パターン形成方法及び液滴吐出装置
【課題】液滴吐出動作の安定化を図り、パターンの生産性を向上させたパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】「駆動電圧Ｖｈ」を「目標速度」、「目標加速度」及び目標重量に対応させて、「駆動電圧情報ＶｈＩ」として記憶部に格納した。そして、「駆動電圧情報ＶｈＩ」に基づいて、ノズルの「目標速度」及び「目標加速度」、さらには描画データで指定された目標重量に対応する「駆動電圧Ｖｈ」を演算し、その「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を生成して、対応する圧電素子に供給させるようにした。
【解決手段】「駆動電圧Ｖｈ」を「目標速度」、「目標加速度」及び目標重量に対応させて、「駆動電圧情報ＶｈＩ」として記憶部に格納した。そして、「駆動電圧情報ＶｈＩ」に基づいて、ノズルの「目標速度」及び「目標加速度」、さらには描画データで指定された目標重量に対応する「駆動電圧Ｖｈ」を演算し、その「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を生成して、対応する圧電素子に供給させるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス表示装置等の表示装置には、画像を表示するための基板が備えられている。この種の基板には、品質管理や製造管理を目的として、その製造元や製品番号等の製造情報をコード化した識別コード（例えば、２次元コード）が形成されている。こうした識別コードは、配列された多数のパターン形成領域（データセル）の一部に、パターンとしてのコードパターン（例えば、有色の薄膜や凹部等のドット）を備え、そのコードパターンの有無によって製造情報を再現可能にしている。
【０００３】
こうした識別コードの形成方法には、金属箔にレーザ光を照射してコードパターンをスパッタ成膜するレーザスパッタ法や、研磨材を含んだ水を基板等に噴射してコードパターンを刻印するウォータージェット法が提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【０００４】
しかし、上記レーザスパッタ法では、所望するサイズのコードパターンを得るために、金属箔と基板の間隙を、数〜数十μｍに調整しなければならない。つまり、基板と金属箔の表面に対して非常に高い平坦性が要求され、しかも、これらの間隙をμｍオーダの精度で調整しなければならない。その結果、識別コードを形成できる対象基板が制限されて、その汎用性を損なう問題を招いていた。また、ウォータージェット法では、基板の刻印時に、水や塵埃、研磨剤等が飛散するため、同基板を汚染する問題があった。
【０００５】
そこで、こうした生産上の問題を解消する識別コードの形成方法として、インクジェット法が注目されている。インクジェット法では、金属微粒子を含む液滴を液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して、その液滴を乾燥させることによってコードパターンを形成する。そのため、識別コードを形成する基板の対象範囲を拡大することができ、同基板の汚染等を回避して識別コードを形成することができる。
【特許文献１】特開平１１−７７３４０号公報
【特許文献２】特開２００３−１２７５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記する表示装置の製造工程では、その生産性を向上させるために、１枚のマザー基板に複数の識別コードを形成するとともに、各識別コードに対応する基板の領域をそれぞれ切出すことによって、１枚のマザー基板から複数の基板を製造させるようにしている。
【０００７】
そのため、上記インクジェット法では、マザー基板上に点在する識別コード上でのみ、液滴吐出ヘッドの液滴吐出動作を実行させている。その結果、識別コードを形成するための工程時間の大半を、識別コード間を移動する液滴吐出ヘッドの移動時間に費やしていた。
【０００８】
そこで、上記インクジェット法では、こうした識別コードの生産性を向上させるために、液滴吐出ヘッドを多関節ロボット等の移動手段に搭載させるとともに、搭載した液滴吐出ヘッドを、少なくとも２次元方向に高速移動させることが望まれていた。
【０００９】
しかしながら、液滴吐出ヘッドを高速移動させると、その速度・加速度の変動に伴って
、液状体を加圧するための加圧手段（例えば、圧電素子）の加圧量や、ノズル内の液状体界面（メニスカス）の形状に変動を来たす虞があった。その結果、吐出する液滴の重量（容量）や飛行速度の変動、着弾位置の位置ズレ等、各種液滴吐出動作の動作不良を招く問題があった。
【００１０】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴吐出動作の安定化を図り、パターンの生産性を向上させたパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のパターン形成方法は、対象物上で移動する液滴吐出ヘッドの圧力室に貯留されたパターン形成材料を含む液状体を加圧して、前記液状体の液滴を吐出口から前記対象物に向かって吐出し、前記対象物に着弾した前記液滴によってパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて吐出制御するようにした。
【００１２】
本発明のパターン形成方法によれば、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて吐出制御を行うことができる。従って、液滴吐出ヘッドを高速移動させたり、加速又は減速させたりする場合でも、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００１３】
このパターン形成方法において、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００１４】
このパターン形成方法によれば、吐出する液滴の重量や容量、さらには飛行速度を、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に対応させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。
【００１５】
このパターン形成方法において、前記液滴の重量が所定の重量になるように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量と前記圧力室を加圧する加圧速度のいずれか一方を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００１６】
このパターン形成方法によれば、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に関わらず、圧力室の加圧量の制御によって、所定の重量からなる液滴を吐出させることができる。従って、対象物の目標位置に所定の重量からなる液滴を着弾させることができる。
【００１７】
このパターン形成方法において、所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記圧力室を加圧するタイミングを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００１８】
このパターン形成方法によれば、液滴の飛行速度が変動する場合であっても、圧力室を加圧するタイミングの制御によって、所定の重量からなる液滴を目標位置に着弾させることができる。
【００１９】
このパターン形成方法において、所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて複数の前記吐出口の中から選択するようにしてもよい。
【００２０】
このパターン形成方法によれば、液滴の飛行速度が変動する場合であっても、吐出口の選択によって、所定の重量からなる液滴を目標位置に着弾させることができる。
このパターン形成方法において、所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記対象物に対する前記液滴吐出ヘッドの移動経路を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて変更するようにしてもよい。
【００２１】
このパターン形成方法によれば、液滴の飛行速度が変動する場合であっても、対象物に対する液滴吐出ヘッドの移動経路の変更によって、所定の重量からなる液滴を目標位置に着弾させることができる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、を備えた。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて吐出制御を行うことができる。従って、液滴吐出ヘッドを加速又は減速させる場合でも、液滴吐出ヘッドの加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００２４】
この液滴吐出装置において、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００２５】
この液滴吐出装置によれば、吐出する液滴の重量や容量、さらには飛行速度を、液滴吐出ヘッドの加速度に対応させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。
【００２６】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの加速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００２７】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて液滴を吐出制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【００２８】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて選択するようにしてもよい。
【００２９】
この液滴吐出装置によれば、液滴を吐出する吐出口の位置を、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて選択させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に対応した制御範
囲を拡張させることができ、液滴の吐出動作を、より安定化させることができる。
【００３０】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの加速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００３１】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて、液滴を吐出させる吐出口の位置を制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【００３２】
本発明の液滴吐出装置は、圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、を備えた。
【００３３】
本発明の液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドの速度に基づいて吐出制御を行うことができる。従って、液滴吐出ヘッドを高速で移動させる場合でも、液滴吐出ヘッドの速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００３４】
この液滴吐出装置において、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて制御してもよい。
【００３５】
この液滴吐出装置によれば、吐出する液滴の重量（容量）や飛行速度を、液滴吐出ヘッドの速度に対応させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。
【００３６】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００３７】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて吐出制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【００３８】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて選択するようにしてもよい。
【００３９】
この液滴吐出装置によれば、液滴を吐出する吐出口の位置を、液滴吐出ヘッドの速度に基づいて選択させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に対応した制御範囲を拡張させることができ、液滴の吐出動作を、より安定化させることができる。
【００４０】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００４１】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて、液滴を吐出させる吐出口の位置を制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１３に従って説明する。まず、本発明のパターン形成方法を利用して形成した識別コードを有する液晶表示装置１について説明する。
【００４３】
図１において、基板２の一側面（表面２ａ）には、その略中央位置に液晶分子を封入した四角形状の表示部３が形成されるとともに、その表示部３の外側に、走査線駆動回路４及びデータ線駆動回路５が形成されている。液晶表示装置１は、これら走査線駆動回路４が供給する走査信号と、データ線駆動回路５が供給するデータ信号に基づいて、前記表示部３内の液晶分子の配向状態を制御するようになっている。そして、液晶表示装置１は、図示しない照明装置からの平面光を液晶分子の配向状態によって変調して、表示部３の領域に所望の画像を表示するようになっている。
【００４４】
表面２ａの左側下隅には、一辺が約１ｍｍの正方形からなるコード領域Ｓが区画形成されて、そのコード領域Ｓ内には、１６行×１６列のデータセルＣが仮想分割されている。そのコード領域Ｓの選択されたデータセルＣの領域には、それぞれパターンとしてのドットＤが形成されるとともに、これら複数のドットＤによって、液晶表示装置１の識別コード１０が構成されている。
【００４５】
本実施形態では、データセルＣの中心位置を「目標位置Ｐ」とし、「目標位置Ｐ」の直交座標系の位置座標を、「目標座標Ｓｐ」という（図６及び図８参照）。
また、本実施形態では、前記「目標位置Ｐ」であって、コード領域ＳのＸ矢印方向略中心位置（Ｘ矢印方向から８列目にあたる１６個の「目標位置Ｐ」）に位置する「目標位置Ｐ」を、それぞれ「教示位置Ｐｔ」とし、「教示位置Ｐｔ」に関する「目標座標Ｓｐ」を、「教示座標Ｔｐ」という。さらに、本実施形態では、各データセルＣの一辺の長さを「セル幅Ｗ」という。
【００４６】
各ドットＤは、その外径がデータセルＣの一辺の長さ（前記「セル幅Ｗ」）で形成された半球状のパターンである。このドットＤは、パターン形成材料としての金属微粒子（例えば、ニッケル微粒子やマンガン微粒子）を分散媒に分散させた液状体Ｆ（図６参照）の液滴ＦｂをデータセルＣに吐出して、データセルＣに着弾した液滴Ｆｂにレーザ光Ｂ（図６参照）を照射して乾燥・焼成させることによって形成されている。このドットＤのサイズは、吐出する各液滴Ｆｂの重量を所定の重量（「目標重量Ｉｗ」：図８参照）にすることによって均一化されている。
【００４７】
そして、識別コード１０は、各データセルＣ内のドットＤの有無によって、液晶表示装置１の製品番号やロット番号等を再現させるようになっている。
本実施形態では、上記基板２の長手方向をＸ矢印方向とし、Ｘ矢印方向と直交する方向をＹ矢印方向という。
【００４８】
次に、前記識別コード１０を形成するための液滴吐出装置２０について説明する。尚、本実施形態では、複数の前記基板２を切出し可能にした対象物としてのマザー基板２Ｍに、点在する複数の前記識別コード１０を形成する場合について説明する。
【００４９】
図２において、液滴吐出装置２０には、略直方体形状に形成された基台２１が備えられて、その基台２１の一側（Ｘ矢印方向側）には、複数の前記マザー基板２Ｍを収容する基板ストッカ２２が配設されている。基板ストッカ２２は、図２における上下方向（Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向）に移動して、収容する各マザー基板２Ｍをそれぞれ基台２１上に搬出可能にするとともに、基台２１上のマザー基板２Ｍを対応するスロットに搬入可能にしている。
【００５０】
基台２１の上面２１ａであって、その基板ストッカ２２側（反Ｘ矢印方向側）には、Ｙ矢印方向に延びる走行装置２３が配設されている。走行装置２３は、その内部に設けられた走行モータＭＳ（図８参照）の出力軸に駆動連結される搬送装置２４を、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に走行させるようになっている。搬送装置２４は、マザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂを吸着把持可能にした搬送アーム２４ａを有する水平多関節ロボットであって、その内部に設けられた搬送モータＭＴ（図８参照）の出力軸に駆動連結される搬送アーム２４ａを、ＸＹ平面上で伸縮自在に回動するとともに、上下方向に移動するようになっている。
【００５１】
基台２１の上面２１ａであって、そのＹ矢印方向両側には、マザー基板２Ｍの表面２Ｍａを上側にして同マザー基板２Ｍを載置する一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌが併設されている。一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌは、それぞれ載置するマザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂ側に、前記搬送アーム２４ａを抜き出し可能にする空間（凹部２５ａ）を有して、同凹部２５ａ内で前記搬送アーム２４ａを上動及び下動することによりマザー基板２Ｍの搬送及び載置を可能にしている。
【００５２】
そして、走行モータＭＳ及び搬送モータＭＴに所定の駆動制御信号を供給すると、走行装置２３及び搬送装置２４は、前記基板ストッカ２２内の各マザー基板２Ｍを搬出して、搬出したマザー基板２Ｍを、載置台２５Ｒ，２５Ｌのいずれか一方に載置するようになっている。また、走行装置２３及び搬送装置２４は、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置したマザー基板２Ｍを、基板ストッカ２２内の所定のスロットに搬入して回収するようになっている。
【００５３】
尚、本実施形態では、図３に示すように、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置されたマザー基板２Ｍのコード領域Ｓであって、その最もＸ矢印方向側から順に、１行目コード領域Ｓ１、２行目コード領域Ｓ２、・・・、５行目コード領域Ｓ５という。
【００５４】
図２において、基台２１の上面２１ａであって、前記一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌの間には、移動手段としての多関節ロボット（以下単に、スカラロボットという。）２６が配設されて、そのスカラロボット２６には、基台２１の上面２１ａに固設されて上方（Ｚ矢印方向）に延びる主軸２７が備えられている。
【００５５】
主軸２７の上端には、主軸２７に設置された第１モータＭ１（図８参照）の出力軸に駆動連結される第１アーム２８ａが水平方向（ＸＹ平面方向）に回動可能に連結されている
。その第１アーム２８ａの手先には、第１アーム２８ａに設置された第２モータＭ２（図８参照）の出力軸に駆動連結される第２アーム２８ｂが水平方向に回動可能に連結されている。第２アーム２８ｂの手先には、第２アーム２８ｂに設置された第３モータＭ３（図８参照）の出力軸に駆動連結される円柱状の第３アーム２８ｃが、そのＺ矢印方向に沿う軸心を回動中心にして回動可能に連結されている。その第３アーム２８ｃの下端部（手先）にはヘッドユニット３０が配設されている。
【００５６】
そして、これら第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３に、各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃの各関節をそれぞれ所定の関節角（関節座標）にさせる信号を供給する。すると、スカラロボット２６は、各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃを回動して、第３アーム２８ｃの手先（回動中心：ヘッドユニット３０）を上面２１ａ上の所定領域（図３に示す２点鎖線の領域：走査領域Ｅ）内で移動（走査）するようになっている。
【００５７】
尚、本実施形態のスカラロボット２６は、各コード領域Ｓの各「教示位置Ｐｔ」（「教示座標Ｔｐ」）を教示点とした移動経路としての「目標軌跡Ｒ」に沿って、第３アーム２８ｃの手先（回動中心）を移動させて、ヘッドユニット３０を走査させるようになっている。
【００５８】
