説明

積層セラミックコンデンサ

【課題】 高誘電率でありかつ静電容量の温度特性に優れるとともに、高温負荷試験での寿命特性が高い積層セラミックコンデンサを提供する。
【解決手段】 誘電体層5を構成する誘電体磁器が、チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対して、バナジウムをV換算で0.05〜0.3モル、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)をRE換算で0.5〜1.5モル含有するとともに、その誘電体磁器を構成する結晶粒子はカルシウムの濃度が0.2原子%以上の結晶粒子から構成されており、前記誘電体磁器のX線回折チャートにおいて、正方晶系のチタン酸バリウムを示す(004)面の回折強度が、立方晶系のチタン酸バリウムを示す(400)面の回折強度よりも大きく、かつキュリー温度が100〜120℃である。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、カルシウムを固溶させたチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子により構成される誘電体磁器を誘電体層として用いる積層セラミックコンデンサに関する。
【背景技術】
【0002】
現在、モバイルコンピュータや携帯電話をはじめとするデジタル方式の電子機器の普及が目覚ましく、近い将来、地上デジタル放送が全国に展開されようとしている。地上デジタル放送用の受信機であるデジタル方式の電子機器として液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどがあるが、これらデジタル方式の電子機器には多くのLSIが用いられている。
【0003】
そのため、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなど、これらデジタル方式の電子機器を構成する電源回路にはバイパス用のコンデンサが数多く実装されているが、ここで用いられているコンデンサは、通常、高い静電容量を必要とするため高誘電率の積層セラミックコンデンサ(例えば、特許文献1〜3を参照)が採用されている。
【特許文献1】特開2004−210613号公報
【特許文献2】特開2002−362970号公報
【特許文献3】特開2006−156450号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上述した特許文献1に記載された発明の積層セラミックコンデンサは、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における静電容量の変化率が最大でも−4.5%と安定な温度特性を有するものの、誘電体層を構成する誘電体磁器の比誘電率が2500程度と低かった。
【0005】
また、特許文献2に記載された発明の積層セラミックコンデンサは、誘電体層を構成する誘電体磁器の室温(25℃)における比誘電率が3700以上と高いものの、この場合には、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における静電容量の最大の変化率が±14%〜±15%と、かろうじてX7R特性を満たす程度であり、この−55〜125℃の温度範囲における静電容量の変化率が±10%以内を満たすものではなかった。
【0006】
さらに、特許文献3に記載された発明の積層セラミックコンデンサでは、誘電体層をカルシウムの濃度の異なる2種のチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子により形成しているが、この場合、誘電体層を構成する誘電体磁器の室温(25℃)における比誘電率が3000程度であり、また、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における静電容量の最大の変化率が、特許文献2に記載された発明と同様に、かろうじてX7R特性を満たす程度(±13〜15%)であった。
【0007】
また、さらに、これら特許文献1〜3に記載された発明の積層セラミックコンデンサは、温度および電圧の条件を高く設定した高温温負荷試験での寿命特性が低くなるという問題を有していた。
【0008】
