基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
【課題】処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部22−1乃至22−6と、複数の処理部22−1乃至22−6に処理液を供給する複数の処理部22−1乃至22−6で共通の処理液供給管210と、複数の処理部22−1乃至22−6のうち、稼働する処理部の数に応じて、処理液供給管210中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部220と、を具備する。
【解決手段】処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部22−1乃至22−6と、複数の処理部22−1乃至22−6に処理液を供給する複数の処理部22−1乃至22−6で共通の処理液供給管210と、複数の処理部22−1乃至22−6のうち、稼働する処理部の数に応じて、処理液供給管210中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部220と、を具備する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、半導体ウエハやFPD等の基板に対して処理液を供給し、基板に洗浄処理のような液処理を施す基板処理装置とその基板処理方法、及び基板処理装置を制御する記憶媒体に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスの製造プロセスやフラットパネルディスプレー(FPD)の製造プロセスにおいては、被処理基板である半導体ウエハやガラス基板に処理液を供給して液処理を行うプロセスが多用されている。このようなプロセスとしては、例えば、基板に付着したパーティクルやコンタミネーション等を除去する洗浄処理を挙げることができる。
【0003】
このような基板処理装置としては、半導体ウエハ等の基板をスピンチャックに保持し、基板を回転させた状態でウエハに洗浄液等の処理液を供給して洗浄処理を行うものが知られている。この種の装置では、通常、処理液はウエハの中心に供給し、基板を回転させることにより処理液を外側に広げて液膜を形成しながら、処理液を基板の外方へ離脱させる。
【0004】
洗浄処理に使用される洗浄液としては、過酸化水素水、及び/又は純水にアルカリであるアンモニアを混合したアルカリ性処理液、あるいは酸である弗酸を純水で希釈した希弗酸などがよく知られている。
【0005】
これらのような処理液の生成方式としては、純水を流している配管にアンモニアや弗酸を注入し、基板に供給する直前に配管中で所望の濃度の処理液を作るようにしている方式がある。この種の生成方式を採用した基板処理装置は、例えば、特許文献1に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2001−87722号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
特許文献1に記載された基板処理装置は1ユニットの処理部のみを備えているが、特許文献1に記載された生成方式を利用した基板処理装置には、スループットを向上させるために複数ユニットの処理部を備えたもの、いわゆるマルチユニット型基板処理装置も存在する。
【0008】
この種のマルチユニット型基板処理装置では、全ユニットで共通の処理液供給管を備え、処理液を、全ユニット稼働時に使用される量に相当した流量で共通の処理液供給管に供給する。例えば、処理部が全12ユニットあり、例えば、1ユニットあたり毎分3リットルの処理液を使用する場合には、処理液を毎分36リットルの流量で共通の処理液供給管に供給する。
【0009】
しかしながら、1ユニットしか稼働していない場合でも、全ユニット分の処理液を処理液供給管に供給してしまうので、稼働していないユニット分の処理液が無駄に廃棄されることになる。
【0010】
この発明は、処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置とその基板処理方法、及び上記基板処理方法に従って基板処理装置を制御するプログラムを格納した記憶媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記課題を解決するために、この発明の第1の態様に係る基板処理装置は、処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管と、前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部と、を具備し、前記流量制御部が、前記複数の処理部のうち、新たに稼働を開始する処理部が稼働する前に前記処理液供給管中の処理液の流量を増加させる。
【0012】
この発明の第2の態様に係る基板処理方法は、処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管とを備えた基板処理装置の基板処理方法であって、前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する。
【0013】
この発明の第3の態様に係る記憶媒体は、コンピュータ上で動作し、基板処理を制御する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、前記制御プログラムが、実行時に、第2の態様に係る基板処理方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させる。
【発明の効果】
【0014】
この発明によれば、処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置とその基板処理方法、及び上記基板処理方法に従って基板処理装置を制御するプログラムを格納した記憶媒体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図2】処理部を拡大して示した断面図である。
【図3】第1の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【図4】流量制御の基本的な一例を示す図である。
【図5】流量制御の他例を示す図である。
【図6】背圧制御を採用した基板処理装置の一例を示すブロック図である。
【図7】第2の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【図8】図8Aは流量と時間との関係を示す図、図8Bは濃度と時間との関係を示す図、図8Cは流量の増加タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図9】図9Aは流量と時間との関係を示す図、図9Bは濃度と時間との関係を示す図、図9Cは流量の増加タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図10】図10Aは流量と時間との関係を示す図、図10Bは濃度と時間との関係を示す図である。
【図11】図11Aは流量と時間との関係を示す図、図11Bは濃度と時間との関係を示す図、図11Cは流量の減少タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図12】図12Aは流量と時間との関係を示す図、図12Bは濃度と時間との関係を示す図、図12Cは流量の減少タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図13】図13Aは流量と時間との関係を示す図、図13Bは濃度と時間との関係を示す図である。
【図14】流量の増加タイミングと処理開始との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。参照する図面全てにわたり、同一の部分については同一の参照符号を付す。この説明においては、この発明を半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)の表裏面洗浄を行う液処理装置に適用した場合について示す。
【0017】
図1はこの発明の第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【0018】
基板処理装置100は、複数のウエハWを収容するウエハキャリアCを載置し、ウエハWの搬入・搬出を行う搬入出ステーション(基板搬入出部)1と、ウエハWに洗浄処理を施すための処理ステーション(液処理部)2と、制御ユニット3とを備えており、これらは隣接して設けられている。
【0019】
搬入出ステーション1は、複数のウエハWを水平状態で収容するウエハキャリアCを載置するキャリア載置部11と、ウエハWの搬送を行う搬送部12と、ウエハWの受け渡しを行う受け渡し部13と、搬送部12および受け渡し部13が収容される筐体14とを有している。
【0020】
キャリア載置部11は4個のウエハキャリアCが載置可能であり、載置されたウエハキャリアCは筐体14の垂直壁部に密着された状態とされ、ウエハキャリアCの蓋が開かれることにより、その中のウエハWが搬送部12に搬入可能となっている。
【0021】
搬送部12は、搬送機構15を有している。搬送機構15は、ウエハWを保持するウエハ保持アーム15aを有しており、さらに、このウエハ保持アーム15aをウエハキャリアCの配列方向に対する垂直方向であるY方向に移動させる機構、ウエハキャリアCの配列方向であるX方向に延在する水平ガイド17に沿って移動させる機構、垂直方向に設けられた垂直ガイド(図示せず)に沿って移動させる機構、及び水平面内で回転させる機構を有している。搬送機構15は、ウエハキャリアCと受け渡し部13との間でウエハWを搬送する。
【0022】
受け渡し部13は、受け渡しステージ19と、その上に設けられたウエハWを載置可能な載置部を複数備えた受け渡し棚20とを有しており、この受け渡し棚20を介して処理ステーション2との間でウエハWの受け渡しが行われるようになっている。
【0023】
処理ステーション2は直方体状をなす筐体21を有する。筐体21内には、その中央上部にウエハキャリアCの配列方向であるX方向に直交するY方向に沿って延びる搬送路を構成する搬送室21aと、搬送室21aの両側に設けられた2つのユニット室21b、21cとを有している。
【0024】
搬送室21aの内部には搬送機構24が設けられている。搬送機構24は、ウエハWを保持するウエハ保持アーム24aを有しており、このウエハ保持アーム24aをX方向に移動させる機構、搬送室21aに設けられた水平ガイド25に沿ってY方向に移動させる機構、垂直方向に設けられた垂直ガイド(図示せず)に沿って移動させる機構、及び水平面内で回転させる機構を有している。搬送機構24は、処理部(液処理ユニット)22に対するウエハWの搬入出を行う。
