液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
【課題】液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させる。
【解決手段】ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して描画を行う描画手段と、描画手段に隣接して配設され、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定手段５１と、重量測定手段５１から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１７の駆動電力を制御する制御手段５とを備えた。
【解決手段】ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して描画を行う描画手段と、描画手段に隣接して配設され、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定手段５１と、重量測定手段５１から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１７の駆動電力を制御する制御手段５とを備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク（基板）に対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う描画手段（吐出手段）と、描画手段に隣接して配設され、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定装置とを備え、重量測定装置の測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を調整し、描画を行う液滴吐出装置が知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１７７２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしならが、従来の液滴吐出装置では、ユーザが、測定結果に基づいて駆動電力を調整していた。このため、測定結果を駆動電力に反映させるためには、ユーザによる調整の時間が必要となり、迅速な対応を図ることができなかっら。また、ユーザにとっては、調整作業が面倒であった。
【０００４】
本発明は、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させることができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う描画手段と、描画手段に隣接して配設され、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定手段と、重量測定手段から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、ユーザではなく、重量測定手段から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御する。このため、ユーザが測定結果に基づいて駆動電力を調整する構成に比べ、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させることができる。
【０００７】
この場合、描画手段は、ワークを搭載すると共に当該ワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、を有しており、Ｙ軸方向における機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上に配設され、機能液滴吐出ヘッドを吸引およびワイピングするクリーニング手段、をさらに備え、重量測定手段は、機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上において、Ｘ軸テーブルとクリーニング手段との間に配設されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッド（の吐出ノズル）を、クリーニング手段によりクリーニングしてから、重量測定手段に臨ませることができる。このため、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良による重量測定不能や重量測定不良を、有効に防止することができる。また、吸引・ワイピング、重量測定および描画から成る一連の工程のタクトタイムを短縮することができる。
【０００９】
この場合、機能液滴吐出ヘッドが複数設けられており、重量測定手段は、任意の１の機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受ける容器と、容器内の機能液の重量を測定する電子天秤と、容器の周囲に配設され、１の機能液滴吐出ヘッドから容器に対する測定吐出の際に他の機能液吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングボックスと、を有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドを設けたがために、１の機能液滴吐出ヘッドが測定吐出を行っている際に、その他の機能液滴吐出ヘッドはその測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の機能液滴吐出ヘッドに捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間にノズルが乾燥することなく、「待ち」状態後に測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【００１１】
この場合、複数の機能液滴吐出ヘッドは、Ｘ軸方向に並んでヘッド群を構成しており、重量測定手段をＸ軸方向に移動させるサブテーブルを、さらに備えたことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドを備えた場合に、各機能液滴吐出ヘッドを重量測定手段に順に臨ませる動作を、容易に行うことができる。
【００１３】
この場合、サブテーブルの移動軌跡上に配設され、電子天秤による重量測定時に容器の上部空間を覆う防風カバーを、さらに備えたことが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、重量測定時に、サブテーブルにより重量測定手段を防風カバーの下に移動させることで、電子天秤は、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。
【００１５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１７】
これらの構成によれば、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させることができる液滴吐出装置を用いたことで、高品質な電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００１８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００１９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成（インクジェット法による印刷）するものである。
【００２１】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置２と、Ｙ軸方向に延在するクリーニング装置３と、描画装置２とクリーニング装置３との間に設けられた重量測定ユニット４と、制御装置５（図８参照）とを備えている。制御装置５は、例えばＰＬＣで構成され、ＣＰＵやメモリ等を有している。この液滴吐出装置１は、例えばドライエアの雰囲気を形成可能なチャンバルーム（図示省略）に収容されている。
【００２２】
描画装置２は、Ｘ軸支持ベース１０（石定盤）上に設置されたＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸方向に直交するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設された複数（１０個）のキャリッジ１３とを有している。
