膜パターンの形成方法及び形成装置、配線パターンの形成方法及び形成装置、並びにデバイスの製造方法

【課題】機能液の液滴で基板の表面に所望の膜パターンを形成できる膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】膜パターンの形成方法は、基板の表面に、膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、膜パターン形成領域のエッジの内側に、液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する工程と、膜パターン形成領域のエッジに沿って基板の表面に複数の液滴を吐出する工程と、第１位置に液滴を吐出して、基板の表面に膜パターンを形成する工程と、を含む。第１領域は、互いに離れて複数設定され、第２領域は、第１領域同士の間に、第１領域のそれぞれを囲むように設定される。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に液滴を吐出して所定の膜パターンを形成する方法であって、
前記基板に、前記膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、前記膜パターン形成領域のエッジの内側に、前記液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び前記液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する工程と、
前記膜パターン形成領域のエッジに沿って前記基板に複数の前記液滴を吐出する工程と、
前記第１位置に前記液滴を吐出して、前記基板に前記膜パターンを形成する工程と、を含み、
前記第１領域は、互いに離れて複数設定され、前記第２領域は、前記第１領域同士の間に、前記第１領域のそれぞれを囲むように設定されることを特徴とする膜パターンの形成方法。
【請求項２】
前記第１位置のそれぞれに吐出された前記液滴が前記基板で拡がって、前記第１位置同士の間で互いに接続されることを特徴とする請求項１に記載の形成方法。
【請求項３】
前記第１位置のそれぞれに吐出された前記液滴が前記第１位置同士の間で互いに接続されるように、前記第１位置同士の距離、及び前記第１位置に吐出される前記液滴の量の少なくとも一方が設定されることを特徴とする請求項２に記載の形成方法。
【請求項４】
前記複数の第１領域は、前記基板に沿って２次元的に規則的に配列されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項５】
前記基板の第１方向に関して第１距離ずつ離れて並べられた複数の第１領域によって形成されたグループが、前記基板において前記第１方向と直交する第２方向に関して第２距離ずつ離れて複数並べられていることを特徴とする請求項４に記載の形成方法。
【請求項６】
前記第１領域の前記第１方向の大きさと前記第２方向の大きさとはほぼ等しく、前記第１距離と前記第２距離とはほぼ等しいことを特徴とする請求項５に記載の形成方法。
【請求項７】
前記第１領域の前記第１方向の大きさは、前記第１距離以上であり、
前記第１領域の前記第２方向の大きさは、前記第２距離以上であることを特徴とする請求項５又は６に記載の形成方法。
【請求項８】
前記第１領域の前記第１方向の大きさは、前記第１距離未満であり、
前記第１領域の前記第２方向の大きさは、前記第２距離未満であることを特徴とする請求項５又は６に記載の形成方法。
【請求項９】
前記第１位置は、１つの第１領域に対して複数設定されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項１０】
前記第１位置は、１つの第１領域に対して１つ設定されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項１１】
１つの第１位置に対して前記液滴を吐出する動作を複数回実行することを特徴とする請求項９又は１０に記載の形成方法。
【請求項１２】
前記膜パターン形成領域は、前記液滴に応じた大きさをそれぞれ有し、マトリクス状に設定された複数のピクセルで区画され、
前記複数のピクセルは、前記液滴が吐出される前記第１位置を含む第１ピクセル、及び前記液滴が吐出されない前記第２位置を含む第２ピクセルを含むことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項１３】
基板に液滴を吐出して所定の膜パターンを形成する方法であって、
前記基板に、前記膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、前記膜パターン形成領域のエッジの内側に、前記液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び前記液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する工程と、
前記膜パターン形成領域のエッジに沿って前記基板に複数の前記液滴を吐出する工程と、
前記第１位置に前記液滴を吐出して、前記基板に前記膜パターンを形成する工程と、を含み、
前記第２領域は、互いに離れて複数設定され、前記第１領域は、前記第２領域同士の間に、前記第２領域のそれぞれを囲むように設定されることを特徴とする膜パターンの形成方法。
【請求項１４】
前記第１位置のそれぞれに吐出された前記液滴が前記基板で拡がって、前記第１位置同士の間で互いに接続されることを特徴とする請求項１３に記載の形成方法。
【請求項１５】
前記第１位置のそれぞれに吐出された前記液滴が前記第１位置同士の間で互いに接続されるように、前記第１位置同士の距離、及び前記第１位置に吐出される前記液滴の量の少なくとも一方が設定されることを特徴とする請求項１４に記載の形成方法。
【請求項１６】
