パルス信号出力回路およびシフトレジスタ
【課題】安定して動作することが可能なパルス信号出力回路及びそれを含むシフトレジスタを提供することを課題の一とする。
【解決手段】第１の出力端子に接続されるトランジスタの一にはクロック信号を与え、第２の出力端子に接続されるトランジスタの一には電源電位を与える。これにより、第２の出力端子を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。また、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。
【解決手段】第１の出力端子に接続されるトランジスタの一にはクロック信号を与え、第２の出力端子に接続されるトランジスタの一には電源電位を与える。これにより、第２の出力端子を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。また、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示する発明は、パルス信号出力回路およびシフトレジスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置などに用いられるガラス基板などの平板に形成されるトランジスタは、主にアモルファスシリコン又は多結晶シリコンなどの半導体材料を用いて作製される。アモルファスシリコンを用いたトランジスタは、電界効果移動度が低いもののガラス基板の大面積化に対応することができる。一方、多結晶シリコンを用いたトランジスタは、電界効果移動度が高いもののレーザアニールなどの結晶化工程が必要であり、ガラス基板の大面積化には必ずしも適応しないといった特性を有している。
【０００３】
これに対し、半導体材料として酸化物半導体を用いるトランジスタが注目されている。例えば、半導体材料として酸化亜鉛又はＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体を用いてトランジスタを作製し、画像表示装置のスイッチング素子として用いる技術が特許文献１及び特許文献２で開示されている。
【０００４】
酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、アモルファスシリコンを用いたトランジスタよりも高い電界効果移動度が得られている。また、酸化物半導体膜は、スパッタ法などによって３００℃以下の温度での膜形成が可能であり、多結晶シリコンを用いたトランジスタよりも作製が容易である。
【０００５】
このような酸化物半導体を用いて作製されたトランジスタは、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセンスディスプレイ又は電子ペーパーなどの表示装置の画素部及び駆動回路を構成するスイッチング素子に適用されることが期待されている。例えば、上記の酸化物半導体を用いて作製されたトランジスタによって表示装置の画素部及び駆動回路を構成する技術が非特許文献１で開示されている。
【０００６】
ただし、上記の酸化物半導体を用いて作製されたトランジスタは、全てｎチャネル型トランジスタである。そのため、酸化物半導体を用いて作製したトランジスタを用いて駆動回路を構成する場合、当該駆動回路は、ｎチャネル型トランジスタのみによって構成されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１２３８６１号公報
【特許文献２】特開２００７−９６０５５号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Ｔ．Ｏｓａｄａ，他８名，ＳＩＤ ’０９ ＤＩＧＥＳＴ，ｐｐ．１８４−１８７（２００９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
駆動回路は、パルス信号出力回路を含むシフトレジスタなどによって構成される。当該シフトレジスタが単極性のトランジスタによって構成される場合、動作が不安定になるなどの問題が生じることがある。
【００１０】
上述の問題に鑑み、本発明の一態様は、安定して動作することが可能なパルス信号出力回路及びそれを含むシフトレジスタを提供することを課題の一とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
開示する発明では、第１の出力端子に接続されるトランジスタの一にはクロック信号を与え、第２の出力端子に接続されるトランジスタの一には電源電位を与える。これにより、第２の出力端子を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。また、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。
【００１２】
より具体的には、例えば次のような構成を採用することができる。
【００１３】
本発明の一態様は、第１乃至第４のトランジスタと、第１の入力信号生成回路と、第２の入力信号生成回路と、を有し、第１のトランジスタの第１の端子と、第２のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第１の出力端子として機能し、第３のトランジスタの第１の端子と、第４のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の出力端子として機能し、第１のトランジスタのゲート端子と、第３のトランジスタのゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、第２のトランジスタのゲート端子と、第４のトランジスタのゲート端子と、第２の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、第１のトランジスタの第２の端子には第１のクロック信号が入力され、第２のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第３のトランジスタの第２の端子には第１の電位より高い第２の電位が与えられ、第４のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第１の入力信号生成回路には、少なくとも第１のパルス信号が入力され、第２の入力信号生成回路には、少なくとも第２のクロック信号が入力され、第１の出力端子または第２の出力端子から、第２のパルス信号を出力するパルス信号出力回路である。
【００１４】
上記において、第２の出力端子に接続される負荷は、第１の出力端子に接続される負荷より大きいものとすることができる。
【００１５】
また、上記において、第１の入力信号生成回路には、第１のパルス信号に加え、第２の入力信号生成回路の出力信号が入力されることがある。また、上記において、第１の入力信号生成回路は、第５のトランジスタと、第６のトランジスタと、を有し、第５のトランジスタの第１の端子と、第６のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第５のトランジスタの第２の端子には第２の電位が与えられ、第６のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第５のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力され、第６のトランジスタのゲート端子には第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される構成とすることができる。または、第１の入力信号生成回路は、第５乃至第７のトランジスタを有し、第５のトランジスタの第１の端子と、第６のトランジスタの第１の端子と、第７のトランジスタの第１の端子と、は電気的に接続され、第７のトランジスタの第２の端子は第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第５のトランジスタの第２の端子には第２の電位が与えられ、第６のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第５のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力され、第６のトランジスタのゲート端子には第２の入力信号生成回路の出力信号が入力され、第７のトランジスタのゲート端子には第２の電位が与えられる構成とすることができる。
【００１６】
また、上記において、第２の入力信号生成回路には、第２のクロック信号に加え、第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力されることがある。また、第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１０のトランジスタを有し、第８のトランジスタの第２の端子と、第９のトランジスタの第２の端子と、第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第８のトランジスタの第１の端子と、第９のトランジスタの第１の端子とには、第２の電位が与えられ、第１０のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第８のトランジスタのゲート端子には第３のパルス信号が入力され、第９のトランジスタのゲート端子には第２のクロック信号が入力され、第１０のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力される構成とすることができる。
【００１７】
また、上記において、第２の入力信号生成回路には、第２のクロック信号に加え、第３のクロック信号、第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力されることがある。また、第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１１のトランジスタを有し、第１１のトランジスタの第２の端子と、第９のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続され、第９のトランジスタの第２の端子と、第８のトランジスタの第２の端子と、第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第８のトランジスタの第１の端子と、第１１のトランジスタの第１の端子とには、第２の電位が与えられ、第１０のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第８のトランジスタのゲート端子には第３のパルス信号が入力され、第９のトランジスタのゲート端子には第２のクロック信号が入力され、第１０のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力され、第１１のトランジスタのゲート端子には第３のクロック信号が入力される構成とすることができる。
【００１８】
また、上記において、複数のトランジスタのいずれかに酸化物半導体を用いるのが好適である。また、上記のパルス信号出力回路を複数用いて、シフトレジスタを構成することができる。
【００１９】
なお、上記において、酸化物半導体を用いてトランジスタを構成することがあるが、開示する発明はこれに限定されない。酸化物半導体と同等のオフ電流特性が実現できる材料、例えば、炭化シリコンをはじめとするワイドギャップ材料（より具体的には、例えば、エネルギーギャップＥｇが３ｅＶより大きい半導体材料）などを適用しても良い。
【００２０】
なお、本明細書等において「上」や「下」という用語は、構成要素の位置関係が「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶縁層上のゲート電極」という表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素を含むものを除外しない。
【００２１】
また、本明細書等において「電極」や「配線」という用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」という用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
【００２２】
また、「ソース」や「ドレイン」の機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書においては、「ソース」や「ドレイン」という用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００２３】
なお、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。
【００２４】
例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【発明の効果】
【００２５】
開示する発明では、第１の出力端子に接続されるトランジスタの一にはクロック信号を与え、第２の出力端子に接続されるトランジスタの一にはＶＤＤを与える。これにより、第２の出力端子を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。クロック信号に代えて固定電位を与えることで、クロック信号の入力によるトランジスタの充放電が行われずに済むためである。
【００２６】
また、これにより、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。つまり、大きな負荷がかかる場合においても高速動作が実現可能である。また、負荷に起因する動作の不具合を低減し、動作の安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】パルス信号出力回路、およびシフトレジスタの構成例を示す図。
【図２】シフトレジスタのタイミングチャート。
【図３】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図４】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図５】パルス信号出力回路、およびシフトレジスタの構成例を示す図。
【図６】シフトレジスタのタイミングチャート。
【図７】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図８】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図９】トランジスタの構成例を示す図。
【図１０】トランジスタの作製方法の例を示す図。
【図１１】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１２】電子機器を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の実施の形態の一例について、図面を用いて以下に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２９】
なお、図面等において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解を容易にするため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
【００３０】
なお、本明細書等における「第１」、「第２」、「第３」などの序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
【００３１】
（実施の形態１）
本実施の形態では、パルス信号出力回路、およびパルス信号出力回路を含むシフトレジスタの構成例およびその動作に関して図１乃至図４を参照して説明する。
【００３２】
〈回路構成〉
はじめに、パルス信号出力回路、およびパルス信号出力回路を含むシフトレジスタの回路構成例について図１を参照して説明する。
【００３３】
本実施の形態で示すシフトレジスタは、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎ（ｎ≧２：ｎは自然数）と、クロック信号を伝達する第１の信号線１１〜第４の信号線１４を有する（図１（Ａ）参照）。第１の信号線１１には第１のクロック信号（ＣＬＫ１）が与えられ、第２の信号線１２には第２のクロック信号（ＣＬＫ２）が与えられ、第３の信号線１３には第３のクロック信号（ＣＬＫ３）が与えられ、第４の信号線１４に第４のクロック信号（ＣＬＫ４）が与えられる。
【００３４】
クロック信号は、一定の間隔でＨ信号（高電位）とＬ信号（低電位）を繰り返す信号である。ここでは、第１のクロック信号（ＣＬＫ１）〜第４のクロック信号（ＣＬＫ４）は、１／４周期ずつ遅延した信号とする。本実施の形態では、上記クロック信号を利用して、パルス信号出力回路の制御等を行う。
【００３５】
第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎは、それぞれ、第１の入力端子２１、第２の入力端子２２、第３の入力端子２３、第４の入力端子２４、第５の入力端子２５、第１の出力端子２６、第２の出力端子２７を有する（図１（Ｂ）参照）。
【００３６】
第１の入力端子２１、第２の入力端子２２及び第３の入力端子２３は、第１の信号線１１〜第４の信号線１４のいずれかと電気的に接続される。例えば、第１のパルス信号出力回路１０＿１は、第１の入力端子２１が第１の信号線１１と電気的に接続され、第２の入力端子２２が第２の信号線１２と電気的に接続され、第３の入力端子２３が第３の信号線１３と電気的に接続されている。また、第２のパルス信号出力回路１０＿２は、第１の入力端子２１が第２の信号線１２と電気的に接続され、第２の入力端子２２が第３の信号線１３と電気的に接続され、第３の入力端子２３が第４の信号線１４と電気的に接続されている。なお、ここでは、第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎと接続される信号線が、第２の信号線１２、第３の信号線１３、第４の信号線１４である場合を示しているが、接続される信号線は、ｎの値によって異なるものになる。このため、ここで示す構成はあくまでも一例に過ぎないことを付記する。
【００３７】
また、本実施の形態で示すシフトレジスタの第ｍのパルス信号出力回路（ｍは２以上ｎ以下：ｍ、ｎは自然数）において、第４の入力端子２４は第（ｍ−１）のパルス信号出力回路の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第５の入力端子２５は第（ｍ＋２）のパルス信号出力回路の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第１の出力端子２６は第（ｍ＋１）のパルス信号出力回路の第４の入力端子２４と電気的に接続され、第２の出力端子２７はＯＵＴ（ｍ）に信号を出力する。
【００３８】
例えば、第３のパルス信号出力回路１０＿３では、第４の入力端子２４は第２のパルス信号出力回路１０＿２の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第５の入力端子２５は第５のパルス信号出力回路１０＿５の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第１の出力端子２６は第４のパルス信号出力回路１０＿４の第４の入力端子２４及び第１のパルス信号出力回路１０＿１の第５の入力端子２５と電気的に接続されている。
【００３９】
また、第１のパルス信号出力回路１０＿１では、第４の入力端子２４に第５の配線１５からの第１のスタートパルス（ＳＰ１）が入力される。また、第ｋのパルス信号出力回路１０＿ｋ（ｋは２以上ｎ以下の自然数）では、第４の入力端子２４に前段の出力パルスが入力される。また、第（ｎー１）のパルス信号出力回路１０（ｎー１）では、第５の入力端子２５に第２のスタートパルス（ＳＰ２）が入力される。また、第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎでは、第５の入力端子２５に第３のスタートパルス（ＳＰ３）が入力される。なお、第２のスタートパルス（ＳＰ２）及び第３のスタートパルス（ＳＰ３）は、外部より入力される信号としてもよいし、回路内部で生成される信号としてもよい。
【００４０】
次に、パルス信号出力回路１０（第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎのうちの一つ）の具体的な構成に関して説明する。
【００４１】
第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎの各々は、第１のトランジスタ１０１〜第４のトランジスタ１０４で構成されるパルス信号生成回路と、第５のトランジスタ１０５〜第７のトランジスタ１０７で構成される第１の入力信号生成回路と、第８のトランジスタ１０８〜第１１のトランジスタ１１１で構成される第２の入力信号生成回路と、を含む（図１（Ｃ）参照）。また、上述した第１の入力端子２１〜第５の入力端子２５に加え、第１の電源線３１および第２の電源線３２から、第１のトランジスタ１０１〜第１１のトランジスタ１１１に信号が供給される。
【００４２】
パルス信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００４３】
第１のトランジスタ１０１の第１の端子（ソース端子とドレイン端子の一方、以下同じ）と、第２のトランジスタ１０２の第１の端子とは、第１の出力端子２６と電気的に接続される。同様に、第３のトランジスタ１０３の第１の端子と、第４のトランジスタ１０４の第１の端子とは、第２の出力端子２７と電気的に接続される。そして、第１のトランジスタ１０１のゲート端子と、第３のトランジスタ１０３のゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続される。また、第２のトランジスタ１０２のゲート端子と、第４のトランジスタ１０４のゲート端子と、第２の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続される。
【００４４】
第１のトランジスタ１０１の第２の端子（ソース端子とドレイン端子の他方、以下同じ）には、第１のクロック信号が入力される。また、第１のトランジスタ１０１の第２の端子は、パルス信号出力回路の第１の入力端子２１としても機能する。第２のトランジスタ１０２の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位（例えば、低電位ＶＳＳ）が与えられ、第３のトランジスタ１０３の第２の端子には、第２の電源線３２を介して第１の電位より高い第２の電位（例えば、電源電位ＶＤＤ）が与えられ、第４のトランジスタ１０４の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられる。
【００４５】
第１の入力信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００４６】
第５のトランジスタ１０５の第１の端子と、第６のトランジスタ１０６の第１の端子と、第７のトランジスタ１０７の第１の端子と、は電気的に接続される。また、第７のトランジスタ１０７の第２の端子は、第１の入力信号生成回路の出力端子として機能する。
【００４７】
第５のトランジスタ１０５の第２の端子には、第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられ、第６のトランジスタ１０６の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられ、第５のトランジスタ１０５のゲート端子には、前段からのパルス信号（第１のパルス信号出力回路ではスタートパルス信号）が入力される。また、第５のトランジスタ１０５のゲート端子は、第１の入力信号生成回路の第１の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第４の入力端子２４としても機能する。第６のトランジスタ１０６のゲート端子には、第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される。また、第６のトランジスタ１０６のゲート端子は、第１の入力信号生成回路の第２の入力端子として機能する。第７のトランジスタ１０７のゲート端子には第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられる。
【００４８】
なお、本実施の形態では、第７のトランジスタ１０７を設けているが、第７のトランジスタ１０７を設けない構成としても良い。第７のトランジスタ１０７を設ける場合には、ブートストラップ動作に起因して生じうる第５のトランジスタ１０５の第１の端子の電位上昇を抑制できる。つまり、第５のトランジスタ１０５のゲートとソースの間（またはゲートとドレインの間）に大きなバイアス電圧が加わることを防止できるため、第５のトランジスタ１０５の劣化を抑制することができる。
【００４９】
第２の入力信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００５０】
第１１のトランジスタ１１１の第２の端子と、第９のトランジスタ１０９の第１の端子とは電気的に接続される。また、第９のトランジスタの第２の端子と、第８のトランジスタの第２の端子と、第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能する。
【００５１】
第８のトランジスタ１０８の第１の端子と、第１１のトランジスタ１１１の第１の端子には、第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられる。第１０のトランジスタ１１０の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられる。第８のトランジスタ１０８のゲート端子には２段後ろからのパルス信号が入力される。また、第８のトランジスタ１０８のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第１の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第５の入力端子２５としても機能する。第９のトランジスタ１０９のゲート端子には第２のクロック信号が入力される。また、第９のトランジスタ１０９のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第２の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第２の入力端子２２としても機能する。第１０のトランジスタ１１０のゲート端子には前段からのパルス信号（第１のパルス信号出力回路ではスタートパルス信号）が入力される。また、第１０のトランジスタ１１０のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第３の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第４の入力端子２４としても機能する。第１１のトランジスタ１１１のゲート端子には第３のクロック信号が入力される。また、第１１のトランジスタ１１１のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第４の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第３の入力端子２３としても機能する。
【００５２】
なお、上述したパルス信号出力回路の各構成（パルス信号生成回路、第１の入力信号生成回路、および、第２の入力信号生成回路の構成例など）は一例にすぎず、開示する発明がこれに限定されるものではない。
【００５３】
本実施の形態の以下の説明では、図１（Ｃ）に示すパルス信号出力回路において第１のトランジスタ１０１のゲート端子と、第３のトランジスタ１０３のゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＡとする。また、第２のトランジスタ１０２のゲート端子と、第４のトランジスタ１０４のゲート端子と、第２の入力信号生成回路の出力端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＢとする。
