記憶素子および信号処理回路
【課題】消費電力を抑えることができる記憶素子、当該記憶素子を用いた信号処理回路を提供する。
【解決手段】一対のインバータ（クロックドインバータを含む）を用いた記憶素子内に、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積および放出を制御するスイッチング素子とを設ける。例えば、容量素子の一方の電極を一対のインバータのいずれかの入力あるいは出力である第１のノードに接続し、他方の電極をスイッチング素子の一方の電極に接続する。スイッチング素子の他方の電極は前記インバータの出力あるいは入力である第２のノードに接続する。ここで、第１のノードの電位と第２のノードの電位は互いに逆の位相である。このような接続により、データ回復時における第１のノードと第２のノードの電位差の絶対値を十分に大きくすることができ、データ回復時のエラーを減らせる。
【解決手段】一対のインバータ（クロックドインバータを含む）を用いた記憶素子内に、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積および放出を制御するスイッチング素子とを設ける。例えば、容量素子の一方の電極を一対のインバータのいずれかの入力あるいは出力である第１のノードに接続し、他方の電極をスイッチング素子の一方の電極に接続する。スイッチング素子の他方の電極は前記インバータの出力あるいは入力である第２のノードに接続する。ここで、第１のノードの電位と第２のノードの電位は互いに逆の位相である。このような接続により、データ回復時における第１のノードと第２のノードの電位差の絶対値を十分に大きくすることができ、データ回復時のエラーを減らせる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置を用いた記憶素子および信号処理回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アモルファスシリコンやポリシリコン、微結晶シリコン等を用いたトランジスタは液晶ディスプレイ等の表示装置に使用されてきたが、これを半導体集積回路に利用する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
近年、酸化物半導体と呼ばれる、半導体特性を示す金属酸化物に注目が集まっている。金属酸化物は様々な用途に用いられており、例えば、よく知られた金属酸化物である酸化インジウムは、液晶表示装置などで透明電極材料として用いられている。半導体特性を示す金属酸化物としては、例えば、酸化タングステン、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛などがあり、このような半導体特性を示す金属酸化物をチャネル形成領域に用いるトランジスタが、既に知られている（特許文献２および特許文献３参照）。
【０００４】
また、酸化物半導体を用いたトランジスタでオフ状態のリーク電流（オフ電流）が極めて小さいことを利用して、フリップフロップ回路に記憶されたデータを酸化物半導体を用いたトランジスタと容量素子とで構成された記憶素子に退避させることによりフリップフロップ回路の電源を遮断し、消費電力を節減する技術が開示されている（特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第７７７２０５３号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００７／００７２４３９号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２０１１／０１９３０７８号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２０１１／０１８７４１０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
中央演算処理装置（ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などの信号処理回路は、その用途によって多種多様な構成を有しているが、一般的に、データやプログラムを記憶するためのメインメモリの他に、レジスタ、キャッシュメモリなど、各種の半導体記憶装置（以下、単に記憶装置とする）が設けられている。レジスタは、演算処理やプログラムの実行状態の保持などのために一時的にデータを保持する役割を担っている。また、キャッシュメモリは、演算装置とメインメモリの間に介在しメインメモリへのアクセスを減らして演算処理を高速化させることを目的として、ＣＰＵに設けられている。
【０００７】
レジスタやキャッシュメモリなどの記憶装置は、メインメモリよりも高速でデータの書き込みをおこなう必要がある。よって、いずれもインバータやその組み合わせであるフリップフロップ回路を有する記憶素子が用いられる。
【０００８】
図２（Ａ）に、特許文献４に記載の記憶素子の一つを例示する。図２（Ａ）に示す記憶素子２００は、インバータ２０１、インバータ２０２、スイッチング素子２０３、スイッチング素子２０４を有する。
【０００９】
インバータ２０１の入力端子への信号ＩＮの入力は、スイッチング素子２０３により制御されている。インバータ２０１の出力端子の電位は、信号ＯＵＴとして、後段の回路に与えられる。また、インバータ２０１の出力端子はインバータ２０２の入力端子に接続されており、インバータ２０２の出力端子は、スイッチング素子２０４を介してインバータ２０１の入力端子に接続されている。
【００１０】
スイッチング素子２０３を介して入力された信号ＩＮの電位は、スイッチング素子２０３がオフ、スイッチング素子２０４がオンになることで、記憶素子２００内に保持される。
【００１１】
図２（Ａ）に示した記憶素子２００の、より具体的な回路構成を、図２（Ｂ）に示す。図２（Ｂ）に示す記憶素子２００は、インバータ２０１、インバータ２０２、スイッチング素子２０３、スイッチング素子２０４を有しており、これら回路素子の接続構成は図２（Ａ）と同じである。
【００１２】
インバータ２０１は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ２０７と、Ｎチャネル型トランジスタ２０８とを有している。そして、電位ＶＤＤが与えられているノードと、電位ＶＳＳが与えられているノード間において、Ｐチャネル型トランジスタ２０７と、Ｎチャネル型トランジスタ２０８とは、直列に接続されている。
【００１３】
また、同様に、インバータ２０２は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ２０９と、Ｎチャネル型トランジスタ２１０とを有している。そして、電位ＶＤＤが与えられているノードと、電位ＶＳＳが与えられているノード間において、Ｐチャネル型トランジスタ２０９と、Ｎチャネル型トランジスタ２１０とは、直列に接続されている。
【００１４】
図２（Ｂ）に示すインバータ２０１は、Ｐチャネル型トランジスタ２０７のゲート電極と、Ｎチャネル型トランジスタ２０８のゲート電極に与えられる電位の高さに従って、一方がオフ、他方がオンとなるように動作する。よって、電位ＶＤＤが与えられているノードと、電位ＶＳＳが与えられているノードとの間の電流は、理想的には０になるはずである。
【００１５】
しかし、実際には、オフであってもソースとドレイン間あるいはゲートとソース間、ゲートとドレイン間に僅かな電流（オフ電流）が流れているため、上記ノード間の電流は、完全に０にはならない。インバータ２０２についても同様の現象が生じるため、記憶素子２００には、データの書き込みがおこなわれていない状態でも、消費電力が発生する。
【００１６】
例えば、バルクのシリコンを用いて作製されたインバータ（トランジスタのチャネル長１６０ｎｍ）の場合、室温下、ノード間の電圧が約１Ｖの状態にて、０．１ｐＡ程度のオフ電流が生じる。図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示す記憶素子には、インバータ２０１とインバータ２０２の、２つのインバータが設けられているので、０．２ｐＡ程度のオフ電流が生じる。そして、記憶素子数が約１０７個程度であるレジスタの場合、オフ電流はレジスタ全体で２μＡとなる。
【００１７】
さらに、微細化の進展と共に、ゲート絶縁物も薄膜化しているため、ゲート電流も無視できない大きさとなっている。これらも加わって、レジスタの消費電力はＩＣチップの縮小化とともに増大している。そして、電力の消費による発熱がＩＣチップの温度の上昇を招き、さらに消費電力が増加するという悪循環に陥りつつある。
【００１８】
また、ＳＲＡＭも上記レジスタと同様に、インバータを用いた構成を有しており、トランジスタのオフ電流により電力が消費される。よって、ＳＲＡＭを用いたキャッシュメモリもレジスタの場合と同様に、データの書き込みがおこなわれていない状態でも、電力を消費する。
【００１９】
そこで、消費電力を抑えるため、データの入出力がおこなわれない期間において、記憶装置への電源電位の供給を一時的に停止するという一つの方法が提案されている。上記の構造のレジスタ、キャッシュメモリは、電源電位の供給が途絶えるとデータを消失してしまうため、上記記憶装置の周辺に不揮発性の記憶装置を配置し、上記データをその不揮発性の記憶装置へ一時的に移している。しかし、これらの不揮発性の記憶装置は、主に磁気素子や強誘電体が用いられているため、作製工程が複雑である。
【００２０】
また、ＣＰＵにおいて長時間の電源停止をおこなう際には、電源停止の前に、記憶装置内のデータをハードディスク、フラッシュメモリ等の外部記憶装置に移すことで、データの消失を防ぐこともできる。しかし、それらの外部記憶装置からデータをレジスタ、キャッシュメモリ、メインメモリに戻すのには時間を要する。よって、ハードディスク、フラッシュメモリ等の外部記憶装置によるデータのバックアップは、消費電力の低減を目的とした短時間（例えば、１００μ秒乃至１分）の電源停止には適さない。
【００２１】
そこで、特許文献４では、容量素子２０５と容量用スイッチング素子２０６とを設け、容量用スイッチング素子２０６をオンとすることでフリップフロップ回路に記憶されているデータをデータに応じた電荷として、容量素子２０５に移すこと、容量用スイッチング素子２０６をオフとした後、フリップフロップ回路の電源を停止すること、および、電源を復帰した後に、容量用スイッチング素子２０６をオンとすることで、容量素子２０５に蓄積されていた電荷をフリップフロップ回路の第１のノードＮ１に供給し、データを回復することが提案されている。
【００２２】
容量用スイッチング素子２０６のチャネル形成領域に酸化物半導体を用いると、オフ電流をバルクシリコンを用いた場合の１００万分の１未満に低減できるので、容量素子２０５に蓄積された電荷を十分な期間保持できる。
【００２３】
ところで、近年は回路の微細化と共にトランジスタのしきい値のばらつきが大きくなることも問題となっている。特に、フリップフロップ回路を構成するトランジスタのしきい値のばらつきが大きくなると、フリップフロップ回路が状態を安定して保持できる電圧範囲のばらつきが大きくなり、複数のフリップフロップ回路を集積した場合における安定動作電圧域が狭まる。
【００２４】
図２に示される記憶素子において、安定動作電圧域が十分に大きくない場合には、データを回復する際には、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の間の電位差の絶対値を十分に大きくすることが好ましい。第１のノードＮ１の電位と第２のノードＮ２の電位がともに安定動作電圧域に入らない場合には、データの回復に失敗することがあるからである。
【００２５】
上述の課題に鑑み、本発明は、安定してデータを回復できる回路構成を有する記憶素子やそれを用いた信号処理回路の提供を目的の一つとする。特に、短時間の電源停止により消費電力を抑えることができる記憶素子やそれを用いた信号処理回路の提供を目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
２つ以上のインバータ（クロックドインバータを含む）を用いた記憶素子において、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積および放出を制御する容量用スイッチング素子とを設ける。容量素子の一方の電極はインバータのいずれかのノード（第１のノード）に接続し、他方の電極は容量用スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれかに接続する。また、容量用スイッチング素子のドレインあるいはソースは、記憶素子内の第１のノードとは逆の位相を呈するノード（第２のノード）に接続する。
【００２７】
上記記憶素子をレジスタ、キャッシュメモリなどを有する信号処理回路に用いる。その際、酸化物半導体をチャネル形成領域に用いることでオフ電流が著しく小さいトランジスタを作製できる。上記容量用スイッチング素子として、このようなオフ電流が著しく小さいトランジスタを用いて記憶素子や信号処理回路を形成すると消費電力を減らすことができるとともに、データの回復の際のエラーを低減できる。
【００２８】
上記容量用スイッチング素子のチャネル形成領域に酸化物半導体を用いる場合、チャネル長を最小加工線幅の１０倍以上、好ましくは２０倍以上、より好ましくは５０倍以上とするとよい。あるいはチャネル長を０．２μｍ以上、好ましくは０．４μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上とするとよい。その際、ゲート絶縁物の実効的な厚さ（ゲート絶縁物の物理的な厚さ×酸化物半導体の誘電率／ゲート絶縁物の誘電率）がチャネル長の１０％以下であることが好ましい。
【００２９】
なお、容量用スイッチング素子に使用する半導体は酸化物半導体に限定されず、容量素子での電荷の保持が目的とする時間、おこなえるのであれば、シリコンやその他の材料であってもよい。例えば、容量素子にデータを保持する時間（容量１ｆＦの容量素子を１Ｖに充電して、０．９Ｖまで低下する時間）が１秒であればよいのであれば、オフ電流は０．１ｆＡ以下であればよい。
【００３０】
シリコンを用いたトランジスタであっても、極めて薄いシリコン膜を用いたトランジスタでは、それ以下のオフ電流のものも報告されているので、それを用いることもできる（特許文献１参照）。また、チャネル長がチャネル幅より十分に大きいトランジスタでもオフ電流を低減できる。
【００３１】
一方、容量素子にデータを保持する時間が１０年であるのであれば、オフ電流は０．１ｚＡ以下であることが求められるので酸化物半導体を用いることが好ましい。同様に、データを保持する温度が１００℃以上の場合にも酸化物半導体を用いることが好ましい。
【００３２】
容量用スイッチング素子は、インバータの上方に重ねて形成されることが好ましく、容量用スイッチング素子に用いられる酸化物半導体層は、曲がりくねった形状あるいは少なくとも１つの凹部を有する形状とすることで、限られた面積においても上記のチャネル長を実現できる。
【００３３】
例えば、上記のレジスタあるいはＳＲＡＭ等の記憶素子は２つ以上のインバータが組み合わされた回路（フリップフロップ回路等）を有するが、その回路の占有する面積は５０Ｆ２（Ｆは最小加工線幅）以上であり、通常は１００Ｆ２乃至１５０Ｆ２である。例えば、２つのインバータが組み合わされた回路の占有する面積を５０Ｆ２とし、その半分の面積（２５Ｆ２）に酸化物半導体を用いた容量用スイッチング素子を設ける場合、チャネル幅をＦとすると、チャネル長は２５Ｆとできる。Ｆを４０ｎｍとすると、チャネル長は１μｍとなる。
【００３４】
また、容量素子もインバータの上方に重ねて形成されることが好ましく、容量用スイッチング素子と同じ層に形成されてもよいし、異なる層に形成してもよい。同じ層に形成すると容量用スイッチング素子のための領域と容量素子のための領域を設ける必要があるが、作製工程を簡略化できる。一方、異なる層に設けると、作製工程は余分に必要であるが、集積度を上げることや、容量素子の誘電体を容量用スイッチング素子のゲート絶縁物と異なるものとすることにより、より容量を高めることも可能である。
【００３５】
スイッチング素子のオン抵抗と容量素子の容量は、必要とするスイッチング動作の速さに応じて決定すればよい。電源の停止と回復という目的であればスイッチングに要する時間は、１００μ秒以上でもよい。また、スイッチング素子のオフ抵抗と容量素子の容量は、必要とするスイッチング動作の間隔に応じて決定すればよい。
【００３６】
さらに、信号処理回路は、上記記憶装置に加え、記憶装置とデータのやり取りをおこなう演算回路などの各種論理回路を有する。そして、記憶装置へ電源電圧の供給を停止すると共に、当該記憶装置とデータのやり取りをおこなう演算回路への、電源電圧の供給を停止するようにしてもよい。
【００３７】
例えば、本発明の一態様の記憶素子は、一対のインバータと、容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積および放出を制御する容量用スイッチング素子とを少なくとも有する。記憶素子に入力されたデータを含む信号は、第１のインバータの入力端子に与えられる。第１のインバータの出力端子は、第２のインバータの入力端子に接続されている。第２のインバータの出力端子は、第１のインバータの入力端子に接続されている。第１のインバータの出力端子または第２のインバータの入力端子の電位が、信号として後段の記憶素子、或いは他の回路に出力される。
【００３８】
上記インバータは、ゲート電極が互いに接続された少なくとも１つのＰチャネル型トランジスタと、少なくとも１つのＮチャネル型トランジスタとが直列に接続された構成を有する。
【００３９】
そして、容量素子の一方の電極は、記憶素子に入力された信号のデータを必要に応じて記憶できるように、いずれか１つのインバータの入力端子に接続され、他方の電極は上記容量用スイッチング素子に接続している。また、上記容量用スイッチング素子の他方の電極は、上記インバータの出力端子に接続している。
【００４０】
第１のインバータおよび第２のインバータに電源電圧が与えられている状態において、第１のインバータの入力端子にデータを含む信号が入力されると、第１のインバータおよび第２のインバータによって、そのデータが保持される。
【００４１】
第１のインバータおよび第２のインバータへの電源電圧の印加を停止する場合、電源電圧の印加を停止する前に、上記容量用スイッチング素子をオンにして、信号のデータを容量素子に記憶させる。上記構成により、第１のインバータおよび第２のインバータへの電源電圧の印加を停止しても、記憶素子にデータを保持させることが可能である。
【００４２】
上記容量用スイッチング素子に用いられるトランジスタのチャネル形成領域は、高純度化された酸化物半導体を含んでおり、また、チャネル長が十分に長い場合には、オフ電流が著しく低いという特性を有している。
【００４３】
なお、インバータに用いられるトランジスタには、酸化物半導体以外の、非晶質、微結晶、多結晶、または単結晶の、シリコン、またはゲルマニウムなどの半導体を用いることができる。また、上記トランジスタには、薄膜の半導体を用いてもよいし、バルクの半導体を用いてもよい。
【００４４】
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウム（Ｉｎ）あるいは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。特にＩｎとＺｎを含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウム（Ｇａ）を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてスズ（Ｓｎ）を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてハフニウム（Ｈｆ）を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてアルミニウム（Ａｌ）を有することが好ましい。
【００４５】
