吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
【課題】機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニットを提供することを課題とする。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４と、ヘッドキャップ１０４に連通し、ノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４を介して、機能液滴吐出ヘッド１７内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段１０２と、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液を供給する供給手段１０３とを備えた。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４と、ヘッドキャップ１０４に連通し、ノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４を介して、機能液滴吐出ヘッド１７内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段１０２と、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液を供給する供給手段１０３とを備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引してクリーニング動作を行う吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた描画処理により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出装置が考えられている。そして、この液滴吐出装置には、吸引ユニット（機能液滴吐出ヘッドの吸引装置）を備えたものが知られている。吸引ユニットは、機能液滴吐出ヘッドのノズル面をヘッドキャップ（キャップ）で封止し、ヘッドキャップに連通した吸引手段（エゼクタ）を駆動することで、給液タンクに貯留された機能液を機能液滴吐出ヘッドに充填する初期充填処理や、機能液滴吐出ヘッドの吐出機能保全のためのクリーニング動作を行うものである。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００４−２０９４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、特に量産装置では、搭載された機能液滴吐出ヘッドは描画処理に長時間使用されるが、その分、クリーニング頻度が少なくなり、ヘッドキャップが放置され、ヘッドキャップ内に残った機能液が乾燥して固着しやすくなる。このため、機能液による詰まりが生じ、結果的にクリーニング不良が発生するおそれがあった。この場合、ヘッドキャップを分解または交換することでしか対応できないという問題があった。
【０００４】
本発明は、機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の吸引ユニットは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ノズル面を封止したヘッドキャップを介して、機能液滴吐出ヘッド内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する供給手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのクリーニング動作後、ヘッドキャップ内に機能液が残存し、この機能液がヘッドキャップ内に固着してしまったとしても、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給することで、ヘッドキャップ内に固着した機能液を溶解して取り除くことができる。したがって、適切に吸引でき、クリーニング不良を防ぐことができる。
【０００７】
この場合、吸引手段は、ヘッドキャップに連通する吸引流路と、吸引流路の下流端に設けられた回収タンクと、回収タンクに向けて機能液を吸引する吸引アクチュエータと、を有することが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、吸引手段は、吸引アクチュエータにより機能液を吸引することでクリーニング動作を行い、吸引した機能液を吸引流路から排出できると共に、回収タンクに回収させることができる。
【０００９】
これらの場合、供給手段は、ヘッドキャップに連通する供給流路と、供給流路の上流端に設けられた洗浄液タンクと、洗浄液タンク内の洗浄液をヘッドキャップに送液する供給アクチュエータと、を有することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、供給手段は、供給アクチュエータにより洗浄液タンク内の洗浄液を供給流路からヘッドキャップに送液することができる。
【００１１】
これらの場合、吸引手段と供給手段とを制御する制御手段を、更に備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の封止を解いた状態のヘッドキャップに対し、供給手段を制御して、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させると共に、吸引手段を制御して、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引させることで、ヘッドキャップを洗浄する洗浄動作を行うことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ヘッドキャップ内に供給した洗浄液を吸引することで、ヘッドキャップ内に固着した機能液を溶解した洗浄液を、ヘッドキャップ外に速やかに排出することができる。
【００１３】
この場合、吸引手段により吸引される機能液の流量を測定する排液流量手段を、更に備え、制御手段は、クリーニング動作の際に、排液流量手段により測定された流量が所定の閾値未満である場合、洗浄動作を行った上でクリーニング動作を再度行わせることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、クリーニングの際に吸引される機能液の流量を測定することで、クリーニング不良を認識することができる。測定された機能液の流量が所定の閾値未満のときに洗浄動作を行うことで、必要最小限の洗浄動作でヘッドキャップ内の機能液による詰まりを取り除くことができ、クリーニング不良を解消できる。
【００１５】
この場合、制御手段は、機能液の流量が閾値未満である場合、機能液の流量が閾値以上になるまで、クリーニング動作と洗浄動作とを所定回数を上限とする範囲内で繰り返し行い、所定回数のクリーニング動作と洗浄動作とを行っても、機能液の流量が閾値未満の場合は、その旨を報知する報知手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、所定回数のクリーニング動作を行っても機能液の流量が閾値未満の場合、クリーニング不良の原因がヘッドキャップ内の機能液による詰まり以外にあると考えられる。この時、所定回数を超えるクリーニング動作を行ってもクリーニング効果は期待できず、無駄な動作になる。そこで、クリーニング動作の回数に上限を設け、無駄なクリーニング動作を行わないようにすることで、クリーニング動作における機能液の浪費をなくすことができる。また、上記の状況を報知することにより、ユーザーにヘッドキャップ本体のメンテナンス等の適切な対応を促すことができる。
【００１７】
これらの場合、ヘッドキャップ内が洗浄液で満液になることを検知する液量検知手段を、更に備え、制御手段は、供給手段を制御して、液量検知手段によりヘッドキャップ内が満液になることが検知されるまで、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させた後、吸引手段を制御して、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引することが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ヘッドキャップ内を洗浄液で満液にしてから吸引することで、ヘッドキャップ内の壁面や隅角に固着した機能液を溶解し、取り除くことができる。