【００５４】
上記ノードＡと第１の出力端子２６との間には、ブートストラップ動作を好適に行うための容量素子を設けても良い。また、上記ノードＢの電位を保持するために、ノードＢに電気的に接続された容量素子を設けてもよい。
【００５５】
なお、第１のトランジスタ１０１〜第１１のトランジスタ１１１には、酸化物半導体を用いるのが好適である。酸化物半導体を用いることにより、トランジスタのオフ電流を低減することができる。また、非晶質シリコンなどと比較して、オン電流および電界効果移動度を高めることが出来る。また、トランジスタの劣化を抑制することができる。これにより、消費電力が小さく、高速動作が可能で、動作の正確性が高められた電子回路が実現する。なお、酸化物半導体を用いたトランジスタについては後の実施の形態において詳述するから、ここでは省略する。
【００５６】
〈動作〉
次に、図１に示すシフトレジスタの動作について図２乃至図４を参照して説明する。具体的には、図２に示すタイミングチャート中の、第１の期間５１〜第６の期間５６の各期間における動作を、図３および図４を用いて説明する。タイミングチャート中、ＣＬＫ１〜ＣＬＫ４はそれぞれクロック信号を示し、ＳＰ１は第１のスタートパルスを示し、ＯＵＴ１〜ＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第２の出力端子からの出力を示し、ノードＡおよびノードＢはそれぞれノードＡおよびノードＢの電位を示し、ＳＲＯＵＴ１〜ＳＲＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第１の出力端子からの出力を示す。
【００５７】
なお、以下の説明において、第１のトランジスタ１０１〜第１１のトランジスタ１１１は、全てｎチャネル型のトランジスタであるものとする。また、図３および図４において、トランジスタが実線で表現されている場合には、当該トランジスタが導通状態（オン状態）にあることを表し、破線で表現されている場合には、当該トランジスタが非導通状態（オフ状態）にあることを表すものとする。
【００５８】
代表的に、第１のパルス信号出力回路１０＿１の動作について説明する。第１のパルス信号出力回路１０＿１の構成は、上述の通りである。また、入力される各信号、供給される各電位の関係も上述の通りである。なお、以下の説明では、各入力端子および各電源線に与えられる高電位（Ｈレベル、Ｈ信号などとも呼ぶ）は全てＶＤＤとし、低電位（Ｌレベル、Ｌ信号などとも呼ぶ）は全てＶＳＳとする。
【００５９】
第１の期間５１において、ＳＰ１がＨレベルであるから、第１のパルス信号出力回路１０＿１の第４の入力端子２４として機能する第５のトランジスタ１０５のゲート端子と第１０のトランジスタ１１０のゲート端子に高電位が与えられ、第５のトランジスタ１０５と第１０のトランジスタ１１０は導通状態になる。第１の期間５１においてはＣＬＫ３もＨレベルであるため、第１１のトランジスタ１１１もオン状態となる。また、第７のトランジスタ１０７のゲート端子には高電位が与えられているため、第７のトランジスタ１０７もオン状態となる（図３（Ａ）参照）。
【００６０】
第５のトランジスタ１０５と第７のトランジスタ１０７がオン状態となることにより、ノードＡの電位は上昇する。また、第１０のトランジスタ１１０がオン状態となることにより、ノードＢの電位は下降する。第５のトランジスタ１０５の第２の端子の電位はＶＤＤであるため、第５のトランジスタ１０５の第１の端子の電位は、第２の端子の電位から第５のトランジスタ１０５のしきい値電圧分低下した値（ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０５）となる。そして、第７のトランジスタ１０７のゲート端子の電位がＶＤＤであるため、第７のトランジスタ１０７のしきい値電圧Ｖｔｈ１０７がＶｔｈ１０５以上の場合には、ノードＡの電位は（ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０７）となって第７のトランジスタ１０７がオフ状態となる。一方、Ｖｔｈ１０７がＶｔｈ１０５未満の場合には、第７のトランジスタ１０７はオン状態を保ったまま、ノードＡの電位は（ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０５）まで上昇する。以下、第１の期間５１におけるノードＡの電位の到達点をＶＡＨとする。
【００６１】
ノードＡの電位がＶＡＨになると、第１のトランジスタ１０１および第３のトランジスタ１０３がオン状態となる。ここで、ＣＬＫ１はＬレベルであるため、第１の出力端子２６からはＬレベルが出力される。一方で、第２の出力端子２７からは、ＶＡＨに応じた信号Ｈ’が出力される。
【００６２】
第２の期間５２においては、ＣＬＫ１がＬレベルからＨレベルに切り替わる。ここで、第１のトランジスタ１０１はオン状態であるため、第１の出力端子２６の電位が上昇する。第１のトランジスタ１０１のゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）との間には容量が存在し、これによってゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）とが容量結合されているため、第１の出力端子２６の電位の上昇と共に、浮遊状態であるノードＡの電位が上昇することになる（ブートストラップ動作）。ノードＡの電位は最終的にＶＤＤ＋Ｖｔｈ１０１より高くなり、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＶＤＤ（Ｈレベル）となる（図２および図３（Ｂ）参照）。
【００６３】
また、第２の期間５２においては、第１０のトランジスタ１１０がオン状態であるため、ノードＢもＬレベルに維持されている。このため、第１の出力端子２６がＬレベルからＨレベルに変化する際の、容量結合に起因するノードＢの電位変動を抑制し、これによる不具合の発生を防止できる。
【００６４】
第３の期間５３においては、ＳＰ１がＬレベルとなり、第５のトランジスタ１０５と第１０のトランジスタ１１０がオフ状態となる。また、ＣＬＫ１がＨレベルに維持され、ノードＡの電位も変化しないため、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７からはＶＤＤ（Ｈレベル）が出力される（図３（Ｃ）参照）。なお、第３の期間５３ではノードＢが浮遊状態となるが、第１の出力端子２６の電位も変化しないため、容量結合による不具合は無視できる程度である。
【００６５】
第４の期間５４においては、ＣＬＫ１がＬレベルとなり、第１の出力端子２６の電位が下降する。また、ＣＬＫ２およびＣＬＫ３がＨレベル、また、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＨレベルとなるためノードＢの電位が短時間で上昇する。その結果、第２のトランジスタ１０２および第４のトランジスタ１０４がオン状態となり、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位が短時間で下降する（図４（Ａ）参照）。また、第６のトランジスタ１０６がオン状態となるので、ノードＡの電位がＬレベルとなる。これにより、第１のトランジスタ１０１および第３のトランジスタ１０３がオフ状態となるので、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位はＬレベルとなる。
【００６６】
第５の期間５５においては、ＣＬＫ２がＬレベルとなり、第９のトランジスタ１０９がオフ状態になる。同時に第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＨレベルを保持することにより、ノードＢの電位が保持される。このため、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４および第６のトランジスタ１０６のオン状態が保持されて、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位がＬレベルに保持される（図４（Ｂ）参照）。
【００６７】
第６の期間５６においては、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＬレベルとなり、第８のトランジスタ１０８がオフ状態となる。このとき、ノードＢは、上述の電位を保持したまま浮遊状態となる。これにより、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４および第６のトランジスタ１０６のオン状態が継続する（図４（Ｃ）参照）。なお、ノードＢの電位は、通常、トランジスタのオフ電流等に起因して下降するが、十分にオフ電流が小さいトランジスタ（例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタ）を適用する場合には、このような問題は生じない。また、ノードＢの電位の下降を緩和するために、容量素子を設けても良い。
【００６８】
なお、その後の期間において、ＣＬＫ２とＣＬＫ３とが共にＨレベルとなる場合には、第９のトランジスタ１０９と第１１のトランジスタ１１１がオン状態となり、定期的にノードＢに電位が与えられる。このため、オフ電流の比較的大きなトランジスタを用いる場合であっても、パルス信号出力回路の誤動作を防止できる。
【００６９】
本実施の形態において示すシフトレジスタおよびパルス信号出力回路では、第１のトランジスタ１０１にはクロック信号を与え、第３のトランジスタ１０３にはＶＤＤを与えている。これにより、第２の出力端子２７を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。第２の出力端子２７は、例えば表示装置などでは、各画素に信号を出力する端子となる。つまり、第２の出力端子２７には、電気素子が多数付加されることがあり、十分な電流駆動能力が必要になる。このため、第２の出力端子２７を構成するトランジスタ（ここでは、第３のトランジスタ１０３）のサイズ（具体的にはチャネル幅Ｗ、または、チャネル幅Ｗとチャネル長Ｌとの比Ｗ／Ｌ）を大きくする必要が生じるが、このような状況では、クロック信号の入力による消費電力は無視できない大きさとなってしまう。そこで、第２の出力端子２７を構成するトランジスタには、クロック信号に代えて固定電位を与えることで、クロック信号の入力によるトランジスタの充放電を行わない構成とする。これによって、消費電力を十分に抑制することができる。
【００７０】
また、第３のトランジスタ１０３にＶＤＤを与えることにより、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。これらの効果は、パルス信号出力回路の出力端子に電気素子が多数付加されるような状況や、駆動周波数が高くなる状況において、特に有効である。これによって、大きな負荷がかかる場合においても高速動作が実現可能である。また、負荷に起因する動作の不具合を低減し、動作の安定化を図ることができる。
【００７１】
なお、本実施の形態において示すシフトレジスタは、第ｍのパルス信号出力回路から出力されるパルスと第（ｍ＋１）のパルス信号出力回路から出力されるパルスが半分重なる駆動方法を採用している。このため、当該駆動方法を採用しない場合と比較して、配線の充電に使用できる時間を長くすることができる。つまり、当該駆動方法によって、大きな負荷に耐え、高い周波数で動作するパルス信号出力回路が提供される。
【００７２】
（実施の形態２）
本実施の形態では、先の実施の形態において示したパルス信号出力回路、およびシフトレジスタとは異なる態様の構成例およびその動作に関して図５乃至図８を参照して説明する。
【００７３】
〈回路構成〉
はじめに、パルス信号出力回路、およびパルス信号出力回路を含むシフトレジスタの回路構成例について図５を参照して説明する。
【００７４】
本実施の形態で示すシフトレジスタの構成は、先の実施の形態において示したシフトレジスタの構成に近似している。相違点の一は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎは、第３の入力端子２３を有しない点である（図５（Ａ）乃至図５（Ｃ）参照）。つまり、一のパルス信号出力回路には、二種類のクロック信号が入力される。その他の構成については先の実施の形態と同様である。
【００７５】
第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎは、第３の入力端子２３を有しないため、これと接続される第１１のトランジスタを有しない（図５（Ｃ）参照）。そして、これに伴い、第２の入力信号生成回路内の接続関係が一部変更されている。
【００７６】
第２の入力信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００７７】
第９のトランジスタ１０９の第２の端子と、第８のトランジスタ１０８の第２の端子と、第１０のトランジスタ１１０の第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能する。
【００７８】
第８のトランジスタ１０８の第１の端子と、第９のトランジスタ１０９の第１の端子には、第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられる。第１０のトランジスタ１１０の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられる。第８のトランジスタ１０８のゲート端子にはパルス信号が入力される。また、第８のトランジスタ１０８のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第１の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第５の入力端子２５としても機能する。第９のトランジスタ１０９のゲート端子には第２のクロック信号が入力される。また、第９のトランジスタ１０９のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第２の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第２の入力端子２２としても機能する。第１０のトランジスタ１１０のゲート端子にはパルス信号が入力される。また、第１０のトランジスタ１１０のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第３の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第４の入力端子２４としても機能する。
【００７９】
なお、上述した構成は一例にすぎず、開示する発明がこれに限定されるものではない。
【００８０】
本実施の形態の以下の説明では、先の実施の形態と同様、図５（Ｃ）に示すパルス信号出力回路において第１のトランジスタ１０１のゲート端子と、第３のトランジスタ１０３のゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＡとする。また、第９のトランジスタ１０９の第２の端子と、第８のトランジスタ１０８の第２の端子と、第１０のトランジスタ１１０の第１の端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＢとする。
【００８１】
上記ノードＡと第１の出力端子２６との間には、ブートストラップ動作を好適に行うための容量素子を設けても良い。また、上記ノードＢの電位を保持するために、ノードＢに電気的に接続された容量素子を設けてもよい。
【００８２】
なお、第１のトランジスタ１０１〜第１０のトランジスタ１１０には、酸化物半導体を用いるのが好適である。酸化物半導体を用いることにより、トランジスタのオフ電流を低減することができる。また、非晶質シリコンなどと比較して、オン電流および電界効果移動度を高めることが出来る。また、トランジスタの劣化を抑制することができる。これにより、消費電力が小さく、高速動作が可能で、動作の正確性が高められた電子回路が実現する。なお、酸化物半導体を用いたトランジスタについては後の実施の形態において詳述するから、ここでは省略する。
【００８３】
〈動作〉
次に、図５に示すシフトレジスタの動作について図６乃至図８を参照して説明する。具体的には、図６に示すタイミングチャート中の、第１の期間５１〜第５の期間５５の各期間における動作を、図７および図８を用いて説明する。タイミングチャート中、ＣＬＫ１〜ＣＬＫ４はそれぞれクロック信号を示し、ＳＰ１は第１のスタートパルスを示し、ＯＵＴ１〜ＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第２の出力端子からの出力を示し、ノードＡおよびノードＢはそれぞれノードＡおよびノードＢの電位を示し、ＳＲＯＵＴ１〜ＳＲＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第１の出力端子からの出力を示す。
【００８４】
なお、以下の説明において、第１のトランジスタ１０１〜第１０のトランジスタ１１０は、全てｎチャネル型のトランジスタであるものとする。また、図７および図８において、トランジスタが実線で表現されている場合には、当該トランジスタが導通状態（オン状態）にあることを表し、破線で表現されている場合には、当該トランジスタが非導通状態（オフ状態）にあることを表すものとする。
【００８５】
代表的に、第１のパルス信号出力回路１０＿１の動作について説明する。第１のパルス信号出力回路１０＿１の構成は、上述の通りである。また、入力される各信号、供給される各電位の関係も上述の通りである。なお、以下の説明では、各入力端子および各電源線に与えられる高電位（Ｈレベル、Ｈ信号などとも呼ぶ）は全てＶＤＤとし、低電位（Ｌレベル、Ｌ信号などとも呼ぶ）は全てＶＳＳとする。
【００８６】
第１の期間５１において、ＳＰ１がＨレベルであるから、第１のパルス信号出力回路１０＿１の第４の入力端子２４として機能する第５のトランジスタ１０５のゲート端子と第１０のトランジスタ１１０のゲート端子に高電位が与えられ、第５のトランジスタ１０５と第１０のトランジスタ１１０は導通状態になる。また、第７のトランジスタ１０７のゲート端子には高電位が与えられているため、第７のトランジスタ１０７もオン状態となる（図７（Ａ）参照）。
【００８７】
第５のトランジスタ１０５と第７のトランジスタ１０７がオン状態となることにより、ノードＡの電位は上昇する。また、第１０のトランジスタ１１０がオン状態となることにより、ノードＢの電位は下降する。ノードＡの電位がＶＡＨ（＝ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０５−Ｖｔｈ１０７）にまで達すると、第５のトランジスタ１０５および第７のトランジスタ１０７がオフ状態となり、ノードＡは、ＶＡＨを維持したまま浮遊状態となる。
【００８８】
ノードＡの電位がＶＡＨになると、第１のトランジスタ１０１および第３のトランジスタ１０３がオン状態となる。ここで、ＣＬＫ１はＬレベルであるため、第１の出力端子２６からはＬレベルが出力される。一方で、第２の出力端子２７からは、ＶＡＨに応じた信号Ｈ’が出力される。
【００８９】
第２の期間５２においては、ＣＬＫ１がＬレベルからＨレベルに切り替わる。ここで、第１のトランジスタ１０１はオン状態であるため、第１の出力端子２６の電位が上昇する。第１のトランジスタ１０１のゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）との間には容量が存在し、これによってゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）とが容量結合されているため、第１の出力端子２６の電位の上昇と共に、浮遊状態であるノードＡの電位が上昇することになる（ブートストラップ動作）。ノードＡの電位は最終的にＶＤＤ＋Ｖｔｈ１０１より高くなり、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＶＤＤ（Ｈレベル）となる（図６および図７（Ｂ）参照）。
【００９０】
第３の期間５３においては、ＣＬＫ２がＨレベルとなり、第９のトランジスタ１０９がオン状態となる。これにより、ノードＢの電位が上昇する。ノードＢの電位の上昇により、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４、および第６のトランジスタ１０６がオン状態となり、ノードＡの電位が下降する。このため、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＬレベルとなる（図７（Ｃ）参照）。
【００９１】
第４の期間５４においては、ＣＬＫ２がＬレベルとなり、第９のトランジスタ１０９がオフ状態となるが、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＨレベルとなるため、第８のトランジスタ１０８がオン状態となる。このため、ノードＡの電位とノードＢの電位は保持されて、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＬレベルに保持される（図８（Ａ）参照）。
【００９２】
第５の期間５５においては、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＬレベルとなり、ノードＢの電位が保持される。このため、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４および第６のトランジスタ１０６のオン状態が保持されて、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位がＬレベルに保持される（図８（Ｂ）参照）。
【００９３】
なお、ノードＢの電位は、通常、トランジスタのオフ電流等に起因して下降するが、十分にオフ電流が小さいトランジスタ（例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタ）を適用する場合には、このような問題は生じない。また、ノードＢの電位の下降を緩和するために、容量素子を設けても良い。
【００９４】
なお、その後の期間において、ＣＬＫ２がＨレベルとなる場合には、第９のトランジスタ１０９がオン状態となり、定期的にノードＢに電位が与えられる。このため、オフ電流の比較的大きなトランジスタを用いる場合であっても、パルス信号出力回路の誤動作を防止できる。
【００９５】
本実施の形態において示すシフトレジスタおよびパルス信号出力回路では、第１のトランジスタ１０１にはクロック信号を与え、第３のトランジスタ１０３にはＶＤＤを与えている。これにより、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。これは、パルス信号出力回路の出力端子に電気素子が多数付加されるような状況において、特に有効である。これによって、大きな負荷がかかる場合においても高速動作が実現可能である。また、負荷に起因する動作の不具合を低減し、動作の安定化を図ることができる。
【００９６】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【００９７】
（実施の形態３）
本実施の形態では、上記実施の形態で述べたパルス信号出力回路やシフトレジスタに適用できるトランジスタの例につき、図９を参照して説明する。なお、トランジスタの構造は特に限定されず、例えば、トップゲート構造またはボトムゲート構造、スタガ型またはプレーナ型など、適当な構造を採用することができる。また、トランジスタはチャネル形成領域を一つ有するシングルゲート構造でも、チャネル形成領域を二つ以上有するマルチゲート構造であっても良い。また、チャネル領域の上下にゲート絶縁層を介して配置された２つのゲート電極層を有する構造でもよい。
【００９８】
図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）には、トランジスタの断面構造の例を示す。図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）に示すトランジスタは、半導体として酸化物半導体を用いるものである。酸化物半導体を用いることのメリットは、簡単なプロセス、低温のプロセスで、高い移動度と低いオフ電流が実現できることといえる。
【００９９】
図９（Ａ）に示すトランジスタ４１０は、ボトムゲート構造のトランジスタの一例であり、逆スタガ型トランジスタともいう。
【０１００】
トランジスタ４１０は、絶縁表面を有する基板４００上の、ゲート電極層４０１、ゲート絶縁層４０２、酸化物半導体層４０３、ソース電極層４０５ａ、及びドレイン電極層４０５ｂを含む。また、酸化物半導体層４０３に接する絶縁層４０７が設けられている。絶縁層４０７上にはさらに保護絶縁層４０９が形成されている。
【０１０１】
図９（Ｂ）に示すトランジスタ４２０は、チャネル保護型（チャネルストップ型ともいう）と呼ばれるボトムゲート構造のトランジスタの一例であり、逆スタガ型トランジスタともいう。
【０１０２】
トランジスタ４２０は、絶縁表面を有する基板４００上の、ゲート電極層４０１、ゲート絶縁層４０２、酸化物半導体層４０３、チャネル保護層として機能する絶縁層４２７、ソース電極層４０５ａ、及びドレイン電極層４０５ｂを含む。また、保護絶縁層４０９が設けられている。
【０１０３】
図９（Ｃ）に示すトランジスタ４３０は、ボトムゲート型のトランジスタの一例である。トランジスタ４３０は、絶縁表面を有する基板４００上の、ゲート電極層４０１、ゲート絶縁層４０２、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ、及び酸化物半導体層４０３を含む。また、酸化物半導体層４０３に接する絶縁層４０７が設けられている。絶縁層４０７上にはさらに保護絶縁層４０９が形成されている。
【０１０４】
トランジスタ４３０においては、ゲート絶縁層４０２は基板４００及びゲート電極層４０１上に接して設けられ、また、ゲート絶縁層４０２上には、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂが接して設けられている。そして、ゲート絶縁層４０２、及びソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ上に酸化物半導体層４０３が設けられている。
【０１０５】
図９（Ｄ）に示すトランジスタ４４０は、トップゲート構造のトランジスタの一例である。トランジスタ４４０は、絶縁表面を有する基板４００上の、絶縁層４３７、酸化物半導体層４０３、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ、ゲート絶縁層４０２、及びゲート電極層４０１を含む。そして、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂにそれぞれ配線層４３６ａ、配線層４３６ｂが接して設けられている。
【０１０６】
酸化物半導体としては、少なくともＩｎ、Ｇａ、Ｓｎ及びＺｎから選ばれた一種以上の元素を含有する。例えば、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体や、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体や、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｚｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体や、Ｉｎ−Ｇａ−Ｏ系の材料、一元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体などを用いることができる。また、上記酸化物半導体にＳｉＯ２を添加してもよい。例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体とは、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）を含む酸化物半導体という意味であり、その組成比は問わない。
