気相成長装置及び気相成長方法
【課題】 シリコン膜の結晶成長の速度を速くする技術を提供する。
【解決手段】 気相成長装置１０は、気相成長室３６と、加熱室８と、混合室３８と、トリクロロシランガスを貯蔵する第１貯蔵庫４２と、塩酸ガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第２貯蔵庫４０を備えている。加熱室８は、第１貯蔵庫４２と混合室３８に連通しており、トリクロロシランガスを加熱した後に混合室３８に供給している。混合室３８は、第２貯蔵庫４０と気相成長室３６に連通しており、加熱室８から供給されたガスとシラン系ガスを混合させて、その混合ガス３４を気相成長室３６に供給している。加熱室８の室内温度は、混合室３８の室内温度よりも高い。
【解決手段】 気相成長装置１０は、気相成長室３６と、加熱室８と、混合室３８と、トリクロロシランガスを貯蔵する第１貯蔵庫４２と、塩酸ガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第２貯蔵庫４０を備えている。加熱室８は、第１貯蔵庫４２と混合室３８に連通しており、トリクロロシランガスを加熱した後に混合室３８に供給している。混合室３８は、第２貯蔵庫４０と気相成長室３６に連通しており、加熱室８から供給されたガスとシラン系ガスを混合させて、その混合ガス３４を気相成長室３６に供給している。加熱室８の室内温度は、混合室３８の室内温度よりも高い。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面にシリコン膜を成長させる気相成長装置及び気相成長方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の表面にシリコン膜を成長させる気相成長装置が知られている。特許文献１には、気相成長装置を利用して、基板の表面にシリコン膜を結晶成長させる技術が開示されている。特許文献１の技術では、原料ガスである塩化シランガスを気相成長室に供給し、基板の表面にシリコン膜を結晶成長させる。特許文献１には、塩化シランガスの一例として、トリクロロシランガス（ＳｉＨＣｌ３）が挙げられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１０５３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
トリクロロシランガス（ＳｉＨＣｌ３）は、分解することによって二塩化シリコンガス（ＳｉＣｌ２）と塩酸ガス（ＨＣｌ）を生成する。この分解は、ＳｉＨＣｌ３ガスの温度が高くなるほど活発になる。ＳｉＣｌ２ガスのＳｉ原子が基板の表面に結合すると、基板の表面にシリコン膜が結晶成長する。
【０００５】
基板の表面にシリコン膜が結晶成長すると、ＳｉＨＣｌ３ガスが消費されてＨＣｌガスの濃度が相対的に上昇する。そのため、シリコン膜の結晶成長が進行すると、前記の分解反応の逆方向の反応が起こり、シリコン膜の成長速度が低下する。
【０００６】
ＳｉＨＣｌ３ガスは、他の塩化シランガスよりも安価に入手することができる。しかしながら、原料ガスとしてＳｉＨＣｌ３ガスを使用すると、上記した理由によりシリコン膜の成長速度を速くすることができなかった。本明細書に開示する技術は、原料ガスとしてＳｉＨＣｌ３ガスを使用しながら、シリコン膜の結晶成長の速度を速くする技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書で開示する気相成長装置は、ＳｉＨＣｌ３ガスを分解させてＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスを生成させた後、それらのガスにＨＣｌガスと反応するシラン系ガスを加えることを特徴とする。これにより、ＨＣｌガスの濃度を薄く維持することによって、シリコン膜の成長速度の低下を抑制する。
【０００８】
本明細書で開示する気相成長装置は、基板の表面にシリコン膜を成長させるものであって、気相成長室と、加熱室と、混合室と、ＳｉＨＣｌ３ガスを貯蔵する第１貯蔵庫と、ＨＣｌガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第２貯蔵庫とを備えている。加熱室は、第１貯蔵庫と混合室に連通しており、第１貯蔵庫から供給されたＳｉＨＣｌ３ガスを加熱した後に混合室に供給している。混合室は、第２貯蔵庫と気相成長室に連通しており、加熱室から供給されたガスとシラン系ガスを混合させて、その混合ガスを気相成長室に供給している。加熱室の室内温度は、混合室の室内温度よりも高い。
【０００９】
上記気相成長装置では、ＳｉＨＣｌ３ガスを加熱室で加熱することにより、ＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスに分解する。混合室において、シラン系ガスが、ＨＣｌガスと反応して加熱室で生成したＨＣｌガスの濃度を薄くする。このときに、ＳｉＣｌ２ガスの濃度は薄くならない。ＳｉＣｌ２ガスの濃度が濃く、ＨＣｌガスの濃度が薄いガスを気相成長室に供給することができる。この結果、ＨＣｌガスの濃度を薄く維持することができるので、シリコン膜の成長速度の低下を抑制することができる。
【００１０】