詳述すると、図３の矢印で示すように、スカラロボット２６は、まず、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、第３アーム２８ｃの手先（回動中心：ヘッドユニット３０）を、１行目コード領域Ｓ１の反Ｙ矢印方向側（以下単に、「始点」という。）に配置移動させる。そして、ヘッドユニット３０を「始点」に配置移動させると、スカラロボット２６は、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を、１行目コード領域Ｓ１の直上でＹ矢印方向に沿うように移動（走査）させる。ヘッドユニット３０を１行目コード領域Ｓ１上で走査させると、スカラロボット２６は、第３アーム２８ｃを左回りに回動してヘッドユニット３０を１８０度だけ左回りに回転させながら、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を２行目コード領域Ｓ２の最もＹ矢印方向側まで旋回させる。ヘッドユニット３０を２行目コード領域Ｓ２上まで旋回させると、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０を、２行目コード領域Ｓ２の直上で反Ｙ矢印方向に沿うように移動（走査）させる。
【００５９】
以後同様にして、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０を、３行目、４行目、５行目コード領域Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の順に、そのＹ矢印方向あるいは反Ｙ矢印方向に沿って走査させて、５行目コード領域のＹ矢印方向側（以下単に、「終点」という。）まで配置移動させる。すなわち、本実施形態のスカラロボット２６は、ヘッドユニット３０の配置方向をヘッドユニット３０の移動する方向に対応させるようになっている。そして、スカラロボット２６は、各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を駆動制御して、第３アーム２８ｃの手先（ヘッドユニット３０）の軌跡が各「コード領域Ｓ」上方を結ぶ滑らかな九十九折り状の「目標軌跡Ｒ」を描くように、第３アーム２８ｃの手先の速度・加速度を変調させるようになっている。尚、本実施形態では、「目標軌跡Ｒ」に沿う方向を、目標軌跡方向ＲＡという。
【００６０】
図４において、ヘッドユニット３０には、箱体状に形成された液状体タンク３１が配設されるとともに、その液状体タンク３１の下側には、液滴吐出ヘッド（以下単に、「吐出ヘッド」という。）３２が配設されている。液状体タンク３１は、前記液状体Ｆを導出可能に収容するとともに、収容する液状体Ｆを、液滴吐出ヘッド３２に導出するようになっている。その液状体タンク３１のマザー基板２Ｍ側（下側）には、液滴吐出ヘッド３２（以下単に、吐出ヘッド３２という。）が配設されている。
【００６１】
図５は、吐出ヘッド３２を、マザー基板２Ｍ側から見た斜視図である。図５において、吐出ヘッド３２の下側（図５の上側）には、ノズルプレート３３が備えられて、そのノズルプレート３３の下面（ノズル形成面３３ａ）には、マザー基板２Ｍの法線方向（Ｚ矢印方向）に沿って貫通形成された複数の円形孔（吐出口としてのノズルＮ）が配列されている。
【００６２】
各ノズルＮは、スカラロボット２６がヘッドユニット３０を「目標軌跡Ｒ」に沿って走査させるときに、その配列方向（ノズル配列方向Ａｎ）が、図３に示す目標軌跡方向ＲＡと略直交するように配列形成されている。また、各ノズルＮは、そのノズル配列方向Ａｎに沿う形成ピッチが、前記「セル幅Ｗ」と同じサイズで形成されている。すなわち、本実施形態の各ノズルＮは、スカラロボット２６がヘッドユニット３０を「目標軌跡Ｒ」に沿って走査させるときに、選択された連続する１６個のノズルＮが、それぞれ各「目標位置Ｐ」と相対向するように形成されている。
【００６３】
本実施形態では、ノズルＮの１つであって、各「教示位置Ｐｔ」（前記第３アーム２８ｃの回動中心）に相対するノズルＮを、基準ノズルＮＣという。
図６において、各ノズルＮの上側には、前記液状体タンク３１に連通する圧力室としてのキャビティ３４が形成されて、液状体タンク３１の導出する液状体Ｆを、それぞれ対応するノズルＮ内に供給するようになっている。各キャビティ３４の上側には、上下方向に振動可能な振動板３５が貼り付けられて、キャビティ３４内の容積を拡大・縮小するようになっている。振動板３５の上側には、各ノズルＮに対応する複数の圧電素子ＰＺが配設されるとともに、所定の駆動信号（圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１：図８参照）を受けて上下方向に収縮・伸張するようになっている。
【００６４】
詳述すると、図７に示すように、本実施形態の圧電素子ＰＺは、引込期間Ｗ１１、引込保持期間Ｗ１２、押出期間Ｗ１３、押出保持期間Ｗ１４及び引込期間Ｗ１５からなる駆動波形の圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を受けて収縮・伸張するようになっている。引込期間Ｗ１１は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を中間電位Ｖｂよりも高い電位（「駆動電圧Ｖｈ」）に昇圧させる期間であって、圧電素子ＰＺを収縮させるとともに、ノズルＮ内の液状体界面（メニスカスＫ）をノズルＮ内に引き込んで凹曲面を形成させるようになっている。引込保持期間Ｗ１２は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を「駆動電圧Ｖｈ」に保持させる期間であって、ノズル内に引き込んだメニスカスＫを安定保持させるようになっている。押出期間Ｗ１３は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を最低電位ＶＬまで直線的に降圧させる期間であって、圧電素子ＰＺを伸張させるとともに、メニスカスＫを凸曲面状にして液滴Ｆｂを吐出させるようになっている。押出保持期間Ｗ１４は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を最低電位ＶＬに所定の時間だけ保持させる期間であり、液滴Ｆｂを吐出したメニスカスＫの形状を安定させるようになっている。引込期間Ｗ１５は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を最低電位ＶＬから中間電位Ｖｂまでの直線的な昇圧させるようになっている。
【００６５】
そして、圧電素子ＰＺに、これら引込期間Ｗ１１、引込保持期間Ｗ１２、押出期間Ｗ１３、押出保持期間Ｗ１４及び引込期間Ｗ１５からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を供給する。すると、圧電素子ＰＺの収縮・伸張にともなって、対応するノズルＮ内のメニスカスＫが振動して液滴Ｆｂが吐出される。
【００６６】
この際、吐出される液滴Ｆｂは、一般的に、メニスカスＫを振動させるパラメータ（例えば、液状体Ｆを加圧する加圧量（引込保持期間Ｗ１２の「駆動電圧Ｖｈ」）や、液状体Ｆを加圧する加圧速度（押出期間Ｗ１３の傾き）等）に対応した重量や飛行速度で吐出される。
【００６７】
そのため、上記する九十九折状の「目標軌跡Ｒ」に沿って吐出ヘッド３２の速度・加速
度が変動すると、メニスカスＫの位置や形状、圧電素子ＰＺの伸張幅や振動板３５の振幅は、ヘッドユニット３０の速度・加速度に応じて変動するようになる。その結果、吐出する液滴Ｆｂの重量や飛行速度（着弾する位置）が、対応する「目標位置Ｐ」毎に変動するようになる。
【００６８】
そこで、本実施形態の液滴吐出装置２０では、各「目標位置Ｐ」の上方を通過するときのヘッドユニット３０（各ノズルＮ）の速度・加速度を演算させて、吐出する液滴Ｆｂの重量が「目標重量Ｉｗ」になるように、引込保持期間Ｗ１２の「駆動電圧Ｖｈ」を補正させるようになっている。すなわち、液滴吐出装置２０では、ノズルＮの速度・加速度に応じて変動する液滴Ｆｂの重量を、対応する「駆動電圧Ｖｈ」によって、補正（重量補正）させるようになっている。
【００６９】
しかも、液滴吐出装置２０では、各「目標位置Ｐ」の上方を通過するときの各ノズルＮの速度・加速度と、補正後の「駆動電圧Ｖｈ」を利用して、吐出する液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算させるようになっている。さらに、液滴吐出装置２０では、演算した「飛行速度Ｖｍ」を利用して、対応する液滴Ｆｂの着弾する位置（「着弾位置Ｐｅ」：図１０参照）の座標（「着弾座標Ｓｅ」：図１０参照）を演算させるようになっている。そして、「着弾座標Ｓｅ」が、対応する「目標位置Ｐ」の位置座標（「目標座標Ｓｐ」）になるように、各種補正（例えば、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの補正や、液滴Ｆｂを吐出させるノズルＮの位置補正等：着弾位置補正）を施すようなっている。
【００７０】
そして、図６に示すように、予め選択したノズルＮが、対応する「目標位置Ｐ」の上方を、着弾位置補正されたタイミングで通過するときに、同ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺに対して、重量補正された「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を供給する。すると、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂが、対応するノズルＮから吐出されて、吐出された液滴Ｆｂが、「飛行速度Ｖｍ」で飛行して、対応する「着弾座標Ｓｅ」（「目標位置Ｐ」）に着弾する。
【００７１】
図４において、ヘッドユニット３０であって、その目標軌跡方向ＲＡの反対側には、レーザヘッド３７が配設されている。レーザヘッド３７の内部には、各ノズルＮに対応する複数の半導体レーザＬＤが、ノズル配列方向Ａｎに沿って配列されている。各半導体レーザＬＤは、それぞれ半導体レーザＬＤを駆動制御するための信号（レーザ駆動電圧ＣＯＭ２：図８参照）を受けて、液滴Ｆｂの吸収波長に対応した波長領域のレーザ光Ｂを、その直下（反Ｚ矢印方向）に出射するようになっている。
【００７２】
レーザヘッド３７の下端であって、半導体レーザＬＤの直下（マザー基板２Ｍ側）には、各半導体レーザＬＤに対応する複数の反射ミラーＭが、ノズル配列方向Ａｎに沿って配列されている。反射ミラーＭは、対応する半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂを吐出ヘッド３２側に全反射するとともに、全反射したレーザ光Ｂを、対応する「目標位置Ｐ」の目標軌跡方向ＲＡの反対側に導くようになっている。
【００７３】
本実施形態では、マザー基板２Ｍ上の位置であって、レーザ光Ｂの光軸が表面２Ｍａと交差する位置を、照射位置Ｐｂとし、照射位置Ｐｂの直交座標系における位置座標を、「照射位置座標Ｂｒ」という。
【００７４】
また、本実施形態では、「着弾座標Ｓｅ」と「照射位置座標Ｂｒ」との間の距離を、照射待機距離Ｌｗという。
そして、各「目標位置Ｐ」が照射位置Ｐｂに相対するタイミングで、対応する半導体レーザＬＤにレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給する。すると、対応する半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂが、対応する反射ミラーＭに全反射されて、照射位置Ｐｂに位置する液滴Ｆ
ｂの領域に照射される。液滴Ｆｂの領域に照射されたレーザ光Ｂは、液滴Ｆｂの溶媒あるいは分散媒等を蒸発（乾燥）して、同液滴Ｆｂの金属微粒子を焼成する。これによって、「目標位置Ｐ」には、データセルＣに対応する所定重量（容積）のドットＤが形成される。
【００７５】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置２０の電気的構成を図８に従って説明する。
図８において、液滴吐出装置２０には、ＣＰＵ等からなる制御装置５１が設けられている。制御装置５１は、基準ノズルＮＣ（第３アーム２８ｃの手先）の現在位置と各種制御プログラムに従って、走行装置２３、搬送装置２４及びスカラロボット２６を駆動するとともに、吐出ヘッド３２及びレーザヘッド３７を駆動制御させるようになっている。
【００７６】
制御装置５１には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入出力部６１が接続されている。入出力部６１は、制御装置５１からの各種メッセージを表示するとともに、識別コード１０に関する情報が既定形式の「描画データＩａ」として入力されるようになっている。そして、制御装置５１は、入出力部６１からの描画データＩａに所定の展開処理を施してビットマップデータＢＭＤを生成するとともに、ビットマップデータＢＭＤに基づいて各「目標座標Ｓｐ」（各「教示座標Ｔｐ」）を生成するようになっている。また、制御装置５１は、描画データＩａに対して、ビットマップデータＢＭＤと異なる展開処理を施して、ドットＤのサイズに関する情報、すなわち「目標重量Ｉｗ」を生成するようになっている。
【００７７】
ビットマップデータＢＭＤは、直交座標系における描画平面（マザー基板２Ｍの表面２Ｍａ）を仮想分割した各位置に液滴Ｆｂを吐出させるか否かを示すデータであって、各ビットの値（０あるいは１）に応じて、各圧電素子ＰＺを駆動するか否かを規定するデータである。すなわち、ビットマップデータＢＭＤは、「目標軌跡Ｒ」に沿って吐出ヘッド３２を走査するときに、走査する吐出ヘッド３２の各ノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させるか否かを規定させるためのデータである。
【００７８】
制御装置５１には、各種ＲＡＭやＲＯＭ等からなる記憶手段としての記憶部５２が設けられて、各種演算処理の処理領域として利用されるとともに、各種プログラムや各種データ、さらには各種演算処理の処理結果等が格納されるようになっている。
【００７９】
詳述すると、記憶部５２には、液滴Ｆｂの吐出重量を補正するための吐出重量設定プログラムＰＧ１や着弾位置を補正するための着弾位置補正プログラムＰＧ２等の各種プログラムが格納されている。また、記憶部５２には、前記「目標座標Ｓｐ」、前記「目標重量Ｉｗ」及び前記ビットマップデータＢＭＤが格納されるようになっている。さらに、記憶部５２には、「ノズル番号情報ＰｎＩ」、「目標関節座標情報ＢｐＩ」、「速度・加速度情報ＶａＩ」、吐出制御情報を構成する「駆動電圧情報ＶｈＩ」、「飛行速度情報ＶｍＩ」、「吐出タイミング情報ＴａＩ」及び「基準誤差Ｄ０」が格納されるようになっている。
【００８０】
「ノズル番号情報ＰｎＩ」は、各ノズルＮの位置を識別可能にする識別情報（ノズル番号）を利用して、前記各「目標座標Ｓｐ」を、それぞれノズル番号に対応させた情報である。そして、制御装置５１は、「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、各「目標座標Ｓｐ」に対応する液滴Ｆｂを、それぞれ「目標座標Ｓｐ」に対応するノズル番号のノズルＮから吐出させるようになっている。
【００８１】
「目標関節座標情報ＢｐＩ」は、各「教示座標Ｔｐ」と、各「教示座標Ｔｐ」の間を結ぶ複数の「補間点」の座標を、それぞれ対応するスカラロボットの姿勢（各関節の関節座標の組み合わせ）に対応させた情報である。すなわち、「目標関節座標情報ＢｐＩ」は、
「教示座標Ｔｐ」及び「補間点」の座標を、それぞれ対応する「教示座標Ｔｐ」あるいは「補間点」の座標に基準ノズルＮＣを相対させるスカラロボットの姿勢に対応させた情報である。
【００８２】
そして、制御装置５１は、「目標関節座標情報ＢｐＩ」をスカラロボット駆動回路６４に出力して、各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を駆動制御するとともに、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）を、「教示座標Ｔｐ」あるいは各「補間点」に相対させるようになっている。
【００８３】
「速度・加速度情報ＶａＩ」は、各スカラロボットの姿勢（各関節の関節座標の組み合わせ）に対して、対応する姿勢における各ノズルＮの速度（「目標速度」）及び加速度（「目標加速度」）を対応させた情報である。そして、制御装置５１は、「速度・加速度情報ＶａＩ」を参照して、各スカラロボットの姿勢における各ノズルＮからの液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算するようになっている。
【００８４】
「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に対応させた情報である。そして、制御装置５１は、描画データＩａで指定される「目標重量Ｉｗ」の液滴Ｆｂを吐出させるための「駆動電圧Ｖｈ」を演算するようになっている。そして、制御装置５１は、演算した「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を生成して、同圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に出力するようになっている。
【００８５】
尚、本実施形態の「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、予め試験等に基づいて導き出された多項式等の補間式である。すなわち、「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、予め多数の「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせにおいて、液滴Ｆｂの重量が、所定の「目標重量Ｉｗ」になるときの「駆動電圧Ｖｈ」を計測し、その計測結果に基づいて、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせを補間するように設定されている。つまり、「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、「目標重量Ｉｗ」の液滴Ｆｂを吐出させるための「駆動電圧Ｖｈ」を、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせに対して導出可能にした情報である。
【００８６】
「飛行速度情報ＶｍＩ」は、「飛行速度Ｖｍ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「駆動電圧Ｖｈ」に対応させた情報である。そして、制御装置５１は、「目標速度」、「目標加速度」及び「駆動電圧Ｖｈ」に基づいて、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算するとともに、その「飛行速度Ｖｍ」を利用して、液滴Ｆｂの「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算するようになっている。
【００８７】
尚、本実施形態の「飛行速度情報ＶｍＩ」は、予め試験等に基づいて導き出された多項式等の補間式である。すなわち、「飛行速度情報ＶｍＩ」は、予め多数の「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせにおいて、液滴Ｆｂの重量が所定の「目標重量Ｉｗ」になるときの着弾位置を計測し、その計測結果に基づいて、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせを補間するように設定されている。つまり、「飛行速度情報ＶｍＩ」は、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせに対して導出可能にした情報である。
【００８８】
「基準誤差Ｄ０」は、「目標位置Ｐ」に対応する「着弾位置Ｐｅ」の誤差を規定するものであって、「飛行速度Ｖｍ」に基づいて演算される液滴Ｆｂの「着弾座標Ｓｅ」と、対応する「目標座標Ｓｐ」との間の距離（着弾誤差Ｄｒ）の範囲を規定するものである。そして、制御装置５１は、着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄ０」未満であるか否かを判断するよ
うになっている。
【００８９】
「吐出タイミング情報ＴａＩ」は、「目標座標Ｓｐ」とノズル番号の組み合わせを、液滴Ｆｂを吐出させるタイミング（補正時間）に対応させた情報である。尚、本実施形態における補正時間は、ノズル番号に対応するノズルＮが、同ノズル番号に対応する「目標座標Ｓｐ」（もしくは「補間点」の座標位置）の直上に位置するタイミングを基準とした時間である。
【００９０】
そして、「目標座標Ｓｐ」（もしくは「補間点」の座標位置）の直上に、対応するノズルＮが移動すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」を参照して、同ノズルＮに対応する補正時間だけ遅延させたタイミングで、同ノズルＮからの液滴Ｆｂを吐出させるようになっている。
【００９１】
制御装置５１には、補間演算部５３が設けられている。補間演算部５３は、連続する３つの「教示位置Ｐｔ」（「教示座標Ｔｐ」（始点も含む））の間の空間を、所定の補間周期（例えば、ビットマップデータＢＭＤの分割周期）で予め設定された補間処理（直線補間、円弧補間、自由曲線補間、あるいはこれらの組み合わせ等）を実行するようになっている。そして、補間演算部５３は、連続する３つの「教示座標Ｔｐ」の間の空間を結ぶ複数の「補間点」（「目標軌跡Ｒ」の一部）の位置座標を直交座標系で順次演算するようになっている。
【００９２】
この際、補間演算部５３は、連続する３つの中の中間に位置する「教示座標Ｔｐ」（中間「教示座標Ｔｐ」）に対して、基準ノズルＮＣに対応するノズル番号を関連付けるようなっている。また、補間演算部５３は、中間「教示座標Ｔｐ」のノズル配列方向Ａｎにあたる１５個の「目標座標Ｓｐ」に対して、それぞれ対応するノズルＮのノズル番号を関連付けるようになっている。すなわち、補間演算部５３は、「補間点」を演算する毎に、中間「教示位置Ｐｔ」を含むノズル配列方向Ａｎの１６個の「目標位置Ｐ」のそれぞれに対して、液滴Ｆｂを吐出させるためのノズルＮのノズル番号を関連付けるようになっている。
【００９３】
そして、補間演算部５３は、ノズル配列方向Ａｎに沿う各「目標座標Ｓｐ」をノズル番号に対応させた情報、すなわち前記「ノズル番号情報ＰｎＩ」を生成して、記憶部に格納させるようになっている。尚、補間演算部５３によって、各「目標位置Ｐ」に関連付けられたノズル番号のノズルＮを、「選択ノズル」という。
【００９４】
