電力用半導体装置
【課題】放熱性が高く、軽量で低価格なインバータ装置用の電力用半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態の半導体装置は、第１の導電体１０、第２の導電体２０、第１の半導体チップ４１、放熱板１、及び樹脂９を備える。第１の導電体は、第１の主面１１と第１の主面に対向する第２の主面１２とを有する第１の部分１０Ａを有し、第１の主面に直交する第３の主面１３と第３の主面に対向し第３の主面から離れながら第２の主面に連続する第４の主面１４とを有する第２の部分１０Ｂを有する。第２の導電体は、第５の主面２１と前記第５の主面に対向する第６の主面２２とを有する第３の部分２０Ａを有し、第５の主面に直交する第７の主面２３と第７の主面に対向し第７の主面から離れながら第６の主面に連続する第８の主面２４とを有する第４の部分２０Ｂを有する。第１の半導体チップは、第１の導電体の第３の主面と第２の導電体の第７の主面との間に挟まれる。
【解決手段】実施形態の半導体装置は、第１の導電体１０、第２の導電体２０、第１の半導体チップ４１、放熱板１、及び樹脂９を備える。第１の導電体は、第１の主面１１と第１の主面に対向する第２の主面１２とを有する第１の部分１０Ａを有し、第１の主面に直交する第３の主面１３と第３の主面に対向し第３の主面から離れながら第２の主面に連続する第４の主面１４とを有する第２の部分１０Ｂを有する。第２の導電体は、第５の主面２１と前記第５の主面に対向する第６の主面２２とを有する第３の部分２０Ａを有し、第５の主面に直交する第７の主面２３と第７の主面に対向し第７の主面から離れながら第６の主面に連続する第８の主面２４とを有する第４の部分２０Ｂを有する。第１の半導体チップは、第１の導電体の第３の主面と第２の導電体の第７の主面との間に挟まれる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インバータ装置に用いられる電力用半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電車、電気自動車、及びエアーコンディショナーなどのモーター駆動用のインバータ装置には、電力用半導体装置が用いられる。これらの電力用半導体装置には、大電流による発熱の影響を小さくするために、放熱性の高い構造が求められる。一例として、放熱板の上に設けられた２つの導電体の間に半導体素子が挟まれた構造を有する電力用半導体装置がある。この電力用半導体装置では、半導体素子の表面と裏面の両方から導電体を介して放熱板に放熱されるため、放熱性が向上される。しかしながら、これらの電力用半導体装置は、小型化、軽量化、及び低価格化がさらに求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２１４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
放熱性が高く、軽量で低価格なインバータ装置用の電力用半導体装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の電力用半導体装置は、第１の導電体と、第２の導電体と、第１の半導体チップと、放熱板と、樹脂とを備える。第１の導電体は、第１の部分と第２の部分とを有する。第１の部分は、第１の主面と第１の主面の反対側にある第２の主面とを有する。第２の部分は、第１の主面に直交する第３の主面と、第３の主面の反対側にあり第１の主面に向かうほど第３の主面から離れながら第２の主面に連続する第４の主面と、を有する。第２の導電体は、第３の部分と第４の部分とを有する。第３の部分は、第５の主面と前記第５の主面の反対側にある第６の主面とを有する。第４の部分は、第５の主面に直交する第７の主面と、第７の主面の反対側にあり第５の主面に向かうほど第７の主面から離れながら第６の主面に連続する第８の主面とを有する。第１の半導体チップは、第１の導電体の第３の主面と第２の導電体の第７の主面との間に挟まれ、裏面に第１の電極を有し、表面に第２の電極を有する。第１の電極は、第１の導電体の第３の主面に電気的に接続される。第２の電極は、第２の導電体の第７の主面に電気的に接続される。第１の電極と第２の電極との間に電流が流れる。放熱板は、絶縁シートを介して第１の導電体の第１の主面及び第２の導電体の第５の主面に接合される。樹脂は、第１の導電体及び第２の導電体を封止する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係るインバータ装置の回路図。
【図２】第１の実施形態に係る電力用半導体装置の要部斜視図。
【図３】第１の実施形態に係る電力用半導体装置の図２のＡ−Ａ線における断面図。
【図４】第１の実施形態に係る電力用半導体装置に用いられる導電体の加工法を説明する断面図。
【図５】第１の実施形態に係る電力用半導体装置に用いられる導電体の加工法を説明する断面図。
【図６】第１の実施形態に係る電力用半導体装置の効果を説明する要部断面図。
【図７】比較例１の電力用半導体装置の放熱性を説明する要部断面図。
【図８】比較例２の電力用半導体装置の放熱性を説明する要部断面図。
【図９】第２の実施形態に係るインバータ装置の回路図。
【図１０】第２の実施形態に係る電力用半導体装置の要部斜視図。
【図１１】第２の実施形態に係る電力用半導体装置の図１０のＢ−Ｂ線における断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。実施の形態中の説明で使用する図は、説明を容易にするための模式的なものであり、図中の各要素の形状、寸法、大小関係などは、実際の実施においては必ずしも図に示されたとおりとは限らず、本発明の効果が得られる範囲内で適宜変更可能である。
【０００８】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施形態に係る三相インバータ装置１００の回路図である。三相インバータ装置１００は、直流電源６と、コンデンサ７と、Ｕ相、Ｖ相、及びＷ相の各交流電力を出力する３つの電力用半導体装置１０１と、出力部８と、を備える。コンデンサ７の両端は、直流電源の両端に接続される。電力用半導体装置１０１は、正の電極端子１０１Ａ、負の電極端子１０１Ｂ、及び出力端子１０１Ｃを有する。３つの電力用半導体装置１０１のそれぞれの正の電極端子１０１Ａは直流電源の正極側に、それぞれの負の電極端子１０１Ｂは直流電源の負極側にそれぞれ接続される。また、それぞれの出力端子１０１Ｃは、出力部８に接続される。
【０００９】
電力用半導体装置１０１は、上段のＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）４１、上段のダイオード５１、下段のＩＧＢＴ４２、及び下段のダイオード５２を備える。上段のＩＧＢＴのコレクタ電極は、電力用半導体装置１０１の正の電極端子１０１Ａに接続され、エミッタ電極は、下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極に接続される。上段のダイオード５１のカソード電極及びアノード電極は、それぞれ、上段のＩＧＢＴ４１のコレクタ電極及びエミッタ電極に接続される。下段のＩＧＢＴ４２のエミッタ電極は、電力用半導体装置１０１の負の電極端子１０１Ｂに接続される。下段のダイオード５２のカソード電極及びアノード電極は、それぞれ、下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極及びエミッタ電極に接続される。上段のＩＧＢＴ４１のエミッタ電極と下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極４２との接続部分は、電力用半導体装置１０１の出力端子１０１Ｃに接続される。各相の電力用半導体装置１０１の出力端子１０１Ｃは、Ｕ相、Ｖ相、及びＷ相のそれぞれの出力部８に接続される。三相インバータ相１００の出力部８から、三相交流が出力される。
【００１０】
図２は、本実施形態に係る上記電力用半導体装置１０１の実施例の要部斜視図である。図２は、樹脂を省略して示した図である。図３は、図２の斜視図のＡ−Ａ線における要部断面図である。図２及び図３に示したように、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１は、第１の導電体１０、第２の導電体２０、第３の導電体３０、上段のＩＧＢＴ４１、上段のダイオード５１、下段のＩＧＢＴ４２、下段のダイオード５２、放熱板、及び樹脂を備える。
【００１１】
第１の導電体１０は、第１の部分１０Ａと第２の部分１０Ｂとを有する。第１の部分１０Ａは、第１の主面１１と第１の主面１１の反対側にある第２の主面１２とを有する。第２の部分１０Ｂは、第１の主面１１に直交する第３の主面１３と、第３の主面１３の反対側にあり第１の主面１１に向かうほど第３の主面１３から離れながら第２の主面１２に連続する第４の主面１４と、を有する。第４の主面１４が第１の主面１１に向かうほど第３の主面１３と離れながら第２の主面１２に連続する部分１８（以後、第１の導電体の内側コーナー部）は、第１の主面１１と第３の主面１３とが直交する部分１９（以後、第１の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００１２】
