3DIC方法および装置
【解決手段】 切り分けられたダイまたはウェハのような素子を3次元的に集積する方法および切り分けられたダイまたはウェハのような素子が接続された集積構造。ダイまたはウェハの一方または両方は、その中に形成された半導体デバイスを有する。第1コンタクト構造を有する第1素子は、第2コンタクト構造を有する第2素子に接着される。第1、第2コンタクト構造は、接着の際に露出されることが可能で、また接着の結果、電気的に接続される。接着後にビアがエッチングされるとともに埋め込まれて電気的配線を露出および形成して第1、第2コンタクト構造を接続するとともに、この電気的配線への表面からの電気的なアクセスが可能になる。または、第1、第2コンタクト構造は接着の際に露出されず、接着後にビアがエッチングおよび埋め込みされて第1、第2コンタクト構造が電気的に接続されるとともに接続された第1、第2コンタクト構造への電気的なアクセスが得られる。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【0001】
本出願は、現在米国特許第6,500,794である出願番号09/532,886、出願番号10/011,432、出願番号10/359,608、現在米国特許第6,867,073である出願番号10/688,910、出願番号10/440,099に関連しており、これらの内容の全ては、参照することによって本明細書に組み込まれる。
【技術分野】
【0002】
本発明は、3次元集積回路の分野に関し、より詳しくは、直接ウェハ接着を用いた3次元集積回路デバイスおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0003】
半導体集積回路(IC)は、典型的には、シリコンウェハ内およびその表面上に形成され、この結果、ICが大きくなるに連れてIC面積が大きくならねばならない。IC内のトランジスタが小さくなるという絶え間ない向上(これは、一般にムーアの法則と呼ばれる)によって、所与のIC面積内のトランジスタの数が実質的に上昇した。しかしながら、トランジスタの密度が上がったにも係らず、多くの応用例において、全IC面積の増加が望まれる。その理由は、必要なトランジスタの数が一層多くなっていることや、特定の機能を達成するためにトランジスタ相互間の水平方向での接続の数が増えていることである。これらの応用例を1つの大きなICダイで実現すると、典型的には、チップの歩留まりが減少する結果となり、ひいてはICのコストが増大する結果となる。
【0004】
IC製造の別の傾向は、1つのIC内でのタイプの異なる回路の数を増やすことである。これは、より一般的には、システム・オン・チップ(SoC)と呼ばれる。このように製造することによって、典型的には、タイプが異なる回路を作製するためにマスクの階層の数が増大することが必要になる。マスクの階層を増やすことによっても、典型的には、歩留まりの減少、ひいてはICコストの増大という結果になる。このように望ましくない歩留まりの減少やコストの増加を回避するための解決策は、ICを垂直に積み上げたり垂直に接続したりすることである。これらのICは、大きさが異なっていても構わないし、大きさの異なるウェハから作られていても構わないし、相違する機能(すなわち、アナログ、ディジタル、光学的)であっても構わないし、相違する材料(すなわち、シリコン、GaAs、InP)から作られていても構わない。ICは、積み上げられる前に検査されてノウン・グッド・ダイ(KGD)が結合されるようにして歩留まりを向上することが可能である。このように垂直積み上げや垂直配線の手法の経済的な成功は積み上げや接続の歩留まりおよびコストに依存し、このことはICおよびSoC面積を広くすることに関連する歩留まりおよびコストよりも有利である。この手法を実現する製造可能な方法は、直接接着を用いてICを垂直に積み上げることと、ウェハを薄くすることや、フォトリソグラフィー・マスキングや、ビアのエッチングや、配線の金属化を含む従来のウェハ製造技術を用いて垂直配線構造を形成することである。積み上げられたIC同士の間の垂直な電気的な相互接続は、直接接着しながら積み上げた結果直接的に、または直接接着しながら積み上げた後の一連のウェハ製造技術の結果、形成されることが可能である。
【0005】
この手法の垂直相互接続部分のコストは、ビアをエッチングすることと電気的配線を形成することに必要なフォトリソグラフィー・マスキングの階層の数に直接関係する。よって、垂直な配線を形成するのに必要なフォトリソグラフィー・マスキングの階層の数を最小にすることが望ましい。
【0006】
垂直積み上げおよび垂直相互接続の1つの形は、(基板上の)ICがフェース・トゥー・フェースで、すなわち、IC側同士を向けて接続されることである。この形は、ウェハ対ウェハの形式で行なわれ得るが、典型的には、ダイ対ウェハの形式で行なわれることが好ましい。ダイ対ウェハの形式では、接着されるダイをIC側を下にし、IC側を上にしたウェハにダイが接着される。これにより、ノウン・グッド・ダイの積み上げを可能にして歩留まりを向上させる。垂直の相互接続は、例えば出願10/359,608において説明されているように積み上げの結果直接、または直接接着での積み上げの後の一連のウェハ製造技術の結果、形成され得る。この、直接接着での積み上げ後の一連のウェハ製造技術は、典型的には、以下を含んでいる。ダイが、典型的には、ダイ基板の大半を除去することによって実質的に薄くされる。ダイ基板は、一般に、基板内にトランジスタが位置している故に、完全に除去されることは許されない。これは、例えばバルクCMOS ICの場合がそうである。こうして、基板は、典型的には、実行可能な範囲で可能な限り除去され、トランジスタへのダメージを回避するのに十分な基板の残留物が残る。次に、ダイICへの配線が、残存する基板を貫いてダイIC内の配線の位置に達するビアを、このビアの近くに必要なトランジスタが無いようにエッチングすることによって形成される。さらに、最高の配線密度を達成するために、このビアをダイICの全体を貫いてウェハIC内に至ってウェハIC内の接続位置まで継続することが好ましい。このビアは、典型的には、ダイICおよびウェハIC内で接続位置からの所望の電気的絶縁を提供する絶縁性材料を貫いて延び、またダイICおよびウェハIC内の所望の電気的接続位置を露出する。このビアの形成後、ダイICおよびウェハIC内の露出された所望の電気的接続位置への垂直配線が、導電性材料によって形成されることが可能である。導電性材料とビア側壁上の露出された基板との間の絶縁層が用いられて、この導電性材料と基板との間の望ましくない電気伝導が回避され得る。
【0007】
この構造を製造することは、典型的には、4つのフォトリソグラフィー・マスキング階層を形成することを必要とする。これらの階層は、1)基板を貫くビアのエッチング、2)ダイICおよびウェハIC内で所望の導電性材料を露出するダイICおよびウェハIC内の絶縁性材料を貫くビアのエッチング、3)ダイIC内の接続位置をウェハIC内の接続位置に接続する導電性材料を電気的に絶縁する続けて堆積された絶縁層を貫いてダイICおよびウェハIC内で所望の導電性材料を露出する露出された基板ビア側壁へのビアのエッチング、4)ダイIC内の露出された配線位置とウェハIC内の露出された配線位置との間の導電性材料を用いた接続、である。
【0008】
絶縁性材料を貫くビアのエッチングを規定するパターンは、典型的には、基板を貫くビアのエッチングを規定するパターンより小さい。これは、ダイICおよびウェハIC内の配線点を適切に露出するとともに基板ビア側壁上の絶縁性材料を除去することを回避するためである。これらのパターンは、基板内のビアの形成後に形成され、このパターニングは、典型的には、基板ビアのパターニングよりも位置的に下の階層で行なわれる。これは、非平坦な構造上にパターニングを行なう結果となる。このことは、最高の配線密度を達成するために望ましい構造のスケーリングを非常に小さなものへと限定するとともに、最も可能性の低いシリコン基板を削ることになる。この削られる基板には、削られなかったならば機能性トランジスタが位置し得たところである。
【0009】
従って、より少ないマスキング工程および構造内の位置的に最も高い階層またはその1つにおける平坦面上への実現可能なマスキング工程を必要とする構造およびその構造の製造方法を具備するデバイスを有することが望ましい。機能性トランジスタが位置し得るシリコンの消費が最小にする構造を有する装置および前記の構造を製造するための方法を有することがさらに望ましい。
【発明の開示】
【0010】
本発明は、3次元デバイス集積方法および3次元的に集積されたデバイスに向けられている。
【0011】
本方法の一例では、第1コンタクト構造を有する第1素子が第2コンタクト構造を有する第2素子と集積される。本方法は、少なくとも前記第1コンタクト構造に対して露出されたビアを前記第1素子内に形成し、少なくとも前記第1コンタクト構造と接続された導電性材料を前記ビア内に形成し、前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着する、工程を含み得る。
【0012】
第2例では、本方法は、第1素子内にビアを形成し、前記ビア内に第1導電性材料を形成し、前記第1導電性材料を前記第1コンタクト構造に接続し、前記第1素子を、前記第1コンタクト構造および前記第1導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように、前記第2素子に接着する、工程を含み得る。
【0013】
第3例では、本方法は、第1基板を有する第1素子内にビアを形成し、前記ビア内に導電性材料を形成し、前記ビアおよび前記導電性材料の形成後、前記導電性材料に電気的に接続されたコンタクト構造を形成し、少なくとも1つの第2コンタクト構造を有する第2素子を形成し、前記第1基板の一部を除去して前記ビアおよび前記導電性材料を露出し、前記第1基板を前記第2基板に接着し、前記接着する工程の一部として、前記第2コンタクト構造と、前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちのの1つと、の間を接続する、工程を含み得る。
【0014】
本発明に係る集積構造の一例では、第1素子は第1コンタクト構造を有し、第2素子は第2コンタクト構造を有し、第1ビアが前記第1素子内に形成され、第1導電性材料が前記第1ビア内に形成され且つ前記第1コンタクト構造と接続され、前記第1導電性材料および前記第1コンタクト構造のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように第1素子が前記第2素子に接着される。
【図面の簡単な説明】
【0015】
本発明およびこれに伴う多くの利点に対するより完全な理解は、これらを、添付の図面とともに検討しながら以下の詳細な説明を参照することによってより良く理解されるに従って、容易に得られるであろう。
【図1】フェース・アップのウェハにフェース・ダウンで接着されるダイを示す図である。
【図2A】基板に接着されたダイの図である。
【図2B】ダイの基板の一部が除去された形の、基板に接着されたダイの図である。
【図2C】別の基板に接着された基板の図である。
【図3A】図2Aの構造を覆うように絶縁膜およびマスク層を形成することを示す図である。
【図3B】平坦化材料形成後に絶縁膜およびマスク層を形成することを示す図である。
【図4】図3Aおよび図3Bの絶縁膜およびマスク層内に形成された開口を示す図である。
【図5】図4のように形成された開口を用いてダイをエッチングすることを示す図である。
【図6A】さらにエッチングしてダイおよびウェハ内のコンタクト構造を露出することを示す図である。
【図6B】ハード・マスクの形成を含んだ、工程の変形体の図である。
【図7A】コンフォーマル絶縁側壁層形成後の図6Aの構造の一部を示す図である。
【図7B】ハード・マスクが除去されている、実施形態の変形体である。
【図8A】コンフォーマル絶縁側壁層を異方性エッチングすることを示す図である。
【図8B】ハード・マスクが除去されている、実施形態の変形体である。
【図8C】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8D】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8E】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8F】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8G】コンフォーマル膜のエッチング後の図8C内の構造を示している。
【図8H】コンフォーマル膜のエッチング後の図8D内の構造を示している。
【図8I】コンフォーマル膜のエッチング後の図8E内の構造を示している。
【図8J】コンフォーマル膜のエッチング後の図8F内の構造を示している。
【図8K】接着された構造内で側壁膜を形成する代替的なやり方を示している。
【図9A】金属シード層および金属埋め込み材を具備する金属コンタクトを形成することを示す図である。
【図9B】ハード・マスクが除去されている、実施形態の変形体である。
【図9C】シード層が形成されない、実施形態の変形体である。
【図10A】化学的機械研磨後の図9Aおよび図9Bの構造の図である。
【図10B】化学的機械研磨後の図9Cの構造の図である。
【図10C】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図10D】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図10E】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図10F】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図11】図10Aの構造の金属被覆を示す図である。
【図12】介在する絶縁層無しでマスク層を用いる第2実施形態の図である。
【図13】第2実施形態で金属コンタクトを形成することを示す図である。
【図14】化学的機械研磨後の図13の構造を示す図である。
【図15】本発明の別の実施形態を示す図である。
【図16A】装置の1つの表面にコンタクト構造が位置する実施形態を示す図である。
【図16B】さらなる処理後の図16Aの構造の図である。
【図17】図16Aおよび図16Bに示される構造を用いて本発明に従った方法を用いて製造されたデバイスを示す図である。
【図18】本発明の別の実施形態の図である。
【図19A】図18に示される構造を用いて本発明に従った方法を用いて製造されたデバイスを示す図である。
【図19B】図19Aの構造上に形成された平坦化材料およびコンタクトを有する構造を示している。
【図19C】図19Aに類似するが開口を有さない、直接接着されたコンタクトを示している。
【図20A】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20B】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20C】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20D】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20E】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20F】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20G】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20H】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図21A】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21B】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21C】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21D】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21E】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図22A】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22B】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22C】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22D】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22E】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22F】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22G】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22H】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22I】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22J】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22K】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22L】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図23A】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23B】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23C】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23D】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23E】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23F】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23G】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23H】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23I】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23J】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23K】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23L】トップ・ダウンおよびトップ・アップ構成における、埋め込まれたビアを有する構造を接着することを示している。
【図23M】第2階層を接着することを示している。
【図23N】第2階層を接着することを示している。
【図23O】ウェハ対ウェハ接着を示している。
【図24A】ダイがトップ・アップで搭載される、第8実施形態の変形体を示している。
【図24B】ダイがトップ・アップで搭載される、第8実施形態の変形体を示している。
【図25A】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25B】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25C】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25D】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25E】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25F】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図26A】埋め込まれたビアおよび表面コンタクトを有する第10実施形態を示している。
【図26B】埋め込まれたビアおよび表面コンタクトを有する第10実施形態を示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
図面、特に図1を参照して、本発明に従った第1実施形態が説明される。図面は実際の比率で描かれているのではなく、本発明の概念を示すために描かれていることに留意されたい。
【0017】
基板10は、コンタクト領域12を有するデバイス領域11を含んでいる。基板10は、所望の適用例に応じて、多数の材料、例として半導体材料または絶縁性材料から構成可能である。典型的には、基板10はシリコンまたはIII−V材料から構成される。コンタクト構造12は、典型的には、基板10内に形成されたデバイスまたは回路構造(図示せず)へのコンタクトを形成する金属パッドまたは配線構造である。基板10は、また、コンタクト構造12と接続される集積回路を含んでおり、基板10はコンタクト構造のみを含んだモジュールであり得る。例えば、基板10は、基板10に接着された構造同士を接続するためのモジュール、またはパッケージ化または別のモジュールまたは例えばプリント回路基板上の回路構造との集積のための接続をもたらすモジュールであり得る。
【0018】
表面13上において基板10に接着されるために配置されているのは、3つの分離されたダイ14乃至16である。各ダイは、基板部19と、デバイス領域18と、コンタクト構造17とを有している。ダイは、ダイシング等によって前もって分割され得る。ダイ14乃至16は、所望の適用例に応じて、多数の材料、例として半導体材料から構成可能である。典型的には、基板は、シリコンまたはIII−V材料から構成される。コンタクト構造17は、典型的には、デバイス領域18内に形成されたデバイスまたは回路構造へのコンタクトを形成する金属パッドまたは配線構造である。コンタクト構造12、17の大きさは、それぞれ相違し得る。コンタクト構造の大きさの典型的な範囲は1乃至20ミクロンであるが、大きさおよび相対的な大きさは、位置合わせの許容量、回路設計パラメータ、他の要因に応じてこの範囲外であってもよい。コンタクト構造の大きさは、発明の概念を説明することに向けられており、限定することを意味しない。デバイス領域18は、また、コンタクト構造17と接続された集積回路を含み得る。実質的に全ての基板部19が除去され、デバイスの層、回路、回路層が残され得る。また、ダイ14乃至16の基板は、接着後に所望の厚さまで薄くされる。
【0019】
ダイ14乃至16は、ウェハ10と同じ技術で作られてもよいし、別の技術で作られてもよい。ダイ14乃至16は、各々、同じまたは相違するデバイスまたは材料であり得る。ダイ14乃至16の各々は、デバイス領域18に形成されたコンタクト構造17を有する。導電構造17は、相互に離されて間隔が形成される。または、コンタクト構造の両端に亘る開口を有する単一の構造であってもよい。換言すれば、開口は、コンタクト構造内に位置する穴であり得るし、またはコンタクト構造を2つに分割し得る。間隔または開口の大きさは、接着の最中の具体的な技術についてのフォトリソグラフィー上のデザイン・ルールによって決定され得る。例えば、配線金属との信頼の置ける低抵抗の電気的接続を後に形成するためのコンタクト構造12、17の水平方向の最小幅が要求される。
【0020】
間隔または開口の最適な大きさを決定するさらなる要因は、コンタクト構造17、12間の垂直方向の距離にコンタクト構造17の厚さを加えたものの、間隔または開口の大きさに対する比率である。これによって、コンタクト構造17、12間の電気的接続を可能にする、コンタクト構造17、12間に後に形成されるビアのアスペクト比が規定される。この垂直方向における距離は、酸化物対酸化物直接接着用には、米国出願番号09/505,283(この内容は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に記載されているように、1乃至5ミクロン、またはそれ以下であり、金属直接接着については、米国出願番号10/359,608(この内容は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に記載されているように、ほぼゼロである。さらに、コンタクト構造17の厚さは、典型的には、0.5乃至5ミクロンである。用いられる処理技術に応じた典型的な所望のビアのアスペクト比0.5乃至5の場合、間隔の大きさの典型的な範囲は、酸化物対酸化物接着については0.3乃至20ミクロンであり、金属直接接着については0.1乃至10ミクロンである。金属直接接着の事例は、後に、第4実施形態において説明される。
【0021】
ダイ14乃至16は、一般に、コンタクト構造17および間隔または開口が対応するコンタクト構造12の上方に位置するように、コンタクト12に位置合わせされる。コンタクト構造12の大きさは、ダイ14乃至16がコンタクト構造17相互間の間隔に単に揃うことが可能になるように選択される。この大きさは、ダイ14乃至16を基板10上に配置するのに用いられる方法の位置合わせ精度に依存する。市販の製造ツールを用いた典型的な方法によれば、位置合わせ精度は1乃至10ミクロンの範囲が可能である。しかしながら、これらのツールが将来に亘って改良されることによって、位置合わせ精度がより小さくなる結果になると思われる。コンタクト構造17の水平方向の間隔または開口を超えた広がりは、少なくともこの位置合わせ精度によって与えられる距離であることが好ましい。
【0022】
各ダイ14乃至16について1組のコンタクト構造17のみが示されているが、コンタクト構造17の横方向の広がりは、典型的には、ダイ14乃至16の水平方向の広がりよりもずっと小さい。この結果、各ダイが幾つものまたは非常に多くのコンタクト構造17を有し得る。例えば、コンタクト構造17は、水平方向の広がりが1乃至100ミクロンの範囲内にあり、ダイ14乃至16は、水平方向の広がりが1乃至100mmの範囲内にある。このように、ダイ14乃至16内の104以上の次数を有するコンタクト構造17の数が、実用上、実現可能である。
【0023】
図2Aに示されているように、ダイ14の表面20が、基板10の表面13に接着される。これは、多くの方法によって達成することができるが、室温で、米国出願番号09/505,283に記載のような接着方法を用いて接着されることが好ましい。この出願では、500乃至2000mJ/m2の範囲内の強度の接着、すなわち化学結合が形成される。ダイ14乃至16を基板10に接着することが、図2に示されている。接着後、ダイ14乃至16の基板が薄くされる。薄くすることは、研磨、研削、エッチング、またはこれら3つの技術の組合せによって達成されて、薄くされた基板21が残されるか、基板部19が完全に除去される。図2Bは、基板部19が完全に、または実質的に完全に除去された例を示している。ダイ14乃至16の基板が接着に先立って薄くされてもよい。
【0024】
一例では、コンタクト12、17がその中に形成される材料は、化学気相成長(CVD)またはプラズマCVD(PECVD)、スパッタリング、蒸発によって形成された、SiO2のような堆積された酸化物である。窒化シリコン、アモルファス・シリコン、ポリマー、半導体、焼結材料のような他の材料が用いられてもよい。また、堆積された酸化物の層が、ダイ上に形成され得る。
【0025】
次に、表面同士が直接接着技術によって接着される。好ましくは、あらゆるタイプの酸化接着が用いられ得、特に、低温または室温酸化接着が用いられ得る。接着技術には、表面13、20の平坦化および平滑化が含まれていてもよい(表面20は、ダイの切り取り前に準備され得る)。このステップは、化学的機械研磨を用いて達成されることが可能である。表面は、好ましくは、約0.5乃至1.5nm以下、好ましくは0.5nm以下、のラフネスまで研磨され、実質的に平坦である。表面ラフネスの値は、典型的には、平方2乗平均(RMS)値によって与えられる。また、表面ラフネスは、RMS値とほぼ同じである、平均値として与えられてもよい。研磨後、表面は洗浄および乾燥されて研磨工程に由来するあらゆる残留物が除去される。次いで、研磨された表面が溶液によって洗浄されるのが好ましい。
【0026】
接着面が研磨に先立ってエッチングされて平坦性および/または表面ラフネスを向上させてもよい。このエッチングは、接着面上の特に高い部分を、例えば標準的なフォトリソグラフィー技術を用いてこの高い部分を選択的にエッチングすることによって除去するのに効果的であり得る。
【0027】
接着技術には、活性化処理が含まれ得る。この活性化処理には、エッチング処理が含まれ得、また、好ましくはベリー・スライト・エッチ(VSE)処理が含まれ得る。用語VSEは、極わずかにエッチングされた表面の2乗平方根のマイクロ・ラフネス(RMS)が、ほぼ、エッチングされてない値のままであること、典型的には<0.5nm、および好ましくは0.5nm乃至1.5nmの範囲内にあることを意味する。除去される材料の最適な総量は、材料および除去に用いられる方法に依存する。除去される典型的な量は、オングストロームから数ナノメートルに亘る。より多くの量、材料を除去することも可能である。
【0028】
用語VSEは、望ましくない有機的汚染物を、意図して表面上に堆積された材料、例として酸化シリコンを除去することなく、表面から除去することも指し得る。従って、望ましくない有機的汚染物を除去することによって、RMSが減少し得る。
【0029】
活性化処理は、相違するモードで実行されるプラズマ処理とすることができる。例えば、ArまたはOプラズマである。反応性イオン・エッチング(RIE)およびプラズマ・モードが用いられ得、誘導結合型プラズマ・モード(ICP)も同様に用いられ得る。スパッタリングも用いられ得る。例は、以下において、RIEおよびプラズマ・モードにおいて提示される。
【0030】
または、その最中に活性化するとともに所望の終端種によって表面を終端するポストVSE処理が用いられ得る。
【0031】
表面は、活性化の後に、好ましくは表面の原子層に一時的な結合を形成する所望の種によって終端され、結果、この表面が同じまたは別の結合種によって終端された表面と一緒にされ得ることが可能な次の機会まで原子層を終端する。複数の表面上の所望の種同士は、互いに十分に近づいたときに好ましくは相互に反応し、低温または室温での化学結合を可能にする。この結合は、反応した所望の種の結合界面からの拡散および解離または拡散によって強化され得る。
【0032】
この終端処理には、結合表面を所望の種で終端する結果となる表面反応を生成するように選択された化学物質を含んだ溶液に浸漬することが含まれ得る。Nを基礎とする溶液、例としてNH4OHが用いられ得る。この浸漬することは、好ましくは、活性化処理の直後に実行される。終端処理は、プラズマ、RIE、または適切な気体成分が導入されて表面を所望の種で終端するドライ処理からなり得る。
【0033】
表面は、任意で洗浄され、その後、乾燥される。2つの表面は、(必要であれば)両者を位置合わせするとともにこれらを合わせて接着界面を形成することによって接着される。この2つの表面は、例えば、例えば市販の接着装置(図示せず)を用いて接着界面を開始することによって合わせられる。
【0034】
次いで、典型的には、接着界面の幾つかの箇所で自然接着が発生し、表面の全体に伝播する。最初の接着が伝播し始めると、表面同士が十分に近いのであれば、化学結合につながるポリマー化のような化学反応が表面の集結に用いられている種相互間で生じる。こうして、ウェッジを挿入することによって一部剥離された接着界面における分離された2つの表面のうちの一方の比表面エネルギーとして定義される結合エネルギーによって強固な結合が形成される。この化学反応の副産物は、接着界面から拡散し得、また典型的には周囲の物質において吸収され得る。また、この副産物は、別の副産物へと変換され、拡散し、また吸収され得る。共有結合および/またはイオン結合の量は、変換された種を除去することによって増やされ、結果、結合強度が増加する。
【0035】
図2Aでは、3つのダイが1つの基板10に接着されることが示されているが、より多くのまたはより少ない数のダイが基板10に接着されることも可能である。また、基板10と同様の大きさの別の基板を接着することが可能である。これは、図2Cに示されており、図2Cにおいて、デバイス領域23を有する基板22が、離された導電構造24が概して導電構造12と揃うようにウェハ10に接着される。接着前に基板22が薄くされあるいは除去されて位置合わせが容易にされ得る。基板22は、接着後、薄くされ得、所望により、基板22の実質的に全体が除去され得る。以下の図面において説明される手順は、図2B、図2Cに示される構造にも適用可能であるが、簡略化のために、個別の図面が省略される。
【0036】
図3Aに示されるように、コンフォーマル(conformal)な絶縁膜30が基板10およびダイ14乃至16の表面13を覆うように形成される。この膜は、例えば、CVD、PVD、PECVDによって形成され得、好ましくは典型的な厚さが0.1乃至1.0ミクロンのシリコン酸化膜のような酸化膜から構成され得る。また、堆積された、またはスピン塗布または堆積された酸化物のような埋め込み材またはポリイミドまたはベンゾシクロブテンのようなポリマー32が、図3Bに示されるように、ダイ14乃至16を覆うように、また/またはこれらの間に形成され得る。材料32は、処理の様々な時点での形成が可能である。図3Bは、材料32が膜30、40の形成前に形成される例を示している。また、埋め込み材料は、図3Aに示される構造の形成後、またはハード・マスク40の形成後(図4)、または選択された材料および温度の検討項目のような多くの要素に基づいて処理の中の様々な時点で、形成されてよい。埋め込み材料を形成するために、別の技術が用いられてよい。例えば、例えばシリコン酸化物の絶縁性の埋め込み材が、例として上記の方法を用いた連続するまたは繰り返しの絶縁体形成ステップおよび化学的機械研磨によって、用いられ得る。または、例えば電解メッキ法によって形成された例えば金属の導電性の埋め込み材が、連続するまたは繰り返しの金属形成ステップや化学的機械研磨によって、用いられ得る。平坦な表面を有することによって、この表面上へのフォトレジストおよび他の膜の形成や、例えば図4に示す開口41のような開口の形成が改善される。
【0037】
続いて、ハード・マスク40が、絶縁膜30上に形成され、開口41が概して構造17と揃うようにパターニングされる(図4)。ハード・マスクは、薄くされた基板21およびデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアをエッチングするのに用いられる後続のエッチング処理に対して高いエッチング選択性を有する材料からなることが好ましい。ハード・マスクの例は、アルミニウム、タングステン、プラチナ、ニッケル、モリブデンであり、エッチング処理の例は、SF6に基づいた反応性イオン・エッチングで薄くされたシリコン基板を貫いてビアをエッチングし、続いてCF4に基づいた反応性イオン・エッチングでデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアをエッチングすることである。ハード・マスク40の典型的な厚さは、0.1乃至1.0ミクロンである。開口40の幅は、薄くされた基板21の厚さやコンタクト構造17相互間の間隔を含む多くの要素に依存するが、典型的には1乃至10ミクロンである。
【0038】
開口41は、ハード・マスク40や絶縁膜30に対する標準的なフォトリソグラフィーでのパターニングやエッチング技術を用いて形成される。例えば、フォトリソグラフィーを用いたフォトレジスト内に開口が形成されることが可能である。この開口は、ダイ14乃至16(または基板22)、または基板10上の位置合わせマークに合わせられることが可能である。光学的イメージングまたはIRイメージングが、位置合わせに用いられることが可能である。次に、ハード・マスク40が、ハード・マスクの材料に応じて適切なウェット化学溶液またはドライ反応性イオン・エッチング処理によってエッチングされることが可能である。こうして、開口内で絶縁膜30が露出される。次に、絶縁膜30が、ハード・マスク40の場合と同様のやり方で、絶縁膜の材料に応じて適切なウェット化学溶液またはドライ反応性イオン・エッチングによってエッチングされることが可能である。ハード・マスク用のウェット化学溶液の例は、ハード・マスクがアルミニウムの場合は、Aluminum Etchant Type Aである。絶縁膜材料用の反応性イオン・エッチング処理の例は、絶縁膜材料が酸化シリコンの場合、CF4に基づいた反応性イオン・エッチングである。これらの、およびその他のハード・マスクおよび絶縁膜材料に対して、他の多くのウェットおよびドライ・エッチングが可能である。開口41の幅は、開口がダイ14乃至16(または基板22)に位置合わせされている場合は、構造17の間隔よりも広いことが好ましく、または開口が下側の基板20に位置合わせされている場合は、構造17の間隔に基板20上にダイ14乃至16(または基板22)を配置するのに用いられる方法の位置合わせ精度を加えた間隔よりも広いことが好ましい。
【0039】
図5に示されているように、ハード・マスク40を用いてダイ14乃至16の基板部がエッチングされてビア50が形成される。このエッチングは、コンタクト構造12、17に隣接する材料(これらは典型的には絶縁膜である)を貫いて継続され、導電性材料17の裏面および横部分とコンタクト構造12の上面が露出される。気体および条件の第1の組が用いられて(例えばSF6に基づいて)ダイ14乃至16の基板材料を貫いてエッチングが行なわれ得、気体および条件の第2の組(例えばCF4に基づいて)が用いられてコンタクト構造17の周囲の絶縁層を貫いてエッチングが行なわれる。両方のエッチングは、真空を破ることなく適切に気体および条件を切り替えることによって、1つのチャンバ内で実行され得る。導電性材料12を露出するエッチングは、図6Aに示されている。このエッチングによって、コンタクト構造17の間隔または開口を貫いてコンタクト構造12まで延びるビア部60が生成される。
【0040】
コンタクト構造12、17を露出する絶縁膜のビアのエッチングは、コンタクト構造17に対する害となる量のエッチングを回避できるように、コンタクト構造17に対して高いエッチング選択性を有することが好ましい。しかしながら、コンタクト構造17への害となる量のエッチングにつながる、絶縁膜へのビアのエッチングと導電性構造の組合せが幾つか存在する。例えば、この害となる影響は、導電性構造17が十分に薄い場合またはコンタクト構造12、17の間の垂直方向の距離が十分に大きい場合に起こり得る。
【0041】
エッチングの量が害となる例は、酸化シリコン絶縁体に囲まれたアルミニウムのコンタクト構造17と何らかのCF4に基づいた反応性イオン・エッチングの組合せで、酸化シリコン絶縁体に対するアルミニウム導電性構造のエッチング・レートの比が、コンタクト構造12、17間の酸化シリコン絶縁体の厚さに対するコンタクト構造17の厚さの比と同程度か、あるいはこの比よりも高いことである。
【0042】
