薄板状ワークの研削方法及び両頭平面研削盤
【課題】ワークの両側面を研削する一対の研削砥石の切れ味の違いを極力解消でき、所定の研削精度を長期間にわたって安定的に維持できるようにする。
【解決手段】薄板状ワークＷを保持する一対の静圧パッド１，２と、静圧パッド１，２間に保持されたワークＷの両側面を研削する一対の研削砥石５，６と、研削中のワークＷの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッド９，１０と、ワークＷの両側面の基準値Ｍ１，Ｍ１と各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ１との減算により算出したワークＷの両側面の位置を比較して両研削砥石５，６の切れ味差を求める切れ味比較手段２６と、両研削砥石５，６に切れ味差があるときに、両研削砥石５，６の切れ味が同じになるように、研削砥石５，６の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段２７とを備えている。
【解決手段】薄板状ワークＷを保持する一対の静圧パッド１，２と、静圧パッド１，２間に保持されたワークＷの両側面を研削する一対の研削砥石５，６と、研削中のワークＷの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッド９，１０と、ワークＷの両側面の基準値Ｍ１，Ｍ１と各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ１との減算により算出したワークＷの両側面の位置を比較して両研削砥石５，６の切れ味差を求める切れ味比較手段２６と、両研削砥石５，６に切れ味差があるときに、両研削砥石５，６の切れ味が同じになるように、研削砥石５，６の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段２７とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェーハ等の薄板状ワークを研削する際に使用する薄板状ワークの研削方法及び両頭平面研削盤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
両頭平面研削盤を使用してシリコンウェーハ等の薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削する際には、一対の測定ヘッドを有する測定手段により研削中のワークの厚さを測定し、その測定値が研削基準値と一致するように制御して、所定の寸法精度に仕上げるインプロセス定寸研削が採用されている（特許文献１）。
【０００３】
例えばマスタワークと同一厚さに研削する場合であれば、先ずマスタワークの研削時に測定手段によりマスタワークの厚さを測定して、このマスタワークの厚さをその研削環境下における研削基準値と決定してゼロイングする。そして、実際のワークの研削に当たっては研削中に同一の測定手段によりワークの厚さを測定し、その測定値がゼロイングされた研削基準値と一致したときのゼロ信号によりスパークアウトに移行し、そのスパークアウトを一定時間継続した後に、研削砥石を後退させて研削を終了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−７１７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなインプロセス定寸研削を採用すれば、マスタワークと同じ研削環境下でワークを研削できるため、ワークをマスタワークと同一厚さに仕上げることができる。しかし、両研削砥石の切れ味に差があれば、ワークの両側面の仕上がり状態に大きな違いが生じ、所定の研削精度を長期にわたって安定的に維持できない欠点がある。
【０００６】
即ち、両頭平面研削盤において、一対の静圧パッドにより静圧的に保持されたワークを、一対の研削砥石により両側から研削するに際しては、図１４に示すように粗研削、中研削及び仕上げ研削を経てワークを所定の研削精度に研削する。この場合、研削精度のより高精度化が求められる現在、ワークの研削中は一対の研削砥石の切れ味が常に同じであることが非常に重要である。
【０００７】
一対の研削砥石の切れ味が等しいときには、各研削砥石によるワークの取り代は図１４に実線で示すように同じである。しかし、実際の研削砥石には個々の砥石摩耗量にバラツキがあるため、研削砥石を長期間使用すれば、研削砥石の砥石摩耗量の違いによって研削砥石の切れ味に大きな差が発生する。
【０００８】
砥石摩耗量の大きい研削砥石では、砥粒の自生作用が持続して切れ味が良いため、図１４に一点鎖線で示すように取り代が多くなる。これに対して砥石摩耗量の小さい研削砥石では、砥粒間の目詰まり等により切れ味が悪いため、図１４に二点鎖線で示すように取り代が少なくなる。その結果、ワークの仕上げ寸法が同じであっても、研削砥石の切れ味の差によってワークの両側面の仕上がり状態に大きな違いが生じる。
【０００９】
切れ味の良い研削砥石で研削されたワークの表面は粗面状となり、切れ味の悪い研削砥石で研削されたワークの表面は研磨に近い鏡面状となる等、ワークの両側面の仕上がり状態に大きな違いが生じる。そして、このような研削状態のワークをそのまま放置すれば、ワークの粗面側と鏡面側との表面積の違いにより、表面積の大きい粗面側が外側となり表面積の小さい鏡面側が内側となるようにワークに反りが発生する惧れがある。
【００１０】
また切れ味の違う研削砥石によってワークを研削した場合、ワーク自体が所定の仕上げ厚みであっても、そのワークの両側面に取り代の差に応じた応力が作用し、ワークの両側面が取り代の差に応じたダメージを受けるため、その応力やダメージが大きければ研削精度が基準値から外れて不良品となる等の問題もある。
【００１１】
更に一対の静圧パッド間のワークは、通常、各静圧パッドの保持面側から供給される保持水によって左右均等に保持されるため、ワークの理想的な研削位置は静圧パッド間の中央であり、その位置を研削基準位置として研削したい。しかし、実際のシリコンウェーハ等のワークの素材形状をみた場合、側面に反りがある等必ずしも完全な平面ではなく、厚みも不揃いであるため、平坦度等の研削精度が基準値内に収まるときのワークの位置が、静圧パッド間の中央とならず、それが左右の研削砥石の切れ味に影響することもある。
【００１２】
このように各研削砥石の砥石摩耗量の違いに起因する切れ味の良し悪しによってワークの研削精度に大きな影響が生じるにも拘わらず、実際には研削砥石の砥石摩耗の要因は多くあり、その多くの砥石摩耗の要因に則して両研削砥石の切れ味が常に同じになるように両研削砥石の研削条件を調整することは非常に困難である。そのため従来のシリコンウェーハ等の研削では、各研削砥石の砥石摩耗量の違いに起因する切れ味のバラツキによって多くの不良品が発生し、その結果、製品コストの増加、歩留りの悪化を招くという問題がある。
【００１３】
本発明は、このような従来の問題点に鑑み、各研削砥石の砥石摩耗量の違いによる切れ味の違いを極力解消でき、所定の研削精度を長期間にわたって安定的に維持できる薄板状ワークの研削方法及び両頭平面研削盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る薄板状ワークの研削方法は、一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削するに際し、研削中のワークの両側面の位置を測定して両研削砥石の切れ味を判断し、両研削砥石間に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味差がなくなるように、切れ味の変化に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正するものである。
【００１５】
研削中のワークの両側面の位置を比較してその差分により両研削砥石の砥石摩耗量の違いを算出し、この砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石の切れ味差を判断しても良い。事前の研削においてワークの研削精度が基準精度内に収まったときのワークの両側面の位置を基準値とし、この基準値と研削中のワークの両側面の測定値との減算によりワークの両側面の位置を算出しても良い。
【００１６】
研削中のワークの相対位置を算出し、この相対位置と静圧パッド間にワークが適正に保持されるべき研削基準位置とを比較しその差分により切れ味差を判断しても良い。当該ワークの研削中に研削砥石とワークとの間に供給される研削水の流量を切れ味差に応じて調整しても良い。当該ワークの研削において定寸装置からワークの定寸を示すゼロ信号を受信したときの研削砥石の切れ味差に応じて、当該ワークの研削後に研削砥石の回転数及び／又は切り込み速度を調整しても良い。
【００１７】
本発明の係る両頭平面研削盤は、一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削する両頭平面研削盤において、研削中のワークの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッドと、ワークの両側面の基準値と各測定ヘッドの測定値との減算により算出したワークの両側面の位置を比較して両研削砥石の切れ味差を求める切れ味比較手段と、両研削砥石に切れ味差があるときに両研削砥石の切れ味が同じになるように研削砥石の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、研削中のワークの両側面の位置を測定して両研削砥石の切れ味を判断し、両研削砥石間に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味差がなくなるように、切れ味の変化に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正するため、ワークの両側面を研削する一対の研削砥石の切れ味の違いを極力解消でき、所定の研削精度を長期間にわたって安定的に維持できる利点がある。従って、ワークの研削精度が向上すると共に、ワークの歩留りが向上する利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す横型両頭平面研削盤の平面構成図である。
【図２】同側面図である。
【図３】同制御系のブロック図である。
【図４】同表示手段の説明図である。
【図５】同位置測定方法の説明図である。
【図６】同位置測定用の治具等の平面断面図である。
【図７】同位置測定用の治具等の側面図である。
【図８】同位置測定方法の説明図である。
【図９】同試研削時のフローチャート図である。
【図１０】同本研削時のフローチャート図である。
【図１１】同切れ味差の説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態を示すブロック図である。
【図１３】同研削水の流量調整の説明図である。
【図１４】研削砥石の切れ味の違いによる取り代差の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて詳述する。図１〜図１１は本発明を採用した横型両頭平面研削盤を例示する。この横型両頭平面研削盤は、図１、図２に示すように、左右に相対向して配置され且つ薄板状ワークＷを保持する左右一対の静圧パッド１，２と、各静圧パッド１，２の凹部３，４に対応して左右方向の軸心廻りに回転自在に配置され且つ静圧パッド１，２により保持されたワークＷの左右の両側面を研削する左右一対の研削砥石５，６と、静圧パッド１，２により保持されたワークＷを中心廻りに回転させるキャリア（図示省略）と、静圧パッド１，２の切り欠き部７，８に対応してワークＷの左右両側に配置された左右一対の測定ヘッド９，１０とを備えている。
【００２１】
静圧パッド１，２はワークＷを保持する前進位置とワークＷから退避する退避位置との間で左右方向に移動自在であり、前進位置ではワークＷと対向する保持面側に供給される保持水等の保持流体を介してワークＷを静圧的に保持するようになっている。
【００２２】
研削砥石５，６はカップ型等であって、軸受箱１１，１２により回転自在に支持された砥石軸１３，１４の先端に設けられ、砥石駆動モータ１５，１６により回転駆動される。軸受箱１１，１２は摺動案内機構（図示省略）を介して左右方向に移動自在に支持され、切り込み軸駆動モータ（図示省略）の駆動により、切り込み軸（図示省略）、摺動案内機構等を介して左右方向に移動し、研削砥石５，６を研削前進端と研削後退端との間で左右方向に移動させる。
【００２３】
測定ヘッド９，１０はワークＷの両側面の位置を測定するものであって、枢支部９ａ，１０ａを介して固定側の支持部材１７により揺動自在に支持され、先端の測定子９ｂ，１０ｂがワークＷの側面に接触したときの測定ヘッド９，１０の枢支部９ａ，１０ａ廻りの角度変位に応じた電気信号を出力するようになっている。なお、測定ヘッド９，１０は静圧パッド１，２に接触するワークＷを介して静圧パッド１，２の位置を測定することも可能である。
【００２４】
各測定ヘッド９，１０はインプロセス定寸研削用の定寸装置１８の一部を構成するものであって、その出力端側はアンプ１９に接続されている。定寸装置１８は研削制御装置２０に接続されている。定寸装置１８は研削中にワークＷの研削精度が基準精度内に収まったとき（例えばワークＷが所定の厚さになったとき）にゼロ信号を出力して、研削制御装置２０の研削動作制御手段２１の制御により、スパークアウトその他の所定の動作に移行させるようになっている。
【００２５】
