複合シール材
【課題】真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、また、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、使用時に、高荷重下でも、金属パーティクルが発生することがない複合シール材を提供する。
【解決手段】シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第１のシール部材と、シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第２のシール部材とを備え、第１のシール部材が、弾性部材から構成され、第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール材であって、第２のシール部材が、第１のシール部材と連結する連結部と、シール溝の開口部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ、連結部から延出する開口部側延出部とを備える。
【解決手段】シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第１のシール部材と、シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第２のシール部材とを備え、第１のシール部材が、弾性部材から構成され、第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール材であって、第２のシール部材が、第１のシール部材と連結する連結部と、シール溝の開口部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ、連結部から延出する開口部側延出部とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空、超真空状態で使用される複合シール材に関し、例えば、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの半導体製造装置に使用される複合シール材に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品の材料となる半導体の製造技術が、特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化などに伴って、著しく進歩している。
【０００３】
このため、半導体製造装置に使用される部材に対する要求が更に厳しくなってきており、その要求も様々なものになってきている。
例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置に使用されるシール材は、基本的な性能として真空シール性能が必要である。そして、使用される装置やシール材の装着個所によっては、耐プラズマ性や耐腐食ガス性などの性能を併せ持つことが要求される。
【０００４】
従来、このような真空シール性能と耐プラズマ性、さらには耐腐食ガス性が求められるシール部材として、流体の影響を受けにくいフッ素ゴムが使用されてきた。
しかし、環境が厳しくなるにつれ、フッ素ゴムでも、耐プラズマ性や耐腐食ガス性などの性能が不十分で、真空シール性が低下することになり、その結果、新しいシール部材が求められるようになってきている。
【０００５】
このため、従来、このような真空シール性能と耐プラズマ性、さらには耐腐食ガス性が求められるシール部材として、本出願人は、既に、特許文献１（国際公開ＷＯ２００９／０３８０２２号公報）、特許文献２（意匠登録第１３４９９８２号公報）、特許文献３（意匠登録第１３４９９８３号公報）において、図１６に示したような、複合シール材１００を提案している。
【０００６】
すなわち、この複合シール材１００は、図１６に示したように、例えば、フッ素ゴムからなるゴム製の第１のシール部材１０２と、それより硬質の材料であり、耐プラズマ性や耐腐食ガス性が良好な、例えば、フッ素樹脂からなる合成樹脂製の第２のシール部材１０４とから構成される。
【０００７】
そして、第１のシール部材１０２は、環状のシール本体１０６を備えており、このシール本体１０６から、第２のシール部材１０４側に突設された凸部１０８を備えている。さらに、この凸部１０８の軸方向の中間部から、第２のシール部材１０４側にさらに突設された嵌合部１１０を備えている。
【０００８】
一方、第２のシール部材１０４は、軸方向の中間部に、第１のシール部材１０２の嵌合部１１０と略相補的な形状の被嵌合凹部１１２を備えているとともに、軸方向の両端部に屈曲部１１４を備えている。
【０００９】
そして、第１のシール部材１０２の凸部１０８を、第２のシール部材１０４の被嵌合凹部１１２に嵌合するとともに、第２のシール部材１０４の屈曲部１１４を、第１のシール部材１０２のシール本体１０６と凸部１０８との間に形成される段差部１１６に当接した状態で、第１のシール部材１０２と第２のシール部材１０４とを連結して一体化されるように構成されている。
【００１０】
そして、シール溝１１８の一方の側壁１２０の側（例えば、大気側）に、第１のシール部材１０２を配置し、例えば、エッチングガスやプラズマに曝される他方の側壁１２２の側に、第２のシール部材１０４を配置している。
【００１１】
これにより、第２のシール部材１０４によって、エッチングガスやプラズマの侵入を防止し、第１のシール部材１０２の劣化を防止するように構成されている。
このように構成される従来の複合シール材１００を、シール溝１１８に装着すると、シール溝１１８の一方の側壁１２０の側に配置されるゴム製の第１のシール部材１０２により、真空シール性が確保される。また、シール溝１１８の他方の側壁１２２の側に配置される合成樹脂製の第２のシール部材１０４により、第１のシール部材１０２では十分に発揮することができない耐プラズマ性や耐腐食ガス性が確保されるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００９／０３８０２２号公報
【特許文献２】意匠登録第１３４９９８２号公報
【特許文献３】意匠登録第１３４９９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図１６に示したような従来の複合シール材１００は、圧縮時において、図１７の部分拡大断面図に示したような状態にある。
ところで、一般に、「耐プラズマ性」とは、「耐ラジカル性」(化学的耐性)と「耐イオン性」(物理的耐性)を合わせたものである。
【００１４】
例えば、フッ素樹脂からなる合成樹脂製の第２のシール部材１０４は、例えば、フッ素ゴムからなるゴム製の第１のシール部材１０２に比べて、耐ラジカル性も耐イオン性も優れているが、耐イオンには下記のようにエッチングされてしまう。
【００１５】
すなわち、図１７に示したような圧縮状態で、長期にわたって、エッチングガスなどのイオンに曝されると、第２のシール部材１０４のシール溝１１８の開口部側の屈曲部１１４において、相手部材１２４との接触面（シール面）が、エッチングガスなどのイオンによって、図１７の矢印および点線に示したように、浸食（エッチング）されて消耗しまうことになる。
【００１６】
第２のシール部材１０４の消耗は、イオンによってエッチングされることが原因であり、イオンは直進性を有しているので、図１７の矢印で示したように、相手部材１２４の接触面１２４ａと、第２のシール部材１０４のシール溝１１８の開口部側の屈曲部１１４との隙間から侵入し、第２のシール部材１０４のシール溝１１８の開口部側の屈曲部１１４が消耗することになる。
【００１７】
従って、このような消耗により耐プラズマ性や耐不測ガス性が充分に発揮できなくなると、エッチングガスやプラズマが、ゴム製の第１のシール部材１０２に作用して、真空シール性が低下することになる。
【００１８】
本発明は、このような現状に鑑み、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、しかも、製造が容易で安価に製造できる複合シール材を提供することを目的とする。
【００１９】
さらに、本発明は、半導体製造装置に用いられる、シール溝の底部側の幅が、シール溝の開口部側の幅より広くなった形状のシール溝である特殊な形状のシール溝、いわゆる「あり溝」にも適用可能な複合シール材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の複合シール材は、
シール溝に装着され、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第１のシール部材と、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第２のシール部材とを備え、
前記第１のシール部材が、弾性部材から構成され、
前記第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール材であって、
前記第２のシール部材が、
前記第１のシール部材と連結する連結部と、
前記シール溝の開口部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ前記連結部から延出する開口部側延出部と、
を備えることを特徴とする。
【００２１】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第１シール部材と連結された連結部は、第１シール部材の変形に追随して変形し、連結部から延出する開口部側延出部は、相手部材と接触する。
【００２２】
その結果、従来の複合シールに比較して、シール溝の開口部側において、第２のシール部材と相手部材との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００２３】
また、この状態において、第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成されているので、第２のシール部材側を、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側であるチャンバー側に配置することができる。
【００２４】
これによって、第２のシール部材の連結部による圧接、第２のシール部材の開口部側延出部と相手部材との当接により、弾性部材から構成される第１のシール部材の圧接部であるシール本体部が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００２５】
従って、この場合に、厳しい環境側に、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成される第２のシール部材が位置することになるので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性に優れる。
【００２６】
これにより、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００２７】
また、本発明の複合シール材は、
前記シール溝の底部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ、前記連結部から延出する底部側延出部を備えることを特徴とする。
【００２８】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第１シール部材と連結された連結部は、第１シール部材の変形に追随して変形し、連結部から延出する底部側延出部は、相手部材と接触する。
【００２９】
その結果、従来の複合シールに比較して、シール溝の底部側において、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積が大きくなり、弾性部材から構成される第１のシール部材の圧接部であるシール本体部が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００３０】
また、本発明の複合シール材は、
複合シール材を圧接した際に、前記連結部が変形し、
前記開口部側延出部または底部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、相手部材と接触することを特徴とする。
【００３１】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
従って、従来の複合シールに比較して、シール溝の底部側において、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００３２】
また、本発明の複合シール材は、
前記第１のシール部材が、
前記複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、
前記シール本体部の軸方向の略中央部より、第２のシール部材側に延設された第１の結合部とを備え、
前記第２のシール部材が、
前記連結部の軸方向の両端部より、第１のシール部材側に延設された第２の結合部を備え、
前記第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする。
【００３３】
このように構成することによって、第２のシール部材の第２の結合部に長時間の押圧によってクリープ現象が生じても、第２のシール部材の第２の結合部の間に、弾性部材から構成される第１のシール部材の第１の結合部が位置することになる。
【００３４】
これにより、第１のシール部材の第１の結合部の反発力によって、第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合部によって常に押し広げられて、長期にわたり腐食性ガス、プラズマなどの侵入を防止する、プラズマシール性を維持することができ、弾性部材から構成される第１のシール部材全体が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００３５】
さらに、第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されているので、第１のシール部材と第２のシール部材が分離するおそれを確実に防止することができる。
【００３６】
また、本発明の複合シール材は、
前記第１のシール部材の軸方向の両端部近傍に結合凹部が形成され、
前記第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする。
