半導体装置およびその製造方法
【課題】 開口部が設けられ、当該開口部に二次元電子ガスで形成されるチャネルを備える縦型半導体装置の耐圧性能を向上させることを目的とする。
【解決手段】開口部28が設けられたGaN系積層体15を備える縦型の半導体装置であって、n型GaN系ドリフト層4/p型GaN系バリア層6/n型GaN系コンタクト層7、を備え、開口部を覆うように電子走行層22および電子供給層26を含む再成長層27と、ソース電極Sと、再成長層上に位置するゲート電極Gとを備え、ゲート電極Gは、p型GaNバリア層の厚み範囲に対応する部分を覆い、かつ開口部の底部から離れた位置の壁面内で終端している。
【解決手段】開口部28が設けられたGaN系積層体15を備える縦型の半導体装置であって、n型GaN系ドリフト層4/p型GaN系バリア層6/n型GaN系コンタクト層7、を備え、開口部を覆うように電子走行層22および電子供給層26を含む再成長層27と、ソース電極Sと、再成長層上に位置するゲート電極Gとを備え、ゲート電極Gは、p型GaNバリア層の厚み範囲に対応する部分を覆い、かつ開口部の底部から離れた位置の壁面内で終端している。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、大電力のスイッチングに用いられる、半導体装置およびその製造方法、とくに窒化物半導体のうちGaN系半導体を用いた半導体装置およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
大電流用のスイッチング素子には、高い逆方向耐圧と低いオン抵抗とが求められる。III族窒化物半導体を用いた電界効果トランジスタ(FET:Field Effect Transistor)は、バンドギャップが大きいことから、高耐圧、高温動作などの点で優れており、とくにGaN系半導体を用いた縦型トランジスタは、大電力の制御用トランジスタとして注目されている。たとえばGaN系半導体に開口部を設けて、その開口部の壁面に二次元電子ガス(2DEG:2 Dimensional Electron Gas)のチャネルを含む再成長層を設けることで、移動度を高めオン抵抗を低くした縦型GaN系FETの提案がなされている(特許文献1)。この縦型GaN系FETでは、耐圧性能やピンチオフ特性を改善するためにp型GaNバリア層などを配置する機構が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2006−286942号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記の縦型GaN系FETでは、上記p型GaNバリア層とn−GaNドリフト層とのpn接合に形成される空乏層により、確かに耐圧性能は向上されるかもしれない。しかし、開口部はp型GaNバリア層を突き抜けてn−GaNドリフト層内にまで届いている。このため、ゲート電極Gはp型GaNバリア層を介在させずにドレイン電極に対向することになる。大電力用スイッチング素子に用いる場合、オフ動作には、ソース電極(グランド)とドレイン電極との間に数百V〜千数百Vの電圧が印加される。オフ動作時にはゲート電極にマイナス数V程度の電圧がかけられる。上記の高いソース−ドレイン間電圧のため、開口部の底とくに底の稜線(断面図ではコーナー)付近のn−GaNドリフト層に電界集中が生じる。この結果、開口部の底の稜線の不可避的な凹凸等を起点に半導体の破壊が生じる。このような、開口部の底におけるオフ動作時の耐圧性能は、p型バリア層では対応できない。
本発明は、開口部が設けられ、当該開口部にチャネルおよびゲート電極を備える縦型半導体装置において、オフ動作時の耐圧性能を向上させた半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の半導体装置は、開口部が設けられたGaN系積層体を備える縦型の半導体装置である。この半導体装置は、GaN系積層体は、表層側へと順次、n型GaN系ドリフト層/p型GaN系バリア層/n型GaN系コンタクト層、を有し、開口部は表層からn型GaN系ドリフト層内にまで届いている。その開口部の壁面および底部を覆うように位置する、電子走行層および電子供給層を含む再成長層と、開口部の周囲において、n型GaN系コンタクト層および再成長層に接するソース電極と、再成長層上に位置するゲート電極とを備える。そして、ゲート電極は、p型バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ開口部の底部を覆う再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端していることを特徴とする。
【0006】
縦型の半導体装置では、一方の主面(GaN系半導体層の表面)のソース電極と、そのソース電極に該GaN系半導体層を挟んで対向するドレイン電極との間に、数百ボルト〜千数百ボルトの高電圧が印加される。ソース電極はグランド電位に固定され、ドレイン電極に高電圧が印加される。またゲート電極は、チャネルの開閉のためにオフ時にマイナス数ボルト、たとえば−5Vに保持される。すなわちオフ動作時、ゲート電極が最低電位を保持する。ゲート電極とドレイン電極との間の距離は、ソース電極とドレイン電極との間の距離よりも小さく、オフ動作時には、ドレイン電極とゲート電極との間には、上記の−5V分だけ高くなった電圧がかかる。
上記の構成によれば、開口部の底部と壁面とが交差する稜線(縦断面図では角部)に外側で接する部分のn型GaN系ドリフト層に対して、ゲート電極は対面するように位置せず、距離をおいて離れている。また、上記稜線または角部に内側で嵌合するように位置する凸部はない。従来の装置では、最低電位を保持する凸部は、その凸部に接するように対面する部分のn型GaN系ドリフト層に対して、平板状の最低電位保持部である場合よりも強い電界集中を生じていた。上記のように、本発明の半導体装置のゲート電極には、このような角部に内側から嵌合する凸部はない。また、ゲート電極の端部とドレイン電極との距離も少し大きくなる。
このため、オフ動作時に従来のようなレベルの電界集中は生じず、ドレイン−ゲート間に高電圧が印加されても、上記稜線に接する部分のn型GaN系ドリフト層での電界集中は緩和される。この結果、当該箇所のn型GaN系ドリフト層に破壊が生じにくくなる。
なお、不純物の導電型n型またはp型について、濃度は限定していないが、低濃度から高濃度の全範囲を含むものである。
【0007】
開口部壁面におけるゲート電極の終端部を上記角部から距離をおいて配置することによるn型GaN系ドリフト層における電界集中の緩和の他に、ゲート電極、をp型GaN系バリア層に対応する壁面範囲を覆うことにより、次の作用を得ることができる。上記のp型GaN系バリア層は、(1)ピンチオフ特性の向上、および上述のように(2)逆方向の耐圧性能の確保、のために、n型GaN系ドリフト層とn型GaN系コンタクト層との間に挿入されている。p型GaN系バリア層は、(1)再成長層中の電子走行層のポテンシャルを高めることでピンチオフ特性を向上させ、かつ(2)逆バイアス時に空乏層をn型GaN系ドリフト層側に広く張ることで所定範囲の耐圧性能を得ることができる。開口部壁面におけるゲート電極の範囲を、p型GaN系バリア層側のポテンシャルを高められた範囲の電子走行層について、オンオフ制御を行うことになるので、より良好なピンチオフ特性を得ることができる。
上記のゲート電極を開口部の上側に限定した配置したことによる耐圧性能の向上作用には、従来の開口底部におけるショットキーダイオード(ゲート電極/半導体層)よりも、上記開口底部を囲むpnダイオード(p型GaN系バリア層/n型GaN系ドリフト層)のほうが高耐圧であることによる作用も加算される。
【0008】
再成長層の底部において、少なくとも再成長層の底部と壁面とが交差する稜線を覆うように位置するフィールドプレート電極を備えることができる。