また、他のスタビライザーとして、ランタノイドである、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、プラセオジム（Ｐｒ）、ネオジム（Ｎｄ）、サマリウム（Ｓｍ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、ガドリニウム（Ｇｄ）、テルビウム（Ｔｂ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ）、エルビウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、イッテルビウム（Ｙｂ）、ルテチウム（Ｌｕ）のいずれか一種あるいは複数種を有してもよい。
【００４６】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｓｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｇａ系酸化物、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物（ＩＧＺＯとも表記する）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｃｅ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｐｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｎｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｕ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｇｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｄｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｏ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌｕ−Ｚｎ系酸化物、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物を用いることができる。
【００４７】
なお、ここで、例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物とは、ＩｎとＧａとＺｎを主成分として有する酸化物という意味であり、ＩｎとＧａとＺｎの比率は問わない。また、ＩｎとＧａとＺｎ以外の金属元素が入っていてもよい。また、上記酸化物半導体は、シリコンを含んでいてもよい。
【００４８】
或いは、酸化物半導体は、化学式ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０）で表記することもできる。ここで、Ｍは、Ｓｎ、Ｇａ、Ａｌ、ＨｆおよびＣｏから選ばれた一又は複数の金属元素を示す。
【００４９】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１（＝１／３：１／３：１／３）あるいはＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：２：１（＝２／５：２／５：１／５）の原子比のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いることができる。あるいは、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝１：１：１（＝１／３：１／３：１／３）、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：３（＝１／３：１／６：１／２）あるいはＩｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：５（＝１／４：１／８：５／８）の原子比のＩｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
【００５０】
しかし、これらに限られず、必要とする半導体特性（移動度、しきい値、ばらつき等）に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とする半導体特性を得るために、キャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
【００５１】
例えば、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物では比較的容易に高い移動度が得られる。しかしながら、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物でも、バルク内欠陥密度を低減することにより移動度を上げることができる。
【００５２】
なお、本明細書では、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎの原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝ａ：ｂ：ｃ（ａ＋ｂ＋ｃ＝１）である酸化物の組成が、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝Ａ：Ｂ：Ｃ（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＝１）の酸化物の組成の近傍であるとは、ａ、ｂ、ｃが、（ａ―Ａ）２＋（ｂ―Ｂ）２＋（ｃ―Ｃ）２≦０．００２５を満たすことをいう。他の酸化物でも同様である。
【００５３】
酸化物半導体は単結晶でも、非単結晶でもよい。後者の場合、アモルファスでも、多結晶でもよい。また、アモルファス中に結晶性を有する部分を含む構造でも、非アモルファスでもよい。
【００５４】
なお、アモルファス状態の酸化物半導体は、比較的容易に平坦な表面を得ることができるため、これを用いてトランジスタを作製した際の界面散乱を低減でき、比較的容易に、比較的高い移動度を得ることができる。
【００５５】
結晶性を有する酸化物半導体では、よりバルク内欠陥を低減することができるので、さらに表面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体以上の移動度を得ることができる。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を形成することが好ましく、具体的には、平均面粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以下、好ましくは０．３ｎｍ以下、より好ましくは０．１ｎｍ以下の表面上に形成するとよい。
【００５６】
酸化物半導体は比較的高い移動度（１ｃｍ２／Ｖｓ以上、好ましくは１０ｃｍ２／Ｖｓ以上）の半導体特性を示す金属酸化物である。そして、電子供与体（ドナー）となる水分または水素などの不純物および酸素欠損が低減されて高純度化された酸化物半導体は、Ｉ型（真性半導体、本明細書では、キャリア濃度が１×１０１２／ｃｍ３以下の半導体をＩ型という）又はＩ型に限りなく近い（実質的にＩ型）半導体である。
【００５７】
水素濃度に関して、具体的には、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により測定した酸化物半導体に含まれる水素濃度の値が、５×１０１９／ｃｍ３以下、好ましくは５×１０１８／ｃｍ３以下、より好ましくは５×１０１７／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１６／ｃｍ３以下となるように、酸化物半導体に含まれる水素を除去するとよい。また、酸素欠損の量も可能な限り低減するとよい。このように真性半導体とする上で好ましくないものを除去することを高純度化という。
【００５８】
上記構成により、ホール効果測定により測定できる酸化物半導体膜のキャリア密度を、１×１０１４ｃｍ−３未満、好ましくは１×１０１２ｃｍ−３未満、さらに好ましくは１×１０１１ｃｍ−３未満とすることができる。即ち、酸化物半導体膜のキャリア密度を、限りなくゼロに近づけることができる。また、酸化物半導体膜のバンドギャップは２ｅＶ以上４ｅＶ以下、好ましくは２．５ｅＶ以上４ｅＶ以下、より好ましくは３ｅＶ以上４ｅＶ以下であるとよい。高純度化された酸化物半導体膜を用いることにより、トランジスタのオフ電流を下げることができる。
【００５９】
ここで、酸化物半導体膜中および導電膜中の、水素濃度の分析について触れておく。酸化物半導体膜中および導電膜中の水素濃度測定は、ＳＩＭＳでおこなう。ＳＩＭＳは、その原理上、試料表面近傍や、材質が異なる膜との積層界面近傍のデータを正確に得ることが困難であることが知られている。
【００６０】
そこで、膜中における水素濃度の厚さ方向の分布をＳＩＭＳで分析する場合、対象となる膜が存在する範囲において、値に極端な変動が無く、ほぼ一定の値が得られる領域における平均値を、水素濃度として採用する。
【００６１】
また、測定の対象となる膜の厚さが小さい場合、隣接する膜内の水素濃度の影響を受けて、ほぼ一定の値が得られる領域を見いだせない場合がある。この場合、当該膜が存在する領域における、水素濃度の極大値または極小値を、当該膜中の水素濃度として採用する。さらに、当該膜の存在する領域において、極大値を示す山型のピーク、極小値を示す谷型のピークが存在しない場合、変曲点の値を水素濃度として採用する。
【００６２】
なお、スパッタ等で成膜された酸化物半導体膜中には、不純物である水分または水素が多量に含まれていることが判明している。水分または水素はドナー準位を形成しやすいため、酸化物半導体にとっては不純物である。
【００６３】
そこで、本発明の一態様では、酸化物半導体膜中の水分または水素などの不純物を低減するために、酸化物半導体膜に対して、減圧雰囲気下、窒素や希ガスなどの不活性ガス雰囲気下、酸素ガス雰囲気下、又は超乾燥エア（ＣＲＤＳ（キャビティリングダウンレーザー分光法）方式の露点計を用いて測定した場合の水分量が２０ｐｐｍ（露点換算で−５５℃）以下、好ましくは１ｐｐｍ以下、より好ましくは１０ｐｐｂ以下の空気）雰囲気下で加熱処理をおこなう。
【００６４】
上記加熱処理は、２００℃以上８５０℃以下、好ましくは２５０℃以上４５０℃以下の温度範囲でおこなうのが望ましい。なお、この加熱処理は、用いる基板や、酸化物半導体が形成される前に基板上に形成されている構造物（配線や絶縁膜等）の耐熱温度を超えないものとする。水分または水素の加熱処理による脱離の効果については、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ；昇温脱離ガス分析法）により確認できる。
【００６５】
加熱処理は、炉での熱処理またはラピッドサーマルアニール法（ＲＴＡ法）を用いる。ＲＴＡ法は、ランプ光源を用いる方法と、加熱されたガス中に基板を移動させて短時間の熱処理をおこなう方法がある。ＲＴＡ法を用いると熱処理に要する時間を０．１時間よりも短くすることもできる。
【００６６】
上述した加熱処理等により高純度化された酸化物半導体膜を活性層として用いたトランジスタは、非常に低いオフ電流を示す。具体的には、例えば、チャネル幅（Ｗ）が１×１０６μｍ（チャネル長（Ｌ）は１μｍ）の素子でソース電極とドレイン電極間の電圧が１Ｖのときのオフ電流を半導体パラメータアナライザの測定限界以下である１×１０−１３Ａ以下とすることができる。この場合、チャネル幅１μｍあたりのオフ電流は、１００ｚＡ／μｍ以下である。このように、高純度化された酸化物半導体膜を活性層として用いたトランジスタのオフ電流は結晶性を有するシリコンを用いたトランジスタのものに比べて著しく低い。
【発明の効果】
【００６７】
上記構成を有するトランジスタを、容量素子に蓄積された電荷を保持するための容量用スイッチング素子として用いることで、容量素子からの電荷のリークを長時間にわたって防ぐことができるため、電源電圧の印加がない場合でも、データを消失させずに保持することが可能となる。
【００６８】
そして、容量素子においてデータを保持している期間は、インバータへの電源電圧の供給をおこなわなくてもよいので、インバータに用いられているトランジスタのオフ電流に起因する無駄な消費電力を削減することができ、記憶装置、延いては記憶装置を用いた信号処理回路全体の、消費電力を低く抑えることが可能となる。
【００６９】
上記構成を有する記憶素子を、信号処理回路が有するレジスタやキャッシュメモリなどの記憶装置に用いることで、電源停止による記憶装置内のデータの消失を防ぎ、また、電源回復後のエラーを防止できる。よって、信号処理回路全体、あるいは信号処理回路を構成する一または複数の論理回路において、短い時間でも電源停止をおこなうことができるため、消費電力を抑えることができる信号処理回路、消費電力を抑えることができる当該信号処理回路の駆動方法を提供することができる。
【００７０】
なお、電源の停止と回復という操作は、論理回路のクロックに比較すると極めて遅い動きでもよい。すなわち、スイッチング時間は１００μ秒あれば十分であり、場合によっては、１ｍ秒あるいはそれ以上でもよい。なぜなら、各記憶素子のフリップフロップ回路に保持されていたデータを容量素子に移す過程あるいはその逆の過程は全ての記憶素子で同時におこなうことができるからである。そのような低速動作であれば、長チャネルかつ狭チャネルなトランジスタでも十分である。また、半導体の移動度も１ｃｍ２／Ｖｓ以上であればよい。
【００７１】
また、容量素子に関しても、容量が大きい方が、データを回復する際のエラーの発生が起こりにくい。一方で、容量が大きいと、容量素子と容量用スイッチング素子とで構成される回路の応答速度が低下する。しかしながら、上述のように、電源の停止と回復という操作は、論理回路のクロック等に比較すると極めて遅い動きでもよいので、容量が１ｐＦ以下であれば何ら妨げとなるものではない。
【００７２】
加えて、上記の構成により、容量素子からデータの回復をおこなう際に十分な大きさの電位変動が得られるため、データ回復時のエラーの確率が低下し、信号処理回路の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】記憶素子の回路の例。
【図２】従来の記憶素子の回路図。
【図３】記憶素子の回路の例。
【図４】記憶素子の動作の例。
【図５】記憶素子の動作の例。
【図６】記憶素子の回路の例。
【図７】記憶素子の構造を説明する上面図。
【図８】記憶素子の構造を説明する断面図。
【発明を実施するための形態】
【００７４】
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００７５】
また、本明細書において、接続、とは、一時的であっても、実効的な直流電流が、供給可能な状態になる構造であることをいう。従って、接続している状態とは、直接、接続している状態のみを必ずしも指すわけではなく、直流電流が、供給可能であるように、配線、抵抗などの回路素子を介して間接的に接続している状態もその範疇に含む。なお、実際に回路に直流電流が供給されるように設計されているかどうかは問わない。
【００７６】
一方、２つのノード間に、容量素子のみが設けられている場合には、容量素子を介しては、実効的な直流電流を供給することができないので、このノード間は接続されていない、という。ただし、２つのノード間にスイッチング素子が設けられている場合には、条件付ながら（すなわち、スイッチがオンであるときだけ）直流電流が供給可能となるので、接続する、という。
【００７７】
同様に２つのノード間にダイオードのみが設けられている場合も、いずれかのノードの電位が高ければ直流電流を供給できるので、接続する，という。この際には、回路設計上、電流が供給されないような電位が２つのノードに与えられている場合（この場合には、現実には２つのノードにダイオードを介して電流が流れることがない）であっても、本明細書では、接続している、という。
【００７８】
例えば、ノードＡがトランジスタのソースに接続し、ノードＢがドレインに接続する場合には、ノードＡとノードＢの間には、ゲートの電位によっては直流電流を流すことができるので、ノードＡとノードＢは接続している、という。
【００７９】
一方、ノードＡがトランジスタのソースに接続し、ノードＣがゲートに接続する場合には、トランジスタのソース、ドレイン、ゲートの電位の如何にかかわらず、ノードＡとノードＣの間に実効的な直流電流を流すことができないので、ノードＡとノードＣは接続していない、という。
【００８０】
また、実効的な直流電流とは、リーク電流等の意図しない電流を除いた電流という意味である。なお、実効的な電流の値は、その大きさ（絶対値）で定義されるものではなく、回路に応じて異なる。すなわち、ある回路では１ｐＡという小電流であっても実効的な電流となりえるし、他の回路では、それより大きな１μＡという電流であっても実効的な電流とみなされないこともある。
【００８１】
なお、言うまでもないことであるが、入力と出力を有する１つの回路（例えば、インバータ）において、入力と出力が回路内で接続している必要はない。インバータを例に取れば、入力と出力はインバータ内部で接続していない。
【００８２】
また、回路図上は独立している構成要素どうしが接続しているように図示されている場合であっても、実際には、例えば配線の一部が電極としても機能する場合など、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っているだけの場合もある。本明細書において接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
【００８３】
また、トランジスタが有するソース（あるいはソース電極）とドレイン（あるいはドレイン電極）は、トランジスタの極性および各電極に与えられる電位の高低によって、その呼び方が入れ替わる。一般的に、Ｎチャネル型トランジスタでは、低い電位が与えられる電極がソース（あるいはソース電極）と呼ばれ、高い電位が与えられる電極がドレイン（あるいはドレイン電極）と呼ばれる。また、Ｐチャネル型トランジスタでは、低い電位が与えられる電極がドレイン（あるいはドレイン電極）と呼ばれ、高い電位が与えられる電極がソース（あるいはソース電極）と呼ばれる。
【００８４】
本明細書では、便宜上、ソース（あるいはソース電極）とドレイン（あるいはドレイン電極）とが固定されているものと仮定して、トランジスタの接続関係を説明する場合があるが、実際には上記電位の関係に従ってソース（あるいはソース電極）とドレイン（あるいはドレイン電極）の呼び方が入れ替わることもある。
【００８５】
なお、本明細書において、トランジスタが直列に接続されている状態とは、第１のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方のみが、第２のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方のみに接続されている状態を意味する。また、トランジスタが並列に接続されている状態とは、第１のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方が、第２のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方に接続され、第１のトランジスタのソース電極とドレイン電極の他方が第２のトランジスタのソース電極とドレイン電極の他方に接続されている状態を意味する。
【００８６】
なお、マイクロプロセッサ、画像処理回路、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、マイクロコントローラを含むＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）などの集積回路が、本発明の信号処理回路の範疇に含まれるがこれらに限られない。
【００８７】
（実施の形態１）
本発明の一態様に係る記憶装置は、１ビットのデータを記憶することができる記憶素子を、単数または複数有する。図１（Ａ）に、本発明の記憶装置が有する記憶素子の、回路図の一例を示す。図１（Ａ）に示す記憶素子１００は、入力された信号の位相を反転させて出力する第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２と、スイッチング素子１０３と、スイッチング素子１０４と、容量素子１０５と、容量用スイッチング素子１０６とを、少なくとも有する。