コンタクト構造17に対して害となる量のエッチングが生じ得る、このような状況では、コンタクト構造17を厚くしたり、コンタクト構造17を絶縁膜へのビアのエッチングから保護するための中間処理を付加することができる。中間処理が用いられて、以下のように、有害なエッチングを回避することができる。絶縁体のエッチングで最初に上側コンタクト構造17の裏面および横部分が露出された際に、金属材料のようなハード・マスクが、絶縁体へのエッチングを継続することでコンタクト構造17への有害なエッチングという結果になる前に、コンタクト構造17の露出された部分上に選択的に堆積されることが可能である。ハード・マスクの選択的な堆積の後、絶縁体のエッチングが、コンタクト構造17への有害なエッチング無しに、継続されることが可能である。ハード・マスクを選択的に堆積する例は、ニッケルの無電解メッキ法である。これは、例えば、図6Bに示されている。図6Bにおいて、エッチングは、コンタクト構造17の露出後であらゆる著しく有害なエッチングが生じる前に停止させられる。次に、コンタクト構造17は、例えば無電解メッキ法を用いて例えばニッケルの保護ハード・マスク材料によって被覆される。ニッケルのような材料は、コンタクト構造12、17を後に接続する際にデバイス内に残っていてよい。または、材料61は、必要であれば、構造12、17の接続を行なう前に除去されてもよい。
【0043】
保護ハード・マスク61が、ハード・マスク40上に選択的に堆積されてもよいことに留意されたい。例は、ハード・マスク40が導電体であり、保護ハード・マスク61の堆積が無電解メッキ法によって達成されることである。これは、ハード・マスク40の必要な厚さを減少させるのに有利である。ハード・マスク40上に保護ハード・マスク材料を堆積するさらなる利点は、ビア50の開口が制約されることによってコンタクト構造17の一部がビア60の異方性エッチングから守られることになることであり得る。図7Aは、後続のステップをより明確に示すために、ダイ14乃至16の1つをより詳細に示している。コンフォーマルな絶縁膜70が、マスク40およびコンタクト構造12、17、ビア50、60の側壁を覆うように形成され、ビア50、60が一部埋め込まれる。適切な絶縁膜の例は、酸化シリコン、窒化シリコン、パリレンである。この絶縁膜は、多くの典型的な堆積法を用いて形成され得る。この堆積法には、物理気相成長法、化学気相成長法、気相成長法が含まれるが、これらに限定されない。物理気相成長法の例はスパッタリングであり、化学気相成長法の例はプラズマ化学気相成長法であり、気相成長法の例は、固体の蒸発と続く熱分解および堆積である。
【0044】
ハード・マスク40、またはハード・マスク40およびコンフォーマルな絶縁膜30は、コンフォーマルな絶縁膜70の形成前に、例えばエッチングによって除去され得る。図7Bは、ハード・マスク40が除去された場合を示している。ハード・マスク40またはハード・マスク40および膜30を除去するためのエッチングがビア50、60によって露出された材料に対して選択的である場合、このエッチングは、マスク無しで行なわれることが可能である。このエッチングがビア50、60によって露出された材料に対して選択的でない場合、ビア50、60内のエッチングの対象のこれらの材料は、適切な材料でマスクされ得る。例えば、ハード・マスク40、コンタクト構造12、17がアルミニウムである場合、ビアは、コンタクト構造12、17が覆われる深さまで、容易に除去可能なスピン塗布される粘性液体で一部埋め込まれる。このビアは、スピン塗布された粘性液体で、ビア50、60の形成に用いられたハード・マスク40によって形成された表面を適切に平坦化する適切なスピン塗布膜厚を最初に選択することによって、一部埋め込まれることが可能である。この膜厚を適用すると、ビアの内部の膜厚が、ビアの外側よりも大幅に厚くなる結果となる。次に、全体の表面を適切にエッチングすることによって、コンタクト構造12、17を覆うビア50、60内のこの材料を残しながら、ハード・マスク40の表面からこの材料が除去される。容易に除去可能なスピン塗布材料および適切なエッチングの例は、それぞれフォトレジストおよびO2プラズマエッチングである。
【0045】
コンフォーマルな膜70が、異方性的にエッチングされて、膜70をビア50、60の側壁上に残しながら、コンタクト構造12、17が露出される。構造17の裏面が露出されて、コンタクト表面面積を増加させるための棚27を形成することが好ましい。この結果、コンタクトの抵抗が減少する。幅1ミクロンを超える典型的な棚27が、コンタクト抵抗を最小にするのに好ましいが、この距離は、デバイスおよびプロセスのパラメータに基づいて様々であろう。図8A、図8Bは、それぞれ、コンフォーマル絶縁膜70の形成前にマスクが除去されないおよびマスクが除去されての、エッチングされたコンフォーマル膜70を示している。膜30、40の両方が層70の形成前に除去されてよい。この場合、コンフォーマル層70のエッチングに続いて、別の絶縁層が、例えば酸化または堆積によって、基板部21(またはデバイス領域18の部分21が完全に除去された部分)上に形成され得る。
【0046】
コンフォーマル膜70に代えて、コンタクト構造12の露出前に別のコンフォーマル膜が形成されてもよい。図8C、図8D、図8E、図8Fにそれぞれ示すように、例えば、ダイ14乃至16の基板部を貫くエッチングの後でコンタクト構造17に隣接する材料内へと至るエッチングの前にコンフォーマル膜71が形成されるか、コンタクト構造17に隣接する材料内へと至ったエッチングの後でコンタクト構造17に達する前にコンフォーマル膜72が形成されるか、コンタクト構造17に達した後でビア60の形成前にコンフォーマル膜73が形成されるか、導電構造17に到達後で且つビア60の一部の形成後でビア60の完成前且つコンタクト構造12への到達前にコンフォーマル膜74が形成される。コンフォーマル膜71、72、73、74は、続いて、異方性的にエッチングされて、ダイ14乃至16の基板部のビア部50上に絶縁性の側壁が形成される。例えば、図8G、図8H、図8I、図8Jにそれぞれ示されるように、コンフォーマル膜71が続けて異方性的にエッチングされてダイ14乃至16の基板部のビア部50上に絶縁性の側壁が形成され得、コンフォーマル膜72が続けて異方性的にエッチングされてダイ14乃至16の基板部のビア部50上およびコンタクト構造17に隣接する材料からなるビア50の上部上に絶縁性の側壁が形成され得、コンフォーマル膜73が続けて異方性的にエッチングされてビア50上の深さ全体に絶縁性の側壁が形成され得、コンフォーマル膜74が続けて異方性的にエッチングされてビア50上の深さ全体およびビア60の上部上に絶縁性の側壁が形成され得る。
【0047】
膜70、71、72、73、74を一様に堆積するとともに続けてこれらの膜を異方性的にエッチングすることによって形成される側壁に代えて、図8Kに示されているように、側壁75が、ビア50内のダイ14乃至16のこの部分がビアによって形成された後に、この基板部上に選択的に形成されることが可能である。側壁75は、コンタクト構造17に隣接する材料に対して優先的に基板部と反応する処理によって形成されることが可能である。例えば、ダイ14乃至16の基板部がシリコンであるとともにコンタクト構造17に隣接する材料が酸化シリコンである場合、酸化シリコンよりもシリコン上を優先的に核とする絶縁体堆積処理が用いられ得る。ここにおいて、絶縁体の堆積が側壁75を構成する。図8Kに示されているように、側壁75は、コンフォーマル膜71の異方性エッチング後のビア50内のコンフォーマル膜71に構造的に類似している。ここで、側壁75は、ダイ14乃至16の基板部を貫くエッチング後でコンタクト構造17に隣接する材料へのエッチング前に形成される。
【0048】
異方性エッチングの際にコンタクト構造17の側面も表面積をさらに増やすとともに接触抵抗を減じるために露出され得る。このことも、図8A、図8Bに示されている。次に、ビア50、60は、金属によってさらに埋め込まれるかあるいは完全に埋め込まれることが可能である。ビア50、60を金属で埋め込む方法には、物理気相成長法(PVD)、または化学気相成長法(CVD)、または電解メッキ法が含まれるが、これらに限定されない。電解メッキ法は、典型的にはPVDまたはCVDよりも厚い膜の堆積に用いられ、典型的には薄いPVDまたはCVDシード層の堆積が先行する。PVDによって形成される膜の例は、スパッタリングされたアルミニウム、パラジウム、チタン、タングステン、チタン−タングステン、または銅であり、CVDによって形成される膜の例はタングステンまたは銅であり、電解メッキ法(無電解メッキ法も含まれる)によって形成される膜の例はニッケル、金、パラジウム、銅である。
【0049】
図9Aは、マスク電解メッキ法の例を示している。マスク電解メッキ法によって、まず金属シード層90が構造を覆うように堆積されてコンタクト構造12、17への電気的接触物が形成され、例えばフォトレジストを用いたマスク91の形成が続く。シード層90は、上記のようなPVD、CVD、または電解メッキ法によって堆積されることが可能である。マスク91およびシード層90への電気的接触物を用いて、金属コンタクト92はビア50、60を埋め込む。図9Bにおいて、マスク40が、コンフォーマル絶縁膜70の形成前に除去された構造が示され、図9Cは、シード層が用いられない構造を示している。次に、研磨ステップ、例として化学的機械研磨が用いられて金属コンタクト92のビア50、60の外側の余剰部分が除去されることが可能である。この研磨ステップは、ダイ14乃至16の露出された側面上のシード層90をも除去することができる。この研磨ステップは、さらに、ダイ14乃至16の露出された側面上のハード・マスク40を除去することが可能である。ハード・マスク40を除去することは、ハード・マスクが、上に挙げたアルミニウムのように導電性である場合に、このように金属によって埋め込まれて形成されたビアを相互に電気的に絶縁するために好ましい。この研磨ステップによって、コンフォーマル絶縁膜30がさらに除去される。この結果、図10A、図10Bに示されるように、ダイ14乃至16の露出された面上に実質的に平坦な面および平坦な金属構造100が形成される。ここで、図10Bにおける構造は、ビアを金属で埋め込むことに先立ってシード層が用いられない点で図10Aの構造と異なる。
【0050】
ビア50、60を金属で埋め込み、次いでCMPを行なうことに代えて、図10Cに示されるように、ビア50、60は、金属93によって内側を覆われ、絶縁体94によって埋め込まれ、CMPが続くということが可能である。ビア50、60は、上記のようなPVD、電解メッキ法、CVDのうちの少なくとも1つを用いて堆積することによって金属93によって内側を覆われることが可能である。金属93の厚さは、典型的には、0.01乃至0.2ミクロンであり、コンタクト構造12、17またはデバイス領域18、11への汚染を防ぐためのコンフォーマル絶縁膜70に隣接するバリア層が含まれていてもよい。バリア層の例には、窒化タンタル、窒化タングステン、窒化チタンが含まれ、典型的な厚さが0.005乃至0.02ミクロンのチタン接着層が先行していてもよい。バリア層の典型的な厚さは、0.005乃至0.05ミクロンである。初期の厚さの93が堆積された後、電解メッキ法が用いられて93の厚さを所望の厚さまで一様に増大させることが可能である。増大後の典型的な厚さは、ビア50について、ビア50が十分な幅であることを条件として0.5乃至2.0ミクロンである。絶縁体94の例は、酸化シリコンであり、埋め込み方法の例は、プラズマ化学気相成長法(PECVD)によるものである。このように代替することは、金属の堆積および金属のCMPが減少することと、内側を覆っている合成金属、絶縁体によって埋め込まれたビア、ダイ14乃至16の周囲基板部の間の熱膨張係数(CTE)の整合が改善する可能性を有する利点を有する。
【0051】
ビア50、60を金属で埋め込むことおよびビア50、60の内側を金属93で覆ってから絶縁体94で埋め込むことに対する代替的な方法は、ビア60を金属97で埋め込むかその内側を覆ってコンタクト構造12、17間の電気的配線を薄くされた基板21に接触することなく形成し、次にビア50、60を絶縁体98で埋め込み、続いて上記するとともに図10Dに示されているようにCMPを行なうことである。コンタクト構造12、17を接続するのに十分な厚さまでメッキを形成することによってコンタクト構造12、17上に優先的にメッキを形成する無電解メッキ法によって金属97が形成されて、薄くされた基板21に接触することなくコンタクト構造12、17が相互に接続されることが可能である。十分な厚さまでメッキされる無電解メッキ法の例は、ニッケル無電解メッキ法である。この代替的な方法は、図10Dに示されているように、残存する基板ダイ14乃至16から電気的配線を電気的に絶縁するためのこれらの残存する基板のビア部50上に側壁60、71、72、73、74、75が必要とされないという利点を有する。
【0052】
相互接続されたコンタクト構造12、17への電気的配線は、図10Eに示されているとともに図10B内の記載と同様に絶縁体98を貫いて金属97へ達するビア51をエッチングするとともにビア51を金属46で埋め込むことによって形成されるか、図10Fに示されているとともに図10C内の記載と同様にビア51の内部を導電性材料52によって覆うとともに絶縁体53で埋め込むことによって形成されることが可能である。図10Eおよび図10F内のビア51は、金属97のコンタクト構造12上の部分に接続していることが示されている。または、ビア51は、金属97のコンタクト17上の部分、またはコンタクト構造12、17の両方に接続することが可能である。
【0053】
図10A乃至図10Fの構造は、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするためのフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む(しかし、これに限定されない)後続の処理に適している。この処理は、典型的には、薄くされた基板21の露出された側上に電気的に絶縁性の材料を形成して配線形成またはアンダーバンプ金属被覆のために電気的な絶縁を形成することを含んでいる。
【0054】
堆積されたまたはスピン塗布された酸化物またはポリマーのような絶縁性材料96がCMP後にダイ14乃至16上に形成され、材料96上に金属構造100に接触する配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆体95が形成された例が図11に示されている。図3Bに示されるように、別の埋め込み材料が材料96の形成に先立ってダイ14乃至16間に用いられてもよい。金属被覆体は、高いビア密度および/または高い引き回し複雑度に対応するために、絶縁層(ここでは示されていない)によって分離された複数の階層を含み得る。または、平坦化ステップによってコンフォーマル絶縁膜70が除去されない場合、コンフォーマル絶縁膜は、残存するとともに、金属被覆構造にとって適切な電気的絶縁を提供し得る。
【0055】
本発明に従った方法の第2実施形態が図12に示されている。ハード・マスク101が何らの介在する絶縁層無しに、ダイ14乃至16上に形成されている。ハード・マスク101の厚さの典型的な範囲は、0.1乃至1.0ミクロンである。ハード・マスク101は、後続のエッチング工程または薄くされた基板21およびデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアをエッチングするために用いられる工程に対して高いエッチング選択性を有することが好ましい。ハード・マスクの例は、アルミニウム、タングステン、プラチナ、ニッケル、モリブデンであり、エッチング処理の例は、薄くされたシリコン基板を貫いてビアをエッチングするためのSF6に基づいた反応性イオン・エッチングおよびデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアを次に形成するためのCF4に基づいた反応性イオン・エッチングである。開口102がマスク101内に形成され、本構造が第1実施形態と同様に処理されて、ダイ基板およびデバイス領域を貫いてエッチングされて構造12、17が露出される。このとき、構造17の上面が露出されて(図8A、図8Bに示される27のような)棚が形成されることが好ましい。金属被覆が図7乃至図9に示すようにマスク103を用いて実行されて金属104が形成されて、図13に示される構造が製造される。CMP後(図14)、金属105が平坦化されて、本構造は、図11に示される金属被覆構造と同様に、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするためのフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む(しかしこれらに限定されない)後続の工程に適する。この工程には、ダイ14乃至16の露出された側上に電気的に絶縁性の材料を形成してダイ14乃至16の露出された側を覆うように引き回された配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆のための電気的絶縁を提供することが含まれ得る。配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆をさらに補助するために、第1実施形態中での記載のように、例えば絶縁体または金属、またはポリイミドまたはベンゾシクロブテン材料等の平坦化材料が形成されて、例えばダイ、開口、または溝のあらゆる空間をCMP工程の前または後に埋め込むことによって本構造の表面が平坦化され得る。
【0056】
本発明は、また、別の構造とともに用いられ得る。例えば、コンタクト17の対が要求されずに、ダイまたはウェハ内の1つのコンタクトが、ダイまたはウェハが接着される基板内のコンタクトに接続され得る。このことが図15に示されている。図15において、構造108が構造12から離れている中で、金属構造107がコンタクト構造12、108を接続するシード90に接触している。金属コンタクト107の一部(左側)は、基板部109の上面から構造108上のシード90まで直接延びている。その一方、金属コンタクト107の他方(右側)は、基板部109の上面から構造12上のシード90まで直接延びている。
【0057】
本発明によって、多くの利点が提供される。1つのマスクが用いられて、基板に接着されたダイまたはウェハの裏面を貫いてエッチングしてダイまたはウェハと基板とが接続される。典型的には、複雑で、問題が生じ、スケーリングを限定することがある、ビア内でのフォトリソグラフィーは必要ない。このエッチングは、接着界面を貫いて進行する。さらに、接続されるコンタクトの上面を露出して、コンタクトの表面積を上げ、コンタクトの抵抗を減じることができる。相違する技術のデバイスが接続されることが可能である。これにより、デバイス性能を最適化するとともに1つのプロセス順序で相違する技術を製造使用しようとすることに関する問題を回避する。
【0058】
第3実施形態が、図16A、図16B、図17に示されている。基板110は、コンタクト構造112を有するデバイス領域111を有している。図16Aに示されているように、ダイ114乃至116は、それぞれデバイス領域118と、基板部121と、コンタクト構造117とを有しており、表面113上で基板110に接着されている。この実施形態では、コンタクト構造112を覆っている材料はない。第1、第2実施形態について記載した1つのマスキング処理に続いて、図16B、図17に示される構造が製造される。ビア50が、基板部121およびデバイス領域118を貫いてエッチングされて、コンタクト構造117の裏面上で棚26が露出される。このエッチングが継続されて、ビア60が形成されるとともにコンタクト構造112の上面が露出される。コンタクト120が、シード層90を用いてあるいは用いないでビア内に形成され、コンタクト構造112、117が接続される。埋め込み材料が用いられて、図3Bに関して上に記載されているように、デバイスが平坦化され得る。コンタクト120も図10C乃至図10Fにおいて上に示される方法で、形成され得る。また、膜70が図8C乃至図8Kに示されるように形成され得る。
【0059】
第4実施形態が図18乃至図19に示されている。この実施形態では、コンタクト構造122、123を覆っている材料はない。ダイ114乃至116内において導電性材料、例として金属からなるコンタクト構造123は、ダイ114乃至116の表面の上方で広がり得、また導電性材料、例として金属からなるコンタクト構造122は表面113の上面で広がり得る。コンタクト構造123およびコンタクト構造122は、別の金属から構成され得る。例えば、コンタクト構造123は、銅、タングステン、ニッケル、金の1つから構成され得、コンタクト構造122は、銅、タングステン、ニッケル、金の別の1つから構成され得る。コンタクト構造123またはコンタクト構造122は、さらに、別の金属、例としてニッケル、パラジウム、金の組合せから構成され得る。コンタクト構造123およびコンタクト構造122は、さらに、銅、タングステン、ニッケル、金の合金、または別の合金、例として酸化インジウムスズから構成され得る。これらの金属は、PVD、熱、電子ビーム、電解メッキ法を含む様々な技術によって形成され得る。
【0060】
ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123を除く部分および表面113のコンタクト構造122を除く部分は、非導電性材料、例として、酸化シリコン、または窒化シリコン、または酸窒化シリコン、または半導体集積回路製造と相性の良い他の絶縁性材料であることが好ましい。出願番号10/359,608に記載されているように、コンタクト構造123が露出しているダイ114乃至116は、コンタクト構造122が露出している表面123に、コンタクト構造113のダイ114乃至116内で露出している部分をコンタクト構造122の表面113内で露出されている部分に位置合わせするのに十分で且つダイ114乃至116の非導電性材料部分を表面113の非導電性材料部分に位置合わせするのに十分な制度で、接着される。ダイ114乃至116の非導電性材料部分と表面113の非導電性材料部分との間の接着は、出願番号10/359,608に記載されているように、直接接着であることが好ましい。直接接着の代替的な例、例として出願番号10/440,099に記載されているもの、が用いられてもよい。直接接着の接着エネルギーは、好ましくは、1J/m2を超え、コンタクト構造122のコンタクト構造123に対する内圧を生み出す。この結果、コンタクト構造122、123間が電気的に接続される。このように、最高の内圧を生み出すために、例えば上記したような低温で接着エネルギーが高い結果となる直接接着を用いることが好ましい。しかしながら、低温で接着エネルギーが低くなる直接接着、または高い接着エネルギーを得るのに高温が必要な直接接着も、適用形態によっては許容される。例えば1J/m2を超える高い接着エネルギーを得るために、例えば400℃未満の適度な温度、または例えば10kg/cm2未満の適度な圧力を必要とする直接接着が用いられてもよい。
【0061】
より詳細には、金属のボンディング・パッドを含むウェハ表面が室温で接触すると、反対のウェハ表面の接触する非金属部分が接触点において結合を形成し始め、接触している化学結合が増加するに連れてウェハ相互間の引きつける接着力が増加する。金属パッド無しであれば、ウェハは、ウェハ表面の全体に亘って相互に接着する。本発明によれば、ウェハ相互間での接着の継ぎ目が阻害されはするが、金属パッドの存在によって、化学的なウェハ対ウェハ接着が阻害されない。金属ボンディング・パッドの展性および延性ゆえに、化学的なウェハ対ウェハ接着によって非金属領域において生成される圧力は、金属パッド上での非平坦および/または起伏領域を変形させる力になる。この結果、金属パッドの平坦性および/または凹凸が改善するとともに金属パッド間の結合が強固になる。化学結合によって生成される圧力は、これらの金属パッドが相互に強固に接触するように印加される外部圧力の必要性を無くすのに十分である。接触界面における金属原子の相互拡散または自己拡散によって、室温においてさえ、強固な金属結合が、強固に接触している金属パッド間に形成されることが可能である。この拡散は、熱力学的に推進されて表面自由エネルギーを減じ、また典型的に高い相互拡散および/または自己拡散係数を有する金属について強化される。これらの高い拡散係数は、凝集エネルギーの結果である。凝集エネルギーは、典型的には、ほぼ、可動の自由電子ガスによって決定され、この可動の自由電子ガスは拡散の最中、金属イオンの移動によって妨げられない。
【0062】
または、ダイ114乃至116内のコンタクト構造123は、ダイ114乃至116の表面とほぼ平坦であって、コンタクト構造122は表面113とほぼ平坦である。これは、(W、Ni、Au、Cuのような)金属で埋め込まれたビアと平坦な面を有する基板を形成することによって達成され得る。金属で埋め込まれたビアは、厚さが約0.5ミクロンの、Cu、Al、Al−Cu(2%)、Al−Si(2%)合金層のような金属のシード層上への電解メッキ法で形成され得、またはAlまたはAl合金上に形成されたCu層によって形成され得る。Pdが、シード層として用いられたり、AlまたはAl合金層上に形成されたりしてもよい。Ni、W、Au、Cuの柱がシード層上に形成されてよい。電解メッキの後、シード層は、柱相互間の面から、この柱またはマスクおよび金属エッチングとしてのフォトリソグラフィーによって定義されたパターンの一方を用いて、除去される。次に、酸化層が表面を覆うように形成される。この酸化層は、CMPの対象とされて、酸化物および金属領域と平坦な面が形成される。
【0063】
コンタクト構造122、123は、ダイ114乃至116の非金属表面部および表面113の非金属部よりも高い表面ラフネスを有し得る。例えば、ダイ114乃至116の表面および表面113は、2重平均平方根(RMS)表面ラフネスが、好ましくは1nm未満、さらに好ましくは0.5nm未満である。他方、コンタクト構造122、123は、RMS表面ラフネスが、好ましくは2nm未満であり、さらに好ましくは1nm未満である。
【0064】
ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123以外の部分と表面113のコンタクト構造122以外の部分との間の接着に由来するコンタクト構造122のコンタクト構造123に対する内圧は、ダイ114乃至116の表面または表面113の露出されている金属表面上の例えば自然酸化または他の汚染、例えば炭化水素が原因で、接着を達成したり好ましい低抵抗での電気的接触となったりするのに適当ではないかも知れない。あるいはコンタクト構造123、122間での接着を改善したり、電気的接続を好ましい低抵抗にしたりすることは、コンタクト構造123または122上の自然酸化物を除去することによって達成され得る。例えば、希フッ酸が、表面113がダイ114乃至116の表面に接触する前に用いられ得る。さらに、表面113およびダイ114乃至116の表面が、自然酸化物の除去後で表面113をダイ114乃至116の表面に接触するまでの間、不活性の環境、例として窒素またはアルゴンに晒され得る。または、コンタクト構造123、122間での接着を改善したり、電気的接続を好ましい低抵抗にしたりすることは、ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123以外の部分と表面113のコンタクト構造122以外の部分とを接着した後に、コンタクト構造122、123の温度を上げる、例として熱する、ことによって達成され得る。温度を上げることは、自然酸化物または他の汚染を減じることによって、または例えばコンタクト構造123または122がコンタクト構造123、122の周囲の非金属材料に比べて高い熱膨張係数を有する場合にコンタクト構造123、122間の内圧を上げることによって、または自然酸化物を減じるとともに内圧を上げることによって、電気的接続を好ましい低抵抗にする結果となり得る。温度を上げることによって、122、123のようなコンタクト構造間の拡散が増加し、電気的接続が好ましい低抵抗になる。このように、温度を上げることによって、コンタクト構造123、122間の金属接着、金属コンタクト、金属接続、電気伝導性が強化される。1Ω/μm2未満のコンタクト抵抗が達成された。例えば、直径が約5または10μmでともに厚さが1μmの2つのコンタクト構造について、50mΩ未満の抵抗が得られた。
【0065】
IC、例としてシリコンICが、ダイ114乃至116内または表面113の下方の層111内にある場合、温度の上昇は、IC、またはコンタクト構造、またはその他の金属構造への損傷を回避するために、好ましくは、2時間に亘って400℃未満であり、より好ましくは2時間に亘って350℃未満である。コンタクト構造が熱膨張または内圧または無視可能な自然酸化物に対して敏感な材料、例として金である場合、コンタクト構造122、123間の金属接着、または金属接触、または金属配線、または電気伝導性が強化される結果を生む温度の上昇は非常に低く、例として10分間に亘って50℃程度である。
【0066】
必要な場合、コンタクト構造123、122間の金属接着、または金属接触、または金属接続、または電気伝導性を所望の程度強化するのに必要な接着後の温度上昇を最小化するために、より低い接着後温度で内圧がより大幅に増加するとともに低圧で変形可能な結果を生むコンタクト構造123、122を利用することが好ましい。例えば、接着後温度上昇の結果として生成される内圧は、コンタクト構造123、122を構成する金属に依存する。例えば、大きな値の熱膨張係数(CTE)を有する金属、例として銅、ニッケル、金は、所与の温度でより大きく膨張する結果となる。さらに、高い剪断弾性係数を有する金属、例として、タングステンおよびニッケルは、所与の温度においてより大きな応力を生成する。このように、CTEと剪断弾性係数の積が大きな金属、例として、銅、タングステン、ニッケル、は、温度上昇に従って内圧を上げるのに最も効果的である。さらに、好ましくは、非常に高純度、例として99.9%の降伏応力が低い金属、例として銅、ニッケル、金は、より低い応力でも容易に変形し、よって、より低い応力でのコンタクト構造間の金属接着、または金属接触、または金属接続、または電気伝導性が改善する結果を生むことが可能である。従って、CTEおよび剪断弾性係数の積が大きい、または降伏応力で標準化された高いCTEと剪断弾性係数の積が大きい金属、例として銅、ニッケル、金からなるコンタクト構造123、122は、接着後温度上昇を伴った内圧の生成の結果コンタクト構造間の金属接着、金属接触、金属接続、電気伝導性の改善を見せるコンタクト構造123、122として好ましい。
【0067】
または、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より若干低いか、コンタクト構造122が表面113より若干低くてもよい。ダイ114乃至116の表面と表面113との間の距離は、好ましくは20nm未満であり、より好ましくは10nm未満である。後続の接着およびこれに続く温度上昇によって、上記のようにコンタクト構造122、123間の内圧が上昇し、また、コンタクト構造122、123間の金属接着、または金属接触、または金属接続、または電気伝導性が改善する結果となる。コンタクト構造122の表面113との間の若干の距離およびコンタクト構造123とダイ114乃至116の表面との間の若干の距離は、コンタクト構造の広がりの平均距離である。コンタクト構造の形状的特徴には、平均距離に等しい、およびこれを超える、およびこれを下回る位置が含まれる。コンタクト構造の総高さばらつきは、最大高さと最小高さとの間の差で与えられ、RMSばらつきを実質的に超え得る。例えば、RMSが1nmのコンタクト構造が、10nmの総高さばらつきを有し得る。よって、上記のようにコンタクト構造123はダイ114乃至116の表面より若干低いとともにコンタクト構造122は表面113より若干低いのであるが、コンタクト構造122の一部はダイ114乃至116の表面より上で広がるとともにコンタクト構造123の一部は表面113より上で広がり、結果、表面113の非金属部分がダイ114乃至116の非金属部分への接着後にコンタクト構造122とコンタクト構造123とが機械的に接続される。この機械的な接続は、機械的接続が不完全であるゆえ、あるいはコンタクト構造122またはコンタクト構造123上の自然酸化膜または他の汚染ゆえに、コンタクト構造122とコンタクト構造123との間が適切に電気的接続される結果とならないかもしれない。続く温度上昇によって、コンタクト構造122、123間の金属接着、金属接触、金属接続、電気伝導性が、上記のように改善し得る。
【0068】
または、コンタクト構造123の最も高い部分がダイ114乃至116の表面より低いか、コンタクト構造122の最も高い部分が表面113より低く、且つ接着後にコンタクト構造123、122間に機械的な接触がない場合、温度上昇によって、コンタクト構造123、122間が機械的に接触する、また/または望ましく電気的に接続される結果となり得る。
【0069】
または、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低いとともにコンタクト構造122が表面113より高く、またはコンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より高いとともにコンタクト構造122が表面113より低くてもよい。表面113とそれより低いコンタクト構造122との間の距離およびダイ114、115、116の表面とそれより低いコンタクト構造123との間の距離(またはそれらの逆)は、出願番号10/359,608に記載されているように、若干の正である。または、表面113とそれより低いコンタクト構造122との間の距離およびダイ114、115、116の表面とそれより低いコンタクト構造123との間の距離(またはそれらの逆)は、名目上、ゼロであるか、若干の負であり、上記のように、接着後温度上昇によって、コンタクト構造122、123間の金属接着、金属接触、金属接続、電気伝導性が改善し得る。
【0070】
コンタクト構造123のダイ114乃至116の表面に比べた高さ、およびコンタクト構造122の表面113の高さに比べた高さは、ダイ114乃至116の表面または表面113を形成する研磨工程、例として化学的機械研磨(CMP)によって調整されることが可能である。CMP処理は、典型的には、多くの処理変数を有していた。この変数には、研磨スラリー、スラリー添加率、研磨パッド、研磨パッド回転率、研磨圧力が含まれるが、これらに限定されない。CMP処理は、さらに、表面113およびダイ114乃至116の表面を構成する具体的な非金属および金属材料と、非金属材料および金属材料の相対的な研磨レート(同様の研磨レート、例としてニッケル、酸化シリコンが好ましい)と、コンタクト構造122、123の大きさ、ピッチ、粒構造と、表面113またはダイ114乃至116の表面の非平坦性とに依存する。これらの工程パラメータを最適化することが用いられて、コンタクト構造123のダイ114乃至116の表面に対する高さおよびコンタクト構造122の表面113の高さに対する高さが制御されることが可能である。代替的な研磨技術、例としてスラリー無しの研磨が用いられてもよい。
【0071】
コンタクト構造123のダイ114乃至116に対する高さおよびコンタクト構造122の表面113の高さに対する高さは、ダイ114乃至116の表面上のコンタクト123周囲の材料または表面113上のコンタクト構造122周囲の材料を若干ドライ・エッチングすることによっても制御され得る。このドライ・エッチングの例は、ある絶縁性材料、例として酸化シリコン、または窒化シリコン、または酸窒化シリコンからなる表面に対して、好ましくは、結果として表面ラフネスが増加する結果となるように、CF4およびO2を混合したものを用いたプラズマまたは反応性エッチングである。表面ラフネスが増加すると、界面間の結合エネルギーが大幅に減少する。または、コンタクト構造123およびコンタクト構造122の高さは、コンタクト構造123、122上に極薄い金属層を形成することによって制御され得る。例えば、適当な金属、例として金の無電解メッキ法によって、極薄い、例として約5乃至50nmの層に自己的に制限されることが可能である。この方法は、酸化する金属の端を極薄い酸化しない金属、例として金属、ニッケルにして電気的接続の形成を容易にするというさらなる利点を有する。
【0072】
さらに、コンタクト構造122は、横方向の寸法が、接着後にコンタクト構造123の周辺がコンタクト構造122内に含まれるように、あるいはコンタクト構造122の周辺がコンタクト構造123の周辺に含まれるように、コンタクト構造123の横方向の寸法よりも大きいまたは小さいことが可能である。より大きなまたはより小さな部分の横方向の最小寸法は、典型的には、ダイ114乃至116の表面113への接着の位置合わせ精度の少なくとも2倍によって決定される。例えば、ダイ114乃至116の表面への接着の際の位置合わせ精度が1ミクロンである場合、コンタクト構造122は、コンタクト構造123の周辺がコンタクト構造122の周辺に含まれるように、コンタクト構造123よりも少なくとも2ミクロン大きいことが好ましい。
【0073】
コンタクト構造122のコンタクト構造123に対する最大の内圧、これはダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123周辺の部分と表面113のコンタクト構造122の周辺の部分との間で形成され、あるいは接着後の温度上昇によって提供され得るのだが、この内圧は、ダイ114乃至116の表面の該部分の表面113の該部分への接着面積とコンタクト構造122の面積に対するコンタクト構造123の面積に依存する。これらの2つの面積の和は、表面113のコンタクト領域122でない部分と位置合わせされたコンタクト構造123の残りの面積と、ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123でない部分と位置合わせされたコンタクト構造122の残りの面積ゆえに、典型的には、表面113に対するダイ114乃至116の全体の領域の面積より小さい。これは、コンタクト構造123、122間の横方向寸法の差と、ダイ114乃至116の表面と表面113との間の接着位置合わせずれに起因する。接着によって生成されるかあるいは接着後の温度上昇によって提供され得る最大の内圧は、ダイ114乃至116の表面の該部分と表面113の該部分との間の接着の破壊応力と、コンタクト構造122の該部分に対するコンタクト構造123の該部分への接着面積の比とによって近似されることが可能である。例えばダイ114乃至116の表面の該部分および表面113の該部分が、16,000psiの破壊応力の酸化シリコンにより構成されるとともにこれらの部分の位置合わせされた部分間の直接接着が酸化シリコンの半分すなわち8,000psiであり、コンタクト構造123、122が10ミクロンのピッチの4ミクロンの直径の円であり、完璧に位置合わせされている場合、60,000psiを超えるコンタクト構造123、122間の最大内圧が可能である。この圧力は、典型的には、接着後温度上昇によって生成されるものよりも大幅に大きい。例えば、コンタクト構造123、122が17ppmのCTEおよび6,400,000の剪断弾性係数の銅で構成されるとともにダイ114乃至116の表面の該部分と表面113の該部分とが0.5のCTEの酸化シリコンで構成され、コンタクト構造123がダイ114乃至116の該部分と平坦であるとともにコンタクト構造122が表面113の該部分と平坦である場合、350℃に高められた接着後温度において約37,000psiのコンタクト構造123、122間の応力が予想される。
【0074】
