【課題】鉄系基材とこれにＷを中間層にして積層したＵＮＤＬＣ膜との密着性を向上させ、積層体の耐摩耗性および耐熱性に優れたＵＮＣＤ膜積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】鉄系基材またはＷＣ基材の表面に真空中で同軸プラズマジェットガンにより成膜したＵＮＣＤ膜、このＵＮＣＤ膜の上に水素中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第２のＵＮＣＤ膜が積層されているＵＮＣＤ膜積層体。鉄系基材１の場合、鉄系基材１の表面にＷ層２、このＷ層２の上に真空中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第１のＵＮＣＤ膜３、このＵＮＣＤ膜３の上に水素中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第２のＵＮＣＤ膜４が積層されている。第１のＵＮＣＤ膜のＳＰ３結合は第２のＵＮＣＤ膜より少なくする。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスター中間体および薄膜トランジスターを提供する。
【解決手段】ｎ⁻アモルファスＳｉ半導体膜４の上に形成されたｎ^＋アモルファスＳｉオーミック膜４´と、ｎ^＋アモルファスＳｉオーミック膜４´の上に形成されたバリア膜１１と、バリア膜１１の上に形成されたドレイン電極膜５およびソース電極膜６を有する薄膜トランジスター中間体であって、ドレイン電極膜およびソース電極膜は、バリア膜１１に接して形成されているＳｒ：０．２〜２モル％、酸素：１〜２０モル％を含有し、残部がＣｕからなる酸素−ストロンチウム含有銅合金下地層１２と、酸素−ストロンチウム含有銅合金下地層１２の上に形成されたＣｕ層１３とからなる複合銅合金膜１４が形成されている薄膜トランジスター中間体、並びにこの薄膜トランジスター中間体をプラズマ水素処理して得られた薄膜トランジスター。 （もっと読む）

被覆工程（１１０）で、平面抵抗が＞１０Ｍオームであり、かつ平均反射率が＞５０％である金属層（１４）が基材（１２）上に施与され、それに引き続いてさらなる被覆工程（１４０）で所定の層厚を有するさらなる層（２４）が施与される、誘電性基材（１２）上に層システムを製造するための方法が企図されており、この際、さらなる層（２４）がさらなる被覆工程（１４０）で同じ層厚で基材（１２）上に施与された場合、さらなる層（２４）の平面抵抗は＜１Ｍオームであり、かつ金属層（１４）とさらなる層（２４）からの層システム（１０）の平面抵抗は＞１０Ｍオームである。本発明はさらに、被覆工程（１１０）で、平面抵抗が＞１０Ｍオームであり、かつ平均反射率が＞５０％である金属層（１４）が基材（１２）上に施与され、それに引き続いてさらなる被覆工程（１４０）で所定の層厚を有するさらなる層（２４）が施与されている層システムに関し、この際、さらなる層（２４）がさらなる被覆工程（１４０）で同じ層厚で基材（１２）上に施与された場合、さらなる層（２４）の平面抵抗は＜１Ｍオームであり、かつ金属層（１４）とさらなる層（２４）からの層システム（１０）の平面抵抗は＞１０Ｍオームである。加えて、本発明による層システムを有するケースも企図されている。
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【課題】 適用可能な金属種が多く、製造条件設定が容易で、一定品質の製品を容易に得ることができるクラックを有する金属膜加飾シートの製造方法を得る。また、生産工程が少なく、短時間小労力で生産性にすぐれたクラックを有する金属膜加飾シートの製造方法を得る。
【解決手段】以下の工程からなるクラックを有する金属膜加飾シートの製造方法である。
（イ）基体シート３１上に、クラック誘発層３２とクラック誘発層に接して形成され、特定の金属を材料とした金属膜層３３からなる母材シート１を作成する工程。（ロ）母材シート１に、５０−１５０Ｎの力で張力を負荷しつつ、温度１２０℃−２００℃を付加し、クラック母材シート３を得る工程。（ハ）クラック母材シート３の金属膜層の上に、接着層３７を形成し、金属膜加飾シート５を得る工程。 （もっと読む）

