基板搬送設備
【課題】収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができる基板搬送設備を提供する。
【解決手段】矩形状の基板を載置支持する複数の支持板４５が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、収納容器２に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板４５上に位置するように収納容器に収納する収納手段とが設けられ、支持板４５が、基板を載置支持する載置面４８ａより下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域Ｅの内外に伸びる凹入部５０を備えている。
【解決手段】矩形状の基板を載置支持する複数の支持板４５が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、収納容器２に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板４５上に位置するように収納容器に収納する収納手段とが設けられ、支持板４５が、基板を載置支持する載置面４８ａより下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域Ｅの内外に伸びる凹入部５０を備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、前記収納容器に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した前記収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように前記収納容器に収納する収納手段とが設けられている基板搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板搬送設備は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の矩形状の基板を上下方向に間隔を隔てて並設された支持板上に載置支持した状態で収納可能な収納容器に対して、浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように収納手段にて収納するものであるから、収納対象の基板を擦れ等による損傷が少ない状態で収納容器に収納することができるものである。
そして、このような基板搬送設備において、従来では、支持板が、その上面が平坦に形成されており、収納対象の基板は支持板の平坦な上面に直接に載置支持するように構成されており、収納対象の基板を収納手段にて収納して収納対象の基板を支持板上に位置させた後は、浮上用空気噴出体を噴出停止状態に切り換えて空気の噴出を停止させ、収納対象の基板を支持板にて載置支持させている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３１５８５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の基板搬送設備では、支持板の上面が平坦に形成されているために、浮上用空気噴出体を噴出停止状態に切り換えても、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間に空気が滞留することになり、支持板にて収納対象の基板を載置支持できるまでに時間がかかることになる。よって、従来の基板搬送設備では、収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができないものであった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができる基板搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる基板搬送設備は、矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、前記収納容器に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した前記収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように前記収納容器に収納する収納手段とが設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記支持板が、前記基板を載置支持する載置面より下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域の内外に伸びる凹入部を備えている点にある。
【０００７】
すなわち、支持板に、基板を載置支持する載置面より下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域の内外に伸びる凹入部が備えられているから、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を凹入部を通して外方に積極的に排気させることができる。よって、浮上用空気噴出体を噴出停止状態に切り換えたときに、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を速やかに外方に排気させて、収納対象の基板を載置面にて載置支持することができる。
従って、収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【０００８】
本発明にかかる基板搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記凹入部が、前記支持予定領域の中央部から前記支持予定領域の外部に伸びる形状に形成されている点にある。
【０００９】
すなわち、凹入部が、支持予定領域の中央部から支持予定領域の外部に伸びる形状に形成されているから、収納対象の基板における中央部下方の空気を凹入部を通して外方に排気させることができる。これにより、空気が滞留し易い収納対象の基板における中央部下方の空気を積極的に外方に排気させることができるので、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を効率よく外方に排気させることができる。よって、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができる。
従って、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【００１０】
本発明にかかる基板搬送設備の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記凹入部が、前記支持予定領域における基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成されている点にある。
【００１１】
すなわち、凹入部が、支持予定領域における基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成されているから、基板収納方向の上流側端部から下流側端部の全体に亘る収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を外方に排気させることができる。これにより、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を効率よく且つより速やかに外方に排気させることができる。しかも、収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間に空気を噴出するときには、凹入部を利用して基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って流動させることができ、その流動により収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間の全体に亘って空気を的確に供給することができ、収納手段による基板の収納を安定よく行い易いものとなる。
従って、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができながら、収納手段による基板の収納を安定よく行い易い物品搬送設備を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる基板搬送設備の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記浮上用空気噴出体が、前記基板収納方向と交差する横幅方向に間隔を隔てた状態で並設され、前記支持板が、前記横幅方向に並設された前記浮上用空気噴出体の間に位置するように前記凹入部を備えて構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、支持板が、横幅方向に並設された浮上用空気噴出体の間に位置するように凹入部を備えて構成されているから、浮上用空気噴出体にて収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間に噴出された空気の流動が、支持板における載置部を形成する部分にて邪魔され難く、基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って空気を適正に流動させることができる。よって、収納手段による基板の収納をより安定よく行い易いものとなる。
従って、収納手段による基板の収納をより安定よく行い易い物品搬送設備を提供することができるに至った。
【００１４】
本発明にかかる基板搬送設備の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記支持板が、上面が平坦な支持用基板と前記載置面を備えかつ前記支持用基板の上面から上方に突出する複数の突起部とを備えて構成され、且つ、前記突起部を前記支持用基板に基板収納方向並びにこの方向と交差する横幅方向に並設することにより前記凹入部が形成されている点にある。
【００１５】
すなわち、支持板を、上面が平坦な支持用基板と前記載置面を備えかつ支持用基板の上面から上方に突出する複数の突起部とを備えて構成し、突起部を支持用基板に基板収納方向並びに横幅方向に並設することにより凹入部を形成しているから、基板収納方向に沿う凹入部分と横幅方向に沿う凹入部分とが互いに交差するように凹入部を形成することができる。よって、単に、支持用基板に複数の突起部を備えるという簡易な構成でありながら、基板収納方向にも横幅方向にも空気を外方に排気可能な凹入部を形成することができ、収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間の空気を速やかに外方に排気することができる。
従って、支持板における凹入部を形成し易くしながら、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【００１６】
本発明にかかる基板搬送設備の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記収納対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記収納手段に対応する収納用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられている点にある。
【００１７】
すなわち、昇降手段にて収納容器を昇降させて、複数の支持板のいずれかを浮上用空気噴出体及び収納手段に対応する収納用高さに位置させることにより、その支持板に載置支持するように収納対象の基板を収納することができるので、収納対象の基板を複数の支持板に対してランダムに載置支持することができる。
また、収納容器を昇降手段にて昇降させることにより、収納容器より構成が複雑な浮上用空気噴出体及び収納手段を昇降移動させる必要がないため、支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる。
従って、収納対象の基板を複数の支持板に対してランダムに載置支持することができ且つ支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、基板処理設備は、矩形状の基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器２を収納する複数の収納部４を備えた物品収納棚５と、収納部４と基板入出部６との間で収納容器２を搬送する収納容器搬送装置としてのスタッカークレーン７と、基板入出部６に位置する収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板１を処理する基板処理装置（図示せず）に搬送し且つ基板処理装置から搬送される基板１を一枚ずつ収納容器２に収納する基板搬送装置８とを備えて構成されている。ここで、基板搬送装置８が本発明に係る基板搬送設備に相当する。
そして、この基板処理設備においては、収納容器２を物品収納棚５に保管しながら、保管した収納容器２を基板入出部６に搬送し、その基板入出部６に搬送された収納容器２から基板１を１枚単位で取り出して基板処理装置に搬送して所定の処理を行い、その所定の処理が行われた基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に対して１枚単位で収納させるようにしている。
【００１９】
図１及び図２に示すように、物品処理設備には、クリーン空間１３において浄化空気を天井部より床部に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段２３が設けられており、そのダウンフローのクリーン空間１３内に、収納棚５、スタッカークレーン７、及び、基板搬送装置８が装備されている。
浄化空気通風手段２３について説明を加えると、図２に示すように、浄化空気通風手段２３は、クリーン空間１３の床部が多孔状のグレーティング床１４にて形成され、クリーン空間１３の天井部がＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ１５にて形成されるとともに、グレーティング床１４の下方側に形成された吸気室１６とエアーフィルタ１５の上方側に形成されたチャンバー室１７とが通風ファン１８及びプレフィルタ２１を備えた循環路１９にて連通されており、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ２１とエアーフィルタ１５とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井部より床部に通風させるように構成されている。そして、循環路１９には、通風ファン１８より上流側に外気取入流路２０が接続され、通風ファン１８より下流側に排気流路２２が接続されており、浄化空気通風手段２３にて循環されるクリーン空間１３内の空気の一部を外気と交換されている。
【００２０】
また、図１に示すように、基板搬送装置８によって基板入出部６の収納容器２と基板処理装置との間で基板１を搬送する基板搬送エリア２４には、物品収納棚５側の端部が開放され且つ基板処理装置側の端部が基板処理装置と連通するように基板搬送空間を覆う区画壁２５が設けられ、この区画壁２５の天井部に複数のエリア用ファンフィルタユニット２６が設けられている。そして、複数のエリア用ファンフィルタユニット２６にて、クリーン空間１３の浄化空気をさらに清浄化させた浄化空気を天井側より床部側に通風させて、区画壁２５にて覆われる基板搬送空間をダウンフローの空間としている。
【００２１】
図１及び図２に示すように、物品収納棚５の夫々は、棚前後方向に並ぶ前後一対の支柱にて構成された支柱組２８が棚横幅方向に並べて立設され、支柱組２８を構成する前後一対の支柱に亘って複数の物品支持部２９が上下方向に並べて架設されており、収納容器２を物品支持部２９にて載置支持させた状態で収納する収納部４が縦横に並べられる状態で複数設けられている。ちなみに、物品収納棚５は、グレーティング床１４上に互いに対向する状態で一対設けられている。
そして、物品収納棚５に設けられた複数の収納部４のうちの一部が基板入出部６とされている。説明を加えると、図３に示すように、物品収納棚５に設けられた最下段の複数の収納部４のうちの一部の収納部４は、その収納部４に収納された収納容器２に対して物品収納棚５の背面側を通して基板搬送装置８にて基板２を一枚ずつ取り出すことや一枚ずつ収納することができるように構成されており、基板入出部６とされている。
【００２２】
図１及び図２に示すように、スタッカークレーン７は、互いに対向する状態で設けられた一対の収納棚５の間に形成された移動空間をその長手方向に沿って走行移動する移動台車３１と、移動台車３１に立設された台車走行方向に並ぶ一対の昇降マスト３２に昇降自在に案内支持される昇降台３３と、昇降台３３に支持されて収納部４と自己との間で収納容器２を移載可能なフォーク式の物品移載装置３４とが備えられており、移動台車３１の水平移動、昇降台３３の昇降移動、および、物品移載装置３４の作動により、基板入出部６としての収納部４とこれ以外の収納部４との間で収納容器２を搬送するように構成されている。