コンタクト構造123、122は、典型的には、完全には位置合わせされておらず、同じ横方向寸法ではない。このことによって、コンタクト構造123の一部が表面113のコンタクト構造122の周囲の部分と接触するか、あるいはコンタクト構造122の一部がダイ114乃至116の表面の構造123の周囲の部分と接触するかする結果になり得る。コンタクト構造123の一部が表面113の該部分と接触し且つコンタクト構造122が表面113より低い場合、またはコンタクト構造122がダイ114乃至116の表面の該部分と接触し且つコンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低い場合、接着後の温度上昇によって、コンタクト122とダイ114乃至116の表面の該部分との間またはコンタクト構造123と表面113の該部分との間で優先的に内圧が上がる結果となり、また、所与の接着後温度上昇でのコンタクト構造123、122間の内圧が減少する結果となる(これは、そうでない場合は起こらない)。コンタクト構造123、122間で内圧の上昇が減ることを回避するために、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低い場合、コンタクト構造122の周辺が、主としてこの内圧の上昇がコンタクト構造123およびコンタクト構造122間で生じるようにコンタクト構造123およびコンタクト構造122の位置合わせずれおよび大きさおよび形状の不一致をカバーする量(例えば位置合わせ許容値の2倍)だけ、コンタクト構造123の周辺内に位置することが好ましい。または、コンタクト構造122が表面113より低い場合、接着後に、コンタクト構造123の周辺が、内圧の上昇が主としてコンタクト構造123およびコンタクト構造122の間で生じるようにコンタクト構造123およびコンタクト構造122の位置合わせずれおよび大きさおよび形状の不一致をカバーする量だけ、コンタクト構造122の周辺内に位置することが好ましい。さらに、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低いとともにコンタクト構造122が表面113より低い場合、コンタクト構造CTEによって標準化された、表面よりも最も低いコンタクト構造の周辺が、接着後に、内圧の上昇が主としてコンタクト構造123およびコンタクト構造122の間で生じるようにコンタクト構造123およびコンタクト構造122の位置合わせずれおよび大きさおよび形状の不一致をカバーする量だけ、対向するコンタクト構造の周辺内に位置する。
【0075】
コンタクト構造123およびコンタクト構造122の温度は、薄くされたダイ基板121を形成するためにダイ114乃至116の基板を薄くする前または後に、上げられることが可能である。コンタクト構造123およびコンタクト構造122の温度が、接着後に、様々なタイプの加熱法で上げられることが可能である。そのような加熱法には、熱によるもの、赤外線によるもの、誘導型のものが含まれるが、これらに限定されない。熱による加熱の例は、炉、ベルト炉、ホット・プレートが含まれる。赤外線による加熱の例は、高速昇温熱処理(rapid thermal annealing)である。赤外線熱源は、コンタクト構造123、122を、所望のエネルギーのフォトンで優先的に熱するためにフィルタを通されることが可能である。例えば、基板110、ダイ114乃至116基板、薄くされたダイ基板121、デバイス領域111、デバイス領域118が半導体、例としてシリコンで構成されている場合、赤外線熱源は、半導体のバンドギャップを超えるエネルギーのフォトンが半導体に吸収されることを回避するようにフィルタを通されることが可能である。この結果、コンタクト構造123またはコンタクト構造122の温度上昇に比べて半導体の温度上昇が少ない。誘導型の加熱の例は、コンタクト構造123またはコンタクト構造122が磁石、例としてニッケルで構成されている場合、誘導性磁気共鳴(inductive magnetic resonance)である。
【0076】
図18に示されているように、複数のコンタクト構造123は、1つのコンタクト構造122を完全に覆うことなく、1つのコンタクト構造122と接触し得る。または、1つのコンタクト構造123が、1つのコンタクト構造122と、一部または全体が接触し得、または1つのコンタクト構造122が、1つのコンタクト構造123と、一部または全体が接触し得、または1つのコンタクト構造123が複数のコンタクト構造122と接触し得る。
【0077】
複数のコンタクト構造123が1つのコンタクト構造122の全体を覆うことなく1つのコンタクト構造122と接触している場合、先行する実施形態に関して説明されている1つのマスキング工程に続いて、図19Aに示されている構造が製造され得る。ここでは、金属のシード層90が、コンタクト構造122、123の両方に対する電気的な配線を形成する。または、特にコンタクト構造123がコンタクト構造122の全体を覆っている場合、金属のシード層90は、コンタクト構造123のみと接触し得る。図19Aに示されている構造は、さらに処理されて、この実施形態において先に記載し且つ図19Bに示されているように、図18に示されている表面113と同様の表面が形成され得る。図19Bでは、コンタクト構造59はコンタクト構造122と同様であり、平坦化された材料58は表面113のコンタクト122以外の部分と同様である。次に、露出されているコンタクト構造123を有するさらなるダイが、露出されているコンタクト構造123を有するダイ114乃至116を露出されているコンタクト構造122へ接着するのと同様に、露出されているコンタクト59を有する表面に接着および接続される。
【0078】
この第4実施形態では、ビアのエッチングおよび続く金属の相互接続は、コンタクト構造123、122間の電気的相互接続を形成するのに必要ない。しかしながら、図19Aに示されているようなビアのエッチングおよび続く金属の相互接続は、ダイ114乃至116の露出されている側からの電気的なアクセスを設けるために望ましい。このことが望ましい適用例は、ダイ114乃至116の露出されている側をパッケージ、基板、集積回路にフリップチップ・バンプ・ボンディングしてコンタクト構造123または122とこのパッケージ、基板、集積回路との間に電気的な接続を形成することである。この目的のためにビアが要求されない適用例、例としてあるタイプのスターリング焦点面アレイ(Staring Focal Plane Arrays)を形成すること、もある。これらの適用例のために、上記の派生体を含む(しかし、これには限定されない)本方法およびこれによって製造された図18に示されるようなデバイスで事足りよう。
【0079】
第5実施形態が、図20A乃至図20Hに示されている。この実施形態は、開口またはビア50と重なり合うエッジを有するダイ内のコンタクト構造17、108、117、123が開口または重なり合うエッジを有さないコンタクト構造87によって置き換えられる点を除いて、ビア50の形成前まで先行する実施形態と同様である。この実施形態では、基板部89、デバイス領域88を有するダイ84乃至86内のコンタクト構造87は、デバイス領域81、基板80、コンタクト構造82を有する表面83に接着される。コンタクト構造87は、図20Aに示されるように、コンタクト構造82の上方に配置される。また、ダイ84乃至86は、図16、図17に示されているのと同様の露出されているコンタクト構造112を有する表面113または図18、図19に示されているのと同様のコンタクト構造122に接着されることが可能である。コンタクト構造87は、コンタクト構造82に直接接触しながら接着され得ることに留意されたい。このことは、デバイス86において示されている。ダイ84乃至86は、また、同じコンタクト構造の構成を有し得る。図20A、図20Bは、簡略化のために、2つの構成の間に切り込みが入った、2つのコンタクト構造構成を示すように描かれている。典型的には、1つの基板に接着されたダイの各々は、同じコンタクト構造構成を有する。相違するコンタクト構造のダイが同じ基板に接着される場合、エッチング・パラメータを調整したりビアを別々にエッチングしたりといったプロセスの変更が必要であり得る。この図は、同じまたは相違する構造が1つの基板上に存在している本発明を示すために提示され、必ずしもこのような変形体を示しているのではない。
【0080】
パターニングされたマスク40および開口41が、第1実施形態において説明されまた図20Bに示されているように、形成される。次に、ビア55が、異方性的に、順に、ダイ84乃至86内の残存する基板部89をエッチングし、ダイ84乃至86内のデバイス領域88の一部をコンタクト構造87まで達するまでエッチングし、コンタクト構造87をエッチングし側面79を形成し、(必要であれば)デバイス領域88の残存する部分を表面83までエッチングし、(必要であれば)デバイス領域81をコンタクト構造12までエッチングすることによって、形成される。コンタクト構造87のエッチングを除いて、これらの異方性エッチングは、第1実施形態において説明されているように行なわれ得る。コンタクト構造87の異方性エッチングについては、ハード・マスク40に対して選択的に導電体の構造87をエッチングするRIEが用いられ得る。ハード・マスク40および導電体の構造87が同じエッチング・レートを有する場合、ハード・マスク40は、コンタクト構造87よりも実質的に厚く形成され得る。これにより、露出されているコンタクト構造87が、基板部89、デバイス領域88、コンタクト構造87、コンタクト構造82までのデバイス領域81とともに、エッチング・ハード・マスク40を完全にエッチングすることなくエッチングされる。コンタクト構造87についてのエッチングは、ダイ84乃至86内の残存基板部89およびデバイス領域88およびデバイス領域81に対するエッチングと実質的に異なり得る。例えば、残存基板部89がシリコンで構成され、またデバイス領域88、81のエッチングされる部分が酸化シリコンで構成され、またコンタクト構造87がAlで構成されている場合、塩素でないものに基づいたRIEエッチングが用いられて残存基板部89およびデバイス領域88、81がエッチングされ、また塩素に基づいたRIEエッチングが用いられてコンタクト構造87がエッチングされることが可能である。
【0081】
コンタクト構造87のエッチング前に側壁76が形成されることが好ましい。具体的には、本構造が基板部89を貫いて異方性的にエッチングされてデバイス領域88に到達後に停止されることが可能であり、またはデバイス領域88内まで継続されてコンタクト構造87の手前で停止されることが可能である。次に、分離されたコンタクト構造および直接接着されるコンタクト構造についての2つのケースに関して図20Cに示されているように、層76が形成される。層76は、酸化シリコンのような絶縁層をビア55内に堆積し、続けて例えば異方性エッチングによってビア55の底からこの膜を除去することによって形成され得る。図20D(左側)に示されているようにデバイス領域88の残りの部分およびコンタクト構造87がエッチングされてコンタクト構造82が露出され、また、図20D(右側)において、デバイス領域88の残りの部分がエッチングされてコンタクト87が露出される。
【0082】
側壁の形成、コンタクト構造82、87間の電気的接続、ビア内部の被覆および/または埋め込みといった後続の工程が、コンタクト構造87への電気的接続がコンタクト構造87を異方性的にエッチングすることによって露出された側面79に限定されることを主として除いて、説明済みの実施形態のように続く。2つ目の相違点は、図8A、図8B内の側壁70によって示されているのと同様に側壁を形成すること、または図8Jに示されている側壁74である。図8Jにおいて、側壁が、コンタクト17の下方で広がり、またコンタクト構造87の側面79への電気的接続を阻害している。図20D(左側)は、ダイ84乃至86の1つを、側壁76が側面79への電気的接続を阻害しない例をより明確に示すために、詳細に示している。
【0083】
図20Dにおける側壁形成の例は、図8Hにおいて先に示されているのと同様である。図8Hにおいて、側壁72は薄くされたダイ基板21の下方且つコンタクト構造17の上方で広がっている。コンタクト構造87、またはコンタクト構造87およびコンタクト構造82の間の領域を貫くビア55のエッチングは、コンタクト構造87の上方で若干、異方性的であることが可能である。この結果、図20Eに示されているように、コンタクト構造87の上面上に非常に小さな自己整合した棚28が形成されて、ビア55の断面を実質的に増加せずに、後に形成されるコンタクト構造82、87間の電気的接続の配線抵抗が減じられる。図8Kに示されているような側壁75に類似する選択的な側壁77も、コンタクト87のエッチング前(図20F、左または右側)、またはコンタクト構造87のエッチング後(図20F、左側)に形成されることが可能である。コンタクト構造87のエッチング後に選択的に側壁77を形成することによって、露出されている側面79の上方で突出し、露出されている側面79とコンタクト構造82との間の電気的接続の形成が複雑になる。この複雑になることは、図10に示されているようにコンタクト構造12、17間を電気的に接続するが薄くされた基板21に接しない電気的配線97を形成するのと同様の方法によって、露出されている側面79とコンタクト構造87との間に電気的配線99を形成することによって、回避されることが可能である。配線99は、コンタクト87の上方であって88または89内のあらゆる導電性材料の下方で広がることが可能である。
【0084】
電気的配線99の形成後、ビア55に対して露出されている基板部89を覆い、図8A、図8B内の側壁70に類似する側壁76が、図20Gに示されているように、形成されることが可能である。図20Gにおいて、配線99の厚さと同様の厚さの側壁が設けられている。または、図8Kに示されている側壁75に類似する選択的な側壁が、図20Hに示されているように形成されることが可能である。次に、ビア55の残りの部分が、金属によって埋め込まれるか、先行する実施形態において説明されているように、金属によってその内部を覆われるとともに絶縁体によって埋め込まれることが可能である。
【0085】
これらの結果としての構造も、先行する実施形態において説明されているように、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む(しかし、これらに限定されない)後続の工程に適している。なお、図20C乃至図20Fに示されている構造も、ダイ86内において示されているように構成されるコンタクト構造を含んでいてもよい。
【0086】
第6実施形態が図21A乃至図21Eに示されている。これらの図において、先行する実施形態中の19、21、89、109、121と同様の、ダイ基板部127の全体、またはダイ基板部127のほぼ全てが、デバイスの層、回路、または回路層を残して除去され得る。この実施形態では、基板130は、コンタクト構造132を有するデバイス領域131を有する。ダイ134乃至136は、それぞれ、デバイス領域138と、コンタクト構造137と、適切な動作のために必要とはされない基板部127と、を有する。コンタクト137は、ダイ134内において開口を有することが示されており、またコンタクト137は、第5実施形態に示されているように、ダイ135内において単一であり、その中に開口が形成され得る。ダイ134乃至136は、図21Aに示されているように、表面133上において基板130に接着される。ダイ基板127は、例えば研磨および/または研削によって全て除去され、図21Bに示されているようにデバイス領域138が露出される。コンタクト構造を露出するためのビアをエッチングするとともにコンタクト構造相互間の電気的配線を形成するために必要な後続のステップの数が、基板部127が無い故に、本実施形態については、先行する実施形態に比べて実質的に減少するとともに簡略化される。
【0087】
例えば、ダイ134乃至136の1つのみを示す図21Cにおいて、ビア129をエッチングしてコンタクト構造132、137を露出するステップが簡略化される。なぜなら、ビアをエッチングする基板部127が存在しないからである。こうして、ビア129は、先の実施形態において示されているビアよりも実質的に浅く、結果、ビアの断面積が実質的に減少するとともにこれに応じてビア密度が増加する。別の例では、ダイ134乃至136の1つのみが示されている図21Dにおいて、露出されているコンタクト構造132、137間に電気的配線128を形成するステップが簡略化される。なぜなら、電気的配線128を電気的に絶縁する必要性を生じさせる基板部127が存在しないからである。図21Eは、直接接触で接着されたコンタクト構造を含んだこの実施形態を示している。図21Eに示されている構造は、ダイ135内で示されているように構成されるとともに図19Cに示されているコンタクト構造124、122に類似するコンタクト構造124を含んでいてもよい。
【0088】
全ての基板部が除去され得る適用例の例には、幾つかのシリコン・オン・インシュレータ、およびICのダイ基板部がアクティブなトランジスタや他のIC装置の製造のために必要でないIII−V ICが含まれる。
【0089】
第6実施形態の結果得られる構造も、先行する実施形態において説明されているように、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む後続の工程に適している。
【0090】
図21A乃至図21Eに示されているものに対する変形体には、先の実施形態において説明されているものが含まれるが、これらに限定されない。例えば、図10および図14に示されているようにビアを埋め込むことやビアをその内部を覆うとともに埋め込むこと、図15に示されているようにダイのコンタクト構造のエッジに配線を形成すること図17および図18に示されているようにダイをウェハの露出されているコンタクト構造へまたは図19に示されているようにダイおよびウェハの露出されているコンタクト構造へ接着することである。図20に示されているようにダイのコンタクト構造の露出されている側面へのコンタクトも可能である。
【0091】
本発明の第7実施形態が図22A乃至図22Lおよび図23A乃至図23Kに示されている。表面コンタクト構造の構成は、ダイ146によって示されていることに留意されたい。全てのダイは、1つの基板内で同じまたは相違するコンタクト構造を有し得、上記のように、相違するコンタクト構造が同じ基板に接着される場合、特定の工程の変形が必要であり得る。基板140は、スクライブ・アレイ38によって分離された144乃至146(破線によって示されている)のようなダイを含み得る。各ダイ144乃至146は、デバイス領域に位置するコンタクト構造147を有する。説明の簡略化のために、コンタクト構造は、実際の比率で示されていないことに留意されたい。コンタクト構造147は、別々の部材であってもよいし、1つの部材であってこれを貫く開口が形成されていてもよい。
【0092】
コンタクト構造147は、金属の堆積および除去または金属の堆積およびエッチングの従来の方法によって形成されることが可能である。または、コンタクト構造147は、既に存在している導電層をパターニングおよびエッチングすること、または導電層の開口内でパターニングするとともに金属を堆積することの組合せによって、形成されることが可能である。コンタクト構造147を形成することには、デバイス領域148内のコンタクト構造147の下方のものと同様に電気的に絶縁を行なう絶縁性材料151の平坦化層を堆積することが続くのが望ましい。典型的な平坦化材料は、図22A内の層151によって示されているようなプラズマ化学気相成長法によって形成された酸化シリコンである。デバイス146のように表面コンタクトが望まれる場合には、層151は、形成されないか、基板140の所定の領域で形成されないか、後に除去され得る。
【0093】
ダイ144乃至146内にビアが形成され得る。ビアのエッチングは、ウェハ上の全てのダイ上の全てのビアが同時にエッチングされることが可能となるようにスクライブ・ライン38に沿ってダイ144乃至146を個別のダイへと切り分けるに先立って、ウェハの規模でエッチングされることが好ましい。こうして、ダイ144乃至146は、皆、全てのビアが同時にエッチングされるか、または、ダイ144乃至146が相違するウェハに由来する場合は異なる時点でエッチングされることが可能である。ビアは、デバイス領域148および基板140の最小量の消費とするために異方性的にエッチングされることが好ましい。
【0094】
ダイ144乃至146内のコンタクト構造も、第5実施形態において先に記載されているのと同様に形成され得る。例えば、図22Bに示されているように平坦化材料151がパターニングおよびエッチングされて平坦化材料151を貫いて導電性材料154に達するビア152が形成される。続いて、導電性材料154を貫くビアがエッチングされて、露出されている側面153を有するコンタクト構造147(154)が形成される。続いて、図22Cに示されているように、デバイス領域148を貫いて基板140内に至るさらなるエッチングによってビア155が形成される。このエッチングは、ビア155の横方向の広がりを最小にするために異方性であることが好ましい。平坦化材料151もパターニングおよびエッチングされて、図22Dに示されているように2つの棚を露出するビア156、または図22Eに示されているように1つの棚160を露出するビア157、または図22Fに示されているように棚を露出しないビア158が形成される。平坦化材料151のパターニングおよびエッチングは、面積が、コンタクト構造147によって(またはコンタクト構造154内に)形成される開口より若干大きい。結果、ビア156のコンタクト構造147下方の位置および横方向の広がりはコンタクト構造147(154)によって与えられるとともに、ビア156のコンタクト構造147(154)の上方の上側部分は、ビア156の下側部分より若干広くなる。コンタクト構造147(154)の棚160および側面153は、図22Dに示されているように、露出される。または、平坦化材料151のパターニングおよびエッチングは、コンタクト構造147(154)のエッジと重なり得る。結果、ビア157の位置および横方向の広がりはコンタクト構造147(154)によって与えられるとともにビア157の上側部分は下側部分よりも若干広くなる。図22Eに示されているように、コンタクト構造147、154の1つの棚160、およびコンタクト構造147(154)の側面153が、露出される。図22D、図22Eに代えて、平坦化材料151のパターニングおよびエッチングは、コンタクト構造147(154)のどの部分とも重ならない。結果、図22Fに示されているように、ビア158の位置および横方向の広がりはコンタクト構造147(154)によって与えられないとともにコンタクト構造147(154)の側面153が露出しない。図22Eおよび図22F内のあらゆるコンタクトが開口を有することが必要ではないことに留意されたい。図22Cに示されているように形成されたビア155およびコンタクト構造147(154)のための図22Gに示されているように、後続の、ダイ144乃至146を基板140の表面143に接着した後に切り分けられたダイ144乃至146の基板140を薄くして薄くされた基板161を形成することによってビア156、157、および/または158が露出されるように、ビア156、または157、または158は十分な深さまでエッチングされることが好ましい。
【0095】
コンタクト構造147によってまたはコンタクト構造154内で定義されるビアのエッチングを、所望の程度、等方性にしてコンタクト構造147(154)の裏面上に自己整合させられた棚162を形成して、図22Cのビア155についての図22Hに示されているようにビア159を形成するか、図22Dのビア156についての図22Iに示されているようにビア163を形成することが可能である。この等方性エッチングは、コンタクト構造147(154)の下方のデバイス領域148および基板140を含んで図22Hまたは図22Iに示されているようにコンタクト構造147(154)の裏面を露出することが可能である。この等方性エッチングは、ビア155またはビア156をエッチングするのに用いられるエッチング条件を変更することによって達成されることが可能である。例えば、ビア155またはビア156をエッチングするのに用いられる各条件が、低圧での反応性イオン・エッチングを含む場合、同様の反応性イオン・エッチングが高圧で用いられることが可能である。コンタクト構造147の裏面を所望量露出するとともに自己整合させられた棚162を形成するのに必要な圧力の増加量は、平坦化材料151の厚さおよびビア156、または157、または158の深さに依存し、実験によって決定されることが可能である。または、この等方性エッチングが基板140を含むがデバイス領域148を含まないことが可能である。結果、図22Jに示されているように、自己整合させられた棚166およびデバイス領域148の残存部分がコンタクト構造147(154)の裏面およびビア164の上方に形成される。上記した図22Hおよび図22Iと同様に、自己整合させられた棚166を形成する、裏面コンタクト147(154)の裏面およびビア164上方のデバイス領域148の残存部分165は、コンタクト構造147(154)の下方で所望量、等方性的にエッチングすることより得られる。この構造は、例えば、残存部165が絶縁体、例として酸化シリコンからなるとともに、異方性的にエッチングされたデバイス領域148および基板140が半導体、例としてシリコンからなる場合に、形成されることが可能である。
【0096】
図22Kに示されるように、ビアの形成後、非選択的な絶縁性の側壁170が、第1実施形態において説明されているように形成されて、基板140が、後にビア内に形成され得る配線金属から電気的に絶縁される。図22Kは、図22Iに示すようにビア163が形成されて棚172を有するビア171を生成する例を示している。第1実施形態において説明されている側壁77と同様で且つ図22Lに示されている選択的な絶縁性の側壁173が形成されてもよい。ビアのエッチングの後、ダイ144乃至146が切り分けられ、所望により、コンタクト構造142とデバイス領域141を有する基板140の表面143に接着される。または、ダイ144乃至146は、切り分けられることなく接着される。例えば、別々のダイの代わりにウェハまたはダイが1回の配置で基板に接着され得る。結果、ダイ相互間に間隔があることに起因して平坦でない表面の代わりに、表面が実質的に平坦になる。基板140はコンタクト構造も含み得るが、デバイスまたはデバイス領域を含まない。次に、基板140は、裏面研削、化学的機械研磨、またはエッチングの少なくとも1つによって薄くされて、薄くされた基板ダイ161を残すとともに、図22Cにおいて説明されているとともに図23A乃至図23Bに示されているようにビアが形成されている場合は、ビア、例としてビア155を露出する。コンタクト構造142は、図23Aに示されているように、接着表面と平坦とされることが可能であり、または図23Bに示されているように、接着面に対して後退させられることが可能である。図23Aに示されているように接着面と平坦なコンタクト構造142は、導電性材料、例として銅またはニッケルのメッキを基板140の表面上に堆積し、次いで、この導電性材料の上を覆うように絶縁性材料を堆積して、次いで化学的機械研磨でコンタクト構造142および表面143を形成することによって、形成されることが可能である。この導電性材料の研磨レートは、絶縁性材料の研磨レートに類似することが好ましい。導電性材料の類似の研磨レートは、導電性材料、絶縁性材料、導電性材料の大きさ、形状、導電性材料の被覆面積、第4実施形態に示されるようにスラリーおよびパッドを含む研磨パラメータを適切に選択することによって得ることができる。
【0097】
または、図23Bに示されるように接着面に対して後退させられたコンタクト構造142は、絶縁性材料、例として酸化シリコンを堆積し、続いて高くなっている箇所を選択的に研磨することによって表面を平坦化する絶縁性材料の化学的機械研磨によって、形成され得る。結果、コンタクト構造142の上面上に平坦化された薄い絶縁性材料が形成される。または、図23Bに示されているように面143まで後退させられたコンタクト構造142は、まず図23Aに示されているように平坦化された面143を形成し、続いて、図23Aに示されるような面143上に絶縁性材料の薄い層を堆積または堆積且つ研磨して図23Bに示されるような表面143を形成することによって、形成され得る。接着面に対して後退させられたコンタクト構造142は、図23Cに示されているような、例えば平坦化された絶縁性材料をパターニングおよびエッチングしてビア63によってコンタクト構造142露出することによって形成された露出されている面を有し得る。次に、ダイ144乃至146を接着するとともに薄くすることによって、図23Dに示されているように、コンタクト構造142の表面が露出される。例えば図23Aおよび図23Dに示されているようにコンタクト構造142および147(154)を露出することは、後述のようにコンタクト構造142および147(154)間での後の電気的な接続を容易にするために好ましい。露出されているコンタクト構造142の横方向の広がりは、ビア63の相対的な大きさと図22Cに示されているようにエッチングされたビア155の横方向の広がりとに応じて、ビア155の横方向の広がりより小さいか、大きいか、これと等しい。例えば、図22Cに示されているビア155の横方向の広がりが図23Cに示されているビア63の横方向の広がり未満である場合、露出されているコンタクト構造142の横方向の広がりは、図23Dに示されているように、ビア155の横方向の広がりより大きい。または、図23Eに示されているように、露出されているコンタクト構造142の広がりは、接着し、薄くし、露出されているデバイス領域141、148をコンタクト構造142まで等方性的にエッチングしてビア、例としてビア155を露出させた後に広げられ得る。または、図23Cに示されているように露出されているコンタクト構造142は、コンタクト構造142に対して有害となり得る接着工程の間、薄い層によって保護され得る。例えば、コンタクト構造142がアルミニウムからなる場合、コンタクト構造142は、室温での共有結合を実現するために用いられるアンモニアに基づいた溶液に晒されることによって傷つけられ得る。このような薄い層の例は、PECVDによって形成され得る酸化シリコンである。この薄い層の化学的機械研磨も行なわれて、この薄い層をコンタクト構造142から除去することなく、所望の表面143が維持され得る。次に、この薄い層は、ダイ144乃至146を基板140に接着するとともに基板140を薄くしてビアを露出し且つ薄くされたダイ基板161を形成した後に除去され得、また、ビアの露出後の除去を簡単にするために薄く、0.05乃至0.5ミクロンの範囲内にあることが好ましい。
【0098】
薄くされたダイ基板161が非導電性である場合、露出されているコンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)は、コンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)と重なる導電性材料を形成することによって、接続され得る。または、薄くされた基板161が導電性である場合、例として薄くされた基板161がシリコンからなる場合、薄くされた基板161をコンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)を接続する導電性材料から電気的に絶縁する絶縁側壁が好ましい。図22Iに示されているように形成されたビア163についての図22Kまたは図22Lにおいて先に示されているように接着の前に側壁を形成する代わりに、図23Aにおいて示されているものおよび図22Hにおいて示されているように形成されたビア159と同様に、先行する実施形態において説明されているような絶縁性の非選択的側壁、例として図8Aまたは図8B内の側壁70が、ダイ144乃至146を接着し、続けてダイ144乃至146を薄くした後、形成されることが可能である。こうして、露出されているコンタクト構造142が表面143に対して平坦である場合に側壁62についての図23Fに示されるような薄くされたダイ基板161が残る。第1実施形態において説明されているのと同様であるが接着し、基板を薄くし、ビアを露出した後に形成された絶縁性の選択的な側壁が用いられても構わない。先行する実施形態において説明されているように、側壁を形成することは、薄くされたダイ基板とコンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)の間の電気的配線との間で望ましくなく電気的に導通することを回避するために、好ましい。
【0099】
露出されているコンタクト構造147(154)およびコンタクト構造142、および薄くされたダイ基板161上の側壁がある場合、望まれる場合は、コンタクト構造147(154)およびコンタクト構造142間の電気的配線が、コンタクト構造142、147(154)の露出されている表面を覆う導電性材料を形成することによって、形成されることが可能である。典型的な導電性材料は金属であって、典型的な金属はアルミニウム、銅、ニッケル、金である。これらの金属は、先の実施形態において説明されているような様々な方法で形成されることが可能である。この形成の結果、図23Gに示されているように、露出されている薄くされたダイ基板161が導電性材料52によって覆われる。この被覆体は、自己整合的に、また図23Hに示されているように薄くされたダイ基板161から導電性材料52が除去されるまで導電性材料52によって覆われた薄くされたダイ基板161の表面を研磨することによってフォトリソグラフィーのパターニングおよびエッチングを用いることなく、除去され得る。図22Jに示されているように自己整合させられた棚166を有するデバイス領域148の残存部分165がある場合、図23Iに示されているのと同様の構造が、露出されているコンタクト構造142が図23Aに示されているのと同様に構造143と平坦である場合、ダイ144乃至146を基板140に接着するとともに基板140を薄くしてビア164を露出するとともに薄くされた基板161を形成した後に形成される。次に、好ましくは、残存部分165が異方性エッチングによって除去されて、自己整合させられた棚をコンタクト構造147(154)の裏面に対して再配置し、結果、自己整合させられた棚167が図23Jに示されているようになる。
【0100】
次に、所望により、図23F、図23G、および図23Hに示されているのと同様に、薄くされた基板161への電気的接続の形成なしに、導電性材料が形成されてコンタクト構造147がコンタクト構造142に接続される。既に説明されたように、配線金属の形成は、電子ビーム、熱処理、物理気相成長法、化学気相成長法、電解メッキ法、の1つまたは組合せによって、なされることが可能である。形成される配線金属は、チタン、タングステン、金、銅、アルミニウムの1つまたは組合せであることが可能である。
【0101】
コンタクト構造142、147(154)が、導電性材料と電気的に接続された後、ビアが、先の実施形態において説明されているように金属被覆、絶縁体の堆積、化学的機械研磨の組合せによって、埋め込まれるととともに平坦化される。ビアが埋め込まれるとともに平坦化された後、アンダーバンプ金属被覆、バンプ形成、ダイシング、フリップチップ・パッケージングが、先行する実施形態において説明されているように行なわれることが可能である。図23F乃至図23Jは、表面コンタクト142を示しているが、このコンタクトが、図23Bに示されているように、後退させられていてもよいことに留意されたい。表面コンタクト構造を有するダイが、図23F乃至図23Jに示されているように、接着されるとともに、構成および/接続されてもよい。図23Kは、図23Hの場合を示している。
【0102】
また、この実施形態(例えば図22C乃至図22F、図22H乃至図22L)中のビアは、基板140の切り分けられた部分が薄くされる際に導電性材料が露出されるように、切り分けに先立って、導電性材料168によって埋め込まれ得る。電気的絶縁のための絶縁性材料は、上で説明されているように、必要に応じてビアの側壁上に形成され得る。次に、ビアを埋め込まれたダイ(またはウェハ)は、後述の第9実施形態において説明されているようにダイ(またはウェハ)のデバイス領域148の露出されている表面に(すなわちダイ・ダウンで)接着されるか、あるいは後述の第10実施形態において説明されているように露出されているデバイス領域148の表面の反対の面に(すなわちダイ・アップで)接着され得る。この接着は、コンタクト構造147を用いた第4実施形態において説明されているとともに、ダイ・ダウンについて図23Lの左側において示されているとともに後述の第9実施形態においてより詳細に説明されているように、または導電性材料168がコンタクト構造142に接続されるダイ・アップについての図23Lの真ん中の構造に説明されているともに後述の第10実施形態においてより詳細に説明されているように、またはコンタクト構造179が第4実施形態において説明されているようにコンタクト構造147の形成と同様に形成されているダイ・アップについての図23Lの右側において示されているとともに後述の第10実施形態においてより詳細に説明されているように、実行され得る。必要であれば、絶縁性材料169が、基板部161上に形成され得、基板140への接着のために必要であるので研磨され得る。ビアは、様々な導電性材料またはそれを組み合わせたものによって埋め込まれ得る。このような導電性材料には、ポリシリコン、または様々な金属、例としてタングステン、ニッケル、銅が含まれるがこれらに限定されず、これらは化学気相堆積法、物理気相堆積法、電解メッキ法を含む様々な方法で堆積されるが、これらに限定されない。導電性材料は、導電性材料が接着されるコンタクト構造と良好な電気的接触、低電気抵抗、高熱伝導度を促進するように選択され得、バリア層によってビア側壁上の絶縁性材料またはビアの外側の基板部から絶縁され得る。バリア層は、例として窒化チタンまたは窒化タングステンであって、これらは、必要であれば導電性材料がビアの外側の基板部に拡散することを防ぐために、例えば金属有機気相成長法または物理気相成長法によって堆積される。例えば、シリコンに基づいたICを製造し、ビアがシリコン内へとエッチングされる場合、銅がその低抵抗ゆえに好ましい。しかしながら、典型的には、銅は、銅がシリコン内へと拡散することを回避するために、適切なビア絶縁層、典型的には酸化シリコン間に適切なバリア層、典型的には窒化チタンまたは窒化タングステンを必要とする。または、必要であれば、別の金属、例としてタングステンが、絶縁層またはバリア層とともに用いられてもよい。また、必要であれば、研磨特性が優れている材料、例としてニッケルが、絶縁層またはバリア層とともに用いられることが、上記のように、有利である。
【0103】
第8実施形態が図24A乃至図24Bに示されている。この実施形態は、ダイ144乃至146の反対側、例として薄くされたダイ基板、161がダイ基板を薄くしてビアを露出した後に基板140の表面143に接着される点において第7実施形態と異なる。この結果、薄くされたダイ基板161が表面143に接着され、また図22Cに示されているように形成されたビア155について図24Aに示されているように表面143に対して、また図23Aに示されているように形成されているコンタクト構造142に対してビア139が露出される。薄くされた基板161、例として、シリコンが、基板140の表面143に直接接着されるか、あるいは、絶縁体、例として酸化シリコンが基板140の表面143への直接接着の前に薄くされた基板161上に形成されることが可能である。薄くされた基板161の形成は、ウェハ上の全てのダイ上の全てのビア、例として図22Cに示されているビア155が同時に露出されるように、ダイ144乃至146を個別のダイに切り分けるのに先立って、ウェハの規模で行なわれることが好ましい。こうして、ダイ144乃至146は、すべてのビアが同時に露出されることが可能であり、あるいは、ダイ144乃至146が別のウェハに由来している場合は、別の時点で露出される。
【0104】
例えば図22C内の基板140から薄くされた基板161を形成することによって、ビアが十分に深くない場合、機械的な完全性が損なわれ得る。例えば、シリコンからなる直径200nmの薄くされた基板について、約0.1乃至0.3mm未満の深さのビアが、典型的には、十分である。機械的な完全性が損なわれるビアの深さは、直径がより大きい薄くされた基板についてはより大きく、また直径がより小さい薄くされた基板についてはより小さい。この、機械的完全性が損なわれることは、図22Cに示されているように形成されるビア155およびコンタクト構造147(154)についての図24Bに示されているように、基板140を薄くする前に、基板140の露出されている表面の反対側をハンドル・ウェハ44に基板に取り付けることによって回避されることが可能である。ハンドル・ウェハ44を取り付けることは、直接接着または接着剤による接着を含む様々な接着方法によってなされることが可能である。基板140の露出されている表面の反対側をハンドル・ウェハ44に基板に取り付けるとともに基板140を薄くして薄くされた基板161を形成するとともにビア155を露出した後、薄くされた基板161が接着面として用いられるか、絶縁体、例として酸化シリコンが上記のように接着層として堆積され得る。好ましい接着面の形成後、ダイ144乃至146が切り分けられるとともに基板140の表面143に接着され、また、ハンドル・ウェハ44の切り分けられた部分が除去される。切り分けは、ダイシングまたはスクライビングの少なくとも一方によってなされ得る。ハンドル・ウェハ44の切り分けられた部分を除去することは、研削、化学的機械研磨、またはエッチングの少なくとも1つまたはその組合せによってなされ得る。