【００８８】
記憶素子１００に入力されたデータを含む信号ＩＮは、スイッチング素子１０３を介して第１のインバータ１０１の入力端子に与えられる。第１のインバータ１０１の出力端子は、第２のインバータ１０２の入力端子に接続されている。第２のインバータ１０２の出力端子は、スイッチング素子１０４を介して、第１のインバータ１０１の入力端子に接続されている。
【００８９】
第１のインバータ１０１の出力端子または第２のインバータ１０２の入力端子の電位が、信号ＯＵＴとして後段の記憶素子、或いは他の回路に出力される。ここで、第１のインバータ１０１の入力端子のノードを第１のノードＮ１、第１のインバータ１０１の出力端子のノードを第２のノードＮ２とする。
【００９０】
なお、図１（Ａ）では、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２としてインバータを用いる例を示しているが、第１のインバータ１０１または第２のインバータ１０２として、インバータの他に、クロックドインバータを用いることもできる。
【００９１】
容量素子１０５は、記憶素子１００に入力された信号ＩＮのデータを必要に応じて記憶できるように、記憶素子１００の入力端子、すなわち信号ＩＮの電位が与えられる第１のノードＮ１に接続されている。容量素子１０５は、一対の電極間に誘電体を有するコンデンサであり、その一方の電極は第１のノードＮ１に接続され、他方の電極は容量用スイッチング素子１０６の一方の電極（容量用スイッチング素子１０６が１つのトランジスタである場合は、ソース電極かドレイン電極のいずれか）に接続される。容量素子１０５と容量用スイッチング素子１０６の接続するノードを第３のノードＮ３とする。
【００９２】
容量用スイッチング素子１０６の他方の電極は、第２のノードＮ２に接続されている。第１のノードＮ１と第２のノードＮ２は第１のインバータ１０１により位相が反転するため、それぞれの電位は逆の位相である。
【００９３】
また、容量用スイッチング素子１０６には、高純度化された酸化物半導体をチャネル形成領域に有するトランジスタを用いている。
【００９４】
なお、記憶素子１００は、必要に応じて、ダイオード、抵抗素子、インダクタ、容量素子などその他の回路素子を、さらに有していてもよい。
【００９５】
次いで、図１（Ａ）で示した記憶素子の、より具体的な回路図の一例を、図１（Ｂ）に示す。図１（Ｂ）に示す記憶素子１００は、第１のインバータ１０１と、第２のインバータ１０２と、スイッチング素子１０３と、スイッチング素子１０４と、容量素子１０５と、容量用スイッチング素子１０６とを有しており、これら回路素子の接続構成は図１（Ａ）と同じである。
【００９６】
そして、図１（Ｂ）において第１のインバータ１０１は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ１０７と、Ｎチャネル型トランジスタ１０８とが直列に接続された構成を有する。具体的には、Ｐチャネル型トランジスタ１０７のソース電極は電位ＶＤＤが与えられるノードに接続され、Ｎチャネル型トランジスタ１０８のソース電極は電位ＶＳＳが与えられるノードに接続される。
【００９７】
また、Ｐチャネル型トランジスタ１０７のドレイン電極と、Ｎチャネル型トランジスタ１０８のドレイン電極とが接続されており、上記２つのドレイン電極の電位は、第１のインバータ１０１の出力端子の電位とみなすことができる。また、Ｐチャネル型トランジスタ１０７のゲート電極、およびＮチャネル型トランジスタ１０８のゲート電極の電位は、第１のインバータ１０１の入力端子の電位とみなすことができる。
【００９８】
また、図１（Ｂ）において第２のインバータ１０２は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ１０９と、Ｎチャネル型トランジスタ１１０とが直列に接続された構成を有する。具体的には、Ｐチャネル型トランジスタ１０９のソース電極が、電位ＶＤＤが与えられるノードに接続され、Ｎチャネル型トランジスタ１１０のソース電極が、電位ＶＳＳが与えられるノードに接続される。
【００９９】
また、Ｐチャネル型トランジスタ１０９のドレイン電極と、Ｎチャネル型トランジスタ１１０のドレイン電極とが接続されており、上記２つのドレイン電極の電位は、第２のインバータ１０２の出力端子の電位とみなすことができる。また、Ｐチャネル型トランジスタ１０９のゲート電極、およびＮチャネル型トランジスタ１１０のゲート電極の電位は、第２のインバータ１０２の入力端子の電位とみなすことができる。
【０１００】
また、図１（Ｂ）では、スイッチング素子１０３として１つのトランジスタを用いている場合を例示しており、該トランジスタは、そのゲート電極に与えられる信号Ｓｉｇ１によりスイッチングが制御される。また、スイッチング素子１０４として１つのトランジスタを用いている場合を例示しており、該トランジスタは、そのゲート電極に与えられる信号Ｓｉｇ２によりスイッチングが制御される。
【０１０１】
なお、図１（Ｂ）では、スイッチング素子１０３と、スイッチング素子１０４が、それぞれトランジスタを一つだけ有する構成を示しているが、本発明はこの構成に限定されない。本発明の一態様では、スイッチング素子１０３またはスイッチング素子１０４が、トランジスタを複数有していてもよい。
【０１０２】
スイッチング素子１０３またはスイッチング素子１０４が、スイッチング素子として機能するトランジスタを複数有している場合、上記複数のトランジスタは並列に接続されていてもよいし、直列に接続されていてもよいし、直列と並列が組み合わされて接続されていてもよい。
【０１０３】
また、複数のトランジスタを並列に接続する場合、それらの極性を異なるものとしてもよい。例えば、Ｎチャネル型トランジスタとＰチャネル型トランジスタを並列に接続した、いわゆるトランスファーゲート構造としてもよい。
【０１０４】
また、図１（Ｂ）では、容量用スイッチング素子１０６として、酸化物半導体をチャネル形成領域に有するトランジスタを用いている。該トランジスタは、そのゲート電極に与えられる信号Ｓｉｇ３によりスイッチングが制御される。容量用スイッチング素子１０６に用いるトランジスタは、高純度化された酸化物半導体をチャネル形成領域に有し、また、そのチャネル長は、最小加工線幅の１０倍以上、好ましくは２０倍以上、より好ましくは５０倍以上、あるいは０．２μｍ以上、好ましくは０．４μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上とすると、そのオフ電流は、上述したとおり著しく低くできる。
【０１０５】
図１（Ｂ）では、容量用スイッチング素子１０６がトランジスタを一つだけ有する構成を示しているが、本発明はこの構成に限定されない。本発明の一態様では、容量用スイッチング素子１０６が、トランジスタを複数有していてもよい。容量用スイッチング素子１０６が、スイッチング素子として機能するトランジスタを複数有している場合、上記複数のトランジスタは並列に接続されていてもよいし、直列に接続されていてもよいし、直列と並列が組み合わされて接続されていてもよい。
【０１０６】
第１のインバータ１０１、第２のインバータ１０２、スイッチング素子１０３、またはスイッチング素子１０４に用いられるトランジスタは、酸化物半導体以外の、非晶質、微結晶、多結晶、または単結晶の、シリコン、またはゲルマニウム、砒化ガリウム、リン化ガリウム、リン化インジウムなどの半導体を用いることができる。また、これらのトランジスタは、薄膜の半導体膜を用いてもよいし、バルクの半導体基板を用いて形成してもよい。
【０１０７】
図７を用いて本実施の形態の記憶素子の回路配置例を説明する。図７（Ａ）には通常のレジスタに用いられる１つの記憶素子３００のレイアウトを示す。記憶素子３００の主要部分であるインバータ等は公知の半導体技術を用いて形成すればよい。すなわち、半導体基板上に素子分離のための絶縁物（素子分離領域）、ｎ型ウェル、ｐ型ウェル、ｎ型領域およびｐ型領域を形成し、その上にゲート層である第１層配線と、さらにその上に第２層配線を形成する。
【０１０８】
第１層配線の一部は、信号Ｓｉｇ１を供給するためのＳｉｇ１配線３０２であり、また、一部は信号Ｓｉｇ２を供給するためのＳｉｇ２配線３０３である。さらに、第２層配線の一部は電位ＶＤＤを供給するためのＶＤＤ配線３０１であり、また、一部は信号ＩＮを入力するためのＩＮ配線３０４である。図７（Ａ）には上方に接続するためのコンタクトホールの位置も示す。なお、単結晶半導体基板を用いた回路では、電位ＶＳＳは基板から供給するとよい。図７（Ａ）に示される回路配置は公知のものであるので、ここでは詳述しない。
【０１０９】
本発明の一態様の記憶素子は、図７（Ａ）に示される回路に容量素子と容量素子用スイッチング素子を付加するが、これらはいずれも、図７（Ａ）に示される回路の上層に形成することができる。
【０１１０】
まず、図７（Ａ）に示す回路の上に、図７（Ｂ）に示すように、第３層配線が設けられる。その一部はコンタクトホールを介して第２層配線の一部と接続し、ＯＵＴを出力するためのＯＵＴ配線３０５となる。また、第３層配線の一部はスイッチング素子である酸化物半導体を用いたトランジスタのゲート配線３０６および第１容量電極３０７となる。
【０１１１】
ゲート配線３０６は、その後形成する酸化物半導体領域３０８の８０％以上、好ましくは８５％以上、より好ましくは９０％以上と重なるように形成するとよい。ゲート配線３０６の一部は、図１の容量用スイッチング素子１０６のゲート電極となる。なお、ゲート配線３０６には信号Ｓｉｇ３が供給される。
【０１１２】
第１容量電極３０７は、コンタクトホールを介して第２層配線の一部（インバータのいずれかの入力あるいは出力）と接続する。また、第１容量電極３０７はその後、図１の容量素子１０５に相当する素子の電極の一部となる。
【０１１３】
第３層配線の上には、ゲート絶縁物（図７には図示せず）、酸化物半導体層（ＯＳ層）を形成する。ゲート絶縁物の一部をエッチングし、ＯＵＴ配線３０５の一部に達する開口部を設ける。
【０１１４】
また、図７（Ｃ）に示すようにＯＳ層の一部は、少なくとも１つの凹部を有し、例えば、Ｊ字型の形状の酸化物半導体領域３０８とすることが好ましい。酸化物半導体領域３０８はその他にも、Ｕ字型、Ｌ字型、Ｖ字型、あるいはＣ字型の形状としてもよい。また、２つ以上の凹部を有する形状（例えば、Ｍ字型、Ｎ字型、Ｓ字型、Ｗ字型、Ｚ字型その他）、あるいはその他の折り曲がった形状であってもよい。
【０１１５】
より一般的に定義すると、１つの記憶素子の典型的な長さを記憶素子の占有面積の平方根と定義するとき、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さが上記典型的な長さ以上、好ましくは典型的な長さの２倍以上、より好ましくは５倍以上であるとよい。あるいは、酸化物半導体領域３０８の外周の長さが典型的な長さの２倍以上、好ましくは４倍以上、より好ましくは１０倍以上であるとよい。あるいは、酸化物半導体領域３０８の面積をその周囲の長さで除した数値が典型的な長さの０．１倍以下であるとよい。
【０１１６】
このような形状とすることで、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さを記憶素子３００の長辺よりも長くできる。例えば、最小加工線幅を１Ｆとするとき、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さを１０Ｆ以上、好ましくは２０Ｆ以上、より好ましくは５０Ｆ以上とし、このような形状の酸化物半導体領域３０８を用いて形成されるトランジスタ（図１の容量用スイッチング素子１０６に相当する）のチャネル長は１０Ｆ以上、好ましくは２０Ｆ以上、より好ましくは５０Ｆ以上とできる。図７（Ｃ）の場合は、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さは約２４Ｆである。
【０１１７】
酸化物半導体層の上には、図７（Ｄ）に示すように第４層配線が設けられる。第４層配線の一部は、ソース電極３０９、第２容量電極３１０となる。ソース電極３０９は酸化物半導体領域３０８の一端および上述の開口部を介してＯＵＴ配線３０５と接する。
【０１１８】
なお、酸化物半導体領域３０８に接して窒化インジウム等の仕事関数の高い材料を設けてもよい。仕事関数の高い材料が接した部分では、酸化物半導体領域３０８が空乏化し、オフ電流を低減する効果が得られる。特に、酸化物半導体領域３０８を厚くする場合には効果が顕著である。詳細は特許文献３を参照するとよい。
【０１１９】
第２容量電極３１０は第１容量電極３０７の一部と重なって図１の容量素子１０５の一部となる。図７（Ｄ）の場合、容量素子の電極面積（２つの電極が重なっている部分の面積）は約１８Ｆ２である。また、第２容量電極３１０は酸化物半導体領域３０８の他端と接し、酸化物半導体領域で形成されるトランジスタのドレイン電極となる。
【０１２０】
図８には、図７の一点鎖線Ｘ−Ｙに沿った記憶素子３００の断面構造を模式的に示す。なお、ハッチングが図７と同じ場合には、図８においても同じものを指し示すものとする。
【０１２１】
図８（Ａ）は、図７（Ｂ）の段階での断面構造を示す。半導体基板表面に素子分離領域３１１、ｎ型領域、ｐ型領域が形成され、上層には、第１層配線、第２層配線で回路が形成される。ｎ型領域、ｐ型領域、第１層配線と第２層配線との間には、層間絶縁物３１２が設けられ、それらの間に電気的な接続が必要な場合にはコンタクトプラグ３１３が設けられる。さらに上層には、第３層配線によってゲート配線３０６と第１容量電極３０７が埋め込み絶縁物３１４に埋め込まれた状態で設けられる。
【０１２２】
図８（Ｂ）は、図７（Ｄ）の段階での断面構造を示す。図８（Ａ）で説明した構造物の上に、さらにゲート絶縁物３１５と酸化物半導体層（酸化物半導体領域３０８等）および第４層配線によってソース電極３０９と第２容量電極３１０を形成する。ここで、酸化物半導体層の厚さは１ｎｍ乃至３０ｎｍ、好ましくは１ｎｍ乃至１０ｎｍ、ゲート絶縁物３１５の厚さは２ｎｍ乃至３０ｎｍ、好ましくは５ｎｍ乃至２０ｎｍとするとよい。
【０１２３】
本実施の形態においては酸化物半導体層の品質が重視されるので、高純度化された酸化物半導体（膜）を用いるとよい。酸化物半導体（膜）の作製方法の詳細は特許文献４を参照すればよい。
【０１２４】
次いで、図１（Ａ）に示す記憶素子の動作の一例について説明する。なお、以下の説明以外の方法で記憶素子を動作させることもできる。
【０１２５】
まず、データの書き込み時に際しては、スイッチング素子１０３はオン、スイッチング素子１０４はオフ、容量用スイッチング素子１０６はオフとする。そして、第１のインバータ１０１と第２のインバータ１０２に電源電圧を与える。すなわち、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳを適切な電位とし、それらの間に十分に大きな電位差を生じさせる。
【０１２６】
この状態で記憶素子１００に与えられる信号ＩＮの電位は、スイッチング素子１０３を介して第１のインバータ１０１の入力端子に与えられるので、第１のインバータ１０１の出力端子は、信号ＩＮの電位の位相が反転した電位になる。そして、スイッチング素子１０４をオンにし、第１のインバータ１０１の入力端子と第２のインバータ１０２の出力端子とを接続することで、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２にデータが書き込まれる。
【０１２７】
入力されたデータは電位ＶＤＤと電位ＶＳＳをそれぞれ適切な値に保持することで保持される。ただし、この際には、先に説明したように、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２においてリーク電流が生じるため、一定の電力を消費する。
【０１２８】
なお、第１のインバータ１０１の出力端子の電位には、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２によって保持されているデータが反映されている。よって、上記電位を読み取ることで、データを記憶素子１００から読み出すことができる。
【０１２９】
データの保持の際の消費電力を削減するために、入力されたデータの保持を、容量素子１０５においておこなう場合には、まず、スイッチング素子１０３はオフ、スイッチング素子１０４はオン、容量用スイッチング素子１０６はオンとする。その結果、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２によって保持されているデータの値に見合った量の電荷が容量素子１０５に蓄積され、容量素子１０５へのデータの退避がおこなわれる。容量素子１０５にデータが記憶された後、容量用スイッチング素子１０６をオフにすることで、容量素子１０５に記憶されたデータは保持される。容量用スイッチング素子１０６をオフにした後は、電源電圧の印加を停止する。なお、容量素子１０５にデータが記憶された後は、スイッチング素子１０４をオフにしてもよい。
【０１３０】
以上の操作に伴う電位の変動を、図４を用いて説明する。ここでは、電位ＶＤＤは＋１Ｖおよび電位ＶＳＳは０Ｖとする。また、以下では、説明を簡単にするため、容量用スイッチング素子１０６のオフ状態やオン状態での容量は無視できるものとする。
【０１３１】
最初、図４（Ａ）に示されるように、第１のノードＮ１はデータに応じて、＋１Ｖあるいは０Ｖである。一方、第２のノードＮ２の電位は第１のノードＮ１とは位相の反転した状態で、０Ｖあるいは＋１Ｖである。また、容量用スイッチング素子１０６はオフであるため、第３のノードＮ３はフローティング状態である。
【０１３２】
次に、図４（Ｂ）に示されるように、容量用スイッチング素子１０６をオンとすると、第３のノードＮ３の電位は第２のノードＮ２の電位と等しくなり、０Ｖあるいは＋１Ｖとなる。このとき、第１のノードＮ１と第３のノードＮ３の電位により、容量素子１０５の電極間にはそれらに応じた電荷が蓄積される。すなわち、データが容量素子１０５に退避される。ここで、第１のノードＮ１と第３のノードＮ３との電位差の絶対値は１Ｖである。
【０１３３】
次に、図４（Ｃ）に示されるように、容量用スイッチング素子１０６をオフとする。第３のノードＮ３の電位は０Ｖあるいは＋１Ｖのままである。
【０１３４】
次に、図４（Ｄ）に示されるように、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳを０Ｖとすると、第１のノードＮ１の電位、第２のノードＮ２の電位もしばらくして０Ｖとなる。第３のノードＮ３と第１のノードＮ１の電位差は保存されるので、第３のノードＮ３の電位は、退避されたデータに応じて−１Ｖあるいは＋１Ｖである。退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、この段階で第３のノードＮ３の電位は−１Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、この段階で第３のノードＮ３の電位は＋１Ｖである。
【０１３５】
なお、図４（Ｄ）の段階における第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位は０Ｖに限られず、例えば、＋１Ｖとしてもよい。その場合には、退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は０Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は＋２Ｖである。＋２Ｖとした場合は、それぞれ＋１Ｖ、＋３Ｖとなる。
【０１３６】
容量用スイッチング素子１０６がＮチャネル型トランジスタで、しきい値がそれほど大きくない場合には、第３のノードＮ３の電位が負であると、第３のノードの電位を保持するために、容量用スイッチング素子１０６のゲートの電位もそれに応じて負とする必要がある。しかしながら、負電位を生成するためには一定の電力を消費するので、消費電力を低減する上では、好ましくない。
