半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置
【課題】簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することのできる半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】処理チャンバ内に基板を収容し、基板に所定の処理を施す半導体製造装置の処理チャンバ内に設けられた処理チャンバ内パーツを加熱する半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、第1の処理チャンバ内パーツを透過し、第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなる第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源を処理チャンバの外側に配設し、加熱用の光を第1の処理チャンバ内パーツを透過させて第2の処理チャンバ内パーツに照射し、第2の処理チャンバ内パーツを加熱する。
【解決手段】処理チャンバ内に基板を収容し、基板に所定の処理を施す半導体製造装置の処理チャンバ内に設けられた処理チャンバ内パーツを加熱する半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、第1の処理チャンバ内パーツを透過し、第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなる第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源を処理チャンバの外側に配設し、加熱用の光を第1の処理チャンバ内パーツを透過させて第2の処理チャンバ内パーツに照射し、第2の処理チャンバ内パーツを加熱する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、プラズマ処理装置等の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツを加熱するための半導体製造装置のチャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、半導体製造装置による半導体装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板等の基板を気密封止可能とされた処理チャンバ内に収容し、この処理チャンバ内でプラズマ等を作用させてエッチングや成膜等の処理を施すことが行われている。
【0003】
また、上記の半導体製造装置における処理チャンバ内パーツの加熱方法としては、例えば、半導体ウエハを載置する載置台上に、半導体ウエハの周囲を囲むように配置されたフォーカスリングを加熱する際に、フォーカスリングに抵抗加熱ヒータを設ける技術が知られている。
【0004】
しかしながら、例えば処理チャンバ内で高周波電力によりプラズマを発生させる半導体製造装置では、フォーカスリングのヒータに電力を供給するための配線に向けて異常放電が生じる可能性があり、また高周波電力が上記配線からリークする可能性もある。このため、フォーカスリングの内部に誘導発熱部を設け、真空処理チャンバ内に設けた誘導コイルによって発生させる磁場により、フォーカスリングを誘導加熱する技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2008−159931号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記のように半導体製造装置の処理チャンバ内パーツを加熱する技術として、フォーカスリングの内部に誘導発熱部を設け、真空処理チャンバ内に設けた誘導コイルによって発生させる磁場により、フォーカスリングを誘導加熱する技術が知られている。しかしながら、このような誘導加熱を行うためには、フォーカスリングへの誘導発熱部の設置及び誘導コイルの設置等が必要となり、大幅な装置の改造が必要となるとともに、製造コストが増大するという問題がある。
【0007】
本発明は、上記従来の事情に対処してなされたもので、簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することのできる半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法は、処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置の前記処理チャンバ内に設けられた処理チャンバ内パーツを加熱する半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなる第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源を前記処理チャンバの外側に配設し、前記加熱用の光を前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱することを特徴とする。
【0009】
