【課題】短時間で容易に、半導体デバイス基板の微小な欠陥部を特定でき、透過形電子顕微鏡観察に適した薄片試料とすることが可能な半導体デバイス基板の欠陥部観察用試料の作製方法を提供すること。
【解決手段】光学顕微鏡によって、観察対象である、シリコン半導体基板上に形成された半導体デバイス内の微小欠陥部の上部表面に電子ビーム、レーザーなどでマーキングして位置を特定する第１工程、該特定場所を支持台に固定する第２工程、基板の両面からのＦＩＢ加工によって表面を削って電子が透過する程度に薄くして平面観察用試料を作成する第３工程、ＳＴＥＭで観察することにより微小欠陥部を特定する第４工程、微小欠陥を特定した後にＳＥＭ観察して、欠陥部上に新たにマーキングする第５工程、ＦＩＢで切断して断面観察用試料とする第６工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームを試料に照射してミリングを行う際、試料におけるイオンビームの照射面を直接冷却することができるイオンミリング装置とイオンミリング方法とを提供する。
【解決手段】試料Sが設置される試料台1と、試料Sに照射するイオンビームを発生させるイオン源2と、試料台1の収納空間を所定の真空に保持する試料チャンバ3と、試料Sを冷却するための気体冷媒を試料チャンバ3内に供給する冷媒供給手段5とを備えるイオンミリング装置である。気体冷媒を試料チャンバ内に供給することで、試料Sにおけるイオンビームの照射面を直接気体冷媒で冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】シート状固形物の表面に残留している揮発性成分と難揮発性成分の分析を簡
便に且つ短時間に実施できるようにする為の装置を提供すること。
【解決手段】シート状固形物の表面と裏面に存在する揮発性成分を同時に捕集することができ、且つ、難揮発性成分を溶媒抽出することができる捕集・抽出用装置であって、シート状固形物を２つの容器で挟み込むことにより、前記シート状固形物の表裏にそれぞれの前記容器によって密閉空間が形成され、前記容器には、それぞれ開口部が設けられており、
前記開口部には、それぞれセプタムが設けられていて前記密閉空間を密閉でき、前記セプタムには、前記揮発性成分を吸着する捕集体を保持する支持体が設けられていることを特徴とするシート状固形物の捕集・抽出用装置。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭによる観察を正確に行うことが可能な電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】支持部材１０の面上に試料片２０を固定した電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、支持部材１０の面上を深さ方向に切り欠く溝部３０を形成する工程と、試料片２０の加工面Ｓが溝部３０と交差するように当該試料片２０を支持部材１０の面上に固定する工程と、溝部３０の深さ方向に沿って試料片２０の加工面Ｓを薄膜状に加工する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】包装材料中の残留溶剤測定において、サンプリング容器より発生ガスのリークを低減させ、蓋と容器本体の嵌合具合に個人差の影響が出ず再現性の良い測定結果が得られ、且つサンプルの出し入れが容易となるサンプリング容器を提供する。
【解決手段】従来のサンプリング容器形態を変更し、発生ガスのリークを低減するため、シリコン製セプタム５付きガラス製蓋７とガラス製容器本体１５の接合部にすりガラス９を用い、さらに蓋と容器本体の突起物１３部分３箇所を金属バネ１１で固定し、さらに本件容器の蓋部分の外径寸法と容器底部寸法が近似する円柱状とし、サンプルの出し入れを容易とした。 （もっと読む）

【課題】空気中に浮遊するウイルスを検出できる形態で簡便に捕集するシステムを提供。
【解決手段】ウイルスを捕集可能なフィルター１１を備えたウイルス捕集部１２と、ウイルス捕集部に検査対象空気を導く空気導入手段Ｐ１と、ウイルス捕集済みのフィルターにウイルス抽出液を注入する抽出液注入手段Ｐ３と、ウイルス抽出済みの抽出液をウイルス捕集部から回収する抽出液回収手段Ｐ２と、ウイルスが抽出されたフィルターを再生するフィルター再生手段Ｐ４、Ｐ５と、前記空気導入手段Ｐ１を働かせて、フィルターにウイルスを捕集した後、前記抽出液注入手段Ｐ３を働かせて、フィルターに捕集されたウイルスを抽出液に抽出し、その後、前記抽出液回収手段Ｐ２を働かせて、抽出されたウイルスが含まれる抽出液を回収した後、前記フィルター再生手段Ｐ４、Ｐ５を働かせて、フィルターを回復する制御手段と、を備えたウイルス捕集システム。 （もっと読む）

