ストッカ
【課題】省スペース且つ高効率にする。
【解決手段】カセット6を入出庫させる搬入ポート14/搬出ポート15と、前記カセット6を保管する棚23と、前記棚23から前記カセット6を載置/取出するスタッカロボット9とをストッカ本体内部に備える。前記搬入ポート14の垂直方向近傍に搬入ポート用待機領域38が設けられ、前記搬出ポート15の水平方向近傍に搬出ポート用待機領域39が設けられる。前記搬入ポート14内と前記搬入ポート用待機領域38との間で、前記カセット6を垂直移動させる昇降ユニット11と、前記搬出ポート15内と前記搬出ポート用待機領域39との間で、前記カセット6を水平移動させる水平駆動ユニット3とをそれぞれ備える。前記スタッカロボット9は搬入ポート用待機領域38及び搬出ポート用待機領域39と前記棚23との間で前記カセット6の載置/取出を行う。
【解決手段】カセット6を入出庫させる搬入ポート14/搬出ポート15と、前記カセット6を保管する棚23と、前記棚23から前記カセット6を載置/取出するスタッカロボット9とをストッカ本体内部に備える。前記搬入ポート14の垂直方向近傍に搬入ポート用待機領域38が設けられ、前記搬出ポート15の水平方向近傍に搬出ポート用待機領域39が設けられる。前記搬入ポート14内と前記搬入ポート用待機領域38との間で、前記カセット6を垂直移動させる昇降ユニット11と、前記搬出ポート15内と前記搬出ポート用待機領域39との間で、前記カセット6を水平移動させる水平駆動ユニット3とをそれぞれ備える。前記スタッカロボット9は搬入ポート用待機領域38及び搬出ポート用待機領域39と前記棚23との間で前記カセット6の載置/取出を行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、クリーンルームに設置されるストッカに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路、液晶表示装置などを生産する製造プロセスでは、ある製造プロセスから次の製造プロセスに工程を進める段階で、時間調整のため製造途中の基板をカセットなどに収納し、クリーンルーム内に設置されたストッカに一時的に保管する。
【0003】
ストッカは、カセットを複数個載置可能な多段の棚、スタッカロボット、搬入ポート、搬出ポート、無人車搬入出ポート、ストッカ間搬送装置用ポートなどから構成される。ストッカへのカセットの入出庫は搬入ポート、搬出ポート、無人車搬入出ポート、ストッカ間搬送装置用ポートにより実施される。作業者の作業空間であるマニュアルポート内に設けられた搬入ポートに作業者がカセットを載置すると、スタッカロボットがストッカ内部の所定の棚位置にカセットを搬送する。また、スタッカロボットによってマニュアルポート内に設けられた搬出ポートにカセットが載置されると、作業者がそのカセットを取り出して、所定の装置まで運ぶ。また、無人車搬入出ポートはストッカ本体より突出されて設けられ、この無人車搬入出ポートを介して無人車がカセットの入出庫を行う。また、ストッカ間搬送装置用ポートとストッカ間搬送装置との間でカセットの入出庫が行われる。
【0004】
特許文献1には、ストッカ本体より突出されて設けられた無人車搬入出ポートにカセットを送り出すための無人車用出口受渡しポートと、無人車搬入出ポートからカセットを受入れる無人車用入口受け渡しポートとをストッカ内部に有し、無人車用出口受渡しポートから無人車搬入出ポートに、また無人車搬入出ポートから無人車用入口受渡しポートにカセットを水平移動させるための前詰機を備えたストッカが開示されている。カセットを水平移動させる前詰機を備えることで、ストッカの高効率化が図られている。
【0005】
【特許文献1】特開平11−59829号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ストッカは通常大きなスペースを占めるため、省スペース且つ高効率なストッカが望まれている。しかしながら、従来のストッカには以下のような問題がある。
【0007】
作業者が使用する搬入ポートおよび搬出ポートには、次に搬入或いは搬出させるカセットを載置・待機させておくための手段がないため、スタッカロボットの搬入/搬出ポートへの入出庫作業と、作業者の搬入/搬出ポートへの入出庫作業を重複させて実行できない。このため、両作業が同期しない場合、待ち時間が長く効率が悪い。
【0008】
同様に、作業者が使用する搬入ポートおよび搬出ポートには、次に搬入或いは搬出させるカセットを載置・待機させておくための手段がないため、作業者の搬入/搬出ポートへの入出庫作業と、スタッカロボットの搬入/搬出ポートへの入出庫作業とが干渉する恐れがあり、作業者の安全確保上問題がある。
【0009】
無人車搬入出ポートのように、ストッカ本体から搬出入ポートが突出していると、クリーンルーム内における装置としての設置スペース効率が悪い。
【0010】
本発明の目的は、省スペース且つ高効率なストッカを提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【0011】
本発明のストッカは、複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、少なくとも一方の垂直方向近傍に前記カセットの待機領域が設けられ、前記マニュアルポート内と前記カセットの待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段を備え、前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とする。
【0012】
本発明によると、カセットの待機領域を介してスタッカロボットが棚へのカセットのやり取りを行うため、スタッカロボットの入出庫作業が作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの入出庫作業を作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と重複させて実行できるため、マニュアルポートから連続してカセットを入庫/出庫することが可能となる。これにより、入庫/出庫待ちに要する時間を短縮させることができるため、ストッカを高効率にできる。
【0013】
本発明のストッカは、複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、一方のポートの垂直方向近傍に前記カセットの待機領域である第1のカセット待機領域が設けられ、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、他方のポートの水平方向近傍に前記カセットの待機領域である第2のカセット待機領域が設けられ、前記一方のポート内と前記第1のカセット待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段と、前記他方のポート内と前記第2のカセット待機領域との間で、前記カセットを水平移動させる移動手段と、をそれぞれ備え、前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とする。
【0014】
本発明によると、カセットの待機領域を介してスタッカロボットが棚へのカセットのやり取りを行うため、スタッカロボットの入出庫作業が作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの入出庫作業を作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と重複させて実行できるため、マニュアルポートから連続してカセットを入庫/出庫することが可能となる。これにより、入庫/出庫待ちに要する時間を短縮させることができるため、ストッカを高効率にできる。また、第1のカセット待機領域と第2のカセット待機領域とが互いに離れた位置に配置されているため、スタッカロボットの第1のカセット待機領域に対する動作と第2のカセット待機領域に対する動作とが干渉せず、スタッカロボットの動作がスムーズで高効率であると共に、システム全体のコンパクト化が図れて、ストッカを省スペースにできる。
【0015】
本発明においては、前記第1のカセット待機領域が前記一方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられ、前記第2のカセット待機領域が前記他方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられていることが好ましい。これによると、ストッカ本体から突出した部分がないため、設置スペース効率が良く、省スペースなストッカにできる。
【0016】
本発明においては、前記他方のポートがストッカ本体の四隅のいずれかに設けられ、前記一方のポートと隣接していることが好ましい。これによると、ストッカ内部の自由度が損なわれるのを抑えて、ストッカをさらに省スペースにできる。
【0017】
本発明においては、前記移動手段は、前記カセットを水平方向に90度回転自在であり、前記スタッカロボットが前記カセットの決められた方向から該カセットを確保するように、前記第2のカセット待機領域に載置される前記カセットを90度旋回させることが好ましい。これによると、他方のポートに載置されるカセットの向きと、第2のカセット待機領域に載置されるカセットの向きとを異ならせることができる。
【0018】
本発明においては、前記搬入ポートから入庫された前記カセットが待機させられる前記カセットの待機領域の近傍に、前記カセットに取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置が設けられていることが好ましい。これによると、入庫されたカセット及びそのカセットに収納された製造途中にあるウエハに関する情報をカセットの待機中に読取ることで、そのカセットの棚における最適な保管位置を速やかに選択することができる。
【0019】
本発明においては、前記マニュアルポートの床からの高さが、850ミリメートル以上950ミリメートル以下であることが好ましい。これによると、作業者がカセットを入庫/出庫する際に、作業しやすくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るストッカの実施形態について説明する。
【0021】