制御装置５１には、逆変換部５４が設けられている。逆変換部５４は、各「補間点」の位置座標と中間「教示座標Ｔｐ」のそれぞれに対して、スカラロボット２６の姿勢（各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃの関節座標）を順次演算するようになっている。そして、逆変換部５４は、各関節座標の組み合わせを、それぞれ対応する「補間点」もしくは中間「教示位置Ｐｔ」に関連付けた情報、すなわち前記「目標関節座標情報ＢｐＩ」を生成して、記憶部５２に格納させるようになっている。
【００９５】
この際、逆変換部５４は、スカラロボット２６の姿勢、各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３の最大トルク、各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃのアーム長、慣性モーメント等に基づいて、各関節座標の組み合わせにおけるヘッドユニット３０の速度・加速度を直交座標系で演算するようになっている。また、逆変換部５４は、演算したヘッドユニット３０の速度・加速度とノズルＮの形成ピッチ等に基づいて、各関節座標の組み合わせにおける各「ノズルＮ」の「目標速度」と「目標加速度」を順次演算するようになっている。そして、逆変換部５４は、スカラロボット２６の姿勢（各関節座標の組み合わせ）毎に、ノズルＮのノズル番号に対応した「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせに関する情報、すなわち前
記「速度・加速度情報ＶａＩ」を生成して、記憶部５２に格納させるようになっている。
【００９６】
制御装置５１には、ビットマップデータ転送部５５が設けられている。ビットマップデータ転送部５５は、前記「ノズル番号情報ＰｎＩ」と前記「吐出タイミング情報ＴａＩ」に基づいて、ビットマップデータＢＭＤの一部を、吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送するようになっている。
【００９７】
詳述すると、ビットマップデータ転送部５５は、「ノズル番号情報ＰｎＩ」に基づいて、描画平面上における各ノズル（「選択ノズル」）の移動経路に対応するビットデータ（ビットマップデータＢＭＤの一部）を順次抽出するようなっている。また、ビットマップデータ転送部５５は、順次抽出したビットデータ（ビットマップデータＢＭＤの一部）を、「吐出タイミング情報ＴａＩ」の規定するタイミングに基づいて、所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送するようになっている。
【００９８】
例えば、「吐出タイミング情報ＴａＩ」にて、基準ノズルＮＣが所定の位置（補正位置）を通過するタイミングで、同基準ノズルＮＣから吐出する液滴Ｆｂの吐出タイミングを所定の時間（補正時間）だけ遅延させるように規定されたとする。すると、ビットマップデータ転送部５５は、抽出して順次転送するビットデータ（ビットマップデータＢＭＤの一部）の中から、補正位置の基準ノズルＮＣに対応するビットデータ（０あるいは１）のみを、所定の時間だけ遅延させた位置で転送するようになっている。これによって、描画平面上における所望する位置の吐出タイミングのみを変更可能にしている。尚、本実施形態では、ビットマップデータ転送部５５が吐出ヘッド駆動回路６５に転送するビットデータを、「吐出制御信号ＳＩ」という。
【００９９】
制御装置５１には、走行装置駆動回路６２が接続されて、走行装置駆動回路６２に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。走行装置駆動回路６２には、走行モータＭＳと走行モータ回転検出器ＭＳＥが接続されて、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して走行モータＭＳを正転または逆転させるとともに、走行モータ回転検出器ＭＳＥからの検出信号に基づいて、搬送装置２４の移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【０１００】
制御装置５１には、搬送装置駆動回路６３が接続されて、搬送装置駆動回路６３に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。搬送装置駆動回路６３には、搬送モータＭＴと搬送モータ回転検出器ＭＴＥが接続されて、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して搬送モータＭＴを正転または逆転させるとともに、搬送モータ回転検出器ＭＴＥからの検出信号に基づいて、搬送アーム２４ａの移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【０１０１】
制御装置５１には、スカラロボット駆動回路６４が接続されて、スカラロボット駆動回路６４に対応する駆動制御信号（前記「目標関節座標情報ＢｐＩ」）を出力するようになっている。スカラロボット駆動回路６４には、第１モータＭ１、第２モータＭ２及び第３モータＭ３が接続されて、制御装置５１からの「目標関節座標情報ＢｐＩ」に応答して、第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を対応する関節座標まで正転または逆転させるようになっている。また、スカラロボット駆動回路６４には、第１モータ回転検出器Ｍ１Ｅ、第２モータ回転検出器Ｍ２Ｅ及び第３モータ回転検出器Ｍ３Ｅが接続されて、第１、第２及び第３モータ回転検出器Ｍ１Ｅ，Ｍ２Ｅ，Ｍ３Ｅからの検出信号に基づいて、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）の移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【０１０２】
そして、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４を介して、ヘッドユニット３０
を「目標軌跡Ｒ」に沿って九十九折り状に走査するとともに、スカラロボット駆動回路６４からの演算結果（基準ノズルＮＣの現在位置）に基づいて、各種制御信号を出力する。すなわち、制御装置５１は、基準ノズルＮＣが走査を開始するタイミングで、吐出ヘッド駆動回路６５に対して、所定の周波数（例えば、補間周波数）からなる吐出タイミング信号ＬＰの出力を開始するようになっている。尚、本実施形態では、基準ノズルＮＣの位置が、各「教示位置Ｐｔ」及び各「補間点」に位置するタイミングで、前記吐出タイミング信号ＬＰが出力されるようになっている。
【０１０３】
制御装置５１には、吐出ヘッド駆動回路６５が接続されて、前記吐出タイミング信号ＬＰを出力するようになっている。また、制御装置５１は、前記圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に出力するようになっている。さらにまた、制御装置５１は、前記ビットマップデータ転送部５５を介して、生成した吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送するようになっている。吐出ヘッド駆動回路６５は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを、各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換するようになっている。
【０１０４】
そして、吐出ヘッド駆動回路６５は、制御装置５１からの吐出タイミング信号ＬＰを受けると、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺに、それぞれ対応する圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１（「駆動電圧Ｖｈ」）を供給するようになっている。すなわち、制御装置５１は、吐出タイミング信号ＬＰを受ける毎に、吐出制御信号ＳＩで規定されたノズルＮから「目標重量Ｉｗ」の液滴Ｆｂを吐出し、吐出した液滴Ｆｂを「飛行速度Ｖｍ」で飛行させて、対応する「目標位置Ｐ」に着弾させるようになっている。
【０１０５】
また、制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路６５を介して、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩをレーザヘッド駆動回路６６に出力するようになっている。
制御装置５１には、レーザヘッド駆動回路６６が接続されて、所定のクロック信号に同期させたレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を出力するようになっている。そして、レーザヘッド駆動回路６６は、吐出ヘッド駆動回路６５からの吐出制御信号ＳＩを受けると、所定の時間（照射待機時間）だけ待機して、吐出制御信号ＳＩに対応した各半導体レーザＬＤに、それぞれレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給するようになっている。尚、本実施形態の照射待機時間は、前記「速度・加速度情報ＶａＩ」と「飛行速度Ｖｍ」に基づいて設定されている。
【０１０６】
詳述すると、本実施形態の照射待機時間は、基準ノズルＮＣ（照射位置Ｐｂ）の照射待機距離Ｌｗ分の走査時間に、対応する液滴Ｆｂの「飛行時間」を加算した時間である。すなわち、照射待機時間は、液滴Ｆｂの吐出動作の開始時（吐出制御信号ＳＩを受けたとき）から、同液滴Ｆｂが対応する照射位置Ｐｂに相対するまでの時間に設定されている。
【０１０７】
そして、レーザヘッド駆動回路６６が吐出ヘッド駆動回路６５からの吐出制御信号ＳＩを受ける。すると、制御装置５１は、レーザヘッド駆動回路６６を介して、ヘッドユニット３０を照射待機時間だけ走査して、照射位置Ｐｂが対応する「目標位置Ｐ」に位置するタイミングで、「目標位置Ｐ」の液滴Ｆｂの領域に向かってレーザ光Ｂを照射するようになっている。
【０１０８】
次に、液滴吐出装置２０を使って識別コード１０を形成する方法について説明する。
はじめに、入出力部６１を操作して描画データＩａを制御装置５１に入力する。すると、制御装置５１は、走行装置駆動回路６２及び搬送装置駆動回路６３を介して、走行装置２３及び搬送装置２４を駆動制御し、基板ストッカ２２のマザー基板２Ｍを載置台２５Ｒ（載置台２５Ｌ）に搬送して載置する。
【０１０９】
マザー基板２Ｍを載置すると、制御装置５１は、描画データＩａに所定の展開処理を施して、ビットマップデータＢＭＤ、「目標座標Ｓｐ」（「教示座標Ｔｐ」）及び「目標重量Ｉｗ」を生成し、これらビットマップデータＢＭＤ、「目標座標Ｓｐ」（「教示座標Ｔｐ」）及び「目標重量Ｉｗ」を記憶部５２に格納する。
【０１１０】
展開処理して生成した各種情報を格納すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４を介して、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）を始点まで移動させる。この間、制御装置５１は、吐出重量設定プログラムＰＧ１を記憶部５２から読み出して、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）の軌跡制御を開始する。
【０１１１】
すなわち、図９に示すように、制御装置５１は、まず補間演算部５３を介して、「始点」と、１行目コード領域Ｓ１の最も反Ｙ矢印方向側の「教示位置Ｐｔ」（第１の「教示位置Ｐｔ」）と、第１の「教示位置Ｐｔ」のＹ矢印方向側の「教示位置Ｐｔ」（第２の「教示位置Ｐｔ」）と、を利用した補間処理を実行する。これによって、制御装置５１は、「始点」、第１の「教示位置Ｐｔ」、第２の「教示位置Ｐｔ」との間に、それぞれ複数の「補間点」を作成して、「始点」、第１の「教示位置Ｐｔ」、第２の「教示位置Ｐｔ」との間に、それぞれ「補間点」からなる軌跡を作成する。そして、制御装置５１は、補間演算部５３を介して、第１の「教示位置Ｐｔ」を含むノズル配列方向Ａｎの各「目標位置Ｐ」に対して、液滴Ｆｂを吐出させるためのノズルＮのノズル番号を関連付けて、「ノズル番号情報ＰｎＩ」として格納する（ステップＳ１１）。
【０１１２】
「ノズル番号情報ＰｎＩ」を格納すると、制御装置５１は、逆変換部５４を介して、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に対応する各関節座標の組み合わせを演算して、「目標関節座標情報ＢｐＩ」を生成する。各「目標関節座標情報ＢｐＩ」を生成すると、制御装置５１は、各関節座標の組み合わせ（基準ノズルＮＣを各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に相対させるスカラロボット２６の姿勢）に対して、各ノズルＮのノズル番号に対応した「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせを演算する。そして、制御装置５１は、各スカラロボットの姿勢に対して、対応する姿勢における各ノズルＮの「目標速度」と「目標加速度」の双方を対応させた「速度・加速度情報ＶａＩ」を生成する。（ステップＳ１２）。
【０１１３】
「速度・加速度情報ＶａＩ」を生成すると、制御装置５１は、記憶部５２の「駆動電圧情報ＶｈＩ」と「速度・加速度情報ＶａＩ」を参照して「駆動電圧Ｖｈ」を演算する。すなわち、制御装置５１は、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に対応する全てのノズルＮ（全てのノズル番号）に対して、それぞれ液滴Ｆｂの重量を「目標重量Ｉｗ」にするための「駆動電圧Ｖｈ」を演算する（ステップＳ１３）。
【０１１４】
「駆動電圧Ｖｈ」を演算すると、制御装置５１は、記憶部５２の飛行速度情報ＶｍＩと「速度・加速度情報ＶａＩ」を参照して、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に対応する全てのノズルＮ（全てのノズル番号）に対して、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算する（ステップ１４）
「飛行速度Ｖｍ」を演算すると、制御装置５１は、「速度・加速度情報ＶａＩ」及び「飛行速度Ｖｍ」に基づいて、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」における全てのノズルＮ（全てのノズル番号）に対して、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算する（ステップＳ１５）。
【０１１５】
すなわち、図１０に示すように、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを第１の「教示位置Ｐｔ」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズルに対応する各「着弾位置Ｐｅ」を、それぞれ「第１着弾位置Ｐ１」（第１着弾座標Ｔ１）として演算する。ま
た、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを各「補間点」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズルに対応する各「着弾位置Ｐｅ」を「補間着弾位置ＰＳ」（補間着弾座標ＴＳ）として演算する。
【０１１６】
同様にして、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを第１の「教示位置Ｐｔ」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズル以外のノズルＮに対応する「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算する。また、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを各「補間点」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズル以外のノズルＮに対応する「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算する。
【０１１７】
各「着弾座標Ｓｅ」を演算すると、制御装置５１は、各選択ノズルに対応する「第１着弾座標Ｔ１」と、対応する「目標座標Ｓｐ」との間の距離（着弾誤差Ｄｒ）が、それぞれ「基準誤差Ｄｐ」以上であるか否かを判断する。（ステップＳ１６）。
【０１１８】
そして、図１０に示すように、各着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄｐ」未満である（「第１着弾座標Ｔ１」が図１０における２点鎖線の円内に位置する）と判断する（ステップＳ１６においてＹＥＳ）。すると、制御装置５１は、第１の「教示位置Ｐｔ」（各目標位置Ｐ）の直上に基準ノズルＮＣ（選択ノズル）が位置するタイミングで、対応する選択ノズルからの液滴Ｆｂを吐出させるように「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成する（ステップＳ１７）。すなわち、各ノズル番号に対応する補正時間を０秒にした「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成する。
【０１１９】
「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」と「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応するノズルＮの数量分のビットデータをビットマップデータＢＭＤから抽出する。また、制御装置５１は、抽出したビットデータからなる吐出制御信号ＳＩを生成して、同吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送する。
【０１２０】
そして、制御装置５１は、選択ノズルの各々に対応する「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１をそれぞれ生成して、各圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に出力し、吐出重量設定プログラムＰＧ１を終了する（ステップＳ１８）。
【０１２１】
一方、着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄｐ」以上である（「第１着弾座標Ｔ１」が図１１及び図１２における２点鎖線の円外に位置する）と判断すると（ステップＳ１６においてＮＯ）。すると、制御装置５１は、着弾位置補正プログラムＰＧ２を実行する（ステップＳ２０）。尚、本実施形態では、着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄｐ」以上になる「目標位置Ｐ」（「目標座標Ｓｐ」）を、「補正用目標位置ＰＨ」（「補正用目標座標ＳＨ」）とし、補正用目標位置ＰＨに関連付けられたノズルＮを補正用ノズルという。
【０１２２】
着弾位置補正プログラムＰＧ２を実行すると、図１３に示すように、制御装置５１は、まず補正用ノズルの吐出タイミングの変更によって補正可能か否かを判断する（ステップＳ２１）。すなわち、「補正用目標座標ＳＨ」近傍の「第１着弾座標Ｔ１」及び「補間着弾座標ＴＳ」が、同「補正用目標座標ＳＨ」の目標軌跡方向ＲＡに位置するか否かを判断する。
【０１２３】
そして、図１１に示すように、「第１着弾位置Ｔ１」及び「補間着弾座標ＴＳ」が目標軌跡方向ＲＡに沿って位置すると判断する（ステップ２１おいてＹＥＳ）。すると、制御装置５１は、「補正用目標座標ＳＨ」に対して目標軌跡方向ＲＡの反対側に位置する「補間着弾座標ＴＳ」と、同「補正用目標座標ＳＨ」との間の距離（補正距離ＬＨ）を演算す
る。補正距離ＬＨを演算すると、制御装置５１は、補正距離ＬＨ及び「速度・加速度情報ＶａＩ」に基づいて、補正距離ＬＨ分に相対する吐出ヘッド３２の走査時間（補正時間）を演算する。補正時間を演算すると、制御装置５１は、補正用ノズルと「補正用目標座標ＳＨ」との組み合わせに対して、補正時間を設定する。すなわち、制御装置５１は、補正用ノズルに対して、「補間着弾座標ＴＳ」の直上に位置するタイミングから補正時間分だけ遅延させて吐出させるための「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成して記憶部５２に格納する（ステップＳ２２）。
【０１２４】
「吐出タイミング情報ＴａＩ」を格納すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」と「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応するノズルＮの数量分のビットデータをビットマップデータＢＭＤから抽出する。また、制御装置５１は、抽出したビットデータに対して「吐出タイミング情報ＴａＩ」に従う遅延処理を施して吐出制御信号ＳＩを生成し、同吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送する。
【０１２５】
そして、制御装置５１は、選択ノズルの各々に対応する「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１をそれぞれ生成して、各圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて吐出ヘッド駆動回路６５に出力し、着弾位置補正プログラムＰＧ２を終了する（ステップＳ２３）
一方、「補正用目標座標ＳＨ」の目標軌跡方向ＲＡの反対側に「第１着弾位置Ｔ１」及び「補間着弾座標ＴＳ」がないと判断すると（ステップＳ２１おいてＮＯ）、制御装置５１は、隣接するノズルＮによって補正可能か否かを判断する。すなわち、隣接するノズルＮに対応する「第１着弾座標Ｔ１」、「補間着弾座標ＴＳ」及び「着弾座標Ｓｅ」の中から、「補正用目標座標ＳＨ」との間の距離が「基準誤差Ｄｐ」未満となる「第１着弾座標Ｔ１」、「補間着弾座標ＴＳ」、「着弾座標Ｓｅ」があるか否かを判断する（ステップＳ２４）。
