【課題】検査ステージからの反射光の影響を受けずにエッジ部分及び表面の状態を鮮明に抽出することができる円形若しくはリング状ワークの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】円形若しくはリング状ワーク３を水平に載置する検査ステージ１と、該検査ステージ１の中心軸Ｌに沿った上方に設置され検査ステージ１上のワーク３の画像を撮像する撮像手段６と、該撮像手段６と検査ステージ１との間にあって撮像手段６の光軸と略同軸状に検査ステージ１上を照射することができる照射手段５とよりなり、上記検査ステージ１上にはテーパ面２ａを含むワーク保持部４が形成され、該テーパ面２ａは照射手段５からの照射光による反射光が撮像手段６に入光しないようなテーパ角度とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 手術を受ける状態での角膜の三次元形状をより精度良く測定でき、また、取扱いが容易で、装置のコンパクト化を可能にする。
【解決手段】 治療用レーザ光源からのレーザ光により角膜組織を切除するレーザ照射光学系を備える角膜手術装置は、該装置の内部に配置された角膜形状測定ユニットであって、広帯域の波長幅の光を出射する測定光源と，測定光源からの測定光を分割する分割ミラーと，分割された測定光の一方の光路に配置された参照ミラーと、角膜からの反射光と参照ミラーで反射された参照光とによる干渉光を受光する位置に配置された光検出器とを含み、光検出器で検出される干渉光によるＯＣＴを用いて角膜の三次元形状を得る角膜形状測定ユニットを備え、角膜形状データに基づいて角膜切除データを得てレーザ照射光学系により角膜を切除する。治療用レーザ光源は角膜形状測定ユニットの測定用光源を兼ねると共に超短パルスレーザ光を発生する。 （もっと読む）

【課題】 ステージの回転中心の座標を簡易な方法で精度良く求めることにより、ワークの位置決めの精度を向上する。
【解決手段】 回転機構を具備するステージ上にモデルのワークを搬入し、２台のカメラの視野Ｒ１，Ｒ２に、それぞれワークの対角関係にある位置決めマークが入るようにワークの位置を調整する。この状態下で１回目の撮像を行った後、各マークが視野Ｒ１，Ｒ２から出ない範囲でステージを回転させ、２回目の撮像を実行する。つぎに、２回の撮像で得た各画像から各マークの位置を示す点ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２の座標を計測し、これらの座標から求めた各マークの移動量とあらかじめ入力されたマーク間の距離Ｌとを用いてステージの回転角度ｄＴを算出する。さらに、回転角度ｄＴと点ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２の座標とを用いてステージの回転中心Ｃの座標（ｃｘ，ｃｙ）を算出する。 （もっと読む）

【課題】繁雑な手作業を行うことなく、かつ、正確な観察を行うことを可能にし、しかも、短い単位時間あたりの観察を実現することができる観察システムを提供する。
【解決手段】観察を行う対象である観察対象物の表面にドットを形成するドット形成手段と、上記ドット形成手段によって上記観察対象物の表面に形成されたドットを観察する観察手段とを有する。また、上記ドット形成手段は、上記観察対象物の表面に所定の粘度を有する液体の飛滴を吐出する塗布手段と、上記塗布手段と上記観察対象物との相対的な位置関係を変更し所定の位置で位置決めする位置決め手段と、上記塗布手段と上記位置決め手段とを制御して、上記観察対象物の表面にドットを形成させる第１の制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を１滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。
【解決手段】 液滴１８０の飛翔経路にレーザ光１３０を発生するレーザ光発生部１２０と、レーザ光１３０の強度を電気信号に変換する光電変換部１５０と、該電気信号を処理する信号処理部１６０とを備え、該信号処理部１６０は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部１５０の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部１５０から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。 （もっと読む）

【課題】 画像形成装置と照明伝達システムとに連携して使用される汎用コンピュータ、または埋め込みプロセッサと照明伝達システムに連携して使用される画像形成装置とを統合する回路基板を交互に含むトライボロジカルデブリ分析システムを提供する。
【解決手段】 回路基板は、個々の機械に搭載または連結され得る。照明伝達システム（１２）は、評価される機械に接続される導管と、光学的フローセル（２４）と、バイパス導管に接続された光学的フローセル内に流体をポンプ注入するためのポンプ（２２）と、光学的フローセル内を流れる流体を照明するためのレーザ（２６）とを含む。画像形成装置（１４）は、レーザによって照明された流体内の如何なるデブリも検出する。デブリをサイズとデブリのサイズに関連する傾向とに従って分類し、画像化されたデブリの形状特徴を生成し、その形状特徴に基づいて物体の摩耗のタイプを識別する。 （もっと読む）