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態に係るストッカの構成を図1〜図8に基づいて説明する。図1はストッカの上方斜視図である。図2はストッカを図1のa方向から見た透視図である。
ストッカ1は、図1に示すように、棚23と、マニュアルポート13と、スタッカクレーン5と、を有する。
【0022】
棚23はストッカ1の両側に多段に設けられ、多数のカセット6が保管されている。カセット6は水平断面が長方形の立方体であり、前後左右の向きを有する。ここで、棚23に載置されたときにストッカ1本体の中央側に面する側面をカセット6の前面6aとする。
【0023】
マニュアルポート13はストッカ1の短手側面22に設けられており、マニュアルポート13の床からの高さは、作業者が作業しやすいように、700ミリメートル以上1100ミリメートル以下、好ましくは850ミリメートル以上950ミリメートル以下に設定されている。
【0024】
マニュアルポート13の向かって右側が搬入ポート(一方のポート)14、左側が搬出ポート(他方のポート)15となっている。搬入ポート14はストッカ1の短手側面22の略中央に位置し、搬出ポート15はストッカ1の短手側面22の左端に位置して、搬入ポート14に隣接している。
【0025】
搬入ポート14には、図1、図2に示すように、長方形の上方スライド台40が長手方向を短手側面22に直交させて設けられており、作業者(図示せず)によって上方スライド台40上にカセット6が前面6aをストッカ1内部側に向けられて載置される。上方スライド台40の垂直方向下方には、カセット6が載置・待機される領域である搬入ポート用待機領域(第1のカセット待機領域)38を有する下方台41が隣接されて設けられている。下方台41の垂直方向下方には伸縮軸44を軸支する伸縮モータ51が設けられている。また、伸縮軸44の先端には内側受台(図示せず)が設けられている。また、下方台41の近傍には、下方台41上に載置されたカセット6に取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置(図示せず)が設けられている。
【0026】
図3(a)に示すように、上方スライド台40は、一対の台板48と、台板48の下面に形成されたラック49と、ラック49に係合して台板48を水平方向にスライド自在なリニアピニオン50と、台板48端部に立設された外側ピン31とを有する。一対の台板48はラック49とリニアピニオン50とにより水平方向にスライドされて、互いに離間するように開き、互いに近接して中央を開口させて閉じる。閉状態では、一対の台板48の間に内側受台42が通過可能な間隔が確保され、開状態では、一対の台板48の間に、内側受台42よりも幅が広いカセット6が通過可能な間隔が確保される。
【0027】
また、伸縮モータ51と、伸縮軸44と、内側受台42と、内側受台42上に立設された内側ピン33とで、昇降ユニット(移載手段)11が構成されている。伸縮モータ51は、伸縮モータ51の上方で伸縮軸44を伸縮させることで、内側受台42を昇降させる。伸縮軸44は伸縮モータ51により上方スライド台40まで伸長されて、上方スライド台40上に載置されたカセット6に内側受台42を押し当てる。内側ピン33はカセット6に接触する部分である。
【0028】
下方台41は、中央が開口するように離間した一対の板で構成されており、一対の板の間を内側受台42が通過可能である。下方台41にも外側ピン34が立設されている。
【0029】
ここで、図4を用いて、上方スライド台40の外側ピン31と、下方台41の外側ピン34と、昇降ユニット11の内側ピン33との配置関係について説明する。図4は、一対の台板48が閉状態にある時の上方スライド台40の上面図である。
【0030】
右側の台板48には2本の外側ピン31,31が設けられ、左側の台板48には1本の外側ピン31が設けられている。これら3本の外側ピン31,31,31は点線で示したカセット6の底面に設けられた3つの穴に嵌合する。この3つの穴は、カセット6を棚に載置・保管する際に、棚に設けられた3本の位置決めピンに嵌合させることで、棚とカセット6との位置関係を決定するためのものである。3本の外側ピン31,31,31の配置を棚に設けられた3本の位置決めピンの配置と同じにすることで、カセット6の穴を共用化している。3つの穴の配置が、カセット6の前面6aに対して左右に非対称な配置になっていることにより、カセット6を決まった方向で搬入したときに、カセット6は適正に上方スライド台40に収まる。即ち、搬入ポート14をストッカ外部からストッカ内部に向かってb方向に見たときに、向かって右側に2本の外側ピン31,31が備わった上方スライド台40に対して前面6aを前方に位置させる方向で搬入したときに、カセット6は適正に上方スライド台40に収まる。
【0031】
また、カセット6底面には3本の外側ピン31,31,31に対応する穴とは別に、昇降ユニット11の点線で図示した3本の内側ピン33,33,33に対応して嵌合する3つの嵌合穴も設けられている。この3つの嵌合穴は、後述するスタッカロボットに設けられた3本のキネマティックピン43,43,43にも嵌合する。よって、3つの嵌合穴も共用化されている。また、下方台41の外側ピン34,34,34のピン配置は、上方スライド台40の外側ピン31,31,31のピン配置と同じであり、下方台41に載置されたカセット6の3つの穴は外側ピン34,34,34に嵌合する。
【0032】
上方スライド台40、下方台41及び昇降ユニット11で構成されるシステムを便宜上、移載システムと呼ぶ。
【0033】
搬出ポート15には、図1、図2に示すように、ストッカ1内部に延在する水平ポート台57が設けられており、作業者(図示せず)によって、水平ポート台57上であって、搬出ポート15側(単に、搬出ポート側という)に載置されたカセット6がストッカ1外へ搬出される。水平ポート台57のストッカ1内部側は、カセット6が載置・待機される領域である搬出ポート用待機領域(第2のカセット待機領域)39となっている。搬出ポート用待機領域39は搬出ポート15側と隣接している。水平ポート台57の垂直方向下方には、駆動軸16によって水平方向に進退自在なベルト10が、搬出ポート15側から搬出ポート用待機領域39に渡って設けられている。また、ベルト10上には昇降軸54を軸支する昇降/旋回モータ35が設けられている。また、昇降軸54の先端には出庫テーブル(図示せず)が設けられている。
【0034】
図5(a)に示すように、水平ポート台57上にピン59が立設されている。水平ポート台57は中央が開口しており、その開口部19内を出庫テーブル37が垂直方向に通過可能であって、水平方向に進退可能である。
【0035】
また、ベルト10と、駆動軸16と、駆動軸16を躯動させる駆動モータ58と、昇降/旋回モータ35と、昇降軸54と、出庫テーブル37と、出庫テーブル37上に立設されたキネマティックピン56とで、水平駆動ユニット(移動手段)3が構成されている。昇降/旋回モータ35は、昇降/旋回モータ35の上方で昇降軸54を伸縮させることで、出庫テーブル37を昇降させる。また、昇降/旋回モータ35は出庫テーブル37を90度旋回させる。昇降軸54は昇降/旋回モータ35により水平ポート台57まで伸長されて、水平ポート台57上であって、搬出ポート用待機領域39に載置されたカセット6に出庫テーブル37を押し当てる。キネマティックピン56はカセット6に接触する部分である。ベルト10は駆動モータ58により回転駆動する駆動軸16によって水平駆動し、昇降/旋回モータ35及び昇降/旋回モータ35上に設けられた昇降軸54、出庫テーブル37を水平移動させる。
【0036】
ここで、図6を用いて、水平ポート台57のピン59と、水平駆動ユニット3のキネマティックピン56との配置関係について説明する。図6は、水平ポート台57の上面図である。
【0037】
水平ポート台57の図面下側が搬出ポート15側であり、搬出ポート15を作業者から見た場合の方向であるc方向に対して右側には2本のピン59,59が設けられ、左側には1本のピン59が設けられている。これら3本のピン59,59,59は点線で示したカセット6の底面に設けられた3つの穴に嵌合する。この3つの穴は、上述したカセット6と棚との位置関係を決定するためのものであり、3本のピン59,59,59の配置を棚に設けられた3本の位置決めピンの配置と同じにすることで、カセットの穴を共用化している。搬出ポート15側においては、カセット6の前面6aはc方向に対して奥側(図面中央)に位置する。また、カセット6底面に設けられた、上述したスタッカロボットの3本のキネマティックピン43,43,43に嵌合する3つの嵌合穴に、出庫テーブル37上に立設された点線で示すキネマティックピン56,56,56が嵌合することにより、3つの嵌合穴もまた、共用化されている。同様に、水平ポート台57の図面上側の搬出ポート用待機領域39にも3本のピン59,59,59が設けられているが、そのピン配置は、搬出ポート15側における3本のピン59,59,59のピン配置とは時計回りに90度異なっている。即ち、カセット6の表面6aはc方向から見て右側を向いている。
【0038】
水平ポート台57及び水平駆動ユニット3で構成されるシステムを便宜上、移動システムと呼ぶ。
【0039】
スタッカクレーン5は、図1及び図2に示すように、ストッカ1の高さ方向略全長に渡って立設するスタッカ支柱17と、スタッカ支柱17に沿って昇降自在な昇降台46と、昇降台46上に設けられ、水平方向に伸縮自在なスタッカロボット9と、ストッカ1本体中央部の床上に、ストッカ1の幅方向略全長に渡って敷設されたレール20に沿ってスタッカ支柱17を進退自在に走行させる走行輪47と、スタッカロボット9の先端に設けられたキネマティックピン43と、を有する。
【0040】
スタッカ支柱17は、レール20に沿って走行し、マニュアルポート13に向かって進出する。昇降台46はスタッカ支柱17に沿って昇降し、スタッカロボット9を棚23、又は搬入ポート用待機領域38、或いは搬出ポート用待機領域39の近傍に位置させる。
【0041】
スタッカロボット9は昇降台46に固定されたベースブロック9aと、ベースブロック9a上に設けられ、水平方向にスライド自在なスライドブロック9bと、スライドブロック9b上に設けられ、水平方向にスライド自在なスライドブロック9cとを有する。また、スライドブロック9cの先端にはキネマティックピン43が設けられている。スタッカロボット9は、スライドブロック9b,9cを水平方向にスライドさせることで伸縮する。キネマティックピン43はカセット6の3つの嵌合穴に嵌合する。
