プラズマ処理を監視する装置
【課題】プラズマ処理チャンバの使用のために故障を検出する方法及び装置を提供する。
【解決手段】プラズマチャンバ内でプラズマ処理が開始され、前記プラズマ処理に関するプラズマパラメータデータが、平面イオン流束(PIF)タイプのプローブ110の使用により得られ、プローブ110の感知表面117は、プラズマに曝され、かつ前記プラズマチャンバ内のシャワーヘッド電極118の表面と同じ平面にあり、故障状態を示すために前記プラズマパラメータデータが評価される。
【解決手段】プラズマチャンバ内でプラズマ処理が開始され、前記プラズマ処理に関するプラズマパラメータデータが、平面イオン流束(PIF)タイプのプローブ110の使用により得られ、プローブ110の感知表面117は、プラズマに曝され、かつ前記プラズマチャンバ内のシャワーヘッド電極118の表面と同じ平面にあり、故障状態を示すために前記プラズマパラメータデータが評価される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、プラズマ処理反応器の故障状態を検出する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【0002】
それぞれの連続した半導体技術世代で、ウエハ直径は大きくなり、トランジスタ寸法は小さくなる傾向にあり、その結果、ウエハ処理におけるさらに高い程度の正確性及び再現性が必要となる。シリコンウエハなどの半導体基板材料は、真空チャンバの使用を含む技術によって処理される。このような技術としては、スパッタリング蒸着などの非プラズマ応用例と、プラズマ化学気相成長法(PECVD)、レジスト除去、及びプラズマエッチングなどのプラズマ応用例が挙げられる。
【0003】
今日利用可能なプラズマ処理システムは、多くの特定の故障形態になりやすい。このような多くの形態は、実際の装置ウエハを処理する前に検出することが難しく、ウエハの誤処理につながる可能性がある。検出システムは、電界のイオン密度などプラズマの特定の側面を診断するために存在しているが、故障の検出には不十分な方法しか利用可能でない。特に、これは改良された均一性、整合性及び自己診断性を備えたプラズマチャンバが必要とされる。これらの目的の達成を容易にする改良型のプラズマ感知技術に、大きな需要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】米国特許第5,936,413号
【特許文献2】米国特許第6,541,982号
【特許文献3】米国特許第6,824,627号
【特許文献4】米国特許第6,090,304号
【発明の概要】
【0005】
好ましい実施形態によると、プラズマチャンバ内でプラズマ処理を開始するステップと、プラズマ処理に関するプラズマパラメータデータを得るステップと、故障状態を示すためにプラズマパラメータデータを評価するステップであって、プラズマパラメータデータがプローブの使用により得られ、プローブの感知表面がプラズマに曝され、プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面と同じ平面にあるステップとを含む、プラズマ処理を直接監視する方法が提供される。
【0006】
プラズマパラメータデータを評価する方法は、コンピュータ可読記憶媒体システム上にデータを記憶するステップ、データをフィルタリングするステップ、データにアルゴリズムを行うステップ、及び/又は、データを既存の基準データと比較し、それにより、解釈し、並びに、前記解釈に基づく状況報告及び警告の少なくともいずれかを発行するステップを含むことができる。
【0007】
イオン流束、プラズマ電位、プラズマ密度、電子温度、イオン種温度、及び電子中性子衝突頻度などのプラズマパラメータは、様々な直接プロービング法を使用して測定することができる。この方法はプローブの使用を含み、プローブの感知表面がプラズマに曝され、プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面とほぼ同一平面である。例示的な構成部品としては、接地シャワーヘッド電極、制限リング、ライナ、ガス分配プレート、及び基板支持体が挙げられる。
【0008】
直接センサの好ましい実施形態は、平面イオン流束(PIF)タイプである。他の実施形態では、直接センサは、変化する電圧が結合コンデンサを使用することなく直流電源によってプローブ表面に直接加えられ、電流が測定される、非容量結合ラングミュアタイプであってもよい。さらに他の実施形態では、検出システムが使用される。検出システムのタイプとしては、誘電プラズマインターフェイスで表面波を作り出し、表面波に基づいてプラズマ密度を測定するシステムが挙げられる。
【0009】
故障状態の表示としては、
a)処理チャンバ内の処理副生成物の堆積を示す、プラズマ密度データのポストRF斜面の傾斜の変化、
b)ヘリウムの漏洩を示す、プラズマ密度の絶対値の約5%から約20%の間のRF斜面後のプラズマ密度の振動、
c)整合システム再調整イベントを示す、RF斜面の後に発生する、その絶対値の5%未満の振幅と5秒未満の持続時間のプラズマ密度の振動、
d)悪い安定化速度の発生を示す、その適切な均衡点に戻る前に、整合調整に約0.5秒以上かかった後の、プラズマ密度の振幅の安定性、及び
e)プラズマ閉じ込めの損失の発生を示す、部分的回復の後の、その絶対値の約15%より大きい量だけのプラズマ密度の急速な低下
が挙げられる。
【0010】
他の好ましい実施形態では、検出器がプラズマ処理チャンバ内の表面に埋め込まれている場合、検出器は周辺壁表面との整合性を向上させる特徴を含むことができる。例えば、検出器は、局部壁面状態を整合させるように温度制御することができる。壁面がガス供給貫通孔を含む場合、検出器はまた、1つ又は複数のガス供給貫通孔で構成することができる。これは、検出器がない状態では存在する全体のガス分配パターンに近づけるように配置された、プローブの感知表面から背面へ貫通する少なくとも1つのガス通路を作り出すことによって行われる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】故障評価方法のフローチャートである。
【図2】PIFプローブの例示的な実施形態を示す図である。
【図3】PIFプローブ及び代表的な回路の例示的な略図である。
【図4】ノードAでの例示的RF信号パルスを示す図である。
【図5】ノードBでの反応信号を示す図である。
【図6A】チャンバを清浄にする必要性を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図6B】チャンバを清浄にする必要性を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図7A】不適切に設置された電極アセンブリボルトによる、ヘリウム「発光」を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図7B】不適切に設置された電極アセンブリボルトによる、ヘリウム「発光」を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図8A】整合「再調整」イベントを検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図8B】整合「再調整」イベントを検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図9】整合/プラズマ安定化速度を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図10】プラズマ閉じ込めの損失を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図11】プラズマ処理チャンバの上側電極内に配置されたPIFプローブの一実施形態を示す図である。
【図12】プラズマ処理チャンバの上側電極内に配置されたPIFプローブの代替実施形態を示す図である。
【図13】プラズマ処理チャンバの上側電極内に配置されたPIFプローブの更なる代替実施形態を示す図である。
【図14】プラズマ処理チャンバの上側電極の内側部分及び外側部分内に配置されたPIFプローブの一実施形態を示す図である。
【図15】例示的なプラズマ処理チャンバを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
シリコンウエハなどの半導体基板材料は、蒸着、エッチング、及びレジスト除去を含む様々なプラズマ処理を使用して、プラズマ処理チャンバ内で処理することができる。プラズマ処理システムは、プラズマ処理チャンバ、少なくとも1つの処理ガスをチャンバ内に供給するガス源、及び処理ガスを励起することによってプラズマを作り出すエネルギー源を備えることができる。ウエハを処理するための所与の一連のステップ及び入力パラメータ設定(例えば、RF電力、ガス流、開始時間など)は、所与の「プラズマ処理」と言うことができる。現代の半導体製造機器の複雑な要件により、典型的なプラズマ処理システムは、様々な化学的、電気的及び/又は機械的故障の影響を受けやすい。これらの故障としては例えば、清潔さが不十分な処理環境、真空及び大気制御機器内の漏洩、処理再現性の喪失、及びプラズマ閉じ込めの損失が上げられる。しばしば、このような故障は、1枚のウエハ又は1バッチのウエハが処理されるまで検出されない。
【0013】
イオン流束、プラズマ電位、プラズマ密度、電子温度、イオン種温度、及び電子中性子衝突頻度などの特定のプラズマパラメータは、特定の故障と関連させることができることが分かっている。これら及び他のプラズマパラメータの検出は、それ故、これらの故障を検出し特定する方法を提供する。好ましい一実施形態では、プラズマパラメータ検出の過程が、監視されているプラズマの検出可能なかく乱を伴うことなく行われる。
【0014】
処理中にプラズマパラメータを検出する方法は、直接的に検出する方法と、間接的に検出する方法に分類することができる。間接的方法は、電磁放射(例えば、光周波数又は高周波放射)などのプラズマから発せられる信号を解釈するステップを含み、信号からプラズマパラメータを抽出するために、測定の信頼性を小さくする特定の前提が必要である。直接的な検出方法は、プラズマに直接曝されるように検出器を配置するステップを含む。直接的方法による結果の解釈は、間接的方法による結果の解釈より少ない前提、より単純な解析、及びより大きな信頼性を伴うことができる。しかし、監視されているプラズマへ物体を直接露出するように挿入する必要性により、プラズマに対するかく乱につながる可能性があり、定期的な工業的処理監視に対してあまり採用しがたい。したがって、直接的検出の好ましい信頼性と間接的検出の好ましい慎み深さとを備えた方法であることが有利である。実施形態では、好ましい方法は、物体をプラズマ内に挿入することなく、プラズマに直接露出させることを含む。
【0015】
好ましい一実施形態によると、プラズマエッチャなどのプラズマ処理チャンバ内で使用する故障検出方法は、プラズマチャンバ壁面又は構成部品内に取り付けられたセンサを使用する直接監視を含む。センサの感知表面は、チャンバ壁面又は構成部品表面の前に自然に存在するプラズマシースを介して、プラズマに直接曝されている。プラズマ(及び、特にプラズマシース)に対するかく乱は、感知表面が壁面又は構成部品表面と同一面になるように、感知装置を取り付ける表面によって減少されることが好ましい。
【0016】
故障検出システムは、プラズマパラメータデータを収集し、故障状態を表示するためにプラズマパラメータデータを評価するように動作可能であることが好ましい。プラズマパラメータデータは、特定の故障を明らかにするために任意の仕方で、観察し、特徴付け、知られている故障のライブラリ(「基準データ」)と比較し、デジタル化し、処理し、又は解析することができる。好ましい一実施形態では、プラズマパラメータデータを評価する方法は、コンピュータ可読記憶媒体システムにプラズマパラメータデータを記憶するステップ、及び、解釈ステップを実行するステップを含む。解釈ステップは、フィルタリングし、アルゴリズムを行い、数学的計算を行い、及び/又はプラズマパラメータデータを既存の基準データと比較することによって、プラズマパラメータデータを解釈し、その結果解釈を得る、プラズマパラメータデータを解釈するステップを含む。解釈ステップはさらに、解釈を含む状況報告及び/又は警告をウエハ追跡システム又はユーザに発行するステップを含む。任意選択で、状況報告及び/又は警告は、システム内で修正ステップを開始させ、ログ含有ウエハ履歴内にイベントを記録させ、又は、プラズマチャンバ内の基板の処理を停止させる。例示的な方法が、図1のフローチャートに示されている。故障検出のためにこのように抽出された情報は、ウエハの連続処理のために処理設定を変更するのに使用されない。
【0017】
好ましい一実施形態は、プラズマパラメータを測定するのにプローブ又はセンサを使用するステップを含む。プローブは、プラズマチャンバ壁面又は構成部品内に配置されており、プローブの感知表面がプラズマに露出されるように、反応器内の高周波(RF)バイアスされた又は接地された表面に配置することができる。故障検出システムはさらに、得られたデータを解析する。このような解析により、ウエハ処理中のプラズマ処理反応器内の故障モードのリアルタイム診断が可能になる。したがって、故障検出システムによって使用される方法は、プラズマチャンバ内でプラズマ処理を開始するステップと、プラズマから時間の関数としてプラズマパラメータデータを得るステップと、故障状態を示すためにプラズマパラメータデータを評価するステップを含む。
【0018】
故障はさらに、チャンバ故障及びシステム故障に分類することができる。チャンバ故障は、汚れたチャンバなどのプラズマチャンバ内のエラー又は機械的問題の結果起こる故障であり、システム故障はガス供給又は電力源の問題など処理チャンバの外部で始まるエラーにより起こる故障である。
【0019】
一実施形態では、検出器は平面イオン流束(PIF)プローブである。PIFプローブは、パルス化RF源に容量結合された大面積平面ラングミュアプローブである。プローブ感知表面は、処理中のプラズマシースより大きいことが好ましい(例えば、プラズマシースはプラズマ状態によって、1から5mmの範囲である可能性がある)。RFバーストを加えている間、バイアス電圧は結合コンデンサの両端間に作り出される。RFバーストが終了すると、コンデンサはその後、イオンをプラズマから収集するように、収集表面をバイアスするのに十分な電圧を提供する。バイアスが「イオン飽和」として知られる状態を達成するのに十分である場合、収集表面の領域によって分割される放電段階の「イオン飽和」部分の間に収集された測定電流は、イオン流束の測定を与える。さらに、バイアスコンデンサの両端間の電圧が減衰すると、収集した電流も減衰する。減衰段階全体の間の電圧対電流のプロットは、様々なプラズマパラメータに対する値を得るために解析することができる特徴的なトレースにつながる。
【0020】
図2は、好ましい方法による、イオン流を測定するためのPIF検出器の一態様を略図的に示している。プローブ20は、導体22によって端子Bに連結された平面ディスク21からなっている。ディスク21は、イオン流を直接受け感知し、表面積Sdを有する感知表面25を有する。ディスクは、エッジ効果を少なくするために、導電性ガードリング23で囲まれていることが好ましい。ガードリング23は実質的に、平面ディスク21を軸方向に下から囲んでいる。ガードリング23は、感知表面25と同一平面である、表面積Sgの表面26を有する。表面26及び感知表面25の同一平面性は、ガードリング及びディスクの上側表面が同一平面であるような高さを有する垂直壁面27によって達成されることが好ましい。