【００１９】
これらの場合、洗浄液が、機能液の溶媒であることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、ヘッドキャップ内の洗浄液と共に、機能液を吸引して回収した場合に、回収した機能液を容易に再利用することができる。
【００２１】
本発明の液滴吐出装置は、上述した吸引ユニットと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニットを備えたことで、ヘッドキャップが詰まった場合でも、ヘッドキャップの分解等を行うことなく容易に詰まりを解消できるため、クリーニング不良が解消できると共に、装置の稼動効率を向上させることができる。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電気光学機器は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、クリーニング不良対策を施し、稼動効率を向上させた液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成（インクジェット法により印刷）するものである。
【００２９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設されたメンテナンス装置４と、液滴吐出装置１の各部を制御する制御装置５（図２参照）とを、備えている。制御装置５は、パソコンで構成され、各種データ等を入力するためのキーボード５ａと、入力結果や各種情報を表示するモニター５ｂとを、有している。
【００３０】
描画装置３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸テーブル１１に直交するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されたキャリッジ１５と、を有している。そして、キャリッジ１５には、機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。なお、図１では、機能液滴吐出ヘッド１７を単一のものとして示すが、その個数および配列は任意である。
【００３１】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ１３を有し、セットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。セットテーブル１６は、吸着テーブルで構成され、描画対象となる基板Ｗを吸着セットする。同様に、Ｙ軸テーブル１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ１４を有し、これに上記のキャリッジ１５を介して機能液滴吐出ヘッド１７を移動自在に搭載して、構成されている。
【００３２】
Ｙ軸テーブル１２は、機台２上に立設した左右の支柱２１、２１に支持されており、Ｘ軸テーブル１１とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。そして、Ｙ軸テーブル１２は、機能液滴吐出ヘッド１７をＸ軸テーブル１１の直上部とメンテナンス装置４の各ユニット（後述する）との間で移動させ、また、後述する描画処理において機能液滴吐出ヘッド１７を副走査させる。
【００３３】
また、キャリッジ１５は、搭載した機能液滴吐出ヘッド１７をＺ軸方向（上下方向）にモータ駆動で微小移動させるヘッドＺ軸テーブル（図示省略）を有している。
【００３４】
また、機能液滴吐出ヘッド１７は、機能液供給チューブ（図示省略）を介して機能液パック（図示省略）から機能液が供給され、ノズル面３１に等間隔で２列に並べられた複数のノズル３２からインクジェット方式で機能液を吐出するものである。そして、ノズル面３１を下方に向けてキャリッジ１５に搭載されている。
【００３５】
このように構成された描画装置３は、制御装置５による制御を受けながら描画処理を行う。すなわち、基板Ｗを載置したセットテーブル１６がＸ軸方向に往動するのに同期して、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動させて基板Ｗに機能液を吐出して主走査を行う。次にＹ軸方向に機能液滴吐出ヘッド１７が移動しＹ軸方向の副走査を行う。その後、基板ＷをＸ軸方向に復動させ、同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動することで再度主走査を行う。以上の動作を繰り返し行うことで基板Ｗに所望の描画を行う。
【００３６】
メンテナンス装置４は、Ｘ軸テーブル１１に遠い方から順に、吸引ユニット５１と、ワイピングユニット５２と、を備えている。吸引ユニット５１とワイピングユニット５２とは、Ｙ軸テーブル１２による機能液滴吐出ヘッド１７の移動軌跡上に設けられており、Ｙ軸テーブル１２により、各ユニットの直上部に機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができるようになっている。吸引ユニット５１は、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引することで、機能液の初期充填やクリーニング動作を行い（詳細は後述する）、ワイピングユニット５２は、吸引ユニット５１のクリーニング動作等の後、ワイピングシート６１により機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を払拭する。
【００３７】
次に、図２および図３を参照し、吸引ユニット５１について説明する。吸引ユニット５１は、クリーニング動作等の後、ヘッドキャップ１０４内に残った機能液が乾燥して固着することで、ヘッドキャップ１０４内に機能液の詰まりが生じるおそれがあるため、ヘッドキャップ１０４内を洗浄するようにしたものである。
【００３８】
吸引ユニット５１は、ヘッドキャップ１０４を有するキャップユニット１０１と、ヘッドキャップ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７のクリーニング動作等を行う吸引手段１０２と、洗浄液をヘッドキャップ１０４に供給する供給手段１０３と、で構成されている。
【００３９】
キャップユニット１０１は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４と、機能液滴吐出ヘッド１７を封止するためにヘッドキャップ１０４を昇降させる昇降機構１０５と、を備えている。
【００４０】
ヘッドキャップ１０４は、キャップ本体１１１と、キャップ本体１１１を保持するキャップホルダ１１２と、キャップ本体１１１とキャップホルダ１１２との間に介設された一対のキャップばね１１３，１１３と、キャップ本体１１１の上面に形成した凹部１１４に敷設された機能液吸収材１１５と、凹部１１４の周縁部に取り付けられた環状のシールパッキン１１６とを有している。また、図示省略したが、ヘッドキャップ１０４には、凹部１１４をその底面側で大気開放する大気開放弁が設けられている。
【００４１】
キャップ本体１１１には、凹部１１４の底面に開口し、吸引手段１０２に連通するキャップ内吸引流路１１７と、凹部１１４の底面に開口し、供給手段１０３に連通するキャップ内供給流路１１８とが形成されている。なお、機能液が最も固着しやすいのは、キャップ内吸引流路１１７であるが、機能液吸収材１１５（目詰まり）やシールパッキン１１６内壁面にも、固着するおそれがある。
【００４２】
キャップホルダ１１２は、ベース部１１９と、ベース部１１９に立設されたボルダ部１２０とで構成されており、ベース部１１９に形成された一対のガイド孔には、後述する一対の昇降ガイド１２１、１２１が挿入されている。一対のキャップばね１１３，１１３は、キャップ本体１１１を上方に付勢している。これにより、キャップ本体１１１が、僅かに上下動可能な状態でキャップホルダ１１２に保持される。
【００４３】
