含フッ素ノルボルネン誘導体単位を有する含フッ素重合体
【課題】透明性に優れ、かつ耐ドライエッチング性が改善されており、Ｆ2レーザー用の化学増幅型フォトレジスト用の材料を提供する。
【解決手段】式（１３）：
−（Ｍ１）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１３）
（式中、Ｍ１は、含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体に由来する構造単位；Ｍ２は炭素数２または３のエチレン性単量体であって、フッ素原子を少なくとも１つ含有する含フッ素単量体から得られる構造単位；Ｎは構造単位Ｍ１、Ｍ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、構造単位Ｍ１を１〜９９モル％、構造単位Ｍ２を１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体。
【解決手段】式（１３）：
−（Ｍ１）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１３）
（式中、Ｍ１は、含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体に由来する構造単位；Ｍ２は炭素数２または３のエチレン性単量体であって、フッ素原子を少なくとも１つ含有する含フッ素単量体から得られる構造単位；Ｎは構造単位Ｍ１、Ｍ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、構造単位Ｍ１を１〜９９モル％、構造単位Ｍ２を１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（１３）：
−（Ｍ１）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１３）
（式中、Ｍ１は、
式（８）：
【化１】
［式中、Ｚ4は同じかまたは異なり、いずれも
【化２】
（式中、Ｒｆ4は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｒ3はＨまたは炭素数１〜１０の炭化水素基）；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ｍは１〜５の整数；ｎ１は１〜５の整数；ただしｍ＋ｎ１＝６でＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基］で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、
式（９）：
【化３】
［式中、Ｚ5は同じかまたは異なり、いずれも
【化４】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基）；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ｍは１〜５の整数；ｎ１は１〜５の整数；ただしｍ＋ｎ１＝６でＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基］で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、
式（１０）：
【化５】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ただしＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基）で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、
式（１１）：
【化６】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ただしＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基）で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、または
式（１２）：
【化７】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3は同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数。ただし、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3の少なくとも１つはＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基である）で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体
のいずれかに記載の含フッ素ノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；
Ｍ２は炭素数２または３のエチレン性単量体であって、フッ素原子を少なくとも１つ含有する含フッ素単量体から得られる構造単位；
Ｎは構造単位Ｍ１、Ｍ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）
で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、構造単位Ｍ１を１〜９９モル％、構造単位Ｍ２を１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体。
【請求項２】
式（１２）においてＹ1およびＹ2がＨ、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１記載の含フッ素重合体。
【請求項３】
式（１２）においてＹ1およびＹ2がＦ、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１記載の含フッ素重合体。
【請求項４】
Ｒｆ4およびＲｆ5がＣＦ3である請求項１〜３のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項５】
含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体が、水酸基を保護した保護酸反応性官能基−ＯＱ1を有する請求項１〜４のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項６】
保護酸反応性官能基−ＯＱ1が、
【化８】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は炭素数１〜５のアルキル基）よりなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項５記載の含フッ素重合体。
【請求項７】
式（１３）において（Ｍ１）＋（Ｍ２）＝１００モル％としたとき、Ｍ１／Ｍ２が３０／７０〜７０／３０モル％比である請求項１〜６のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項８】
式（１３）−１：
−（Ｍ１−１）−（Ｍ１−２）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１３）−１