従って、本発明は、高誘電率でありかつ静電容量の温度特性に優れるとともに、高温負荷試験での寿命特性が高い積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の積層セラミックコンデンサは、厚みが1.5〜3μmの誘電体層と内部電極層とを交互に積層したコンデンサ本体と、該コンデンサ本体の端面に設けられ、前記内部電極層と接続された外部電極とを有する積層セラミックコンデンサであって、前記誘電体層は、チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子により構成され、カルシウムと、バナジウムと、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)とを含むとともに、前記チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対して、バナジウムをV換算で0.05〜0.3モル、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)をRE換算で0.5〜1.5モル含有してなり、前記結晶粒子はカルシウムの濃度が0.2原子%以上であり、X線回折チャートにおいて、正方晶系のチタン酸バリウムを示す(004)面の回折強度が、立方晶系のチタン酸バリウムを示す(400)面の回折強度よりも大きく、かつキュリー温度が100〜120℃である誘電体磁器からなることを特徴とする。
【0010】
また、前記結晶粒子の平均粒径が0.15〜0.3μmであることが望ましい。
【0011】
なお、希土類元素をREとしたのは、周期表における希土類元素の英文表記(Rare earth)に基づくものである。また、本発明では、イットリウムは希土類元素に含まれるものとする。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、高誘電率でありかつ静電容量の温度特性に優れるとともに、高温負荷試験での寿命特性が高い積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
本発明の積層セラミックコンデンサについて、図1の概略断面図をもとに詳細に説明する。図1は、本発明の積層セラミックコンデンサの例を示す概略断面図であり、図2は、図1の積層セラミックコンデンサを構成する誘電体層の拡大図であり、結晶粒子および粒界相を示す模式図である。
【0014】
本発明の積層セラミックコンデンサは、コンデンサ本体1の両端部に外部電極3が形成されている。外部電極3は、例えば、CuもしくはCuとNiの合金ペーストを焼き付けて形成されている。
【0015】
コンデンサ本体1は、誘電体磁器からなる誘電体層5と内部電極層7とが交互に積層され構成されている。図1では誘電体層5と内部電極層7との積層状態を単純化して示しているが、本発明の積層セラミックコンデンサは誘電体層5と内部電極層7とが数百層にも及ぶ積層体となっている。
【0016】
誘電体層5を形成している誘電体磁器は結晶粒子9と粒界相11とから構成されており、その厚みは1.5〜3μmである。誘電体層5の厚みが3μm以下であると積層セラミックコンデンサを小型、高容量化することが可能となり、反対に、誘電体層5の厚みが3μmよりも厚くなると、積層セラミックコンデンサの規格寸法の範囲内で増やせる積層数の制限が大きくなるために静電容量を高めることが困難となる。誘電体層5の厚みが1.5μm以上であると、容量温度特性を安定化させることが可能になるとともに、高温負荷試験での寿命特性高いものにできる。一方、誘電体層5の厚みが1.5μmよりも薄くなると比誘電率の温度変化率が大きくなると共に高温負荷試験での寿命特性が低くなる。
【0017】
内部電極層7は、高積層化しても製造コストを抑制できるという点で、ニッケル(Ni)や銅(Cu)などの卑金属が望ましく、特に、本発明における誘電体層5との同時焼成が図れるという点でニッケル(Ni)がより望ましい。
【0018】
本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子9により構成され、カルシウムおよびバナジウムと、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)とを含む焼結体からなる。
【0019】
この誘電体磁器は、チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対して、バナジウムをV換算で0.05〜0.3モル、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)をRE換算で0.5〜1.5モル含有するとともに、前記結晶粒子はカルシウムの濃度が0.2原子%以上の結晶粒子9からなる。
【0020】
また、この誘電体磁器は、誘電体磁器のX線回折チャートにおいて、正方晶系のチタン酸バリウムを示す(004)面の回折強度が立方晶系のチタン酸バリウムを示す(400)面の回折強度よりも大きく、かつキュリー温度(Tc)が100〜120℃である。
【0021】
これにより、室温(25℃)における比誘電率が3200以上、室温(25℃)における比誘電率を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における比誘電率の最大の変化率が±10%以内を満足するとともに、高温負荷試験(温度:170℃,30V)において高い寿命特性を示すものとなる。