上記のシラン系ガスは、ジクロロシランガス（ＳｉＨ２Ｃｌ２）であることが好ましい。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスと反応するだけでなく、分解することによってＳｉＣｌ２ガスと水素ガス（Ｈ２）を生じる。そのため、気相成長室に供給されるＳｉＣｌ２ガスの濃度をさらに濃くすることができ、シリコン膜の成長速度をより速くすることができる。
【００１１】
加熱室は、ＳｉＨＣｌ３ガスを７００〜１０００℃に加熱する加熱手段を有することが好ましい。ＳｉＨＣｌ３ガスの分解は、高温になるほど活発になる。加熱室でＳｉＨＣｌ３ガスを高温に加熱するほど、ＳｉＣｌ２ガスを大量に生成することができる。そのため、ＳｉＨＣｌ３ガスを加熱する温度は７００℃以上であることが好ましい。また、加熱室で加熱する温度が１０００℃以下であると、ＨＣｌガスとシラン系ガスによって生じた生成物が、混合室で再度ＨＣｌガスとシラン系ガスに分解する反応を抑制することができるので、ＨＣｌガスの濃度を薄く維持することができる。
【００１２】
本明細書で開示するシリコン膜の気相成長方法は、トリクロロシランガスを加熱する加熱工程と、加熱工程後のガスにシラン系ガスを反応させる反応工程と、反応工程後のガスを基板の表面に供給する供給工程とを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本明細書で開示する技術によると、安価な原料ガスを使用しながら、シリコン膜の結晶成長速度を速くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施例１の気相成長装置の断面図を示す。
【図２】実施例２の気相成長装置の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本明細書で開示される技術的特徴の幾つかを以下に整理して記す。
（特徴１）本明細書で開示するシリコン膜の気相成長方法は、トリクロロシランガス（ＳｉＨＣｌ３）を加熱・分解して二塩化シリコンガス（ＳｉＣｌ２）と塩酸ガス（ＨＣｌ）を生成する工程と、生成されたＨＣｌガスをシラン系ガスと混合・反応させてＨＣｌガスの濃度をＳｉＣｌ２ガスの濃度に対して相対的に低下させる工程と、混合ガスを基板の表面に供給する工程と、を備えていることが望ましい。
（特徴２）混合室内のガスの温度は、５００〜８００℃であることが望ましい。混合室内においてＳｉＨＣｌ３ガスの分解が抑制されるので、気相成長室内に供給されるＨＣｌガスの濃度が増加することを抑制することができる。
（特徴３）気相成長装置の気相成長室には、ガス供給口と基板の間に仕切り板が設けられていることが望ましい。この場合、混合室は、その仕切り板と気相成長室の壁の一部によって区画された空間であってもよい。気相成長室の一部が混合室を兼ねており、別個に混合室を設ける必要がない。
【実施例１】
【００１６】
図１に示すように、気相成長装置１０は、チャンバ３７と、加熱室８と、第１貯蔵庫４２と、第２貯蔵庫４０と、第３貯蔵庫４４を備えている。チャンバ３７は、気相成長室３６と混合室３８を有する。気相成長室３６と混合室３８は、仕切り板２０によって区画されている。仕切り板２０は、基板３２とチャンバ３７の上部に設けられているガス供給口１６，４との間に設けられており、開口２０ａを有している。気相成長室３６の下部には、載置台２２が設けられている。載置台２２の内部にはヒータ２４が設けられており、基板３２を所定の温度に加熱することができる。載置台２２は、矢印２６方向に回転することができる。気相成長室３６の下部にはさらに、排気口２８が設けられている。排気ガス３０は、排気口２８を通じて気相成長室３６の外部に排出される。混合室３８は、連通路２を介して第２貯蔵庫４０に連通している。混合室３８には、ガス供給口１６，４が設けられている。ガス供給口１６，４は、基板３２の表面に直交する方向に形成されている。連通路２は、ガス供給口４に嵌め込まれている。
【００１７】
加熱室８は、連通路６を介して混合室３８に連通しており、連通路１２を介して第１貯蔵庫４２に連通しており、連通路１４を介して第３貯蔵庫４４に連通している。連通路６は、混合室３８に設けられているガス供給口１６に嵌め込まれている。加熱室８には、加熱室８内を加熱する加熱手段１５が設けられている。加熱手段１５として、熱交換器、シースヒータが用いられることが望ましい。
【００１８】
第１貯蔵庫４２には、ＳｉＨＣｌ３ガスが貯蔵されている。第２貯蔵庫４０にはジクロロシランガス（ＳｉＨ２Ｃｌ２）が貯蔵されている。第３貯蔵庫４４には水素ガス（Ｈ２）が貯蔵されている。そのため、加熱室８には、ＳｉＨＣｌ３ガスとＨ２ガスが供給される。ＳｉＨＣｌ３ガスの供給量はバルブ４３で調整される。Ｈ２ガスの供給量はバルブ４５で調整される。ＳｉＨＣｌ３ガスはシリコン膜の原料ガスであり、Ｈ２ガスはキャリアガスである。混合室３８には、加熱室８から供給されたガスと、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが供給される。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスの供給量はバルブ４１で調整される。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、シリコン膜の原料ガスであるとともに、後述するＨＣｌガスと反応するためのガスである。加熱室８から供給されたガスとＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、混合室３８内で混合される。混合室３８内で混合された混合ガス３４は、仕切り板２０の開口２０ａを通じて気相成長室３６の下部に供給される。バルブ４１，４３，４５の開度は、制御装置４６で制御される。制御装置４６には、加熱室８内の温度が入力される。
