基板処理装置、基板搬送方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体
【課題】容器内の複数の基板を取り出して所定の処理を行い、処理後の基板を容器内に戻す一連の処理を繰り返し行う際に、スループットを向上させることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】洗浄処理装置は、一連の搬送動作を制御する制御部４０を有し、制御部４０は、一のウエハの基板を処理装置内に投入している状態において、フープ搬送装置１２およびウエハ出し入れステージ１５が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容したフープをウエハ出し入れステージ１５に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、フープ搬送装置１２の動作タイミング、ウエハ出し入れステージ１５での操作のタイミング、およびウエハ移載装置１９の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成するスケジュール作成部５４を有する。
【解決手段】洗浄処理装置は、一連の搬送動作を制御する制御部４０を有し、制御部４０は、一のウエハの基板を処理装置内に投入している状態において、フープ搬送装置１２およびウエハ出し入れステージ１５が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容したフープをウエハ出し入れステージ１５に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、フープ搬送装置１２の動作タイミング、ウエハ出し入れステージ１５での操作のタイミング、およびウエハ移載装置１９の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成するスケジュール作成部５４を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体ウエハ等の基板に対してバッチ式洗浄処理等のバッチ処理を施す基板処理装置、およびこのような基板処理装置における基板搬送方法、ならびにこのような基板搬送方法を実現するためのコンピュータプログラムおよび記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハ（ウエハ）を所定の薬液や純水等の処理液によって処理し、ウエハからパーティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去する洗浄処理が行われる。
【０００３】
このような洗浄処理を行う洗浄処理装置としては、スループットを高める観点から複数のウエハを一括して処理するバッチ式の処理装置が多用されている。また、このようなバッチ式の洗浄処理装置においては、処理槽の小型化および処理時間の短縮化の観点から、フープに収納された複数枚の半導体ウエハをフープから取り出した状態で一括して保持し、これらを処理槽に浸漬させて処理するフープレス方式が処理槽の小型化および処理時間の短縮化の観点から主流となっている（例えば特許文献１）。
【０００４】
このようなフープレス方式のバッチ式洗浄処理装置は、複数枚のウエハを搭載するフープであるフープ（ＦＯＵＰ；Front Open Unified Pod）を搬入出し、フープをストックする搬入出部と、ウエハに対して洗浄処理を施す処理部と、搬入出部と処理部との間でウエハを搬送するインターフェイス部とを有しており、以下のシーケンスで処理が行われる。
【０００５】
まず、搬入出部のフープ搬送装置により、複数のウエハが搭載されたフープを、インターフェイス部との間の受け渡し部へ搬送し、次いで、受け渡し部においてフープの蓋を開く動作およびウエハの配置状態を検査する動作等を行い、引き続き、インターフェイス部の移載装置によりフープから複数のウエハを一括して取り出して、ウエハロード位置に位置する、処理部へウエハを搬送するウエハ搬送装置に受け渡し、ウエハ搬送装置により処理部の各処理槽へ搬送する。また、洗浄処理後のウエハは、ウエハ搬送装置によりインターフェイス部のウエハアンロード位置へ搬送し、そこでウエハ搬送装置の複数のウエハを移載装置が受け取り、搬入出部ではフープ搬送装置により空のフープを受け渡し部へ搬送し、次いでフープの蓋を開けておき、インターフェイス部の移載装置によりウエハ搬送装置のウエハを受け取って受け渡し位置のフープ内に複数のウエハを収容し、ウエハが収容されたフープはフープ搬送装置により、搬出に備えて所定の位置へ搬送される。
【０００６】
これら一連のシーケンスにより、一つのロットのウエハの処理が終了するが、この際のウエハ搬送制御は、搬入出部のフープ搬送装置の動作、受け渡し部でのフープ蓋開閉等の動作、およびウエハ移載装置の一連の動作を一括して制御することにより、一定の動作タイミングで複数ロットの処理を繰り返し行う。これにより制御の複雑化を招くことなく洗浄処理を行うことができる。
【０００７】
しかしながら、このような一定のレシピで複数ロットを連続して行う場合、次のロットのウエハの投入は、同じ時間に同じ装置のスケジュールが重ならないようなタイミングで行わなければならない。例えば、フープ搬送装置が空いていても、その先の搬送スケジュールにおいて、例えばウエハ移載装置が重なるような場合にはウエハを投入することができず、完全に装置の重なり合いが生じないようなタイミングでウエハを投入する必要がある。したがって、装置の空き時間を有効に利用することができず、処理のスループットが低下してしまうという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−６４０７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、容器内の複数の基板を取り出して所定の処理を行い、処理後の基板を容器内に戻す一連の処理を繰り返し行う際に、スループットを向上させることができる基板処理装置およびこのような基板処理装置における基板搬送方法を提供することを目的とする。また、このような基板搬送方法を実現するためのコンピュータプログラムおよび記憶媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置と、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または、空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送する一連の搬送動作を制御する制御部と
を具備する基板処理装置であって、
前記制御部は、前記容器搬送装置、前記基板出し入れ部での操作、および前記基板移載装置を、それぞれ別個に制御し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成するスケジュール作成部を有することを特徴とする基板処理装置を提供する。
【００１０】
上記第１の観点において、動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行うことができる。また、前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うようにすることができる。さらに、前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送するようにすることができる。
【００１１】
さらに、前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有する構成とすることができる。この場合に、前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、前記搬送スケジュール作成部は、未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成するようにし、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入するようにすることができる。
【００１２】
さらにまた、前記基板移載装置は、１つの容器分の基板を保持する基板保持アームを有し、この基板保持アームが三次元空間で任意の位置および姿勢をとることが可能な多軸構造を有していることが好ましい。また、前記基板出し入れ部にある容器の蓋体を開閉する蓋体開閉機構と、前記基板出し入れ部にある容器内の基板を検査する基板検査装置とをさらに有し、前記基板出し入れ部での操作は、容器の蓋体の開閉および前記検査装置による容器内の基板の検査であるようにすることができる。さらに、前記容器搬入出部は、容器を一時的に保持する容器保持部を有するようにしてもよい。
【００１３】
本発明の第２の観点では、
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置における基板搬送方法であって、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整することを特徴とする基板搬送方法を提供する。
【００１４】
上記第２の観点において、動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行うことができる。また、前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うようにすることができる。さらに、前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送するようにすることができる。さらにまた、前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有するようにすることができる。この場合に、前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成し、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入するようにすることができる。
【００１５】
本発明の第３の観点では、
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置において基板の搬送を制御するコンピュータプログラムであって、
実行時に、未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整するように前記基板処理装置の搬送を制御するコンピュータプログラムを提供する。
【００１６】
本発明の第４の観点では、上記第３の観点のコンピュータプログラムをコンピュータで動作可能な状態で記憶した記憶媒体を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整するので、基板の搬送動作を極力短時間で行うことができ、処理トータルのスループットを高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について具体的に説明する。本実施形態では、本発明を半導体ウエハ（ウエハ）の搬入、液処理、乾燥、搬出をバッチ式に一貫して行うように構成された洗浄処理装置に適用した場合について説明する。