【００２３】
図３に示すように、物品移載装置３４は、上下軸芯周りに旋回自在な旋回台３５、及び、その旋回台３５上に設けられた載置部３６を出退移動自在に支持するリンク機構３７から構成されている。そして、物品移載装置３４は、リンク機構３７の伸縮により物品移載装置３４を昇降台３３上に引退させた状態や物品移載装置３４を収納部４側に突出させた状態に切り換え可能で、且つ、旋回台３５の旋回により物品移載装置３４の出退方向を１８０度変更可能に構成されている。
【００２４】
本発明に係る基板搬送設備である基板搬送装置８は、図３等に示すように、基板入出部６に位置する収納容器２と基板搬送コンベヤ５１との間で基板１を１枚ずつ受け渡すように構成されている。そして、基板搬送装置８としては、基板１を載置支持する複数の支持板４５が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器２と、基板１を載置搬送する基板搬送コンベヤ５１と、収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板搬送コンベヤ５１に受け渡し且つ基板搬送コンベヤ５１から受け取った基板１を一枚ずつ収納容器２に収納する基板中継ユニット７０と、基板入出部６に位置する収納容器２を昇降自在に支持する昇降手段６１と、基板搬送装置８の作動を制御する制御装置Ｈ（図１９参照）とが備えられている。
次に、基板搬送装置８について詳細な説明を加えるが、基板取り出し方向の下流側（基板収納方向の上流側）を前方側とし、基板取り出し方向の上流側（基板収納方向の下流側）を後方側とし、基板取り出し方向（基板収納方向）に沿う方向を前後方向と称し、この方向と交差する方向を横幅方向として説明する場合がある。
【００２５】
〔収納容器〕
図５及び図６に示すように、収納容器２は、前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体４１と、容器本体４１の前側端部に前面の開口を閉塞する状態で設けられた蓋部材４２と、容器本体４１の後側端部に後面の開口を閉塞する状態で設けられたファンフィルタユニット４３と、収納容器２内に上下方向に間隔を隔てた状態で並設された複数の支持板４５とを備えて構成されている。
【００２６】
容器本体４１は、フレーム材にて直方体形状に枠組み形成するとともに左右面及び上下面の開口を板材にて閉塞させることにより、上述の前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成されている。そして、容器本体４１の前面の開口を基板出し入れ口４４として、容器本体４１に対して基板出し入れ口４４を通して基板１の出し入れが可能に構成されている。
【００２７】
図５に示すように、蓋部材４２は、基板出し入れ口４４と同形状の開口が形成されるように蓋形成用のフレーム材にて枠組み形成されており、その開口は透明な板材にて閉塞されている。
また、蓋部材４２には、容器本体４１に上方から係合する被係合枠４６が設けられている。つまり、蓋部材４２は、蓋部材４２を容器本体４１に対して下方に移動させて被係合枠４６を容器本体４１に係合させることにより蓋部材４２を容器本体４１に装着することができ、蓋部材４２を容器本体４１に対して上方に移動させることにより蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができるように構成されている。
そして、蓋部材４２は、容器本体４１に装着された状態において、容器本体４１との間に隙間が形成される形状に形成されており、ファンフィルタユニット４３にて収納容器２内に導入された空気は、容器本体４１と蓋部材４２との間に形成された隙間を通して外部に排出される。
【００２８】
図６に示すように、ファンフィルタユニット４３は、容器本体４１の後面の開口から基板出し入れ口４４に向けて通風させるように容器本体４１の後端部に着脱自在に装着されている。
尚、詳細な説明は省略するが、ファンフィルタユニット４３には、受電部とこの受電部に供給された電力を蓄えるバッテリとが備えられており、ファンフィルタユニット４３は、収納容器２が収納部４に収納されている状態では、収納部４の夫々に備えられた給電部から受電部に給電された電力により作動し、収納容器２がスタッカークレーン７にて搬送されているとき等の受電部が給電部から離れて受電部に電力が供給されない状態では、バッテリに蓄えられた電力により作動するように構成されている。
【００２９】
図７に示すように、複数の支持板４５の夫々は、プレス加工により上方に突出する複数の突起部４８が形成された支持用基板４７と、載置支持した基板１の横幅方向及び後方への移動を規制する規制部材４９とが備えられている。そして、突起部４８の上面は、水平な平面に形成されており基板１を載置支持する載置面４８ａとされている。
また、複数の支持板４５の夫々は、図９等に示すように、その前端部分４５ａの上面が前方側ほど下方に位置する傾斜する平面に形成され、前端部分４５ａ及び突起部４８以外の部分の上面が水平な平面に形成されており、基板１を載置支持する支持予定領域Ｅが前端部分４５ａからそれ以外の部分に亘って設定されている。
ちなみに、突起部４８は、直径１０ｍｍの円形状で且つガラス基板１の厚みより薄い厚み０．２ｍｍに形成されている。
【００３０】
そして、複数の支持板４５の夫々には、突起部４８を支持用基板４７に前後方向並びに横幅方向に並設することにより凹入部５０が形成されている。
説明を加えると、支持板４５における突起部４８を形成していない部分が載置面４８ａより下方に凹入することになる。上述の如く支持用基板４７に突起部４８を並設することにより、載置面４８ａより下方に凹入する凹入部５０が格子状に形成されることとなり、このように形成された凹入部５０は、支持予定領域Ｅの中央部から支持予定領域Ｅの外部に伸びる形状で、且つ、支持予定領域Ｅにおける前端部から後端部に亘って直線状に伸びる形状に形成される。支持板４５の上面と基板１の下面との間に空気が供給されることにより、基板１が支持板４５から浮上するのであるが、支持板４５の上面と基板１の下面との間への空気の供給が停止されたときに、例えば図７の点線矢印にて示しているように、支持板４５と基板１との間に存在する空気が、凹入部５０に沿って支持予定領域Ｅの外部まで流動することになる。その結果、支持板４５と基板１との間に存在する空気を速やかに排出することができ、突起部４８にて基板１を安定して載置支持することができる。
【００３１】
規制部材４９は、支持予定領域Ｅの左右両側に位置するように支持用基板４７における左右両端部において前後方向に間隔を隔てて並設され且つ支持予定領域Ｅの後方側に位置するように支持用基板４７における後端部において横幅方向に間隔を隔てて並設されている。
【００３２】
〔昇降手段〕
図３及び図４に示すように、昇降手段６１は、基板入出部６に設けられており、昇降用モータ６２（図１９参照）にて昇降移動して収納容器２を載置支持する左右一対の支持台６３と、左右一対の支持台６３を各別に昇降自在に案内支持する左右一対の案内支柱６４とを備えて構成されている。
そして、図４に示すように、基板入出部６には、収納容器２における蓋部材４２の被係合枠４６に係合する係合部材６５が区画壁２５の天井部に支持される状態で設けられており、スタッカークレーン７にて収納容器２が昇降手段６１にて載置支持されるように基板入出部６に搬入されるに伴って被係合枠４６が係合部材６５に係合し且つ容器本体４１から離脱して蓋部材４２が容器本体４１から取り外され、スタッカークレーン７にて基板入出部６から収納容器２が搬出されるに伴って被係合部枠４６が容器本体４１に係合し且つ係合部材６５から離脱して蓋部材４２が容器本体４１に装着される。
よって、昇降手段６１にて収納容器２における容器本体４１を載置支持した支持台６３を昇降させることにより、蓋部材４２を係合部材６５に支持させた状態で収納容器２における蓋部材４２以外の部分を昇降移動させて、基板出し入れ口４４の開口量が変更されるように構成されている。
【００３３】
〔基板中継ユニット〕
次に、基板中継ユニット７０について説明を加える。
図３に示すように、基板中継ユニット７０は、横幅方向に沿って走行する走行台車７４にて横幅方向に移動自在に構成されており、基板入出部６に位置する収納容器２との間で基板１を一枚ずつ取り出す又は収納するときには、走行台車７４の走行により基板入出部６に位置する収納容器２に隣接する位置に基板中継ユニット７０が配置されるように構成されている。
図８に示すように、基板中継ユニット７０は、取り出し対象又は収納対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体７１と、浮上用空気噴出体７１よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給する供給用空気噴出体７２と、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により支持板４５から浮上した取り出し対象の基板１を浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上方を通過させる状態で収納容器２から取り出し、且つ、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により浮上した収納対象の基板１をその基板１を載置支持する支持板４５上に位置するように浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上方を通過させる状態で収納容器２に収納する基板出し入れ機構７３とを備えて構成されている。
ちなみに、基板出し入れ機構７３は、基板１を収納容器２から取り出す取り出し手段と基板１を収納容器２に収納する収納手段とに兼用されている。
【００３４】
〔走行台車〕
図３及び図４に示すように、走行台車７４は、横幅方向に沿って設けられた一対の走行用レール７６の夫々に対応して設けられて走行用モータ７７にて回転駆動される走行用車輪７８を備え、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を支持するように構成され、走行用モータ７７にて走行用車輪７８を回転駆動させることにより、基板中継ユニット７０を横幅方向に走行移動させて収納容器２と隣接する位置と基板搬送コンベヤ５１と隣接する位置とに移動可能に構成されている。
【００３５】
〔基板出し入れ機構〕
基板出し入れ機構７３は、基板１を挾持搬送する挾持搬送手段８１と基板１を載置搬送する載置支持搬送手段８８とを備えて構成されている。
挾持搬送手段８１は、基板１を収納容器２から取り出す場合には、取り出し対象の基板１における基板取り出し方向の下流側端部を挾持する挾持部８２を基板取り出し方向に沿う移動経路に沿って基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させて、取り出し対象の基板１の全体が収納容器２内に位置する収納位置（図９及び図１０参照）から取り出し対象の基板１の一部が収納容器２外に位置する中継位置（図１１及び図１２参照）まで取り出し対象の基板１を搬送し、また、基板１を収納容器２に収納する場合には、挾持部８２を移動経路に沿って基板搬入方向の上流側から下流側に移動させて、中継位置に位置する収納対象の基板１を、挾持部８２の先端部分にて押圧する状態で中継位置から収納位置まで搬送するように構成されている。
そして、挾持搬送手段８１は、基板１を収納容器２から取り出すときは取り出し対象の基板１における横幅方向の両端部を挾持し、基板１を収納容器２に収納するときは収納対象の基板２における横幅方向の両端部を押圧するように、挾持部８２を横幅方向に一対設けて構成されている。これにより、縦軸芯周りでの基板１の回転を防止し且つ基板１を安定した姿勢で搬送することができながら、基板１に対して接触する位置を基板取り出し方向の下流側端部のごく一部とすることができる。
【００３６】
挾持部８２は、協働により基板１を上下方向に挾持する一対の挾持作用部分８３と、一対の挾持作用部分８３を支持する支持部分８４とを備えて構成されている。一対の挟持作用部分８３は、支持部分８４の横側方に突出する状態で、互いに遠近移動自在に支持されている。そして、一対の挟持作用部分８３は、一対の挾持作用部分８３を互いに近接させて基板１を挾持する挾持状態（図１１参照）と、一対の挾持作用部分８３を互いに離間させた挾持解除状態（図９参照）と、一対の挾持作用部分８３を挾持状態よりさらに近接させて互いに接触させる押圧状態（図１３参照）とに切り換え可能に構成されている。
【００３７】
挟持部８２は、基板取り出し方向に沿う移動経路に沿って直線状に移動自在な移動体８７に支持されており、この移動体８７の移動経路に沿う移動によって挟持部８２が基板取り出し方向に移動自在に構成されている。移動体８７の上部には、移動体８７に対して縦軸芯周りで揺動自在に連結された揺動連結部材８５が設けられ、その揺動連結部材８５において基板取り出し方向に延びる部分の端部には、その上部に挟持部８２が固定支持されている。これにより、挾持部８２は、移動体８７に縦軸芯周りに揺動自在に支持されている。
ちなみに、挾持部８２が揺動する縦軸芯は、平面視において支持部分８４が存在する箇所から外れた箇所に位置しており、挾持作用部分８３が存在する箇所に位置している。
【００３８】
また、挾持搬送手段８１は、取り出し対象の基板１を中継位置に搬送した状態で取り出し対象の基板１に対する挾持を解除した挾持部８２を、載置支持搬送手段８８にて搬送される取り出し対象の基板１の搬送経路（基板１を搬送するときに基板１が占める空間）から退避させた退避位置に移動させる退避操作手段としての揺動案内部材８９を備えて構成されている。
この揺動案内部材８９は、移動体８７の移動経路に沿う移動により挾持部８２に接当して、挾持部８２を基板取り出し方向と交差する横幅方向の外方側に案内させるように縦軸芯周りに揺動させることにより、挟持部８２を退避位置に退避させるように構成されている。
【００３９】
揺動案内部材８９について説明を加えると、揺動案内部材８９は、揺動連結部材８５及び案内ローラ８６を案内する案内溝８９ａを備えて構成されている。つまり、揺動連結部材８５は、案内溝８９ａが形成されている板体を貫通する状態で案内溝８９ａの内壁と接当するように設けられており、案内ローラ８６は、揺動連結部材８５の基板取り出し方向に延びる部分の端部においてその下方側に案内溝８９の内壁と当接するように一対設けられている。
そして、案内溝８９ａは、基板取り出し方向の上流側の部分が移動体８７の移動経路に沿う直線状に形成され、この上流側の部分と連続する下流側の部分が横幅方向の外方側に曲がる曲線状に形成されている。
つまり、図９〜図１３に示すように、取り出し対象の基板１を収納位置から中継位置に搬送する又は収納対象の基板１を中継位置から収納位置に搬送するべく移動体８７を移動経路に沿って移動させている間は、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける直線状に形成された部分にて直線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は挾持作用部分８３と支持部分８４とが移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢に保持される。
そして、図１４及び図１５に示すように、収納位置の取り出し対象の基板１に対して挾持を解除した後に、移動体８７を基板取り出し方向の下流側に移動させることにより、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける曲線状に形成された部分にて横幅方向の外方側に移動するように曲線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は支持部分８４が挾持作用部分８３に対して横幅方向外方側に位置するように移動経路に対して傾いた姿勢に変更される。また、この状態から移動体８７を基板取り出し方向の上流側に移動させることにより、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける曲線状に形成された部分にて横幅方向の内方側に移動するように曲線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は挾持作用部分８３と支持部分８４とが移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢に変更される。
