クリーニング方法及び成膜方法
【課題】ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができるクリーニング方法を提供する。
【解決手段】酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを成膜容器６０内に供給することによって、成膜容器６０内に搬入している基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置１０におけるクリーニング方法であって、成膜容器６０内を酸素雰囲気にした状態で、成膜容器６０を加熱機構６２により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、成膜容器６０内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。
【解決手段】酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを成膜容器６０内に供給することによって、成膜容器６０内に搬入している基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置１０におけるクリーニング方法であって、成膜容器６０内を酸素雰囲気にした状態で、成膜容器６０を加熱機構６２により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、成膜容器６０内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に膜を成膜する成膜装置におけるクリーニング方法、及び、基板に膜を成膜する成膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに用いられる材料は、近年無機材料から有機材料へと幅を広げつつあり、無機材料にはない有機材料の特質等から半導体デバイスの特性や製造プロセスをより最適なものとすることができる。
【０００３】
このような有機材料の１つとして、ポリイミドが挙げられる。ポリイミドは、絶縁性が高い。従って、基板の表面にポリイミドを成膜して得られるポリイミド膜は、絶縁膜として用いることができ、半導体デバイスにおける絶縁膜として用いることも可能である。
【０００４】
このようなポリイミド膜を成膜する方法としては、原料モノマーとして例えばピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）と、例えば４，４'−オキシジアニリン（ＯＤＡ）を含む４，４'−ジアミノジフェニルエーテルを用いた蒸着重合による成膜方法が知られている。蒸着重合は、原料モノマーとして用いられるＰＭＤＡ及びＯＤＡを基板の表面で熱重合反応させる方法である（例えば特許文献１参照）。特許文献１では、ＰＭＤＡ及びＯＤＡのモノマーを気化器で蒸発させ、蒸発させたそれぞれの蒸気を蒸着重合室に供給し、基板上で蒸着重合させてポリイミド膜を成膜する成膜方法が開示されている。
【０００５】
また、蒸着重合によるポリイミド膜の成膜方法では、成膜処理の際に成膜容器に付着したポリイミドを除去するクリーニング工程が必要である。例えば成膜容器を加熱機構により加熱し、付着したポリイミドを熱分解させる方法がある（例えば特許文献２参照）。また、ポリイミド樹脂を含酸素雰囲気中で加熱し、熱分解させる方法がある（例えば特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許４２８３９１０号公報
【特許文献２】特開平９−２５５７９１号公報
【特許文献３】特開２００６−１６９３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ポリイミド膜を成膜する成膜装置の成膜容器に付着したポリイミドを除去するクリーニング工程には、以下のような問題がある。
【０００８】
酸素を遮断した状態で加熱を行うときは、ポリイミドを含む有機化合物は熱分解するにとどまり、炭化して炭素となって残る。残った炭素はパーティクルの発生要因となるため、このような成膜装置により成膜処理を行うと、ポリイミド膜が成膜された基板にパーティクルが付着することになる。そして、パーティクルが付着した基板は、検査工程で不良と判断されるため、成膜装置の装置歩留まりが低下する。
【０００９】
また、酸素雰囲気中でクリーニングを行う場合であっても、供給される酸素の量が少ないときは、酸素が不足した状態で加熱を行うことになるため、ポリイミドを含む有機化合物は熱分解するにとどまり、炭化して炭素となって残る。
【００１０】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができるクリーニング方法及び成膜方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の一実施例によれば、酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを成膜容器内に供給することによって、前記成膜容器内に搬入している基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置におけるクリーニング方法であって、前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する、クリーニング方法が提供される。
【００１３】
また、本発明の他の一実施例によれば、成膜容器内に原料ガスを供給することによって、前記成膜容器内に搬入されている前記基板に膜を成膜する成膜方法において、基板を前記成膜容器内に搬入し、密着促進剤を気化させた密着促進剤ガスを前記成膜容器内に供給し、前記成膜容器内に搬入した前記基板の表面を密着促進剤ガスにより処理し、酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを前記成膜容器内に供給することによって、密着促進剤により表面を処理した前記基板にポリイミド膜を成膜し、ポリイミド膜を成膜した前記基板を前記成膜容器内から搬出する処理工程と、前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去するクリーニング工程とを有する、成膜方法が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置を概略的に示す縦断面図である。
【図２】ローディングエリアを概略的に示す斜視図である。
【図３】ボートの一例を概略的に示す斜視図である。
【図４】成膜容器の構成の概略を示す断面図である。
【図５】密着促進剤供給機構の構成を模式的に示す図である。
【図６】第１の実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【図７】密着促進剤としてシランカップリング剤を用いたときのウェハの表面における反応を示す図である。
【図８】ポリイミドが熱分解する様子又はポリイミドが酸化する様子を示す図である。
【図９】昇温脱離法によりポリイミドを昇温しながらガス脱離させ、発生したガスの量を質量分析法により計測した結果を示すグラフである。
【図１０】積層体が形成されたウェハのクリーニング処理の前後の状態を示す断面図である。
【図１１】第２の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置を概略的に示す平面図である。
【図１２】処理容器、密着促進剤供給機構及び排気機構の構成を示す正面図である。
【図１３】成膜容器、供給機構及び排気機構の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明を実施するための形態について図面と共に説明する。
（第１の実施の形態）
最初に、図１から図１０を参照し、本発明の第１の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法について説明する。本実施の形態に係る成膜方法は、例えばピロメリット酸二無水物（Pyromellitic Dianhydride、以下「ＰＭＤＡ」と略す。）を気化させた第１の原料ガスと、例えば４，４'−３オキシジアニリン（4,4'-Oxydianiline、以下「ＯＤＡ」と略す。）を気化させた第２の原料ガスとを、成膜容器内に供給して、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という。）にポリイミド膜を成膜する成膜方法に適用することができる。
【００１７】
図１は、本実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置１０を概略的に示す縦断面図である。図２は、ローディングエリア４０を概略的に示す斜視図である。図３は、ボート４４の一例を概略的に示す斜視図である。
【００１８】
成膜装置１０は、載置台（ロードポート）２０、筐体３０、及び制御部１１０を有する。
【００１９】
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０の前部に設けられている。筐体３０は、ローディングエリア（作業領域）４０及び成膜容器６０を有する。ローディングエリア４０は、筐体３０内の下方に設けられており、成膜容器６０は、筐体３０内であってローディングエリア４０の上方に設けられている。また、ローディングエリア４０と成膜容器６０との間には、ベースプレート３１が設けられている。なお、後述する供給機構７０は、成膜容器６０に接続されるように設けられている。
【００２０】
ベースプレート３１は、成膜容器６０の後述する反応管６１を設置するための例えばＳＵＳ製のベースプレートであり、反応管６１を下方から上方に挿入するための図示しない開口部が形成されている。
【００２１】
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０内へのウェハＷの搬入搬出を行うためのものである。載置台（ロードポート）２０には、収納容器２１、２２が載置されている。収納容器２１、２２は、前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた、複数枚例えば５０枚程度のウェハＷを所定の間隔で収納可能な密閉型収納容器（フープ）である。
【００２２】
また、載置台２０の下方には、後述する移載機構４７により移載されたウェハＷの外周に設けられた切欠部（例えばノッチ）を一方向に揃えるための整列装置（アライナ）２３が設けられていてもよい。
【００２３】
ローディングエリア（作業領域）４０は、収納容器２１、２２と後述するボート４４との間でウェハＷの移載を行い、ボート４４を成膜容器６０内に搬入（ロード）し、ボート４４を成膜容器６０から搬出（アンロード）するためのものである。ローディングエリア４０には、ドア機構４１、シャッター機構４２、蓋体４３、ボート４４、基台４５ａ、４５ｂ、昇降機構４６、及び移載機構４７が設けられている。
【００２４】
なお、蓋体４３及びボート４４は、本発明における基板保持部に相当する。
【００２５】
ドア機構４１は、収納容器２１、２２の蓋を取外して収納容器２１、２２内をローディングエリア４０内に連通開放するためのものである。
【００２６】
シャッター機構４２は、ローディングエリア４０の上方に設けられている。シャッター機構４２は、蓋体４３を開けているときに、後述する成膜容器６０の開口６３から高温の炉内の熱がローディングエリア４０に放出されるのを抑制ないし防止するために開口６３を覆う（又は塞ぐ）ように設けられている。
【００２７】
蓋体４３は、保温筒４８及び回転機構４９を有する。保温筒４８は、蓋体４３上に設けられている。保温筒４８は、ボート４４が蓋体４３側との伝熱により冷却されることを防止し、ボート４４を保温するためのものである。回転機構４９は、蓋体４３の下部に取り付けられている。回転機構４９は、ボート４４を回転するためのものである。回転機構４９の回転軸は蓋体４３を気密に貫通し、蓋体４３上に配置された図示しない回転テーブルを回転するように設けられている。
【００２８】
昇降機構４６は、ボート４４のローディングエリア４０から成膜容器６０に対する搬入、搬出に際し、蓋体４３を昇降駆動する。そして、昇降機構４６により上昇させられた蓋体４３が成膜容器６０内に搬入されているときに、蓋体４３は、後述する開口６３に当接して開口６３を密閉するように設けられている。そして、蓋体４３に載置されているボート４４は、成膜容器６０内でウェハＷを水平面内で回転可能に保持することができる。
【００２９】
なお、成膜装置１０は、ボート４４を複数有していてもよい。以下、本実施の形態では、図２を参照し、ボート４４を２つ有する例について説明する。
【００３０】
ローディングエリア４０には、ボート４４ａ、４４ｂが設けられている。そして、ローディングエリア４０には、基台４５ａ、４５ｂ及びボート搬送機構４５ｃが設けられている。基台４５ａ、４５ｂは、それぞれボート４４ａ、４４ｂが蓋体４３から移載される載置台である。ボート搬送機構４５ｃは、ボート４４ａ、４４ｂを、蓋体４３から基台４５ａ、４５ｂに移載するためのものである。
【００３１】
ボート４４ａ、４４ｂは、例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍのウェハＷを水平状態で上下方向に所定の間隔（ピッチ幅）で搭載するようになっている。ボート４４ａ、４４ｂは、例えば図３に示すように、天板５０と底板５１の間に複数本例えば３本の支柱５２を介設してなる。支柱５２には、ウェハＷを保持するための爪部５３が設けられている。また、支柱５２と共に補助柱５４が適宜設けられていてもよい。
【００３２】
