被搬送物保管システム
【課題】搬送台車の停止位置補正教示工数を極限まで削減することができる被搬送物保管システムを提供する。
【解決手段】天井に敷設されたレール５２０ａ〜５２０ｆに沿ってＯＨＴ搬送台車３００がＦＯＵＰを把持して走行する。レール５２０ａ〜５２０ｆ下方に被搬送物保管棚２００が設けられる。レール５２０ａ〜５２０ｆに複数のマスターバーコードが所定の間隔で貼着される。被搬送物保管棚２００には、複数のキネマティックピンを有する位置決めプレートが複数枚配設され当該個々の位置決めプレートが所定の間隔で貼着された個々のマスターバーコードとの間で相対的に配置される。一の位置決めプレートの座標と、相対的に配置された一のマスターバーコードに基づいて停止したＯＨＴ搬送台車３００のグリッパの座標との誤差量が補正装置に記録され、制御手段が他の被搬送物保管棚またはマスターバーコードに展開する。
【解決手段】天井に敷設されたレール５２０ａ〜５２０ｆに沿ってＯＨＴ搬送台車３００がＦＯＵＰを把持して走行する。レール５２０ａ〜５２０ｆ下方に被搬送物保管棚２００が設けられる。レール５２０ａ〜５２０ｆに複数のマスターバーコードが所定の間隔で貼着される。被搬送物保管棚２００には、複数のキネマティックピンを有する位置決めプレートが複数枚配設され当該個々の位置決めプレートが所定の間隔で貼着された個々のマスターバーコードとの間で相対的に配置される。一の位置決めプレートの座標と、相対的に配置された一のマスターバーコードに基づいて停止したＯＨＴ搬送台車３００のグリッパの座標との誤差量が補正装置に記録され、制御手段が他の被搬送物保管棚またはマスターバーコードに展開する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車により搬送される被搬送物を一時的に保管する被搬送物保管システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工場においては、製品のコストダウンと生産量の増大に対処するための生産効率の向上が強く求められている。この一環として搬送設備にもクリーンルームスペースの有効活用、建設時の建設コスト、建設期間の短縮、および設備稼動後における搬送時間の短縮について、一層の向上が求められている。
【０００３】
半導体製造工場においては、天井に敷設した軌道上を走行し物品を搬送するＯＨＴ(Ｏｖｅｒ ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ)またはＯＨＳ(Ｏｖｅｒ Ｈｅａｄ Ｓｈｕｔｔｌｅ)等の搬送台車システムが使用されている。
【０００４】
この搬送台車システムに関して、種々の研究および開発が成されており、特許文献１には、ワーク搬送システムについて開示されている。
【０００５】
特許文献１記載のワーク搬送システムは、巻き取りドラムを、適宜、正逆回転させて、巻き取りドラムにワイヤーを巻き取り、或いは、巻き取りドラムからワイヤーを繰り出すことにより、チャック装置を昇降させるとともに、天井付近に敷設されたレールに沿って走行する天井走行車を備えたものである。また、ワークが載置可能なストレージラック部材を、床面の上方で、且つ、レールの下方に配設したものである。
【０００６】
その結果、ワークが載置可能なストレージラック部材を、床面の上方で、且つ、レールの下方に配設したので、処理ステーションや床等の省スペース化が実現できるとともに、天井走行車によるワークの受け渡し時間を短縮化することができるという効果が得られる。
【特許文献１】特開平１０−１０９８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に建設時のシステム構築作業には多大の時間と工数とが必要とされる。この建設時システム構築作業の１つにストレージラックにおける搬送台車の停止位置補正教示がある。
【０００８】
搬送台車は通常走行軌道上に取付けられたバーコードで停止位置を検知するが、停止位置補正教示前の搬送台車では、停止位置と被搬送物の載置位置とが一致しない。不一致の程度は搬送台車毎に走行方向誤差、走行方向における直角方向誤差、台車回転方向誤差等があり、それぞれ誤差量が異なる。また、ストレージラックのレールへの取付け状況がラック毎に異なるため、１の台車についてもラック毎に不一致の程度が異なる。特許文献１などの従来技術では、このストレージラック毎に異なる補正値をストレージラック毎にマニュアルで入力（教示）を行っていた。この教示作業は全ての搬送台車について、全てのストレージラックで実施せねばならず、教示作業に要する時間と工数は膨大なものであった。
【０００９】
本発明の目的は、保管棚の被載置物を載置する１組の突起が、軌道上に取付けられたバーコードに対向する相対位置の誤差を実用上零と見なせる載置棚の提供と、この載置棚について搬送台車の位置補正の教示工数を極限まで削減できる被搬送物保管システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）
本発明に係る被搬送物保管システムは、天井に敷設された軌道に沿って被搬送物を懸垂状態で把持して走行する搬送台車を備えた被搬送物保管システムであって、軌道の下方に懸垂状態で配置され、複数個の被搬送物を載置可能な被搬送物保管棚と、被搬送物保管棚に載置される複数個の被搬送物の底面に形成された凹部に嵌合して支持できる突起群を備えた位置決めプレートと、軌道の下部に所定の間隔で貼着された複数のコード情報と、複数のコード情報を読み取るコード情報読み取り装置、被搬送物に形成された被把持部を把持しつつ移送可能な把持部および軌道に沿って走行し、停止位置を調整することができる補正手段を備える搬送台車と、を含み、予め位置決めプレートを被搬送物保管棚の被搬送物を載置させる面の所定位置に配置し、複数のコード情報の個々のコード情報と突起群との相対的座標をそれぞれ確定し、搬送台車を一のコード情報に基づき停止させ、突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を補正手段に補正情報として記録させ、補正手段が、他のコード情報に対して当該補正情報を用いて搬送台車の停止位置を補正するものである。
【００１１】
本発明に係る被搬送物保管システムにおいては、天井に敷設された軌道に沿って、搬送台車が被搬送物を懸垂状態で把持して走行する。その軌道下方に懸垂状態で被搬送物を載置することが可能な被搬送物保管棚が設けられる。当該被搬送物保管棚の上方の領域における軌道に複数のコード情報が、所定の間隔で貼着される。その貼着された複数のコード情報に基づいて搬送台車自身が走行または停止を判定しつつ自律走行を行なう。
【００１２】
また、被搬送物保管棚を設置する際に、被搬送物保管棚には、突起群を有する位置決めプレートが１又は複数枚配設され、当該個々の位置決めプレートが所定の間隔で貼着された個々のコード情報との間で相対的に配置され、当該複数の位置決めプレートのうち一の位置決めプレートの座標と、当該相対的に配置されたコード情報に基づいて停止した搬送台車の把持部の座標との誤差量が補正手段により記録される。
【００１３】
この場合、被搬送物保管棚の設置時において、一のコード情報に基づいた補正情報が補正手段により記録されているので、所定の間隔で配置された他のコード情報に展開することができる。その結果、位置決めプレートを個々に調整する必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。
【００１４】
このように本発明に係る被搬送物保管システムにおいては、保管棚の被載置物を載置する１組の突起が、軌道上に取付けられたバーコードに対向する相対位置の誤差を実用上零と見なせる載置棚を提供することができ、当該載置棚について搬送台車の位置補正の教示工数を極限まで削減することができる。
【００１５】
（２）
補正手段は、突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を外部から入力できる外部入力手段をさらに含み、補正手段は、外部入力手段からの誤差量を補正情報として記録できることが好ましい。
【００１６】
この場合、補正手段は、外部入力手段をさらに含むので、外部入力手段からの誤差量に応じて微妙な調整を行い、補正情報として記録することができるので、より容易で確実に被搬送物保管システムを立ち上げることができる。
【００１７】
（３）
相対的座標は、突起群を構成し、一の被搬送物を載置させる１組の突起を頂点として形成される図形の図心と、コード情報とを鉛直軸上に配置させることが好ましい。
【００１８】
この場合、図心と所定の間隔で配置されたコード情報とが、鉛直軸上に配置されるので、当該鉛直軸が搬送台車の把持部の鉛直軸と一致するように補正することで、他のコード情報に対して補正を容易に行なうことができる。
【００１９】
（４）
複数のコード情報は、マスターバーコードであり、読み取り装置は、バーコードリーダであることが好ましい。
【００２０】
この場合、マスターバーコードの作成が容易で、バーコードリーダによりマスターバーコードを容易に読み取ることができるので、搬送台車が、容易に自律走行および停止を行なうことができる。
【００２１】
（５）
位置決めプレートは、１つ又は複数設置され、個々に被搬送物保管棚に固定可能なものであることが好ましい。
【００２２】
この場合、複数枚からなる位置決めプレートは、個々に被搬送物保管棚に固定することができるので、被搬送物保管棚に直接突起群を形成する場合と比較して、被搬送物保管棚形成後の突起群の配置調整を容易に行なうことができる。