【００１９】
図１は本実施形態に係る洗浄処理装置を示す斜視図であり、図２はその平面図である。図１および図２に示すように、液処理装置１は、ウエハＷが水平状態で収納され、ウエハ容器として機能するフープＦを搬入出し、また保管等するフープ搬入出部２と、ウエハＷに所定の薬液を用いた洗浄処理および洗浄処理後の乾燥処理を行う洗浄処理部４と、搬入出部２と洗浄処理部４との間でウエハＷを搬送するインターフェイス部３とで主に構成されている。
【００２０】
フープ搬入出部２は、所定枚数、例えば２５枚のウエハＷを略水平に所定間隔で収納するフープＦを載置するためのフープ搬入出ステージ５と、フープＦを保管するフープストック部６と、フープを搬送するフープ搬送装置１２とを有している。フープＦはその一側面がウエハＷの搬入出口となっており、この搬入出口が蓋体により開閉可能となっている構造を有している。フープストック部６は、フープＦを保持する複数の保持部材１３が設けられ、複数のフープＦを保管可能となっている。
【００２１】
フープ搬入出ステージ５とフープストック部６との間にはシャッター１４が設けられており、フープ搬入出ステージ５に対するフープＦの搬入出動作の際以外にはシャッター１４が閉じた状態とされる。
【００２２】
フープストック部６とインターフェイス部３との間は壁部１６により仕切られており、この壁部１６には窓部１６ａが上下２段（一方のみ図示）に形成されている。そして、これら窓部１６ａのフープストック部６側には、フープＦの蓋体が窓部１６ａに対面するようにフープＦを載置するウエハ出し入れステージ（基板出し入れ部）１５が上下２段に設けられている（一方のみ図示）。なお、上方の窓部１６ａがウエハ搬入用であり、下方の窓部１６ａがウエハ搬出用である。ウエハ出し入れステージ１５には、そこに載置されたフープＦの蓋体の開閉を行うための蓋体開閉機構１７が設けられており、フープＦと壁部１６とが密着した状態で蓋体を開けて、フープＦ内のウエハＷをインターフェイス部３側へ搬出することが可能とされる。また逆に、インターフェイス部３側から空のフープＦ内へウエハＷを搬入することも可能となっている。
【００２３】
フープ保持部材１３は、図２では、フープストック部６を形成する壁面近傍に高さ方向に複数段に、例えば４段に設けられている。フープストック部６は、洗浄処理前のウエハＷが収納されたフープＦを一時的に保管し、また、ウエハＷが取り出された内部が空となったフープＦを保管する役割を果たす。
【００２４】
フープ搬送装置１２は、多関節構造を有しており、その先端の支持アーム１２ａによりフープＦを支持してフープＦの搬送を行うようになっている。このフープ搬送装置１２は、図２のＡ方向および高さ方向にも移動可能となっており、フープ搬入出ステージ５、保持部材１３およびウエハ出し入れステージ１５の間でフープＦを搬送するように構成されている。
【００２５】
インターフェイス部３の窓部１６ａ近傍位置には、フープＦ内のウエハＷの枚数を計測するためのウエハ検査装置１８が配設されている。ウエハ検査装置１８は、例えば赤外線センサヘッドをフープＦ内に収納されたウエハＷの近傍において高さ方向にスキャンさせながらウエハＷを検査する。
【００２６】
インターフェイス部３には、ウエハの移載を行うためのウエハ移載装置１９と、ウエハ搬入出部２０とが設けられている。
【００２７】
ウエハ移載装置１９は、ウエハ出し入れステージ１５に位置するフープＦに対するウエハＷの授受、および配列部２１に対するウエハＷの授受を行うものであり、多軸アーム構造を有しており、その先端にフープＦ内のウエハＷの数のウエハを保持するウエハ保持アーム１９ａを有している。ウエハ保持アーム１９ａにはウエハＷを保持可能な保持爪（図示せず）が設けられており、この保持爪によりウエハＷが保持された状態で、多軸アーム構造によりウエハ保持アーム１９ａが３次元空間で任意の位置および姿勢をとることができるようになっている。
【００２８】
ウエハ搬入出部２０は、インターフェイス部３と洗浄処理部４との間でウエハＷの搬送を行うためのものであり、ロード位置２０ａおよびアンロード位置２０ｂと、配列部２１とを有している。
【００２９】
配列部２１は、ウエハ移載装置１９から供給される２フープ分、例えば５０枚の未処理のウエハＷをフープＦのピッチの半分のピッチ（ハーフピッチ）に配列する第１配列機構２１ａと、ハーフピッチで洗浄処理後、ハーフピッチのウエハＷをフープＦのピッチ（ノーマルピッチ）に戻す第２配列機構２１ｂとを有している。
【００３０】
配列部２１の第１配列機構２１ａおよび第２配列機構２１ｂはいずれも同じ構造を有しており、図３に示すように垂直方向に延びるガイド２１０と、ガイド２１０に対し上下可能でハーフピッチのウエハ保持溝が形成されたウエハハンド２１１と、１フープ分のウエハが保持可能でウエハハンド２１１が上方へ通過可能に構成されたウエハホルダ２１２とを有している。
【００３１】
そして、ウエハＷを洗浄処理部４に搬入（ロード）する際には、ウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａをウエハ出し入れステージ１５上に載置されたフープＦ内に挿入し、水平姿勢のウエハＷを受け取って、これらウエハＷを上方から垂直姿勢で第１配列機構２１ａのウエハハンド２１１に受け渡す。この際には、ウエハハンド２１１がウエハホルダ２１２の上方に位置されている。次のフープＦからウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａにより受け取られたウエハは、第１配列機構２１ａの上部に位置されているウエハホルダ２１２に受け渡され、図４に示すように、この状態で下方からウエハハンド２１１を上昇させることによりウエハホルダ２１２のウエハＷをウエハハンド２１１が受け取ってハーフピッチのウエハ配列が実現される。そして、このハーフピッチの複数、例えば５０枚のウエハＷを保持したウエハハンド２１１の直下のロード位置２０ａにウエハ搬送装置２２を位置させてウエハハンド２１１を下降させることにより、２フープ分のウエハがハーフピッチでウエハ搬送装置２２に保持される。
【００３２】
また、洗浄後のウエハＷを搬出（アンロード）する際には、洗浄後の２フープ分のウエハＷをハーフピッチで保持したウエハ搬送装置２２をアンロード位置２０ｂに位置させ、第２配列機構２１ｂのウエハハンド２１１によりウエハを受け取り、ウエハハンド２１１を下降させる過程で半分のウエハがウエハホルダ２１２により保持される。これにより、ウエハホルダ２１２およびウエハハンド２１１にそれぞれノーマルピッチで１フープ分が載置された状態となり、これらを一方ずつ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａによりウエハ出し入れステージ１５上の空のフープＦに水平姿勢で受け渡す。
【００３３】
ウエハ搬送装置２２は、ハーフピッチのウエハ保持溝が形成された３本のチャック２２ａ〜２２ｃを有しており、２フープ分のウエハＷをハーフピッチで保持可能となっており、インターフェイス部３から洗浄処理部４へ延びるガイドレール２３を図中矢印Ｂで示す方向に沿って移動可能となっている。そして、ウエハ搬送装置２２は、ウエハ移載装置１９から垂直姿勢で未処理のウエハＷをロード／アンロード部２０のロード位置２０ａで受け取り、ガイドレール２３に沿って洗浄処理部４へ移動してウエハＷを洗浄処理部へ搬入し、逆に、洗浄処理の終了したウエハＷを洗浄処理部４から搬出して、ガイドレール２３に沿ってロード／アンロード部２０のアンロード位置２０ｂまで移動し、そこで処理済みのウエハＷをウエハ移載装置１９に受け渡す機能を有している。
【００３４】
洗浄処理部４は、洗浄処理ユニット７と、乾燥ユニット８と、パーキングエリア９から構成されており、インターフェイス部３側から、乾燥ユニット８、洗浄処理ユニット７、パーキングエリア９の順で配置されている。そして、ウエハ搬送装置２２は、Ｘ方向に延在するガイドレール２３に沿って移動し、これらの間でウエハＷの受け渡しを行うようになっている。
【００３５】
パーキングエリア９は、未処理のウエハＷを待機させる場所である。液処理または乾燥処理があるロットのウエハＷについて行われており、ウエハ搬送装置２２を運転させることが必要でない時間を利用して、次に液処理を開始すべきウエハＷがパーキングエリア９へ搬送される。パーキングエリア９は洗浄処理ユニット７に隣接していることから、洗浄処理開始にあたって、ウエハＷの移動時間を短縮することが可能となり、スループットを向上させることができる。
【００３６】
洗浄処理ユニット７には、図２に示すように、パーキングエリア９側から、第１の薬液槽３１、第１の水洗槽３２、第２の薬液槽３３、第２の水洗槽３４、第３の薬液槽３５、第３の水洗槽３６が順に配置されている。また、第１の薬液槽３１と第１の水洗槽３２の間でウエハＷを搬送するための第１の搬送装置３７、第２の薬液槽３３と第２の水洗槽３４の間でウエハＷを搬送するための第２の搬送装置３８、第３の薬液槽３５と第３の水洗槽３６の間でウエハＷを搬送するための第３の搬送装置３９を備えている。
【００３７】
第１の薬液槽３１には、例えば、有機性汚れ除去や表面金属不純物除去を行うために、１３０℃前後に加熱されたＳＰＭ液（濃硫酸と過酸化水素水の混合溶液）が貯留されており、第２の薬液槽３３には、パーティクル等の付着物を除去するための薬液、例えばＳＣ−１液（アンモニアと過酸化水素と水の混合溶液）が貯留されており、第３の薬液槽３５には、ウエハＷの表面に形成された酸化膜をエッチングするためのエッチング液、例えば希フッ酸が貯留されている。エッチング液としては、希フッ酸の他、フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合物（バッファドフッ酸（ＢＨＦ））を用いることもできる。
【００３８】
第１〜第３の水洗槽３２，３４，３６は、それぞれ第１から第３の薬液槽３１，３３，３５による液処理によってウエハＷに付着した薬液を除去するものであり、例えば、オーバーフローリンスやクイックダンプリンス等の各種の水洗手法が用いられる。
【００３９】
第１の搬送装置３７は、上下方向に昇降可能な駆動機構を有しており、ウエハ搬送装置２２から受け渡されたウエハＷを下降させて第１の薬液槽３１に浸して所定時間経過後に引き上げ、次いで、ウエハＷを水平方向に移動させてウエハＷを第１の水洗槽３２に浸して所定時間保持し、引き上げるように動作する。第１の水洗槽３２での処理を終えたウエハＷは、一度、ウエハ搬送装置２２のチャック２２ａ〜２２ｃに戻された後、ウエハ搬送装置２２から第２の搬送装置３８へ搬送される。第２および第３の搬送装置３８，３９は、第１の搬送装置３７と同様の構造を有し、また、同様に動作する。
【００４０】
乾燥ユニット８には、水洗槽２４とウエハ搬送装置２２のチャック２２ａ〜２２ｃを洗浄するチャック洗浄機構２６が配設されており、水洗槽２４の上部には、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）の蒸気が供給されてウエハＷを乾燥する乾燥室（図示せず）が設けられている。また、水洗槽２４と乾燥室との間でウエハＷを搬送する搬送装置２５が設けられており、水洗槽２４で水洗されたウエハＷが搬送装置２５で引き上げられ、乾燥室においてＩＰＡ乾燥されるようになっている。搬送装置２５は水平方向の移動ができない他は前述した第１の搬送装置３７等と同様に構成されており、ウエハ搬送装置２２との間でウエハＷの受け渡しが可能となっている。