本発明の半導体製造装置は、処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置であって、前記処理チャンバ内に設けられた第1の処理チャンバ内パーツと、前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなり、前記処理チャンバ内に設けられた第2の処理チャンバ内パーツと、前記処理チャンバの外側に配設され、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源とを具備し、前記加熱用光源からの前記加熱用の光を、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱するよう構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することのできる半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明の一実施形態に係る半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法を説明するための図。
【図2】本発明の他の実施形態に係る半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法を説明するための図。
【図3】石英における波長と透過率の関係を示すグラフ。
【図4】シリコンにおける波長と透過率の関係を示すグラフ。
【図5】ダイヤモンドライクカーボンにおける波長と透過率の関係を示すグラフ。
【図6】本発明の一実施形態に係る半導体製造装置の構成を模式的に示す図。
【図7】図6の半導体製造装置の要部構成を模式的に示す図。
【図8】図6の半導体製造装置の変形例の要部構成を模式的に示す図。
【図9】本発明の他の実施形態に係る半導体製造装置の構成を模式的に示す図。
【図10】図9の半導体製造装置の要部構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の詳細を、図面を参照して実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法を説明するための図である。
【0013】
図1に示す例では、半導体製造装置処理チャンバ内に、処理チャンバ内パーツとして、最上部に石英からなる石英製処理チャンバ内パーツ10が配置され、その下部にシリコンからなるシリコン製処理チャンバ内パーツ11が配置され、その下部にアルミナ等のセラミックスからなるセラミックス製処理チャンバ内パーツ12が配置されている。なお、シリコン製処理チャンバ内パーツ11の代わりにダイヤモンドライクカーボン膜をコートした処理チャンバ内パーツを用いてもよく、セラミックス製処理チャンバ内パーツ12の代わりに表面に陽極酸化処理(アルマイト処理)を施されたアルミニウムからなる処理チャンバ内パーツを用いてもよい。
【0014】
縦軸を透過率、横軸を波長とした図3のグラフは、石英(厚さ2mm)について光の波長と透過率との関係を示すものである。同図に示すように、石英は、略3000nm未満の波長域の光に対して高い透過率を示す。なお、波長が略200nm程度よりも短くなると透過率が低くなる傾向がある。
【0015】
また、縦軸を透過率、横軸を波長とした図4のグラフは、単結晶シリコン(厚さ0.8mm)について光の波長と透過率との関係を示すものである。同図に示すように、単結晶シリコンは、略1000nm程度より長い波長域の光に対して一定(図4の例では50%程度)の透過率を示す一方、略1000nm以下の波長域の光はほとんど透過しない。
【0016】
また、縦軸を透過率、横軸を波長とした図5のグラフは、ダイヤモンドライクカーボン(厚さ5μm)について光の波長と透過率との関係を示すものである。同図に示すように、ダイヤモンドライクカーボンは、略600nm以上の波長域の光に対して高い透過率を示す一方、略500nm未満の波長域の光の透過率は低い。
【0017】
上記の図3〜5に示された光の波長と透過率との関係から、波長が略1000nm以下の波長域(但し波長200nm程度以上)の加熱用光を用いれば、この加熱用光を、石英製処理チャンバ内パーツ10を透過させてシリコン製処理チャンバ内パーツ11に照射し、シリコン製処理チャンバ内パーツ11に吸収させて加熱することができる。この場合、ランプのように波長範囲が広い光源を用いた場合、加熱用の光パワーの半分以上が、波長が略1000nm以下に集中しているものを用いればよい。なお、シリコン製処理チャンバ内パーツ11の代わりにダイヤモンドライクカーボンからなる処理チャンバ内パーツを用いた場合は、波長が約500nmより短い波長域(但し波長200nm程度以上)の加熱用光を用いることが好ましい。また、ダイヤモンドライクカーボンは広い透過特性を持つため、チャンバ内パーツの表面保護材料として使用しても、保護したパーツの加熱特性を損うことなく加熱が可能である。
【0018】
また、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域の加熱用光を用いれば、この加熱用光を、石英製処理チャンバ内パーツ10を透過させ、シリコン製処理チャンバ内パーツ11に照射、吸収させてシリコン製処理チャンバ内パーツ11を加熱することができる。これとともに、例えば半分程度の加熱用光を、シリコン製処理チャンバ内パーツ11を透過させて、セラミックス製処理チャンバ内パーツ12に照射、吸収させてセラミックス製処理チャンバ内パーツ12を加熱することができる。この場合、ランプのように波長範囲が広い光源を用いた場合、加熱用の光パワーの半分以上が、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域に集中しているものを用いればよい。
【0019】
このように、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域の加熱用光を用いた場合、図2に示すように、石英製処理チャンバ内パーツ10のみを透過させて、セラミックス製処理チャンバ内パーツ12を加熱したり、シリコン製処理チャンバ内パーツ11のみを透過(一部吸収)させて、シリコン製処理チャンバ内パーツ11及びセラミックス製処理チャンバ内パーツ12を加熱する構成とすることもできる。
