不揮発性メモリ素子及びその形成方法
【課題】不揮発性メモリ素子およびその形成方法を提供する。
【解決手段】本発明の不揮発性メモリ素子は、半導体基板に形成された第1及び第2不純物拡散領域、前記第1及び第2不純物拡散領域の間の半導体基板のチャンネル領域上に形成されたメモリセルを含む。前記メモリセルは前記チャンネル領域上に形成された積層ゲート構造及び前記チャンネル領域上に、そして前記積層ゲート構造の両側壁上に形成された第1及び第2選択ゲートを含む。前記第1及び第2選択ゲートがスペーサ形態で前記積層ゲート構造の両側壁に自己整列されるので、メモリセルの大きさを減らすことができるので、素子の集積度を向上させることができる。
【解決手段】本発明の不揮発性メモリ素子は、半導体基板に形成された第1及び第2不純物拡散領域、前記第1及び第2不純物拡散領域の間の半導体基板のチャンネル領域上に形成されたメモリセルを含む。前記メモリセルは前記チャンネル領域上に形成された積層ゲート構造及び前記チャンネル領域上に、そして前記積層ゲート構造の両側壁上に形成された第1及び第2選択ゲートを含む。前記第1及び第2選択ゲートがスペーサ形態で前記積層ゲート構造の両側壁に自己整列されるので、メモリセルの大きさを減らすことができるので、素子の集積度を向上させることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は半導体素子及びその形成方法に係り、さらに詳細には不揮発性メモリ素子及びその形成方法に関する。
【背景技術】
【0002】
EEPROMは電気的にデータの消去と貯蔵(プログラム)が可能であり、電源供給が遮断されてもデータの保存が可能な不揮発性メモリ素子の一種である。
【0003】
一般的に、不揮発性メモリ素子のメモリセル構造はスプリットゲート型(split gate type)及び積層ゲート型(stacked gate type)の二つの構造とすることができる。図1に通常の積層ゲートセルが示されている。図1を参照すると、通常の積層ゲートセルでは基板11上にフローティングゲート15及びコントロールゲート19が順次に積層されており、基板11とフローティングゲート15との間にはトンネリング酸化膜13が、フローティングゲート15とコントロールゲート19との間にはブロッキング酸化膜17が介在する。そして、積層ゲート構造の両側の基板にソース及びドレイン接合領域21S、21Dが位置する。このような積層ゲートセルはチャンネルホットキャリアインジェクション(CHEI:channel hot electroninjection)を利用してドレイン側21Dでプログラミング(programming)動作を実施し、F−N(Fowler−Nordheim)トンネリング(tunneling)を利用してソース側21Sで消去動作を実施する。このような積層ゲートセルは大きさが小さくて高集積化に有利であるので、創始期に多用した。
【0004】
しかし、このような積層ゲートセルの短所では、過剰消去(0ver−erase)の問題が報告されている。過剰消去問題は積層ゲートセルでの消去動作のうちフローティングゲートが過度に放電(discharged)された時に発生する。過度に放電したセルのスレッショルド電圧(threshold voltages)はマイナスの値を示す。したがって、セルが選択されない、すなわちコントロールゲートに読み出し電圧(read voltage)を加えない状態でも電流が流れるようになる問題が発生する。
【0005】
このような過剰消去問題を解決するため、二つの構造のセルが導入した。一つは、2トランジスタセル(two−transistor cell)であり、他の一つは、スプリットゲートセルである。図2は通常の2トランジスタセルを示す。図2を参照すると、通常の2トランジスタセルでは通常の積層ゲートセル10から離隔された選択トランジスタ(select transistor)20が追加採用された。プログラム及び消去は通常の積層ゲートセル構造10からなる。セルが選択されない時には、選択ゲート(select gate)15sが過度に放電されたフローティングゲート15による漏洩電流(leakage current)を防止する。しかし、このような2トランジスタセル構造は積層ゲートセル10と選択トランジスタ20との間に不純物拡散領域21Dが存在するので、メモリ素子の高集積化の実現が困難となっている。
【0006】
一方、図3は通常のスプリットゲートセル30を示す。通常のスプリットゲートセル30は図2の選択ゲート15s 及び積層ゲートセルのコントロールゲート19が一つのコントロールゲート39に合された構造を有する。コントロールゲート39の一部はフローティングゲート35の媒介なしに、基板31上に形成され、コントロールゲート39の一部はフローティングゲート35を媒介して基板31上に形成される。すなわち、積層ゲートの下部に二つのスプリットチャンネル43c1、43c2が存在する。コントロールゲート39がターン−オフ(turn−off)された時、コントロールゲート39の下部に位置した選択ゲートチャンネル43c1が過度に放電されたフローティングゲート35の下部に位置したフローティングゲートチャンネル43c2からの漏洩電流を防止する。しかし、スプリットゲートセルの主要短所は低いプログラミング効率及びプログラミング時、相対的に高いドレイン電圧を要求するというのである。またスプリットゲートセルにおいて、コントロールゲート39下の選択ゲートチャンネル43c1の長さを一定にする必要があるのに、素子の高集積化によってコントロールゲート39形成で誤整列が発生する可能性が高く、これによって、選択ゲートチャンネル43c1の長さを一定に確保することができなくなるという問題点が発生し得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、このような状況を考慮して案出され、本発明の目的は小さい大きさのメモリセルを有する不揮発性メモリ素子及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の目的を達成するために、本発明の実施形態は不揮発性メモリ素子を提供する。この不揮発性メモリ素子は、F−Nトンネリングを利用してプログラム及び消去動作を実行する。この不揮発性メモリ素子は、半導体基板上にフローティングゲート電極及びコントロールゲート電極が積層された積層ゲート構造及び前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列された第1及び第2選択ゲート電極を含むことを一特徴とする。
【0009】
前記積層ゲート構造と前記基板の間にはF−Nトンネリングが起こる第1絶縁膜が介在する。前記フローティングゲート電極及び前記コントロールゲート電極の間には第2絶縁膜が位置する。前記選択ゲート電極及び前記積層ゲート構造、そして前記選択ゲート電極及び前記基板の間には第3絶縁膜が介在する。
【0010】
このような不揮発性メモリ素子によると、前記選択ゲート電極が積層ゲート構造の両側壁に自己整列されるので、不揮発性メモリ素子の大きさを減らすことができる。また、前記選択ゲート電極によって過剰消去問題を避けることができる。
【0011】
前記第1及び第2選択ゲート電極外側の半導体基板にドレイン領域及びソース領域として作用する第1不純物拡散領域及び第2不純物拡散領域が位置する。すなわち、前記第1及び第2不純物拡散領域の間に前記積層ゲート構造及び前記選択ゲートが位置する。結果的に、前記積層ゲート構造及び前記選択ゲート電極の下の基板にチャンネル領域が形成される。すなわち、前記積層ゲート構造と前記第1及び第2選択ゲート電極の間の基板にソース領域及びドレイン領域が位置しない。
【0012】
これら不純物拡散領域のうちのいずれか一つ(例えば、第1不純物拡散領域、ドレイン領域)にビットラインが接続する。例えば、前記第1不純物拡散領域は前記第1選択ゲート電極に隣接して位置し、前記第2不純物拡散領域(ソース領域)は前記第2選択ゲート電極に隣接して位置する。
【0013】
望ましくは、前記半導体基板はn型ウェル内に互いに離隔された複数個のp型ポケットウェルを含む。各々のp型ポケットウェル内に複数個のメモリセルが配列される。この際、コントロールゲート電極は行方向に伸ばしてワードラインを形成する。第1選択ゲート電極及び第2選択ゲート電極は行方向に伸ばして各々第1選択ライン及び第2選択ラインを形成する。第2不純物拡散領域は行方向に伸ばして共通ソースラインを形成する。列方向の第1不純物拡散領域(ドレイン領域)はビットラインに電気的に連結される。
【0014】
この際、隣接たメモリセルの第1不純物拡散領域は互いに隣接し、隣接したメモリセルの第2不純物拡散領域は互いに隣接する。隣接した第1不純物拡散領域は等しいポケットウェルに形成されるか、または互いに異なるポケットウェルに形成されることができる。同様に、隣接した第2不純物拡散領域は等しいポケットウェルに形成されるか、または互いに異なるポケットウェルに形成されることができる。
【0015】
本発明の一実施形態によると、各々のp型ポケットウェルはk×8n個のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含む。ここでn及びkは自然数である。また行列に配列されたメモリセルアレイでkは行の数であり、8nは列の数である。この場合、列方向に隣接したソース領域(第1不純物拡散領域)は互いに異なるポケットウェルに形成されるか、等しいポケットウェルが形成されることができ、ドレイン領域の場合も同様である。
【0016】
一方、隣接したドレイン領域が等しいポケットウェルに形成される場合、各々のp型ポケットウェルは2k×8n個のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含むことができる。ここで、n及びkは自然数であり、2kは行の数であり、8nは列の数である。すなわち、一つのp型ポケットウェルを通るワードライン数は2k−1であり、ビットライン数は8nである。この場合、列方向に隣接したソース領域(第1不純物拡散領域)は互いに異なるポケットウェルに形成されるか、等しいポケットウェルが形成されることができる。
【0017】
このようなメモリセルアレイで特定メモリセル(選択メモリセル)に対するプログラムのためには前記選択メモリセルに連結された選択ワードラインにプログラム電圧Vppを印加し、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、前記第1選択ラインには動作電圧を印加し、前記第2選択ラインには接地電圧を印加し、前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには接地電圧を、前記選択ビットライン外の非選択ビットラインには動作電圧を印加し、前記共通ソースライン及びポケットウェルには接地電圧を印加する。これによって、前記選択メモリセルのフローティングゲート電極下部のチャンネル領域に強い電場が誘起されて前記特定メモリセルの第1絶縁膜を通じるF−Nトンネリングによって前記フローティング電極に電荷が充電される。
【0018】
一方、前記選択メモリセル外のメモリセル(非選択メモリセル)のフローティングゲート下部の電場は前記非選択ビットラインによる動作電圧の影響を受けるので、前記非選択メモリセルに対するプログラムは発生しない。
【0019】
一方、消去動作はバイト単位またはセクタ単位で行われる。すなわち、消去動作は一つのポケットウェルに形成されたバイト単位またはセクタ単位のメモリセルに対して行われる。
【0020】
消去しようとするバイト単位またはセクタ単位のメモリセル(選択メモリセル)に連結された選択ワードラインに接地電圧0Vを印加し、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせる。前記選択メモリセルを含むポケットウェルに消去電圧Veeを印加し、残りのポケットウェルには接地電圧を印加する。そして前記第1選択ライン、前記第2選択ライン、前記共通ソースライン及び前記ビットラインをフローティングさせる。これによって、選択メモリセルのフローティングゲート電極に貯蔵された電荷がF−Nトンネリングによって前記第1絶縁膜を通じてポケットウェルにすり抜けるようになる。
【0021】
例えば、p型ポケットウェルが1*8個のメモリセル(行方向に8個のメモリセル)有する場合、1バイト単位の消去動作が可能になる。
【0022】
一方、p型ポケットウェルが2*8個のメモリセル(行方向に8個のメモリセル及び列方向に2個のメモリセル)を有する場合を仮定する。この際、p型ポケットウェルの2個のメモリセル列は互いに異なるワードラインによって制御される。したがって、この場合、等しいポケットウェルのワードラインを全部接地させれば、2バイト単位の消去動作が行われ、いずれか一つのワードラインだけ接地させれば、接地されたワードラインに連結された8個のメモリセルが消去される。すなわち、1バイト単位の消去動作が行われる。
【0023】
特定メモリセル(選択メモリセル)に貯蔵された情報を判読するための読み出し動作のために共通ソースライン及びポケットウェルには接地電圧0Vを印加する。前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには第1読み出し電圧Vread1を印加し、選択ビットライン外のビットラインには接地電圧を印加する。前記選択メモリセルに連結された選択ワードラインには第2読み出し電圧Vread2を、選択ワードライン外の非選択ワードラインには遮断電圧Vblockを印加する。前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧を印加し、前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧を印加する。第2選択ラインには動作電圧を印加する。
【0024】
前記本発明の目的を達成するために本発明の実施形態は不揮発性メモリ素子を提供する。この不揮発性メモリ素子は行方向及び列方向に配列されたメモリセルと前記メモリセル両側の基板に形成されたソース領域及びドレイン領域を含む。
【0025】
前記メモリセルの各々は半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いて積層されたフローティングゲート、第2絶縁膜及びコントロールゲートからなる積層ゲート構造、および第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列された第1選択ゲート及び第2選択ゲートを含む。行方向のメモリセルのコントロールゲートは互いに連結されてワードラインを形成し、行方向の第1選択ゲートは互いに連結されて第1選択ラインを、行方向の第2選択ゲートは互いに連結されて第2選択ラインを形成する。
【0026】
列方向に隣合う一対のメモリセルのソース領域は互いに隣接し、列方向に隣合う一対のメモリセルのドレイン領域は互いに隣接する。特定行方向のソース領域は互いに連結されて共通ソースラインを形成する。特定列方向のドレイン領域はビットラインに電気的に連結され、前記ビットラインは前記ワードラインに直交する。
【0027】
前記本発明の目的を達成するために本発明の実施形態は不揮発性メモリ素子形成方法を提供する。この方法は第1導電型の半導体基板を準備し、前記第1導電型の半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いて電荷貯蔵膜、第2絶縁膜及び第1ゲート電極からなる積層ゲート構造を形成し、第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記基板上に第2ゲート電極スペーサ及び第3ゲート電極スペーサを形成して前記積層ゲート構造及びその両側壁上の第2及び第3ゲート電極スペーサで構成されたメモリセルを形成し、前記メモリセル両側の半導体基板に前記第2ゲート電極スペーサに隣接する第1不純物拡散領域及び前記第3ゲート電極スペーサに隣接した第2不純物拡散領域を形成することを含む。
【0028】
本方法によると、前記第1ゲート電極スペーサ及び第2ゲート電極スペーサが前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列的な方式で形成される。したがって、メモリセルの大きさを減らすことができので、高い集積度を有する不揮発性メモリ素子を形成することができる。
【発明の効果】
【0029】
本発明の多くの実施形態によると、選択ゲートが積層ゲート構造の両側壁に自己整列的な方式で形成される。したがって、追加的な写真工程の必要なしに選択ゲートを形成することだけではなく、メモリセルの大きさも減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0030】
以上の本発明の目的、他の目的、特徴及び利点は添付の図と係わる以下の望ましい実施形態を通じて容易に理解されるであろう。しかし、本発明はここで説明される実施形態に限定されず、他の形態に具体化されることもできる。むしろ、ここで紹介される実施形態は開示された内容が徹底して完全になれるように、そして当業者に本発明の思想を十分に伝達するために提供されるものである。
【0031】
本明細書で、どんな膜が他の膜または基板上にあると言及される場合に、それは他の膜または基板上に直接形成されることができるもの、またはそれらの間に第3の膜が介在されることもできるものを意味する。また、図において、層及び領域の厚さは明確性のために誇張されたものである。また本明細書の多様な実施形態で第1、第2、第3などの用語が多様な領域、膜などを記述するために使われたが、これら領域、膜がこのような用語によって限定されてはいけない。また、これら用語はただある所定領域または膜を他の領域または膜と区別させるために使われただけである。したがって、ある実施形態での第1膜に言及された膜が他の実施形態では第2膜に言及されることもできる。
【0032】
図4及び図5は本発明の一実施形態による単位メモリセルの断面を示す半導体基板の断面図である。図4はビットライン方向(図6BのI−I'方向、列方向)で切断した時の断面図であり、図5はワードライン方向(図6BのII−II’方向、行方向)で切断した時の断面図である。
【0033】
