洗浄塗布装置
【課題】従来は塗布の前処理として洗浄を行う製造ラインにおいて洗浄工程から塗布工程の間に設備間の移動が必要であった。そのため洗浄後の清浄部に空気中に浮遊しているゴミをかみこみ、濡れ性不足、接着強度不足、信頼性の低下を招く恐れがあった。
【解決手段】本発明は、被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された前記塗布ヘッド２２を具備する洗浄塗布装置である。係る発明を用いることで、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程と塗布工程の間に搬送工程を含まず、一つの装置で洗浄塗布工程が行えるため、工程及び設備の簡易化が可能である。
【解決手段】本発明は、被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された前記塗布ヘッド２２を具備する洗浄塗布装置である。係る発明を用いることで、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程と塗布工程の間に搬送工程を含まず、一つの装置で洗浄塗布工程が行えるため、工程及び設備の簡易化が可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は接合部を封止する洗浄塗布工程に用いる洗浄塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ装置やプラズマディスプレイ装置などで代表されるフラットパネルディスプレイ装置は、表示ディスプレイとして主流になってきている。このようなフラットパネルディスプレイ装置に画像表示部位として用いられるパネルは、一般的に２枚のガラスを張り合わせた構造を取るために、パネル端部に電圧あるいは信号を印加するための電極を引き出す必要がある。そしてこの電極引出部にフレキシブル配線板（以下ＦＰＣとする）等が接続され、駆動回路装置等と連結している。
【０００３】
例えば、プラズマディスプレイ装置に用いられるパネルでは、表示電極群を配した前面基板と、アドレス電極群を配した背面基板を、これら電極群が直交するように対向配置し、かつ基板間に放電空間を形成して封止される。そして各辺のパネル端部に表示電極群、アドレス電極群の電極引出部を形成している。この電極群に異方性導電封止接着剤でＦＰＣを接着しており、このＦＰＣを介して電極引出部と駆動回路装置が接続されている。さらに、電極引出部とＦＰＣの接続部分の絶縁保護及び外力による剥離防止を目的として、この接続部分を覆うように熱硬化型やＵＶ光硬化型の樹脂などの封止接着剤を設けている（例えば特許文献１参照）。通常は、この封止接着剤の濡れ性を向上するため、塗布工程の前段に封止する部分を洗浄する洗浄工程を配する。具体的に、ディスプレイ装置が洗浄装置での洗浄工程ののちに塗布装置に搬送されて塗布工程が施されている（例えば特許文献２参照）。塗布工程の後段には封止接着剤を硬化する硬化工程がある。硬化工程の方式は封止接着剤の種類に合わせて加熱やＵＶ光照射などがある。
【０００４】
このような従来方法では洗浄工程から塗布工程への設備間の搬送が必要であった。従来の工程について洗浄工程に大気圧プラズマを用いた場合について図２１を用いて説明する。図２１（ａ）に洗浄工程前におけるパネル端部において、前面板１と背面板２とこれらに設置される電極引出部であるガラス電極３と、ＦＰＣ４の構成を示す。図２１（ｂ）に洗浄工程について示す。図２１（ｃ）には洗浄工程後のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態について示す。図２１（ｄ）に洗浄工程後、塗布工程への設備の搬送時におけるガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態を示す。図２１（ｅ）に塗布工程において、ガラス電極３及びＦＰＣ４に封止接着剤５を塗布した状態を示す。図２１（ｆ）に通電した場合のガラス電極３及びＦＰＣ４の状態を示す。
【０００５】
図２１（ａ）に示したように、洗浄前のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面は有機物６又は水７等の汚染物質が付着している。よって、図２１（ｂ）に示すように、これら汚染物質に向けて、大気圧プラズマ９を照射して汚染物質を除去する。大気圧プラズマ洗浄に用いるガスはアルゴン８などが挙げられる。この洗浄工程によって、ガラス電極３及びＦＰＣ４から有機物６等の汚染物質が除去され、図２１（ｃ）に示すように、これらの表面に清浄部１０が露出する。また、ＦＰＣ４の表面には大気圧プラズマ９が照射されたことによって、カルボニル基１１やカルボキシル基１２などに代表される親水基が形成される。しかし、これらの清浄部１０は汚染物質が付着しやすいため、図２１（ｄ）に示すように、搬送中に水７や導電性異物１３が再付着してしまうことがある。よって、図２１（ｅ）に示すように、その後の塗布工程において封止接着剤５を塗布すると水７や導電性異物１３がガラス電極３及びＦＰＣ４の付近に閉じ込められる可能性がある。これらを放置すれば、図２１（ｆ）に示すようにリーク電流１４が流れ、ショートや長期使用によるエレクトロマイグレーションなど、接合部の信頼性が著しく低下する場合がある。
【０００６】
次に、洗浄工程にＵＶ光１５を用いる場合について図２２を用いて説明する。図２２（ａ）に洗浄工程前におけるパネル端部において、前面板１と背面板２と、これらに設置される電極引出部であるガラス電極３と、ＦＰＣ４の構成を示す。図２２（ｂ）に洗浄工程について示す。図２２（ｃ）には洗浄工程後のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態について示す。図２２（ｄ）に洗浄工程後、塗布工程への設備の搬送時におけるガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態を示す。図２２（ｅ）に塗布工程において、ガラス電極３及びＦＰＣ４に封止接着剤５を塗布した状態を示す。図２２（ｆ）に通電した場合のガラス電極３及びＦＰＣ４の状態を示す。
【０００７】
洗浄前のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面には図２２（ａ）に示したように、有機物６又は水７等の汚染物質が付着している。よって、図２２（ｂ）に示したように、これら汚染物質に向けて、波長２５４ｎｍのＵＶ光１５をＵＶ光ランプ１６により照射する。このＵＶ光１５により空気中の酸素が活性化されオゾン１７が精製される。このオゾン１７による汚染物質の酸化による除去とＵＶ光１５の直接照射による汚染物質の分解によって、ガラス電極３及びＦＰＣ４から有機物６等の汚染物質が除去され、図２２（ｃ）に示したように、これらの表面に清浄部１０が露出する。また、ＦＰＣ４の表面にはＵＶ光１５が照射されたことによって、カルボニル基１１やカルボキシル基１２などに代表される親水基が形成される。しかし、ＵＶ光１５は過剰に照射するとＦＰＣ４表面近傍に脆弱層１８を形成しやすいことが知られている。また、これらの清浄部１０は汚染物質が付着しやすいため、図２２（ｄ）に示したように、搬送中に水７や導電性異物１３が再付着してしまうことがある。よって、図２２（ｅ）に示したように、その後の塗布工程において封止接着剤５を塗布すると水７や導電性異物１３がガラス電極３及びＦＰＣ４の付近に閉じ込められる可能性がある。これらを放置すれば、図２２（ｆ）に示すようにリーク電流１４が流れ、ショートや長期使用によるエレクトロマイグレーションなど、接合部の信頼性が著しく低下してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１５１５４８号公報
【特許文献２】国際公開第２００８／１４２８３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
以上のように前記従来方法では、洗浄後におけるガラス電極及びＦＰＣなどの表面に露出する清浄部は汚染物質が付着しやすい特性を有するため、洗浄工程から塗布工程への設備間の搬送作業中に、洗浄面へ汚染物質の再付着が発生しうる。この再付着した汚染物質によって、塗布工程における封止接着剤の濡れ性の悪化や、接着強度不足、接合部の信頼性が低下してしまう問題が生じることがあった。
【００１０】
そこで本発明はこの課題に着目し、洗浄工程後の塗布工程においても、清浄部に汚染物質の再付着を防ぐことで、封止接着剤の濡れ性を向上させ、接着強度不足を改善し、接合部の信頼性を向上させることができる洗浄塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明に係る洗浄塗布装置は被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備することを特徴とするものである。
【００１２】
この構成により、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程と塗布工程の間に搬送工程を含まず、一つの装置で洗浄塗布工程が行えるため、工程及び設備の簡易化が可能である。
【００１３】
また、好ましくは前記洗浄ヘッドに大気圧プラズマ洗浄ヘッドを用いたことを特徴とする。
【００１４】
前記構成によれば、塗布工程で塗布する封止接着剤にＵＶ光硬化型樹脂を用いた場合においても、洗浄工程後直ぐに塗布工程を行うことができる。また、ＵＶ光ランプを用いた装置に比べてランニングコストが安く済む。
【００１５】
また、好ましくは前記大気圧プラズマ洗浄ヘッドと前記塗布ヘッドの間に遮熱手段を設けたことを特徴とする。
【００１６】
前記構成によれば、大気圧プラズマ洗浄ヘッドで発生した熱が被照射塗布面であるパネル及び塗布ヘッドに装填された封止接着剤に熱を伝えにくくすることができ、被照射塗布材の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。
【００１７】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板を具備したこと特徴とする。
【００１８】
前記構成によれば、大気圧プラズマ洗浄ヘッドで発生した熱の輻射及び対流による伝導を妨げることができ、被照射塗布材の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。
【００１９】
また、好ましくは前記遮熱手段として吸引口を具備したことを特徴とする。
【００２０】
前記構成によれば、大気圧プラズマ洗浄ヘッドで発生した熱により高温となった空気を吸引し、装置内雰囲気の温度を低下させることで被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、洗浄により排出される水蒸気や有機化合物などを周囲の空気と一緒に吸引することで、これらが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００２１】
また、好ましくは前記遮熱手段としてガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする。
【００２２】
前記構成によれば、吹出口から空気を吹き付けることで、洗浄ヘッドで発生した熱による装置内雰囲気の温度を低下させることができる。これにより被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、吹出口から乾燥した清浄な空気や窒素を吹きつけることにより、洗浄によって排出される水蒸気や有機化合物などが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００２３】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板と吸引口を具備したことを特徴とする。
【００２４】
前記構成によれば前記遮蔽板を設けた場合の作用効果と前記吸引口を設けた場合の作用効果を有することができる。また、大気圧プラズマ洗浄ヘッドは空気の流れがある場合、その洗浄能力が低下してしまう場合がある。ゆえに、吸引口による空気の流れを遮蔽板によって大気圧プラズマ洗浄ヘッドへ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【００２５】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする。
【００２６】
前記構成によれば前記遮熱手段として前記遮蔽板を設けた場合の作用効果と前記吹出口を設けた場合の作用効果を有することができる。また、吹出口による空気の流れを遮蔽板によって大気圧プラズマ洗浄ヘッドへ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【００２７】
また、好ましくは前記遮熱手段として吸引口とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする。
【００２８】
前記構成によれば前記遮熱手段として前記吸引口を設けた場合の作用効果と前記吹出口を設けた場合の作用効果を有することができる。さらに、吹出口から吹きつけた空気を吸引口で吸引することで、空気の流れを制御し、大気圧プラズマ洗浄ヘッドでの空気の乱れを防ぐことができる。
【００２９】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口と吸引口を具備したことを特徴とする。
【００３０】
前記構成によれば前記遮熱手段として前記遮蔽板を設けた場合の作用効果と前記吹出口を設けた場合の作用効果と前記吸引口を設けた場合の作用効果を有することができる。ゆえに、より効果的に洗浄効率を上げることができる。
【００３１】
また、好ましくは前記遮熱板の下部に弾性体を有することを特徴とする。
【００３２】
前記構成によれば生産中に遮蔽板がＦＰＣやガラス電極の配設されているパネルと接触した場合にパネルの破壊を防止することができる。
【００３３】
また、好ましくは前記被照射体との距離を測定する高さセンサと前記高さセンサからの入力により前記洗浄ヘッド及び前記塗布ヘッドと被照射体との距離を変化させる駆動部を具備することを特徴とする。
【００３４】
前記構成によれば、高さセンサが読み取った被照射体の形状に合わせて、前記洗浄ヘッド及び前記塗布ヘッドの高さを調節することができるため、より精度の高い洗浄塗布工程を行うことができる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように本発明は洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備することにより、洗浄工程後直ぐに塗布工程をおこなうことができる。これにより、洗浄後の清浄部に水や導電性異物が再付着するのを軽減することができ、濡れ性・接着強度・信頼性の低下の課題を解決できる。
【００３６】
また付加的な効果として余分な洗浄エネルギーを必要とせず省エネルギー効果がある。さらに２つの設備を１つにするため設備の設置面積を削減する事も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る洗浄塗布装置の要部構成を示す模式図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る洗浄塗布装置の洗浄塗布動作を表す模式図で、（ａ）平面図、（ｂ）側面図
【図３】本発明の第１の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図４】本発明の第１の実施形態に係るＵＶ光洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）ＵＶ光を照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）封止接着剤を塗布した模式図
【図５】本発明の第２の実施形態に係る洗浄塗布装置の要部構成を示す模式図
【図６】本発明の第２の実施形態に係る大気圧プラズマ洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）大気圧プラズマを照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）封止接着剤を塗布した模式図
【図７】本発明の第３の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図８】本発明の第４の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図９】本発明の第４の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図１０】本発明の第５の実施形態に係る塗布洗浄装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）吹き付けユニットに設置した吹出口の模式図、（ｃ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１１】本発明の第５の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図１２】本発明の第６の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１３】本発明の洗浄能力と放電部での空気の流れの相関図