移載機構４７は、収納容器２１、２２とボート４４ａ、４４ｂの間でウェハＷの移載を行うためのものである。移載機構４７は、基台５７、昇降アーム５８、及び、複数のフォーク（移載板）５９を有する。基台５７は、昇降及び旋回可能に設けられている。昇降アーム５８は、ボールネジ等により上下方向に移動可能（昇降可能）に設けられ、基台５７は、昇降アーム５８に水平旋回可能に設けられている。
【００３３】
図４は、成膜容器６０の構成の概略を示す断面図である。
【００３４】
成膜容器６０は、例えば、複数枚の被処理基板例えば薄板円板状のウェハＷを収容して所定の処理例えばＣＶＤ処理等を施すための縦型炉とすることができる。成膜容器６０は、反応管６１、ヒータ６２、供給機構７０、密着促進剤供給機構８０、パージガス供給機構９０、排気機構９５及びクリーニングガス供給機構１００を有する。
【００３５】
なお、ヒータ６２は、本発明における加熱機構に相当する。
【００３６】
反応管６１は、例えば石英製であり、縦長の形状を有しており、下端に開口６３が形成されている。ヒータ（加熱装置）６２は、反応管６１の周囲を覆うように設けられており、反応管６１内を所定の温度例えば５０〜１２００℃に加熱制御可能である。
【００３７】
供給機構７０は、原料ガス供給部７１、及び、成膜容器６０内に設けられたインジェクタ７２を含む。インジェクタ７２は、供給管７３ａを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２の供給管７３ａに接続されている。
【００３８】
本実施の形態では、供給機構７０は、第１の原料ガス供給部７１ａ及び第２の原料ガス供給部７１ｂを有していてもよい。このとき、第１の原料ガス供給部７１ａ及び第２の原料ガス供給部７１ｂは、それぞれバルブ７１ｃ、７１ｄを介し、インジェクタ７２（供給管７３ａ）に接続されている。第１の原料ガス供給部７１ａは、例えばＰＭＤＡ原料を気化するための第１の気化器７４ａを有し、ＰＭＤＡガスを供給することができる。また、第２の原料ガス供給部７１ｂは、例えばＯＤＡ原料を気化するための第２の気化器７４ｂを有し、ＯＤＡガスを供給することができる。
【００３９】
供給管７３ａには成膜容器６０内に開口する供給孔７５が形成されている。インジェクタ７２は、原料ガス供給部７１から供給管７３ａを流れる第１の原料ガス及び第２の原料ガスを、供給孔７５を介して成膜容器６０内に供給する。
【００４０】
また、供給管７３ａは、上下方向に延在するように設けられていてもよい。そして、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されていてもよい。なお、供給孔７５の形状は、円形、楕円形、矩形等各種の形状であってもよい。
【００４１】
インジェクタ７２は、内側供給管７３ｂを含むことが好ましい。内側供給管７３ｂは、供給管７３ａの供給孔７５が形成されている部分よりも上流側の部分に収容されていてもよい。そして、内側供給管７３ｂの下流側の端部付近には、供給管７３ａの内部空間に第１の原料ガス及び第２の原料ガスのいずれか一方の原料ガスを供給するための開口７６が形成されていてもよい。このような構造を有する内側供給管７３ｂを含むことによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを供給孔７５から成膜容器６０内に供給する前に、予め供給管７３ａの内部空間において第１の原料ガスと第２の原料ガスとを十分混合させることができる。
【００４２】
なお、以下では、供給管７３ａに第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを供給する場合を例示して、説明する。しかし、内側供給管７３ｂに第１の原料ガスを供給し、供給管７３ａに第２の原料ガスを供給してもよい。
【００４３】
また、開口７６の形状は、円形、楕円形、矩形等各種の形状であってもよい。
【００４４】
本実施の形態は、ボート４４が複数のウェハＷを上下方向に所定の間隔で保持する例について説明するものである。このとき、供給管７３ａとともに、内側供給管７３ｂも、上下方向に延在するように設けられていてもよい。更に、下方側を上流側、上方側を下流側とするときは、内側供給管７３ｂは、供給管７３ａの供給孔７５が形成されている部分よりも下方側の部分において、供給管７３ａの内部に収容されるように設けられていてもよい。そして、内側供給管７３ｂの上端部付近には、供給管７３ａの内部空間と連通するための開口７６が設けられていてもよい。
【００４５】
供給機構７０は、例えば供給管７３ａに第１の原料ガスを流すとともに、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを流す。そして、内側供給管７３ｂを流れる第２の原料ガスを、開口７６を介して供給管７３ａに合流させ、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを混合させた状態で、供給孔７５を介して成膜容器６０内に供給する。
【００４６】
図５は、密着促進剤供給機構８０の構成を模式的に示す図である。なお、図５では、成膜容器６０、ボート４４及び密着促進剤供給機構８０以外の図示を省略している。
【００４７】
図５に示すように、密着促進剤供給機構８０は、気化器８１及び成膜容器６０内に設けられた供給管８２を含む。気化器８１は、バルブ８１ａを介し、供給管８２に接続されている。密着促進剤供給機構８０は、密着促進剤を気化させた密着促進剤ガスを成膜容器６０内に供給し、ウェハＷの表面を密着促進剤ガスにより処理するためのものである。
【００４８】
気化器８１は、保持容器８３、ガス導入部８４及びガス導出部８５を有する。
【００４９】
保持容器８３の内部には、例えばシランカップリング剤等の密着促進剤ＳＣが充填可能に設けられている。保持容器８３の内部には、加熱機構８６が設けられており、保持容器８３の内部に充填された密着促進剤ＳＣを、加熱機構８６により加熱して気化することができる。なお、加熱機構８６としてヒータ等を用いることができる。また、保持容器８３を加熱することができればよく、加熱機構８６は、保持容器８３の任意の場所に設けることができる。
【００５０】
ガス導入部８４は、保持容器８３に、保持容器８３で気化した密着促進剤ガスを搬送するための例えば窒素（Ｎ２）ガス等の不活性ガスよりなる密着促進剤キャリアガスを、密着促進剤キャリアガス供給部８７から導入する。ガス導入部８４は、ガス導入管８４ａ及びガス導入口８４ｂを有する。ガス導入管８４ａは、密着促進剤ガスを搬送する密着促進剤キャリアガスを保持容器８３の外部から保持容器８３の内部へ導入するための配管である。ガス導入管８４ａは、保持容器８３の上面を貫通するように保持容器８３の上面に取り付けられるとともに、保持容器８３の内部を上方から下方に延在するように設けられている。また、ガス導入管８４ａは、一端が保持容器８３の底部において開口するとともに、他端が保持容器８３の外部で密着促進剤キャリアガス供給部８７に接続されている。ガス導入口８４ｂは、ガス導入管８４ａの下端に形成された開口である。
【００５１】
図５では、ガス導入口８４ｂが密着促進剤ＳＣの液面よりも下方にあり、ガス導入口８４ｂから供給された密着促進剤キャリアガスが密着促進剤をバブリングする場合を例示している。しかし、ガス導入口８４ｂは、密着促進剤ＳＣの液面よりも上方にあってもよく、ガス導入口８４ｂから供給された密着促進剤キャリアガスが密着促進剤ＳＣをバブリングしなくてもよい。
【００５２】
ガス導出部８５は、保持容器８３から、密着促進剤キャリアガスとともに気化した密着促進剤ガスを導出する。ガス導出部８５は、ガス導出管８５ａ及びガス導出口８５ｂを有する。ガス導出管８５ａは、密着促進剤ガスおよび密着促進剤キャリアガスを保持容器８３の内部から保持容器８３の外部へ導出するための配管である。ガス導出管８５ａは、保持容器８３の上面を貫通するように保持容器８３の上面に取り付けられている。また、ガス導出管８５ａは、一端が保持容器８３の内部上方で開口されるように設けられており、他端が成膜容器６０の内部に設けられた供給管８２に接続されている。ガス導出口８５ｂは、ガス導出管８５ａの下端に形成された開口である。
【００５３】
供給管８２は、反応管６１の側壁を内側へ貫通して上方向へ屈曲されて延びる石英管よりなる。供給管８２の先端には、成膜容器６０内に開口する供給孔８２ａが形成されている。供給管８２は、気化器８１から供給管８２を流れる気化した密着促進剤ガスを、供給孔８２ａを介して成膜容器６０内に供給する。供給孔８２ａは、ボート４４に搭載されたウェハＷの近傍に、１箇所設けられているのが好ましい。これにより、供給孔８２ａより吐出された密着促進剤ガスを、成膜容器６０内に一様に拡散させることができる。
【００５４】
パージガス供給機構９０は、パージガス供給部９１、及びパージガス供給管９２を含む。パージガス供給部９１は、パージガス供給管９２を介して成膜容器６０に接続されており、成膜容器６０内にパージガスを供給する。また、パージガス供給管９２の途中には、パージガス供給部９１と成膜容器６０の内部とを連通又は遮断するためのバルブ９３、及び、パージガスの流量を制御するＭＦＣ９４が設けられている。パージガスとして、窒素（Ｎ２）ガスを用いることができる。
【００５５】
排気機構９５は、排気装置９６及び排気管９７を含む。排気機構９５は、成膜容器６０内から排気管９７を介してガスを排気するためのものである。
【００５６】
クリーニングガス供給機構１００は、クリーニングガス供給部１０１、及びクリーニングガス供給管１０２を含む。クリーニングガス供給部１０１は、クリーニングガス供給管１０２を介して成膜容器６０に接続されており、成膜容器６０内にクリーニングガスを供給する。また、クリーニングガス供給管１０２の途中には、クリーニングガス供給部１０１と成膜容器６０の内部とを連通又は遮断するためのバルブ１０３、及び、クリーニングガスの流量を制御するＭＦＣ１０４が設けられている。クリーニングガスとして、酸素（Ｏ２）ガスを用いることができる。
【００５７】
本実施の形態では、クリーニングガス供給機構１００からのクリーニングガスの供給流量をＭＦＣ１０４により制御し、パージガス供給機構９０からのパージガスの供給流量をＭＦＣ９４により制御し、成膜容器６０からの排気流量を図示しないバルブにより制御する。これにより、成膜容器６０内を酸素雰囲気にすることができ、酸素分圧を所定の分圧に調整することができる。
【００５８】
制御部１１０は、例えば、図示しない演算処理部、記憶部及び表示部を有する。演算処理部は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を有するコンピュータである。記憶部は、演算処理部に、各種の処理を実行させるためのプログラムを記録した、例えばハードディスクにより構成されるコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。表示部は、例えばコンピュータの画面よりなる。演算処理部は、記憶部に記録されたプログラムを読み取り、そのプログラムに従って、ボート４４（基板保持部）、ヒータ６２、供給機構７０、密着促進剤供給機構８０、パージガス供給機構９０、排気機構９５、及びクリーニングガス供給機構１００を構成する各部に制御信号を送り、後述するような成膜処理を実行する。
【００５９】
次に、本実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理について説明する。図６は、本実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【００６０】
成膜処理開始後、ステップＳ１１として、成膜容器６０内にウェハＷを搬入する（搬入工程）。図１に示した成膜装置１０の例では、例えばローディングエリア４０において、移載機構４７により収納容器２１からボート４４ａへウェハＷを搭載し、ウェハＷを搭載したボート４４ａをボート搬送機構４５ｃにより蓋体４３に載置することができる。そして、ボート４４ａを載置した蓋体４３を昇降機構４６により上昇させて成膜容器６０内に搬入することにより、ウェハＷを搬入することができる。
【００６１】
次に、ステップＳ１２では、成膜容器６０の内部を減圧する（減圧工程）。排気装置９６の排気能力又は排気装置９６と排気管９７との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整することにより、排気管９７を介して成膜容器６０を排気する排気量を増大させる。そして、成膜容器６０の内部を所定圧力例えば大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）から例えば０．３Ｔｏｒｒに減圧する。
【００６２】
次に、ステップＳ１３では、ウェハＷの温度を、ウェハＷにポリイミド膜を成膜するときの所定温度（成膜温度）まで上昇させる（リカバリ工程）。ボート４４ａを成膜容器６０の内部に搬入した後、ヒータ６２に電力を供給することによって、ボート４４ａに搭載されているウェハＷの温度を成膜温度まで上昇させる。
【００６３】
本実施の形態では、リカバリ工程において、ウェハＷの表面を密着促進剤により処理してもよい。このとき、ヒータ６２によりウェハＷを加熱するとともに、密着促進剤供給機構８０により成膜容器６０内に密着促進剤ガスを供給し、供給された密着促進剤ガスと、加熱されているウェハＷとを、水分を含まない雰囲気中で反応させることによって、ウェハＷの表面を処理する（表面処理工程）。
【００６４】
図７は、密着促進剤としてシランカップリング剤を用いたときのウェハＷの表面における反応を示す図である。
【００６５】
シランカップリング剤として、分子中に例えばアルコキシ基（ＲＯ−（Ｒ；アルキル基））を有するオルガノシランを用いることが好ましい。図７では、分子中に例えばメトキシ基（ＣＨ３Ｏ−）を有するオルガノシランを用いた例を示す。そして、図７（ａ）に示すように、表面が水酸基すなわちヒドロキシ基（−ＯＨ）で終端されたＳｉウェハを用いるときは、シランカップリング剤のメトキシ基が、ウェハ表面のヒドロキシ基と熱反応してメタノール（ＣＨ３ＯＨ）が生成することによって、ウェハ表面に吸着する。また、図７（ｂ）に示すように、表面が水素原子（Ｈ）で終端されたＳｉウェハを用いるときは、シランカップリング剤のメトキシ基が、ウェハ表面の水素原子と熱反応してメタン（ＣＨ４）が生成することによって、ウェハ表面に吸着する。