【0020】
なお、図1の右側部分に示すように、波長が3000nmより長い波長域の加熱用光を用いれば、最上部に設けられた石英製処理チャンバ内パーツ10を加熱することができる。
【0021】
図6は、本発明の一実施形態に係る半導体製造装置100の構成を示すものである。この半導体製造装置100は、内部を気密に閉塞可能とされた処理チャンバ101を具備しており、処理チャンバ101内には、処理を施す基板としての半導体ウエハWを載置するための載置台102が設けられている。この載置台102の上側の面(載置面)には、半導体ウエハWの周囲を囲むように円環状に形成されたフォーカスリング103が載置されている。このフォーカスリング103は、シリコン製であり、フォーカスリング103は、シリコン製処理チャンバ内パーツの一つである。
【0022】
処理チャンバ101の天井部には、天板104が設けられている。この天板104は石英製とされており、天板104は、石英製処理チャンバ内パーツの一つである。天板104の外側には、導体からなるコイル105が設けられており、このコイル105に高周波電流を流すことにより、処理チャンバ101内の処理ガスをプラズマ化して誘導結合プラズマ(ICP)を発生させるようになっている。
【0023】
コイル105の上方には、複数の加熱用光源を備えた加熱用光源ユニット107が設けられており、この加熱用光源ユニット107から、波長が3000nmより長い加熱用光108aと、波長が略1000nm以下(但し、波長が略200nm以上)の加熱用光108bの2種類の波長の加熱用光108a,108bを照射するようになっている。
【0024】
加熱用光108aは、天板104に吸収され、天板104の加熱に使用される。加熱用光108bは、天板104を透過してフォーカスリング103に吸収され、フォーカスリング103の加熱に使用される。なお、図6中109は、天板104の表面等で反射された加熱用光108a,108bを、再度天板104に向けて反射し、加熱に寄与させるための反射板である。
【0025】
図7は、上記加熱用光源ユニット107及び天板104の部分の構成の詳細を模式的に示すものであり、図7(a)は上面構成を示し、図7(b)は側面構成を示している。これらの図に示すように、加熱用光108bを発生させるための加熱用光源110bは、フォーカスリング103の形状に沿って円周上に配置されており、加熱用光108aを発生させるための加熱用光源110aは、天板104の形状に合わせて均一に分散されて配置されている。
【0026】
また、加熱用光源110bからの加熱用光108bを、効率良くフォーカスリング103に照射するため、図7(b)に示すように、天板104には、加熱用光108bの導入部104bが、設けられている。この導入部104bは、石英から円柱状に形成されており、その内部を、加熱用光108bが透過するようになっている。
【0027】
図8は、上記加熱用光源ユニット107及び天板104の部分の変形例の構成を示すものである。この例では、天板104の下側面に、シリコン製の膜111が形成されており、加熱用光源110bからの加熱用光108bで、このシリコン製の膜111を加熱する構成となっている。このため、フォーカスリング103の上方には、波長が1000nmより長く3000nm以下の波長域の加熱用光108cを照射する加熱用光源110cが設けられている。この加熱用光源110cからの加熱用光108cは、天板104を透過し、その一部がシリコン製の膜111に吸収され、透過した加熱用光108cがフォーカスリング103に照射、吸収されてフォーカスリング103を加熱するようになっている。
【0028】
上記のシリコン製の膜111の代わりにダイヤモンドライクカーボン製の膜を使用した場合、このダイヤモンドライクカーボン製の膜を加熱するための加熱用光源110bとして、波長が略500nm以下で200nm以上の波長域の加熱用光を発生させる光源を用いることが好ましい。このような波長域の加熱用光を用いれば、天板104を透過させてダイヤモンドライクカーボン製の膜に加熱用光を吸収させ、加熱することができる。
【0029】
また、フォーカスリング103を加熱するための加熱用光源110cとしては、波長が略1000nm以下で600nm以上の波長域の加熱用光を発生させる光源を用いることが好ましい。このような波長域の加熱用光を用いれば、天板104及びダイヤモンドライクカーボン製の膜を透過させてフォーカスリング103に加熱用光を吸収させ、加熱することができる。
【0030】
なお、加熱用光108b,108cを導入するための導入部104bの側壁部104cには、内部を透過する加熱用光108b,108cが内部で全反射し、外部に漏れないようにする膜の形成又は表面加工を施すことが好ましい。
【0031】
図9は、他の実施形態に係る半導体製造装置200の構成を示すものである。この半導体製造装置200は、内部を気密に閉塞可能とされた処理チャンバ201を具備しており、処理チャンバ201内には、処理を施す基板としての半導体ウエハWを載置するための載置台202が設けられている。この載置台202の上側の面(載置面)には、半導体ウエハWの周囲を囲むように円環状に形成されたフォーカスリング203が載置されている。このフォーカスリング203は、シリコン製であり、フォーカスリング203は、シリコン製処理チャンバ内パーツの一つである。
【0032】
