3つの電気絶縁電極を有するトランジスタ及びトランジスタの形成方法
トランジスタ(10)は別々に制御することができるゲート(44,42,18)を有するように形成される。3つのゲート領域は異なる電位でバイアスすることができ、かつこれらのゲート領域は異なる伝導特性を持つことができる。チャネルサイドウォール上の誘電体はチャネル上部の上の誘電体と異ならせることができる。ソース、ドレイン、及び3つのゲートとの電気コンタクトは別々に取る。ナノクラスター(143,144)のような電荷蓄積層をトランジスタのチャネルに隣接するように設け、そして電荷蓄積層を3つのゲート領域を通して制御することにより、揮発性メモリセル及び不揮発性メモリセルの両方を同じプロセスを使用して実現することにより世界共通のメモリプロセスを提供する。揮発性セルとして用いる場合、トランジスタの高さ、及びチャネルサイドウォール誘電体の特性によって記憶保持特性を制御する。不揮発性セルとして用いる場合、トランジスタの幅、及びチャネルを覆う誘電体の特性によって記憶保持特性を制御する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は半導体に関し、特にメモリに使用するトランジスタに関する。
【背景技術】
【0002】
トランジスタ形状の寸法が非常に小さくなってサブミクロンにまでなっているので、小さくなった寸法によって生じる素子物性への悪影響により、トランジスタ構造を変えざるを得なくなっている。特に、トランジスタのチャネルは極めて小さくなっている。チャネル長が短くなることによって、ゲート電極が制御機構になるのではなく、トランジスタのドレイン電極がチャネル内部の電流伝導を悪い形で制御するようになっている。この問題は多くの文献によって文書化され、かつ一般的に短チャネル効果と呼ばれる。短チャネル効果の問題を緩和するために、他の技術者は、ゲート電極がチャネルの反対側に位置する構成のトランジスタ構造を提案している。このアプローチによって短チャネル効果問題が大きく緩和されるが、このような構造の大量生産を可能にする手段が問題となる、というのは、反対側に位置するゲートを正しい位置に形成することが大量生産において非常に難しいからである。別の構成として、ゲート電極によって取り囲まれる縦方向シリコンチャネルを有するトランジスタ構造が、短チャネル効果を低減するために提案されている。このようなトランジスタは、フィンFET(FinFET)及びダブルゲートトランジスタを含む幾つかの異なる名前で呼ばれる。フィンFETトランジスタの或る実施形態は1つのゲート電極を有するが、他の実施形態は2つの電気絶縁ゲート電極を使用してトランジスタしきい値電圧の制御を含む性能を向上させる。チャネルの周りの2つのゲート電極を電気的に絶縁するために、化学的機械研磨(CMP)又は研磨工程を使用している。これらのトランジスタの小さいフィン構造に起因して、研磨工程ではトランジスタ素子の不均一な研磨又は「ディッシング(dishing)」を生じ易い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
トランジスタ構造を小さくすると不揮発性メモリアレイ(例えば、リードオンリメモリ及びフラッシュ)及び揮発性メモリアレイ(DRAM及びSRAM)の両方をシステムオンチップ(system on chip:SOC)用途に組み込むことも可能になっている。通常、異なるプロセスにより実現する、異なるトランジスタ構造は、不揮発性メモリアレイ及び揮発性メモリアレイの両方を実現する必要がある。例えば、フラッシュメモリトランジスタは、チャネルとコントロールゲートとの間に位置するフローティングゲート構造を用いることにより得られる。これとは異なり、DRAMメモリトランジスタはディープトレンチキャパシタを制御するプレーナトランジスタを用いて得られる。プレーナトランジスタには1つの平面チャネルを使用し、この平面チャネルはソース及びドレインを分離し、かつ上に位置するゲートによって制御される。従って、揮発性メモリアレイ及び不揮発性メモリアレイの両方を1つの集積回路に搭載するためには大きなコストが更に生じる、というのは、異なるプロセス及び構造を用いる必要があるからである。更に、必要とされる、異なるトランジスタ構造に起因して、同じ集積回路の複数のトランジスタの動作特性が大きく異なる可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
