ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
【課題】高集積かつ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンをより安定的に形成するために、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)に優れるネガ型現像用レジスト組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】特定の構造を有する酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物。
【解決手段】特定の構造を有する酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにはその他のフォトファブリケーションのリソグラフィー工程に使用される、ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法に関するものである。特に、波長が300nm以下の遠紫外線光を光源とするArF露光装置及び液浸式投影露光装置で露光するために好適な、ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
上記のようなパターン形成のためのポジ型システム(レジスト組成物とポジ型現像液の組み合わせ)においては、図1に示すように、光学像の空間周波数のうち、光照射強度の強い領域を選択的に溶解・除去し、パターン形成を行う材料が提供されているにすぎない。反対に、ネガ型システム(レジスト組成物とネガ型現像液)の組み合わせにおいては、光照射強度の弱い領域を選択的に溶解・除去し、パターン形成を行う材料システムが提供されているにすぎない。
ここで、ポジ型現像液とは、図1に実線で表した所定の閾値以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液であり、ネガ型現像液とは、該所定の閾値以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液のことである。ポジ型現像液を用いた現像工程のことをポジ型現像(ポジ型現像工程ともいう)と呼び、ネガ型現像液を用いた現像工程のことをネガ型現像(ネガ型現像工程ともいう)と呼ぶ。
【0003】
ポジ型システムとしては、例えば特許文献1には、特定のアダマンタン構造を有する繰り返し単位及び特定のブチロラクトン構造を有する繰り返し単位からなる群から選ばれた少なくとも一つの繰り返し単位と、特定のノルボルナンラクトン構造を有する繰り返し単位とを有する樹脂、及び、酸発生剤を含む化学増幅型ポジ型レジスト組成物が記載されており、このポジ型レジスト組成物によれば、ArFエキシマレーザーリソグラフィーに適した、解像度、感度、パターン形状などの性能に加えて、ラインエッジラフネスが良好であり、また、リフロー工程においてパターンをより微細化できるレジスト組成物が得られるとされている。
【0004】
一方、通常のポジ型システムよりもさらに解像力を高める2重パターニング技術としての2重現像技術が特許文献2に記載されている。この例では、一般的な化学増幅の画像形成方法を利用しており、露光によってレジスト組成物中の樹脂の極性が、光強度の高い領域では高極性に、光強度の低い領域では低極性になることを利用して、特定のレジスト膜の高露光領域を高極性の現像液に溶解させポジ型現像を行い、低露光領域を低極性の現像液に溶解させてネガ型現像を行っている。具体的には、図2に示すように照射光1の露光量E2以上の領域をアルカリ水溶液をポジ型現像液として用いて溶解させ、露光量E1以下の領域を特定の有機溶剤をネガ型現像液として用いて溶解させている。これにより、図2に示すように、中間露光量(E2−E1)の領域が現像されずに残り、露光用マスク2の半ピッチを有するL/Sのパターン3をウェハ4上に形成している。
【0005】
特許文献3では、ネガ現像、そして、ネガ現像を用いた2重現像、2重露光によるパターン形成方法が開示されている。
しかしながら、上記のような微細パターンの形成に利用できるネガ型現像液を用いたパターン形成において、線幅バラツキ(LWR)と露光ラチチュード(EL)とフォーカス余裕度(DOF)とが優れることにより、さらに高精度な微細パターンが安定的に得られることが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2005−352466号公報
【特許文献2】特開2000−199953号公報
【特許文献3】特開2008−292975号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、上記課題を解決し、高集積かつ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンをより安定的に形成するために、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)に優れるネガ型現像用レジスト組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、下記の構成であり、これにより本発明の上記目的が達成される。
【0009】
(1) (A)下記一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物。
【0010】
【化1】
【0011】
一般式(1)中、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ry1〜Ry3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。
Zは、2価の連結基を表す。
【0012】
(2) 前記Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが単環の環状炭化水素構造を形成する場合、該環状炭化水素構造が6員以上の環であることを特徴とする上記(1)に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【0013】
(3) 前記一般式(1)で表される繰り返し単位が、下記一般式(2a)あるいは(2b)で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする、上記(1)に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【0014】
【化2】
【0015】
一般式(2a)、(2b)に於いて、
Xa1、Zは、それぞれ、一般式(1)に於けるXa1、Zと同義である。
Y1は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
Y2は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
R1、R2、R3は、各々独立にアルキル基又はシクロアルキル基を表す。
【0016】
(4) 前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂はアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位を有さないことを特徴とする上記(3)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0017】
(5) 前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂は、該樹脂が有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全てに関して、該繰り返し単位におけるα位炭素原子(樹脂主鎖を構成するとともに、−C(=O)−基に結合する炭素原子)の、該−C(=O)−基とは異なり、かつ、該樹脂主鎖を構成しない結合部位が、水素原子以外の置換基で置換されていることを特徴とする上記(3)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0018】
(6) 前記置換基がアルキル基、シアノ基又はハロゲン原子であることを特徴とする上記(5)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0019】
(7) 前記置換基がメチル基であることをあることを特徴とする上記(5)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0020】
(8) 更に、(B)酸発生剤と(C)溶剤とを含有することを特徴とする、上記(1)〜(7)のいずれかに記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0021】
(9) (ア)上記(1)〜(8)のいずれかに記載のネガ型現像用レジスト組成物により膜を形成する工程と、
(イ)露光工程と
(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程と
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【0022】
(10) 更に、(ウ)ポジ型現像液を用いて現像する工程を含むことを特徴とする上記(9)に記載のパターン形成方法。
【発明の効果】
【0023】
本発明により、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)、フォーカス余裕度(DOF)に優れたネガ型現像用レジスト組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】従来の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図2】ポジ型現像とネガ型現像を併用したパターン形成方法を示す模式図である。
【図3】ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図4】ポジ型現像液又はネガ型現像液を用いた場合の露光量と残膜曲線の関連を示したグラフである。
【図5】本発明の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図6】本発明の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図7】本発明の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図8】光学像の空間強度分布を示す図面である。
【図9】ポジ型現像、閾値(a)、光強度の関連を示す模式図である。
【図10】光学像の空間強度分布を示す模式図である。
【図11】ネガ型現像、閾値(b)、光強度の関連を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
尚、本明細書に於ける基(原子団)の表記に於いて、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
【0026】
まず、本明細書で用いられる用語について説明する。パターンを形成する方式としては、ポジ型とネガ型があり、何れも、光照射を契機とした化学反応によって、レジスト膜の現像液に対する溶解性が変化することを利用しているが、光照射部が現像液に溶解する場合をポジ型方式、非照射部が現像液に溶解する場合をネガ型方式と呼ぶ。その場合に用いる現像液としては、ポジ型現像液とネガ型現像液の2つがある。ポジ型現像液とは、図1に実線で示す所定の閾値以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液であり、ネガ型現像液とは、前記所定の閾値以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液のことである。ポジ型現像液を用いた現像工程のことをポジ型現像(ポジ型現像工程ともいう)と呼び、ネガ型現像液を用いた現像工程のことをネガ型現像(ネガ型現像工程ともいう)と呼ぶ。多重現像(多重現像工程ともいう)とは、上記ポジ型現像液を用いた現像工程と上記ネガ型現像液を用いた現像工程とを組み合わせた現像方式のことである。本発明ではネガ型現像に用いるレジスト組成物のことをネガ型現像用レジスト組成物と呼び、多重現像に用いるレジスト組成物のことを多重現像用レジスト組成物と呼ぶ。以下、単にレジスト組成物と記載されている場合は、ネガ型現像用レジスト組成物のことを示す。ネガ型現像用リンス液とは、ネガ型現像工程の後の洗浄工程に用いられる、有機溶剤を含むリンス液のことを表す。
【0027】
本発明では、解像力を高める技術として、図3に示すように、所定の閾値(b)以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ネガ型現像液)と、酸の作用により極性が増大する樹脂を含有し、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液(好ましくはアルカリ現像液)に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液(好ましくは有機系現像液)に対する溶解度が減少する膜を形成するネガ型現像用レジスト組成物とを組合わせた、新しいパターン形成方法を提示する。
【0028】
本発明のネガ型現像用レジスト組成物は、所定の閾値(a)以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ポジ型現像液)に対しても優れた現像特性を示し、所定の閾値(a)以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ポジ型現像液)と所定の閾値(b)以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ネガ型現像液)、及びネガ型現像用レジスト組成物を組合わせることで、多重現像によるパターン形成が可能である。
即ち、図3に示すように、露光マスク上のパターン要素を、光照射によって、ウエハー上に投影したときに、光照射強度の強い領域(所定の閾値(a)以上の露光部)を、ポジ型現像液を用いて溶解・除去し、光照射強度の弱い領域(所定の閾値(b)以下の露光部)を、ネガ型現像液を用いて溶解・除去することにより、光学空間像(光強度分布)の周波数の2倍の解像度のパターンを得ることができる。
【0029】
従って、本発明のネガ型現像用レジスト組成物は多重現像用レジスト組成物としても好適に使用することができる。
【0030】
本発明を実施するのに、必要なパターン形成プロセスは、以下の工程を含む。
(ア)(A)一般式(1)(後に詳述する)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物により膜を形成する工程と
(イ)露光工程と
(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程と
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【0031】
本発明のパターン形成方法は、前記ネガ型現像液が、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤から選択される少なくとも1種類の溶剤を含有する現像液であることが好ましい。
【0032】
本発明のパターン形成方法は、前記樹脂が、酸の作用により極性が増大してポジ型現像液に対する溶解度が増大する樹脂であり、(ウ)ポジ型現像液を用いて現像する工程を更に含むことが好ましい。
【0033】
本発明のパターン形成方法は、更に、(カ)有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄する工程を含むことが好ましい。
【0034】
本発明のパターン形成方法は、(イ)露光工程の後に、(オ)加熱工程を有することが好ましい。
【0035】
本発明のパターン形成方法は、(イ)露光工程を、複数回有することができる。
【0036】
本発明のパターン形成方法は、(オ)加熱工程を、複数回有することができる。
【0037】
本発明を実施するには、(A)一般式(1)(後に詳述する)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物、及び、(Ab)ネガ型現像液(好ましくは有機系現像液)が必要である。
本発明を実施するには、更に、(Ac)ポジ型現像液(好ましくはアルカリ現像液)を使用することが好ましい。
本発明を実施するには、更に、(Ad)有機溶剤を含むネガ型現像用リンス液を使用することが好ましい。
【0038】
ポジ型現像液、ネガ型現像液の2種類の現像液を用いたパターン形成プロセスを行う場合、その現像の順序は特に限定されないが、1回目の露光を行った後、ポジ型現像液もしくはネガ型現像液を用いて現像を行い、次に、最初の現像とは異なる現像液にて、ネガ型もしくはポジ型の現像を行うことが好ましい。更に、ネガ型の現像を行った後には、有機溶剤を含むネガ型現像用リンス液を用いて洗浄することが好ましい。
【0039】
パターンを形成する方式としては、(a)極性変換等の化学反応を利用する方式と、(b)架橋反応や重合反応等の分子間の結合生成を利用する方式が挙げられる。
架橋反応や重合反応等の分子間の結合により、樹脂の分子量が増大するレジスト材料系では、一つのレジスト材料が、ある現像液に対してはポジ型に、また、別の現像液に対してはネガ型に作用する様な系を構築するのが難しかった。
【0040】
本発明によれば、ひとつのレジスト組成物が、同時に、ポジ型現像液に対してはポジ型として作用し、また、ネガ型現像液に対してはネガ型として作用することが可能である。
本発明では、ポジ型現像液として、アルカリ現像液(水系)を、ネガ型現像液として、有機溶剤を含む有機系現像液を用いることができる。
【0041】
本発明に於いて、重要なのは、露光量の「閾値」(光照射領域の中で、膜が現像液に可溶化、あるいは不溶化する露光量)を制御することである。即ち、パターン形成を行うに際し、所望の線幅が得られるように、ポジ型現像液に対し可溶化する最小の露光量、および、ネガ型現像液対し不溶化する最小の露光量、が「閾値」である。
「閾値」は、以下の様にして求めることが出来る。
即ち、パターン形成を行うに際し、所望の線幅が得られるように、ポジ型現像液に対し可溶化する最小の露光量、および、ネガ型現像液対し不溶化する最小の露光量、が閾値である。
より厳密には、閾値は、以下の様に定義される。
レジスト膜の露光量に対する残膜率を測定した時に、図4にあるように、ポジ型現像液に対し、残膜率が0%となる露光量を、閾値(a)と、ネガ型現像液に対し、残膜率が100%となる露光量を、閾値(b)とする。
例えば、図5に示すように、ポジ型現像液に対し可溶化する露光量の閾値(a)を、ネガ型現像液対し可溶化する露光量の閾値(b)より、高くすることにより、1回の露光で、パターン形成が可能となる。即ち、図6に示すように、まずレジストをウェハに塗布し、露光を行い、まずポジ型現像液で露光量の閾値(a)以上を溶解し、続いてネガ型現像液で露光量の閾値(b)以下を溶解することで、1回の露光でパターン形成が可能になる。この場合の、ポジ型現像液による現像とネガ型現像液による現像の順序はどちらが先でも良い。ネガ型現像の後、有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄すると、より良好なパターン形成が可能になる。
【0042】
閾値を制御する方法としては、レジスト組成物および現像液の材料関連パラメータや、プロセスと関連するパラメータを制御する方法がある。
材料関連パラメータとしては、レジスト組成物の現像液、及び、有機溶剤に対する溶解性と関連する様々な物性値、即ち、SP値(溶解度パラメータ)、LogP値、等の制御が有効である。具体的には、レジスト組成物に含まれる、ポリマーの重量平均分子量、分子量分散度、モノマー組成比、モノマーの極性、モノマーシーケンス、ポリマーブレンド、低分子添加剤の添加、また、現像液については、現像液濃度、低分子添加剤の添加、界面活性剤の添加、等がある。
また、プロセス関連パラメータとしては、製膜温度、製膜時間、露光後後加熱時の温度、時間、現像時の温度、現像時間、現像装置のノズル方式(液盛り方法)、現像後のリンス方法等が挙げられる。
従って、ネガ型現像を用いたパターン形成方法及びネガ型現像とポジ型現像を併用した多重現像によるパターン形成方法に於いて、良好なパターンを得るためには、上記材料関連パラメータやプロセスパラメータを適切に制御し、それらを組み合わせることが重要である。
【0043】
ポジ型現像液、ネガ型現像液の2種類の現像液を用いたパターン形成プロセスは、上記の様に1回の露光でおこなってもよいし、2回以上の露光を行うプロセスで行ってもよい。即ち、1回目の露光を行った後、ポジ型現像液もしくはネガ型現像液を用いて現像を行い、次に、2回目の露光を行った後、最初の現像とは異なる現像液にて、ネガ型もしくはポジ型の現像を行う。
【0044】
露光を2回以上行うメリットとしては、1回目の露光後の現像における閾値の制御と、2回目の露光後の現像における閾値の制御の自由度が増大する、というメリットがある。2回以上露光を行う場合、2回目の露光量を1回目の露光量より大きくすることが望ましい。図7に示すように、2回目の現像においては、1回目および2回目の露光量の履歴が加算された量を基に、閾値が決定されるが、2回目の露光量が1回目の露光量より十分大きい場合、1回目の露光量の影響は小さくなり、場合によっては無視できるからである。
1回目の露光を行う工程における露光量(Eo1[mJ/cm2])は、2回目の露光を行う工程における露光量(Eo2[mJ/cm2])より、5[mJ/cm2]以上小さい方が望ましい。これは、1回目の露光の履歴の影響が、2回目の露光によりパターン形成を行う過程に及ぼす影響を小さくすることができる。
【0045】
1回目の露光量と2回目の露光量を変更するには、前述の材料・プロセスの様々なパラメータを調整する方法が有効であるが、特に、1回目の加熱をする工程の温度と、2回目の加熱をする工程の温度を制御することが有効である。即ち、1回目の露光量を2回目の露光量より小さくするには、1回目の加熱をする工程の温度を2回目の加熱をする工程の温度より高くすることが有効である。
【0046】
ポジ型現像に於ける、閾値(a)は、実際のリソグラフィ工程においては、以下の様に対応する。
基板上に、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、レジスト組成物による膜を形成した後、所望の照明条件で、所望のパターンサイズのフォトマスクを介して露光を行う。この時、露光の焦点(フォーカス)を0.05[μm]、露光量を0.5[mJ/cm2]刻みで振りながら、露光を行う。露光後、所望の温度で、所望時間加熱を行い、所望の濃度のアルカリ現像液で、所望時間現像を行う。現像後、パターンの線幅を、CD−SEMを用いて計測し、所望の線幅を形成する露光量A[mJ/cm2]、フォーカス位置を決定する。次に、特定露光量A[mJ/cm2]、特定フォーカス位置で、先のフォトマスクを照射した時の光学像の強度分布を計算する。計算は、シミュレーションソフトウエア(KLA社製Prolith ver.9.2.0.15)を用いて行うことができる。計算方法の詳細は、Inside PROLITH(Chris.A.Mack著、FINLE Technologies,Inc. , Cahpter2 Aerial Image Formation)に記載されている。
計算結果の一例として、図8に示す様な光学像の空間強度分布が得られる。
【0047】
ここで、図9に示すように、光学像の空間強度分布の極小値から、得られたパターン線幅の1/2の分だけ空間位置をずらした位置における光強度が、閾値(a)に対応する。
【0048】
ネガ型現像に於ける、閾値(b)は、実際のリソグラフィ工程においては、以下の様に対応する。
基板上に、酸の作用により極性が増大する樹脂を含有し、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、レジスト組成物による膜を形成した後、所望の照明条件で、所望のパターンサイズのフォトマスクを介して露光を行う。この時、露光の焦点(フォーカス)を0.05[μm]、露光量を0.5[mJ/cm2]刻みで振りながら、露光を行う。露光後、所望の温度で、所望時間加熱を行い、所望の濃度の有機系現像液で、所望時間現像を行う。現像後、パターンの線幅を、CD−SEMを用いて計測し、所望の線幅を形成する露光量A[mJ/cm2]、フォーカス位置を決定する。次に、特定露光量A[mJ/cm2]、特定フォーカス位置で、先のフォトマスクを照射した時の光学像の強度分布を計算する。計算はシミュレーションソフトウエア(KLA社製Prolith)を用いて行う。
例えば、図10に示す様な光学像の空間強度分布が得られる。
【0049】
ここで、図11に示すように、光学像の空間強度分布の極大値から、得られたパターン線幅の1/2の分だけ空間位置をずらした位置における光強度を閾値(b)とする。
【0050】
閾値(a)は、0.1〜100[mJ/cm2]が好ましく、より好ましくは、0.5〜50[mJ/cm2]であり、更に好ましくは、1〜30[mJ/cm2]である。閾値(b)は、0.1〜100[mJ/cm2]が好ましく、より好ましくは、0.5〜50[mJ/cm2]であり、更に好ましくは、1〜30[mJ/cm2]である。閾値(a)と(b)との差は、0.1〜80[mJ/cm2]が好ましく、より好ましくは、0.5〜50[mJ/cm2]であり、更に好ましくは、1〜30[mJ/cm2]である。
【0051】
本発明に於いて、基板上に形成する膜は、(A)一般式(1)(後に詳述する)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物により形成される膜である。
以下、本発明で使用し得るレジスト組成物について説明する。
【0052】
(A)一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂
本発明のレジスト組成物に用いられる、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂は、下記一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有する。なお、この樹脂は、酸の作用により極性が増大し、ポジ型現像液に対する溶解度が増大する樹脂でもある。
【0053】
【化3】
【0054】
一般式(1)中、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ry1〜Ry3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。
Zは、2価の連結基を表す。
【0055】
一般式(1)において、Xa1のアルキル基は、水酸基、ハロゲン原子等で置換されていてもよい。
Xa1は、好ましくは、水素原子、メチル基である。
Ry1〜Ry3のアルキル基は、直鎖状アルキル基、分岐状アルキル基のいずれでもよく、置換基を有していてもよい。好ましい直鎖、分岐アルキル基としては、炭素数1〜8、より好ましくは1〜4であり、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基である。
Ry1〜Ry3のシクロアルキル基としては、例えば、炭素数3〜8の単環のシクロアルキル基、炭素数7〜14の多環のシクロアルキル基が挙げられ、置換基を有していてもよい。好ましい単環のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロプロピル基が挙げられる。好ましい多環のシクロアルキル基としては、アダマンチル基、ノルボルナン基、テトラシクロドデカニル基、トリシクロデカニル基、ジアマンチル基が挙げられる。
Ry1〜Ry3のアルキル基及びシクロアルキル基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシ基及びアルコキシカルボニル基におけるアルコキシの具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の炭素数1〜4個のものを挙げることができる。
【0056】
Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して形成する単環の環状炭化水素構造としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基が好ましい。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して形成する多環の環状炭化水素構造としては、アダマンチル基、ノルボルニル基、テトラシクロドデカニル基が好ましい。前記単環の環状炭化水素構造は、6員以上の環であることが特に好ましく、これにより、レジスト膜のネガ型現像液(有機溶剤を含有する有機系現像液)に対する溶解性をより充分なものとすることができるので、非露光部をネガ型現像液でより確実に除去することができる。これにより、現像パターンをより精密に所望のものとすることができるせいか、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)の全てにおいて、より優れた効果を得ることができる。
Zは、炭素数1〜20の2価の連結基が好ましく、より好ましくは炭素数1〜4の鎖状アルキレン基、炭素数5〜20の環状アルキレン基またはこれらが組み合わされたものである。
炭素数1〜4の鎖状アルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基が挙げられ、直鎖状でも分岐状でもよい。好ましくはメチレン基である。
炭素数5〜20の環状アルキレン基としては、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基などの単環の環状アルキレン基、ノルボルニレン基、アダマンチレン基などの多環の環状アルキレン基が挙げられる。好ましくはアダマンチレン基である。
【0057】
一般式(1)で表される繰り返し単位は、下記一般式(2a)あるいは(2b)で表される酸分解性繰り返し単位であるのが好ましい。
【0058】
【化4】
【0059】
一般式(2a)、(2b)に於いて、
Xa1、Zは、それぞれ、一般式(1)に於けるXa1、Zと同義である。
Y1は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
Y2は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
R1、R2、R3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
【0060】
Xa1、Zの具体例及び好ましい例は、一般式(1)のXa1、Zで挙げたものと同様である。
R1、R2、R3としてのアルキル基及びシクロアルキル基の具体例及び好ましい例は、一般式(1)のRy1〜Ry3で挙げたものと同様である。R1、R2、R3としてのアルキル基又はシクロアルキル基は置換基を有してよく、このような置換基の具体例は、一般式(1)のRy1〜Ry3のアルキル基及びシクロアルキル基が有していてもよい置換基として挙げたものと同様である。
【0061】
Y1又はY2と炭素原子とが形成する脂環式炭化水素基としては、単環式でも、多環式でもよいが、具体的には、炭素数5以上のモノシクロ、ビシクロ、トリシクロ、テトラシクロ構造等を有する基を挙げることができる。その炭素数は6〜30個が好ましく、特に炭素数7〜25個が好ましい。これらの脂環式炭化水素基は置換基を有していてもよい。
【0062】
一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、また、一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、樹脂Aはアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位を有さないのが好ましい。換言すれば、上記場合、樹脂Aは、樹脂Aが有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全て(一般式(2a)または(2b)で表される酸分解性繰り返し単位も含む)に関して、該繰り返し単位におけるα位炭素原子(樹脂主鎖を構成するとともに、−C(=O)−基に結合する炭素原子)の、該−C(=O)−基とは異なり、かつ、該樹脂主鎖を構成しない結合部位が、水素原子以外の置換基で置換されていることが好ましく、このような置換基としては、上記一般式(1)のXaと同様、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を挙げることができる。アルキル基の具体例及び好ましい例は、一般式(1)のRy1〜Ry3のアルキル基で説明したものと同様である。
ここで、樹脂Aは、樹脂Aが有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全てに関して、該繰り返し単位における上記α位炭素原子がメチル基で置換されていることが特に好ましい。換言すれば、樹脂Aは、樹脂Aが有するエチレン性不飽和モノマーに由来する繰り返し単位の全てがメタクリル酸またはメタクリル酸エステルに由来する繰り返し単位であることが特に好ましい。
【0063】
一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、また、一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、樹脂Aが上記した態様であることにより、レジスト膜のネガ型現像液(有機溶剤を含有する有機系現像液)に対する溶解性を充分なものとすることができるので、非露光部をネガ型現像液で確実に除去することができる。これにより、現像パターンをより精密に所望のものとすることができるせいか、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)の全てにおいて、より優れた効果を得ることができる。
【0064】
Y1とR1とR2の総炭素数は35以下であることが好ましく、Y2とR3の総炭素数は35以下であることが好ましい。
以下に、上記脂環式炭化水素基のうち、脂環式部分の構造例を示す。
【0065】
【化5】
【0066】
本発明においては、上記脂環式部分の好ましいものとしては、アダマンチル基、ノルアダマンチル基、デカリン残基、トリシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基を挙げることができる。より好ましくは、アダマンチル基、デカリン残基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基である。
【0067】
これらの脂環式炭化水素基の置換基としては、アルキル基、置換アルキル基、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基が挙げられる。アルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等の低級アルキル基が好ましく、更に好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基よりなる群から選択された置換基を表す。置換アルキル基の置換基としては、水酸基、ハロゲン原子、アルコキシ基を挙げることができる。上記アルコキシ基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の炭素数1〜4個のものを挙げることができる。
【0068】
一般式(1)で表される繰り返し単位を形成するための重合性化合物は、既知の方法で容易に合成できる。例えば、特開2005−331918号公報の段落0108以降の合成例などを参照されたい。
一般式(1)で表される繰り返し単位の好ましい具体例を以下に示すが、本発明は、これらに限定されるものではない。なお、Xa1は、一般式(1)で定義したものと同様である。
【0069】
【化6】
【0070】
【化7】
【0071】
【化8】
【0072】
【化9】
【0073】
一般式(1)で表される繰り返し単位は、樹脂中の全繰り返し単位に対し、10〜60mol%が好ましく、20〜50mol%が最も好ましい。
一般式(1)で表される繰り返し単位は、酸の作用により分解してカルボキシル基を生じ、ネガ現像液に対する溶解度が減少する。また、一般式(1)で表される繰り返し単位は、酸の作用により分解して、アルカリ現像液に対する溶解速度が増大するものでもある。
【0074】
(A)成分の樹脂は、一般式(1)で表される酸分解性繰り返し単位以外に、更に、他の酸分解性繰り返し単位を有していてもよい。
一般式(I)で表される酸分解性繰り返し単位以外の、他の酸分解性繰り返し単位としては下記一般式(2)で表される繰り返し単位であることが好ましい。
【0075】
【化10】
【0076】
一般式(2)に於いて、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表し、一般式(1)
に於けるXa1と同様のものである。
Rx1〜Rx3は、それぞれ独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Rx1〜Rx3の少なくとも2つが結合して、シクロアルキル基を形成してもよい。
【0077】
Rx1〜Rx3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基などの炭素数1〜4の直鎖状若しくは分岐状が好ましい。
Rx1〜Rx3のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、アダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましい。
Rx1〜Rx3の少なくとも2つが結合して形成される、シクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、アダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましい。
Rx1がメチル基またはエチル基であり、Rx2とRx3が結合して上述の単環または多環のシクロアルキル基を結合している様態が好ましい。
【0078】
好ましい酸分解性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0079】
【化11】
【0080】
好ましい一般式(2)で表される繰り返し単位は、上記具体例中、1,2,10,11,12,13,14の繰り返し単位である。
【0081】
一般式(1)で表される、酸分解性基を有する繰り返し単位と、他の酸分解性基を有する繰り返し単位(好ましくは一般式(2)で表される繰り返し単位)を併用する場合、一般式(1)で表される、酸分解性基を有する繰り返し単位と、他の酸分解性基を有する繰り返し単位との比率は、モル比で90:10〜10:90、より好ましくは80:20〜20:80である。
【0082】
(A)成分の樹脂中の全酸分解性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂中の全繰り返し単位に対し、5〜70mol%が好ましく、より好ましくは10〜60mol%である。
【0083】
(A)成分の樹脂は、更に、ラクトン基、水酸基、シアノ基及びアルカリ可溶性基から選ばれる少なくとも1種類の基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
【0084】
(A)成分の樹脂は、ラクトン構造を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
ラクトン構造としては、ラクトン構造を有していればいずれでも用いることができるが、好ましくは5〜7員環ラクトン構造であり、5〜7員環ラクトン構造にビシクロ構造、スピロ構造を形成する形で他の環構造が縮環しているものが好ましい。下記一般式(LC1−1)〜(LC1−17)のいずれかで表されるラクトン構造を有する繰り返し単位を有することがより好ましい。また、ラクトン構造が主鎖に直接結合していてもよい。好ましいラクトン構造としては(LC1−1)、(LC1−4)、(LC1−5)、(LC1−6)、(LC1−13)、(LC1−14)、(LC1−17)であり、特定のラクトン構造を用いることでラインエッジラフネス、現像欠陥が良好になる。
【0085】
【化12】
【0086】
ラクトン構造部分は置換基(Rb2)を有していても有していなくてもよい。好ましい置換基(Rb2)としては、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜7のシクロアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、炭素数1〜8のアルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、水酸基、シアノ基、酸分解性基などが挙げられる。より好ましくは炭素数1〜4のアルキル基、シアノ基、酸分解性基である。最も好ましい置換基はシアノ基であり、これにより、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)の全てにおいて、より優れた効果を得ることができる。n2は、0〜4の整数を表す。n2が2以上の時、複数存在するRb2は、同一でも異なっていてもよく、また、複数存在するRb2同士が結合して環を形成してもよい。
【0087】
一般式(LC1−1)〜(LC1−17)のいずれかで表されるラクトン構造を有する繰り返し単位としては、下記一般式(AI)で表される繰り返し単位を挙げることができる。
【0088】
【化13】
【0089】
一般式(AI)中、
Rb0は、水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。Rb0のアルキル基が有していてもよい好ましい置換基としては、水酸基、ハロゲン原子が挙げられる。Rb0のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子を挙げることができる。Rb0は、水素原子又はメチル基が好ましい。
