半導体素子の微細パターンの形成方法
【課題】半導体素子の微細パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】被エッチング膜106上に保護膜110を形成する工程と、保護膜110上にハードマスク層を形成する工程と、ハードマスク層上に第1ピッチで複数の第1マスクパターンを反復形成する工程と、複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する工程と、第1及び第2マスクパターンをエッチングマスクとしてハードマスク層をエッチングし、保護膜110を露出させるハードマスクパターンを形成する工程と、第1及び第2マスクパターンを除去する工程と、保護膜110の露出された部分を除去し、被エッチング膜106を露出させる工程と、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして被エッチング膜106をエッチングし、第1ピッチの1/2のピッチで複数の微細パターンを反復形成する工程と、を含む。
【解決手段】被エッチング膜106上に保護膜110を形成する工程と、保護膜110上にハードマスク層を形成する工程と、ハードマスク層上に第1ピッチで複数の第1マスクパターンを反復形成する工程と、複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する工程と、第1及び第2マスクパターンをエッチングマスクとしてハードマスク層をエッチングし、保護膜110を露出させるハードマスクパターンを形成する工程と、第1及び第2マスクパターンを除去する工程と、保護膜110の露出された部分を除去し、被エッチング膜106を露出させる工程と、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして被エッチング膜106をエッチングし、第1ピッチの1/2のピッチで複数の微細パターンを反復形成する工程と、を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体素子の微細パターンの形成方法に係り、特に、ダブルパターニング工程によって形成される微細ピッチのハードマスクパターンを利用する半導体素子の微細パターンの形成方法に関する。
【背景技術】
【0002】
高集積化された半導体素子の製造において、パターンの微細化が必須的である。狭い面積に多数の素子を集積させるためには、個別素子のサイズを可能なかぎり小さく形成しなくてはならず、このためには、形成しようとするパターンのそれぞれの幅と前記パターン間の間隔との和であるピッチを小さくしなくてはならない。最近、半導体素子のデザインルールが急減するにつれて、半導体素子の実現に必要なパターンを形成するためのフォトリソグラフィ工程において、解像限界によって微細ピッチを有するパターンを形成するには限界がある。特に、基板に活性領域を定義する素子分離領域を形成するためのフォトリソグラフィ工程、またはラインアンドスペースパターン(Line and Space Pattern、以下、“L/Sパターン”という)形成のためのフォトリソグラフィ工程において、解像限界によって微細ピッチを有する所望のパターンを形成するには限界がある。
【0003】
前記のようなフォトリソグラフィ工程での解像限界を克服するために、ダブルパターニング工程を利用して微細ピッチを有するハードマスクパターンを形成する方法が提案された。これら方法のうち、ハードマスクパターンの形成のためのエッチングマスク材料としてポリシリコンを利用する技術では、ポリシリコンからなるエッチングマスクが前記ハードマスクパターン上に残っている状態で被エッチング膜をエッチングするときにエッチング雰囲気にポリシリコンが露出されていることによって、所望のエッチング特性を得られなくなる。
【0004】
例えば、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして利用して、ハードマスク下に形成されているタングステン(W)膜をエッチングしようとする場合、エッチャントを構成するフッ素(F)原子の一部がポリシリコンを構成するシリコン(Si)原子との化学反応によって損失されて供給されるエッチャントの総量中に、W膜エッチングに寄与するエッチャントの量が減少する。その結果、W膜のエッチング率が低下し、エッチング後に得られるW膜パターンの側壁プロファイルは、大きい傾斜度で傾斜した形態を有する。
【0005】
また、ハードマスクパターン上に残っているポリシリコン膜の高さ均一度が不良な場合、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして利用して基板をエッチングして素子分離用のトレンチを形成しようとするとき、前記ポリシリコン膜のエッジ部分でスキャタリングされるエッチャントによって、基板に形成されるトレンチの側壁プロファイルが非対称的に形成され、素子の動作特性に悪影響を及ぼして歩留まりを低下させるという問題を引き起こす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、前記従来の技術での問題点を解決しようとするものであって、フォトリソグラフィ工程での解像限界を超える微細ピッチのパターンを実現するため、ダブルパターニング工程によって形成されたハードマスクをエッチングマスクとして利用するとき、ハードマスクパターン上に残留するポリシリコンによって引き起こされる問題点を防止できる半導体素子の微細パターンの形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記目的を達成するために、本発明の第1態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、基板上の被エッチング膜上に保護膜を形成する。前記保護膜上にハードマスク層を形成する。前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する。前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する。
【0008】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、前記保護膜を露出させるハードマスクパターンを形成する。前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する。前記保護膜の露出された部分を除去して前記被エッチング膜を露出させる。前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する。
【0009】
前記第2マスクパターンは、前記第1マスクパターンと同じ水平面上に形成されうる。このため、前記第2マスクパターンを形成する工程は、前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間の位置にリセスが形成されている上面を有するバッファ層を前記第1マスクパターン上に形成する工程と、前記バッファ層の上面に形成された前記リセス内に第2マスクパターンを形成する工程と、を含みうる。
【0010】
また、前記第2マスクパターンが形成された後に、前記ハードマスク層をエッチングする前に、前記ハードマスク層が露出されるまで前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記バッファ層を乾式エッチングする工程をさらに含みうる。
また、前記第2マスクパターンが形成された後、前記バッファ層を乾式エッチングする前に、前記第1マスクパターンの上面が露出されるように前記バッファ層の一部を除去する工程をさらに含みうる。
【0011】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれポリシリコンからなる。前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するため、HBr及びCl2のうち選択される少なくとも一つのガスとO2ガスとの混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用しうる。そして、前記エッチングガスは、Heガスをさらに含みうる。前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。または、前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するため、NH4OH、H2O2及びH2Oが混合液からなるエッチング液として使用する湿式エッチング工程を利用することもある。
【0012】
前記ハードマスク層は、酸化膜、窒化膜、またはこれらの組合わせで形成されうる。前記保護膜は、前記ハードマスク層の構成物質とは異なるエッチング特性を有する物質で形成される。例えば、前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ酸化膜で形成され、前記保護膜は、窒化膜で形成されうる。または、前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ窒化膜で形成され、前記保護膜は、酸化膜で形成されうる。または、前記ハードマスク層は、前記被エッチング膜上に形成された窒化膜と、前記窒化膜上に形成された酸化膜とで形成され、前記バッファ層は、酸化膜で形成されうる。
【0013】
前記被エッチング膜は、導電物質、半導体、絶縁物質、またはこれらの組合わせで形成されうる。前記被エッチング膜の構成物質のさらに具体的な例には、タングステン、タングステンシリサイド、ポリシリコン、アルミニウムなどが挙げられる。
前記被エッチング膜をエッチングするため、フッ素原子を含むエッチングガスを使用しうる。そして、前記保護膜の露出された部分を除去するため、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記保護膜をエッチングしうる。
【0014】
本発明の第1態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、前記複数の第1マスクパターンを形成した後、前記バッファ層を形成する前に前記第1マスクパターンの間で露出される前記ハードマスク層を、その上面から所定厚さほど除去して前記ハードマスク層の上面に低い表面部を形成しうる。この場合、前記バッファ層は、前記第1マスクパターンと前記低い表面部とをそれぞれ前記第1厚さで均一に覆うように形成されうる。
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれ前記第1ピッチの1/4である幅を有するように形成されることが望ましい。
【0015】
本発明の第1態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、前記被エッチング膜をエッチングした後、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内部を絶縁膜で満たして素子分離領域を形成する工程と、をさらに含みうる。
また、前記目的を達成するため、本発明の第2態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、基板上の被エッチング膜上にハードマスク層を形成する。前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する。前記複数の第1マスクパターンのうち相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する。
【0016】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして、前記ハードマスク層をエッチングして前記第1マスクパターンと第2マスクパターンとの間の位置で前記被エッチング膜を覆っている残留保護膜を備えるハードマスクパターンを形成する。前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する。前記ハードマスクパターンの残留保護膜を除去して前記被エッチング膜を露出させる。前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する。
【0017】
本発明の第2態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、前記ハードマスク層は、窒化膜で形成されうる。また、前記ハードマスク層は、窒化膜及び酸化膜が順次に積層された二重層構造を有しうる。この場合、前記残留保護膜は、窒化膜で形成されうる。
前記残留保護膜を除去するために、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記残留保護膜をエッチングしうる。
(発明の効果)
【0018】
本発明による半導体素子の微細パターンの形成方法では、ダブルパターニング工程を利用してフォトリソグラフィ工程で実現できるピッチの1/2である微細ピッチで反復形成されるパターンの形成において、ハードマスク材料としてポリシリコンが使われるときの問題点を解決するために、被エッチング膜を覆う保護膜を利用する。
【0019】
本発明による微細パターンの形成方法では、被エッチング膜のエッチング率の低下及び最終的に形成しようとする微細パターンでの側壁プロファイルの不良の原因として作用するポリシリコン膜で形成されるマスクパターンを除去した後に被エッチング膜をエッチングする。したがって、最終的に得られる微細パターンで垂直の良好な側壁プロファイルが得られる。また、ポリシリコン膜で形成されるマスクパターンを除去する工程は、被エッチング膜を保護膜で覆った状態で進めるので、前記マスクパターンの除去時に被エッチング膜が損傷されることを防止しうる。
【0020】
本発明によれば、ダブルパターニング工程によって形成されたハードマスクをエッチングマスクとして利用するとき、ハードマスクパターン上に残留するポリシリコンによってエッチング率及びパターンの側壁プロファイルに悪影響がおよぶことを防止する。これにより、フォトリソグラフィ工程での解像限界を克服できる微細ピッチのパターンを所望の形状で容易に実現しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0021】
次いで、本発明の望ましい実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を、図1Aから図1Lに示す工程順序によって説明する。
図1Aを参照すれば、基板100上に被エッチング膜106を形成する。
被エッチング膜106は、半導体素子を構成するための導電層または絶縁層であり、金属、半導体、または絶縁物質で形成されうる。例えば、被エッチング膜106は、タングステン(W)、タングステンシリサイド、ポリシリコン、アルミニウム(Al)、またはこれらの組合わせで形成されうる。