【課題】流動層ガス化炉の流動層からガスを取り出し、この採取ガス中の水分、ガス流量、ガス成分を測定することにより、流動層のガス化反応を定量的に解析して流動層ガス化炉のガス化反応を評価する。
【解決手段】採取フィルタ９を備えて流動層ガス化炉１の流動層５内に挿入しガスを採取する採取管１０と、採取した採取ガス中の固体を分離するフィルタ１３と、フィルタ１３の下流で採取ガスをタール分離温度に調節し内部に備えた捕集ボール２２により採取ガス中のタールを付着分離するタール捕集装置２３と、タール捕集後の採取ガスを冷却する冷却部３１と冷却部３１の冷却によって凝縮した水分を捕集する水分捕集部３３とを有する水分捕集装置３４と、水分捕集装置３４の下流で採取ガスの流量を計測するガス流量計３８と、ガス流量計３８の下流の採取ガスをガス分析手段４４に供給するガス供給装置４７とを備える。 （もっと読む）

【課題】、空気中に浮遊するウイルスを適切に捕集できるウイルス捕集装置、及び捕集したウイルスをその場で迅速且つ簡便に分析して、ウイルスの存在状況をリアルタイムにモニタ可能なウイルス検査システムを提供する。
【解決手段】吸引路形成部材１７と本体ケーシング１１との間のダスト処理空間Ｍにおいて、吸引された空気Ａを本体ケーシング１１の内周面１２に沿って旋回させて、他端側から一端側に導き、空気Ａの旋回により発生する遠心力により捕集対象物を空気Ａから分離し、一端側を捕集部１８として捕集対象物を捕集するサイクロン４０を備え、捕集部１８に、ウイルスＵを抽出可能な抽出液Ｖ１を導入する抽出液導入部１９を備えると共に、捕集部１８の抽出液導入部１９とは異なる部位から抽出液Ｖ１を導出する抽出液導出部２０を備え、抽出液導入部１９へ抽出液Ｖ１を供給する抽出液供給手段２１、２２を備える。 （もっと読む）

【課題】冷媒用配管及び電気配線が邪魔にならないようにして確実に清掃及びその他の作業を行えるようにしたミクロトームを提供する。
【解決手段】試料を保持するヘッド３２と、ヘッド３２を配向させる配向機構５０と、配向機構５０の背面側に設けられた本体部４２と、本体部４２とヘッド３２とを連結する筒状の連結部４１と、ヘッド３２内の温度調整装置３４と、温度調整装置３４の冷媒用配管４０及び電気配線４６とを具備し、配向機構５０は、ヘッド背面側と連結して外周部が球面状の球状部材６８と、球状部材６８の外周部を球面に沿って摺動可能に保持する保持部７０，７１とを有し、球状部材６８には、連結部４１の中空部４３と連通する貫通穴７４が形成され、冷媒用配管４０及び電気配線４６は、球状部材６８の貫通穴７４と連結部４１の中空部４３を通ってヘッド３２内部の温度調整装置３４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】透水試験、透気試験、補修材の評価試験などに好適に用いることのできる、バラツキがなくほぼ均一な貫通ひび割れ幅を有するコンクリート試験体及びその作製方法を提供する。
【解決手段】コンクリート円柱の側面が可撓性パイプで覆われてなるコンクリート試験体であって、前記コンクリート円柱が、その回転軸と略平行な面で２分割される貫通ひび割れを有することを特徴とするコンクリート試験体である。 （もっと読む）