一実施形態では、本明細書において、半導体デバイスを形成する方法が提供される。半導体構造が形成され、この場合、半導体構造は上面、第1サイドウォール、及び第1サイドウォールと反対側の第2サイドウォールを含む。第1ゲート構造及び第2ゲート構造が形成され、この場合、第1ゲート構造は第1サイドウォールに隣接して位置し、かつ第2ゲート構造は第2サイドウォールに隣接して位置する。第3ゲート構造は上面の上に位置
し、この場合、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は物理的に互いから分離している。第1ゲート構造及び第2ゲート構造は、ゲート材料層を第3ゲート構造及び基板の両方の上に堆積させ、そしてゲート材料層の内、第3ゲート構造の上に位置する部分を除去して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成することにより形成される。別の形態では、第1ゲート構造及び第2ゲート構造は、半導体構造の上面の上のゲート材料層を研磨以外の方法でエッチングすることにより形成される。ほぼ平坦な層は、ゲート材料層の上面の高さよりも低い位置で基板を覆うように形成される。ほぼ平坦な層をマスク層として使用して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する。別の形態では、第3ゲート構造及び半導体構造は1つのパターニング工程により形成される。半導体構造及び第3ゲート構造を分離する第1誘電体材料は、1つのパターニング工程により、第3ゲート構造上の少なくとも2つの追加層と一緒にパターニングされる。第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域は、第1ゲート構造及び第2ゲート構造の側面に直交する半導体構造の反対側で半導体構造から延びるようにして形成され、この場合、第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域を形成する操作では更に、第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域に対応する位置の集積回路に不純物をドープする。第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域は、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造をパターニングして第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域を露出させることにより形成される。第1ゲート構造及び第2ゲート構造は、第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域を形成した後に、ほぼ平坦な層をゲート材料層の上面の高さよりも低い位置で基板を覆うように形成し、そしてほぼ平坦な層をマスク層として使用して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成することにより形成される。一の形態では、第1誘電体層は半導体構造の第1サイドウォール及び第2サイドウォールを取り囲み、かつ半導体構造を第1ゲート構造及び第2ゲート構造から電気的に絶縁する形で形成される。第2誘電体層は半導体構造の上面の上に、第1誘電体層を形成するために使用する工程とは異なる処理工程により形成される。一の形態では、第1誘電体層は第1誘電体材料を用いて形成され、そして第2誘電体層は第2誘電体材料を用いて形成され、第2誘電体材料は第1誘電体材料とは異なる少なくとも一つの物理特性を有する。別の形態では、少なくとも一つの物理特性は、誘電体層厚さ、誘電体電気伝導率、又は誘電率から選択される一つである。別の実施形態では、電荷蓄積構造が形成され、電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置し、電荷蓄積構造はナノクラスターを含む。一の形態では、ナノクラスターは、シリコンナノ結晶、ゲルマニウムナノ結晶、シリコン−ゲルマニウム合金ナノ結晶、金ナノ結晶、銀ナノ結晶、及び白金ナノ結晶の内の少なくとも一つを含む。一の実施形態では、電荷蓄積構造は電荷捕獲誘電体を含み、かつ電荷捕獲誘電体は、シリコン窒化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、シリコンリッチ酸化物、及びアルミニウム酸化物の内の少なくとも一つを含む。一の形態では、第1電荷蓄積構造は第1サイドウォールに隣接する位置に形成され、第1ゲート構造は、第1電荷蓄積構造の内、第1サイドウォールとは反対側の第1電荷蓄積構造に隣接して位置する。