【0025】
ユニット室21b、21cは、複数の処理部22で共有される共有空間であり、複数の処理部22が配置される。本例ではユニット室21b、21cに、搬送室21aに沿って6基ずつ、計12基の処理部22が水平に配列される。処理部22の一つを拡大して示した断面図を、図2に示す。
【0026】
図2に示すように、処理部22は、ウエハWを保持するウエハ保持部4と、ウエハ保持部4に保持されたウエハWに処理液を供給する処理液供給機構5と、ウエハ保持部4の外側から下方にかけて設けられ、ウエハWに供給された処理液を回収可能なドレインカップ6と、ドレインカップ6の外側に設けられた外カップ7と、を備える。
【0027】
本例のウエハ保持部4は、水平に設けられた円板状をなす回転プレート41と、回転プレート41の裏面の中心部に接続され、下方に向かって鉛直に延びる円筒状の回転軸42とを有している。回転プレート41の中心部には円形の孔43が形成され、孔43は円筒状の回転軸42の孔44に連通されている。孔43及び孔44内には裏面側液供給ノズル45が設けられている。裏面側供給ノズル45には、処理液供給機構300から処理液が供給される。回転プレート41には、ウエハWの外縁を保持する保持部材46が設けられている。保持部材46は、図2中では1つのみが示されているが、例えば、3つ設けられ、互いに等間隔で配置される。保持部材46は、ウエハWが回転プレート41から浮いた状態で水平にウエハWを保持する。
【0028】
本例の処理液供給機構5は、アルカリを含む処理液を供給する第1処理液供給部51aと、酸を含む処理液を供給する第2処理液供給部51bとを備える。処理液供給機構5には、処理液供給機構300から処理液が供給される。
【0029】
第1処理液供給部51aは、アルカリを含む処理液を吐出するノズル52aを備える。アルカリを含む処理液の一例は、アルカリとしてアンモニアを含む処理液である。より詳しい一例は、過酸化水素水、及び/又は水に、アルカリであるアンモニアを混合したアルカリ性処理液である。あるいはこれら洗浄液に類似した洗浄液を挙げることができる。ノズル52aは第1スキャンアーム53aの先端部分に取り付けられている。第1スキャンアーム53aはシャフト54aに接続されており、シャフト54aを回動させることで、先端部分に取り付けられたノズル52aを、ウエハ保持部4の外側にある待機位置とウエハWの上方の処理位置との間でスキャンさせることが可能になっている。さらに、シャフト54aは上下方向の昇降駆動が可能であり、例えば、処理位置においてシャフト54aを昇降させると、ノズル52aの吐出位置(高さ)を調節することもできる。
【0030】
第2処理液供給部51bは、酸を含む処理液を吐出するノズル52bを備える。酸を含む処理液の一例は酸として弗酸を含む処理液である。より詳しい一例は、酸である弗酸を水等で希釈した酸性処理液、例えば、希弗酸である。ノズル52bも、ノズル52aと同様にスキャンアーム、本例では第2スキャンアーム53bの先端部分に取り付けられている。本例の第2スキャンアーム53bは、第1スキャンアーム53aよりも低い位置にある。第2スキャンアーム53bはシャフト54bに接続され、シャフト54bを回動させることで、ノズル52bを、待機位置と処理位置との間でスキャンさせることが可能になっている。さらに、シャフト54bも上下方向の昇降駆動が可能であり、例えば、処理位置においてノズル52bの吐出位置(高さ)を調節することもできる。
【0031】
本例のドレインカップ6は、筒状をなす外周壁61と、外周壁61の下端部から内側に向かって延びる内側壁62とを有し、外周壁61と内側壁62とによって規定された環状の空間を、処理液を回収し、収容する液収容部63としている。液収容部63は、回収した処理液を排液する排液管64に接続されている。排液管64はドレインに接続される。また、液収容部63の下方には、ウエハ保持部4下の空間に連通する環状の空間が形成されている。この環状の空間は排気空間65となっており、排気空間65は、排気管66に接続されている。排気管66は排気機構400に接続される。
【0032】
本例の外カップ7は円筒状の外側壁71を備え、外側壁71からウエハ保持部4の下方に延び、ドレインカップ6よりも回転軸42側の部分に内側壁72を備えている。本例では、外側壁71と内側壁72との間の空間にドレインカップ6が収容される構造となっている。外カップ7はベースプレート8の上に取り付けられている。
【0033】
外カップ7上には、ウエハW、ウエハ保持部4、処理液供給機構5、ドレインカップ6、及び外カップ7の上方を覆うようにケーシング9が設けられている。ケーシング9の上部には図示せぬファン・フィルター・ユニット(FFU)からの気流を、ケーシング9の側部に設けられた導入口91を介して導入する気流導入部92が設けられている。気流導入部92は、ウエハ保持部4に保持されたウエハWに、清浄空気をダウンフローで供給する。供給された清浄空気は、上述した排気管66を介して排気される。
【0034】
ケーシング9の側部には、さらに、基板搬入出口93が形成されている。ウエハWは、基板搬入出口93を介してケーシング6の内部に対して搬入出される。
【0035】
図1に戻り、基板処理装置100を制御する制御ユニット3は、コンピュータであるプロセスコントローラ31と、プロセスコントローラ31に接続されたユーザーインターフェース32と、同じくプロセスコントローラ31に接続された記憶部33とを備えている。
【0036】
ユーザーインターフェース32は、オペレータが、基板処理装置100を管理するコマンドの入力操作等を行うキーボードや、基板処理装置100の稼働状況等を可視化して表示するディスプレイ等を有する。
【0037】
記憶部33は、基板処理装置100で実行される処理を、プロセスコントローラ31の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じた処理を基板処理装置100に実行させたりするプログラム、即ちレシピが格納される。レシピは記憶部33の中の記憶媒体に記憶される。記憶媒体は、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体であり、ハードディスクや半導体メモリであっても良いし、CD−ROM、DVD、フラッシュメモリ等の可搬性のものであっても良い。任意のレシピは、ユーザーインターフェース32からの指示等にて記憶部33から読み出され、プロセスコントローラ31に実行させることで、プロセスコントローラ31の制御下で、基板処理装置100による基板処理が行われる。レシピは、例えば、専用回線を介して他の装置から適宜伝送させることも可能である。
【0038】
図3は、第1の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【0039】
図3に示すように、第1の実施形態に係る基板処理装置100は、基本的に、処理液を用いてウエハに対して液処理を施す複数の処理部22−1乃至22−6、…と、これらの処理部22−1乃至22−6、…に処理液を供給するための、処理部22−1乃至22−6、…で共通の処理液供給管210と、この処理液供給管210中の処理液の流量を制御する流量制御部220と、を具備する。これら処理部22−1乃至22−6、…への処理液の供給は、上記処理液供給配管210と、この処理液供給配管210から分岐して処理部22−1乃至22−6、…へ接続される複数の分岐配管211−1乃至211−6、…とを介して行われる。分岐配管211−1乃至211−6の処理液供給管210からの分岐部近傍には開閉バルブ212−1乃至212−6、…が設けられている。したがって、処理液供給配管210には、処理部22−1乃至22−6、…への処理液の供給中には、常に処理液が流れ、各処理部への処理液の供給・停止は各開閉バルブを開閉により行われる。各開閉バルブと各分岐部とは一体化されて分岐部・バルブユニット213−1乃至213−6、…を構成している。このように一体化された分岐部・バルブユニット213−1乃至213−6、…を設けることにより、分岐部とバルブとの間の距離を短くして処理液の液だまりを少なくすることができる。
【0040】
流量制御部220は、処理液供給管210中に流す処理液の流量を、処理部22−1乃至22−6、…のうち、稼働する処理部の数に応じて、増加又は減少させるように制御する。流量制御部220は、本例では制御ユニット3により制御される。制御ユニット3は、例えば、稼働する処理部の数を把握し、稼働する処理部の数に応じて、稼働する処理部に必要とされる処理液の流量になるように流量制御部220に流量を増加又は減少させる指示を出す。流量制御部220は、この指示に基づいて、処理液供給管210中の処理液の流量を増加又は減少させる。流量制御の基本的な一例を図4に示す。図4では、六基の処理部22−1乃至22−6に処理液を共通に供給し、かつ、一つの処理部が必要とする処理液は、毎分3リットルの場合を仮定する。
【0041】
図4に示すように、稼働する処理部が無い場合には、流量制御部220は、処理液の流量をゼロとする。稼働する処理部が一基の場合には流量制御部220は毎分3リットルの流量で処理液を共通の処理液供給管210に供給する。さらに、流量制御部220は、稼働する処理部が二基の場合には毎分6リットル、三基の場合には毎分9リットル、六基の場合には毎分18リットル、というように、稼働する処理部の数に応じて流量を増加させる。反対に稼働する処理部が減ると、流量制御部220は、毎分18リットルから毎分15リットル、毎分12リットル、…、と減らしていき、稼働する処理部がゼロになると処理液の流量をゼロとする。
【0042】
なお、図4では、一基から六基まで順次増えていき、六基から一基まで順次減っていく例を示しているが、稼働する処理部の数は、例えば、二基から四基に増えたり、四基から一基に減ったり、さらに一基から六基に増えたり、というようにランダムに変化することがある。このような場合には、流量制御部220は、流量を毎分6リットルから毎分12リットルに増加させる、毎分12リットルから毎分3リットルに減少させる、毎分3リットルから毎分18リットルに増加させる、というように制御すれば良い。
【0043】