載置台202は、下部電極として作用するものであり、この載置台202と対向するように、処理チャンバ201の天井部には、上部電極として作用するシャワーヘッド204が配設されている。
【0033】
図10(b)に示すように、シャワーヘッド204には、処理ガスをシャワー状に供給するための多数の透孔205aが形成された電極板205が設けられており、電極板205の下側面は、電極板205と同様に多数の透孔206aが形成されたシリコン板206によって覆われている。このシリコン板206は、シリコン製処理チャンバ内パーツの一つである。
【0034】
また、電極板205の上部には、処理ガスを拡散させるためのガス拡散空間207が設けられており、このガス拡散空間207内にはガス拡散板208が配設されている。このガス拡散板208は、セラミックス(本実施形態ではアルミナ)から構成されている。
【0035】
このように構成された半導体製造装置200では、下部電極として作用する載置台202と、上部電極として作用するシャワーヘッド204との間に印加した高周波電力によって、シャワーヘッド204から処理チャンバ201内に導入した処理ガスをプラズマ化し、載置台202上に載置された半導体ウエハWの処理を行う。
【0036】
処理チャンバ201の上部外側には、複数の加熱用光源211a,211bを備えた加熱用光源ユニット210が設けられている。加熱用光源211aは、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域の加熱用光212aを照射するようになっている。この加熱用光212aは、シャワーヘッド204の部分に設けられた複数の石英製の光導入部204aを透過した後、その一部がシリコン板206に吸収されてシリコン板206を加熱する。そして、シリコン板206を透過した加熱用光212aが、フォーカスリング203に照射、吸収され、フォーカスリング203を加熱するようになっている。
【0037】
また、加熱用光源211bは、波長が略1000nm以下(但し、波長が略200nm以上)の波長域の加熱用光212bを照射するようになっている。この加熱用光212bは、シャワーヘッド204の部分に設けられた複数の石英製の光導入部204bを透過してガス拡散板208に照射、吸収され、ガス拡散板208を加熱するようになっている。
【0038】
図10(a)に示すように、光導入部204aは、フォーカスリング203の配置位置に対応する環状領域に複数に分割されて配設されている。また、光導入部204bは、光導入部204aより内周側に位置する環状領域に複数に分割されて配設されている。そして、これらの光導入部204aに夫々加熱用光源211aが設けられ、光導入部204bに夫々加熱用光源211bが設けられている。
【0039】
以上のとおり、上述した各実施形態では、簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することができる。なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、各種の変形が可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【0040】
10…石英製処理チャンバ内パーツ、11……シリコン製処理チャンバ内パーツ、12……セラミックス製処理チャンバ内パーツ。
【技術分野】
【0001】
本発明は、プラズマ処理装置等の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツを加熱するための半導体製造装置のチャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、半導体製造装置による半導体装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板等の基板を気密封止可能とされた処理チャンバ内に収容し、この処理チャンバ内でプラズマ等を作用させてエッチングや成膜等の処理を施すことが行われている。
【0003】
また、上記の半導体製造装置における処理チャンバ内パーツの加熱方法としては、例えば、半導体ウエハを載置する載置台上に、半導体ウエハの周囲を囲むように配置されたフォーカスリングを加熱する際に、フォーカスリングに抵抗加熱ヒータを設ける技術が知られている。
【0004】
しかしながら、例えば処理チャンバ内で高周波電力によりプラズマを発生させる半導体製造装置では、フォーカスリングのヒータに電力を供給するための配線に向けて異常放電が生じる可能性があり、また高周波電力が上記配線からリークする可能性もある。このため、フォーカスリングの内部に誘導発熱部を設け、真空処理チャンバ内に設けた誘導コイルによって発生させる磁場により、フォーカスリングを誘導加熱する技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2008−159931号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記のように半導体製造装置の処理チャンバ内パーツを加熱する技術として、フォーカスリングの内部に誘導発熱部を設け、真空処理チャンバ内に設けた誘導コイルによって発生させる磁場により、フォーカスリングを誘導加熱する技術が知られている。しかしながら、このような誘導加熱を行うためには、フォーカスリングへの誘導発熱部の設置及び誘導コイルの設置等が必要となり、大幅な装置の改造が必要となるとともに、製造コストが増大するという問題がある。
【0007】