【0042】
ここで、図7を用いて、スタッカロボット9と、搬入ポート用待機領域38と、搬出ポート用待機領域39との配置関係について説明する。図7はストッカの上面透視図である。スタッカクレーン5はストッカ1の長手方向中央を図示しないレールに沿って走行する。ストッカ1の短手側面22の略中央に位置する搬入ポート14の手前まで進出したスタッカクレーン5に搭載されたスタッカロボット9は、図面下方にスライドブロックを伸長させて、下方台41上である搬入ポート用待機領域38に載置されたカセット6をその前面6a側から確保することができる。一方、スタッカロボット9は、ストッカ1の短手側面22の左端に位置する搬出ポート15からストッカ1内部へと延設された水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39に対して図面左方にスライドブロックを伸長させるため、前面6aがストッカ1の中央側(図面右方)を向いた状態でしかカセット6を搬出ポート用待機領域39に載置できない。そのため、搬出ポート用待機領域39から搬出ポート15側へカセット6を水平移動させる際に、前面6aがストッカ1内部方向(図面上方向)を向くように、カセット6の向きを90度反時計周りに旋回させる。これにより、図示しない作業者は、搬出ポート15から前面6aがストッカ1内部方向(図面上方向)を向いた状態のカセット6を確保することができる。
【0043】
このようなストッカは、例えば図8のレイアウトの工場に適用される。エリアAはマニュアル搬送の作業区域であり、複数の半導体製造装置4と、ストッカ1とが配置され、半導体製造装置4は、半導体製造装置4から突出した搬入ポート26と、搬出ポート27とを有する。作業者18,18,18は半導体製造装置4の搬出ポート27からストッカ1の搬入ポート14へ、又は、ストッカ1の搬出ポート15から半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの持ち運びを行う。また、作業者18,18,18は半導体製造装置4の搬出ポート27から別の半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの持ち運びを行う。
【0044】
エリアBは無人車搬送の作業区域であり、複数の半導体製造装置4と、ストッカ2とが走行軌道7の周りに配置され、ストッカ2は、ストッカ2から突出した無人車搬入出ポート32を有する。無人車搬入出ポート32は無人車搬入ポート24と無人車搬出ポート25とで構成される。無人車搬入ポート24と、無人車搬出ポート25と、搬入ポート26と、搬出ポート27とは走行軌道7の下方に位置している。また、少なくとも1台の無人車8が走行軌道7を時計回りに走行しており、この無人車8は半導体製造装置4の搬出ポート27から別の半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの搬送を行う。また、無人車8は半導体製造装置4の搬出ポート27からストッカ2の無人車搬入ポート24へ、又は、ストッカ2の無人車搬出ポート25から半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの搬送を行う。
【0045】
次に、上記の構成におけるストッカの作動について、搬入ポートの移載システム、搬出ポートの移動システムに大別して説明する。
【0046】
まずは、搬入ポートの移載システムについて図1、図3を用いて説明する。図3はカセットの移載動作を経時的に表した模式図である。
【0047】
図1において、図示しない作業者によって、搬入ポート14の上方スライド台40上にカセット6が前面6aを前方にされて載置される。図3(a)において、一対の台板48に載置され、外側ピン31と図示しないカセットの穴とが嵌合しているカセット6の下方から、伸縮モータ51によって伸長される伸縮軸44により内側受台42が上昇されていく。図3(b)において、内側受台42に設けられた内側ピン33がカセット6の図示しない嵌合穴に嵌合する。内側受台42の更なる上昇により、内側受台42がカセット6を持ち上げることで、カセット6の穴と外側ピン31との嵌合が外れた後に、伸縮モータ51の停止により、カセット6を確保した内側受台42の上昇が停止する。
【0048】
図3(c)において、一対の台板48はラック49とリニアピニオン50とにより水平方向にスライドされて、開状態となる。図3(d)において、伸縮モータ51が伸縮軸44を下方台41まで収縮させることによって、内側受台42が下降し、カセット6の穴と下方台41の外側ピン34とが嵌合する。次に、図3(e)において、伸縮モータ51が伸縮軸44を更に収縮させて、内側受台42を下方台41の下方に下降させることで、カセット6の嵌合穴と内側受台42の内側ピン33との嵌合が外れ、カセット6の下方台41への移載が完了する。下方台41の近傍に設けられた読取り装置(図示せず)が、カセット6に取付けられたラベル或いはICタグを読取り、カセット6の情報を図示しない制御装置に伝達する。この情報によって、カセット6の棚における最適な保管位置が速やかに選択される。カセット6の上方では、一対の台板48が閉状態にされる。
【0049】
図3(f)において、カセット6の下方であって下方台41の中央の開口から、スタッカロボットのスライドブロック9cがカセット6の長手方向に平行(紙面に垂直)に侵入し、キネマティックピン43をカセット6の嵌合穴に嵌合させた後、スタッカロボットのスライドブロック9cがカセット6を持ち上げて、下方台41の外側ピン34とカセット6の穴との嵌合を外すことでカセット6を確保し、図面の紙面奥方向にカセット6を持ち去る。スタッカロボットにより持ち去られたカセット6は図示しない棚へと移載される。また、作業者により、上方スライド台40上に新たなカセット6’が載置される。
【0050】
次に、搬出ポートの移動システムについて図1、図5を用いて説明する。図5はカセットの移動動作を経時的に表した模式図である。
【0051】
図1において、スタッカクレーン5はレール20に沿って進退し、スタッカロボット9を昇降させて、棚に載置・保管されたカセット6であって、出庫対象のカセット6にスタッカロボット9を近づける。スタッカロボット9はスライドブロック9b,9cを伸長させて、棚とカセット6との間にスライドブロック9cをカセット6の前面6a側から挿入する。昇降台46の若干の上昇によりスライドブロック9cに立設されたキネマティックピン43はカセット6の嵌合穴に嵌合し、図示しない棚の位置決めピンとカセット6の穴との嵌合が外れて、カセット6はスタッカロボット9によって確保される。
【0052】
図5(a)はスタッカロボット9が、確保したカセット6を水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39に搬送してくるところである。図5(b)において、スタッカロボット9は水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39の上方にカセット6を位置させ、図示しない昇降台はスタッカロボット9を下降させる。図5(c)において、カセット6の底面の穴は水平ポート台57のピン59に嵌合し、キネマティックピン43と嵌合穴との嵌合が外れたカセット6は水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39に移載される。スタッカロボット9はスライドブロック9b,9cを収縮させる。図5(d)において、昇降/旋回モータ35は、昇降軸54を上方に伸長させて、搬出ポート用待機領域39に載置・待機されたカセット6の嵌合穴に出庫テーブル37上のキネマティックピン56を嵌合させる。出庫テーブル37の更なる上昇により、出庫テーブル37は水平ポート台57の上方においてカセット6を確保する。その後、昇降/旋回モータ35が出庫テーブル37を反時計回りに90度旋回させることで、カセット6の向きが変えられる。スタッカロボット9は次の動作にかかるため、図面外へと移動する。
【0053】
図5(e)は、旋回後のカセット6及び出庫テーブル37を示している。図5(e)をd方向から見た図5(f)において、ベルト10が搬出ポート15方向に駆動され、昇降/旋回モータ35の移動に伴って、出庫テーブル37が搬出ポート用待機領域39から搬出ポート15側に向かって移動する。カセット6は前面6aを後方にして移動される。図5(g)において、出庫テーブル37が搬出ポート15側に到着すると、昇降/旋回モータ35が昇降軸54を下降させる。図5(h)において、カセット6の穴が搬出ポート15側に設けられたピン59に嵌合する。更に下降する出庫テーブル37のキネマティックピン56がカセット6の嵌合穴から外れ、カセット6の搬出ポート15側への移動が完了する。ベルト10が搬出ポート用待機領域39方向に駆動され、昇降/旋回モータ35は出庫テーブル37を90度時計回りに回転させながら、搬出ポート用待機領域39方向に後退していく。カセット6は作業者によって搬出される。また、新たなカセット6’が図示しないスタッカロボットにより、搬出ポート用待機領域39に載置・待機される。
【0054】
以上のように、本実施形態のストッカは、搬入ポートに設けられた移載システムにより、搬入ポートの上方スライド台に載置されたカセットを、下方台の搬入ポート用待機領域に移載・待機させることで、搬入ポートから連続してカセットを入庫させることができる構成にされている。下方台はストッカ内部に設けられているため、ストッカとして省スペースであるばかりでなく、入庫カセットの待機位置である下方台を介してスタッカロボットが入庫作業を行うため、作業者による入庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの作業を作業者の作業と重複させて実施できるため、入庫待ちに要する時間を短縮させることができて、ストッカとして高効率である。
【0055】
また、本実施形態のストッカは、搬出ポートに設けられた移動システムにより、出庫するカセットを水平ポート台の搬出ポート用待機領域に待機させ、搬出ポートまで水平移動させることで、搬出ポートから連続してカセットを出庫させることができる構成にされている。水平ポート台はストッカ内部に設けられているため、ストッカとして省スペースであるばかりでなく、出庫カセットの待機位置である搬出ポート用待機領域を介してスタッカロボットが出庫作業を行うため、作業者による出庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの作業を作業者の作業と重複させて実施できるため、出庫待ちに要する時間を短縮させることができて、ストッカとして高効率である。