まず、図4及び図5を参照すると、本発明の一実施形態による不揮発性メモリセルMC11は基板の活性領域107上に第1絶縁膜111を間に置いて形成された積層ゲート構造118及び前記積層ゲート構造118の両側壁上に第3絶縁膜119を間に置いて自己整列されたスペーサ形態の第1選択ゲート121a及び第2選択ゲート121bを含む。積層ゲート構造118はフローティングゲート113、第2絶縁膜115及びコントロールゲート117を含む。結局、本発明による不揮発性メモリセルは3個のゲート、すなわち、コントロールゲート117、第1選択ゲート121a及び第2選択ゲート121bを含む。第1及び第2不純物拡散領域123D、123Sが第1及び第2選択ゲート121a、121b外側の基板に位置する。すなわち、第1及び第2不純物拡散領域123D、123Sの間に積層ゲート構造118及び第1及び第2選択ゲート121a、121bが位置する。したがって、積層ゲート構造118下の基板と、第1及び第2選択ゲート121a、121b下の基板に各々チャンネル領域105_c1、105_c2、105_c3が形成される。
【0034】
第1絶縁膜111はトンネリング絶縁膜として、こちらでプログラム及び消去動作時電荷のトンネリング(F−Nトンネリング)が起こる。第1絶縁膜111は例えば熱酸化膜からなり、プログラム及び消去動作条件を考慮して適切な厚さを有する。第2絶縁膜115はフローティングゲート113及びコントロールゲート117の間に介在する絶縁膜として、これらの間の電荷流れ経路を遮断するいわゆるブロッキング絶縁膜である。例えば、第2絶縁膜115は酸化膜−窒化膜−酸化膜または酸化膜−窒化膜が順次に積層された多層膜からなる。第3絶縁膜119は第1及び第2選択ゲート121a、121bを積層ゲート構造118及び基板の活性領域107と電気的に隔離させる。例えば、第3絶縁膜119は化学気相蒸着法によって形成される酸化膜である。
【0035】
基板の活性領域107はp型のバルク基板101に形成されたn型ウェル103及び前記n型ウェル103内に形成されたp型ポケットウェル105を含む。後述するが、n型ウェル103は複数個のp型ポケットウェル105を含むことができる。
【0036】
また、各々のp型ポケットウェルはk*8n個のメモリセル(ここでn及びkは自然数であり、kは行の数であり、8nは列の数である)及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含む。望ましくは、各p型ポケットウェル105には2k−1(ここでkは自然数)行、8n列(ここでnは自然数)個のメモリセルが位置することができる。すなわち、各p型ポケットウェルには2k−1*2n個(ここで、n及びkは自然数であり、2k−1は行方向に配列されたメモリセル個数であり、2nは列方向に配列されたメモリセルの個数)のメモリセルが位置することができる。これによって、消去動作時、p型ポケットウェル105に適切なバイアス電圧を加えることで、バイト単位またはセクタ単位の消去動作が可能になる。
【0037】
メモリセルMC11の両側の基板の活性領域107、すなわちp型ポケットウェル105には第1及び第2不純物拡散領域123D、123Sが位置する。第1不純物拡散領域123Dは第1選択ゲート121aの外側に位置し、第2不純物拡散領域123Sは第製2選択ゲート121bの外側に隣接する。不純物拡散領域123D、123Sは選択ゲート121a、121bと一部重畳されることができる。
【0038】
第1選択ゲート121a外側の第1不純物拡散領域123Dにビットライン127が電気的に接続する。
【0039】
このようなメモリセルMC11の第1及び第2選択ゲート121a、121bがスペーサ形態で自己整列的に積層ゲート構造118の両側壁上に形成されるので、メモリセルMC11は小さい大きさを有し、狭い面積を占めるようになる。
【0040】
メモリセルMC11のプログラム及び消去方式は第1絶縁膜111を通じるF−Nトンネリングを利用する。
【0041】
すなわち、プログラム動作のため、コントロールゲート117にはプログラム電圧Vppを、第1選択ゲート121aには動作電圧Vccを、そしてドレイン領域123D、第2選択ゲート121b、ソース領域123S及びp型ポケットウェル105には接地電圧0Vを印加することによって、p型ポケットウェル105から電荷がフローティングゲート113に注入される。これによって、メモリセルは例えば第1スレッショルド電圧Vth1を有するようになる。
【0042】
消去動作のため、コントロールゲート117には接地電圧0Vを、p型ポケットウェル105には消去電圧Veeを、そして第1選択ゲート121a、第2選択ゲート121b、ソース領域123S及びドレイン領域123Dはフローティングさせることによって、フローティングゲート113に貯蔵された電荷がp型ポケットウェル105に放出される。これによって、メモリセルは例えば第2スレッショルド電圧Vth2を有するようになる。
【0043】
一方、ソース領域123S及びp型ポケットウェル105には接地電圧0Vを、ドレイン領域123Dには第1読み出し電圧Vread1を、コントロールゲート117には第2読み出し電圧Vread2、第1及び第2選択ゲート121a、121bには動作電圧Vccを各々印加することによって、メモリセル118に対する読み出し動作が行われる。
【0044】
プログラム動作が行われたメモリセルの第1スレッショルド電圧Vth1及び消去動作が行われたメモリセルの第2スレッショルド電圧Vth2は多様な値を有することができる。この際、コントロールゲート117に印加される第2読み出し電圧Vread2はメモリセルの第1スレッショルド電圧Vth1及び第2スレッショルド電圧Vth2の間の値を有することができる。例えば、プログラムされたメモリセルの第1スレッショルド電圧が約5Vであり、消去されたメモリセルのスレッショルド電圧が約1Vである場合、コントロールゲート117に加えられる第2読み出し電圧Vread2は1Vと5Vの間の値を有することができ、例えば、約3V内外を有することができる。一方、第1スレッショルド電圧が約2Vであり、第2スレッショルド電圧が約−2Vの場合、第2読み出し電圧Vread2は−2Vと2Vとの間の値を有することができる、例えば、約0Vである。
【0045】
例えば、メモリセルMC11がプログラムされた場合、メモリセルMC11、すなわち積層ゲート構造118のスレッショルド電圧は第1スレッショルド電圧を有するようになる。したがって、コントロールゲート117に第2読み出し電圧Vread2を、そしてドレイン領域123Dには第1読み出し電圧Vread1を、ソース領域123Sには接地電圧を印加し、第1及び第2選択ゲート121a、121bに動作電圧Vccを印加する読み出し動作条件で、ソース領域123S及びドレイン領域123Dの間にチャンネルが(ソース領域からドレイン領域へ電荷の流れ)が生成されない。一方、メモリセルMC11が消去された場合、メモリセルMC11の積層ゲート構造118は第2スレッショルド電圧を有するようになり、等しい読み出し動作条件で選択メモリセルMC11のソース領域123S及びドレイン領域123Dの間にチャンネルが形成される。したがって、メモリセルMC11は互いに異なるスレッショルド電圧を有することによって、二進情報を貯蔵することができるようになる。
【0046】
図6Aは図4及び図5の単位メモリセルMC11に対する平面図であり、図6Bは単位メモリセルの例示的なセル配置を示す。図6BにメモリセルMC11〜MC1n、MC21〜MC2n、...MCm1〜MCmnが行方向(x軸方向、ワードライン方向)及び列方向(y軸方向、ビットライン方向)に配置されている。図6A及び図6Bを参照すると、素子分離領域109によって活性領域107が限定される。例えば、活性領域107はメッシュ(mesh)形態を示す。水平方向(行方向)に伸ばした活性領域部分は行方向に配列された隣接したソース領域123Sを連結させるためのことである。垂直方向(列方向)に伸ばした活性領域部分に積層ゲート構造が位置する。また垂直に伸ばした活性領域部分にドレイン領域123Dが積層ゲート構造の外側に、そしてソース領域123Sの向かい側に位置する。
【0047】
複数個のワードラインWL_1 〜 WL_m(コントロールゲート電極)が垂直方向(y軸方向)に伸ばした活性領域107と直交しながらx軸方向(行方向)に走る。複数個のビットラインBL_1〜BL_nがワードラインと直交しながら活性領域107上を走り、ビットラインコンタクト128を通じてドレイン領域123Dに電気的に連結される。
【0048】
各ワードラインと基板との間には第2絶縁膜115、フローティングゲート113及び第1絶縁膜111が位置する。フローティングゲート113、第2絶縁膜115及びワードライン(コントロールゲート)117が積層ゲート構造118(図4及び図5参照)を構成する。各ワードライン両側に第1選択ライン及び第2選択ラインがワードラインと並んで走る。例えばワードラインWL_1の両側に第1選択ラインSL_11及び第2選択ラインSL_12が走る。第1選択ライン及び第2選択ラインは図4 及び図5の第1選択ゲート121a及び第2選択ゲート121bに各々対応する。第1選択ラインSL_11 〜 SL_m1外側の基板にドレイン領域123Dが、第2選択ラインSL_12 〜 SL_m2外側の基板にソース領域123Sが位置する。
【0049】
等しい列に配列されたドレイン領域123Dは等しいビットラインに電気的に接続する。 列方向に隣接したメモリセルのソース領域123Sは互いに電気的に連結され、行方向に隣接したソース領域123Sは水平方向に伸ばした活性領域部分によって互いに電気的に連結され、共通ソースラインCSLを形成する。等しい列のドレイン領域123Dは等しいビットラインに電気的に連結される。
【0050】
p型ポケットウェルをどんなに形成するかによって列方向に隣接したセルのドレイン領域及びソース領域は互いに等しいp型ポケットウェルに形成されるか、または他のポケットウェルに形成されることができる。すなわち、列方向に隣接したセルのソース領域が等しいp型ポケットウェルに形成されるか、互いに異なるp型ポケットウェルに形成されることができる。しかし、どの場合でも行方向に隣接したソース領域は互いに連結されて共通ソースラインCSLを形成する。同様に、列方向に隣接したドレイン領域も等しいポケットウェルに形成されるか、互いに異なるポケットウェルに形成されることができる。望ましくは、列方向に隣接したセルのドレイン領域は等しいp型ポケットウェルに形成される。
【0051】
例えば、一つのp型ポケットウェルはk*8n個のメモリセル(ここでn及びkは自然数であり、kは行の数であり、8nは列の数である)を含む。
【0052】
さらに望ましくは、一つのp型ポケットウェルは行方向(ワードライン方向)に配列された8n個(ここでnは自然数)のメモリセル及び列方向に配列された2k−1個(ここでkは自然数)のメモリセルが位置することができる。すなわち、一つのp型ポケットウェルが2k−1*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、2k−1は列方向に配列されたメモリセルの個数であり、8nは行方向に配列されたメモリセルの個数)のメモリセルを含むことができる。
【0053】
図7Aおよび図7B、そして図8A及び図8Bを参照してp型ポケットウェルにメモリセルが配置される例示的な方式を説明する。
【0054】
図7A及び図8Aは図6のI−I'線に沿って切断した時の断面図であり、図7B及び図8Bは図6のII−II'線に沿って切断した時の断面図である。
【0055】
図7A及び図7Bは一つのp型ポケットウェルに2行8列の16個のメモリセルが形成される場合を示し、図8A及び図8Bは4行8列の32個のメモリセルが形成される場合、一つのp型ポケットウェルに形成された場合を示す。
【0056】
図7A及び図7Bを参照すると、行方向の8個のメモリセル及び列方向の2個のメモリセル、例えば、メモリセルMC11〜MC18、MC21〜MC28が等しいp型ポケットウェルに形成される。すなわち、二つのワードラインが一つのp型ポケットウェルを通る。列方向に隣接したセルのソース領域は活性領域を共有し、互いに異なるp型ポケットウェルに形成される。一方、列方向に隣接したセルのドレイン領域は互いに等しいp型ポケットウェルに形成される。このようなメモリセル配置の場合、1バイト単位または2バイト単位で消去動作が可能になる。隣接したセルのソース領域が互いに異なるポケットウェルに形成されても局所配線によって互いに電気的に連結されることが望ましい。
【0057】
一方、図8A及び図8Bを参照すると、4行8列のメモリセル、すなわちメモリセル MC11〜MC18、MC21〜MC28、MC31〜MC38、MC41〜MC48が等しいp型ポケットウェルに属する。すなわち、4個のワードラインが一つのp型ポケットウェルを通る。したがって、この場合、ポケットウェル内の各ワードラインに適切なバイアス電圧を印加することによって、1バイト、2バイト、3バイトまたは4バイト単位の消去動作が可能になる。
【0058】
図9は図6Bのメモリセルアレイに対する等価回路図である。図9を参照すると、ただ例示的なこととして2行8列のメモリセル(16個のメモリセル)が一つのp型ポケットウェル内に形成される場合(図7A及び図7B参照)におけるメモリセル配置に対する動作条件を説明する。図9を参照すると、複数個のワードラインWL_1〜WL_mが行方向に走って、これらワードラインと直交しながら複数個のビットラインBL_1〜BL_nが列方向に走る。
【0059】
各ワードライン両側に第1選択ラインSL_11〜SL_m1及び第2選択ライン SL_12〜SL_m2がワードラインと平行に走る。第1選択ラインSL_11〜SL_m1外側のドレイン領域にビットラインが電気的に連結される。第2選択ラインSL_12〜SL_m2外側のソース領域は互いに連結されて行方向に走るソースラインを形成し、隣接したソースラインが互いに連結されて共通ソースラインCSLを形成する。p型ポケットウェルは2行8列の16個のメモリセルを有する。すなわち、一つのポケットウェルに2個のワードライン、すなわちポケットpウェルp−Well_1にワードラインWL_1、WL_2が通る。
【0060】
一例として第1行、第1列のメモリセルMC11に対するプログラム及び読み出し、そしてポケットウェルp−Well_1内の8個のメモリセル、すなわち、第1行の8個のメモリセルMC11 〜 MC18に対する1バイト単位消去動作に対して説明する。下の表1はこのようなメモリセル配置に対する動作条件を示す。
【0061】
【表1】
【0062】
(プログラム動作)
プログラム対象である選択メモリセルMC11に対するプログラムのためには、第1行のワードラインWL_1選択ウォーラインにプログラム電圧Vppを印加し、その外のワードラインWL_2〜WL_m非選択ワードラインはフローティングさせる。第1列のビットライン BL_1選択ビットラインに接地電圧0Vを印加し、その外のビットラインBL_2〜BL_n(非選択ビットライン)に動作電圧Vccを加える。第1行の第1選択ライン SL_11(選択第1選択ライン)には動作電圧Vccを、その以の第1選択ラインSL_21、...、SL_m1非選択第1選択ラインには接地電圧0Vを印加する。選択メモリセルを含む選択ポケットウェル及び選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルに接地電圧0Vを印加する。選択メモリセルに連結された選択共通ソースラインCLS及び選択共通ソースライン外の非選択ソースラインCSLに接地電圧0Vを印加する。選択メモリセルの選択第2選択ラインSL_12及び選択第2選択ライン外の非選択第2選択ラインSL_22、...SL_m2に接地電圧0Vを印加する。
【0063】
プログラム電圧は例えば約15乃至約20V程度である。動作電圧Vccは第1選択ゲートの下にチャンネルが生成される程度の値を有し、例えば、約3.5V程度である。プログラム電圧及び動作電圧が設計によって多様に変更されることができることは当業者において自明である。
【0064】
選択ワードラインWL_1にプログラム電圧が、選択ビットラインBL_1に接地電圧が、そして選択第1選択ラインSL_11に動作電圧が印加されるので、選択メモリセルMC11のフローティングゲートの下部に強い電場が誘起されてF−Nトンネリングが起こり、したがって、選択ワードラインWL_1に連結された選択メモリセルMC11がプログラムされる。しかし、非選択ビットラインBL_2〜BL_nに動作電圧が印加され、第1行の選択第1選択ラインには動作電圧が印加されるので、第1行の非選択メモリセルMC12〜MC1nには動作電圧Vccがそのまま伝達されて該当の非選択メモリセル MC12〜MC1nのフローティングゲートの下部で電場が弱くなる。したがって、選択メモリセルMC11を除いた第1行の非選択メモリセルMC12〜MC1nはプログラムされない。すなわち、選択ワードラインWL_1によるプログラム妨害、すなわち、ワードライン妨害(word line disturbance)は発生しない。
【0065】
一方、選択第2選択ライン SL_12に接地電圧が印加されるので、選択共通ソースラインCSLを共有する他のメモリセルから選択メモリセルMC11が影響を受けなくなる。
【0066】
また、非選択ワードラインWL_2〜WL_mはフローティングされるので、たとえ選択ビットラインBL_1が接地され、非選択第1選択ラインSL_21 〜 SL_m1 に接地電圧が印加されても(非選択第1選択ラインに動作電圧が印加されても)第1列の非選択メモリセルMC21〜MCm1のフローティングゲートの下部に強い電場が誘起されない。したがって、選択ビットラインBL_1によるプログラム妨害、すなわちビットライン妨害(bit line disturbance)は発生しない。
【0067】
また、非選択ワードラインWL_2〜WL_mはフローティングされ、非選択ビットラインBL_2〜BL_nには動作電圧が印加されるので、非選択メモリセルMC22〜MC2n、MC32〜MC3n、... 、MCm2〜MCmnはプログラムされない。
【0068】
(消去動作)
<1バイト単位消去動作>