【０１０７】
また、酸化物半導体層は、化学式ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０）で表記される薄膜を用いることができる。ここで、Ｍは、Ｚｎ、Ｇａ、Ａｌ、ＭｎおよびＣｏから選ばれた一または複数の金属元素を示す。例えば、Ｍとしては、Ｇａ、Ｇａ及びＡｌ、Ｇａ及びＭｎ、またはＧａ及びＣｏなどがある。
【０１０８】
また、酸化物半導体としてＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系の材料を用いる場合、用いるターゲットの組成比は、原子数比で、Ｉｎ：Ｚｎ＝５０：１〜１：２（モル比に換算するとＩｎ２Ｏ３：ＺｎＯ＝２５：１〜１：４）、好ましくはＩｎ：Ｚｎ＝２０：１〜１：１（モル比に換算するとＩｎ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１０：１〜１：２）、さらに好ましくはＩｎ：Ｚｎ＝１５：１〜１．５：１（モル比に換算するとＩｎ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１５：２〜３：４）とする。例えば、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体の形成に用いるターゲットは、原子数比がＩｎ：Ｚｎ：Ｏ＝Ｘ：Ｙ：Ｚのとき、Ｚ＞１．５Ｘ＋Ｙとする。
【０１０９】
酸化物半導体層４０３を用いたトランジスタ４１０、トランジスタ４２０、トランジスタ４３０、トランジスタ４４０は、オフ電流を極めて小さくすることが可能である。よって、これをパルス信号出力回路やシフトレジスタに用いることで、各ノードの電位保持が容易になり、パルス信号出力回路やシフトレジスタの誤動作の確率を極めて低く抑えることができる。
【０１１０】
絶縁表面を有する基板４００に使用することができる基板に大きな制限はない。例えば、液晶表示装置などに用いられるガラス基板や、石英基板などを用いることができる。また、シリコンウェハ上に絶縁層を形成した基板などを用いても良い。
【０１１１】
ボトムゲート構造のトランジスタ４１０、トランジスタ４２０、トランジスタ４３０において、下地となる絶縁層を基板とゲート電極層の間に設けてもよい。当該絶縁層は、基板からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜により形成することができる。
【０１１２】
ゲート電極層４０１は、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金材料を用いて形成することができる。また、その構造は、単層構造としても良いし、積層構造としても良い。
【０１１３】
ゲート絶縁層４０２は、プラズマＣＶＤ法やスパッタ法などを用いて、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などから選ばれた一又は複数の膜により形成することができる。例えば、第１のゲート絶縁層としてプラズマＣＶＤ法により膜厚５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の窒化シリコン膜（ＳｉＮｙ（ｙ＞０））を形成し、第１のゲート絶縁層上に第２のゲート絶縁層としてスパッタ法により膜厚５ｎｍ以上３００ｎｍ以下の酸化シリコン膜（ＳｉＯｘ（ｘ＞０））を形成して、合計膜厚３００ｎｍ程度のゲート絶縁層とすることができる。
【０１１４】
ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂは、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金材料を用いて形成することができる。例えば、アルミニウムや銅などの金属層と、チタン、モリブデン、タングステンなどの高融点金属層との積層構造とすることができる。ヒロックやウィスカーの発生を防止する元素（シリコン、ネオジム、スカンジウムなど）が添加されたアルミニウム材料を用いることで耐熱性を向上させても良い。
【０１１５】
また、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ（これと同じ層で形成される配線層を含む）となる導電膜として、導電性の金属酸化物膜を用いても良い。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウム酸化スズ合金（Ｉｎ２Ｏ３―ＳｎＯ２、ＩＴＯと略記する場合がある）、酸化インジウム酸化亜鉛合金（Ｉｎ２Ｏ３―ＺｎＯ）またはこれらの金属酸化物材料に酸化シリコンを含ませたもの、などを用いることができる。
【０１１６】
ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂに接する配線層４３６ａ、配線層４３６ｂについては、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂと同様の材料を用いて形成することができる。
【０１１７】
絶縁層４０７、絶縁層４２７、絶縁層４３７としては、代表的には酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
【０１１８】
保護絶縁層４０９としては、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、窒化酸化シリコン膜、窒化酸化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
【０１１９】
また、保護絶縁層４０９上には、トランジスタ起因の表面凹凸を低減するための平坦化絶縁膜を形成してもよい。平坦化絶縁膜としては、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン等の有機材料を用いることができる。また、上記有機材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させることで、平坦化絶縁膜を形成してもよい。
【０１２０】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１２１】
（実施の形態４）
本実施の形態では、酸化物半導体層を含むトランジスタ、およびその作製方法の一例を、図１０を用いて詳細に説明する。
【０１２２】
図１０（Ａ）乃至図１０（Ｅ）は、トランジスタの作製工程にかかる断面図である。なお、ここで示すトランジスタ５１０は、図９（Ａ）に示すトランジスタ４１０と同様の逆スタガ型トランジスタである。
【０１２３】
本実施の形態の半導体層に用いる酸化物半導体は、ｎ型不純物である水素を酸化物半導体から除去し、酸化物半導体の主成分以外に不純物が極力含まれないように高純度化することによりｉ型（真性）の酸化物半導体、又はｉ型（真性）に限りなく近い酸化物半導体としたものである。
【０１２４】
なお、高純度化された酸化物半導体中ではキャリアが極めて少なく、キャリア濃度は１×１０１４／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１２／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１１／ｃｍ３未満となる。また、このようにキャリアが少ないことで、オフ状態における電流（オフ電流）は十分に小さくなる。
【０１２５】
具体的には、上述の酸化物半導体層を具備するトランジスタでは、室温（２５℃）におけるチャネル幅１μｍあたりのオフ電流密度を、トランジスタのチャネル長Ｌが１０μｍ、トランジスタのソース−ドレイン間の電圧が３Ｖの条件において、１００ｚＡ／μｍ（１×１０−１９Ａ／μｍ）以下、さらには１０ｚＡ／μｍ（１×１０−２０Ａ／μｍ）以下にすることが可能である。
【０１２６】
また、高純度化された酸化物半導体層を具備するトランジスタ５１０は、オン電流の温度依存性がほとんど見られず、オフ電流も非常に小さいままである。
【０１２７】
以下、図１０（Ａ）乃至図１０（Ｅ）を用い、基板５０５上にトランジスタ５１０を作製する工程を説明する。
【０１２８】
まず、絶縁表面を有する基板５０５上に導電膜を形成した後、第１のフォトリソグラフィ工程によりゲート電極層５１１を形成する。なお、当該フォトリソグラフィ工程に用いるレジストマスクは、インクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。
【０１２９】
絶縁表面を有する基板５０５には、上記実施の形態における基板４００と同様の基板を用いることができる。本実施の形態では基板５０５としてガラス基板を用いる。
【０１３０】
なお、下地となる絶縁層を基板５０５とゲート電極層５１１との間に設けてもよい。当該絶縁層には、基板５０５からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜などから選ばれた一または複数の膜により形成することができる。
【０１３１】
また、ゲート電極層５１１は、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金材料を用いて形成することができる。また、その構造は、単層構造としても良いし、積層構造としても良い。
【０１３２】
次いで、ゲート電極層５１１上にゲート絶縁層５０７を形成する。ゲート絶縁層５０７は、プラズマＣＶＤ法やスパッタ法などを用いて形成することができる。また、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などから選ばれた一又は複数の膜により形成することができる。
【０１３３】
なお、ゲート絶縁層５０７、酸化物半導体膜５３０に水素、水酸基及び水分がなるべく含まれないようにするために、酸化物半導体膜５３０の成膜の前処理として、スパッタ装置の予備加熱室でゲート電極層５１１が形成された基板５０５、またはゲート絶縁層５０７までが形成された基板５０５を予備加熱し、基板５０５に吸着している水素、水分などの不純物を脱離させることが好ましい。また、予備加熱室に設ける排気手段は、クライオポンプを用いることが好ましい。また、当該予備加熱は、ソース電極層５１５ａ及びドレイン電極層５１５ｂまで形成した基板５０５に対して行っても良い。なお、この予備加熱の処理は省略することもできる。
【０１３４】
次いで、ゲート絶縁層５０７上に、膜厚２ｎｍ以上２００ｎｍ以下、好ましくは５ｎｍ以上３０ｎｍ以下の酸化物半導体膜５３０を形成する（図１０（Ａ）参照）。
【０１３５】
酸化物半導体膜５３０には、上記実施の形態に示した四元系金属酸化物、三元系金属酸化物、二元系金属酸化物、単元系金属酸化物を用いることができる。
【０１３６】
酸化物半導体膜５３０をスパッタ法で作製するためのターゲットとしては、特に、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：ｘ：ｙ（ｘは０以上、ｙは０．５以上５以下）の組成比で表されるものを用いるのが好適である。例えば、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：２［ｍｏｌ比］（ｘ＝１、ｙ＝１）の組成比を有するターゲットなどを用いることができる。また、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：１［ｍｏｌ比］（ｘ＝１、ｙ＝０．５）の組成比を有するターゲットや、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：４［ｍｏｌ比］（ｘ＝１、ｙ＝２）の組成比を有するターゲットや、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：０：２［ｍｏｌ比］（ｘ＝０、ｙ＝１）の組成比を有するターゲットを用いることもできる。
【０１３７】
本実施の形態では、非晶質構造の酸化物半導体層を、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の酸化物半導体成膜用ターゲットを用いるスパッタ法により形成することとする。
【０１３８】
酸化物半導体成膜用ターゲット中の金属酸化物の相対密度は８０％以上、好ましくは９５％以上、さらに好ましくは９９．９％以上とする。相対密度の高い酸化物半導体成膜用ターゲットを用いることにより、緻密な構造の酸化物半導体層を形成することが可能である。
【０１３９】
酸化物半導体膜５３０の形成雰囲気は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気、酸素雰囲気、または、希ガス（代表的にはアルゴン）と酸素との混合雰囲気とするのが好適である。具体的には、例えば、水素、水、水酸基、水素化物などの不純物が、濃度１ｐｐｍ以下（望ましくは濃度１０ｐｐｂ以下）にまで除去された高純度ガス雰囲気を用いるのが好適である。
【０１４０】
酸化物半導体膜５３０の形成の際には、例えば、減圧状態に保持された処理室内に被処理物を保持し、被処理物の温度が１００℃以上５５０℃未満、好ましくは２００℃以上４００℃以下となるように被処理物を熱する。または、酸化物半導体膜５３０の形成の際の被処理物の温度は、室温（２５℃±１０℃）としてもよい。そして、処理室内の水分を除去しつつ、水素や水などが除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用いて酸化物半導体膜５３０を形成する。被処理物を熱しながら酸化物半導体膜５３０を形成することにより、酸化物半導体層に含まれる不純物を低減することができる。また、スパッタによる酸化物半導体膜５３０の損傷を軽減することができる。処理室内の水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプを用いることが好ましい。例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプなどを用いることができる。また、ターボポンプにコールドトラップを加えたものを用いてもよい。クライオポンプなどを用いて排気することで、処理室から水素や水などを除去することができるため、酸化物半導体膜５３０中の不純物濃度を低減できる。
【０１４１】
酸化物半導体膜５３０の形成条件としては、例えば、被処理物とターゲットの間との距離が１７０ｍｍ、圧力が０．４Ｐａ、直流（ＤＣ）電力が０．５ｋＷ、雰囲気が酸素（酸素１００％）雰囲気、またはアルゴン（アルゴン１００％）雰囲気、または酸素とアルゴンの混合雰囲気、といった条件を適用することができる。なお、パルス直流（ＤＣ）電源を用いると、成膜時に発生する粉状物質（パーティクル、ゴミともいう）が軽減でき、膜厚のばらつきも小さくなるため好ましい。酸化物半導体膜５３０の厚さは、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下、好ましくは１ｎｍ以上３０ｎｍ以下、より好ましくは１ｎｍ以上１０ｎｍ以下とする。このような厚さの酸化物半導体膜５３０を用いることで、微細化に伴う短チャネル効果を抑制することが可能である。ただし、適用する酸化物半導体材料や、半導体装置の用途などにより適切な厚さは異なるから、その厚さは、用いる材料や用途などに応じて選択することもできる。
【０１４２】
なお、酸化物半導体膜５３０をスパッタ法により形成する前には、アルゴンガスを導入してプラズマを発生させる逆スパッタを行い、形成表面（例えばゲート絶縁層５０７の表面）の付着物を除去するのが好適である。ここで、逆スパッタとは、通常のスパッタにおいては、スパッタターゲットにイオンを衝突させるところを、逆に、処理表面にイオンを衝突させることによってその表面を改質する方法のことをいう。処理表面にイオンを衝突させる方法としては、アルゴン雰囲気下で処理表面側に高周波電圧を印加して、被処理物付近にプラズマを生成する方法などがある。なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素雰囲気、ヘリウム雰囲気、酸素雰囲気などによる雰囲気を適用してもよい。
【０１４３】
次いで、酸化物半導体膜５３０を第２のフォトリソグラフィ工程により島状の酸化物半導体層に加工する。なお、当該フォトリソグラフィ工程に用いるレジストマスクは、インクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。
【０１４４】
なお、ゲート絶縁層５０７にコンタクトホールを形成する場合、その工程は酸化物半導体膜５３０の加工と同時に行うことができる。
【０１４５】
酸化物半導体膜５３０のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。例えば、酸化物半導体膜５３０のウェットエッチングに用いるエッチング液としては、燐酸と酢酸と硝酸とを混合させた溶液などを用いることができる。また、ＩＴＯ０７Ｎ（関東化学社製）を用いてもよい。
【０１４６】
その後、酸化物半導体層に対して、熱処理（第１の熱処理）を行い、酸化物半導体層５３１を得る（図１０（Ｂ）参照）。この第１の熱処理によって酸化物半導体層中の過剰な水素（水や水酸基を含む）を除去し、酸化物半導体層の構造を整え、エネルギーギャップ中の欠陥準位を低減することができる。第１の熱処理の温度は、例えば、３００℃以上５５０℃未満、または４００℃以上５００℃以下とする。
【０１４７】
第１の熱処理は、例えば、抵抗発熱体などを用いた電気炉に被処理物を導入し、窒素雰囲気下、４５０℃、１時間の条件で行うことができる。この間、酸化物半導体層は大気に触れないようにし、水や水素の混入が生じないようにする。
【０１４８】
熱処理装置は電気炉に限られず、加熱されたガスなどの媒体からの熱伝導、または熱輻射によって、被処理物を加熱する装置を用いても良い。例えば、ＬＲＴＡ（Ｌａｍｐ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置、ＧＲＴＡ（Ｇａｓ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置等のＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置を用いることができる。ＬＲＴＡ装置とは、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀ランプなどのランプから発する光（電磁波）の輻射により、被処理物を加熱する装置である。ＧＲＴＡ装置とは、高温のガスを用いて熱処理を行う装置である。ガスとしては、アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、熱処理によって被処理物と反応しない不活性気体が用いられる。
【０１４９】
例えば、第１の熱処理として、熱せられた不活性ガス雰囲気中に被処理物を投入し、数分間熱した後、当該不活性ガス雰囲気から被処理物を取り出すＧＲＴＡ処理を行ってもよい。ＧＲＴＡ処理を用いると短時間での高温熱処理が可能となる。また、被処理物の耐熱温度を超える温度条件であっても適用が可能となる。なお、処理中に、不活性ガスを、酸素を含むガスに切り替えても良い。酸素を含む雰囲気において第１の熱処理を行うことで、酸素欠損に起因するエネルギーギャップ中の欠陥準位を低減することができるためである。
【０１５０】
なお、不活性ガス雰囲気としては、窒素、または希ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン等）を主成分とする雰囲気であって、水、水素などが含まれない雰囲気を適用するのが望ましい。例えば、熱処理装置に導入する窒素や、ヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以上、好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上（すなわち、不純物濃度が１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とする。
【０１５１】
いずれにしても、第１の熱処理によって不純物を低減し、ｉ型（真性）半導体またはｉ型に限りなく近い酸化物半導体層を形成することで、極めて優れた特性のトランジスタを実現することができる。
【０１５２】
ところで、上述の熱処理（第１の熱処理）には水素や水などを除去する効果があるから、当該熱処理を、脱水化処理や、脱水素化処理などと呼ぶこともできる。当該脱水化処理や、脱水素化処理は、酸化物半導体膜５３０の形成後、島状の酸化物半導体層に加工する前において行うことも可能である。また、このような脱水化処理、脱水素化処理は、一回に限らず複数回行っても良い。
【０１５３】
なお、第１の加熱処理は、上記以外に、ソース電極層及びドレイン電極層を形成した後、ソース電極層及びドレイン電極層上に絶縁層を形成した後、などのタイミングにおいて行うことができる。
【０１５４】
次いで、ゲート絶縁層５０７、及び酸化物半導体層５３１上に、ソース電極層及びドレイン電極層（これと同じ層で形成される配線を含む）となる導電膜を形成する。ソース電極層、及びドレイン電極層に用いる導電膜としては、上記実施の形態において示した材料を用いることができる。
【０１５５】
第３のフォトリソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行ってソース電極層５１５ａ、ドレイン電極層５１５ｂを形成した後、レジストマスクを除去する（図１０（Ｃ）参照）。
【０１５６】
第３のフォトリソグラフィ工程でのレジストマスク形成時の露光には、紫外線やＫｒＦレーザ光やＡｒＦレーザ光を用いるとよい。なお、トランジスタのチャネル長（Ｌ）は、ソース電極層とドレイン電極層の間隔によって決定される。このため、チャネル長（Ｌ）が２５ｎｍ未満のトランジスタの作製に用いるマスク形成時の露光には、数ｎｍ〜数１０ｎｍと波長の短い超紫外線（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）を用いるのが望ましい。超紫外線による露光は、解像度が高く焦点深度も大きい。従って、後に形成されるトランジスタのチャネル長（Ｌ）を、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ（１μｍ）以下とすることも可能であり、回路の動作速度を高めることが可能である。また、微細化によって、半導体装置の消費電力を低減することも可能である。
【０１５７】
また、フォトリソグラフィ工程で用いるフォトマスク数及び工程数を削減するため、多階調マスクによって形成されたレジストマスクを用いてエッチング工程を行ってもよい。多階調マスクを用いて形成されたレジストマスクは異なる厚さの領域を有し、エッチングを行うことでさらに形状を変形することができるため、異なるパターンに加工するための複数のエッチング工程に用いることができる。よって、一枚の多階調マスクによって、少なくとも二種類以上の異なるパターンに対応するレジストマスクを形成することができる。これにより、露光マスク数を削減することができ、対応するフォトリソグラフィ工程も削減できるため、工程の簡略化が可能となる。
【０１５８】
なお、導電膜のエッチングの際には、酸化物半導体層５３１がエッチングにより分断されることのないように、エッチング条件を最適化することが望まれる。しかしながら、導電膜のみをエッチングし、酸化物半導体層５３１を全くエッチングしないという条件を得ることは難しく、導電膜のエッチングの際に、酸化物半導体層５３１の一部がエッチングされ溝部（凹部）が形成されることもある。
【０１５９】
導電膜のエッチングには、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれを用いても良い。なお、素子の微細化という観点からはドライエッチングを用いるのが好適である。エッチングガスやエッチング液については被エッチング材料に応じて適宜選択することができる。本実施の形態では、導電膜としてチタン膜を用い、酸化物半導体層５３１にはＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の材料を用いているため、例えばウェットエッチングを適用する場合には、エッチャントとしてアンモニア過水（アンモニア、水、過酸化水素水の混合液）を用いることができる。
【０１６０】
次いで、Ｎ２Ｏ、Ｎ２、またはＡｒなどのガスを用いたプラズマ処理を行い、露出している酸化物半導体層の表面に付着した水素や水などを除去するのが望ましい。当該プラズマ処理を行う場合は、処理後、大気に触れない条件で、保護絶縁膜となる絶縁層５１６を形成する。
【０１６１】
絶縁層５１６は、少なくとも１ｎｍ以上の膜厚とし、スパッタ法など、絶縁層５１６に水や水素等の不純物を混入させない方法を用いて形成することが望ましい。絶縁層５１６に水素が含まれると、その水素の酸化物半導体層への侵入や、水素による酸化物半導体層中の酸素の引き抜きなどが生じ、酸化物半導体層のバックチャネルが低抵抗化（ｎ型化）して寄生チャネルが形成されるおそれがあるからである。また、絶縁層５１６には、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などを用いるのが望ましい。
【０１６２】
本実施の形態では、絶縁層５１６として膜厚２００ｎｍの酸化シリコン膜を、スパッタ法を用いて成膜する。成膜時の基板温度は、室温（２５℃）以上３００℃以下とすればよく、本実施の形態では１００℃とする。酸化シリコン膜のスパッタ法による成膜は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気下、酸素雰囲気下、または希ガスと酸素の混合雰囲気下において行うことができる。また、ターゲットとして酸化シリコンターゲットまたはシリコンターゲットを用いることができる。
【０１６３】
酸化物半導体膜５３０の成膜時と同様に、絶縁層５１６の成膜室内の残留水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプ（クライオポンプなど）を用いることが好ましい。クライオポンプを用いて排気した成膜室で成膜することにより、絶縁層５１６に含まれる不純物の濃度を低減できる。また、絶縁層５１６の成膜室内の残留水分を除去するための排気手段として、ターボポンプにコールドトラップを加えたものを用いても良い。
【０１６４】
絶縁層５１６の成膜に用いるスパッタガスは、水素や水などの不純物が除去された高純度ガスであることが望ましい。
【０１６５】
次いで、不活性ガス雰囲気下、または酸素雰囲気下で第２の熱処理を行う。第２の熱処理の温度は、２００℃以上４５０℃以下、望ましくは２５０℃以上３５０℃以下とする。例えば、窒素雰囲気下で２５０℃、１時間の熱処理を行えばよい。第２の熱処理を行うことによって、トランジスタの電気的特性のばらつきを軽減することができる。また、絶縁層５１６から酸化物半導体層５３１への酸素の供給により、該酸化物半導体層５３１の酸素欠損を補填して、ｉ型（真性）半導体またはｉ型半導体に限りなく近い酸化物半導体層を形成することもできる。
【０１６６】
なお、本実施の形態では、絶縁層５１６の形成後に第２の熱処理を行っているが、第２の熱処理のタイミングはこれに限定されない。例えば、第１の熱処理に続けて第２の熱処理を行っても良いし、第１の熱処理に第２の熱処理を兼ねさせても良い。
【０１６７】
上述のように、第１の熱処理および第２の熱処理によって、酸化物半導体層５３１を、その主成分以外に不純物が極力含まれないように高純度化し、ｉ型（真性）化することができる。
【０１６８】
以上の工程でトランジスタ５１０が形成される（図１０（Ｄ）参照）。
【０１６９】
なお、絶縁層５１６上には、さらに保護絶縁層５０６を形成するのが望ましい（図１０（Ｅ）参照）。保護絶縁層５０６は、水素や水などの、外部からの侵入を防止する。保護絶縁層５０６としては、例えば、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜などを用いることができる。成膜方法は特に限定されないが、ＲＦスパッタ法は量産性がよいため、保護絶縁層５０６の成膜方法として適している。
【０１７０】