上記のフィールドプレート電極によって、最低電位の保持部であるゲート電極を遮蔽して、定常的または偶発的な要因によって、n型GaN系ドリフト層に局所的な電界集中が生じるのを防ぐことができる。
【0009】
再成長層の底部とフィールドプレート電極との間に介在する絶縁膜をさらに備えることができる。
これによって、n型GaN系ドリフト層内における電界集中をさらに安定して緩和することができる。
【0010】
再成長層上であって、ゲート電極の下に、絶縁層を備えることができる。
ゲート電極下に絶縁層を配置することで、ゲートに正電圧を印加したときのゲートリーク電流を抑制できるため、大電流動作がしやすくなる。また、しきい値電圧をより正方向にシフトできるため、ノーマリーオフを得やすくなる。
【0011】
本発明の半導体装置の製造方法では、縦型のGaN系半導体装置を製造する。この製造方法は、n型GaN系ドリフト層上にp型GaN系バリア層を形成する工程と、p型GaN系バリア層上にn型GaN系コンタクト層を形成する工程と、エッチングにより、表層から前記n型GaN系ドリフト層内に届く開口部を形成する工程と、開口部の壁面および底部を覆うように、電子走行層および電子供給層を含む再成長層をエピタキシャル成長させる工程と、開口部の周囲に、n型GaN系コンタクト層および再成長層に接するように、ソース電極を形成する工程と、再成長層上にゲート電極を形成する工程とを備える。そして、ゲート電極形成工程では、該ゲート電極を、p型GaN系バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端するように形成することを特徴とする。
【0012】
上記の方法によって、簡単な製造方法の変更によって、上記の稜線または角部に接する部分のn型GaN系ドリフト層での電界集中が緩和される半導体装置を製造することができる。すなわち、稜線または角部を挟んで対面するゲート電極およびn型GaN系ドリフト層という形状上の放電容易化要因を回避することができる。ゲート電極の端部とドレイン電極との間の距離も少し増大する。
【0013】
ゲート電極形成工程の前または後に、再成長層の底部を覆い、ゲート電極から間隔があくように、フィールドプレート電極を形成する工程を備えることができる。
これによっても、簡単に耐圧性能の高い半導体装置を簡単な製造方法によって得ることができる。
【0014】
フィールドプレート形成工程では、フィールドプレート電極を形成する前に、再成長層の底部およびゲート電極の終端部、を覆うように絶縁膜を形成し、その後、該絶縁膜上に当該フィールドプレート電極を形成することができる。
この方法によって、さらに耐圧性能を安定化して向上させた半導体装置を簡単に製造することができるようになる。
【発明の効果】
【0015】
本発明の半導体装置によれば、開口部が設けられ、当該開口部にチャネルおよびゲート電極を備える縦型半導体装置において、オフ動作時の耐圧性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の実施の形態1における縦型GaN系FET(半導体装置)を示す断面図である(図2のI−I線に沿う断面図)。
【図2】図1の縦型GaN系FETの平面図である。
【図3】図1の縦型GaN系FETの製造方法を示し、支持基体上にオーミック接触するGaN層を有する基板にコンタクト層までのエピタキシャル積層体を形成した状態を示す図である。
【図4】エッチングによって開口部を設けた状態を示す図である。
【図5】RIEによって開口部を設ける段階を示し、(a)はレジストパターンを配置した状態、(b)はイオンを照射しながら開口を掘り下げて開口を拡大(後退)させてゆく状態、を示す図である。
【図6】開口部に、再成長層を形成した状態を示す図である。
【図7】再成長層上に絶縁膜を成長させた状態を示す図である。
【図8】図1に示す半導体装置の変形例を示し、本発明の実施の形態1に属する半導体装置の断面図である。
【図9】本発明の実施の形態2における縦型GaN系FET(半導体装置)を示す断面図である。
【図10】図9に示す半導体装置の変形例1を示し、本発明の実施の形態2に属する半導体装置の断面図である。
【図11】図9に示す半導体装置の変形例2を示し、本発明の実施の形態2に属する半導体装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における縦型GaN系FET(半導体装置)10の断面図である。縦型GaN系FET10は、導電性のGaN基板1と、その上にエピタキシャル成長した、n−型GaNドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7、を備える。このn−型GaNドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7は、連続して形成されたGaN系積層体15を構成する。GaN基板1の種類によっては、GaN基板1とn−型GaNドリフト層4との間にAlGaN層またはGaN層からなるバッファ層を挿入してもよい。
なお、GaN基板1は、支持基体上にオーミック接触するGaN層を有する基板であってもよいし、上述のように製品状態では、GaN基板等の相当の厚み部分が除去されてGaN系積層体のエピタキシャル成長の下地膜としての薄いGaN層のみが残った状態でもよい。これら、GaN基板、支持基体上にオーミック接触するGaN層を有する基板、製品に薄く残された下地のGaN層などを、単にGaN基板と略称する場合もある。
また、p型GaNバリア層6は、本実施の形態ではp型GaNバリア層としているが、p型AlGaN層を用いてもよい。GaN系積層体15を構成するその他の層についても、場合に応じて、GaN層を他のGaN系半導体層としてよい。
【0018】
GaN系積層体15には、n+型GaNコンタクト層7からp型GaNバリア層6まで貫通してn−型GaNドリフト層4内に至る開口部28が設けられている。開口部28は、壁面(側面)28aと底部28bとで形成されている。その開口部28の壁面28aおよび底部28bと、GaN系積層体15の表層(n+型GaNコンタクト層7)とを被覆するように、エピタキシャル成長した再成長層27が形成されている。再成長層27は、i(intrinsic)型GaN電子走行層22およびAlGaN電子供給層26で構成される。i型GaN電子走行層22とAlGaN電子供給層26との間にAlN等の中間層を挿入してもよい。ソース電極Sは、GaN系積層体15上において、再成長層27、n+型コンタクト層7、およびp型GaNバリア層6に電気的に接続する。図1では、ソース電極Sは、下方に延在して、その側面で再成長層27の端面およびn+型コンタクト層7に接触し、その先端部でp型GaNコンタクト層7に接触して電気的接続を得ている。ドレイン電極DはGaN基板1の裏面に位置する。
【0019】
再成長層27を覆って、ゲート電極Gの下に絶縁膜9が位置している。この絶縁膜9は、ゲート電極に正電圧を印加したときのゲートリーク電流を抑制するために配置されていて、大電流動作がしやすくなる。また、しきい値電圧をより正方向にシフトできるため、ノーマリーオフを得やすくなる。ただし、この絶縁膜9は、なくてもよく、必須ではない。
【0020】
動作オン時には、再成長層27において、i型GaN電子走行層22内のAlGaN電子供給層26側の界面に、二次元電子ガス(2DEG:2 Dimensional Electron Gas)が生成する。格子定数の違いに起因する自然分極やピエゾ分極等によって二次元電子ガスがi型GaN電子走行層22内のAlGaN層側の界面に生じる。電子は、ソース電極Sからその二次元電子ガスを経てn−型GaNドリフト層4からドレイン電極Dにいたる経路をとる。再成長層27におけるi型GaN電子走行層22とAlGaN電子供給層26とは、同じ成長槽内で連続して成長されるため、界面における不純物準位等の密度は低く抑えられる。このため、開口部28を設けて厚み方向に大電流を流す形態をとりながら、低いオン抵抗で大電流(面積当たり)を流すことができる。
【0021】