【００４１】
搬入出部２の下部には、制御部４０が設けられている。この制御部４０は、図５に示すように、洗浄処理装置１の各構成部、例えばフープ搬送装置１２、ウエハ出し入れステージ１５、ウエハ移載装置１９、ウエハ搬送装置２２等を制御するマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）を備えたコントローラ４１と、ユーザーインターフェイス４２と、処理に必要な情報が記憶された記憶部４３とを有している。
【００４２】
ユーザーインターフェイス４２と記憶部４３とはコントローラ４１に接続されている。ユーザーインターフェイス４２は、オペレータが洗浄処理装置１の各構成部を管理するためにコマンドの入力操作などを行うキーボードや、洗浄処理装置１の各構成部の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等を備えている。記憶部４３は、洗浄処理装置２で実行される各種処理をコントローラ４１の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じて洗浄処理装置１の各構成部に所定の処理を実行させるための制御プログラムすなわちレシピ４５が格納されている。レシピ等の制御プログラムは記憶部４３の中の記憶媒体に記憶されている。記憶媒体は、ハードディスクのような固定的なものであってもよいし、ＣＤＲＯＭ、ＤＶＤ、フラッシュメモリ等の可搬性のものであってもよい。
【００４３】
制御部４０は、このように洗浄処理装置１の全体を制御するものであるが、以下、実施形態の要部に関連するフープ搬送装置１２およびウエハ移載装置１９等の搬送系の制御を中心に説明する。
【００４４】
コントローラ４１は、搬入出部２のフープ搬送装置１２を制御するフープ搬送装置制御部５１と、インターフェイス部３のウエハ移載装置１９を制御するウエハ移載装置制御部５２と、ウエハ出し入れステージ１５上での処理、例えば蓋体開閉機構１７によるフープＦの蓋体開閉動作やウエハ検査装置１８の動作の制御を行うウエハ出し入れステージ制御部５３と、記憶部４３に記憶されているレシピに基づいて、最適な搬送スケジュールを作成する搬送スケジュール作成部５４とを有している。
【００４５】
搬送スケジュール作成部５４は、記憶部４３に記憶されている複数のレシピから選択されたレシピに基づいて、最適な搬送スケジュールを作成するためのものであり、例えば、最初のロットのウエハＷの搬出スケジュールと２番目のロットのウエハＷの搬入スケジュールが錯綜するような場合に、最初のロットのウエハと２番目のロットのウエハＷの搬送スケジュールを最適化する。
【００４６】
次に、以上のように構成された洗浄処理装置１の処理動作についてフープＦおよびウエハＷの搬送シーケンスを中心にして説明する。
まず、所定枚数、例えば２５枚のウエハＷが水平状態で収納された２つのフープＦを、フープ搬入出ステージ５のステージ１１に載せる。そして、記憶部４３に記憶されたレシピに基づいてこれら２つのフープＦ内のウエハＷについて一連の処理を行う。
【００４７】
最初に、ウエハの搬入の際の搬送シーケンスについて、図６に示すタイミングチャートに基づいて説明する。まず、ステージ１１上の一方のフープＦをフープ搬送装置１２により搬入用のウエハ出し入れステージ１５へ搬送する（動作Ａ１）。なお、複数ロットの基板を繰り返し搬送するにあたっては、必要に応じてフープストック部６のフープ保持部１３に一旦保管した後に搬送を行ってもよい。次いでウエハ出し入れステージ１５に載置されたフープＦについて、蓋体開閉機構１７によりロックを外してフープＦの蓋体を空け（動作Ｂ１）、次いでウエハ検査装置１８によりウエハ枚数のカウント等を行う（動作Ｂ２）。この検査と並行してウエハ移載装置１９の準備動作（動作Ｃ１）を行う。検査終了後、ウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａを窓部１６ａを介してウエハ出し入れステージ１５上のフープＦ内に挿入してウエハＷを取り出し（動作Ｃ２）、配列部２１の第１配列機構２１ａのウエハハンド２１１に受け渡す（動作Ｃ３）。この動作Ｃ３と同時に蓋体開閉機構１７により、ウエハ出し入れステージ１５上のウエハＷを取り出した後のフープＦに蓋体開閉機構１７により蓋体を装着し（動作Ｂ３）、引き続きそのフープＦを、フープ搬送装置１２によりいずれかのフープ保持部材１３へ搬送する（動作Ａ２）。
【００４８】
同様の動作をステージ１１上のもう一方のフープＦに対しても行う。すなわち、もう一方のフープＦをウエハ出し入れステージ１５に搬送し（動作Ａ１）、ウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａにより、そのフープＦ内のウエハＷを取り出して、第１配列機構２１ａへ受け渡す（動作Ｃ１〜Ｃ３等）。このとき、上述したように第１配列機構２１ａでは、ウエハホルダ２１２にウエハＷが受け渡され、ウエハハンド２１１を上昇させることによりウエハホルダ２１２上のウエハＷがウエハハンド２１１の既に搭載されたウエハＷの間に保持され、ハーフピッチで２フープ分、例えば５０枚のウエハＷがウエハハンド２１１に保持された状態となり、これをウエハ搬送装置２２に受け渡す。
【００４９】
次に、このようにしてウエハ搬送装置２２に受け渡された２フープ分のウエハＷを１ロットとして洗浄処理部へ搬送し、所定の洗浄処理を行う。
【００５０】
この際には、ウエハＷを保持したウエハ搬送装置２２を、ガイドレール２３に沿って液処理ユニット７の第１の薬液槽３１または第１の水洗槽３２の位置へ移動させ、ウエハＷを第１の搬送装置３７へ移し替え、ウエハＷの洗浄処理を開始する。ウエハＷの液処理は、例えば、第１の薬液槽３１への浸漬と第１の水洗槽３２による洗浄、第２の薬液槽３３への浸漬と第２の水洗槽３４による洗浄、第３の薬液槽３５への浸漬と第３の水洗槽３６による洗浄の順で行われる。
【００５１】
液処理ユニット７での処理が終了したウエハＷは、一度、ウエハ搬送装置２２に移し替えられた後、乾燥ユニット８の搬送装置２５へ移し替えられ、乾燥処理が施される。乾燥処理が終了したウエハＷは、ウエハ搬送装置２２にハーフピッチで２フープ分、例えば５０枚垂直姿勢で搭載された状態でインターフェイス部３のアンロード位置２０ｂまで搬送される。
【００５２】
アンロード位置２０ｂまで搬送されたウエハＷは、そこから第２配列機構２１ｂのウエハハンド２１１に２フープ分のウエハがハーフピッチのまま受け渡され、ウエハハンド２１１を下降させることにより、ウエハホルダ２１２に１フープ分のウエハＷが受け渡され、ウエハハンド２１１およびウエハホルダ２１２にノーマルピッチで１フープ分のウエハＷが搭載された状態となる。
【００５３】
次に、このような状態からウエハＷを搬出する際の搬送シーケンスについて、図７のタイミングチャートに基づいて説明する。上記第２配列機構２１ｂに上述のように保持されたウエハに対して搬出動作を行う場合には、まず、フープ搬送装置１２により搬出用のウエハ出し入れステージ１５に空のフープＦを載置（動作Ａ３）し、蓋体開閉機構１７によりその蓋体を開けておく（動作Ｂ４）。次いで、ウエハ移載装置１９の準備動作を行った後（動作Ｃ４）、ウエハ保持アーム１９ａを第１配列機構２１ａ内に挿入し、垂直姿勢で保持されているウエハハンド２１１からウエハを取り出す（動作Ｃ５）。その後、搬出用のウエハ出し入れステージ上のフープＦにウエハＷを保持したウエハ保持アーム１９ａを挿入し、ウエハＷを水平姿勢で搬入する（動作Ｃ６）。その後、ウエハ保持アーム１９ａをフープＦから出して、ウエハ検査装置１８によりフープＦ内のウエハＷの検査を行い（動作Ｂ５）、検査終了後、蓋体開閉機構１７によりフープＦの蓋体を閉じる（動作Ｂ６）。これにより、最初のロットのウエハの搬出動作は終了する。そして、このようにして洗浄処理されたウエハＷを収納したフープＦは、フープ搬送装置１２によりフープ保持部材１３に搬送され、そこに保持される。
【００５４】
同様の動作をウエハホルダ２１２上のウエハＷに対しても行う。すなわち、搬出用のウエハ出し入れステージ１５に空のフープＦを載置する動作等（動作Ａ３等）を行っておき、ウエハ移載装置１９の所定の動作（動作Ｃ４〜Ｃ６）を行って、ウエハホルダ２１２上のウエハＷを空のフープＦに搬入し、さらに所定の処理を行う（Ｂ５，６等）。
【００５５】
以上により、最初のロットのウエハＷの一連の処理が終了する。
【００５６】
次に、２番目のロットを搬入するが、この際の搬送スケジュールは、最初のロットの搬出動作との搬送スケジュールとの重なり合いが生じないように決定する必要がある。この点を考慮すると、最初のロットの搬出動作が終わってから２番目のロットを搬入するのが最も安全であるが、そのような場合には、フープ搬送装置１２、蓋体開閉機構１７、検査装置１８、ウエハ移載装置１９等の待機時間が非常に長くなり、スループットも極めて低いものとなってしまう。このため、極力スループットを高めることができる搬送シーケンスを作成することが求められる。
【００５７】
例えば、最初のロットにおける搬出動作の際におけるフープ搬送装置１２の動作Ａ３の前には、フープ搬送装置１２および搬入用のウエハ出し入れステージ１５が空いているため、その時間を有効利用して２番目のロットのフープＦの搬送動作（動作Ａ１）を行うことが考えられる。しかしながら、従来では、フープ搬送装置１２の動作と、ウエハ出し入れステージ１５における蓋体開閉装置１７および検査装置１８における動作と、ウエハ移載装置１９の動作とは、一括して制御されており、これらの処理スケジュールは予め決定されているため、図８に示すように、２番目のロットにおけるウエハ移載装置１９の最初フープからのウエハ取り出し動作（動作Ｃ２）およびウエハ搬送装置２２への受け渡し動作（動作Ｃ３）が、すでに決まっている最初のロットにおけるウエハ移載装置１９の準備動作（動作Ｃ４）およびウエハ移載装置１９のウエハ受け取り動作（動作Ｃ５）とスケジュール的に重なってしまう。このため、このタイミングでは２番目のロットのウエハの搬入を行うことができず、フープ搬送装置１２の空き時間を有効に利用することができない。
【００５８】
このようなことから、従来は、２番目のロットのウエハＷの搬入開始タイミング（フープ搬送装置１２による動作Ａ１）が、図９に示すように、ウエハ移載装置１９がウエハ出し入れステージ１５上のフープにウエハＷを受け渡す動作（動作Ｃ６）の時まで遅延してしまう。このため、搬送シーケンスが長くなってしまい、スループットが低いものとならざるを得ない。
【００５９】
そこで、本実施形態では、フープ搬送装置１２の制御、ウエハ出し入れステージ１５上での操作の制御（蓋体開閉機構１７および検査装置１８の制御）、ウエハ移載装置１９の制御をそれぞれ別個独立に行うようにし、最初のロットも含めて、コントローラ４１の搬送スケジュール作成部５４でスループットを考慮した最適な搬送スケジュールを作成し、ここで作成された搬送スケジュールに基づいて、搬送動作の制御を行うようにする。