消去しようとする第1行の8個のメモリセルMC11〜MC18(選択メモリセル)を含む選択ポケットウェルp−well_1に消去電圧Veeを、選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルに接地電圧を印加する。選択メモリセルに連結された選択ワードライン WL_1に接地電圧0Vを印加し、選択ワードライン外の非選択ワードラインWL_2〜WL_mをフローティングさせる。残りの端子、すなわち、(選択及び非選択)ビットライン、(選択及び非選択)第1選択ライン、(選択及び非選択)第2選択ライン、及び(選択及び非選択)共通ソースラインをフローティングさせる。例えば、消去電圧はプログラム電圧と等しい値を有することができる。
【0069】
このような動作条件によると、選択ポケットウェルp−well_1内の8個のメモリセル、すなわち、第1行の8個のメモリセルMC11 〜 MC18に貯蔵された電荷が放電され、これによって、1バイト単位の消去動作が行われる。選択メモリセルMC11 〜 MC18に隣接した非選択メモリセルの消去を防止するために非選択ワードラインWL_2〜WL_mはフローティングさせ、非選択ポケットウェルは接地0Vさせる。ここで、等しいポケットウェルに形成される第2列の8個のメモリセルMC21〜MC28に連結された非選択ワードラインWL_2はフローティングされるので、これらメモリセルに対する消去動作は発生しない。しかし、後述するように、選択ワードラインWL_1だけでなく非選択ワードラインWL_2にも接地電圧が印加される場合、2バイト単位の消去動作が可能になるであろう。
【0070】
<2バイト単位消去動作>
選択ポケットウェルp−well_1に消去電圧Veeを、選択ビットラインWL_1 及びWL_2に接地電圧0Vを印加し、共通ソースラインCSL、第1及び第2選択ライン、ビットラインをフローティングさせる。したがって、選択ポケットウェルp−ウェル_1内の16個のメモリセル、すなわち、第1行の8個のメモリセルMC11 〜 MC18及び第2行の8個のメモリセルMC21〜MC28に貯蔵された電荷が放電され、これによって、2バイト単位の消去動作が行われる。選択メモリセルMC11〜MC18及びMC21〜MC28に隣接した非選択メモリセルの消去を防止するために非選択ワードラインWL_3〜WL_mはフローティングさせ、非選択ポケットウェルは接地0Vさせる。
【0071】
上述のようにポケットウェルをどんなに形成するかによって多様なバイト単位またはセクタ単位の消去動作が可能になる。
【0072】
(読み出し動作)
選択メモリセルMC11に対する読み出し動作は次のとおりである。第1列の選択ビットラインBL_1には第1読み出し電圧Vread1を、非選択ビットラインBL_2 〜BL_nには接地電圧0Vを印加する。第1行の選択第1選択ラインSL_11には動作電圧Vccを、非選択第1選択ラインSL_21〜SL_m1には接地電圧0Vを印加する。選択ワードラインWL_1には第2読み出し電圧Vread2を印加し、非選択ワードライン WL_2〜WL_mには遮断電圧Vblockを印加する。第2選択ラインSL_12〜SL_m2には動作電圧Vccを印加する。残りの端子、すなわち、ポケットウェル、共通ソースラインCSLには接地電圧0Vを印加する。
【0073】
第2読み出し電圧Vread2はプログラムされたメモリセルのスレッショルド電圧Vth1及び消去されたメモリセルのスレッショルド電圧Vth2の中間値、すなわち平均値を有する。第1読み出し電圧Vread1は読み出し動作でソースとドレインとの間に電場を形成させるために印加されることとして、約1.8Vである。第2読み出し電圧Vread2がプラスの値を有する場合、例えば第2読み出し電圧Vread2が動作電圧を有する場合、第1読み出し電圧Vread1が第2読み出し電圧Vread1と等しい値を有することができる。非選択ワードラインWL_2〜WL_mに加えられる遮断電圧Vblockは非選択メモリセルの下部にチャンネルが形成されないようにする大きさを有することができる。例えば、非選択メモリセルのスレッショルド電圧が全部プラスの値を有する場合、遮断電圧Vblockは接地電圧でありうる。
【0074】
読み出し動作で、非選択第1選択ラインSL_21〜SL_m1に接地電圧が印加され、非選択ワードラインWL_1〜WL_mには遮断電圧Vblockが印加されるので、非選択メモリセルによる読み出し妨害は発生しない。
【0075】
以下では、本発明の一実施形態による不揮発性メモリ素子の形成方法に対して図10A乃至図16A及び図10B乃至図16Bを参照して説明する。本実施形態では一つのポケットウェルに16個のメモリセルが形成される場合に限って説明する。またp型半導体基板が使われた場合を説明する。
【0076】
図10A乃至図16Aは図6のI−I'線方向で切断した時の断面図であり、図10B乃至図16Bは図6のII−II'線方向で切断した時の断面図である。
【0077】
まず、図10A乃至図10Bを参照すると、p型半導体基板101上にn型ウェル領域103を形成した後、前記n型ウェル103にp型ポケットウェル105を形成する。続いて、素子分離工程を通じて活性領域を限定する素子分離領域109を形成する。この際、図10Bに示したように、各p型ポケットウェル105には素子分離領域109によって行方向に8個の活性領域が画定されるようにp型ポケットウェル105及び素子分離領域109が形成される。素子分離領域109は例えば浅いトレンチ隔離技術などによる通常の方法を使用して形成される。
【0078】
次に、図11Aおよび図11Bを参照すると、F−Nトンネリングが起こる第1絶縁膜111を形成した後、ポケットウェル105上の活性領域にフローティングゲート電極パターン113pを形成する。第1絶縁膜111は例えば熱酸化膜で形成され、ローティング電極パターン113pは不純物にドーピングされたシリコンで形成される。
【0079】
次に、図12Aおよび図12Bを参照すると、第2絶縁膜115a及びコントロールゲート電極膜117aを形成する。第2絶縁膜115aは例えば酸化膜−窒化膜−酸化膜を順次に積層させることによって形成されるか、酸化膜−窒化膜を順次に積層させることによって形成されることができる。コントロールゲート電極膜117aは例えば不純物にドーピングされたシリコンで形成される。
【0080】
次に、図13A及び図13Bを参照すると、積層された膜をパターニングして第1絶縁膜111、フローティングゲート電極113、第2絶縁膜115及びコントロールゲート電極117からなる積層ゲート構造118を形成する。次に、基板の全面に第3絶縁膜119を形成する。第3絶縁膜119は例えば化学気相蒸着法などの方法を使用して形成されることができる。
【0081】
次に、図14A及び図14Bを参照すると、導電膜121を第3絶縁膜119上に形成する。導電膜121は例えば不純物にドーピングされたシリコンで形成される。
【0082】
次に、図15A及び図15Bを参照すると、導電膜121に対する全面エッチング工程を進行して各々の積層ゲート構造118の両側壁に自己整列された第1選択ゲート(第1選択ライン)121a及び第2選択ゲート(第2選択ライン)121bを形成する。
【0083】
続いて、図15A及び図15Bを参照すると、イオン注入工程を進行して第1及び第2選択ゲート121a、121bの両側のp型ポケットウェル105にソース領域123S 及びドレイン領域123Dを形成する。
【0084】
次に、図16A及び図16Bを参照すると、層間絶縁膜125を形成した後、これをパターニングしてドレイン領域123Dを露出させるコンタクトホール127を形成する。続いて、コンタクトホール127を満たすように層間絶縁膜125上に導電物質を蒸着した後、これをパターニングしてドレイン領域123Dに電気的に接続するビットライン129を形成する。
【0085】
このような本発明による不揮発性メモリ素子形成方法によると、第1選択ゲート及び第2選択ゲートが自己整列的な方式で積層ゲート構造の両側壁に形成されるので、メモリセルの大きさを減らすことができる。
【0086】
一方、フローティングゲートパターン113pが自己整列的な方式によって、すなわち素子分離工程で自己整列的な方式で形成されることができる。これは図17A乃至図19A及び図17B乃至図19Bを参照して説明する。まず、図17A及び図17Bを参照すると、上述のように、n型ウェル103及びp型ポケットウェル105を形成した後、基板107上に第1絶縁膜及びフローティングゲート電極膜を形成した後、これらをパターニングして活性領域を限定する第1絶縁膜パターン111及びフローティングゲート電極パターン113pからなるトレンチエッチングマスク114を形成する。
【0087】
次に、図18A及び図18Bを参照すると、トレンチエッチングマスク114を使用して露出された基板をエッチングしてトレンチ116を形成した後、トレンチ116を満たすようにフローティングゲート電極パターン113p上に絶縁物質109aを形成する。
【0088】
次に、図19Aおよび図19Bを参照すると、トレンチエッチングマスク114が露出されるまで絶縁物質109aを平坦化エッチングして図19A及び図19Bに示したように素子分離領域109を形成する。これによって、素子分離領域109を形成することと同時にフローティングゲート電極パターン113pが素子分離領域109の間に自己整列的な方式で形成される。後続工程は上述の方式と等しく進行される。
【0089】
今まで本発明に対してその望ましい実施形態を中心によく見た。本発明が属する技術分野で、通常の知識を持った者は本発明が本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で変形された形態に実現されることができることを理解することができるであろう。したがって、本開示された実施形態は限定的な観点ではなく、説明的な観点で考慮されなければならない。本発明の範囲は上述の説明ではなく、特許請求の範囲に示しており、それと同等な範囲内にあるすべての差異は本発明に含まれると解釈されなければならないであろう。
【図面の簡単な説明】
【0090】
【図1】通常の積層ゲートセルを示す。
【図2】通常の2トランジスタセルを示す。
【図3】通常のスプリットゲートセルを示す。
【図4】本発明の望ましい実施形態による単位不揮発性メモリセルを示す。
【図5】本発明の望ましい実施形態による単位不揮発性メモリセルを示す。
【図6A】単位メモリセルに対する平面図である。
【図6B】本発明の一実施形態による単位メモリセルの配置を示す。
【図7A】図6のI−I'線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセル配置を示す断面図である。
【図7B】図6の II−II' 線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセルの配置を示す断面図である。
【図8A】図6のI−I'線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセル配置を示す断面図である。
【図8B】図6のII−II' 線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセルの配置を示す断面図である。
【図9】図6のメモリセル配置に対応する等価回路図である。
【図10A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図10B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図11A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図11B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図12A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図12B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図13A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図13B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図14A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図14B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図15A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図15B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図16A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図16B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図17A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図17B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図18A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図18B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図19A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図19B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【符号の説明】
【0091】
11
107 活性領域
111 第1絶縁膜
113 フローティングゲート
117 コントロールゲート
118 積層ゲート構造
119 第3絶縁膜
121a 第1選択ゲート
121b 第2選択ゲート
【技術分野】
【0001】
本発明は半導体素子及びその形成方法に係り、さらに詳細には不揮発性メモリ素子及びその形成方法に関する。
【背景技術】
【0002】
EEPROMは電気的にデータの消去と貯蔵(プログラム)が可能であり、電源供給が遮断されてもデータの保存が可能な不揮発性メモリ素子の一種である。
【0003】
一般的に、不揮発性メモリ素子のメモリセル構造はスプリットゲート型(split gate type)及び積層ゲート型(stacked gate type)の二つの構造とすることができる。図1に通常の積層ゲートセルが示されている。図1を参照すると、通常の積層ゲートセルでは基板11上にフローティングゲート15及びコントロールゲート19が順次に積層されており、基板11とフローティングゲート15との間にはトンネリング酸化膜13が、フローティングゲート15とコントロールゲート19との間にはブロッキング酸化膜17が介在する。そして、積層ゲート構造の両側の基板にソース及びドレイン接合領域21S、21Dが位置する。このような積層ゲートセルはチャンネルホットキャリアインジェクション(CHEI:channel hot electroninjection)を利用してドレイン側21Dでプログラミング(programming)動作を実施し、F−N(Fowler−Nordheim)トンネリング(tunneling)を利用してソース側21Sで消去動作を実施する。このような積層ゲートセルは大きさが小さくて高集積化に有利であるので、創始期に多用した。
【0004】
しかし、このような積層ゲートセルの短所では、過剰消去(0ver−erase)の問題が報告されている。過剰消去問題は積層ゲートセルでの消去動作のうちフローティングゲートが過度に放電(discharged)された時に発生する。過度に放電したセルのスレッショルド電圧(threshold voltages)はマイナスの値を示す。したがって、セルが選択されない、すなわちコントロールゲートに読み出し電圧(read voltage)を加えない状態でも電流が流れるようになる問題が発生する。
【0005】
このような過剰消去問題を解決するため、二つの構造のセルが導入した。一つは、2トランジスタセル(two−transistor cell)であり、他の一つは、スプリットゲートセルである。図2は通常の2トランジスタセルを示す。図2を参照すると、通常の2トランジスタセルでは通常の積層ゲートセル10から離隔された選択トランジスタ(select transistor)20が追加採用された。プログラム及び消去は通常の積層ゲートセル構造10からなる。セルが選択されない時には、選択ゲート(select gate)15sが過度に放電されたフローティングゲート15による漏洩電流(leakage current)を防止する。しかし、このような2トランジスタセル構造は積層ゲートセル10と選択トランジスタ20との間に不純物拡散領域21Dが存在するので、メモリ素子の高集積化の実現が困難となっている。
【0006】
一方、図3は通常のスプリットゲートセル30を示す。通常のスプリットゲートセル30は図2の選択ゲート15s 及び積層ゲートセルのコントロールゲート19が一つのコントロールゲート39に合された構造を有する。コントロールゲート39の一部はフローティングゲート35の媒介なしに、基板31上に形成され、コントロールゲート39の一部はフローティングゲート35を媒介して基板31上に形成される。すなわち、積層ゲートの下部に二つのスプリットチャンネル43c1、43c2が存在する。コントロールゲート39がターン−オフ(turn−off)された時、コントロールゲート39の下部に位置した選択ゲートチャンネル43c1が過度に放電されたフローティングゲート35の下部に位置したフローティングゲートチャンネル43c2からの漏洩電流を防止する。しかし、スプリットゲートセルの主要短所は低いプログラミング効率及びプログラミング時、相対的に高いドレイン電圧を要求するというのである。またスプリットゲートセルにおいて、コントロールゲート39下の選択ゲートチャンネル43c1の長さを一定にする必要があるのに、素子の高集積化によってコントロールゲート39形成で誤整列が発生する可能性が高く、これによって、選択ゲートチャンネル43c1の長さを一定に確保することができなくなるという問題点が発生し得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、このような状況を考慮して案出され、本発明の目的は小さい大きさのメモリセルを有する不揮発性メモリ素子及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の目的を達成するために、本発明の実施形態は不揮発性メモリ素子を提供する。この不揮発性メモリ素子は、F−Nトンネリングを利用してプログラム及び消去動作を実行する。この不揮発性メモリ素子は、半導体基板上にフローティングゲート電極及びコントロールゲート電極が積層された積層ゲート構造及び前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列された第1及び第2選択ゲート電極を含むことを一特徴とする。