【0021】
ガードリング23は、ディスク21及び垂直壁面27に対する物理的支持を与える、水平基部28を備えており、ディスク21が垂直壁面27によって囲まれるような十分大きな直径をしている。ガードリング23はまた、導体22及び絶縁体24を含むのに十分な大きさの内径の垂直円筒形中空軸を備えている。ガードリングは、図2に示すように作られたモノリシック片を備えることができる、又は電気接触した2つ以上の個別の片を備えることができる。導電性ディスクと導体22の垂直壁面27及び水平基部28表面は、絶縁体24によってガードリング23から完全に絶縁されている。絶縁体24は、連続であり、一定の厚さであることが好ましく、ディスクとガードリングの間の電気絶縁を保証するのに十分な完全性及び誘電率である。ガードリング23はしたがって、導電性ディスク21及び導体22を周面的に囲んでいるが、どこでもこれらから電気的に絶縁されている。PIFプローブ及び解析方法の例は、引用することによってその内容全体をこのに合体する米国特許第5,936,413号に開示されている。
【0022】
本実施形態によると、図3に示すように、プローブ20のディスク21はノードBに連結されている。ノードBはまた、オシロスコープ34などの高インピーダンス電圧読取装置に連結されていることが好ましい。高インピーダンス読取装置のもう一方側は、接地されている。ノードAとBの間には、値Cmである阻止コンデンサ31が連結されている。ガードリング23はまた、値Cgのコンデンサ33によってノードAに電気接続されていることが好ましい。ノードAはまた、低出力インピーダンス、通常50オームを有する高周波(RF)電圧源32の第1のノードに連結されている。RF源32の第2のノードは、反応器壁面(図示せず)、及び、基準電位、通常アース(図示)に連結されている。ガードリングの電位をプローブ電位の近くに維持するために、CgはCg/Cm=Sg/Sdであるように選択されることが好ましい。任意の低インピーダンス電流測定装置35は、放電電流の直接測定が可能である、コンデンサCmの放電経路内に維持されていることが好ましい。
【0023】
プラズマパラメータ測定のためのPIFプローブの使用は時に、Booth and Braithwaite法と呼ばれる。この方法によると、ノードAは図4で例示的に示す、連続した一連のRF信号でパルス化される。パルスの平均はゼロボルトであり、振幅はVccによって与えられ、その持続時間はT1によって、及びパルス間の遅延はT2によって与えられる。RF振動周波数は、プラズマの励起周波数と異なることが好ましい。例えば、プラズマの励起周波数が13.56MHzである場合、RF振動周波数は12.0MHzになるように選択することができる。
【0024】
図5に示すノードAでの駆動パルスのノードBでの反応は、同じ振幅Vcc、同じ周波数、及び同じ平均値ゼロの振動信号である。高周波電源32のRFパルスの効果及びプラズマの効果のもとで、プローブに向かう電子の平均流は最初に、陽イオンの平均流を超えて、コンデンサ31を充電させる。ノードBでのパルスの平均電位は、電子及びイオン流束が等しく、平均電流がゼロである、Vbiasの飽和負値に到達するまで次第に減少する。
【0025】
その後、パルスの終わりに、RF信号が遮断されると、プローブに向かう電子の平均流は再び、陽イオンの平均流と均衡するように復元される。しかし、Vbiasは、収集表面にイオンを引き付けながら、電子の流れを妨げるのに十分に負の電位である。Vbiasが十分高い場合、システムは「イオン飽和」として知られる状態にある。得られる正味イオン流はコンデンサ31を放電し始める。この状態で、ノードBの電位が最初は時間と共に直線的に減少し、収集領域(イオン流束)毎の正味イオン電流の決定を行うことができる。これは、以下の式によりイオン電流に比例する、オシロスコープ33を介してdVB/dtを決定することによって行うことができる。
IB=CmdVB/dt
IBのこのような決定はその後、放電電流の測定として働く。
【0026】
別の方法では、低インピーダンス電流測定装置35をコンデンサCmの放電経路に導入することができる。このような装置は、放電電流の直接測定値を時間の関数として提供し、上記決定の検証として、又はそれに対する代替形態として使用することができる。放電電流を決定する直接測定技術の使用は、イオン飽和状態中に電流の値を測定するステップからなる。
【0027】
加えて、電圧又は電流データを解析して、電子温度を決定することができる。Cmをまたぐ電圧が、システムがイオン飽和状態51から出る点まで減少する場合、放電電流は、収集表面に対する正味電子及びイオン流束が均衡される状態(図示せず)にシステムが戻るような時間まで指数的な減衰を示す。この指数的な減衰の間、放電電流(又はCmをまたぐ電圧)の解析を行うことができ、プラズマの電子温度の測定につながる。この状態では、プラズマシースは浮遊電位Vfに近づく。
【0028】
単一のRFパルス及び遮断シーケンスはしたがって、正味イオン流束又は他のプラズマパラメータの単一の測定値を収集するのに十分である。このような測定は、数ミリ秒からより長い期間にわたる広く変化する期間にわたって行うことができる。例えば、典型的なバースト時間は3〜5ミリ秒であり、典型的な遅延時間は5〜10ミリ秒である。半導体基板を処理する間の一連のこれらの測定値の収集により、時間の関数として所与のプラズマパラメータのグラフの構成するための情報を提供することができる。
【0029】
所与のパルス及び遮断シーケンスでは、その後、PIFプローブがイオン流束を直接測定する。プラズマ密度を測定するためには、以下の関係が考えられる。プラズマ理論によると、陽性プラズマでは、電流はボーム条件によって規定される。管理関係は以下の通りである。
Ji=qnvB (1)
式中、Jiはイオン電流密度(すなわち、イオン流束)であり、qは基本電荷であり、nはプラズマ又はイオン密度であり、vBは以下の式で与えられるボーム速度である。
vB=(kTe/Mi)1/2 (2)
【0030】
ここで、Teはプラズマ内の電子温度であり、Miはイオン質量である。プラズマ密度と測定したIBの関係はしたがって、以下の通りである。
n=Ji/(qvB)=IB/(SdqvB) (3)
したがって、プラズマ密度をイオン流束データから決定するためには、Te及びMiが分からなければならない。Miは使用されるガスから分かり、Teの決定は上で与えられた解析から行うことができる、又はTeを推測することができる。例えば、4eVと推測することができる。
【0031】
別の好ましい実施形態では、検出器は非容量タイプである。非容量センサの場合、電圧は結合コンデンサを使用することなく、直流電源によって表面に直接加えられる。電圧はその後、変更され、引かれた電流が測定される。その後、標準的なラングミュアプローブ理論を使用して、引かれて得られる電流対電圧データを解析することができる。ラングミュアプローブ理論の態様は、プラズマシースのI−V特性、すなわちシースの両端間の電圧降下の関数としてプラズマ内で表面に流れる電流密度の解析を含む。このような解析から抽出することができる例示的なプラズマパラメータとしては、電子温度、電子密度、及びプラズマ電位が挙げられる。特定の状況では、イオン密度、イオン温度及び電子エネルギー分布関数も決定することができる。非容量タイプセンサの好ましい幾何形状は平面である。
【0032】
さらに別の好ましい実施形態では、誘電プラズマインターフェイスで表面波を作り出すステップ、及び、表面波に基づいてプラズマパラメータを測定するステップを含むシステムなどの他の検出システムを使用することができる。このようなシステムから抽出することができる例示的なプラズマパラメータとしては、プラズマ密度が挙げられる。このようなシステムは、引用することによってその内容全体をここに合体する、米国特許第6,541,982号に開示されている。他の例示的検出システムは、自励電子プラズマ共振分光法(SEERS)に基づいた、「ヘラクレス」プラズマ監視システムなどの電気的方法を含む。ヘラクレス法は、チャンバ壁面の一部として働く、チャンバの壁面内に挿入される同軸センサを使用する。ヘラクレス法の使用により、電子衝突速度、電子密度及びバルク電力などのプラズマパラメータを決定することができる。
【0033】
好ましい一実施形態では、この方法はしたがって、少なくとも1つのプラズマパラメータをリアルタイムで検出するステップと、少なくとも1つのプラズマパラメータを時間の関数としてプロットするステップと、チャンバ又はシステム故障を特定するために1つ又は複数のプロットを査定するステップとを含む。別の方法では、1つ又は複数のプロットは、関連する故障を特定するために知られている故障のライブラリと比較することができる。故障が検出されると、オペレータ又はウエハ制御システムに任意選択で通知される。情報は、例えばチャンバを操作するのに使用されるモニタ上に情報メッセージを表示することによって、又は、チャンバを操作するのに使用されるシステムを「ダウン」としてログ記録することによって、オペレータに対する警報又は警告する形であってもよい。別の方法では、情報は後の評価のために、ウエハ追跡システム又は他のデータベース内に記憶することができる。
【0034】
実施形態では、チャンバ内の様々な部位に取り付けられた複数のセンサの使用により、所与のプラズマパラメータの均一性の測定を行うことができる。プラズマ均一性のリアルタイム測定は、追加の故障検出方式を提供することができ、改良型の自己診断を可能にする。
【0035】
好ましい一実施形態によるプラズマ処理チャンバ内の故障検出のいくつかの例をここに示す。全ての場合において、PIFプローブが半導体ウエハの処理中にプラズマパラメータデータを収集することを可能にするように、Exelan2300(商標)プラズマエッチングシステムのシャワーヘッド電極の中心位置に埋め込まれた。ウエハは共通のエッチングレシピを使用して処理され、データは30ミリ秒毎に1測定の公称周波数(約33測定/秒)で収集された。これらの例では、決定されたプラズマパラメータはプラズマ密度であり、各場合において、時間の関数としてプロットされた。データ収集が高速度であることにより、プロットされたデータ点は実線であるように見える。例示的なプロットでは、データ収集は普通ハードウェア限界により約27秒で遮断される。実施例1から6で使用されるレシピは、以下の条件の範囲内のエッチング処理を含む。チャンバ圧力:50〜150ミリトール、2MHzRF電力;2600〜3600W、27MHzRF電力:1700〜2500W、使用ガス;250〜350sccmのAr、13〜23sccmのC4F8、4〜12sccmのO2
【0036】
[実施例1]
様々な処理を、プラズマ処理チャンバ内で行うことができる。エッチング及びレジスト除去処理は普通、プラズマ環境内で行われ、単一のプラズマチャンバ内で両方の処理を連続して行うことが望ましい。同じチャンバ内で異なるプラズマ処理ステップを行う能力が有利であると考えられる。というのは、全処理時間(「サイクル時間」)をそれによって短くすることができるからである。異なるプラズマ処理ステップが同じチャンバ内で連続して行われる場合、1つの処理ステップからの残留物は、次の処理ステップを開始する前に完全に取り除かれることが好ましい。残留物の完全な除去は処理の一貫性を促進し、「処理メモリ」−ウエハ間ベースでの処理性能のドリフトを引き起こす残留物堆積効果を少なくする。
【0037】
したがって、チャンバ洗浄が必要である場合に対応するチャンバの故障状態を決定する方法を有することが有利である。このような方法は、最適な洗浄スケジュールの決定を促進し、ユーザがウエハ上の処理又は装置性能とチャンバ状態との間の相関関係を予期することを可能にする。チャンバをあまり頻繁に洗浄し過ぎることにより生産性が減少する可能性があり、一方、チャンバをあまり頻繁に洗浄しないことにより処理ドリフトにつながる可能性がある。
【0038】
プラズマパラメータデータの第1の解析が、図6A及び6Bに与えられている。図6Aは、清浄なチャンバ内のウエハの処理中の時間の関数としてのプラズマ密度を示している。データは、RF斜面63の後に減少する傾斜61と最も高いプラズマ密度(約17.5秒での)の達成を示している。図6Bは、追加の約50個のウエハが処理された後の、同じチャンバ内で処理されたウエハに対する同じ曲線を示している。データは極めて類似した曲線を示しているが、RF斜面の後のデータの傾斜はより平坦62、すなわちあまり負ではない傾斜を有する。あまり負ではない傾斜は、プラズマエッチング処理で普通見られるタイプの処理チャンバ内のフルオロカーボンベースのポリマー副生成物の堆積を示しており、システムをその元の処理状態に回復させるのにチャンバ洗浄が必要であることを示している。
【0039】
好ましい一実施形態では、この状態は、ポストRF斜面データの傾斜の絶対値が特定の値より数字的に下になる場合などのチャンバ故障を特定することができる。したがって、この方法を行うことによって、チャンバ清浄度の喪失によるチャンバ故障を特定することが可能である。他の実施形態では、ポストRF斜面データの傾斜は、斜面と処理性能特性との間の関係を確立することによって、チャンバ清浄度の指標として使用することができる。このように、チャンバの状態を監視することができ、故障を予測することができる場合に関する決定を行うことができる。
【0040】
代替実施形態では、測定した量のポリマーは、エッチング処理の実施の前にチャンバ壁面上に意図的に被着される。このような処理は、「チャンバ調整」と呼ばれる。ポストRF斜面データの傾斜の絶対値が数値的に特定値の下になる上に詳述した方法は、チャンバがエッチング処理を開始する準備ができていないチャンバ故障を特定するために使用することができる。
【0041】
[実施例2]
定期的保守及び他の修復の間、プラズマチャンバは洗浄、修復又はアップグレードのために分解することができる。プラズマチャンバ内の処理状態は高真空下で行われるので、保守後のチャンバの適切な組立てが重要である。組立て中、チャンバ及びチャンバ内の要素を固定するのに使用されるボルトは、チャンバが最適に機能するために、しばしば正確な順序で適切に締め付けるべきである。ヘリウム通路を組み込んだシャワーヘッド電力アセンブリ内、又はウエハ逆冷却用のヘリウム通路を有する底部電極内のボルトの不適切な締付けは、プラズマ処理中のヘリウム「発光」につながる可能性があり、裏側ヘリウムはプラズマ処理中にチャンバ内に不注意に案内され、イオン化してプラズマを形成する。
【0042】
プラズマパラメータデータの第2の解析がしたがって、図7A及び7Bに提供されている。図7Aは、チャンバが不適切に締め付けられ、ヘリウムの漏洩につながっている底部電極ボルトの問題があるウエハの処理中の時間の関数としてのプラズマ密度を示している。データは、8×109イオン/cm3のオーダ、プラズマ密度の絶対値の約10%でのRF斜面73後の振動71を示している。プラズマのこのような振動は、視覚的に明らかではなかった。図7Bは、電極ボルトが締付けを修正された後に、同じチャンバ内で処理されたウエハに対する同じ曲線を示している。データは、極めて類似した曲線を示しているが、ポストRF斜面の振動は実質的に取り除かれている(72)。好ましい一実施形態では、チャンバ故障と分類されるこの状態は、チャンバ内の状態に関してオペレータに警告する、又はデータベースに記憶するのに使用することができる。したがって、この方法を行うことによって、ヘリウム漏洩によるチャンバ故障を特定することが可能である。