【０１２６】
そして、図１２に示すように、「補正用目標座標ＳＨ」との間の距離が「基準誤差Ｄｐ」未満となる隣接するノズルＮの「第１着弾座標Ｔ１」あるいは「着弾座標Ｓｅ」がある（隣接するノズルＮの「第１着弾座標Ｔ１」あるいは「着弾座標Ｓｅ」が図１２における２点鎖線の円内に位置する）と判断する（ステップ２４においてＹＥＳ）。すると、制御装置５１は、「補正用目標座標ＳＨ」を、それぞれ隣接するノズルＮのノズル番号に関連付けた「ノズル番号情報ＰｎＩ」を生成して記憶部５２に格納する（ステップＳ２５）。
【０１２７】
「ノズル番号情報ＰｎＩ」を格納すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」と「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応するノズルＮの数量分のビットデータをビットマップデータＢＭＤから抽出する。また、制御装置５１は、抽出したビットデータに対して「ノズル番号情報ＰｎＩ」に従う並べ替え処理を施した吐出制御信号ＳＩを生成し、同吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送する。
【０１２８】
そして、制御装置５１は、選択ノズルの各々に対応する「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１をそれぞれ生成して、各圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて吐出ヘッド駆動回路６５に出力し、着弾位置補正プログラムＰＧ２を終了する（ステップＳ２３）
一方、隣接するノズルＮによって補正が不可能であると判断すると（ステップＳ２３においてＮＯ）、制御装置５１は、補間演算部５３による補間処理、すなわち軌跡作成の設定を変更する旨のメッセージを入出力部６１に表示させて着弾位置補正プログラムＰＧ２を終了する（ステップＳ２５）。
【０１２９】
吐出重量設定プログラムＰＧ１（着弾位置補正プログラムＰＧ２）を終了すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４を介してスカラロボット２６を駆動制御し、「目標関節座標情報ＢｐＩ」に基づくヘッドユニット３０の走査を開始する。
【０１３０】
すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４の演算する基準ノズルＮＣ（第３アーム２８ｃの手先）の現在位置に基づいて、基準ノズルＮＣが「補間点」及び「教示位置Ｐｔ」の直上に位置するタイミングで、吐出ヘッド駆動回路６５に対して吐出タイミング信号ＬＰを出力する。吐出ヘッド駆動回路６５は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを圧電素子ＰＺに対応させてシリアル／パラレル変換する。そして、吐出ヘッド駆動回路６５は、吐出タイミング信号ＬＰを受けるタイミングで、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺ（選択ノズル）に、それぞれ対応する圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１（「駆動電圧Ｖｈ」）を供給する。また、吐出ヘッド駆動回路６５は、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩをレーザヘッド駆動回路６６に出力する。
【０１３１】
この際、各圧電素子ＰＺには、対応するノズルＮの「目標速度」及び「目標加速度」に対応して、液滴Ｆｂの重量を「目標重量Ｉｗ」にさせる「駆動電圧Ｖｈ」が付与される。しかも、各圧電素子ＰＺには、吐出する液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」（「着弾位置Ｐｅ」）に基づいて、対応する「目標位置Ｐ」との間の距離を短縮させる着弾位置補正の施された圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１が供給される。
【０１３２】
従って、吐出された液滴Ｆｂは、その重量を「目標重量Ｉｗ」にするととともに、「飛行速度Ｖｍ」で飛行して、対応する「目標位置Ｐ」の領域に対して位置ズレすることなく着弾する。
【０１３３】
そして、吐出動作の開始から照射待機時間だけ経過すると、制御装置５１は、各照射位置Ｐｂを「目標位置Ｐ」に相対させて、吐出制御信号ＳＩに基づいて選択された半導体レーザＬＤに、それぞれレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給し、選択された半導体レーザＬＤから一斉にレーザ光Ｂを出射する。
【０１３４】
半導体レーザＬＤから出射されたレーザ光Ｂは、反射ミラーＭに全反射されて、照射位置Ｐｂ（「目標位置Ｐ」）の液滴Ｆｂの領域に照射される。レーザ光Ｂの照射された液滴Ｆｂは、その溶媒あるいは分散媒の蒸発と金属微粒子の焼成によってドットＤとして表面２Ｍａに固着する。これによって、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応する各目標位置Ｐに対応したドットＤが形成される。
【０１３５】
以後同様に、制御装置５１は、ヘッドユニット３０を「目標軌跡Ｒ」に沿うように順次走査して、スカラロボット駆動回路６４の演算する基準ノズルＮＣ（第３アーム２８ｃの手先）が「補間点」及び「教示位置Ｐｔ」の直上に位置するタイミングで、吐出タイミング信号ＬＰを出力する。そして、吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺ（選択ノズル）に、それぞれ対応する圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１（「駆動電圧Ｖｈ」）を供給する。
【０１３６】
これによって、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂを「目標位置Ｐ」に着弾させることができ、同液滴Ｆｂの領域にレーザ光Ｂを照射させることができる。そして、マザー基板２Ｍの各コード領域Ｓ内に、均一な形状のドットＤを形成させることができる。
【０１３７】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に対応させて、「駆動電圧情報ＶｈＩ」として記憶部５２に格納した。
そして、「駆動電圧情報ＶｈＩ」に基づいて、ノズルＮの「目標速度」及び「目標加速度」、さらには描画データＩａで指定された「目標重量Ｉｗ」に対応する「駆動電圧Ｖｈ」を演算し、その「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を生成して、対応する圧電素子ＰＺに供給させるようにした。
【０１３８】
従って、ヘッドユニット３０を高速移動したり、加速又は減速させたりする場合であっても、液滴Ｆｂの重量を「目標重量Ｉｗ」にすることができる。その結果、液滴Ｆｂの吐出動作を安定化させることができ、ドットＤの生産性を向上させることができる。
（２）しかも、「目標速度」と「目標加速度」の双方に基づいて、「駆動電圧Ｖｈ」を演算させるようにした。その結果、「目標速度」と「目標加速度」のいずれか一方に基づいて演算させる場合に比べて、吐出ヘッド３２の運動状態を詳細に反映させることができ、より正確に液滴Ｆｂの重量を制御させることができる。
（３）上記実施形態によれば、「飛行速度Ｖｍ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「駆動電圧Ｖｈ」に対応させて、飛行速度情報ＶｍＩとして記憶部５２に格納した。そして、飛行速度情報ＶｍＩに基づいて、ノズルＮの「目標速度」及び「目標加速度」、さらには前記「駆動電圧Ｖｈ」に対応する「飛行速度Ｖｍ」を演算させて、その「飛行速度Ｖｍ」を利用して、液滴Ｆｂの着弾位置Ｐｅ（「着弾座標Ｓｅ」）を演算させるようにした。また、演算させた「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を短縮させるように各種補正を実行させるようにした。
【０１３９】
従って、ヘッドユニット３０を高速移動したり、加速又は減速させたりする場合であっても、液滴Ｆｂの着弾位置Ｐｅの位置精度を維持する、あるいは向上させることができる。その結果、液滴Ｆｂの吐出動作を安定化させることができ、ドットＤの生産性を向上させることができる。
（４）しかも、「目標速度」と「目標加速度」の双方に基づいて、「着弾座標Ｓｅ」を演算させるようにした。その結果、「目標速度」と「目標加速度」のいずれか一方に基づいて規定させる場合に比べて、吐出ヘッド３２の運動状態を詳細に反映させることができ、より正確に着弾位置を制御させることができる。
（５）上記実施形態によれば、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」の位置関係に基づいて、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの変更、あるいは液滴Ｆｂを吐出させるノズルＮの変更を施して「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を短縮させるようにした。従って、着弾位置の位置補正方法を拡大させることができ、液滴Ｆｂの吐出動作を、より安定化させることができる。
（６）上記実施形態によれば、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの補正と、液滴Ｆｂを吐出させるノズル番号の補正の双方で、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を基準誤差Ｄ０未満に補正できない場合には、補間処理の設定変更を促す旨のメッセージを表示させるようにした。従って、目標位置Ｐに対応した目標軌跡Ｒの作成を円滑に進めることができ、ドットＤの生産性を、さらに向上させることができる。
【０１４０】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、補間処理で生成した「補間点」に基づいて、「目標速度」及び「目標加速度」を演算する構成にした。これに限らず、例えば、吐出ヘッド３２の走査時間が最短になるように、補間処理において、予め最大となる「目標速度」及び「目標加速度」を設定し、同「目標速度」及び「目標加速度」に対応した補間処理を実行するようにしてもよく、「目標速度」あるいは「目標加速度」に基づいて吐出制御する構成であればよい。
・上記実施形態では、「目標速度」及び「目標加速度」の双方に基づいて吐出制御させる構成にした。これに限らず、例えば、「目標速度」のみに基づいて吐出制御させる構成にしてもよく、あるいは「目標加速度」のみに基づいて吐出制御させる構成にしてもよい。これによれば、演算速度を高速化させることができ、軌跡（補間点）等の演算による工程
遅延を回避することができる。
・上記実施形態では、「教示位置Ｐｔ」と「補間点」に基づいて、「目標速度」及び「目標加速度」を演算する構成にした。これに限らず、例えばヘッドユニット３０に速度・加速度センサを設け、速度・加速度センサの検出する速度及び加速度に基づいて、吐出制御させる構成にしてもよく、速度・加速度の演算あるいは計測方法に限定されるものではない。
・上記実施形態では、「駆動電圧情報ＶｈＩ」を補間式として具体化したが、これに限らず、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に対応させたルックアップテーブルであってもよく、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に基づいて導出可能な情報であればよい。
・上記実施形態では、「飛行速度情報ＶｍＩ」を補間式として具体化した。これに限らず「飛行速度情報ＶｍＩ」は、「飛行速度Ｖｍ」を、「目標速度」、「目標加速度」、「目標重量Ｉｗ」及び「駆動電圧Ｖｈ」に対応させたルックアップテーブルであってもよく、「目標速度」、「目標加速度」、「目標重量Ｉｗ」及び「駆動電圧Ｖｈ」に基づいて「飛行速度Ｖｍ」を導出可能な情報であればよい。
・上記実施形態では、ノズル配列方向Ａｎを目標軌跡方向ＲＡと直交するように構成した。これに限らず、ノズル配列方向Ａｎを目標軌跡方向ＲＡに傾斜させるように構成してもよい。これによれば、ノズル配列方向Ａｎを傾斜させる分だけ、目標軌跡方向ＲＡから見たノズルＮの形成ピッチを縮小させることができ、液滴吐出装置２０を、より微細なパターンの描画に対応させることができる。
・上記実施形態では、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１の「駆動電圧Ｖｈ」に基づいて液滴Ｆｂの重量を制御させる構成にした。これに限らず、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１の駆動波形によって液滴Ｆｂの重量を制御させる構成にしてもよい。例えば、引込保持期間Ｗ１２の時間や押出期間Ｗ１３の時間等、液状体Ｆを加圧する加圧速度等を変量して液滴Ｆｂの重量を制御させる構成にしてもよい。さらには、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を短期間に連続して供給し、押出期間Ｗ１３の回数によって、同位置に着弾可能な連続する液滴Ｆｂの数量（総重量）を制御させる構成にしてもよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの補正と、液滴Ｆｂを吐出させるノズル番号の補正の双方で、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を「基準誤差Ｄ０」未満に補正できない場合には、補間処理の設定変更を促す旨のメッセージを表示させるようにした。これに限らず、例えば、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」の位置関係に基づいて、「着弾座標Ｓｅ」を「目標座標Ｓｐ」に対応させるための補間パラメータを制御装置５１に変更させて、別途補間処理（「補間点」の演算）を実行させる構成にしてもよい。
・上記実施形態では、ヘッドユニット３０にレーザヘッド３７を搭載する構成にしたが、これに限らず、レーザヘッド３７を搭載しない構成であってもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド３２の移動速度を、より高速で制御することができ、識別コード１０の生産性を向上させことができる。
・上記実施形態では、移動手段を多関節ロボットに具体化したが、これに限らず、ヘッドユニット３０を対象物上で移動可能な手段であればよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって、液滴Ｆｂを乾燥・焼成する構成にした。これに限らず、例えば照射するレーザ光Ｂのエネルギーによって、液滴Ｆｂを所望の方向に流動させる構成にしてもよく、あるいは液滴Ｆｂの外縁のみに照射して液滴Ｆｂをピニングする構成にしてもよい。すなわち、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって液滴Ｆｂからなるパターンを形成する構成であればよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂによって半円球状のドットＤを形成する構成にしたが、これに限らず、例えば、楕円形状のドットや線状のパターンを形成する構成であってもよい。
・上記実施形態では、吐出した液滴Ｆｂによって識別コード１０のドットＤを形成する構成にした。これに限らず、例えば液晶表示装置１や、平面状の電子放出素子を備えて同素
子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤ等）に設けられる各種薄膜、金属配線、カラーフィルタ等を形成する構成にしてもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する構成であればよい。
・上記実施形態では、対象物をマザー基板２Ｍに具体化したが、これに限らず、例えばシリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板等であってもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する対象物であればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本実施形態における液晶表示装置を示す平面図。
【図２】同じく、液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図３】同じく、液滴吐出装置を示す概略平面図。
【図４】同じく、ヘッドユニットを示す概略側面図。
【図５】同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。
【図６】同じく、液滴吐出ヘッドを説明する説明図。
【図７】同じく、圧電素子駆動電圧を説明するタイミングチャート。
【図８】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【図９】同じく、吐出重量設定プログラムを説明するフローチャート。
【図１０】同じく、吐出重量設定プログラムを説明する説明図。
【図１１】同じく、着弾位置補正プログラムを説明する説明図。
【図１２】同じく、着弾位置補正プログラムを説明する説明図。
【図１３】同じく、着弾位置補正プログラムを説明するフローチャート。
【符号の説明】
【０１４２】
２Ｍ…対象物としてのマザー基板、２０…液滴吐出装置、２６…移動手段としての多関節ロボット、３２…液滴吐出ヘッド、５２…記憶手段としての記憶部、Ｆ…液状体、Ｆｂ…液滴、Ｐ…目標位置。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス表示装置等の表示装置には、画像を表示するための基板が備えられている。この種の基板には、品質管理や製造管理を目的として、その製造元や製品番号等の製造情報をコード化した識別コード（例えば、２次元コード）が形成されている。こうした識別コードは、配列された多数のパターン形成領域（データセル）の一部に、パターンとしてのコードパターン（例えば、有色の薄膜や凹部等のドット）を備え、そのコードパターンの有無によって製造情報を再現可能にしている。
【０００３】
こうした識別コードの形成方法には、金属箔にレーザ光を照射してコードパターンをスパッタ成膜するレーザスパッタ法や、研磨材を含んだ水を基板等に噴射してコードパターンを刻印するウォータージェット法が提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【０００４】
しかし、上記レーザスパッタ法では、所望するサイズのコードパターンを得るために、金属箔と基板の間隙を、数〜数十μｍに調整しなければならない。つまり、基板と金属箔の表面に対して非常に高い平坦性が要求され、しかも、これらの間隙をμｍオーダの精度で調整しなければならない。その結果、識別コードを形成できる対象基板が制限されて、その汎用性を損なう問題を招いていた。また、ウォータージェット法では、基板の刻印時に、水や塵埃、研磨剤等が飛散するため、同基板を汚染する問題があった。
【０００５】
そこで、こうした生産上の問題を解消する識別コードの形成方法として、インクジェット法が注目されている。インクジェット法では、金属微粒子を含む液滴を液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して、その液滴を乾燥させることによってコードパターンを形成する。そのため、識別コードを形成する基板の対象範囲を拡大することができ、同基板の汚染等を回避して識別コードを形成することができる。
【特許文献１】特開平１１−７７３４０号公報
【特許文献２】特開２００３−１２７５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記する表示装置の製造工程では、その生産性を向上させるために、１枚のマザー基板に複数の識別コードを形成するとともに、各識別コードに対応する基板の領域をそれぞれ切出すことによって、１枚のマザー基板から複数の基板を製造させるようにしている。
【０００７】
そのため、上記インクジェット法では、マザー基板上に点在する識別コード上でのみ、液滴吐出ヘッドの液滴吐出動作を実行させている。その結果、識別コードを形成するための工程時間の大半を、識別コード間を移動する液滴吐出ヘッドの移動時間に費やしていた。
【０００８】
そこで、上記インクジェット法では、こうした識別コードの生産性を向上させるために、液滴吐出ヘッドを多関節ロボット等の移動手段に搭載させるとともに、搭載した液滴吐出ヘッドを、少なくとも２次元方向に高速移動させることが望まれていた。
【０００９】
しかしながら、液滴吐出ヘッドを高速移動させると、その速度・加速度の変動に伴って
、液状体を加圧するための加圧手段（例えば、圧電素子）の加圧量や、ノズル内の液状体界面（メニスカス）の形状に変動を来たす虞があった。その結果、吐出する液滴の重量（容量）や飛行速度の変動、着弾位置の位置ズレ等、各種液滴吐出動作の動作不良を招く問題があった。
【００１０】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴吐出動作の安定化を図り、パターンの生産性を向上させたパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のパターン形成方法は、対象物上で移動する液滴吐出ヘッドの圧力室に貯留されたパターン形成材料を含む液状体を加圧して、前記液状体の液滴を吐出口から前記対象物に向かって吐出し、前記対象物に着弾した前記液滴によってパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて吐出制御するようにした。
【００１２】