本発明は、上記従来の事情に対処してなされたもので、簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することのできる半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法は、処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置の前記処理チャンバ内に設けられた処理チャンバ内パーツを加熱する半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなる第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源を前記処理チャンバの外側に配設し、前記加熱用の光を前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱することを特徴とする。
【0009】
本発明の半導体製造装置は、処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置であって、前記処理チャンバ内に設けられた第1の処理チャンバ内パーツと、前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなり、前記処理チャンバ内に設けられた第2の処理チャンバ内パーツと、前記処理チャンバの外側に配設され、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源とを具備し、前記加熱用光源からの前記加熱用の光を、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱するよう構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することのできる半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法及び半導体製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明の一実施形態に係る半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法を説明するための図。
【図2】本発明の他の実施形態に係る半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法を説明するための図。
【図3】石英における波長と透過率の関係を示すグラフ。
【図4】シリコンにおける波長と透過率の関係を示すグラフ。
【図5】ダイヤモンドライクカーボンにおける波長と透過率の関係を示すグラフ。
【図6】本発明の一実施形態に係る半導体製造装置の構成を模式的に示す図。
【図7】図6の半導体製造装置の要部構成を模式的に示す図。
【図8】図6の半導体製造装置の変形例の要部構成を模式的に示す図。
【図9】本発明の他の実施形態に係る半導体製造装置の構成を模式的に示す図。
【図10】図9の半導体製造装置の要部構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の詳細を、図面を参照して実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法を説明するための図である。
【0013】
図1に示す例では、半導体製造装置処理チャンバ内に、処理チャンバ内パーツとして、最上部に石英からなる石英製処理チャンバ内パーツ10が配置され、その下部にシリコンからなるシリコン製処理チャンバ内パーツ11が配置され、その下部にアルミナ等のセラミックスからなるセラミックス製処理チャンバ内パーツ12が配置されている。なお、シリコン製処理チャンバ内パーツ11の代わりにダイヤモンドライクカーボン膜をコートした処理チャンバ内パーツを用いてもよく、セラミックス製処理チャンバ内パーツ12の代わりに表面に陽極酸化処理(アルマイト処理)を施されたアルミニウムからなる処理チャンバ内パーツを用いてもよい。
【0014】
縦軸を透過率、横軸を波長とした図3のグラフは、石英(厚さ2mm)について光の波長と透過率との関係を示すものである。同図に示すように、石英は、略3000nm未満の波長域の光に対して高い透過率を示す。なお、波長が略200nm程度よりも短くなると透過率が低くなる傾向がある。
【0015】
また、縦軸を透過率、横軸を波長とした図4のグラフは、単結晶シリコン(厚さ0.8mm)について光の波長と透過率との関係を示すものである。同図に示すように、単結晶シリコンは、略1000nm程度より長い波長域の光に対して一定(図4の例では50%程度)の透過率を示す一方、略1000nm以下の波長域の光はほとんど透過しない。
【0016】
また、縦軸を透過率、横軸を波長とした図5のグラフは、ダイヤモンドライクカーボン(厚さ5μm)について光の波長と透過率との関係を示すものである。同図に示すように、ダイヤモンドライクカーボンは、略600nm以上の波長域の光に対して高い透過率を示す一方、略500nm未満の波長域の光の透過率は低い。
【0017】
上記の図3〜5に示された光の波長と透過率との関係から、波長が略1000nm以下の波長域(但し波長200nm程度以上)の加熱用光を用いれば、この加熱用光を、石英製処理チャンバ内パーツ10を透過させてシリコン製処理チャンバ内パーツ11に照射し、シリコン製処理チャンバ内パーツ11に吸収させて加熱することができる。この場合、ランプのように波長範囲が広い光源を用いた場合、加熱用の光パワーの半分以上が、波長が略1000nm以下に集中しているものを用いればよい。なお、シリコン製処理チャンバ内パーツ11の代わりにダイヤモンドライクカーボンからなる処理チャンバ内パーツを用いた場合は、波長が約500nmより短い波長域(但し波長200nm程度以上)の加熱用光を用いることが好ましい。また、ダイヤモンドライクカーボンは広い透過特性を持つため、チャンバ内パーツの表面保護材料として使用しても、保護したパーツの加熱特性を損うことなく加熱が可能である。