【0105】
ハンドル・ウェハ44への接着および薄くすることによって薄くされた基板161を形成するに先立って、第7実施形態において説明されているように、ダイ144乃至146内にコンタクト構造147(154)が形成されることが可能である。しかしながら、コンタクト構造147上に棚を形成して導電性材料52とコンタクト構造147との間の電気的配線の抵抗を改善することは、第7実施形態において説明されているとともに図23Fおよび図23Gに示されているコンタクト構造147の反対側においてである。したがって、この棚は、コンタクト構造147の上方のデバイス領域148を、コンタクト構造147の開口を上回るだけエッチングして、図22D内のビア156およびコンタクト構造147について示されているのと同様のビアを形成することによって形成されることが可能である。
【0106】
さらに、ハンドル・ウェハ44への接着および薄くすることによって薄くされた基板125を形成するに先立って、ビア内に側壁が形成されることが可能である。この側壁は、非選択的な側壁170およびビア163について図22Kにおいて示されているのと同様に非選択的であるか、あるいは選択的な側壁173およびビア163について図22Lにおいて示されているのと同様に選択的であることが可能である。または、選択的または非選択的な側壁は、先の実施形態において説明されているように、ダイ144乃至146の接着後に形成され得る。
【0107】
ダイ144乃至146を基板140に接着することは、第7実施形態において説明されているように、接着面と平坦であるかあるいはそこに対して後退させられているとともに露出されるかあるいは薄い層によって保護されたコンタクト構造142とともになされることが可能である。ダイ144乃至146の接着後、且つハンドル・ウェハ44の切り分けられた部分が用いられている場合はその除去後、且つ薄い保護層が用いられている場合はその除去後、コンタクト構造142が、第7実施形態における図23Aまたは図23Dに示されているのと同様に露出される。次に、導電性材料が形成されて、例えば第7実施形態における図23Gおよび図23Hと同様に、露出されているコンタクト構造142、147が電気的に接続される。この導電性材料を形成することによって、ビアが一部または完全に埋め込まれることが可能である。露出されているコンタクト構造142、147(154)を電気的に接続する導電性材料がビアを一部埋め込んでいる場合、ビアの残りの部分が、先の実施形態において説明されているように金属被覆、絶縁体の堆積、化学的機械研磨の組合せによって埋め込まれるとともに平坦化されることが可能である。ビアが埋め込まれるとともに平坦化された後、アンダーバンプ金属被覆、バンプ形成、ダイシング、フリップチップ・パッケージングが、先の実施形態において説明されているように行なわれることが可能である。
【0108】
接着および電気的接続に関しては第4実施形態と同様で、接着後に薄くすることによって接着および露出することに先立ってダイを貫くビアを形成する点に関しては第7実施形態と同様の第9実施形態も可能である。この実施形態は、第7実施形態において説明されているように開始し、第4実施形態において説明されているようにコンタクト構造123、122を含んでいる接着面が準備され、接着され、電気的に接続される点を除いて、ダイ114乃至116(またはウェハ)の切り分けおよび接着へと続く。接着後、第7実施形態において説明されているようにダイ114乃至116が薄くされてダイ114乃至116内でビアが露出され、また先の実施形態において説明されているように金属によって埋め込まれる。最終的な構造の見た目は、ビアが埋め込まれるとともにコンタクト構造が開口を具備している場合、図19Aに類似している。
【0109】
第9実施形態の変形体において、接着前にビアを形成することが、第7実施形態において説明されているように金属の埋め込みによって補強される。例えば、ダイ114乃至116内のビアは、ビア156、157、158についての図22D、図22E、図22Fに示されているように、接着に先立って形成される。ダイ基板およびダイのデバイス領域の一部が導電性である場合、エッチングされたビア側壁の導電性の部分上に、電気的に絶縁性の側壁、例として図22Lに示されるような基板140およびデバイス領域148上のビア163内の側壁173が形成されることが好ましい。この側壁は、側壁全体上、または図22Kに示されているように側壁の非接触部分上、またはビアの底部内に形成されてもよい。ビアが適切にダイ基板およびデバイス領域から電気的に絶縁された後、ビアは、平坦化された金属構造100を伴った図10Bに示されているように導電性材料、例として金属によって、または金属の内部被覆またはバリア層93および絶縁体94を伴った図10Cに示されているように導電性および絶縁性材料を組み合わせたものによって、埋め込まれる。例えば金属または金属および絶縁体によってビアを埋め込むことは、先の実施形態において説明されているように多くの技術によって行なわれることが可能である。
【0110】
ダイのデバイス領域およびダイ基板の一部を貫くビアをエッチングするとともに埋め込むことに代えて、デバイスの形成またはダイのデバイス領域の完成前に、ビアが、ダイ基板の一部のみ、またはダイのデバイス領域の一部およびダイ基板の一部までエッチングまたはエッチングおよび埋め込まれることが可能である。例えば、図25Aに示されているように、ビアは、ダイ基板140内へおよびダイのデバイス領域171を貫いて、例として金属等の導電性材料(図示せず)および酸化シリコンまたは他の適切な材料等からなる絶縁体からなる半導体トランジスタおよび多層配線構造の層からなるデバイス領域の半導体部分を貫いて、または基板内に残っているデバイス領域がエッチングされる。ダイのデバイス領域171およびダイ基板140が、導電性材料、例として十分に低抵抗の半導体材料、例として典型的なCMOSウェハ形成において用いられるシリコンからなる場合、側壁が、この実施形態および先の実施形態において説明されているとともに先の実施形態において説明されているようにビア172の底の上にも形成されている選択的な側壁173についての図25Bにおいて示されているように、形成されることが好ましい。さらに、図25Aに示されている構造がシリコンから構成されている場合、非常に薄い、例として5乃至50nmの高質の選択的な酸化シリコンの側壁が熱により成長させられ、ビア172の横方向の寸法が実質的に1ミクロン未満となることを容易にして、1平方センチメートル当たり100,000,000を超える非常に高い面密度のビアが形成されることを可能にする。または、非選択的な側壁が、先の実施形態において説明されているようにビア172の底上に形成されることなくビア172の側壁上に形成されることが可能である。次に、ビア172が、必要であれば適切なバリア層によってその内側を覆われ、導電性材料174によって埋め込まれて、上記のように金属で埋め込まれたビアが形成される。ビア172は、導電性のポリシリコンによって埋め込まれてもよい。コンタクト構造123は、図25Dに示されているように、埋め込まれたビアと接触し得る。
【0111】
または、コンタクト構造123の形成に先立って、図25Cの構造上にさらなる処理を施して図25Eに示されているようにダイのデバイス領域148の製造を完了して続けてダイのデバイス領域148の上部にコンタクト構造123が形成され得る。例えば、多層配線構造は、導電性材料、例として金属、および絶縁性材料、例として典型的なCMOSウェハ製造と同様または同じものから構成され得る。典型的な金属には、銅、アルミニウムが含まれ、典型的な絶縁性材料には酸化シリコン、低誘電率絶縁体が含まれる。ダイ114乃至116内のコンタクト構造123が、第4実施形態において説明されているとともに図25Eに示されているように、形成されることが可能である。デバイス領域148は導電性材料176を形成してコンタクト構造123を金属で埋め込まれたビア174に電気的に接続することを含み得る。導電性材料176は、図25Eにおいて、導電性材料174とコンタクト構造123との間で垂直であることが示されているが、典型的な集積回路の形成、例としてCMOSウェハ製造における階層間金属の引き回しによって設けられるように、横方向成分を含んでいるか、あるいは完全に横方向成分であってもよい。導電性材料178を有する図25Fを参照されたい。
【0112】
こうして、金属で埋め込まれたビア174からコンタクト構造123への電気的な接続が、例えば典型的なCMOSウェハ製造に従って、集積回路の配線構造を用いて提供されることが可能である。こうして、電気的接続を達成するために配線構造のデザイン・ルールを変更する必要性が最小になるか無くなるかして、結果、既存の製造能力のスケーリングおよび手段が改善する。導電性材料176は、横方向成分を含むか主としてこれから構成され得るが、ビア172は横方向成分を必要としないことに留意されたい。例えば、ビア172が、ダイのデバイス領域148、例としてダイのデバイス領域171内にあり、導電性材料176が集積回路の製造において典型的に用いられる階層間金属からなる場合、ビア172は、導電性材料176から垂直に配置され、また、導電性材料176が金属で埋め込まれたビア174と電気的に接触していることを除いて導電性材料176の製造から原則独立したデザイン・ルールで製造され得る。さらに、この例におけるビア172は、例えばビア155がダイのデバイス領域148の全体を貫いて延びるこの実施形態で先に説明されたのより実質的に短い。より短いビア172によって、ビア172の横方向の寸法が小さく、例として、実質的に1ミクロン未満になり、非常に高い面密度、例として1平方センチメートル当たり100,000,000を超えるビアが形成されることが可能になって、結果、スケーリングが向上する。デバイス146内において、絶縁性の側壁膜177および絶縁性の表面膜180が、導電性材料176と別の表面コンタクトとを絶縁する必要がある場合に含められることに留意されたい。
【0113】
この変形体では、接着後に薄くすることによって、例えば図23Lの左側に示されているように、金属によって埋め込まれていないビアの代わりに、金属で埋め込まれたビアが露出される。どの変形体でも、ダイの基板部は、第6実施形態で説明されているように、完全に除去され得る。また、どの変形体でも、デバイス領域を有さないが第4実施形態に説明されているように用意されたコンタクト構造を有する基板への接着が、例えばボール・グリッド・アレイICパッケージにおけるチップ対パッケージ・インターポーザ基板の代わりとしても可能である。
【0114】
さらに、どの変形体でも、露出された表面は、金属で埋め込まれたビアを具備し得る。この表面は、必要であれば、第1実施形態に説明されているように表面を平坦化するための埋め込み材料と、第10実施形態において説明されているようなビア露出およびコンタクト構造形成を用いて、第4実施形態において説明されているような電気的接続を伴った接着のために適切に準備され得る。次に、露出されたコンタクト構造を有する、同じまたは異なるウェハからのさらなるダイが、第4実施形態において説明されているように、露出されたコンタクト構造を有する接着後に薄くされた表面に接着されることが可能である。または、フリップチップ・パッケージングが先の実施形態において説明されているように実現されることができるように、アンダーバンプ金属被覆が形成され得る。このことが、図23Mおよび図23Nに示されている。これらの図において、第2のダイが第1のダイに接着されている。上記または後述の構成を用いて導電性材料および/または1つのダイのコンタクトを別のダイに接続する際に多くの組合せが可能である。図23Mは、3つの例を示している。図23Mにおいて、ダイ181は、導電性材料168がコンタクト構造179を用いて下側のダイの導電性材料168に接続されており、ダイ182は、コンタクト147(154)が下側のダイのコンタクト147および導電性材料168に接続されており、ダイ183は、コンタクト147および導電性材料168が下側のダイのコンタクト147および導電性材料168に接続されている。
【0115】
図23Nにおいて、左側の構造は、ダイ・ダウン構成で接着された2つのダイを有している。真ん中の構造は、コンタクト構造142を有する基板149、例としてインターポーザ、と接着されたコンタクト構造147(154)を有するダイを有している。コンタクト構造147(154)と導電性材料168とは、接着後に形成された導電性材料187を介して接続されている。右側の構造は、基板149内の導電性材料168とコンタクト構造154とを接続する導電性材料187を有している。
【0116】
上記のように、本発明に係る方法は、ウェハ対ウェハ接着に適用され得る。図23Oは、図23Lの左側のダイのような、複数のコンタクト構造147および導電性材料168を有する上側基板140が、下側基板140に接着されて、コンタクト構造142とそれぞれ接続を形成していることを示している。ダイまたは別のウェハが、上記および後述の構成を用いて、ウェハ149に接着され得る。任意の数のウェハおよびダイが、接着および接続され得る。
【0117】
接着および電気的接続に関して第9実施形態と同様で、ダイ144乃至146の接着面の向きおよびハンドル・ウェハの任意付加的な使用法について第8実施形態と同様の第10実施形態も可能であり、図26Aに示されている。この実施形態は、ビアがエッチングされ、必要であれば絶縁され、例えば図25Cに示されているように導電性材料によって埋め込まれる第9実施形態において説明されたように開始する。上記のように、ビアは、様々な導電性材料によって埋め込まれ得る。この導電性材料には、必要であれば絶縁層およびバリア層を用いて、化学的気相成長法を含むがこれらに限定されない様々な方法で堆積されたポリシリコンまたは例えばタングステンまたは銅を含むがこれらに限定されない様々な金属が含まれる。次に、ダイ(またはウェハ)基板、例として図25F内の140が薄くされて、第8実施形態において説明されているようにハンドル・ウェハを任意選択的に用いて、導電性材料で埋め込まれたビア、例として図25F内の174が露出される。ビアを露出することは、裏面研削、CMP、およびエッチングの組合せによってなされることが可能である。この露出することによって、好ましいことに表面が平坦となるか、あるいは、基板のCMPまたはエッチングの選択性によって表面が非平坦になり得る。例えば、銅よりも低いレートでのCMP処理の最中にシリコンが除去され、結果、第4実施形態において説明されているように導電性のビアが後退させられるか、あるいはシリコン基板表面より低くまでへこませられることになる。または、ビアが露出されるか、あるいは露出されているビアが、導電性ビアに対して基板を優先的にエッチングして導電性ビアがシリコン基板表面上方に亘ることになる選択的エッチングでエッチングされ得る。例えば、シリコンが、SF6に基づいた反応性イオン・エッチングを用いて、銅またはビアが埋め込まれたビアに対して優先的にエッチングされ得る。導電体で埋め込まれたビアを露出することによって、第4実施形態において説明されているような適切に接着可能な表面が得られることになるのであれば、第8実施形態において説明されているようにダイは切り分けられるとともに接着され得る。
【0118】
導電体で埋め込まれたビアを露出することによって、第4実施形態において説明されているような適切に接着可能な表面が得られる結果にならない場合、第4実施形態において説明されているようにコンタクト構造が形成されて適切な表面が形成され得る。例えば、露出されている導電性のビアの埋め込みが、接着面を下回っている場合、コンタクト構造179が、第4実施形態において説明されているのと同様の方法で導電性材料174上に形成され得る。このように形成することは、コンタクト構造および絶縁体、例として酸化シリコンを堆積すること、続いて研磨することを含み、結果、接着面が、コンタクト構造を除いて適切に平坦且つ電気的に絶縁となる。このことが、導電性材料174と接触して形成されたコンタクト構造179およびPECVD酸化シリコンのような絶縁膜169を有する図26Bに示されている。
【0119】
または、本工程は、絶縁体有りまたは無しで、コンタクトを堆積および研磨することを含み得る。結果、接着面が、コンタクト構造と適切に平坦になるとともに、基板、例として図25Fの基板140から構成される。さらに、露出されている導電性埋め込みが、接着面より高い場合、コンタクト構造が、第4実施形態において説明されているのと同様の方法で導電性材料174上に形成されてもよい。この形成することは、コンタクト構造および絶縁体、例として酸化シリコンを堆積および研磨することを含み得る。結果、コンタクト構造179を除いて、接着面が適切に平坦になるとともに電気的に絶縁になる。コンタクト構造179は、導電性材料174と同程度に、またはこれより小さく、またはこれより大きく形成され得る。
【0120】
次に、第8実施形態において示されているように、ダイは切り分けられるとともに接着される。こうして、ダイ144乃至146は、第9実施形態において説明されているように形成および埋め込まれた接着前ビアによって基板140に接着され、また、必要であればコンタクト構造を含んだ接着面が第4実施形態において説明されているように準備され、接着され、電気的に接続される。ダイ144乃至146を基板140に接着した後、ダイ144乃至146はコンタクト構造142に電気的に接続されている必要はなく、また、ダイ1114乃至116の露出されている表面は、先の実施形態において説明されているようにフリップリップ・パッケージングの準備のためにアンダーバンプ金属被覆のために利用可能である。
【0121】
第10実施形態において、ビアは、第9実施形態において示されているようにデバイス領域148の全体をまたはデバイス領域148の半導体部分を貫いて形成されることが可能である。第9実施形態における場合のように、デバイス領域148の半導体領域内にビアを形成することによって、デバイス領域の完成前にビアを形成することによるより深くより広いビアが回避される。このことは、デバイス密度を向上させるとともに、半導体のビアの形成の結果消費される部分を減少させる。結果、スケーリングが向上する。さらに、ダイ基板部が、第6実施形態において説明されているように完全に除去され得る。さらに、露出されている表面はコンタクト構造を具備し得る。この表面は、必要であれば、第1実施形態において説明されているように表面を平坦化するための埋め込み材料を用いて、第4実施形態において説明されているように電気的接続を伴った接着に向けて適切に準備され得る。次に、露出された金属で埋め込まれたビアを有する同じまたは異なるウェハに由来するさらなるダイが、第4実施形態において説明されているように適切なコンタクト構造を有する接着後表面に接着されることが可能である。または、先の実施形態において説明されているようにフリップチップ・パッケージングが実現されることが可能になることに備えてアンダーバンプ金属被覆が形成され得る。また、第10実施形態は、図23Mと同様に複数のダイを積み上げるために、または図23Nと同様にウェハ対ウェハ・フォーマットで実行されてもよい。
【0122】
本発明の望ましい特徴が、垂直積み上げおよび接続構成に向けられる。例えば、ダイは、IC側を下にまたはIC側を上にして接着され得る。また、ダイ対ウェハ・フォーマット、ウェハ対ウェハ・フォーマットも、IC側を上にまたは下にした上側のウェハを下側のウェハにIC側を上にして接着されることが可能である。さらに、これらのダイ対ウェハおよびウェハ対ウェハ・フォーマットは、IC機能のために基板を必要としない基板を用いて製造されたICとともに用いられることが可能である。例えば、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板または例えばIII/V材料、SiC、サファイア等の非シリコン基板を用いて製造されたICは、IC機能のために基板の存在を必要としない。これらの場合、基板のトランジスタ製造のために必要でない全部分が除去されて、垂直電気的配線を形成するのに必要なビアのエッチングが最小にされ得る。
【0123】
基板がデバイス領域を具備していることが示されているが、デバイス領域を有さずにコンタクト構造を有する基板も、例えば、ボール・グリッド・アレイICパッケージ内でのチップ対パッケージ・インターポーザ基板の代わりとして可能である。また、ダイがデバイスを有していることが示されているが、デバイスを有さないまたはデバイスを有さないがコンタクト構造を有するその他のダイまたは素子が、本発明に従った方法を用いて、基板に接着され得る。
【0124】
本発明の多くの変更体および変形体が、上記の技術に照らして可能である。よって、添付の請求項の範囲内で、本明細書に具体的に説明されたのとは別のやり方で実施されてよいことが理解されるべきである。
【関連出願】
【0001】
本出願は、現在米国特許第6,500,794である出願番号09/532,886、出願番号10/011,432、出願番号10/359,608、現在米国特許第6,867,073である出願番号10/688,910、出願番号10/440,099に関連しており、これらの内容の全ては、参照することによって本明細書に組み込まれる。
【技術分野】
【0002】
本発明は、3次元集積回路の分野に関し、より詳しくは、直接ウェハ接着を用いた3次元集積回路デバイスおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0003】
半導体集積回路(IC)は、典型的には、シリコンウェハ内およびその表面上に形成され、この結果、ICが大きくなるに連れてIC面積が大きくならねばならない。IC内のトランジスタが小さくなるという絶え間ない向上(これは、一般にムーアの法則と呼ばれる)によって、所与のIC面積内のトランジスタの数が実質的に上昇した。しかしながら、トランジスタの密度が上がったにも係らず、多くの応用例において、全IC面積の増加が望まれる。その理由は、必要なトランジスタの数が一層多くなっていることや、特定の機能を達成するためにトランジスタ相互間の水平方向での接続の数が増えていることである。これらの応用例を1つの大きなICダイで実現すると、典型的には、チップの歩留まりが減少する結果となり、ひいてはICのコストが増大する結果となる。
【0004】
IC製造の別の傾向は、1つのIC内でのタイプの異なる回路の数を増やすことである。これは、より一般的には、システム・オン・チップ(SoC)と呼ばれる。このように製造することによって、典型的には、タイプが異なる回路を作製するためにマスクの階層の数が増大することが必要になる。マスクの階層を増やすことによっても、典型的には、歩留まりの減少、ひいてはICコストの増大という結果になる。このように望ましくない歩留まりの減少やコストの増加を回避するための解決策は、ICを垂直に積み上げたり垂直に接続したりすることである。これらのICは、大きさが異なっていても構わないし、大きさの異なるウェハから作られていても構わないし、相違する機能(すなわち、アナログ、ディジタル、光学的)であっても構わないし、相違する材料(すなわち、シリコン、GaAs、InP)から作られていても構わない。ICは、積み上げられる前に検査されてノウン・グッド・ダイ(KGD)が結合されるようにして歩留まりを向上することが可能である。このように垂直積み上げや垂直配線の手法の経済的な成功は積み上げや接続の歩留まりおよびコストに依存し、このことはICおよびSoC面積を広くすることに関連する歩留まりおよびコストよりも有利である。この手法を実現する製造可能な方法は、直接接着を用いてICを垂直に積み上げることと、ウェハを薄くすることや、フォトリソグラフィー・マスキングや、ビアのエッチングや、配線の金属化を含む従来のウェハ製造技術を用いて垂直配線構造を形成することである。積み上げられたIC同士の間の垂直な電気的な相互接続は、直接接着しながら積み上げた結果直接的に、または直接接着しながら積み上げた後の一連のウェハ製造技術の結果、形成されることが可能である。
【0005】
この手法の垂直相互接続部分のコストは、ビアをエッチングすることと電気的配線を形成することに必要なフォトリソグラフィー・マスキングの階層の数に直接関係する。よって、垂直な配線を形成するのに必要なフォトリソグラフィー・マスキングの階層の数を最小にすることが望ましい。
【0006】
垂直積み上げおよび垂直相互接続の1つの形は、(基板上の)ICがフェース・トゥー・フェースで、すなわち、IC側同士を向けて接続されることである。この形は、ウェハ対ウェハの形式で行なわれ得るが、典型的には、ダイ対ウェハの形式で行なわれることが好ましい。ダイ対ウェハの形式では、接着されるダイをIC側を下にし、IC側を上にしたウェハにダイが接着される。これにより、ノウン・グッド・ダイの積み上げを可能にして歩留まりを向上させる。垂直の相互接続は、例えば出願10/359,608において説明されているように積み上げの結果直接、または直接接着での積み上げの後の一連のウェハ製造技術の結果、形成され得る。この、直接接着での積み上げ後の一連のウェハ製造技術は、典型的には、以下を含んでいる。ダイが、典型的には、ダイ基板の大半を除去することによって実質的に薄くされる。ダイ基板は、一般に、基板内にトランジスタが位置している故に、完全に除去されることは許されない。これは、例えばバルクCMOS ICの場合がそうである。こうして、基板は、典型的には、実行可能な範囲で可能な限り除去され、トランジスタへのダメージを回避するのに十分な基板の残留物が残る。次に、ダイICへの配線が、残存する基板を貫いてダイIC内の配線の位置に達するビアを、このビアの近くに必要なトランジスタが無いようにエッチングすることによって形成される。さらに、最高の配線密度を達成するために、このビアをダイICの全体を貫いてウェハIC内に至ってウェハIC内の接続位置まで継続することが好ましい。このビアは、典型的には、ダイICおよびウェハIC内で接続位置からの所望の電気的絶縁を提供する絶縁性材料を貫いて延び、またダイICおよびウェハIC内の所望の電気的接続位置を露出する。このビアの形成後、ダイICおよびウェハIC内の露出された所望の電気的接続位置への垂直配線が、導電性材料によって形成されることが可能である。導電性材料とビア側壁上の露出された基板との間の絶縁層が用いられて、この導電性材料と基板との間の望ましくない電気伝導が回避され得る。
【0007】
この構造を製造することは、典型的には、4つのフォトリソグラフィー・マスキング階層を形成することを必要とする。これらの階層は、1)基板を貫くビアのエッチング、2)ダイICおよびウェハIC内で所望の導電性材料を露出するダイICおよびウェハIC内の絶縁性材料を貫くビアのエッチング、3)ダイIC内の接続位置をウェハIC内の接続位置に接続する導電性材料を電気的に絶縁する続けて堆積された絶縁層を貫いてダイICおよびウェハIC内で所望の導電性材料を露出する露出された基板ビア側壁へのビアのエッチング、4)ダイIC内の露出された配線位置とウェハIC内の露出された配線位置との間の導電性材料を用いた接続、である。
【0008】
絶縁性材料を貫くビアのエッチングを規定するパターンは、典型的には、基板を貫くビアのエッチングを規定するパターンより小さい。これは、ダイICおよびウェハIC内の配線点を適切に露出するとともに基板ビア側壁上の絶縁性材料を除去することを回避するためである。これらのパターンは、基板内のビアの形成後に形成され、このパターニングは、典型的には、基板ビアのパターニングよりも位置的に下の階層で行なわれる。これは、非平坦な構造上にパターニングを行なう結果となる。このことは、最高の配線密度を達成するために望ましい構造のスケーリングを非常に小さなものへと限定するとともに、最も可能性の低いシリコン基板を削ることになる。この削られる基板には、削られなかったならば機能性トランジスタが位置し得たところである。
【0009】
従って、より少ないマスキング工程および構造内の位置的に最も高い階層またはその1つにおける平坦面上への実現可能なマスキング工程を必要とする構造およびその構造の製造方法を具備するデバイスを有することが望ましい。機能性トランジスタが位置し得るシリコンの消費が最小にする構造を有する装置および前記の構造を製造するための方法を有することがさらに望ましい。
【発明の開示】
【0010】
本発明は、3次元デバイス集積方法および3次元的に集積されたデバイスに向けられている。
【0011】
本方法の一例では、第1コンタクト構造を有する第1素子が第2コンタクト構造を有する第2素子と集積される。本方法は、少なくとも前記第1コンタクト構造に対して露出されたビアを前記第1素子内に形成し、少なくとも前記第1コンタクト構造と接続された導電性材料を前記ビア内に形成し、前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着する、工程を含み得る。
【0012】
第2例では、本方法は、第1素子内にビアを形成し、前記ビア内に第1導電性材料を形成し、前記第1導電性材料を前記第1コンタクト構造に接続し、前記第1素子を、前記第1コンタクト構造および前記第1導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように、前記第2素子に接着する、工程を含み得る。
【0013】
第3例では、本方法は、第1基板を有する第1素子内にビアを形成し、前記ビア内に導電性材料を形成し、前記ビアおよび前記導電性材料の形成後、前記導電性材料に電気的に接続されたコンタクト構造を形成し、少なくとも1つの第2コンタクト構造を有する第2素子を形成し、前記第1基板の一部を除去して前記ビアおよび前記導電性材料を露出し、前記第1基板を前記第2基板に接着し、前記接着する工程の一部として、前記第2コンタクト構造と、前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちのの1つと、の間を接続する、工程を含み得る。
【0014】
本発明に係る集積構造の一例では、第1素子は第1コンタクト構造を有し、第2素子は第2コンタクト構造を有し、第1ビアが前記第1素子内に形成され、第1導電性材料が前記第1ビア内に形成され且つ前記第1コンタクト構造と接続され、前記第1導電性材料および前記第1コンタクト構造のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように第1素子が前記第2素子に接着される。
【図面の簡単な説明】
【0015】
本発明およびこれに伴う多くの利点に対するより完全な理解は、これらを、添付の図面とともに検討しながら以下の詳細な説明を参照することによってより良く理解されるに従って、容易に得られるであろう。
【図1】フェース・アップのウェハにフェース・ダウンで接着されるダイを示す図である。
【図2A】基板に接着されたダイの図である。
【図2B】ダイの基板の一部が除去された形の、基板に接着されたダイの図である。
【図2C】別の基板に接着された基板の図である。
【図3A】図2Aの構造を覆うように絶縁膜およびマスク層を形成することを示す図である。
【図3B】平坦化材料形成後に絶縁膜およびマスク層を形成することを示す図である。
【図4】図3Aおよび図3Bの絶縁膜およびマスク層内に形成された開口を示す図である。
【図5】図4のように形成された開口を用いてダイをエッチングすることを示す図である。
【図6A】さらにエッチングしてダイおよびウェハ内のコンタクト構造を露出することを示す図である。
【図6B】ハード・マスクの形成を含んだ、工程の変形体の図である。
【図7A】コンフォーマル絶縁側壁層形成後の図6Aの構造の一部を示す図である。
【図7B】ハード・マスクが除去されている、実施形態の変形体である。
【図8A】コンフォーマル絶縁側壁層を異方性エッチングすることを示す図である。
【図8B】ハード・マスクが除去されている、実施形態の変形体である。
【図8C】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8D】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8E】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8F】接着された構造内のコンフォーマル膜を形成する際の変形体を示している。
【図8G】コンフォーマル膜のエッチング後の図8C内の構造を示している。
【図8H】コンフォーマル膜のエッチング後の図8D内の構造を示している。
【図8I】コンフォーマル膜のエッチング後の図8E内の構造を示している。
【図8J】コンフォーマル膜のエッチング後の図8F内の構造を示している。
【図8K】接着された構造内で側壁膜を形成する代替的なやり方を示している。
【図9A】金属シード層および金属埋め込み材を具備する金属コンタクトを形成することを示す図である。
【図9B】ハード・マスクが除去されている、実施形態の変形体である。
【図9C】シード層が形成されない、実施形態の変形体である。
【図10A】化学的機械研磨後の図9Aおよび図9Bの構造の図である。
【図10B】化学的機械研磨後の図9Cの構造の図である。
【図10C】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図10D】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図10E】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図10F】接着された構造内の空洞を埋める、代替的な方法を示す図である。
【図11】図10Aの構造の金属被覆を示す図である。
【図12】介在する絶縁層無しでマスク層を用いる第2実施形態の図である。
【図13】第2実施形態で金属コンタクトを形成することを示す図である。
【図14】化学的機械研磨後の図13の構造を示す図である。
【図15】本発明の別の実施形態を示す図である。
【図16A】装置の1つの表面にコンタクト構造が位置する実施形態を示す図である。
【図16B】さらなる処理後の図16Aの構造の図である。
【図17】図16Aおよび図16Bに示される構造を用いて本発明に従った方法を用いて製造されたデバイスを示す図である。
【図18】本発明の別の実施形態の図である。
【図19A】図18に示される構造を用いて本発明に従った方法を用いて製造されたデバイスを示す図である。
【図19B】図19Aの構造上に形成された平坦化材料およびコンタクトを有する構造を示している。
【図19C】図19Aに類似するが開口を有さない、直接接着されたコンタクトを示している。
【図20A】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20B】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20C】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20D】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20E】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20F】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20G】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図20H】側壁膜を伴った第5実施形態を示している。
【図21A】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21B】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21C】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21D】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図21E】基板が実質的に完全に除去される第6実施形態を示している。
【図22A】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22B】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22C】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22D】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22E】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22F】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22G】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22H】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22I】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22J】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22K】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図22L】ビアがダイの切り分けに先立って形成される第7実施形態を示している。
【図23A】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23B】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23C】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23D】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23E】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23F】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23G】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23H】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23I】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23J】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23K】ダイがトップ・ダウンで搭載される第8実施形態を示している。
【図23L】トップ・ダウンおよびトップ・アップ構成における、埋め込まれたビアを有する構造を接着することを示している。
【図23M】第2階層を接着することを示している。
【図23N】第2階層を接着することを示している。
【図23O】ウェハ対ウェハ接着を示している。
【図24A】ダイがトップ・アップで搭載される、第8実施形態の変形体を示している。
【図24B】ダイがトップ・アップで搭載される、第8実施形態の変形体を示している。