Abは、単結合、アルキレン基、単環または多環の脂環炭化水素構造を有する2価の連結基、エーテル基、エステル基、カルボニル基、カルボキシル基、又はこれらを組み合わせた2価の連結基を表す。好ましくは、単結合、−Ab1−CO2−で表される2価の連結基である。Ab1は、直鎖、分岐アルキレン基、単環または多環のシクロアルキレン基であり、好ましくはメチレン基、エチレン基、シクロヘキシル基、アダマンチル基、ノルボルニル基である。
Vは、一般式(LC1−1)〜(LC1−17)の内のいずれかで示される構造を有する基を表す。
【0090】
ラクトン構造を有する繰り返し単位は、通常光学異性体が存在するが、いずれの光学異性体を用いてもよい。また、1種の光学異性体を単独で用いても、複数の光学異性体混合して用いてもよい。1種の光学異性体を主に用いる場合、その光学純度(ee)が90以上のものが好ましく、より好ましくは95以上である。
【0091】
ラクトン構造を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位に対し、15〜60mol%が好ましく、より好ましくは20〜50mol%、更に好ましくは30〜50mol%である。
【0092】
ラクトン構造を有する繰り返し単位の具体例を以下に挙げるが、本発明はこれらに限定されない。具体例中、RxはH,CH3,CH2OH,またはCF3を表す。
【0093】
【化14】
【0094】
(A)成分の樹脂は、水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。これにより基板密着性、現像液親和性が向上する。水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位は、水酸基又はシアノ基で置換された脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位であることが好ましい。この構造としては、例えば下記一般式(AIIa)〜(AIId)で表される繰り返し単位を挙げることができる。
【0095】
【化15】
【0096】
一般式(AIIa)〜(AIIb)に於いて、
R1cは、水素原子、メチル基、トリフロロメチル基又はヒドロキシメチル基を表す。
R2c〜R4cは、各々独立に、水素原子、水酸基又はシアノ基を表す。ただし、R2c〜R4cの内の少なくとも1つは、水酸基又はシアノ基を表す。好ましくは、R2c〜R4cの内の1つ又は2つが、水酸基で、残りが水素原子である。
【0097】
水酸基又はシアノ基で置換された脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位に対し、5〜40mol%が好ましく、より好ましくは5〜30mol%、更に好ましくは10〜25mol%である。
【0098】
水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位の具体例を以下に挙げるが、本発明はこれらに限定されない。
【0099】
【化16】
【0100】
(A)成分の樹脂は、アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。アルカリ可溶性基としてはカルボキシル基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、ビスルスルホニルイミド基、α位が電子吸引性基で置換された脂肪族アルコール(例えばヘキサフロロイソプロパノール基)が挙げられ、カルボキシル基を有する繰り返し単位を有することがより好ましい。アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位を含有することによりコンタクトホール用途での解像性が増す。アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位としては、アクリル酸、メタクリル酸による繰り返し単位のような樹脂の主鎖に直接アルカリ可溶性基が結合している繰り返し単位、あるいは連結基を介して樹脂の主鎖にアルカリ可溶性基が結合している繰り返し単位、さらにはアルカリ可溶性基を有する重合開始剤や連鎖移動剤を重合時に用いてポリマー鎖の末端に導入、のいずれも好ましく、連結基は単環または多環の環状炭化水素構造を有していてもよい。特に好ましくはアクリル酸、メタクリル酸による繰り返し単位である。
【0101】
アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位に対し、1〜20mol%が好ましく、より好ましくは3〜15mol%、更に好ましくは5〜10mol%である。
【0102】
アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。具体例中、RxはH,CH3,CH2OH,またはCF3を表す。
【0103】
【化17】
【0104】
ラクトン基、水酸基、シアノ基及びアルカリ可溶性基から選ばれる少なくとも1種類の基を有する繰り返し単位として、更に好ましくは、ラクトン基、水酸基、シアノ基、アルカリ可溶性基から選ばれる少なくとも2つを有する繰り返し単位であり、好ましくはシアノ基とラクトン基を有する繰り返し単位である。特に好ましくは前記LCI−4のラクトン構造にシアノ基が置換した構造を有する繰り返し単位である。
【0105】
(A)成分の樹脂は、更に、脂環炭化水素構造を有し、酸分解性を示さない繰り返し単位を含有してもよい。これにより液浸露光時にレジスト膜から液浸液への低分子成分の溶出が低減できる。
具体的には、脂環炭化水素系酸分解性樹脂は、更に、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式(3)で表される繰り返し単位を含有していることが好ましい。
【0106】
【化18】
【0107】
一般式(3)中、R5は少なくとも一つの環状構造を有し、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない炭化水素基を表す。
Raは水素原子、アルキル基又は−CH2−O−Ra2基を表す。式中、Ra2は、水素原子、アルキル基又はアシル基を表す。Raとして、例えば、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基又はヒドロキシメチル基等が挙げられ、水素原子、メチル基が特に好ましい。
【0108】
R5が有する環状構造には、単環式炭化水素基及び多環式炭化水素基が含まれる。単環式炭化水素基としては、たとえば、炭素数3〜12のシクロアルキル基、炭素数3〜12のシクロアルケニル基が挙げられる。好ましい単環式炭化水素基としては、炭素数3から7の単環式炭化水素基であり、より好ましくは、シクロペンチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
【0109】
多環式炭化水素基には環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、2環式炭化水素環、3環式炭化水素環、4環式炭化水素環などが挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環や、5〜8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。好ましい架橋環式炭化水素環としてノルボニル基、アダマンチル基が挙げられる。
【0110】
好ましい架橋環式炭化水素環として、ノルボルニル基、アダマンチル基、ビシクロオクタニル基、トリシクロ[5、2、1、02,6]デカニル基、などが挙げられる。より好ましい架橋環式炭化水素環としてノルボニル基、アダマンチル基が挙げられる。
【0111】
これらの脂環式炭化水素基は置換基を有していても良く、好ましい置換基としてはハロゲン原子、アルキル基、保護基で保護されたヒドロキシル基、保護基で保護されたアミノ基などが挙げられる。好ましいハロゲン原子としては臭素、塩素、フッ素原子、好ましいアルキル基としてはメチル、エチル、ブチル、t−ブチル基が挙げられる。上記のアルキル基はさらに置換基を有していても良く、更に有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、保護基で保護されたヒドロキシル基、保護基で保護されたアミノ基を挙げることができる。
【0112】
保護基としては、たとえばアルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基、置換メチル基、置換エチル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基が挙げられる。好ましいアルキル基としては、炭素数1〜4のアルキル基、好ましい置換メチル基としてはメトキシメチル、メトキシチオメチル、ベンジルオキシメチル、t−ブトキシメチル、2−メトキシエトキシメチル基、好ましい置換エチル基としては、1−エトキシエチル、1−メチル−1−メトキシエチル、好ましいアシル基としては、ホルミル、アセチル、プロピオニル、ブチリル、イソブチリル、バレリル、ピバロイル基などの炭素数1〜6の脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基としては炭素数1〜4のアルコキシカルボニル基などが挙げられる。
【0113】
水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式(3)で表される繰り返し単位の含有率は、(A)成分の樹脂中の全繰り返し単位に対し、0〜40モル%が好ましく、より好ましくは0〜20モル%である。
一般式(3)で表される繰り返し単位の具体例を以下に挙げるが、本発明はこれらに限定されない。式中、Raは、H、CH3、CH2OH、又はCF3を表す。
【0114】
【化19】
【0115】
(A)成分の樹脂は、上記の繰り返し構造単位以外に、ドライエッチング耐性や標準現像液適性、基板密着性、レジストプロファイル、さらにレジストの一般的な必要な特性である解像力、耐熱性、感度等を調節する目的で様々な繰り返し構造単位を有することができる。
【0116】
このような繰り返し構造単位としては、下記の単量体に相当する繰り返し構造単位を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【0117】
これにより、(A)成分の樹脂に要求される性能、特に、
(1)塗布溶剤に対する溶解性、(2)製膜性(ガラス転移点)、(3)アルカリ現像性、(4)膜べり(親疎水性、アルカリ可溶性基選択)、(5)未露光部の基板への密着性、(6)ドライエッチング耐性、等の微調整が可能となる。
【0118】
このような単量体として、例えばアクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類等から選ばれる付加重合性不飽和結合を1個有する化合物等を挙げることができる。
【0119】
その他にも、上記種々の繰り返し構造単位に相当する単量体と共重合可能である付加重合性の不飽和化合物であれば、共重合されていてもよい。
【0120】
(A)成分の樹脂において、各繰り返し構造単位の含有モル比はレジストのドライエッチング耐性や標準現像液適性、基板密着性、レジストプロファイル、さらにはレジストの一般的な必要性能である解像力、耐熱性、感度等を調節するために適宜設定される。
【0121】
本発明のレジスト組成物が、ArF露光用であるとき、ArF光への透明性の点から(A)成分の樹脂は芳香族基を有さないことが好ましい。
また、(A)成分の樹脂は、後述する樹脂(D)との相溶性の観点から、フッ素原子および珪素原子を含有しないことが好ましい。
【0122】
(A)成分の樹脂は、常法に従って(例えばラジカル重合)合成することができる。例えば、一般的合成方法としては、モノマー種および開始剤を溶剤に溶解させ、加熱することにより重合を行う一括重合法、加熱溶剤にモノマー種と開始剤の溶液を1〜10時間かけて滴下して加える滴下重合法などが挙げられ、滴下重合法が好ましい。反応溶媒としては、例えばテトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、ジイソプロピルエーテルなどのエーテル類やメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンのようなケトン類、酢酸エチルのようなエステル溶媒、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドなどのアミド溶剤、さらには後述のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノンのような本発明の組成物を溶解する溶媒が挙げられる。より好ましくは本発明のポジ型感光性組成物に用いられる溶剤と同一の溶剤を用いて重合することが好ましい。これにより保存時のパーティクルの発生が抑制できる。
重合反応は窒素やアルゴンなど不活性ガス雰囲気下で行われることが好ましい。重合開始剤としては市販のラジカル開始剤(アゾ系開始剤、パーオキサイドなど)を用いて重合を開始させる。ラジカル開始剤としてはアゾ系開始剤が好ましく、エステル基、シアノ基、カルボキシル基を有するアゾ系開始剤が好ましい。好ましい開始剤としては、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスジメチルバレロニトリル、ジメチル2,2‘−アゾビス(2−メチルプロピオネート)などが挙げられる。所望により開始剤を追加、あるいは分割で添加し、反応終了後、溶剤に投入して粉体あるいは固形回収等の方法で所望のポリマーを回収する。反応の濃度は5〜50質量%であり、好ましくは10〜30質量%である。反応温度は、通常10℃〜150℃であり、好ましくは30℃〜120℃、さらに好ましくは60〜100℃である。
【0123】
(A)成分の樹脂の重量平均分子量は、GPC法によりポリスチレン換算値として、好ましくは1,000〜200,000であり、より好ましくは2,000〜20,000、更により好ましくは3,000〜15,000、特に好ましくは3,000〜10,000である。重量平均分子量を、1,000〜200,000とすることにより、耐熱性やドライエッチング耐性の劣化を防ぐことができ、且つ現像性が劣化したり、粘度が高くなって製膜性が劣化することを防ぐことができる。
分散度(分子量分布)は、通常1〜3であり、好ましくは1〜2.6、更に好ましくは1〜2、特に好ましくは1.4〜1.7の範囲のものが使用される。分子量分布の小さいものほど、解像度、レジスト形状が優れ、且つレジストパターンの側壁がスムーズであり、ラフネス性に優れる。
【0124】
本発明のレジスト組成物において、(A)成分の樹脂の組成物全体中の配合量は、全固形分中50〜99.9質量%が好ましく、より好ましくは60〜99.0質量%である。
また、本発明において、(A)成分の樹脂は、1種で使用してもよいし、複数併用してもよい。
【0125】
(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物
本発明のレジスト組成物は活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(「光酸発生剤」又は「(B)成分」ともいう)を含有する。
そのような光酸発生剤としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、あるいはマイクロレジスト等に使用されている活性光線又は放射線の照射により酸を発生する公知の化合物及びそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
【0126】
たとえば、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネートを挙げることができる。
【0127】
活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物の内で好ましい化合物として、下記一般式(ZI)、(ZII)、(ZIII)で表される化合物を挙げることができる。
【0128】
【化20】
【0129】
上記一般式(ZI)において、R201、R202及びR203は、各々独立に有機基を表す。
X-は、非求核性アニオンを表し、好ましくはスルホン酸アニオン、カルボン酸アニオン、ビス(アルキルスルホニル)アミドアニオン、トリス(アルキルスルホニル)メチドアニオン、BF4-、PF6-、SbF6-などが挙げられ、好ましくは炭素原子を含有する有機アニオンである。
【0130】
好ましい有機アニオンとしては下式に示す有機アニオンが挙げられる。
【0131】
【化21】
【0132】
式中、
Rc1は、有機基を表す。
Rc1における有機基として炭素数1〜30のものが挙げられ、好ましくは置換していてもよいアルキル基、アリール基、またはこれらの複数が、単結合、−O−、−CO2−、−S−、−SO3−、−SO2N(Rd1)−などの連結基で連結された基を挙げることができる。Rd1は水素原子、アルキル基を表す。
Rc3、Rc4、Rc5は、各々独立に、有機基を表す。Rc3、Rc4、Rc5の有機基として好ましくはRc1における好ましい有機基と同じものを挙げることができ、最も好ましくは炭素数1〜4のパーフロロアルキル基である。
Rc3とRc4が結合して環を形成していてもよい。Rc3とRc4が結合して形成される基としてはアルキレン基、アリーレン基が挙げられる。好ましくは炭素数2〜4のパーフロロアルキレン基である。
Rc1、Rc3〜Rc5の有機基として特に好ましくは1位がフッ素原子またはフロロアアルキル基で置換されたアルキル基、フッ素原子またはフロロアルキル基で置換されたフェニル基である。フッ素原子またはフロロアルキル基を有することにより、光照射によって発生した酸の酸性度が上がり、感度が向上する。また、Rc3とRc4が結合して環を形成することにより光照射によって発生した酸の酸性度が上がり、感度が向上する。
【0133】
R201、R202及びR203としての有機基の炭素数は、一般的に1〜30、好ましくは1〜20である。
また、R201〜R203のうち2つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合、カルボニル基を含んでいてもよい。R201〜R203の内の2つが結合して形成する基としては、アルキレン基(例えば、ブチレン基、ペンチレン基)を挙げることができる。
【0134】
R201、R202及びR203の有機基としては、アリール基(炭素数6〜15が好ましい)、直鎖又は分岐のアルキル基(炭素数1〜10が好ましい)、シクロアルキル基(炭素数3〜15が好ましい)などが挙げられる。
R201、R202及びR203のうち、少なくとも1つがアリール基であることが好ましく、三つ全てがアリール基であることがより好ましい。アリール基としては、フェニル基、ナフチル基などの他に、インドール残基、ピロール残基などのヘテロアリール基も可能である。これらアリール基は更に置換基を有していてもよい。その置換基としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜15)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜15)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜7)、アシル基(好ましくは炭素数2〜12)、アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2〜7)等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
また、R201、R202及びR203から選ばれる2つが、単結合又は連結基を介して結合していてもよい。連結基としてはアルキレン基(炭素数1〜3が好ましい)、−O−,−S−,−CO−,−SO2−などがあげられるが、これらに限定されるものではない。
【0135】
R201、R202及びR203のうち、少なくとも1つがアリール基でない場合の好ましい構造としては、特開2004−233661号公報の段落0047,0048、特開2003−35948号公報の段落0040〜0046、US2003/0224288A1号明細書に式(I-1)〜(I-70)として例示されている化合物、US2003/0077540A1号明細書に式(IA-1)〜(IA-54)、式(IB-1)〜(IB-24)として例示されている化合物等のカチオン構造を挙げることができる。
【0136】
また、R201、R202及びR203としての有機基の具体例としては、後述する化合物(ZI−1)、(ZI−2)、(ZI−3)における対応する基を挙げることができる。
【0137】
尚、一般式(ZI)で表される構造を複数有する化合物であってもよい。例えば、一般式(ZI)で表される化合物のR201〜R203の少なくともひとつが、一般式(ZI)で表されるもうひとつの化合物のR201〜R203の少なくともひとつと結合した構造を有する化合物であってもよい。
【0138】
更に好ましい(ZI)成分として、以下に説明する化合物(ZI−1)、(ZI−2)、及び(ZI−3)を挙げることができる。
【0139】
化合物(ZI−1)は、上記一般式(ZI)のR201〜R203の少なくとも1つがアリール基である、アリールスルホニム化合物、即ち、アリールスルホニウムをカチオンとする化合物である。
アリールスルホニウム化合物は、R201〜R203の全てがアリール基でもよいし、R201〜R203の一部がアリール基で、残りがアルキル基、シクロアルキル基でもよい。
アリールスルホニウム化合物としては、例えば、トリアリールスルホニウム化合物、ジアリールアルキルスルホニウム化合物、アリールジアルキルスルホニウム化合物、ジアリールシクロアルキルスルホニウム化合物、アリールジシクロアルキルスルホニウム化合物を挙げることができる。
アリールスルホニウム化合物のアリール基としてはフェニル基、ナフチル基などのアリール基、インドール残基、ピロール残基、などのヘテロアリール基が好ましく、更に好ましくはフェニル基、インドール残基である。アリールスルホニム化合物が2つ以上のアリール基を有する場合に、2つ以上あるアリール基は同一であっても異なっていてもよい。
アリールスルホニウム化合物が必要に応じて有しているアルキル基は、炭素数1〜15の直鎖又は分岐状アルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基等を挙げることができる。
アリールスルホニウム化合物が必要に応じて有しているシクロアルキル基は、炭素数3〜15のシクロアルキル基が好ましく、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。
R201〜R203のアリール基、アルキル基、シクロアルキル基は、アルキル基(例えば炭素数1〜15)、シクロアルキル基(例えば炭素数3〜15)、アリール基(例えば炭素数6〜14)、アルコキシ基(例えば炭素数1〜15)、ハロゲン原子、水酸基、フェニルチオ基を置換基として有してもよい。好ましい置換基としては、炭素数1〜12の直鎖又は分岐状アルキル基、炭素数3〜12のシクロアルキル基、炭素数1〜12の直鎖、分岐又は環状のアルコキシ基であり、特に好ましくは炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基である。置換基は、3つのR201〜R203のうちのいずれか1つに置換していてもよいし、3つ全てに置換していてもよい。また、R201〜R203がアリール基の場合に、置換基はアリール基のp−位に置換していることが好ましい。
【0140】
次に、化合物(ZI−2)について説明する。化合物(ZI−2)は、式(ZI)におけるR201〜R203が、各々独立に、芳香環を含有しない有機基を表す場合の化合物である。ここで芳香環とは、ヘテロ原子を含有する芳香族環も包含するものである。
R201〜R203としての芳香環を含有しない有機基は、一般的に炭素数1〜30、好ましくは炭素数1〜20である。
R201〜R203は、各々独立に、好ましくはアルキル基、シクロアルキル基、アリル基、ビニル基であり、更に好ましくは直鎖、分岐、環状2−オキソアルキル基、アルコキシカルボニルメチル基、特に好ましくは直鎖、分岐2−オキソアルキル基である。
【0141】
R201〜R203としてのアルキル基は、直鎖状、分岐状のいずれであってもよく、好ましくは、炭素数1〜10の直鎖又は分岐アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基)を挙げることができる。R201〜R203としてのアルキル基は、直鎖若しくは分岐状2−オキソアルキル基、アルコキシカルボニルメチル基であることが好ましい。
R201〜R203としてのシクロアルキル基は、好ましくは、炭素数3〜10のシクロアルキル基(シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボニル基)を挙げることができる。
R201〜R203としてのシクロアルキル基は、環状2−オキソアルキル基であることが好ましい。
R201〜R203としての直鎖、分岐、環状の2−オキソアルキル基は、好ましくは、上記のアルキル基、シクロアルキル基の2位に>C=Oを有する基を挙げることができる。
R201〜R203としてのアルコキシカルボニルメチル基におけるアルコキシ基としては、好ましくは炭素数1〜5のアルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペントキシ基)を挙げることができる。
R201〜R203は、ハロゲン原子、アルコキシ基(例えば炭素数1〜5)、水酸基、シアノ基、ニトロ基によって更に置換されていてもよい。
【0142】
化合物(ZI−3)とは、以下の一般式(ZI−3)で表される化合物であり、フェナシルスルフォニウム塩構造を有する化合物である。
【0143】
【化22】
【0144】
一般式(ZI−3)に於いて、
R1c〜R5cは、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。
R6c及びR7cは、各々独立に、水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Rx及びRyは、各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アリル基、又はビニル基を表す。
R1c〜R7c中のいずれか2つ以上、及びRxとRyは、それぞれ結合して環構造を形成しても良く、この環構造は、酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合を含んでいてもよい。R1c〜R7c中のいずれか2つ以上、及びRxとRyが結合して形成する基としては、ブチレン基、ペンチレン基等を挙げることができる。
X-は、非求核性アニオンを表し、一般式(ZI)に於けるX-の非求核性アニオンと同様のものを挙げることができる。
【0145】
R1c〜R7cとしてのアルキル基は、直鎖状、分岐状のいずれであってもよく、例えば、炭素数1〜20個の直鎖又は分岐状アルキル基、好ましくは炭素数1〜12個の直鎖又は分岐状アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、直鎖又は分岐プロピル基、直鎖又は分岐ブチル基、直鎖又は分岐ペンチル基)を挙げることができる。
R1c〜R7cとしてのシクロアルキル基は、好ましくは炭素数3〜8個のシクロアルキル基(例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基)を挙げることができる。
R1c〜R5cとしてのアルコキシ基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよく、例えば炭素数1〜10のアルコキシ基、好ましくは、炭素数1〜5の直鎖及び分岐アルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基、直鎖又は分岐プロポキシ基、直鎖又は分岐ブトキシ基、直鎖又は分岐ペントキシ基)、炭素数3〜8の環状アルコキシ基(例えば、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基)を挙げることができる。
好ましくはR1c〜R5cのうちいずれかが直鎖又は分岐状アルキル基、シクロアルキル基又は直鎖、分岐、環状アルコキシ基であり、更に好ましくはR1c〜R5cの炭素数の和が2〜15である。これにより、より溶剤溶解性が向上し、保存時にパーティクルの発生が抑制される。
【0146】
Rx及びRyとしてのアルキル基は、R1c〜R7cとしてのアルキル基と同様のものを挙げることができる。Rx及びRyとしてのアルキル基は、直鎖又は分岐状2−オキソアルキル基、アルコキシカルボニルメチル基であることが好ましい。
Rx及びRyとしてのシクロアルキル基は、R1c〜R7cとしてのシクロアルキル基と同様のものを挙げることができる。Rx及びRyとしてのシクロアルキル基は、環状2−オキソアルキル基であることが好ましい。
直鎖、分岐、環状2−オキソアルキル基は、R1c〜R7cとしてのアルキル基、シクロアルキル基の2位に>C=Oを有する基を挙げることができる。
アルコキシカルボニルメチル基におけるアルコキシ基については、R1c〜R5cとしてのアルコキシ基と同様のものを挙げることができる。
Rx、Ryは、好ましくは炭素数4個以上のアルキル基であり、より好ましくは6個以上、更に好ましくは8個以上のアルキル基である。
【0147】
一般式(ZII)、(ZIII)中、
R204〜R207は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。これら基の具体例としては、R201、R202及びR203として具体的に説明したものと同様のものが挙げられる。
X-は、非求核性アニオンを表し、一般式(ZI)に於けるX-の非求核性アニオンと同様のものを挙げることができる。
【0148】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の内で好ましい化合物として、更に、下記一般式(ZIV)、(ZV)、(ZVI)で表される化合物を挙げることができる。
【0149】
【化23】
【0150】
一般式(ZIV)〜(ZVI)中、
Ar3及びAr4は、各々独立に、アリール基を表す。
R208は、アルキル基又はアリール基を表す。
R209及びR210は、各々独立に、アルキル基、アリール基または電子求引性基を表す。R209は、好ましくはアリール基である。
R210は、好ましくは電子求引性基であり、より好ましくはシアノ基、フロロアルキル基である。
Aは、アルキレン基、アルケニレン基又はアリーレン基を表す。
【0151】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物として、一般式(ZI)〜(ZIII)で表される化合物が好ましい。
【0152】
化合物(B)は、活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を有する脂肪族スルホン酸又はフッ素原子を有するベンゼンスルホン酸を発生する化合物であることが好ましい。
【0153】
化合物(B)は、トリフェニルスルホニウム構造を有することが好ましい。
【0154】
化合物(B)は、カチオン部にフッ素置換されていないアルキル基若しくはシクロアルキル基を有するトリフェニルスルホニウム塩化合物であることが好ましい。
【0155】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の中で、特に好ましいものの例を以下に挙げる。
【0156】
【化24】
【0157】
【化25】
【0158】
【化26】
【0159】
【化27】
【0160】
【化28】
【0161】
【化29】
【0162】
また、前記一般式(ZI)において、Z−が下記一般式(A’)で表されるアニオンである場合も好ましい。
【0163】
【化30】
【0164】
一般式(A’)中、Rは、水素原子又は有機基を表し、好ましくは、炭素数1〜40の有機基であり、より好ましくは、炭素数3〜20の有機基であり、下記一般式(B)で表される有機基であることが最も好ましい。
【0165】
Rの有機基としては、炭素原子を1つ以上有していればよく、好ましくは、一般式(A’)に示すエステル結合における酸素原子と結合する原子が炭素原子であり、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、ラクトン構造を有する基が挙げられ、鎖中に、酸素原子、硫黄原子などのヘテロ原子を有していてもよい。また、これらを相互に置換基として有していてもよく、水酸基、アシル基、アシルオキシ基、オキシ基(=O)、ハロゲン原子などの置換基を有していてもよい。
【0166】
【化31】
【0167】
一般式(B)中、Rcは、環状エーテル、環状チオエーテル、環状ケトン、環状炭酸エステル、ラクトン、ラクタム構造を含んでも良い炭素数3〜30の単環または多環の環状有機基を表す。
Yは、水酸基、ハロゲン原子、シアノ基、カルボキシル基、炭素数1〜10の炭化水素基、炭素数1〜10のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアシル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、炭素数2〜10のアシルオキシ基、炭素数2〜10のアルコキシアルキル基、炭素数1〜8のハロゲン化アルキル基を表す。
mは0〜6の整数であり、複数Yが存在する場合、互いに同一でも異なっても良い。nは0〜10の整数である。
【0168】
一般式(B)で表される有機基を構成する炭素原子の総数は好ましくは40以下である。また、一般式(B)の有機基は、nが0〜3の整数であり、Rcが炭素数7〜16の単環または多環の環状有機基であることが好ましい。
【0169】
一般式(A’)で表されるアニオンを有する化合物の具体例として、下記化合物を例示するがこれらに限定されるものではない。
【0170】
【化32】
【0171】
【化33】
【0172】
【化34】
【0173】
【化35】
【0174】
一般式(A’)で表される化合物は、公知の方法で合成することができ、例えば、特開2007−161707号公報に記載の方法に準じて合成することができる。
【0175】
光酸発生剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。2種以上を組み合わせて使用する際には、発生酸として水素原子を除く全原子数が2以上異なる有機酸を発生する光酸発生剤を組み合わせることが好ましい。
光酸発生剤の総量は、レジスト組成物の全固形分を基準として、0.1〜20質量%が好ましく、より好ましくは0.5〜10質量%、更に好ましくは1〜7質量%である。
また、酸発生剤の好ましい別の形態としては、下記一般式(I)又は(I’)で表されるスルホン酸を発生する化合物が挙げられる。
【0176】
【化36】
【0177】
一般式(I)及び(I’)において、
A1は2価の連結基を表す。
A2及びA3は、各々独立に、単結合、酸素原子又は−N(Rxb)−を表す。
Rxbは水素原子、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
A4は単結合又は−C(=O)−を表す。
Raは水素原子又は有機基を表す。
nは2又は3を表す。
Rbはn価の連結基を表す。
A3が−N(Rxb)−の時、RaとRxb又はRbとRxbが結合して環を形成してもよい。
【0178】
A1としての2価の連結基は、好ましくは炭素数1〜20の有機基であり、より好ましくはアルキレン基(好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数2〜6、更に好ましくは炭素数3〜4)である。アルキレン鎖中に酸素原子、硫黄原子、−C(=O)−基、エステル基などの連結基を有していてもよい。
A1としての2価の連結基は、更に好ましくはフッ素原子で置換されたアルキレン基であり、特に水素原子数の30〜100%がフッ素原子で置換されたアルキレン基が好ましい。フッ素原子で置換されたアルキレン基の場合、−SO3H基と結合した炭素原子がフッ素原子を有することが好ましい。更にはパーフルオロアルキレン基が好ましく、パーフロロエチレン基、パーフロロプロピレン基、パーフロロブチレン基が最も好ましい。
【0179】
Rxbにおけるアリール基としては、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数6〜14のアリール基である。
【0180】
Rxbとしてのアルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数1〜20の直鎖及び分岐アルキル基であり、アルキル鎖中に酸素原子を有していてもよい。
【0181】
なお、置換基を有するアルキル基として、特に直鎖又は分岐アルキル基にシクロアルキル基が置換した基(例えば、アダマンチルメチル基、アダマンチルエチル基、シクロヘキシルエチル基、カンファー残基など)を挙げることができる。
【0182】
Rxbとしてのシクロアルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数3〜20のシクロアルキル基である。
【0183】
Raは水素原子又は1価の有機基を表す。
Raとしての1価の有機基は、好ましくは炭素数1〜20であり、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基などを挙げることができる。
【0184】
Raとしてのアルキル基、シクロアルキル基又はアリール基は、Rxbとして挙げたものと同様である。
【0185】
Raとしてのアラルキル基は、好ましくは炭素数7〜20のアラルキル基が挙げられる。
【0186】
Raとしてのアルケニル基は、Rxbとして挙げたアルキル基の任意の位置に2重結合を有する基が挙げられる。
【0187】
Rbとしてのn価の連結基は、好ましくは炭素数1〜20である。一般式(I')においてn=2である場合の、Rbとしての2価の連結基は、例えば、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜20)、アリーレン基(好ましくは炭素数6〜10)、アラルキレン基(好ましくは炭素数7〜13)、アルケニレン基(好ましくは炭素数2〜12)が挙げられる。これらは置換基を有していてもよい。
n=3である場合のRbとしての3価の連結基は、上記2価の連結基の任意の水素原子を除いた3価の基を挙げることができる。
【0188】
A3が−N(Rxb)−の時、RaとRxb又はRbとRxbが結合して形成する環としては、窒素原子を含む炭素数4〜10の環が好ましく、単環でも多環でもよい。また、環内に酸素原子を有していてもよい。
【0189】
上記各基が有してもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、水酸基、ニトロ基、シアノ基、カルボキシ基、シクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜20)、アシル基(好ましくは炭素数2〜20)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜20)などが挙げられる。アリール基、シクロアルキル基などにおける環状構造については、置換基としては更にアルキル基(好ましくは炭素数1〜20)を挙げることができる。
【0190】
一般式(I)及び(I’)のスルホン酸は、下記一般式(IA)〜(IC)及び(I’A)〜(I’C)で表されるスルホン酸であることが好ましい。
【0191】
【化37】
【0192】
一般式(IA)〜(IC)及び(I’A)〜(I’C)中、
Ra’は一般式(I)におけるRaと同義である。
Rb及びnは、一般式(I’)におけるRb及びnと同義である。
Ra”はアルキル基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基を表す。
Rx’は一般式(I)及び(I’)におけるRxbと同義である。
n1は1〜10の整数を表す。
n2は0〜10の整数を表す。
A5は、単結合、−O−、アルキレン基、シクロアルキレン基又はアリーレン基を表す。
【0193】
A5としてのアルキレン基、シクロアルキレン基は、フッ素置換されていない、アルキレン基、シクロアルキレン基が好ましい。
一般式(IA)においてRa’とRx’が結合して環を形成していることが好ましい。環構造を形成することによって、安定性が向上し、これを用いた組成物の保存安定性が向上する。形成される環としては、炭素数4〜20が好ましく、単環式でも多環式でもよく、環内に酸素原子を含んでいてもよい。
Ra”としてのアルキル基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基は、Raとしてのアルキル基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基と同様のものが挙げられる。
n1+n2は2〜8が好ましく、更に好ましくは2〜6である。
好ましいさらに別の形態としては、下記一般式(II)で表されるスルホン酸を発生する化合物が挙げられる。
【0194】
【化38】
【0195】
一般式(II)に於いて、
Rfは、フッ素原子又はフッ素原子を有する有機基を表す。
Ra1及びRb1は、各々独立に、有機基を表す。
Arは、芳香族基を表す。
Xは、−SO−、−SO2−、−S−又は−O−を表す。
l’は、0〜6の整数を表す。
m’は、0〜5の整数を表す。
n’は、0〜5の整数を表す。
【0196】
一般式(II)において、Ra1及びRb1の有機基としては、例えば、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アシル基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニルアミノ基、アルキルシリルオキシ基、シアノ基等を挙げることができる。これら有機基は、複数が単結合、エーテル結合、エステル結合、アミド結合、スルフィド結合、ウレア結合等で連結されていてもよい。Ra1及びRb1の有機基は、好ましくは炭素数2〜30であり、より好ましくは炭素数4〜30であり、更により好ましくは炭素数6〜30であり、特に好ましくは炭素数8〜24である。