【0056】
また、本実施形態のストッカは、搬入ポート用待機領域と搬出ポート用待機領域とが互いに離れた位置に配置されているため、スタッカロボットの搬入ポート用待機領域に対する動作と搬出ポート用待機領域に対する動作とが干渉せず、スタッカロボットの動作がスムーズで高効率であると共に、システム全体のコンパクト化が図れて、省スペースである。更に、ストッカ本体から突出した部分がないため、設置スペース効率が良い。更に、搬出ポートがストッカ本体の端部に設けられ、搬入ポートと隣接していることにより、ストッカ内部の自由度が高くなり、更なる省スペース化が図られている。
【0057】
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態に係るストッカの構成を図9に基づいて説明する。尚、第1実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。第2実施形態の構成が第1実施形態と異なる点は、マニュアルポート13がストッカ1の長手側面21に設けられている点である。マニュアルポート13の向かって左側が搬入ポート14、右側が搬出ポート15となっている。搬出ポート15はストッカ1の長手側面21の右端に位置し、搬入ポート14は搬出ポート15に隣接している。本実施形態のストッカは、第1実施形態のストッカに比して、搬入ポート14、搬出ポート15の位置が変わっただけであり、その作動は第1実施形態のストッカと同じであるため、その説明を省略する。
【0058】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、搬入ポートに昇降ユニットを有する移載システムが設けられ、搬出ポートに水平駆動ユニットを有する移動システムが設けられた構成としたが、搬出ポートに昇降ユニットを有する移載システムが設けられ、搬入ポートに水平駆動ユニットを有する移動システムが設けられた構成にされていても良い。即ち、図1において、搬入ポートの符号14を搬出ポート、搬出ポートの符号15を搬入ポートと置き換えた場合、作業者によって搬入ポート15の水平ポート台57に載置されたカセット6は、水平駆動ユニットの図示しない出庫テーブルに乗って時計回りに90度旋回されながら、符号39の搬入ポート用待機領域に水平移動され、スタッカロボット9が確保しに来るまで載置・待機される。一方、スタッカロボット9によって符号38の搬出ポート用待機領域である下方台41上に載置されたカセット6は、昇降ユニットの図示しない内側受台に乗って上昇されて、上方スライド台に移載され、作業者により確保・出庫される。
【0059】
また、搬入ポートに昇降ユニットを有する移載システムが設けられ、搬出ポートに水平駆動ユニットを有する移動システムが設けられた構成としたが、図9に示すような、マニュアルポートがストッカの長手側面に設けられている構成のストッカにおいては、昇降ユニットを有する移載システムが搬入ポート、搬出ポートの各々に設けられた構成であっても良い。この場合、スタッカロボットはどちらのポートであっても、カセットの前面からカセットを確保することができる。また、昇降ユニットを有する移載システムが搬入ポート或いは搬出ポートのどちらか一方のみに設けられた構成であっても良い。
【0060】
また、搬出ポートがストッカ本体の端部に設けられた構成に限定されず、搬出ポートと搬入ポートとが隣接する構成に限定されない。
【0061】
また、昇降/旋回モータ35が出庫テーブル37を反時計回りに90度旋回させることで、カセット6の向きを変える構成に限定されず、スタッカロボット9がカセットを旋回させる構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【0062】
【図1】本発明の第1実施形態に係るストッカの上方斜視図である。
【図2】本発明の第1実施形態に係るストッカを図1のa方向から見た透視図である。
【図3(a)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(b)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(c)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(d)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(e)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(f)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図4】一対の台板が閉状態にある時の上方スライド台の上面図である。
【図5(a)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(b)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(c)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(d)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(e)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(f)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(g)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(h)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図6】水平ポート台の上面図である。
【図7】ストッカの上面透視図である。
【図8】工場のレイアウトの一例である。
【図9】本発明の第2実施形態に係るストッカの上方斜視図である。
【符号の説明】
【0063】
1 ストッカ
2 ストッカ
3 水平駆動ユニット(移動手段)
4 半導体製造装置
5 スタッカクレーン
6 カセット
6a 前面
7 走行軌道
8 無人車
9 スタッカロボット
9a ベースブロック
9b,9c スライドブロック
10 ベルト
11 昇降ユニット(移載手段)
13 マニュアルポート
14 搬入ポート
15 搬出ポート
16 駆動軸
17 スタッカ支柱
18 作業者
19 開口部
20 レール
21 長手側面
22 短手側面
23 棚
24 無人車搬入ポート
25 無人車搬出ポート
26 搬入ポート
27 搬出ポート
31 外側ピン
32 無人車搬入出ポート
33 内側ピン
34 外側ピン
35 昇降/旋回モータ
37 出庫テーブル
38 搬入ポート用待機領域(第1のカセット待機領域)
39 搬出ポート用待機領域(第2のカセット待機領域)
40 上方スライド台
41 下方台
42 内側受台
43 キネマティックピン
44 伸縮軸
46 昇降台
47 走行輪
48 台板
49 ラック
50 リニアピニオン
51 伸縮/旋回モータ
54 昇降軸
56 キネマティックピン
57 水平ポート台
58 駆動モータ
59 ピン
【技術分野】
【0001】
本発明は、クリーンルームに設置されるストッカに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路、液晶表示装置などを生産する製造プロセスでは、ある製造プロセスから次の製造プロセスに工程を進める段階で、時間調整のため製造途中の基板をカセットなどに収納し、クリーンルーム内に設置されたストッカに一時的に保管する。
【0003】
ストッカは、カセットを複数個載置可能な多段の棚、スタッカロボット、搬入ポート、搬出ポート、無人車搬入出ポート、ストッカ間搬送装置用ポートなどから構成される。ストッカへのカセットの入出庫は搬入ポート、搬出ポート、無人車搬入出ポート、ストッカ間搬送装置用ポートにより実施される。作業者の作業空間であるマニュアルポート内に設けられた搬入ポートに作業者がカセットを載置すると、スタッカロボットがストッカ内部の所定の棚位置にカセットを搬送する。また、スタッカロボットによってマニュアルポート内に設けられた搬出ポートにカセットが載置されると、作業者がそのカセットを取り出して、所定の装置まで運ぶ。また、無人車搬入出ポートはストッカ本体より突出されて設けられ、この無人車搬入出ポートを介して無人車がカセットの入出庫を行う。また、ストッカ間搬送装置用ポートとストッカ間搬送装置との間でカセットの入出庫が行われる。
【0004】
特許文献1には、ストッカ本体より突出されて設けられた無人車搬入出ポートにカセットを送り出すための無人車用出口受渡しポートと、無人車搬入出ポートからカセットを受入れる無人車用入口受け渡しポートとをストッカ内部に有し、無人車用出口受渡しポートから無人車搬入出ポートに、また無人車搬入出ポートから無人車用入口受渡しポートにカセットを水平移動させるための前詰機を備えたストッカが開示されている。カセットを水平移動させる前詰機を備えることで、ストッカの高効率化が図られている。
【0005】
【特許文献1】特開平11−59829号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ストッカは通常大きなスペースを占めるため、省スペース且つ高効率なストッカが望まれている。しかしながら、従来のストッカには以下のような問題がある。
【0007】
作業者が使用する搬入ポートおよび搬出ポートには、次に搬入或いは搬出させるカセットを載置・待機させておくための手段がないため、スタッカロボットの搬入/搬出ポートへの入出庫作業と、作業者の搬入/搬出ポートへの入出庫作業を重複させて実行できない。このため、両作業が同期しない場合、待ち時間が長く効率が悪い。
【0008】
同様に、作業者が使用する搬入ポートおよび搬出ポートには、次に搬入或いは搬出させるカセットを載置・待機させておくための手段がないため、作業者の搬入/搬出ポートへの入出庫作業と、スタッカロボットの搬入/搬出ポートへの入出庫作業とが干渉する恐れがあり、作業者の安全確保上問題がある。
【0009】