すなわち、第１の導電体１０は、四角柱の１つの角部にＬ字型の溝が形成された形状を有する。Ｌ字型の溝の側壁が、上記第２の部分の第４の主面１４に相当する。また、Ｌ字型の溝の底部が、上記第１の部分の第２の主面１２に相当する。本実施形態では、第１の導電体１０の内側コーナー部１８の断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第１の導電体の内側コーナー部は、直線状の断面形状を有し、第４の主面から第２の主面に延伸する平面であることも可能である。
【００１３】
第２の導電体２０は、第３の部分２０Ａ、第４の部分２０Ｂ、及び第５の部分２０Ｃを有する。第３の部分２０Ａは、第５の主面２１と第５の主面の反対側にある第６の主面２２とを有する。第４の部分２０Ｂは、第５の主面２１に直交する第７の主面２３と、第７の主面２３の反対側にあり第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する第８の主面２４と、を有する。第８の主面２４が第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する部分２８Ａ（一方の第２の導電体の内側コーナー部）は、第１の導電体１０同様に、第５の主面２１と第７の主面２３とが直交する部分２９Ａ（一方の第２の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。第５の部分２０Ｃは、第５の主面２１に直交する第９の主面２５と、第９の主面２５の反対側にあり第５の主面２１に向かうほど第９の主面２５から離れながら第６の主面２２に連続する第１０の主面２６と、を有する。第１０の主面が第５の主面２１に向かうほど第９の主面２５から離れながら第６の主面２２に連続する部分２８Ｂ（他方の第２の導電体の内側コーナー部）は、第１の導電体同様に、第５の主面２１と第９の主面２５とが直交する部分２９Ｂ（他方の第２の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００１４】
すなわち、第２の導電体２０は、四角柱の１つの主面から内部に向かって延伸するＵ字型の溝が形成された形状を有する。Ｕ字型の溝の側壁が、それぞれ上記第４の部分の第８の主面２４と上記第５の部分の第１０の主面２６に相当する。また、Ｕ字型の溝の底部が、上記第３の部分２０Ａの第６の主面２２に相当する。本実施形態では、Ｕ字型の底部周辺の断面形状が半円形状に近い形状になっているため、第６の主面２２が平面として認識することが難しい。このような場合は、第６の主面は、上記Ｕ字型の溝の底部に形成され、第５の主面と平行な平面で面積が限りなくゼロに近い平面として考えることとする。電力用半導体装置１０１の設計に応じて、第２の導電体２０の第４の部分２０Ｂと第５の部分２０Ｃとの間隔（第２の導電体の内側コーナー部２８Ａ、２８Ｂの間隔）が本実施形態より広い場合は、第６の主面は、第５の主面と平行な平面で、視認できる面積を有する平面とすることができる。本実施形態では、第２の導電体の内側コーナー部２８Ａ、２８Ｂの断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第２の導電体の内側コーナー部２８Ａ、２８Ｂは、直線状の断面形状を有し、第８の主面（又は第１０の主面）から第６の主面に延伸する平面であることも可能である。
【００１５】
上段のＩＧＢＴチップ４１（第１の半導体チップ）は、裏面にコレクタ電極（第１の電極）を有し、表面にエミッタ電極（第２の電極）とゲート電極を有する（各電極の詳細は図示せず）。コレクタ電極は、アルミニウム又は銅などで構成された導電板６１を介して第１の導電体１０の第３の主面１３に電気的に接続される。エミッタ電極は、エミッタ電極側に凸部を有するアルミニウム又は銅などで構成された導電板６２を介して第２の導電体２０の第７の主面２３に電気的に接続される。電極と導電板６１、６２と、及び導電板６１、６２と第１の導電体１０又は第２の導電体２０とは、図示しない半田により接合される。本実施形態では、第１の導電体又は第２の導電体は、導電板６１、６２を介して上段のＩＧＢＴチップ４１の各電極に電気的に接続されるが、直接半田により電気的に接続されることも勿論可能である。ゲート電極は、エミッタ電極及び第２の導電体２０と絶縁され、電力用半導体装置１０１のゲート端子に電気的に接続される（詳細は図示せず）。本実施形態では、上段のＩＧＢＴチップ４１は、２つのＩＧＢＴ４１が並列に電気的に接続される。電力用半導体装置１０１の電流の容量に応じて、複数のＩＧＢＴ４１が並列接続される。
【００１６】
上段のダイオード５１（こちらを第１の半導体チップとすることも可能）が、上段のＩＧＢＴ４１と並列に電気的に接続される。すなわち、上段のダイオード５１のカソード電極が上段のＩＧＢＴ４１のコレクタ電極に接続され、上段のダイオード５１のアノード電極が上段のＩＧＢＴ４１のエミッタ電極に接続される（詳細は図示せず）。上段のダイオード５１は、複数の上段のＩＧＢＴ４１のそれぞれに並列に電気的に接続される。上段のダイオード５１は、スイッチング特性に優れるＦＲＤ（Fast Recovery Diode）が望ましい。上段のＩＧＢＴ４１及び上段のダイオード５１は、三相インバータ装置１００の各相の上段スイッチを構成する。
【００１７】
第３の導電体３０は、第６の部分３０Ａと第７の部分３０Ｂとを有する。第６の部分３０Ａは、第１１の主面３１と第１１の主面３１の反対側にある第１２の主面３２とを有する。第７の部分３０Ｂは、第１１の主面３１に直交する第１３の主面３３と、第１３の主面３３の反対側にあり第１１の主面３１に向かうほど第１３の主面３３から離れながら第１２の主面３２に連続する第１４の主面３４と、を有する。第１４の主面３４が第１１の主面３１に向かうほど第１３の主面３３と離れながら第１２の主面３２に連続する部分３８（以後、第３の導電体の内側コーナー部）は、第１１の主面３１と第１３の主面３３とが直交する部分３９（以後、第３の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００１８】
すなわち、第３の導電体３０は、四角柱の１つの角部にＬ字型の溝が形成された形状を有する。Ｌ字型の溝の側壁が、上記第７の部分の第１４の主面３４に相当する。また、Ｌ字型の溝の底部が、上記第６の部分の第１２の主面３２に相当する。本実施形態では、第３の導電体３０の内側コーナー部３８の断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第３の導電体３０の内側コーナー部２８は、直線状の断面形状を有し、第１４の主３４面から第１２の主面３２に延伸する平面であることも可能である。
【００１９】
下段のＩＧＢＴチップ４２（第２の半導体チップ）は、裏面にコレクタ電極（第３の電極）を有し、表面にエミッタ電極（第４の電極）とゲート電極とを有する（各電極の詳細は図示せず）。コレクタ電極は、アルミニウム又は銅などで構成された導電板６１を介して第２の導電体２０の第１０の主面２５に電気的に接続される。エミッタ電極は、エミッタ電極側に凸部を有するアルミニウム又は銅などで構成された導電板６２を介して第３の導電体３０の第１３の主面３３に電気的に接続される。電極と導電板６１、６２と、及び導電板６１、６２と第２の導電体２０又は第３の導電体３０とは、図示しない半田により接合される。本実施形態では、第２の導電体又は第３の導電体は、導電板６１、６２を介して下段のＩＧＢＴチップ４２の各電極に電気的に接続されるが、直接半田により電気的に接続されることも勿論可能である。ゲート電極は、エミッタ電極及び第３の導電体３０と絶縁され、電力用半導体装置１０１のゲート端子に電気的に接続される（詳細は図示せず）。本実施形態では、下段のＩＧＢＴチップ４２は、２つのＩＧＢＴ４２が並列に電気的に接続される。電力用半導体装置１０１の電流の容量に応じて、複数のＩＧＢＴ４２が並列接続される。
【００２０】
下段のダイオード５２（こちらを第２の半導体チップとすることも可能）が、下段のＩＧＢＴ４２と並列に電気的に接続される。すなわち、下段のダイオード５２のカソード電極が下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極に接続され、下段のダイオード５２のアノード電極が下段のＩＧＢＴ４２のエミッタ電極に接続される（詳細は図示せず）。下段のダイオード５２は、複数の下段のＩＧＢＴ４２のそれぞれに並列に電気的に接続される。下段のダイオード５２は、スイッチング特性に優れるＦＲＤ（Fast Recovery Diode）が望ましい。下段のＩＧＢＴ４２及び下段のダイオード５２は、三相インバータ装置１００の各相の下段スイッチを構成する。
【００２１】
放熱板１が、第１の導電体１０の第１の主面１１、第２の導電体２０の第５の主面２１、及び第３の導電体３０の第１１の主面３１に、絶縁シート２を介して接合される。樹脂９が、放熱板１の上に形成され、第１の導電体１０、第２の導電体２０、及び第３の導電体３０、並びに上段ＩＧＢＴチップ４１、上段ダイオード５１、下段ＩＧＢＴチップ４２、及び下段ダイオード５２を封止する。図示しない正の電極端子１０１Ａ、負の電極端子１０１Ｂ、ゲート電極端子、及び出力端子１０１Ｃが、樹脂９の外部に設けられる。第１の導電体１０は、正の電極端子１０１Ａに電気的に接続され、第３の導電体３０は、負の電極端子１０１Ｂに電気的に接続される。第２の導電体２０は、出力端子１０１Ｃに電気的に接続される。上段のＩＧＢＴ４１及び下段のＩＧＢＴ４２のそれぞれのゲート電極は、電力用半導体装置１０１のゲート電極端子に接続され、外部のコントローラに接続される。
【００２２】