【0022】
被エッチング膜106上に保護膜110を形成する。
保護膜110は、後続のハードマスクパターンの形成工程中に、被エッチング膜106が損傷されることを保護するために形成するものである。保護膜110は、窒化膜または酸化膜で形成されうる。保護膜110は、約50〜400Åの比較的薄い厚さに形成することが望ましい。
【0023】
保護膜110上にハードマスク層120を形成する。
ハードマスク層120は、被エッチング膜106の材料及び形成しようとするパターンの用途によって多様な物質で形成されうる。例えば、ハードマスク層120は、酸化膜、窒化膜、またはこれらの組合わせで形成されうる。または、被エッチング膜106が絶縁膜または導電膜である場合、被エッチング膜106の材料によって、エッチング選択比を提供できる物質で形成される。
【0024】
保護膜110とハードマスク層120とは、それぞれエッチング特性が異なる物質、すなわち、所定のエッチング条件に対して異なるエッチング選択比を有する物質で形成する。例えば、保護膜110を窒化膜で形成した場合、ハードマスク層120は、酸化膜で形成する。または、保護膜110を酸化膜で形成した場合、ハードマスク層120は、窒化膜で形成する。
【0025】
例えば、保護膜110が窒化膜で形成された場合に、ハードマスク層120は、熱酸化膜、CVD(Chemical Vapor Deposition)酸化膜、USG膜(Undoped Silicate Glass Film)及びHDP酸化膜(High Density Plasma Oxide Film)からなる群から選択される少なくとも一つの酸化膜で形成されうる。また、保護膜110が酸化膜で形成された場合、ハードマスク層120は、SiON、SiN、SiBN及びBNからなる群から選択される少なくとも一つの膜で形成されうる。また、ハードマスク層120は、前記で例示された酸化膜のうち選択される少なくとも一つの酸化膜と前記で例示された窒化膜のうち選択される少なくとも一つの窒化膜とで構成される多重層で形成されることもある。
【0026】
図1Bを参照すれば、通常のフォトリソグラフィ工程を利用して、ハードマスク層120上に複数の第1マスクパターン130を形成する。
第1マスクパターン130は、ポリシリコン膜で形成される。
第1マスクパターン130は、最終的に形成しようとするハードマスクパターンのピッチPより2倍大きい第1ピッチ2Pを有するように形成される。第1マスクパターン130の第1幅W1は、前記第1ピッチ2Pの1/4である値を有するように設計されうる。第1マスクパターン130は、例えば、基板100上で前記第1ピッチ2Pで所定の方向に反復形成される複数のラインパターンで形成されうる。
【0027】
図1Cを参照すれば、複数の第1マスクパターン130の間で露出されるハードマスク層120を、その上面から第1厚さdほど除去して、ハードマスク層120の表面に低い表面部122を形成する。その結果、ハードマスク層120の上部にハードマスク層リセス124が形成される。前記第1厚さdは、第1マスクパターン130の第1幅W1と同じ寸法を有しうる。
ハードマスク層120の上面に低い表面部122を形成するために、乾式エッチング工程が行える、例えば、図1Bを参照して説明した第1マスクパターン130の形成工程で、第1マスクパターン130の形成のための乾式エッチング工程ときに第1マスクパターン130が形成された後、連続的に過度エッチングを行って低い表面部122を形成させうる。他の方法として、低い表面部122を形成するための別途の乾式エッチング工程を行うこともある。
【0028】
図1Dを参照すれば、複数の第1マスクパターン130のうち、相互隣接した2個の第1マスクパターン130の間の位置にリセス142が形成されている上面を有するバッファ層140を第1マスクパターン130上に形成する。
バッファ層140は、ハードマスク層120のパターニングにおいて、エッチングマスクとして使われる第1マスクパターン130と、後続工程でリセス142内に形成される第2マスクパターン(図1Fの“150a”参照)の高さを均一にするためのバッファの役割を行う。
【0029】
バッファ層140は、第1マスクパターン130の上面及び側壁と、ハードマスク層120の低い表面部122とをそれぞれ均一な厚さに覆うように形成しうる。望ましくは、バッファ層140は、第1マスクパターン130とハードマスク層120との低い表面部122とをそれぞれ前記第1厚さdと同じ厚さに均一に覆うように形成される。また、望ましくは、バッファ層140の上面によって限定されるリセス142の第2幅W2が、第1マスクパターン130の第1幅W1と同じ寸法を有するようにバッファ層140の厚さを決定する。
【0030】
バッファ層140は、ハードマスク層120と類似したエッチング特性を有する物質で形成されうる。例えば、バッファ層140は、ハードマスク層120の構成物質と同じ物質で形成されうる。または、バッファ層140は、ハードマスク層120とエッチング特性は類似しているが、相異なる物質で形成されることもある。例えば、ハードマスク層120及びバッファ層140は、それぞれ酸化膜で形成されうる。望ましくは、バッファ層140は、ALD(Atomic Layer Deposition)方法によって形成された酸化膜または窒化膜で形成される。
【0031】
図1Eを参照すれば、バッファ層140が形成された基板100上に第2マスク層150を形成する。第2マスク層150は、ポリシリコン膜で形成される。
第2マスク層150を形成することによって、リセス142は、第2マスク層150で完全に満たされる。バッファ層140の厚さが前記第1ピッチ2Pの1/4である値を有する場合に、第2マスク層150のうち、リセス142内に満たされた部分の幅、すなわちリセス142の幅W2は、前記第1ピッチ2Pの1/4である値、すなわち第1マスクパターン30の幅W1と同じ値となりうる。
【0032】
図1Fを参照すれば、第2マスク層150の一部を除去してリセス142内に第2マスクパターン150aを形成する。その結果、複数の第2マスクパターン150aの間で第1マスクパターン130を覆っているバッファ層140が露出される。
第2マスク層150の一部を除去するときに、第2マスクパターン150aの上面が第1マスクパターン130の上面と同じレベルになるように第1マスク層150のエッチング量を調節しうる。例えば、第2マスク層150の一部を除去するために湿式エッチング方法を利用しうる。
【0033】
例えば、第2マスクパターン150aは、第1マスクパターン130の延長方向と同じ方向に延びる複数のラインパターンを形成しうる。リセス142内に残っている第2マスクパターン150aは、第1マスクパターン130とほぼ同じ水平面上に位置する。
図1Gを参照すれば、バッファ層140の露出された部分、すなわち第1マスクパターン130の上面を覆っている部分を除去して、第1マスクパターン130の上面を露出させる。その結果、基板100上で第1マスクパターン130の上面と第2マスクパターン150aの上面とが同時に露出される。この過程は、場合によって省略可能である。
【0034】
バッファ層140のうち、第1マスクパターン130の上面を覆っている部分を除去するために湿式エッチング工程を利用しうる。例えば、バッファ層140が酸化膜で形成された場合、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aに対して比較的高いエッチング選択比でバッファ層140のみを選択的に除去するために、フッ素(F)を含有するエッチング液、例えば、DHF(Diluted HF)、NH4F、またはこれらの組合わせで形成されうる。
【0035】
また、バッファ層140のうち、第1マスクパターン130の上面を覆っている部分を除去するために乾式エッチング工程を利用することもある。この場合、エッチングガスとしてCxFy(x及びyは、それぞれ1から10の整数)、またはCxFy、O2及びArの混合ガスを使用しうる。前記CxFyガスとして、例えば、C4F6またはC4F8を使用しうる。
【0036】
図1Hを参照すれば、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aをエッチングマスクとしてバッファ層140を異方性エッチングによって除去し、第1マスクパターン130と第2マスクパターン150aとの間でハードマスク層120の上面を露出させる。
ここで、第2マスクパターン150aは、前記第1ピッチ2Pの1/4である第2幅W2、すなわち第1マスクパターン130の幅W1と同じ幅を有しうる。この場合、基板100上のハードマスク層120上には、第1幅W1を有する第1マスクパターン130と第2幅W2を有する第2マスクパターン150aとによって、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPを有するマスクパターンが形成されうる。
【0037】
図1Iを参照すれば、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aをエッチングマスクとして使用してハードマスク層120を異方性乾式エッチングして、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPで反復形成されるハードマスクパターン120aを形成する。図1Iには、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aがそれぞれハードマスク層120の乾式エッチング工程を経ながら一部消耗された結果物として示されている。
【0038】
ハードマスク層120及びバッファ層140がそれぞれ酸化膜で形成された場合、図1Hを参照して説明したバッファ層140のエッチング工程と、図1Iを参照して説明したハードマスク層120のエッチング工程で、それぞれバッファ層140及びハードマスク層120を、ポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aと窒化膜からなる保護膜110とに対して高いエッチング選択比で除去するために、CxFy(xは、1〜6の整数、yは、3〜8の整数)とO2との混合ガスをエッチングガスとして利用する乾式エッチング工程が行える。
【0039】
例えば、C3F8、C4F6、C4F8及びC5F8のうち選択される何れか一つのガスと、O2ガスを1:1の体積比で混合したエッチングガスとを使用しうる。必要に応じて、前記エッチングガスにArを追加して供給することもある。また、前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
【0040】
また、ハードマスク層120及びバッファ層140がそれぞれ窒化膜で形成された場合、図1Hを参照して説明したバッファ層140のエッチング工程と、図1Iを参照して説明したハードマスク層120のエッチング工程とで、それぞれバッファ層140及びハードマスク層120を、ポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aと、酸化膜からなる保護膜110とに対して高いエッチング選択比で除去するために、CHxFy(x及びyは、それぞれ1〜3の整数、x+y=4)で表示されるガス、例えば、CH2F2、CH3F、またはこれらの組合わせからなるエッチングガスを使用して乾式エッチング工程が行える。
【0041】
必要に応じて、前記エッチングガスにO2ガスを追加して供給することもある。また、前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
図1Jを参照すれば、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140上に残っている第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去する。
第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するために乾式エッチングまたは湿式エッチング工程を利用しうる。
【0042】
例えば、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するために、HBr及びO2の混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用しうる。例えば、前記乾式エッチング工程ときにHBr及びO2ガスをHBr:O2の流量比が約10:1〜30:1となるように供給しうる。また、前記エッチングガス以外に、Heガスを付加的にさらに供給することもある。ここで、HBrガスは、約100〜300sccmの量で供給され、O2ガスは、約5〜30sccmの量で供給され、Heガスは、約50〜200sccmの量で供給されうる。場合によって、前記HBrガスの代わりにCl2ガスを使用するか、またはHBr及びCl2の混合ガスを使用することもある。
【0043】
第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するための乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
または、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するために、NH4OH、H2O2及びH2Oの混合液からなるエッチング液を使用する湿式エッチング工程を利用しうる。この場合、例えば、NH4OH:H2O2:H2O=4:1:95の体積比で混合されたエッチング液を使用しうる。
【0044】
第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去される間に、被エッチング膜106は、保護膜110によって覆われているので、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aの除去時のエッチング雰囲気によって被エッチング膜106が損傷される恐れはない。
図1Kを参照すれば、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140をエッチングマスクとして、これらの間に露出されている保護膜110を除去する。この過程についてのさらに詳細な事項は、図1Lを参照して後述する。
【0045】
図1Lを参照すれば、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140をエッチングマスクとして、これらの間に露出されている被エッチング膜106を異方性乾式エッチングする。例えば、被エッチング膜106がWで構成された場合、NF3、SF6のようなフッ素(F)原子を含有するガスを使用する乾式エッチング工程が行える。
ここで、図1Kを参照して説明した保護膜110のエッチング工程と被エッチング膜106のエッチング工程とは、同じエッチング条件、すなわち、被エッチング膜106の除去のためのエッチング条件下で同一チャンバ内で連続的に行われうる。この場合にも、保護膜110は、比較的薄い厚さに形成されているので、被エッチング膜106の除去のためのエッチング条件下でエッチングしてもよく除去されうる。