【００３７】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第２のシール部材の第２の結合部がいわゆる力点として作用し、第１のシール部材に連結された連結部が支点となって、てこの原理により低荷重で開口部側延出部が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００３８】
また同様に、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の底部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された底部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝の底部と接触することになり、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００３９】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
また、このように、第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されているので、第１のシール部材と第２のシール部材が分離するおそれを確実に防止することができる。
【００４０】
また、本発明の複合シール材は、前記第２のシール部材の連結部が、予め変形しやすいように、軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲した形状に形成されていることを特徴とする。
【００４１】
このように構成することによって、第２のシール部材の連結部は、軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲した形状に形成されているので、複合シール材を圧接した際に、より低荷重で第１のシール部材に連結された連結部が、その軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲することになる。
【００４２】
その結果、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の開口部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された開口部側延出部が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００４３】
また、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の底部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された底部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝の底部と接触することになり、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００４４】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
また、本発明の複合シール材は、前記第１のシール部材と第２のシール部材の連結部との間が接着されていることを特徴とする。
【００４５】
このように第１のシール部材と第２のシール部材の連結部との間が接着されていれば、第１のシール部材と第２のシール部材とが接着により一体化されているので、第１のシール部材と第２のシール部材が分離するおそれを確実に防止することができる。
【００４６】
なお、この場合、「接着」とは、溶接、融着、接着、一体成形など公知の接合方法が採用可能であり、特に限定されるものではないが、接着剤、好ましくは、耐熱性接着剤にて接合一体化するのが望ましい。
【発明の効果】
【００４７】
本発明の複合シール材によれば、複合シール材を圧接した際に、第１のシール部材に連結される第２シール部材の連結部が、変形することになる。
その結果、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の開口部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された開口部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００４８】
従って、従来の複合シールに比較して、シール溝の開口部側において、第２のシール部材と相手部材との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００４９】
また、複合シール材を圧接した際に、第２シール部材の連結部が、その軸方向の略中央部において変形するので、従来の複合シール材に比較して、低荷重でシール性を確保することができる。
【００５０】
また、この状態において、第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成されているので、第２のシール部材側を、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側であるチャンバー側に配置することができる。
【００５１】
これによって、第２のシール部材の連結部による圧接、第２のシール部材の開口部側延出部と相手部材との当接により、弾性部材から構成される第１のシール部材の圧接部であるシール本体部が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００５２】
従って、この場合に、厳しい環境側に、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成される第２のシール部材が位置することになるので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性に優れる。
【００５３】
これにより、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１は、本発明の複合シール材をシール溝であるいわゆる「あり溝」に装着した状態の断面図である。
【図２】図２は、本発明の複合シール材をシール溝に装着して圧接する状態を説明する断面図である。
【図３】図３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図４】図４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図５】図５は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図６】図６は、図６は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図７】図７は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図８】図８は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図９】図９は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１５】図１５は、本本発明の別の実施例の複合シール材の平面図である。
【図１６】図１６は、従来の複合シール材の断面図である。
【図１７】図１７は、従来の複合シール材の部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
【実施例１】
【００５６】
図１は、本発明の複合シール材をシール溝であるいわゆる「あり溝」に装着した状態の断面図、図２は、本発明の複合シール材をシール溝に装着して圧接する状態を説明する断面図である。
【００５７】
図１〜図２において、１０は、全体で本発明の複合シール材を示しており、この複合シール材１０は、略環状（この実施例の場合には、円形）であり、略環状のシール溝１２に装着されるものである。
【００５８】
このシール溝１２は、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置に用いられる、シール溝１２の底部１４側の幅が、シール溝１２の開口部１６側の幅より広くなった形状のシール溝である特殊な形状のシール溝、いわゆる「あり溝」となっている。
【００５９】
そして、複合シール材１０は、図１〜図２に示したように、このようなシール溝１２に装着した際に、シール溝１２の一方の側壁１８の側、すなわち、半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側とは反対側（例えば、大気側）に位置する第１のシール部材２０を備えている。
【００６０】
また、複合シール材１０は、シール溝１２に装着した際に、シール溝１２の他方の側壁２２の側、すなわち、半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側に位置する断面略Ｈ字形状の第２のシール部材２４を備えている。
【００６１】
なお、この実施例では、シール溝１２の一方の側壁１８の側が、外周側に位置し、外周側に第１のシール部材２０が位置し、シール溝１２の他方の側壁２２の側が内周側に位置し、内周側に第２のシール部材２４が位置するように構成されている。
【００６２】
そして、第１のシール部材２０は、複合シール材１０を圧接した際に、圧接されて真空シール性が付与されるシール本体部２６を備えている。さらに、第１のシール部材２０には、このシール本体部２６の軸方向の略中央部より、第２のシール部材２４の側に延設され、しかも、シール本体部２６の軸方向の長さよりも、軸方向の長さが短い第１の結合部２８が形成されている。
【００６３】
なお、この場合、軸方向は、図１〜図２において、縦方向、すなわち、シール溝１２の底部１４から相手部材６０の方向を意味する（以下においても同様である）。
この第１の結合部２８は、シール本体部２６の軸方向の長さよりも、軸方向の長さが短く、第２のシール部材２４の側に延設された延出部３０と、この延出部３０よりも軸方向の長さが短く、第２のシール部材２４の側に延設された嵌合突部３２から構成されている。
【００６４】
また、この嵌合突部３２には、図１〜図２に示したように、シール本体部２６の側の基端部３４から、第２のシール部材２４の側の先端部３１にかけて、その軸方向の長さが漸次大きくなるように、テーパー傾斜面３６、３６が形成されている。
【００６５】
一方、図１〜図２に示したように、第２のシール部材２４は、第１のシール部材に連結された連結部３８を備えており、この連結部３８の軸方向の両端部は、第１のシール部材２０の側に延設された一対の第２の結合部４０、４０が形成されている。
【００６６】
この第２の結合部４０は、第１のシール部材２０の第１の結合部２８と、略相補的な形状を有するように形成されている。
すなわち、第２の結合部４０は、軸方向内側に位置する内側結合部４２と、この内側結合部４２よりも軸方向外側に位置する外側結合部４４とから構成されている。
【００６７】
そして、内側結合部４２には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０の側の先端部４８にかけて、その軸方向の長さが漸次小さくなるように、内側テーパー傾斜面５０、５０が形成されている。
【００６８】
そして、第１のシール部材２０の第１の結合部２８に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０を嵌合することによって図１〜図２に示したように、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化される。
【００６９】
すなわち、第１のシール部材２０の嵌合突部３２に、第２のシール部材２４の内側結合部４２を嵌合することによって、図１〜図２に示したように、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化される。
【００７０】
そして、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の延出部３０と嵌合突部３２とで形成される内側段部５２に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の内側結合部４２を係合すればよい。
【００７１】
これにより、第１のシール部材２０の嵌合突部３２のテーパー傾斜面３６、３６と、第２のシール部材２４の内側結合部４２の内側テーパー傾斜面５０、５０が相互に係合して第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されて分離するのが防止されるようになっている。
【００７２】
また、この場合、第１のシール部材２０のシール本体部２６と、第１の結合部２８の延出部３０とで形成される外側段部５４に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４を係合するようにすればよい。
【００７３】
また、図１〜図２に示したように、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０の側の先端部４１にかけて、その軸方向の長さが漸次大きくなるように、外側テーパー傾斜面５６、５６が形成されている。
【００７４】
そして、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とを一体化した際に、この外側テーパー傾斜面５６、５６から、第１のシール部材２０のシール本体部２６にかけて、なだらかな曲面形状となるように構成されている。
【００７５】
なお、この場合、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とを接合一体化する方法としては、嵌合だけでも良いが、溶接、融着、接着、一体成形など公知の接合方法が採用可能である。
【００７６】
さらに、図１〜図２に示したように、第２のシール部材２４には、連結部３８のシール溝１２の開口部１６側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された開口部側延出部６２が形成され、その開口部側延出部６２は、複合シール材１０を圧接した際に相手部材６０と接触する。
【００７７】
この開口部側延出部６２には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０と離反する方向に、その軸方向の長さが漸次小さくなるように、外側テーパー傾斜面６４が形成されている。
【００７８】
なお、この開口部側延出部６２の外側テーパー傾斜面６４と、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４の外側テーパー傾斜面５６とは、連続した直線となるようにしても良く、また、異なる角度のテーパー傾斜面とすることもできる。