ここで、第１の導電体１０、第２の導電体２０、及び第３の導電体は、銅又はアルミニウムなどの金属材料で構成される。これらの導電体は、図４に示した押出加工、又は、図５に示した引き抜き加工により形成される。図４に示した押出加工では、各導電体の断面形状と同じ形状の開口部を有する金型７１内に、導電体の材料である銅材７３を充填し、押し出しようの金型７２で銅材７３を押し出すことにより、開口部から各導電体が押し出されて、開口部の形状と同じ断面形状を有する導電体が得られる。図５に示した引き抜き加工では、各導電体の断面形状と同じ形状の開口部を有する金型８１を銅材に押し当て、開口部から銅材を引き抜くことにより、開口部の形状と同じ断面形状を有する導電体が得られる。
【００２３】
なお、押出加工及び引き抜き加工のどちらにおいても、金型の開口部の形状が、必ずしも各導電体の断面形状と同一形状である必要はない。両加工後に、各導電体に切削等の追加加工を実施することで、各導電体の断面形状は、所望の断面形状に仕上げることが可能である。また、上記導電体は、押出加工、又は引き抜き加工をそれぞれ単独で実施することにより形成されるだけでなく、押出加工と引き抜き加工をそれぞれ１回以上組み合わせて実施することによっても形成可能である。例えば、押出加工及び引き抜き加工をそれぞれ実施して粗く加工した後に、仕上げの加工のため引き抜き加工を実施することが可能である。この場合、最後の仕上げの引き抜き加工に用いた金型の開口部の形状と、加工された導電体の断面形状はほぼ同一形状となる。
【００２４】
これらの導電体の加工方法は、研削などの他の加工方法に比べて加工費が安価で製造コストの上昇を抑制できる。また、上記押出加工又は引き抜き加工は、第１〜第３の導電体を銅材を貼り合わせて加工する方法に比べて、各導電体の外側コーナー部１９、２９Ａ、２９Ｂ、３９の垂直形状を持たせながら、各導電体の内側コーナー部１８、２８Ａ、２８Ｂ、３８を図３の断面図に示したように湾曲状に形成しやすいという利点がある。
【００２５】
次に、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の動作中の放熱性について説明する。図６は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の放熱性を説明する要部断面図である。図７及び図８は、比較例１及び比較例２の電力用半導体装置１１０、１２０の放熱性を説明する要部断面図である。図６に示したように、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の動作中に、上段のＩＧＢＴ４１又は下段のＩＧＢＴ４２を流れる電流により発生した熱が、図中の矢印で示した経路を通って第１の導電体、第２の導電体、及び第３の導電体を介して放熱板１に放出される。ここで、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１では、第１〜第３の導電体が、前述のように押出加工又は引き抜き加工により形成された導電体であるので、各導電体は、外側コーナー部１９、２９Ａ、２９Ｂ、３９の垂直形状を有しながら、内側コーナー部１８、２８Ａ、２８Ｂ、３８の湾曲形状を有する。これにより、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１では、後述する比較例１及び比較例２の電力用半導体装置１１１、１２１に比べて、各導電体の内側コーナー部１８、２８Ａ、２８Ｂ、３８と外側コーナー部１９、２９Ａ、２９Ｂ、３９との間の断面積を大きくとることができること、及び各導電体と放熱板との接触面積を大きくとることができるので、放熱性が向上される。
【００２６】
これに対して比較例１の電力用半導体装置１１１では、図７に示したように、第１〜第３の各導電体１１０、１２０、１３０は、平板を垂直に曲げることにより形成された外側コーナー部１１９、１２９Ａ、１２９Ｂ、１３９及び内側コーナー部１１８、１２８Ａ、１２８Ｂ、１３８を有する。電力用半導体装置１１１の動作中の各ＩＧＢＴからの放熱経路は、図６の本実施形態に係る電力用半導体装置１０１同様に矢印で示される。例えば、第１の導電体１１０は、平板のほぼ中心でほぼ垂直に折り曲げられることにより形成された第１の部分１０Ａと第２の部分１０Ｂとを有する。第１の導電体１１０の第３の主面は、第１の主面に対して垂直に形成されるが第１の主面と直交しない。すなわち、第１の導電体の外側コーナー部の断面は、垂直形状を有さずに放熱板１から離れた湾曲形状を有する。第２の導電体及び第３の導電体も同様である。このため、比較例１の電力用半導体装置１１１は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１と比べて、内側コーナー部と外側コーナー部との間の断面積が小さい。また、比較例１の電力用半導体装置１１１の各導電体の外側コーナー部１１９、１２９Ａ、１２９Ｂ、１３９は、垂直形状でなく湾曲形状となっているので、例えば、第１の導電体１１０の第１の部分１１０Ａの放熱板１との接触面積は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の第１の導電体１０の第１の部分１０Ａと放熱板１との接触面積に比べて小さい（第２の導電体及び第３の導電体も同様）。このため、比較例１の電力用半導体装置１１１は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１と比べて、放熱性が劣る。
【００２７】
また、比較例２の電力用半導体装置１２１では、図８に示したように、第１〜第３の各導電体２１０、２２０，２３０は、分離された平板の互いの一端を垂直に貼り合わせることにより形成される。電力用半導体装置１２１の動作中の各ＩＧＢＴからの放熱経路は、図６の本実施形態に係る電力用半導体装置１０１同様に矢印で示される。例えば、第１の導電体２１０は、平板の第１の部分２１０Ａと２１０Ｂのそれぞれの一端を貼り合わせて、第１の部分２１０Ａと第２の部分２１０Ｂとが直交するように形成される。この結果、第１の導電体２１０の外側コーナー部２１９は垂直形状を有し、内側コーナー部２１８も垂直形状を有する。外側コーナー部２１９が垂直形状を有することで、比較例２の電力用半導体装置１２１の第１の導電体２１０の第１の部分２１０Ａと放熱板１との接触面積は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の第１の導電体１０の第１の部分１０Ａと放熱板１との接触面積とほぼ同じとなる。しかしながら、比較例２の電力用半導体装置１２１では、第１の導電体２１０の内側コーナー部２１８が垂直形状を有することで、第１の導電体２１０の内側コーナー部２１８と外側コーナー部２１９との間の断面積が本実施形態に比べて狭くなる。第２の導電体２２０及び第３の導電体２３０に関しても同様である。この結果、比較例２の電力用半導体装置１２１は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１と比べて放熱性に劣る。
【００２８】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施形態に係る三相インバータ装置２００及びそれに用いられる電力用半導体装置２０１を図９〜図１１を用いて説明する。図９は、第２の実施形態に係る三相インバータ装置２００の回路図である。図１０は、本実施形態に係る三相インバータ装置２００に用いられる電力用半導体装置２０１の要部斜視図である。図１０は、樹脂を省略して示した図である。図１１は、図１０の斜視図のＢ−Ｂ線における要部断面図である。なお、第１の実施の形態で説明した構成と同じ構成の部分には同じ参照番号または記号を用いその説明は省略する。第１の実施の形態との相異点について主に説明する。
【００２９】
第１の実施形態に係る三相インバータ装置１００に用いられる電力用半導体装置１０１は、上段のＩＧＢＴ４１及びこれに並列接続された上段のダイオード５１から構成される上段スイッチと、下段のＩＧＢＴ４２及びこれに並列接続された下段のダイオード５２から構成される下段スイッチとを樹脂内に含んでいる。これに対して、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１は、各相の上記上段のスイッチ又は下段のスイッチのどちらかを樹脂内に含む。すなわち、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１は、正の電極端子２０１Ａ、負の電極端子２０１Ｂ、ゲート電極端子（図示せず）、ＩＧＢＴ４１、及びダイオード５１を備える。ＩＧＢＴ４１のコレクタ電極は、正の電極端子２０１Ａに電気的に接続され、エミッタ電極は、負の電極端子２０１Ｂに電気的に接続され、ゲート電極はゲート電極端子に電気的に接続される。ダイオード５１のカソード電極は、ＩＧＢＴ４１のコレクタ電極に電気的に接続され、アノード電極は、ＩＧＢＴ４１のエミッタ電極に電気的に接続される。三相インバータ装置２００の各相は、直列に接続された２つの電力用半導体装置２０１をそれぞれ上段スイッチ及び下段スイッチとして有する。上段の電力用半導体装置２０１の正の電極端子２０１Ａは、直流電源６の正極側に電気的に接続され、負の電極端子２０１Ｂは、下段の電力用半導体装置２０１の正の電極端子２０１Ａに電気的に接続される。下段の電力用半導体装置２０１の負の電極端子２０１Ｂは、直流電源６の負電極側に電気的に接続される。上段の電力用半導体装置２０１の負の電極端子２０１Ｂは、各相の出力端子８に電気的に接続される。以上のように、本実施形態に係る三相インバータ装置２００は、６つの電力用半導体装置２０１により構成され、電力用半導体装置２０１は、各相の上段又は下段のＩＧＢＴ４１及びダイオード５１により構成される。この点で、本実施形態の三相インバータ装置２００と電力用半導体装置２０１は、第１の実施形態のそれらと異なる。