【0043】
[実施例3]
ウエハからウエハまでの処理一貫性では、処理チャンバは各ウエハに対して同じ一連のステップを受けることが好ましい。例えば、クランプ電圧は、ウエハが処理されるたびに、同じ大きさで同じ持続時間だけ加えられることが好ましい。ガス流は、設定された流量及び持続時間を達成しなければならず、これらの持続時間中の処理ステップ持続時間及びプラズマ状態は、一貫性のあるウエハ間処理を保証するために、高程度の正確さで再現しなければならない。したがって、一定のままであることが期待される場合、システムのパラメータが処理中にシフトすることは望ましくない。特に、RF整合システムが所望の調整点を見つけた後に、システムはエッチングステップ全体を通してその点を保持すべきであることが期待される。エッチングステップ中の整合システムのランダムな再調整は、未制御の処理変化につながる可能性がある。
【0044】
プラズマパラメータデータの第3の解析がしたがって、図8A及び8Bに提供されている。図8Aは、整合システムが再調整される、ウエハの処理中の時間の関数としてのプラズマ密度を示している。この実施例では、再調整はRF斜面85の開始の約7秒後で、ポストRF斜面期間中に起こり、データ内の短い振動81につながる。プラズマ密度内の振動の振幅は、プラズマ密度の絶対値の5%未満であり、持続時間は5秒未満である。イベントは、整合システム再調整イベントとして、図8Bのスクリーン画像で確認される。図8Bは、時間の関数として2MHz及び27MHzのRF源周波数を示す第1の組の2つの曲線83、及びワットでの2MHz及び27MHzのRF前方電力を示す第2の組の2つの曲線84を示している。RF斜面86の開始の約7秒後に対応する時間における、2MHzの前方電力82で観察される急上昇は、図8Aで見られる再調整イベントを確認する。
【0045】
好ましい一実施形態では、システム故障として分類されるこの状態は、処理されている特定のウエハが処理中に再調整を受けていることをオペレータ又はウエハ追跡システムに警告するのに使用することができる。例えば、整合システム再調整イベントが非連続処理中のランダムな時に起こるという決定により、システム故障が存在し、プラズマシステムの検査が必要であると決定することができる。任意の整合システム再調整イベントの検出は、ハードウェア故障又は他のタイプの故障が起こっている可能性があることを示している。したがって、この方法を行うことによって、整合システム再調整イベントの発生によるシステム故障を特定することが可能である。これに応じて、オペレータは処理を停止し、保守処理を開始することができる。
【0046】
[実施例4]
処理一貫性及びチャンバ診断では、システムに関する追加の要素が有用である可能性がある。あらゆるシステムの望ましい特徴は安定性である。エッチング処理の間に、プラズマに対するかく乱はエッチング速度の変化などの処理エラーにつながる可能性がある。これは、故障している質量流制御装置又は他のハードウェアエラーによる可能性がある。別の望ましい特徴は、速い安定化速度である。かく乱後に、システムはその適切な均衡点に迅速に戻るべきである。回復処理における余分な遅延はまた、プラズマ生成ハードウェアの調査を必要とする故障の特徴である。
【0047】
プラズマパラメータデータの第4の解析がしたがって、図9に提供されている。上に論じた他のグラフと同様に、図9のグラフは時間の関数としてのプラズマ密度を示しているが、この場合、尺度は移動及び拡張され、それによってRF斜面後の11秒のみが示されている。整合調整を示す振動は、91で示される、17秒の周りに存在し、まるまる約1秒かかる調整の後の安定性を示している。この図はまた、約0.5秒だけしか続かない再調整イベントを示している。
【0048】
好ましい一実施形態では、この状態を使用して、プラズマシステム又は個別のプラズマシステムに関する特定の特性を確立することができる。このような特性は、個別のチャンバ内の欠陥のチャンバ間特徴化及び特定に有用である可能性がある。この状態の原因としては、プラズマ閉じ込めの維持、及び設定ガス流の維持に関するハードウェアの故障が挙げられる。このような故障の検出の際、ウエハ処理を停止し、ウエハを廃棄することができる。整合調整と再調整イベントとの区別は、他のセンサとの相関関係によって確立することができる。他のセンサがより低い周波数、例えば0.1Hzで関連する整合データを記録する場合、イベントは再調整イベントであると理解することができる。したがって、この方法を行うことによって、悪い安定化速度の発生によるシステム故障を特定することが可能である。
【0049】
[実施例5]
あらゆるシステムの別の望ましい特性は、プラズマ特性がウエハ間で一定なままであるということである。このような特性の間で、プラズマ密度及びイオン流束は重要である。チャンバ故障イベントが、プラズマ密度又はイオン流がシフトする処理中に起こると、ウエハ処理に対する悪影響が起こる可能性がある。特に、エッチング速度が影響を受ける可能性があることが知られている。
【0050】
プラズマパラメータデータの第5の解析がしたがって、図10に提供されている。この場合、グラフは連続して処理される2つのウエハに対する時間の関数としてのプラズマ密度を示している。それらのウエハは、データ曲線103で示される「ウエハn」、及びデータ曲線104で示される「ウエハn+1」と呼ばれる(ウエハn+1に対するスプリアスデータ点が削除されている)。それらの曲線は重なっており、データが5秒で始まる時点から、約14秒で起こる101で示したRF斜面の始めまで、実質的に区別がつかない。約17秒で起こるウエハn+1のRF斜面の間に、プラズマは閉じ込められる、すなわち閉じ込めリングを通したプラズマの漏洩が起こる。これは、部分的回復の後の、102で示すプラズマ密度の急激な低下によって影響を受ける。プラズマ密度の低下は、プラズマ密度の絶対値の15%を超える。104で示すようなウエハn+1に対する処理の残りは、処理シーケンス103内の同じ時間に対するウエハnの処理中に起こるプラズマ密度より低いプラズマ密度で起こることが分かる。プラズマ密度のこのような減少の可能性のある結果は、ウエハが悪く処理される又は誤処理されることである。
【0051】
好ましい一実施形態では、チャンバ故障又はシステム故障である可能性があるこのような状態を使用して、個別のプラズマチャンバに関する特定の特性を確立することができる。このような特性は、チャンバ間特徴化と、個別のチャンバ内の欠陥の特定に有用である可能性がある。この状態の原因としては、プラズマ閉じ込め又はガス流の維持に関するハードウェアの故障、汚いチャンバ状態、及び、レジスト膜内の汚染物質など表面上に望ましくない物質を有するウエハが挙げられる。このような故障の検出の際、ウエハ処理を停止し、ウエハを廃棄することができる。したがって、この方法を行うことによって、閉じ込めの損失による故障を特定することが可能である。
【0052】
プラズマパラメータデータの解析はまた、同じタイプのウエハ上で同じ処理レシピを行う一群のプラズマチャンバ内でチャンバ整合の欠如を特定する、又は新しいチャンバ、又は洗浄あるいは保守が行われたチャンバが特定のチャンバ品質仕様と一致する又はこれを満たすことを保証するために使用することができる。例えば、一群の処理チャンバは構造的に同一であり、同じ処理状態で操作することができ、PIFプローブで得られるデータを使用した操作条件の下でこのようなチャンバの性能を比較することが望ましい。したがって、チャンバ整合を行うことによって、適切に機能していないチャンバを特定することが可能である。
【0053】
好ましい一実施形態では、プラズマパラメータは、プラズマチャンバの内部に露出された感知表面を有するプローブの使用によって得られ、より好ましくは、プローブは接地電極などプラズマチャンバのチャンバ壁面又は構成部品内に埋め込まれている。多片シャワーヘッド電極アセンブリの内側電極部内に埋め込まれた、図2に示すものなどのPIFプローブの例示的な略図が、図11に示されている。プローブ110は、平面ディスク113の感知表面117がシャワーヘッド電極118と同一の広がりである(例えば、同一平面)であるように配置されていることが好ましく、それによってプローブはプラズマ上への衝撃を最小にする。プローブは、アルミニウム又はグラファイトなどの材料でできた導体111を備えている。図3に略図的に示すものなどの、プローブを操作するのに必要な電気回路を確立するためには、プローブ、導体111に対する電気接続は、チャンバ内側からチャンバ外側まで壁面、窓、真空貫通接続又はコネクタ(図示せず)を通してチャンバ閉じ込めを横切ることが好ましい。当業者は、プローブ110がプローブ20に相当し、平面ディスク113が平面ディスク21に相当し、導体111が導体22に相当することが分かるだろう。図2の保護リング23及び絶縁体24は、図11の絶縁体112に相当する。
【0054】
導体111は、プローブを電極アセンブリから電気絶縁するために、電気絶縁体112によって囲まれている。絶縁体112は、石英などの絶縁材料でできていることが好ましく、プローブ211の背面を備えた表面を有する。プラズマ及びプラズマシースに対するかく乱は、シリコンなどの、シャワーヘッド電極を作るのに使用されるのと同じ材料で平面ディスク113を作ることによって小さくされることが好ましい。さらに、電極118が所与の抵抗までドーピングされる場合、平面ディスク113は同じ抵抗までドーピングされることが好ましいが、必要に応じて異なる抵抗力にドーピングされてもよい。例えば、石英絶縁体112がRF経路をかく乱する場合、一定のRF経路は、電極118のドーピングレベルと異なるディスク113のドーピングレベルでより良く達成することができる。必要に応じて、プローブ110は他のチャンバ表面内に取り付けることができ、かつ/又は、感知表面117はプラズマ処理状態に適合する誘電コーティングで覆うことができ、例えば、ディスク113は表面117上に陽極酸化層を備えたアルミニウム又はアルミニウム合金である可能性がある。
【0055】
さらに、プローブのプラズマへの衝撃を最小とするために、プローブの温度、及びプローブ周りのガス流を変更することができる。特に、プローブは、例えば温度制御構成部品115を使用して加熱されることが好ましい。構成部品115は、電気抵抗加熱装置であってもよく、又は加熱又は冷却することができる温度調整流体を循環させる管であってもよい。電気抵抗加熱装置は、交流又は直流電力源(図示せず)によって電力を与えることができる。加熱は、温度制御装置(図示せず)によって制御し、感知表面117の温度がシャワーヘッド電極の温度と同じであるように設定することができる。
【0056】
ガス供給貫通孔114によって通常提供されるガス流は、プローブの存在により妨げることができる。ガス流、したがってプラズマに対する妨害は、電極の後ろに配置されたグラファイト受け板119にガスを供給する共通のプレナム(図示せず)にガス通路を作り出す、プローブ内の1つ又は複数の任意のガス供給貫通孔116の使用で最小限に抑えられることが好ましい。石英絶縁体及び平面ディスク113内の同一線上のガス通路116は、連続ガス通路を形成し、プローブがない状態で存在する全体のガス分配パターンに近づくように配置されることが好ましい。好ましい一実施形態では、ガス通路は、プローブがない状態でシャワーヘッド電極内に通常配置される、プローブ内に配置される。
【0057】
多片シャワーヘッド電極アセンブリの内側電極部に埋め込まれたPIFプローブの例示的な代替実施形態の略図が、図12に示されている。平面ディスク113は、感知表面の厚さを小さくすることによって寄生容量を少なくするようになっている。平面ディスク123は、位置合わせ及び導電性を促進するために、導体122を受け、これと協働して作用するようになっている管状延長部225を有する。平面ディスク123及び導体122は、導電性板ばね125を通して機械的及び電気的に連通している。板ばね125はまた、例えばプローブの他の部品を取り除くことなく、平面ディスク123の独立した除去を可能にすることによって、組立ての容易性を改善する。
【0058】
導電性ねじ付きボルト226により、平面ディスク123の前進が、プラズマ環境への長期の露出による、ディスク123と露出したシリコン表面227との間のあらゆる微分磨耗率を補償することが可能になる。圧縮可能材料のシール127(例えば、Oリング)の存在により、ボルト226をシール127の拡張又は圧縮の限度内で前進又は後退させ、それによって表面227を所望の位置に移動させることができる。プローブ内のガス供給貫通孔が位置合わせされたままであることを保証するために、1本又は複数本のキー又はピン124は、前進している導電性ねじ付きボルト226の結果として平面ディスク123に供給されるトルクが平面ディスク123を絶縁体223に対して回転させないことを保証する。キー又はピン124を設けるためには、周囲の誘電材料223が、管状延長部225の周りで嵌合する2つの部品内にあることが好ましい。平面ディスク123及び導体122は、プローブ123、導体122、及びねじ付きボルト226を電極128及びグラファイト受け板129から電気絶縁させるように働く絶縁体223によって囲まれていることが好ましい。プローブを操作するのに必要な電気回路を確立するためには、導電性ねじ付きボルト226を通したプローブへの電気接続は、チャンバの内側からチャンバの外側まで壁面、窓、真空貫通接続又はコネクタ(図示せず)を通してチャンバ閉じ込めを横切ることが好ましい。
【0059】
絶縁体223はまた、平面ディスク123を支持し、その向きをチャンバ内部に向かって維持するように働く。絶縁体223はしたがって、プローブ121の背面を備えている。電極アセンブリからのプローブの電気絶縁は、受け板129の上側でリセス内に嵌合する上側ショルダを備えた円筒形管の形である、外側絶縁体222によって終結される。絶縁体223上の同様のショルダが絶縁体222の上側ショルダ上にあるが、絶縁体222は絶縁体223を囲んでおり、これと密接に接触している。外側絶縁体222は、電極123の下側表面及び感知表面227まで延びており、これらと同一平面の表面を有する。プラズマの露出中、外側絶縁体222は磨耗を受ける可能性がある。外側絶縁体の利点としては、プラズマ環境への露出から生じる磨耗により交換しなければならない部品の寸法及び複雑性の減少が挙げられる。
【0060】
プローブを通るガス流228は、ガス供給貫通孔229によって影響を受ける。石英絶縁体及び平面ディスク内の同一線上のガス供給貫通孔が、連続ガス通路を形成する。ガス通路は、プローブがない状態で存在する全体のガス分配パターンに近づくように配置されることが好ましい。好ましい一実施形態では、ガス通路は、プローブがない状態で通常シャワーヘッド電極内に配置される、プローブ内に配置される。
【0061】
Oリング127を使用して、導体122の位置、及び導体122のシャワーヘッドアセンブリの部分からの電気絶縁を維持する。Oリング127及びキー124は、テフロン(登録商標)などの、非伝導性、耐熱性及び機械的弾力性がある材料でできていることが好ましい。温度制御構成部品221は、電気抵抗加熱装置、又は周囲の部品温度と一致するようにプローブを加熱又は冷却することができる温度調整流体を循環させる管であってもよい。
【0062】
多片シャワーヘッド電極アセンブリの外側電極部に埋め込まれたPIFプローブの追加の例示的代替実施形態の略図が、図13に示されている。設計は、内側電極内での使用のために図12に示す設計と同様であるが、特定の変更が含まれている。この設計では、任意選択のガス供給貫通孔が省略されている。加えて、露出したシリコン表面227とシャワーヘッド電極表面との間のあらゆる微分磨耗率を補償するための平面ディスク136Aの前進の任意選択手段の詳細が、省略されている。