【0197】
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキル基は、炭素数1〜30の直鎖又は分岐状アルキル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリール基としては、フェニル基、トリル基、メシチル基、ナフチル基などが挙げられる。
Ra1及びRb1の有機基に於けるシクロアルキル基は、炭素数3〜30の単環又は多環のシクロアルキル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルコキシ基は、炭素数1〜30の直鎖又は分岐状アルコキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールオキシ基は、炭素数6〜20のアリールオキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアラルキル基は、炭素数7〜12のアラルキル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアラルキルオキシ基は、炭素数6〜20のアラルキルオキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるシクロアルコキシ基は、炭素数3〜30の単環又は多環のシクロアルコキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルコキシカルボニル基の炭素数は、1〜30が好ましい。
【0198】
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールオキシカルボニル基は、炭素数6〜20のアリールオキシカルボニル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアシルオキシ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルチオ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールチオ基は、炭素数6〜20が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアシル基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアシルアミノ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルケニル基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルケニルオキシ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールカルボニルオキシ基は、炭素数6〜20が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルカルボニルオキシ基は、炭素数1〜30がが好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルアミノカルボニル基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルカルボニルアミノ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルシリルオキシ基は、炭素数1〜30が好ましい。
【0199】
上記で説明したRa1及びRb1の有機基は、置換基により置換されていてもよい。置換基としては、例えば、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、アシル基、アシロキシ基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、水酸基、カルボキシル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
また、Ra1及びRb1としてのアルキル基、シクロアルキル基、及びアルコキシ基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシルオキシ基、アルキルチオ基、アシル基、アシルアミノ基が有するアルキル基、シクロアルキル基は、アルキル鎖中、シクロアルキル鎖中に、酸素原子、硫黄原子、エステル基などの連結基を一つまたは複数有していてもよい。
【0200】
好ましいRa1及びRb1としては、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アシル基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルアミノ基、アルキルシリルオキシ基、が挙げられる。より好ましいRa1及びRb1としては、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アシル基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルアミノ基であり、更に好ましくはアルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルアミノ基である。
【0201】
l’及びn’が2以上の整数の場合に、複数のRa1及びRb1は、同一でも異なっていてもよい。
【0202】
Rfはフッ素原子又はフッ素原子を有する有機基を表し、フッソ原子を有する有機基は、Ra1及びRb1に於ける有機基の水素原子の一部若しくは全てがフッソ原子によって置換されたものが挙げられる。m’が2以上の整数の場合に、複数のRfは、同一でも異なっていてもよい。
【0203】
RfとRa1及びRb1の炭素数の和は、好ましくは炭素数4〜34であり、より好ましくは炭素数6〜30であり、更により好ましくは炭素数8〜24である。RfとRa1及びRb1の炭素数を調整することによって酸の拡散性を調整することができ、解像力が向上する。
【0204】
Arの芳香族基は、炭素数6〜20の芳香族基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基等を挙げることができる。芳香族基は、更に、置換基を有していてもよい。芳香族基の好ましい更なる置換基としては、例えば、ニトロ基、スルホニルアミノ基、塩素原子、臭素原子、沃素原子、カルボキシル基等を挙げることができる。
【0205】
l’は、好ましくは0〜3であり、より好ましくは0〜2であり、更に好ましくは1又は2である。
n’は、好ましくは0〜3であり、より好ましくは0〜2であり、更に好ましくは0又は1である。
m’は、好ましくは2〜5であり、より好ましくは3又は4であり、更に好ましくは4である。
【0206】
一般式(II)で表されるスルホン酸は、下記一般式(IIa)で表されることが好ましく、一般式(IIb)で表されることがより好ましく、一般式(IIc)で表されることが更により好ましい。ここで、Ra1、Rf、X、l’、m’、n’は、一般式(II)に於けるRa1、Rf、X、l’、m’、n’と同義である。RはRa1と同様のものである。
【0207】
【化39】
【0208】
活性光線または放射線の照射により一般式(I)又は(I’)又は(II)で表されるスルホン酸を発生する化合物としては、一般式(I)又は(I’)又は(II)で表されるスルホン酸のスルホニウム塩化合物またはヨードニウム塩化合物から選ばれる1種、若しくは(I)又は(I’)又は(II)で表されるスルホン酸のエステル化合物から選ばれる1種が好ましく、更に好ましくは一般式(B1)〜(B5)で表される化合物である。
【0209】
【化40】
【0210】
一般式(B1)において、R201、R202及びR203は、各々独立に、有機基を表す。
X−は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれたスルホン酸アニオンを表す。
R201、R202及びR203としての有機基の具体例及び好ましい例は、前記一般式(ZI)におけるR201、R202及びR203で説明したものと同様である。
【0211】
前記一般式(B2)中、R204及びR205は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
X−は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれたスルホン酸アニオンを表す。
【0212】
一般式(B2)に於ける、R204及びR205としては、前記一般式(ZII)におけるR204及びR205として説明したものと同様である。
【0213】
前記一般式(B3)中、Aは、置換若しくは未置換の、アルキレン基、アルケニレン基又はアリーレン基を表す。
X1は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれた1価の基を表す。
【0214】
前記一般式(B4)中、R208は、置換若しくは未置換の、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を表す。
R209は、アルキル基、シアノ基、オキソアルキル基、アルコキシカルボニル基を表し、好ましくはハロゲン置換アルキル基、シアノ基である。
X1は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれた1価の基を表す。
【0215】
前記一般式(B5)中、R210及びR211は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シアノ基、ニトロ基又はアルコキシカルボニル基を表し、好ましくはハロゲン置換アルキル基、ニトロ基、シアノ基である。
R212は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はアルコキシカルボニル基を表す。
X1は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれた1価の基を表す。
【0216】
好ましくは、一般式(B1)で表される化合物であり、更に好ましくは化合物(B1a)〜(B1c)である。
【0217】
化合物(B)は、トリフェニルスルホニウム構造を有することが好ましい。
【0218】
化合物(B)は、カチオン部にフッ素置換されていないアルキル基若しくはシクロアルキル基を有するトリフェニルスルホニウム塩化合物であることが好ましい。
【0219】
活性光線又は放射線の照射により、化合物(B)の中で、好ましいものの例を以下に挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0220】
【化41】
【0221】
【化42】
【0222】
【化43】
【0223】
【化44】
【0224】
【化45】
【0225】
2種以上を組み合わせて使用する際に、化合物(B)とその他の酸発生剤を併用しても良い。
2種以上を併用した場合の酸発生剤の使用量は、モル比(化合物(B)/その他の酸発生剤)で、通常99/1〜20/80、好ましくは99/1〜40/60、更に好ましくは99/1〜50/50である。
【0226】
そのような併用可能な酸発生剤としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、あるいはマイクロレジスト等に使用されている活性光線又は放射線の照射により酸を発生する公知の化合物及びそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
【0227】
たとえば、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネートを挙げることができる。
【0228】
(C)溶剤
前記各成分を溶解させてレジスト組成物を調製する際に使用することができる溶剤としては、例えば、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、アルキレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキル、環状ラクトン(好ましくは炭素数4〜10)、環を有しても良いモノケトン化合物(好ましくは炭素数4〜10)、アルキレンカーボネート、アルコキシ酢酸アルキル、ピルビン酸アルキル等の有機溶剤を挙げることができる。
これらの溶剤の具体例は、特開2008−292975号公報[0244]〜[0249]に記載のものを挙げることができる。
【0229】
溶剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、別名1−メトキシ−2−アセトキシプロパン)を含有する2種類以上の混合溶剤であることが好ましい。
【0230】
(D)フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂
本発明のレジスト組成物は、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂(D)を含有することが好ましい。
樹脂(D)におけるフッ素原子又は珪素原子は、樹脂の主鎖中に有していても、側鎖に置換していてもよい。
【0231】
樹脂(D)は、フッ素原子を有する部分構造として、フッ素原子を有するアルキル基、フッ素原子を有するシクロアルキル基又はフッ素原子を有するアリール基を有する樹脂であることが好ましい。
フッ素原子を有するアルキル基(好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜4)は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された直鎖若しくは分岐アルキル基であり、さらに他の置換基を有していてもよい。
フッ素原子を有するシクロアルキル基は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された単環若しくは多環のシクロアルキル基であり、さらに他の置換基を有していてもよい。
フッ素原子を有するアリール基としては、フェニル基、ナフチル基などのアリール基の少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたものが挙げられ、さらに他の置換基を有していてもよい。
【0232】
フッ素原子を有するアルキル基、フッ素原子を有するシクロアルキル基又はフッ素原子を有するアリール基の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0233】
【化46】
【0234】
一般式(F2)〜(F4)中、
R57〜R68は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子又はアルキル基を表す。但し、R57〜R61の内の少なくとも1つ、R62〜R64の内の少なくとも1つ及びR65〜R68の内の少なくとも1つは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を表す。R57〜R61及びR65〜R67は、全てがフッ素原子であることが好ましい。R62、R63及びR68は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)が好ましく、炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基であることがさらに好ましい。R62とR63は、互いに連結して環を形成してもよい。
【0235】
一般式(F2)で表される基の具体例としては、例えば、p−フルオロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、3,5-ジ(トリフルオロメチル)フェニル基等が挙げられる。
一般式(F3)で表される基の具体例としては、トリフルオロエチル基、ペンタフルオロプロピル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロブチル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ(2−メチル)イソプロピル基、ノナフルオロブチル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロヘキシル基、ノナフルオロ−t−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基、パーフルオロオクチル基、
パーフルオロ(トリメチル)ヘキシル基、2,2,3,3-テトラフルオロシクロブチル基、パーフルオロシクロヘキシル基などが挙げられる。ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ(2−メチル)イソプロピル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロ−t−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基が好ましく、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基が更に好ましい。
一般式(F4)で表される基の具体例としては、例えば、−C(CF3)2OH、−C(C2F5)2OH、−C(CF3)(CH3)OH、−CH(CF3)OH等が挙げられ、−C(CF3)2OHが好ましい。
【0236】
樹脂(D)は、珪素原子を有する部分構造として、アルキルシリル構造(好ましくはトリアルキルシリル基)又は環状シロキサン構造を有する樹脂であることが好ましい。
アルキルシリル構造又は環状シロキサン構造としては、具体的には、下記一般式(CS−1)〜(CS−3)で表される基などが挙げられる。
【0237】
【化47】
【0238】
一般式(CS−1)〜(CS−3)に於いて、
R12〜R26は、各々独立に、直鎖アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、又は分岐アルキル基若しくはシクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)を表す。
L3〜L5は、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、アルキレン基、フェニレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、ウレイレン基又はウレア基よりなる群から選択される単独或いは2つ以上の基の組み合わせを挙げられる。
nは、1〜5の整数を表す。
【0239】
樹脂(D)として、下記一般式(C−I)〜(C−V)で示される繰り返し単位の群から選択される少なくとも1種を有する樹脂が挙げられる。
【0240】
【化48】
【0241】
一般式(C−I)〜(C−V)中、
R1〜R3は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
W1〜W2は、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する有機基を表す。
R4〜R7は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、直鎖もしくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。ただし、R4〜R7の少なくとも1つはフッ素原子を表す。R4とR5若しくはR6とR7は環を形成していてもよい。
R8は、水素原子又は直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
R9は、直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
L1〜L2は、単結合又は2価の連結基を表し、上記L3〜L5と同様のものである。
Qは、単環若しくは多環の環状脂肪族基を表す。すなわち、結合した2つの炭素原子(C−C)を含み、脂環式構造を形成するための原子団を表す。
R30及びR31は、各々独立に、水素又はフッ素原子を表す。
R32及びR33は、各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、フッ素化アルキル基又はフッ素化シクロアルキル基を表す。
但し、一般式(C−V)で表される繰り返し単位は、R30、R31、R32及びR33の内の少なくとも1つに、少なくとも1つのフッ素原子を有する。
【0242】
樹脂(D)は、一般式(C−I)で表される繰り返し単位を有することが好ましく、下記一般式(C−Ia)〜(C−Id)で表される繰り返し単位を有することが更に好ましい。
【0243】
【化49】
【0244】
一般式(C−Ia)〜(C−Id)に於いて、
R10及びR11は、水素原子、フッ素原子、直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
W3〜W6は、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを1つ以上有する有機基を表す。
【0245】
W1〜W6が、フッ素原子を有する有機基であるとき、フッ素化された直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、フッ素化されたシクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)又はフッ素化された直鎖、分岐若しくは環状のアルキルエーテル基(好ましくは炭素数1〜20)であることが好ましい。
【0246】
W1〜W6のフッ素化アルキル基としては、トリフルオロエチル基、ペンタフルオロプロピル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ(2−メチル)イソプロピル基、ヘプタフルオロブチル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロヘキシル基、ノナフルオロ−t−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基、パーフルオロオクチル基、パーフルオロ(トリメチル)ヘキシル基などが挙げられる。
【0247】
W1〜W6が、珪素原子を有する有機基であるとき、アルキルシリル構造又は環状シロキサン構造を有する基であることが好ましい。具体的には、前記一般式(CS−1)〜(CS−3)で表される基などが挙げられる。
【0248】
以下、一般式(C−I)で表される繰り返し単位の具体例を示すが、本発明は、これに限定されるものではない。式中、Xは、水素原子、−CH3、−F又は−CF3を表す。
【0249】
【化50】
【0250】
【化51】
【0251】
【化52】
【0252】
【化53】
【0253】
【化54】
【0254】
【化55】
【0255】
樹脂(D)は、下記の(D−1)〜(D−6)から選ばれるいずれかの樹脂であることが好ましい。
(D−1)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)を有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)のみを有する樹脂。
(D−2)トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)を有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(b)のみを有する樹脂。
(D−3)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)と、分岐状アルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、分岐状アルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)又はアリール基(好ましくは炭素数4〜20)を有する繰り返し単位(c)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)及び繰り返し単位(c)の共重合樹脂。
(D−4)トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)と、分岐状アルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、分岐状アルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)又はアリール基(好ましくは炭素数4〜20)を有する繰り返し単位(c)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(b)及び繰り返し単位(c)の共重合樹脂。
(D−5)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)と、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)及び繰り返し単位(b)の共重合樹脂。
(D−6)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)と、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)と、分岐状アルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、分岐状アルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)又はアリール基(好ましくは炭素数4〜20)を有する繰り返し単位(c)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)、繰り返し単位(b)及び繰り返し単位(c)の共重合樹脂。
樹脂(D−3)、(D−4)、(D−6)における、分岐状アルキル基、シクロアルキル基、分岐状アルケニル基、シクロアルケニル基、またはアリール基を有する繰り返し単位(c)としては、親疎水性、相互作用性などを考慮し、適当な官能基を導入することができるが、液浸液追随性、後退接触角の観点から、極性基を有さない官能基である方が好ましい。
樹脂(D−3)、(D−4)、(D−6)において、フルオロアルキル基を有する繰り返し単位(a)、及び/又は、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)は、20〜99モル%であることが好ましい。
【0256】
樹脂(D)は、下記一般式(Ia)で表される繰り返し単位を有する樹脂であることが好ましい。
【0257】
【化56】
【0258】
一般式(Ia)に於いて、
Rfは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
R1は、アルキル基を表す。
R2は、水素原子又はアルキル基を表す。
【0259】
一般式(Ia)に於ける、Rfの少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基は、炭素数1〜3であることが好ましく、トリフルオロメチル基がより好ましい。
R1のアルキル基は、炭素数3〜10の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましく、炭素数3〜10の分岐状アルキル基がより好ましい。
R2は、炭素数1〜10の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましく、炭素数3〜10の直鎖若しくは分岐状アルキル基がより好ましい。
【0260】
以下、一般式(Ia)で表される繰り返し単位の具体例を挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0261】
【化57】
【0262】
一般式(Ia)で表される繰り返し単位は、下記一般式(If)で表される化合物を重合させることにより形成させることができる。
【0263】
【化58】
【0264】
一般式(If)に於いて、
Rfは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
R1は、アルキル基を表す。
R2は、水素原子又はアルキル基を表す。
【0265】
一般式(If)に於ける、Rf、R1及びR2は、一般式(Ia)に於ける、Rf、R1及びR2と同義である。
一般式(If)で表される化合物は、市販品を使用してもよいし、合成したものを使用してもよい。合成する場合は、2−トリフルオロメチルメタクリル酸を酸クロリド化後、エステル化することにより得ることができる。
【0266】
一般式(Ia)で表される繰り返し単位を有する樹脂(D)は、更に、下記一般式(IIIF)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。
【0267】
【化59】
【0268】
一般式(IIIF)に於いて、
R4は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を表す。
L6は、単結合又は2価の連結基を表す。
【0269】
一般式(IIIF)に於ける、R4のアルキル基は、炭素数3〜20の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましい。
シクロアルキル基は、炭素数3〜20のシクロアルキル基が好ましい。
アルケニル基は、炭素数3〜20のアルケニル基が好ましい。
シクロアルケニル基は、炭素数3〜20のシクロアルケニル基が好ましい。
トリアルキルシリル基は、炭素数3〜20のトリアルキルシリル基が好ましい。
環状シロキサン構造を有する基は、炭素数3〜20の環状シロキサン構造を有する基が好ましい。
L6の2価の連結基は、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜5)、オキシ基が好ましい。
【0270】
以下、一般式(Ia)で表される繰り返し単位を有する樹脂(D)の具体例を挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0271】
【化60】
【0272】
【化61】
【0273】
樹脂(D)は、下記一般式(IIF)で表される繰り返し単位及び下記一般式(IIIF)で表される繰り返し単位を有する樹脂であることが好ましい。
【0274】
【化62】
【0275】
一般式(IIF)及び(IIIF)に於いて、
Rfは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
R3は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基若しくはシクロアルケニル基又はこれらの2つ以上が結合して形成される基を表す。
R4は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、トリアルキルシリル基若しくは環状シロキサン構造を有する基又はこれらの2つ以上が結合して形成される基を表す。
L6は、単結合又は2価の連結基を表す。
m及びnは、繰り返し単位の比率を表し、0<m<100、0<n<100である。
【0276】
一般式(IIF)に於ける、Rfは、一般式(Ia)に於ける、Rfと同様のものである。
R3及びR4のアルキル基は、炭素数3〜20の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましい。
シクロアルキル基は、炭素数3〜20のシクロアルキル基が好ましい。
アルケニル基は、炭素数3〜20のアルケニル基が好ましい。
シクロアルケニル基は、炭素数3〜20のシクロアルケニル基が好ましい。
R4のトリアルキルシリル基は、炭素数3〜20のトリアルキルシリル基が好ましい。
環状シロキサン構造を有する基は、炭素数3〜20の環状シロキサン構造を有する基が好ましい。
R3及びR4のアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、トリアルキルシリル基は、官能基を導入することができるが、液浸液追随性の観点から、極性基を有さない官能基である方が好ましく、無置換であることがより好ましい。
L6は、単結合、メチレン基、エチレン基、エーテル基が好ましい。
m=30〜70、n=30〜70であることが好ましく、m=40〜60、n=40〜60であることがより好ましい。
【0277】
以下、一般式(IIF)で表される繰り返し単位及び一般式(IIIF)で表される繰り返し単位を有する樹脂(D)の具体例を挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0278】
【化63】
【0279】
【化64】
【0280】
樹脂(D)は、下記一般式(VIII)で表される繰り返し単位を有してもよい。
【0281】
【化65】
【0282】
一般式(VIII)に於いて、
Z2は、−O−又は−N(R41)−を表す。R41は、水素原子、水酸基、アルキル基、又は−OSO2−R42を表す。R42は、アルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。R41及びR42のアルキル基は、ハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)等で置換されていてもよい。
【0283】
樹脂(D)は、常温(25℃)において、固体あることが好ましい。更に、ガラス転移温度(Tg)が50〜200℃であることが好ましく、80〜160℃がより好ましい。
【0284】
25℃において固体であるとは、融点が25℃以上であることをいう。
ガラス転移温度(Tg)は、走査カロリメトリー(Differential Scanning Calorimeter)により測定することができ、例えば、試料を一度昇温、冷却後、再度5℃/分にて昇温したときの比容積が変化した値を解析することにより測定することができる。
【0285】
樹脂(D)は、酸に対して安定で、アルカリ現像液に不溶であることが好ましい。
【0286】
樹脂(D)は、(x)アルカリ可溶性基、(y)アルカリ(アルカリ現像液)の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する基及び(z)酸の作用により分解し、現像液に対する溶解度が増大する基を有さない方が、液浸液の追随性の点で好ましい。
樹脂(D)中のアルカリ可溶性基又は酸やアルカリの作用により現像液に対する溶解度が増大する基を有する繰り返し単位の総量は、好ましくは、樹脂(D)を構成する全繰り返し単位に対して、20モル%以下、より好ましくは0〜10モル%、更により好ましくは0〜5モル%である。
また、樹脂(D)は、一般にレジストで使用される界面活性剤とは異なり、イオン結合や(ポリ(オキシアルキレン))基等の親水基を有さない。樹脂(D)が親水的な極性基を有すると、液浸水の追随性が低下する傾向があるため、水酸基、アルキレングリコール類、スルホン基から選択される極性基を有さない方がより好ましい。また、主鎖の炭素原子に連結基を介して結合したエーテル基は親水性が増大し液浸液追随性が劣化するため、有さない方が好ましい。一方で、上記一般式(IIIF)で示されるように主鎖の炭素原子に直接結合したエーテル基は疎水基を発現できる場合があるので好ましい。
【0287】
(x)アルカリ可溶性基としては、たとえば、フェノール性水酸基、カルボキシル基、フッ素化アルコール基、スルホン酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、(アルキルスルホニル)(アルキルカルボニル)メチレン基、(アルキルスルホニル)(アルキルカルボニル)イミド基、ビス(アルキルカルボニル)メチレン基、ビス(アルキルカルボニル)イミド基、ビス(アルキルスルホニル)メチレン基、ビス(アルキルスルホニル)イミド基、トリス(アルキルカルボニル)メチレン基、トリス(アルキルスルホニル)メチレン基を有する基等が挙げられる。
【0288】
(y)アルカリ(アルカリ現像液)の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する基としては、例えば、ラクトン基、エステル基、スルホンアミド基、酸無水物、酸イミド基などが挙げられる。
【0289】
(z)酸の作用により分解し、現像液に対する溶解度が増大する基としては、樹脂(A)における酸分解性基と同様の基が挙げられる。
【0290】
ただし、下記一般式(pA−c)で表される繰り返し単位は、樹脂(A)の酸分解性基と比較して酸の作用による分解性が無いかまたは極めて小さく、実質的に非酸分解性と同等と見なす。
【0291】
【化66】
【0292】
一般式(pA−c)に於いて、
Rp2は、式中の酸素原子に結合している3級炭素原子を有する炭化水素基を表す。
【0293】
樹脂(D)が珪素原子を有する場合、珪素原子の含有量は、樹脂(D)の分子量に対し、2〜50質量%であることが好ましく、2〜30質量%であることがより好ましい。また、珪素原子を含む繰り返し単位が、樹脂(D)中10〜100質量%であることが好ましく、20〜100質量%であることがより好ましい。
【0294】
樹脂(D)がフッ素原子を有する場合、フッ素原子の含有量は、樹脂(D)の分子量に対し、5〜80質量%であることが好ましく、10〜80質量%であることがより好ましい。また、フッ素原子を含む繰り返し単位が、樹脂(D)中10〜100質量%であることが好ましく、30〜100質量%であることがより好ましい。
【0295】
樹脂(D)の標準ポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは1,000〜100,000で、より好ましくは1,000〜50,000、更により好ましくは2,000〜15,000、特に好ましくは3,000〜15,000である。
【0296】
樹脂(D)は、残存モノマー量が0〜10質量%であることが好ましく、より好ましくは0〜5質量%、0〜1質量%が更により好ましい。また、解像度、レジスト形状、レジストパターンの側壁、ラフネスなどの点から、分子量分布(Mw/Mn、分散度ともいう)は、1〜5が好ましく、より好ましくは1〜3、更により好ましくは1〜1.5の範囲である。
【0297】
レジスト組成物中の樹脂(D)の添加量は、レジスト組成物の全固形分を基準として、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.1〜10質量%であることがより好ましい。更には、0.1〜5質量%であることが好ましく、より好ましくは0.2〜3.0質量%であり、更により好ましくは0.3〜2.0質量%である。
【0298】
樹脂(D)は、樹脂(A)と同様に、金属等の不純物が少ないのは当然のことながら、残留単量体やオリゴマー成分が既定値以下、例えばHPLCで0.1質量%等であることが好ましく、それによりレジストとしての感度、解像度、プロセス安定性、パターン形状等を更に改善することができるだけでなく、液中異物や感度等の経時変化のないレジストが得られる。
【0299】
樹脂(D)は、各種市販品を利用することもできるし、常法に従って(例えばラジカル重合)合成することができる。合成方法は、前述の酸分解性樹脂の合成方法や、丸善株式会社発行「第5版 実験化学講座26 高分子化学」の2章「高分子合成」の記載などを参照することができる。
【0300】
(E)塩基性化合物
本発明のレジスト組成物は、露光から加熱までの経時による性能変化を低減するために、(E)塩基性化合物を含有することが好ましい。
塩基性化合物としては、好ましくは、下記式(A)〜(E)で示される構造を有する化合物を挙げることができる。
【0301】
【化67】
【0302】
一般式(A)と(E)において、
R200 、R201及びR202 は、同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)又はアリール基(炭素数6〜20)を表し、ここで、R201とR202は、互いに結合して環を形成してもよい。R203 、R204、R205及びR206 は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20個のアルキル基を表す。
上記アルキル基について、置換基を有するアルキル基としては、炭素数1〜20のアミノアルキル基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基又は炭素数1〜20のシアノアルキル基が好ましい。
これら一般式(A)と(E)中のアルキル基は、無置換であることがより好ましい。
【0303】
好ましい化合物として、グアニジン、アミノピロリジン、ピラゾール、ピラゾリン、ピペラジン、アミノモルホリン、アミノアルキルモルフォリン、ピペリジン等を挙げることができ、更に好ましい化合物として、イミダゾール構造、ジアザビシクロ構造、オニウムヒドロキシド構造、オニウムカルボキシレート構造、トリアルキルアミン構造、アニリン構造又はピリジン構造を有する化合物、水酸基及び/又はエーテル結合を有するアルキルアミン誘導体、水酸基及び/又はエーテル結合を有するアニリン誘導体等を挙げることができる。
【0304】