【００２３】
Ｘ軸テーブル１１は、基板Ｗを搭載するセットテーブル２１と、セットテーブル２１をスライド自在に支持するＸ軸スライダ２２と、Ｘ軸スライダ２２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構２３（リニアモータ）とを有している。Ｘ軸移動機構２３により、機能液滴吐出ヘッド１７に対し、Ｘ軸スライダ２２を介してセットテーブル２１（基板Ｗ）をＸ軸方向に往復移動させることができる。
【００２４】
なお、Ｘ軸テーブル１１は、後述する検査ステージ４３および定期フラッシングユニット４５をスライド自在に支持するメンテナンス用スライダ２４をさらに有している。Ｘ軸スライダ２２とメンテナンス用スライダ２４とは、個別に移動可能である。
【００２５】
Ｙ軸テーブル１２は、支柱３１に支持されており、Ｘ軸テーブル１１およびクリーニング装置３を跨ぐように延在している。Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジ１３を吊設した複数（１０個）のブリッジプレート３２と、各ブリッジプレート３２の両端部をスライド自在に支持する一対複数組（１０組）のＹ軸スライダ３３と、各Ｙ軸スライダ３３をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸移動機構３４（リニアモータ）とを有している。一対のＹ軸移動機構３４により、各組のＹ軸スライダ３３を介して複数のキャリッジ１３をＹ軸方向に個別に移動させることができる。すなわち、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジ１３を、Ｘ軸テーブル１１、重量測定ユニット４、およびクリーニング装置３の各ユニット（後述する）間で移動させている。
【００２６】
図３に示すように、各キャリッジ１３は、キャリッジプレート３６を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載している。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に並んでヘッド群１６を構成している。そして、複数のキャリッジに搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）により、Ｙ軸方向に連続する描画ラインを形成している。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズの基板Ｗの幅に対応している。
【００２７】
各機能液滴吐出ヘッド１７は、図示しない機能液パック等から機能液が供給され、インクジェット方式（例えば圧電素子駆動）で機能液を吐出するものである。そして、後述するヘッドドライバ３８（図８参照）から駆動電力を印加することにより、複数のノズル（例えば１８０個×２列）から機能液が吐出される。この駆動電力は、制御装置５により、後述する重量測定装置５１から入力した測定結果に基づいて、制御されるようになっている（詳細は後述する）。
【００２８】
このように構成された描画装置２は、制御装置５による制御を受けながら、基板Ｗ上に機能液を吐出して描画を行う。すなわち、描画装置２は、Ｘ軸テーブル１１により、機能液滴吐出ヘッド１７に対して基板Ｗを往復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動して、基板Ｗに対する描画動作を行う。
【００２９】
図１および図２に示すように、クリーニング装置３は、Ｘ軸テーブル１１から遠い順に、Ｙ軸方向に並ぶ複数（１０個）の吸引ユニット４１と、１個のワイピングユニット４２とを備えている。複数の吸引ユニット４１とワイピングユニット４２とは、Ｙ軸テーブル１２による機能液滴吐出ヘッド１７の移動軌跡上に設けられており、各ユニットにキャリッジ１３を臨ませることができるようになっている。
【００３０】
吸引ユニット４１は、複数のキャリッジ１３に対応して、複数個設けられている。各吸引ユニット４１は、各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面を封止するヘッドキャップ（図示省略）を介して、機能液滴吐出ヘッド１７のノズルから機能液を吸引して、クリーニング動作や機能液の初期充填を行うものである。また、ワイピングユニット４２は、クリーニング動作等により機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面を、キャリッジ１３単位で、ワイピングシート４２ａを用いて拭き取るものである。
【００３１】
上述したように、メンテナンス用スライダ２４には、検査ステージ４３および定期フラッシングユニット４５が支持されている。検査ステージ４３は、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良の有無を検査するための検査吐出を受けるものである。吐出された検査パターンは、検査用カメラ４４で撮像され、制御装置５がこれを画像認識して吐出不良の有無を判断している。また、定期フラッシングユニット４５は、基板Ｗの載換え時等に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズルが乾燥しないように行う捨て吐出を、受けるためのものである。
【００３２】
図４および図５に示すように、重量測定ユニット４は、複数（４個）の重量測定装置５１と、複数の重量測定装置５１をＸ軸方向に移動させるサブテーブル５２と、サブテーブル５２の移動軌跡上に配設された防風カバーを備えている。
【００３３】
サブテーブル５２は、複数の重量測定装置５１を一括して支持する支持フレーム５６と、支持フレーム５６を介して複数の重量測定装置５１をＸ軸方向にスライド自在に支持する重量測定用スライダ５７と、重量測定用スライダ５７をＸ軸方向にスライドさせるモータ駆動の重量測定用移動機構５８とを有している。
【００３４】
複数の重量測定装置５１は、Ｙ軸方向に並設されており、１つの重量測定装置５１が１つのヘッド群１６に対応している。つまり、４個の重量測定装置５１により、２個のキャリッジ１３毎に、重量測定を行うようになっている。
【００３５】
各重量測定装置５１は、ヘッド群１６を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受ける容器６１と、容器６１を介して機能液の重量を測定する電子天秤６２（図６参照）と、容器６１の周囲に配設されたフラッシングボックス６３と、これらを収容支持するケース６４とを有している。フラッシングボックス６３内には、機能液吸収材６５が、その両長辺部を一対の押えプレート６６により押え付けた状態で敷設されている。このフラッシングボックス６３は、１の機能液滴吐出ヘッド１７から容器６１に対する測定吐出の際に、他の５個の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けるものである。
【００３６】
本実施形態では、１の重量測定装置５１で６個の機能液滴吐出ヘッド１７について測定を行うため、１の機能液滴吐出ヘッド１７が測定吐出を行っている際に、その他の５個の機能液滴吐出ヘッド１７はその測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間にノズルが乾燥することなく、「待ち」状態後に測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【００３７】
図６および図７を参照して、重量測定における一連の動作について説明する。まず、すべてのキャリッジ１３が吸引ユニット４１に臨んだ状態から、重量測定ユニット４に近い方の２個のキャリッジ１３を、Ｙ軸方向に移動させて、ワイピングユニット４２によりワイピングを行ったうえで重量測定ユニット４に臨ませる。なお、上記の全キャリッジ１３を、吸引ユニット４１から検査ステージ４３に移動させて検査吐出を行い、検査用カメラ４４により全ノズルの正常吐出が確認されてから、２個ずつ重量測定ユニット４に臨ませるようにしていもよい。
【００３８】
続いて、サブテーブル５２が、各重量測定装置５１の容器６１を、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａに臨ませる。そして、各容器６１に対し、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの全ノズルから測定吐出を行う。このとき、各ヘッド群１６の２番目から６番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂ〜１７ｆは、フラッシングボックス６３に対し、捨て吐出を行う（図７（ａ）参照）。