【0018】
また、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域の加熱用光を用いれば、この加熱用光を、石英製処理チャンバ内パーツ10を透過させ、シリコン製処理チャンバ内パーツ11に照射、吸収させてシリコン製処理チャンバ内パーツ11を加熱することができる。これとともに、例えば半分程度の加熱用光を、シリコン製処理チャンバ内パーツ11を透過させて、セラミックス製処理チャンバ内パーツ12に照射、吸収させてセラミックス製処理チャンバ内パーツ12を加熱することができる。この場合、ランプのように波長範囲が広い光源を用いた場合、加熱用の光パワーの半分以上が、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域に集中しているものを用いればよい。
【0019】
このように、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域の加熱用光を用いた場合、図2に示すように、石英製処理チャンバ内パーツ10のみを透過させて、セラミックス製処理チャンバ内パーツ12を加熱したり、シリコン製処理チャンバ内パーツ11のみを透過(一部吸収)させて、シリコン製処理チャンバ内パーツ11及びセラミックス製処理チャンバ内パーツ12を加熱する構成とすることもできる。
【0020】
なお、図1の右側部分に示すように、波長が3000nmより長い波長域の加熱用光を用いれば、最上部に設けられた石英製処理チャンバ内パーツ10を加熱することができる。
【0021】
図6は、本発明の一実施形態に係る半導体製造装置100の構成を示すものである。この半導体製造装置100は、内部を気密に閉塞可能とされた処理チャンバ101を具備しており、処理チャンバ101内には、処理を施す基板としての半導体ウエハWを載置するための載置台102が設けられている。この載置台102の上側の面(載置面)には、半導体ウエハWの周囲を囲むように円環状に形成されたフォーカスリング103が載置されている。このフォーカスリング103は、シリコン製であり、フォーカスリング103は、シリコン製処理チャンバ内パーツの一つである。
【0022】
処理チャンバ101の天井部には、天板104が設けられている。この天板104は石英製とされており、天板104は、石英製処理チャンバ内パーツの一つである。天板104の外側には、導体からなるコイル105が設けられており、このコイル105に高周波電流を流すことにより、処理チャンバ101内の処理ガスをプラズマ化して誘導結合プラズマ(ICP)を発生させるようになっている。
【0023】
コイル105の上方には、複数の加熱用光源を備えた加熱用光源ユニット107が設けられており、この加熱用光源ユニット107から、波長が3000nmより長い加熱用光108aと、波長が略1000nm以下(但し、波長が略200nm以上)の加熱用光108bの2種類の波長の加熱用光108a,108bを照射するようになっている。
【0024】
加熱用光108aは、天板104に吸収され、天板104の加熱に使用される。加熱用光108bは、天板104を透過してフォーカスリング103に吸収され、フォーカスリング103の加熱に使用される。なお、図6中109は、天板104の表面等で反射された加熱用光108a,108bを、再度天板104に向けて反射し、加熱に寄与させるための反射板である。
【0025】
図7は、上記加熱用光源ユニット107及び天板104の部分の構成の詳細を模式的に示すものであり、図7(a)は上面構成を示し、図7(b)は側面構成を示している。これらの図に示すように、加熱用光108bを発生させるための加熱用光源110bは、フォーカスリング103の形状に沿って円周上に配置されており、加熱用光108aを発生させるための加熱用光源110aは、天板104の形状に合わせて均一に分散されて配置されている。
【0026】
また、加熱用光源110bからの加熱用光108bを、効率良くフォーカスリング103に照射するため、図7(b)に示すように、天板104には、加熱用光108bの導入部104bが、設けられている。この導入部104bは、石英から円柱状に形成されており、その内部を、加熱用光108bが透過するようになっている。
【0027】
図8は、上記加熱用光源ユニット107及び天板104の部分の変形例の構成を示すものである。この例では、天板104の下側面に、シリコン製の膜111が形成されており、加熱用光源110bからの加熱用光108bで、このシリコン製の膜111を加熱する構成となっている。このため、フォーカスリング103の上方には、波長が1000nmより長く3000nm以下の波長域の加熱用光108cを照射する加熱用光源110cが設けられている。この加熱用光源110cからの加熱用光108cは、天板104を透過し、その一部がシリコン製の膜111に吸収され、透過した加熱用光108cがフォーカスリング103に照射、吸収されてフォーカスリング103を加熱するようになっている。
【0028】
上記のシリコン製の膜111の代わりにダイヤモンドライクカーボン製の膜を使用した場合、このダイヤモンドライクカーボン製の膜を加熱するための加熱用光源110bとして、波長が略500nm以下で200nm以上の波長域の加熱用光を発生させる光源を用いることが好ましい。このような波長域の加熱用光を用いれば、天板104を透過させてダイヤモンドライクカーボン製の膜に加熱用光を吸収させ、加熱することができる。