本実施の形態におけるポイントは、ゲート電極Gの形状にある。ゲート電極Gは、p型GaNバリア層6の厚み範囲に対応する該再成長層27の壁面の部分を覆い、かつ開口部の底部28bを覆う再成長層27の底部から離れた位置の当該壁面内に終端する。終端部geがゲート電極の開口部28内の端である。終端部geは、開口部28の底部28bと壁面28aとが交差する稜線(図1では角部)Kから、図1において距離fだけ離れている。断面図で説明する場合、上記稜線は角部Kと呼ぶ。また、距離fについて、正確には、絶縁膜9における角部K対応する位置からの距離fというべきであるが、差異は小さいのでそれほど大きな影響がない場合は、両者を区別せずに角部Kとして説明する。距離f以外の説明の場合にも、とくに厳格に区別しないと問題がある場合以外は、開口部28の角部と、その角部に接する部分の再成長層27または絶縁膜9の角部Kと、を区別しないで用いる。
【0022】
上記のように、オフ動作時には、グランド電位に保持されるソース電極Sとドレイン電極Dとの間に、数百ボルト〜千数百ボルトの高電圧が印加される。またゲート電極は、チャネルの開閉のためにオフ時にマイナス数ボルト、たとえば−5Vに保持される。オフ動作時、ゲート電極が最低電位を保持する。
従来の開口部を持つ縦型半導体装置のように、ゲート電極Gが開口部28の底部28bおよび壁面28aを連続して隙間なく覆う構造では、上記電位の境界条件下で、稜線または角部Kに接する部分のn−型GaNドリフト層4に大きな電界集中が生じる。このような従来の半導体装置では、ゲート電極は、上記稜線または角部に内側から嵌合する凸部を有する。角部Kに外側から接する部分のn−型GaNドリフト層4では、電気力線は、角部Kの外側から内側に向かって絞られて、この角部Kにおいて密集して流れる形態をとる。このため、ゲート電極Gの最低電位を保持する凸部に接する部分のn型GaN系ドリフト層4に大きな電界集中が生じる。この電界集中によってこの部分のp型GaNバリア層6が破壊される場合がある。
【0023】
本実施の形態の半導体装置10のゲート電極Gは、開口部28の壁面28a上で終端しており、終端部geは角部Kから距離fだけ離れている。すなわち最低電位保持部は、角部Kから少なくとも距離fだけ離れている。本実施の形態では、最低電位保持部であるゲート電極Gは、上記の角部Kに内側から嵌合する凸部を持たず、しかも角部Kから距離fだけ離れた位置に終端部geを有する。所定の距離fをとることで、角部に接する部分のn−型GaNドリフト層4の電界集中は大きく緩和される。この結果、上記の稜線または角部Kに接する部分のn−型GaNドリフト層4に大きな電界集中は生じず、高電圧に起因する絶縁破壊は生じにくくなる。
【0024】
p型GaNバリア層6のp型不純物濃度は、1E17cm−3〜1E19cm−3程度とするのがよい。p型不純物には、MgなどのGaN系半導体中にアクセプタを形成する不純物が用いられる。また、p型GaNバリア層6の厚みは、n−型GaNドリフト層の厚み等によって変わり、設計事項である。このため、厚み範囲は一概に決めることはできない。しかし、代表的な厚みについては、多くの仕様において用いられる厚みという点から、0.3μm〜1μm程度をあげることができる。これより薄いと、十分な耐圧性能やピンチオフ特性を得られないので、厚みの下限とみてもよい。このp型GaNバリア層6は、この0.3μm〜1μm程度の厚みを持つことから、あまり高濃度のMg濃度を含有させると、p型GaNバリア層6の端面に向かって直線的に移動してチャネルに悪影響(オン抵抗の増大)を及ぼす。また、チャネルOFF時のn−型GaNドリフト層とのpn接合での逆方向特性(耐圧性能)を劣化させる。
n+型GaNコンタクト層7の厚みは、0.1μm〜0.6μm程度とするのがよい。n+型GaNコンタクト層7の長さは、0.5μm以上5μm以下とするのがよい。
【0025】
図2は、図1に示した縦型GaN系半導体装置10の平面図であり、図1は本図におけるI−I線に沿う断面図である。図2によれば、開口部28を六角形とし、またゲート電極Gの終端部geを六角形とし、ゲート配線12を避けながら、その周囲をほぼソース電極Sで覆って、最密充填(ハニカム構造)とすることにより単位面積当たりのゲート電極周囲長を長く取れる。このような形状の面からも、オン抵抗を下げることができる。電流は、ソース電極Sから、直接に、またはn+型GaNコンタクト層7を経由して、再成長層27内のチャネル(電子走行層22)に入り、n−型GaNドリフト層4を経て、ドレイン電極Dへと流れる。ソース電極Sおよびその配線と、ゲート電極G、ゲート配線12およびゲートパッド13から構成されるゲート構成体とが、相互に干渉しないために、ソース配線は、図示しない層間絶縁膜上に設けられる。層間絶縁膜にはビアホールが設けられ、そのビアホールに充填された導電部を含むソース電極Sは、層間絶縁膜上のソース導電層(図示せず)と導電接続される。このような構造によって、ソース電極Sを含むソース構成体は、大電力用の素子に好適な、低い電気抵抗および高い移動度、を持つことができる。
上記の六角形のハニカム構造は、畝状にして、畝状の開口部を密に配置することでも、上記の面積当たりの開口部周囲長を大きくでき、この結果、電流密度を向上させることができる。この場合、ゲート電極Gの終端部geも壁面内に位置して畝に平行な形状をとることになる。
【0026】
次に、本実施の形態における半導体装置10の製造方法を説明する。図3に示すように、上記の意味のGaN基板1の上に、n−型GaNドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7、の積層体15を成長する。GaN基板1とn−型GaNドリフト層4との間にGaN系バッファ層(図示せず)を挿入してもよい。
上記の層の形成は、MOCVD(有機金属化学気相成長)法などを用いるのがよい。たとえばMOCVD法で成長することで、結晶性の良好な積層体15を形成できる。GaN基板1の形成において、導電性基板上に窒化ガリウム膜をMOCVD法によって成長させる場合、ガリウム原料として、トリメチルガリウムを用いる。窒素原料としては高純度アンモニアを用いる。キャリアガスとしては純化水素を用いる。高純度アンモニアの純度は99.999%以上、純化水素の純度は99.999995%以上である。n型ドーパント(ドナー)のSi原料には水素ベースのシランを用い、p型ドーパント(アクセプタ)のMg原料にはシクロペンタジエニルマグネシウムを用いるのがよい。
導電性基板としては、直径2インチの導電性窒化ガリウム基板を用いる。1030℃、100Torrで、アンモニアおよび水素の雰囲気中で、基板クリーニングを実施する。その後、1050℃に昇温して、200Torr、V/III比=1500で窒化ガリウム層を成長させる。上記の導電性基板上のGaN層の形成は、GaN基板1の形成だけでなく、GaN基板1上の積層体15の成長においても共通する方法である。
上記の方法で、GaN基板1上に、n−型GaN層ドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7、の順に成長する。
【0027】
次に、図4に示すように、開口部28をRIE(反応性イオンエッチング)によって形成する。図5(a)および(b)に示すように、エピタキシャル層4,6,7の表面にレジストパターンM1を形成した後、RIEによって、レジストパターンM1をエッチングして後退させながら開口を広げて開口部28を設ける。このRIE工程において、開口部28の斜面、すなわち積層体15の端面は、イオン照射を受けて損傷される。損傷部では、ダングリンドボンド、格子欠陥の高密度領域などが発生し、その損傷部にRIE装置由来または特定できていない部分からの導電性不純物が到達して富化が生じる。この損傷部の発生は、ドレインリーク電流の増大をもたらすので、修復する必要がある。水素やアンモニアを所定レベル含むことで、このあと説明する再成長層27の成長時に、ダングリンドボンド等の修復、および不純物の除去や不活性化を得ることができる。