【図１４】本発明の第７の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１５】本発明の第８の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１６】本発明の第８の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図１７】本発明の第９の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す要部を破断した側面図
【図１８】本発明の第１０の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１９】本発明の第１１の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図２０】本発明の第１１の実施形態に係る塗布洗浄工程における高さ測定の動作を説明するフローチャート
【図２１】従来例に係る大気圧プラズマ洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）大気圧プラズマを照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）搬送工程中に汚染物質が再付着した模式図、（ｅ）封止接着剤を塗布した模式図、（ｆ）通電時の模式図
【図２２】従来例に係るＵＶ光洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）ＵＶ光を照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）搬送工程中に汚染物質が再付着した模式図、（ｅ）封止接着剤を塗布した模式図、（ｆ）通電時の模式図
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施形態について図１〜図２０に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施形態では、ディスプレイ装置として、プラズマディスプレイ装置を例にして説明するが、必ずしもこれに限らず、液晶ディスプレイ装置、有機ＥＬディスプレイ装置等、他のディスプレイ装置であってもよい。
【００３９】
（第１の実施形態）
図１に示す本発明の第１の実施形態に係る洗浄塗布装置は、被照射部であるＦＰＣ及びガラス電極の配設されているパネル１９に洗浄因子２０を部分照射し清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２を具備することを特徴とする。
【００４０】
さらに、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図２（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。
【００４１】
同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２とパネル１９（被照射体）との高さ方向の距離も調節可能である。洗浄及び塗布を行うべきパネル１９におけるガラス電極の電極引出部とＦＰＣ４との接続部２７の一例を図２（ａ）に示す。
【００４２】
また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００４３】
この場合、制御部によって記憶部に予め記憶された動作プログラムや制御データに基づいて、ロボット装置２３の動作制御を行い、接続部２７に洗浄及び塗布を行う。
【００４４】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図３に示すフローチャートを参照して説明する。まず、ロボット装置２３にて移動体２４に設置された洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７（被処理部）に向けて移動させる（Ｓ１）。次いで、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、洗浄ヘッド２１から洗浄因子２０を放出しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄のみを行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄及び塗布を行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から洗浄因子２０の放出を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布のみを行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【００４５】
この場合、パネル１９における洗浄開始点と塗布開始点、及び洗浄終了点と塗布終了点は一致する。なお、これらの位置をずらして、洗浄する部分を塗布する部分よりも長くしてもよい。また、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間隔は常に一定である。
【００４６】
次に、洗浄塗布工程について具体的に説明する。図１に示したように、洗浄ヘッド２１からは洗浄因子２０が放出されている。この洗浄因子２０の例としてはＵＶ光や大気圧プラズマが挙げられる。洗浄因子２０を洗浄ヘッド２１から放出した状態で接続部２７に対して洗浄ヘッド２１を移動させ、ライン状に洗浄を行なう。ここでは洗浄因子としてＵＶ光を用いた場合について図４を用いて説明する。図４（ａ）は洗浄前の接続部２７におけるガラス電極３及びＦＰＣ４に有機物６及び水７などの汚染物質が付着した状態を示す。この状態の接続部２７に図４（ｂ）に示すように、ＵＶ光１５がＵＶ光ランプ１６から汚染物質である有機物６に照射されると有機物６の結合が切れる。さらに空気中の酸素にＵＶ光１５が照射されると酸素の結合が切れ酸素原子状態となり、酸素原子が他の酸素と結合してオゾン１７が発生する。このオゾン１７は有機物６の結合を切ると共に有機物６と結合し二酸化炭素や水蒸気として有機物６を除去する効果を持つ。これによって清浄化された清浄部１０を図４（ｃ）に示す。この清浄部１０は洗浄前に比較して樹脂の濡れを妨げる汚染物質が除去されて、ＦＰＣ４の表面にカルボニル基１１やカルボキシル基１２に代表される親水基を形成する。また、ガラス電極３およびパネル１９の材質であるガラスの主成分ＳｉＯ２も露出する。こうして、清浄部１０では洗浄前よりも濡れ性を向上させることができる。
【００４７】
次に、図４（ｄ）に示すように、従来の方法で説明した図２２で説明した有機物６や水７や導電性異物１３等が再付着しないよう、洗浄直後に、清浄部１０へ封止接着剤５を塗布する。条件によるが、好ましくは洗浄後５秒以内に塗布を行うのが望ましい。
【００４８】
また、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を遠ざけすぎると洗浄による効果が小さくなってしまう。よって、好ましくは洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間を２０ｍｍから３００ｍｍの距離に両ヘッドを配置する。なお、本実施形態では物理的な制限により最小のヘッド間距離を２０ｍｍとしたが、設備を小型化して、この距離を更に近づけてもよい。ただし、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を近づけ過ぎると、洗浄雰囲気に封止接着剤が影響を及ぼして十分な洗浄効果を得られない場合や、封止接着剤が洗浄によって発生した二酸化炭素や水蒸気を巻き込んでしまう場合などが生じるため、これらに留意して両ヘッドを配設すべきである。
【００４９】
また、ＵＶ光１５によって洗浄された清浄部１０の幅は洗浄因子２０の幅とほぼ同じになる。封止接着剤５は塗布後にパネル１９上で濡れ広がる傾向があり、例えば清浄部１０の内側にライン状に塗布すると、濡れ性の上がった清浄部１０とパネル１９のその他の部分との濡れ性の差のため清浄部１０より外側に封止接着剤５がはみ出しにくくなる。つまり洗浄因子２０をコントロールし清浄部１０の幅を調整することで封止接着剤５の広がり幅を可変とすることができる。
【００５０】
以上のことから本実施形態のように、被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッドと、洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備することを特徴とする洗浄塗布装置を用いることで、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程と塗布工程の間に搬送工程を含まず、一つの装置で洗浄塗布工程が行えるため、工程及び設備の簡易化が可能である。
【００５１】
（第２の実施形態）
図５に示す第２の実施形態に係る洗浄塗布装置は、被照射部であるＦＰＣ４及びガラス電極の配設されているパネル１９に部分照射し清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２を具備することを特徴とする。
【００５２】
本実施形態では、洗浄因子として大気圧プラズマ９を用いた点で第１の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００５３】
また、その洗浄及び塗布動作も図３に示すフローチャートのうち、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）ことと、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）ことが異なるが、その他の動作は第１の実施形態と同様の動作を行う。
【００５４】
次に、洗浄塗布工程について説明する。図５に示したように洗浄ヘッド２１からは大気圧プラズマ９が放出されている。大気圧プラズマ９の放電方式は代表例としてコロナ放電・誘電体バリア放電・容量結合型放電・誘導結合型放電などが挙げられる。それぞれ電極形状や放電状態によって種別される。また大気圧プラズマ９に用いるガスは窒素・アルゴン・酸素・二酸化炭素・空気などが上げられ、それぞれ被照射体の物質や汚染物の物質によって使い分けられる。装置の小型化が図れるガスとしてアルゴンを用いた場合について図６を用いて説明する。図６（ａ）は洗浄前の接続部２７におけるガラス電極３及びＦＰＣ４に有機物６及び水７などの汚染物質が付着した状態を示す。この状態のガラス電極３及びＦＰＣ４に対して図６（ｂ）に示すように、放電によって形成したアルゴンプラズマの中で活性化したアルゴン８を有機物に接触させると有機物６の結合を切ることができる。さらにアルゴン８の接触によって空気中の酸素も結合を切って酸素原子を形成し、この酸素原子によって有機物６の結合を切ることができ、二酸化炭素や水蒸気に分解して除去する。こうして図６（ｃ）に示すように清浄部１０が露出することになる。清浄部１０では洗浄前に比較して樹脂の濡れを妨げる有機物汚染が除去されて、ガラス電極３の材質であるガラスの主成分ＳｉＯ２が露出する。こうして清浄部１０は洗浄前よりも濡れ性が向上する。また、被照射体がＦＰＣ４のように有機物であった場合は、前述のように汚染物質を取り去ると共にＦＰＣ４の表面にカルボニル基１１やカルボキシル基１２に代表される親水基を形成する。これらの親水基により濡れ性は向上する。
【００５５】
その後再び有機物等が付着しないよう、洗浄直後に、図６（ｄ）に示すように、清浄部１０へ封止接着剤５を塗布する。なお、条件によるが、好ましくは洗浄後５秒以内に塗布を行うのが望ましい。この場合、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を遠ざけすぎると洗浄による効果が小さくなってしまう。よって、好ましくは洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間を２０ｍｍから３００ｍｍの距離に両ヘッドを配置する。なお、本実施形態では物理的な制限により最小のヘッド間距離を２０ｍｍとしたが、設備を小型化して、この距離を更に近づけてもよい。ただし、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を近づけ過ぎると、洗浄雰囲気に封止接着剤が影響を及ぼして十分な洗浄効果を得られない場合や、封止接着剤が洗浄によって発生した二酸化炭素や水蒸気を巻き込んでしまう場合などが生じるため、これらに留意して両ヘッドを配設すべきである。
【００５６】
また、清浄部１０の幅は大気圧プラズマ９の幅とほぼ同じになるが、封止接着剤５は塗布後のパネル１９上で濡れ広がる傾向がある。例えば清浄部１０の内側にライン状に塗布すると、濡れ性の上がった清浄部１０とパネル１９のその他の部分との濡れ性の差のため清浄部１０より外側に封止接着剤５がはみ出しにくくなる。つまり大気圧プラズマ９をコントロールし清浄部１０の幅を調整することで封止接着剤５の広がり幅を可変とすることができる。
【００５７】
以上のことから本実施形態において、第１の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００５８】
加えて、塗布工程で塗布する封止接着剤にＵＶ光硬化型樹脂を用いた場合においても、洗浄工程にＵＶ光を使用しないため、洗浄工程で照射したＵＶ光の影響によってＵＶ光硬化型樹脂が硬化してしまう問題が発生しない。よって洗浄工程後直ぐに塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程にＵＶ光ランプを用いた装置に比べランニングコストを安く済ませることができる。
【００５９】
（第３の実施形態）
図７（ａ）に示す第３の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるＦＰＣ４及びガラス電極の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８を具備することを特徴とする。
【００６０】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１で発生した熱が塗布ヘッド２２へ移動するのを妨げる手段として遮蔽板２８を洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００６１】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図７（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００６２】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第２の実施形態にて図３を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【００６３】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。前述のように、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２は出来る限り近づけることが望ましい。しかし、洗浄ヘッド２１の先端はプラズマ放電時３００℃から４００℃程度まで温度が上昇する。一方、塗布ヘッド２２は封止接着剤５の粘度を安定化するため３０℃から４０℃程度に温度調整されている。よって、高温の洗浄ヘッド２１を低温の塗布ヘッド２２に接近させると封止接着剤５の粘度異常の発生、またノズル先端に付着した封止接着剤５が硬化などの不具合を引き起こす可能性がある。そこで、本実施形態では洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８を具備することにより洗浄ヘッド２１の先端より輻射および対流による熱の伝導を妨げることができる。このため封止接着剤５の温度変化による粘度の変化を抑制できる。さらに遮蔽板２８は洗浄ヘッド２１で発生した熱を逃がす放熱板としての役割も持つ。よって、特に洗浄速度を上げるために洗浄ヘッド２１の出力を高め洗浄ヘッド２１の温度が高温になる場合に有効である。
【００６４】
また、プラズマ洗浄によるパネル１９への熱の影響も考えると、パネル１９の温度によって濡れ性は変化するため、温度にばらつきがでると安定した塗布が行えなくなり、製品（ディスプレイ装置）の信頼性が低下する場合や、熱による歪などの影響がでる場合などを引き起こす可能性がある。そこで、遮蔽板２８を設けることで、洗浄ヘッド２１で発生した熱及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部からの輻射および対流による熱の伝導を妨げることができ、封止接着剤５の塗布部に及ぼす熱の影響を妨げることができる。
【００６５】
本実施形態では遮蔽板の材料としてステンレス鋼を用いた。遮蔽板に、遮熱性能を優先して、熱伝導率の小さい材料を用いてもよく、放熱性能を優先して熱伝導率の大きい材料を用いてもよい。
【００６６】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００６７】