【００６６】
オルガノシランとして、下記式（１）
【００６７】
【化１】
に示す、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（以下、「ＳＣ剤Ａ」という。）を用いることができる。または、オルガノシランとして、下記式（２）
【００６８】
【化２】
に示す、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（以下、「ＳＣ剤Ｂ」という。）を用いることができる。このうち、ＳＣ剤Ａを用いることがより好ましい。ＳＣ剤Ａを用いることにより、表面が水素原子（Ｈ）で終端されたＳｉウェハを用いるときも、成膜されたポリイミド膜の密着性を向上させることができる。
【００６９】
リカバリ工程とともに行う表面処理工程では、気化器８１において例えばＳＣ剤Ａ又はＳＣ剤Ｂよりなる密着促進剤を気化させ、気化した密着促進剤ガスを供給管８２に形成された供給孔８２ａを介して成膜容器６０内に供給する。例えばＳＣ剤Ａを用いるときは、加熱機構８６により保持容器８３の温度を例えば１５０℃に加熱することによって、０．３ｇ／分の気化量を得ることができる。また、例えばＳＣ剤Ｂを用いるときは、加熱機構８６により保持容器８３の温度を例えば１００℃に加熱することによって、０．３ｇ／分の気化量を得ることができる。なお、このとき、密着促進剤キャリアガスであるＮ２ガスを例えば０．１ｓｌｍの流量で導入してもよく、全く導入しなくてもよい。
【００７０】
次に、ステップＳ１４では、ポリイミド膜を成膜する（成膜工程）。
【００７１】
制御部１１０により、供給管７３ａに第１の原料ガスを流す第１の流量Ｆ１と、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを流す第２の流量Ｆ２とを予め設定しておく。そして、回転機構４９によりウェハＷを回転させた状態で、設定した第１の流量Ｆ１で第１の原料ガス供給部７１ａから第１の原料ガスを供給管７３ａに流し、設定した第２の流量Ｆ２で第２の原料ガス供給部７１ｂから第２の原料ガスを内側供給管７３ｂに流すことによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを所定の混合比で混合させた状態で成膜容器６０内に供給する。そして、ウェハＷの表面でＰＭＤＡとＯＤＡを重合反応させ、ポリイミド膜を成膜する。具体的には、例えば第１の流量Ｆ１を９００ｓｃｃｍとし、第２の流量Ｆ２を９００ｓｃｃｍとすることができる。
【００７２】
このときの、ＰＭＤＡとＯＤＡとの重合反応は、次の式（３）に従う。
【００７３】
【化３】
次に、ステップＳ１５では、第１の原料ガス供給部７１ａからのＰＭＤＡガスの供給及び第２の原料ガス供給部７１ｂからのＯＤＡガスの供給を停止し、成膜容器６０の内部をパージガスによりパージする（パージ工程）。
【００７４】
バルブ７１ｃを閉じ、第１の原料ガス供給部７１ａからの第１の原料ガスの供給を停止する。また、バルブ７１ｄを閉じ、第２の原料ガス供給部７１ｂからの第２の原料ガスの供給を停止する。そして、パージガス供給機構９０と排気機構９５とを制御することにより、成膜容器６０の内部の原料ガスをパージガスに置換する。
【００７５】
例えば、排気装置９６の排気能力又は排気装置９６と排気管９７との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整して排気量を増やすことにより、成膜容器６０の内部を例えば０．３Ｔｏｒｒに減圧する。その後、排気量を減少させるか、又は排気量を０にして排気を停止した状態で、成膜容器６０内の内部の圧力が例えば５．０Ｔｏｒｒになるまで、バルブ９３を開いてパージガス供給機構９０によりパージガスを成膜容器６０内に供給する。これにより、成膜容器６０内の原料ガスをパージガスに置換できる。また、排気機構９５による減圧と、パージガス供給機構９０によるパージガスの供給とを１回行った後、更に減圧とパージガスの供給を複数回繰り返してもよい。これにより、成膜容器６０内の原料ガスを、更に確実にパージガスに置換できる。
【００７６】
本実施の形態では、パージ工程において、ウェハＷ上に成膜されたポリイミド膜をヒータ６２により熱処理してもよい。熱処理は、成膜後、膜中のイミド化していない部分をイミド化するために行う。ポリイミドは高い絶縁性を有するため、膜中のポリイミドの割合であるイミド化率を上昇させることによって、成膜したポリイミド膜の絶縁性を向上させることができる。
【００７７】
次に、ステップＳ１６では、成膜容器６０の内部を大気圧に復圧する（復圧工程）。排気装置９６の排気能力又は排気装置９６と排気管９７との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整することにより、成膜容器６０を排気する排気量を減少させ、成膜容器６０の内部を例えば０．３Ｔｏｒｒから例えば大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）に復圧する。
【００７８】
なお、ポリイミド膜の熱処理は、ポリイミド膜を成膜した後、後述する搬出工程の前に、成膜容器６０の内部で行えばよく、復圧工程の際、又は、復圧工程の後に行ってもよい。
【００７９】
次に、ステップＳ１７では、成膜容器６０からウェハＷを搬出する（搬出工程）。図１に示した成膜装置１０の例では、例えばボート４４ａを載置した蓋体４３を昇降機構４６により下降させて成膜容器６０内からローディングエリア４０に搬出することができる。そして、移載機構４７により、搬出した蓋体４３に載置されているボート４４ａから収納容器２１へウェハＷを移載することによって、ウェハＷを成膜容器６０から搬出することができる。
【００８０】
なお、複数のバッチについて連続して成膜処理を行うときは、更に、ローディングエリア４０において、移載機構４７により収納容器２１からウェハＷをボート４４へ移載し、再びステップＳ１１に戻り、次のバッチの成膜処理を行う。
【００８１】
このように、ステップＳ１１（搬入工程）からステップＳ１７（搬出工程）までを行うことにより、あるバッチについて成膜処理を行うことができる。なお、ステップＳ１１（搬入工程）からステップＳ１７（搬出工程）までの工程は、本発明における処理工程に相当する。
【００８２】
次に、ステップＳ１８では、成膜容器６０内に残留しているポリイミドを酸化して除去する（クリーニング工程）。
【００８３】
前述したように、クリーニングガス供給機構１００により、酸素ガスよりなるクリーニングガスを成膜容器６０内に供給する。このとき、クリーニングガス供給機構１００からのクリーニングガスの供給流量をＭＦＣ１０４により制御し、パージガス供給機構９０からのパージガスの供給流量をＭＦＣ９４により制御し、成膜容器６０からの排気流量を図示しないバルブにより制御する。これにより、成膜容器６０内を酸素雰囲気にすることができ、酸素分圧を所定の分圧に調整することができる。
【００８４】
このようにして成膜容器６０内を酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０を加熱する。ここで、成膜容器６０を３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、成膜容器６０内に付着したポリイミド膜あるいは付着したポリイミド膜が剥がれ落ちたものを含め、成膜容器６０内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、後述するように、成膜容器６０内に残留しているポリイミドが熱分解により炭化することを防止できる。
【００８５】
また、成膜容器６０内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０を加熱することが好ましい。これにより、成膜容器６０内に残留しているポリイミドがより酸化しやすくなるため、熱分解により炭化することをより防止できる。
【００８６】
なお、処理工程（ステップＳ１１〜ステップＳ１７）を複数回繰り返して行うときは、処理工程とクリーニング工程（ステップＳ１８）とを交互に繰り返してもよい。これにより、次の処理工程を行う前に、成膜容器内に残留しているポリイミドを常に酸化して除去することができる。
【００８７】
あるいは、処理工程（ステップＳ１１〜ステップＳ１７）を所定回数繰り返した後に、クリーニング工程（ステップＳ１８）を１回行うようにしてもよい。そして、処理工程を繰り返す所定回数を、クリーニング工程の直前の処理工程において成膜処理されるウェハに付着するパーティクルの数が、所定の上限値を超えないように設定することにより、成膜容器６０内をクリーニングしつつ、成膜処理の時間を短縮することができる。
【００８８】
このようにして、処理工程とクリーニング工程を行った後、成膜処理を終了する。
【００８９】
次に、本実施の形態におけるクリーニングによれば、ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができることについて説明する。
【００９０】
図８は、ポリイミドが熱分解する様子又はポリイミドが酸化する様子を示す図である。図８（ａ）は、ポリイミドが熱分解する様子を示し、図８（ｂ）は、ポリイミドが酸化する様子を示す。
【００９１】
成膜容器中を酸素雰囲気にしない状態、すなわち例えば窒素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により成膜容器６０を加熱する場合を考える。すると、図８（ａ）に示すように、熱エネルギーによりポリイミドの分子中の各所で化学結合が切られ、ポリイミドは熱分解する。この際に、ポリイミドの分子中の炭素原子の一部が炭化して煤状になって残る。
【００９２】
一方、成膜容器６０中を酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により成膜容器６０を加熱する場合を考える。すると、図８（ｂ）に示すように、ポリイミドの分子中の炭素原子は酸素と化合、すなわち酸化して例えば二酸化炭素（ＣＯ２）となって気化するため、ポリイミドは除去される。
【００９３】
図９は、昇温脱離法（Temperature Programmed Desorption；ＴＰＤ）によりポリイミドを昇温しながらガス脱離（発生）させ、発生したガスの量（発生量）を質量分析法（Mass Spectrometry；ＭＳ）により計測した結果を示すグラフである。図９（ａ）のグラフは、酸素分圧が２０％、すなわち０．２気圧の結果を示し、図９（ｂ）のグラフは、酸素分圧が０％、すなわち０気圧の結果を示す。
【００９４】
図９（ｂ）に示すように、酸素分圧が０％すなわち０気圧であるときは、温度上昇に伴って、４９０℃で二酸化炭素（ＣＯ２）ガスの発生が始まるものの、近い温度である５４０℃でアニリン又はフェノール等の有機化合物と推定されるガス（有機化合物ガス）の発生が始まる。また、有機化合物ガスの発生量に対するＣＯ２ガス及び一酸化炭素（ＣＯ）ガスの発生量は、相対的に小さい。また、この条件は、明らかにクリーニング工程の後、煤状のパーティクルが成膜容器６０内に残る条件であり、ポリイミドの熱分解反応が発生する条件である。
【００９５】
一方、図９（ａ）に示すように、酸素分圧が２０％すなわち０．２気圧であるときは、温度上昇に伴って、３６０℃でＣＯ２ガスの発生が始まるものの、有機化合物ガスの発生は、５８０℃までは始まらない。また、有機化合物ガスの発生量に対するＣＯ２ガス及びＣＯガスの発生量は、相対的に小さい。
【００９６】
更に、酸素分圧を２０％以上にしたときも、図９（ａ）と略同様の傾向を示す。従って、酸素分圧が２０％すなわち０．２気圧以上の酸素雰囲気にした状態で、３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、有機化合物に熱分解させることなくポリイミドを酸化して除去することができる。
【００９７】
ただし、温度範囲は、成膜容器の構成、ポリイミド膜の成膜条件等に依存するため、上記した条件に限られるものではない。例えば、５４０〜７００℃の温度に加熱する場合であっても、酸素分圧が４０％すなわち０．４気圧よりも大きい状態で行うときは、有機化合物に熱分解させることなくポリイミドを酸化して除去することができる。
【００９８】
また、酸素分圧が１００％すなわち１気圧であることが好ましい。これにより、成膜容器内を大気圧より増加させることなく、ポリイミドを酸化して除去することができる。
【００９９】
更に、本実施の形態では、前述したように、密着促進剤によりウェハＷの表面を処理する表面処理工程を行う場合でも、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミド及び密着促進剤を酸化して除去することができる。
【０１００】
ここで、複数回成膜処理を行って、密着促進剤ＳＣとポリイミド膜ＰＩが複数積層された積層体も、本実施の形態におけるクリーニング方法により酸化して除去できるか否かの評価を行った。評価用サンプルとして、成膜容器に代え、ウェハＷ上に、密着促進剤ＳＣとポリイミド膜ＰＩが複数積層された積層体ＬＭが形成されたものを用いた。図１０は、積層体ＬＭが形成されたウェハＷのクリーニング処理の前後の状態を示す断面図である。
【０１０１】
一例として、ＳｉウェハよりなるウェハＷを２００℃に保持した状態で、前述したＳＣ剤Ａを１５０℃に加熱して０．３ｇ／分の流量でＳｉウェハＷに供給し、６００秒間表面処理を行った。その上に、膜厚２５０ｎｍのポリイミド膜ＰＩを成膜した。そして、更に、密着促進剤ＳＣによる表面処理、ポリイミド膜ＰＩの成膜、密着促進剤ＳＣによる表面処理の順に繰り返すことによって、図１０の左側に示すように積層体ＬＭが形成されたウェハＷを得た。