【0029】
また、フォーカスリング103を加熱するための加熱用光源110cとしては、波長が略1000nm以下で600nm以上の波長域の加熱用光を発生させる光源を用いることが好ましい。このような波長域の加熱用光を用いれば、天板104及びダイヤモンドライクカーボン製の膜を透過させてフォーカスリング103に加熱用光を吸収させ、加熱することができる。
【0030】
なお、加熱用光108b,108cを導入するための導入部104bの側壁部104cには、内部を透過する加熱用光108b,108cが内部で全反射し、外部に漏れないようにする膜の形成又は表面加工を施すことが好ましい。
【0031】
図9は、他の実施形態に係る半導体製造装置200の構成を示すものである。この半導体製造装置200は、内部を気密に閉塞可能とされた処理チャンバ201を具備しており、処理チャンバ201内には、処理を施す基板としての半導体ウエハWを載置するための載置台202が設けられている。この載置台202の上側の面(載置面)には、半導体ウエハWの周囲を囲むように円環状に形成されたフォーカスリング203が載置されている。このフォーカスリング203は、シリコン製であり、フォーカスリング203は、シリコン製処理チャンバ内パーツの一つである。
【0032】
載置台202は、下部電極として作用するものであり、この載置台202と対向するように、処理チャンバ201の天井部には、上部電極として作用するシャワーヘッド204が配設されている。
【0033】
図10(b)に示すように、シャワーヘッド204には、処理ガスをシャワー状に供給するための多数の透孔205aが形成された電極板205が設けられており、電極板205の下側面は、電極板205と同様に多数の透孔206aが形成されたシリコン板206によって覆われている。このシリコン板206は、シリコン製処理チャンバ内パーツの一つである。
【0034】
また、電極板205の上部には、処理ガスを拡散させるためのガス拡散空間207が設けられており、このガス拡散空間207内にはガス拡散板208が配設されている。このガス拡散板208は、セラミックス(本実施形態ではアルミナ)から構成されている。
【0035】
このように構成された半導体製造装置200では、下部電極として作用する載置台202と、上部電極として作用するシャワーヘッド204との間に印加した高周波電力によって、シャワーヘッド204から処理チャンバ201内に導入した処理ガスをプラズマ化し、載置台202上に載置された半導体ウエハWの処理を行う。
【0036】
処理チャンバ201の上部外側には、複数の加熱用光源211a,211bを備えた加熱用光源ユニット210が設けられている。加熱用光源211aは、波長が略1000nmより長く、略3000nm以下の波長域の加熱用光212aを照射するようになっている。この加熱用光212aは、シャワーヘッド204の部分に設けられた複数の石英製の光導入部204aを透過した後、その一部がシリコン板206に吸収されてシリコン板206を加熱する。そして、シリコン板206を透過した加熱用光212aが、フォーカスリング203に照射、吸収され、フォーカスリング203を加熱するようになっている。
【0037】
また、加熱用光源211bは、波長が略1000nm以下(但し、波長が略200nm以上)の波長域の加熱用光212bを照射するようになっている。この加熱用光212bは、シャワーヘッド204の部分に設けられた複数の石英製の光導入部204bを透過してガス拡散板208に照射、吸収され、ガス拡散板208を加熱するようになっている。
【0038】
図10(a)に示すように、光導入部204aは、フォーカスリング203の配置位置に対応する環状領域に複数に分割されて配設されている。また、光導入部204bは、光導入部204aより内周側に位置する環状領域に複数に分割されて配設されている。そして、これらの光導入部204aに夫々加熱用光源211aが設けられ、光導入部204bに夫々加熱用光源211bが設けられている。
【0039】
以上のとおり、上述した各実施形態では、簡易な構成で効率良く処理チャンバ内パーツを加熱することができる。なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、各種の変形が可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【0040】
10…石英製処理チャンバ内パーツ、11……シリコン製処理チャンバ内パーツ、12……セラミックス製処理チャンバ内パーツ。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置の前記処理チャンバ内に設けられた処理チャンバ内パーツを加熱する半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなる第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源を前記処理チャンバの外側に配設し、
前記加熱用の光を前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱する
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項2】
請求項1記載の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
前記第1の処理チャンバ内パーツは石英から構成され、前記第2の処理チャンバ内パーツはシリコンから構成されている