【0022】
本発明の積層セラミックコンデンサにおいて、誘電体磁器を構成する結晶粒子9は、カルシウムの濃度が0.2原子%以上であり、特に、0.4〜2.5原子%が好ましい。カルシウムの濃度がこの範囲であるとチタン酸バリウムに対するカルシウムの固溶を十分なものにでき、また、固溶せずに粒界等に残存するCa化合物を低減することができるため、比誘電率のAC電圧依存性を大きくでき高誘電率化を図ることが可能になる。
【0023】
また、この誘電体磁器は、上述のように、バナジウムを含有するものであるが、このようにバナジウムを含む誘電体磁器においては、結晶粒子9内に酸素空孔が存在する場合、結晶粒子9中に固溶したバナジウムの一部は価数が3価として存在するため、酸素空孔と3価のバナジウムとで欠陥対を生成し、その結果として酸素空孔の粒内での移動が制限され信頼性が向上する。そして、カルシウム(Ca)が粒内に存在する場合は、Caがバリウム(Ba)サイトに固溶することによって、格子定数が小さくなり、3価のバナジウムと酸素空孔との結合距離も短くなるために、欠陥対の結合がより強固なものになる。このことによりカルシウムを0.2原子%以上含有するチタン酸バリウムの結晶粒子9にバナジウムを固溶させたものは信頼性をさらに高めることができる。
【0024】
本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とし、このチタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対して、バナジウムをV換算で0.05〜0.3モル、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)をRE換算で0.5〜1.5モル含む。
【0025】
即ち、チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対するバナジウムの含有量がV換算で0.05モルよりも少ない場合、または、チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対するイットリウム、ジスプロシウム、ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)がRE換算で0.5モルよりも少ない場合には、−55〜125℃の温度範囲における静電容量の最大の変化率が±10以内を満足しなくなる。
【0026】
チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対するバナジウムの含有料がV換算で0.3モルよりも多い場合、または、チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対するイットリウム、ジスプロシウム、ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)がRE換算で1.5モルよりも多い場合には、室温(25℃)における誘電体磁器の比誘電率が3200よりも低くなる。
【0027】
ところで、希土類元素の中でイットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムはチタン酸バリウムに固溶したときに異相が生成し難く、高い絶縁性が得られるため好適に用いることができ、その中でも誘電体磁器の比誘電率を高められるという理由からイットリウムがより好ましい。
【0028】
なお、カルシウムを含むチタン酸バリウムに固溶している成分は不可避不純物を除き、実質的にバナジウムおよび希土類元素(RE)のみである。また、本発明の誘電体磁器は、焼結性を高めるための助剤としてガラス成分や他の添加成分を誘電体磁器中に0.5〜2質量%の割合で含有させても良い。なお、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、上述した添加成分、不可避不純物および焼結性を高めるための助剤を除き、カルシウムが固溶したチタン酸バリウムが主成分となっている。
【0029】
また、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、X線回折チャートにおいて、正方晶系のチタン酸バリウムを示す(004)面の回折強度が、立方晶系のチタン酸バリウムを示す(400)面の回折強度よりも大きく、かつキュリー温度が100〜120℃である。
【0030】
ここで、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器の結晶構造についてさらに詳細に説明すると、この誘電体磁器は、結晶粒子9中にバナジウムと希土類元素(RE)とが固溶しても、ほとんど正方晶系を示す単相に近い結晶相により占められている。