【０１０２】
このウェハＷに対し、酸素分圧１００％すなわち１気圧になるように、酸素ガスの流量及び成膜容器からの排気流量を調整した。例えば、酸素ガスの流量を３０ｓｌｍとした。そして、７００℃で１２０分間クリーニング処理を行った。クリーニング処理後のウェハＷの表面を、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope）により観察したところ、パーティクル等は残っていないことが確認された。
【０１０３】
以上、本実施の形態によれば、ポリイミド膜を成膜する成膜装置において、成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、成膜容器を加熱機構により加熱することによって、成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、成膜容器内にパーティクルが残ることなく密着促進剤を含めたポリイミドを除去することができる。また、ポリイミド膜の成膜処理と密着促進剤による表面処理とを繰り返してなる積層体が形成されている場合でも、成膜容器内にパーティクルが残ることなく密着促進剤とポリイミドとを除去することができる。
（第２の実施の形態）
次に、図１１から図１３を参照し、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法について説明する。
【０１０４】
本実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置は、成膜容器が枚葉処理を行うためのものであるとともに、成膜容器とは別に表面処理のための処理容器を有している点で、第１の実施の形態に係る成膜方法を行うための成膜装置と相違する。
【０１０５】
図１１は、本実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置１２０を概略的に示す平面図である。図１２は、処理容器１３０、密着促進剤供給機構８０及び排気機構９５ａの構成を示す正面図である。図１３は、成膜容器６０ｂ、供給機構７０及び排気機構９５ｂの構成を示す平面図である。
【０１０６】
図１１に示すように、本実施の形態に係る成膜装置１２０は、ポート１２１Ａ〜１２１Ｃ、ローダ１２２、ロードロック１２３Ａ、１２３Ｂ、搬送室１２４、複数の表面処理部１２５、及び成膜部１２６を有する。
【０１０７】
ポート１２１Ａ〜１２１Ｃには、ローダ１２２が接続されている。ローダ１２２には、ロードロック１２３Ａ、１２３Ｂが接続されている。ロードロック１２３Ａ、１２３Ｂには、搬送室１２４が接続されている。搬送室１２４には、表面処理部１２５が２つ接続されており、成膜部１２６が１つ接続されている。また、搬送室１２４には、ウェハをロードロック１２３Ａ、１２３Ｂと表面処理部１２５及び成膜部１２６との間で搬送するための搬送アーム１２４ａが設けられている。
【０１０８】
なお、表面処理部１２５と成膜部１２６の数は、特に限定されるものではなく、スループットを向上させるために、表面処理及び成膜処理の条件に応じて、任意の数に変更可能である。
【０１０９】
図１１及び図１２に示すように、表面処理部１２５は、処理容器１３０と、密着促進剤供給機構８０及び排気機構９５ａとを有する。
【０１１０】
密着促進剤供給機構８０は、気化器８１及び供給管８２を含み、供給管８２が処理容器１３０内に設けられている点を除き、第１の実施の形態に係る密着促進剤供給機構８０と同様にすることができる。また、排気機構９５ａは、排気装置９６及び排気管９７を含み、第１の実施の形態に係る成膜容器６０に設けられた排気機構９５と同様にすることができる。
【０１１１】
処理容器１３０は、処理室１３１、ヒータ（加熱装置）１３２、基板保持部１３３及び排気機構９５ａを有する。ヒータ（加熱装置）１３２は、表面処理の際にウェハＷを加熱するためのものである。基板保持部１３３は、ウェハＷを保持するためのものである。ただし、基板保持部１３３は、ウェハＷを１枚保持可能に設けられている。なお、ヒータ（加熱装置）１３２は、基板保持部１３３内に設けられていてもよい。
【０１１２】
図１３に示すように、成膜部１２６は、成膜容器６０ｂ、供給機構７０、パージガス供給機構９０、排気機構９５ｂ及びクリーニングガス供給機構１００を有する。パージガス供給機構９０は、パージガス供給部９１、パージガス供給管９２、バルブ９３及びＭＦＣ９４を含み、第１の実施の形態におけるパージガス供給機構９０と同様にすることができる。排気機構９５ｂは、排気装置９６及び排気管９７を含み、第１の実施の形態における排気機構９５と同様にすることができる。クリーニングガス供給機構１００は、クリーニングガス供給部１０１、及びクリーニングガス供給管１０２、バルブ１０３及びＭＦＣ１０４を含み、第１の実施の形態におけるクリーニングガス供給機構１００と同様にすることができる。
【０１１３】
成膜容器６０ｂは、反応室６１、ヒータ（加熱装置）６２及び基板保持部４４ｃを有する。基板保持部４４ｃは、ウェハＷを保持可能であってかつ回転可能に設けられている。ただし、基板保持部４４ｃは、ウェハＷを１枚保持可能に設けられている。
【０１１４】
供給機構７０は、第１の原料ガス供給部７１ａ、第２の原料ガス供給部７１ｂ、インジェクタ７２を含む。第１の原料ガス供給部７１ａ、第２の原料ガス供給部７１ｂは第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１１５】
インジェクタ７２は、供給管７３ａ及び内側供給管７３ｂを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２の供給管７３ａに接続されている。供給管７３ａと内側供給管７３ｂとは、水平方向に延在するように設けられている点を除き、第１の実施の形態に係るインジェクタ７２と同様にすることができる。すなわち、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されている。内側供給管７３ｂの下流側の端部付近には、供給管７３ａの内部空間に第１の原料ガスを供給するための開口７６が形成されている。
【０１１６】
なお、図１３では、内側供給管７３ｂに第１の原料ガス供給部７１ａから第１の原料ガスを供給し、供給管７３ａに第２の原料ガス供給部７１ｂから第２の原料ガスを供給する例を示している。しかし、供給管７３ａに第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを供給してもよい。
【０１１７】
また、制御部１１０は、第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１１８】
本実施の形態に係る成膜処理では、成膜部１２６により成膜処理を行う前に、表面処理部１２５を用いて密着促進剤による表面処理を行う。
【０１１９】
搬送室１２４に設けられた搬送アーム１２４ａによりウェハＷを表面処理部１２５の処理容器１３０内に設けられた基板保持部１３３に受け渡し、ウェハＷを保持する。そして、排気機構９５ａにより、処理容器１３０の内部を減圧する。
【０１２０】
次に、制御部１１０によりヒータ１３２に供給する電力を制御することによって、ウェハＷの温度を表面処理するための処理温度まで上昇させる。そして、ウェハＷを加熱するとともに、処理容器１３０内に密着促進剤ガスを供給し、供給された密着促進剤ガスと、加熱されているウェハＷとを、水分を含まない雰囲気中で反応させることによって、ウェハＷの表面を処理する（表面処理工程）。
【０１２１】
本実施の形態でも、密着促進剤としてシランカップリング剤を用いることが好ましい。また、本実施の形態でも、シランカップリング剤として、分子中に例えばアルコキシ基を有するオルガノシランを用いることが好ましい。オルガノシランとして、式（１）、式（２）に示したＳＣ剤Ａ、ＳＣ剤Ｂを用いることが好ましい。また、ＳＣ剤Ａを用いることにより、表面が水素原子（Ｈ）で終端されたＳｉウェハを用いるときも、成膜されたポリイミド膜の密着性を向上させることができる。
【０１２２】
このようにして表面処理部１２５を用いて密着促進剤による表面処理を行った後、成膜部１２６により成膜処理を行う。成膜部１２６により成膜処理は、成膜処理がバッチ処理に代え枚葉処理である点を除き、第１の実施の形態の成膜工程と同様にすることができる。
【０１２３】
そして、本実施の形態でも、成膜処理の後、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドを酸化して除去する（クリーニング工程）。
【０１２４】
第１の実施の形態と同様に、クリーニングガス供給機構１００により、酸素ガスよりなるクリーニングガスを成膜容器６０ｂ内に供給する。このとき、クリーニングガス供給機構１００からのクリーニングガスの供給流量をＭＦＣ１０４により制御し、パージガス供給機構９０からのパージガスの供給流量をＭＦＣ９４により制御し、成膜容器６０ｂからの排気流量を図示しないバルブにより制御する。これにより、成膜容器６０ｂ内を酸素雰囲気にすることができ、酸素分圧を所定の分圧に調整することができる。
【０１２５】
このようにして成膜容器６０ｂ内を酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０ｂを加熱する。ここで、成膜容器６０ｂを３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、成膜容器６０ｂ内に付着したポリイミド膜あるいは付着したポリイミド膜が剥がれ落ちたものを含め、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドが熱分解により炭化することを防止できる。
【０１２６】
また、成膜容器６０ｂ内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０ｂを加熱することが好ましい。これにより、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドがより酸化しやすくなるため、熱分解により炭化することをより防止できる。
【０１２７】
本実施の形態でも、ポリイミド膜を成膜する成膜装置において、成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、成膜容器を加熱機構により加熱することによって、成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミド及び密着促進剤を酸化して除去することができる。
【０１２８】
以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【０１２９】
１０ 成膜装置
４３ 蓋体（基板保持部）
４４、４４ａ、４４ｂ ボート（基板保持部）
６０ 成膜容器
６２ ヒータ
７０ 供給機構
７１ 原料ガス供給部
８０ 密着促進剤供給機構
９０ パージガス供給機構
９５ 排気機構
１００ クリーニングガス供給機構
１１０ 制御部
Ｗ ウェハ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に膜を成膜する成膜装置におけるクリーニング方法、及び、基板に膜を成膜する成膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに用いられる材料は、近年無機材料から有機材料へと幅を広げつつあり、無機材料にはない有機材料の特質等から半導体デバイスの特性や製造プロセスをより最適なものとすることができる。
【０００３】
このような有機材料の１つとして、ポリイミドが挙げられる。ポリイミドは、絶縁性が高い。従って、基板の表面にポリイミドを成膜して得られるポリイミド膜は、絶縁膜として用いることができ、半導体デバイスにおける絶縁膜として用いることも可能である。
【０００４】
このようなポリイミド膜を成膜する方法としては、原料モノマーとして例えばピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）と、例えば４，４'−オキシジアニリン（ＯＤＡ）を含む４，４'−ジアミノジフェニルエーテルを用いた蒸着重合による成膜方法が知られている。蒸着重合は、原料モノマーとして用いられるＰＭＤＡ及びＯＤＡを基板の表面で熱重合反応させる方法である（例えば特許文献１参照）。特許文献１では、ＰＭＤＡ及びＯＤＡのモノマーを気化器で蒸発させ、蒸発させたそれぞれの蒸気を蒸着重合室に供給し、基板上で蒸着重合させてポリイミド膜を成膜する成膜方法が開示されている。
【０００５】
また、蒸着重合によるポリイミド膜の成膜方法では、成膜処理の際に成膜容器に付着したポリイミドを除去するクリーニング工程が必要である。例えば成膜容器を加熱機構により加熱し、付着したポリイミドを熱分解させる方法がある（例えば特許文献２参照）。また、ポリイミド樹脂を含酸素雰囲気中で加熱し、熱分解させる方法がある（例えば特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許４２８３９１０号公報
【特許文献２】特開平９−２５５７９１号公報
【特許文献３】特開２００６−１６９３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ポリイミド膜を成膜する成膜装置の成膜容器に付着したポリイミドを除去するクリーニング工程には、以下のような問題がある。
【０００８】