【００２３】
（６）
軌道上に複数の被搬送物保管棚が設けられ、補正手段は、複数の被搬送物保管棚のうちいずれか１個の被搬送物保管棚の被搬送物についての補正情報を他の被搬送物保管棚の補正情報として使用し、搬送台車の停止位置を補正してもよい。
【００２４】
この場合、全ての被搬送物保管棚の設置時に軌道およびコード情報と被搬送物保管棚との相対的位置関係を合わせることで、１個の被搬送物保管棚の補正情報を他の被搬送物保管棚にも展開することができる。その結果、個々に調整する必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。その結果、被搬送物保管システム全体において、設置効率を向上させ、設置時間工数を削減することができる。
【００２５】
（７）
軌道は、複数の環状軌道および複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、補正手段は、複数の環状軌道の一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道内における他の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正を行なってもよい。
【００２６】
この場合、同一環状軌道内に複数設けられた被搬送物保管棚のうち１個の被搬送物保管棚の補正情報を求めることで、他の被搬送物保管棚に展開することができる。その結果、同一環状軌道内の個々の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正を行う必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。その結果、被搬送物保管システム全体において、設置効率を向上させることができる。
【００２７】
（８）
軌道は、複数の環状軌道および複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、補正手段は、複数の環状軌道の一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚のうちの一の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道外における他の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正を行ってもよい。
【００２８】
この場合、同一環状軌道内および同一環状軌道外の全ての被搬送物保管棚の設置条件を一致させることで、同一環状軌道内に複数設けられた被搬送物保管棚のうち１個の被搬送物保管棚の補正情報を求めることで、同一環状軌道外の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正に展開することができる。その結果、被搬送物保管システム全体の個々の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正情報を調整する必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。その結果、被搬送物保管システム全体において、設置効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に係る実施の形態について説明する。
（一実施の形態）
【００３０】
図１は、本発明に係る一実施の形態に係る被搬送物保管システム１００の全体の一例を示す模式図である。
【００３１】
まず、図１に示すように、被搬送物保管システム１００は、複数の環状レール（工程内軌道）５２０ａ，５２０ｂ，５２０ｃ，５２０ｄを有する。また、被搬送物保管システム１００は、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄを繋ぐ環状レール（工程間軌道）５２０ｅを有する。さらに、被搬送物保管システム１００においては、接続レール５２０ｆにより複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄと環状レール５２０ｅとが接続される。
【００３２】
それにより、レール５２０ａ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ｆ、５２０ｂ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ｆ、５２０ｄ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ｆ、５２０ｃ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ａの順に、後述するＯＨＴ搬送台車３００を後退させずに一方向に循環して駆動させることができる。
【００３３】
図１に示すように、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄの周囲には、複数の半導体処理装置９００が配置される。また、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄには、複数の被搬送物保管システム１００の被搬送物保管棚２００ａ，２００ｂ，２００ｃが配置される。以下、被搬送物保管棚を被搬送物保管棚２００と略記する。また、環状レール（工程間軌道）５２０ｅには、ストッカ９１０が配置される。
【００３４】
ＯＨＴ搬送台車３００は、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄを走行する際に、後述するＦＯＵＰ４００を被搬送物保管棚２００に載置したり、移送したりする。それにより、ＦＯＵＰ４００内に収納された基板が、半導体処理装置９００におけるハンドにより取り出され、所定の処理が施された後、ＦＯＵＰ４００内に収納される。そして、ＦＯＵＰ４００がＯＨＴ搬送台車３００に把持され、次工程の半導体処理装置９００まで移送されることにより、ＦＯＵＰ４００内の基板に対して所定の処理が順に施される。
【００３５】
図２は被搬送物保管システム１００の被搬送物保管棚２００の詳細を示す模式図である。
【００３６】
図２に示す被搬送物保管システム１００は、主に天井５００に設けられる。天井５００から懸垂部材５１０を介してレール５２０が設けられる。このレール５２０は、環状に設けられる(図１参照)。また、レール５２０は、複数の目的地点への途中の経路において分岐されており、その分岐点の近辺に被搬送物保管棚２００が設けられる。また、レール５２０には、所定の間隔で複数のコード情報（以下、マスターバーコードとする。）５３０ａ〜５３０ｅが設けられる。このマスターバーコード５３０ａ〜５３０ｅの詳細については後述する。
【００３７】
被搬送物保管棚２００は、レール５２０に懸垂した状態で設けられる。具体的には、吊り部材２４０，２４１の一端が、それぞれ支持部材２３０を介してレール５２０に対して鉛直下向き方向に設けられる。また、吊り部材２４０の他端が、ナット２５１により棚板２５０の一端に固定され、吊り部材２４１の他端が、ナット２５２により棚板２５０の他端に固定される。それにより、棚板２５０が、水平面に平行に配設される。
【００３８】
また、レール５２０に対向する棚板２５０の面には、位置決めプレート２６０が配置される。この位置決めプレート２６０は、後述するようにキネマティックピン２６１が複数個配置された板状部材からなる。したがって、当該棚板２５０の面には、位置決めプレート２６０が１つ又は複数枚敷き詰められた状態となる。図２においては、位置決めプレート２６０が１つ敷き詰められた状態を示す。
【００３９】
次に、レール５２０に懸垂した状態で移動するＯＨＴ(Ｏｖｅｒ ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ)搬送台車３００について説明する。
【００４０】
ＯＨＴ搬送台車３００は、本体部３１０、昇降装置３２０、懸垂ベルト３３０およびグリッパ３４０を含む。ＯＨＴ搬送台車３００は、レール５２０に沿って移動し、かつ昇降装置３２０を懸垂ベルト３３０により上下動させることができる。昇降装置３２０の下部には、グリッパ３４０が設けられている。グリッパ３４０は、後述する被搬送物のフランジ４２０を把持可能な形状からなる。例えば、グリッパ３４０は、一対の部材からなり、後述するフランジ４２０を左右から挟持することができる。
【００４１】
また、ＯＨＴ搬送台車３００は、制御装置３５０、補正装置３５１、駆動装置３７０およびデータ読み取り装置（以下、バーコードリーダとする。）３６０を内蔵する（図８参照）。制御装置３５０は、バーコードリーダ３６０からの読み取りデータに基づいて駆動装置３７０の駆動および停止を制御する。さらに、制御装置３５０は、懸垂ベルト３３０の巻き取りおよび引き出しを制御するとともに、グリッパ３４０の動作も指示する。補正装置３５１は、制御装置３５０に補正情報を与える。補正装置３５１の詳細については後述する。また、ＯＨＴ搬送台車３００は、外部入力操作部６６０（図９参照）からの信号を受け取る受信装置を備える。制御装置３５０は、外部入力操作部６６０からの指示を補正装置３５１に与え、補正装置３５１は当該指示を補正情報として記録する。制御装置３５０は、当該指示に応じて駆動装置３７０の駆動および停止の制御を補正する。ここで、外部入力操作部６６０とは、携帯型リモートコントローラまたは前進後退スイッチ等である。