（式中、Ｍ１−１は請求項１〜４のいずれかに記載の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ１−２は請求項５または６に記載された保護酸反応性官能基を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ２およびＮは式（１３）と同じ）で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、（Ｍ１−１）＋（Ｍ１−２）＋Ｍ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１−１）＋（Ｍ１−２）｝／Ｍ２は３０／７０〜７０／３０モル％比であり、構造単位Ｍ１−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ１−２を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体。
【請求項９】
（Ｍ１−１）＋（Ｍ１−２）＝１００モル％としたとき（Ｍ１−１）／（Ｍ１−２）が９０／１０〜５０／５０モル％比である請求項８記載の含フッ素重合体。
【請求項１０】
式（１３）−２：
−（Ｍ１−３）−（Ｍ２）−（Ｎ２）−（Ｎ）− （１３）−２
（式中、
構造単位Ｍ２は式（１３）と同じ、
構造単位Ｍ１−３は請求項１〜６のいずれかに記載のノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；
構造単位Ｎ２は構造単位Ｍ１−３、Ｍ２およびＮを構成する単量体と共重合可能な環状の脂肪族不飽和炭化水素からなるものであって、さらにＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有する環状の脂肪族不飽和炭化水素に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１−３、Ｍ２およびＮ２を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１−３）＋Ｍ２＋Ｎ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１−３）＋Ｎ２｝／Ｍ２が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、構造単位Ｍ１−３を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％である含フッ素重合体。
【請求項１１】
式（１３）−２の含フッ素重合体において構造単位Ｎ２がＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体に由来する構造単位である請求項１０記載の含フッ素重合体。
【請求項１２】
ＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体が式：
【化９】
（式中、Ａ、ＢおよびＣはＨ、Ｆ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基、Ｒは炭素数１〜２０の２価の炭化水素基、炭素数１〜２０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基、ａは０または１〜３の整数、ｂは０または１、ＣＯＯＱ1はＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基、ただし、ｂが０またはＲがフッ素原子を含まない場合はＡ〜Ｃのいずれか１つはフッ素原子または含フッ素アルキル基である）で示されるものである請求項１１記載の含フッ素重合体。
【請求項１３】
式（１３）−３：
−（Ｍ１−１）−（Ｍ２）−（Ｎ２−１）−（Ｎ）− （１３）−３
（式中、
構造単位Ｍ１−１、Ｍ２は請求項８記載の式（１３）−１と同じ、
構造単位Ｎ２−１は式（３）−１：
【化１０】
（式中、ＣＯＯＱ1は酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｒ、ａおよびｂは前記と同じ）で示されるノルボルネン誘導体に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１−１、Ｍ２およびＮ２−１を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１−１）＋（Ｍ２）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、｛（Ｍ１−１）＋（Ｎ２−１）｝／（Ｍ２）が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、かつ（Ｍ１−１）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、（Ｍ１−１）／（Ｎ２−１）が９５／５〜５０／５０モル％であり、構造単位Ｍ１−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２−１を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む含フッ素重合体。
【請求項１４】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、フッ化ビニリデンおよびフッ化ビニルよりなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体から得られた構造単位である請求項１〜１３のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項１５】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレンまたはクロロトリフルオロエチレンから得られた構造単位である請求項１４記載の含フッ素重合体。
【請求項１６】
（Ａ）ＯＨ基および／または水酸基を保護酸反応性官能基−ＯＱ1で保護した基を有する含フッ素重合体、
（Ｂ）光酸発生剤、
（Ｃ）溶剤
からなる組成物であって、
酸反応性基を有する含フッ素重合体（Ａ）が、式（１４）：
−（Ｍ１ａ）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１４）
（式中、Ｍ１ａは前記式（８）〜（１２）の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体および／または前記式（８）〜（１２）の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体の水酸基を保護酸反応性官能基−ＯＱ1で保護した化合物に由来する構造単位；Ｍ２は炭素数２または３のエチレン性単量体であって、フッ素原子を少なくとも１つ含有する含フッ素単量体から得られる構造単位；Ｎは構造単位Ｍ１ａ、Ｍ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示される含フッ素重合体である化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１７】
（Ａ）ＯＨ基または酸で解離してＯＨ基に変化させることができる基を有する含フッ素重合体、
（Ｂ）光酸発生剤、および
（Ｃ）溶剤
からなる組成物であって、
該含フッ素重合体（Ａ）が、式（１４）−１：
−（Ｍ１ａ）−（Ｍ２）―（Ｎ）− （１４）−１
（式中、
構造単位Ｍ１ａは、式（１５）：
【化１１】
（式中、Ｚ6は同じかまたは異なり、
【化１２】
