パターンドメディア用ハードディスク表面検査装置及び表面検査方法
【課題】本発明はサーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供することにある。
【解決手段】本発明はサーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出する際に、前記散乱光のうちサーボエリアから第１散乱光に基づいてサーボエリアを設定し、前記設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第２散乱光を抽出し、前記データエリアの欠陥を検出することを特徴とする。
【解決手段】本発明はサーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出する際に、前記散乱光のうちサーボエリアから第１散乱光に基づいてサーボエリアを設定し、前記設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第２散乱光を抽出し、前記データエリアの欠陥を検出することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンドメディア用ハードディスクの表面検査に係り、特にデータエリアの欠陥を検査する際にサーボエリアによる誤認識のないパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置及び表面検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターンドメディアはハードディスクの記録読み取り方式で今後の開発が期待されている新たな方式であり、その検査方式においても新たな技術の導入がなされているが、これといったものがなくその方式としては未確定である。その中で、特許文献１では、ハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアから反射光の強度を波長毎に検出し、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出することが開示されている。特許文献２には、一般的は光学式検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００―１５０８３２号公報
【特許文献２】特開２０００―１８０３７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ハードディスクメディアはサーボエリアとデータエリアに別れている。サーボエリアの信号はデータエリアの欠陥と同様の信号である為、この２つの信号を区別できず、サーボエリアの信号を欠陥と判定してしまう。また、サーボエリア上の欠陥はサーボエリアそのものを欠陥として認識してしまうため検出ができない。さらに、サーボエリアに欠陥があると、データエリアのデータはすべて使用できなくなり、欠陥がサーボエリアにあるのかデータエリアにあるのかを判別して検査する必要がある。特許文献１の開示方法はハードディスクメディア上に形成されたパターン(欠陥)を検出する方法を開示しているが、前記判別に対して考慮されていない。
【０００５】
また、サーボエリアの信号レベルとデータエリアの信号レベルの比は１０倍以上である。単に特許文献２の光学式検査装置を用いて一方の信号レベルに合わせると他方のエリアの信号が検出できない課題がある。
【０００６】
本発明の目的は、上記した課題を鑑みてなされたもので、サーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、上記目的を達成するために、サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出する際に、前記散乱光のうちサーボエリアから第１散乱光に基づいてサーボエリアを設定し、前記設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第２散乱光を抽出し、前記データエリアの欠陥を検出することを第１の特徴とする。
【０００８】
また、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴を加え、前記サーボエリアの設定は前記データエリアからの第２散乱光を検出するデータ検出散乱系の有する前記第１散乱光に基づいて行なうことを第２の特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記サーボエリアの設定は前記サーボエリアからの第１散乱光を検出するサーボ検出散乱系の有する第１散乱光に基づいて行なうことを第３の特徴とする。
【００１０】
また、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記サーボエリアの設定は前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを第４の特徴とする。
【００１１】
最後に、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記データエリアからの第１散乱光を検出するデータ検出散乱系の有する前記第１散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリア欠陥を検出することを第５の特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、サーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態であるパターンドメディア用ハードディスク検査装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態である検査光学系の構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態である検査光学系の散乱光を検出した２つの散乱系の出力信号である。
【図４】本発明の一実施形態である前処理部を示した図である。
【図５】データ検出処理系の各位置の信号波形を示した図である。
【図６】サーボ検出処理系の各位置の信号波形を示した図である。
【図７】データ処理装置１１による検査処理フローの大筋を示した図である。
【図８】サーボエリア設定処理フローを示す図である。
【図９】データエリアの欠陥検査フローを示す図である。
【図１０】サーボエリアの欠陥検査フローを示す図である。
【図１１】欠陥の位置情報を示す例である。
【図１２】欠陥の種類を示す例である。