そして、シールパッキン１１６が、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１に押し付けられると、２列のノズル３２（図１参照）すべてを包含するようにして、ノズル面３１を封止する。なお、供給手段１０３により供給される洗浄液は、ヘッドキャップ１０４内が満液になるまで、すなわち、シールパッキン１１６の上端から溢れるまで、供給可能である。
【００４４】
昇降機構１０５は、キャップホルダ１１２の下面に連結されたエアーシリンダ１２２と、ヘッドキャップ１０４の上下動を案内する左右一対の昇降ガイド１２１，１２１と、を有している。そして、シールパッキン１１６の上面と機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１とが当接するノズル面３１を封止する位置と、シールパッキン１１６と機能液滴吐出ヘッド１７との間に隙間が生ずるノズル面３１の封止を解除する位置とで、キャップホルダ１１２を介してキャップ本体１１１を昇降させる。また、キャップホルダ１１２の左右両端には、キャップホルダ１１２（ヘッドキャップ１０４）の上昇位置を度当たりで規制する規制部材１２３が設けられている。
【００４５】
吸引手段１０２は、キャップ内吸引流路１１７に上流端が接続された吸引チューブ１３１と、吸引チューブ１３１の下流端に設けられた回収タンク１３３と、回収タンク１３３に向けて機能液を吸引するエゼクタ１３４（吸引アクチュエータ）と、回収タンク１３３とエゼクタ１３４とを接続する真空チューブ１３２とで構成されている。吸引手段１０２は、エゼクタ１３４により機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引することで、機能液の初期充填やクリーニング動作を行う。また、吸引した機能液を吸引チューブ１３１から排出し、回収タンク１３３に回収させる。
【００４６】
吸引チューブ１３１には、排液流量センサ１３５が介設されている。排液流量センサ１３５は、クリーニング動作の際に吸引チューブ１３１を流れる機能液の流量を測定し、この測定結果を制御装置５に出力している。なお、排液流量センサ１３５は、機能液供給チューブに介設されていてもよい。また、吸引チューブ１３１には、吸引流路開閉バルブ１３６が介設されている。なお、本実施形態では、流量の測定は、時間当たりの量で行われているが、総流量で行ってもよい。
【００４７】
供給手段１０３は、キャップ内供給流路１１８に下流端が接続された供給チューブ１４１と、供給チューブ１４１の上流端に設けられた洗浄液タンク１４２と、洗浄液タンク１４２内の洗浄液をヘッドキャップ１０４に送液する送液ポンプ１４３（供給アクチュエータ）とで構成されている。供給手段１０３は、送液ポンプ１４３により洗浄液タンク１４２内の洗浄液を供給チューブ１４１からヘッドキャップ１０４に送液する。なお、洗浄液は、機能液滴吐出ヘッド１７に導入される機能液を溶解するものであればよい。もっとも、洗浄液は機能液の溶媒であることが好ましい。これにより、後述する洗浄動作によって洗浄液に溶解され、回収タンク１３３に回収された機能液を、容易に再利用することができる。
【００４８】
供給チューブ１４１には、給液流量センサ１４４が介設されている。給液流量センサ１４４は、洗浄液の供給量を測定し、この測定結果を制御装置５に出力している。また、供給チューブ１４１には、供給流路開閉バルブ１４５が介設されている。
【００４９】
吸引ユニット５１は、上記の制御装置５による制御を受けている。すなわち、制御装置５は、排液流量センサ１３５の測定結果を参照しつつ、吸引手段１０２のエゼクタ１３４および吸引流路開閉バルブ１３６を制御して、吸引動作を制御している。吸引動作を開始する場合は、制御装置５により吸引流路開閉バルブ１３６を開弁すると共に、エゼクタ１３４を駆動する。これにより、吸引チューブ１３１およびヘッドキャップ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７のノズル３２から機能液が吸引される。また、吸引動作を終了する場合は、制御装置５によりエゼクタ１３４を停止させると共に、吸引流路開閉バルブ１３６を閉弁する。また、制御装置５は、吸引チューブ１３１を流れる機能液の流量について、所定の閾値を記憶している。この閾値は、クリーニング動作時に吸引されるべき機能液の量が設定されている。
【００５０】
また、制御装置５は、給液流量センサ１４４の測定結果を参照しつつ、供給手段１０３の送液ポンプ１４３および供給流路開閉バルブ１４５を制御している。供給動作を開始する場合は、制御装置５により供給流路開閉バルブ１４５を開弁すると共に、送液ポンプ１４３を駆動する。これにより、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液が供給される。また、供給動作を終了する場合は、制御装置５により送液ポンプ１４３を停止すると共に、供給流路開閉バルブ１４５を閉弁する。さらに、制御装置５により、給液流量センサ１４４の測定結果に基づいて、洗浄液を所定の液量（例えば、ヘッドキャップ１０４内が満液になる液量）供給することが可能となる。また、制御装置５に組み込まれたタイマー等で供給時間を計ることにより、洗浄液を所定の流量供給することも可能である。つまり、洗浄液の供給液量の管理（ヘッドキャップ１０４内が満液になったか否かの検知）を、測定結果に基づいて行ってもよいし、供給時間に基づいて行ってもよい。
【００５１】
さらに、制御装置５は、クリーニング動作を繰り返し行う場合の所定回数（繰り返しの回数）を記憶している。この回数としては、どんなにヘッドキャップ１０４内が機能液で詰まっていても、その詰まりを解消することができるクリーニング動作の回数を、予め実験等で求めたものが設定されている。
【００５２】
次に、図２の概念図と図４に示すフローチャートを参照して、制御装置５による吸引手段１０２および供給手段１０３の制御方法について述べる。まず、制御装置５が、キャップユニット１０１の昇降機構１０５によりヘッドキャップ１０４を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止する（Ｓ１）。
【００５３】
次に、制御装置５が吸引手段１０２の吸引動作を開始させ（Ｓ２）、クリーニング動作を行う。クリーニング動作中には、排液流量センサ１３５により吸引チューブ１３１内の機能液の流量が測定され（Ｓ３）、制御装置５により機能液の流量が所定の閾値以上であるか否かが判定される（Ｓ４）。
【００５４】
ここで、制御装置５により、機能液の流量が所定の閾値以上と判定（Ｓ４；ＹＥＳ）された場合、クリーニング動作は正常に行われていることとなり、所定時間吸引した後、吸引動作を終了させ（Ｓ５）、クリーニング動作を終了する。
【００５５】
一方、制御装置５により、機能液の流量が所定の閾値未満と判定（Ｓ４；ＮＯ）された場合、結果としてクリーニング不良が発生している。この場合、制御装置５によりクリーニング動作の回数判定を行い、現在のクリーニング動作の回数が所定回数未満か否かを判定する（Ｓ６）。
【００５６】
ここで、制御装置５により、クリーニング動作が所定回数未満だと判定（Ｓ６；ＹＥＳ）された場合、このヘッドキャップ１０４内に固着した機能液を取り除くために、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１の封止を解除した上で（Ｓ７）、ヘッドキャップ１０４内の洗浄動作（Ｓ８）（詳細は後述）を行う。洗浄動作が完了した後、ノズル面３１を封止し（Ｓ１）、吸引を開始する（Ｓ２）。洗浄動作で詰まりがとれていれば、再度のクリーニング動作が正常に行われ（Ｓ４；ＹＥＳ）、クリーニング動作を終了する。
【００５７】
一方、制御装置５により、クリーニング動作が所定回数に達していると判定（Ｓ６；ＮＯ）された場合、クリーニング不良の原因がヘッドキャップ１０４内の機能液による詰まり以外にあると考えられる。この場合、所定回数を超えるクリーニング動作を行ってもクリーニング効果は期待できず、無駄な動作になる。この時、ヘッドキャップ１０４内の洗浄動作では対処できない原因でクリーニング不良が発生している旨を、制御装置５がモニター５ｂを通して報知する（Ｓ９）。これにより、ユーザーにヘッドキャップ本体のメンテナンス等の適切な対応を促すことができる。
【００５８】