（Ｒｆ6、Ｒｆ7は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｚ7はＯＨ基または酸を作用させることによって解離してＯＨ基に変化する基）；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０または１〜５の整数；ｍは１〜５の整数；ｎ１は１〜５の整数；ただし、ｍ＋ｎ１＝６でＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基）で示される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位、
構造単位Ｍ２が、炭素数２または３のエチレン性単量体であって少なくとも１個のフッ素原子を有する単量体に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１ａおよびＭ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）
で示され、Ｍ１ａ＋Ｍ２＝１００モル％としたとき、Ｍ１ａ／Ｍ２が１／９９〜７０／３０モル％比であり、構造単位Ｍ１ａを１〜９９モル％、構造単位Ｍ２を１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体である請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１８】
前記含フッ素重合体（Ａ）において、構造単位Ｍ１ａが、式（１６）：
【化１３】
（Ｒｆ6、Ｒｆ7は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｚ7はＯＨ基または酸を作用させることによって解離してＯＨ基に変化する基；Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3は同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数。ただし、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3の少なくとも１つはＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基である）で表わされる含フッ素ノルボルネン誘導体に由来する構造単位であることを特徴とする請求項１７記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１９】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、前記式（１６）に記載のＹ1、Ｙ2がＨで、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１８記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２０】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、前記式（１６）に記載のＹ1、Ｙ2がＦで、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１８記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２１】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、前記式（１６）に記載のＲｆ6、Ｒｆ7がＣＦ3である請求項１８〜２０のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２２】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、酸を作用させることにより解離してＯＨ基に変化する基Ｚ7が、
【化１４】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は炭素数１〜５のアルキル基）で示される基である請求項１７〜２１のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２３】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレンおよびクロロトリフルオロエチレンよりなる群から選ばれた少なくとも１種の単量体から得られた構造単位である請求項１７〜２２のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２４】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）が式（１４）−２：
−（Ｍ１ａ−１）−（Ｍ１ａ−２）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１４）−２
（式中、Ｍ１ａ−１は請求項１〜４のいずれかに記載の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ１ａ−２は請求項１１または１２に記載された保護酸反応性官能基を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ２およびＮは式（１４）と同じ）で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ１ａ−２）＋Ｍ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ１ａ−２）｝／Ｍ２は３０／７０〜７０／３０モル％比であり、構造単位Ｍ１ａ−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ１ａ−２を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体である請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２５】
（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ１ａ−２）＝１００モル％としたとき（Ｍ１ａ−１）／（Ｍ１ａ−２）が９０／１０〜５０／５０モル％比である請求項２４記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２６】
含フッ素重合体（Ａ）が式（１４）−３：
−（Ｍ１ａ−３）−（Ｍ２）−（Ｎ２）−（Ｎ）− （１４）−３
（式中、
構造単位Ｍ２は式（１４）と同じ、
構造単位Ｍ１ａ−３は請求項１〜６のいずれかに記載のノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；
構造単位Ｎ２は構造単位Ｍ１ａ−３、Ｍ２およびＮを構成する単量体と共重合可能な環状の脂肪族不飽和炭化水素からなるものであって、さらにＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有する環状の脂肪族不飽和炭化水素に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１ａ−３、Ｍ２およびＮ２を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１ａ−３）＋Ｍ２＋Ｎ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１ａ−３）＋Ｎ２｝／Ｍ２が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、構造単位Ｍ１−３を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含むことを特徴とする請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２７】
