磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法
磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法が開示される。この方法は磁気トンネル接合(MTJ)構造上にキャップ層(112)を堆積させることと、キャップ層上に第1のスピンオン材料層(530)を堆積させることと、第1のスピンオン材料層およびキャップ層の少なくとも一部をエッチングすることとを備える。スピンオン材料を堆積させてエッチングするステップは数回繰り返すことができる。スピンオン材料はMTJを囲む層間絶縁膜層を保護する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は一般に磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【0002】
技術の進歩は、より小型でより強力なコンピューティング機器をもたらしている。現在では、様々な携帯用パーソナルコンピューティング機器が存在し、例えば小型軽量でユーザが持ち運びしやすい携帯無線電話、携帯情報端末(PDA)、ページング機器のような無線コンピューティング機器を含む。もっと具体的には、セルラ電話やインターネットプロトコル(IP)電話のような携帯無線電話が音声およびデータパケットを無線ネットワーク上で通信できる。さらに、このような多くの無線電話はこれに組み込まれる別タイプの機器を含む。例えば、1つの無線電話がディジタル静止画カメラ、ディジタル・ビデオ・カメラ、ディジタルレコーダ、オーディオ・ファイル・プレーヤをも含み得る。また、このような無線電話は、インターネットにアクセスするために使用可能なウェブ・ブラウザ・アプリケーションのようなソフトウェアアプリケーションを含む実行可能命令を処理できる。そういうものとして、これら無線電話はかなりの計算能力を持つことができる。
【発明の概要】
【0003】
電力消費の低減は、このような携帯機器内でのより小さな回路構成および動作電圧をもたらすものである。構成サイズおよび動作電圧の低減は、電力消費を低減する一方で、製造プロセス変動に対する過敏性を増大させる。それゆえ、低減された構成サイズでメモリ装置の信頼性を向上できる製造技術が望ましい。
【0004】
1つの特定実施形態では、方法が開示される。この方法は、キャップ層を磁気トンネル接合(MTJ:magnetic tunnel junction)構造上に堆積させることを備える。この方法は、さらに第1のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させること、および前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層の少なくとも一部をエッチングすることを備える。
【0005】
他の特定実施形態では、装置が開示される。この装置は、磁気トンネル接合(MTJ)構造と、前記MTJ構造にコンタクトするキャップ層とを備える。また、この装置は前記キャップ層の側壁部分にコンタクトするスピンオン材料層と、少なくとも前記スピンオン材料層および前記MTJ構造の一部にコンタクトする導電層も備える。前記キャップ層は前記MTJ構造の電極コンタクト層の一部を露出させるようにエッチングされており、この導電層は前記MTJ構造の前記電極コンタクト層の露出部分に電気的にコンタクトしている。
【0006】
他の特定実施形態では、システムが開示される。このシステムは磁気トンネル接合(MTJ)構造上に堆積されたキャップ層上にスピンオン材料層を堆積させる手段を備え、層間絶縁膜(ILD)層が前記スピンオン材料層を堆積させる前に前記キャップ層上に堆積される。
【0007】
磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法の開示実施形態の少なくとも1つにより提供される1つの格別な利点は改善された歩留りである。この磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法の開示実施形態の少なくとも1つにより提供される他の格別な利点は、磁気ランダム・アクセス・メモリの改善された信頼性である。
【0008】
本開示の他の態様、利点および特徴は、次の部分:図面の簡単な説明、詳細な説明、および特許請求の範囲を含む本出願全体を考察して明らかになるはずである。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのキャップ層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図2】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの層間絶縁膜(ILD)の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図3】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの化学的機械的平坦化(CMP)を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図4】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図5】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図6】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図7】製造中におけるスピンオン材料層およびキャップ層のエッチング後のランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図8】製造中における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図9】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図10】磁気ランダム・アクセス・メモリの製造中における第2のスピンオン材料層、第1のスピンオン材料およびキャップ層のエッチング後の磁気ランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図11】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの磁気トンネル接合の対応コンタクト電極にコンタクトする導電層を含む磁気ランダム・アクセス・メモリの特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図12】磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するためのスピンオン材料層の不均一な堆積を示す特定の例示的実施形態の図である。
【図13】磁気ランダム・アクセス・メモリを製造する方法の特定の例示的実施形態の流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
図1を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのキャップ層の堆積を示す特定の例示的実施形態が全体として100で指示される。磁気ランダム・アクセス・メモリ102は基板103上に製造され、見本である磁気トンネル接合構造(MTJ)104、130、140、150、160、170、および180を含む複数のMTJを含む。磁気ランダム・アクセス・メモリ102上に堆積される材料120はキャップ層112を形成する。1つの特定の例示的実施形態では、材料120は、窒化ケイ素、炭化ケイ素、や他の電気的絶縁材料、または材料の組み合わせである。磁気ランダム・アクセス・メモリ102の製造では、材料120の堆積が通常、層間絶縁膜層および保護スピンオン材料層の堆積に先立って行われる。
【0011】