なお、保護絶縁層５０６の形成後には、さらに、大気中、１００℃以上２００℃以下、１時間以上３０時間以下の条件で、熱処理を行ってもよい。
【０１７１】
このように、本実施の形態を用いて作製した、高純度化された酸化物半導体層を含むトランジスタは、オフ電流が極めて小さいという特徴を有している。このため、これを用いることにより、ノードの電位保持が容易になる。よって、これをパルス信号出力回路やシフトレジスタに用いることで、パルス信号出力回路やシフトレジスタの誤動作の確率を極めて低く抑えることができる。
【０１７２】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１７３】
（実施の形態５）
上記実施の形態１または実施の形態２で一例を示したシフトレジスタを用いて、表示機能を有する半導体装置（表示装置ともいう）を作製することができる。また、駆動回路の一部または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができる。
【０１７４】
表示装置に用いる表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう）、発光素子（発光表示素子ともいう）を適用することができる。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、有機ＥＬ等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
【０１７５】
図１１（Ａ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２を囲むようにして、シール材４００５が設けられ、第２の基板４００６によって封止されている。図１１（Ａ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に走査線駆動回路４００４、信号線駆動回路４００３が実装されている。また別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）４０１８ａ、ＦＰＣ４０１８ｂから供給されている。
【０１７６】
図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とを囲むようにして、シール材４００５が設けられている。また画素部４００２と、走査線駆動回路４００４の上に第２の基板４００６が設けられている。よって画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とは、第１の基板４００１とシール材４００５と第２の基板４００６とによって、表示素子と共に封止されている。図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に信号線駆動回路４００３が実装されている。図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）においては、別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ４０１８から供給されている。
【０１７７】
また図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）においては、信号線駆動回路４００３を別途形成し、第１の基板４００１に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを別途形成して実装しても良い。
【０１７８】
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）方法、ワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方法などを用いることができる。図１１（Ａ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３、走査線駆動回路４００４を実装する例であり、図１１（Ｂ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例であり、図１１（Ｃ）は、ＴＡＢ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例である。
【０１７９】
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むＩＣ等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
【０１８０】
なお、本明細書中における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光源（照明装置含む）を指す。また、コネクター、例えばＦＰＣもしくはＴＡＢテープもしくはＴＣＰが取り付けられたモジュール、ＴＡＢテープやＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または表示素子にＣＯＧ方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０１８１】
また、第１の基板上に設けられた画素部は、トランジスタを複数有しており、該トランジスタとして、先の実施の形態で例示したトランジスタを適用してもよい。
【０１８２】
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
【０１８３】
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために５重量％以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶層に用いると良い。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が１ｍｓｅｃ以下と短く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理が不要となる。このため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。よって液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。
【０１８４】
また、液晶材料の固有抵抗は、１×１０９Ω・ｃｍ以上であり、好ましくは１×１０１１Ω・ｃｍ以上であり、さらに好ましくは１×１０１２Ω・ｃｍ以上である。なお、本明細書における固有抵抗の値は、２０℃で測定した値とする。
【０１８５】
液晶表示装置に設けられる保持容量の大きさは、画素部に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。保持容量の大きさは、トランジスタのオフ電流等を考慮して設定すればよい。
【０１８６】
液晶表示装置には、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ Ｆｉｅｌｄ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ ａｌｉｇｎｅｄ Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モードなどを用いる。
【０１８７】
また、ノーマリーブラック型の液晶表示装置、例えば垂直配向（ＶＡ）モードを採用した透過型の液晶表示装置としてもよい。垂直配向モードとしては、いくつか挙げられるが、例えば、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−Ｄｏｍａｉｎ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＶモードなどを用いることができる。
【０１８８】
また、ＶＡ型の液晶表示装置にも適用することができる。ＶＡ型の液晶表示装置とは、液晶表示パネルの液晶分子の配列を制御する方式の一種である。ＶＡ型の液晶表示装置は、電圧が印加されていないときにパネル面に対して液晶分子が垂直方向を向く方式である。また、画素（ピクセル）をいくつかの領域（サブピクセル）に分け、それぞれ別の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計といわれる方法を用いることができる。
【０１８９】
また、表示装置において、ブラックマトリクス（遮光層）、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用いてもよい。
【０１９０】
また、画素部における表示方式は、プログレッシブ方式やインターレース方式等を用いることができる。また、カラー表示する際に画素で制御する色要素としては、ＲＧＢ（Ｒは赤、Ｇは緑、Ｂは青を表す）の三色に限定されない。例えば、ＲＧＢＷ（Ｗは白を表す）、又はＲＧＢに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加したものがある。なお、色要素のドット毎にその表示領域の大きさが異なっていてもよい。ただし、開示する発明は、カラー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することもできる。
【０１９１】
また、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機ＥＬ素子、後者は無機ＥＬ素子と呼ばれている。
【０１９２】
有機ＥＬ素子では、発光素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャリア（電子および正孔）が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。当該メカニズムから、このような発光素子は電流励起型の発光素子と呼ばれる。
【０１９３】
無機ＥＬ素子は、その素子構成により、分散型無機ＥＬ素子と薄膜型無機ＥＬ素子とに分類される。分散型無機ＥＬ素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機ＥＬ素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。
【０１９４】
また、表示装置として、電子インクを駆動させる電子ペーパーを提供することも可能である。電子ペーパーは、電気泳動表示装置（電気泳動ディスプレイ）とも呼ばれており、紙と同じ読みやすさ、他の表示装置に比べ低消費電力、薄くて軽い形状とすることが可能という利点を有している。
【０１９５】
電気泳動表示装置は、様々な形態が考えられ得るが、プラスの電荷を有する第１の粒子と、マイナスの電荷を有する第２の粒子とを含むマイクロカプセルが溶媒または溶質に複数分散されたものであり、マイクロカプセルに電界を印加することによって、マイクロカプセル中の粒子を互いに反対方向に移動させて一方側に集合した粒子の色のみを表示するものである。なお、第１の粒子または第２の粒子は染料を含み、電界がない場合において移動しないものである。また、第１の粒子の色と第２の粒子の色は異なるもの（無色を含む）とする。
【０１９６】
このように、電気泳動表示装置は、誘電定数の高い物質が高い電界領域に移動する、いわゆる誘電泳動的効果を利用したディスプレイである。
【０１９７】
上記マイクロカプセルを溶媒中に分散させたものが電子インクと呼ばれるものであり、この電子インクはガラス、プラスチック、布、紙などの表面に印刷することができる。また、カラーフィルタや色素を有する粒子を用いることによってカラー表示も可能である。
【０１９８】
なお、マイクロカプセル中の第１の粒子および第２の粒子には、導電体材料、絶縁体材料、半導体材料、磁性材料、液晶材料、強誘電性材料、エレクトロルミネセント材料、エレクトロクロミック材料、磁気泳動材料から選ばれた一種の材料、またはこれらの複合材料を用いればよい。
【０１９９】
また、電子ペーパーとして、ツイストボール表示方式を用いる表示装置も適用することができる。ツイストボール表示方式とは、白と黒に塗り分けられた球形粒子を表示素子に用いる電極層である第１の電極層及び第２の電極層の間に配置し、第１の電極層及び第２の電極層に電位差を生じさせての球形粒子の向きを制御することにより、表示を行う方法である。
【０２００】
以上に例示する表示装置に、実施の形態１または実施の形態２で示したパルス信号出力回路を適用することで、様々な機能を有する表示装置を提供することができる。
【０２０１】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２０２】
（実施の形態６）
本明細書に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器（遊技機も含む）に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置（テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラなどのカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
【０２０３】
図１２（Ａ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製したノート型のパーソナルコンピュータであり、本体３００１、筐体３００２、表示部３００３、キーボード３００４などによって構成されている。
【０２０４】
図１２（Ｂ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製した携帯情報端末（ＰＤＡ）であり、本体３０２１には表示部３０２３と、外部インターフェイス３０２５と、操作ボタン３０２４等が設けられている。また操作用の付属品としてスタイラス３０２２がある。
【０２０５】
また、本明細書に開示する半導体装置は、電子ペーパーとして適用することができる。図１２（Ｃ）は該電子ペーパーを一部品として実装して作製した電子書籍である。図１２（Ｃ）は、電子書籍の一例を示している。例えば、電子書籍２７００は、筐体２７０１および筐体２７０３の２つの筐体で構成されている。筐体２７０１および筐体２７０３は、軸部２７１１により一体とされており、該軸部２７１１を軸として開閉動作を行うことができる。このような構成により、紙の書籍のような動作を行うことが可能となる。
【０２０６】
筐体２７０１には表示部２７０５が組み込まれ、筐体２７０３には表示部２７０７が組み込まれている。表示部２７０５および表示部２７０７は、続き画面を表示する構成としてもよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とすることで、例えば右側の表示部（図１２（Ｃ）では表示部２７０５）に文章を表示し、左側の表示部（図１２（Ｃ）では表示部２７０７）に画像を表示することができる。
【０２０７】
また、図１２（Ｃ）では、筐体２７０１に操作部などを備えた例を示している。例えば、筐体２７０１において、電源２７２１、操作キー２７２３、スピーカー２７２５などを備えている。操作キー２７２３により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面にキーボードやポインティングデバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子（イヤホン端子、ＵＳＢ端子など）、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。さらに、電子書籍２７００は、電子辞書としての機能を持たせた構成としてもよい。
【０２０８】
また、電子書籍２７００は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすることも可能である。
【０２０９】
図１２（Ｄ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製した携帯電話であり、筐体２８００及び筐体２８０１の二つの筐体で構成されている。筐体２８０１には、表示パネル２８０２、スピーカー２８０３、マイクロフォン２８０４、ポインティングデバイス２８０６、カメラ用レンズ２８０７、外部接続端子２８０８などを備えている。また、筐体２８００には、携帯型情報端末の充電を行う太陽電池セル２８１０、外部メモリスロット２８１１などを備えている。また、アンテナは筐体２８０１内部に内蔵されている。
【０２１０】
また、表示パネル２８０２はタッチパネルを備えており、図１２（Ｄ）には映像表示されている複数の操作キー２８０５を点線で示している。なお、太陽電池セル２８１０で出力される電圧を各回路に必要な電圧に昇圧するための昇圧回路も実装している。
【０２１１】
表示パネル２８０２は、使用形態に応じて表示の方向が適宜変化する。また、表示パネル２８０２と同一面上にカメラ用レンズ２８０７を備えているため、テレビ電話が可能である。スピーカー２８０３及びマイクロフォン２８０４は音声通話に限らず、テレビ電話、録音、再生などが可能である。さらに、筐体２８００と筐体２８０１は、スライドし、図１２（Ｄ）のように展開している状態から重なり合った状態とすることができ、携帯に適した小型化が可能である。
【０２１２】
外部接続端子２８０８はＡＣアダプタ及びＵＳＢケーブルなどの各種ケーブルと接続可能であり、充電及びパーソナルコンピュータなどとのデータ通信が可能である。また、外部メモリスロット２８１１に記録媒体を挿入することで、より大量のデータ保存及び移動に対応できる。
【０２１３】
また、上記機能に加えて、赤外線通信機能、テレビ受信機能などを備えたものであってもよい。
【０２１４】
図１２（Ｅ）は本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製したデジタルビデオカメラであり、本体３０５１、第１の表示部３０５７、接眼部３０５３、操作スイッチ３０５４、第２の表示部３０５５、バッテリー３０５６などによって構成されている。
【０２１５】
図１２（Ｆ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装したテレビジョン装置の一例を示している。テレビジョン装置９６００では、筐体９６０１に表示部９６０３が組み込まれている。表示部９６０３により、映像を表示することが可能である。また、ここでは、スタンド９６０５により筐体９６０１を支持した構成を示している。
【０２１６】
テレビジョン装置９６００の操作は、筐体９６０１が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機により行うことができる。また、リモコン操作機に、当該リモコン操作機から出力する情報を表示する表示部を設ける構成としてもよい。
【０２１７】
なお、テレビジョン装置９６００は、受信機やモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）または双方向（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。
【０２１８】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【符号の説明】
【０２１９】
１０ パルス信号出力回路
１１ 信号線
１２ 信号線
１３ 信号線
１４ 信号線
１５ 配線
２１ 入力端子
２２ 入力端子
２３ 入力端子
２４ 入力端子
２５ 入力端子
２６ 出力端子
２７ 出力端子
３１ 電源線
３２ 電源線
５１ 期間
５２ 期間
５３ 期間
５４ 期間
５５ 期間
５６ 期間
１０１ トランジスタ
１０２ トランジスタ
１０３ トランジスタ
１０４ トランジスタ
１０５ トランジスタ
１０６ トランジスタ
１０７ トランジスタ
１０８ トランジスタ
１０９ トランジスタ
１１０ トランジスタ
１１１ トランジスタ
４００ 基板
４０１ ゲート電極層
４０２ ゲート絶縁層
４０３ 酸化物半導体層
４０５ａ ソース電極層
４０５ｂ ドレイン電極層
４０７ 絶縁層
４０９ 保護絶縁層
４１０ トランジスタ
４２０ トランジスタ
４２７ 絶縁層
４３０ トランジスタ
４３６ａ 配線層
４３６ｂ 配線層
４３７ 絶縁層
４４０ トランジスタ
５０５ 基板
５０６ 保護絶縁層
５０７ ゲート絶縁層
５１０ トランジスタ
５１１ ゲート電極層
５１５ａ ソース電極層
５１５ｂ ドレイン電極層
５１６ 絶縁層
５３０ 酸化物半導体膜
５３１ 酸化物半導体層
２７００ 電子書籍
２７０１ 筐体
２７０３ 筐体
２７０５ 表示部
２７０７ 表示部
２７１１ 軸部
２７２１ 電源
２７２３ 操作キー
２７２５ スピーカー
２８００ 筐体
２８０１ 筐体
２８０２ 表示パネル
２８０３ スピーカー
２８０４ マイクロフォン
２８０５ 操作キー
２８０６ ポインティングデバイス
２８０７ カメラ用レンズ
２８０８ 外部接続端子
２８１０ 太陽電池セル
２８１１ 外部メモリスロット
３００１ 本体
３００２ 筐体
３００３ 表示部
３００４ キーボード
３０２１ 本体
３０２２ スタイラス
３０２３ 表示部
３０２４ 操作ボタン
３０２５ 外部インターフェイス
３０５１ 本体
３０５３ 接眼部
３０５４ 操作スイッチ
３０５５ 表示部
３０５６ バッテリー
３０５７ 表示部
４００１ 基板
４００２ 画素部
４００３ 信号線駆動回路
４００４ 走査線駆動回路
４００５ シール材
４００６ 基板
４０１８ ＦＰＣ
４０１８ａ ＦＰＣ
４０１８ｂ ＦＰＣ
９６００ テレビジョン装置
９６０１ 筐体
９６０３ 表示部
９６０５ スタンド
【技術分野】
【０００１】
開示する発明は、パルス信号出力回路およびシフトレジスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置などに用いられるガラス基板などの平板に形成されるトランジスタは、主にアモルファスシリコン又は多結晶シリコンなどの半導体材料を用いて作製される。アモルファスシリコンを用いたトランジスタは、電界効果移動度が低いもののガラス基板の大面積化に対応することができる。一方、多結晶シリコンを用いたトランジスタは、電界効果移動度が高いもののレーザアニールなどの結晶化工程が必要であり、ガラス基板の大面積化には必ずしも適応しないといった特性を有している。
【０００３】
これに対し、半導体材料として酸化物半導体を用いるトランジスタが注目されている。例えば、半導体材料として酸化亜鉛又はＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体を用いてトランジスタを作製し、画像表示装置のスイッチング素子として用いる技術が特許文献１及び特許文献２で開示されている。
【０００４】
酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、アモルファスシリコンを用いたトランジスタよりも高い電界効果移動度が得られている。また、酸化物半導体膜は、スパッタ法などによって３００℃以下の温度での膜形成が可能であり、多結晶シリコンを用いたトランジスタよりも作製が容易である。
【０００５】
このような酸化物半導体を用いて作製されたトランジスタは、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセンスディスプレイ又は電子ペーパーなどの表示装置の画素部及び駆動回路を構成するスイッチング素子に適用されることが期待されている。例えば、上記の酸化物半導体を用いて作製されたトランジスタによって表示装置の画素部及び駆動回路を構成する技術が非特許文献１で開示されている。
【０００６】
ただし、上記の酸化物半導体を用いて作製されたトランジスタは、全てｎチャネル型トランジスタである。そのため、酸化物半導体を用いて作製したトランジスタを用いて駆動回路を構成する場合、当該駆動回路は、ｎチャネル型トランジスタのみによって構成されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１２３８６１号公報
【特許文献２】特開２００７−９６０５５号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Ｔ．Ｏｓａｄａ，他８名，ＳＩＤ ’０９ ＤＩＧＥＳＴ，ｐｐ．１８４−１８７（２００９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
駆動回路は、パルス信号出力回路を含むシフトレジスタなどによって構成される。当該シフトレジスタが単極性のトランジスタによって構成される場合、動作が不安定になるなどの問題が生じることがある。
【００１０】
上述の問題に鑑み、本発明の一態様は、安定して動作することが可能なパルス信号出力回路及びそれを含むシフトレジスタを提供することを課題の一とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
開示する発明では、第１の出力端子に接続されるトランジスタの一にはクロック信号を与え、第２の出力端子に接続されるトランジスタの一には電源電位を与える。これにより、第２の出力端子を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。また、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。
【００１２】
より具体的には、例えば次のような構成を採用することができる。
【００１３】
本発明の一態様は、第１乃至第４のトランジスタと、第１の入力信号生成回路と、第２の入力信号生成回路と、を有し、第１のトランジスタの第１の端子と、第２のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第１の出力端子として機能し、第３のトランジスタの第１の端子と、第４のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の出力端子として機能し、第１のトランジスタのゲート端子と、第３のトランジスタのゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、第２のトランジスタのゲート端子と、第４のトランジスタのゲート端子と、第２の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、第１のトランジスタの第２の端子には第１のクロック信号が入力され、第２のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第３のトランジスタの第２の端子には第１の電位より高い第２の電位が与えられ、第４のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第１の入力信号生成回路には、少なくとも第１のパルス信号が入力され、第２の入力信号生成回路には、少なくとも第２のクロック信号が入力され、第１の出力端子または第２の出力端子から、第２のパルス信号を出力するパルス信号出力回路である。
【００１４】
上記において、第２の出力端子に接続される負荷は、第１の出力端子に接続される負荷より大きいものとすることができる。
【００１５】
また、上記において、第１の入力信号生成回路には、第１のパルス信号に加え、第２の入力信号生成回路の出力信号が入力されることがある。また、上記において、第１の入力信号生成回路は、第５のトランジスタと、第６のトランジスタと、を有し、第５のトランジスタの第１の端子と、第６のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第５のトランジスタの第２の端子には第２の電位が与えられ、第６のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第５のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力され、第６のトランジスタのゲート端子には第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される構成とすることができる。または、第１の入力信号生成回路は、第５乃至第７のトランジスタを有し、第５のトランジスタの第１の端子と、第６のトランジスタの第１の端子と、第７のトランジスタの第１の端子と、は電気的に接続され、第７のトランジスタの第２の端子は第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第５のトランジスタの第２の端子には第２の電位が与えられ、第６のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第５のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力され、第６のトランジスタのゲート端子には第２の入力信号生成回路の出力信号が入力され、第７のトランジスタのゲート端子には第２の電位が与えられる構成とすることができる。