【図１３】検査欠陥結果の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１はパターンドメディア用ハードディスク検査装置(以下、単にハードディスク検査装置という)５０の一実施形態を示した図である。ハードディスク検査装置はワークであるハードディスク２の表面に検査光を照射し反射光を得る検査光学系１と、検査光学系を装置に支持するフレーム９と、ハードディスクの全面を検査できるようにハードディスクを走査する走査部１０と、検査光学系の出力を処理する前処理部４と、及び走査部１０の制御や前処理部の出力を入力しデータを処理する処理部１２を具備するデータ処理装置１１とを有する。
【００１５】
以下、検査光学系１、前処理部４、データ処理装置１１による検査方法及び走査部１０の各一実施形態を図を用いて順に説明する。
【００１６】
図２は、本発明の検査光学系１の一実施形態を示す図である。以下の説明おいて、大文字の添え字は信号を処理する構成を示し、小文字の添え字は符号示す構成の出力位置における信号を示す。図１に示す検査光学系１は、照射系２０、正反射系２５、散乱系３０及びハーフミラー２９を有する。
【００１７】
照射系２０は検査光２１を出力する光源２２とその検査光を集束しハードディスク２の表面に照射する照射系レンズ２３からなる。本実施形態では、図２に示す照射角度θは約２０度である。
正反射系２５はハードディスク表面で反射された反射光のうち主としてハーフミラー２９で分配された正反射光２６を集光し結像する正反射系レンズ２７と正反射光２６を受光する正反射光受光器２８からなる。
【００１８】
一方、散乱系３０は、反射光２４のうち正反射光２６をカットし散乱光３２を得るマスク３４、散乱光を所定の輝度エリアに分配する輝度分配スプリッタ３５、ハードディスク２のデータエリアからの信号の検出を目的としたデータ検出散乱系３６およびハードディスクのサーボエリアからの信号の検出を目的的としたサーボ検出散乱系３８とを有する。
データ検出散乱系３６は散乱光３２を集光し結像するデータ検出レンズ３６Ｒと結像された散乱光を受光するデータ検出受光器３６Ｊを有する。同様にサーボ検出散乱系３８は散乱光３２を集光し結像するサーボ検出レンズ３８Ｒとサーボ検出受光器３８Ｊを有する。
正反射光受光器２８、データ検出受光器３６Ｊ及びサーボ検出受光器３８Ｊの出力は前処理部４に入力される。なお、正反射光受光器、データ検出受光器及びサーボ検出受光器としてはＡＰＤやフォトマル等を用いる。
【００１９】
図３は散乱系３０の２つの出力信号を示した図である。図３(ａ)はデータ検出受光器３６Ｊによる検出信号であるデータ検出信号３６ｊを、図３(ｂ)はサーボ検出受光器３８Ｊによる検出信号であるサーボ検出信号３８ｊを示す図である。
【００２０】
発明が解決しようとする課題で説明したようにサーボエリアの信号レベルとデータエリアの信号レベルの比は１０倍以上である。そのために、図３(ｂ)に示すデータエリア信号３６ｄの変動成分である有意成分を検出できるようにデータ検出受光器３６Ｊには、サーボ検出受光器３８Ｊと比べ高レベルの入力信号が必要である。一方、サーボ検出受光器３８Ｊは入力信号レベルが高いとサーボエリア信号３８ｓが飽和レベルγで飽和してしまい、その変動成分である有意成分を検出できない。
【００２１】
従って、サーボ検出受光器３８Ｊには図３(ａ)に示すようサーボエリアの検出信号３８ｓ（添え字ｓはサーボエリア信号を示す）が飽和することなく検出できるように低レベルの信号が入力される。そのために、輝度分配スプリッタ３５は受光した散乱光３２を前述した条件を満足するように分配する。その分配率は光源２２のパワー等にもよるが本実施形態では９９対１の割合でデータ検出散乱系３６に高く割り振る。
【００２２】
一つの受光器でデータエリア信号とサーボエリア信号を飽和なく検出してもよいが、その場合データエリア信号の検出レベルが非常に低くＳ／Ｎ比が悪くなり、データエリアの欠陥を満足に検出できない虞がある。そこで、本実施形態ではサーボエリア信号を満足できるＳ／Ｎ比が得られるような光量でハードディスク表面に照射する。また、本実施形態では輝度分配スプリッタ３５で光量を分配したが、検出器の感度の違いを利用してもよい。さらに、分配率は９９：１に限らず他の分配率としてもよい。その場合に、サーボ検出処理系のサーボエリアからの散乱光が飽和する場合は飽和しないように減衰し、逆にデータ検出処理系のデータエリアからの散乱光が小さい場合は増幅するなどして、それらの有意成分が検出できるように調整が必要である。
【００２３】
次に、図１に示した前処理部４を図４を用いて説明する。前処理部は、データ検出散乱系３６の出力信号であるデータ検出信号３６ｊを処理するデータ検出処理系４１Ｓと、サーボ検出散乱系３８の出力信号であるサーボ検出信号３６ｊを処理するサーボ検出処理系４２Ｓと、正反射系２５の出力を処理する正反射処理系４３Ｓを有する。
データ検出処理系４１Ｓはデータ検出信号３６ｊにダイナミックレンジを広げるために所定量オフセットするデータ検出オフセット回路４１Ｆとデータ検出オフセット回路の出力信号であるデータ検出オフセット後信号４１ｆをＡＤ変換するＡＤ変換器４１Ｃとを有する。
【００２４】
また、サーボ検出処理系４２Ｓはサーボ検出信号３８ｊにダイナミックレンジを広げるために所定量オフセットするサーボ検出オフセット回路４２Ｆとサーボ検出オフセット回路の出力信号であるサーボ検出オフセット後信号４２ｆを増幅するサーボ検出増幅回路４２Ｚとサーボ検出増幅回路４２Ｚの出力信号であるサーボ検出増幅信号４２ｚをＡＤ変換するＡＤ変換器４２Ｃとを有する。
さらに、正反射処理系４３Ｓは反射光受光器２８の出力信号をＡＤ変換するＡＤ変換器４３Ｃを有する。
【００２５】
図５、図６は前処理部の各位置における信号波形を示す。なお、図５、図６において添え字ｄはデータエリア信号を、添え字ｓはサーボエリア信号を示す。
図５はデータ検出処理系４１Ｓの各位置の信号波形を示した図である。図５(ａ）は図３(ａ)で示したデータ検出信号３６ｊを、図４(ｂ）はデータ検出信号３６ｊをオフセット(本実施形態ではマイナス２．５Ｖ)したデータ検出オフセット後信号４１ｆを示した図である。
【００２６】
また、図６はサーボ検出処理系４２Ｓの各位置の信号波形を示した図である。図６(ａ)は図３(ｂ)で示したサーボ検出信号３８ｊを、図６(ｂ)はサーボ検出信号３８ｊを構成する信号のうちサーボエリア信号３８ｓを抽出するためにオフセット(本実施形態ではマイナス約１．５Ｖ)したサーボ検出オフセット後信号４１ｆを、図６(ｃ)は零レベル以下をカットしサーボエリア信号のみであるサーボ検出オフセット後信号４１ｆを欠陥情報を得易くするために、即ち有意成分を得るために約５倍に増幅したサーボ検出増幅信号４２ｚを示した図である。