そして、図１０及び図１２に示すように、挾持部８２は、移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢では、平面視において一対の挾持作用部分８３及び支持部分８４が基板１の搬送経路の横幅内に位置するため、基板１に対して基板取り出し方向の下流側から挾持又は押圧することができ、図１５に示すように、移動経路に対して傾いた姿勢では、平面視において一対の挾持作用部分８３の一部及び支持部分８４が基板１の搬送経路から横外方側に外れて位置するため、挾持部８２に邪魔されることなく載置支持搬送手段８８にて基板１を搬送することができる。
ちなみに、挾持部８２は移動経路に対して傾いた姿勢では退避位置（図１４及び図１５参照）に位置している。このとき、一対の挾持作用部分８３は、平面視において基板１の搬送経路上に存在することになるが、一対の挟持作用部分８３を挾持解除状態とすることにより、基板１の通過を許容することができる。
【００４０】
〔載置支持搬送手段〕
載置支持搬送手段８８は、基板１を収納容器２から取り出す場合には、挾持搬送手段８１にて中継位置に搬送された取り出し対象の基板１を載置支持して、取り出し対象の基板１を中継位置から取り出し対象の基板１の全体が収納容器２外に位置する取り出し位置（図１４参照）に搬送し、基板１を収納容器２に収納する場合には、基板搬送コンベヤ５１から受け取った収納対象の基板１を取り出し位置から中継位置に搬送するように構成されている。
ちなみに、載置支持搬送手段８８は、基板中継ユニット７０を横幅方向に走行移動させるときには基板１をその全体が載置支持搬送手段８８上に位置する取り出し位置で載置支持するとともに、取り出し位置に位置する取り出し対象の基板１を基板搬送コンベヤ５１に受け渡し、基板搬送コンベヤ５１から受け取った収納対象の基板１を取り出し位置に搬送するように構成されている。
【００４１】
載置支持搬送手段８８について説明を加えると、載置支持搬送手段８８は、基板１の下面に向けて空気を供給して水平姿勢で基板を非接触状態で支持する送風式支持手段５２と、その送風式支持手段５２にて支持された基板１に対して搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段５３とを設けて構成されている。
送風式支持手段５２は、基板１の搬送経路の下方に設けられて上方に向けて空気を送風するブロア５４と、このブロア５４と基板１の搬送経路との間に設けられた多孔状の整風板５５と、ブロア５４に空気を供給するコンベア用空気供給装置５６（図１９参照）とを備えて構成されている。また、推進力付与手段５３は、基板取り出し方向に並設されて基板１の下面に接触する複数の支持用搬送ローラ５７と、中継位置に位置する基板１の上面に接触して支持用搬送ローラ５７との協働により基板１を挾持する挾持用搬送ローラ５８とを備えて構成され、基板１における横幅方向の両端部を載置支持及び挾持するように、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が横幅方向に一対設けて構成されている。
【００４２】
複数の支持用搬送ローラ５７として、基板１の横幅方向への移動を規制する鍔を備えた鍔付きの支持用搬送ローラ５７と、鍔を備えていない鍔無しの支持用搬送ローラ５７とが設けられており、鍔無しの支持用搬送ローラ５７は、中継位置に位置する基板１の下面に接触し且つ挾持用搬送ローラ５８との協働に基板１を挾持するように、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における基板取り出し方向の上流側端部に配設されており、鍔付きの支持用搬送ローラ５７は、中継位置に位置する基板１の下面に接触しないように、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における鍔無しの支持用搬送ローラ５７よりも基板取り出し方向の下流側に並設されている。
ちなみに、挾持用搬送ローラ５８は、鍔無しの支持用搬送ローラ５７と同様に、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における基板取り出し方向の上流側端部に配設されている。
つまり、載置支持搬送手段８８は、中継位置が基板１における基板取り出し方向の下流側端部が複数の支持用搬送ローラにおける鍔無しの支持用搬送ローラ５７で支持され且つ挾持用搬送ローラ５８との協働により挾持される位置となるように構成されており、挾持搬送手段８１による取り出し対象の基板１の搬送は、支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８とで挾持されるように、基板１における基板取り出し方向の下流側端部が載置支持搬送手段８８における基板取出方向の上流側端部に位置するように搬送する。
要するに、中継位置が、基板１における基板取り出し方向の下流側端部が載置支持搬送手段８８における基板取り出し方向の上流側端部に配設された鍔無しの支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８との協働により挾持される位置であり、収納位置に近い位置であるため、挾持搬送装置８１による基板１の搬送距離が短くなるので、挾持部８２の移動距離を短くすることができる。
【００４３】
また、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が載置支持及び挾持する箇所は、挟持搬送手段８１が挟持する箇所よりも横幅方向で外方側となるように支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が配設されている。これにより、挟持搬送手段８１による基板１の搬送範囲と、載置支持搬送手段８８による基板１を搬送範囲とが基板取り出し方向で重複するように構成されている。よって、挟持搬送手段８１によって載置支持搬送手段８８にて基板１を搬送可能な中継位置まで基板１を搬送することができ、逆に、載置支持搬送手段８８によって挟持搬送手段８１にて搬送可能な中継位置まで基板１を搬送することができる。その結果、挟持搬送手段８１と載置支持搬送手段８８との間での受け渡しを的確に行える。しかも、挟持搬送手段８１から載置支持搬送手段８８に基板１を受け渡すときには、基板１を挟持部８２に挟持した状態から載置支持した状態に移行することになるが、支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８との協働により基板１を挟持した状態で搬送することができるので、挟持搬送手段８１と載置支持搬送手段８８との間での受け渡しを的確に行いながら基板１を適正に搬送することができる。
【００４４】
そして、載置支持搬送手段８８は、基板１の横幅方向中央部を送風式支持手段５２にて非接触状態で支持し、且つ、基板１の横幅方向の両端部を推進力付与手段５３にて接触支持及び挾持して、搬送用モータ５９にて支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８を回転駆動させることにより基板１を搬送方向に沿って搬送するように構成されている。
ちなみに、基板搬送コンベヤ５１は、載置支持搬送手段８８と同様に、ブロアと整風板と空気供給装置とを備えた送風式支持手段、及び、複数の支持用搬送ローラを備えた推進力付与手段とを備えて構成されている。尚、基板搬送コンベヤ５１には、挾持用搬送ローラは設けられていない。
【００４５】
図１６に示すように、浮上用空気噴出体７１は、上方に向けて空気を噴出する空気噴出口９１と、この空気噴出口９１の基板取り出し方向の上流側端部から上方側に伸びる形状に形成されて空気噴出口９１から上方に向けて噴出された空気を浮上用空気噴出体７１の上面に沿って収納容器２側に向けて水平方向に流動するように誘導する誘導曲面９２とを備えて、容器隣接箇所Ａにおいて、基板出し入れ機構７３にて取り出される取り出し対象の基板１及び収納される収納対象の基板１の下面と浮上用空気噴出体７１の上面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体を兼用するように構成されている。
【００４６】
つまり、図１６（ａ）において矢印で示すように、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１から上方に向けて噴出された空気は、コアンダ効果により誘導曲面９２に沿って流動した後、その誘導曲面９２に連なる浮上用空気噴出体７１の上面に沿って水平方向に流動し、そのまま基板取り出し方向の上流側に位置する収納容器２に向けて水平方向に流動するため、空気噴出口９１から噴出された空気は、取り出し対象の基板１の下面と浮上用空気噴出体７１の上面との間に向けて空気が噴出されるように誘導曲面９２にて誘導され、その後は、取り出し対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気が噴出されるように収納容器２側に向けて水平方向に流動する。
【００４７】
供給用空気噴出体７２は、浮上用空気噴出体７１と同様に構成された噴出体を水平方向に流動する空気の向きを逆方向となるように設けたものであり、上方に向けて空気を噴出する逆方向用空気噴出口９３と、この逆方向用空気噴出口９３よりも上方側でかつ基板取り出し方向の下流側に位置して逆方向用空気噴出口９３から上方に向けて噴出された空気を供給用空気噴出体７２の上面に沿って収納容器２側とは反対側に向けて水平方向に流動するように誘導する逆方向用誘導曲面９４とを備えて構成されている
つまり、逆方向用空気噴出口９３から噴出された空気は、容器隣接箇所Ａにおいて浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給するように収納容器２側とは反対側である基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動する。
【００４８】
図８及び図１７に示すように、浮上用空気噴出体７１は、横幅方向に間隔を隔てた状態で複数並設され、供給用空気噴出体７２は、横幅方向で浮上用空気噴出体７１の間に配設されており、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２とは横幅方向の両端に浮上用空気噴出体７１が位置する状態で横幅方向に交互に一列に並べられている。これにより、図１７中矢印にて示すように、基板１を搬送するときには、供給用空気噴出体７２にて噴出される空気を浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１に対して基板取り出し方向の下流側に供給することができる。これにより、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１からの空気の噴出により、その基板取り出し方向の下流側が負圧となっても、供給用空気噴出体７２からの空気によりその部分が正圧化されて基板１を適正に支持することができる。
そして、基板出し入れ機構７３における基板取り出し方向の上流側端部には、上面の高さが整風板５５の上面と同じ高さとなる状態で且つ基板取り出し方向の上流側に伸びる状態で連設板９６が支持されており、供給用空気噴出体７２は、その上面が連設板９６の上面と同じ高さで且つ基板取り出し方向に連なる状態で連設板９６に支持されており、浮上用空気噴出体７１は、その上面が連設板９６の上面よりの数ミリ（例えば２〜３ｍｍ程度）下方に位置する高さで且つ基板取り出し方向の下流側に空気噴出口９１から噴出された空気が通る隙間が形成される状態で連設板９６に支持されている。
つまり、浮上用空気噴出体７１は、その上面が供給用空気噴出体７２の上面よりも数ミリ下方に位置するように設けられている。
【００４９】
浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２には空気供給装置としての噴出体用空気供給装置９５（図１９参照）から空気が供給され、この噴出体用空気供給装置９５は供給する空気の供給量を調整自在に構成されている。そして、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２に空気を供給することにより、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は空気を噴出する噴出状態に切り換えられ、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２への空気の供給を停止させることにより、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は空気の噴出を停止させた噴出停止状態に切り換えられる。
【００５０】
次に、制御装置Ｈについて説明する。
図１８及び図１９に示すように、基板中継ユニット７０には、挾持部８２にて挾持されている基板１及び挾持部８２にて押圧されている基板１の存否を検出する基板存否検出センサ１０１、収納容器２が基板１の取り出す並びに収納に適正な高さに位置しているか否かを検出する容器高さ検出センサ１０２、基板１が取り出し位置に位置しているか否かを検出する取り出し位置検出センサ１０３、基板１が中継位置に位置しているか否かを検出する中継位置検出センサ１０４、及び、載置支持搬送手段８８による基板１の搬送速度を減速させる減速位置検出センサ１０５が設けられ、基板入出部６には、収納容器２から基板１の一部が外部にはみ出しているか否かを検出する基板はみ出し検出センサ１０６が設けられており、これらの検出センサからの検出情報が制御装置Ｈに入力されるように構成されている。
【００５１】
そして、制御装置Ｈは、これらの検出センサや上位のコントローラからの指令等に基づいて、基板中継ユニット７０における走行台車７４、基板出し入れ機構７３及び噴出体用空気供給装置９５の作動、並びに、昇降手段６１及び基板搬送コンベヤ５１の作動を制御するように構成されている。
【００５２】
制御装置Ｈは、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように噴出体用空気供給装置９５の作動を制御する空気供給用制御手段、及び、取り出し対象又は収納対象の基板１を載置支持する支持板４５を浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さ（取り出し用高さであり且つ収納用高さである）に位置させるべく昇降手段６１の作動を制御する昇降用制御手段としての機能も備えられている。
つまり、制御装置Ｈは、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出停止状態から噴出状態に切り換える際に、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２に供給する空気の量を段階的に多くし、これら浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように噴出体用空気供給装置９５の作動を制御するように構成されている。
また、制御装置Ｈは、基板１を収納容器２から取り出す又は収納する場合は、その取り出す又は収納する基板１を載置支持する支持板４５を浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さに位置させて、浮上用空気噴出体７１から噴出される空気が取り出す又は収納する基板１の下面とその基板１を載置支持する載置板４５の上面との間に噴出させ、且つ、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により浮上した基板１を挾持部８２にて挾持又は押圧可能とするべく、昇降手段６１の作動を制御するように構成されている。
【００５３】
基板存否センサ１０１は、一対の挾持部８２の夫々に挾持作用部分８３の直前における基板１の存否を検出するように一対設けられており、制御手段Ｈは、一対の基板存否センサ１０１の両方が基板１の存在を検出する検出状態であると基板１を挾持或いは押圧していると判別し、一対の基板存否センサ１０１の一方又は両方が基板１を検出していない非検出状態であると基板１を挾持及び押圧していないと判別するように構成されており、挾持部８２にて挾持又は押圧している状態において基板１を挾持及び押圧していないと判別すると、基板搬送装置８の作動を停止させる。
【００５４】
容器高さ検出センサ１０２は、収納容器２に複数の支持板４５の夫々に対応して上下方向に並設された複数の検出板１０７の存否を検出するように設けられており、制御手段Ｈは、収納容器２が複数の支持板４５のいずれかが浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さに位置して容器高さ検出センサ１０２にて複数の検出板のいずれかを検出する検出状態であると収納容器２が適正な高さであると判別し、収納容器２が対応する高さから上下方向にずれて容器高さ検出センサ１０２が複数の検出板のいずれも検出しない非検出状態であると収納容器２が適正な高さではないと判別するように構成されており、基板１を収納容器２に対して出し入れする際に収納容器２が適正な高さではないと判別すると、基板搬送装置８の作動を停止させる。
【００５５】