本発明のパターン形成方法によれば、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて吐出制御を行うことができる。従って、液滴吐出ヘッドを高速移動させたり、加速又は減速させたりする場合でも、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００１３】
このパターン形成方法において、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００１４】
このパターン形成方法によれば、吐出する液滴の重量や容量、さらには飛行速度を、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に対応させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。
【００１５】
このパターン形成方法において、前記液滴の重量が所定の重量になるように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量と前記圧力室を加圧する加圧速度のいずれか一方を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００１６】
このパターン形成方法によれば、液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に関わらず、圧力室の加圧量の制御によって、所定の重量からなる液滴を吐出させることができる。従って、対象物の目標位置に所定の重量からなる液滴を着弾させることができる。
【００１７】
このパターン形成方法において、所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記圧力室を加圧するタイミングを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００１８】
このパターン形成方法によれば、液滴の飛行速度が変動する場合であっても、圧力室を加圧するタイミングの制御によって、所定の重量からなる液滴を目標位置に着弾させることができる。
【００１９】
このパターン形成方法において、所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて複数の前記吐出口の中から選択するようにしてもよい。
【００２０】
このパターン形成方法によれば、液滴の飛行速度が変動する場合であっても、吐出口の選択によって、所定の重量からなる液滴を目標位置に着弾させることができる。
このパターン形成方法において、所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記対象物に対する前記液滴吐出ヘッドの移動経路を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて変更するようにしてもよい。
【００２１】
このパターン形成方法によれば、液滴の飛行速度が変動する場合であっても、対象物に対する液滴吐出ヘッドの移動経路の変更によって、所定の重量からなる液滴を目標位置に着弾させることができる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、を備えた。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて吐出制御を行うことができる。従って、液滴吐出ヘッドを加速又は減速させる場合でも、液滴吐出ヘッドの加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００２４】
この液滴吐出装置において、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて制御するようにしてもよい。
【００２５】
この液滴吐出装置によれば、吐出する液滴の重量や容量、さらには飛行速度を、液滴吐出ヘッドの加速度に対応させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。
【００２６】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの加速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００２７】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて液滴を吐出制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【００２８】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて選択するようにしてもよい。
【００２９】
この液滴吐出装置によれば、液滴を吐出する吐出口の位置を、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて選択させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に対応した制御範
囲を拡張させることができ、液滴の吐出動作を、より安定化させることができる。
【００３０】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの加速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００３１】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて、液滴を吐出させる吐出口の位置を制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの加速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【００３２】
本発明の液滴吐出装置は、圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、を備えた。
【００３３】
本発明の液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドの速度に基づいて吐出制御を行うことができる。従って、液滴吐出ヘッドを高速で移動させる場合でも、液滴吐出ヘッドの速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００３４】
この液滴吐出装置において、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて制御してもよい。
【００３５】
この液滴吐出装置によれば、吐出する液滴の重量（容量）や飛行速度を、液滴吐出ヘッドの速度に対応させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に関わらず、液滴の吐出動作を安定化させることができる。
【００３６】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００３７】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて吐出制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【００３８】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて選択するようにしてもよい。
【００３９】
この液滴吐出装置によれば、液滴を吐出する吐出口の位置を、液滴吐出ヘッドの速度に基づいて選択させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に対応した制御範囲を拡張させることができ、液滴の吐出動作を、より安定化させることができる。
【００４０】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御するようにしてもよい。
【００４１】
この液滴吐出装置によれば、予め記憶する吐出制御情報に基づいて、液滴を吐出させる吐出口の位置を制御させることができる。従って、液滴吐出ヘッドの速度に基づいた吐出制御の再現性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１３に従って説明する。まず、本発明のパターン形成方法を利用して形成した識別コードを有する液晶表示装置１について説明する。
【００４３】
図１において、基板２の一側面（表面２ａ）には、その略中央位置に液晶分子を封入した四角形状の表示部３が形成されるとともに、その表示部３の外側に、走査線駆動回路４及びデータ線駆動回路５が形成されている。液晶表示装置１は、これら走査線駆動回路４が供給する走査信号と、データ線駆動回路５が供給するデータ信号に基づいて、前記表示部３内の液晶分子の配向状態を制御するようになっている。そして、液晶表示装置１は、図示しない照明装置からの平面光を液晶分子の配向状態によって変調して、表示部３の領域に所望の画像を表示するようになっている。
【００４４】
表面２ａの左側下隅には、一辺が約１ｍｍの正方形からなるコード領域Ｓが区画形成されて、そのコード領域Ｓ内には、１６行×１６列のデータセルＣが仮想分割されている。そのコード領域Ｓの選択されたデータセルＣの領域には、それぞれパターンとしてのドットＤが形成されるとともに、これら複数のドットＤによって、液晶表示装置１の識別コード１０が構成されている。
【００４５】
本実施形態では、データセルＣの中心位置を「目標位置Ｐ」とし、「目標位置Ｐ」の直交座標系の位置座標を、「目標座標Ｓｐ」という（図６及び図８参照）。
また、本実施形態では、前記「目標位置Ｐ」であって、コード領域ＳのＸ矢印方向略中心位置（Ｘ矢印方向から８列目にあたる１６個の「目標位置Ｐ」）に位置する「目標位置Ｐ」を、それぞれ「教示位置Ｐｔ」とし、「教示位置Ｐｔ」に関する「目標座標Ｓｐ」を、「教示座標Ｔｐ」という。さらに、本実施形態では、各データセルＣの一辺の長さを「セル幅Ｗ」という。
【００４６】
各ドットＤは、その外径がデータセルＣの一辺の長さ（前記「セル幅Ｗ」）で形成された半球状のパターンである。このドットＤは、パターン形成材料としての金属微粒子（例えば、ニッケル微粒子やマンガン微粒子）を分散媒に分散させた液状体Ｆ（図６参照）の液滴ＦｂをデータセルＣに吐出して、データセルＣに着弾した液滴Ｆｂにレーザ光Ｂ（図６参照）を照射して乾燥・焼成させることによって形成されている。このドットＤのサイズは、吐出する各液滴Ｆｂの重量を所定の重量（「目標重量Ｉｗ」：図８参照）にすることによって均一化されている。
【００４７】
そして、識別コード１０は、各データセルＣ内のドットＤの有無によって、液晶表示装置１の製品番号やロット番号等を再現させるようになっている。
本実施形態では、上記基板２の長手方向をＸ矢印方向とし、Ｘ矢印方向と直交する方向をＹ矢印方向という。
【００４８】
次に、前記識別コード１０を形成するための液滴吐出装置２０について説明する。尚、本実施形態では、複数の前記基板２を切出し可能にした対象物としてのマザー基板２Ｍに、点在する複数の前記識別コード１０を形成する場合について説明する。
【００４９】
図２において、液滴吐出装置２０には、略直方体形状に形成された基台２１が備えられて、その基台２１の一側（Ｘ矢印方向側）には、複数の前記マザー基板２Ｍを収容する基板ストッカ２２が配設されている。基板ストッカ２２は、図２における上下方向（Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向）に移動して、収容する各マザー基板２Ｍをそれぞれ基台２１上に搬出可能にするとともに、基台２１上のマザー基板２Ｍを対応するスロットに搬入可能にしている。
【００５０】
基台２１の上面２１ａであって、その基板ストッカ２２側（反Ｘ矢印方向側）には、Ｙ矢印方向に延びる走行装置２３が配設されている。走行装置２３は、その内部に設けられた走行モータＭＳ（図８参照）の出力軸に駆動連結される搬送装置２４を、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に走行させるようになっている。搬送装置２４は、マザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂを吸着把持可能にした搬送アーム２４ａを有する水平多関節ロボットであって、その内部に設けられた搬送モータＭＴ（図８参照）の出力軸に駆動連結される搬送アーム２４ａを、ＸＹ平面上で伸縮自在に回動するとともに、上下方向に移動するようになっている。
【００５１】
基台２１の上面２１ａであって、そのＹ矢印方向両側には、マザー基板２Ｍの表面２Ｍａを上側にして同マザー基板２Ｍを載置する一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌが併設されている。一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌは、それぞれ載置するマザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂ側に、前記搬送アーム２４ａを抜き出し可能にする空間（凹部２５ａ）を有して、同凹部２５ａ内で前記搬送アーム２４ａを上動及び下動することによりマザー基板２Ｍの搬送及び載置を可能にしている。
【００５２】
そして、走行モータＭＳ及び搬送モータＭＴに所定の駆動制御信号を供給すると、走行装置２３及び搬送装置２４は、前記基板ストッカ２２内の各マザー基板２Ｍを搬出して、搬出したマザー基板２Ｍを、載置台２５Ｒ，２５Ｌのいずれか一方に載置するようになっている。また、走行装置２３及び搬送装置２４は、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置したマザー基板２Ｍを、基板ストッカ２２内の所定のスロットに搬入して回収するようになっている。
【００５３】
尚、本実施形態では、図３に示すように、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置されたマザー基板２Ｍのコード領域Ｓであって、その最もＸ矢印方向側から順に、１行目コード領域Ｓ１、２行目コード領域Ｓ２、・・・、５行目コード領域Ｓ５という。
【００５４】
図２において、基台２１の上面２１ａであって、前記一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌの間には、移動手段としての多関節ロボット（以下単に、スカラロボットという。）２６が配設されて、そのスカラロボット２６には、基台２１の上面２１ａに固設されて上方（Ｚ矢印方向）に延びる主軸２７が備えられている。
【００５５】
主軸２７の上端には、主軸２７に設置された第１モータＭ１（図８参照）の出力軸に駆動連結される第１アーム２８ａが水平方向（ＸＹ平面方向）に回動可能に連結されている
。その第１アーム２８ａの手先には、第１アーム２８ａに設置された第２モータＭ２（図８参照）の出力軸に駆動連結される第２アーム２８ｂが水平方向に回動可能に連結されている。第２アーム２８ｂの手先には、第２アーム２８ｂに設置された第３モータＭ３（図８参照）の出力軸に駆動連結される円柱状の第３アーム２８ｃが、そのＺ矢印方向に沿う軸心を回動中心にして回動可能に連結されている。その第３アーム２８ｃの下端部（手先）にはヘッドユニット３０が配設されている。
【００５６】
そして、これら第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３に、各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃの各関節をそれぞれ所定の関節角（関節座標）にさせる信号を供給する。すると、スカラロボット２６は、各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃを回動して、第３アーム２８ｃの手先（回動中心：ヘッドユニット３０）を上面２１ａ上の所定領域（図３に示す２点鎖線の領域：走査領域Ｅ）内で移動（走査）するようになっている。
【００５７】
尚、本実施形態のスカラロボット２６は、各コード領域Ｓの各「教示位置Ｐｔ」（「教示座標Ｔｐ」）を教示点とした移動経路としての「目標軌跡Ｒ」に沿って、第３アーム２８ｃの手先（回動中心）を移動させて、ヘッドユニット３０を走査させるようになっている。
【００５８】
詳述すると、図３の矢印で示すように、スカラロボット２６は、まず、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、第３アーム２８ｃの手先（回動中心：ヘッドユニット３０）を、１行目コード領域Ｓ１の反Ｙ矢印方向側（以下単に、「始点」という。）に配置移動させる。そして、ヘッドユニット３０を「始点」に配置移動させると、スカラロボット２６は、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を、１行目コード領域Ｓ１の直上でＹ矢印方向に沿うように移動（走査）させる。ヘッドユニット３０を１行目コード領域Ｓ１上で走査させると、スカラロボット２６は、第３アーム２８ｃを左回りに回動してヘッドユニット３０を１８０度だけ左回りに回転させながら、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を２行目コード領域Ｓ２の最もＹ矢印方向側まで旋回させる。ヘッドユニット３０を２行目コード領域Ｓ２上まで旋回させると、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０を、２行目コード領域Ｓ２の直上で反Ｙ矢印方向に沿うように移動（走査）させる。
【００５９】
以後同様にして、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０を、３行目、４行目、５行目コード領域Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の順に、そのＹ矢印方向あるいは反Ｙ矢印方向に沿って走査させて、５行目コード領域のＹ矢印方向側（以下単に、「終点」という。）まで配置移動させる。すなわち、本実施形態のスカラロボット２６は、ヘッドユニット３０の配置方向をヘッドユニット３０の移動する方向に対応させるようになっている。そして、スカラロボット２６は、各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を駆動制御して、第３アーム２８ｃの手先（ヘッドユニット３０）の軌跡が各「コード領域Ｓ」上方を結ぶ滑らかな九十九折り状の「目標軌跡Ｒ」を描くように、第３アーム２８ｃの手先の速度・加速度を変調させるようになっている。尚、本実施形態では、「目標軌跡Ｒ」に沿う方向を、目標軌跡方向ＲＡという。
【００６０】
図４において、ヘッドユニット３０には、箱体状に形成された液状体タンク３１が配設されるとともに、その液状体タンク３１の下側には、液滴吐出ヘッド（以下単に、「吐出ヘッド」という。）３２が配設されている。液状体タンク３１は、前記液状体Ｆを導出可能に収容するとともに、収容する液状体Ｆを、液滴吐出ヘッド３２に導出するようになっている。その液状体タンク３１のマザー基板２Ｍ側（下側）には、液滴吐出ヘッド３２（以下単に、吐出ヘッド３２という。）が配設されている。
【００６１】
図５は、吐出ヘッド３２を、マザー基板２Ｍ側から見た斜視図である。図５において、吐出ヘッド３２の下側（図５の上側）には、ノズルプレート３３が備えられて、そのノズルプレート３３の下面（ノズル形成面３３ａ）には、マザー基板２Ｍの法線方向（Ｚ矢印方向）に沿って貫通形成された複数の円形孔（吐出口としてのノズルＮ）が配列されている。
【００６２】
各ノズルＮは、スカラロボット２６がヘッドユニット３０を「目標軌跡Ｒ」に沿って走査させるときに、その配列方向（ノズル配列方向Ａｎ）が、図３に示す目標軌跡方向ＲＡと略直交するように配列形成されている。また、各ノズルＮは、そのノズル配列方向Ａｎに沿う形成ピッチが、前記「セル幅Ｗ」と同じサイズで形成されている。すなわち、本実施形態の各ノズルＮは、スカラロボット２６がヘッドユニット３０を「目標軌跡Ｒ」に沿って走査させるときに、選択された連続する１６個のノズルＮが、それぞれ各「目標位置Ｐ」と相対向するように形成されている。
【００６３】
本実施形態では、ノズルＮの１つであって、各「教示位置Ｐｔ」（前記第３アーム２８ｃの回動中心）に相対するノズルＮを、基準ノズルＮＣという。
図６において、各ノズルＮの上側には、前記液状体タンク３１に連通する圧力室としてのキャビティ３４が形成されて、液状体タンク３１の導出する液状体Ｆを、それぞれ対応するノズルＮ内に供給するようになっている。各キャビティ３４の上側には、上下方向に振動可能な振動板３５が貼り付けられて、キャビティ３４内の容積を拡大・縮小するようになっている。振動板３５の上側には、各ノズルＮに対応する複数の圧電素子ＰＺが配設されるとともに、所定の駆動信号（圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１：図８参照）を受けて上下方向に収縮・伸張するようになっている。
【００６４】
詳述すると、図７に示すように、本実施形態の圧電素子ＰＺは、引込期間Ｗ１１、引込保持期間Ｗ１２、押出期間Ｗ１３、押出保持期間Ｗ１４及び引込期間Ｗ１５からなる駆動波形の圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を受けて収縮・伸張するようになっている。引込期間Ｗ１１は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を中間電位Ｖｂよりも高い電位（「駆動電圧Ｖｈ」）に昇圧させる期間であって、圧電素子ＰＺを収縮させるとともに、ノズルＮ内の液状体界面（メニスカスＫ）をノズルＮ内に引き込んで凹曲面を形成させるようになっている。引込保持期間Ｗ１２は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を「駆動電圧Ｖｈ」に保持させる期間であって、ノズル内に引き込んだメニスカスＫを安定保持させるようになっている。押出期間Ｗ１３は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を最低電位ＶＬまで直線的に降圧させる期間であって、圧電素子ＰＺを伸張させるとともに、メニスカスＫを凸曲面状にして液滴Ｆｂを吐出させるようになっている。押出保持期間Ｗ１４は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を最低電位ＶＬに所定の時間だけ保持させる期間であり、液滴Ｆｂを吐出したメニスカスＫの形状を安定させるようになっている。引込期間Ｗ１５は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を最低電位ＶＬから中間電位Ｖｂまでの直線的な昇圧させるようになっている。
