流路切替え装置、処理装置、流路切替え方法及び処理方法並びに記憶媒体
【課題】流路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる流路切替え装置を提供すること。また被処理体を処理する処理流体の専用排出路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷに対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給して処理を行う液処理ユニット３から当該液処理ユニット３の雰囲気を排気路３５、流路切替え部５を介して、複数の専用排出路（接続用流路）６１〜６３に排気する。前記流路切替え部５は、外筒５１とその内部に設けられた回転筒５３を備え、前記回転筒５３の３つの開口部５３ａ〜５３ｃは、当該回転筒５３を回転する間に、互いに対応する外筒５１の３つの接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５１の開口部５１ａ〜５１ｃとの組の一つが重なり合って連通しかつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されている。
【解決手段】ウエハＷに対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給して処理を行う液処理ユニット３から当該液処理ユニット３の雰囲気を排気路３５、流路切替え部５を介して、複数の専用排出路（接続用流路）６１〜６３に排気する。前記流路切替え部５は、外筒５１とその内部に設けられた回転筒５３を備え、前記回転筒５３の３つの開口部５３ａ〜５３ｃは、当該回転筒５３を回転する間に、互いに対応する外筒５１の３つの接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５１の開口部５１ａ〜５１ｃとの組の一つが重なり合って連通しかつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置及び流路切替え方法、及びこの流路切替え装置を備えた処理装置及び処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスなどの製造工程には、半導体ウエハ（以下、ウエハという）などの被処理体の表面に薬液や純水などの処理液を供給してウエハＷに付着したパーティクルや汚染物質の除去を行う液処理がある。こうした液処理を行う液処理装置の一つに、ウエハＷを回転させながら当該ウエハＷの表面に処理液を供給して液処理を実行する液処理装置がある。この種の液処理装置では、単位時間当たりのウエハＷの処理枚数（スループット）を向上させるために、例えば同種の液処理を実行可能な複数例えば４〜５台の液処理ユニットを用意し、共通の搬送機構を用いてウエハＷを搬送することにより、複数の液処理ユニットにて並行して液処理を実行することが行われている。
【０００３】
前記液処理ユニットは、例えば図１６に示すように、ウエハＷを載置して回転させるスピンチャック１１と、スピンチャック１１上のウエハＷを囲むように設けられたカップ１２と、を備えている。前記処理液としては、酸性薬液やアルカリ性薬液等が用いられており、処理に応じて図示しないノズルから薬液を切替えてウエハＷに供給するように構成されている。
【０００４】
ここで、特許文献１には、複数の液処理ユニットを水平に配置すると共に、酸性薬液用の排気ライン及びアルカリ性薬液専用の排気ラインを備える構成が記載されている。この場合、例えば図１６に示すように、夫々の液処理ユニットのカップ１２は、酸性薬液用の排気ライン１３及びアルカリ薬液用の排気ライン１４と夫々専用の排気路１５，１６により接続される。これら排気路１５，１６には、夫々バルブＶ１５，Ｖ１６が設けられており、薬液に応じてこのバルブＶ１５，Ｖ１６を開閉することによって、カップ１２内の雰囲気を専用の排気ライン１３，１４を介して排気するように構成されている。
【０００５】
しかしながら、このような構成では、１つの液処理ユニットにおいて、専用排気路１５，１６毎に夫々バルブＶ１５，１６が必要であり、薬液の種類が多くなる程、バルブの設置数が多くなってしまう。また、バルブが増加すれば、バルブの駆動部も多くなるため、調整に時間がかかり、またバルブや駆動部が占有するスペースが大きなものとなってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−３４４９０号公報（段落００３４、図４、図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、流路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる流路切替え装置及び流路切替え方法を提供することにある。本発明の他の目的は、被処理体を処理する処理流体の専用排出路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる処理装置及び処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このため本発明の流路切替え装置は、
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、
前記回転筒を回転させるための回転駆動部と、を備え、
前記回転筒の複数の開口部は、当該回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の処理装置は、
被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理部と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を排出するために、前記処理部に設けられた共通流路と、
前記複数種別の処理流体毎に設けられ、前記処理流体を排出するための複数の専用排出路と、
前記共通流路を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続するための流路切替え装置と、を備え、
前記流路切替え装置は、前記流路切替え装置であることを特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明の流路切替え方法は、各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え方法において、
外筒と、この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、を備えた流路切替え装置を用い、
前記回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態を形成して流路の切替え接続を行うことを特徴とする。
【００１１】
さらにまた、本発明の処理方法は、
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う工程と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を共通流路から排出する工程と、
前記複数種別の処理流体毎に用意され、各々が独立した処理流体を流すための複数の専用排出路の内、対応する専用排出路から処理流体を排出する工程と、を含み、
請求項７の流路切替え方法を用いて、前記共通流路を専用排出路に切替え接続することを特徴とする。
【００１２】
さらにまた、本発明の記憶媒体は、処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、前記処理方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の流路切替え装置及び流路切替え方法によれば、回転筒を回転させることにより、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つを連通させ、かつ他の組については連通しないようにして、共通流路を複数の接続用流路に切替え接続している。このため、回転筒を回転させる回転駆動部のみで流路の切替えを行うことができるので、流路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる。また、本発明の処理装置及び処理方法によれば、既述の流路切替え装置を用いて、被処理体を処理する処理流体を排出する複数の専用排出路への切替え接続を行っているので、当該専用排出路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る液処理装置の横断平面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る液処理装置の概略縦断側面図である。
【図３】前記液処理装置に設けられた液処理ユニットの構成を示す説明図である。
【図４】前記液処理ユニットに設けられた流路切替え装置を示す斜視図である。
【図５】前記液処理ユニットに設けられた専用排気路を示す平面図である。
【図６】前記流路切替え装置を示す斜視図である。
【図７】前記流路切替え装置の外筒と回転筒を示す断面図と展開図である。
【図８】前記流路切替え装置を示す側部断面図である。
【図９】前記流路切替え装置を示す側部断面図である。
【図１０】前記専用排気路を示す平面図である。
【図１１】前記共通流路に設けられた圧力損失調整バルブの作用を示す平面図である。
【図１２】前記液処理ユニットにて行われる液処理工程を示す説明図である。
【図１３】流路切替え装置の他の例の外筒と回転筒を示す展開図である。
【図１４】流路切替え装置の他の例を示す断面図である。
【図１５】流路切替え装置のさらに他の例を示す断面図である。
【図１６】従来の液処理ユニットを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の処理装置に係る実施の形態として、被処理体であるウエハＷに処理流体である薬液を供給してウエハＷに付着したパーティクルや汚染物質を除去する液処理を行う液処理装置２の構成について以下に図面を参照しながら説明する。本発明の液処理装置２は、外部から複数枚のウエハＷを収納したキャリアＣの搬入出が行われるキャリア載置ブロック２Ａと、ウエハＷの受け渡し部を備えた受け渡しブロック２Ｂと、ウエハＷに対して所定の液処理を行う処理ブロック２Ｃと、を備えている。これらは、キャリア載置ブロック２Ａを前方側として、キャリア載置ブロック２Ａ、受け渡しブロック２Ｂ、処理ブロック２Ｃが前後方向（図１中Ｘ方向）に一列に配列され、互いに接続されている。
【００１６】
前記キャリア載置ブロック２Ａは、例えば４個のキャリアＣが載置されるキャリア載置部２１を備えると共に、当該キャリア載置部２１上に載置されたキャリアＣと受け渡しブロック２Ｂとの間でのウエハＷの受け渡しを行う搬入出アームＡ１を備えている。この搬入出アームＡ１は、ウエハを保持する保持アーム２２が、例えば前後方向に進退自在、左右方向（図１中Ｙ方向）に移動自在、回動自在及び昇降自在に構成されている。
【００１７】
前記受け渡しブロック２Ｂは、受け渡しステージ２３を多段に備えており、この受け渡しステージ２３に対しては、搬入出アームＡ１と、後述する処理ブロック２Ｃに設けられたプロセスアームＡ２とが夫々アクセスできるように構成されている。
【００１８】
前記処理ブロック２Ｃは、前後方向に伸びるウエハＷの搬送路２４を備えており、この搬送路２４には、プロセスアームＡ２が設けられている。また、前記搬送路２４を挟んで、キャリア載置ブロック２Ａ側から見て左右に各々５台の処理部をなす液処理ユニット３（３Ａ〜３Ｊ）が互いに対向するように列設されている。前記プロセスアームＡ２は、１０台の液処理ユニット３及び既述の受け渡しステージ２３に対してウエハＷの受け渡しを行うものである。当該プロセスアームＡ２はウエハＷの裏面側周縁を保持する保持アーム２５が進退自在、回転自在、昇降自在、及び搬送路２４に沿って移動自在に構成されている。
【００１９】
次に図３を参照しながら前記液処理ユニット３の構成について説明する。液処理ユニット３は、ウエハＷに対して枚葉処理を行う処理ユニットであり、ウエハＷに対する液処理が実行される密閉された処理空間を形成するアウターチャンバ３１と、アウターチャンバ３１内にてウエハＷをほぼ水平に保持した状態で回転させるウエハ保持機構３２と、ウエハ保持機構３２に保持されたウエハＷの上面側に薬液を供給するノズルアーム３３と、ウエハ保持機構３２を取り囲むようにアウターチャンバ３１内に設けられ、回転するウエハＷから周囲に飛散した薬液を受けるためのインナーカップ３４と、を備えている。