【0009】
前記積層ゲート構造と前記基板の間にはF−Nトンネリングが起こる第1絶縁膜が介在する。前記フローティングゲート電極及び前記コントロールゲート電極の間には第2絶縁膜が位置する。前記選択ゲート電極及び前記積層ゲート構造、そして前記選択ゲート電極及び前記基板の間には第3絶縁膜が介在する。
【0010】
このような不揮発性メモリ素子によると、前記選択ゲート電極が積層ゲート構造の両側壁に自己整列されるので、不揮発性メモリ素子の大きさを減らすことができる。また、前記選択ゲート電極によって過剰消去問題を避けることができる。
【0011】
前記第1及び第2選択ゲート電極外側の半導体基板にドレイン領域及びソース領域として作用する第1不純物拡散領域及び第2不純物拡散領域が位置する。すなわち、前記第1及び第2不純物拡散領域の間に前記積層ゲート構造及び前記選択ゲートが位置する。結果的に、前記積層ゲート構造及び前記選択ゲート電極の下の基板にチャンネル領域が形成される。すなわち、前記積層ゲート構造と前記第1及び第2選択ゲート電極の間の基板にソース領域及びドレイン領域が位置しない。
【0012】
これら不純物拡散領域のうちのいずれか一つ(例えば、第1不純物拡散領域、ドレイン領域)にビットラインが接続する。例えば、前記第1不純物拡散領域は前記第1選択ゲート電極に隣接して位置し、前記第2不純物拡散領域(ソース領域)は前記第2選択ゲート電極に隣接して位置する。
【0013】
望ましくは、前記半導体基板はn型ウェル内に互いに離隔された複数個のp型ポケットウェルを含む。各々のp型ポケットウェル内に複数個のメモリセルが配列される。この際、コントロールゲート電極は行方向に伸ばしてワードラインを形成する。第1選択ゲート電極及び第2選択ゲート電極は行方向に伸ばして各々第1選択ライン及び第2選択ラインを形成する。第2不純物拡散領域は行方向に伸ばして共通ソースラインを形成する。列方向の第1不純物拡散領域(ドレイン領域)はビットラインに電気的に連結される。
【0014】
この際、隣接たメモリセルの第1不純物拡散領域は互いに隣接し、隣接したメモリセルの第2不純物拡散領域は互いに隣接する。隣接した第1不純物拡散領域は等しいポケットウェルに形成されるか、または互いに異なるポケットウェルに形成されることができる。同様に、隣接した第2不純物拡散領域は等しいポケットウェルに形成されるか、または互いに異なるポケットウェルに形成されることができる。
【0015】
本発明の一実施形態によると、各々のp型ポケットウェルはk×8n個のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含む。ここでn及びkは自然数である。また行列に配列されたメモリセルアレイでkは行の数であり、8nは列の数である。この場合、列方向に隣接したソース領域(第1不純物拡散領域)は互いに異なるポケットウェルに形成されるか、等しいポケットウェルが形成されることができ、ドレイン領域の場合も同様である。
【0016】
一方、隣接したドレイン領域が等しいポケットウェルに形成される場合、各々のp型ポケットウェルは2k×8n個のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含むことができる。ここで、n及びkは自然数であり、2kは行の数であり、8nは列の数である。すなわち、一つのp型ポケットウェルを通るワードライン数は2k−1であり、ビットライン数は8nである。この場合、列方向に隣接したソース領域(第1不純物拡散領域)は互いに異なるポケットウェルに形成されるか、等しいポケットウェルが形成されることができる。
【0017】
このようなメモリセルアレイで特定メモリセル(選択メモリセル)に対するプログラムのためには前記選択メモリセルに連結された選択ワードラインにプログラム電圧Vppを印加し、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、前記第1選択ラインには動作電圧を印加し、前記第2選択ラインには接地電圧を印加し、前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには接地電圧を、前記選択ビットライン外の非選択ビットラインには動作電圧を印加し、前記共通ソースライン及びポケットウェルには接地電圧を印加する。これによって、前記選択メモリセルのフローティングゲート電極下部のチャンネル領域に強い電場が誘起されて前記特定メモリセルの第1絶縁膜を通じるF−Nトンネリングによって前記フローティング電極に電荷が充電される。
【0018】
一方、前記選択メモリセル外のメモリセル(非選択メモリセル)のフローティングゲート下部の電場は前記非選択ビットラインによる動作電圧の影響を受けるので、前記非選択メモリセルに対するプログラムは発生しない。
【0019】
一方、消去動作はバイト単位またはセクタ単位で行われる。すなわち、消去動作は一つのポケットウェルに形成されたバイト単位またはセクタ単位のメモリセルに対して行われる。
【0020】
消去しようとするバイト単位またはセクタ単位のメモリセル(選択メモリセル)に連結された選択ワードラインに接地電圧0Vを印加し、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせる。前記選択メモリセルを含むポケットウェルに消去電圧Veeを印加し、残りのポケットウェルには接地電圧を印加する。そして前記第1選択ライン、前記第2選択ライン、前記共通ソースライン及び前記ビットラインをフローティングさせる。これによって、選択メモリセルのフローティングゲート電極に貯蔵された電荷がF−Nトンネリングによって前記第1絶縁膜を通じてポケットウェルにすり抜けるようになる。
【0021】
例えば、p型ポケットウェルが1*8個のメモリセル(行方向に8個のメモリセル)有する場合、1バイト単位の消去動作が可能になる。
【0022】
一方、p型ポケットウェルが2*8個のメモリセル(行方向に8個のメモリセル及び列方向に2個のメモリセル)を有する場合を仮定する。この際、p型ポケットウェルの2個のメモリセル列は互いに異なるワードラインによって制御される。したがって、この場合、等しいポケットウェルのワードラインを全部接地させれば、2バイト単位の消去動作が行われ、いずれか一つのワードラインだけ接地させれば、接地されたワードラインに連結された8個のメモリセルが消去される。すなわち、1バイト単位の消去動作が行われる。
【0023】
特定メモリセル(選択メモリセル)に貯蔵された情報を判読するための読み出し動作のために共通ソースライン及びポケットウェルには接地電圧0Vを印加する。前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには第1読み出し電圧Vread1を印加し、選択ビットライン外のビットラインには接地電圧を印加する。前記選択メモリセルに連結された選択ワードラインには第2読み出し電圧Vread2を、選択ワードライン外の非選択ワードラインには遮断電圧Vblockを印加する。前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧を印加し、前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧を印加する。第2選択ラインには動作電圧を印加する。
【0024】
前記本発明の目的を達成するために本発明の実施形態は不揮発性メモリ素子を提供する。この不揮発性メモリ素子は行方向及び列方向に配列されたメモリセルと前記メモリセル両側の基板に形成されたソース領域及びドレイン領域を含む。
【0025】
前記メモリセルの各々は半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いて積層されたフローティングゲート、第2絶縁膜及びコントロールゲートからなる積層ゲート構造、および第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列された第1選択ゲート及び第2選択ゲートを含む。行方向のメモリセルのコントロールゲートは互いに連結されてワードラインを形成し、行方向の第1選択ゲートは互いに連結されて第1選択ラインを、行方向の第2選択ゲートは互いに連結されて第2選択ラインを形成する。
【0026】
列方向に隣合う一対のメモリセルのソース領域は互いに隣接し、列方向に隣合う一対のメモリセルのドレイン領域は互いに隣接する。特定行方向のソース領域は互いに連結されて共通ソースラインを形成する。特定列方向のドレイン領域はビットラインに電気的に連結され、前記ビットラインは前記ワードラインに直交する。
【0027】
前記本発明の目的を達成するために本発明の実施形態は不揮発性メモリ素子形成方法を提供する。この方法は第1導電型の半導体基板を準備し、前記第1導電型の半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いて電荷貯蔵膜、第2絶縁膜及び第1ゲート電極からなる積層ゲート構造を形成し、第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記基板上に第2ゲート電極スペーサ及び第3ゲート電極スペーサを形成して前記積層ゲート構造及びその両側壁上の第2及び第3ゲート電極スペーサで構成されたメモリセルを形成し、前記メモリセル両側の半導体基板に前記第2ゲート電極スペーサに隣接する第1不純物拡散領域及び前記第3ゲート電極スペーサに隣接した第2不純物拡散領域を形成することを含む。
【0028】
本方法によると、前記第1ゲート電極スペーサ及び第2ゲート電極スペーサが前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列的な方式で形成される。したがって、メモリセルの大きさを減らすことができので、高い集積度を有する不揮発性メモリ素子を形成することができる。
【発明の効果】
【0029】
本発明の多くの実施形態によると、選択ゲートが積層ゲート構造の両側壁に自己整列的な方式で形成される。したがって、追加的な写真工程の必要なしに選択ゲートを形成することだけではなく、メモリセルの大きさも減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0030】
以上の本発明の目的、他の目的、特徴及び利点は添付の図と係わる以下の望ましい実施形態を通じて容易に理解されるであろう。しかし、本発明はここで説明される実施形態に限定されず、他の形態に具体化されることもできる。むしろ、ここで紹介される実施形態は開示された内容が徹底して完全になれるように、そして当業者に本発明の思想を十分に伝達するために提供されるものである。
【0031】
本明細書で、どんな膜が他の膜または基板上にあると言及される場合に、それは他の膜または基板上に直接形成されることができるもの、またはそれらの間に第3の膜が介在されることもできるものを意味する。また、図において、層及び領域の厚さは明確性のために誇張されたものである。また本明細書の多様な実施形態で第1、第2、第3などの用語が多様な領域、膜などを記述するために使われたが、これら領域、膜がこのような用語によって限定されてはいけない。また、これら用語はただある所定領域または膜を他の領域または膜と区別させるために使われただけである。したがって、ある実施形態での第1膜に言及された膜が他の実施形態では第2膜に言及されることもできる。
【0032】
図4及び図5は本発明の一実施形態による単位メモリセルの断面を示す半導体基板の断面図である。図4はビットライン方向(図6BのI−I'方向、列方向)で切断した時の断面図であり、図5はワードライン方向(図6BのII−II’方向、行方向)で切断した時の断面図である。
【0033】
まず、図4及び図5を参照すると、本発明の一実施形態による不揮発性メモリセルMC11は基板の活性領域107上に第1絶縁膜111を間に置いて形成された積層ゲート構造118及び前記積層ゲート構造118の両側壁上に第3絶縁膜119を間に置いて自己整列されたスペーサ形態の第1選択ゲート121a及び第2選択ゲート121bを含む。積層ゲート構造118はフローティングゲート113、第2絶縁膜115及びコントロールゲート117を含む。結局、本発明による不揮発性メモリセルは3個のゲート、すなわち、コントロールゲート117、第1選択ゲート121a及び第2選択ゲート121bを含む。第1及び第2不純物拡散領域123D、123Sが第1及び第2選択ゲート121a、121b外側の基板に位置する。すなわち、第1及び第2不純物拡散領域123D、123Sの間に積層ゲート構造118及び第1及び第2選択ゲート121a、121bが位置する。したがって、積層ゲート構造118下の基板と、第1及び第2選択ゲート121a、121b下の基板に各々チャンネル領域105_c1、105_c2、105_c3が形成される。
【0034】
第1絶縁膜111はトンネリング絶縁膜として、こちらでプログラム及び消去動作時電荷のトンネリング(F−Nトンネリング)が起こる。第1絶縁膜111は例えば熱酸化膜からなり、プログラム及び消去動作条件を考慮して適切な厚さを有する。第2絶縁膜115はフローティングゲート113及びコントロールゲート117の間に介在する絶縁膜として、これらの間の電荷流れ経路を遮断するいわゆるブロッキング絶縁膜である。例えば、第2絶縁膜115は酸化膜−窒化膜−酸化膜または酸化膜−窒化膜が順次に積層された多層膜からなる。第3絶縁膜119は第1及び第2選択ゲート121a、121bを積層ゲート構造118及び基板の活性領域107と電気的に隔離させる。例えば、第3絶縁膜119は化学気相蒸着法によって形成される酸化膜である。
【0035】
基板の活性領域107はp型のバルク基板101に形成されたn型ウェル103及び前記n型ウェル103内に形成されたp型ポケットウェル105を含む。後述するが、n型ウェル103は複数個のp型ポケットウェル105を含むことができる。
【0036】
また、各々のp型ポケットウェルはk*8n個のメモリセル(ここでn及びkは自然数であり、kは行の数であり、8nは列の数である)及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含む。望ましくは、各p型ポケットウェル105には2k−1(ここでkは自然数)行、8n列(ここでnは自然数)個のメモリセルが位置することができる。すなわち、各p型ポケットウェルには2k−1*2n個(ここで、n及びkは自然数であり、2k−1は行方向に配列されたメモリセル個数であり、2nは列方向に配列されたメモリセルの個数)のメモリセルが位置することができる。これによって、消去動作時、p型ポケットウェル105に適切なバイアス電圧を加えることで、バイト単位またはセクタ単位の消去動作が可能になる。
【0037】
メモリセルMC11の両側の基板の活性領域107、すなわちp型ポケットウェル105には第1及び第2不純物拡散領域123D、123Sが位置する。第1不純物拡散領域123Dは第1選択ゲート121aの外側に位置し、第2不純物拡散領域123Sは第製2選択ゲート121bの外側に隣接する。不純物拡散領域123D、123Sは選択ゲート121a、121bと一部重畳されることができる。
【0038】
第1選択ゲート121a外側の第1不純物拡散領域123Dにビットライン127が電気的に接続する。
【0039】
このようなメモリセルMC11の第1及び第2選択ゲート121a、121bがスペーサ形態で自己整列的に積層ゲート構造118の両側壁上に形成されるので、メモリセルMC11は小さい大きさを有し、狭い面積を占めるようになる。
【0040】
メモリセルMC11のプログラム及び消去方式は第1絶縁膜111を通じるF−Nトンネリングを利用する。
【0041】
すなわち、プログラム動作のため、コントロールゲート117にはプログラム電圧Vppを、第1選択ゲート121aには動作電圧Vccを、そしてドレイン領域123D、第2選択ゲート121b、ソース領域123S及びp型ポケットウェル105には接地電圧0Vを印加することによって、p型ポケットウェル105から電荷がフローティングゲート113に注入される。これによって、メモリセルは例えば第1スレッショルド電圧Vth1を有するようになる。
【0042】
消去動作のため、コントロールゲート117には接地電圧0Vを、p型ポケットウェル105には消去電圧Veeを、そして第1選択ゲート121a、第2選択ゲート121b、ソース領域123S及びドレイン領域123Dはフローティングさせることによって、フローティングゲート113に貯蔵された電荷がp型ポケットウェル105に放出される。これによって、メモリセルは例えば第2スレッショルド電圧Vth2を有するようになる。
【0043】
一方、ソース領域123S及びp型ポケットウェル105には接地電圧0Vを、ドレイン領域123Dには第1読み出し電圧Vread1を、コントロールゲート117には第2読み出し電圧Vread2、第1及び第2選択ゲート121a、121bには動作電圧Vccを各々印加することによって、メモリセル118に対する読み出し動作が行われる。
【0044】
プログラム動作が行われたメモリセルの第1スレッショルド電圧Vth1及び消去動作が行われたメモリセルの第2スレッショルド電圧Vth2は多様な値を有することができる。この際、コントロールゲート117に印加される第2読み出し電圧Vread2はメモリセルの第1スレッショルド電圧Vth1及び第2スレッショルド電圧Vth2の間の値を有することができる。例えば、プログラムされたメモリセルの第1スレッショルド電圧が約5Vであり、消去されたメモリセルのスレッショルド電圧が約1Vである場合、コントロールゲート117に加えられる第2読み出し電圧Vread2は1Vと5Vの間の値を有することができ、例えば、約3V内外を有することができる。一方、第1スレッショルド電圧が約2Vであり、第2スレッショルド電圧が約−2Vの場合、第2読み出し電圧Vread2は−2Vと2Vとの間の値を有することができる、例えば、約0Vである。