【図25A】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25B】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25C】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25D】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25E】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図25F】接着に先立ってビアが埋め込まれる第9実施形態を示している。
【図26A】埋め込まれたビアおよび表面コンタクトを有する第10実施形態を示している。
【図26B】埋め込まれたビアおよび表面コンタクトを有する第10実施形態を示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
図面、特に図1を参照して、本発明に従った第1実施形態が説明される。図面は実際の比率で描かれているのではなく、本発明の概念を示すために描かれていることに留意されたい。
【0017】
基板10は、コンタクト領域12を有するデバイス領域11を含んでいる。基板10は、所望の適用例に応じて、多数の材料、例として半導体材料または絶縁性材料から構成可能である。典型的には、基板10はシリコンまたはIII−V材料から構成される。コンタクト構造12は、典型的には、基板10内に形成されたデバイスまたは回路構造(図示せず)へのコンタクトを形成する金属パッドまたは配線構造である。基板10は、また、コンタクト構造12と接続される集積回路を含んでおり、基板10はコンタクト構造のみを含んだモジュールであり得る。例えば、基板10は、基板10に接着された構造同士を接続するためのモジュール、またはパッケージ化または別のモジュールまたは例えばプリント回路基板上の回路構造との集積のための接続をもたらすモジュールであり得る。
【0018】
表面13上において基板10に接着されるために配置されているのは、3つの分離されたダイ14乃至16である。各ダイは、基板部19と、デバイス領域18と、コンタクト構造17とを有している。ダイは、ダイシング等によって前もって分割され得る。ダイ14乃至16は、所望の適用例に応じて、多数の材料、例として半導体材料から構成可能である。典型的には、基板は、シリコンまたはIII−V材料から構成される。コンタクト構造17は、典型的には、デバイス領域18内に形成されたデバイスまたは回路構造へのコンタクトを形成する金属パッドまたは配線構造である。コンタクト構造12、17の大きさは、それぞれ相違し得る。コンタクト構造の大きさの典型的な範囲は1乃至20ミクロンであるが、大きさおよび相対的な大きさは、位置合わせの許容量、回路設計パラメータ、他の要因に応じてこの範囲外であってもよい。コンタクト構造の大きさは、発明の概念を説明することに向けられており、限定することを意味しない。デバイス領域18は、また、コンタクト構造17と接続された集積回路を含み得る。実質的に全ての基板部19が除去され、デバイスの層、回路、回路層が残され得る。また、ダイ14乃至16の基板は、接着後に所望の厚さまで薄くされる。
【0019】
ダイ14乃至16は、ウェハ10と同じ技術で作られてもよいし、別の技術で作られてもよい。ダイ14乃至16は、各々、同じまたは相違するデバイスまたは材料であり得る。ダイ14乃至16の各々は、デバイス領域18に形成されたコンタクト構造17を有する。導電構造17は、相互に離されて間隔が形成される。または、コンタクト構造の両端に亘る開口を有する単一の構造であってもよい。換言すれば、開口は、コンタクト構造内に位置する穴であり得るし、またはコンタクト構造を2つに分割し得る。間隔または開口の大きさは、接着の最中の具体的な技術についてのフォトリソグラフィー上のデザイン・ルールによって決定され得る。例えば、配線金属との信頼の置ける低抵抗の電気的接続を後に形成するためのコンタクト構造12、17の水平方向の最小幅が要求される。
【0020】
間隔または開口の最適な大きさを決定するさらなる要因は、コンタクト構造17、12間の垂直方向の距離にコンタクト構造17の厚さを加えたものの、間隔または開口の大きさに対する比率である。これによって、コンタクト構造17、12間の電気的接続を可能にする、コンタクト構造17、12間に後に形成されるビアのアスペクト比が規定される。この垂直方向における距離は、酸化物対酸化物直接接着用には、米国出願番号09/505,283(この内容は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に記載されているように、1乃至5ミクロン、またはそれ以下であり、金属直接接着については、米国出願番号10/359,608(この内容は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に記載されているように、ほぼゼロである。さらに、コンタクト構造17の厚さは、典型的には、0.5乃至5ミクロンである。用いられる処理技術に応じた典型的な所望のビアのアスペクト比0.5乃至5の場合、間隔の大きさの典型的な範囲は、酸化物対酸化物接着については0.3乃至20ミクロンであり、金属直接接着については0.1乃至10ミクロンである。金属直接接着の事例は、後に、第4実施形態において説明される。
【0021】
ダイ14乃至16は、一般に、コンタクト構造17および間隔または開口が対応するコンタクト構造12の上方に位置するように、コンタクト12に位置合わせされる。コンタクト構造12の大きさは、ダイ14乃至16がコンタクト構造17相互間の間隔に単に揃うことが可能になるように選択される。この大きさは、ダイ14乃至16を基板10上に配置するのに用いられる方法の位置合わせ精度に依存する。市販の製造ツールを用いた典型的な方法によれば、位置合わせ精度は1乃至10ミクロンの範囲が可能である。しかしながら、これらのツールが将来に亘って改良されることによって、位置合わせ精度がより小さくなる結果になると思われる。コンタクト構造17の水平方向の間隔または開口を超えた広がりは、少なくともこの位置合わせ精度によって与えられる距離であることが好ましい。
【0022】
各ダイ14乃至16について1組のコンタクト構造17のみが示されているが、コンタクト構造17の横方向の広がりは、典型的には、ダイ14乃至16の水平方向の広がりよりもずっと小さい。この結果、各ダイが幾つものまたは非常に多くのコンタクト構造17を有し得る。例えば、コンタクト構造17は、水平方向の広がりが1乃至100ミクロンの範囲内にあり、ダイ14乃至16は、水平方向の広がりが1乃至100mmの範囲内にある。このように、ダイ14乃至16内の104以上の次数を有するコンタクト構造17の数が、実用上、実現可能である。
【0023】
図2Aに示されているように、ダイ14の表面20が、基板10の表面13に接着される。これは、多くの方法によって達成することができるが、室温で、米国出願番号09/505,283に記載のような接着方法を用いて接着されることが好ましい。この出願では、500乃至2000mJ/m2の範囲内の強度の接着、すなわち化学結合が形成される。ダイ14乃至16を基板10に接着することが、図2に示されている。接着後、ダイ14乃至16の基板が薄くされる。薄くすることは、研磨、研削、エッチング、またはこれら3つの技術の組合せによって達成されて、薄くされた基板21が残されるか、基板部19が完全に除去される。図2Bは、基板部19が完全に、または実質的に完全に除去された例を示している。ダイ14乃至16の基板が接着に先立って薄くされてもよい。
【0024】
一例では、コンタクト12、17がその中に形成される材料は、化学気相成長(CVD)またはプラズマCVD(PECVD)、スパッタリング、蒸発によって形成された、SiO2のような堆積された酸化物である。窒化シリコン、アモルファス・シリコン、ポリマー、半導体、焼結材料のような他の材料が用いられてもよい。また、堆積された酸化物の層が、ダイ上に形成され得る。
【0025】
次に、表面同士が直接接着技術によって接着される。好ましくは、あらゆるタイプの酸化接着が用いられ得、特に、低温または室温酸化接着が用いられ得る。接着技術には、表面13、20の平坦化および平滑化が含まれていてもよい(表面20は、ダイの切り取り前に準備され得る)。このステップは、化学的機械研磨を用いて達成されることが可能である。表面は、好ましくは、約0.5乃至1.5nm以下、好ましくは0.5nm以下、のラフネスまで研磨され、実質的に平坦である。表面ラフネスの値は、典型的には、平方2乗平均(RMS)値によって与えられる。また、表面ラフネスは、RMS値とほぼ同じである、平均値として与えられてもよい。研磨後、表面は洗浄および乾燥されて研磨工程に由来するあらゆる残留物が除去される。次いで、研磨された表面が溶液によって洗浄されるのが好ましい。
【0026】
接着面が研磨に先立ってエッチングされて平坦性および/または表面ラフネスを向上させてもよい。このエッチングは、接着面上の特に高い部分を、例えば標準的なフォトリソグラフィー技術を用いてこの高い部分を選択的にエッチングすることによって除去するのに効果的であり得る。
【0027】
接着技術には、活性化処理が含まれ得る。この活性化処理には、エッチング処理が含まれ得、また、好ましくはベリー・スライト・エッチ(VSE)処理が含まれ得る。用語VSEは、極わずかにエッチングされた表面の2乗平方根のマイクロ・ラフネス(RMS)が、ほぼ、エッチングされてない値のままであること、典型的には<0.5nm、および好ましくは0.5nm乃至1.5nmの範囲内にあることを意味する。除去される材料の最適な総量は、材料および除去に用いられる方法に依存する。除去される典型的な量は、オングストロームから数ナノメートルに亘る。より多くの量、材料を除去することも可能である。
【0028】
用語VSEは、望ましくない有機的汚染物を、意図して表面上に堆積された材料、例として酸化シリコンを除去することなく、表面から除去することも指し得る。従って、望ましくない有機的汚染物を除去することによって、RMSが減少し得る。
【0029】
活性化処理は、相違するモードで実行されるプラズマ処理とすることができる。例えば、ArまたはOプラズマである。反応性イオン・エッチング(RIE)およびプラズマ・モードが用いられ得、誘導結合型プラズマ・モード(ICP)も同様に用いられ得る。スパッタリングも用いられ得る。例は、以下において、RIEおよびプラズマ・モードにおいて提示される。
【0030】
または、その最中に活性化するとともに所望の終端種によって表面を終端するポストVSE処理が用いられ得る。
【0031】
表面は、活性化の後に、好ましくは表面の原子層に一時的な結合を形成する所望の種によって終端され、結果、この表面が同じまたは別の結合種によって終端された表面と一緒にされ得ることが可能な次の機会まで原子層を終端する。複数の表面上の所望の種同士は、互いに十分に近づいたときに好ましくは相互に反応し、低温または室温での化学結合を可能にする。この結合は、反応した所望の種の結合界面からの拡散および解離または拡散によって強化され得る。
【0032】
この終端処理には、結合表面を所望の種で終端する結果となる表面反応を生成するように選択された化学物質を含んだ溶液に浸漬することが含まれ得る。Nを基礎とする溶液、例としてNH4OHが用いられ得る。この浸漬することは、好ましくは、活性化処理の直後に実行される。終端処理は、プラズマ、RIE、または適切な気体成分が導入されて表面を所望の種で終端するドライ処理からなり得る。
【0033】
表面は、任意で洗浄され、その後、乾燥される。2つの表面は、(必要であれば)両者を位置合わせするとともにこれらを合わせて接着界面を形成することによって接着される。この2つの表面は、例えば、例えば市販の接着装置(図示せず)を用いて接着界面を開始することによって合わせられる。
【0034】
次いで、典型的には、接着界面の幾つかの箇所で自然接着が発生し、表面の全体に伝播する。最初の接着が伝播し始めると、表面同士が十分に近いのであれば、化学結合につながるポリマー化のような化学反応が表面の集結に用いられている種相互間で生じる。こうして、ウェッジを挿入することによって一部剥離された接着界面における分離された2つの表面のうちの一方の比表面エネルギーとして定義される結合エネルギーによって強固な結合が形成される。この化学反応の副産物は、接着界面から拡散し得、また典型的には周囲の物質において吸収され得る。また、この副産物は、別の副産物へと変換され、拡散し、また吸収され得る。共有結合および/またはイオン結合の量は、変換された種を除去することによって増やされ、結果、結合強度が増加する。
【0035】
図2Aでは、3つのダイが1つの基板10に接着されることが示されているが、より多くのまたはより少ない数のダイが基板10に接着されることも可能である。また、基板10と同様の大きさの別の基板を接着することが可能である。これは、図2Cに示されており、図2Cにおいて、デバイス領域23を有する基板22が、離された導電構造24が概して導電構造12と揃うようにウェハ10に接着される。接着前に基板22が薄くされあるいは除去されて位置合わせが容易にされ得る。基板22は、接着後、薄くされ得、所望により、基板22の実質的に全体が除去され得る。以下の図面において説明される手順は、図2B、図2Cに示される構造にも適用可能であるが、簡略化のために、個別の図面が省略される。
【0036】
図3Aに示されるように、コンフォーマル(conformal)な絶縁膜30が基板10およびダイ14乃至16の表面13を覆うように形成される。この膜は、例えば、CVD、PVD、PECVDによって形成され得、好ましくは典型的な厚さが0.1乃至1.0ミクロンのシリコン酸化膜のような酸化膜から構成され得る。また、堆積された、またはスピン塗布または堆積された酸化物のような埋め込み材またはポリイミドまたはベンゾシクロブテンのようなポリマー32が、図3Bに示されるように、ダイ14乃至16を覆うように、また/またはこれらの間に形成され得る。材料32は、処理の様々な時点での形成が可能である。図3Bは、材料32が膜30、40の形成前に形成される例を示している。また、埋め込み材料は、図3Aに示される構造の形成後、またはハード・マスク40の形成後(図4)、または選択された材料および温度の検討項目のような多くの要素に基づいて処理の中の様々な時点で、形成されてよい。埋め込み材料を形成するために、別の技術が用いられてよい。例えば、例えばシリコン酸化物の絶縁性の埋め込み材が、例として上記の方法を用いた連続するまたは繰り返しの絶縁体形成ステップおよび化学的機械研磨によって、用いられ得る。または、例えば電解メッキ法によって形成された例えば金属の導電性の埋め込み材が、連続するまたは繰り返しの金属形成ステップや化学的機械研磨によって、用いられ得る。平坦な表面を有することによって、この表面上へのフォトレジストおよび他の膜の形成や、例えば図4に示す開口41のような開口の形成が改善される。
【0037】
続いて、ハード・マスク40が、絶縁膜30上に形成され、開口41が概して構造17と揃うようにパターニングされる(図4)。ハード・マスクは、薄くされた基板21およびデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアをエッチングするのに用いられる後続のエッチング処理に対して高いエッチング選択性を有する材料からなることが好ましい。ハード・マスクの例は、アルミニウム、タングステン、プラチナ、ニッケル、モリブデンであり、エッチング処理の例は、SF6に基づいた反応性イオン・エッチングで薄くされたシリコン基板を貫いてビアをエッチングし、続いてCF4に基づいた反応性イオン・エッチングでデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアをエッチングすることである。ハード・マスク40の典型的な厚さは、0.1乃至1.0ミクロンである。開口40の幅は、薄くされた基板21の厚さやコンタクト構造17相互間の間隔を含む多くの要素に依存するが、典型的には1乃至10ミクロンである。
【0038】
開口41は、ハード・マスク40や絶縁膜30に対する標準的なフォトリソグラフィーでのパターニングやエッチング技術を用いて形成される。例えば、フォトリソグラフィーを用いたフォトレジスト内に開口が形成されることが可能である。この開口は、ダイ14乃至16(または基板22)、または基板10上の位置合わせマークに合わせられることが可能である。光学的イメージングまたはIRイメージングが、位置合わせに用いられることが可能である。次に、ハード・マスク40が、ハード・マスクの材料に応じて適切なウェット化学溶液またはドライ反応性イオン・エッチング処理によってエッチングされることが可能である。こうして、開口内で絶縁膜30が露出される。次に、絶縁膜30が、ハード・マスク40の場合と同様のやり方で、絶縁膜の材料に応じて適切なウェット化学溶液またはドライ反応性イオン・エッチングによってエッチングされることが可能である。ハード・マスク用のウェット化学溶液の例は、ハード・マスクがアルミニウムの場合は、Aluminum Etchant Type Aである。絶縁膜材料用の反応性イオン・エッチング処理の例は、絶縁膜材料が酸化シリコンの場合、CF4に基づいた反応性イオン・エッチングである。これらの、およびその他のハード・マスクおよび絶縁膜材料に対して、他の多くのウェットおよびドライ・エッチングが可能である。開口41の幅は、開口がダイ14乃至16(または基板22)に位置合わせされている場合は、構造17の間隔よりも広いことが好ましく、または開口が下側の基板20に位置合わせされている場合は、構造17の間隔に基板20上にダイ14乃至16(または基板22)を配置するのに用いられる方法の位置合わせ精度を加えた間隔よりも広いことが好ましい。
【0039】
図5に示されているように、ハード・マスク40を用いてダイ14乃至16の基板部がエッチングされてビア50が形成される。このエッチングは、コンタクト構造12、17に隣接する材料(これらは典型的には絶縁膜である)を貫いて継続され、導電性材料17の裏面および横部分とコンタクト構造12の上面が露出される。気体および条件の第1の組が用いられて(例えばSF6に基づいて)ダイ14乃至16の基板材料を貫いてエッチングが行なわれ得、気体および条件の第2の組(例えばCF4に基づいて)が用いられてコンタクト構造17の周囲の絶縁層を貫いてエッチングが行なわれる。両方のエッチングは、真空を破ることなく適切に気体および条件を切り替えることによって、1つのチャンバ内で実行され得る。導電性材料12を露出するエッチングは、図6Aに示されている。このエッチングによって、コンタクト構造17の間隔または開口を貫いてコンタクト構造12まで延びるビア部60が生成される。
【0040】
コンタクト構造12、17を露出する絶縁膜のビアのエッチングは、コンタクト構造17に対する害となる量のエッチングを回避できるように、コンタクト構造17に対して高いエッチング選択性を有することが好ましい。しかしながら、コンタクト構造17への害となる量のエッチングにつながる、絶縁膜へのビアのエッチングと導電性構造の組合せが幾つか存在する。例えば、この害となる影響は、導電性構造17が十分に薄い場合またはコンタクト構造12、17の間の垂直方向の距離が十分に大きい場合に起こり得る。
【0041】
エッチングの量が害となる例は、酸化シリコン絶縁体に囲まれたアルミニウムのコンタクト構造17と何らかのCF4に基づいた反応性イオン・エッチングの組合せで、酸化シリコン絶縁体に対するアルミニウム導電性構造のエッチング・レートの比が、コンタクト構造12、17間の酸化シリコン絶縁体の厚さに対するコンタクト構造17の厚さの比と同程度か、あるいはこの比よりも高いことである。
【0042】
コンタクト構造17に対して害となる量のエッチングが生じ得る、このような状況では、コンタクト構造17を厚くしたり、コンタクト構造17を絶縁膜へのビアのエッチングから保護するための中間処理を付加することができる。中間処理が用いられて、以下のように、有害なエッチングを回避することができる。絶縁体のエッチングで最初に上側コンタクト構造17の裏面および横部分が露出された際に、金属材料のようなハード・マスクが、絶縁体へのエッチングを継続することでコンタクト構造17への有害なエッチングという結果になる前に、コンタクト構造17の露出された部分上に選択的に堆積されることが可能である。ハード・マスクの選択的な堆積の後、絶縁体のエッチングが、コンタクト構造17への有害なエッチング無しに、継続されることが可能である。ハード・マスクを選択的に堆積する例は、ニッケルの無電解メッキ法である。これは、例えば、図6Bに示されている。図6Bにおいて、エッチングは、コンタクト構造17の露出後であらゆる著しく有害なエッチングが生じる前に停止させられる。次に、コンタクト構造17は、例えば無電解メッキ法を用いて例えばニッケルの保護ハード・マスク材料によって被覆される。ニッケルのような材料は、コンタクト構造12、17を後に接続する際にデバイス内に残っていてよい。または、材料61は、必要であれば、構造12、17の接続を行なう前に除去されてもよい。
【0043】
保護ハード・マスク61が、ハード・マスク40上に選択的に堆積されてもよいことに留意されたい。例は、ハード・マスク40が導電体であり、保護ハード・マスク61の堆積が無電解メッキ法によって達成されることである。これは、ハード・マスク40の必要な厚さを減少させるのに有利である。ハード・マスク40上に保護ハード・マスク材料を堆積するさらなる利点は、ビア50の開口が制約されることによってコンタクト構造17の一部がビア60の異方性エッチングから守られることになることであり得る。図7Aは、後続のステップをより明確に示すために、ダイ14乃至16の1つをより詳細に示している。コンフォーマルな絶縁膜70が、マスク40およびコンタクト構造12、17、ビア50、60の側壁を覆うように形成され、ビア50、60が一部埋め込まれる。適切な絶縁膜の例は、酸化シリコン、窒化シリコン、パリレンである。この絶縁膜は、多くの典型的な堆積法を用いて形成され得る。この堆積法には、物理気相成長法、化学気相成長法、気相成長法が含まれるが、これらに限定されない。物理気相成長法の例はスパッタリングであり、化学気相成長法の例はプラズマ化学気相成長法であり、気相成長法の例は、固体の蒸発と続く熱分解および堆積である。
【0044】
ハード・マスク40、またはハード・マスク40およびコンフォーマルな絶縁膜30は、コンフォーマルな絶縁膜70の形成前に、例えばエッチングによって除去され得る。図7Bは、ハード・マスク40が除去された場合を示している。ハード・マスク40またはハード・マスク40および膜30を除去するためのエッチングがビア50、60によって露出された材料に対して選択的である場合、このエッチングは、マスク無しで行なわれることが可能である。このエッチングがビア50、60によって露出された材料に対して選択的でない場合、ビア50、60内のエッチングの対象のこれらの材料は、適切な材料でマスクされ得る。例えば、ハード・マスク40、コンタクト構造12、17がアルミニウムである場合、ビアは、コンタクト構造12、17が覆われる深さまで、容易に除去可能なスピン塗布される粘性液体で一部埋め込まれる。このビアは、スピン塗布された粘性液体で、ビア50、60の形成に用いられたハード・マスク40によって形成された表面を適切に平坦化する適切なスピン塗布膜厚を最初に選択することによって、一部埋め込まれることが可能である。この膜厚を適用すると、ビアの内部の膜厚が、ビアの外側よりも大幅に厚くなる結果となる。次に、全体の表面を適切にエッチングすることによって、コンタクト構造12、17を覆うビア50、60内のこの材料を残しながら、ハード・マスク40の表面からこの材料が除去される。容易に除去可能なスピン塗布材料および適切なエッチングの例は、それぞれフォトレジストおよびO2プラズマエッチングである。
【0045】
コンフォーマルな膜70が、異方性的にエッチングされて、膜70をビア50、60の側壁上に残しながら、コンタクト構造12、17が露出される。構造17の裏面が露出されて、コンタクト表面面積を増加させるための棚27を形成することが好ましい。この結果、コンタクトの抵抗が減少する。幅1ミクロンを超える典型的な棚27が、コンタクト抵抗を最小にするのに好ましいが、この距離は、デバイスおよびプロセスのパラメータに基づいて様々であろう。図8A、図8Bは、それぞれ、コンフォーマル絶縁膜70の形成前にマスクが除去されないおよびマスクが除去されての、エッチングされたコンフォーマル膜70を示している。膜30、40の両方が層70の形成前に除去されてよい。この場合、コンフォーマル層70のエッチングに続いて、別の絶縁層が、例えば酸化または堆積によって、基板部21(またはデバイス領域18の部分21が完全に除去された部分)上に形成され得る。
【0046】
コンフォーマル膜70に代えて、コンタクト構造12の露出前に別のコンフォーマル膜が形成されてもよい。図8C、図8D、図8E、図8Fにそれぞれ示すように、例えば、ダイ14乃至16の基板部を貫くエッチングの後でコンタクト構造17に隣接する材料内へと至るエッチングの前にコンフォーマル膜71が形成されるか、コンタクト構造17に隣接する材料内へと至ったエッチングの後でコンタクト構造17に達する前にコンフォーマル膜72が形成されるか、コンタクト構造17に達した後でビア60の形成前にコンフォーマル膜73が形成されるか、導電構造17に到達後で且つビア60の一部の形成後でビア60の完成前且つコンタクト構造12への到達前にコンフォーマル膜74が形成される。コンフォーマル膜71、72、73、74は、続いて、異方性的にエッチングされて、ダイ14乃至16の基板部のビア部50上に絶縁性の側壁が形成される。例えば、図8G、図8H、図8I、図8Jにそれぞれ示されるように、コンフォーマル膜71が続けて異方性的にエッチングされてダイ14乃至16の基板部のビア部50上に絶縁性の側壁が形成され得、コンフォーマル膜72が続けて異方性的にエッチングされてダイ14乃至16の基板部のビア部50上およびコンタクト構造17に隣接する材料からなるビア50の上部上に絶縁性の側壁が形成され得、コンフォーマル膜73が続けて異方性的にエッチングされてビア50上の深さ全体に絶縁性の側壁が形成され得、コンフォーマル膜74が続けて異方性的にエッチングされてビア50上の深さ全体およびビア60の上部上に絶縁性の側壁が形成され得る。
【0047】
膜70、71、72、73、74を一様に堆積するとともに続けてこれらの膜を異方性的にエッチングすることによって形成される側壁に代えて、図8Kに示されているように、側壁75が、ビア50内のダイ14乃至16のこの部分がビアによって形成された後に、この基板部上に選択的に形成されることが可能である。側壁75は、コンタクト構造17に隣接する材料に対して優先的に基板部と反応する処理によって形成されることが可能である。例えば、ダイ14乃至16の基板部がシリコンであるとともにコンタクト構造17に隣接する材料が酸化シリコンである場合、酸化シリコンよりもシリコン上を優先的に核とする絶縁体堆積処理が用いられ得る。ここにおいて、絶縁体の堆積が側壁75を構成する。図8Kに示されているように、側壁75は、コンフォーマル膜71の異方性エッチング後のビア50内のコンフォーマル膜71に構造的に類似している。ここで、側壁75は、ダイ14乃至16の基板部を貫くエッチング後でコンタクト構造17に隣接する材料へのエッチング前に形成される。
【0048】
異方性エッチングの際にコンタクト構造17の側面も表面積をさらに増やすとともに接触抵抗を減じるために露出され得る。このことも、図8A、図8Bに示されている。次に、ビア50、60は、金属によってさらに埋め込まれるかあるいは完全に埋め込まれることが可能である。ビア50、60を金属で埋め込む方法には、物理気相成長法(PVD)、または化学気相成長法(CVD)、または電解メッキ法が含まれるが、これらに限定されない。電解メッキ法は、典型的にはPVDまたはCVDよりも厚い膜の堆積に用いられ、典型的には薄いPVDまたはCVDシード層の堆積が先行する。PVDによって形成される膜の例は、スパッタリングされたアルミニウム、パラジウム、チタン、タングステン、チタン−タングステン、または銅であり、CVDによって形成される膜の例はタングステンまたは銅であり、電解メッキ法(無電解メッキ法も含まれる)によって形成される膜の例はニッケル、金、パラジウム、銅である。
【0049】
図9Aは、マスク電解メッキ法の例を示している。マスク電解メッキ法によって、まず金属シード層90が構造を覆うように堆積されてコンタクト構造12、17への電気的接触物が形成され、例えばフォトレジストを用いたマスク91の形成が続く。シード層90は、上記のようなPVD、CVD、または電解メッキ法によって堆積されることが可能である。マスク91およびシード層90への電気的接触物を用いて、金属コンタクト92はビア50、60を埋め込む。図9Bにおいて、マスク40が、コンフォーマル絶縁膜70の形成前に除去された構造が示され、図9Cは、シード層が用いられない構造を示している。次に、研磨ステップ、例として化学的機械研磨が用いられて金属コンタクト92のビア50、60の外側の余剰部分が除去されることが可能である。この研磨ステップは、ダイ14乃至16の露出された側面上のシード層90をも除去することができる。この研磨ステップは、さらに、ダイ14乃至16の露出された側面上のハード・マスク40を除去することが可能である。ハード・マスク40を除去することは、ハード・マスクが、上に挙げたアルミニウムのように導電性である場合に、このように金属によって埋め込まれて形成されたビアを相互に電気的に絶縁するために好ましい。この研磨ステップによって、コンフォーマル絶縁膜30がさらに除去される。この結果、図10A、図10Bに示されるように、ダイ14乃至16の露出された面上に実質的に平坦な面および平坦な金属構造100が形成される。ここで、図10Bにおける構造は、ビアを金属で埋め込むことに先立ってシード層が用いられない点で図10Aの構造と異なる。
【0050】
ビア50、60を金属で埋め込み、次いでCMPを行なうことに代えて、図10Cに示されるように、ビア50、60は、金属93によって内側を覆われ、絶縁体94によって埋め込まれ、CMPが続くということが可能である。ビア50、60は、上記のようなPVD、電解メッキ法、CVDのうちの少なくとも1つを用いて堆積することによって金属93によって内側を覆われることが可能である。金属93の厚さは、典型的には、0.01乃至0.2ミクロンであり、コンタクト構造12、17またはデバイス領域18、11への汚染を防ぐためのコンフォーマル絶縁膜70に隣接するバリア層が含まれていてもよい。バリア層の例には、窒化タンタル、窒化タングステン、窒化チタンが含まれ、典型的な厚さが0.005乃至0.02ミクロンのチタン接着層が先行していてもよい。バリア層の典型的な厚さは、0.005乃至0.05ミクロンである。初期の厚さの93が堆積された後、電解メッキ法が用いられて93の厚さを所望の厚さまで一様に増大させることが可能である。増大後の典型的な厚さは、ビア50について、ビア50が十分な幅であることを条件として0.5乃至2.0ミクロンである。絶縁体94の例は、酸化シリコンであり、埋め込み方法の例は、プラズマ化学気相成長法(PECVD)によるものである。このように代替することは、金属の堆積および金属のCMPが減少することと、内側を覆っている合成金属、絶縁体によって埋め込まれたビア、ダイ14乃至16の周囲基板部の間の熱膨張係数(CTE)の整合が改善する可能性を有する利点を有する。
【0051】
ビア50、60を金属で埋め込むことおよびビア50、60の内側を金属93で覆ってから絶縁体94で埋め込むことに対する代替的な方法は、ビア60を金属97で埋め込むかその内側を覆ってコンタクト構造12、17間の電気的配線を薄くされた基板21に接触することなく形成し、次にビア50、60を絶縁体98で埋め込み、続いて上記するとともに図10Dに示されているようにCMPを行なうことである。コンタクト構造12、17を接続するのに十分な厚さまでメッキを形成することによってコンタクト構造12、17上に優先的にメッキを形成する無電解メッキ法によって金属97が形成されて、薄くされた基板21に接触することなくコンタクト構造12、17が相互に接続されることが可能である。十分な厚さまでメッキされる無電解メッキ法の例は、ニッケル無電解メッキ法である。この代替的な方法は、図10Dに示されているように、残存する基板ダイ14乃至16から電気的配線を電気的に絶縁するためのこれらの残存する基板のビア部50上に側壁60、71、72、73、74、75が必要とされないという利点を有する。
【0052】
相互接続されたコンタクト構造12、17への電気的配線は、図10Eに示されているとともに図10B内の記載と同様に絶縁体98を貫いて金属97へ達するビア51をエッチングするとともにビア51を金属46で埋め込むことによって形成されるか、図10Fに示されているとともに図10C内の記載と同様にビア51の内部を導電性材料52によって覆うとともに絶縁体53で埋め込むことによって形成されることが可能である。図10Eおよび図10F内のビア51は、金属97のコンタクト構造12上の部分に接続していることが示されている。または、ビア51は、金属97のコンタクト17上の部分、またはコンタクト構造12、17の両方に接続することが可能である。
【0053】
図10A乃至図10Fの構造は、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするためのフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む(しかし、これに限定されない)後続の処理に適している。この処理は、典型的には、薄くされた基板21の露出された側上に電気的に絶縁性の材料を形成して配線形成またはアンダーバンプ金属被覆のために電気的な絶縁を形成することを含んでいる。
【0054】
堆積されたまたはスピン塗布された酸化物またはポリマーのような絶縁性材料96がCMP後にダイ14乃至16上に形成され、材料96上に金属構造100に接触する配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆体95が形成された例が図11に示されている。図3Bに示されるように、別の埋め込み材料が材料96の形成に先立ってダイ14乃至16間に用いられてもよい。金属被覆体は、高いビア密度および/または高い引き回し複雑度に対応するために、絶縁層(ここでは示されていない)によって分離された複数の階層を含み得る。または、平坦化ステップによってコンフォーマル絶縁膜70が除去されない場合、コンフォーマル絶縁膜は、残存するとともに、金属被覆構造にとって適切な電気的絶縁を提供し得る。
【0055】
本発明に従った方法の第2実施形態が図12に示されている。ハード・マスク101が何らの介在する絶縁層無しに、ダイ14乃至16上に形成されている。ハード・マスク101の厚さの典型的な範囲は、0.1乃至1.0ミクロンである。ハード・マスク101は、後続のエッチング工程または薄くされた基板21およびデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアをエッチングするために用いられる工程に対して高いエッチング選択性を有することが好ましい。ハード・マスクの例は、アルミニウム、タングステン、プラチナ、ニッケル、モリブデンであり、エッチング処理の例は、薄くされたシリコン基板を貫いてビアをエッチングするためのSF6に基づいた反応性イオン・エッチングおよびデバイス領域18、11を貫いてコンタクト構造12に達するビアを次に形成するためのCF4に基づいた反応性イオン・エッチングである。開口102がマスク101内に形成され、本構造が第1実施形態と同様に処理されて、ダイ基板およびデバイス領域を貫いてエッチングされて構造12、17が露出される。このとき、構造17の上面が露出されて(図8A、図8Bに示される27のような)棚が形成されることが好ましい。金属被覆が図7乃至図9に示すようにマスク103を用いて実行されて金属104が形成されて、図13に示される構造が製造される。CMP後(図14)、金属105が平坦化されて、本構造は、図11に示される金属被覆構造と同様に、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするためのフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む(しかしこれらに限定されない)後続の工程に適する。この工程には、ダイ14乃至16の露出された側上に電気的に絶縁性の材料を形成してダイ14乃至16の露出された側を覆うように引き回された配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆のための電気的絶縁を提供することが含まれ得る。配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆をさらに補助するために、第1実施形態中での記載のように、例えば絶縁体または金属、またはポリイミドまたはベンゾシクロブテン材料等の平坦化材料が形成されて、例えばダイ、開口、または溝のあらゆる空間をCMP工程の前または後に埋め込むことによって本構造の表面が平坦化され得る。
【0056】
本発明は、また、別の構造とともに用いられ得る。例えば、コンタクト17の対が要求されずに、ダイまたはウェハ内の1つのコンタクトが、ダイまたはウェハが接着される基板内のコンタクトに接続され得る。このことが図15に示されている。図15において、構造108が構造12から離れている中で、金属構造107がコンタクト構造12、108を接続するシード90に接触している。金属コンタクト107の一部(左側)は、基板部109の上面から構造108上のシード90まで直接延びている。その一方、金属コンタクト107の他方(右側)は、基板部109の上面から構造12上のシード90まで直接延びている。
【0057】
本発明によって、多くの利点が提供される。1つのマスクが用いられて、基板に接着されたダイまたはウェハの裏面を貫いてエッチングしてダイまたはウェハと基板とが接続される。典型的には、複雑で、問題が生じ、スケーリングを限定することがある、ビア内でのフォトリソグラフィーは必要ない。このエッチングは、接着界面を貫いて進行する。さらに、接続されるコンタクトの上面を露出して、コンタクトの表面積を上げ、コンタクトの抵抗を減じることができる。相違する技術のデバイスが接続されることが可能である。これにより、デバイス性能を最適化するとともに1つのプロセス順序で相違する技術を製造使用しようとすることに関する問題を回避する。
【0058】
第3実施形態が、図16A、図16B、図17に示されている。基板110は、コンタクト構造112を有するデバイス領域111を有している。図16Aに示されているように、ダイ114乃至116は、それぞれデバイス領域118と、基板部121と、コンタクト構造117とを有しており、表面113上で基板110に接着されている。この実施形態では、コンタクト構造112を覆っている材料はない。第1、第2実施形態について記載した1つのマスキング処理に続いて、図16B、図17に示される構造が製造される。ビア50が、基板部121およびデバイス領域118を貫いてエッチングされて、コンタクト構造117の裏面上で棚26が露出される。このエッチングが継続されて、ビア60が形成されるとともにコンタクト構造112の上面が露出される。コンタクト120が、シード層90を用いてあるいは用いないでビア内に形成され、コンタクト構造112、117が接続される。埋め込み材料が用いられて、図3Bに関して上に記載されているように、デバイスが平坦化され得る。コンタクト120も図10C乃至図10Fにおいて上に示される方法で、形成され得る。また、膜70が図8C乃至図8Kに示されるように形成され得る。
【0059】