【００２０】
アウターチャンバ３１は、互いに隣り合う他の液処理ユニット３とは区画された筐体内に設けられており、この筐体内には不図示のウエハ搬入口を介して対応するプロセスアームＡ２によりウエハＷが搬入出される。このアウターチャンバ３１の底面には、当該チャンバ３１内の雰囲気を排気するための排気路３５が接続されると共に、アウターチャンバ３１の底面に溜まったＤＩＷなどの排水を排出するための排水路３６が設けられている。インナーカップ３４は、ウエハ保持機構３２の近傍の処理位置と、処理位置の下方側の退避位置との間で昇降自在に構成されている。図中３７は、インナーカップ３４に設けられた排液路である。また、ウエハ保持機構３２の内部には薬液供給路３８が形成されており、回転するウエハＷの下面に当該薬液供給路３８を介して薬液を供給することができるようになっている。
【００２１】
ノズルアーム３３は、先端部に薬液供給用のノズルを備えている。このノズルには、ＩＰＡ供給部４１、ＤＩＷ供給部４２、ＳＣ１供給部４３、ＤＨＦ供給部４４に供給路４５、４６、４７を介して接続されている。また、ＤＩＷ供給部４２、ＳＣ１供給部４３、ＤＨＦ供給部４４は、供給路４７、４８を介して、ウエハ保持機構３２の供給路３８に接続されている。
【００２２】
前記ＩＰＡ供給部４１は、高い揮発性を利用してウエハＷを乾燥させるためのＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を供給し、ＤＩＷ供給部４２は、薬液処理後のウエハＷに残存する薬液を除去するためのリンス液であるＤＩＷ液（Delonized Water）を供給するものである。また、ＳＣ１供給部４３は、ウエハＷ表面のパーティクルや有機性の汚染物質を除去する薬液であるＳＣ１液（アンモニアと過酸化水素水の混合液）を供給し、ＤＨＦ供給部４４は、ウエハＷ表面の自然酸化膜を除去するＤＨＦ液（希フッ酸水溶液：ＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid）液）を供給するものである。図中、４１ａは、マスフローコントローラ、４０は切替え弁、４９ａ、４９ｂは、各々ノズルアーム３３側、ウエハ保持機構３２側への薬液供給量を調整するマスフローコントローラである。ここで、前記薬液の内、ＩＰＡが有機系薬液、ＤＨＦ液が酸性薬液、ＳＣ１液がアルカリ性薬液に夫々相当する。
【００２３】
続いて前記液処理ユニット３の排気系について説明する。この例では搬送路２４の両側に５個の液処理ユニット３が配列されているが、これら搬送路２４の片側に配列された５個の液処理ユニット３の夫々の排気路３５は、図２及び図４に示すように、夫々本発明の流路切替え装置をなす流路切替え部５を介して流路形成部材６に接続されている。従って、この例においては、キャリア載置ブロックＡ１側から見て、搬送路２４の右側に配列された５個の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅは、共通の流路形成部材６に接続され、キャリア載置ブロックＡ１側から見て、搬送路２４の左側に配列された５個の液処理ユニット３Ｆ〜３Ｊは、共通の流路形成部材（図示せず）に接続されている。前記液処理ユニット３の排気路３５は、処理流体を排出する共通流路に相当する。以下、キャリア載置ブロックＡ１側から見て、搬送路２４の右側に配列された５個の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅの排気系を例にして説明する。
【００２４】
前記流路形成部材６は、図４及び図５に示すように、互いに並行に伸びるように構成されると共に、前記複数種別の処理流体を含む気流を個別に通気させる複数の専用排出路（接続用流路）を形成するものである。この例では、流路形成部材６は、３種類の処理流体を含む気流を個別に排気するように、第１の流路６１、第２の流路６２、第３の流路６３を備えており、これら第１〜第３の流路６１〜６３は壁部６４により周囲が覆われている。例えば流路形成部材６は、３本の配管６０（６０Ａ〜６０Ｃ）を互いに水平に並べて形成される。但し、図５（ａ）では、図示の便宜上、隣接する流路６１〜６３を区画する壁部６４ａは、一方の配管６０に属するもののみを描いており、図５（ｂ）では、配管６０の間の隙間は省略している。
【００２５】
これら第１〜第３の流路６１〜６３の内、例えば第１の流路６１は有機系薬液を含む気流、第２の流路６２はアルカリ性薬液を含む気流、第３の流路６３は酸性薬液を含む気流の専用排出路として夫々割り当てられている。この流路形成部材６の一端側には、前記第１〜第３の流路６１〜６３の夫々に専用排気ライン６１ａ〜６３ａが接続されており、これら専用排気ライン６１ａ〜６３ａは、工場用力の排気ラインを介して夫々排ガスの除外設備に接続されている。こうして、前記専用排気ライン６１ａ〜６３ａにより流路形成部材６の各流路６１〜６３の夫々の内部は陰圧に設定されている。そして、各液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ内の雰囲気は排気路３５を介して排気され、後述する流路切替え部５により、処理流体の種別に対応して切替え接続された流路６１〜６３を介して、夫々の専用排気ライン６１ａ〜６１ｃに排気されるように構成されている。
【００２６】
そして、この流路形成部材６の一面側の壁部６４、例えば上壁部６４ｂには、流路形成部材６の長さ方向（図４中Ｘ方向）と直交し、この直交方向において全ての流路６１〜６３を覆うように、液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ毎に外筒５１（５１Ａ〜５１Ｅ）が設けられている。この例では、外筒５１は、図４、図６及び図７に示すように、例えば円筒形状に構成され、支持部材５２を介して流路形成部材６に取り付けられている。ここで、図６は、外筒５１と支持部材５２とを下面側（流路形成部材６側）から見た概略斜視図であり、外筒５１は一点鎖線で示している。
【００２７】
流路形成部材６における外筒５１が設けられた領域には、図５及び図７に示すように、第１〜第３の流路６１〜６３に対して夫々開口する第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃが形成されている。一方、外筒５１の周壁には、第１〜第３の流路６１〜６３に対して夫々開口する第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃが、当該外筒５１の長さ方向に沿って間隔をおいて形成されている。また、前記支持部材５２にも、第１〜第３の流路６１〜６３に対して夫々開口する第１〜第３の接続口５２ａ〜５２ｃが夫々形成されている。こうして、外筒５１と流路形成部材６の３個の流路６１〜６３は、開口部６０ａ〜６０ｃ及び接続口５１ａ〜５１ｃ，５２ａ〜５２ｃを介して互いに連通するように構成されている。ここで、前記流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１により覆われる大きさに設定されている。
【００２８】
前記外筒５１の内部には、図６〜図８に示すように、前記外筒５１内に回転自在に挿入された円筒形状の回転筒５３が設けられている。この回転筒５３の一端側は、略水平な回転軸５４を介して、外筒５１の一端側の外部に設けられた回転駆動部５５に接続されている。この回転駆動部５５は、例えばロータリーシリンダより構成され、回転筒５３は、外筒５１の内部にて、略水平軸周りに回転自在に構成されることになる。
【００２９】
一方、外筒５１の他端側には、液処理ユニット３の排気路３５が接続されており、回転筒５３の他端側は、外筒５１の他端側に接近した位置にて開口している。こうして、回転筒５３の他端側は排気路３５に接続される接続口として構成され、当該回転筒５３の内部に、前記排気路３５から排気された気流が通気するようになっている。図中５６は、回転駆動部５５を収納する収納部である。
【００３０】
図中５７は、回転筒５３の外部に部分的に設けられた例えばリング状の突部であり、この突部５７と外筒５１との間には僅かな隙間が形成されている。このような外筒５１、回転筒５３及び突部５７は、例えばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の材質により構成されている。ここで、回転筒５３は一端側にて軸支されているので、長さ方向において僅かに傾くおそれもあるが、その場合は突部５７が外筒５１の内部に接触して、回転筒５３を支持することになる。このような状態であっても、突部５７は部分的に形成されていて幅が狭く、回転筒５３は軽量であるので、回転筒５３の回転は妨げられない。
【００３１】
また、回転筒５３の周壁には、図６及び図７に示すように、当該回転筒５３の長さ方向に沿って間隔をおいて、前記外筒５１の複数の接続口５１ａ〜５１ｃに対応する位置に複数の開口部５３ａ〜５３ｃが形成されている。図７（ｂ）は外筒５１の展開図、図７（ｃ）は回転筒５３の展開図を示すものであるが、この例では、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃは、外筒５１の長さ方向に沿って一列に配列されている。一方、回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃは、回転筒５３の周方向の異なる位置に、前記外筒５１の３個の接続口５１ａ〜５１ｃに夫々対応するように形成されている。この際、これら開口部５３ａ〜５３ｃは、夫々の周方向の中心位置が、回転筒５３を周方向において３等分する位置になるように、互いに１２０°離れて形成されている。
【００３２】
そして、回転筒５３の前記他端側（排気路３５側）には、外筒５１の第１の接続口５１ａに対応する第１の開口部５３ａ、前記一端側（回転駆動部５５側）には、外筒５１の第３の接続口５１ｃに対応する第３の開口部５３ｃ、中央部には、外筒５１の第２の接続口５１ｂに対応する第２の開口部５３ｂが夫々形成されている。
【００３３】
こうして、回転筒５３を回転させたときに、ある位置では、前記第１の接続口５１ａと第１の開口部５３ａとが対向し、ある位置では、第２の接続口５１ｂと第２の開口部５３ｂとが対向し、ある位置では、第３の接続口５１ｃと第３の開口部５３ｃとが対向するように構成されている。
【００３４】
これにより、前記回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃは、当該回転筒５３を回転する間に、互いに対応する外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることになる。
【００３５】
この際、流路形成部材６の第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１の第１の接続口５１ａ〜５１ｃと対応するように設けられており、前記開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１により覆われるように構成されている。従って、互いに対応する外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通するときには、当該組に対応する流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃが開き、連通しない他の組については、これら他の組に対応する流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃが閉じられる。こうして、流路切替え部５によって、前記液処理ユニット３の排気路３５が、前記処理流体の種別に対応した流路６１〜６３に切替え接続されることになる。
【００３６】
この例では、回転駆動部５５は、後述する制御部１００からの指令に基づき、予め設定された３つの位置で停止するように構成されており、例えば第１の位置では、第１の開口部５３ａと第１の接続口５１ａとが対向し、第２の位置では、第２の開口部５３ｂと第２の接続口５１ｂとが対向し、第３の位置では、第３の開口部５３ｃと第３の接続口５１ｃとが対向するようになっている。
【００３７】