式（１４）−３の含フッ素重合体において構造単位Ｎ２がＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体に由来する構造単位である請求項２６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２８】
ＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体が式：
【化１５】
（式中、Ａ、ＢおよびＣはＨ、Ｆ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基、Ｒは炭素数１〜２０の２価の炭化水素基、炭素数１〜２０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基、ａは０または１〜３の整数、ｂは０または１、ＣＯＯＱ1はＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基。ただし、ｂが０またはＲがフッ素原子を含まない場合はＡ〜Ｃのいずれか１つはフッ素原子または含フッ素アルキル基である）で示されるものである請求項２７記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２９】
含フッ素重合体（Ａ）が式（１４）−４：
−（Ｍ１ａ−１）−（Ｍ２）−（Ｎ２−１）−（Ｎ）− （１４）−４
（式中、
構造単位Ｍ１ａ−１およびＭ２は請求項２４記載の式（１４）−２と同じ、
構造単位Ｎ２−１は式：
【化１６】
（式中、ＣＯＯＱ1は酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｒ、ａおよびｂは前記と同じ）で示されるノルボルネン誘導体に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１ａ−１、Ｍ２およびＮ２−１を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ２）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、｛（Ｍ１ａ−１）＋（Ｎ２−１）｝／（Ｍ２）が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、かつ（Ｍ１ａ−１）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、（Ｍ１ａ−１）／（Ｎ２−１）が９５／５〜５０／５０モル％であり、構造単位Ｍ１−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２−１を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む含フッ素重合体である請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項３０】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、フッ化ビニリデンおよびフッ化ビニルよりなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体から得られた構造単位である請求項１６または２４〜２９のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項３１】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレンまたはクロロトリフルオロエチレンから得られた構造単位である請求項３０記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１】
式（１３）：
−（Ｍ１）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１３）
（式中、Ｍ１は、
式（８）：
【化１】
［式中、Ｚ4は同じかまたは異なり、いずれも
【化２】
（式中、Ｒｆ4は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｒ3はＨまたは炭素数１〜１０の炭化水素基）；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ｍは１〜５の整数；ｎ１は１〜５の整数；ただしｍ＋ｎ１＝６でＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基］で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、
式（９）：
【化３】
［式中、Ｚ5は同じかまたは異なり、いずれも
【化４】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基）；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ｍは１〜５の整数；ｎ１は１〜５の整数；ただしｍ＋ｎ１＝６でＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基］で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、
式（１０）：
【化５】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ただしＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基）で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、
式（１１）：
【化６】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数；ただしＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基）で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体、または
式（１２）：
【化７】
（式中、Ｒｆ4、Ｒｆ5は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3は同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数。ただし、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3の少なくとも１つはＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基である）で表される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体
のいずれかに記載の含フッ素ノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；
Ｍ２は炭素数２または３のエチレン性単量体であって、フッ素原子を少なくとも１つ含有する含フッ素単量体から得られる構造単位；