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項3】
請求項2記載の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
前記加熱用の光パワーの半分以上が、波長1000nm以下に集中している
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項4】
請求項1記載の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
前記第1の処理チャンバ内パーツは石英又はシリコンの少なくともいずれかから構成され、前記加熱用の光パワーの半分以上が、波長1000nmより長く3000nm以下に集中している
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項5】
処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置であって、
前記処理チャンバ内に設けられた第1の処理チャンバ内パーツと、
前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなり、前記処理チャンバ内に設けられた第2の処理チャンバ内パーツと、
前記処理チャンバの外側に配設され、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源とを具備し、
前記加熱用光源からの前記加熱用の光を、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱するよう構成された
ことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項1】
処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置の前記処理チャンバ内に設けられた処理チャンバ内パーツを加熱する半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなる第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源を前記処理チャンバの外側に配設し、
前記加熱用の光を前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱する
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項2】
請求項1記載の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
前記第1の処理チャンバ内パーツは石英から構成され、前記第2の処理チャンバ内パーツはシリコンから構成されている
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項3】
請求項2記載の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
前記加熱用の光パワーの半分以上が、波長1000nm以下に集中している
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項4】
請求項1記載の半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法であって、
前記第1の処理チャンバ内パーツは石英又はシリコンの少なくともいずれかから構成され、前記加熱用の光パワーの半分以上が、波長1000nmより長く3000nm以下に集中している
ことを特徴とする半導体製造装置の処理チャンバ内パーツの加熱方法。
【請求項5】
処理チャンバ内に基板を収容し、前記基板に所定の処理を施す半導体製造装置であって、
前記処理チャンバ内に設けられた第1の処理チャンバ内パーツと、
前記第1の処理チャンバ内パーツとは異なる材料からなり、前記処理チャンバ内に設けられた第2の処理チャンバ内パーツと、
前記処理チャンバの外側に配設され、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過し、前記第2の処理チャンバ内パーツに吸収される波長域の加熱用の光を発生させる加熱用光源とを具備し、
前記加熱用光源からの前記加熱用の光を、前記第1の処理チャンバ内パーツを透過させて前記第2の処理チャンバ内パーツに照射し、前記第2の処理チャンバ内パーツを加熱するよう構成された
ことを特徴とする半導体製造装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【公開番号】特開2011−181578(P2011−181578A)
【公開日】平成23年9月15日(2011.9.15)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−42036(P2010−42036)
【出願日】平成22年2月26日(2010.2.26)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年9月15日(2011.9.15)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年2月26日(2010.2.26)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】
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