【0031】
図3の(a)は後述する実施例の表1における本発明の積層セラミックコンデンサである試料No.3のX線回折チャートを示すものであり、(b)は同表1における比較例の積層セラミックコンデンサである試料No.15のX線回折チャートである。図4は、後述する実施例の表1における試料No.3の積層セラミックコンデンサの静電容量の温度特性を示すグラフであり、本発明の積層セラミックコンデンサは図4のような静電容量の温度特性を有している。
【0032】
ここで、特許文献1に記載された発明である従来の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層を構成する誘電体磁器は、その結晶構造がコアシェル構造であり、図3の(b)のX線回折チャートに相当するものとなっている。
【0033】
即ち、チタン酸バリウムを主成分とし、コアシェル構造を有する結晶粒子により構成される誘電体磁器では、チタン酸バリウムの正方晶系を示す(004)面および(400)面の間に現れるチタン酸バリウムの立方晶系を示す(400)面((040)面、(004)面が重なっている。)の回折強度Ixcが、チタン酸バリウムの正方晶系を示す(004)面の回折強度Ixtよりも大きくなっている。
【0034】
また、コアシェル構造を示す結晶粒子により構成される誘電体磁器は、X線回折チャートで見る限り、正方晶系の結晶相に対して立方晶系の結晶相の割合が多いために結晶の異方性が小さくなる。そのために、X線回折チャートは(400)面の回折線が低角度側にシフトするとともに(004)面の回折線が高角度側にシフトし、両回折線は互いに少なくとも一部が重なるようになり幅広の回折線となる。
【0035】
このような誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とする粉末に、マグネシウムや希土類元素などの酸化物粉末を添加混合したものを成形した後、還元焼成することによって形成されるものであるが、この場合、コアシェル構造を有する結晶粒子は、シェル部にマグネシウムや希土類元素(RE)などの成分が多く固溶しているのに対し、コア部はマグネシウムや希土類元素(RE)などの成分の固溶量が少ないことから、純粋に近いチタン酸バリウムの結晶相であり、このためにキュリー温度が125℃付近(122〜126℃)にある。このように、コアシェル構造を有し、キュリー温度が125℃付近にある結晶粒子により構成される誘電体磁器は、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における比誘電率の最大の変化率が±15%程度にはなるものの±10%以内を満足できない。
【0036】
これに対して、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、図3の(a)に示すように、誘電体磁器のX線回折チャートにおいて、チタン酸バリウムの正方晶系を示す(004)面の回折強度Ixtが、チタン酸バリウムの立方晶系を示す(400)面の回折強度Ixcよりも大きい。
【0037】
即ち、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、図3の(a)に見られるように、チタン酸バリウムの正方晶系を示す(004)面(2θ=100°付近)と(400)面(2θ=101°付近)のX線回折ピークが明確に現れるものであり、チタン酸バリウムの正方晶系を示す(004)面および(400)面の間に現れるチタン酸バリウムの立方晶系を示す(400)面((040)面、(400)面が重なっている。)の回折強度Ixcが、チタン酸バリウムの正方晶系を示す(004)面の回折強度Ixtよりも小さくなっている。
【0038】
つまり、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器の結晶構造は、従来のコアシェル構造のX線回折パターンとは異なり、しかも、図4に示すように、キュリー温度(Tc)が100〜120℃の範囲であり、キュリー温度が125℃である従来のコアシェル構造をもつ誘電体磁器とは誘電特性が異なる。これはチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子の全体にわたりバナジウムと希土類元素(RE)とが所定量固溶しているためである。こうして、室温(25℃)での比誘電率を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における比誘電率の最大の変化率を±10%以内にできる。
【0039】
なお、積層セラミックコンデンサのキュリー温度は、静電容量を−55〜125℃の範囲で測定し、測定した温度範囲において最大の静電容量を示す温度とする。
【0040】