【００６５】
そして、圧電素子ＰＺに、これら引込期間Ｗ１１、引込保持期間Ｗ１２、押出期間Ｗ１３、押出保持期間Ｗ１４及び引込期間Ｗ１５からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を供給する。すると、圧電素子ＰＺの収縮・伸張にともなって、対応するノズルＮ内のメニスカスＫが振動して液滴Ｆｂが吐出される。
【００６６】
この際、吐出される液滴Ｆｂは、一般的に、メニスカスＫを振動させるパラメータ（例えば、液状体Ｆを加圧する加圧量（引込保持期間Ｗ１２の「駆動電圧Ｖｈ」）や、液状体Ｆを加圧する加圧速度（押出期間Ｗ１３の傾き）等）に対応した重量や飛行速度で吐出される。
【００６７】
そのため、上記する九十九折状の「目標軌跡Ｒ」に沿って吐出ヘッド３２の速度・加速
度が変動すると、メニスカスＫの位置や形状、圧電素子ＰＺの伸張幅や振動板３５の振幅は、ヘッドユニット３０の速度・加速度に応じて変動するようになる。その結果、吐出する液滴Ｆｂの重量や飛行速度（着弾する位置）が、対応する「目標位置Ｐ」毎に変動するようになる。
【００６８】
そこで、本実施形態の液滴吐出装置２０では、各「目標位置Ｐ」の上方を通過するときのヘッドユニット３０（各ノズルＮ）の速度・加速度を演算させて、吐出する液滴Ｆｂの重量が「目標重量Ｉｗ」になるように、引込保持期間Ｗ１２の「駆動電圧Ｖｈ」を補正させるようになっている。すなわち、液滴吐出装置２０では、ノズルＮの速度・加速度に応じて変動する液滴Ｆｂの重量を、対応する「駆動電圧Ｖｈ」によって、補正（重量補正）させるようになっている。
【００６９】
しかも、液滴吐出装置２０では、各「目標位置Ｐ」の上方を通過するときの各ノズルＮの速度・加速度と、補正後の「駆動電圧Ｖｈ」を利用して、吐出する液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算させるようになっている。さらに、液滴吐出装置２０では、演算した「飛行速度Ｖｍ」を利用して、対応する液滴Ｆｂの着弾する位置（「着弾位置Ｐｅ」：図１０参照）の座標（「着弾座標Ｓｅ」：図１０参照）を演算させるようになっている。そして、「着弾座標Ｓｅ」が、対応する「目標位置Ｐ」の位置座標（「目標座標Ｓｐ」）になるように、各種補正（例えば、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの補正や、液滴Ｆｂを吐出させるノズルＮの位置補正等：着弾位置補正）を施すようなっている。
【００７０】
そして、図６に示すように、予め選択したノズルＮが、対応する「目標位置Ｐ」の上方を、着弾位置補正されたタイミングで通過するときに、同ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺに対して、重量補正された「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を供給する。すると、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂが、対応するノズルＮから吐出されて、吐出された液滴Ｆｂが、「飛行速度Ｖｍ」で飛行して、対応する「着弾座標Ｓｅ」（「目標位置Ｐ」）に着弾する。
【００７１】
図４において、ヘッドユニット３０であって、その目標軌跡方向ＲＡの反対側には、レーザヘッド３７が配設されている。レーザヘッド３７の内部には、各ノズルＮに対応する複数の半導体レーザＬＤが、ノズル配列方向Ａｎに沿って配列されている。各半導体レーザＬＤは、それぞれ半導体レーザＬＤを駆動制御するための信号（レーザ駆動電圧ＣＯＭ２：図８参照）を受けて、液滴Ｆｂの吸収波長に対応した波長領域のレーザ光Ｂを、その直下（反Ｚ矢印方向）に出射するようになっている。
【００７２】
レーザヘッド３７の下端であって、半導体レーザＬＤの直下（マザー基板２Ｍ側）には、各半導体レーザＬＤに対応する複数の反射ミラーＭが、ノズル配列方向Ａｎに沿って配列されている。反射ミラーＭは、対応する半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂを吐出ヘッド３２側に全反射するとともに、全反射したレーザ光Ｂを、対応する「目標位置Ｐ」の目標軌跡方向ＲＡの反対側に導くようになっている。
【００７３】
本実施形態では、マザー基板２Ｍ上の位置であって、レーザ光Ｂの光軸が表面２Ｍａと交差する位置を、照射位置Ｐｂとし、照射位置Ｐｂの直交座標系における位置座標を、「照射位置座標Ｂｒ」という。
【００７４】
また、本実施形態では、「着弾座標Ｓｅ」と「照射位置座標Ｂｒ」との間の距離を、照射待機距離Ｌｗという。
そして、各「目標位置Ｐ」が照射位置Ｐｂに相対するタイミングで、対応する半導体レーザＬＤにレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給する。すると、対応する半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂが、対応する反射ミラーＭに全反射されて、照射位置Ｐｂに位置する液滴Ｆ
ｂの領域に照射される。液滴Ｆｂの領域に照射されたレーザ光Ｂは、液滴Ｆｂの溶媒あるいは分散媒等を蒸発（乾燥）して、同液滴Ｆｂの金属微粒子を焼成する。これによって、「目標位置Ｐ」には、データセルＣに対応する所定重量（容積）のドットＤが形成される。
【００７５】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置２０の電気的構成を図８に従って説明する。
図８において、液滴吐出装置２０には、ＣＰＵ等からなる制御装置５１が設けられている。制御装置５１は、基準ノズルＮＣ（第３アーム２８ｃの手先）の現在位置と各種制御プログラムに従って、走行装置２３、搬送装置２４及びスカラロボット２６を駆動するとともに、吐出ヘッド３２及びレーザヘッド３７を駆動制御させるようになっている。
【００７６】
制御装置５１には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入出力部６１が接続されている。入出力部６１は、制御装置５１からの各種メッセージを表示するとともに、識別コード１０に関する情報が既定形式の「描画データＩａ」として入力されるようになっている。そして、制御装置５１は、入出力部６１からの描画データＩａに所定の展開処理を施してビットマップデータＢＭＤを生成するとともに、ビットマップデータＢＭＤに基づいて各「目標座標Ｓｐ」（各「教示座標Ｔｐ」）を生成するようになっている。また、制御装置５１は、描画データＩａに対して、ビットマップデータＢＭＤと異なる展開処理を施して、ドットＤのサイズに関する情報、すなわち「目標重量Ｉｗ」を生成するようになっている。
【００７７】
ビットマップデータＢＭＤは、直交座標系における描画平面（マザー基板２Ｍの表面２Ｍａ）を仮想分割した各位置に液滴Ｆｂを吐出させるか否かを示すデータであって、各ビットの値（０あるいは１）に応じて、各圧電素子ＰＺを駆動するか否かを規定するデータである。すなわち、ビットマップデータＢＭＤは、「目標軌跡Ｒ」に沿って吐出ヘッド３２を走査するときに、走査する吐出ヘッド３２の各ノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させるか否かを規定させるためのデータである。
【００７８】
制御装置５１には、各種ＲＡＭやＲＯＭ等からなる記憶手段としての記憶部５２が設けられて、各種演算処理の処理領域として利用されるとともに、各種プログラムや各種データ、さらには各種演算処理の処理結果等が格納されるようになっている。
【００７９】
詳述すると、記憶部５２には、液滴Ｆｂの吐出重量を補正するための吐出重量設定プログラムＰＧ１や着弾位置を補正するための着弾位置補正プログラムＰＧ２等の各種プログラムが格納されている。また、記憶部５２には、前記「目標座標Ｓｐ」、前記「目標重量Ｉｗ」及び前記ビットマップデータＢＭＤが格納されるようになっている。さらに、記憶部５２には、「ノズル番号情報ＰｎＩ」、「目標関節座標情報ＢｐＩ」、「速度・加速度情報ＶａＩ」、吐出制御情報を構成する「駆動電圧情報ＶｈＩ」、「飛行速度情報ＶｍＩ」、「吐出タイミング情報ＴａＩ」及び「基準誤差Ｄ０」が格納されるようになっている。
【００８０】
「ノズル番号情報ＰｎＩ」は、各ノズルＮの位置を識別可能にする識別情報（ノズル番号）を利用して、前記各「目標座標Ｓｐ」を、それぞれノズル番号に対応させた情報である。そして、制御装置５１は、「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、各「目標座標Ｓｐ」に対応する液滴Ｆｂを、それぞれ「目標座標Ｓｐ」に対応するノズル番号のノズルＮから吐出させるようになっている。
【００８１】
「目標関節座標情報ＢｐＩ」は、各「教示座標Ｔｐ」と、各「教示座標Ｔｐ」の間を結ぶ複数の「補間点」の座標を、それぞれ対応するスカラロボットの姿勢（各関節の関節座標の組み合わせ）に対応させた情報である。すなわち、「目標関節座標情報ＢｐＩ」は、
「教示座標Ｔｐ」及び「補間点」の座標を、それぞれ対応する「教示座標Ｔｐ」あるいは「補間点」の座標に基準ノズルＮＣを相対させるスカラロボットの姿勢に対応させた情報である。
【００８２】
そして、制御装置５１は、「目標関節座標情報ＢｐＩ」をスカラロボット駆動回路６４に出力して、各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を駆動制御するとともに、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）を、「教示座標Ｔｐ」あるいは各「補間点」に相対させるようになっている。
【００８３】
「速度・加速度情報ＶａＩ」は、各スカラロボットの姿勢（各関節の関節座標の組み合わせ）に対して、対応する姿勢における各ノズルＮの速度（「目標速度」）及び加速度（「目標加速度」）を対応させた情報である。そして、制御装置５１は、「速度・加速度情報ＶａＩ」を参照して、各スカラロボットの姿勢における各ノズルＮからの液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算するようになっている。
【００８４】
「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に対応させた情報である。そして、制御装置５１は、描画データＩａで指定される「目標重量Ｉｗ」の液滴Ｆｂを吐出させるための「駆動電圧Ｖｈ」を演算するようになっている。そして、制御装置５１は、演算した「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を生成して、同圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に出力するようになっている。
【００８５】
尚、本実施形態の「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、予め試験等に基づいて導き出された多項式等の補間式である。すなわち、「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、予め多数の「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせにおいて、液滴Ｆｂの重量が、所定の「目標重量Ｉｗ」になるときの「駆動電圧Ｖｈ」を計測し、その計測結果に基づいて、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせを補間するように設定されている。つまり、「駆動電圧情報ＶｈＩ」は、「目標重量Ｉｗ」の液滴Ｆｂを吐出させるための「駆動電圧Ｖｈ」を、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせに対して導出可能にした情報である。
【００８６】
「飛行速度情報ＶｍＩ」は、「飛行速度Ｖｍ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「駆動電圧Ｖｈ」に対応させた情報である。そして、制御装置５１は、「目標速度」、「目標加速度」及び「駆動電圧Ｖｈ」に基づいて、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算するとともに、その「飛行速度Ｖｍ」を利用して、液滴Ｆｂの「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算するようになっている。
【００８７】
尚、本実施形態の「飛行速度情報ＶｍＩ」は、予め試験等に基づいて導き出された多項式等の補間式である。すなわち、「飛行速度情報ＶｍＩ」は、予め多数の「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせにおいて、液滴Ｆｂの重量が所定の「目標重量Ｉｗ」になるときの着弾位置を計測し、その計測結果に基づいて、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせを補間するように設定されている。つまり、「飛行速度情報ＶｍＩ」は、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を、全ての「目標速度」及び「目標加速度」（全方位、大きさ）の組み合わせに対して導出可能にした情報である。
【００８８】
「基準誤差Ｄ０」は、「目標位置Ｐ」に対応する「着弾位置Ｐｅ」の誤差を規定するものであって、「飛行速度Ｖｍ」に基づいて演算される液滴Ｆｂの「着弾座標Ｓｅ」と、対応する「目標座標Ｓｐ」との間の距離（着弾誤差Ｄｒ）の範囲を規定するものである。そして、制御装置５１は、着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄ０」未満であるか否かを判断するよ
うになっている。
【００８９】
「吐出タイミング情報ＴａＩ」は、「目標座標Ｓｐ」とノズル番号の組み合わせを、液滴Ｆｂを吐出させるタイミング（補正時間）に対応させた情報である。尚、本実施形態における補正時間は、ノズル番号に対応するノズルＮが、同ノズル番号に対応する「目標座標Ｓｐ」（もしくは「補間点」の座標位置）の直上に位置するタイミングを基準とした時間である。
【００９０】
そして、「目標座標Ｓｐ」（もしくは「補間点」の座標位置）の直上に、対応するノズルＮが移動すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」を参照して、同ノズルＮに対応する補正時間だけ遅延させたタイミングで、同ノズルＮからの液滴Ｆｂを吐出させるようになっている。
【００９１】
制御装置５１には、補間演算部５３が設けられている。補間演算部５３は、連続する３つの「教示位置Ｐｔ」（「教示座標Ｔｐ」（始点も含む））の間の空間を、所定の補間周期（例えば、ビットマップデータＢＭＤの分割周期）で予め設定された補間処理（直線補間、円弧補間、自由曲線補間、あるいはこれらの組み合わせ等）を実行するようになっている。そして、補間演算部５３は、連続する３つの「教示座標Ｔｐ」の間の空間を結ぶ複数の「補間点」（「目標軌跡Ｒ」の一部）の位置座標を直交座標系で順次演算するようになっている。
【００９２】
この際、補間演算部５３は、連続する３つの中の中間に位置する「教示座標Ｔｐ」（中間「教示座標Ｔｐ」）に対して、基準ノズルＮＣに対応するノズル番号を関連付けるようなっている。また、補間演算部５３は、中間「教示座標Ｔｐ」のノズル配列方向Ａｎにあたる１５個の「目標座標Ｓｐ」に対して、それぞれ対応するノズルＮのノズル番号を関連付けるようになっている。すなわち、補間演算部５３は、「補間点」を演算する毎に、中間「教示位置Ｐｔ」を含むノズル配列方向Ａｎの１６個の「目標位置Ｐ」のそれぞれに対して、液滴Ｆｂを吐出させるためのノズルＮのノズル番号を関連付けるようになっている。
【００９３】
そして、補間演算部５３は、ノズル配列方向Ａｎに沿う各「目標座標Ｓｐ」をノズル番号に対応させた情報、すなわち前記「ノズル番号情報ＰｎＩ」を生成して、記憶部に格納させるようになっている。尚、補間演算部５３によって、各「目標位置Ｐ」に関連付けられたノズル番号のノズルＮを、「選択ノズル」という。
【００９４】
制御装置５１には、逆変換部５４が設けられている。逆変換部５４は、各「補間点」の位置座標と中間「教示座標Ｔｐ」のそれぞれに対して、スカラロボット２６の姿勢（各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃの関節座標）を順次演算するようになっている。そして、逆変換部５４は、各関節座標の組み合わせを、それぞれ対応する「補間点」もしくは中間「教示位置Ｐｔ」に関連付けた情報、すなわち前記「目標関節座標情報ＢｐＩ」を生成して、記憶部５２に格納させるようになっている。
【００９５】
この際、逆変換部５４は、スカラロボット２６の姿勢、各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３の最大トルク、各アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃのアーム長、慣性モーメント等に基づいて、各関節座標の組み合わせにおけるヘッドユニット３０の速度・加速度を直交座標系で演算するようになっている。また、逆変換部５４は、演算したヘッドユニット３０の速度・加速度とノズルＮの形成ピッチ等に基づいて、各関節座標の組み合わせにおける各「ノズルＮ」の「目標速度」と「目標加速度」を順次演算するようになっている。そして、逆変換部５４は、スカラロボット２６の姿勢（各関節座標の組み合わせ）毎に、ノズルＮのノズル番号に対応した「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせに関する情報、すなわち前
記「速度・加速度情報ＶａＩ」を生成して、記憶部５２に格納させるようになっている。
【００９６】
制御装置５１には、ビットマップデータ転送部５５が設けられている。ビットマップデータ転送部５５は、前記「ノズル番号情報ＰｎＩ」と前記「吐出タイミング情報ＴａＩ」に基づいて、ビットマップデータＢＭＤの一部を、吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送するようになっている。
【００９７】
詳述すると、ビットマップデータ転送部５５は、「ノズル番号情報ＰｎＩ」に基づいて、描画平面上における各ノズル（「選択ノズル」）の移動経路に対応するビットデータ（ビットマップデータＢＭＤの一部）を順次抽出するようなっている。また、ビットマップデータ転送部５５は、順次抽出したビットデータ（ビットマップデータＢＭＤの一部）を、「吐出タイミング情報ＴａＩ」の規定するタイミングに基づいて、所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送するようになっている。
【００９８】
例えば、「吐出タイミング情報ＴａＩ」にて、基準ノズルＮＣが所定の位置（補正位置）を通過するタイミングで、同基準ノズルＮＣから吐出する液滴Ｆｂの吐出タイミングを所定の時間（補正時間）だけ遅延させるように規定されたとする。すると、ビットマップデータ転送部５５は、抽出して順次転送するビットデータ（ビットマップデータＢＭＤの一部）の中から、補正位置の基準ノズルＮＣに対応するビットデータ（０あるいは１）のみを、所定の時間だけ遅延させた位置で転送するようになっている。これによって、描画平面上における所望する位置の吐出タイミングのみを変更可能にしている。尚、本実施形態では、ビットマップデータ転送部５５が吐出ヘッド駆動回路６５に転送するビットデータを、「吐出制御信号ＳＩ」という。
【００９９】
制御装置５１には、走行装置駆動回路６２が接続されて、走行装置駆動回路６２に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。走行装置駆動回路６２には、走行モータＭＳと走行モータ回転検出器ＭＳＥが接続されて、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して走行モータＭＳを正転または逆転させるとともに、走行モータ回転検出器ＭＳＥからの検出信号に基づいて、搬送装置２４の移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【０１００】
制御装置５１には、搬送装置駆動回路６３が接続されて、搬送装置駆動回路６３に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。搬送装置駆動回路６３には、搬送モータＭＴと搬送モータ回転検出器ＭＴＥが接続されて、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して搬送モータＭＴを正転または逆転させるとともに、搬送モータ回転検出器ＭＴＥからの検出信号に基づいて、搬送アーム２４ａの移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【０１０１】