【００７９】
同様に、第２のシール部材２４には、連結部３８のシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が形成され、その底部側延出部６６は、複合シール材１０を圧接した際にシール溝１２の底部１４と接触する。
【００８０】
この底部側延出部６６には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０と離反する方向に、その軸方向の長さが漸次小さくなるように、外側テーパー傾斜面６８が形成されている。
【００８１】
なお、この底部側延出部６６の外側テーパー傾斜面６８と、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４の外側テーパー傾斜面５６とは、連続した直線となるようにしても良く、また、異なる角度のテーパー傾斜面とすることもできる。
【００８２】
そして、この場合、第１のシール部材２０が、弾性部材から構成され、第２のシール部材２４が、第１のシール部材２０よりも硬質の材料から構成されている。
この場合、第１のシール部材２０が、弾性部材であるゴムから構成されているのが望ましい。なお、この場合、ゴムとしては、天然ゴム、合成ゴムのいずれも使用可能である。
【００８３】
このように、第１のシール部材２０を、弾性部材であるゴムから構成することによって、このゴムの弾性力によって。複合シール材１０を圧接した際に、第１のシール部材２０の第１のシール部材２０のシール本体部２６が、相手部材６０によって圧接されて高い真空シール性を付与することができる。
【００８４】
また、この場合、第１のシール部材２０を構成するゴムが、フッ素ゴムから構成されているのがさらに望ましい。
このようなフッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／トリフルオロクロロエチレン系共重合体、フッ化ビニリデン／ペンタフルオロプロピレン系共重合体等の２元系のフッ化ビニリデン系ゴム、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル系共重合体、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体等の３元系のフッ化ビニリデンゴムやテトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル系共重合体、熱可塑性フッ素ゴムなどが使用可能である。
【００８５】
このように第１のシール部材２０を構成するゴムが、フッ素ゴムから構成されているので、万一、第１のシール部材２０が，腐食性ガス、プラズマに接触したとしても、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性が良く、真空シール性が低下することがない。
【００８６】
一方、第２のシール部材２４が、合成樹脂から構成されているのが望ましく、好ましくは、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、ポリエーテルケトン樹脂から選択した１種以上の合成樹脂から構成するのが望ましい。
【００８７】
このように、第２のシール部材２４が、第１のシール部材２０よりも硬質の材料であるこのような合成樹脂から構成されているので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性が良く、しかも、弾性部材から構成される第１のシール部材２０の全体が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、シール性が低下することがない。
【００８８】
この場合、フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）樹脂、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）樹脂、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）樹脂、ポリビニリデンフルオライト（ＰＶＤＦ）樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）樹脂、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）樹脂、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）樹脂などを挙げることができ、この中では、耐熱性、耐腐食性ガス、耐プラズマ性などを考慮すれば、ＰＴＦＥが好ましい。
【００８９】
このように構成することによって、複合シール材１０を圧接した際に、弾性部材から構成される第１のシール部材２０のシール本体部２６が圧接されて真空シール性が付与される。また、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化された連結部において、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が圧接されて、プラズマシール性が付与されることになる。
【００９０】
また、図２に示したように、複合シール材１０を圧接した際に、第２のシール部材２４の連結部３８は、軸方向の略中央部の肉薄部５８が変形する。
その結果、この連結部３８の変形によって、連結部３８のシール溝１２の開口部１６側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された開口部側延出部６２が、図２の矢印Ａで示したように、軸方向外側に拡がるように付勢される。
【００９１】
これにより、開口部側延出部６２の外側テーパー傾斜面６４が、相手部材６０と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００９２】
従って、従来の複合シールに比較して、のシール溝１２の開口部１６側において、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材２４が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００９３】
また、この連結部３８の変形によって、連結部３８のりシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が、図２の矢印Ａで示したように、軸方向外側に拡がるように付勢される。
付勢される。
【００９４】
これにより、底部側延出部６６の外側テーパー傾斜面６８が、シール溝１２の底部１４と接触することになり、第２のシール部材２４とシール溝１２の底部１４との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００９５】
従って、従来の複合シールに比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
また、複合シール材１０を圧接した際に、第２のシール部材２４の連結部３８は、軸方向の略中央部の肉薄部５８が、第１のシール部材２０から離反する方向に変形するので、従来の複合シール材１０に比較して、低荷重でシール性を確保することができる。
【００９６】
また、この状態において、第２のシール部材２４が、第１のシール部材２０よりも硬質の材料から構成されているので、第２のシール部材２４側を、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側であるチャンバー側に配置することができる。
【００９７】
これによって、第２のシール部材２４の連結部３８による圧接、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２と相手部材６０との当接により、弾性部材から構成される第１のシール部材２０の圧接部であるシール本体部２６が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００９８】
従って、この場合に、厳しい環境側に、第１のシール部材２０よりも硬質の材料から構成される第２のシール部材２４が位置することになるので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性に優れる。
【００９９】
これにより、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【０１００】
また、第２のシール部材の第２の結合部４０に長時間の押圧によってクリープ現象が生じても、第２のシール部材の第２の結合部４０の間に、弾性部材から構成される第１のシール部材２０の第１の結合部２８が位置することになる。
【０１０１】
これにより、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の反発力によって、第２のシール部材の第２の結合部４０が、第１のシール部材２０の第１の結合部２８によって常に押し広げられて、長期にわたり腐食性ガス、プラズマなどの侵入を防止する、プラズマシール性を維持することができ、弾性部材から構成される第１のシール部材２０全体が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【０１０２】
さらに、第１のシール部材２０の第１の結合部２８に、第２のシール部材の第２の結合部４０を嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されているので、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができる。
【０１０３】
なお、図１に示したように、上記のような効果を考慮した場合、開口部側延出部６２、底部側延出部６６の突設距離Ｌ１は、シール溝１２の幅、形状、真空度、締め付け圧力、所望の寿命期間などに応じて変更すれば良く、特に限定されるものではないが、連結部３８の肉薄部５８の幅Ｌ２に対して、開口部側延出部６２の厚みをＬ３とし、Ｌ２×１．５＜Ｌ３、Ｌ１＜Ｌ３×２となるように設定すれば良い。
【０１０４】
すなわち、Ｌ２が厚くなると、連結部ではなく、延出部が撓むことになるため、接触面積を確保できないからである。
また、Ｌ１が長すぎると、力が伝わりにくくなるため、Ｌ３の２倍より小さく設定してするのが望ましい。
【０１０５】
なお、この実施例では、シール溝１２の一方の側壁１８の側が、外周側に位置し、外周側に第１のシール部材２０が位置し、シール溝１２の他方の側壁２２の側が内周側に位置し、内周側に第２のシール部材２４が位置するように構成されているが、これとは逆に、シール溝１２の外周側において、耐腐食性や耐プラズマ性が要求される環境となる場合は、内周側に第１のシール部材２０が位置し、外周側に第２のシール部材２４が位置するようにすることも可能である。
【０１０６】
また、この実施例では、複合シール材１０を、略環状で断面が矩形形状のシール溝１２に装着するようにしたが、シール溝の形状は何ら限定されるものではなく、図示しないが、シール溝が略矩形形状のシール溝、シール溝の一方の側壁のみが傾斜して開口部が広がるような形状のいわゆる「片あり溝」などにも適用することができる。
【０１０７】
さらに、この実施例では、複合シール材１０は、円形形状の略環状としたが、例えば、図１５に示したように、矩形形状の略環状とすることも可能であり、その形状は、シール溝の形状に合わせればよく、特に限定されるものではない。
【実施例２】
【０１０８】
図３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
この実施例の複合シール材１０では、図３に示したように、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第２のシール部材２４のシール溝１２の底部１４と接触する底部側延出部６６を省略し、相手部材６０と接触する開口部側延出部６２のみを形成するようにしている。
【０１１０】
この場合でも、開口部側延出部６２の外側テーパー傾斜面６４が、相手部材６０と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１１１】
従って、従来の複合シールに比較して、シール溝１２の開口部１６側において、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材２４が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【０１１２】
なお、以下のいずれの実施例３〜実施例８においても、同様に、第２のシール部材２４のシール溝１２の底部１４と接触する底部側延出部６６を省略し、相手部材６０と接触する開口部側延出部６２のみを形成することが可能である。
【実施例３】
【０１１３】
図４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１４】
図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０では、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２、底部側延出部６６の先端部が平坦な形状であったが、この実施例の複合シール材１０では、図４に示したように、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２、底部側延出部６６の先端部が丸く曲線状に形成されている。
【０１１５】
すなわち、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２、底部側延出部６６の先端部の形状は、特に限定されるものではなく、この実施例の形状以外にも、例えば、図示しないが、三角形状など様々な形状を採用することができる。
【実施例４】
【０１１６】
図５は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図６は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１７】
図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、図５に示した実施例では、第２のシール部材２４の連結部３８の中央部分の肉薄部５８が、予め変形しやすいように、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した形状に形成されている。
【０１１８】