【0028】
次いで、レジストパターンM1を除去し、ウエハを洗浄した後、当該ウエハをMOCVD装置に導入して、図6に示すように、アンドープGaNからなる電子走行層22、およびアンドープAlGaNからなる電子供給層26を含む再成長層27を成長する。このアンドープGaN層22およびAlGaN層26の成長においては、(NH3+H2)雰囲気において熱クリーニングを行い、引き続き(NH3+H2)を導入しつつ有機金属原料を供給する。この再成長層27の形成前の熱クリーニング時または形成時に、上記の損傷部の修復、導電性不純物の除去やパッシベーション化を進行させる。
次いで、上記ウエハをMOCVD装置から取り出し、図7に示すように、絶縁膜9を成長させる。その後、再びフォトリソグラフィと電子ビーム蒸着法を用いて、図1に示すように、ソース電極Sをエピタキシャル層表面に、ドレイン電極DをGaN系基板1の裏面に形成する。
ゲート電極Gを形成する際、開口部28には開口部底部28bおよび角部Kを覆うようなレジストパターンを設けるのがよい。これによって、ゲート電極Gの終端部geが開口部の壁面28a内にあるように、すなわち終端部geが角部Kから距離fをとるように形成できる。
【0029】
<図1の半導体装置に対する変形例>
図8は、本発明の実施の形態の半導体装置10であり、実施の形態1の変形例である。この変形例では、図1の半導体装置と異なり、再成長層27を覆うゲート電極Gの下の絶縁膜がない。このように、絶縁膜がない場合にも、開口部の底部28bから一定距離fをおいてゲート電極Gを終端させることで、角部Kに接する部分のn−型GaNドリフト層4の絶縁破壊を避けることができる。
【0030】
(実施の形態2)
図9は、本発明の実施の形態2における半導体装置を示す図である。本実施の形態における特徴は、開口部の底部28bおよび角部Kにわたって、フィールドプレート電極31を配置した点にある。このフィールドプレート電極31は、グランド電位に保持してもよいし、電位を固定しなくてもよい。上記のフィールドプレート電極によって、最低電位の保持部であるゲート電極を遮蔽して電位分布を均等化することで、定常的または偶発的な要因によってn型GaN系ドリフト層に局所的な電界集中が生じるのを防ぐことができる。
フィールドプレート電極31を設ける際およびゲート電極Gを設ける際、順次、レジストパターンを設けて、相互の距離fを確保するようにする。
その他の部分の構造および作用は、実施の形態1と共通する。
【0031】
<図9の半導体装置に対する変形例1および2>
図10は、本発明の実施の形態の半導体装置10を示し、図9の半導体装置に対する変形例1である。変形例1では、フィールドプレート電極31を開口部の角部Kに局在させて配置する。これによって、最も強い電界集中が生じる箇所を狙いうちしてフィールドプレート電極31を配置することになる。図9の半導体装置の場合よりも小さな面積のフィールドプレート電極31によってほぼ同等の耐圧性能向上を得ることができる。
【0032】
図11は、本発明の実施の形態の半導体装置10を示し、図9の半導体装置に対する変形例2である。この変形例2では、フィールドプレート電極31を、絶縁膜33を介在させて、配置する。とくにゲート電極Gと当該フィールドプレート電極31との間に介在させる。これによって、ゲート電極Gとフィールドプレート電極31との間の絶縁を確保しながら、角部Kおよびゲート電極Gの端におけるn−型GaNドリフト層4の絶縁破壊を生じにくくすることができる。
なお、実施の形態2およびその変形例においても、絶縁膜9を除くことができる。
【0033】
上記開示された本発明の実施形態の構造は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの記載の範囲に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【0034】
本発明の半導体装置等によれば、開口部を有する縦型の半導体装置において、ゲート電極の形状および配置を限定することで、オフ時の耐圧性能を向上することができる。さらに開口部の少なくとも角部を含む底部にフィールドプレート電極を配置することで最低電位保持部のゲート電位を遮蔽して、安定して耐圧性能を確保することができる。
【符号の説明】
【0035】
1 GaN基板、4 n−型GaNドリフト層、 6 p型GaNバリア層、7 p+型GaN補助層、7 n+型GaNコンタクト層、9 絶縁膜、10 半導体装置(縦型GaN系FET)、12 ゲート配線、13 ゲートパッド、15 GaN系積層体、22 GaN電子走行層、26 AlGaN電子供給層、 27 再成長層、28 開口部、28a 開口部壁面、28b 開口部底部、D ドレイン電極、f ゲート電極終端部と角部との距離、G ゲート電極、ge:ゲート電極の底部側終端部、K 開口部の稜線または角部、M1 レジストパターン、S ソース電極。
【技術分野】
【0001】
本発明は、大電力のスイッチングに用いられる、半導体装置およびその製造方法、とくに窒化物半導体のうちGaN系半導体を用いた半導体装置およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
大電流用のスイッチング素子には、高い逆方向耐圧と低いオン抵抗とが求められる。III族窒化物半導体を用いた電界効果トランジスタ(FET:Field Effect Transistor)は、バンドギャップが大きいことから、高耐圧、高温動作などの点で優れており、とくにGaN系半導体を用いた縦型トランジスタは、大電力の制御用トランジスタとして注目されている。たとえばGaN系半導体に開口部を設けて、その開口部の壁面に二次元電子ガス(2DEG:2 Dimensional Electron Gas)のチャネルを含む再成長層を設けることで、移動度を高めオン抵抗を低くした縦型GaN系FETの提案がなされている(特許文献1)。この縦型GaN系FETでは、耐圧性能やピンチオフ特性を改善するためにp型GaNバリア層などを配置する機構が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2006−286942号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記の縦型GaN系FETでは、上記p型GaNバリア層とn−GaNドリフト層とのpn接合に形成される空乏層により、確かに耐圧性能は向上されるかもしれない。しかし、開口部はp型GaNバリア層を突き抜けてn−GaNドリフト層内にまで届いている。このため、ゲート電極Gはp型GaNバリア層を介在させずにドレイン電極に対向することになる。大電力用スイッチング素子に用いる場合、オフ動作には、ソース電極(グランド)とドレイン電極との間に数百V〜千数百Vの電圧が印加される。オフ動作時にはゲート電極にマイナス数V程度の電圧がかけられる。上記の高いソース−ドレイン間電圧のため、開口部の底とくに底の稜線(断面図ではコーナー)付近のn−GaNドリフト層に電界集中が生じる。この結果、開口部の底の稜線の不可避的な凹凸等を起点に半導体の破壊が生じる。このような、開口部の底におけるオフ動作時の耐圧性能は、p型バリア層では対応できない。
本発明は、開口部が設けられ、当該開口部にチャネルおよびゲート電極を備える縦型半導体装置において、オフ動作時の耐圧性能を向上させた半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の半導体装置は、開口部が設けられたGaN系積層体を備える縦型の半導体装置である。この半導体装置は、GaN系積層体は、表層側へと順次、n型GaN系ドリフト層/p型GaN系バリア層/n型GaN系コンタクト層、を有し、開口部は表層からn型GaN系ドリフト層内にまで届いている。その開口部の壁面および底部を覆うように位置する、電子走行層および電子供給層を含む再成長層と、開口部の周囲において、n型GaN系コンタクト層および再成長層に接するソース電極と、再成長層上に位置するゲート電極とを備える。そして、ゲート電極は、p型バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ開口部の底部を覆う再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端していることを特徴とする。
