露光装置
【課題】露光装置の経時変化等の原因により、露光時におけるマスク位置が露光対象基材の移動方向に直交する方向にずれたときに、マスク位置を精度よく補正することができる露光装置を提供する。
【解決手段】光源とマスク３との間に介在するように基準板４が配置されており、基準板４には、各マスク３毎に、マスク３が配置されるべき位置の基準を示す第１基準マーク４１が設けられている。カメラ５１により第１基準マーク４１及びマスクアライメントマーク（スリット３２）を検出し、制御部７は、検出された両者間の距離ａに基づいて、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク３のずれを検出し、駆動部６によりマスク３の位置を補正する。
【解決手段】光源とマスク３との間に介在するように基準板４が配置されており、基準板４には、各マスク３毎に、マスク３が配置されるべき位置の基準を示す第１基準マーク４１が設けられている。カメラ５１により第１基準マーク４１及びマスクアライメントマーク（スリット３２）を検出し、制御部７は、検出された両者間の距離ａに基づいて、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク３のずれを検出し、駆動部６によりマスク３の位置を補正する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方向に連続的に供給されるフィルム等の露光対象基材を連続的に露光する露光装置に関し、特に、露光時におけるマスク位置が露光対象基材の移動方向に直交する方向にずれたときに、マスク位置を精度よく補正できる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶表示装置等のガラス基板の表面に貼付される偏光フィルムは、図４に示すような露光装置により製造される。この図４に示す露光装置においては、表面に所定の露光材料が塗布されたフィルム２が白矢印方向に連続的に供給され、図４における紙面手前方向から出射された露光光を複数本のスリット３１が設けられたマスク３に透過させて、フィルム２上の露光材料に露光光をスキャンすることにより、フィルム移動方向に延びるように、帯状の露光領域を形成する（例えば、特許文献１）。
【０００３】
マスク３は、フィルム移動方向の上流側及び下流側に、夫々フィルム移動方向に直交する方向に複数枚が適長間隔をおいて配置されてマスク列が構成されており、フィルム移動方向からみたときに、上流側のマスク列の隣接するマスク間に下流側のマスクが配置され、複数枚のマスクが千鳥状に配置されている。各マスク３には、露光光を透過させるスリット３１とマスクアライメントマークとが設けられている。マスクアライメントマークは、例えばフィルム移動方向に直交する方向に延びるスリット３２である。そして、露光開始時のマスク３の初期位置は、例えばフィルム２の先端に設けられた露光位置決定用マーク２ｂにより決定される。即ち、図４（ｂ）に示すように、各マスク３の上方には、スリット３２及び露光位置決定用マーク２ｂを検出するカメラ５１が設けられており、各カメラ５１による検出画像は制御部７に送信される。そして、制御部７は、例えばマスクアライメントマークとしてのスリット３２を介して検出される露光位置決定用マーク２ｂの位置が、スリット３２の中央に位置するように、例えばアクチュエータ等の駆動部６を制御する。これにより、露光開始時のマスク３の初期位置が決定される。
【０００４】
また、フィルム移動方向における上流側には、アライメントマーカ８が設けられており、フィルム２の側部に蛇行検出用マーク２ａを形成する。そして、フィルム２の側部付近における上方には、フィルム移動方向に直交する方向に配列されたマスク列と並ぶように、カメラ５２が設けられており、フィルム２の側部に形成された蛇行検出用マーク２ａを検出するように構成されている。
【０００５】
マスク３の各スリット３１は、フィルム２上への露光光照射領域が例えば液晶表示装置の１画素に対応する幅になるようにフィルム移動方向に延び、フィルム移動方向に直交する方向にスリット幅と同一ピッチで複数本設けられてスリット列が構成されており、１枚のマスク３につき２列のスリット列がフィルム移動方向に配置され、各スリット列には、相互に偏光方向が異なる露光光が照射される。そして、このスリット列の各スリット３１は、フィルム移動方向からみたときに、相互に他方のスリット列のスリット３１間に位置し、全てのスリット３１が隣接するように配置されている。また、フィルム移動方向からみたときに、各マスク３のフィルム移動方向に直交する方向における一端部のスリット３１は、フィルム移動方向に隣接する他のマスク３の他端部のスリットと隣接するように配置されている。
【０００６】
以上のように構成された複数枚のマスク３及び各マスクのスリット３１により、露光の際には、図５に示すように、各スリット３１に対応するように帯状の露光領域２１が複数本相互に隣接するように形成されていく。そして、偏光方向が相互に異なる露光光が照射されることにより、隣接する露光領域２１間では、例えば配向方向が相互に異なる配向膜が形成されていく。このような露光装置においては、露光時にフィルム２が蛇行すると、これに伴い、露光光の照射位置が変化するため、例えば図５（ｂ）に示すように、カメラ５２により検出した蛇行検出用マーク２ａの位置に基づいて、制御部７は、駆動部６により、マスク３の位置をフィルム２の蛇行量に合わせてアライメントする。このように、図４及び図５に示す従来の露光装置においては、フィルム２の先端に設けられた露光位置決定用マーク２ｂにより、マスク３の初期位置を決定し、露光時においては、フィルム２の蛇行量に合わせてマスク位置をアライメントしている。
【０００７】
特許文献２には、ステージ上に載置された基板を露光する露光装置が開示されており、ステージに設けられたアライメントマークをその上方に配置したカメラで検出し、また、ステージ位置をレーザ測定器で検出して、双方の検出結果を比較することにより、マスク位置のずれを検出させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開第２００７／１１３９３３号
【特許文献２】特開第２００４−２５９８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の露光装置においては、図６に示すように、露光装置の経時変化等の原因により、露光時にマスク位置がずれた場合、これを補正することができない。即ち、従来の露光装置においては、フィルム２の先端に設けられた露光位置決定用マーク２ｂにより、マスク３の初期位置を決定し、露光時には、フィルム２の蛇行量を補正するように全てのマスク３をフィルム２の蛇行量だけ移動させている。よって、露光時にマスク３自体の位置がずれた場合においては、このずれを補正できない。よって、例えばフィルム移動方向に直交する方向に複数枚のマスク３が配列されている場合においては、隣接するマスク間の距離が変化し、これにより、未露光又は過露光の領域が生じる露光不良となる。
【００１０】
特許文献２に開示された露光装置は、連続的に供給されるフィルム等の露光対象基材を露光するものではない。よって、図４乃至図６に示すような露光装置に特許文献２の技術を適用することはできない。