【００６０】
すなわち、スケジュール作成部５４は、一のロットのウエハを処理装置内に投入している状態において、フープ搬送装置１２および搬入側のウエハ出し入れステージ１５が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容したフープＦを搬入側のウエハ出し入れステージ１５に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、フープ搬送装置１２の動作タイミング、ウエハ出し入れステージ１５での蓋体開閉装置１７による蓋体の開放や検査装置１８による検査等の操作のタイミング、およびウエハ移載装置１９の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成する。動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことを挙げることができる。
【００６１】
例えば、１番目のロットの搬出動作と２番目のロットの搬入動作とを並行して行う場合、フープ搬送装置１２が空いて２番目のロットのウエハが搬入可能になった時点で２番目のロットのウエハを搬入し、搬入側および搬出側それぞれに、フープ搬送装置１２、ウエハ出し入れステージ１５（蓋体開閉装置１７、検査装置１８）、ウエハ移載装置１９の動作をウエハの搬送時間が最短になるようにしてスケジューリングし、そのようなスケジューリングでいずれかの装置に最初のロットの搬出動作と２番目のロットの搬入動作で重なり合いが生じるような場合に、いずれかを先に行うようにして、他の動作を送らせるようにする。これにより、効率的に各装置を使うことができ、搬送シーケンスを短縮することができる。
【００６２】
具体的には、図１０に示すように、最初のロットにおける搬出動作の際におけるフープ搬送装置１２の動作Ａ３の前におけるフープ１２の空き時間に２番目のロットのフープの搬送動作（動作Ａ１）を入れる。そして、ウエハ出し入れステージ１５上における蓋体開閉装置１７によるフープＦの蓋体開放動作（動作Ｂ１）および検査装置１８による検査動作（動作Ｂ２）を行い、それと同時にフープ搬送装置１２による空のフープＦのウエハ出し入れステージ１５への搬送動作（動作Ａ３）を行い、次いで、その空のフープＦの蓋体開放動作（動作Ｂ４）を行う。
【００６３】
図８に示すように、従来の搬送シーケンスでは、この次のウエハ移載装置１９の処理において最初のロットの搬出動作と２番目のロットの搬入動作とが重なってしまうが、本実施形態では、ウエハ移載装置１９のスケジュールが重ならないように、ウエハ移載装置１９により、まず２番目のロットについての動作Ｃ１〜Ｃ３を行って第１配列機構２１ａに処理前のウエハＷを受け渡し、その後、引き続きウエハ移載装置１９により、洗浄処理後の最初のロットのウエハＷを保持した第２配列機構２１ｂからウエハＷを受け取ってウエハ出し入れステージ１５上のフープＦにウエハを受け渡す動作（動作Ｃ４〜Ｃ６）を行う。このようにすることにより、ウエハの搬送動作、特に、ウエハの搬入動作を短時間で行うことができ、処理トータルのスループットを高めることができる。
【００６４】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では本発明を洗浄処理装置に適用した場合について示したが、容器内の複数の基板を取り出して基板の処理を行う装置であれば適用可能である。また、上記実施形態では、２つのフープのウエハを１ロットとして処理する例について示したが、これに限るものではなく、１つの容器の基板を１ロットとして処理してもよいことはいうまでもない。さらに、上記実施形態では、ウエハ移載装置として多軸構造のものを用いた例について示したが、これに限るものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置を示す斜視図。
【図２】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置を示す平面図。
【図３】ウエハ搬入出部の配列部とウエハ移載装置を示す側面図。
【図４】配列部の第１配列機構からウエハ搬送装置へ２ロット分のウエハを受け渡す状態を示す側面図。
【図５】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置に搭載された制御部を示すブロック図。
【図６】ウエハ搬入の際の搬送シーケンスを示すタイミングチャート。
【図７】ウエハ搬出の際の搬送シーケンスを示すタイミングチャート。
【図８】従来の制御方法で所望の搬送スケジュールを実行できない例を示すタイミングチャート。
【図９】従来の制御方法で作成可能な搬送スケジュールを示すタイミングチャート。
【図１０】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置により実現される搬送スケジュールを示すタイミングチャート。
【符号の説明】
【００６６】
１；洗浄処理装置
２；フープ搬入出部
３；インターフェイス部
４；洗浄処理部
５；フープ搬入出ステージ
１２；フープ搬送装置
１５；ウエハ出し入れステージ
１６；壁部
１６ａ；窓部
１７；蓋体開閉装置
１８；検査装置
１９；ウエハ移載装置
１９ａ；ウエハ保持アーム
２０；ウエハ搬入出部
２０ａ；ロード位置
２０ｂ；アンロード位置
２１；配列部
２１ａ；第１配列機構
２１ｂ；第２配列機構
２２；ウエハ搬送装置
４０；制御部
４１；コントローラ
４３；記憶部
５４；搬送スケジュール作成プログラム
Ｆ；フープ
Ｗ；ウエハ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体ウエハ等の基板に対してバッチ式洗浄処理等のバッチ処理を施す基板処理装置、およびこのような基板処理装置における基板搬送方法、ならびにこのような基板搬送方法を実現するためのコンピュータプログラムおよび記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハ（ウエハ）を所定の薬液や純水等の処理液によって処理し、ウエハからパーティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去する洗浄処理が行われる。
【０００３】
このような洗浄処理を行う洗浄処理装置としては、スループットを高める観点から複数のウエハを一括して処理するバッチ式の処理装置が多用されている。また、このようなバッチ式の洗浄処理装置においては、処理槽の小型化および処理時間の短縮化の観点から、フープに収納された複数枚の半導体ウエハをフープから取り出した状態で一括して保持し、これらを処理槽に浸漬させて処理するフープレス方式が処理槽の小型化および処理時間の短縮化の観点から主流となっている（例えば特許文献１）。
【０００４】
このようなフープレス方式のバッチ式洗浄処理装置は、複数枚のウエハを搭載するフープであるフープ（ＦＯＵＰ；Front Open Unified Pod）を搬入出し、フープをストックする搬入出部と、ウエハに対して洗浄処理を施す処理部と、搬入出部と処理部との間でウエハを搬送するインターフェイス部とを有しており、以下のシーケンスで処理が行われる。
【０００５】
まず、搬入出部のフープ搬送装置により、複数のウエハが搭載されたフープを、インターフェイス部との間の受け渡し部へ搬送し、次いで、受け渡し部においてフープの蓋を開く動作およびウエハの配置状態を検査する動作等を行い、引き続き、インターフェイス部の移載装置によりフープから複数のウエハを一括して取り出して、ウエハロード位置に位置する、処理部へウエハを搬送するウエハ搬送装置に受け渡し、ウエハ搬送装置により処理部の各処理槽へ搬送する。また、洗浄処理後のウエハは、ウエハ搬送装置によりインターフェイス部のウエハアンロード位置へ搬送し、そこでウエハ搬送装置の複数のウエハを移載装置が受け取り、搬入出部ではフープ搬送装置により空のフープを受け渡し部へ搬送し、次いでフープの蓋を開けておき、インターフェイス部の移載装置によりウエハ搬送装置のウエハを受け取って受け渡し位置のフープ内に複数のウエハを収容し、ウエハが収容されたフープはフープ搬送装置により、搬出に備えて所定の位置へ搬送される。
【０００６】
これら一連のシーケンスにより、一つのロットのウエハの処理が終了するが、この際のウエハ搬送制御は、搬入出部のフープ搬送装置の動作、受け渡し部でのフープ蓋開閉等の動作、およびウエハ移載装置の一連の動作を一括して制御することにより、一定の動作タイミングで複数ロットの処理を繰り返し行う。これにより制御の複雑化を招くことなく洗浄処理を行うことができる。
【０００７】
しかしながら、このような一定のレシピで複数ロットを連続して行う場合、次のロットのウエハの投入は、同じ時間に同じ装置のスケジュールが重ならないようなタイミングで行わなければならない。例えば、フープ搬送装置が空いていても、その先の搬送スケジュールにおいて、例えばウエハ移載装置が重なるような場合にはウエハを投入することができず、完全に装置の重なり合いが生じないようなタイミングでウエハを投入する必要がある。したがって、装置の空き時間を有効に利用することができず、処理のスループットが低下してしまうという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−６４０７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、容器内の複数の基板を取り出して所定の処理を行い、処理後の基板を容器内に戻す一連の処理を繰り返し行う際に、スループットを向上させることができる基板処理装置およびこのような基板処理装置における基板搬送方法を提供することを目的とする。また、このような基板搬送方法を実現するためのコンピュータプログラムおよび記憶媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置と、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または、空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送する一連の搬送動作を制御する制御部と
を具備する基板処理装置であって、
前記制御部は、前記容器搬送装置、前記基板出し入れ部での操作、および前記基板移載装置を、それぞれ別個に制御し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成するスケジュール作成部を有することを特徴とする基板処理装置を提供する。
【００１０】
上記第１の観点において、動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行うことができる。また、前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うようにすることができる。さらに、前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送するようにすることができる。