【0006】
縦型の半導体装置では、一方の主面(GaN系半導体層の表面)のソース電極と、そのソース電極に該GaN系半導体層を挟んで対向するドレイン電極との間に、数百ボルト〜千数百ボルトの高電圧が印加される。ソース電極はグランド電位に固定され、ドレイン電極に高電圧が印加される。またゲート電極は、チャネルの開閉のためにオフ時にマイナス数ボルト、たとえば−5Vに保持される。すなわちオフ動作時、ゲート電極が最低電位を保持する。ゲート電極とドレイン電極との間の距離は、ソース電極とドレイン電極との間の距離よりも小さく、オフ動作時には、ドレイン電極とゲート電極との間には、上記の−5V分だけ高くなった電圧がかかる。
上記の構成によれば、開口部の底部と壁面とが交差する稜線(縦断面図では角部)に外側で接する部分のn型GaN系ドリフト層に対して、ゲート電極は対面するように位置せず、距離をおいて離れている。また、上記稜線または角部に内側で嵌合するように位置する凸部はない。従来の装置では、最低電位を保持する凸部は、その凸部に接するように対面する部分のn型GaN系ドリフト層に対して、平板状の最低電位保持部である場合よりも強い電界集中を生じていた。上記のように、本発明の半導体装置のゲート電極には、このような角部に内側から嵌合する凸部はない。また、ゲート電極の端部とドレイン電極との距離も少し大きくなる。
このため、オフ動作時に従来のようなレベルの電界集中は生じず、ドレイン−ゲート間に高電圧が印加されても、上記稜線に接する部分のn型GaN系ドリフト層での電界集中は緩和される。この結果、当該箇所のn型GaN系ドリフト層に破壊が生じにくくなる。
なお、不純物の導電型n型またはp型について、濃度は限定していないが、低濃度から高濃度の全範囲を含むものである。
【0007】
開口部壁面におけるゲート電極の終端部を上記角部から距離をおいて配置することによるn型GaN系ドリフト層における電界集中の緩和の他に、ゲート電極、をp型GaN系バリア層に対応する壁面範囲を覆うことにより、次の作用を得ることができる。上記のp型GaN系バリア層は、(1)ピンチオフ特性の向上、および上述のように(2)逆方向の耐圧性能の確保、のために、n型GaN系ドリフト層とn型GaN系コンタクト層との間に挿入されている。p型GaN系バリア層は、(1)再成長層中の電子走行層のポテンシャルを高めることでピンチオフ特性を向上させ、かつ(2)逆バイアス時に空乏層をn型GaN系ドリフト層側に広く張ることで所定範囲の耐圧性能を得ることができる。開口部壁面におけるゲート電極の範囲を、p型GaN系バリア層側のポテンシャルを高められた範囲の電子走行層について、オンオフ制御を行うことになるので、より良好なピンチオフ特性を得ることができる。
上記のゲート電極を開口部の上側に限定した配置したことによる耐圧性能の向上作用には、従来の開口底部におけるショットキーダイオード(ゲート電極/半導体層)よりも、上記開口底部を囲むpnダイオード(p型GaN系バリア層/n型GaN系ドリフト層)のほうが高耐圧であることによる作用も加算される。
【0008】
再成長層の底部において、少なくとも再成長層の底部と壁面とが交差する稜線を覆うように位置するフィールドプレート電極を備えることができる。
上記のフィールドプレート電極によって、最低電位の保持部であるゲート電極を遮蔽して、定常的または偶発的な要因によって、n型GaN系ドリフト層に局所的な電界集中が生じるのを防ぐことができる。
【0009】
再成長層の底部とフィールドプレート電極との間に介在する絶縁膜をさらに備えることができる。
これによって、n型GaN系ドリフト層内における電界集中をさらに安定して緩和することができる。
【0010】
再成長層上であって、ゲート電極の下に、絶縁層を備えることができる。
ゲート電極下に絶縁層を配置することで、ゲートに正電圧を印加したときのゲートリーク電流を抑制できるため、大電流動作がしやすくなる。また、しきい値電圧をより正方向にシフトできるため、ノーマリーオフを得やすくなる。
【0011】
本発明の半導体装置の製造方法では、縦型のGaN系半導体装置を製造する。この製造方法は、n型GaN系ドリフト層上にp型GaN系バリア層を形成する工程と、p型GaN系バリア層上にn型GaN系コンタクト層を形成する工程と、エッチングにより、表層から前記n型GaN系ドリフト層内に届く開口部を形成する工程と、開口部の壁面および底部を覆うように、電子走行層および電子供給層を含む再成長層をエピタキシャル成長させる工程と、開口部の周囲に、n型GaN系コンタクト層および再成長層に接するように、ソース電極を形成する工程と、再成長層上にゲート電極を形成する工程とを備える。そして、ゲート電極形成工程では、該ゲート電極を、p型GaN系バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端するように形成することを特徴とする。
【0012】
上記の方法によって、簡単な製造方法の変更によって、上記の稜線または角部に接する部分のn型GaN系ドリフト層での電界集中が緩和される半導体装置を製造することができる。すなわち、稜線または角部を挟んで対面するゲート電極およびn型GaN系ドリフト層という形状上の放電容易化要因を回避することができる。ゲート電極の端部とドレイン電極との間の距離も少し増大する。
【0013】
ゲート電極形成工程の前または後に、再成長層の底部を覆い、ゲート電極から間隔があくように、フィールドプレート電極を形成する工程を備えることができる。
これによっても、簡単に耐圧性能の高い半導体装置を簡単な製造方法によって得ることができる。
【0014】
フィールドプレート形成工程では、フィールドプレート電極を形成する前に、再成長層の底部およびゲート電極の終端部、を覆うように絶縁膜を形成し、その後、該絶縁膜上に当該フィールドプレート電極を形成することができる。
この方法によって、さらに耐圧性能を安定化して向上させた半導体装置を簡単に製造することができるようになる。
【発明の効果】
【0015】
本発明の半導体装置によれば、開口部が設けられ、当該開口部にチャネルおよびゲート電極を備える縦型半導体装置において、オフ動作時の耐圧性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の実施の形態1における縦型GaN系FET(半導体装置)を示す断面図である(図2のI−I線に沿う断面図)。
【図2】図1の縦型GaN系FETの平面図である。
【図3】図1の縦型GaN系FETの製造方法を示し、支持基体上にオーミック接触するGaN層を有する基板にコンタクト層までのエピタキシャル積層体を形成した状態を示す図である。
【図4】エッチングによって開口部を設けた状態を示す図である。
【図5】RIEによって開口部を設ける段階を示し、(a)はレジストパターンを配置した状態、(b)はイオンを照射しながら開口を掘り下げて開口を拡大(後退)させてゆく状態、を示す図である。
【図6】開口部に、再成長層を形成した状態を示す図である。
【図7】再成長層上に絶縁膜を成長させた状態を示す図である。
【図8】図1に示す半導体装置の変形例を示し、本発明の実施の形態1に属する半導体装置の断面図である。
【図9】本発明の実施の形態2における縦型GaN系FET(半導体装置)を示す断面図である。
【図10】図9に示す半導体装置の変形例1を示し、本発明の実施の形態2に属する半導体装置の断面図である。