【００１６】
また、上記において、第２の入力信号生成回路には、第２のクロック信号に加え、第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力されることがある。また、第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１０のトランジスタを有し、第８のトランジスタの第２の端子と、第９のトランジスタの第２の端子と、第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第８のトランジスタの第１の端子と、第９のトランジスタの第１の端子とには、第２の電位が与えられ、第１０のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第８のトランジスタのゲート端子には第３のパルス信号が入力され、第９のトランジスタのゲート端子には第２のクロック信号が入力され、第１０のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力される構成とすることができる。
【００１７】
また、上記において、第２の入力信号生成回路には、第２のクロック信号に加え、第３のクロック信号、第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力されることがある。また、第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１１のトランジスタを有し、第１１のトランジスタの第２の端子と、第９のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続され、第９のトランジスタの第２の端子と、第８のトランジスタの第２の端子と、第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、第８のトランジスタの第１の端子と、第１１のトランジスタの第１の端子とには、第２の電位が与えられ、第１０のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、第８のトランジスタのゲート端子には第３のパルス信号が入力され、第９のトランジスタのゲート端子には第２のクロック信号が入力され、第１０のトランジスタのゲート端子には第１のパルス信号が入力され、第１１のトランジスタのゲート端子には第３のクロック信号が入力される構成とすることができる。
【００１８】
また、上記において、複数のトランジスタのいずれかに酸化物半導体を用いるのが好適である。また、上記のパルス信号出力回路を複数用いて、シフトレジスタを構成することができる。
【００１９】
なお、上記において、酸化物半導体を用いてトランジスタを構成することがあるが、開示する発明はこれに限定されない。酸化物半導体と同等のオフ電流特性が実現できる材料、例えば、炭化シリコンをはじめとするワイドギャップ材料（より具体的には、例えば、エネルギーギャップＥｇが３ｅＶより大きい半導体材料）などを適用しても良い。
【００２０】
なお、本明細書等において「上」や「下」という用語は、構成要素の位置関係が「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶縁層上のゲート電極」という表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素を含むものを除外しない。
【００２１】
また、本明細書等において「電極」や「配線」という用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」という用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
【００２２】
また、「ソース」や「ドレイン」の機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書においては、「ソース」や「ドレイン」という用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００２３】
なお、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。
【００２４】
例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【発明の効果】
【００２５】
開示する発明では、第１の出力端子に接続されるトランジスタの一にはクロック信号を与え、第２の出力端子に接続されるトランジスタの一にはＶＤＤを与える。これにより、第２の出力端子を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。クロック信号に代えて固定電位を与えることで、クロック信号の入力によるトランジスタの充放電が行われずに済むためである。
【００２６】
また、これにより、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。つまり、大きな負荷がかかる場合においても高速動作が実現可能である。また、負荷に起因する動作の不具合を低減し、動作の安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】パルス信号出力回路、およびシフトレジスタの構成例を示す図。
【図２】シフトレジスタのタイミングチャート。
【図３】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図４】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図５】パルス信号出力回路、およびシフトレジスタの構成例を示す図。
【図６】シフトレジスタのタイミングチャート。
【図７】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図８】パルス信号出力回路の動作を説明する図。
【図９】トランジスタの構成例を示す図。
【図１０】トランジスタの作製方法の例を示す図。
【図１１】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１２】電子機器を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の実施の形態の一例について、図面を用いて以下に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２９】
なお、図面等において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解を容易にするため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
【００３０】
なお、本明細書等における「第１」、「第２」、「第３」などの序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
【００３１】
（実施の形態１）
本実施の形態では、パルス信号出力回路、およびパルス信号出力回路を含むシフトレジスタの構成例およびその動作に関して図１乃至図４を参照して説明する。
【００３２】
〈回路構成〉
はじめに、パルス信号出力回路、およびパルス信号出力回路を含むシフトレジスタの回路構成例について図１を参照して説明する。
【００３３】
本実施の形態で示すシフトレジスタは、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎ（ｎ≧２：ｎは自然数）と、クロック信号を伝達する第１の信号線１１〜第４の信号線１４を有する（図１（Ａ）参照）。第１の信号線１１には第１のクロック信号（ＣＬＫ１）が与えられ、第２の信号線１２には第２のクロック信号（ＣＬＫ２）が与えられ、第３の信号線１３には第３のクロック信号（ＣＬＫ３）が与えられ、第４の信号線１４に第４のクロック信号（ＣＬＫ４）が与えられる。
【００３４】
クロック信号は、一定の間隔でＨ信号（高電位）とＬ信号（低電位）を繰り返す信号である。ここでは、第１のクロック信号（ＣＬＫ１）〜第４のクロック信号（ＣＬＫ４）は、１／４周期ずつ遅延した信号とする。本実施の形態では、上記クロック信号を利用して、パルス信号出力回路の制御等を行う。
【００３５】
第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎは、それぞれ、第１の入力端子２１、第２の入力端子２２、第３の入力端子２３、第４の入力端子２４、第５の入力端子２５、第１の出力端子２６、第２の出力端子２７を有する（図１（Ｂ）参照）。
【００３６】
第１の入力端子２１、第２の入力端子２２及び第３の入力端子２３は、第１の信号線１１〜第４の信号線１４のいずれかと電気的に接続される。例えば、第１のパルス信号出力回路１０＿１は、第１の入力端子２１が第１の信号線１１と電気的に接続され、第２の入力端子２２が第２の信号線１２と電気的に接続され、第３の入力端子２３が第３の信号線１３と電気的に接続されている。また、第２のパルス信号出力回路１０＿２は、第１の入力端子２１が第２の信号線１２と電気的に接続され、第２の入力端子２２が第３の信号線１３と電気的に接続され、第３の入力端子２３が第４の信号線１４と電気的に接続されている。なお、ここでは、第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎと接続される信号線が、第２の信号線１２、第３の信号線１３、第４の信号線１４である場合を示しているが、接続される信号線は、ｎの値によって異なるものになる。このため、ここで示す構成はあくまでも一例に過ぎないことを付記する。
【００３７】
また、本実施の形態で示すシフトレジスタの第ｍのパルス信号出力回路（ｍは２以上ｎ以下：ｍ、ｎは自然数）において、第４の入力端子２４は第（ｍ−１）のパルス信号出力回路の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第５の入力端子２５は第（ｍ＋２）のパルス信号出力回路の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第１の出力端子２６は第（ｍ＋１）のパルス信号出力回路の第４の入力端子２４と電気的に接続され、第２の出力端子２７はＯＵＴ（ｍ）に信号を出力する。
【００３８】
例えば、第３のパルス信号出力回路１０＿３では、第４の入力端子２４は第２のパルス信号出力回路１０＿２の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第５の入力端子２５は第５のパルス信号出力回路１０＿５の第１の出力端子２６と電気的に接続され、第１の出力端子２６は第４のパルス信号出力回路１０＿４の第４の入力端子２４及び第１のパルス信号出力回路１０＿１の第５の入力端子２５と電気的に接続されている。
【００３９】
また、第１のパルス信号出力回路１０＿１では、第４の入力端子２４に第５の配線１５からの第１のスタートパルス（ＳＰ１）が入力される。また、第ｋのパルス信号出力回路１０＿ｋ（ｋは２以上ｎ以下の自然数）では、第４の入力端子２４に前段の出力パルスが入力される。また、第（ｎー１）のパルス信号出力回路１０（ｎー１）では、第５の入力端子２５に第２のスタートパルス（ＳＰ２）が入力される。また、第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎでは、第５の入力端子２５に第３のスタートパルス（ＳＰ３）が入力される。なお、第２のスタートパルス（ＳＰ２）及び第３のスタートパルス（ＳＰ３）は、外部より入力される信号としてもよいし、回路内部で生成される信号としてもよい。
【００４０】
次に、パルス信号出力回路１０（第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎのうちの一つ）の具体的な構成に関して説明する。
【００４１】
第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎの各々は、第１のトランジスタ１０１〜第４のトランジスタ１０４で構成されるパルス信号生成回路と、第５のトランジスタ１０５〜第７のトランジスタ１０７で構成される第１の入力信号生成回路と、第８のトランジスタ１０８〜第１１のトランジスタ１１１で構成される第２の入力信号生成回路と、を含む（図１（Ｃ）参照）。また、上述した第１の入力端子２１〜第５の入力端子２５に加え、第１の電源線３１および第２の電源線３２から、第１のトランジスタ１０１〜第１１のトランジスタ１１１に信号が供給される。
【００４２】
パルス信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００４３】
第１のトランジスタ１０１の第１の端子（ソース端子とドレイン端子の一方、以下同じ）と、第２のトランジスタ１０２の第１の端子とは、第１の出力端子２６と電気的に接続される。同様に、第３のトランジスタ１０３の第１の端子と、第４のトランジスタ１０４の第１の端子とは、第２の出力端子２７と電気的に接続される。そして、第１のトランジスタ１０１のゲート端子と、第３のトランジスタ１０３のゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続される。また、第２のトランジスタ１０２のゲート端子と、第４のトランジスタ１０４のゲート端子と、第２の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続される。
【００４４】
第１のトランジスタ１０１の第２の端子（ソース端子とドレイン端子の他方、以下同じ）には、第１のクロック信号が入力される。また、第１のトランジスタ１０１の第２の端子は、パルス信号出力回路の第１の入力端子２１としても機能する。第２のトランジスタ１０２の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位（例えば、低電位ＶＳＳ）が与えられ、第３のトランジスタ１０３の第２の端子には、第２の電源線３２を介して第１の電位より高い第２の電位（例えば、電源電位ＶＤＤ）が与えられ、第４のトランジスタ１０４の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられる。
【００４５】
第１の入力信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００４６】
第５のトランジスタ１０５の第１の端子と、第６のトランジスタ１０６の第１の端子と、第７のトランジスタ１０７の第１の端子と、は電気的に接続される。また、第７のトランジスタ１０７の第２の端子は、第１の入力信号生成回路の出力端子として機能する。
【００４７】
第５のトランジスタ１０５の第２の端子には、第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられ、第６のトランジスタ１０６の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられ、第５のトランジスタ１０５のゲート端子には、前段からのパルス信号（第１のパルス信号出力回路ではスタートパルス信号）が入力される。また、第５のトランジスタ１０５のゲート端子は、第１の入力信号生成回路の第１の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第４の入力端子２４としても機能する。第６のトランジスタ１０６のゲート端子には、第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される。また、第６のトランジスタ１０６のゲート端子は、第１の入力信号生成回路の第２の入力端子として機能する。第７のトランジスタ１０７のゲート端子には第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられる。
【００４８】
なお、本実施の形態では、第７のトランジスタ１０７を設けているが、第７のトランジスタ１０７を設けない構成としても良い。第７のトランジスタ１０７を設ける場合には、ブートストラップ動作に起因して生じうる第５のトランジスタ１０５の第１の端子の電位上昇を抑制できる。つまり、第５のトランジスタ１０５のゲートとソースの間（またはゲートとドレインの間）に大きなバイアス電圧が加わることを防止できるため、第５のトランジスタ１０５の劣化を抑制することができる。
【００４９】
第２の入力信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００５０】
第１１のトランジスタ１１１の第２の端子と、第９のトランジスタ１０９の第１の端子とは電気的に接続される。また、第９のトランジスタの第２の端子と、第８のトランジスタの第２の端子と、第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能する。
【００５１】
第８のトランジスタ１０８の第１の端子と、第１１のトランジスタ１１１の第１の端子には、第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられる。第１０のトランジスタ１１０の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられる。第８のトランジスタ１０８のゲート端子には２段後ろからのパルス信号が入力される。また、第８のトランジスタ１０８のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第１の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第５の入力端子２５としても機能する。第９のトランジスタ１０９のゲート端子には第２のクロック信号が入力される。また、第９のトランジスタ１０９のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第２の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第２の入力端子２２としても機能する。第１０のトランジスタ１１０のゲート端子には前段からのパルス信号（第１のパルス信号出力回路ではスタートパルス信号）が入力される。また、第１０のトランジスタ１１０のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第３の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第４の入力端子２４としても機能する。第１１のトランジスタ１１１のゲート端子には第３のクロック信号が入力される。また、第１１のトランジスタ１１１のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第４の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第３の入力端子２３としても機能する。
【００５２】
なお、上述したパルス信号出力回路の各構成（パルス信号生成回路、第１の入力信号生成回路、および、第２の入力信号生成回路の構成例など）は一例にすぎず、開示する発明がこれに限定されるものではない。
【００５３】
本実施の形態の以下の説明では、図１（Ｃ）に示すパルス信号出力回路において第１のトランジスタ１０１のゲート端子と、第３のトランジスタ１０３のゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＡとする。また、第２のトランジスタ１０２のゲート端子と、第４のトランジスタ１０４のゲート端子と、第２の入力信号生成回路の出力端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＢとする。
【００５４】
上記ノードＡと第１の出力端子２６との間には、ブートストラップ動作を好適に行うための容量素子を設けても良い。また、上記ノードＢの電位を保持するために、ノードＢに電気的に接続された容量素子を設けてもよい。
【００５５】
なお、第１のトランジスタ１０１〜第１１のトランジスタ１１１には、酸化物半導体を用いるのが好適である。酸化物半導体を用いることにより、トランジスタのオフ電流を低減することができる。また、非晶質シリコンなどと比較して、オン電流および電界効果移動度を高めることが出来る。また、トランジスタの劣化を抑制することができる。これにより、消費電力が小さく、高速動作が可能で、動作の正確性が高められた電子回路が実現する。なお、酸化物半導体を用いたトランジスタについては後の実施の形態において詳述するから、ここでは省略する。
【００５６】
〈動作〉
次に、図１に示すシフトレジスタの動作について図２乃至図４を参照して説明する。具体的には、図２に示すタイミングチャート中の、第１の期間５１〜第６の期間５６の各期間における動作を、図３および図４を用いて説明する。タイミングチャート中、ＣＬＫ１〜ＣＬＫ４はそれぞれクロック信号を示し、ＳＰ１は第１のスタートパルスを示し、ＯＵＴ１〜ＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第２の出力端子からの出力を示し、ノードＡおよびノードＢはそれぞれノードＡおよびノードＢの電位を示し、ＳＲＯＵＴ１〜ＳＲＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第１の出力端子からの出力を示す。
【００５７】
なお、以下の説明において、第１のトランジスタ１０１〜第１１のトランジスタ１１１は、全てｎチャネル型のトランジスタであるものとする。また、図３および図４において、トランジスタが実線で表現されている場合には、当該トランジスタが導通状態（オン状態）にあることを表し、破線で表現されている場合には、当該トランジスタが非導通状態（オフ状態）にあることを表すものとする。
【００５８】
代表的に、第１のパルス信号出力回路１０＿１の動作について説明する。第１のパルス信号出力回路１０＿１の構成は、上述の通りである。また、入力される各信号、供給される各電位の関係も上述の通りである。なお、以下の説明では、各入力端子および各電源線に与えられる高電位（Ｈレベル、Ｈ信号などとも呼ぶ）は全てＶＤＤとし、低電位（Ｌレベル、Ｌ信号などとも呼ぶ）は全てＶＳＳとする。
【００５９】
第１の期間５１において、ＳＰ１がＨレベルであるから、第１のパルス信号出力回路１０＿１の第４の入力端子２４として機能する第５のトランジスタ１０５のゲート端子と第１０のトランジスタ１１０のゲート端子に高電位が与えられ、第５のトランジスタ１０５と第１０のトランジスタ１１０は導通状態になる。第１の期間５１においてはＣＬＫ３もＨレベルであるため、第１１のトランジスタ１１１もオン状態となる。また、第７のトランジスタ１０７のゲート端子には高電位が与えられているため、第７のトランジスタ１０７もオン状態となる（図３（Ａ）参照）。
【００６０】
第５のトランジスタ１０５と第７のトランジスタ１０７がオン状態となることにより、ノードＡの電位は上昇する。また、第１０のトランジスタ１１０がオン状態となることにより、ノードＢの電位は下降する。第５のトランジスタ１０５の第２の端子の電位はＶＤＤであるため、第５のトランジスタ１０５の第１の端子の電位は、第２の端子の電位から第５のトランジスタ１０５のしきい値電圧分低下した値（ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０５）となる。そして、第７のトランジスタ１０７のゲート端子の電位がＶＤＤであるため、第７のトランジスタ１０７のしきい値電圧Ｖｔｈ１０７がＶｔｈ１０５以上の場合には、ノードＡの電位は（ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０７）となって第７のトランジスタ１０７がオフ状態となる。一方、Ｖｔｈ１０７がＶｔｈ１０５未満の場合には、第７のトランジスタ１０７はオン状態を保ったまま、ノードＡの電位は（ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０５）まで上昇する。以下、第１の期間５１におけるノードＡの電位の到達点をＶＡＨとする。
【００６１】
ノードＡの電位がＶＡＨになると、第１のトランジスタ１０１および第３のトランジスタ１０３がオン状態となる。ここで、ＣＬＫ１はＬレベルであるため、第１の出力端子２６からはＬレベルが出力される。一方で、第２の出力端子２７からは、ＶＡＨに応じた信号Ｈ’が出力される。
【００６２】
第２の期間５２においては、ＣＬＫ１がＬレベルからＨレベルに切り替わる。ここで、第１のトランジスタ１０１はオン状態であるため、第１の出力端子２６の電位が上昇する。第１のトランジスタ１０１のゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）との間には容量が存在し、これによってゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）とが容量結合されているため、第１の出力端子２６の電位の上昇と共に、浮遊状態であるノードＡの電位が上昇することになる（ブートストラップ動作）。ノードＡの電位は最終的にＶＤＤ＋Ｖｔｈ１０１より高くなり、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＶＤＤ（Ｈレベル）となる（図２および図３（Ｂ）参照）。
【００６３】
また、第２の期間５２においては、第１０のトランジスタ１１０がオン状態であるため、ノードＢもＬレベルに維持されている。このため、第１の出力端子２６がＬレベルからＨレベルに変化する際の、容量結合に起因するノードＢの電位変動を抑制し、これによる不具合の発生を防止できる。
【００６４】
第３の期間５３においては、ＳＰ１がＬレベルとなり、第５のトランジスタ１０５と第１０のトランジスタ１１０がオフ状態となる。また、ＣＬＫ１がＨレベルに維持され、ノードＡの電位も変化しないため、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７からはＶＤＤ（Ｈレベル）が出力される（図３（Ｃ）参照）。なお、第３の期間５３ではノードＢが浮遊状態となるが、第１の出力端子２６の電位も変化しないため、容量結合による不具合は無視できる程度である。
【００６５】
第４の期間５４においては、ＣＬＫ１がＬレベルとなり、第１の出力端子２６の電位が下降する。また、ＣＬＫ２およびＣＬＫ３がＨレベル、また、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＨレベルとなるためノードＢの電位が短時間で上昇する。その結果、第２のトランジスタ１０２および第４のトランジスタ１０４がオン状態となり、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位が短時間で下降する（図４（Ａ）参照）。また、第６のトランジスタ１０６がオン状態となるので、ノードＡの電位がＬレベルとなる。これにより、第１のトランジスタ１０１および第３のトランジスタ１０３がオフ状態となるので、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位はＬレベルとなる。
【００６６】