また、第1の実施形態に係る基板処理装置100は、処理液の流量を増加させるタイミングを、ユニット稼働開始前にずらすようにしている(図4中の時間t)。このように処理液の流量を、流量制御部220がユニット稼働開始前から増加させることで、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量を、ユニット稼働開始時には、稼働ユニット全てで必要とされる流量で安定させることができる。この構成によれば、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量が、ユニット稼働中に不足してしまう等の事情を抑制することができる。処理液の流量を増加させるタイミングをユニット稼働開始前にずらすには、制御ユニット3が、例えば、ウエハWの基板処理装置100への搬入、ウエハWの搬送機構24への受け渡しなど、ユニット稼働開始前に行われるステップの開始を命令するとともに、流量増加の命令を流量制御部220に出すようにすれば良い。
【0044】
このように、第1の実施形態に係る基板処理装置100は、稼働する処理部の数に応じて、処理液供給機構300より供給される処理液の流量を増加又は減少する処理部に必要とされる処理液の流量分を減少させる。よって、第1の実施形態によれば、稼働ユニット数に関係なく全ユニット分の処理液を供給する基板処理装置に比較して、処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置を得ることができる。
【0045】
また、第1の実施形態に係る基板処理装置100のように、処理液を増加させるタイミングをユニット稼働開始前にずらすようにすれば、処理液の消費量を減らしつつ、ユニット稼働中に、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量不足が起こり難い基板処理装置を得ることができる。
【0046】
さらに、流量が安定する時間を設定し、流量制御部220が、新たに稼働を開始する処理部が、増加後の処理液供給管210中の処理液の流量が安定した後に稼働されるよう、処理液供給管210中の処理液の流量を増加させるようにしても良い。
【0047】
図5は、流量制御の他例を示す図である。
【0048】
図5に示す流量制御が、図4に示す流量制御と異なるところは、処理部22−1乃至22−6が使用する処理液の他に、共通の処理液供給管210中にベースとなる処理液を流すようにしたところである。処理液の流量の誤差を精密に制御したい場合、ベースとなる処理液を、さらに流すことにより、例えば、処理部22−1乃至22−6が使用する処理液の流量に誤差があった場合でも、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量不足が発生することを抑制できる。例えば、流量制御部220が1ユニット当り、毎分3リットルの流量で処理液を精度よく制御して共通の処理液供給管210に供給していたとする。この場合に、例えば、処理部22−1乃至22−6が、例えば、毎分3リットルを消費するところ、毎分3.1リットルを共通の処理液供給管210から消費していた、とすると、ユニット稼働中に、どこかの処理部では処理液が不足してしまう。このような事情は、共通の処理液供給管210中に、処理部22−1乃至22−6が使用する処理液の他にベースとなる処理液を余分に流すようにすることで解消できる。本例では、一例として、ベースとなる処理液を毎分5リットルの流量で流す。
【0049】
また、第1の実施形態に係る基板処理装置100では、稼働する処理部の数に応じて、共通の処理液供給管210中を流れる処理液の流量が変わる。このため、共通の処理液供給管210中の圧力が稼働する処理部の数に応じて変わる。共通の処理液供給管210中の圧力が変わると、処理部22−1乃至22−6内において、処理液の吐出量が変化する可能性がある。このような吐出量の変化を抑制するためには、共通の処理液供給管210中の流量が変わった際に、背圧を制御して共通の処理液供給管210中の圧力を一定にすれば良い。背圧制御を採用した基板処理装置の一例を、図6に示す。
【0050】
図6に示すように、背圧制御部240は、共通の処理液供給管210の、処理部22−1乃至22−6、…のうち、最後段の処理部とドレインとの間の部分に備えられている。背圧制御部240は、共通の処理液供給管210内の処理液の流量の変化に応じて、処理液の背圧を変える。これにより、流量制御部220が処理液の流量を変えた場合でも、処理液供給管210中の圧力が一定となるように制御することができる。
【0051】
背圧制御部240の一例としては、図6に示すように、共通の処理液供給管210のうち、背圧制御用バルブ241を最後段の処理部とドレインとの間に設け、圧力測定部242を、処理部22−1乃至22−6、…のうち、例えば、最後段の処理部と背圧制御用バルブ241との間に設ける。圧力測定部242は、背圧制御用バルブと、共通の処理液供給管210のうち、処理部22−1乃至22−6、…に接続された部分との間の圧力を測定する。背圧制御用バルブ241は、圧力測定部242の測定結果に応じて、共通の処理液供給管210中の圧力が、ある定められた圧力(背圧)で一定となるように開度を調節する。例えば、背圧制御用バルブ241は、共通の処理液供給管210中の圧力が、ある定められた圧力よりも高くなってきた場合には開度を広げ、ある定められた圧力になるように圧力を下げる。反対に、ある定められた圧力よりも低くなってきたら開度を狭め、ある定められた圧力になるように圧力を上げる。
【0052】
このように、第1の実施形態に係る基板処理装置100において、他例に係る流量制御、即ち、処理部22−1乃至22−6、…が使用する処理液の他にベースとなる処理液を余分に流すことを採用した場合には、ユニット稼働中に処理液が不足してしまうことを、より抑制することができる。
【0053】
また、背圧制御部240を、共通の処理液供給管210の、最後段の処理部とドレインとの間の部分に、さらに設ける。このような構成によれば、例えば、稼働する処理部22−1乃至22−6、…の数が変わっても共通の処理液供給管210中の圧力を一定に制御でき、処理部22−1乃至22−6、…における処理液の吐出量が変化し難い基板処理装置を得ることができる。
【0054】
(第2の実施形態)
図7は、第2の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【0055】
図7に示すように、第2の実施形態に係る基板処理装置200が、第1の実施形態に係る基板処理装置100と異なるところは、異なる液体を共通の処理液供給管210中で混合し、所望の濃度の処理液をウエハWに供給する直前に作るようにしたこと、である。このために、基板処理装置200は、基板処理装置100の構成、例えば、図6に示した構成に対して、共通の処理液供給管210に流れる第1の液体に、この第1の液体とは異なる第2の液体を注入し、処理液供給管210中で第1の液体に第2の液体を混合して処理液を生成する混合部214をさらに備えている。第2の液体は、第2の液体供給管222を介して混合部214に供給される。混合部214は、処理液供給管210と第2の液体供給管222の合流部と、第2の液体供給管222に設けられ、第2の液体の供給・停止を行う開閉バルブ215とが一体化された合流部・バルブユニット216で構成されている。このように混合部214を一体化された合流部・バルブユニット216で構成することにより、合流部とバルブとの間の距離を短くして第2の液体の液だまりを少なくすることができる。
【0056】
流量制御部220は、混合部214の前段に設けられている。流量制御部220は、第1の液体の流量、及び第2の液体の流量を、複数の処理部22−1乃至22−6、…のうち、稼働する液処理部の数に応じて増加又は減少させ、混合部214に送る。これにより、基板処理装置200においても、基板処理装置100と同様に、共通の処理液供給管210中の処理液の流量が、稼働する処理部の数に応じて増加又は減少される。流量が制御された第1の液体、及び第2の液体は、混合部214において混合されることで所望の濃度の処理液が生成される。第1の液体の一例は純水(DIW)である。第1の液体中に注入される第2の液体の一例はケミカルである。ケミカルの例としては、弗酸(HF)、塩酸(HCL)、アンモニア(NH3)を挙げることができる。本例では、処理液を、例えば、純水に、弗酸(HF)、又は塩酸(HCL)、又はアンモニア(NH3)を、所望の濃度となるように混合部214において混合することで生成する。
【0057】
さらに、本例の流量制御部220は、増加又は減少中の処理液の濃度が、増加又は減少前の処理液の濃度に近づくように、第1の液体の増加量又は減少量、及び第2の液体の増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御するように工夫した。このため、流量制御部220は、第1の液体、例えば、純水(DIW)の流量及び純水の増加量又は減少量を制御して混合部214に送る第1のリキッドフローコントローラ(LFC)221−1と、第2の液体、例えば、ケミカルの流量及びケミカルの増加量又は減少量を制御して混合部214に送る第2のLFC221−2とを備えている。なお、第1の液体(例えば純水(DIW))の供給開始コントロールは第1のリキッドフローコントローラ(LFC)221−1で行う。第1の液体、及び第2の液体の流量と時間との関係を図8Aに示す。
【0058】
第1の液体Aと第2の液体Bとは互いに異なる液体であるから、例えば、第1の液体Aの粘度と第2の液体Bの粘度とは互いに異なる。このため、例えば、単位時間の当たりの増加量や増加の仕方、あるいは設定流量に達するまでの時間などが異なってくる。
【0059】
特に、第1の液体A及び第2の液体Bの流量の増加期においては、図8Aに示すように、増加量や増加の仕方が違うから両者の流量に差がでる。例えば、第1の液体Aが純水で、第2の液体Bが弗酸であった場合には、弗酸の方が純水よりも流量が早く増す。このため、図8Bに示すように、流量の増加期においては、弗酸と純水との混合割合が崩れて一時的に濃度が濃い処理液が生成されてしまう。処理液の増加のタイミングと処理液の濃度との関係を図8Cに示す。
【0060】
図8Cに示すように、処理中に処理液の流量を増加させると、増加中に一時的に濃度が濃い処理液が生成され、濃い処理液が処理液供給管210を通って処理部に供給されてしまう。流量が安定する安定期においては、弗酸と純水との混合割合が設定された割合に戻るから濃度は設定された濃度に戻る。しかしながら、一時的にでも濃い処理液、即ち、性質の違った処理液が処理部に供給されてしまうと、液処理を安定して行うことは難しくなる。
【0061】
そこで、本例では、流量制御部220を利用して、増加又は減少中の処理液の濃度が、増加又は減少前の処理液の濃度に近づくように、第1の液体Aの流量の増加量、及び第2の液体Bの流量の増加量を制御する。
【0062】
具体的な一例は、図9A中の点線Iに示すように、第2の液体Bの流量の増加量が第1の液体Aよりも速いときには、第2の液体Bの流量の増加量を抑制しながら、設定流量まで増加するように制御する。第2の液体Bの流量の増加量の抑制の仕方は、第1の液体Aの流量の増加量に近づくように抑制すれば良い。制御は、第1の液体A及び第2の液体Bの単位時間当りの流量の増加量が同じになるようにする。