【0063】
図12と同様に、平面ディスク136Aは寄生容量を減少させるようになっており、位置合わせ及び導電性を促進させるために導体135を受け、これと協働して作用する管状延長部136Bを有する。延長部136Bを備えた平面ディスク136Aと導体135とは、プローブ及び導体135を周囲の電極139及びグラファイト受け板132から電気絶縁するように働く、絶縁体133によって囲まれている。絶縁体133は、平面ディスク136Aを支持し、その向きをチャンバ内部に向かって維持するように、管状延長部136Bの周りに嵌合する2部品片であることが好ましい。電極アセンブリからのプローブの電気絶縁は、受け板132内のリセスと嵌合する上側ショルダを備えた円筒形管の形をした、外部絶縁体133Aによって終結される。
【0064】
Oリング138は、導体135の位置、及び導体135のシャワーヘッドアセンブリの残りからの電気絶縁を維持するのに使用される。Oリング138は、テフロンなどの、非伝導性、耐熱性及び機械的弾力性がある材料でできていることが好ましい。温度制御板131は、グラファイト受け板132と密接に接触している。プローブとの電気接触を確立するRF供給ロッド134は、図では、導体135内に埋め込まれた図の平面と垂直である。プローブを操作するのに必要な電気回路を確立するためには、RF供給ロッド134は、チャンバ内側からチャンバ外側まで壁面、窓、真空貫通接続又はコネクタ(図示せず)を通してチャンバ閉じ込めを横切ることが好ましい。平面ディスク136Aは、板ばね、及びインターフェイス137で延長部136Bに加えられる導電性スパッタコーティングの使用により、導体135と優れた電気接触を維持する。
【0065】
1つ又は複数のプローブを含むことができるシャワーヘッドアセンブリ100の片側半分の略図が、図14に示されている。シャワーヘッドは、上部電極143と、上部電極143に固定された任意の裏当て部材142と、温度制御板141と、上部板146とを備えている。上部板146は、プラズマ処理チャンバの取外し可能な上部壁面を形成することができる。上部電極143は、内側電極部材145、及び任意の外側電極部材147を備えていることが好ましい。内側電極部材145は、単結晶シリコンでできた円筒形ディスクであることが好ましい。必要に応じて、内側及び外側電極145、147は、CVD炭化ケイ素、単結晶シリコン、又は他の適切な材料などの材料の単片で作ることができる。
【0066】
外側電極部材147は、連続部材(例えば、リングなどのポリシリコン又は炭化ケイ素部材)、又はセグメント部材(例えば、単結晶シリコンのセグメントなどの、リング構成で配置された2〜6個の別個のセグメント)であってもよい。上部電極143が多セグメント外側電極部材147を備えている実施形態では、セグメントは、下にある結合材料をプラズマへの露出から保護するために、互いに重なり合った縁部を有することが好ましい。プラズマ閉じ込めリングアセンブリ(図示せず)は、外側電極を囲んでいることが好ましい。内側電極部材145は、処理ガスを上部電極143の下のプラズマ反応チャンバ内の空間に注入するための多数のガス通路144を備えていることが好ましい。外側電極147は、電極143の周面で突起段差を形成することが好ましい。段差付き電極のさらなる詳細は、引用することによってその開示をここに合体する、同一の所有者の米国特許第6,824,627号で見ることができる。
【0067】
図14はまた、1つ又は複数のこのようなプローブを組み込むことができる、シャワーヘッド電極アセンブリ140内に埋め込まれた、図2に示すタイプのプローブの例示的な一実施形態を示している。図11及び12に示すプローブは任意のガス供給貫通孔を備えているので、上部電極143は図11及び12の118及び128にそれぞれ対応することが好ましい。また、裏当て部材142は、図11及び12の119及び129にそれぞれ対応することが好ましい。例えば、プローブ148は、図11及び図12に示すプローブと同様に、ガス供給貫通孔を備えて構成されていることが好ましい。図13に示すプローブはガス供給貫通孔を備えていないので、外側電極147は図13の電極139に対応することが好ましい。また、温度制御板141は、図13の温度制御板131に対応することが好ましい。例えば、プローブ149は、図13に示すプローブと同様に、ガス供給貫通孔なしで構成されていることが好ましい。
【0068】
好ましい一実施形態によるプラズマ処理チャンバの例示的な略図が、図15に示されている。図示したシステムは、Lam Reseach Corporationから市販されているEXELAN(商標)2300システムなどの、平行平板型プラズマシステム150である。システム150は、反応器の底部で出口に連結された真空ポンプ158によって、所望の真空圧で維持された内部157を有するチャンバを備えている。エッチングガスは、ガス供給部(図示せず)からプラズマ反応器に供給される。中密度プラズマは、RF源159からのRFエネルギーが整合ネットワーク(図示せず)を通して電力を与えられた下側電極151に供給される二重周波数配置によって反応器内で発生される。RF源159は図では、27MHz及び2MHzでRF電力を供給するように構成されているが、異なる周波数源の多くの組合せを使用することができる。プラズマ閉じ込めは、閉じ込めリング154によって補助される。上側電極153は接地され、加熱された上部板152に連結されている。基板、例えばウエハ(図示せず)は、熱いエッジリング155に囲まれた、静電チャック(ESC)156に固定されている。
【0069】
加えて、EXELAN(商標)HPTシリーズなどの他の容量結合反応器、又は、引用することによってその開示をここに合体する、共通の所有者の米国特許第6,090,304号に記載された二重周波数プラズマエッチング反応器など、RF電力が両方の電極に供給される容量結合反応器を使用することができる。好ましい実施形態を、容量結合プラズマ処理チャンバと合わせて論じたが、実施形態はまた、誘導結合プラズマ処理チャンバ(Transformer Coupled Plasma又はLam Research CorporationからのTCP(商標)プラズマ処理チャンバなど)、又は電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ処理チャンバに適用される。
【0070】
前述の図14はシャワーヘッド電極内に組み込まれた平面プローブを示しているが、プローブ表面が壁面、ライナ、閉じ込めリング、焦点リング、ガス出口を備えていない電極、ガス分配板、及び基板支持体などのチャンバ内のプラズマ環境に曝されるとすれば、プローブは他のチャンバ部品内に組み込むことができる。平面プローブは、基板近くのプラズマパラメータを測定するために上側電極の中心部に配置することができる、又は基板の上に直接配置されないように、上側電極の外側部分に配置することができる。
【0071】
別の実施形態では、プローブの感知表面がプラズマチャンバの内部に面しているように、複数のプローブが配置されている。複数のプローブは、プラズマの均一性に関する情報を提供することができる、又は内部の相対的なキャリブレーションを提供することができる。例えば、プローブはシャワーヘッド電極の中心に、又はその近くに配置することができ、追加のプローブはシャワーヘッド電極内の中心位置から異なる半径で配置することができる。本発明を、その特定の実施形態を参照して詳細に説明したが、頭記の特許請求の範囲から逸脱することなく、様々な変更及び変形を加えることができ、均等物を利用することができることは当業者には自明のことだろう。
【技術分野】
【0001】
本発明は、プラズマ処理反応器の故障状態を検出する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【0002】
それぞれの連続した半導体技術世代で、ウエハ直径は大きくなり、トランジスタ寸法は小さくなる傾向にあり、その結果、ウエハ処理におけるさらに高い程度の正確性及び再現性が必要となる。シリコンウエハなどの半導体基板材料は、真空チャンバの使用を含む技術によって処理される。このような技術としては、スパッタリング蒸着などの非プラズマ応用例と、プラズマ化学気相成長法(PECVD)、レジスト除去、及びプラズマエッチングなどのプラズマ応用例が挙げられる。
【0003】
今日利用可能なプラズマ処理システムは、多くの特定の故障形態になりやすい。このような多くの形態は、実際の装置ウエハを処理する前に検出することが難しく、ウエハの誤処理につながる可能性がある。検出システムは、電界のイオン密度などプラズマの特定の側面を診断するために存在しているが、故障の検出には不十分な方法しか利用可能でない。特に、これは改良された均一性、整合性及び自己診断性を備えたプラズマチャンバが必要とされる。これらの目的の達成を容易にする改良型のプラズマ感知技術に、大きな需要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】米国特許第5,936,413号
【特許文献2】米国特許第6,541,982号
【特許文献3】米国特許第6,824,627号
【特許文献4】米国特許第6,090,304号
【発明の概要】
【0005】
好ましい実施形態によると、プラズマチャンバ内でプラズマ処理を開始するステップと、プラズマ処理に関するプラズマパラメータデータを得るステップと、故障状態を示すためにプラズマパラメータデータを評価するステップであって、プラズマパラメータデータがプローブの使用により得られ、プローブの感知表面がプラズマに曝され、プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面と同じ平面にあるステップとを含む、プラズマ処理を直接監視する方法が提供される。
【0006】
プラズマパラメータデータを評価する方法は、コンピュータ可読記憶媒体システム上にデータを記憶するステップ、データをフィルタリングするステップ、データにアルゴリズムを行うステップ、及び/又は、データを既存の基準データと比較し、それにより、解釈し、並びに、前記解釈に基づく状況報告及び警告の少なくともいずれかを発行するステップを含むことができる。
【0007】
イオン流束、プラズマ電位、プラズマ密度、電子温度、イオン種温度、及び電子中性子衝突頻度などのプラズマパラメータは、様々な直接プロービング法を使用して測定することができる。この方法はプローブの使用を含み、プローブの感知表面がプラズマに曝され、プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面とほぼ同一平面である。例示的な構成部品としては、接地シャワーヘッド電極、制限リング、ライナ、ガス分配プレート、及び基板支持体が挙げられる。
【0008】
直接センサの好ましい実施形態は、平面イオン流束(PIF)タイプである。他の実施形態では、直接センサは、変化する電圧が結合コンデンサを使用することなく直流電源によってプローブ表面に直接加えられ、電流が測定される、非容量結合ラングミュアタイプであってもよい。さらに他の実施形態では、検出システムが使用される。検出システムのタイプとしては、誘電プラズマインターフェイスで表面波を作り出し、表面波に基づいてプラズマ密度を測定するシステムが挙げられる。
【0009】
故障状態の表示としては、
a)処理チャンバ内の処理副生成物の堆積を示す、プラズマ密度データのポストRF斜面の傾斜の変化、
b)ヘリウムの漏洩を示す、プラズマ密度の絶対値の約5%から約20%の間のRF斜面後のプラズマ密度の振動、
c)整合システム再調整イベントを示す、RF斜面の後に発生する、その絶対値の5%未満の振幅と5秒未満の持続時間のプラズマ密度の振動、
d)悪い安定化速度の発生を示す、その適切な均衡点に戻る前に、整合調整に約0.5秒以上かかった後の、プラズマ密度の振幅の安定性、及び
e)プラズマ閉じ込めの損失の発生を示す、部分的回復の後の、その絶対値の約15%より大きい量だけのプラズマ密度の急速な低下
が挙げられる。
【0010】
他の好ましい実施形態では、検出器がプラズマ処理チャンバ内の表面に埋め込まれている場合、検出器は周辺壁表面との整合性を向上させる特徴を含むことができる。例えば、検出器は、局部壁面状態を整合させるように温度制御することができる。壁面がガス供給貫通孔を含む場合、検出器はまた、1つ又は複数のガス供給貫通孔で構成することができる。これは、検出器がない状態では存在する全体のガス分配パターンに近づけるように配置された、プローブの感知表面から背面へ貫通する少なくとも1つのガス通路を作り出すことによって行われる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】故障評価方法のフローチャートである。
【図2】PIFプローブの例示的な実施形態を示す図である。
【図3】PIFプローブ及び代表的な回路の例示的な略図である。
【図4】ノードAでの例示的RF信号パルスを示す図である。
【図5】ノードBでの反応信号を示す図である。
【図6A】チャンバを清浄にする必要性を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図6B】チャンバを清浄にする必要性を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図7A】不適切に設置された電極アセンブリボルトによる、ヘリウム「発光」を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図7B】不適切に設置された電極アセンブリボルトによる、ヘリウム「発光」を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図8A】整合「再調整」イベントを検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図8B】整合「再調整」イベントを検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図9】整合/プラズマ安定化速度を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図10】プラズマ閉じ込めの損失を検出する診断方法の一実施形態を示す図である。
【図11】プラズマ処理チャンバの上側電極内に配置されたPIFプローブの一実施形態を示す図である。
【図12】プラズマ処理チャンバの上側電極内に配置されたPIFプローブの代替実施形態を示す図である。
【図13】プラズマ処理チャンバの上側電極内に配置されたPIFプローブの更なる代替実施形態を示す図である。
【図14】プラズマ処理チャンバの上側電極の内側部分及び外側部分内に配置されたPIFプローブの一実施形態を示す図である。
【図15】例示的なプラズマ処理チャンバを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
シリコンウエハなどの半導体基板材料は、蒸着、エッチング、及びレジスト除去を含む様々なプラズマ処理を使用して、プラズマ処理チャンバ内で処理することができる。プラズマ処理システムは、プラズマ処理チャンバ、少なくとも1つの処理ガスをチャンバ内に供給するガス源、及び処理ガスを励起することによってプラズマを作り出すエネルギー源を備えることができる。ウエハを処理するための所与の一連のステップ及び入力パラメータ設定(例えば、RF電力、ガス流、開始時間など)は、所与の「プラズマ処理」と言うことができる。現代の半導体製造機器の複雑な要件により、典型的なプラズマ処理システムは、様々な化学的、電気的及び/又は機械的故障の影響を受けやすい。これらの故障としては例えば、清潔さが不十分な処理環境、真空及び大気制御機器内の漏洩、処理再現性の喪失、及びプラズマ閉じ込めの損失が上げられる。しばしば、このような故障は、1枚のウエハ又は1バッチのウエハが処理されるまで検出されない。
