容器の移動を、ロボットによって取り扱われる統合された移動に組み合わせる。例えば、統合されたロボット移動は、閉鎖された容器を、インプットロードポートから又はクリーナシステム内の中間ステーションから取り上げ、蓋及び本体を一緒に移動し、次いで本体及び蓋を、クリーニングされるクリーナにおける適切な位置に、別個に配置することを含む。統合された移動は、ロードポートからクリーニング位置への引渡し中における、蓋のロック解除及び／又は本体からの蓋の分離を含むこともできる。統合された移動は、その他の動作、例えば蓋をロック解除又は分離するために、閉鎖された容器を回転させることを含むこともできる。
【００１２】
１つの実施の形態において、本発明は、基板容器の統合された引渡し移動を含み、これは、容器の蓋及び本体を一緒に引き渡し、これらを適切なクリーニングステーションに別々に配置することを含む。機構を反転させることもでき、クリーニングの後に蓋及び本体を別々に取り上げ、アウトプットロードポートへの引渡し中にこれらを組み立て所定の位置にロックする。ロボットは、閉鎖された容器をロードポートから取り上げ且つ閉鎖された容器をロードポートへ搬送することができ、これにより、付加的な分離又は組立てステーションを排除する。１つの実施の形態において、統合された引渡し移動は、容器移動中の容器の本体から蓋のロック解除又は容器の本体への蓋のロックを行うための、現場ロック解除及び／又はロッキング機構を有する。ロック解除・ロッキング機構は、ロボットであることもできるし、ロボットの近くに位置決めすることもできる。統合された引渡し移動は、ロック解除・ロック機構を収容するための付加的な移動も含むことができる。例えば、統合された引渡し移動は、ロック解除前に蓋を底部に有するように容器を回転又は傾斜させることができ、これにより、移動中の、ロック解除された容器の安定性を提供する。
【００１３】
１つの実施の形態において、本発明は、基板容器のための統合された引渡しロボットを有しており、容器の蓋及び本体を保持するための１つ又は２つ以上のグリッパと、本体から蓋をロック解除するための又は本体に蓋をロックするための選択的なロック解除・ロック機構とを含んでいる。統合されたロボットを、容器クリーナ、例えば同じチャンバにおけるクリーニング及び乾燥能力を備えた統合されたクリーナにおいて使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１Ａ及び図１Ｂは、液体が重力によって落下することができるように位置決めされた、クリーニングされる物品の典型的な構成を、残留液体を除去することを補助するためのガスノズルとともに示す図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、クリーニングされる物品の表面に面した液体ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図３】クリーニングされる物品の複数の面に面した液体ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図４】ＦＯＵＰを包囲する液体ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図５】クリーニングされる物品内の内部ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図６】図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の実施の形態による、要基本対の内部に液体流れを供給する内部ノズルの選択された構成を示す図である。
【図７】図７Ａ及び図７Ｂは、容器本体及び蓋の外面に液体流を供給する外側ノズルの選択された構成を示す図である。
【図８】図８Ａ及び図８Ｂは、本発明の実施の形態による、容器本体の内部に容器本体熱エネルギを供給する内部ＩＲヒータの選択された構成を示す図である。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、容器本体及び蓋の外面に熱エネルギを供給する外側ＩＲヒータの構成を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態による統合されたクリーニングのためのフローチャートを示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態による統合されたクリーニングのための別のフローチャートを示す図である。
【図１２】従来技術によるクリーナシステムを示す図である。
【図１３】複数の基板を保持する典型的な閉鎖された容器を示す図であり、図１３Ｂ（Ａ）〜（Ｃ）は、図１３Ａに示された容器と同じ容器を、基板なしに示す図である。
【図１４】複数の基板を保持する典型的な閉鎖された容器を示す図であり、図１４Ｂ（Ａ）〜（Ｃ）は、図１４Ａに示された容器と同じ容器を、基板成しに示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態による典型的なクリーニング装置を、一連の容器配置とともに示す図である。
【図１６】図１５に示されたクリーニング装置を、一連の容器取出しとともに示す図である。
【図１７】本発明による実施の形態による一連の典型的なロボット移動を示す図である。
【図１８】本発明の実施の形態による典型的な統合された移動の典型的な連続を示す図である。
【図１９】本発明の実施の形態による典型的な統合された移動別の典型的な連続を示す図である。
【図２０】本発明の実施の形態による典型的な統合された移動の別の典型的な連続を示す図である。
【図２１】ロードポートからクリーニングステーションへの容器の引渡しのための典型的なフローチャートを示す図である。
【図２２】本発明の実施の形態による、ロードポートからクリーニングステーションへ容器を引き渡すためのフローチャートを示す図である。
【図２３】本発明の実施の形態による、クリーニングステーションからロードポートへ容器を引き渡すためのフローチャートを示す図である。
【００１５】
好適な実施の形態の詳細な説明
本発明は、物品、特に半導体物品、例えばカセット、ＦＯＵＰ、ホルダ等をクリーニングすることに関する。１つの実施の形態において、本発明は、組み立てられた複数の部分を有する対象物、例えば別個の本体及び別個の蓋を有する容器（例えばＦＯＵＰ又はＦＯＳＢ）のための、クリーニングプロセスを提供する。本体及び蓋は、半導体基板の搬送及び貯蔵の間、組み立てられ、例えば互いにロックされ、クリーニングの間、分解、例えば別々の部分に分離される。容器は、一般的に、ロックされた状態でクリーナへ提供され、クリーナによってロック解除され、クリーニングされ、再びロックされる。１つの構成において、クリーニング液を排出することを助けるために、蓋はクリーニングチャンバにおいて鉛直に位置決めされる。容器本体は、開口が、真空ポンプのポンピングポートが配置されているクリーニングチャンバの底部に面するように位置決めされる。クリーニングチャンバの操作を、手動で操作することができるが、電子制御装置又はコンピュータによって自動的に操作されることが好ましい。
【００１６】
１つの実施の形態において、本発明の改良されたクリーニングプロセスは、同じプロセスチャンバにおける統合された一連の液体クリーニング及び真空乾燥を含む。本発明の液体クリーニングは、より短いクリーニング時間で水及びクリーニング液及び化学物質を節約することができ、クリーニング液、界面活性剤、熱、撹拌された又はエアロゾル液体流の組合せにより清浄度及び粒子除去を改良する。本発明の真空乾燥は、部材の移動を排除し、システム信頼性を高めることができる。
【００１７】
クリーニング方法は、有機金属、無機金属、天然酸化物及び粒子状物質等の粒子及び／又は汚染物を除去するための方法及び露汚れ（ウォータースポット）を除去するための方法から成る。クリーニングは、カセット、ＦＯＵＰ、ＦＯＳＢ、ホルダ等の半導体物品のための不可欠な要求である。決定的なクリーニングにおいて、数ミクロンからサブミクロンレベルの範囲の粒子の除去及び微量汚染物（金属又はイオン）の低減は、半導体クリーニング工業の懸念の一部となっている。
【００１８】
１つの実施の形態において、本発明は、統合されたクリーニングプロセス及びシステムを開示し、最小限の残留液体で有効な対象物クリーニングを提供する。１つの態様において、最小限の残留液体は、その後の乾燥プロセス、例えば真空乾燥を補助することができる。１つの態様において、クリーニングされる物品は、最小限の液体捕捉で、例えば水平面に位置決めされる。さらに、潜在的なトラップ位置において、残留液体を最小限にし且つ乾燥プロセスを補助することを助けるために、あらゆる捕捉された液体を吹き飛ばすために、ガスノズルを配置することができる。ガスノズルは好適には窒素又はろ過空気を提供するが、液体又は通気された液体（aerated liquid）を提供することもできる。１つの態様において、ガスノズルはクリーニング作用を行うことができ、液体ノズルは、捕捉された液体を除去することができる。
【００１９】
図１Ａは、液体１１が重力によって落下することができるように位置決めされた、クリーニングされる物品１０の典型的な構成を示している。窒素、ろ過空気、液体、又は通気された液体を提供する底部ガスノズル１２は、表面張力によって捕捉された残留液体を除去することを助けるために、物品の底部に向けられていることができる。
【００２０】
図１Ｂは、クリーニングされる物品１０の別の典型的な構成を、あらゆる残留液体を除去することを補助するために物品１０に向けられた複数のガスノズルと共に示している。例えば、底部ガスノズル１２を、表面張力によって捕捉された残留液体を除去することを助けるために、物品の底部に向けることができる。さらに、上部ガスノズル１３を、水平面に捕捉された残留液体を除去することを助けるために、上面に向けることができ、別のガスノズル１４を、残留液体を捕捉することができる物品の不規則形状に向けることができる。
【００２１】
物品をクリーニングするために、複数の液体ノズルを物品表面に向けることができる。液体ノズルは、クリーニング液と、すすぎ液（例えばＤＩ水）と、物品をクリーニング及び汚染除去するために設計されたその他の化学的液体、例えば界面活性剤又は金属除去剤との混合物を供給することができる。液体の量は、例えばキャリヤガス（例えば窒素、空気、又は不活性ガス）と共に微細な液滴及びエアロゾルガスを噴霧することによって、注意深く制御することができる。液体ノズルを、窒素又はろ過空気等のガス、又はガス・液体混合物を供給するように構成することもできる。沸点が低く且つ蒸気圧力が高いアルコール等の、迅速蒸発液体を使用することができる。例えば、蒸発により迅速な乾燥を補助するために、高温キャリヤガス及び高温液体を利用することもできる。さらに、液体保持及び液体デッドスポットなしに良好な排水で液体を除去することができるように、チャンバ、及び物品の位置決めを設計することができる。さらに、液体蒸気を、迅速排出及び低いチャンバ圧力によって、例えば乾燥ガスのパージングによって及び／又は液体クリーニングサイクル中のクリーニングチャンバ内の真空圧力を維持することによって、除去することができる。
【００２２】
１つの実施の形態において、クリーニングノズル（ガス又は液体）を、クリーニング面の近く、特に角に配置することができる。また、クリーニングプロセスを、容器の外側よりも内側により集中させることができ、これにより外側液体クリーニングを低減する。ノズルの数及びノズルの位置は、システムの構成を単純化し、最小限の残留液体で有効クリーニングを最大化するように設計されている。概して、ノズルは、下方へ噴霧するように高い位置に配置されている。また、ノズルは、有効クリーニングのために物品の角に向けられている。高い流量が好ましく、これにより、ノズルの数が少なく保たれる。角がない場合、例えばＦＯＵＰドアに面している場合、ノズルは、より均一な流れを提供するように緊密に分配されている。
【００２３】
図２Ａは、物品１０の表面２０に面した液体ノズル２１の典型的な構成を示している。この構成において、複数のノズル２１はマニホールド２２によって接続されている。マニホールド２２を様々な角度で位置決めすることができるが、好適には、重力によってマニホールドに付着される残留液体を最小限にするために鉛直に位置決めされている。ノズルは表面２２に重なるように設計されており、完全なクリーニングを保証するために表面の完全な被覆を提供している。ノズルは、例えば十分なクリーニング力を有するために、小さな角度の流れを提供することができる。衝突角度は、より大きな力を得るために表面に対して垂直であることができるが、表面をより広く被覆するために表面に沿っていることもできる。１つの態様において、クリーニングされる物品は半導体容器である。これにより、汚染は、小さな粒子又は金属汚染物である傾向があるが、本発明は、中圧及びより大きな被覆面積のための小さな衝突角度を有するクリーニングノズルを開示する。図２Ｂは、物品１０の端部に配置された２つの液体ノズル２４の別の典型的な構成を示している。ノズルは、物品１０の角に配置されており、表面全体を被覆するように構成されている。
【００２４】
図３Ａは、マニホールド３２によって接続された、物品３０の複数の表面に面した液体ノズル３１の典型的な構成を示している。コーナノズル３１Ａは、側面の一部とともに、上面を被覆するように構成されている。その他のノズルは、側面の複数のセクションを被覆するように設計されている。図３Ｂは、物品３０の角に配置されており且つ物品の表面全体を被覆するように構成された液体ノズル３４の別の典型的な構成を示している。
【００２５】
図４は、ＦＯＵＰ４０を包囲する液体ノズル４１の典型的な構成を示している。ノズルは、角に配置されており、ＦＯＵＰの表面全体を被覆するように構成されている。この構成は、平面図又は側面図で見た場合であることができる。平面図又は側面図で見た構成において、ノズル４１はそれぞれ鉛直又は水平のマニホールド（図示せず）内に埋め込まれていることができ、それぞれのマニホールドは複数のノズルを有している。ノズル４１は一般的には小さな被覆角度を有している。なぜならば、ノズル４１は、物品の外側に位置決めされており、外面をクリーニングするように設計されているからである。
【００２６】
内部クリーニングのために、ノズルは好適には物品のキャビティ内に位置決めされており、これにより、球範囲（４π立体角）まで提供する。好適な実施の形態において、物品の開口は、捕捉される液体を最小限にするために下に向けられている。ノズルは、好適には、物品の内部に向かって上を向いている。内部ノズルマニホールドは鉛直に配置されており、上部における球ノズルは開口に進入している。
【００２７】
図５は、物品５０内の内部ノズルの典型的な構成を示している。好適には球形ノズルである中央ノズル５１は、内面上部の近くに位置決めされており、上面及び周囲面に液体を噴霧する。液体は上面から流れ落ちることができ、上面をクリーニングした後に周囲面をさらにクリーニングする。同じく好適には球形ノズルである複数の角ノズル５２は、表面の角に集中するために内面の内側角に向けられている。
【００２８】
典型的なクリーニングプロセスにおいて、クリーニング溶剤等のクリーニング液は、ＦＯＵＰ容器及びドア等の物品に噴霧される。界面活性剤、洗剤、又は汚染物／金属除去剤等の添加剤が、例えば吸引又はポンピングによって水又はその他の液体に添加されてよい。汚染物／金属除去剤は、キレート剤等の金属除去剤であることができる。界面活性剤の代わりに、高アルカリ性洗剤が使用されてよい。例えば、汚染物の除去を助けるために、ＵＶ光を加えることができる。クリーニング及び／又は汚染物除去が完了した後、ＤＩ水等のすすぎ液を噴霧することによって物品はすすぎが行われる。周期的なクリーニング／すすぎプロセスを、有効なクリーニングのために行うことができる。クリーニング液は、リサイクルのために収集することができる。
【００２９】
１つの実施の形態において、クリーニングプロセスは、クリーニングされる物品の表面に集中させられ、これにより、チャンバ表面に衝突する液体の量を最小限にする。ノズルは好適には、クリーニングされる表面を被覆するように注意深く制御された噴霧角度と、チャンバ表面へ逃げる最小限の液体とを有するように、物品の表面に向けられている。チャンバ表面における液体の量を最小限にすることは、その後の乾燥プロセスを改良することができる。
【００３０】
１つの実施の形態において、クリーニングプロセスは、その後の乾燥プロセスを助けるために小さな液滴を提供する。さらに、液滴をさらに一層小さな液滴に分割するために、パージされたガス又は液体噴霧を提供することができる。例えば表面の底部において液体が結合する領域において、例えば液体を吹き飛ばすことによって、大きな結合した液体を小さな液滴に分割するために、ガス又は液体噴霧を提供することができる。
【００３１】
１つの実施の形態において、クリーニング環境は、乾燥空気、不活性ガス、又は非反応性ガスである。例えば、物品を投入した後、プロセスチャンバ内の空気を排気し、不活性ガス（例えばアルゴン）又は非反応性ガス（例えば窒素）と置き換えることができる。１つの態様において、液体クリーニングの間、チャンバはパージされる。別の態様において、チャンバは、例えばプロセスチャンバ内の液体蒸気を周囲へ除去することを助けるために、チャンバは封止され、大気圧より低い圧力に維持される。減じられた圧力は、数十トル、トル、又はミリトルの範囲であることができる。１つの態様において、揮発性を高めるために液体を加熱することができ、これは、残留液体の除去の容易さを高める。エネルギコストを減じるために、加熱された液体をリサイクルすることができる。さらに、例えばＩＲランプ又はＵＶランプによって、物品及びプロセスチャンバを加熱することもできる。
【００３２】
クリーニング後、容器をすすぐことができる。高温空気流等の選択的なガスパージを、容器表面に残っている液体の量をさらに減じるために利用することができる。ノズルを、クリーニングのための液体、すすぎのための液体、及び容器表面から液体を押し流すためのガスを提供するように構成することもできる。
【００３３】
１つの実施の形態において、本発明は、容器本体から分離されており且つクリーニングチャンバ内に容器本体の近くに位置決めされた容器蓋をクリーニングするともに、容器本体の内側及び外側をクリーニングすることを含む、容器クリーニングのための最適な構成を開示する。
【００３４】
図６Ａ〜図６Ｂ及び図７Ａ〜図７Ｂは、本発明の実施の形態によるクリーニングチャンバの側面図及び平面図を示している。容器は、クリーニングチャンバ６０内に配置された本体６１と、容器蓋６２とを有している。本体６１と蓋６２とは互いに解離され、クリーニングチャンバ６０の別々の位置に位置決めされている。さらに、本体と、蓋とは、余分な残留液体が容器本体及び蓋の表面に残ることを阻止するように位置決めされている。１つの実施の形態において、クリーニングチャンバ６０の底部に配置された排水口（図示せず）へ液体が重力によって流れるように、蓋は鉛直に位置決めされている。同様に、内部液体ノズル６３，６４がよりクリーンな液体を供給するように、本体も鉛直に位置決めされ、開口部が底部に配置される。
【００３５】
１つの実施の形態において、液体ノズルは、容器の内側及び外側それぞれをクリーニングするために本体キャビティの内側（６３及び６４）及び外側（７１，７２，７３及び７４）に位置決めされている。液体速度、被覆、容器表面における液体の滞留時間、及び容器における応力の分布を最適化するために、様々なノズル構成が試験された。
【００３６】
図６Ａ及び図６Ｂは、液体流６５，６６又は６７を供給する内部ノズル６３及び６４の選択された構成を示している。１つの構成において、ノズル６３は本体キャビティの中央に配置されており、液体流６５をまっすぐ容器本体の上部に向かって供給する。別の構成において、ノズル６４は本体キャビティの角に配置されており、液体流を容器本体の角に向かって供給する。図示のように、ノズル６４は、中央のノズル６３と角との間のほぼ中間に配置されている。ノズル６４は、高い位置６６又は中間の位置６７において液体流を供給することができる。さらに、高い流れ及び流れもシミュレーションされる。
【００３７】
概して、流れの動作は流量に応じて著しく変化せず、低い流量では滞留時間が著しく増大する。より高い流量では、流速の分布はより均一である。中央の流れ６５は、容器表面の効率的な被覆を提供しない。さらに、中間位置の流れ６７は、高い位置の流れ６６よりも良好な流れ均一性を提供する。つまり、シミュレーション結果は、内部容器クリーニングのための最適な構成が、容器の角を向いた、できるだけ大きな流量を有する、中間の高さに配置された４つのノズルを含むことを示している。
【００３８】
図７Ａ及び図７Ｂは、容器本体及び蓋の外面に液体流を供給する外部ノズル７１，７２及び７３の選択された構成を示している。１つの構成において、ノズル７１は、容器の４つの角に配置されており、外側の角に向かって液体流を供給する。別の構成では、ノズル７２及び７３は容器外面の中央に配置されており、液体流を容器本体及び容器蓋の中央に向かって供給する。共通の供給管が、例えばフロントノズル及びバックノズルによって、本体及び蓋の表面に向かって流れを供給することができる。別の構成において、ノズル７３及び７５は、容器のそれぞれの面に向かって分配されており、例えば各表面のための２つのノズルが分配されている。さらに、ノズルは、液体を高い位置７６又は低い位置７７において供給することができる。さらに、高い流れ及び流れもシミュレーションされる。
【００３９】
中央のノズル７２によって角はフラッシングされない。内部クリーニング流の寄与により、より高い位置の流れによって、より高い均一性を達成することができる。分配された流れ７２は、より高い均一性を提供するが、液体の使用消費量が大きいことにより、より低い効率を有する。つまり、シミュレーション結果は、外側容器クリーニングのための最適な構成が、容器の角に向けられた、高い位置に配置された４つの角ノズル７１と、蓋の表面にそれぞれ向けられた２つのノズル７５とを、できるだけ高い流量で含むことを示す。
【００４０】
１つの実施の形態において、本発明は、最良の表面クリーニングのためのノズル位置の最適な構成を備えた、容器をクリーニングするためのチャンバを開示する。さらに、この構成は、最小限の残留液体を提供し、その後の真空乾燥プロセスを助ける。
【００４１】
１つの実施の形態において、本発明は、物品クリーニングプロセスのための有効な真空乾燥を開示する。この真空乾燥は、部材の移動を提供せず、システム信頼性を改善する。この真空乾燥は、液体クリーニング中に液体蒸気を除去するのを助けるために液体クリーニング段階の間のパージング又は真空周囲環境とともに、クリーニングプロセスから生じる最小限の残留液体によってさらに改善することができる。この乾燥プロセスは、少ない液体を用いるクリーニングプロセスによって、及びチャンバ表面に最小限の液体を生じるクリーニング構成によって、改善することもできる。