【００３９】
次に、サブテーブル５２が、各容器６１を防風カバー５３の下に移動させる。この状態で、電子天秤６２により、液滴吐出量の測定を行う（図７（ｂ）参照）。これによれば、電子天秤は、気流（チャンバルームによるダウンフローや乱流）が防風カバー５３により遮断されるため、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。
【００４０】
１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの液滴吐出量の重量測定後、２番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂを容器６１に臨ませ、同様にして、測定吐出を行う（図７（ｃ）参照）。以下同様にして、各ヘッド群１６の６個の機能液滴吐出ヘッド１７について順に液滴吐出量を測定する。なお、ここでは、各機能液滴吐出ヘッド１７の全ノズルからの液滴吐出量を測定したが、これに限定されるものではなく、例えば、ノズル列単位で液滴吐出量を測定してもよく、さらにはノズル単位で液滴吐出量を測定してもよい。
【００４１】
図８は、重量測定装置５１の測定結果に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御することを説明する制御ブロック図である。電子天秤６２は、上記したようにして液滴吐出量を測定した測定結果を、制御装置５に出力する。制御装置５は、電子天秤６２から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ３８から機能液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。すなわち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次の基板Ｗに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更する。そして、変更後の電圧値で、再度重量測定を行う。この重量測定および電圧値変更を、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、繰り返し行う。
【００４２】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、ユーザではなく、重量測定装置５１から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１７の駆動電力を制御する。このため、ユーザが測定結果に基づいて駆動電力を調整する構成に比べ、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッド１７の駆動電力に迅速に反映させることができる。
【００４３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００４４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００４５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１０（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００４６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００４７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００４８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００４９】
図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１１において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００５４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００５５】
図１２は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００５６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００５７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５８】
図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００５９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００６３】
次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００６４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００６５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００６６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００６７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００６８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００６９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００７３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００７４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００７５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００７６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００７７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００７８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００７９】
図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８０】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８１】
そして次に、図２０に示すように、各色のうちのいずれか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００８３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００８５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００８６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００８７】
次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００８８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００８９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【００９３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【００９４】
次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【００９５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【００９６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【００９７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【００９９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１００】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の側面図である。