【００４２】
続いて、被搬送物の一例としてＦＯＵＰ(Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ)４００について説明する。ここで、ＦＯＵＰとは、ＳＥＭＩスタンダードＥ４７．１に規定されている、ミニエンバイロメント方式の半導体工場で使われる３００ｍｍウェハ用の搬送、保管を目的としたキャリアであり、正面開口式カセット一体型搬送の保管箱である。
【００４３】
ＦＯＵＰ４００は、本体部４１０およびフランジ４２０からなる。本体部４１０は、被搬送物を収納可能な箱形状からなる。そして、当該箱形状の内部は、ウェハが収納可能な構造で形成されている。また、本体部４１０の外側の下面には、位置決めプレート２６０のキネマティックピン２６１の突起と嵌合する凹部が形成されている。
【００４４】
続いて、本発明に係る被搬送物保管システム１００の設置時の工程について説明を行なう。図３は、レール５２０に被搬送物保管棚２００を形成する工程を示す模式図であり、図４は、レール５２０にマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅを設ける状態を示す模式図である。図４（ａ）はレール５２０の下面を下方から見た状態を示し、図４（ｂ）は図４（ａ）のレール５２０の断面を示す。
【００４５】
まず、図３に示すように、吊り部材２４０，２４１および棚板２５０を配設する。次に、図４（ａ）に示すように、レール５２０に所定の間隔Ｌ毎にマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅを配設する。この場合、図４（ｂ）に示すようにレール５２０は、内部が空洞のＣ型形状からなり、鉛直下方向の面にマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅが配設される。
【００４６】
続いて、図５は棚板２５０の上に位置決めプレート２６０を配置する状態を説明するための説明図であり、図６は位置決めプレート２６０の固定方法の一例を示す模式図である。
【００４７】
図５に示すように、棚板２５０の当該面上に１つの位置決めプレート２６０が配設される。この位置決めプレートは、長方形形状からなり、３つのキネマティックピン２６１を１組として複数組のキネマティックピンが設けられている。例えば、図５の場合においては、一枚の位置決めプレート２６０の上に２組（各組は３つのキネマティックピンで構成される）のキネマティックピン２６１が配設されている。
【００４８】
そして、図６に示すように、位置決めプレート２６０に設けられた長孔２６２に対して、ワッシャ６３０を挟み、ボルト６２０を貫通させナット６１０により移動自在に仮止めする。
【００４９】
次に、図５に示すように、ポジションポインター６００を使用して、マスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅの端部Ｐにポジションポインター６００から照射される鉛直光をあわせる。それにより、ポジションポインター６００から照射される鉛直下方向の光が、位置決めプレート２６０の上部に点として現れる。この場合、３つのキネマティックピン２６１から形成される三角形の図心が、ポジションポインター６００の光の点と一致するように、位置決めプレート２６０の位置を図６の水平方向の矢印および回転方向の矢印のように、移動させて調整する。すなわち、この位置決めプレート２６０の取付け方法によれば、被載置物を載置する複数組の突起と、これらに対向する軌道上に取付けられた対応するそれぞれのバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅとの相対位置の誤差は実用上零と見なせる精度に位置合わせされる。
【００５０】
続いて、位置決めプレート２６０の位置調整終了後、先に仮止めしたナット６１０を所定の回転トルクで締め付け、位置決めプレート２６０を棚板２５０に固定する。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、レーザビームを発するポジションポインター６００を用いたが、これに限定されず、例えば、糸の先端に分銅を付けたもの等であってもよい。また、位置決めプレート２６０を四角形状としたが、これに限定されず、他の任意の形状であってもよい。
【００５２】
次に、本発明に係る被搬送物保管システム１００の設置後のＯＨＴ搬送台車３００の位置調整について説明を行なう。
【００５３】
図７および図８は、本発明に係る建設時システム構築作業時に実施される載置棚についての搬送台車の位置補正教示方法の一例を説明するための説明図である。
【００５４】
まず、図７に示すように、手作業によりＦＯＵＰ４００をキネマティックピン２６１の上に載置する。ここで、ＦＯＵＰ４００の下面には、３つのキネマティックピン２６１に対して嵌合可能な凹部が形成されているので、その凹部に３つのキネマティックピン２６１が嵌合される。
【００５５】
次に、図８に示すように、ＯＨＴ搬送台車３００がレール５２０に沿って矢印Ａの方向に移動する。そして、ＯＨＴ搬送台車３００に内蔵されたバーコードリーダ３６０がマスターバーコード５３０ａを読み取り、制御装置３５０の働きによりＯＨＴ搬送台車３００が停車する。
【００５６】
図８に示すように、ＯＨＴ搬送台車３００が停車した位置におけるグリッパ３４０の鉛直方向の中心軸と、ＦＯＵＰ４００のフランジ４２０の鉛直方向の中心軸との間で、誤差Ｌ１が生じると仮定する。この場合、ＦＯＵＰ４００を安定して載置させ、または搬送させるためには、この誤差Ｌ１をＯＨＴ搬送台車３００の駆動装置において調整する必要がある。
【００５７】
すなわち、図８のＯＨＴ搬送台車３００では、当該誤差Ｌ１が補正値となる。また、この調整は、矢印Ａの方向のみに止まらず、通常は走行方向、走行に垂直方向、回転方向、高さ方向の組み合わせが必要となる。
【００５８】
次に、この補正値をＯＨＴ搬送台車３００に教示する方法について図９を用い説明する。図９は、ＯＨＴ搬送台車３００に当該補正値を教示する方法を説明するための模式図である。
【００５９】
図９に示すように、教示には外部入力操作部６６０を使用する。教示では作業者が、まずＯＨＴ搬送台車３００が停止している現在位置の座標値（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０，θ０）を外部入力操作部６６０を操作して補正装置３５１に記憶させる。
【００６０】
次いで、ＯＨＴ搬送台車３００がグリッパ部３４０でＦＯＵＰ４００のフランジ４２０を正しく把持できる正規の位置まで作業者が外部入力操作部６６０を操作し、ＯＨＴ搬送台車３００を移動させる。
【００６１】
図９では移動操作に必要な移動量をＬ１で代表させているが、通常はＬ１に垂直方向、上下方向、回転方向の移動も必要となる。ＯＨＴ搬送台車３００の正規位置への移動完了後、外部入力操作部６６０を操作して移動後のＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の座標値（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１，θ１）を補正装置３５１に記憶させる。先に記憶させた座標値（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０，θ０）と今回記憶させた座標値（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１，θ１）の差が補正値となるので、外部入力操作部６６０を操作して補正装置３５１に補正値を計算させ、これを記憶させる。この補正値を補正装置３５１に記憶させる操作を教示作業と呼ぶ。
【００６２】
制御装置３５０は、補正装置３５１に記録された誤差Ｌ１を座標値としてＯＨＴ搬送台車３００の駆動を制御する。ここで、マスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅは、等間隔で配置されておりマスターバーコードと位置決めプレートは、正確に位置合わせされているので、マスターバーコード５３０ｂ，５３０ｃ，５３０ｄ，５３０ｅにおける誤差も同様に、マスターバーコード５３０ａの場合と同じ補正値（誤差Ｌ１）となるため、複数回誤差の調整を行なう必要なく、短時間でＯＨＴ搬送台車３００によりＦＯＵＰ４００を安定して載置または搬送を行なわせることができる。
【００６３】
以上のように、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、一のマスターバーコード５３０ａに基づいた補正情報（誤差量Ｌ１）が補正装置３５１に記録されているので、制御装置３５０が所定の間隔で配置されたマスターバーコード５３０ｂ，〜，５３０ｅに展開することができる。また位置決めプレート２６０には複数のキネマティックピン組が一体に形成されるので、ＦＯＵＰ毎のキネマティックピン組を個々に位置合わせする必要がなくなり、被搬送物保管システム１００の設置工数（特に教示時間）を削減することができる。
【００６４】
また、外部入力操作部６６０（携帯型リモートコントローラ等）を用いて教示操作を行なうことができ、補正情報として記録することができるので、より容易で確実に被搬送物保管システム１００を立ち上げることができる。
【００６５】