【００１１】
さらに、前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有する構成とすることができる。この場合に、前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、前記搬送スケジュール作成部は、未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成するようにし、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入するようにすることができる。
【００１２】
さらにまた、前記基板移載装置は、１つの容器分の基板を保持する基板保持アームを有し、この基板保持アームが三次元空間で任意の位置および姿勢をとることが可能な多軸構造を有していることが好ましい。また、前記基板出し入れ部にある容器の蓋体を開閉する蓋体開閉機構と、前記基板出し入れ部にある容器内の基板を検査する基板検査装置とをさらに有し、前記基板出し入れ部での操作は、容器の蓋体の開閉および前記検査装置による容器内の基板の検査であるようにすることができる。さらに、前記容器搬入出部は、容器を一時的に保持する容器保持部を有するようにしてもよい。
【００１３】
本発明の第２の観点では、
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置における基板搬送方法であって、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整することを特徴とする基板搬送方法を提供する。
【００１４】
上記第２の観点において、動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行うことができる。また、前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うようにすることができる。さらに、前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送するようにすることができる。さらにまた、前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有するようにすることができる。この場合に、前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成し、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入するようにすることができる。
【００１５】
本発明の第３の観点では、
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置において基板の搬送を制御するコンピュータプログラムであって、
実行時に、未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整するように前記基板処理装置の搬送を制御するコンピュータプログラムを提供する。
【００１６】
本発明の第４の観点では、上記第３の観点のコンピュータプログラムをコンピュータで動作可能な状態で記憶した記憶媒体を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整するので、基板の搬送動作を極力短時間で行うことができ、処理トータルのスループットを高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について具体的に説明する。本実施形態では、本発明を半導体ウエハ（ウエハ）の搬入、液処理、乾燥、搬出をバッチ式に一貫して行うように構成された洗浄処理装置に適用した場合について説明する。
【００１９】
図１は本実施形態に係る洗浄処理装置を示す斜視図であり、図２はその平面図である。図１および図２に示すように、液処理装置１は、ウエハＷが水平状態で収納され、ウエハ容器として機能するフープＦを搬入出し、また保管等するフープ搬入出部２と、ウエハＷに所定の薬液を用いた洗浄処理および洗浄処理後の乾燥処理を行う洗浄処理部４と、搬入出部２と洗浄処理部４との間でウエハＷを搬送するインターフェイス部３とで主に構成されている。
【００２０】
フープ搬入出部２は、所定枚数、例えば２５枚のウエハＷを略水平に所定間隔で収納するフープＦを載置するためのフープ搬入出ステージ５と、フープＦを保管するフープストック部６と、フープを搬送するフープ搬送装置１２とを有している。フープＦはその一側面がウエハＷの搬入出口となっており、この搬入出口が蓋体により開閉可能となっている構造を有している。フープストック部６は、フープＦを保持する複数の保持部材１３が設けられ、複数のフープＦを保管可能となっている。
【００２１】
フープ搬入出ステージ５とフープストック部６との間にはシャッター１４が設けられており、フープ搬入出ステージ５に対するフープＦの搬入出動作の際以外にはシャッター１４が閉じた状態とされる。
【００２２】
フープストック部６とインターフェイス部３との間は壁部１６により仕切られており、この壁部１６には窓部１６ａが上下２段（一方のみ図示）に形成されている。そして、これら窓部１６ａのフープストック部６側には、フープＦの蓋体が窓部１６ａに対面するようにフープＦを載置するウエハ出し入れステージ（基板出し入れ部）１５が上下２段に設けられている（一方のみ図示）。なお、上方の窓部１６ａがウエハ搬入用であり、下方の窓部１６ａがウエハ搬出用である。ウエハ出し入れステージ１５には、そこに載置されたフープＦの蓋体の開閉を行うための蓋体開閉機構１７が設けられており、フープＦと壁部１６とが密着した状態で蓋体を開けて、フープＦ内のウエハＷをインターフェイス部３側へ搬出することが可能とされる。また逆に、インターフェイス部３側から空のフープＦ内へウエハＷを搬入することも可能となっている。
【００２３】
フープ保持部材１３は、図２では、フープストック部６を形成する壁面近傍に高さ方向に複数段に、例えば４段に設けられている。フープストック部６は、洗浄処理前のウエハＷが収納されたフープＦを一時的に保管し、また、ウエハＷが取り出された内部が空となったフープＦを保管する役割を果たす。
【００２４】
フープ搬送装置１２は、多関節構造を有しており、その先端の支持アーム１２ａによりフープＦを支持してフープＦの搬送を行うようになっている。このフープ搬送装置１２は、図２のＡ方向および高さ方向にも移動可能となっており、フープ搬入出ステージ５、保持部材１３およびウエハ出し入れステージ１５の間でフープＦを搬送するように構成されている。
【００２５】
インターフェイス部３の窓部１６ａ近傍位置には、フープＦ内のウエハＷの枚数を計測するためのウエハ検査装置１８が配設されている。ウエハ検査装置１８は、例えば赤外線センサヘッドをフープＦ内に収納されたウエハＷの近傍において高さ方向にスキャンさせながらウエハＷを検査する。
【００２６】
インターフェイス部３には、ウエハの移載を行うためのウエハ移載装置１９と、ウエハ搬入出部２０とが設けられている。
【００２７】
ウエハ移載装置１９は、ウエハ出し入れステージ１５に位置するフープＦに対するウエハＷの授受、および配列部２１に対するウエハＷの授受を行うものであり、多軸アーム構造を有しており、その先端にフープＦ内のウエハＷの数のウエハを保持するウエハ保持アーム１９ａを有している。ウエハ保持アーム１９ａにはウエハＷを保持可能な保持爪（図示せず）が設けられており、この保持爪によりウエハＷが保持された状態で、多軸アーム構造によりウエハ保持アーム１９ａが３次元空間で任意の位置および姿勢をとることができるようになっている。
【００２８】
ウエハ搬入出部２０は、インターフェイス部３と洗浄処理部４との間でウエハＷの搬送を行うためのものであり、ロード位置２０ａおよびアンロード位置２０ｂと、配列部２１とを有している。
【００２９】
配列部２１は、ウエハ移載装置１９から供給される２フープ分、例えば５０枚の未処理のウエハＷをフープＦのピッチの半分のピッチ（ハーフピッチ）に配列する第１配列機構２１ａと、ハーフピッチで洗浄処理後、ハーフピッチのウエハＷをフープＦのピッチ（ノーマルピッチ）に戻す第２配列機構２１ｂとを有している。
【００３０】
配列部２１の第１配列機構２１ａおよび第２配列機構２１ｂはいずれも同じ構造を有しており、図３に示すように垂直方向に延びるガイド２１０と、ガイド２１０に対し上下可能でハーフピッチのウエハ保持溝が形成されたウエハハンド２１１と、１フープ分のウエハが保持可能でウエハハンド２１１が上方へ通過可能に構成されたウエハホルダ２１２とを有している。
【００３１】
そして、ウエハＷを洗浄処理部４に搬入（ロード）する際には、ウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａをウエハ出し入れステージ１５上に載置されたフープＦ内に挿入し、水平姿勢のウエハＷを受け取って、これらウエハＷを上方から垂直姿勢で第１配列機構２１ａのウエハハンド２１１に受け渡す。この際には、ウエハハンド２１１がウエハホルダ２１２の上方に位置されている。次のフープＦからウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａにより受け取られたウエハは、第１配列機構２１ａの上部に位置されているウエハホルダ２１２に受け渡され、図４に示すように、この状態で下方からウエハハンド２１１を上昇させることによりウエハホルダ２１２のウエハＷをウエハハンド２１１が受け取ってハーフピッチのウエハ配列が実現される。そして、このハーフピッチの複数、例えば５０枚のウエハＷを保持したウエハハンド２１１の直下のロード位置２０ａにウエハ搬送装置２２を位置させてウエハハンド２１１を下降させることにより、２フープ分のウエハがハーフピッチでウエハ搬送装置２２に保持される。
【００３２】
また、洗浄後のウエハＷを搬出（アンロード）する際には、洗浄後の２フープ分のウエハＷをハーフピッチで保持したウエハ搬送装置２２をアンロード位置２０ｂに位置させ、第２配列機構２１ｂのウエハハンド２１１によりウエハを受け取り、ウエハハンド２１１を下降させる過程で半分のウエハがウエハホルダ２１２により保持される。これにより、ウエハホルダ２１２およびウエハハンド２１１にそれぞれノーマルピッチで１フープ分が載置された状態となり、これらを一方ずつ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａによりウエハ出し入れステージ１５上の空のフープＦに水平姿勢で受け渡す。
【００３３】
ウエハ搬送装置２２は、ハーフピッチのウエハ保持溝が形成された３本のチャック２２ａ〜２２ｃを有しており、２フープ分のウエハＷをハーフピッチで保持可能となっており、インターフェイス部３から洗浄処理部４へ延びるガイドレール２３を図中矢印Ｂで示す方向に沿って移動可能となっている。そして、ウエハ搬送装置２２は、ウエハ移載装置１９から垂直姿勢で未処理のウエハＷをロード／アンロード部２０のロード位置２０ａで受け取り、ガイドレール２３に沿って洗浄処理部４へ移動してウエハＷを洗浄処理部へ搬入し、逆に、洗浄処理の終了したウエハＷを洗浄処理部４から搬出して、ガイドレール２３に沿ってロード／アンロード部２０のアンロード位置２０ｂまで移動し、そこで処理済みのウエハＷをウエハ移載装置１９に受け渡す機能を有している。