イミダゾール構造を有する化合物としては、イミダゾール、2、4、5−トリフェニルイミダゾール、ベンズイミダゾール等が挙げられる。ジアザビシクロ構造を有する化合物としては、1、4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン、1、5−ジアザビシクロ[4,3,0]ノナ−5−エン、1、8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデカー7−エン等が挙げられる。オニウムヒドロキシド構造を有する化合物としては、トリアリールスルホニウムヒドロキシド、フェナシルスルホニウムヒドロキシド、2−オキソアルキル基を有するスルホニウムヒドロキシド、具体的にはトリフェニルスルホニウムヒドロキシド、トリス(t−ブチルフェニル)スルホニウムヒドロキシド、ビス(t−ブチルフェニル)ヨードニウムヒドロキシド、フェナシルチオフェニウムヒドロキシド、2−オキソプロピルチオフェニウムヒドロキシド等が挙げられる。オニウムカルボキシレート構造を有する化合物としては、オニウムヒドロキシド構造を有する化合物のアニオン部がカルボキシレートになったものであり、例えばアセテート、アダマンタンー1−カルボキシレート、パーフロロアルキルカルボキシレート等が挙げられる。トリアルキルアミン構造を有する化合物としては、トリ(n−ブチル)アミン、トリ(n−オクチル)アミン等を挙げることができる。アニリン構造を有する化合物としては、2,6−ジイソプロピルアニリン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジブチルアニリン、N,N−ジヘキシルアニリン等を挙げることができる。水酸基及び/又はエーテル結合を有するアルキルアミン誘導体としては、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリス(メトキシエトキシエチル)アミン等を挙げることができる。水酸基及び/又はエーテル結合を有するアニリン誘導体としては、N,N−ビス(ヒドロキシエチル)アニリン等を挙げることができる。
【0305】
好ましい塩基性化合物として、更に、フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物を挙げることができる。
前記フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物は、少なくとも1つのアルキル基が窒素原子に結合していることが好ましい。また、前記アルキル鎖中に、酸素原子を有し、オキシアルキレン基が形成されていることが好ましい。オキシアルキレン基の数は、分子内に1つ以上、好ましくは3〜9個、さらに好ましくは4〜6個である。オキシアルキレン基の中でも−CH2CH2O−、−CH(CH3)CH2O−もしくは−CH2CH2CH2O−の構造が好ましい。
前記フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物の具体例としては、US2007/0224539Aの[0066]に例示されている化合物(C1-1)〜(C3-3)が挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらの塩基性化合物は、単独であるいは2種以上一緒に用いられる。
【0306】
塩基性化合物の使用量は、レジスト組成物の固形分を基準として、通常、0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜5質量%である。
【0307】
酸発生剤と塩基性化合物の組成物中の使用割合は、酸発生剤/塩基性化合物(モル比)=2.5〜300であることが好ましい。即ち、感度、解像度の点からモル比が2.5以上が好ましく、露光後加熱処理までの経時でのレジストパターンの太りによる解像度の低下抑制の点から300以下が好ましい。酸発生剤/塩基性化合物(モル比)は、より好ましくは5.0〜200、更に好ましくは7.0〜150である。
【0308】
(F)界面活性剤
本発明のレジスト組成物は、更に界面活性剤を含有することが好ましく、フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤(フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子の両方を有する界面活性剤)のいずれか、あるいは2種以上を含有することがより好ましい。
【0309】
本発明のレジスト組成物が界面活性剤を含有することにより、250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度及び解像度で、密着性及び現像欠陥の少ないレジストパターンを与えることが可能となる。
このような界面活性剤は、特開2008−292975号公報[0346]〜[0349]に記載のものを挙げることができる。
【0310】
これらの界面活性剤は単独で使用してもよいし、また、いくつかの組み合わせで使用してもよい。
【0311】
界面活性剤の使用量は、レジスト組成物全量(溶剤を除く)に対して、好ましくは0.01〜10質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
【0312】
(G)カルボン酸オニウム塩
本発明におけるレジスト組成物は、カルボン酸オニウム塩を含有しても良い。このようなカルボン酸オニウム塩は、特開2008−292975号公報[0352]〜[0353]に記載のものを挙げることができる。
【0313】
これらのカルボン酸オニウム塩は、スルホニウムヒドロキシド、ヨードニウムヒドロキシド、アンモニウムヒドロキシドとカルボン酸を適当な溶剤中酸化銀と反応させることによって合成できる。
【0314】
カルボン酸オニウム塩の組成物中の含量は、組成物の全固形分に対し、一般的には0.1〜20質量%、好ましくは0.5〜10質量%、更に好ましくは1〜7質量%である。
【0315】
(H)その他の添加剤
本発明のレジスト組成物には、必要に応じてさらに染料、可塑剤、光増感剤、光吸収剤、アルカリ可溶性樹脂、溶解阻止剤及び現像液に対する溶解性を促進させる化合物(例えば、分子量1000以下のフェノール化合物、カルボキシル基を有する脂環族、又は脂肪族化合物)等を含有させることができる。
【0316】
このような分子量1000以下のフェノール化合物は、例えば、特開平4−122938号、特開平2−28531号、米国特許第4,916,210、欧州特許第219294等に記載の方法を参考にして、当業者において容易に合成することができる。
カルボキシル基を有する脂環族、又は脂肪族化合物の具体例としてはコール酸、デオキシコール酸、リトコール酸などのステロイド構造を有するカルボン酸誘導体、アダマンタンカルボン酸誘導体、アダマンタンジカルボン酸、シクロヘキサンカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸などが挙げられるがこれらに限定されるものではない。
【0317】
本発明のレジスト組成物の固形分濃度は、通常1.0〜10質量%であり、好ましくは、2.0〜5.7質量%、更に好ましくは2.0〜5.3質量%である。固形分濃度を前記範囲とすることで、レジスト溶液を基板上に均一に塗布することができ、更にはラインエッジラフネスに優れたレジストパターンを形成することが可能になる。その理由は明らかではないが、恐らく、固形分濃度を10質量%以下、好ましくは5.7質量%以下とすることで、レジスト溶液中での素材、特には光酸発生剤の凝集が抑制され、その結果として、均一なレジスト膜が形成できたものと考えられる。
固形分濃度とは、レジスト組成物の総重量に対する、溶剤を除く他のレジスト成分の重量の重量百分率である。
【0318】
本発明のパターン形成方法に於いて、活性光線又は放射線の照射によりネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂組成物による膜を基板上に形成する工程、膜を露光する工程、加熱する工程及びポジ型現像する工程は、一般的に知られている方法により行うことができる。
【0319】
本発明における露光装置に用いられる光源波長に制限は無いが、KrFエキシマレーザー波長(248nm)、ArFエキシマレーザー波長(193nm)とF2エキシマレーザー波長(157nm)等を適用できる。
【0320】
また、本発明の露光を行う工程においては液浸露光方法を適用することができる。
液浸露光方法とは、解像力を高める技術として、投影レンズと試料の間に高屈折率の液体(以下、「液浸液」ともいう)で満たし露光する技術である。
【0321】
液浸露光を行う場合には、(1)基板上に膜を形成した後、露光する工程の前に、及び/又は(2)液浸液を介して膜に露光する工程の後、膜を加熱する工程の前に、膜の表面を水系の薬液で洗浄する工程を実施してもよい。
【0322】
液浸液は、空気よりも高屈折率の物であれば特に限定されないが、通常、純水が用いられる。
【0323】
本発明において膜を形成する基板は特に限定されるものではなく、シリコン、SiN、SiO2やSiN等の無機基板、SOG等の塗布系無機基板等、IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造工程、さらにはその他のフォトファブリケーションのリソグラフィー工程で一般的に用いられる基板を用いることができる。更に、必要に応じて有機反射防止膜を膜と基板の間に形成させても良い。
【0324】
ポジ型現像を行う際には、アルカリ現像液を使用することが好ましい。
ポジ型現像を行う際に使用するアルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、n−プロピルアミン等の第一アミン類、ジエチルアミン、ジ−n−ブチルアミン等の第二アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第三アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第四級アンモニウム塩、ピロール、ピヘリジン等の環状アミン類等のアルカリ性水溶液を使用することができる。
さらに、上記アルカリ性水溶液にアルコール類、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
アルカリ現像液のアルカリ濃度は、通常0.1〜20質量%である。
アルカリ現像液のpHは、通常10.0〜15.0である。
特に、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの2.38質量%の水溶液が望ましい。
【0325】
ポジ型現像の後に行うリンス処理におけるリンス液としては、純水を使用し、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
【0326】
ネガ型現像を行う際には、有機溶剤を含有する有機系現像液を使用することが好ましい。
ネガ型現像を行う際に使用し得る有機系現像液としては、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤等の極性溶剤及び炭化水素系溶剤を用いることができる。
ケトン系溶剤としては、例えば、1-オクタノン、2-オクタノン、1-ノナノン、2-ノナノン、アセトン、4-ヘプタノン、1-ヘキサノン、2−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセトン、アセトニルアセトン、イオノン、ジアセトニルアルコール、アセチルカービノール、アセトフェノン、メチルナフチルケトン、イソホロン、プロピレンカーボネート等を挙げることができる。
エステル系溶剤としては、例えば、酢酸メチル、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、別名1−メトキシ−2−アセトキシプロパン)、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチルー3−エトキシプロピオネート、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、蟻酸メチル、蟻酸エチル、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル等を挙げることができる。
アルコール系溶剤としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、n-ヘキシルアルコール、n-ヘプチルアルコール、n-オクチルアルコール、n-デカノール等のアルコールや、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコール系溶剤や、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME、別名1−メトキシ−2−プロパノール)、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、メトキシメチルブタノール等のグリコールエーテル系溶剤等を挙げることができる。
エーテル系溶剤としては、例えば、上記グリコールエーテル系溶剤の他、ジオキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
アミド系溶剤としては、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等が使用できる。
炭化水素系系溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、ペンタン、ヘキサン、オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素系溶剤が挙げられる。
上記の溶剤は、複数混合してもよいし、上記以外の溶剤や水と混合し使用してもよい。
特に、ネガ型現像液は、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤から選択される少なくとも1種類の溶剤を含有する現像液であるのが好ましい。
【0327】
ネガ型現像液の蒸気圧は、20℃に於いて、5kPa以下が好ましく、3kPa以下が更に好ましく、2kPa以下が特に好ましい。ネガ型現像液の蒸気圧を5kPa以下にすることにより、現像液の基板上あるいは現像カップ内での蒸発が抑制され、ウェハ面内の温度均一性が向上し、結果としてウェハ面内の寸法均一性が良化する。
5kPa以下の蒸気圧を有する具体的な例としては、1-オクタノン、2-オクタノン、1-ノナノン、2-ノナノン、4-ヘプタノン、2−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、酢酸ブチル、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネート、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル等のエステル系溶剤、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、n-ヘキシルアルコール、n-ヘプチルアルコール、n-オクチルアルコール、n-デカノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコール系溶剤や、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、メトキシメチルブタノール等のグリコールエーテル系溶剤、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶剤、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミドのアミド系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素系溶剤が挙げられる。
特に好ましい範囲である2kPa以下の蒸気圧を有する具体的な例としては、1-オクタノン、2-オクタノン、1-ノナノン、2-ノナノン、4-ヘプタノン、2−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン等のケトン系溶剤、酢酸ブチル、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネート、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル等のエステル系溶剤、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、n-ヘキシルアルコール、n-ヘプチルアルコール、n-オクチルアルコール、n-デカノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコール系溶剤や、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、メトキシメチルブタノール等のグリコールエーテル系溶剤、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミドのアミド系溶剤、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素系溶剤が挙げられる。
【0328】
ネガ型現像を行う際に使用しうる現像液には、必要に応じて界面活性剤を適当量添加することができる。
界面活性剤としては特に限定されないが、例えば、イオン性や非イオン性のフッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤等を用いることができる。これらのフッ素及び/又はシリコン系界面活性剤として、例えば特開昭62−36663号公報、特開昭61−226746号公報、特開昭61−226745号公報、特開昭62−170950号公報、特開昭63−34540号公報、特開平7−230165号公報、特開平8−62834号公報、特開平9−54432号公報、特開平9−5988号公報、米国特許第5405720号明細書、同5360692号明細書、同5529881号明細書、同5296330号明細書、同5436098号明細書、同5576143号明細書、同5294511号明細書、同5824451号明細書記載の界面活性剤を挙げることができ、好ましくは、非イオン性の界面活性剤である。非イオン性の界面活性剤としては特に限定されないが、フッ素系界面活性剤又はシリコン系界面活性剤を用いることが更に好ましい。
界面活性剤の使用量は現像液の全量に対して、通常0.001〜5質量%、好ましくは0.005〜2質量%、更に好ましくは0.01〜0.5質量%である。
【0329】
現像方法としては、たとえば、現像液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法(ディップ法)、基板表面に現像液を表面張力によって盛り上げて一定時間静止することで現像する方法(パドル法)、基板表面に現像液を噴霧する方法(スプレー法)、一定速度で回転している基板上に一定速度で現像液塗出ノズルをスキャンしながら現像液を塗出しつづける方法(ダイナミックディスペンス法)などを適用することができる。
【0330】
また、ネガ型現像を行う工程の後に、他の溶媒に置換しながら、現像を停止する工程を実施してもよい。
【0331】
ネガ型現像の後には、有機溶剤を含むネガ型現像用リンス液を用いて洗浄する工程を含むことが好ましい。
【0332】
ネガ型現像後のリンス工程に用いるリンス液としては、レジストパターンを溶解しなければ特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができる。前記リンス液としては、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤(ジブチルエーテル、ジイソアミルエーテル等)から選択される少なくとも1種類の有機溶剤を含有するリンス液を用いることが好ましい。より好ましくは、ネガ型現像の後に、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤から選択される少なくとも1種類の有機溶剤を含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。更により好ましくは、ネガ型現像の後に、アルコール系溶剤又はエステル系溶剤を含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。特に好ましくは、ネガ型現像の後に、炭素数が少なくとも5(より好ましくは5〜12、更に好ましくは5〜10)であって、分枝及び/又は環状構造のアルキル鎖を有する、2級以上のアルコールを含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。あるいは、特に好ましくは、ネガ型現像の後に、1価アルコールを含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。ここで、ネガ型現像後のリンス工程で用いられる1価アルコールとしては、直鎖状、分岐状、環状の1価アルコールが挙げられ、具体的には、1−ブタノール、2−ブタノール、3−メチル−1−ブタノール、tert―ブチルアルコール、1−ペンタノール、2−ペンタノール、1−ヘキサノール、1−ヘプタノール、1−オクタノール、2−ヘキサノール、2−ヘプタノール、2−オクタノール、3−ヘキサノール、3−ヘプタノール、3−オクタノール、4−オクタノール、3−メチル−3−ペンタノール、シクロペンタノール、2,3−ジメチル−2−ブタノール、3,3−ジメチル−2−ブタノール、2−メチル−2−ペンタノール、2−メチル−3−ペンタノール、3−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−3−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、4−メチル−3−ペンタノール、シクロヘキサノール、5−メチル−2−ヘキサノール、4−メチル−2−ヘキサノール、4,5−ジチル−2−ヘキサール、6−メチル−2−ヘプタノール、7−メチル−2−オクタノール、8−メチル−2−ノナール、9−メチル−2−デカノールなどを用いることができ、好ましくは、1−ヘキサノール、2−ヘキサノール、1−ペンタノール、3−メチル−1−ブタノール、3−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−3−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、4−メチル−3−ペンタノールである(なお、これらの具体例の一部は、前記した、炭素数が少なくとも5であって、分枝及び/又は環状構造のアルキル鎖を有する、2級以上のアルコールにも相当する)。
【0333】
前記各成分は、複数混合してもよいし、上記以外の有機溶剤と混合し使用してもよい。
【0334】
リンス液中の含水率は、10質量%以下が好ましく、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは3質量%以下である。含水率を10質量%以下にすることで、良好な現像特性を得ることができる。
【0335】
ネガ型現像後に用いるリンス液の蒸気圧は、20℃に於いて0.05kPa以上、5kPa以下が好ましく、0.1kPa以上、5kPa以下が更に好ましく、0.12kPa以上、3kPa以下が最も好ましい。リンス液の蒸気圧を0.05kPa以上、5kPa以下にすることにより、ウェハ面内の温度均一性が向上し、更にはリンス液の浸透に起因した膨潤が抑制され、ウェハ面内の寸法均一性が良化する。
【0336】
リンス液には、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
【0337】
リンス工程においては、ネガ型の現像を行ったウェハを前記の有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄処理する。洗浄処理の方法は特に限定されないが、たとえば、一定速度で回転している基板上にリンス液を塗出しつづける方法(回転塗布法)、リンス液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法(ディップ法)、基板表面にリンス液を噴霧する方法(スプレー法)、などを適用することができ、この中でも回転塗布方法で洗浄処理を行い、洗浄後に基板を2000rpm〜4000rpmの回転数で回転させ、リンス液を基板上から除去することが好ましい。
【実施例】
【0338】
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【0339】
合成例1(樹脂(P−1)の合成)
窒素気流下、シクロヘキサノン5.9gを3つ口フラスコに入れ、80℃に加熱した。これに、モノマー(P-1-A)10.9g(64.0mmol)、モノマー(P-1-B)6.0g(25.6mmol)、モノマー(P-1-C)11.2g(38.4mmol)、重合開始剤V−60(アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬製)2.10g(12.8mmol)をシクロヘキサノン106gを溶解させた溶液を6時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で2時間加熱した。重合終了後、20℃のメタノール水溶液(体積比メタノール:水=9:1)450mLを滴下し、析出した固体をデカンテーションで採取した。この固体を40℃で真空乾燥し、樹脂P-1が15.2g得られた。得られた樹脂(P−1)の重量平均分子量は、10000、分散度(Mw/Mn)は、1.4であった。
【0340】
【化68】
【0341】
各繰り返し単位に対応するモノマーを、所望の組成比(モル比)となるように使用した以外は、上記合成例1と同様にして、樹脂(P−2)〜(P−27)、(P−R1)、(P−R2)及び疎水性樹脂(1a)〜(4b)を合成した。ここで、疎水性樹脂(1a)〜(4b)は、上記樹脂(D)に対応する。
【0342】
以下、樹脂(P−2)〜(P−27)、(P−R1)、(P−R2)及び疎水性樹脂(1a)〜(4b)の構造を示す。また、上記した樹脂(P−1)も含めて、樹脂(P−2)〜(P−27)、(P−R1)、(P−R2)及び疎水性樹脂(1a)〜(4b)の組成比(モル比)、重量平均分子量、分散度を、表1に示す。
【0343】
【化69】
【0344】
【化70】
【0345】
【化71】
【0346】
【化72】
【0347】
【化73】
【0348】
【表1】
【0349】
合成例2(化合物(PAG−1)の合成)
化合物(PAG−1)は、特開2007−161707号公報の[0108]〜[0110]に準じて合成した。
【0350】
化合物(PAG−2),(PAG−3),(PAG−4),(PAG−5),(PAG−6),(PAG−8),(PAG−9)も同様の手法に準じて合成した。
なお、化合物(PAG−7)は、CGI*1907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製)を使用した。
【0351】
以下、化合物(PAG−1)〜(PAG−9)の構造を示す。
【0352】
【化74】
【0353】
<レジスト組成物の調製>
下記表2に示す成分を表2に示す溶剤に溶解させ、固形分濃度4質量%の溶液を調製し、それぞれを0.03μmのポアサイズを有するポリエチレンフィルターでろ過してレジスト組成物Ar−1〜Ar−28,Ar−R1及びAr−R2を調製した。
【0354】
【表2】
【0355】
表2における略号は、次の通りである。
【0356】
B−1〜B−8:各々下記化合物を示す。
【0357】
【化75】
【0358】
W−1: メガファックF176(大日本インキ化学工業(株)製)(フッ素系)
W−2: メガファックR08(大日本インキ化学工業(株)製)(フッ素及びシリコン系)
W−3: ポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)(シリコン系)
【0359】
A1: プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
A2: γ−ブチロラクトン
A3: シクロヘキサノン
B1: プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)
B2: 乳酸エチル
【0360】
調製したレジスト組成物を用い、下記の方法でレジストパターンを形成した。
【0361】
実施例1(1回露光→ネガ現像:略号E-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−1を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハーをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を使用して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で20秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハーを回転させることにより、90nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0362】
実施例2〜28及び比較例1〜2
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例1の方法と同様にして、90nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0363】
実施例29(1回露光→ポジ現像→ネガ現像:略号E-B-P-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−13を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、純水でリンスし、ピッチ480nm、線幅360nmのパターンを得た。次に、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0364】
比較例3
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例29の方法と同様にして、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0365】
実施例30(1回露光→ネガ現像→ポジ現像:略号E-B-N-P)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−13を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、ピッチ480nm、線幅360nmのパターンを得た。次に、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、純水でリンスして、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0366】
比較例4
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例30の方法と同様にして、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0367】
実施例31(2回露光→ネガ現像:略号E-E-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−17を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、第1のパターン露光を行った。次いで、同マスクを、第1の露光と直交する方向に回転し、これを介して、第2のパターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、ピッチ240nm、孔径120nmのホールパターンを得た。
【0368】
比較例5
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例31の方法と同様にして、ピッチ240nm、孔径120nmのホールパターンを得た。
【0369】
実施例32(1回露光→ベーク→ポジ現像→ベーク→ネガ現像:略号E-B-P-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−18を塗布し100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、第1のパターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、純水でリンスし、ピッチ480nm、線幅360nmのパターンを得た。次に、130℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0370】
実施例33(1回露光→ベーク→ネガ現像→ベーク→ポジ現像:略号E-B-N-B-P)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−19を塗布し100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、第1のパターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、純水でリンスし、ピッチ400nm、線幅300nmのパターンを得た。次に、130℃で、60秒間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0371】
実施例34(1回液浸露光→ネガ現像:略号iE-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29SR(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚95nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−20を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザー液浸スキャナー(NA1.20)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、ピッチ100nm、線幅50nmのパターンを得た。
【0372】
比較例6
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例34の方法と同様にして、ピッチ100nm、線幅50nmのパターンを得た。
【0373】
【表3】
【0374】
表3において、PBは露光前の加熱を、PEBは露光後の加熱を意味する。また、PB、第1PEB及び第2PEBの欄において、例えば“100C60s”は、100℃,60秒間の加熱を意味する。ネガ型現像液のB1は、前記した溶剤を表す。“ネガ現像液比(1)/(2)”及び“リンス液比(1)/(2)”は、いずれも重量比である。
【0375】
<評価方法>
〔ラインウィドスラフネス(LWR)〕
90nm(1:1)、120nm(1:1)あるいは50nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを測長走査型電子顕微鏡(SEM(株)日立製作所S−9380II)を使用して観察し、スペースパターンの長手方向2μmの範囲を等間隔で50点線幅を測定し、その標準偏差から3σを算出することで測定した。値が小さいほど良好な性能であることを示す(なお、実施例31及び比較例5に関しては、LWRの評価に代えて、以下のHRの評価を行った)。
【0376】
〔ホールラフネス(HR)〕
実施例31及び比較例5で得られたホールパターンを測長走査型電子顕微鏡(SEM(株)日立製作所S−9380II)を使用して観察し、ホールパターンの直径の標準偏差から3σを算出することで測定した。値が小さいほど良好な性能であることを示す。
【0377】
〔露光ラチチュード(EL)〕
90nm(1:1)、120nm(1:1)あるいは50nm(1:1)のラインアンドスペース(ただし、実施例31及び比較例5に関してはピッチ240nm、孔径120nmのホールパターン)のレジストパターンを形成する露光量を最適露光量(多重現像の場合は、最終的に多重現像を経た後に、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成する露光量を意味し、多重現像の場合は、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成するための第1回目の露光量を意味する)とし、露光量を変化させた際にパターンサイズの±10%を許容する露光量幅を求め、この値を最適露光量で割って百分率表示した。値が大きいほど露光量変化による性能変化が小さく、露光ラチチュード(EL)が良好である。
【0378】
〔デフォーカス余裕度(DOF)〕
90nm(1:1)、120nm(1:1)あるいは50nm(1:1)のラインアンドスペース(ただし、実施例31及び比較例5に関してはピッチ240nm、孔径120nmのホールパターン)のレジストパターンを形成する露光量、フォーカスをそれぞれ最適露光量(多重現像の場合は、最終的に多重現像を経た後に、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成する露光量を意味し、多重現像の場合は、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成するための第1回目の露光量を意味する)、最適フォーカスとし、露光量を最適露光量としたまま、フォーカスを変化(デフォーカス)させた際に、パターンサイズの±10%を許容するフォーカスの幅を求めた。値が大きいほどフォーカス変化による性能変化が小さく、デフォーカス余裕度(DOF)が良好である。
【0379】
【表4】
【0380】
表4から、本発明のネガ型現像用レジスト組成物により、ラインウィズスラフネス(ホールラフネス)、露光ラチチュード及びデフォーカス余裕度に関して優れた、高精度な微細パターンを安定的に形成できることは明らかである。
【符号の説明】
【0381】
1 照射光
2 露光マスク
3 パターン
4 ウェハ
【技術分野】
【0001】
本発明は、IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにはその他のフォトファブリケーションのリソグラフィー工程に使用される、ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法に関するものである。特に、波長が300nm以下の遠紫外線光を光源とするArF露光装置及び液浸式投影露光装置で露光するために好適な、ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
上記のようなパターン形成のためのポジ型システム(レジスト組成物とポジ型現像液の組み合わせ)においては、図1に示すように、光学像の空間周波数のうち、光照射強度の強い領域を選択的に溶解・除去し、パターン形成を行う材料が提供されているにすぎない。反対に、ネガ型システム(レジスト組成物とネガ型現像液)の組み合わせにおいては、光照射強度の弱い領域を選択的に溶解・除去し、パターン形成を行う材料システムが提供されているにすぎない。
ここで、ポジ型現像液とは、図1に実線で表した所定の閾値以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液であり、ネガ型現像液とは、該所定の閾値以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液のことである。ポジ型現像液を用いた現像工程のことをポジ型現像(ポジ型現像工程ともいう)と呼び、ネガ型現像液を用いた現像工程のことをネガ型現像(ネガ型現像工程ともいう)と呼ぶ。
【0003】
ポジ型システムとしては、例えば特許文献1には、特定のアダマンタン構造を有する繰り返し単位及び特定のブチロラクトン構造を有する繰り返し単位からなる群から選ばれた少なくとも一つの繰り返し単位と、特定のノルボルナンラクトン構造を有する繰り返し単位とを有する樹脂、及び、酸発生剤を含む化学増幅型ポジ型レジスト組成物が記載されており、このポジ型レジスト組成物によれば、ArFエキシマレーザーリソグラフィーに適した、解像度、感度、パターン形状などの性能に加えて、ラインエッジラフネスが良好であり、また、リフロー工程においてパターンをより微細化できるレジスト組成物が得られるとされている。
【0004】
一方、通常のポジ型システムよりもさらに解像力を高める2重パターニング技術としての2重現像技術が特許文献2に記載されている。この例では、一般的な化学増幅の画像形成方法を利用しており、露光によってレジスト組成物中の樹脂の極性が、光強度の高い領域では高極性に、光強度の低い領域では低極性になることを利用して、特定のレジスト膜の高露光領域を高極性の現像液に溶解させポジ型現像を行い、低露光領域を低極性の現像液に溶解させてネガ型現像を行っている。具体的には、図2に示すように照射光1の露光量E2以上の領域をアルカリ水溶液をポジ型現像液として用いて溶解させ、露光量E1以下の領域を特定の有機溶剤をネガ型現像液として用いて溶解させている。これにより、図2に示すように、中間露光量(E2−E1)の領域が現像されずに残り、露光用マスク2の半ピッチを有するL/Sのパターン3をウェハ4上に形成している。
【0005】
特許文献3では、ネガ現像、そして、ネガ現像を用いた2重現像、2重露光によるパターン形成方法が開示されている。
しかしながら、上記のような微細パターンの形成に利用できるネガ型現像液を用いたパターン形成において、線幅バラツキ(LWR)と露光ラチチュード(EL)とフォーカス余裕度(DOF)とが優れることにより、さらに高精度な微細パターンが安定的に得られることが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2005−352466号公報
【特許文献2】特開2000−199953号公報
【特許文献3】特開2008−292975号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、上記課題を解決し、高集積かつ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンをより安定的に形成するために、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)に優れるネガ型現像用レジスト組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、下記の構成であり、これにより本発明の上記目的が達成される。