研削制御装置２０は図３に示すように、ワークＷの挿入から取り出しまでの一連の研削動作を制御する従来公知の研削動作制御手段２１の他に、測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいてリアルタイムでワークＷの位置を演算する位置演算手段２２と、ワークＷの試研削等の事前の研削においてワークＷの研削精度が基準精度内に収まったときのワークＷの相対位置Ｘを本研削時の研削目標である研削基準位置Ｘ０と決定してゼロイング（記憶手段に記憶）する研削基準位置設定手段２３と、各ワークＷの本研削時に位置演算手段２２により演算されたワークＷの相対位置Ｘと既に記憶された研削基準位置Ｘ０とを比較して両者の差分（両者の位置ズレ）を求める位置比較手段２４と、ワークＷの相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０とに差分がある場合に、次の研削時に研削砥石５，６の研削前進端が一致（研削砥石５，６の研削前進端まで前進したときの各測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２が研削基準位置Ｘ０を決定したときのワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒと一致）するように、ワークＷの研削の終了後にその差分に応じて研削砥石５，６の研削後退端を補正する後退端補正手段２５と、測定ヘッド９，１０からのワークＷの両側面の測定値Ｍ１，Ｍ２と研削基準位置Ｘ０を決定したときのワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒとを減算してワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を算出し、その両側面の位置Ｒ１，Ｒ２をリアルタイムで比較して差分することにより両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出して、その砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石５，６の切れ味差を求める切れ味比較手段２６と、両研削砥石５，６に切れ味差がある場合に、両研削砥石５，６の切れ味が同じになるように、研削砥石５，６の切れ味に関係する研削条件を両研削砥石５，６の切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段２７と、ワークＷの研削基準位置Ｘ０に対する相対位置Ｘの変化、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２等を表示する表示手段２８とを備え、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＰＵ等を含むマイコン等により構成されている。
【００２６】
なお、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２をリアルタイムで比較することによって、その両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の差により両研削砥石５，６の砥石摩耗量の他に、両研削砥石５，６によるワークＷの合計取り代を算出することもできる。
【００２７】
表示手段２８は図４に示すようにワークＷの相対位置Ｘをバーグラフ表示する相対位置表示部２９と、ワークＷの左右両側面の位置Ｒ１，Ｒ２をバーグラフ表示するワーク位置表示部３０，３１とを有する。相対位置表示部２９は左右方向に長い横長状であって、この相対位置表示部２９にはゼロイングされた研削基準位置Ｘ０を中心に左右方向に所定の目盛が付され、その研削基準位置Ｘ０に対するワークＷの相対位置Ｘの変化を指針等の指示部２９ａにより表示するようになっている。
【００２８】
ワーク位置表示部３０，３１は上下方向に長い縦長状であって、ワークＷの左右両側面に対応して左右に並べて配置されている。各ワーク位置表示部３０，３１には上下方向に所定の目盛が付され、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を下から上（又は上から下）に伸びる指示部３０ａ，３１ａにより表示するようになっている。なお、相対位置表示部２９、ワーク位置表示部３０，３１の方向は任意であり、また相対位置表示部２９、ワーク位置表示部３０，３１は相対位置Ｘ、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を数値で表示するようにしても良い。また表示手段２８は必要に応じて後述の各情報を表示する表示部（図示省略）を有する。
【００２９】
両頭平面研削盤によりシリコンウェーハ等のワークＷの研削中は、研削砥石５，６の砥石摩耗による僅かな砥粒の脱落、ワークＷの僅かな形状の違い、ワークＷと一対の静圧パッド１，２との間の水膜の微妙な変化等の影響、取り分け研削砥石５，６の砥石摩耗量のバラツキの影響を受けて両研削砥石５，６の切れ味、ワークＷの相対位置Ｘ、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２が時々刻々と変化する。
【００３０】
しかし、表示手段２８に相対位置表示部２９、ワーク位置表示部３０，３１を設けて、その相対位置表示部２９によりワークＷの相対位置Ｘを表示し、ワーク位置表示部３０，３１によりワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を表示することにより、両研削砥石５，６の切れ味、ワークＷの相対位置Ｘ、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の変化を可視化することができる。
【００３１】
位置演算手段２２は砥石駆動モータ１５，１６の負荷電流の上昇、回転数の低下等から研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを判定する挟み込み判定部３４と、ワークＷの挟み込みの確認後に各測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込んで静圧パッド１，２間のワークＷの相対位置Ｘ等を演算する位置演算部３５とを有する。
【００３２】
挟み込み判定部３４はワークＷの厚みＴが既知であることを利用して、ワークＷの位置監視のタイミングを研削条件に適宜設定して、研削サイクルの開始後にそのタイミングが到来することにより、研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを判断するようにしても良い。位置演算部３５は測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて、静圧パッド１，２間の中心位置に対するワークＷの絶対的位置である絶対位置Ｘａｂｓ、静圧パッド１，２間にワークＷが適正に保持されるべき研削基準位置Ｘ０、静圧パッド１，２間に保持されるワークＷの相対位置Ｘを随時演算して記憶するようになっている。
【００３３】
研削基準位置設定手段２３は研削基準位置Ｘ０をゼロイングするゼロイング部３６と、その研削基準位置Ｘ０が適正か否かを絶対位置Ｘａｂｓの絶対値｜Ｘａｂｓ｜に基づいて判定する基準位置判定部３７とを有する。
【００３４】
ゼロイング部３６は試研削等の事前の研削においてワークＷの研削精度が基準精度内に収まったとき、例えば定寸装置１８が出力するゼロ信号を受信したときに、その時点の各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて演算された相対位置Ｘを位置演算部３５から読み出して、その相対位置Ｘを研削目標である研削基準位置Ｘ０としてゼロイングするようになっている。従って、相対位置表示部２９は研削基準位置Ｘ０をゼロとして、この研削基準位置Ｘ０に対するワークＷの研削中に相対位置Ｘの変化を指示部２９ａの左右方向の位置により表示する。
【００３５】
基準位置判定部３７は位置演算部３５で演算された研削基準位置Ｘ０のゼロイング時のワークＷの静圧パッド１，２間の絶対位置Ｘａｂｓを読み出して、その絶対位置Ｘａｂｓの絶対値｜Ｘａｂｓ｜が研削精度に応じて予め設定された閾値未満であるか否かを判定するようになっており、例えば絶対値｜Ｘａｂｓ｜が閾値未満であれば、表示手段２８に研削基準位置設定範囲内であることを表示して研削基準位置Ｘ０のゼロイングを完了し、また絶対値｜Ｘａｂｓ｜が閾値以上であれば、表示手段２８に研削基準位置設定範囲外であることを適宜表示して作業者に精度の確認と精度調整を促す。
【００３６】
位置比較手段２４は本研削の各研削毎にワークＷの研削精度が基準精度内に収まったとき、例えば定寸装置１８が出力するゼロ信号を受信したときに、その時点の各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて位置演算部で３５で演算された相対位置Ｘを読み出して、この相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０とを比較して、相対位置Ｘの研削基準位置Ｘ０に対する差分（位置ズレ）の有無を判断するようになっている。なお、位置比較手段２４は研削基準位置Ｘ０に対するワークＷの相対位置Ｘのズレ方向及びズレ量を算出するようになっている。
【００３７】
後退端補正手段２５は位置比較手段２４の演算によりワークＷの相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０との間に差分がある場合に、ゼロ信号の受信から一定時間行われるスパークアウトの終了後に、次回の研削時に研削砥石５，６の研削前進端が研削基準位置Ｘ０におけるワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒと一致するように、ワークＷの相対位置Ｘのズレ方向及びズレ量に応じて切り込み軸の研削後退端、即ち研削砥石５，６の研削後退端を補正するようになっている。
【００３８】
なお、スパークアウトの開始から終了までの一定時間は研削条件に応じて決められている。また研削基準位置Ｘ０におけるワークＷの両側面の位置（基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒ）は研削砥石５，６の研削前進端を意味する。切り込み軸の研削後退端、即ち研削砥石５，６の研削後退端の補正は、研削砥石５，６の切れ味制御の一つとして機能するので、一対の研削砥石５，６の一方を基準に他方を補正しても良いし、両方を逆方向に補正しても良い。
【００３９】
切れ味比較手段２６は各測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２と研削基準位置Ｘ０におけるワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒとの減算によりワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を算出するワーク位置演算部４１と、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を比較し差分することにより両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出して、その砥石摩耗量の違いに基づいて切れ味差を判定する切れ味判定部４２とを備えている。切れ味判定部４２は両研削砥石５，６の切れ味の違いと補正方向を演算するようになっている。なお、ワーク位置演算部４１で演算されたワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２は、ワーク位置表示部３０，３１の指示部３０ａ，３１ａの変化として表示される。
【００４０】
研削条件補正手段２７は研削中に両研削砥石５，６の切れ味差がなくなるようにリアルタイムで研削条件を随時補正する随時補正部３９と、当該ワークＷの研削終了後に次回の研削に備えて両研削砥石５，６の切れ味の差がなくなるように研削条件を事後補正する事後補正部４０と有する。
【００４１】
随時補正部３９は切れ味比較手段２６によりリアルタイムで演算された両研削砥石５，６の切れ味差に応じて、両研削砥石５，６の切れ味差がなくなるように研削精度に影響のない研削条件、例えば研削砥石５，６の中央側から研削砥石５，６と静圧パッド１，２との間に供給される研削水（研削流体）の流量を制御すべく構成されている。
【００４２】
事後補正部４０は研削条件で決められたゼロ信号の受信から一定時間後に終了するスパークアウトの後に、ゼロ信号の受信時における両研削砥石５，６の切れ味差に応じて、両研削砥石５，６の切れ味の差がなくなるように研削条件を制御する。この場合の事後補正部４０による研削条件の補正は、随時補正部３９によるリアルタイムでの補正が研削精度に影響を与えない研削水の流量制御等であるのに対して、研削中に補正をすれば研削精度に影響を与えるような研削条件、例えば研削砥石５，６の回転数及び／又は研削砥石５，６の切り込み速度の制御である。なお、研削条件の補正は、各研削砥石５，６の切れ味の違い、補正方向に基づいて行う。
【００４３】
次に図５（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、静圧パッド１，２間の隙間Ｄの算出、静圧パッド１，２間のワークＷの位置認識について説明する。図５（ａ）に示すように左右の静圧パッド１，２間の隙間Ｄに挿入されたワークＷがその隙間Ｄのどこに位置するかを判断する場合には、事前に測定ヘッド９，１０により静圧パッド１，２の位置を測定して、その測定値Ａ１，Ｂ２を記憶させておく。
【００４４】
この場合、測定ヘッド９，１０はその構造上、各静圧パッド１，２の位置を直接測定できないため、次のような方法で測定する。例えば既知の厚みＴのワークＷを図５（ａ）に示すように静圧パッド１，２間に配置して測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を読み取る。次に図５（ｂ）に示すようにワークＷを左の静圧パッド１に接触させたときの測定ヘッド９，１０の測定値Ａ１，Ａ２を読み取り、更に図５（ｃ）に示すようにワークＷを右の静圧パッド２に接触させたときの測定ヘッド９，１０の測定値Ｂ１，Ｂ２を読み取って記憶させておく。
【００４５】