【0046】
また、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140上にポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去された状態で被エッチング膜106の乾式エッチングを行うので、エッチング雰囲気でポリシリコンが露出されることによって引き起こされる問題、例えば、被エッチング膜106のエッチングときにエッチング率の低下現象、または被エッチング膜106のエッチング結果で得られる微細パターン106aの側壁プロファイルの不良現象を防止しうる。
【0047】
図1K及び図1Lに示したように、保護膜110及び被エッチング膜106のエッチング工程によって、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140が一部消耗されてその高さが低くなりうる。
被エッチング膜106の乾式エッチング結果として得られる微細パターン106aは、その側壁プロファイルが垂直の良好なパターン形状を有し、前記第1ピッチ2Pの1/4である幅W1またはW2を有し、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPをもって反復形成される構造を有する。
【0048】
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を、図2Aから図2Eに示す工程順序によって説明する。図2Aから図2Eにおいて、図1Aから図1Lと同じ参照符号は、実質的に同一の部材を示す。
図2Aを参照すれば、図1Aから図1Hを参照して説明したような方法で基板100上に第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを形成した後、バッファ層140を異方性エッチングによって除去する。但し、第2実施形態では、第1実施形態で形成した保護膜110の形成工程は省略する。そして、第1実施形態で形成したハードマスク層120より大きい厚さを有するハードマスク層220を形成しうる。例えば、ハードマスク層220の厚さは、第1実施形態でのハードマスク層120の厚さと保護膜110の厚さとの和またはそれ以上に設定しうる。第2実施形態では、ハードマスク層120及び前記バッファ層が窒化膜からなることが望ましい。
【0049】
図2Bを参照すれば、図1Iを参照して説明したところと類似した方法でハードマスク層220を異方性乾式エッチングしてハードマスクパターン220aを形成する。但し、第2実施形態では、被エッチング膜106上で被エッチング膜106の上面を覆うように、第1マスクパターン130と第2マスクパターン150aとの間に残っている残留保護膜220bを備えるハードマスクパターン220aを形成する。ハードマスク層220の異方性乾式エッチングときに、残留保護膜220bが所望の厚さで残るように、ハードマスク層220のエッチングの深さを制御する。残留保護膜220bの厚さは、第1実施形態での保護膜110について説明したような条件を満足させうる。
【0050】
図2Cを参照すれば、図1Jを参照して説明したような方法で第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去する。このとき、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去される間に、被エッチング膜106は、残留保護膜220bによって覆われているので、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aの除去時のエッチング雰囲気によって被エッチング膜106が損傷される恐れはない。
【0051】
図2Dを参照すれば、図1Kを参照して説明した保護膜110の除去時と類似した方法で、ハードマスクパターン220a及びバッファ層140をエッチングマスクとしてハードマスクパターン220aの残留保護膜220bを除去して、被エッチング膜106を露出させるハードマスクパターン220cを形成する。
【0052】
図2Eを参照すれば、図1Lを参照して説明したような方法でハードマスクパターン220a及びバッファ層140をエッチングマスクとして、これらの間に露出されている被エッチング膜106を異方性乾式エッチングし、前記第1ピッチ2Pの1/4である幅W1またはW2を有し、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPをもって反復形成される微細パターン106aを形成する。
【0053】
第2実施形態でも、ハードマスクパターン220c及びバッファ層140上にポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去された状態で被エッチング膜106の乾式エッチングを行うので、エッチング雰囲気でポリシリコンが露出されることによって引き起こされる問題、例えば、被エッチング膜106のエッチングときにエッチング率の低下現象、または被エッチング膜106のエッチング結果で得られる微細パターン106aの側壁プロファイルの不良現象を防止でき、良好な側壁プロファイルを有する微細パターン106aが得られうる。
【0054】
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を、図3Aから図3Gに示す工程順序によって説明する。図3Aから図3Gにおいて、図1Aから図1Lと同じ参照符号は、実質的に同一の部材を示す。
図3Aを参照すれば、半導体基板300上にパッド酸化膜302を形成する。
次いで、図1A及び図1Bを参照して説明したハードマスク層120及び第1マスクパターン130の形成方法と類似した方法で、パッド酸化膜302上にハードマスク層320及び第1マスクパターン130を形成する。但し、第3実施形態では、ハードマスク層320は、窒化膜322と酸化膜324とが順次に積層された二重層構造を有するように形成される。
【0055】
図3Bを参照すれば、図1Cから図1Hを参照して説明したような方法でハードマスク層320の酸化膜324上にバッファ層140及び第2マスクパターン150aを形成する。
図3Cを参照すれば、図1Iを参照して説明したような方法で第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aをエッチングマスクとして使用して、ハードマスク層320を構成する酸化膜324及び窒化膜322を順次に異方性乾式エッチングして酸化膜パターン324a及び窒化膜パターン322aを形成する。但し、第3実施形態では、窒化膜322をエッチングするときに、図2Bを参照して説明したように、パッド酸化膜302上で第1マスクパターン130と第2マスクパターン150aとの間に残っている残留保護膜322bを備える窒化膜パターン322aが形成されるように、窒化膜322のエッチングの深さを制御する。残留保護膜322bの厚さは、第1実施形態での保護膜110について説明したような条件を満足させうる。
【0056】
図3Dを参照すれば、図1Jを参照して説明したような方法で第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去する。このとき、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去される間に、下部のパッド酸化膜302及び半導体基板300は、残留保護膜322bによって覆われているので、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aの除去時のエッチング雰囲気によってパッド酸化膜302及び半導体基板300が損傷される恐れはない。
【0057】
図3Eを参照すれば、図1Kを参照して説明した保護膜110の除去時と類似した方法で、ハードマスクパターン320a及びバッファ層140をエッチングマスクとして残留保護膜322bを除去して、パッド酸化膜302を露出させる。その結果、パッド酸化膜302上には、前記第1ピッチ2Pの1/2である微細なピッチPで反復形成される窒化膜パターン322a及び酸化膜パターン324aで構成されるハードマスクパターン320aが形成される。
【0058】
図3Eには、ハードマスクパターン320a上にバッファ層140が残留していると示されたが、場合によって、バッファ層140は、エッチング中に何れも消耗されて完全に除去された状態になることもある。または、図3Eの結果物上に残っている酸化膜パターン324a、バッファ層140及びパッド酸化膜302の露出された部分を半導体基板300に対して高いエッチング選択比で除去することもある。このために、CxFy(xは、1〜6の整数、yは、3〜8の整数)及びO2の混合ガスをエッチングガスとして利用する乾式エッチング工程が行える。
【0059】
このとき、例えば、C3F8、C4F6、C4F8及びC5F8のうち選択される何れか一つのガスとO2ガスとを1:1の体積比で混合したエッチングガスを使用しうる。必要に応じて、前記エッチングガスにArを追加して供給することもある。また、前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
【0060】
図3Fを参照すれば、ハードマスクパターン320aをエッチングマスクとしてパッド酸化膜302及び半導体基板300を異方性エッチングして半導体基板300にトレンチ330を形成する。
図3Fには、トレンチ330の形成のための半導体基板300の乾式エッチング工程を経ながら酸化膜パターン324a及びバッファ層140が完全に消耗されて残っていないと示されている。しかし、本発明による半導体素子の微細パターンの形成方法では、図示したところに限定されない。場合によって、窒化膜パターン322a上に酸化膜パターン324a及びバッファ層140が残っている。
【0061】
図3Gを参照すれば、トレンチ330の内部及び窒化膜パターン322a上に絶縁物質を蒸着した後に、窒化膜パターン322aが露出されるまでCMP工程によって結果物を平坦化する方法で、トレンチ330内に絶縁膜340を満たして素子分離領域を形成する。
図3Aから図3Gを参照して説明した方法のように、ダブルパターニング工程を利用して半導体基板300にトレンチ330を形成して素子分離領域を形成することによって、通常のフォトリソグラフィ工程で実現できるピッチの1/2である微細ピッチで反復的に形成される素子分離用パターンを形成することが可能である。したがって、フォトリソグラフィ工程での解像限界を超える微細ピッチで反復形成される微細な素子分離領域を容易に実現できる。
【0062】
以上、本発明を望ましい実施形態を例として詳細に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されず、本発明の技術的思想及び範囲内で当業者によって多様な変形及び変更が可能である。
(産業上の利用可能性)
本発明は、半導体素子の微細パターンの形成方法関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【0063】
【図1A】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1B】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1C】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1D】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1E】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1F】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1G】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1H】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1I】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1J】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1K】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1L】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2A】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2B】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2C】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2D】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2E】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3A】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3B】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3C】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3D】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3E】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3F】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3G】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【0064】
100:基板、106:被エッチング膜、106a:微細パターン、110:保護膜、120:ハードマスク層、120a:低い表面部、130:第1マスクパターン、140:バッファ層、142:リセス、150:第2マスク層、150a:第2マスクパターン、220:ハードマスク層、220a:ハードマスクパターン、220b:残留保護膜、220c:ハードマスクパターン、300:半導体基板、302:パッド酸化膜、320:ハードマスク層、320a:酸化膜パターン、322:窒化膜、322a:窒化膜パターン、322b:残留保護膜、324:酸化膜、324a:酸化膜パターン、330:トレンチ、340:絶縁膜