【図３】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図４】重量測定ユニットの平面図である。
【図５】重量測定ユニットの正面図である。
【図６】液滴吐出装置の正面模式図である。
【図７】液滴吐出装置における重量測定の一連の動きを説明する図である。
【図８】重量測定装置の測定結果に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御することを説明する制御ブロック図である。
【図９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２４】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２５】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２６】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０２】
１…液滴吐出装置 ２…描画装置 ３…クリーニング装置 ４…重量測定ユニット ５…制御装置 １１…Ｘ軸テーブル １２…Ｙ軸テーブル １６…ヘッド群 １７…機能液滴吐出ヘッド ５１…重量測定装置 ５２…サブテーブル ５３…防風カバー ６１…容器 ６２…電子天秤 ６３…フラッシングボックス Ｗ…基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク（基板）に対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う描画手段（吐出手段）と、描画手段に隣接して配設され、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定装置とを備え、重量測定装置の測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を調整し、描画を行う液滴吐出装置が知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１７７２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしならが、従来の液滴吐出装置では、ユーザが、測定結果に基づいて駆動電力を調整していた。このため、測定結果を駆動電力に反映させるためには、ユーザによる調整の時間が必要となり、迅速な対応を図ることができなかっら。また、ユーザにとっては、調整作業が面倒であった。
【０００４】
本発明は、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させることができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う描画手段と、描画手段に隣接して配設され、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定手段と、重量測定手段から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、ユーザではなく、重量測定手段から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御する。このため、ユーザが測定結果に基づいて駆動電力を調整する構成に比べ、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させることができる。
【０００７】
この場合、描画手段は、ワークを搭載すると共に当該ワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、を有しており、Ｙ軸方向における機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上に配設され、機能液滴吐出ヘッドを吸引およびワイピングするクリーニング手段、をさらに備え、重量測定手段は、機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上において、Ｘ軸テーブルとクリーニング手段との間に配設されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッド（の吐出ノズル）を、クリーニング手段によりクリーニングしてから、重量測定手段に臨ませることができる。このため、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良による重量測定不能や重量測定不良を、有効に防止することができる。また、吸引・ワイピング、重量測定および描画から成る一連の工程のタクトタイムを短縮することができる。
【０００９】
この場合、機能液滴吐出ヘッドが複数設けられており、重量測定手段は、任意の１の機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受ける容器と、容器内の機能液の重量を測定する電子天秤と、容器の周囲に配設され、１の機能液滴吐出ヘッドから容器に対する測定吐出の際に他の機能液吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングボックスと、を有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドを設けたがために、１の機能液滴吐出ヘッドが測定吐出を行っている際に、その他の機能液滴吐出ヘッドはその測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の機能液滴吐出ヘッドに捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間にノズルが乾燥することなく、「待ち」状態後に測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【００１１】
この場合、複数の機能液滴吐出ヘッドは、Ｘ軸方向に並んでヘッド群を構成しており、重量測定手段をＸ軸方向に移動させるサブテーブルを、さらに備えたことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドを備えた場合に、各機能液滴吐出ヘッドを重量測定手段に順に臨ませる動作を、容易に行うことができる。
【００１３】
この場合、サブテーブルの移動軌跡上に配設され、電子天秤による重量測定時に容器の上部空間を覆う防風カバーを、さらに備えたことが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、重量測定時に、サブテーブルにより重量測定手段を防風カバーの下に移動させることで、電子天秤は、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。
【００１５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１７】
これらの構成によれば、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッドの駆動電力に迅速に反映させることができる液滴吐出装置を用いたことで、高品質な電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００１８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００１９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成（インクジェット法による印刷）するものである。
【００２１】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置２と、Ｙ軸方向に延在するクリーニング装置３と、描画装置２とクリーニング装置３との間に設けられた重量測定ユニット４と、制御装置５（図８参照）とを備えている。制御装置５は、例えばＰＬＣで構成され、ＣＰＵやメモリ等を有している。この液滴吐出装置１は、例えばドライエアの雰囲気を形成可能なチャンバルーム（図示省略）に収容されている。