【0045】
例えば、メモリセルMC11がプログラムされた場合、メモリセルMC11、すなわち積層ゲート構造118のスレッショルド電圧は第1スレッショルド電圧を有するようになる。したがって、コントロールゲート117に第2読み出し電圧Vread2を、そしてドレイン領域123Dには第1読み出し電圧Vread1を、ソース領域123Sには接地電圧を印加し、第1及び第2選択ゲート121a、121bに動作電圧Vccを印加する読み出し動作条件で、ソース領域123S及びドレイン領域123Dの間にチャンネルが(ソース領域からドレイン領域へ電荷の流れ)が生成されない。一方、メモリセルMC11が消去された場合、メモリセルMC11の積層ゲート構造118は第2スレッショルド電圧を有するようになり、等しい読み出し動作条件で選択メモリセルMC11のソース領域123S及びドレイン領域123Dの間にチャンネルが形成される。したがって、メモリセルMC11は互いに異なるスレッショルド電圧を有することによって、二進情報を貯蔵することができるようになる。
【0046】
図6Aは図4及び図5の単位メモリセルMC11に対する平面図であり、図6Bは単位メモリセルの例示的なセル配置を示す。図6BにメモリセルMC11〜MC1n、MC21〜MC2n、...MCm1〜MCmnが行方向(x軸方向、ワードライン方向)及び列方向(y軸方向、ビットライン方向)に配置されている。図6A及び図6Bを参照すると、素子分離領域109によって活性領域107が限定される。例えば、活性領域107はメッシュ(mesh)形態を示す。水平方向(行方向)に伸ばした活性領域部分は行方向に配列された隣接したソース領域123Sを連結させるためのことである。垂直方向(列方向)に伸ばした活性領域部分に積層ゲート構造が位置する。また垂直に伸ばした活性領域部分にドレイン領域123Dが積層ゲート構造の外側に、そしてソース領域123Sの向かい側に位置する。
【0047】
複数個のワードラインWL_1 〜 WL_m(コントロールゲート電極)が垂直方向(y軸方向)に伸ばした活性領域107と直交しながらx軸方向(行方向)に走る。複数個のビットラインBL_1〜BL_nがワードラインと直交しながら活性領域107上を走り、ビットラインコンタクト128を通じてドレイン領域123Dに電気的に連結される。
【0048】
各ワードラインと基板との間には第2絶縁膜115、フローティングゲート113及び第1絶縁膜111が位置する。フローティングゲート113、第2絶縁膜115及びワードライン(コントロールゲート)117が積層ゲート構造118(図4及び図5参照)を構成する。各ワードライン両側に第1選択ライン及び第2選択ラインがワードラインと並んで走る。例えばワードラインWL_1の両側に第1選択ラインSL_11及び第2選択ラインSL_12が走る。第1選択ライン及び第2選択ラインは図4 及び図5の第1選択ゲート121a及び第2選択ゲート121bに各々対応する。第1選択ラインSL_11 〜 SL_m1外側の基板にドレイン領域123Dが、第2選択ラインSL_12 〜 SL_m2外側の基板にソース領域123Sが位置する。
【0049】
等しい列に配列されたドレイン領域123Dは等しいビットラインに電気的に接続する。 列方向に隣接したメモリセルのソース領域123Sは互いに電気的に連結され、行方向に隣接したソース領域123Sは水平方向に伸ばした活性領域部分によって互いに電気的に連結され、共通ソースラインCSLを形成する。等しい列のドレイン領域123Dは等しいビットラインに電気的に連結される。
【0050】
p型ポケットウェルをどんなに形成するかによって列方向に隣接したセルのドレイン領域及びソース領域は互いに等しいp型ポケットウェルに形成されるか、または他のポケットウェルに形成されることができる。すなわち、列方向に隣接したセルのソース領域が等しいp型ポケットウェルに形成されるか、互いに異なるp型ポケットウェルに形成されることができる。しかし、どの場合でも行方向に隣接したソース領域は互いに連結されて共通ソースラインCSLを形成する。同様に、列方向に隣接したドレイン領域も等しいポケットウェルに形成されるか、互いに異なるポケットウェルに形成されることができる。望ましくは、列方向に隣接したセルのドレイン領域は等しいp型ポケットウェルに形成される。
【0051】
例えば、一つのp型ポケットウェルはk*8n個のメモリセル(ここでn及びkは自然数であり、kは行の数であり、8nは列の数である)を含む。
【0052】
さらに望ましくは、一つのp型ポケットウェルは行方向(ワードライン方向)に配列された8n個(ここでnは自然数)のメモリセル及び列方向に配列された2k−1個(ここでkは自然数)のメモリセルが位置することができる。すなわち、一つのp型ポケットウェルが2k−1*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、2k−1は列方向に配列されたメモリセルの個数であり、8nは行方向に配列されたメモリセルの個数)のメモリセルを含むことができる。
【0053】
図7Aおよび図7B、そして図8A及び図8Bを参照してp型ポケットウェルにメモリセルが配置される例示的な方式を説明する。
【0054】
図7A及び図8Aは図6のI−I'線に沿って切断した時の断面図であり、図7B及び図8Bは図6のII−II'線に沿って切断した時の断面図である。
【0055】
図7A及び図7Bは一つのp型ポケットウェルに2行8列の16個のメモリセルが形成される場合を示し、図8A及び図8Bは4行8列の32個のメモリセルが形成される場合、一つのp型ポケットウェルに形成された場合を示す。
【0056】
図7A及び図7Bを参照すると、行方向の8個のメモリセル及び列方向の2個のメモリセル、例えば、メモリセルMC11〜MC18、MC21〜MC28が等しいp型ポケットウェルに形成される。すなわち、二つのワードラインが一つのp型ポケットウェルを通る。列方向に隣接したセルのソース領域は活性領域を共有し、互いに異なるp型ポケットウェルに形成される。一方、列方向に隣接したセルのドレイン領域は互いに等しいp型ポケットウェルに形成される。このようなメモリセル配置の場合、1バイト単位または2バイト単位で消去動作が可能になる。隣接したセルのソース領域が互いに異なるポケットウェルに形成されても局所配線によって互いに電気的に連結されることが望ましい。
【0057】
一方、図8A及び図8Bを参照すると、4行8列のメモリセル、すなわちメモリセル MC11〜MC18、MC21〜MC28、MC31〜MC38、MC41〜MC48が等しいp型ポケットウェルに属する。すなわち、4個のワードラインが一つのp型ポケットウェルを通る。したがって、この場合、ポケットウェル内の各ワードラインに適切なバイアス電圧を印加することによって、1バイト、2バイト、3バイトまたは4バイト単位の消去動作が可能になる。
【0058】
図9は図6Bのメモリセルアレイに対する等価回路図である。図9を参照すると、ただ例示的なこととして2行8列のメモリセル(16個のメモリセル)が一つのp型ポケットウェル内に形成される場合(図7A及び図7B参照)におけるメモリセル配置に対する動作条件を説明する。図9を参照すると、複数個のワードラインWL_1〜WL_mが行方向に走って、これらワードラインと直交しながら複数個のビットラインBL_1〜BL_nが列方向に走る。
【0059】
各ワードライン両側に第1選択ラインSL_11〜SL_m1及び第2選択ライン SL_12〜SL_m2がワードラインと平行に走る。第1選択ラインSL_11〜SL_m1外側のドレイン領域にビットラインが電気的に連結される。第2選択ラインSL_12〜SL_m2外側のソース領域は互いに連結されて行方向に走るソースラインを形成し、隣接したソースラインが互いに連結されて共通ソースラインCSLを形成する。p型ポケットウェルは2行8列の16個のメモリセルを有する。すなわち、一つのポケットウェルに2個のワードライン、すなわちポケットpウェルp−Well_1にワードラインWL_1、WL_2が通る。
【0060】
一例として第1行、第1列のメモリセルMC11に対するプログラム及び読み出し、そしてポケットウェルp−Well_1内の8個のメモリセル、すなわち、第1行の8個のメモリセルMC11 〜 MC18に対する1バイト単位消去動作に対して説明する。下の表1はこのようなメモリセル配置に対する動作条件を示す。
【0061】
【表1】
【0062】
(プログラム動作)
プログラム対象である選択メモリセルMC11に対するプログラムのためには、第1行のワードラインWL_1選択ウォーラインにプログラム電圧Vppを印加し、その外のワードラインWL_2〜WL_m非選択ワードラインはフローティングさせる。第1列のビットライン BL_1選択ビットラインに接地電圧0Vを印加し、その外のビットラインBL_2〜BL_n(非選択ビットライン)に動作電圧Vccを加える。第1行の第1選択ライン SL_11(選択第1選択ライン)には動作電圧Vccを、その以の第1選択ラインSL_21、...、SL_m1非選択第1選択ラインには接地電圧0Vを印加する。選択メモリセルを含む選択ポケットウェル及び選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルに接地電圧0Vを印加する。選択メモリセルに連結された選択共通ソースラインCLS及び選択共通ソースライン外の非選択ソースラインCSLに接地電圧0Vを印加する。選択メモリセルの選択第2選択ラインSL_12及び選択第2選択ライン外の非選択第2選択ラインSL_22、...SL_m2に接地電圧0Vを印加する。
【0063】
プログラム電圧は例えば約15乃至約20V程度である。動作電圧Vccは第1選択ゲートの下にチャンネルが生成される程度の値を有し、例えば、約3.5V程度である。プログラム電圧及び動作電圧が設計によって多様に変更されることができることは当業者において自明である。
【0064】
選択ワードラインWL_1にプログラム電圧が、選択ビットラインBL_1に接地電圧が、そして選択第1選択ラインSL_11に動作電圧が印加されるので、選択メモリセルMC11のフローティングゲートの下部に強い電場が誘起されてF−Nトンネリングが起こり、したがって、選択ワードラインWL_1に連結された選択メモリセルMC11がプログラムされる。しかし、非選択ビットラインBL_2〜BL_nに動作電圧が印加され、第1行の選択第1選択ラインには動作電圧が印加されるので、第1行の非選択メモリセルMC12〜MC1nには動作電圧Vccがそのまま伝達されて該当の非選択メモリセル MC12〜MC1nのフローティングゲートの下部で電場が弱くなる。したがって、選択メモリセルMC11を除いた第1行の非選択メモリセルMC12〜MC1nはプログラムされない。すなわち、選択ワードラインWL_1によるプログラム妨害、すなわち、ワードライン妨害(word line disturbance)は発生しない。
【0065】
一方、選択第2選択ライン SL_12に接地電圧が印加されるので、選択共通ソースラインCSLを共有する他のメモリセルから選択メモリセルMC11が影響を受けなくなる。
【0066】
また、非選択ワードラインWL_2〜WL_mはフローティングされるので、たとえ選択ビットラインBL_1が接地され、非選択第1選択ラインSL_21 〜 SL_m1 に接地電圧が印加されても(非選択第1選択ラインに動作電圧が印加されても)第1列の非選択メモリセルMC21〜MCm1のフローティングゲートの下部に強い電場が誘起されない。したがって、選択ビットラインBL_1によるプログラム妨害、すなわちビットライン妨害(bit line disturbance)は発生しない。
【0067】
また、非選択ワードラインWL_2〜WL_mはフローティングされ、非選択ビットラインBL_2〜BL_nには動作電圧が印加されるので、非選択メモリセルMC22〜MC2n、MC32〜MC3n、... 、MCm2〜MCmnはプログラムされない。
【0068】
(消去動作)
<1バイト単位消去動作>
消去しようとする第1行の8個のメモリセルMC11〜MC18(選択メモリセル)を含む選択ポケットウェルp−well_1に消去電圧Veeを、選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルに接地電圧を印加する。選択メモリセルに連結された選択ワードライン WL_1に接地電圧0Vを印加し、選択ワードライン外の非選択ワードラインWL_2〜WL_mをフローティングさせる。残りの端子、すなわち、(選択及び非選択)ビットライン、(選択及び非選択)第1選択ライン、(選択及び非選択)第2選択ライン、及び(選択及び非選択)共通ソースラインをフローティングさせる。例えば、消去電圧はプログラム電圧と等しい値を有することができる。
【0069】
このような動作条件によると、選択ポケットウェルp−well_1内の8個のメモリセル、すなわち、第1行の8個のメモリセルMC11 〜 MC18に貯蔵された電荷が放電され、これによって、1バイト単位の消去動作が行われる。選択メモリセルMC11 〜 MC18に隣接した非選択メモリセルの消去を防止するために非選択ワードラインWL_2〜WL_mはフローティングさせ、非選択ポケットウェルは接地0Vさせる。ここで、等しいポケットウェルに形成される第2列の8個のメモリセルMC21〜MC28に連結された非選択ワードラインWL_2はフローティングされるので、これらメモリセルに対する消去動作は発生しない。しかし、後述するように、選択ワードラインWL_1だけでなく非選択ワードラインWL_2にも接地電圧が印加される場合、2バイト単位の消去動作が可能になるであろう。
【0070】
<2バイト単位消去動作>
選択ポケットウェルp−well_1に消去電圧Veeを、選択ビットラインWL_1 及びWL_2に接地電圧0Vを印加し、共通ソースラインCSL、第1及び第2選択ライン、ビットラインをフローティングさせる。したがって、選択ポケットウェルp−ウェル_1内の16個のメモリセル、すなわち、第1行の8個のメモリセルMC11 〜 MC18及び第2行の8個のメモリセルMC21〜MC28に貯蔵された電荷が放電され、これによって、2バイト単位の消去動作が行われる。選択メモリセルMC11〜MC18及びMC21〜MC28に隣接した非選択メモリセルの消去を防止するために非選択ワードラインWL_3〜WL_mはフローティングさせ、非選択ポケットウェルは接地0Vさせる。
【0071】
上述のようにポケットウェルをどんなに形成するかによって多様なバイト単位またはセクタ単位の消去動作が可能になる。
【0072】
(読み出し動作)
選択メモリセルMC11に対する読み出し動作は次のとおりである。第1列の選択ビットラインBL_1には第1読み出し電圧Vread1を、非選択ビットラインBL_2 〜BL_nには接地電圧0Vを印加する。第1行の選択第1選択ラインSL_11には動作電圧Vccを、非選択第1選択ラインSL_21〜SL_m1には接地電圧0Vを印加する。選択ワードラインWL_1には第2読み出し電圧Vread2を印加し、非選択ワードライン WL_2〜WL_mには遮断電圧Vblockを印加する。第2選択ラインSL_12〜SL_m2には動作電圧Vccを印加する。残りの端子、すなわち、ポケットウェル、共通ソースラインCSLには接地電圧0Vを印加する。
【0073】
第2読み出し電圧Vread2はプログラムされたメモリセルのスレッショルド電圧Vth1及び消去されたメモリセルのスレッショルド電圧Vth2の中間値、すなわち平均値を有する。第1読み出し電圧Vread1は読み出し動作でソースとドレインとの間に電場を形成させるために印加されることとして、約1.8Vである。第2読み出し電圧Vread2がプラスの値を有する場合、例えば第2読み出し電圧Vread2が動作電圧を有する場合、第1読み出し電圧Vread1が第2読み出し電圧Vread1と等しい値を有することができる。非選択ワードラインWL_2〜WL_mに加えられる遮断電圧Vblockは非選択メモリセルの下部にチャンネルが形成されないようにする大きさを有することができる。例えば、非選択メモリセルのスレッショルド電圧が全部プラスの値を有する場合、遮断電圧Vblockは接地電圧でありうる。
【0074】
読み出し動作で、非選択第1選択ラインSL_21〜SL_m1に接地電圧が印加され、非選択ワードラインWL_1〜WL_mには遮断電圧Vblockが印加されるので、非選択メモリセルによる読み出し妨害は発生しない。
【0075】
以下では、本発明の一実施形態による不揮発性メモリ素子の形成方法に対して図10A乃至図16A及び図10B乃至図16Bを参照して説明する。本実施形態では一つのポケットウェルに16個のメモリセルが形成される場合に限って説明する。またp型半導体基板が使われた場合を説明する。
【0076】
図10A乃至図16Aは図6のI−I'線方向で切断した時の断面図であり、図10B乃至図16Bは図6のII−II'線方向で切断した時の断面図である。
【0077】
まず、図10A乃至図10Bを参照すると、p型半導体基板101上にn型ウェル領域103を形成した後、前記n型ウェル103にp型ポケットウェル105を形成する。続いて、素子分離工程を通じて活性領域を限定する素子分離領域109を形成する。この際、図10Bに示したように、各p型ポケットウェル105には素子分離領域109によって行方向に8個の活性領域が画定されるようにp型ポケットウェル105及び素子分離領域109が形成される。素子分離領域109は例えば浅いトレンチ隔離技術などによる通常の方法を使用して形成される。
【0078】
次に、図11Aおよび図11Bを参照すると、F−Nトンネリングが起こる第1絶縁膜111を形成した後、ポケットウェル105上の活性領域にフローティングゲート電極パターン113pを形成する。第1絶縁膜111は例えば熱酸化膜で形成され、ローティング電極パターン113pは不純物にドーピングされたシリコンで形成される。
【0079】
次に、図12Aおよび図12Bを参照すると、第2絶縁膜115a及びコントロールゲート電極膜117aを形成する。第2絶縁膜115aは例えば酸化膜−窒化膜−酸化膜を順次に積層させることによって形成されるか、酸化膜−窒化膜を順次に積層させることによって形成されることができる。コントロールゲート電極膜117aは例えば不純物にドーピングされたシリコンで形成される。
【0080】