【００１９】
基板３２の表面にシリコン膜が結晶成長する反応について説明する。加熱室８には、ＳｉＨＣｌ３ガスとＨ２ガスが供給される。制御装置４６は、ＳｉＨＣｌ３ガスとＨ２ガスの供給量を調整する。加熱室８に供給されたＳｉＨＣｌ３ガスは、加熱手段１５によって７００〜１０００℃に加熱され、下記式（１）に示すように分解する（加熱工程）。なお、下記式（１）の反応は、ＳｉＨＣｌ３ガスの加熱温度が高くなるほど起こり易く、特に、９００℃を超えると活発になる。
式（１）：ＳｉＨＣｌ３→ＳｉＣｌ２＋ＨＣｌ
【００２０】
加熱室８で分解しなかったＳｉＨＣｌ３ガスと加熱室８で生じたＳｉＣｌ２ガスと加熱室８で生じたＨＣｌガスは、キャリアガス（Ｈ２ガス）とともに混合室３８に供給される。混合室３８には、第２貯蔵庫４０よりＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが供給される。制御装置４６は、加熱室８内の温度と加熱室８に供給したＳｉＨＣｌ３ガスの供給量に応じて、混合室３８に供給するＳｉＨ２Ｃｌ２ガスの供給量を調整する。混合室３８では、加熱室８から供給されたガスとＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが混合され、混合ガスの温度が加熱室８内のガス温度よりも低下する。加熱室８から供給されるガスの温度にもよるが、混合室３８内の混合ガスの温度は５００〜８００℃である。混合室３８では、下記式（２）及び（３）の反応が起こる（反応工程）。
式（２）：ＳｉＨ２Ｃｌ２＋ＨＣｌ→ＳｉＨＣｌ３＋Ｈ２
式（３）：ＳｉＨ２Ｃｌ２→ＳｉＣｌ２＋Ｈ２
【００２１】
上記式（２）は、加熱室８で生じたＨＣｌガスがＳｉＨ２Ｃｌ２ガスと反応して、ＳｉＨＣｌ３ガスを生成する反応を示している。上記式（２）において、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスの濃度を薄くするためのガスとして働く。これにより、ＳｉＣｌ２ガスの濃度は薄くなることなく、ＨＣｌガスの濃度が薄くなる。上記したように、上記式（１）の反応は、ＳｉＨＣｌ３ガスの加熱温度が高くなるほど起こり易くなる。すなわち、ＳｉＨＣｌ３ガスの加熱温度が高くなるほど、混合室３８に供給されるＨＣｌガスの濃度が濃くなる。しかしながら、制御装置４６によって加熱室８内の温度に応じた量のＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが混合室３８に供給されるので、ＨＣｌガスの濃度を所望する濃度まで薄くすることができる。
【００２２】
なお、上記式（２）の反応によって、混合室３８内で新たにＳｉＨＣｌ３ガスが生成する。しかしながら、混合室３８内のガスの温度は、加熱室８内のガスの温度よりも低い。そのため、混合室３８内では、加熱室８内よりも上記式（１）の反応が起こり難く、ＨＣｌガスの生成が抑制される。よって、気相成長室３６には、ＳｉＣｌ２ガスの濃度が濃く、ＨＣｌガスの濃度が薄い混合ガスが供給される。
【００２３】
混合室３８内では、上記式（３）に示すように、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスがＳｉＣｌ２ガスに分解する反応も起こる。そのため、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスの濃度を薄くするだけでなく、ＳｉＣｌ２ガスの濃度を濃くするガスとしても働く。混合ガス３４が基板３２の表面に達すると、混合ガス３４中のＳｉＣｌ２ガスのＳｉ原子が、基板３２の表層部のＳｉ原子に結合する（供給工程）。
【００２４】
ＳｉＣｌ２ガスのＳｉ原子が基板３２の表層部のＳｉ原子に結合すると、基板３２の表面では下記式（４）に示す反応が起こる。下記式（４）は、基板３２の表層部に結合したＳｉＣｌ２のＣｌ原子がＨ２ガス（キャリアガス）と反応し、基板３２の表面にＳｉ原子が残存することを示している。下記式（４）の反応により、基板３２の表面にシリコン膜が結晶成長する。下記式（４）に示すように、基板３２の表面にシリコン膜が結晶成長すると、副生成物としてＨＣｌガスが生成される。
式（４）：ＳｉＣｌ２＋Ｈ２→Ｓｉ＋２ＨＣｌ
【００２５】
基板３２の表面では、上記式（４）の反応に加え、一定の割合で下記式（５）の反応も起こる。下記式（５）の反応は、上記式（４）の逆反応であり、基板３２の表面に結晶成長したシリコン膜がＨＣｌガスでエッチングされることを示している。下記式（５）の反応が活発になると、シリコン膜の結晶成長の速度は遅くなる。下記式（５）から明らかなように、気相成長室３６内のＨＣｌガスの濃度が濃くなるほど、基板３２の表面で下記式（５）の反応が起こり易くなり、シリコン膜の結晶成長の速度が遅くなる。
式（５）：Ｓｉ＋３ＨＣｌ→ＳｉＨＣｌ３＋Ｈ２
【００２６】