左右の静圧パッド１，２の位置は、左右の一方の測定ヘッド９，１０の測定値を把握できれば算出できる。例えば右の測定ヘッド１０の測定値Ｍ２を基準とする場合には（以下、基準を右とする。）、図５（ｃ）に示すようにワークＷを右の静圧パッド２に接触させたときの測定ヘッド１０の測定値をＢ２とし、次に図５（ｂ）に示すようにワークＷを左の静圧パッド１に接触させたときの右の測定ヘッド１０の測定値をＡ２とすると、ワークＷの厚みＴが既知であるので、左の静圧パッド１の位置はＡ２−Ｔとなり、左右の静圧パッド１，２間の隙間Ｄは、演算式Ｄ＝Ｂ２−（Ａ２−Ｔ）により求めることができる。なお、この測定は機械の設置後や静圧パッド１，２の交換後に行えば良く、通常の研削毎に行う必要はない。
【００４６】
ワークＷを搬入・搬出する際に、静圧パッド１，２が真空引き手段によりワークＷを吸着して受け渡すような場合には、その真空引手段を利用してワークＷを静圧パッド１，２に吸着すれば良い。しかし、一対の静圧パッド１，２の内、例えば右の静圧パッド２には真空引き手段があるが、左の静圧パッド１に真空引き手段がないような場合には、図６、図７に示すような構成の治具４３を用いて、厚みＴが既知のプレート４４を左の静圧パッド１に装着し、そのプレート４４に測定ヘッド９，１０の測定子９ｂ，１０ｂを接触させて測定すれば良い。
【００４７】
この治具４３は、静圧パッド１の切り欠き部７に径方向の外側から着脱自在に嵌合する板状の本体部４５と、本体部４５の内端側から左の静圧パッド１の背面側へと起立する起立部４６と、本体部４５の外端側から切り欠き部７の両側に突出する支持部４７とを有する。
【００４８】
本体部４５には左の静圧パッド１の保持面１ａに当接するプレート４４が一対の取り付けネジ等の固定具４８を介して着脱自在に固定されている。起立部４６には当接部４９が設けられ、その当接部４９はバネ等により付勢されて左の静圧パッド１の背面側に弾性的に当接している。各支持部４７は取り付けネジ等の固定具５０を介して本体部４５に着脱自在に固定されている。この支持部４７の両端には、バネ等により付勢されて右の静圧パッド２に弾性的に当接する当接部５１が設けられている。本体部４５には測定子９ｂ，１０ｂがプレート４４に接触するように開口５２が設けられている。
【００４９】
この治具４３を介してプレート４４を左の静圧パッド１に装着する場合には、プレート４４の外周縁を左の静圧パッド１の保持面１ａに当接又は近接するように、本体部４５を左の静圧パッド１の切り欠き部７に挿入する。そして、起立部４６の当接部４９を静圧パッド１の背面に当接させて、その押圧力により治具４３、プレート４４を左の静圧パッド１に装着する。その後、両静圧パッド１，２を接近させると、支持部４７の当接部５１が右の静圧パッド２に押圧し、また両静圧パッド１，２がプレート４４を挟むので、図６及び図７に示すようにプレート４４の外周縁を左の静圧パッド１の保持面１ａに沿って固定できる。
【００５０】
このようにして左の静圧パッド１にプレート４４を装着した後、図６に二点鎖線で示すようにプレート４４の両側に測定子９ｂ，１０ｂを接触させて測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を読み取れば、真空引き手段のない左の静圧パッド１についてもその位置を容易に測定できる。
【００５１】
静圧パッド１，２間のワークＷの位置認識は、次のようにして行う。静圧パッド１，２間に未研削のワークＷを挿入した場合、そのワークＷは例えば図８（ａ）に示すように静圧パッド１，２間に保持される。このときのワークＷと右の静圧パッド２との間の右側隙間Ｄ２は、図８（ａ）のときのワークＷの右側面の測定値Ｍ２と、図８（ｂ）に示すようにワークＷが右の静圧パッド２に当接したときの測定ヘッド１０の測定値Ｂ２とから、演算式Ｄ２＝Ｂ２−Ｍ２で求めることができる。
【００５２】
ワークＷと左の静圧パッド１との間の左側隙間Ｄ１も、同様にして図８（ａ）のときのワークＷの左側面の測定値Ｍ１と、図８（ｃ）に示すようにワークＷが左の静圧パッド１に当接したときの測定ヘッド９の測定値Ａ１とから、演算式Ｄ１＝Ａ１−Ｍ１で求めることができる。
【００５３】
従って、ワークＷから各静圧パッド１，２までの距離Ｄ１，Ｄ２が分かるので、各静圧パッド１，２間におけるワークＷの位置、例えば絶対位置Ｘａｂｓ、相対位置Ｘを監視することができ、Ｄ１＝Ｄ２であれば、ワークＷは静圧パッド１，２間の中央に位置している。
【００５４】
次に図９の流れ図を参照して研削目標である研削基準位置Ｘ０を決定し、その研削基準位置Ｘ０をゼロイングする方法を説明する。先ず試研削においてワークＷを挿入し（ステップＳ１）、研削サイクルを開始する（ステップＳ２）。研削サイクルの開始により、各静圧パッド１，２が所定位置まで前進してワークＷを静圧により保持した後に、各研削砥石５，６が前進してワークＷの両側面を研削する。しかし、両研削砥石５，６がワークＷを挟み込むまではワークＷの位置が不安定であるため、位置演算手段２２の挟み込み判定部３４が研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを確認した後に（ステップＳ３）、位置演算部３５が各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込んでワークＷの位置監視を開始する（ステップＳ４）。
【００５５】
ワークＷの位置監視が始まると、先ず位置演算部３５は静圧パッド１，２間の中心位置に対するワークＷの絶対位置Ｘａｂｓを演算し（ステップＳ５）、その絶対位置Ｘａｂｓを表示手段２８に表示する（ステップＳ６）。なお、ワークＷの絶対位置Ｘａｂｓは（Ｄ２−Ｄ１）／２により演算できる。また位置演算部３５はワークＷの相対位置Ｘを演算し（ステップＳ７）、以前にゼロイングされた基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒがあれば（ステップＳ８）、その基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒに対しての相対位置Ｘを演算して表示する（ステップＳ９）。この相対位置Ｘは演算式｛（Ｍ１−Ｍ１ｒ）−（Ｍ２−Ｍ２ｒ）｝／２により演算する。ゼロイングされた位置がない場合には、各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２をそのまま表示する（ステップＳ８，Ｓ１０）。
【００５６】
試研削のワークＷが所定厚さになれば、定寸装置１８からゼロ信号があるので（ステップＳ１１）、そのゼロ信号によりスパークアウトを開始する（ステップＳ１２）。そして、スパークアウトを開始すれば、切り込み軸が停止し、各測定ヘッド９，１０がワークＷの両側面から退避する。一方、スパークアウトの開始と同時に、位置演算部３５で演算されたゼロ信号の受信時点のワークＷの相対位置Ｘを読み込んで（ステップＳ１３）、ゼロイング部３６がその相対位置Ｘを研削目標である研削基準位置Ｘ０としてゼロイングし（ステップＳ１４）、また表示手段２８に研削基準位置Ｘ０をゼロとして表示する。
【００５７】
またスパークアウトの開始と同時に、基準位置判定部３７が位置演算部３５で演算されたゼロ信号の受信時（研削基準位置Ｘ０をゼロイングしたとき）の静圧パッド１，２間のワークＷの絶対位置Ｘａｂｓの絶対値｜Ｘａｂｓ｜を読み込んで、その絶対値｜Ｘａｂｓ｜と要求される研削精度に基づいて予め設定された閾値と比較して、研削基準位置Ｘ０がゼロイング位置として誤りがないか否かを判定する（ステップＳ１５）。そして、ワークＷの絶対位置Ｘａｂｓが閾値未満であれば、研削基準位置設定範囲内として表示手段２８に表示しゼロイングを完了する（ステップＳ１６）。また絶対値｜Ｘａｂｓ｜が閾値以上であれば、研削基準位置設定範囲外として表示手段２８に表示し（ステップＳ１７）、作業者に精度の確認と精度調整とを促す。
【００５８】
この研削基準位置Ｘ０のゼロイングはスパークアウト開始と同時に行われる。スパークアウトは研削条件に基づいて予め一定時間に設定されており、その一定時間が経過してスパークアウトが完了すると（ステップＳ１８，Ｓ１９）、切り込み軸が研削後退端へと移動し（ステップＳ２０）、研削サイクルが終了するので（ステップＳ２１）、試研削後のワークＷを取り出し（ステップＳ２２）、その研削後のワークＷを人為的に測定し（ステップＳ２３）、研削精度の判定を行う（ステップＳ２４）。
【００５９】
なお、研削精度の判定の結果、所定の研削精度が得られない場合、ゼロイングされた研削基準位置Ｘ０が研削基準位置範囲外であった場合には、所定の研削精度が得られるように精度調整を行った後、再度ワークＷの挿入の作業からやり直し、適正な研削基準位置Ｘ０を決定しゼロイングする。
【００６０】
次に図１０の流れ図を参照しながら、本研削におけるワークＷの位置監視と研削砥石５，６の切れ味制御について説明する。先ずワークＷを挿入して（ステップＳ３０）、研削サイクルを開始する（ステップＳ３１）。そして、研削サイクルを開始すると、挟み込み判定部３４が研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを確認した後（ステップＳ３２）、位置演算部３５がリアルタイムで測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込みながらワークＷの位置を監視する（ステップＳ３３）。
【００６１】
測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込むと、位置演算部３５が測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて現在のワークＷの相対位置Ｘを演算し（ステップＳ３４）、ゼロイングされた研削基準位置Ｘ０に対する現在位置を指針等の指示部２９ａによりリアルタイムで表示する（ステップＳ３５）。
【００６２】
同時に切れ味比較手段２６が両研削砥石５，６の切れ味の違いを判定する。即ち、記憶データの中から研削基準位置Ｘ０を決定したときのワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒを読み込んで（ステップＳ３６）、ワーク位置演算部４１がその基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒとその時点の測定値Ｍ１，Ｍ２とを減算することにより、基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒに対するワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を演算した後（ステップＳ３７）、切れ味判定部４２がその両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を比較して両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出し、その砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石５，６の切れ味差の有無を判定する（ステップＳ３８）。
【００６３】
例えば、左の研削砥石５の砥石摩耗量が右の研削砥石６の砥石摩耗量に比較して少なく、左の研削砥石５の切れ味が右の研削砥石６の切れ味よりも悪い場合には、研削中のワークＷ２は、図１１に示すように切れ味の悪い研削砥石５により右方向に押されて切れ味の良い研削砥石６側に移動した状態となっている。
【００６４】
そこで、研削中のワークＷ２が研削基準位置Ｘ０の決定時のワークＷ１に対して図１１に示すような位置関係になれば、そのワークＷ１の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒと、現時点のワークＷ２の測定値Ｍ１，Ｍ２とから、ワークＷ２の左の位置Ｒ１を演算式Ｒ１＝Ｍ１−Ｍ１ｒにより、右の位置Ｒ２を演算式Ｒ２＝Ｍ２−Ｍ２ｒにより夫々演算できる。
【００６５】
そして、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の左右差ΔＲ（＝Ｒ１−Ｒ２）を求めることにより、両研削砥石５，６の切れ味の違いの大きさが判ると同時に、切れ味の悪い方の研削砥石５，６がどれであるかが判る。図１１のような場合はΔＲ＜０であり、左の研削砥石５が切れ味不良であることを示す。ΔＲ＝０は両研削砥石５，６の切れ味が同等であることを示す。またΔＲ＞０は図１１と逆の場合であり、右の研削砥石６が切れ味不良であることを示す。
【００６６】
切れ味の判定結果がΔＲ＜０かΔＲ＞０であれば（ステップＳ３８）、研削中に両研削砥石５，６の切れ味の差がなくなるように、随時補正部３９が研削精度に影響しない研削水の流量をリアルタイムで補正する（ステップＳ３９）。この場合、左右差ΔＲ、補正方向（±）に応じて研削水の流量が変化する制御マップを予め作成しておき、その制御マップに基づいて左右差ΔＲの大小、正負に対応して研削水の流量を変化させることが望ましい。なお、この研削水の流量の調整は、両研削砥石５，６の切れ味が一致するまで継続しても良いし、制御マップに基づいて制御するだけでも良い。
【００６７】
表示手段２８のワーク位置表示部３０，３１は、ワークＷの研削中、研削基準位置Ｘ０でのワークＷの両側面を基準に、そのときの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を表示する。左右の研削砥石５，６の切れ味が略同じであれば、表示手段２８のワーク位置表示部３０，３１の表示は略同レベルを示し、両研削砥石５，６の切れ味が異なる場合には、図４に示すようにその切れ味差に応じたレベルを表示する。
【００６８】
例えば図１１に示すような場合には、両研削砥石５，６の切れ味の違いに応じて図４に示すようにワーク位置表示部３０の指示部３０ａのレベルが低く、ワーク位置表示部３１の指示部３１ａのレベルが高くなる。このためワーク位置表示部３０，３１の表示を見れば、研削中のワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の変化として両研削砥石５，６の切れ味の違いを容易に把握することができる。