図2を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの層間絶縁膜(ILD)の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として200で指示される。MRAM202は基板203上において部分的に形成されている。MRAM202はMTJ204を含む複数の磁気トンネル接合(MTJ)セルを含む。MTJ204は、下部強磁性層206(本願では「固定層」または「ピン止め層」ともいう)、トンネル障壁208、および上部電極コンタクト層210(本願では「強磁性自由層」または「自由層」ともいう)を含む。MTJ204は基板203を覆い得るキャップ層212で実質的に囲まれる。MTJ204は、層間絶縁膜(ILD)材料224をキャップ層212上に堆積させることにより形成される層間絶縁膜(ILD)層214で囲まれてもよい。層間絶縁膜材料224の堆積は、例えば、化学蒸着や物理蒸着によって、あるいは他の堆積技術によって実現されてもよい。1つの特定説明例では、層間絶縁膜材料224がシリコン酸化膜または他の電気的絶縁材料であってよい。
【0012】
図3を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの化学的機械的平坦化(CMP)を示す特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として300で指示される。1つの特定の実施形態において、図3は図2のMRAM202の製造のCMPステージを描いている。磁気ランダム・アクセス・メモリ302はMTJセル304のような複数のMTJセルを含む。これらMTJセルの各々はILD層314を形成するILD材料で囲まれており、これらMTJセルの各々はILD層314で覆われている。MRAM302は基板303上に製造されたもので、回転可能なマウント装置301上に設置される。化学物質ディスペンサ322は平坦化工程で使用されるべき化学物質324を投与できる。機械的平坦化装置320は回転可能なもので、ILD層314を含むMRAM302の上部を平坦化するために投与化学物質324と併用できる。
【0013】
図4を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として400で指示される。1つの特定の実施形態において、図4は図2のMRAM202の製造の平坦化後のステージを描いている。製造における磁気ランダム・アクセス・メモリ402はMTJ404のような複数のMTJを含む。MRAM402は、例えば、図3に示すような化学的機械的平坦化や他の平坦化技術によって平坦化されている。キャップ層412は、上部電極コンタクト層部分410、トンネル障壁408、およびピン止め層406を含むMTJ404の内側部分を保護する。平坦化の結果として、キャップ層412を囲むILD層414が部分的に除去され、キャップ層412の最上部のキャップ層部分416を露出させる。後続のエッチング処理中、一般にILD層414と異なる材料からなるキャップ層412はILD層414より低速でエッチングし得る。付加的保護層がなければ、エッチング処理中に各MTJの周りのILD層414の後退が生じ得る。
【0014】
図5を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図が全体として500で指示される。1つの特定の実施形態において、図5は図2のMRAM202の製造のSOM堆積ステージを描いている。MRAM502は、MTJ504のような複数のMTJを含む。MRAM502は回転可能な支持構造501上に配置され得る。SOMディスペンサ540は、支持構造501に対して半径方向に、支持構造501の回転軸546から半径方向距離544だけ隔てられて位置決めされ得る。SOMディスペンサ540は、支持構造501が回転する間にスピンオン材料(SOM)542を投与できる。支持構造501の回転角加速度および回転角速度は調整可能である。半径方向距離544は堆積中に変化させられ、スピンオン材料をMRAM502の上部を横切って堆積されるようにできる。支持構造501の回転角加速度および回転角速度を調整することは、堆積されるSOM層530の厚さプロファイル(本願では半径方向プロファイルともいう)および厚さ均一性を変化させることができる。SOM542の堆積中の半径方向距離544を変化させることにより、どちらも予め堆積されているILD層514とキャップ層512を覆うSOM層530を形成して、ILD層514をキャップ層513の下部とSOM層530との間に位置させることができる。
【0015】
SOM層530の半径方向プロファイル、すなわちMRAM502の中心からの距離の関数としてのSOM層530の厚さは、ディスペンサ半径方向速度のプロファイルを時間の関数として選択することによって予め決定できる。例えば、支持構造501が回転する際に実質的に一定のレートでSOMを投与するようにSOMディスペンサ540の均一な半径方向速度を選択すれば、実質的に均一な厚さを有するSOM層530を作り出すこともできる。他の特定の例示的実施形態では、支持構造501の回転時におけるディスペンサ540の不均一な半径方向速度を選択することにより、例示的非限定的な例としては、凹状プロファイルや凸状プロファイルのような不均一なプロファイルを作り出すこともできる。また、SOM542の投与が完了した後で、支持構造501の回転角速度および回転角加速度を調整することにより、SOM層530の半径方向プロファイルおよび厚さ均一性を変更することもできる。
【0016】
図6を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として600で指示される。1つの特定の実施形態において、図6は図2のMRAM202の製造のエッチングステージを描いている。MRAM602はMTJ604のような複数のMTJを含み、MRAM602の一部を化学エッチングチャンバ650に浸すことによって行われ得る、ドライエッチングやウェットエッチングのような、エッチング処理を施すことができる。このエッチング処理に先立ち、キャップ層612、ILD層614、およびSOM層630が上部電極コンタクト層部分610上に堆積されている。MTJ604の上部電極コンタクト層部分610は、エッチング処理中にキャップ層612によって化学エッチングチャンバ650から保護され得る。エッチング処理中、SOM層630の一部がエッチングされ、キャップ層612の一部が化学エッチングチャンバ650に露出されるときにキャップ層612の露出部分もエッチングされ得る。SOM層630は化学エッチングチャンバ650によってエッチングされることからILD層614を保護するのに役立ち得る。SOM層630は、エッチングされることからキャップ層612を保護することもできる。SOM層630の一部をエッチングした後、キャップ層612の一部は化学エッチングチャンバ650に露出し得る。SOM層630のエッチングされていない部分は、化学エッチングチャンバ650からILD層614を保護し続けることができる。
【0017】
図7を参照すると、製造中におけるスピンオン材料層およびキャップ層のエッチング後のランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示される。1つの特定の実施形態において、図7は図2のMRAM202の製造のエッチング後ステージを描いている。MRAM702はMTJ704のような複数のMTJを含む。キャップ層712の一部はMTJ704の上部電極コンタクト部分710を露出させるためにエッチング除去されている。ILD層714は製造のエッチングステージ中においてSOM層730の一部によって保護され得る。ILD層714はそのまま残り、キャップ層712の側壁部分713への構造的支持を提供できる。MTJ704の上部電極コンタクト部分710は、この後導電層(図示せず)にコンタクトして設置され得る。同様に、MRAM702のMTJの各々は、対応MTJの上部電極コンタクト部分(本願では「上部電極コンタクト窓」ともいう)を露出させるために除去されるキャップ層712の一部を持つことができる。MTJの上部電極コンタクト部分の開口は、目視検査によって、または、MTJ704の上部電極部分710に電気的にコンタクトする電気プローブ760のような電気プローブを使用して検知できる。
【0018】
各MTJの対応上部電極コンタクト部分は、この後導電層にコンタクトして設置され得る。導電層(図示せず)は各MTJを隣接MTJから隔てるようにパターニングされることができる。MTJの特定の上部電極コンタクト部分が導電層に接続されてもよい。導電層は接続(図示せず)をとるために配線金属線に接続され得る。