気相成長装置１０では、式（１）に示すように、加熱室８でＳｉＨＣｌ３ガスをＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスに分解する。その後、式（２）に示すように、混合室３８でＨＣｌガスを除去することができる。そのため、式（５）の反応が起こりにくくなり、シリコン膜の成長速度を速くすることができる。なお、混合室３８では、式（２）の反応によって、新たにＳｉＨＣｌ３ガスが生成する。しかしながら、混合室３８の温度は加熱室８の温度よりも低いので、ＳｉＨＣｌ３ガスの分解が抑制され、ＨＣｌガスの発生が抑制される。
【実施例２】
【００２７】
図２に示すように、気相成長装置５０では、冷却室３８ａが、チャンバ３７の外部に設けられている。冷却室３８ａには、冷却室３８ａ内を冷却する冷却手段６４が設けられている。冷却手段６４として、熱交換器、ペルチェ素子が用いられることが望ましい。チャンバ３７の上部にガス供給口６２が設けられており、連通路６０がガス供給口６２に嵌め込まれている。連通路６０によって、冷却室４８と混合室３８ｂが連通している。冷却室３８ａには、加熱室８から供給されたガスと、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが供給される。冷却室３８ａでは、加熱室８から供給されたガスとＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが、混合されながら冷却される。よって、冷却室３８ａと混合室３８ｂを併せて混合室３８とみなすことができる。
【００２８】
上記したように、気相成長装置５０では、冷却手段６２によって、混合室３８内のガスを冷却することができる。加熱室８から供給されるガスの温度が高くても、混合室３８内のガスの温度を所望する温度に調整することができる。上記式（２）で生じたＳｉＨＣｌ３ガスが、再度ＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスに分解することをより確実に抑制することができる。
【００２９】
上記実施例では、ＨＣｌガスと反応するシラン系ガスとして、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスを使用する例を説明した。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスに代えて、例えば、モノシランガス（ＳｉＨ４）、ジシランガス（Ｓｉ２Ｈ６）、モノクロロシランガス（ＳｉＨ３Ｃｌ）等を使用することもできる。これらのガスを使用する場合も、混合室３８内のガスの温度を加熱室８内のガスの温度よりも低くすることが好ましい。なお、上記したように、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスを除去するだけでなく、分解によりＳｉＣｌ２ガスを生成する。そのため、ＨＣｌガスと反応するシラン系ガスとして、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスを使用することが特に好ましい。なお、実施例のガスに加え、加熱室８又は混合室３８に不純物のドーパントガスを供給してもよい。不純物のドーパントガスを供給すれば、ｎ型又はｐ型のシリコン膜を結晶成長させることができる。
【００３０】
基板３２の材料として、シリコン、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、スピネル（ＭｇＡｌＯ４）、III族窒化物半導体（ＧａＮ，ＡｌＧａＮ等）を使用することができる。基板３２の材料としてシリコンを使用すれば、材料が同じなので、成長したシリコン膜に変形等の不具合が生じにくい。基板３２の材料としてシリコン以外の材料を使用すれば、基板を加熱する温度をシリコンの融点近くに設定しても、基板に変形等が生じにくい。そのため、高品質のシリコン膜を結晶成長させることができる。なお、シリコン以外の材料としては、窒化アルミニウムと炭化シリコンが特に好ましい。窒化アルミニウムと炭化シリコンは、熱膨張係数がシリコンの熱膨張係数に近い。そのため、より高品質のシリコン膜を結晶成長させることができる。
【００３１】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３２】
８：加熱室
１０，５０：気相成長装置
３２：基板
３６：気相成長室
３８：混合室
４０：第２貯蔵庫
４２：第１貯蔵庫
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面にシリコン膜を成長させる気相成長装置及び気相成長方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の表面にシリコン膜を成長させる気相成長装置が知られている。特許文献１には、気相成長装置を利用して、基板の表面にシリコン膜を結晶成長させる技術が開示されている。特許文献１の技術では、原料ガスである塩化シランガスを気相成長室に供給し、基板の表面にシリコン膜を結晶成長させる。特許文献１には、塩化シランガスの一例として、トリクロロシランガス（ＳｉＨＣｌ３）が挙げられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１０５３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