取り出し位置検出センサ１０３は、取り出し位置に位置する基板１の基板取り出し方向の上流側端部に対応する位置と下流側端部に対応する位置とに一対設けられており、制御手段Ｈは、基板１が取り出し位置に位置して一対の取り出し位置検出センサ１０３が基板１を検出する検出状態であると基板１が取り出し位置に位置していると判別し、基板１が取り出し位置からずれて一対の取り出し位置検出センサ１０３の一方又は両方が非検出状態であると基板１が取り出し位置に位置していないと判別するように構成されている。
【００５６】
中継位置検出センサ１０４は、中継位置に位置する基板１の基板取り出し方向の下流側端部に対応する位置とこの位置よりさらに下流側の位置とに基板取り出し方向に隣接する状態で一対設けられており、制御手段Ｈは、基板取り出し方向の上流側に位置する中継位置検出センサ１０４が基板１を検出する検出状態であり下流側に位置する中継位置検出センサ１０４が基板１を検出しない非検出状態であると基板１が中継位置に位置していると判別し、基板１が中継位置からずれて一対の中継位置検出センサ１０４の両方が検出状態又は非検出状態であると基板１が中継位置に位置していないと判別するように構成されている。
【００５７】
減速位置検出センサ１０５は、取り出し用と収納用との一対が取り出し位置に位置する基板１の前後幅内に位置するように設けられており、制御手段Ｈは、載置支持搬送手段８８にて基板１を中継位置から取り出し位置に搬送するにあたり、搬送開始直後は搬送速度を搬送高速度となるように加速させ、取り出し用の減速位置検出センサ１０５が基板１を検出する検出状態となると、搬送速度を搬送高速度より低速の搬送低速度となるように減速させ、また、載置支持搬送手段８８にて基板搬送コンベヤ５１から受け取った基板１を取り出し位置に搬送するにあたり、基板搬送コンベヤ５１から受け取る基板１の搬送速度を維持させ、収納用の減速位置検出センサ１０５が基板１を検出する検出状態となると、搬送速度を受け取った基板の搬送速度より低速の搬送低速度となるように減速させるように、推進力付与手段５３の作動を制御するように構成されている。
【００５８】
基板はみ出し検出センサ１０６は、収納容器２の直前における基板１の存否を検出するように設けられており、制御手段Ｈは、基板はみ出し検出センサ１０６が基板１を検出する検出状態であると基板１が収納容器２からはみ出していると判別し、基板はみ出し検出センサ１０６が基板１を検出してない非検出状態であると基板１が収納容器２からはみ出していないと判別するように構成されている。
【００５９】
制御手段Ｈにより基板搬送装置８の作動について、基板入出部６に位置する収納容器２から基板１を取り出して図外の基板処理装置に搬送する場合を説明する。
まず、基板中継ユニット７０が基板入出部６に位置する収納容器２と隣接して位置するように走行台車７４を走行させる。次に、取り出し対象の基板１を載置支持する支持板４５が浮上用空気噴出手段７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さとなるように昇降手段６１にて収納容器２を昇降移動させた状態で、噴出体用空気供給装置９５を作動させて浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出状態とし、且つ、コンベヤ用空気供給装置５６を作動させて送風式支持手段５２を整風板５５から上方に向けて空気を噴出する状態とする。このとき、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は、取り出し対象の基板１を支持する支持板４５における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する容器隣接箇所Ａに配設されることになる。これにより、浮上用空気噴出体７１にて噴出される空気を取り出し対象の基板１の下面と支持板４５との間に適正に供給することができ、取り出し対象の基板１を的確に支持板４５から浮上させることができる。浮上用空気噴出体７１の空気の噴出により取り出し対象の基板１が支持板４５から浮上させた状態で、挾持解除状態の挾持部８２を収納位置の取り出し対象の基板１を挾持可能な挾持位置（図９及び図１０参照）に移動させるように移動体８７を基板取り出し方向の下流側から上流側に移動させる。
【００６０】
そして、挾持部８２を挾持状態に切り換えて挾持部８２にて取り出し対象の基板１を挾持し、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させた状態で、挾持状態の挾持部８２を中継位置に対応する挾持解除位置（図１１及び図１２参照）まで移動させるように移動体８７を基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させて基板１を中継位置に搬送する。このとき、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上部にも空気が供給されていることから、その空気により形成される空気層によって浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上部を通過する基板１を的確に支持することができる。その後、基板１を中継位置に搬送した状態で支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させ、且つ、噴出体用空気供給装置９５の作動を停止させて浮上用空気噴出体７１を噴出停止状態とする。
【００６１】
そして、挾持部８２を挾持解除状態に切り換えた後、挾持解除状態の挾持部８２を退避位置（図１４及び図１５参照）に移動させるべく移動体８７を基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させ、且つ、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８を基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板１を取り出し位置に搬送した後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させる。
その後は、基板中継ユニット７０が基板搬送コンベヤ５１と隣接して位置するように走行台車７４を走行させた状態で、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板１を基板搬送コンベヤ５１に受け渡し、基板搬送コンベヤ５１にて基板１を基板処理装置に搬送する。
【００６２】
次に、基板処理装置から搬出された基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に収納する場合を説明する。
まず、基板中継ユニット７０が基板搬送コンベヤ５１と隣接して位置するように走行台車７４を走行させ、且つ、コンベヤ用空気供給装置５６を作動させて送風式支持手段５２を整風板５５から上方に向けて空気を噴出させる。この状態で、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板収納方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板処理装置から搬出されて基板搬送コンベヤ５１にて搬送される基板１を受け取って取り出し位置に搬送する。その後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させて、基板中継ユニット７０が基板入出部６に位置する収納容器２と隣接して位置するように走行台車７４を走行させる。
【００６３】
そして、収納対象の基板１を載置支持する支持板４５が浮上用空気噴出手段７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さとなるように昇降手段６１にて収納容器２を昇降移動させた状態で、噴出体用空気供給装置９５を作動させて浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出状態とする。このような状態で、押圧状態の挾持部８２を挾持位置よりも基板１の挾持量だけ基板収納方向の上流側の押圧終了位置（図１３参照）に移動させるように移動体８７を基板収納方向の上流側から下流側に移動させて基板１を収納位置に搬送する。その後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させ、且つ、噴出体用空気供給装置９５及びコンベヤ用空気供給装置５６を停止させるとともに、次に基板１の収納を行うのであれば挾持部８２を退避位置に移動させるように、また、次に基板１の取り出しを行うのであれば挾持部８２を挾持解除位置に移動させるように、移動体８７を基板収納方向の下流側から上流側に移動させる。
このように噴出体用空気供給装置９５を停止させることにより浮上用空気噴出体が噴出停止状態となるため、収納対象の基板の上面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間への空気の供給が停止され、上述の如く、基板と支持板との間に存在する空気が排出される。
【００６４】
〔別実施の形態〕
（１） 上記実施の形態では、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける中央部から支持予定領域の外部に伸びる形状に形成したが、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける周縁部から支持予定領域の外部に伸びる形状に形成して、支持予定領域Ｅの中央に凹入部５０が形成されないようにしてもよい。
【００６５】
（２） 上記実施の形態では、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成したが、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける基板収納方向の中間部から上流側端部又は中間部から下流側端部に亘って、直線状に伸びる形状に形成してもよく、また、凹入部５０を、曲線状に形成してもよい。
【００６６】
（３） 上記実施の形態では、支持板４５を、横幅方向に並設された浮上用空気噴出体７１の間に位置するように凹入部５０を備えて構成したが、支持板４５を、横幅方向に並設された浮上用空気噴出体７１と全部又は一部が基板収納方向に重複して位置するように凹入部５０を備えて構成してもよい。
【００６７】
（４） 上記実施の形態では、支持板４５を支持用基板４７と複数の突起部４８とで構成し、突起部４８を基板収納方向並びに横幅方向に並設することにより支持板４５に凹入部５０を形成したが、支持板４５を上面にて載置面４８ａが形成される支持基板にて構成し、この支持基板に下方に凹入する溝を形成することにより支持板４５に凹入部５０を形成してもよい。
【００６８】
（５） 上記実施の形態では、収納容器２を昇降自在に支持する昇降手段６１を設けたが、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を昇降自在に支持する昇降装置を設けてもよい。この場合、昇降用制御手段（制御装置）Ｈにて、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を取り出し対象又は収納対象の基板１を載置支持する支持板４５に対応する高さに位置させるべく昇降装置の作動を制御する。
【００６９】
（６） 上記実施の形態では、収納容器２の容器本体４１を、枠組み形成してその左右面と上下面との夫々に開口を形成して内外に通風可能に構成したが、収納容器２の容器本体４１を、筒状に形成してその左右面と上下面との夫々に閉口させて内外に通風不可能に構成してもよい。
上記実施の形態では、収納容器２に蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とを備えさせたが、蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とのうちの一方又は両方を備えなくてもよい。
【００７０】
（７） 上記実施の形態では、収納容器２の容器本体４１を、前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成して、左右面と上下面とを閉口させることにより左右面側及び上下面側から空気の排出を不可能な構成としたが、収納容器２の容器本体４１を、前後面、上下面及び左右面の夫々が開口する枠組み形状に形成して、左右面と上下面とを開口させることにより左右面及び上下面側から空気の排出を可能な構成としてもよい。
上記実施の形態では、収納容器２に蓋部材と４２ファンフィルタユニット４３とを備えさせたが、蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とのうちの一方又は両方を備えなくてもよい。
【００７１】
（８） 上記実施の形態では、プレス加工により突起部４８を形成したが、インク等の塗料を支持板４５の上面に噴射させて突起部４８を形成する等、支持板４５の上面に印刷することにより突起部４８を形成してもよく、また、別体の突起部材を支持用基板４７の上面に貼付することにより突起部４８を形成してもよい。
【００７２】
（９） 上記実施の形態では、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２とを、横幅方向の両端に浮上用空気噴出体７１が位置する状態で横幅方向に交互に一列に並べたが、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２との並べ方を適宜変更してもよい。
つまり、例えば、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の一方又は両方を２つ又は３つ以上横幅方向に連続する状態に並べてもよく、また、横幅方向の一端又は両端に供給用空気噴出体７２が位置する状態で並べてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】基板処理設備の正面図
【図２】基板処理設備の側面図
【図３】基板処理設備の平面図
【図４】基板搬送装置の側面図
【図５】収納容器の斜視図
【図６】収納容器の斜視図
【図７】支持板を示す図
【図８】基板中継ユニットの平面図
【図９】挾持位置の挾持部を示す側面図
【図１０】挾持位置の挾持部を示す平面図
【図１１】挾持解除位置の挾持部を示す側面図
【図１２】挾持解除位置の挾持部を示す平面図
【図１３】押圧終了位置の挾持部を示す側面図
【図１４】退避位置の挾持部を示す側面図
【図１５】退避位置の挾持部を示す平面図
【図１６】浮上用空気噴出体と供給用空気噴出体とを示す側面図
【図１７】浮上用空気噴出体と供給用空気噴出体とを示す斜視図
【図１８】検出センサを示す概略図
【図１９】制御ブロック図
【符号の説明】
【００７４】
１ 基板
２ 収納容器
４５ 支持板
４７ 支持用基板
４８ 突起部
４８ａ 載置面
５０ 凹入部
６１ 昇降手段
７１ 浮上用空気噴出体
７３ 収納手段
Ｅ 支持予定領域
Ｈ 昇降用制御手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、前記収納容器に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した前記収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように前記収納容器に収納する収納手段とが設けられている基板搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板搬送設備は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の矩形状の基板を上下方向に間隔を隔てて並設された支持板上に載置支持した状態で収納可能な収納容器に対して、浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように収納手段にて収納するものであるから、収納対象の基板を擦れ等による損傷が少ない状態で収納容器に収納することができるものである。