【００２７】
次に、これらの検出信号に基づいて、サーボエリア及びデータエリアを判別して各エリアの欠陥検出方法を説明する。図７は図１に示すデータ処理装置１１による検査処理フローの大筋を示した図である。図７では、まずサーボエリアを設定するサーボエリア設定処理を行ない、次に、サーボエリアの設定結果に基づいて、データエリアの欠陥検査処理を、さらにサーボエリアの欠陥検査処理を行なう。
【００２８】
図８にサーボエリア設定処理フローを、図９にデータエリアの欠陥検査フローを、図１０にサーボエリアの欠陥検査フローを示す。
【００２９】
図８において、データ処理装置の処理部１２はサーボエリア設定処理プログラム１３ａを起動する。サーボエリア設定処理プログラムはインターフェース１４を介して前処理部４で処理された図５(ｂ)に示すデータ検出オフセット後信号４１ｆをエリア検査データ１３ｄのうちデータエリア検査データ１３ｄｄとして記憶する(Ｓｔｅｐ１)。次に、サーボエリア設定処理プログラムは、図５(ａ)に示すようにデータエリア検査データ１３ｄｄにサーボエリア認識レベル１２ｅｖを設定し、レベル以上のデータの周期性Ｔ及び領域幅Ｗの妥当性(例えば、Ｔ，Ｗが許容範囲内にある)を検討しサーボエリアを設定する(Ｓｔｅｐ２)。次に、図５(ｃ)に示すようにデータエリア検査データ１３ｄｄからサーボエリア内のデータを除去した真データエリア検査データ１３ｄｄｓを抽出し記憶する（Ｓｔｅｐ３）。
【００３０】
次に、処理部１２はデータエリア欠陥検査処理プログラム１３ｂを起動し、データエリア欠陥検査処理プログラムは真データエリア検査データ１３ｄｄｓから欠陥の有無を検査する。そのためにデータエリア欠陥検査処理プログラムは、まず、図５(ｃ)に示すように真データエリア検査データに対しデータエリア欠陥検出レベル１２ｄｖを設定する(Ｓｔｅｐ４)。真データエリア検査データから１画素データを選定する(Ｓｔｅｐ５)。選定データが設定レベル以上であれば欠陥と判定する(Ｓｔｅｐ６)。欠陥でなければＳｔｅｐ８に行き、欠陥であれば画素欠陥データとしその位置情報を記憶する(Ｓｔｅｐ７)。位置情報としては円形のハードディスクの中心から半径方向への距離ｒ及び基準半径方向からの角度θで表す。この処理を真データエリア検査データのすべての画素データに対して行なう(Ｓｔｅｐ８)。次に、図１３(ｄ)に示すように画素欠陥データの連続性や形などにより、図１２(ａ)に示す欠陥種の中から欠陥種を決定し、欠陥種、その欠陥種の位置情報(画素データと同一内容)、サイズを図１１に示すように記憶する(Ｓｔｅｐ９)。データエリア欠陥種としては図１２(ａ)に示すものがある。検査結果を図１３(ａ)に示すように表示装置１５(図１参照)に出力する(Ｓｔｅｐ１０)。
【００３１】
次に、処理部１２はサーボエリア欠陥検査処理プログラム１３ｃを起動し、サーボエリアの欠陥の有無を検査する。まず、サーボエリア欠陥検査処理プログラムはインターフェース１４を介して前処理部４で処理された図６(ｃ)に示すサーボ検出増幅信号４２ｚをサーボエリア検査データ１３ｄｓとして記憶する(Ｓｔｅｐ１１）。図６(ｃ)に示すようにサーボエリア欠陥検出レベル１２ｓｖを設定する(Ｓｔｅｐ１２）。以下のＳｔｅｐ１３からＳｔｅｐ１７は、図９に示すデータエリア欠陥検査処理のＳｔｅｐ５からＳｔｅｐ９と同様な処理を行なう。違う点は２つある。第１はＳｔｅｐ１５の位置情報としてはデータエリアと同様に図１１に示す情報としてもよいし、あるいはサーボエリアのアドレスを用いてもよい点である。第２は、Ｓｔｅｐ１７のエリア欠陥種としては図１２(ｂ)に示すものがある点である。Ｓｔｅｐ１７後、図１０(ｂ)に示す検査結果を表示装置１５(図１参照)に出力する(Ｓｔｅｐ１８）。さらに、図１０(ａ)、図１０(ｂ)の結果を合わせて、図１０(ｃ)に示すようように表示装置１５(図１参照)に出力する(Ｓｔｅｐ１９）。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態によれば欠陥の位置をデータエリア、サーボエリアに分けて判別できる。
【００３３】
その結果、サーボエリアに欠陥があっても、そのデータエリアの健全性を別に判断できる。
【００３４】
最後に、図１０図に示すようなドーナス状のハードディスク２を螺旋走査してハードディスク表面を全面走査する機構と動作を説明する。ワークテーブル３は、図１に示すように、直線移動テーブル５とθ回転テーブル６とに支持されている。直線移動テーブル５はＲ方向に直線移動し、θ回転テーブル６はこの直線移動テーブル５の上に設けられている。θ回転テーブル６には回転角度を示す信号を発生するエンコーダ６ａが設けられ、直線移動テーブル５にはＲ方向の移動位置を示すエンコーダ５ａが設けられている。各エンコーダ５ａ，６ａの信号はデータ処理装置１１（インターフェース１４）に走査位置信号として送出される。なお、２ａはハードディスク２がワークテーブル３に載置されていることを検出するセンサである。３ａはドーナツ状したハードディスク２の中心がθ回転テーブル６の回転中心と一致するようにハードディスク２をセットするためのガイドピンである。８はθ回転テーブル６を駆動するθ方向駆動回路であり、ワークテーブル３の回転方向と回転速度、停止位置等がこの駆動回路を介して制御される。７は直線移動テーブル５をＲ方向に直線移動させるＲ方向駆動回路である。これら駆動回路はサーボ処理装置１１からの制御信号に応じて制御される。
【００３５】
このような機構を記憶部１３に格納された定速度螺旋走査プログラム１３ｅよってハードディスク２を螺旋走査する。具体的には、ハードディスク２の中心がθ回転テーブル６の回転中心と一致するようにハードディスク２を載置し、検査光２１をドーナツの内側の縁にセットする。その後、ワークテーブル３をθ回転テーブル６で定速に回転させながら、直線移動テーブル５でハードディスク２の径(Ｒ)方向、例えば図１において左右方向に移動させる。これによって、検査光２１をハードディスク２の全面に亘って走査できる、即ち検査できる。
走査は螺旋に限らず矩形上に走査させてもよいし、検査光学系１側を走査させてもよい。
【００３６】
全面走査した場合の各測定点での正反射光や散乱光なる測定サーボは前処理部４を経てデジタル値に変換されてデータ処理装置１１に転送されて、各エンコーダ５ａ，６ａで規定される各測定点(走査)位置とその点における測定値が記憶部１３に記憶される。なお、図１において１６はバスである。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態によれば、サーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供することにある。