トリクロロシランガス（ＳｉＨＣｌ３）は、分解することによって二塩化シリコンガス（ＳｉＣｌ２）と塩酸ガス（ＨＣｌ）を生成する。この分解は、ＳｉＨＣｌ３ガスの温度が高くなるほど活発になる。ＳｉＣｌ２ガスのＳｉ原子が基板の表面に結合すると、基板の表面にシリコン膜が結晶成長する。
【０００５】
基板の表面にシリコン膜が結晶成長すると、ＳｉＨＣｌ３ガスが消費されてＨＣｌガスの濃度が相対的に上昇する。そのため、シリコン膜の結晶成長が進行すると、前記の分解反応の逆方向の反応が起こり、シリコン膜の成長速度が低下する。
【０００６】
ＳｉＨＣｌ３ガスは、他の塩化シランガスよりも安価に入手することができる。しかしながら、原料ガスとしてＳｉＨＣｌ３ガスを使用すると、上記した理由によりシリコン膜の成長速度を速くすることができなかった。本明細書に開示する技術は、原料ガスとしてＳｉＨＣｌ３ガスを使用しながら、シリコン膜の結晶成長の速度を速くする技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書で開示する気相成長装置は、ＳｉＨＣｌ３ガスを分解させてＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスを生成させた後、それらのガスにＨＣｌガスと反応するシラン系ガスを加えることを特徴とする。これにより、ＨＣｌガスの濃度を薄く維持することによって、シリコン膜の成長速度の低下を抑制する。
【０００８】
本明細書で開示する気相成長装置は、基板の表面にシリコン膜を成長させるものであって、気相成長室と、加熱室と、混合室と、ＳｉＨＣｌ３ガスを貯蔵する第１貯蔵庫と、ＨＣｌガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第２貯蔵庫とを備えている。加熱室は、第１貯蔵庫と混合室に連通しており、第１貯蔵庫から供給されたＳｉＨＣｌ３ガスを加熱した後に混合室に供給している。混合室は、第２貯蔵庫と気相成長室に連通しており、加熱室から供給されたガスとシラン系ガスを混合させて、その混合ガスを気相成長室に供給している。加熱室の室内温度は、混合室の室内温度よりも高い。
【０００９】
上記気相成長装置では、ＳｉＨＣｌ３ガスを加熱室で加熱することにより、ＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスに分解する。混合室において、シラン系ガスが、ＨＣｌガスと反応して加熱室で生成したＨＣｌガスの濃度を薄くする。このときに、ＳｉＣｌ２ガスの濃度は薄くならない。ＳｉＣｌ２ガスの濃度が濃く、ＨＣｌガスの濃度が薄いガスを気相成長室に供給することができる。この結果、ＨＣｌガスの濃度を薄く維持することができるので、シリコン膜の成長速度の低下を抑制することができる。
【００１０】
上記のシラン系ガスは、ジクロロシランガス（ＳｉＨ２Ｃｌ２）であることが好ましい。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスと反応するだけでなく、分解することによってＳｉＣｌ２ガスと水素ガス（Ｈ２）を生じる。そのため、気相成長室に供給されるＳｉＣｌ２ガスの濃度をさらに濃くすることができ、シリコン膜の成長速度をより速くすることができる。
【００１１】
加熱室は、ＳｉＨＣｌ３ガスを７００〜１０００℃に加熱する加熱手段を有することが好ましい。ＳｉＨＣｌ３ガスの分解は、高温になるほど活発になる。加熱室でＳｉＨＣｌ３ガスを高温に加熱するほど、ＳｉＣｌ２ガスを大量に生成することができる。そのため、ＳｉＨＣｌ３ガスを加熱する温度は７００℃以上であることが好ましい。また、加熱室で加熱する温度が１０００℃以下であると、ＨＣｌガスとシラン系ガスによって生じた生成物が、混合室で再度ＨＣｌガスとシラン系ガスに分解する反応を抑制することができるので、ＨＣｌガスの濃度を薄く維持することができる。
【００１２】
本明細書で開示するシリコン膜の気相成長方法は、トリクロロシランガスを加熱する加熱工程と、加熱工程後のガスにシラン系ガスを反応させる反応工程と、反応工程後のガスを基板の表面に供給する供給工程とを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本明細書で開示する技術によると、安価な原料ガスを使用しながら、シリコン膜の結晶成長速度を速くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施例１の気相成長装置の断面図を示す。
【図２】実施例２の気相成長装置の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本明細書で開示される技術的特徴の幾つかを以下に整理して記す。
（特徴１）本明細書で開示するシリコン膜の気相成長方法は、トリクロロシランガス（ＳｉＨＣｌ３）を加熱・分解して二塩化シリコンガス（ＳｉＣｌ２）と塩酸ガス（ＨＣｌ）を生成する工程と、生成されたＨＣｌガスをシラン系ガスと混合・反応させてＨＣｌガスの濃度をＳｉＣｌ２ガスの濃度に対して相対的に低下させる工程と、混合ガスを基板の表面に供給する工程と、を備えていることが望ましい。
（特徴２）混合室内のガスの温度は、５００〜８００℃であることが望ましい。混合室内においてＳｉＨＣｌ３ガスの分解が抑制されるので、気相成長室内に供給されるＨＣｌガスの濃度が増加することを抑制することができる。