【００６９】
図１１に示すように左の研削砥石５の切れ味が悪い場合には、その切れ味の程度に応じて左の研削砥石５とワークＷとの間に供給する研削水の流量を少なくする。これによって研削砥石５から脱落した砥粒の排出が遅くなり、研削砥石５とワークＷとの間での砥粒の滞留時間が長くなるため、その砥粒が目立て砥石の役割をして砥石摩耗が促進するため切れ味が良くなる。これによって左右の両研削砥石５，６の切れ味の差を極力少なくすることができる。
【００７０】
なお、切れ味の良い研削砥石５，６側の研削水の流量を一定にして、切れ味の悪い研削砥石５，６側の研削水の流量を少なくしても良いし、逆に切れ味の悪い研削砥石５，６側の研削水の流量を一定にして、切れ味の良い研削砥石５，６側の研削水の流量を多くしても良い。また切れ味の良い研削砥石５，６側の研削水の流量を多くしつつ、切れ味の悪い研削砥石５，６側の研削水の流量を少なくする等、両方の研削砥石５，６の研削水の流量を増減しても良い。
【００７１】
ワークＷが目標厚さになれば定寸装置１８からのゼロ信号を受信し（ステップＳ４０）、切り込み軸が停止し各測定ヘッド９，１０が退避して、スパークアウトを開始する（ステップＳ４１）。同時に位置比較手段２４が位置演算手段２２で演算されたゼロ信号の受信時点のワークＷの相対位置Ｘを演算し（ステップＳ４２）、これを研削目標である研削基準位置Ｘ０と比較して、研削基準位置Ｘ０に対するワークＷのズレ量とズレ方向を求める（ステップＳ４３）。また同時にゼロ信号の受信時の測定値Ｍ１，Ｍ２から、その時点でのワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の左右差ΔＲを演算し（ステップＳ４４）、ワークＷの研削終了後に切り込み軸の研削後退端の補正に備える。
【００７２】
スパークアウトは研削条件に基づいて予め一定時間に設定されており、その一定時間が経過してスパークアウトが完了し（ステップＳ４５，Ｓ４６）、研削サイクルが終了してワークＷの研削が終わると（ステップＳ４７）、切り込み軸が研削後退端へと移動する（ステップＳ４８）。
【００７３】
ゼロ信号の受信時において、研削基準位置Ｘ０に対してワークＷの相対位置Ｘがズレる位置ズレがあれば、研削砥石５，６の切れ味制御の一環として、次回研削時に研削前進端が研削基準位置Ｘ０に一致するように、後退端補正手段２５が研削砥石５，６の研削後退端、即ち切り込み軸の研削後退端の位置を補正する。従って、次回のワークＷの研削時には、ワークＷの相対位置Ｘの位置ズレを吸収した状態で両研削砥石５，６がワークＷを切り込むことになり、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を研削基準位置Ｘ０に戻すことができる。
【００７４】
同時にワークＷの両側面に左右差ΔＲがある場合には、事後補正部４０が次回の研削に備えて研削砥石５，６の切れ味に影響を与える研削条件を補正し更新する（ステップＳ４９）。ここでは研削中に変えることのできなかった研削条件、例えば研削砥石５，６の回転数及び／又は研削砥石５，６の切り込み速度を変えることができる。その補正は左右差ΔＲの大きさと補正方向に基づいて行う。
【００７５】
研削砥石５，６の回転数及び／又は研削砥石５，６の切り込み速度を補正すれば、研削砥石５，６の切れ味を調整できる。例えば研削砥石５，６の回転数を遅くするか、又は切り込み速度を速くすると、研削砥石５，６がワークＷを研削する際の研削負荷が大きくなり、砥粒の脱落が進んで新しい砥粒が次々と現れるため、切れ味の悪い研削砥石５，６でもその砥石摩耗の進行によって切れ味を良くすることができる。
【００７６】
またワークＷの相対位置Ｘの位置ズレに基づいて研削砥石５，６の研削後退端を補正し、ワークＷの両側面の位置差ΔＲとに基づいて両研削砥石５，６の研削条件を補正することにより、研削砥石５，６の一方のみの研削条件を補正する場合に比較して、研削後のワークＷのダメージ、反り等が少なくなり、ワークＷの研削精度を更に向上させることができる。
【００７７】
その後、ワークＷを取り出して終了する（ステップＳ５０）。
【００７８】
このようにすれば、両研削砥石５，６の砥石摩耗量のバラツキに起因する切れ味のアンバランスを数値化して、それに基づいて両研削砥石５，６の切れ味が同じになるように自動的に制御することができる。なお、多数のワークＷを続けて研削する場合には、同様の手順での操作、制御等を繰り返し行う。
【００７９】
図１２は本発明の第２の実施形態を例示する。この第２の実施形態は、研削中のワークＷの相対位置Ｘと静圧パッド１，２にワークＷが適正に保持されるべき研削基準位置Ｘ０とを比較して両者の差分により両研削砥石５，６の切れ味差をリアルタイムで演算する切れ味比較手段２６と、両研削砥石５，６の切れ味差に基づいて両研削砥石５，６の切れ味が略一致するように、両研削砥石５，６とワークＷとの間に供給される研削水の流量を制御する等、研削砥石５，６の研削条件を補正する研削条件補正手段２７とを備えたものである。
【００８０】
長期間の使用等によって研削砥石５，６に砥石摩耗量に違いが発生すれば、両研削砥石５，６の切り込み量が同じであっても、両研削砥石５，６の研削前進端が相違する。一方、砥石摩耗量の大きい側の研削砥石５，６では自生作用により切れ味が向上して取り代が大であるため、ワークＷは砥石摩耗量の小さい側の研削砥石５，６により砥石摩耗量の大きい側の研削砥石５，６へと押されて、ワークＷの相対位置Ｘは砥石摩耗量が大きく切れ味の良い研削砥石５，６側へとズレることになる。
【００８１】
そこで、ワークＷの研削中はリアルタイムでワークＷの相対位置Ｘを求め、切れ味比較手段２６において、相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０とを比較して両者の差分により両研削砥石５，６の切れ味差に伴うワークＷの位置ズレの有無、位置ズレの大小、ズレ方向を演算する。
【００８２】
そして、ワークＷの相対位置Ｘの研削基準位置Ｘ０に対する位置ズレがあれば、研削条件補正手段２７により、両研削砥石５，６の切れ味差に応じて、即ち位置ズレの大小、ズレ方向に応じて両研削砥石５，６とワークＷとの間に供給される研削水の流量を制御する。これによって両研削砥石５，６の切れ味の違いを解消することができる。
【００８３】
因みに相対位置Ｘの位置ズレの大小、ズレ方向に応じて両研削砥石５，６の研削水の流量を制御する場合、例えば研削条件等の諸要因を考慮しながら図１３に示すような関係で制御すれば良い。
【００８４】
以上、本発明の各実施形態について詳述したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば各実施形態は横型両頭平面研削盤について例示しているが、縦型の両頭平面研削盤でも同様に実施することができる。
【００８５】
研削砥石５，６の切れ味差は研削中のワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を算出し、この両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を比較して両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出して、その両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石５，６の切れ味差を判断する方法と、研削中のワークＷの相対位置Ｘを算出し、この相対位置Ｘと静圧パッド１，２間にワークＷが適正に保持されるべき研削基準位置Ｘ０とを比較し、その両者の差分により両研削砥石５，６の切れ味差を判断する方法とがあるが、研削中のワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を測定して、それに基づいて両研削砥石５，６の切れ味を判断する方法であれば、他の方法を採用しても良い。
【００８６】
またワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の左右差ΔＲを算出して研削条件を制御する場合にも、左右差ΔＲに基づいて研削砥石５，６の切れ味の違いを判定して、その切れ味が略同じとなるように制御しても良いし、左右差ΔＲに基づいて研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを判定して、その砥石摩耗量が略同じとなるように制御しても良い。
【００８７】
静圧パッド１，２間の隙間Ｄの測定において、例えば右の静圧パッド２にしか真空引き手段がなく、しかも治具４３もない場合には、市販の隙間ゲージを用いて直接測定しても良い。またワークＷの左位置Ｄ１は、右の静圧パッド２のパッド位置Ｄ２と、隙間ゲージで把握したバッド隙間Ｄと、既知のワークＷの厚みＴとにより、次の演算式Ｄ１＝Ｄ−Ｄ２−Ｔで求めることもできる。そして、ワークＷの左位置Ｄ１が分かれば、その値を元に左パッド位置Ａ１を求め、この左パッド位置Ａ１と左の測定ヘッド９の測定値Ｍ１，Ｍ２とから、左のパッド位置Ａ１は次の演算式Ａ１＝Ｄ１＋Ｍ１で求めることもできる。
【００８８】
ゼロイングはワークＷが仕上げ寸法になったときに研削基準位置Ｘ０に基づいて行うのが最良である。しかし、ワークＷへの傷を避けるために、定寸装置１８からゼロ信号を受け取って両測定ヘッド９，１０がワークＷから退避した後も、研削条件で設定されたスパークアウト時間だけワークＷが研削されるので、仕上げ寸法でのゼロイングは困難である。従って、定寸装置１８からゼロ信号を受け取ったタイミングで行うのが望ましい。
【００８９】
研削中は静圧パッド１，２により保持された状態で回転するワークＷを、回転する研削砥石５，６により両側から研削しながら、測定ヘッド９，１０によりワークＷの両側面をリアルタイムで測定するため、その両側面の測定値Ｍ１，Ｍ２には常に微少なバラツキがある。従って、ワークＷの相対位置Ｘは、各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を移動平均処理により求めることが望ましい。
【００９０】
また実施形態では定寸装置１８の測定ヘッド９，１０を利用すると共に、その定寸装置１８からのゼロ信号を利用するようにしているが、測定ヘッド９，１０を備えた専用の測定手段を用いてワークＷの両側面を測定し、定寸装置１８からのゼロ信号に代えて、ワークＷが所定の研削精度になったときの信号を契機にゼロイング等を行うようにしても良い。
【００９１】
測定ヘッド９，１０はワークＷの両側面に接触する接触式の他、レーザ変位式、静電容量式等の非接触式を使用することも可能であり、ワークＷの両側面の位置を測定できるものであればその測定方式は問題ではない。
【００９２】
測定ヘッド９，１０、位置演算手段２２によるワークＷの位置監視を利用して、研削砥石５，６の交換後の研削位置合わせ作業の自動化を測るようにしても良い。これによって段取り等の時間を削減できると共に、人的要因による研削位置合わせミスの発生を防止できる。つまり、一対の静圧パッド１，２のアライメント調整をしない限り、研削砥石５，６の交換前と研削位置が殆ど変わらないので、静圧パッド１，２の位置合わせは研削砥石５，６の交換前の所定精度の基準値内のワークＷの位置に合わせればよく、その位置は機械が記憶しているので、自動化を容易に図ることができる。
【符号の説明】
【００９３】
Ｗ ワーク
Ｍ１，Ｍ２ 測定値
Ｘ 相対位置
Ｘ０ 研削基準位置
Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒ 基準値
Ｒ１，Ｒ２ 側面の位置
Ｘａｂｓ 絶対位置
１，２ 静圧パッド
５，６ 研削砥石
９，１０ 測定ヘッド
２０ 研削制御装置
２２ 位置演算手段
２３ 研削基準位置設定手段
２４ 位置比較手段
２５ 後退端補正手段
２６ 切れ味比較手段
２７ 研削条件補正手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェーハ等の薄板状ワークを研削する際に使用する薄板状ワークの研削方法及び両頭平面研削盤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
両頭平面研削盤を使用してシリコンウェーハ等の薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削する際には、一対の測定ヘッドを有する測定手段により研削中のワークの厚さを測定し、その測定値が研削基準値と一致するように制御して、所定の寸法精度に仕上げるインプロセス定寸研削が採用されている（特許文献１）。
【０００３】
例えばマスタワークと同一厚さに研削する場合であれば、先ずマスタワークの研削時に測定手段によりマスタワークの厚さを測定して、このマスタワークの厚さをその研削環境下における研削基準値と決定してゼロイングする。そして、実際のワークの研削に当たっては研削中に同一の測定手段によりワークの厚さを測定し、その測定値がゼロイングされた研削基準値と一致したときのゼロ信号によりスパークアウトに移行し、そのスパークアウトを一定時間継続した後に、研削砥石を後退させて研削を終了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−７１７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなインプロセス定寸研削を採用すれば、マスタワークと同じ研削環境下でワークを研削できるため、ワークをマスタワークと同一厚さに仕上げることができる。しかし、両研削砥石の切れ味に差があれば、ワークの両側面の仕上がり状態に大きな違いが生じ、所定の研削精度を長期にわたって安定的に維持できない欠点がある。
【０００６】
即ち、両頭平面研削盤において、一対の静圧パッドにより静圧的に保持されたワークを、一対の研削砥石により両側から研削するに際しては、図１４に示すように粗研削、中研削及び仕上げ研削を経てワークを所定の研削精度に研削する。この場合、研削精度のより高精度化が求められる現在、ワークの研削中は一対の研削砥石の切れ味が常に同じであることが非常に重要である。