【0013】
イオン流束、プラズマ電位、プラズマ密度、電子温度、イオン種温度、及び電子中性子衝突頻度などの特定のプラズマパラメータは、特定の故障と関連させることができることが分かっている。これら及び他のプラズマパラメータの検出は、それ故、これらの故障を検出し特定する方法を提供する。好ましい一実施形態では、プラズマパラメータ検出の過程が、監視されているプラズマの検出可能なかく乱を伴うことなく行われる。
【0014】
処理中にプラズマパラメータを検出する方法は、直接的に検出する方法と、間接的に検出する方法に分類することができる。間接的方法は、電磁放射(例えば、光周波数又は高周波放射)などのプラズマから発せられる信号を解釈するステップを含み、信号からプラズマパラメータを抽出するために、測定の信頼性を小さくする特定の前提が必要である。直接的な検出方法は、プラズマに直接曝されるように検出器を配置するステップを含む。直接的方法による結果の解釈は、間接的方法による結果の解釈より少ない前提、より単純な解析、及びより大きな信頼性を伴うことができる。しかし、監視されているプラズマへ物体を直接露出するように挿入する必要性により、プラズマに対するかく乱につながる可能性があり、定期的な工業的処理監視に対してあまり採用しがたい。したがって、直接的検出の好ましい信頼性と間接的検出の好ましい慎み深さとを備えた方法であることが有利である。実施形態では、好ましい方法は、物体をプラズマ内に挿入することなく、プラズマに直接露出させることを含む。
【0015】
好ましい一実施形態によると、プラズマエッチャなどのプラズマ処理チャンバ内で使用する故障検出方法は、プラズマチャンバ壁面又は構成部品内に取り付けられたセンサを使用する直接監視を含む。センサの感知表面は、チャンバ壁面又は構成部品表面の前に自然に存在するプラズマシースを介して、プラズマに直接曝されている。プラズマ(及び、特にプラズマシース)に対するかく乱は、感知表面が壁面又は構成部品表面と同一面になるように、感知装置を取り付ける表面によって減少されることが好ましい。
【0016】
故障検出システムは、プラズマパラメータデータを収集し、故障状態を表示するためにプラズマパラメータデータを評価するように動作可能であることが好ましい。プラズマパラメータデータは、特定の故障を明らかにするために任意の仕方で、観察し、特徴付け、知られている故障のライブラリ(「基準データ」)と比較し、デジタル化し、処理し、又は解析することができる。好ましい一実施形態では、プラズマパラメータデータを評価する方法は、コンピュータ可読記憶媒体システムにプラズマパラメータデータを記憶するステップ、及び、解釈ステップを実行するステップを含む。解釈ステップは、フィルタリングし、アルゴリズムを行い、数学的計算を行い、及び/又はプラズマパラメータデータを既存の基準データと比較することによって、プラズマパラメータデータを解釈し、その結果解釈を得る、プラズマパラメータデータを解釈するステップを含む。解釈ステップはさらに、解釈を含む状況報告及び/又は警告をウエハ追跡システム又はユーザに発行するステップを含む。任意選択で、状況報告及び/又は警告は、システム内で修正ステップを開始させ、ログ含有ウエハ履歴内にイベントを記録させ、又は、プラズマチャンバ内の基板の処理を停止させる。例示的な方法が、図1のフローチャートに示されている。故障検出のためにこのように抽出された情報は、ウエハの連続処理のために処理設定を変更するのに使用されない。
【0017】
好ましい一実施形態は、プラズマパラメータを測定するのにプローブ又はセンサを使用するステップを含む。プローブは、プラズマチャンバ壁面又は構成部品内に配置されており、プローブの感知表面がプラズマに露出されるように、反応器内の高周波(RF)バイアスされた又は接地された表面に配置することができる。故障検出システムはさらに、得られたデータを解析する。このような解析により、ウエハ処理中のプラズマ処理反応器内の故障モードのリアルタイム診断が可能になる。したがって、故障検出システムによって使用される方法は、プラズマチャンバ内でプラズマ処理を開始するステップと、プラズマから時間の関数としてプラズマパラメータデータを得るステップと、故障状態を示すためにプラズマパラメータデータを評価するステップを含む。
【0018】
故障はさらに、チャンバ故障及びシステム故障に分類することができる。チャンバ故障は、汚れたチャンバなどのプラズマチャンバ内のエラー又は機械的問題の結果起こる故障であり、システム故障はガス供給又は電力源の問題など処理チャンバの外部で始まるエラーにより起こる故障である。
【0019】
一実施形態では、検出器は平面イオン流束(PIF)プローブである。PIFプローブは、パルス化RF源に容量結合された大面積平面ラングミュアプローブである。プローブ感知表面は、処理中のプラズマシースより大きいことが好ましい(例えば、プラズマシースはプラズマ状態によって、1から5mmの範囲である可能性がある)。RFバーストを加えている間、バイアス電圧は結合コンデンサの両端間に作り出される。RFバーストが終了すると、コンデンサはその後、イオンをプラズマから収集するように、収集表面をバイアスするのに十分な電圧を提供する。バイアスが「イオン飽和」として知られる状態を達成するのに十分である場合、収集表面の領域によって分割される放電段階の「イオン飽和」部分の間に収集された測定電流は、イオン流束の測定を与える。さらに、バイアスコンデンサの両端間の電圧が減衰すると、収集した電流も減衰する。減衰段階全体の間の電圧対電流のプロットは、様々なプラズマパラメータに対する値を得るために解析することができる特徴的なトレースにつながる。
【0020】
図2は、好ましい方法による、イオン流を測定するためのPIF検出器の一態様を略図的に示している。プローブ20は、導体22によって端子Bに連結された平面ディスク21からなっている。ディスク21は、イオン流を直接受け感知し、表面積Sdを有する感知表面25を有する。ディスクは、エッジ効果を少なくするために、導電性ガードリング23で囲まれていることが好ましい。ガードリング23は実質的に、平面ディスク21を軸方向に下から囲んでいる。ガードリング23は、感知表面25と同一平面である、表面積Sgの表面26を有する。表面26及び感知表面25の同一平面性は、ガードリング及びディスクの上側表面が同一平面であるような高さを有する垂直壁面27によって達成されることが好ましい。
【0021】
ガードリング23は、ディスク21及び垂直壁面27に対する物理的支持を与える、水平基部28を備えており、ディスク21が垂直壁面27によって囲まれるような十分大きな直径をしている。ガードリング23はまた、導体22及び絶縁体24を含むのに十分な大きさの内径の垂直円筒形中空軸を備えている。ガードリングは、図2に示すように作られたモノリシック片を備えることができる、又は電気接触した2つ以上の個別の片を備えることができる。導電性ディスクと導体22の垂直壁面27及び水平基部28表面は、絶縁体24によってガードリング23から完全に絶縁されている。絶縁体24は、連続であり、一定の厚さであることが好ましく、ディスクとガードリングの間の電気絶縁を保証するのに十分な完全性及び誘電率である。ガードリング23はしたがって、導電性ディスク21及び導体22を周面的に囲んでいるが、どこでもこれらから電気的に絶縁されている。PIFプローブ及び解析方法の例は、引用することによってその内容全体をこのに合体する米国特許第5,936,413号に開示されている。
【0022】
本実施形態によると、図3に示すように、プローブ20のディスク21はノードBに連結されている。ノードBはまた、オシロスコープ34などの高インピーダンス電圧読取装置に連結されていることが好ましい。高インピーダンス読取装置のもう一方側は、接地されている。ノードAとBの間には、値Cmである阻止コンデンサ31が連結されている。ガードリング23はまた、値Cgのコンデンサ33によってノードAに電気接続されていることが好ましい。ノードAはまた、低出力インピーダンス、通常50オームを有する高周波(RF)電圧源32の第1のノードに連結されている。RF源32の第2のノードは、反応器壁面(図示せず)、及び、基準電位、通常アース(図示)に連結されている。ガードリングの電位をプローブ電位の近くに維持するために、CgはCg/Cm=Sg/Sdであるように選択されることが好ましい。任意の低インピーダンス電流測定装置35は、放電電流の直接測定が可能である、コンデンサCmの放電経路内に維持されていることが好ましい。
【0023】
プラズマパラメータ測定のためのPIFプローブの使用は時に、Booth and Braithwaite法と呼ばれる。この方法によると、ノードAは図4で例示的に示す、連続した一連のRF信号でパルス化される。パルスの平均はゼロボルトであり、振幅はVccによって与えられ、その持続時間はT1によって、及びパルス間の遅延はT2によって与えられる。RF振動周波数は、プラズマの励起周波数と異なることが好ましい。例えば、プラズマの励起周波数が13.56MHzである場合、RF振動周波数は12.0MHzになるように選択することができる。
【0024】
図5に示すノードAでの駆動パルスのノードBでの反応は、同じ振幅Vcc、同じ周波数、及び同じ平均値ゼロの振動信号である。高周波電源32のRFパルスの効果及びプラズマの効果のもとで、プローブに向かう電子の平均流は最初に、陽イオンの平均流を超えて、コンデンサ31を充電させる。ノードBでのパルスの平均電位は、電子及びイオン流束が等しく、平均電流がゼロである、Vbiasの飽和負値に到達するまで次第に減少する。
【0025】
その後、パルスの終わりに、RF信号が遮断されると、プローブに向かう電子の平均流は再び、陽イオンの平均流と均衡するように復元される。しかし、Vbiasは、収集表面にイオンを引き付けながら、電子の流れを妨げるのに十分に負の電位である。Vbiasが十分高い場合、システムは「イオン飽和」として知られる状態にある。得られる正味イオン流はコンデンサ31を放電し始める。この状態で、ノードBの電位が最初は時間と共に直線的に減少し、収集領域(イオン流束)毎の正味イオン電流の決定を行うことができる。これは、以下の式によりイオン電流に比例する、オシロスコープ33を介してdVB/dtを決定することによって行うことができる。
IB=CmdVB/dt
IBのこのような決定はその後、放電電流の測定として働く。
【0026】
別の方法では、低インピーダンス電流測定装置35をコンデンサCmの放電経路に導入することができる。このような装置は、放電電流の直接測定値を時間の関数として提供し、上記決定の検証として、又はそれに対する代替形態として使用することができる。放電電流を決定する直接測定技術の使用は、イオン飽和状態中に電流の値を測定するステップからなる。
【0027】
加えて、電圧又は電流データを解析して、電子温度を決定することができる。Cmをまたぐ電圧が、システムがイオン飽和状態51から出る点まで減少する場合、放電電流は、収集表面に対する正味電子及びイオン流束が均衡される状態(図示せず)にシステムが戻るような時間まで指数的な減衰を示す。この指数的な減衰の間、放電電流(又はCmをまたぐ電圧)の解析を行うことができ、プラズマの電子温度の測定につながる。この状態では、プラズマシースは浮遊電位Vfに近づく。
【0028】
単一のRFパルス及び遮断シーケンスはしたがって、正味イオン流束又は他のプラズマパラメータの単一の測定値を収集するのに十分である。このような測定は、数ミリ秒からより長い期間にわたる広く変化する期間にわたって行うことができる。例えば、典型的なバースト時間は3〜5ミリ秒であり、典型的な遅延時間は5〜10ミリ秒である。半導体基板を処理する間の一連のこれらの測定値の収集により、時間の関数として所与のプラズマパラメータのグラフの構成するための情報を提供することができる。
【0029】
所与のパルス及び遮断シーケンスでは、その後、PIFプローブがイオン流束を直接測定する。プラズマ密度を測定するためには、以下の関係が考えられる。プラズマ理論によると、陽性プラズマでは、電流はボーム条件によって規定される。管理関係は以下の通りである。
Ji=qnvB (1)
式中、Jiはイオン電流密度(すなわち、イオン流束)であり、qは基本電荷であり、nはプラズマ又はイオン密度であり、vBは以下の式で与えられるボーム速度である。
vB=(kTe/Mi)1/2 (2)
【0030】
ここで、Teはプラズマ内の電子温度であり、Miはイオン質量である。プラズマ密度と測定したIBの関係はしたがって、以下の通りである。
n=Ji/(qvB)=IB/(SdqvB) (3)
したがって、プラズマ密度をイオン流束データから決定するためには、Te及びMiが分からなければならない。Miは使用されるガスから分かり、Teの決定は上で与えられた解析から行うことができる、又はTeを推測することができる。例えば、4eVと推測することができる。
【0031】
別の好ましい実施形態では、検出器は非容量タイプである。非容量センサの場合、電圧は結合コンデンサを使用することなく、直流電源によって表面に直接加えられる。電圧はその後、変更され、引かれた電流が測定される。その後、標準的なラングミュアプローブ理論を使用して、引かれて得られる電流対電圧データを解析することができる。ラングミュアプローブ理論の態様は、プラズマシースのI−V特性、すなわちシースの両端間の電圧降下の関数としてプラズマ内で表面に流れる電流密度の解析を含む。このような解析から抽出することができる例示的なプラズマパラメータとしては、電子温度、電子密度、及びプラズマ電位が挙げられる。特定の状況では、イオン密度、イオン温度及び電子エネルギー分布関数も決定することができる。非容量タイプセンサの好ましい幾何形状は平面である。
【0032】
さらに別の好ましい実施形態では、誘電プラズマインターフェイスで表面波を作り出すステップ、及び、表面波に基づいてプラズマパラメータを測定するステップを含むシステムなどの他の検出システムを使用することができる。このようなシステムから抽出することができる例示的なプラズマパラメータとしては、プラズマ密度が挙げられる。このようなシステムは、引用することによってその内容全体をここに合体する、米国特許第6,541,982号に開示されている。他の例示的検出システムは、自励電子プラズマ共振分光法(SEERS)に基づいた、「ヘラクレス」プラズマ監視システムなどの電気的方法を含む。ヘラクレス法は、チャンバ壁面の一部として働く、チャンバの壁面内に挿入される同軸センサを使用する。ヘラクレス法の使用により、電子衝突速度、電子密度及びバルク電力などのプラズマパラメータを決定することができる。
【0033】
好ましい一実施形態では、この方法はしたがって、少なくとも1つのプラズマパラメータをリアルタイムで検出するステップと、少なくとも1つのプラズマパラメータを時間の関数としてプロットするステップと、チャンバ又はシステム故障を特定するために1つ又は複数のプロットを査定するステップとを含む。別の方法では、1つ又は複数のプロットは、関連する故障を特定するために知られている故障のライブラリと比較することができる。故障が検出されると、オペレータ又はウエハ制御システムに任意選択で通知される。情報は、例えばチャンバを操作するのに使用されるモニタ上に情報メッセージを表示することによって、又は、チャンバを操作するのに使用されるシステムを「ダウン」としてログ記録することによって、オペレータに対する警報又は警告する形であってもよい。別の方法では、情報は後の評価のために、ウエハ追跡システム又は他のデータベース内に記憶することができる。