この場合、被搬送物を載置させる１組の突起を頂点として形成される図形の図心と所定の間隔で配置されたマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅとが、鉛直軸上に配置される。そして、当該鉛直軸に基づいてＯＨＴ搬送台車３００のグリッパ３４０がＦＯＵＰを正しく把持できるようにＯＨＴ搬送台車３００の停止位置が補正されるので、他のマスターバーコード５３０ｂ，〜，５３０ｅに対して容易に補正を行なうことができる。
【００６６】
この場合、複数枚からなる位置決めプレート２６０は、個々に被搬送物保管棚２００に固定可能であるので、被搬送物保管棚２００に直接キネマティックピン２６１を形成する場合と比較して、被搬送物保管棚２００形成後のキネマティックピン２６１の配置調整を容易に行なうことができる。
【００６７】
また、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、一のマスターバーコード５３０ａに基づいた補正情報（誤差量Ｌ１）が補正装置３５１に記録されているので、制御装置３５０が同一軌道内（例えば、レール５２０ａ）における他の被搬送物保管棚２００a，２００ｂ，２００ｃ（図１参照）についてのＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の補正に対して展開することができる。その結果、同一軌道内における被搬送物保管棚２００a，２００ｂ，２００ｃの個々にＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の教示をする必要がなくなり、被搬送物保管システム１００の設置工数（特に教示作業および教示時間）を削減することができる。
【００６８】
さらに、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、一のマスターバーコード５３０ａに基づいた補正情報（誤差量Ｌ１）が補正装置３５１に記録されているので、被搬送物保管システム１００における全ての被搬送物保管棚２００の設置条件を統一すれば、制御装置３５０が同一軌道外における他の被搬送物保管棚２００に対する搬送台車の停止位置に対して展開することができる。その結果、同一軌道外における被搬送物保管棚２００の個々にＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の教示をする必要がなくなり、被搬送物保管システム１００の設置工数（特に教示作業、教示時間）を削減することができる。
【００６９】
なお、本実施の形態においては、位置決めプレート２６０が、一枚の長方形の板状部材から形成されたこととしているが、それに限定されず、他の任意の形状から形成されてもよく、さらに、キネマティックピン２６１の代わりに他の部材または凹部を形成することとしてもよい。
【００７０】
さらに、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、コード情報としてマスターバーコードを用い、コード情報読み取り装置としてバーコードリーダを用いることとしたが、これに限定されず、他の任意のコード情報、例えば、ＩＣタグ（ＲＦＩＤ）、二次元バーコード等を用いてもよい。
【００７１】
上記一実施の形態においては、天井５００が天井に相当し、レール５２０が軌道に相当し、ＦＯＵＰ４００が被搬送物に相当し、ＯＨＴ搬送台車３００が搬送台車に相当し、被搬送物保管システム１００が被搬送物保管システムに相当し、被搬送物保管棚２００が被搬送物保管棚に相当し、複数のキネマティックピン２６１が突起群に相当し、位置決めプレート２６０が位置決めプレートに相当し、マスターバーコード５３０ａ〜５３０ｅが複数のコード情報に相当し、バーコードリーダ３６０およびデータ読み取り装置がコード情報読み取り装置に相当し、フランジ４２０が被把持部に相当し、グリッパ３４０が把持部に相当し、補正装置３５１が補正手段に相当し、誤差Ｌ１が誤差量に相当し、外部入力操作部６６０（携帯型リモートコントローラ）が外部入力手段に相当し、３つのキネマティックピン２６１の重心位置Ｇが、図心に相当する。
【００７２】
本発明は、上記の好ましい一実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明に係る一実施の形態に係る被搬送物保管システムの全体の一例を示す模式図
【図２】被搬送物保管システムの被搬送物保管棚の詳細を示す模式図
【図３】レールに被搬送物保管棚を形成する工程を示す模式図
【図４】レールにマスターバーコードを設ける状態を示す模式図
【図５】棚板の上に位置決めプレートを配置する状態を説明するための説明図
【図６】位置決めプレートの固定方法の一例を示す模式図
【図７】本発明に係る建設時システム構築作業時に実施される載置棚についての搬送台車の位置補正教示方法の一例を説明するための説明図
【図８】本発明に係る建設時システム構築作業時に実施される載置棚についての搬送台車の位置補正教示方法の一例を説明するための説明図
【図９】ＯＨＴ搬送台車に当該補正値を教示する方法を説明するための模式図
【符号の説明】
【００７４】
１００ 被搬送物保管システム
２００ 被搬送物保管棚
２３０ 支持部材
２４０，２４１ 吊り部材
２５０ 棚板
２５１，２５２ ナット
２６０ 位置決めプレート
２６１ キネマティックピン
２６２ 長孔
３００ ＯＨＴ搬送台車
３１０ 本体部
３２０ 昇降装置
３３０ 懸垂ベルト
３４０ グリッパ
３５０ 制御装置
３５１ 補正装置
３６０ データ読み取り装置
３７０ 駆動装置
４００ ＦＯＵＰ
４１０ 本体部
４２０ フランジ
５００ 天井
５１０ 懸垂部材
５２０，５２０ａ，５２０ｂ，５２０ｃ， レール
５２０ｄ，５２０ｅ，５２０ｆ レール
５３０ａ，〜，５３０ｅ マスターバーコード
６００ ポジションポインター
６１０ ナット
６２０ ボルト
６３０ ワッシャ
６６０ 外部入力操作部
９００ 半導体処理装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車により搬送される被搬送物を一時的に保管する被搬送物保管システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工場においては、製品のコストダウンと生産量の増大に対処するための生産効率の向上が強く求められている。この一環として搬送設備にもクリーンルームスペースの有効活用、建設時の建設コスト、建設期間の短縮、および設備稼動後における搬送時間の短縮について、一層の向上が求められている。
【０００３】
半導体製造工場においては、天井に敷設した軌道上を走行し物品を搬送するＯＨＴ(Ｏｖｅｒ ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ)またはＯＨＳ(Ｏｖｅｒ Ｈｅａｄ Ｓｈｕｔｔｌｅ)等の搬送台車システムが使用されている。
【０００４】
この搬送台車システムに関して、種々の研究および開発が成されており、特許文献１には、ワーク搬送システムについて開示されている。
【０００５】
特許文献１記載のワーク搬送システムは、巻き取りドラムを、適宜、正逆回転させて、巻き取りドラムにワイヤーを巻き取り、或いは、巻き取りドラムからワイヤーを繰り出すことにより、チャック装置を昇降させるとともに、天井付近に敷設されたレールに沿って走行する天井走行車を備えたものである。また、ワークが載置可能なストレージラック部材を、床面の上方で、且つ、レールの下方に配設したものである。
【０００６】
その結果、ワークが載置可能なストレージラック部材を、床面の上方で、且つ、レールの下方に配設したので、処理ステーションや床等の省スペース化が実現できるとともに、天井走行車によるワークの受け渡し時間を短縮化することができるという効果が得られる。
【特許文献１】特開平１０−１０９８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に建設時のシステム構築作業には多大の時間と工数とが必要とされる。この建設時システム構築作業の１つにストレージラックにおける搬送台車の停止位置補正教示がある。
【０００８】
搬送台車は通常走行軌道上に取付けられたバーコードで停止位置を検知するが、停止位置補正教示前の搬送台車では、停止位置と被搬送物の載置位置とが一致しない。不一致の程度は搬送台車毎に走行方向誤差、走行方向における直角方向誤差、台車回転方向誤差等があり、それぞれ誤差量が異なる。また、ストレージラックのレールへの取付け状況がラック毎に異なるため、１の台車についてもラック毎に不一致の程度が異なる。特許文献１などの従来技術では、このストレージラック毎に異なる補正値をストレージラック毎にマニュアルで入力（教示）を行っていた。この教示作業は全ての搬送台車について、全てのストレージラックで実施せねばならず、教示作業に要する時間と工数は膨大なものであった。
【０００９】
本発明の目的は、保管棚の被載置物を載置する１組の突起が、軌道上に取付けられたバーコードに対向する相対位置の誤差を実用上零と見なせる載置棚の提供と、この載置棚について搬送台車の位置補正の教示工数を極限まで削減できる被搬送物保管システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）