加えて、遮蔽板を設けることによって、洗浄ヘッドで発生した熱の輻射及び対流による伝導を妨げることができ、被照射塗布材の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。
【００６８】
（第４の実施形態）
図８（ａ）に示す第４の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吸引口２９を具備することを特徴とする。
【００６９】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１で発生した熱が塗布ヘッド２２へ移動するのを妨げる手段として吸引口２９を、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００７０】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図８（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び吸引口２９が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００７１】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図９に示すフローチャートを参照して説明する。ロボット装置２３にて移動体２４に設置された洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させる（Ｓ１）。次いで、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行しようとする方向後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、吸引口２９による吸引を開始し（Ｓ４ａ）、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄及び吸引を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄及び吸引を行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄、塗布及び吸引を行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布及び吸引を行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。このとき、吸引口２９による吸引も終了する（Ｓ１０ａ）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【００７２】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。本実施形態においては、洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された吸引口２９によって、洗浄により排出される水蒸気や有機化合物などを周囲のプラズマ洗浄によって熱された空気と共に吸引することができる。このため、それらが洗浄面３２に再付着することを防止し、封止後の製品における信頼性低下の防止効果を高めることができる。
【００７３】
加えて、洗浄ヘッド２１の先端はプラズマ放電時３００℃から４００℃程度まで温度が上昇する。よって、プラズマ洗浄によるパネル１９への熱の影響も考えると、パネル１９の温度によって濡れ性は変化するため、温度にばらつきがでると安定した塗布が行えなくなり、製品の信頼性が低下する場合や、熱による歪などの影響がでる場合などを引き起こす可能性がある。しかし、吸引口２９を設けることで、洗浄ヘッド２１の先端及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱からの対流による熱の伝導を妨げる。また、熱せられた空気を吸引することで周囲雰囲気の温度上昇を防ぎ、パネル１９の冷却を促すこともできる。これらため、吸引口２９を設けることで、このような洗浄ヘッド２１で発生した熱及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱の封止接着剤５塗布部への影響を妨げることができる。
【００７４】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００７５】
また、吸引口を設けることによって、洗浄ヘッドで発生した熱により高温となった大気を吸引し、装置内雰囲気の温度を低下させることで被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、洗浄により排出される水蒸気や有機化合物などを周囲の空気と一緒に吸引することで、これらが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００７６】
（第５の実施形態）
図１０（ａ）に示す第５の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吹き付けユニット３０を具備することを特徴とする。図１０（ｂ）に示すように、この吹き付けユニット３０がパネル１９と対向する面には、吹出口３１が具備されている。
【００７７】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１で発生した熱が塗布ヘッド２２へ移動するのを妨げる手段として、吹き付けユニット３０を洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００７８】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１０（ｃ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び吹き付けユニット３０が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００７９】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図１１に示すフローチャートを参照して説明する。ロボット装置２３にて洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させる（Ｓ１）。次いで、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行しようとする方向後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、吹き付けユニット３０による吹き付けを開始し（Ｓ４ｂ）、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄及び吹き付けを行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄、塗布及び吹き付けを行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布及び吹き付けを行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。このとき、吹き付けユニット３０による吹き付けも終了する（Ｓ１０ｂ）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【００８０】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。本実施形態ではさらに図１０（ｂ）に示した、吹き付けユニット３０の下面に具備された吹出口３１から乾燥した清浄な空気や窒素を洗浄部１０に向けて吹き付けることができる。これにより、洗浄により排出される水蒸気などや有機化合物が洗浄部１０に再付着することを防止する。さらに空気中の水蒸気の付着も防止することができ、清浄部１０が汚染される前に封止接着剤５を塗布することができる。さらに吹き付ける窒素に水素を混合することで水素終端効果による清浄部１０表面の保護が可能である。この方法によれば洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間隔を５００ｍｍ程度まで拡げることが可能であり、洗浄ヘッド２１からの熱による封止接着剤５の変質を防ぎ、洗浄効果を有したまま設備の設計制約を緩和することができる。
【００８１】
加えて、洗浄ヘッド２１の先端はプラズマ放電時３００℃から４００℃程度まで温度が上昇する。よって、プラズマ洗浄によるパネル１９への熱の影響も考えると、パネル１９の温度によって濡れ性は変化するため、温度にばらつきがでると安定した塗布が行えなくなり、製品の信頼性が低下する場合や、熱による歪などの影響がでる場合などを引き起こす可能性がある。しかし、吹き付けユニット３０から洗浄部１０に向けて吹き付けられる空気は、洗浄ヘッド２１の先端及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱からの対流による熱の伝導を妨げる。また、空気を吹き付けることで周囲雰囲気の温度上昇を防ぎ、パネル１９の冷却を促すこともできる。このため、吹き付けユニット３０を設けることで、このような洗浄ヘッド２１で発生した熱及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱の封止接着剤５塗布部への影響を妨げることができる。この場合、吹き付ける空気を特に加熱冷却しなくともよく、常温の空気を用いてよい。ただし、より好ましくは吹き付ける気体の温度を加熱冷却手段により調節することである。これによりパネル１９の温度をより調節することができる。
【００８２】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００８３】
さらに、吹き付けユニットを設けることによって、空気を吹き付けることで、洗浄ヘッドで発生した熱による装置内雰囲気の温度を低下させることができる。これにより被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、吹き付けユニットから乾燥した清浄な空気や窒素を吹きつけることにより、洗浄によって排出される水蒸気や有機化合物などが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００８４】
（第６の実施形態）
図１２（ａ）に示す第６の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吸引口２９とを具備することを特徴とする。
【００８５】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吸引口２９とを具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００８６】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１２（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１、塗布ヘッド２２、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８及び遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吸引口２９が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００８７】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第４の実施形態にて図９を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【００８８】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２の実施形態、第３の実施形態及び第４の実施形態と同様である。
【００８９】
本実施形態では吸引口２９より吸引した気体は排気パイプ３２を経由して洗浄ヘッド２１に導入することでヘッドの冷却を行なう。このため洗浄ヘッド２１の冷却機構を追加する必要がなくなり、洗浄ヘッド２１を小型化することが可能である。この場合、排出物によってヘッド内部が汚染されるため吸引パイプ内部にフィルターを挿入する必要がある。
【００９０】
ここで、放電部の風速と洗浄能力の相関を図１３に示す。大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。つまり、本実施形態のように遮蔽板２８を用いることで、吸引口２９からの吸引による空気の乱れが大気圧プラズマ９の放電部における雰囲気の乱れに影響するのを抑制することができる。このため雰囲気の乱れによる大気圧プラズマ９の乱れを防ぐことができ、安定した洗浄能力を維持することが可能である。
【００９１】
以上のことから本実施形態において、第３の実施形態及び第４の実施形態に係る洗浄塗布装置の両方によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００９２】
さらに、遮蔽板と吸引口を併せ持つことで、吸引口による空気の乱れを遮蔽板によって大気圧プラズマ照射部へ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【００９３】
（第７の実施形態）
図１４（ａ）に示す第７の実施形態に係る洗浄塗布装置は、被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０とを具備することを特徴とする。
【００９４】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０とを具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００９５】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１４（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１、塗布ヘッド２２、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８及び遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００９６】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第５の実施形態にて図１１を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【００９７】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２の実施形態、第３の実施形態及び第５の実施形態と同様である。
【００９８】
図１３で示したように、大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。つまり、本実施形態のように遮蔽板２８を用いることで、吹出口３１からの吹出による空気の乱れが大気圧プラズマ９の放電部における雰囲気の乱れに影響するのを抑制することができる。このため雰囲気の乱れによる大気圧プラズマ９の乱れを防ぐことができ、安定した洗浄能力を維持することが可能である。
【００９９】
以上のことから本実施形態において、第３の実施形態及び第５の実施形態に係る洗浄塗布装置の両方によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１００】
さらに、遮蔽板と吹き付けユニットを併せ持つことで、吹き付けユニットによる空気の乱れを遮蔽板によって大気圧プラズマ照射部へ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【０１０１】
（第８の実施形態）
図１５（ａ）に示す第８の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吹き付けユニット３０と吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備することを特徴とする。