第4実施形態が図18乃至図19に示されている。この実施形態では、コンタクト構造122、123を覆っている材料はない。ダイ114乃至116内において導電性材料、例として金属からなるコンタクト構造123は、ダイ114乃至116の表面の上方で広がり得、また導電性材料、例として金属からなるコンタクト構造122は表面113の上面で広がり得る。コンタクト構造123およびコンタクト構造122は、別の金属から構成され得る。例えば、コンタクト構造123は、銅、タングステン、ニッケル、金の1つから構成され得、コンタクト構造122は、銅、タングステン、ニッケル、金の別の1つから構成され得る。コンタクト構造123またはコンタクト構造122は、さらに、別の金属、例としてニッケル、パラジウム、金の組合せから構成され得る。コンタクト構造123およびコンタクト構造122は、さらに、銅、タングステン、ニッケル、金の合金、または別の合金、例として酸化インジウムスズから構成され得る。これらの金属は、PVD、熱、電子ビーム、電解メッキ法を含む様々な技術によって形成され得る。
【0060】
ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123を除く部分および表面113のコンタクト構造122を除く部分は、非導電性材料、例として、酸化シリコン、または窒化シリコン、または酸窒化シリコン、または半導体集積回路製造と相性の良い他の絶縁性材料であることが好ましい。出願番号10/359,608に記載されているように、コンタクト構造123が露出しているダイ114乃至116は、コンタクト構造122が露出している表面123に、コンタクト構造113のダイ114乃至116内で露出している部分をコンタクト構造122の表面113内で露出されている部分に位置合わせするのに十分で且つダイ114乃至116の非導電性材料部分を表面113の非導電性材料部分に位置合わせするのに十分な制度で、接着される。ダイ114乃至116の非導電性材料部分と表面113の非導電性材料部分との間の接着は、出願番号10/359,608に記載されているように、直接接着であることが好ましい。直接接着の代替的な例、例として出願番号10/440,099に記載されているもの、が用いられてもよい。直接接着の接着エネルギーは、好ましくは、1J/m2を超え、コンタクト構造122のコンタクト構造123に対する内圧を生み出す。この結果、コンタクト構造122、123間が電気的に接続される。このように、最高の内圧を生み出すために、例えば上記したような低温で接着エネルギーが高い結果となる直接接着を用いることが好ましい。しかしながら、低温で接着エネルギーが低くなる直接接着、または高い接着エネルギーを得るのに高温が必要な直接接着も、適用形態によっては許容される。例えば1J/m2を超える高い接着エネルギーを得るために、例えば400℃未満の適度な温度、または例えば10kg/cm2未満の適度な圧力を必要とする直接接着が用いられてもよい。
【0061】
より詳細には、金属のボンディング・パッドを含むウェハ表面が室温で接触すると、反対のウェハ表面の接触する非金属部分が接触点において結合を形成し始め、接触している化学結合が増加するに連れてウェハ相互間の引きつける接着力が増加する。金属パッド無しであれば、ウェハは、ウェハ表面の全体に亘って相互に接着する。本発明によれば、ウェハ相互間での接着の継ぎ目が阻害されはするが、金属パッドの存在によって、化学的なウェハ対ウェハ接着が阻害されない。金属ボンディング・パッドの展性および延性ゆえに、化学的なウェハ対ウェハ接着によって非金属領域において生成される圧力は、金属パッド上での非平坦および/または起伏領域を変形させる力になる。この結果、金属パッドの平坦性および/または凹凸が改善するとともに金属パッド間の結合が強固になる。化学結合によって生成される圧力は、これらの金属パッドが相互に強固に接触するように印加される外部圧力の必要性を無くすのに十分である。接触界面における金属原子の相互拡散または自己拡散によって、室温においてさえ、強固な金属結合が、強固に接触している金属パッド間に形成されることが可能である。この拡散は、熱力学的に推進されて表面自由エネルギーを減じ、また典型的に高い相互拡散および/または自己拡散係数を有する金属について強化される。これらの高い拡散係数は、凝集エネルギーの結果である。凝集エネルギーは、典型的には、ほぼ、可動の自由電子ガスによって決定され、この可動の自由電子ガスは拡散の最中、金属イオンの移動によって妨げられない。
【0062】
または、ダイ114乃至116内のコンタクト構造123は、ダイ114乃至116の表面とほぼ平坦であって、コンタクト構造122は表面113とほぼ平坦である。これは、(W、Ni、Au、Cuのような)金属で埋め込まれたビアと平坦な面を有する基板を形成することによって達成され得る。金属で埋め込まれたビアは、厚さが約0.5ミクロンの、Cu、Al、Al−Cu(2%)、Al−Si(2%)合金層のような金属のシード層上への電解メッキ法で形成され得、またはAlまたはAl合金上に形成されたCu層によって形成され得る。Pdが、シード層として用いられたり、AlまたはAl合金層上に形成されたりしてもよい。Ni、W、Au、Cuの柱がシード層上に形成されてよい。電解メッキの後、シード層は、柱相互間の面から、この柱またはマスクおよび金属エッチングとしてのフォトリソグラフィーによって定義されたパターンの一方を用いて、除去される。次に、酸化層が表面を覆うように形成される。この酸化層は、CMPの対象とされて、酸化物および金属領域と平坦な面が形成される。
【0063】
コンタクト構造122、123は、ダイ114乃至116の非金属表面部および表面113の非金属部よりも高い表面ラフネスを有し得る。例えば、ダイ114乃至116の表面および表面113は、2重平均平方根(RMS)表面ラフネスが、好ましくは1nm未満、さらに好ましくは0.5nm未満である。他方、コンタクト構造122、123は、RMS表面ラフネスが、好ましくは2nm未満であり、さらに好ましくは1nm未満である。
【0064】
ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123以外の部分と表面113のコンタクト構造122以外の部分との間の接着に由来するコンタクト構造122のコンタクト構造123に対する内圧は、ダイ114乃至116の表面または表面113の露出されている金属表面上の例えば自然酸化または他の汚染、例えば炭化水素が原因で、接着を達成したり好ましい低抵抗での電気的接触となったりするのに適当ではないかも知れない。あるいはコンタクト構造123、122間での接着を改善したり、電気的接続を好ましい低抵抗にしたりすることは、コンタクト構造123または122上の自然酸化物を除去することによって達成され得る。例えば、希フッ酸が、表面113がダイ114乃至116の表面に接触する前に用いられ得る。さらに、表面113およびダイ114乃至116の表面が、自然酸化物の除去後で表面113をダイ114乃至116の表面に接触するまでの間、不活性の環境、例として窒素またはアルゴンに晒され得る。または、コンタクト構造123、122間での接着を改善したり、電気的接続を好ましい低抵抗にしたりすることは、ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123以外の部分と表面113のコンタクト構造122以外の部分とを接着した後に、コンタクト構造122、123の温度を上げる、例として熱する、ことによって達成され得る。温度を上げることは、自然酸化物または他の汚染を減じることによって、または例えばコンタクト構造123または122がコンタクト構造123、122の周囲の非金属材料に比べて高い熱膨張係数を有する場合にコンタクト構造123、122間の内圧を上げることによって、または自然酸化物を減じるとともに内圧を上げることによって、電気的接続を好ましい低抵抗にする結果となり得る。温度を上げることによって、122、123のようなコンタクト構造間の拡散が増加し、電気的接続が好ましい低抵抗になる。このように、温度を上げることによって、コンタクト構造123、122間の金属接着、金属コンタクト、金属接続、電気伝導性が強化される。1Ω/μm2未満のコンタクト抵抗が達成された。例えば、直径が約5または10μmでともに厚さが1μmの2つのコンタクト構造について、50mΩ未満の抵抗が得られた。
【0065】
IC、例としてシリコンICが、ダイ114乃至116内または表面113の下方の層111内にある場合、温度の上昇は、IC、またはコンタクト構造、またはその他の金属構造への損傷を回避するために、好ましくは、2時間に亘って400℃未満であり、より好ましくは2時間に亘って350℃未満である。コンタクト構造が熱膨張または内圧または無視可能な自然酸化物に対して敏感な材料、例として金である場合、コンタクト構造122、123間の金属接着、または金属接触、または金属配線、または電気伝導性が強化される結果を生む温度の上昇は非常に低く、例として10分間に亘って50℃程度である。
【0066】
必要な場合、コンタクト構造123、122間の金属接着、または金属接触、または金属接続、または電気伝導性を所望の程度強化するのに必要な接着後の温度上昇を最小化するために、より低い接着後温度で内圧がより大幅に増加するとともに低圧で変形可能な結果を生むコンタクト構造123、122を利用することが好ましい。例えば、接着後温度上昇の結果として生成される内圧は、コンタクト構造123、122を構成する金属に依存する。例えば、大きな値の熱膨張係数(CTE)を有する金属、例として銅、ニッケル、金は、所与の温度でより大きく膨張する結果となる。さらに、高い剪断弾性係数を有する金属、例として、タングステンおよびニッケルは、所与の温度においてより大きな応力を生成する。このように、CTEと剪断弾性係数の積が大きな金属、例として、銅、タングステン、ニッケル、は、温度上昇に従って内圧を上げるのに最も効果的である。さらに、好ましくは、非常に高純度、例として99.9%の降伏応力が低い金属、例として銅、ニッケル、金は、より低い応力でも容易に変形し、よって、より低い応力でのコンタクト構造間の金属接着、または金属接触、または金属接続、または電気伝導性が改善する結果を生むことが可能である。従って、CTEおよび剪断弾性係数の積が大きい、または降伏応力で標準化された高いCTEと剪断弾性係数の積が大きい金属、例として銅、ニッケル、金からなるコンタクト構造123、122は、接着後温度上昇を伴った内圧の生成の結果コンタクト構造間の金属接着、金属接触、金属接続、電気伝導性の改善を見せるコンタクト構造123、122として好ましい。
【0067】
または、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より若干低いか、コンタクト構造122が表面113より若干低くてもよい。ダイ114乃至116の表面と表面113との間の距離は、好ましくは20nm未満であり、より好ましくは10nm未満である。後続の接着およびこれに続く温度上昇によって、上記のようにコンタクト構造122、123間の内圧が上昇し、また、コンタクト構造122、123間の金属接着、または金属接触、または金属接続、または電気伝導性が改善する結果となる。コンタクト構造122の表面113との間の若干の距離およびコンタクト構造123とダイ114乃至116の表面との間の若干の距離は、コンタクト構造の広がりの平均距離である。コンタクト構造の形状的特徴には、平均距離に等しい、およびこれを超える、およびこれを下回る位置が含まれる。コンタクト構造の総高さばらつきは、最大高さと最小高さとの間の差で与えられ、RMSばらつきを実質的に超え得る。例えば、RMSが1nmのコンタクト構造が、10nmの総高さばらつきを有し得る。よって、上記のようにコンタクト構造123はダイ114乃至116の表面より若干低いとともにコンタクト構造122は表面113より若干低いのであるが、コンタクト構造122の一部はダイ114乃至116の表面より上で広がるとともにコンタクト構造123の一部は表面113より上で広がり、結果、表面113の非金属部分がダイ114乃至116の非金属部分への接着後にコンタクト構造122とコンタクト構造123とが機械的に接続される。この機械的な接続は、機械的接続が不完全であるゆえ、あるいはコンタクト構造122またはコンタクト構造123上の自然酸化膜または他の汚染ゆえに、コンタクト構造122とコンタクト構造123との間が適切に電気的接続される結果とならないかもしれない。続く温度上昇によって、コンタクト構造122、123間の金属接着、金属接触、金属接続、電気伝導性が、上記のように改善し得る。
【0068】
または、コンタクト構造123の最も高い部分がダイ114乃至116の表面より低いか、コンタクト構造122の最も高い部分が表面113より低く、且つ接着後にコンタクト構造123、122間に機械的な接触がない場合、温度上昇によって、コンタクト構造123、122間が機械的に接触する、また/または望ましく電気的に接続される結果となり得る。
【0069】
または、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低いとともにコンタクト構造122が表面113より高く、またはコンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より高いとともにコンタクト構造122が表面113より低くてもよい。表面113とそれより低いコンタクト構造122との間の距離およびダイ114、115、116の表面とそれより低いコンタクト構造123との間の距離(またはそれらの逆)は、出願番号10/359,608に記載されているように、若干の正である。または、表面113とそれより低いコンタクト構造122との間の距離およびダイ114、115、116の表面とそれより低いコンタクト構造123との間の距離(またはそれらの逆)は、名目上、ゼロであるか、若干の負であり、上記のように、接着後温度上昇によって、コンタクト構造122、123間の金属接着、金属接触、金属接続、電気伝導性が改善し得る。
【0070】
コンタクト構造123のダイ114乃至116の表面に比べた高さ、およびコンタクト構造122の表面113の高さに比べた高さは、ダイ114乃至116の表面または表面113を形成する研磨工程、例として化学的機械研磨(CMP)によって調整されることが可能である。CMP処理は、典型的には、多くの処理変数を有していた。この変数には、研磨スラリー、スラリー添加率、研磨パッド、研磨パッド回転率、研磨圧力が含まれるが、これらに限定されない。CMP処理は、さらに、表面113およびダイ114乃至116の表面を構成する具体的な非金属および金属材料と、非金属材料および金属材料の相対的な研磨レート(同様の研磨レート、例としてニッケル、酸化シリコンが好ましい)と、コンタクト構造122、123の大きさ、ピッチ、粒構造と、表面113またはダイ114乃至116の表面の非平坦性とに依存する。これらの工程パラメータを最適化することが用いられて、コンタクト構造123のダイ114乃至116の表面に対する高さおよびコンタクト構造122の表面113の高さに対する高さが制御されることが可能である。代替的な研磨技術、例としてスラリー無しの研磨が用いられてもよい。
【0071】
コンタクト構造123のダイ114乃至116に対する高さおよびコンタクト構造122の表面113の高さに対する高さは、ダイ114乃至116の表面上のコンタクト123周囲の材料または表面113上のコンタクト構造122周囲の材料を若干ドライ・エッチングすることによっても制御され得る。このドライ・エッチングの例は、ある絶縁性材料、例として酸化シリコン、または窒化シリコン、または酸窒化シリコンからなる表面に対して、好ましくは、結果として表面ラフネスが増加する結果となるように、CF4およびO2を混合したものを用いたプラズマまたは反応性エッチングである。表面ラフネスが増加すると、界面間の結合エネルギーが大幅に減少する。または、コンタクト構造123およびコンタクト構造122の高さは、コンタクト構造123、122上に極薄い金属層を形成することによって制御され得る。例えば、適当な金属、例として金の無電解メッキ法によって、極薄い、例として約5乃至50nmの層に自己的に制限されることが可能である。この方法は、酸化する金属の端を極薄い酸化しない金属、例として金属、ニッケルにして電気的接続の形成を容易にするというさらなる利点を有する。
【0072】
さらに、コンタクト構造122は、横方向の寸法が、接着後にコンタクト構造123の周辺がコンタクト構造122内に含まれるように、あるいはコンタクト構造122の周辺がコンタクト構造123の周辺に含まれるように、コンタクト構造123の横方向の寸法よりも大きいまたは小さいことが可能である。より大きなまたはより小さな部分の横方向の最小寸法は、典型的には、ダイ114乃至116の表面113への接着の位置合わせ精度の少なくとも2倍によって決定される。例えば、ダイ114乃至116の表面への接着の際の位置合わせ精度が1ミクロンである場合、コンタクト構造122は、コンタクト構造123の周辺がコンタクト構造122の周辺に含まれるように、コンタクト構造123よりも少なくとも2ミクロン大きいことが好ましい。
【0073】
コンタクト構造122のコンタクト構造123に対する最大の内圧、これはダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123周辺の部分と表面113のコンタクト構造122の周辺の部分との間で形成され、あるいは接着後の温度上昇によって提供され得るのだが、この内圧は、ダイ114乃至116の表面の該部分の表面113の該部分への接着面積とコンタクト構造122の面積に対するコンタクト構造123の面積に依存する。これらの2つの面積の和は、表面113のコンタクト領域122でない部分と位置合わせされたコンタクト構造123の残りの面積と、ダイ114乃至116の表面のコンタクト構造123でない部分と位置合わせされたコンタクト構造122の残りの面積ゆえに、典型的には、表面113に対するダイ114乃至116の全体の領域の面積より小さい。これは、コンタクト構造123、122間の横方向寸法の差と、ダイ114乃至116の表面と表面113との間の接着位置合わせずれに起因する。接着によって生成されるかあるいは接着後の温度上昇によって提供され得る最大の内圧は、ダイ114乃至116の表面の該部分と表面113の該部分との間の接着の破壊応力と、コンタクト構造122の該部分に対するコンタクト構造123の該部分への接着面積の比とによって近似されることが可能である。例えばダイ114乃至116の表面の該部分および表面113の該部分が、16,000psiの破壊応力の酸化シリコンにより構成されるとともにこれらの部分の位置合わせされた部分間の直接接着が酸化シリコンの半分すなわち8,000psiであり、コンタクト構造123、122が10ミクロンのピッチの4ミクロンの直径の円であり、完璧に位置合わせされている場合、60,000psiを超えるコンタクト構造123、122間の最大内圧が可能である。この圧力は、典型的には、接着後温度上昇によって生成されるものよりも大幅に大きい。例えば、コンタクト構造123、122が17ppmのCTEおよび6,400,000の剪断弾性係数の銅で構成されるとともにダイ114乃至116の表面の該部分と表面113の該部分とが0.5のCTEの酸化シリコンで構成され、コンタクト構造123がダイ114乃至116の該部分と平坦であるとともにコンタクト構造122が表面113の該部分と平坦である場合、350℃に高められた接着後温度において約37,000psiのコンタクト構造123、122間の応力が予想される。
【0074】
コンタクト構造123、122は、典型的には、完全には位置合わせされておらず、同じ横方向寸法ではない。このことによって、コンタクト構造123の一部が表面113のコンタクト構造122の周囲の部分と接触するか、あるいはコンタクト構造122の一部がダイ114乃至116の表面の構造123の周囲の部分と接触するかする結果になり得る。コンタクト構造123の一部が表面113の該部分と接触し且つコンタクト構造122が表面113より低い場合、またはコンタクト構造122がダイ114乃至116の表面の該部分と接触し且つコンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低い場合、接着後の温度上昇によって、コンタクト122とダイ114乃至116の表面の該部分との間またはコンタクト構造123と表面113の該部分との間で優先的に内圧が上がる結果となり、また、所与の接着後温度上昇でのコンタクト構造123、122間の内圧が減少する結果となる(これは、そうでない場合は起こらない)。コンタクト構造123、122間で内圧の上昇が減ることを回避するために、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低い場合、コンタクト構造122の周辺が、主としてこの内圧の上昇がコンタクト構造123およびコンタクト構造122間で生じるようにコンタクト構造123およびコンタクト構造122の位置合わせずれおよび大きさおよび形状の不一致をカバーする量(例えば位置合わせ許容値の2倍)だけ、コンタクト構造123の周辺内に位置することが好ましい。または、コンタクト構造122が表面113より低い場合、接着後に、コンタクト構造123の周辺が、内圧の上昇が主としてコンタクト構造123およびコンタクト構造122の間で生じるようにコンタクト構造123およびコンタクト構造122の位置合わせずれおよび大きさおよび形状の不一致をカバーする量だけ、コンタクト構造122の周辺内に位置することが好ましい。さらに、コンタクト構造123がダイ114乃至116の表面より低いとともにコンタクト構造122が表面113より低い場合、コンタクト構造CTEによって標準化された、表面よりも最も低いコンタクト構造の周辺が、接着後に、内圧の上昇が主としてコンタクト構造123およびコンタクト構造122の間で生じるようにコンタクト構造123およびコンタクト構造122の位置合わせずれおよび大きさおよび形状の不一致をカバーする量だけ、対向するコンタクト構造の周辺内に位置する。
【0075】
コンタクト構造123およびコンタクト構造122の温度は、薄くされたダイ基板121を形成するためにダイ114乃至116の基板を薄くする前または後に、上げられることが可能である。コンタクト構造123およびコンタクト構造122の温度が、接着後に、様々なタイプの加熱法で上げられることが可能である。そのような加熱法には、熱によるもの、赤外線によるもの、誘導型のものが含まれるが、これらに限定されない。熱による加熱の例は、炉、ベルト炉、ホット・プレートが含まれる。赤外線による加熱の例は、高速昇温熱処理(rapid thermal annealing)である。赤外線熱源は、コンタクト構造123、122を、所望のエネルギーのフォトンで優先的に熱するためにフィルタを通されることが可能である。例えば、基板110、ダイ114乃至116基板、薄くされたダイ基板121、デバイス領域111、デバイス領域118が半導体、例としてシリコンで構成されている場合、赤外線熱源は、半導体のバンドギャップを超えるエネルギーのフォトンが半導体に吸収されることを回避するようにフィルタを通されることが可能である。この結果、コンタクト構造123またはコンタクト構造122の温度上昇に比べて半導体の温度上昇が少ない。誘導型の加熱の例は、コンタクト構造123またはコンタクト構造122が磁石、例としてニッケルで構成されている場合、誘導性磁気共鳴(inductive magnetic resonance)である。
【0076】
図18に示されているように、複数のコンタクト構造123は、1つのコンタクト構造122を完全に覆うことなく、1つのコンタクト構造122と接触し得る。または、1つのコンタクト構造123が、1つのコンタクト構造122と、一部または全体が接触し得、または1つのコンタクト構造122が、1つのコンタクト構造123と、一部または全体が接触し得、または1つのコンタクト構造123が複数のコンタクト構造122と接触し得る。
【0077】
複数のコンタクト構造123が1つのコンタクト構造122の全体を覆うことなく1つのコンタクト構造122と接触している場合、先行する実施形態に関して説明されている1つのマスキング工程に続いて、図19Aに示されている構造が製造され得る。ここでは、金属のシード層90が、コンタクト構造122、123の両方に対する電気的な配線を形成する。または、特にコンタクト構造123がコンタクト構造122の全体を覆っている場合、金属のシード層90は、コンタクト構造123のみと接触し得る。図19Aに示されている構造は、さらに処理されて、この実施形態において先に記載し且つ図19Bに示されているように、図18に示されている表面113と同様の表面が形成され得る。図19Bでは、コンタクト構造59はコンタクト構造122と同様であり、平坦化された材料58は表面113のコンタクト122以外の部分と同様である。次に、露出されているコンタクト構造123を有するさらなるダイが、露出されているコンタクト構造123を有するダイ114乃至116を露出されているコンタクト構造122へ接着するのと同様に、露出されているコンタクト59を有する表面に接着および接続される。
【0078】
この第4実施形態では、ビアのエッチングおよび続く金属の相互接続は、コンタクト構造123、122間の電気的相互接続を形成するのに必要ない。しかしながら、図19Aに示されているようなビアのエッチングおよび続く金属の相互接続は、ダイ114乃至116の露出されている側からの電気的なアクセスを設けるために望ましい。このことが望ましい適用例は、ダイ114乃至116の露出されている側をパッケージ、基板、集積回路にフリップチップ・バンプ・ボンディングしてコンタクト構造123または122とこのパッケージ、基板、集積回路との間に電気的な接続を形成することである。この目的のためにビアが要求されない適用例、例としてあるタイプのスターリング焦点面アレイ(Staring Focal Plane Arrays)を形成すること、もある。これらの適用例のために、上記の派生体を含む(しかし、これには限定されない)本方法およびこれによって製造された図18に示されるようなデバイスで事足りよう。
【0079】
第5実施形態が、図20A乃至図20Hに示されている。この実施形態は、開口またはビア50と重なり合うエッジを有するダイ内のコンタクト構造17、108、117、123が開口または重なり合うエッジを有さないコンタクト構造87によって置き換えられる点を除いて、ビア50の形成前まで先行する実施形態と同様である。この実施形態では、基板部89、デバイス領域88を有するダイ84乃至86内のコンタクト構造87は、デバイス領域81、基板80、コンタクト構造82を有する表面83に接着される。コンタクト構造87は、図20Aに示されるように、コンタクト構造82の上方に配置される。また、ダイ84乃至86は、図16、図17に示されているのと同様の露出されているコンタクト構造112を有する表面113または図18、図19に示されているのと同様のコンタクト構造122に接着されることが可能である。コンタクト構造87は、コンタクト構造82に直接接触しながら接着され得ることに留意されたい。このことは、デバイス86において示されている。ダイ84乃至86は、また、同じコンタクト構造の構成を有し得る。図20A、図20Bは、簡略化のために、2つの構成の間に切り込みが入った、2つのコンタクト構造構成を示すように描かれている。典型的には、1つの基板に接着されたダイの各々は、同じコンタクト構造構成を有する。相違するコンタクト構造のダイが同じ基板に接着される場合、エッチング・パラメータを調整したりビアを別々にエッチングしたりといったプロセスの変更が必要であり得る。この図は、同じまたは相違する構造が1つの基板上に存在している本発明を示すために提示され、必ずしもこのような変形体を示しているのではない。
【0080】
パターニングされたマスク40および開口41が、第1実施形態において説明されまた図20Bに示されているように、形成される。次に、ビア55が、異方性的に、順に、ダイ84乃至86内の残存する基板部89をエッチングし、ダイ84乃至86内のデバイス領域88の一部をコンタクト構造87まで達するまでエッチングし、コンタクト構造87をエッチングし側面79を形成し、(必要であれば)デバイス領域88の残存する部分を表面83までエッチングし、(必要であれば)デバイス領域81をコンタクト構造12までエッチングすることによって、形成される。コンタクト構造87のエッチングを除いて、これらの異方性エッチングは、第1実施形態において説明されているように行なわれ得る。コンタクト構造87の異方性エッチングについては、ハード・マスク40に対して選択的に導電体の構造87をエッチングするRIEが用いられ得る。ハード・マスク40および導電体の構造87が同じエッチング・レートを有する場合、ハード・マスク40は、コンタクト構造87よりも実質的に厚く形成され得る。これにより、露出されているコンタクト構造87が、基板部89、デバイス領域88、コンタクト構造87、コンタクト構造82までのデバイス領域81とともに、エッチング・ハード・マスク40を完全にエッチングすることなくエッチングされる。コンタクト構造87についてのエッチングは、ダイ84乃至86内の残存基板部89およびデバイス領域88およびデバイス領域81に対するエッチングと実質的に異なり得る。例えば、残存基板部89がシリコンで構成され、またデバイス領域88、81のエッチングされる部分が酸化シリコンで構成され、またコンタクト構造87がAlで構成されている場合、塩素でないものに基づいたRIEエッチングが用いられて残存基板部89およびデバイス領域88、81がエッチングされ、また塩素に基づいたRIEエッチングが用いられてコンタクト構造87がエッチングされることが可能である。
【0081】
コンタクト構造87のエッチング前に側壁76が形成されることが好ましい。具体的には、本構造が基板部89を貫いて異方性的にエッチングされてデバイス領域88に到達後に停止されることが可能であり、またはデバイス領域88内まで継続されてコンタクト構造87の手前で停止されることが可能である。次に、分離されたコンタクト構造および直接接着されるコンタクト構造についての2つのケースに関して図20Cに示されているように、層76が形成される。層76は、酸化シリコンのような絶縁層をビア55内に堆積し、続けて例えば異方性エッチングによってビア55の底からこの膜を除去することによって形成され得る。図20D(左側)に示されているようにデバイス領域88の残りの部分およびコンタクト構造87がエッチングされてコンタクト構造82が露出され、また、図20D(右側)において、デバイス領域88の残りの部分がエッチングされてコンタクト87が露出される。
【0082】
側壁の形成、コンタクト構造82、87間の電気的接続、ビア内部の被覆および/または埋め込みといった後続の工程が、コンタクト構造87への電気的接続がコンタクト構造87を異方性的にエッチングすることによって露出された側面79に限定されることを主として除いて、説明済みの実施形態のように続く。2つ目の相違点は、図8A、図8B内の側壁70によって示されているのと同様に側壁を形成すること、または図8Jに示されている側壁74である。図8Jにおいて、側壁が、コンタクト17の下方で広がり、またコンタクト構造87の側面79への電気的接続を阻害している。図20D(左側)は、ダイ84乃至86の1つを、側壁76が側面79への電気的接続を阻害しない例をより明確に示すために、詳細に示している。
【0083】
図20Dにおける側壁形成の例は、図8Hにおいて先に示されているのと同様である。図8Hにおいて、側壁72は薄くされたダイ基板21の下方且つコンタクト構造17の上方で広がっている。コンタクト構造87、またはコンタクト構造87およびコンタクト構造82の間の領域を貫くビア55のエッチングは、コンタクト構造87の上方で若干、異方性的であることが可能である。この結果、図20Eに示されているように、コンタクト構造87の上面上に非常に小さな自己整合した棚28が形成されて、ビア55の断面を実質的に増加せずに、後に形成されるコンタクト構造82、87間の電気的接続の配線抵抗が減じられる。図8Kに示されているような側壁75に類似する選択的な側壁77も、コンタクト87のエッチング前(図20F、左または右側)、またはコンタクト構造87のエッチング後(図20F、左側)に形成されることが可能である。コンタクト構造87のエッチング後に選択的に側壁77を形成することによって、露出されている側面79の上方で突出し、露出されている側面79とコンタクト構造82との間の電気的接続の形成が複雑になる。この複雑になることは、図10に示されているようにコンタクト構造12、17間を電気的に接続するが薄くされた基板21に接しない電気的配線97を形成するのと同様の方法によって、露出されている側面79とコンタクト構造87との間に電気的配線99を形成することによって、回避されることが可能である。配線99は、コンタクト87の上方であって88または89内のあらゆる導電性材料の下方で広がることが可能である。
【0084】
電気的配線99の形成後、ビア55に対して露出されている基板部89を覆い、図8A、図8B内の側壁70に類似する側壁76が、図20Gに示されているように、形成されることが可能である。図20Gにおいて、配線99の厚さと同様の厚さの側壁が設けられている。または、図8Kに示されている側壁75に類似する選択的な側壁が、図20Hに示されているように形成されることが可能である。次に、ビア55の残りの部分が、金属によって埋め込まれるか、先行する実施形態において説明されているように、金属によってその内部を覆われるとともに絶縁体によって埋め込まれることが可能である。
【0085】
これらの結果としての構造も、先行する実施形態において説明されているように、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む(しかし、これらに限定されない)後続の工程に適している。なお、図20C乃至図20Fに示されている構造も、ダイ86内において示されているように構成されるコンタクト構造を含んでいてもよい。
【0086】
第6実施形態が図21A乃至図21Eに示されている。これらの図において、先行する実施形態中の19、21、89、109、121と同様の、ダイ基板部127の全体、またはダイ基板部127のほぼ全てが、デバイスの層、回路、または回路層を残して除去され得る。この実施形態では、基板130は、コンタクト構造132を有するデバイス領域131を有する。ダイ134乃至136は、それぞれ、デバイス領域138と、コンタクト構造137と、適切な動作のために必要とはされない基板部127と、を有する。コンタクト137は、ダイ134内において開口を有することが示されており、またコンタクト137は、第5実施形態に示されているように、ダイ135内において単一であり、その中に開口が形成され得る。ダイ134乃至136は、図21Aに示されているように、表面133上において基板130に接着される。ダイ基板127は、例えば研磨および/または研削によって全て除去され、図21Bに示されているようにデバイス領域138が露出される。コンタクト構造を露出するためのビアをエッチングするとともにコンタクト構造相互間の電気的配線を形成するために必要な後続のステップの数が、基板部127が無い故に、本実施形態については、先行する実施形態に比べて実質的に減少するとともに簡略化される。
【0087】
例えば、ダイ134乃至136の1つのみを示す図21Cにおいて、ビア129をエッチングしてコンタクト構造132、137を露出するステップが簡略化される。なぜなら、ビアをエッチングする基板部127が存在しないからである。こうして、ビア129は、先の実施形態において示されているビアよりも実質的に浅く、結果、ビアの断面積が実質的に減少するとともにこれに応じてビア密度が増加する。別の例では、ダイ134乃至136の1つのみが示されている図21Dにおいて、露出されているコンタクト構造132、137間に電気的配線128を形成するステップが簡略化される。なぜなら、電気的配線128を電気的に絶縁する必要性を生じさせる基板部127が存在しないからである。図21Eは、直接接触で接着されたコンタクト構造を含んだこの実施形態を示している。図21Eに示されている構造は、ダイ135内で示されているように構成されるとともに図19Cに示されているコンタクト構造124、122に類似するコンタクト構造124を含んでいてもよい。
【0088】
全ての基板部が除去され得る適用例の例には、幾つかのシリコン・オン・インシュレータ、およびICのダイ基板部がアクティブなトランジスタや他のIC装置の製造のために必要でないIII−V ICが含まれる。
【0089】
第6実施形態の結果得られる構造も、先行する実施形態において説明されているように、ワイヤ・ボンディングまたはフリップチップ・パッケージングをサポートするフォトリソグラフィーに基づいた配線引き回しまたはアンダーバンプ金属被覆を含む後続の工程に適している。
【0090】
図21A乃至図21Eに示されているものに対する変形体には、先の実施形態において説明されているものが含まれるが、これらに限定されない。例えば、図10および図14に示されているようにビアを埋め込むことやビアをその内部を覆うとともに埋め込むこと、図15に示されているようにダイのコンタクト構造のエッジに配線を形成すること図17および図18に示されているようにダイをウェハの露出されているコンタクト構造へまたは図19に示されているようにダイおよびウェハの露出されているコンタクト構造へ接着することである。図20に示されているようにダイのコンタクト構造の露出されている側面へのコンタクトも可能である。
【0091】
本発明の第7実施形態が図22A乃至図22Lおよび図23A乃至図23Kに示されている。表面コンタクト構造の構成は、ダイ146によって示されていることに留意されたい。全てのダイは、1つの基板内で同じまたは相違するコンタクト構造を有し得、上記のように、相違するコンタクト構造が同じ基板に接着される場合、特定の工程の変形が必要であり得る。基板140は、スクライブ・アレイ38によって分離された144乃至146(破線によって示されている)のようなダイを含み得る。各ダイ144乃至146は、デバイス領域に位置するコンタクト構造147を有する。説明の簡略化のために、コンタクト構造は、実際の比率で示されていないことに留意されたい。コンタクト構造147は、別々の部材であってもよいし、1つの部材であってこれを貫く開口が形成されていてもよい。
【0092】
コンタクト構造147は、金属の堆積および除去または金属の堆積およびエッチングの従来の方法によって形成されることが可能である。または、コンタクト構造147は、既に存在している導電層をパターニングおよびエッチングすること、または導電層の開口内でパターニングするとともに金属を堆積することの組合せによって、形成されることが可能である。コンタクト構造147を形成することには、デバイス領域148内のコンタクト構造147の下方のものと同様に電気的に絶縁を行なう絶縁性材料151の平坦化層を堆積することが続くのが望ましい。典型的な平坦化材料は、図22A内の層151によって示されているようなプラズマ化学気相成長法によって形成された酸化シリコンである。デバイス146のように表面コンタクトが望まれる場合には、層151は、形成されないか、基板140の所定の領域で形成されないか、後に除去され得る。
【0093】
ダイ144乃至146内にビアが形成され得る。ビアのエッチングは、ウェハ上の全てのダイ上の全てのビアが同時にエッチングされることが可能となるようにスクライブ・ライン38に沿ってダイ144乃至146を個別のダイへと切り分けるに先立って、ウェハの規模でエッチングされることが好ましい。こうして、ダイ144乃至146は、皆、全てのビアが同時にエッチングされるか、または、ダイ144乃至146が相違するウェハに由来する場合は異なる時点でエッチングされることが可能である。ビアは、デバイス領域148および基板140の最小量の消費とするために異方性的にエッチングされることが好ましい。
【0094】