【００４２】
クリーニングチャンバは、有効なポンピング及び高いポンピングコンダクタンスを備えた構成を提供するように設計することができる。蒸気凝縮を減じるためにポンピング経路に最小限の障害物がある。液体蒸気捕捉を減じるためにポンピング経路に最小限のデッドスペースがある。例えば、ポンピングポートはチャンバの底部に配置されている。なぜならば、物品の開口部は、液体を排出しやすくするためにチャンバ底部に向いているからである。乾燥ガスノズルは、大きな液滴を回避するために又は液滴表面張力を減じるために、凝縮領域又は液体結合領域に提供することができる。
【００４３】
この真空乾燥は、さらに、残留液体蒸発を助けかつ液体凍結を回避するために、ＩＲヒータ等の加熱機構を有することができる。例えば、凝縮を最小限にし且つ残留液体を除去することを助けるために、１つ又は複数のチャンバ壁部ヒータを設けることもできる。ＩＲヒータを物品の外側及び内側に、クリーニングされる物品表面に対面するように、位置決めすることができる。ＩＲヒータは、均一な加熱を提供するために好適には物品の中央に分配されている。加熱機構は、チャンバ又は物品に一定の温度を提供することができる。加熱は、最低でも、例えば蒸発のための十分な熱エネルギを提供するように設定することができ、室温を維持する。例えば１００℃未満又は６０℃未満における蒸発プロセスを増大するために、加熱を付加することができる。高温のために、安全の目的で断熱を提供することができる。さらに、凝縮を回避しかつ乾燥プロセスを補助するために、ポンピングマニホールド及び真空ポンプを加熱することができる。
【００４４】
１つの実施の形態において、ＩＲヒータは、容器表面に均一な熱エネルギを提供する。プラスチック材料から形成された容器の場合、ホットスポット（容器損傷につながる恐れがある）を回避し且つコールドスポット（非効率な乾燥につながる恐れがある）を回避するために、均一な温度分布が望ましい。つまり、１つの実施の形態において、このシステムは、容器内面及び外面に加熱均一性を提供するＩＲヒータ構成を開示する。
【００４５】
図８Ａ〜図８Ｂ及び図９Ａ〜図９Ｂは、本発明の実施の形態による内部及び外部のＩＲヒータを備えたクリーニングチャンバの側面図及び平面図を示している。１つの実施の形態において、ＩＲヒータは、容器の内面及び外面をそれぞれ加熱するために本体キャビティの内側（４７，４８及び４９）及び外側（５６，５７，５８及び５９）に位置決めされている。熱エネルギの分布、温度均一性、及び加熱プロセスの効率を最適化するために、様々なヒータ構成が試験された。
【００４６】
図８Ａ及び図８Ｂは、内部ヒータ４７，４８及び４９の選択された構成を示している。１つの構成において、ヒータ４９は本体キャビティの中央に配置されており、容器本体の全ての内面を加熱する。別の構成においては、ヒータ４８は、本体キャビティの表面に対面して配置される。さらに別の構成では、ヒータ４７は、本体キャビティの角の近くに配置される。選択されたＩＲヒータは、ダブルランプであり、より広い表面エネルギを提供する。さらに、ダブルランプの向き付けも研究されている。
【００４７】
シミュレーション結果は、内部容器加熱のための最適な構成が、２つ又は４つのヒータ４８がより少ないコールドスポット又はホットスポットとともにより良好な熱均一性を提供することを示す。
【００４８】
図９Ａ及び図９Ｂは、外部ヒータ５６，５７，５８及び５９の選択された構成を示しており、容器本体及び蓋の外面に熱エネルギを供給する。各ヒータ５８はそれぞれ１つの容器表面に面している。ヒータ５７は２つの表面、つまり容器本体の１つの表面と、蓋の１つの表面とに面しているので、より良好なエネルギ供給のためにより高いエネルギ（ヒータ５８よりも約１０〜４０％高い）を必要とする。ヒータ５６は、容器の上部に位置決めされており、ヒータ５８と同じ電力を使用することができる。ヒータ５９は、本体表面の上部に位置決めされており、より少ないエネルギ（ヒータ５８よりも約１０〜４０％少ない）を使用する。
【００４９】
１つの実施の形態において、本発明は、最良の表面クリーニングのためのノズル位置の最適な構成を備えた、クリーニング容器のためのチャンバを開示する。さらに、この構成は、最小限の残留液体を提供し、その後の真空乾燥プロセスを助ける。
【００５０】
１つの実施の形態において、クリーニングチャンバ内の湿度レベルを測定するために、１つ又は複数の湿度センサを設けることができ、これらの湿度センサは、次いで、乾燥プロセスを監視し且つ乾燥プロセスの終点を検出するために使用することができる。
【００５１】
１つの実施の形態において、本発明は、同じクリーニングチャンバにおいて順次に行われる統合された湿式クリーニング及び真空乾燥を開示する。さらに、クリーニングプロセス中の液体蒸気を除去するために湿式クリーニングプロセス中に真空ポンピングを行うこともできる。物品をクリーニングすることに加え、このクリーニングプロセス及びチャンバは、新たな物品をコンディショニングすることができ、例えば新たなプラスチック容器を脱気及び／又はエージングすることができる。
【００５２】
１つの実施の形態において、クリーニング及び真空乾燥を同じクリーニングチャンバにおいて行うことができ、クリーニングされる物品の移動を最小限にすることによってスループットを高めることができる。真空乾燥及び液体クリーニングは両立可能なプロセスであり、従って、両者を、干渉せずに同じプロセスチャンバにおいて行うことができる。さらに、液体蒸気除去を高めるためにクリーニングプロセス中に真空を提供することができ、乾燥時間をさらに短縮する。クリーニング液又はすすぎ液の揮発性を高めることを補助するためにクリーニングプロセス中に熱を加えることもでき、乾燥時間をさらに短縮する。
【００５３】
１つの実施の形態において、本発明は、加熱された真空汚染除去及び脱気プロセス及びチャンバを開示する。物品からの揮発性有機成分及びその他の汚染粒子の蒸発を加速させるために、ＩＲヒータ等のヒータを、真空中の物品に提供することができる。１つの実施の形態において、汚染除去チャンバを乾燥チャンバに統合することができ、乾燥チャンバのヒータ及び真空構成要素を利用する。別の実施の形態において、例えばプロセシングスループットを増大するために、汚染除去チャンバは、別個の加熱される真空チャンバを有する。
【００５４】
１つの実施の形態において、このシステムは、クリーニングプロセスを制御するための制御装置を有している。制御装置は、オペレータ又はホストからの入力を受け取ることができ、どの物品のためにどのクリーニングが行われるかを知らせる。例えば、幾つかの容器がクリーニング及び乾燥され、次いで、脱気のために、加熱された真空汚染除去を受ける。場合によっては、幾つかの容器は、クリーニング又は乾燥なしでの脱気のために、加熱された真空へ直接に送られる。
【００５５】
１つの実施の形態において、このシステムは、進入及び退出する物品を検査するための検査ステーションを有する。例えば、クリーニング及び真空プロセスの前に容器を検査することができる。場合によっては、クリーニング及び／又は汚染除去の前に、選択された容器のみが検査される。場合によっては、クリーニング又は汚染除去なしで、幾つかの容器のみに検査が行われる。場合によっては、幾つかの容器は、検査及び汚染除去プロセスのみが行われる。
【００５６】
１つの実施の形態において、このシステムは、オペレータアクセスのためのマニュアルロードポート、又はオーバーヘッドトランスポート（ＯＨＴ）等の自動ロードポートを有する。ローダバッファも設けることができる。
【００５７】
１つの実施の形態において、本発明は、物品をクリーニング及び乾燥するためのチャンバを開示しており、このチャンバは、物品にクリーニング混合物を供給するための液体供給システムと、チャンバに大気圧よりも低い圧力を供給するための真空システムと、物品に熱エネルギを供給するためのヒータシステムとを有しており、物品は同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、物品はクリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、物品は、液体凍結を回避するために熱エネルギを用いて真空乾燥される。１つの実施の形態において、クリーニング混合物は、液体クリーナ及び気体キャリヤガスの混合物を含む。液体供給システムはさらに、クリーニング混合物を供給した後に物品にすすぎ混合物を供給することができるか、又はクリーニング混合物を供給した後に物品にパージガスを供給することができる。チャンバはさらに、加熱された真空周囲において物品を脱気及び汚染除去することを含むことができる。真空ポンプシステムは、液体及び気体材料を排出することができる。
【００５８】
１つの実施の形態において、本発明は、容器をクリーニング及び乾燥するためのクリーナシステムを開示しており、このクリーナシステムは、容器を収容するためのロードポートと、容器の表面にクリーニング混合物を供給するための複数のノズルを有する真空の封止されたクリーニングチャンバと、容器の表面に熱エネルギを供給するための複数のＩＲヒータと、クリーニングチャンバに大気圧よりも低い圧力を供給するためのポンピングシステムと、ロードポートとクリーニングチャンバとの間で容器を引き渡すためのロボット操作システムとを有しており、容器は同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、容器は、クリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、容器は、液体凍結を回避するために熱エネルギを利用して真空乾燥される。１つの実施の形態において、複数のノズルはさらに、クリーニング混合物を供給した後に容器にすすぎ混合物を供給する。複数のノズルは、さらに、クリーニング混合物を供給した後に容器にパージガスを供給することができる。容器は、分配され且つクリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を有することができる。真空ポンプは、液体材料及び気体材料を排出することができる。クリーニングは、大気圧より低い圧力において行われる。１つの実施の形態において、システムは、容器を脱気及び汚染除去するための別個のチャンバを有している。
【００５９】
１つの実施の形態において、本発明は、半導体物品をクリーニングする方法を開示し、この方法は、クリーニング溶剤を供給するためのクリーニングノズルと、真空乾燥のためのヒータ及び真空システムとを有する統合されたクリーニングチャンバを使用する。図１０は、本発明の実施の形態による統合されたクリーニングのためのフローチャートを示している。操作８０は、物品にクリーニングプロセスを提供する。操作８２は、同じプロセスチャンバにおいて且つ部材を移動させずに、物品に真空乾燥プロセスを提供する。操作８４は、同じプロセスチャンバにおいて又は異なるプロセスチャンバにおいて、選択的な加熱された／真空汚染除去プロセスを提供する。プロセス変化を提供することができ、例えば、クリーニングプロセスは、クリーニングのためにクリーニング溶剤（又はクリーニング混合物）を供給し、その後、すすぎ溶剤、次いで残留液体を除去するためのパージガスを提供することを含む。真空乾燥プロセスは、プロセスチャンバを封止し、プロセスチャンバを大気圧より低い圧力、例えば１０トル、トル、又はトルより低い範囲にポンピングすることを含むことができる。典型的なクリーニング及び乾燥プロセスを行う時間は、数分間、例えば１０分未満であることができる。加熱された真空汚染除去プロセスは、より高い温度及びより低い圧力で、又は乾燥プロセスと同じ温度及び圧力で行うことができる。典型的な汚染除去プロセスを行う時間は１時間未満であることができる。
【００６０】
１つの実施の形態において、本発明は、物品をクリーニングする方法を開示し、この方法は、プロセスチャンバにおいて液体クリーニング混合物を用いて物品をクリーニングし、同じプロセスチャンバにおいて物品を真空乾燥し、少なくとも真空乾燥時間のうちの一部の間だけ物品に熱エネルギを提供することを含む。この方法は、さらに、同じプロセスチャンバにおいてすすぎ混合物を用いて物品をすすぎ、同じプロセスチャンバにおいてパージガスを用いて物品をパージし、同じプロセスチャンバにおいて加熱された真空周囲において物品を汚染除去し、又は異なるプロセスチャンバにおいて加熱された真空周囲において物品を脱気及び汚染除去することを含むことができる。１つの実施の形態において、物品は、分解され且つクリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を含む。
【００６１】
図１１は、本発明の１つの実施の形態による統合されたクリーニングのための別のフローチャートを示している。操作９０は、クリーニングされる物品をインプットロードポートからプロセスチャンバへ引き渡す。物品が複数の部分を有する場合、物品は別々の部分に分解され、それぞれの部分は、プロセスチャンバ内の適切な位置へ引き渡される。例えば、ＦＯＵＰを、（例えば独立型解放ステーションによって又はロボット引渡し中のロボットエフェクタによって）開放させることができ、次いで、本体及び蓋はプロセスチャンバのバスケットに配置される。バスケットは次いで下降させられる。物品を提供した後、プロセスチャンバは閉鎖される。操作９２は、クリーニングノズルを作動させ、液体流を物品に向かって提供する。１つの実施の形態において、液体は加熱される。液体は、溶剤混合物、例えば液体とデリバリガスとの混合物であることができる。１つの実施の形態において、チャンバは封止され、大気圧より低い圧力にポンピングされる。排出システムはクリーニング液を排出することができる。さらに、ポンピングプロセスは、気体、蒸気、液体、又はこれらのあらゆる組合せを押し出すことができ、プロセスチャンバから気体及び液体を除去する。１つの実施の形態において、ヒータが作動され、物品及び／又はプロセスチャンバ壁部を加熱する。クリーニングの後、すすぎ溶剤又は混合物を、すすぎのためにノズルによって物品に提供することができる。物品表面に残っている液滴を減じるために、選択的なガスパージを後で提供することができる。蒸気の除去を促進するために、溶剤混合物及びガスを加熱することができる。
【００６２】
操作９４は、物品を真空乾燥するためのノズル供給システムを停止させる。液滴が物品表面において凍結することを低減するために物品を加熱するために、ヒータを作動させることができる。クリーニングプロセス中に真空ポンプが作動させられているならば、その作動を維持することができるか、又はより迅速な液体蒸発のためにチャンバ圧力をさらに減じるためにポンピング速度を増大することができる。クリーニングプロセスが大気圧において又は大気圧よりも高い圧力において行われる場合、残留液体の真空蒸発のためのチャンバ圧力を減じるために、真空ポンプが作動させられる。クリーニングプロセス中にヒータが作動させられていると、その作動を維持することができるか、又はより迅速な液体蒸発のために物品表面温度をさらに高めるためにその温度を上昇させることができる。物品を加熱せずにクリーニングプロセスが行われるならば、液体凍結を回避するためにヒータを作動させることができる。
【００６３】
統合された汚染除去のために、例えば汚染除去がプロセスチャンバに組み込まれているならば、操作９６はさらに、揮発性有機成分除去のための加熱された真空汚染除去プロセス、又はその他の汚染除去作業を行う。ヒータ温度及びチャンバ圧力は、乾燥プロセスと同じであるか、又は乾燥プロセスとは異なることができる。一般的に、汚染除去は乾燥時間より長い。
【００６４】
別個の汚染除去チャンバの場合、物品、例えば、容器本体及び容器蓋は一緒に、クリーニングチャンバから汚染除去チャンバへ引き渡される。汚染除去チャンバにおいて、汚染除去プロセスが行われる。
【００６５】
汚染除去の後、操作９８は、物品をアウトプットロードポートへ引き渡す。複数部分物品、例えば本体及び蓋を有する容器の場合、ロードポートに到達するために複数の部分が組み立てられて互いにロックされる。例えば、プロセスチャンバは開放し、バスケットが上昇する。本体及び蓋は、（汚染除去チャンバ又はクリーニングチャンバの）バスケットから取り出され、ロードポートへ提供する前に蓋は本体に組み付けられてロックされる（手作業のローディングプラットフォーム又は自動オーバーヘッド搬送）。インプットロードポート及びアウトプットロードポートは同じロードポートであることができる。択一的に、インプットロードポート及びアウトプットロードポートは、例えば、クリーニングされた容器を汚染することを回避するために又はクリーニングスループットを高めるために、異なるロードポートであることができる。
【００６６】
１つの実施の形態において、本発明は、特に容器本体及び容器蓋を含む半導体容器等の複数の部分から成る物品のために、より迅速なスループットのための改良されたロボット引渡しを開示する。
【００６７】
基板容器をクリーニングするための従来の慣用のクリーニング装置においては、ＦＯＵＰがインプットロードポートから取り上げられ、ＦＯＵＰオープナステーションに配置され、そこで蓋が開放されて本体から分離される。次いで、ロボットは本体及び蓋を別々に取り上げ、それぞれをクリーニングステーションへ引き渡し、そこで蓋及び本体がクリーニングされる。クリーニングの後、クリーニングされた本体及び蓋は、アウトプットステーションへ送られる前に互いに組み立てられるために組立てステーションへ引き渡される。クリーニングプロセスを開始することができる前に、多くのロボット移動が行われる可能性があり、クリーニングプロセスのスループットに影響する。
【００６８】
図１２は、従来の容器クリーナシステム１００を示しており、この容器クリーナシステム１００は、インプットロードポート１０２、アウトプットステーション１０４、オープナステーション１０６、組立てステーション１０８、蓋クリーニングステーション１１０、本体クリーニングステーション１１２、及び本体ドライヤステーション１１４を有している。作動中、本体１０１Ａ及び蓋１０１Ｂを含んだ空のＦＯＵＰ１０１が、オペレータによって又は自動搬送によって、インプットロードポート１０２に配置される。ＦＯＵＰ１０１は、一般的に閉鎖されており、つまり、本体１０１Ａ及び蓋１０１Ｂは互いに係合させられており、ユニットとして引き渡される。第１のロボット移動１２０は、閉鎖されたＦＯＵＰ１０１をオープナステーション１０６へ引き渡す。オープナステーション１０６において、ロボットオープナ機構はＦＯＵＰ１０１を開放し、蓋１０１Ｂを本体１０１Ａから分離する。分離後、第２のロボット移動１２２は蓋１０１Ｂを蓋クリーニングステーション１１０へ引き渡す。クリーニング後、第３のロボット移動１２４は、クリーニングされた蓋１０１Ｂを、クリーニングされた本体と組み立てられるために、組立てステーション１０８へ引き渡す。蓋１０１Ｂが分離ステーション１０６から引き渡された後、第４のロボット移動１２６は本体１０１Ａを本体クリーニングステーション１１２へ引き渡し、第５のロボット移動１２８はクリーニングされた本体をドライヤステーション１１４へ引き渡す。第６のロボット移動１３０は、次いで、クリーニング及び乾燥された本体を、クリーニングされた蓋と組み立てられるために、組立てステーションへ引き渡す。組立て後、閉鎖されたＦＯＵＰは第７の移動１３２によってアウトプットステーション１０４へ引き渡される。つまり、容器クリーナシステムにおいて多くのロボット移動が行われる可能性がある。
【００６９】
１つの実施の形態において、本発明は、統合されたロボット移動によって、複数の部分から成る物品又は半導体基板容器をクリーニングするための方法及び自動化された装置を提供する。また、本発明は、容器本体及び蓋を一緒に、インプットポートから、クリーニングされる別々の位置へ、又は別々のクリーニング位置からアウトプットポートへ引き渡す。１つの実施の形態において、本発明は、容器本体及び蓋を互いから自動的にロック解除（例えば解離）する及び／又は互いにロック（例えば再結合）する。本発明の利点は、クリーナシステム内の移動回数を単純化し、クリーナの構成要素を単純化し、より小さな設置面積を提供し、より良好なプロセス効率につながるということを含む。この自動化された装置は、半導体システムのために引渡しロボット、及びロボットを使用するクリーナシステム等の半導体システムを有する。
【００７０】
以下に、本体及び蓋を有する容器を説明する。しかしながら、本発明はそれに限定されず、例えばクリーニングのために組み立てたり分解したりすることができる複数の部分を有するあらゆる物品に適用することができる。
【００７１】
本発明の実施の形態による容器は、別個の容器本体及び蓋を有しており、容器本体と蓋とは、閉鎖された容器を形成するように結合及びロックすることができる。さらに、容器は、基板を保持するための支持構成部材と、オペレータ又は自動搬送によって操作又は搬送される操作構成部材と、手動又は自動で結合又は解離されるロッキング構成部材とを有することができる。例えば、係合部材は蓋と本体とを互いに固定することができ、係合部材が解放されると、蓋を本体から分離することができる。容器の上面に設けられたグリッパにより、ロボット又はオペレータは、製造設備における位置の間で容器を運搬することができる。
【００７２】
図１３Ａは、複数の基板２０７を保持する典型的な閉鎖された容器２０１を示している。典型的な操作条件において、基板２０７は、操作及び貯蔵を容易にするために水平に位置決めされており、つまり、容器２０１は一般的に図示のように位置決めされており、その際、蓋と本体とは互いに隣り合って配置されている。蓋を本体から解放するために、オペレータ又は自動操作装置等の側部開放機構を蓋に係合させることができる。蓋開放機構は、一般的に、蓋を本体から分離するための分離動作と、容器本体の内部に配置された基板２０７へのアクセスのために容器の内部を露出させるための上方移動又は下方移動とを含む。
【００７３】
図１３Ｂは、同じ容器２０１を示しているが、基板を有していない。容器は、複数の基板２０７を保持するように構成された容器本体２０１Ａと、容器蓋２０１Ｂと、ロッキング機構２０５とを有する。図１３Ｂ（Ａ）は、蓋２０１Ｂと本体２０１Ａとを互いにロックするために係合させられた（２０５Ａ）１つ又は２つ以上のロッキング機構２０５を有する空の閉鎖された容器を示している。１つのロッキング機構２０５が単純化されて概略的に示されている。図１３Ｂ（Ｂ）は、蓋と本体とをロック解除又は解離するために解放された（２０５Ｂ）ロッキング機構２０５を有する空の容器を示している。図１３Ｂ（Ｃ）は、ロッキング機構が解放され、蓋と本体とが分離された（２１０）空の容器を示している。
【００７４】