【００３８】
また、以上説明したように、本実施形態によれば、サーボエリアとデータエリア毎に分かれて欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供できる。
【符号の説明】
【００３９】
１：検査光学系 ２：ハードディスク
３：ワークテーブル ４：前処理部
１０：走査部 １１：データ処理装置
１２：処理部 １３：記憶部
１４：インターフェース １５：表示装置
２０：照射系 ２５：正反射系
２８：正反射光受光器 ２９：ハーフミラー
３０：散乱系 ３２：散乱光
３４：マスク ３５：輝度分配スプリッタ
３６：データ検出散乱系 ３６Ｊ：データ検出受光器
３８：サーボ検出散乱系 ３８Ｊ：サーボ検出受光器
４１Ｓ：データ検出処理系 ４２Ｓ：サーボ検出処理系
４３Ｓ：正反射処理系
５０：パターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンドメディア用ハードディスクの表面検査に係り、特にデータエリアの欠陥を検査する際にサーボエリアによる誤認識のないパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置及び表面検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターンドメディアはハードディスクの記録読み取り方式で今後の開発が期待されている新たな方式であり、その検査方式においても新たな技術の導入がなされているが、これといったものがなくその方式としては未確定である。その中で、特許文献１では、ハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアから反射光の強度を波長毎に検出し、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出することが開示されている。特許文献２には、一般的は光学式検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００―１５０８３２号公報
【特許文献２】特開２０００―１８０３７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ハードディスクメディアはサーボエリアとデータエリアに別れている。サーボエリアの信号はデータエリアの欠陥と同様の信号である為、この２つの信号を区別できず、サーボエリアの信号を欠陥と判定してしまう。また、サーボエリア上の欠陥はサーボエリアそのものを欠陥として認識してしまうため検出ができない。さらに、サーボエリアに欠陥があると、データエリアのデータはすべて使用できなくなり、欠陥がサーボエリアにあるのかデータエリアにあるのかを判別して検査する必要がある。特許文献１の開示方法はハードディスクメディア上に形成されたパターン(欠陥)を検出する方法を開示しているが、前記判別に対して考慮されていない。
【０００５】
また、サーボエリアの信号レベルとデータエリアの信号レベルの比は１０倍以上である。単に特許文献２の光学式検査装置を用いて一方の信号レベルに合わせると他方のエリアの信号が検出できない課題がある。
【０００６】
本発明の目的は、上記した課題を鑑みてなされたもので、サーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、上記目的を達成するために、サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出する際に、前記散乱光のうちサーボエリアから第１散乱光に基づいてサーボエリアを設定し、前記設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第２散乱光を抽出し、前記データエリアの欠陥を検出することを第１の特徴とする。
【０００８】
また、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴を加え、前記サーボエリアの設定は前記データエリアからの第２散乱光を検出するデータ検出散乱系の有する前記第１散乱光に基づいて行なうことを第２の特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記サーボエリアの設定は前記サーボエリアからの第１散乱光を検出するサーボ検出散乱系の有する第１散乱光に基づいて行なうことを第３の特徴とする。
【００１０】
また、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記サーボエリアの設定は前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを第４の特徴とする。
【００１１】
最後に、本発明では、上記目的を達成するために、第１の特徴に加え、前記データエリアからの第１散乱光を検出するデータ検出散乱系の有する前記第１散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリア欠陥を検出することを第５の特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、サーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態であるパターンドメディア用ハードディスク検査装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態である検査光学系の構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態である検査光学系の散乱光を検出した２つの散乱系の出力信号である。
【図４】本発明の一実施形態である前処理部を示した図である。
【図５】データ検出処理系の各位置の信号波形を示した図である。
【図６】サーボ検出処理系の各位置の信号波形を示した図である。
【図７】データ処理装置１１による検査処理フローの大筋を示した図である。
【図８】サーボエリア設定処理フローを示す図である。
【図９】データエリアの欠陥検査フローを示す図である。
【図１０】サーボエリアの欠陥検査フローを示す図である。
【図１１】欠陥の位置情報を示す例である。
【図１２】欠陥の種類を示す例である。
