【課題】 被検面の形状や被検光学系の透過波面を簡便かつ迅速に計測する。
【解決手段】 被検面の形状又は被検光学系の透過波面を計測する計測装置であって、光源から出射された光を参照光と被検光とに分割する分割部と、前記被検光を回折することにより分割し、当該分割された被検光を前記被検面又は前記被検光学系の瞳の複数の領域へそれぞれ出射する回折光学素子と、前記参照光と前記被検面又は前記被検光学系の反射面で反射され前記回折光学素子で再度回折された前記被検光とによって生じた互いに部分的に重なり合う複数の干渉縞を検出する検出器と、前記検出器によって検出された互いに部分的に重なり合った複数の干渉縞から、前記複数の干渉縞それぞれの情報を分離して取得し、前記取得されたそれぞれの情報から前記複数の領域それぞれにおける面形状又は透過波面を算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼板や、圧延ロール、金型等の表面が白濁して見える場合に、その白濁の度合いを定量的に評価できるようにする。
【解決手段】ディスプレー１１に映したパターンをハーフミラー１３で反射させて測定対象面２１に略垂直に投射し、反射したパターンをハーフミラー１３を透過させて撮像素子１２で撮影し、映像信号をコンピューター３でデータ処理するよう表面性状測定装置１を構成し、測定対象面２１上のパターン投射領域の一部範囲で反射するパターン像への周りからの光の乱反射の影響を強調する測定条件をパターン設定の態様によって実現し、光の乱反射の影響による測定対象面の白濁度合いを定量的に評価する。 （もっと読む）

【課題】表面の干渉分析の方法とシステムを提供する。
【解決手段】物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の傾き精度の影響を受けず、構成が簡単かつ小型化が可能であって、回折格子の面方向の位置ずれに対しても影響が小さく、光学分解能の調整が可能な変位計測を行う。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光１３を、コリメータレンズ１４によって平行光１５とし、第１の回折格子１６を通過させて半透過半反射ミラー２２まで進行させ、一部を反射させて第１の回折格子１６を通過する第１の戻り光Ｌrev１とする。平行光１５の残りは全反射ミラー２４まで進行して反射され、半透過半反射ミラー２２と第１の回折格子１６を通過する第２の戻り光Ｌrev２となる。第１の回折格子１６による第１，第２の戻り光Ｌrev１，Ｌrev２の所定次数の回折光を、第１の光センサ２８で光量検出し、半透過半反射ミラー２２に対する全反射ミラー２４の軸方向の相対的移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から変位量を得る。 （もっと読む）

【課題】特定の路面標示や、予め記憶した路面標示の特徴量を必要とすることなくカメラの校正を行える「車載カメラ校正システム及びコンピュータプログラム」を提供する。
【解決手段】カメラ１で撮影した二つ画像フレームから特徴点を抽出し、同じ地点を表す特徴点のペアにペアリングする。画像フレーム上の座標と、当該画像フレーム上の座標に写り込む地点の前記自動車に固定された世界座標系上の座標との、カメラ姿勢を変数として用いた関係式に従って、前記ペアにペアリングされた二つの特徴点の前記画像フレーム上の座標を用いて示される、当該ペアにペアリングされた二つの特徴点が表す地点の世界座標系上の移動量と、自動車の車速から算出した当該自動車の移動量Ｄｙに対する誤差の、各ペアについての総和が最小となるように、カメラの姿勢を算出する。 （もっと読む）

【課題】鋼板表面に生成された鉄系酸化物の膜厚を、鋼板から遠く離れた加熱炉外からオンラインで連続的に精度良く測定することができる鋼板表面の酸化膜厚計測方法及び装置を提案することを課題とする。
【解決手段】鋼板の表面に赤外光を間欠的に照射し、赤外光の照射時には鋼板表面から放射される自発光放射エネルギーと照射した赤外光の鋼板表面からの反射光エネルギーの合計されたエネルギーを、赤外光の照射が遮断される時には鋼板からの自発光放射エネルギーのみを、２つの異なる赤外波長帯域にてそれぞれ検出し、赤外光の間欠照射によって検出される検出値のうち赤外光の照射時の検出値から遮断される時の検出値を減じることにより反射光エネルギーを算出し、算出された反射光エネルギーについて２つの異なる赤外波長帯域間の比を前記加熱炉の入側及び出側でそれぞれ演算し、それらの比を演算する。 （もっと読む）