【0019】
図8を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図が全体として800で指示される。製造中におけるMRAM802はMTJ804のような複数のMTJを含む。MRAM802は回転可能な支持構造801上に配置された基板803上に製造される。SOMディスペンサ840はMRAM802の一部上にSOM842を投与できる。ディスペンサ840は回転可能な支持構造801の回転軸846に対して半径方向距離844のところに位置決めでき、半径方向距離844は時間と共に変化してよい。MRAM802は、各MTJをそれぞれが囲むキャップ層812およびILD層814を覆って保護するもので予め堆積されてエッチングされた第1のSOM層830を含む。第1のSOM層830の複数の部分はエッチングプロセスを経て除去されていてもよい。MRAM802上に堆積されたSOM842は、キャップ層812およびILD層814をさらに覆って保護する第2のSOM層832を形成している。他の特定の例示的実施形態において、第1のSOM層830は、第2のSOM842が堆積される前に剥離されてよい。支持構造801は、経時的に変化させるか経時的にほぼ一定されるか選択可能な回転速度を有してよい。ディスペンサの半径方向距離844は、一定の半径方向速度プロファイルまたは非線形の半径方向速度プロファイルで経時的に変化してよい。
【0020】
第2のSOM層832は第1のSOM層830の上に選択可能な層厚プロファイルで堆積できる。1つの特定の例示において、ディスペンサ840の半径方向速度プロファイルは非線形であり、第1のSOM層830上に堆積された結果の第2のSOM層832のプロファイルは支持構造801が回転されているときのディスペンサ840の半径方向速度プロファイルに依存して凸状または凹状になり得る。他の特定の例示において、ディスペンサ840の半径方向速度は一定であり、第2のSOM層832は第1のSOM層830全体に渡ってほぼ一定の厚さを持つことになる。第2のSOM層832はMRAM802の製造中に第2のエッチング処理に対抗する付加的な保護を提供してよい。
【0021】
図9を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示される。MTJ904のような複数のMTJを含むMRAM902は、MRAM902の一部をエッチングチャンバ950に浸すことによってエッチング処理を施される。MRAM902は第1のSOM層930上に予め堆積された第2のSOM層932を含む。第2のSOM層932は、第1のSOM層930によってエッチングチャンバ950から保護され得るキャップ層912に付加的保護を提供する。第2のSOM層932および第1のSOM層930はエッチング処理中にILD層914も保護できる。MRAM902上に複数のSOM層を堆積させることにより、各MTJを囲むILD層914を過度にエッチングせずに上部電極コンタクト層部分910のようなMTJの1つの上部電極コンタクト層部分を露出させるようにエッチングを制御できる。1つの特定の例示的実施形態において、エッチングはMRAM902上にSOM層を堆積させるたびに行ってよい。各MTJを囲むILD層914のエッチングを低減すると、ILD層914が各MTJを囲むキャップ層912の側壁部分913を支持してMRAM902の構造的完全性を高めることができる。第2のSOM層932を追加すれば、MRAM装置歩留まりがエッチング期間のようなプロセスパラメータのより大きな許容窓によって改善され得る。
【0022】
図10を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の製造中におけるエッチング後の磁気ランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示される。MRAM1002は1回または複数回のエッチング処理を施されており、第1のSOM層1030および第2のSOM層1032を含む。キャップ層1012の最上部はエッチング処理によって除去され、上部電極コンタクト層部分1010を露出させている。上部電極コンタクト層部分1010はこの後電気的コンタクト層(図示せず)に接続され得る。側壁部分1013を含むキャップ層1012の側壁部分は、第1のSOM層1030および第2のSOM層1032によってエッチングから保護されている。第1のSOM層1030および第2のSOM層1032の複数の部分は除去される。第1のSOM層1030および第2のSOM層1032の残りの部分は各MTJを囲むILD層1014を保護でき、このILD層1014は各MTJの構造的完全性を高めることができる。上部電極コンタクト層部分910を開ける複数回のSOM堆積−エッチングサイクルにより、MRAM1002の構造的完全性が改善され、エッチングの均一性や選択性のようなプロセスパラメータの製造プロセス窓が緩和できる。MRAM1002の構造的完全性および製造プロセス窓の拡大の両方が製造歩留まりを向上できる。
【0023】
図11を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の特定の例示的実施形態が示され、全体として1100で指示される。製造におけるMRAM1100はMTJ1104のような複数のMTJを含むもので、エッチングを施されて上部電極コンタクト層部分1110を露出させている。上部電極コンタクト層部分1110はエッチングに続いて堆積された導電層1170にコンタクトするように示される。キャップ層1112はMTJ1104の電気活性部分を保護する側壁部分1113のような複数の側壁部分を含む。SOM層1130は各MTJを囲むILD層1114を保護する。上部電極コンタクト層部分1110は、各MTJを他のMTJから隔てるようにパターニングされ得る。各MTJは導電層1170を介して外界に接続され得る。エッチング中にILD層1114を保護し、側壁部分1113のようなキャップ層1112の複数の部分を保護する1層または複数のSOM層1130を堆積させることにより、MRAM製造プロセスパラメータ窓を拡大し、より大きな歩留まりを達成することができる。
【0024】
図12を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)を製造するためのスピンオン材料層の不均一な堆積を示す特定の例示的実施形態の図が全体として1200で指示される。基板1203は回転可能なマウント構造体1201上に配置される。基板1203は図4のMTJ404のような1つまたは複数のMTJを含むMRAMを形成するように部分的にパターニングされている。SOMディスペンサ1240はマウント構造体1201の回転軸1246から調整可能な半径方向距離1244のところに位置決めでき、この半径方向距離1244は経時的に変化してよい。ディスペンサ1240は基板1201上に堆積されるSOM材料1242を投与することができる。ディスペンサ1240によるSOM材料投与のレートは選択可能である。1つの特定の例示的実施形態において投与レートは経時的にほぼ一定になるように選択され得る。他の特定の例示的実施形態において投与レートは、経時的に変化し得るように選択され得る。ディスペンサ1240の半径方向速度のレートは選択可能である。半径方向速度プロファイル(経時的半径方向距離)の選択およびSOMディスペンサ1240によるSOM液の投与レートの選択によって、所定の厚さプロファイルの堆積SOM層1230を作り出すことができる。1つの特定の非限定的例示では、均一な投与レートおよびディスペンサ1240の一定の半径方向速度により、基板1201全体に渡って実質的に一定の厚さを有する堆積SOM層を作ることができる。他の特定の例示では、SOM液1242の不均一な投与レートおよびディスペンサ1240の均一または不均一な半径方向速度プロファイルにより、不均一な厚さプロファイルのSOM層1230を作ることができる。さらに他の特定の例示では、SOM液の均一な投与およびディスペンサ1240の不均一な半径方向速度プロファイルにより、不均一な厚さプロファイルのSOM層1230を作ることができる。厚さプロファイルは、SOM液の投与レートプロファイル、およびディスペンサ1240の半径方向速度プロファイルを含み得る要因に依存して一定、凸状または凹状とすることができる。
【0025】