【0009】
(1) (A)下記一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物。
【0010】
【化1】
【0011】
一般式(1)中、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ry1〜Ry3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。
Zは、2価の連結基を表す。
【0012】
(2) 前記Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが単環の環状炭化水素構造を形成する場合、該環状炭化水素構造が6員以上の環であることを特徴とする上記(1)に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【0013】
(3) 前記一般式(1)で表される繰り返し単位が、下記一般式(2a)あるいは(2b)で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする、上記(1)に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【0014】
【化2】
【0015】
一般式(2a)、(2b)に於いて、
Xa1、Zは、それぞれ、一般式(1)に於けるXa1、Zと同義である。
Y1は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
Y2は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
R1、R2、R3は、各々独立にアルキル基又はシクロアルキル基を表す。
【0016】
(4) 前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂はアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位を有さないことを特徴とする上記(3)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0017】
(5) 前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂は、該樹脂が有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全てに関して、該繰り返し単位におけるα位炭素原子(樹脂主鎖を構成するとともに、−C(=O)−基に結合する炭素原子)の、該−C(=O)−基とは異なり、かつ、該樹脂主鎖を構成しない結合部位が、水素原子以外の置換基で置換されていることを特徴とする上記(3)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0018】
(6) 前記置換基がアルキル基、シアノ基又はハロゲン原子であることを特徴とする上記(5)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0019】
(7) 前記置換基がメチル基であることをあることを特徴とする上記(5)に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0020】
(8) 更に、(B)酸発生剤と(C)溶剤とを含有することを特徴とする、上記(1)〜(7)のいずれかに記載のネガ現像用レジスト組成物。
【0021】
(9) (ア)上記(1)〜(8)のいずれかに記載のネガ型現像用レジスト組成物により膜を形成する工程と、
(イ)露光工程と
(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程と
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【0022】
(10) 更に、(ウ)ポジ型現像液を用いて現像する工程を含むことを特徴とする上記(9)に記載のパターン形成方法。
【発明の効果】
【0023】
本発明により、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)、フォーカス余裕度(DOF)に優れたネガ型現像用レジスト組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】従来の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図2】ポジ型現像とネガ型現像を併用したパターン形成方法を示す模式図である。
【図3】ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図4】ポジ型現像液又はネガ型現像液を用いた場合の露光量と残膜曲線の関連を示したグラフである。
【図5】本発明の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図6】本発明の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図7】本発明の方法に於ける、ポジ型現像、ネガ型現像と、露光量との関連を示す模式図である。
【図8】光学像の空間強度分布を示す図面である。
【図9】ポジ型現像、閾値(a)、光強度の関連を示す模式図である。
【図10】光学像の空間強度分布を示す模式図である。
【図11】ネガ型現像、閾値(b)、光強度の関連を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
尚、本明細書に於ける基(原子団)の表記に於いて、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
【0026】
まず、本明細書で用いられる用語について説明する。パターンを形成する方式としては、ポジ型とネガ型があり、何れも、光照射を契機とした化学反応によって、レジスト膜の現像液に対する溶解性が変化することを利用しているが、光照射部が現像液に溶解する場合をポジ型方式、非照射部が現像液に溶解する場合をネガ型方式と呼ぶ。その場合に用いる現像液としては、ポジ型現像液とネガ型現像液の2つがある。ポジ型現像液とは、図1に実線で示す所定の閾値以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液であり、ネガ型現像液とは、前記所定の閾値以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液のことである。ポジ型現像液を用いた現像工程のことをポジ型現像(ポジ型現像工程ともいう)と呼び、ネガ型現像液を用いた現像工程のことをネガ型現像(ネガ型現像工程ともいう)と呼ぶ。多重現像(多重現像工程ともいう)とは、上記ポジ型現像液を用いた現像工程と上記ネガ型現像液を用いた現像工程とを組み合わせた現像方式のことである。本発明ではネガ型現像に用いるレジスト組成物のことをネガ型現像用レジスト組成物と呼び、多重現像に用いるレジスト組成物のことを多重現像用レジスト組成物と呼ぶ。以下、単にレジスト組成物と記載されている場合は、ネガ型現像用レジスト組成物のことを示す。ネガ型現像用リンス液とは、ネガ型現像工程の後の洗浄工程に用いられる、有機溶剤を含むリンス液のことを表す。
【0027】
本発明では、解像力を高める技術として、図3に示すように、所定の閾値(b)以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ネガ型現像液)と、酸の作用により極性が増大する樹脂を含有し、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液(好ましくはアルカリ現像液)に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液(好ましくは有機系現像液)に対する溶解度が減少する膜を形成するネガ型現像用レジスト組成物とを組合わせた、新しいパターン形成方法を提示する。
【0028】
本発明のネガ型現像用レジスト組成物は、所定の閾値(a)以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ポジ型現像液)に対しても優れた現像特性を示し、所定の閾値(a)以上の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ポジ型現像液)と所定の閾値(b)以下の露光部を選択的に溶解・除去させる現像液(ネガ型現像液)、及びネガ型現像用レジスト組成物を組合わせることで、多重現像によるパターン形成が可能である。
即ち、図3に示すように、露光マスク上のパターン要素を、光照射によって、ウエハー上に投影したときに、光照射強度の強い領域(所定の閾値(a)以上の露光部)を、ポジ型現像液を用いて溶解・除去し、光照射強度の弱い領域(所定の閾値(b)以下の露光部)を、ネガ型現像液を用いて溶解・除去することにより、光学空間像(光強度分布)の周波数の2倍の解像度のパターンを得ることができる。
【0029】
従って、本発明のネガ型現像用レジスト組成物は多重現像用レジスト組成物としても好適に使用することができる。
【0030】
本発明を実施するのに、必要なパターン形成プロセスは、以下の工程を含む。
(ア)(A)一般式(1)(後に詳述する)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物により膜を形成する工程と
(イ)露光工程と
(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程と
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【0031】
本発明のパターン形成方法は、前記ネガ型現像液が、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤から選択される少なくとも1種類の溶剤を含有する現像液であることが好ましい。
【0032】
本発明のパターン形成方法は、前記樹脂が、酸の作用により極性が増大してポジ型現像液に対する溶解度が増大する樹脂であり、(ウ)ポジ型現像液を用いて現像する工程を更に含むことが好ましい。
【0033】
本発明のパターン形成方法は、更に、(カ)有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄する工程を含むことが好ましい。
【0034】
本発明のパターン形成方法は、(イ)露光工程の後に、(オ)加熱工程を有することが好ましい。
【0035】
本発明のパターン形成方法は、(イ)露光工程を、複数回有することができる。
【0036】
本発明のパターン形成方法は、(オ)加熱工程を、複数回有することができる。
【0037】
本発明を実施するには、(A)一般式(1)(後に詳述する)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物、及び、(Ab)ネガ型現像液(好ましくは有機系現像液)が必要である。
本発明を実施するには、更に、(Ac)ポジ型現像液(好ましくはアルカリ現像液)を使用することが好ましい。
本発明を実施するには、更に、(Ad)有機溶剤を含むネガ型現像用リンス液を使用することが好ましい。
【0038】
ポジ型現像液、ネガ型現像液の2種類の現像液を用いたパターン形成プロセスを行う場合、その現像の順序は特に限定されないが、1回目の露光を行った後、ポジ型現像液もしくはネガ型現像液を用いて現像を行い、次に、最初の現像とは異なる現像液にて、ネガ型もしくはポジ型の現像を行うことが好ましい。更に、ネガ型の現像を行った後には、有機溶剤を含むネガ型現像用リンス液を用いて洗浄することが好ましい。
【0039】
パターンを形成する方式としては、(a)極性変換等の化学反応を利用する方式と、(b)架橋反応や重合反応等の分子間の結合生成を利用する方式が挙げられる。
架橋反応や重合反応等の分子間の結合により、樹脂の分子量が増大するレジスト材料系では、一つのレジスト材料が、ある現像液に対してはポジ型に、また、別の現像液に対してはネガ型に作用する様な系を構築するのが難しかった。
【0040】
本発明によれば、ひとつのレジスト組成物が、同時に、ポジ型現像液に対してはポジ型として作用し、また、ネガ型現像液に対してはネガ型として作用することが可能である。
本発明では、ポジ型現像液として、アルカリ現像液(水系)を、ネガ型現像液として、有機溶剤を含む有機系現像液を用いることができる。
【0041】
本発明に於いて、重要なのは、露光量の「閾値」(光照射領域の中で、膜が現像液に可溶化、あるいは不溶化する露光量)を制御することである。即ち、パターン形成を行うに際し、所望の線幅が得られるように、ポジ型現像液に対し可溶化する最小の露光量、および、ネガ型現像液対し不溶化する最小の露光量、が「閾値」である。
「閾値」は、以下の様にして求めることが出来る。
即ち、パターン形成を行うに際し、所望の線幅が得られるように、ポジ型現像液に対し可溶化する最小の露光量、および、ネガ型現像液対し不溶化する最小の露光量、が閾値である。
より厳密には、閾値は、以下の様に定義される。
レジスト膜の露光量に対する残膜率を測定した時に、図4にあるように、ポジ型現像液に対し、残膜率が0%となる露光量を、閾値(a)と、ネガ型現像液に対し、残膜率が100%となる露光量を、閾値(b)とする。
例えば、図5に示すように、ポジ型現像液に対し可溶化する露光量の閾値(a)を、ネガ型現像液対し可溶化する露光量の閾値(b)より、高くすることにより、1回の露光で、パターン形成が可能となる。即ち、図6に示すように、まずレジストをウェハに塗布し、露光を行い、まずポジ型現像液で露光量の閾値(a)以上を溶解し、続いてネガ型現像液で露光量の閾値(b)以下を溶解することで、1回の露光でパターン形成が可能になる。この場合の、ポジ型現像液による現像とネガ型現像液による現像の順序はどちらが先でも良い。ネガ型現像の後、有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄すると、より良好なパターン形成が可能になる。
【0042】
閾値を制御する方法としては、レジスト組成物および現像液の材料関連パラメータや、プロセスと関連するパラメータを制御する方法がある。
材料関連パラメータとしては、レジスト組成物の現像液、及び、有機溶剤に対する溶解性と関連する様々な物性値、即ち、SP値(溶解度パラメータ)、LogP値、等の制御が有効である。具体的には、レジスト組成物に含まれる、ポリマーの重量平均分子量、分子量分散度、モノマー組成比、モノマーの極性、モノマーシーケンス、ポリマーブレンド、低分子添加剤の添加、また、現像液については、現像液濃度、低分子添加剤の添加、界面活性剤の添加、等がある。
また、プロセス関連パラメータとしては、製膜温度、製膜時間、露光後後加熱時の温度、時間、現像時の温度、現像時間、現像装置のノズル方式(液盛り方法)、現像後のリンス方法等が挙げられる。
従って、ネガ型現像を用いたパターン形成方法及びネガ型現像とポジ型現像を併用した多重現像によるパターン形成方法に於いて、良好なパターンを得るためには、上記材料関連パラメータやプロセスパラメータを適切に制御し、それらを組み合わせることが重要である。
【0043】
ポジ型現像液、ネガ型現像液の2種類の現像液を用いたパターン形成プロセスは、上記の様に1回の露光でおこなってもよいし、2回以上の露光を行うプロセスで行ってもよい。即ち、1回目の露光を行った後、ポジ型現像液もしくはネガ型現像液を用いて現像を行い、次に、2回目の露光を行った後、最初の現像とは異なる現像液にて、ネガ型もしくはポジ型の現像を行う。
【0044】
露光を2回以上行うメリットとしては、1回目の露光後の現像における閾値の制御と、2回目の露光後の現像における閾値の制御の自由度が増大する、というメリットがある。2回以上露光を行う場合、2回目の露光量を1回目の露光量より大きくすることが望ましい。図7に示すように、2回目の現像においては、1回目および2回目の露光量の履歴が加算された量を基に、閾値が決定されるが、2回目の露光量が1回目の露光量より十分大きい場合、1回目の露光量の影響は小さくなり、場合によっては無視できるからである。
1回目の露光を行う工程における露光量(Eo1[mJ/cm2])は、2回目の露光を行う工程における露光量(Eo2[mJ/cm2])より、5[mJ/cm2]以上小さい方が望ましい。これは、1回目の露光の履歴の影響が、2回目の露光によりパターン形成を行う過程に及ぼす影響を小さくすることができる。
【0045】
1回目の露光量と2回目の露光量を変更するには、前述の材料・プロセスの様々なパラメータを調整する方法が有効であるが、特に、1回目の加熱をする工程の温度と、2回目の加熱をする工程の温度を制御することが有効である。即ち、1回目の露光量を2回目の露光量より小さくするには、1回目の加熱をする工程の温度を2回目の加熱をする工程の温度より高くすることが有効である。
【0046】
ポジ型現像に於ける、閾値(a)は、実際のリソグラフィ工程においては、以下の様に対応する。
基板上に、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、レジスト組成物による膜を形成した後、所望の照明条件で、所望のパターンサイズのフォトマスクを介して露光を行う。この時、露光の焦点(フォーカス)を0.05[μm]、露光量を0.5[mJ/cm2]刻みで振りながら、露光を行う。露光後、所望の温度で、所望時間加熱を行い、所望の濃度のアルカリ現像液で、所望時間現像を行う。現像後、パターンの線幅を、CD−SEMを用いて計測し、所望の線幅を形成する露光量A[mJ/cm2]、フォーカス位置を決定する。次に、特定露光量A[mJ/cm2]、特定フォーカス位置で、先のフォトマスクを照射した時の光学像の強度分布を計算する。計算は、シミュレーションソフトウエア(KLA社製Prolith ver.9.2.0.15)を用いて行うことができる。計算方法の詳細は、Inside PROLITH(Chris.A.Mack著、FINLE Technologies,Inc. , Cahpter2 Aerial Image Formation)に記載されている。
計算結果の一例として、図8に示す様な光学像の空間強度分布が得られる。
【0047】
ここで、図9に示すように、光学像の空間強度分布の極小値から、得られたパターン線幅の1/2の分だけ空間位置をずらした位置における光強度が、閾値(a)に対応する。
【0048】
ネガ型現像に於ける、閾値(b)は、実際のリソグラフィ工程においては、以下の様に対応する。
基板上に、酸の作用により極性が増大する樹脂を含有し、活性光線又は放射線の照射により、ポジ型現像液に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、レジスト組成物による膜を形成した後、所望の照明条件で、所望のパターンサイズのフォトマスクを介して露光を行う。この時、露光の焦点(フォーカス)を0.05[μm]、露光量を0.5[mJ/cm2]刻みで振りながら、露光を行う。露光後、所望の温度で、所望時間加熱を行い、所望の濃度の有機系現像液で、所望時間現像を行う。現像後、パターンの線幅を、CD−SEMを用いて計測し、所望の線幅を形成する露光量A[mJ/cm2]、フォーカス位置を決定する。次に、特定露光量A[mJ/cm2]、特定フォーカス位置で、先のフォトマスクを照射した時の光学像の強度分布を計算する。計算はシミュレーションソフトウエア(KLA社製Prolith)を用いて行う。
例えば、図10に示す様な光学像の空間強度分布が得られる。
【0049】
ここで、図11に示すように、光学像の空間強度分布の極大値から、得られたパターン線幅の1/2の分だけ空間位置をずらした位置における光強度を閾値(b)とする。
【0050】
閾値(a)は、0.1〜100[mJ/cm2]が好ましく、より好ましくは、0.5〜50[mJ/cm2]であり、更に好ましくは、1〜30[mJ/cm2]である。閾値(b)は、0.1〜100[mJ/cm2]が好ましく、より好ましくは、0.5〜50[mJ/cm2]であり、更に好ましくは、1〜30[mJ/cm2]である。閾値(a)と(b)との差は、0.1〜80[mJ/cm2]が好ましく、より好ましくは、0.5〜50[mJ/cm2]であり、更に好ましくは、1〜30[mJ/cm2]である。
【0051】
本発明に於いて、基板上に形成する膜は、(A)一般式(1)(後に詳述する)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物により形成される膜である。
以下、本発明で使用し得るレジスト組成物について説明する。
【0052】
(A)一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂
本発明のレジスト組成物に用いられる、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂は、下記一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有する。なお、この樹脂は、酸の作用により極性が増大し、ポジ型現像液に対する溶解度が増大する樹脂でもある。
【0053】
【化3】
【0054】
一般式(1)中、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ry1〜Ry3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。
Zは、2価の連結基を表す。
【0055】
一般式(1)において、Xa1のアルキル基は、水酸基、ハロゲン原子等で置換されていてもよい。
Xa1は、好ましくは、水素原子、メチル基である。
Ry1〜Ry3のアルキル基は、直鎖状アルキル基、分岐状アルキル基のいずれでもよく、置換基を有していてもよい。好ましい直鎖、分岐アルキル基としては、炭素数1〜8、より好ましくは1〜4であり、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基である。
Ry1〜Ry3のシクロアルキル基としては、例えば、炭素数3〜8の単環のシクロアルキル基、炭素数7〜14の多環のシクロアルキル基が挙げられ、置換基を有していてもよい。好ましい単環のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロプロピル基が挙げられる。好ましい多環のシクロアルキル基としては、アダマンチル基、ノルボルナン基、テトラシクロドデカニル基、トリシクロデカニル基、ジアマンチル基が挙げられる。
Ry1〜Ry3のアルキル基及びシクロアルキル基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシ基及びアルコキシカルボニル基におけるアルコキシの具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の炭素数1〜4個のものを挙げることができる。
【0056】
Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して形成する単環の環状炭化水素構造としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基が好ましい。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して形成する多環の環状炭化水素構造としては、アダマンチル基、ノルボルニル基、テトラシクロドデカニル基が好ましい。前記単環の環状炭化水素構造は、6員以上の環であることが特に好ましく、これにより、レジスト膜のネガ型現像液(有機溶剤を含有する有機系現像液)に対する溶解性をより充分なものとすることができるので、非露光部をネガ型現像液でより確実に除去することができる。これにより、現像パターンをより精密に所望のものとすることができるせいか、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)の全てにおいて、より優れた効果を得ることができる。
Zは、炭素数1〜20の2価の連結基が好ましく、より好ましくは炭素数1〜4の鎖状アルキレン基、炭素数5〜20の環状アルキレン基またはこれらが組み合わされたものである。
炭素数1〜4の鎖状アルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基が挙げられ、直鎖状でも分岐状でもよい。好ましくはメチレン基である。
炭素数5〜20の環状アルキレン基としては、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基などの単環の環状アルキレン基、ノルボルニレン基、アダマンチレン基などの多環の環状アルキレン基が挙げられる。好ましくはアダマンチレン基である。
【0057】
一般式(1)で表される繰り返し単位は、下記一般式(2a)あるいは(2b)で表される酸分解性繰り返し単位であるのが好ましい。
【0058】
【化4】
【0059】
一般式(2a)、(2b)に於いて、
Xa1、Zは、それぞれ、一般式(1)に於けるXa1、Zと同義である。
Y1は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
Y2は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
R1、R2、R3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
【0060】
Xa1、Zの具体例及び好ましい例は、一般式(1)のXa1、Zで挙げたものと同様である。
R1、R2、R3としてのアルキル基及びシクロアルキル基の具体例及び好ましい例は、一般式(1)のRy1〜Ry3で挙げたものと同様である。R1、R2、R3としてのアルキル基又はシクロアルキル基は置換基を有してよく、このような置換基の具体例は、一般式(1)のRy1〜Ry3のアルキル基及びシクロアルキル基が有していてもよい置換基として挙げたものと同様である。
【0061】
Y1又はY2と炭素原子とが形成する脂環式炭化水素基としては、単環式でも、多環式でもよいが、具体的には、炭素数5以上のモノシクロ、ビシクロ、トリシクロ、テトラシクロ構造等を有する基を挙げることができる。その炭素数は6〜30個が好ましく、特に炭素数7〜25個が好ましい。これらの脂環式炭化水素基は置換基を有していてもよい。
【0062】
一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、また、一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、樹脂Aはアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位を有さないのが好ましい。換言すれば、上記場合、樹脂Aは、樹脂Aが有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全て(一般式(2a)または(2b)で表される酸分解性繰り返し単位も含む)に関して、該繰り返し単位におけるα位炭素原子(樹脂主鎖を構成するとともに、−C(=O)−基に結合する炭素原子)の、該−C(=O)−基とは異なり、かつ、該樹脂主鎖を構成しない結合部位が、水素原子以外の置換基で置換されていることが好ましく、このような置換基としては、上記一般式(1)のXaと同様、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を挙げることができる。アルキル基の具体例及び好ましい例は、一般式(1)のRy1〜Ry3のアルキル基で説明したものと同様である。
ここで、樹脂Aは、樹脂Aが有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全てに関して、該繰り返し単位における上記α位炭素原子がメチル基で置換されていることが特に好ましい。換言すれば、樹脂Aは、樹脂Aが有するエチレン性不飽和モノマーに由来する繰り返し単位の全てがメタクリル酸またはメタクリル酸エステルに由来する繰り返し単位であることが特に好ましい。
【0063】
一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、また、一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、樹脂Aが上記した態様であることにより、レジスト膜のネガ型現像液(有機溶剤を含有する有機系現像液)に対する溶解性を充分なものとすることができるので、非露光部をネガ型現像液で確実に除去することができる。これにより、現像パターンをより精密に所望のものとすることができるせいか、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)の全てにおいて、より優れた効果を得ることができる。
【0064】
Y1とR1とR2の総炭素数は35以下であることが好ましく、Y2とR3の総炭素数は35以下であることが好ましい。
以下に、上記脂環式炭化水素基のうち、脂環式部分の構造例を示す。
【0065】
【化5】
【0066】
本発明においては、上記脂環式部分の好ましいものとしては、アダマンチル基、ノルアダマンチル基、デカリン残基、トリシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基を挙げることができる。より好ましくは、アダマンチル基、デカリン残基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基である。
【0067】
これらの脂環式炭化水素基の置換基としては、アルキル基、置換アルキル基、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基が挙げられる。アルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等の低級アルキル基が好ましく、更に好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基よりなる群から選択された置換基を表す。置換アルキル基の置換基としては、水酸基、ハロゲン原子、アルコキシ基を挙げることができる。上記アルコキシ基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の炭素数1〜4個のものを挙げることができる。
【0068】
一般式(1)で表される繰り返し単位を形成するための重合性化合物は、既知の方法で容易に合成できる。例えば、特開2005−331918号公報の段落0108以降の合成例などを参照されたい。
一般式(1)で表される繰り返し単位の好ましい具体例を以下に示すが、本発明は、これらに限定されるものではない。なお、Xa1は、一般式(1)で定義したものと同様である。
【0069】
【化6】
【0070】
【化7】
【0071】
【化8】
【0072】
【化9】
【0073】
一般式(1)で表される繰り返し単位は、樹脂中の全繰り返し単位に対し、10〜60mol%が好ましく、20〜50mol%が最も好ましい。
一般式(1)で表される繰り返し単位は、酸の作用により分解してカルボキシル基を生じ、ネガ現像液に対する溶解度が減少する。また、一般式(1)で表される繰り返し単位は、酸の作用により分解して、アルカリ現像液に対する溶解速度が増大するものでもある。
【0074】
(A)成分の樹脂は、一般式(1)で表される酸分解性繰り返し単位以外に、更に、他の酸分解性繰り返し単位を有していてもよい。
一般式(I)で表される酸分解性繰り返し単位以外の、他の酸分解性繰り返し単位としては下記一般式(2)で表される繰り返し単位であることが好ましい。
【0075】
【化10】
【0076】
一般式(2)に於いて、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表し、一般式(1)
に於けるXa1と同様のものである。
Rx1〜Rx3は、それぞれ独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Rx1〜Rx3の少なくとも2つが結合して、シクロアルキル基を形成してもよい。
【0077】
Rx1〜Rx3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基などの炭素数1〜4の直鎖状若しくは分岐状が好ましい。
Rx1〜Rx3のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、アダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましい。
Rx1〜Rx3の少なくとも2つが結合して形成される、シクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、アダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましい。
Rx1がメチル基またはエチル基であり、Rx2とRx3が結合して上述の単環または多環のシクロアルキル基を結合している様態が好ましい。
【0078】
好ましい酸分解性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0079】
【化11】
【0080】
好ましい一般式(2)で表される繰り返し単位は、上記具体例中、1,2,10,11,12,13,14の繰り返し単位である。
【0081】
一般式(1)で表される、酸分解性基を有する繰り返し単位と、他の酸分解性基を有する繰り返し単位(好ましくは一般式(2)で表される繰り返し単位)を併用する場合、一般式(1)で表される、酸分解性基を有する繰り返し単位と、他の酸分解性基を有する繰り返し単位との比率は、モル比で90:10〜10:90、より好ましくは80:20〜20:80である。
【0082】
(A)成分の樹脂中の全酸分解性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂中の全繰り返し単位に対し、5〜70mol%が好ましく、より好ましくは10〜60mol%である。
【0083】
(A)成分の樹脂は、更に、ラクトン基、水酸基、シアノ基及びアルカリ可溶性基から選ばれる少なくとも1種類の基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
【0084】
(A)成分の樹脂は、ラクトン構造を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
ラクトン構造としては、ラクトン構造を有していればいずれでも用いることができるが、好ましくは5〜7員環ラクトン構造であり、5〜7員環ラクトン構造にビシクロ構造、スピロ構造を形成する形で他の環構造が縮環しているものが好ましい。下記一般式(LC1−1)〜(LC1−17)のいずれかで表されるラクトン構造を有する繰り返し単位を有することがより好ましい。また、ラクトン構造が主鎖に直接結合していてもよい。好ましいラクトン構造としては(LC1−1)、(LC1−4)、(LC1−5)、(LC1−6)、(LC1−13)、(LC1−14)、(LC1−17)であり、特定のラクトン構造を用いることでラインエッジラフネス、現像欠陥が良好になる。
【0085】
【化12】
【0086】
ラクトン構造部分は置換基(Rb2)を有していても有していなくてもよい。好ましい置換基(Rb2)としては、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜7のシクロアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、炭素数1〜8のアルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、水酸基、シアノ基、酸分解性基などが挙げられる。より好ましくは炭素数1〜4のアルキル基、シアノ基、酸分解性基である。最も好ましい置換基はシアノ基であり、これにより、線幅バラツキ(LWR)、露光ラチチュード(EL)及びフォーカス余裕度(DOF)の全てにおいて、より優れた効果を得ることができる。n2は、0〜4の整数を表す。n2が2以上の時、複数存在するRb2は、同一でも異なっていてもよく、また、複数存在するRb2同士が結合して環を形成してもよい。
【0087】
一般式(LC1−1)〜(LC1−17)のいずれかで表されるラクトン構造を有する繰り返し単位としては、下記一般式(AI)で表される繰り返し単位を挙げることができる。
【0088】
【化13】
【0089】
一般式(AI)中、
Rb0は、水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。Rb0のアルキル基が有していてもよい好ましい置換基としては、水酸基、ハロゲン原子が挙げられる。Rb0のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子を挙げることができる。Rb0は、水素原子又はメチル基が好ましい。
Abは、単結合、アルキレン基、単環または多環の脂環炭化水素構造を有する2価の連結基、エーテル基、エステル基、カルボニル基、カルボキシル基、又はこれらを組み合わせた2価の連結基を表す。好ましくは、単結合、−Ab1−CO2−で表される2価の連結基である。Ab1は、直鎖、分岐アルキレン基、単環または多環のシクロアルキレン基であり、好ましくはメチレン基、エチレン基、シクロヘキシル基、アダマンチル基、ノルボルニル基である。
Vは、一般式(LC1−1)〜(LC1−17)の内のいずれかで示される構造を有する基を表す。
【0090】
ラクトン構造を有する繰り返し単位は、通常光学異性体が存在するが、いずれの光学異性体を用いてもよい。また、1種の光学異性体を単独で用いても、複数の光学異性体混合して用いてもよい。1種の光学異性体を主に用いる場合、その光学純度(ee)が90以上のものが好ましく、より好ましくは95以上である。
【0091】
ラクトン構造を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位に対し、15〜60mol%が好ましく、より好ましくは20〜50mol%、更に好ましくは30〜50mol%である。
【0092】
ラクトン構造を有する繰り返し単位の具体例を以下に挙げるが、本発明はこれらに限定されない。具体例中、RxはH,CH3,CH2OH,またはCF3を表す。
【0093】
【化14】
【0094】
(A)成分の樹脂は、水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。これにより基板密着性、現像液親和性が向上する。水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位は、水酸基又はシアノ基で置換された脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位であることが好ましい。この構造としては、例えば下記一般式(AIIa)〜(AIId)で表される繰り返し単位を挙げることができる。
【0095】
【化15】
【0096】
一般式(AIIa)〜(AIIb)に於いて、
R1cは、水素原子、メチル基、トリフロロメチル基又はヒドロキシメチル基を表す。
R2c〜R4cは、各々独立に、水素原子、水酸基又はシアノ基を表す。ただし、R2c〜R4cの内の少なくとも1つは、水酸基又はシアノ基を表す。好ましくは、R2c〜R4cの内の1つ又は2つが、水酸基で、残りが水素原子である。
【0097】
水酸基又はシアノ基で置換された脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位に対し、5〜40mol%が好ましく、より好ましくは5〜30mol%、更に好ましくは10〜25mol%である。
【0098】
水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位の具体例を以下に挙げるが、本発明はこれらに限定されない。
【0099】
【化16】
【0100】
(A)成分の樹脂は、アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。アルカリ可溶性基としてはカルボキシル基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、ビスルスルホニルイミド基、α位が電子吸引性基で置換された脂肪族アルコール(例えばヘキサフロロイソプロパノール基)が挙げられ、カルボキシル基を有する繰り返し単位を有することがより好ましい。アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位を含有することによりコンタクトホール用途での解像性が増す。アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位としては、アクリル酸、メタクリル酸による繰り返し単位のような樹脂の主鎖に直接アルカリ可溶性基が結合している繰り返し単位、あるいは連結基を介して樹脂の主鎖にアルカリ可溶性基が結合している繰り返し単位、さらにはアルカリ可溶性基を有する重合開始剤や連鎖移動剤を重合時に用いてポリマー鎖の末端に導入、のいずれも好ましく、連結基は単環または多環の環状炭化水素構造を有していてもよい。特に好ましくはアクリル酸、メタクリル酸による繰り返し単位である。
【0101】
アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位に対し、1〜20mol%が好ましく、より好ましくは3〜15mol%、更に好ましくは5〜10mol%である。
【0102】
アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。具体例中、RxはH,CH3,CH2OH,またはCF3を表す。
【0103】
【化17】
【0104】
ラクトン基、水酸基、シアノ基及びアルカリ可溶性基から選ばれる少なくとも1種類の基を有する繰り返し単位として、更に好ましくは、ラクトン基、水酸基、シアノ基、アルカリ可溶性基から選ばれる少なくとも2つを有する繰り返し単位であり、好ましくはシアノ基とラクトン基を有する繰り返し単位である。特に好ましくは前記LCI−4のラクトン構造にシアノ基が置換した構造を有する繰り返し単位である。