制御装置５１には、スカラロボット駆動回路６４が接続されて、スカラロボット駆動回路６４に対応する駆動制御信号（前記「目標関節座標情報ＢｐＩ」）を出力するようになっている。スカラロボット駆動回路６４には、第１モータＭ１、第２モータＭ２及び第３モータＭ３が接続されて、制御装置５１からの「目標関節座標情報ＢｐＩ」に応答して、第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を対応する関節座標まで正転または逆転させるようになっている。また、スカラロボット駆動回路６４には、第１モータ回転検出器Ｍ１Ｅ、第２モータ回転検出器Ｍ２Ｅ及び第３モータ回転検出器Ｍ３Ｅが接続されて、第１、第２及び第３モータ回転検出器Ｍ１Ｅ，Ｍ２Ｅ，Ｍ３Ｅからの検出信号に基づいて、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）の移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【０１０２】
そして、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４を介して、ヘッドユニット３０
を「目標軌跡Ｒ」に沿って九十九折り状に走査するとともに、スカラロボット駆動回路６４からの演算結果（基準ノズルＮＣの現在位置）に基づいて、各種制御信号を出力する。すなわち、制御装置５１は、基準ノズルＮＣが走査を開始するタイミングで、吐出ヘッド駆動回路６５に対して、所定の周波数（例えば、補間周波数）からなる吐出タイミング信号ＬＰの出力を開始するようになっている。尚、本実施形態では、基準ノズルＮＣの位置が、各「教示位置Ｐｔ」及び各「補間点」に位置するタイミングで、前記吐出タイミング信号ＬＰが出力されるようになっている。
【０１０３】
制御装置５１には、吐出ヘッド駆動回路６５が接続されて、前記吐出タイミング信号ＬＰを出力するようになっている。また、制御装置５１は、前記圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に出力するようになっている。さらにまた、制御装置５１は、前記ビットマップデータ転送部５５を介して、生成した吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送するようになっている。吐出ヘッド駆動回路６５は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを、各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換するようになっている。
【０１０４】
そして、吐出ヘッド駆動回路６５は、制御装置５１からの吐出タイミング信号ＬＰを受けると、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺに、それぞれ対応する圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１（「駆動電圧Ｖｈ」）を供給するようになっている。すなわち、制御装置５１は、吐出タイミング信号ＬＰを受ける毎に、吐出制御信号ＳＩで規定されたノズルＮから「目標重量Ｉｗ」の液滴Ｆｂを吐出し、吐出した液滴Ｆｂを「飛行速度Ｖｍ」で飛行させて、対応する「目標位置Ｐ」に着弾させるようになっている。
【０１０５】
また、制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路６５を介して、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩをレーザヘッド駆動回路６６に出力するようになっている。
制御装置５１には、レーザヘッド駆動回路６６が接続されて、所定のクロック信号に同期させたレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を出力するようになっている。そして、レーザヘッド駆動回路６６は、吐出ヘッド駆動回路６５からの吐出制御信号ＳＩを受けると、所定の時間（照射待機時間）だけ待機して、吐出制御信号ＳＩに対応した各半導体レーザＬＤに、それぞれレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給するようになっている。尚、本実施形態の照射待機時間は、前記「速度・加速度情報ＶａＩ」と「飛行速度Ｖｍ」に基づいて設定されている。
【０１０６】
詳述すると、本実施形態の照射待機時間は、基準ノズルＮＣ（照射位置Ｐｂ）の照射待機距離Ｌｗ分の走査時間に、対応する液滴Ｆｂの「飛行時間」を加算した時間である。すなわち、照射待機時間は、液滴Ｆｂの吐出動作の開始時（吐出制御信号ＳＩを受けたとき）から、同液滴Ｆｂが対応する照射位置Ｐｂに相対するまでの時間に設定されている。
【０１０７】
そして、レーザヘッド駆動回路６６が吐出ヘッド駆動回路６５からの吐出制御信号ＳＩを受ける。すると、制御装置５１は、レーザヘッド駆動回路６６を介して、ヘッドユニット３０を照射待機時間だけ走査して、照射位置Ｐｂが対応する「目標位置Ｐ」に位置するタイミングで、「目標位置Ｐ」の液滴Ｆｂの領域に向かってレーザ光Ｂを照射するようになっている。
【０１０８】
次に、液滴吐出装置２０を使って識別コード１０を形成する方法について説明する。
はじめに、入出力部６１を操作して描画データＩａを制御装置５１に入力する。すると、制御装置５１は、走行装置駆動回路６２及び搬送装置駆動回路６３を介して、走行装置２３及び搬送装置２４を駆動制御し、基板ストッカ２２のマザー基板２Ｍを載置台２５Ｒ（載置台２５Ｌ）に搬送して載置する。
【０１０９】
マザー基板２Ｍを載置すると、制御装置５１は、描画データＩａに所定の展開処理を施して、ビットマップデータＢＭＤ、「目標座標Ｓｐ」（「教示座標Ｔｐ」）及び「目標重量Ｉｗ」を生成し、これらビットマップデータＢＭＤ、「目標座標Ｓｐ」（「教示座標Ｔｐ」）及び「目標重量Ｉｗ」を記憶部５２に格納する。
【０１１０】
展開処理して生成した各種情報を格納すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４を介して、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）を始点まで移動させる。この間、制御装置５１は、吐出重量設定プログラムＰＧ１を記憶部５２から読み出して、第３アーム２８ｃの手先（基準ノズルＮＣ）の軌跡制御を開始する。
【０１１１】
すなわち、図９に示すように、制御装置５１は、まず補間演算部５３を介して、「始点」と、１行目コード領域Ｓ１の最も反Ｙ矢印方向側の「教示位置Ｐｔ」（第１の「教示位置Ｐｔ」）と、第１の「教示位置Ｐｔ」のＹ矢印方向側の「教示位置Ｐｔ」（第２の「教示位置Ｐｔ」）と、を利用した補間処理を実行する。これによって、制御装置５１は、「始点」、第１の「教示位置Ｐｔ」、第２の「教示位置Ｐｔ」との間に、それぞれ複数の「補間点」を作成して、「始点」、第１の「教示位置Ｐｔ」、第２の「教示位置Ｐｔ」との間に、それぞれ「補間点」からなる軌跡を作成する。そして、制御装置５１は、補間演算部５３を介して、第１の「教示位置Ｐｔ」を含むノズル配列方向Ａｎの各「目標位置Ｐ」に対して、液滴Ｆｂを吐出させるためのノズルＮのノズル番号を関連付けて、「ノズル番号情報ＰｎＩ」として格納する（ステップＳ１１）。
【０１１２】
「ノズル番号情報ＰｎＩ」を格納すると、制御装置５１は、逆変換部５４を介して、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に対応する各関節座標の組み合わせを演算して、「目標関節座標情報ＢｐＩ」を生成する。各「目標関節座標情報ＢｐＩ」を生成すると、制御装置５１は、各関節座標の組み合わせ（基準ノズルＮＣを各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に相対させるスカラロボット２６の姿勢）に対して、各ノズルＮのノズル番号に対応した「目標速度」と「目標加速度」の組み合わせを演算する。そして、制御装置５１は、各スカラロボットの姿勢に対して、対応する姿勢における各ノズルＮの「目標速度」と「目標加速度」の双方を対応させた「速度・加速度情報ＶａＩ」を生成する。（ステップＳ１２）。
【０１１３】
「速度・加速度情報ＶａＩ」を生成すると、制御装置５１は、記憶部５２の「駆動電圧情報ＶｈＩ」と「速度・加速度情報ＶａＩ」を参照して「駆動電圧Ｖｈ」を演算する。すなわち、制御装置５１は、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に対応する全てのノズルＮ（全てのノズル番号）に対して、それぞれ液滴Ｆｂの重量を「目標重量Ｉｗ」にするための「駆動電圧Ｖｈ」を演算する（ステップＳ１３）。
【０１１４】
「駆動電圧Ｖｈ」を演算すると、制御装置５１は、記憶部５２の飛行速度情報ＶｍＩと「速度・加速度情報ＶａＩ」を参照して、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」に対応する全てのノズルＮ（全てのノズル番号）に対して、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」を演算する（ステップ１４）
「飛行速度Ｖｍ」を演算すると、制御装置５１は、「速度・加速度情報ＶａＩ」及び「飛行速度Ｖｍ」に基づいて、各「補間点」及び第１の「教示位置Ｐｔ」における全てのノズルＮ（全てのノズル番号）に対して、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂの「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算する（ステップＳ１５）。
【０１１５】
すなわち、図１０に示すように、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを第１の「教示位置Ｐｔ」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズルに対応する各「着弾位置Ｐｅ」を、それぞれ「第１着弾位置Ｐ１」（第１着弾座標Ｔ１）として演算する。ま
た、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを各「補間点」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズルに対応する各「着弾位置Ｐｅ」を「補間着弾位置ＰＳ」（補間着弾座標ＴＳ）として演算する。
【０１１６】
同様にして、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを第１の「教示位置Ｐｔ」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズル以外のノズルＮに対応する「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算する。また、制御装置５１は、基準ノズルＮＣを各「補間点」に相対させるスカラロボット２６の姿勢において、選択ノズル以外のノズルＮに対応する「着弾位置Ｐｅ」（「着弾座標Ｓｅ」）を演算する。
【０１１７】
各「着弾座標Ｓｅ」を演算すると、制御装置５１は、各選択ノズルに対応する「第１着弾座標Ｔ１」と、対応する「目標座標Ｓｐ」との間の距離（着弾誤差Ｄｒ）が、それぞれ「基準誤差Ｄｐ」以上であるか否かを判断する。（ステップＳ１６）。
【０１１８】
そして、図１０に示すように、各着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄｐ」未満である（「第１着弾座標Ｔ１」が図１０における２点鎖線の円内に位置する）と判断する（ステップＳ１６においてＹＥＳ）。すると、制御装置５１は、第１の「教示位置Ｐｔ」（各目標位置Ｐ）の直上に基準ノズルＮＣ（選択ノズル）が位置するタイミングで、対応する選択ノズルからの液滴Ｆｂを吐出させるように「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成する（ステップＳ１７）。すなわち、各ノズル番号に対応する補正時間を０秒にした「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成する。
【０１１９】
「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」と「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応するノズルＮの数量分のビットデータをビットマップデータＢＭＤから抽出する。また、制御装置５１は、抽出したビットデータからなる吐出制御信号ＳＩを生成して、同吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送する。
【０１２０】
そして、制御装置５１は、選択ノズルの各々に対応する「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１をそれぞれ生成して、各圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路６５に出力し、吐出重量設定プログラムＰＧ１を終了する（ステップＳ１８）。
【０１２１】
一方、着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄｐ」以上である（「第１着弾座標Ｔ１」が図１１及び図１２における２点鎖線の円外に位置する）と判断すると（ステップＳ１６においてＮＯ）。すると、制御装置５１は、着弾位置補正プログラムＰＧ２を実行する（ステップＳ２０）。尚、本実施形態では、着弾誤差Ｄｒが「基準誤差Ｄｐ」以上になる「目標位置Ｐ」（「目標座標Ｓｐ」）を、「補正用目標位置ＰＨ」（「補正用目標座標ＳＨ」）とし、補正用目標位置ＰＨに関連付けられたノズルＮを補正用ノズルという。
【０１２２】
着弾位置補正プログラムＰＧ２を実行すると、図１３に示すように、制御装置５１は、まず補正用ノズルの吐出タイミングの変更によって補正可能か否かを判断する（ステップＳ２１）。すなわち、「補正用目標座標ＳＨ」近傍の「第１着弾座標Ｔ１」及び「補間着弾座標ＴＳ」が、同「補正用目標座標ＳＨ」の目標軌跡方向ＲＡに位置するか否かを判断する。
【０１２３】
そして、図１１に示すように、「第１着弾位置Ｔ１」及び「補間着弾座標ＴＳ」が目標軌跡方向ＲＡに沿って位置すると判断する（ステップ２１おいてＹＥＳ）。すると、制御装置５１は、「補正用目標座標ＳＨ」に対して目標軌跡方向ＲＡの反対側に位置する「補間着弾座標ＴＳ」と、同「補正用目標座標ＳＨ」との間の距離（補正距離ＬＨ）を演算す
る。補正距離ＬＨを演算すると、制御装置５１は、補正距離ＬＨ及び「速度・加速度情報ＶａＩ」に基づいて、補正距離ＬＨ分に相対する吐出ヘッド３２の走査時間（補正時間）を演算する。補正時間を演算すると、制御装置５１は、補正用ノズルと「補正用目標座標ＳＨ」との組み合わせに対して、補正時間を設定する。すなわち、制御装置５１は、補正用ノズルに対して、「補間着弾座標ＴＳ」の直上に位置するタイミングから補正時間分だけ遅延させて吐出させるための「吐出タイミング情報ＴａＩ」を生成して記憶部５２に格納する（ステップＳ２２）。
【０１２４】
「吐出タイミング情報ＴａＩ」を格納すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」と「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応するノズルＮの数量分のビットデータをビットマップデータＢＭＤから抽出する。また、制御装置５１は、抽出したビットデータに対して「吐出タイミング情報ＴａＩ」に従う遅延処理を施して吐出制御信号ＳＩを生成し、同吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送する。
【０１２５】
そして、制御装置５１は、選択ノズルの各々に対応する「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１をそれぞれ生成して、各圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて吐出ヘッド駆動回路６５に出力し、着弾位置補正プログラムＰＧ２を終了する（ステップＳ２３）
一方、「補正用目標座標ＳＨ」の目標軌跡方向ＲＡの反対側に「第１着弾位置Ｔ１」及び「補間着弾座標ＴＳ」がないと判断すると（ステップＳ２１おいてＮＯ）、制御装置５１は、隣接するノズルＮによって補正可能か否かを判断する。すなわち、隣接するノズルＮに対応する「第１着弾座標Ｔ１」、「補間着弾座標ＴＳ」及び「着弾座標Ｓｅ」の中から、「補正用目標座標ＳＨ」との間の距離が「基準誤差Ｄｐ」未満となる「第１着弾座標Ｔ１」、「補間着弾座標ＴＳ」、「着弾座標Ｓｅ」があるか否かを判断する（ステップＳ２４）。
【０１２６】
そして、図１２に示すように、「補正用目標座標ＳＨ」との間の距離が「基準誤差Ｄｐ」未満となる隣接するノズルＮの「第１着弾座標Ｔ１」あるいは「着弾座標Ｓｅ」がある（隣接するノズルＮの「第１着弾座標Ｔ１」あるいは「着弾座標Ｓｅ」が図１２における２点鎖線の円内に位置する）と判断する（ステップ２４においてＹＥＳ）。すると、制御装置５１は、「補正用目標座標ＳＨ」を、それぞれ隣接するノズルＮのノズル番号に関連付けた「ノズル番号情報ＰｎＩ」を生成して記憶部５２に格納する（ステップＳ２５）。
【０１２７】
「ノズル番号情報ＰｎＩ」を格納すると、制御装置５１は、「吐出タイミング情報ＴａＩ」と「ノズル番号情報ＰｎＩ」を参照して、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応するノズルＮの数量分のビットデータをビットマップデータＢＭＤから抽出する。また、制御装置５１は、抽出したビットデータに対して「ノズル番号情報ＰｎＩ」に従う並べ替え処理を施した吐出制御信号ＳＩを生成し、同吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路６５に順次シリアル転送する。
【０１２８】
そして、制御装置５１は、選択ノズルの各々に対応する「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１をそれぞれ生成して、各圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて吐出ヘッド駆動回路６５に出力し、着弾位置補正プログラムＰＧ２を終了する（ステップＳ２３）
一方、隣接するノズルＮによって補正が不可能であると判断すると（ステップＳ２３においてＮＯ）、制御装置５１は、補間演算部５３による補間処理、すなわち軌跡作成の設定を変更する旨のメッセージを入出力部６１に表示させて着弾位置補正プログラムＰＧ２を終了する（ステップＳ２５）。
【０１２９】
吐出重量設定プログラムＰＧ１（着弾位置補正プログラムＰＧ２）を終了すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４を介してスカラロボット２６を駆動制御し、「目標関節座標情報ＢｐＩ」に基づくヘッドユニット３０の走査を開始する。
【０１３０】
すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路６４の演算する基準ノズルＮＣ（第３アーム２８ｃの手先）の現在位置に基づいて、基準ノズルＮＣが「補間点」及び「教示位置Ｐｔ」の直上に位置するタイミングで、吐出ヘッド駆動回路６５に対して吐出タイミング信号ＬＰを出力する。吐出ヘッド駆動回路６５は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを圧電素子ＰＺに対応させてシリアル／パラレル変換する。そして、吐出ヘッド駆動回路６５は、吐出タイミング信号ＬＰを受けるタイミングで、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺ（選択ノズル）に、それぞれ対応する圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１（「駆動電圧Ｖｈ」）を供給する。また、吐出ヘッド駆動回路６５は、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩをレーザヘッド駆動回路６６に出力する。
【０１３１】
この際、各圧電素子ＰＺには、対応するノズルＮの「目標速度」及び「目標加速度」に対応して、液滴Ｆｂの重量を「目標重量Ｉｗ」にさせる「駆動電圧Ｖｈ」が付与される。しかも、各圧電素子ＰＺには、吐出する液滴Ｆｂの「飛行速度Ｖｍ」（「着弾位置Ｐｅ」）に基づいて、対応する「目標位置Ｐ」との間の距離を短縮させる着弾位置補正の施された圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１が供給される。
【０１３２】
従って、吐出された液滴Ｆｂは、その重量を「目標重量Ｉｗ」にするととともに、「飛行速度Ｖｍ」で飛行して、対応する「目標位置Ｐ」の領域に対して位置ズレすることなく着弾する。
【０１３３】
そして、吐出動作の開始から照射待機時間だけ経過すると、制御装置５１は、各照射位置Ｐｂを「目標位置Ｐ」に相対させて、吐出制御信号ＳＩに基づいて選択された半導体レーザＬＤに、それぞれレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給し、選択された半導体レーザＬＤから一斉にレーザ光Ｂを出射する。
【０１３４】
半導体レーザＬＤから出射されたレーザ光Ｂは、反射ミラーＭに全反射されて、照射位置Ｐｂ（「目標位置Ｐ」）の液滴Ｆｂの領域に照射される。レーザ光Ｂの照射された液滴Ｆｂは、その溶媒あるいは分散媒の蒸発と金属微粒子の焼成によってドットＤとして表面２Ｍａに固着する。これによって、第１の「教示位置Ｐｔ」のノズル配列方向Ａｎに対応する各目標位置Ｐに対応したドットＤが形成される。
【０１３５】
以後同様に、制御装置５１は、ヘッドユニット３０を「目標軌跡Ｒ」に沿うように順次走査して、スカラロボット駆動回路６４の演算する基準ノズルＮＣ（第３アーム２８ｃの手先）が「補間点」及び「教示位置Ｐｔ」の直上に位置するタイミングで、吐出タイミング信号ＬＰを出力する。そして、吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺ（選択ノズル）に、それぞれ対応する圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１（「駆動電圧Ｖｈ」）を供給する。
【０１３６】