次に、図13A及び図13Bを参照すると、積層された膜をパターニングして第1絶縁膜111、フローティングゲート電極113、第2絶縁膜115及びコントロールゲート電極117からなる積層ゲート構造118を形成する。次に、基板の全面に第3絶縁膜119を形成する。第3絶縁膜119は例えば化学気相蒸着法などの方法を使用して形成されることができる。
【0081】
次に、図14A及び図14Bを参照すると、導電膜121を第3絶縁膜119上に形成する。導電膜121は例えば不純物にドーピングされたシリコンで形成される。
【0082】
次に、図15A及び図15Bを参照すると、導電膜121に対する全面エッチング工程を進行して各々の積層ゲート構造118の両側壁に自己整列された第1選択ゲート(第1選択ライン)121a及び第2選択ゲート(第2選択ライン)121bを形成する。
【0083】
続いて、図15A及び図15Bを参照すると、イオン注入工程を進行して第1及び第2選択ゲート121a、121bの両側のp型ポケットウェル105にソース領域123S 及びドレイン領域123Dを形成する。
【0084】
次に、図16A及び図16Bを参照すると、層間絶縁膜125を形成した後、これをパターニングしてドレイン領域123Dを露出させるコンタクトホール127を形成する。続いて、コンタクトホール127を満たすように層間絶縁膜125上に導電物質を蒸着した後、これをパターニングしてドレイン領域123Dに電気的に接続するビットライン129を形成する。
【0085】
このような本発明による不揮発性メモリ素子形成方法によると、第1選択ゲート及び第2選択ゲートが自己整列的な方式で積層ゲート構造の両側壁に形成されるので、メモリセルの大きさを減らすことができる。
【0086】
一方、フローティングゲートパターン113pが自己整列的な方式によって、すなわち素子分離工程で自己整列的な方式で形成されることができる。これは図17A乃至図19A及び図17B乃至図19Bを参照して説明する。まず、図17A及び図17Bを参照すると、上述のように、n型ウェル103及びp型ポケットウェル105を形成した後、基板107上に第1絶縁膜及びフローティングゲート電極膜を形成した後、これらをパターニングして活性領域を限定する第1絶縁膜パターン111及びフローティングゲート電極パターン113pからなるトレンチエッチングマスク114を形成する。
【0087】
次に、図18A及び図18Bを参照すると、トレンチエッチングマスク114を使用して露出された基板をエッチングしてトレンチ116を形成した後、トレンチ116を満たすようにフローティングゲート電極パターン113p上に絶縁物質109aを形成する。
【0088】
次に、図19Aおよび図19Bを参照すると、トレンチエッチングマスク114が露出されるまで絶縁物質109aを平坦化エッチングして図19A及び図19Bに示したように素子分離領域109を形成する。これによって、素子分離領域109を形成することと同時にフローティングゲート電極パターン113pが素子分離領域109の間に自己整列的な方式で形成される。後続工程は上述の方式と等しく進行される。
【0089】
今まで本発明に対してその望ましい実施形態を中心によく見た。本発明が属する技術分野で、通常の知識を持った者は本発明が本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で変形された形態に実現されることができることを理解することができるであろう。したがって、本開示された実施形態は限定的な観点ではなく、説明的な観点で考慮されなければならない。本発明の範囲は上述の説明ではなく、特許請求の範囲に示しており、それと同等な範囲内にあるすべての差異は本発明に含まれると解釈されなければならないであろう。
【図面の簡単な説明】
【0090】
【図1】通常の積層ゲートセルを示す。
【図2】通常の2トランジスタセルを示す。
【図3】通常のスプリットゲートセルを示す。
【図4】本発明の望ましい実施形態による単位不揮発性メモリセルを示す。
【図5】本発明の望ましい実施形態による単位不揮発性メモリセルを示す。
【図6A】単位メモリセルに対する平面図である。
【図6B】本発明の一実施形態による単位メモリセルの配置を示す。
【図7A】図6のI−I'線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセル配置を示す断面図である。
【図7B】図6の II−II' 線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセルの配置を示す断面図である。
【図8A】図6のI−I'線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセル配置を示す断面図である。
【図8B】図6のII−II' 線に沿って切断した時の本発明の一実施形態によるメモリセルの配置を示す断面図である。
【図9】図6のメモリセル配置に対応する等価回路図である。
【図10A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図10B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図11A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図11B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図12A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図12B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図13A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図13B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図14A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図14B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図15A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図15B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図16A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図16B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として、図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図17A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図17B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図18A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図18B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図19A】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のI−I'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【図19B】本発明の望ましい一実施形態による不揮発性メモリセル形成方法を説明するための断面図として図6のII−II'線に沿って切断した時の断面に対応する。
【符号の説明】
【0091】
11
107 活性領域
111 第1絶縁膜
113 フローティングゲート
117 コントロールゲート
118 積層ゲート構造
119 第3絶縁膜
121a 第1選択ゲート
121b 第2選択ゲート
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1導電型の半導体基板に形成された第2導電型の第1不純物拡散領域及び第2導電型の第2不純物拡散領域と、
前記第1不純物拡散領域及び第2不純物拡散領域の間の半導体基板のチャンネル領域上に形成されたメモリセルとを含み、
前記メモリセルは前記チャンネル上に第1絶縁膜を間に置いて形成されたフローティングゲート、第2絶縁膜及び第1ゲート電極からなる積層ゲート構造と、
第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記チャンネル領域上に形成され、前記第1不純物拡散領域に隣接した第2ゲート電極スペーサ及び前記第2不純物拡散領域に隣接した第3ゲート電極スペーサを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項2】
前記フローティングゲート、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極スペーサ、および前記第3ゲート電極スペーサはドーピングされたシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項3】
前記第1絶縁膜は熱酸化膜であり、前記第2絶縁膜は酸化膜−窒化膜−酸化膜または窒化膜−酸化膜の多層膜であり、前記第3絶縁膜は化学的気相蒸着法により形成された酸化膜であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項4】
前記第1及び第2不純物拡散領域は前記メモリセル両側の半導体基板に前記メモリセルによって自己整列されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項5】
前記第2ゲート電極スペーサ及び前記第3ゲート電極スペーサには互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項1または4に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項6】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリング方式からなることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項7】
前記メモリセルに対するプログラム動作は前記第1ゲート電極にはプログラム電圧(Vpp)を印加し、前記第2ゲート電極スペーサには動作電圧(Vcc)を印加し、そして前記第1不純物拡散領域、前記第3ゲート電極スペーサ、前記第2不純物拡散領域及び前記半導体基板には接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項6に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項8】
前記メモリセルに対する消去動作は、前記第1ゲート電極には接地電圧(0V)を印加し、前記半導体基板には消去電圧(Vee)を印加し、そして前記第2ゲート電極スペーサ、前記第3ゲート電極スペーサ、前記第1及び第2不純物拡散領域はフローティングさせることによって行われることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項9】
前記メモリセルに対する読み出し動作は、前記第2不純物拡散領域及び前記半導体基板には接地電圧(0V)を印加し、前記第1不純物拡散領域には第1読み出し電圧(Vread)を印加し、前記第1ゲート電極には第2読み出し電圧(Vread2)を印加し、前記第2ゲート電極スペーサ及び前記第3ゲート電極スペーサには動作電圧(Vcc)を各々印加することによって行われることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項10】
前記半導体基板内に形成された第2導電型のウェル及び前記第2導電型のウェル内に形成された第1導電型のポケットウェルをさらに含み、
前記メモリセル及び前記不純物拡散領域は前記第1導電型のポケットウェルに形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項11】
前記第2導電型のウェルは複数個の前記第1導電型のポケットウェルを含み、
前記複数個の第1導電型のポケットウェルの各々は、
k*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、kは行列に配列されたメモリセル配列で行の個数、8nは列の個数)のメモリセルを含み、
前記第1ゲート電極は行方向に伸ばしてワードラインを形成し、前記第2ゲート電極スペーサ及び前記第3ゲート電極スペーサは行方向に伸ばして各々第1選択ライン及び第2選択ラインを形成し、前記第2不純物拡散領域は行方向に伸ばして共通ソースラインを形成し、列方向の第1不純物拡散領域にビットラインが電気的に連結されることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項12】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリング方式からなることを特徴とする請求項11に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項13】
前記メモリセルのうち選択メモリセルに対するプログラム動作は、
前記選択メモリセルの選択ワードラインにはプログラム電圧(Vpp)を、
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには接地電圧(0V)を、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を、
前記選択メモリセルの選択第2選択ライン、前記選択メモリセルに連結された共通ソースライン及び前記選択メモリセルを含む選択ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって実行されることを特徴とする請求項12に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項14】
前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、
前記選択ビットライン以の非選択ビットラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ライン、前記選択第2選択ライン外の非選択第2選択ライン、前記選択共通ソースライン外の非選択共通ソースライン、前記選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルには前記接地電圧(0V)を印加することを特徴とする請求項13に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項15】
前記第1導電型のポケットウェルのうち選択ポケットウェルに配列された選択メモリセルに対する消去動作は、
ビットライン、共通ソースライン、第1選択ライン及び第2選択ラインはフローティングさせ、
前記選択メモリセルに連結された少なくとも一つの選択ワードラインには接地電圧(0V)を印加し、前記少なくとも一つの選択ワードライン外の非選択ワードラインはプローティングさせ、
前記選択ポケットウェルには消去電圧(Vee)を印加し、前記選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項16】
前記メモリセルのうち選択メモリセルに対する読み出し動作は、
前記選択メモリセルに連結された選択共通ソースライン及び前記選択メモリセルを含む選択ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択メモリセルの第2選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには第1読み出し電圧(Vread1)を印加し、
前記選択メモリセルの選択ワードラインには第2読み出し電圧(Vread2)を印加することによって行われることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項17】
前記選択共通ソースライ外の非選択共通ソースライン及び前記選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルには接地電圧0Vを印加し、
前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択第2選択ライン外の非選択第2選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択ビットライン外の非選択ビットラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択ワードライン外の非選択ワードラインには遮断電圧(Vblock)を印加することを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項18】
列方向に隣接したメモリセルはそれらの間の第1不純物拡散領域を共通ドレイン領域で共有することを特徴とする請求項11に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項19】
半導体基板を準備し、
前記半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いてフローティングゲート、第2絶縁膜及び第1ゲート電極からなる積層ゲート構造を形成し、
第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記基板上に第2ゲート電極スペーサ及び第3ゲート電極スペーサを形成して前記積層ゲート構造及びその両側壁上の第2及び第3ゲート電極スペーサで構成されたメモリセルを形成し、
前記メモリセル両側の半導体基板に前記第2ゲート電極スペーサに隣接する第1不純物拡散領域及び前記第3ゲート電極スペーサに隣接する第2不純物拡散領域を形成することを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項20】