【００１１】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、露光装置の経時変化等の原因により、露光時におけるマスク位置が露光対象基材の移動方向に直交する方向にずれたときに、マスク位置を精度よく補正することができる露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る露光装置は、蛇行検出用マークが設けられた露光対象基材を第１方向に連続的に搬送しつつ前記第１方向に直交する第２方向に設けられた露光パターンを露光する露光装置において、
露光光を出射する光源と、
前記第２方向に関して分割され全体で前記露光パターンを構成する分割パターンが夫々形成されると共にマスクアライメントマークが夫々設けられた複数個のマスクと、
前記光源と前記マスクとの間又は前記マスクと前記露光対象基材との間に介在するように配置され、前記第２方向に関して夫々前記マスクが配置されるべき位置の基準となる複数個の第１基準マークと、前記露光対象基材に設けられた蛇行検出用マークとの相対的位置関係の基準となる第２基準マークとが設けられた基準部材と、
前記マスクアライメントマーク、前記第１基準マーク、前記第２基準マーク及び前記蛇行検出用マークを検出する検出部と、
前記マスク又は前記マスク及び前記基準部材を前記第２方向に駆動する駆動部と、
前記検出部により検出された前記マスクアライメントマーク、前記基準マーク及び前記蛇行検出用マークの位置を基に、前記駆動部により前記第２方向における前記マスクの位置を調節する制御部と、
を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る露光装置においては、例えば、前記制御部は、前記第１基準マークと前記マスクアライメントマークとの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を調節して、前記複数個のマスクの位置を決めることができる。
【００１４】
また、例えば、前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節する。又は、例えば、前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記基準部材の位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節し、前記マスクの位置を前記基準部材との位置関係が一定になるように調節する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る露光装置は、基準部材に各マスクに対応して夫々第１基準マークを設け、露光時にマスク間ピッチが変動しようとしても、マスクの位置は、検出部がマスクアライメントマークと第１基準マークとを同時に検出して、マスクアライメントマークの位置が第１基準マークの位置に一致するように、マスクの位置を制御部が調整するので、複数個のマスクは、そのマスク間ピッチが常に一定になるように制御される。よって、露光時の経時変化等によりマスク間ピッチが所定値からずれることはないため、高精度の露光が可能となる。
【００１６】
また、本発明においては、露光開始時におけるマスクの初期位置は、検出部が露光対象基材の蛇行検出用マークも、マスクアライメントマークと第２基準マークと同時に検出しているので、露光対象基材の蛇行検出用マーク、第２基準マーク、第１基準マーク及びマスクアライメントマークを介して、前記露光対象部材に対する前記各マスクの位置関係を決めることができる。よって、露光位置決定用のマークが設けられていないフィルムも高精度で露光できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、従来の露光装置において、マスクの初期位置を決定する工程を示す図である。
【図５】（ａ）は、従来の露光装置による露光によりフィルムに形成される露光領域を示す図、（ｂ）はフィルムの蛇行を補正する工程を示す図である。
【図６】露光時におけるマスクの位置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１（ａ），図１（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る露光装置を示す図である。図１に示すように、本実施形態に係る露光装置には、図４に示す従来の露光装置と同様に、表面に所定の露光材料（例えば配向膜材料）が塗布された露光対象部材としてのフィルム２が図１の紙面手前方向に連続的に供給される。フィルム移動方向における露光装置の上流側には、図４及び図５に示す従来の露光装置と同様に、アライメントマーカ８が設けられており、フィルム２の側部に蛇行検出用マーク２ａを形成するようになっている。
【００１９】
本実施形態の露光装置においては、フィルム移動方向（第１方向）に直交する方向（第２方向）に、複数個のマスク３が配置されている。このマスク３は、例えば、図４及び図５に示すように、平面視で、フィルム移動方向の上流側及び下流側に２列に３個ずつ適長間隔をおいて設けられており、フィルム移動方向からみたときに、上流側のマスク列の隣接するマスク間に下流側のマスクが配置され、６枚のマスク３が千鳥状に配置されている。各マスク３には、露光光が透過するスリット３１（図４、図５参照）と、例えばフィルム移動方向に直交する方向のマスク位置を示すマスクアライメントマークとしてのスリット３２とが設けられている。図１に示すように、各マスク３の上方には、例えば２焦点型のカメラ５１が設けられており、焦点位置がマスク３の表面及び後述する基準板４の基準マーク４１の位置になるように調節されている。各カメラ５１による検出画像は制御部７に送信される。そして、制御部７は、例えばアクチュエータ等の駆動部６を制御してマスク３の第２方向の位置を調節する。
【００２０】
マスク３の上方には、マスク３の露光用スリット３１（図４，図５参照）に露光光を照射する光源が配置されており、フィルム２を第１方向に連続的に移動させつつ、この露光光を、複数本のスリット３１を介してフィルム２上に照射することにより、フィルム２上の露光材料を露光光によりスキャンし、フィルム移動方向（第１方向）に延びる帯状の露光領域（図５参照）を形成する。
【００２１】
本実施形態においては、光源とマスク３との間に介在するようにして、例えばガラス等の光透過性の材料からなる基準板４が配置されており、この基準板４にはマスク毎にマスク３が配置されるべき位置の基準を示す第１基準マーク４１が設けられている。そして、カメラ５１により、マスクアライメントマークのスリット３２及び基準マーク４１を検出し、検出画像は、制御部７に送信されるように構成されている。そして、制御部７は、カメラ５１により検出されるスリット３２及び基準板４の基準マーク４１の位置に基づいて、駆動部６を制御し、駆動部６により、例えばマスク３及び基準板４をフィルム移動方向に直交する方向に駆動できるように構成されている。なお、本実施形態においては、マスク３が所定位置にあるときには、図１（ｂ）に示すように、カメラ５１側からみて、フィルム移動方向に直交する方向におけるスリット３２の中心位置と基準マーク４１とは、距離ａだけ離隔している。
【００２２】
フィルム移動方向における上流側には、図３及び図４に示す従来の露光装置と同様に、アライメントマーカ８が設けられており、フィルム２の側部に蛇行検出用マーク２ａを形成する。そして、フィルム２の側部付近における上方には、フィルム移動方向に直交する方向に配列されたマスク列用カメラ５１と並ぶように、カメラ５２が設けられており、フィルム２の側部に形成された蛇行検出用マーク２ａを検出するように構成されている。