酸素を遮断した状態で加熱を行うときは、ポリイミドを含む有機化合物は熱分解するにとどまり、炭化して炭素となって残る。残った炭素はパーティクルの発生要因となるため、このような成膜装置により成膜処理を行うと、ポリイミド膜が成膜された基板にパーティクルが付着することになる。そして、パーティクルが付着した基板は、検査工程で不良と判断されるため、成膜装置の装置歩留まりが低下する。
【０００９】
また、酸素雰囲気中でクリーニングを行う場合であっても、供給される酸素の量が少ないときは、酸素が不足した状態で加熱を行うことになるため、ポリイミドを含む有機化合物は熱分解するにとどまり、炭化して炭素となって残る。
【００１０】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができるクリーニング方法及び成膜方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の一実施例によれば、酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを成膜容器内に供給することによって、前記成膜容器内に搬入している基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置におけるクリーニング方法であって、前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する、クリーニング方法が提供される。
【００１３】
また、本発明の他の一実施例によれば、成膜容器内に原料ガスを供給することによって、前記成膜容器内に搬入されている前記基板に膜を成膜する成膜方法において、基板を前記成膜容器内に搬入し、密着促進剤を気化させた密着促進剤ガスを前記成膜容器内に供給し、前記成膜容器内に搬入した前記基板の表面を密着促進剤ガスにより処理し、酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを前記成膜容器内に供給することによって、密着促進剤により表面を処理した前記基板にポリイミド膜を成膜し、ポリイミド膜を成膜した前記基板を前記成膜容器内から搬出する処理工程と、前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去するクリーニング工程とを有する、成膜方法が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置を概略的に示す縦断面図である。
【図２】ローディングエリアを概略的に示す斜視図である。
【図３】ボートの一例を概略的に示す斜視図である。
【図４】成膜容器の構成の概略を示す断面図である。
【図５】密着促進剤供給機構の構成を模式的に示す図である。
【図６】第１の実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【図７】密着促進剤としてシランカップリング剤を用いたときのウェハの表面における反応を示す図である。
【図８】ポリイミドが熱分解する様子又はポリイミドが酸化する様子を示す図である。
【図９】昇温脱離法によりポリイミドを昇温しながらガス脱離させ、発生したガスの量を質量分析法により計測した結果を示すグラフである。
【図１０】積層体が形成されたウェハのクリーニング処理の前後の状態を示す断面図である。
【図１１】第２の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置を概略的に示す平面図である。
【図１２】処理容器、密着促進剤供給機構及び排気機構の構成を示す正面図である。
【図１３】成膜容器、供給機構及び排気機構の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明を実施するための形態について図面と共に説明する。
（第１の実施の形態）
最初に、図１から図１０を参照し、本発明の第１の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法について説明する。本実施の形態に係る成膜方法は、例えばピロメリット酸二無水物（Pyromellitic Dianhydride、以下「ＰＭＤＡ」と略す。）を気化させた第１の原料ガスと、例えば４，４'−３オキシジアニリン（4,4'-Oxydianiline、以下「ＯＤＡ」と略す。）を気化させた第２の原料ガスとを、成膜容器内に供給して、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という。）にポリイミド膜を成膜する成膜方法に適用することができる。
【００１７】
図１は、本実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置１０を概略的に示す縦断面図である。図２は、ローディングエリア４０を概略的に示す斜視図である。図３は、ボート４４の一例を概略的に示す斜視図である。
【００１８】
成膜装置１０は、載置台（ロードポート）２０、筐体３０、及び制御部１１０を有する。
【００１９】
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０の前部に設けられている。筐体３０は、ローディングエリア（作業領域）４０及び成膜容器６０を有する。ローディングエリア４０は、筐体３０内の下方に設けられており、成膜容器６０は、筐体３０内であってローディングエリア４０の上方に設けられている。また、ローディングエリア４０と成膜容器６０との間には、ベースプレート３１が設けられている。なお、後述する供給機構７０は、成膜容器６０に接続されるように設けられている。
【００２０】
ベースプレート３１は、成膜容器６０の後述する反応管６１を設置するための例えばＳＵＳ製のベースプレートであり、反応管６１を下方から上方に挿入するための図示しない開口部が形成されている。
【００２１】
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０内へのウェハＷの搬入搬出を行うためのものである。載置台（ロードポート）２０には、収納容器２１、２２が載置されている。収納容器２１、２２は、前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた、複数枚例えば５０枚程度のウェハＷを所定の間隔で収納可能な密閉型収納容器（フープ）である。
【００２２】
また、載置台２０の下方には、後述する移載機構４７により移載されたウェハＷの外周に設けられた切欠部（例えばノッチ）を一方向に揃えるための整列装置（アライナ）２３が設けられていてもよい。
【００２３】
ローディングエリア（作業領域）４０は、収納容器２１、２２と後述するボート４４との間でウェハＷの移載を行い、ボート４４を成膜容器６０内に搬入（ロード）し、ボート４４を成膜容器６０から搬出（アンロード）するためのものである。ローディングエリア４０には、ドア機構４１、シャッター機構４２、蓋体４３、ボート４４、基台４５ａ、４５ｂ、昇降機構４６、及び移載機構４７が設けられている。
【００２４】
なお、蓋体４３及びボート４４は、本発明における基板保持部に相当する。
【００２５】
ドア機構４１は、収納容器２１、２２の蓋を取外して収納容器２１、２２内をローディングエリア４０内に連通開放するためのものである。
【００２６】
シャッター機構４２は、ローディングエリア４０の上方に設けられている。シャッター機構４２は、蓋体４３を開けているときに、後述する成膜容器６０の開口６３から高温の炉内の熱がローディングエリア４０に放出されるのを抑制ないし防止するために開口６３を覆う（又は塞ぐ）ように設けられている。
【００２７】
蓋体４３は、保温筒４８及び回転機構４９を有する。保温筒４８は、蓋体４３上に設けられている。保温筒４８は、ボート４４が蓋体４３側との伝熱により冷却されることを防止し、ボート４４を保温するためのものである。回転機構４９は、蓋体４３の下部に取り付けられている。回転機構４９は、ボート４４を回転するためのものである。回転機構４９の回転軸は蓋体４３を気密に貫通し、蓋体４３上に配置された図示しない回転テーブルを回転するように設けられている。
【００２８】
昇降機構４６は、ボート４４のローディングエリア４０から成膜容器６０に対する搬入、搬出に際し、蓋体４３を昇降駆動する。そして、昇降機構４６により上昇させられた蓋体４３が成膜容器６０内に搬入されているときに、蓋体４３は、後述する開口６３に当接して開口６３を密閉するように設けられている。そして、蓋体４３に載置されているボート４４は、成膜容器６０内でウェハＷを水平面内で回転可能に保持することができる。
【００２９】
なお、成膜装置１０は、ボート４４を複数有していてもよい。以下、本実施の形態では、図２を参照し、ボート４４を２つ有する例について説明する。
【００３０】
ローディングエリア４０には、ボート４４ａ、４４ｂが設けられている。そして、ローディングエリア４０には、基台４５ａ、４５ｂ及びボート搬送機構４５ｃが設けられている。基台４５ａ、４５ｂは、それぞれボート４４ａ、４４ｂが蓋体４３から移載される載置台である。ボート搬送機構４５ｃは、ボート４４ａ、４４ｂを、蓋体４３から基台４５ａ、４５ｂに移載するためのものである。
【００３１】
ボート４４ａ、４４ｂは、例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍのウェハＷを水平状態で上下方向に所定の間隔（ピッチ幅）で搭載するようになっている。ボート４４ａ、４４ｂは、例えば図３に示すように、天板５０と底板５１の間に複数本例えば３本の支柱５２を介設してなる。支柱５２には、ウェハＷを保持するための爪部５３が設けられている。また、支柱５２と共に補助柱５４が適宜設けられていてもよい。
【００３２】
移載機構４７は、収納容器２１、２２とボート４４ａ、４４ｂの間でウェハＷの移載を行うためのものである。移載機構４７は、基台５７、昇降アーム５８、及び、複数のフォーク（移載板）５９を有する。基台５７は、昇降及び旋回可能に設けられている。昇降アーム５８は、ボールネジ等により上下方向に移動可能（昇降可能）に設けられ、基台５７は、昇降アーム５８に水平旋回可能に設けられている。
【００３３】
図４は、成膜容器６０の構成の概略を示す断面図である。
【００３４】
成膜容器６０は、例えば、複数枚の被処理基板例えば薄板円板状のウェハＷを収容して所定の処理例えばＣＶＤ処理等を施すための縦型炉とすることができる。成膜容器６０は、反応管６１、ヒータ６２、供給機構７０、密着促進剤供給機構８０、パージガス供給機構９０、排気機構９５及びクリーニングガス供給機構１００を有する。
【００３５】
なお、ヒータ６２は、本発明における加熱機構に相当する。
【００３６】
反応管６１は、例えば石英製であり、縦長の形状を有しており、下端に開口６３が形成されている。ヒータ（加熱装置）６２は、反応管６１の周囲を覆うように設けられており、反応管６１内を所定の温度例えば５０〜１２００℃に加熱制御可能である。
【００３７】
供給機構７０は、原料ガス供給部７１、及び、成膜容器６０内に設けられたインジェクタ７２を含む。インジェクタ７２は、供給管７３ａを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２の供給管７３ａに接続されている。
【００３８】
本実施の形態では、供給機構７０は、第１の原料ガス供給部７１ａ及び第２の原料ガス供給部７１ｂを有していてもよい。このとき、第１の原料ガス供給部７１ａ及び第２の原料ガス供給部７１ｂは、それぞれバルブ７１ｃ、７１ｄを介し、インジェクタ７２（供給管７３ａ）に接続されている。第１の原料ガス供給部７１ａは、例えばＰＭＤＡ原料を気化するための第１の気化器７４ａを有し、ＰＭＤＡガスを供給することができる。また、第２の原料ガス供給部７１ｂは、例えばＯＤＡ原料を気化するための第２の気化器７４ｂを有し、ＯＤＡガスを供給することができる。
【００３９】
供給管７３ａには成膜容器６０内に開口する供給孔７５が形成されている。インジェクタ７２は、原料ガス供給部７１から供給管７３ａを流れる第１の原料ガス及び第２の原料ガスを、供給孔７５を介して成膜容器６０内に供給する。
【００４０】
また、供給管７３ａは、上下方向に延在するように設けられていてもよい。そして、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されていてもよい。なお、供給孔７５の形状は、円形、楕円形、矩形等各種の形状であってもよい。
【００４１】
インジェクタ７２は、内側供給管７３ｂを含むことが好ましい。内側供給管７３ｂは、供給管７３ａの供給孔７５が形成されている部分よりも上流側の部分に収容されていてもよい。そして、内側供給管７３ｂの下流側の端部付近には、供給管７３ａの内部空間に第１の原料ガス及び第２の原料ガスのいずれか一方の原料ガスを供給するための開口７６が形成されていてもよい。このような構造を有する内側供給管７３ｂを含むことによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを供給孔７５から成膜容器６０内に供給する前に、予め供給管７３ａの内部空間において第１の原料ガスと第２の原料ガスとを十分混合させることができる。
【００４２】
なお、以下では、供給管７３ａに第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを供給する場合を例示して、説明する。しかし、内側供給管７３ｂに第１の原料ガスを供給し、供給管７３ａに第２の原料ガスを供給してもよい。
【００４３】
また、開口７６の形状は、円形、楕円形、矩形等各種の形状であってもよい。
【００４４】
本実施の形態は、ボート４４が複数のウェハＷを上下方向に所定の間隔で保持する例について説明するものである。このとき、供給管７３ａとともに、内側供給管７３ｂも、上下方向に延在するように設けられていてもよい。更に、下方側を上流側、上方側を下流側とするときは、内側供給管７３ｂは、供給管７３ａの供給孔７５が形成されている部分よりも下方側の部分において、供給管７３ａの内部に収容されるように設けられていてもよい。そして、内側供給管７３ｂの上端部付近には、供給管７３ａの内部空間と連通するための開口７６が設けられていてもよい。