また、本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体層5を構成する誘電体磁器は、結晶粒子9の平均粒径が0.15〜0.3μmであることが望ましい。結晶粒子9の平均粒径が0.15〜0.3μmであると、室温(25℃)における誘電体磁器の比誘電率が3500以上であり、かつ室温(25℃)での比誘電率に対する−55〜125℃の温度範囲における比誘電率の最大の変化率を±10%以内に維持した状態で、室温(25℃)における誘電損失を13%以下にできる。
【0041】
ここで、結晶粒子9の平均粒径は、焼成後の積層セラミックコンデンサである試料の破断面を研磨した後、走査型電子顕微鏡を用いて誘電体磁器の内部組織の写真を撮り、その写真上で結晶粒子9が20〜30個入る円を描き、円内および円周にかかった結晶粒子9を選択し、各結晶粒子9の輪郭を画像処理して、各粒子の面積を求め、同じ面積をもつ円に置き換えたときの直径を算出し、その平均値より求める。
【0042】
また、結晶粒子9中のカルシウムの濃度については、誘電体磁器の断面を研磨した研磨面に存在する約50個の結晶粒子に対して、元素分析機器を付設した透過型電子顕微鏡を用いて元素分析を行う。このとき電子線のスポットサイズは5nmとし、分析する箇所は結晶粒子9の粒界付近から中央部の中心の位置までの範囲で、その中心へ向けて引いた直線上のほぼ等間隔に位置する点とし、分析値は粒界付近と中心との間で4〜5点ほど分析した値の平均値とし、結晶粒子9の各測定点から検出されるBa、Ti、Ca、Vおよび希土類元素(RE)の全量を100%として、そのときのCaの濃度を求める。但し、選択する結晶粒子9は、その輪郭から画像処理にて各粒子の面積を求め、同じ面積をもつ円に置き換えたときの直径を算出し、求めた結晶粒子の直径が平均粒径の±60%の範囲にある結晶粒子9とする。ここで、結晶粒子9の中央部とは、当該結晶粒子9の内接円の中心から当該内接円の半径の1/3の長さを半径とする円で囲まれる範囲をいい、また、結晶粒子9の粒界付近とは、当該結晶粒子9の粒界から5nm内側までの領域のことである。そして、結晶粒子9の内接円は、透過電子顕微鏡にて映し出されている画像をコンピュータに取り込んで、その画面上で結晶粒子9に対して内接円を描き、結晶粒子9の中央部を決定する。
【0043】
次に、本発明の積層セラミックコンデンサを製造する方法について説明する。まず、チタン酸バリウムにカルシウムが固溶した粉末(以下、BCT粉末という。)と、添加成分として、V粉末と、Y粉末、Dy粉末、Ho粉末およびEr粉末のうち少なくとも1種の希土類元素(RE)の酸化物粉末とを準備する。
【0044】
本発明の積層セラミックコンデンサにおける誘電体磁器を製造するのに用いるBCT粉末として、原料粉末の段階でのキュリー温度が130℃を示す粉末を用いる。本発明では、特に、キュリー温度が130℃を示すBCT粉末を用いることにより、キュリー温度が125℃付近にある従来のBT粉末を用いた場合に比較して、所定量のV粉末および希土類元素(RE)の酸化物粉末を添加して得られる誘電体磁器はキュリー温度が高温側にある分、125℃における比誘電率が高くなり、その結果、キュリー温度を100〜120℃の範囲にすることができるとともに、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における静電容量の最大の変化率を容易に±10%以内にできる。なお、BCT粉末のキュリー温度は示差走査熱量分析(Differential Scanning Calorimetry:DSC)により測定する。
【0045】
また、キュリー温度が130℃付近にあるBCT粉末は水熱合成法により得ることができる。水熱合成法を用いると、核形成の段階からCaをチタン酸バリウムの結晶格子内に取り込むことができることから、チタン酸バリウムに対してCaの固溶量を制御でき、キュリー温度を調製できるからである。
【0046】
BCT粉末の平均粒径は0.1〜0.17μmが好ましい。BCT粉末の平均粒径が0.1以上であると、焼結時の粒成長を抑制できるために比誘電率の向上とともに誘電損失の低下が図れるという利点がある。
【0047】
一方、BCT粉末の平均粒径が0.17μm以下であると、バナジウムおよび希土類元素などの添加剤を結晶粒子の内部にまで固溶させることが容易となる。
【0048】
添加剤であるV粉末ならびにY粉末、Dy粉末、Ho粉末およびEr粉末のうち少なくとも1種の希土類元素(RE)の酸化物粉末についても平均粒径はBT粉末およびBCT粉末と同等、もしくはそれ以下のものを用いることが好ましい。
【0049】