続いて、図２の概念図と図５に示すフローチャートを参照して、洗浄動作の説明をする。まず、制御装置５が、前述した洗浄液の供給動作を開始し、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液を供給（Ｓ１１）する。また、供給チューブ１４１に介設された給液流量センサ１４４により、ヘッドキャップ１０４内の洗浄液が所定の液量になることが検知（Ｓ１２）されるまで、制御装置５によりヘッドキャップ１０４内に洗浄液が供給される。
【００５９】
ヘッドキャップ１０４内に洗浄液が流入すると、その洗浄液にヘッドキャップ１０４内に固着した機能液が溶解される。制御装置５は、洗浄液が所定の液量に達した時点（Ｓ１３）で洗浄液の供給を停止し、供給動作を終了する。洗浄液を供給しながら、あるいは供給終了後、制御装置５は、吸引動作を開始し、ヘッドキャップ１０４内の洗浄液と、これに溶解した機能液を吸引し（Ｓ１４）、吸引動作を終了する。ヘッドキャップ１０４内に供給した洗浄液を吸引することで、ヘッドキャップ１０４内に固着した機能液を溶解した洗浄液を、ヘッドキャップ１０４外に速やかに排出することができる。
【００６０】
また、ヘッドキャップ１０４内を洗浄液で満液にしてから吸引することが好ましく、これによれば、ヘッドキャップ１０４内、特にシールパッキン１１６の内壁面や隅角に固着した機能液を溶解して取り除くことができる。
【００６１】
上記洗浄動作は、以上のように、クリーニング動作で不良が生じた場合に行うようにしているが、描画動作中に断続的に洗浄動作を行っても良く、この場合、クリーニング不良を未然に防ぐことができる。もっとも、本実施形態によれば、測定された機能液の流量が、所定の閾値未満の時に洗浄動作を行うことで、必要最小限の洗浄動作でヘッドキャップ１０４内の機能液による詰まりを取り除くことができ、クリーニング不良を解消できる。
【００６２】
以上のように、本実施形態の吸引ユニット５１によれば、洗浄液をヘッドキャップ１０４内に供給する供給手段１０３を備えることで、機能液が固着したヘッドキャップ１０４内を洗浄することができ、ヘッドキャップ１０４が詰まった場合でも、ヘッドキャップ１０４の分解や交換等を行うことなく容易に詰まりを取り除くことができるため、クリーニング不良が解消できると共に、装置の稼動効率を向上させることができる。
【００６３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００６７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６９】
図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００７５】
図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８３】
次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００９９】
図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１００】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０１】
そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１０５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０７】
次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１４】
次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】吸引ユニットの概念図である。
【図３】ヘッドキャップの斜視図である。
【図４】クリーニング動作を説明するフローチャートである。
【図５】洗浄動作を説明するフローチャートである。
【図６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２１】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２２】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２３】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２２】
１…液滴吐出装置 ３…描画装置 ５…制御装置 １７…機能液滴吐出ヘッド ３１…ノズル面 ３２…ノズル ５１…吸引ユニット １０２…吸引手段 １０３…供給手段 １０４…ヘッドキャップ １３１…吸引チューブ １３３…回収タンク １３４…エゼクタ １３５…排液流量センサ １４１…供給チューブ １４２…洗浄液タンク １４３…送液ポンプ １４４…給液流量センサ Ｗ（ワーク）…基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引してクリーニング動作を行う吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた描画処理により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出装置が考えられている。そして、この液滴吐出装置には、吸引ユニット（機能液滴吐出ヘッドの吸引装置）を備えたものが知られている。吸引ユニットは、機能液滴吐出ヘッドのノズル面をヘッドキャップ（キャップ）で封止し、ヘッドキャップに連通した吸引手段（エゼクタ）を駆動することで、給液タンクに貯留された機能液を機能液滴吐出ヘッドに充填する初期充填処理や、機能液滴吐出ヘッドの吐出機能保全のためのクリーニング動作を行うものである。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００４−２０９４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、特に量産装置では、搭載された機能液滴吐出ヘッドは描画処理に長時間使用されるが、その分、クリーニング頻度が少なくなり、ヘッドキャップが放置され、ヘッドキャップ内に残った機能液が乾燥して固着しやすくなる。このため、機能液による詰まりが生じ、結果的にクリーニング不良が発生するおそれがあった。この場合、ヘッドキャップを分解または交換することでしか対応できないという問題があった。
【０００４】
本発明は、機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の吸引ユニットは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ノズル面を封止したヘッドキャップを介して、機能液滴吐出ヘッド内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する供給手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのクリーニング動作後、ヘッドキャップ内に機能液が残存し、この機能液がヘッドキャップ内に固着してしまったとしても、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給することで、ヘッドキャップ内に固着した機能液を溶解して取り除くことができる。したがって、適切に吸引でき、クリーニング不良を防ぐことができる。
【０００７】
この場合、吸引手段は、ヘッドキャップに連通する吸引流路と、吸引流路の下流端に設けられた回収タンクと、回収タンクに向けて機能液を吸引する吸引アクチュエータと、を有することが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、吸引手段は、吸引アクチュエータにより機能液を吸引することでクリーニング動作を行い、吸引した機能液を吸引流路から排出できると共に、回収タンクに回収させることができる。
【０００９】
これらの場合、供給手段は、ヘッドキャップに連通する供給流路と、供給流路の上流端に設けられた洗浄液タンクと、洗浄液タンク内の洗浄液をヘッドキャップに送液する供給アクチュエータと、を有することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、供給手段は、供給アクチュエータにより洗浄液タンク内の洗浄液を供給流路からヘッドキャップに送液することができる。