無人車搬入出ポートのように、ストッカ本体から搬出入ポートが突出していると、クリーンルーム内における装置としての設置スペース効率が悪い。
【0010】
本発明の目的は、省スペース且つ高効率なストッカを提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【0011】
本発明のストッカは、複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、少なくとも一方の垂直方向近傍に前記カセットの待機領域が設けられ、前記マニュアルポート内と前記カセットの待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段を備え、前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とする。
【0012】
本発明によると、カセットの待機領域を介してスタッカロボットが棚へのカセットのやり取りを行うため、スタッカロボットの入出庫作業が作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの入出庫作業を作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と重複させて実行できるため、マニュアルポートから連続してカセットを入庫/出庫することが可能となる。これにより、入庫/出庫待ちに要する時間を短縮させることができるため、ストッカを高効率にできる。
【0013】
本発明のストッカは、複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、一方のポートの垂直方向近傍に前記カセットの待機領域である第1のカセット待機領域が設けられ、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、他方のポートの水平方向近傍に前記カセットの待機領域である第2のカセット待機領域が設けられ、前記一方のポート内と前記第1のカセット待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段と、前記他方のポート内と前記第2のカセット待機領域との間で、前記カセットを水平移動させる移動手段と、をそれぞれ備え、前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とする。
【0014】
本発明によると、カセットの待機領域を介してスタッカロボットが棚へのカセットのやり取りを行うため、スタッカロボットの入出庫作業が作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの入出庫作業を作業者のマニュアルポートへの入出庫作業と重複させて実行できるため、マニュアルポートから連続してカセットを入庫/出庫することが可能となる。これにより、入庫/出庫待ちに要する時間を短縮させることができるため、ストッカを高効率にできる。また、第1のカセット待機領域と第2のカセット待機領域とが互いに離れた位置に配置されているため、スタッカロボットの第1のカセット待機領域に対する動作と第2のカセット待機領域に対する動作とが干渉せず、スタッカロボットの動作がスムーズで高効率であると共に、システム全体のコンパクト化が図れて、ストッカを省スペースにできる。
【0015】
本発明においては、前記第1のカセット待機領域が前記一方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられ、前記第2のカセット待機領域が前記他方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられていることが好ましい。これによると、ストッカ本体から突出した部分がないため、設置スペース効率が良く、省スペースなストッカにできる。
【0016】
本発明においては、前記他方のポートがストッカ本体の四隅のいずれかに設けられ、前記一方のポートと隣接していることが好ましい。これによると、ストッカ内部の自由度が損なわれるのを抑えて、ストッカをさらに省スペースにできる。
【0017】
本発明においては、前記移動手段は、前記カセットを水平方向に90度回転自在であり、前記スタッカロボットが前記カセットの決められた方向から該カセットを確保するように、前記第2のカセット待機領域に載置される前記カセットを90度旋回させることが好ましい。これによると、他方のポートに載置されるカセットの向きと、第2のカセット待機領域に載置されるカセットの向きとを異ならせることができる。
【0018】
本発明においては、前記搬入ポートから入庫された前記カセットが待機させられる前記カセットの待機領域の近傍に、前記カセットに取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置が設けられていることが好ましい。これによると、入庫されたカセット及びそのカセットに収納された製造途中にあるウエハに関する情報をカセットの待機中に読取ることで、そのカセットの棚における最適な保管位置を速やかに選択することができる。
【0019】
本発明においては、前記マニュアルポートの床からの高さが、850ミリメートル以上950ミリメートル以下であることが好ましい。これによると、作業者がカセットを入庫/出庫する際に、作業しやすくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るストッカの実施形態について説明する。
【0021】
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態に係るストッカの構成を図1〜図8に基づいて説明する。図1はストッカの上方斜視図である。図2はストッカを図1のa方向から見た透視図である。
ストッカ1は、図1に示すように、棚23と、マニュアルポート13と、スタッカクレーン5と、を有する。
【0022】
棚23はストッカ1の両側に多段に設けられ、多数のカセット6が保管されている。カセット6は水平断面が長方形の立方体であり、前後左右の向きを有する。ここで、棚23に載置されたときにストッカ1本体の中央側に面する側面をカセット6の前面6aとする。
【0023】
マニュアルポート13はストッカ1の短手側面22に設けられており、マニュアルポート13の床からの高さは、作業者が作業しやすいように、700ミリメートル以上1100ミリメートル以下、好ましくは850ミリメートル以上950ミリメートル以下に設定されている。
【0024】
マニュアルポート13の向かって右側が搬入ポート(一方のポート)14、左側が搬出ポート(他方のポート)15となっている。搬入ポート14はストッカ1の短手側面22の略中央に位置し、搬出ポート15はストッカ1の短手側面22の左端に位置して、搬入ポート14に隣接している。
【0025】
搬入ポート14には、図1、図2に示すように、長方形の上方スライド台40が長手方向を短手側面22に直交させて設けられており、作業者(図示せず)によって上方スライド台40上にカセット6が前面6aをストッカ1内部側に向けられて載置される。上方スライド台40の垂直方向下方には、カセット6が載置・待機される領域である搬入ポート用待機領域(第1のカセット待機領域)38を有する下方台41が隣接されて設けられている。下方台41の垂直方向下方には伸縮軸44を軸支する伸縮モータ51が設けられている。また、伸縮軸44の先端には内側受台(図示せず)が設けられている。また、下方台41の近傍には、下方台41上に載置されたカセット6に取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置(図示せず)が設けられている。
【0026】
図3(a)に示すように、上方スライド台40は、一対の台板48と、台板48の下面に形成されたラック49と、ラック49に係合して台板48を水平方向にスライド自在なリニアピニオン50と、台板48端部に立設された外側ピン31とを有する。一対の台板48はラック49とリニアピニオン50とにより水平方向にスライドされて、互いに離間するように開き、互いに近接して中央を開口させて閉じる。閉状態では、一対の台板48の間に内側受台42が通過可能な間隔が確保され、開状態では、一対の台板48の間に、内側受台42よりも幅が広いカセット6が通過可能な間隔が確保される。
【0027】
また、伸縮モータ51と、伸縮軸44と、内側受台42と、内側受台42上に立設された内側ピン33とで、昇降ユニット(移載手段)11が構成されている。伸縮モータ51は、伸縮モータ51の上方で伸縮軸44を伸縮させることで、内側受台42を昇降させる。伸縮軸44は伸縮モータ51により上方スライド台40まで伸長されて、上方スライド台40上に載置されたカセット6に内側受台42を押し当てる。内側ピン33はカセット6に接触する部分である。
【0028】
下方台41は、中央が開口するように離間した一対の板で構成されており、一対の板の間を内側受台42が通過可能である。下方台41にも外側ピン34が立設されている。
【0029】
ここで、図4を用いて、上方スライド台40の外側ピン31と、下方台41の外側ピン34と、昇降ユニット11の内側ピン33との配置関係について説明する。図4は、一対の台板48が閉状態にある時の上方スライド台40の上面図である。
【0030】
右側の台板48には2本の外側ピン31,31が設けられ、左側の台板48には1本の外側ピン31が設けられている。これら3本の外側ピン31,31,31は点線で示したカセット6の底面に設けられた3つの穴に嵌合する。この3つの穴は、カセット6を棚に載置・保管する際に、棚に設けられた3本の位置決めピンに嵌合させることで、棚とカセット6との位置関係を決定するためのものである。3本の外側ピン31,31,31の配置を棚に設けられた3本の位置決めピンの配置と同じにすることで、カセット6の穴を共用化している。3つの穴の配置が、カセット6の前面6aに対して左右に非対称な配置になっていることにより、カセット6を決まった方向で搬入したときに、カセット6は適正に上方スライド台40に収まる。即ち、搬入ポート14をストッカ外部からストッカ内部に向かってb方向に見たときに、向かって右側に2本の外側ピン31,31が備わった上方スライド台40に対して前面6aを前方に位置させる方向で搬入したときに、カセット6は適正に上方スライド台40に収まる。
【0031】