【００３０】
次に、図１０及び図１１により、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１を詳細に説明する。本実施形態に係る電力用半導体装置２０１は、第１の導電体１０、第２の導電体２０、ＩＧＢＴ４１、ダイオード５１、放熱板、及び樹脂を備える。第１の実施形態と同一又は類似の部分は、説明を省略する。
【００３１】
第１の導電体１０は、第１の部分１０Ａと第２の部分１０Ｂとを有し、第１の実施形態と同じ構造であるので説明を省略する。
【００３２】
第２の導電体２０は、図２又は図３における第１の実施形態の第２の導電体２０の左側半分と同じ構造を有する。すなわち、第２の導電体は以下の構造を有する。第２の導電体は、第３の部分２０Ａ、及び第４の部分２０Ｂを有する。第３の部分２０Ａは、第５の主面２１と第５の主面の反対側にある第６の主面２２とを有する。第４の部分２０Ｂは、第５の主面２１に直交する第７の主面２３と、第７の主面２３の反対側にあり第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する第８の主面２４と、を有する。第８の主面２４が第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する部分２８（第２の導電体の内側コーナー部）は、第１の導電体１０同様に、第５の主面２１と第７の主面２３とが直交する部分２９（第２の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００３３】
すなわち、第２の導電体２０は、四角柱の１つの角部であって、第１の導電体１０と対称な位置に、Ｌ字型の溝が形成された形状を有する。Ｌ字型の溝の側壁が、上記第４の部分の第８の主面２４に相当する。また、Ｌ字型の溝の底部が、上記第３の部分の第６の主面２２に相当する。本実施形態では、第１の導電体１０の内側コーナー部１８の断面形状、及び第２の導電体２０の内側コーナー部２８の断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、第１の実施形態と同様に、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第１の導電体１０の内側コーナー部１８及び第２の導電体２０の内側コーナー部２８は、それぞれ、直線状の断面形状を有し、第４の主面から第２の主面に延伸する平面及び第８の主面から第６の主面に延伸する平面であることも可能である。
【００３４】
ＩＧＢＴ４１及びダイオード５１が、第１の実施形態と同様に第１の導電体１０と第２の導電体２０との間に設けられる。放熱板１が、第１の導電体１０の第１の主面１１及び第２の導電体２０の第５の主面２１に、絶縁シート２を介して第１の実施形態同様に接合される。樹脂９が、第１の実施形態と同様に放熱板１の上に形成され、第１の導電体１０、第２の導電体２０、ＩＧＢＴチップ４１、及びダイオード５１を封止する。上記以外は、本実施形態に係る三相インバータ装置２００及び電力用半導体装置２０１は、第１の実施形態に係る三相インバータ装置１００及び電力用半導体装置１０１と同様の構成を有する。
【００３５】
本実施形態に係る電力用半導体装置２０１においても、第１の実施形態に係る電力用半導体装置１０１と同様に、第１の導電体と第２の導電体は、押出加工又は引き抜き加工により形成された導電体であるので、第１の導電体と第２の導電体の外側コーナー部の垂直形状を有しながら、内側コーナー部の湾曲形状を有する。これにより、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１も、第１の実施形態に係る電力用半導体装置同様に、各導電体の内側コーナー部１８、２８と外側コーナー部１９、２９との間の断面積を大きくとることができること、及び各導電体と放熱板との接触面積を大きくとることができるので、放熱性が向上される。
【００３６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３７】
１ 放熱板
２ 絶縁シート
３ 接着剤
６ 直流電源
７ コンデンサ
８ 出力端子
９ 樹脂
１０、１０Ａ、１０Ｂ 第１の導電体
１１ 第１の主面、１２ 第２の主面、１３ 第３の主面、１４ 第４の主面
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ 第２の導電体
２１ 第５の主面、２２ 第６の主面、２３ 第７の主面、２４ 第８の主面
２５ 第９の主面、２６ 第１０の主面
３０、３０Ａ、３０Ｂ 第３の導電体
３１ 第１１の主面、３２ 第１２の主面、３３ 第１３の主面、３４ 第１４の主面
４１、４２ ＩＧＢＴ
５１、５２ ＦＲＤ
６１、６２ 銅板
７１、７２、８１ 金型
７３ 銅材
７４、８４ 導電体
１００、２００ インバータ装置
１０１、２０１ 電力用半導体装置
１０１Ａ 正の電極端子
１０１Ｂ 負の電極端子
１１１、１２１ 比較例の電力用半導体装置
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インバータ装置に用いられる電力用半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電車、電気自動車、及びエアーコンディショナーなどのモーター駆動用のインバータ装置には、電力用半導体装置が用いられる。これらの電力用半導体装置には、大電流による発熱の影響を小さくするために、放熱性の高い構造が求められる。一例として、放熱板の上に設けられた２つの導電体の間に半導体素子が挟まれた構造を有する電力用半導体装置がある。この電力用半導体装置では、半導体素子の表面と裏面の両方から導電体を介して放熱板に放熱されるため、放熱性が向上される。しかしながら、これらの電力用半導体装置は、小型化、軽量化、及び低価格化がさらに求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２１４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
放熱性が高く、軽量で低価格なインバータ装置用の電力用半導体装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の電力用半導体装置は、第１の導電体と、第２の導電体と、第１の半導体チップと、放熱板と、樹脂とを備える。第１の導電体は、第１の部分と第２の部分とを有する。第１の部分は、第１の主面と第１の主面の反対側にある第２の主面とを有する。第２の部分は、第１の主面に直交する第３の主面と、第３の主面の反対側にあり第１の主面に向かうほど第３の主面から離れながら第２の主面に連続する第４の主面と、を有する。第２の導電体は、第３の部分と第４の部分とを有する。第３の部分は、第５の主面と前記第５の主面の反対側にある第６の主面とを有する。第４の部分は、第５の主面に直交する第７の主面と、第７の主面の反対側にあり第５の主面に向かうほど第７の主面から離れながら第６の主面に連続する第８の主面とを有する。第１の半導体チップは、第１の導電体の第３の主面と第２の導電体の第７の主面との間に挟まれ、裏面に第１の電極を有し、表面に第２の電極を有する。第１の電極は、第１の導電体の第３の主面に電気的に接続される。第２の電極は、第２の導電体の第７の主面に電気的に接続される。第１の電極と第２の電極との間に電流が流れる。放熱板は、絶縁シートを介して第１の導電体の第１の主面及び第２の導電体の第５の主面に接合される。樹脂は、第１の導電体及び第２の導電体を封止する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係るインバータ装置の回路図。
【図２】第１の実施形態に係る電力用半導体装置の要部斜視図。
【図３】第１の実施形態に係る電力用半導体装置の図２のＡ−Ａ線における断面図。
【図４】第１の実施形態に係る電力用半導体装置に用いられる導電体の加工法を説明する断面図。
【図５】第１の実施形態に係る電力用半導体装置に用いられる導電体の加工法を説明する断面図。
【図６】第１の実施形態に係る電力用半導体装置の効果を説明する要部断面図。
【図７】比較例１の電力用半導体装置の放熱性を説明する要部断面図。
【図８】比較例２の電力用半導体装置の放熱性を説明する要部断面図。
【図９】第２の実施形態に係るインバータ装置の回路図。
【図１０】第２の実施形態に係る電力用半導体装置の要部斜視図。
【図１１】第２の実施形態に係る電力用半導体装置の図１０のＢ−Ｂ線における断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。実施の形態中の説明で使用する図は、説明を容易にするための模式的なものであり、図中の各要素の形状、寸法、大小関係などは、実際の実施においては必ずしも図に示されたとおりとは限らず、本発明の効果が得られる範囲内で適宜変更可能である。