1つの特定の例示的実施形態では、基板の外側部分、すなわち外周部分が中心の部分より大きいエッチングレートになり、凹状SOM層1230形状がエッチング中に基板1201の外側部分および基板1201上で製造中のMRAM(図示せず)を保護するために有利になり得る。1つの特定の例示では、不均一なSOM層厚さプロファイル1280がエッチングプロセス中に基板1201の外周部分により大きな保護を提供するために用いられ得る。例えばSOM層厚さプロファイル1280は、基板1201の中心からの半径方向距離に対して概ね直線的に変化する厚さを示し、凹状のSOM層1230を作り出す。凹状の厚さプロファイルのような不均一なSOM厚さプロファイルは製造におけるMRAM構造のウェーハ上外側部分をMRAMの製造中のオーバーエッチングに対して保護することができる。不均一なSOM厚さプロファイルは基板の不均一性を補償し、複数のMTJ構造の各々の上部をより均一にすることができる。
【0026】
図13を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリを製造する方法の特定の例示的実施形態の流れ図が示される。ブロック1302では、層間絶縁膜(ILD)が磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の磁気トンネル接合(MTJ)キャップ層上に堆積される。ブロック1304に進み、化学的機械的平坦化(CMP)プロセスがILD層に施される。ブロック1306に進み、スピンオンガラス、フォトレジスト、反射防止膜、有機材料、または無機材料などのスピンオン材料(SOM)がMTJキャップ層およびILD層上に堆積され、エッチング処理中にキャップ層およびILD層を保護するのに役立つことができる。(無機SOM材料が使用される場合には、高密度化加熱プロセスが適用されてもよい。)ブロック1308に移動し、エッチング処理が行われ、SOM層および露出してよいキャップ層をエッチングする。(SOMが有機材料である場合、SOMはエッチング後に剥離されてよい。)判断ブロック1310に進み、上部電極コンタクト層窓(本願では「上部電極コンタクト層部分」ともいう)が開いているかどうか判定される。上部電極コンタクト層窓が各MTJにおいて開いているとき、この方法は1314で終了する。上部電極コンタクト窓が各MTJにおいて開いていないとき、この方法は判断ブロック1312に進み、ここで、付加的なSOM層が後続のエッチング処理においてILDおよびキャップ層の一部をさらに保護するために堆積させるべきかどうか判定される。後続のエッチング処理に先立って付加的SOM層を堆積させる判定がブロック1312でなされると、ブロック1306に戻り、このSOM層がブロック1308における後続のエッチングに先立って堆積される。ブロック1312で他のSOM層を追加すべきでないと判定されると、処理は、以前に堆積されたSOM層およびキャップ層の一部上で行われる付加的なエッチング処理をブロック1308で続ける。
【0027】
開示実施形態の前記記述は当業者が開示の実施形態を実施または使用可能にするために提供されたものである。これら実施形態に対する様々な変形は当業者にとって容易に明らかなはずであり、ここで定義された原理はこの開示範囲を逸脱することなく他の実施形態にも適用可能である。従って、本開示はここに示す実施形態だけに限定されることは意図されず、添付の特許請求の範囲で定義される原理および新規な特徴に整合可能な最大範囲に従うべきものである。
【技術分野】
【0001】
本開示は一般に磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【0002】
技術の進歩は、より小型でより強力なコンピューティング機器をもたらしている。現在では、様々な携帯用パーソナルコンピューティング機器が存在し、例えば小型軽量でユーザが持ち運びしやすい携帯無線電話、携帯情報端末(PDA)、ページング機器のような無線コンピューティング機器を含む。もっと具体的には、セルラ電話やインターネットプロトコル(IP)電話のような携帯無線電話が音声およびデータパケットを無線ネットワーク上で通信できる。さらに、このような多くの無線電話はこれに組み込まれる別タイプの機器を含む。例えば、1つの無線電話がディジタル静止画カメラ、ディジタル・ビデオ・カメラ、ディジタルレコーダ、オーディオ・ファイル・プレーヤをも含み得る。また、このような無線電話は、インターネットにアクセスするために使用可能なウェブ・ブラウザ・アプリケーションのようなソフトウェアアプリケーションを含む実行可能命令を処理できる。そういうものとして、これら無線電話はかなりの計算能力を持つことができる。
【発明の概要】
【0003】
電力消費の低減は、このような携帯機器内でのより小さな回路構成および動作電圧をもたらすものである。構成サイズおよび動作電圧の低減は、電力消費を低減する一方で、製造プロセス変動に対する過敏性を増大させる。それゆえ、低減された構成サイズでメモリ装置の信頼性を向上できる製造技術が望ましい。
【0004】
1つの特定実施形態では、方法が開示される。この方法は、キャップ層を磁気トンネル接合(MTJ:magnetic tunnel junction)構造上に堆積させることを備える。この方法は、さらに第1のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させること、および前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層の少なくとも一部をエッチングすることを備える。
【0005】
他の特定実施形態では、装置が開示される。この装置は、磁気トンネル接合(MTJ)構造と、前記MTJ構造にコンタクトするキャップ層とを備える。また、この装置は前記キャップ層の側壁部分にコンタクトするスピンオン材料層と、少なくとも前記スピンオン材料層および前記MTJ構造の一部にコンタクトする導電層も備える。前記キャップ層は前記MTJ構造の電極コンタクト層の一部を露出させるようにエッチングされており、この導電層は前記MTJ構造の前記電極コンタクト層の露出部分に電気的にコンタクトしている。
【0006】
他の特定実施形態では、システムが開示される。このシステムは磁気トンネル接合(MTJ)構造上に堆積されたキャップ層上にスピンオン材料層を堆積させる手段を備え、層間絶縁膜(ILD)層が前記スピンオン材料層を堆積させる前に前記キャップ層上に堆積される。
【0007】
磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法の開示実施形態の少なくとも1つにより提供される1つの格別な利点は改善された歩留りである。この磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するシステムおよび方法の開示実施形態の少なくとも1つにより提供される他の格別な利点は、磁気ランダム・アクセス・メモリの改善された信頼性である。
【0008】
本開示の他の態様、利点および特徴は、次の部分:図面の簡単な説明、詳細な説明、および特許請求の範囲を含む本出願全体を考察して明らかになるはずである。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのキャップ層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図2】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの層間絶縁膜(ILD)の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図3】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの化学的機械的平坦化(CMP)を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図4】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図5】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図6】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図7】製造中におけるスピンオン材料層およびキャップ層のエッチング後のランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図8】製造中における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図9】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図10】磁気ランダム・アクセス・メモリの製造中における第2のスピンオン材料層、第1のスピンオン材料およびキャップ層のエッチング後の磁気ランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図11】製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの磁気トンネル接合の対応コンタクト電極にコンタクトする導電層を含む磁気ランダム・アクセス・メモリの特定の例示的実施形態の横断面図である。