【０００７】
一対の研削砥石の切れ味が等しいときには、各研削砥石によるワークの取り代は図１４に実線で示すように同じである。しかし、実際の研削砥石には個々の砥石摩耗量にバラツキがあるため、研削砥石を長期間使用すれば、研削砥石の砥石摩耗量の違いによって研削砥石の切れ味に大きな差が発生する。
【０００８】
砥石摩耗量の大きい研削砥石では、砥粒の自生作用が持続して切れ味が良いため、図１４に一点鎖線で示すように取り代が多くなる。これに対して砥石摩耗量の小さい研削砥石では、砥粒間の目詰まり等により切れ味が悪いため、図１４に二点鎖線で示すように取り代が少なくなる。その結果、ワークの仕上げ寸法が同じであっても、研削砥石の切れ味の差によってワークの両側面の仕上がり状態に大きな違いが生じる。
【０００９】
切れ味の良い研削砥石で研削されたワークの表面は粗面状となり、切れ味の悪い研削砥石で研削されたワークの表面は研磨に近い鏡面状となる等、ワークの両側面の仕上がり状態に大きな違いが生じる。そして、このような研削状態のワークをそのまま放置すれば、ワークの粗面側と鏡面側との表面積の違いにより、表面積の大きい粗面側が外側となり表面積の小さい鏡面側が内側となるようにワークに反りが発生する惧れがある。
【００１０】
また切れ味の違う研削砥石によってワークを研削した場合、ワーク自体が所定の仕上げ厚みであっても、そのワークの両側面に取り代の差に応じた応力が作用し、ワークの両側面が取り代の差に応じたダメージを受けるため、その応力やダメージが大きければ研削精度が基準値から外れて不良品となる等の問題もある。
【００１１】
更に一対の静圧パッド間のワークは、通常、各静圧パッドの保持面側から供給される保持水によって左右均等に保持されるため、ワークの理想的な研削位置は静圧パッド間の中央であり、その位置を研削基準位置として研削したい。しかし、実際のシリコンウェーハ等のワークの素材形状をみた場合、側面に反りがある等必ずしも完全な平面ではなく、厚みも不揃いであるため、平坦度等の研削精度が基準値内に収まるときのワークの位置が、静圧パッド間の中央とならず、それが左右の研削砥石の切れ味に影響することもある。
【００１２】
このように各研削砥石の砥石摩耗量の違いに起因する切れ味の良し悪しによってワークの研削精度に大きな影響が生じるにも拘わらず、実際には研削砥石の砥石摩耗の要因は多くあり、その多くの砥石摩耗の要因に則して両研削砥石の切れ味が常に同じになるように両研削砥石の研削条件を調整することは非常に困難である。そのため従来のシリコンウェーハ等の研削では、各研削砥石の砥石摩耗量の違いに起因する切れ味のバラツキによって多くの不良品が発生し、その結果、製品コストの増加、歩留りの悪化を招くという問題がある。
【００１３】
本発明は、このような従来の問題点に鑑み、各研削砥石の砥石摩耗量の違いによる切れ味の違いを極力解消でき、所定の研削精度を長期間にわたって安定的に維持できる薄板状ワークの研削方法及び両頭平面研削盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る薄板状ワークの研削方法は、一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削するに際し、研削中のワークの両側面の位置を測定して両研削砥石の切れ味を判断し、両研削砥石間に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味差がなくなるように、切れ味の変化に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正するものである。
【００１５】
研削中のワークの両側面の位置を比較してその差分により両研削砥石の砥石摩耗量の違いを算出し、この砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石の切れ味差を判断しても良い。事前の研削においてワークの研削精度が基準精度内に収まったときのワークの両側面の位置を基準値とし、この基準値と研削中のワークの両側面の測定値との減算によりワークの両側面の位置を算出しても良い。
【００１６】
研削中のワークの相対位置を算出し、この相対位置と静圧パッド間にワークが適正に保持されるべき研削基準位置とを比較しその差分により切れ味差を判断しても良い。当該ワークの研削中に研削砥石とワークとの間に供給される研削水の流量を切れ味差に応じて調整しても良い。当該ワークの研削において定寸装置からワークの定寸を示すゼロ信号を受信したときの研削砥石の切れ味差に応じて、当該ワークの研削後に研削砥石の回転数及び／又は切り込み速度を調整しても良い。
【００１７】
本発明の係る両頭平面研削盤は、一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削する両頭平面研削盤において、研削中のワークの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッドと、ワークの両側面の基準値と各測定ヘッドの測定値との減算により算出したワークの両側面の位置を比較して両研削砥石の切れ味差を求める切れ味比較手段と、両研削砥石に切れ味差があるときに両研削砥石の切れ味が同じになるように研削砥石の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、研削中のワークの両側面の位置を測定して両研削砥石の切れ味を判断し、両研削砥石間に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味差がなくなるように、切れ味の変化に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正するため、ワークの両側面を研削する一対の研削砥石の切れ味の違いを極力解消でき、所定の研削精度を長期間にわたって安定的に維持できる利点がある。従って、ワークの研削精度が向上すると共に、ワークの歩留りが向上する利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す横型両頭平面研削盤の平面構成図である。
【図２】同側面図である。
【図３】同制御系のブロック図である。
【図４】同表示手段の説明図である。
【図５】同位置測定方法の説明図である。
【図６】同位置測定用の治具等の平面断面図である。
【図７】同位置測定用の治具等の側面図である。
【図８】同位置測定方法の説明図である。
【図９】同試研削時のフローチャート図である。
【図１０】同本研削時のフローチャート図である。
【図１１】同切れ味差の説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態を示すブロック図である。
【図１３】同研削水の流量調整の説明図である。
【図１４】研削砥石の切れ味の違いによる取り代差の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて詳述する。図１〜図１１は本発明を採用した横型両頭平面研削盤を例示する。この横型両頭平面研削盤は、図１、図２に示すように、左右に相対向して配置され且つ薄板状ワークＷを保持する左右一対の静圧パッド１，２と、各静圧パッド１，２の凹部３，４に対応して左右方向の軸心廻りに回転自在に配置され且つ静圧パッド１，２により保持されたワークＷの左右の両側面を研削する左右一対の研削砥石５，６と、静圧パッド１，２により保持されたワークＷを中心廻りに回転させるキャリア（図示省略）と、静圧パッド１，２の切り欠き部７，８に対応してワークＷの左右両側に配置された左右一対の測定ヘッド９，１０とを備えている。
【００２１】
静圧パッド１，２はワークＷを保持する前進位置とワークＷから退避する退避位置との間で左右方向に移動自在であり、前進位置ではワークＷと対向する保持面側に供給される保持水等の保持流体を介してワークＷを静圧的に保持するようになっている。
【００２２】
研削砥石５，６はカップ型等であって、軸受箱１１，１２により回転自在に支持された砥石軸１３，１４の先端に設けられ、砥石駆動モータ１５，１６により回転駆動される。軸受箱１１，１２は摺動案内機構（図示省略）を介して左右方向に移動自在に支持され、切り込み軸駆動モータ（図示省略）の駆動により、切り込み軸（図示省略）、摺動案内機構等を介して左右方向に移動し、研削砥石５，６を研削前進端と研削後退端との間で左右方向に移動させる。
【００２３】
測定ヘッド９，１０はワークＷの両側面の位置を測定するものであって、枢支部９ａ，１０ａを介して固定側の支持部材１７により揺動自在に支持され、先端の測定子９ｂ，１０ｂがワークＷの側面に接触したときの測定ヘッド９，１０の枢支部９ａ，１０ａ廻りの角度変位に応じた電気信号を出力するようになっている。なお、測定ヘッド９，１０は静圧パッド１，２に接触するワークＷを介して静圧パッド１，２の位置を測定することも可能である。
【００２４】
各測定ヘッド９，１０はインプロセス定寸研削用の定寸装置１８の一部を構成するものであって、その出力端側はアンプ１９に接続されている。定寸装置１８は研削制御装置２０に接続されている。定寸装置１８は研削中にワークＷの研削精度が基準精度内に収まったとき（例えばワークＷが所定の厚さになったとき）にゼロ信号を出力して、研削制御装置２０の研削動作制御手段２１の制御により、スパークアウトその他の所定の動作に移行させるようになっている。
【００２５】
研削制御装置２０は図３に示すように、ワークＷの挿入から取り出しまでの一連の研削動作を制御する従来公知の研削動作制御手段２１の他に、測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいてリアルタイムでワークＷの位置を演算する位置演算手段２２と、ワークＷの試研削等の事前の研削においてワークＷの研削精度が基準精度内に収まったときのワークＷの相対位置Ｘを本研削時の研削目標である研削基準位置Ｘ０と決定してゼロイング（記憶手段に記憶）する研削基準位置設定手段２３と、各ワークＷの本研削時に位置演算手段２２により演算されたワークＷの相対位置Ｘと既に記憶された研削基準位置Ｘ０とを比較して両者の差分（両者の位置ズレ）を求める位置比較手段２４と、ワークＷの相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０とに差分がある場合に、次の研削時に研削砥石５，６の研削前進端が一致（研削砥石５，６の研削前進端まで前進したときの各測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２が研削基準位置Ｘ０を決定したときのワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒと一致）するように、ワークＷの研削の終了後にその差分に応じて研削砥石５，６の研削後退端を補正する後退端補正手段２５と、測定ヘッド９，１０からのワークＷの両側面の測定値Ｍ１，Ｍ２と研削基準位置Ｘ０を決定したときのワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒとを減算してワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を算出し、その両側面の位置Ｒ１，Ｒ２をリアルタイムで比較して差分することにより両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出して、その砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石５，６の切れ味差を求める切れ味比較手段２６と、両研削砥石５，６に切れ味差がある場合に、両研削砥石５，６の切れ味が同じになるように、研削砥石５，６の切れ味に関係する研削条件を両研削砥石５，６の切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段２７と、ワークＷの研削基準位置Ｘ０に対する相対位置Ｘの変化、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２等を表示する表示手段２８とを備え、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＰＵ等を含むマイコン等により構成されている。
【００２６】
なお、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２をリアルタイムで比較することによって、その両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の差により両研削砥石５，６の砥石摩耗量の他に、両研削砥石５，６によるワークＷの合計取り代を算出することもできる。
【００２７】
表示手段２８は図４に示すようにワークＷの相対位置Ｘをバーグラフ表示する相対位置表示部２９と、ワークＷの左右両側面の位置Ｒ１，Ｒ２をバーグラフ表示するワーク位置表示部３０，３１とを有する。相対位置表示部２９は左右方向に長い横長状であって、この相対位置表示部２９にはゼロイングされた研削基準位置Ｘ０を中心に左右方向に所定の目盛が付され、その研削基準位置Ｘ０に対するワークＷの相対位置Ｘの変化を指針等の指示部２９ａにより表示するようになっている。
【００２８】
ワーク位置表示部３０，３１は上下方向に長い縦長状であって、ワークＷの左右両側面に対応して左右に並べて配置されている。各ワーク位置表示部３０，３１には上下方向に所定の目盛が付され、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を下から上（又は上から下）に伸びる指示部３０ａ，３１ａにより表示するようになっている。なお、相対位置表示部２９、ワーク位置表示部３０，３１の方向は任意であり、また相対位置表示部２９、ワーク位置表示部３０，３１は相対位置Ｘ、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を数値で表示するようにしても良い。また表示手段２８は必要に応じて後述の各情報を表示する表示部（図示省略）を有する。