そして、このような基板搬送設備において、従来では、支持板が、その上面が平坦に形成されており、収納対象の基板は支持板の平坦な上面に直接に載置支持するように構成されており、収納対象の基板を収納手段にて収納して収納対象の基板を支持板上に位置させた後は、浮上用空気噴出体を噴出停止状態に切り換えて空気の噴出を停止させ、収納対象の基板を支持板にて載置支持させている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３１５８５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の基板搬送設備では、支持板の上面が平坦に形成されているために、浮上用空気噴出体を噴出停止状態に切り換えても、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間に空気が滞留することになり、支持板にて収納対象の基板を載置支持できるまでに時間がかかることになる。よって、従来の基板搬送設備では、収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができないものであった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができる基板搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる基板搬送設備は、矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、前記収納容器に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した前記収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように前記収納容器に収納する収納手段とが設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記支持板が、前記基板を載置支持する載置面より下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域の内外に伸びる凹入部を備えている点にある。
【０００７】
すなわち、支持板に、基板を載置支持する載置面より下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域の内外に伸びる凹入部が備えられているから、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を凹入部を通して外方に積極的に排気させることができる。よって、浮上用空気噴出体を噴出停止状態に切り換えたときに、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を速やかに外方に排気させて、収納対象の基板を載置面にて載置支持することができる。
従って、収納対象の基板を収納容器に迅速に収納することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【０００８】
本発明にかかる基板搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記凹入部が、前記支持予定領域の中央部から前記支持予定領域の外部に伸びる形状に形成されている点にある。
【０００９】
すなわち、凹入部が、支持予定領域の中央部から支持予定領域の外部に伸びる形状に形成されているから、収納対象の基板における中央部下方の空気を凹入部を通して外方に排気させることができる。これにより、空気が滞留し易い収納対象の基板における中央部下方の空気を積極的に外方に排気させることができるので、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を効率よく外方に排気させることができる。よって、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができる。
従って、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【００１０】
本発明にかかる基板搬送設備の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記凹入部が、前記支持予定領域における基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成されている点にある。
【００１１】
すなわち、凹入部が、支持予定領域における基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成されているから、基板収納方向の上流側端部から下流側端部の全体に亘る収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を外方に排気させることができる。これにより、収納対象の基板とこれを載置支持する支持板との間の空気を効率よく且つより速やかに外方に排気させることができる。しかも、収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間に空気を噴出するときには、凹入部を利用して基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って流動させることができ、その流動により収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間の全体に亘って空気を的確に供給することができ、収納手段による基板の収納を安定よく行い易いものとなる。
従って、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができながら、収納手段による基板の収納を安定よく行い易い物品搬送設備を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる基板搬送設備の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記浮上用空気噴出体が、前記基板収納方向と交差する横幅方向に間隔を隔てた状態で並設され、前記支持板が、前記横幅方向に並設された前記浮上用空気噴出体の間に位置するように前記凹入部を備えて構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、支持板が、横幅方向に並設された浮上用空気噴出体の間に位置するように凹入部を備えて構成されているから、浮上用空気噴出体にて収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間に噴出された空気の流動が、支持板における載置部を形成する部分にて邪魔され難く、基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って空気を適正に流動させることができる。よって、収納手段による基板の収納をより安定よく行い易いものとなる。
従って、収納手段による基板の収納をより安定よく行い易い物品搬送設備を提供することができるに至った。
【００１４】
本発明にかかる基板搬送設備の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記支持板が、上面が平坦な支持用基板と前記載置面を備えかつ前記支持用基板の上面から上方に突出する複数の突起部とを備えて構成され、且つ、前記突起部を前記支持用基板に基板収納方向並びにこの方向と交差する横幅方向に並設することにより前記凹入部が形成されている点にある。
【００１５】
すなわち、支持板を、上面が平坦な支持用基板と前記載置面を備えかつ支持用基板の上面から上方に突出する複数の突起部とを備えて構成し、突起部を支持用基板に基板収納方向並びに横幅方向に並設することにより凹入部を形成しているから、基板収納方向に沿う凹入部分と横幅方向に沿う凹入部分とが互いに交差するように凹入部を形成することができる。よって、単に、支持用基板に複数の突起部を備えるという簡易な構成でありながら、基板収納方向にも横幅方向にも空気を外方に排気可能な凹入部を形成することができ、収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間の空気を速やかに外方に排気することができる。
従って、支持板における凹入部を形成し易くしながら、収納対象の基板を収納容器により迅速に収納することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【００１６】
本発明にかかる基板搬送設備の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記収納対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記収納手段に対応する収納用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられている点にある。
【００１７】
すなわち、昇降手段にて収納容器を昇降させて、複数の支持板のいずれかを浮上用空気噴出体及び収納手段に対応する収納用高さに位置させることにより、その支持板に載置支持するように収納対象の基板を収納することができるので、収納対象の基板を複数の支持板に対してランダムに載置支持することができる。
また、収納容器を昇降手段にて昇降させることにより、収納容器より構成が複雑な浮上用空気噴出体及び収納手段を昇降移動させる必要がないため、支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる。
従って、収納対象の基板を複数の支持板に対してランダムに載置支持することができ且つ支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、基板処理設備は、矩形状の基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器２を収納する複数の収納部４を備えた物品収納棚５と、収納部４と基板入出部６との間で収納容器２を搬送する収納容器搬送装置としてのスタッカークレーン７と、基板入出部６に位置する収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板１を処理する基板処理装置（図示せず）に搬送し且つ基板処理装置から搬送される基板１を一枚ずつ収納容器２に収納する基板搬送装置８とを備えて構成されている。ここで、基板搬送装置８が本発明に係る基板搬送設備に相当する。
そして、この基板処理設備においては、収納容器２を物品収納棚５に保管しながら、保管した収納容器２を基板入出部６に搬送し、その基板入出部６に搬送された収納容器２から基板１を１枚単位で取り出して基板処理装置に搬送して所定の処理を行い、その所定の処理が行われた基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に対して１枚単位で収納させるようにしている。
【００１９】
図１及び図２に示すように、物品処理設備には、クリーン空間１３において浄化空気を天井部より床部に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段２３が設けられており、そのダウンフローのクリーン空間１３内に、収納棚５、スタッカークレーン７、及び、基板搬送装置８が装備されている。
浄化空気通風手段２３について説明を加えると、図２に示すように、浄化空気通風手段２３は、クリーン空間１３の床部が多孔状のグレーティング床１４にて形成され、クリーン空間１３の天井部がＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ１５にて形成されるとともに、グレーティング床１４の下方側に形成された吸気室１６とエアーフィルタ１５の上方側に形成されたチャンバー室１７とが通風ファン１８及びプレフィルタ２１を備えた循環路１９にて連通されており、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ２１とエアーフィルタ１５とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井部より床部に通風させるように構成されている。そして、循環路１９には、通風ファン１８より上流側に外気取入流路２０が接続され、通風ファン１８より下流側に排気流路２２が接続されており、浄化空気通風手段２３にて循環されるクリーン空間１３内の空気の一部を外気と交換されている。
【００２０】
また、図１に示すように、基板搬送装置８によって基板入出部６の収納容器２と基板処理装置との間で基板１を搬送する基板搬送エリア２４には、物品収納棚５側の端部が開放され且つ基板処理装置側の端部が基板処理装置と連通するように基板搬送空間を覆う区画壁２５が設けられ、この区画壁２５の天井部に複数のエリア用ファンフィルタユニット２６が設けられている。そして、複数のエリア用ファンフィルタユニット２６にて、クリーン空間１３の浄化空気をさらに清浄化させた浄化空気を天井側より床部側に通風させて、区画壁２５にて覆われる基板搬送空間をダウンフローの空間としている。
【００２１】
図１及び図２に示すように、物品収納棚５の夫々は、棚前後方向に並ぶ前後一対の支柱にて構成された支柱組２８が棚横幅方向に並べて立設され、支柱組２８を構成する前後一対の支柱に亘って複数の物品支持部２９が上下方向に並べて架設されており、収納容器２を物品支持部２９にて載置支持させた状態で収納する収納部４が縦横に並べられる状態で複数設けられている。ちなみに、物品収納棚５は、グレーティング床１４上に互いに対向する状態で一対設けられている。
そして、物品収納棚５に設けられた複数の収納部４のうちの一部が基板入出部６とされている。説明を加えると、図３に示すように、物品収納棚５に設けられた最下段の複数の収納部４のうちの一部の収納部４は、その収納部４に収納された収納容器２に対して物品収納棚５の背面側を通して基板搬送装置８にて基板２を一枚ずつ取り出すことや一枚ずつ収納することができるように構成されており、基板入出部６とされている。
【００２２】
図１及び図２に示すように、スタッカークレーン７は、互いに対向する状態で設けられた一対の収納棚５の間に形成された移動空間をその長手方向に沿って走行移動する移動台車３１と、移動台車３１に立設された台車走行方向に並ぶ一対の昇降マスト３２に昇降自在に案内支持される昇降台３３と、昇降台３３に支持されて収納部４と自己との間で収納容器２を移載可能なフォーク式の物品移載装置３４とが備えられており、移動台車３１の水平移動、昇降台３３の昇降移動、および、物品移載装置３４の作動により、基板入出部６としての収納部４とこれ以外の収納部４との間で収納容器２を搬送するように構成されている。
【００２３】
図３に示すように、物品移載装置３４は、上下軸芯周りに旋回自在な旋回台３５、及び、その旋回台３５上に設けられた載置部３６を出退移動自在に支持するリンク機構３７から構成されている。そして、物品移載装置３４は、リンク機構３７の伸縮により物品移載装置３４を昇降台３３上に引退させた状態や物品移載装置３４を収納部４側に突出させた状態に切り換え可能で、且つ、旋回台３５の旋回により物品移載装置３４の出退方向を１８０度変更可能に構成されている。
【００２４】
本発明に係る基板搬送設備である基板搬送装置８は、図３等に示すように、基板入出部６に位置する収納容器２と基板搬送コンベヤ５１との間で基板１を１枚ずつ受け渡すように構成されている。そして、基板搬送装置８としては、基板１を載置支持する複数の支持板４５が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器２と、基板１を載置搬送する基板搬送コンベヤ５１と、収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板搬送コンベヤ５１に受け渡し且つ基板搬送コンベヤ５１から受け取った基板１を一枚ずつ収納容器２に収納する基板中継ユニット７０と、基板入出部６に位置する収納容器２を昇降自在に支持する昇降手段６１と、基板搬送装置８の作動を制御する制御装置Ｈ（図１９参照）とが備えられている。
次に、基板搬送装置８について詳細な説明を加えるが、基板取り出し方向の下流側（基板収納方向の上流側）を前方側とし、基板取り出し方向の上流側（基板収納方向の下流側）を後方側とし、基板取り出し方向（基板収納方向）に沿う方向を前後方向と称し、この方向と交差する方向を横幅方向として説明する場合がある。
【００２５】
〔収納容器〕
図５及び図６に示すように、収納容器２は、前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体４１と、容器本体４１の前側端部に前面の開口を閉塞する状態で設けられた蓋部材４２と、容器本体４１の後側端部に後面の開口を閉塞する状態で設けられたファンフィルタユニット４３と、収納容器２内に上下方向に間隔を隔てた状態で並設された複数の支持板４５とを備えて構成されている。
【００２６】
容器本体４１は、フレーム材にて直方体形状に枠組み形成するとともに左右面及び上下面の開口を板材にて閉塞させることにより、上述の前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成されている。そして、容器本体４１の前面の開口を基板出し入れ口４４として、容器本体４１に対して基板出し入れ口４４を通して基板１の出し入れが可能に構成されている。
【００２７】
図５に示すように、蓋部材４２は、基板出し入れ口４４と同形状の開口が形成されるように蓋形成用のフレーム材にて枠組み形成されており、その開口は透明な板材にて閉塞されている。
また、蓋部材４２には、容器本体４１に上方から係合する被係合枠４６が設けられている。つまり、蓋部材４２は、蓋部材４２を容器本体４１に対して下方に移動させて被係合枠４６を容器本体４１に係合させることにより蓋部材４２を容器本体４１に装着することができ、蓋部材４２を容器本体４１に対して上方に移動させることにより蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができるように構成されている。