Ｎは構造単位Ｍ１、Ｍ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）
で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、構造単位Ｍ１を１〜９９モル％、構造単位Ｍ２を１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体。
【請求項２】
式（１２）においてＹ1およびＹ2がＨ、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１記載の含フッ素重合体。
【請求項３】
式（１２）においてＹ1およびＹ2がＦ、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１記載の含フッ素重合体。
【請求項４】
Ｒｆ4およびＲｆ5がＣＦ3である請求項１〜３のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項５】
含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体が、水酸基を保護した保護酸反応性官能基−ＯＱ1を有する請求項１〜４のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項６】
保護酸反応性官能基−ＯＱ1が、
【化８】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は炭素数１〜５のアルキル基）よりなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項５記載の含フッ素重合体。
【請求項７】
式（１３）において（Ｍ１）＋（Ｍ２）＝１００モル％としたとき、Ｍ１／Ｍ２が３０／７０〜７０／３０モル％比である請求項１〜６のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項８】
式（１３）−１：
−（Ｍ１−１）−（Ｍ１−２）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１３）−１
（式中、Ｍ１−１は請求項１〜４のいずれかに記載の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ１−２は請求項５または６に記載された保護酸反応性官能基を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ２およびＮは式（１３）と同じ）で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、（Ｍ１−１）＋（Ｍ１−２）＋Ｍ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１−１）＋（Ｍ１−２）｝／Ｍ２は３０／７０〜７０／３０モル％比であり、構造単位Ｍ１−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ１−２を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体。
【請求項９】
（Ｍ１−１）＋（Ｍ１−２）＝１００モル％としたとき（Ｍ１−１）／（Ｍ１−２）が９０／１０〜５０／５０モル％比である請求項８記載の含フッ素重合体。
【請求項１０】
式（１３）−２：
−（Ｍ１−３）−（Ｍ２）−（Ｎ２）−（Ｎ）− （１３）−２
（式中、
構造単位Ｍ２は式（１３）と同じ、
構造単位Ｍ１−３は請求項１〜６のいずれかに記載のノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；
構造単位Ｎ２は構造単位Ｍ１−３、Ｍ２およびＮを構成する単量体と共重合可能な環状の脂肪族不飽和炭化水素からなるものであって、さらにＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有する環状の脂肪族不飽和炭化水素に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１−３、Ｍ２およびＮ２を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１−３）＋Ｍ２＋Ｎ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１−３）＋Ｎ２｝／Ｍ２が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、構造単位Ｍ１−３を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％である含フッ素重合体。
【請求項１１】
式（１３）−２の含フッ素重合体において構造単位Ｎ２がＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体に由来する構造単位である請求項１０記載の含フッ素重合体。
【請求項１２】
ＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体が式：
【化９】
（式中、Ａ、ＢおよびＣはＨ、Ｆ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基、Ｒは炭素数１〜２０の２価の炭化水素基、炭素数１〜２０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基、ａは０または１〜３の整数、ｂは０または１、ＣＯＯＱ1はＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基、ただし、ｂが０またはＲがフッ素原子を含まない場合はＡ〜Ｃのいずれか１つはフッ素原子または含フッ素アルキル基である）で示されるものである請求項１１記載の含フッ素重合体。
【請求項１３】
式（１３）−３：
−（Ｍ１−１）−（Ｍ２）−（Ｎ２−１）−（Ｎ）− （１３）−３
（式中、
構造単位Ｍ１−１、Ｍ２は請求項８記載の式（１３）−１と同じ、
構造単位Ｎ２−１は式（３）−１：
【化１０】
（式中、ＣＯＯＱ1は酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｒ、ａおよびｂは前記と同じ）で示されるノルボルネン誘導体に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１−１、Ｍ２およびＮ２−１を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１−１）＋（Ｍ２）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、｛（Ｍ１−１）＋（Ｎ２−１）｝／（Ｍ２）が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、かつ（Ｍ１−１）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、（Ｍ１−１）／（Ｎ２−１）が９５／５〜５０／５０モル％であり、構造単位Ｍ１−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２−１を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む含フッ素重合体。