【００２９】
両頭平面研削盤によりシリコンウェーハ等のワークＷの研削中は、研削砥石５，６の砥石摩耗による僅かな砥粒の脱落、ワークＷの僅かな形状の違い、ワークＷと一対の静圧パッド１，２との間の水膜の微妙な変化等の影響、取り分け研削砥石５，６の砥石摩耗量のバラツキの影響を受けて両研削砥石５，６の切れ味、ワークＷの相対位置Ｘ、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２が時々刻々と変化する。
【００３０】
しかし、表示手段２８に相対位置表示部２９、ワーク位置表示部３０，３１を設けて、その相対位置表示部２９によりワークＷの相対位置Ｘを表示し、ワーク位置表示部３０，３１によりワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を表示することにより、両研削砥石５，６の切れ味、ワークＷの相対位置Ｘ、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の変化を可視化することができる。
【００３１】
位置演算手段２２は砥石駆動モータ１５，１６の負荷電流の上昇、回転数の低下等から研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを判定する挟み込み判定部３４と、ワークＷの挟み込みの確認後に各測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込んで静圧パッド１，２間のワークＷの相対位置Ｘ等を演算する位置演算部３５とを有する。
【００３２】
挟み込み判定部３４はワークＷの厚みＴが既知であることを利用して、ワークＷの位置監視のタイミングを研削条件に適宜設定して、研削サイクルの開始後にそのタイミングが到来することにより、研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを判断するようにしても良い。位置演算部３５は測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて、静圧パッド１，２間の中心位置に対するワークＷの絶対的位置である絶対位置Ｘａｂｓ、静圧パッド１，２間にワークＷが適正に保持されるべき研削基準位置Ｘ０、静圧パッド１，２間に保持されるワークＷの相対位置Ｘを随時演算して記憶するようになっている。
【００３３】
研削基準位置設定手段２３は研削基準位置Ｘ０をゼロイングするゼロイング部３６と、その研削基準位置Ｘ０が適正か否かを絶対位置Ｘａｂｓの絶対値｜Ｘａｂｓ｜に基づいて判定する基準位置判定部３７とを有する。
【００３４】
ゼロイング部３６は試研削等の事前の研削においてワークＷの研削精度が基準精度内に収まったとき、例えば定寸装置１８が出力するゼロ信号を受信したときに、その時点の各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて演算された相対位置Ｘを位置演算部３５から読み出して、その相対位置Ｘを研削目標である研削基準位置Ｘ０としてゼロイングするようになっている。従って、相対位置表示部２９は研削基準位置Ｘ０をゼロとして、この研削基準位置Ｘ０に対するワークＷの研削中に相対位置Ｘの変化を指示部２９ａの左右方向の位置により表示する。
【００３５】
基準位置判定部３７は位置演算部３５で演算された研削基準位置Ｘ０のゼロイング時のワークＷの静圧パッド１，２間の絶対位置Ｘａｂｓを読み出して、その絶対位置Ｘａｂｓの絶対値｜Ｘａｂｓ｜が研削精度に応じて予め設定された閾値未満であるか否かを判定するようになっており、例えば絶対値｜Ｘａｂｓ｜が閾値未満であれば、表示手段２８に研削基準位置設定範囲内であることを表示して研削基準位置Ｘ０のゼロイングを完了し、また絶対値｜Ｘａｂｓ｜が閾値以上であれば、表示手段２８に研削基準位置設定範囲外であることを適宜表示して作業者に精度の確認と精度調整を促す。
【００３６】
位置比較手段２４は本研削の各研削毎にワークＷの研削精度が基準精度内に収まったとき、例えば定寸装置１８が出力するゼロ信号を受信したときに、その時点の各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて位置演算部で３５で演算された相対位置Ｘを読み出して、この相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０とを比較して、相対位置Ｘの研削基準位置Ｘ０に対する差分（位置ズレ）の有無を判断するようになっている。なお、位置比較手段２４は研削基準位置Ｘ０に対するワークＷの相対位置Ｘのズレ方向及びズレ量を算出するようになっている。
【００３７】
後退端補正手段２５は位置比較手段２４の演算によりワークＷの相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０との間に差分がある場合に、ゼロ信号の受信から一定時間行われるスパークアウトの終了後に、次回の研削時に研削砥石５，６の研削前進端が研削基準位置Ｘ０におけるワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒと一致するように、ワークＷの相対位置Ｘのズレ方向及びズレ量に応じて切り込み軸の研削後退端、即ち研削砥石５，６の研削後退端を補正するようになっている。
【００３８】
なお、スパークアウトの開始から終了までの一定時間は研削条件に応じて決められている。また研削基準位置Ｘ０におけるワークＷの両側面の位置（基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒ）は研削砥石５，６の研削前進端を意味する。切り込み軸の研削後退端、即ち研削砥石５，６の研削後退端の補正は、研削砥石５，６の切れ味制御の一つとして機能するので、一対の研削砥石５，６の一方を基準に他方を補正しても良いし、両方を逆方向に補正しても良い。
【００３９】
切れ味比較手段２６は各測定ヘッド９，１０からの測定値Ｍ１，Ｍ２と研削基準位置Ｘ０におけるワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒとの減算によりワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を算出するワーク位置演算部４１と、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を比較し差分することにより両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出して、その砥石摩耗量の違いに基づいて切れ味差を判定する切れ味判定部４２とを備えている。切れ味判定部４２は両研削砥石５，６の切れ味の違いと補正方向を演算するようになっている。なお、ワーク位置演算部４１で演算されたワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２は、ワーク位置表示部３０，３１の指示部３０ａ，３１ａの変化として表示される。
【００４０】
研削条件補正手段２７は研削中に両研削砥石５，６の切れ味差がなくなるようにリアルタイムで研削条件を随時補正する随時補正部３９と、当該ワークＷの研削終了後に次回の研削に備えて両研削砥石５，６の切れ味の差がなくなるように研削条件を事後補正する事後補正部４０と有する。
【００４１】
随時補正部３９は切れ味比較手段２６によりリアルタイムで演算された両研削砥石５，６の切れ味差に応じて、両研削砥石５，６の切れ味差がなくなるように研削精度に影響のない研削条件、例えば研削砥石５，６の中央側から研削砥石５，６と静圧パッド１，２との間に供給される研削水（研削流体）の流量を制御すべく構成されている。
【００４２】
事後補正部４０は研削条件で決められたゼロ信号の受信から一定時間後に終了するスパークアウトの後に、ゼロ信号の受信時における両研削砥石５，６の切れ味差に応じて、両研削砥石５，６の切れ味の差がなくなるように研削条件を制御する。この場合の事後補正部４０による研削条件の補正は、随時補正部３９によるリアルタイムでの補正が研削精度に影響を与えない研削水の流量制御等であるのに対して、研削中に補正をすれば研削精度に影響を与えるような研削条件、例えば研削砥石５，６の回転数及び／又は研削砥石５，６の切り込み速度の制御である。なお、研削条件の補正は、各研削砥石５，６の切れ味の違い、補正方向に基づいて行う。
【００４３】
次に図５（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、静圧パッド１，２間の隙間Ｄの算出、静圧パッド１，２間のワークＷの位置認識について説明する。図５（ａ）に示すように左右の静圧パッド１，２間の隙間Ｄに挿入されたワークＷがその隙間Ｄのどこに位置するかを判断する場合には、事前に測定ヘッド９，１０により静圧パッド１，２の位置を測定して、その測定値Ａ１，Ｂ２を記憶させておく。
【００４４】
この場合、測定ヘッド９，１０はその構造上、各静圧パッド１，２の位置を直接測定できないため、次のような方法で測定する。例えば既知の厚みＴのワークＷを図５（ａ）に示すように静圧パッド１，２間に配置して測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を読み取る。次に図５（ｂ）に示すようにワークＷを左の静圧パッド１に接触させたときの測定ヘッド９，１０の測定値Ａ１，Ａ２を読み取り、更に図５（ｃ）に示すようにワークＷを右の静圧パッド２に接触させたときの測定ヘッド９，１０の測定値Ｂ１，Ｂ２を読み取って記憶させておく。
【００４５】
左右の静圧パッド１，２の位置は、左右の一方の測定ヘッド９，１０の測定値を把握できれば算出できる。例えば右の測定ヘッド１０の測定値Ｍ２を基準とする場合には（以下、基準を右とする。）、図５（ｃ）に示すようにワークＷを右の静圧パッド２に接触させたときの測定ヘッド１０の測定値をＢ２とし、次に図５（ｂ）に示すようにワークＷを左の静圧パッド１に接触させたときの右の測定ヘッド１０の測定値をＡ２とすると、ワークＷの厚みＴが既知であるので、左の静圧パッド１の位置はＡ２−Ｔとなり、左右の静圧パッド１，２間の隙間Ｄは、演算式Ｄ＝Ｂ２−（Ａ２−Ｔ）により求めることができる。なお、この測定は機械の設置後や静圧パッド１，２の交換後に行えば良く、通常の研削毎に行う必要はない。
【００４６】
ワークＷを搬入・搬出する際に、静圧パッド１，２が真空引き手段によりワークＷを吸着して受け渡すような場合には、その真空引手段を利用してワークＷを静圧パッド１，２に吸着すれば良い。しかし、一対の静圧パッド１，２の内、例えば右の静圧パッド２には真空引き手段があるが、左の静圧パッド１に真空引き手段がないような場合には、図６、図７に示すような構成の治具４３を用いて、厚みＴが既知のプレート４４を左の静圧パッド１に装着し、そのプレート４４に測定ヘッド９，１０の測定子９ｂ，１０ｂを接触させて測定すれば良い。
【００４７】
この治具４３は、静圧パッド１の切り欠き部７に径方向の外側から着脱自在に嵌合する板状の本体部４５と、本体部４５の内端側から左の静圧パッド１の背面側へと起立する起立部４６と、本体部４５の外端側から切り欠き部７の両側に突出する支持部４７とを有する。
【００４８】
本体部４５には左の静圧パッド１の保持面１ａに当接するプレート４４が一対の取り付けネジ等の固定具４８を介して着脱自在に固定されている。起立部４６には当接部４９が設けられ、その当接部４９はバネ等により付勢されて左の静圧パッド１の背面側に弾性的に当接している。各支持部４７は取り付けネジ等の固定具５０を介して本体部４５に着脱自在に固定されている。この支持部４７の両端には、バネ等により付勢されて右の静圧パッド２に弾性的に当接する当接部５１が設けられている。本体部４５には測定子９ｂ，１０ｂがプレート４４に接触するように開口５２が設けられている。
【００４９】
この治具４３を介してプレート４４を左の静圧パッド１に装着する場合には、プレート４４の外周縁を左の静圧パッド１の保持面１ａに当接又は近接するように、本体部４５を左の静圧パッド１の切り欠き部７に挿入する。そして、起立部４６の当接部４９を静圧パッド１の背面に当接させて、その押圧力により治具４３、プレート４４を左の静圧パッド１に装着する。その後、両静圧パッド１，２を接近させると、支持部４７の当接部５１が右の静圧パッド２に押圧し、また両静圧パッド１，２がプレート４４を挟むので、図６及び図７に示すようにプレート４４の外周縁を左の静圧パッド１の保持面１ａに沿って固定できる。
【００５０】
このようにして左の静圧パッド１にプレート４４を装着した後、図６に二点鎖線で示すようにプレート４４の両側に測定子９ｂ，１０ｂを接触させて測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を読み取れば、真空引き手段のない左の静圧パッド１についてもその位置を容易に測定できる。
【００５１】
静圧パッド１，２間のワークＷの位置認識は、次のようにして行う。静圧パッド１，２間に未研削のワークＷを挿入した場合、そのワークＷは例えば図８（ａ）に示すように静圧パッド１，２間に保持される。このときのワークＷと右の静圧パッド２との間の右側隙間Ｄ２は、図８（ａ）のときのワークＷの右側面の測定値Ｍ２と、図８（ｂ）に示すようにワークＷが右の静圧パッド２に当接したときの測定ヘッド１０の測定値Ｂ２とから、演算式Ｄ２＝Ｂ２−Ｍ２で求めることができる。
【００５２】
ワークＷと左の静圧パッド１との間の左側隙間Ｄ１も、同様にして図８（ａ）のときのワークＷの左側面の測定値Ｍ１と、図８（ｃ）に示すようにワークＷが左の静圧パッド１に当接したときの測定ヘッド９の測定値Ａ１とから、演算式Ｄ１＝Ａ１−Ｍ１で求めることができる。
【００５３】
従って、ワークＷから各静圧パッド１，２までの距離Ｄ１，Ｄ２が分かるので、各静圧パッド１，２間におけるワークＷの位置、例えば絶対位置Ｘａｂｓ、相対位置Ｘを監視することができ、Ｄ１＝Ｄ２であれば、ワークＷは静圧パッド１，２間の中央に位置している。