そして、前記第１の位置では、図８に示すように、第１の接続口５１ａが開かれ、第２及び第３の接続口５１ｃが閉じられて、液処理ユニット３からの有機系薬液を含む排気成分が第１の流路６１に排気される。また、前記第２の位置では、図９（ａ）に示すように、第２の接続口５１ｂが開かれ、第１及び第３の接続口５１ａ，５１ｃが閉じられて、液処理ユニット３からのアルカリ性薬液を含む排気成分が第２の流路６２に排気される。さらに、第３の位置では、図９（ｂ）に示すように、第３の接続口５１ｃが開かれ、第１及び第２の接続口５１ａ，５１ｂが閉じられて、液処理ユニット３からの酸性薬液を含む排気成分が第３の流路６３に排気される。
【００３８】
こうして、外筒５１、回転筒５３及び回転駆動部５５とにより、流路切替え部５が構成されている。この例では、例えば回転筒５３が第３の位置（酸性薬液の排気成分を排気する位置）に位置にあるときを中間位置とし、ここから回転筒５３を回転駆動部５５側から見て時計回りに回転させることにより第１の位置に位置させ、また回転筒５３を回転駆動部５５側から見て半時計回りに回転させることにより第２の位置に位置させるように構成されている。
【００３９】
ここで、互いに対応する外筒５１の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通するとは、接続口５１ａ〜５１ｃと開口部５３ａ〜５３ｃとの間に連通する開口領域が形成されていればよく、外筒の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒の開口部５３ａ〜５３ｃとの互いの開口領域が完全に対向する場合のみならず、開口領域の一部同士が対向して連通する場合も含まれる。
【００４０】
ここで、外筒５１と回転筒５３の寸法の一例について示すと、外筒５１は、長さが例えば５２０ｍｍ、内径が例えばφ１００ｍｍに設定される。また、回転筒５３は、長さが例えば５１２ｍｍ、内径が例えばφ８３ｍｍに設定され、外筒５１と回転筒５３との間の隙間Ｌ１の幅は例えば０．５ｍｍに設定されている。さらに、開口部５３ａ〜５３ｃの周方向の長さＬ２（図７（ｂ）参照）は、例えば７０ｍｍに設定されている。
【００４１】
さらに、流路形成部材６における第１〜第３の流路６１〜６３の他端側は開放されると共に、これら第１〜第３の流路６１〜６３の他端側には、夫々取り込み量調整バルブＶ１１〜Ｖ１３が設けられている。この取り込み量調整バルブＶ１〜Ｖ１３は例えばバタフライバルブにより構成されており、例えば制御部１００からの指令に基づき、流路形成部材６の上壁部６４ｂに設けられた駆動機構をなすモータＭ１１〜Ｍ１３によりその開度が調整される。
【００４２】
この取り込み量調整バルブＶ１１〜Ｖ１３は、夫々の流路６１〜６３において、液処理ユニット３の排気路３５からの排気量に関わらず、一定量の気流を排気するために設けられている。このため、流路切替え部５Ａ〜５Ｅによる流路形成部材６の第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃの開閉状態に応じて、第１〜第３の流路６１〜６３毎に開度が決定される。つまり、第１〜第３の流路６１〜６３毎に開口部６０ａ〜６０ｃの開閉数に基づいて、所定の開度で取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３を開き、所定量の大気を夫々の流路６１〜６３に導入するようになっている。こうして、各流路６１〜６３では、液処理ユニット３からの排気と大気との組み合わせによりトータルの排気量が一定量になるように制御されている。
【００４３】
具体的に図１０を参照して説明すると、例えば全ての液処理ユニット３Ａ〜３Ｅの流路切替え部５Ａ〜５Ｅが第１の開口部６０ａを開き、第２及び第３の開口部６０ｂ、６０ｃを閉じるように調整されているときには、取り込み量調整バルブＶ１１は閉じ、取り込み量調整バルブＶ１２，Ｖ１３は第１の開度で開いた状態になり、第２及び第３の流路６２，６３では大気が取り込まれるように設定されている。
【００４４】
また、例えば第１の流路６１を例にして説明すると、例えば全ての開口部６０ａが閉じているときは第１の開度、１個の開口部６０ａが開くときは第２の開度、２個の開口部６０ａが開くときは第３の開度、３個の開口部６０ａが開くときは第４の開度、４個の開口部６０ａが開くときは第５の開度で開くように設定されている。このとき、取り込み量調整バルブＶ１１の開度は、第１の開度＞第２の開度＞第３の開度＞第４の開度＞第５の開度となる。このような開度の制御は、後述する制御部１００からの指令に基づいて、モータＭ１１により行われる。
【００４５】
こうして、流路形成部材６の第１〜第３の流路６１〜６３では、図１０（ｂ）に示すように、流路６１〜６３毎に液処理ユニット３からの排気量に基づいて、取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度が制御され、所定量の大気が取り込まれるようになっている。この例では、第１の流路６１は１個の液処理ユニット３Ｅに対応する開口部６０ａのみが開かれているので、取り込み量調整バルブＶ１１は第２の開度、第２及び第３の流路６２、６３は２個の液処理ユニット３Ａ，３Ｂ（３Ｃ，３Ｄ）に対応する開口部６０ｂ（６０ｃ）が開かれているので、取り込み量調整バルブＶ１２、Ｖ１３は夫々第３の開度で開くように制御される。この例では、前記流路形成部材６の接続用流路６１〜６３の端部の開口が流体取り込み用開口部に相当する。
【００４６】
また、第１〜第３の流路６１〜６３の出口側、例えば専用排気ライン６１ａ〜６３ａとの接続部付近にて、流路６１〜６３毎に流量検出センサを用いて夫々の流路６１〜６３の排気量を検出し、この検出値に基づいて、トータルの排気量が所定量になるように、各取り込み量調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度を調整して、大気の取り込み量を制御するようにしてもよい。
【００４７】
さらに、例えば各液処理ユニット３Ａ〜３Ｅの排気路３５の内部における流路切替え部５の上流側近傍には、夫々圧力損失調整バルブＶ２（Ｖ２１〜Ｖ２５）が設けられている。この圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５は例えばバタフライバルブよりなり、駆動機構によりその開度が調整されるように構成されている。この例では、図４及び図６に示すように、駆動機構２０１〜２０５は、回転筒５３の回転駆動部５５の収納部５６近傍に設けられており、２本の駆動軸５８Ａ，５８Ｂを介して圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５の回転軸５９に動力が伝達されるように構成されている。
【００４８】
この圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５は、５台の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅにおいて排気路３５内の圧力損失を揃えるために設けられている。つまり、工場の用力の排気ラインに近い液処理ユニット３Ｅの排気路３５は、前記排気ラインに遠い液処理ユニット３Ａの排気路３５よりも圧力損失が小さく、排気量が大きくなるからである。従って、排気ラインからの位置に応じて、圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５の開度が調整され、その開度は、排気ラインに遠い排気路３５程、開度が大きくなるように、例えば液処理ユニット３Ａの圧力損失調整バルブＶ２１＞液処理ユニット３Ｂの圧力損失調整バルブＶ２２＞液処理ユニット３Ｃの圧力損失調整バルブＶ２３＞液処理ユニット３Ｄの圧力損失調整バルブＶ２４＞液処理ユニット３Ｅの圧力損失調整バルブＶ２５になるように設定される。
【００４９】
また、この液処理装置には制御部１００が設けられている。この制御部１００は例えばＣＰＵと記憶部とを備えたコンピュータからなり、記憶部には当該液処理装置２の作用、例えば液処理ユニット３にウエハＷを搬入して液処理を行った後、液処理後のウエハＷをキャリアＣに格納するまでの動作に係わる制御についてのステップ（命令）群が組まれたプログラムがレシピ毎に記録されている。前記プログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶媒体に格納され、そこからコンピュータにインストールされる。
【００５０】
また、制御部１００では、液処理ユニット３内にて実行されている処理の種類に応じて薬液供給系や排気系を図１２に示す切替え先に切替えるように構成されている。各液処理ユニット３では、ウエハ搬入（Ｐ１）→アルカリ性薬液処理（Ｐ２）→リンス洗浄（Ｐ３）→振切乾燥（Ｐ４）→酸性薬液処理（Ｐ５）→リンス洗浄（Ｐ６）→ＩＰＡ乾燥（Ｐ７）→ウエハの入れ替え（Ｐ８）の各動作が繰り返し行われており、これらの動作に対応して薬液供給系や排気系が切替えられる。
【００５１】
即ち、薬液供給系については、アルカリ性薬液処理（Ｐ２）時にＳＣ１液、リンス洗浄（Ｐ３，Ｐ６）時にＤＩＷ液、酸性薬液処理（Ｐ５）時にＤＨＦ液がウエハＷの上面側、下面側の双方に供給され、また、ＩＰＡ乾燥（Ｐ７）時にはウエハＷの上面にＩＰＡが供給されるように薬液供給系が切替えられる。
【００５２】
また、排気系については、アルカリ性薬液処理（Ｐ２）〜振切乾燥（Ｐ４）までの期間中は、流路形成部材６の第２の流路６２、酸性薬液処理（Ｐ５）〜リンス洗浄（Ｐ６）までの期間中は流路形成部材６の第３の流路６３、ＩＰＡ乾燥（Ｐ７）〜ウエハ入れ替え（Ｐ８）の期間中は流路形成部材６の第１の流路６１に、夫々排気先を切替えるように、流路切替え部５が制御される。この際、流路切替え部５の切替えによって、取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度が制御される。これら薬液供給系や、排気系の切替えタイミングは、例えば液処理装置における薬液処理の処理レシピとして予め制御部１００の記憶部内に記憶されている。
【００５３】
続いて本発明の液処理装置２の作用について説明する。外部からキャリア載置ブロック２Ａに搬入されたキャリアＣ内のウエハＷは、搬入出アームＡ１により受け渡しブロック２Ｂの受け渡しステージ２３に受け渡される。そして、処理ブロック２Ｃでは、プロセスアームＡ２が受け渡しステージ２３からウエハＷを受け取って、所定の液処理ユニット３の一つに進入して、当該ウエハＷをウエハ保持機構３２に受け渡す。
【００５４】
ここで、各々の液処理ユニット３にて行われる液処理の一例について説明する。この液処理では、ウエハＷが図示しないウエハ保持機構３２に載置されると、ノズルアーム３３をウエハＷ中央側の上方位置まで移動させ、インナーカップ３４を処理位置まで上昇させる。そして、流路切替え部５では、回転筒５３を第２の位置に設定し、ウエハ保持機構３２によりウエハＷを回転させながら、ノズル及びウエハ保持機構３２側の薬液供給路３８によりウエハＷの上下面両側にＳＣ１液を供給する。これにより、ウエハＷに薬液の液膜が形成されてアルカリ性薬液洗浄が行われる。
【００５５】
この際、アウターチャンバ３１内には、ウエハＷの回転により、アルカリ性薬液が飛散しており、当該チャンバ３１内の雰囲気には、アルカリ性薬液のミストが含まれている。従って、アウターチャンバ３１内の雰囲気を排気路３５を介して排気すると、排気路３５から流路切替え部５、流路形成部材６の第２の流路６２を介してアルカリ性薬液のミストを含む気流が排出されていく。アルカリ性薬液洗浄が終了すると、インナーカップ３４を退避位置に移動し、ノズル及びウエハ保持機構の薬液供給路３８へＤＩＷ液を供給することによりウエハＷ表面のＳＣ１液を除去するリンス洗浄が実行される。リンス洗浄を終えたら振切乾燥を実行する。
【００５６】
しかる後、再びインナーカップ３４を処理位置まで上昇させ、ウエハＷを回転させると共に、流路切替え部５では、回転筒５３を第３の位置に切替え、ノズル及びウエハ保持機構３２の薬液供給路３８より、ウエハＷの上下面にＤＨＦ液を供給する。これにより、これらの面にＤＨＦ液の液膜が形成され、酸性薬液洗浄が行われ、液処理ユニット３からは排気路３５、流路形成部材６の第３の流路６３を介して酸性薬液のミストを含む気流が排気されていく。そして、所定時間の経過後、インナーカップ３４を退避位置に下降させ、薬液の供給系統をＤＩＷ液に切替えて再びリンス洗浄を行う。