【０００８】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施形態に係る三相インバータ装置１００の回路図である。三相インバータ装置１００は、直流電源６と、コンデンサ７と、Ｕ相、Ｖ相、及びＷ相の各交流電力を出力する３つの電力用半導体装置１０１と、出力部８と、を備える。コンデンサ７の両端は、直流電源の両端に接続される。電力用半導体装置１０１は、正の電極端子１０１Ａ、負の電極端子１０１Ｂ、及び出力端子１０１Ｃを有する。３つの電力用半導体装置１０１のそれぞれの正の電極端子１０１Ａは直流電源の正極側に、それぞれの負の電極端子１０１Ｂは直流電源の負極側にそれぞれ接続される。また、それぞれの出力端子１０１Ｃは、出力部８に接続される。
【０００９】
電力用半導体装置１０１は、上段のＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）４１、上段のダイオード５１、下段のＩＧＢＴ４２、及び下段のダイオード５２を備える。上段のＩＧＢＴのコレクタ電極は、電力用半導体装置１０１の正の電極端子１０１Ａに接続され、エミッタ電極は、下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極に接続される。上段のダイオード５１のカソード電極及びアノード電極は、それぞれ、上段のＩＧＢＴ４１のコレクタ電極及びエミッタ電極に接続される。下段のＩＧＢＴ４２のエミッタ電極は、電力用半導体装置１０１の負の電極端子１０１Ｂに接続される。下段のダイオード５２のカソード電極及びアノード電極は、それぞれ、下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極及びエミッタ電極に接続される。上段のＩＧＢＴ４１のエミッタ電極と下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極４２との接続部分は、電力用半導体装置１０１の出力端子１０１Ｃに接続される。各相の電力用半導体装置１０１の出力端子１０１Ｃは、Ｕ相、Ｖ相、及びＷ相のそれぞれの出力部８に接続される。三相インバータ相１００の出力部８から、三相交流が出力される。
【００１０】
図２は、本実施形態に係る上記電力用半導体装置１０１の実施例の要部斜視図である。図２は、樹脂を省略して示した図である。図３は、図２の斜視図のＡ−Ａ線における要部断面図である。図２及び図３に示したように、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１は、第１の導電体１０、第２の導電体２０、第３の導電体３０、上段のＩＧＢＴ４１、上段のダイオード５１、下段のＩＧＢＴ４２、下段のダイオード５２、放熱板、及び樹脂を備える。
【００１１】
第１の導電体１０は、第１の部分１０Ａと第２の部分１０Ｂとを有する。第１の部分１０Ａは、第１の主面１１と第１の主面１１の反対側にある第２の主面１２とを有する。第２の部分１０Ｂは、第１の主面１１に直交する第３の主面１３と、第３の主面１３の反対側にあり第１の主面１１に向かうほど第３の主面１３から離れながら第２の主面１２に連続する第４の主面１４と、を有する。第４の主面１４が第１の主面１１に向かうほど第３の主面１３と離れながら第２の主面１２に連続する部分１８（以後、第１の導電体の内側コーナー部）は、第１の主面１１と第３の主面１３とが直交する部分１９（以後、第１の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００１２】
すなわち、第１の導電体１０は、四角柱の１つの角部にＬ字型の溝が形成された形状を有する。Ｌ字型の溝の側壁が、上記第２の部分の第４の主面１４に相当する。また、Ｌ字型の溝の底部が、上記第１の部分の第２の主面１２に相当する。本実施形態では、第１の導電体１０の内側コーナー部１８の断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第１の導電体の内側コーナー部は、直線状の断面形状を有し、第４の主面から第２の主面に延伸する平面であることも可能である。
【００１３】
第２の導電体２０は、第３の部分２０Ａ、第４の部分２０Ｂ、及び第５の部分２０Ｃを有する。第３の部分２０Ａは、第５の主面２１と第５の主面の反対側にある第６の主面２２とを有する。第４の部分２０Ｂは、第５の主面２１に直交する第７の主面２３と、第７の主面２３の反対側にあり第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する第８の主面２４と、を有する。第８の主面２４が第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する部分２８Ａ（一方の第２の導電体の内側コーナー部）は、第１の導電体１０同様に、第５の主面２１と第７の主面２３とが直交する部分２９Ａ（一方の第２の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。第５の部分２０Ｃは、第５の主面２１に直交する第９の主面２５と、第９の主面２５の反対側にあり第５の主面２１に向かうほど第９の主面２５から離れながら第６の主面２２に連続する第１０の主面２６と、を有する。第１０の主面が第５の主面２１に向かうほど第９の主面２５から離れながら第６の主面２２に連続する部分２８Ｂ（他方の第２の導電体の内側コーナー部）は、第１の導電体同様に、第５の主面２１と第９の主面２５とが直交する部分２９Ｂ（他方の第２の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００１４】
すなわち、第２の導電体２０は、四角柱の１つの主面から内部に向かって延伸するＵ字型の溝が形成された形状を有する。Ｕ字型の溝の側壁が、それぞれ上記第４の部分の第８の主面２４と上記第５の部分の第１０の主面２６に相当する。また、Ｕ字型の溝の底部が、上記第３の部分２０Ａの第６の主面２２に相当する。本実施形態では、Ｕ字型の底部周辺の断面形状が半円形状に近い形状になっているため、第６の主面２２が平面として認識することが難しい。このような場合は、第６の主面は、上記Ｕ字型の溝の底部に形成され、第５の主面と平行な平面で面積が限りなくゼロに近い平面として考えることとする。電力用半導体装置１０１の設計に応じて、第２の導電体２０の第４の部分２０Ｂと第５の部分２０Ｃとの間隔（第２の導電体の内側コーナー部２８Ａ、２８Ｂの間隔）が本実施形態より広い場合は、第６の主面は、第５の主面と平行な平面で、視認できる面積を有する平面とすることができる。本実施形態では、第２の導電体の内側コーナー部２８Ａ、２８Ｂの断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第２の導電体の内側コーナー部２８Ａ、２８Ｂは、直線状の断面形状を有し、第８の主面（又は第１０の主面）から第６の主面に延伸する平面であることも可能である。
【００１５】
上段のＩＧＢＴチップ４１（第１の半導体チップ）は、裏面にコレクタ電極（第１の電極）を有し、表面にエミッタ電極（第２の電極）とゲート電極を有する（各電極の詳細は図示せず）。コレクタ電極は、アルミニウム又は銅などで構成された導電板６１を介して第１の導電体１０の第３の主面１３に電気的に接続される。エミッタ電極は、エミッタ電極側に凸部を有するアルミニウム又は銅などで構成された導電板６２を介して第２の導電体２０の第７の主面２３に電気的に接続される。電極と導電板６１、６２と、及び導電板６１、６２と第１の導電体１０又は第２の導電体２０とは、図示しない半田により接合される。本実施形態では、第１の導電体又は第２の導電体は、導電板６１、６２を介して上段のＩＧＢＴチップ４１の各電極に電気的に接続されるが、直接半田により電気的に接続されることも勿論可能である。ゲート電極は、エミッタ電極及び第２の導電体２０と絶縁され、電力用半導体装置１０１のゲート端子に電気的に接続される（詳細は図示せず）。本実施形態では、上段のＩＧＢＴチップ４１は、２つのＩＧＢＴ４１が並列に電気的に接続される。電力用半導体装置１０１の電流の容量に応じて、複数のＩＧＢＴ４１が並列接続される。
【００１６】
上段のダイオード５１（こちらを第１の半導体チップとすることも可能）が、上段のＩＧＢＴ４１と並列に電気的に接続される。すなわち、上段のダイオード５１のカソード電極が上段のＩＧＢＴ４１のコレクタ電極に接続され、上段のダイオード５１のアノード電極が上段のＩＧＢＴ４１のエミッタ電極に接続される（詳細は図示せず）。上段のダイオード５１は、複数の上段のＩＧＢＴ４１のそれぞれに並列に電気的に接続される。上段のダイオード５１は、スイッチング特性に優れるＦＲＤ（Fast Recovery Diode）が望ましい。上段のＩＧＢＴ４１及び上段のダイオード５１は、三相インバータ装置１００の各相の上段スイッチを構成する。
【００１７】
第３の導電体３０は、第６の部分３０Ａと第７の部分３０Ｂとを有する。第６の部分３０Ａは、第１１の主面３１と第１１の主面３１の反対側にある第１２の主面３２とを有する。第７の部分３０Ｂは、第１１の主面３１に直交する第１３の主面３３と、第１３の主面３３の反対側にあり第１１の主面３１に向かうほど第１３の主面３３から離れながら第１２の主面３２に連続する第１４の主面３４と、を有する。第１４の主面３４が第１１の主面３１に向かうほど第１３の主面３３と離れながら第１２の主面３２に連続する部分３８（以後、第３の導電体の内側コーナー部）は、第１１の主面３１と第１３の主面３３とが直交する部分３９（以後、第３の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００１８】