また、カセット6底面には3本の外側ピン31,31,31に対応する穴とは別に、昇降ユニット11の点線で図示した3本の内側ピン33,33,33に対応して嵌合する3つの嵌合穴も設けられている。この3つの嵌合穴は、後述するスタッカロボットに設けられた3本のキネマティックピン43,43,43にも嵌合する。よって、3つの嵌合穴も共用化されている。また、下方台41の外側ピン34,34,34のピン配置は、上方スライド台40の外側ピン31,31,31のピン配置と同じであり、下方台41に載置されたカセット6の3つの穴は外側ピン34,34,34に嵌合する。
【0032】
上方スライド台40、下方台41及び昇降ユニット11で構成されるシステムを便宜上、移載システムと呼ぶ。
【0033】
搬出ポート15には、図1、図2に示すように、ストッカ1内部に延在する水平ポート台57が設けられており、作業者(図示せず)によって、水平ポート台57上であって、搬出ポート15側(単に、搬出ポート側という)に載置されたカセット6がストッカ1外へ搬出される。水平ポート台57のストッカ1内部側は、カセット6が載置・待機される領域である搬出ポート用待機領域(第2のカセット待機領域)39となっている。搬出ポート用待機領域39は搬出ポート15側と隣接している。水平ポート台57の垂直方向下方には、駆動軸16によって水平方向に進退自在なベルト10が、搬出ポート15側から搬出ポート用待機領域39に渡って設けられている。また、ベルト10上には昇降軸54を軸支する昇降/旋回モータ35が設けられている。また、昇降軸54の先端には出庫テーブル(図示せず)が設けられている。
【0034】
図5(a)に示すように、水平ポート台57上にピン59が立設されている。水平ポート台57は中央が開口しており、その開口部19内を出庫テーブル37が垂直方向に通過可能であって、水平方向に進退可能である。
【0035】
また、ベルト10と、駆動軸16と、駆動軸16を躯動させる駆動モータ58と、昇降/旋回モータ35と、昇降軸54と、出庫テーブル37と、出庫テーブル37上に立設されたキネマティックピン56とで、水平駆動ユニット(移動手段)3が構成されている。昇降/旋回モータ35は、昇降/旋回モータ35の上方で昇降軸54を伸縮させることで、出庫テーブル37を昇降させる。また、昇降/旋回モータ35は出庫テーブル37を90度旋回させる。昇降軸54は昇降/旋回モータ35により水平ポート台57まで伸長されて、水平ポート台57上であって、搬出ポート用待機領域39に載置されたカセット6に出庫テーブル37を押し当てる。キネマティックピン56はカセット6に接触する部分である。ベルト10は駆動モータ58により回転駆動する駆動軸16によって水平駆動し、昇降/旋回モータ35及び昇降/旋回モータ35上に設けられた昇降軸54、出庫テーブル37を水平移動させる。
【0036】
ここで、図6を用いて、水平ポート台57のピン59と、水平駆動ユニット3のキネマティックピン56との配置関係について説明する。図6は、水平ポート台57の上面図である。
【0037】
水平ポート台57の図面下側が搬出ポート15側であり、搬出ポート15を作業者から見た場合の方向であるc方向に対して右側には2本のピン59,59が設けられ、左側には1本のピン59が設けられている。これら3本のピン59,59,59は点線で示したカセット6の底面に設けられた3つの穴に嵌合する。この3つの穴は、上述したカセット6と棚との位置関係を決定するためのものであり、3本のピン59,59,59の配置を棚に設けられた3本の位置決めピンの配置と同じにすることで、カセットの穴を共用化している。搬出ポート15側においては、カセット6の前面6aはc方向に対して奥側(図面中央)に位置する。また、カセット6底面に設けられた、上述したスタッカロボットの3本のキネマティックピン43,43,43に嵌合する3つの嵌合穴に、出庫テーブル37上に立設された点線で示すキネマティックピン56,56,56が嵌合することにより、3つの嵌合穴もまた、共用化されている。同様に、水平ポート台57の図面上側の搬出ポート用待機領域39にも3本のピン59,59,59が設けられているが、そのピン配置は、搬出ポート15側における3本のピン59,59,59のピン配置とは時計回りに90度異なっている。即ち、カセット6の表面6aはc方向から見て右側を向いている。
【0038】
水平ポート台57及び水平駆動ユニット3で構成されるシステムを便宜上、移動システムと呼ぶ。
【0039】
スタッカクレーン5は、図1及び図2に示すように、ストッカ1の高さ方向略全長に渡って立設するスタッカ支柱17と、スタッカ支柱17に沿って昇降自在な昇降台46と、昇降台46上に設けられ、水平方向に伸縮自在なスタッカロボット9と、ストッカ1本体中央部の床上に、ストッカ1の幅方向略全長に渡って敷設されたレール20に沿ってスタッカ支柱17を進退自在に走行させる走行輪47と、スタッカロボット9の先端に設けられたキネマティックピン43と、を有する。
【0040】
スタッカ支柱17は、レール20に沿って走行し、マニュアルポート13に向かって進出する。昇降台46はスタッカ支柱17に沿って昇降し、スタッカロボット9を棚23、又は搬入ポート用待機領域38、或いは搬出ポート用待機領域39の近傍に位置させる。
【0041】
スタッカロボット9は昇降台46に固定されたベースブロック9aと、ベースブロック9a上に設けられ、水平方向にスライド自在なスライドブロック9bと、スライドブロック9b上に設けられ、水平方向にスライド自在なスライドブロック9cとを有する。また、スライドブロック9cの先端にはキネマティックピン43が設けられている。スタッカロボット9は、スライドブロック9b,9cを水平方向にスライドさせることで伸縮する。キネマティックピン43はカセット6の3つの嵌合穴に嵌合する。
【0042】
ここで、図7を用いて、スタッカロボット9と、搬入ポート用待機領域38と、搬出ポート用待機領域39との配置関係について説明する。図7はストッカの上面透視図である。スタッカクレーン5はストッカ1の長手方向中央を図示しないレールに沿って走行する。ストッカ1の短手側面22の略中央に位置する搬入ポート14の手前まで進出したスタッカクレーン5に搭載されたスタッカロボット9は、図面下方にスライドブロックを伸長させて、下方台41上である搬入ポート用待機領域38に載置されたカセット6をその前面6a側から確保することができる。一方、スタッカロボット9は、ストッカ1の短手側面22の左端に位置する搬出ポート15からストッカ1内部へと延設された水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39に対して図面左方にスライドブロックを伸長させるため、前面6aがストッカ1の中央側(図面右方)を向いた状態でしかカセット6を搬出ポート用待機領域39に載置できない。そのため、搬出ポート用待機領域39から搬出ポート15側へカセット6を水平移動させる際に、前面6aがストッカ1内部方向(図面上方向)を向くように、カセット6の向きを90度反時計周りに旋回させる。これにより、図示しない作業者は、搬出ポート15から前面6aがストッカ1内部方向(図面上方向)を向いた状態のカセット6を確保することができる。
【0043】
このようなストッカは、例えば図8のレイアウトの工場に適用される。エリアAはマニュアル搬送の作業区域であり、複数の半導体製造装置4と、ストッカ1とが配置され、半導体製造装置4は、半導体製造装置4から突出した搬入ポート26と、搬出ポート27とを有する。作業者18,18,18は半導体製造装置4の搬出ポート27からストッカ1の搬入ポート14へ、又は、ストッカ1の搬出ポート15から半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの持ち運びを行う。また、作業者18,18,18は半導体製造装置4の搬出ポート27から別の半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの持ち運びを行う。
【0044】
エリアBは無人車搬送の作業区域であり、複数の半導体製造装置4と、ストッカ2とが走行軌道7の周りに配置され、ストッカ2は、ストッカ2から突出した無人車搬入出ポート32を有する。無人車搬入出ポート32は無人車搬入ポート24と無人車搬出ポート25とで構成される。無人車搬入ポート24と、無人車搬出ポート25と、搬入ポート26と、搬出ポート27とは走行軌道7の下方に位置している。また、少なくとも1台の無人車8が走行軌道7を時計回りに走行しており、この無人車8は半導体製造装置4の搬出ポート27から別の半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの搬送を行う。また、無人車8は半導体製造装置4の搬出ポート27からストッカ2の無人車搬入ポート24へ、又は、ストッカ2の無人車搬出ポート25から半導体製造装置4の搬入ポート26へ、カセットの搬送を行う。
【0045】
次に、上記の構成におけるストッカの作動について、搬入ポートの移載システム、搬出ポートの移動システムに大別して説明する。
【0046】
まずは、搬入ポートの移載システムについて図1、図3を用いて説明する。図3はカセットの移載動作を経時的に表した模式図である。
【0047】
図1において、図示しない作業者によって、搬入ポート14の上方スライド台40上にカセット6が前面6aを前方にされて載置される。図3(a)において、一対の台板48に載置され、外側ピン31と図示しないカセットの穴とが嵌合しているカセット6の下方から、伸縮モータ51によって伸長される伸縮軸44により内側受台42が上昇されていく。図3(b)において、内側受台42に設けられた内側ピン33がカセット6の図示しない嵌合穴に嵌合する。内側受台42の更なる上昇により、内側受台42がカセット6を持ち上げることで、カセット6の穴と外側ピン31との嵌合が外れた後に、伸縮モータ51の停止により、カセット6を確保した内側受台42の上昇が停止する。
【0048】
図3(c)において、一対の台板48はラック49とリニアピニオン50とにより水平方向にスライドされて、開状態となる。図3(d)において、伸縮モータ51が伸縮軸44を下方台41まで収縮させることによって、内側受台42が下降し、カセット6の穴と下方台41の外側ピン34とが嵌合する。次に、図3(e)において、伸縮モータ51が伸縮軸44を更に収縮させて、内側受台42を下方台41の下方に下降させることで、カセット6の嵌合穴と内側受台42の内側ピン33との嵌合が外れ、カセット6の下方台41への移載が完了する。下方台41の近傍に設けられた読取り装置(図示せず)が、カセット6に取付けられたラベル或いはICタグを読取り、カセット6の情報を図示しない制御装置に伝達する。この情報によって、カセット6の棚における最適な保管位置が速やかに選択される。カセット6の上方では、一対の台板48が閉状態にされる。