【課題】炭素の混入と、組成のばらつきを低減した絶縁膜を形成する。
【解決手段】絶縁膜の形成方法において、基板上にシリコン層と金属層を順次形成してシリコンと金属の２層構造を形成し、前記シリコンと前記金属とが目標とする組成で金属珪化物を生成する反応温度を選択し、前記２層構造を加熱して金属珪化物層を形成する。前記金属のうち、未反応で残る部分を除去する。前記金属珪化物層を酸化又は窒化して、絶縁膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂基材の被処理物に金属を成膜して装飾する装飾方法および装飾樹脂品であって、本物感の高いマット調金属外観（「つやが消えた金属調の質感のある外観」）が得られると共に、密着強度の高い金属膜が得られ、しかもコストが安く、環境に優しい装飾方法および装飾樹脂品を提供すること。
【解決手段】 真空槽２にアルゴンおよび大気を導入し、導入したアルゴンと大気をプラズマ状態にして真空槽２内に配置した被処理物１０をプラズマエッチングし、被処理物１０の表面に凹凸部１１を形成すると共に、形成された凹凸部１１に大気の官能基を付与する第１工程Ｓ１と、プラズマエッチングした被処理物１０の凹凸部１２に金属膜１３を成膜する第２工程Ｓ２と、を備える。 （もっと読む）

（a）カソーディック真空アーク（CVA）蒸着工程を実施することによって基板上に材料を蒸着する工程;および（b）CVA蒸着以外の、化学蒸着（CVD）工程および物理蒸着（PVD）工程の少なくとも1つを実施することによって基板上に材料を蒸着する工程を含む、基板上にコーティングを蒸着する方法を開示する。本方法においては、工程（b）において蒸着された材料の厚さが、工程（a）において蒸着された材料の厚さよりも大きい。

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【課題】耐久性に優れながら貴金属使用量を低減した電気接点層を有し、電気接点層の形成後もプレス成形可能な電気接点層付金属材の製造方法を提供する。
【解決手段】金属基材１の表面に電気接点層３を形成する電気接点層付金属材１０の製造方法であって、金属基材１の表面に、チャンバーを用いた気相法により、Ｙ群（チタン、ニオブ、タンタル、ジルコニウムのいずれか）を主成分とし、そのＹ群に対して０．０２ｍａｓｓ％以上５ｍａｓｓ％以下のＰｄを添加した合金からなる平均厚さｄ１が５ｎｍ以上１００ｎｍ以下の接着層２を成膜し、その接着層２の表面に、同一チャンバー内で気相法により、貴金属（Ａｕ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ａｇのいずれか）からなる平均厚さｄ２が１ｎｍ以上２０ｎｍ以下の電気接点層３を成膜するものである。 （もっと読む）

【課題】ゲッターとしての有用性を有する、対応する層状構造も有する、真空筐体を提供する。
【解決手段】内側表面及び外側表面を有する壁により輪郭が示される真空筐体であって、内側表面は真空と接触し、外側表面は外気と接触し、好ましくないガス状混入物のためのゲッターの内部における存在によって特徴づけられ、基板（内部表面と一体になっているか、又はなっていない）を含み、その上に、（ａ）白金族金属及びその酸化物からなる群から選択される材料の少なくとも１層、及び（β）少なくとも１層の多孔質親水性層を含む薄層積層板の真空蒸着によって蒸着されていることを特徴とする、真空筐体。 （もっと読む）

【課題】摺接部の耐摩耗性を向上し易い摺動部材を提供することを課題とし、そのような摺動部材を製造し易い製造方法を提供する。
【解決手段】被接部２１に当接して摺動する摺接部２３、２５、２６、２７を備え、摺接部２３、２５、２６、２７の表面に、複数の被覆層４１、４２・・・が界面を有して積層された被覆膜４０が形成された摺動部材２１、２２において、被覆膜４０は、界面を複数設けることにより、各被覆層４１、４２・・・を単独で被覆膜４０の膜厚に形成した場合に比べ、摩耗速度を小さくしたものである。 （もっと読む）