前記複数の第２領域は、前記基板に沿って２次元的に規則的に配列されることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項１７】
前記基板の第１方向に関して第１距離ずつ離れて並べられた複数の第２領域によって形成されたグループが、前記基板において前記第１方向と直交する第２方向に関して第２距離ずつ離れて複数並べられていることを特徴とする請求項１６に記載の形成方法。
【請求項１８】
前記第２領域の前記第１方向の大きさと前記第２方向の大きさとはほぼ等しく、前記第１距離と前記第２距離とはほぼ等しいことを特徴とする請求項１７に記載の形成方法。
【請求項１９】
前記第２領域の前記第１方向の大きさは、前記第１距離以上であり、
前記第２領域の前記第２方向の大きさは、前記第２距離以上であることを特徴とする請求項１７又は１８に記載の形成方法。
【請求項２０】
１つの第１位置に対して前記液滴を供給する動作を複数回実行することを特徴とする請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項２１】
前記膜パターン形成領域は、前記液滴に応じた大きさをそれぞれ有し、マトリクス状に設定された複数のピクセルで区画され、
前記複数のピクセルは、前記液滴が吐出される前記第１位置を含む第１ピクセル、及び前記液滴が吐出されない前記第２位置を含む第２ピクセルを含むことを特徴とする請求項１３〜２０のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項２２】
１つの第２領域は、複数の前記第２ピクセルによって形成されることを特徴とする請求項２１に記載の形成方法。
【請求項２３】
１つの第２領域は、１つの前記第２ピクセルによって形成されることを特徴とする請求項２１に記載の形成方法。
【請求項２４】
基板に液滴を吐出して所定の膜パターンを形成する方法であって、
前記基板に、前記膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、前記膜パターン形成領域のエッジの内側に、前記液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び前記液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する工程と、
前記第１位置に前記液滴を吐出して、前記基板に前記膜パターンを形成する工程と、を含み、
前記第１領域及び前記第２領域のそれぞれは、前記基板の第１方向を長手方向とするライン状の領域であり、前記基板において前記第１方向と直交する第２方向に関して複数交互に並べられていることを特徴とする膜パターンの形成方法。
【請求項２５】
前記第１位置は、１つの第１領域について前記第１方向に沿って複数設定されることを特徴とする請求項２４に記載の形成方法。
【請求項２６】
前記膜パターン形成領域のエッジに沿って前記基板に複数の前記液滴を吐出する工程を有することを特徴とする請求項２４又は２５に記載の形成方法。
【請求項２７】
前記第１位置のそれぞれに吐出された前記液滴が前記基板で拡がって、前記第１位置同士の間で互いに接続されることを特徴とする請求項２４〜２６のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項２８】
前記第１位置のそれぞれに吐出された前記液滴が前記第１位置同士の間で互いに接続されるように、前記第１位置同士の距離、及び前記第１位置に吐出される前記液滴の量の少なくとも一方が設定されることを特徴とする請求項２７に記載の形成方法。
【請求項２９】
前記膜パターン形成領域は、前記液滴に応じた大きさをそれぞれ有し、マトリクス状に設定された複数のピクセルで区画され、
前記複数のピクセルは、前記液滴が吐出される前記第１位置を含む第１ピクセル、及び前記液滴が吐出されない前記第２位置を含む第２ピクセルを含むことを特徴とする請求項２４〜２８のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項３０】
１つの第１領域は、前記第１方向に並ぶ複数の前記第１ピクセルによって形成され、
１つの第２領域は、前記第１方向に並ぶ複数の前記第２ピクセルによって形成されることを特徴とする請求項２９に記載の形成方法。
【請求項３１】
請求項１〜３０のいずれか一項記載の膜パターンの形成方法を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項３２】
基板に液滴を吐出して所定の膜パターンを形成する装置であって、
前記液滴を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記吐出ノズルと前記基板保持部材とを相対的に移動可能な駆動装置と、
前記基板に、前記膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、前記膜パターン形成領域のエッジの内側に、前記液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び前記液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する設定装置と、
前記基板に前記膜パターンを形成するために、前記膜パターン形成領域のエッジに沿って前記基板に複数の前記液滴を吐出するとともに、前記第１位置に前記液滴を吐出するように、前記吐出ヘッド及び前記駆動装置を制御する制御装置と、を備え、
前記設定装置は、前記第１領域を、互いに離れて複数設定し、前記第２領域を、前記第１領域同士の間に、前記第１領域のそれぞれを囲むように設定することを特徴とする膜パターンの形成装置。
【請求項３３】
基板に液滴を吐出して所定の膜パターンを形成する装置であって、