【００１１】
これらの場合、吸引手段と供給手段とを制御する制御手段を、更に備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の封止を解いた状態のヘッドキャップに対し、供給手段を制御して、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させると共に、吸引手段を制御して、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引させることで、ヘッドキャップを洗浄する洗浄動作を行うことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ヘッドキャップ内に供給した洗浄液を吸引することで、ヘッドキャップ内に固着した機能液を溶解した洗浄液を、ヘッドキャップ外に速やかに排出することができる。
【００１３】
この場合、吸引手段により吸引される機能液の流量を測定する排液流量手段を、更に備え、制御手段は、クリーニング動作の際に、排液流量手段により測定された流量が所定の閾値未満である場合、洗浄動作を行った上でクリーニング動作を再度行わせることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、クリーニングの際に吸引される機能液の流量を測定することで、クリーニング不良を認識することができる。測定された機能液の流量が所定の閾値未満のときに洗浄動作を行うことで、必要最小限の洗浄動作でヘッドキャップ内の機能液による詰まりを取り除くことができ、クリーニング不良を解消できる。
【００１５】
この場合、制御手段は、機能液の流量が閾値未満である場合、機能液の流量が閾値以上になるまで、クリーニング動作と洗浄動作とを所定回数を上限とする範囲内で繰り返し行い、所定回数のクリーニング動作と洗浄動作とを行っても、機能液の流量が閾値未満の場合は、その旨を報知する報知手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、所定回数のクリーニング動作を行っても機能液の流量が閾値未満の場合、クリーニング不良の原因がヘッドキャップ内の機能液による詰まり以外にあると考えられる。この時、所定回数を超えるクリーニング動作を行ってもクリーニング効果は期待できず、無駄な動作になる。そこで、クリーニング動作の回数に上限を設け、無駄なクリーニング動作を行わないようにすることで、クリーニング動作における機能液の浪費をなくすことができる。また、上記の状況を報知することにより、ユーザーにヘッドキャップ本体のメンテナンス等の適切な対応を促すことができる。
【００１７】
これらの場合、ヘッドキャップ内が洗浄液で満液になることを検知する液量検知手段を、更に備え、制御手段は、供給手段を制御して、液量検知手段によりヘッドキャップ内が満液になることが検知されるまで、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させた後、吸引手段を制御して、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引することが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ヘッドキャップ内を洗浄液で満液にしてから吸引することで、ヘッドキャップ内の壁面や隅角に固着した機能液を溶解し、取り除くことができる。
【００１９】
これらの場合、洗浄液が、機能液の溶媒であることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、ヘッドキャップ内の洗浄液と共に、機能液を吸引して回収した場合に、回収した機能液を容易に再利用することができる。
【００２１】
本発明の液滴吐出装置は、上述した吸引ユニットと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニットを備えたことで、ヘッドキャップが詰まった場合でも、ヘッドキャップの分解等を行うことなく容易に詰まりを解消できるため、クリーニング不良が解消できると共に、装置の稼動効率を向上させることができる。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電気光学機器は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、クリーニング不良対策を施し、稼動効率を向上させた液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成（インクジェット法により印刷）するものである。
【００２９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設されたメンテナンス装置４と、液滴吐出装置１の各部を制御する制御装置５（図２参照）とを、備えている。制御装置５は、パソコンで構成され、各種データ等を入力するためのキーボード５ａと、入力結果や各種情報を表示するモニター５ｂとを、有している。
【００３０】
描画装置３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸テーブル１１に直交するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されたキャリッジ１５と、を有している。そして、キャリッジ１５には、機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。なお、図１では、機能液滴吐出ヘッド１７を単一のものとして示すが、その個数および配列は任意である。
【００３１】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ１３を有し、セットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。セットテーブル１６は、吸着テーブルで構成され、描画対象となる基板Ｗを吸着セットする。同様に、Ｙ軸テーブル１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ１４を有し、これに上記のキャリッジ１５を介して機能液滴吐出ヘッド１７を移動自在に搭載して、構成されている。
【００３２】
Ｙ軸テーブル１２は、機台２上に立設した左右の支柱２１、２１に支持されており、Ｘ軸テーブル１１とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。そして、Ｙ軸テーブル１２は、機能液滴吐出ヘッド１７をＸ軸テーブル１１の直上部とメンテナンス装置４の各ユニット（後述する）との間で移動させ、また、後述する描画処理において機能液滴吐出ヘッド１７を副走査させる。
【００３３】
また、キャリッジ１５は、搭載した機能液滴吐出ヘッド１７をＺ軸方向（上下方向）にモータ駆動で微小移動させるヘッドＺ軸テーブル（図示省略）を有している。
【００３４】
また、機能液滴吐出ヘッド１７は、機能液供給チューブ（図示省略）を介して機能液パック（図示省略）から機能液が供給され、ノズル面３１に等間隔で２列に並べられた複数のノズル３２からインクジェット方式で機能液を吐出するものである。そして、ノズル面３１を下方に向けてキャリッジ１５に搭載されている。
【００３５】
このように構成された描画装置３は、制御装置５による制御を受けながら描画処理を行う。すなわち、基板Ｗを載置したセットテーブル１６がＸ軸方向に往動するのに同期して、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動させて基板Ｗに機能液を吐出して主走査を行う。次にＹ軸方向に機能液滴吐出ヘッド１７が移動しＹ軸方向の副走査を行う。その後、基板ＷをＸ軸方向に復動させ、同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動することで再度主走査を行う。以上の動作を繰り返し行うことで基板Ｗに所望の描画を行う。
【００３６】