【００２２】
描画装置２は、Ｘ軸支持ベース１０（石定盤）上に設置されたＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸方向に直交するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設された複数（１０個）のキャリッジ１３とを有している。
【００２３】
Ｘ軸テーブル１１は、基板Ｗを搭載するセットテーブル２１と、セットテーブル２１をスライド自在に支持するＸ軸スライダ２２と、Ｘ軸スライダ２２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構２３（リニアモータ）とを有している。Ｘ軸移動機構２３により、機能液滴吐出ヘッド１７に対し、Ｘ軸スライダ２２を介してセットテーブル２１（基板Ｗ）をＸ軸方向に往復移動させることができる。
【００２４】
なお、Ｘ軸テーブル１１は、後述する検査ステージ４３および定期フラッシングユニット４５をスライド自在に支持するメンテナンス用スライダ２４をさらに有している。Ｘ軸スライダ２２とメンテナンス用スライダ２４とは、個別に移動可能である。
【００２５】
Ｙ軸テーブル１２は、支柱３１に支持されており、Ｘ軸テーブル１１およびクリーニング装置３を跨ぐように延在している。Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジ１３を吊設した複数（１０個）のブリッジプレート３２と、各ブリッジプレート３２の両端部をスライド自在に支持する一対複数組（１０組）のＹ軸スライダ３３と、各Ｙ軸スライダ３３をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸移動機構３４（リニアモータ）とを有している。一対のＹ軸移動機構３４により、各組のＹ軸スライダ３３を介して複数のキャリッジ１３をＹ軸方向に個別に移動させることができる。すなわち、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジ１３を、Ｘ軸テーブル１１、重量測定ユニット４、およびクリーニング装置３の各ユニット（後述する）間で移動させている。
【００２６】
図３に示すように、各キャリッジ１３は、キャリッジプレート３６を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載している。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に並んでヘッド群１６を構成している。そして、複数のキャリッジに搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）により、Ｙ軸方向に連続する描画ラインを形成している。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズの基板Ｗの幅に対応している。
【００２７】
各機能液滴吐出ヘッド１７は、図示しない機能液パック等から機能液が供給され、インクジェット方式（例えば圧電素子駆動）で機能液を吐出するものである。そして、後述するヘッドドライバ３８（図８参照）から駆動電力を印加することにより、複数のノズル（例えば１８０個×２列）から機能液が吐出される。この駆動電力は、制御装置５により、後述する重量測定装置５１から入力した測定結果に基づいて、制御されるようになっている（詳細は後述する）。
【００２８】
このように構成された描画装置２は、制御装置５による制御を受けながら、基板Ｗ上に機能液を吐出して描画を行う。すなわち、描画装置２は、Ｘ軸テーブル１１により、機能液滴吐出ヘッド１７に対して基板Ｗを往復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動して、基板Ｗに対する描画動作を行う。
【００２９】
図１および図２に示すように、クリーニング装置３は、Ｘ軸テーブル１１から遠い順に、Ｙ軸方向に並ぶ複数（１０個）の吸引ユニット４１と、１個のワイピングユニット４２とを備えている。複数の吸引ユニット４１とワイピングユニット４２とは、Ｙ軸テーブル１２による機能液滴吐出ヘッド１７の移動軌跡上に設けられており、各ユニットにキャリッジ１３を臨ませることができるようになっている。
【００３０】
吸引ユニット４１は、複数のキャリッジ１３に対応して、複数個設けられている。各吸引ユニット４１は、各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面を封止するヘッドキャップ（図示省略）を介して、機能液滴吐出ヘッド１７のノズルから機能液を吸引して、クリーニング動作や機能液の初期充填を行うものである。また、ワイピングユニット４２は、クリーニング動作等により機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面を、キャリッジ１３単位で、ワイピングシート４２ａを用いて拭き取るものである。
【００３１】
上述したように、メンテナンス用スライダ２４には、検査ステージ４３および定期フラッシングユニット４５が支持されている。検査ステージ４３は、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良の有無を検査するための検査吐出を受けるものである。吐出された検査パターンは、検査用カメラ４４で撮像され、制御装置５がこれを画像認識して吐出不良の有無を判断している。また、定期フラッシングユニット４５は、基板Ｗの載換え時等に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズルが乾燥しないように行う捨て吐出を、受けるためのものである。
【００３２】
図４および図５に示すように、重量測定ユニット４は、複数（４個）の重量測定装置５１と、複数の重量測定装置５１をＸ軸方向に移動させるサブテーブル５２と、サブテーブル５２の移動軌跡上に配設された防風カバーを備えている。
【００３３】
サブテーブル５２は、複数の重量測定装置５１を一括して支持する支持フレーム５６と、支持フレーム５６を介して複数の重量測定装置５１をＸ軸方向にスライド自在に支持する重量測定用スライダ５７と、重量測定用スライダ５７をＸ軸方向にスライドさせるモータ駆動の重量測定用移動機構５８とを有している。
【００３４】
複数の重量測定装置５１は、Ｙ軸方向に並設されており、１つの重量測定装置５１が１つのヘッド群１６に対応している。つまり、４個の重量測定装置５１により、２個のキャリッジ１３毎に、重量測定を行うようになっている。
【００３５】
各重量測定装置５１は、ヘッド群１６を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受ける容器６１と、容器６１を介して機能液の重量を測定する電子天秤６２（図６参照）と、容器６１の周囲に配設されたフラッシングボックス６３と、これらを収容支持するケース６４とを有している。フラッシングボックス６３内には、機能液吸収材６５が、その両長辺部を一対の押えプレート６６により押え付けた状態で敷設されている。このフラッシングボックス６３は、１の機能液滴吐出ヘッド１７から容器６１に対する測定吐出の際に、他の５個の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けるものである。
【００３６】
本実施形態では、１の重量測定装置５１で６個の機能液滴吐出ヘッド１７について測定を行うため、１の機能液滴吐出ヘッド１７が測定吐出を行っている際に、その他の５個の機能液滴吐出ヘッド１７はその測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間にノズルが乾燥することなく、「待ち」状態後に測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【００３７】
図６および図７を参照して、重量測定における一連の動作について説明する。まず、すべてのキャリッジ１３が吸引ユニット４１に臨んだ状態から、重量測定ユニット４に近い方の２個のキャリッジ１３を、Ｙ軸方向に移動させて、ワイピングユニット４２によりワイピングを行ったうえで重量測定ユニット４に臨ませる。なお、上記の全キャリッジ１３を、吸引ユニット４１から検査ステージ４３に移動させて検査吐出を行い、検査用カメラ４４により全ノズルの正常吐出が確認されてから、２個ずつ重量測定ユニット４に臨ませるようにしていもよい。