【０１０２】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吹き付けユニット３０と吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０３】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１５（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び吸引口２９及び吹き付けユニット３０が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１０４】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図１６に示すフローチャートを参照して説明する。ロボット装置２３にて洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させる（Ｓ１）、次いで塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行しようとする方向後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、吸引口２９による吸引及び、吹き付けユニット３０による吹き付けを開始し（Ｓ４ｃ）、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄及び吸引・吹き付けを行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄、塗布及び吸引・吹き付けを行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布及び吸引・吹き付けを行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。このとき、吸引口２９による吸引及び、吹き付けユニット３０による吹き付けも終了する（Ｓ１０ｃ）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【０１０５】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２の実施形態、第４の実施形態及び第５の実施形態と同様である。
【０１０６】
図１３で示したように、大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。
【０１０７】
本実施形態において、吸引口２９を吹き付けユニット３０の両側に配することで吹き付けユニット３０から吸引口２９への気流を形成する。これによって、空気の乱れによってバラツキを生じる大気圧プラズマ９の放電部の風速を低減することができる。加えて洗浄によって生じた排出物の除去能力を強化することができる。
【０１０８】
さらに吸引口２９より吸引した気体は排気パイプ３２を経由して洗浄ヘッド２１に導入することでヘッドの冷却を行なう。このため洗浄ヘッド２１の冷却機構を追加する必要がなくなり、洗浄ヘッド２１を小型化することが可能である。この場合、排出物によってヘッド内部が汚染されるため吸引パイプ内部にフィルターを挿入する必要がある。
【０１０９】
また、吸引口２９と吹き付けユニット３０を併設することで、気流の流れを作りより効果的にパネル１９の冷却効果を得ることができる。
【０１１０】
以上のことから本実施形態において、第４の実施形態及び第５の実施形態に係る洗浄塗布装置の両方によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１１１】
加えて、吸引口と吹き付けユニットを併設することで、気流の流れを作り、より効果的に上記の冷却効果を得ることができる。
【０１１２】
（第９の実施形態）
図１７（ａ）に示す第９の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０と、吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備することを特徴とする。
【０１１３】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０と、吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１１４】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１７（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８及び、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０及び吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１１５】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第８の実施形態にて図１６を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【０１１６】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２から第８の実施形態と同様である。
【０１１７】
図１３で示したように、大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。つまり、遮蔽板２８を用いることで、吹き付けユニット３０及び吸引口２９からの吹出、吸及び洗浄ヘッド２１を移動させながら洗浄した場合におけるヘッドの移動による空気の乱れによる空気の乱れが大気圧プラズマ９の放電部における雰囲気の乱れに影響するのを抑制することができる。このため雰囲気の乱れによる大気圧プラズマ９の乱れを防ぐことができ、安定した洗浄能力を維持することが可能である。
【０１１８】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態から第８の実施形態に係る洗浄塗布装置の全てによって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１１９】
さらに、吹き付けユニットや吸引口、洗浄ヘッドの移動による空気の乱れを遮蔽板によって大気圧プラズマ照射部へ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【０１２０】
（第１０の実施形態）
図１８（ａ）に示す第１０の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に弾性体つき遮蔽板３３を具備することを特徴とする。弾性体つき遮蔽板３３には、図１８（ａ）に示すように、その先端に弾性体３３ａが設けられている。
【０１２１】
本実施形態では、遮蔽板として弾性体つき遮蔽板３３を具備した点で第３の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１２２】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１８（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１２３】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第２の実施形態にて図３を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【０１２４】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第３の実施形態と同様である。また、弾性体つき遮蔽板３３の弾性体３３ａはシリコンゴムなどで構成されており、生産中に万が一弾性体つき遮蔽板３３がパネル１９と接触した場合でもパネル１９の破壊を防止することができる。より好ましくは接触時における弾性体つき遮蔽板３３とパネル１９との摩擦を小さくするように弾性体つき遮蔽板３３下部にポリテトラフルオロエチレン等でコーティング加工をすると良い。
【０１２５】
以上のことから本実施形態において、第３の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１２６】
加えて、遮蔽板の有する弾性体が、遮蔽板とパネルが接触した場合でもその衝撃を和らげパネルを破壊しにくくすることができる。
【０１２７】
なお、本実施形態に係る弾性体つき遮蔽板３３を他の第６、第７、又は第９の実施形態などに用いてもよい。これらの場合でも上記の効果を奏することができる。
【０１２８】
（第１１の実施形態）
図１９（ａ）に示す第１１の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射し清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１の進行方向の前側に高さ測定ヘッド３４を具備することを特徴とする。
【０１２９】
本実施形態１１では洗浄ヘッド２１の進行方向の前側に高さ測定ヘッド３４を具備した点で、前記第１〜１０の実施形態における場合と異なっている。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１３０】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１９（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２が設置されている。この移動体２４はロボット装置２３により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２とパネル１９（被照射体）との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１３１】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、図３に示すフローチャートのうち、ロボット装置２３にて洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させ、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に位置するよう移動体２４がロボット装置２３によって回転させられると共に、高さ測定ヘッド３４の情報に基づきパネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される（Ｓ２）点に特徴がある。
【０１３２】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。ただし、洗浄塗布工程においてパネル１９の反りや凹凸がある場合に洗浄能力が変化することがある。具体的にはパネル１９と洗浄ヘッド２１の距離が離れると洗浄能力が落ち、これらの距離が近づくと洗浄能力は強くなる。また塗布ヘッド２２はパネル１９との距離が遠くなるほど吐出した封止接着剤５にボイドを巻き込みやすくなる。そこで本実施形態では洗浄ヘッド２１の進行方向前方に高さ測定ヘッド３４を具備する。
【０１３３】
この高さ測定ヘッド３４による洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２とパネル１９との高さ調節に関して図２０に示すフローチャートを用いて説明する。
【０１３４】
動作が開始されると（Ｓ２１）、高さ測定ヘッド３４はレーザー３５によってパネル１９の位置と当該位置における高さ情報を読み取る（Ｓ２２）。読み取った情報に基づき、高さヘッド３４と洗浄ヘッド２１との距離や、洗浄ヘッドの移動速度等の所定のパラメーターから計算して求めた洗浄ヘッド２１の位置する場所におけるパネル１９からの高さが、予め定めておいた高さに位置するか否かの判定を行い（Ｓ２３）、位置していなければ、洗浄ヘッド２１の高さが所定の位置になるよう調節される（Ｓ２３ａ）。同様に塗布ヘッド２２についても、読み取った情報に基づき、高さヘッド３４と塗布ヘッド２２との距離や、塗布ヘッド２２の移動速度等の所定のパラメーターから計算して求めたパネル１９からの高さが所定の位置にあるか否か判定を行う（Ｓ２４）。位置していなければ塗布ヘッド２２の高さが所定の位置になるよう調節される（Ｓ２４ａ）。これらの高さ測定ヘッド３４による測定及び両ヘッドの調節は、塗布ヘッド２２による塗布工程が終了するまで繰り返される（Ｓ２５）。そして、塗布終了に伴って動作が終了する（Ｓ２６）。
【０１３５】
以上から本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１３６】
加えて、パネル１９に反りや凹凸があっても洗浄塗布工程を安定して行うことができ、幅広い種類のパネル１９に対応することが可能となる。
【０１３７】
なお、高さ測定ヘッド３４による測定は、洗浄とは独立して接続部２７に対して一気に行ってもよく、高さの測定を随時行いながら、洗浄を行ってもよい。
【０１３８】
また、高さ測定ヘッド３４からの情報に基づくヘッドの調整は、回転伸縮部２５で行ってもよい。係る動作であれば、少ない構成で上述の作用を奏することができるため、設備の小型化も図ることが可能となる。若しくは、新たに洗浄ヘッド駆動部又は塗布ヘッド駆動部又はその両方を用いて、洗浄ヘッド２１とパネル１９との調節、塗布ヘッド２２とパネル１９の調節をそれぞれ独立して行っても良い。係る構成によれば、図２０で示したフローチャートの高さ測定後（Ｓ２２）、この測定情報によって、予め設定されたヘッドの移動速度や、ヘッド間の設置距離情報等に基づいて、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２をより高精度に調整できるため、洗浄工程及び塗布工程において、より信頼性を向上させることができる。
【０１３９】
この場合、パネル１９からの洗浄ヘッド２１の高さ及び塗布ヘッド２２の高さを２〜２０ｍｍに調節するのが望ましい。
【０１４０】
なお、実施形態１〜１１にかけて洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２を移動させてパネル１９に対し洗浄及び塗布を行ったが、これらの洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２を固定して、搬送手段２６によってパネルを移動させ、前述のような洗浄塗布工程を行っても良い。
【０１４１】
また、本実施の形態において洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２が移動体２４に設置されている間隔は不変であるが、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に、両者の距離が可変となるような機構を設けても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１４２】
以上のように本発明は、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができ、封止接着剤の濡れ性・接着強度・信頼性の低下の課題を解決することができる洗浄塗布装置として有用である。
【符号の説明】
【０１４３】
３ ガラス電極
４ フレキシブル基板（ＦＰＣ）
９ 大気圧プラズマ
１５ ＵＶ光
１６ ＵＶ光ランプ
１９ パネル
２０ 洗浄因子
２１ 洗浄ヘッド
２２ 塗布ヘッド
２４ 移動体
２５ 回転伸縮部
２６ 搬送手段
２８ 遮蔽板
２９ 吸引口
３０ 吹き付けユニット
３１ 吹出口
３３ 弾性体つき遮蔽板
３４ 高さ測定ヘッド
【技術分野】
【０００１】
本発明は接合部を封止する洗浄塗布工程に用いる洗浄塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ装置やプラズマディスプレイ装置などで代表されるフラットパネルディスプレイ装置は、表示ディスプレイとして主流になってきている。このようなフラットパネルディスプレイ装置に画像表示部位として用いられるパネルは、一般的に２枚のガラスを張り合わせた構造を取るために、パネル端部に電圧あるいは信号を印加するための電極を引き出す必要がある。そしてこの電極引出部にフレキシブル配線板（以下ＦＰＣとする）等が接続され、駆動回路装置等と連結している。
【０００３】
例えば、プラズマディスプレイ装置に用いられるパネルでは、表示電極群を配した前面基板と、アドレス電極群を配した背面基板を、これら電極群が直交するように対向配置し、かつ基板間に放電空間を形成して封止される。そして各辺のパネル端部に表示電極群、アドレス電極群の電極引出部を形成している。この電極群に異方性導電封止接着剤でＦＰＣを接着しており、このＦＰＣを介して電極引出部と駆動回路装置が接続されている。さらに、電極引出部とＦＰＣの接続部分の絶縁保護及び外力による剥離防止を目的として、この接続部分を覆うように熱硬化型やＵＶ光硬化型の樹脂などの封止接着剤を設けている（例えば特許文献１参照）。通常は、この封止接着剤の濡れ性を向上するため、塗布工程の前段に封止する部分を洗浄する洗浄工程を配する。具体的に、ディスプレイ装置が洗浄装置での洗浄工程ののちに塗布装置に搬送されて塗布工程が施されている（例えば特許文献２参照）。塗布工程の後段には封止接着剤を硬化する硬化工程がある。硬化工程の方式は封止接着剤の種類に合わせて加熱やＵＶ光照射などがある。
【０００４】
このような従来方法では洗浄工程から塗布工程への設備間の搬送が必要であった。従来の工程について洗浄工程に大気圧プラズマを用いた場合について図２１を用いて説明する。図２１（ａ）に洗浄工程前におけるパネル端部において、前面板１と背面板２とこれらに設置される電極引出部であるガラス電極３と、ＦＰＣ４の構成を示す。図２１（ｂ）に洗浄工程について示す。図２１（ｃ）には洗浄工程後のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態について示す。図２１（ｄ）に洗浄工程後、塗布工程への設備の搬送時におけるガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態を示す。図２１（ｅ）に塗布工程において、ガラス電極３及びＦＰＣ４に封止接着剤５を塗布した状態を示す。図２１（ｆ）に通電した場合のガラス電極３及びＦＰＣ４の状態を示す。
【０００５】