【００３４】
洗浄処理部４は、洗浄処理ユニット７と、乾燥ユニット８と、パーキングエリア９から構成されており、インターフェイス部３側から、乾燥ユニット８、洗浄処理ユニット７、パーキングエリア９の順で配置されている。そして、ウエハ搬送装置２２は、Ｘ方向に延在するガイドレール２３に沿って移動し、これらの間でウエハＷの受け渡しを行うようになっている。
【００３５】
パーキングエリア９は、未処理のウエハＷを待機させる場所である。液処理または乾燥処理があるロットのウエハＷについて行われており、ウエハ搬送装置２２を運転させることが必要でない時間を利用して、次に液処理を開始すべきウエハＷがパーキングエリア９へ搬送される。パーキングエリア９は洗浄処理ユニット７に隣接していることから、洗浄処理開始にあたって、ウエハＷの移動時間を短縮することが可能となり、スループットを向上させることができる。
【００３６】
洗浄処理ユニット７には、図２に示すように、パーキングエリア９側から、第１の薬液槽３１、第１の水洗槽３２、第２の薬液槽３３、第２の水洗槽３４、第３の薬液槽３５、第３の水洗槽３６が順に配置されている。また、第１の薬液槽３１と第１の水洗槽３２の間でウエハＷを搬送するための第１の搬送装置３７、第２の薬液槽３３と第２の水洗槽３４の間でウエハＷを搬送するための第２の搬送装置３８、第３の薬液槽３５と第３の水洗槽３６の間でウエハＷを搬送するための第３の搬送装置３９を備えている。
【００３７】
第１の薬液槽３１には、例えば、有機性汚れ除去や表面金属不純物除去を行うために、１３０℃前後に加熱されたＳＰＭ液（濃硫酸と過酸化水素水の混合溶液）が貯留されており、第２の薬液槽３３には、パーティクル等の付着物を除去するための薬液、例えばＳＣ−１液（アンモニアと過酸化水素と水の混合溶液）が貯留されており、第３の薬液槽３５には、ウエハＷの表面に形成された酸化膜をエッチングするためのエッチング液、例えば希フッ酸が貯留されている。エッチング液としては、希フッ酸の他、フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合物（バッファドフッ酸（ＢＨＦ））を用いることもできる。
【００３８】
第１〜第３の水洗槽３２，３４，３６は、それぞれ第１から第３の薬液槽３１，３３，３５による液処理によってウエハＷに付着した薬液を除去するものであり、例えば、オーバーフローリンスやクイックダンプリンス等の各種の水洗手法が用いられる。
【００３９】
第１の搬送装置３７は、上下方向に昇降可能な駆動機構を有しており、ウエハ搬送装置２２から受け渡されたウエハＷを下降させて第１の薬液槽３１に浸して所定時間経過後に引き上げ、次いで、ウエハＷを水平方向に移動させてウエハＷを第１の水洗槽３２に浸して所定時間保持し、引き上げるように動作する。第１の水洗槽３２での処理を終えたウエハＷは、一度、ウエハ搬送装置２２のチャック２２ａ〜２２ｃに戻された後、ウエハ搬送装置２２から第２の搬送装置３８へ搬送される。第２および第３の搬送装置３８，３９は、第１の搬送装置３７と同様の構造を有し、また、同様に動作する。
【００４０】
乾燥ユニット８には、水洗槽２４とウエハ搬送装置２２のチャック２２ａ〜２２ｃを洗浄するチャック洗浄機構２６が配設されており、水洗槽２４の上部には、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）の蒸気が供給されてウエハＷを乾燥する乾燥室（図示せず）が設けられている。また、水洗槽２４と乾燥室との間でウエハＷを搬送する搬送装置２５が設けられており、水洗槽２４で水洗されたウエハＷが搬送装置２５で引き上げられ、乾燥室においてＩＰＡ乾燥されるようになっている。搬送装置２５は水平方向の移動ができない他は前述した第１の搬送装置３７等と同様に構成されており、ウエハ搬送装置２２との間でウエハＷの受け渡しが可能となっている。
【００４１】
搬入出部２の下部には、制御部４０が設けられている。この制御部４０は、図５に示すように、洗浄処理装置１の各構成部、例えばフープ搬送装置１２、ウエハ出し入れステージ１５、ウエハ移載装置１９、ウエハ搬送装置２２等を制御するマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）を備えたコントローラ４１と、ユーザーインターフェイス４２と、処理に必要な情報が記憶された記憶部４３とを有している。
【００４２】
ユーザーインターフェイス４２と記憶部４３とはコントローラ４１に接続されている。ユーザーインターフェイス４２は、オペレータが洗浄処理装置１の各構成部を管理するためにコマンドの入力操作などを行うキーボードや、洗浄処理装置１の各構成部の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等を備えている。記憶部４３は、洗浄処理装置２で実行される各種処理をコントローラ４１の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じて洗浄処理装置１の各構成部に所定の処理を実行させるための制御プログラムすなわちレシピ４５が格納されている。レシピ等の制御プログラムは記憶部４３の中の記憶媒体に記憶されている。記憶媒体は、ハードディスクのような固定的なものであってもよいし、ＣＤＲＯＭ、ＤＶＤ、フラッシュメモリ等の可搬性のものであってもよい。
【００４３】
制御部４０は、このように洗浄処理装置１の全体を制御するものであるが、以下、実施形態の要部に関連するフープ搬送装置１２およびウエハ移載装置１９等の搬送系の制御を中心に説明する。
【００４４】
コントローラ４１は、搬入出部２のフープ搬送装置１２を制御するフープ搬送装置制御部５１と、インターフェイス部３のウエハ移載装置１９を制御するウエハ移載装置制御部５２と、ウエハ出し入れステージ１５上での処理、例えば蓋体開閉機構１７によるフープＦの蓋体開閉動作やウエハ検査装置１８の動作の制御を行うウエハ出し入れステージ制御部５３と、記憶部４３に記憶されているレシピに基づいて、最適な搬送スケジュールを作成する搬送スケジュール作成部５４とを有している。
【００４５】
搬送スケジュール作成部５４は、記憶部４３に記憶されている複数のレシピから選択されたレシピに基づいて、最適な搬送スケジュールを作成するためのものであり、例えば、最初のロットのウエハＷの搬出スケジュールと２番目のロットのウエハＷの搬入スケジュールが錯綜するような場合に、最初のロットのウエハと２番目のロットのウエハＷの搬送スケジュールを最適化する。
【００４６】
次に、以上のように構成された洗浄処理装置１の処理動作についてフープＦおよびウエハＷの搬送シーケンスを中心にして説明する。
まず、所定枚数、例えば２５枚のウエハＷが水平状態で収納された２つのフープＦを、フープ搬入出ステージ５のステージ１１に載せる。そして、記憶部４３に記憶されたレシピに基づいてこれら２つのフープＦ内のウエハＷについて一連の処理を行う。
【００４７】
最初に、ウエハの搬入の際の搬送シーケンスについて、図６に示すタイミングチャートに基づいて説明する。まず、ステージ１１上の一方のフープＦをフープ搬送装置１２により搬入用のウエハ出し入れステージ１５へ搬送する（動作Ａ１）。なお、複数ロットの基板を繰り返し搬送するにあたっては、必要に応じてフープストック部６のフープ保持部１３に一旦保管した後に搬送を行ってもよい。次いでウエハ出し入れステージ１５に載置されたフープＦについて、蓋体開閉機構１７によりロックを外してフープＦの蓋体を空け（動作Ｂ１）、次いでウエハ検査装置１８によりウエハ枚数のカウント等を行う（動作Ｂ２）。この検査と並行してウエハ移載装置１９の準備動作（動作Ｃ１）を行う。検査終了後、ウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａを窓部１６ａを介してウエハ出し入れステージ１５上のフープＦ内に挿入してウエハＷを取り出し（動作Ｃ２）、配列部２１の第１配列機構２１ａのウエハハンド２１１に受け渡す（動作Ｃ３）。この動作Ｃ３と同時に蓋体開閉機構１７により、ウエハ出し入れステージ１５上のウエハＷを取り出した後のフープＦに蓋体開閉機構１７により蓋体を装着し（動作Ｂ３）、引き続きそのフープＦを、フープ搬送装置１２によりいずれかのフープ保持部材１３へ搬送する（動作Ａ２）。
【００４８】
同様の動作をステージ１１上のもう一方のフープＦに対しても行う。すなわち、もう一方のフープＦをウエハ出し入れステージ１５に搬送し（動作Ａ１）、ウエハ移載装置１９のウエハ保持アーム１９ａにより、そのフープＦ内のウエハＷを取り出して、第１配列機構２１ａへ受け渡す（動作Ｃ１〜Ｃ３等）。このとき、上述したように第１配列機構２１ａでは、ウエハホルダ２１２にウエハＷが受け渡され、ウエハハンド２１１を上昇させることによりウエハホルダ２１２上のウエハＷがウエハハンド２１１の既に搭載されたウエハＷの間に保持され、ハーフピッチで２フープ分、例えば５０枚のウエハＷがウエハハンド２１１に保持された状態となり、これをウエハ搬送装置２２に受け渡す。
【００４９】
次に、このようにしてウエハ搬送装置２２に受け渡された２フープ分のウエハＷを１ロットとして洗浄処理部へ搬送し、所定の洗浄処理を行う。
【００５０】
この際には、ウエハＷを保持したウエハ搬送装置２２を、ガイドレール２３に沿って液処理ユニット７の第１の薬液槽３１または第１の水洗槽３２の位置へ移動させ、ウエハＷを第１の搬送装置３７へ移し替え、ウエハＷの洗浄処理を開始する。ウエハＷの液処理は、例えば、第１の薬液槽３１への浸漬と第１の水洗槽３２による洗浄、第２の薬液槽３３への浸漬と第２の水洗槽３４による洗浄、第３の薬液槽３５への浸漬と第３の水洗槽３６による洗浄の順で行われる。
【００５１】
液処理ユニット７での処理が終了したウエハＷは、一度、ウエハ搬送装置２２に移し替えられた後、乾燥ユニット８の搬送装置２５へ移し替えられ、乾燥処理が施される。乾燥処理が終了したウエハＷは、ウエハ搬送装置２２にハーフピッチで２フープ分、例えば５０枚垂直姿勢で搭載された状態でインターフェイス部３のアンロード位置２０ｂまで搬送される。
【００５２】
アンロード位置２０ｂまで搬送されたウエハＷは、そこから第２配列機構２１ｂのウエハハンド２１１に２フープ分のウエハがハーフピッチのまま受け渡され、ウエハハンド２１１を下降させることにより、ウエハホルダ２１２に１フープ分のウエハＷが受け渡され、ウエハハンド２１１およびウエハホルダ２１２にノーマルピッチで１フープ分のウエハＷが搭載された状態となる。
【００５３】