【００５４】
次に図９の流れ図を参照して研削目標である研削基準位置Ｘ０を決定し、その研削基準位置Ｘ０をゼロイングする方法を説明する。先ず試研削においてワークＷを挿入し（ステップＳ１）、研削サイクルを開始する（ステップＳ２）。研削サイクルの開始により、各静圧パッド１，２が所定位置まで前進してワークＷを静圧により保持した後に、各研削砥石５，６が前進してワークＷの両側面を研削する。しかし、両研削砥石５，６がワークＷを挟み込むまではワークＷの位置が不安定であるため、位置演算手段２２の挟み込み判定部３４が研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを確認した後に（ステップＳ３）、位置演算部３５が各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込んでワークＷの位置監視を開始する（ステップＳ４）。
【００５５】
ワークＷの位置監視が始まると、先ず位置演算部３５は静圧パッド１，２間の中心位置に対するワークＷの絶対位置Ｘａｂｓを演算し（ステップＳ５）、その絶対位置Ｘａｂｓを表示手段２８に表示する（ステップＳ６）。なお、ワークＷの絶対位置Ｘａｂｓは（Ｄ２−Ｄ１）／２により演算できる。また位置演算部３５はワークＷの相対位置Ｘを演算し（ステップＳ７）、以前にゼロイングされた基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒがあれば（ステップＳ８）、その基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒに対しての相対位置Ｘを演算して表示する（ステップＳ９）。この相対位置Ｘは演算式｛（Ｍ１−Ｍ１ｒ）−（Ｍ２−Ｍ２ｒ）｝／２により演算する。ゼロイングされた位置がない場合には、各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２をそのまま表示する（ステップＳ８，Ｓ１０）。
【００５６】
試研削のワークＷが所定厚さになれば、定寸装置１８からゼロ信号があるので（ステップＳ１１）、そのゼロ信号によりスパークアウトを開始する（ステップＳ１２）。そして、スパークアウトを開始すれば、切り込み軸が停止し、各測定ヘッド９，１０がワークＷの両側面から退避する。一方、スパークアウトの開始と同時に、位置演算部３５で演算されたゼロ信号の受信時点のワークＷの相対位置Ｘを読み込んで（ステップＳ１３）、ゼロイング部３６がその相対位置Ｘを研削目標である研削基準位置Ｘ０としてゼロイングし（ステップＳ１４）、また表示手段２８に研削基準位置Ｘ０をゼロとして表示する。
【００５７】
またスパークアウトの開始と同時に、基準位置判定部３７が位置演算部３５で演算されたゼロ信号の受信時（研削基準位置Ｘ０をゼロイングしたとき）の静圧パッド１，２間のワークＷの絶対位置Ｘａｂｓの絶対値｜Ｘａｂｓ｜を読み込んで、その絶対値｜Ｘａｂｓ｜と要求される研削精度に基づいて予め設定された閾値と比較して、研削基準位置Ｘ０がゼロイング位置として誤りがないか否かを判定する（ステップＳ１５）。そして、ワークＷの絶対位置Ｘａｂｓが閾値未満であれば、研削基準位置設定範囲内として表示手段２８に表示しゼロイングを完了する（ステップＳ１６）。また絶対値｜Ｘａｂｓ｜が閾値以上であれば、研削基準位置設定範囲外として表示手段２８に表示し（ステップＳ１７）、作業者に精度の確認と精度調整とを促す。
【００５８】
この研削基準位置Ｘ０のゼロイングはスパークアウト開始と同時に行われる。スパークアウトは研削条件に基づいて予め一定時間に設定されており、その一定時間が経過してスパークアウトが完了すると（ステップＳ１８，Ｓ１９）、切り込み軸が研削後退端へと移動し（ステップＳ２０）、研削サイクルが終了するので（ステップＳ２１）、試研削後のワークＷを取り出し（ステップＳ２２）、その研削後のワークＷを人為的に測定し（ステップＳ２３）、研削精度の判定を行う（ステップＳ２４）。
【００５９】
なお、研削精度の判定の結果、所定の研削精度が得られない場合、ゼロイングされた研削基準位置Ｘ０が研削基準位置範囲外であった場合には、所定の研削精度が得られるように精度調整を行った後、再度ワークＷの挿入の作業からやり直し、適正な研削基準位置Ｘ０を決定しゼロイングする。
【００６０】
次に図１０の流れ図を参照しながら、本研削におけるワークＷの位置監視と研削砥石５，６の切れ味制御について説明する。先ずワークＷを挿入して（ステップＳ３０）、研削サイクルを開始する（ステップＳ３１）。そして、研削サイクルを開始すると、挟み込み判定部３４が研削砥石５，６によるワークＷの挟み込みを確認した後（ステップＳ３２）、位置演算部３５がリアルタイムで測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込みながらワークＷの位置を監視する（ステップＳ３３）。
【００６１】
測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を取り込むと、位置演算部３５が測定値Ｍ１，Ｍ２に基づいて現在のワークＷの相対位置Ｘを演算し（ステップＳ３４）、ゼロイングされた研削基準位置Ｘ０に対する現在位置を指針等の指示部２９ａによりリアルタイムで表示する（ステップＳ３５）。
【００６２】
同時に切れ味比較手段２６が両研削砥石５，６の切れ味の違いを判定する。即ち、記憶データの中から研削基準位置Ｘ０を決定したときのワークＷの両側面の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒを読み込んで（ステップＳ３６）、ワーク位置演算部４１がその基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒとその時点の測定値Ｍ１，Ｍ２とを減算することにより、基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒに対するワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を演算した後（ステップＳ３７）、切れ味判定部４２がその両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を比較して両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出し、その砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石５，６の切れ味差の有無を判定する（ステップＳ３８）。
【００６３】
例えば、左の研削砥石５の砥石摩耗量が右の研削砥石６の砥石摩耗量に比較して少なく、左の研削砥石５の切れ味が右の研削砥石６の切れ味よりも悪い場合には、研削中のワークＷ２は、図１１に示すように切れ味の悪い研削砥石５により右方向に押されて切れ味の良い研削砥石６側に移動した状態となっている。
【００６４】
そこで、研削中のワークＷ２が研削基準位置Ｘ０の決定時のワークＷ１に対して図１１に示すような位置関係になれば、そのワークＷ１の基準値Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒと、現時点のワークＷ２の測定値Ｍ１，Ｍ２とから、ワークＷ２の左の位置Ｒ１を演算式Ｒ１＝Ｍ１−Ｍ１ｒにより、右の位置Ｒ２を演算式Ｒ２＝Ｍ２−Ｍ２ｒにより夫々演算できる。
【００６５】
そして、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の左右差ΔＲ（＝Ｒ１−Ｒ２）を求めることにより、両研削砥石５，６の切れ味の違いの大きさが判ると同時に、切れ味の悪い方の研削砥石５，６がどれであるかが判る。図１１のような場合はΔＲ＜０であり、左の研削砥石５が切れ味不良であることを示す。ΔＲ＝０は両研削砥石５，６の切れ味が同等であることを示す。またΔＲ＞０は図１１と逆の場合であり、右の研削砥石６が切れ味不良であることを示す。
【００６６】
切れ味の判定結果がΔＲ＜０かΔＲ＞０であれば（ステップＳ３８）、研削中に両研削砥石５，６の切れ味の差がなくなるように、随時補正部３９が研削精度に影響しない研削水の流量をリアルタイムで補正する（ステップＳ３９）。この場合、左右差ΔＲ、補正方向（±）に応じて研削水の流量が変化する制御マップを予め作成しておき、その制御マップに基づいて左右差ΔＲの大小、正負に対応して研削水の流量を変化させることが望ましい。なお、この研削水の流量の調整は、両研削砥石５，６の切れ味が一致するまで継続しても良いし、制御マップに基づいて制御するだけでも良い。
【００６７】
表示手段２８のワーク位置表示部３０，３１は、ワークＷの研削中、研削基準位置Ｘ０でのワークＷの両側面を基準に、そのときの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を表示する。左右の研削砥石５，６の切れ味が略同じであれば、表示手段２８のワーク位置表示部３０，３１の表示は略同レベルを示し、両研削砥石５，６の切れ味が異なる場合には、図４に示すようにその切れ味差に応じたレベルを表示する。
【００６８】
例えば図１１に示すような場合には、両研削砥石５，６の切れ味の違いに応じて図４に示すようにワーク位置表示部３０の指示部３０ａのレベルが低く、ワーク位置表示部３１の指示部３１ａのレベルが高くなる。このためワーク位置表示部３０，３１の表示を見れば、研削中のワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の変化として両研削砥石５，６の切れ味の違いを容易に把握することができる。
【００６９】
図１１に示すように左の研削砥石５の切れ味が悪い場合には、その切れ味の程度に応じて左の研削砥石５とワークＷとの間に供給する研削水の流量を少なくする。これによって研削砥石５から脱落した砥粒の排出が遅くなり、研削砥石５とワークＷとの間での砥粒の滞留時間が長くなるため、その砥粒が目立て砥石の役割をして砥石摩耗が促進するため切れ味が良くなる。これによって左右の両研削砥石５，６の切れ味の差を極力少なくすることができる。
【００７０】
なお、切れ味の良い研削砥石５，６側の研削水の流量を一定にして、切れ味の悪い研削砥石５，６側の研削水の流量を少なくしても良いし、逆に切れ味の悪い研削砥石５，６側の研削水の流量を一定にして、切れ味の良い研削砥石５，６側の研削水の流量を多くしても良い。また切れ味の良い研削砥石５，６側の研削水の流量を多くしつつ、切れ味の悪い研削砥石５，６側の研削水の流量を少なくする等、両方の研削砥石５，６の研削水の流量を増減しても良い。
【００７１】
ワークＷが目標厚さになれば定寸装置１８からのゼロ信号を受信し（ステップＳ４０）、切り込み軸が停止し各測定ヘッド９，１０が退避して、スパークアウトを開始する（ステップＳ４１）。同時に位置比較手段２４が位置演算手段２２で演算されたゼロ信号の受信時点のワークＷの相対位置Ｘを演算し（ステップＳ４２）、これを研削目標である研削基準位置Ｘ０と比較して、研削基準位置Ｘ０に対するワークＷのズレ量とズレ方向を求める（ステップＳ４３）。また同時にゼロ信号の受信時の測定値Ｍ１，Ｍ２から、その時点でのワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の左右差ΔＲを演算し（ステップＳ４４）、ワークＷの研削終了後に切り込み軸の研削後退端の補正に備える。
【００７２】
スパークアウトは研削条件に基づいて予め一定時間に設定されており、その一定時間が経過してスパークアウトが完了し（ステップＳ４５，Ｓ４６）、研削サイクルが終了してワークＷの研削が終わると（ステップＳ４７）、切り込み軸が研削後退端へと移動する（ステップＳ４８）。
【００７３】
ゼロ信号の受信時において、研削基準位置Ｘ０に対してワークＷの相対位置Ｘがズレる位置ズレがあれば、研削砥石５，６の切れ味制御の一環として、次回研削時に研削前進端が研削基準位置Ｘ０に一致するように、後退端補正手段２５が研削砥石５，６の研削後退端、即ち切り込み軸の研削後退端の位置を補正する。従って、次回のワークＷの研削時には、ワークＷの相対位置Ｘの位置ズレを吸収した状態で両研削砥石５，６がワークＷを切り込むことになり、ワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を研削基準位置Ｘ０に戻すことができる。
【００７４】
同時にワークＷの両側面に左右差ΔＲがある場合には、事後補正部４０が次回の研削に備えて研削砥石５，６の切れ味に影響を与える研削条件を補正し更新する（ステップＳ４９）。ここでは研削中に変えることのできなかった研削条件、例えば研削砥石５，６の回転数及び／又は研削砥石５，６の切り込み速度を変えることができる。その補正は左右差ΔＲの大きさと補正方向に基づいて行う。
【００７５】
研削砥石５，６の回転数及び／又は研削砥石５，６の切り込み速度を補正すれば、研削砥石５，６の切れ味を調整できる。例えば研削砥石５，６の回転数を遅くするか、又は切り込み速度を速くすると、研削砥石５，６がワークＷを研削する際の研削負荷が大きくなり、砥粒の脱落が進んで新しい砥粒が次々と現れるため、切れ味の悪い研削砥石５，６でもその砥石摩耗の進行によって切れ味を良くすることができる。
【００７６】
またワークＷの相対位置Ｘの位置ズレに基づいて研削砥石５，６の研削後退端を補正し、ワークＷの両側面の位置差ΔＲとに基づいて両研削砥石５，６の研削条件を補正することにより、研削砥石５，６の一方のみの研削条件を補正する場合に比較して、研削後のワークＷのダメージ、反り等が少なくなり、ワークＷの研削精度を更に向上させることができる。
【００７７】
その後、ワークＷを取り出して終了する（ステップＳ５０）。
【００７８】
このようにすれば、両研削砥石５，６の砥石摩耗量のバラツキに起因する切れ味のアンバランスを数値化して、それに基づいて両研削砥石５，６の切れ味が同じになるように自動的に制御することができる。なお、多数のワークＷを続けて研削する場合には、同様の手順での操作、制御等を繰り返し行う。