本発明に係る被搬送物保管システムは、天井に敷設された軌道に沿って被搬送物を懸垂状態で把持して走行する搬送台車を備えた被搬送物保管システムであって、軌道の下方に懸垂状態で配置され、複数個の被搬送物を載置可能な被搬送物保管棚と、被搬送物保管棚に載置される複数個の被搬送物の底面に形成された凹部に嵌合して支持できる突起群を備えた位置決めプレートと、軌道の下部に所定の間隔で貼着された複数のコード情報と、複数のコード情報を読み取るコード情報読み取り装置、被搬送物に形成された被把持部を把持しつつ移送可能な把持部および軌道に沿って走行し、停止位置を調整することができる補正手段を備える搬送台車と、を含み、予め位置決めプレートを被搬送物保管棚の被搬送物を載置させる面の所定位置に配置し、複数のコード情報の個々のコード情報と突起群との相対的座標をそれぞれ確定し、搬送台車を一のコード情報に基づき停止させ、突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を補正手段に補正情報として記録させ、補正手段が、他のコード情報に対して当該補正情報を用いて搬送台車の停止位置を補正するものである。
【００１１】
本発明に係る被搬送物保管システムにおいては、天井に敷設された軌道に沿って、搬送台車が被搬送物を懸垂状態で把持して走行する。その軌道下方に懸垂状態で被搬送物を載置することが可能な被搬送物保管棚が設けられる。当該被搬送物保管棚の上方の領域における軌道に複数のコード情報が、所定の間隔で貼着される。その貼着された複数のコード情報に基づいて搬送台車自身が走行または停止を判定しつつ自律走行を行なう。
【００１２】
また、被搬送物保管棚を設置する際に、被搬送物保管棚には、突起群を有する位置決めプレートが１又は複数枚配設され、当該個々の位置決めプレートが所定の間隔で貼着された個々のコード情報との間で相対的に配置され、当該複数の位置決めプレートのうち一の位置決めプレートの座標と、当該相対的に配置されたコード情報に基づいて停止した搬送台車の把持部の座標との誤差量が補正手段により記録される。
【００１３】
この場合、被搬送物保管棚の設置時において、一のコード情報に基づいた補正情報が補正手段により記録されているので、所定の間隔で配置された他のコード情報に展開することができる。その結果、位置決めプレートを個々に調整する必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。
【００１４】
このように本発明に係る被搬送物保管システムにおいては、保管棚の被載置物を載置する１組の突起が、軌道上に取付けられたバーコードに対向する相対位置の誤差を実用上零と見なせる載置棚を提供することができ、当該載置棚について搬送台車の位置補正の教示工数を極限まで削減することができる。
【００１５】
（２）
補正手段は、突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を外部から入力できる外部入力手段をさらに含み、補正手段は、外部入力手段からの誤差量を補正情報として記録できることが好ましい。
【００１６】
この場合、補正手段は、外部入力手段をさらに含むので、外部入力手段からの誤差量に応じて微妙な調整を行い、補正情報として記録することができるので、より容易で確実に被搬送物保管システムを立ち上げることができる。
【００１７】
（３）
相対的座標は、突起群を構成し、一の被搬送物を載置させる１組の突起を頂点として形成される図形の図心と、コード情報とを鉛直軸上に配置させることが好ましい。
【００１８】
この場合、図心と所定の間隔で配置されたコード情報とが、鉛直軸上に配置されるので、当該鉛直軸が搬送台車の把持部の鉛直軸と一致するように補正することで、他のコード情報に対して補正を容易に行なうことができる。
【００１９】
（４）
複数のコード情報は、マスターバーコードであり、読み取り装置は、バーコードリーダであることが好ましい。
【００２０】
この場合、マスターバーコードの作成が容易で、バーコードリーダによりマスターバーコードを容易に読み取ることができるので、搬送台車が、容易に自律走行および停止を行なうことができる。
【００２１】
（５）
位置決めプレートは、１つ又は複数設置され、個々に被搬送物保管棚に固定可能なものであることが好ましい。
【００２２】
この場合、複数枚からなる位置決めプレートは、個々に被搬送物保管棚に固定することができるので、被搬送物保管棚に直接突起群を形成する場合と比較して、被搬送物保管棚形成後の突起群の配置調整を容易に行なうことができる。
【００２３】
（６）
軌道上に複数の被搬送物保管棚が設けられ、補正手段は、複数の被搬送物保管棚のうちいずれか１個の被搬送物保管棚の被搬送物についての補正情報を他の被搬送物保管棚の補正情報として使用し、搬送台車の停止位置を補正してもよい。
【００２４】
この場合、全ての被搬送物保管棚の設置時に軌道およびコード情報と被搬送物保管棚との相対的位置関係を合わせることで、１個の被搬送物保管棚の補正情報を他の被搬送物保管棚にも展開することができる。その結果、個々に調整する必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。その結果、被搬送物保管システム全体において、設置効率を向上させ、設置時間工数を削減することができる。
【００２５】
（７）
軌道は、複数の環状軌道および複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、補正手段は、複数の環状軌道の一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道内における他の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正を行なってもよい。
【００２６】
この場合、同一環状軌道内に複数設けられた被搬送物保管棚のうち１個の被搬送物保管棚の補正情報を求めることで、他の被搬送物保管棚に展開することができる。その結果、同一環状軌道内の個々の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正を行う必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。その結果、被搬送物保管システム全体において、設置効率を向上させることができる。
【００２７】
（８）
軌道は、複数の環状軌道および複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、補正手段は、複数の環状軌道の一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚のうちの一の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道外における他の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正を行ってもよい。
【００２８】
この場合、同一環状軌道内および同一環状軌道外の全ての被搬送物保管棚の設置条件を一致させることで、同一環状軌道内に複数設けられた被搬送物保管棚のうち１個の被搬送物保管棚の補正情報を求めることで、同一環状軌道外の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正に展開することができる。その結果、被搬送物保管システム全体の個々の被搬送物保管棚についての搬送台車の停止位置の補正情報を調整する必要がなくなり、被搬送物保管棚の設置工数を削減することができる。その結果、被搬送物保管システム全体において、設置効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に係る実施の形態について説明する。
（一実施の形態）
【００３０】
図１は、本発明に係る一実施の形態に係る被搬送物保管システム１００の全体の一例を示す模式図である。
【００３１】
まず、図１に示すように、被搬送物保管システム１００は、複数の環状レール（工程内軌道）５２０ａ，５２０ｂ，５２０ｃ，５２０ｄを有する。また、被搬送物保管システム１００は、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄを繋ぐ環状レール（工程間軌道）５２０ｅを有する。さらに、被搬送物保管システム１００においては、接続レール５２０ｆにより複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄと環状レール５２０ｅとが接続される。
【００３２】
それにより、レール５２０ａ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ｆ、５２０ｂ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ｆ、５２０ｄ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ｆ、５２０ｃ、５２０ｆ、５２０ｅ、５２０ａの順に、後述するＯＨＴ搬送台車３００を後退させずに一方向に循環して駆動させることができる。
【００３３】
図１に示すように、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄの周囲には、複数の半導体処理装置９００が配置される。また、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄには、複数の被搬送物保管システム１００の被搬送物保管棚２００ａ，２００ｂ，２００ｃが配置される。以下、被搬送物保管棚を被搬送物保管棚２００と略記する。また、環状レール（工程間軌道）５２０ｅには、ストッカ９１０が配置される。