【0063】
このように第2の液体Bの流量の増加量を抑制することで、図9Bに示すように、流量の増加期においても、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れて設定濃度から外れてしまうことを、点線IIに示す第2の液体Bの流量の増加量を抑制しない場合に比較して軽減することができる。
【0064】
よって、図9Cに示すように、処理中に処理液の流量を増加させても、濃度が濃い処理液が生成されるような事情が抑制され、性質が安定した処理液を、処理液供給管210を介して処理部に供給することができる。
【0065】
なお、図9A乃至図9Cに示した例においては、第2の液体Bの流量の増加量のみを抑制するようにした。しかしながら、第1の液体Aの流量の増加量、及び第2の液体Bの流量の増加量の双方を抑制するほうが、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れ難くなる場合には、図10A乃至図10Bに示すように、第1の液体Aの流量の増加量、及び第2の液体Bの流量の増加量の双方を抑制するようにしても良い。
【0066】
また、本例では、流量制御部220が、稼働する処理部の数に応じて処理液の流量を減らす。流量を減らすときにも、同様に処理液の濃度が変動する現象が起る。
【0067】
例えば、図11Aに示すように、第1の液体Aが純水で、第2の液体Bが弗酸であった場合には、弗酸の方が純水よりも流量が早く減る。このため、図11Bに示すように、流量の減少期においては、弗酸と純水との混合割合が崩れ、一時的に濃度が薄い処理液が生成されてしまう。処理液の減少のタイミングと処理液の濃度との関係を図11Cに示す。
【0068】
図11Cに示すように、処理中に処理液の流量を減少させると、増加とは反対に濃度が薄い処理液が生成される。この場合も、性質の違った処理液が処理部に供給されてしまうことになるから、処理部における液処理を安定して行うことは難しくなる。
【0069】
そこで、本例では、図12A中の点線IIIに示すように、第2の液体Bの流量の減少量が第1の液体Aよりも速いときには、第2の液体Bの流量の減少量を抑制しながら、設定流量まで減少するように制御する。第2の液体Bの流量の減少量の抑制の仕方は、第1の液体Aの流量の減少量に近づくように抑制すれば良い。制御は、第1の液体A及び第2の液体Bの単位時間当りの流量の減少量が同じになるようにする。処理液の流量の減少は、稼働する処理部が増加する前に終了される。
【0070】
このように第2の液体Bの流量の減少量を抑制することで、図12Bに示すように、流量の減少期においても、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れて設定濃度から外れてしまうことを、点線IVに示すように第2の液体Bの流量の減少量を抑制しない場合に比較して軽減することができる。
【0071】
よって、図12Cに示すように、処理中に処理液の流量を減少させても、濃度が薄い処理液が生成されるような事情が抑制され、性質が安定した処理液を、処理液供給管210を介して処理部に供給することができる。
【0072】
なお、減少させる場合においても、第1の液体Aの流量の減少量、及び第2の液体Bの流量の減少量の双方を抑制するほうが、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れ難くなる場合には、図13A乃至図13Bに示すように、第1の液体A、及び第2の液体Bの双方の流量の減少量を抑制するようにしても良い。
【0073】
第1の液体A、第2の液体Bの流量の増加量又は流量の減少量を抑制するための制御量は、例えば、第1の液体Aの性質、及び第2の液体Bの性質を調べておき、予めレシピ内に記録しておいても良い。
【0074】
さらに、処理開始等には、より安定した状態になるような制御をさせるとより良い。例えば、図14に示すように、流量が安定しだしてからすぐに処理を開始するのではなく、より安定するまでにしばらくの時間tをおいてから処理を開始するようにすると良い。
【0075】
また、濃度を、より精度良くに制御したい場合には、図7に示すように、共通の処理液供給管210中の処理液の濃度を測定する濃度測定部230を設け、測定された濃度に応じて、流量制御部220を制御するようにしても良い。濃度測定部230は、例えば、導電率計などを用いて実現することができる。本例では、濃度測定部230を、混合部214と、共通の処理液供給管210の、処理部22−1乃至22−6、…のうち、最前段の処理部22−1との部分に備えている。
【0076】
濃度測定部230は、混合部214から排出された処理液の濃度をモニターし、処理液の濃度が設定濃度よりも外れた、例えば、濃度が許容誤差を超えるように外れた場合には、増加又は減少中の処理液の濃度が、増加又は減少前の処理液の濃度に近づくように、第1の液体Aの流量の増加量又は減少量、及び第2の液体Bの流量の増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御する。
【0077】
このように、第2の実施形態に係る基板処理装置200によれば、ウエハWに供給する直前に所望の濃度の処理液を作る構成において、処理中に処理液の流量を変化させたとしても、処理液の濃度変化が起り難く、性質が安定した処理液を処理部に供給できる。しかも、基板処理装置200においても、処理液の流量を、稼働する処理部の数に応じて増加又は減少させるから、性質が安定した処理液の消費量も減らすことができる。
【0078】
以上、この発明をいくつかの実施形態により説明したが、この発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。
【0079】
例えば、上記実施形態では、ウエハの表裏面洗浄を行う洗浄処理装置を例にとって示したが、本発明はこれに限らず、表面のみまたは裏面のみの洗浄処理を行う洗浄処理装置であってもよく、また、洗浄処理に限らず、他の液処理であっても構わない。
【0080】
さらに、上記実施形態では被処理基板として半導体ウエハを用いた場合について示したが、液晶表示装置(LCD)用のガラス基板に代表されるフラットパネルディスプレイ(FPD)用の基板等、他の基板に適用可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【0081】
22…処理部、210…共通の処理液供給管、214…混合部、220…流量制御部、230…濃度測定部、240…背圧制御部
【技術分野】
【0001】
この発明は、半導体ウエハやFPD等の基板に対して処理液を供給し、基板に洗浄処理のような液処理を施す基板処理装置とその基板処理方法、及び基板処理装置を制御する記憶媒体に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスの製造プロセスやフラットパネルディスプレー(FPD)の製造プロセスにおいては、被処理基板である半導体ウエハやガラス基板に処理液を供給して液処理を行うプロセスが多用されている。このようなプロセスとしては、例えば、基板に付着したパーティクルやコンタミネーション等を除去する洗浄処理を挙げることができる。
【0003】
このような基板処理装置としては、半導体ウエハ等の基板をスピンチャックに保持し、基板を回転させた状態でウエハに洗浄液等の処理液を供給して洗浄処理を行うものが知られている。この種の装置では、通常、処理液はウエハの中心に供給し、基板を回転させることにより処理液を外側に広げて液膜を形成しながら、処理液を基板の外方へ離脱させる。
【0004】
洗浄処理に使用される洗浄液としては、過酸化水素水、及び/又は純水にアルカリであるアンモニアを混合したアルカリ性処理液、あるいは酸である弗酸を純水で希釈した希弗酸などがよく知られている。
【0005】
これらのような処理液の生成方式としては、純水を流している配管にアンモニアや弗酸を注入し、基板に供給する直前に配管中で所望の濃度の処理液を作るようにしている方式がある。この種の生成方式を採用した基板処理装置は、例えば、特許文献1に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2001−87722号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
特許文献1に記載された基板処理装置は1ユニットの処理部のみを備えているが、特許文献1に記載された生成方式を利用した基板処理装置には、スループットを向上させるために複数ユニットの処理部を備えたもの、いわゆるマルチユニット型基板処理装置も存在する。
【0008】
この種のマルチユニット型基板処理装置では、全ユニットで共通の処理液供給管を備え、処理液を、全ユニット稼働時に使用される量に相当した流量で共通の処理液供給管に供給する。例えば、処理部が全12ユニットあり、例えば、1ユニットあたり毎分3リットルの処理液を使用する場合には、処理液を毎分36リットルの流量で共通の処理液供給管に供給する。
【0009】
しかしながら、1ユニットしか稼働していない場合でも、全ユニット分の処理液を処理液供給管に供給してしまうので、稼働していないユニット分の処理液が無駄に廃棄されることになる。
【0010】
この発明は、処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置とその基板処理方法、及び上記基板処理方法に従って基板処理装置を制御するプログラムを格納した記憶媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記課題を解決するために、この発明の第1の態様に係る基板処理装置は、処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管と、前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部と、を具備し、前記流量制御部が、前記複数の処理部のうち、新たに稼働を開始する処理部が稼働する前に前記処理液供給管中の処理液の流量を増加させる。
【0012】
この発明の第2の態様に係る基板処理方法は、処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管とを備えた基板処理装置の基板処理方法であって、前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する。
【0013】