図２１（ａ）に示したように、洗浄前のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面は有機物６又は水７等の汚染物質が付着している。よって、図２１（ｂ）に示すように、これら汚染物質に向けて、大気圧プラズマ９を照射して汚染物質を除去する。大気圧プラズマ洗浄に用いるガスはアルゴン８などが挙げられる。この洗浄工程によって、ガラス電極３及びＦＰＣ４から有機物６等の汚染物質が除去され、図２１（ｃ）に示すように、これらの表面に清浄部１０が露出する。また、ＦＰＣ４の表面には大気圧プラズマ９が照射されたことによって、カルボニル基１１やカルボキシル基１２などに代表される親水基が形成される。しかし、これらの清浄部１０は汚染物質が付着しやすいため、図２１（ｄ）に示すように、搬送中に水７や導電性異物１３が再付着してしまうことがある。よって、図２１（ｅ）に示すように、その後の塗布工程において封止接着剤５を塗布すると水７や導電性異物１３がガラス電極３及びＦＰＣ４の付近に閉じ込められる可能性がある。これらを放置すれば、図２１（ｆ）に示すようにリーク電流１４が流れ、ショートや長期使用によるエレクトロマイグレーションなど、接合部の信頼性が著しく低下する場合がある。
【０００６】
次に、洗浄工程にＵＶ光１５を用いる場合について図２２を用いて説明する。図２２（ａ）に洗浄工程前におけるパネル端部において、前面板１と背面板２と、これらに設置される電極引出部であるガラス電極３と、ＦＰＣ４の構成を示す。図２２（ｂ）に洗浄工程について示す。図２２（ｃ）には洗浄工程後のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態について示す。図２２（ｄ）に洗浄工程後、塗布工程への設備の搬送時におけるガラス電極３及びＦＰＣ４の表面状態を示す。図２２（ｅ）に塗布工程において、ガラス電極３及びＦＰＣ４に封止接着剤５を塗布した状態を示す。図２２（ｆ）に通電した場合のガラス電極３及びＦＰＣ４の状態を示す。
【０００７】
洗浄前のガラス電極３及びＦＰＣ４の表面には図２２（ａ）に示したように、有機物６又は水７等の汚染物質が付着している。よって、図２２（ｂ）に示したように、これら汚染物質に向けて、波長２５４ｎｍのＵＶ光１５をＵＶ光ランプ１６により照射する。このＵＶ光１５により空気中の酸素が活性化されオゾン１７が精製される。このオゾン１７による汚染物質の酸化による除去とＵＶ光１５の直接照射による汚染物質の分解によって、ガラス電極３及びＦＰＣ４から有機物６等の汚染物質が除去され、図２２（ｃ）に示したように、これらの表面に清浄部１０が露出する。また、ＦＰＣ４の表面にはＵＶ光１５が照射されたことによって、カルボニル基１１やカルボキシル基１２などに代表される親水基が形成される。しかし、ＵＶ光１５は過剰に照射するとＦＰＣ４表面近傍に脆弱層１８を形成しやすいことが知られている。また、これらの清浄部１０は汚染物質が付着しやすいため、図２２（ｄ）に示したように、搬送中に水７や導電性異物１３が再付着してしまうことがある。よって、図２２（ｅ）に示したように、その後の塗布工程において封止接着剤５を塗布すると水７や導電性異物１３がガラス電極３及びＦＰＣ４の付近に閉じ込められる可能性がある。これらを放置すれば、図２２（ｆ）に示すようにリーク電流１４が流れ、ショートや長期使用によるエレクトロマイグレーションなど、接合部の信頼性が著しく低下してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１５１５４８号公報
【特許文献２】国際公開第２００８／１４２８３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
以上のように前記従来方法では、洗浄後におけるガラス電極及びＦＰＣなどの表面に露出する清浄部は汚染物質が付着しやすい特性を有するため、洗浄工程から塗布工程への設備間の搬送作業中に、洗浄面へ汚染物質の再付着が発生しうる。この再付着した汚染物質によって、塗布工程における封止接着剤の濡れ性の悪化や、接着強度不足、接合部の信頼性が低下してしまう問題が生じることがあった。
【００１０】
そこで本発明はこの課題に着目し、洗浄工程後の塗布工程においても、清浄部に汚染物質の再付着を防ぐことで、封止接着剤の濡れ性を向上させ、接着強度不足を改善し、接合部の信頼性を向上させることができる洗浄塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明に係る洗浄塗布装置は被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備することを特徴とするものである。
【００１２】
この構成により、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程と塗布工程の間に搬送工程を含まず、一つの装置で洗浄塗布工程が行えるため、工程及び設備の簡易化が可能である。
【００１３】
また、好ましくは前記洗浄ヘッドに大気圧プラズマ洗浄ヘッドを用いたことを特徴とする。
【００１４】
前記構成によれば、塗布工程で塗布する封止接着剤にＵＶ光硬化型樹脂を用いた場合においても、洗浄工程後直ぐに塗布工程を行うことができる。また、ＵＶ光ランプを用いた装置に比べてランニングコストが安く済む。
【００１５】
また、好ましくは前記大気圧プラズマ洗浄ヘッドと前記塗布ヘッドの間に遮熱手段を設けたことを特徴とする。
【００１６】
前記構成によれば、大気圧プラズマ洗浄ヘッドで発生した熱が被照射塗布面であるパネル及び塗布ヘッドに装填された封止接着剤に熱を伝えにくくすることができ、被照射塗布材の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。
【００１７】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板を具備したこと特徴とする。
【００１８】
前記構成によれば、大気圧プラズマ洗浄ヘッドで発生した熱の輻射及び対流による伝導を妨げることができ、被照射塗布材の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。
【００１９】
また、好ましくは前記遮熱手段として吸引口を具備したことを特徴とする。
【００２０】
前記構成によれば、大気圧プラズマ洗浄ヘッドで発生した熱により高温となった空気を吸引し、装置内雰囲気の温度を低下させることで被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、洗浄により排出される水蒸気や有機化合物などを周囲の空気と一緒に吸引することで、これらが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００２１】
また、好ましくは前記遮熱手段としてガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする。
【００２２】
前記構成によれば、吹出口から空気を吹き付けることで、洗浄ヘッドで発生した熱による装置内雰囲気の温度を低下させることができる。これにより被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、吹出口から乾燥した清浄な空気や窒素を吹きつけることにより、洗浄によって排出される水蒸気や有機化合物などが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００２３】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板と吸引口を具備したことを特徴とする。
【００２４】
前記構成によれば前記遮蔽板を設けた場合の作用効果と前記吸引口を設けた場合の作用効果を有することができる。また、大気圧プラズマ洗浄ヘッドは空気の流れがある場合、その洗浄能力が低下してしまう場合がある。ゆえに、吸引口による空気の流れを遮蔽板によって大気圧プラズマ洗浄ヘッドへ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【００２５】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする。
【００２６】
前記構成によれば前記遮熱手段として前記遮蔽板を設けた場合の作用効果と前記吹出口を設けた場合の作用効果を有することができる。また、吹出口による空気の流れを遮蔽板によって大気圧プラズマ洗浄ヘッドへ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【００２７】
また、好ましくは前記遮熱手段として吸引口とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする。
【００２８】
前記構成によれば前記遮熱手段として前記吸引口を設けた場合の作用効果と前記吹出口を設けた場合の作用効果を有することができる。さらに、吹出口から吹きつけた空気を吸引口で吸引することで、空気の流れを制御し、大気圧プラズマ洗浄ヘッドでの空気の乱れを防ぐことができる。
【００２９】
また、好ましくは前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口と吸引口を具備したことを特徴とする。
【００３０】
前記構成によれば前記遮熱手段として前記遮蔽板を設けた場合の作用効果と前記吹出口を設けた場合の作用効果と前記吸引口を設けた場合の作用効果を有することができる。ゆえに、より効果的に洗浄効率を上げることができる。
【００３１】
また、好ましくは前記遮熱板の下部に弾性体を有することを特徴とする。
【００３２】
前記構成によれば生産中に遮蔽板がＦＰＣやガラス電極の配設されているパネルと接触した場合にパネルの破壊を防止することができる。
【００３３】
また、好ましくは前記被照射体との距離を測定する高さセンサと前記高さセンサからの入力により前記洗浄ヘッド及び前記塗布ヘッドと被照射体との距離を変化させる駆動部を具備することを特徴とする。
【００３４】
前記構成によれば、高さセンサが読み取った被照射体の形状に合わせて、前記洗浄ヘッド及び前記塗布ヘッドの高さを調節することができるため、より精度の高い洗浄塗布工程を行うことができる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように本発明は洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備することにより、洗浄工程後直ぐに塗布工程をおこなうことができる。これにより、洗浄後の清浄部に水や導電性異物が再付着するのを軽減することができ、濡れ性・接着強度・信頼性の低下の課題を解決できる。
【００３６】
また付加的な効果として余分な洗浄エネルギーを必要とせず省エネルギー効果がある。さらに２つの設備を１つにするため設備の設置面積を削減する事も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る洗浄塗布装置の要部構成を示す模式図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る洗浄塗布装置の洗浄塗布動作を表す模式図で、（ａ）平面図、（ｂ）側面図
【図３】本発明の第１の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図４】本発明の第１の実施形態に係るＵＶ光洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）ＵＶ光を照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）封止接着剤を塗布した模式図
【図５】本発明の第２の実施形態に係る洗浄塗布装置の要部構成を示す模式図
【図６】本発明の第２の実施形態に係る大気圧プラズマ洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）大気圧プラズマを照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）封止接着剤を塗布した模式図
【図７】本発明の第３の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図８】本発明の第４の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図９】本発明の第４の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図１０】本発明の第５の実施形態に係る塗布洗浄装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）吹き付けユニットに設置した吹出口の模式図、（ｃ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１１】本発明の第５の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図１２】本発明の第６の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１３】本発明の洗浄能力と放電部での空気の流れの相関図
【図１４】本発明の第７の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１５】本発明の第８の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１６】本発明の第８の実施形態に係る塗布洗浄工程の動作を説明するフローチャート
【図１７】本発明の第９の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す要部を破断した側面図
【図１８】本発明の第１０の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図１９】本発明の第１１の実施形態に係る洗浄塗布装置を示す図で、（ａ）要部構成を示す模式図、（ｂ）洗浄塗布動作を表す側面図
【図２０】本発明の第１１の実施形態に係る塗布洗浄工程における高さ測定の動作を説明するフローチャート
【図２１】従来例に係る大気圧プラズマ洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）大気圧プラズマを照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）搬送工程中に汚染物質が再付着した模式図、（ｅ）封止接着剤を塗布した模式図、（ｆ）通電時の模式図
【図２２】従来例に係るＵＶ光洗浄工程におけるパネルの状態を示す模式図で、（ａ）洗浄前の模式図、（ｂ）ＵＶ光を照射した模式図、（ｃ）洗浄後の模式図、（ｄ）搬送工程中に汚染物質が再付着した模式図、（ｅ）封止接着剤を塗布した模式図、（ｆ）通電時の模式図
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施形態について図１〜図２０に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施形態では、ディスプレイ装置として、プラズマディスプレイ装置を例にして説明するが、必ずしもこれに限らず、液晶ディスプレイ装置、有機ＥＬディスプレイ装置等、他のディスプレイ装置であってもよい。
【００３９】
（第１の実施形態）
図１に示す本発明の第１の実施形態に係る洗浄塗布装置は、被照射部であるＦＰＣ及びガラス電極の配設されているパネル１９に洗浄因子２０を部分照射し清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２を具備することを特徴とする。
【００４０】
さらに、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図２（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。
【００４１】
同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２とパネル１９（被照射体）との高さ方向の距離も調節可能である。洗浄及び塗布を行うべきパネル１９におけるガラス電極の電極引出部とＦＰＣ４との接続部２７の一例を図２（ａ）に示す。
【００４２】
また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００４３】
この場合、制御部によって記憶部に予め記憶された動作プログラムや制御データに基づいて、ロボット装置２３の動作制御を行い、接続部２７に洗浄及び塗布を行う。
【００４４】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図３に示すフローチャートを参照して説明する。まず、ロボット装置２３にて移動体２４に設置された洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７（被処理部）に向けて移動させる（Ｓ１）。次いで、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、洗浄ヘッド２１から洗浄因子２０を放出しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄のみを行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄及び塗布を行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から洗浄因子２０の放出を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布のみを行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【００４５】