【００３４】
ＯＨＴ搬送台車３００は、複数の環状レール５２０ａ〜５２０ｄを走行する際に、後述するＦＯＵＰ４００を被搬送物保管棚２００に載置したり、移送したりする。それにより、ＦＯＵＰ４００内に収納された基板が、半導体処理装置９００におけるハンドにより取り出され、所定の処理が施された後、ＦＯＵＰ４００内に収納される。そして、ＦＯＵＰ４００がＯＨＴ搬送台車３００に把持され、次工程の半導体処理装置９００まで移送されることにより、ＦＯＵＰ４００内の基板に対して所定の処理が順に施される。
【００３５】
図２は被搬送物保管システム１００の被搬送物保管棚２００の詳細を示す模式図である。
【００３６】
図２に示す被搬送物保管システム１００は、主に天井５００に設けられる。天井５００から懸垂部材５１０を介してレール５２０が設けられる。このレール５２０は、環状に設けられる(図１参照)。また、レール５２０は、複数の目的地点への途中の経路において分岐されており、その分岐点の近辺に被搬送物保管棚２００が設けられる。また、レール５２０には、所定の間隔で複数のコード情報（以下、マスターバーコードとする。）５３０ａ〜５３０ｅが設けられる。このマスターバーコード５３０ａ〜５３０ｅの詳細については後述する。
【００３７】
被搬送物保管棚２００は、レール５２０に懸垂した状態で設けられる。具体的には、吊り部材２４０，２４１の一端が、それぞれ支持部材２３０を介してレール５２０に対して鉛直下向き方向に設けられる。また、吊り部材２４０の他端が、ナット２５１により棚板２５０の一端に固定され、吊り部材２４１の他端が、ナット２５２により棚板２５０の他端に固定される。それにより、棚板２５０が、水平面に平行に配設される。
【００３８】
また、レール５２０に対向する棚板２５０の面には、位置決めプレート２６０が配置される。この位置決めプレート２６０は、後述するようにキネマティックピン２６１が複数個配置された板状部材からなる。したがって、当該棚板２５０の面には、位置決めプレート２６０が１つ又は複数枚敷き詰められた状態となる。図２においては、位置決めプレート２６０が１つ敷き詰められた状態を示す。
【００３９】
次に、レール５２０に懸垂した状態で移動するＯＨＴ(Ｏｖｅｒ ｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ)搬送台車３００について説明する。
【００４０】
ＯＨＴ搬送台車３００は、本体部３１０、昇降装置３２０、懸垂ベルト３３０およびグリッパ３４０を含む。ＯＨＴ搬送台車３００は、レール５２０に沿って移動し、かつ昇降装置３２０を懸垂ベルト３３０により上下動させることができる。昇降装置３２０の下部には、グリッパ３４０が設けられている。グリッパ３４０は、後述する被搬送物のフランジ４２０を把持可能な形状からなる。例えば、グリッパ３４０は、一対の部材からなり、後述するフランジ４２０を左右から挟持することができる。
【００４１】
また、ＯＨＴ搬送台車３００は、制御装置３５０、補正装置３５１、駆動装置３７０およびデータ読み取り装置（以下、バーコードリーダとする。）３６０を内蔵する（図８参照）。制御装置３５０は、バーコードリーダ３６０からの読み取りデータに基づいて駆動装置３７０の駆動および停止を制御する。さらに、制御装置３５０は、懸垂ベルト３３０の巻き取りおよび引き出しを制御するとともに、グリッパ３４０の動作も指示する。補正装置３５１は、制御装置３５０に補正情報を与える。補正装置３５１の詳細については後述する。また、ＯＨＴ搬送台車３００は、外部入力操作部６６０（図９参照）からの信号を受け取る受信装置を備える。制御装置３５０は、外部入力操作部６６０からの指示を補正装置３５１に与え、補正装置３５１は当該指示を補正情報として記録する。制御装置３５０は、当該指示に応じて駆動装置３７０の駆動および停止の制御を補正する。ここで、外部入力操作部６６０とは、携帯型リモートコントローラまたは前進後退スイッチ等である。
【００４２】
続いて、被搬送物の一例としてＦＯＵＰ(Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ)４００について説明する。ここで、ＦＯＵＰとは、ＳＥＭＩスタンダードＥ４７．１に規定されている、ミニエンバイロメント方式の半導体工場で使われる３００ｍｍウェハ用の搬送、保管を目的としたキャリアであり、正面開口式カセット一体型搬送の保管箱である。
【００４３】
ＦＯＵＰ４００は、本体部４１０およびフランジ４２０からなる。本体部４１０は、被搬送物を収納可能な箱形状からなる。そして、当該箱形状の内部は、ウェハが収納可能な構造で形成されている。また、本体部４１０の外側の下面には、位置決めプレート２６０のキネマティックピン２６１の突起と嵌合する凹部が形成されている。
【００４４】
続いて、本発明に係る被搬送物保管システム１００の設置時の工程について説明を行なう。図３は、レール５２０に被搬送物保管棚２００を形成する工程を示す模式図であり、図４は、レール５２０にマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅを設ける状態を示す模式図である。図４（ａ）はレール５２０の下面を下方から見た状態を示し、図４（ｂ）は図４（ａ）のレール５２０の断面を示す。
【００４５】
まず、図３に示すように、吊り部材２４０，２４１および棚板２５０を配設する。次に、図４（ａ）に示すように、レール５２０に所定の間隔Ｌ毎にマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅを配設する。この場合、図４（ｂ）に示すようにレール５２０は、内部が空洞のＣ型形状からなり、鉛直下方向の面にマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅが配設される。
【００４６】
続いて、図５は棚板２５０の上に位置決めプレート２６０を配置する状態を説明するための説明図であり、図６は位置決めプレート２６０の固定方法の一例を示す模式図である。
【００４７】
図５に示すように、棚板２５０の当該面上に１つの位置決めプレート２６０が配設される。この位置決めプレートは、長方形形状からなり、３つのキネマティックピン２６１を１組として複数組のキネマティックピンが設けられている。例えば、図５の場合においては、一枚の位置決めプレート２６０の上に２組（各組は３つのキネマティックピンで構成される）のキネマティックピン２６１が配設されている。
【００４８】
そして、図６に示すように、位置決めプレート２６０に設けられた長孔２６２に対して、ワッシャ６３０を挟み、ボルト６２０を貫通させナット６１０により移動自在に仮止めする。
【００４９】
次に、図５に示すように、ポジションポインター６００を使用して、マスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅの端部Ｐにポジションポインター６００から照射される鉛直光をあわせる。それにより、ポジションポインター６００から照射される鉛直下方向の光が、位置決めプレート２６０の上部に点として現れる。この場合、３つのキネマティックピン２６１から形成される三角形の図心が、ポジションポインター６００の光の点と一致するように、位置決めプレート２６０の位置を図６の水平方向の矢印および回転方向の矢印のように、移動させて調整する。すなわち、この位置決めプレート２６０の取付け方法によれば、被載置物を載置する複数組の突起と、これらに対向する軌道上に取付けられた対応するそれぞれのバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅとの相対位置の誤差は実用上零と見なせる精度に位置合わせされる。
【００５０】
続いて、位置決めプレート２６０の位置調整終了後、先に仮止めしたナット６１０を所定の回転トルクで締め付け、位置決めプレート２６０を棚板２５０に固定する。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、レーザビームを発するポジションポインター６００を用いたが、これに限定されず、例えば、糸の先端に分銅を付けたもの等であってもよい。また、位置決めプレート２６０を四角形状としたが、これに限定されず、他の任意の形状であってもよい。
【００５２】
次に、本発明に係る被搬送物保管システム１００の設置後のＯＨＴ搬送台車３００の位置調整について説明を行なう。
【００５３】
図７および図８は、本発明に係る建設時システム構築作業時に実施される載置棚についての搬送台車の位置補正教示方法の一例を説明するための説明図である。
【００５４】
まず、図７に示すように、手作業によりＦＯＵＰ４００をキネマティックピン２６１の上に載置する。ここで、ＦＯＵＰ４００の下面には、３つのキネマティックピン２６１に対して嵌合可能な凹部が形成されているので、その凹部に３つのキネマティックピン２６１が嵌合される。
【００５５】
次に、図８に示すように、ＯＨＴ搬送台車３００がレール５２０に沿って矢印Ａの方向に移動する。そして、ＯＨＴ搬送台車３００に内蔵されたバーコードリーダ３６０がマスターバーコード５３０ａを読み取り、制御装置３５０の働きによりＯＨＴ搬送台車３００が停車する。
【００５６】