【００２３】
基準板４の側部は、フィルム２の側部の蛇行検出用マーク２ａの上方まで延びて配置されている。そして、基準板４の側部には、蛇行検出用マーク２ａとの相対的位置関係の基準となる第２基準マーク４２が設けられている。本実施形態における検出部は、例えば２焦点型のカメラ５２であり、カメラ５２により、蛇行検出用マーク２ａ及び第２基準マーク４２を検出する。制御部７は、マスク３の初期設定時に、蛇行検出用マーク２ａを利用して、各マスク３の位置決めをし、又は、制御部７は、カメラ５２により検出される蛇行検出用マーク２ａの位置がフィルム移動方向に直交する方向にずれたときに、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの位置関係から蛇行量を検出し、マスク３の位置を検出した蛇行量だけ移動させる。このとき、制御部７は、駆動部６により、例えばマスク３と共に基準板４もマスク３と同時一体的に移動させてもよいし、マスク３のみを移動させてもよい。但し、駆動部６によりマスク３のみを移動させる場合においては、基準マーク４１に対するスリット３２の相対的位置関係が変化するため、制御部７は、基準マーク４１に対するスリット３２の所定の位置関係を補正する。
【００２４】
マスク３の各スリット３１は、フィルム２上への露光光照射領域が例えば液晶表示装置の１画素に対応する幅になるようにフィルム移動方向に延び、フィルム移動方向に直交する方向にスリット幅と同一ピッチで複数本設けられてスリット列が構成されており、１枚のマスク３につき２列のスリット列がフィルム移動方向に配置され、各スリット列には、相互に偏光方向が異なる露光光が照射される。そして、このスリット列の各スリット３１は、フィルム移動方向からみたときに、相互に他方のスリット列のスリット３１間に位置し、全てのスリット３１が隣接するように配置されている。また、フィルム移動方向からみたときに、各マスク３のフィルム移動方向に直交する方向における一端部のスリット３１は、フィルム移動方向に隣接する他のマスク３の他端部のスリット３１と隣接するように配置されている。
【００２５】
このように構成された複数枚のマスク３及び各マスクのスリット３１により、露光の際には、図５に示すように、各スリット３１に対応するように帯状の露光領域２１を複数本、相互に隣接するように形成する。そして、露光時にフィルム２が蛇行した場合においては、カメラ５２により検出した蛇行検出用マーク２ａの位置に基づいて、制御部７は、駆動部６により、マスク３の位置をフィルム２の蛇行量に合わせてアライメントすることもできる。
【００２６】
次に、本実施形態に係る露光装置の動作について説明する。露光対象のフィルム２は、例えば供給リールにロール状に巻き取られた状態から、露光装置内に供給される。フィルム２の側部には、アライメントマーカ８により、蛇行検出用マーク２ａが付された状態で、マスク３の下方位置に到達する。
【００２７】
そして、カメラ５１が基準板４の各第１基準マーク４１と、各マスク３のマスクアライメントマークとしてのスリット３２とを同時に検出し、この検出結果に基づいて、制御部７は、各第１基準マーク４１の位置と、各スリット３２の中心の位置との間の距離ａを求める。一方、カメラ５２は、基準板４の第２基準マーク４２と、フィルム２の蛇行検出用マーク２ａとを同時に検出し、この検出結果に基づいて、制御部７は、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの間の距離を求める。これにより、制御部７は、フィルム２と、各マスク３との位置関係を、蛇行検出用マーク２ａ、第２基準マーク４２、第１基準マーク４１及びスリット３２（マスクアライメントマーク）の位置の検出結果を基に、把握することができる。そして、この露光開始前のフィルム２と、各マスク３との位置関係を基に、複数個のマスク３のマスク間ピッチ及び複数列（図４，５は２列）間のマスクの配置関係を、所定のものに設定すべく、制御部７は駆動部６により各マスク３の位置を調整する。即ち、第１基準マーク４１とスリット３２の中心位置との間の距離ａが所定のものになるように、各マスク３の位置を、基準板４の第１基準マーク４１の位置を基準にして合わせる。このとき、マスク３のフィルム２に対する位置関係は、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａを基に決める。この場合に、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの間の距離をｂとする。なお、駆動部６は、上述のマスク３の位置の決定に際し、マスク３の位置のみを移動させて調整すればよい。但し、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとが一致するように、基準板４も移動させて、基準板４の位置も調整することとしてもよい。このようにして、露光開始時のマスク３の初期位置が決定される。
【００２８】
その後、フィルム２を第１方向に移動させつつ、露光光源から露光光を各マスク３に照射し、各マスク３のスリット３１を介して、露光光をフィルム２上に照射して、露光光によりフィルム２をスキャンする。先ず、２列のマスク列のうち、フィルム移動方向上流側のマスク列のマスク３の更に上流側のスリット３１の列を透過した露光光の照射により、フィルム２の表面の配向材料膜が照射された露光光の偏光方向に応じて光配向して配向膜が形成され、帯状の露光領域２１（図５参照）が例えば表示装置の画素幅と同一の幅で、また、表示装置の画素幅と同一の幅ずつ離隔して形成されていく。そして、この露光領域間の未露光の領域には、上流側のマスク３のフィルム移動方向下流側のスリット列を透過した露光光が照射されて露光される。この露光光は、前記上流側のスリット列に透過された露光光とは偏光方向が異なるため、隣接する露光領域間で配向方向が異なる配向膜が交互に形成される。２列のマスク列のうち、フィルム移動方向の下流側に配置されたマスク３においても、その各マスク３の２列のスリット列３１により、同様に帯状の露光領域２１がその偏光方向が交互に異なるように形成される。
【００２９】
このようにして、フィルム露光が行われる。この露光時には、カメラ５１により基準板４の第１基準マーク４１とマスク３のスリット３２とが常時観察されており、制御部７及び駆動部６により、マスク３の基準板４に対する位置が常に一定になるように制御されている。即ち、カメラ５１により、第１基準マーク４１とスリット３２とが撮像され、制御部７は、各マスク３について、第１基準マーク４１の位置と、スリット３２の中心位置との間の距離ａが、常に、その各マスク３についての初期値に一致するように、駆動部６を介して、マスク位置を調整する。よって、プロセス中の経時変化等により、マスク３間のピッチ又はマスク位置が変動しようとしても、各マスク３の位置は、基準板４の第１基準マーク４１を基に、基準板４に対して不動に制御される。
【００３０】
これにより、１個の露光パターンを第２方向について複数個に分割して、夫々、個別のマスク３にその分割パターンを設けることにより、各マスク３の露光パターンをフィルム２上で結合して１個の露光パターンをフィルム上に再現しようとする場合、各マスク３の相互間の位置関係を、基準板４を使用して、常に一定に保持できる。しかし、フィルム２が第１方向へ連続的に搬送されている間に、フィルム２には蛇行が生じる場合がある。このように、フィルム２に蛇行が生じると、マスク３間の位置関係は一定であっても、フィルム２に露光されるパターンの位置は、フィルム２上で所定位置から偏倚する。