【図１３】検査欠陥結果の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１はパターンドメディア用ハードディスク検査装置(以下、単にハードディスク検査装置という)５０の一実施形態を示した図である。ハードディスク検査装置はワークであるハードディスク２の表面に検査光を照射し反射光を得る検査光学系１と、検査光学系を装置に支持するフレーム９と、ハードディスクの全面を検査できるようにハードディスクを走査する走査部１０と、検査光学系の出力を処理する前処理部４と、及び走査部１０の制御や前処理部の出力を入力しデータを処理する処理部１２を具備するデータ処理装置１１とを有する。
【００１５】
以下、検査光学系１、前処理部４、データ処理装置１１による検査方法及び走査部１０の各一実施形態を図を用いて順に説明する。
【００１６】
図２は、本発明の検査光学系１の一実施形態を示す図である。以下の説明おいて、大文字の添え字は信号を処理する構成を示し、小文字の添え字は符号示す構成の出力位置における信号を示す。図１に示す検査光学系１は、照射系２０、正反射系２５、散乱系３０及びハーフミラー２９を有する。
【００１７】
照射系２０は検査光２１を出力する光源２２とその検査光を集束しハードディスク２の表面に照射する照射系レンズ２３からなる。本実施形態では、図２に示す照射角度θは約２０度である。
正反射系２５はハードディスク表面で反射された反射光のうち主としてハーフミラー２９で分配された正反射光２６を集光し結像する正反射系レンズ２７と正反射光２６を受光する正反射光受光器２８からなる。
【００１８】
一方、散乱系３０は、反射光２４のうち正反射光２６をカットし散乱光３２を得るマスク３４、散乱光を所定の輝度エリアに分配する輝度分配スプリッタ３５、ハードディスク２のデータエリアからの信号の検出を目的としたデータ検出散乱系３６およびハードディスクのサーボエリアからの信号の検出を目的的としたサーボ検出散乱系３８とを有する。
データ検出散乱系３６は散乱光３２を集光し結像するデータ検出レンズ３６Ｒと結像された散乱光を受光するデータ検出受光器３６Ｊを有する。同様にサーボ検出散乱系３８は散乱光３２を集光し結像するサーボ検出レンズ３８Ｒとサーボ検出受光器３８Ｊを有する。
正反射光受光器２８、データ検出受光器３６Ｊ及びサーボ検出受光器３８Ｊの出力は前処理部４に入力される。なお、正反射光受光器、データ検出受光器及びサーボ検出受光器としてはＡＰＤやフォトマル等を用いる。
【００１９】
図３は散乱系３０の２つの出力信号を示した図である。図３(ａ)はデータ検出受光器３６Ｊによる検出信号であるデータ検出信号３６ｊを、図３(ｂ)はサーボ検出受光器３８Ｊによる検出信号であるサーボ検出信号３８ｊを示す図である。
【００２０】
発明が解決しようとする課題で説明したようにサーボエリアの信号レベルとデータエリアの信号レベルの比は１０倍以上である。そのために、図３(ｂ)に示すデータエリア信号３６ｄの変動成分である有意成分を検出できるようにデータ検出受光器３６Ｊには、サーボ検出受光器３８Ｊと比べ高レベルの入力信号が必要である。一方、サーボ検出受光器３８Ｊは入力信号レベルが高いとサーボエリア信号３８ｓが飽和レベルγで飽和してしまい、その変動成分である有意成分を検出できない。
【００２１】
従って、サーボ検出受光器３８Ｊには図３(ａ)に示すようサーボエリアの検出信号３８ｓ（添え字ｓはサーボエリア信号を示す）が飽和することなく検出できるように低レベルの信号が入力される。そのために、輝度分配スプリッタ３５は受光した散乱光３２を前述した条件を満足するように分配する。その分配率は光源２２のパワー等にもよるが本実施形態では９９対１の割合でデータ検出散乱系３６に高く割り振る。
【００２２】
一つの受光器でデータエリア信号とサーボエリア信号を飽和なく検出してもよいが、その場合データエリア信号の検出レベルが非常に低くＳ／Ｎ比が悪くなり、データエリアの欠陥を満足に検出できない虞がある。そこで、本実施形態ではサーボエリア信号を満足できるＳ／Ｎ比が得られるような光量でハードディスク表面に照射する。また、本実施形態では輝度分配スプリッタ３５で光量を分配したが、検出器の感度の違いを利用してもよい。さらに、分配率は９９：１に限らず他の分配率としてもよい。その場合に、サーボ検出処理系のサーボエリアからの散乱光が飽和する場合は飽和しないように減衰し、逆にデータ検出処理系のデータエリアからの散乱光が小さい場合は増幅するなどして、それらの有意成分が検出できるように調整が必要である。
【００２３】
次に、図１に示した前処理部４を図４を用いて説明する。前処理部は、データ検出散乱系３６の出力信号であるデータ検出信号３６ｊを処理するデータ検出処理系４１Ｓと、サーボ検出散乱系３８の出力信号であるサーボ検出信号３６ｊを処理するサーボ検出処理系４２Ｓと、正反射系２５の出力を処理する正反射処理系４３Ｓを有する。
データ検出処理系４１Ｓはデータ検出信号３６ｊにダイナミックレンジを広げるために所定量オフセットするデータ検出オフセット回路４１Ｆとデータ検出オフセット回路の出力信号であるデータ検出オフセット後信号４１ｆをＡＤ変換するＡＤ変換器４１Ｃとを有する。
【００２４】
また、サーボ検出処理系４２Ｓはサーボ検出信号３８ｊにダイナミックレンジを広げるために所定量オフセットするサーボ検出オフセット回路４２Ｆとサーボ検出オフセット回路の出力信号であるサーボ検出オフセット後信号４２ｆを増幅するサーボ検出増幅回路４２Ｚとサーボ検出増幅回路４２Ｚの出力信号であるサーボ検出増幅信号４２ｚをＡＤ変換するＡＤ変換器４２Ｃとを有する。
さらに、正反射処理系４３Ｓは反射光受光器２８の出力信号をＡＤ変換するＡＤ変換器４３Ｃを有する。
【００２５】
図５、図６は前処理部の各位置における信号波形を示す。なお、図５、図６において添え字ｄはデータエリア信号を、添え字ｓはサーボエリア信号を示す。
図５はデータ検出処理系４１Ｓの各位置の信号波形を示した図である。図５(ａ）は図３(ａ)で示したデータ検出信号３６ｊを、図４(ｂ）はデータ検出信号３６ｊをオフセット(本実施形態ではマイナス２．５Ｖ)したデータ検出オフセット後信号４１ｆを示した図である。
【００２６】
また、図６はサーボ検出処理系４２Ｓの各位置の信号波形を示した図である。図６(ａ)は図３(ｂ)で示したサーボ検出信号３８ｊを、図６(ｂ)はサーボ検出信号３８ｊを構成する信号のうちサーボエリア信号３８ｓを抽出するためにオフセット(本実施形態ではマイナス約１．５Ｖ)したサーボ検出オフセット後信号４１ｆを、図６(ｃ)は零レベル以下をカットしサーボエリア信号のみであるサーボ検出オフセット後信号４１ｆを欠陥情報を得易くするために、即ち有意成分を得るために約５倍に増幅したサーボ検出増幅信号４２ｚを示した図である。