【００４５】
供給機構７０は、例えば供給管７３ａに第１の原料ガスを流すとともに、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを流す。そして、内側供給管７３ｂを流れる第２の原料ガスを、開口７６を介して供給管７３ａに合流させ、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを混合させた状態で、供給孔７５を介して成膜容器６０内に供給する。
【００４６】
図５は、密着促進剤供給機構８０の構成を模式的に示す図である。なお、図５では、成膜容器６０、ボート４４及び密着促進剤供給機構８０以外の図示を省略している。
【００４７】
図５に示すように、密着促進剤供給機構８０は、気化器８１及び成膜容器６０内に設けられた供給管８２を含む。気化器８１は、バルブ８１ａを介し、供給管８２に接続されている。密着促進剤供給機構８０は、密着促進剤を気化させた密着促進剤ガスを成膜容器６０内に供給し、ウェハＷの表面を密着促進剤ガスにより処理するためのものである。
【００４８】
気化器８１は、保持容器８３、ガス導入部８４及びガス導出部８５を有する。
【００４９】
保持容器８３の内部には、例えばシランカップリング剤等の密着促進剤ＳＣが充填可能に設けられている。保持容器８３の内部には、加熱機構８６が設けられており、保持容器８３の内部に充填された密着促進剤ＳＣを、加熱機構８６により加熱して気化することができる。なお、加熱機構８６としてヒータ等を用いることができる。また、保持容器８３を加熱することができればよく、加熱機構８６は、保持容器８３の任意の場所に設けることができる。
【００５０】
ガス導入部８４は、保持容器８３に、保持容器８３で気化した密着促進剤ガスを搬送するための例えば窒素（Ｎ２）ガス等の不活性ガスよりなる密着促進剤キャリアガスを、密着促進剤キャリアガス供給部８７から導入する。ガス導入部８４は、ガス導入管８４ａ及びガス導入口８４ｂを有する。ガス導入管８４ａは、密着促進剤ガスを搬送する密着促進剤キャリアガスを保持容器８３の外部から保持容器８３の内部へ導入するための配管である。ガス導入管８４ａは、保持容器８３の上面を貫通するように保持容器８３の上面に取り付けられるとともに、保持容器８３の内部を上方から下方に延在するように設けられている。また、ガス導入管８４ａは、一端が保持容器８３の底部において開口するとともに、他端が保持容器８３の外部で密着促進剤キャリアガス供給部８７に接続されている。ガス導入口８４ｂは、ガス導入管８４ａの下端に形成された開口である。
【００５１】
図５では、ガス導入口８４ｂが密着促進剤ＳＣの液面よりも下方にあり、ガス導入口８４ｂから供給された密着促進剤キャリアガスが密着促進剤をバブリングする場合を例示している。しかし、ガス導入口８４ｂは、密着促進剤ＳＣの液面よりも上方にあってもよく、ガス導入口８４ｂから供給された密着促進剤キャリアガスが密着促進剤ＳＣをバブリングしなくてもよい。
【００５２】
ガス導出部８５は、保持容器８３から、密着促進剤キャリアガスとともに気化した密着促進剤ガスを導出する。ガス導出部８５は、ガス導出管８５ａ及びガス導出口８５ｂを有する。ガス導出管８５ａは、密着促進剤ガスおよび密着促進剤キャリアガスを保持容器８３の内部から保持容器８３の外部へ導出するための配管である。ガス導出管８５ａは、保持容器８３の上面を貫通するように保持容器８３の上面に取り付けられている。また、ガス導出管８５ａは、一端が保持容器８３の内部上方で開口されるように設けられており、他端が成膜容器６０の内部に設けられた供給管８２に接続されている。ガス導出口８５ｂは、ガス導出管８５ａの下端に形成された開口である。
【００５３】
供給管８２は、反応管６１の側壁を内側へ貫通して上方向へ屈曲されて延びる石英管よりなる。供給管８２の先端には、成膜容器６０内に開口する供給孔８２ａが形成されている。供給管８２は、気化器８１から供給管８２を流れる気化した密着促進剤ガスを、供給孔８２ａを介して成膜容器６０内に供給する。供給孔８２ａは、ボート４４に搭載されたウェハＷの近傍に、１箇所設けられているのが好ましい。これにより、供給孔８２ａより吐出された密着促進剤ガスを、成膜容器６０内に一様に拡散させることができる。
【００５４】
パージガス供給機構９０は、パージガス供給部９１、及びパージガス供給管９２を含む。パージガス供給部９１は、パージガス供給管９２を介して成膜容器６０に接続されており、成膜容器６０内にパージガスを供給する。また、パージガス供給管９２の途中には、パージガス供給部９１と成膜容器６０の内部とを連通又は遮断するためのバルブ９３、及び、パージガスの流量を制御するＭＦＣ９４が設けられている。パージガスとして、窒素（Ｎ２）ガスを用いることができる。
【００５５】
排気機構９５は、排気装置９６及び排気管９７を含む。排気機構９５は、成膜容器６０内から排気管９７を介してガスを排気するためのものである。
【００５６】
クリーニングガス供給機構１００は、クリーニングガス供給部１０１、及びクリーニングガス供給管１０２を含む。クリーニングガス供給部１０１は、クリーニングガス供給管１０２を介して成膜容器６０に接続されており、成膜容器６０内にクリーニングガスを供給する。また、クリーニングガス供給管１０２の途中には、クリーニングガス供給部１０１と成膜容器６０の内部とを連通又は遮断するためのバルブ１０３、及び、クリーニングガスの流量を制御するＭＦＣ１０４が設けられている。クリーニングガスとして、酸素（Ｏ２）ガスを用いることができる。
【００５７】
本実施の形態では、クリーニングガス供給機構１００からのクリーニングガスの供給流量をＭＦＣ１０４により制御し、パージガス供給機構９０からのパージガスの供給流量をＭＦＣ９４により制御し、成膜容器６０からの排気流量を図示しないバルブにより制御する。これにより、成膜容器６０内を酸素雰囲気にすることができ、酸素分圧を所定の分圧に調整することができる。
【００５８】
制御部１１０は、例えば、図示しない演算処理部、記憶部及び表示部を有する。演算処理部は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を有するコンピュータである。記憶部は、演算処理部に、各種の処理を実行させるためのプログラムを記録した、例えばハードディスクにより構成されるコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。表示部は、例えばコンピュータの画面よりなる。演算処理部は、記憶部に記録されたプログラムを読み取り、そのプログラムに従って、ボート４４（基板保持部）、ヒータ６２、供給機構７０、密着促進剤供給機構８０、パージガス供給機構９０、排気機構９５、及びクリーニングガス供給機構１００を構成する各部に制御信号を送り、後述するような成膜処理を実行する。
【００５９】
次に、本実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理について説明する。図６は、本実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【００６０】
成膜処理開始後、ステップＳ１１として、成膜容器６０内にウェハＷを搬入する（搬入工程）。図１に示した成膜装置１０の例では、例えばローディングエリア４０において、移載機構４７により収納容器２１からボート４４ａへウェハＷを搭載し、ウェハＷを搭載したボート４４ａをボート搬送機構４５ｃにより蓋体４３に載置することができる。そして、ボート４４ａを載置した蓋体４３を昇降機構４６により上昇させて成膜容器６０内に搬入することにより、ウェハＷを搬入することができる。
【００６１】
次に、ステップＳ１２では、成膜容器６０の内部を減圧する（減圧工程）。排気装置９６の排気能力又は排気装置９６と排気管９７との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整することにより、排気管９７を介して成膜容器６０を排気する排気量を増大させる。そして、成膜容器６０の内部を所定圧力例えば大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）から例えば０．３Ｔｏｒｒに減圧する。
【００６２】
次に、ステップＳ１３では、ウェハＷの温度を、ウェハＷにポリイミド膜を成膜するときの所定温度（成膜温度）まで上昇させる（リカバリ工程）。ボート４４ａを成膜容器６０の内部に搬入した後、ヒータ６２に電力を供給することによって、ボート４４ａに搭載されているウェハＷの温度を成膜温度まで上昇させる。
【００６３】
本実施の形態では、リカバリ工程において、ウェハＷの表面を密着促進剤により処理してもよい。このとき、ヒータ６２によりウェハＷを加熱するとともに、密着促進剤供給機構８０により成膜容器６０内に密着促進剤ガスを供給し、供給された密着促進剤ガスと、加熱されているウェハＷとを、水分を含まない雰囲気中で反応させることによって、ウェハＷの表面を処理する（表面処理工程）。
【００６４】
図７は、密着促進剤としてシランカップリング剤を用いたときのウェハＷの表面における反応を示す図である。
【００６５】
シランカップリング剤として、分子中に例えばアルコキシ基（ＲＯ−（Ｒ；アルキル基））を有するオルガノシランを用いることが好ましい。図７では、分子中に例えばメトキシ基（ＣＨ３Ｏ−）を有するオルガノシランを用いた例を示す。そして、図７（ａ）に示すように、表面が水酸基すなわちヒドロキシ基（−ＯＨ）で終端されたＳｉウェハを用いるときは、シランカップリング剤のメトキシ基が、ウェハ表面のヒドロキシ基と熱反応してメタノール（ＣＨ３ＯＨ）が生成することによって、ウェハ表面に吸着する。また、図７（ｂ）に示すように、表面が水素原子（Ｈ）で終端されたＳｉウェハを用いるときは、シランカップリング剤のメトキシ基が、ウェハ表面の水素原子と熱反応してメタン（ＣＨ４）が生成することによって、ウェハ表面に吸着する。
【００６６】
オルガノシランとして、下記式（１）
【００６７】
【化１】
に示す、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（以下、「ＳＣ剤Ａ」という。）を用いることができる。または、オルガノシランとして、下記式（２）
【００６８】
【化２】
に示す、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（以下、「ＳＣ剤Ｂ」という。）を用いることができる。このうち、ＳＣ剤Ａを用いることがより好ましい。ＳＣ剤Ａを用いることにより、表面が水素原子（Ｈ）で終端されたＳｉウェハを用いるときも、成膜されたポリイミド膜の密着性を向上させることができる。
【００６９】
リカバリ工程とともに行う表面処理工程では、気化器８１において例えばＳＣ剤Ａ又はＳＣ剤Ｂよりなる密着促進剤を気化させ、気化した密着促進剤ガスを供給管８２に形成された供給孔８２ａを介して成膜容器６０内に供給する。例えばＳＣ剤Ａを用いるときは、加熱機構８６により保持容器８３の温度を例えば１５０℃に加熱することによって、０．３ｇ／分の気化量を得ることができる。また、例えばＳＣ剤Ｂを用いるときは、加熱機構８６により保持容器８３の温度を例えば１００℃に加熱することによって、０．３ｇ／分の気化量を得ることができる。なお、このとき、密着促進剤キャリアガスであるＮ２ガスを例えば０．１ｓｌｍの流量で導入してもよく、全く導入しなくてもよい。
【００７０】
次に、ステップＳ１４では、ポリイミド膜を成膜する（成膜工程）。
【００７１】
制御部１１０により、供給管７３ａに第１の原料ガスを流す第１の流量Ｆ１と、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを流す第２の流量Ｆ２とを予め設定しておく。そして、回転機構４９によりウェハＷを回転させた状態で、設定した第１の流量Ｆ１で第１の原料ガス供給部７１ａから第１の原料ガスを供給管７３ａに流し、設定した第２の流量Ｆ２で第２の原料ガス供給部７１ｂから第２の原料ガスを内側供給管７３ｂに流すことによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを所定の混合比で混合させた状態で成膜容器６０内に供給する。そして、ウェハＷの表面でＰＭＤＡとＯＤＡを重合反応させ、ポリイミド膜を成膜する。具体的には、例えば第１の流量Ｆ１を９００ｓｃｃｍとし、第２の流量Ｆ２を９００ｓｃｃｍとすることができる。
【００７２】
このときの、ＰＭＤＡとＯＤＡとの重合反応は、次の式（３）に従う。
【００７３】
【化３】
次に、ステップＳ１５では、第１の原料ガス供給部７１ａからのＰＭＤＡガスの供給及び第２の原料ガス供給部７１ｂからのＯＤＡガスの供給を停止し、成膜容器６０の内部をパージガスによりパージする（パージ工程）。
【００７４】
バルブ７１ｃを閉じ、第１の原料ガス供給部７１ａからの第１の原料ガスの供給を停止する。また、バルブ７１ｄを閉じ、第２の原料ガス供給部７１ｂからの第２の原料ガスの供給を停止する。そして、パージガス供給機構９０と排気機構９５とを制御することにより、成膜容器６０の内部の原料ガスをパージガスに置換する。
【００７５】
例えば、排気装置９６の排気能力又は排気装置９６と排気管９７との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整して排気量を増やすことにより、成膜容器６０の内部を例えば０．３Ｔｏｒｒに減圧する。その後、排気量を減少させるか、又は排気量を０にして排気を停止した状態で、成膜容器６０内の内部の圧力が例えば５．０Ｔｏｒｒになるまで、バルブ９３を開いてパージガス供給機構９０によりパージガスを成膜容器６０内に供給する。これにより、成膜容器６０内の原料ガスをパージガスに置換できる。また、排気機構９５による減圧と、パージガス供給機構９０によるパージガスの供給とを１回行った後、更に減圧とパージガスの供給を複数回繰り返してもよい。これにより、成膜容器６０内の原料ガスを、更に確実にパージガスに置換できる。