【００３１】
そこで、本発明においては、蛇行検出用パターン２ａを利用して、フィルム蛇行に対応して、マスク３の第２方向の位置も調整することが好ましい。即ち、カメラ５１により、基準板４上の第１基準マーク４１及びマスクアライメントマーク（スリット３２）を検出し、カメラ５２により、基準板４上の第２基準マーク４２及び蛇行検出用マーク２ａを検出しているので、図２（ａ）に示すように、フィルム２に蛇行が生じた場合、蛇行検出用マーク２ａの位置の変動を、蛇行検出用マーク２ａの位置と基準板４の第２基準マーク４２との間の距離ｂの変動（ｂ０−Δｂ）として検出し、蛇行補正のためのマスク３の調整距離を、基準板４の第１基準位置４１とマスク３のスリット３２の中心位置との間の距離ａの変動（ａ０−Δｂ）として検出する。即ち、フィルム蛇行により、距離ｂが、その初期値をｂ０とし、変動分をΔｂとして、ｂ０−Δｂに変動した場合、図２（ｂ）に示すように、各マスク３を、距離ａが、その初期値をａ０とした場合、ａ０−Δｂになるように、駆動部６により、移動させる。但し、これらの数式は、図２に示すように、フィルム蛇行により、蛇行検出用マーク２ａ及びスリット３２が、初期状態から第２基準マーク４２及び第１基準マーク４１を通り越して、図２（ａ）に示す白抜き矢印方向に移動した場合のものであり、フィルム蛇行が逆方向であるように、蛇行検出用マーク２ａが初期状態から第２基準マーク４２を通り越していない場合は、マスク３の基準板４に対する位置はａ０＋Δｂとなる。いずれにしても、フィルム２が蛇行により、第２方向に振れた場合に、マスク３もその振れ量だけ、同一方向に移動させればよい。このようにして、フィルム蛇行が生じた場合も、マスク３の位置を、スリット３２と第１基準マーク４１、及び第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａの相対的位置関係に基づいて、マスク３の位置とフィルム２の位置との関係が一定になるように調節することができる。よって、フィルム蛇行が生じても、複数個のマスク３によるフィルム上の露光パターンは、常に、フィルム上の所定の位置に形成される。
【００３２】
なお、フィルム蛇行が生じた場合に、図２に示す実施形態は、マスク３のみを移動させるものであるが、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、フィルム蛇行が生じた場合に、マスク３の移動と共に基準板４も調整移動させてもよい。即ち、図３（ａ）に示す状態から、図３（ｂ）に示すように、フィルム２が蛇行して、蛇行検出用マーク２ａが第２方向に変動した場合、基準板４を、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの間の距離ｂが初期値ｂ０に一致するように（初期値ｂ０のままであるように）、制御部７は駆動部６により基準板４を移動させる。また、この基準板４の移動に伴い、制御部７は駆動部６により、マスク３を、第１基準マーク４１とスリット３２との間の距離ａが初期値ａ０に一致するように（初期値ａ０のままであるように）、移動させる。このようにして、フィルム蛇行に応じて、基準板４及び各マスク３を第２方向に移動させ、マスク３及び基準板４のフィルムに対する相対的に位置関係を、一定に保持する。よって、フィルム蛇行が生じても、複数個のマスク３によるフィルム上の露光パターンは、常に、フィルム上の所定の位置に形成される。
【００３３】
以上のように、本実施形態においては、マスク毎にマスクが配置されるべき位置の基準を示す基準マーク４１が設けられた基準板４が設けられていることにより、露光時にマスク３の位置がずれた場合においても、基準マーク４１を基準にして、マスク位置を精度よく補正することができ、露光不良を確実に防止できる。このようにして、フィルム２には、フィルム移動方向（第１方向）に延びるようにして、例えば表示装置の画素幅と同一の幅で、帯状の偏光部２１が形成され、第２方向に隣接する偏光部２１の偏光方向が相互に異なる偏光フィルムを得ることができる。そして、この偏光部２１の幅及び位置は高精度で、所定位置に制御される。
【００３４】
なお、本実施形態においては、基準板４が光源とマスク３との間に介在するように設けられている場合を説明したが、基準板４はマスク３とフィルム２との間に介在するように設けられていてもよい。
【００３５】
更に、本実施形態においては、マスクアライメントマークがフィルム移動方向に直交する方向に延びるスリット３２である場合について説明したが、基準マーク４１との間で相対的な位置関係をカメラ５１等の検出部により認識できるものであれば、マスクアライメントマークの態様は限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、フィルム等の露光対象基材を一方向に移動させつつ連続的に露光する際に、マスク位置のずれを、基準板に設けた第１基準マークを指標として精度よく補正できるものであり、例えば液晶表示装置等の表面に貼付される偏光フィルムの製造に好適である。
【符号の説明】
【００３７】
２：フィルム、２ａ：蛇行検出用マーク、２ｂ：露光位置決定用マーク、３：マスク、３１：スリット、３２：スリット、４，４０：基準板、４１：第１基準マーク、４２：第２基準マーク、５１，５２：カメラ、６：駆動部、７：制御部、８：アライメントマーカ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方向に連続的に供給されるフィルム等の露光対象基材を連続的に露光する露光装置に関し、特に、露光時におけるマスク位置が露光対象基材の移動方向に直交する方向にずれたときに、マスク位置を精度よく補正できる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶表示装置等のガラス基板の表面に貼付される偏光フィルムは、図４に示すような露光装置により製造される。この図４に示す露光装置においては、表面に所定の露光材料が塗布されたフィルム２が白矢印方向に連続的に供給され、図４における紙面手前方向から出射された露光光を複数本のスリット３１が設けられたマスク３に透過させて、フィルム２上の露光材料に露光光をスキャンすることにより、フィルム移動方向に延びるように、帯状の露光領域を形成する（例えば、特許文献１）。
【０００３】
マスク３は、フィルム移動方向の上流側及び下流側に、夫々フィルム移動方向に直交する方向に複数枚が適長間隔をおいて配置されてマスク列が構成されており、フィルム移動方向からみたときに、上流側のマスク列の隣接するマスク間に下流側のマスクが配置され、複数枚のマスクが千鳥状に配置されている。各マスク３には、露光光を透過させるスリット３１とマスクアライメントマークとが設けられている。マスクアライメントマークは、例えばフィルム移動方向に直交する方向に延びるスリット３２である。そして、露光開始時のマスク３の初期位置は、例えばフィルム２の先端に設けられた露光位置決定用マーク２ｂにより決定される。即ち、図４（ｂ）に示すように、各マスク３の上方には、スリット３２及び露光位置決定用マーク２ｂを検出するカメラ５１が設けられており、各カメラ５１による検出画像は制御部７に送信される。そして、制御部７は、例えばマスクアライメントマークとしてのスリット３２を介して検出される露光位置決定用マーク２ｂの位置が、スリット３２の中央に位置するように、例えばアクチュエータ等の駆動部６を制御する。これにより、露光開始時のマスク３の初期位置が決定される。