この発明の第3の態様に係る記憶媒体は、コンピュータ上で動作し、基板処理を制御する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、前記制御プログラムが、実行時に、第2の態様に係る基板処理方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させる。
【発明の効果】
【0014】
この発明によれば、処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置とその基板処理方法、及び上記基板処理方法に従って基板処理装置を制御するプログラムを格納した記憶媒体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図2】処理部を拡大して示した断面図である。
【図3】第1の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【図4】流量制御の基本的な一例を示す図である。
【図5】流量制御の他例を示す図である。
【図6】背圧制御を採用した基板処理装置の一例を示すブロック図である。
【図7】第2の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【図8】図8Aは流量と時間との関係を示す図、図8Bは濃度と時間との関係を示す図、図8Cは流量の増加タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図9】図9Aは流量と時間との関係を示す図、図9Bは濃度と時間との関係を示す図、図9Cは流量の増加タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図10】図10Aは流量と時間との関係を示す図、図10Bは濃度と時間との関係を示す図である。
【図11】図11Aは流量と時間との関係を示す図、図11Bは濃度と時間との関係を示す図、図11Cは流量の減少タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図12】図12Aは流量と時間との関係を示す図、図12Bは濃度と時間との関係を示す図、図12Cは流量の減少タイミングと処理液の濃度との関係を示す図である。
【図13】図13Aは流量と時間との関係を示す図、図13Bは濃度と時間との関係を示す図である。
【図14】流量の増加タイミングと処理開始との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。参照する図面全てにわたり、同一の部分については同一の参照符号を付す。この説明においては、この発明を半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)の表裏面洗浄を行う液処理装置に適用した場合について示す。
【0017】
図1はこの発明の第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【0018】
基板処理装置100は、複数のウエハWを収容するウエハキャリアCを載置し、ウエハWの搬入・搬出を行う搬入出ステーション(基板搬入出部)1と、ウエハWに洗浄処理を施すための処理ステーション(液処理部)2と、制御ユニット3とを備えており、これらは隣接して設けられている。
【0019】
搬入出ステーション1は、複数のウエハWを水平状態で収容するウエハキャリアCを載置するキャリア載置部11と、ウエハWの搬送を行う搬送部12と、ウエハWの受け渡しを行う受け渡し部13と、搬送部12および受け渡し部13が収容される筐体14とを有している。
【0020】
キャリア載置部11は4個のウエハキャリアCが載置可能であり、載置されたウエハキャリアCは筐体14の垂直壁部に密着された状態とされ、ウエハキャリアCの蓋が開かれることにより、その中のウエハWが搬送部12に搬入可能となっている。
【0021】
搬送部12は、搬送機構15を有している。搬送機構15は、ウエハWを保持するウエハ保持アーム15aを有しており、さらに、このウエハ保持アーム15aをウエハキャリアCの配列方向に対する垂直方向であるY方向に移動させる機構、ウエハキャリアCの配列方向であるX方向に延在する水平ガイド17に沿って移動させる機構、垂直方向に設けられた垂直ガイド(図示せず)に沿って移動させる機構、及び水平面内で回転させる機構を有している。搬送機構15は、ウエハキャリアCと受け渡し部13との間でウエハWを搬送する。
【0022】
受け渡し部13は、受け渡しステージ19と、その上に設けられたウエハWを載置可能な載置部を複数備えた受け渡し棚20とを有しており、この受け渡し棚20を介して処理ステーション2との間でウエハWの受け渡しが行われるようになっている。
【0023】
処理ステーション2は直方体状をなす筐体21を有する。筐体21内には、その中央上部にウエハキャリアCの配列方向であるX方向に直交するY方向に沿って延びる搬送路を構成する搬送室21aと、搬送室21aの両側に設けられた2つのユニット室21b、21cとを有している。
【0024】
搬送室21aの内部には搬送機構24が設けられている。搬送機構24は、ウエハWを保持するウエハ保持アーム24aを有しており、このウエハ保持アーム24aをX方向に移動させる機構、搬送室21aに設けられた水平ガイド25に沿ってY方向に移動させる機構、垂直方向に設けられた垂直ガイド(図示せず)に沿って移動させる機構、及び水平面内で回転させる機構を有している。搬送機構24は、処理部(液処理ユニット)22に対するウエハWの搬入出を行う。
【0025】
ユニット室21b、21cは、複数の処理部22で共有される共有空間であり、複数の処理部22が配置される。本例ではユニット室21b、21cに、搬送室21aに沿って6基ずつ、計12基の処理部22が水平に配列される。処理部22の一つを拡大して示した断面図を、図2に示す。
【0026】
図2に示すように、処理部22は、ウエハWを保持するウエハ保持部4と、ウエハ保持部4に保持されたウエハWに処理液を供給する処理液供給機構5と、ウエハ保持部4の外側から下方にかけて設けられ、ウエハWに供給された処理液を回収可能なドレインカップ6と、ドレインカップ6の外側に設けられた外カップ7と、を備える。
【0027】
本例のウエハ保持部4は、水平に設けられた円板状をなす回転プレート41と、回転プレート41の裏面の中心部に接続され、下方に向かって鉛直に延びる円筒状の回転軸42とを有している。回転プレート41の中心部には円形の孔43が形成され、孔43は円筒状の回転軸42の孔44に連通されている。孔43及び孔44内には裏面側液供給ノズル45が設けられている。裏面側供給ノズル45には、処理液供給機構300から処理液が供給される。回転プレート41には、ウエハWの外縁を保持する保持部材46が設けられている。保持部材46は、図2中では1つのみが示されているが、例えば、3つ設けられ、互いに等間隔で配置される。保持部材46は、ウエハWが回転プレート41から浮いた状態で水平にウエハWを保持する。
【0028】
本例の処理液供給機構5は、アルカリを含む処理液を供給する第1処理液供給部51aと、酸を含む処理液を供給する第2処理液供給部51bとを備える。処理液供給機構5には、処理液供給機構300から処理液が供給される。
【0029】
第1処理液供給部51aは、アルカリを含む処理液を吐出するノズル52aを備える。アルカリを含む処理液の一例は、アルカリとしてアンモニアを含む処理液である。より詳しい一例は、過酸化水素水、及び/又は水に、アルカリであるアンモニアを混合したアルカリ性処理液である。あるいはこれら洗浄液に類似した洗浄液を挙げることができる。ノズル52aは第1スキャンアーム53aの先端部分に取り付けられている。第1スキャンアーム53aはシャフト54aに接続されており、シャフト54aを回動させることで、先端部分に取り付けられたノズル52aを、ウエハ保持部4の外側にある待機位置とウエハWの上方の処理位置との間でスキャンさせることが可能になっている。さらに、シャフト54aは上下方向の昇降駆動が可能であり、例えば、処理位置においてシャフト54aを昇降させると、ノズル52aの吐出位置(高さ)を調節することもできる。
【0030】
第2処理液供給部51bは、酸を含む処理液を吐出するノズル52bを備える。酸を含む処理液の一例は酸として弗酸を含む処理液である。より詳しい一例は、酸である弗酸を水等で希釈した酸性処理液、例えば、希弗酸である。ノズル52bも、ノズル52aと同様にスキャンアーム、本例では第2スキャンアーム53bの先端部分に取り付けられている。本例の第2スキャンアーム53bは、第1スキャンアーム53aよりも低い位置にある。第2スキャンアーム53bはシャフト54bに接続され、シャフト54bを回動させることで、ノズル52bを、待機位置と処理位置との間でスキャンさせることが可能になっている。さらに、シャフト54bも上下方向の昇降駆動が可能であり、例えば、処理位置においてノズル52bの吐出位置(高さ)を調節することもできる。
【0031】
本例のドレインカップ6は、筒状をなす外周壁61と、外周壁61の下端部から内側に向かって延びる内側壁62とを有し、外周壁61と内側壁62とによって規定された環状の空間を、処理液を回収し、収容する液収容部63としている。液収容部63は、回収した処理液を排液する排液管64に接続されている。排液管64はドレインに接続される。また、液収容部63の下方には、ウエハ保持部4下の空間に連通する環状の空間が形成されている。この環状の空間は排気空間65となっており、排気空間65は、排気管66に接続されている。排気管66は排気機構400に接続される。
【0032】
本例の外カップ7は円筒状の外側壁71を備え、外側壁71からウエハ保持部4の下方に延び、ドレインカップ6よりも回転軸42側の部分に内側壁72を備えている。本例では、外側壁71と内側壁72との間の空間にドレインカップ6が収容される構造となっている。外カップ7はベースプレート8の上に取り付けられている。
【0033】
外カップ7上には、ウエハW、ウエハ保持部4、処理液供給機構5、ドレインカップ6、及び外カップ7の上方を覆うようにケーシング9が設けられている。ケーシング9の上部には図示せぬファン・フィルター・ユニット(FFU)からの気流を、ケーシング9の側部に設けられた導入口91を介して導入する気流導入部92が設けられている。気流導入部92は、ウエハ保持部4に保持されたウエハWに、清浄空気をダウンフローで供給する。供給された清浄空気は、上述した排気管66を介して排気される。
【0034】
ケーシング9の側部には、さらに、基板搬入出口93が形成されている。ウエハWは、基板搬入出口93を介してケーシング6の内部に対して搬入出される。
【0035】