メンテナンス装置４は、Ｘ軸テーブル１１に遠い方から順に、吸引ユニット５１と、ワイピングユニット５２と、を備えている。吸引ユニット５１とワイピングユニット５２とは、Ｙ軸テーブル１２による機能液滴吐出ヘッド１７の移動軌跡上に設けられており、Ｙ軸テーブル１２により、各ユニットの直上部に機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができるようになっている。吸引ユニット５１は、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引することで、機能液の初期充填やクリーニング動作を行い（詳細は後述する）、ワイピングユニット５２は、吸引ユニット５１のクリーニング動作等の後、ワイピングシート６１により機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を払拭する。
【００３７】
次に、図２および図３を参照し、吸引ユニット５１について説明する。吸引ユニット５１は、クリーニング動作等の後、ヘッドキャップ１０４内に残った機能液が乾燥して固着することで、ヘッドキャップ１０４内に機能液の詰まりが生じるおそれがあるため、ヘッドキャップ１０４内を洗浄するようにしたものである。
【００３８】
吸引ユニット５１は、ヘッドキャップ１０４を有するキャップユニット１０１と、ヘッドキャップ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７のクリーニング動作等を行う吸引手段１０２と、洗浄液をヘッドキャップ１０４に供給する供給手段１０３と、で構成されている。
【００３９】
キャップユニット１０１は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４と、機能液滴吐出ヘッド１７を封止するためにヘッドキャップ１０４を昇降させる昇降機構１０５と、を備えている。
【００４０】
ヘッドキャップ１０４は、キャップ本体１１１と、キャップ本体１１１を保持するキャップホルダ１１２と、キャップ本体１１１とキャップホルダ１１２との間に介設された一対のキャップばね１１３，１１３と、キャップ本体１１１の上面に形成した凹部１１４に敷設された機能液吸収材１１５と、凹部１１４の周縁部に取り付けられた環状のシールパッキン１１６とを有している。また、図示省略したが、ヘッドキャップ１０４には、凹部１１４をその底面側で大気開放する大気開放弁が設けられている。
【００４１】
キャップ本体１１１には、凹部１１４の底面に開口し、吸引手段１０２に連通するキャップ内吸引流路１１７と、凹部１１４の底面に開口し、供給手段１０３に連通するキャップ内供給流路１１８とが形成されている。なお、機能液が最も固着しやすいのは、キャップ内吸引流路１１７であるが、機能液吸収材１１５（目詰まり）やシールパッキン１１６内壁面にも、固着するおそれがある。
【００４２】
キャップホルダ１１２は、ベース部１１９と、ベース部１１９に立設されたボルダ部１２０とで構成されており、ベース部１１９に形成された一対のガイド孔には、後述する一対の昇降ガイド１２１、１２１が挿入されている。一対のキャップばね１１３，１１３は、キャップ本体１１１を上方に付勢している。これにより、キャップ本体１１１が、僅かに上下動可能な状態でキャップホルダ１１２に保持される。
【００４３】
そして、シールパッキン１１６が、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１に押し付けられると、２列のノズル３２（図１参照）すべてを包含するようにして、ノズル面３１を封止する。なお、供給手段１０３により供給される洗浄液は、ヘッドキャップ１０４内が満液になるまで、すなわち、シールパッキン１１６の上端から溢れるまで、供給可能である。
【００４４】
昇降機構１０５は、キャップホルダ１１２の下面に連結されたエアーシリンダ１２２と、ヘッドキャップ１０４の上下動を案内する左右一対の昇降ガイド１２１，１２１と、を有している。そして、シールパッキン１１６の上面と機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１とが当接するノズル面３１を封止する位置と、シールパッキン１１６と機能液滴吐出ヘッド１７との間に隙間が生ずるノズル面３１の封止を解除する位置とで、キャップホルダ１１２を介してキャップ本体１１１を昇降させる。また、キャップホルダ１１２の左右両端には、キャップホルダ１１２（ヘッドキャップ１０４）の上昇位置を度当たりで規制する規制部材１２３が設けられている。
【００４５】
吸引手段１０２は、キャップ内吸引流路１１７に上流端が接続された吸引チューブ１３１と、吸引チューブ１３１の下流端に設けられた回収タンク１３３と、回収タンク１３３に向けて機能液を吸引するエゼクタ１３４（吸引アクチュエータ）と、回収タンク１３３とエゼクタ１３４とを接続する真空チューブ１３２とで構成されている。吸引手段１０２は、エゼクタ１３４により機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引することで、機能液の初期充填やクリーニング動作を行う。また、吸引した機能液を吸引チューブ１３１から排出し、回収タンク１３３に回収させる。
【００４６】
吸引チューブ１３１には、排液流量センサ１３５が介設されている。排液流量センサ１３５は、クリーニング動作の際に吸引チューブ１３１を流れる機能液の流量を測定し、この測定結果を制御装置５に出力している。なお、排液流量センサ１３５は、機能液供給チューブに介設されていてもよい。また、吸引チューブ１３１には、吸引流路開閉バルブ１３６が介設されている。なお、本実施形態では、流量の測定は、時間当たりの量で行われているが、総流量で行ってもよい。
【００４７】
供給手段１０３は、キャップ内供給流路１１８に下流端が接続された供給チューブ１４１と、供給チューブ１４１の上流端に設けられた洗浄液タンク１４２と、洗浄液タンク１４２内の洗浄液をヘッドキャップ１０４に送液する送液ポンプ１４３（供給アクチュエータ）とで構成されている。供給手段１０３は、送液ポンプ１４３により洗浄液タンク１４２内の洗浄液を供給チューブ１４１からヘッドキャップ１０４に送液する。なお、洗浄液は、機能液滴吐出ヘッド１７に導入される機能液を溶解するものであればよい。もっとも、洗浄液は機能液の溶媒であることが好ましい。これにより、後述する洗浄動作によって洗浄液に溶解され、回収タンク１３３に回収された機能液を、容易に再利用することができる。
【００４８】
供給チューブ１４１には、給液流量センサ１４４が介設されている。給液流量センサ１４４は、洗浄液の供給量を測定し、この測定結果を制御装置５に出力している。また、供給チューブ１４１には、供給流路開閉バルブ１４５が介設されている。
【００４９】
吸引ユニット５１は、上記の制御装置５による制御を受けている。すなわち、制御装置５は、排液流量センサ１３５の測定結果を参照しつつ、吸引手段１０２のエゼクタ１３４および吸引流路開閉バルブ１３６を制御して、吸引動作を制御している。吸引動作を開始する場合は、制御装置５により吸引流路開閉バルブ１３６を開弁すると共に、エゼクタ１３４を駆動する。これにより、吸引チューブ１３１およびヘッドキャップ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７のノズル３２から機能液が吸引される。また、吸引動作を終了する場合は、制御装置５によりエゼクタ１３４を停止させると共に、吸引流路開閉バルブ１３６を閉弁する。また、制御装置５は、吸引チューブ１３１を流れる機能液の流量について、所定の閾値を記憶している。この閾値は、クリーニング動作時に吸引されるべき機能液の量が設定されている。
【００５０】
また、制御装置５は、給液流量センサ１４４の測定結果を参照しつつ、供給手段１０３の送液ポンプ１４３および供給流路開閉バルブ１４５を制御している。供給動作を開始する場合は、制御装置５により供給流路開閉バルブ１４５を開弁すると共に、送液ポンプ１４３を駆動する。これにより、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液が供給される。また、供給動作を終了する場合は、制御装置５により送液ポンプ１４３を停止すると共に、供給流路開閉バルブ１４５を閉弁する。さらに、制御装置５により、給液流量センサ１４４の測定結果に基づいて、洗浄液を所定の液量（例えば、ヘッドキャップ１０４内が満液になる液量）供給することが可能となる。また、制御装置５に組み込まれたタイマー等で供給時間を計ることにより、洗浄液を所定の流量供給することも可能である。つまり、洗浄液の供給液量の管理（ヘッドキャップ１０４内が満液になったか否かの検知）を、測定結果に基づいて行ってもよいし、供給時間に基づいて行ってもよい。