次いで、これらの原料粉末を、BCT粉末を構成するバリウム100モルに対してV粉末を0.05〜0.3モル、Y粉末、Dy粉末、Ho粉末およびEr粉末から選ばれる希土類元素(RE)をRE換算で0.5〜1.5モルの割合で配合し、さらには必要に応じて所望の誘電特性を維持できる範囲で焼結助剤としてガラス粉末を添加して素原料粉末を得る。ガラス粉末の添加量は、主な原料粉末であるBCT粉末の合計量を100質量部としたときに0.5〜2質量部が良い。
【0050】
次に、上記の素原料粉末に専用の有機ビヒクルを加えてセラミックスラリを調製し、次いで、セラミックスラリをドクターブレード法やダイコータ法などのシート成形法を用いてセラミックグリーンシートを形成する。この場合、セラミックグリーンシートの厚みは誘電体層の高容量化のための薄層化、高絶縁性を維持するという点で1.2〜4μmが好ましい。
【0051】
次に、得られたセラミックグリーンシートの主面上に矩形状の内部電極パターンを印刷して形成する。内部電極パターンとなる導体ペーストはNi、Cuもしくはこれらの合金粉末が好適である。
【0052】
次に、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを所望枚数重ねて、その上下に内部電極パターンを形成していないセラミックグリーンシートを複数枚、上下層が同じ枚数になるように重ねてシート積層体を形成する。この場合、シート積層体中における内部電極パターンは、長寸方向に半パターンずつずらしてある。
【0053】
次に、シート積層体を格子状に切断して、内部電極パターンの端部が露出するようにコンデンサ本体成形体を形成する。このような積層工法により、切断後のコンデンサ本体成形体の端面に内部電極パターンが交互に露出されるように形成できる。
【0054】
次に、コンデンサ本体成形体を脱脂した後、還元雰囲気中にて焼成する。焼成温度は本発明において用いるBCT粉末への添加剤の固溶と結晶粒子9の粒成長を制御するという理由から1050〜1150℃が好ましい。
【0055】
本実施形態の積層セラミックコンデンサを得るために、平均粒径が0.1〜0.17μmのBCT粉末を用い、これに上述したように、バナジウムと、イットリウム,ディスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる少なくとも1種の希土類元素(RE)とを添加剤として所定量添加し、上記温度で焼成する。これによりBCT粉末を主原料として得られる結晶粒子9中に各種の添加剤を含ませて、正方晶系のチタン酸バリウムを示す(004)面の回折強度が、立方晶系のチタン酸バリウムを示す(400)面の回折強度よりも大きいという特徴の結晶構造にしつつ、キュリー温度を、従来のコアシェル構造を示す誘電体磁器のキュリー温度よりも低い範囲にできる。焼成後においてキュリー温度を従来のコアシェル構造を示す誘電体磁器のキュリー温度よりも低い範囲になるように焼成することで、結晶粒子9は添加剤の固溶が高まり、その結果、絶縁性が高く、高温負荷試験での寿命の良い誘電体磁器が得られる。
【0056】
また、焼成後に、コンデンサ本体1を再度、弱還元雰囲気にて熱処理(再酸化処理)を行う場合がある。この熱処理を行うのは、焼成後の5×10Ω程度であった積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗を10Ω以上にまで絶縁抵抗を高めることができるからである。その温度は結晶粒子9の粒成長を抑えつつ再酸化量を高めるという理由から900〜1100℃が好ましい。こうして誘電体磁器が高絶縁性化し、100〜120℃のキュリー温度を示す積層セラミックコンデンサを作製することができる。
【0057】
次に、このコンデンサ本体1の対向する端部に、外部電極ペーストを塗布して焼付けを行い外部電極3を形成する。また、この外部電極3の表面には実装性を高めるためにメッキ膜を形成しても構わない。この後、場合によっては、誘電体磁器の絶縁性を高めるための再酸化を目的として弱還元雰囲気での熱処理を行うことによりコンデンサ本体を作製する。
【0058】
次に、このコンデンサ本体の対向する端部に、外部電極ペーストを塗布して焼付けを行い外部電極3を形成する。また、この外部電極3の表面には実装性を高めるためにメッキ膜を形成しても構わない。
【実施例】
【0059】
まず、原料粉末として、BCT粉末(組成は(Ba1−xCa)TiO、 X=0.05)、Y粉末、Dy粉末、Ho粉末、Er粉末およびV粉末を準備し、これらの各種粉末を表1に示す割合で混合した。Y粉末、Dy粉末、Ho粉末、Er粉末およびV粉末の添加量は、BCT粉末100モルに対する割合である。これらの原料粉末は純度が99.9%のものを用いた。なお、BCT粉末の平均粒径およびキュリー温度を表1に示した。Y粉末、Dy粉末、Ho粉末、Er粉末およびV粉末は平均粒径が0.1μmのものを用いた。焼結助剤はSiO=55、BaO=20、CaO=15、LiO=10(モル%)組成のガラス粉末を用いた。ガラス粉末の添加量はBCT粉末の合計量100質量部に対して1質量部とした。