【００５７】
続いて、インナーカップ３４を処理位置まで上昇させ、ウエハＷを回転させると共に、流路切替え部５では回転筒５３を第１の位置に切替え、ウエハＷの上面にＩＰＡを供給する。こうして、ＩＰＡの揮発性を利用したＩＰＡ乾燥を実行し、これによりウエハＷ表面に残存するリンス後のＤＩＷ液が完全に除去される。この際、液処理ユニット３からは排気路３５、流路形成部材６の第１の流路６１を介して有機係薬液のミストを含む気流が排気されていく。しかる後、インナーカップ３４を退避位置まで退避させ、不図示の搬入出口を開き、液処理ユニット３内にプロセスアームＡ２を進入させて処理後のウエハＷを搬出し、このウエハＷを受け渡しステージ２３に受け渡す。
【００５８】
ここで、この液処理装置では、プロセスアームＡ２により、１０個の液処理ユニット３にウエハＷが順次搬送されて、所定の液処理が行われる。そして、既述のように、キャリアブロック２Ａ側から見て搬送路２４の右側に配列された５個の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ内の雰囲気は、夫々排気路３５、流路切替え部５Ａ〜５Ｅを介して共通の流路形成部材６に排気されていく。同様にキャリアブロック２Ａ側から見て搬送路２４の左側に配列された５個の液処理ユニット３Ｆ〜３Ｊ内の雰囲気は、夫々排気路３５、流路切替え部５を介して共通の流路形成部材６に排気されていく。
【００５９】
この際、液処理ユニット３Ａ〜３Ｊ毎に、制御部１００からの指令に基づいて流路切替え部５では回転筒５３の位置が選択され、薬液の種別に対応して第１〜第３の流路６１〜６３に流路が切替えられて、専用排気路６１ａ〜６３ａを介して排気されていく。従って、流路形成部材６側から見ると、第１〜第３の流路６１〜６３毎に開口部６０ａ〜６０ｃの開閉が行われることになる。
【００６０】
そして、バルブＶ１１〜Ｖ１３では、既述のように、制御部１００の指令に基づいて、流路６１〜６３毎に、開口部６０ａ〜６０ｃの開口数に対応して、開度の調整が行われる。こうして、流路形成部材６の各流路６１〜６３では、既述のように、開口部６０ａ〜６０ｃの開閉状態に関わらず、液処理ユニット３からの排気と大気との組み合わせにより、トータルの排気量が揃えられる。
【００６１】
このような実施の形態によれば、液処理ユニット３から処理流体の排気ガスを排出するための排気路３５を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路（接続用流路）６１〜６３に切替え接続するために液処理ユニット３毎に流路切替え部５を設け、流路切替え部５では、回転筒５３を周方向に回転させることにより流路の切替えを行っている。従って、複数の流路６１〜６３への切替えを、回転筒５３の回転駆動部５５のみで行うことができるので、当該切替え作業を行うにあたって駆動機構数が少なくて済む。このため、駆動機構の調整作業に要する時間や手間を削減することができる上、設置スペースの削減を図ることができる。
【００６２】
また、このような流路切替え部５を液処理ユニット３に設けた場合には、ウエハＷに対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給して処理を行うにあたり、処理流体の種類が多くなったとしても、１つの回転筒５３を回転させることによって、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続することができる。このため、駆動機構の個数が少なくて済むので、駆動機構の調整作業に要する時間や手間を削減することができる上、設置スペースの削減を図ることができる。
【００６３】
また、流路形成部材６の各接続用流路６１〜６３内においては、流路６１〜６３毎に設けられた取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度を調整することにより、既述のように、液処理ユニット３からの排気の有無に関わらず、流路６１〜６３内において、排気量を揃えることができる。このため、排気量の変動が抑えられ、各液処理ユニットにおいて処理状態のバラつきの発生を抑制することができる。
【００６４】
この際、接続用流路６１〜６３内において、大気を取り込み、排気量を揃える場合であっても、流路６１〜６３毎に一つの取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３を設ければよい。このため、複数の液処理ユニット３を配列する場合であっても、取り込み用調整バルブの個数が増加することなく、従来に比べてトータルのバルブの個数や、駆動機構の個数が大幅に削減される。従って、構成部材や駆動機構の個数が少なく、調整作業の手間や時間が削減され、省スペース化を図ることができる。
【００６５】
さらに、各液処理ユニット３の排気路３５には、圧力損失調整バルブＶ２が設けられている。このため、各液処理ユニット３は、長い排気路６１〜６３の異なる位置に接続されているので、この圧損調整バルブＶ２の開度の調整により、液処理ユニット３の排気路３５の圧力損失が液処理ユニット３同士の間で均一になるように調整されている。このため、液処理ユニット３同士の間では、排気量が揃えられ、液処理の処理状態のバラつきの発生を抑制することができる。
【００６６】
以上において、本発明の流路切替え装置は、例えば図１３（ａ）に外筒７１の展開図、図１３（ｂ）に回転筒７２の展開図を夫々示すように、外筒７１に形成される複数例えば３個の接続口７１１〜７１３を、周方向に沿って間隔をおいて形成する一方、前記回転筒７２に形成される複数例えば３個の開口部７２１〜７２３を、長さ方向に沿って一列に形成するものであってもよい。さらにまた、外筒に形成される接続口の個数、回転筒に形成される開口部の個数は複数個であればよく、２個でもよいし、４個以上であってもよい。
【００６７】
また、例えば図１４に示すように、支持部材９１により回転筒５３を支持するように設けてもよい。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。この場合、支持部材９１は、外筒５１の長さ方向に沿って設けられ、その上面は外筒５１の内部に突出し、回転筒５３の開口部５３ａ〜５３ｃの外側の領域を下方側から支持するように設けられている。図中９２は、支持部材９１に設けられた開口部である。このような構成によれば、支持部材９１により回転筒５３が支持されるので、外筒５１内の回転筒５３の位置が安定する。
【００６８】
さらに、例えば図１５に示すように、回転筒８２の他端側８２０を閉じるように構成すると共に、例えば外筒８１の長さ方向において回転筒８２の開口部に対応する位置に排気路（共通流路）３５を接続するようにしてもよい。この例では、前記排気路３５は回転筒８２の中央部に形成された開口部８２２に対応する位置に接続されている。この例では、排気路３５から外筒８１と回転筒８２との隙間に気流が排気され、前記開口部８２２、他の開口部８２１（図示せず）、８２３から回転筒８２の内部に前記気流が供給される。この際、前記開口部８２２が回転してある位置にあるときには、前記排気路３５と対向するため、当該開口部８２２が共通流路３５に接続される接続口に相当する。なお、前記接続口に相当する開口部は、流路切替え用の開口部とは別個に、流路切替えを阻害しない位置に設けるようにしてもよい。
【００６９】
また、外筒の接続口と、回転筒の開口は、回転筒の回転位置により、専用排出路（接続用流路）の開口と連通せず、専用排出路の全ての開口部６０ａ〜６０ｃが閉じられるように構成してもよい。
【００７０】
また、本発明の流路切替え装置及び流路切替え方法は、共通流路が接続用流路の上流側にある場合、共通流路が接続用流路の下流側にある場合のいずれの場合にも用いることができ、共通流路及び接続用流路は、気体の流路であっても液体の流路であってもよい。さらに、本発明の処理装置及び処理方法は、処理流体が液体である場合、気体である場合のいずれにも適用でき、液体を排出する場合、気体を排出する場合のいずれにも適用できる。さらに上述の実施の形態のように、処理流体が液体であって、処理流体が供給される雰囲気を排気する場合には、この処理流体が供給される雰囲気には、処理流体が供給された雰囲気と、この処理流体のミストとを含む気流が含まれる。
【００７１】
さらにまた、処理流体を使う処理は上述の液処理に限られるものではなく、例えばウエハＷにＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）などの蒸気を供給してウエハＷの表面を疎水化する処理装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００７２】
３ 液処理ユニット
３５ 排気路（共通流路）
５ 流路切替え部
５１ 外筒
５１ａ〜５１ｃ 接続口
５３ 回転筒
５３ａ〜５３ｃ 開口部
５５ 回転駆動部
６ 流路形成部材
６１〜６３ 専用排出路（接続用流路）
６０ａ〜６０ｃ 開口部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置及び流路切替え方法、及びこの流路切替え装置を備えた処理装置及び処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスなどの製造工程には、半導体ウエハ（以下、ウエハという）などの被処理体の表面に薬液や純水などの処理液を供給してウエハＷに付着したパーティクルや汚染物質の除去を行う液処理がある。こうした液処理を行う液処理装置の一つに、ウエハＷを回転させながら当該ウエハＷの表面に処理液を供給して液処理を実行する液処理装置がある。この種の液処理装置では、単位時間当たりのウエハＷの処理枚数（スループット）を向上させるために、例えば同種の液処理を実行可能な複数例えば４〜５台の液処理ユニットを用意し、共通の搬送機構を用いてウエハＷを搬送することにより、複数の液処理ユニットにて並行して液処理を実行することが行われている。
【０００３】
前記液処理ユニットは、例えば図１６に示すように、ウエハＷを載置して回転させるスピンチャック１１と、スピンチャック１１上のウエハＷを囲むように設けられたカップ１２と、を備えている。前記処理液としては、酸性薬液やアルカリ性薬液等が用いられており、処理に応じて図示しないノズルから薬液を切替えてウエハＷに供給するように構成されている。
【０００４】
ここで、特許文献１には、複数の液処理ユニットを水平に配置すると共に、酸性薬液用の排気ライン及びアルカリ性薬液専用の排気ラインを備える構成が記載されている。この場合、例えば図１６に示すように、夫々の液処理ユニットのカップ１２は、酸性薬液用の排気ライン１３及びアルカリ薬液用の排気ライン１４と夫々専用の排気路１５，１６により接続される。これら排気路１５，１６には、夫々バルブＶ１５，Ｖ１６が設けられており、薬液に応じてこのバルブＶ１５，Ｖ１６を開閉することによって、カップ１２内の雰囲気を専用の排気ライン１３，１４を介して排気するように構成されている。
【０００５】
しかしながら、このような構成では、１つの液処理ユニットにおいて、専用排気路１５，１６毎に夫々バルブＶ１５，１６が必要であり、薬液の種類が多くなる程、バルブの設置数が多くなってしまう。また、バルブが増加すれば、バルブの駆動部も多くなるため、調整に時間がかかり、またバルブや駆動部が占有するスペースが大きなものとなってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−３４４９０号公報（段落００３４、図４、図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、流路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる流路切替え装置及び流路切替え方法を提供することにある。本発明の他の目的は、被処理体を処理する処理流体の専用排出路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる処理装置及び処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このため本発明の流路切替え装置は、
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、
前記回転筒を回転させるための回転駆動部と、を備え、