【課題】表層の炭素濃度の高いチタン板を用いても、低い接触抵抗を長期間維持することができる燃料電池セパレータ用チタン基材、および、その基材を用いた燃料電池セパレータ、ならびに、その製造方法を提供する。
【解決手段】燃料電池セパレータ用チタン基材１は、貴金属皮膜１２を備える燃料電池セパレータ１１に用いられ、表面から所定深さまでＸ線光電子分光分析により測定される２８０〜２８４ｅＶの結合エネルギーを有する炭素の濃度が５原子％以上である純チタンまたはチタン合金からなるチタン板２と、チタン板２の表面に形成され、チタンおよびジルコニウムから選ばれる１種以上の金属からなる膜厚１５〜５００ｎｍの金属皮膜３と、金属皮膜３の表面に形成され、金属の酸化物からなる酸化皮膜４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画質性能に優れた光学フィルタ及びこの光学フィルタの成膜方法と撮像光量調整装置を提供する。
【解決手段】染料又は顔料からなる光減衰材料を練り込んだ樹脂材をプレート状に成形する光減衰基板プレート成形工程と、その光減衰基板プレートを一部の連結部を残し所定の光学フィルタ形状にプレス加工により複数の光学フィルタ形状にするフィルタ外形型抜き工程と、この型抜きされた光減衰基板プレートの少なくとも片面に誘電体膜と金属膜とを積層形成する減光膜層成形工程と、この減光膜層が形成された光減衰基板プレートの表面及び端面に主鎖構造が１次元のケイ素-ケイ素結合で構成された高分子ポリマーの減反射コート層を形成する減反射コーティング工程と、この減反射コート層に紫外線を照射する紫外線照射工程と、紫外線照射後に光減衰基板プレートから各光学フィルタ部材を切り離なす光学フィルタとして抜き取り工程と、から成る。 （もっと読む）

【課題】製造時或いは経年変化で歪曲する恐れが少ない光学フィルタを簡単な方法で安価に製造することが可能な光学フィルタの成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜室内に回転自在に配置された基板ドラムに基板プレートを装着した基板ホルダをセットする基板セット工程と上記基板ドラムにセットされた基板プレートの表面に、上記基板ドラムを回転させながら上記ターゲットにスパッタ電圧を印加することによって膜形成する表面成膜工程と、上記表面成膜工程の後、上記ターゲットにスパッタ電圧を印加しない状態で上記基板ホルダを回転させて上記基板プレートの裏面を上記ターゲットに対向配置する成膜面反転工程と、上記基板プレートの表裏面を反転させた後、上記基板ドラムを回転させながら上記ターゲットにスパッタ電圧を印加することによって上記基板プレートの裏面に膜形成する裏面成膜工程とを備え、基板プレートの表裏面に同一バッチでそれぞれ成膜する。 （もっと読む）

本発明はアルカリ金属又はアルカリ土類金属で基板（２）をコーティングするためのコーティング設備（１）の真空コーティングチャンバ（３）から、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の残留物を除去するクリーニング方法に関する。この目的のために、アルカリ金属又はアルカリ土類金属と反応して対応する固体化合物を形成するＮ_２、Ｏ_２、又は空気の群からのガスをチャンバ（３）内に導入する。真空コーティングチャンバ（３）内に追加的に水を導入することができる。アルカリ金属又はアルカリ土類金属がガスと反応した後に、真空コーティングチャンバから対応する固体化合物が除去される。
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本発明は、蒸気分配器（３）によって基板（４）をコーティングするための装置に関する。この蒸気分配器（３）は、入口（５）を介して蒸発器るつぼ（７）と接続されている。少なくとも１つのバルブ（１３）がるつぼ（７）と入口（５）の間に配置されている。蒸発器るつぼ（７）は、真空バルブ（１１）によって排気又は注入可能なチャンバ（１２）内に位置している。
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【課題】初期だけでなく、燃料電池の作動環境で長時間使用しても、耐食性及び電気伝導性に優れた燃料電池用ステンレス分離板及びその製造方法が提供される。
【解決手段】本発明の一実施例に係る燃料電池用ステンレス分離板の製造方法は、ステンレス鋼板母材を用意する段階と、ステンレス鋼板母材の表面層の鉄（Ｆｅ）成分を低減させて、ステンレス鋼板の表面に、クロム（Ｃｒ）成分の相対的な量が増加されたＣｒ−ｒｉｃｈ不動態被膜を形成する表面改質段階と、表面改質されたステンレス鋼板母材の表面に、金属窒化物層（ＭＮ_x）、金属／金属窒化物層（Ｍ／ＭＮ_x）、金属炭化物層（ＭＣ_y）、金属ホウ素化物層（ＭＢ_z）のうちから選択されるコーティング層を形成する段階とを備える。 （もっと読む）