そして、蓋部材４２は、容器本体４１に装着された状態において、容器本体４１との間に隙間が形成される形状に形成されており、ファンフィルタユニット４３にて収納容器２内に導入された空気は、容器本体４１と蓋部材４２との間に形成された隙間を通して外部に排出される。
【００２８】
図６に示すように、ファンフィルタユニット４３は、容器本体４１の後面の開口から基板出し入れ口４４に向けて通風させるように容器本体４１の後端部に着脱自在に装着されている。
尚、詳細な説明は省略するが、ファンフィルタユニット４３には、受電部とこの受電部に供給された電力を蓄えるバッテリとが備えられており、ファンフィルタユニット４３は、収納容器２が収納部４に収納されている状態では、収納部４の夫々に備えられた給電部から受電部に給電された電力により作動し、収納容器２がスタッカークレーン７にて搬送されているとき等の受電部が給電部から離れて受電部に電力が供給されない状態では、バッテリに蓄えられた電力により作動するように構成されている。
【００２９】
図７に示すように、複数の支持板４５の夫々は、プレス加工により上方に突出する複数の突起部４８が形成された支持用基板４７と、載置支持した基板１の横幅方向及び後方への移動を規制する規制部材４９とが備えられている。そして、突起部４８の上面は、水平な平面に形成されており基板１を載置支持する載置面４８ａとされている。
また、複数の支持板４５の夫々は、図９等に示すように、その前端部分４５ａの上面が前方側ほど下方に位置する傾斜する平面に形成され、前端部分４５ａ及び突起部４８以外の部分の上面が水平な平面に形成されており、基板１を載置支持する支持予定領域Ｅが前端部分４５ａからそれ以外の部分に亘って設定されている。
ちなみに、突起部４８は、直径１０ｍｍの円形状で且つガラス基板１の厚みより薄い厚み０．２ｍｍに形成されている。
【００３０】
そして、複数の支持板４５の夫々には、突起部４８を支持用基板４７に前後方向並びに横幅方向に並設することにより凹入部５０が形成されている。
説明を加えると、支持板４５における突起部４８を形成していない部分が載置面４８ａより下方に凹入することになる。上述の如く支持用基板４７に突起部４８を並設することにより、載置面４８ａより下方に凹入する凹入部５０が格子状に形成されることとなり、このように形成された凹入部５０は、支持予定領域Ｅの中央部から支持予定領域Ｅの外部に伸びる形状で、且つ、支持予定領域Ｅにおける前端部から後端部に亘って直線状に伸びる形状に形成される。支持板４５の上面と基板１の下面との間に空気が供給されることにより、基板１が支持板４５から浮上するのであるが、支持板４５の上面と基板１の下面との間への空気の供給が停止されたときに、例えば図７の点線矢印にて示しているように、支持板４５と基板１との間に存在する空気が、凹入部５０に沿って支持予定領域Ｅの外部まで流動することになる。その結果、支持板４５と基板１との間に存在する空気を速やかに排出することができ、突起部４８にて基板１を安定して載置支持することができる。
【００３１】
規制部材４９は、支持予定領域Ｅの左右両側に位置するように支持用基板４７における左右両端部において前後方向に間隔を隔てて並設され且つ支持予定領域Ｅの後方側に位置するように支持用基板４７における後端部において横幅方向に間隔を隔てて並設されている。
【００３２】
〔昇降手段〕
図３及び図４に示すように、昇降手段６１は、基板入出部６に設けられており、昇降用モータ６２（図１９参照）にて昇降移動して収納容器２を載置支持する左右一対の支持台６３と、左右一対の支持台６３を各別に昇降自在に案内支持する左右一対の案内支柱６４とを備えて構成されている。
そして、図４に示すように、基板入出部６には、収納容器２における蓋部材４２の被係合枠４６に係合する係合部材６５が区画壁２５の天井部に支持される状態で設けられており、スタッカークレーン７にて収納容器２が昇降手段６１にて載置支持されるように基板入出部６に搬入されるに伴って被係合枠４６が係合部材６５に係合し且つ容器本体４１から離脱して蓋部材４２が容器本体４１から取り外され、スタッカークレーン７にて基板入出部６から収納容器２が搬出されるに伴って被係合部枠４６が容器本体４１に係合し且つ係合部材６５から離脱して蓋部材４２が容器本体４１に装着される。
よって、昇降手段６１にて収納容器２における容器本体４１を載置支持した支持台６３を昇降させることにより、蓋部材４２を係合部材６５に支持させた状態で収納容器２における蓋部材４２以外の部分を昇降移動させて、基板出し入れ口４４の開口量が変更されるように構成されている。
【００３３】
〔基板中継ユニット〕
次に、基板中継ユニット７０について説明を加える。
図３に示すように、基板中継ユニット７０は、横幅方向に沿って走行する走行台車７４にて横幅方向に移動自在に構成されており、基板入出部６に位置する収納容器２との間で基板１を一枚ずつ取り出す又は収納するときには、走行台車７４の走行により基板入出部６に位置する収納容器２に隣接する位置に基板中継ユニット７０が配置されるように構成されている。
図８に示すように、基板中継ユニット７０は、取り出し対象又は収納対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体７１と、浮上用空気噴出体７１よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給する供給用空気噴出体７２と、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により支持板４５から浮上した取り出し対象の基板１を浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上方を通過させる状態で収納容器２から取り出し、且つ、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により浮上した収納対象の基板１をその基板１を載置支持する支持板４５上に位置するように浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上方を通過させる状態で収納容器２に収納する基板出し入れ機構７３とを備えて構成されている。
ちなみに、基板出し入れ機構７３は、基板１を収納容器２から取り出す取り出し手段と基板１を収納容器２に収納する収納手段とに兼用されている。
【００３４】
〔走行台車〕
図３及び図４に示すように、走行台車７４は、横幅方向に沿って設けられた一対の走行用レール７６の夫々に対応して設けられて走行用モータ７７にて回転駆動される走行用車輪７８を備え、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を支持するように構成され、走行用モータ７７にて走行用車輪７８を回転駆動させることにより、基板中継ユニット７０を横幅方向に走行移動させて収納容器２と隣接する位置と基板搬送コンベヤ５１と隣接する位置とに移動可能に構成されている。
【００３５】
〔基板出し入れ機構〕
基板出し入れ機構７３は、基板１を挾持搬送する挾持搬送手段８１と基板１を載置搬送する載置支持搬送手段８８とを備えて構成されている。
挾持搬送手段８１は、基板１を収納容器２から取り出す場合には、取り出し対象の基板１における基板取り出し方向の下流側端部を挾持する挾持部８２を基板取り出し方向に沿う移動経路に沿って基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させて、取り出し対象の基板１の全体が収納容器２内に位置する収納位置（図９及び図１０参照）から取り出し対象の基板１の一部が収納容器２外に位置する中継位置（図１１及び図１２参照）まで取り出し対象の基板１を搬送し、また、基板１を収納容器２に収納する場合には、挾持部８２を移動経路に沿って基板搬入方向の上流側から下流側に移動させて、中継位置に位置する収納対象の基板１を、挾持部８２の先端部分にて押圧する状態で中継位置から収納位置まで搬送するように構成されている。
そして、挾持搬送手段８１は、基板１を収納容器２から取り出すときは取り出し対象の基板１における横幅方向の両端部を挾持し、基板１を収納容器２に収納するときは収納対象の基板２における横幅方向の両端部を押圧するように、挾持部８２を横幅方向に一対設けて構成されている。これにより、縦軸芯周りでの基板１の回転を防止し且つ基板１を安定した姿勢で搬送することができながら、基板１に対して接触する位置を基板取り出し方向の下流側端部のごく一部とすることができる。
【００３６】
挾持部８２は、協働により基板１を上下方向に挾持する一対の挾持作用部分８３と、一対の挾持作用部分８３を支持する支持部分８４とを備えて構成されている。一対の挟持作用部分８３は、支持部分８４の横側方に突出する状態で、互いに遠近移動自在に支持されている。そして、一対の挟持作用部分８３は、一対の挾持作用部分８３を互いに近接させて基板１を挾持する挾持状態（図１１参照）と、一対の挾持作用部分８３を互いに離間させた挾持解除状態（図９参照）と、一対の挾持作用部分８３を挾持状態よりさらに近接させて互いに接触させる押圧状態（図１３参照）とに切り換え可能に構成されている。
【００３７】
挟持部８２は、基板取り出し方向に沿う移動経路に沿って直線状に移動自在な移動体８７に支持されており、この移動体８７の移動経路に沿う移動によって挟持部８２が基板取り出し方向に移動自在に構成されている。移動体８７の上部には、移動体８７に対して縦軸芯周りで揺動自在に連結された揺動連結部材８５が設けられ、その揺動連結部材８５において基板取り出し方向に延びる部分の端部には、その上部に挟持部８２が固定支持されている。これにより、挾持部８２は、移動体８７に縦軸芯周りに揺動自在に支持されている。
ちなみに、挾持部８２が揺動する縦軸芯は、平面視において支持部分８４が存在する箇所から外れた箇所に位置しており、挾持作用部分８３が存在する箇所に位置している。
【００３８】
また、挾持搬送手段８１は、取り出し対象の基板１を中継位置に搬送した状態で取り出し対象の基板１に対する挾持を解除した挾持部８２を、載置支持搬送手段８８にて搬送される取り出し対象の基板１の搬送経路（基板１を搬送するときに基板１が占める空間）から退避させた退避位置に移動させる退避操作手段としての揺動案内部材８９を備えて構成されている。
この揺動案内部材８９は、移動体８７の移動経路に沿う移動により挾持部８２に接当して、挾持部８２を基板取り出し方向と交差する横幅方向の外方側に案内させるように縦軸芯周りに揺動させることにより、挟持部８２を退避位置に退避させるように構成されている。
【００３９】
揺動案内部材８９について説明を加えると、揺動案内部材８９は、揺動連結部材８５及び案内ローラ８６を案内する案内溝８９ａを備えて構成されている。つまり、揺動連結部材８５は、案内溝８９ａが形成されている板体を貫通する状態で案内溝８９ａの内壁と接当するように設けられており、案内ローラ８６は、揺動連結部材８５の基板取り出し方向に延びる部分の端部においてその下方側に案内溝８９の内壁と当接するように一対設けられている。
そして、案内溝８９ａは、基板取り出し方向の上流側の部分が移動体８７の移動経路に沿う直線状に形成され、この上流側の部分と連続する下流側の部分が横幅方向の外方側に曲がる曲線状に形成されている。
つまり、図９〜図１３に示すように、取り出し対象の基板１を収納位置から中継位置に搬送する又は収納対象の基板１を中継位置から収納位置に搬送するべく移動体８７を移動経路に沿って移動させている間は、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける直線状に形成された部分にて直線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は挾持作用部分８３と支持部分８４とが移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢に保持される。
そして、図１４及び図１５に示すように、収納位置の取り出し対象の基板１に対して挾持を解除した後に、移動体８７を基板取り出し方向の下流側に移動させることにより、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける曲線状に形成された部分にて横幅方向の外方側に移動するように曲線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は支持部分８４が挾持作用部分８３に対して横幅方向外方側に位置するように移動経路に対して傾いた姿勢に変更される。また、この状態から移動体８７を基板取り出し方向の上流側に移動させることにより、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける曲線状に形成された部分にて横幅方向の内方側に移動するように曲線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は挾持作用部分８３と支持部分８４とが移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢に変更される。
そして、図１０及び図１２に示すように、挾持部８２は、移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢では、平面視において一対の挾持作用部分８３及び支持部分８４が基板１の搬送経路の横幅内に位置するため、基板１に対して基板取り出し方向の下流側から挾持又は押圧することができ、図１５に示すように、移動経路に対して傾いた姿勢では、平面視において一対の挾持作用部分８３の一部及び支持部分８４が基板１の搬送経路から横外方側に外れて位置するため、挾持部８２に邪魔されることなく載置支持搬送手段８８にて基板１を搬送することができる。
ちなみに、挾持部８２は移動経路に対して傾いた姿勢では退避位置（図１４及び図１５参照）に位置している。このとき、一対の挾持作用部分８３は、平面視において基板１の搬送経路上に存在することになるが、一対の挟持作用部分８３を挾持解除状態とすることにより、基板１の通過を許容することができる。
【００４０】
〔載置支持搬送手段〕
載置支持搬送手段８８は、基板１を収納容器２から取り出す場合には、挾持搬送手段８１にて中継位置に搬送された取り出し対象の基板１を載置支持して、取り出し対象の基板１を中継位置から取り出し対象の基板１の全体が収納容器２外に位置する取り出し位置（図１４参照）に搬送し、基板１を収納容器２に収納する場合には、基板搬送コンベヤ５１から受け取った収納対象の基板１を取り出し位置から中継位置に搬送するように構成されている。
ちなみに、載置支持搬送手段８８は、基板中継ユニット７０を横幅方向に走行移動させるときには基板１をその全体が載置支持搬送手段８８上に位置する取り出し位置で載置支持するとともに、取り出し位置に位置する取り出し対象の基板１を基板搬送コンベヤ５１に受け渡し、基板搬送コンベヤ５１から受け取った収納対象の基板１を取り出し位置に搬送するように構成されている。
【００４１】
載置支持搬送手段８８について説明を加えると、載置支持搬送手段８８は、基板１の下面に向けて空気を供給して水平姿勢で基板を非接触状態で支持する送風式支持手段５２と、その送風式支持手段５２にて支持された基板１に対して搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段５３とを設けて構成されている。
送風式支持手段５２は、基板１の搬送経路の下方に設けられて上方に向けて空気を送風するブロア５４と、このブロア５４と基板１の搬送経路との間に設けられた多孔状の整風板５５と、ブロア５４に空気を供給するコンベア用空気供給装置５６（図１９参照）とを備えて構成されている。また、推進力付与手段５３は、基板取り出し方向に並設されて基板１の下面に接触する複数の支持用搬送ローラ５７と、中継位置に位置する基板１の上面に接触して支持用搬送ローラ５７との協働により基板１を挾持する挾持用搬送ローラ５８とを備えて構成され、基板１における横幅方向の両端部を載置支持及び挾持するように、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が横幅方向に一対設けて構成されている。
【００４２】
複数の支持用搬送ローラ５７として、基板１の横幅方向への移動を規制する鍔を備えた鍔付きの支持用搬送ローラ５７と、鍔を備えていない鍔無しの支持用搬送ローラ５７とが設けられており、鍔無しの支持用搬送ローラ５７は、中継位置に位置する基板１の下面に接触し且つ挾持用搬送ローラ５８との協働に基板１を挾持するように、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における基板取り出し方向の上流側端部に配設されており、鍔付きの支持用搬送ローラ５７は、中継位置に位置する基板１の下面に接触しないように、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における鍔無しの支持用搬送ローラ５７よりも基板取り出し方向の下流側に並設されている。