【図12】磁気ランダム・アクセス・メモリを製造するためのスピンオン材料層の不均一な堆積を示す特定の例示的実施形態の図である。
【図13】磁気ランダム・アクセス・メモリを製造する方法の特定の例示的実施形態の流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
図1を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのキャップ層の堆積を示す特定の例示的実施形態が全体として100で指示される。磁気ランダム・アクセス・メモリ102は基板103上に製造され、見本である磁気トンネル接合構造(MTJ)104、130、140、150、160、170、および180を含む複数のMTJを含む。磁気ランダム・アクセス・メモリ102上に堆積される材料120はキャップ層112を形成する。1つの特定の例示的実施形態では、材料120は、窒化ケイ素、炭化ケイ素、や他の電気的絶縁材料、または材料の組み合わせである。磁気ランダム・アクセス・メモリ102の製造では、材料120の堆積が通常、層間絶縁膜層および保護スピンオン材料層の堆積に先立って行われる。
【0011】
図2を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの層間絶縁膜(ILD)の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として200で指示される。MRAM202は基板203上において部分的に形成されている。MRAM202はMTJ204を含む複数の磁気トンネル接合(MTJ)セルを含む。MTJ204は、下部強磁性層206(本願では「固定層」または「ピン止め層」ともいう)、トンネル障壁208、および上部電極コンタクト層210(本願では「強磁性自由層」または「自由層」ともいう)を含む。MTJ204は基板203を覆い得るキャップ層212で実質的に囲まれる。MTJ204は、層間絶縁膜(ILD)材料224をキャップ層212上に堆積させることにより形成される層間絶縁膜(ILD)層214で囲まれてもよい。層間絶縁膜材料224の堆積は、例えば、化学蒸着や物理蒸着によって、あるいは他の堆積技術によって実現されてもよい。1つの特定説明例では、層間絶縁膜材料224がシリコン酸化膜または他の電気的絶縁材料であってよい。
【0012】
図3を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの化学的機械的平坦化(CMP)を示す特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として300で指示される。1つの特定の実施形態において、図3は図2のMRAM202の製造のCMPステージを描いている。磁気ランダム・アクセス・メモリ302はMTJセル304のような複数のMTJセルを含む。これらMTJセルの各々はILD層314を形成するILD材料で囲まれており、これらMTJセルの各々はILD層314で覆われている。MRAM302は基板303上に製造されたもので、回転可能なマウント装置301上に設置される。化学物質ディスペンサ322は平坦化工程で使用されるべき化学物質324を投与できる。機械的平坦化装置320は回転可能なもので、ILD層314を含むMRAM302の上部を平坦化するために投与化学物質324と併用できる。
【0013】
図4を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として400で指示される。1つの特定の実施形態において、図4は図2のMRAM202の製造の平坦化後のステージを描いている。製造における磁気ランダム・アクセス・メモリ402はMTJ404のような複数のMTJを含む。MRAM402は、例えば、図3に示すような化学的機械的平坦化や他の平坦化技術によって平坦化されている。キャップ層412は、上部電極コンタクト層部分410、トンネル障壁408、およびピン止め層406を含むMTJ404の内側部分を保護する。平坦化の結果として、キャップ層412を囲むILD層414が部分的に除去され、キャップ層412の最上部のキャップ層部分416を露出させる。後続のエッチング処理中、一般にILD層414と異なる材料からなるキャップ層412はILD層414より低速でエッチングし得る。付加的保護層がなければ、エッチング処理中に各MTJの周りのILD層414の後退が生じ得る。
【0014】
図5を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図が全体として500で指示される。1つの特定の実施形態において、図5は図2のMRAM202の製造のSOM堆積ステージを描いている。MRAM502は、MTJ504のような複数のMTJを含む。MRAM502は回転可能な支持構造501上に配置され得る。SOMディスペンサ540は、支持構造501に対して半径方向に、支持構造501の回転軸546から半径方向距離544だけ隔てられて位置決めされ得る。SOMディスペンサ540は、支持構造501が回転する間にスピンオン材料(SOM)542を投与できる。支持構造501の回転角加速度および回転角速度は調整可能である。半径方向距離544は堆積中に変化させられ、スピンオン材料をMRAM502の上部を横切って堆積されるようにできる。支持構造501の回転角加速度および回転角速度を調整することは、堆積されるSOM層530の厚さプロファイル(本願では半径方向プロファイルともいう)および厚さ均一性を変化させることができる。SOM542の堆積中の半径方向距離544を変化させることにより、どちらも予め堆積されているILD層514とキャップ層512を覆うSOM層530を形成して、ILD層514をキャップ層513の下部とSOM層530との間に位置させることができる。
【0015】
SOM層530の半径方向プロファイル、すなわちMRAM502の中心からの距離の関数としてのSOM層530の厚さは、ディスペンサ半径方向速度のプロファイルを時間の関数として選択することによって予め決定できる。例えば、支持構造501が回転する際に実質的に一定のレートでSOMを投与するようにSOMディスペンサ540の均一な半径方向速度を選択すれば、実質的に均一な厚さを有するSOM層530を作り出すこともできる。他の特定の例示的実施形態では、支持構造501の回転時におけるディスペンサ540の不均一な半径方向速度を選択することにより、例示的非限定的な例としては、凹状プロファイルや凸状プロファイルのような不均一なプロファイルを作り出すこともできる。また、SOM542の投与が完了した後で、支持構造501の回転角速度および回転角加速度を調整することにより、SOM層530の半径方向プロファイルおよび厚さ均一性を変更することもできる。
【0016】