【０１３７】
そこで、上記のように、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位を十分な高い電位とすると、第３のノードＮ３の電位もそれに応じて高くなり、容量用スイッチング素子１０６のゲートの電位を負とすることなく、十分に第３のノードＮ３の電位を保持することができる。
【０１３８】
あるいは、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位を＋０．５Ｖのように、インバータが活性であるときの電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの中間の電位としてもよい。その場合には、退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は−０．５Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は＋１．５Ｖである。
【０１３９】
後述するデータの回復方法では、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位を＋０．５Ｖとしてから回復するので、このように設定することは都合がよい。ただし、第３のノードＮ３の電位が負となるので、長時間この状態を保つことは避けることが望ましい。
【０１４０】
上記のように、入力されたデータの保持を容量素子１０５においておこなう場合は、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２に電源電圧を印加する必要がないので、第１のインバータ１０１が有するＰチャネル型トランジスタ１０７およびＮチャネル型トランジスタ１０８、或いは、第２のインバータ１０２が有するＰチャネル型トランジスタ１０９およびＮチャネル型トランジスタ１１０を流れるオフ電流を限りなく０に近くすることができる。
【０１４１】
したがって、データの保持時における記憶素子のオフ電流に起因する消費電力を大幅に削減することができ、記憶装置、延いては記憶装置を用いた信号処理回路全体の、消費電力を低く抑えることが可能となる。
【０１４２】
また、容量用スイッチング素子１０６に用いられているトランジスタは、高純度化された酸化物半導体をチャネル形成領域に用いているので、そのオフ電流を、１００ｚＡ以下、好ましくは１０ｚＡ以下、より好ましくは１ｚＡ以下にすることができる。その結果、上記トランジスタを用いた容量用スイッチング素子１０６がオフである時、容量素子１０５に蓄積された電荷は殆ど放電しないため、データが保持される。
【０１４３】
なお、上記のように極めてオフ電流を小さくするためには容量用スイッチング素子１０６の電位を十分に低くすることが必要となることもあるが、そのために必要な電流は上記のオフ電流よりもはるかに小さいので、実質的には電力を消費しない。
【０１４４】
次に、容量素子１０５に記憶されているデータを回復する場合について、図５を用いて説明する。まず、スイッチング素子１０３をオフとする。また、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２も不活性な状態とする。例えば、電位ＶＤＤ、電位ＶＳＳを共に＋０．５Ｖとする。
【０１４５】
そして、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２も電位を＋０．５Ｖにする。このときスイッチング素子１０４はオンでもオフでもよい。第１のノードＮ１の電位が＋０．５Ｖであるので、第３のノードＮ３の電位は退避されたデータに応じて−０．５Ｖあるいは＋１．５Ｖのいずれかとなる。（図５（Ａ）参照）。
【０１４６】
次に、容量用スイッチング素子１０６をオンとすると、容量素子１０５から電荷が移動することにより第３のノードＮ３の電位および第１のノードＮ１の電位が変動する。例えば、当初、第３のノードＮ３の電位が−０．５Ｖであったのであれば、当初の第２のノードＮ２の電位（＋０．５Ｖ）よりも低いため、容量用スイッチング素子１０６をオンとすることにより、第３のノードＮ３の電位は上昇し、第２のノードＮ２の電位は下降する。一方、第３のノードＮ３の電位が上昇することを受けて、容量素子１０５の他方の電極（すなわち、第１のノードＮ１）の電位は上昇する。
【０１４７】
逆に、当初、第３のノードＮ３の電位が＋１．５Ｖであったのであれば、第３のノードＮ３の電位は下降するので、容量素子１０５の他方の電極の電位は下降する。
【０１４８】
電位の上昇や下降の程度は、容量素子１０５の容量と、第１のノードＮ１の容量１１１（寄生容量を含む）、第２のノードＮ２の容量１１２（寄生容量を含む）との比率で決定される。ここでは、容量１１１および容量１１２が、それぞれ容量素子１０５の容量の４倍とする。
【０１４９】
その場合、第１のノードＮ１の電位は＋０．６７Ｖか＋０．３３Ｖとなる。すなわち、退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、＋０．６７Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、＋０．３３Ｖとなる。また、第２のノードＮ２の電位は＋０．３３Ｖか＋０．６７Ｖとなる。（図５（Ｂ）参照）。
【０１５０】
このように、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差の絶対値は０．３３Ｖとなる。なお、図２に示される記憶素子では、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差の絶対値は０．１Ｖである。第２のノードＮ２にも、第１のノードＮ１と同様な容量用スイッチング素子と容量素子を設けると、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差の絶対値は０．２Ｖとなるが、それでも本実施の形態で得られる電位差より小さい。
【０１５１】
その後、電位ＶＤＤ、電位ＶＳＳをそれぞれ所定の値にすることで、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２に電源電圧を印加する。この過程では、スイッチング素子１０４をオンとすることが好ましい。この結果、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差が増幅される。
【０１５２】
すなわち、図５（Ｂ）で第１のノードＮ１の電位が＋０．６７Ｖ、第２のノードＮ２の電位が＋０．３３Ｖであれば、この過程で第１のノードＮ１の電位は＋１Ｖとなり、第２のノードＮ２の電位は０Ｖとなる。また、図５（Ｂ）で第１のノードＮ１の電位が＋０．３３Ｖ、第２のノードＮ２の電位が＋０．６７Ｖであれば、この過程で第１のノードＮ１の電位は０Ｖとなり、第２のノードＮ２の電位は＋１Ｖとなる。すなわち、データを書き込んだときの状態が回復される（図５（Ｃ）参照）。
【０１５３】
上記のように、電位差を増幅する前の第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差が大きいため、データ回復時のエラーを防止することができ、また、データ回復操作をより高速でおこなえる。なお、容量素子１０５の容量が、寄生容量を含む容量１１１と同程度あるいはそれ以上であれば、より確実にデータを回復できる。
【０１５４】
例えば、容量素子１０５の容量が、寄生容量を含む容量１１１の容量、および寄生容量を含む容量１１２の容量と同じであれば、図５（Ｂ）の段階で、第１のノードＮ１の電位は＋０．８３Ｖあるいは＋０．１７Ｖとなる。第２のノードＮ２の電位は、第１のノードＮ１の電位とは逆に、それぞれ、＋０．１７Ｖあるいは＋０．８３Ｖとなり、いずれにせよ、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差は０．６６Ｖとなる。
【０１５５】
そのため、例えば、スイッチング素子１０４をオフとしたまま第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２に電源電圧を印加して、活性化することで、誤動作を起こすことなく、信号を増幅し、データを回復することもできる。
【０１５６】
上記の例では、データ回復操作の前に、電位ＶＤＤ、電位ＶＳＳ、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位をともに＋０．５Ｖとしたが、これに限定されるものではなく、インバータが活性であるときの電位範囲内であればよい。上記の例では、インバータが活性であるときの電位は０Ｖ以上＋１Ｖ以下であるので、これらの電位を０Ｖ以上＋１Ｖ以下、好ましくは、０．２Ｖ以上０．８Ｖ以下の電位とすればよい。
【０１５７】
本実施の形態では、容量用スイッチング素子１０６として、酸化物半導体を用いたトランジスタを例示したが、これに限られず、容量素子１０５の容量やデータを保持する時間によっては、シリコンやその他の半導体を用いてもよい。
【０１５８】
（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の記憶装置が有する記憶素子の別の例について説明する。図１に示される記憶素子１００は、容量素子１０５の一方の電極が第１のノードＮ１に接続しているが、その他の部分に接続していてもよい。
【０１５９】
例えば、図３（Ａ）に示す記憶素子１００ａのように、容量素子１０５の一方の電極が第２のノードＮ２に接続していてもよいし、図３（Ｂ）に示す記憶素子１００ｂのように、容量素子１０５の一方の電極がスイッチング素子１０４と第２のインバータ１０２の間に接続していてもよい。
【０１６０】
すなわち、容量素子１０５の一方の電極は第１のインバータ１０１と第２のインバータ１０２の入力あるいは出力のいずれかと接続していればよい。
【０１６１】
また、容量用スイッチング素子１０６の一方の電極は、容量素子１０５の他方の電極と接続する。容量用スイッチング素子１０６の他方の電極は、容量素子１０５の一方の電極とは逆の位相の電位となるノードに接続する。そのような構造におけるデータの退避や回復も実施の形態１で説明した方法と同様におこなえばよい。
【０１６２】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の記憶装置が有する記憶素子の、別の一例について説明する。図６に、本実施の形態の記憶素子の回路図を、一例として示す。図６に示す記憶素子はＳＲＡＭに用いられる。
【０１６３】
図６に示す記憶素子１２０は、入力された信号の位相を反転させて出力する第１のインバータ１２１および第２のインバータ１２２と、スイッチング素子１２３と、スイッチング素子１２４と、容量素子１２５と、容量用スイッチング素子１２６とを有する。
【０１６４】
ここで、第１のインバータ１２１および第２のインバータ１２２は、それぞれ、Ｐチャネル型トランジスタ１２７とＮチャネル型トランジスタ１２８、Ｐチャネル型トランジスタ１２９とＮチャネル型トランジスタ１３０を有するインバータである。Ｐチャネル型トランジスタ１２７のソースとＰチャネル型トランジスタ１２９のソースは電位ＶＤＤが与えられるノードに、Ｎチャネル型トランジスタ１２８のソースとＮチャネル型トランジスタ１３０のソースを電位ＶＳＳが与えられるノードに接続する。
【０１６５】
また、Ｐチャネル型トランジスタ１２７とＮチャネル型トランジスタ１２８のドレインはスイッチング素子１２３のソースに、Ｐチャネル型トランジスタ１２９とＮチャネル型トランジスタ１３０のドレインはスイッチング素子１２４のソースに接続される。
【０１６６】
スイッチング素子１２３のドレインは入出力端子ＤＡＴＡ＋に、スイッチング素子１２４のドレインは入出力端子ＤＡＴＡ−に接続される。データの書き込みの際には、入出力端子ＤＡＴＡ＋と入出力端子ＤＡＴＡ−に互いに逆の位相の電位を与える。また、データの読み出しの際には入出力端子ＤＡＴＡ＋と入出力端子ＤＡＴＡ−に互いに逆の位相の電位が現れる。
【０１６７】
スイッチング素子１２３のゲートとスイッチング素子１２４のゲートは共に信号Ｓｉｇ４により制御され、スイッチング素子１２３とスイッチング素子１２４は同時にオンオフする。
【０１６８】
以上の説明は、通常のＳＲＡＭの記憶素子と同じである。本実施の形態では、さらに、容量素子１２５と容量用スイッチング素子１２６を直列に接続し、その一端を第１のインバータ１２１の出力に、他端を第２のインバータ１２２の出力に接続する。容量用スイッチング素子１２６のゲートは信号Ｓｉｇ５により制御される。
【０１６９】
電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの間に適切な電位差がある状態では、データは第１のインバータ１２１と第２のインバータ１２２で形成されるフリップフロップ回路で保持される。
【０１７０】
電力を削減するために電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの間の電位差を０とするには、その前に記憶素子１２０に保持されているデータを容量素子１２５と容量用スイッチング素子１２６で形成される回路に移す。
【０１７１】
そのためには、スイッチング素子１２３とスイッチング素子１２４とをオフとした状態で、容量用スイッチング素子１２６をオンとする。その結果、容量素子１２５には第１のインバータ１２１の出力の電位と第２のインバータ１２２の出力の電位とに応じた電荷が蓄積される。その後、容量用スイッチング素子１２６をオフとし、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの電位差を０とする。
【０１７２】
容量素子１２５に保持されているデータを第１のインバータ１２１と第２のインバータ１２２で形成されるフリップフロップ回路に移すには、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの電位を等しい状態とし、その後、容量用スイッチング素子１２６をオンとする。その結果、第１のインバータ１２１の入力の電位と第２のインバータ１２２の入力の電位に差が生じる。
【０１７３】
ほぼ同時に、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの電位差を拡大し、所定の電位とする。その結果、第１のインバータ１２１の入力の電位と第２のインバータ１２２の入力の電位の差が増幅され、第１のインバータ１２１と第２のインバータ１２２で形成されるフリップフロップ回路に容量素子１２５に保持されているデータが移される。
【０１７４】
本実施の形態で開示された事項は、他の実施の形態で開示された事項と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【符号の説明】
【０１７５】
１００ 記憶素子
１００ａ 記憶素子
１００ｂ 記憶素子
１０１ 第１のインバータ
１０２ 第２のインバータ
１０３ スイッチング素子
１０４ スイッチング素子
１０５ 容量素子
１０６ 容量用スイッチング素子
１０７ Ｐチャネル型トランジスタ
１０８ Ｎチャネル型トランジスタ
１０９ Ｐチャネル型トランジスタ
１１０ Ｎチャネル型トランジスタ
１１１ 容量
１１２ 容量
１２０ 記憶素子
１２１ 第１のインバータ
１２２ 第２のインバータ
１２３ スイッチング素子
１２４ スイッチング素子
１２５ 容量素子
１２６ 容量用スイッチング素子
１２７ Ｐチャネル型トランジスタ
１２８ Ｎチャネル型トランジスタ
１２９ Ｐチャネル型トランジスタ
１３０ Ｎチャネル型トランジスタ
２００ 記憶素子
２０１ インバータ
２０２ インバータ
２０３ スイッチング素子
２０４ スイッチング素子
２０５ 容量素子
２０６ 容量用スイッチング素子
２０７ Ｐチャネル型トランジスタ
２０８ Ｎチャネル型トランジスタ
２０９ Ｐチャネル型トランジスタ
２１０ Ｎチャネル型トランジスタ
３００ 記憶素子
３０１ ＶＤＤ配線
３０２ Ｓｉｇ１配線
３０３ Ｓｉｇ２配線
３０４ ＩＮ配線
３０５ ＯＵＴ配線
３０６ ゲート配線
３０７ 第１容量電極
３０８ 酸化物半導体領域
３０９ ソース電極
３１０ 第２容量電極
３１１ 素子分離領域
３１２ 層間絶縁物
３１３ コンタクトプラグ
３１４ 埋め込み絶縁物
３１５ ゲート絶縁物
Ｎ１ 第１のノード
Ｎ２ 第２のノード
Ｎ３ 第３のノード
ＩＮ 信号
ＯＵＴ 信号
Ｓｉｇ１ 信号
Ｓｉｇ２ 信号
Ｓｉｇ３ 信号
Ｓｉｇ４ 信号
Ｓｉｇ５ 信号
ＶＤＤ 電位
ＶＳＳ 電位
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置を用いた記憶素子および信号処理回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アモルファスシリコンやポリシリコン、微結晶シリコン等を用いたトランジスタは液晶ディスプレイ等の表示装置に使用されてきたが、これを半導体集積回路に利用する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
近年、酸化物半導体と呼ばれる、半導体特性を示す金属酸化物に注目が集まっている。金属酸化物は様々な用途に用いられており、例えば、よく知られた金属酸化物である酸化インジウムは、液晶表示装置などで透明電極材料として用いられている。半導体特性を示す金属酸化物としては、例えば、酸化タングステン、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛などがあり、このような半導体特性を示す金属酸化物をチャネル形成領域に用いるトランジスタが、既に知られている（特許文献２および特許文献３参照）。
【０００４】
また、酸化物半導体を用いたトランジスタでオフ状態のリーク電流（オフ電流）が極めて小さいことを利用して、フリップフロップ回路に記憶されたデータを酸化物半導体を用いたトランジスタと容量素子とで構成された記憶素子に退避させることによりフリップフロップ回路の電源を遮断し、消費電力を節減する技術が開示されている（特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第７７７２０５３号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００７／００７２４３９号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２０１１／０１９３０７８号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２０１１／０１８７４１０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
中央演算処理装置（ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などの信号処理回路は、その用途によって多種多様な構成を有しているが、一般的に、データやプログラムを記憶するためのメインメモリの他に、レジスタ、キャッシュメモリなど、各種の半導体記憶装置（以下、単に記憶装置とする）が設けられている。レジスタは、演算処理やプログラムの実行状態の保持などのために一時的にデータを保持する役割を担っている。また、キャッシュメモリは、演算装置とメインメモリの間に介在しメインメモリへのアクセスを減らして演算処理を高速化させることを目的として、ＣＰＵに設けられている。
【０００７】
レジスタやキャッシュメモリなどの記憶装置は、メインメモリよりも高速でデータの書き込みをおこなう必要がある。よって、いずれもインバータやその組み合わせであるフリップフロップ回路を有する記憶素子が用いられる。
【０００８】
図２（Ａ）に、特許文献４に記載の記憶素子の一つを例示する。図２（Ａ）に示す記憶素子２００は、インバータ２０１、インバータ２０２、スイッチング素子２０３、スイッチング素子２０４を有する。
【０００９】
インバータ２０１の入力端子への信号ＩＮの入力は、スイッチング素子２０３により制御されている。インバータ２０１の出力端子の電位は、信号ＯＵＴとして、後段の回路に与えられる。また、インバータ２０１の出力端子はインバータ２０２の入力端子に接続されており、インバータ２０２の出力端子は、スイッチング素子２０４を介してインバータ２０１の入力端子に接続されている。