【００７９】
図１２は本発明の第２の実施形態を例示する。この第２の実施形態は、研削中のワークＷの相対位置Ｘと静圧パッド１，２にワークＷが適正に保持されるべき研削基準位置Ｘ０とを比較して両者の差分により両研削砥石５，６の切れ味差をリアルタイムで演算する切れ味比較手段２６と、両研削砥石５，６の切れ味差に基づいて両研削砥石５，６の切れ味が略一致するように、両研削砥石５，６とワークＷとの間に供給される研削水の流量を制御する等、研削砥石５，６の研削条件を補正する研削条件補正手段２７とを備えたものである。
【００８０】
長期間の使用等によって研削砥石５，６に砥石摩耗量に違いが発生すれば、両研削砥石５，６の切り込み量が同じであっても、両研削砥石５，６の研削前進端が相違する。一方、砥石摩耗量の大きい側の研削砥石５，６では自生作用により切れ味が向上して取り代が大であるため、ワークＷは砥石摩耗量の小さい側の研削砥石５，６により砥石摩耗量の大きい側の研削砥石５，６へと押されて、ワークＷの相対位置Ｘは砥石摩耗量が大きく切れ味の良い研削砥石５，６側へとズレることになる。
【００８１】
そこで、ワークＷの研削中はリアルタイムでワークＷの相対位置Ｘを求め、切れ味比較手段２６において、相対位置Ｘと研削基準位置Ｘ０とを比較して両者の差分により両研削砥石５，６の切れ味差に伴うワークＷの位置ズレの有無、位置ズレの大小、ズレ方向を演算する。
【００８２】
そして、ワークＷの相対位置Ｘの研削基準位置Ｘ０に対する位置ズレがあれば、研削条件補正手段２７により、両研削砥石５，６の切れ味差に応じて、即ち位置ズレの大小、ズレ方向に応じて両研削砥石５，６とワークＷとの間に供給される研削水の流量を制御する。これによって両研削砥石５，６の切れ味の違いを解消することができる。
【００８３】
因みに相対位置Ｘの位置ズレの大小、ズレ方向に応じて両研削砥石５，６の研削水の流量を制御する場合、例えば研削条件等の諸要因を考慮しながら図１３に示すような関係で制御すれば良い。
【００８４】
以上、本発明の各実施形態について詳述したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば各実施形態は横型両頭平面研削盤について例示しているが、縦型の両頭平面研削盤でも同様に実施することができる。
【００８５】
研削砥石５，６の切れ味差は研削中のワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を算出し、この両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を比較して両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを算出して、その両研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石５，６の切れ味差を判断する方法と、研削中のワークＷの相対位置Ｘを算出し、この相対位置Ｘと静圧パッド１，２間にワークＷが適正に保持されるべき研削基準位置Ｘ０とを比較し、その両者の差分により両研削砥石５，６の切れ味差を判断する方法とがあるが、研削中のワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２を測定して、それに基づいて両研削砥石５，６の切れ味を判断する方法であれば、他の方法を採用しても良い。
【００８６】
またワークＷの両側面の位置Ｒ１，Ｒ２の左右差ΔＲを算出して研削条件を制御する場合にも、左右差ΔＲに基づいて研削砥石５，６の切れ味の違いを判定して、その切れ味が略同じとなるように制御しても良いし、左右差ΔＲに基づいて研削砥石５，６の砥石摩耗量の違いを判定して、その砥石摩耗量が略同じとなるように制御しても良い。
【００８７】
静圧パッド１，２間の隙間Ｄの測定において、例えば右の静圧パッド２にしか真空引き手段がなく、しかも治具４３もない場合には、市販の隙間ゲージを用いて直接測定しても良い。またワークＷの左位置Ｄ１は、右の静圧パッド２のパッド位置Ｄ２と、隙間ゲージで把握したバッド隙間Ｄと、既知のワークＷの厚みＴとにより、次の演算式Ｄ１＝Ｄ−Ｄ２−Ｔで求めることもできる。そして、ワークＷの左位置Ｄ１が分かれば、その値を元に左パッド位置Ａ１を求め、この左パッド位置Ａ１と左の測定ヘッド９の測定値Ｍ１，Ｍ２とから、左のパッド位置Ａ１は次の演算式Ａ１＝Ｄ１＋Ｍ１で求めることもできる。
【００８８】
ゼロイングはワークＷが仕上げ寸法になったときに研削基準位置Ｘ０に基づいて行うのが最良である。しかし、ワークＷへの傷を避けるために、定寸装置１８からゼロ信号を受け取って両測定ヘッド９，１０がワークＷから退避した後も、研削条件で設定されたスパークアウト時間だけワークＷが研削されるので、仕上げ寸法でのゼロイングは困難である。従って、定寸装置１８からゼロ信号を受け取ったタイミングで行うのが望ましい。
【００８９】
研削中は静圧パッド１，２により保持された状態で回転するワークＷを、回転する研削砥石５，６により両側から研削しながら、測定ヘッド９，１０によりワークＷの両側面をリアルタイムで測定するため、その両側面の測定値Ｍ１，Ｍ２には常に微少なバラツキがある。従って、ワークＷの相対位置Ｘは、各測定ヘッド９，１０の測定値Ｍ１，Ｍ２を移動平均処理により求めることが望ましい。
【００９０】
また実施形態では定寸装置１８の測定ヘッド９，１０を利用すると共に、その定寸装置１８からのゼロ信号を利用するようにしているが、測定ヘッド９，１０を備えた専用の測定手段を用いてワークＷの両側面を測定し、定寸装置１８からのゼロ信号に代えて、ワークＷが所定の研削精度になったときの信号を契機にゼロイング等を行うようにしても良い。
【００９１】
測定ヘッド９，１０はワークＷの両側面に接触する接触式の他、レーザ変位式、静電容量式等の非接触式を使用することも可能であり、ワークＷの両側面の位置を測定できるものであればその測定方式は問題ではない。
【００９２】
測定ヘッド９，１０、位置演算手段２２によるワークＷの位置監視を利用して、研削砥石５，６の交換後の研削位置合わせ作業の自動化を測るようにしても良い。これによって段取り等の時間を削減できると共に、人的要因による研削位置合わせミスの発生を防止できる。つまり、一対の静圧パッド１，２のアライメント調整をしない限り、研削砥石５，６の交換前と研削位置が殆ど変わらないので、静圧パッド１，２の位置合わせは研削砥石５，６の交換前の所定精度の基準値内のワークＷの位置に合わせればよく、その位置は機械が記憶しているので、自動化を容易に図ることができる。
【符号の説明】
【００９３】
Ｗ ワーク
Ｍ１，Ｍ２ 測定値
Ｘ 相対位置
Ｘ０ 研削基準位置
Ｍ１ｒ，Ｍ２ｒ 基準値
Ｒ１，Ｒ２ 側面の位置
Ｘａｂｓ 絶対位置
１，２ 静圧パッド
５，６ 研削砥石
９，１０ 測定ヘッド
２０ 研削制御装置
２２ 位置演算手段
２３ 研削基準位置設定手段
２４ 位置比較手段
２５ 後退端補正手段
２６ 切れ味比較手段
２７ 研削条件補正手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削するに際し、研削中のワークの両側面の位置を測定して両研削砥石の切れ味を判断し、両研削砥石間に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味差がなくなるように、切れ味の変化に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正することを特徴とする薄板状ワークの研削方法。
【請求項２】
研削中のワークの両側面の位置を比較してその差分により両研削砥石の砥石摩耗量の違いを算出し、この砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石の切れ味差を判断することを特徴とする請求項１に記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項３】
事前の研削においてワークの研削精度が基準精度内に収まったときのワークの両側面の位置を基準値とし、この基準値と研削中のワークの両側面の測定値との減算によりワークの両側面の位置を算出することを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項４】
研削中のワークの相対位置を算出し、この相対位置と静圧パッド間にワークが適正に保持されるべき研削基準位置とを比較しその差分により切れ味差を判断することを特徴とする請求項１に記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項５】
当該ワークの研削中に研削砥石とワークとの間に供給される研削水の流量を切れ味差に応じて調整することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項６】
当該ワークの研削において定寸装置からワークの定寸を示すゼロ信号を受信したときの研削砥石の切れ味差に応じて、当該ワークの研削後に研削砥石の回転数及び／又は切り込み速度を調整することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項７】
一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削する両頭平面研削盤において、研削中のワークの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッドと、ワークの両側面の基準値と各測定ヘッドの測定値との減算により算出したワークの両側面の位置を比較して両研削砥石の切れ味差を求める切れ味比較手段と、両研削砥石に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味が同じになるように、研削砥石の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段とを備えたことを特徴とする両頭平面研削盤。
【請求項１】
一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削するに際し、研削中のワークの両側面の位置を測定して両研削砥石の切れ味を判断し、両研削砥石間に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味差がなくなるように、切れ味の変化に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正することを特徴とする薄板状ワークの研削方法。
【請求項２】
研削中のワークの両側面の位置を比較してその差分により両研削砥石の砥石摩耗量の違いを算出し、この砥石摩耗量の違いに基づいて両研削砥石の切れ味差を判断することを特徴とする請求項１に記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項３】
事前の研削においてワークの研削精度が基準精度内に収まったときのワークの両側面の位置を基準値とし、この基準値と研削中のワークの両側面の測定値との減算によりワークの両側面の位置を算出することを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項４】
研削中のワークの相対位置を算出し、この相対位置と静圧パッド間にワークが適正に保持されるべき研削基準位置とを比較しその差分により切れ味差を判断することを特徴とする請求項１に記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項５】
当該ワークの研削中に研削砥石とワークとの間に供給される研削水の流量を切れ味差に応じて調整することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項６】
当該ワークの研削において定寸装置からワークの定寸を示すゼロ信号を受信したときの研削砥石の切れ味差に応じて、当該ワークの研削後に研削砥石の回転数及び／又は切り込み速度を調整することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の薄板状ワークの研削方法。
【請求項７】
一対の静圧パッド間に保持された薄板状ワークの両側面を一対の研削砥石により研削する両頭平面研削盤において、研削中のワークの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッドと、ワークの両側面の基準値と各測定ヘッドの測定値との減算により算出したワークの両側面の位置を比較して両研削砥石の切れ味差を求める切れ味比較手段と、両研削砥石に切れ味差があるときに、両研削砥石の切れ味が同じになるように、研削砥石の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段とを備えたことを特徴とする両頭平面研削盤。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−２１０６９８（Ｐ２０１２−２１０６９８Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１日（２０１２．１１．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４３１３８（Ｐ２０１１−２４３１３８）
【出願日】平成２３年１１月７日（２０１１．１１．７）
【出願人】（０００１６７２２２）光洋機械工業株式会社 (85)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１日（２０１２．１１．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月７日（２０１１．１１．７）
【出願人】（０００１６７２２２）光洋機械工業株式会社 (85)
【Ｆターム（参考）】
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