【０００４】
また、フィルム移動方向における上流側には、アライメントマーカ８が設けられており、フィルム２の側部に蛇行検出用マーク２ａを形成する。そして、フィルム２の側部付近における上方には、フィルム移動方向に直交する方向に配列されたマスク列と並ぶように、カメラ５２が設けられており、フィルム２の側部に形成された蛇行検出用マーク２ａを検出するように構成されている。
【０００５】
マスク３の各スリット３１は、フィルム２上への露光光照射領域が例えば液晶表示装置の１画素に対応する幅になるようにフィルム移動方向に延び、フィルム移動方向に直交する方向にスリット幅と同一ピッチで複数本設けられてスリット列が構成されており、１枚のマスク３につき２列のスリット列がフィルム移動方向に配置され、各スリット列には、相互に偏光方向が異なる露光光が照射される。そして、このスリット列の各スリット３１は、フィルム移動方向からみたときに、相互に他方のスリット列のスリット３１間に位置し、全てのスリット３１が隣接するように配置されている。また、フィルム移動方向からみたときに、各マスク３のフィルム移動方向に直交する方向における一端部のスリット３１は、フィルム移動方向に隣接する他のマスク３の他端部のスリットと隣接するように配置されている。
【０００６】
以上のように構成された複数枚のマスク３及び各マスクのスリット３１により、露光の際には、図５に示すように、各スリット３１に対応するように帯状の露光領域２１が複数本相互に隣接するように形成されていく。そして、偏光方向が相互に異なる露光光が照射されることにより、隣接する露光領域２１間では、例えば配向方向が相互に異なる配向膜が形成されていく。このような露光装置においては、露光時にフィルム２が蛇行すると、これに伴い、露光光の照射位置が変化するため、例えば図５（ｂ）に示すように、カメラ５２により検出した蛇行検出用マーク２ａの位置に基づいて、制御部７は、駆動部６により、マスク３の位置をフィルム２の蛇行量に合わせてアライメントする。このように、図４及び図５に示す従来の露光装置においては、フィルム２の先端に設けられた露光位置決定用マーク２ｂにより、マスク３の初期位置を決定し、露光時においては、フィルム２の蛇行量に合わせてマスク位置をアライメントしている。
【０００７】
特許文献２には、ステージ上に載置された基板を露光する露光装置が開示されており、ステージに設けられたアライメントマークをその上方に配置したカメラで検出し、また、ステージ位置をレーザ測定器で検出して、双方の検出結果を比較することにより、マスク位置のずれを検出させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開第２００７／１１３９３３号
【特許文献２】特開第２００４−２５９８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の露光装置においては、図６に示すように、露光装置の経時変化等の原因により、露光時にマスク位置がずれた場合、これを補正することができない。即ち、従来の露光装置においては、フィルム２の先端に設けられた露光位置決定用マーク２ｂにより、マスク３の初期位置を決定し、露光時には、フィルム２の蛇行量を補正するように全てのマスク３をフィルム２の蛇行量だけ移動させている。よって、露光時にマスク３自体の位置がずれた場合においては、このずれを補正できない。よって、例えばフィルム移動方向に直交する方向に複数枚のマスク３が配列されている場合においては、隣接するマスク間の距離が変化し、これにより、未露光又は過露光の領域が生じる露光不良となる。
【００１０】
特許文献２に開示された露光装置は、連続的に供給されるフィルム等の露光対象基材を露光するものではない。よって、図４乃至図６に示すような露光装置に特許文献２の技術を適用することはできない。
【００１１】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、露光装置の経時変化等の原因により、露光時におけるマスク位置が露光対象基材の移動方向に直交する方向にずれたときに、マスク位置を精度よく補正することができる露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る露光装置は、蛇行検出用マークが設けられた露光対象基材を第１方向に連続的に搬送しつつ前記第１方向に直交する第２方向に設けられた露光パターンを露光する露光装置において、
露光光を出射する光源と、
前記第２方向に関して分割され全体で前記露光パターンを構成する分割パターンが夫々形成されると共にマスクアライメントマークが夫々設けられた複数個のマスクと、
前記光源と前記マスクとの間又は前記マスクと前記露光対象基材との間に介在するように配置され、前記第２方向に関して夫々前記マスクが配置されるべき位置の基準となる複数個の第１基準マークと、前記露光対象基材に設けられた蛇行検出用マークとの相対的位置関係の基準となる第２基準マークとが設けられた基準部材と、
前記マスクアライメントマーク、前記第１基準マーク、前記第２基準マーク及び前記蛇行検出用マークを検出する検出部と、
前記マスク又は前記マスク及び前記基準部材を前記第２方向に駆動する駆動部と、
前記検出部により検出された前記マスクアライメントマーク、前記基準マーク及び前記蛇行検出用マークの位置を基に、前記駆動部により前記第２方向における前記マスクの位置を調節する制御部と、
を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る露光装置においては、例えば、前記制御部は、前記第１基準マークと前記マスクアライメントマークとの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を調節して、前記複数個のマスクの位置を決めることができる。
【００１４】
また、例えば、前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節する。又は、例えば、前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記基準部材の位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節し、前記マスクの位置を前記基準部材との位置関係が一定になるように調節する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る露光装置は、基準部材に各マスクに対応して夫々第１基準マークを設け、露光時にマスク間ピッチが変動しようとしても、マスクの位置は、検出部がマスクアライメントマークと第１基準マークとを同時に検出して、マスクアライメントマークの位置が第１基準マークの位置に一致するように、マスクの位置を制御部が調整するので、複数個のマスクは、そのマスク間ピッチが常に一定になるように制御される。よって、露光時の経時変化等によりマスク間ピッチが所定値からずれることはないため、高精度の露光が可能となる。
【００１６】