前記液滴を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記吐出ノズルと前記基板保持部材とを相対的に移動可能な駆動装置と、
前記基板に、前記膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、前記膜パターン形成領域のエッジの内側に、前記液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び前記液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する設定装置と、
前記基板に前記膜パターンを形成するために、前記膜パターン形成領域のエッジに沿って前記基板に複数の前記液滴を吐出するとともに、前記第１位置に前記液滴を吐出するように、前記吐出ヘッド及び前記駆動装置を制御する制御装置と、を備え、
前記設定装置は、前記第２領域を、互いに離れて複数設定し、前記第１領域を、前記第２領域同士の間に、前記第２領域のそれぞれを囲むように設定することを特徴とする膜パターンの形成装置。
【請求項３４】
基板に液滴を吐出して所定の膜パターンを形成する装置であって、
前記液滴を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記吐出ノズルと前記基板保持部材とを相対的に移動可能な駆動装置と、
前記基板に、前記膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、前記膜パターン形成領域のエッジの内側に、前記液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び前記液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する設定装置と、
前記基板に前記膜パターンを形成するために、前記第１位置に前記液滴を吐出するように、前記吐出ヘッド及び前記駆動装置を制御する制御装置と、を備え、
前記設定装置は、前記第１領域及び前記第２領域のそれぞれを、前記基板の第１方向を長手方向とするライン状の領域とし、前記基板において前記第１方向と直交する第２方向に関して複数交互に並べるように設定することを特徴とする膜パターンの形成装置。
【請求項３５】
請求項３２〜３４のいずれか一項に記載の膜パターンの形成装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項３６】
基板に液滴を吐出して所定の配線パターンを形成する方法であって、
前記配線パターンは、前記基板の第１方向に延びる第１ラインパターンと、前記基板において前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記第１ラインパターンと交わる第２ラインパターンとを含み、
前記基板に、前記配線パターンの設計データに応じた配線パターン形成領域を設定するとともに、前記配線パターン形成領域を、前記液滴の大きさに応じた複数のピクセルでマトリクス状に区画する工程と、
前記複数のピクセルのうち、所定のピクセルに前記液滴を吐出して、前記基板に前記配線パターンを形成する工程と、を含み、
前記配線パターン形成領域を区画する複数のピクセルのうち、前記第１ラインパターンと前記第２ラインパターンとが交わる部分に対応するピクセル及び前記交わる部分に対応するピクセルと隣接するピクセルの少なくとも１つは、前記液滴が吐出されないピクセルに設定されることを特徴とする配線パターンの形成方法。
【請求項３７】
前記第１ラインパターンと前記第２ラインパターンとが交わる部分に対応するピクセル及び前記交わる部分に対応するピクセルと隣接するピクセル以外の前記配線パターン形成領域を区画する複数のピクセルの全てに、前記液滴が吐出されることを特徴とする請求項３６に記載の形成方法。
【請求項３８】
前記第１ラインパターンの一端と前記第２ラインパターンの一端とが接続されるように前記配線パターン形成領域が設定され、
前記第１ラインパターンと前記第２ラインパターンとで形成されるコーナーの内側のピクセルは、前記液滴が吐出されるピクセルに設定されることを特徴とする請求項３６又は３７に記載の形成方法。
【請求項３９】
請求項３６〜３８のいずれか一項記載の配線パターンの形成方法を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項４０】
基板に液滴を吐出して所定の配線パターンを形成する装置であって、
前記配線パターンは、前記基板の第１方向に延びる第１ラインパターンと、前記基板において前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記第１ラインパターンと交わる第２ラインパターンとを含み、
前記液滴を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記吐出ノズルと前記基板保持部材とを相対的に移動可能な駆動装置と、
前記基板に、前記配線パターンの設計データに応じた配線パターン形成領域を設定するとともに、前記配線パターン形成領域を、前記液滴の大きさに応じた複数のピクセルでマトリクス状に区画する設定装置と、
前記基板に前記配線パターンを形成するために、前記複数のピクセルのうち、所定のピクセルに前記液滴を吐出するように、前記吐出ヘッド及び前記駆動装置を制御する制御装置と、を備え、
前記設定装置は、前記配線パターン形成領域を区画する複数のピクセルのうち、前記第１ラインパターンと前記第２ラインパターンとが交わる部分に対応するピクセル及び前記交わる部分に対応するピクセルと隣接するピクセルの少なくとも１つを、前記液滴が吐出されないピクセルに設定することを特徴とする配線パターンの形成装置。
【請求項４１】
請求項４０に記載の配線パターンの形成装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。

【図１】