【課題】 被検出対象物の端部位置を、被検出対象物の表面の色や凹凸或いは被検出対象物の端部の反りや垂れの影響を受けることく、常に正確に検出できるようにする。
【解決手段】 プリンタにて紙端を検出する際には、まず、用紙をプラテン上に搬送して、用紙からの反射光量に基づき反射型光学センサからの出射光量を調整する（Ｓ１１０、Ｓ１２０）。そして、用紙をプラテンから退避させたときと、用紙をプラテン上に配置したときとで、それぞれ、反射型光学センサをプラテンの一端から他端に向けて移動させ、その移動時にセンサ出力Ｄをサンプリングすることにより、用紙有り状態での出力Ｄ２の時系列データと、用紙無し状態での出力Ｄ１の時系列データを生成する（Ｓ１３０〜Ｓ１６０）。そして、各データにおいてセンサ同一位置で得られたＤ２，Ｄ１の偏差△Ｄを順次求め、偏差△Ｄが判定値αを横切る点を紙端として検出する（Ｓ１７０，Ｓ１８０）。 （もっと読む）

【課題】液体等の被測定物の光透過率を正確に測定する。
【解決手段】被測定物Ｌに対して光源２からの光を第１の距離Ｘ１で透過させ、その透過光を受光素子３にて検出したときの受光素子３の出力をＩ１、被測定物Ｌに対して光源２からの光を第１の距離Ｘ１とは異なる第２の距離Ｘ２で透過させ、その透過光を受光素子４にて検出したときの受光素子の出力をＩ２としたとき、それら受光素子の出力比［Ｉ１／Ｉ２］及び距離Ｘ１，Ｘ２を用いて、被測定物Ｌの光透過率αを式［α＝Ｌｎ（Ｉ１／Ｉ２）／（Ｘ２−Ｘ１）］にて演算することで、光源２の照度が変動しても、それに関係なく被測定物Ｌの光透過率αを正確に測定できるようにする。 （もっと読む）

【課題】視野の広い被写体の像を複数の撮像光学系を用いて撮像する際、他の撮像光学系の光源からの照明光による影響を受けない撮像装置を実現する。
【解決手段】複数の撮像光学系（２，３）を近接配置する。各撮像光学系は照明光源（１０）と、撮像レンズ系（１２）と、リニァイメージセンサ（１３）とを具える。光源駆動回路（２１）を設け、各光源を所定の周波数で順次発光させ、各光源の発光期間中に各リニァイメージセンサは読出サイクルを実行してビデオ信号を出力する。リニァイメージセンサ（１３）の後段に配置したビデオ出力回路（２３）により、各リニァイメージセンサから出力されるビデオ信号を順次切り換えてビデオ出力として出力する。ビデオ出力回路は、ｉ番目の撮像光学系の光源の発光サイクルが終了した後とが撮像光学系のリニァイメージセンサからのビデオ信号を出力する。このように切り換え制御を行うことにより、他の撮像光学系の光源が発光する期間中に蓄積された電荷に基づくビデオ信号は廃棄されるので、別の撮像光学系の光源からの照明光が入射しても影響を受けることはない。 （もっと読む）

【課題】 板材の良否の検査をより確実に行う。
【解決手段】 圧電プレート２０８を保持部材４０４の上に乗せる。吸引装置４１２を動作させ、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａの気圧を計測しながら、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを徐々に所定の気圧になるまで減圧していく。圧電プレート２０８に欠陥があると、所定の気圧となる前に破損する。圧電プレート２０８を上面と下面とを貫通する孔がある場合は、孔２１０Ｂから外気が流入し、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａが減圧されない。よって内部空間４０２Ａの気圧の変化を示す減圧曲線によって、孔の有無が検査できる。また、圧電プレート２０８が撓んだ状態で市販されている干渉計を用いて、圧電プレート２０８に干渉縞を形成し、この干渉縞を観察し、欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、処理対象となるワークの表面状態に応じて、所定の濡れ性となるように、適切なプラズマ処理が可能なプラズマ処理装置、プラズマ処理方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的としている。
【解決手段】 本発明は、ワーク表面に所定の濡れ性を付与するために、チャンバ２０２内にワークＷを導入して、これにプラズマ処理を行う処理装置本体と、チャンバ２０２内に配設され、ワーク表面の濡れ性を測定する測定手段２０５と、処理装置本体および測定手段２０５を制御する制御手段２０７と、を備え、制御手段２０７は、測定手段２０５による測定結果に基づいて処理装置本体を制御することにより、ワーク表面が所定の濡れ性となるようにプラズマ処理強度を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】略方形環状の成形品に対してバリや欠け等の欠陥検査を行うのに適した技術を提供すること。
【解決手段】所定の基準ラインＸ、Ｙに沿って、複数箇所で、外周側のエッジ間距離Ｙ（ｎ）、Ｘ（ｎ）を取得し、これらと予め設定された基準値Ｙ（ｓ）、Ｘ（ｓ）とを比較している。そして、外周側のエッジ間距離Ｙ（ｎ）、Ｘ（ｎ）が、外周側の基準値Ｙ（ｓ）、Ｘ（ｓ）の半分であるとかどうかを判定し、その判定結果に基づいて成形品１が部分的に途切れているか否かを判定しているため、成形品１の途切れによる形状不良について、より適切に欠陥検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡の対物レンズの視野とＳＰＭユニットのカンチレバーとの位置関係を正確に表示できる複合型走査プローブ顕微鏡及びそのカンチレバー位置表示方法を提供する。
【解決手段】対物レンズ１０を通して取得される光学観察像を表示器４５に表示し、かつ表示器に表示されている光学観察像上にカンチレバーの先端部の位置を示す指標Ｓを表示する。 （もっと読む）