第５の期間５５においては、ＣＬＫ２がＬレベルとなり、第９のトランジスタ１０９がオフ状態になる。同時に第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＨレベルを保持することにより、ノードＢの電位が保持される。このため、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４および第６のトランジスタ１０６のオン状態が保持されて、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位がＬレベルに保持される（図４（Ｂ）参照）。
【００６７】
第６の期間５６においては、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＬレベルとなり、第８のトランジスタ１０８がオフ状態となる。このとき、ノードＢは、上述の電位を保持したまま浮遊状態となる。これにより、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４および第６のトランジスタ１０６のオン状態が継続する（図４（Ｃ）参照）。なお、ノードＢの電位は、通常、トランジスタのオフ電流等に起因して下降するが、十分にオフ電流が小さいトランジスタ（例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタ）を適用する場合には、このような問題は生じない。また、ノードＢの電位の下降を緩和するために、容量素子を設けても良い。
【００６８】
なお、その後の期間において、ＣＬＫ２とＣＬＫ３とが共にＨレベルとなる場合には、第９のトランジスタ１０９と第１１のトランジスタ１１１がオン状態となり、定期的にノードＢに電位が与えられる。このため、オフ電流の比較的大きなトランジスタを用いる場合であっても、パルス信号出力回路の誤動作を防止できる。
【００６９】
本実施の形態において示すシフトレジスタおよびパルス信号出力回路では、第１のトランジスタ１０１にはクロック信号を与え、第３のトランジスタ１０３にはＶＤＤを与えている。これにより、第２の出力端子２７を構成するトランジスタの充放電による消費電力を抑制することが可能である。第２の出力端子２７は、例えば表示装置などでは、各画素に信号を出力する端子となる。つまり、第２の出力端子２７には、電気素子が多数付加されることがあり、十分な電流駆動能力が必要になる。このため、第２の出力端子２７を構成するトランジスタ（ここでは、第３のトランジスタ１０３）のサイズ（具体的にはチャネル幅Ｗ、または、チャネル幅Ｗとチャネル長Ｌとの比Ｗ／Ｌ）を大きくする必要が生じるが、このような状況では、クロック信号の入力による消費電力は無視できない大きさとなってしまう。そこで、第２の出力端子２７を構成するトランジスタには、クロック信号に代えて固定電位を与えることで、クロック信号の入力によるトランジスタの充放電を行わない構成とする。これによって、消費電力を十分に抑制することができる。
【００７０】
また、第３のトランジスタ１０３にＶＤＤを与えることにより、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。これらの効果は、パルス信号出力回路の出力端子に電気素子が多数付加されるような状況や、駆動周波数が高くなる状況において、特に有効である。これによって、大きな負荷がかかる場合においても高速動作が実現可能である。また、負荷に起因する動作の不具合を低減し、動作の安定化を図ることができる。
【００７１】
なお、本実施の形態において示すシフトレジスタは、第ｍのパルス信号出力回路から出力されるパルスと第（ｍ＋１）のパルス信号出力回路から出力されるパルスが半分重なる駆動方法を採用している。このため、当該駆動方法を採用しない場合と比較して、配線の充電に使用できる時間を長くすることができる。つまり、当該駆動方法によって、大きな負荷に耐え、高い周波数で動作するパルス信号出力回路が提供される。
【００７２】
（実施の形態２）
本実施の形態では、先の実施の形態において示したパルス信号出力回路、およびシフトレジスタとは異なる態様の構成例およびその動作に関して図５乃至図８を参照して説明する。
【００７３】
〈回路構成〉
はじめに、パルス信号出力回路、およびパルス信号出力回路を含むシフトレジスタの回路構成例について図５を参照して説明する。
【００７４】
本実施の形態で示すシフトレジスタの構成は、先の実施の形態において示したシフトレジスタの構成に近似している。相違点の一は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎは、第３の入力端子２３を有しない点である（図５（Ａ）乃至図５（Ｃ）参照）。つまり、一のパルス信号出力回路には、二種類のクロック信号が入力される。その他の構成については先の実施の形態と同様である。
【００７５】
第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第ｎのパルス信号出力回路１０＿ｎは、第３の入力端子２３を有しないため、これと接続される第１１のトランジスタを有しない（図５（Ｃ）参照）。そして、これに伴い、第２の入力信号生成回路内の接続関係が一部変更されている。
【００７６】
第２の入力信号生成回路の具体的な構成例は次の通りである。
【００７７】
第９のトランジスタ１０９の第２の端子と、第８のトランジスタ１０８の第２の端子と、第１０のトランジスタ１１０の第１の端子とは電気的に接続されて第２の入力信号生成回路の出力端子として機能する。
【００７８】
第８のトランジスタ１０８の第１の端子と、第９のトランジスタ１０９の第１の端子には、第２の電源線３２を介して第２の電位が与えられる。第１０のトランジスタ１１０の第２の端子には、第１の電源線３１を介して第１の電位が与えられる。第８のトランジスタ１０８のゲート端子にはパルス信号が入力される。また、第８のトランジスタ１０８のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第１の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第５の入力端子２５としても機能する。第９のトランジスタ１０９のゲート端子には第２のクロック信号が入力される。また、第９のトランジスタ１０９のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第２の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第２の入力端子２２としても機能する。第１０のトランジスタ１１０のゲート端子にはパルス信号が入力される。また、第１０のトランジスタ１１０のゲート端子は、第２の入力信号生成回路の第３の入力端子として機能すると共に、パルス信号出力回路の第４の入力端子２４としても機能する。
【００７９】
なお、上述した構成は一例にすぎず、開示する発明がこれに限定されるものではない。
【００８０】
本実施の形態の以下の説明では、先の実施の形態と同様、図５（Ｃ）に示すパルス信号出力回路において第１のトランジスタ１０１のゲート端子と、第３のトランジスタ１０３のゲート端子と、第１の入力信号生成回路の出力端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＡとする。また、第９のトランジスタ１０９の第２の端子と、第８のトランジスタ１０８の第２の端子と、第１０のトランジスタ１１０の第１の端子と、の接続により構成されるノードを、ノードＢとする。
【００８１】
上記ノードＡと第１の出力端子２６との間には、ブートストラップ動作を好適に行うための容量素子を設けても良い。また、上記ノードＢの電位を保持するために、ノードＢに電気的に接続された容量素子を設けてもよい。
【００８２】
なお、第１のトランジスタ１０１〜第１０のトランジスタ１１０には、酸化物半導体を用いるのが好適である。酸化物半導体を用いることにより、トランジスタのオフ電流を低減することができる。また、非晶質シリコンなどと比較して、オン電流および電界効果移動度を高めることが出来る。また、トランジスタの劣化を抑制することができる。これにより、消費電力が小さく、高速動作が可能で、動作の正確性が高められた電子回路が実現する。なお、酸化物半導体を用いたトランジスタについては後の実施の形態において詳述するから、ここでは省略する。
【００８３】
〈動作〉
次に、図５に示すシフトレジスタの動作について図６乃至図８を参照して説明する。具体的には、図６に示すタイミングチャート中の、第１の期間５１〜第５の期間５５の各期間における動作を、図７および図８を用いて説明する。タイミングチャート中、ＣＬＫ１〜ＣＬＫ４はそれぞれクロック信号を示し、ＳＰ１は第１のスタートパルスを示し、ＯＵＴ１〜ＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第２の出力端子からの出力を示し、ノードＡおよびノードＢはそれぞれノードＡおよびノードＢの電位を示し、ＳＲＯＵＴ１〜ＳＲＯＵＴ４は、第１のパルス信号出力回路１０＿１〜第４のパルス信号出力回路１０＿４の第１の出力端子からの出力を示す。
【００８４】
なお、以下の説明において、第１のトランジスタ１０１〜第１０のトランジスタ１１０は、全てｎチャネル型のトランジスタであるものとする。また、図７および図８において、トランジスタが実線で表現されている場合には、当該トランジスタが導通状態（オン状態）にあることを表し、破線で表現されている場合には、当該トランジスタが非導通状態（オフ状態）にあることを表すものとする。
【００８５】
代表的に、第１のパルス信号出力回路１０＿１の動作について説明する。第１のパルス信号出力回路１０＿１の構成は、上述の通りである。また、入力される各信号、供給される各電位の関係も上述の通りである。なお、以下の説明では、各入力端子および各電源線に与えられる高電位（Ｈレベル、Ｈ信号などとも呼ぶ）は全てＶＤＤとし、低電位（Ｌレベル、Ｌ信号などとも呼ぶ）は全てＶＳＳとする。
【００８６】
第１の期間５１において、ＳＰ１がＨレベルであるから、第１のパルス信号出力回路１０＿１の第４の入力端子２４として機能する第５のトランジスタ１０５のゲート端子と第１０のトランジスタ１１０のゲート端子に高電位が与えられ、第５のトランジスタ１０５と第１０のトランジスタ１１０は導通状態になる。また、第７のトランジスタ１０７のゲート端子には高電位が与えられているため、第７のトランジスタ１０７もオン状態となる（図７（Ａ）参照）。
【００８７】
第５のトランジスタ１０５と第７のトランジスタ１０７がオン状態となることにより、ノードＡの電位は上昇する。また、第１０のトランジスタ１１０がオン状態となることにより、ノードＢの電位は下降する。ノードＡの電位がＶＡＨ（＝ＶＤＤ−Ｖｔｈ１０５−Ｖｔｈ１０７）にまで達すると、第５のトランジスタ１０５および第７のトランジスタ１０７がオフ状態となり、ノードＡは、ＶＡＨを維持したまま浮遊状態となる。
【００８８】
ノードＡの電位がＶＡＨになると、第１のトランジスタ１０１および第３のトランジスタ１０３がオン状態となる。ここで、ＣＬＫ１はＬレベルであるため、第１の出力端子２６からはＬレベルが出力される。一方で、第２の出力端子２７からは、ＶＡＨに応じた信号Ｈ’が出力される。
【００８９】
第２の期間５２においては、ＣＬＫ１がＬレベルからＨレベルに切り替わる。ここで、第１のトランジスタ１０１はオン状態であるため、第１の出力端子２６の電位が上昇する。第１のトランジスタ１０１のゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）との間には容量が存在し、これによってゲート端子とソース端子（またはドレイン端子）とが容量結合されているため、第１の出力端子２６の電位の上昇と共に、浮遊状態であるノードＡの電位が上昇することになる（ブートストラップ動作）。ノードＡの電位は最終的にＶＤＤ＋Ｖｔｈ１０１より高くなり、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＶＤＤ（Ｈレベル）となる（図６および図７（Ｂ）参照）。
【００９０】
第３の期間５３においては、ＣＬＫ２がＨレベルとなり、第９のトランジスタ１０９がオン状態となる。これにより、ノードＢの電位が上昇する。ノードＢの電位の上昇により、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４、および第６のトランジスタ１０６がオン状態となり、ノードＡの電位が下降する。このため、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＬレベルとなる（図７（Ｃ）参照）。
【００９１】
第４の期間５４においては、ＣＬＫ２がＬレベルとなり、第９のトランジスタ１０９がオフ状態となるが、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＨレベルとなるため、第８のトランジスタ１０８がオン状態となる。このため、ノードＡの電位とノードＢの電位は保持されて、第１の出力端子２６の電位および第２の出力端子２７の電位はＬレベルに保持される（図８（Ａ）参照）。
【００９２】
第５の期間５５においては、第５の入力端子２５（つまりＳＲＯＵＴ３）がＬレベルとなり、ノードＢの電位が保持される。このため、第２のトランジスタ１０２、第４のトランジスタ１０４および第６のトランジスタ１０６のオン状態が保持されて、第１の出力端子２６および第２の出力端子２７の電位がＬレベルに保持される（図８（Ｂ）参照）。
【００９３】
なお、ノードＢの電位は、通常、トランジスタのオフ電流等に起因して下降するが、十分にオフ電流が小さいトランジスタ（例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタ）を適用する場合には、このような問題は生じない。また、ノードＢの電位の下降を緩和するために、容量素子を設けても良い。
【００９４】
なお、その後の期間において、ＣＬＫ２がＨレベルとなる場合には、第９のトランジスタ１０９がオン状態となり、定期的にノードＢに電位が与えられる。このため、オフ電流の比較的大きなトランジスタを用いる場合であっても、パルス信号出力回路の誤動作を防止できる。
【００９５】
本実施の形態において示すシフトレジスタおよびパルス信号出力回路では、第１のトランジスタ１０１にはクロック信号を与え、第３のトランジスタ１０３にはＶＤＤを与えている。これにより、第２の出力端子には電源からの電位が供給されることになるため、十分な充電能力を確保することができる。これは、パルス信号出力回路の出力端子に電気素子が多数付加されるような状況において、特に有効である。これによって、大きな負荷がかかる場合においても高速動作が実現可能である。また、負荷に起因する動作の不具合を低減し、動作の安定化を図ることができる。
【００９６】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【００９７】
（実施の形態３）
本実施の形態では、上記実施の形態で述べたパルス信号出力回路やシフトレジスタに適用できるトランジスタの例につき、図９を参照して説明する。なお、トランジスタの構造は特に限定されず、例えば、トップゲート構造またはボトムゲート構造、スタガ型またはプレーナ型など、適当な構造を採用することができる。また、トランジスタはチャネル形成領域を一つ有するシングルゲート構造でも、チャネル形成領域を二つ以上有するマルチゲート構造であっても良い。また、チャネル領域の上下にゲート絶縁層を介して配置された２つのゲート電極層を有する構造でもよい。
【００９８】
図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）には、トランジスタの断面構造の例を示す。図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）に示すトランジスタは、半導体として酸化物半導体を用いるものである。酸化物半導体を用いることのメリットは、簡単なプロセス、低温のプロセスで、高い移動度と低いオフ電流が実現できることといえる。
【００９９】
図９（Ａ）に示すトランジスタ４１０は、ボトムゲート構造のトランジスタの一例であり、逆スタガ型トランジスタともいう。
【０１００】
トランジスタ４１０は、絶縁表面を有する基板４００上の、ゲート電極層４０１、ゲート絶縁層４０２、酸化物半導体層４０３、ソース電極層４０５ａ、及びドレイン電極層４０５ｂを含む。また、酸化物半導体層４０３に接する絶縁層４０７が設けられている。絶縁層４０７上にはさらに保護絶縁層４０９が形成されている。
【０１０１】
図９（Ｂ）に示すトランジスタ４２０は、チャネル保護型（チャネルストップ型ともいう）と呼ばれるボトムゲート構造のトランジスタの一例であり、逆スタガ型トランジスタともいう。
【０１０２】
トランジスタ４２０は、絶縁表面を有する基板４００上の、ゲート電極層４０１、ゲート絶縁層４０２、酸化物半導体層４０３、チャネル保護層として機能する絶縁層４２７、ソース電極層４０５ａ、及びドレイン電極層４０５ｂを含む。また、保護絶縁層４０９が設けられている。
【０１０３】
図９（Ｃ）に示すトランジスタ４３０は、ボトムゲート型のトランジスタの一例である。トランジスタ４３０は、絶縁表面を有する基板４００上の、ゲート電極層４０１、ゲート絶縁層４０２、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ、及び酸化物半導体層４０３を含む。また、酸化物半導体層４０３に接する絶縁層４０７が設けられている。絶縁層４０７上にはさらに保護絶縁層４０９が形成されている。
【０１０４】
トランジスタ４３０においては、ゲート絶縁層４０２は基板４００及びゲート電極層４０１上に接して設けられ、また、ゲート絶縁層４０２上には、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂが接して設けられている。そして、ゲート絶縁層４０２、及びソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ上に酸化物半導体層４０３が設けられている。
【０１０５】
図９（Ｄ）に示すトランジスタ４４０は、トップゲート構造のトランジスタの一例である。トランジスタ４４０は、絶縁表面を有する基板４００上の、絶縁層４３７、酸化物半導体層４０３、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ、ゲート絶縁層４０２、及びゲート電極層４０１を含む。そして、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂにそれぞれ配線層４３６ａ、配線層４３６ｂが接して設けられている。
【０１０６】
酸化物半導体としては、少なくともＩｎ、Ｇａ、Ｓｎ及びＺｎから選ばれた一種以上の元素を含有する。例えば、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体や、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体や、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｚｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体、Ｉｎ−Ｍｇ−Ｏ系酸化物半導体や、Ｉｎ−Ｇａ−Ｏ系の材料、一元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｓｎ−Ｏ系酸化物半導体、Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体などを用いることができる。また、上記酸化物半導体にＳｉＯ２を添加してもよい。例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体とは、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）を含む酸化物半導体という意味であり、その組成比は問わない。
【０１０７】
また、酸化物半導体層は、化学式ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０）で表記される薄膜を用いることができる。ここで、Ｍは、Ｚｎ、Ｇａ、Ａｌ、ＭｎおよびＣｏから選ばれた一または複数の金属元素を示す。例えば、Ｍとしては、Ｇａ、Ｇａ及びＡｌ、Ｇａ及びＭｎ、またはＧａ及びＣｏなどがある。
【０１０８】
また、酸化物半導体としてＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系の材料を用いる場合、用いるターゲットの組成比は、原子数比で、Ｉｎ：Ｚｎ＝５０：１〜１：２（モル比に換算するとＩｎ２Ｏ３：ＺｎＯ＝２５：１〜１：４）、好ましくはＩｎ：Ｚｎ＝２０：１〜１：１（モル比に換算するとＩｎ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１０：１〜１：２）、さらに好ましくはＩｎ：Ｚｎ＝１５：１〜１．５：１（モル比に換算するとＩｎ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１５：２〜３：４）とする。例えば、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体の形成に用いるターゲットは、原子数比がＩｎ：Ｚｎ：Ｏ＝Ｘ：Ｙ：Ｚのとき、Ｚ＞１．５Ｘ＋Ｙとする。
【０１０９】
酸化物半導体層４０３を用いたトランジスタ４１０、トランジスタ４２０、トランジスタ４３０、トランジスタ４４０は、オフ電流を極めて小さくすることが可能である。よって、これをパルス信号出力回路やシフトレジスタに用いることで、各ノードの電位保持が容易になり、パルス信号出力回路やシフトレジスタの誤動作の確率を極めて低く抑えることができる。
【０１１０】
絶縁表面を有する基板４００に使用することができる基板に大きな制限はない。例えば、液晶表示装置などに用いられるガラス基板や、石英基板などを用いることができる。また、シリコンウェハ上に絶縁層を形成した基板などを用いても良い。
【０１１１】
ボトムゲート構造のトランジスタ４１０、トランジスタ４２０、トランジスタ４３０において、下地となる絶縁層を基板とゲート電極層の間に設けてもよい。当該絶縁層は、基板からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜により形成することができる。
【０１１２】
ゲート電極層４０１は、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金材料を用いて形成することができる。また、その構造は、単層構造としても良いし、積層構造としても良い。
【０１１３】
ゲート絶縁層４０２は、プラズマＣＶＤ法やスパッタ法などを用いて、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などから選ばれた一又は複数の膜により形成することができる。例えば、第１のゲート絶縁層としてプラズマＣＶＤ法により膜厚５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の窒化シリコン膜（ＳｉＮｙ（ｙ＞０））を形成し、第１のゲート絶縁層上に第２のゲート絶縁層としてスパッタ法により膜厚５ｎｍ以上３００ｎｍ以下の酸化シリコン膜（ＳｉＯｘ（ｘ＞０））を形成して、合計膜厚３００ｎｍ程度のゲート絶縁層とすることができる。
【０１１４】
ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂは、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金材料を用いて形成することができる。例えば、アルミニウムや銅などの金属層と、チタン、モリブデン、タングステンなどの高融点金属層との積層構造とすることができる。ヒロックやウィスカーの発生を防止する元素（シリコン、ネオジム、スカンジウムなど）が添加されたアルミニウム材料を用いることで耐熱性を向上させても良い。
【０１１５】
また、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂ（これと同じ層で形成される配線層を含む）となる導電膜として、導電性の金属酸化物膜を用いても良い。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウム酸化スズ合金（Ｉｎ２Ｏ３―ＳｎＯ２、ＩＴＯと略記する場合がある）、酸化インジウム酸化亜鉛合金（Ｉｎ２Ｏ３―ＺｎＯ）またはこれらの金属酸化物材料に酸化シリコンを含ませたもの、などを用いることができる。
【０１１６】
ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂに接する配線層４３６ａ、配線層４３６ｂについては、ソース電極層４０５ａ、ドレイン電極層４０５ｂと同様の材料を用いて形成することができる。
【０１１７】
絶縁層４０７、絶縁層４２７、絶縁層４３７としては、代表的には酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
【０１１８】
保護絶縁層４０９としては、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、窒化酸化シリコン膜、窒化酸化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
【０１１９】
また、保護絶縁層４０９上には、トランジスタ起因の表面凹凸を低減するための平坦化絶縁膜を形成してもよい。平坦化絶縁膜としては、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン等の有機材料を用いることができる。また、上記有機材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させることで、平坦化絶縁膜を形成してもよい。
【０１２０】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１２１】
（実施の形態４）
本実施の形態では、酸化物半導体層を含むトランジスタ、およびその作製方法の一例を、図１０を用いて詳細に説明する。
【０１２２】
図１０（Ａ）乃至図１０（Ｅ）は、トランジスタの作製工程にかかる断面図である。なお、ここで示すトランジスタ５１０は、図９（Ａ）に示すトランジスタ４１０と同様の逆スタガ型トランジスタである。
【０１２３】
本実施の形態の半導体層に用いる酸化物半導体は、ｎ型不純物である水素を酸化物半導体から除去し、酸化物半導体の主成分以外に不純物が極力含まれないように高純度化することによりｉ型（真性）の酸化物半導体、又はｉ型（真性）に限りなく近い酸化物半導体としたものである。
【０１２４】
なお、高純度化された酸化物半導体中ではキャリアが極めて少なく、キャリア濃度は１×１０１４／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１２／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１１／ｃｍ３未満となる。また、このようにキャリアが少ないことで、オフ状態における電流（オフ電流）は十分に小さくなる。
【０１２５】
具体的には、上述の酸化物半導体層を具備するトランジスタでは、室温（２５℃）におけるチャネル幅１μｍあたりのオフ電流密度を、トランジスタのチャネル長Ｌが１０μｍ、トランジスタのソース−ドレイン間の電圧が３Ｖの条件において、１００ｚＡ／μｍ（１×１０−１９Ａ／μｍ）以下、さらには１０ｚＡ／μｍ（１×１０−２０Ａ／μｍ）以下にすることが可能である。
【０１２６】
また、高純度化された酸化物半導体層を具備するトランジスタ５１０は、オン電流の温度依存性がほとんど見られず、オフ電流も非常に小さいままである。
【０１２７】
以下、図１０（Ａ）乃至図１０（Ｅ）を用い、基板５０５上にトランジスタ５１０を作製する工程を説明する。
【０１２８】
まず、絶縁表面を有する基板５０５上に導電膜を形成した後、第１のフォトリソグラフィ工程によりゲート電極層５１１を形成する。なお、当該フォトリソグラフィ工程に用いるレジストマスクは、インクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。
【０１２９】