【００１０】
スイッチング素子２０３を介して入力された信号ＩＮの電位は、スイッチング素子２０３がオフ、スイッチング素子２０４がオンになることで、記憶素子２００内に保持される。
【００１１】
図２（Ａ）に示した記憶素子２００の、より具体的な回路構成を、図２（Ｂ）に示す。図２（Ｂ）に示す記憶素子２００は、インバータ２０１、インバータ２０２、スイッチング素子２０３、スイッチング素子２０４を有しており、これら回路素子の接続構成は図２（Ａ）と同じである。
【００１２】
インバータ２０１は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ２０７と、Ｎチャネル型トランジスタ２０８とを有している。そして、電位ＶＤＤが与えられているノードと、電位ＶＳＳが与えられているノード間において、Ｐチャネル型トランジスタ２０７と、Ｎチャネル型トランジスタ２０８とは、直列に接続されている。
【００１３】
また、同様に、インバータ２０２は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ２０９と、Ｎチャネル型トランジスタ２１０とを有している。そして、電位ＶＤＤが与えられているノードと、電位ＶＳＳが与えられているノード間において、Ｐチャネル型トランジスタ２０９と、Ｎチャネル型トランジスタ２１０とは、直列に接続されている。
【００１４】
図２（Ｂ）に示すインバータ２０１は、Ｐチャネル型トランジスタ２０７のゲート電極と、Ｎチャネル型トランジスタ２０８のゲート電極に与えられる電位の高さに従って、一方がオフ、他方がオンとなるように動作する。よって、電位ＶＤＤが与えられているノードと、電位ＶＳＳが与えられているノードとの間の電流は、理想的には０になるはずである。
【００１５】
しかし、実際には、オフであってもソースとドレイン間あるいはゲートとソース間、ゲートとドレイン間に僅かな電流（オフ電流）が流れているため、上記ノード間の電流は、完全に０にはならない。インバータ２０２についても同様の現象が生じるため、記憶素子２００には、データの書き込みがおこなわれていない状態でも、消費電力が発生する。
【００１６】
例えば、バルクのシリコンを用いて作製されたインバータ（トランジスタのチャネル長１６０ｎｍ）の場合、室温下、ノード間の電圧が約１Ｖの状態にて、０．１ｐＡ程度のオフ電流が生じる。図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示す記憶素子には、インバータ２０１とインバータ２０２の、２つのインバータが設けられているので、０．２ｐＡ程度のオフ電流が生じる。そして、記憶素子数が約１０７個程度であるレジスタの場合、オフ電流はレジスタ全体で２μＡとなる。
【００１７】
さらに、微細化の進展と共に、ゲート絶縁物も薄膜化しているため、ゲート電流も無視できない大きさとなっている。これらも加わって、レジスタの消費電力はＩＣチップの縮小化とともに増大している。そして、電力の消費による発熱がＩＣチップの温度の上昇を招き、さらに消費電力が増加するという悪循環に陥りつつある。
【００１８】
また、ＳＲＡＭも上記レジスタと同様に、インバータを用いた構成を有しており、トランジスタのオフ電流により電力が消費される。よって、ＳＲＡＭを用いたキャッシュメモリもレジスタの場合と同様に、データの書き込みがおこなわれていない状態でも、電力を消費する。
【００１９】
そこで、消費電力を抑えるため、データの入出力がおこなわれない期間において、記憶装置への電源電位の供給を一時的に停止するという一つの方法が提案されている。上記の構造のレジスタ、キャッシュメモリは、電源電位の供給が途絶えるとデータを消失してしまうため、上記記憶装置の周辺に不揮発性の記憶装置を配置し、上記データをその不揮発性の記憶装置へ一時的に移している。しかし、これらの不揮発性の記憶装置は、主に磁気素子や強誘電体が用いられているため、作製工程が複雑である。
【００２０】
また、ＣＰＵにおいて長時間の電源停止をおこなう際には、電源停止の前に、記憶装置内のデータをハードディスク、フラッシュメモリ等の外部記憶装置に移すことで、データの消失を防ぐこともできる。しかし、それらの外部記憶装置からデータをレジスタ、キャッシュメモリ、メインメモリに戻すのには時間を要する。よって、ハードディスク、フラッシュメモリ等の外部記憶装置によるデータのバックアップは、消費電力の低減を目的とした短時間（例えば、１００μ秒乃至１分）の電源停止には適さない。
【００２１】
そこで、特許文献４では、容量素子２０５と容量用スイッチング素子２０６とを設け、容量用スイッチング素子２０６をオンとすることでフリップフロップ回路に記憶されているデータをデータに応じた電荷として、容量素子２０５に移すこと、容量用スイッチング素子２０６をオフとした後、フリップフロップ回路の電源を停止すること、および、電源を復帰した後に、容量用スイッチング素子２０６をオンとすることで、容量素子２０５に蓄積されていた電荷をフリップフロップ回路の第１のノードＮ１に供給し、データを回復することが提案されている。
【００２２】
容量用スイッチング素子２０６のチャネル形成領域に酸化物半導体を用いると、オフ電流をバルクシリコンを用いた場合の１００万分の１未満に低減できるので、容量素子２０５に蓄積された電荷を十分な期間保持できる。
【００２３】
ところで、近年は回路の微細化と共にトランジスタのしきい値のばらつきが大きくなることも問題となっている。特に、フリップフロップ回路を構成するトランジスタのしきい値のばらつきが大きくなると、フリップフロップ回路が状態を安定して保持できる電圧範囲のばらつきが大きくなり、複数のフリップフロップ回路を集積した場合における安定動作電圧域が狭まる。
【００２４】
図２に示される記憶素子において、安定動作電圧域が十分に大きくない場合には、データを回復する際には、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の間の電位差の絶対値を十分に大きくすることが好ましい。第１のノードＮ１の電位と第２のノードＮ２の電位がともに安定動作電圧域に入らない場合には、データの回復に失敗することがあるからである。
【００２５】
上述の課題に鑑み、本発明は、安定してデータを回復できる回路構成を有する記憶素子やそれを用いた信号処理回路の提供を目的の一つとする。特に、短時間の電源停止により消費電力を抑えることができる記憶素子やそれを用いた信号処理回路の提供を目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
２つ以上のインバータ（クロックドインバータを含む）を用いた記憶素子において、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積および放出を制御する容量用スイッチング素子とを設ける。容量素子の一方の電極はインバータのいずれかのノード（第１のノード）に接続し、他方の電極は容量用スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれかに接続する。また、容量用スイッチング素子のドレインあるいはソースは、記憶素子内の第１のノードとは逆の位相を呈するノード（第２のノード）に接続する。
【００２７】
上記記憶素子をレジスタ、キャッシュメモリなどを有する信号処理回路に用いる。その際、酸化物半導体をチャネル形成領域に用いることでオフ電流が著しく小さいトランジスタを作製できる。上記容量用スイッチング素子として、このようなオフ電流が著しく小さいトランジスタを用いて記憶素子や信号処理回路を形成すると消費電力を減らすことができるとともに、データの回復の際のエラーを低減できる。
【００２８】
上記容量用スイッチング素子のチャネル形成領域に酸化物半導体を用いる場合、チャネル長を最小加工線幅の１０倍以上、好ましくは２０倍以上、より好ましくは５０倍以上とするとよい。あるいはチャネル長を０．２μｍ以上、好ましくは０．４μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上とするとよい。その際、ゲート絶縁物の実効的な厚さ（ゲート絶縁物の物理的な厚さ×酸化物半導体の誘電率／ゲート絶縁物の誘電率）がチャネル長の１０％以下であることが好ましい。
【００２９】
なお、容量用スイッチング素子に使用する半導体は酸化物半導体に限定されず、容量素子での電荷の保持が目的とする時間、おこなえるのであれば、シリコンやその他の材料であってもよい。例えば、容量素子にデータを保持する時間（容量１ｆＦの容量素子を１Ｖに充電して、０．９Ｖまで低下する時間）が１秒であればよいのであれば、オフ電流は０．１ｆＡ以下であればよい。
【００３０】
シリコンを用いたトランジスタであっても、極めて薄いシリコン膜を用いたトランジスタでは、それ以下のオフ電流のものも報告されているので、それを用いることもできる（特許文献１参照）。また、チャネル長がチャネル幅より十分に大きいトランジスタでもオフ電流を低減できる。
【００３１】
一方、容量素子にデータを保持する時間が１０年であるのであれば、オフ電流は０．１ｚＡ以下であることが求められるので酸化物半導体を用いることが好ましい。同様に、データを保持する温度が１００℃以上の場合にも酸化物半導体を用いることが好ましい。
【００３２】
容量用スイッチング素子は、インバータの上方に重ねて形成されることが好ましく、容量用スイッチング素子に用いられる酸化物半導体層は、曲がりくねった形状あるいは少なくとも１つの凹部を有する形状とすることで、限られた面積においても上記のチャネル長を実現できる。
【００３３】
例えば、上記のレジスタあるいはＳＲＡＭ等の記憶素子は２つ以上のインバータが組み合わされた回路（フリップフロップ回路等）を有するが、その回路の占有する面積は５０Ｆ２（Ｆは最小加工線幅）以上であり、通常は１００Ｆ２乃至１５０Ｆ２である。例えば、２つのインバータが組み合わされた回路の占有する面積を５０Ｆ２とし、その半分の面積（２５Ｆ２）に酸化物半導体を用いた容量用スイッチング素子を設ける場合、チャネル幅をＦとすると、チャネル長は２５Ｆとできる。Ｆを４０ｎｍとすると、チャネル長は１μｍとなる。
【００３４】
また、容量素子もインバータの上方に重ねて形成されることが好ましく、容量用スイッチング素子と同じ層に形成されてもよいし、異なる層に形成してもよい。同じ層に形成すると容量用スイッチング素子のための領域と容量素子のための領域を設ける必要があるが、作製工程を簡略化できる。一方、異なる層に設けると、作製工程は余分に必要であるが、集積度を上げることや、容量素子の誘電体を容量用スイッチング素子のゲート絶縁物と異なるものとすることにより、より容量を高めることも可能である。
【００３５】
スイッチング素子のオン抵抗と容量素子の容量は、必要とするスイッチング動作の速さに応じて決定すればよい。電源の停止と回復という目的であればスイッチングに要する時間は、１００μ秒以上でもよい。また、スイッチング素子のオフ抵抗と容量素子の容量は、必要とするスイッチング動作の間隔に応じて決定すればよい。
【００３６】
さらに、信号処理回路は、上記記憶装置に加え、記憶装置とデータのやり取りをおこなう演算回路などの各種論理回路を有する。そして、記憶装置へ電源電圧の供給を停止すると共に、当該記憶装置とデータのやり取りをおこなう演算回路への、電源電圧の供給を停止するようにしてもよい。
【００３７】
例えば、本発明の一態様の記憶素子は、一対のインバータと、容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積および放出を制御する容量用スイッチング素子とを少なくとも有する。記憶素子に入力されたデータを含む信号は、第１のインバータの入力端子に与えられる。第１のインバータの出力端子は、第２のインバータの入力端子に接続されている。第２のインバータの出力端子は、第１のインバータの入力端子に接続されている。第１のインバータの出力端子または第２のインバータの入力端子の電位が、信号として後段の記憶素子、或いは他の回路に出力される。
【００３８】
上記インバータは、ゲート電極が互いに接続された少なくとも１つのＰチャネル型トランジスタと、少なくとも１つのＮチャネル型トランジスタとが直列に接続された構成を有する。
【００３９】
そして、容量素子の一方の電極は、記憶素子に入力された信号のデータを必要に応じて記憶できるように、いずれか１つのインバータの入力端子に接続され、他方の電極は上記容量用スイッチング素子に接続している。また、上記容量用スイッチング素子の他方の電極は、上記インバータの出力端子に接続している。
【００４０】
第１のインバータおよび第２のインバータに電源電圧が与えられている状態において、第１のインバータの入力端子にデータを含む信号が入力されると、第１のインバータおよび第２のインバータによって、そのデータが保持される。
【００４１】
第１のインバータおよび第２のインバータへの電源電圧の印加を停止する場合、電源電圧の印加を停止する前に、上記容量用スイッチング素子をオンにして、信号のデータを容量素子に記憶させる。上記構成により、第１のインバータおよび第２のインバータへの電源電圧の印加を停止しても、記憶素子にデータを保持させることが可能である。
【００４２】
上記容量用スイッチング素子に用いられるトランジスタのチャネル形成領域は、高純度化された酸化物半導体を含んでおり、また、チャネル長が十分に長い場合には、オフ電流が著しく低いという特性を有している。
【００４３】
なお、インバータに用いられるトランジスタには、酸化物半導体以外の、非晶質、微結晶、多結晶、または単結晶の、シリコン、またはゲルマニウムなどの半導体を用いることができる。また、上記トランジスタには、薄膜の半導体を用いてもよいし、バルクの半導体を用いてもよい。
【００４４】
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウム（Ｉｎ）あるいは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。特にＩｎとＺｎを含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウム（Ｇａ）を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてスズ（Ｓｎ）を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてハフニウム（Ｈｆ）を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてアルミニウム（Ａｌ）を有することが好ましい。
【００４５】
また、他のスタビライザーとして、ランタノイドである、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、プラセオジム（Ｐｒ）、ネオジム（Ｎｄ）、サマリウム（Ｓｍ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、ガドリニウム（Ｇｄ）、テルビウム（Ｔｂ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ）、エルビウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、イッテルビウム（Ｙｂ）、ルテチウム（Ｌｕ）のいずれか一種あるいは複数種を有してもよい。
【００４６】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｓｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｇａ系酸化物、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物（ＩＧＺＯとも表記する）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｃｅ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｐｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｎｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｕ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｇｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｄｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｏ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌｕ−Ｚｎ系酸化物、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物を用いることができる。
【００４７】
なお、ここで、例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物とは、ＩｎとＧａとＺｎを主成分として有する酸化物という意味であり、ＩｎとＧａとＺｎの比率は問わない。また、ＩｎとＧａとＺｎ以外の金属元素が入っていてもよい。また、上記酸化物半導体は、シリコンを含んでいてもよい。
【００４８】
或いは、酸化物半導体は、化学式ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０）で表記することもできる。ここで、Ｍは、Ｓｎ、Ｇａ、Ａｌ、ＨｆおよびＣｏから選ばれた一又は複数の金属元素を示す。
【００４９】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１（＝１／３：１／３：１／３）あるいはＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：２：１（＝２／５：２／５：１／５）の原子比のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いることができる。あるいは、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝１：１：１（＝１／３：１／３：１／３）、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：３（＝１／３：１／６：１／２）あるいはＩｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：５（＝１／４：１／８：５／８）の原子比のＩｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
【００５０】
しかし、これらに限られず、必要とする半導体特性（移動度、しきい値、ばらつき等）に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とする半導体特性を得るために、キャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
【００５１】
例えば、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物では比較的容易に高い移動度が得られる。しかしながら、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物でも、バルク内欠陥密度を低減することにより移動度を上げることができる。
【００５２】
なお、本明細書では、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎの原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝ａ：ｂ：ｃ（ａ＋ｂ＋ｃ＝１）である酸化物の組成が、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝Ａ：Ｂ：Ｃ（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＝１）の酸化物の組成の近傍であるとは、ａ、ｂ、ｃが、（ａ―Ａ）２＋（ｂ―Ｂ）２＋（ｃ―Ｃ）２≦０．００２５を満たすことをいう。他の酸化物でも同様である。