【課題】耐酸性に優れ、かつ接触抵抗が低い燃料電池用金属セパレータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る燃料電池用金属セパレータ１は、表面が平面の金属基材２、または、表面の少なくとも一部に凹形状のガス流路が形成される金属基材２を用いて製造された燃料電池用金属セパレータであって、金属基材２の表面に、Ｎｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる耐酸性金属皮膜３と、この耐酸性金属皮膜３の上にＡｕ、Ｐｔから選択される１種以上の貴金属、および、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる導電性合金皮膜４と、を有する構成とした。また、本発明に係る燃料電池用金属セパレータの製造方法は、耐酸性金属皮膜を成膜する工程Ｓ１と、導電性合金皮膜を成膜する工程Ｓ２と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】微細な開口部、かつ高アスペクト比を持つトレンチ又はホール内を金属材料で埋め込む方法の提供。
【解決手段】円筒状トリガ電極１３と蒸発材料部材１２ａを有する円柱状カソード電極１２とが、円筒状絶縁碍子１５を介して同軸状に隣接して固定されて配置され、カソード電極の周りに同軸状にアノード電極１１が離間して配置されている同軸型真空アーク蒸着源１を用い、トリガ電極とカソード電極との間にトリガ放電を発生させ、カソード電極とアノード電極との間に間欠的にアーク放電を誘起させ、蒸発材料部材から生成される荷電粒子を真空チャンバー内に放出させ、トレンチ又はホール内へ金属材料を埋め込む。 （もっと読む）

【課題】接触抵抗が長期間にわたって低く維持される燃料電池用セパレータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】セパレータ１０Ａは、ステンレス鋼からなる基材１１の表面に、チタン層（Ｔｉ層）１２、チタン酸化物含有層（ＴｉＯ_Ｘ層）１３、貴金属層１４がこの順序で積層された構造を有している。ＴｉＯ_Ｘ層１３は、貴金属層１４側に、貴金属層１４を構成する貴金属の一部をＴｉＯ_Ｘ層１３に拡散させることにより形成された貴金属拡散部１３ａを有する。貴金属としては、Ａｕ，Ｐｔ，Ｐｄから選ばれる少なくとも１種類の貴金属が用いられる。 （もっと読む）

【課題】回転体内の微粒子に遠心力を付与して、容易に微粒子の表面に略均一に付着材料を付着することができるようにすると共に、付着材料が付着された複合微粒子の回収率を高め、生産効率を向上させることができる複合微粒子の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】複合微粒子の製造装置１０は、付着材料を付着させる微粒子２を収容する底面１ａと側壁１ｂとを有する回転体１と、上記回転体１を回転させて上記回転体１内の微粒子２に遠心力を付与する遠心機３と、上記回転体１の底面１ａが重力方向と直角を成す水平面から重力方向と平行となる鉛直面となるまで、任意の傾斜角度に上記回転体を可動し、該傾斜角度で回転体を支持する傾斜可動手段（傾斜可動装置）４とを備える。 （もっと読む）