次に、このような状態からウエハＷを搬出する際の搬送シーケンスについて、図７のタイミングチャートに基づいて説明する。上記第２配列機構２１ｂに上述のように保持されたウエハに対して搬出動作を行う場合には、まず、フープ搬送装置１２により搬出用のウエハ出し入れステージ１５に空のフープＦを載置（動作Ａ３）し、蓋体開閉機構１７によりその蓋体を開けておく（動作Ｂ４）。次いで、ウエハ移載装置１９の準備動作を行った後（動作Ｃ４）、ウエハ保持アーム１９ａを第１配列機構２１ａ内に挿入し、垂直姿勢で保持されているウエハハンド２１１からウエハを取り出す（動作Ｃ５）。その後、搬出用のウエハ出し入れステージ上のフープＦにウエハＷを保持したウエハ保持アーム１９ａを挿入し、ウエハＷを水平姿勢で搬入する（動作Ｃ６）。その後、ウエハ保持アーム１９ａをフープＦから出して、ウエハ検査装置１８によりフープＦ内のウエハＷの検査を行い（動作Ｂ５）、検査終了後、蓋体開閉機構１７によりフープＦの蓋体を閉じる（動作Ｂ６）。これにより、最初のロットのウエハの搬出動作は終了する。そして、このようにして洗浄処理されたウエハＷを収納したフープＦは、フープ搬送装置１２によりフープ保持部材１３に搬送され、そこに保持される。
【００５４】
同様の動作をウエハホルダ２１２上のウエハＷに対しても行う。すなわち、搬出用のウエハ出し入れステージ１５に空のフープＦを載置する動作等（動作Ａ３等）を行っておき、ウエハ移載装置１９の所定の動作（動作Ｃ４〜Ｃ６）を行って、ウエハホルダ２１２上のウエハＷを空のフープＦに搬入し、さらに所定の処理を行う（Ｂ５，６等）。
【００５５】
以上により、最初のロットのウエハＷの一連の処理が終了する。
【００５６】
次に、２番目のロットを搬入するが、この際の搬送スケジュールは、最初のロットの搬出動作との搬送スケジュールとの重なり合いが生じないように決定する必要がある。この点を考慮すると、最初のロットの搬出動作が終わってから２番目のロットを搬入するのが最も安全であるが、そのような場合には、フープ搬送装置１２、蓋体開閉機構１７、検査装置１８、ウエハ移載装置１９等の待機時間が非常に長くなり、スループットも極めて低いものとなってしまう。このため、極力スループットを高めることができる搬送シーケンスを作成することが求められる。
【００５７】
例えば、最初のロットにおける搬出動作の際におけるフープ搬送装置１２の動作Ａ３の前には、フープ搬送装置１２および搬入用のウエハ出し入れステージ１５が空いているため、その時間を有効利用して２番目のロットのフープＦの搬送動作（動作Ａ１）を行うことが考えられる。しかしながら、従来では、フープ搬送装置１２の動作と、ウエハ出し入れステージ１５における蓋体開閉装置１７および検査装置１８における動作と、ウエハ移載装置１９の動作とは、一括して制御されており、これらの処理スケジュールは予め決定されているため、図８に示すように、２番目のロットにおけるウエハ移載装置１９の最初フープからのウエハ取り出し動作（動作Ｃ２）およびウエハ搬送装置２２への受け渡し動作（動作Ｃ３）が、すでに決まっている最初のロットにおけるウエハ移載装置１９の準備動作（動作Ｃ４）およびウエハ移載装置１９のウエハ受け取り動作（動作Ｃ５）とスケジュール的に重なってしまう。このため、このタイミングでは２番目のロットのウエハの搬入を行うことができず、フープ搬送装置１２の空き時間を有効に利用することができない。
【００５８】
このようなことから、従来は、２番目のロットのウエハＷの搬入開始タイミング（フープ搬送装置１２による動作Ａ１）が、図９に示すように、ウエハ移載装置１９がウエハ出し入れステージ１５上のフープにウエハＷを受け渡す動作（動作Ｃ６）の時まで遅延してしまう。このため、搬送シーケンスが長くなってしまい、スループットが低いものとならざるを得ない。
【００５９】
そこで、本実施形態では、フープ搬送装置１２の制御、ウエハ出し入れステージ１５上での操作の制御（蓋体開閉機構１７および検査装置１８の制御）、ウエハ移載装置１９の制御をそれぞれ別個独立に行うようにし、最初のロットも含めて、コントローラ４１の搬送スケジュール作成部５４でスループットを考慮した最適な搬送スケジュールを作成し、ここで作成された搬送スケジュールに基づいて、搬送動作の制御を行うようにする。
【００６０】
すなわち、スケジュール作成部５４は、一のロットのウエハを処理装置内に投入している状態において、フープ搬送装置１２および搬入側のウエハ出し入れステージ１５が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容したフープＦを搬入側のウエハ出し入れステージ１５に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、フープ搬送装置１２の動作タイミング、ウエハ出し入れステージ１５での蓋体開閉装置１７による蓋体の開放や検査装置１８による検査等の操作のタイミング、およびウエハ移載装置１９の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成する。動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことを挙げることができる。
【００６１】
例えば、１番目のロットの搬出動作と２番目のロットの搬入動作とを並行して行う場合、フープ搬送装置１２が空いて２番目のロットのウエハが搬入可能になった時点で２番目のロットのウエハを搬入し、搬入側および搬出側それぞれに、フープ搬送装置１２、ウエハ出し入れステージ１５（蓋体開閉装置１７、検査装置１８）、ウエハ移載装置１９の動作をウエハの搬送時間が最短になるようにしてスケジューリングし、そのようなスケジューリングでいずれかの装置に最初のロットの搬出動作と２番目のロットの搬入動作で重なり合いが生じるような場合に、いずれかを先に行うようにして、他の動作を送らせるようにする。これにより、効率的に各装置を使うことができ、搬送シーケンスを短縮することができる。
【００６２】
具体的には、図１０に示すように、最初のロットにおける搬出動作の際におけるフープ搬送装置１２の動作Ａ３の前におけるフープ１２の空き時間に２番目のロットのフープの搬送動作（動作Ａ１）を入れる。そして、ウエハ出し入れステージ１５上における蓋体開閉装置１７によるフープＦの蓋体開放動作（動作Ｂ１）および検査装置１８による検査動作（動作Ｂ２）を行い、それと同時にフープ搬送装置１２による空のフープＦのウエハ出し入れステージ１５への搬送動作（動作Ａ３）を行い、次いで、その空のフープＦの蓋体開放動作（動作Ｂ４）を行う。
【００６３】
図８に示すように、従来の搬送シーケンスでは、この次のウエハ移載装置１９の処理において最初のロットの搬出動作と２番目のロットの搬入動作とが重なってしまうが、本実施形態では、ウエハ移載装置１９のスケジュールが重ならないように、ウエハ移載装置１９により、まず２番目のロットについての動作Ｃ１〜Ｃ３を行って第１配列機構２１ａに処理前のウエハＷを受け渡し、その後、引き続きウエハ移載装置１９により、洗浄処理後の最初のロットのウエハＷを保持した第２配列機構２１ｂからウエハＷを受け取ってウエハ出し入れステージ１５上のフープＦにウエハを受け渡す動作（動作Ｃ４〜Ｃ６）を行う。このようにすることにより、ウエハの搬送動作、特に、ウエハの搬入動作を短時間で行うことができ、処理トータルのスループットを高めることができる。
【００６４】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では本発明を洗浄処理装置に適用した場合について示したが、容器内の複数の基板を取り出して基板の処理を行う装置であれば適用可能である。また、上記実施形態では、２つのフープのウエハを１ロットとして処理する例について示したが、これに限るものではなく、１つの容器の基板を１ロットとして処理してもよいことはいうまでもない。さらに、上記実施形態では、ウエハ移載装置として多軸構造のものを用いた例について示したが、これに限るものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置を示す斜視図。
【図２】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置を示す平面図。
【図３】ウエハ搬入出部の配列部とウエハ移載装置を示す側面図。
【図４】配列部の第１配列機構からウエハ搬送装置へ２ロット分のウエハを受け渡す状態を示す側面図。
【図５】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置に搭載された制御部を示すブロック図。
【図６】ウエハ搬入の際の搬送シーケンスを示すタイミングチャート。
【図７】ウエハ搬出の際の搬送シーケンスを示すタイミングチャート。
【図８】従来の制御方法で所望の搬送スケジュールを実行できない例を示すタイミングチャート。
【図９】従来の制御方法で作成可能な搬送スケジュールを示すタイミングチャート。
【図１０】本発明の一実施形態に係る洗浄処理装置により実現される搬送スケジュールを示すタイミングチャート。
【符号の説明】
【００６６】
１；洗浄処理装置
２；フープ搬入出部
３；インターフェイス部
４；洗浄処理部
５；フープ搬入出ステージ
１２；フープ搬送装置
１５；ウエハ出し入れステージ
１６；壁部
１６ａ；窓部
１７；蓋体開閉装置
１８；検査装置
１９；ウエハ移載装置
１９ａ；ウエハ保持アーム
２０；ウエハ搬入出部
２０ａ；ロード位置
２０ｂ；アンロード位置
２１；配列部
２１ａ；第１配列機構
２１ｂ；第２配列機構
２２；ウエハ搬送装置
４０；制御部
４１；コントローラ
４３；記憶部
５４；搬送スケジュール作成プログラム
Ｆ；フープ
Ｗ；ウエハ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置と、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または、空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送する一連の搬送動作を制御する制御部と
を具備する基板処理装置であって、
前記制御部は、前記容器搬送装置、前記基板出し入れ部での操作、および前記基板移載装置を、それぞれ別個に制御し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成するスケジュール作成部を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行われることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うようにすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送するようにすることを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、
前記搬送スケジュール作成部は、未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成するようにし、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入するようにすることを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記基板移載装置は、１つの容器分の基板を保持する基板保持アームを有し、この基板保持アームが三次元空間で任意の位置および姿勢をとることが可能な多軸構造を有していることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記基板出し入れ部にある容器の蓋体を開閉する蓋体開閉機構と、前記基板出し入れ部にある容器内の基板を検査する基板検査装置とをさらに有し、前記基板出し入れ部での操作は、容器の蓋体の開閉および前記検査装置による容器内の基板の検査であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記容器搬入出部は、容器を一時的に保持する容器保持部を有することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置における基板搬送方法であって、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項１１】