【００７６】
本実施の形態では、パージ工程において、ウェハＷ上に成膜されたポリイミド膜をヒータ６２により熱処理してもよい。熱処理は、成膜後、膜中のイミド化していない部分をイミド化するために行う。ポリイミドは高い絶縁性を有するため、膜中のポリイミドの割合であるイミド化率を上昇させることによって、成膜したポリイミド膜の絶縁性を向上させることができる。
【００７７】
次に、ステップＳ１６では、成膜容器６０の内部を大気圧に復圧する（復圧工程）。排気装置９６の排気能力又は排気装置９６と排気管９７との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整することにより、成膜容器６０を排気する排気量を減少させ、成膜容器６０の内部を例えば０．３Ｔｏｒｒから例えば大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）に復圧する。
【００７８】
なお、ポリイミド膜の熱処理は、ポリイミド膜を成膜した後、後述する搬出工程の前に、成膜容器６０の内部で行えばよく、復圧工程の際、又は、復圧工程の後に行ってもよい。
【００７９】
次に、ステップＳ１７では、成膜容器６０からウェハＷを搬出する（搬出工程）。図１に示した成膜装置１０の例では、例えばボート４４ａを載置した蓋体４３を昇降機構４６により下降させて成膜容器６０内からローディングエリア４０に搬出することができる。そして、移載機構４７により、搬出した蓋体４３に載置されているボート４４ａから収納容器２１へウェハＷを移載することによって、ウェハＷを成膜容器６０から搬出することができる。
【００８０】
なお、複数のバッチについて連続して成膜処理を行うときは、更に、ローディングエリア４０において、移載機構４７により収納容器２１からウェハＷをボート４４へ移載し、再びステップＳ１１に戻り、次のバッチの成膜処理を行う。
【００８１】
このように、ステップＳ１１（搬入工程）からステップＳ１７（搬出工程）までを行うことにより、あるバッチについて成膜処理を行うことができる。なお、ステップＳ１１（搬入工程）からステップＳ１７（搬出工程）までの工程は、本発明における処理工程に相当する。
【００８２】
次に、ステップＳ１８では、成膜容器６０内に残留しているポリイミドを酸化して除去する（クリーニング工程）。
【００８３】
前述したように、クリーニングガス供給機構１００により、酸素ガスよりなるクリーニングガスを成膜容器６０内に供給する。このとき、クリーニングガス供給機構１００からのクリーニングガスの供給流量をＭＦＣ１０４により制御し、パージガス供給機構９０からのパージガスの供給流量をＭＦＣ９４により制御し、成膜容器６０からの排気流量を図示しないバルブにより制御する。これにより、成膜容器６０内を酸素雰囲気にすることができ、酸素分圧を所定の分圧に調整することができる。
【００８４】
このようにして成膜容器６０内を酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０を加熱する。ここで、成膜容器６０を３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、成膜容器６０内に付着したポリイミド膜あるいは付着したポリイミド膜が剥がれ落ちたものを含め、成膜容器６０内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、後述するように、成膜容器６０内に残留しているポリイミドが熱分解により炭化することを防止できる。
【００８５】
また、成膜容器６０内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０を加熱することが好ましい。これにより、成膜容器６０内に残留しているポリイミドがより酸化しやすくなるため、熱分解により炭化することをより防止できる。
【００８６】
なお、処理工程（ステップＳ１１〜ステップＳ１７）を複数回繰り返して行うときは、処理工程とクリーニング工程（ステップＳ１８）とを交互に繰り返してもよい。これにより、次の処理工程を行う前に、成膜容器内に残留しているポリイミドを常に酸化して除去することができる。
【００８７】
あるいは、処理工程（ステップＳ１１〜ステップＳ１７）を所定回数繰り返した後に、クリーニング工程（ステップＳ１８）を１回行うようにしてもよい。そして、処理工程を繰り返す所定回数を、クリーニング工程の直前の処理工程において成膜処理されるウェハに付着するパーティクルの数が、所定の上限値を超えないように設定することにより、成膜容器６０内をクリーニングしつつ、成膜処理の時間を短縮することができる。
【００８８】
このようにして、処理工程とクリーニング工程を行った後、成膜処理を終了する。
【００８９】
次に、本実施の形態におけるクリーニングによれば、ポリイミドの炭化を防止でき、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミドを除去することができることについて説明する。
【００９０】
図８は、ポリイミドが熱分解する様子又はポリイミドが酸化する様子を示す図である。図８（ａ）は、ポリイミドが熱分解する様子を示し、図８（ｂ）は、ポリイミドが酸化する様子を示す。
【００９１】
成膜容器中を酸素雰囲気にしない状態、すなわち例えば窒素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により成膜容器６０を加熱する場合を考える。すると、図８（ａ）に示すように、熱エネルギーによりポリイミドの分子中の各所で化学結合が切られ、ポリイミドは熱分解する。この際に、ポリイミドの分子中の炭素原子の一部が炭化して煤状になって残る。
【００９２】
一方、成膜容器６０中を酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により成膜容器６０を加熱する場合を考える。すると、図８（ｂ）に示すように、ポリイミドの分子中の炭素原子は酸素と化合、すなわち酸化して例えば二酸化炭素（ＣＯ２）となって気化するため、ポリイミドは除去される。
【００９３】
図９は、昇温脱離法（Temperature Programmed Desorption；ＴＰＤ）によりポリイミドを昇温しながらガス脱離（発生）させ、発生したガスの量（発生量）を質量分析法（Mass Spectrometry；ＭＳ）により計測した結果を示すグラフである。図９（ａ）のグラフは、酸素分圧が２０％、すなわち０．２気圧の結果を示し、図９（ｂ）のグラフは、酸素分圧が０％、すなわち０気圧の結果を示す。
【００９４】
図９（ｂ）に示すように、酸素分圧が０％すなわち０気圧であるときは、温度上昇に伴って、４９０℃で二酸化炭素（ＣＯ２）ガスの発生が始まるものの、近い温度である５４０℃でアニリン又はフェノール等の有機化合物と推定されるガス（有機化合物ガス）の発生が始まる。また、有機化合物ガスの発生量に対するＣＯ２ガス及び一酸化炭素（ＣＯ）ガスの発生量は、相対的に小さい。また、この条件は、明らかにクリーニング工程の後、煤状のパーティクルが成膜容器６０内に残る条件であり、ポリイミドの熱分解反応が発生する条件である。
【００９５】
一方、図９（ａ）に示すように、酸素分圧が２０％すなわち０．２気圧であるときは、温度上昇に伴って、３６０℃でＣＯ２ガスの発生が始まるものの、有機化合物ガスの発生は、５８０℃までは始まらない。また、有機化合物ガスの発生量に対するＣＯ２ガス及びＣＯガスの発生量は、相対的に小さい。
【００９６】
更に、酸素分圧を２０％以上にしたときも、図９（ａ）と略同様の傾向を示す。従って、酸素分圧が２０％すなわち０．２気圧以上の酸素雰囲気にした状態で、３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、有機化合物に熱分解させることなくポリイミドを酸化して除去することができる。
【００９７】
ただし、温度範囲は、成膜容器の構成、ポリイミド膜の成膜条件等に依存するため、上記した条件に限られるものではない。例えば、５４０〜７００℃の温度に加熱する場合であっても、酸素分圧が４０％すなわち０．４気圧よりも大きい状態で行うときは、有機化合物に熱分解させることなくポリイミドを酸化して除去することができる。
【００９８】
また、酸素分圧が１００％すなわち１気圧であることが好ましい。これにより、成膜容器内を大気圧より増加させることなく、ポリイミドを酸化して除去することができる。
【００９９】
更に、本実施の形態では、前述したように、密着促進剤によりウェハＷの表面を処理する表面処理工程を行う場合でも、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミド及び密着促進剤を酸化して除去することができる。
【０１００】
ここで、複数回成膜処理を行って、密着促進剤ＳＣとポリイミド膜ＰＩが複数積層された積層体も、本実施の形態におけるクリーニング方法により酸化して除去できるか否かの評価を行った。評価用サンプルとして、成膜容器に代え、ウェハＷ上に、密着促進剤ＳＣとポリイミド膜ＰＩが複数積層された積層体ＬＭが形成されたものを用いた。図１０は、積層体ＬＭが形成されたウェハＷのクリーニング処理の前後の状態を示す断面図である。
【０１０１】
一例として、ＳｉウェハよりなるウェハＷを２００℃に保持した状態で、前述したＳＣ剤Ａを１５０℃に加熱して０．３ｇ／分の流量でＳｉウェハＷに供給し、６００秒間表面処理を行った。その上に、膜厚２５０ｎｍのポリイミド膜ＰＩを成膜した。そして、更に、密着促進剤ＳＣによる表面処理、ポリイミド膜ＰＩの成膜、密着促進剤ＳＣによる表面処理の順に繰り返すことによって、図１０の左側に示すように積層体ＬＭが形成されたウェハＷを得た。
【０１０２】
このウェハＷに対し、酸素分圧１００％すなわち１気圧になるように、酸素ガスの流量及び成膜容器からの排気流量を調整した。例えば、酸素ガスの流量を３０ｓｌｍとした。そして、７００℃で１２０分間クリーニング処理を行った。クリーニング処理後のウェハＷの表面を、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope）により観察したところ、パーティクル等は残っていないことが確認された。
【０１０３】
以上、本実施の形態によれば、ポリイミド膜を成膜する成膜装置において、成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、成膜容器を加熱機構により加熱することによって、成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、成膜容器内にパーティクルが残ることなく密着促進剤を含めたポリイミドを除去することができる。また、ポリイミド膜の成膜処理と密着促進剤による表面処理とを繰り返してなる積層体が形成されている場合でも、成膜容器内にパーティクルが残ることなく密着促進剤とポリイミドとを除去することができる。
（第２の実施の形態）
次に、図１１から図１３を参照し、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法について説明する。
【０１０４】
本実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置は、成膜容器が枚葉処理を行うためのものであるとともに、成膜容器とは別に表面処理のための処理容器を有している点で、第１の実施の形態に係る成膜方法を行うための成膜装置と相違する。
【０１０５】
図１１は、本実施の形態に係るクリーニング方法及び成膜方法を行うための成膜装置１２０を概略的に示す平面図である。図１２は、処理容器１３０、密着促進剤供給機構８０及び排気機構９５ａの構成を示す正面図である。図１３は、成膜容器６０ｂ、供給機構７０及び排気機構９５ｂの構成を示す平面図である。
【０１０６】
図１１に示すように、本実施の形態に係る成膜装置１２０は、ポート１２１Ａ〜１２１Ｃ、ローダ１２２、ロードロック１２３Ａ、１２３Ｂ、搬送室１２４、複数の表面処理部１２５、及び成膜部１２６を有する。
【０１０７】
ポート１２１Ａ〜１２１Ｃには、ローダ１２２が接続されている。ローダ１２２には、ロードロック１２３Ａ、１２３Ｂが接続されている。ロードロック１２３Ａ、１２３Ｂには、搬送室１２４が接続されている。搬送室１２４には、表面処理部１２５が２つ接続されており、成膜部１２６が１つ接続されている。また、搬送室１２４には、ウェハをロードロック１２３Ａ、１２３Ｂと表面処理部１２５及び成膜部１２６との間で搬送するための搬送アーム１２４ａが設けられている。
【０１０８】
なお、表面処理部１２５と成膜部１２６の数は、特に限定されるものではなく、スループットを向上させるために、表面処理及び成膜処理の条件に応じて、任意の数に変更可能である。
【０１０９】
図１１及び図１２に示すように、表面処理部１２５は、処理容器１３０と、密着促進剤供給機構８０及び排気機構９５ａとを有する。
【０１１０】
密着促進剤供給機構８０は、気化器８１及び供給管８２を含み、供給管８２が処理容器１３０内に設けられている点を除き、第１の実施の形態に係る密着促進剤供給機構８０と同様にすることができる。また、排気機構９５ａは、排気装置９６及び排気管９７を含み、第１の実施の形態に係る成膜容器６０に設けられた排気機構９５と同様にすることができる。
【０１１１】
処理容器１３０は、処理室１３１、ヒータ（加熱装置）１３２、基板保持部１３３及び排気機構９５ａを有する。ヒータ（加熱装置）１３２は、表面処理の際にウェハＷを加熱するためのものである。基板保持部１３３は、ウェハＷを保持するためのものである。ただし、基板保持部１３３は、ウェハＷを１枚保持可能に設けられている。なお、ヒータ（加熱装置）１３２は、基板保持部１３３内に設けられていてもよい。