絶縁表面を有する基板５０５には、上記実施の形態における基板４００と同様の基板を用いることができる。本実施の形態では基板５０５としてガラス基板を用いる。
【０１３０】
なお、下地となる絶縁層を基板５０５とゲート電極層５１１との間に設けてもよい。当該絶縁層には、基板５０５からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜などから選ばれた一または複数の膜により形成することができる。
【０１３１】
また、ゲート電極層５１１は、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金材料を用いて形成することができる。また、その構造は、単層構造としても良いし、積層構造としても良い。
【０１３２】
次いで、ゲート電極層５１１上にゲート絶縁層５０７を形成する。ゲート絶縁層５０７は、プラズマＣＶＤ法やスパッタ法などを用いて形成することができる。また、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などから選ばれた一又は複数の膜により形成することができる。
【０１３３】
なお、ゲート絶縁層５０７、酸化物半導体膜５３０に水素、水酸基及び水分がなるべく含まれないようにするために、酸化物半導体膜５３０の成膜の前処理として、スパッタ装置の予備加熱室でゲート電極層５１１が形成された基板５０５、またはゲート絶縁層５０７までが形成された基板５０５を予備加熱し、基板５０５に吸着している水素、水分などの不純物を脱離させることが好ましい。また、予備加熱室に設ける排気手段は、クライオポンプを用いることが好ましい。また、当該予備加熱は、ソース電極層５１５ａ及びドレイン電極層５１５ｂまで形成した基板５０５に対して行っても良い。なお、この予備加熱の処理は省略することもできる。
【０１３４】
次いで、ゲート絶縁層５０７上に、膜厚２ｎｍ以上２００ｎｍ以下、好ましくは５ｎｍ以上３０ｎｍ以下の酸化物半導体膜５３０を形成する（図１０（Ａ）参照）。
【０１３５】
酸化物半導体膜５３０には、上記実施の形態に示した四元系金属酸化物、三元系金属酸化物、二元系金属酸化物、単元系金属酸化物を用いることができる。
【０１３６】
酸化物半導体膜５３０をスパッタ法で作製するためのターゲットとしては、特に、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：ｘ：ｙ（ｘは０以上、ｙは０．５以上５以下）の組成比で表されるものを用いるのが好適である。例えば、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：２［ｍｏｌ比］（ｘ＝１、ｙ＝１）の組成比を有するターゲットなどを用いることができる。また、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：１［ｍｏｌ比］（ｘ＝１、ｙ＝０．５）の組成比を有するターゲットや、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：４［ｍｏｌ比］（ｘ＝１、ｙ＝２）の組成比を有するターゲットや、Ｉｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：０：２［ｍｏｌ比］（ｘ＝０、ｙ＝１）の組成比を有するターゲットを用いることもできる。
【０１３７】
本実施の形態では、非晶質構造の酸化物半導体層を、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の酸化物半導体成膜用ターゲットを用いるスパッタ法により形成することとする。
【０１３８】
酸化物半導体成膜用ターゲット中の金属酸化物の相対密度は８０％以上、好ましくは９５％以上、さらに好ましくは９９．９％以上とする。相対密度の高い酸化物半導体成膜用ターゲットを用いることにより、緻密な構造の酸化物半導体層を形成することが可能である。
【０１３９】
酸化物半導体膜５３０の形成雰囲気は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気、酸素雰囲気、または、希ガス（代表的にはアルゴン）と酸素との混合雰囲気とするのが好適である。具体的には、例えば、水素、水、水酸基、水素化物などの不純物が、濃度１ｐｐｍ以下（望ましくは濃度１０ｐｐｂ以下）にまで除去された高純度ガス雰囲気を用いるのが好適である。
【０１４０】
酸化物半導体膜５３０の形成の際には、例えば、減圧状態に保持された処理室内に被処理物を保持し、被処理物の温度が１００℃以上５５０℃未満、好ましくは２００℃以上４００℃以下となるように被処理物を熱する。または、酸化物半導体膜５３０の形成の際の被処理物の温度は、室温（２５℃±１０℃）としてもよい。そして、処理室内の水分を除去しつつ、水素や水などが除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用いて酸化物半導体膜５３０を形成する。被処理物を熱しながら酸化物半導体膜５３０を形成することにより、酸化物半導体層に含まれる不純物を低減することができる。また、スパッタによる酸化物半導体膜５３０の損傷を軽減することができる。処理室内の水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプを用いることが好ましい。例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプなどを用いることができる。また、ターボポンプにコールドトラップを加えたものを用いてもよい。クライオポンプなどを用いて排気することで、処理室から水素や水などを除去することができるため、酸化物半導体膜５３０中の不純物濃度を低減できる。
【０１４１】
酸化物半導体膜５３０の形成条件としては、例えば、被処理物とターゲットの間との距離が１７０ｍｍ、圧力が０．４Ｐａ、直流（ＤＣ）電力が０．５ｋＷ、雰囲気が酸素（酸素１００％）雰囲気、またはアルゴン（アルゴン１００％）雰囲気、または酸素とアルゴンの混合雰囲気、といった条件を適用することができる。なお、パルス直流（ＤＣ）電源を用いると、成膜時に発生する粉状物質（パーティクル、ゴミともいう）が軽減でき、膜厚のばらつきも小さくなるため好ましい。酸化物半導体膜５３０の厚さは、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下、好ましくは１ｎｍ以上３０ｎｍ以下、より好ましくは１ｎｍ以上１０ｎｍ以下とする。このような厚さの酸化物半導体膜５３０を用いることで、微細化に伴う短チャネル効果を抑制することが可能である。ただし、適用する酸化物半導体材料や、半導体装置の用途などにより適切な厚さは異なるから、その厚さは、用いる材料や用途などに応じて選択することもできる。
【０１４２】
なお、酸化物半導体膜５３０をスパッタ法により形成する前には、アルゴンガスを導入してプラズマを発生させる逆スパッタを行い、形成表面（例えばゲート絶縁層５０７の表面）の付着物を除去するのが好適である。ここで、逆スパッタとは、通常のスパッタにおいては、スパッタターゲットにイオンを衝突させるところを、逆に、処理表面にイオンを衝突させることによってその表面を改質する方法のことをいう。処理表面にイオンを衝突させる方法としては、アルゴン雰囲気下で処理表面側に高周波電圧を印加して、被処理物付近にプラズマを生成する方法などがある。なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素雰囲気、ヘリウム雰囲気、酸素雰囲気などによる雰囲気を適用してもよい。
【０１４３】
次いで、酸化物半導体膜５３０を第２のフォトリソグラフィ工程により島状の酸化物半導体層に加工する。なお、当該フォトリソグラフィ工程に用いるレジストマスクは、インクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。
【０１４４】
なお、ゲート絶縁層５０７にコンタクトホールを形成する場合、その工程は酸化物半導体膜５３０の加工と同時に行うことができる。
【０１４５】
酸化物半導体膜５３０のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。例えば、酸化物半導体膜５３０のウェットエッチングに用いるエッチング液としては、燐酸と酢酸と硝酸とを混合させた溶液などを用いることができる。また、ＩＴＯ０７Ｎ（関東化学社製）を用いてもよい。
【０１４６】
その後、酸化物半導体層に対して、熱処理（第１の熱処理）を行い、酸化物半導体層５３１を得る（図１０（Ｂ）参照）。この第１の熱処理によって酸化物半導体層中の過剰な水素（水や水酸基を含む）を除去し、酸化物半導体層の構造を整え、エネルギーギャップ中の欠陥準位を低減することができる。第１の熱処理の温度は、例えば、３００℃以上５５０℃未満、または４００℃以上５００℃以下とする。
【０１４７】
第１の熱処理は、例えば、抵抗発熱体などを用いた電気炉に被処理物を導入し、窒素雰囲気下、４５０℃、１時間の条件で行うことができる。この間、酸化物半導体層は大気に触れないようにし、水や水素の混入が生じないようにする。
【０１４８】
熱処理装置は電気炉に限られず、加熱されたガスなどの媒体からの熱伝導、または熱輻射によって、被処理物を加熱する装置を用いても良い。例えば、ＬＲＴＡ（Ｌａｍｐ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置、ＧＲＴＡ（Ｇａｓ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置等のＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置を用いることができる。ＬＲＴＡ装置とは、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀ランプなどのランプから発する光（電磁波）の輻射により、被処理物を加熱する装置である。ＧＲＴＡ装置とは、高温のガスを用いて熱処理を行う装置である。ガスとしては、アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、熱処理によって被処理物と反応しない不活性気体が用いられる。
【０１４９】
例えば、第１の熱処理として、熱せられた不活性ガス雰囲気中に被処理物を投入し、数分間熱した後、当該不活性ガス雰囲気から被処理物を取り出すＧＲＴＡ処理を行ってもよい。ＧＲＴＡ処理を用いると短時間での高温熱処理が可能となる。また、被処理物の耐熱温度を超える温度条件であっても適用が可能となる。なお、処理中に、不活性ガスを、酸素を含むガスに切り替えても良い。酸素を含む雰囲気において第１の熱処理を行うことで、酸素欠損に起因するエネルギーギャップ中の欠陥準位を低減することができるためである。
【０１５０】
なお、不活性ガス雰囲気としては、窒素、または希ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン等）を主成分とする雰囲気であって、水、水素などが含まれない雰囲気を適用するのが望ましい。例えば、熱処理装置に導入する窒素や、ヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以上、好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上（すなわち、不純物濃度が１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とする。
【０１５１】
いずれにしても、第１の熱処理によって不純物を低減し、ｉ型（真性）半導体またはｉ型に限りなく近い酸化物半導体層を形成することで、極めて優れた特性のトランジスタを実現することができる。
【０１５２】
ところで、上述の熱処理（第１の熱処理）には水素や水などを除去する効果があるから、当該熱処理を、脱水化処理や、脱水素化処理などと呼ぶこともできる。当該脱水化処理や、脱水素化処理は、酸化物半導体膜５３０の形成後、島状の酸化物半導体層に加工する前において行うことも可能である。また、このような脱水化処理、脱水素化処理は、一回に限らず複数回行っても良い。
【０１５３】
なお、第１の加熱処理は、上記以外に、ソース電極層及びドレイン電極層を形成した後、ソース電極層及びドレイン電極層上に絶縁層を形成した後、などのタイミングにおいて行うことができる。
【０１５４】
次いで、ゲート絶縁層５０７、及び酸化物半導体層５３１上に、ソース電極層及びドレイン電極層（これと同じ層で形成される配線を含む）となる導電膜を形成する。ソース電極層、及びドレイン電極層に用いる導電膜としては、上記実施の形態において示した材料を用いることができる。
【０１５５】
第３のフォトリソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行ってソース電極層５１５ａ、ドレイン電極層５１５ｂを形成した後、レジストマスクを除去する（図１０（Ｃ）参照）。
【０１５６】
第３のフォトリソグラフィ工程でのレジストマスク形成時の露光には、紫外線やＫｒＦレーザ光やＡｒＦレーザ光を用いるとよい。なお、トランジスタのチャネル長（Ｌ）は、ソース電極層とドレイン電極層の間隔によって決定される。このため、チャネル長（Ｌ）が２５ｎｍ未満のトランジスタの作製に用いるマスク形成時の露光には、数ｎｍ〜数１０ｎｍと波長の短い超紫外線（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）を用いるのが望ましい。超紫外線による露光は、解像度が高く焦点深度も大きい。従って、後に形成されるトランジスタのチャネル長（Ｌ）を、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ（１μｍ）以下とすることも可能であり、回路の動作速度を高めることが可能である。また、微細化によって、半導体装置の消費電力を低減することも可能である。
【０１５７】
また、フォトリソグラフィ工程で用いるフォトマスク数及び工程数を削減するため、多階調マスクによって形成されたレジストマスクを用いてエッチング工程を行ってもよい。多階調マスクを用いて形成されたレジストマスクは異なる厚さの領域を有し、エッチングを行うことでさらに形状を変形することができるため、異なるパターンに加工するための複数のエッチング工程に用いることができる。よって、一枚の多階調マスクによって、少なくとも二種類以上の異なるパターンに対応するレジストマスクを形成することができる。これにより、露光マスク数を削減することができ、対応するフォトリソグラフィ工程も削減できるため、工程の簡略化が可能となる。
【０１５８】
なお、導電膜のエッチングの際には、酸化物半導体層５３１がエッチングにより分断されることのないように、エッチング条件を最適化することが望まれる。しかしながら、導電膜のみをエッチングし、酸化物半導体層５３１を全くエッチングしないという条件を得ることは難しく、導電膜のエッチングの際に、酸化物半導体層５３１の一部がエッチングされ溝部（凹部）が形成されることもある。
【０１５９】
導電膜のエッチングには、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれを用いても良い。なお、素子の微細化という観点からはドライエッチングを用いるのが好適である。エッチングガスやエッチング液については被エッチング材料に応じて適宜選択することができる。本実施の形態では、導電膜としてチタン膜を用い、酸化物半導体層５３１にはＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の材料を用いているため、例えばウェットエッチングを適用する場合には、エッチャントとしてアンモニア過水（アンモニア、水、過酸化水素水の混合液）を用いることができる。
【０１６０】
次いで、Ｎ２Ｏ、Ｎ２、またはＡｒなどのガスを用いたプラズマ処理を行い、露出している酸化物半導体層の表面に付着した水素や水などを除去するのが望ましい。当該プラズマ処理を行う場合は、処理後、大気に触れない条件で、保護絶縁膜となる絶縁層５１６を形成する。
【０１６１】
絶縁層５１６は、少なくとも１ｎｍ以上の膜厚とし、スパッタ法など、絶縁層５１６に水や水素等の不純物を混入させない方法を用いて形成することが望ましい。絶縁層５１６に水素が含まれると、その水素の酸化物半導体層への侵入や、水素による酸化物半導体層中の酸素の引き抜きなどが生じ、酸化物半導体層のバックチャネルが低抵抗化（ｎ型化）して寄生チャネルが形成されるおそれがあるからである。また、絶縁層５１６には、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などを用いるのが望ましい。
【０１６２】
本実施の形態では、絶縁層５１６として膜厚２００ｎｍの酸化シリコン膜を、スパッタ法を用いて成膜する。成膜時の基板温度は、室温（２５℃）以上３００℃以下とすればよく、本実施の形態では１００℃とする。酸化シリコン膜のスパッタ法による成膜は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気下、酸素雰囲気下、または希ガスと酸素の混合雰囲気下において行うことができる。また、ターゲットとして酸化シリコンターゲットまたはシリコンターゲットを用いることができる。
【０１６３】
酸化物半導体膜５３０の成膜時と同様に、絶縁層５１６の成膜室内の残留水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプ（クライオポンプなど）を用いることが好ましい。クライオポンプを用いて排気した成膜室で成膜することにより、絶縁層５１６に含まれる不純物の濃度を低減できる。また、絶縁層５１６の成膜室内の残留水分を除去するための排気手段として、ターボポンプにコールドトラップを加えたものを用いても良い。
【０１６４】
絶縁層５１６の成膜に用いるスパッタガスは、水素や水などの不純物が除去された高純度ガスであることが望ましい。
【０１６５】
次いで、不活性ガス雰囲気下、または酸素雰囲気下で第２の熱処理を行う。第２の熱処理の温度は、２００℃以上４５０℃以下、望ましくは２５０℃以上３５０℃以下とする。例えば、窒素雰囲気下で２５０℃、１時間の熱処理を行えばよい。第２の熱処理を行うことによって、トランジスタの電気的特性のばらつきを軽減することができる。また、絶縁層５１６から酸化物半導体層５３１への酸素の供給により、該酸化物半導体層５３１の酸素欠損を補填して、ｉ型（真性）半導体またはｉ型半導体に限りなく近い酸化物半導体層を形成することもできる。
【０１６６】
なお、本実施の形態では、絶縁層５１６の形成後に第２の熱処理を行っているが、第２の熱処理のタイミングはこれに限定されない。例えば、第１の熱処理に続けて第２の熱処理を行っても良いし、第１の熱処理に第２の熱処理を兼ねさせても良い。
【０１６７】
上述のように、第１の熱処理および第２の熱処理によって、酸化物半導体層５３１を、その主成分以外に不純物が極力含まれないように高純度化し、ｉ型（真性）化することができる。
【０１６８】
以上の工程でトランジスタ５１０が形成される（図１０（Ｄ）参照）。
【０１６９】
なお、絶縁層５１６上には、さらに保護絶縁層５０６を形成するのが望ましい（図１０（Ｅ）参照）。保護絶縁層５０６は、水素や水などの、外部からの侵入を防止する。保護絶縁層５０６としては、例えば、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜などを用いることができる。成膜方法は特に限定されないが、ＲＦスパッタ法は量産性がよいため、保護絶縁層５０６の成膜方法として適している。
【０１７０】
なお、保護絶縁層５０６の形成後には、さらに、大気中、１００℃以上２００℃以下、１時間以上３０時間以下の条件で、熱処理を行ってもよい。
【０１７１】
このように、本実施の形態を用いて作製した、高純度化された酸化物半導体層を含むトランジスタは、オフ電流が極めて小さいという特徴を有している。このため、これを用いることにより、ノードの電位保持が容易になる。よって、これをパルス信号出力回路やシフトレジスタに用いることで、パルス信号出力回路やシフトレジスタの誤動作の確率を極めて低く抑えることができる。
【０１７２】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１７３】
（実施の形態５）
上記実施の形態１または実施の形態２で一例を示したシフトレジスタを用いて、表示機能を有する半導体装置（表示装置ともいう）を作製することができる。また、駆動回路の一部または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができる。
【０１７４】
表示装置に用いる表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう）、発光素子（発光表示素子ともいう）を適用することができる。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、有機ＥＬ等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
【０１７５】
図１１（Ａ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２を囲むようにして、シール材４００５が設けられ、第２の基板４００６によって封止されている。図１１（Ａ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に走査線駆動回路４００４、信号線駆動回路４００３が実装されている。また別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）４０１８ａ、ＦＰＣ４０１８ｂから供給されている。
【０１７６】
図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とを囲むようにして、シール材４００５が設けられている。また画素部４００２と、走査線駆動回路４００４の上に第２の基板４００６が設けられている。よって画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とは、第１の基板４００１とシール材４００５と第２の基板４００６とによって、表示素子と共に封止されている。図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に信号線駆動回路４００３が実装されている。図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）においては、別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ４０１８から供給されている。
【０１７７】
また図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）においては、信号線駆動回路４００３を別途形成し、第１の基板４００１に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを別途形成して実装しても良い。
【０１７８】
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）方法、ワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方法などを用いることができる。図１１（Ａ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３、走査線駆動回路４００４を実装する例であり、図１１（Ｂ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例であり、図１１（Ｃ）は、ＴＡＢ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例である。
【０１７９】
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むＩＣ等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
【０１８０】
なお、本明細書中における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光源（照明装置含む）を指す。また、コネクター、例えばＦＰＣもしくはＴＡＢテープもしくはＴＣＰが取り付けられたモジュール、ＴＡＢテープやＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または表示素子にＣＯＧ方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０１８１】
また、第１の基板上に設けられた画素部は、トランジスタを複数有しており、該トランジスタとして、先の実施の形態で例示したトランジスタを適用してもよい。
【０１８２】
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
【０１８３】
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために５重量％以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶層に用いると良い。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が１ｍｓｅｃ以下と短く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理が不要となる。このため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。よって液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。
【０１８４】
また、液晶材料の固有抵抗は、１×１０９Ω・ｃｍ以上であり、好ましくは１×１０１１Ω・ｃｍ以上であり、さらに好ましくは１×１０１２Ω・ｃｍ以上である。なお、本明細書における固有抵抗の値は、２０℃で測定した値とする。
【０１８５】
液晶表示装置に設けられる保持容量の大きさは、画素部に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。保持容量の大きさは、トランジスタのオフ電流等を考慮して設定すればよい。
【０１８６】
液晶表示装置には、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ Ｆｉｅｌｄ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ ａｌｉｇｎｅｄ Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モードなどを用いる。
【０１８７】
また、ノーマリーブラック型の液晶表示装置、例えば垂直配向（ＶＡ）モードを採用した透過型の液晶表示装置としてもよい。垂直配向モードとしては、いくつか挙げられるが、例えば、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−Ｄｏｍａｉｎ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＶモードなどを用いることができる。
【０１８８】
また、ＶＡ型の液晶表示装置にも適用することができる。ＶＡ型の液晶表示装置とは、液晶表示パネルの液晶分子の配列を制御する方式の一種である。ＶＡ型の液晶表示装置は、電圧が印加されていないときにパネル面に対して液晶分子が垂直方向を向く方式である。また、画素（ピクセル）をいくつかの領域（サブピクセル）に分け、それぞれ別の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計といわれる方法を用いることができる。
【０１８９】
また、表示装置において、ブラックマトリクス（遮光層）、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用いてもよい。
【０１９０】