動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行われることを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送方法。
【請求項１２】
前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うことを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の基板搬送方法。
【請求項１３】
前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、
前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送することを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送方法。
【請求項１４】
前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有することを特徴とする請求項１０から請求項１３のいずれか１項に記載の基板搬送方法。
【請求項１５】
前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、
未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成し、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入することを特徴とする請求項１４に記載の基板搬送方法。
【請求項１６】
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置において基板の搬送を制御するコンピュータプログラムであって、
実行時に、未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整するように前記基板処理装置の搬送を制御するコンピュータプログラム。
【請求項１７】
請求項１６のコンピュータプログラムをコンピュータで動作可能な状態で記憶した記憶媒体。
【請求項１】
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置と、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または、空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送する一連の搬送動作を制御する制御部と
を具備する基板処理装置であって、
前記制御部は、前記容器搬送装置、前記基板出し入れ部での操作、および前記基板移載装置を、それぞれ別個に制御し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整した搬送スケジュールを作成するスケジュール作成部を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行われることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うようにすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、前記スケジュール作成部は、前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送するようにすることを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、
前記搬送スケジュール作成部は、未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成するようにし、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入するようにすることを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記基板移載装置は、１つの容器分の基板を保持する基板保持アームを有し、この基板保持アームが三次元空間で任意の位置および姿勢をとることが可能な多軸構造を有していることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記基板出し入れ部にある容器の蓋体を開閉する蓋体開閉機構と、前記基板出し入れ部にある容器内の基板を検査する基板検査装置とをさらに有し、前記基板出し入れ部での操作は、容器の蓋体の開閉および前記検査装置による容器内の基板の検査であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記容器搬入出部は、容器を一時的に保持する容器保持部を有することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置における基板搬送方法であって、
未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項１１】
動作タイミングの調整は、１のロットの搬送動作と次のロットの搬送動作で動作に重なり合いが生じるときに、いずれかの動作のタイミングをずらすことにより行われることを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送方法。
【請求項１２】
前記一のロットの基板の搬出動作の開始前に次のロットの基板の搬入動作を行うことを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の基板搬送方法。
【請求項１３】
前記基板出し入れ部は、未処理基板を収容した容器を載置する第１ステージと、処理済基板を挿入するための空の容器を載置する第２ステージとを有し、
前記一のロットの基板の搬出動作のために空の容器を前記第２ステージに搬送する直前に、前記次のロットの基板の搬入動作基板のために未処理基板を収容した容器を前記第２ステージに搬送することを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送方法。
【請求項１４】
前記基板搬入出部は、前記処理部へ未処理基板を搬入する基板搬入位置と、前記処理部から処理済基板を搬出する基板搬出位置を有することを特徴とする請求項１０から請求項１３のいずれか１項に記載の基板搬送方法。
【請求項１５】
前記基板搬入出部は、前記基板移載装置から受け取った２つの容器分の未処理基板を容器内の基板配列ピッチの半分のハーフピッチで保持し、前記基板搬入位置でハーフピッチを保持した状態で前記基板搬送装置に受け渡す第１保持部と、前記ハーフピッチで配列された処理済基板を保持した前記基板搬出位置にある前記基板搬送装置から処理済基板を受け取り、基板を１つの容器分ずつ保持する第２保持部とを有し、
未処理基板の搬入の際に、１つの容器の未処理基板を容器から取り出して前記第１保持部へ受け渡す一連の動作を行った後、同様の動作で次の１つの容器の未処理基板を前記第１保持部へ受け渡し、前記第１の保持部でハーフピッチの基板配列を形成し、処理済基板の搬出の際に、前記第２保持部でハーフピッチ２容器分の処理済基板を容器内の基板配列ピッチで１つの容器分ずつ分離し、一つの容器分の基板を容器に挿入する一連の動作を行った後、同様の動作で残りの基板を他の容器に挿入することを特徴とする請求項１４に記載の基板搬送方法。
【請求項１６】
複数の基板を収容する容器を搬入出する容器搬入出部と、
複数の未処理基板を収容した容器からそれら基板を取り出し、または空の容器に処理済基板を挿入する基板出し入れ部と、
前記基板搬入出部と前記基板出し入れ部との間で容器の搬送を行う容器搬送装置と、
複数の基板に一括して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部へ複数の未処理基板を搬入しまたは処理部から処理済基板を搬出する基板搬入出部と、
前記基板出し入れ部から基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、または前記基板搬入出部から基板を取り出して前記容器に基板を挿入する基板移載装置と、
複数の未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、前記基板搬入出部と前記処理部との間で基板を搬送する基板搬送装置とを具備する基板処理装置において基板の搬送を制御するコンピュータプログラムであって、
実行時に、未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器から未処理基板を取り出して前記基板搬入出部に受け渡し、
空の容器を前記基板出し入れ部に搬送し、その容器内に前記基板搬入出部から処理済基板を挿入し、処理済基板を挿入した容器を搬送し、
一のロットの基板を処理装置内に投入している状態において、前記容器搬送装置および前記基板出し入れ部が空いているタイミングで、次のロットの未処理基板を収容した容器を前記基板出し入れ部に搬送し、トータルの搬送時間が適切になるように、前記容器搬送装置の動作タイミング、前記基板出し入れ部での操作のタイミング、および前記基板移載装置の動作タイミングを個別に調整するように前記基板処理装置の搬送を制御するコンピュータプログラム。
【請求項１７】
請求項１６のコンピュータプログラムをコンピュータで動作可能な状態で記憶した記憶媒体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００９−９９７１０（Ｐ２００９−９９７１０Ａ）
【公開日】平成２１年５月７日（２００９．５．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２６８７４１（Ｐ２００７−２６８７４１）
【出願日】平成１９年１０月１６日（２００７．１０．１６）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年５月７日（２００９．５．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１０月１６日（２００７．１０．１６）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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