【0105】
(A)成分の樹脂は、更に、脂環炭化水素構造を有し、酸分解性を示さない繰り返し単位を含有してもよい。これにより液浸露光時にレジスト膜から液浸液への低分子成分の溶出が低減できる。
具体的には、脂環炭化水素系酸分解性樹脂は、更に、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式(3)で表される繰り返し単位を含有していることが好ましい。
【0106】
【化18】
【0107】
一般式(3)中、R5は少なくとも一つの環状構造を有し、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない炭化水素基を表す。
Raは水素原子、アルキル基又は−CH2−O−Ra2基を表す。式中、Ra2は、水素原子、アルキル基又はアシル基を表す。Raとして、例えば、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基又はヒドロキシメチル基等が挙げられ、水素原子、メチル基が特に好ましい。
【0108】
R5が有する環状構造には、単環式炭化水素基及び多環式炭化水素基が含まれる。単環式炭化水素基としては、たとえば、炭素数3〜12のシクロアルキル基、炭素数3〜12のシクロアルケニル基が挙げられる。好ましい単環式炭化水素基としては、炭素数3から7の単環式炭化水素基であり、より好ましくは、シクロペンチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
【0109】
多環式炭化水素基には環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、2環式炭化水素環、3環式炭化水素環、4環式炭化水素環などが挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環や、5〜8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。好ましい架橋環式炭化水素環としてノルボニル基、アダマンチル基が挙げられる。
【0110】
好ましい架橋環式炭化水素環として、ノルボルニル基、アダマンチル基、ビシクロオクタニル基、トリシクロ[5、2、1、02,6]デカニル基、などが挙げられる。より好ましい架橋環式炭化水素環としてノルボニル基、アダマンチル基が挙げられる。
【0111】
これらの脂環式炭化水素基は置換基を有していても良く、好ましい置換基としてはハロゲン原子、アルキル基、保護基で保護されたヒドロキシル基、保護基で保護されたアミノ基などが挙げられる。好ましいハロゲン原子としては臭素、塩素、フッ素原子、好ましいアルキル基としてはメチル、エチル、ブチル、t−ブチル基が挙げられる。上記のアルキル基はさらに置換基を有していても良く、更に有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、保護基で保護されたヒドロキシル基、保護基で保護されたアミノ基を挙げることができる。
【0112】
保護基としては、たとえばアルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基、置換メチル基、置換エチル基、アルコキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基が挙げられる。好ましいアルキル基としては、炭素数1〜4のアルキル基、好ましい置換メチル基としてはメトキシメチル、メトキシチオメチル、ベンジルオキシメチル、t−ブトキシメチル、2−メトキシエトキシメチル基、好ましい置換エチル基としては、1−エトキシエチル、1−メチル−1−メトキシエチル、好ましいアシル基としては、ホルミル、アセチル、プロピオニル、ブチリル、イソブチリル、バレリル、ピバロイル基などの炭素数1〜6の脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基としては炭素数1〜4のアルコキシカルボニル基などが挙げられる。
【0113】
水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式(3)で表される繰り返し単位の含有率は、(A)成分の樹脂中の全繰り返し単位に対し、0〜40モル%が好ましく、より好ましくは0〜20モル%である。
一般式(3)で表される繰り返し単位の具体例を以下に挙げるが、本発明はこれらに限定されない。式中、Raは、H、CH3、CH2OH、又はCF3を表す。
【0114】
【化19】
【0115】
(A)成分の樹脂は、上記の繰り返し構造単位以外に、ドライエッチング耐性や標準現像液適性、基板密着性、レジストプロファイル、さらにレジストの一般的な必要な特性である解像力、耐熱性、感度等を調節する目的で様々な繰り返し構造単位を有することができる。
【0116】
このような繰り返し構造単位としては、下記の単量体に相当する繰り返し構造単位を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【0117】
これにより、(A)成分の樹脂に要求される性能、特に、
(1)塗布溶剤に対する溶解性、(2)製膜性(ガラス転移点)、(3)アルカリ現像性、(4)膜べり(親疎水性、アルカリ可溶性基選択)、(5)未露光部の基板への密着性、(6)ドライエッチング耐性、等の微調整が可能となる。
【0118】
このような単量体として、例えばアクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類等から選ばれる付加重合性不飽和結合を1個有する化合物等を挙げることができる。
【0119】
その他にも、上記種々の繰り返し構造単位に相当する単量体と共重合可能である付加重合性の不飽和化合物であれば、共重合されていてもよい。
【0120】
(A)成分の樹脂において、各繰り返し構造単位の含有モル比はレジストのドライエッチング耐性や標準現像液適性、基板密着性、レジストプロファイル、さらにはレジストの一般的な必要性能である解像力、耐熱性、感度等を調節するために適宜設定される。
【0121】
本発明のレジスト組成物が、ArF露光用であるとき、ArF光への透明性の点から(A)成分の樹脂は芳香族基を有さないことが好ましい。
また、(A)成分の樹脂は、後述する樹脂(D)との相溶性の観点から、フッ素原子および珪素原子を含有しないことが好ましい。
【0122】
(A)成分の樹脂は、常法に従って(例えばラジカル重合)合成することができる。例えば、一般的合成方法としては、モノマー種および開始剤を溶剤に溶解させ、加熱することにより重合を行う一括重合法、加熱溶剤にモノマー種と開始剤の溶液を1〜10時間かけて滴下して加える滴下重合法などが挙げられ、滴下重合法が好ましい。反応溶媒としては、例えばテトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、ジイソプロピルエーテルなどのエーテル類やメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンのようなケトン類、酢酸エチルのようなエステル溶媒、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドなどのアミド溶剤、さらには後述のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノンのような本発明の組成物を溶解する溶媒が挙げられる。より好ましくは本発明のポジ型感光性組成物に用いられる溶剤と同一の溶剤を用いて重合することが好ましい。これにより保存時のパーティクルの発生が抑制できる。
重合反応は窒素やアルゴンなど不活性ガス雰囲気下で行われることが好ましい。重合開始剤としては市販のラジカル開始剤(アゾ系開始剤、パーオキサイドなど)を用いて重合を開始させる。ラジカル開始剤としてはアゾ系開始剤が好ましく、エステル基、シアノ基、カルボキシル基を有するアゾ系開始剤が好ましい。好ましい開始剤としては、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスジメチルバレロニトリル、ジメチル2,2‘−アゾビス(2−メチルプロピオネート)などが挙げられる。所望により開始剤を追加、あるいは分割で添加し、反応終了後、溶剤に投入して粉体あるいは固形回収等の方法で所望のポリマーを回収する。反応の濃度は5〜50質量%であり、好ましくは10〜30質量%である。反応温度は、通常10℃〜150℃であり、好ましくは30℃〜120℃、さらに好ましくは60〜100℃である。
【0123】
(A)成分の樹脂の重量平均分子量は、GPC法によりポリスチレン換算値として、好ましくは1,000〜200,000であり、より好ましくは2,000〜20,000、更により好ましくは3,000〜15,000、特に好ましくは3,000〜10,000である。重量平均分子量を、1,000〜200,000とすることにより、耐熱性やドライエッチング耐性の劣化を防ぐことができ、且つ現像性が劣化したり、粘度が高くなって製膜性が劣化することを防ぐことができる。
分散度(分子量分布)は、通常1〜3であり、好ましくは1〜2.6、更に好ましくは1〜2、特に好ましくは1.4〜1.7の範囲のものが使用される。分子量分布の小さいものほど、解像度、レジスト形状が優れ、且つレジストパターンの側壁がスムーズであり、ラフネス性に優れる。
【0124】
本発明のレジスト組成物において、(A)成分の樹脂の組成物全体中の配合量は、全固形分中50〜99.9質量%が好ましく、より好ましくは60〜99.0質量%である。
また、本発明において、(A)成分の樹脂は、1種で使用してもよいし、複数併用してもよい。
【0125】
(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物
本発明のレジスト組成物は活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(「光酸発生剤」又は「(B)成分」ともいう)を含有する。
そのような光酸発生剤としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、あるいはマイクロレジスト等に使用されている活性光線又は放射線の照射により酸を発生する公知の化合物及びそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
【0126】
たとえば、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネートを挙げることができる。
【0127】
活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物の内で好ましい化合物として、下記一般式(ZI)、(ZII)、(ZIII)で表される化合物を挙げることができる。
【0128】
【化20】
【0129】
上記一般式(ZI)において、R201、R202及びR203は、各々独立に有機基を表す。
X-は、非求核性アニオンを表し、好ましくはスルホン酸アニオン、カルボン酸アニオン、ビス(アルキルスルホニル)アミドアニオン、トリス(アルキルスルホニル)メチドアニオン、BF4-、PF6-、SbF6-などが挙げられ、好ましくは炭素原子を含有する有機アニオンである。
【0130】
好ましい有機アニオンとしては下式に示す有機アニオンが挙げられる。
【0131】
【化21】
【0132】
式中、
Rc1は、有機基を表す。
Rc1における有機基として炭素数1〜30のものが挙げられ、好ましくは置換していてもよいアルキル基、アリール基、またはこれらの複数が、単結合、−O−、−CO2−、−S−、−SO3−、−SO2N(Rd1)−などの連結基で連結された基を挙げることができる。Rd1は水素原子、アルキル基を表す。
Rc3、Rc4、Rc5は、各々独立に、有機基を表す。Rc3、Rc4、Rc5の有機基として好ましくはRc1における好ましい有機基と同じものを挙げることができ、最も好ましくは炭素数1〜4のパーフロロアルキル基である。
Rc3とRc4が結合して環を形成していてもよい。Rc3とRc4が結合して形成される基としてはアルキレン基、アリーレン基が挙げられる。好ましくは炭素数2〜4のパーフロロアルキレン基である。
Rc1、Rc3〜Rc5の有機基として特に好ましくは1位がフッ素原子またはフロロアアルキル基で置換されたアルキル基、フッ素原子またはフロロアルキル基で置換されたフェニル基である。フッ素原子またはフロロアルキル基を有することにより、光照射によって発生した酸の酸性度が上がり、感度が向上する。また、Rc3とRc4が結合して環を形成することにより光照射によって発生した酸の酸性度が上がり、感度が向上する。
【0133】
R201、R202及びR203としての有機基の炭素数は、一般的に1〜30、好ましくは1〜20である。
また、R201〜R203のうち2つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合、カルボニル基を含んでいてもよい。R201〜R203の内の2つが結合して形成する基としては、アルキレン基(例えば、ブチレン基、ペンチレン基)を挙げることができる。
【0134】
R201、R202及びR203の有機基としては、アリール基(炭素数6〜15が好ましい)、直鎖又は分岐のアルキル基(炭素数1〜10が好ましい)、シクロアルキル基(炭素数3〜15が好ましい)などが挙げられる。
R201、R202及びR203のうち、少なくとも1つがアリール基であることが好ましく、三つ全てがアリール基であることがより好ましい。アリール基としては、フェニル基、ナフチル基などの他に、インドール残基、ピロール残基などのヘテロアリール基も可能である。これらアリール基は更に置換基を有していてもよい。その置換基としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜15)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜15)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜7)、アシル基(好ましくは炭素数2〜12)、アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2〜7)等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
また、R201、R202及びR203から選ばれる2つが、単結合又は連結基を介して結合していてもよい。連結基としてはアルキレン基(炭素数1〜3が好ましい)、−O−,−S−,−CO−,−SO2−などがあげられるが、これらに限定されるものではない。
【0135】
R201、R202及びR203のうち、少なくとも1つがアリール基でない場合の好ましい構造としては、特開2004−233661号公報の段落0047,0048、特開2003−35948号公報の段落0040〜0046、US2003/0224288A1号明細書に式(I-1)〜(I-70)として例示されている化合物、US2003/0077540A1号明細書に式(IA-1)〜(IA-54)、式(IB-1)〜(IB-24)として例示されている化合物等のカチオン構造を挙げることができる。
【0136】
また、R201、R202及びR203としての有機基の具体例としては、後述する化合物(ZI−1)、(ZI−2)、(ZI−3)における対応する基を挙げることができる。
【0137】
尚、一般式(ZI)で表される構造を複数有する化合物であってもよい。例えば、一般式(ZI)で表される化合物のR201〜R203の少なくともひとつが、一般式(ZI)で表されるもうひとつの化合物のR201〜R203の少なくともひとつと結合した構造を有する化合物であってもよい。
【0138】
更に好ましい(ZI)成分として、以下に説明する化合物(ZI−1)、(ZI−2)、及び(ZI−3)を挙げることができる。
【0139】
化合物(ZI−1)は、上記一般式(ZI)のR201〜R203の少なくとも1つがアリール基である、アリールスルホニム化合物、即ち、アリールスルホニウムをカチオンとする化合物である。
アリールスルホニウム化合物は、R201〜R203の全てがアリール基でもよいし、R201〜R203の一部がアリール基で、残りがアルキル基、シクロアルキル基でもよい。
アリールスルホニウム化合物としては、例えば、トリアリールスルホニウム化合物、ジアリールアルキルスルホニウム化合物、アリールジアルキルスルホニウム化合物、ジアリールシクロアルキルスルホニウム化合物、アリールジシクロアルキルスルホニウム化合物を挙げることができる。
アリールスルホニウム化合物のアリール基としてはフェニル基、ナフチル基などのアリール基、インドール残基、ピロール残基、などのヘテロアリール基が好ましく、更に好ましくはフェニル基、インドール残基である。アリールスルホニム化合物が2つ以上のアリール基を有する場合に、2つ以上あるアリール基は同一であっても異なっていてもよい。
アリールスルホニウム化合物が必要に応じて有しているアルキル基は、炭素数1〜15の直鎖又は分岐状アルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基等を挙げることができる。
アリールスルホニウム化合物が必要に応じて有しているシクロアルキル基は、炭素数3〜15のシクロアルキル基が好ましく、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。
R201〜R203のアリール基、アルキル基、シクロアルキル基は、アルキル基(例えば炭素数1〜15)、シクロアルキル基(例えば炭素数3〜15)、アリール基(例えば炭素数6〜14)、アルコキシ基(例えば炭素数1〜15)、ハロゲン原子、水酸基、フェニルチオ基を置換基として有してもよい。好ましい置換基としては、炭素数1〜12の直鎖又は分岐状アルキル基、炭素数3〜12のシクロアルキル基、炭素数1〜12の直鎖、分岐又は環状のアルコキシ基であり、特に好ましくは炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基である。置換基は、3つのR201〜R203のうちのいずれか1つに置換していてもよいし、3つ全てに置換していてもよい。また、R201〜R203がアリール基の場合に、置換基はアリール基のp−位に置換していることが好ましい。
【0140】
次に、化合物(ZI−2)について説明する。化合物(ZI−2)は、式(ZI)におけるR201〜R203が、各々独立に、芳香環を含有しない有機基を表す場合の化合物である。ここで芳香環とは、ヘテロ原子を含有する芳香族環も包含するものである。
R201〜R203としての芳香環を含有しない有機基は、一般的に炭素数1〜30、好ましくは炭素数1〜20である。
R201〜R203は、各々独立に、好ましくはアルキル基、シクロアルキル基、アリル基、ビニル基であり、更に好ましくは直鎖、分岐、環状2−オキソアルキル基、アルコキシカルボニルメチル基、特に好ましくは直鎖、分岐2−オキソアルキル基である。
【0141】
R201〜R203としてのアルキル基は、直鎖状、分岐状のいずれであってもよく、好ましくは、炭素数1〜10の直鎖又は分岐アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基)を挙げることができる。R201〜R203としてのアルキル基は、直鎖若しくは分岐状2−オキソアルキル基、アルコキシカルボニルメチル基であることが好ましい。
R201〜R203としてのシクロアルキル基は、好ましくは、炭素数3〜10のシクロアルキル基(シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボニル基)を挙げることができる。
R201〜R203としてのシクロアルキル基は、環状2−オキソアルキル基であることが好ましい。
R201〜R203としての直鎖、分岐、環状の2−オキソアルキル基は、好ましくは、上記のアルキル基、シクロアルキル基の2位に>C=Oを有する基を挙げることができる。
R201〜R203としてのアルコキシカルボニルメチル基におけるアルコキシ基としては、好ましくは炭素数1〜5のアルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペントキシ基)を挙げることができる。
R201〜R203は、ハロゲン原子、アルコキシ基(例えば炭素数1〜5)、水酸基、シアノ基、ニトロ基によって更に置換されていてもよい。
【0142】
化合物(ZI−3)とは、以下の一般式(ZI−3)で表される化合物であり、フェナシルスルフォニウム塩構造を有する化合物である。
【0143】
【化22】
【0144】
一般式(ZI−3)に於いて、
R1c〜R5cは、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表す。
R6c及びR7cは、各々独立に、水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Rx及びRyは、各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アリル基、又はビニル基を表す。
R1c〜R7c中のいずれか2つ以上、及びRxとRyは、それぞれ結合して環構造を形成しても良く、この環構造は、酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合を含んでいてもよい。R1c〜R7c中のいずれか2つ以上、及びRxとRyが結合して形成する基としては、ブチレン基、ペンチレン基等を挙げることができる。
X-は、非求核性アニオンを表し、一般式(ZI)に於けるX-の非求核性アニオンと同様のものを挙げることができる。
【0145】
R1c〜R7cとしてのアルキル基は、直鎖状、分岐状のいずれであってもよく、例えば、炭素数1〜20個の直鎖又は分岐状アルキル基、好ましくは炭素数1〜12個の直鎖又は分岐状アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、直鎖又は分岐プロピル基、直鎖又は分岐ブチル基、直鎖又は分岐ペンチル基)を挙げることができる。
R1c〜R7cとしてのシクロアルキル基は、好ましくは炭素数3〜8個のシクロアルキル基(例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基)を挙げることができる。
R1c〜R5cとしてのアルコキシ基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよく、例えば炭素数1〜10のアルコキシ基、好ましくは、炭素数1〜5の直鎖及び分岐アルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基、直鎖又は分岐プロポキシ基、直鎖又は分岐ブトキシ基、直鎖又は分岐ペントキシ基)、炭素数3〜8の環状アルコキシ基(例えば、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基)を挙げることができる。
好ましくはR1c〜R5cのうちいずれかが直鎖又は分岐状アルキル基、シクロアルキル基又は直鎖、分岐、環状アルコキシ基であり、更に好ましくはR1c〜R5cの炭素数の和が2〜15である。これにより、より溶剤溶解性が向上し、保存時にパーティクルの発生が抑制される。
【0146】
Rx及びRyとしてのアルキル基は、R1c〜R7cとしてのアルキル基と同様のものを挙げることができる。Rx及びRyとしてのアルキル基は、直鎖又は分岐状2−オキソアルキル基、アルコキシカルボニルメチル基であることが好ましい。
Rx及びRyとしてのシクロアルキル基は、R1c〜R7cとしてのシクロアルキル基と同様のものを挙げることができる。Rx及びRyとしてのシクロアルキル基は、環状2−オキソアルキル基であることが好ましい。
直鎖、分岐、環状2−オキソアルキル基は、R1c〜R7cとしてのアルキル基、シクロアルキル基の2位に>C=Oを有する基を挙げることができる。
アルコキシカルボニルメチル基におけるアルコキシ基については、R1c〜R5cとしてのアルコキシ基と同様のものを挙げることができる。
Rx、Ryは、好ましくは炭素数4個以上のアルキル基であり、より好ましくは6個以上、更に好ましくは8個以上のアルキル基である。
【0147】
一般式(ZII)、(ZIII)中、
R204〜R207は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。これら基の具体例としては、R201、R202及びR203として具体的に説明したものと同様のものが挙げられる。
X-は、非求核性アニオンを表し、一般式(ZI)に於けるX-の非求核性アニオンと同様のものを挙げることができる。
【0148】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の内で好ましい化合物として、更に、下記一般式(ZIV)、(ZV)、(ZVI)で表される化合物を挙げることができる。
【0149】
【化23】
【0150】
一般式(ZIV)〜(ZVI)中、
Ar3及びAr4は、各々独立に、アリール基を表す。
R208は、アルキル基又はアリール基を表す。
R209及びR210は、各々独立に、アルキル基、アリール基または電子求引性基を表す。R209は、好ましくはアリール基である。
R210は、好ましくは電子求引性基であり、より好ましくはシアノ基、フロロアルキル基である。
Aは、アルキレン基、アルケニレン基又はアリーレン基を表す。
【0151】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物として、一般式(ZI)〜(ZIII)で表される化合物が好ましい。
【0152】
化合物(B)は、活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を有する脂肪族スルホン酸又はフッ素原子を有するベンゼンスルホン酸を発生する化合物であることが好ましい。
【0153】
化合物(B)は、トリフェニルスルホニウム構造を有することが好ましい。
【0154】
化合物(B)は、カチオン部にフッ素置換されていないアルキル基若しくはシクロアルキル基を有するトリフェニルスルホニウム塩化合物であることが好ましい。
【0155】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の中で、特に好ましいものの例を以下に挙げる。
【0156】
【化24】
【0157】
【化25】
【0158】
【化26】
【0159】
【化27】
【0160】
【化28】
【0161】
【化29】
【0162】
また、前記一般式(ZI)において、Z−が下記一般式(A’)で表されるアニオンである場合も好ましい。
【0163】
【化30】
【0164】
一般式(A’)中、Rは、水素原子又は有機基を表し、好ましくは、炭素数1〜40の有機基であり、より好ましくは、炭素数3〜20の有機基であり、下記一般式(B)で表される有機基であることが最も好ましい。
【0165】
Rの有機基としては、炭素原子を1つ以上有していればよく、好ましくは、一般式(A’)に示すエステル結合における酸素原子と結合する原子が炭素原子であり、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、ラクトン構造を有する基が挙げられ、鎖中に、酸素原子、硫黄原子などのヘテロ原子を有していてもよい。また、これらを相互に置換基として有していてもよく、水酸基、アシル基、アシルオキシ基、オキシ基(=O)、ハロゲン原子などの置換基を有していてもよい。
【0166】
【化31】
【0167】
一般式(B)中、Rcは、環状エーテル、環状チオエーテル、環状ケトン、環状炭酸エステル、ラクトン、ラクタム構造を含んでも良い炭素数3〜30の単環または多環の環状有機基を表す。
Yは、水酸基、ハロゲン原子、シアノ基、カルボキシル基、炭素数1〜10の炭化水素基、炭素数1〜10のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアシル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、炭素数2〜10のアシルオキシ基、炭素数2〜10のアルコキシアルキル基、炭素数1〜8のハロゲン化アルキル基を表す。
mは0〜6の整数であり、複数Yが存在する場合、互いに同一でも異なっても良い。nは0〜10の整数である。
【0168】
一般式(B)で表される有機基を構成する炭素原子の総数は好ましくは40以下である。また、一般式(B)の有機基は、nが0〜3の整数であり、Rcが炭素数7〜16の単環または多環の環状有機基であることが好ましい。
【0169】
一般式(A’)で表されるアニオンを有する化合物の具体例として、下記化合物を例示するがこれらに限定されるものではない。
【0170】
【化32】
【0171】
【化33】
【0172】
【化34】
【0173】
【化35】
【0174】
一般式(A’)で表される化合物は、公知の方法で合成することができ、例えば、特開2007−161707号公報に記載の方法に準じて合成することができる。
【0175】
光酸発生剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。2種以上を組み合わせて使用する際には、発生酸として水素原子を除く全原子数が2以上異なる有機酸を発生する光酸発生剤を組み合わせることが好ましい。
光酸発生剤の総量は、レジスト組成物の全固形分を基準として、0.1〜20質量%が好ましく、より好ましくは0.5〜10質量%、更に好ましくは1〜7質量%である。
また、酸発生剤の好ましい別の形態としては、下記一般式(I)又は(I’)で表されるスルホン酸を発生する化合物が挙げられる。
【0176】
【化36】
【0177】
一般式(I)及び(I’)において、
A1は2価の連結基を表す。
A2及びA3は、各々独立に、単結合、酸素原子又は−N(Rxb)−を表す。
Rxbは水素原子、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
A4は単結合又は−C(=O)−を表す。
Raは水素原子又は有機基を表す。
nは2又は3を表す。
Rbはn価の連結基を表す。
A3が−N(Rxb)−の時、RaとRxb又はRbとRxbが結合して環を形成してもよい。
【0178】
A1としての2価の連結基は、好ましくは炭素数1〜20の有機基であり、より好ましくはアルキレン基(好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数2〜6、更に好ましくは炭素数3〜4)である。アルキレン鎖中に酸素原子、硫黄原子、−C(=O)−基、エステル基などの連結基を有していてもよい。
A1としての2価の連結基は、更に好ましくはフッ素原子で置換されたアルキレン基であり、特に水素原子数の30〜100%がフッ素原子で置換されたアルキレン基が好ましい。フッ素原子で置換されたアルキレン基の場合、−SO3H基と結合した炭素原子がフッ素原子を有することが好ましい。更にはパーフルオロアルキレン基が好ましく、パーフロロエチレン基、パーフロロプロピレン基、パーフロロブチレン基が最も好ましい。
【0179】
Rxbにおけるアリール基としては、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数6〜14のアリール基である。
【0180】
Rxbとしてのアルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数1〜20の直鎖及び分岐アルキル基であり、アルキル鎖中に酸素原子を有していてもよい。
【0181】
なお、置換基を有するアルキル基として、特に直鎖又は分岐アルキル基にシクロアルキル基が置換した基(例えば、アダマンチルメチル基、アダマンチルエチル基、シクロヘキシルエチル基、カンファー残基など)を挙げることができる。
【0182】
Rxbとしてのシクロアルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数3〜20のシクロアルキル基である。
【0183】
Raは水素原子又は1価の有機基を表す。
Raとしての1価の有機基は、好ましくは炭素数1〜20であり、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基などを挙げることができる。
【0184】
Raとしてのアルキル基、シクロアルキル基又はアリール基は、Rxbとして挙げたものと同様である。
【0185】
Raとしてのアラルキル基は、好ましくは炭素数7〜20のアラルキル基が挙げられる。
【0186】
Raとしてのアルケニル基は、Rxbとして挙げたアルキル基の任意の位置に2重結合を有する基が挙げられる。
【0187】
Rbとしてのn価の連結基は、好ましくは炭素数1〜20である。一般式(I')においてn=2である場合の、Rbとしての2価の連結基は、例えば、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜20)、アリーレン基(好ましくは炭素数6〜10)、アラルキレン基(好ましくは炭素数7〜13)、アルケニレン基(好ましくは炭素数2〜12)が挙げられる。これらは置換基を有していてもよい。
n=3である場合のRbとしての3価の連結基は、上記2価の連結基の任意の水素原子を除いた3価の基を挙げることができる。
【0188】
A3が−N(Rxb)−の時、RaとRxb又はRbとRxbが結合して形成する環としては、窒素原子を含む炭素数4〜10の環が好ましく、単環でも多環でもよい。また、環内に酸素原子を有していてもよい。
【0189】
上記各基が有してもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、水酸基、ニトロ基、シアノ基、カルボキシ基、シクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜20)、アシル基(好ましくは炭素数2〜20)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜20)などが挙げられる。アリール基、シクロアルキル基などにおける環状構造については、置換基としては更にアルキル基(好ましくは炭素数1〜20)を挙げることができる。
【0190】
一般式(I)及び(I’)のスルホン酸は、下記一般式(IA)〜(IC)及び(I’A)〜(I’C)で表されるスルホン酸であることが好ましい。
【0191】
【化37】
【0192】
一般式(IA)〜(IC)及び(I’A)〜(I’C)中、
Ra’は一般式(I)におけるRaと同義である。
Rb及びnは、一般式(I’)におけるRb及びnと同義である。
Ra”はアルキル基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基を表す。
Rx’は一般式(I)及び(I’)におけるRxbと同義である。
n1は1〜10の整数を表す。
n2は0〜10の整数を表す。
A5は、単結合、−O−、アルキレン基、シクロアルキレン基又はアリーレン基を表す。
【0193】
A5としてのアルキレン基、シクロアルキレン基は、フッ素置換されていない、アルキレン基、シクロアルキレン基が好ましい。
一般式(IA)においてRa’とRx’が結合して環を形成していることが好ましい。環構造を形成することによって、安定性が向上し、これを用いた組成物の保存安定性が向上する。形成される環としては、炭素数4〜20が好ましく、単環式でも多環式でもよく、環内に酸素原子を含んでいてもよい。
Ra”としてのアルキル基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基は、Raとしてのアルキル基、アリール基、アラルキル基又はアルケニル基と同様のものが挙げられる。
n1+n2は2〜8が好ましく、更に好ましくは2〜6である。
好ましいさらに別の形態としては、下記一般式(II)で表されるスルホン酸を発生する化合物が挙げられる。
【0194】
【化38】
【0195】
一般式(II)に於いて、
Rfは、フッ素原子又はフッ素原子を有する有機基を表す。
Ra1及びRb1は、各々独立に、有機基を表す。
Arは、芳香族基を表す。
Xは、−SO−、−SO2−、−S−又は−O−を表す。
l’は、0〜6の整数を表す。
m’は、0〜5の整数を表す。
n’は、0〜5の整数を表す。
【0196】
一般式(II)において、Ra1及びRb1の有機基としては、例えば、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アシル基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニルアミノ基、アルキルシリルオキシ基、シアノ基等を挙げることができる。これら有機基は、複数が単結合、エーテル結合、エステル結合、アミド結合、スルフィド結合、ウレア結合等で連結されていてもよい。Ra1及びRb1の有機基は、好ましくは炭素数2〜30であり、より好ましくは炭素数4〜30であり、更により好ましくは炭素数6〜30であり、特に好ましくは炭素数8〜24である。
【0197】
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキル基は、炭素数1〜30の直鎖又は分岐状アルキル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリール基としては、フェニル基、トリル基、メシチル基、ナフチル基などが挙げられる。
Ra1及びRb1の有機基に於けるシクロアルキル基は、炭素数3〜30の単環又は多環のシクロアルキル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルコキシ基は、炭素数1〜30の直鎖又は分岐状アルコキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールオキシ基は、炭素数6〜20のアリールオキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアラルキル基は、炭素数7〜12のアラルキル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアラルキルオキシ基は、炭素数6〜20のアラルキルオキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるシクロアルコキシ基は、炭素数3〜30の単環又は多環のシクロアルコキシ基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルコキシカルボニル基の炭素数は、1〜30が好ましい。
【0198】
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールオキシカルボニル基は、炭素数6〜20のアリールオキシカルボニル基が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアシルオキシ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルチオ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールチオ基は、炭素数6〜20が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアシル基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアシルアミノ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルケニル基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルケニルオキシ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアリールカルボニルオキシ基は、炭素数6〜20が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルカルボニルオキシ基は、炭素数1〜30がが好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルアミノカルボニル基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルカルボニルアミノ基は、炭素数1〜30が好ましい。
Ra1及びRb1の有機基に於けるアルキルシリルオキシ基は、炭素数1〜30が好ましい。
【0199】
上記で説明したRa1及びRb1の有機基は、置換基により置換されていてもよい。置換基としては、例えば、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、アシル基、アシロキシ基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、水酸基、カルボキシル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
また、Ra1及びRb1としてのアルキル基、シクロアルキル基、及びアルコキシ基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アシルオキシ基、アルキルチオ基、アシル基、アシルアミノ基が有するアルキル基、シクロアルキル基は、アルキル鎖中、シクロアルキル鎖中に、酸素原子、硫黄原子、エステル基などの連結基を一つまたは複数有していてもよい。
【0200】
好ましいRa1及びRb1としては、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アシル基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルアミノ基、アルキルシリルオキシ基、が挙げられる。より好ましいRa1及びRb1としては、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アシル基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルアミノ基であり、更に好ましくはアルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、シクロアルコキシ基、アシルアミノ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルカルボニルアミノ基である。