【0049】
図3(f)において、カセット6の下方であって下方台41の中央の開口から、スタッカロボットのスライドブロック9cがカセット6の長手方向に平行(紙面に垂直)に侵入し、キネマティックピン43をカセット6の嵌合穴に嵌合させた後、スタッカロボットのスライドブロック9cがカセット6を持ち上げて、下方台41の外側ピン34とカセット6の穴との嵌合を外すことでカセット6を確保し、図面の紙面奥方向にカセット6を持ち去る。スタッカロボットにより持ち去られたカセット6は図示しない棚へと移載される。また、作業者により、上方スライド台40上に新たなカセット6’が載置される。
【0050】
次に、搬出ポートの移動システムについて図1、図5を用いて説明する。図5はカセットの移動動作を経時的に表した模式図である。
【0051】
図1において、スタッカクレーン5はレール20に沿って進退し、スタッカロボット9を昇降させて、棚に載置・保管されたカセット6であって、出庫対象のカセット6にスタッカロボット9を近づける。スタッカロボット9はスライドブロック9b,9cを伸長させて、棚とカセット6との間にスライドブロック9cをカセット6の前面6a側から挿入する。昇降台46の若干の上昇によりスライドブロック9cに立設されたキネマティックピン43はカセット6の嵌合穴に嵌合し、図示しない棚の位置決めピンとカセット6の穴との嵌合が外れて、カセット6はスタッカロボット9によって確保される。
【0052】
図5(a)はスタッカロボット9が、確保したカセット6を水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39に搬送してくるところである。図5(b)において、スタッカロボット9は水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39の上方にカセット6を位置させ、図示しない昇降台はスタッカロボット9を下降させる。図5(c)において、カセット6の底面の穴は水平ポート台57のピン59に嵌合し、キネマティックピン43と嵌合穴との嵌合が外れたカセット6は水平ポート台57の搬出ポート用待機領域39に移載される。スタッカロボット9はスライドブロック9b,9cを収縮させる。図5(d)において、昇降/旋回モータ35は、昇降軸54を上方に伸長させて、搬出ポート用待機領域39に載置・待機されたカセット6の嵌合穴に出庫テーブル37上のキネマティックピン56を嵌合させる。出庫テーブル37の更なる上昇により、出庫テーブル37は水平ポート台57の上方においてカセット6を確保する。その後、昇降/旋回モータ35が出庫テーブル37を反時計回りに90度旋回させることで、カセット6の向きが変えられる。スタッカロボット9は次の動作にかかるため、図面外へと移動する。
【0053】
図5(e)は、旋回後のカセット6及び出庫テーブル37を示している。図5(e)をd方向から見た図5(f)において、ベルト10が搬出ポート15方向に駆動され、昇降/旋回モータ35の移動に伴って、出庫テーブル37が搬出ポート用待機領域39から搬出ポート15側に向かって移動する。カセット6は前面6aを後方にして移動される。図5(g)において、出庫テーブル37が搬出ポート15側に到着すると、昇降/旋回モータ35が昇降軸54を下降させる。図5(h)において、カセット6の穴が搬出ポート15側に設けられたピン59に嵌合する。更に下降する出庫テーブル37のキネマティックピン56がカセット6の嵌合穴から外れ、カセット6の搬出ポート15側への移動が完了する。ベルト10が搬出ポート用待機領域39方向に駆動され、昇降/旋回モータ35は出庫テーブル37を90度時計回りに回転させながら、搬出ポート用待機領域39方向に後退していく。カセット6は作業者によって搬出される。また、新たなカセット6’が図示しないスタッカロボットにより、搬出ポート用待機領域39に載置・待機される。
【0054】
以上のように、本実施形態のストッカは、搬入ポートに設けられた移載システムにより、搬入ポートの上方スライド台に載置されたカセットを、下方台の搬入ポート用待機領域に移載・待機させることで、搬入ポートから連続してカセットを入庫させることができる構成にされている。下方台はストッカ内部に設けられているため、ストッカとして省スペースであるばかりでなく、入庫カセットの待機位置である下方台を介してスタッカロボットが入庫作業を行うため、作業者による入庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの作業を作業者の作業と重複させて実施できるため、入庫待ちに要する時間を短縮させることができて、ストッカとして高効率である。
【0055】
また、本実施形態のストッカは、搬出ポートに設けられた移動システムにより、出庫するカセットを水平ポート台の搬出ポート用待機領域に待機させ、搬出ポートまで水平移動させることで、搬出ポートから連続してカセットを出庫させることができる構成にされている。水平ポート台はストッカ内部に設けられているため、ストッカとして省スペースであるばかりでなく、出庫カセットの待機位置である搬出ポート用待機領域を介してスタッカロボットが出庫作業を行うため、作業者による出庫作業と干渉しない。また、スタッカロボットの作業を作業者の作業と重複させて実施できるため、出庫待ちに要する時間を短縮させることができて、ストッカとして高効率である。
【0056】
また、本実施形態のストッカは、搬入ポート用待機領域と搬出ポート用待機領域とが互いに離れた位置に配置されているため、スタッカロボットの搬入ポート用待機領域に対する動作と搬出ポート用待機領域に対する動作とが干渉せず、スタッカロボットの動作がスムーズで高効率であると共に、システム全体のコンパクト化が図れて、省スペースである。更に、ストッカ本体から突出した部分がないため、設置スペース効率が良い。更に、搬出ポートがストッカ本体の端部に設けられ、搬入ポートと隣接していることにより、ストッカ内部の自由度が高くなり、更なる省スペース化が図られている。
【0057】
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態に係るストッカの構成を図9に基づいて説明する。尚、第1実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。第2実施形態の構成が第1実施形態と異なる点は、マニュアルポート13がストッカ1の長手側面21に設けられている点である。マニュアルポート13の向かって左側が搬入ポート14、右側が搬出ポート15となっている。搬出ポート15はストッカ1の長手側面21の右端に位置し、搬入ポート14は搬出ポート15に隣接している。本実施形態のストッカは、第1実施形態のストッカに比して、搬入ポート14、搬出ポート15の位置が変わっただけであり、その作動は第1実施形態のストッカと同じであるため、その説明を省略する。
【0058】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、搬入ポートに昇降ユニットを有する移載システムが設けられ、搬出ポートに水平駆動ユニットを有する移動システムが設けられた構成としたが、搬出ポートに昇降ユニットを有する移載システムが設けられ、搬入ポートに水平駆動ユニットを有する移動システムが設けられた構成にされていても良い。即ち、図1において、搬入ポートの符号14を搬出ポート、搬出ポートの符号15を搬入ポートと置き換えた場合、作業者によって搬入ポート15の水平ポート台57に載置されたカセット6は、水平駆動ユニットの図示しない出庫テーブルに乗って時計回りに90度旋回されながら、符号39の搬入ポート用待機領域に水平移動され、スタッカロボット9が確保しに来るまで載置・待機される。一方、スタッカロボット9によって符号38の搬出ポート用待機領域である下方台41上に載置されたカセット6は、昇降ユニットの図示しない内側受台に乗って上昇されて、上方スライド台に移載され、作業者により確保・出庫される。
【0059】
また、搬入ポートに昇降ユニットを有する移載システムが設けられ、搬出ポートに水平駆動ユニットを有する移動システムが設けられた構成としたが、図9に示すような、マニュアルポートがストッカの長手側面に設けられている構成のストッカにおいては、昇降ユニットを有する移載システムが搬入ポート、搬出ポートの各々に設けられた構成であっても良い。この場合、スタッカロボットはどちらのポートであっても、カセットの前面からカセットを確保することができる。また、昇降ユニットを有する移載システムが搬入ポート或いは搬出ポートのどちらか一方のみに設けられた構成であっても良い。
【0060】
また、搬出ポートがストッカ本体の端部に設けられた構成に限定されず、搬出ポートと搬入ポートとが隣接する構成に限定されない。
【0061】
また、昇降/旋回モータ35が出庫テーブル37を反時計回りに90度旋回させることで、カセット6の向きを変える構成に限定されず、スタッカロボット9がカセットを旋回させる構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【0062】
【図1】本発明の第1実施形態に係るストッカの上方斜視図である。
【図2】本発明の第1実施形態に係るストッカを図1のa方向から見た透視図である。
【図3(a)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(b)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(c)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(d)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(e)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図3(f)】カセットの移載動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図4】一対の台板が閉状態にある時の上方スライド台の上面図である。