図6を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリのスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示され、全体として600で指示される。1つの特定の実施形態において、図6は図2のMRAM202の製造のエッチングステージを描いている。MRAM602はMTJ604のような複数のMTJを含み、MRAM602の一部を化学エッチングチャンバ650に浸すことによって行われ得る、ドライエッチングやウェットエッチングのような、エッチング処理を施すことができる。このエッチング処理に先立ち、キャップ層612、ILD層614、およびSOM層630が上部電極コンタクト層部分610上に堆積されている。MTJ604の上部電極コンタクト層部分610は、エッチング処理中にキャップ層612によって化学エッチングチャンバ650から保護され得る。エッチング処理中、SOM層630の一部がエッチングされ、キャップ層612の一部が化学エッチングチャンバ650に露出されるときにキャップ層612の露出部分もエッチングされ得る。SOM層630は化学エッチングチャンバ650によってエッチングされることからILD層614を保護するのに役立ち得る。SOM層630は、エッチングされることからキャップ層612を保護することもできる。SOM層630の一部をエッチングした後、キャップ層612の一部は化学エッチングチャンバ650に露出し得る。SOM層630のエッチングされていない部分は、化学エッチングチャンバ650からILD層614を保護し続けることができる。
【0017】
図7を参照すると、製造中におけるスピンオン材料層およびキャップ層のエッチング後のランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示される。1つの特定の実施形態において、図7は図2のMRAM202の製造のエッチング後ステージを描いている。MRAM702はMTJ704のような複数のMTJを含む。キャップ層712の一部はMTJ704の上部電極コンタクト部分710を露出させるためにエッチング除去されている。ILD層714は製造のエッチングステージ中においてSOM層730の一部によって保護され得る。ILD層714はそのまま残り、キャップ層712の側壁部分713への構造的支持を提供できる。MTJ704の上部電極コンタクト部分710は、この後導電層(図示せず)にコンタクトして設置され得る。同様に、MRAM702のMTJの各々は、対応MTJの上部電極コンタクト部分(本願では「上部電極コンタクト窓」ともいう)を露出させるために除去されるキャップ層712の一部を持つことができる。MTJの上部電極コンタクト部分の開口は、目視検査によって、または、MTJ704の上部電極部分710に電気的にコンタクトする電気プローブ760のような電気プローブを使用して検知できる。
【0018】
各MTJの対応上部電極コンタクト部分は、この後導電層にコンタクトして設置され得る。導電層(図示せず)は各MTJを隣接MTJから隔てるようにパターニングされることができる。MTJの特定の上部電極コンタクト部分が導電層に接続されてもよい。導電層は接続(図示せず)をとるために配線金属線に接続され得る。
【0019】
図8を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料(SOM)層の堆積を示す特定の例示的実施形態の横断面図が全体として800で指示される。製造中におけるMRAM802はMTJ804のような複数のMTJを含む。MRAM802は回転可能な支持構造801上に配置された基板803上に製造される。SOMディスペンサ840はMRAM802の一部上にSOM842を投与できる。ディスペンサ840は回転可能な支持構造801の回転軸846に対して半径方向距離844のところに位置決めでき、半径方向距離844は時間と共に変化してよい。MRAM802は、各MTJをそれぞれが囲むキャップ層812およびILD層814を覆って保護するもので予め堆積されてエッチングされた第1のSOM層830を含む。第1のSOM層830の複数の部分はエッチングプロセスを経て除去されていてもよい。MRAM802上に堆積されたSOM842は、キャップ層812およびILD層814をさらに覆って保護する第2のSOM層832を形成している。他の特定の例示的実施形態において、第1のSOM層830は、第2のSOM842が堆積される前に剥離されてよい。支持構造801は、経時的に変化させるか経時的にほぼ一定されるか選択可能な回転速度を有してよい。ディスペンサの半径方向距離844は、一定の半径方向速度プロファイルまたは非線形の半径方向速度プロファイルで経時的に変化してよい。
【0020】
第2のSOM層832は第1のSOM層830の上に選択可能な層厚プロファイルで堆積できる。1つの特定の例示において、ディスペンサ840の半径方向速度プロファイルは非線形であり、第1のSOM層830上に堆積された結果の第2のSOM層832のプロファイルは支持構造801が回転されているときのディスペンサ840の半径方向速度プロファイルに依存して凸状または凹状になり得る。他の特定の例示において、ディスペンサ840の半径方向速度は一定であり、第2のSOM層832は第1のSOM層830全体に渡ってほぼ一定の厚さを持つことになる。第2のSOM層832はMRAM802の製造中に第2のエッチング処理に対抗する付加的な保護を提供してよい。
【0021】
図9を参照すると、製造における磁気ランダム・アクセス・メモリの第2のスピンオン材料層およびキャップ層のエッチングを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示される。MTJ904のような複数のMTJを含むMRAM902は、MRAM902の一部をエッチングチャンバ950に浸すことによってエッチング処理を施される。MRAM902は第1のSOM層930上に予め堆積された第2のSOM層932を含む。第2のSOM層932は、第1のSOM層930によってエッチングチャンバ950から保護され得るキャップ層912に付加的保護を提供する。第2のSOM層932および第1のSOM層930はエッチング処理中にILD層914も保護できる。MRAM902上に複数のSOM層を堆積させることにより、各MTJを囲むILD層914を過度にエッチングせずに上部電極コンタクト層部分910のようなMTJの1つの上部電極コンタクト層部分を露出させるようにエッチングを制御できる。1つの特定の例示的実施形態において、エッチングはMRAM902上にSOM層を堆積させるたびに行ってよい。各MTJを囲むILD層914のエッチングを低減すると、ILD層914が各MTJを囲むキャップ層912の側壁部分913を支持してMRAM902の構造的完全性を高めることができる。第2のSOM層932を追加すれば、MRAM装置歩留まりがエッチング期間のようなプロセスパラメータのより大きな許容窓によって改善され得る。
【0022】
図10を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の製造中におけるエッチング後の磁気ランダム・アクセス・メモリを示す特定の例示的実施形態の横断面図が示される。MRAM1002は1回または複数回のエッチング処理を施されており、第1のSOM層1030および第2のSOM層1032を含む。キャップ層1012の最上部はエッチング処理によって除去され、上部電極コンタクト層部分1010を露出させている。上部電極コンタクト層部分1010はこの後電気的コンタクト層(図示せず)に接続され得る。側壁部分1013を含むキャップ層1012の側壁部分は、第1のSOM層1030および第2のSOM層1032によってエッチングから保護されている。第1のSOM層1030および第2のSOM層1032の複数の部分は除去される。第1のSOM層1030および第2のSOM層1032の残りの部分は各MTJを囲むILD層1014を保護でき、このILD層1014は各MTJの構造的完全性を高めることができる。上部電極コンタクト層部分910を開ける複数回のSOM堆積−エッチングサイクルにより、MRAM1002の構造的完全性が改善され、エッチングの均一性や選択性のようなプロセスパラメータの製造プロセス窓が緩和できる。MRAM1002の構造的完全性および製造プロセス窓の拡大の両方が製造歩留まりを向上できる。
【0023】