図１４Ａは、複数の基板を保持する別の典型的な閉鎖された容器３０１を示している。典型的な作動条件において、容器３０１は、一般的に、図示のように位置決めされており、その際、蓋と本体とは互いに上下に配置されている。蓋を本体から下降させ、基板３０７にアクセスするために蓋カバーを解放するために、オペレータ又は自動操作装置等の底部開放機構を蓋に係合させることができる。蓋解放機構は、一般的に、基板３０７が蓋に配置されたまま蓋を本体から分離するための蓋の下方移動を含み、これにより、基板をロボットアクセスのために露出させる。
【００７５】
図１４Ｂは、同じ容器３０１を示しているが、基板を有していない。容器は、複数の基板３０７を保持するように構成された容器本体３０１Ａと、容器蓋３０１Ｂと、１つ又は２つ以上のロッキング機構３０５とを有し、２つのロッキング機構が図示されている。図１４Ｂ（Ａ）は、蓋３０１Ｂと本体３０１Ａとを互いにロックするためにロッキング機構３０５が係合させられた（３０５Ａ）空の閉鎖された容器を示している。図１４Ｂ（Ｂ）は、蓋と本体とをロック解除又は解離させるために解放された（３０５Ｂ）ロッキング機構３０５を備えた空の容器を示している。図１４Ｂは、ロッキング機構が解放され、蓋と本体とが分離された（３１０）空の容器を示している。
【００７６】
１つの実施の形態において、本発明は、様々な容器移動をロボット統合移動に組み込む、容器を引き渡すための方法及び装置を開示する。典型的な統合された移動は、全ての部分（例えば容器の蓋及び本体）を一緒に引き渡し、これらの部分をクリーニングのために別々に異なる位置に配置することを含む。別の典型的な統合された移動は、容器の引渡し中に蓋と本体とをロック解除／ロックすることを含む。
【００７７】
図１５は、本発明の実施の形態による典型的なクリーニング装置４００を示しており、クリーニングステーション４３２を有するハウジング４３０に結合されたロードポート４０２と、クリーニングされる容器を操作するためのロボット４０４とを有している。クリーニング装置４００は、コンピュータ制御装置、排気ファン及びダクト、クリーナ供給部及び排出部等のその他の構成要素（図示せず）をも有する。クリーニング装置４００は、複数のクリーニングステーション、別個の汚染除去／脱気ステーション（加熱される真空汚染除去チャンバ等）、及び検査ステーションを有することもできる。
【００７８】
図１５（Ａ）に示したように、容器２０１は、クリーニング装置４００によってクリーニングされるためにロードポート４０２に積載される。容器２０１は、通常、空であり、閉鎖及びロックされた位置を占めており、これは、容器本体２０１Ａと蓋２０１Ｂとが互いに結合され、ロッキング機構２０５が係合させられていることを意味する。容器２０１を、手動で、例えばオペレータによって、又は自動化された形式で、例えばオーバーヘッドホイスト搬送（ＯＨＴ）等の自動化された搬送によってロードポート４０２に配置することができる。ロードポート４０２は、インプット／アウトプットロードポート、又はインプット／アウトプットロードポートに接続された中間ロードポートであることができる。１つのロードポート４０２が示されているが、複数のロードポートをハウジング４３０に接続することができる。ロードポート４０２はインプット／アウトプットロードポートとしても示されており、これは、同じロードポートがインプット及びアウトプットのために使用されることを意味するが、クリーニング装置４００に専用のインプット及びアウトプットロードポートを設けることもできる。図示のように、容器２０１はロックされた位置を占めているが、ロック解除された位置、又はロック解除されて本体と蓋とに分離された位置のような別の構成を利用することもできる。
【００７９】
１つの実施の形態において、ロードポート４０２は、外部環境に接続されたインプットドアを有することができる。インプットドアが開放した後、容器２０１は、手動で又は自動化を用いて支持部材（図示せず）に配置され、インプットドアが閉鎖される。ロードポート４０２内の環境が、例えばクリーンな空気層流を発生するために上側からのブローイングファンと底部における排気ダクトとによって、クリーニングされる。ロードポートがクリーニングされた後、ロードポート４０２をハウジング４３０に結合するアウトプットドアが開放され、ロボット４０４を容器２０１にアクセスさせる。択一的に、クリーニング装置４００は、インプット又はアウトプットドアを有さず、単にロードポート４０２及びハウジング４３０におけるクリーニング環境だけを有している。その場合、ロードポート４０２に配置された容器２０１は、即座にロボット４０４によってアクセスすることができる。
【００８０】
ロボット４０４は、ロックされた構成において容器２０１全体をロードポート４０２から取り上げ、容器２０１をハウジング４３０（図１５（Ｂ））へ引き渡す。引渡し中に、容器は、ロボット４０４又はハウジング４３０に配置された機構によってロック解除される（４０５Ａ）。例えば、蓋又は本体が下を向くようにロボットアームを移動、回動又は回転させることによって、ロボット４０４による付加的な移動を加えることができる。この位置において、蓋及び本体は重力によって支持されるので、ロック解除後は、蓋と本体とは分離されない。例えば、ロボット４０４は、容器の蓋を掴むロボットアームを有する。ロックされた構成において、本体はロッキング機構によって蓋に結合されており、これにより、容器は全体として搬送される。蓋が容器の底部に配置されるようにロボットアームを回動させた後、ロッキング機構が解放される。本体は依然として重量によって蓋に結合されており、蓋に押し付けられている。
【００８１】
次いで、ロボット４０４は、ロック解除された容器をクリーニングステーション４３２へ引き渡し、容器本体と、蓋とを順次に配置する（図１５（Ｃ）、図１５（Ｄ））。１つの実施の形態において、クリーニングステーション４３２は、本体及び蓋の配置を容易にするために上方移動又は下方移動を行うバスケットを有することができる。クリーニングステーション４３２は、ハウジング４３０環境からクリーニングステーションを隔離するためのドアを有することができる。例えば、クリーニングステーション４３２はハウジング４３０よりもクリーンであることができるか、又はクリーニングステーション４３２は真空ステーションであることができるが、ハウジング４３０は大気圧下である。ロボット４０４は、蓋と本体とを別々に掴むために別個のグリッパを有することができ、これにより、蓋と本体とを適切な位置において解放することができる。ロボットは、蓋又は本体を掴むグリッパを有することができ、本体は重量によって上部に、ロック解除された状態で結合されている。次いで、ロボットアームは、例えばクリーニング位置における幾つかの支持部材によって、本体をクリーニング位置に配置する。その後、ロボットアームは蓋のクリーニング位置へ移動し、蓋をクリーニング位置に配置するためにグリッパを解放する。
【００８２】
容器の別個の部材（例えば蓋及び本体）を適切なクリーニング位置に配置した後、蓋及び本体をクリーニングするためにクリーニングステーション４３２のクリーニング作用が開始される。クリーニング作用は、液体又はガスクリーニング、容器部材を乾燥するための乾燥作用、又はクリーニング及び乾燥の組合せを含むことができる。１つの実施の形態において、クリーニング作用は、上述のような真空汚染除去とともに、真空乾燥を伴う統合されたクリーニングを利用する。
【００８３】
１つの典型的な実施の形態において、クリーニングステーション４３２は統合されたクリーニング及びドライヤシステムを有する。統合されたクリーニングシステムは、選択的なＩＲ加熱及び湿度センサモニタリングとともに、同じプロセスチャンバにおける一連の湿式クリーニング及び真空乾燥を提供する。クリーニングプロセスは、金属汚染物等の不純物及び汚染粒子を除去するために、超音波、エアロゾル、又は高圧噴霧によって提供される、クリーニング化学物質及び脱イオン水を含むことができる。クリーニングプロセスは、例えば、高温ガス、高温液体、迅速蒸発液体クリーナとともに所定量のクリーニング及びすすぎ液を配給する等の、真空乾燥を助けるために最小限の残留液体、及び液体保持及び液体デッドスポットなしの良好な排水を提供することもできる。有効なクリーニングのために周期的なクリーニングプロセスを行うことができる。
【００８４】
図１６は、容器回収の一連のステップにおける同じクリーニング装置を示している。クリーニングの後、ロボットは、蓋を回収し（図１６（Ａ））、本体へ移動し、本体を回収する（図１６（Ｂ））。クリーニングステーションが隔離されたドアを有するならば、ドアを開放する前に、クリーニングステーションの環境をまず外側ハウジングと等しくすることができる。例えば、クリーニングステーションが真空下であるならば、隔離されたドアを開放する前にクリーニングステーションを大気圧にするためにパージガスが導入される。
【００８５】
本体及び蓋を回収した後、ロボットは本体及び蓋をロードポートへ引き渡す。引渡し中、蓋及び本体は結合され、蓋と本体とを互いにロックするために（５０５Ａ）ロック機構が係合させられ（図１６（Ｃ））、ロボットはロックされた容器をロードポートへ移動させる（図１６（Ｄ））。蓋と本体とをロックするために、容器をロック解除するのと同じ機構を使用することができる。ロボットは、例えば、本体が重量によって蓋の上に支持されることを保証するために、本体と蓋とを適切な向きで取り上げる。さらに、容器をロックした後、ロードポートに到達する前に容器を適切な向きに位置決めすることができる。インプットのための同じロードポートを、アウトプットのために使用することができるが、別のアウトプットポートを使用することもできる。
【００８６】
１つの実施の形態において、統合された移動は、容器を適切な向きで位置決めするための向付け動作を含む。例えば、向付け動作は、容器本体を蓋の上に（又は蓋を本体の上に）位置決めするようにロボットアームを回動させ、アウトプットロードポートに嵌るように容器を回動させることを含む。
【００８７】
図１７は、本発明の実施の形態による一連の典型的なロボット移動を示している。図１７（Ａ）は、係合したロッキング機構２０５とともに、本体２０１Ａ及び蓋２０１Ｂを有する容器２０１を示している。図１７（Ｂ）は、蓋において容器２０１を取り上げるロボットを示している。択一的に、ロボットは、容器本体等の別の位置において容器を取り上げることができる。ロボットは、容器本体及び蓋等の、複数の位置において容器を取り上げることができる。容器を取り上げた後、ロボットは、クリーニングステーション等の適切な位置へ容器を移動させる。移動中、例えば、容器を重力６０２と整合させるように容器を方向付けるためにロボットアームを回転させる（６０１）等の、付加的な動作を行うことができる。図１７（Ｃ）において、本体が蓋の上に位置するように容器は方向付けられる。なぜならば、ロボットは蓋によって容器を掴むからである。この向きにおいて、ロック機構が解放された後、本体は重力によって蓋の上に支持される。図１７（Ｄ）において、ロッキング機構は解放される（６０５Ｂ）。適切な向きにおいて、蓋だけがロボットアームによって掴まれているとしても、蓋と本体とは依然としてロボットによって操作される。
【００８８】
容器が本体の位置に到達すると、本体はその位置に配置される（図１７（Ｅ））。ロボットは引渡しを継続し、蓋の位置へ移動する。蓋の位置に到達すると、ロボットは蓋を配置し、スタンバイ位置へ戻る（図１７（Ｆ））。択一的に、本体及び蓋を並行して、例えばほぼ同時に適切な位置に配置することができる。
【００８９】
１つの実施の形態において、本発明は、引渡し中の選択的なロッキング又はロック解除動作及び選択的な向付け動作とともに、容器の蓋及び本体を全体として引き渡すことを含む、統合された引渡し移動を行うためのロボットシステムを開示している。ロボットは、容器をロッキング又はロック解除するための選択的な機構とともに、容器の蓋及び本体を操作するための１つ又は２つ以上のグリッパを有することができる。
【００９０】
図１８は、本発明の実施の形態によるロボットとともに、典型的な一連の典型的な統合された移動を示している。ロボット７００は、容器本体を操作するための第１のグリッパ７０２と、容器蓋を操作するための第２のグリッパ７０４と、容器をロック又はロック解除するためのロッキング／ロック解除部材７０６とを有する。ロボット７００は、容器部材を掴み且つ配置するための、回転及び移動等のその他の動作を行うこともできる。グリッパ７０２及び７０４は、同期した移動を可能にするために共通のアームに結合されている。ロボット７００は、典型的な構成を示しているが、他の構成、例えば、共通のアームが２つ以上のグリッパアームに結合されていて、それぞれのグリッパアームが容器の部材を操作するような構成も、本発明の範囲に含まれている。
【００９１】
図１８（Ａ）は、容器本体２０１Ａを掴むアーム７０２と、容器蓋２０１Ｂを掴むアーム７０４とを備えた、容器２０１を掴むロボット７００を示している。容器２０１の複数の部材を掴む複数のアームを備えることにより、容器の向きは重要ではなく、例えば容器をあらゆる向きで位置決めすることができる。容器２０１はロックされた構成２０５で示されており、ロボットのロッキング／ロック解除部材７０６はスタンバイ位置にある、例えば引っ込められている。この図は、容器が通常は空であり且つ閉鎖された（例えばロックされた）状態でロードポートに配置された後にロボットによって受け取られたばかりの容器を示すことができる。ロボット７００は、ロードポートまで延長することができ、本体２０１Ａ又は蓋２０１Ｂのそれぞれに接近して掴むアーム７０２又は７０４を有している。
【００９２】
容器を受け取った後、ロボット７００は容器を、クリーニングステーションにおける位置等の適切な位置へ引き渡す。引渡し中に、容器のロッキング又はロック解除及び組立て又は分離等の付加的な動作を行うことができる。図１８（Ｂ）は、ロック解除動作の典型的な構成を示しており、容器をロック解除するために係合状態（７０６Ａ）に延長した、例えば蓋を本体にロックするロックを解放している部材７０６を有している。ロック解放動作が完了した後、部材７０６はスタンバイ位置へ戻る、例えば引っ込められる。図１８（Ｃ）は、分離動作の典型的な構成を示しており、本体を蓋から分離するように移動する（７０２Ａ）アーム７０２を有している。択一的に、蓋を本体から分離するためにアーム７０４を移動させたり、アーム７０２及び７０４を一緒に移動させたりするような、別の移動を行うことができる。本体及び蓋をクリーニング位置に配置する場合、分離動作を、アーム７０２及び７０４のそれぞれの移動と組み合わせることができる。
【００９３】
蓋が本体からロック解除された後、本体及び蓋を順次に（又は逐次に）適切な位置に配置することができる。例えば、図１８（Ｄ）は、本体のクリーニング位置へ移動する（７０２Ｂ）アーム７０２を有している。クリーニング位置に到達すると、アーム７０２は、本体を適切な向き及び位置に配置することができ、スタンバイ位置へ戻ることができる。順次に又は同時に、アーム７０４は蓋を適切な向き及び位置において引き渡すことができる。
【００９４】
択一的に、本体及び蓋を並行して、例えばほぼ同時に適切な位置に配置することができる。例えば、アーム７０２及び７０４はほぼ同時に本体及び蓋の適切な位置へ移動しており、この位置に本体及び蓋は並行して配置される。
【００９５】
クリーニング後に容器を回収するために、一連の動作を逆の順序で行うことができ、例えば、蓋及び本体を順次に取り上げ、ロードポートへの引渡し中に組み立て且つロックする。
【００９６】
図１９は、本発明の実施の形態による別のロボットとともに、別の典型的な一連の典型的な統合された移動を示している。ロボット８００は、容器本体を操作するための第１のグリッパ８０２と、容器蓋を操作するための第２のグリッパ８０４とを有している。ロボット８００は、容器部材を掴み且つ配置するために、回転及び移動等の他の動作を行うこともできる。
【００９７】
図１９（Ａ）は、容器本体２０１Ａを掴むアーム８０２及び容器蓋２０１Ｂを掴むアーム８０４を備えた、容器２０１を掴むロボット８０を示している。容器を受け取った後、ロボット８００は容器を、クリーニングステーションにおける位置等の適切な位置へ引き渡す。引渡し中に、容器のロッキング又はロック解除及び組立て又は分離等の付加的な動作を行うことができる。図１９（Ｂ）は、ロック解除動作の典型的な構成を示しており、ロボット８００は、容器をロック解除するための、例えば蓋を本体にロックするロックを解放しているロッキング又はロック解除部材８０６を通過している。ロボットは、部材８０６がロックをロック解除するために十分に長くロッキング又はロック解除部材８０６に停止することができるか、又はロボットは、通過動作がロックをロック解除しながら部材８０６を通過することができる。ロックをロック解除し且つ蓋を本体から分離するための分離動作を行った後（図１９（Ｃ））、ロボットは、順次に又は並行して、蓋及び本体を配置するための適切な位置へ移動する（図１９（Ｄ））。
【００９８】
クリーニング後に容器を回収するために、一連の動作を逆の順序で行うことができ、例えば蓋及び本体を順次に取り上げ、ロードポートへの引渡し中に組み立て且つロックする。
【００９９】
図２０は、本発明の実施の形態による別のロボットとともに、別の典型的な一連の典型的な統合された移動を示している。ロボット９００は、容器を操作するためのグリッパ９０４と、容器のロックをロック又はロック解除するためのロッキング又はロック解除部材９０６とを有している。ロボット９００は、容器部材を掴み且つ配置するための、回転及び移動等の別の動作を行うこともできる。ロボット９００は、蓋２０１Ｂを取り扱うアーム９００の典型的な構成を示しているが、他の構成、例えば、容器の本体又はその他の部材を取り扱うアーム、又はロッキング機構又は付加的な作動を介して、容器の複数の部材を操作するように設計された一つのアームが、本発明の範囲に含まれる。
【０１００】
図２０（Ａ）は、例えばロードポートから蓋２０１Ｂを掴み、次いで容器全体を、容器の部材が適切な位置において配置されるクリーニングステーションへ引き渡す、アーム９０４を示している。アーム９０４は、蓋のみを掴むが、本体と蓋とはロッキング機構２０５によって結合されているので容器全体も移動する。容器受取り動作の間はロッキング又はロック解除部材９０６はスタンバイ位置へ引っ込められている。
【０１０１】
クリーニングステーションへの容器の引渡し中に、容器を方向付け、ロッキング又はロック解除し、組み立てる又は分離する等の、付加的な移動が行われる。図２０（Ｂ）は、本体が蓋の上に位置する構成になるようにロボットアームが容器を方向付ける方向付け動作９０３を示している。この向きにおいて、蓋と本体との間のロック機構２０５が解放されるとしても本体は重量によって蓋によって支持される。この向きは、アーム９０４が容器の１つの部材のみを掴むとしてもアーム９０４が容器の全ての部材を支持することができるように構成されている。
【０１０２】
容器が適切な向きに方向付けられた後、ロッキング又はロック解除部材９０６は、ロック２０５をロック解除するために係合させられ（９０６Ａ）（図２０（Ｃ））、ロックが解放された後、解離される（９０６Ｂ）（図２０（Ｄ））。択一的に、ロック２０５をロック解除するためにロボットが通過することができるように、ロッキング又はロック解除部材をクリーナに位置決めすることができる。ロードポートからクリーニングステーションへの容器の引渡し中に、方向付け及びロック解除動作が生じる。
【０１０３】
ロボットは、容器を引き渡すために移動を継続し、本体を配置するための位置に到達する。ロックが解放された状態で、容器の部材が分離されることを回避するためにロボットは容器を適切に方向付けられた状態に保つ。次いで、例えばクリーニングステーションに配置された支持部材９１２によって本体がその位置に配置される（図２０（Ｅ））。択一的に、ロボットは、本体をその位置へ移動させるためのアクチュエータ（図示せず）を有する。ロボットは、蓋を配置するために蓋のクリーニング位置へ移動し続ける（図２０（Ｆ））。本体及び蓋の配置は、択一的に並行して行うことができる。容器の回収移動は、逆の順序で行うことができる。
【０１０４】
１つの実施の形態において、本発明は、容器をクリーニングするためのクリーナシステム等の、統合された移動を行うためのロボットを有するシステムを開示する。別の実施の形態において、本発明は、容器の全ての部材を同時に引渡し、容器引渡し全体の間に容器の部材をロック解除又はロッキングし且つ組み立てる又は分離することを含む、容器引渡しの統合された移動のための方法を開示する。
【０１０５】
１つの実施の形態において、複数の部分から成る物品を引き渡すための本発明の装置は、物品を保持しかつ物品を第１のステーションから第２のステーションへ引き渡すための引渡し機構を有しており、この引渡し機構は、第１のステーションから物品を受け取るか又は第１のステーションへ物品を提供し；第２のステーションの別個の位置へ又はこれらの位置から物品のそれぞれの部分を引き渡すための部分引渡し機構を有しており、装置は、第１のステーションから第２のステーションへの引渡しの間に複数の部分を解離させるか又は第２のステーションから第１のステーションへの引渡しの間に複数の部分を結合する。この装置は、さらに、物品の複数の部分をロック又はロック解除するためのアクセス機構を有することができる。
【０１０６】
１つの実施の形態において、本発明は、容器をクリーニングするためのクリーナシステムを開示し、それぞれの容器は少なくとも容器本体及び容器蓋を含む。システムは、容器を保持するための１つ又は２つ以上のロードポートと；分離された構成において容器をクリーニングするためのクリーニングチャンバとを有しており、容器本体と蓋とが解離され、クリーニングチャンバにおける別々の位置に配置され；１つ又は２つ以上のロードポートのうちの１つのロードポートとクリーニングチャンバとの間で容器を引き渡すための引渡し機構を有しており、引渡し機構は、ロードポートにおいて、本体及び蓋が組み立てられた状態で容器を引き取り若しくは引き渡し、クリーニングチャンバにおいて、本体及び蓋が分解及び分離された状態で容器を引き渡し、引渡し機構は、引渡しの間に同時進行で本体及び蓋を組み立てるか又は分解する。引渡し機構は、本体及び蓋をクリーニングチャンバにおける別々の位置に順次に又は並行して提供するための部分引渡し機構を含むことができる。引渡し機構は、本体及び蓋をクリーニングチャンバにおける別々の位置から順次に又は並行して受け取るための部分引渡し機構を含むことができる。
【０１０７】
