説明

半導体記憶装置

【課題】電荷蓄積層及び制御ゲートを有する半導体記憶装置のバックバイアス効果による影響を低減させることにより集積度を向上させ、占有面積を増加させずに浮遊ゲートと制御ゲートとの容量の比をより一層増大させるとともに、製造プロセスに起因するセル特性のばらつきが抑制された半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体基板と、少なくとも１つの島状半導体層１１０、該島状半導体層１１０の側壁の周囲の全部又は一部に形成された電荷蓄積層５１３及び制御ゲート５２３から構成される少なくとも１つのメモリセルとを有する半導体記憶装置であって、前記メモリセルの島状半導体層１１０が不純物拡散層により前記半導体基板から電気的に絶縁されてなる。

Notice: Undefined index: DEJ in /mnt/www/gzt_disp.php on line 298
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板と垂直に形成された島状半導体層と、前記島状半導体層の側壁の周囲の全部、または一部に形成される電荷蓄積層及び制御ゲートから構成されるメモリセルとを有する半導体記憶装置であって、
前記メモリセルが、１つの島状半導体層に対して複数個形成され、かつ前記複数のメモリセルが直列に配列され、前記島状半導体層の側壁の一部、もしくはその周囲を取り囲むようにメモリセルを選択するゲート電極が、前記島状半導体層に形成された前記メモリセルの少なくとも一方の端部に形成され、該ゲート電極が前記メモリセルに対して直列に配置され、
前記島状半導体層が、マトリクス状に複数個配列され、複数の前記制御ゲートが、一方向に連続的に連結される制御ゲート線を構成し、該制御ゲート線と交差する方向に前記島状半導体層の上部を電気的に連結されたビット線から構成されることを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項２】
前記制御ゲート線上に形成された島状半導体層と前記制御ゲート線すぐ傍の制御ゲート線上に形成される島状半導体層は、互いに異なるビット線に連結されることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項３】
前記島状半導体層は前記半導体基板から電気的に絶縁されることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体記憶装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図７０】
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【図７１】
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【図７２】
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【図７４】
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【図７５】
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【図７６】
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【図７７】
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【図７９】
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【図８０】
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【図８２】
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【図９２】
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【図９３】
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【図９７】
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【図９８】
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【図９９】
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【図１００】
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【図１０１】
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【図１０２】
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【図１０３】
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【図１０４】
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【図１０５】
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【図１０６】
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【図１０７】
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【図１０８】
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【図１０９】
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【図１１０】
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【図１１１】
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【図１１２】
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【図１１３】
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【図１１４】
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【図１１５】
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【図１１６】
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【図１１７】
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【図１１８】
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【図１１９】
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【図１２０】
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【図１２１】
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【図１２２】
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【図１２３】
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【図１２４】
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【図１２５】
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【図１２６】
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【図１２７】
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【図１２８】
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【図１２９】
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【図１３０】
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【図２００】
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【図２０１】
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【図２０３】
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【図２０６】
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【図２０７】
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【図２０８】
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【図２０９】
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【図２１０】
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【図２１１】
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【図２１２】
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【図２１３】
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【図２１４】
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【図２１５】
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【図２１６】
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【図２１７】
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【図２１８】
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【図２１９】
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【図２２０】
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【図２２２】
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【図２２４】
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【図２２７】
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【図２２９】
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【図２３０】
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【図２４０】
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【図２４５】
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【図２６９】
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【図２７０】
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【図２７４】
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【図２７５】
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【図２８０】
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【図２８１】
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【図２８２】
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【図２８３】
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【図２８４】
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【図２８５】
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【図２８８】
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【図２９０】
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【図２９１】
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【図２９２】
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【図２９３】
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【図２９４】
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【図２９５】
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【図２９６】
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【図２９７】
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【図２９８】
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【図２９９】
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【図３００】
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【図３０１】
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【図３０２】
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【図３０３】
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【図３０４】
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【図３０５】
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【図３０６】
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【図３０７】
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【図３０８】
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【図３０９】
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【図３１０】
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【図３１１】
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【図３１２】
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【図３１３】
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【図３１４】
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【図３１５】
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【図３１６】
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【図３１８】
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【図３１９】
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【図３２０】
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【図３２１】
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【図３２２】
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【図３２３】
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【図３２４】
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【図３２５】
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【図３２７】
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【図３６４】
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【図３６７】
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【図３７０】
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【図３７４】
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【図３７５】
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【図３８４】
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【図３８５】
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【図３８６】
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【図３９０】
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【図３９５】
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【図３９６】
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【図３９８】
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【図４００】
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【図４０１】
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【図４０２】
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【図４０３】
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【図４０４】
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【図４０５】
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【図４０６】
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【図４０７】
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【図４０８】
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【図４０９】
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【図４１０】
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【図４１２】
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【図４１４】
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【図４１５】
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【図４１６】
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【図４１９】
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【図４２０】
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【図４２１】
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【図４２２】
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【図４２４】
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【図４２５】
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【図４２６】
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【図４２７】
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【図４２８】
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【図４３０】
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【図８０９】
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【公開番号】特開２０１２−２５６９３２（Ｐ２０１２−２５６９３２Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２７日（２０１２．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１８６６３３（Ｐ２０１２−１８６６３３）
【出願日】平成２４年８月２７日（２０１２．８．２７）
【分割の表示】特願２００８−２７８８２７（Ｐ２００８−２７８８２７）の分割
【原出願日】平成１２年８月１１日（２０００．８．１１）
【出願人】（５１２０００５１４）
【Ｆターム（参考）】

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