【請求項１４】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、フッ化ビニリデンおよびフッ化ビニルよりなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体から得られた構造単位である請求項１〜１３のいずれかに記載の含フッ素重合体。
【請求項１５】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレンまたはクロロトリフルオロエチレンから得られた構造単位である請求項１４記載の含フッ素重合体。
【請求項１６】
（Ａ）ＯＨ基および／または水酸基を保護酸反応性官能基−ＯＱ1で保護した基を有する含フッ素重合体、
（Ｂ）光酸発生剤、
（Ｃ）溶剤
からなる組成物であって、
酸反応性基を有する含フッ素重合体（Ａ）が、式（１４）：
−（Ｍ１ａ）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１４）
（式中、Ｍ１ａは前記式（８）〜（１２）の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体および／または前記式（８）〜（１２）の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体の水酸基を保護酸反応性官能基−ＯＱ1で保護した化合物に由来する構造単位；Ｍ２は炭素数２または３のエチレン性単量体であって、フッ素原子を少なくとも１つ含有する含フッ素単量体から得られる構造単位；Ｎは構造単位Ｍ１ａ、Ｍ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示される含フッ素重合体である化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１７】
（Ａ）ＯＨ基または酸で解離してＯＨ基に変化させることができる基を有する含フッ素重合体、
（Ｂ）光酸発生剤、および
（Ｃ）溶剤
からなる組成物であって、
該含フッ素重合体（Ａ）が、式（１４）−１：
−（Ｍ１ａ）−（Ｍ２）―（Ｎ）− （１４）−１
（式中、
構造単位Ｍ１ａは、式（１５）：
【化１１】
（式中、Ｚ6は同じかまたは異なり、
【化１２】
（Ｒｆ6、Ｒｆ7は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｚ7はＯＨ基または酸を作用させることによって解離してＯＨ基に変化する基）；Ｙは同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０または１〜５の整数；ｍは１〜５の整数；ｎ１は１〜５の整数；ただし、ｍ＋ｎ１＝６でＹの少なくとも１つがＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基）で示される含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位、
構造単位Ｍ２が、炭素数２または３のエチレン性単量体であって少なくとも１個のフッ素原子を有する単量体に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１ａおよびＭ２と共重合可能な単量体に由来する構造単位）
で示され、Ｍ１ａ＋Ｍ２＝１００モル％としたとき、Ｍ１ａ／Ｍ２が１／９９〜７０／３０モル％比であり、構造単位Ｍ１ａを１〜９９モル％、構造単位Ｍ２を１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体である請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１８】
前記含フッ素重合体（Ａ）において、構造単位Ｍ１ａが、式（１６）：
【化１３】
（Ｒｆ6、Ｒｆ7は同じかまたは異なり、炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；Ｚ7はＯＨ基または酸を作用させることによって解離してＯＨ基に変化する基；Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3は同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基；Ｒは同じかまたは異なり、Ｈまたは炭素数１〜１０のアルキル基；ｎは０〜５の整数。ただし、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3の少なくとも１つはＦまたは炭素数１〜１０のエーテル結合を含んでいてもよい含フッ素アルキル基である）で表わされる含フッ素ノルボルネン誘導体に由来する構造単位であることを特徴とする請求項１７記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項１９】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、前記式（１６）に記載のＹ1、Ｙ2がＨで、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１８記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２０】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、前記式（１６）に記載のＹ1、Ｙ2がＦで、Ｙ3がＦまたはＣＦ3である請求項１８記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２１】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、前記式（１６）に記載のＲｆ6、Ｒｆ7がＣＦ3である請求項１８〜２０のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２２】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ１ａにおいて、酸を作用させることにより解離してＯＨ基に変化する基Ｚ7が、
【化１４】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は炭素数１〜５のアルキル基）で示される基である請求項１７〜２１のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２３】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）の構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレンおよびクロロトリフルオロエチレンよりなる群から選ばれた少なくとも１種の単量体から得られた構造単位である請求項１７〜２２のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２４】
前記含フッ素ポリマー（Ａ）が式（１４）−２：
−（Ｍ１ａ−１）−（Ｍ１ａ−２）−（Ｍ２）−（Ｎ）− （１４）−２