図２１は、本体及び蓋を有する容器等の、複数の部分を有する物品をロードポートからクリーニングステーションへ搬入するための典型的なフローチャートを示している。操作２０００において、ロボットはロードポートから容器を受け取る。蓋が本体に係合させられた状態で容器をロックすることができる。択一的に、容器をロックせずに組み立てることができるか、又は容器は分離された本体及び蓋を有することができる。実施の形態において、ロボットは、容器の複数の部分を支持することができるように容器を受け取る。例えば、本体と蓋とが互いにロックされているならば、容器のあらゆる部分を保持することによって容器を支持することができる。なぜならば、本体と蓋とは互いに結合されているからである。本体と蓋とがロックされずに組み立てられているならば、両方の部分が保持されることを保証するために注意が払われるべきである。例えば、ロボットグリッパは、容器を保持するために両方の部分を互いに押し付けることができる。２つの部分が互いに上下に位置する場合、下側の部分を保持することによって両方の部分を支持することができる。本体及び蓋が別個であるならば、本体及び蓋は、ロボットによって操作される前に互いに組み立てることができる。択一的に、ロボットは引渡しの前に別々の部分を受け取ってよい。
【０１０８】
容器を受け取った後、操作２００１は容器をクリーニングステーション等のプロセスステーションへ引き渡す。引渡し中に、操作２００２は選択的に容器を分解のための、例えば蓋を本体からロック解除しかつ分離するための適切な位置へ方向付ける。例えば、容器は、本体及び蓋が互いに上下に位置し、これにより、上側の部品を下側の部品によって支持することを重力が助けるように方向付けられる。この方向付けは選択的であるが、複数の部分をロック解除することが容器全体の安定性に影響するような形式で容器が受け取られる場合には必要である。
【０１０９】
また、引渡し中に、操作２００３において複数の部分はロック解除され分離される。受け取られた容器の状態に応じて、様々な操作を行うことができる。例えば、ロボットによって受け取られた時に容器が既にロック解除されているならば、ロック解除機構は不要である。容器が既にロック解除及び分離されているならば、操作全体は不要である。
【０１１０】
引渡し中のロック解除及び分離の後に、操作２００４において容器の複数の部分はクリーニングステーションにおける適切な位置へ提供される。引渡し中に複数の部分の方向付け、ロック解除及び分離が完了され、これにより、複数の部品が目標位置に到達した時に複数の部分がすぐに供給されるように、タイミングを計算することができる。
【０１１１】
クリーニングステーションからロードポートへの取出し操作は逆の順序で行われ、複数の部分は順次受け取られ、アウトプットロードポートへの搬送中に組み立てられ且つロックされる。
【０１１２】
図２２は、容器をロードポートからクリーニングステーションへ引き渡すためのフローチャートを示している。操作１００２において、ロボットは閉鎖された容器をロードポートから受け取る。クリーニング操作のために、容器は空であり、蓋と本体とを互いにロックするためにロッキング機構は係合させられている。容器をロードポートに手動で又は自動的に、例えば自動搬送から配置することができる。操作１００４において、ロボットは容器全体を目標位置、例えばクリーニングステーションへ引き渡す。容器の複数の部材のための別々のクリーニング位置のために、ロボットは１つの位置から別の位置へ順次に移動することができる。例えば、ロボットはまず本体クリーニング位置へ移動し、次いで、本体を本体クリーニング位置に配置した後に蓋クリーニング位置へ移動することができる。操作１００６において、ロボットは、引渡し中にロッキング機構をロック解除するのに適した位置へ容器を方向付ける。これは、選択的な操作であり、容器の部材が、容器の１つの部材を掴む１つのグリッパアームによって支持されることを可能にする。ロック解除部材は、ロボットの一体の部分であることができ、ロボットの移動中にロック解除動作が行われることを可能にする。ロック解除後、容器の部材は重量によって互いに保持され、さらなるロボット移動は、容器の部材を一緒に保持するように設計されている。操作１０１０において、第１のクリーニング位置、例えば本体のためのクリーニング位置に到達した後、ロボットは本体（又は蓋）を適切なクリーニング位置に配置する。操作１０１２において、本体（又は蓋）をクリーニング位置において解放した後、ロボットは第２のクリーニング位置へ移動する。操作１０１４において、ロボットは、容器の残りの部分、例えば蓋を第２のクリーニング位置に配置する。
【０１１３】
図２３は、容器をクリーニングステーションからロードポートへ引き渡すためのフローチャートを示している。操作１１０２において、ロボットは容器の１つの部材、例えば本体の蓋を第１のクリーニング位置から取り上げる。操作１１０４において、ロボットは第２のクリーニング位置へ移動する。操作１１０６において、ロボットは、容器の残りの部材、例えば本体又は蓋を第２のクリーニング位置において取り上げる。操作１１０６において、ロボットは蓋及び本体をロードポートへ引き渡す。操作１１１０において、引渡し中に、蓋及び本体は、例えばロボットに配置されたロッキング部材によって、互いに係合及びロックされる。操作１１１２において、引渡し中に、ロボットは、ロックされた容器を、ロードポート配置に適した向きに位置決めする。
【０１１４】
１つの実施の形態において、本発明は、統合された引渡し機構を用いて半導体物品を引き渡すための方法を開示する。本発明は、組み立てられた構成における複数の部分から成る物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、物品を引渡し機構によって第１のステーションと第２のステーションとの間で移動させ、物品の複数の部分を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、複数の部分が第２のステーションにおける別々の位置に配置される、複数の部分から成る物品を引き渡す方法を開示する。１つの実施の形態において、物品は、本体部分と蓋部分とを含む容器である。組み立てられた構成における複数の部分から成る物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、互いにロックされた複数の部分を有する物品を第１のステーションから引渡し機構へ受け取ることを含むことができる。組み立てられた構成における複数の部分から成る物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、互いにロックされた複数の部分を有する物品を第１のステーションへ提供することを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションにおける適切な位置へ順次に提供することを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションにおける適切な位置へ並行して提供することを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、複数の部分を第２のステーションにおける適切な位置から引渡し機構へ順次に受け取ることを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構へ引き渡すことは、複数の部分を第２のステーションにおける適切な位置から引渡し機構へ並行して受け取ることを含むことができる。１つの実施の形態において、方法は、さらに、物品を移動させる間に複数の部分をロック解除し；物品を移動させる間に複数の部分をロックし；物品を移動させる間に複数の部分を分解し；物品を移動させる間に複数の部分を組み立て；第２のステーションにおいて複数の部分をクリーニングし；第２のステーションにおいて複数の部分を順次にクリーニング及び真空乾燥することを含む。
【０１１５】
本発明は、本発明の思想及び本質的な特徴から逸脱することなくその他の特定の形態で具体化されてもよく、従って、この実施の形態は全ての点で例示的であり、制限的ではないと考えられることが望ましく、発明の範囲を示すためには前記説明ではなく添付の請求項が参照される。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【技術分野】
【０００１】
この出願は、米国特許仮出願第６１／２１８０６７号明細書の優先権を主張する。その発明の名称は"Integrated cleaner and drier system"であり、引用したことで本明細書に記載されたものとする。
【０００２】
本発明は、半導体製造工業において使用されるウェハキャリヤのような加工物若しくは加工物容器をクリーニングするための装置及び方法に関する。
【０００３】
背景
半導体構成部材の製造は、粒子、不純物、又は異物の制御等の清浄度を要求する。これらの粒子の存在は、加工されたウェハにおける良好なデバイスの歩留りに影響する恐れがある。つまり、これらのウェハの搬送は一般的に特別な搬送容器において行われる。この特別な搬送容器は、例えば、カセット、キャリヤ、又はトレー、また閉鎖可能若しくは封止可能な容器又はボックスを含み、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Interface）のポッド若しくはボックスを含む。ＦＯＵＰは一般的にウェハを支持するために２つの対面した長い側における櫛状の案内を有しており、取外し可能カバーによって閉鎖することができる。カバーが取り外されている場合、ＦＯＵＰは中空の容器であり、矩形の表面領域を備えたポット状の基礎を有している。
【０００４】
半導体ウェハを加工する際に要求される清浄度の基準を維持するために、ＦＯＵＰを時折クリーニングする必要がある。クリーニングプロセスを特別なクリーニング及び乾燥機器において行うことができる。清浄度の要求が高まっているため、現代の半導体工場でのクリーニングサイクルの回数は増加している。例えば１つのウェハから次のウェハへの伝播汚染を回避するためにＦＯＵＰを使用するたびにクリーニングすることが望ましい場合もある。
【０００５】
つまり、ＦＯＵＰの完全なクリーニングのために必要な時間を短縮することが望ましい。さらに、特にクリーニングサイクルの回数が増加していることを考慮し、クリーニング消耗品をできるだけ少なく保つことも望ましい。これに対して、現代の半導体工場の清浄度要求を満たすために、クリーニングは極めて徹底的でなければならない。
【０００６】
概要
本発明は、半導体加工物容器等の対象物の統合されたクリーニングのための方法及び装置を開示する。１つの実施の形態において、本発明は、同じプロセスチャンバにおける湿式クリーニング及び真空乾燥の連続を開示する。この統合されたクリーニングプロセスは、部材の移動を排除し、システム信頼性を高めることができる。この真空乾燥プロセスは、乾燥ガスを排除し、作動消耗品を減じることができる。その他の構成要素を含むことができる。この構成要素は、乾燥プロセスを補助しかつ液体凍結を阻止するためのＩＲ加熱機構、及び乾燥プロセス及び終点を開始するための湿度センサを含む。
【０００７】
１つの実施の形態において、本発明は、統合されたクリーニングプロセス及びシステムを開示し、最小限の残留液体による有効な対象物クリーニングを提供する。クリーニングプロセスは、金属汚染物等の不純物及び汚染粒子を除去するために、超音波、エアロゾル又は高圧によって供給されるクリーニング化学物質及び脱イオン水を含むことができる。乾燥プロセスは、ＩＲランプヒータ等のヒータによる真空乾燥を含むことができ、このヒータは、移動部品を用いることなく、クリーニングされた対象物を乾燥する。１つの実施の形態において、湿式クリーニング及び真空乾燥プロセスは、同じクリーニングチャンバにおいて順次に行われる。クリーニングプロセスの間に液体蒸気を除去するために湿式クリーニングプロセスの間に真空ポンピングを行うこともできる。
【０００８】
１つの態様において、本発明のクリーニングは、真空乾燥を補助するために最小限の残留液体を提供する。例えば、クリーニング液及びすすぎ液の所定量を配給することができ、例えば微細な液滴とエアロゾル気泡とを噴霧する。キャリヤガスを液体デリバリと混合することができる。高温ガス及び高温液体を利用することができる。迅速蒸発液体を使用することができ、これは例えば沸点が低く蒸気圧力が高いアルコールである。液体保持及び液体デッドスポットなしに良好な排水によって液体を除去することができる。例えば液体クリーニングサイクル中にクリーニングチャンバ内の真空圧力を維持することによって、液体蒸気を排気及び低いチャンバ圧力によって除去することができる。有効なクリーニングのために周期的クリーニングプロセスを行うことができる。対象物における残留液体を減じるために高温ガスパージを提供することができ、これは、その後の乾燥プロセスを促進する。クリーニングプロセスを最適化するためにシミュレーションが行われ、これは例えばクリーニングノズルの位置及び流れを最適化するためである。例えば、クリーニング溶剤は、クリーニング面の近くに集中させることができ、クリーニングされる対象物の角に配置することができる。容器の内側と外側とで異なるクリーニングプロセスを用いることができる。例えば、内側クリーニングの重点を、金属汚染除去及び揮発性有機成分の脱気に置くことができる。さらに、外側クリーニングよりも内側クリーニングをより徹底的に行うことができ、これにより、液体クリーナの消費を減じる。
【０００９】
１つの実施の形態において、本発明は、高いスループットを伴う有効な真空乾燥プロセスを開示する。本発明の真空乾燥は、部材の移動を提供しないので、これにより、クリーニング後の残留液体の迅速な蒸発を補助するための真空周囲環境とともに、システム信頼性を高めることができる。クリーニングチャンバを、有効なポンピング及び高いポンピングコンダクタンスを備えた構成を提供するように設計することができる。蒸気凝縮を減じるためにポンピング経路には最小限の障害物がある。本発明の真空乾燥は、さらに、残留液体の蒸発を補助し且つ液体凍結を阻止するために、ＩＲヒータ等の加熱器工を有することができる。ＩＲヒータの分配は、クリーニングされる対象物に均一な熱エネルギを提供するように配置することができ、液体蒸発及び蒸発速度の均一性を可能にする。例えば凝縮を最小限にするために、チャンバ壁部ヒータを設けることもできる。
【００１０】
１つの実施の形態において、クリーニングプロセス及びシステムは、真空汚染除去及び／又は脱気を含むことができる。汚染除去プロセスを、統合されたクリーナ・ドライヤチャンバにおいて、又は別個の真空チャンバにおいて行うことができる。汚染除去プロセスを、付加的にクリーニング及び乾燥プロセスの後に行うことができるか、又はクリーニングを行わずに別個に行うことができる。例えば、汚染除去プロセスは、新たな容器のためのガス抜き等の、プラスチックエージングを提供することができる。
【００１１】
１つの実施の形態において、本発明は、例えば容器クリーナ等の容器プロセシングシステムにおいて、基板容器を引き渡すための装置及び方法を開示する。１つの実施の形態において、本発明は、様々な容器の移動を、ロボットによって取り扱われる統合された移動に組み合わせる。例えば、統合されたロボット移動は、閉鎖された容器を、インプットロードポートから又はクリーナシステム内の中間ステーションから取り上げ、蓋及び本体を一緒に移動し、次いで本体及び蓋を、クリーニングされるクリーナにおける適切な位置に、別個に配置することを含む。統合された移動は、ロードポートからクリーニング位置への引渡し中における、蓋のロック解除及び／又は本体からの蓋の分離を含むこともできる。統合された移動は、その他の動作、例えば蓋をロック解除又は分離するために、閉鎖された容器を回転させることを含むこともできる。
【００１２】
１つの実施の形態において、本発明は、基板容器の統合された引渡し移動を含み、これは、容器の蓋及び本体を一緒に引き渡し、これらを適切なクリーニングステーションに別々に配置することを含む。機構を反転させることもでき、クリーニングの後に蓋及び本体を別々に取り上げ、アウトプットロードポートへの引渡し中にこれらを組み立て所定の位置にロックする。ロボットは、閉鎖された容器をロードポートから取り上げ且つ閉鎖された容器をロードポートへ搬送することができ、これにより、付加的な分離又は組立てステーションを排除する。１つの実施の形態において、統合された引渡し移動は、容器移動中の容器の本体から蓋のロック解除又は容器の本体への蓋のロックを行うための、現場ロック解除及び／又はロッキング機構を有する。ロック解除・ロッキング機構は、ロボットであることもできるし、ロボットの近くに位置決めすることもできる。統合された引渡し移動は、ロック解除・ロック機構を収容するための付加的な移動も含むことができる。例えば、統合された引渡し移動は、ロック解除前に蓋を底部に有するように容器を回転又は傾斜させることができ、これにより、移動中の、ロック解除された容器の安定性を提供する。
【００１３】
１つの実施の形態において、本発明は、基板容器のための統合された引渡しロボットを有しており、容器の蓋及び本体を保持するための１つ又は２つ以上のグリッパと、本体から蓋をロック解除するための又は本体に蓋をロックするための選択的なロック解除・ロック機構とを含んでいる。統合されたロボットを、容器クリーナ、例えば同じチャンバにおけるクリーニング及び乾燥能力を備えた統合されたクリーナにおいて使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１Ａ及び図１Ｂは、液体が重力によって落下することができるように位置決めされた、クリーニングされる物品の典型的な構成を、残留液体を除去することを補助するためのガスノズルとともに示す図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、クリーニングされる物品の表面に面した液体ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図３】クリーニングされる物品の複数の面に面した液体ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図４】ＦＯＵＰを包囲する液体ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図５】クリーニングされる物品内の内部ノズルの典型的な構成を示す図である。
【図６】図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の実施の形態による、要基本対の内部に液体流れを供給する内部ノズルの選択された構成を示す図である。
【図７】図７Ａ及び図７Ｂは、容器本体及び蓋の外面に液体流を供給する外側ノズルの選択された構成を示す図である。
【図８】図８Ａ及び図８Ｂは、本発明の実施の形態による、容器本体の内部に容器本体熱エネルギを供給する内部ＩＲヒータの選択された構成を示す図である。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、容器本体及び蓋の外面に熱エネルギを供給する外側ＩＲヒータの構成を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態による統合されたクリーニングのためのフローチャートを示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態による統合されたクリーニングのための別のフローチャートを示す図である。
【図１２】従来技術によるクリーナシステムを示す図である。
【図１３】複数の基板を保持する典型的な閉鎖された容器を示す図であり、図１３Ｂ（Ａ）〜（Ｃ）は、図１３Ａに示された容器と同じ容器を、基板なしに示す図である。
【図１４】複数の基板を保持する典型的な閉鎖された容器を示す図であり、図１４Ｂ（Ａ）〜（Ｃ）は、図１４Ａに示された容器と同じ容器を、基板成しに示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態による典型的なクリーニング装置を、一連の容器配置とともに示す図である。
【図１６】図１５に示されたクリーニング装置を、一連の容器取出しとともに示す図である。
【図１７】本発明による実施の形態による一連の典型的なロボット移動を示す図である。
【図１８】本発明の実施の形態による典型的な統合された移動の典型的な連続を示す図である。
【図１９】本発明の実施の形態による典型的な統合された移動別の典型的な連続を示す図である。
【図２０】本発明の実施の形態による典型的な統合された移動の別の典型的な連続を示す図である。
【図２１】ロードポートからクリーニングステーションへの容器の引渡しのための典型的なフローチャートを示す図である。
【図２２】本発明の実施の形態による、ロードポートからクリーニングステーションへ容器を引き渡すためのフローチャートを示す図である。
【図２３】本発明の実施の形態による、クリーニングステーションからロードポートへ容器を引き渡すためのフローチャートを示す図である。
【００１５】
好適な実施の形態の詳細な説明
本発明は、物品、特に半導体物品、例えばカセット、ＦＯＵＰ、ホルダ等をクリーニングすることに関する。１つの実施の形態において、本発明は、組み立てられた複数の部分を有する対象物、例えば別個の本体及び別個の蓋を有する容器（例えばＦＯＵＰ又はＦＯＳＢ）のための、クリーニングプロセスを提供する。本体及び蓋は、半導体基板の搬送及び貯蔵の間、組み立てられ、例えば互いにロックされ、クリーニングの間、分解、例えば別々の部分に分離される。容器は、一般的に、ロックされた状態でクリーナへ提供され、クリーナによってロック解除され、クリーニングされ、再びロックされる。１つの構成において、クリーニング液を排出することを助けるために、蓋はクリーニングチャンバにおいて鉛直に位置決めされる。容器本体は、開口が、真空ポンプのポンピングポートが配置されているクリーニングチャンバの底部に面するように位置決めされる。クリーニングチャンバの操作を、手動で操作することができるが、電子制御装置又はコンピュータによって自動的に操作されることが好ましい。
【００１６】
１つの実施の形態において、本発明の改良されたクリーニングプロセスは、同じプロセスチャンバにおける統合された一連の液体クリーニング及び真空乾燥を含む。本発明の液体クリーニングは、より短いクリーニング時間で水及びクリーニング液及び化学物質を節約することができ、クリーニング液、界面活性剤、熱、撹拌された又はエアロゾル液体流の組合せにより清浄度及び粒子除去を改良する。本発明の真空乾燥は、部材の移動を排除し、システム信頼性を高めることができる。
【００１７】
クリーニング方法は、有機金属、無機金属、天然酸化物及び粒子状物質等の粒子及び／又は汚染物を除去するための方法及び露汚れ（ウォータースポット）を除去するための方法から成る。クリーニングは、カセット、ＦＯＵＰ、ＦＯＳＢ、ホルダ等の半導体物品のための不可欠な要求である。決定的なクリーニングにおいて、数ミクロンからサブミクロンレベルの範囲の粒子の除去及び微量汚染物（金属又はイオン）の低減は、半導体クリーニング工業の懸念の一部となっている。
【００１８】