前記フローティングゲート、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極スペーサ、および前記第3ゲート電極スペーサはドーピングされたシリコンで形成されることを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項21】
前記第1絶縁膜は熱酸化膜で形成され、前記第2絶縁膜は酸化膜−窒化膜−酸化膜または窒化膜−酸化膜の多層膜で形成され、前記第3絶縁膜は化学的気相蒸着法により形成された酸化膜で形成されること特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項22】
前記半導体基板を準備することは、
第1導電型の半導体基板に第2導電型のウェルを形成し、
前記第2導電型のウェル内に第1導電型のポケットウェルを形成することを含んでなされ、
前記メモリセル及び不純物拡散領域は前記第1導電型のポケットウェルに形成されることを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項23】
前記第2導電型のウェル内に複数個の第1導電型のポケットウェルが形成され、前記複数個の第1導電型のポケットウェルの各々にk*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、kは行列に配列されたメモリセル配列で行の数であり、8nは列の数)のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域が同時に形成されることを特徴とする請求項22に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項24】
層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜を貫通して前記第1不純物拡散領域に電気的に接続するビットラインを形成することをさらに含むことを特徴とする請求項20または23に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項25】
第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記基板上に第2ゲート電極スペーサ及び第3ゲート電極スペーサを形成することは、
前記第3絶縁膜を前記半導体基板及び前記積層ゲート構造上に形成し、
前記第3絶縁膜上に導電膜を形成し、
前記導電膜の全面再エッチングして前記積層ゲート構造の両側壁上にだけ残すことを含んでなされることを特徴とする請求項20または23に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項26】
前記半導体基板を準備することは、
前記半導体基板上に前記第1絶縁膜を形成し、
前記第1絶縁膜上に前記フローティングゲートのためのフローティングゲート電極膜を形成し、
前記導電膜、第1絶縁膜及び基板の一部をエッチングして素子分離のためのトレンチを形成し、
前記トレンチを絶縁物質で満たして素子分離膜を形成することを含むことを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項27】
行列に配列されたメモリセルと、
前記メモリセルの各々の両側の基板に自己整列されたソース領域及びドレイン領域、列方向に隣接した一対のメモリセルはソース領域を共有し、行方向の共有されたソース領域は互いに連結されて共通ソースラインを形成し、
列方向のドレイン領域に電気的に連結されるビットラインとを含み、
前記メモリセルの各々は半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いて積層されたフローティングゲート、第2絶縁膜及びコントロールゲートからなる積層ゲート構造、および第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列された第1選択ゲート及び第2選択ゲートを含み、
前記コントロールゲートは行方向に伸ばしてワードラインを形成し、前記第1選択ゲート及び第2選択ゲートは行方向に伸ばして各々第1選択ライン及び第2選択ラインを形成することを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項28】
前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインには互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項27に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項29】
前記半導体基板はn型ウェルによって分離された複数個のp型のポケットウェルを含み、
前記p型のポケットウェルの各々は、
2k−1*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、2k−1は列方向に配列されたメモリセル個数であり、8nは行方向に配列されたメモリセル個数)のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含むことを特徴とする請求項27に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項30】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリング方式からなることを特徴とする請求項29に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項31】
前記メモリセルのうち選択メモリセルに対するプログラム動作は、
前記選択メモリセルの選択ワードラインにはプログラム電圧(Vpp)を印加し、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには接地電圧(0V)を印加し、前記選択ビットライン外の非選択ビットラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し、前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記第2選択ライン、前記共通ソースライン及び前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって実行されることを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項32】
前記p型ポケットウェルのうち選択ポケットウェルに配列された選択メモリセルに対する消去動作は、
ビットライン、共通ソースライン、第1選択ライン及び第2選択ラインはフローティングさせ、
前記選択メモリセルに連結された少なくとも一つの選択ワードラインには接地電圧(0V)を、前記少なくとも一つの選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、
前記選択ポケットウェルには消去電圧(Vee)を、前記選択ポケットウェル外のポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項33】
選択メモリセルに対する読み出し動作は、
共通ソースライン、そして前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を、前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧(0V)を印加し、
第2選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには第1読み出し電圧(Vread1)を、前記選択ビットライン外のビットラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択メモリセルの選択ワードラインには第2読み出し電圧(Vread2)を、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインには遮断電圧(Vblock)を印加することによって行われることを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項34】
n型ウェル及び前記n型ウェル内に形成されたp型ポケットウェルを含むp型半導体基板と、
第1絶縁膜を間に置いて前記p型ポケットウェル上に形成されたフローティングゲート、第2絶縁膜及びコントロールゲートからなる積層ゲート構造と、
前記半導体基板及び前記積層ゲート構造上に形成された第3絶縁膜と、
前記第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構の造両側壁上に自己整列された第1選択ゲート及び第2選択ゲートと、
前記第1及び第2選択ゲート両側のp型ポケットウェルに各々自己整列されたn型ドレイン領域及びn型ソース領域を含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項35】
前記第1選択ゲート及び前記第2選択ゲートには互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項36】
前記メモリセルに対するプログラム動作は前記コントロールゲートにはプログラム電圧Vppを、前記第1選択ゲートには動作電圧(Vcc)を、そして前記ドレイン領域、前記第2選択ゲート、前記ソース領域及び前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項37】
前記ソース領域及び前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を、前記ドレイン領域には第1読み出し電圧(Vread1)を、前記コントロールゲートには第2読み出し電圧(Vread2)を、前記第1及び第2選択ゲートには動作電圧(Vcc)を各々印加することによって前記フローティングゲートに貯蔵された電荷の有無を感知することを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項38】
半導体基板に行列に配列された複数個のフローティングゲート電極と、
各々が行方向の複数個のフローティングゲート電極の上部を走る複数個のワードラインと、
各々のワードライン両側壁及びその下部のフローティングゲート電極の両側面上に自己整列された第1選択ライン及び第2選択ラインと、
第1選択ライン外側の半導体基板に形成されたドレイン領域と、
各々が対応する列方向のドレイン領域に連結され、前記ワードラインに直交する複数個のビットラインと、
第2選択ライン外側の半導体基板に形成されたソース領域とを含み、
行方向のソース領域は互いに連結されて共通ソースラインを形成し、
前記半導体基板は複数個のポケットウェルを含み、前記複数個のポケットウェルの各々はk*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、kは行列に配列されたフローティングゲート電極配列で行の個数、8nは列の個数)のフローティングゲート電極を含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項39】
列方向の隣接したメモリセルはそれらの間のドレイン領域を互いに共有することを特徴とする請求項38に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項40】
前記メモリセルに対するプログラム、消去及び読み出し動作で前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインに互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項38に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項41】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリングによって行われることを特徴とする請求項38に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項1】
第1導電型の半導体基板に形成された第2導電型の第1不純物拡散領域及び第2導電型の第2不純物拡散領域と、
前記第1不純物拡散領域及び第2不純物拡散領域の間の半導体基板のチャンネル領域上に形成されたメモリセルとを含み、
前記メモリセルは前記チャンネル上に第1絶縁膜を間に置いて形成されたフローティングゲート、第2絶縁膜及び第1ゲート電極からなる積層ゲート構造と、
第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記チャンネル領域上に形成され、前記第1不純物拡散領域に隣接した第2ゲート電極スペーサ及び前記第2不純物拡散領域に隣接した第3ゲート電極スペーサを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項2】
前記フローティングゲート、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極スペーサ、および前記第3ゲート電極スペーサはドーピングされたシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項3】
前記第1絶縁膜は熱酸化膜であり、前記第2絶縁膜は酸化膜−窒化膜−酸化膜または窒化膜−酸化膜の多層膜であり、前記第3絶縁膜は化学的気相蒸着法により形成された酸化膜であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項4】
前記第1及び第2不純物拡散領域は前記メモリセル両側の半導体基板に前記メモリセルによって自己整列されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項5】
前記第2ゲート電極スペーサ及び前記第3ゲート電極スペーサには互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項1または4に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項6】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリング方式からなることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項7】
前記メモリセルに対するプログラム動作は前記第1ゲート電極にはプログラム電圧(Vpp)を印加し、前記第2ゲート電極スペーサには動作電圧(Vcc)を印加し、そして前記第1不純物拡散領域、前記第3ゲート電極スペーサ、前記第2不純物拡散領域及び前記半導体基板には接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項6に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項8】
前記メモリセルに対する消去動作は、前記第1ゲート電極には接地電圧(0V)を印加し、前記半導体基板には消去電圧(Vee)を印加し、そして前記第2ゲート電極スペーサ、前記第3ゲート電極スペーサ、前記第1及び第2不純物拡散領域はフローティングさせることによって行われることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項9】
前記メモリセルに対する読み出し動作は、前記第2不純物拡散領域及び前記半導体基板には接地電圧(0V)を印加し、前記第1不純物拡散領域には第1読み出し電圧(Vread)を印加し、前記第1ゲート電極には第2読み出し電圧(Vread2)を印加し、前記第2ゲート電極スペーサ及び前記第3ゲート電極スペーサには動作電圧(Vcc)を各々印加することによって行われることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項10】
前記半導体基板内に形成された第2導電型のウェル及び前記第2導電型のウェル内に形成された第1導電型のポケットウェルをさらに含み、
前記メモリセル及び前記不純物拡散領域は前記第1導電型のポケットウェルに形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項11】
前記第2導電型のウェルは複数個の前記第1導電型のポケットウェルを含み、
前記複数個の第1導電型のポケットウェルの各々は、
k*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、kは行列に配列されたメモリセル配列で行の個数、8nは列の個数)のメモリセルを含み、
前記第1ゲート電極は行方向に伸ばしてワードラインを形成し、前記第2ゲート電極スペーサ及び前記第3ゲート電極スペーサは行方向に伸ばして各々第1選択ライン及び第2選択ラインを形成し、前記第2不純物拡散領域は行方向に伸ばして共通ソースラインを形成し、列方向の第1不純物拡散領域にビットラインが電気的に連結されることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項12】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリング方式からなることを特徴とする請求項11に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項13】
前記メモリセルのうち選択メモリセルに対するプログラム動作は、
前記選択メモリセルの選択ワードラインにはプログラム電圧(Vpp)を、
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには接地電圧(0V)を、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を、