複数の光源（４）がリング形状で平面に配置され、個々に連続してこのリングを回転するように放射する。入射ビームは、このリングの軸（５）に向けられ、この軸に直角ではない角度で傾斜している。このビームは、ほぼこの軸（５）に沿って位置している物体（２）により反射され、ただちに、ソースのリングに平行な平面に位置している光検出器（８ａ、８ｂ、８ｃ）の１つにより受光される。形状の欠陥、表面の不規則さ、又は色の変化の存在は、光検出器により受容されたエネルギを変調することにより決定される。この測定は、物体の表面の非常に小さい領域の連続的な照明の非常に良好な解像度を提供する。
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本発明は適応三次元走査に関し、物理的なオブジェクトの三次元コンピュータモデルを生成する方法及びシステムを用いることにより、物理的なオブジェクトの完全な形状被覆率を得るための走査シーケンスが物理的なオブジェクトのために自動的に且つ具体的に生成される。その方法は、以下のステップを含む：走査システムを準備する。走査システムは、スキャナとスキャナに接続可能な及び／又はスキャナに組み込まれたコンピュータと、を有する。コンピュータはスキャナの仮想モデルを含む；物理的なオブジェクトの形状情報をコンピュータに入力し、コンピュータにより仮想モデルと形状情報に基づいて視感度関数を生成する。視感度関数は、少なくとも一つの所定の走査シーケンスにより、物理的なオブジェクトの関心のある領域の被覆率を評価することが可能である；視感度関数の評価に基づいて、少なくとも一つの走査シーケンスを確立し、少なくとも一つの走査シーケンスにより物理的なオブジェクトの走査を実行し、物理的なオブジェクトの三次元コンピュータモデルを得る。
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【課題】 ホルダーのピストンの傾斜などの諸測定量を光学式距離計を用いて、安全、連続かつ精度よく測定できるピストンの傾斜測定装置を提供し得ること。
【解決手段】 危険場所であるホルダーにおいて、距離計８をホルダー上部に、好ましくは反射シート１０をピストン面に設置し、距離計の測定値を安全場所に設置している演算装置に伝送する。演算装置では、ピストン面の傾斜を測定すると共に、必要に応じて移動速度、移動距離、距離計良否判定などを実施し、左記諸量の表示、保存、他設備への伝送を行うことができるようにすること。 （もっと読む）

【課題】 ローラやベルトの幾何的なスリップメカニズム解明に役立ち、そこから得られたパラメータを適正化することで、スリップ現象の発生しない、とくに透明もしくは半透明の素材を用いたベルトを対象とした、高精度なベルトスリップ計測装置ならびに計測方法を提供する。
【解決手段】 ２つ以上のローラ間で駆動される透明もしくは半透明部材からなるベルト２と前記ローラ８との間で発生するスリップを計測するベルトスリップ計測装置において、前記ベルト２と前記ローラ８上に位置検出パターン９を形成し、駆動状態で前記ローラ８と前記ベルト２の各位置検出パターン９を撮影する撮影装置１０と、この撮影装置にて取得した画像を解析する画像解析装置１１からなる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

ピクセルから成る第１の複数の平行な線を含む第１の画像内の線間の間隔の変動の存在を求める方法であって、第２の複数の平行な線を含む第２の画像を提供することと、第１及び第２の複数の線が互いに対して角度を成して重ね合わせられることによって、モアレ干渉パターンを含む干渉画像を生成するように、画像の向きを定めることと、上記変動の存在を求めるためにモアレ干渉パターンを用いることとを含む。
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【課題】 伝動用又は搬送用ベルトの表面に被覆される補強布を容易且つ低コストで識別する方法を提供する。
【解決手段】 伝動用又は搬送用ベルトの動力伝達面或いは搬送面、その他の面を被覆する補強布を識別する補強布の識別方法に関する。補強布１２の表面に対して入射角度θ１で光波λを入射させる。前記光波λが入射した補強布１２の表面領域を撮像する。前記撮像された画像の濃淡度を測定することによって表面の凹凸状態が異なる二種以上の補強布１２を識別する。 （もっと読む）