ダイ144乃至146内のコンタクト構造も、第5実施形態において先に記載されているのと同様に形成され得る。例えば、図22Bに示されているように平坦化材料151がパターニングおよびエッチングされて平坦化材料151を貫いて導電性材料154に達するビア152が形成される。続いて、導電性材料154を貫くビアがエッチングされて、露出されている側面153を有するコンタクト構造147(154)が形成される。続いて、図22Cに示されているように、デバイス領域148を貫いて基板140内に至るさらなるエッチングによってビア155が形成される。このエッチングは、ビア155の横方向の広がりを最小にするために異方性であることが好ましい。平坦化材料151もパターニングおよびエッチングされて、図22Dに示されているように2つの棚を露出するビア156、または図22Eに示されているように1つの棚160を露出するビア157、または図22Fに示されているように棚を露出しないビア158が形成される。平坦化材料151のパターニングおよびエッチングは、面積が、コンタクト構造147によって(またはコンタクト構造154内に)形成される開口より若干大きい。結果、ビア156のコンタクト構造147下方の位置および横方向の広がりはコンタクト構造147(154)によって与えられるとともに、ビア156のコンタクト構造147(154)の上方の上側部分は、ビア156の下側部分より若干広くなる。コンタクト構造147(154)の棚160および側面153は、図22Dに示されているように、露出される。または、平坦化材料151のパターニングおよびエッチングは、コンタクト構造147(154)のエッジと重なり得る。結果、ビア157の位置および横方向の広がりはコンタクト構造147(154)によって与えられるとともにビア157の上側部分は下側部分よりも若干広くなる。図22Eに示されているように、コンタクト構造147、154の1つの棚160、およびコンタクト構造147(154)の側面153が、露出される。図22D、図22Eに代えて、平坦化材料151のパターニングおよびエッチングは、コンタクト構造147(154)のどの部分とも重ならない。結果、図22Fに示されているように、ビア158の位置および横方向の広がりはコンタクト構造147(154)によって与えられないとともにコンタクト構造147(154)の側面153が露出しない。図22Eおよび図22F内のあらゆるコンタクトが開口を有することが必要ではないことに留意されたい。図22Cに示されているように形成されたビア155およびコンタクト構造147(154)のための図22Gに示されているように、後続の、ダイ144乃至146を基板140の表面143に接着した後に切り分けられたダイ144乃至146の基板140を薄くして薄くされた基板161を形成することによってビア156、157、および/または158が露出されるように、ビア156、または157、または158は十分な深さまでエッチングされることが好ましい。
【0095】
コンタクト構造147によってまたはコンタクト構造154内で定義されるビアのエッチングを、所望の程度、等方性にしてコンタクト構造147(154)の裏面上に自己整合させられた棚162を形成して、図22Cのビア155についての図22Hに示されているようにビア159を形成するか、図22Dのビア156についての図22Iに示されているようにビア163を形成することが可能である。この等方性エッチングは、コンタクト構造147(154)の下方のデバイス領域148および基板140を含んで図22Hまたは図22Iに示されているようにコンタクト構造147(154)の裏面を露出することが可能である。この等方性エッチングは、ビア155またはビア156をエッチングするのに用いられるエッチング条件を変更することによって達成されることが可能である。例えば、ビア155またはビア156をエッチングするのに用いられる各条件が、低圧での反応性イオン・エッチングを含む場合、同様の反応性イオン・エッチングが高圧で用いられることが可能である。コンタクト構造147の裏面を所望量露出するとともに自己整合させられた棚162を形成するのに必要な圧力の増加量は、平坦化材料151の厚さおよびビア156、または157、または158の深さに依存し、実験によって決定されることが可能である。または、この等方性エッチングが基板140を含むがデバイス領域148を含まないことが可能である。結果、図22Jに示されているように、自己整合させられた棚166およびデバイス領域148の残存部分がコンタクト構造147(154)の裏面およびビア164の上方に形成される。上記した図22Hおよび図22Iと同様に、自己整合させられた棚166を形成する、裏面コンタクト147(154)の裏面およびビア164上方のデバイス領域148の残存部分165は、コンタクト構造147(154)の下方で所望量、等方性的にエッチングすることより得られる。この構造は、例えば、残存部165が絶縁体、例として酸化シリコンからなるとともに、異方性的にエッチングされたデバイス領域148および基板140が半導体、例としてシリコンからなる場合に、形成されることが可能である。
【0096】
図22Kに示されるように、ビアの形成後、非選択的な絶縁性の側壁170が、第1実施形態において説明されているように形成されて、基板140が、後にビア内に形成され得る配線金属から電気的に絶縁される。図22Kは、図22Iに示すようにビア163が形成されて棚172を有するビア171を生成する例を示している。第1実施形態において説明されている側壁77と同様で且つ図22Lに示されている選択的な絶縁性の側壁173が形成されてもよい。ビアのエッチングの後、ダイ144乃至146が切り分けられ、所望により、コンタクト構造142とデバイス領域141を有する基板140の表面143に接着される。または、ダイ144乃至146は、切り分けられることなく接着される。例えば、別々のダイの代わりにウェハまたはダイが1回の配置で基板に接着され得る。結果、ダイ相互間に間隔があることに起因して平坦でない表面の代わりに、表面が実質的に平坦になる。基板140はコンタクト構造も含み得るが、デバイスまたはデバイス領域を含まない。次に、基板140は、裏面研削、化学的機械研磨、またはエッチングの少なくとも1つによって薄くされて、薄くされた基板ダイ161を残すとともに、図22Cにおいて説明されているとともに図23A乃至図23Bに示されているようにビアが形成されている場合は、ビア、例としてビア155を露出する。コンタクト構造142は、図23Aに示されているように、接着表面と平坦とされることが可能であり、または図23Bに示されているように、接着面に対して後退させられることが可能である。図23Aに示されているように接着面と平坦なコンタクト構造142は、導電性材料、例として銅またはニッケルのメッキを基板140の表面上に堆積し、次いで、この導電性材料の上を覆うように絶縁性材料を堆積して、次いで化学的機械研磨でコンタクト構造142および表面143を形成することによって、形成されることが可能である。この導電性材料の研磨レートは、絶縁性材料の研磨レートに類似することが好ましい。導電性材料の類似の研磨レートは、導電性材料、絶縁性材料、導電性材料の大きさ、形状、導電性材料の被覆面積、第4実施形態に示されるようにスラリーおよびパッドを含む研磨パラメータを適切に選択することによって得ることができる。
【0097】
または、図23Bに示されるように接着面に対して後退させられたコンタクト構造142は、絶縁性材料、例として酸化シリコンを堆積し、続いて高くなっている箇所を選択的に研磨することによって表面を平坦化する絶縁性材料の化学的機械研磨によって、形成され得る。結果、コンタクト構造142の上面上に平坦化された薄い絶縁性材料が形成される。または、図23Bに示されているように面143まで後退させられたコンタクト構造142は、まず図23Aに示されているように平坦化された面143を形成し、続いて、図23Aに示されるような面143上に絶縁性材料の薄い層を堆積または堆積且つ研磨して図23Bに示されるような表面143を形成することによって、形成され得る。接着面に対して後退させられたコンタクト構造142は、図23Cに示されているような、例えば平坦化された絶縁性材料をパターニングおよびエッチングしてビア63によってコンタクト構造142露出することによって形成された露出されている面を有し得る。次に、ダイ144乃至146を接着するとともに薄くすることによって、図23Dに示されているように、コンタクト構造142の表面が露出される。例えば図23Aおよび図23Dに示されているようにコンタクト構造142および147(154)を露出することは、後述のようにコンタクト構造142および147(154)間での後の電気的な接続を容易にするために好ましい。露出されているコンタクト構造142の横方向の広がりは、ビア63の相対的な大きさと図22Cに示されているようにエッチングされたビア155の横方向の広がりとに応じて、ビア155の横方向の広がりより小さいか、大きいか、これと等しい。例えば、図22Cに示されているビア155の横方向の広がりが図23Cに示されているビア63の横方向の広がり未満である場合、露出されているコンタクト構造142の横方向の広がりは、図23Dに示されているように、ビア155の横方向の広がりより大きい。または、図23Eに示されているように、露出されているコンタクト構造142の広がりは、接着し、薄くし、露出されているデバイス領域141、148をコンタクト構造142まで等方性的にエッチングしてビア、例としてビア155を露出させた後に広げられ得る。または、図23Cに示されているように露出されているコンタクト構造142は、コンタクト構造142に対して有害となり得る接着工程の間、薄い層によって保護され得る。例えば、コンタクト構造142がアルミニウムからなる場合、コンタクト構造142は、室温での共有結合を実現するために用いられるアンモニアに基づいた溶液に晒されることによって傷つけられ得る。このような薄い層の例は、PECVDによって形成され得る酸化シリコンである。この薄い層の化学的機械研磨も行なわれて、この薄い層をコンタクト構造142から除去することなく、所望の表面143が維持され得る。次に、この薄い層は、ダイ144乃至146を基板140に接着するとともに基板140を薄くしてビアを露出し且つ薄くされたダイ基板161を形成した後に除去され得、また、ビアの露出後の除去を簡単にするために薄く、0.05乃至0.5ミクロンの範囲内にあることが好ましい。
【0098】
薄くされたダイ基板161が非導電性である場合、露出されているコンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)は、コンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)と重なる導電性材料を形成することによって、接続され得る。または、薄くされた基板161が導電性である場合、例として薄くされた基板161がシリコンからなる場合、薄くされた基板161をコンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)を接続する導電性材料から電気的に絶縁する絶縁側壁が好ましい。図22Iに示されているように形成されたビア163についての図22Kまたは図22Lにおいて先に示されているように接着の前に側壁を形成する代わりに、図23Aにおいて示されているものおよび図22Hにおいて示されているように形成されたビア159と同様に、先行する実施形態において説明されているような絶縁性の非選択的側壁、例として図8Aまたは図8B内の側壁70が、ダイ144乃至146を接着し、続けてダイ144乃至146を薄くした後、形成されることが可能である。こうして、露出されているコンタクト構造142が表面143に対して平坦である場合に側壁62についての図23Fに示されるような薄くされたダイ基板161が残る。第1実施形態において説明されているのと同様であるが接着し、基板を薄くし、ビアを露出した後に形成された絶縁性の選択的な側壁が用いられても構わない。先行する実施形態において説明されているように、側壁を形成することは、薄くされたダイ基板とコンタクト構造142およびコンタクト構造147(154)の間の電気的配線との間で望ましくなく電気的に導通することを回避するために、好ましい。
【0099】
露出されているコンタクト構造147(154)およびコンタクト構造142、および薄くされたダイ基板161上の側壁がある場合、望まれる場合は、コンタクト構造147(154)およびコンタクト構造142間の電気的配線が、コンタクト構造142、147(154)の露出されている表面を覆う導電性材料を形成することによって、形成されることが可能である。典型的な導電性材料は金属であって、典型的な金属はアルミニウム、銅、ニッケル、金である。これらの金属は、先の実施形態において説明されているような様々な方法で形成されることが可能である。この形成の結果、図23Gに示されているように、露出されている薄くされたダイ基板161が導電性材料52によって覆われる。この被覆体は、自己整合的に、また図23Hに示されているように薄くされたダイ基板161から導電性材料52が除去されるまで導電性材料52によって覆われた薄くされたダイ基板161の表面を研磨することによってフォトリソグラフィーのパターニングおよびエッチングを用いることなく、除去され得る。図22Jに示されているように自己整合させられた棚166を有するデバイス領域148の残存部分165がある場合、図23Iに示されているのと同様の構造が、露出されているコンタクト構造142が図23Aに示されているのと同様に構造143と平坦である場合、ダイ144乃至146を基板140に接着するとともに基板140を薄くしてビア164を露出するとともに薄くされた基板161を形成した後に形成される。次に、好ましくは、残存部分165が異方性エッチングによって除去されて、自己整合させられた棚をコンタクト構造147(154)の裏面に対して再配置し、結果、自己整合させられた棚167が図23Jに示されているようになる。
【0100】
次に、所望により、図23F、図23G、および図23Hに示されているのと同様に、薄くされた基板161への電気的接続の形成なしに、導電性材料が形成されてコンタクト構造147がコンタクト構造142に接続される。既に説明されたように、配線金属の形成は、電子ビーム、熱処理、物理気相成長法、化学気相成長法、電解メッキ法、の1つまたは組合せによって、なされることが可能である。形成される配線金属は、チタン、タングステン、金、銅、アルミニウムの1つまたは組合せであることが可能である。
【0101】
コンタクト構造142、147(154)が、導電性材料と電気的に接続された後、ビアが、先の実施形態において説明されているように金属被覆、絶縁体の堆積、化学的機械研磨の組合せによって、埋め込まれるととともに平坦化される。ビアが埋め込まれるとともに平坦化された後、アンダーバンプ金属被覆、バンプ形成、ダイシング、フリップチップ・パッケージングが、先行する実施形態において説明されているように行なわれることが可能である。図23F乃至図23Jは、表面コンタクト142を示しているが、このコンタクトが、図23Bに示されているように、後退させられていてもよいことに留意されたい。表面コンタクト構造を有するダイが、図23F乃至図23Jに示されているように、接着されるとともに、構成および/接続されてもよい。図23Kは、図23Hの場合を示している。
【0102】
また、この実施形態(例えば図22C乃至図22F、図22H乃至図22L)中のビアは、基板140の切り分けられた部分が薄くされる際に導電性材料が露出されるように、切り分けに先立って、導電性材料168によって埋め込まれ得る。電気的絶縁のための絶縁性材料は、上で説明されているように、必要に応じてビアの側壁上に形成され得る。次に、ビアを埋め込まれたダイ(またはウェハ)は、後述の第9実施形態において説明されているようにダイ(またはウェハ)のデバイス領域148の露出されている表面に(すなわちダイ・ダウンで)接着されるか、あるいは後述の第10実施形態において説明されているように露出されているデバイス領域148の表面の反対の面に(すなわちダイ・アップで)接着され得る。この接着は、コンタクト構造147を用いた第4実施形態において説明されているとともに、ダイ・ダウンについて図23Lの左側において示されているとともに後述の第9実施形態においてより詳細に説明されているように、または導電性材料168がコンタクト構造142に接続されるダイ・アップについての図23Lの真ん中の構造に説明されているともに後述の第10実施形態においてより詳細に説明されているように、またはコンタクト構造179が第4実施形態において説明されているようにコンタクト構造147の形成と同様に形成されているダイ・アップについての図23Lの右側において示されているとともに後述の第10実施形態においてより詳細に説明されているように、実行され得る。必要であれば、絶縁性材料169が、基板部161上に形成され得、基板140への接着のために必要であるので研磨され得る。ビアは、様々な導電性材料またはそれを組み合わせたものによって埋め込まれ得る。このような導電性材料には、ポリシリコン、または様々な金属、例としてタングステン、ニッケル、銅が含まれるがこれらに限定されず、これらは化学気相堆積法、物理気相堆積法、電解メッキ法を含む様々な方法で堆積されるが、これらに限定されない。導電性材料は、導電性材料が接着されるコンタクト構造と良好な電気的接触、低電気抵抗、高熱伝導度を促進するように選択され得、バリア層によってビア側壁上の絶縁性材料またはビアの外側の基板部から絶縁され得る。バリア層は、例として窒化チタンまたは窒化タングステンであって、これらは、必要であれば導電性材料がビアの外側の基板部に拡散することを防ぐために、例えば金属有機気相成長法または物理気相成長法によって堆積される。例えば、シリコンに基づいたICを製造し、ビアがシリコン内へとエッチングされる場合、銅がその低抵抗ゆえに好ましい。しかしながら、典型的には、銅は、銅がシリコン内へと拡散することを回避するために、適切なビア絶縁層、典型的には酸化シリコン間に適切なバリア層、典型的には窒化チタンまたは窒化タングステンを必要とする。または、必要であれば、別の金属、例としてタングステンが、絶縁層またはバリア層とともに用いられてもよい。また、必要であれば、研磨特性が優れている材料、例としてニッケルが、絶縁層またはバリア層とともに用いられることが、上記のように、有利である。
【0103】
第8実施形態が図24A乃至図24Bに示されている。この実施形態は、ダイ144乃至146の反対側、例として薄くされたダイ基板、161がダイ基板を薄くしてビアを露出した後に基板140の表面143に接着される点において第7実施形態と異なる。この結果、薄くされたダイ基板161が表面143に接着され、また図22Cに示されているように形成されたビア155について図24Aに示されているように表面143に対して、また図23Aに示されているように形成されているコンタクト構造142に対してビア139が露出される。薄くされた基板161、例として、シリコンが、基板140の表面143に直接接着されるか、あるいは、絶縁体、例として酸化シリコンが基板140の表面143への直接接着の前に薄くされた基板161上に形成されることが可能である。薄くされた基板161の形成は、ウェハ上の全てのダイ上の全てのビア、例として図22Cに示されているビア155が同時に露出されるように、ダイ144乃至146を個別のダイに切り分けるのに先立って、ウェハの規模で行なわれることが好ましい。こうして、ダイ144乃至146は、すべてのビアが同時に露出されることが可能であり、あるいは、ダイ144乃至146が別のウェハに由来している場合は、別の時点で露出される。
【0104】
例えば図22C内の基板140から薄くされた基板161を形成することによって、ビアが十分に深くない場合、機械的な完全性が損なわれ得る。例えば、シリコンからなる直径200nmの薄くされた基板について、約0.1乃至0.3mm未満の深さのビアが、典型的には、十分である。機械的な完全性が損なわれるビアの深さは、直径がより大きい薄くされた基板についてはより大きく、また直径がより小さい薄くされた基板についてはより小さい。この、機械的完全性が損なわれることは、図22Cに示されているように形成されるビア155およびコンタクト構造147(154)についての図24Bに示されているように、基板140を薄くする前に、基板140の露出されている表面の反対側をハンドル・ウェハ44に基板に取り付けることによって回避されることが可能である。ハンドル・ウェハ44を取り付けることは、直接接着または接着剤による接着を含む様々な接着方法によってなされることが可能である。基板140の露出されている表面の反対側をハンドル・ウェハ44に基板に取り付けるとともに基板140を薄くして薄くされた基板161を形成するとともにビア155を露出した後、薄くされた基板161が接着面として用いられるか、絶縁体、例として酸化シリコンが上記のように接着層として堆積され得る。好ましい接着面の形成後、ダイ144乃至146が切り分けられるとともに基板140の表面143に接着され、また、ハンドル・ウェハ44の切り分けられた部分が除去される。切り分けは、ダイシングまたはスクライビングの少なくとも一方によってなされ得る。ハンドル・ウェハ44の切り分けられた部分を除去することは、研削、化学的機械研磨、またはエッチングの少なくとも1つまたはその組合せによってなされ得る。
【0105】
ハンドル・ウェハ44への接着および薄くすることによって薄くされた基板161を形成するに先立って、第7実施形態において説明されているように、ダイ144乃至146内にコンタクト構造147(154)が形成されることが可能である。しかしながら、コンタクト構造147上に棚を形成して導電性材料52とコンタクト構造147との間の電気的配線の抵抗を改善することは、第7実施形態において説明されているとともに図23Fおよび図23Gに示されているコンタクト構造147の反対側においてである。したがって、この棚は、コンタクト構造147の上方のデバイス領域148を、コンタクト構造147の開口を上回るだけエッチングして、図22D内のビア156およびコンタクト構造147について示されているのと同様のビアを形成することによって形成されることが可能である。
【0106】
さらに、ハンドル・ウェハ44への接着および薄くすることによって薄くされた基板125を形成するに先立って、ビア内に側壁が形成されることが可能である。この側壁は、非選択的な側壁170およびビア163について図22Kにおいて示されているのと同様に非選択的であるか、あるいは選択的な側壁173およびビア163について図22Lにおいて示されているのと同様に選択的であることが可能である。または、選択的または非選択的な側壁は、先の実施形態において説明されているように、ダイ144乃至146の接着後に形成され得る。
【0107】
ダイ144乃至146を基板140に接着することは、第7実施形態において説明されているように、接着面と平坦であるかあるいはそこに対して後退させられているとともに露出されるかあるいは薄い層によって保護されたコンタクト構造142とともになされることが可能である。ダイ144乃至146の接着後、且つハンドル・ウェハ44の切り分けられた部分が用いられている場合はその除去後、且つ薄い保護層が用いられている場合はその除去後、コンタクト構造142が、第7実施形態における図23Aまたは図23Dに示されているのと同様に露出される。次に、導電性材料が形成されて、例えば第7実施形態における図23Gおよび図23Hと同様に、露出されているコンタクト構造142、147が電気的に接続される。この導電性材料を形成することによって、ビアが一部または完全に埋め込まれることが可能である。露出されているコンタクト構造142、147(154)を電気的に接続する導電性材料がビアを一部埋め込んでいる場合、ビアの残りの部分が、先の実施形態において説明されているように金属被覆、絶縁体の堆積、化学的機械研磨の組合せによって埋め込まれるとともに平坦化されることが可能である。ビアが埋め込まれるとともに平坦化された後、アンダーバンプ金属被覆、バンプ形成、ダイシング、フリップチップ・パッケージングが、先の実施形態において説明されているように行なわれることが可能である。
【0108】
接着および電気的接続に関しては第4実施形態と同様で、接着後に薄くすることによって接着および露出することに先立ってダイを貫くビアを形成する点に関しては第7実施形態と同様の第9実施形態も可能である。この実施形態は、第7実施形態において説明されているように開始し、第4実施形態において説明されているようにコンタクト構造123、122を含んでいる接着面が準備され、接着され、電気的に接続される点を除いて、ダイ114乃至116(またはウェハ)の切り分けおよび接着へと続く。接着後、第7実施形態において説明されているようにダイ114乃至116が薄くされてダイ114乃至116内でビアが露出され、また先の実施形態において説明されているように金属によって埋め込まれる。最終的な構造の見た目は、ビアが埋め込まれるとともにコンタクト構造が開口を具備している場合、図19Aに類似している。
【0109】
第9実施形態の変形体において、接着前にビアを形成することが、第7実施形態において説明されているように金属の埋め込みによって補強される。例えば、ダイ114乃至116内のビアは、ビア156、157、158についての図22D、図22E、図22Fに示されているように、接着に先立って形成される。ダイ基板およびダイのデバイス領域の一部が導電性である場合、エッチングされたビア側壁の導電性の部分上に、電気的に絶縁性の側壁、例として図22Lに示されるような基板140およびデバイス領域148上のビア163内の側壁173が形成されることが好ましい。この側壁は、側壁全体上、または図22Kに示されているように側壁の非接触部分上、またはビアの底部内に形成されてもよい。ビアが適切にダイ基板およびデバイス領域から電気的に絶縁された後、ビアは、平坦化された金属構造100を伴った図10Bに示されているように導電性材料、例として金属によって、または金属の内部被覆またはバリア層93および絶縁体94を伴った図10Cに示されているように導電性および絶縁性材料を組み合わせたものによって、埋め込まれる。例えば金属または金属および絶縁体によってビアを埋め込むことは、先の実施形態において説明されているように多くの技術によって行なわれることが可能である。
【0110】
ダイのデバイス領域およびダイ基板の一部を貫くビアをエッチングするとともに埋め込むことに代えて、デバイスの形成またはダイのデバイス領域の完成前に、ビアが、ダイ基板の一部のみ、またはダイのデバイス領域の一部およびダイ基板の一部までエッチングまたはエッチングおよび埋め込まれることが可能である。例えば、図25Aに示されているように、ビアは、ダイ基板140内へおよびダイのデバイス領域171を貫いて、例として金属等の導電性材料(図示せず)および酸化シリコンまたは他の適切な材料等からなる絶縁体からなる半導体トランジスタおよび多層配線構造の層からなるデバイス領域の半導体部分を貫いて、または基板内に残っているデバイス領域がエッチングされる。ダイのデバイス領域171およびダイ基板140が、導電性材料、例として十分に低抵抗の半導体材料、例として典型的なCMOSウェハ形成において用いられるシリコンからなる場合、側壁が、この実施形態および先の実施形態において説明されているとともに先の実施形態において説明されているようにビア172の底の上にも形成されている選択的な側壁173についての図25Bにおいて示されているように、形成されることが好ましい。さらに、図25Aに示されている構造がシリコンから構成されている場合、非常に薄い、例として5乃至50nmの高質の選択的な酸化シリコンの側壁が熱により成長させられ、ビア172の横方向の寸法が実質的に1ミクロン未満となることを容易にして、1平方センチメートル当たり100,000,000を超える非常に高い面密度のビアが形成されることを可能にする。または、非選択的な側壁が、先の実施形態において説明されているようにビア172の底上に形成されることなくビア172の側壁上に形成されることが可能である。次に、ビア172が、必要であれば適切なバリア層によってその内側を覆われ、導電性材料174によって埋め込まれて、上記のように金属で埋め込まれたビアが形成される。ビア172は、導電性のポリシリコンによって埋め込まれてもよい。コンタクト構造123は、図25Dに示されているように、埋め込まれたビアと接触し得る。
【0111】
または、コンタクト構造123の形成に先立って、図25Cの構造上にさらなる処理を施して図25Eに示されているようにダイのデバイス領域148の製造を完了して続けてダイのデバイス領域148の上部にコンタクト構造123が形成され得る。例えば、多層配線構造は、導電性材料、例として金属、および絶縁性材料、例として典型的なCMOSウェハ製造と同様または同じものから構成され得る。典型的な金属には、銅、アルミニウムが含まれ、典型的な絶縁性材料には酸化シリコン、低誘電率絶縁体が含まれる。ダイ114乃至116内のコンタクト構造123が、第4実施形態において説明されているとともに図25Eに示されているように、形成されることが可能である。デバイス領域148は導電性材料176を形成してコンタクト構造123を金属で埋め込まれたビア174に電気的に接続することを含み得る。導電性材料176は、図25Eにおいて、導電性材料174とコンタクト構造123との間で垂直であることが示されているが、典型的な集積回路の形成、例としてCMOSウェハ製造における階層間金属の引き回しによって設けられるように、横方向成分を含んでいるか、あるいは完全に横方向成分であってもよい。導電性材料178を有する図25Fを参照されたい。
【0112】
こうして、金属で埋め込まれたビア174からコンタクト構造123への電気的な接続が、例えば典型的なCMOSウェハ製造に従って、集積回路の配線構造を用いて提供されることが可能である。こうして、電気的接続を達成するために配線構造のデザイン・ルールを変更する必要性が最小になるか無くなるかして、結果、既存の製造能力のスケーリングおよび手段が改善する。導電性材料176は、横方向成分を含むか主としてこれから構成され得るが、ビア172は横方向成分を必要としないことに留意されたい。例えば、ビア172が、ダイのデバイス領域148、例としてダイのデバイス領域171内にあり、導電性材料176が集積回路の製造において典型的に用いられる階層間金属からなる場合、ビア172は、導電性材料176から垂直に配置され、また、導電性材料176が金属で埋め込まれたビア174と電気的に接触していることを除いて導電性材料176の製造から原則独立したデザイン・ルールで製造され得る。さらに、この例におけるビア172は、例えばビア155がダイのデバイス領域148の全体を貫いて延びるこの実施形態で先に説明されたのより実質的に短い。より短いビア172によって、ビア172の横方向の寸法が小さく、例として、実質的に1ミクロン未満になり、非常に高い面密度、例として1平方センチメートル当たり100,000,000を超えるビアが形成されることが可能になって、結果、スケーリングが向上する。デバイス146内において、絶縁性の側壁膜177および絶縁性の表面膜180が、導電性材料176と別の表面コンタクトとを絶縁する必要がある場合に含められることに留意されたい。
【0113】
この変形体では、接着後に薄くすることによって、例えば図23Lの左側に示されているように、金属によって埋め込まれていないビアの代わりに、金属で埋め込まれたビアが露出される。どの変形体でも、ダイの基板部は、第6実施形態で説明されているように、完全に除去され得る。また、どの変形体でも、デバイス領域を有さないが第4実施形態に説明されているように用意されたコンタクト構造を有する基板への接着が、例えばボール・グリッド・アレイICパッケージにおけるチップ対パッケージ・インターポーザ基板の代わりとしても可能である。
【0114】
さらに、どの変形体でも、露出された表面は、金属で埋め込まれたビアを具備し得る。この表面は、必要であれば、第1実施形態に説明されているように表面を平坦化するための埋め込み材料と、第10実施形態において説明されているようなビア露出およびコンタクト構造形成を用いて、第4実施形態において説明されているような電気的接続を伴った接着のために適切に準備され得る。次に、露出されたコンタクト構造を有する、同じまたは異なるウェハからのさらなるダイが、第4実施形態において説明されているように、露出されたコンタクト構造を有する接着後に薄くされた表面に接着されることが可能である。または、フリップチップ・パッケージングが先の実施形態において説明されているように実現されることができるように、アンダーバンプ金属被覆が形成され得る。このことが、図23Mおよび図23Nに示されている。これらの図において、第2のダイが第1のダイに接着されている。上記または後述の構成を用いて導電性材料および/または1つのダイのコンタクトを別のダイに接続する際に多くの組合せが可能である。図23Mは、3つの例を示している。図23Mにおいて、ダイ181は、導電性材料168がコンタクト構造179を用いて下側のダイの導電性材料168に接続されており、ダイ182は、コンタクト147(154)が下側のダイのコンタクト147および導電性材料168に接続されており、ダイ183は、コンタクト147および導電性材料168が下側のダイのコンタクト147および導電性材料168に接続されている。
【0115】
図23Nにおいて、左側の構造は、ダイ・ダウン構成で接着された2つのダイを有している。真ん中の構造は、コンタクト構造142を有する基板149、例としてインターポーザ、と接着されたコンタクト構造147(154)を有するダイを有している。コンタクト構造147(154)と導電性材料168とは、接着後に形成された導電性材料187を介して接続されている。右側の構造は、基板149内の導電性材料168とコンタクト構造154とを接続する導電性材料187を有している。
【0116】
上記のように、本発明に係る方法は、ウェハ対ウェハ接着に適用され得る。図23Oは、図23Lの左側のダイのような、複数のコンタクト構造147および導電性材料168を有する上側基板140が、下側基板140に接着されて、コンタクト構造142とそれぞれ接続を形成していることを示している。ダイまたは別のウェハが、上記および後述の構成を用いて、ウェハ149に接着され得る。任意の数のウェハおよびダイが、接着および接続され得る。
【0117】
接着および電気的接続に関して第9実施形態と同様で、ダイ144乃至146の接着面の向きおよびハンドル・ウェハの任意付加的な使用法について第8実施形態と同様の第10実施形態も可能であり、図26Aに示されている。この実施形態は、ビアがエッチングされ、必要であれば絶縁され、例えば図25Cに示されているように導電性材料によって埋め込まれる第9実施形態において説明されたように開始する。上記のように、ビアは、様々な導電性材料によって埋め込まれ得る。この導電性材料には、必要であれば絶縁層およびバリア層を用いて、化学的気相成長法を含むがこれらに限定されない様々な方法で堆積されたポリシリコンまたは例えばタングステンまたは銅を含むがこれらに限定されない様々な金属が含まれる。次に、ダイ(またはウェハ)基板、例として図25F内の140が薄くされて、第8実施形態において説明されているようにハンドル・ウェハを任意選択的に用いて、導電性材料で埋め込まれたビア、例として図25F内の174が露出される。ビアを露出することは、裏面研削、CMP、およびエッチングの組合せによってなされることが可能である。この露出することによって、好ましいことに表面が平坦となるか、あるいは、基板のCMPまたはエッチングの選択性によって表面が非平坦になり得る。例えば、銅よりも低いレートでのCMP処理の最中にシリコンが除去され、結果、第4実施形態において説明されているように導電性のビアが後退させられるか、あるいはシリコン基板表面より低くまでへこませられることになる。または、ビアが露出されるか、あるいは露出されているビアが、導電性ビアに対して基板を優先的にエッチングして導電性ビアがシリコン基板表面上方に亘ることになる選択的エッチングでエッチングされ得る。例えば、シリコンが、SF6に基づいた反応性イオン・エッチングを用いて、銅またはビアが埋め込まれたビアに対して優先的にエッチングされ得る。導電体で埋め込まれたビアを露出することによって、第4実施形態において説明されているような適切に接着可能な表面が得られることになるのであれば、第8実施形態において説明されているようにダイは切り分けられるとともに接着され得る。
【0118】
導電体で埋め込まれたビアを露出することによって、第4実施形態において説明されているような適切に接着可能な表面が得られる結果にならない場合、第4実施形態において説明されているようにコンタクト構造が形成されて適切な表面が形成され得る。例えば、露出されている導電性のビアの埋め込みが、接着面を下回っている場合、コンタクト構造179が、第4実施形態において説明されているのと同様の方法で導電性材料174上に形成され得る。このように形成することは、コンタクト構造および絶縁体、例として酸化シリコンを堆積すること、続いて研磨することを含み、結果、接着面が、コンタクト構造を除いて適切に平坦且つ電気的に絶縁となる。このことが、導電性材料174と接触して形成されたコンタクト構造179およびPECVD酸化シリコンのような絶縁膜169を有する図26Bに示されている。
【0119】
または、本工程は、絶縁体有りまたは無しで、コンタクトを堆積および研磨することを含み得る。結果、接着面が、コンタクト構造と適切に平坦になるとともに、基板、例として図25Fの基板140から構成される。さらに、露出されている導電性埋め込みが、接着面より高い場合、コンタクト構造が、第4実施形態において説明されているのと同様の方法で導電性材料174上に形成されてもよい。この形成することは、コンタクト構造および絶縁体、例として酸化シリコンを堆積および研磨することを含み得る。結果、コンタクト構造179を除いて、接着面が適切に平坦になるとともに電気的に絶縁になる。コンタクト構造179は、導電性材料174と同程度に、またはこれより小さく、またはこれより大きく形成され得る。
【0120】
次に、第8実施形態において示されているように、ダイは切り分けられるとともに接着される。こうして、ダイ144乃至146は、第9実施形態において説明されているように形成および埋め込まれた接着前ビアによって基板140に接着され、また、必要であればコンタクト構造を含んだ接着面が第4実施形態において説明されているように準備され、接着され、電気的に接続される。ダイ144乃至146を基板140に接着した後、ダイ144乃至146はコンタクト構造142に電気的に接続されている必要はなく、また、ダイ1114乃至116の露出されている表面は、先の実施形態において説明されているようにフリップリップ・パッケージングの準備のためにアンダーバンプ金属被覆のために利用可能である。
【0121】
第10実施形態において、ビアは、第9実施形態において示されているようにデバイス領域148の全体をまたはデバイス領域148の半導体部分を貫いて形成されることが可能である。第9実施形態における場合のように、デバイス領域148の半導体領域内にビアを形成することによって、デバイス領域の完成前にビアを形成することによるより深くより広いビアが回避される。このことは、デバイス密度を向上させるとともに、半導体のビアの形成の結果消費される部分を減少させる。結果、スケーリングが向上する。さらに、ダイ基板部が、第6実施形態において説明されているように完全に除去され得る。さらに、露出されている表面はコンタクト構造を具備し得る。この表面は、必要であれば、第1実施形態において説明されているように表面を平坦化するための埋め込み材料を用いて、第4実施形態において説明されているように電気的接続を伴った接着に向けて適切に準備され得る。次に、露出された金属で埋め込まれたビアを有する同じまたは異なるウェハに由来するさらなるダイが、第4実施形態において説明されているように適切なコンタクト構造を有する接着後表面に接着されることが可能である。または、先の実施形態において説明されているようにフリップチップ・パッケージングが実現されることが可能になることに備えてアンダーバンプ金属被覆が形成され得る。また、第10実施形態は、図23Mと同様に複数のダイを積み上げるために、または図23Nと同様にウェハ対ウェハ・フォーマットで実行されてもよい。
【0122】