図11を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の特定の例示的実施形態が示され、全体として1100で指示される。製造におけるMRAM1100はMTJ1104のような複数のMTJを含むもので、エッチングを施されて上部電極コンタクト層部分1110を露出させている。上部電極コンタクト層部分1110はエッチングに続いて堆積された導電層1170にコンタクトするように示される。キャップ層1112はMTJ1104の電気活性部分を保護する側壁部分1113のような複数の側壁部分を含む。SOM層1130は各MTJを囲むILD層1114を保護する。上部電極コンタクト層部分1110は、各MTJを他のMTJから隔てるようにパターニングされ得る。各MTJは導電層1170を介して外界に接続され得る。エッチング中にILD層1114を保護し、側壁部分1113のようなキャップ層1112の複数の部分を保護する1層または複数のSOM層1130を堆積させることにより、MRAM製造プロセスパラメータ窓を拡大し、より大きな歩留まりを達成することができる。
【0024】
図12を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)を製造するためのスピンオン材料層の不均一な堆積を示す特定の例示的実施形態の図が全体として1200で指示される。基板1203は回転可能なマウント構造体1201上に配置される。基板1203は図4のMTJ404のような1つまたは複数のMTJを含むMRAMを形成するように部分的にパターニングされている。SOMディスペンサ1240はマウント構造体1201の回転軸1246から調整可能な半径方向距離1244のところに位置決めでき、この半径方向距離1244は経時的に変化してよい。ディスペンサ1240は基板1201上に堆積されるSOM材料1242を投与することができる。ディスペンサ1240によるSOM材料投与のレートは選択可能である。1つの特定の例示的実施形態において投与レートは経時的にほぼ一定になるように選択され得る。他の特定の例示的実施形態において投与レートは、経時的に変化し得るように選択され得る。ディスペンサ1240の半径方向速度のレートは選択可能である。半径方向速度プロファイル(経時的半径方向距離)の選択およびSOMディスペンサ1240によるSOM液の投与レートの選択によって、所定の厚さプロファイルの堆積SOM層1230を作り出すことができる。1つの特定の非限定的例示では、均一な投与レートおよびディスペンサ1240の一定の半径方向速度により、基板1201全体に渡って実質的に一定の厚さを有する堆積SOM層を作ることができる。他の特定の例示では、SOM液1242の不均一な投与レートおよびディスペンサ1240の均一または不均一な半径方向速度プロファイルにより、不均一な厚さプロファイルのSOM層1230を作ることができる。さらに他の特定の例示では、SOM液の均一な投与およびディスペンサ1240の不均一な半径方向速度プロファイルにより、不均一な厚さプロファイルのSOM層1230を作ることができる。厚さプロファイルは、SOM液の投与レートプロファイル、およびディスペンサ1240の半径方向速度プロファイルを含み得る要因に依存して一定、凸状または凹状とすることができる。
【0025】
1つの特定の例示的実施形態では、基板の外側部分、すなわち外周部分が中心の部分より大きいエッチングレートになり、凹状SOM層1230形状がエッチング中に基板1201の外側部分および基板1201上で製造中のMRAM(図示せず)を保護するために有利になり得る。1つの特定の例示では、不均一なSOM層厚さプロファイル1280がエッチングプロセス中に基板1201の外周部分により大きな保護を提供するために用いられ得る。例えばSOM層厚さプロファイル1280は、基板1201の中心からの半径方向距離に対して概ね直線的に変化する厚さを示し、凹状のSOM層1230を作り出す。凹状の厚さプロファイルのような不均一なSOM厚さプロファイルは製造におけるMRAM構造のウェーハ上外側部分をMRAMの製造中のオーバーエッチングに対して保護することができる。不均一なSOM厚さプロファイルは基板の不均一性を補償し、複数のMTJ構造の各々の上部をより均一にすることができる。
【0026】
図13を参照すると、磁気ランダム・アクセス・メモリを製造する方法の特定の例示的実施形態の流れ図が示される。ブロック1302では、層間絶縁膜(ILD)が磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の磁気トンネル接合(MTJ)キャップ層上に堆積される。ブロック1304に進み、化学的機械的平坦化(CMP)プロセスがILD層に施される。ブロック1306に進み、スピンオンガラス、フォトレジスト、反射防止膜、有機材料、または無機材料などのスピンオン材料(SOM)がMTJキャップ層およびILD層上に堆積され、エッチング処理中にキャップ層およびILD層を保護するのに役立つことができる。(無機SOM材料が使用される場合には、高密度化加熱プロセスが適用されてもよい。)ブロック1308に移動し、エッチング処理が行われ、SOM層および露出してよいキャップ層をエッチングする。(SOMが有機材料である場合、SOMはエッチング後に剥離されてよい。)判断ブロック1310に進み、上部電極コンタクト層窓(本願では「上部電極コンタクト層部分」ともいう)が開いているかどうか判定される。上部電極コンタクト層窓が各MTJにおいて開いているとき、この方法は1314で終了する。上部電極コンタクト窓が各MTJにおいて開いていないとき、この方法は判断ブロック1312に進み、ここで、付加的なSOM層が後続のエッチング処理においてILDおよびキャップ層の一部をさらに保護するために堆積させるべきかどうか判定される。後続のエッチング処理に先立って付加的SOM層を堆積させる判定がブロック1312でなされると、ブロック1306に戻り、このSOM層がブロック1308における後続のエッチングに先立って堆積される。ブロック1312で他のSOM層を追加すべきでないと判定されると、処理は、以前に堆積されたSOM層およびキャップ層の一部上で行われる付加的なエッチング処理をブロック1308で続ける。
【0027】
開示実施形態の前記記述は当業者が開示の実施形態を実施または使用可能にするために提供されたものである。これら実施形態に対する様々な変形は当業者にとって容易に明らかなはずであり、ここで定義された原理はこの開示範囲を逸脱することなく他の実施形態にも適用可能である。従って、本開示はここに示す実施形態だけに限定されることは意図されず、添付の特許請求の範囲で定義される原理および新規な特徴に整合可能な最大範囲に従うべきものである。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
キャップ層を磁気トンネル接合(MTJ)構造上に堆積させることと、
第1のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させることと、
前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層の少なくとも一部をエッチングすることと、
を備える方法。
【請求項2】
前記第1のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させる前に前記キャップ層上に層間絶縁膜(ILD)層を堆積させることをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記第1のスピンオン材料層を堆積させる前に化学的機械的研磨操作を前記ILD層の少なくとも一部上で行うことをさらに備える請求項2に記載の方法。
【請求項4】
前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層をエッチングした後に前記MTJ構造の一部が露出される請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記露出部分は前記MTJ構造の上部電極コンタクト層部分を含む請求項4に記載の方法。
【請求項6】
前記第1のスピンオン材料層を堆積させた後、および前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層をエッチングした後に第2のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させることをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項7】
前記MTJ構造の一部を露出させるために前記第2のスピンオン材料層をエッチングすることをさらに備える請求項6に記載の方法。