【0034】
実施形態では、チャンバ内の様々な部位に取り付けられた複数のセンサの使用により、所与のプラズマパラメータの均一性の測定を行うことができる。プラズマ均一性のリアルタイム測定は、追加の故障検出方式を提供することができ、改良型の自己診断を可能にする。
【0035】
好ましい一実施形態によるプラズマ処理チャンバ内の故障検出のいくつかの例をここに示す。全ての場合において、PIFプローブが半導体ウエハの処理中にプラズマパラメータデータを収集することを可能にするように、Exelan2300(商標)プラズマエッチングシステムのシャワーヘッド電極の中心位置に埋め込まれた。ウエハは共通のエッチングレシピを使用して処理され、データは30ミリ秒毎に1測定の公称周波数(約33測定/秒)で収集された。これらの例では、決定されたプラズマパラメータはプラズマ密度であり、各場合において、時間の関数としてプロットされた。データ収集が高速度であることにより、プロットされたデータ点は実線であるように見える。例示的なプロットでは、データ収集は普通ハードウェア限界により約27秒で遮断される。実施例1から6で使用されるレシピは、以下の条件の範囲内のエッチング処理を含む。チャンバ圧力:50〜150ミリトール、2MHzRF電力;2600〜3600W、27MHzRF電力:1700〜2500W、使用ガス;250〜350sccmのAr、13〜23sccmのC4F8、4〜12sccmのO2
【0036】
[実施例1]
様々な処理を、プラズマ処理チャンバ内で行うことができる。エッチング及びレジスト除去処理は普通、プラズマ環境内で行われ、単一のプラズマチャンバ内で両方の処理を連続して行うことが望ましい。同じチャンバ内で異なるプラズマ処理ステップを行う能力が有利であると考えられる。というのは、全処理時間(「サイクル時間」)をそれによって短くすることができるからである。異なるプラズマ処理ステップが同じチャンバ内で連続して行われる場合、1つの処理ステップからの残留物は、次の処理ステップを開始する前に完全に取り除かれることが好ましい。残留物の完全な除去は処理の一貫性を促進し、「処理メモリ」−ウエハ間ベースでの処理性能のドリフトを引き起こす残留物堆積効果を少なくする。
【0037】
したがって、チャンバ洗浄が必要である場合に対応するチャンバの故障状態を決定する方法を有することが有利である。このような方法は、最適な洗浄スケジュールの決定を促進し、ユーザがウエハ上の処理又は装置性能とチャンバ状態との間の相関関係を予期することを可能にする。チャンバをあまり頻繁に洗浄し過ぎることにより生産性が減少する可能性があり、一方、チャンバをあまり頻繁に洗浄しないことにより処理ドリフトにつながる可能性がある。
【0038】
プラズマパラメータデータの第1の解析が、図6A及び6Bに与えられている。図6Aは、清浄なチャンバ内のウエハの処理中の時間の関数としてのプラズマ密度を示している。データは、RF斜面63の後に減少する傾斜61と最も高いプラズマ密度(約17.5秒での)の達成を示している。図6Bは、追加の約50個のウエハが処理された後の、同じチャンバ内で処理されたウエハに対する同じ曲線を示している。データは極めて類似した曲線を示しているが、RF斜面の後のデータの傾斜はより平坦62、すなわちあまり負ではない傾斜を有する。あまり負ではない傾斜は、プラズマエッチング処理で普通見られるタイプの処理チャンバ内のフルオロカーボンベースのポリマー副生成物の堆積を示しており、システムをその元の処理状態に回復させるのにチャンバ洗浄が必要であることを示している。
【0039】
好ましい一実施形態では、この状態は、ポストRF斜面データの傾斜の絶対値が特定の値より数字的に下になる場合などのチャンバ故障を特定することができる。したがって、この方法を行うことによって、チャンバ清浄度の喪失によるチャンバ故障を特定することが可能である。他の実施形態では、ポストRF斜面データの傾斜は、斜面と処理性能特性との間の関係を確立することによって、チャンバ清浄度の指標として使用することができる。このように、チャンバの状態を監視することができ、故障を予測することができる場合に関する決定を行うことができる。
【0040】
代替実施形態では、測定した量のポリマーは、エッチング処理の実施の前にチャンバ壁面上に意図的に被着される。このような処理は、「チャンバ調整」と呼ばれる。ポストRF斜面データの傾斜の絶対値が数値的に特定値の下になる上に詳述した方法は、チャンバがエッチング処理を開始する準備ができていないチャンバ故障を特定するために使用することができる。
【0041】
[実施例2]
定期的保守及び他の修復の間、プラズマチャンバは洗浄、修復又はアップグレードのために分解することができる。プラズマチャンバ内の処理状態は高真空下で行われるので、保守後のチャンバの適切な組立てが重要である。組立て中、チャンバ及びチャンバ内の要素を固定するのに使用されるボルトは、チャンバが最適に機能するために、しばしば正確な順序で適切に締め付けるべきである。ヘリウム通路を組み込んだシャワーヘッド電力アセンブリ内、又はウエハ逆冷却用のヘリウム通路を有する底部電極内のボルトの不適切な締付けは、プラズマ処理中のヘリウム「発光」につながる可能性があり、裏側ヘリウムはプラズマ処理中にチャンバ内に不注意に案内され、イオン化してプラズマを形成する。
【0042】
プラズマパラメータデータの第2の解析がしたがって、図7A及び7Bに提供されている。図7Aは、チャンバが不適切に締め付けられ、ヘリウムの漏洩につながっている底部電極ボルトの問題があるウエハの処理中の時間の関数としてのプラズマ密度を示している。データは、8×109イオン/cm3のオーダ、プラズマ密度の絶対値の約10%でのRF斜面73後の振動71を示している。プラズマのこのような振動は、視覚的に明らかではなかった。図7Bは、電極ボルトが締付けを修正された後に、同じチャンバ内で処理されたウエハに対する同じ曲線を示している。データは、極めて類似した曲線を示しているが、ポストRF斜面の振動は実質的に取り除かれている(72)。好ましい一実施形態では、チャンバ故障と分類されるこの状態は、チャンバ内の状態に関してオペレータに警告する、又はデータベースに記憶するのに使用することができる。したがって、この方法を行うことによって、ヘリウム漏洩によるチャンバ故障を特定することが可能である。
【0043】
[実施例3]
ウエハからウエハまでの処理一貫性では、処理チャンバは各ウエハに対して同じ一連のステップを受けることが好ましい。例えば、クランプ電圧は、ウエハが処理されるたびに、同じ大きさで同じ持続時間だけ加えられることが好ましい。ガス流は、設定された流量及び持続時間を達成しなければならず、これらの持続時間中の処理ステップ持続時間及びプラズマ状態は、一貫性のあるウエハ間処理を保証するために、高程度の正確さで再現しなければならない。したがって、一定のままであることが期待される場合、システムのパラメータが処理中にシフトすることは望ましくない。特に、RF整合システムが所望の調整点を見つけた後に、システムはエッチングステップ全体を通してその点を保持すべきであることが期待される。エッチングステップ中の整合システムのランダムな再調整は、未制御の処理変化につながる可能性がある。
【0044】
プラズマパラメータデータの第3の解析がしたがって、図8A及び8Bに提供されている。図8Aは、整合システムが再調整される、ウエハの処理中の時間の関数としてのプラズマ密度を示している。この実施例では、再調整はRF斜面85の開始の約7秒後で、ポストRF斜面期間中に起こり、データ内の短い振動81につながる。プラズマ密度内の振動の振幅は、プラズマ密度の絶対値の5%未満であり、持続時間は5秒未満である。イベントは、整合システム再調整イベントとして、図8Bのスクリーン画像で確認される。図8Bは、時間の関数として2MHz及び27MHzのRF源周波数を示す第1の組の2つの曲線83、及びワットでの2MHz及び27MHzのRF前方電力を示す第2の組の2つの曲線84を示している。RF斜面86の開始の約7秒後に対応する時間における、2MHzの前方電力82で観察される急上昇は、図8Aで見られる再調整イベントを確認する。
【0045】
好ましい一実施形態では、システム故障として分類されるこの状態は、処理されている特定のウエハが処理中に再調整を受けていることをオペレータ又はウエハ追跡システムに警告するのに使用することができる。例えば、整合システム再調整イベントが非連続処理中のランダムな時に起こるという決定により、システム故障が存在し、プラズマシステムの検査が必要であると決定することができる。任意の整合システム再調整イベントの検出は、ハードウェア故障又は他のタイプの故障が起こっている可能性があることを示している。したがって、この方法を行うことによって、整合システム再調整イベントの発生によるシステム故障を特定することが可能である。これに応じて、オペレータは処理を停止し、保守処理を開始することができる。
【0046】
[実施例4]
処理一貫性及びチャンバ診断では、システムに関する追加の要素が有用である可能性がある。あらゆるシステムの望ましい特徴は安定性である。エッチング処理の間に、プラズマに対するかく乱はエッチング速度の変化などの処理エラーにつながる可能性がある。これは、故障している質量流制御装置又は他のハードウェアエラーによる可能性がある。別の望ましい特徴は、速い安定化速度である。かく乱後に、システムはその適切な均衡点に迅速に戻るべきである。回復処理における余分な遅延はまた、プラズマ生成ハードウェアの調査を必要とする故障の特徴である。
【0047】
プラズマパラメータデータの第4の解析がしたがって、図9に提供されている。上に論じた他のグラフと同様に、図9のグラフは時間の関数としてのプラズマ密度を示しているが、この場合、尺度は移動及び拡張され、それによってRF斜面後の11秒のみが示されている。整合調整を示す振動は、91で示される、17秒の周りに存在し、まるまる約1秒かかる調整の後の安定性を示している。この図はまた、約0.5秒だけしか続かない再調整イベントを示している。
【0048】
好ましい一実施形態では、この状態を使用して、プラズマシステム又は個別のプラズマシステムに関する特定の特性を確立することができる。このような特性は、個別のチャンバ内の欠陥のチャンバ間特徴化及び特定に有用である可能性がある。この状態の原因としては、プラズマ閉じ込めの維持、及び設定ガス流の維持に関するハードウェアの故障が挙げられる。このような故障の検出の際、ウエハ処理を停止し、ウエハを廃棄することができる。整合調整と再調整イベントとの区別は、他のセンサとの相関関係によって確立することができる。他のセンサがより低い周波数、例えば0.1Hzで関連する整合データを記録する場合、イベントは再調整イベントであると理解することができる。したがって、この方法を行うことによって、悪い安定化速度の発生によるシステム故障を特定することが可能である。
【0049】
[実施例5]
あらゆるシステムの別の望ましい特性は、プラズマ特性がウエハ間で一定なままであるということである。このような特性の間で、プラズマ密度及びイオン流束は重要である。チャンバ故障イベントが、プラズマ密度又はイオン流がシフトする処理中に起こると、ウエハ処理に対する悪影響が起こる可能性がある。特に、エッチング速度が影響を受ける可能性があることが知られている。
【0050】
プラズマパラメータデータの第5の解析がしたがって、図10に提供されている。この場合、グラフは連続して処理される2つのウエハに対する時間の関数としてのプラズマ密度を示している。それらのウエハは、データ曲線103で示される「ウエハn」、及びデータ曲線104で示される「ウエハn+1」と呼ばれる(ウエハn+1に対するスプリアスデータ点が削除されている)。それらの曲線は重なっており、データが5秒で始まる時点から、約14秒で起こる101で示したRF斜面の始めまで、実質的に区別がつかない。約17秒で起こるウエハn+1のRF斜面の間に、プラズマは閉じ込められる、すなわち閉じ込めリングを通したプラズマの漏洩が起こる。これは、部分的回復の後の、102で示すプラズマ密度の急激な低下によって影響を受ける。プラズマ密度の低下は、プラズマ密度の絶対値の15%を超える。104で示すようなウエハn+1に対する処理の残りは、処理シーケンス103内の同じ時間に対するウエハnの処理中に起こるプラズマ密度より低いプラズマ密度で起こることが分かる。プラズマ密度のこのような減少の可能性のある結果は、ウエハが悪く処理される又は誤処理されることである。
【0051】
好ましい一実施形態では、チャンバ故障又はシステム故障である可能性があるこのような状態を使用して、個別のプラズマチャンバに関する特定の特性を確立することができる。このような特性は、チャンバ間特徴化と、個別のチャンバ内の欠陥の特定に有用である可能性がある。この状態の原因としては、プラズマ閉じ込め又はガス流の維持に関するハードウェアの故障、汚いチャンバ状態、及び、レジスト膜内の汚染物質など表面上に望ましくない物質を有するウエハが挙げられる。このような故障の検出の際、ウエハ処理を停止し、ウエハを廃棄することができる。したがって、この方法を行うことによって、閉じ込めの損失による故障を特定することが可能である。
【0052】
プラズマパラメータデータの解析はまた、同じタイプのウエハ上で同じ処理レシピを行う一群のプラズマチャンバ内でチャンバ整合の欠如を特定する、又は新しいチャンバ、又は洗浄あるいは保守が行われたチャンバが特定のチャンバ品質仕様と一致する又はこれを満たすことを保証するために使用することができる。例えば、一群の処理チャンバは構造的に同一であり、同じ処理状態で操作することができ、PIFプローブで得られるデータを使用した操作条件の下でこのようなチャンバの性能を比較することが望ましい。したがって、チャンバ整合を行うことによって、適切に機能していないチャンバを特定することが可能である。
【0053】
好ましい一実施形態では、プラズマパラメータは、プラズマチャンバの内部に露出された感知表面を有するプローブの使用によって得られ、より好ましくは、プローブは接地電極などプラズマチャンバのチャンバ壁面又は構成部品内に埋め込まれている。多片シャワーヘッド電極アセンブリの内側電極部内に埋め込まれた、図2に示すものなどのPIFプローブの例示的な略図が、図11に示されている。プローブ110は、平面ディスク113の感知表面117がシャワーヘッド電極118と同一の広がりである(例えば、同一平面)であるように配置されていることが好ましく、それによってプローブはプラズマ上への衝撃を最小にする。プローブは、アルミニウム又はグラファイトなどの材料でできた導体111を備えている。図3に略図的に示すものなどの、プローブを操作するのに必要な電気回路を確立するためには、プローブ、導体111に対する電気接続は、チャンバ内側からチャンバ外側まで壁面、窓、真空貫通接続又はコネクタ(図示せず)を通してチャンバ閉じ込めを横切ることが好ましい。当業者は、プローブ110がプローブ20に相当し、平面ディスク113が平面ディスク21に相当し、導体111が導体22に相当することが分かるだろう。図2の保護リング23及び絶縁体24は、図11の絶縁体112に相当する。
【0054】