すなわち、第３の導電体３０は、四角柱の１つの角部にＬ字型の溝が形成された形状を有する。Ｌ字型の溝の側壁が、上記第７の部分の第１４の主面３４に相当する。また、Ｌ字型の溝の底部が、上記第６の部分の第１２の主面３２に相当する。本実施形態では、第３の導電体３０の内側コーナー部３８の断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第３の導電体３０の内側コーナー部２８は、直線状の断面形状を有し、第１４の主３４面から第１２の主面３２に延伸する平面であることも可能である。
【００１９】
下段のＩＧＢＴチップ４２（第２の半導体チップ）は、裏面にコレクタ電極（第３の電極）を有し、表面にエミッタ電極（第４の電極）とゲート電極とを有する（各電極の詳細は図示せず）。コレクタ電極は、アルミニウム又は銅などで構成された導電板６１を介して第２の導電体２０の第１０の主面２５に電気的に接続される。エミッタ電極は、エミッタ電極側に凸部を有するアルミニウム又は銅などで構成された導電板６２を介して第３の導電体３０の第１３の主面３３に電気的に接続される。電極と導電板６１、６２と、及び導電板６１、６２と第２の導電体２０又は第３の導電体３０とは、図示しない半田により接合される。本実施形態では、第２の導電体又は第３の導電体は、導電板６１、６２を介して下段のＩＧＢＴチップ４２の各電極に電気的に接続されるが、直接半田により電気的に接続されることも勿論可能である。ゲート電極は、エミッタ電極及び第３の導電体３０と絶縁され、電力用半導体装置１０１のゲート端子に電気的に接続される（詳細は図示せず）。本実施形態では、下段のＩＧＢＴチップ４２は、２つのＩＧＢＴ４２が並列に電気的に接続される。電力用半導体装置１０１の電流の容量に応じて、複数のＩＧＢＴ４２が並列接続される。
【００２０】
下段のダイオード５２（こちらを第２の半導体チップとすることも可能）が、下段のＩＧＢＴ４２と並列に電気的に接続される。すなわち、下段のダイオード５２のカソード電極が下段のＩＧＢＴ４２のコレクタ電極に接続され、下段のダイオード５２のアノード電極が下段のＩＧＢＴ４２のエミッタ電極に接続される（詳細は図示せず）。下段のダイオード５２は、複数の下段のＩＧＢＴ４２のそれぞれに並列に電気的に接続される。下段のダイオード５２は、スイッチング特性に優れるＦＲＤ（Fast Recovery Diode）が望ましい。下段のＩＧＢＴ４２及び下段のダイオード５２は、三相インバータ装置１００の各相の下段スイッチを構成する。
【００２１】
放熱板１が、第１の導電体１０の第１の主面１１、第２の導電体２０の第５の主面２１、及び第３の導電体３０の第１１の主面３１に、絶縁シート２を介して接合される。樹脂９が、放熱板１の上に形成され、第１の導電体１０、第２の導電体２０、及び第３の導電体３０、並びに上段ＩＧＢＴチップ４１、上段ダイオード５１、下段ＩＧＢＴチップ４２、及び下段ダイオード５２を封止する。図示しない正の電極端子１０１Ａ、負の電極端子１０１Ｂ、ゲート電極端子、及び出力端子１０１Ｃが、樹脂９の外部に設けられる。第１の導電体１０は、正の電極端子１０１Ａに電気的に接続され、第３の導電体３０は、負の電極端子１０１Ｂに電気的に接続される。第２の導電体２０は、出力端子１０１Ｃに電気的に接続される。上段のＩＧＢＴ４１及び下段のＩＧＢＴ４２のそれぞれのゲート電極は、電力用半導体装置１０１のゲート電極端子に接続され、外部のコントローラに接続される。
【００２２】
ここで、第１の導電体１０、第２の導電体２０、及び第３の導電体は、銅又はアルミニウムなどの金属材料で構成される。これらの導電体は、図４に示した押出加工、又は、図５に示した引き抜き加工により形成される。図４に示した押出加工では、各導電体の断面形状と同じ形状の開口部を有する金型７１内に、導電体の材料である銅材７３を充填し、押し出しようの金型７２で銅材７３を押し出すことにより、開口部から各導電体が押し出されて、開口部の形状と同じ断面形状を有する導電体が得られる。図５に示した引き抜き加工では、各導電体の断面形状と同じ形状の開口部を有する金型８１を銅材に押し当て、開口部から銅材を引き抜くことにより、開口部の形状と同じ断面形状を有する導電体が得られる。
【００２３】
なお、押出加工及び引き抜き加工のどちらにおいても、金型の開口部の形状が、必ずしも各導電体の断面形状と同一形状である必要はない。両加工後に、各導電体に切削等の追加加工を実施することで、各導電体の断面形状は、所望の断面形状に仕上げることが可能である。また、上記導電体は、押出加工、又は引き抜き加工をそれぞれ単独で実施することにより形成されるだけでなく、押出加工と引き抜き加工をそれぞれ１回以上組み合わせて実施することによっても形成可能である。例えば、押出加工及び引き抜き加工をそれぞれ実施して粗く加工した後に、仕上げの加工のため引き抜き加工を実施することが可能である。この場合、最後の仕上げの引き抜き加工に用いた金型の開口部の形状と、加工された導電体の断面形状はほぼ同一形状となる。
【００２４】
これらの導電体の加工方法は、研削などの他の加工方法に比べて加工費が安価で製造コストの上昇を抑制できる。また、上記押出加工又は引き抜き加工は、第１〜第３の導電体を銅材を貼り合わせて加工する方法に比べて、各導電体の外側コーナー部１９、２９Ａ、２９Ｂ、３９の垂直形状を持たせながら、各導電体の内側コーナー部１８、２８Ａ、２８Ｂ、３８を図３の断面図に示したように湾曲状に形成しやすいという利点がある。
【００２５】
次に、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の動作中の放熱性について説明する。図６は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の放熱性を説明する要部断面図である。図７及び図８は、比較例１及び比較例２の電力用半導体装置１１０、１２０の放熱性を説明する要部断面図である。図６に示したように、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の動作中に、上段のＩＧＢＴ４１又は下段のＩＧＢＴ４２を流れる電流により発生した熱が、図中の矢印で示した経路を通って第１の導電体、第２の導電体、及び第３の導電体を介して放熱板１に放出される。ここで、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１では、第１〜第３の導電体が、前述のように押出加工又は引き抜き加工により形成された導電体であるので、各導電体は、外側コーナー部１９、２９Ａ、２９Ｂ、３９の垂直形状を有しながら、内側コーナー部１８、２８Ａ、２８Ｂ、３８の湾曲形状を有する。これにより、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１では、後述する比較例１及び比較例２の電力用半導体装置１１１、１２１に比べて、各導電体の内側コーナー部１８、２８Ａ、２８Ｂ、３８と外側コーナー部１９、２９Ａ、２９Ｂ、３９との間の断面積を大きくとることができること、及び各導電体と放熱板との接触面積を大きくとることができるので、放熱性が向上される。
【００２６】
これに対して比較例１の電力用半導体装置１１１では、図７に示したように、第１〜第３の各導電体１１０、１２０、１３０は、平板を垂直に曲げることにより形成された外側コーナー部１１９、１２９Ａ、１２９Ｂ、１３９及び内側コーナー部１１８、１２８Ａ、１２８Ｂ、１３８を有する。電力用半導体装置１１１の動作中の各ＩＧＢＴからの放熱経路は、図６の本実施形態に係る電力用半導体装置１０１同様に矢印で示される。例えば、第１の導電体１１０は、平板のほぼ中心でほぼ垂直に折り曲げられることにより形成された第１の部分１０Ａと第２の部分１０Ｂとを有する。第１の導電体１１０の第３の主面は、第１の主面に対して垂直に形成されるが第１の主面と直交しない。すなわち、第１の導電体の外側コーナー部の断面は、垂直形状を有さずに放熱板１から離れた湾曲形状を有する。第２の導電体及び第３の導電体も同様である。このため、比較例１の電力用半導体装置１１１は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１と比べて、内側コーナー部と外側コーナー部との間の断面積が小さい。また、比較例１の電力用半導体装置１１１の各導電体の外側コーナー部１１９、１２９Ａ、１２９Ｂ、１３９は、垂直形状でなく湾曲形状となっているので、例えば、第１の導電体１１０の第１の部分１１０Ａの放熱板１との接触面積は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の第１の導電体１０の第１の部分１０Ａと放熱板１との接触面積に比べて小さい（第２の導電体及び第３の導電体も同様）。このため、比較例１の電力用半導体装置１１１は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１と比べて、放熱性が劣る。
【００２７】