１つの実施の形態において、本発明は、統合されたクリーニングプロセス及びシステムを開示し、最小限の残留液体で有効な対象物クリーニングを提供する。１つの態様において、最小限の残留液体は、その後の乾燥プロセス、例えば真空乾燥を補助することができる。１つの態様において、クリーニングされる物品は、最小限の液体捕捉で、例えば水平面に位置決めされる。さらに、潜在的なトラップ位置において、残留液体を最小限にし且つ乾燥プロセスを補助することを助けるために、あらゆる捕捉された液体を吹き飛ばすために、ガスノズルを配置することができる。ガスノズルは好適には窒素又はろ過空気を提供するが、液体又は通気された液体（aerated liquid）を提供することもできる。１つの態様において、ガスノズルはクリーニング作用を行うことができ、液体ノズルは、捕捉された液体を除去することができる。
【００１９】
図１Ａは、液体１１が重力によって落下することができるように位置決めされた、クリーニングされる物品１０の典型的な構成を示している。窒素、ろ過空気、液体、又は通気された液体を提供する底部ガスノズル１２は、表面張力によって捕捉された残留液体を除去することを助けるために、物品の底部に向けられていることができる。
【００２０】
図１Ｂは、クリーニングされる物品１０の別の典型的な構成を、あらゆる残留液体を除去することを補助するために物品１０に向けられた複数のガスノズルと共に示している。例えば、底部ガスノズル１２を、表面張力によって捕捉された残留液体を除去することを助けるために、物品の底部に向けることができる。さらに、上部ガスノズル１３を、水平面に捕捉された残留液体を除去することを助けるために、上面に向けることができ、別のガスノズル１４を、残留液体を捕捉することができる物品の不規則形状に向けることができる。
【００２１】
物品をクリーニングするために、複数の液体ノズルを物品表面に向けることができる。液体ノズルは、クリーニング液と、すすぎ液（例えばＤＩ水）と、物品をクリーニング及び汚染除去するために設計されたその他の化学的液体、例えば界面活性剤又は金属除去剤との混合物を供給することができる。液体の量は、例えばキャリヤガス（例えば窒素、空気、又は不活性ガス）と共に微細な液滴及びエアロゾルガスを噴霧することによって、注意深く制御することができる。液体ノズルを、窒素又はろ過空気等のガス、又はガス・液体混合物を供給するように構成することもできる。沸点が低く且つ蒸気圧力が高いアルコール等の、迅速蒸発液体を使用することができる。例えば、蒸発により迅速な乾燥を補助するために、高温キャリヤガス及び高温液体を利用することもできる。さらに、液体保持及び液体デッドスポットなしに良好な排水で液体を除去することができるように、チャンバ、及び物品の位置決めを設計することができる。さらに、液体蒸気を、迅速排出及び低いチャンバ圧力によって、例えば乾燥ガスのパージングによって及び／又は液体クリーニングサイクル中のクリーニングチャンバ内の真空圧力を維持することによって、除去することができる。
【００２２】
１つの実施の形態において、クリーニングノズル（ガス又は液体）を、クリーニング面の近く、特に角に配置することができる。また、クリーニングプロセスを、容器の外側よりも内側により集中させることができ、これにより外側液体クリーニングを低減する。ノズルの数及びノズルの位置は、システムの構成を単純化し、最小限の残留液体で有効クリーニングを最大化するように設計されている。概して、ノズルは、下方へ噴霧するように高い位置に配置されている。また、ノズルは、有効クリーニングのために物品の角に向けられている。高い流量が好ましく、これにより、ノズルの数が少なく保たれる。角がない場合、例えばＦＯＵＰドアに面している場合、ノズルは、より均一な流れを提供するように緊密に分配されている。
【００２３】
図２Ａは、物品１０の表面２０に面した液体ノズル２１の典型的な構成を示している。この構成において、複数のノズル２１はマニホールド２２によって接続されている。マニホールド２２を様々な角度で位置決めすることができるが、好適には、重力によってマニホールドに付着される残留液体を最小限にするために鉛直に位置決めされている。ノズルは表面２２に重なるように設計されており、完全なクリーニングを保証するために表面の完全な被覆を提供している。ノズルは、例えば十分なクリーニング力を有するために、小さな角度の流れを提供することができる。衝突角度は、より大きな力を得るために表面に対して垂直であることができるが、表面をより広く被覆するために表面に沿っていることもできる。１つの態様において、クリーニングされる物品は半導体容器である。これにより、汚染は、小さな粒子又は金属汚染物である傾向があるが、本発明は、中圧及びより大きな被覆面積のための小さな衝突角度を有するクリーニングノズルを開示する。図２Ｂは、物品１０の端部に配置された２つの液体ノズル２４の別の典型的な構成を示している。ノズルは、物品１０の角に配置されており、表面全体を被覆するように構成されている。
【００２４】
図３Ａは、マニホールド３２によって接続された、物品３０の複数の表面に面した液体ノズル３１の典型的な構成を示している。コーナノズル３１Ａは、側面の一部とともに、上面を被覆するように構成されている。その他のノズルは、側面の複数のセクションを被覆するように設計されている。図３Ｂは、物品３０の角に配置されており且つ物品の表面全体を被覆するように構成された液体ノズル３４の別の典型的な構成を示している。
【００２５】
図４は、ＦＯＵＰ４０を包囲する液体ノズル４１の典型的な構成を示している。ノズルは、角に配置されており、ＦＯＵＰの表面全体を被覆するように構成されている。この構成は、平面図又は側面図で見た場合であることができる。平面図又は側面図で見た構成において、ノズル４１はそれぞれ鉛直又は水平のマニホールド（図示せず）内に埋め込まれていることができ、それぞれのマニホールドは複数のノズルを有している。ノズル４１は一般的には小さな被覆角度を有している。なぜならば、ノズル４１は、物品の外側に位置決めされており、外面をクリーニングするように設計されているからである。
【００２６】
内部クリーニングのために、ノズルは好適には物品のキャビティ内に位置決めされており、これにより、球範囲（４π立体角）まで提供する。好適な実施の形態において、物品の開口は、捕捉される液体を最小限にするために下に向けられている。ノズルは、好適には、物品の内部に向かって上を向いている。内部ノズルマニホールドは鉛直に配置されており、上部における球ノズルは開口に進入している。
【００２７】
図５は、物品５０内の内部ノズルの典型的な構成を示している。好適には球形ノズルである中央ノズル５１は、内面上部の近くに位置決めされており、上面及び周囲面に液体を噴霧する。液体は上面から流れ落ちることができ、上面をクリーニングした後に周囲面をさらにクリーニングする。同じく好適には球形ノズルである複数の角ノズル５２は、表面の角に集中するために内面の内側角に向けられている。
【００２８】
典型的なクリーニングプロセスにおいて、クリーニング溶剤等のクリーニング液は、ＦＯＵＰ容器及びドア等の物品に噴霧される。界面活性剤、洗剤、又は汚染物／金属除去剤等の添加剤が、例えば吸引又はポンピングによって水又はその他の液体に添加されてよい。汚染物／金属除去剤は、キレート剤等の金属除去剤であることができる。界面活性剤の代わりに、高アルカリ性洗剤が使用されてよい。例えば、汚染物の除去を助けるために、ＵＶ光を加えることができる。クリーニング及び／又は汚染物除去が完了した後、ＤＩ水等のすすぎ液を噴霧することによって物品はすすぎが行われる。周期的なクリーニング／すすぎプロセスを、有効なクリーニングのために行うことができる。クリーニング液は、リサイクルのために収集することができる。
【００２９】
１つの実施の形態において、クリーニングプロセスは、クリーニングされる物品の表面に集中させられ、これにより、チャンバ表面に衝突する液体の量を最小限にする。ノズルは好適には、クリーニングされる表面を被覆するように注意深く制御された噴霧角度と、チャンバ表面へ逃げる最小限の液体とを有するように、物品の表面に向けられている。チャンバ表面における液体の量を最小限にすることは、その後の乾燥プロセスを改良することができる。
【００３０】
１つの実施の形態において、クリーニングプロセスは、その後の乾燥プロセスを助けるために小さな液滴を提供する。さらに、液滴をさらに一層小さな液滴に分割するために、パージされたガス又は液体噴霧を提供することができる。例えば表面の底部において液体が結合する領域において、例えば液体を吹き飛ばすことによって、大きな結合した液体を小さな液滴に分割するために、ガス又は液体噴霧を提供することができる。
【００３１】
１つの実施の形態において、クリーニング環境は、乾燥空気、不活性ガス、又は非反応性ガスである。例えば、物品を投入した後、プロセスチャンバ内の空気を排気し、不活性ガス（例えばアルゴン）又は非反応性ガス（例えば窒素）と置き換えることができる。１つの態様において、液体クリーニングの間、チャンバはパージされる。別の態様において、チャンバは、例えばプロセスチャンバ内の液体蒸気を周囲へ除去することを助けるために、チャンバは封止され、大気圧より低い圧力に維持される。減じられた圧力は、数十トル、トル、又はミリトルの範囲であることができる。１つの態様において、揮発性を高めるために液体を加熱することができ、これは、残留液体の除去の容易さを高める。エネルギコストを減じるために、加熱された液体をリサイクルすることができる。さらに、例えばＩＲランプ又はＵＶランプによって、物品及びプロセスチャンバを加熱することもできる。
【００３２】
クリーニング後、容器をすすぐことができる。高温空気流等の選択的なガスパージを、容器表面に残っている液体の量をさらに減じるために利用することができる。ノズルを、クリーニングのための液体、すすぎのための液体、及び容器表面から液体を押し流すためのガスを提供するように構成することもできる。
【００３３】
１つの実施の形態において、本発明は、容器本体から分離されており且つクリーニングチャンバ内に容器本体の近くに位置決めされた容器蓋をクリーニングするともに、容器本体の内側及び外側をクリーニングすることを含む、容器クリーニングのための最適な構成を開示する。
【００３４】
図６Ａ〜図６Ｂ及び図７Ａ〜図７Ｂは、本発明の実施の形態によるクリーニングチャンバの側面図及び平面図を示している。容器は、クリーニングチャンバ６０内に配置された本体６１と、容器蓋６２とを有している。本体６１と蓋６２とは互いに解離され、クリーニングチャンバ６０の別々の位置に位置決めされている。さらに、本体と、蓋とは、余分な残留液体が容器本体及び蓋の表面に残ることを阻止するように位置決めされている。１つの実施の形態において、クリーニングチャンバ６０の底部に配置された排水口（図示せず）へ液体が重力によって流れるように、蓋は鉛直に位置決めされている。同様に、内部液体ノズル６３，６４がよりクリーンな液体を供給するように、本体も鉛直に位置決めされ、開口部が底部に配置される。
【００３５】
１つの実施の形態において、液体ノズルは、容器の内側及び外側それぞれをクリーニングするために本体キャビティの内側（６３及び６４）及び外側（７１，７２，７３及び７４）に位置決めされている。液体速度、被覆、容器表面における液体の滞留時間、及び容器における応力の分布を最適化するために、様々なノズル構成が試験された。
【００３６】
図６Ａ及び図６Ｂは、液体流６５，６６又は６７を供給する内部ノズル６３及び６４の選択された構成を示している。１つの構成において、ノズル６３は本体キャビティの中央に配置されており、液体流６５をまっすぐ容器本体の上部に向かって供給する。別の構成において、ノズル６４は本体キャビティの角に配置されており、液体流を容器本体の角に向かって供給する。図示のように、ノズル６４は、中央のノズル６３と角との間のほぼ中間に配置されている。ノズル６４は、高い位置６６又は中間の位置６７において液体流を供給することができる。さらに、高い流れ及び流れもシミュレーションされる。
【００３７】
概して、流れの動作は流量に応じて著しく変化せず、低い流量では滞留時間が著しく増大する。より高い流量では、流速の分布はより均一である。中央の流れ６５は、容器表面の効率的な被覆を提供しない。さらに、中間位置の流れ６７は、高い位置の流れ６６よりも良好な流れ均一性を提供する。つまり、シミュレーション結果は、内部容器クリーニングのための最適な構成が、容器の角を向いた、できるだけ大きな流量を有する、中間の高さに配置された４つのノズルを含むことを示している。
【００３８】
図７Ａ及び図７Ｂは、容器本体及び蓋の外面に液体流を供給する外部ノズル７１，７２及び７３の選択された構成を示している。１つの構成において、ノズル７１は、容器の４つの角に配置されており、外側の角に向かって液体流を供給する。別の構成では、ノズル７２及び７３は容器外面の中央に配置されており、液体流を容器本体及び容器蓋の中央に向かって供給する。共通の供給管が、例えばフロントノズル及びバックノズルによって、本体及び蓋の表面に向かって流れを供給することができる。別の構成において、ノズル７３及び７５は、容器のそれぞれの面に向かって分配されており、例えば各表面のための２つのノズルが分配されている。さらに、ノズルは、液体を高い位置７６又は低い位置７７において供給することができる。さらに、高い流れ及び流れもシミュレーションされる。
【００３９】
中央のノズル７２によって角はフラッシングされない。内部クリーニング流の寄与により、より高い位置の流れによって、より高い均一性を達成することができる。分配された流れ７２は、より高い均一性を提供するが、液体の使用消費量が大きいことにより、より低い効率を有する。つまり、シミュレーション結果は、外側容器クリーニングのための最適な構成が、容器の角に向けられた、高い位置に配置された４つの角ノズル７１と、蓋の表面にそれぞれ向けられた２つのノズル７５とを、できるだけ高い流量で含むことを示す。
【００４０】
１つの実施の形態において、本発明は、最良の表面クリーニングのためのノズル位置の最適な構成を備えた、容器をクリーニングするためのチャンバを開示する。さらに、この構成は、最小限の残留液体を提供し、その後の真空乾燥プロセスを助ける。
【００４１】
１つの実施の形態において、本発明は、物品クリーニングプロセスのための有効な真空乾燥を開示する。この真空乾燥は、部材の移動を提供せず、システム信頼性を改善する。この真空乾燥は、液体クリーニング中に液体蒸気を除去するのを助けるために液体クリーニング段階の間のパージング又は真空周囲環境とともに、クリーニングプロセスから生じる最小限の残留液体によってさらに改善することができる。この乾燥プロセスは、少ない液体を用いるクリーニングプロセスによって、及びチャンバ表面に最小限の液体を生じるクリーニング構成によって、改善することもできる。
【００４２】
クリーニングチャンバは、有効なポンピング及び高いポンピングコンダクタンスを備えた構成を提供するように設計することができる。蒸気凝縮を減じるためにポンピング経路に最小限の障害物がある。液体蒸気捕捉を減じるためにポンピング経路に最小限のデッドスペースがある。例えば、ポンピングポートはチャンバの底部に配置されている。なぜならば、物品の開口部は、液体を排出しやすくするためにチャンバ底部に向いているからである。乾燥ガスノズルは、大きな液滴を回避するために又は液滴表面張力を減じるために、凝縮領域又は液体結合領域に提供することができる。
【００４３】
この真空乾燥は、さらに、残留液体蒸発を助けかつ液体凍結を回避するために、ＩＲヒータ等の加熱機構を有することができる。例えば、凝縮を最小限にし且つ残留液体を除去することを助けるために、１つ又は複数のチャンバ壁部ヒータを設けることもできる。ＩＲヒータを物品の外側及び内側に、クリーニングされる物品表面に対面するように、位置決めすることができる。ＩＲヒータは、均一な加熱を提供するために好適には物品の中央に分配されている。加熱機構は、チャンバ又は物品に一定の温度を提供することができる。加熱は、最低でも、例えば蒸発のための十分な熱エネルギを提供するように設定することができ、室温を維持する。例えば１００℃未満又は６０℃未満における蒸発プロセスを増大するために、加熱を付加することができる。高温のために、安全の目的で断熱を提供することができる。さらに、凝縮を回避しかつ乾燥プロセスを補助するために、ポンピングマニホールド及び真空ポンプを加熱することができる。
【００４４】
１つの実施の形態において、ＩＲヒータは、容器表面に均一な熱エネルギを提供する。プラスチック材料から形成された容器の場合、ホットスポット（容器損傷につながる恐れがある）を回避し且つコールドスポット（非効率な乾燥につながる恐れがある）を回避するために、均一な温度分布が望ましい。つまり、１つの実施の形態において、このシステムは、容器内面及び外面に加熱均一性を提供するＩＲヒータ構成を開示する。
【００４５】
図８Ａ〜図８Ｂ及び図９Ａ〜図９Ｂは、本発明の実施の形態による内部及び外部のＩＲヒータを備えたクリーニングチャンバの側面図及び平面図を示している。１つの実施の形態において、ＩＲヒータは、容器の内面及び外面をそれぞれ加熱するために本体キャビティの内側（４７，４８及び４９）及び外側（５６，５７，５８及び５９）に位置決めされている。熱エネルギの分布、温度均一性、及び加熱プロセスの効率を最適化するために、様々なヒータ構成が試験された。
【００４６】
図８Ａ及び図８Ｂは、内部ヒータ４７，４８及び４９の選択された構成を示している。１つの構成において、ヒータ４９は本体キャビティの中央に配置されており、容器本体の全ての内面を加熱する。別の構成においては、ヒータ４８は、本体キャビティの表面に対面して配置される。さらに別の構成では、ヒータ４７は、本体キャビティの角の近くに配置される。選択されたＩＲヒータは、ダブルランプであり、より広い表面エネルギを提供する。さらに、ダブルランプの向き付けも研究されている。
【００４７】
シミュレーション結果は、内部容器加熱のための最適な構成が、２つ又は４つのヒータ４８がより少ないコールドスポット又はホットスポットとともにより良好な熱均一性を提供することを示す。
【００４８】
図９Ａ及び図９Ｂは、外部ヒータ５６，５７，５８及び５９の選択された構成を示しており、容器本体及び蓋の外面に熱エネルギを供給する。各ヒータ５８はそれぞれ１つの容器表面に面している。ヒータ５７は２つの表面、つまり容器本体の１つの表面と、蓋の１つの表面とに面しているので、より良好なエネルギ供給のためにより高いエネルギ（ヒータ５８よりも約１０〜４０％高い）を必要とする。ヒータ５６は、容器の上部に位置決めされており、ヒータ５８と同じ電力を使用することができる。ヒータ５９は、本体表面の上部に位置決めされており、より少ないエネルギ（ヒータ５８よりも約１０〜４０％少ない）を使用する。
【００４９】
１つの実施の形態において、本発明は、最良の表面クリーニングのためのノズル位置の最適な構成を備えた、クリーニング容器のためのチャンバを開示する。さらに、この構成は、最小限の残留液体を提供し、その後の真空乾燥プロセスを助ける。
【００５０】
１つの実施の形態において、クリーニングチャンバ内の湿度レベルを測定するために、１つ又は複数の湿度センサを設けることができ、これらの湿度センサは、次いで、乾燥プロセスを監視し且つ乾燥プロセスの終点を検出するために使用することができる。
【００５１】
１つの実施の形態において、本発明は、同じクリーニングチャンバにおいて順次に行われる統合された湿式クリーニング及び真空乾燥を開示する。さらに、クリーニングプロセス中の液体蒸気を除去するために湿式クリーニングプロセス中に真空ポンピングを行うこともできる。物品をクリーニングすることに加え、このクリーニングプロセス及びチャンバは、新たな物品をコンディショニングすることができ、例えば新たなプラスチック容器を脱気及び／又はエージングすることができる。
【００５２】
１つの実施の形態において、クリーニング及び真空乾燥を同じクリーニングチャンバにおいて行うことができ、クリーニングされる物品の移動を最小限にすることによってスループットを高めることができる。真空乾燥及び液体クリーニングは両立可能なプロセスであり、従って、両者を、干渉せずに同じプロセスチャンバにおいて行うことができる。さらに、液体蒸気除去を高めるためにクリーニングプロセス中に真空を提供することができ、乾燥時間をさらに短縮する。クリーニング液又はすすぎ液の揮発性を高めることを補助するためにクリーニングプロセス中に熱を加えることもでき、乾燥時間をさらに短縮する。
【００５３】
１つの実施の形態において、本発明は、加熱された真空汚染除去及び脱気プロセス及びチャンバを開示する。物品からの揮発性有機成分及びその他の汚染粒子の蒸発を加速させるために、ＩＲヒータ等のヒータを、真空中の物品に提供することができる。１つの実施の形態において、汚染除去チャンバを乾燥チャンバに統合することができ、乾燥チャンバのヒータ及び真空構成要素を利用する。別の実施の形態において、例えばプロセシングスループットを増大するために、汚染除去チャンバは、別個の加熱される真空チャンバを有する。
【００５４】
１つの実施の形態において、このシステムは、クリーニングプロセスを制御するための制御装置を有している。制御装置は、オペレータ又はホストからの入力を受け取ることができ、どの物品のためにどのクリーニングが行われるかを知らせる。例えば、幾つかの容器がクリーニング及び乾燥され、次いで、脱気のために、加熱された真空汚染除去を受ける。場合によっては、幾つかの容器は、クリーニング又は乾燥なしでの脱気のために、加熱された真空へ直接に送られる。
【００５５】
１つの実施の形態において、このシステムは、進入及び退出する物品を検査するための検査ステーションを有する。例えば、クリーニング及び真空プロセスの前に容器を検査することができる。場合によっては、クリーニング及び／又は汚染除去の前に、選択された容器のみが検査される。場合によっては、クリーニング又は汚染除去なしで、幾つかの容器のみに検査が行われる。場合によっては、幾つかの容器は、検査及び汚染除去プロセスのみが行われる。
【００５６】
１つの実施の形態において、このシステムは、オペレータアクセスのためのマニュアルロードポート、又はオーバーヘッドトランスポート（ＯＨＴ）等の自動ロードポートを有する。ローダバッファも設けることができる。
【００５７】
１つの実施の形態において、本発明は、物品をクリーニング及び乾燥するためのチャンバを開示しており、このチャンバは、物品にクリーニング混合物を供給するための液体供給システムと、チャンバに大気圧よりも低い圧力を供給するための真空システムと、物品に熱エネルギを供給するためのヒータシステムとを有しており、物品は同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、物品はクリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、物品は、液体凍結を回避するために熱エネルギを用いて真空乾燥される。１つの実施の形態において、クリーニング混合物は、液体クリーナ及び気体キャリヤガスの混合物を含む。液体供給システムはさらに、クリーニング混合物を供給した後に物品にすすぎ混合物を供給することができるか、又はクリーニング混合物を供給した後に物品にパージガスを供給することができる。チャンバはさらに、加熱された真空周囲において物品を脱気及び汚染除去することを含むことができる。真空ポンプシステムは、液体及び気体材料を排出することができる。