前記回転筒の複数の開口部は、当該回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の処理装置は、
被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理部と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を排出するために、前記処理部に設けられた共通流路と、
前記複数種別の処理流体毎に設けられ、前記処理流体を排出するための複数の専用排出路と、
前記共通流路を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続するための流路切替え装置と、を備え、
前記流路切替え装置は、前記流路切替え装置であることを特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明の流路切替え方法は、各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え方法において、
外筒と、この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、を備えた流路切替え装置を用い、
前記回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態を形成して流路の切替え接続を行うことを特徴とする。
【００１１】
さらにまた、本発明の処理方法は、
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う工程と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を共通流路から排出する工程と、
前記複数種別の処理流体毎に用意され、各々が独立した処理流体を流すための複数の専用排出路の内、対応する専用排出路から処理流体を排出する工程と、を含み、
請求項７の流路切替え方法を用いて、前記共通流路を専用排出路に切替え接続することを特徴とする。
【００１２】
さらにまた、本発明の記憶媒体は、処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、前記処理方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の流路切替え装置及び流路切替え方法によれば、回転筒を回転させることにより、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つを連通させ、かつ他の組については連通しないようにして、共通流路を複数の接続用流路に切替え接続している。このため、回転筒を回転させる回転駆動部のみで流路の切替えを行うことができるので、流路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる。また、本発明の処理装置及び処理方法によれば、既述の流路切替え装置を用いて、被処理体を処理する処理流体を排出する複数の専用排出路への切替え接続を行っているので、当該専用排出路を切替えるための駆動機構の個数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る液処理装置の横断平面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る液処理装置の概略縦断側面図である。
【図３】前記液処理装置に設けられた液処理ユニットの構成を示す説明図である。
【図４】前記液処理ユニットに設けられた流路切替え装置を示す斜視図である。
【図５】前記液処理ユニットに設けられた専用排気路を示す平面図である。
【図６】前記流路切替え装置を示す斜視図である。
【図７】前記流路切替え装置の外筒と回転筒を示す断面図と展開図である。
【図８】前記流路切替え装置を示す側部断面図である。
【図９】前記流路切替え装置を示す側部断面図である。
【図１０】前記専用排気路を示す平面図である。
【図１１】前記共通流路に設けられた圧力損失調整バルブの作用を示す平面図である。
【図１２】前記液処理ユニットにて行われる液処理工程を示す説明図である。
【図１３】流路切替え装置の他の例の外筒と回転筒を示す展開図である。
【図１４】流路切替え装置の他の例を示す断面図である。
【図１５】流路切替え装置のさらに他の例を示す断面図である。
【図１６】従来の液処理ユニットを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の処理装置に係る実施の形態として、被処理体であるウエハＷに処理流体である薬液を供給してウエハＷに付着したパーティクルや汚染物質を除去する液処理を行う液処理装置２の構成について以下に図面を参照しながら説明する。本発明の液処理装置２は、外部から複数枚のウエハＷを収納したキャリアＣの搬入出が行われるキャリア載置ブロック２Ａと、ウエハＷの受け渡し部を備えた受け渡しブロック２Ｂと、ウエハＷに対して所定の液処理を行う処理ブロック２Ｃと、を備えている。これらは、キャリア載置ブロック２Ａを前方側として、キャリア載置ブロック２Ａ、受け渡しブロック２Ｂ、処理ブロック２Ｃが前後方向（図１中Ｘ方向）に一列に配列され、互いに接続されている。
【００１６】
前記キャリア載置ブロック２Ａは、例えば４個のキャリアＣが載置されるキャリア載置部２１を備えると共に、当該キャリア載置部２１上に載置されたキャリアＣと受け渡しブロック２Ｂとの間でのウエハＷの受け渡しを行う搬入出アームＡ１を備えている。この搬入出アームＡ１は、ウエハを保持する保持アーム２２が、例えば前後方向に進退自在、左右方向（図１中Ｙ方向）に移動自在、回動自在及び昇降自在に構成されている。
【００１７】
前記受け渡しブロック２Ｂは、受け渡しステージ２３を多段に備えており、この受け渡しステージ２３に対しては、搬入出アームＡ１と、後述する処理ブロック２Ｃに設けられたプロセスアームＡ２とが夫々アクセスできるように構成されている。
【００１８】
前記処理ブロック２Ｃは、前後方向に伸びるウエハＷの搬送路２４を備えており、この搬送路２４には、プロセスアームＡ２が設けられている。また、前記搬送路２４を挟んで、キャリア載置ブロック２Ａ側から見て左右に各々５台の処理部をなす液処理ユニット３（３Ａ〜３Ｊ）が互いに対向するように列設されている。前記プロセスアームＡ２は、１０台の液処理ユニット３及び既述の受け渡しステージ２３に対してウエハＷの受け渡しを行うものである。当該プロセスアームＡ２はウエハＷの裏面側周縁を保持する保持アーム２５が進退自在、回転自在、昇降自在、及び搬送路２４に沿って移動自在に構成されている。
【００１９】
次に図３を参照しながら前記液処理ユニット３の構成について説明する。液処理ユニット３は、ウエハＷに対して枚葉処理を行う処理ユニットであり、ウエハＷに対する液処理が実行される密閉された処理空間を形成するアウターチャンバ３１と、アウターチャンバ３１内にてウエハＷをほぼ水平に保持した状態で回転させるウエハ保持機構３２と、ウエハ保持機構３２に保持されたウエハＷの上面側に薬液を供給するノズルアーム３３と、ウエハ保持機構３２を取り囲むようにアウターチャンバ３１内に設けられ、回転するウエハＷから周囲に飛散した薬液を受けるためのインナーカップ３４と、を備えている。
【００２０】
アウターチャンバ３１は、互いに隣り合う他の液処理ユニット３とは区画された筐体内に設けられており、この筐体内には不図示のウエハ搬入口を介して対応するプロセスアームＡ２によりウエハＷが搬入出される。このアウターチャンバ３１の底面には、当該チャンバ３１内の雰囲気を排気するための排気路３５が接続されると共に、アウターチャンバ３１の底面に溜まったＤＩＷなどの排水を排出するための排水路３６が設けられている。インナーカップ３４は、ウエハ保持機構３２の近傍の処理位置と、処理位置の下方側の退避位置との間で昇降自在に構成されている。図中３７は、インナーカップ３４に設けられた排液路である。また、ウエハ保持機構３２の内部には薬液供給路３８が形成されており、回転するウエハＷの下面に当該薬液供給路３８を介して薬液を供給することができるようになっている。
【００２１】
ノズルアーム３３は、先端部に薬液供給用のノズルを備えている。このノズルには、ＩＰＡ供給部４１、ＤＩＷ供給部４２、ＳＣ１供給部４３、ＤＨＦ供給部４４に供給路４５、４６、４７を介して接続されている。また、ＤＩＷ供給部４２、ＳＣ１供給部４３、ＤＨＦ供給部４４は、供給路４７、４８を介して、ウエハ保持機構３２の供給路３８に接続されている。
【００２２】
前記ＩＰＡ供給部４１は、高い揮発性を利用してウエハＷを乾燥させるためのＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を供給し、ＤＩＷ供給部４２は、薬液処理後のウエハＷに残存する薬液を除去するためのリンス液であるＤＩＷ液（Delonized Water）を供給するものである。また、ＳＣ１供給部４３は、ウエハＷ表面のパーティクルや有機性の汚染物質を除去する薬液であるＳＣ１液（アンモニアと過酸化水素水の混合液）を供給し、ＤＨＦ供給部４４は、ウエハＷ表面の自然酸化膜を除去するＤＨＦ液（希フッ酸水溶液：ＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid）液）を供給するものである。図中、４１ａは、マスフローコントローラ、４０は切替え弁、４９ａ、４９ｂは、各々ノズルアーム３３側、ウエハ保持機構３２側への薬液供給量を調整するマスフローコントローラである。ここで、前記薬液の内、ＩＰＡが有機系薬液、ＤＨＦ液が酸性薬液、ＳＣ１液がアルカリ性薬液に夫々相当する。
【００２３】
続いて前記液処理ユニット３の排気系について説明する。この例では搬送路２４の両側に５個の液処理ユニット３が配列されているが、これら搬送路２４の片側に配列された５個の液処理ユニット３の夫々の排気路３５は、図２及び図４に示すように、夫々本発明の流路切替え装置をなす流路切替え部５を介して流路形成部材６に接続されている。従って、この例においては、キャリア載置ブロックＡ１側から見て、搬送路２４の右側に配列された５個の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅは、共通の流路形成部材６に接続され、キャリア載置ブロックＡ１側から見て、搬送路２４の左側に配列された５個の液処理ユニット３Ｆ〜３Ｊは、共通の流路形成部材（図示せず）に接続されている。前記液処理ユニット３の排気路３５は、処理流体を排出する共通流路に相当する。以下、キャリア載置ブロックＡ１側から見て、搬送路２４の右側に配列された５個の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅの排気系を例にして説明する。
【００２４】
前記流路形成部材６は、図４及び図５に示すように、互いに並行に伸びるように構成されると共に、前記複数種別の処理流体を含む気流を個別に通気させる複数の専用排出路（接続用流路）を形成するものである。この例では、流路形成部材６は、３種類の処理流体を含む気流を個別に排気するように、第１の流路６１、第２の流路６２、第３の流路６３を備えており、これら第１〜第３の流路６１〜６３は壁部６４により周囲が覆われている。例えば流路形成部材６は、３本の配管６０（６０Ａ〜６０Ｃ）を互いに水平に並べて形成される。但し、図５（ａ）では、図示の便宜上、隣接する流路６１〜６３を区画する壁部６４ａは、一方の配管６０に属するもののみを描いており、図５（ｂ）では、配管６０の間の隙間は省略している。
【００２５】
これら第１〜第３の流路６１〜６３の内、例えば第１の流路６１は有機系薬液を含む気流、第２の流路６２はアルカリ性薬液を含む気流、第３の流路６３は酸性薬液を含む気流の専用排出路として夫々割り当てられている。この流路形成部材６の一端側には、前記第１〜第３の流路６１〜６３の夫々に専用排気ライン６１ａ〜６３ａが接続されており、これら専用排気ライン６１ａ〜６３ａは、工場用力の排気ラインを介して夫々排ガスの除外設備に接続されている。こうして、前記専用排気ライン６１ａ〜６３ａにより流路形成部材６の各流路６１〜６３の夫々の内部は陰圧に設定されている。そして、各液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ内の雰囲気は排気路３５を介して排気され、後述する流路切替え部５により、処理流体の種別に対応して切替え接続された流路６１〜６３を介して、夫々の専用排気ライン６１ａ〜６１ｃに排気されるように構成されている。