また、比較例２の電力用半導体装置１２１では、図８に示したように、第１〜第３の各導電体２１０、２２０，２３０は、分離された平板の互いの一端を垂直に貼り合わせることにより形成される。電力用半導体装置１２１の動作中の各ＩＧＢＴからの放熱経路は、図６の本実施形態に係る電力用半導体装置１０１同様に矢印で示される。例えば、第１の導電体２１０は、平板の第１の部分２１０Ａと２１０Ｂのそれぞれの一端を貼り合わせて、第１の部分２１０Ａと第２の部分２１０Ｂとが直交するように形成される。この結果、第１の導電体２１０の外側コーナー部２１９は垂直形状を有し、内側コーナー部２１８も垂直形状を有する。外側コーナー部２１９が垂直形状を有することで、比較例２の電力用半導体装置１２１の第１の導電体２１０の第１の部分２１０Ａと放熱板１との接触面積は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１の第１の導電体１０の第１の部分１０Ａと放熱板１との接触面積とほぼ同じとなる。しかしながら、比較例２の電力用半導体装置１２１では、第１の導電体２１０の内側コーナー部２１８が垂直形状を有することで、第１の導電体２１０の内側コーナー部２１８と外側コーナー部２１９との間の断面積が本実施形態に比べて狭くなる。第２の導電体２２０及び第３の導電体２３０に関しても同様である。この結果、比較例２の電力用半導体装置１２１は、本実施形態に係る電力用半導体装置１０１と比べて放熱性に劣る。
【００２８】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施形態に係る三相インバータ装置２００及びそれに用いられる電力用半導体装置２０１を図９〜図１１を用いて説明する。図９は、第２の実施形態に係る三相インバータ装置２００の回路図である。図１０は、本実施形態に係る三相インバータ装置２００に用いられる電力用半導体装置２０１の要部斜視図である。図１０は、樹脂を省略して示した図である。図１１は、図１０の斜視図のＢ−Ｂ線における要部断面図である。なお、第１の実施の形態で説明した構成と同じ構成の部分には同じ参照番号または記号を用いその説明は省略する。第１の実施の形態との相異点について主に説明する。
【００２９】
第１の実施形態に係る三相インバータ装置１００に用いられる電力用半導体装置１０１は、上段のＩＧＢＴ４１及びこれに並列接続された上段のダイオード５１から構成される上段スイッチと、下段のＩＧＢＴ４２及びこれに並列接続された下段のダイオード５２から構成される下段スイッチとを樹脂内に含んでいる。これに対して、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１は、各相の上記上段のスイッチ又は下段のスイッチのどちらかを樹脂内に含む。すなわち、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１は、正の電極端子２０１Ａ、負の電極端子２０１Ｂ、ゲート電極端子（図示せず）、ＩＧＢＴ４１、及びダイオード５１を備える。ＩＧＢＴ４１のコレクタ電極は、正の電極端子２０１Ａに電気的に接続され、エミッタ電極は、負の電極端子２０１Ｂに電気的に接続され、ゲート電極はゲート電極端子に電気的に接続される。ダイオード５１のカソード電極は、ＩＧＢＴ４１のコレクタ電極に電気的に接続され、アノード電極は、ＩＧＢＴ４１のエミッタ電極に電気的に接続される。三相インバータ装置２００の各相は、直列に接続された２つの電力用半導体装置２０１をそれぞれ上段スイッチ及び下段スイッチとして有する。上段の電力用半導体装置２０１の正の電極端子２０１Ａは、直流電源６の正極側に電気的に接続され、負の電極端子２０１Ｂは、下段の電力用半導体装置２０１の正の電極端子２０１Ａに電気的に接続される。下段の電力用半導体装置２０１の負の電極端子２０１Ｂは、直流電源６の負電極側に電気的に接続される。上段の電力用半導体装置２０１の負の電極端子２０１Ｂは、各相の出力端子８に電気的に接続される。以上のように、本実施形態に係る三相インバータ装置２００は、６つの電力用半導体装置２０１により構成され、電力用半導体装置２０１は、各相の上段又は下段のＩＧＢＴ４１及びダイオード５１により構成される。この点で、本実施形態の三相インバータ装置２００と電力用半導体装置２０１は、第１の実施形態のそれらと異なる。
【００３０】
次に、図１０及び図１１により、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１を詳細に説明する。本実施形態に係る電力用半導体装置２０１は、第１の導電体１０、第２の導電体２０、ＩＧＢＴ４１、ダイオード５１、放熱板、及び樹脂を備える。第１の実施形態と同一又は類似の部分は、説明を省略する。
【００３１】
第１の導電体１０は、第１の部分１０Ａと第２の部分１０Ｂとを有し、第１の実施形態と同じ構造であるので説明を省略する。
【００３２】
第２の導電体２０は、図２又は図３における第１の実施形態の第２の導電体２０の左側半分と同じ構造を有する。すなわち、第２の導電体は以下の構造を有する。第２の導電体は、第３の部分２０Ａ、及び第４の部分２０Ｂを有する。第３の部分２０Ａは、第５の主面２１と第５の主面の反対側にある第６の主面２２とを有する。第４の部分２０Ｂは、第５の主面２１に直交する第７の主面２３と、第７の主面２３の反対側にあり第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する第８の主面２４と、を有する。第８の主面２４が第５の主面２１に向かうほど第７の主面２３から離れながら第６の主面２２に連続する部分２８（第２の導電体の内側コーナー部）は、第１の導電体１０同様に、第５の主面２１と第７の主面２３とが直交する部分２９（第２の導電体の外側コーナー部）に向かって湾曲した表面を有する。
【００３３】
すなわち、第２の導電体２０は、四角柱の１つの角部であって、第１の導電体１０と対称な位置に、Ｌ字型の溝が形成された形状を有する。Ｌ字型の溝の側壁が、上記第４の部分の第８の主面２４に相当する。また、Ｌ字型の溝の底部が、上記第３の部分の第６の主面２２に相当する。本実施形態では、第１の導電体１０の内側コーナー部１８の断面形状、及び第２の導電体２０の内側コーナー部２８の断面形状は、一例として、４分の１の円弧の形状を有するが、第１の実施形態と同様に、なめらかに湾曲した形状であれば、これ以外の形状でも勿論可能である。例えば、第１の導電体１０の内側コーナー部１８及び第２の導電体２０の内側コーナー部２８は、それぞれ、直線状の断面形状を有し、第４の主面から第２の主面に延伸する平面及び第８の主面から第６の主面に延伸する平面であることも可能である。
【００３４】
ＩＧＢＴ４１及びダイオード５１が、第１の実施形態と同様に第１の導電体１０と第２の導電体２０との間に設けられる。放熱板１が、第１の導電体１０の第１の主面１１及び第２の導電体２０の第５の主面２１に、絶縁シート２を介して第１の実施形態同様に接合される。樹脂９が、第１の実施形態と同様に放熱板１の上に形成され、第１の導電体１０、第２の導電体２０、ＩＧＢＴチップ４１、及びダイオード５１を封止する。上記以外は、本実施形態に係る三相インバータ装置２００及び電力用半導体装置２０１は、第１の実施形態に係る三相インバータ装置１００及び電力用半導体装置１０１と同様の構成を有する。
【００３５】
本実施形態に係る電力用半導体装置２０１においても、第１の実施形態に係る電力用半導体装置１０１と同様に、第１の導電体と第２の導電体は、押出加工又は引き抜き加工により形成された導電体であるので、第１の導電体と第２の導電体の外側コーナー部の垂直形状を有しながら、内側コーナー部の湾曲形状を有する。これにより、本実施形態に係る電力用半導体装置２０１も、第１の実施形態に係る電力用半導体装置同様に、各導電体の内側コーナー部１８、２８と外側コーナー部１９、２９との間の断面積を大きくとることができること、及び各導電体と放熱板との接触面積を大きくとることができるので、放熱性が向上される。
【００３６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３７】
１ 放熱板
２ 絶縁シート
３ 接着剤
６ 直流電源
７ コンデンサ
８ 出力端子
９ 樹脂
１０、１０Ａ、１０Ｂ 第１の導電体
１１ 第１の主面、１２ 第２の主面、１３ 第３の主面、１４ 第４の主面
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ 第２の導電体
２１ 第５の主面、２２ 第６の主面、２３ 第７の主面、２４ 第８の主面
２５ 第９の主面、２６ 第１０の主面
３０、３０Ａ、３０Ｂ 第３の導電体
３１ 第１１の主面、３２ 第１２の主面、３３ 第１３の主面、３４ 第１４の主面
４１、４２ ＩＧＢＴ
５１、５２ ＦＲＤ
６１、６２ 銅板
７１、７２、８１ 金型
７３ 銅材
７４、８４ 導電体
１００、２００ インバータ装置
１０１、２０１ 電力用半導体装置
１０１Ａ 正の電極端子
１０１Ｂ 負の電極端子
１１１、１２１ 比較例の電力用半導体装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の主面と前記第１の主面の反対側にある第２の主面とを有する第１の部分と、前記第１の主面に直交する第３の主面と前記第３の主面の反対側にあり前記第１の主面に向かうほど前記第３の主面から離れながら前記第２の主面に連続する第４の主面とを有する第２の部分と、を有する第１の導電体と、
第５の主面と前記第５の主面の反対側にある第６の主面とを有する第３の部分と、前記第５の主面に直交する第７の主面と前記第７の主面の反対側にあり前記第５の主面に向かうほど前記第７の主面から離れながら前記第６の主面に連続する第８の主面とを有する第４の部分と、を有する第２の導電体と、