すなわち、この実施例では、肉薄部５８の第１のシール部材２０側の面を、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した屈曲面７０としている。
また、図６に示した実施例では、さらに、肉薄部５８の第１のシール部材２０側から離反する側の面を、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した屈曲面７２としている。
【０１１９】
このように構成することによって、第２のシール部材２４の連結部３８が、予め変形しやすいように、軸方向の略中央部の肉薄部５８が、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した形状に形成されているので、複合シール材１０を圧接した際に、より低荷重で第１のシール部材２０に連結された連結部３８が、変形しやすくなる。
【０１２０】
その結果、この連結部３８の変形によって、連結部３８のシール溝１２の開口部１６側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された開口部側延出部６２が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材６０と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１２１】
また、この連結部３８の変形によって、連結部３８のりシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝１２の底部１４と接触することになり、第２のシール部材２４とシール溝１２の底部１４との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１２２】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材１０を提供することができる。
【実施例５】
【０１２３】
図７は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図８は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図９は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【０１２４】
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１２５】
図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、図７に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略台形形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略台形形状となるように形成している。
【０１２６】
また、図８に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略三角形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略三角形状となるように形成している。
【０１２７】
さらに、図９に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略アーチ形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略アーチ形状となるように形成している。
【０１２８】
すなわち、本発明の複合シール材１０では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状が、特に限定されるものではないことを示している。
【実施例６】
【０１２９】
図１０は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３０】
図１０に示した実施例では、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の延出部３０を省略してするとともに、嵌合突部３２のみとしている。そして、この嵌合突部３２に相補的な形状となるように、第２のシール部材２４の第２の結合部４０において、内側結合部４２と外側結合部４４を一体とした形状の結合部７８としている。
【０１３１】
このように、第１のシール部材２０の第１の結合部２８に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０を嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化され、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができれば、その嵌合形状は特に限定されるものではないことを示している。
【実施例７】
【０１３２】
図１１は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３３】
図１１に示した実施例では、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第１のシール部材２０の軸方向の両端部近傍に結合凹部８０、８０が形成され、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が、第１のシール部材２０の第１の結合凹部８０に嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されている。
【０１３４】
すなわち、この実施例の複合シール材１０では、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が表面に露出せず、第１のシール部材２０の結合凹部８０内に嵌合されている構成である。
【０１３５】
なお、図１１の実施例では、第１のシール部材２０のシール本体部２６の形状が、溝形状、締め付け圧力、使用環境などに応じて、任意に変更可能なことを示している。
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第２のシール部材の第２の結合部がいわゆる力点として作用し、第１のシール部材に連結された連結部が支点となって、てこの原理により低荷重で、開口部側延出部６２が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１３６】
また同様に、この連結部３８の変形によって、連結部３８のりシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝１２の底部１４と接触することになり、第２のシール部材２４とシール溝１２の底部１４との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１３７】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材１０を提供することができる。
また、このように、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が、第１のシール部材２０の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されているので、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができる。
【実施例８】
【０１３８】
図１２は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図１３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図１４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【０１３９】
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４０】
図１２〜図１４に示した実施例では、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の延出部３０、嵌合突部３２を省略するとともに、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の内側結合部４２と外側結合部４４を省略した構造としている。
【０１４１】
その代わりに、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４の連結部３８との間が接着されている構造である。
また、図１３の実施例の複合シール材１０では、図３に示した実施例２の複合シール材１０と同様に、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第２のシール部材２４のシール溝１２の底部１４と接触する底部側延出部６６を省略し、相手部材６０と接触する開口部側延出部６２のみを形成するようにしている。
【０１４２】
さらに、図１４の実施例の複合シール材１０では、図９に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略アーチ形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略アーチ形状となるように形成している。
【０１４３】
また、図１４の実施例の複合シール材１０では、図５〜図６の実施例４の複合シール材１０と同様に、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合部位に溝部８２を形成して、第２のシール部材２４の連結部３８の中央部分の肉薄部５８が、予め変形しやすいように、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した形状に形成されている。
【０１４４】
このように第１のシール部材２０と第２のシール部材２４の連結部３８との間が接着されていれば、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが接着により一体化されているので、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができる。
【０１４５】
なお、この場合、「接着」とは、溶接、融着、接着、一体成形など公知の接合方法が採用可能であり、特に限定されるものではないが、接着剤、好ましくは、耐熱性接着剤にて接合一体化するのが望ましい。
【０１４６】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体装置に適用した場合について説明したが、本願発明の複合シール材は、その他の環境の厳しい条件で使用するその他の装置のシール部分にも用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明は、真空、超真空状態で使用される複合シール材に関し、特に、例えば、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの半導体製造装置に適用され、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、しかも、製造が容易で安価に製造できる複合シール材である。
【符号の説明】
【０１４８】
１０ 複合シール材
１２ シール溝
１４ 底部
１６ 開口部
１８ 一方の側壁
２０ 第１のシール部材
２２ 他方の側壁
２４ 第２のシール部材
２６ シール本体部
２８ 第１の結合部
３０ 延出部
３１ 先端部
３２ 嵌合突部
３４ 基端部
３６ テーパー傾斜面
３８ 連結部
４０ 第２の結合部
４１ 先端部
４２ 内側結合部
４４ 外側結合部
４６ 基端部
５０ 内側テーパー傾斜面
５２ 内側段部
５４ 外側段部
５６ 外側テーパー傾斜面
５８ 肉薄部
６０ 相手部材
６２ 開口部側延出部
６４ 外側テーパー傾斜面
６６ 底部側延出部
６８ 外側テーパー傾斜面
７０ 屈曲面
７２ 屈曲面
７４ 面
７６ 空間
７８ 結合部
８０ 結合凹部
８２ 溝部
１００ 複合シール材
１０２ 第１のシール部材
１０４ 第２のシール部材
１０６ シール本体
１０８ 凸部
１１０ 嵌合部
１１２ 被嵌合凹部
１１４ 屈曲部
１１６ 段差部
１１８ シール溝
１２０ 一方の側壁
１２２ 他方の側壁
１２４ 相手部材
１２４ａ接触面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空、超真空状態で使用される複合シール材に関し、例えば、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの半導体製造装置に使用される複合シール材に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品の材料となる半導体の製造技術が、特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化などに伴って、著しく進歩している。
【０００３】
このため、半導体製造装置に使用される部材に対する要求が更に厳しくなってきており、その要求も様々なものになってきている。
例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置に使用されるシール材は、基本的な性能として真空シール性能が必要である。そして、使用される装置やシール材の装着個所によっては、耐プラズマ性や耐腐食ガス性などの性能を併せ持つことが要求される。
【０００４】
従来、このような真空シール性能と耐プラズマ性、さらには耐腐食ガス性が求められるシール部材として、流体の影響を受けにくいフッ素ゴムが使用されてきた。
しかし、環境が厳しくなるにつれ、フッ素ゴムでも、耐プラズマ性や耐腐食ガス性などの性能が不十分で、真空シール性が低下することになり、その結果、新しいシール部材が求められるようになってきている。
【０００５】
このため、従来、このような真空シール性能と耐プラズマ性、さらには耐腐食ガス性が求められるシール部材として、本出願人は、既に、特許文献１（国際公開ＷＯ２００９／０３８０２２号公報）、特許文献２（意匠登録第１３４９９８２号公報）、特許文献３（意匠登録第１３４９９８３号公報）において、図１６に示したような、複合シール材１００を提案している。
【０００６】
すなわち、この複合シール材１００は、図１６に示したように、例えば、フッ素ゴムからなるゴム製の第１のシール部材１０２と、それより硬質の材料であり、耐プラズマ性や耐腐食ガス性が良好な、例えば、フッ素樹脂からなる合成樹脂製の第２のシール部材１０４とから構成される。