図1に戻り、基板処理装置100を制御する制御ユニット3は、コンピュータであるプロセスコントローラ31と、プロセスコントローラ31に接続されたユーザーインターフェース32と、同じくプロセスコントローラ31に接続された記憶部33とを備えている。
【0036】
ユーザーインターフェース32は、オペレータが、基板処理装置100を管理するコマンドの入力操作等を行うキーボードや、基板処理装置100の稼働状況等を可視化して表示するディスプレイ等を有する。
【0037】
記憶部33は、基板処理装置100で実行される処理を、プロセスコントローラ31の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じた処理を基板処理装置100に実行させたりするプログラム、即ちレシピが格納される。レシピは記憶部33の中の記憶媒体に記憶される。記憶媒体は、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体であり、ハードディスクや半導体メモリであっても良いし、CD−ROM、DVD、フラッシュメモリ等の可搬性のものであっても良い。任意のレシピは、ユーザーインターフェース32からの指示等にて記憶部33から読み出され、プロセスコントローラ31に実行させることで、プロセスコントローラ31の制御下で、基板処理装置100による基板処理が行われる。レシピは、例えば、専用回線を介して他の装置から適宜伝送させることも可能である。
【0038】
図3は、第1の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【0039】
図3に示すように、第1の実施形態に係る基板処理装置100は、基本的に、処理液を用いてウエハに対して液処理を施す複数の処理部22−1乃至22−6、…と、これらの処理部22−1乃至22−6、…に処理液を供給するための、処理部22−1乃至22−6、…で共通の処理液供給管210と、この処理液供給管210中の処理液の流量を制御する流量制御部220と、を具備する。これら処理部22−1乃至22−6、…への処理液の供給は、上記処理液供給配管210と、この処理液供給配管210から分岐して処理部22−1乃至22−6、…へ接続される複数の分岐配管211−1乃至211−6、…とを介して行われる。分岐配管211−1乃至211−6の処理液供給管210からの分岐部近傍には開閉バルブ212−1乃至212−6、…が設けられている。したがって、処理液供給配管210には、処理部22−1乃至22−6、…への処理液の供給中には、常に処理液が流れ、各処理部への処理液の供給・停止は各開閉バルブを開閉により行われる。各開閉バルブと各分岐部とは一体化されて分岐部・バルブユニット213−1乃至213−6、…を構成している。このように一体化された分岐部・バルブユニット213−1乃至213−6、…を設けることにより、分岐部とバルブとの間の距離を短くして処理液の液だまりを少なくすることができる。
【0040】
流量制御部220は、処理液供給管210中に流す処理液の流量を、処理部22−1乃至22−6、…のうち、稼働する処理部の数に応じて、増加又は減少させるように制御する。流量制御部220は、本例では制御ユニット3により制御される。制御ユニット3は、例えば、稼働する処理部の数を把握し、稼働する処理部の数に応じて、稼働する処理部に必要とされる処理液の流量になるように流量制御部220に流量を増加又は減少させる指示を出す。流量制御部220は、この指示に基づいて、処理液供給管210中の処理液の流量を増加又は減少させる。流量制御の基本的な一例を図4に示す。図4では、六基の処理部22−1乃至22−6に処理液を共通に供給し、かつ、一つの処理部が必要とする処理液は、毎分3リットルの場合を仮定する。
【0041】
図4に示すように、稼働する処理部が無い場合には、流量制御部220は、処理液の流量をゼロとする。稼働する処理部が一基の場合には流量制御部220は毎分3リットルの流量で処理液を共通の処理液供給管210に供給する。さらに、流量制御部220は、稼働する処理部が二基の場合には毎分6リットル、三基の場合には毎分9リットル、六基の場合には毎分18リットル、というように、稼働する処理部の数に応じて流量を増加させる。反対に稼働する処理部が減ると、流量制御部220は、毎分18リットルから毎分15リットル、毎分12リットル、…、と減らしていき、稼働する処理部がゼロになると処理液の流量をゼロとする。
【0042】
なお、図4では、一基から六基まで順次増えていき、六基から一基まで順次減っていく例を示しているが、稼働する処理部の数は、例えば、二基から四基に増えたり、四基から一基に減ったり、さらに一基から六基に増えたり、というようにランダムに変化することがある。このような場合には、流量制御部220は、流量を毎分6リットルから毎分12リットルに増加させる、毎分12リットルから毎分3リットルに減少させる、毎分3リットルから毎分18リットルに増加させる、というように制御すれば良い。
【0043】
また、第1の実施形態に係る基板処理装置100は、処理液の流量を増加させるタイミングを、ユニット稼働開始前にずらすようにしている(図4中の時間t)。このように処理液の流量を、流量制御部220がユニット稼働開始前から増加させることで、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量を、ユニット稼働開始時には、稼働ユニット全てで必要とされる流量で安定させることができる。この構成によれば、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量が、ユニット稼働中に不足してしまう等の事情を抑制することができる。処理液の流量を増加させるタイミングをユニット稼働開始前にずらすには、制御ユニット3が、例えば、ウエハWの基板処理装置100への搬入、ウエハWの搬送機構24への受け渡しなど、ユニット稼働開始前に行われるステップの開始を命令するとともに、流量増加の命令を流量制御部220に出すようにすれば良い。
【0044】
このように、第1の実施形態に係る基板処理装置100は、稼働する処理部の数に応じて、処理液供給機構300より供給される処理液の流量を増加又は減少する処理部に必要とされる処理液の流量分を減少させる。よって、第1の実施形態によれば、稼働ユニット数に関係なく全ユニット分の処理液を供給する基板処理装置に比較して、処理液の消費量を減らすことができる基板処理装置を得ることができる。
【0045】
また、第1の実施形態に係る基板処理装置100のように、処理液を増加させるタイミングをユニット稼働開始前にずらすようにすれば、処理液の消費量を減らしつつ、ユニット稼働中に、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量不足が起こり難い基板処理装置を得ることができる。
【0046】
さらに、流量が安定する時間を設定し、流量制御部220が、新たに稼働を開始する処理部が、増加後の処理液供給管210中の処理液の流量が安定した後に稼働されるよう、処理液供給管210中の処理液の流量を増加させるようにしても良い。
【0047】
図5は、流量制御の他例を示す図である。
【0048】
図5に示す流量制御が、図4に示す流量制御と異なるところは、処理部22−1乃至22−6が使用する処理液の他に、共通の処理液供給管210中にベースとなる処理液を流すようにしたところである。処理液の流量の誤差を精密に制御したい場合、ベースとなる処理液を、さらに流すことにより、例えば、処理部22−1乃至22−6が使用する処理液の流量に誤差があった場合でも、共通の処理液供給管210中に流れる処理液の流量不足が発生することを抑制できる。例えば、流量制御部220が1ユニット当り、毎分3リットルの流量で処理液を精度よく制御して共通の処理液供給管210に供給していたとする。この場合に、例えば、処理部22−1乃至22−6が、例えば、毎分3リットルを消費するところ、毎分3.1リットルを共通の処理液供給管210から消費していた、とすると、ユニット稼働中に、どこかの処理部では処理液が不足してしまう。このような事情は、共通の処理液供給管210中に、処理部22−1乃至22−6が使用する処理液の他にベースとなる処理液を余分に流すようにすることで解消できる。本例では、一例として、ベースとなる処理液を毎分5リットルの流量で流す。
【0049】
また、第1の実施形態に係る基板処理装置100では、稼働する処理部の数に応じて、共通の処理液供給管210中を流れる処理液の流量が変わる。このため、共通の処理液供給管210中の圧力が稼働する処理部の数に応じて変わる。共通の処理液供給管210中の圧力が変わると、処理部22−1乃至22−6内において、処理液の吐出量が変化する可能性がある。このような吐出量の変化を抑制するためには、共通の処理液供給管210中の流量が変わった際に、背圧を制御して共通の処理液供給管210中の圧力を一定にすれば良い。背圧制御を採用した基板処理装置の一例を、図6に示す。
【0050】
図6に示すように、背圧制御部240は、共通の処理液供給管210の、処理部22−1乃至22−6、…のうち、最後段の処理部とドレインとの間の部分に備えられている。背圧制御部240は、共通の処理液供給管210内の処理液の流量の変化に応じて、処理液の背圧を変える。これにより、流量制御部220が処理液の流量を変えた場合でも、処理液供給管210中の圧力が一定となるように制御することができる。
【0051】
背圧制御部240の一例としては、図6に示すように、共通の処理液供給管210のうち、背圧制御用バルブ241を最後段の処理部とドレインとの間に設け、圧力測定部242を、処理部22−1乃至22−6、…のうち、例えば、最後段の処理部と背圧制御用バルブ241との間に設ける。圧力測定部242は、背圧制御用バルブと、共通の処理液供給管210のうち、処理部22−1乃至22−6、…に接続された部分との間の圧力を測定する。背圧制御用バルブ241は、圧力測定部242の測定結果に応じて、共通の処理液供給管210中の圧力が、ある定められた圧力(背圧)で一定となるように開度を調節する。例えば、背圧制御用バルブ241は、共通の処理液供給管210中の圧力が、ある定められた圧力よりも高くなってきた場合には開度を広げ、ある定められた圧力になるように圧力を下げる。反対に、ある定められた圧力よりも低くなってきたら開度を狭め、ある定められた圧力になるように圧力を上げる。
【0052】
このように、第1の実施形態に係る基板処理装置100において、他例に係る流量制御、即ち、処理部22−1乃至22−6、…が使用する処理液の他にベースとなる処理液を余分に流すことを採用した場合には、ユニット稼働中に処理液が不足してしまうことを、より抑制することができる。
【0053】
