【課題】高精度で、しかも、スタイラスや測定アームなどの汚破損を少なくできる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ケーシング２８内においてブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成され、着脱機構はケーシング内に配置される。測定アームの円弧運動量を検出する変位検出器２７は、測定アームに配置されたスケール２７Ａと、ブラケット２２にスケールに対向して配置された検出ヘッドとを含んで構成され、スケールの検出面が測定アームの軸線上で測定アームの円弧運動面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性を有するチューブの高精度な内径測定方法を実現する。
【解決手段】弾性を有するチューブ５０を外径方向から圧縮軸２１を用いて圧縮すること、チューブ５０の圧縮変位量を、変位センサー２５を用いて測定すること、チューブ５０の圧縮荷重を荷重検出器２０を用いて測定すること、圧縮変位量の変化に対する圧縮荷重の変化の変曲点を解析処理装置３０で検出することを含み、変曲点における圧縮変位量を内径測定値とする。 （もっと読む）

【課題】プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止する。
【解決手段】測定対象物に当接して変位可能な接触子４と、前記接触子４と接続し滑り軸受構造により変位するプローブ部材８と、前記接触子４及び前記プローブ部材８の間に設けられた蛇腹部６と、前記プローブ部材８の変位に対応した出力を行う差動トランス１４，１６を有する接触式変位測定ヘッド１を備えた接触式変位測定器であって、前記プローブ部材８の変位に伴って前記蛇腹部６が伸縮する時の前記蛇腹部６内の空気を逃がす通路１８を前記プローブ部材８の内部に設けた。 （もっと読む）

【課題】地中に埋設する管路相互の離隔距離の測定作業の容易化および高精度化を図り、測定作業にかかる作業者の負担軽減を図ること。
【解決手段】寸法計測用の指標１１０ａが設けられた第１の測定部材１１０と、第１の測定部材１１０の延出方向と直交する他方向に延出し、少なくとも一つが第１の測定部材１１０に対して相対的に移動可能に当該第１の測定部材１１０に連結された複数の第２の測定部材１２０と、を備え、複数の第２の測定部材１２０の少なくとも一つを第１の測定部材１１０に対して移動させることによって複数の第２の測定部材１２０どうしの間隔を変更可能とした離隔距離測定装置１００を構成した。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の真円度を測定する真円度測定装置における心ずれ量算出方法において、前記検出器を前記測定物に対して所定の方向に直線的に移動させる手段を備え、前記検出器の先端球を、直径値既知の異なる直径値Ｄ３、Ｄ４を有する２つの基準測定物Ｃ３、Ｃ４に対し、前記各基準測定物Ｃ３、Ｃ４の中心を通り前記検出器が水平に直線移動する方向に平行な直線である母線と平行に移動して前記各基準測定物の対向する２つの検出点で前記各基準測定物に接触させて測定を行い、各測定差を検出する工程と、前記各測定差に基づいて、前記各基準測定物Ｃ３、Ｃ４の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量Ｙを算出する心ずれ量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】零点変動を抑え測定精度を向上したビードコアの内周長測定装置を提供する。
【解決手段】分割面を突き合わせることにより段付き円柱状体となる半割り段付き円柱状の第１、第２の測定台３，４と、前記第１の測定台３を水平に固定する固定台５と、前記第２の測定台４を分割面が互いに突き合わされる基準状態から離間方向に水平移動自在に支持するスライドレール６と、前記第２の測定台４を離間方向に付勢させる付勢手段７と、第２の測定台４の前記基準状態からの移動距離を測定する測定手段８を具える。分割面は、その一部を凹ますことにより残部を凸面部とし、基準状態において前記凸面部同士を互いに突き合わせる。 （もっと読む）