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体素子の微細パターンの形成方法に係り、特に、ダブルパターニング工程によって形成される微細ピッチのハードマスクパターンを利用する半導体素子の微細パターンの形成方法に関する。
【背景技術】
【0002】
高集積化された半導体素子の製造において、パターンの微細化が必須的である。狭い面積に多数の素子を集積させるためには、個別素子のサイズを可能なかぎり小さく形成しなくてはならず、このためには、形成しようとするパターンのそれぞれの幅と前記パターン間の間隔との和であるピッチを小さくしなくてはならない。最近、半導体素子のデザインルールが急減するにつれて、半導体素子の実現に必要なパターンを形成するためのフォトリソグラフィ工程において、解像限界によって微細ピッチを有するパターンを形成するには限界がある。特に、基板に活性領域を定義する素子分離領域を形成するためのフォトリソグラフィ工程、またはラインアンドスペースパターン(Line and Space Pattern、以下、“L/Sパターン”という)形成のためのフォトリソグラフィ工程において、解像限界によって微細ピッチを有する所望のパターンを形成するには限界がある。
【0003】
前記のようなフォトリソグラフィ工程での解像限界を克服するために、ダブルパターニング工程を利用して微細ピッチを有するハードマスクパターンを形成する方法が提案された。これら方法のうち、ハードマスクパターンの形成のためのエッチングマスク材料としてポリシリコンを利用する技術では、ポリシリコンからなるエッチングマスクが前記ハードマスクパターン上に残っている状態で被エッチング膜をエッチングするときにエッチング雰囲気にポリシリコンが露出されていることによって、所望のエッチング特性を得られなくなる。
【0004】
例えば、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして利用して、ハードマスク下に形成されているタングステン(W)膜をエッチングしようとする場合、エッチャントを構成するフッ素(F)原子の一部がポリシリコンを構成するシリコン(Si)原子との化学反応によって損失されて供給されるエッチャントの総量中に、W膜エッチングに寄与するエッチャントの量が減少する。その結果、W膜のエッチング率が低下し、エッチング後に得られるW膜パターンの側壁プロファイルは、大きい傾斜度で傾斜した形態を有する。
【0005】
また、ハードマスクパターン上に残っているポリシリコン膜の高さ均一度が不良な場合、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして利用して基板をエッチングして素子分離用のトレンチを形成しようとするとき、前記ポリシリコン膜のエッジ部分でスキャタリングされるエッチャントによって、基板に形成されるトレンチの側壁プロファイルが非対称的に形成され、素子の動作特性に悪影響を及ぼして歩留まりを低下させるという問題を引き起こす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、前記従来の技術での問題点を解決しようとするものであって、フォトリソグラフィ工程での解像限界を超える微細ピッチのパターンを実現するため、ダブルパターニング工程によって形成されたハードマスクをエッチングマスクとして利用するとき、ハードマスクパターン上に残留するポリシリコンによって引き起こされる問題点を防止できる半導体素子の微細パターンの形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記目的を達成するために、本発明の第1態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、基板上の被エッチング膜上に保護膜を形成する。前記保護膜上にハードマスク層を形成する。前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する。前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する。
【0008】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、前記保護膜を露出させるハードマスクパターンを形成する。前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する。前記保護膜の露出された部分を除去して前記被エッチング膜を露出させる。前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する。
【0009】
前記第2マスクパターンは、前記第1マスクパターンと同じ水平面上に形成されうる。このため、前記第2マスクパターンを形成する工程は、前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間の位置にリセスが形成されている上面を有するバッファ層を前記第1マスクパターン上に形成する工程と、前記バッファ層の上面に形成された前記リセス内に第2マスクパターンを形成する工程と、を含みうる。
【0010】
また、前記第2マスクパターンが形成された後に、前記ハードマスク層をエッチングする前に、前記ハードマスク層が露出されるまで前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記バッファ層を乾式エッチングする工程をさらに含みうる。
また、前記第2マスクパターンが形成された後、前記バッファ層を乾式エッチングする前に、前記第1マスクパターンの上面が露出されるように前記バッファ層の一部を除去する工程をさらに含みうる。
【0011】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれポリシリコンからなる。前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するため、HBr及びCl2のうち選択される少なくとも一つのガスとO2ガスとの混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用しうる。そして、前記エッチングガスは、Heガスをさらに含みうる。前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。または、前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するため、NH4OH、H2O2及びH2Oが混合液からなるエッチング液として使用する湿式エッチング工程を利用することもある。
【0012】
前記ハードマスク層は、酸化膜、窒化膜、またはこれらの組合わせで形成されうる。前記保護膜は、前記ハードマスク層の構成物質とは異なるエッチング特性を有する物質で形成される。例えば、前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ酸化膜で形成され、前記保護膜は、窒化膜で形成されうる。または、前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ窒化膜で形成され、前記保護膜は、酸化膜で形成されうる。または、前記ハードマスク層は、前記被エッチング膜上に形成された窒化膜と、前記窒化膜上に形成された酸化膜とで形成され、前記バッファ層は、酸化膜で形成されうる。
【0013】
前記被エッチング膜は、導電物質、半導体、絶縁物質、またはこれらの組合わせで形成されうる。前記被エッチング膜の構成物質のさらに具体的な例には、タングステン、タングステンシリサイド、ポリシリコン、アルミニウムなどが挙げられる。
前記被エッチング膜をエッチングするため、フッ素原子を含むエッチングガスを使用しうる。そして、前記保護膜の露出された部分を除去するため、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記保護膜をエッチングしうる。
【0014】
本発明の第1態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、前記複数の第1マスクパターンを形成した後、前記バッファ層を形成する前に前記第1マスクパターンの間で露出される前記ハードマスク層を、その上面から所定厚さほど除去して前記ハードマスク層の上面に低い表面部を形成しうる。この場合、前記バッファ層は、前記第1マスクパターンと前記低い表面部とをそれぞれ前記第1厚さで均一に覆うように形成されうる。
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれ前記第1ピッチの1/4である幅を有するように形成されることが望ましい。
【0015】
本発明の第1態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、前記被エッチング膜をエッチングした後、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内部を絶縁膜で満たして素子分離領域を形成する工程と、をさらに含みうる。
また、前記目的を達成するため、本発明の第2態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、基板上の被エッチング膜上にハードマスク層を形成する。前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する。前記複数の第1マスクパターンのうち相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する。
【0016】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして、前記ハードマスク層をエッチングして前記第1マスクパターンと第2マスクパターンとの間の位置で前記被エッチング膜を覆っている残留保護膜を備えるハードマスクパターンを形成する。前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する。前記ハードマスクパターンの残留保護膜を除去して前記被エッチング膜を露出させる。前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する。
【0017】
本発明の第2態様による半導体素子の微細パターンの形成方法では、前記ハードマスク層は、窒化膜で形成されうる。また、前記ハードマスク層は、窒化膜及び酸化膜が順次に積層された二重層構造を有しうる。この場合、前記残留保護膜は、窒化膜で形成されうる。
前記残留保護膜を除去するために、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記残留保護膜をエッチングしうる。
(発明の効果)
【0018】
本発明による半導体素子の微細パターンの形成方法では、ダブルパターニング工程を利用してフォトリソグラフィ工程で実現できるピッチの1/2である微細ピッチで反復形成されるパターンの形成において、ハードマスク材料としてポリシリコンが使われるときの問題点を解決するために、被エッチング膜を覆う保護膜を利用する。
【0019】
本発明による微細パターンの形成方法では、被エッチング膜のエッチング率の低下及び最終的に形成しようとする微細パターンでの側壁プロファイルの不良の原因として作用するポリシリコン膜で形成されるマスクパターンを除去した後に被エッチング膜をエッチングする。したがって、最終的に得られる微細パターンで垂直の良好な側壁プロファイルが得られる。また、ポリシリコン膜で形成されるマスクパターンを除去する工程は、被エッチング膜を保護膜で覆った状態で進めるので、前記マスクパターンの除去時に被エッチング膜が損傷されることを防止しうる。
【0020】
本発明によれば、ダブルパターニング工程によって形成されたハードマスクをエッチングマスクとして利用するとき、ハードマスクパターン上に残留するポリシリコンによってエッチング率及びパターンの側壁プロファイルに悪影響がおよぶことを防止する。これにより、フォトリソグラフィ工程での解像限界を克服できる微細ピッチのパターンを所望の形状で容易に実現しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0021】
次いで、本発明の望ましい実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を、図1Aから図1Lに示す工程順序によって説明する。
図1Aを参照すれば、基板100上に被エッチング膜106を形成する。
被エッチング膜106は、半導体素子を構成するための導電層または絶縁層であり、金属、半導体、または絶縁物質で形成されうる。例えば、被エッチング膜106は、タングステン(W)、タングステンシリサイド、ポリシリコン、アルミニウム(Al)、またはこれらの組合わせで形成されうる。
【0022】
被エッチング膜106上に保護膜110を形成する。
保護膜110は、後続のハードマスクパターンの形成工程中に、被エッチング膜106が損傷されることを保護するために形成するものである。保護膜110は、窒化膜または酸化膜で形成されうる。保護膜110は、約50〜400Åの比較的薄い厚さに形成することが望ましい。
【0023】
保護膜110上にハードマスク層120を形成する。
ハードマスク層120は、被エッチング膜106の材料及び形成しようとするパターンの用途によって多様な物質で形成されうる。例えば、ハードマスク層120は、酸化膜、窒化膜、またはこれらの組合わせで形成されうる。または、被エッチング膜106が絶縁膜または導電膜である場合、被エッチング膜106の材料によって、エッチング選択比を提供できる物質で形成される。
【0024】
保護膜110とハードマスク層120とは、それぞれエッチング特性が異なる物質、すなわち、所定のエッチング条件に対して異なるエッチング選択比を有する物質で形成する。例えば、保護膜110を窒化膜で形成した場合、ハードマスク層120は、酸化膜で形成する。または、保護膜110を酸化膜で形成した場合、ハードマスク層120は、窒化膜で形成する。
【0025】
例えば、保護膜110が窒化膜で形成された場合に、ハードマスク層120は、熱酸化膜、CVD(Chemical Vapor Deposition)酸化膜、USG膜(Undoped Silicate Glass Film)及びHDP酸化膜(High Density Plasma Oxide Film)からなる群から選択される少なくとも一つの酸化膜で形成されうる。また、保護膜110が酸化膜で形成された場合、ハードマスク層120は、SiON、SiN、SiBN及びBNからなる群から選択される少なくとも一つの膜で形成されうる。また、ハードマスク層120は、前記で例示された酸化膜のうち選択される少なくとも一つの酸化膜と前記で例示された窒化膜のうち選択される少なくとも一つの窒化膜とで構成される多重層で形成されることもある。
【0026】