この場合、パネル１９における洗浄開始点と塗布開始点、及び洗浄終了点と塗布終了点は一致する。なお、これらの位置をずらして、洗浄する部分を塗布する部分よりも長くしてもよい。また、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間隔は常に一定である。
【００４６】
次に、洗浄塗布工程について具体的に説明する。図１に示したように、洗浄ヘッド２１からは洗浄因子２０が放出されている。この洗浄因子２０の例としてはＵＶ光や大気圧プラズマが挙げられる。洗浄因子２０を洗浄ヘッド２１から放出した状態で接続部２７に対して洗浄ヘッド２１を移動させ、ライン状に洗浄を行なう。ここでは洗浄因子としてＵＶ光を用いた場合について図４を用いて説明する。図４（ａ）は洗浄前の接続部２７におけるガラス電極３及びＦＰＣ４に有機物６及び水７などの汚染物質が付着した状態を示す。この状態の接続部２７に図４（ｂ）に示すように、ＵＶ光１５がＵＶ光ランプ１６から汚染物質である有機物６に照射されると有機物６の結合が切れる。さらに空気中の酸素にＵＶ光１５が照射されると酸素の結合が切れ酸素原子状態となり、酸素原子が他の酸素と結合してオゾン１７が発生する。このオゾン１７は有機物６の結合を切ると共に有機物６と結合し二酸化炭素や水蒸気として有機物６を除去する効果を持つ。これによって清浄化された清浄部１０を図４（ｃ）に示す。この清浄部１０は洗浄前に比較して樹脂の濡れを妨げる汚染物質が除去されて、ＦＰＣ４の表面にカルボニル基１１やカルボキシル基１２に代表される親水基を形成する。また、ガラス電極３およびパネル１９の材質であるガラスの主成分ＳｉＯ２も露出する。こうして、清浄部１０では洗浄前よりも濡れ性を向上させることができる。
【００４７】
次に、図４（ｄ）に示すように、従来の方法で説明した図２２で説明した有機物６や水７や導電性異物１３等が再付着しないよう、洗浄直後に、清浄部１０へ封止接着剤５を塗布する。条件によるが、好ましくは洗浄後５秒以内に塗布を行うのが望ましい。
【００４８】
また、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を遠ざけすぎると洗浄による効果が小さくなってしまう。よって、好ましくは洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間を２０ｍｍから３００ｍｍの距離に両ヘッドを配置する。なお、本実施形態では物理的な制限により最小のヘッド間距離を２０ｍｍとしたが、設備を小型化して、この距離を更に近づけてもよい。ただし、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を近づけ過ぎると、洗浄雰囲気に封止接着剤が影響を及ぼして十分な洗浄効果を得られない場合や、封止接着剤が洗浄によって発生した二酸化炭素や水蒸気を巻き込んでしまう場合などが生じるため、これらに留意して両ヘッドを配設すべきである。
【００４９】
また、ＵＶ光１５によって洗浄された清浄部１０の幅は洗浄因子２０の幅とほぼ同じになる。封止接着剤５は塗布後にパネル１９上で濡れ広がる傾向があり、例えば清浄部１０の内側にライン状に塗布すると、濡れ性の上がった清浄部１０とパネル１９のその他の部分との濡れ性の差のため清浄部１０より外側に封止接着剤５がはみ出しにくくなる。つまり洗浄因子２０をコントロールし清浄部１０の幅を調整することで封止接着剤５の広がり幅を可変とすることができる。
【００５０】
以上のことから本実施形態のように、被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッドと、洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備することを特徴とする洗浄塗布装置を用いることで、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程と塗布工程の間に搬送工程を含まず、一つの装置で洗浄塗布工程が行えるため、工程及び設備の簡易化が可能である。
【００５１】
（第２の実施形態）
図５に示す第２の実施形態に係る洗浄塗布装置は、被照射部であるＦＰＣ４及びガラス電極の配設されているパネル１９に部分照射し清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２を具備することを特徴とする。
【００５２】
本実施形態では、洗浄因子として大気圧プラズマ９を用いた点で第１の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００５３】
また、その洗浄及び塗布動作も図３に示すフローチャートのうち、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）ことと、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）ことが異なるが、その他の動作は第１の実施形態と同様の動作を行う。
【００５４】
次に、洗浄塗布工程について説明する。図５に示したように洗浄ヘッド２１からは大気圧プラズマ９が放出されている。大気圧プラズマ９の放電方式は代表例としてコロナ放電・誘電体バリア放電・容量結合型放電・誘導結合型放電などが挙げられる。それぞれ電極形状や放電状態によって種別される。また大気圧プラズマ９に用いるガスは窒素・アルゴン・酸素・二酸化炭素・空気などが上げられ、それぞれ被照射体の物質や汚染物の物質によって使い分けられる。装置の小型化が図れるガスとしてアルゴンを用いた場合について図６を用いて説明する。図６（ａ）は洗浄前の接続部２７におけるガラス電極３及びＦＰＣ４に有機物６及び水７などの汚染物質が付着した状態を示す。この状態のガラス電極３及びＦＰＣ４に対して図６（ｂ）に示すように、放電によって形成したアルゴンプラズマの中で活性化したアルゴン８を有機物に接触させると有機物６の結合を切ることができる。さらにアルゴン８の接触によって空気中の酸素も結合を切って酸素原子を形成し、この酸素原子によって有機物６の結合を切ることができ、二酸化炭素や水蒸気に分解して除去する。こうして図６（ｃ）に示すように清浄部１０が露出することになる。清浄部１０では洗浄前に比較して樹脂の濡れを妨げる有機物汚染が除去されて、ガラス電極３の材質であるガラスの主成分ＳｉＯ２が露出する。こうして清浄部１０は洗浄前よりも濡れ性が向上する。また、被照射体がＦＰＣ４のように有機物であった場合は、前述のように汚染物質を取り去ると共にＦＰＣ４の表面にカルボニル基１１やカルボキシル基１２に代表される親水基を形成する。これらの親水基により濡れ性は向上する。
【００５５】
その後再び有機物等が付着しないよう、洗浄直後に、図６（ｄ）に示すように、清浄部１０へ封止接着剤５を塗布する。なお、条件によるが、好ましくは洗浄後５秒以内に塗布を行うのが望ましい。この場合、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を遠ざけすぎると洗浄による効果が小さくなってしまう。よって、好ましくは洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間を２０ｍｍから３００ｍｍの距離に両ヘッドを配置する。なお、本実施形態では物理的な制限により最小のヘッド間距離を２０ｍｍとしたが、設備を小型化して、この距離を更に近づけてもよい。ただし、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の距離を近づけ過ぎると、洗浄雰囲気に封止接着剤が影響を及ぼして十分な洗浄効果を得られない場合や、封止接着剤が洗浄によって発生した二酸化炭素や水蒸気を巻き込んでしまう場合などが生じるため、これらに留意して両ヘッドを配設すべきである。
【００５６】
また、清浄部１０の幅は大気圧プラズマ９の幅とほぼ同じになるが、封止接着剤５は塗布後のパネル１９上で濡れ広がる傾向がある。例えば清浄部１０の内側にライン状に塗布すると、濡れ性の上がった清浄部１０とパネル１９のその他の部分との濡れ性の差のため清浄部１０より外側に封止接着剤５がはみ出しにくくなる。つまり大気圧プラズマ９をコントロールし清浄部１０の幅を調整することで封止接着剤５の広がり幅を可変とすることができる。
【００５７】
以上のことから本実施形態において、第１の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００５８】
加えて、塗布工程で塗布する封止接着剤にＵＶ光硬化型樹脂を用いた場合においても、洗浄工程にＵＶ光を使用しないため、洗浄工程で照射したＵＶ光の影響によってＵＶ光硬化型樹脂が硬化してしまう問題が発生しない。よって洗浄工程後直ぐに塗布工程を行うことができる。また、洗浄工程にＵＶ光ランプを用いた装置に比べランニングコストを安く済ませることができる。
【００５９】
（第３の実施形態）
図７（ａ）に示す第３の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるＦＰＣ４及びガラス電極の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８を具備することを特徴とする。
【００６０】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１で発生した熱が塗布ヘッド２２へ移動するのを妨げる手段として遮蔽板２８を洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００６１】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図７（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００６２】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第２の実施形態にて図３を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【００６３】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。前述のように、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２は出来る限り近づけることが望ましい。しかし、洗浄ヘッド２１の先端はプラズマ放電時３００℃から４００℃程度まで温度が上昇する。一方、塗布ヘッド２２は封止接着剤５の粘度を安定化するため３０℃から４０℃程度に温度調整されている。よって、高温の洗浄ヘッド２１を低温の塗布ヘッド２２に接近させると封止接着剤５の粘度異常の発生、またノズル先端に付着した封止接着剤５が硬化などの不具合を引き起こす可能性がある。そこで、本実施形態では洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８を具備することにより洗浄ヘッド２１の先端より輻射および対流による熱の伝導を妨げることができる。このため封止接着剤５の温度変化による粘度の変化を抑制できる。さらに遮蔽板２８は洗浄ヘッド２１で発生した熱を逃がす放熱板としての役割も持つ。よって、特に洗浄速度を上げるために洗浄ヘッド２１の出力を高め洗浄ヘッド２１の温度が高温になる場合に有効である。
【００６４】
また、プラズマ洗浄によるパネル１９への熱の影響も考えると、パネル１９の温度によって濡れ性は変化するため、温度にばらつきがでると安定した塗布が行えなくなり、製品（ディスプレイ装置）の信頼性が低下する場合や、熱による歪などの影響がでる場合などを引き起こす可能性がある。そこで、遮蔽板２８を設けることで、洗浄ヘッド２１で発生した熱及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部からの輻射および対流による熱の伝導を妨げることができ、封止接着剤５の塗布部に及ぼす熱の影響を妨げることができる。
【００６５】
本実施形態では遮蔽板の材料としてステンレス鋼を用いた。遮蔽板に、遮熱性能を優先して、熱伝導率の小さい材料を用いてもよく、放熱性能を優先して熱伝導率の大きい材料を用いてもよい。
【００６６】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００６７】
加えて、遮蔽板を設けることによって、洗浄ヘッドで発生した熱の輻射及び対流による伝導を妨げることができ、被照射塗布材の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。
【００６８】
（第４の実施形態）
図８（ａ）に示す第４の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吸引口２９を具備することを特徴とする。
【００６９】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１で発生した熱が塗布ヘッド２２へ移動するのを妨げる手段として吸引口２９を、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００７０】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図８（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び吸引口２９が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００７１】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図９に示すフローチャートを参照して説明する。ロボット装置２３にて移動体２４に設置された洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させる（Ｓ１）。次いで、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行しようとする方向後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、吸引口２９による吸引を開始し（Ｓ４ａ）、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄及び吸引を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄及び吸引を行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄、塗布及び吸引を行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布及び吸引を行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。このとき、吸引口２９による吸引も終了する（Ｓ１０ａ）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【００７２】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。本実施形態においては、洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された吸引口２９によって、洗浄により排出される水蒸気や有機化合物などを周囲のプラズマ洗浄によって熱された空気と共に吸引することができる。このため、それらが洗浄面３２に再付着することを防止し、封止後の製品における信頼性低下の防止効果を高めることができる。
【００７３】
加えて、洗浄ヘッド２１の先端はプラズマ放電時３００℃から４００℃程度まで温度が上昇する。よって、プラズマ洗浄によるパネル１９への熱の影響も考えると、パネル１９の温度によって濡れ性は変化するため、温度にばらつきがでると安定した塗布が行えなくなり、製品の信頼性が低下する場合や、熱による歪などの影響がでる場合などを引き起こす可能性がある。しかし、吸引口２９を設けることで、洗浄ヘッド２１の先端及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱からの対流による熱の伝導を妨げる。また、熱せられた空気を吸引することで周囲雰囲気の温度上昇を防ぎ、パネル１９の冷却を促すこともできる。これらため、吸引口２９を設けることで、このような洗浄ヘッド２１で発生した熱及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱の封止接着剤５塗布部への影響を妨げることができる。
【００７４】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００７５】