【０００７】
そして、第１のシール部材１０２は、環状のシール本体１０６を備えており、このシール本体１０６から、第２のシール部材１０４側に突設された凸部１０８を備えている。さらに、この凸部１０８の軸方向の中間部から、第２のシール部材１０４側にさらに突設された嵌合部１１０を備えている。
【０００８】
一方、第２のシール部材１０４は、軸方向の中間部に、第１のシール部材１０２の嵌合部１１０と略相補的な形状の被嵌合凹部１１２を備えているとともに、軸方向の両端部に屈曲部１１４を備えている。
【０００９】
そして、第１のシール部材１０２の凸部１０８を、第２のシール部材１０４の被嵌合凹部１１２に嵌合するとともに、第２のシール部材１０４の屈曲部１１４を、第１のシール部材１０２のシール本体１０６と凸部１０８との間に形成される段差部１１６に当接した状態で、第１のシール部材１０２と第２のシール部材１０４とを連結して一体化されるように構成されている。
【００１０】
そして、シール溝１１８の一方の側壁１２０の側（例えば、大気側）に、第１のシール部材１０２を配置し、例えば、エッチングガスやプラズマに曝される他方の側壁１２２の側に、第２のシール部材１０４を配置している。
【００１１】
これにより、第２のシール部材１０４によって、エッチングガスやプラズマの侵入を防止し、第１のシール部材１０２の劣化を防止するように構成されている。
このように構成される従来の複合シール材１００を、シール溝１１８に装着すると、シール溝１１８の一方の側壁１２０の側に配置されるゴム製の第１のシール部材１０２により、真空シール性が確保される。また、シール溝１１８の他方の側壁１２２の側に配置される合成樹脂製の第２のシール部材１０４により、第１のシール部材１０２では十分に発揮することができない耐プラズマ性や耐腐食ガス性が確保されるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００９／０３８０２２号公報
【特許文献２】意匠登録第１３４９９８２号公報
【特許文献３】意匠登録第１３４９９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図１６に示したような従来の複合シール材１００は、圧縮時において、図１７の部分拡大断面図に示したような状態にある。
ところで、一般に、「耐プラズマ性」とは、「耐ラジカル性」(化学的耐性)と「耐イオン性」(物理的耐性)を合わせたものである。
【００１４】
例えば、フッ素樹脂からなる合成樹脂製の第２のシール部材１０４は、例えば、フッ素ゴムからなるゴム製の第１のシール部材１０２に比べて、耐ラジカル性も耐イオン性も優れているが、耐イオンには下記のようにエッチングされてしまう。
【００１５】
すなわち、図１７に示したような圧縮状態で、長期にわたって、エッチングガスなどのイオンに曝されると、第２のシール部材１０４のシール溝１１８の開口部側の屈曲部１１４において、相手部材１２４との接触面（シール面）が、エッチングガスなどのイオンによって、図１７の矢印および点線に示したように、浸食（エッチング）されて消耗しまうことになる。
【００１６】
第２のシール部材１０４の消耗は、イオンによってエッチングされることが原因であり、イオンは直進性を有しているので、図１７の矢印で示したように、相手部材１２４の接触面１２４ａと、第２のシール部材１０４のシール溝１１８の開口部側の屈曲部１１４との隙間から侵入し、第２のシール部材１０４のシール溝１１８の開口部側の屈曲部１１４が消耗することになる。
【００１７】
従って、このような消耗により耐プラズマ性や耐不測ガス性が充分に発揮できなくなると、エッチングガスやプラズマが、ゴム製の第１のシール部材１０２に作用して、真空シール性が低下することになる。
【００１８】
本発明は、このような現状に鑑み、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、しかも、製造が容易で安価に製造できる複合シール材を提供することを目的とする。
【００１９】
さらに、本発明は、半導体製造装置に用いられる、シール溝の底部側の幅が、シール溝の開口部側の幅より広くなった形状のシール溝である特殊な形状のシール溝、いわゆる「あり溝」にも適用可能な複合シール材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の複合シール材は、
シール溝に装着され、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第１のシール部材と、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第２のシール部材とを備え、
前記第１のシール部材が、弾性部材から構成され、
前記第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール材であって、
前記第２のシール部材が、
前記第１のシール部材と連結する連結部と、
前記シール溝の開口部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ前記連結部から延出する開口部側延出部と、
を備えることを特徴とする。
【００２１】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第１シール部材と連結された連結部は、第１シール部材の変形に追随して変形し、連結部から延出する開口部側延出部は、相手部材と接触する。
【００２２】
その結果、従来の複合シールに比較して、シール溝の開口部側において、第２のシール部材と相手部材との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００２３】
また、この状態において、第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成されているので、第２のシール部材側を、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側であるチャンバー側に配置することができる。
【００２４】
これによって、第２のシール部材の連結部による圧接、第２のシール部材の開口部側延出部と相手部材との当接により、弾性部材から構成される第１のシール部材の圧接部であるシール本体部が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００２５】
従って、この場合に、厳しい環境側に、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成される第２のシール部材が位置することになるので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性に優れる。
【００２６】
これにより、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００２７】
また、本発明の複合シール材は、
前記シール溝の底部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ、前記連結部から延出する底部側延出部を備えることを特徴とする。
【００２８】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第１シール部材と連結された連結部は、第１シール部材の変形に追随して変形し、連結部から延出する底部側延出部は、相手部材と接触する。
【００２９】
その結果、従来の複合シールに比較して、シール溝の底部側において、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積が大きくなり、弾性部材から構成される第１のシール部材の圧接部であるシール本体部が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００３０】
また、本発明の複合シール材は、
複合シール材を圧接した際に、前記連結部が変形し、
前記開口部側延出部または底部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、相手部材と接触することを特徴とする。
【００３１】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
従って、従来の複合シールに比較して、シール溝の底部側において、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００３２】
また、本発明の複合シール材は、
前記第１のシール部材が、
前記複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、
前記シール本体部の軸方向の略中央部より、第２のシール部材側に延設された第１の結合部とを備え、
前記第２のシール部材が、
前記連結部の軸方向の両端部より、第１のシール部材側に延設された第２の結合部を備え、
前記第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする。
【００３３】
このように構成することによって、第２のシール部材の第２の結合部に長時間の押圧によってクリープ現象が生じても、第２のシール部材の第２の結合部の間に、弾性部材から構成される第１のシール部材の第１の結合部が位置することになる。
【００３４】
これにより、第１のシール部材の第１の結合部の反発力によって、第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合部によって常に押し広げられて、長期にわたり腐食性ガス、プラズマなどの侵入を防止する、プラズマシール性を維持することができ、弾性部材から構成される第１のシール部材全体が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００３５】
さらに、第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されているので、第１のシール部材と第２のシール部材が分離するおそれを確実に防止することができる。
【００３６】
また、本発明の複合シール材は、
前記第１のシール部材の軸方向の両端部近傍に結合凹部が形成され、
前記第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする。
【００３７】
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第２のシール部材の第２の結合部がいわゆる力点として作用し、第１のシール部材に連結された連結部が支点となって、てこの原理により低荷重で開口部側延出部が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００３８】
また同様に、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の底部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された底部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝の底部と接触することになり、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００３９】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
また、このように、第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されているので、第１のシール部材と第２のシール部材が分離するおそれを確実に防止することができる。
【００４０】
また、本発明の複合シール材は、前記第２のシール部材の連結部が、予め変形しやすいように、軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲した形状に形成されていることを特徴とする。
【００４１】
このように構成することによって、第２のシール部材の連結部は、軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲した形状に形成されているので、複合シール材を圧接した際に、より低荷重で第１のシール部材に連結された連結部が、その軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲することになる。
【００４２】
その結果、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の開口部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された開口部側延出部が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００４３】
また、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の底部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された底部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝の底部と接触することになり、第２のシール部材とシール溝の底部との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００４４】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
また、本発明の複合シール材は、前記第１のシール部材と第２のシール部材の連結部との間が接着されていることを特徴とする。
【００４５】
このように第１のシール部材と第２のシール部材の連結部との間が接着されていれば、第１のシール部材と第２のシール部材とが接着により一体化されているので、第１のシール部材と第２のシール部材が分離するおそれを確実に防止することができる。
【００４６】
なお、この場合、「接着」とは、溶接、融着、接着、一体成形など公知の接合方法が採用可能であり、特に限定されるものではないが、接着剤、好ましくは、耐熱性接着剤にて接合一体化するのが望ましい。
【発明の効果】
【００４７】
本発明の複合シール材によれば、複合シール材を圧接した際に、第１のシール部材に連結される第２シール部材の連結部が、変形することになる。