また、背圧制御部240を、共通の処理液供給管210の、最後段の処理部とドレインとの間の部分に、さらに設ける。このような構成によれば、例えば、稼働する処理部22−1乃至22−6、…の数が変わっても共通の処理液供給管210中の圧力を一定に制御でき、処理部22−1乃至22−6、…における処理液の吐出量が変化し難い基板処理装置を得ることができる。
【0054】
(第2の実施形態)
図7は、第2の実施形態に係る基板処理装置の基本構成を示すブロック図である。
【0055】
図7に示すように、第2の実施形態に係る基板処理装置200が、第1の実施形態に係る基板処理装置100と異なるところは、異なる液体を共通の処理液供給管210中で混合し、所望の濃度の処理液をウエハWに供給する直前に作るようにしたこと、である。このために、基板処理装置200は、基板処理装置100の構成、例えば、図6に示した構成に対して、共通の処理液供給管210に流れる第1の液体に、この第1の液体とは異なる第2の液体を注入し、処理液供給管210中で第1の液体に第2の液体を混合して処理液を生成する混合部214をさらに備えている。第2の液体は、第2の液体供給管222を介して混合部214に供給される。混合部214は、処理液供給管210と第2の液体供給管222の合流部と、第2の液体供給管222に設けられ、第2の液体の供給・停止を行う開閉バルブ215とが一体化された合流部・バルブユニット216で構成されている。このように混合部214を一体化された合流部・バルブユニット216で構成することにより、合流部とバルブとの間の距離を短くして第2の液体の液だまりを少なくすることができる。
【0056】
流量制御部220は、混合部214の前段に設けられている。流量制御部220は、第1の液体の流量、及び第2の液体の流量を、複数の処理部22−1乃至22−6、…のうち、稼働する液処理部の数に応じて増加又は減少させ、混合部214に送る。これにより、基板処理装置200においても、基板処理装置100と同様に、共通の処理液供給管210中の処理液の流量が、稼働する処理部の数に応じて増加又は減少される。流量が制御された第1の液体、及び第2の液体は、混合部214において混合されることで所望の濃度の処理液が生成される。第1の液体の一例は純水(DIW)である。第1の液体中に注入される第2の液体の一例はケミカルである。ケミカルの例としては、弗酸(HF)、塩酸(HCL)、アンモニア(NH3)を挙げることができる。本例では、処理液を、例えば、純水に、弗酸(HF)、又は塩酸(HCL)、又はアンモニア(NH3)を、所望の濃度となるように混合部214において混合することで生成する。
【0057】
さらに、本例の流量制御部220は、増加又は減少中の処理液の濃度が、増加又は減少前の処理液の濃度に近づくように、第1の液体の増加量又は減少量、及び第2の液体の増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御するように工夫した。このため、流量制御部220は、第1の液体、例えば、純水(DIW)の流量及び純水の増加量又は減少量を制御して混合部214に送る第1のリキッドフローコントローラ(LFC)221−1と、第2の液体、例えば、ケミカルの流量及びケミカルの増加量又は減少量を制御して混合部214に送る第2のLFC221−2とを備えている。なお、第1の液体(例えば純水(DIW))の供給開始コントロールは第1のリキッドフローコントローラ(LFC)221−1で行う。第1の液体、及び第2の液体の流量と時間との関係を図8Aに示す。
【0058】
第1の液体Aと第2の液体Bとは互いに異なる液体であるから、例えば、第1の液体Aの粘度と第2の液体Bの粘度とは互いに異なる。このため、例えば、単位時間の当たりの増加量や増加の仕方、あるいは設定流量に達するまでの時間などが異なってくる。
【0059】
特に、第1の液体A及び第2の液体Bの流量の増加期においては、図8Aに示すように、増加量や増加の仕方が違うから両者の流量に差がでる。例えば、第1の液体Aが純水で、第2の液体Bが弗酸であった場合には、弗酸の方が純水よりも流量が早く増す。このため、図8Bに示すように、流量の増加期においては、弗酸と純水との混合割合が崩れて一時的に濃度が濃い処理液が生成されてしまう。処理液の増加のタイミングと処理液の濃度との関係を図8Cに示す。
【0060】
図8Cに示すように、処理中に処理液の流量を増加させると、増加中に一時的に濃度が濃い処理液が生成され、濃い処理液が処理液供給管210を通って処理部に供給されてしまう。流量が安定する安定期においては、弗酸と純水との混合割合が設定された割合に戻るから濃度は設定された濃度に戻る。しかしながら、一時的にでも濃い処理液、即ち、性質の違った処理液が処理部に供給されてしまうと、液処理を安定して行うことは難しくなる。
【0061】
そこで、本例では、流量制御部220を利用して、増加又は減少中の処理液の濃度が、増加又は減少前の処理液の濃度に近づくように、第1の液体Aの流量の増加量、及び第2の液体Bの流量の増加量を制御する。
【0062】
具体的な一例は、図9A中の点線Iに示すように、第2の液体Bの流量の増加量が第1の液体Aよりも速いときには、第2の液体Bの流量の増加量を抑制しながら、設定流量まで増加するように制御する。第2の液体Bの流量の増加量の抑制の仕方は、第1の液体Aの流量の増加量に近づくように抑制すれば良い。制御は、第1の液体A及び第2の液体Bの単位時間当りの流量の増加量が同じになるようにする。
【0063】
このように第2の液体Bの流量の増加量を抑制することで、図9Bに示すように、流量の増加期においても、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れて設定濃度から外れてしまうことを、点線IIに示す第2の液体Bの流量の増加量を抑制しない場合に比較して軽減することができる。
【0064】
よって、図9Cに示すように、処理中に処理液の流量を増加させても、濃度が濃い処理液が生成されるような事情が抑制され、性質が安定した処理液を、処理液供給管210を介して処理部に供給することができる。
【0065】
なお、図9A乃至図9Cに示した例においては、第2の液体Bの流量の増加量のみを抑制するようにした。しかしながら、第1の液体Aの流量の増加量、及び第2の液体Bの流量の増加量の双方を抑制するほうが、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れ難くなる場合には、図10A乃至図10Bに示すように、第1の液体Aの流量の増加量、及び第2の液体Bの流量の増加量の双方を抑制するようにしても良い。
【0066】
また、本例では、流量制御部220が、稼働する処理部の数に応じて処理液の流量を減らす。流量を減らすときにも、同様に処理液の濃度が変動する現象が起る。
【0067】
例えば、図11Aに示すように、第1の液体Aが純水で、第2の液体Bが弗酸であった場合には、弗酸の方が純水よりも流量が早く減る。このため、図11Bに示すように、流量の減少期においては、弗酸と純水との混合割合が崩れ、一時的に濃度が薄い処理液が生成されてしまう。処理液の減少のタイミングと処理液の濃度との関係を図11Cに示す。
【0068】
図11Cに示すように、処理中に処理液の流量を減少させると、増加とは反対に濃度が薄い処理液が生成される。この場合も、性質の違った処理液が処理部に供給されてしまうことになるから、処理部における液処理を安定して行うことは難しくなる。
【0069】
そこで、本例では、図12A中の点線IIIに示すように、第2の液体Bの流量の減少量が第1の液体Aよりも速いときには、第2の液体Bの流量の減少量を抑制しながら、設定流量まで減少するように制御する。第2の液体Bの流量の減少量の抑制の仕方は、第1の液体Aの流量の減少量に近づくように抑制すれば良い。制御は、第1の液体A及び第2の液体Bの単位時間当りの流量の減少量が同じになるようにする。処理液の流量の減少は、稼働する処理部が増加する前に終了される。
【0070】
このように第2の液体Bの流量の減少量を抑制することで、図12Bに示すように、流量の減少期においても、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れて設定濃度から外れてしまうことを、点線IVに示すように第2の液体Bの流量の減少量を抑制しない場合に比較して軽減することができる。
【0071】
よって、図12Cに示すように、処理中に処理液の流量を減少させても、濃度が薄い処理液が生成されるような事情が抑制され、性質が安定した処理液を、処理液供給管210を介して処理部に供給することができる。
【0072】
なお、減少させる場合においても、第1の液体Aの流量の減少量、及び第2の液体Bの流量の減少量の双方を抑制するほうが、第1の液体Aと第2の液体Bとの混合割合が崩れ難くなる場合には、図13A乃至図13Bに示すように、第1の液体A、及び第2の液体Bの双方の流量の減少量を抑制するようにしても良い。
【0073】
第1の液体A、第2の液体Bの流量の増加量又は流量の減少量を抑制するための制御量は、例えば、第1の液体Aの性質、及び第2の液体Bの性質を調べておき、予めレシピ内に記録しておいても良い。
【0074】
さらに、処理開始等には、より安定した状態になるような制御をさせるとより良い。例えば、図14に示すように、流量が安定しだしてからすぐに処理を開始するのではなく、より安定するまでにしばらくの時間tをおいてから処理を開始するようにすると良い。
【0075】
また、濃度を、より精度良くに制御したい場合には、図7に示すように、共通の処理液供給管210中の処理液の濃度を測定する濃度測定部230を設け、測定された濃度に応じて、流量制御部220を制御するようにしても良い。濃度測定部230は、例えば、導電率計などを用いて実現することができる。本例では、濃度測定部230を、混合部214と、共通の処理液供給管210の、処理部22−1乃至22−6、…のうち、最前段の処理部22−1との部分に備えている。
【0076】
濃度測定部230は、混合部214から排出された処理液の濃度をモニターし、処理液の濃度が設定濃度よりも外れた、例えば、濃度が許容誤差を超えるように外れた場合には、増加又は減少中の処理液の濃度が、増加又は減少前の処理液の濃度に近づくように、第1の液体Aの流量の増加量又は減少量、及び第2の液体Bの流量の増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御する。
【0077】
このように、第2の実施形態に係る基板処理装置200によれば、ウエハWに供給する直前に所望の濃度の処理液を作る構成において、処理中に処理液の流量を変化させたとしても、処理液の濃度変化が起り難く、性質が安定した処理液を処理部に供給できる。しかも、基板処理装置200においても、処理液の流量を、稼働する処理部の数に応じて増加又は減少させるから、性質が安定した処理液の消費量も減らすことができる。