また、吸引口を設けることによって、洗浄ヘッドで発生した熱により高温となった大気を吸引し、装置内雰囲気の温度を低下させることで被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、洗浄により排出される水蒸気や有機化合物などを周囲の空気と一緒に吸引することで、これらが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００７６】
（第５の実施形態）
図１０（ａ）に示す第５の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吹き付けユニット３０を具備することを特徴とする。図１０（ｂ）に示すように、この吹き付けユニット３０がパネル１９と対向する面には、吹出口３１が具備されている。
【００７７】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１で発生した熱が塗布ヘッド２２へ移動するのを妨げる手段として、吹き付けユニット３０を洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００７８】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１０（ｃ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び吹き付けユニット３０が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００７９】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図１１に示すフローチャートを参照して説明する。ロボット装置２３にて洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させる（Ｓ１）。次いで、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行しようとする方向後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、吹き付けユニット３０による吹き付けを開始し（Ｓ４ｂ）、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄及び吹き付けを行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄、塗布及び吹き付けを行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布及び吹き付けを行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。このとき、吹き付けユニット３０による吹き付けも終了する（Ｓ１０ｂ）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【００８０】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。本実施形態ではさらに図１０（ｂ）に示した、吹き付けユニット３０の下面に具備された吹出口３１から乾燥した清浄な空気や窒素を洗浄部１０に向けて吹き付けることができる。これにより、洗浄により排出される水蒸気などや有機化合物が洗浄部１０に再付着することを防止する。さらに空気中の水蒸気の付着も防止することができ、清浄部１０が汚染される前に封止接着剤５を塗布することができる。さらに吹き付ける窒素に水素を混合することで水素終端効果による清浄部１０表面の保護が可能である。この方法によれば洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間隔を５００ｍｍ程度まで拡げることが可能であり、洗浄ヘッド２１からの熱による封止接着剤５の変質を防ぎ、洗浄効果を有したまま設備の設計制約を緩和することができる。
【００８１】
加えて、洗浄ヘッド２１の先端はプラズマ放電時３００℃から４００℃程度まで温度が上昇する。よって、プラズマ洗浄によるパネル１９への熱の影響も考えると、パネル１９の温度によって濡れ性は変化するため、温度にばらつきがでると安定した塗布が行えなくなり、製品の信頼性が低下する場合や、熱による歪などの影響がでる場合などを引き起こす可能性がある。しかし、吹き付けユニット３０から洗浄部１０に向けて吹き付けられる空気は、洗浄ヘッド２１の先端及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱からの対流による熱の伝導を妨げる。また、空気を吹き付けることで周囲雰囲気の温度上昇を防ぎ、パネル１９の冷却を促すこともできる。このため、吹き付けユニット３０を設けることで、このような洗浄ヘッド２１で発生した熱及び、パネル１９の大気圧プラズマ９被照射部で発生した熱の封止接着剤５塗布部への影響を妨げることができる。この場合、吹き付ける空気を特に加熱冷却しなくともよく、常温の空気を用いてよい。ただし、より好ましくは吹き付ける気体の温度を加熱冷却手段により調節することである。これによりパネル１９の温度をより調節することができる。
【００８２】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００８３】
さらに、吹き付けユニットを設けることによって、空気を吹き付けることで、洗浄ヘッドで発生した熱による装置内雰囲気の温度を低下させることができる。これにより被照射体の熱による異常や、封止接着剤の粘度異常などの発生を抑えることができる。さらに、吹き付けユニットから乾燥した清浄な空気や窒素を吹きつけることにより、洗浄によって排出される水蒸気や有機化合物などが清浄部に再付着するのを防ぐことができる。
【００８４】
（第６の実施形態）
図１２（ａ）に示す第６の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吸引口２９とを具備することを特徴とする。
【００８５】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吸引口２９とを具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００８６】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１２（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１、塗布ヘッド２２、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８及び遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吸引口２９が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００８７】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第４の実施形態にて図９を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【００８８】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２の実施形態、第３の実施形態及び第４の実施形態と同様である。
【００８９】
本実施形態では吸引口２９より吸引した気体は排気パイプ３２を経由して洗浄ヘッド２１に導入することでヘッドの冷却を行なう。このため洗浄ヘッド２１の冷却機構を追加する必要がなくなり、洗浄ヘッド２１を小型化することが可能である。この場合、排出物によってヘッド内部が汚染されるため吸引パイプ内部にフィルターを挿入する必要がある。
【００９０】
ここで、放電部の風速と洗浄能力の相関を図１３に示す。大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。つまり、本実施形態のように遮蔽板２８を用いることで、吸引口２９からの吸引による空気の乱れが大気圧プラズマ９の放電部における雰囲気の乱れに影響するのを抑制することができる。このため雰囲気の乱れによる大気圧プラズマ９の乱れを防ぐことができ、安定した洗浄能力を維持することが可能である。
【００９１】
以上のことから本実施形態において、第３の実施形態及び第４の実施形態に係る洗浄塗布装置の両方によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【００９２】
さらに、遮蔽板と吸引口を併せ持つことで、吸引口による空気の乱れを遮蔽板によって大気圧プラズマ照射部へ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【００９３】
（第７の実施形態）
図１４（ａ）に示す第７の実施形態に係る洗浄塗布装置は、被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０とを具備することを特徴とする。
【００９４】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０とを具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【００９５】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１４（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１、塗布ヘッド２２、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８及び遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【００９６】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第５の実施形態にて図１１を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【００９７】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２の実施形態、第３の実施形態及び第５の実施形態と同様である。
【００９８】
図１３で示したように、大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。つまり、本実施形態のように遮蔽板２８を用いることで、吹出口３１からの吹出による空気の乱れが大気圧プラズマ９の放電部における雰囲気の乱れに影響するのを抑制することができる。このため雰囲気の乱れによる大気圧プラズマ９の乱れを防ぐことができ、安定した洗浄能力を維持することが可能である。
【００９９】
以上のことから本実施形態において、第３の実施形態及び第５の実施形態に係る洗浄塗布装置の両方によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１００】
さらに、遮蔽板と吹き付けユニットを併せ持つことで、吹き付けユニットによる空気の乱れを遮蔽板によって大気圧プラズマ照射部へ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【０１０１】
（第８の実施形態）
図１５（ａ）に示す第８の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吹き付けユニット３０と吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備することを特徴とする。
【０１０２】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に吹き付けユニット３０と吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０３】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１５（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び吸引口２９及び吹き付けユニット３０が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１０４】
以上の構成における洗浄及び塗布動作において図１６に示すフローチャートを参照して説明する。ロボット装置２３にて洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させる（Ｓ１）、次いで塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行しようとする方向後ろ側に位置するよう移動体２４が回転伸縮部２５によって回転させられる（Ｓ２）。このとき、パネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される。次に洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ３）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄開始点に位置するまで移動を行う（Ｓ１２）。位置していれば、吸引口２９による吸引及び、吹き付けユニット３０による吹き付けを開始し（Ｓ４ｃ）、洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９を照射しつつ洗浄ヘッド２１を接続部２７に沿って相対移動させて洗浄を行う（Ｓ４）。次に、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布開始点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ５）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布開始点に位置するまで洗浄及び吸引・吹き付けを行う（Ｓ１３）。位置していれば、塗布ヘッド２２によって接続部２７に対する封止接着剤５の塗布を開始する（Ｓ６）。その後、洗浄ヘッド２１が接続部２７の一端である洗浄終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ７）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、洗浄終了点に位置するまで洗浄、塗布及び吸引・吹き付けを行う（Ｓ１４）。位置していれば洗浄ヘッド２１から大気圧プラズマ９の照射を停止し、洗浄を停止する（Ｓ８）。さらに、塗布ヘッド２２が接続部２７の一端である塗布終了点に位置したか否かの判定を行い（Ｓ９）、位置していなければ、ロボット装置２３の作動を継続して、塗布終了点に位置するまで塗布及び吸引・吹き付けを行う（Ｓ１５）。位置していれば、塗布ヘッド２２による封止接着剤５の塗布を停止する（Ｓ１０）。このとき、吸引口２９による吸引及び、吹き付けユニット３０による吹き付けも終了する（Ｓ１０ｃ）。その後、全ての接続部２７の処理が終了したか否かの判定を行い（Ｓ１１）、終了している場合はそのまま終了し、パネル１９が搬送手段２６によって搬出される。
【０１０５】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２の実施形態、第４の実施形態及び第５の実施形態と同様である。
【０１０６】
図１３で示したように、大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。
【０１０７】
本実施形態において、吸引口２９を吹き付けユニット３０の両側に配することで吹き付けユニット３０から吸引口２９への気流を形成する。これによって、空気の乱れによってバラツキを生じる大気圧プラズマ９の放電部の風速を低減することができる。加えて洗浄によって生じた排出物の除去能力を強化することができる。
【０１０８】
さらに吸引口２９より吸引した気体は排気パイプ３２を経由して洗浄ヘッド２１に導入することでヘッドの冷却を行なう。このため洗浄ヘッド２１の冷却機構を追加する必要がなくなり、洗浄ヘッド２１を小型化することが可能である。この場合、排出物によってヘッド内部が汚染されるため吸引パイプ内部にフィルターを挿入する必要がある。
【０１０９】
また、吸引口２９と吹き付けユニット３０を併設することで、気流の流れを作りより効果的にパネル１９の冷却効果を得ることができる。
【０１１０】
以上のことから本実施形態において、第４の実施形態及び第５の実施形態に係る洗浄塗布装置の両方によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１１１】
加えて、吸引口と吹き付けユニットを併設することで、気流の流れを作り、より効果的に上記の冷却効果を得ることができる。
【０１１２】
（第９の実施形態）
図１７（ａ）に示す第９の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０と、吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備することを特徴とする。
【０１１３】