また、本発明においては、露光開始時におけるマスクの初期位置は、検出部が露光対象基材の蛇行検出用マークも、マスクアライメントマークと第２基準マークと同時に検出しているので、露光対象基材の蛇行検出用マーク、第２基準マーク、第１基準マーク及びマスクアライメントマークを介して、前記露光対象部材に対する前記各マスクの位置関係を決めることができる。よって、露光位置決定用のマークが設けられていないフィルムも高精度で露光できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、従来の露光装置において、マスクの初期位置を決定する工程を示す図である。
【図５】（ａ）は、従来の露光装置による露光によりフィルムに形成される露光領域を示す図、（ｂ）はフィルムの蛇行を補正する工程を示す図である。
【図６】露光時におけるマスクの位置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１（ａ），図１（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る露光装置を示す図である。図１に示すように、本実施形態に係る露光装置には、図４に示す従来の露光装置と同様に、表面に所定の露光材料（例えば配向膜材料）が塗布された露光対象部材としてのフィルム２が図１の紙面手前方向に連続的に供給される。フィルム移動方向における露光装置の上流側には、図４及び図５に示す従来の露光装置と同様に、アライメントマーカ８が設けられており、フィルム２の側部に蛇行検出用マーク２ａを形成するようになっている。
【００１９】
本実施形態の露光装置においては、フィルム移動方向（第１方向）に直交する方向（第２方向）に、複数個のマスク３が配置されている。このマスク３は、例えば、図４及び図５に示すように、平面視で、フィルム移動方向の上流側及び下流側に２列に３個ずつ適長間隔をおいて設けられており、フィルム移動方向からみたときに、上流側のマスク列の隣接するマスク間に下流側のマスクが配置され、６枚のマスク３が千鳥状に配置されている。各マスク３には、露光光が透過するスリット３１（図４、図５参照）と、例えばフィルム移動方向に直交する方向のマスク位置を示すマスクアライメントマークとしてのスリット３２とが設けられている。図１に示すように、各マスク３の上方には、例えば２焦点型のカメラ５１が設けられており、焦点位置がマスク３の表面及び後述する基準板４の基準マーク４１の位置になるように調節されている。各カメラ５１による検出画像は制御部７に送信される。そして、制御部７は、例えばアクチュエータ等の駆動部６を制御してマスク３の第２方向の位置を調節する。
【００２０】
マスク３の上方には、マスク３の露光用スリット３１（図４，図５参照）に露光光を照射する光源が配置されており、フィルム２を第１方向に連続的に移動させつつ、この露光光を、複数本のスリット３１を介してフィルム２上に照射することにより、フィルム２上の露光材料を露光光によりスキャンし、フィルム移動方向（第１方向）に延びる帯状の露光領域（図５参照）を形成する。
【００２１】
本実施形態においては、光源とマスク３との間に介在するようにして、例えばガラス等の光透過性の材料からなる基準板４が配置されており、この基準板４にはマスク毎にマスク３が配置されるべき位置の基準を示す第１基準マーク４１が設けられている。そして、カメラ５１により、マスクアライメントマークのスリット３２及び基準マーク４１を検出し、検出画像は、制御部７に送信されるように構成されている。そして、制御部７は、カメラ５１により検出されるスリット３２及び基準板４の基準マーク４１の位置に基づいて、駆動部６を制御し、駆動部６により、例えばマスク３及び基準板４をフィルム移動方向に直交する方向に駆動できるように構成されている。なお、本実施形態においては、マスク３が所定位置にあるときには、図１（ｂ）に示すように、カメラ５１側からみて、フィルム移動方向に直交する方向におけるスリット３２の中心位置と基準マーク４１とは、距離ａだけ離隔している。
【００２２】
フィルム移動方向における上流側には、図３及び図４に示す従来の露光装置と同様に、アライメントマーカ８が設けられており、フィルム２の側部に蛇行検出用マーク２ａを形成する。そして、フィルム２の側部付近における上方には、フィルム移動方向に直交する方向に配列されたマスク列用カメラ５１と並ぶように、カメラ５２が設けられており、フィルム２の側部に形成された蛇行検出用マーク２ａを検出するように構成されている。
【００２３】
基準板４の側部は、フィルム２の側部の蛇行検出用マーク２ａの上方まで延びて配置されている。そして、基準板４の側部には、蛇行検出用マーク２ａとの相対的位置関係の基準となる第２基準マーク４２が設けられている。本実施形態における検出部は、例えば２焦点型のカメラ５２であり、カメラ５２により、蛇行検出用マーク２ａ及び第２基準マーク４２を検出する。制御部７は、マスク３の初期設定時に、蛇行検出用マーク２ａを利用して、各マスク３の位置決めをし、又は、制御部７は、カメラ５２により検出される蛇行検出用マーク２ａの位置がフィルム移動方向に直交する方向にずれたときに、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの位置関係から蛇行量を検出し、マスク３の位置を検出した蛇行量だけ移動させる。このとき、制御部７は、駆動部６により、例えばマスク３と共に基準板４もマスク３と同時一体的に移動させてもよいし、マスク３のみを移動させてもよい。但し、駆動部６によりマスク３のみを移動させる場合においては、基準マーク４１に対するスリット３２の相対的位置関係が変化するため、制御部７は、基準マーク４１に対するスリット３２の所定の位置関係を補正する。
【００２４】
マスク３の各スリット３１は、フィルム２上への露光光照射領域が例えば液晶表示装置の１画素に対応する幅になるようにフィルム移動方向に延び、フィルム移動方向に直交する方向にスリット幅と同一ピッチで複数本設けられてスリット列が構成されており、１枚のマスク３につき２列のスリット列がフィルム移動方向に配置され、各スリット列には、相互に偏光方向が異なる露光光が照射される。そして、このスリット列の各スリット３１は、フィルム移動方向からみたときに、相互に他方のスリット列のスリット３１間に位置し、全てのスリット３１が隣接するように配置されている。また、フィルム移動方向からみたときに、各マスク３のフィルム移動方向に直交する方向における一端部のスリット３１は、フィルム移動方向に隣接する他のマスク３の他端部のスリット３１と隣接するように配置されている。
【００２５】
このように構成された複数枚のマスク３及び各マスクのスリット３１により、露光の際には、図５に示すように、各スリット３１に対応するように帯状の露光領域２１を複数本、相互に隣接するように形成する。そして、露光時にフィルム２が蛇行した場合においては、カメラ５２により検出した蛇行検出用マーク２ａの位置に基づいて、制御部７は、駆動部６により、マスク３の位置をフィルム２の蛇行量に合わせてアライメントすることもできる。
【００２６】
次に、本実施形態に係る露光装置の動作について説明する。露光対象のフィルム２は、例えば供給リールにロール状に巻き取られた状態から、露光装置内に供給される。フィルム２の側部には、アライメントマーカ８により、蛇行検出用マーク２ａが付された状態で、マスク３の下方位置に到達する。
【００２７】