前記選択メモリセルの選択第2選択ライン、前記選択メモリセルに連結された共通ソースライン及び前記選択メモリセルを含む選択ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって実行されることを特徴とする請求項12に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項14】
前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、
前記選択ビットライン以の非選択ビットラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ライン、前記選択第2選択ライン外の非選択第2選択ライン、前記選択共通ソースライン外の非選択共通ソースライン、前記選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルには前記接地電圧(0V)を印加することを特徴とする請求項13に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項15】
前記第1導電型のポケットウェルのうち選択ポケットウェルに配列された選択メモリセルに対する消去動作は、
ビットライン、共通ソースライン、第1選択ライン及び第2選択ラインはフローティングさせ、
前記選択メモリセルに連結された少なくとも一つの選択ワードラインには接地電圧(0V)を印加し、前記少なくとも一つの選択ワードライン外の非選択ワードラインはプローティングさせ、
前記選択ポケットウェルには消去電圧(Vee)を印加し、前記選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項16】
前記メモリセルのうち選択メモリセルに対する読み出し動作は、
前記選択メモリセルに連結された選択共通ソースライン及び前記選択メモリセルを含む選択ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択メモリセルの第2選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには第1読み出し電圧(Vread1)を印加し、
前記選択メモリセルの選択ワードラインには第2読み出し電圧(Vread2)を印加することによって行われることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項17】
前記選択共通ソースライ外の非選択共通ソースライン及び前記選択ポケットウェル外の非選択ポケットウェルには接地電圧0Vを印加し、
前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択第2選択ライン外の非選択第2選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択ビットライン外の非選択ビットラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択ワードライン外の非選択ワードラインには遮断電圧(Vblock)を印加することを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項18】
列方向に隣接したメモリセルはそれらの間の第1不純物拡散領域を共通ドレイン領域で共有することを特徴とする請求項11に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項19】
半導体基板を準備し、
前記半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いてフローティングゲート、第2絶縁膜及び第1ゲート電極からなる積層ゲート構造を形成し、
第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記基板上に第2ゲート電極スペーサ及び第3ゲート電極スペーサを形成して前記積層ゲート構造及びその両側壁上の第2及び第3ゲート電極スペーサで構成されたメモリセルを形成し、
前記メモリセル両側の半導体基板に前記第2ゲート電極スペーサに隣接する第1不純物拡散領域及び前記第3ゲート電極スペーサに隣接する第2不純物拡散領域を形成することを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項20】
前記フローティングゲート、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極スペーサ、および前記第3ゲート電極スペーサはドーピングされたシリコンで形成されることを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項21】
前記第1絶縁膜は熱酸化膜で形成され、前記第2絶縁膜は酸化膜−窒化膜−酸化膜または窒化膜−酸化膜の多層膜で形成され、前記第3絶縁膜は化学的気相蒸着法により形成された酸化膜で形成されること特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項22】
前記半導体基板を準備することは、
第1導電型の半導体基板に第2導電型のウェルを形成し、
前記第2導電型のウェル内に第1導電型のポケットウェルを形成することを含んでなされ、
前記メモリセル及び不純物拡散領域は前記第1導電型のポケットウェルに形成されることを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項23】
前記第2導電型のウェル内に複数個の第1導電型のポケットウェルが形成され、前記複数個の第1導電型のポケットウェルの各々にk*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、kは行列に配列されたメモリセル配列で行の数であり、8nは列の数)のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域が同時に形成されることを特徴とする請求項22に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項24】
層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜を貫通して前記第1不純物拡散領域に電気的に接続するビットラインを形成することをさらに含むことを特徴とする請求項20または23に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項25】
第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁及び前記基板上に第2ゲート電極スペーサ及び第3ゲート電極スペーサを形成することは、
前記第3絶縁膜を前記半導体基板及び前記積層ゲート構造上に形成し、
前記第3絶縁膜上に導電膜を形成し、
前記導電膜の全面再エッチングして前記積層ゲート構造の両側壁上にだけ残すことを含んでなされることを特徴とする請求項20または23に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項26】
前記半導体基板を準備することは、
前記半導体基板上に前記第1絶縁膜を形成し、
前記第1絶縁膜上に前記フローティングゲートのためのフローティングゲート電極膜を形成し、
前記導電膜、第1絶縁膜及び基板の一部をエッチングして素子分離のためのトレンチを形成し、
前記トレンチを絶縁物質で満たして素子分離膜を形成することを含むことを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ素子形成方法。
【請求項27】
行列に配列されたメモリセルと、
前記メモリセルの各々の両側の基板に自己整列されたソース領域及びドレイン領域、列方向に隣接した一対のメモリセルはソース領域を共有し、行方向の共有されたソース領域は互いに連結されて共通ソースラインを形成し、
列方向のドレイン領域に電気的に連結されるビットラインとを含み、
前記メモリセルの各々は半導体基板上に第1絶縁膜を間に置いて積層されたフローティングゲート、第2絶縁膜及びコントロールゲートからなる積層ゲート構造、および第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構造の両側壁上に自己整列された第1選択ゲート及び第2選択ゲートを含み、
前記コントロールゲートは行方向に伸ばしてワードラインを形成し、前記第1選択ゲート及び第2選択ゲートは行方向に伸ばして各々第1選択ライン及び第2選択ラインを形成することを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項28】
前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインには互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項27に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項29】
前記半導体基板はn型ウェルによって分離された複数個のp型のポケットウェルを含み、
前記p型のポケットウェルの各々は、
2k−1*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、2k−1は列方向に配列されたメモリセル個数であり、8nは行方向に配列されたメモリセル個数)のメモリセル及びこれらメモリセルの各々の両側の第1及び第2不純物拡散領域を含むことを特徴とする請求項27に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項30】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリング方式からなることを特徴とする請求項29に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項31】
前記メモリセルのうち選択メモリセルに対するプログラム動作は、
前記選択メモリセルの選択ワードラインにはプログラム電圧(Vpp)を印加し、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには接地電圧(0V)を印加し、前記選択ビットライン外の非選択ビットラインには動作電圧(Vcc)を印加し、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し、前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記第2選択ライン、前記共通ソースライン及び前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって実行されることを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項32】
前記p型ポケットウェルのうち選択ポケットウェルに配列された選択メモリセルに対する消去動作は、
ビットライン、共通ソースライン、第1選択ライン及び第2選択ラインはフローティングさせ、
前記選択メモリセルに連結された少なくとも一つの選択ワードラインには接地電圧(0V)を、前記少なくとも一つの選択ワードライン外の非選択ワードラインはフローティングさせ、
前記選択ポケットウェルには消去電圧(Vee)を、前記選択ポケットウェル外のポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項33】
選択メモリセルに対する読み出し動作は、
共通ソースライン、そして前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択メモリセルの選択第1選択ラインには動作電圧(Vcc)を、前記選択第1選択ライン外の非選択第1選択ラインには接地電圧(0V)を印加し、
第2選択ラインには動作電圧(Vcc)を印加し
前記選択メモリセルに連結された選択ビットラインには第1読み出し電圧(Vread1)を、前記選択ビットライン外のビットラインには接地電圧(0V)を印加し、
前記選択メモリセルの選択ワードラインには第2読み出し電圧(Vread2)を、前記選択ワードライン外の非選択ワードラインには遮断電圧(Vblock)を印加することによって行われることを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項34】
n型ウェル及び前記n型ウェル内に形成されたp型ポケットウェルを含むp型半導体基板と、
第1絶縁膜を間に置いて前記p型ポケットウェル上に形成されたフローティングゲート、第2絶縁膜及びコントロールゲートからなる積層ゲート構造と、
前記半導体基板及び前記積層ゲート構造上に形成された第3絶縁膜と、
前記第3絶縁膜を間に置いて前記積層ゲート構の造両側壁上に自己整列された第1選択ゲート及び第2選択ゲートと、
前記第1及び第2選択ゲート両側のp型ポケットウェルに各々自己整列されたn型ドレイン領域及びn型ソース領域を含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項35】
前記第1選択ゲート及び前記第2選択ゲートには互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項36】
前記メモリセルに対するプログラム動作は前記コントロールゲートにはプログラム電圧Vppを、前記第1選択ゲートには動作電圧(Vcc)を、そして前記ドレイン領域、前記第2選択ゲート、前記ソース領域及び前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を印加することによって行われることを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項37】
前記ソース領域及び前記p型ポケットウェルには接地電圧(0V)を、前記ドレイン領域には第1読み出し電圧(Vread1)を、前記コントロールゲートには第2読み出し電圧(Vread2)を、前記第1及び第2選択ゲートには動作電圧(Vcc)を各々印加することによって前記フローティングゲートに貯蔵された電荷の有無を感知することを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項38】
半導体基板に行列に配列された複数個のフローティングゲート電極と、
各々が行方向の複数個のフローティングゲート電極の上部を走る複数個のワードラインと、
各々のワードライン両側壁及びその下部のフローティングゲート電極の両側面上に自己整列された第1選択ライン及び第2選択ラインと、
第1選択ライン外側の半導体基板に形成されたドレイン領域と、
各々が対応する列方向のドレイン領域に連結され、前記ワードラインに直交する複数個のビットラインと、
第2選択ライン外側の半導体基板に形成されたソース領域とを含み、
行方向のソース領域は互いに連結されて共通ソースラインを形成し、
前記半導体基板は複数個のポケットウェルを含み、前記複数個のポケットウェルの各々はk*8n個(ここで、n及びkは自然数であり、kは行列に配列されたフローティングゲート電極配列で行の個数、8nは列の個数)のフローティングゲート電極を含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【請求項39】
列方向の隣接したメモリセルはそれらの間のドレイン領域を互いに共有することを特徴とする請求項38に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項40】
前記メモリセルに対するプログラム、消去及び読み出し動作で前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインに互いに独立にバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項38に記載の不揮発性メモリ素子。
【請求項41】
前記メモリセルに対するプログラム動作はF−Nトンネリングによって行われることを特徴とする請求項38に記載の不揮発性メモリ素子。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図11A】
【図11B】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図14A】
【図14B】
【図15A】
【図15B】
【図16A】
【図16B】
【図17A】
【図17B】
【図18A】
【図18B】
【図19A】
【図19B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図11A】
【図11B】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図14A】
【図14B】
【図15A】
【図15B】
【図16A】
【図16B】
【図17A】
【図17B】
【図18A】
【図18B】
【図19A】
【図19B】
【公開番号】特開2006−93695(P2006−93695A)
【公開日】平成18年4月6日(2006.4.6)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2005−267432(P2005−267432)
【出願日】平成17年9月14日(2005.9.14)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】416,Maetan−dong,Yeongtong−gu,Suwon−si Gyeonggi−do,Republic of Korea
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年4月6日(2006.4.6)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年9月14日(2005.9.14)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】416,Maetan−dong,Yeongtong−gu,Suwon−si Gyeonggi−do,Republic of Korea
【Fターム(参考)】
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