【００２７】
次に、これらの検出信号に基づいて、サーボエリア及びデータエリアを判別して各エリアの欠陥検出方法を説明する。図７は図１に示すデータ処理装置１１による検査処理フローの大筋を示した図である。図７では、まずサーボエリアを設定するサーボエリア設定処理を行ない、次に、サーボエリアの設定結果に基づいて、データエリアの欠陥検査処理を、さらにサーボエリアの欠陥検査処理を行なう。
【００２８】
図８にサーボエリア設定処理フローを、図９にデータエリアの欠陥検査フローを、図１０にサーボエリアの欠陥検査フローを示す。
【００２９】
図８において、データ処理装置の処理部１２はサーボエリア設定処理プログラム１３ａを起動する。サーボエリア設定処理プログラムはインターフェース１４を介して前処理部４で処理された図５(ｂ)に示すデータ検出オフセット後信号４１ｆをエリア検査データ１３ｄのうちデータエリア検査データ１３ｄｄとして記憶する(Ｓｔｅｐ１)。次に、サーボエリア設定処理プログラムは、図５(ａ)に示すようにデータエリア検査データ１３ｄｄにサーボエリア認識レベル１２ｅｖを設定し、レベル以上のデータの周期性Ｔ及び領域幅Ｗの妥当性(例えば、Ｔ，Ｗが許容範囲内にある)を検討しサーボエリアを設定する(Ｓｔｅｐ２)。次に、図５(ｃ)に示すようにデータエリア検査データ１３ｄｄからサーボエリア内のデータを除去した真データエリア検査データ１３ｄｄｓを抽出し記憶する（Ｓｔｅｐ３）。
【００３０】
次に、処理部１２はデータエリア欠陥検査処理プログラム１３ｂを起動し、データエリア欠陥検査処理プログラムは真データエリア検査データ１３ｄｄｓから欠陥の有無を検査する。そのためにデータエリア欠陥検査処理プログラムは、まず、図５(ｃ)に示すように真データエリア検査データに対しデータエリア欠陥検出レベル１２ｄｖを設定する(Ｓｔｅｐ４)。真データエリア検査データから１画素データを選定する(Ｓｔｅｐ５)。選定データが設定レベル以上であれば欠陥と判定する(Ｓｔｅｐ６)。欠陥でなければＳｔｅｐ８に行き、欠陥であれば画素欠陥データとしその位置情報を記憶する(Ｓｔｅｐ７)。位置情報としては円形のハードディスクの中心から半径方向への距離ｒ及び基準半径方向からの角度θで表す。この処理を真データエリア検査データのすべての画素データに対して行なう(Ｓｔｅｐ８)。次に、図１３(ｄ)に示すように画素欠陥データの連続性や形などにより、図１２(ａ)に示す欠陥種の中から欠陥種を決定し、欠陥種、その欠陥種の位置情報(画素データと同一内容)、サイズを図１１に示すように記憶する(Ｓｔｅｐ９)。データエリア欠陥種としては図１２(ａ)に示すものがある。検査結果を図１３(ａ)に示すように表示装置１５(図１参照)に出力する(Ｓｔｅｐ１０)。
【００３１】
次に、処理部１２はサーボエリア欠陥検査処理プログラム１３ｃを起動し、サーボエリアの欠陥の有無を検査する。まず、サーボエリア欠陥検査処理プログラムはインターフェース１４を介して前処理部４で処理された図６(ｃ)に示すサーボ検出増幅信号４２ｚをサーボエリア検査データ１３ｄｓとして記憶する(Ｓｔｅｐ１１）。図６(ｃ)に示すようにサーボエリア欠陥検出レベル１２ｓｖを設定する(Ｓｔｅｐ１２）。以下のＳｔｅｐ１３からＳｔｅｐ１７は、図９に示すデータエリア欠陥検査処理のＳｔｅｐ５からＳｔｅｐ９と同様な処理を行なう。違う点は２つある。第１はＳｔｅｐ１５の位置情報としてはデータエリアと同様に図１１に示す情報としてもよいし、あるいはサーボエリアのアドレスを用いてもよい点である。第２は、Ｓｔｅｐ１７のエリア欠陥種としては図１２(ｂ)に示すものがある点である。Ｓｔｅｐ１７後、図１０(ｂ)に示す検査結果を表示装置１５(図１参照)に出力する(Ｓｔｅｐ１８）。さらに、図１０(ａ)、図１０(ｂ)の結果を合わせて、図１０(ｃ)に示すようように表示装置１５(図１参照)に出力する(Ｓｔｅｐ１９）。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態によれば欠陥の位置をデータエリア、サーボエリアに分けて判別できる。
【００３３】
その結果、サーボエリアに欠陥があっても、そのデータエリアの健全性を別に判断できる。
【００３４】
最後に、図１０図に示すようなドーナス状のハードディスク２を螺旋走査してハードディスク表面を全面走査する機構と動作を説明する。ワークテーブル３は、図１に示すように、直線移動テーブル５とθ回転テーブル６とに支持されている。直線移動テーブル５はＲ方向に直線移動し、θ回転テーブル６はこの直線移動テーブル５の上に設けられている。θ回転テーブル６には回転角度を示す信号を発生するエンコーダ６ａが設けられ、直線移動テーブル５にはＲ方向の移動位置を示すエンコーダ５ａが設けられている。各エンコーダ５ａ，６ａの信号はデータ処理装置１１（インターフェース１４）に走査位置信号として送出される。なお、２ａはハードディスク２がワークテーブル３に載置されていることを検出するセンサである。３ａはドーナツ状したハードディスク２の中心がθ回転テーブル６の回転中心と一致するようにハードディスク２をセットするためのガイドピンである。８はθ回転テーブル６を駆動するθ方向駆動回路であり、ワークテーブル３の回転方向と回転速度、停止位置等がこの駆動回路を介して制御される。７は直線移動テーブル５をＲ方向に直線移動させるＲ方向駆動回路である。これら駆動回路はサーボ処理装置１１からの制御信号に応じて制御される。
【００３５】
このような機構を記憶部１３に格納された定速度螺旋走査プログラム１３ｅよってハードディスク２を螺旋走査する。具体的には、ハードディスク２の中心がθ回転テーブル６の回転中心と一致するようにハードディスク２を載置し、検査光２１をドーナツの内側の縁にセットする。その後、ワークテーブル３をθ回転テーブル６で定速に回転させながら、直線移動テーブル５でハードディスク２の径(Ｒ)方向、例えば図１において左右方向に移動させる。これによって、検査光２１をハードディスク２の全面に亘って走査できる、即ち検査できる。
走査は螺旋に限らず矩形上に走査させてもよいし、検査光学系１側を走査させてもよい。
【００３６】
全面走査した場合の各測定点での正反射光や散乱光なる測定サーボは前処理部４を経てデジタル値に変換されてデータ処理装置１１に転送されて、各エンコーダ５ａ，６ａで規定される各測定点(走査)位置とその点における測定値が記憶部１３に記憶される。なお、図１において１６はバスである。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態によれば、サーボエリアを設定し、サーボエリア、データエリアのうち少なくとデータエリアの欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供することにある。