【００２６】
そして、この流路形成部材６の一面側の壁部６４、例えば上壁部６４ｂには、流路形成部材６の長さ方向（図４中Ｘ方向）と直交し、この直交方向において全ての流路６１〜６３を覆うように、液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ毎に外筒５１（５１Ａ〜５１Ｅ）が設けられている。この例では、外筒５１は、図４、図６及び図７に示すように、例えば円筒形状に構成され、支持部材５２を介して流路形成部材６に取り付けられている。ここで、図６は、外筒５１と支持部材５２とを下面側（流路形成部材６側）から見た概略斜視図であり、外筒５１は一点鎖線で示している。
【００２７】
流路形成部材６における外筒５１が設けられた領域には、図５及び図７に示すように、第１〜第３の流路６１〜６３に対して夫々開口する第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃが形成されている。一方、外筒５１の周壁には、第１〜第３の流路６１〜６３に対して夫々開口する第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃが、当該外筒５１の長さ方向に沿って間隔をおいて形成されている。また、前記支持部材５２にも、第１〜第３の流路６１〜６３に対して夫々開口する第１〜第３の接続口５２ａ〜５２ｃが夫々形成されている。こうして、外筒５１と流路形成部材６の３個の流路６１〜６３は、開口部６０ａ〜６０ｃ及び接続口５１ａ〜５１ｃ，５２ａ〜５２ｃを介して互いに連通するように構成されている。ここで、前記流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１により覆われる大きさに設定されている。
【００２８】
前記外筒５１の内部には、図６〜図８に示すように、前記外筒５１内に回転自在に挿入された円筒形状の回転筒５３が設けられている。この回転筒５３の一端側は、略水平な回転軸５４を介して、外筒５１の一端側の外部に設けられた回転駆動部５５に接続されている。この回転駆動部５５は、例えばロータリーシリンダより構成され、回転筒５３は、外筒５１の内部にて、略水平軸周りに回転自在に構成されることになる。
【００２９】
一方、外筒５１の他端側には、液処理ユニット３の排気路３５が接続されており、回転筒５３の他端側は、外筒５１の他端側に接近した位置にて開口している。こうして、回転筒５３の他端側は排気路３５に接続される接続口として構成され、当該回転筒５３の内部に、前記排気路３５から排気された気流が通気するようになっている。図中５６は、回転駆動部５５を収納する収納部である。
【００３０】
図中５７は、回転筒５３の外部に部分的に設けられた例えばリング状の突部であり、この突部５７と外筒５１との間には僅かな隙間が形成されている。このような外筒５１、回転筒５３及び突部５７は、例えばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の材質により構成されている。ここで、回転筒５３は一端側にて軸支されているので、長さ方向において僅かに傾くおそれもあるが、その場合は突部５７が外筒５１の内部に接触して、回転筒５３を支持することになる。このような状態であっても、突部５７は部分的に形成されていて幅が狭く、回転筒５３は軽量であるので、回転筒５３の回転は妨げられない。
【００３１】
また、回転筒５３の周壁には、図６及び図７に示すように、当該回転筒５３の長さ方向に沿って間隔をおいて、前記外筒５１の複数の接続口５１ａ〜５１ｃに対応する位置に複数の開口部５３ａ〜５３ｃが形成されている。図７（ｂ）は外筒５１の展開図、図７（ｃ）は回転筒５３の展開図を示すものであるが、この例では、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃは、外筒５１の長さ方向に沿って一列に配列されている。一方、回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃは、回転筒５３の周方向の異なる位置に、前記外筒５１の３個の接続口５１ａ〜５１ｃに夫々対応するように形成されている。この際、これら開口部５３ａ〜５３ｃは、夫々の周方向の中心位置が、回転筒５３を周方向において３等分する位置になるように、互いに１２０°離れて形成されている。
【００３２】
そして、回転筒５３の前記他端側（排気路３５側）には、外筒５１の第１の接続口５１ａに対応する第１の開口部５３ａ、前記一端側（回転駆動部５５側）には、外筒５１の第３の接続口５１ｃに対応する第３の開口部５３ｃ、中央部には、外筒５１の第２の接続口５１ｂに対応する第２の開口部５３ｂが夫々形成されている。
【００３３】
こうして、回転筒５３を回転させたときに、ある位置では、前記第１の接続口５１ａと第１の開口部５３ａとが対向し、ある位置では、第２の接続口５１ｂと第２の開口部５３ｂとが対向し、ある位置では、第３の接続口５１ｃと第３の開口部５３ｃとが対向するように構成されている。
【００３４】
これにより、前記回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃは、当該回転筒５３を回転する間に、互いに対応する外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることになる。
【００３５】
この際、流路形成部材６の第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１の第１の接続口５１ａ〜５１ｃと対応するように設けられており、前記開口部６０ａ〜６０ｃは、外筒５１により覆われるように構成されている。従って、互いに対応する外筒５１の第１〜第３の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の第１〜第３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通するときには、当該組に対応する流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃが開き、連通しない他の組については、これら他の組に対応する流路形成部材６の開口部６０ａ〜６０ｃが閉じられる。こうして、流路切替え部５によって、前記液処理ユニット３の排気路３５が、前記処理流体の種別に対応した流路６１〜６３に切替え接続されることになる。
【００３６】
この例では、回転駆動部５５は、後述する制御部１００からの指令に基づき、予め設定された３つの位置で停止するように構成されており、例えば第１の位置では、第１の開口部５３ａと第１の接続口５１ａとが対向し、第２の位置では、第２の開口部５３ｂと第２の接続口５１ｂとが対向し、第３の位置では、第３の開口部５３ｃと第３の接続口５１ｃとが対向するようになっている。
【００３７】
そして、前記第１の位置では、図８に示すように、第１の接続口５１ａが開かれ、第２及び第３の接続口５１ｃが閉じられて、液処理ユニット３からの有機系薬液を含む排気成分が第１の流路６１に排気される。また、前記第２の位置では、図９（ａ）に示すように、第２の接続口５１ｂが開かれ、第１及び第３の接続口５１ａ，５１ｃが閉じられて、液処理ユニット３からのアルカリ性薬液を含む排気成分が第２の流路６２に排気される。さらに、第３の位置では、図９（ｂ）に示すように、第３の接続口５１ｃが開かれ、第１及び第２の接続口５１ａ，５１ｂが閉じられて、液処理ユニット３からの酸性薬液を含む排気成分が第３の流路６３に排気される。
【００３８】
こうして、外筒５１、回転筒５３及び回転駆動部５５とにより、流路切替え部５が構成されている。この例では、例えば回転筒５３が第３の位置（酸性薬液の排気成分を排気する位置）に位置にあるときを中間位置とし、ここから回転筒５３を回転駆動部５５側から見て時計回りに回転させることにより第１の位置に位置させ、また回転筒５３を回転駆動部５５側から見て半時計回りに回転させることにより第２の位置に位置させるように構成されている。
【００３９】
ここで、互いに対応する外筒５１の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒５３の開口部５３ａ〜５３ｃとの組の一つが重なり合って連通するとは、接続口５１ａ〜５１ｃと開口部５３ａ〜５３ｃとの間に連通する開口領域が形成されていればよく、外筒の接続口５１ａ〜５１ｃと回転筒の開口部５３ａ〜５３ｃとの互いの開口領域が完全に対向する場合のみならず、開口領域の一部同士が対向して連通する場合も含まれる。
【００４０】
ここで、外筒５１と回転筒５３の寸法の一例について示すと、外筒５１は、長さが例えば５２０ｍｍ、内径が例えばφ１００ｍｍに設定される。また、回転筒５３は、長さが例えば５１２ｍｍ、内径が例えばφ８３ｍｍに設定され、外筒５１と回転筒５３との間の隙間Ｌ１の幅は例えば０．５ｍｍに設定されている。さらに、開口部５３ａ〜５３ｃの周方向の長さＬ２（図７（ｂ）参照）は、例えば７０ｍｍに設定されている。
【００４１】
さらに、流路形成部材６における第１〜第３の流路６１〜６３の他端側は開放されると共に、これら第１〜第３の流路６１〜６３の他端側には、夫々取り込み量調整バルブＶ１１〜Ｖ１３が設けられている。この取り込み量調整バルブＶ１〜Ｖ１３は例えばバタフライバルブにより構成されており、例えば制御部１００からの指令に基づき、流路形成部材６の上壁部６４ｂに設けられた駆動機構をなすモータＭ１１〜Ｍ１３によりその開度が調整される。
【００４２】
この取り込み量調整バルブＶ１１〜Ｖ１３は、夫々の流路６１〜６３において、液処理ユニット３の排気路３５からの排気量に関わらず、一定量の気流を排気するために設けられている。このため、流路切替え部５Ａ〜５Ｅによる流路形成部材６の第１〜第３の開口部６０ａ〜６０ｃの開閉状態に応じて、第１〜第３の流路６１〜６３毎に開度が決定される。つまり、第１〜第３の流路６１〜６３毎に開口部６０ａ〜６０ｃの開閉数に基づいて、所定の開度で取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３を開き、所定量の大気を夫々の流路６１〜６３に導入するようになっている。こうして、各流路６１〜６３では、液処理ユニット３からの排気と大気との組み合わせによりトータルの排気量が一定量になるように制御されている。
【００４３】
具体的に図１０を参照して説明すると、例えば全ての液処理ユニット３Ａ〜３Ｅの流路切替え部５Ａ〜５Ｅが第１の開口部６０ａを開き、第２及び第３の開口部６０ｂ、６０ｃを閉じるように調整されているときには、取り込み量調整バルブＶ１１は閉じ、取り込み量調整バルブＶ１２，Ｖ１３は第１の開度で開いた状態になり、第２及び第３の流路６２，６３では大気が取り込まれるように設定されている。
【００４４】
また、例えば第１の流路６１を例にして説明すると、例えば全ての開口部６０ａが閉じているときは第１の開度、１個の開口部６０ａが開くときは第２の開度、２個の開口部６０ａが開くときは第３の開度、３個の開口部６０ａが開くときは第４の開度、４個の開口部６０ａが開くときは第５の開度で開くように設定されている。このとき、取り込み量調整バルブＶ１１の開度は、第１の開度＞第２の開度＞第３の開度＞第４の開度＞第５の開度となる。このような開度の制御は、後述する制御部１００からの指令に基づいて、モータＭ１１により行われる。
【００４５】
こうして、流路形成部材６の第１〜第３の流路６１〜６３では、図１０（ｂ）に示すように、流路６１〜６３毎に液処理ユニット３からの排気量に基づいて、取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度が制御され、所定量の大気が取り込まれるようになっている。この例では、第１の流路６１は１個の液処理ユニット３Ｅに対応する開口部６０ａのみが開かれているので、取り込み量調整バルブＶ１１は第２の開度、第２及び第３の流路６２、６３は２個の液処理ユニット３Ａ，３Ｂ（３Ｃ，３Ｄ）に対応する開口部６０ｂ（６０ｃ）が開かれているので、取り込み量調整バルブＶ１２、Ｖ１３は夫々第３の開度で開くように制御される。この例では、前記流路形成部材６の接続用流路６１〜６３の端部の開口が流体取り込み用開口部に相当する。