【００５８】
１つの実施の形態において、本発明は、容器をクリーニング及び乾燥するためのクリーナシステムを開示しており、このクリーナシステムは、容器を収容するためのロードポートと、容器の表面にクリーニング混合物を供給するための複数のノズルを有する真空の封止されたクリーニングチャンバと、容器の表面に熱エネルギを供給するための複数のＩＲヒータと、クリーニングチャンバに大気圧よりも低い圧力を供給するためのポンピングシステムと、ロードポートとクリーニングチャンバとの間で容器を引き渡すためのロボット操作システムとを有しており、容器は同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、容器は、クリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、容器は、液体凍結を回避するために熱エネルギを利用して真空乾燥される。１つの実施の形態において、複数のノズルはさらに、クリーニング混合物を供給した後に容器にすすぎ混合物を供給する。複数のノズルは、さらに、クリーニング混合物を供給した後に容器にパージガスを供給することができる。容器は、分配され且つクリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を有することができる。真空ポンプは、液体材料及び気体材料を排出することができる。クリーニングは、大気圧より低い圧力において行われる。１つの実施の形態において、システムは、容器を脱気及び汚染除去するための別個のチャンバを有している。
【００５９】
１つの実施の形態において、本発明は、半導体物品をクリーニングする方法を開示し、この方法は、クリーニング溶剤を供給するためのクリーニングノズルと、真空乾燥のためのヒータ及び真空システムとを有する統合されたクリーニングチャンバを使用する。図１０は、本発明の実施の形態による統合されたクリーニングのためのフローチャートを示している。操作８０は、物品にクリーニングプロセスを提供する。操作８２は、同じプロセスチャンバにおいて且つ部材を移動させずに、物品に真空乾燥プロセスを提供する。操作８４は、同じプロセスチャンバにおいて又は異なるプロセスチャンバにおいて、選択的な加熱された／真空汚染除去プロセスを提供する。プロセス変化を提供することができ、例えば、クリーニングプロセスは、クリーニングのためにクリーニング溶剤（又はクリーニング混合物）を供給し、その後、すすぎ溶剤、次いで残留液体を除去するためのパージガスを提供することを含む。真空乾燥プロセスは、プロセスチャンバを封止し、プロセスチャンバを大気圧より低い圧力、例えば１０トル、トル、又はトルより低い範囲にポンピングすることを含むことができる。典型的なクリーニング及び乾燥プロセスを行う時間は、数分間、例えば１０分未満であることができる。加熱された真空汚染除去プロセスは、より高い温度及びより低い圧力で、又は乾燥プロセスと同じ温度及び圧力で行うことができる。典型的な汚染除去プロセスを行う時間は１時間未満であることができる。
【００６０】
１つの実施の形態において、本発明は、物品をクリーニングする方法を開示し、この方法は、プロセスチャンバにおいて液体クリーニング混合物を用いて物品をクリーニングし、同じプロセスチャンバにおいて物品を真空乾燥し、少なくとも真空乾燥時間のうちの一部の間だけ物品に熱エネルギを提供することを含む。この方法は、さらに、同じプロセスチャンバにおいてすすぎ混合物を用いて物品をすすぎ、同じプロセスチャンバにおいてパージガスを用いて物品をパージし、同じプロセスチャンバにおいて加熱された真空周囲において物品を汚染除去し、又は異なるプロセスチャンバにおいて加熱された真空周囲において物品を脱気及び汚染除去することを含むことができる。１つの実施の形態において、物品は、分解され且つクリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を含む。
【００６１】
図１１は、本発明の１つの実施の形態による統合されたクリーニングのための別のフローチャートを示している。操作９０は、クリーニングされる物品をインプットロードポートからプロセスチャンバへ引き渡す。物品が複数の部分を有する場合、物品は別々の部分に分解され、それぞれの部分は、プロセスチャンバ内の適切な位置へ引き渡される。例えば、ＦＯＵＰを、（例えば独立型解放ステーションによって又はロボット引渡し中のロボットエフェクタによって）開放させることができ、次いで、本体及び蓋はプロセスチャンバのバスケットに配置される。バスケットは次いで下降させられる。物品を提供した後、プロセスチャンバは閉鎖される。操作９２は、クリーニングノズルを作動させ、液体流を物品に向かって提供する。１つの実施の形態において、液体は加熱される。液体は、溶剤混合物、例えば液体とデリバリガスとの混合物であることができる。１つの実施の形態において、チャンバは封止され、大気圧より低い圧力にポンピングされる。排出システムはクリーニング液を排出することができる。さらに、ポンピングプロセスは、気体、蒸気、液体、又はこれらのあらゆる組合せを押し出すことができ、プロセスチャンバから気体及び液体を除去する。１つの実施の形態において、ヒータが作動され、物品及び／又はプロセスチャンバ壁部を加熱する。クリーニングの後、すすぎ溶剤又は混合物を、すすぎのためにノズルによって物品に提供することができる。物品表面に残っている液滴を減じるために、選択的なガスパージを後で提供することができる。蒸気の除去を促進するために、溶剤混合物及びガスを加熱することができる。
【００６２】
操作９４は、物品を真空乾燥するためのノズル供給システムを停止させる。液滴が物品表面において凍結することを低減するために物品を加熱するために、ヒータを作動させることができる。クリーニングプロセス中に真空ポンプが作動させられているならば、その作動を維持することができるか、又はより迅速な液体蒸発のためにチャンバ圧力をさらに減じるためにポンピング速度を増大することができる。クリーニングプロセスが大気圧において又は大気圧よりも高い圧力において行われる場合、残留液体の真空蒸発のためのチャンバ圧力を減じるために、真空ポンプが作動させられる。クリーニングプロセス中にヒータが作動させられていると、その作動を維持することができるか、又はより迅速な液体蒸発のために物品表面温度をさらに高めるためにその温度を上昇させることができる。物品を加熱せずにクリーニングプロセスが行われるならば、液体凍結を回避するためにヒータを作動させることができる。
【００６３】
統合された汚染除去のために、例えば汚染除去がプロセスチャンバに組み込まれているならば、操作９６はさらに、揮発性有機成分除去のための加熱された真空汚染除去プロセス、又はその他の汚染除去作業を行う。ヒータ温度及びチャンバ圧力は、乾燥プロセスと同じであるか、又は乾燥プロセスとは異なることができる。一般的に、汚染除去は乾燥時間より長い。
【００６４】
別個の汚染除去チャンバの場合、物品、例えば、容器本体及び容器蓋は一緒に、クリーニングチャンバから汚染除去チャンバへ引き渡される。汚染除去チャンバにおいて、汚染除去プロセスが行われる。
【００６５】
汚染除去の後、操作９８は、物品をアウトプットロードポートへ引き渡す。複数部分物品、例えば本体及び蓋を有する容器の場合、ロードポートに到達するために複数の部分が組み立てられて互いにロックされる。例えば、プロセスチャンバは開放し、バスケットが上昇する。本体及び蓋は、（汚染除去チャンバ又はクリーニングチャンバの）バスケットから取り出され、ロードポートへ提供する前に蓋は本体に組み付けられてロックされる（手作業のローディングプラットフォーム又は自動オーバーヘッド搬送）。インプットロードポート及びアウトプットロードポートは同じロードポートであることができる。択一的に、インプットロードポート及びアウトプットロードポートは、例えば、クリーニングされた容器を汚染することを回避するために又はクリーニングスループットを高めるために、異なるロードポートであることができる。
【００６６】
１つの実施の形態において、本発明は、特に容器本体及び容器蓋を含む半導体容器等の複数の部分から成る物品のために、より迅速なスループットのための改良されたロボット引渡しを開示する。
【００６７】
基板容器をクリーニングするための従来の慣用のクリーニング装置においては、ＦＯＵＰがインプットロードポートから取り上げられ、ＦＯＵＰオープナステーションに配置され、そこで蓋が開放されて本体から分離される。次いで、ロボットは本体及び蓋を別々に取り上げ、それぞれをクリーニングステーションへ引き渡し、そこで蓋及び本体がクリーニングされる。クリーニングの後、クリーニングされた本体及び蓋は、アウトプットステーションへ送られる前に互いに組み立てられるために組立てステーションへ引き渡される。クリーニングプロセスを開始することができる前に、多くのロボット移動が行われる可能性があり、クリーニングプロセスのスループットに影響する。
【００６８】
図１２は、従来の容器クリーナシステム１００を示しており、この容器クリーナシステム１００は、インプットロードポート１０２、アウトプットステーション１０４、オープナステーション１０６、組立てステーション１０８、蓋クリーニングステーション１１０、本体クリーニングステーション１１２、及び本体ドライヤステーション１１４を有している。作動中、本体１０１Ａ及び蓋１０１Ｂを含んだ空のＦＯＵＰ１０１が、オペレータによって又は自動搬送によって、インプットロードポート１０２に配置される。ＦＯＵＰ１０１は、一般的に閉鎖されており、つまり、本体１０１Ａ及び蓋１０１Ｂは互いに係合させられており、ユニットとして引き渡される。第１のロボット移動１２０は、閉鎖されたＦＯＵＰ１０１をオープナステーション１０６へ引き渡す。オープナステーション１０６において、ロボットオープナ機構はＦＯＵＰ１０１を開放し、蓋１０１Ｂを本体１０１Ａから分離する。分離後、第２のロボット移動１２２は蓋１０１Ｂを蓋クリーニングステーション１１０へ引き渡す。クリーニング後、第３のロボット移動１２４は、クリーニングされた蓋１０１Ｂを、クリーニングされた本体と組み立てられるために、組立てステーション１０８へ引き渡す。蓋１０１Ｂが分離ステーション１０６から引き渡された後、第４のロボット移動１２６は本体１０１Ａを本体クリーニングステーション１１２へ引き渡し、第５のロボット移動１２８はクリーニングされた本体をドライヤステーション１１４へ引き渡す。第６のロボット移動１３０は、次いで、クリーニング及び乾燥された本体を、クリーニングされた蓋と組み立てられるために、組立てステーションへ引き渡す。組立て後、閉鎖されたＦＯＵＰは第７の移動１３２によってアウトプットステーション１０４へ引き渡される。つまり、容器クリーナシステムにおいて多くのロボット移動が行われる可能性がある。
【００６９】
１つの実施の形態において、本発明は、統合されたロボット移動によって、複数の部分から成る物品又は半導体基板容器をクリーニングするための方法及び自動化された装置を提供する。また、本発明は、容器本体及び蓋を一緒に、インプットポートから、クリーニングされる別々の位置へ、又は別々のクリーニング位置からアウトプットポートへ引き渡す。１つの実施の形態において、本発明は、容器本体及び蓋を互いから自動的にロック解除（例えば解離）する及び／又は互いにロック（例えば再結合）する。本発明の利点は、クリーナシステム内の移動回数を単純化し、クリーナの構成要素を単純化し、より小さな設置面積を提供し、より良好なプロセス効率につながるということを含む。この自動化された装置は、半導体システムのために引渡しロボット、及びロボットを使用するクリーナシステム等の半導体システムを有する。
【００７０】
以下に、本体及び蓋を有する容器を説明する。しかしながら、本発明はそれに限定されず、例えばクリーニングのために組み立てたり分解したりすることができる複数の部分を有するあらゆる物品に適用することができる。
【００７１】
本発明の実施の形態による容器は、別個の容器本体及び蓋を有しており、容器本体と蓋とは、閉鎖された容器を形成するように結合及びロックすることができる。さらに、容器は、基板を保持するための支持構成部材と、オペレータ又は自動搬送によって操作又は搬送される操作構成部材と、手動又は自動で結合又は解離されるロッキング構成部材とを有することができる。例えば、係合部材は蓋と本体とを互いに固定することができ、係合部材が解放されると、蓋を本体から分離することができる。容器の上面に設けられたグリッパにより、ロボット又はオペレータは、製造設備における位置の間で容器を運搬することができる。
【００７２】
図１３Ａは、複数の基板２０７を保持する典型的な閉鎖された容器２０１を示している。典型的な操作条件において、基板２０７は、操作及び貯蔵を容易にするために水平に位置決めされており、つまり、容器２０１は一般的に図示のように位置決めされており、その際、蓋と本体とは互いに隣り合って配置されている。蓋を本体から解放するために、オペレータ又は自動操作装置等の側部開放機構を蓋に係合させることができる。蓋開放機構は、一般的に、蓋を本体から分離するための分離動作と、容器本体の内部に配置された基板２０７へのアクセスのために容器の内部を露出させるための上方移動又は下方移動とを含む。
【００７３】
図１３Ｂは、同じ容器２０１を示しているが、基板を有していない。容器は、複数の基板２０７を保持するように構成された容器本体２０１Ａと、容器蓋２０１Ｂと、ロッキング機構２０５とを有する。図１３Ｂ（Ａ）は、蓋２０１Ｂと本体２０１Ａとを互いにロックするために係合させられた（２０５Ａ）１つ又は２つ以上のロッキング機構２０５を有する空の閉鎖された容器を示している。１つのロッキング機構２０５が単純化されて概略的に示されている。図１３Ｂ（Ｂ）は、蓋と本体とをロック解除又は解離するために解放された（２０５Ｂ）ロッキング機構２０５を有する空の容器を示している。図１３Ｂ（Ｃ）は、ロッキング機構が解放され、蓋と本体とが分離された（２１０）空の容器を示している。
【００７４】
図１４Ａは、複数の基板を保持する別の典型的な閉鎖された容器３０１を示している。典型的な作動条件において、容器３０１は、一般的に、図示のように位置決めされており、その際、蓋と本体とは互いに上下に配置されている。蓋を本体から下降させ、基板３０７にアクセスするために蓋カバーを解放するために、オペレータ又は自動操作装置等の底部開放機構を蓋に係合させることができる。蓋解放機構は、一般的に、基板３０７が蓋に配置されたまま蓋を本体から分離するための蓋の下方移動を含み、これにより、基板をロボットアクセスのために露出させる。
【００７５】
図１４Ｂは、同じ容器３０１を示しているが、基板を有していない。容器は、複数の基板３０７を保持するように構成された容器本体３０１Ａと、容器蓋３０１Ｂと、１つ又は２つ以上のロッキング機構３０５とを有し、２つのロッキング機構が図示されている。図１４Ｂ（Ａ）は、蓋３０１Ｂと本体３０１Ａとを互いにロックするためにロッキング機構３０５が係合させられた（３０５Ａ）空の閉鎖された容器を示している。図１４Ｂ（Ｂ）は、蓋と本体とをロック解除又は解離させるために解放された（３０５Ｂ）ロッキング機構３０５を備えた空の容器を示している。図１４Ｂは、ロッキング機構が解放され、蓋と本体とが分離された（３１０）空の容器を示している。
【００７６】
１つの実施の形態において、本発明は、様々な容器移動をロボット統合移動に組み込む、容器を引き渡すための方法及び装置を開示する。典型的な統合された移動は、全ての部分（例えば容器の蓋及び本体）を一緒に引き渡し、これらの部分をクリーニングのために別々に異なる位置に配置することを含む。別の典型的な統合された移動は、容器の引渡し中に蓋と本体とをロック解除／ロックすることを含む。
【００７７】
図１５は、本発明の実施の形態による典型的なクリーニング装置４００を示しており、クリーニングステーション４３２を有するハウジング４３０に結合されたロードポート４０２と、クリーニングされる容器を操作するためのロボット４０４とを有している。クリーニング装置４００は、コンピュータ制御装置、排気ファン及びダクト、クリーナ供給部及び排出部等のその他の構成要素（図示せず）をも有する。クリーニング装置４００は、複数のクリーニングステーション、別個の汚染除去／脱気ステーション（加熱される真空汚染除去チャンバ等）、及び検査ステーションを有することもできる。
【００７８】
図１５（Ａ）に示したように、容器２０１は、クリーニング装置４００によってクリーニングされるためにロードポート４０２に積載される。容器２０１は、通常、空であり、閉鎖及びロックされた位置を占めており、これは、容器本体２０１Ａと蓋２０１Ｂとが互いに結合され、ロッキング機構２０５が係合させられていることを意味する。容器２０１を、手動で、例えばオペレータによって、又は自動化された形式で、例えばオーバーヘッドホイスト搬送（ＯＨＴ）等の自動化された搬送によってロードポート４０２に配置することができる。ロードポート４０２は、インプット／アウトプットロードポート、又はインプット／アウトプットロードポートに接続された中間ロードポートであることができる。１つのロードポート４０２が示されているが、複数のロードポートをハウジング４３０に接続することができる。ロードポート４０２はインプット／アウトプットロードポートとしても示されており、これは、同じロードポートがインプット及びアウトプットのために使用されることを意味するが、クリーニング装置４００に専用のインプット及びアウトプットロードポートを設けることもできる。図示のように、容器２０１はロックされた位置を占めているが、ロック解除された位置、又はロック解除されて本体と蓋とに分離された位置のような別の構成を利用することもできる。
【００７９】
１つの実施の形態において、ロードポート４０２は、外部環境に接続されたインプットドアを有することができる。インプットドアが開放した後、容器２０１は、手動で又は自動化を用いて支持部材（図示せず）に配置され、インプットドアが閉鎖される。ロードポート４０２内の環境が、例えばクリーンな空気層流を発生するために上側からのブローイングファンと底部における排気ダクトとによって、クリーニングされる。ロードポートがクリーニングされた後、ロードポート４０２をハウジング４３０に結合するアウトプットドアが開放され、ロボット４０４を容器２０１にアクセスさせる。択一的に、クリーニング装置４００は、インプット又はアウトプットドアを有さず、単にロードポート４０２及びハウジング４３０におけるクリーニング環境だけを有している。その場合、ロードポート４０２に配置された容器２０１は、即座にロボット４０４によってアクセスすることができる。
【００８０】
ロボット４０４は、ロックされた構成において容器２０１全体をロードポート４０２から取り上げ、容器２０１をハウジング４３０（図１５（Ｂ））へ引き渡す。引渡し中に、容器は、ロボット４０４又はハウジング４３０に配置された機構によってロック解除される（４０５Ａ）。例えば、蓋又は本体が下を向くようにロボットアームを移動、回動又は回転させることによって、ロボット４０４による付加的な移動を加えることができる。この位置において、蓋及び本体は重力によって支持されるので、ロック解除後は、蓋と本体とは分離されない。例えば、ロボット４０４は、容器の蓋を掴むロボットアームを有する。ロックされた構成において、本体はロッキング機構によって蓋に結合されており、これにより、容器は全体として搬送される。蓋が容器の底部に配置されるようにロボットアームを回動させた後、ロッキング機構が解放される。本体は依然として重量によって蓋に結合されており、蓋に押し付けられている。
【００８１】
次いで、ロボット４０４は、ロック解除された容器をクリーニングステーション４３２へ引き渡し、容器本体と、蓋とを順次に配置する（図１５（Ｃ）、図１５（Ｄ））。１つの実施の形態において、クリーニングステーション４３２は、本体及び蓋の配置を容易にするために上方移動又は下方移動を行うバスケットを有することができる。クリーニングステーション４３２は、ハウジング４３０環境からクリーニングステーションを隔離するためのドアを有することができる。例えば、クリーニングステーション４３２はハウジング４３０よりもクリーンであることができるか、又はクリーニングステーション４３２は真空ステーションであることができるが、ハウジング４３０は大気圧下である。ロボット４０４は、蓋と本体とを別々に掴むために別個のグリッパを有することができ、これにより、蓋と本体とを適切な位置において解放することができる。ロボットは、蓋又は本体を掴むグリッパを有することができ、本体は重量によって上部に、ロック解除された状態で結合されている。次いで、ロボットアームは、例えばクリーニング位置における幾つかの支持部材によって、本体をクリーニング位置に配置する。その後、ロボットアームは蓋のクリーニング位置へ移動し、蓋をクリーニング位置に配置するためにグリッパを解放する。
【００８２】
容器の別個の部材（例えば蓋及び本体）を適切なクリーニング位置に配置した後、蓋及び本体をクリーニングするためにクリーニングステーション４３２のクリーニング作用が開始される。クリーニング作用は、液体又はガスクリーニング、容器部材を乾燥するための乾燥作用、又はクリーニング及び乾燥の組合せを含むことができる。１つの実施の形態において、クリーニング作用は、上述のような真空汚染除去とともに、真空乾燥を伴う統合されたクリーニングを利用する。
【００８３】
１つの典型的な実施の形態において、クリーニングステーション４３２は統合されたクリーニング及びドライヤシステムを有する。統合されたクリーニングシステムは、選択的なＩＲ加熱及び湿度センサモニタリングとともに、同じプロセスチャンバにおける一連の湿式クリーニング及び真空乾燥を提供する。クリーニングプロセスは、金属汚染物等の不純物及び汚染粒子を除去するために、超音波、エアロゾル、又は高圧噴霧によって提供される、クリーニング化学物質及び脱イオン水を含むことができる。クリーニングプロセスは、例えば、高温ガス、高温液体、迅速蒸発液体クリーナとともに所定量のクリーニング及びすすぎ液を配給する等の、真空乾燥を助けるために最小限の残留液体、及び液体保持及び液体デッドスポットなしの良好な排水を提供することもできる。有効なクリーニングのために周期的なクリーニングプロセスを行うことができる。
【００８４】
図１６は、容器回収の一連のステップにおける同じクリーニング装置を示している。クリーニングの後、ロボットは、蓋を回収し（図１６（Ａ））、本体へ移動し、本体を回収する（図１６（Ｂ））。クリーニングステーションが隔離されたドアを有するならば、ドアを開放する前に、クリーニングステーションの環境をまず外側ハウジングと等しくすることができる。例えば、クリーニングステーションが真空下であるならば、隔離されたドアを開放する前にクリーニングステーションを大気圧にするためにパージガスが導入される。