【００３８】
また、以上説明したように、本実施形態によれば、サーボエリアとデータエリア毎に分かれて欠陥を検出できるパターンドメディア用ハードディスク検査装置及び検査方法を提供できる。
【符号の説明】
【００３９】
１：検査光学系 ２：ハードディスク
３：ワークテーブル ４：前処理部
１０：走査部 １１：データ処理装置
１２：処理部 １３：記憶部
１４：インターフェース １５：表示装置
２０：照射系 ２５：正反射系
２８：正反射光受光器 ２９：ハーフミラー
３０：散乱系 ３２：散乱光
３４：マスク ３５：輝度分配スプリッタ
３６：データ検出散乱系 ３６Ｊ：データ検出受光器
３８：サーボ検出散乱系 ３８Ｊ：サーボ検出受光器
４１Ｓ：データ検出処理系 ４２Ｓ：サーボ検出処理系
４３Ｓ：正反射処理系
５０：パターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出するパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置において、
前記散乱光のうちサーボエリアからの第１散乱光を有しデータエリアからの第２散乱光を飽和せずに受光するデータ検出散乱系と、前記第１散乱光を飽和せずに受光するサーボ検出散乱系と、前記第１散乱光の検出信号に基づいてサーボエリアを設定するサーボエリア設定手段と、前記設定結果に基づいて前記データ検出散乱系の第２散乱光の成分を抽出する第２散乱光抽出手段と、前記第２散乱光抽出手段の結果に基づいてデータエリアの欠陥を検出するデータエリア欠陥検出手段とを有することを特徴とするパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項２】
前記サーボエリア設定手段は前記データ検出散乱系の有する第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項３】
前記サーボエリア設定手段は前記サーボ検出散乱系の有する第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項４】
前記サーボエリア設定手段は前記サーボエリアの設定を前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項５】
前記データエリア欠陥検出手段は前記第２散乱光の有意成分を拡大する手段を有することを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項６】
前記サーボ検出散乱系からの検出信号のうち前記第１散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリアの欠陥を検出するサーボエリア欠陥検出手段を有することを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項７】
前記拡大は前記第１散乱光に負のバイアス成分を与え、その後増幅して行なうことを特徴とする請求項６に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項８】
前記散乱光を分配して前記データ検出散乱系と前記サーボ検出散乱系に入力する分配手段を有することを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項９】
前記分配手段の後段に信号レベル調整するレベル調整手段を有することを特徴する請求項８に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項１０】
前記サーバ検出散乱系は前記データ検出散乱系を兼ね、前記データ検出散乱系の出力信号は前記サーボ検出散乱系の出力信号を増幅して得られることを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項１１】
サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出するパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法において、
前記散乱光のうちサーボエリアから第１散乱光に基づいてサーボエリアを設定する設定ステップと、前記設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第２散乱光を抽出すし、前記データエリアの欠陥を検出するデータエリア欠陥検出ステップを有すること特徴とするパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１２】
前記設定ステップは前記データエリアからの散乱光を検出するデータ検出散乱系の有する前記第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１３】
前記設定ステップは前記サーボエリアからの散乱光を検出するサーボ検出散乱系の有する前記第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１４】
前記設定ステップは前記サーボエリアの設定を前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを特徴とする請求項１１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１５】
前記データエリア欠陥検出ステップは前記第２散乱光の有意成分を拡大するステップを有することを特徴とする請求項１１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１６】
前記第１散乱光を飽和せずに検出するサーボ検出散乱系検出ステップと、前記検出信号のうち前記第１散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリアの欠陥を検出するサーボエリア欠陥検出ステップを有することを特徴とする請求項１１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１７】
前記拡大は前記第１散乱光に負のバイアス成分を与え、その後増幅して行なうことを特徴とする請求項１６に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１】
サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出するパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置において、
前記散乱光のうちサーボエリアからの第１散乱光を有しデータエリアからの第２散乱光を飽和せずに受光するデータ検出散乱系と、前記第１散乱光を飽和せずに受光するサーボ検出散乱系と、前記第１散乱光の検出信号に基づいてサーボエリアを設定するサーボエリア設定手段と、前記設定結果に基づいて前記データ検出散乱系の第２散乱光の成分を抽出する第２散乱光抽出手段と、前記第２散乱光抽出手段の結果に基づいてデータエリアの欠陥を検出するデータエリア欠陥検出手段とを有することを特徴とするパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項２】
前記サーボエリア設定手段は前記データ検出散乱系の有する第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項３】
前記サーボエリア設定手段は前記サーボ検出散乱系の有する第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項４】
前記サーボエリア設定手段は前記サーボエリアの設定を前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項５】
前記データエリア欠陥検出手段は前記第２散乱光の有意成分を拡大する手段を有することを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項６】
前記サーボ検出散乱系からの検出信号のうち前記第１散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリアの欠陥を検出するサーボエリア欠陥検出手段を有することを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項７】
前記拡大は前記第１散乱光に負のバイアス成分を与え、その後増幅して行なうことを特徴とする請求項６に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項８】
前記散乱光を分配して前記データ検出散乱系と前記サーボ検出散乱系に入力する分配手段を有することを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項９】
前記分配手段の後段に信号レベル調整するレベル調整手段を有することを特徴する請求項８に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項１０】
前記サーバ検出散乱系は前記データ検出散乱系を兼ね、前記データ検出散乱系の出力信号は前記サーボ検出散乱系の出力信号を増幅して得られることを特徴とする請求項１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
【請求項１１】
サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に２次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出するパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法において、
前記散乱光のうちサーボエリアから第１散乱光に基づいてサーボエリアを設定する設定ステップと、前記設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第２散乱光を抽出すし、前記データエリアの欠陥を検出するデータエリア欠陥検出ステップを有すること特徴とするパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１２】
前記設定ステップは前記データエリアからの散乱光を検出するデータ検出散乱系の有する前記第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１３】
前記設定ステップは前記サーボエリアからの散乱光を検出するサーボ検出散乱系の有する前記第１散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項１１にパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１４】
前記設定ステップは前記サーボエリアの設定を前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを特徴とする請求項１１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１５】
前記データエリア欠陥検出ステップは前記第２散乱光の有意成分を拡大するステップを有することを特徴とする請求項１１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１６】
前記第１散乱光を飽和せずに検出するサーボ検出散乱系検出ステップと、前記検出信号のうち前記第１散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリアの欠陥を検出するサーボエリア欠陥検出ステップを有することを特徴とする請求項１１に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【請求項１７】
前記拡大は前記第１散乱光に負のバイアス成分を与え、その後増幅して行なうことを特徴とする請求項１６に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１１−１２９２０８（Ｐ２０１１−１２９２０８Ａ）
【公開日】平成２３年６月３０日（２０１１．６．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２８７６７１（Ｐ２００９−２８７６７１）
【出願日】平成２１年１２月１８日（２００９．１２．１８）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月３０日（２０１１．６．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月１８日（２００９．１２．１８）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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