【００５１】
さらに、制御装置５は、クリーニング動作を繰り返し行う場合の所定回数（繰り返しの回数）を記憶している。この回数としては、どんなにヘッドキャップ１０４内が機能液で詰まっていても、その詰まりを解消することができるクリーニング動作の回数を、予め実験等で求めたものが設定されている。
【００５２】
次に、図２の概念図と図４に示すフローチャートを参照して、制御装置５による吸引手段１０２および供給手段１０３の制御方法について述べる。まず、制御装置５が、キャップユニット１０１の昇降機構１０５によりヘッドキャップ１０４を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止する（Ｓ１）。
【００５３】
次に、制御装置５が吸引手段１０２の吸引動作を開始させ（Ｓ２）、クリーニング動作を行う。クリーニング動作中には、排液流量センサ１３５により吸引チューブ１３１内の機能液の流量が測定され（Ｓ３）、制御装置５により機能液の流量が所定の閾値以上であるか否かが判定される（Ｓ４）。
【００５４】
ここで、制御装置５により、機能液の流量が所定の閾値以上と判定（Ｓ４；ＹＥＳ）された場合、クリーニング動作は正常に行われていることとなり、所定時間吸引した後、吸引動作を終了させ（Ｓ５）、クリーニング動作を終了する。
【００５５】
一方、制御装置５により、機能液の流量が所定の閾値未満と判定（Ｓ４；ＮＯ）された場合、結果としてクリーニング不良が発生している。この場合、制御装置５によりクリーニング動作の回数判定を行い、現在のクリーニング動作の回数が所定回数未満か否かを判定する（Ｓ６）。
【００５６】
ここで、制御装置５により、クリーニング動作が所定回数未満だと判定（Ｓ６；ＹＥＳ）された場合、このヘッドキャップ１０４内に固着した機能液を取り除くために、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１の封止を解除した上で（Ｓ７）、ヘッドキャップ１０４内の洗浄動作（Ｓ８）（詳細は後述）を行う。洗浄動作が完了した後、ノズル面３１を封止し（Ｓ１）、吸引を開始する（Ｓ２）。洗浄動作で詰まりがとれていれば、再度のクリーニング動作が正常に行われ（Ｓ４；ＹＥＳ）、クリーニング動作を終了する。
【００５７】
一方、制御装置５により、クリーニング動作が所定回数に達していると判定（Ｓ６；ＮＯ）された場合、クリーニング不良の原因がヘッドキャップ１０４内の機能液による詰まり以外にあると考えられる。この場合、所定回数を超えるクリーニング動作を行ってもクリーニング効果は期待できず、無駄な動作になる。この時、ヘッドキャップ１０４内の洗浄動作では対処できない原因でクリーニング不良が発生している旨を、制御装置５がモニター５ｂを通して報知する（Ｓ９）。これにより、ユーザーにヘッドキャップ本体のメンテナンス等の適切な対応を促すことができる。
【００５８】
続いて、図２の概念図と図５に示すフローチャートを参照して、洗浄動作の説明をする。まず、制御装置５が、前述した洗浄液の供給動作を開始し、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液を供給（Ｓ１１）する。また、供給チューブ１４１に介設された給液流量センサ１４４により、ヘッドキャップ１０４内の洗浄液が所定の液量になることが検知（Ｓ１２）されるまで、制御装置５によりヘッドキャップ１０４内に洗浄液が供給される。
【００５９】
ヘッドキャップ１０４内に洗浄液が流入すると、その洗浄液にヘッドキャップ１０４内に固着した機能液が溶解される。制御装置５は、洗浄液が所定の液量に達した時点（Ｓ１３）で洗浄液の供給を停止し、供給動作を終了する。洗浄液を供給しながら、あるいは供給終了後、制御装置５は、吸引動作を開始し、ヘッドキャップ１０４内の洗浄液と、これに溶解した機能液を吸引し（Ｓ１４）、吸引動作を終了する。ヘッドキャップ１０４内に供給した洗浄液を吸引することで、ヘッドキャップ１０４内に固着した機能液を溶解した洗浄液を、ヘッドキャップ１０４外に速やかに排出することができる。
【００６０】
また、ヘッドキャップ１０４内を洗浄液で満液にしてから吸引することが好ましく、これによれば、ヘッドキャップ１０４内、特にシールパッキン１１６の内壁面や隅角に固着した機能液を溶解して取り除くことができる。
【００６１】
上記洗浄動作は、以上のように、クリーニング動作で不良が生じた場合に行うようにしているが、描画動作中に断続的に洗浄動作を行っても良く、この場合、クリーニング不良を未然に防ぐことができる。もっとも、本実施形態によれば、測定された機能液の流量が、所定の閾値未満の時に洗浄動作を行うことで、必要最小限の洗浄動作でヘッドキャップ１０４内の機能液による詰まりを取り除くことができ、クリーニング不良を解消できる。
【００６２】
以上のように、本実施形態の吸引ユニット５１によれば、洗浄液をヘッドキャップ１０４内に供給する供給手段１０３を備えることで、機能液が固着したヘッドキャップ１０４内を洗浄することができ、ヘッドキャップ１０４が詰まった場合でも、ヘッドキャップ１０４の分解や交換等を行うことなく容易に詰まりを取り除くことができるため、クリーニング不良が解消できると共に、装置の稼動効率を向上させることができる。
【００６３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００６７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６９】
図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００７５】
図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８３】
次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００９９】
図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１００】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０１】
そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１０５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０７】
次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１４】
次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】吸引ユニットの概念図である。
【図３】ヘッドキャップの斜視図である。
【図４】クリーニング動作を説明するフローチャートである。
【図５】洗浄動作を説明するフローチャートである。
【図６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２１】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２２】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２３】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２２】
１…液滴吐出装置 ３…描画装置 ５…制御装置 １７…機能液滴吐出ヘッド ３１…ノズル面 ３２…ノズル ５１…吸引ユニット １０２…吸引手段 １０３…供給手段 １０４…ヘッドキャップ １３１…吸引チューブ １３３…回収タンク １３４…エゼクタ １３５…排液流量センサ １４１…供給チューブ １４２…洗浄液タンク １４３…送液ポンプ １４４…給液流量センサ Ｗ（ワーク）…基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ノズル面を封止した前記ヘッドキャップを介して、前記機能液滴吐出ヘッド内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段と、