【課題】Ｒ１，０００以上、特にＲ１０，０００以上の大径を有する被測定物のＲ形状を高精度に計測することができ、かつ、持ち運びができるようなＲ形状計測装置並びにＲ形状計測方法及びＲ形状計測プログラムを提供する。
【解決手段】被測定物上の少なくとも３点における座標値を測定する手段と、測定された前記座標値に基づいて、Ｒ形状の中心値（ａ，ｂ）及び半径Ｒを、Ａ＝−２ａ、Ｂ＝−２ｂ、Ｃ＝ａ^２＋ｂ^２−Ｒ^２と置換した場合に、該Ａ、Ｂ及びＣのそれぞれを変数として、円の一般式の残差平方和を示す式を偏微分してなる連立方程式から取得するＲ形状算出手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】支持体が支持部の上部側に移動したときに支持体との摩擦力によって振り子運動が停止してしまうことを防止できて、支持体と支持部とがスムーズに相対変位できる変位測定装置を提供する
【解決手段】構造物に固定され凹状の湾曲面が形成された支持部２と、湾曲面に沿って振り子運動可能に支持された支持体３および球体４と、構造物又は支持部２と、支持体３との相対変位量を測定し、構造物の絶対変位量を算出する絶対変位算出部５とを備える。支持体３は、球体４を支持可能な開口部３１ａが形成された支持板部３１と、該支持板部３１に設けられ湾曲面に当接された車輪（移動輪）３２と、を備える。開口部３１ａに球体４を配置したときに、球体４は開口部３１ａ内を移動可能に構成されているとともに、球体４は湾曲面に当接されており、球体４と湾曲面との間の摩擦係数は、移動輪３２と湾曲面との間の摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】探知針の差し込み作業中でも、測定筒体に嵌挿している目盛を指示する測定体が、確実に差し込み深さ目盛を指示し、測定位置の高低にも拘らず測定作業をスムーズに処理できる下地検知具を提供する。
【解決手段】探知針ｊを出入する針孔を有する筒体ａ内に一端部が嵌挿し、他端部１７が飛出し、且内挿するコイルスプリングの付勢によって押圧される前記探知針ｊを飛出せしめる測定筒体ｄを有する下地材探知具において、前記測定筒体ｄの外周面部１３に飛出した探知針ｊの長さに比例する目盛１４を付記せしめると共に、前記測定筒体ｄに嵌挿する測定体ｋを嵌挿せしめた。 （もっと読む）

【課題】 回折光学素子のように段差を有する光学素子であっても、高精度に面形状を測定することができる接触式形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定面を安定して倣い走査している状態のプローブ速度である目標速度と、目標速度とプローブ速度の差であるプローブ速度エラーに基づいて、プローブに作用力を加える。これにより、安定して倣い走査している状態のプローブ速度を目標にして、プローブに作用力を加えるため、不安定な測定区間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】補助試料の形状誤差や取り付け誤差による影響を低減可能で、芯出し誤差を定量的に算出しつつ、高精度かつ短時間で芯出しを行うことができるプローブの芯出し方法を提供する。
【解決手段】球体から成る補助試料３０の中心が回転手段１０の回転軸１０ａ上に位置するよう、補助試料３０を回転手段１０に設置し、補助試料３０の表面の座標をプローブ２０で測定する。測定後、補助試料３０をその半径以内の距離だけ、回転軸１０ａに対して垂直な方向に移動させる。回転手段１０を回転させて９０度間隔の４つの回転角度の位置で、移動させた補助試料３０の表面の座標をプローブ２０により測定する。その測定した座標と補助試料３０の移動前に測定した座標とに基づいて、回転手段１０の回転軸１０ａとプローブ２０の先端の位置とのずれをベクトルとして求める。求めたベクトルに応じて、プローブ２０の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】被測定物を比較的高い精度で簡易に測定でき、製造コストの低減も期し得る測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物７を載置するテーブル９が、その中心Ａを通る軸線回りに回転できる。テーブル９の前方側に、左右方向で移動する測定器１７を有する。測定器１７は、前後方向で進退する測定子１９を具え、後退状態にある測定子１９の先端の接触点２０とテーブルの中心Ａを通る左右方向の直線との間の距離が所要値に設定されている。測定器１７は、左右方向で見た一端側位置２２と他端側位置２５で、被測定物７の前面１２に向けて進行し、後退状態の接触点と被測定物の前面１２との間の第１距離Ｄ１、第２距離Ｄ２を測定する。第１距離Ｄ１と第２距離Ｄ２が相違する場合は、一端側位置２２と他端側位置２５における、接触点２０と前面１２との間の距離が等しくなるようにテーブル９が回転する。 （もっと読む）