図８に示すように、ＯＨＴ搬送台車３００が停車した位置におけるグリッパ３４０の鉛直方向の中心軸と、ＦＯＵＰ４００のフランジ４２０の鉛直方向の中心軸との間で、誤差Ｌ１が生じると仮定する。この場合、ＦＯＵＰ４００を安定して載置させ、または搬送させるためには、この誤差Ｌ１をＯＨＴ搬送台車３００の駆動装置において調整する必要がある。
【００５７】
すなわち、図８のＯＨＴ搬送台車３００では、当該誤差Ｌ１が補正値となる。また、この調整は、矢印Ａの方向のみに止まらず、通常は走行方向、走行に垂直方向、回転方向、高さ方向の組み合わせが必要となる。
【００５８】
次に、この補正値をＯＨＴ搬送台車３００に教示する方法について図９を用い説明する。図９は、ＯＨＴ搬送台車３００に当該補正値を教示する方法を説明するための模式図である。
【００５９】
図９に示すように、教示には外部入力操作部６６０を使用する。教示では作業者が、まずＯＨＴ搬送台車３００が停止している現在位置の座標値（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０，θ０）を外部入力操作部６６０を操作して補正装置３５１に記憶させる。
【００６０】
次いで、ＯＨＴ搬送台車３００がグリッパ部３４０でＦＯＵＰ４００のフランジ４２０を正しく把持できる正規の位置まで作業者が外部入力操作部６６０を操作し、ＯＨＴ搬送台車３００を移動させる。
【００６１】
図９では移動操作に必要な移動量をＬ１で代表させているが、通常はＬ１に垂直方向、上下方向、回転方向の移動も必要となる。ＯＨＴ搬送台車３００の正規位置への移動完了後、外部入力操作部６６０を操作して移動後のＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の座標値（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１，θ１）を補正装置３５１に記憶させる。先に記憶させた座標値（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０，θ０）と今回記憶させた座標値（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１，θ１）の差が補正値となるので、外部入力操作部６６０を操作して補正装置３５１に補正値を計算させ、これを記憶させる。この補正値を補正装置３５１に記憶させる操作を教示作業と呼ぶ。
【００６２】
制御装置３５０は、補正装置３５１に記録された誤差Ｌ１を座標値としてＯＨＴ搬送台車３００の駆動を制御する。ここで、マスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅは、等間隔で配置されておりマスターバーコードと位置決めプレートは、正確に位置合わせされているので、マスターバーコード５３０ｂ，５３０ｃ，５３０ｄ，５３０ｅにおける誤差も同様に、マスターバーコード５３０ａの場合と同じ補正値（誤差Ｌ１）となるため、複数回誤差の調整を行なう必要なく、短時間でＯＨＴ搬送台車３００によりＦＯＵＰ４００を安定して載置または搬送を行なわせることができる。
【００６３】
以上のように、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、一のマスターバーコード５３０ａに基づいた補正情報（誤差量Ｌ１）が補正装置３５１に記録されているので、制御装置３５０が所定の間隔で配置されたマスターバーコード５３０ｂ，〜，５３０ｅに展開することができる。また位置決めプレート２６０には複数のキネマティックピン組が一体に形成されるので、ＦＯＵＰ毎のキネマティックピン組を個々に位置合わせする必要がなくなり、被搬送物保管システム１００の設置工数（特に教示時間）を削減することができる。
【００６４】
また、外部入力操作部６６０（携帯型リモートコントローラ等）を用いて教示操作を行なうことができ、補正情報として記録することができるので、より容易で確実に被搬送物保管システム１００を立ち上げることができる。
【００６５】
この場合、被搬送物を載置させる１組の突起を頂点として形成される図形の図心と所定の間隔で配置されたマスターバーコード５３０ａ，〜，５３０ｅとが、鉛直軸上に配置される。そして、当該鉛直軸に基づいてＯＨＴ搬送台車３００のグリッパ３４０がＦＯＵＰを正しく把持できるようにＯＨＴ搬送台車３００の停止位置が補正されるので、他のマスターバーコード５３０ｂ，〜，５３０ｅに対して容易に補正を行なうことができる。
【００６６】
この場合、複数枚からなる位置決めプレート２６０は、個々に被搬送物保管棚２００に固定可能であるので、被搬送物保管棚２００に直接キネマティックピン２６１を形成する場合と比較して、被搬送物保管棚２００形成後のキネマティックピン２６１の配置調整を容易に行なうことができる。
【００６７】
また、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、一のマスターバーコード５３０ａに基づいた補正情報（誤差量Ｌ１）が補正装置３５１に記録されているので、制御装置３５０が同一軌道内（例えば、レール５２０ａ）における他の被搬送物保管棚２００a，２００ｂ，２００ｃ（図１参照）についてのＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の補正に対して展開することができる。その結果、同一軌道内における被搬送物保管棚２００a，２００ｂ，２００ｃの個々にＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の教示をする必要がなくなり、被搬送物保管システム１００の設置工数（特に教示作業および教示時間）を削減することができる。
【００６８】
さらに、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、一のマスターバーコード５３０ａに基づいた補正情報（誤差量Ｌ１）が補正装置３５１に記録されているので、被搬送物保管システム１００における全ての被搬送物保管棚２００の設置条件を統一すれば、制御装置３５０が同一軌道外における他の被搬送物保管棚２００に対する搬送台車の停止位置に対して展開することができる。その結果、同一軌道外における被搬送物保管棚２００の個々にＯＨＴ搬送台車３００の停止位置の教示をする必要がなくなり、被搬送物保管システム１００の設置工数（特に教示作業、教示時間）を削減することができる。
【００６９】
なお、本実施の形態においては、位置決めプレート２６０が、一枚の長方形の板状部材から形成されたこととしているが、それに限定されず、他の任意の形状から形成されてもよく、さらに、キネマティックピン２６１の代わりに他の部材または凹部を形成することとしてもよい。
【００７０】
さらに、本発明に係る被搬送物保管システム１００においては、コード情報としてマスターバーコードを用い、コード情報読み取り装置としてバーコードリーダを用いることとしたが、これに限定されず、他の任意のコード情報、例えば、ＩＣタグ（ＲＦＩＤ）、二次元バーコード等を用いてもよい。
【００７１】
上記一実施の形態においては、天井５００が天井に相当し、レール５２０が軌道に相当し、ＦＯＵＰ４００が被搬送物に相当し、ＯＨＴ搬送台車３００が搬送台車に相当し、被搬送物保管システム１００が被搬送物保管システムに相当し、被搬送物保管棚２００が被搬送物保管棚に相当し、複数のキネマティックピン２６１が突起群に相当し、位置決めプレート２６０が位置決めプレートに相当し、マスターバーコード５３０ａ〜５３０ｅが複数のコード情報に相当し、バーコードリーダ３６０およびデータ読み取り装置がコード情報読み取り装置に相当し、フランジ４２０が被把持部に相当し、グリッパ３４０が把持部に相当し、補正装置３５１が補正手段に相当し、誤差Ｌ１が誤差量に相当し、外部入力操作部６６０（携帯型リモートコントローラ）が外部入力手段に相当し、３つのキネマティックピン２６１の重心位置Ｇが、図心に相当する。
【００７２】
本発明は、上記の好ましい一実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明に係る一実施の形態に係る被搬送物保管システムの全体の一例を示す模式図
【図２】被搬送物保管システムの被搬送物保管棚の詳細を示す模式図
【図３】レールに被搬送物保管棚を形成する工程を示す模式図
【図４】レールにマスターバーコードを設ける状態を示す模式図
【図５】棚板の上に位置決めプレートを配置する状態を説明するための説明図
【図６】位置決めプレートの固定方法の一例を示す模式図
【図７】本発明に係る建設時システム構築作業時に実施される載置棚についての搬送台車の位置補正教示方法の一例を説明するための説明図
【図８】本発明に係る建設時システム構築作業時に実施される載置棚についての搬送台車の位置補正教示方法の一例を説明するための説明図
【図９】ＯＨＴ搬送台車に当該補正値を教示する方法を説明するための模式図
【符号の説明】
【００７４】
１００ 被搬送物保管システム
２００ 被搬送物保管棚
２３０ 支持部材
２４０，２４１ 吊り部材
２５０ 棚板
２５１，２５２ ナット
２６０ 位置決めプレート
２６１ キネマティックピン
２６２ 長孔
３００ ＯＨＴ搬送台車
３１０ 本体部
３２０ 昇降装置
３３０ 懸垂ベルト
３４０ グリッパ
３５０ 制御装置
３５１ 補正装置
３６０ データ読み取り装置
３７０ 駆動装置
４００ ＦＯＵＰ
４１０ 本体部
４２０ フランジ
５００ 天井
５１０ 懸垂部材
５２０，５２０ａ，５２０ｂ，５２０ｃ， レール