図1Bを参照すれば、通常のフォトリソグラフィ工程を利用して、ハードマスク層120上に複数の第1マスクパターン130を形成する。
第1マスクパターン130は、ポリシリコン膜で形成される。
第1マスクパターン130は、最終的に形成しようとするハードマスクパターンのピッチPより2倍大きい第1ピッチ2Pを有するように形成される。第1マスクパターン130の第1幅W1は、前記第1ピッチ2Pの1/4である値を有するように設計されうる。第1マスクパターン130は、例えば、基板100上で前記第1ピッチ2Pで所定の方向に反復形成される複数のラインパターンで形成されうる。
【0027】
図1Cを参照すれば、複数の第1マスクパターン130の間で露出されるハードマスク層120を、その上面から第1厚さdほど除去して、ハードマスク層120の表面に低い表面部122を形成する。その結果、ハードマスク層120の上部にハードマスク層リセス124が形成される。前記第1厚さdは、第1マスクパターン130の第1幅W1と同じ寸法を有しうる。
ハードマスク層120の上面に低い表面部122を形成するために、乾式エッチング工程が行える、例えば、図1Bを参照して説明した第1マスクパターン130の形成工程で、第1マスクパターン130の形成のための乾式エッチング工程ときに第1マスクパターン130が形成された後、連続的に過度エッチングを行って低い表面部122を形成させうる。他の方法として、低い表面部122を形成するための別途の乾式エッチング工程を行うこともある。
【0028】
図1Dを参照すれば、複数の第1マスクパターン130のうち、相互隣接した2個の第1マスクパターン130の間の位置にリセス142が形成されている上面を有するバッファ層140を第1マスクパターン130上に形成する。
バッファ層140は、ハードマスク層120のパターニングにおいて、エッチングマスクとして使われる第1マスクパターン130と、後続工程でリセス142内に形成される第2マスクパターン(図1Fの“150a”参照)の高さを均一にするためのバッファの役割を行う。
【0029】
バッファ層140は、第1マスクパターン130の上面及び側壁と、ハードマスク層120の低い表面部122とをそれぞれ均一な厚さに覆うように形成しうる。望ましくは、バッファ層140は、第1マスクパターン130とハードマスク層120との低い表面部122とをそれぞれ前記第1厚さdと同じ厚さに均一に覆うように形成される。また、望ましくは、バッファ層140の上面によって限定されるリセス142の第2幅W2が、第1マスクパターン130の第1幅W1と同じ寸法を有するようにバッファ層140の厚さを決定する。
【0030】
バッファ層140は、ハードマスク層120と類似したエッチング特性を有する物質で形成されうる。例えば、バッファ層140は、ハードマスク層120の構成物質と同じ物質で形成されうる。または、バッファ層140は、ハードマスク層120とエッチング特性は類似しているが、相異なる物質で形成されることもある。例えば、ハードマスク層120及びバッファ層140は、それぞれ酸化膜で形成されうる。望ましくは、バッファ層140は、ALD(Atomic Layer Deposition)方法によって形成された酸化膜または窒化膜で形成される。
【0031】
図1Eを参照すれば、バッファ層140が形成された基板100上に第2マスク層150を形成する。第2マスク層150は、ポリシリコン膜で形成される。
第2マスク層150を形成することによって、リセス142は、第2マスク層150で完全に満たされる。バッファ層140の厚さが前記第1ピッチ2Pの1/4である値を有する場合に、第2マスク層150のうち、リセス142内に満たされた部分の幅、すなわちリセス142の幅W2は、前記第1ピッチ2Pの1/4である値、すなわち第1マスクパターン30の幅W1と同じ値となりうる。
【0032】
図1Fを参照すれば、第2マスク層150の一部を除去してリセス142内に第2マスクパターン150aを形成する。その結果、複数の第2マスクパターン150aの間で第1マスクパターン130を覆っているバッファ層140が露出される。
第2マスク層150の一部を除去するときに、第2マスクパターン150aの上面が第1マスクパターン130の上面と同じレベルになるように第1マスク層150のエッチング量を調節しうる。例えば、第2マスク層150の一部を除去するために湿式エッチング方法を利用しうる。
【0033】
例えば、第2マスクパターン150aは、第1マスクパターン130の延長方向と同じ方向に延びる複数のラインパターンを形成しうる。リセス142内に残っている第2マスクパターン150aは、第1マスクパターン130とほぼ同じ水平面上に位置する。
図1Gを参照すれば、バッファ層140の露出された部分、すなわち第1マスクパターン130の上面を覆っている部分を除去して、第1マスクパターン130の上面を露出させる。その結果、基板100上で第1マスクパターン130の上面と第2マスクパターン150aの上面とが同時に露出される。この過程は、場合によって省略可能である。
【0034】
バッファ層140のうち、第1マスクパターン130の上面を覆っている部分を除去するために湿式エッチング工程を利用しうる。例えば、バッファ層140が酸化膜で形成された場合、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aに対して比較的高いエッチング選択比でバッファ層140のみを選択的に除去するために、フッ素(F)を含有するエッチング液、例えば、DHF(Diluted HF)、NH4F、またはこれらの組合わせで形成されうる。
【0035】
また、バッファ層140のうち、第1マスクパターン130の上面を覆っている部分を除去するために乾式エッチング工程を利用することもある。この場合、エッチングガスとしてCxFy(x及びyは、それぞれ1から10の整数)、またはCxFy、O2及びArの混合ガスを使用しうる。前記CxFyガスとして、例えば、C4F6またはC4F8を使用しうる。
【0036】
図1Hを参照すれば、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aをエッチングマスクとしてバッファ層140を異方性エッチングによって除去し、第1マスクパターン130と第2マスクパターン150aとの間でハードマスク層120の上面を露出させる。
ここで、第2マスクパターン150aは、前記第1ピッチ2Pの1/4である第2幅W2、すなわち第1マスクパターン130の幅W1と同じ幅を有しうる。この場合、基板100上のハードマスク層120上には、第1幅W1を有する第1マスクパターン130と第2幅W2を有する第2マスクパターン150aとによって、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPを有するマスクパターンが形成されうる。
【0037】
図1Iを参照すれば、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aをエッチングマスクとして使用してハードマスク層120を異方性乾式エッチングして、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPで反復形成されるハードマスクパターン120aを形成する。図1Iには、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aがそれぞれハードマスク層120の乾式エッチング工程を経ながら一部消耗された結果物として示されている。
【0038】
ハードマスク層120及びバッファ層140がそれぞれ酸化膜で形成された場合、図1Hを参照して説明したバッファ層140のエッチング工程と、図1Iを参照して説明したハードマスク層120のエッチング工程で、それぞれバッファ層140及びハードマスク層120を、ポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aと窒化膜からなる保護膜110とに対して高いエッチング選択比で除去するために、CxFy(xは、1〜6の整数、yは、3〜8の整数)とO2との混合ガスをエッチングガスとして利用する乾式エッチング工程が行える。
【0039】
例えば、C3F8、C4F6、C4F8及びC5F8のうち選択される何れか一つのガスと、O2ガスを1:1の体積比で混合したエッチングガスとを使用しうる。必要に応じて、前記エッチングガスにArを追加して供給することもある。また、前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
【0040】
また、ハードマスク層120及びバッファ層140がそれぞれ窒化膜で形成された場合、図1Hを参照して説明したバッファ層140のエッチング工程と、図1Iを参照して説明したハードマスク層120のエッチング工程とで、それぞれバッファ層140及びハードマスク層120を、ポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aと、酸化膜からなる保護膜110とに対して高いエッチング選択比で除去するために、CHxFy(x及びyは、それぞれ1〜3の整数、x+y=4)で表示されるガス、例えば、CH2F2、CH3F、またはこれらの組合わせからなるエッチングガスを使用して乾式エッチング工程が行える。
【0041】
必要に応じて、前記エッチングガスにO2ガスを追加して供給することもある。また、前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
図1Jを参照すれば、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140上に残っている第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去する。
第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するために乾式エッチングまたは湿式エッチング工程を利用しうる。
【0042】
例えば、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するために、HBr及びO2の混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用しうる。例えば、前記乾式エッチング工程ときにHBr及びO2ガスをHBr:O2の流量比が約10:1〜30:1となるように供給しうる。また、前記エッチングガス以外に、Heガスを付加的にさらに供給することもある。ここで、HBrガスは、約100〜300sccmの量で供給され、O2ガスは、約5〜30sccmの量で供給され、Heガスは、約50〜200sccmの量で供給されうる。場合によって、前記HBrガスの代わりにCl2ガスを使用するか、またはHBr及びCl2の混合ガスを使用することもある。
【0043】
第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するための乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
または、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去するために、NH4OH、H2O2及びH2Oの混合液からなるエッチング液を使用する湿式エッチング工程を利用しうる。この場合、例えば、NH4OH:H2O2:H2O=4:1:95の体積比で混合されたエッチング液を使用しうる。
【0044】
第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去される間に、被エッチング膜106は、保護膜110によって覆われているので、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aの除去時のエッチング雰囲気によって被エッチング膜106が損傷される恐れはない。
図1Kを参照すれば、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140をエッチングマスクとして、これらの間に露出されている保護膜110を除去する。この過程についてのさらに詳細な事項は、図1Lを参照して後述する。
【0045】
図1Lを参照すれば、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140をエッチングマスクとして、これらの間に露出されている被エッチング膜106を異方性乾式エッチングする。例えば、被エッチング膜106がWで構成された場合、NF3、SF6のようなフッ素(F)原子を含有するガスを使用する乾式エッチング工程が行える。
ここで、図1Kを参照して説明した保護膜110のエッチング工程と被エッチング膜106のエッチング工程とは、同じエッチング条件、すなわち、被エッチング膜106の除去のためのエッチング条件下で同一チャンバ内で連続的に行われうる。この場合にも、保護膜110は、比較的薄い厚さに形成されているので、被エッチング膜106の除去のためのエッチング条件下でエッチングしてもよく除去されうる。
【0046】
また、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140上にポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去された状態で被エッチング膜106の乾式エッチングを行うので、エッチング雰囲気でポリシリコンが露出されることによって引き起こされる問題、例えば、被エッチング膜106のエッチングときにエッチング率の低下現象、または被エッチング膜106のエッチング結果で得られる微細パターン106aの側壁プロファイルの不良現象を防止しうる。
【0047】
図1K及び図1Lに示したように、保護膜110及び被エッチング膜106のエッチング工程によって、ハードマスクパターン120a及びバッファ層140が一部消耗されてその高さが低くなりうる。
被エッチング膜106の乾式エッチング結果として得られる微細パターン106aは、その側壁プロファイルが垂直の良好なパターン形状を有し、前記第1ピッチ2Pの1/4である幅W1またはW2を有し、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPをもって反復形成される構造を有する。
【0048】
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を、図2Aから図2Eに示す工程順序によって説明する。図2Aから図2Eにおいて、図1Aから図1Lと同じ参照符号は、実質的に同一の部材を示す。
図2Aを参照すれば、図1Aから図1Hを参照して説明したような方法で基板100上に第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを形成した後、バッファ層140を異方性エッチングによって除去する。但し、第2実施形態では、第1実施形態で形成した保護膜110の形成工程は省略する。そして、第1実施形態で形成したハードマスク層120より大きい厚さを有するハードマスク層220を形成しうる。例えば、ハードマスク層220の厚さは、第1実施形態でのハードマスク層120の厚さと保護膜110の厚さとの和またはそれ以上に設定しうる。第2実施形態では、ハードマスク層120及び前記バッファ層が窒化膜からなることが望ましい。