【図11】図9に示す半導体装置の変形例2を示し、本発明の実施の形態2に属する半導体装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における縦型GaN系FET(半導体装置)10の断面図である。縦型GaN系FET10は、導電性のGaN基板1と、その上にエピタキシャル成長した、n−型GaNドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7、を備える。このn−型GaNドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7は、連続して形成されたGaN系積層体15を構成する。GaN基板1の種類によっては、GaN基板1とn−型GaNドリフト層4との間にAlGaN層またはGaN層からなるバッファ層を挿入してもよい。
なお、GaN基板1は、支持基体上にオーミック接触するGaN層を有する基板であってもよいし、上述のように製品状態では、GaN基板等の相当の厚み部分が除去されてGaN系積層体のエピタキシャル成長の下地膜としての薄いGaN層のみが残った状態でもよい。これら、GaN基板、支持基体上にオーミック接触するGaN層を有する基板、製品に薄く残された下地のGaN層などを、単にGaN基板と略称する場合もある。
また、p型GaNバリア層6は、本実施の形態ではp型GaNバリア層としているが、p型AlGaN層を用いてもよい。GaN系積層体15を構成するその他の層についても、場合に応じて、GaN層を他のGaN系半導体層としてよい。
【0018】
GaN系積層体15には、n+型GaNコンタクト層7からp型GaNバリア層6まで貫通してn−型GaNドリフト層4内に至る開口部28が設けられている。開口部28は、壁面(側面)28aと底部28bとで形成されている。その開口部28の壁面28aおよび底部28bと、GaN系積層体15の表層(n+型GaNコンタクト層7)とを被覆するように、エピタキシャル成長した再成長層27が形成されている。再成長層27は、i(intrinsic)型GaN電子走行層22およびAlGaN電子供給層26で構成される。i型GaN電子走行層22とAlGaN電子供給層26との間にAlN等の中間層を挿入してもよい。ソース電極Sは、GaN系積層体15上において、再成長層27、n+型コンタクト層7、およびp型GaNバリア層6に電気的に接続する。図1では、ソース電極Sは、下方に延在して、その側面で再成長層27の端面およびn+型コンタクト層7に接触し、その先端部でp型GaNコンタクト層7に接触して電気的接続を得ている。ドレイン電極DはGaN基板1の裏面に位置する。
【0019】
再成長層27を覆って、ゲート電極Gの下に絶縁膜9が位置している。この絶縁膜9は、ゲート電極に正電圧を印加したときのゲートリーク電流を抑制するために配置されていて、大電流動作がしやすくなる。また、しきい値電圧をより正方向にシフトできるため、ノーマリーオフを得やすくなる。ただし、この絶縁膜9は、なくてもよく、必須ではない。
【0020】
動作オン時には、再成長層27において、i型GaN電子走行層22内のAlGaN電子供給層26側の界面に、二次元電子ガス(2DEG:2 Dimensional Electron Gas)が生成する。格子定数の違いに起因する自然分極やピエゾ分極等によって二次元電子ガスがi型GaN電子走行層22内のAlGaN層側の界面に生じる。電子は、ソース電極Sからその二次元電子ガスを経てn−型GaNドリフト層4からドレイン電極Dにいたる経路をとる。再成長層27におけるi型GaN電子走行層22とAlGaN電子供給層26とは、同じ成長槽内で連続して成長されるため、界面における不純物準位等の密度は低く抑えられる。このため、開口部28を設けて厚み方向に大電流を流す形態をとりながら、低いオン抵抗で大電流(面積当たり)を流すことができる。
【0021】
本実施の形態におけるポイントは、ゲート電極Gの形状にある。ゲート電極Gは、p型GaNバリア層6の厚み範囲に対応する該再成長層27の壁面の部分を覆い、かつ開口部の底部28bを覆う再成長層27の底部から離れた位置の当該壁面内に終端する。終端部geがゲート電極の開口部28内の端である。終端部geは、開口部28の底部28bと壁面28aとが交差する稜線(図1では角部)Kから、図1において距離fだけ離れている。断面図で説明する場合、上記稜線は角部Kと呼ぶ。また、距離fについて、正確には、絶縁膜9における角部K対応する位置からの距離fというべきであるが、差異は小さいのでそれほど大きな影響がない場合は、両者を区別せずに角部Kとして説明する。距離f以外の説明の場合にも、とくに厳格に区別しないと問題がある場合以外は、開口部28の角部と、その角部に接する部分の再成長層27または絶縁膜9の角部Kと、を区別しないで用いる。
【0022】
上記のように、オフ動作時には、グランド電位に保持されるソース電極Sとドレイン電極Dとの間に、数百ボルト〜千数百ボルトの高電圧が印加される。またゲート電極は、チャネルの開閉のためにオフ時にマイナス数ボルト、たとえば−5Vに保持される。オフ動作時、ゲート電極が最低電位を保持する。
従来の開口部を持つ縦型半導体装置のように、ゲート電極Gが開口部28の底部28bおよび壁面28aを連続して隙間なく覆う構造では、上記電位の境界条件下で、稜線または角部Kに接する部分のn−型GaNドリフト層4に大きな電界集中が生じる。このような従来の半導体装置では、ゲート電極は、上記稜線または角部に内側から嵌合する凸部を有する。角部Kに外側から接する部分のn−型GaNドリフト層4では、電気力線は、角部Kの外側から内側に向かって絞られて、この角部Kにおいて密集して流れる形態をとる。このため、ゲート電極Gの最低電位を保持する凸部に接する部分のn型GaN系ドリフト層4に大きな電界集中が生じる。この電界集中によってこの部分のp型GaNバリア層6が破壊される場合がある。
【0023】
本実施の形態の半導体装置10のゲート電極Gは、開口部28の壁面28a上で終端しており、終端部geは角部Kから距離fだけ離れている。すなわち最低電位保持部は、角部Kから少なくとも距離fだけ離れている。本実施の形態では、最低電位保持部であるゲート電極Gは、上記の角部Kに内側から嵌合する凸部を持たず、しかも角部Kから距離fだけ離れた位置に終端部geを有する。所定の距離fをとることで、角部に接する部分のn−型GaNドリフト層4の電界集中は大きく緩和される。この結果、上記の稜線または角部Kに接する部分のn−型GaNドリフト層4に大きな電界集中は生じず、高電圧に起因する絶縁破壊は生じにくくなる。
【0024】
p型GaNバリア層6のp型不純物濃度は、1E17cm−3〜1E19cm−3程度とするのがよい。p型不純物には、MgなどのGaN系半導体中にアクセプタを形成する不純物が用いられる。また、p型GaNバリア層6の厚みは、n−型GaNドリフト層の厚み等によって変わり、設計事項である。このため、厚み範囲は一概に決めることはできない。しかし、代表的な厚みについては、多くの仕様において用いられる厚みという点から、0.3μm〜1μm程度をあげることができる。これより薄いと、十分な耐圧性能やピンチオフ特性を得られないので、厚みの下限とみてもよい。このp型GaNバリア層6は、この0.3μm〜1μm程度の厚みを持つことから、あまり高濃度のMg濃度を含有させると、p型GaNバリア層6の端面に向かって直線的に移動してチャネルに悪影響(オン抵抗の増大)を及ぼす。また、チャネルOFF時のn−型GaNドリフト層とのpn接合での逆方向特性(耐圧性能)を劣化させる。
n+型GaNコンタクト層7の厚みは、0.1μm〜0.6μm程度とするのがよい。n+型GaNコンタクト層7の長さは、0.5μm以上5μm以下とするのがよい。
【0025】