【0078】
以上、この発明をいくつかの実施形態により説明したが、この発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。
【0079】
例えば、上記実施形態では、ウエハの表裏面洗浄を行う洗浄処理装置を例にとって示したが、本発明はこれに限らず、表面のみまたは裏面のみの洗浄処理を行う洗浄処理装置であってもよく、また、洗浄処理に限らず、他の液処理であっても構わない。
【0080】
さらに、上記実施形態では被処理基板として半導体ウエハを用いた場合について示したが、液晶表示装置(LCD)用のガラス基板に代表されるフラットパネルディスプレイ(FPD)用の基板等、他の基板に適用可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【0081】
22…処理部、210…共通の処理液供給管、214…混合部、220…流量制御部、230…濃度測定部、240…背圧制御部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、
前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管と、
前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部と、を具備し、
前記流量制御部が、前記複数の処理部のうち、新たに稼働を開始する処理部が稼働する前に前記処理液供給管中の処理液の流量を増加させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
前記処理液供給管に流れる第1の液体に、この第1の液体とは異なる第2の液体を注入し、前記処理液供給管内で前記第1の液体に前記第2の液体を混合して前記処理液を生成する混合部を、さらに備え、
前記流量制御部が、前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記第1の液体の流量及び前記第2の液体の流量を増加又は減少させ、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
【請求項3】
前記流量制御部が、増加又は減少中の前記処理液の濃度が、増加又は減少前の前記処理液の濃度に近づくように、前記第1の液体の流量増加量又は減少量及び前記第2の液体の流量増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
【請求項4】
前記流量制御部が、前記新たに稼働を開始する処理部が、増加後の前記処理液供給管中の処理液の流量が安定した後に稼働されるよう、処理液供給管中の処理液の流量を増加させることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
【請求項5】
前記混合部と前記複数の処理部との間の前記処理液供給管の部分に接続され、前記混合部で混合されて生成された前記処理液の濃度を測定する濃度測定部を、さらに備え、
前記流量制御部が、前記濃度測定部における前記処理液の濃度の測定結果に応じて、増加又は減少中の前記処理液の濃度が、増加又は減少前の前記処理液の濃度に近づくように、前記第1の液体の流量増加量又は減少量及び前記第2の液体の流量増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
【請求項6】
排出端と前記複数の処理部との間の前記処理液供給管の部分に接続され、前記処理液供給管内の処理液の圧力を制御する背圧制御部を、さらに備え、
前記背圧制御部が、前記処理液供給管内の処理液の流量の変化に応じて前記処理液供給管内の処理液の圧力を一定に保つように制御することを特徴とする請求項1乃至請求項5いずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項7】
前記複数の処理部と前記背圧制御機構との間の前記処理液供給管の部分に接続され、前記処理液供給管内の圧力を測定する圧力測定部を、さらに備え、
前記背圧制御部が、前記圧力測定部の測定結果に応じて前記処理液供給管内の処理液の圧力を変えることを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。
【請求項8】
処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管とを備えた基板処理装置の基板処理方法であって、
前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御することを特徴とする基板処理方法。
【請求項9】
コンピュータ上で動作し、基板処理を制御する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムが、実行時に、請求項8に記載の基板処理方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させることを特徴とするコンピュータ読取可能な記憶媒体。
【請求項1】
処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、
前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管と、
前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御する流量制御部と、を具備し、
前記流量制御部が、前記複数の処理部のうち、新たに稼働を開始する処理部が稼働する前に前記処理液供給管中の処理液の流量を増加させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
前記処理液供給管に流れる第1の液体に、この第1の液体とは異なる第2の液体を注入し、前記処理液供給管内で前記第1の液体に前記第2の液体を混合して前記処理液を生成する混合部を、さらに備え、
前記流量制御部が、前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記第1の液体の流量及び前記第2の液体の流量を増加又は減少させ、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
【請求項3】
前記流量制御部が、増加又は減少中の前記処理液の濃度が、増加又は減少前の前記処理液の濃度に近づくように、前記第1の液体の流量増加量又は減少量及び前記第2の液体の流量増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
【請求項4】
前記流量制御部が、前記新たに稼働を開始する処理部が、増加後の前記処理液供給管中の処理液の流量が安定した後に稼働されるよう、処理液供給管中の処理液の流量を増加させることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
【請求項5】
前記混合部と前記複数の処理部との間の前記処理液供給管の部分に接続され、前記混合部で混合されて生成された前記処理液の濃度を測定する濃度測定部を、さらに備え、
前記流量制御部が、前記濃度測定部における前記処理液の濃度の測定結果に応じて、増加又は減少中の前記処理液の濃度が、増加又は減少前の前記処理液の濃度に近づくように、前記第1の液体の流量増加量又は減少量及び前記第2の液体の流量増加量又は減少量の少なくともいずれか一方を制御することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
【請求項6】
排出端と前記複数の処理部との間の前記処理液供給管の部分に接続され、前記処理液供給管内の処理液の圧力を制御する背圧制御部を、さらに備え、
前記背圧制御部が、前記処理液供給管内の処理液の流量の変化に応じて前記処理液供給管内の処理液の圧力を一定に保つように制御することを特徴とする請求項1乃至請求項5いずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項7】
前記複数の処理部と前記背圧制御機構との間の前記処理液供給管の部分に接続され、前記処理液供給管内の圧力を測定する圧力測定部を、さらに備え、
前記背圧制御部が、前記圧力測定部の測定結果に応じて前記処理液供給管内の処理液の圧力を変えることを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。
【請求項8】
処理液を用いて基板に対して液処理を施す複数の処理部と、前記複数の処理部に処理液を供給する前記複数の処理部で共通の処理液供給管とを備えた基板処理装置の基板処理方法であって、
前記複数の処理部のうち、稼働する処理部の数に応じて、前記処理液供給管中の処理液の流量を増加又は減少させるように制御することを特徴とする基板処理方法。
【請求項9】
コンピュータ上で動作し、基板処理を制御する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムが、実行時に、請求項8に記載の基板処理方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させることを特徴とするコンピュータ読取可能な記憶媒体。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図2】
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【図4】
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【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【公開番号】特開2009−267381(P2009−267381A)
【公開日】平成21年11月12日(2009.11.12)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−71638(P2009−71638)
【出願日】平成21年3月24日(2009.3.24)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年11月12日(2009.11.12)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年3月24日(2009.3.24)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】
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