５２０ｄ，５２０ｅ，５２０ｆ レール
５３０ａ，〜，５３０ｅ マスターバーコード
６００ ポジションポインター
６１０ ナット
６２０ ボルト
６３０ ワッシャ
６６０ 外部入力操作部
９００ 半導体処理装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に敷設された軌道に沿って被搬送物を懸垂状態で把持して走行する搬送台車を備えた被搬送物保管システムであって、
前記軌道の下方に懸垂状態で配置され、複数個の前記被搬送物を載置可能な被搬送物保管棚と、
前記被搬送物保管棚に載置される複数個の前記被搬送物の底面に形成された凹部に嵌合して支持することができる突起群を備えた位置決めプレートと、
前記軌道の下部に所定の間隔で貼着された複数のコード情報と、
前記複数のコード情報を読み取るコード情報読み取り装置、前記被搬送物に形成された被把持部を把持しつつ移送可能な把持部および前記軌道に沿って走行し停止位置を調整することができる補正手段を備える搬送台車と、を含み、
予め前記位置決めプレートを前記被搬送物保管棚の前記被搬送物を載置させる面の所定位置に配置し、前記複数のコード情報の個々のコード情報と前記突起群との相対的座標をそれぞれ確定し、
前記搬送台車を前記一のコード情報に基づき停止させ、前記突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を前記補正手段に補正情報として記録させ、前記補正手段が、前記他のコード情報に対して当該補正情報を用いて前記搬送台車の停止位置を補正することを特徴とする被搬送物保管システム。
【請求項２】
前記補正手段は、
前記突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を外部から入力できる外部入力手段をさらに含み、
前記補正手段は、前記外部入力手段からの誤差量を補正情報として記録することができることを特徴とする請求項１記載の被搬送物保管システム。
【請求項３】
前記相対的座標は、
前記突起群を構成し前記一の被搬送物を載置させる１組の突起を頂点として形成される図形の図心と、前記コード情報とを鉛直軸上に配置させることを特徴とする請求項１または請求項２記載の被搬送物保管システム。
【請求項４】
前記複数のコード情報は、マスターバーコードであり、前記読み取り装置は、バーコードリーダであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の被搬送物保管システム。
【請求項５】
前記位置決めプレートは、１つ又は複数設置され、個々に前記被搬送物保管棚に固定可能なことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の被搬送物保管システム。
【請求項６】
前記軌道上に複数の前記被搬送物保管棚が設けられ、
前記補正手段は、前記複数の被搬送物保管棚のうちいずれか１個の前記被搬送物保管棚の被搬送物についての補正情報を、他の前記被搬送物保管棚の補正情報として使用し、前記搬送台車の停止位置を補正することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の被搬送物保管システム。
【請求項７】
前記軌道は、複数の環状軌道および前記複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、
前記補正手段は、
前記複数の環状軌道における一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚のうち一の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道内における他の被搬送物保管棚についての前記搬送台車の停止位置の補正を行なうことを特徴とする請求項６記載の被搬送物保管システム。
【請求項８】
前記軌道は、複数の環状軌道および前記複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、
前記補正手段は、
前記複数の環状軌道の一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚のうちの一の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道外における他の被搬送物保管棚についての前記搬送台車の停止位置の補正を行なうことを特徴とする請求項６記載の被搬送物保管システム。
【請求項１】
天井に敷設された軌道に沿って被搬送物を懸垂状態で把持して走行する搬送台車を備えた被搬送物保管システムであって、
前記軌道の下方に懸垂状態で配置され、複数個の前記被搬送物を載置可能な被搬送物保管棚と、
前記被搬送物保管棚に載置される複数個の前記被搬送物の底面に形成された凹部に嵌合して支持することができる突起群を備えた位置決めプレートと、
前記軌道の下部に所定の間隔で貼着された複数のコード情報と、
前記複数のコード情報を読み取るコード情報読み取り装置、前記被搬送物に形成された被把持部を把持しつつ移送可能な把持部および前記軌道に沿って走行し停止位置を調整することができる補正手段を備える搬送台車と、を含み、
予め前記位置決めプレートを前記被搬送物保管棚の前記被搬送物を載置させる面の所定位置に配置し、前記複数のコード情報の個々のコード情報と前記突起群との相対的座標をそれぞれ確定し、
前記搬送台車を前記一のコード情報に基づき停止させ、前記突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を前記補正手段に補正情報として記録させ、前記補正手段が、前記他のコード情報に対して当該補正情報を用いて前記搬送台車の停止位置を補正することを特徴とする被搬送物保管システム。
【請求項２】
前記補正手段は、
前記突起群の上に載置された被搬送物の被把持部の位置と、当該停止した搬送台車の把持部の位置との誤差量を外部から入力できる外部入力手段をさらに含み、
前記補正手段は、前記外部入力手段からの誤差量を補正情報として記録することができることを特徴とする請求項１記載の被搬送物保管システム。
【請求項３】
前記相対的座標は、
前記突起群を構成し前記一の被搬送物を載置させる１組の突起を頂点として形成される図形の図心と、前記コード情報とを鉛直軸上に配置させることを特徴とする請求項１または請求項２記載の被搬送物保管システム。
【請求項４】
前記複数のコード情報は、マスターバーコードであり、前記読み取り装置は、バーコードリーダであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の被搬送物保管システム。
【請求項５】
前記位置決めプレートは、１つ又は複数設置され、個々に前記被搬送物保管棚に固定可能なことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の被搬送物保管システム。
【請求項６】
前記軌道上に複数の前記被搬送物保管棚が設けられ、
前記補正手段は、前記複数の被搬送物保管棚のうちいずれか１個の前記被搬送物保管棚の被搬送物についての補正情報を、他の前記被搬送物保管棚の補正情報として使用し、前記搬送台車の停止位置を補正することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の被搬送物保管システム。
【請求項７】
前記軌道は、複数の環状軌道および前記複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、
前記補正手段は、
前記複数の環状軌道における一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚のうち一の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道内における他の被搬送物保管棚についての前記搬送台車の停止位置の補正を行なうことを特徴とする請求項６記載の被搬送物保管システム。
【請求項８】
前記軌道は、複数の環状軌道および前記複数の環状軌道を繋ぐ軌道からなり、
前記補正手段は、
前記複数の環状軌道の一の環状軌道内に設置された複数の被搬送物保管棚のうちの一の被搬送物保管棚の一の被搬送物についての補正情報を用いて、同一環状軌道外における他の被搬送物保管棚についての前記搬送台車の停止位置の補正を行なうことを特徴とする請求項６記載の被搬送物保管システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−５６４５０（Ｐ２００８−５６４５０Ａ）
【公開日】平成２０年３月１３日（２００８．３．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２３７１９８（Ｐ２００６−２３７１９８）
【出願日】平成１８年９月１日（２００６．９．１）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年３月１３日（２００８．３．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月１日（２００６．９．１）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
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