導体111は、プローブを電極アセンブリから電気絶縁するために、電気絶縁体112によって囲まれている。絶縁体112は、石英などの絶縁材料でできていることが好ましく、プローブ211の背面を備えた表面を有する。プラズマ及びプラズマシースに対するかく乱は、シリコンなどの、シャワーヘッド電極を作るのに使用されるのと同じ材料で平面ディスク113を作ることによって小さくされることが好ましい。さらに、電極118が所与の抵抗までドーピングされる場合、平面ディスク113は同じ抵抗までドーピングされることが好ましいが、必要に応じて異なる抵抗力にドーピングされてもよい。例えば、石英絶縁体112がRF経路をかく乱する場合、一定のRF経路は、電極118のドーピングレベルと異なるディスク113のドーピングレベルでより良く達成することができる。必要に応じて、プローブ110は他のチャンバ表面内に取り付けることができ、かつ/又は、感知表面117はプラズマ処理状態に適合する誘電コーティングで覆うことができ、例えば、ディスク113は表面117上に陽極酸化層を備えたアルミニウム又はアルミニウム合金である可能性がある。
【0055】
さらに、プローブのプラズマへの衝撃を最小とするために、プローブの温度、及びプローブ周りのガス流を変更することができる。特に、プローブは、例えば温度制御構成部品115を使用して加熱されることが好ましい。構成部品115は、電気抵抗加熱装置であってもよく、又は加熱又は冷却することができる温度調整流体を循環させる管であってもよい。電気抵抗加熱装置は、交流又は直流電力源(図示せず)によって電力を与えることができる。加熱は、温度制御装置(図示せず)によって制御し、感知表面117の温度がシャワーヘッド電極の温度と同じであるように設定することができる。
【0056】
ガス供給貫通孔114によって通常提供されるガス流は、プローブの存在により妨げることができる。ガス流、したがってプラズマに対する妨害は、電極の後ろに配置されたグラファイト受け板119にガスを供給する共通のプレナム(図示せず)にガス通路を作り出す、プローブ内の1つ又は複数の任意のガス供給貫通孔116の使用で最小限に抑えられることが好ましい。石英絶縁体及び平面ディスク113内の同一線上のガス通路116は、連続ガス通路を形成し、プローブがない状態で存在する全体のガス分配パターンに近づくように配置されることが好ましい。好ましい一実施形態では、ガス通路は、プローブがない状態でシャワーヘッド電極内に通常配置される、プローブ内に配置される。
【0057】
多片シャワーヘッド電極アセンブリの内側電極部に埋め込まれたPIFプローブの例示的な代替実施形態の略図が、図12に示されている。平面ディスク113は、感知表面の厚さを小さくすることによって寄生容量を少なくするようになっている。平面ディスク123は、位置合わせ及び導電性を促進するために、導体122を受け、これと協働して作用するようになっている管状延長部225を有する。平面ディスク123及び導体122は、導電性板ばね125を通して機械的及び電気的に連通している。板ばね125はまた、例えばプローブの他の部品を取り除くことなく、平面ディスク123の独立した除去を可能にすることによって、組立ての容易性を改善する。
【0058】
導電性ねじ付きボルト226により、平面ディスク123の前進が、プラズマ環境への長期の露出による、ディスク123と露出したシリコン表面227との間のあらゆる微分磨耗率を補償することが可能になる。圧縮可能材料のシール127(例えば、Oリング)の存在により、ボルト226をシール127の拡張又は圧縮の限度内で前進又は後退させ、それによって表面227を所望の位置に移動させることができる。プローブ内のガス供給貫通孔が位置合わせされたままであることを保証するために、1本又は複数本のキー又はピン124は、前進している導電性ねじ付きボルト226の結果として平面ディスク123に供給されるトルクが平面ディスク123を絶縁体223に対して回転させないことを保証する。キー又はピン124を設けるためには、周囲の誘電材料223が、管状延長部225の周りで嵌合する2つの部品内にあることが好ましい。平面ディスク123及び導体122は、プローブ123、導体122、及びねじ付きボルト226を電極128及びグラファイト受け板129から電気絶縁させるように働く絶縁体223によって囲まれていることが好ましい。プローブを操作するのに必要な電気回路を確立するためには、導電性ねじ付きボルト226を通したプローブへの電気接続は、チャンバの内側からチャンバの外側まで壁面、窓、真空貫通接続又はコネクタ(図示せず)を通してチャンバ閉じ込めを横切ることが好ましい。
【0059】
絶縁体223はまた、平面ディスク123を支持し、その向きをチャンバ内部に向かって維持するように働く。絶縁体223はしたがって、プローブ121の背面を備えている。電極アセンブリからのプローブの電気絶縁は、受け板129の上側でリセス内に嵌合する上側ショルダを備えた円筒形管の形である、外側絶縁体222によって終結される。絶縁体223上の同様のショルダが絶縁体222の上側ショルダ上にあるが、絶縁体222は絶縁体223を囲んでおり、これと密接に接触している。外側絶縁体222は、電極123の下側表面及び感知表面227まで延びており、これらと同一平面の表面を有する。プラズマの露出中、外側絶縁体222は磨耗を受ける可能性がある。外側絶縁体の利点としては、プラズマ環境への露出から生じる磨耗により交換しなければならない部品の寸法及び複雑性の減少が挙げられる。
【0060】
プローブを通るガス流228は、ガス供給貫通孔229によって影響を受ける。石英絶縁体及び平面ディスク内の同一線上のガス供給貫通孔が、連続ガス通路を形成する。ガス通路は、プローブがない状態で存在する全体のガス分配パターンに近づくように配置されることが好ましい。好ましい一実施形態では、ガス通路は、プローブがない状態で通常シャワーヘッド電極内に配置される、プローブ内に配置される。
【0061】
Oリング127を使用して、導体122の位置、及び導体122のシャワーヘッドアセンブリの部分からの電気絶縁を維持する。Oリング127及びキー124は、テフロン(登録商標)などの、非伝導性、耐熱性及び機械的弾力性がある材料でできていることが好ましい。温度制御構成部品221は、電気抵抗加熱装置、又は周囲の部品温度と一致するようにプローブを加熱又は冷却することができる温度調整流体を循環させる管であってもよい。
【0062】
多片シャワーヘッド電極アセンブリの外側電極部に埋め込まれたPIFプローブの追加の例示的代替実施形態の略図が、図13に示されている。設計は、内側電極内での使用のために図12に示す設計と同様であるが、特定の変更が含まれている。この設計では、任意選択のガス供給貫通孔が省略されている。加えて、露出したシリコン表面227とシャワーヘッド電極表面との間のあらゆる微分磨耗率を補償するための平面ディスク136Aの前進の任意選択手段の詳細が、省略されている。
【0063】
図12と同様に、平面ディスク136Aは寄生容量を減少させるようになっており、位置合わせ及び導電性を促進させるために導体135を受け、これと協働して作用する管状延長部136Bを有する。延長部136Bを備えた平面ディスク136Aと導体135とは、プローブ及び導体135を周囲の電極139及びグラファイト受け板132から電気絶縁するように働く、絶縁体133によって囲まれている。絶縁体133は、平面ディスク136Aを支持し、その向きをチャンバ内部に向かって維持するように、管状延長部136Bの周りに嵌合する2部品片であることが好ましい。電極アセンブリからのプローブの電気絶縁は、受け板132内のリセスと嵌合する上側ショルダを備えた円筒形管の形をした、外部絶縁体133Aによって終結される。
【0064】
Oリング138は、導体135の位置、及び導体135のシャワーヘッドアセンブリの残りからの電気絶縁を維持するのに使用される。Oリング138は、テフロンなどの、非伝導性、耐熱性及び機械的弾力性がある材料でできていることが好ましい。温度制御板131は、グラファイト受け板132と密接に接触している。プローブとの電気接触を確立するRF供給ロッド134は、図では、導体135内に埋め込まれた図の平面と垂直である。プローブを操作するのに必要な電気回路を確立するためには、RF供給ロッド134は、チャンバ内側からチャンバ外側まで壁面、窓、真空貫通接続又はコネクタ(図示せず)を通してチャンバ閉じ込めを横切ることが好ましい。平面ディスク136Aは、板ばね、及びインターフェイス137で延長部136Bに加えられる導電性スパッタコーティングの使用により、導体135と優れた電気接触を維持する。
【0065】
1つ又は複数のプローブを含むことができるシャワーヘッドアセンブリ100の片側半分の略図が、図14に示されている。シャワーヘッドは、上部電極143と、上部電極143に固定された任意の裏当て部材142と、温度制御板141と、上部板146とを備えている。上部板146は、プラズマ処理チャンバの取外し可能な上部壁面を形成することができる。上部電極143は、内側電極部材145、及び任意の外側電極部材147を備えていることが好ましい。内側電極部材145は、単結晶シリコンでできた円筒形ディスクであることが好ましい。必要に応じて、内側及び外側電極145、147は、CVD炭化ケイ素、単結晶シリコン、又は他の適切な材料などの材料の単片で作ることができる。
【0066】
外側電極部材147は、連続部材(例えば、リングなどのポリシリコン又は炭化ケイ素部材)、又はセグメント部材(例えば、単結晶シリコンのセグメントなどの、リング構成で配置された2〜6個の別個のセグメント)であってもよい。上部電極143が多セグメント外側電極部材147を備えている実施形態では、セグメントは、下にある結合材料をプラズマへの露出から保護するために、互いに重なり合った縁部を有することが好ましい。プラズマ閉じ込めリングアセンブリ(図示せず)は、外側電極を囲んでいることが好ましい。内側電極部材145は、処理ガスを上部電極143の下のプラズマ反応チャンバ内の空間に注入するための多数のガス通路144を備えていることが好ましい。外側電極147は、電極143の周面で突起段差を形成することが好ましい。段差付き電極のさらなる詳細は、引用することによってその開示をここに合体する、同一の所有者の米国特許第6,824,627号で見ることができる。
【0067】
図14はまた、1つ又は複数のこのようなプローブを組み込むことができる、シャワーヘッド電極アセンブリ140内に埋め込まれた、図2に示すタイプのプローブの例示的な一実施形態を示している。図11及び12に示すプローブは任意のガス供給貫通孔を備えているので、上部電極143は図11及び12の118及び128にそれぞれ対応することが好ましい。また、裏当て部材142は、図11及び12の119及び129にそれぞれ対応することが好ましい。例えば、プローブ148は、図11及び図12に示すプローブと同様に、ガス供給貫通孔を備えて構成されていることが好ましい。図13に示すプローブはガス供給貫通孔を備えていないので、外側電極147は図13の電極139に対応することが好ましい。また、温度制御板141は、図13の温度制御板131に対応することが好ましい。例えば、プローブ149は、図13に示すプローブと同様に、ガス供給貫通孔なしで構成されていることが好ましい。
【0068】
好ましい一実施形態によるプラズマ処理チャンバの例示的な略図が、図15に示されている。図示したシステムは、Lam Reseach Corporationから市販されているEXELAN(商標)2300システムなどの、平行平板型プラズマシステム150である。システム150は、反応器の底部で出口に連結された真空ポンプ158によって、所望の真空圧で維持された内部157を有するチャンバを備えている。エッチングガスは、ガス供給部(図示せず)からプラズマ反応器に供給される。中密度プラズマは、RF源159からのRFエネルギーが整合ネットワーク(図示せず)を通して電力を与えられた下側電極151に供給される二重周波数配置によって反応器内で発生される。RF源159は図では、27MHz及び2MHzでRF電力を供給するように構成されているが、異なる周波数源の多くの組合せを使用することができる。プラズマ閉じ込めは、閉じ込めリング154によって補助される。上側電極153は接地され、加熱された上部板152に連結されている。基板、例えばウエハ(図示せず)は、熱いエッジリング155に囲まれた、静電チャック(ESC)156に固定されている。
【0069】
加えて、EXELAN(商標)HPTシリーズなどの他の容量結合反応器、又は、引用することによってその開示をここに合体する、共通の所有者の米国特許第6,090,304号に記載された二重周波数プラズマエッチング反応器など、RF電力が両方の電極に供給される容量結合反応器を使用することができる。好ましい実施形態を、容量結合プラズマ処理チャンバと合わせて論じたが、実施形態はまた、誘導結合プラズマ処理チャンバ(Transformer Coupled Plasma又はLam Research CorporationからのTCP(商標)プラズマ処理チャンバなど)、又は電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ処理チャンバに適用される。
【0070】
前述の図14はシャワーヘッド電極内に組み込まれた平面プローブを示しているが、プローブ表面が壁面、ライナ、閉じ込めリング、焦点リング、ガス出口を備えていない電極、ガス分配板、及び基板支持体などのチャンバ内のプラズマ環境に曝されるとすれば、プローブは他のチャンバ部品内に組み込むことができる。平面プローブは、基板近くのプラズマパラメータを測定するために上側電極の中心部に配置することができる、又は基板の上に直接配置されないように、上側電極の外側部分に配置することができる。
【0071】
別の実施形態では、プローブの感知表面がプラズマチャンバの内部に面しているように、複数のプローブが配置されている。複数のプローブは、プラズマの均一性に関する情報を提供することができる、又は内部の相対的なキャリブレーションを提供することができる。例えば、プローブはシャワーヘッド電極の中心に、又はその近くに配置することができ、追加のプローブはシャワーヘッド電極内の中心位置から異なる半径で配置することができる。本発明を、その特定の実施形態を参照して詳細に説明したが、頭記の特許請求の範囲から逸脱することなく、様々な変更及び変形を加えることができ、均等物を利用することができることは当業者には自明のことだろう。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
プラズマ処理を監視する方法であって、
プラズマチャンバ内でプラズマ処理を開始するステップと、
前記プラズマ処理に関するプラズマパラメータデータを得るステップであって、前記プラズマパラメータデータがプローブの使用により得られ、前記プローブの感知表面がプラズマに曝され、かつ前記プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面と同じ平面にあるステップと、
故障状態を示すために前記プラズマパラメータデータを評価するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項2】
前記プラズマパラメータデータを評価する方法は、
コンピュータ可読記憶媒体システム上に前記プラズマパラメータデータを記憶するステップと、
前記プラズマパラメータデータをフィルタリングするステップと、
前記プラズマパラメータデータにアルゴリズムを行うステップと、
前記プラズマパラメータデータに数学的演算を行うステップと、