その結果、この連結部の変形によって、連結部のシール溝の開口部側の端部から、第１のシール部材から離反する方向に延設された開口部側延出部が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００４８】
従って、従来の複合シールに比較して、シール溝の開口部側において、第２のシール部材と相手部材との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００４９】
また、複合シール材を圧接した際に、第２シール部材の連結部が、その軸方向の略中央部において変形するので、従来の複合シール材に比較して、低荷重でシール性を確保することができる。
【００５０】
また、この状態において、第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成されているので、第２のシール部材側を、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側であるチャンバー側に配置することができる。
【００５１】
これによって、第２のシール部材の連結部による圧接、第２のシール部材の開口部側延出部と相手部材との当接により、弾性部材から構成される第１のシール部材の圧接部であるシール本体部が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００５２】
従って、この場合に、厳しい環境側に、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成される第２のシール部材が位置することになるので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性に優れる。
【００５３】
これにより、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１は、本発明の複合シール材をシール溝であるいわゆる「あり溝」に装着した状態の断面図である。
【図２】図２は、本発明の複合シール材をシール溝に装着して圧接する状態を説明する断面図である。
【図３】図３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図４】図４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図５】図５は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図６】図６は、図６は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図７】図７は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図８】図８は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図９】図９は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【図１５】図１５は、本本発明の別の実施例の複合シール材の平面図である。
【図１６】図１６は、従来の複合シール材の断面図である。
【図１７】図１７は、従来の複合シール材の部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
【実施例１】
【００５６】
図１は、本発明の複合シール材をシール溝であるいわゆる「あり溝」に装着した状態の断面図、図２は、本発明の複合シール材をシール溝に装着して圧接する状態を説明する断面図である。
【００５７】
図１〜図２において、１０は、全体で本発明の複合シール材を示しており、この複合シール材１０は、略環状（この実施例の場合には、円形）であり、略環状のシール溝１２に装着されるものである。
【００５８】
このシール溝１２は、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置に用いられる、シール溝１２の底部１４側の幅が、シール溝１２の開口部１６側の幅より広くなった形状のシール溝である特殊な形状のシール溝、いわゆる「あり溝」となっている。
【００５９】
そして、複合シール材１０は、図１〜図２に示したように、このようなシール溝１２に装着した際に、シール溝１２の一方の側壁１８の側、すなわち、半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側とは反対側（例えば、大気側）に位置する第１のシール部材２０を備えている。
【００６０】
また、複合シール材１０は、シール溝１２に装着した際に、シール溝１２の他方の側壁２２の側、すなわち、半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側に位置する断面略Ｈ字形状の第２のシール部材２４を備えている。
【００６１】
なお、この実施例では、シール溝１２の一方の側壁１８の側が、外周側に位置し、外周側に第１のシール部材２０が位置し、シール溝１２の他方の側壁２２の側が内周側に位置し、内周側に第２のシール部材２４が位置するように構成されている。
【００６２】
そして、第１のシール部材２０は、複合シール材１０を圧接した際に、圧接されて真空シール性が付与されるシール本体部２６を備えている。さらに、第１のシール部材２０には、このシール本体部２６の軸方向の略中央部より、第２のシール部材２４の側に延設され、しかも、シール本体部２６の軸方向の長さよりも、軸方向の長さが短い第１の結合部２８が形成されている。
【００６３】
なお、この場合、軸方向は、図１〜図２において、縦方向、すなわち、シール溝１２の底部１４から相手部材６０の方向を意味する（以下においても同様である）。
この第１の結合部２８は、シール本体部２６の軸方向の長さよりも、軸方向の長さが短く、第２のシール部材２４の側に延設された延出部３０と、この延出部３０よりも軸方向の長さが短く、第２のシール部材２４の側に延設された嵌合突部３２から構成されている。
【００６４】
また、この嵌合突部３２には、図１〜図２に示したように、シール本体部２６の側の基端部３４から、第２のシール部材２４の側の先端部３１にかけて、その軸方向の長さが漸次大きくなるように、テーパー傾斜面３６、３６が形成されている。
【００６５】
一方、図１〜図２に示したように、第２のシール部材２４は、第１のシール部材に連結された連結部３８を備えており、この連結部３８の軸方向の両端部は、第１のシール部材２０の側に延設された一対の第２の結合部４０、４０が形成されている。
【００６６】
この第２の結合部４０は、第１のシール部材２０の第１の結合部２８と、略相補的な形状を有するように形成されている。
すなわち、第２の結合部４０は、軸方向内側に位置する内側結合部４２と、この内側結合部４２よりも軸方向外側に位置する外側結合部４４とから構成されている。
【００６７】
そして、内側結合部４２には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０の側の先端部４８にかけて、その軸方向の長さが漸次小さくなるように、内側テーパー傾斜面５０、５０が形成されている。
【００６８】
そして、第１のシール部材２０の第１の結合部２８に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０を嵌合することによって図１〜図２に示したように、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化される。
【００６９】
すなわち、第１のシール部材２０の嵌合突部３２に、第２のシール部材２４の内側結合部４２を嵌合することによって、図１〜図２に示したように、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化される。
【００７０】
そして、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の延出部３０と嵌合突部３２とで形成される内側段部５２に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の内側結合部４２を係合すればよい。
【００７１】
これにより、第１のシール部材２０の嵌合突部３２のテーパー傾斜面３６、３６と、第２のシール部材２４の内側結合部４２の内側テーパー傾斜面５０、５０が相互に係合して第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されて分離するのが防止されるようになっている。
【００７２】
また、この場合、第１のシール部材２０のシール本体部２６と、第１の結合部２８の延出部３０とで形成される外側段部５４に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４を係合するようにすればよい。
【００７３】
また、図１〜図２に示したように、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０の側の先端部４１にかけて、その軸方向の長さが漸次大きくなるように、外側テーパー傾斜面５６、５６が形成されている。
【００７４】
そして、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とを一体化した際に、この外側テーパー傾斜面５６、５６から、第１のシール部材２０のシール本体部２６にかけて、なだらかな曲面形状となるように構成されている。
【００７５】
なお、この場合、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とを接合一体化する方法としては、嵌合だけでも良いが、溶接、融着、接着、一体成形など公知の接合方法が採用可能である。
【００７６】
さらに、図１〜図２に示したように、第２のシール部材２４には、連結部３８のシール溝１２の開口部１６側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された開口部側延出部６２が形成され、その開口部側延出部６２は、複合シール材１０を圧接した際に相手部材６０と接触する。
【００７７】
この開口部側延出部６２には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０と離反する方向に、その軸方向の長さが漸次小さくなるように、外側テーパー傾斜面６４が形成されている。
【００７８】
なお、この開口部側延出部６２の外側テーパー傾斜面６４と、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４の外側テーパー傾斜面５６とは、連続した直線となるようにしても良く、また、異なる角度のテーパー傾斜面とすることもできる。
【００７９】
同様に、第２のシール部材２４には、連結部３８のシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が形成され、その底部側延出部６６は、複合シール材１０を圧接した際にシール溝１２の底部１４と接触する。
【００８０】
この底部側延出部６６には、連結部３８の側の基端部４６から、第１のシール部材２０と離反する方向に、その軸方向の長さが漸次小さくなるように、外側テーパー傾斜面６８が形成されている。
【００８１】
なお、この底部側延出部６６の外側テーパー傾斜面６８と、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の外側結合部４４の外側テーパー傾斜面５６とは、連続した直線となるようにしても良く、また、異なる角度のテーパー傾斜面とすることもできる。
【００８２】
そして、この場合、第１のシール部材２０が、弾性部材から構成され、第２のシール部材２４が、第１のシール部材２０よりも硬質の材料から構成されている。
この場合、第１のシール部材２０が、弾性部材であるゴムから構成されているのが望ましい。なお、この場合、ゴムとしては、天然ゴム、合成ゴムのいずれも使用可能である。
【００８３】
このように、第１のシール部材２０を、弾性部材であるゴムから構成することによって、このゴムの弾性力によって。複合シール材１０を圧接した際に、第１のシール部材２０の第１のシール部材２０のシール本体部２６が、相手部材６０によって圧接されて高い真空シール性を付与することができる。
【００８４】
また、この場合、第１のシール部材２０を構成するゴムが、フッ素ゴムから構成されているのがさらに望ましい。
このようなフッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／トリフルオロクロロエチレン系共重合体、フッ化ビニリデン／ペンタフルオロプロピレン系共重合体等の２元系のフッ化ビニリデン系ゴム、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル系共重合体、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体等の３元系のフッ化ビニリデンゴムやテトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル系共重合体、熱可塑性フッ素ゴムなどが使用可能である。
【００８５】
このように第１のシール部材２０を構成するゴムが、フッ素ゴムから構成されているので、万一、第１のシール部材２０が，腐食性ガス、プラズマに接触したとしても、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性が良く、真空シール性が低下することがない。
【００８６】
一方、第２のシール部材２４が、合成樹脂から構成されているのが望ましく、好ましくは、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、ポリエーテルケトン樹脂から選択した１種以上の合成樹脂から構成するのが望ましい。
【００８７】
このように、第２のシール部材２４が、第１のシール部材２０よりも硬質の材料であるこのような合成樹脂から構成されているので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性が良く、しかも、弾性部材から構成される第１のシール部材２０の全体が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、シール性が低下することがない。
【００８８】