（特徴３）気相成長装置の気相成長室には、ガス供給口と基板の間に仕切り板が設けられていることが望ましい。この場合、混合室は、その仕切り板と気相成長室の壁の一部によって区画された空間であってもよい。気相成長室の一部が混合室を兼ねており、別個に混合室を設ける必要がない。
【実施例１】
【００１６】
図１に示すように、気相成長装置１０は、チャンバ３７と、加熱室８と、第１貯蔵庫４２と、第２貯蔵庫４０と、第３貯蔵庫４４を備えている。チャンバ３７は、気相成長室３６と混合室３８を有する。気相成長室３６と混合室３８は、仕切り板２０によって区画されている。仕切り板２０は、基板３２とチャンバ３７の上部に設けられているガス供給口１６，４との間に設けられており、開口２０ａを有している。気相成長室３６の下部には、載置台２２が設けられている。載置台２２の内部にはヒータ２４が設けられており、基板３２を所定の温度に加熱することができる。載置台２２は、矢印２６方向に回転することができる。気相成長室３６の下部にはさらに、排気口２８が設けられている。排気ガス３０は、排気口２８を通じて気相成長室３６の外部に排出される。混合室３８は、連通路２を介して第２貯蔵庫４０に連通している。混合室３８には、ガス供給口１６，４が設けられている。ガス供給口１６，４は、基板３２の表面に直交する方向に形成されている。連通路２は、ガス供給口４に嵌め込まれている。
【００１７】
加熱室８は、連通路６を介して混合室３８に連通しており、連通路１２を介して第１貯蔵庫４２に連通しており、連通路１４を介して第３貯蔵庫４４に連通している。連通路６は、混合室３８に設けられているガス供給口１６に嵌め込まれている。加熱室８には、加熱室８内を加熱する加熱手段１５が設けられている。加熱手段１５として、熱交換器、シースヒータが用いられることが望ましい。
【００１８】
第１貯蔵庫４２には、ＳｉＨＣｌ３ガスが貯蔵されている。第２貯蔵庫４０にはジクロロシランガス（ＳｉＨ２Ｃｌ２）が貯蔵されている。第３貯蔵庫４４には水素ガス（Ｈ２）が貯蔵されている。そのため、加熱室８には、ＳｉＨＣｌ３ガスとＨ２ガスが供給される。ＳｉＨＣｌ３ガスの供給量はバルブ４３で調整される。Ｈ２ガスの供給量はバルブ４５で調整される。ＳｉＨＣｌ３ガスはシリコン膜の原料ガスであり、Ｈ２ガスはキャリアガスである。混合室３８には、加熱室８から供給されたガスと、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが供給される。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスの供給量はバルブ４１で調整される。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、シリコン膜の原料ガスであるとともに、後述するＨＣｌガスと反応するためのガスである。加熱室８から供給されたガスとＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、混合室３８内で混合される。混合室３８内で混合された混合ガス３４は、仕切り板２０の開口２０ａを通じて気相成長室３６の下部に供給される。バルブ４１，４３，４５の開度は、制御装置４６で制御される。制御装置４６には、加熱室８内の温度が入力される。
【００１９】
基板３２の表面にシリコン膜が結晶成長する反応について説明する。加熱室８には、ＳｉＨＣｌ３ガスとＨ２ガスが供給される。制御装置４６は、ＳｉＨＣｌ３ガスとＨ２ガスの供給量を調整する。加熱室８に供給されたＳｉＨＣｌ３ガスは、加熱手段１５によって７００〜１０００℃に加熱され、下記式（１）に示すように分解する（加熱工程）。なお、下記式（１）の反応は、ＳｉＨＣｌ３ガスの加熱温度が高くなるほど起こり易く、特に、９００℃を超えると活発になる。
式（１）：ＳｉＨＣｌ３→ＳｉＣｌ２＋ＨＣｌ
【００２０】
加熱室８で分解しなかったＳｉＨＣｌ３ガスと加熱室８で生じたＳｉＣｌ２ガスと加熱室８で生じたＨＣｌガスは、キャリアガス（Ｈ２ガス）とともに混合室３８に供給される。混合室３８には、第２貯蔵庫４０よりＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが供給される。制御装置４６は、加熱室８内の温度と加熱室８に供給したＳｉＨＣｌ３ガスの供給量に応じて、混合室３８に供給するＳｉＨ２Ｃｌ２ガスの供給量を調整する。混合室３８では、加熱室８から供給されたガスとＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが混合され、混合ガスの温度が加熱室８内のガス温度よりも低下する。加熱室８から供給されるガスの温度にもよるが、混合室３８内の混合ガスの温度は５００〜８００℃である。混合室３８では、下記式（２）及び（３）の反応が起こる（反応工程）。
式（２）：ＳｉＨ２Ｃｌ２＋ＨＣｌ→ＳｉＨＣｌ３＋Ｈ２
式（３）：ＳｉＨ２Ｃｌ２→ＳｉＣｌ２＋Ｈ２
【００２１】
上記式（２）は、加熱室８で生じたＨＣｌガスがＳｉＨ２Ｃｌ２ガスと反応して、ＳｉＨＣｌ３ガスを生成する反応を示している。上記式（２）において、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスの濃度を薄くするためのガスとして働く。これにより、ＳｉＣｌ２ガスの濃度は薄くなることなく、ＨＣｌガスの濃度が薄くなる。上記したように、上記式（１）の反応は、ＳｉＨＣｌ３ガスの加熱温度が高くなるほど起こり易くなる。すなわち、ＳｉＨＣｌ３ガスの加熱温度が高くなるほど、混合室３８に供給されるＨＣｌガスの濃度が濃くなる。しかしながら、制御装置４６によって加熱室８内の温度に応じた量のＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが混合室３８に供給されるので、ＨＣｌガスの濃度を所望する濃度まで薄くすることができる。