【０１１２】
図１３に示すように、成膜部１２６は、成膜容器６０ｂ、供給機構７０、パージガス供給機構９０、排気機構９５ｂ及びクリーニングガス供給機構１００を有する。パージガス供給機構９０は、パージガス供給部９１、パージガス供給管９２、バルブ９３及びＭＦＣ９４を含み、第１の実施の形態におけるパージガス供給機構９０と同様にすることができる。排気機構９５ｂは、排気装置９６及び排気管９７を含み、第１の実施の形態における排気機構９５と同様にすることができる。クリーニングガス供給機構１００は、クリーニングガス供給部１０１、及びクリーニングガス供給管１０２、バルブ１０３及びＭＦＣ１０４を含み、第１の実施の形態におけるクリーニングガス供給機構１００と同様にすることができる。
【０１１３】
成膜容器６０ｂは、反応室６１、ヒータ（加熱装置）６２及び基板保持部４４ｃを有する。基板保持部４４ｃは、ウェハＷを保持可能であってかつ回転可能に設けられている。ただし、基板保持部４４ｃは、ウェハＷを１枚保持可能に設けられている。
【０１１４】
供給機構７０は、第１の原料ガス供給部７１ａ、第２の原料ガス供給部７１ｂ、インジェクタ７２を含む。第１の原料ガス供給部７１ａ、第２の原料ガス供給部７１ｂは第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１１５】
インジェクタ７２は、供給管７３ａ及び内側供給管７３ｂを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２の供給管７３ａに接続されている。供給管７３ａと内側供給管７３ｂとは、水平方向に延在するように設けられている点を除き、第１の実施の形態に係るインジェクタ７２と同様にすることができる。すなわち、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されている。内側供給管７３ｂの下流側の端部付近には、供給管７３ａの内部空間に第１の原料ガスを供給するための開口７６が形成されている。
【０１１６】
なお、図１３では、内側供給管７３ｂに第１の原料ガス供給部７１ａから第１の原料ガスを供給し、供給管７３ａに第２の原料ガス供給部７１ｂから第２の原料ガスを供給する例を示している。しかし、供給管７３ａに第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを供給してもよい。
【０１１７】
また、制御部１１０は、第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１１８】
本実施の形態に係る成膜処理では、成膜部１２６により成膜処理を行う前に、表面処理部１２５を用いて密着促進剤による表面処理を行う。
【０１１９】
搬送室１２４に設けられた搬送アーム１２４ａによりウェハＷを表面処理部１２５の処理容器１３０内に設けられた基板保持部１３３に受け渡し、ウェハＷを保持する。そして、排気機構９５ａにより、処理容器１３０の内部を減圧する。
【０１２０】
次に、制御部１１０によりヒータ１３２に供給する電力を制御することによって、ウェハＷの温度を表面処理するための処理温度まで上昇させる。そして、ウェハＷを加熱するとともに、処理容器１３０内に密着促進剤ガスを供給し、供給された密着促進剤ガスと、加熱されているウェハＷとを、水分を含まない雰囲気中で反応させることによって、ウェハＷの表面を処理する（表面処理工程）。
【０１２１】
本実施の形態でも、密着促進剤としてシランカップリング剤を用いることが好ましい。また、本実施の形態でも、シランカップリング剤として、分子中に例えばアルコキシ基を有するオルガノシランを用いることが好ましい。オルガノシランとして、式（１）、式（２）に示したＳＣ剤Ａ、ＳＣ剤Ｂを用いることが好ましい。また、ＳＣ剤Ａを用いることにより、表面が水素原子（Ｈ）で終端されたＳｉウェハを用いるときも、成膜されたポリイミド膜の密着性を向上させることができる。
【０１２２】
このようにして表面処理部１２５を用いて密着促進剤による表面処理を行った後、成膜部１２６により成膜処理を行う。成膜部１２６により成膜処理は、成膜処理がバッチ処理に代え枚葉処理である点を除き、第１の実施の形態の成膜工程と同様にすることができる。
【０１２３】
そして、本実施の形態でも、成膜処理の後、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドを酸化して除去する（クリーニング工程）。
【０１２４】
第１の実施の形態と同様に、クリーニングガス供給機構１００により、酸素ガスよりなるクリーニングガスを成膜容器６０ｂ内に供給する。このとき、クリーニングガス供給機構１００からのクリーニングガスの供給流量をＭＦＣ１０４により制御し、パージガス供給機構９０からのパージガスの供給流量をＭＦＣ９４により制御し、成膜容器６０ｂからの排気流量を図示しないバルブにより制御する。これにより、成膜容器６０ｂ内を酸素雰囲気にすることができ、酸素分圧を所定の分圧に調整することができる。
【０１２５】
このようにして成膜容器６０ｂ内を酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０ｂを加熱する。ここで、成膜容器６０ｂを３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、成膜容器６０ｂ内に付着したポリイミド膜あるいは付着したポリイミド膜が剥がれ落ちたものを含め、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドが熱分解により炭化することを防止できる。
【０１２６】
また、成膜容器６０ｂ内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、ヒータ６２により、成膜容器６０ｂを加熱することが好ましい。これにより、成膜容器６０ｂ内に残留しているポリイミドがより酸化しやすくなるため、熱分解により炭化することをより防止できる。
【０１２７】
本実施の形態でも、ポリイミド膜を成膜する成膜装置において、成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、成膜容器を加熱機構により加熱することによって、成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する。これにより、成膜容器内にパーティクルが残ることなくポリイミド及び密着促進剤を酸化して除去することができる。
【０１２８】
以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【０１２９】
１０ 成膜装置
４３ 蓋体（基板保持部）
４４、４４ａ、４４ｂ ボート（基板保持部）
６０ 成膜容器
６２ ヒータ
７０ 供給機構
７１ 原料ガス供給部
８０ 密着促進剤供給機構
９０ パージガス供給機構
９５ 排気機構
１００ クリーニングガス供給機構
１１０ 制御部
Ｗ ウェハ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを成膜容器内に供給することによって、前記成膜容器内に搬入している基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置におけるクリーニング方法であって、
前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する、クリーニング方法。
【請求項２】
前記成膜容器内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱することによって、前記ポリイミドを酸化して除去する、請求項１に記載のクリーニング方法。
【請求項３】
成膜容器内に原料ガスを供給することによって、前記成膜容器内に搬入されている前記基板に膜を成膜する成膜方法において、
基板を前記成膜容器内に搬入し、密着促進剤を気化させた密着促進剤ガスを前記成膜容器内に供給し、前記成膜容器内に搬入した前記基板の表面を密着促進剤ガスにより処理し、酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを前記成膜容器内に供給することによって、密着促進剤により表面を処理した前記基板にポリイミド膜を成膜し、ポリイミド膜を成膜した前記基板を前記成膜容器内から搬出する処理工程と、
前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去するクリーニング工程と
を有する、成膜方法。
【請求項４】
前記処理工程と前記クリーニング工程とを交互に繰り返す、請求項３に記載の成膜方法。
【請求項５】
前記処理工程を所定回数繰り返した後に、前記クリーニング工程を１回行うものである、請求項３に記載の成膜方法。
【請求項６】
前記処理工程は、
複数の基板を上下方向に所定の保持間隔で保持している基板保持部を前記成膜容器内に搬入することによって、前記複数の基板を前記成膜容器内に搬入するものであり、
前記基板保持部を前記成膜容器内から搬出することによって、ポリイミド膜を成膜した前記複数の基板を前記成膜容器内から搬出するものである、請求項３から請求項５のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項７】
前記クリーニング工程は、前記成膜容器を加熱機構により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、前記ポリイミドを酸化して除去するものである、請求項３から請求項６のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項８】
前記クリーニング工程は、前記成膜容器内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱することによって、前記ポリイミドを酸化して除去するものである、請求項３から請求項７のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１】
酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを成膜容器内に供給することによって、前記成膜容器内に搬入している基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置におけるクリーニング方法であって、
前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去する、クリーニング方法。
【請求項２】
前記成膜容器内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱することによって、前記ポリイミドを酸化して除去する、請求項１に記載のクリーニング方法。
【請求項３】
成膜容器内に原料ガスを供給することによって、前記成膜容器内に搬入されている前記基板に膜を成膜する成膜方法において、
基板を前記成膜容器内に搬入し、密着促進剤を気化させた密着促進剤ガスを前記成膜容器内に供給し、前記成膜容器内に搬入した前記基板の表面を密着促進剤ガスにより処理し、酸二無水物よりなる第１の原料を気化させた第１の原料ガスと、ジアミンよりなる第２の原料を気化させた第２の原料ガスとを前記成膜容器内に供給することによって、密着促進剤により表面を処理した前記基板にポリイミド膜を成膜し、ポリイミド膜を成膜した前記基板を前記成膜容器内から搬出する処理工程と、
前記成膜容器内を酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱機構により加熱することによって、前記成膜容器内に残留しているポリイミドを酸化して除去するクリーニング工程と
を有する、成膜方法。
【請求項４】
前記処理工程と前記クリーニング工程とを交互に繰り返す、請求項３に記載の成膜方法。
【請求項５】
前記処理工程を所定回数繰り返した後に、前記クリーニング工程を１回行うものである、請求項３に記載の成膜方法。
【請求項６】
前記処理工程は、
複数の基板を上下方向に所定の保持間隔で保持している基板保持部を前記成膜容器内に搬入することによって、前記複数の基板を前記成膜容器内に搬入するものであり、
前記基板保持部を前記成膜容器内から搬出することによって、ポリイミド膜を成膜した前記複数の基板を前記成膜容器内から搬出するものである、請求項３から請求項５のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項７】
前記クリーニング工程は、前記成膜容器を加熱機構により３６０〜５４０℃の温度に加熱することによって、前記ポリイミドを酸化して除去するものである、請求項３から請求項６のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項８】
前記クリーニング工程は、前記成膜容器内を、酸素分圧が０．２気圧以上である酸素雰囲気にした状態で、前記成膜容器を加熱することによって、前記ポリイミドを酸化して除去するものである、請求項３から請求項７のいずれかに記載の成膜方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−２０９３９３（Ｐ２０１２−２０９３９３Ａ）
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−７３１９２（Ｐ２０１１−７３１９２）
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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