【００３８】
続いて、サブテーブル５２が、各重量測定装置５１の容器６１を、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａに臨ませる。そして、各容器６１に対し、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの全ノズルから測定吐出を行う。このとき、各ヘッド群１６の２番目から６番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂ〜１７ｆは、フラッシングボックス６３に対し、捨て吐出を行う（図７（ａ）参照）。
【００３９】
次に、サブテーブル５２が、各容器６１を防風カバー５３の下に移動させる。この状態で、電子天秤６２により、液滴吐出量の測定を行う（図７（ｂ）参照）。これによれば、電子天秤は、気流（チャンバルームによるダウンフローや乱流）が防風カバー５３により遮断されるため、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。
【００４０】
１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの液滴吐出量の重量測定後、２番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂを容器６１に臨ませ、同様にして、測定吐出を行う（図７（ｃ）参照）。以下同様にして、各ヘッド群１６の６個の機能液滴吐出ヘッド１７について順に液滴吐出量を測定する。なお、ここでは、各機能液滴吐出ヘッド１７の全ノズルからの液滴吐出量を測定したが、これに限定されるものではなく、例えば、ノズル列単位で液滴吐出量を測定してもよく、さらにはノズル単位で液滴吐出量を測定してもよい。
【００４１】
図８は、重量測定装置５１の測定結果に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御することを説明する制御ブロック図である。電子天秤６２は、上記したようにして液滴吐出量を測定した測定結果を、制御装置５に出力する。制御装置５は、電子天秤６２から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ３８から機能液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。すなわち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次の基板Ｗに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更する。そして、変更後の電圧値で、再度重量測定を行う。この重量測定および電圧値変更を、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、繰り返し行う。
【００４２】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、ユーザではなく、重量測定装置５１から入力した測定結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１７の駆動電力を制御する。このため、ユーザが測定結果に基づいて駆動電力を調整する構成に比べ、液滴吐出量の測定結果を機能液滴吐出ヘッド１７の駆動電力に迅速に反映させることができる。
【００４３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００４４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００４５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１０（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００４６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００４７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００４８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００４９】
図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１１において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００５４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００５５】
図１２は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００５６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００５７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５８】
図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００５９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００６３】
次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００６４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００６５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００６６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００６７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００６８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００６９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００７３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００７４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００７５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００７６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００７７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００７８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００７９】
図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８０】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８１】
そして次に、図２０に示すように、各色のうちのいずれか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００８３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００８５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００８６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００８７】
次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００８８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００８９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【００９３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【００９４】