【課題】導電性・絶縁性試料を問わず試料に損傷を与えることなくナノメートルオーダー精度での加工を実現することができ、かつ従来手法に比べ効率に優れ、加工時間の短縮・簡便化を図ることができる試料の微細加工方法を提供する。
【解決手段】超高真空下において、試料多層膜構造を有する試料の被加工部に、高電界を形成すると共に、レーザー光１３を照射して、光励起電界蒸発を行わせることによりその原子構造に損傷を与えることなく微細加工する。このとき、高電界を形成するための電極１１ａとして、レーザー光の行路となるピンホール１２が設けられた電極を用いることが好ましい。光ファイバーを通してパルスレーザー光を照射することが好ましい。また、レーザー光として、パルスレーザー光を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 ゴム素材Ｓの状態を撮像して検査測定する際のゴム素材内のフィラーの分散度評価を適切に行える試験片をゴム素材から切断する切断装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の試験片切断装置１００は、ゴム素材支持部１０と、切断刃・切断刃取り付け板及び取手を備えたカッター部２０と、カッター部の旋回支持部３０と、カッター部が旋回昇降する際のカッターガイド部４０と、切断する前記ゴム素材を押さえる押付部５０と、切断する試験片の幅寸法を設定する幅寸法設定部６０とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】包埋カセットに固着した包埋剤を、該包埋カセットを傷付けることなく安全且つ確実に除去することが可能であるうえ、効率良く均一な仕上がりで除去すること。
【解決手段】包埋ブロックＢが固定された包埋カセット１から、固着した包埋剤Ｐを除去する装置であって、包埋カセットが載置される載置面２ａを有し、該載置面上に載置された包埋カセットの底面１Ｃを加熱する加熱板２と、加熱板上に配設され、載置された包埋カセット１を挟み込んで、該包埋カセット１の４つの側面１Ｆ、１Ｂ、１Ｌ、１Ｒのうち少なくとも２つの側面を加熱する複数の加熱ブロック３、４と、を備え、複数の加熱ブロックのうちの少なくとも１つが、載置面の面内方向に移動可能とされ、該移動によって残りの加熱ブロックと協働して包埋カセットを挟み込む包埋剤除去装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの抽出ばらつきが少ない被検査物の清浄度検査装置を提供する。
【解決手段】超音波発振器２５を備えた超音波発生槽２０に超音波を伝播する第１の液３０が収容されている。パーティクル抽出容器２１には、超純水等の高純度の第２の液４０と被検査物５０が収容されている。電源装置２６をオンにし、超音波発振器２５を発振させる。超音波発振器２５の発振が開始してから第１の時間が経過したのち、第２の液４０と被検査物５０が入っているパーティクル抽出容器２１を液面３０ａの上方から第１の液３０に挿入する。超音波発振器２５は超音波を発生させ続ける。そして第２の時間が経過したのち、第２の液４０に含まれているパーティクルの量を計測する。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法で、液滴を試料体の表面に沿って移動、試料体表面の汚染物質を回収すること。
【解決手段】ウエハＷを保持部２に保持し、当該ウエハＷの両面に、夫々ウエハＷの表面上における液滴が位置する領域から前記表面に沿って離れるにつれて磁場が小さくなる磁場勾配を形成する磁場形成部材３Ａ，３Ｂを設ける。そして、前記保持部２と磁場形成部材３Ａ,３Ｂとを相対的に前記表面に沿って移動させることにより、前記液滴を磁場勾配に沿って移動させる。こうして、ウエハ表面の汚染物質を液滴に溶解させ、当該液滴を回収する。 （もっと読む）

【課題】シート状の組織片をロール状に巻回する際に、芯棒への巻き付けを、安定して精度良く行うことができる組織片形成方法およびその装置を提供する。
【解決手段】基板上に組織片がアレイ状に配列されてなる組織アレイにおける各組織片として用いられる組織片であって、シート状の組織片８をロール状に巻回してなるロール状組織片６を形成する形成方法において、包埋剤によって組織が包埋されてなる組織ブロック５をスライスしてシート状の組織片８を生成し、シート状の組織片８を載置台１２に載置し、載置台１２と組織片８との間には、組織片８が載置台１２から容易に剥離可能となるような剥離手段１３を施しておき、載置台１２上の組織片８を加熱しつつ芯棒１１を組織片８に巻き付けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】測定結果が迅速に得られるようにしながらも、信頼性の高い測定精度が得られるようにした固形燃料中の塩素含有量測定方法を提供する。
【解決手段】固形燃料を酸素ボンブ燃焼容器内で燃焼させ、燃焼により発生する塩化水素及び塩素を燃焼容器内に収容したアルカリ水溶液に吸収させ、その吸収液中の塩素量を蛍光Ｘ線で測定する。固形燃料は、廃プラスチック類、廃繊維類、及び古紙のうち、少なくともいずれか１つの物質から製造された燃料である。 （もっと読む）

【課題】イオンビームを用いるエッチングにより断面観察試料を作製するときに、イオンビームの遮蔽に用いられる遮蔽板であって、使用を繰り返し、エッジ面として使用できる箇所がなくなった場合でも、側面の平坦化加工を必要とせず、再利用が容易で寿命が長い遮蔽板を提供する。
【解決手段】イオンビーム照射による断面観察試料の作製において、試料の上面をイオンビームから遮蔽するために用いられる遮蔽板であって、角柱状であり、イオンビーム照射による前記試料の鏡面研磨を可能にするエッジをその側面に有し、かつ前記側面に直交する方向の厚さがイオンビーム照射径以上である遮蔽用部材の複数を、下面が平坦な板状を形成するように並列させて一体化してなること、又は遮蔽用部材とそれを保持する保持用部材を一体化してなることを特徴とする断面観察試料作製用の遮蔽板。 （もっと読む）

【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ラメラを作製するための方法およびシステムを開示する。
【解決手段】方法は、マスクおよび試料のアラインメントをマニピュレータによって実行するステップ、マスクと試料との間の空間的関係を変化させることなく、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、試料の第１露出部分を、ラメラの第１側壁が露出するまでミリングするステップ、マスクが試料の第２マスキング部分を遮蔽するように、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、ラメラの第２側壁が露出するまで試料の第２露出部分をイオンミリング装置によってミリングするステップ、ミリング装置によってラメラの両側から物質を除去するステップ；および試料からラメラを切り離すステップを含む。 （もっと読む）