【0201】
l’及びn’が2以上の整数の場合に、複数のRa1及びRb1は、同一でも異なっていてもよい。
【0202】
Rfはフッ素原子又はフッ素原子を有する有機基を表し、フッソ原子を有する有機基は、Ra1及びRb1に於ける有機基の水素原子の一部若しくは全てがフッソ原子によって置換されたものが挙げられる。m’が2以上の整数の場合に、複数のRfは、同一でも異なっていてもよい。
【0203】
RfとRa1及びRb1の炭素数の和は、好ましくは炭素数4〜34であり、より好ましくは炭素数6〜30であり、更により好ましくは炭素数8〜24である。RfとRa1及びRb1の炭素数を調整することによって酸の拡散性を調整することができ、解像力が向上する。
【0204】
Arの芳香族基は、炭素数6〜20の芳香族基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基等を挙げることができる。芳香族基は、更に、置換基を有していてもよい。芳香族基の好ましい更なる置換基としては、例えば、ニトロ基、スルホニルアミノ基、塩素原子、臭素原子、沃素原子、カルボキシル基等を挙げることができる。
【0205】
l’は、好ましくは0〜3であり、より好ましくは0〜2であり、更に好ましくは1又は2である。
n’は、好ましくは0〜3であり、より好ましくは0〜2であり、更に好ましくは0又は1である。
m’は、好ましくは2〜5であり、より好ましくは3又は4であり、更に好ましくは4である。
【0206】
一般式(II)で表されるスルホン酸は、下記一般式(IIa)で表されることが好ましく、一般式(IIb)で表されることがより好ましく、一般式(IIc)で表されることが更により好ましい。ここで、Ra1、Rf、X、l’、m’、n’は、一般式(II)に於けるRa1、Rf、X、l’、m’、n’と同義である。RはRa1と同様のものである。
【0207】
【化39】
【0208】
活性光線または放射線の照射により一般式(I)又は(I’)又は(II)で表されるスルホン酸を発生する化合物としては、一般式(I)又は(I’)又は(II)で表されるスルホン酸のスルホニウム塩化合物またはヨードニウム塩化合物から選ばれる1種、若しくは(I)又は(I’)又は(II)で表されるスルホン酸のエステル化合物から選ばれる1種が好ましく、更に好ましくは一般式(B1)〜(B5)で表される化合物である。
【0209】
【化40】
【0210】
一般式(B1)において、R201、R202及びR203は、各々独立に、有機基を表す。
X−は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれたスルホン酸アニオンを表す。
R201、R202及びR203としての有機基の具体例及び好ましい例は、前記一般式(ZI)におけるR201、R202及びR203で説明したものと同様である。
【0211】
前記一般式(B2)中、R204及びR205は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
X−は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれたスルホン酸アニオンを表す。
【0212】
一般式(B2)に於ける、R204及びR205としては、前記一般式(ZII)におけるR204及びR205として説明したものと同様である。
【0213】
前記一般式(B3)中、Aは、置換若しくは未置換の、アルキレン基、アルケニレン基又はアリーレン基を表す。
X1は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれた1価の基を表す。
【0214】
前記一般式(B4)中、R208は、置換若しくは未置換の、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を表す。
R209は、アルキル基、シアノ基、オキソアルキル基、アルコキシカルボニル基を表し、好ましくはハロゲン置換アルキル基、シアノ基である。
X1は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれた1価の基を表す。
【0215】
前記一般式(B5)中、R210及びR211は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シアノ基、ニトロ基又はアルコキシカルボニル基を表し、好ましくはハロゲン置換アルキル基、ニトロ基、シアノ基である。
R212は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はアルコキシカルボニル基を表す。
X1は、一般式(I)、(I’)又は(II)のスルホン酸(−SO3H)の水素原子がとれた1価の基を表す。
【0216】
好ましくは、一般式(B1)で表される化合物であり、更に好ましくは化合物(B1a)〜(B1c)である。
【0217】
化合物(B)は、トリフェニルスルホニウム構造を有することが好ましい。
【0218】
化合物(B)は、カチオン部にフッ素置換されていないアルキル基若しくはシクロアルキル基を有するトリフェニルスルホニウム塩化合物であることが好ましい。
【0219】
活性光線又は放射線の照射により、化合物(B)の中で、好ましいものの例を以下に挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0220】
【化41】
【0221】
【化42】
【0222】
【化43】
【0223】
【化44】
【0224】
【化45】
【0225】
2種以上を組み合わせて使用する際に、化合物(B)とその他の酸発生剤を併用しても良い。
2種以上を併用した場合の酸発生剤の使用量は、モル比(化合物(B)/その他の酸発生剤)で、通常99/1〜20/80、好ましくは99/1〜40/60、更に好ましくは99/1〜50/50である。
【0226】
そのような併用可能な酸発生剤としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、あるいはマイクロレジスト等に使用されている活性光線又は放射線の照射により酸を発生する公知の化合物及びそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
【0227】
たとえば、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネートを挙げることができる。
【0228】
(C)溶剤
前記各成分を溶解させてレジスト組成物を調製する際に使用することができる溶剤としては、例えば、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、アルキレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキル、環状ラクトン(好ましくは炭素数4〜10)、環を有しても良いモノケトン化合物(好ましくは炭素数4〜10)、アルキレンカーボネート、アルコキシ酢酸アルキル、ピルビン酸アルキル等の有機溶剤を挙げることができる。
これらの溶剤の具体例は、特開2008−292975号公報[0244]〜[0249]に記載のものを挙げることができる。
【0229】
溶剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、別名1−メトキシ−2−アセトキシプロパン)を含有する2種類以上の混合溶剤であることが好ましい。
【0230】
(D)フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂
本発明のレジスト組成物は、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂(D)を含有することが好ましい。
樹脂(D)におけるフッ素原子又は珪素原子は、樹脂の主鎖中に有していても、側鎖に置換していてもよい。
【0231】
樹脂(D)は、フッ素原子を有する部分構造として、フッ素原子を有するアルキル基、フッ素原子を有するシクロアルキル基又はフッ素原子を有するアリール基を有する樹脂であることが好ましい。
フッ素原子を有するアルキル基(好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜4)は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された直鎖若しくは分岐アルキル基であり、さらに他の置換基を有していてもよい。
フッ素原子を有するシクロアルキル基は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された単環若しくは多環のシクロアルキル基であり、さらに他の置換基を有していてもよい。
フッ素原子を有するアリール基としては、フェニル基、ナフチル基などのアリール基の少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたものが挙げられ、さらに他の置換基を有していてもよい。
【0232】
フッ素原子を有するアルキル基、フッ素原子を有するシクロアルキル基又はフッ素原子を有するアリール基の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0233】
【化46】
【0234】
一般式(F2)〜(F4)中、
R57〜R68は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子又はアルキル基を表す。但し、R57〜R61の内の少なくとも1つ、R62〜R64の内の少なくとも1つ及びR65〜R68の内の少なくとも1つは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を表す。R57〜R61及びR65〜R67は、全てがフッ素原子であることが好ましい。R62、R63及びR68は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)が好ましく、炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基であることがさらに好ましい。R62とR63は、互いに連結して環を形成してもよい。
【0235】
一般式(F2)で表される基の具体例としては、例えば、p−フルオロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、3,5-ジ(トリフルオロメチル)フェニル基等が挙げられる。
一般式(F3)で表される基の具体例としては、トリフルオロエチル基、ペンタフルオロプロピル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロブチル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ(2−メチル)イソプロピル基、ノナフルオロブチル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロヘキシル基、ノナフルオロ−t−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基、パーフルオロオクチル基、
パーフルオロ(トリメチル)ヘキシル基、2,2,3,3-テトラフルオロシクロブチル基、パーフルオロシクロヘキシル基などが挙げられる。ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ(2−メチル)イソプロピル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロ−t−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基が好ましく、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘプタフルオロイソプロピル基が更に好ましい。
一般式(F4)で表される基の具体例としては、例えば、−C(CF3)2OH、−C(C2F5)2OH、−C(CF3)(CH3)OH、−CH(CF3)OH等が挙げられ、−C(CF3)2OHが好ましい。
【0236】
樹脂(D)は、珪素原子を有する部分構造として、アルキルシリル構造(好ましくはトリアルキルシリル基)又は環状シロキサン構造を有する樹脂であることが好ましい。
アルキルシリル構造又は環状シロキサン構造としては、具体的には、下記一般式(CS−1)〜(CS−3)で表される基などが挙げられる。
【0237】
【化47】
【0238】
一般式(CS−1)〜(CS−3)に於いて、
R12〜R26は、各々独立に、直鎖アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、又は分岐アルキル基若しくはシクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)を表す。
L3〜L5は、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、アルキレン基、フェニレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、ウレイレン基又はウレア基よりなる群から選択される単独或いは2つ以上の基の組み合わせを挙げられる。
nは、1〜5の整数を表す。
【0239】
樹脂(D)として、下記一般式(C−I)〜(C−V)で示される繰り返し単位の群から選択される少なくとも1種を有する樹脂が挙げられる。
【0240】
【化48】
【0241】
一般式(C−I)〜(C−V)中、
R1〜R3は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
W1〜W2は、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する有機基を表す。
R4〜R7は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、直鎖もしくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。ただし、R4〜R7の少なくとも1つはフッ素原子を表す。R4とR5若しくはR6とR7は環を形成していてもよい。
R8は、水素原子又は直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
R9は、直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
L1〜L2は、単結合又は2価の連結基を表し、上記L3〜L5と同様のものである。
Qは、単環若しくは多環の環状脂肪族基を表す。すなわち、結合した2つの炭素原子(C−C)を含み、脂環式構造を形成するための原子団を表す。
R30及びR31は、各々独立に、水素又はフッ素原子を表す。
R32及びR33は、各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、フッ素化アルキル基又はフッ素化シクロアルキル基を表す。
但し、一般式(C−V)で表される繰り返し単位は、R30、R31、R32及びR33の内の少なくとも1つに、少なくとも1つのフッ素原子を有する。
【0242】
樹脂(D)は、一般式(C−I)で表される繰り返し単位を有することが好ましく、下記一般式(C−Ia)〜(C−Id)で表される繰り返し単位を有することが更に好ましい。
【0243】
【化49】
【0244】
一般式(C−Ia)〜(C−Id)に於いて、
R10及びR11は、水素原子、フッ素原子、直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)又は直鎖若しくは分岐状フッ素化アルキル基(好ましくは炭素数1〜4個)を表す。
W3〜W6は、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを1つ以上有する有機基を表す。
【0245】
W1〜W6が、フッ素原子を有する有機基であるとき、フッ素化された直鎖若しくは分岐状アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、フッ素化されたシクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)又はフッ素化された直鎖、分岐若しくは環状のアルキルエーテル基(好ましくは炭素数1〜20)であることが好ましい。
【0246】
W1〜W6のフッ素化アルキル基としては、トリフルオロエチル基、ペンタフルオロプロピル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ(2−メチル)イソプロピル基、ヘプタフルオロブチル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロヘキシル基、ノナフルオロ−t−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基、パーフルオロオクチル基、パーフルオロ(トリメチル)ヘキシル基などが挙げられる。
【0247】
W1〜W6が、珪素原子を有する有機基であるとき、アルキルシリル構造又は環状シロキサン構造を有する基であることが好ましい。具体的には、前記一般式(CS−1)〜(CS−3)で表される基などが挙げられる。
【0248】
以下、一般式(C−I)で表される繰り返し単位の具体例を示すが、本発明は、これに限定されるものではない。式中、Xは、水素原子、−CH3、−F又は−CF3を表す。
【0249】
【化50】
【0250】
【化51】
【0251】
【化52】
【0252】
【化53】
【0253】
【化54】
【0254】
【化55】
【0255】
樹脂(D)は、下記の(D−1)〜(D−6)から選ばれるいずれかの樹脂であることが好ましい。
(D−1)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)を有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)のみを有する樹脂。
(D−2)トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)を有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(b)のみを有する樹脂。
(D−3)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)と、分岐状アルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、分岐状アルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)又はアリール基(好ましくは炭素数4〜20)を有する繰り返し単位(c)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)及び繰り返し単位(c)の共重合樹脂。
(D−4)トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)と、分岐状アルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、分岐状アルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)又はアリール基(好ましくは炭素数4〜20)を有する繰り返し単位(c)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(b)及び繰り返し単位(c)の共重合樹脂。
(D−5)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)と、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)及び繰り返し単位(b)の共重合樹脂。
(D−6)フルオロアルキル基(好ましくは炭素数1〜4)を有する繰り返し単位(a)と、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)と、分岐状アルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数4〜20)、分岐状アルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)、シクロアルケニル基(好ましくは炭素数4〜20)又はアリール基(好ましくは炭素数4〜20)を有する繰り返し単位(c)とを有する樹脂、より好ましくは繰り返し単位(a)、繰り返し単位(b)及び繰り返し単位(c)の共重合樹脂。
樹脂(D−3)、(D−4)、(D−6)における、分岐状アルキル基、シクロアルキル基、分岐状アルケニル基、シクロアルケニル基、またはアリール基を有する繰り返し単位(c)としては、親疎水性、相互作用性などを考慮し、適当な官能基を導入することができるが、液浸液追随性、後退接触角の観点から、極性基を有さない官能基である方が好ましい。
樹脂(D−3)、(D−4)、(D−6)において、フルオロアルキル基を有する繰り返し単位(a)、及び/又は、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を有する繰り返し単位(b)は、20〜99モル%であることが好ましい。
【0256】
樹脂(D)は、下記一般式(Ia)で表される繰り返し単位を有する樹脂であることが好ましい。
【0257】
【化56】
【0258】
一般式(Ia)に於いて、
Rfは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
R1は、アルキル基を表す。
R2は、水素原子又はアルキル基を表す。
【0259】
一般式(Ia)に於ける、Rfの少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基は、炭素数1〜3であることが好ましく、トリフルオロメチル基がより好ましい。
R1のアルキル基は、炭素数3〜10の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましく、炭素数3〜10の分岐状アルキル基がより好ましい。
R2は、炭素数1〜10の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましく、炭素数3〜10の直鎖若しくは分岐状アルキル基がより好ましい。
【0260】
以下、一般式(Ia)で表される繰り返し単位の具体例を挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0261】
【化57】
【0262】
一般式(Ia)で表される繰り返し単位は、下記一般式(If)で表される化合物を重合させることにより形成させることができる。
【0263】
【化58】
【0264】
一般式(If)に於いて、
Rfは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
R1は、アルキル基を表す。
R2は、水素原子又はアルキル基を表す。
【0265】
一般式(If)に於ける、Rf、R1及びR2は、一般式(Ia)に於ける、Rf、R1及びR2と同義である。
一般式(If)で表される化合物は、市販品を使用してもよいし、合成したものを使用してもよい。合成する場合は、2−トリフルオロメチルメタクリル酸を酸クロリド化後、エステル化することにより得ることができる。
【0266】
一般式(Ia)で表される繰り返し単位を有する樹脂(D)は、更に、下記一般式(IIIF)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。
【0267】
【化59】
【0268】
一般式(IIIF)に於いて、
R4は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、トリアルキルシリル基又は環状シロキサン構造を有する基を表す。
L6は、単結合又は2価の連結基を表す。
【0269】
一般式(IIIF)に於ける、R4のアルキル基は、炭素数3〜20の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましい。
シクロアルキル基は、炭素数3〜20のシクロアルキル基が好ましい。
アルケニル基は、炭素数3〜20のアルケニル基が好ましい。
シクロアルケニル基は、炭素数3〜20のシクロアルケニル基が好ましい。
トリアルキルシリル基は、炭素数3〜20のトリアルキルシリル基が好ましい。
環状シロキサン構造を有する基は、炭素数3〜20の環状シロキサン構造を有する基が好ましい。
L6の2価の連結基は、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜5)、オキシ基が好ましい。
【0270】
以下、一般式(Ia)で表される繰り返し単位を有する樹脂(D)の具体例を挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0271】
【化60】
【0272】
【化61】
【0273】
樹脂(D)は、下記一般式(IIF)で表される繰り返し単位及び下記一般式(IIIF)で表される繰り返し単位を有する樹脂であることが好ましい。
【0274】
【化62】
【0275】
一般式(IIF)及び(IIIF)に於いて、
Rfは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
R3は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基若しくはシクロアルケニル基又はこれらの2つ以上が結合して形成される基を表す。
R4は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、トリアルキルシリル基若しくは環状シロキサン構造を有する基又はこれらの2つ以上が結合して形成される基を表す。
L6は、単結合又は2価の連結基を表す。
m及びnは、繰り返し単位の比率を表し、0<m<100、0<n<100である。
【0276】
一般式(IIF)に於ける、Rfは、一般式(Ia)に於ける、Rfと同様のものである。
R3及びR4のアルキル基は、炭素数3〜20の直鎖若しくは分岐状アルキル基が好ましい。
シクロアルキル基は、炭素数3〜20のシクロアルキル基が好ましい。
アルケニル基は、炭素数3〜20のアルケニル基が好ましい。
シクロアルケニル基は、炭素数3〜20のシクロアルケニル基が好ましい。
R4のトリアルキルシリル基は、炭素数3〜20のトリアルキルシリル基が好ましい。
環状シロキサン構造を有する基は、炭素数3〜20の環状シロキサン構造を有する基が好ましい。
R3及びR4のアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、トリアルキルシリル基は、官能基を導入することができるが、液浸液追随性の観点から、極性基を有さない官能基である方が好ましく、無置換であることがより好ましい。
L6は、単結合、メチレン基、エチレン基、エーテル基が好ましい。
m=30〜70、n=30〜70であることが好ましく、m=40〜60、n=40〜60であることがより好ましい。
【0277】
以下、一般式(IIF)で表される繰り返し単位及び一般式(IIIF)で表される繰り返し単位を有する樹脂(D)の具体例を挙げるが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0278】
【化63】
【0279】
【化64】
【0280】
樹脂(D)は、下記一般式(VIII)で表される繰り返し単位を有してもよい。
【0281】
【化65】
【0282】
一般式(VIII)に於いて、
Z2は、−O−又は−N(R41)−を表す。R41は、水素原子、水酸基、アルキル基、又は−OSO2−R42を表す。R42は、アルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。R41及びR42のアルキル基は、ハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)等で置換されていてもよい。
【0283】
樹脂(D)は、常温(25℃)において、固体あることが好ましい。更に、ガラス転移温度(Tg)が50〜200℃であることが好ましく、80〜160℃がより好ましい。
【0284】
25℃において固体であるとは、融点が25℃以上であることをいう。
ガラス転移温度(Tg)は、走査カロリメトリー(Differential Scanning Calorimeter)により測定することができ、例えば、試料を一度昇温、冷却後、再度5℃/分にて昇温したときの比容積が変化した値を解析することにより測定することができる。
【0285】
樹脂(D)は、酸に対して安定で、アルカリ現像液に不溶であることが好ましい。
【0286】
樹脂(D)は、(x)アルカリ可溶性基、(y)アルカリ(アルカリ現像液)の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する基及び(z)酸の作用により分解し、現像液に対する溶解度が増大する基を有さない方が、液浸液の追随性の点で好ましい。
樹脂(D)中のアルカリ可溶性基又は酸やアルカリの作用により現像液に対する溶解度が増大する基を有する繰り返し単位の総量は、好ましくは、樹脂(D)を構成する全繰り返し単位に対して、20モル%以下、より好ましくは0〜10モル%、更により好ましくは0〜5モル%である。
また、樹脂(D)は、一般にレジストで使用される界面活性剤とは異なり、イオン結合や(ポリ(オキシアルキレン))基等の親水基を有さない。樹脂(D)が親水的な極性基を有すると、液浸水の追随性が低下する傾向があるため、水酸基、アルキレングリコール類、スルホン基から選択される極性基を有さない方がより好ましい。また、主鎖の炭素原子に連結基を介して結合したエーテル基は親水性が増大し液浸液追随性が劣化するため、有さない方が好ましい。一方で、上記一般式(IIIF)で示されるように主鎖の炭素原子に直接結合したエーテル基は疎水基を発現できる場合があるので好ましい。
【0287】
(x)アルカリ可溶性基としては、たとえば、フェノール性水酸基、カルボキシル基、フッ素化アルコール基、スルホン酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、(アルキルスルホニル)(アルキルカルボニル)メチレン基、(アルキルスルホニル)(アルキルカルボニル)イミド基、ビス(アルキルカルボニル)メチレン基、ビス(アルキルカルボニル)イミド基、ビス(アルキルスルホニル)メチレン基、ビス(アルキルスルホニル)イミド基、トリス(アルキルカルボニル)メチレン基、トリス(アルキルスルホニル)メチレン基を有する基等が挙げられる。
【0288】
(y)アルカリ(アルカリ現像液)の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する基としては、例えば、ラクトン基、エステル基、スルホンアミド基、酸無水物、酸イミド基などが挙げられる。
【0289】
(z)酸の作用により分解し、現像液に対する溶解度が増大する基としては、樹脂(A)における酸分解性基と同様の基が挙げられる。
【0290】
ただし、下記一般式(pA−c)で表される繰り返し単位は、樹脂(A)の酸分解性基と比較して酸の作用による分解性が無いかまたは極めて小さく、実質的に非酸分解性と同等と見なす。
【0291】
【化66】
【0292】
一般式(pA−c)に於いて、
Rp2は、式中の酸素原子に結合している3級炭素原子を有する炭化水素基を表す。
【0293】
樹脂(D)が珪素原子を有する場合、珪素原子の含有量は、樹脂(D)の分子量に対し、2〜50質量%であることが好ましく、2〜30質量%であることがより好ましい。また、珪素原子を含む繰り返し単位が、樹脂(D)中10〜100質量%であることが好ましく、20〜100質量%であることがより好ましい。
【0294】
樹脂(D)がフッ素原子を有する場合、フッ素原子の含有量は、樹脂(D)の分子量に対し、5〜80質量%であることが好ましく、10〜80質量%であることがより好ましい。また、フッ素原子を含む繰り返し単位が、樹脂(D)中10〜100質量%であることが好ましく、30〜100質量%であることがより好ましい。
【0295】
樹脂(D)の標準ポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは1,000〜100,000で、より好ましくは1,000〜50,000、更により好ましくは2,000〜15,000、特に好ましくは3,000〜15,000である。
【0296】
樹脂(D)は、残存モノマー量が0〜10質量%であることが好ましく、より好ましくは0〜5質量%、0〜1質量%が更により好ましい。また、解像度、レジスト形状、レジストパターンの側壁、ラフネスなどの点から、分子量分布(Mw/Mn、分散度ともいう)は、1〜5が好ましく、より好ましくは1〜3、更により好ましくは1〜1.5の範囲である。
【0297】
レジスト組成物中の樹脂(D)の添加量は、レジスト組成物の全固形分を基準として、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.1〜10質量%であることがより好ましい。更には、0.1〜5質量%であることが好ましく、より好ましくは0.2〜3.0質量%であり、更により好ましくは0.3〜2.0質量%である。
【0298】
樹脂(D)は、樹脂(A)と同様に、金属等の不純物が少ないのは当然のことながら、残留単量体やオリゴマー成分が既定値以下、例えばHPLCで0.1質量%等であることが好ましく、それによりレジストとしての感度、解像度、プロセス安定性、パターン形状等を更に改善することができるだけでなく、液中異物や感度等の経時変化のないレジストが得られる。
【0299】
樹脂(D)は、各種市販品を利用することもできるし、常法に従って(例えばラジカル重合)合成することができる。合成方法は、前述の酸分解性樹脂の合成方法や、丸善株式会社発行「第5版 実験化学講座26 高分子化学」の2章「高分子合成」の記載などを参照することができる。
【0300】
(E)塩基性化合物
本発明のレジスト組成物は、露光から加熱までの経時による性能変化を低減するために、(E)塩基性化合物を含有することが好ましい。
塩基性化合物としては、好ましくは、下記式(A)〜(E)で示される構造を有する化合物を挙げることができる。
【0301】
【化67】
【0302】
一般式(A)と(E)において、
R200 、R201及びR202 は、同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、シクロアルキル基(好ましくは炭素数3〜20)又はアリール基(炭素数6〜20)を表し、ここで、R201とR202は、互いに結合して環を形成してもよい。R203 、R204、R205及びR206 は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20個のアルキル基を表す。
上記アルキル基について、置換基を有するアルキル基としては、炭素数1〜20のアミノアルキル基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基又は炭素数1〜20のシアノアルキル基が好ましい。
これら一般式(A)と(E)中のアルキル基は、無置換であることがより好ましい。
【0303】
好ましい化合物として、グアニジン、アミノピロリジン、ピラゾール、ピラゾリン、ピペラジン、アミノモルホリン、アミノアルキルモルフォリン、ピペリジン等を挙げることができ、更に好ましい化合物として、イミダゾール構造、ジアザビシクロ構造、オニウムヒドロキシド構造、オニウムカルボキシレート構造、トリアルキルアミン構造、アニリン構造又はピリジン構造を有する化合物、水酸基及び/又はエーテル結合を有するアルキルアミン誘導体、水酸基及び/又はエーテル結合を有するアニリン誘導体等を挙げることができる。
【0304】
イミダゾール構造を有する化合物としては、イミダゾール、2、4、5−トリフェニルイミダゾール、ベンズイミダゾール等が挙げられる。ジアザビシクロ構造を有する化合物としては、1、4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン、1、5−ジアザビシクロ[4,3,0]ノナ−5−エン、1、8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデカー7−エン等が挙げられる。オニウムヒドロキシド構造を有する化合物としては、トリアリールスルホニウムヒドロキシド、フェナシルスルホニウムヒドロキシド、2−オキソアルキル基を有するスルホニウムヒドロキシド、具体的にはトリフェニルスルホニウムヒドロキシド、トリス(t−ブチルフェニル)スルホニウムヒドロキシド、ビス(t−ブチルフェニル)ヨードニウムヒドロキシド、フェナシルチオフェニウムヒドロキシド、2−オキソプロピルチオフェニウムヒドロキシド等が挙げられる。オニウムカルボキシレート構造を有する化合物としては、オニウムヒドロキシド構造を有する化合物のアニオン部がカルボキシレートになったものであり、例えばアセテート、アダマンタンー1−カルボキシレート、パーフロロアルキルカルボキシレート等が挙げられる。トリアルキルアミン構造を有する化合物としては、トリ(n−ブチル)アミン、トリ(n−オクチル)アミン等を挙げることができる。アニリン構造を有する化合物としては、2,6−ジイソプロピルアニリン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジブチルアニリン、N,N−ジヘキシルアニリン等を挙げることができる。水酸基及び/又はエーテル結合を有するアルキルアミン誘導体としては、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリス(メトキシエトキシエチル)アミン等を挙げることができる。水酸基及び/又はエーテル結合を有するアニリン誘導体としては、N,N−ビス(ヒドロキシエチル)アニリン等を挙げることができる。
【0305】
好ましい塩基性化合物として、更に、フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物を挙げることができる。
前記フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物は、少なくとも1つのアルキル基が窒素原子に結合していることが好ましい。また、前記アルキル鎖中に、酸素原子を有し、オキシアルキレン基が形成されていることが好ましい。オキシアルキレン基の数は、分子内に1つ以上、好ましくは3〜9個、さらに好ましくは4〜6個である。オキシアルキレン基の中でも−CH2CH2O−、−CH(CH3)CH2O−もしくは−CH2CH2CH2O−の構造が好ましい。
前記フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物の具体例としては、US2007/0224539Aの[0066]に例示されている化合物(C1-1)〜(C3-3)が挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらの塩基性化合物は、単独であるいは2種以上一緒に用いられる。
【0306】
塩基性化合物の使用量は、レジスト組成物の固形分を基準として、通常、0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜5質量%である。
【0307】
酸発生剤と塩基性化合物の組成物中の使用割合は、酸発生剤/塩基性化合物(モル比)=2.5〜300であることが好ましい。即ち、感度、解像度の点からモル比が2.5以上が好ましく、露光後加熱処理までの経時でのレジストパターンの太りによる解像度の低下抑制の点から300以下が好ましい。酸発生剤/塩基性化合物(モル比)は、より好ましくは5.0〜200、更に好ましくは7.0〜150である。
【0308】
(F)界面活性剤
本発明のレジスト組成物は、更に界面活性剤を含有することが好ましく、フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤(フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子の両方を有する界面活性剤)のいずれか、あるいは2種以上を含有することがより好ましい。
【0309】
本発明のレジスト組成物が界面活性剤を含有することにより、250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度及び解像度で、密着性及び現像欠陥の少ないレジストパターンを与えることが可能となる。
このような界面活性剤は、特開2008−292975号公報[0346]〜[0349]に記載のものを挙げることができる。
【0310】
これらの界面活性剤は単独で使用してもよいし、また、いくつかの組み合わせで使用してもよい。
【0311】
界面活性剤の使用量は、レジスト組成物全量(溶剤を除く)に対して、好ましくは0.01〜10質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
【0312】
(G)カルボン酸オニウム塩
本発明におけるレジスト組成物は、カルボン酸オニウム塩を含有しても良い。このようなカルボン酸オニウム塩は、特開2008−292975号公報[0352]〜[0353]に記載のものを挙げることができる。
【0313】
これらのカルボン酸オニウム塩は、スルホニウムヒドロキシド、ヨードニウムヒドロキシド、アンモニウムヒドロキシドとカルボン酸を適当な溶剤中酸化銀と反応させることによって合成できる。
【0314】
カルボン酸オニウム塩の組成物中の含量は、組成物の全固形分に対し、一般的には0.1〜20質量%、好ましくは0.5〜10質量%、更に好ましくは1〜7質量%である。