【００４６】
また、第１〜第３の流路６１〜６３の出口側、例えば専用排気ライン６１ａ〜６３ａとの接続部付近にて、流路６１〜６３毎に流量検出センサを用いて夫々の流路６１〜６３の排気量を検出し、この検出値に基づいて、トータルの排気量が所定量になるように、各取り込み量調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度を調整して、大気の取り込み量を制御するようにしてもよい。
【００４７】
さらに、例えば各液処理ユニット３Ａ〜３Ｅの排気路３５の内部における流路切替え部５の上流側近傍には、夫々圧力損失調整バルブＶ２（Ｖ２１〜Ｖ２５）が設けられている。この圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５は例えばバタフライバルブよりなり、駆動機構によりその開度が調整されるように構成されている。この例では、図４及び図６に示すように、駆動機構２０１〜２０５は、回転筒５３の回転駆動部５５の収納部５６近傍に設けられており、２本の駆動軸５８Ａ，５８Ｂを介して圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５の回転軸５９に動力が伝達されるように構成されている。
【００４８】
この圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５は、５台の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅにおいて排気路３５内の圧力損失を揃えるために設けられている。つまり、工場の用力の排気ラインに近い液処理ユニット３Ｅの排気路３５は、前記排気ラインに遠い液処理ユニット３Ａの排気路３５よりも圧力損失が小さく、排気量が大きくなるからである。従って、排気ラインからの位置に応じて、圧力損失調整バルブＶ２１〜Ｖ２５の開度が調整され、その開度は、排気ラインに遠い排気路３５程、開度が大きくなるように、例えば液処理ユニット３Ａの圧力損失調整バルブＶ２１＞液処理ユニット３Ｂの圧力損失調整バルブＶ２２＞液処理ユニット３Ｃの圧力損失調整バルブＶ２３＞液処理ユニット３Ｄの圧力損失調整バルブＶ２４＞液処理ユニット３Ｅの圧力損失調整バルブＶ２５になるように設定される。
【００４９】
また、この液処理装置には制御部１００が設けられている。この制御部１００は例えばＣＰＵと記憶部とを備えたコンピュータからなり、記憶部には当該液処理装置２の作用、例えば液処理ユニット３にウエハＷを搬入して液処理を行った後、液処理後のウエハＷをキャリアＣに格納するまでの動作に係わる制御についてのステップ（命令）群が組まれたプログラムがレシピ毎に記録されている。前記プログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶媒体に格納され、そこからコンピュータにインストールされる。
【００５０】
また、制御部１００では、液処理ユニット３内にて実行されている処理の種類に応じて薬液供給系や排気系を図１２に示す切替え先に切替えるように構成されている。各液処理ユニット３では、ウエハ搬入（Ｐ１）→アルカリ性薬液処理（Ｐ２）→リンス洗浄（Ｐ３）→振切乾燥（Ｐ４）→酸性薬液処理（Ｐ５）→リンス洗浄（Ｐ６）→ＩＰＡ乾燥（Ｐ７）→ウエハの入れ替え（Ｐ８）の各動作が繰り返し行われており、これらの動作に対応して薬液供給系や排気系が切替えられる。
【００５１】
即ち、薬液供給系については、アルカリ性薬液処理（Ｐ２）時にＳＣ１液、リンス洗浄（Ｐ３，Ｐ６）時にＤＩＷ液、酸性薬液処理（Ｐ５）時にＤＨＦ液がウエハＷの上面側、下面側の双方に供給され、また、ＩＰＡ乾燥（Ｐ７）時にはウエハＷの上面にＩＰＡが供給されるように薬液供給系が切替えられる。
【００５２】
また、排気系については、アルカリ性薬液処理（Ｐ２）〜振切乾燥（Ｐ４）までの期間中は、流路形成部材６の第２の流路６２、酸性薬液処理（Ｐ５）〜リンス洗浄（Ｐ６）までの期間中は流路形成部材６の第３の流路６３、ＩＰＡ乾燥（Ｐ７）〜ウエハ入れ替え（Ｐ８）の期間中は流路形成部材６の第１の流路６１に、夫々排気先を切替えるように、流路切替え部５が制御される。この際、流路切替え部５の切替えによって、取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度が制御される。これら薬液供給系や、排気系の切替えタイミングは、例えば液処理装置における薬液処理の処理レシピとして予め制御部１００の記憶部内に記憶されている。
【００５３】
続いて本発明の液処理装置２の作用について説明する。外部からキャリア載置ブロック２Ａに搬入されたキャリアＣ内のウエハＷは、搬入出アームＡ１により受け渡しブロック２Ｂの受け渡しステージ２３に受け渡される。そして、処理ブロック２Ｃでは、プロセスアームＡ２が受け渡しステージ２３からウエハＷを受け取って、所定の液処理ユニット３の一つに進入して、当該ウエハＷをウエハ保持機構３２に受け渡す。
【００５４】
ここで、各々の液処理ユニット３にて行われる液処理の一例について説明する。この液処理では、ウエハＷが図示しないウエハ保持機構３２に載置されると、ノズルアーム３３をウエハＷ中央側の上方位置まで移動させ、インナーカップ３４を処理位置まで上昇させる。そして、流路切替え部５では、回転筒５３を第２の位置に設定し、ウエハ保持機構３２によりウエハＷを回転させながら、ノズル及びウエハ保持機構３２側の薬液供給路３８によりウエハＷの上下面両側にＳＣ１液を供給する。これにより、ウエハＷに薬液の液膜が形成されてアルカリ性薬液洗浄が行われる。
【００５５】
この際、アウターチャンバ３１内には、ウエハＷの回転により、アルカリ性薬液が飛散しており、当該チャンバ３１内の雰囲気には、アルカリ性薬液のミストが含まれている。従って、アウターチャンバ３１内の雰囲気を排気路３５を介して排気すると、排気路３５から流路切替え部５、流路形成部材６の第２の流路６２を介してアルカリ性薬液のミストを含む気流が排出されていく。アルカリ性薬液洗浄が終了すると、インナーカップ３４を退避位置に移動し、ノズル及びウエハ保持機構の薬液供給路３８へＤＩＷ液を供給することによりウエハＷ表面のＳＣ１液を除去するリンス洗浄が実行される。リンス洗浄を終えたら振切乾燥を実行する。
【００５６】
しかる後、再びインナーカップ３４を処理位置まで上昇させ、ウエハＷを回転させると共に、流路切替え部５では、回転筒５３を第３の位置に切替え、ノズル及びウエハ保持機構３２の薬液供給路３８より、ウエハＷの上下面にＤＨＦ液を供給する。これにより、これらの面にＤＨＦ液の液膜が形成され、酸性薬液洗浄が行われ、液処理ユニット３からは排気路３５、流路形成部材６の第３の流路６３を介して酸性薬液のミストを含む気流が排気されていく。そして、所定時間の経過後、インナーカップ３４を退避位置に下降させ、薬液の供給系統をＤＩＷ液に切替えて再びリンス洗浄を行う。
【００５７】
続いて、インナーカップ３４を処理位置まで上昇させ、ウエハＷを回転させると共に、流路切替え部５では回転筒５３を第１の位置に切替え、ウエハＷの上面にＩＰＡを供給する。こうして、ＩＰＡの揮発性を利用したＩＰＡ乾燥を実行し、これによりウエハＷ表面に残存するリンス後のＤＩＷ液が完全に除去される。この際、液処理ユニット３からは排気路３５、流路形成部材６の第１の流路６１を介して有機係薬液のミストを含む気流が排気されていく。しかる後、インナーカップ３４を退避位置まで退避させ、不図示の搬入出口を開き、液処理ユニット３内にプロセスアームＡ２を進入させて処理後のウエハＷを搬出し、このウエハＷを受け渡しステージ２３に受け渡す。
【００５８】
ここで、この液処理装置では、プロセスアームＡ２により、１０個の液処理ユニット３にウエハＷが順次搬送されて、所定の液処理が行われる。そして、既述のように、キャリアブロック２Ａ側から見て搬送路２４の右側に配列された５個の液処理ユニット３Ａ〜３Ｅ内の雰囲気は、夫々排気路３５、流路切替え部５Ａ〜５Ｅを介して共通の流路形成部材６に排気されていく。同様にキャリアブロック２Ａ側から見て搬送路２４の左側に配列された５個の液処理ユニット３Ｆ〜３Ｊ内の雰囲気は、夫々排気路３５、流路切替え部５を介して共通の流路形成部材６に排気されていく。
【００５９】
この際、液処理ユニット３Ａ〜３Ｊ毎に、制御部１００からの指令に基づいて流路切替え部５では回転筒５３の位置が選択され、薬液の種別に対応して第１〜第３の流路６１〜６３に流路が切替えられて、専用排気路６１ａ〜６３ａを介して排気されていく。従って、流路形成部材６側から見ると、第１〜第３の流路６１〜６３毎に開口部６０ａ〜６０ｃの開閉が行われることになる。
【００６０】
そして、バルブＶ１１〜Ｖ１３では、既述のように、制御部１００の指令に基づいて、流路６１〜６３毎に、開口部６０ａ〜６０ｃの開口数に対応して、開度の調整が行われる。こうして、流路形成部材６の各流路６１〜６３では、既述のように、開口部６０ａ〜６０ｃの開閉状態に関わらず、液処理ユニット３からの排気と大気との組み合わせにより、トータルの排気量が揃えられる。
【００６１】
このような実施の形態によれば、液処理ユニット３から処理流体の排気ガスを排出するための排気路３５を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路（接続用流路）６１〜６３に切替え接続するために液処理ユニット３毎に流路切替え部５を設け、流路切替え部５では、回転筒５３を周方向に回転させることにより流路の切替えを行っている。従って、複数の流路６１〜６３への切替えを、回転筒５３の回転駆動部５５のみで行うことができるので、当該切替え作業を行うにあたって駆動機構数が少なくて済む。このため、駆動機構の調整作業に要する時間や手間を削減することができる上、設置スペースの削減を図ることができる。
【００６２】
また、このような流路切替え部５を液処理ユニット３に設けた場合には、ウエハＷに対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給して処理を行うにあたり、処理流体の種類が多くなったとしても、１つの回転筒５３を回転させることによって、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続することができる。このため、駆動機構の個数が少なくて済むので、駆動機構の調整作業に要する時間や手間を削減することができる上、設置スペースの削減を図ることができる。
【００６３】
また、流路形成部材６の各接続用流路６１〜６３内においては、流路６１〜６３毎に設けられた取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３の開度を調整することにより、既述のように、液処理ユニット３からの排気の有無に関わらず、流路６１〜６３内において、排気量を揃えることができる。このため、排気量の変動が抑えられ、各液処理ユニットにおいて処理状態のバラつきの発生を抑制することができる。
【００６４】
この際、接続用流路６１〜６３内において、大気を取り込み、排気量を揃える場合であっても、流路６１〜６３毎に一つの取り込み用調整バルブＶ１１〜Ｖ１３を設ければよい。このため、複数の液処理ユニット３を配列する場合であっても、取り込み用調整バルブの個数が増加することなく、従来に比べてトータルのバルブの個数や、駆動機構の個数が大幅に削減される。従って、構成部材や駆動機構の個数が少なく、調整作業の手間や時間が削減され、省スペース化を図ることができる。
【００６５】
さらに、各液処理ユニット３の排気路３５には、圧力損失調整バルブＶ２が設けられている。このため、各液処理ユニット３は、長い排気路６１〜６３の異なる位置に接続されているので、この圧損調整バルブＶ２の開度の調整により、液処理ユニット３の排気路３５の圧力損失が液処理ユニット３同士の間で均一になるように調整されている。このため、液処理ユニット３同士の間では、排気量が揃えられ、液処理の処理状態のバラつきの発生を抑制することができる。
【００６６】
以上において、本発明の流路切替え装置は、例えば図１３（ａ）に外筒７１の展開図、図１３（ｂ）に回転筒７２の展開図を夫々示すように、外筒７１に形成される複数例えば３個の接続口７１１〜７１３を、周方向に沿って間隔をおいて形成する一方、前記回転筒７２に形成される複数例えば３個の開口部７２１〜７２３を、長さ方向に沿って一列に形成するものであってもよい。さらにまた、外筒に形成される接続口の個数、回転筒に形成される開口部の個数は複数個であればよく、２個でもよいし、４個以上であってもよい。