ちなみに、挾持用搬送ローラ５８は、鍔無しの支持用搬送ローラ５７と同様に、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における基板取り出し方向の上流側端部に配設されている。
つまり、載置支持搬送手段８８は、中継位置が基板１における基板取り出し方向の下流側端部が複数の支持用搬送ローラにおける鍔無しの支持用搬送ローラ５７で支持され且つ挾持用搬送ローラ５８との協働により挾持される位置となるように構成されており、挾持搬送手段８１による取り出し対象の基板１の搬送は、支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８とで挾持されるように、基板１における基板取り出し方向の下流側端部が載置支持搬送手段８８における基板取出方向の上流側端部に位置するように搬送する。
要するに、中継位置が、基板１における基板取り出し方向の下流側端部が載置支持搬送手段８８における基板取り出し方向の上流側端部に配設された鍔無しの支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８との協働により挾持される位置であり、収納位置に近い位置であるため、挾持搬送装置８１による基板１の搬送距離が短くなるので、挾持部８２の移動距離を短くすることができる。
【００４３】
また、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が載置支持及び挾持する箇所は、挟持搬送手段８１が挟持する箇所よりも横幅方向で外方側となるように支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が配設されている。これにより、挟持搬送手段８１による基板１の搬送範囲と、載置支持搬送手段８８による基板１を搬送範囲とが基板取り出し方向で重複するように構成されている。よって、挟持搬送手段８１によって載置支持搬送手段８８にて基板１を搬送可能な中継位置まで基板１を搬送することができ、逆に、載置支持搬送手段８８によって挟持搬送手段８１にて搬送可能な中継位置まで基板１を搬送することができる。その結果、挟持搬送手段８１と載置支持搬送手段８８との間での受け渡しを的確に行える。しかも、挟持搬送手段８１から載置支持搬送手段８８に基板１を受け渡すときには、基板１を挟持部８２に挟持した状態から載置支持した状態に移行することになるが、支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８との協働により基板１を挟持した状態で搬送することができるので、挟持搬送手段８１と載置支持搬送手段８８との間での受け渡しを的確に行いながら基板１を適正に搬送することができる。
【００４４】
そして、載置支持搬送手段８８は、基板１の横幅方向中央部を送風式支持手段５２にて非接触状態で支持し、且つ、基板１の横幅方向の両端部を推進力付与手段５３にて接触支持及び挾持して、搬送用モータ５９にて支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８を回転駆動させることにより基板１を搬送方向に沿って搬送するように構成されている。
ちなみに、基板搬送コンベヤ５１は、載置支持搬送手段８８と同様に、ブロアと整風板と空気供給装置とを備えた送風式支持手段、及び、複数の支持用搬送ローラを備えた推進力付与手段とを備えて構成されている。尚、基板搬送コンベヤ５１には、挾持用搬送ローラは設けられていない。
【００４５】
図１６に示すように、浮上用空気噴出体７１は、上方に向けて空気を噴出する空気噴出口９１と、この空気噴出口９１の基板取り出し方向の上流側端部から上方側に伸びる形状に形成されて空気噴出口９１から上方に向けて噴出された空気を浮上用空気噴出体７１の上面に沿って収納容器２側に向けて水平方向に流動するように誘導する誘導曲面９２とを備えて、容器隣接箇所Ａにおいて、基板出し入れ機構７３にて取り出される取り出し対象の基板１及び収納される収納対象の基板１の下面と浮上用空気噴出体７１の上面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体を兼用するように構成されている。
【００４６】
つまり、図１６（ａ）において矢印で示すように、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１から上方に向けて噴出された空気は、コアンダ効果により誘導曲面９２に沿って流動した後、その誘導曲面９２に連なる浮上用空気噴出体７１の上面に沿って水平方向に流動し、そのまま基板取り出し方向の上流側に位置する収納容器２に向けて水平方向に流動するため、空気噴出口９１から噴出された空気は、取り出し対象の基板１の下面と浮上用空気噴出体７１の上面との間に向けて空気が噴出されるように誘導曲面９２にて誘導され、その後は、取り出し対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気が噴出されるように収納容器２側に向けて水平方向に流動する。
【００４７】
供給用空気噴出体７２は、浮上用空気噴出体７１と同様に構成された噴出体を水平方向に流動する空気の向きを逆方向となるように設けたものであり、上方に向けて空気を噴出する逆方向用空気噴出口９３と、この逆方向用空気噴出口９３よりも上方側でかつ基板取り出し方向の下流側に位置して逆方向用空気噴出口９３から上方に向けて噴出された空気を供給用空気噴出体７２の上面に沿って収納容器２側とは反対側に向けて水平方向に流動するように誘導する逆方向用誘導曲面９４とを備えて構成されている
つまり、逆方向用空気噴出口９３から噴出された空気は、容器隣接箇所Ａにおいて浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給するように収納容器２側とは反対側である基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動する。
【００４８】
図８及び図１７に示すように、浮上用空気噴出体７１は、横幅方向に間隔を隔てた状態で複数並設され、供給用空気噴出体７２は、横幅方向で浮上用空気噴出体７１の間に配設されており、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２とは横幅方向の両端に浮上用空気噴出体７１が位置する状態で横幅方向に交互に一列に並べられている。これにより、図１７中矢印にて示すように、基板１を搬送するときには、供給用空気噴出体７２にて噴出される空気を浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１に対して基板取り出し方向の下流側に供給することができる。これにより、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１からの空気の噴出により、その基板取り出し方向の下流側が負圧となっても、供給用空気噴出体７２からの空気によりその部分が正圧化されて基板１を適正に支持することができる。
そして、基板出し入れ機構７３における基板取り出し方向の上流側端部には、上面の高さが整風板５５の上面と同じ高さとなる状態で且つ基板取り出し方向の上流側に伸びる状態で連設板９６が支持されており、供給用空気噴出体７２は、その上面が連設板９６の上面と同じ高さで且つ基板取り出し方向に連なる状態で連設板９６に支持されており、浮上用空気噴出体７１は、その上面が連設板９６の上面よりの数ミリ（例えば２〜３ｍｍ程度）下方に位置する高さで且つ基板取り出し方向の下流側に空気噴出口９１から噴出された空気が通る隙間が形成される状態で連設板９６に支持されている。
つまり、浮上用空気噴出体７１は、その上面が供給用空気噴出体７２の上面よりも数ミリ下方に位置するように設けられている。
【００４９】
浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２には空気供給装置としての噴出体用空気供給装置９５（図１９参照）から空気が供給され、この噴出体用空気供給装置９５は供給する空気の供給量を調整自在に構成されている。そして、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２に空気を供給することにより、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は空気を噴出する噴出状態に切り換えられ、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２への空気の供給を停止させることにより、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は空気の噴出を停止させた噴出停止状態に切り換えられる。
【００５０】
次に、制御装置Ｈについて説明する。
図１８及び図１９に示すように、基板中継ユニット７０には、挾持部８２にて挾持されている基板１及び挾持部８２にて押圧されている基板１の存否を検出する基板存否検出センサ１０１、収納容器２が基板１の取り出す並びに収納に適正な高さに位置しているか否かを検出する容器高さ検出センサ１０２、基板１が取り出し位置に位置しているか否かを検出する取り出し位置検出センサ１０３、基板１が中継位置に位置しているか否かを検出する中継位置検出センサ１０４、及び、載置支持搬送手段８８による基板１の搬送速度を減速させる減速位置検出センサ１０５が設けられ、基板入出部６には、収納容器２から基板１の一部が外部にはみ出しているか否かを検出する基板はみ出し検出センサ１０６が設けられており、これらの検出センサからの検出情報が制御装置Ｈに入力されるように構成されている。
【００５１】
そして、制御装置Ｈは、これらの検出センサや上位のコントローラからの指令等に基づいて、基板中継ユニット７０における走行台車７４、基板出し入れ機構７３及び噴出体用空気供給装置９５の作動、並びに、昇降手段６１及び基板搬送コンベヤ５１の作動を制御するように構成されている。
【００５２】
制御装置Ｈは、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように噴出体用空気供給装置９５の作動を制御する空気供給用制御手段、及び、取り出し対象又は収納対象の基板１を載置支持する支持板４５を浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さ（取り出し用高さであり且つ収納用高さである）に位置させるべく昇降手段６１の作動を制御する昇降用制御手段としての機能も備えられている。
つまり、制御装置Ｈは、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出停止状態から噴出状態に切り換える際に、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２に供給する空気の量を段階的に多くし、これら浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように噴出体用空気供給装置９５の作動を制御するように構成されている。
また、制御装置Ｈは、基板１を収納容器２から取り出す又は収納する場合は、その取り出す又は収納する基板１を載置支持する支持板４５を浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さに位置させて、浮上用空気噴出体７１から噴出される空気が取り出す又は収納する基板１の下面とその基板１を載置支持する載置板４５の上面との間に噴出させ、且つ、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により浮上した基板１を挾持部８２にて挾持又は押圧可能とするべく、昇降手段６１の作動を制御するように構成されている。
【００５３】
基板存否センサ１０１は、一対の挾持部８２の夫々に挾持作用部分８３の直前における基板１の存否を検出するように一対設けられており、制御手段Ｈは、一対の基板存否センサ１０１の両方が基板１の存在を検出する検出状態であると基板１を挾持或いは押圧していると判別し、一対の基板存否センサ１０１の一方又は両方が基板１を検出していない非検出状態であると基板１を挾持及び押圧していないと判別するように構成されており、挾持部８２にて挾持又は押圧している状態において基板１を挾持及び押圧していないと判別すると、基板搬送装置８の作動を停止させる。
【００５４】
容器高さ検出センサ１０２は、収納容器２に複数の支持板４５の夫々に対応して上下方向に並設された複数の検出板１０７の存否を検出するように設けられており、制御手段Ｈは、収納容器２が複数の支持板４５のいずれかが浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さに位置して容器高さ検出センサ１０２にて複数の検出板のいずれかを検出する検出状態であると収納容器２が適正な高さであると判別し、収納容器２が対応する高さから上下方向にずれて容器高さ検出センサ１０２が複数の検出板のいずれも検出しない非検出状態であると収納容器２が適正な高さではないと判別するように構成されており、基板１を収納容器２に対して出し入れする際に収納容器２が適正な高さではないと判別すると、基板搬送装置８の作動を停止させる。
【００５５】
取り出し位置検出センサ１０３は、取り出し位置に位置する基板１の基板取り出し方向の上流側端部に対応する位置と下流側端部に対応する位置とに一対設けられており、制御手段Ｈは、基板１が取り出し位置に位置して一対の取り出し位置検出センサ１０３が基板１を検出する検出状態であると基板１が取り出し位置に位置していると判別し、基板１が取り出し位置からずれて一対の取り出し位置検出センサ１０３の一方又は両方が非検出状態であると基板１が取り出し位置に位置していないと判別するように構成されている。
【００５６】
中継位置検出センサ１０４は、中継位置に位置する基板１の基板取り出し方向の下流側端部に対応する位置とこの位置よりさらに下流側の位置とに基板取り出し方向に隣接する状態で一対設けられており、制御手段Ｈは、基板取り出し方向の上流側に位置する中継位置検出センサ１０４が基板１を検出する検出状態であり下流側に位置する中継位置検出センサ１０４が基板１を検出しない非検出状態であると基板１が中継位置に位置していると判別し、基板１が中継位置からずれて一対の中継位置検出センサ１０４の両方が検出状態又は非検出状態であると基板１が中継位置に位置していないと判別するように構成されている。
【００５７】
減速位置検出センサ１０５は、取り出し用と収納用との一対が取り出し位置に位置する基板１の前後幅内に位置するように設けられており、制御手段Ｈは、載置支持搬送手段８８にて基板１を中継位置から取り出し位置に搬送するにあたり、搬送開始直後は搬送速度を搬送高速度となるように加速させ、取り出し用の減速位置検出センサ１０５が基板１を検出する検出状態となると、搬送速度を搬送高速度より低速の搬送低速度となるように減速させ、また、載置支持搬送手段８８にて基板搬送コンベヤ５１から受け取った基板１を取り出し位置に搬送するにあたり、基板搬送コンベヤ５１から受け取る基板１の搬送速度を維持させ、収納用の減速位置検出センサ１０５が基板１を検出する検出状態となると、搬送速度を受け取った基板の搬送速度より低速の搬送低速度となるように減速させるように、推進力付与手段５３の作動を制御するように構成されている。
【００５８】
基板はみ出し検出センサ１０６は、収納容器２の直前における基板１の存否を検出するように設けられており、制御手段Ｈは、基板はみ出し検出センサ１０６が基板１を検出する検出状態であると基板１が収納容器２からはみ出していると判別し、基板はみ出し検出センサ１０６が基板１を検出してない非検出状態であると基板１が収納容器２からはみ出していないと判別するように構成されている。
【００５９】
制御手段Ｈにより基板搬送装置８の作動について、基板入出部６に位置する収納容器２から基板１を取り出して図外の基板処理装置に搬送する場合を説明する。
まず、基板中継ユニット７０が基板入出部６に位置する収納容器２と隣接して位置するように走行台車７４を走行させる。次に、取り出し対象の基板１を載置支持する支持板４５が浮上用空気噴出手段７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さとなるように昇降手段６１にて収納容器２を昇降移動させた状態で、噴出体用空気供給装置９５を作動させて浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出状態とし、且つ、コンベヤ用空気供給装置５６を作動させて送風式支持手段５２を整風板５５から上方に向けて空気を噴出する状態とする。このとき、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は、取り出し対象の基板１を支持する支持板４５における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する容器隣接箇所Ａに配設されることになる。これにより、浮上用空気噴出体７１にて噴出される空気を取り出し対象の基板１の下面と支持板４５との間に適正に供給することができ、取り出し対象の基板１を的確に支持板４５から浮上させることができる。浮上用空気噴出体７１の空気の噴出により取り出し対象の基板１が支持板４５から浮上させた状態で、挾持解除状態の挾持部８２を収納位置の取り出し対象の基板１を挾持可能な挾持位置（図９及び図１０参照）に移動させるように移動体８７を基板取り出し方向の下流側から上流側に移動させる。