そして、カメラ５１が基準板４の各第１基準マーク４１と、各マスク３のマスクアライメントマークとしてのスリット３２とを同時に検出し、この検出結果に基づいて、制御部７は、各第１基準マーク４１の位置と、各スリット３２の中心の位置との間の距離ａを求める。一方、カメラ５２は、基準板４の第２基準マーク４２と、フィルム２の蛇行検出用マーク２ａとを同時に検出し、この検出結果に基づいて、制御部７は、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの間の距離を求める。これにより、制御部７は、フィルム２と、各マスク３との位置関係を、蛇行検出用マーク２ａ、第２基準マーク４２、第１基準マーク４１及びスリット３２（マスクアライメントマーク）の位置の検出結果を基に、把握することができる。そして、この露光開始前のフィルム２と、各マスク３との位置関係を基に、複数個のマスク３のマスク間ピッチ及び複数列（図４，５は２列）間のマスクの配置関係を、所定のものに設定すべく、制御部７は駆動部６により各マスク３の位置を調整する。即ち、第１基準マーク４１とスリット３２の中心位置との間の距離ａが所定のものになるように、各マスク３の位置を、基準板４の第１基準マーク４１の位置を基準にして合わせる。このとき、マスク３のフィルム２に対する位置関係は、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａを基に決める。この場合に、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの間の距離をｂとする。なお、駆動部６は、上述のマスク３の位置の決定に際し、マスク３の位置のみを移動させて調整すればよい。但し、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとが一致するように、基準板４も移動させて、基準板４の位置も調整することとしてもよい。このようにして、露光開始時のマスク３の初期位置が決定される。
【００２８】
その後、フィルム２を第１方向に移動させつつ、露光光源から露光光を各マスク３に照射し、各マスク３のスリット３１を介して、露光光をフィルム２上に照射して、露光光によりフィルム２をスキャンする。先ず、２列のマスク列のうち、フィルム移動方向上流側のマスク列のマスク３の更に上流側のスリット３１の列を透過した露光光の照射により、フィルム２の表面の配向材料膜が照射された露光光の偏光方向に応じて光配向して配向膜が形成され、帯状の露光領域２１（図５参照）が例えば表示装置の画素幅と同一の幅で、また、表示装置の画素幅と同一の幅ずつ離隔して形成されていく。そして、この露光領域間の未露光の領域には、上流側のマスク３のフィルム移動方向下流側のスリット列を透過した露光光が照射されて露光される。この露光光は、前記上流側のスリット列に透過された露光光とは偏光方向が異なるため、隣接する露光領域間で配向方向が異なる配向膜が交互に形成される。２列のマスク列のうち、フィルム移動方向の下流側に配置されたマスク３においても、その各マスク３の２列のスリット列３１により、同様に帯状の露光領域２１がその偏光方向が交互に異なるように形成される。
【００２９】
このようにして、フィルム露光が行われる。この露光時には、カメラ５１により基準板４の第１基準マーク４１とマスク３のスリット３２とが常時観察されており、制御部７及び駆動部６により、マスク３の基準板４に対する位置が常に一定になるように制御されている。即ち、カメラ５１により、第１基準マーク４１とスリット３２とが撮像され、制御部７は、各マスク３について、第１基準マーク４１の位置と、スリット３２の中心位置との間の距離ａが、常に、その各マスク３についての初期値に一致するように、駆動部６を介して、マスク位置を調整する。よって、プロセス中の経時変化等により、マスク３間のピッチ又はマスク位置が変動しようとしても、各マスク３の位置は、基準板４の第１基準マーク４１を基に、基準板４に対して不動に制御される。
【００３０】
これにより、１個の露光パターンを第２方向について複数個に分割して、夫々、個別のマスク３にその分割パターンを設けることにより、各マスク３の露光パターンをフィルム２上で結合して１個の露光パターンをフィルム上に再現しようとする場合、各マスク３の相互間の位置関係を、基準板４を使用して、常に一定に保持できる。しかし、フィルム２が第１方向へ連続的に搬送されている間に、フィルム２には蛇行が生じる場合がある。このように、フィルム２に蛇行が生じると、マスク３間の位置関係は一定であっても、フィルム２に露光されるパターンの位置は、フィルム２上で所定位置から偏倚する。
【００３１】
そこで、本発明においては、蛇行検出用パターン２ａを利用して、フィルム蛇行に対応して、マスク３の第２方向の位置も調整することが好ましい。即ち、カメラ５１により、基準板４上の第１基準マーク４１及びマスクアライメントマーク（スリット３２）を検出し、カメラ５２により、基準板４上の第２基準マーク４２及び蛇行検出用マーク２ａを検出しているので、図２（ａ）に示すように、フィルム２に蛇行が生じた場合、蛇行検出用マーク２ａの位置の変動を、蛇行検出用マーク２ａの位置と基準板４の第２基準マーク４２との間の距離ｂの変動（ｂ０−Δｂ）として検出し、蛇行補正のためのマスク３の調整距離を、基準板４の第１基準位置４１とマスク３のスリット３２の中心位置との間の距離ａの変動（ａ０−Δｂ）として検出する。即ち、フィルム蛇行により、距離ｂが、その初期値をｂ０とし、変動分をΔｂとして、ｂ０−Δｂに変動した場合、図２（ｂ）に示すように、各マスク３を、距離ａが、その初期値をａ０とした場合、ａ０−Δｂになるように、駆動部６により、移動させる。但し、これらの数式は、図２に示すように、フィルム蛇行により、蛇行検出用マーク２ａ及びスリット３２が、初期状態から第２基準マーク４２及び第１基準マーク４１を通り越して、図２（ａ）に示す白抜き矢印方向に移動した場合のものであり、フィルム蛇行が逆方向であるように、蛇行検出用マーク２ａが初期状態から第２基準マーク４２を通り越していない場合は、マスク３の基準板４に対する位置はａ０＋Δｂとなる。いずれにしても、フィルム２が蛇行により、第２方向に振れた場合に、マスク３もその振れ量だけ、同一方向に移動させればよい。このようにして、フィルム蛇行が生じた場合も、マスク３の位置を、スリット３２と第１基準マーク４１、及び第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａの相対的位置関係に基づいて、マスク３の位置とフィルム２の位置との関係が一定になるように調節することができる。よって、フィルム蛇行が生じても、複数個のマスク３によるフィルム上の露光パターンは、常に、フィルム上の所定の位置に形成される。
【００３２】
なお、フィルム蛇行が生じた場合に、図２に示す実施形態は、マスク３のみを移動させるものであるが、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、フィルム蛇行が生じた場合に、マスク３の移動と共に基準板４も調整移動させてもよい。即ち、図３（ａ）に示す状態から、図３（ｂ）に示すように、フィルム２が蛇行して、蛇行検出用マーク２ａが第２方向に変動した場合、基準板４を、第２基準マーク４２と蛇行検出用マーク２ａとの間の距離ｂが初期値ｂ０に一致するように（初期値ｂ０のままであるように）、制御部７は駆動部６により基準板４を移動させる。また、この基準板４の移動に伴い、制御部７は駆動部６により、マスク３を、第１基準マーク４１とスリット３２との間の距離ａが初期値ａ０に一致するように（初期値ａ０のままであるように）、移動させる。このようにして、フィルム蛇行に応じて、基準板４及び各マスク３を第２方向に移動させ、マスク３及び基準板４のフィルムに対する相対的に位置関係を、一定に保持する。よって、フィルム蛇行が生じても、複数個のマスク３によるフィルム上の露光パターンは、常に、フィルム上の所定の位置に形成される。