前記第１の導電体の前記第３の主面に電気的に接続された第１の電極を裏面に有し、前記第２の導電体の前記第７の主面に電気的に接続された第２の電極を表面に有し、前記第３の主面と前記第７の主面との間に挟まれ、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電流が流れる第１の半導体チップと、
前記第１の導電体の前記第１の主面及び前記第２の導電体の前記第５の主面に、絶縁シートを介して接合された放熱板と、
前記第１の導電体及び前記第２の導電体を封止する樹脂と、
を備えたことを特徴とする電力用半導体装置。
【請求項２】
前記第１の導電体及び前記第２の導電体は、それぞれ所定の開口を有する金型を前記第１の導電体及び前記第２の導電体を構成する導電体材料に押し当てて、前記金型の前記開口から前記導電体材料を押し出すことにより又は引き抜くことにより形成されたものであることを特徴とする請求項１記載の電力用半導体装置。
【請求項３】
前記第２の導電体は、前記第７の主面とは反対側で前記第５の主面に直交する第９の主面と、前記第９の主面の反対側にあり前記第５の主面に向かうほど前記第９の主面から離れながら前記第６の主面に連続する第１０の主面と、を有する第５の部分をさらに有し、
前記放熱板に前記絶縁シートを介して接合された第１１の主面と前記第１１の主面の反対側にある第１２の主面とを有する第６の部分と、前記第１１の主面に直交する第１３の主面と前記第１３の主面の反対側にあり前記第１１の主面に向かうほど前記第１３の主面から離れながら前記第１２の主面に連続する第１４の主面とを有する第７の部分と、を有する第３の導電体と、
前記第２の導電体の前記第９の主面に電気的に接続された第３の電極を裏面に有し、前記第３の導電体の前記第１３の主面に電気的に接続された第４の電極を表面に有し、前記第９の主面と前記第１３の主面との間に挟まれ、前記第３の電極と前記第４の電極との間に電流が流れる第２の半導体チップと、
をさらに備えたことを特徴とする請求項２記載の電力用半導体装置。
【請求項４】
前記第３の導電体は、所定の開口を有する金型を前記第３の導電体を構成する導電体材料に押し当てて、前記金型の前記開口から前記導電体材料を押し出すことにより又は引き抜くことにより形成されたものであることを特徴とする請求項３記載の電力用半導体装置。
【請求項５】
前記第１の半導体チップは、前記第１の電極と前記第２の電極との間を流れる電流を制御するゲート電極を、前記第１の半導体チップの表面に前記第２の電極と絶縁されて、さらに有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項６】
前記第１の半導体チップの前記第１の電極に接続されたカソード電極と、前記第１の半導体チップの前記第２の電極に接続されたアノード電極と、を有するダイオードを、前記第１の導電体の前記第３の主面と前記第２の導電体の前記第７の主面との間にさらに有することを特徴とする請求項５記載の電力用半導体装置。
【請求項７】
前記第４の主面が前記第１の主面に向かうほど前記第３の主面から離れながら前記第２の主面に連続する部分は、前記第１の主面と前記第３の主面とが直交する部分に向かって湾曲する表面を有し、
前記第８の主面が前記第５の主面に向かうほど前記第７の主面から離れながら前記第６の主面に連続する部分は、前記第５の主面と前記第７の主面とが直交する部分に向かって湾曲する表面を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項８】
前記第４の主面が前記第１の主面に向かうほど前記第３の主面から離れながら前記第２の主面に連続する部分は、平面を有し、
前記第８の主面が前記第５の主面に向かうほど前記第７の主面から離れながら前記第６の主面に連続する部分は、平面を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項９】
前記第１の半導体チップは、ＩＧＢＴであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項１】
第１の主面と前記第１の主面の反対側にある第２の主面とを有する第１の部分と、前記第１の主面に直交する第３の主面と前記第３の主面の反対側にあり前記第１の主面に向かうほど前記第３の主面から離れながら前記第２の主面に連続する第４の主面とを有する第２の部分と、を有する第１の導電体と、
第５の主面と前記第５の主面の反対側にある第６の主面とを有する第３の部分と、前記第５の主面に直交する第７の主面と前記第７の主面の反対側にあり前記第５の主面に向かうほど前記第７の主面から離れながら前記第６の主面に連続する第８の主面とを有する第４の部分と、を有する第２の導電体と、
前記第１の導電体の前記第３の主面に電気的に接続された第１の電極を裏面に有し、前記第２の導電体の前記第７の主面に電気的に接続された第２の電極を表面に有し、前記第３の主面と前記第７の主面との間に挟まれ、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電流が流れる第１の半導体チップと、
前記第１の導電体の前記第１の主面及び前記第２の導電体の前記第５の主面に、絶縁シートを介して接合された放熱板と、
前記第１の導電体及び前記第２の導電体を封止する樹脂と、
を備えたことを特徴とする電力用半導体装置。
【請求項２】
前記第１の導電体及び前記第２の導電体は、それぞれ所定の開口を有する金型を前記第１の導電体及び前記第２の導電体を構成する導電体材料に押し当てて、前記金型の前記開口から前記導電体材料を押し出すことにより又は引き抜くことにより形成されたものであることを特徴とする請求項１記載の電力用半導体装置。
【請求項３】
前記第２の導電体は、前記第７の主面とは反対側で前記第５の主面に直交する第９の主面と、前記第９の主面の反対側にあり前記第５の主面に向かうほど前記第９の主面から離れながら前記第６の主面に連続する第１０の主面と、を有する第５の部分をさらに有し、
前記放熱板に前記絶縁シートを介して接合された第１１の主面と前記第１１の主面の反対側にある第１２の主面とを有する第６の部分と、前記第１１の主面に直交する第１３の主面と前記第１３の主面の反対側にあり前記第１１の主面に向かうほど前記第１３の主面から離れながら前記第１２の主面に連続する第１４の主面とを有する第７の部分と、を有する第３の導電体と、
前記第２の導電体の前記第９の主面に電気的に接続された第３の電極を裏面に有し、前記第３の導電体の前記第１３の主面に電気的に接続された第４の電極を表面に有し、前記第９の主面と前記第１３の主面との間に挟まれ、前記第３の電極と前記第４の電極との間に電流が流れる第２の半導体チップと、
をさらに備えたことを特徴とする請求項２記載の電力用半導体装置。
【請求項４】
前記第３の導電体は、所定の開口を有する金型を前記第３の導電体を構成する導電体材料に押し当てて、前記金型の前記開口から前記導電体材料を押し出すことにより又は引き抜くことにより形成されたものであることを特徴とする請求項３記載の電力用半導体装置。
【請求項５】
前記第１の半導体チップは、前記第１の電極と前記第２の電極との間を流れる電流を制御するゲート電極を、前記第１の半導体チップの表面に前記第２の電極と絶縁されて、さらに有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項６】
前記第１の半導体チップの前記第１の電極に接続されたカソード電極と、前記第１の半導体チップの前記第２の電極に接続されたアノード電極と、を有するダイオードを、前記第１の導電体の前記第３の主面と前記第２の導電体の前記第７の主面との間にさらに有することを特徴とする請求項５記載の電力用半導体装置。
【請求項７】
前記第４の主面が前記第１の主面に向かうほど前記第３の主面から離れながら前記第２の主面に連続する部分は、前記第１の主面と前記第３の主面とが直交する部分に向かって湾曲する表面を有し、
前記第８の主面が前記第５の主面に向かうほど前記第７の主面から離れながら前記第６の主面に連続する部分は、前記第５の主面と前記第７の主面とが直交する部分に向かって湾曲する表面を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項８】
前記第４の主面が前記第１の主面に向かうほど前記第３の主面から離れながら前記第２の主面に連続する部分は、平面を有し、
前記第８の主面が前記第５の主面に向かうほど前記第７の主面から離れながら前記第６の主面に連続する部分は、平面を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【請求項９】
前記第１の半導体チップは、ＩＧＢＴであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の電力用半導体装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−１９９４６９（Ｐ２０１２−１９９４６９Ａ）
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−６３７０６（Ｐ２０１１−６３７０６）
【出願日】平成２３年３月２３日（２０１１．３．２３）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２３日（２０１１．３．２３）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【Ｆターム（参考）】
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