本実施形態では、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８と、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０と、吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９を具備した点で第２の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１１４】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１７（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２及び洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に遮蔽板２８及び、遮蔽板２８の洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に吹き付けユニット３０及び吹き付けユニット３０の両側に吸引口２９が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１１５】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第８の実施形態にて図１６を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【０１１６】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用及び効果は第２から第８の実施形態と同様である。
【０１１７】
図１３で示したように、大気圧プラズマ９の放電部に空気の流れがある場合、洗浄によって形成する清浄部１０の幅が減少することがわかる。つまり、遮蔽板２８を用いることで、吹き付けユニット３０及び吸引口２９からの吹出、吸及び洗浄ヘッド２１を移動させながら洗浄した場合におけるヘッドの移動による空気の乱れによる空気の乱れが大気圧プラズマ９の放電部における雰囲気の乱れに影響するのを抑制することができる。このため雰囲気の乱れによる大気圧プラズマ９の乱れを防ぐことができ、安定した洗浄能力を維持することが可能である。
【０１１８】
以上のことから本実施形態において、第２の実施形態から第８の実施形態に係る洗浄塗布装置の全てによって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１１９】
さらに、吹き付けユニットや吸引口、洗浄ヘッドの移動による空気の乱れを遮蔽板によって大気圧プラズマ照射部へ伝えにくくすることができるため、洗浄効率を上げることができる。
【０１２０】
（第１０の実施形態）
図１８（ａ）に示す第１０の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射を行い清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間で洗浄ヘッド２１近傍に弾性体つき遮蔽板３３を具備することを特徴とする。弾性体つき遮蔽板３３には、図１８（ａ）に示すように、その先端に弾性体３３ａが設けられている。
【０１２１】
本実施形態では、遮蔽板として弾性体つき遮蔽板３３を具備した点で第３の実施形態と異なる。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１２２】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１８（ｂ）に示すように３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２が設置されている。この移動体２４は回転伸縮部２５により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２と被照射体との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１２３】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、第２の実施形態にて図３を用いて説明したものと同じであるため省略する。
【０１２４】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第３の実施形態と同様である。また、弾性体つき遮蔽板３３の弾性体３３ａはシリコンゴムなどで構成されており、生産中に万が一弾性体つき遮蔽板３３がパネル１９と接触した場合でもパネル１９の破壊を防止することができる。より好ましくは接触時における弾性体つき遮蔽板３３とパネル１９との摩擦を小さくするように弾性体つき遮蔽板３３下部にポリテトラフルオロエチレン等でコーティング加工をすると良い。
【０１２５】
以上のことから本実施形態において、第３の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１２６】
加えて、遮蔽板の有する弾性体が、遮蔽板とパネルが接触した場合でもその衝撃を和らげパネルを破壊しにくくすることができる。
【０１２７】
なお、本実施形態に係る弾性体つき遮蔽板３３を他の第６、第７、又は第９の実施形態などに用いてもよい。これらの場合でも上記の効果を奏することができる。
【０１２８】
（第１１の実施形態）
図１９（ａ）に示す第１１の実施形態に係る洗浄塗布装置は被照射部であるガラス電極及びＦＰＣ４の配設されているパネル１９に部分照射し清浄化する洗浄ヘッド２１と、洗浄ヘッド２１とパネル１９の相対位置関係において洗浄ヘッド２１の進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッド２２と、洗浄ヘッド２１の進行方向の前側に高さ測定ヘッド３４を具備することを特徴とする。
【０１２９】
本実施形態１１では洗浄ヘッド２１の進行方向の前側に高さ測定ヘッド３４を具備した点で、前記第１〜１０の実施形態における場合と異なっている。その他共通する構成に関しては同一の符号を付して説明を省略する。
【０１３０】
また、本実施形態に係る洗浄塗布装置は、図１９（ｂ）に示すように、３軸方向に移動及び位置決め可能な移動手段としてのロボット装置２３を備えている。このロボット装置２３には移動体２４が取り付けられており、この移動体２４に洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２が設置されている。この移動体２４はロボット装置２３により回転及び垂直方向に移動可能であるため、移動体２４に設置された塗布ヘッド２２は洗浄ヘッド２１と被照射体であるパネル１９の相対位置関係において移動体２４に対応して進行方向後ろ側に配置することができる。同時に、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２とパネル１９（被照射体）との高さ方向の距離も調節可能である。また、パネル１９は搬送手段２６によって洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２の可動範囲の下部位置に搬入、搬出される。
【０１３１】
以上の構成における洗浄及び塗布動作は、図３に示すフローチャートのうち、ロボット装置２３にて洗浄ヘッド２１をパネル１９の接続部２７に向けて移動させ、塗布ヘッド２２が、洗浄ヘッド２１の進行方向後ろ側に位置するよう移動体２４がロボット装置２３によって回転させられると共に、高さ測定ヘッド３４の情報に基づきパネル１９と洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２との高さ方向の距離が調節される（Ｓ２）点に特徴がある。
【０１３２】
洗浄工程、塗布工程における基本的な作用は第２の実施形態と同様である。ただし、洗浄塗布工程においてパネル１９の反りや凹凸がある場合に洗浄能力が変化することがある。具体的にはパネル１９と洗浄ヘッド２１の距離が離れると洗浄能力が落ち、これらの距離が近づくと洗浄能力は強くなる。また塗布ヘッド２２はパネル１９との距離が遠くなるほど吐出した封止接着剤５にボイドを巻き込みやすくなる。そこで本実施形態では洗浄ヘッド２１の進行方向前方に高さ測定ヘッド３４を具備する。
【０１３３】
この高さ測定ヘッド３４による洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２とパネル１９との高さ調節に関して図２０に示すフローチャートを用いて説明する。
【０１３４】
動作が開始されると（Ｓ２１）、高さ測定ヘッド３４はレーザー３５によってパネル１９の位置と当該位置における高さ情報を読み取る（Ｓ２２）。読み取った情報に基づき、高さヘッド３４と洗浄ヘッド２１との距離や、洗浄ヘッドの移動速度等の所定のパラメーターから計算して求めた洗浄ヘッド２１の位置する場所におけるパネル１９からの高さが、予め定めておいた高さに位置するか否かの判定を行い（Ｓ２３）、位置していなければ、洗浄ヘッド２１の高さが所定の位置になるよう調節される（Ｓ２３ａ）。同様に塗布ヘッド２２についても、読み取った情報に基づき、高さヘッド３４と塗布ヘッド２２との距離や、塗布ヘッド２２の移動速度等の所定のパラメーターから計算して求めたパネル１９からの高さが所定の位置にあるか否か判定を行う（Ｓ２４）。位置していなければ塗布ヘッド２２の高さが所定の位置になるよう調節される（Ｓ２４ａ）。これらの高さ測定ヘッド３４による測定及び両ヘッドの調節は、塗布ヘッド２２による塗布工程が終了するまで繰り返される（Ｓ２５）。そして、塗布終了に伴って動作が終了する（Ｓ２６）。
【０１３５】
以上から本実施形態において、第２の実施形態に係る洗浄塗布装置によって得られるものと同様の効果を得ることができる。
【０１３６】
加えて、パネル１９に反りや凹凸があっても洗浄塗布工程を安定して行うことができ、幅広い種類のパネル１９に対応することが可能となる。
【０１３７】
なお、高さ測定ヘッド３４による測定は、洗浄とは独立して接続部２７に対して一気に行ってもよく、高さの測定を随時行いながら、洗浄を行ってもよい。
【０１３８】
また、高さ測定ヘッド３４からの情報に基づくヘッドの調整は、回転伸縮部２５で行ってもよい。係る動作であれば、少ない構成で上述の作用を奏することができるため、設備の小型化も図ることが可能となる。若しくは、新たに洗浄ヘッド駆動部又は塗布ヘッド駆動部又はその両方を用いて、洗浄ヘッド２１とパネル１９との調節、塗布ヘッド２２とパネル１９の調節をそれぞれ独立して行っても良い。係る構成によれば、図２０で示したフローチャートの高さ測定後（Ｓ２２）、この測定情報によって、予め設定されたヘッドの移動速度や、ヘッド間の設置距離情報等に基づいて、洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２をより高精度に調整できるため、洗浄工程及び塗布工程において、より信頼性を向上させることができる。
【０１３９】
この場合、パネル１９からの洗浄ヘッド２１の高さ及び塗布ヘッド２２の高さを２〜２０ｍｍに調節するのが望ましい。
【０１４０】
なお、実施形態１〜１１にかけて洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２を移動させてパネル１９に対し洗浄及び塗布を行ったが、これらの洗浄ヘッド２１及び塗布ヘッド２２を固定して、搬送手段２６によってパネルを移動させ、前述のような洗浄塗布工程を行っても良い。
【０１４１】
また、本実施の形態において洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２が移動体２４に設置されている間隔は不変であるが、洗浄ヘッド２１と塗布ヘッド２２の間に、両者の距離が可変となるような機構を設けても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１４２】
以上のように本発明は、洗浄工程後、清浄部に汚染物質が再付着する前に塗布工程を行うことができ、封止接着剤の濡れ性・接着強度・信頼性の低下の課題を解決することができる洗浄塗布装置として有用である。
【符号の説明】
【０１４３】
３ ガラス電極
４ フレキシブル基板（ＦＰＣ）
９ 大気圧プラズマ
１５ ＵＶ光
１６ ＵＶ光ランプ
１９ パネル
２０ 洗浄因子
２１ 洗浄ヘッド
２２ 塗布ヘッド
２４ 移動体
２５ 回転伸縮部
２６ 搬送手段
２８ 遮蔽板
２９ 吸引口
３０ 吹き付けユニット
３１ 吹出口
３３ 弾性体つき遮蔽板
３４ 高さ測定ヘッド
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備する洗浄塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄ヘッドに大気圧プラズマ洗浄ヘッドを用いたことを特徴とする請求項１に記載の洗浄塗布装置。
【請求項３】
前記洗浄ヘッドと前記塗布ヘッドの間に遮熱手段を設けたことを特徴とする請求項２に記載の洗浄塗布装置。
【請求項４】
前記遮熱手段として遮蔽板を具備したこと特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項５】
前記遮熱手段として吸引口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項６】
前記遮熱手段としてガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項７】
前記遮熱手段として遮蔽板と吸引口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項８】
前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項９】
前記遮熱手段として吸引口とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項１０】
前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口と吸引口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項１１】
前記遮熱板の下部に弾性体を有した請求項４または７、８、１０のいずれか一つに記載の洗浄塗布装置。
【請求項１２】
前記被照射体との距離を測定する高さセンサと前記高さセンサからの入力により前記洗浄ヘッド及び前記塗布ヘッドと被洗浄塗布面との距離を変化させる駆動部を具備する請求項１〜１０のいずれか一つに記載の洗浄塗布装置。
【請求項１】
被照射部にスポット照射を行い清浄化する洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドと被照射体の相対位置関係において前記洗浄ヘッドの進行方向の後ろ側に配された塗布ヘッドを具備する洗浄塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄ヘッドに大気圧プラズマ洗浄ヘッドを用いたことを特徴とする請求項１に記載の洗浄塗布装置。
【請求項３】
前記洗浄ヘッドと前記塗布ヘッドの間に遮熱手段を設けたことを特徴とする請求項２に記載の洗浄塗布装置。
【請求項４】
前記遮熱手段として遮蔽板を具備したこと特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項５】
前記遮熱手段として吸引口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項６】
前記遮熱手段としてガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項７】
前記遮熱手段として遮蔽板と吸引口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項８】
前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項９】
前記遮熱手段として吸引口とガスを吹き付けるための吹出口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項１０】
前記遮熱手段として遮蔽板とガスを吹き付けるための吹出口と吸引口を具備したことを特徴とする請求項３に記載の洗浄塗布装置。
【請求項１１】
前記遮熱板の下部に弾性体を有した請求項４または７、８、１０のいずれか一つに記載の洗浄塗布装置。
【請求項１２】
前記被照射体との距離を測定する高さセンサと前記高さセンサからの入力により前記洗浄ヘッド及び前記塗布ヘッドと被洗浄塗布面との距離を変化させる駆動部を具備する請求項１〜１０のいずれか一つに記載の洗浄塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２０１１−１３８８８９（Ｐ２０１１−１３８８８９Ａ）
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２９７３８３（Ｐ２００９−２９７３８３）
【出願日】平成２１年１２月２８日（２００９．１２．２８）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月２８日（２００９．１２．２８）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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