【００８５】
本体及び蓋を回収した後、ロボットは本体及び蓋をロードポートへ引き渡す。引渡し中、蓋及び本体は結合され、蓋と本体とを互いにロックするために（５０５Ａ）ロック機構が係合させられ（図１６（Ｃ））、ロボットはロックされた容器をロードポートへ移動させる（図１６（Ｄ））。蓋と本体とをロックするために、容器をロック解除するのと同じ機構を使用することができる。ロボットは、例えば、本体が重量によって蓋の上に支持されることを保証するために、本体と蓋とを適切な向きで取り上げる。さらに、容器をロックした後、ロードポートに到達する前に容器を適切な向きに位置決めすることができる。インプットのための同じロードポートを、アウトプットのために使用することができるが、別のアウトプットポートを使用することもできる。
【００８６】
１つの実施の形態において、統合された移動は、容器を適切な向きで位置決めするための向付け動作を含む。例えば、向付け動作は、容器本体を蓋の上に（又は蓋を本体の上に）位置決めするようにロボットアームを回動させ、アウトプットロードポートに嵌るように容器を回動させることを含む。
【００８７】
図１７は、本発明の実施の形態による一連の典型的なロボット移動を示している。図１７（Ａ）は、係合したロッキング機構２０５とともに、本体２０１Ａ及び蓋２０１Ｂを有する容器２０１を示している。図１７（Ｂ）は、蓋において容器２０１を取り上げるロボットを示している。択一的に、ロボットは、容器本体等の別の位置において容器を取り上げることができる。ロボットは、容器本体及び蓋等の、複数の位置において容器を取り上げることができる。容器を取り上げた後、ロボットは、クリーニングステーション等の適切な位置へ容器を移動させる。移動中、例えば、容器を重力６０２と整合させるように容器を方向付けるためにロボットアームを回転させる（６０１）等の、付加的な動作を行うことができる。図１７（Ｃ）において、本体が蓋の上に位置するように容器は方向付けられる。なぜならば、ロボットは蓋によって容器を掴むからである。この向きにおいて、ロック機構が解放された後、本体は重力によって蓋の上に支持される。図１７（Ｄ）において、ロッキング機構は解放される（６０５Ｂ）。適切な向きにおいて、蓋だけがロボットアームによって掴まれているとしても、蓋と本体とは依然としてロボットによって操作される。
【００８８】
容器が本体の位置に到達すると、本体はその位置に配置される（図１７（Ｅ））。ロボットは引渡しを継続し、蓋の位置へ移動する。蓋の位置に到達すると、ロボットは蓋を配置し、スタンバイ位置へ戻る（図１７（Ｆ））。択一的に、本体及び蓋を並行して、例えばほぼ同時に適切な位置に配置することができる。
【００８９】
１つの実施の形態において、本発明は、引渡し中の選択的なロッキング又はロック解除動作及び選択的な向付け動作とともに、容器の蓋及び本体を全体として引き渡すことを含む、統合された引渡し移動を行うためのロボットシステムを開示している。ロボットは、容器をロッキング又はロック解除するための選択的な機構とともに、容器の蓋及び本体を操作するための１つ又は２つ以上のグリッパを有することができる。
【００９０】
図１８は、本発明の実施の形態によるロボットとともに、典型的な一連の典型的な統合された移動を示している。ロボット７００は、容器本体を操作するための第１のグリッパ７０２と、容器蓋を操作するための第２のグリッパ７０４と、容器をロック又はロック解除するためのロッキング／ロック解除部材７０６とを有する。ロボット７００は、容器部材を掴み且つ配置するための、回転及び移動等のその他の動作を行うこともできる。グリッパ７０２及び７０４は、同期した移動を可能にするために共通のアームに結合されている。ロボット７００は、典型的な構成を示しているが、他の構成、例えば、共通のアームが２つ以上のグリッパアームに結合されていて、それぞれのグリッパアームが容器の部材を操作するような構成も、本発明の範囲に含まれている。
【００９１】
図１８（Ａ）は、容器本体２０１Ａを掴むアーム７０２と、容器蓋２０１Ｂを掴むアーム７０４とを備えた、容器２０１を掴むロボット７００を示している。容器２０１の複数の部材を掴む複数のアームを備えることにより、容器の向きは重要ではなく、例えば容器をあらゆる向きで位置決めすることができる。容器２０１はロックされた構成２０５で示されており、ロボットのロッキング／ロック解除部材７０６はスタンバイ位置にある、例えば引っ込められている。この図は、容器が通常は空であり且つ閉鎖された（例えばロックされた）状態でロードポートに配置された後にロボットによって受け取られたばかりの容器を示すことができる。ロボット７００は、ロードポートまで延長することができ、本体２０１Ａ又は蓋２０１Ｂのそれぞれに接近して掴むアーム７０２又は７０４を有している。
【００９２】
容器を受け取った後、ロボット７００は容器を、クリーニングステーションにおける位置等の適切な位置へ引き渡す。引渡し中に、容器のロッキング又はロック解除及び組立て又は分離等の付加的な動作を行うことができる。図１８（Ｂ）は、ロック解除動作の典型的な構成を示しており、容器をロック解除するために係合状態（７０６Ａ）に延長した、例えば蓋を本体にロックするロックを解放している部材７０６を有している。ロック解放動作が完了した後、部材７０６はスタンバイ位置へ戻る、例えば引っ込められる。図１８（Ｃ）は、分離動作の典型的な構成を示しており、本体を蓋から分離するように移動する（７０２Ａ）アーム７０２を有している。択一的に、蓋を本体から分離するためにアーム７０４を移動させたり、アーム７０２及び７０４を一緒に移動させたりするような、別の移動を行うことができる。本体及び蓋をクリーニング位置に配置する場合、分離動作を、アーム７０２及び７０４のそれぞれの移動と組み合わせることができる。
【００９３】
蓋が本体からロック解除された後、本体及び蓋を順次に（又は逐次に）適切な位置に配置することができる。例えば、図１８（Ｄ）は、本体のクリーニング位置へ移動する（７０２Ｂ）アーム７０２を有している。クリーニング位置に到達すると、アーム７０２は、本体を適切な向き及び位置に配置することができ、スタンバイ位置へ戻ることができる。順次に又は同時に、アーム７０４は蓋を適切な向き及び位置において引き渡すことができる。
【００９４】
択一的に、本体及び蓋を並行して、例えばほぼ同時に適切な位置に配置することができる。例えば、アーム７０２及び７０４はほぼ同時に本体及び蓋の適切な位置へ移動しており、この位置に本体及び蓋は並行して配置される。
【００９５】
クリーニング後に容器を回収するために、一連の動作を逆の順序で行うことができ、例えば、蓋及び本体を順次に取り上げ、ロードポートへの引渡し中に組み立て且つロックする。
【００９６】
図１９は、本発明の実施の形態による別のロボットとともに、別の典型的な一連の典型的な統合された移動を示している。ロボット８００は、容器本体を操作するための第１のグリッパ８０２と、容器蓋を操作するための第２のグリッパ８０４とを有している。ロボット８００は、容器部材を掴み且つ配置するために、回転及び移動等の他の動作を行うこともできる。
【００９７】
図１９（Ａ）は、容器本体２０１Ａを掴むアーム８０２及び容器蓋２０１Ｂを掴むアーム８０４を備えた、容器２０１を掴むロボット８０を示している。容器を受け取った後、ロボット８００は容器を、クリーニングステーションにおける位置等の適切な位置へ引き渡す。引渡し中に、容器のロッキング又はロック解除及び組立て又は分離等の付加的な動作を行うことができる。図１９（Ｂ）は、ロック解除動作の典型的な構成を示しており、ロボット８００は、容器をロック解除するための、例えば蓋を本体にロックするロックを解放しているロッキング又はロック解除部材８０６を通過している。ロボットは、部材８０６がロックをロック解除するために十分に長くロッキング又はロック解除部材８０６に停止することができるか、又はロボットは、通過動作がロックをロック解除しながら部材８０６を通過することができる。ロックをロック解除し且つ蓋を本体から分離するための分離動作を行った後（図１９（Ｃ））、ロボットは、順次に又は並行して、蓋及び本体を配置するための適切な位置へ移動する（図１９（Ｄ））。
【００９８】
クリーニング後に容器を回収するために、一連の動作を逆の順序で行うことができ、例えば蓋及び本体を順次に取り上げ、ロードポートへの引渡し中に組み立て且つロックする。
【００９９】
図２０は、本発明の実施の形態による別のロボットとともに、別の典型的な一連の典型的な統合された移動を示している。ロボット９００は、容器を操作するためのグリッパ９０４と、容器のロックをロック又はロック解除するためのロッキング又はロック解除部材９０６とを有している。ロボット９００は、容器部材を掴み且つ配置するための、回転及び移動等の別の動作を行うこともできる。ロボット９００は、蓋２０１Ｂを取り扱うアーム９００の典型的な構成を示しているが、他の構成、例えば、容器の本体又はその他の部材を取り扱うアーム、又はロッキング機構又は付加的な作動を介して、容器の複数の部材を操作するように設計された一つのアームが、本発明の範囲に含まれる。
【０１００】
図２０（Ａ）は、例えばロードポートから蓋２０１Ｂを掴み、次いで容器全体を、容器の部材が適切な位置において配置されるクリーニングステーションへ引き渡す、アーム９０４を示している。アーム９０４は、蓋のみを掴むが、本体と蓋とはロッキング機構２０５によって結合されているので容器全体も移動する。容器受取り動作の間はロッキング又はロック解除部材９０６はスタンバイ位置へ引っ込められている。
【０１０１】
クリーニングステーションへの容器の引渡し中に、容器を方向付け、ロッキング又はロック解除し、組み立てる又は分離する等の、付加的な移動が行われる。図２０（Ｂ）は、本体が蓋の上に位置する構成になるようにロボットアームが容器を方向付ける方向付け動作９０３を示している。この向きにおいて、蓋と本体との間のロック機構２０５が解放されるとしても本体は重量によって蓋によって支持される。この向きは、アーム９０４が容器の１つの部材のみを掴むとしてもアーム９０４が容器の全ての部材を支持することができるように構成されている。
【０１０２】
容器が適切な向きに方向付けられた後、ロッキング又はロック解除部材９０６は、ロック２０５をロック解除するために係合させられ（９０６Ａ）（図２０（Ｃ））、ロックが解放された後、解離される（９０６Ｂ）（図２０（Ｄ））。択一的に、ロック２０５をロック解除するためにロボットが通過することができるように、ロッキング又はロック解除部材をクリーナに位置決めすることができる。ロードポートからクリーニングステーションへの容器の引渡し中に、方向付け及びロック解除動作が生じる。
【０１０３】
ロボットは、容器を引き渡すために移動を継続し、本体を配置するための位置に到達する。ロックが解放された状態で、容器の部材が分離されることを回避するためにロボットは容器を適切に方向付けられた状態に保つ。次いで、例えばクリーニングステーションに配置された支持部材９１２によって本体がその位置に配置される（図２０（Ｅ））。択一的に、ロボットは、本体をその位置へ移動させるためのアクチュエータ（図示せず）を有する。ロボットは、蓋を配置するために蓋のクリーニング位置へ移動し続ける（図２０（Ｆ））。本体及び蓋の配置は、択一的に並行して行うことができる。容器の回収移動は、逆の順序で行うことができる。
【０１０４】
１つの実施の形態において、本発明は、容器をクリーニングするためのクリーナシステム等の、統合された移動を行うためのロボットを有するシステムを開示する。別の実施の形態において、本発明は、容器の全ての部材を同時に引渡し、容器引渡し全体の間に容器の部材をロック解除又はロッキングし且つ組み立てる又は分離することを含む、容器引渡しの統合された移動のための方法を開示する。
【０１０５】
１つの実施の形態において、複数の部分から成る物品を引き渡すための本発明の装置は、物品を保持しかつ物品を第１のステーションから第２のステーションへ引き渡すための引渡し機構を有しており、この引渡し機構は、第１のステーションから物品を受け取るか又は第１のステーションへ物品を提供し；第２のステーションの別個の位置へ又はこれらの位置から物品のそれぞれの部分を引き渡すための部分引渡し機構を有しており、装置は、第１のステーションから第２のステーションへの引渡しの間に複数の部分を解離させるか又は第２のステーションから第１のステーションへの引渡しの間に複数の部分を結合する。この装置は、さらに、物品の複数の部分をロック又はロック解除するためのアクセス機構を有することができる。
【０１０６】
１つの実施の形態において、本発明は、容器をクリーニングするためのクリーナシステムを開示し、それぞれの容器は少なくとも容器本体及び容器蓋を含む。システムは、容器を保持するための１つ又は２つ以上のロードポートと；分離された構成において容器をクリーニングするためのクリーニングチャンバとを有しており、容器本体と蓋とが解離され、クリーニングチャンバにおける別々の位置に配置され；１つ又は２つ以上のロードポートのうちの１つのロードポートとクリーニングチャンバとの間で容器を引き渡すための引渡し機構を有しており、引渡し機構は、ロードポートにおいて、本体及び蓋が組み立てられた状態で容器を引き取り若しくは引き渡し、クリーニングチャンバにおいて、本体及び蓋が分解及び分離された状態で容器を引き渡し、引渡し機構は、引渡しの間に同時進行で本体及び蓋を組み立てるか又は分解する。引渡し機構は、本体及び蓋をクリーニングチャンバにおける別々の位置に順次に又は並行して提供するための部分引渡し機構を含むことができる。引渡し機構は、本体及び蓋をクリーニングチャンバにおける別々の位置から順次に又は並行して受け取るための部分引渡し機構を含むことができる。
【０１０７】
図２１は、本体及び蓋を有する容器等の、複数の部分を有する物品をロードポートからクリーニングステーションへ搬入するための典型的なフローチャートを示している。操作２０００において、ロボットはロードポートから容器を受け取る。蓋が本体に係合させられた状態で容器をロックすることができる。択一的に、容器をロックせずに組み立てることができるか、又は容器は分離された本体及び蓋を有することができる。実施の形態において、ロボットは、容器の複数の部分を支持することができるように容器を受け取る。例えば、本体と蓋とが互いにロックされているならば、容器のあらゆる部分を保持することによって容器を支持することができる。なぜならば、本体と蓋とは互いに結合されているからである。本体と蓋とがロックされずに組み立てられているならば、両方の部分が保持されることを保証するために注意が払われるべきである。例えば、ロボットグリッパは、容器を保持するために両方の部分を互いに押し付けることができる。２つの部分が互いに上下に位置する場合、下側の部分を保持することによって両方の部分を支持することができる。本体及び蓋が別個であるならば、本体及び蓋は、ロボットによって操作される前に互いに組み立てることができる。択一的に、ロボットは引渡しの前に別々の部分を受け取ってよい。
【０１０８】
容器を受け取った後、操作２００１は容器をクリーニングステーション等のプロセスステーションへ引き渡す。引渡し中に、操作２００２は選択的に容器を分解のための、例えば蓋を本体からロック解除しかつ分離するための適切な位置へ方向付ける。例えば、容器は、本体及び蓋が互いに上下に位置し、これにより、上側の部品を下側の部品によって支持することを重力が助けるように方向付けられる。この方向付けは選択的であるが、複数の部分をロック解除することが容器全体の安定性に影響するような形式で容器が受け取られる場合には必要である。
【０１０９】
また、引渡し中に、操作２００３において複数の部分はロック解除され分離される。受け取られた容器の状態に応じて、様々な操作を行うことができる。例えば、ロボットによって受け取られた時に容器が既にロック解除されているならば、ロック解除機構は不要である。容器が既にロック解除及び分離されているならば、操作全体は不要である。
【０１１０】
引渡し中のロック解除及び分離の後に、操作２００４において容器の複数の部分はクリーニングステーションにおける適切な位置へ提供される。引渡し中に複数の部分の方向付け、ロック解除及び分離が完了され、これにより、複数の部品が目標位置に到達した時に複数の部分がすぐに供給されるように、タイミングを計算することができる。
【０１１１】
クリーニングステーションからロードポートへの取出し操作は逆の順序で行われ、複数の部分は順次受け取られ、アウトプットロードポートへの搬送中に組み立てられ且つロックされる。
【０１１２】
図２２は、容器をロードポートからクリーニングステーションへ引き渡すためのフローチャートを示している。操作１００２において、ロボットは閉鎖された容器をロードポートから受け取る。クリーニング操作のために、容器は空であり、蓋と本体とを互いにロックするためにロッキング機構は係合させられている。容器をロードポートに手動で又は自動的に、例えば自動搬送から配置することができる。操作１００４において、ロボットは容器全体を目標位置、例えばクリーニングステーションへ引き渡す。容器の複数の部材のための別々のクリーニング位置のために、ロボットは１つの位置から別の位置へ順次に移動することができる。例えば、ロボットはまず本体クリーニング位置へ移動し、次いで、本体を本体クリーニング位置に配置した後に蓋クリーニング位置へ移動することができる。操作１００６において、ロボットは、引渡し中にロッキング機構をロック解除するのに適した位置へ容器を方向付ける。これは、選択的な操作であり、容器の部材が、容器の１つの部材を掴む１つのグリッパアームによって支持されることを可能にする。ロック解除部材は、ロボットの一体の部分であることができ、ロボットの移動中にロック解除動作が行われることを可能にする。ロック解除後、容器の部材は重量によって互いに保持され、さらなるロボット移動は、容器の部材を一緒に保持するように設計されている。操作１０１０において、第１のクリーニング位置、例えば本体のためのクリーニング位置に到達した後、ロボットは本体（又は蓋）を適切なクリーニング位置に配置する。操作１０１２において、本体（又は蓋）をクリーニング位置において解放した後、ロボットは第２のクリーニング位置へ移動する。操作１０１４において、ロボットは、容器の残りの部分、例えば蓋を第２のクリーニング位置に配置する。
【０１１３】
図２３は、容器をクリーニングステーションからロードポートへ引き渡すためのフローチャートを示している。操作１１０２において、ロボットは容器の１つの部材、例えば本体の蓋を第１のクリーニング位置から取り上げる。操作１１０４において、ロボットは第２のクリーニング位置へ移動する。操作１１０６において、ロボットは、容器の残りの部材、例えば本体又は蓋を第２のクリーニング位置において取り上げる。操作１１０６において、ロボットは蓋及び本体をロードポートへ引き渡す。操作１１１０において、引渡し中に、蓋及び本体は、例えばロボットに配置されたロッキング部材によって、互いに係合及びロックされる。操作１１１２において、引渡し中に、ロボットは、ロックされた容器を、ロードポート配置に適した向きに位置決めする。
【０１１４】
１つの実施の形態において、本発明は、統合された引渡し機構を用いて半導体物品を引き渡すための方法を開示する。本発明は、組み立てられた構成における複数の部分から成る物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、物品を引渡し機構によって第１のステーションと第２のステーションとの間で移動させ、物品の複数の部分を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、複数の部分が第２のステーションにおける別々の位置に配置される、複数の部分から成る物品を引き渡す方法を開示する。１つの実施の形態において、物品は、本体部分と蓋部分とを含む容器である。組み立てられた構成における複数の部分から成る物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、互いにロックされた複数の部分を有する物品を第１のステーションから引渡し機構へ受け取ることを含むことができる。組み立てられた構成における複数の部分から成る物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、互いにロックされた複数の部分を有する物品を第１のステーションへ提供することを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションにおける適切な位置へ順次に提供することを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションにおける適切な位置へ並行して提供することを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことは、複数の部分を第２のステーションにおける適切な位置から引渡し機構へ順次に受け取ることを含むことができる。物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構へ引き渡すことは、複数の部分を第２のステーションにおける適切な位置から引渡し機構へ並行して受け取ることを含むことができる。１つの実施の形態において、方法は、さらに、物品を移動させる間に複数の部分をロック解除し；物品を移動させる間に複数の部分をロックし；物品を移動させる間に複数の部分を分解し；物品を移動させる間に複数の部分を組み立て；第２のステーションにおいて複数の部分をクリーニングし；第２のステーションにおいて複数の部分を順次にクリーニング及び真空乾燥することを含む。
【０１１５】
本発明は、本発明の思想及び本質的な特徴から逸脱することなくその他の特定の形態で具体化されてもよく、従って、この実施の形態は全ての点で例示的であり、制限的ではないと考えられることが望ましく、発明の範囲を示すためには前記説明ではなく添付の請求項が参照される。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品をクリーニング及び乾燥するためのチャンバにおいて、
クリーニング混合物を物品に提供する液体提供システムと、
大気圧よりも低い圧力をチャンバに提供する真空システムと、
熱エネルギを物品に提供するヒータシステムとが設けられており、
物品が同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、
物品がクリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、
液体凍結を回避するために物品が熱エネルギを用いて真空乾燥されることを特徴とする、物品をクリーニング及び乾燥するためのチャンバ。