【0060】
次に、これらの原料粉末にポリビニルアルコールとイオン交換水とを添加して直径5mmのジルコニアボールを用いて湿式混合した。
【0061】
次に、湿式混合した粉末を、ポリビニルブチラール樹脂を溶解させたトルエンおよびアルコールの混合溶媒中に投入し、直径5mmのジルコニアボールを用いて湿式混合しセラミックスラリを調製し、ドクターブレード法により厚み1.5μmおよび2.5μmのセラミックグリーンシートを作製した。
【0062】
次に、厚み2.5μmのセラミックグリーンシートの上面にNiを主成分とする矩形状の内部電極パターンを複数形成した。内部電極パターンを形成するための導体ペーストは、平均粒径が0.3μmのNi粉末100質量部に対してBT粉末を15質量部添加したものを用いた。
【0063】
次に、内部電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを200枚積層し、その上下面に内部電極パターンを印刷していないセラミックグリーンシートをそれぞれ20枚積層し、プレス機を用いて温度60℃、圧力10Pa、時間10分の条件で密着させて厚み1.5μmのセラミックグリーンシートを用いたシート積層体と、厚み2.5μmのセラミックグリーンシートを用いたシート積層体とを作製し、しかる後、各シート積層体を、所定の寸法に切断してコンデンサ本体成形体を形成した。
【0064】
次に、コンデンサ本体成形体を大気中で脱バインダ処理した後、水素−窒素中、1110〜1130℃で2時間焼成してコンデンサ本体を作製した(試料No.1については1110℃、それ以外の試料は1130℃)。また、試料は、続いて、窒素雰囲気中1000℃で4時間の再酸化処理を施した。このコンデンサ本体の大きさは0.95×0.48×0.48mm、誘電体層の厚みは1μmまたは2μm、内部電極層の1層の有効面積は0.3mmであった。なお、有効面積とは、コンデンサ本体の異なる端面にそれぞれ露出するように積層方向に交互に形成された内部電極層同士の重なる部分の面積のことである。
【0065】
次に、焼成したコンデンサ本体をバレル研磨した後、コンデンサ本体の両端部にCu粉末とガラスを含んだ外部電極ペーストを塗布し、850℃で焼き付けを行い外部電極を形成した。その後、電解バレル機を用いて、この外部電極の表面に、順にNiメッキ及びSnメッキを行い、積層セラミックコンデンサを作製した。また、比較例として、BCT粉末の代わりにBT(BaTiO)粉末を用いた試料も同様の方法で作製した(試料No.20)。
【0066】
次に、これらの積層セラミックコンデンサについて以下の評価を行った。評価はいずれも試料数10個とし、その平均値から求めた。比誘電率および誘電損失は静電容量を温度25℃、周波数1.0kHz、測定電圧を1Vrmsとして測定し、誘電体層の厚みと内部電極層の有効面積から求めた。また、比誘電率の温度特性は静電容量を温度−55〜150℃の範囲で測定し、この温度範囲において、25℃に対して比誘電率の変化率が最大になる値を求めた。
【0067】
高温負荷試験は、温度170℃、印加電圧30Vの条件で行った。高温負荷試験での寿命特性は、試料数を各試料20個とし、積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗が10Ωを下回ったときの時間として求めた。
【0068】
誘電体層を構成する結晶粒子の平均粒径は、焼成後のコンデンサ本体である試料の破断面を研磨した後、走査型電子顕微鏡を用いて内部組織の写真を撮り、その写真上で結晶粒子が20〜30個入る円を描き、円内および円周にかかった結晶粒子を選択し、各結晶粒子の輪郭を画像処理して、各粒子の面積を求め、同じ面積をもつ円に置き換えたときの直径を算出し、その平均値より求めた。
【0069】
また、立方晶のチタン酸バリウムを示す(200)面の回折強度と正方晶のチタン酸バリウムを示す(002)面の回折強度の測定は、Cukαの管球を備えたX線回折装置を用いて、角度2θ=99〜102°の範囲で測定した。
【0070】
また、得られた焼結体である試料の組成分析はICP(Inductively Coupled Plasma)分析もしくは原子吸光分析により行った。この場合、得られた積層セラミックコンデンサを硼酸と炭酸ナトリウムと混合し溶融させたものを塩酸に溶解させて、まず、原子吸光分析により誘電体磁器に含まれる元素の定性分析を行い、次いで、特定した各元素について標準液を希釈したものを標準試料として、ICP発光分光分析にかけて定量化した。また、各元素の価数を周期表に示される価数として酸素量を求めた。なお、作製した誘電体磁器の組成は調合組成と同じであることを上記組成分析より確認した。
【0071】