次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【００９５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【００９６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【００９７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【００９９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１００】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の側面図である。
【図３】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図４】重量測定ユニットの平面図である。
【図５】重量測定ユニットの正面図である。
【図６】液滴吐出装置の正面模式図である。
【図７】液滴吐出装置における重量測定の一連の動きを説明する図である。
【図８】重量測定装置の測定結果に基づいて機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御することを説明する制御ブロック図である。
【図９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２４】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２５】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２６】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０２】
１…液滴吐出装置 ２…描画装置 ３…クリーニング装置 ４…重量測定ユニット ５…制御装置 １１…Ｘ軸テーブル １２…Ｙ軸テーブル １６…ヘッド群 １７…機能液滴吐出ヘッド ５１…重量測定装置 ５２…サブテーブル ５３…防風カバー ６１…容器 ６２…電子天秤 ６３…フラッシングボックス Ｗ…基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う描画手段と、
前記描画手段に隣接して配設され、前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定手段と、
前記重量測定手段から入力した測定結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記描画手段は、前記ワークを搭載すると共に当該ワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に前記機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、を有しており、
前記Ｙ軸方向における前記機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上に配設され、前記機能液滴吐出ヘッドを吸引およびワイピングするクリーニング手段、をさらに備え、
前記重量測定手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上において、前記Ｘ軸テーブルと前記クリーニング手段との間に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記機能液滴吐出ヘッドが複数設けられており、
前記重量測定手段は、任意の１の前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受ける容器と、
前記容器内の機能液の重量を測定する電子天秤と、
前記容器の周囲に配設され、前記１の機能液滴吐出ヘッドから前記容器に対する測定吐出の際に他の前記機能液吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングボックスと、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
複数の前記機能液滴吐出ヘッドは、前記Ｘ軸方向に並んでヘッド群を構成しており、
前記重量測定手段を前記Ｘ軸方向に移動させるサブテーブルを、さらに備えたことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記サブテーブルの移動軌跡上に配設され、前記電子天秤による重量測定時に前記容器の上部空間を覆う防風カバーを、さらに備えたことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項７に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う描画手段と、
前記描画手段に隣接して配設され、前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量から液滴吐出量を測定する重量測定手段と、
前記重量測定手段から入力した測定結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの駆動電力を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記描画手段は、前記ワークを搭載すると共に当該ワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に前記機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、を有しており、
前記Ｙ軸方向における前記機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上に配設され、前記機能液滴吐出ヘッドを吸引およびワイピングするクリーニング手段、をさらに備え、
前記重量測定手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡上において、前記Ｘ軸テーブルと前記クリーニング手段との間に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記機能液滴吐出ヘッドが複数設けられており、
前記重量測定手段は、任意の１の前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受ける容器と、
前記容器内の機能液の重量を測定する電子天秤と、
前記容器の周囲に配設され、前記１の機能液滴吐出ヘッドから前記容器に対する測定吐出の際に他の前記機能液吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングボックスと、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
複数の前記機能液滴吐出ヘッドは、前記Ｘ軸方向に並んでヘッド群を構成しており、
前記重量測定手段を前記Ｘ軸方向に移動させるサブテーブルを、さらに備えたことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記サブテーブルの移動軌跡上に配設され、前記電子天秤による重量測定時に前記容器の上部空間を覆う防風カバーを、さらに備えたことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項７に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【公開番号】特開２００８−９３６３７（Ｐ２００８−９３６３７Ａ）
【公開日】平成２０年４月２４日（２００８．４．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２８１６８４（Ｐ２００６−２８１６８４）
【出願日】平成１８年１０月１６日（２００６．１０．１６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月２４日（２００８．４．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１０月１６日（２００６．１０．１６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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