【0315】
(H)その他の添加剤
本発明のレジスト組成物には、必要に応じてさらに染料、可塑剤、光増感剤、光吸収剤、アルカリ可溶性樹脂、溶解阻止剤及び現像液に対する溶解性を促進させる化合物(例えば、分子量1000以下のフェノール化合物、カルボキシル基を有する脂環族、又は脂肪族化合物)等を含有させることができる。
【0316】
このような分子量1000以下のフェノール化合物は、例えば、特開平4−122938号、特開平2−28531号、米国特許第4,916,210、欧州特許第219294等に記載の方法を参考にして、当業者において容易に合成することができる。
カルボキシル基を有する脂環族、又は脂肪族化合物の具体例としてはコール酸、デオキシコール酸、リトコール酸などのステロイド構造を有するカルボン酸誘導体、アダマンタンカルボン酸誘導体、アダマンタンジカルボン酸、シクロヘキサンカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸などが挙げられるがこれらに限定されるものではない。
【0317】
本発明のレジスト組成物の固形分濃度は、通常1.0〜10質量%であり、好ましくは、2.0〜5.7質量%、更に好ましくは2.0〜5.3質量%である。固形分濃度を前記範囲とすることで、レジスト溶液を基板上に均一に塗布することができ、更にはラインエッジラフネスに優れたレジストパターンを形成することが可能になる。その理由は明らかではないが、恐らく、固形分濃度を10質量%以下、好ましくは5.7質量%以下とすることで、レジスト溶液中での素材、特には光酸発生剤の凝集が抑制され、その結果として、均一なレジスト膜が形成できたものと考えられる。
固形分濃度とは、レジスト組成物の総重量に対する、溶剤を除く他のレジスト成分の重量の重量百分率である。
【0318】
本発明のパターン形成方法に於いて、活性光線又は放射線の照射によりネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂組成物による膜を基板上に形成する工程、膜を露光する工程、加熱する工程及びポジ型現像する工程は、一般的に知られている方法により行うことができる。
【0319】
本発明における露光装置に用いられる光源波長に制限は無いが、KrFエキシマレーザー波長(248nm)、ArFエキシマレーザー波長(193nm)とF2エキシマレーザー波長(157nm)等を適用できる。
【0320】
また、本発明の露光を行う工程においては液浸露光方法を適用することができる。
液浸露光方法とは、解像力を高める技術として、投影レンズと試料の間に高屈折率の液体(以下、「液浸液」ともいう)で満たし露光する技術である。
【0321】
液浸露光を行う場合には、(1)基板上に膜を形成した後、露光する工程の前に、及び/又は(2)液浸液を介して膜に露光する工程の後、膜を加熱する工程の前に、膜の表面を水系の薬液で洗浄する工程を実施してもよい。
【0322】
液浸液は、空気よりも高屈折率の物であれば特に限定されないが、通常、純水が用いられる。
【0323】
本発明において膜を形成する基板は特に限定されるものではなく、シリコン、SiN、SiO2やSiN等の無機基板、SOG等の塗布系無機基板等、IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造工程、さらにはその他のフォトファブリケーションのリソグラフィー工程で一般的に用いられる基板を用いることができる。更に、必要に応じて有機反射防止膜を膜と基板の間に形成させても良い。
【0324】
ポジ型現像を行う際には、アルカリ現像液を使用することが好ましい。
ポジ型現像を行う際に使用するアルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、n−プロピルアミン等の第一アミン類、ジエチルアミン、ジ−n−ブチルアミン等の第二アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第三アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第四級アンモニウム塩、ピロール、ピヘリジン等の環状アミン類等のアルカリ性水溶液を使用することができる。
さらに、上記アルカリ性水溶液にアルコール類、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
アルカリ現像液のアルカリ濃度は、通常0.1〜20質量%である。
アルカリ現像液のpHは、通常10.0〜15.0である。
特に、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの2.38質量%の水溶液が望ましい。
【0325】
ポジ型現像の後に行うリンス処理におけるリンス液としては、純水を使用し、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
【0326】
ネガ型現像を行う際には、有機溶剤を含有する有機系現像液を使用することが好ましい。
ネガ型現像を行う際に使用し得る有機系現像液としては、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤等の極性溶剤及び炭化水素系溶剤を用いることができる。
ケトン系溶剤としては、例えば、1-オクタノン、2-オクタノン、1-ノナノン、2-ノナノン、アセトン、4-ヘプタノン、1-ヘキサノン、2−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセトン、アセトニルアセトン、イオノン、ジアセトニルアルコール、アセチルカービノール、アセトフェノン、メチルナフチルケトン、イソホロン、プロピレンカーボネート等を挙げることができる。
エステル系溶剤としては、例えば、酢酸メチル、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、別名1−メトキシ−2−アセトキシプロパン)、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチルー3−エトキシプロピオネート、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、蟻酸メチル、蟻酸エチル、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル等を挙げることができる。
アルコール系溶剤としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、n-ヘキシルアルコール、n-ヘプチルアルコール、n-オクチルアルコール、n-デカノール等のアルコールや、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコール系溶剤や、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME、別名1−メトキシ−2−プロパノール)、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、メトキシメチルブタノール等のグリコールエーテル系溶剤等を挙げることができる。
エーテル系溶剤としては、例えば、上記グリコールエーテル系溶剤の他、ジオキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
アミド系溶剤としては、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等が使用できる。
炭化水素系系溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、ペンタン、ヘキサン、オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素系溶剤が挙げられる。
上記の溶剤は、複数混合してもよいし、上記以外の溶剤や水と混合し使用してもよい。
特に、ネガ型現像液は、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤から選択される少なくとも1種類の溶剤を含有する現像液であるのが好ましい。
【0327】
ネガ型現像液の蒸気圧は、20℃に於いて、5kPa以下が好ましく、3kPa以下が更に好ましく、2kPa以下が特に好ましい。ネガ型現像液の蒸気圧を5kPa以下にすることにより、現像液の基板上あるいは現像カップ内での蒸発が抑制され、ウェハ面内の温度均一性が向上し、結果としてウェハ面内の寸法均一性が良化する。
5kPa以下の蒸気圧を有する具体的な例としては、1-オクタノン、2-オクタノン、1-ノナノン、2-ノナノン、4-ヘプタノン、2−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、酢酸ブチル、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネート、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル等のエステル系溶剤、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、n-ヘキシルアルコール、n-ヘプチルアルコール、n-オクチルアルコール、n-デカノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコール系溶剤や、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、メトキシメチルブタノール等のグリコールエーテル系溶剤、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶剤、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミドのアミド系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素系溶剤が挙げられる。
特に好ましい範囲である2kPa以下の蒸気圧を有する具体的な例としては、1-オクタノン、2-オクタノン、1-ノナノン、2-ノナノン、4-ヘプタノン、2−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン等のケトン系溶剤、酢酸ブチル、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネート、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル等のエステル系溶剤、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、n-ヘキシルアルコール、n-ヘプチルアルコール、n-オクチルアルコール、n-デカノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等のグリコール系溶剤や、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、メトキシメチルブタノール等のグリコールエーテル系溶剤、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミドのアミド系溶剤、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素系溶剤が挙げられる。
【0328】
ネガ型現像を行う際に使用しうる現像液には、必要に応じて界面活性剤を適当量添加することができる。
界面活性剤としては特に限定されないが、例えば、イオン性や非イオン性のフッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤等を用いることができる。これらのフッ素及び/又はシリコン系界面活性剤として、例えば特開昭62−36663号公報、特開昭61−226746号公報、特開昭61−226745号公報、特開昭62−170950号公報、特開昭63−34540号公報、特開平7−230165号公報、特開平8−62834号公報、特開平9−54432号公報、特開平9−5988号公報、米国特許第5405720号明細書、同5360692号明細書、同5529881号明細書、同5296330号明細書、同5436098号明細書、同5576143号明細書、同5294511号明細書、同5824451号明細書記載の界面活性剤を挙げることができ、好ましくは、非イオン性の界面活性剤である。非イオン性の界面活性剤としては特に限定されないが、フッ素系界面活性剤又はシリコン系界面活性剤を用いることが更に好ましい。
界面活性剤の使用量は現像液の全量に対して、通常0.001〜5質量%、好ましくは0.005〜2質量%、更に好ましくは0.01〜0.5質量%である。
【0329】
現像方法としては、たとえば、現像液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法(ディップ法)、基板表面に現像液を表面張力によって盛り上げて一定時間静止することで現像する方法(パドル法)、基板表面に現像液を噴霧する方法(スプレー法)、一定速度で回転している基板上に一定速度で現像液塗出ノズルをスキャンしながら現像液を塗出しつづける方法(ダイナミックディスペンス法)などを適用することができる。
【0330】
また、ネガ型現像を行う工程の後に、他の溶媒に置換しながら、現像を停止する工程を実施してもよい。
【0331】
ネガ型現像の後には、有機溶剤を含むネガ型現像用リンス液を用いて洗浄する工程を含むことが好ましい。
【0332】
ネガ型現像後のリンス工程に用いるリンス液としては、レジストパターンを溶解しなければ特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができる。前記リンス液としては、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤(ジブチルエーテル、ジイソアミルエーテル等)から選択される少なくとも1種類の有機溶剤を含有するリンス液を用いることが好ましい。より好ましくは、ネガ型現像の後に、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤から選択される少なくとも1種類の有機溶剤を含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。更により好ましくは、ネガ型現像の後に、アルコール系溶剤又はエステル系溶剤を含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。特に好ましくは、ネガ型現像の後に、炭素数が少なくとも5(より好ましくは5〜12、更に好ましくは5〜10)であって、分枝及び/又は環状構造のアルキル鎖を有する、2級以上のアルコールを含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。あるいは、特に好ましくは、ネガ型現像の後に、1価アルコールを含有するリンス液を用いて洗浄する工程を行う。ここで、ネガ型現像後のリンス工程で用いられる1価アルコールとしては、直鎖状、分岐状、環状の1価アルコールが挙げられ、具体的には、1−ブタノール、2−ブタノール、3−メチル−1−ブタノール、tert―ブチルアルコール、1−ペンタノール、2−ペンタノール、1−ヘキサノール、1−ヘプタノール、1−オクタノール、2−ヘキサノール、2−ヘプタノール、2−オクタノール、3−ヘキサノール、3−ヘプタノール、3−オクタノール、4−オクタノール、3−メチル−3−ペンタノール、シクロペンタノール、2,3−ジメチル−2−ブタノール、3,3−ジメチル−2−ブタノール、2−メチル−2−ペンタノール、2−メチル−3−ペンタノール、3−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−3−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、4−メチル−3−ペンタノール、シクロヘキサノール、5−メチル−2−ヘキサノール、4−メチル−2−ヘキサノール、4,5−ジチル−2−ヘキサール、6−メチル−2−ヘプタノール、7−メチル−2−オクタノール、8−メチル−2−ノナール、9−メチル−2−デカノールなどを用いることができ、好ましくは、1−ヘキサノール、2−ヘキサノール、1−ペンタノール、3−メチル−1−ブタノール、3−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−3−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、4−メチル−3−ペンタノールである(なお、これらの具体例の一部は、前記した、炭素数が少なくとも5であって、分枝及び/又は環状構造のアルキル鎖を有する、2級以上のアルコールにも相当する)。
【0333】
前記各成分は、複数混合してもよいし、上記以外の有機溶剤と混合し使用してもよい。
【0334】
リンス液中の含水率は、10質量%以下が好ましく、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは3質量%以下である。含水率を10質量%以下にすることで、良好な現像特性を得ることができる。
【0335】
ネガ型現像後に用いるリンス液の蒸気圧は、20℃に於いて0.05kPa以上、5kPa以下が好ましく、0.1kPa以上、5kPa以下が更に好ましく、0.12kPa以上、3kPa以下が最も好ましい。リンス液の蒸気圧を0.05kPa以上、5kPa以下にすることにより、ウェハ面内の温度均一性が向上し、更にはリンス液の浸透に起因した膨潤が抑制され、ウェハ面内の寸法均一性が良化する。
【0336】
リンス液には、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
【0337】
リンス工程においては、ネガ型の現像を行ったウェハを前記の有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄処理する。洗浄処理の方法は特に限定されないが、たとえば、一定速度で回転している基板上にリンス液を塗出しつづける方法(回転塗布法)、リンス液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法(ディップ法)、基板表面にリンス液を噴霧する方法(スプレー法)、などを適用することができ、この中でも回転塗布方法で洗浄処理を行い、洗浄後に基板を2000rpm〜4000rpmの回転数で回転させ、リンス液を基板上から除去することが好ましい。
【実施例】
【0338】
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【0339】
合成例1(樹脂(P−1)の合成)
窒素気流下、シクロヘキサノン5.9gを3つ口フラスコに入れ、80℃に加熱した。これに、モノマー(P-1-A)10.9g(64.0mmol)、モノマー(P-1-B)6.0g(25.6mmol)、モノマー(P-1-C)11.2g(38.4mmol)、重合開始剤V−60(アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬製)2.10g(12.8mmol)をシクロヘキサノン106gを溶解させた溶液を6時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で2時間加熱した。重合終了後、20℃のメタノール水溶液(体積比メタノール:水=9:1)450mLを滴下し、析出した固体をデカンテーションで採取した。この固体を40℃で真空乾燥し、樹脂P-1が15.2g得られた。得られた樹脂(P−1)の重量平均分子量は、10000、分散度(Mw/Mn)は、1.4であった。
【0340】
【化68】
【0341】
各繰り返し単位に対応するモノマーを、所望の組成比(モル比)となるように使用した以外は、上記合成例1と同様にして、樹脂(P−2)〜(P−27)、(P−R1)、(P−R2)及び疎水性樹脂(1a)〜(4b)を合成した。ここで、疎水性樹脂(1a)〜(4b)は、上記樹脂(D)に対応する。
【0342】
以下、樹脂(P−2)〜(P−27)、(P−R1)、(P−R2)及び疎水性樹脂(1a)〜(4b)の構造を示す。また、上記した樹脂(P−1)も含めて、樹脂(P−2)〜(P−27)、(P−R1)、(P−R2)及び疎水性樹脂(1a)〜(4b)の組成比(モル比)、重量平均分子量、分散度を、表1に示す。
【0343】
【化69】
【0344】
【化70】
【0345】
【化71】
【0346】
【化72】
【0347】
【化73】
【0348】
【表1】
【0349】
合成例2(化合物(PAG−1)の合成)
化合物(PAG−1)は、特開2007−161707号公報の[0108]〜[0110]に準じて合成した。
【0350】
化合物(PAG−2),(PAG−3),(PAG−4),(PAG−5),(PAG−6),(PAG−8),(PAG−9)も同様の手法に準じて合成した。
なお、化合物(PAG−7)は、CGI*1907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製)を使用した。
【0351】
以下、化合物(PAG−1)〜(PAG−9)の構造を示す。
【0352】
【化74】
【0353】
<レジスト組成物の調製>
下記表2に示す成分を表2に示す溶剤に溶解させ、固形分濃度4質量%の溶液を調製し、それぞれを0.03μmのポアサイズを有するポリエチレンフィルターでろ過してレジスト組成物Ar−1〜Ar−28,Ar−R1及びAr−R2を調製した。
【0354】
【表2】
【0355】
表2における略号は、次の通りである。
【0356】
B−1〜B−8:各々下記化合物を示す。
【0357】
【化75】
【0358】
W−1: メガファックF176(大日本インキ化学工業(株)製)(フッ素系)
W−2: メガファックR08(大日本インキ化学工業(株)製)(フッ素及びシリコン系)
W−3: ポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)(シリコン系)
【0359】
A1: プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
A2: γ−ブチロラクトン
A3: シクロヘキサノン
B1: プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)
B2: 乳酸エチル
【0360】
調製したレジスト組成物を用い、下記の方法でレジストパターンを形成した。
【0361】
実施例1(1回露光→ネガ現像:略号E-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−1を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハーをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を使用して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で20秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハーを回転させることにより、90nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0362】
実施例2〜28及び比較例1〜2
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例1の方法と同様にして、90nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0363】
実施例29(1回露光→ポジ現像→ネガ現像:略号E-B-P-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−13を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、純水でリンスし、ピッチ480nm、線幅360nmのパターンを得た。次に、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0364】
比較例3
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例29の方法と同様にして、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0365】
実施例30(1回露光→ネガ現像→ポジ現像:略号E-B-N-P)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−13を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、ピッチ480nm、線幅360nmのパターンを得た。次に、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、純水でリンスして、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0366】
比較例4
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例30の方法と同様にして、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0367】
実施例31(2回露光→ネガ現像:略号E-E-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−17を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、第1のパターン露光を行った。次いで、同マスクを、第1の露光と直交する方向に回転し、これを介して、第2のパターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、ピッチ240nm、孔径120nmのホールパターンを得た。
【0368】
比較例5
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例31の方法と同様にして、ピッチ240nm、孔径120nmのホールパターンを得た。
【0369】
実施例32(1回露光→ベーク→ポジ現像→ベーク→ネガ現像:略号E-B-P-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−18を塗布し100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、第1のパターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、純水でリンスし、ピッチ480nm、線幅360nmのパターンを得た。次に、130℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0370】
実施例33(1回露光→ベーク→ネガ現像→ベーク→ポジ現像:略号E-B-N-B-P)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29A(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚86nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−19を塗布し100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザースキャナー(NA0.75)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、第1のパターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、純水でリンスし、ピッチ400nm、線幅300nmのパターンを得た。次に、130℃で、60秒間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(2.38質量%)(ポジ型現像液)で30秒間現像(ポジ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、120nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを得た。
【0371】
実施例34(1回液浸露光→ネガ現像:略号iE-B-N)
シリコンウエハー上に有機反射防止膜ARC29SR(日産化学社製)を塗布し、205℃で、60秒間ベークを行い、膜厚95nmの反射防止膜を形成した。その上にレジスト組成物Ar−20を塗布し、100℃で、60秒間ベークを行い、膜厚100nmのレジスト膜を形成した。得られたウェハをArFエキシマレーザー液浸スキャナー(NA1.20)を用い、露光マスク(ライン/スペース=1/1)を介して、パターン露光を行った。その後90℃で、60秒間加熱した後、ネガ型現像液で30秒間現像(ネガ型現像)し、リンス液でリンスした後、4000rpmの回転数で30秒間ウェハを回転させることにより、ピッチ100nm、線幅50nmのパターンを得た。
【0372】
比較例6
表3に記載のレジスト及び条件を採用した以外は、実施例34の方法と同様にして、ピッチ100nm、線幅50nmのパターンを得た。
【0373】
【表3】
【0374】
表3において、PBは露光前の加熱を、PEBは露光後の加熱を意味する。また、PB、第1PEB及び第2PEBの欄において、例えば“100C60s”は、100℃,60秒間の加熱を意味する。ネガ型現像液のB1は、前記した溶剤を表す。“ネガ現像液比(1)/(2)”及び“リンス液比(1)/(2)”は、いずれも重量比である。
【0375】
<評価方法>
〔ラインウィドスラフネス(LWR)〕
90nm(1:1)、120nm(1:1)あるいは50nm(1:1)のラインアンドスペースのレジストパターンを測長走査型電子顕微鏡(SEM(株)日立製作所S−9380II)を使用して観察し、スペースパターンの長手方向2μmの範囲を等間隔で50点線幅を測定し、その標準偏差から3σを算出することで測定した。値が小さいほど良好な性能であることを示す(なお、実施例31及び比較例5に関しては、LWRの評価に代えて、以下のHRの評価を行った)。
【0376】
〔ホールラフネス(HR)〕
実施例31及び比較例5で得られたホールパターンを測長走査型電子顕微鏡(SEM(株)日立製作所S−9380II)を使用して観察し、ホールパターンの直径の標準偏差から3σを算出することで測定した。値が小さいほど良好な性能であることを示す。
【0377】
〔露光ラチチュード(EL)〕
90nm(1:1)、120nm(1:1)あるいは50nm(1:1)のラインアンドスペース(ただし、実施例31及び比較例5に関してはピッチ240nm、孔径120nmのホールパターン)のレジストパターンを形成する露光量を最適露光量(多重現像の場合は、最終的に多重現像を経た後に、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成する露光量を意味し、多重現像の場合は、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成するための第1回目の露光量を意味する)とし、露光量を変化させた際にパターンサイズの±10%を許容する露光量幅を求め、この値を最適露光量で割って百分率表示した。値が大きいほど露光量変化による性能変化が小さく、露光ラチチュード(EL)が良好である。
【0378】
〔デフォーカス余裕度(DOF)〕
90nm(1:1)、120nm(1:1)あるいは50nm(1:1)のラインアンドスペース(ただし、実施例31及び比較例5に関してはピッチ240nm、孔径120nmのホールパターン)のレジストパターンを形成する露光量、フォーカスをそれぞれ最適露光量(多重現像の場合は、最終的に多重現像を経た後に、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成する露光量を意味し、多重現像の場合は、上記ラインアンドスペースのレジストパターンを形成するための第1回目の露光量を意味する)、最適フォーカスとし、露光量を最適露光量としたまま、フォーカスを変化(デフォーカス)させた際に、パターンサイズの±10%を許容するフォーカスの幅を求めた。値が大きいほどフォーカス変化による性能変化が小さく、デフォーカス余裕度(DOF)が良好である。
【0379】
【表4】
【0380】
表4から、本発明のネガ型現像用レジスト組成物により、ラインウィズスラフネス(ホールラフネス)、露光ラチチュード及びデフォーカス余裕度に関して優れた、高精度な微細パターンを安定的に形成できることは明らかである。
【符号の説明】
【0381】
1 照射光
2 露光マスク
3 パターン
4 ウェハ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
(A)下記一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物。
【化1】
一般式(1)中、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ry1〜Ry3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。
Zは、2価の連結基を表す。
【請求項2】
前記Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが単環の環状炭化水素構造を形成する場合、該環状炭化水素構造が6員以上の環であることを特徴とする請求項1に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【請求項3】
前記一般式(1)で表される繰り返し単位が、下記一般式(2a)あるいは(2b)で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする、請求項1に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【化2】
一般式(2a)、(2b)に於いて、
Xa1、Zは、それぞれ、一般式(1)に於けるXa1、Zと同義である。
Y1は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
Y2は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
R1、R2、R3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
【請求項4】
前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂はアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位を有さないことを特徴とする請求項3に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項5】
前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂は、該樹脂が有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全てに関して、該繰り返し単位におけるα位炭素原子(樹脂主鎖を構成するとともに、−C(=O)−基に結合する炭素原子)の、該−C(=O)−基とは異なり、かつ、該樹脂主鎖を構成しない結合部位が、水素原子以外の置換基で置換されていることを特徴とする請求項3に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項6】
前記置換基がアルキル基、シアノ基又はハロゲン原子であることを特徴とする請求項5に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項7】
前記置換基がメチル基であることをあることを特徴とする請求項5に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項8】
更に、(B)酸発生剤と(C)溶剤とを含有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項9】
(ア)請求項1〜8のいずれかに記載のネガ型現像用レジスト組成物により膜を形成する工程と
(イ)露光工程と
(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程と
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項10】
前記樹脂は、酸の作用により極性が増大してポジ型現像液に対する溶解度が増大する樹脂であり、
(ウ)ポジ型現像液を用いて現像する工程を更に含むことを特徴とする請求項9に記載のパターン形成方法。
【請求項1】
(A)下記一般式(1)で表される酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用によりネガ現像液に対する溶解度が減少する樹脂を含有することを特徴とするネガ型現像用レジスト組成物。
【化1】
一般式(1)中、
Xa1は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ry1〜Ry3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。
Zは、2価の連結基を表す。
【請求項2】
前記Ry1〜Ry3の内の少なくとも2つが単環の環状炭化水素構造を形成する場合、該環状炭化水素構造が6員以上の環であることを特徴とする請求項1に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【請求項3】
前記一般式(1)で表される繰り返し単位が、下記一般式(2a)あるいは(2b)で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする、請求項1に記載のネガ型現像用レジスト組成物。
【化2】
一般式(2a)、(2b)に於いて、
Xa1、Zは、それぞれ、一般式(1)に於けるXa1、Zと同義である。
Y1は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
Y2は、記載の炭素原子とともに、脂環式炭化水素基を完成させるのに必要な複数の原子を表す。
R1、R2、R3は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
【請求項4】
前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂はアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位を有さないことを特徴とする請求項3に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項5】
前記一般式(2a)においてはY1とR1とR2の総炭素数が6以下である場合、前記一般式(2b)においてはY2とR3の総炭素数が6以下である場合、前記樹脂は、該樹脂が有するアクリル酸またはアクリル酸エステルに由来する繰り返し単位の全てに関して、該繰り返し単位におけるα位炭素原子(樹脂主鎖を構成するとともに、−C(=O)−基に結合する炭素原子)の、該−C(=O)−基とは異なり、かつ、該樹脂主鎖を構成しない結合部位が、水素原子以外の置換基で置換されていることを特徴とする請求項3に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項6】
前記置換基がアルキル基、シアノ基又はハロゲン原子であることを特徴とする請求項5に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項7】
前記置換基がメチル基であることをあることを特徴とする請求項5に記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項8】
更に、(B)酸発生剤と(C)溶剤とを含有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のネガ現像用レジスト組成物。
【請求項9】
(ア)請求項1〜8のいずれかに記載のネガ型現像用レジスト組成物により膜を形成する工程と
(イ)露光工程と
(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程と
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項10】
前記樹脂は、酸の作用により極性が増大してポジ型現像液に対する溶解度が増大する樹脂であり、
(ウ)ポジ型現像液を用いて現像する工程を更に含むことを特徴とする請求項9に記載のパターン形成方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2010−197619(P2010−197619A)
【公開日】平成22年9月9日(2010.9.9)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−41379(P2009−41379)
【出願日】平成21年2月24日(2009.2.24)
【出願人】(306037311)富士フイルム株式会社 (25,513)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年9月9日(2010.9.9)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年2月24日(2009.2.24)
【出願人】(306037311)富士フイルム株式会社 (25,513)
【Fターム(参考)】
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