【００２２】
なお、上記式（２）の反応によって、混合室３８内で新たにＳｉＨＣｌ３ガスが生成する。しかしながら、混合室３８内のガスの温度は、加熱室８内のガスの温度よりも低い。そのため、混合室３８内では、加熱室８内よりも上記式（１）の反応が起こり難く、ＨＣｌガスの生成が抑制される。よって、気相成長室３６には、ＳｉＣｌ２ガスの濃度が濃く、ＨＣｌガスの濃度が薄い混合ガスが供給される。
【００２３】
混合室３８内では、上記式（３）に示すように、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスがＳｉＣｌ２ガスに分解する反応も起こる。そのため、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスの濃度を薄くするだけでなく、ＳｉＣｌ２ガスの濃度を濃くするガスとしても働く。混合ガス３４が基板３２の表面に達すると、混合ガス３４中のＳｉＣｌ２ガスのＳｉ原子が、基板３２の表層部のＳｉ原子に結合する（供給工程）。
【００２４】
ＳｉＣｌ２ガスのＳｉ原子が基板３２の表層部のＳｉ原子に結合すると、基板３２の表面では下記式（４）に示す反応が起こる。下記式（４）は、基板３２の表層部に結合したＳｉＣｌ２のＣｌ原子がＨ２ガス（キャリアガス）と反応し、基板３２の表面にＳｉ原子が残存することを示している。下記式（４）の反応により、基板３２の表面にシリコン膜が結晶成長する。下記式（４）に示すように、基板３２の表面にシリコン膜が結晶成長すると、副生成物としてＨＣｌガスが生成される。
式（４）：ＳｉＣｌ２＋Ｈ２→Ｓｉ＋２ＨＣｌ
【００２５】
基板３２の表面では、上記式（４）の反応に加え、一定の割合で下記式（５）の反応も起こる。下記式（５）の反応は、上記式（４）の逆反応であり、基板３２の表面に結晶成長したシリコン膜がＨＣｌガスでエッチングされることを示している。下記式（５）の反応が活発になると、シリコン膜の結晶成長の速度は遅くなる。下記式（５）から明らかなように、気相成長室３６内のＨＣｌガスの濃度が濃くなるほど、基板３２の表面で下記式（５）の反応が起こり易くなり、シリコン膜の結晶成長の速度が遅くなる。
式（５）：Ｓｉ＋３ＨＣｌ→ＳｉＨＣｌ３＋Ｈ２
【００２６】
気相成長装置１０では、式（１）に示すように、加熱室８でＳｉＨＣｌ３ガスをＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスに分解する。その後、式（２）に示すように、混合室３８でＨＣｌガスを除去することができる。そのため、式（５）の反応が起こりにくくなり、シリコン膜の成長速度を速くすることができる。なお、混合室３８では、式（２）の反応によって、新たにＳｉＨＣｌ３ガスが生成する。しかしながら、混合室３８の温度は加熱室８の温度よりも低いので、ＳｉＨＣｌ３ガスの分解が抑制され、ＨＣｌガスの発生が抑制される。
【実施例２】
【００２７】
図２に示すように、気相成長装置５０では、冷却室３８ａが、チャンバ３７の外部に設けられている。冷却室３８ａには、冷却室３８ａ内を冷却する冷却手段６４が設けられている。冷却手段６４として、熱交換器、ペルチェ素子が用いられることが望ましい。チャンバ３７の上部にガス供給口６２が設けられており、連通路６０がガス供給口６２に嵌め込まれている。連通路６０によって、冷却室４８と混合室３８ｂが連通している。冷却室３８ａには、加熱室８から供給されたガスと、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが供給される。冷却室３８ａでは、加熱室８から供給されたガスとＳｉＨ２Ｃｌ２ガスが、混合されながら冷却される。よって、冷却室３８ａと混合室３８ｂを併せて混合室３８とみなすことができる。
【００２８】
上記したように、気相成長装置５０では、冷却手段６２によって、混合室３８内のガスを冷却することができる。加熱室８から供給されるガスの温度が高くても、混合室３８内のガスの温度を所望する温度に調整することができる。上記式（２）で生じたＳｉＨＣｌ３ガスが、再度ＳｉＣｌ２ガスとＨＣｌガスに分解することをより確実に抑制することができる。
【００２９】
上記実施例では、ＨＣｌガスと反応するシラン系ガスとして、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスを使用する例を説明した。ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスに代えて、例えば、モノシランガス（ＳｉＨ４）、ジシランガス（Ｓｉ２Ｈ６）、モノクロロシランガス（ＳｉＨ３Ｃｌ）等を使用することもできる。これらのガスを使用する場合も、混合室３８内のガスの温度を加熱室８内のガスの温度よりも低くすることが好ましい。なお、上記したように、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスは、ＨＣｌガスを除去するだけでなく、分解によりＳｉＣｌ２ガスを生成する。そのため、ＨＣｌガスと反応するシラン系ガスとして、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスを使用することが特に好ましい。なお、実施例のガスに加え、加熱室８又は混合室３８に不純物のドーパントガスを供給してもよい。不純物のドーパントガスを供給すれば、ｎ型又はｐ型のシリコン膜を結晶成長させることができる。