【請求項8】
エッチング後に、前記MTJ構造の上部電極コンタクト層が露出されていることを検知することをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項9】
複数回のSOM堆積およびエッチングサイクルを前記MTJの上部を開けるために実行することをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項10】
前記スピンオン材料はスピンオンガラスである請求項1に記載の方法。
【請求項11】
前記スピンオン材料はフォトレジスト材料である請求項1に記載の方法。
【請求項12】
前記スピンオン材料は有機反射防止膜(ARC)材料である請求項1に記載の方法。
【請求項13】
前記第1のスピンオン材料層の中心厚さが前記第1のスピンオン材料層の外側厚さと異なるように、前記スピンオン材料のプロファイルを制御することをさらに備える、請求項1に記載の方法。
【請求項14】
磁気トンネル接合(MTJ)構造と、
前記MTJ構造にコンタクトするキャップ層と、
前記キャップ層の側壁部分にコンタクトするスピンオン材料層と、
少なくとも前記スピンオン材料層および前記MTJ構造の一部にコンタクトする導電層と
を備え、
前記キャップ層は前記MTJ構造の電極コンタクト層の一部を露出させるようにエッチングされており、 前記導電層は前記MTJ構造の前記電極コンタクト層の露出部分に電気的にコンタクトしている装置。
【請求項15】
前記スピンオン材料層は無機材料を備える請求項14に記載の装置。
【請求項16】
前記スピンオン材料層は有機材料を備える請求項14に記載の装置。
【請求項17】
前記キャップ層の下部と前記スピンオン材料層の間に位置する層間絶縁膜(ILD)層をさらに備える請求項14に記載の装置。
【請求項18】
前記キャップ層のエッチングの前に、前記スピンオン材料層が前記キャップ層の一部を覆う請求項14に記載の装置。
【請求項19】
磁気トンネル接合(MTJ)構造上に堆積されたキャップ層上にスピンオン材料層を堆積させる手段と、
前記スピンオン材料層を堆積させる前に層間絶縁膜(ILD)層を前記キャップ層上に堆積させる手段と、
を備えるシステム。
【請求項20】
スピンオン材料層を堆積させる前記手段は、前記スピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させる前に前記スピンオン材料層のプロファイルの調整を可能にするように構成される請求項19に記載のシステム。
【請求項1】
キャップ層を磁気トンネル接合(MTJ)構造上に堆積させることと、
第1のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させることと、
前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層の少なくとも一部をエッチングすることと、
を備える方法。
【請求項2】
前記第1のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させる前に前記キャップ層上に層間絶縁膜(ILD)層を堆積させることをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記第1のスピンオン材料層を堆積させる前に化学的機械的研磨操作を前記ILD層の少なくとも一部上で行うことをさらに備える請求項2に記載の方法。
【請求項4】
前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層をエッチングした後に前記MTJ構造の一部が露出される請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記露出部分は前記MTJ構造の上部電極コンタクト層部分を含む請求項4に記載の方法。
【請求項6】
前記第1のスピンオン材料層を堆積させた後、および前記第1のスピンオン材料層および前記キャップ層をエッチングした後に第2のスピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させることをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項7】
前記MTJ構造の一部を露出させるために前記第2のスピンオン材料層をエッチングすることをさらに備える請求項6に記載の方法。
【請求項8】
エッチング後に、前記MTJ構造の上部電極コンタクト層が露出されていることを検知することをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項9】
複数回のSOM堆積およびエッチングサイクルを前記MTJの上部を開けるために実行することをさらに備える請求項1に記載の方法。
【請求項10】
前記スピンオン材料はスピンオンガラスである請求項1に記載の方法。
【請求項11】
前記スピンオン材料はフォトレジスト材料である請求項1に記載の方法。
【請求項12】
前記スピンオン材料は有機反射防止膜(ARC)材料である請求項1に記載の方法。
【請求項13】
前記第1のスピンオン材料層の中心厚さが前記第1のスピンオン材料層の外側厚さと異なるように、前記スピンオン材料のプロファイルを制御することをさらに備える、請求項1に記載の方法。
【請求項14】
磁気トンネル接合(MTJ)構造と、
前記MTJ構造にコンタクトするキャップ層と、
前記キャップ層の側壁部分にコンタクトするスピンオン材料層と、
少なくとも前記スピンオン材料層および前記MTJ構造の一部にコンタクトする導電層と
を備え、
前記キャップ層は前記MTJ構造の電極コンタクト層の一部を露出させるようにエッチングされており、 前記導電層は前記MTJ構造の前記電極コンタクト層の露出部分に電気的にコンタクトしている装置。
【請求項15】
前記スピンオン材料層は無機材料を備える請求項14に記載の装置。
【請求項16】
前記スピンオン材料層は有機材料を備える請求項14に記載の装置。
【請求項17】
前記キャップ層の下部と前記スピンオン材料層の間に位置する層間絶縁膜(ILD)層をさらに備える請求項14に記載の装置。
【請求項18】
前記キャップ層のエッチングの前に、前記スピンオン材料層が前記キャップ層の一部を覆う請求項14に記載の装置。
【請求項19】
磁気トンネル接合(MTJ)構造上に堆積されたキャップ層上にスピンオン材料層を堆積させる手段と、
前記スピンオン材料層を堆積させる前に層間絶縁膜(ILD)層を前記キャップ層上に堆積させる手段と、
を備えるシステム。
【請求項20】
スピンオン材料層を堆積させる前記手段は、前記スピンオン材料層を前記キャップ層上に堆積させる前に前記スピンオン材料層のプロファイルの調整を可能にするように構成される請求項19に記載のシステム。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公表番号】特表2011−527111(P2011−527111A)
【公表日】平成23年10月20日(2011.10.20)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−516526(P2011−516526)
【出願日】平成21年6月23日(2009.6.23)
【国際出願番号】PCT/US2009/048281
【国際公開番号】WO2010/002634
【国際公開日】平成22年1月7日(2010.1.7)
【出願人】(595020643)クゥアルコム・インコーポレイテッド (7,166)
【氏名又は名称原語表記】QUALCOMM INCORPORATED
【Fターム(参考)】
【公表日】平成23年10月20日(2011.10.20)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年6月23日(2009.6.23)
【国際出願番号】PCT/US2009/048281
【国際公開番号】WO2010/002634
【国際公開日】平成22年1月7日(2010.1.7)
【出願人】(595020643)クゥアルコム・インコーポレイテッド (7,166)
【氏名又は名称原語表記】QUALCOMM INCORPORATED
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]