これによって、「目標重量Ｉｗ」からなる液滴Ｆｂを「目標位置Ｐ」に着弾させることができ、同液滴Ｆｂの領域にレーザ光Ｂを照射させることができる。そして、マザー基板２Ｍの各コード領域Ｓ内に、均一な形状のドットＤを形成させることができる。
【０１３７】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に対応させて、「駆動電圧情報ＶｈＩ」として記憶部５２に格納した。
そして、「駆動電圧情報ＶｈＩ」に基づいて、ノズルＮの「目標速度」及び「目標加速度」、さらには描画データＩａで指定された「目標重量Ｉｗ」に対応する「駆動電圧Ｖｈ」を演算し、その「駆動電圧Ｖｈ」からなる圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を生成して、対応する圧電素子ＰＺに供給させるようにした。
【０１３８】
従って、ヘッドユニット３０を高速移動したり、加速又は減速させたりする場合であっても、液滴Ｆｂの重量を「目標重量Ｉｗ」にすることができる。その結果、液滴Ｆｂの吐出動作を安定化させることができ、ドットＤの生産性を向上させることができる。
（２）しかも、「目標速度」と「目標加速度」の双方に基づいて、「駆動電圧Ｖｈ」を演算させるようにした。その結果、「目標速度」と「目標加速度」のいずれか一方に基づいて演算させる場合に比べて、吐出ヘッド３２の運動状態を詳細に反映させることができ、より正確に液滴Ｆｂの重量を制御させることができる。
（３）上記実施形態によれば、「飛行速度Ｖｍ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「駆動電圧Ｖｈ」に対応させて、飛行速度情報ＶｍＩとして記憶部５２に格納した。そして、飛行速度情報ＶｍＩに基づいて、ノズルＮの「目標速度」及び「目標加速度」、さらには前記「駆動電圧Ｖｈ」に対応する「飛行速度Ｖｍ」を演算させて、その「飛行速度Ｖｍ」を利用して、液滴Ｆｂの着弾位置Ｐｅ（「着弾座標Ｓｅ」）を演算させるようにした。また、演算させた「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を短縮させるように各種補正を実行させるようにした。
【０１３９】
従って、ヘッドユニット３０を高速移動したり、加速又は減速させたりする場合であっても、液滴Ｆｂの着弾位置Ｐｅの位置精度を維持する、あるいは向上させることができる。その結果、液滴Ｆｂの吐出動作を安定化させることができ、ドットＤの生産性を向上させることができる。
（４）しかも、「目標速度」と「目標加速度」の双方に基づいて、「着弾座標Ｓｅ」を演算させるようにした。その結果、「目標速度」と「目標加速度」のいずれか一方に基づいて規定させる場合に比べて、吐出ヘッド３２の運動状態を詳細に反映させることができ、より正確に着弾位置を制御させることができる。
（５）上記実施形態によれば、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」の位置関係に基づいて、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの変更、あるいは液滴Ｆｂを吐出させるノズルＮの変更を施して「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を短縮させるようにした。従って、着弾位置の位置補正方法を拡大させることができ、液滴Ｆｂの吐出動作を、より安定化させることができる。
（６）上記実施形態によれば、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの補正と、液滴Ｆｂを吐出させるノズル番号の補正の双方で、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を基準誤差Ｄ０未満に補正できない場合には、補間処理の設定変更を促す旨のメッセージを表示させるようにした。従って、目標位置Ｐに対応した目標軌跡Ｒの作成を円滑に進めることができ、ドットＤの生産性を、さらに向上させることができる。
【０１４０】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、補間処理で生成した「補間点」に基づいて、「目標速度」及び「目標加速度」を演算する構成にした。これに限らず、例えば、吐出ヘッド３２の走査時間が最短になるように、補間処理において、予め最大となる「目標速度」及び「目標加速度」を設定し、同「目標速度」及び「目標加速度」に対応した補間処理を実行するようにしてもよく、「目標速度」あるいは「目標加速度」に基づいて吐出制御する構成であればよい。
・上記実施形態では、「目標速度」及び「目標加速度」の双方に基づいて吐出制御させる構成にした。これに限らず、例えば、「目標速度」のみに基づいて吐出制御させる構成にしてもよく、あるいは「目標加速度」のみに基づいて吐出制御させる構成にしてもよい。これによれば、演算速度を高速化させることができ、軌跡（補間点）等の演算による工程
遅延を回避することができる。
・上記実施形態では、「教示位置Ｐｔ」と「補間点」に基づいて、「目標速度」及び「目標加速度」を演算する構成にした。これに限らず、例えばヘッドユニット３０に速度・加速度センサを設け、速度・加速度センサの検出する速度及び加速度に基づいて、吐出制御させる構成にしてもよく、速度・加速度の演算あるいは計測方法に限定されるものではない。
・上記実施形態では、「駆動電圧情報ＶｈＩ」を補間式として具体化したが、これに限らず、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に対応させたルックアップテーブルであってもよく、「駆動電圧Ｖｈ」を、「目標速度」、「目標加速度」及び「目標重量Ｉｗ」に基づいて導出可能な情報であればよい。
・上記実施形態では、「飛行速度情報ＶｍＩ」を補間式として具体化した。これに限らず「飛行速度情報ＶｍＩ」は、「飛行速度Ｖｍ」を、「目標速度」、「目標加速度」、「目標重量Ｉｗ」及び「駆動電圧Ｖｈ」に対応させたルックアップテーブルであってもよく、「目標速度」、「目標加速度」、「目標重量Ｉｗ」及び「駆動電圧Ｖｈ」に基づいて「飛行速度Ｖｍ」を導出可能な情報であればよい。
・上記実施形態では、ノズル配列方向Ａｎを目標軌跡方向ＲＡと直交するように構成した。これに限らず、ノズル配列方向Ａｎを目標軌跡方向ＲＡに傾斜させるように構成してもよい。これによれば、ノズル配列方向Ａｎを傾斜させる分だけ、目標軌跡方向ＲＡから見たノズルＮの形成ピッチを縮小させることができ、液滴吐出装置２０を、より微細なパターンの描画に対応させることができる。
・上記実施形態では、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１の「駆動電圧Ｖｈ」に基づいて液滴Ｆｂの重量を制御させる構成にした。これに限らず、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１の駆動波形によって液滴Ｆｂの重量を制御させる構成にしてもよい。例えば、引込保持期間Ｗ１２の時間や押出期間Ｗ１３の時間等、液状体Ｆを加圧する加圧速度等を変量して液滴Ｆｂの重量を制御させる構成にしてもよい。さらには、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を短期間に連続して供給し、押出期間Ｗ１３の回数によって、同位置に着弾可能な連続する液滴Ｆｂの数量（総重量）を制御させる構成にしてもよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂを吐出させるタイミングの補正と、液滴Ｆｂを吐出させるノズル番号の補正の双方で、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」との間の距離を「基準誤差Ｄ０」未満に補正できない場合には、補間処理の設定変更を促す旨のメッセージを表示させるようにした。これに限らず、例えば、「着弾座標Ｓｅ」と「目標座標Ｓｐ」の位置関係に基づいて、「着弾座標Ｓｅ」を「目標座標Ｓｐ」に対応させるための補間パラメータを制御装置５１に変更させて、別途補間処理（「補間点」の演算）を実行させる構成にしてもよい。
・上記実施形態では、ヘッドユニット３０にレーザヘッド３７を搭載する構成にしたが、これに限らず、レーザヘッド３７を搭載しない構成であってもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド３２の移動速度を、より高速で制御することができ、識別コード１０の生産性を向上させことができる。
・上記実施形態では、移動手段を多関節ロボットに具体化したが、これに限らず、ヘッドユニット３０を対象物上で移動可能な手段であればよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって、液滴Ｆｂを乾燥・焼成する構成にした。これに限らず、例えば照射するレーザ光Ｂのエネルギーによって、液滴Ｆｂを所望の方向に流動させる構成にしてもよく、あるいは液滴Ｆｂの外縁のみに照射して液滴Ｆｂをピニングする構成にしてもよい。すなわち、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって液滴Ｆｂからなるパターンを形成する構成であればよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂによって半円球状のドットＤを形成する構成にしたが、これに限らず、例えば、楕円形状のドットや線状のパターンを形成する構成であってもよい。
・上記実施形態では、吐出した液滴Ｆｂによって識別コード１０のドットＤを形成する構成にした。これに限らず、例えば液晶表示装置１や、平面状の電子放出素子を備えて同素
子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤ等）に設けられる各種薄膜、金属配線、カラーフィルタ等を形成する構成にしてもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する構成であればよい。
・上記実施形態では、対象物をマザー基板２Ｍに具体化したが、これに限らず、例えばシリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板等であってもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する対象物であればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本実施形態における液晶表示装置を示す平面図。
【図２】同じく、液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図３】同じく、液滴吐出装置を示す概略平面図。
【図４】同じく、ヘッドユニットを示す概略側面図。
【図５】同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。
【図６】同じく、液滴吐出ヘッドを説明する説明図。
【図７】同じく、圧電素子駆動電圧を説明するタイミングチャート。
【図８】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【図９】同じく、吐出重量設定プログラムを説明するフローチャート。
【図１０】同じく、吐出重量設定プログラムを説明する説明図。
【図１１】同じく、着弾位置補正プログラムを説明する説明図。
【図１２】同じく、着弾位置補正プログラムを説明する説明図。
【図１３】同じく、着弾位置補正プログラムを説明するフローチャート。
【符号の説明】
【０１４２】
２Ｍ…対象物としてのマザー基板、２０…液滴吐出装置、２６…移動手段としての多関節ロボット、３２…液滴吐出ヘッド、５２…記憶手段としての記憶部、Ｆ…液状体、Ｆｂ…液滴、Ｐ…目標位置。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物上で移動する液滴吐出ヘッドの圧力室に貯留されたパターン形成材料を含む液状体を加圧して、前記液状体の液滴を吐出口から前記対象物に向かって吐出し、前記対象物に着弾した前記液滴によってパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、
前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて吐出制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成方法において、
前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のパターン形成方法において、
前記液滴の重量が所定の重量になるように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量と前記圧力室を加圧する加圧速度のいずれか一方を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項４】
請求項３に記載のパターン形成方法において、
所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記圧力室を加圧するタイミングを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載のパターン形成方法において、
所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて複数の前記吐出口の中から選択するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記対象物に対する前記液滴吐出ヘッドの移動経路を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて変更させるようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項７】
圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、
前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置において、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドの加速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室
を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて選択することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの加速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、
前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置において、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドの速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１５】
請求項１２又は１３に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を
吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて選択することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１】
対象物上で移動する液滴吐出ヘッドの圧力室に貯留されたパターン形成材料を含む液状体を加圧して、前記液状体の液滴を吐出口から前記対象物に向かって吐出し、前記対象物に着弾した前記液滴によってパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、
前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて吐出制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成方法において、
前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のパターン形成方法において、
前記液滴の重量が所定の重量になるように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量と前記圧力室を加圧する加圧速度のいずれか一方を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項４】
請求項３に記載のパターン形成方法において、
所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記圧力室を加圧するタイミングを、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて制御するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載のパターン形成方法において、
所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて複数の前記吐出口の中から選択するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
所定の重量からなる前記液滴が前記目標位置に着弾するように、前記対象物に対する前記液滴吐出ヘッドの移動経路を、前記液滴吐出ヘッドの速度又は加速度に基づいて変更させるようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項７】
圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、
前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置において、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドの加速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室
を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度に基づいて選択することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの加速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの加速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
圧力室の液状体を加圧して前記液状体の液滴を吐出口から吐出させる加圧手段を有した液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドを対象物の上方で移動させる移動手段と、
前記加圧手段と前記移動手段を駆動制御して、前記対象物に向かって前記液滴を吐出させるとともに、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて吐出制御する吐出制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置において、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドの速度を、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか１つに対応させる吐出制御情報を記憶した記憶手段を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、少なくとも前記圧力室を加圧する加圧量、前記圧力室を加圧する加圧速度、前記圧力室を加圧するタイミングのいずれか一つを、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１５】
請求項１２又は１３に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を
吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度に基づいて選択することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記圧力室に対応する複数の前記加圧手段と、複数の前記圧力室に対応する複数の吐出口と、を備え、
前記記憶手段は、前記液滴吐出ヘッドの速度を、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置に対応させる吐出制御情報を記憶し、
前記吐出制御手段は、前記液滴が前記対象物の目標位置に着弾するように、前記液滴を吐出する前記吐出口の位置を、前記液滴吐出ヘッドの速度と前記記憶手段の記憶する前記吐出制御情報に基づいて制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００７−１３６４３１（Ｐ２００７−１３６４３１Ａ）
【公開日】平成１９年６月７日（２００７．６．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−３３７６７２（Ｐ２００５−３３７６７２）
【出願日】平成１７年１１月２２日（２００５．１１．２２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年６月７日（２００７．６．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１１月２２日（２００５．１１．２２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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