【００３３】
以上のように、本実施形態においては、マスク毎にマスクが配置されるべき位置の基準を示す基準マーク４１が設けられた基準板４が設けられていることにより、露光時にマスク３の位置がずれた場合においても、基準マーク４１を基準にして、マスク位置を精度よく補正することができ、露光不良を確実に防止できる。このようにして、フィルム２には、フィルム移動方向（第１方向）に延びるようにして、例えば表示装置の画素幅と同一の幅で、帯状の偏光部２１が形成され、第２方向に隣接する偏光部２１の偏光方向が相互に異なる偏光フィルムを得ることができる。そして、この偏光部２１の幅及び位置は高精度で、所定位置に制御される。
【００３４】
なお、本実施形態においては、基準板４が光源とマスク３との間に介在するように設けられている場合を説明したが、基準板４はマスク３とフィルム２との間に介在するように設けられていてもよい。
【００３５】
更に、本実施形態においては、マスクアライメントマークがフィルム移動方向に直交する方向に延びるスリット３２である場合について説明したが、基準マーク４１との間で相対的な位置関係をカメラ５１等の検出部により認識できるものであれば、マスクアライメントマークの態様は限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、フィルム等の露光対象基材を一方向に移動させつつ連続的に露光する際に、マスク位置のずれを、基準板に設けた第１基準マークを指標として精度よく補正できるものであり、例えば液晶表示装置等の表面に貼付される偏光フィルムの製造に好適である。
【符号の説明】
【００３７】
２：フィルム、２ａ：蛇行検出用マーク、２ｂ：露光位置決定用マーク、３：マスク、３１：スリット、３２：スリット、４，４０：基準板、４１：第１基準マーク、４２：第２基準マーク、５１，５２：カメラ、６：駆動部、７：制御部、８：アライメントマーカ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛇行検出用マークが設けられた露光対象基材を第１方向に連続的に搬送しつつ前記第１方向に直交する第２方向に設けられた露光パターンを露光する露光装置において、
露光光を出射する光源と、
前記第２方向に関して分割され全体で前記露光パターンを構成する分割パターンが夫々形成されると共にマスクアライメントマークが夫々設けられた複数個のマスクと、
前記光源と前記マスクとの間又は前記マスクと前記露光対象基材との間に介在するように配置され、前記第２方向に関して夫々前記マスクが配置されるべき位置の基準となる複数個の第１基準マークと、前記露光対象基材に設けられた蛇行検出用マークとの相対的位置関係の基準となる第２基準マークとが設けられた基準部材と、
前記マスクアライメントマーク、前記第１基準マーク、前記第２基準マーク及び前記蛇行検出用マークを検出する検出部と、
前記マスク又は前記マスク及び前記基準部材を前記第２方向に駆動する駆動部と、
前記検出部により検出された前記マスクアライメントマーク、前記基準マーク及び前記蛇行検出用マークの位置を基に、前記駆動部により前記第２方向における前記マスクの位置を調節する制御部と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第１基準マークと前記マスクアライメントマークとの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を調節して、前記複数個のマスクの位置を決めることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記基準部材の位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節し、前記マスクの位置を前記基準部材との位置関係が一定になるように調節することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項１】
蛇行検出用マークが設けられた露光対象基材を第１方向に連続的に搬送しつつ前記第１方向に直交する第２方向に設けられた露光パターンを露光する露光装置において、
露光光を出射する光源と、
前記第２方向に関して分割され全体で前記露光パターンを構成する分割パターンが夫々形成されると共にマスクアライメントマークが夫々設けられた複数個のマスクと、
前記光源と前記マスクとの間又は前記マスクと前記露光対象基材との間に介在するように配置され、前記第２方向に関して夫々前記マスクが配置されるべき位置の基準となる複数個の第１基準マークと、前記露光対象基材に設けられた蛇行検出用マークとの相対的位置関係の基準となる第２基準マークとが設けられた基準部材と、
前記マスクアライメントマーク、前記第１基準マーク、前記第２基準マーク及び前記蛇行検出用マークを検出する検出部と、
前記マスク又は前記マスク及び前記基準部材を前記第２方向に駆動する駆動部と、
前記検出部により検出された前記マスクアライメントマーク、前記基準マーク及び前記蛇行検出用マークの位置を基に、前記駆動部により前記第２方向における前記マスクの位置を調節する制御部と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第１基準マークと前記マスクアライメントマークとの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を調節して、前記複数個のマスクの位置を決めることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記マスクの位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記マスクアライメントマークと前記第１基準マーク、及び前記第２基準マークと前記蛇行検出用マークの相対的位置関係に基づいて、前記基準部材の位置を前記露光対象基材との位置関係が一定になるように調節し、前記マスクの位置を前記基準部材との位置関係が一定になるように調節することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１３−９７２７６（Ｐ２０１３−９７２７６Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４１６７１（Ｐ２０１１−２４１６７１）
【出願日】平成２３年１１月２日（２０１１．１１．２）
【出願人】（５００１７１７０７）株式会社ブイ・テクノロジー (283)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２日（２０１１．１１．２）
【出願人】（５００１７１７０７）株式会社ブイ・テクノロジー (283)
【Ｆターム（参考）】
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