【0049】
図2Bを参照すれば、図1Iを参照して説明したところと類似した方法でハードマスク層220を異方性乾式エッチングしてハードマスクパターン220aを形成する。但し、第2実施形態では、被エッチング膜106上で被エッチング膜106の上面を覆うように、第1マスクパターン130と第2マスクパターン150aとの間に残っている残留保護膜220bを備えるハードマスクパターン220aを形成する。ハードマスク層220の異方性乾式エッチングときに、残留保護膜220bが所望の厚さで残るように、ハードマスク層220のエッチングの深さを制御する。残留保護膜220bの厚さは、第1実施形態での保護膜110について説明したような条件を満足させうる。
【0050】
図2Cを参照すれば、図1Jを参照して説明したような方法で第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去する。このとき、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去される間に、被エッチング膜106は、残留保護膜220bによって覆われているので、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aの除去時のエッチング雰囲気によって被エッチング膜106が損傷される恐れはない。
【0051】
図2Dを参照すれば、図1Kを参照して説明した保護膜110の除去時と類似した方法で、ハードマスクパターン220a及びバッファ層140をエッチングマスクとしてハードマスクパターン220aの残留保護膜220bを除去して、被エッチング膜106を露出させるハードマスクパターン220cを形成する。
【0052】
図2Eを参照すれば、図1Lを参照して説明したような方法でハードマスクパターン220a及びバッファ層140をエッチングマスクとして、これらの間に露出されている被エッチング膜106を異方性乾式エッチングし、前記第1ピッチ2Pの1/4である幅W1またはW2を有し、前記第1ピッチ2Pの1/2であるピッチPをもって反復形成される微細パターン106aを形成する。
【0053】
第2実施形態でも、ハードマスクパターン220c及びバッファ層140上にポリシリコンからなる第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去された状態で被エッチング膜106の乾式エッチングを行うので、エッチング雰囲気でポリシリコンが露出されることによって引き起こされる問題、例えば、被エッチング膜106のエッチングときにエッチング率の低下現象、または被エッチング膜106のエッチング結果で得られる微細パターン106aの側壁プロファイルの不良現象を防止でき、良好な側壁プロファイルを有する微細パターン106aが得られうる。
【0054】
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を、図3Aから図3Gに示す工程順序によって説明する。図3Aから図3Gにおいて、図1Aから図1Lと同じ参照符号は、実質的に同一の部材を示す。
図3Aを参照すれば、半導体基板300上にパッド酸化膜302を形成する。
次いで、図1A及び図1Bを参照して説明したハードマスク層120及び第1マスクパターン130の形成方法と類似した方法で、パッド酸化膜302上にハードマスク層320及び第1マスクパターン130を形成する。但し、第3実施形態では、ハードマスク層320は、窒化膜322と酸化膜324とが順次に積層された二重層構造を有するように形成される。
【0055】
図3Bを参照すれば、図1Cから図1Hを参照して説明したような方法でハードマスク層320の酸化膜324上にバッファ層140及び第2マスクパターン150aを形成する。
図3Cを参照すれば、図1Iを参照して説明したような方法で第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aをエッチングマスクとして使用して、ハードマスク層320を構成する酸化膜324及び窒化膜322を順次に異方性乾式エッチングして酸化膜パターン324a及び窒化膜パターン322aを形成する。但し、第3実施形態では、窒化膜322をエッチングするときに、図2Bを参照して説明したように、パッド酸化膜302上で第1マスクパターン130と第2マスクパターン150aとの間に残っている残留保護膜322bを備える窒化膜パターン322aが形成されるように、窒化膜322のエッチングの深さを制御する。残留保護膜322bの厚さは、第1実施形態での保護膜110について説明したような条件を満足させうる。
【0056】
図3Dを参照すれば、図1Jを参照して説明したような方法で第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aを除去する。このとき、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aが除去される間に、下部のパッド酸化膜302及び半導体基板300は、残留保護膜322bによって覆われているので、第1マスクパターン130及び第2マスクパターン150aの除去時のエッチング雰囲気によってパッド酸化膜302及び半導体基板300が損傷される恐れはない。
【0057】
図3Eを参照すれば、図1Kを参照して説明した保護膜110の除去時と類似した方法で、ハードマスクパターン320a及びバッファ層140をエッチングマスクとして残留保護膜322bを除去して、パッド酸化膜302を露出させる。その結果、パッド酸化膜302上には、前記第1ピッチ2Pの1/2である微細なピッチPで反復形成される窒化膜パターン322a及び酸化膜パターン324aで構成されるハードマスクパターン320aが形成される。
【0058】
図3Eには、ハードマスクパターン320a上にバッファ層140が残留していると示されたが、場合によって、バッファ層140は、エッチング中に何れも消耗されて完全に除去された状態になることもある。または、図3Eの結果物上に残っている酸化膜パターン324a、バッファ層140及びパッド酸化膜302の露出された部分を半導体基板300に対して高いエッチング選択比で除去することもある。このために、CxFy(xは、1〜6の整数、yは、3〜8の整数)及びO2の混合ガスをエッチングガスとして利用する乾式エッチング工程が行える。
【0059】
このとき、例えば、C3F8、C4F6、C4F8及びC5F8のうち選択される何れか一つのガスとO2ガスとを1:1の体積比で混合したエッチングガスを使用しうる。必要に応じて、前記エッチングガスにArを追加して供給することもある。また、前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われうる。
【0060】
図3Fを参照すれば、ハードマスクパターン320aをエッチングマスクとしてパッド酸化膜302及び半導体基板300を異方性エッチングして半導体基板300にトレンチ330を形成する。
図3Fには、トレンチ330の形成のための半導体基板300の乾式エッチング工程を経ながら酸化膜パターン324a及びバッファ層140が完全に消耗されて残っていないと示されている。しかし、本発明による半導体素子の微細パターンの形成方法では、図示したところに限定されない。場合によって、窒化膜パターン322a上に酸化膜パターン324a及びバッファ層140が残っている。
【0061】
図3Gを参照すれば、トレンチ330の内部及び窒化膜パターン322a上に絶縁物質を蒸着した後に、窒化膜パターン322aが露出されるまでCMP工程によって結果物を平坦化する方法で、トレンチ330内に絶縁膜340を満たして素子分離領域を形成する。
図3Aから図3Gを参照して説明した方法のように、ダブルパターニング工程を利用して半導体基板300にトレンチ330を形成して素子分離領域を形成することによって、通常のフォトリソグラフィ工程で実現できるピッチの1/2である微細ピッチで反復的に形成される素子分離用パターンを形成することが可能である。したがって、フォトリソグラフィ工程での解像限界を超える微細ピッチで反復形成される微細な素子分離領域を容易に実現できる。
【0062】
以上、本発明を望ましい実施形態を例として詳細に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されず、本発明の技術的思想及び範囲内で当業者によって多様な変形及び変更が可能である。
(産業上の利用可能性)
本発明は、半導体素子の微細パターンの形成方法関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【0063】
【図1A】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1B】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1C】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1D】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1E】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1F】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1G】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1H】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1I】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1J】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1K】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図1L】本発明の第1実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2A】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2B】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2C】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2D】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図2E】本発明の第2実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3A】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3B】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3C】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3D】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3E】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3F】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【図3G】本発明の第3実施形態による半導体素子の微細パターンの形成方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【0064】
100:基板、106:被エッチング膜、106a:微細パターン、110:保護膜、120:ハードマスク層、120a:低い表面部、130:第1マスクパターン、140:バッファ層、142:リセス、150:第2マスク層、150a:第2マスクパターン、220:ハードマスク層、220a:ハードマスクパターン、220b:残留保護膜、220c:ハードマスクパターン、300:半導体基板、302:パッド酸化膜、320:ハードマスク層、320a:酸化膜パターン、322:窒化膜、322a:窒化膜パターン、322b:残留保護膜、324:酸化膜、324a:酸化膜パターン、330:トレンチ、340:絶縁膜
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板上の被エッチング膜上に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜上にハードマスク層を形成する工程と、
前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する工程と、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、前記保護膜を露出させるハードマスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する工程と、
前記保護膜の露出された部分を除去して、前記被エッチング膜を露出させる工程と、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項2】
前記第2マスクパターンは、前記第1マスクパターンと同じ水平面上に形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項3】
前記第2マスクパターンを形成する工程は、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間の位置にリセスが形成されている上面を有するバッファ層を前記第1マスクパターン上に形成する工程と、
前記バッファ層の上面に形成された前記リセス内に第2マスクパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項4】
前記第2マスクパターンが形成された後に、前記ハードマスク層をエッチングする前に、前記ハードマスク層が露出されるまで前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記バッファ層を乾式エッチングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項5】
前記第2マスクパターンが形成された後に、前記バッファ層を乾式エッチングする前に、前記第1マスクパターンの上面が露出されるように前記バッファ層の一部を除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項6】