第2電荷蓄積構造は、第2サイドウォールに隣接する位置に形成され、第2ゲート構造は、第2電荷蓄積構造の内、第2サイドウォールとは反対側の第2電荷蓄積構造に隣接して位置する。別の実施形態では、第3電荷蓄積構造が形成され、第3電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置する。別の形態では、電気コンタクトが、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造の内の2つのゲート構造にのみ形成される。別の形態では、電気コンタクトを、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造の内の1つのゲート構造に対してのみ取る。一の形態では、第3ゲート構造は結果的に第1導電型を有する。別の形態では、第1ゲート構造及び第2ゲート構造に不純物をドープしてこれらの構造が結果的に第2導電型を有するようにし、第1導電型は第2導電型とは逆の導電型である。別の形態では、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造の各々に不純物をドープしてこれらの構造が異なる導電型を有するようにする。別の実施形態では、第1ゲート構造及び第2ゲート構造には、異なるドーピング条件で斜めイオン注入することにより不純物をドープする。更に別の形態では、半導体
デバイスは、上面、第1サイドウォール、及び第1サイドウォールとは反対側の第2サイドウォールを有する半導体構造を含む。第1ゲート構造は第1サイドウォールに隣接して位置する。第2ゲート構造は第2サイドウォールに隣接して位置する。第3ゲート構造は上面の上に位置する。一の形態では、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は物理的に互いから離れている。ソース領域及びドレイン領域は、第1ゲート構造及び第2ゲート構造の側面に直交する半導体構造の反対側で半導体構造から延びる。第1ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第1サイドウォールに隣接して位置する。第2ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第2サイドウォールに隣接して位置し、そして第3ゲート構造は、ソースとドレインとの間の上面の上に位置する。別の実施形態では、第1誘電体層は半導体構造の第1サイドウォール及び第2サイドウォールを取り囲み、かつ半導体構造を第1ゲート構造及び第2ゲート構造から電気的に絶縁する。第2誘電体層は半導体構造の上面の上に設けられる。一の形態では、第1誘電体層及び第2誘電体層は、少なくとも一つの異なる物理特性を有し、そして少なくとも一つの異なる物理特性は、誘電体層厚さ、誘電体電気伝導率、又は誘電率の内の一つを含む。電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置する。一の形態では、電荷蓄積構造はナノクラスターを含み、ナノクラスターは、シリコンナノ結晶、ゲルマニウムナノ結晶、シリコン−ゲルマニウム合金ナノ結晶、金ナノ結晶、銀ナノ結晶、及び白金ナノ結晶の内の少なくとも一つを含む。別の形態では、電荷蓄積構造は電荷捕獲誘電体であり、かつ電荷捕獲誘電体は、シリコン窒化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、シリコンリッチ酸化物、及びアルミニウム酸化物の内の一つを含む。別の形態では、第1電荷蓄積構造は第1サイドウォールに隣接し、かつ第1ゲート構造は、第1電荷蓄積構造の内、第1サイドウォールとは反対側の第1電荷蓄積構造に隣接する。第2電荷蓄積構造は、第2サイドウォールに隣接して位置し、かつ第2ゲート構造は、第2電荷蓄積構造の内、第2サイドウォールとは反対側の第2電荷蓄積構造に隣接して位置する。一の実施形態では、第1電荷蓄積構造及び第2電荷蓄積構造はナノクラスターを含み、ナノクラスターは、シリコンナノ結晶、ゲルマニウムナノ結晶、シリコン−ゲルマニウム合金ナノ結晶、金ナノ結晶、銀ナノ結晶、及び白金ナノ結晶の内の少なくとも一つを含む。第1電荷蓄積構造及び第2電荷蓄積構造は電荷捕獲誘電体を含み、電荷捕獲誘電体は、シリコン窒化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、シリコンリッチ酸化物、及びアルミニウム酸化物の内の少なくとも一つを含む。