【請求項２】
前記クリーニング混合物が、液体クリーナと気体キャリヤガスとの混合物を含む、請求項１記載のチャンバ。
【請求項３】
液体提供システムがさらに、クリーニング混合物を提供した後にすすぎ混合物を物品に提供する、請求項１記載のチャンバ。
【請求項４】
液体提供システムがさらに、クリーニング混合物を提供した後にパージガスを物品に提供する、請求項１記載のチャンバ。
【請求項５】
加熱された真空環境において物品を脱気及び汚染除去することを含む、請求項１記載のチャンバ。
【請求項６】
真空ポンプシステムが液体及び気体材料を排出する、請求項１記載のチャンバ。
【請求項７】
容器をクリーニング及び乾燥するためのクリーナシステムにおいて、
容器を受け取るためのロードポートと、
真空封止されたクリーニングチャンバとが設けられており、該クリーニングチャンバが、クリーニング混合物を容器の表面に提供するための複数のノズルと、熱エネルギを容器の表面に提供するための複数のＩＲヒータと、大気圧よりも低い圧力をクリーニングチャンバに提供するためのポンピングシステムとを有しており、
容器をロードポートとクリーニングチャンバとの間で引き渡すためのロボット操作システムが設けられており、
容器が同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、
容器がクリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、
液体凍結を回避するために容器が熱エネルギを用いて真空乾燥されることを特徴とする、容器をクリーニング及び乾燥するためのクリーナシステム。
【請求項８】
複数のノズルがさらに、クリーニング混合物を提供した後にすすぎ混合物を容器に提供する、請求項７記載のシステム。
【請求項９】
複数のノズルがさらに、クリーニング混合物を提供した後にパージガスを容器に提供する、請求項７記載のシステム。
【請求項１０】
容器を脱気及び汚染除去するための別個のチャンバが設けられている、請求項７記載のシステム。
【請求項１１】
容器が、分解され、クリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を有する、請求項７記載のシステム。
【請求項１２】
真空ポンプシステムが、液体及び気体材料を排出する、請求項７記載のシステム。
【請求項１３】
クリーニングが、大気圧よりも低い圧力で行われる、請求項７記載のシステム。
【請求項１４】
物品をクリーニングする方法において、
プロセスチャンバにおいて液体クリーニング混合物を用いて物品をクリーニングし、
同じプロセスチャンバにおいて物品を真空乾燥し、
真空乾燥時間の少なくとも一部の間、熱エネルギを物品に提供することを特徴とする、物品をクリーニングする方法。
【請求項１５】
同じプロセスチャンバにおいてすすぎ混合物を用いて物品をすすぐ、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
同じプロセスチャンバにおいてパージガスを用いて物品をパージする、請求項１４記載の方法。
【請求項１７】
同じプロセスチャンバにおける加熱された真空環境において物品を脱気及び汚染除去する、請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
異なるプロセスチャンバにおける加熱された真空環境において物品を脱気及び汚染除去する、請求項１４記載の方法。
【請求項１９】
物品が、分解され且つクリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を有する、請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
複数の部分から成る物品を引き渡すための装置において、
物品を保持し且つ該物品を第１のステーションと第２のステーションとの間で引き渡すための引渡し機構が設けられており、
該引渡し機構が物品を第１のステーションから受け取るか又は物品を第１のステーションへ提供し、
物品の個々の部分を第２のステーションの別々の位置へ又は該別々の位置から引き渡すための部分引渡し機構が設けられており、
前記装置は、第１のステーションから第２のステーションへの引渡し中に複数の部分を解離させるか又は第２のステーションから第１のステーションへの引渡し中に複数の部分を結合することを特徴とする、複数の部分から成る物品を引き渡すための装置。
【請求項２１】
物品の複数の部分をロック又はロック解除するためのアクセス機構が設けられている、請求項２０記載の装置。
【請求項２２】
容器をクリーニングするためのクリーナシステムにおいて、それぞれの容器が少なくとも容器本体及び容器蓋を有しており、
容器を保持するための１つ又は２つ以上のロードポートが設けられており、
容器を分離された状態でクリーニングするためのクリーニングチャンバが設けられており、容器本体と蓋とは解離され、クリーニングチャンバ内の別々の位置に配置されるようになっており、
１つ又は２つ以上のロードポートのうちの１つのロードポートと、クリーニングチャンバとの間で容器を引き渡すための引渡し機構が設けられており、該引渡し機構が、ロードポートにおいて、本体と蓋とが組み立てられた状態の容器を引き渡し、且つクリーニングチャンバにおいて、本体と蓋とが分解されて分離された状態の容器を引き渡すようになっており、
引渡し機構が、引渡し中に同時進行で本体と蓋とを組み立てるか又は分解することを特徴とする、容器をクリーニングするためのクリーナシステム。
【請求項２３】
引渡し機構が、本体と蓋とを互いにロックするためのロッキング機構及び本体と蓋とをロック解除するためのロック解除機構のうちの一方を有している、請求項２２記載のクリーナシステム。
【請求項２４】
引渡し機構が、本体及び蓋をクリーニングチャンバ内の別々の位置に順次に又は並行して提供するための部分引渡し機構を有している、請求項２２記載のクリーナシステム。
【請求項２５】
引渡し機構が、本体及び蓋をクリーニングチャンバ内の別々の位置から順次に又は並行して受け取るための部分引渡し機構を有している、請求項２２記載のクリーナシステム。
【請求項２６】
複数の部分から成る物品を引き渡す方法において、
複数の部分が組み立てられた状態の物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、
物品を引渡し機構によって第１のステーションと第２のステーションとの間で移動させ、
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、複数の部分が第２のステーションにおける別々の位置に配置されることを特徴とする、複数の部分から成る物品を引き渡す方法。
【請求項２７】
前記物品が、本体部分及び蓋部分を含む容器である、請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
複数の部分が組み立てられた状態の物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、互いにロックされた複数の部分を有する物品を第１のステーションから引渡し機構へ受け取ることを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項２９】
複数の部分が組み立てられた状態の物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、互いにロックされた複数の部分を有する物品を引渡し機構から第１のステーションへ提供することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３０】
物品を移動させる間に複数の部分をロック解除する、請求項２６記載の方法。
【請求項３１】
物品を移動させる間に複数の部分をロックする、請求項２６記載の方法。
【請求項３２】
物品を移動させる間に複数の部分を分解する、請求項２６記載の方法。
【請求項３３】
物品を移動させる間に複数の部分を組み立てる、請求項２６記載の方法。
【請求項３４】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションの適当な位置へ順次に提供することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３５】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションの適当な位置へ並行して提供することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３６】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を第２のステーションの適当な位置から引渡し機構へ順次に受け取ることを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３７】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を第２のステーションの適当な位置から引渡し機構が並行して受け取ることを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３８】
複数の部分を第２のステーションにおいてクリーニングする、請求項２６記載の方法。
【請求項３９】
複数の部分を第２のステーションにおいて順次にクリーニング及び真空乾燥する、請求項２６記載の方法。
【請求項１】
物品をクリーニング及び乾燥するためのチャンバにおいて、
クリーニング混合物を物品に提供する液体提供システムと、
大気圧よりも低い圧力をチャンバに提供する真空システムと、
熱エネルギを物品に提供するヒータシステムとが設けられており、
物品が同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、
物品がクリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、
液体凍結を回避するために物品が熱エネルギを用いて真空乾燥されることを特徴とする、物品をクリーニング及び乾燥するためのチャンバ。
【請求項２】
前記クリーニング混合物が、液体クリーナと気体キャリヤガスとの混合物を含む、請求項１記載のチャンバ。
【請求項３】
液体提供システムがさらに、クリーニング混合物を提供した後にすすぎ混合物を物品に提供する、請求項１記載のチャンバ。
【請求項４】
液体提供システムがさらに、クリーニング混合物を提供した後にパージガスを物品に提供する、請求項１記載のチャンバ。
【請求項５】
加熱された真空環境において物品を脱気及び汚染除去することを含む、請求項１記載のチャンバ。
【請求項６】
真空ポンプシステムが液体及び気体材料を排出する、請求項１記載のチャンバ。
【請求項７】
容器をクリーニング及び乾燥するためのクリーナシステムにおいて、
容器を受け取るためのロードポートと、
真空封止されたクリーニングチャンバとが設けられており、該クリーニングチャンバが、クリーニング混合物を容器の表面に提供するための複数のノズルと、熱エネルギを容器の表面に提供するための複数のＩＲヒータと、大気圧よりも低い圧力をクリーニングチャンバに提供するためのポンピングシステムとを有しており、
容器をロードポートとクリーニングチャンバとの間で引き渡すためのロボット操作システムが設けられており、
容器が同じチャンバにおいてクリーニング及び乾燥され、
容器がクリーニング混合物を用いて液体クリーニングされ、
液体凍結を回避するために容器が熱エネルギを用いて真空乾燥されることを特徴とする、容器をクリーニング及び乾燥するためのクリーナシステム。
【請求項８】
複数のノズルがさらに、クリーニング混合物を提供した後にすすぎ混合物を容器に提供する、請求項７記載のシステム。
【請求項９】
複数のノズルがさらに、クリーニング混合物を提供した後にパージガスを容器に提供する、請求項７記載のシステム。
【請求項１０】
容器を脱気及び汚染除去するための別個のチャンバが設けられている、請求項７記載のシステム。
【請求項１１】
容器が、分解され、クリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を有する、請求項７記載のシステム。
【請求項１２】
真空ポンプシステムが、液体及び気体材料を排出する、請求項７記載のシステム。
【請求項１３】
クリーニングが、大気圧よりも低い圧力で行われる、請求項７記載のシステム。
【請求項１４】
物品をクリーニングする方法において、
プロセスチャンバにおいて液体クリーニング混合物を用いて物品をクリーニングし、
同じプロセスチャンバにおいて物品を真空乾燥し、
真空乾燥時間の少なくとも一部の間、熱エネルギを物品に提供することを特徴とする、物品をクリーニングする方法。
【請求項１５】
同じプロセスチャンバにおいてすすぎ混合物を用いて物品をすすぐ、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
同じプロセスチャンバにおいてパージガスを用いて物品をパージする、請求項１４記載の方法。
【請求項１７】
同じプロセスチャンバにおける加熱された真空環境において物品を脱気及び汚染除去する、請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
異なるプロセスチャンバにおける加熱された真空環境において物品を脱気及び汚染除去する、請求項１４記載の方法。
【請求項１９】
物品が、分解され且つクリーニングチャンバに別々に位置決めされる複数の部分を有する、請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
複数の部分から成る物品を引き渡すための装置において、
物品を保持し且つ該物品を第１のステーションと第２のステーションとの間で引き渡すための引渡し機構が設けられており、
該引渡し機構が物品を第１のステーションから受け取るか又は物品を第１のステーションへ提供し、
物品の個々の部分を第２のステーションの別々の位置へ又は該別々の位置から引き渡すための部分引渡し機構が設けられており、
前記装置は、第１のステーションから第２のステーションへの引渡し中に複数の部分を解離させるか又は第２のステーションから第１のステーションへの引渡し中に複数の部分を結合することを特徴とする、複数の部分から成る物品を引き渡すための装置。
【請求項２１】
物品の複数の部分をロック又はロック解除するためのアクセス機構が設けられている、請求項２０記載の装置。
【請求項２２】
容器をクリーニングするためのクリーナシステムにおいて、それぞれの容器が少なくとも容器本体及び容器蓋を有しており、
容器を保持するための１つ又は２つ以上のロードポートが設けられており、
容器を分離された状態でクリーニングするためのクリーニングチャンバが設けられており、容器本体と蓋とは解離され、クリーニングチャンバ内の別々の位置に配置されるようになっており、
１つ又は２つ以上のロードポートのうちの１つのロードポートと、クリーニングチャンバとの間で容器を引き渡すための引渡し機構が設けられており、該引渡し機構が、ロードポートにおいて、本体と蓋とが組み立てられた状態の容器を引き渡し、且つクリーニングチャンバにおいて、本体と蓋とが分解されて分離された状態の容器を引き渡すようになっており、
引渡し機構が、引渡し中に同時進行で本体と蓋とを組み立てるか又は分解することを特徴とする、容器をクリーニングするためのクリーナシステム。
【請求項２３】
引渡し機構が、本体と蓋とを互いにロックするためのロッキング機構及び本体と蓋とをロック解除するためのロック解除機構のうちの一方を有している、請求項２２記載のクリーナシステム。
【請求項２４】
引渡し機構が、本体及び蓋をクリーニングチャンバ内の別々の位置に順次に又は並行して提供するための部分引渡し機構を有している、請求項２２記載のクリーナシステム。
【請求項２５】
引渡し機構が、本体及び蓋をクリーニングチャンバ内の別々の位置から順次に又は並行して受け取るための部分引渡し機構を有している、請求項２２記載のクリーナシステム。
【請求項２６】
複数の部分から成る物品を引き渡す方法において、
複数の部分が組み立てられた状態の物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、
物品を引渡し機構によって第１のステーションと第２のステーションとの間で移動させ、
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡し、複数の部分が第２のステーションにおける別々の位置に配置されることを特徴とする、複数の部分から成る物品を引き渡す方法。
【請求項２７】
前記物品が、本体部分及び蓋部分を含む容器である、請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
複数の部分が組み立てられた状態の物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、互いにロックされた複数の部分を有する物品を第１のステーションから引渡し機構へ受け取ることを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項２９】
複数の部分が組み立てられた状態の物品を第１のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、互いにロックされた複数の部分を有する物品を引渡し機構から第１のステーションへ提供することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３０】
物品を移動させる間に複数の部分をロック解除する、請求項２６記載の方法。
【請求項３１】
物品を移動させる間に複数の部分をロックする、請求項２６記載の方法。
【請求項３２】
物品を移動させる間に複数の部分を分解する、請求項２６記載の方法。
【請求項３３】
物品を移動させる間に複数の部分を組み立てる、請求項２６記載の方法。
【請求項３４】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションの適当な位置へ順次に提供することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３５】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を引渡し機構から第２のステーションの適当な位置へ並行して提供することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３６】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を第２のステーションの適当な位置から引渡し機構へ順次に受け取ることを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３７】
物品の複数の部分を第２のステーションと引渡し機構との間で引き渡すことが、複数の部分を第２のステーションの適当な位置から引渡し機構が並行して受け取ることを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３８】
複数の部分を第２のステーションにおいてクリーニングする、請求項２６記載の方法。
【請求項３９】
複数の部分を第２のステーションにおいて順次にクリーニング及び真空乾燥する、請求項２６記載の方法。
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３Ａ】
【図１３Ｂ】
【図１４Ａ】
【図１４Ｂ】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１５Ｃ】
【図１５Ｄ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１６Ｃ】
【図１６Ｄ】
【図１７Ａ】
【図１７Ｂ】
【図１７Ｃ】
【図１７Ｄ】
【図１７Ｅ】
【図１７Ｆ】
【図１８Ａ】
【図１８Ｂ】
【図１８Ｃ】
【図１８Ｄ】
【図１９Ａ】
【図１９Ｂ】
【図１９Ｃ】
【図１９Ｄ】
【図２０Ａ】
【図２０Ｂ】
【図２０Ｃ】
【図２０Ｄ】
【図２０Ｅ】
【図２０Ｆ】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３Ａ】
【図１３Ｂ】
【図１４Ａ】
【図１４Ｂ】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１５Ｃ】
【図１５Ｄ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１６Ｃ】
【図１６Ｄ】
【図１７Ａ】
【図１７Ｂ】
【図１７Ｃ】
【図１７Ｄ】
【図１７Ｅ】
【図１７Ｆ】
【図１８Ａ】
【図１８Ｂ】
【図１８Ｃ】
【図１８Ｄ】
【図１９Ａ】
【図１９Ｂ】
【図１９Ｃ】
【図１９Ｄ】
【図２０Ａ】
【図２０Ｂ】
【図２０Ｃ】
【図２０Ｄ】
【図２０Ｅ】
【図２０Ｆ】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【公表番号】特表２０１２−５３１０３５（Ｐ２０１２−５３１０３５Ａ）
【公表日】平成２４年１２月６日（２０１２．１２．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−５１５６２０（Ｐ２０１２−５１５６２０）
【出願日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＩＢ２０１０／０５２７４５
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／１４６５６１
【国際公開日】平成２２年１２月２３日（２０１０．１２．２３）
【出願人】（５０６０００９４４）ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー (9)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２４年１２月６日（２０１２．１２．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＩＢ２０１０／０５２７４５
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／１４６５６１
【国際公開日】平成２２年１２月２３日（２０１０．１２．２３）
【出願人】（５０６０００９４４）ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー (9)
【Ｆターム（参考）】
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