【課題】先端子の形状変化を簡易に測定可能にする真円度測定装置の判定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に接触する先端子の球状の先端部の形状の良否を判定する先端子良否判定方法であって、形状が既知の基準被測定物を基準被測定物の円形の断面の中心が載物台の回転中心に一致するように載置して（１０１）、基準被測定物の無偏心外形形状を測定し（１０２）、基準被測定物の円形の断面の中心を載物台の回転中心に対して所定量偏心させて（１０３）、基準被測定物の偏心外形形状を測定し（１０４）、無偏心外形形状と偏心外形形状との差から、先端子の球状からの変形量を算出し（１０５）、算出した変形量が所定の範囲を超えた時に（１０６）、不良と判定する（１０８）真円度測定装置の先端子良否判定方法。 （もっと読む）

【課題】簡素で安価な装置でありながら、測定の信頼性を向上し得て、しかも実際に揺動が発生するまでメンテナンスを不要とすることができる変位量測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、基準構造物としての建物の壁面１１と壁面１１に設けられた対象構造物としての配管１２とが外力の作用によって非同期に揺動した場合に、壁面１１に対する配管１２の相対変位量を測定するために、壁面１１に対する変位が拘束された固定体１３と、固定体１３に支持されて配管１２の被測定部１５の変位によって元の状態へと復元不能に変形する記録体１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】通行支障にならない限定箇所で、微細な荷重変位を正確に測定する、簡単で安価な構成の装置、及びそれを用いて行う劣化コンクリート日常点検方法を提供する。
【解決手段】被測定物側に動滑車を配置し測定装置側に定滑車を配置する、荷重付加時のたわみ量Ｈ２は、張設ワイヤーにＳＬ２として表現される。この微量の長さを、滑車を用いて増幅し測定装置側面の点検窓に、その箇所の構造物崩壊推定危険度として、青、黄、赤に数値を併記した図柄で表される。 （もっと読む）

【課題】容易に端子接続部（リード）と電極端子の接合部の検査を行うことを可能にするとともに、リベット潰しやネジ止めの不足とワッシャの反りを判別することを可能にする端子接続部と電極端子の接合部検査装置を提供する。
【解決手段】電極体から延びる端子接続部１２がワッシャ１５を介して締付部（頭部）１６によって電極端子６に締付けられることで構成された接合部２０を検査するための端子接続部と電極端子の接合部検査装置であって、締付部（頭部）１６が当接可能な平面状の検出面３０ａが形成された締付部位置検出部３０、及び締付部位置検出部３０の検出面３０ａの外周縁に設けられ、検出面３０ａから突出するワッシャ位置検出部３１を有するプローブ２２と、このプローブ２２を検出面３０ａに直交する方向に進退させる進退機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】工具の平衡度を、該工具の先端の形状や温度等に依存せず、短時間で精度良く測定することができる平衡度測定装置及び平衡度測定方法を提供する。
【解決手段】工具Ｔが離間可能に当接される測定面１１を設けた測定部１０と、測定部１０の測定面１１に対向した付勢面１１ｂに当接し、測定部１０を付勢する付勢部２１と、測定部１０の付勢面１１ｂに当接した状態で設けられ、工具Ｔに当接された測定部１０が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、測定部１０の位置を検出する検出部３１と、測定部１０の測定面１１の側に設けられ、付勢部２１に付勢された測定部１０を離間可能に係留して停止させる係留部４０と、検出部３１と電気的に接続され、検出部３１が検出した測定部１０の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）