前記ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する供給手段と、
を備えたことを特徴とする吸引ユニット。
【請求項２】
前記吸引手段は、
前記ヘッドキャップに連通する吸引流路と、
前記吸引流路の下流端に設けられた回収タンクと、
前記回収タンクに向けて前記機能液を吸引する吸引アクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１に記載の吸引ユニット。
【請求項３】
前記供給手段は、
前記ヘッドキャップに連通する供給流路と、
前記供給流路の上流端に設けられた洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記ヘッドキャップに送液する供給アクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１または２に記載の吸引ユニット。
【請求項４】
前記吸引手段と前記供給手段とを制御する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面の封止を解いた状態の前記ヘッドキャップに対し、前記供給手段を制御して、前記ヘッドキャップ内に前記洗浄液を供給させると共に、前記吸引手段を制御して、前記ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引させることで、前記ヘッドキャップを洗浄する洗浄動作を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項５】
前記吸引手段により吸引される前記機能液の流量を測定する排液流量手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記クリーニング動作の際に、前記排液流量手段により測定された流量が所定の閾値未満である場合、前記洗浄動作を行った上で前記クリーニング動作を再度行わせることを特徴とする請求項４に記載の吸引ユニット。
【請求項６】
前記制御手段は、前記機能液の流量が前記閾値未満である場合、前記機能液の流量が前記閾値以上になるまで、前記クリーニング動作と前記洗浄動作とを所定回数を上限とする範囲内で繰り返し行い、
前記所定回数の前記クリーニング動作と前記洗浄動作とを行っても、前記機能液の流量が閾値未満の場合は、その旨を報知する報知手段を、更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の吸引ユニット。
【請求項７】
前記ヘッドキャップ内が前記洗浄液で満液になることを検知する液量検知手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記供給手段を制御して、前記液量検知手段により前記ヘッドキャップ内が満液になることが検知されるまで、前記ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させた後、前記吸引手段を制御して、前記ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引することを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項８】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の吸引ユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドから前記機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ノズル面を封止した前記ヘッドキャップを介して、前記機能液滴吐出ヘッド内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段と、
前記ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する供給手段と、
を備えたことを特徴とする吸引ユニット。
【請求項２】
前記吸引手段は、
前記ヘッドキャップに連通する吸引流路と、
前記吸引流路の下流端に設けられた回収タンクと、
前記回収タンクに向けて前記機能液を吸引する吸引アクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１に記載の吸引ユニット。
【請求項３】
前記供給手段は、
前記ヘッドキャップに連通する供給流路と、
前記供給流路の上流端に設けられた洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記ヘッドキャップに送液する供給アクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１または２に記載の吸引ユニット。
【請求項４】
前記吸引手段と前記供給手段とを制御する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面の封止を解いた状態の前記ヘッドキャップに対し、前記供給手段を制御して、前記ヘッドキャップ内に前記洗浄液を供給させると共に、前記吸引手段を制御して、前記ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引させることで、前記ヘッドキャップを洗浄する洗浄動作を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項５】
前記吸引手段により吸引される前記機能液の流量を測定する排液流量手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記クリーニング動作の際に、前記排液流量手段により測定された流量が所定の閾値未満である場合、前記洗浄動作を行った上で前記クリーニング動作を再度行わせることを特徴とする請求項４に記載の吸引ユニット。
【請求項６】
前記制御手段は、前記機能液の流量が前記閾値未満である場合、前記機能液の流量が前記閾値以上になるまで、前記クリーニング動作と前記洗浄動作とを所定回数を上限とする範囲内で繰り返し行い、
前記所定回数の前記クリーニング動作と前記洗浄動作とを行っても、前記機能液の流量が閾値未満の場合は、その旨を報知する報知手段を、更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の吸引ユニット。
【請求項７】
前記ヘッドキャップ内が前記洗浄液で満液になることを検知する液量検知手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記供給手段を制御して、前記液量検知手段により前記ヘッドキャップ内が満液になることが検知されるまで、前記ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させた後、前記吸引手段を制御して、前記ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引することを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項８】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の吸引ユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドから前記機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【公開番号】特開２００８−８０２０９（Ｐ２００８−８０２０９Ａ）
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２６１１９４（Ｐ２００６−２６１１９４）
【出願日】平成１８年９月２６日（２００６．９．２６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２６日（２００６．９．２６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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