【課題】 観察範囲を変化させることが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０と投影ズームレンズ４０とビームスプリッタ５２とを介して格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ５２と撮影ズームレンズ７０を介してＣＣＤカメラ８０により撮像する撮像部と、ＣＣＤカメラ８０によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき測定対象物６０の形状を測定する測定部９２とを有し、投影部が、出射瞳位置を固定して投影倍率を変更可能に構成され、撮像部が、入射瞳位置を固定して撮像倍率を変更可能に構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、１／４λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 被検体と非接触で被検体の立体形状を測定することができるコモンパス型の測定システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 測定システム（１００Ａ）は測定ビーム（Ｌ１）と測定ビームに対して基準となる基準ビーム（Ｌ２）とを出射する光源部１１と、被検物体に隣接して配置され、基準ビームを反射させ測定ビームを被検物体へ透過させる平板状の参照素子（１３）と、被検物体で反射された測定ビームと参照素子で反射された基準ビームとが干渉した干渉ビームを各波長に分光する分光素子（２０）と、分光素子で分光された各波長を検出する検出部（２４）と、光源部から被検物体および分光素子を介して検出部に至る測定ビームの光路長と、光源部から参照素子および分光素子を介して検出部に至る基準ビームの光路長とを揃える迂回路を有する測定光学系（１２）を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を高精度かつ短時間で測定する。
【解決手段】被検物の表面で反射された物体光と参照光との光路差によって得られる干渉縞を解析する形状測定装置を用いて被検物の表面形状を測定する本発明の形状測定方法は、参照面を第１位置に固定して被検物の複数の位置における第１干渉縞を取得する第１工程と、参照面を参照光の光軸上の第２位置に固定して、複数の位置における第２干渉縞を取得する第２工程と、参照面を参照光の光軸上の第３位置に固定して、複数の位置における第３干渉縞を取得する第３工程と、第１干渉縞と、第２干渉縞と、第３干渉縞とを用いて、被検物の複数の位置における干渉縞の位相解析を行う位相解析工程Ｓ２０とを備え、第１干渉縞、第２干渉縞、及び第３干渉縞の少なくとも１つは、被検物を形状測定装置に対して相対移動させながら複数の位置の近傍で断続的に取得された複数の干渉縞に基づいて取得される。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】
ハードディスク用のパターンドメディアの光学的な検査において、下地膜の膜厚変動，膜質変動の影響を受けることなくパターンの検査を行えるようにする。
【解決手段】
パターン検査装置を、試料を載置して回転可能な回転テーブル手段と、試料に照明光を照射する照明手段と、照明手段で光を照射された領域からの反射光を分光して検出する分光検出手段と、分光検出手段で分光して検出した基板のパターンが形成されていない領域からの反射光検出信号を処理して多層膜の光学特性を検出するとともに多層膜を含むパターンからの反射光検出信号を処理して多層膜を含むパターンからの反射光の光学特性を検出する光学特性検出手段と、光学特性検出手段で検出した多層膜からの反射光の光学特性の情報を用いて多層膜を含むパターンからの反射光の光学特性の情報を処理することにより多層膜上に形成されたパターンを検査するパターン検査手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】使用環境が制限されず、測定原理が簡単で、且つ、より高い感度及び精度でひずみを測定できる、光学ひずみゲージ、光学的ひずみ測定装置及び光学的ひずみ測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象物１に取り付けられ、光を反射可能であり且つ測定対象物１のひずみ変形に伴って角度が変化する複数の反射面５を備えるように、光学ひずみゲージ１０を構成した。また、光学的ひずみ測定装置１００に当該光学ひずみゲージ１０を備えた。 （もっと読む）

【課題】透明平板の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透明平板１１４を含む領域を、該透明平板１１４の平面部法線方向に対して所定の角度から撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、載置台１１３と、載置台１３の下側に設置された反射面１１１と、透明平板１１４の平面部法線に対して、カメラ１２と対向するように配置され、透明平板１１４の平面部からの正反射光がカメラ１２に入射しないように遮光する遮光板１０２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明平板１１４を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜の端面の部分の端面画像から、端面の位置である膜端位置を取得する膜端位置取得工程と、膜端位置によって膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有す。 （もっと読む）

【課題】測定物を保持する際に測定物が自重の撓みにより変形されることのない測定物保持装置を提供する。
【解決手段】測定物１１の平面度測定に用いられる測定物保持装置２０であって、測定物１１が載置される載置面１１ａを有する載置台４０と、載置台４０に、載置面４００２から突出して測定物１１を下方から複数箇所で支持し載置面４００２からの高さが変更可能に設けられた複数の測定物支持部材６０と、各測定物支持部材６０が測定物１１に対して均一な接触圧力で接するように各測定物支持部材６０の載置面４００２からの高さを変更する制御手段８０とを備える構成にした。 （もっと読む）

【課題】１種類の投影パターンを用いた簡便な方法で被検物の三次元形状を測定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、被検物５の一部の領域に縞パターンを投影するパターン投影部１０と、被検物５に投影された縞パターンを撮像する撮像部２０と、縞パターンの画像において、画像表面を通る所定の直線上での画像のコントラスト分布を算出し、そのコントラスト分布に基づいて前記所定の直線上におけるパターン投影領域の中心位置を算出し、前記所定の直線を画像表面に沿って移動させつつ前記中心位置の算出を行って取得した各々の前記中心位置に基づいて被検物５の断面形状を算出するコンピュータ４０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短時間で且つ容易にワークの変位量を検出可能な非接触変位計測装置を提供する。
【解決手段】非接触変位計測装置は、ワーク１２を載置可能に構成された測定テーブル１３と、ワーク１２の変位量を計測する第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃと、Ｙ軸に沿って測定テーブル１３から相対移動可能に構成され、Ｚ軸方向に広がり且つＸ軸方向の測定テーブル１３の両端に端部を有するゲート形状を有する第１ゲート状駆動部１４Ａとを備える。第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃは、ワーク１２に光を照射すると共にその光に基づく反射光を受光し且つその反射光に基づきワーク１２の変位量を計測する。第１ゲート状駆動部１４Ａは、ワーク１２に対して少なくとも２方向からの光を照射させるように第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃを配置可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に機能層が形成されたウエーハの内部に機能層を損傷することなく変質層を形成することができるレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】基板の表面に機能層が積層された基板の内部にレーザー光線を照射し、基板の内部にストリートに沿って変質層を形成するレーザー加工方法であって、レーザー加工装置のチャックテーブル上にウエーハを基板の裏面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、保持されたウエーハの基板の裏面側から照射し、基板の裏面および表面で反射した反射光に基づいてチャックテーブルの上面から基板の裏面までの第1の高さ位置およびチャックテーブルの上面から基板の表面までの第２の高さ位置を計測する高さ位置計測工程と、計測された第1の高さ位置と第2の高さ位置との中間部にレーザー光線の集光点を位置付けて照射することにより基板の内部に機能層に達しない変質層を形成する変質層形成工程とを含む。 （もっと読む）