前記プラズマパラメータデータを既存の基準データを比較し、それにより、解釈し、並びに、前記解釈に基づく状況報告及び警告の少なくともいずれかを発行するステップと、の任意の組合せを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマを実質的にかく乱することなく得られることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項4】
前記プローブは、高周波バイアス表面内に延びているリセス内に、又は、接地表面に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記プローブは、平面イオン流束(PIF)タイプ又は非容量結合プローブであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項6】
前記プラズマパラメータデータは、誘電プラズマインターフェイスで表面波を生成し、プラズマ密度を前記表面波に基づき測定することによって得られることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項7】
(a)前記プラズマパラメータデータが、ウエハの処理中に一連の測定値として収集され、
(b)前記プラズマパラメータデータが、ポストRF斜面プラズマ密度データを含み、かつ/又は、
(c)前記プラズマパラメータデータが、前記プラズマチャンバのRF整合システムのランダム再調整を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項8】
時間の関数としてのプラズマパラメータの前記一連の測定値が、グラフの形でプロットされていることを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項9】
前記故障状態が、処理チャンバ内の処理副生成物の堆積、又はヘリウムの漏洩であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項10】
(a)前記ポストRF斜面プラズマ密度データの前記傾斜の変化は、前記プラズマチャンバ故障状態が前記処理チャンバ内の処理副生成物の堆積であることを示すのに使用され、
(b)前記プラズマ密度の絶対値の約5%から約20%の間のRF斜面の後の前記プラズマ密度の振動は、前記プラズマチャンバ故障状態がヘリウムの漏洩であることを示すのに使用され、かつ/又は、
(c)前記RF斜面後に起こる、前記プラズマ密度の前記絶対値の5%未満の振幅と5秒未満の持続時間と前記プラズマ密度の振動は、前記プラズマチャンバ故障状態が前記整合システムのランダム再調整であることを示すのに使用される、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項11】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマチャンバ故障状態が悪い安定化速度の発生であることを示すのに使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項12】
整合調整後の前記プラズマ密度の振幅の安定性は、その適切な均衡点に戻る前に約0.5秒以上かかり、前記プラズマチャンバ故障状態が悪い安定化速度の発生であることを示すことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項13】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマチャンバ故障状態がプラズマ閉じ込めの損失の発生であることを示すのに使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項14】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマチャンバ故障状態が、同じタイプのウエハ上で同じ処理レシピを行う一群のプラズマチャンバ内でチャンバの整合の欠如の発生であることを示すのに使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項15】
(a)前記状況報告及び警告の少なくともいずれかは、前記システム内で修正ステップを開始させ、
(b)前記状況報告及び警告の少なくともいずれかは、ログ含有ウエハ履歴内に前記解釈を記録させ、かつ/又は、
(c)前記状況報告及び警告の少なくともいずれかは、前記プラズマチャンバ内のウエハの処理を停止させる、ことを特徴とする請求項2に記載の方法。
【請求項16】
請求項1に記載の方法を行う装置であって、
(a)前記プローブが、前記壁面内、又は、シャワーヘッド電極、ライナ、閉じ込めリング、焦点リング、ガス出口を備えていない電極、ガス分配板、及び基板支持体のいずれかであるプラズマ処理チャンバの構成部品に埋め込まれており、
(b)前記プローブが温度制御構成部品を使用して加熱され、
(c)前記プローブは、前記プローブの感知表面と前記プローブが中に埋め込まれたチャンバ構成部品の隣接する周囲の表面との間の微分磨耗率を補償することが可能であり、かつ/又は、
(d)前記プローブは、容量結合プラズマ処理チャンバ、誘導結合プラズマ処理チャンバ、及び電子サイクロトロン共鳴プラズマ処理チャンバのいずれかに埋め込まれている、ことを特徴とする装置。
【請求項17】
前記PIFプローブが、多片シャワーヘッド電極アセンブリの前記内側電極部又は外側電極部内に埋め込まれていることを特徴とする請求項16に記載の装置。
【請求項18】
前記プローブがシャワーヘッド電極内に配置され、前記プローブは、前記プローブの前記感知表面から背面へ貫通するガス通路を作り出す1つ又は複数のガス供給貫通孔を備えており、(a)前記ガス供給貫通孔が、前記プローブのない状態では存在する全ガス分配パターンに近づくように配置される、又は(b)前記ガス供給貫通孔が、前記プローブのない状態では前記シャワーヘッド電極内に配置されるが、前記プローブ内に配置されることを特徴とする請求項16に記載の装置。
【請求項19】
前記プラズマパラメータデータが、複数のプローブの使用によって得られることを特徴とする請求項1に記載の装置。
【請求項20】
前記複数のプローブは、前記プローブそれぞれの感知表面が前記プラズマに曝され、前記プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面と実質的に同一平面であるように配置されていることを特徴とする請求項18に記載の装置。
【請求項1】
プラズマ処理を監視する方法であって、
プラズマチャンバ内でプラズマ処理を開始するステップと、
前記プラズマ処理に関するプラズマパラメータデータを得るステップであって、前記プラズマパラメータデータがプローブの使用により得られ、前記プローブの感知表面がプラズマに曝され、かつ前記プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面と同じ平面にあるステップと、
故障状態を示すために前記プラズマパラメータデータを評価するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項2】
前記プラズマパラメータデータを評価する方法は、
コンピュータ可読記憶媒体システム上に前記プラズマパラメータデータを記憶するステップと、
前記プラズマパラメータデータをフィルタリングするステップと、
前記プラズマパラメータデータにアルゴリズムを行うステップと、
前記プラズマパラメータデータに数学的演算を行うステップと、
前記プラズマパラメータデータを既存の基準データを比較し、それにより、解釈し、並びに、前記解釈に基づく状況報告及び警告の少なくともいずれかを発行するステップと、の任意の組合せを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマを実質的にかく乱することなく得られることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項4】
前記プローブは、高周波バイアス表面内に延びているリセス内に、又は、接地表面に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記プローブは、平面イオン流束(PIF)タイプ又は非容量結合プローブであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項6】
前記プラズマパラメータデータは、誘電プラズマインターフェイスで表面波を生成し、プラズマ密度を前記表面波に基づき測定することによって得られることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項7】
(a)前記プラズマパラメータデータが、ウエハの処理中に一連の測定値として収集され、
(b)前記プラズマパラメータデータが、ポストRF斜面プラズマ密度データを含み、かつ/又は、
(c)前記プラズマパラメータデータが、前記プラズマチャンバのRF整合システムのランダム再調整を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項8】
時間の関数としてのプラズマパラメータの前記一連の測定値が、グラフの形でプロットされていることを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項9】
前記故障状態が、処理チャンバ内の処理副生成物の堆積、又はヘリウムの漏洩であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項10】
(a)前記ポストRF斜面プラズマ密度データの前記傾斜の変化は、前記プラズマチャンバ故障状態が前記処理チャンバ内の処理副生成物の堆積であることを示すのに使用され、
(b)前記プラズマ密度の絶対値の約5%から約20%の間のRF斜面の後の前記プラズマ密度の振動は、前記プラズマチャンバ故障状態がヘリウムの漏洩であることを示すのに使用され、かつ/又は、
(c)前記RF斜面後に起こる、前記プラズマ密度の前記絶対値の5%未満の振幅と5秒未満の持続時間と前記プラズマ密度の振動は、前記プラズマチャンバ故障状態が前記整合システムのランダム再調整であることを示すのに使用される、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項11】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマチャンバ故障状態が悪い安定化速度の発生であることを示すのに使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項12】
整合調整後の前記プラズマ密度の振幅の安定性は、その適切な均衡点に戻る前に約0.5秒以上かかり、前記プラズマチャンバ故障状態が悪い安定化速度の発生であることを示すことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項13】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマチャンバ故障状態がプラズマ閉じ込めの損失の発生であることを示すのに使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項14】
前記プラズマパラメータデータは、前記プラズマチャンバ故障状態が、同じタイプのウエハ上で同じ処理レシピを行う一群のプラズマチャンバ内でチャンバの整合の欠如の発生であることを示すのに使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項15】
(a)前記状況報告及び警告の少なくともいずれかは、前記システム内で修正ステップを開始させ、
(b)前記状況報告及び警告の少なくともいずれかは、ログ含有ウエハ履歴内に前記解釈を記録させ、かつ/又は、
(c)前記状況報告及び警告の少なくともいずれかは、前記プラズマチャンバ内のウエハの処理を停止させる、ことを特徴とする請求項2に記載の方法。
【請求項16】
請求項1に記載の方法を行う装置であって、
(a)前記プローブが、前記壁面内、又は、シャワーヘッド電極、ライナ、閉じ込めリング、焦点リング、ガス出口を備えていない電極、ガス分配板、及び基板支持体のいずれかであるプラズマ処理チャンバの構成部品に埋め込まれており、
(b)前記プローブが温度制御構成部品を使用して加熱され、
(c)前記プローブは、前記プローブの感知表面と前記プローブが中に埋め込まれたチャンバ構成部品の隣接する周囲の表面との間の微分磨耗率を補償することが可能であり、かつ/又は、
(d)前記プローブは、容量結合プラズマ処理チャンバ、誘導結合プラズマ処理チャンバ、及び電子サイクロトロン共鳴プラズマ処理チャンバのいずれかに埋め込まれている、ことを特徴とする装置。
【請求項17】
前記PIFプローブが、多片シャワーヘッド電極アセンブリの前記内側電極部又は外側電極部内に埋め込まれていることを特徴とする請求項16に記載の装置。
【請求項18】
前記プローブがシャワーヘッド電極内に配置され、前記プローブは、前記プローブの前記感知表面から背面へ貫通するガス通路を作り出す1つ又は複数のガス供給貫通孔を備えており、(a)前記ガス供給貫通孔が、前記プローブのない状態では存在する全ガス分配パターンに近づくように配置される、又は(b)前記ガス供給貫通孔が、前記プローブのない状態では前記シャワーヘッド電極内に配置されるが、前記プローブ内に配置されることを特徴とする請求項16に記載の装置。
【請求項19】
前記プラズマパラメータデータが、複数のプローブの使用によって得られることを特徴とする請求項1に記載の装置。
【請求項20】
前記複数のプローブは、前記プローブそれぞれの感知表面が前記プラズマに曝され、前記プラズマチャンバ内の壁面又は構成部品表面と実質的に同一平面であるように配置されていることを特徴とする請求項18に記載の装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【公開番号】特開2012−138366(P2012−138366A)
【公開日】平成24年7月19日(2012.7.19)
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願2012−44130(P2012−44130)
【出願日】平成24年2月29日(2012.2.29)
【分割の表示】特願2009−514303(P2009−514303)の分割
【原出願日】平成19年5月25日(2007.5.25)
【出願人】(592010081)ラム リサーチ コーポレーション (467)
【氏名又は名称原語表記】LAM RESEARCH CORPORATION
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年7月19日(2012.7.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−44130(P2012−44130)
【出願日】平成24年2月29日(2012.2.29)
【分割の表示】特願2009−514303(P2009−514303)の分割
【原出願日】平成19年5月25日(2007.5.25)
【出願人】(592010081)ラム リサーチ コーポレーション (467)
【氏名又は名称原語表記】LAM RESEARCH CORPORATION
【Fターム(参考)】
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