図2は、図1に示した縦型GaN系半導体装置10の平面図であり、図1は本図におけるI−I線に沿う断面図である。図2によれば、開口部28を六角形とし、またゲート電極Gの終端部geを六角形とし、ゲート配線12を避けながら、その周囲をほぼソース電極Sで覆って、最密充填(ハニカム構造)とすることにより単位面積当たりのゲート電極周囲長を長く取れる。このような形状の面からも、オン抵抗を下げることができる。電流は、ソース電極Sから、直接に、またはn+型GaNコンタクト層7を経由して、再成長層27内のチャネル(電子走行層22)に入り、n−型GaNドリフト層4を経て、ドレイン電極Dへと流れる。ソース電極Sおよびその配線と、ゲート電極G、ゲート配線12およびゲートパッド13から構成されるゲート構成体とが、相互に干渉しないために、ソース配線は、図示しない層間絶縁膜上に設けられる。層間絶縁膜にはビアホールが設けられ、そのビアホールに充填された導電部を含むソース電極Sは、層間絶縁膜上のソース導電層(図示せず)と導電接続される。このような構造によって、ソース電極Sを含むソース構成体は、大電力用の素子に好適な、低い電気抵抗および高い移動度、を持つことができる。
上記の六角形のハニカム構造は、畝状にして、畝状の開口部を密に配置することでも、上記の面積当たりの開口部周囲長を大きくでき、この結果、電流密度を向上させることができる。この場合、ゲート電極Gの終端部geも壁面内に位置して畝に平行な形状をとることになる。
【0026】
次に、本実施の形態における半導体装置10の製造方法を説明する。図3に示すように、上記の意味のGaN基板1の上に、n−型GaNドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7、の積層体15を成長する。GaN基板1とn−型GaNドリフト層4との間にGaN系バッファ層(図示せず)を挿入してもよい。
上記の層の形成は、MOCVD(有機金属化学気相成長)法などを用いるのがよい。たとえばMOCVD法で成長することで、結晶性の良好な積層体15を形成できる。GaN基板1の形成において、導電性基板上に窒化ガリウム膜をMOCVD法によって成長させる場合、ガリウム原料として、トリメチルガリウムを用いる。窒素原料としては高純度アンモニアを用いる。キャリアガスとしては純化水素を用いる。高純度アンモニアの純度は99.999%以上、純化水素の純度は99.999995%以上である。n型ドーパント(ドナー)のSi原料には水素ベースのシランを用い、p型ドーパント(アクセプタ)のMg原料にはシクロペンタジエニルマグネシウムを用いるのがよい。
導電性基板としては、直径2インチの導電性窒化ガリウム基板を用いる。1030℃、100Torrで、アンモニアおよび水素の雰囲気中で、基板クリーニングを実施する。その後、1050℃に昇温して、200Torr、V/III比=1500で窒化ガリウム層を成長させる。上記の導電性基板上のGaN層の形成は、GaN基板1の形成だけでなく、GaN基板1上の積層体15の成長においても共通する方法である。
上記の方法で、GaN基板1上に、n−型GaN層ドリフト層4/p型GaNバリア層6/n+型GaNコンタクト層7、の順に成長する。
【0027】
次に、図4に示すように、開口部28をRIE(反応性イオンエッチング)によって形成する。図5(a)および(b)に示すように、エピタキシャル層4,6,7の表面にレジストパターンM1を形成した後、RIEによって、レジストパターンM1をエッチングして後退させながら開口を広げて開口部28を設ける。このRIE工程において、開口部28の斜面、すなわち積層体15の端面は、イオン照射を受けて損傷される。損傷部では、ダングリンドボンド、格子欠陥の高密度領域などが発生し、その損傷部にRIE装置由来または特定できていない部分からの導電性不純物が到達して富化が生じる。この損傷部の発生は、ドレインリーク電流の増大をもたらすので、修復する必要がある。水素やアンモニアを所定レベル含むことで、このあと説明する再成長層27の成長時に、ダングリンドボンド等の修復、および不純物の除去や不活性化を得ることができる。
【0028】
次いで、レジストパターンM1を除去し、ウエハを洗浄した後、当該ウエハをMOCVD装置に導入して、図6に示すように、アンドープGaNからなる電子走行層22、およびアンドープAlGaNからなる電子供給層26を含む再成長層27を成長する。このアンドープGaN層22およびAlGaN層26の成長においては、(NH3+H2)雰囲気において熱クリーニングを行い、引き続き(NH3+H2)を導入しつつ有機金属原料を供給する。この再成長層27の形成前の熱クリーニング時または形成時に、上記の損傷部の修復、導電性不純物の除去やパッシベーション化を進行させる。
次いで、上記ウエハをMOCVD装置から取り出し、図7に示すように、絶縁膜9を成長させる。その後、再びフォトリソグラフィと電子ビーム蒸着法を用いて、図1に示すように、ソース電極Sをエピタキシャル層表面に、ドレイン電極DをGaN系基板1の裏面に形成する。
ゲート電極Gを形成する際、開口部28には開口部底部28bおよび角部Kを覆うようなレジストパターンを設けるのがよい。これによって、ゲート電極Gの終端部geが開口部の壁面28a内にあるように、すなわち終端部geが角部Kから距離fをとるように形成できる。
【0029】
<図1の半導体装置に対する変形例>
図8は、本発明の実施の形態の半導体装置10であり、実施の形態1の変形例である。この変形例では、図1の半導体装置と異なり、再成長層27を覆うゲート電極Gの下の絶縁膜がない。このように、絶縁膜がない場合にも、開口部の底部28bから一定距離fをおいてゲート電極Gを終端させることで、角部Kに接する部分のn−型GaNドリフト層4の絶縁破壊を避けることができる。
【0030】
(実施の形態2)
図9は、本発明の実施の形態2における半導体装置を示す図である。本実施の形態における特徴は、開口部の底部28bおよび角部Kにわたって、フィールドプレート電極31を配置した点にある。このフィールドプレート電極31は、グランド電位に保持してもよいし、電位を固定しなくてもよい。上記のフィールドプレート電極によって、最低電位の保持部であるゲート電極を遮蔽して電位分布を均等化することで、定常的または偶発的な要因によってn型GaN系ドリフト層に局所的な電界集中が生じるのを防ぐことができる。
フィールドプレート電極31を設ける際およびゲート電極Gを設ける際、順次、レジストパターンを設けて、相互の距離fを確保するようにする。
その他の部分の構造および作用は、実施の形態1と共通する。
【0031】
<図9の半導体装置に対する変形例1および2>
図10は、本発明の実施の形態の半導体装置10を示し、図9の半導体装置に対する変形例1である。変形例1では、フィールドプレート電極31を開口部の角部Kに局在させて配置する。これによって、最も強い電界集中が生じる箇所を狙いうちしてフィールドプレート電極31を配置することになる。図9の半導体装置の場合よりも小さな面積のフィールドプレート電極31によってほぼ同等の耐圧性能向上を得ることができる。
【0032】
図11は、本発明の実施の形態の半導体装置10を示し、図9の半導体装置に対する変形例2である。この変形例2では、フィールドプレート電極31を、絶縁膜33を介在させて、配置する。とくにゲート電極Gと当該フィールドプレート電極31との間に介在させる。これによって、ゲート電極Gとフィールドプレート電極31との間の絶縁を確保しながら、角部Kおよびゲート電極Gの端におけるn−型GaNドリフト層4の絶縁破壊を生じにくくすることができる。
なお、実施の形態2およびその変形例においても、絶縁膜9を除くことができる。
【0033】
上記開示された本発明の実施形態の構造は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの記載の範囲に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【0034】
本発明の半導体装置等によれば、開口部を有する縦型の半導体装置において、ゲート電極の形状および配置を限定することで、オフ時の耐圧性能を向上することができる。さらに開口部の少なくとも角部を含む底部にフィールドプレート電極を配置することで最低電位保持部のゲート電位を遮蔽して、安定して耐圧性能を確保することができる。
【符号の説明】
【0035】