この場合、フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）樹脂、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）樹脂、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）樹脂、ポリビニリデンフルオライト（ＰＶＤＦ）樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）樹脂、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）樹脂、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）樹脂などを挙げることができ、この中では、耐熱性、耐腐食性ガス、耐プラズマ性などを考慮すれば、ＰＴＦＥが好ましい。
【００８９】
このように構成することによって、複合シール材１０を圧接した際に、弾性部材から構成される第１のシール部材２０のシール本体部２６が圧接されて真空シール性が付与される。また、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化された連結部において、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が圧接されて、プラズマシール性が付与されることになる。
【００９０】
また、図２に示したように、複合シール材１０を圧接した際に、第２のシール部材２４の連結部３８は、軸方向の略中央部の肉薄部５８が変形する。
その結果、この連結部３８の変形によって、連結部３８のシール溝１２の開口部１６側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された開口部側延出部６２が、図２の矢印Ａで示したように、軸方向外側に拡がるように付勢される。
【００９１】
これにより、開口部側延出部６２の外側テーパー傾斜面６４が、相手部材６０と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００９２】
従って、従来の複合シールに比較して、のシール溝１２の開口部１６側において、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材２４が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【００９３】
また、この連結部３８の変形によって、連結部３８のりシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が、図２の矢印Ａで示したように、軸方向外側に拡がるように付勢される。
付勢される。
【００９４】
これにより、底部側延出部６６の外側テーパー傾斜面６８が、シール溝１２の底部１４と接触することになり、第２のシール部材２４とシール溝１２の底部１４との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【００９５】
従って、従来の複合シールに比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
また、複合シール材１０を圧接した際に、第２のシール部材２４の連結部３８は、軸方向の略中央部の肉薄部５８が、第１のシール部材２０から離反する方向に変形するので、従来の複合シール材１０に比較して、低荷重でシール性を確保することができる。
【００９６】
また、この状態において、第２のシール部材２４が、第１のシール部材２０よりも硬質の材料から構成されているので、第２のシール部材２４側を、例えば、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置における腐食性ガス、プラズマなどの厳しい環境側であるチャンバー側に配置することができる。
【００９７】
これによって、第２のシール部材２４の連結部３８による圧接、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２と相手部材６０との当接により、弾性部材から構成される第１のシール部材２０の圧接部であるシール本体部２６が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【００９８】
従って、この場合に、厳しい環境側に、第１のシール部材２０よりも硬質の材料から構成される第２のシール部材２４が位置することになるので、腐食性ガス、プラズマなどへの耐久性に優れる。
【００９９】
これにより、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【０１００】
また、第２のシール部材の第２の結合部４０に長時間の押圧によってクリープ現象が生じても、第２のシール部材の第２の結合部４０の間に、弾性部材から構成される第１のシール部材２０の第１の結合部２８が位置することになる。
【０１０１】
これにより、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の反発力によって、第２のシール部材の第２の結合部４０が、第１のシール部材２０の第１の結合部２８によって常に押し広げられて、長期にわたり腐食性ガス、プラズマなどの侵入を防止する、プラズマシール性を維持することができ、弾性部材から構成される第１のシール部材２０全体が、これらの腐食性ガス、プラズマなどから保護されることになり、真空シール性が低下することがない。
【０１０２】
さらに、第１のシール部材２０の第１の結合部２８に、第２のシール部材の第２の結合部４０を嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されているので、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができる。
【０１０３】
なお、図１に示したように、上記のような効果を考慮した場合、開口部側延出部６２、底部側延出部６６の突設距離Ｌ１は、シール溝１２の幅、形状、真空度、締め付け圧力、所望の寿命期間などに応じて変更すれば良く、特に限定されるものではないが、連結部３８の肉薄部５８の幅Ｌ２に対して、開口部側延出部６２の厚みをＬ３とし、Ｌ２×１．５＜Ｌ３、Ｌ１＜Ｌ３×２となるように設定すれば良い。
【０１０４】
すなわち、Ｌ２が厚くなると、連結部ではなく、延出部が撓むことになるため、接触面積を確保できないからである。
また、Ｌ１が長すぎると、力が伝わりにくくなるため、Ｌ３の２倍より小さく設定してするのが望ましい。
【０１０５】
なお、この実施例では、シール溝１２の一方の側壁１８の側が、外周側に位置し、外周側に第１のシール部材２０が位置し、シール溝１２の他方の側壁２２の側が内周側に位置し、内周側に第２のシール部材２４が位置するように構成されているが、これとは逆に、シール溝１２の外周側において、耐腐食性や耐プラズマ性が要求される環境となる場合は、内周側に第１のシール部材２０が位置し、外周側に第２のシール部材２４が位置するようにすることも可能である。
【０１０６】
また、この実施例では、複合シール材１０を、略環状で断面が矩形形状のシール溝１２に装着するようにしたが、シール溝の形状は何ら限定されるものではなく、図示しないが、シール溝が略矩形形状のシール溝、シール溝の一方の側壁のみが傾斜して開口部が広がるような形状のいわゆる「片あり溝」などにも適用することができる。
【０１０７】
さらに、この実施例では、複合シール材１０は、円形形状の略環状としたが、例えば、図１５に示したように、矩形形状の略環状とすることも可能であり、その形状は、シール溝の形状に合わせればよく、特に限定されるものではない。
【実施例２】
【０１０８】
図３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
この実施例の複合シール材１０では、図３に示したように、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第２のシール部材２４のシール溝１２の底部１４と接触する底部側延出部６６を省略し、相手部材６０と接触する開口部側延出部６２のみを形成するようにしている。
【０１１０】
この場合でも、開口部側延出部６２の外側テーパー傾斜面６４が、相手部材６０と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１１１】
従って、従来の複合シールに比較して、シール溝１２の開口部１６側において、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積が大きくなり、エッチングガスなどのイオンによって、第２のシール部材２４が浸食（エッチング）されても、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材を提供することができる。
【０１１２】
なお、以下のいずれの実施例３〜実施例８においても、同様に、第２のシール部材２４のシール溝１２の底部１４と接触する底部側延出部６６を省略し、相手部材６０と接触する開口部側延出部６２のみを形成することが可能である。
【実施例３】
【０１１３】
図４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１４】
図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０では、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２、底部側延出部６６の先端部が平坦な形状であったが、この実施例の複合シール材１０では、図４に示したように、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２、底部側延出部６６の先端部が丸く曲線状に形成されている。
【０１１５】
すなわち、第２のシール部材２４の開口部側延出部６２、底部側延出部６６の先端部の形状は、特に限定されるものではなく、この実施例の形状以外にも、例えば、図示しないが、三角形状など様々な形状を採用することができる。
【実施例４】
【０１１６】
図５は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図６は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１７】
図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、図５に示した実施例では、第２のシール部材２４の連結部３８の中央部分の肉薄部５８が、予め変形しやすいように、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した形状に形成されている。
【０１１８】
すなわち、この実施例では、肉薄部５８の第１のシール部材２０側の面を、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した屈曲面７０としている。
また、図６に示した実施例では、さらに、肉薄部５８の第１のシール部材２０側から離反する側の面を、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した屈曲面７２としている。
【０１１９】
このように構成することによって、第２のシール部材２４の連結部３８が、予め変形しやすいように、軸方向の略中央部の肉薄部５８が、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した形状に形成されているので、複合シール材１０を圧接した際に、より低荷重で第１のシール部材２０に連結された連結部３８が、変形しやすくなる。
【０１２０】
その結果、この連結部３８の変形によって、連結部３８のシール溝１２の開口部１６側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された開口部側延出部６２が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材６０と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材６０との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１２１】
また、この連結部３８の変形によって、連結部３８のりシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝１２の底部１４と接触することになり、第２のシール部材２４とシール溝１２の底部１４との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１２２】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材１０を提供することができる。
【実施例５】
【０１２３】
図７は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図８は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図９は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【０１２４】
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１２５】
図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、図７に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略台形形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略台形形状となるように形成している。
【０１２６】
また、図８に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略三角形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略三角形状となるように形成している。
【０１２７】
さらに、図９に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略アーチ形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略アーチ形状となるように形成している。
【０１２８】
すなわち、本発明の複合シール材１０では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状が、特に限定されるものではないことを示している。
【実施例６】
【０１２９】
図１０は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３０】