【００５３】
酸化物半導体は単結晶でも、非単結晶でもよい。後者の場合、アモルファスでも、多結晶でもよい。また、アモルファス中に結晶性を有する部分を含む構造でも、非アモルファスでもよい。
【００５４】
なお、アモルファス状態の酸化物半導体は、比較的容易に平坦な表面を得ることができるため、これを用いてトランジスタを作製した際の界面散乱を低減でき、比較的容易に、比較的高い移動度を得ることができる。
【００５５】
結晶性を有する酸化物半導体では、よりバルク内欠陥を低減することができるので、さらに表面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体以上の移動度を得ることができる。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を形成することが好ましく、具体的には、平均面粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以下、好ましくは０．３ｎｍ以下、より好ましくは０．１ｎｍ以下の表面上に形成するとよい。
【００５６】
酸化物半導体は比較的高い移動度（１ｃｍ２／Ｖｓ以上、好ましくは１０ｃｍ２／Ｖｓ以上）の半導体特性を示す金属酸化物である。そして、電子供与体（ドナー）となる水分または水素などの不純物および酸素欠損が低減されて高純度化された酸化物半導体は、Ｉ型（真性半導体、本明細書では、キャリア濃度が１×１０１２／ｃｍ３以下の半導体をＩ型という）又はＩ型に限りなく近い（実質的にＩ型）半導体である。
【００５７】
水素濃度に関して、具体的には、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により測定した酸化物半導体に含まれる水素濃度の値が、５×１０１９／ｃｍ３以下、好ましくは５×１０１８／ｃｍ３以下、より好ましくは５×１０１７／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１６／ｃｍ３以下となるように、酸化物半導体に含まれる水素を除去するとよい。また、酸素欠損の量も可能な限り低減するとよい。このように真性半導体とする上で好ましくないものを除去することを高純度化という。
【００５８】
上記構成により、ホール効果測定により測定できる酸化物半導体膜のキャリア密度を、１×１０１４ｃｍ−３未満、好ましくは１×１０１２ｃｍ−３未満、さらに好ましくは１×１０１１ｃｍ−３未満とすることができる。即ち、酸化物半導体膜のキャリア密度を、限りなくゼロに近づけることができる。また、酸化物半導体膜のバンドギャップは２ｅＶ以上４ｅＶ以下、好ましくは２．５ｅＶ以上４ｅＶ以下、より好ましくは３ｅＶ以上４ｅＶ以下であるとよい。高純度化された酸化物半導体膜を用いることにより、トランジスタのオフ電流を下げることができる。
【００５９】
ここで、酸化物半導体膜中および導電膜中の、水素濃度の分析について触れておく。酸化物半導体膜中および導電膜中の水素濃度測定は、ＳＩＭＳでおこなう。ＳＩＭＳは、その原理上、試料表面近傍や、材質が異なる膜との積層界面近傍のデータを正確に得ることが困難であることが知られている。
【００６０】
そこで、膜中における水素濃度の厚さ方向の分布をＳＩＭＳで分析する場合、対象となる膜が存在する範囲において、値に極端な変動が無く、ほぼ一定の値が得られる領域における平均値を、水素濃度として採用する。
【００６１】
また、測定の対象となる膜の厚さが小さい場合、隣接する膜内の水素濃度の影響を受けて、ほぼ一定の値が得られる領域を見いだせない場合がある。この場合、当該膜が存在する領域における、水素濃度の極大値または極小値を、当該膜中の水素濃度として採用する。さらに、当該膜の存在する領域において、極大値を示す山型のピーク、極小値を示す谷型のピークが存在しない場合、変曲点の値を水素濃度として採用する。
【００６２】
なお、スパッタ等で成膜された酸化物半導体膜中には、不純物である水分または水素が多量に含まれていることが判明している。水分または水素はドナー準位を形成しやすいため、酸化物半導体にとっては不純物である。
【００６３】
そこで、本発明の一態様では、酸化物半導体膜中の水分または水素などの不純物を低減するために、酸化物半導体膜に対して、減圧雰囲気下、窒素や希ガスなどの不活性ガス雰囲気下、酸素ガス雰囲気下、又は超乾燥エア（ＣＲＤＳ（キャビティリングダウンレーザー分光法）方式の露点計を用いて測定した場合の水分量が２０ｐｐｍ（露点換算で−５５℃）以下、好ましくは１ｐｐｍ以下、より好ましくは１０ｐｐｂ以下の空気）雰囲気下で加熱処理をおこなう。
【００６４】
上記加熱処理は、２００℃以上８５０℃以下、好ましくは２５０℃以上４５０℃以下の温度範囲でおこなうのが望ましい。なお、この加熱処理は、用いる基板や、酸化物半導体が形成される前に基板上に形成されている構造物（配線や絶縁膜等）の耐熱温度を超えないものとする。水分または水素の加熱処理による脱離の効果については、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ；昇温脱離ガス分析法）により確認できる。
【００６５】
加熱処理は、炉での熱処理またはラピッドサーマルアニール法（ＲＴＡ法）を用いる。ＲＴＡ法は、ランプ光源を用いる方法と、加熱されたガス中に基板を移動させて短時間の熱処理をおこなう方法がある。ＲＴＡ法を用いると熱処理に要する時間を０．１時間よりも短くすることもできる。
【００６６】
上述した加熱処理等により高純度化された酸化物半導体膜を活性層として用いたトランジスタは、非常に低いオフ電流を示す。具体的には、例えば、チャネル幅（Ｗ）が１×１０６μｍ（チャネル長（Ｌ）は１μｍ）の素子でソース電極とドレイン電極間の電圧が１Ｖのときのオフ電流を半導体パラメータアナライザの測定限界以下である１×１０−１３Ａ以下とすることができる。この場合、チャネル幅１μｍあたりのオフ電流は、１００ｚＡ／μｍ以下である。このように、高純度化された酸化物半導体膜を活性層として用いたトランジスタのオフ電流は結晶性を有するシリコンを用いたトランジスタのものに比べて著しく低い。
【発明の効果】
【００６７】
上記構成を有するトランジスタを、容量素子に蓄積された電荷を保持するための容量用スイッチング素子として用いることで、容量素子からの電荷のリークを長時間にわたって防ぐことができるため、電源電圧の印加がない場合でも、データを消失させずに保持することが可能となる。
【００６８】
そして、容量素子においてデータを保持している期間は、インバータへの電源電圧の供給をおこなわなくてもよいので、インバータに用いられているトランジスタのオフ電流に起因する無駄な消費電力を削減することができ、記憶装置、延いては記憶装置を用いた信号処理回路全体の、消費電力を低く抑えることが可能となる。
【００６９】
上記構成を有する記憶素子を、信号処理回路が有するレジスタやキャッシュメモリなどの記憶装置に用いることで、電源停止による記憶装置内のデータの消失を防ぎ、また、電源回復後のエラーを防止できる。よって、信号処理回路全体、あるいは信号処理回路を構成する一または複数の論理回路において、短い時間でも電源停止をおこなうことができるため、消費電力を抑えることができる信号処理回路、消費電力を抑えることができる当該信号処理回路の駆動方法を提供することができる。
【００７０】
なお、電源の停止と回復という操作は、論理回路のクロックに比較すると極めて遅い動きでもよい。すなわち、スイッチング時間は１００μ秒あれば十分であり、場合によっては、１ｍ秒あるいはそれ以上でもよい。なぜなら、各記憶素子のフリップフロップ回路に保持されていたデータを容量素子に移す過程あるいはその逆の過程は全ての記憶素子で同時におこなうことができるからである。そのような低速動作であれば、長チャネルかつ狭チャネルなトランジスタでも十分である。また、半導体の移動度も１ｃｍ２／Ｖｓ以上であればよい。
【００７１】
また、容量素子に関しても、容量が大きい方が、データを回復する際のエラーの発生が起こりにくい。一方で、容量が大きいと、容量素子と容量用スイッチング素子とで構成される回路の応答速度が低下する。しかしながら、上述のように、電源の停止と回復という操作は、論理回路のクロック等に比較すると極めて遅い動きでもよいので、容量が１ｐＦ以下であれば何ら妨げとなるものではない。
【００７２】
加えて、上記の構成により、容量素子からデータの回復をおこなう際に十分な大きさの電位変動が得られるため、データ回復時のエラーの確率が低下し、信号処理回路の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】記憶素子の回路の例。
【図２】従来の記憶素子の回路図。
【図３】記憶素子の回路の例。
【図４】記憶素子の動作の例。
【図５】記憶素子の動作の例。
【図６】記憶素子の回路の例。
【図７】記憶素子の構造を説明する上面図。
【図８】記憶素子の構造を説明する断面図。
【発明を実施するための形態】
【００７４】
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００７５】
また、本明細書において、接続、とは、一時的であっても、実効的な直流電流が、供給可能な状態になる構造であることをいう。従って、接続している状態とは、直接、接続している状態のみを必ずしも指すわけではなく、直流電流が、供給可能であるように、配線、抵抗などの回路素子を介して間接的に接続している状態もその範疇に含む。なお、実際に回路に直流電流が供給されるように設計されているかどうかは問わない。
【００７６】
一方、２つのノード間に、容量素子のみが設けられている場合には、容量素子を介しては、実効的な直流電流を供給することができないので、このノード間は接続されていない、という。ただし、２つのノード間にスイッチング素子が設けられている場合には、条件付ながら（すなわち、スイッチがオンであるときだけ）直流電流が供給可能となるので、接続する、という。
【００７７】
同様に２つのノード間にダイオードのみが設けられている場合も、いずれかのノードの電位が高ければ直流電流を供給できるので、接続する，という。この際には、回路設計上、電流が供給されないような電位が２つのノードに与えられている場合（この場合には、現実には２つのノードにダイオードを介して電流が流れることがない）であっても、本明細書では、接続している、という。
【００７８】
例えば、ノードＡがトランジスタのソースに接続し、ノードＢがドレインに接続する場合には、ノードＡとノードＢの間には、ゲートの電位によっては直流電流を流すことができるので、ノードＡとノードＢは接続している、という。
【００７９】
一方、ノードＡがトランジスタのソースに接続し、ノードＣがゲートに接続する場合には、トランジスタのソース、ドレイン、ゲートの電位の如何にかかわらず、ノードＡとノードＣの間に実効的な直流電流を流すことができないので、ノードＡとノードＣは接続していない、という。
【００８０】
また、実効的な直流電流とは、リーク電流等の意図しない電流を除いた電流という意味である。なお、実効的な電流の値は、その大きさ（絶対値）で定義されるものではなく、回路に応じて異なる。すなわち、ある回路では１ｐＡという小電流であっても実効的な電流となりえるし、他の回路では、それより大きな１μＡという電流であっても実効的な電流とみなされないこともある。
【００８１】
なお、言うまでもないことであるが、入力と出力を有する１つの回路（例えば、インバータ）において、入力と出力が回路内で接続している必要はない。インバータを例に取れば、入力と出力はインバータ内部で接続していない。
【００８２】
また、回路図上は独立している構成要素どうしが接続しているように図示されている場合であっても、実際には、例えば配線の一部が電極としても機能する場合など、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っているだけの場合もある。本明細書において接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
【００８３】
また、トランジスタが有するソース（あるいはソース電極）とドレイン（あるいはドレイン電極）は、トランジスタの極性および各電極に与えられる電位の高低によって、その呼び方が入れ替わる。一般的に、Ｎチャネル型トランジスタでは、低い電位が与えられる電極がソース（あるいはソース電極）と呼ばれ、高い電位が与えられる電極がドレイン（あるいはドレイン電極）と呼ばれる。また、Ｐチャネル型トランジスタでは、低い電位が与えられる電極がドレイン（あるいはドレイン電極）と呼ばれ、高い電位が与えられる電極がソース（あるいはソース電極）と呼ばれる。
【００８４】
本明細書では、便宜上、ソース（あるいはソース電極）とドレイン（あるいはドレイン電極）とが固定されているものと仮定して、トランジスタの接続関係を説明する場合があるが、実際には上記電位の関係に従ってソース（あるいはソース電極）とドレイン（あるいはドレイン電極）の呼び方が入れ替わることもある。
【００８５】
なお、本明細書において、トランジスタが直列に接続されている状態とは、第１のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方のみが、第２のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方のみに接続されている状態を意味する。また、トランジスタが並列に接続されている状態とは、第１のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方が、第２のトランジスタのソース電極とドレイン電極のいずれか一方に接続され、第１のトランジスタのソース電極とドレイン電極の他方が第２のトランジスタのソース電極とドレイン電極の他方に接続されている状態を意味する。
【００８６】
なお、マイクロプロセッサ、画像処理回路、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、マイクロコントローラを含むＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）などの集積回路が、本発明の信号処理回路の範疇に含まれるがこれらに限られない。
【００８７】
（実施の形態１）
本発明の一態様に係る記憶装置は、１ビットのデータを記憶することができる記憶素子を、単数または複数有する。図１（Ａ）に、本発明の記憶装置が有する記憶素子の、回路図の一例を示す。図１（Ａ）に示す記憶素子１００は、入力された信号の位相を反転させて出力する第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２と、スイッチング素子１０３と、スイッチング素子１０４と、容量素子１０５と、容量用スイッチング素子１０６とを、少なくとも有する。
【００８８】
記憶素子１００に入力されたデータを含む信号ＩＮは、スイッチング素子１０３を介して第１のインバータ１０１の入力端子に与えられる。第１のインバータ１０１の出力端子は、第２のインバータ１０２の入力端子に接続されている。第２のインバータ１０２の出力端子は、スイッチング素子１０４を介して、第１のインバータ１０１の入力端子に接続されている。
【００８９】
第１のインバータ１０１の出力端子または第２のインバータ１０２の入力端子の電位が、信号ＯＵＴとして後段の記憶素子、或いは他の回路に出力される。ここで、第１のインバータ１０１の入力端子のノードを第１のノードＮ１、第１のインバータ１０１の出力端子のノードを第２のノードＮ２とする。
【００９０】
なお、図１（Ａ）では、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２としてインバータを用いる例を示しているが、第１のインバータ１０１または第２のインバータ１０２として、インバータの他に、クロックドインバータを用いることもできる。
【００９１】
容量素子１０５は、記憶素子１００に入力された信号ＩＮのデータを必要に応じて記憶できるように、記憶素子１００の入力端子、すなわち信号ＩＮの電位が与えられる第１のノードＮ１に接続されている。容量素子１０５は、一対の電極間に誘電体を有するコンデンサであり、その一方の電極は第１のノードＮ１に接続され、他方の電極は容量用スイッチング素子１０６の一方の電極（容量用スイッチング素子１０６が１つのトランジスタである場合は、ソース電極かドレイン電極のいずれか）に接続される。容量素子１０５と容量用スイッチング素子１０６の接続するノードを第３のノードＮ３とする。
【００９２】
容量用スイッチング素子１０６の他方の電極は、第２のノードＮ２に接続されている。第１のノードＮ１と第２のノードＮ２は第１のインバータ１０１により位相が反転するため、それぞれの電位は逆の位相である。
【００９３】
また、容量用スイッチング素子１０６には、高純度化された酸化物半導体をチャネル形成領域に有するトランジスタを用いている。
【００９４】
なお、記憶素子１００は、必要に応じて、ダイオード、抵抗素子、インダクタ、容量素子などその他の回路素子を、さらに有していてもよい。
【００９５】
次いで、図１（Ａ）で示した記憶素子の、より具体的な回路図の一例を、図１（Ｂ）に示す。図１（Ｂ）に示す記憶素子１００は、第１のインバータ１０１と、第２のインバータ１０２と、スイッチング素子１０３と、スイッチング素子１０４と、容量素子１０５と、容量用スイッチング素子１０６とを有しており、これら回路素子の接続構成は図１（Ａ）と同じである。
【００９６】
そして、図１（Ｂ）において第１のインバータ１０１は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ１０７と、Ｎチャネル型トランジスタ１０８とが直列に接続された構成を有する。具体的には、Ｐチャネル型トランジスタ１０７のソース電極は電位ＶＤＤが与えられるノードに接続され、Ｎチャネル型トランジスタ１０８のソース電極は電位ＶＳＳが与えられるノードに接続される。
【００９７】
また、Ｐチャネル型トランジスタ１０７のドレイン電極と、Ｎチャネル型トランジスタ１０８のドレイン電極とが接続されており、上記２つのドレイン電極の電位は、第１のインバータ１０１の出力端子の電位とみなすことができる。また、Ｐチャネル型トランジスタ１０７のゲート電極、およびＮチャネル型トランジスタ１０８のゲート電極の電位は、第１のインバータ１０１の入力端子の電位とみなすことができる。
【００９８】
また、図１（Ｂ）において第２のインバータ１０２は、ゲート電極が互いに接続されたＰチャネル型トランジスタ１０９と、Ｎチャネル型トランジスタ１１０とが直列に接続された構成を有する。具体的には、Ｐチャネル型トランジスタ１０９のソース電極が、電位ＶＤＤが与えられるノードに接続され、Ｎチャネル型トランジスタ１１０のソース電極が、電位ＶＳＳが与えられるノードに接続される。
【００９９】
また、Ｐチャネル型トランジスタ１０９のドレイン電極と、Ｎチャネル型トランジスタ１１０のドレイン電極とが接続されており、上記２つのドレイン電極の電位は、第２のインバータ１０２の出力端子の電位とみなすことができる。また、Ｐチャネル型トランジスタ１０９のゲート電極、およびＮチャネル型トランジスタ１１０のゲート電極の電位は、第２のインバータ１０２の入力端子の電位とみなすことができる。
【０１００】
また、図１（Ｂ）では、スイッチング素子１０３として１つのトランジスタを用いている場合を例示しており、該トランジスタは、そのゲート電極に与えられる信号Ｓｉｇ１によりスイッチングが制御される。また、スイッチング素子１０４として１つのトランジスタを用いている場合を例示しており、該トランジスタは、そのゲート電極に与えられる信号Ｓｉｇ２によりスイッチングが制御される。
【０１０１】
なお、図１（Ｂ）では、スイッチング素子１０３と、スイッチング素子１０４が、それぞれトランジスタを一つだけ有する構成を示しているが、本発明はこの構成に限定されない。本発明の一態様では、スイッチング素子１０３またはスイッチング素子１０４が、トランジスタを複数有していてもよい。
【０１０２】