【００３０】
基板３２の材料として、シリコン、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、スピネル（ＭｇＡｌＯ４）、III族窒化物半導体（ＧａＮ，ＡｌＧａＮ等）を使用することができる。基板３２の材料としてシリコンを使用すれば、材料が同じなので、成長したシリコン膜に変形等の不具合が生じにくい。基板３２の材料としてシリコン以外の材料を使用すれば、基板を加熱する温度をシリコンの融点近くに設定しても、基板に変形等が生じにくい。そのため、高品質のシリコン膜を結晶成長させることができる。なお、シリコン以外の材料としては、窒化アルミニウムと炭化シリコンが特に好ましい。窒化アルミニウムと炭化シリコンは、熱膨張係数がシリコンの熱膨張係数に近い。そのため、より高品質のシリコン膜を結晶成長させることができる。
【００３１】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３２】
８：加熱室
１０，５０：気相成長装置
３２：基板
３６：気相成長室
３８：混合室
４０：第２貯蔵庫
４２：第１貯蔵庫
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面にシリコン膜を成長させる気相成長装置であって、
気相成長室と、加熱室と、混合室と、トリクロロシランガスを貯蔵する第１貯蔵庫と、塩酸ガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第２貯蔵庫と、を備えており、
前記加熱室は、前記第１貯蔵庫と前記混合室に連通しており、前記第１貯蔵庫から供給された前記トリクロロシランガスを加熱した後に前記混合室に供給しており、
前記混合室は、前記第２貯蔵庫と前記気相成長室に連通しており、前記加熱室から供給されたガスと前記シラン系ガスを混合させて、その混合ガスを前記気相成長室に供給しており、
前記加熱室の室内温度が、前記混合室の室内温度よりも高い気相成長装置。
【請求項２】
前記シラン系ガスが、ジクロロシランガスである請求項１に記載の気相成長装置。
【請求項３】
前記加熱室は、前記トリクロロシランガスを７００〜１０００℃に加熱する加熱手段を有する請求項１又は２に記載の気相成長装置。
【請求項４】
トリクロロシランガスを加熱する加熱工程と、
前記加熱工程後のガスにシラン系ガスを反応させる反応工程と、
前記反応工程後のガスを基板の表面に供給する供給工程と、
を備えるシリコン膜の気相成長方法。
【請求項１】
基板の表面にシリコン膜を成長させる気相成長装置であって、
気相成長室と、加熱室と、混合室と、トリクロロシランガスを貯蔵する第１貯蔵庫と、塩酸ガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第２貯蔵庫と、を備えており、
前記加熱室は、前記第１貯蔵庫と前記混合室に連通しており、前記第１貯蔵庫から供給された前記トリクロロシランガスを加熱した後に前記混合室に供給しており、
前記混合室は、前記第２貯蔵庫と前記気相成長室に連通しており、前記加熱室から供給されたガスと前記シラン系ガスを混合させて、その混合ガスを前記気相成長室に供給しており、
前記加熱室の室内温度が、前記混合室の室内温度よりも高い気相成長装置。
【請求項２】
前記シラン系ガスが、ジクロロシランガスである請求項１に記載の気相成長装置。
【請求項３】
前記加熱室は、前記トリクロロシランガスを７００〜１０００℃に加熱する加熱手段を有する請求項１又は２に記載の気相成長装置。
【請求項４】
トリクロロシランガスを加熱する加熱工程と、
前記加熱工程後のガスにシラン系ガスを反応させる反応工程と、
前記反応工程後のガスを基板の表面に供給する供給工程と、
を備えるシリコン膜の気相成長方法。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１２−１８２１８３（Ｐ２０１２−１８２１８３Ａ）
【公開日】平成２４年９月２０日（２０１２．９．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−４２２９０（Ｐ２０１１−４２２９０）
【出願日】平成２３年２月２８日（２０１１．２．２８）
【出願人】（０００００３６０９）株式会社豊田中央研究所 (4,200)
【出願人】（０００００３２０７）トヨタ自動車株式会社 (59,920)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年９月２０日（２０１２．９．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年２月２８日（２０１１．２．２８）
【出願人】（０００００３６０９）株式会社豊田中央研究所 (4,200)
【出願人】（０００００３２０７）トヨタ自動車株式会社 (59,920)
【Ｆターム（参考）】
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