図１０に示した実施例では、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の延出部３０を省略してするとともに、嵌合突部３２のみとしている。そして、この嵌合突部３２に相補的な形状となるように、第２のシール部材２４の第２の結合部４０において、内側結合部４２と外側結合部４４を一体とした形状の結合部７８としている。
【０１３１】
このように、第１のシール部材２０の第１の結合部２８に、第２のシール部材２４の第２の結合部４０を嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化され、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができれば、その嵌合形状は特に限定されるものではないことを示している。
【実施例７】
【０１３２】
図１１は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３３】
図１１に示した実施例では、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第１のシール部材２０の軸方向の両端部近傍に結合凹部８０、８０が形成され、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が、第１のシール部材２０の第１の結合凹部８０に嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されている。
【０１３４】
すなわち、この実施例の複合シール材１０では、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が表面に露出せず、第１のシール部材２０の結合凹部８０内に嵌合されている構成である。
【０１３５】
なお、図１１の実施例では、第１のシール部材２０のシール本体部２６の形状が、溝形状、締め付け圧力、使用環境などに応じて、任意に変更可能なことを示している。
このように構成することによって、複合シール材を圧接した際に、第２のシール部材の第２の結合部がいわゆる力点として作用し、第１のシール部材に連結された連結部が支点となって、てこの原理により低荷重で、開口部側延出部６２が、軸方向外側に拡がるようにより付勢されて、相手部材と接触することになり、第２のシール部材２４と相手部材との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１３６】
また同様に、この連結部３８の変形によって、連結部３８のりシール溝１２の底部１４側の端部から、第１のシール部材２０から離反する方向に延設された底部側延出部６６が、軸方向外側に拡がるように付勢されて、シール溝１２の底部１４と接触することになり、第２のシール部材２４とシール溝１２の底部１４との接触面積（シール圧接面積）が大きくなる。
【０１３７】
これにより、従来に比較して、格段と寿命が延びることになり、長期にわたり真空シール性能が低下することがない複合シール材１０を提供することができる。
また、このように、第２のシール部材２４の第２の結合部４０が、第１のシール部材２０の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが一体化されているので、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができる。
【実施例８】
【０１３８】
図１２は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図１３は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図、図１４は、本発明の別の実施例の複合シール材の図１と同様な断面図である。
【０１３９】
この実施例の複合シール材１０は、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４０】
図１２〜図１４に示した実施例では、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第１のシール部材２０の第１の結合部２８の延出部３０、嵌合突部３２を省略するとともに、第２のシール部材２４の第２の結合部４０の内側結合部４２と外側結合部４４を省略した構造としている。
【０１４１】
その代わりに、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４の連結部３８との間が接着されている構造である。
また、図１３の実施例の複合シール材１０では、図３に示した実施例２の複合シール材１０と同様に、図１〜図２に示した実施例１の複合シール材１０において、第２のシール部材２４のシール溝１２の底部１４と接触する底部側延出部６６を省略し、相手部材６０と接触する開口部側延出部６２のみを形成するようにしている。
【０１４２】
さらに、図１４の実施例の複合シール材１０では、図９に示した実施例では、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合形状を、略アーチ形状となるように形成している。すなわち、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８とで形成される空間７６が、略アーチ形状となるように形成している。
【０１４３】
また、図１４の実施例の複合シール材１０では、図５〜図６の実施例４の複合シール材１０と同様に、開口部側延出部６２の軸方向内側の面７４と、第２のシール部材２４の連結部３８との肉薄部５８との結合部位に溝部８２を形成して、第２のシール部材２４の連結部３８の中央部分の肉薄部５８が、予め変形しやすいように、第１のシール部材２０から離反する方向に屈曲した形状に形成されている。
【０１４４】
このように第１のシール部材２０と第２のシール部材２４の連結部３８との間が接着されていれば、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４とが接着により一体化されているので、第１のシール部材２０と第２のシール部材２４が分離するおそれを確実に防止することができる。
【０１４５】
なお、この場合、「接着」とは、溶接、融着、接着、一体成形など公知の接合方法が採用可能であり、特に限定されるものではないが、接着剤、好ましくは、耐熱性接着剤にて接合一体化するのが望ましい。
【０１４６】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、ドライエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体装置に適用した場合について説明したが、本願発明の複合シール材は、その他の環境の厳しい条件で使用するその他の装置のシール部分にも用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明は、真空、超真空状態で使用される複合シール材に関し、特に、例えば、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの半導体製造装置に適用され、真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、しかも、製造が容易で安価に製造できる複合シール材である。
【符号の説明】
【０１４８】
１０ 複合シール材
１２ シール溝
１４ 底部
１６ 開口部
１８ 一方の側壁
２０ 第１のシール部材
２２ 他方の側壁
２４ 第２のシール部材
２６ シール本体部
２８ 第１の結合部
３０ 延出部
３１ 先端部
３２ 嵌合突部
３４ 基端部
３６ テーパー傾斜面
３８ 連結部
４０ 第２の結合部
４１ 先端部
４２ 内側結合部
４４ 外側結合部
４６ 基端部
５０ 内側テーパー傾斜面
５２ 内側段部
５４ 外側段部
５６ 外側テーパー傾斜面
５８ 肉薄部
６０ 相手部材
６２ 開口部側延出部
６４ 外側テーパー傾斜面
６６ 底部側延出部
６８ 外側テーパー傾斜面
７０ 屈曲面
７２ 屈曲面
７４ 面
７６ 空間
７８ 結合部
８０ 結合凹部
８２ 溝部
１００ 複合シール材
１０２ 第１のシール部材
１０４ 第２のシール部材
１０６ シール本体
１０８ 凸部
１１０ 嵌合部
１１２ 被嵌合凹部
１１４ 屈曲部
１１６ 段差部
１１８ シール溝
１２０ 一方の側壁
１２２ 他方の側壁
１２４ 相手部材
１２４ａ接触面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シール溝に装着され、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第１のシール部材と、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第２のシール部材とを備え、
前記第１のシール部材が、弾性部材から構成され、
前記第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール材であって、
前記第２のシール部材が、
前記第１のシール部材と連結する連結部と、
前記シール溝の開口部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ前記連結部から延出する開口部側延出部と、
を備えることを特徴とする複合シール材。
【請求項２】
前記シール溝の底部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ、前記連結部から延出する底部側延出部を備えることを特徴とする請求項１に記載の複合シール材。
【請求項３】
前記第１のシール部材が、
前記複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、
前記シール本体部の軸方向の略中央部より、第２のシール部材側に延設された第１の結合部とを備え、
前記第２のシール部材が、
前記連結部の軸方向の両端部より、第１のシール部材側に延設された第２の結合部を備え、
前記第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の複合シール材。
【請求項４】
前記第１のシール部材の軸方向の両端部近傍に結合凹部が形成され、
前記第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする請求項３に記載の複合シール材。
【請求項５】
前記第２のシール部材の連結部は、軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲した形状に形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の複合シール材。
【請求項６】
前記第１のシール部材と第２のシール部材の連結部との間が接着されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の複合シール材。
【請求項１】
シール溝に装着され、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第１のシール部材と、
前記シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第２のシール部材とを備え、
前記第１のシール部材が、弾性部材から構成され、
前記第２のシール部材が、第１のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール材であって、
前記第２のシール部材が、
前記第１のシール部材と連結する連結部と、
前記シール溝の開口部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ前記連結部から延出する開口部側延出部と、
を備えることを特徴とする複合シール材。
【請求項２】
前記シール溝の底部側に位置し、第１のシール部材から離反する方向へ、前記連結部から延出する底部側延出部を備えることを特徴とする請求項１に記載の複合シール材。
【請求項３】
前記第１のシール部材が、
前記複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、
前記シール本体部の軸方向の略中央部より、第２のシール部材側に延設された第１の結合部とを備え、
前記第２のシール部材が、
前記連結部の軸方向の両端部より、第１のシール部材側に延設された第２の結合部を備え、
前記第１のシール部材の第１の結合部に、第２のシール部材の第２の結合部を嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の複合シール材。
【請求項４】
前記第１のシール部材の軸方向の両端部近傍に結合凹部が形成され、
前記第２のシール部材の第２の結合部が、第１のシール部材の第１の結合凹部に嵌合することによって、第１のシール部材と第２のシール部材とが一体化されていることを特徴とする請求項３に記載の複合シール材。
【請求項５】
前記第２のシール部材の連結部は、軸方向の略中央部が、第１のシール部材から離反する方向に屈曲した形状に形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の複合シール材。
【請求項６】
前記第１のシール部材と第２のシール部材の連結部との間が接着されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の複合シール材。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２０１２−１３７１０３（Ｐ２０１２−１３７１０３Ａ）
【公開日】平成２４年７月１９日（２０１２．７．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２８７６５１（Ｐ２０１０−２８７６５１）
【出願日】平成２２年１２月２４日（２０１０．１２．２４）
【出願人】（０００２２９５６４）日本バルカー工業株式会社 (145)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年７月１９日（２０１２．７．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月２４日（２０１０．１２．２４）
【出願人】（０００２２９５６４）日本バルカー工業株式会社 (145)
【Ｆターム（参考）】
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