前記バッファ層の一部を除去するために湿式または乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項7】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれポリシリコンからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項8】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、HBr及びCl2のうち選択される少なくとも一つのガスとO2ガスとの混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項9】
前記エッチングガスは、Heガスをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項10】
前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われることを特徴とする請求項8に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項11】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、NH4OH、H2O2及びH2Oが混合液からなるエッチング液を使用する湿式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項12】
前記ハードマスク層は、酸化膜、窒化膜、またはこれらの組合わせからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項13】
前記保護膜は、前記ハードマスク層の構成物質とは異なるエッチング特性を有する物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項14】
前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ酸化膜で形成され、
前記保護膜は、窒化膜で形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項15】
前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ窒化膜で形成され、
前記保護膜は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項16】
前記ハードマスク層は、前記被エッチング膜上に形成された窒化膜と、前記窒化膜上に形成された酸化膜とで形成され、前記バッファ層は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項17】
前記被エッチング膜は、導電物質、半導体、絶縁物質、またはこれらの組合わせからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項18】
前記被エッチング膜は、タングステン、タングステンシリサイド、ポリシリコン及びアルミニウムからなる群から選択される少なくとも一つの物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項19】
前記被エッチング膜をエッチングするために、フッ素原子を含むエッチングガスを使用することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項20】
前記保護膜の露出された部分を除去するために、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記保護膜をエッチングすることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項21】
前記複数の第1マスクパターンを形成した後、前記バッファ層を形成する前に前記第1マスクパターンの間で露出される前記ハードマスク層をその上面から所定の厚さほど除去して前記ハードマスク層の上面に低い表面部を形成する工程をさらに含み、
前記バッファ層は、前記第1マスクパターンと前記低い表面部とをそれぞれ前記第1厚さで均一に覆うように形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項22】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれ前記第1ピッチの1/4である幅を有するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項23】
前記被エッチング膜をエッチングした後、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの内部を絶縁膜で満たして素子分離領域を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項24】
基板上の被エッチング膜上にハードマスク層を形成する工程と、
前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する工程と、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、前記第1マスクパターンと第2マスクパターンとの間の位置で前記被エッチング膜を覆っている残留保護膜を備えるハードマスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する工程と、
前記ハードマスクパターンの残留保護膜を除去して前記被エッチング膜を露出させる工程と、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項25】
前記第2マスクパターンは、前記第1マスクパターンと同じ水平面上に形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項26】
前記第2マスクパターンを形成する工程は、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間の位置にリセスが形成されている上面を有するバッファ層を前記第1マスクパターン上に形成する工程と、
前記バッファ層の上面に形成された前記リセス内に第2マスクパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項25に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項27】
前記第2マスクパターンが形成された後、前記ハードマスク層をエッチングする前に、前記ハードマスク層が露出されるまで前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして、前記バッファ層を乾式エッチングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項28】
前記第2マスクパターンが形成された後、前記バッファ層を乾式エッチングする前に、前記第1マスクパターンの上面が露出されるように前記バッファ層の一部を除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項27に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項29】
前記バッファ層の一部を除去するために、湿式または乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項28に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項30】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれポリシリコンで形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項31】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、HBr及びCl2のうち選択される少なくとも一つのガスとO2ガスとの混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項32】
前記エッチングガスは、Heガスをさらに含むことを特徴とする請求項31に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項33】
前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われることを特徴とする請求項31に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項34】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、NH4OH、H2O2及びH2Oが混合液からなるエッチング液を使用する湿式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項35】
前記ハードマスク層は、窒化膜で形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項36】
前記ハードマスク層は、窒化膜及び酸化膜が順次に積層された二重層構造を有することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項37】
前記残留保護膜は、窒化膜で形成されることを特徴とする請求項36に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項38】
前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ窒化膜で形成されることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項39】
前記バッファ層は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項36に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項40】
前記被エッチング膜は、導電物質、半導体、絶縁物質、またはこれらの組合わせで形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項41】
前記被エッチング膜は、タングステン、タングステンシリサイド、ポリシリコン及びアルミニウムからなる群から選択される少なくとも一つの物質で形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項42】
前記被エッチング膜をエッチングするために、フッ素原子を含むエッチングガスを使用することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項43】
前記残留保護膜を除去するために、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記残留保護膜をエッチングすることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項44】
前記複数の第1マスクパターンを形成した後、前記バッファ層を形成する前に前記第1マスクパターンの間で露出される前記ハードマスク層をその上面から所定厚さほど除去して前記ハードマスク層の低い表面部を形成する工程をさらに含み、
前記バッファ層は、前記第1マスクパターンと前記低い表面部とをそれぞれ前記第1厚さで均一に覆うように形成されることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項45】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれ前記第1ピッチの1/4である幅を有するように形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項46】
前記被エッチング膜をエッチングした後、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの内部を絶縁膜で満たして素子分離領域を形成する工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項1】
基板上の被エッチング膜上に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜上にハードマスク層を形成する工程と、
前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する工程と、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、前記保護膜を露出させるハードマスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する工程と、
前記保護膜の露出された部分を除去して、前記被エッチング膜を露出させる工程と、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項2】
前記第2マスクパターンは、前記第1マスクパターンと同じ水平面上に形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項3】
前記第2マスクパターンを形成する工程は、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間の位置にリセスが形成されている上面を有するバッファ層を前記第1マスクパターン上に形成する工程と、
前記バッファ層の上面に形成された前記リセス内に第2マスクパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項4】
前記第2マスクパターンが形成された後に、前記ハードマスク層をエッチングする前に、前記ハードマスク層が露出されるまで前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記バッファ層を乾式エッチングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項5】
前記第2マスクパターンが形成された後に、前記バッファ層を乾式エッチングする前に、前記第1マスクパターンの上面が露出されるように前記バッファ層の一部を除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項6】