（式中、Ｍ１ａ−１は請求項１〜４のいずれかに記載の含フッ素アルコール構造を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ１ａ−２は請求項１１または１２に記載された保護酸反応性官能基を有するノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；Ｍ２およびＮは式（１４）と同じ）で表わされるポリマー主鎖中に環構造を有する重合体であって、（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ１ａ−２）＋Ｍ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ１ａ−２）｝／Ｍ２は３０／７０〜７０／３０モル％比であり、構造単位Ｍ１ａ−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ１ａ−２を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素重合体である請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２５】
（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ１ａ−２）＝１００モル％としたとき（Ｍ１ａ−１）／（Ｍ１ａ−２）が９０／１０〜５０／５０モル％比である請求項２４記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２６】
含フッ素重合体（Ａ）が式（１４）−３：
−（Ｍ１ａ−３）−（Ｍ２）−（Ｎ２）−（Ｎ）− （１４）−３
（式中、
構造単位Ｍ２は式（１４）と同じ、
構造単位Ｍ１ａ−３は請求項１〜６のいずれかに記載のノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位；
構造単位Ｎ２は構造単位Ｍ１ａ−３、Ｍ２およびＮを構成する単量体と共重合可能な環状の脂肪族不飽和炭化水素からなるものであって、さらにＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有する環状の脂肪族不飽和炭化水素に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１ａ−３、Ｍ２およびＮ２を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１ａ−３）＋Ｍ２＋Ｎ２＝１００モル％としたとき｛（Ｍ１ａ−３）＋Ｎ２｝／Ｍ２が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、構造単位Ｍ１−３を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含むことを特徴とする請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２７】
式（１４）−３の含フッ素重合体において構造単位Ｎ２がＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体に由来する構造単位である請求項２６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２８】
ＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基を有するノルボルネン誘導体が式：
【化１５】
（式中、Ａ、ＢおよびＣはＨ、Ｆ、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基、Ｒは炭素数１〜２０の２価の炭化水素基、炭素数１〜２０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基、ａは０または１〜３の整数、ｂは０または１、ＣＯＯＱ1はＣＯＯＨ基または酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基。ただし、ｂが０またはＲがフッ素原子を含まない場合はＡ〜Ｃのいずれか１つはフッ素原子または含フッ素アルキル基である）で示されるものである請求項２７記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２９】
含フッ素重合体（Ａ）が式（１４）−４：
−（Ｍ１ａ−１）−（Ｍ２）−（Ｎ２−１）−（Ｎ）− （１４）−４
（式中、
構造単位Ｍ１ａ−１およびＭ２は請求項２４記載の式（１４）−２と同じ、
構造単位Ｎ２−１は式：
【化１６】
（式中、ＣＯＯＱ1は酸でカルボキシル基に変換できる酸解離性官能基、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｒ、ａおよびｂは前記と同じ）で示されるノルボルネン誘導体に由来する構造単位、
構造単位Ｎは、構造単位Ｍ１ａ−１、Ｍ２およびＮ２−１を構成する単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位）で示され、（Ｍ１ａ−１）＋（Ｍ２）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、｛（Ｍ１ａ−１）＋（Ｎ２−１）｝／（Ｍ２）が７０／３０〜３０／７０モル％比であり、かつ（Ｍ１ａ−１）＋（Ｎ２−１）＝１００モル％としたとき、（Ｍ１ａ−１）／（Ｎ２−１）が９５／５〜５０／５０モル％であり、構造単位Ｍ１−１を１〜９８モル％、構造単位Ｍ２を１〜９８モル％、構造単位Ｎ２−１を１〜９８モル％、構造単位Ｎを０〜９７モル％含む含フッ素重合体である請求項１６記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項３０】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、フッ化ビニリデンおよびフッ化ビニルよりなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体から得られた構造単位である請求項１６または２４〜２９のいずれかに記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項３１】
構造単位Ｍ２が、テトラフルオロエチレンまたはクロロトリフルオロエチレンから得られた構造単位である請求項３０記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【公開番号】特開２００８−３０８６９１（Ｐ２００８−３０８６９１Ａ）
【公開日】平成２０年１２月２５日（２００８．１２．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１７２１８０（Ｐ２００８−１７２１８０）
【出願日】平成２０年７月１日（２００８．７．１）
【分割の表示】特願２００３−５１２１８７（Ｐ２００３−５１２１８７）の分割
【原出願日】平成１４年７月１２日（２００２．７．１２）
【出願人】（０００００２８５３）ダイキン工業株式会社 (7,604)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１２月２５日（２００８．１２．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月１日（２００８．７．１）
【分割の表示】特願２００３−５１２１８７（Ｐ２００３−５１２１８７）の分割
【原出願日】平成１４年７月１２日（２００２．７．１２）
【出願人】（０００００２８５３）ダイキン工業株式会社 (7,604)
【Ｆターム（参考）】
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