【００６７】
また、例えば図１４に示すように、支持部材９１により回転筒５３を支持するように設けてもよい。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。この場合、支持部材９１は、外筒５１の長さ方向に沿って設けられ、その上面は外筒５１の内部に突出し、回転筒５３の開口部５３ａ〜５３ｃの外側の領域を下方側から支持するように設けられている。図中９２は、支持部材９１に設けられた開口部である。このような構成によれば、支持部材９１により回転筒５３が支持されるので、外筒５１内の回転筒５３の位置が安定する。
【００６８】
さらに、例えば図１５に示すように、回転筒８２の他端側８２０を閉じるように構成すると共に、例えば外筒８１の長さ方向において回転筒８２の開口部に対応する位置に排気路（共通流路）３５を接続するようにしてもよい。この例では、前記排気路３５は回転筒８２の中央部に形成された開口部８２２に対応する位置に接続されている。この例では、排気路３５から外筒８１と回転筒８２との隙間に気流が排気され、前記開口部８２２、他の開口部８２１（図示せず）、８２３から回転筒８２の内部に前記気流が供給される。この際、前記開口部８２２が回転してある位置にあるときには、前記排気路３５と対向するため、当該開口部８２２が共通流路３５に接続される接続口に相当する。なお、前記接続口に相当する開口部は、流路切替え用の開口部とは別個に、流路切替えを阻害しない位置に設けるようにしてもよい。
【００６９】
また、外筒の接続口と、回転筒の開口は、回転筒の回転位置により、専用排出路（接続用流路）の開口と連通せず、専用排出路の全ての開口部６０ａ〜６０ｃが閉じられるように構成してもよい。
【００７０】
また、本発明の流路切替え装置及び流路切替え方法は、共通流路が接続用流路の上流側にある場合、共通流路が接続用流路の下流側にある場合のいずれの場合にも用いることができ、共通流路及び接続用流路は、気体の流路であっても液体の流路であってもよい。さらに、本発明の処理装置及び処理方法は、処理流体が液体である場合、気体である場合のいずれにも適用でき、液体を排出する場合、気体を排出する場合のいずれにも適用できる。さらに上述の実施の形態のように、処理流体が液体であって、処理流体が供給される雰囲気を排気する場合には、この処理流体が供給される雰囲気には、処理流体が供給された雰囲気と、この処理流体のミストとを含む気流が含まれる。
【００７１】
さらにまた、処理流体を使う処理は上述の液処理に限られるものではなく、例えばウエハＷにＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）などの蒸気を供給してウエハＷの表面を疎水化する処理装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００７２】
３ 液処理ユニット
３５ 排気路（共通流路）
５ 流路切替え部
５１ 外筒
５１ａ〜５１ｃ 接続口
５３ 回転筒
５３ａ〜５３ｃ 開口部
５５ 回転駆動部
６ 流路形成部材
６１〜６３ 専用排出路（接続用流路）
６０ａ〜６０ｃ 開口部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、
前記回転筒を回転させるための回転駆動部と、を備え、
前記回転筒の複数の開口部は、当該回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることを特徴とする流路切替え装置。
【請求項２】
前記複数の接続口は、外筒の長さ方向に沿って一列に形成されていることを特徴とする請求項１記載の流路切替え装置。
【請求項３】
被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理部と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を排出するために、前記処理部に設けられた共通流路と、
前記複数種別の処理流体毎に設けられ、前記処理流体を排出するための複数の専用排出路と、
前記共通流路を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続するための流路切替え装置と、を備え、
前記流路切替え装置は、請求項１又は２記載の流路切替え装置であることを特徴とする処理装置。
【請求項４】
前記複数の専用排出路には、夫々複数の前記流路切替え装置を介して複数の前記共通流路が接続されていることを特徴とする請求項３記載の処理装置。
【請求項５】
前記複数の専用排出路に夫々設けられた複数の流体取り込み用開口部と、
複数の流体取り込み用開口部に夫々設けられ、流体の取り込み量を調整するために、これら流体取り込み用開口部の開度を調整する複数の取り込み量調整バルブと、
前記専用排出路内を通流する処理流体の流量に基づいて、前記流体取り込み用バルブの開度を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項４記載の処理装置。
【請求項６】
前記複数の共通流路の内部の夫々に、これら共通流路の圧力損失を調整するために、前記共通流路の開度を調整する複数の圧力損失調整バルブを設けることを特徴とする請求項４又５記載の処理装置。
【請求項７】
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え方法において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、を備えた流路切替え装置を用い、
前記回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態を形成して流路の切替え接続を行うことを特徴とする流路切替え方法。
【請求項８】
、
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う工程と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を共通流路から排出する工程と、
前記複数種別の処理流体毎に用意され、各々が独立した処理流体を流すための複数の専用排出路の内、対応する専用排出路から処理流体を排出する工程と、を含み、
請求項７の流路切替え方法を用いて、前記共通流路を専用排出路に切替え接続することを特徴とする処理方法。
【請求項９】
前記複数の専用排出路には、複数の前記共通流路が接続されており、
前記複数の専用排出路に夫々複数の流体取り込み用開口部を設け、前記専用排出路内を通流する処理流体の流量に基づいて、前記流体取り込み用開口部の開度を制御することを特徴とする請求項８記載の処理方法。
【請求項１０】
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項８又は９に記載の処理方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする記憶媒体。
【請求項１】
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え装置において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、
前記回転筒を回転させるための回転駆動部と、を備え、
前記回転筒の複数の開口部は、当該回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態が各組の間で順番に起こるように配置されていることを特徴とする流路切替え装置。
【請求項２】
前記複数の接続口は、外筒の長さ方向に沿って一列に形成されていることを特徴とする請求項１記載の流路切替え装置。
【請求項３】
被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理部と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を排出するために、前記処理部に設けられた共通流路と、
前記複数種別の処理流体毎に設けられ、前記処理流体を排出するための複数の専用排出路と、
前記共通流路を、前記処理流体の種別に対応した専用排出路に切替え接続するための流路切替え装置と、を備え、
前記流路切替え装置は、請求項１又は２記載の流路切替え装置であることを特徴とする処理装置。
【請求項４】
前記複数の専用排出路には、夫々複数の前記流路切替え装置を介して複数の前記共通流路が接続されていることを特徴とする請求項３記載の処理装置。
【請求項５】
前記複数の専用排出路に夫々設けられた複数の流体取り込み用開口部と、
複数の流体取り込み用開口部に夫々設けられ、流体の取り込み量を調整するために、これら流体取り込み用開口部の開度を調整する複数の取り込み量調整バルブと、
前記専用排出路内を通流する処理流体の流量に基づいて、前記流体取り込み用バルブの開度を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項４記載の処理装置。
【請求項６】
前記複数の共通流路の内部の夫々に、これら共通流路の圧力損失を調整するために、前記共通流路の開度を調整する複数の圧力損失調整バルブを設けることを特徴とする請求項４又５記載の処理装置。
【請求項７】
各々が独立した流体を流すための複数の接続用流路を、当該接続用流路に対して接続される共通流路に切替え接続するための流路切替え方法において、
外筒と、
この外筒の周壁に当該外筒の長さ方向に沿って間隔をおいて開口し、前記複数の接続用流路に夫々接続される複数の接続口と、
前記共通流路に接続される接続口が設けられ、外筒内に回転自在に挿入された回転筒と、
この回転筒の周壁に当該回転筒の長さ方向に沿って間隔をおいて前記外筒の複数の接続口に対応する位置に夫々形成された複数の開口部と、を備えた流路切替え装置を用い、
前記回転筒を回転する間に、互いに対応する外筒の接続口と回転筒の開口部との組の一つが重なり合って連通し、かつ他の組については連通しない状態を形成して流路の切替え接続を行うことを特徴とする流路切替え方法。
【請求項８】
、
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う工程と、
この処理部へ供給された複数種別の処理流体を共通流路から排出する工程と、
前記複数種別の処理流体毎に用意され、各々が独立した処理流体を流すための複数の専用排出路の内、対応する専用排出路から処理流体を排出する工程と、を含み、
請求項７の流路切替え方法を用いて、前記共通流路を専用排出路に切替え接続することを特徴とする処理方法。
【請求項９】
前記複数の専用排出路には、複数の前記共通流路が接続されており、
前記複数の専用排出路に夫々複数の流体取り込み用開口部を設け、前記専用排出路内を通流する処理流体の流量に基づいて、前記流体取り込み用開口部の開度を制御することを特徴とする請求項８記載の処理方法。
【請求項１０】
処理部において、被処理体に対して複数種別の処理流体を互いに異なるタイミングで供給しながら処理を行う処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項８又は９に記載の処理方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする記憶媒体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１２−９５１１（Ｐ２０１２−９５１１Ａ）
【公開日】平成２４年１月１２日（２０１２．１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１４１９２１（Ｐ２０１０−１４１９２１）
【出願日】平成２２年６月２２日（２０１０．６．２２）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１月１２日（２０１２．１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月２２日（２０１０．６．２２）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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