前記バッファ層の一部を除去するために湿式または乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項7】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれポリシリコンからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項8】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、HBr及びCl2のうち選択される少なくとも一つのガスとO2ガスとの混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項9】
前記エッチングガスは、Heガスをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項10】
前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われることを特徴とする請求項8に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項11】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、NH4OH、H2O2及びH2Oが混合液からなるエッチング液を使用する湿式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項12】
前記ハードマスク層は、酸化膜、窒化膜、またはこれらの組合わせからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項13】
前記保護膜は、前記ハードマスク層の構成物質とは異なるエッチング特性を有する物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項14】
前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ酸化膜で形成され、
前記保護膜は、窒化膜で形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項15】
前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ窒化膜で形成され、
前記保護膜は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項16】
前記ハードマスク層は、前記被エッチング膜上に形成された窒化膜と、前記窒化膜上に形成された酸化膜とで形成され、前記バッファ層は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項17】
前記被エッチング膜は、導電物質、半導体、絶縁物質、またはこれらの組合わせからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項18】
前記被エッチング膜は、タングステン、タングステンシリサイド、ポリシリコン及びアルミニウムからなる群から選択される少なくとも一つの物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項19】
前記被エッチング膜をエッチングするために、フッ素原子を含むエッチングガスを使用することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項20】
前記保護膜の露出された部分を除去するために、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記保護膜をエッチングすることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項21】
前記複数の第1マスクパターンを形成した後、前記バッファ層を形成する前に前記第1マスクパターンの間で露出される前記ハードマスク層をその上面から所定の厚さほど除去して前記ハードマスク層の上面に低い表面部を形成する工程をさらに含み、
前記バッファ層は、前記第1マスクパターンと前記低い表面部とをそれぞれ前記第1厚さで均一に覆うように形成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項22】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれ前記第1ピッチの1/4である幅を有するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項23】
前記被エッチング膜をエッチングした後、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの内部を絶縁膜で満たして素子分離領域を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項24】
基板上の被エッチング膜上にハードマスク層を形成する工程と、
前記ハードマスク層上に第1ピッチで反復形成される複数の第1マスクパターンを形成する工程と、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間に1つずつ位置する複数の第2マスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングして、前記第1マスクパターンと第2マスクパターンとの間の位置で前記被エッチング膜を覆っている残留保護膜を備えるハードマスクパターンを形成する工程と、
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去する工程と、
前記ハードマスクパターンの残留保護膜を除去して前記被エッチング膜を露出させる工程と、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記被エッチング膜をエッチングして、前記第1ピッチの1/2であるピッチで反復形成される複数の微細パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項25】
前記第2マスクパターンは、前記第1マスクパターンと同じ水平面上に形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項26】
前記第2マスクパターンを形成する工程は、
前記複数の第1マスクパターンのうち、相互隣接した2つの第1マスクパターンの間の位置にリセスが形成されている上面を有するバッファ層を前記第1マスクパターン上に形成する工程と、
前記バッファ層の上面に形成された前記リセス内に第2マスクパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項25に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項27】
前記第2マスクパターンが形成された後、前記ハードマスク層をエッチングする前に、前記ハードマスク層が露出されるまで前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンをエッチングマスクとして、前記バッファ層を乾式エッチングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項28】
前記第2マスクパターンが形成された後、前記バッファ層を乾式エッチングする前に、前記第1マスクパターンの上面が露出されるように前記バッファ層の一部を除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項27に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項29】
前記バッファ層の一部を除去するために、湿式または乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項28に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項30】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれポリシリコンで形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項31】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、HBr及びCl2のうち選択される少なくとも一つのガスとO2ガスとの混合ガスをエッチングガスとして使用する乾式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項32】
前記エッチングガスは、Heガスをさらに含むことを特徴とする請求項31に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項33】
前記乾式エッチング工程は、前記エッチングガスから得られるプラズマ雰囲気下で行われることを特徴とする請求項31に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項34】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンを除去するために、NH4OH、H2O2及びH2Oが混合液からなるエッチング液を使用する湿式エッチング工程を利用することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項35】
前記ハードマスク層は、窒化膜で形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項36】
前記ハードマスク層は、窒化膜及び酸化膜が順次に積層された二重層構造を有することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項37】
前記残留保護膜は、窒化膜で形成されることを特徴とする請求項36に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項38】
前記ハードマスク層及びバッファ層は、それぞれ窒化膜で形成されることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項39】
前記バッファ層は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項36に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項40】
前記被エッチング膜は、導電物質、半導体、絶縁物質、またはこれらの組合わせで形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項41】
前記被エッチング膜は、タングステン、タングステンシリサイド、ポリシリコン及びアルミニウムからなる群から選択される少なくとも一つの物質で形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項42】
前記被エッチング膜をエッチングするために、フッ素原子を含むエッチングガスを使用することを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項43】
前記残留保護膜を除去するために、前記被エッチング膜をエッチングする工程と同じエッチング条件で前記残留保護膜をエッチングすることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項44】
前記複数の第1マスクパターンを形成した後、前記バッファ層を形成する前に前記第1マスクパターンの間で露出される前記ハードマスク層をその上面から所定厚さほど除去して前記ハードマスク層の低い表面部を形成する工程をさらに含み、
前記バッファ層は、前記第1マスクパターンと前記低い表面部とをそれぞれ前記第1厚さで均一に覆うように形成されることを特徴とする請求項26に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項45】
前記第1マスクパターン及び第2マスクパターンは、それぞれ前記第1ピッチの1/4である幅を有するように形成されることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【請求項46】
前記被エッチング膜をエッチングした後、前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの内部を絶縁膜で満たして素子分離領域を形成する工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の半導体素子の微細パターンの形成方法。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図1G】
【図1H】
【図1I】
【図1J】
【図1K】
【図1L】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図3E】
【図3F】
【図3G】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図1G】
【図1H】
【図1I】
【図1J】
【図1K】
【図1L】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図3E】
【図3F】
【図3G】
【公開番号】特開2008−103718(P2008−103718A)
【公開日】平成20年5月1日(2008.5.1)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−265983(P2007−265983)
【出願日】平成19年10月12日(2007.10.12)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD.
【住所又は居所原語表記】416,Maetan−dong,Yeongtong−gu,Suwon−si,Gyeonggi−do 442−742(KR)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年5月1日(2008.5.1)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年10月12日(2007.10.12)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD.
【住所又は居所原語表記】416,Maetan−dong,Yeongtong−gu,Suwon−si,Gyeonggi−do 442−742(KR)
【Fターム(参考)】
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