スイッチング素子１０３またはスイッチング素子１０４が、スイッチング素子として機能するトランジスタを複数有している場合、上記複数のトランジスタは並列に接続されていてもよいし、直列に接続されていてもよいし、直列と並列が組み合わされて接続されていてもよい。
【０１０３】
また、複数のトランジスタを並列に接続する場合、それらの極性を異なるものとしてもよい。例えば、Ｎチャネル型トランジスタとＰチャネル型トランジスタを並列に接続した、いわゆるトランスファーゲート構造としてもよい。
【０１０４】
また、図１（Ｂ）では、容量用スイッチング素子１０６として、酸化物半導体をチャネル形成領域に有するトランジスタを用いている。該トランジスタは、そのゲート電極に与えられる信号Ｓｉｇ３によりスイッチングが制御される。容量用スイッチング素子１０６に用いるトランジスタは、高純度化された酸化物半導体をチャネル形成領域に有し、また、そのチャネル長は、最小加工線幅の１０倍以上、好ましくは２０倍以上、より好ましくは５０倍以上、あるいは０．２μｍ以上、好ましくは０．４μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上とすると、そのオフ電流は、上述したとおり著しく低くできる。
【０１０５】
図１（Ｂ）では、容量用スイッチング素子１０６がトランジスタを一つだけ有する構成を示しているが、本発明はこの構成に限定されない。本発明の一態様では、容量用スイッチング素子１０６が、トランジスタを複数有していてもよい。容量用スイッチング素子１０６が、スイッチング素子として機能するトランジスタを複数有している場合、上記複数のトランジスタは並列に接続されていてもよいし、直列に接続されていてもよいし、直列と並列が組み合わされて接続されていてもよい。
【０１０６】
第１のインバータ１０１、第２のインバータ１０２、スイッチング素子１０３、またはスイッチング素子１０４に用いられるトランジスタは、酸化物半導体以外の、非晶質、微結晶、多結晶、または単結晶の、シリコン、またはゲルマニウム、砒化ガリウム、リン化ガリウム、リン化インジウムなどの半導体を用いることができる。また、これらのトランジスタは、薄膜の半導体膜を用いてもよいし、バルクの半導体基板を用いて形成してもよい。
【０１０７】
図７を用いて本実施の形態の記憶素子の回路配置例を説明する。図７（Ａ）には通常のレジスタに用いられる１つの記憶素子３００のレイアウトを示す。記憶素子３００の主要部分であるインバータ等は公知の半導体技術を用いて形成すればよい。すなわち、半導体基板上に素子分離のための絶縁物（素子分離領域）、ｎ型ウェル、ｐ型ウェル、ｎ型領域およびｐ型領域を形成し、その上にゲート層である第１層配線と、さらにその上に第２層配線を形成する。
【０１０８】
第１層配線の一部は、信号Ｓｉｇ１を供給するためのＳｉｇ１配線３０２であり、また、一部は信号Ｓｉｇ２を供給するためのＳｉｇ２配線３０３である。さらに、第２層配線の一部は電位ＶＤＤを供給するためのＶＤＤ配線３０１であり、また、一部は信号ＩＮを入力するためのＩＮ配線３０４である。図７（Ａ）には上方に接続するためのコンタクトホールの位置も示す。なお、単結晶半導体基板を用いた回路では、電位ＶＳＳは基板から供給するとよい。図７（Ａ）に示される回路配置は公知のものであるので、ここでは詳述しない。
【０１０９】
本発明の一態様の記憶素子は、図７（Ａ）に示される回路に容量素子と容量素子用スイッチング素子を付加するが、これらはいずれも、図７（Ａ）に示される回路の上層に形成することができる。
【０１１０】
まず、図７（Ａ）に示す回路の上に、図７（Ｂ）に示すように、第３層配線が設けられる。その一部はコンタクトホールを介して第２層配線の一部と接続し、ＯＵＴを出力するためのＯＵＴ配線３０５となる。また、第３層配線の一部はスイッチング素子である酸化物半導体を用いたトランジスタのゲート配線３０６および第１容量電極３０７となる。
【０１１１】
ゲート配線３０６は、その後形成する酸化物半導体領域３０８の８０％以上、好ましくは８５％以上、より好ましくは９０％以上と重なるように形成するとよい。ゲート配線３０６の一部は、図１の容量用スイッチング素子１０６のゲート電極となる。なお、ゲート配線３０６には信号Ｓｉｇ３が供給される。
【０１１２】
第１容量電極３０７は、コンタクトホールを介して第２層配線の一部（インバータのいずれかの入力あるいは出力）と接続する。また、第１容量電極３０７はその後、図１の容量素子１０５に相当する素子の電極の一部となる。
【０１１３】
第３層配線の上には、ゲート絶縁物（図７には図示せず）、酸化物半導体層（ＯＳ層）を形成する。ゲート絶縁物の一部をエッチングし、ＯＵＴ配線３０５の一部に達する開口部を設ける。
【０１１４】
また、図７（Ｃ）に示すようにＯＳ層の一部は、少なくとも１つの凹部を有し、例えば、Ｊ字型の形状の酸化物半導体領域３０８とすることが好ましい。酸化物半導体領域３０８はその他にも、Ｕ字型、Ｌ字型、Ｖ字型、あるいはＣ字型の形状としてもよい。また、２つ以上の凹部を有する形状（例えば、Ｍ字型、Ｎ字型、Ｓ字型、Ｗ字型、Ｚ字型その他）、あるいはその他の折り曲がった形状であってもよい。
【０１１５】
より一般的に定義すると、１つの記憶素子の典型的な長さを記憶素子の占有面積の平方根と定義するとき、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さが上記典型的な長さ以上、好ましくは典型的な長さの２倍以上、より好ましくは５倍以上であるとよい。あるいは、酸化物半導体領域３０８の外周の長さが典型的な長さの２倍以上、好ましくは４倍以上、より好ましくは１０倍以上であるとよい。あるいは、酸化物半導体領域３０８の面積をその周囲の長さで除した数値が典型的な長さの０．１倍以下であるとよい。
【０１１６】
このような形状とすることで、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さを記憶素子３００の長辺よりも長くできる。例えば、最小加工線幅を１Ｆとするとき、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さを１０Ｆ以上、好ましくは２０Ｆ以上、より好ましくは５０Ｆ以上とし、このような形状の酸化物半導体領域３０８を用いて形成されるトランジスタ（図１の容量用スイッチング素子１０６に相当する）のチャネル長は１０Ｆ以上、好ましくは２０Ｆ以上、より好ましくは５０Ｆ以上とできる。図７（Ｃ）の場合は、酸化物半導体領域３０８の一端から他端までの長さは約２４Ｆである。
【０１１７】
酸化物半導体層の上には、図７（Ｄ）に示すように第４層配線が設けられる。第４層配線の一部は、ソース電極３０９、第２容量電極３１０となる。ソース電極３０９は酸化物半導体領域３０８の一端および上述の開口部を介してＯＵＴ配線３０５と接する。
【０１１８】
なお、酸化物半導体領域３０８に接して窒化インジウム等の仕事関数の高い材料を設けてもよい。仕事関数の高い材料が接した部分では、酸化物半導体領域３０８が空乏化し、オフ電流を低減する効果が得られる。特に、酸化物半導体領域３０８を厚くする場合には効果が顕著である。詳細は特許文献３を参照するとよい。
【０１１９】
第２容量電極３１０は第１容量電極３０７の一部と重なって図１の容量素子１０５の一部となる。図７（Ｄ）の場合、容量素子の電極面積（２つの電極が重なっている部分の面積）は約１８Ｆ２である。また、第２容量電極３１０は酸化物半導体領域３０８の他端と接し、酸化物半導体領域で形成されるトランジスタのドレイン電極となる。
【０１２０】
図８には、図７の一点鎖線Ｘ−Ｙに沿った記憶素子３００の断面構造を模式的に示す。なお、ハッチングが図７と同じ場合には、図８においても同じものを指し示すものとする。
【０１２１】
図８（Ａ）は、図７（Ｂ）の段階での断面構造を示す。半導体基板表面に素子分離領域３１１、ｎ型領域、ｐ型領域が形成され、上層には、第１層配線、第２層配線で回路が形成される。ｎ型領域、ｐ型領域、第１層配線と第２層配線との間には、層間絶縁物３１２が設けられ、それらの間に電気的な接続が必要な場合にはコンタクトプラグ３１３が設けられる。さらに上層には、第３層配線によってゲート配線３０６と第１容量電極３０７が埋め込み絶縁物３１４に埋め込まれた状態で設けられる。
【０１２２】
図８（Ｂ）は、図７（Ｄ）の段階での断面構造を示す。図８（Ａ）で説明した構造物の上に、さらにゲート絶縁物３１５と酸化物半導体層（酸化物半導体領域３０８等）および第４層配線によってソース電極３０９と第２容量電極３１０を形成する。ここで、酸化物半導体層の厚さは１ｎｍ乃至３０ｎｍ、好ましくは１ｎｍ乃至１０ｎｍ、ゲート絶縁物３１５の厚さは２ｎｍ乃至３０ｎｍ、好ましくは５ｎｍ乃至２０ｎｍとするとよい。
【０１２３】
本実施の形態においては酸化物半導体層の品質が重視されるので、高純度化された酸化物半導体（膜）を用いるとよい。酸化物半導体（膜）の作製方法の詳細は特許文献４を参照すればよい。
【０１２４】
次いで、図１（Ａ）に示す記憶素子の動作の一例について説明する。なお、以下の説明以外の方法で記憶素子を動作させることもできる。
【０１２５】
まず、データの書き込み時に際しては、スイッチング素子１０３はオン、スイッチング素子１０４はオフ、容量用スイッチング素子１０６はオフとする。そして、第１のインバータ１０１と第２のインバータ１０２に電源電圧を与える。すなわち、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳを適切な電位とし、それらの間に十分に大きな電位差を生じさせる。
【０１２６】
この状態で記憶素子１００に与えられる信号ＩＮの電位は、スイッチング素子１０３を介して第１のインバータ１０１の入力端子に与えられるので、第１のインバータ１０１の出力端子は、信号ＩＮの電位の位相が反転した電位になる。そして、スイッチング素子１０４をオンにし、第１のインバータ１０１の入力端子と第２のインバータ１０２の出力端子とを接続することで、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２にデータが書き込まれる。
【０１２７】
入力されたデータは電位ＶＤＤと電位ＶＳＳをそれぞれ適切な値に保持することで保持される。ただし、この際には、先に説明したように、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２においてリーク電流が生じるため、一定の電力を消費する。
【０１２８】
なお、第１のインバータ１０１の出力端子の電位には、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２によって保持されているデータが反映されている。よって、上記電位を読み取ることで、データを記憶素子１００から読み出すことができる。
【０１２９】
データの保持の際の消費電力を削減するために、入力されたデータの保持を、容量素子１０５においておこなう場合には、まず、スイッチング素子１０３はオフ、スイッチング素子１０４はオン、容量用スイッチング素子１０６はオンとする。その結果、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２によって保持されているデータの値に見合った量の電荷が容量素子１０５に蓄積され、容量素子１０５へのデータの退避がおこなわれる。容量素子１０５にデータが記憶された後、容量用スイッチング素子１０６をオフにすることで、容量素子１０５に記憶されたデータは保持される。容量用スイッチング素子１０６をオフにした後は、電源電圧の印加を停止する。なお、容量素子１０５にデータが記憶された後は、スイッチング素子１０４をオフにしてもよい。
【０１３０】
以上の操作に伴う電位の変動を、図４を用いて説明する。ここでは、電位ＶＤＤは＋１Ｖおよび電位ＶＳＳは０Ｖとする。また、以下では、説明を簡単にするため、容量用スイッチング素子１０６のオフ状態やオン状態での容量は無視できるものとする。
【０１３１】
最初、図４（Ａ）に示されるように、第１のノードＮ１はデータに応じて、＋１Ｖあるいは０Ｖである。一方、第２のノードＮ２の電位は第１のノードＮ１とは位相の反転した状態で、０Ｖあるいは＋１Ｖである。また、容量用スイッチング素子１０６はオフであるため、第３のノードＮ３はフローティング状態である。
【０１３２】
次に、図４（Ｂ）に示されるように、容量用スイッチング素子１０６をオンとすると、第３のノードＮ３の電位は第２のノードＮ２の電位と等しくなり、０Ｖあるいは＋１Ｖとなる。このとき、第１のノードＮ１と第３のノードＮ３の電位により、容量素子１０５の電極間にはそれらに応じた電荷が蓄積される。すなわち、データが容量素子１０５に退避される。ここで、第１のノードＮ１と第３のノードＮ３との電位差の絶対値は１Ｖである。
【０１３３】
次に、図４（Ｃ）に示されるように、容量用スイッチング素子１０６をオフとする。第３のノードＮ３の電位は０Ｖあるいは＋１Ｖのままである。
【０１３４】
次に、図４（Ｄ）に示されるように、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳを０Ｖとすると、第１のノードＮ１の電位、第２のノードＮ２の電位もしばらくして０Ｖとなる。第３のノードＮ３と第１のノードＮ１の電位差は保存されるので、第３のノードＮ３の電位は、退避されたデータに応じて−１Ｖあるいは＋１Ｖである。退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、この段階で第３のノードＮ３の電位は−１Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、この段階で第３のノードＮ３の電位は＋１Ｖである。
【０１３５】
なお、図４（Ｄ）の段階における第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位は０Ｖに限られず、例えば、＋１Ｖとしてもよい。その場合には、退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は０Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は＋２Ｖである。＋２Ｖとした場合は、それぞれ＋１Ｖ、＋３Ｖとなる。
【０１３６】
容量用スイッチング素子１０６がＮチャネル型トランジスタで、しきい値がそれほど大きくない場合には、第３のノードＮ３の電位が負であると、第３のノードの電位を保持するために、容量用スイッチング素子１０６のゲートの電位もそれに応じて負とする必要がある。しかしながら、負電位を生成するためには一定の電力を消費するので、消費電力を低減する上では、好ましくない。
【０１３７】
そこで、上記のように、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位を十分な高い電位とすると、第３のノードＮ３の電位もそれに応じて高くなり、容量用スイッチング素子１０６のゲートの電位を負とすることなく、十分に第３のノードＮ３の電位を保持することができる。
【０１３８】
あるいは、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位を＋０．５Ｖのように、インバータが活性であるときの電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの中間の電位としてもよい。その場合には、退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は−０．５Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、第３のノードＮ３の電位は＋１．５Ｖである。
【０１３９】
後述するデータの回復方法では、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位を＋０．５Ｖとしてから回復するので、このように設定することは都合がよい。ただし、第３のノードＮ３の電位が負となるので、長時間この状態を保つことは避けることが望ましい。
【０１４０】
上記のように、入力されたデータの保持を容量素子１０５においておこなう場合は、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２に電源電圧を印加する必要がないので、第１のインバータ１０１が有するＰチャネル型トランジスタ１０７およびＮチャネル型トランジスタ１０８、或いは、第２のインバータ１０２が有するＰチャネル型トランジスタ１０９およびＮチャネル型トランジスタ１１０を流れるオフ電流を限りなく０に近くすることができる。
【０１４１】
したがって、データの保持時における記憶素子のオフ電流に起因する消費電力を大幅に削減することができ、記憶装置、延いては記憶装置を用いた信号処理回路全体の、消費電力を低く抑えることが可能となる。
【０１４２】
また、容量用スイッチング素子１０６に用いられているトランジスタは、高純度化された酸化物半導体をチャネル形成領域に用いているので、そのオフ電流を、１００ｚＡ以下、好ましくは１０ｚＡ以下、より好ましくは１ｚＡ以下にすることができる。その結果、上記トランジスタを用いた容量用スイッチング素子１０６がオフである時、容量素子１０５に蓄積された電荷は殆ど放電しないため、データが保持される。
【０１４３】
なお、上記のように極めてオフ電流を小さくするためには容量用スイッチング素子１０６の電位を十分に低くすることが必要となることもあるが、そのために必要な電流は上記のオフ電流よりもはるかに小さいので、実質的には電力を消費しない。
【０１４４】
次に、容量素子１０５に記憶されているデータを回復する場合について、図５を用いて説明する。まず、スイッチング素子１０３をオフとする。また、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２も不活性な状態とする。例えば、電位ＶＤＤ、電位ＶＳＳを共に＋０．５Ｖとする。
【０１４５】
そして、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２も電位を＋０．５Ｖにする。このときスイッチング素子１０４はオンでもオフでもよい。第１のノードＮ１の電位が＋０．５Ｖであるので、第３のノードＮ３の電位は退避されたデータに応じて−０．５Ｖあるいは＋１．５Ｖのいずれかとなる。（図５（Ａ）参照）。
【０１４６】
次に、容量用スイッチング素子１０６をオンとすると、容量素子１０５から電荷が移動することにより第３のノードＮ３の電位および第１のノードＮ１の電位が変動する。例えば、当初、第３のノードＮ３の電位が−０．５Ｖであったのであれば、当初の第２のノードＮ２の電位（＋０．５Ｖ）よりも低いため、容量用スイッチング素子１０６をオンとすることにより、第３のノードＮ３の電位は上昇し、第２のノードＮ２の電位は下降する。一方、第３のノードＮ３の電位が上昇することを受けて、容量素子１０５の他方の電極（すなわち、第１のノードＮ１）の電位は上昇する。
【０１４７】
逆に、当初、第３のノードＮ３の電位が＋１．５Ｖであったのであれば、第３のノードＮ３の電位は下降するので、容量素子１０５の他方の電極の電位は下降する。
【０１４８】
電位の上昇や下降の程度は、容量素子１０５の容量と、第１のノードＮ１の容量１１１（寄生容量を含む）、第２のノードＮ２の容量１１２（寄生容量を含む）との比率で決定される。ここでは、容量１１１および容量１１２が、それぞれ容量素子１０５の容量の４倍とする。
【０１４９】
その場合、第１のノードＮ１の電位は＋０．６７Ｖか＋０．３３Ｖとなる。すなわち、退避時の第１のノードＮ１の電位が＋１Ｖであれば、＋０．６７Ｖとなり、退避時の第１のノードＮ１の電位が０Ｖであれば、＋０．３３Ｖとなる。また、第２のノードＮ２の電位は＋０．３３Ｖか＋０．６７Ｖとなる。（図５（Ｂ）参照）。
【０１５０】
このように、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差の絶対値は０．３３Ｖとなる。なお、図２に示される記憶素子では、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差の絶対値は０．１Ｖである。第２のノードＮ２にも、第１のノードＮ１と同様な容量用スイッチング素子と容量素子を設けると、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差の絶対値は０．２Ｖとなるが、それでも本実施の形態で得られる電位差より小さい。