また、画素部における表示方式は、プログレッシブ方式やインターレース方式等を用いることができる。また、カラー表示する際に画素で制御する色要素としては、ＲＧＢ（Ｒは赤、Ｇは緑、Ｂは青を表す）の三色に限定されない。例えば、ＲＧＢＷ（Ｗは白を表す）、又はＲＧＢに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加したものがある。なお、色要素のドット毎にその表示領域の大きさが異なっていてもよい。ただし、開示する発明は、カラー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することもできる。
【０１９１】
また、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機ＥＬ素子、後者は無機ＥＬ素子と呼ばれている。
【０１９２】
有機ＥＬ素子では、発光素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャリア（電子および正孔）が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。当該メカニズムから、このような発光素子は電流励起型の発光素子と呼ばれる。
【０１９３】
無機ＥＬ素子は、その素子構成により、分散型無機ＥＬ素子と薄膜型無機ＥＬ素子とに分類される。分散型無機ＥＬ素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機ＥＬ素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。
【０１９４】
また、表示装置として、電子インクを駆動させる電子ペーパーを提供することも可能である。電子ペーパーは、電気泳動表示装置（電気泳動ディスプレイ）とも呼ばれており、紙と同じ読みやすさ、他の表示装置に比べ低消費電力、薄くて軽い形状とすることが可能という利点を有している。
【０１９５】
電気泳動表示装置は、様々な形態が考えられ得るが、プラスの電荷を有する第１の粒子と、マイナスの電荷を有する第２の粒子とを含むマイクロカプセルが溶媒または溶質に複数分散されたものであり、マイクロカプセルに電界を印加することによって、マイクロカプセル中の粒子を互いに反対方向に移動させて一方側に集合した粒子の色のみを表示するものである。なお、第１の粒子または第２の粒子は染料を含み、電界がない場合において移動しないものである。また、第１の粒子の色と第２の粒子の色は異なるもの（無色を含む）とする。
【０１９６】
このように、電気泳動表示装置は、誘電定数の高い物質が高い電界領域に移動する、いわゆる誘電泳動的効果を利用したディスプレイである。
【０１９７】
上記マイクロカプセルを溶媒中に分散させたものが電子インクと呼ばれるものであり、この電子インクはガラス、プラスチック、布、紙などの表面に印刷することができる。また、カラーフィルタや色素を有する粒子を用いることによってカラー表示も可能である。
【０１９８】
なお、マイクロカプセル中の第１の粒子および第２の粒子には、導電体材料、絶縁体材料、半導体材料、磁性材料、液晶材料、強誘電性材料、エレクトロルミネセント材料、エレクトロクロミック材料、磁気泳動材料から選ばれた一種の材料、またはこれらの複合材料を用いればよい。
【０１９９】
また、電子ペーパーとして、ツイストボール表示方式を用いる表示装置も適用することができる。ツイストボール表示方式とは、白と黒に塗り分けられた球形粒子を表示素子に用いる電極層である第１の電極層及び第２の電極層の間に配置し、第１の電極層及び第２の電極層に電位差を生じさせての球形粒子の向きを制御することにより、表示を行う方法である。
【０２００】
以上に例示する表示装置に、実施の形態１または実施の形態２で示したパルス信号出力回路を適用することで、様々な機能を有する表示装置を提供することができる。
【０２０１】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２０２】
（実施の形態６）
本明細書に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器（遊技機も含む）に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置（テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラなどのカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
【０２０３】
図１２（Ａ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製したノート型のパーソナルコンピュータであり、本体３００１、筐体３００２、表示部３００３、キーボード３００４などによって構成されている。
【０２０４】
図１２（Ｂ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製した携帯情報端末（ＰＤＡ）であり、本体３０２１には表示部３０２３と、外部インターフェイス３０２５と、操作ボタン３０２４等が設けられている。また操作用の付属品としてスタイラス３０２２がある。
【０２０５】
また、本明細書に開示する半導体装置は、電子ペーパーとして適用することができる。図１２（Ｃ）は該電子ペーパーを一部品として実装して作製した電子書籍である。図１２（Ｃ）は、電子書籍の一例を示している。例えば、電子書籍２７００は、筐体２７０１および筐体２７０３の２つの筐体で構成されている。筐体２７０１および筐体２７０３は、軸部２７１１により一体とされており、該軸部２７１１を軸として開閉動作を行うことができる。このような構成により、紙の書籍のような動作を行うことが可能となる。
【０２０６】
筐体２７０１には表示部２７０５が組み込まれ、筐体２７０３には表示部２７０７が組み込まれている。表示部２７０５および表示部２７０７は、続き画面を表示する構成としてもよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とすることで、例えば右側の表示部（図１２（Ｃ）では表示部２７０５）に文章を表示し、左側の表示部（図１２（Ｃ）では表示部２７０７）に画像を表示することができる。
【０２０７】
また、図１２（Ｃ）では、筐体２７０１に操作部などを備えた例を示している。例えば、筐体２７０１において、電源２７２１、操作キー２７２３、スピーカー２７２５などを備えている。操作キー２７２３により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面にキーボードやポインティングデバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子（イヤホン端子、ＵＳＢ端子など）、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。さらに、電子書籍２７００は、電子辞書としての機能を持たせた構成としてもよい。
【０２０８】
また、電子書籍２７００は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすることも可能である。
【０２０９】
図１２（Ｄ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製した携帯電話であり、筐体２８００及び筐体２８０１の二つの筐体で構成されている。筐体２８０１には、表示パネル２８０２、スピーカー２８０３、マイクロフォン２８０４、ポインティングデバイス２８０６、カメラ用レンズ２８０７、外部接続端子２８０８などを備えている。また、筐体２８００には、携帯型情報端末の充電を行う太陽電池セル２８１０、外部メモリスロット２８１１などを備えている。また、アンテナは筐体２８０１内部に内蔵されている。
【０２１０】
また、表示パネル２８０２はタッチパネルを備えており、図１２（Ｄ）には映像表示されている複数の操作キー２８０５を点線で示している。なお、太陽電池セル２８１０で出力される電圧を各回路に必要な電圧に昇圧するための昇圧回路も実装している。
【０２１１】
表示パネル２８０２は、使用形態に応じて表示の方向が適宜変化する。また、表示パネル２８０２と同一面上にカメラ用レンズ２８０７を備えているため、テレビ電話が可能である。スピーカー２８０３及びマイクロフォン２８０４は音声通話に限らず、テレビ電話、録音、再生などが可能である。さらに、筐体２８００と筐体２８０１は、スライドし、図１２（Ｄ）のように展開している状態から重なり合った状態とすることができ、携帯に適した小型化が可能である。
【０２１２】
外部接続端子２８０８はＡＣアダプタ及びＵＳＢケーブルなどの各種ケーブルと接続可能であり、充電及びパーソナルコンピュータなどとのデータ通信が可能である。また、外部メモリスロット２８１１に記録媒体を挿入することで、より大量のデータ保存及び移動に対応できる。
【０２１３】
また、上記機能に加えて、赤外線通信機能、テレビ受信機能などを備えたものであってもよい。
【０２１４】
図１２（Ｅ）は本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装して作製したデジタルビデオカメラであり、本体３０５１、第１の表示部３０５７、接眼部３０５３、操作スイッチ３０５４、第２の表示部３０５５、バッテリー３０５６などによって構成されている。
【０２１５】
図１２（Ｆ）は、本明細書に開示する半導体装置を少なくとも一部品として実装したテレビジョン装置の一例を示している。テレビジョン装置９６００では、筐体９６０１に表示部９６０３が組み込まれている。表示部９６０３により、映像を表示することが可能である。また、ここでは、スタンド９６０５により筐体９６０１を支持した構成を示している。
【０２１６】
テレビジョン装置９６００の操作は、筐体９６０１が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機により行うことができる。また、リモコン操作機に、当該リモコン操作機から出力する情報を表示する表示部を設ける構成としてもよい。
【０２１７】
なお、テレビジョン装置９６００は、受信機やモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）または双方向（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。
【０２１８】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【符号の説明】
【０２１９】
１０ パルス信号出力回路
１１ 信号線
１２ 信号線
１３ 信号線
１４ 信号線
１５ 配線
２１ 入力端子
２２ 入力端子
２３ 入力端子
２４ 入力端子
２５ 入力端子
２６ 出力端子
２７ 出力端子
３１ 電源線
３２ 電源線
５１ 期間
５２ 期間
５３ 期間
５４ 期間
５５ 期間
５６ 期間
１０１ トランジスタ
１０２ トランジスタ
１０３ トランジスタ
１０４ トランジスタ
１０５ トランジスタ
１０６ トランジスタ
１０７ トランジスタ
１０８ トランジスタ
１０９ トランジスタ
１１０ トランジスタ
１１１ トランジスタ
４００ 基板
４０１ ゲート電極層
４０２ ゲート絶縁層
４０３ 酸化物半導体層
４０５ａ ソース電極層
４０５ｂ ドレイン電極層
４０７ 絶縁層
４０９ 保護絶縁層
４１０ トランジスタ
４２０ トランジスタ
４２７ 絶縁層
４３０ トランジスタ
４３６ａ 配線層
４３６ｂ 配線層
４３７ 絶縁層
４４０ トランジスタ
５０５ 基板
５０６ 保護絶縁層
５０７ ゲート絶縁層
５１０ トランジスタ
５１１ ゲート電極層
５１５ａ ソース電極層
５１５ｂ ドレイン電極層
５１６ 絶縁層
５３０ 酸化物半導体膜
５３１ 酸化物半導体層
２７００ 電子書籍
２７０１ 筐体
２７０３ 筐体
２７０５ 表示部
２７０７ 表示部
２７１１ 軸部
２７２１ 電源
２７２３ 操作キー
２７２５ スピーカー
２８００ 筐体
２８０１ 筐体
２８０２ 表示パネル
２８０３ スピーカー
２８０４ マイクロフォン
２８０５ 操作キー
２８０６ ポインティングデバイス
２８０７ カメラ用レンズ
２８０８ 外部接続端子
２８１０ 太陽電池セル
２８１１ 外部メモリスロット
３００１ 本体
３００２ 筐体
３００３ 表示部
３００４ キーボード
３０２１ 本体
３０２２ スタイラス
３０２３ 表示部
３０２４ 操作ボタン
３０２５ 外部インターフェイス
３０５１ 本体
３０５３ 接眼部
３０５４ 操作スイッチ
３０５５ 表示部
３０５６ バッテリー
３０５７ 表示部
４００１ 基板
４００２ 画素部
４００３ 信号線駆動回路
４００４ 走査線駆動回路
４００５ シール材
４００６ 基板
４０１８ ＦＰＣ
４０１８ａ ＦＰＣ
４０１８ｂ ＦＰＣ
９６００ テレビジョン装置
９６０１ 筐体
９６０３ 表示部
９６０５ スタンド
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１乃至第４のトランジスタと、第１の入力信号生成回路と、第２の入力信号生成回路と、を有し、
前記第１のトランジスタの第１の端子と、前記第２のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第１の出力端子として機能し、
前記第３のトランジスタの第１の端子と、前記第４のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の出力端子として機能し、
前記第１のトランジスタのゲート端子と、前記第３のトランジスタのゲート端子と、前記第１の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのゲート端子と、前記第４のトランジスタのゲート端子と、前記第２の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、
前記第１のトランジスタの第２の端子には第１のクロック信号が入力され、
前記第２のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、
前記第３のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位より高い第２の電位が与えられ、
前記第４のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第１の入力信号生成回路には、少なくとも第１のパルス信号が入力され、
前記第２の入力信号生成回路には、少なくとも第２のクロック信号が入力され、
前記第１の出力端子または前記第２の出力端子から、第２のパルス信号を出力するパルス信号出力回路。
【請求項２】
前記第２の出力端子に接続される負荷は、前記第１の出力端子に接続される負荷より大きいものである、請求項１に記載のパルス信号出力回路。
【請求項３】
前記第１の入力信号生成回路には、前記第１のパルス信号に加え、前記第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される、請求項１または２に記載のパルス信号出力回路。
【請求項４】
前記第１の入力信号生成回路は、第５のトランジスタと、第６のトランジスタと、を有し、
前記第５のトランジスタの第１の端子と、前記第６のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて前記第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第５のトランジスタの第２の端子には前記第２の電位が与えられ、
前記第６のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第５のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力され、
前記第６のトランジスタのゲート端子には前記第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される、請求項３に記載のパルス信号出力回路。
【請求項５】
前記第１の入力信号生成回路は、第５乃至第７のトランジスタを有し、
前記第５のトランジスタの第１の端子と、前記第６のトランジスタの第１の端子と、前記第７のトランジスタの第１の端子と、は電気的に接続され、
前記第７のトランジスタの第２の端子は前記第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第５のトランジスタの第２の端子には前記第２の電位が与えられ、
前記第６のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第５のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力され、
前記第６のトランジスタのゲート端子には前記第２の入力信号生成回路の出力信号が入力され、
前記第７のトランジスタのゲート端子には前記第２の電位が与えられる、請求項３に記載のパルス信号出力回路。
【請求項６】
前記第２の入力信号生成回路には、前記第２のクロック信号に加え、前記第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力される、請求項１乃至請求項５のいずれか一に記載のパルス信号出力回路。
【請求項７】
前記第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１０のトランジスタを有し、
前記第８のトランジスタの第２の端子と、前記第９のトランジスタの第２の端子と、前記第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて前記第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第８のトランジスタの第１の端子と、前記第９のトランジスタの第１の端子とには、前記第２の電位が与えられ、
前記第１０のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第８のトランジスタのゲート端子には前記第３のパルス信号が入力され、
前記第９のトランジスタのゲート端子には前記第２のクロック信号が入力され、
前記第１０のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力される、請求項６に記載のパルス信号出力回路。
【請求項８】
前記第２の入力信号生成回路には、前記第２のクロック信号に加え、第３のクロック信号、前記第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力される、請求項１乃至請求項５のいずれか一に記載のパルス信号出力回路。
【請求項９】
前記第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１１のトランジスタを有し、
前記第１１のトランジスタの第２の端子と、前記第９のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続され、
前記第９のトランジスタの第２の端子と、前記第８のトランジスタの第２の端子と、前記第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて前記第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第８のトランジスタの第１の端子と、前記第１１のトランジスタの第１の端子とには、前記第２の電位が与えられ、
前記第１０のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第８のトランジスタのゲート端子には前記第３のパルス信号が入力され、
前記第９のトランジスタのゲート端子には前記第２のクロック信号が入力され、
前記第１０のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力され、
前記第１１のトランジスタのゲート端子には前記第３のクロック信号が入力される、請求項８に記載のパルス信号出力回路。
【請求項１０】
前記複数のトランジスタのいずれかに酸化物半導体が用いられた、請求項１乃至請求項９のいずれか一に記載のパルス信号出力回路。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一に記載のパルス信号出力回路を複数用いたシフトレジスタ。
【請求項１】
第１乃至第４のトランジスタと、第１の入力信号生成回路と、第２の入力信号生成回路と、を有し、
前記第１のトランジスタの第１の端子と、前記第２のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第１の出力端子として機能し、
前記第３のトランジスタの第１の端子と、前記第４のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて第２の出力端子として機能し、
前記第１のトランジスタのゲート端子と、前記第３のトランジスタのゲート端子と、前記第１の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのゲート端子と、前記第４のトランジスタのゲート端子と、前記第２の入力信号生成回路の出力端子と、は電気的に接続され、
前記第１のトランジスタの第２の端子には第１のクロック信号が入力され、
前記第２のトランジスタの第２の端子には第１の電位が与えられ、
前記第３のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位より高い第２の電位が与えられ、
前記第４のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第１の入力信号生成回路には、少なくとも第１のパルス信号が入力され、
前記第２の入力信号生成回路には、少なくとも第２のクロック信号が入力され、
前記第１の出力端子または前記第２の出力端子から、第２のパルス信号を出力するパルス信号出力回路。
【請求項２】
前記第２の出力端子に接続される負荷は、前記第１の出力端子に接続される負荷より大きいものである、請求項１に記載のパルス信号出力回路。
【請求項３】
前記第１の入力信号生成回路には、前記第１のパルス信号に加え、前記第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される、請求項１または２に記載のパルス信号出力回路。
【請求項４】
前記第１の入力信号生成回路は、第５のトランジスタと、第６のトランジスタと、を有し、
前記第５のトランジスタの第１の端子と、前記第６のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて前記第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第５のトランジスタの第２の端子には前記第２の電位が与えられ、
前記第６のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第５のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力され、
前記第６のトランジスタのゲート端子には前記第２の入力信号生成回路の出力信号が入力される、請求項３に記載のパルス信号出力回路。
【請求項５】
前記第１の入力信号生成回路は、第５乃至第７のトランジスタを有し、
前記第５のトランジスタの第１の端子と、前記第６のトランジスタの第１の端子と、前記第７のトランジスタの第１の端子と、は電気的に接続され、
前記第７のトランジスタの第２の端子は前記第１の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第５のトランジスタの第２の端子には前記第２の電位が与えられ、
前記第６のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第５のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力され、
前記第６のトランジスタのゲート端子には前記第２の入力信号生成回路の出力信号が入力され、
前記第７のトランジスタのゲート端子には前記第２の電位が与えられる、請求項３に記載のパルス信号出力回路。
【請求項６】
前記第２の入力信号生成回路には、前記第２のクロック信号に加え、前記第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力される、請求項１乃至請求項５のいずれか一に記載のパルス信号出力回路。
【請求項７】
前記第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１０のトランジスタを有し、
前記第８のトランジスタの第２の端子と、前記第９のトランジスタの第２の端子と、前記第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて前記第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第８のトランジスタの第１の端子と、前記第９のトランジスタの第１の端子とには、前記第２の電位が与えられ、
前記第１０のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第８のトランジスタのゲート端子には前記第３のパルス信号が入力され、
前記第９のトランジスタのゲート端子には前記第２のクロック信号が入力され、
前記第１０のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力される、請求項６に記載のパルス信号出力回路。
【請求項８】
前記第２の入力信号生成回路には、前記第２のクロック信号に加え、第３のクロック信号、前記第１のパルス信号、および第３のパルス信号が入力される、請求項１乃至請求項５のいずれか一に記載のパルス信号出力回路。
【請求項９】
前記第２の入力信号生成回路は、第８乃至第１１のトランジスタを有し、
前記第１１のトランジスタの第２の端子と、前記第９のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続され、
前記第９のトランジスタの第２の端子と、前記第８のトランジスタの第２の端子と、前記第１０のトランジスタの第１の端子とは電気的に接続されて前記第２の入力信号生成回路の出力端子として機能し、
前記第８のトランジスタの第１の端子と、前記第１１のトランジスタの第１の端子とには、前記第２の電位が与えられ、
前記第１０のトランジスタの第２の端子には前記第１の電位が与えられ、
前記第８のトランジスタのゲート端子には前記第３のパルス信号が入力され、
前記第９のトランジスタのゲート端子には前記第２のクロック信号が入力され、
前記第１０のトランジスタのゲート端子には前記第１のパルス信号が入力され、
前記第１１のトランジスタのゲート端子には前記第３のクロック信号が入力される、請求項８に記載のパルス信号出力回路。
【請求項１０】
前記複数のトランジスタのいずれかに酸化物半導体が用いられた、請求項１乃至請求項９のいずれか一に記載のパルス信号出力回路。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一に記載のパルス信号出力回路を複数用いたシフトレジスタ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１１−２０５６２７（Ｐ２０１１−２０５６２７Ａ）
【公開日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−４３４４０（Ｐ２０１１−４３４４０）
【出願日】平成２３年３月１日（２０１１．３．１）
【出願人】（０００１５３８７８）株式会社半導体エネルギー研究所 (5,264)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月１日（２０１１．３．１）
【出願人】（０００１５３８７８）株式会社半導体エネルギー研究所 (5,264)
【Ｆターム（参考）】
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