【００６０】
そして、挾持部８２を挾持状態に切り換えて挾持部８２にて取り出し対象の基板１を挾持し、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させた状態で、挾持状態の挾持部８２を中継位置に対応する挾持解除位置（図１１及び図１２参照）まで移動させるように移動体８７を基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させて基板１を中継位置に搬送する。このとき、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上部にも空気が供給されていることから、その空気により形成される空気層によって浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上部を通過する基板１を的確に支持することができる。その後、基板１を中継位置に搬送した状態で支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させ、且つ、噴出体用空気供給装置９５の作動を停止させて浮上用空気噴出体７１を噴出停止状態とする。
【００６１】
そして、挾持部８２を挾持解除状態に切り換えた後、挾持解除状態の挾持部８２を退避位置（図１４及び図１５参照）に移動させるべく移動体８７を基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させ、且つ、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８を基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板１を取り出し位置に搬送した後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させる。
その後は、基板中継ユニット７０が基板搬送コンベヤ５１と隣接して位置するように走行台車７４を走行させた状態で、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板１を基板搬送コンベヤ５１に受け渡し、基板搬送コンベヤ５１にて基板１を基板処理装置に搬送する。
【００６２】
次に、基板処理装置から搬出された基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に収納する場合を説明する。
まず、基板中継ユニット７０が基板搬送コンベヤ５１と隣接して位置するように走行台車７４を走行させ、且つ、コンベヤ用空気供給装置５６を作動させて送風式支持手段５２を整風板５５から上方に向けて空気を噴出させる。この状態で、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板収納方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板処理装置から搬出されて基板搬送コンベヤ５１にて搬送される基板１を受け取って取り出し位置に搬送する。その後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させて、基板中継ユニット７０が基板入出部６に位置する収納容器２と隣接して位置するように走行台車７４を走行させる。
【００６３】
そして、収納対象の基板１を載置支持する支持板４５が浮上用空気噴出手段７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さとなるように昇降手段６１にて収納容器２を昇降移動させた状態で、噴出体用空気供給装置９５を作動させて浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出状態とする。このような状態で、押圧状態の挾持部８２を挾持位置よりも基板１の挾持量だけ基板収納方向の上流側の押圧終了位置（図１３参照）に移動させるように移動体８７を基板収納方向の上流側から下流側に移動させて基板１を収納位置に搬送する。その後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させ、且つ、噴出体用空気供給装置９５及びコンベヤ用空気供給装置５６を停止させるとともに、次に基板１の収納を行うのであれば挾持部８２を退避位置に移動させるように、また、次に基板１の取り出しを行うのであれば挾持部８２を挾持解除位置に移動させるように、移動体８７を基板収納方向の下流側から上流側に移動させる。
このように噴出体用空気供給装置９５を停止させることにより浮上用空気噴出体が噴出停止状態となるため、収納対象の基板の上面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間への空気の供給が停止され、上述の如く、基板と支持板との間に存在する空気が排出される。
【００６４】
〔別実施の形態〕
（１） 上記実施の形態では、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける中央部から支持予定領域の外部に伸びる形状に形成したが、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける周縁部から支持予定領域の外部に伸びる形状に形成して、支持予定領域Ｅの中央に凹入部５０が形成されないようにしてもよい。
【００６５】
（２） 上記実施の形態では、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成したが、凹入部５０を、支持予定領域Ｅにおける基板収納方向の中間部から上流側端部又は中間部から下流側端部に亘って、直線状に伸びる形状に形成してもよく、また、凹入部５０を、曲線状に形成してもよい。
【００６６】
（３） 上記実施の形態では、支持板４５を、横幅方向に並設された浮上用空気噴出体７１の間に位置するように凹入部５０を備えて構成したが、支持板４５を、横幅方向に並設された浮上用空気噴出体７１と全部又は一部が基板収納方向に重複して位置するように凹入部５０を備えて構成してもよい。
【００６７】
（４） 上記実施の形態では、支持板４５を支持用基板４７と複数の突起部４８とで構成し、突起部４８を基板収納方向並びに横幅方向に並設することにより支持板４５に凹入部５０を形成したが、支持板４５を上面にて載置面４８ａが形成される支持基板にて構成し、この支持基板に下方に凹入する溝を形成することにより支持板４５に凹入部５０を形成してもよい。
【００６８】
（５） 上記実施の形態では、収納容器２を昇降自在に支持する昇降手段６１を設けたが、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を昇降自在に支持する昇降装置を設けてもよい。この場合、昇降用制御手段（制御装置）Ｈにて、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を取り出し対象又は収納対象の基板１を載置支持する支持板４５に対応する高さに位置させるべく昇降装置の作動を制御する。
【００６９】
（６） 上記実施の形態では、収納容器２の容器本体４１を、枠組み形成してその左右面と上下面との夫々に開口を形成して内外に通風可能に構成したが、収納容器２の容器本体４１を、筒状に形成してその左右面と上下面との夫々に閉口させて内外に通風不可能に構成してもよい。
上記実施の形態では、収納容器２に蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とを備えさせたが、蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とのうちの一方又は両方を備えなくてもよい。
【００７０】
（７） 上記実施の形態では、収納容器２の容器本体４１を、前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成して、左右面と上下面とを閉口させることにより左右面側及び上下面側から空気の排出を不可能な構成としたが、収納容器２の容器本体４１を、前後面、上下面及び左右面の夫々が開口する枠組み形状に形成して、左右面と上下面とを開口させることにより左右面及び上下面側から空気の排出を可能な構成としてもよい。
上記実施の形態では、収納容器２に蓋部材と４２ファンフィルタユニット４３とを備えさせたが、蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とのうちの一方又は両方を備えなくてもよい。
【００７１】
（８） 上記実施の形態では、プレス加工により突起部４８を形成したが、インク等の塗料を支持板４５の上面に噴射させて突起部４８を形成する等、支持板４５の上面に印刷することにより突起部４８を形成してもよく、また、別体の突起部材を支持用基板４７の上面に貼付することにより突起部４８を形成してもよい。
【００７２】
（９） 上記実施の形態では、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２とを、横幅方向の両端に浮上用空気噴出体７１が位置する状態で横幅方向に交互に一列に並べたが、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２との並べ方を適宜変更してもよい。
つまり、例えば、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の一方又は両方を２つ又は３つ以上横幅方向に連続する状態に並べてもよく、また、横幅方向の一端又は両端に供給用空気噴出体７２が位置する状態で並べてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】基板処理設備の正面図
【図２】基板処理設備の側面図
【図３】基板処理設備の平面図
【図４】基板搬送装置の側面図
【図５】収納容器の斜視図
【図６】収納容器の斜視図
【図７】支持板を示す図
【図８】基板中継ユニットの平面図
【図９】挾持位置の挾持部を示す側面図
【図１０】挾持位置の挾持部を示す平面図
【図１１】挾持解除位置の挾持部を示す側面図
【図１２】挾持解除位置の挾持部を示す平面図
【図１３】押圧終了位置の挾持部を示す側面図
【図１４】退避位置の挾持部を示す側面図
【図１５】退避位置の挾持部を示す平面図
【図１６】浮上用空気噴出体と供給用空気噴出体とを示す側面図
【図１７】浮上用空気噴出体と供給用空気噴出体とを示す斜視図
【図１８】検出センサを示す概略図
【図１９】制御ブロック図
【符号の説明】
【００７４】
１ 基板
２ 収納容器
４５ 支持板
４７ 支持用基板
４８ 突起部
４８ａ 載置面
５０ 凹入部
６１ 昇降手段
７１ 浮上用空気噴出体
７３ 収納手段
Ｅ 支持予定領域
Ｈ 昇降用制御手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、
前記収納容器に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、
前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した前記収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように前記収納容器に収納する収納手段とが設けられている基板搬送設備であって、
前記支持板が、前記基板を載置支持する載置面より下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域の内外に伸びる凹入部を備えている基板搬送設備。
【請求項２】
前記凹入部が、前記支持予定領域の中央部から前記支持予定領域の外部に伸びる形状に形成されている請求項１記載の基板搬送設備。
【請求項３】
前記凹入部が、前記支持予定領域における基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成されている請求項１又は２記載の基板搬送設備。
【請求項４】
前記浮上用空気噴出体が、前記基板収納方向と交差する横幅方向に間隔を隔てた状態で並設され、
前記支持板が、前記横幅方向に並設された前記浮上用空気噴出体の間に位置するように前記凹入部を備えて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項５】
前記支持板が、上面が平坦な支持用基板と前記載置面を備えかつ前記支持用基板の上面から上方に突出する複数の突起部とを備えて構成され、且つ、前記突起部を前記支持用基板に基板収納方向並びにこの方向と交差する横幅方向に並設することにより前記凹入部が形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項６】
前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記収納対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記収納手段に対応する収納用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項１】
矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、
前記収納容器に収納する収納対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出し且つ空気を噴出する噴出状態及び空気の噴出を停止させた噴出停止状態とに切り換え可能な浮上用空気噴出体と、
前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により浮上した前記収納対象の基板をその基板を載置支持する支持板上に位置するように前記収納容器に収納する収納手段とが設けられている基板搬送設備であって、
前記支持板が、前記基板を載置支持する載置面より下方に凹入し且つ基板を載置支持する支持予定領域の内外に伸びる凹入部を備えている基板搬送設備。
【請求項２】
前記凹入部が、前記支持予定領域の中央部から前記支持予定領域の外部に伸びる形状に形成されている請求項１記載の基板搬送設備。
【請求項３】
前記凹入部が、前記支持予定領域における基板収納方向の上流側端部から下流側端部に亘って直線状に伸びる形状に形成されている請求項１又は２記載の基板搬送設備。
【請求項４】
前記浮上用空気噴出体が、前記基板収納方向と交差する横幅方向に間隔を隔てた状態で並設され、
前記支持板が、前記横幅方向に並設された前記浮上用空気噴出体の間に位置するように前記凹入部を備えて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項５】
前記支持板が、上面が平坦な支持用基板と前記載置面を備えかつ前記支持用基板の上面から上方に突出する複数の突起部とを備えて構成され、且つ、前記突起部を前記支持用基板に基板収納方向並びにこの方向と交差する横幅方向に並設することにより前記凹入部が形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項６】
前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記収納対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記収納手段に対応する収納用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【公開番号】特開２０１０−６４８８７（Ｐ２０１０−６４８８７Ａ）
【公開日】平成２２年３月２５日（２０１０．３．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２３５４５０（Ｐ２００８−２３５４５０）
【出願日】平成２０年９月１２日（２００８．９．１２）
【出願人】（０００００３６４３）株式会社ダイフク (1,209)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年３月２５日（２０１０．３．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月１２日（２００８．９．１２）
【出願人】（０００００３６４３）株式会社ダイフク (1,209)
【Ｆターム（参考）】
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