【０１５１】
その後、電位ＶＤＤ、電位ＶＳＳをそれぞれ所定の値にすることで、第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２に電源電圧を印加する。この過程では、スイッチング素子１０４をオンとすることが好ましい。この結果、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差が増幅される。
【０１５２】
すなわち、図５（Ｂ）で第１のノードＮ１の電位が＋０．６７Ｖ、第２のノードＮ２の電位が＋０．３３Ｖであれば、この過程で第１のノードＮ１の電位は＋１Ｖとなり、第２のノードＮ２の電位は０Ｖとなる。また、図５（Ｂ）で第１のノードＮ１の電位が＋０．３３Ｖ、第２のノードＮ２の電位が＋０．６７Ｖであれば、この過程で第１のノードＮ１の電位は０Ｖとなり、第２のノードＮ２の電位は＋１Ｖとなる。すなわち、データを書き込んだときの状態が回復される（図５（Ｃ）参照）。
【０１５３】
上記のように、電位差を増幅する前の第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差が大きいため、データ回復時のエラーを防止することができ、また、データ回復操作をより高速でおこなえる。なお、容量素子１０５の容量が、寄生容量を含む容量１１１と同程度あるいはそれ以上であれば、より確実にデータを回復できる。
【０１５４】
例えば、容量素子１０５の容量が、寄生容量を含む容量１１１の容量、および寄生容量を含む容量１１２の容量と同じであれば、図５（Ｂ）の段階で、第１のノードＮ１の電位は＋０．８３Ｖあるいは＋０．１７Ｖとなる。第２のノードＮ２の電位は、第１のノードＮ１の電位とは逆に、それぞれ、＋０．１７Ｖあるいは＋０．８３Ｖとなり、いずれにせよ、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位差は０．６６Ｖとなる。
【０１５５】
そのため、例えば、スイッチング素子１０４をオフとしたまま第１のインバータ１０１および第２のインバータ１０２に電源電圧を印加して、活性化することで、誤動作を起こすことなく、信号を増幅し、データを回復することもできる。
【０１５６】
上記の例では、データ回復操作の前に、電位ＶＤＤ、電位ＶＳＳ、第１のノードＮ１と第２のノードＮ２の電位をともに＋０．５Ｖとしたが、これに限定されるものではなく、インバータが活性であるときの電位範囲内であればよい。上記の例では、インバータが活性であるときの電位は０Ｖ以上＋１Ｖ以下であるので、これらの電位を０Ｖ以上＋１Ｖ以下、好ましくは、０．２Ｖ以上０．８Ｖ以下の電位とすればよい。
【０１５７】
本実施の形態では、容量用スイッチング素子１０６として、酸化物半導体を用いたトランジスタを例示したが、これに限られず、容量素子１０５の容量やデータを保持する時間によっては、シリコンやその他の半導体を用いてもよい。
【０１５８】
（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の記憶装置が有する記憶素子の別の例について説明する。図１に示される記憶素子１００は、容量素子１０５の一方の電極が第１のノードＮ１に接続しているが、その他の部分に接続していてもよい。
【０１５９】
例えば、図３（Ａ）に示す記憶素子１００ａのように、容量素子１０５の一方の電極が第２のノードＮ２に接続していてもよいし、図３（Ｂ）に示す記憶素子１００ｂのように、容量素子１０５の一方の電極がスイッチング素子１０４と第２のインバータ１０２の間に接続していてもよい。
【０１６０】
すなわち、容量素子１０５の一方の電極は第１のインバータ１０１と第２のインバータ１０２の入力あるいは出力のいずれかと接続していればよい。
【０１６１】
また、容量用スイッチング素子１０６の一方の電極は、容量素子１０５の他方の電極と接続する。容量用スイッチング素子１０６の他方の電極は、容量素子１０５の一方の電極とは逆の位相の電位となるノードに接続する。そのような構造におけるデータの退避や回復も実施の形態１で説明した方法と同様におこなえばよい。
【０１６２】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の記憶装置が有する記憶素子の、別の一例について説明する。図６に、本実施の形態の記憶素子の回路図を、一例として示す。図６に示す記憶素子はＳＲＡＭに用いられる。
【０１６３】
図６に示す記憶素子１２０は、入力された信号の位相を反転させて出力する第１のインバータ１２１および第２のインバータ１２２と、スイッチング素子１２３と、スイッチング素子１２４と、容量素子１２５と、容量用スイッチング素子１２６とを有する。
【０１６４】
ここで、第１のインバータ１２１および第２のインバータ１２２は、それぞれ、Ｐチャネル型トランジスタ１２７とＮチャネル型トランジスタ１２８、Ｐチャネル型トランジスタ１２９とＮチャネル型トランジスタ１３０を有するインバータである。Ｐチャネル型トランジスタ１２７のソースとＰチャネル型トランジスタ１２９のソースは電位ＶＤＤが与えられるノードに、Ｎチャネル型トランジスタ１２８のソースとＮチャネル型トランジスタ１３０のソースを電位ＶＳＳが与えられるノードに接続する。
【０１６５】
また、Ｐチャネル型トランジスタ１２７とＮチャネル型トランジスタ１２８のドレインはスイッチング素子１２３のソースに、Ｐチャネル型トランジスタ１２９とＮチャネル型トランジスタ１３０のドレインはスイッチング素子１２４のソースに接続される。
【０１６６】
スイッチング素子１２３のドレインは入出力端子ＤＡＴＡ＋に、スイッチング素子１２４のドレインは入出力端子ＤＡＴＡ−に接続される。データの書き込みの際には、入出力端子ＤＡＴＡ＋と入出力端子ＤＡＴＡ−に互いに逆の位相の電位を与える。また、データの読み出しの際には入出力端子ＤＡＴＡ＋と入出力端子ＤＡＴＡ−に互いに逆の位相の電位が現れる。
【０１６７】
スイッチング素子１２３のゲートとスイッチング素子１２４のゲートは共に信号Ｓｉｇ４により制御され、スイッチング素子１２３とスイッチング素子１２４は同時にオンオフする。
【０１６８】
以上の説明は、通常のＳＲＡＭの記憶素子と同じである。本実施の形態では、さらに、容量素子１２５と容量用スイッチング素子１２６を直列に接続し、その一端を第１のインバータ１２１の出力に、他端を第２のインバータ１２２の出力に接続する。容量用スイッチング素子１２６のゲートは信号Ｓｉｇ５により制御される。
【０１６９】
電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの間に適切な電位差がある状態では、データは第１のインバータ１２１と第２のインバータ１２２で形成されるフリップフロップ回路で保持される。
【０１７０】
電力を削減するために電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの間の電位差を０とするには、その前に記憶素子１２０に保持されているデータを容量素子１２５と容量用スイッチング素子１２６で形成される回路に移す。
【０１７１】
そのためには、スイッチング素子１２３とスイッチング素子１２４とをオフとした状態で、容量用スイッチング素子１２６をオンとする。その結果、容量素子１２５には第１のインバータ１２１の出力の電位と第２のインバータ１２２の出力の電位とに応じた電荷が蓄積される。その後、容量用スイッチング素子１２６をオフとし、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの電位差を０とする。
【０１７２】
容量素子１２５に保持されているデータを第１のインバータ１２１と第２のインバータ１２２で形成されるフリップフロップ回路に移すには、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの電位を等しい状態とし、その後、容量用スイッチング素子１２６をオンとする。その結果、第１のインバータ１２１の入力の電位と第２のインバータ１２２の入力の電位に差が生じる。
【０１７３】
ほぼ同時に、電位ＶＤＤと電位ＶＳＳの電位差を拡大し、所定の電位とする。その結果、第１のインバータ１２１の入力の電位と第２のインバータ１２２の入力の電位の差が増幅され、第１のインバータ１２１と第２のインバータ１２２で形成されるフリップフロップ回路に容量素子１２５に保持されているデータが移される。
【０１７４】
本実施の形態で開示された事項は、他の実施の形態で開示された事項と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【符号の説明】
【０１７５】
１００ 記憶素子
１００ａ 記憶素子
１００ｂ 記憶素子
１０１ 第１のインバータ
１０２ 第２のインバータ
１０３ スイッチング素子
１０４ スイッチング素子
１０５ 容量素子
１０６ 容量用スイッチング素子
１０７ Ｐチャネル型トランジスタ
１０８ Ｎチャネル型トランジスタ
１０９ Ｐチャネル型トランジスタ
１１０ Ｎチャネル型トランジスタ
１１１ 容量
１１２ 容量
１２０ 記憶素子
１２１ 第１のインバータ
１２２ 第２のインバータ
１２３ スイッチング素子
１２４ スイッチング素子
１２５ 容量素子
１２６ 容量用スイッチング素子
１２７ Ｐチャネル型トランジスタ
１２８ Ｎチャネル型トランジスタ
１２９ Ｐチャネル型トランジスタ
１３０ Ｎチャネル型トランジスタ
２００ 記憶素子
２０１ インバータ
２０２ インバータ
２０３ スイッチング素子
２０４ スイッチング素子
２０５ 容量素子
２０６ 容量用スイッチング素子
２０７ Ｐチャネル型トランジスタ
２０８ Ｎチャネル型トランジスタ
２０９ Ｐチャネル型トランジスタ
２１０ Ｎチャネル型トランジスタ
３００ 記憶素子
３０１ ＶＤＤ配線
３０２ Ｓｉｇ１配線
３０３ Ｓｉｇ２配線
３０４ ＩＮ配線
３０５ ＯＵＴ配線
３０６ ゲート配線
３０７ 第１容量電極
３０８ 酸化物半導体領域
３０９ ソース電極
３１０ 第２容量電極
３１１ 素子分離領域
３１２ 層間絶縁物
３１３ コンタクトプラグ
３１４ 埋め込み絶縁物
３１５ ゲート絶縁物
Ｎ１ 第１のノード
Ｎ２ 第２のノード
Ｎ３ 第３のノード
ＩＮ 信号
ＯＵＴ 信号
Ｓｉｇ１ 信号
Ｓｉｇ２ 信号
Ｓｉｇ３ 信号
Ｓｉｇ４ 信号
Ｓｉｇ５ 信号
ＶＤＤ 電位
ＶＳＳ 電位
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに、他の出力端子が自らの入力端子に接続されることで、データの保持をおこなう一対のインバータと、
容量素子と、
前記一対のインバータの少なくとも１つの上層に設けられ、チャネル形成領域に少なくとも１つの凹部を有する酸化物半導体領域を含み、前記容量素子への前記データの退避を制御するスイッチング素子と、を有し、
前記容量素子の一方の電極は前記一対のインバータのいずれかの出力あるいは入力のいずれかに接続し、
前記容量素子の他方の電極は前記スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれか一方に接続し、
前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方は、前記一対のインバータのいずれかの出力あるいは入力に接続する記憶素子において、
前記容量素子の一方の電極が接続するノードの電位と、前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方が接続するノードの電位が互いに逆の位相であることを特徴とする記憶素子。
【請求項２】
互いに、他の出力端子が自らの入力端子に接続されることで、データの保持をおこなう一対のインバータと、
容量素子と、
前記一対のインバータの少なくとも１つの上層に設けられ、チャネル形成領域に少なくとも１つの凹部を有する酸化物半導体領域を含み、前記容量素子への前記データの退避を制御するスイッチング素子と、を有し、
前記容量素子の一方の電極は前記一対のインバータの一方の出力に接続し、
前記容量素子の他方の電極は前記スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれか一方に接続し、
前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方は、前記一対のインバータの他方の出力に接続する記憶素子。
【請求項３】
互いに、他の出力端子が自らの入力端子に接続されることで、データの保持をおこなう一対のインバータと、
容量素子と、
前記一対のインバータの少なくとも１つの上層に設けられ、チャネル形成領域に少なくとも１つの凹部を有する酸化物半導体領域を含み、前記容量素子への前記データの退避を制御するスイッチング素子と、を有し、
前記容量素子の一方の電極は前記一対のインバータの一方の出力に接続し、
前記容量素子の他方の電極は前記スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれか一方に接続し、
前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方は、前記一対のインバータの一方の入力に接続する記憶素子。
【請求項４】
前記スイッチング素子は、チャネル長が最小加工線幅の１０倍以上である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の記憶素子。
【請求項５】
前記スイッチング素子は、チャネル長が１μｍ以上である請求項１乃至４のいずれか一項に記載の記憶素子。
【請求項６】
前記容量素子は、前記スイッチング素子と同じ層に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の記憶素子。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、
前記一対のインバータのいずれか一方はクロックドインバータである記憶素子。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項において、
前記酸化物半導体は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物である記憶素子。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、
前記チャネル形成領域の水素濃度は、５×１０１９／ｃｍ３以下である記憶素子。
【請求項１０】
演算回路と、前記演算回路からのデータを記憶する記憶素子とを有し、
前記記憶素子は、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の記憶素子である信号処理回路。
【請求項１１】
ＣＰＵ、ＤＳＰ、またはマイクロコントローラを含むＬＳＩである請求項１０記載の信号処理回路。
【請求項１】
互いに、他の出力端子が自らの入力端子に接続されることで、データの保持をおこなう一対のインバータと、
容量素子と、
前記一対のインバータの少なくとも１つの上層に設けられ、チャネル形成領域に少なくとも１つの凹部を有する酸化物半導体領域を含み、前記容量素子への前記データの退避を制御するスイッチング素子と、を有し、
前記容量素子の一方の電極は前記一対のインバータのいずれかの出力あるいは入力のいずれかに接続し、
前記容量素子の他方の電極は前記スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれか一方に接続し、
前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方は、前記一対のインバータのいずれかの出力あるいは入力に接続する記憶素子において、
前記容量素子の一方の電極が接続するノードの電位と、前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方が接続するノードの電位が互いに逆の位相であることを特徴とする記憶素子。
【請求項２】
互いに、他の出力端子が自らの入力端子に接続されることで、データの保持をおこなう一対のインバータと、
容量素子と、
前記一対のインバータの少なくとも１つの上層に設けられ、チャネル形成領域に少なくとも１つの凹部を有する酸化物半導体領域を含み、前記容量素子への前記データの退避を制御するスイッチング素子と、を有し、
前記容量素子の一方の電極は前記一対のインバータの一方の出力に接続し、
前記容量素子の他方の電極は前記スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれか一方に接続し、
前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方は、前記一対のインバータの他方の出力に接続する記憶素子。
【請求項３】
互いに、他の出力端子が自らの入力端子に接続されることで、データの保持をおこなう一対のインバータと、
容量素子と、
前記一対のインバータの少なくとも１つの上層に設けられ、チャネル形成領域に少なくとも１つの凹部を有する酸化物半導体領域を含み、前記容量素子への前記データの退避を制御するスイッチング素子と、を有し、
前記容量素子の一方の電極は前記一対のインバータの一方の出力に接続し、
前記容量素子の他方の電極は前記スイッチング素子のソースあるいはドレインのいずれか一方に接続し、
前記スイッチング素子のソースあるいはドレインの他方は、前記一対のインバータの一方の入力に接続する記憶素子。
【請求項４】
前記スイッチング素子は、チャネル長が最小加工線幅の１０倍以上である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の記憶素子。
【請求項５】
前記スイッチング素子は、チャネル長が１μｍ以上である請求項１乃至４のいずれか一項に記載の記憶素子。
【請求項６】
前記容量素子は、前記スイッチング素子と同じ層に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の記憶素子。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、
前記一対のインバータのいずれか一方はクロックドインバータである記憶素子。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項において、
前記酸化物半導体は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物である記憶素子。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、
前記チャネル形成領域の水素濃度は、５×１０１９／ｃｍ３以下である記憶素子。
【請求項１０】
演算回路と、前記演算回路からのデータを記憶する記憶素子とを有し、
前記記憶素子は、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の記憶素子である信号処理回路。
【請求項１１】
ＣＰＵ、ＤＳＰ、またはマイクロコントローラを含むＬＳＩである請求項１０記載の信号処理回路。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−８５２３８（Ｐ２０１３−８５２３８Ａ）
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２１６２９１（Ｐ２０１２−２１６２９１）
【出願日】平成２４年９月２８日（２０１２．９．２８）
【出願人】（０００１５３８７８）株式会社半導体エネルギー研究所 (5,264)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年９月２８日（２０１２．９．２８）
【出願人】（０００１５３８７８）株式会社半導体エネルギー研究所 (5,264)
【Ｆターム（参考）】
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