また、結晶粒子中のカルシウムの濃度は、各試料から3個の積層セラミックコンデンサをサンプリングし、それを構成する誘電体層の断面を研磨した研磨面に存在する結晶粒子に対して、元素分析機器を付設した透過型電子顕微鏡を用いて元素分析を行い求めた。選択する結晶粒子は、透過電子顕微鏡にて観察された画像上で結晶粒子が20〜30個入る円を描き、円内および円周にかかった結晶粒子とした。元素分析を行うための電子線のスポットサイズは5nmとした。分析する箇所は結晶粒子の粒界付近から中心へ向けて引いた直線上のうち粒界からほぼ等間隔に4〜5点とし、各測定点から検出されるBa、Ti、Ca、V、Mg、RE(希土類元素)およびMnの全量を100%としたときのカルシウムの割合を求め、各測定点より求めたカルシウムの割合の平均値をカルシウムの濃度として求めた。表1に調合組成と焼成温度および特性の結果を示した。
【0072】
【表1】

【0073】
表1の結果から明らかなように、本発明の試料No.1〜4,6〜9,12,13,16〜18,22および23では、室温(25℃)における比誘電率が3200以上、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における比誘電率の最大の変化率が±10%以内を満足し、高温負荷試験での寿命特性も170℃、30Vの条件下で30時間以上を満足するものを得ることができた。
【0074】
また、結晶粒子の平均粒径を0.15〜0.3μmとした試料No.2,3,6〜9,12,13および16〜18では、室温(25℃)における比誘電率が3500以上、室温(25℃)を基準にしたときの125℃における比誘電率の温度変化率が±10%以内を満足するとともに、室温(25℃)における誘電損失が13%以下であった。
【0075】
これに対して、本発明の範囲外の試料No.5,10,11,14,15および19では、比誘電率が3200より低いか、室温(25℃)を基準にしたときの−55〜125℃の温度範囲における比誘電率の最大の変化率が±10%以内を満足しないか、もしくは、高温負荷試験(170℃,30V)の寿命特性が30時間以上という特性のうちいずれかの特性を満足しないものであった。
【図面の簡単な説明】
【0076】
【図1】本発明の積層セラミックコンデンサの例を示す概略断面図である。
【図2】図1の積層セラミックコンデンサを構成する誘電体層の拡大図であり、結晶粒子と粒界相を示す模式図である。
【図3】(a)は実施例における本発明の積層セラミックコンデンサである試料No.3のX線回折チャートを示すものであり、(b)は実施例における比較例の積層セラミックコンデンサである試料No.15のX線回折チャートである。
【図4】実施例における試料No.3の静電容量の温度特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【0077】
1 コンデンサ本体
3 外部電極
5 誘電体層
7 内部電極層
9 結晶粒子
11 粒界相

【特許請求の範囲】
【請求項1】
厚みが1.5〜3μmの誘電体層と内部電極層とを交互に積層したコンデンサ本体と、該コンデンサ本体の端面に設けられ、前記内部電極層と接続された外部電極とを有する積層セラミックコンデンサであって、前記誘電体層は、チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子により構成され、カルシウムと、バナジウムと、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)とを含むとともに、前記チタン酸バリウムを構成するバリウム100モルに対して、バナジウムをV換算で0.05〜0.3モル、イットリウム,ジスプロシウム,ホルミウムおよびエルビウムから選ばれる1種の希土類元素(RE)をRE換算で0.5〜1.5モル含有してなり、前記結晶粒子はカルシウムの濃度が0.2原子%以上であり、X線回折チャートにおいて、正方晶系のチタン酸バリウムを示す(004)面の回折強度が、立方晶系のチタン酸バリウムを示す(400)面の回折強度よりも大きく、かつキュリー温度が100〜120℃である誘電体磁器からなることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
【請求項2】
前記結晶粒子の平均粒径が0.15〜0.3μmであることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【公開番号】特開2010−80676(P2010−80676A)
【公開日】平成22年4月8日(2010.4.8)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−247333(P2008−247333)
【出願日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【出願人】(000006633)京セラ株式会社 (13,660)
【Fターム(参考)】