本発明の望ましい特徴が、垂直積み上げおよび接続構成に向けられる。例えば、ダイは、IC側を下にまたはIC側を上にして接着され得る。また、ダイ対ウェハ・フォーマット、ウェハ対ウェハ・フォーマットも、IC側を上にまたは下にした上側のウェハを下側のウェハにIC側を上にして接着されることが可能である。さらに、これらのダイ対ウェハおよびウェハ対ウェハ・フォーマットは、IC機能のために基板を必要としない基板を用いて製造されたICとともに用いられることが可能である。例えば、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板または例えばIII/V材料、SiC、サファイア等の非シリコン基板を用いて製造されたICは、IC機能のために基板の存在を必要としない。これらの場合、基板のトランジスタ製造のために必要でない全部分が除去されて、垂直電気的配線を形成するのに必要なビアのエッチングが最小にされ得る。
【0123】
基板がデバイス領域を具備していることが示されているが、デバイス領域を有さずにコンタクト構造を有する基板も、例えば、ボール・グリッド・アレイICパッケージ内でのチップ対パッケージ・インターポーザ基板の代わりとして可能である。また、ダイがデバイスを有していることが示されているが、デバイスを有さないまたはデバイスを有さないがコンタクト構造を有するその他のダイまたは素子が、本発明に従った方法を用いて、基板に接着され得る。
【0124】
本発明の多くの変更体および変形体が、上記の技術に照らして可能である。よって、添付の請求項の範囲内で、本明細書に具体的に説明されたのとは別のやり方で実施されてよいことが理解されるべきである。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1コンタクト構造を有する第1素子を第2コンタクト構造を有する第2素子と集積する方法であって、
少なくとも前記第1コンタクト構造に対して露出されたビアを前記第1素子内に形成し、
少なくとも前記第1コンタクト構造と接続された導電性材料を前記ビア内に形成し、
前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着する、
ことを具備する方法。
【請求項2】
前記第2コンタクト構造に対して露出された前記ビアを形成し、
前記第2コンタクト構造と接触する前記導電性材料を形成する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項3】
前記空洞の側壁上に絶縁膜を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項4】
前記第1コンタクト構造の上を除いて前記ビアに対して露出された前記第1素子の実質的に導電性部分のみに前記絶縁膜を形成することを具備する、請求項3の方法。
【請求項5】
前記第2コンタクト構造と、前記第1コンタクト構造の側部および上部と、に接触する前記導電性材料を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項6】
前記第2コンタクト構造と、実質的に前記第1第2コンタクト構造の側部のみと、に接触する前記導電性材料を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項7】
前記第1素子は、基板を含んだ第1部分と、前記第1部分上に形成された第2部分とを具備し、前記第1コンタクト構造は前記第2部分内に配置され、前記方法は、
実質的に前記第2部分に達するまで前記第1部分をエッチングして前記第1部分内に空洞を形成し、
前記空洞内に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜の形成後に前記第1部分をエッチングして前記第1コンタクト構造を露出させる
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項8】
前記接着する工程の後に前記ビアを形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項9】
前記接着する工程の前に前記ビアを形成し、
前記第1素子の一部を除去して前記ビアを露出させる、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項10】
前記接着することの前に、前記ビア内に前記第1コンタクト構造と接触する前記導電性材料を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項11】
前記第1素子の一部を除去して前記導電性材料を露出することを具備する請求項10の方法。
【請求項12】
化学的機械研磨を用いて前記第1素子の前記一部を除去することを具備する、請求項10の方法。
【請求項13】
前記第1素子の前記一部と実質的に同じ研磨レートを有するように前記導電性材料を選択することを具備する、請求項12の方法。
【請求項14】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項10の方法。
【請求項15】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項10の方法。
【請求項16】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項17】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項18】
前記接着することの後に、400℃未満の温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項1の方法。
【請求項19】
前記第1、第2コンタクトが劣化することを避けるように選択された温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項1の方法。
【請求項20】
前記第1素子は、基板を含んだ第1部分と前記第1部分上に形成された第2部分とを具備し、
前記第1コンタクト構造は、前記第2部分内に配置され、
前記方法は、前記基板の実質的に全てを除去することを具備する、
請求項1の方法。
【請求項21】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項1の方法。
【請求項22】
前記第1素子は、デバイスを有する切り分けられたダイを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項1の方法。
【請求項23】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は基板を具備する、
請求項1の方法。
【請求項24】
各々が第1コンタクト構造を有する複数の第1素子を、複数の第2コンタクト構造を有する第2素子に、前記第1コンタクト構造のそれぞれが前記第2コンタクト構造の1つと直接接続されるように、接着し、
各々が前記第1コンタクト構造の少なくとも1つに対して露出されたビアを前記第1素子の各々の中に形成し、
前記ビアの各々の中に前記第1コンタクト構造の少なくとも1つと接続された前記導電性材料を形成する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項25】
前記ビアの各々の中に前記第1コンタクト構造の少なくとも1つおよび前記第2コンタクト構造の少なくとも1つと接続された前記導電性材料を形成することを具備する、請求項24の方法。
【請求項26】
室温において、約500乃至2000mJ/m2の範囲内の接着強度で前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項27】
ほぼ室温において前記第1、第2素子を化学的に接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項28】
前記第1コンタクト構造は、間に間隔を有する1対のコンタクト構造と開口を有するコンタクト素子との一方を具備し、
前記方法は、前記間隔および前記開口の一方を貫いて、前記第2コンタクト構造と接触する前記導電性材料を形成することを具備する、
請求項1の方法。
【請求項29】
前記間隔または前記開口の幅より大きい幅を有するように前記ビアを形成することを具備する、請求項28の方法。
【請求項30】
前記ビアを形成することは、
前記第1コンタクト構造をエッチングして開口を形成し、
前記開口を貫いて前記第1素子をエッチングする、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項31】
前記第1コンタクト構造をエッチングして第1コンタクト部を形成し、
前記ビアをエッチングして、前記コンタクト部の少なくとも1つの上面および下面の各々の上にコンタクト棚を露出する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項32】
前記第1素子の前記第1コンタクト構造に近い側を前記基板に接着し、
前記第1素子を薄くして前記ビアを露出し、
前記薄くすることの後、前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着し、
前記基板を除去する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項33】
前記ビアに対して露出された前記第1素子の導電性部分上に絶縁層を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項34】
前記ビアの側壁上に絶縁層を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項35】
第3コンタクト構造を有する第3素子を、前記第3コンタクトが前記導電性材料に接触するように前記第1素子に接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項36】
第1コンタクト構造を有する第1素子を第2コンタクト構造を有する第2素子と集積する方法であって、
前記第1素子内にビアを形成し、
前記ビア内に第1導電性材料を形成し、
前記第1導電性材料を前記第1コンタクト構造に接続し、
前記第1素子を、前記第1コンタクト構造および前記第1導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように、前記第2素子に接着する、
ことを具備する方法。
【請求項37】
前記第1コンタクト構造の形成前に、前記ビアおよび前記第1導電性材料を形成し、
前記第1素子内に第2ビアを形成し、
前記第2ビア内に第2導電性材料を形成し、
前記第1コンタクト構造と前記第1導電性材料とを前記第2導電性材料を用いて接続する、
ことを具備する、請求項36の方法。
【請求項38】
実質的に水平部分を有するように前記第2導電性材料を形成することを具備する、請求項37の方法。
【請求項39】
実質的に垂直に前記第2導電性材料を形成することを具備する、請求項36の方法。
【請求項40】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記デバイスは前記第1コンタクト構造を具備し、
前記方法は、前記デバイスの形成前に、前記ビアを形成するとともに前記ビア内に前記導電性材料を形成することを具備する、
請求項36の方法。
【請求項41】
前記第1素子の一部を除去して前記導電性材料を露出することを具備する、請求項36の方法。
【請求項42】
化学的機械研磨を用いて前記第1素子の前記一部を除去することを具備する、請求項41の方法。
【請求項43】
前記第1素子の前記一部と実質的に同じ研磨レートを有するように前記導電性材料を選択することを具備する、請求項42の方法。
【請求項44】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項41の方法。
【請求項45】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項41の方法。
【請求項46】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項47】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項48】
前記接着することの後に、400℃未満の温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項36の方法。
【請求項49】
前記第1、第2コンタクトおよび前記第1、第2導電性材料が劣化することを避けるように選択された温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項36の方法。
【請求項50】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項36の方法。
【請求項51】
前記第1素子は、デバイスを有する切り分けられたダイを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項36の方法。
【請求項52】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は基板を具備する、
請求項36の方法。
【請求項53】
各々が第1コンタクト構造と、ビアと、前記ビア内に形成された第1導電性材料とを有する複数の第1素子を、複数のコンタクト構造を有する第2素子に、前記第1素子の各々が前記第2コンタクト構造の1つと直接接続された前記第1導電性材料および前記第1コンタクト構造のうちの1つを有するように、接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項54】
室温において、約500乃至2000mJ/m2の範囲内の接着強度で前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項55】
ほぼ室温において前記第1、第2素子を化学的に接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項56】
前記第1素子の前記第1コンタクト構造に近い側を前記基板に接着し、
前記第1素子を薄くして前記ビアを露出し、
前記薄くすることの後、前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着し、
前記基板を除去する、
ことを具備する、請求項36の方法。
【請求項57】
前記ビアに対して露出された前記第1素子の導電性部分上に絶縁層を形成することを具備する、請求項36の方法。
【請求項58】
前記ビアの側壁上に絶縁層を形成することを具備する、請求項36の方法。
【請求項59】
第1基板を有する第1素子内にビアを形成し、
前記ビア内に導電性材料を形成し、
前記ビアおよび前記導電性材料の形成後、前記導電性材料に電気的に接続された前記第1素子内にコンタクト構造を形成し、
少なくとも1つの第2コンタクト構造を有する第2素子を形成し、
前記第1基板の一部を除去して前記ビアおよび前記導電性材料を露出し、
前記第1基板を前記第2基板に接着し、
前記接着する工程の一部として、前記第2コンタクト構造と、前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちのの1つと、の間を接続する、
ことを具備する、集積方法。
【請求項60】
前記接着する工程の結果として、前記導電性材料を前記第2コンタクト構造に直接接続することを具備する、請求項59の方法。
【請求項61】
前記接着する工程の結果として、前記第1コンタクト構造を前記第2コンタクト構造に直接接続することを具備する、請求項59の方法。
【請求項62】
前記接着する工程は、前記導電性材料および前記第1、第2コンタクト構造を熱することを具備する、請求項59の方法。
【請求項63】
400℃未満の温度で熱することを具備する、請求項62の方法。
【請求項64】
前記第1、第2コンタクトおよび前記第1、第2導電性材料が劣化することを避けるように選択された温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項62の方法。
【請求項65】
400℃未満で熱することを具備する、請求項64の方法。
【請求項66】
前記第1コンタクト構造を具備するデバイスを前記第1素子内に形成し、
前記デバイスへの害を回避するように選択された温度で前記導電性材料および前記第2コンタクト構造を熱する、
ことを具備する、請求項59の方法。
【請求項67】
前記導電性材料および前記第1コンタクト構造と接触する導電性部材を形成することを具備する、請求項59の方法。
【請求項68】
前記導電性部材として導電性のビア構造を形成することを具備する、請求項67の方法。
【請求項69】
前記導電性部材として実質的に水平の配線を形成することを具備する、請求項67の方法。
【請求項70】
第3コンタクト構造を有する第3素子を、前記第3コンタクト構造が前記導電性材料に接続されるように、前記第1素子に接着することを具備する、請求項59の方法。
【請求項71】
第1コンタクト構造を有する第1素子と、
第2コンタクト構造を有する第2素子と、
前記第1素子内に形成された第1ビアと、
前記第1コンタクト構造と接続された前記第1ビア内に形成された第1導電性材料と、
を具備し、
前記第1導電性材料および前記第1コンタクト構造のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子が前記第2素子に接着される、集積構造。
【請求項72】
前記第2コンタクト構造に直接接続された前記第1コンタクト構造を具備する、請求項71の構造。
【請求項73】
前記第2コンタクト構造に直接接続された前記第1導電性材料を具備する、請求項71の構造。
【請求項74】
前記第1コンタクト構造の実質的に側面のみと接触している前記第1導電性材料を具備する、請求項71の方法。
【請求項75】
前記第1素子の前記第1ビアに露出された導電性部分の側壁上に形成された絶縁性の側壁を具備する、請求項71の方法。
【請求項76】
基板を具備する前記第1素子と、
前記基板上に形成されたデバイス領域内に形成された前記第1コンタクト構造と、
前記基板内において、前記デバイス領域におけるよりも広い、前記第1ビアと、
を具備する、請求項71の方法。
【請求項77】
基板を具備する前記第1素子と、
前記基板上に形成されたデバイス領域内に形成された前記第1コンタクト構造と、
前記デバイス領域において、前記基板におけるよりも広い、前記第1ビアと、
を具備する、請求項71の方法。
【請求項78】
水平の導電性部材を用いて前記第1導電性材料に接続されている前記第1コンタクト構造を具備する、請求項71の方法。
【請求項79】
前記第1素子内に形成された第2ビアと、
前記第1コンタクト構造および前記第1導電性材料と接続された、前記第2ビア内に形成された第2導電性材料と、
を具備する、請求項71の構造。
【請求項80】
第3コンタクト構造が前記第1導電性材料に接続されるように前記第1素子に接着された前記第3コンタクト構造を有する第3素子を具備する、請求項71の構造。
【請求項1】
第1コンタクト構造を有する第1素子を第2コンタクト構造を有する第2素子と集積する方法であって、
少なくとも前記第1コンタクト構造に対して露出されたビアを前記第1素子内に形成し、
少なくとも前記第1コンタクト構造と接続された導電性材料を前記ビア内に形成し、
前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着する、
ことを具備する方法。
【請求項2】
前記第2コンタクト構造に対して露出された前記ビアを形成し、
前記第2コンタクト構造と接触する前記導電性材料を形成する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項3】
前記空洞の側壁上に絶縁膜を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項4】
前記第1コンタクト構造の上を除いて前記ビアに対して露出された前記第1素子の実質的に導電性部分のみに前記絶縁膜を形成することを具備する、請求項3の方法。
【請求項5】
前記第2コンタクト構造と、前記第1コンタクト構造の側部および上部と、に接触する前記導電性材料を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項6】
前記第2コンタクト構造と、実質的に前記第1第2コンタクト構造の側部のみと、に接触する前記導電性材料を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項7】
前記第1素子は、基板を含んだ第1部分と、前記第1部分上に形成された第2部分とを具備し、前記第1コンタクト構造は前記第2部分内に配置され、前記方法は、
実質的に前記第2部分に達するまで前記第1部分をエッチングして前記第1部分内に空洞を形成し、
前記空洞内に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜の形成後に前記第1部分をエッチングして前記第1コンタクト構造を露出させる
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項8】
前記接着する工程の後に前記ビアを形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項9】
前記接着する工程の前に前記ビアを形成し、
前記第1素子の一部を除去して前記ビアを露出させる、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項10】
前記接着することの前に、前記ビア内に前記第1コンタクト構造と接触する前記導電性材料を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項11】
前記第1素子の一部を除去して前記導電性材料を露出することを具備する請求項10の方法。
【請求項12】
化学的機械研磨を用いて前記第1素子の前記一部を除去することを具備する、請求項10の方法。
【請求項13】
前記第1素子の前記一部と実質的に同じ研磨レートを有するように前記導電性材料を選択することを具備する、請求項12の方法。
【請求項14】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項10の方法。
【請求項15】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項10の方法。
【請求項16】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項17】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項18】
前記接着することの後に、400℃未満の温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項1の方法。
【請求項19】
前記第1、第2コンタクトが劣化することを避けるように選択された温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項1の方法。
【請求項20】
前記第1素子は、基板を含んだ第1部分と前記第1部分上に形成された第2部分とを具備し、
前記第1コンタクト構造は、前記第2部分内に配置され、
前記方法は、前記基板の実質的に全てを除去することを具備する、
請求項1の方法。
【請求項21】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項1の方法。
【請求項22】
前記第1素子は、デバイスを有する切り分けられたダイを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項1の方法。
【請求項23】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は基板を具備する、
請求項1の方法。
【請求項24】
各々が第1コンタクト構造を有する複数の第1素子を、複数の第2コンタクト構造を有する第2素子に、前記第1コンタクト構造のそれぞれが前記第2コンタクト構造の1つと直接接続されるように、接着し、
各々が前記第1コンタクト構造の少なくとも1つに対して露出されたビアを前記第1素子の各々の中に形成し、
前記ビアの各々の中に前記第1コンタクト構造の少なくとも1つと接続された前記導電性材料を形成する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項25】
前記ビアの各々の中に前記第1コンタクト構造の少なくとも1つおよび前記第2コンタクト構造の少なくとも1つと接続された前記導電性材料を形成することを具備する、請求項24の方法。
【請求項26】
室温において、約500乃至2000mJ/m2の範囲内の接着強度で前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項27】
ほぼ室温において前記第1、第2素子を化学的に接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項28】
前記第1コンタクト構造は、間に間隔を有する1対のコンタクト構造と開口を有するコンタクト素子との一方を具備し、
前記方法は、前記間隔および前記開口の一方を貫いて、前記第2コンタクト構造と接触する前記導電性材料を形成することを具備する、
請求項1の方法。
【請求項29】
前記間隔または前記開口の幅より大きい幅を有するように前記ビアを形成することを具備する、請求項28の方法。
【請求項30】
前記ビアを形成することは、
前記第1コンタクト構造をエッチングして開口を形成し、
前記開口を貫いて前記第1素子をエッチングする、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項31】
前記第1コンタクト構造をエッチングして第1コンタクト部を形成し、
前記ビアをエッチングして、前記コンタクト部の少なくとも1つの上面および下面の各々の上にコンタクト棚を露出する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項32】
前記第1素子の前記第1コンタクト構造に近い側を前記基板に接着し、
前記第1素子を薄くして前記ビアを露出し、
前記薄くすることの後、前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着し、
前記基板を除去する、
ことを具備する、請求項1の方法。
【請求項33】
前記ビアに対して露出された前記第1素子の導電性部分上に絶縁層を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項34】
前記ビアの側壁上に絶縁層を形成することを具備する、請求項1の方法。
【請求項35】
第3コンタクト構造を有する第3素子を、前記第3コンタクトが前記導電性材料に接触するように前記第1素子に接着することを具備する、請求項1の方法。
【請求項36】
第1コンタクト構造を有する第1素子を第2コンタクト構造を有する第2素子と集積する方法であって、
前記第1素子内にビアを形成し、
前記ビア内に第1導電性材料を形成し、
前記第1導電性材料を前記第1コンタクト構造に接続し、
前記第1素子を、前記第1コンタクト構造および前記第1導電性材料のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように、前記第2素子に接着する、
ことを具備する方法。
【請求項37】
前記第1コンタクト構造の形成前に、前記ビアおよび前記第1導電性材料を形成し、
前記第1素子内に第2ビアを形成し、
前記第2ビア内に第2導電性材料を形成し、
前記第1コンタクト構造と前記第1導電性材料とを前記第2導電性材料を用いて接続する、
ことを具備する、請求項36の方法。
【請求項38】
実質的に水平部分を有するように前記第2導電性材料を形成することを具備する、請求項37の方法。
【請求項39】
実質的に垂直に前記第2導電性材料を形成することを具備する、請求項36の方法。
【請求項40】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記デバイスは前記第1コンタクト構造を具備し、
前記方法は、前記デバイスの形成前に、前記ビアを形成するとともに前記ビア内に前記導電性材料を形成することを具備する、
請求項36の方法。
【請求項41】
前記第1素子の一部を除去して前記導電性材料を露出することを具備する、請求項36の方法。
【請求項42】
化学的機械研磨を用いて前記第1素子の前記一部を除去することを具備する、請求項41の方法。
【請求項43】
前記第1素子の前記一部と実質的に同じ研磨レートを有するように前記導電性材料を選択することを具備する、請求項42の方法。
【請求項44】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項41の方法。
【請求項45】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項41の方法。
【請求項46】
前記第1コンタクト構造が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項47】
前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項48】
前記接着することの後に、400℃未満の温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項36の方法。
【請求項49】
前記第1、第2コンタクトおよび前記第1、第2導電性材料が劣化することを避けるように選択された温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項36の方法。
【請求項50】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項36の方法。
【請求項51】
前記第1素子は、デバイスを有する切り分けられたダイを具備し、
前記第2素子は、少なくとも1つのデバイスを有する基板を具備する、
請求項36の方法。
【請求項52】
前記第1素子はデバイスを具備し、
前記第2素子は基板を具備する、
請求項36の方法。
【請求項53】
各々が第1コンタクト構造と、ビアと、前記ビア内に形成された第1導電性材料とを有する複数の第1素子を、複数のコンタクト構造を有する第2素子に、前記第1素子の各々が前記第2コンタクト構造の1つと直接接続された前記第1導電性材料および前記第1コンタクト構造のうちの1つを有するように、接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項54】
室温において、約500乃至2000mJ/m2の範囲内の接着強度で前記第1、第2素子を接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項55】
ほぼ室温において前記第1、第2素子を化学的に接着することを具備する、請求項36の方法。
【請求項56】
前記第1素子の前記第1コンタクト構造に近い側を前記基板に接着し、
前記第1素子を薄くして前記ビアを露出し、
前記薄くすることの後、前記導電性材料が前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子を前記第2素子に接着し、
前記基板を除去する、
ことを具備する、請求項36の方法。
【請求項57】
前記ビアに対して露出された前記第1素子の導電性部分上に絶縁層を形成することを具備する、請求項36の方法。
【請求項58】
前記ビアの側壁上に絶縁層を形成することを具備する、請求項36の方法。
【請求項59】
第1基板を有する第1素子内にビアを形成し、
前記ビア内に導電性材料を形成し、
前記ビアおよび前記導電性材料の形成後、前記導電性材料に電気的に接続された前記第1素子内にコンタクト構造を形成し、
少なくとも1つの第2コンタクト構造を有する第2素子を形成し、
前記第1基板の一部を除去して前記ビアおよび前記導電性材料を露出し、
前記第1基板を前記第2基板に接着し、
前記接着する工程の一部として、前記第2コンタクト構造と、前記第1コンタクト構造および前記導電性材料のうちのの1つと、の間を接続する、
ことを具備する、集積方法。
【請求項60】
前記接着する工程の結果として、前記導電性材料を前記第2コンタクト構造に直接接続することを具備する、請求項59の方法。
【請求項61】
前記接着する工程の結果として、前記第1コンタクト構造を前記第2コンタクト構造に直接接続することを具備する、請求項59の方法。
【請求項62】
前記接着する工程は、前記導電性材料および前記第1、第2コンタクト構造を熱することを具備する、請求項59の方法。
【請求項63】
400℃未満の温度で熱することを具備する、請求項62の方法。
【請求項64】
前記第1、第2コンタクトおよび前記第1、第2導電性材料が劣化することを避けるように選択された温度で前記第1、第2コンタクトを熱することを具備する、請求項62の方法。
【請求項65】
400℃未満で熱することを具備する、請求項64の方法。
【請求項66】
前記第1コンタクト構造を具備するデバイスを前記第1素子内に形成し、
前記デバイスへの害を回避するように選択された温度で前記導電性材料および前記第2コンタクト構造を熱する、
ことを具備する、請求項59の方法。
【請求項67】
前記導電性材料および前記第1コンタクト構造と接触する導電性部材を形成することを具備する、請求項59の方法。
【請求項68】
前記導電性部材として導電性のビア構造を形成することを具備する、請求項67の方法。
【請求項69】
前記導電性部材として実質的に水平の配線を形成することを具備する、請求項67の方法。
【請求項70】
第3コンタクト構造を有する第3素子を、前記第3コンタクト構造が前記導電性材料に接続されるように、前記第1素子に接着することを具備する、請求項59の方法。
【請求項71】
第1コンタクト構造を有する第1素子と、
第2コンタクト構造を有する第2素子と、
前記第1素子内に形成された第1ビアと、
前記第1コンタクト構造と接続された前記第1ビア内に形成された第1導電性材料と、
を具備し、
前記第1導電性材料および前記第1コンタクト構造のうちの1つが前記第2コンタクト構造に直接接続されるように前記第1素子が前記第2素子に接着される、集積構造。
【請求項72】
前記第2コンタクト構造に直接接続された前記第1コンタクト構造を具備する、請求項71の構造。
【請求項73】
前記第2コンタクト構造に直接接続された前記第1導電性材料を具備する、請求項71の構造。
【請求項74】
前記第1コンタクト構造の実質的に側面のみと接触している前記第1導電性材料を具備する、請求項71の方法。
【請求項75】
前記第1素子の前記第1ビアに露出された導電性部分の側壁上に形成された絶縁性の側壁を具備する、請求項71の方法。
【請求項76】
基板を具備する前記第1素子と、
前記基板上に形成されたデバイス領域内に形成された前記第1コンタクト構造と、
前記基板内において、前記デバイス領域におけるよりも広い、前記第1ビアと、
を具備する、請求項71の方法。
【請求項77】
基板を具備する前記第1素子と、
前記基板上に形成されたデバイス領域内に形成された前記第1コンタクト構造と、
前記デバイス領域において、前記基板におけるよりも広い、前記第1ビアと、
を具備する、請求項71の方法。
【請求項78】
水平の導電性部材を用いて前記第1導電性材料に接続されている前記第1コンタクト構造を具備する、請求項71の方法。
【請求項79】
前記第1素子内に形成された第2ビアと、
前記第1コンタクト構造および前記第1導電性材料と接続された、前記第2ビア内に形成された第2導電性材料と、
を具備する、請求項71の構造。
【請求項80】
第3コンタクト構造が前記第1導電性材料に接続されるように前記第1素子に接着された前記第3コンタクト構造を有する第3素子を具備する、請求項71の構造。
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図3A】
【図3B】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図8E】
【図8F】
【図8G】
【図8H】
【図8I】
【図8J】
【図8K】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図10D】
【図10E】
【図10F】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16A】
【図16B】
【図17】
【図18】
【図19A】
【図19B】
【図19C】
【図20A】
【図20B】
【図20C】
【図20D】
【図20E】
【図20F】
【図20G】
【図20H】
【図21A】
【図21B】
【図21C】
【図21D】
【図21E】
【図22A】
【図22B】
【図22C】
【図22D】
【図22E】
【図22F】
【図22G】
【図22H】
【図22I】
【図22J】
【図22K】
【図22L】
【図23A】
【図23B】
【図23C】
【図23D】
【図23E】
【図23F】
【図23G】
【図23H】
【図23I】
【図23J】
【図23K】
【図23L】
【図23M】
【図23N】
【図23O】
【図24A】
【図24B】
【図25A】
【図25B】
【図25C】
【図25D】
【図25E】
【図25F】
【図26A】
【図26B】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図3A】
【図3B】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図8E】
【図8F】
【図8G】
【図8H】
【図8I】
【図8J】
【図8K】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図10D】
【図10E】
【図10F】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16A】
【図16B】
【図17】
【図18】
【図19A】
【図19B】
【図19C】
【図20A】
【図20B】
【図20C】
【図20D】
【図20E】
【図20F】
【図20G】
【図20H】
【図21A】
【図21B】
【図21C】
【図21D】
【図21E】
【図22A】
【図22B】
【図22C】
【図22D】
【図22E】
【図22F】
【図22G】
【図22H】
【図22I】
【図22J】
【図22K】
【図22L】
【図23A】
【図23B】
【図23C】
【図23D】
【図23E】
【図23F】
【図23G】
【図23H】
【図23I】
【図23J】
【図23K】
【図23L】
【図23M】
【図23N】
【図23O】
【図24A】
【図24B】
【図25A】
【図25B】
【図25C】
【図25D】
【図25E】
【図25F】
【図26A】
【図26B】
【公開番号】特開2013−58781(P2013−58781A)
【公開日】平成25年3月28日(2013.3.28)
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願2012−246660(P2012−246660)
【出願日】平成24年11月8日(2012.11.8)
【分割の表示】特願2008−526104(P2008−526104)の分割
【原出願日】平成18年8月7日(2006.8.7)
【出願人】(502116003)ジプトロニクス・インコーポレイテッド (10)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成25年3月28日(2013.3.28)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−246660(P2012−246660)
【出願日】平成24年11月8日(2012.11.8)
【分割の表示】特願2008−526104(P2008−526104)の分割
【原出願日】平成18年8月7日(2006.8.7)
【出願人】(502116003)ジプトロニクス・インコーポレイテッド (10)
【Fターム(参考)】
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