1 GaN基板、4 n−型GaNドリフト層、 6 p型GaNバリア層、7 p+型GaN補助層、7 n+型GaNコンタクト層、9 絶縁膜、10 半導体装置(縦型GaN系FET)、12 ゲート配線、13 ゲートパッド、15 GaN系積層体、22 GaN電子走行層、26 AlGaN電子供給層、 27 再成長層、28 開口部、28a 開口部壁面、28b 開口部底部、D ドレイン電極、f ゲート電極終端部と角部との距離、G ゲート電極、ge:ゲート電極の底部側終端部、K 開口部の稜線または角部、M1 レジストパターン、S ソース電極。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
開口部が設けられたGaN系積層体を備える縦型の半導体装置であって、
前記GaN系積層体は、表層側へと順次、n型GaN系ドリフト層/p型GaN系バリア層/n型GaN系コンタクト層、を有し、前記開口部は表層から前記n型GaN系ドリフト層内にまで届いており、
該開口部の壁面および底部を覆うように位置する、電子走行層および電子供給層を含む再成長層と、
前記開口部の周囲において、前記n型GaN系コンタクト層および前記再成長層に接するソース電極と、
前記再成長層上に位置するゲート電極とを備え、
前記ゲート電極は、前記p型バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ前記開口部の底部を覆う前記再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端していることを特徴とする、半導体装置。
【請求項2】
前記再成長層の底部において、少なくとも前記再成長層の底部と壁面とが交差する稜線を覆うように位置するフィールドプレート電極を備えることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記再成長層の底部と前記フィールドプレート電極との間に介在する絶縁膜をさらに備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記再成長層上であって、前記ゲート電極の下に、絶縁層を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項5】
縦型のGaN系半導体装置の製造方法であって、
n型GaN系ドリフト層上にp型GaN系バリア層を形成する工程と、
前記p型GaN系バリア層上にn型GaN系コンタクト層を形成する工程と、
エッチングにより、表層から前記n型GaN系ドリフト層内に届く開口部を形成する工程と、
前記開口部の壁面および底部を覆うように、電子走行層および電子供給層を含む再成長層をエピタキシャル成長させる工程と、
前記開口部の周囲に、前記n型GaN系コンタクト層および前記再成長層に接するように、ソース電極を形成する工程と、
前記再成長層上にゲート電極を形成する工程とを備え、
前記ゲート電極形成工程では、該ゲート電極を、前記p型GaN系バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ前記再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端するように形成することを特徴とする、半導体装置の製造方法。
【請求項6】
前記ゲート電極形成工程の前または後に、前記再成長層の底部を覆い、前記ゲート電極から間隔があくように、フィールドプレート電極を形成する工程を備えることを特徴とする、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項7】
前記フィールドプレート形成工程では、前記フィールドプレート電極を形成する前に、前記再成長層の底部および前記ゲート電極の終端部、を覆うように絶縁膜を形成し、その後、該絶縁膜上に当該フィールドプレート電極を形成することを特徴とする、請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項1】
開口部が設けられたGaN系積層体を備える縦型の半導体装置であって、
前記GaN系積層体は、表層側へと順次、n型GaN系ドリフト層/p型GaN系バリア層/n型GaN系コンタクト層、を有し、前記開口部は表層から前記n型GaN系ドリフト層内にまで届いており、
該開口部の壁面および底部を覆うように位置する、電子走行層および電子供給層を含む再成長層と、
前記開口部の周囲において、前記n型GaN系コンタクト層および前記再成長層に接するソース電極と、
前記再成長層上に位置するゲート電極とを備え、
前記ゲート電極は、前記p型バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ前記開口部の底部を覆う前記再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端していることを特徴とする、半導体装置。
【請求項2】
前記再成長層の底部において、少なくとも前記再成長層の底部と壁面とが交差する稜線を覆うように位置するフィールドプレート電極を備えることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記再成長層の底部と前記フィールドプレート電極との間に介在する絶縁膜をさらに備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記再成長層上であって、前記ゲート電極の下に、絶縁層を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項5】
縦型のGaN系半導体装置の製造方法であって、
n型GaN系ドリフト層上にp型GaN系バリア層を形成する工程と、
前記p型GaN系バリア層上にn型GaN系コンタクト層を形成する工程と、
エッチングにより、表層から前記n型GaN系ドリフト層内に届く開口部を形成する工程と、
前記開口部の壁面および底部を覆うように、電子走行層および電子供給層を含む再成長層をエピタキシャル成長させる工程と、
前記開口部の周囲に、前記n型GaN系コンタクト層および前記再成長層に接するように、ソース電極を形成する工程と、
前記再成長層上にゲート電極を形成する工程とを備え、
前記ゲート電極形成工程では、該ゲート電極を、前記p型GaN系バリア層の厚み範囲に対応する該再成長層の壁面の部分を覆い、かつ前記再成長層の底部から離れた位置の当該壁面内で終端するように形成することを特徴とする、半導体装置の製造方法。
【請求項6】
前記ゲート電極形成工程の前または後に、前記再成長層の底部を覆い、前記ゲート電極から間隔があくように、フィールドプレート電極を形成する工程を備えることを特徴とする、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項7】
前記フィールドプレート形成工程では、前記フィールドプレート電極を形成する前に、前記再成長層の底部および前記ゲート電極の終端部、を覆うように絶縁膜を形成し、その後、該絶縁膜上に当該フィールドプレート電極を形成することを特徴とする、請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2012−104567(P2012−104567A)
【公開日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−250055(P2010−250055)
【出願日】平成22年11月8日(2010.11.8)
【出願人】(000002130)住友電気工業株式会社 (12,747)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年11月8日(2010.11.8)
【出願人】(000002130)住友電気工業株式会社 (12,747)
【Fターム(参考)】
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