【図5(a)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(b)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(c)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(d)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(e)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(f)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(g)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図5(h)】カセットの移動動作を経時的に表した模式図の一つである。
【図6】水平ポート台の上面図である。
【図7】ストッカの上面透視図である。
【図8】工場のレイアウトの一例である。
【図9】本発明の第2実施形態に係るストッカの上方斜視図である。
【符号の説明】
【0063】
1 ストッカ
2 ストッカ
3 水平駆動ユニット(移動手段)
4 半導体製造装置
5 スタッカクレーン
6 カセット
6a 前面
7 走行軌道
8 無人車
9 スタッカロボット
9a ベースブロック
9b,9c スライドブロック
10 ベルト
11 昇降ユニット(移載手段)
13 マニュアルポート
14 搬入ポート
15 搬出ポート
16 駆動軸
17 スタッカ支柱
18 作業者
19 開口部
20 レール
21 長手側面
22 短手側面
23 棚
24 無人車搬入ポート
25 無人車搬出ポート
26 搬入ポート
27 搬出ポート
31 外側ピン
32 無人車搬入出ポート
33 内側ピン
34 外側ピン
35 昇降/旋回モータ
37 出庫テーブル
38 搬入ポート用待機領域(第1のカセット待機領域)
39 搬出ポート用待機領域(第2のカセット待機領域)
40 上方スライド台
41 下方台
42 内側受台
43 キネマティックピン
44 伸縮軸
46 昇降台
47 走行輪
48 台板
49 ラック
50 リニアピニオン
51 伸縮/旋回モータ
54 昇降軸
56 キネマティックピン
57 水平ポート台
58 駆動モータ
59 ピン
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、
前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、少なくとも一方の垂直方向近傍に前記カセットの待機領域が設けられ、
前記マニュアルポート内と前記カセットの待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段を備え、
前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とするストッカ。
【請求項2】
複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、
前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、一方のポートの垂直方向近傍に前記カセットの待機領域である第1のカセット待機領域が設けられ、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、他方のポートの水平方向近傍に前記カセットの待機領域である第2のカセット待機領域が設けられ、
前記一方のポート内と前記第1のカセット待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段と、
前記他方のポート内と前記第2のカセット待機領域との間で、前記カセットを水平移動させる移動手段と、をそれぞれ備え、
前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とするストッカ。
【請求項3】
前記第1のカセット待機領域が前記一方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられ、
前記第2のカセット待機領域が前記他方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のストッカ。
【請求項4】
前記他方のポートがストッカ本体の四隅のいずれかに設けられ、前記一方のポートと隣接していることを特徴とする請求項2又は3に記載のストッカ。
【請求項5】
前記移動手段は、前記カセットを水平方向に90度回転自在であり、
前記スタッカロボットが前記カセットの決められた方向から該カセットを確保するように、前記第2のカセット待機領域に載置される前記カセットを90度旋回させることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のストッカ。
【請求項6】
前記搬入ポートから入庫された前記カセットが待機させられる前記カセットの待機領域の近傍に、前記カセットに取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のストッカ。
【請求項7】
前記マニュアルポートの床からの高さが、850ミリメートル以上950ミリメートル以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のストッカ。
【請求項1】
複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、
前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、少なくとも一方の垂直方向近傍に前記カセットの待機領域が設けられ、
前記マニュアルポート内と前記カセットの待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段を備え、
前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とするストッカ。
【請求項2】
複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、
前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、一方のポートの垂直方向近傍に前記カセットの待機領域である第1のカセット待機領域が設けられ、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、他方のポートの水平方向近傍に前記カセットの待機領域である第2のカセット待機領域が設けられ、
前記一方のポート内と前記第1のカセット待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段と、
前記他方のポート内と前記第2のカセット待機領域との間で、前記カセットを水平移動させる移動手段と、をそれぞれ備え、
前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とするストッカ。
【請求項3】
前記第1のカセット待機領域が前記一方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられ、
前記第2のカセット待機領域が前記他方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のストッカ。
【請求項4】
前記他方のポートがストッカ本体の四隅のいずれかに設けられ、前記一方のポートと隣接していることを特徴とする請求項2又は3に記載のストッカ。
【請求項5】
前記移動手段は、前記カセットを水平方向に90度回転自在であり、
前記スタッカロボットが前記カセットの決められた方向から該カセットを確保するように、前記第2のカセット待機領域に載置される前記カセットを90度旋回させることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のストッカ。
【請求項6】
前記搬入ポートから入庫された前記カセットが待機させられる前記カセットの待機領域の近傍に、前記カセットに取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のストッカ。
【請求項7】
前記マニュアルポートの床からの高さが、850ミリメートル以上950ミリメートル以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のストッカ。
【図1】
【図2】
【図3(a)】
【図3(b)】
【図3(c)】
【図3(d)】
【図3(e)】
【図3(f)】
【図4】
【図5(a)】
【図5(b)】
【図5(c)】
【図5(d)】
【図5(e)】
【図5(f)】
【図5(g)】
【図5(h)】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図2】
【図3(a)】
【図3(b)】
【図3(c)】
【図3(d)】
【図3(e)】
【図3(f)】
【図4】
【図5(a)】
【図5(b)】
【図5(c)】
【図5(d)】
【図5(e)】
【図5(f)】
【図5(g)】
【図5(h)】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【公開番号】特開2006−49454(P2006−49454A)
【公開日】平成18年2月16日(2006.2.16)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2004−226303(P2004−226303)
【出願日】平成16年8月3日(2004.8.3)
【出願人】(302059274)アシスト シンコー株式会社 (146)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年2月16日(2006.2.16)
【国際特許分類】
【出願日】平成16年8月3日(2004.8.3)
【出願人】(302059274)アシスト シンコー株式会社 (146)
【Fターム(参考)】
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