第3電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置し、第3電荷蓄積構造は第1電荷蓄積構造及び第2電荷蓄積構造とは異なる少なくとも一つの特性を有する。一の形態では、第3ゲート構造に不純物をドープしてこれらの構造が第1導電型を有するようにし、かつ第1ゲート構造及び第2ゲート構造に不純物をドープしてこれらの構造が第2導電型を有するようにする。別の形態では、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は異なる導電型を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0005】
本発明は実施によって例示されるが、添付の図に限定されるものではない。図面において同様の参照記号は同様の構成要素を指す。当業者であれば、これらの図における構成要素は説明を簡単かつ明瞭にするために示されるものであって、必ずしも寸法通りには描かれていないことを理解するであろう。例えば、これらの図における幾つかの構成要素の寸法を他の構成要素に対して誇張して描いて本発明の実施形態を理解し易くしている。
【0006】
図1を参照すると、3つの電気絶縁ゲート構造を備える電界効果トランジスタ10を製造するための工程の1つにおける半導体ウェハ12の断面図が示されている。半導体ウェハ12は基板15を備え、この基板は、SOIウェハのような多種多様な半導体材料のいずれか、又はガラス又はサファイア基板のような、機械的強度を有するいずれかの基板を用いて得られる。基板15の上を絶縁層13が覆う。絶縁層13には、いずれかの酸化物又はいずれかの窒化物又はサファイアを用いることができる。絶縁層13の上にはパターニング済みフィン半導体構造が位置し、この構造はフィンFET(フィン電界効果トラン
ジスタ)のチャネル14を形成し、チャネルはシリコン(ポリシリコン、結晶シリコン、アモルファスシリコン、SiGe,ゲルマニウム、又はこれらの材料のいずれかの組み合わせのいずれか)である。チャネル14の上には酸化膜16が位置する。酸化膜16の上には第3ゲート18が設けられる(第1及び第2ゲートは以下に示す)。一実施形態では、第3ゲートはポリシリコンである。別の形態では、第3ゲートは、従来の注入プロセスを使用する不純物ドープ材料とすることができる。第3ゲートの上には酸化膜層20が設けられる。一実施形態では、酸化膜20は二酸化シリコンである。酸化膜層20の上には窒化膜層22が設けられる。一の形態では、窒化膜層22はシリコン窒化物である。電界効果トランジスタ10の図示の構造を形成するために、チャネル14、酸化膜16、第3ゲート18、酸化膜層20、及び窒化膜層22の各々は上記の材料から成る複数の層を熱成長させることにより形成され、又は複数の層を堆積させることにより形成される。これらの層は従来の方法で、層をエッチングすることによりパターニングして電界効果トランジスタ10の構造を形成する。チャネル14、酸化膜16、第3ゲート18、及び窒化膜層22は結果的に露出されたサイドウォールを有する。
【0007】
図2に示すのは、図1の電界効果トランジスタ10に対して行われる後続の処理である。従来の犠牲酸化膜除去工程をエッチングの後に実行する。チャネル14は、図2の断面図において反対側に位置する形で示されるサイドウォールを有する。酸化膜層26をチャネル14のサイドウォール(チャネル14の反対側に位置する図2の第1及び第2サイドウォール)の上に形成し、そして酸化膜層28を第3ゲート18のサイドウォールの上に形成する。ここで、酸化膜層26は実際にはチャネル14の周りの連続材料層であるので、異なる参照番号を左側及び右側に付けるということをしていないことを理解されたい。酸化膜層26及び酸化膜層28は従来の方法によって熱成長させる、又は堆積させることができる。酸化膜層26はゲート誘電体として機能するように設け、そして酸化膜層28は、第3ゲート18が他の表面に接触することがないように第3ゲートを絶縁するように機能するために設ける。ここで、酸化膜層26及び酸化膜層28として使用するために他の材料が適することを理解されたい。例えば、酸窒化物又は、例えばハフニウム酸化物のような高誘電率材料、或いはこれらの材料の組み合わせを酸化膜層26及び酸化膜層28の各々の材料として使用することができる。
【0008】
図3に示すのは、図2の電界効果トランジスタ10に対して行われる後続の処理である。下地の構造に沿って忠実に堆積する(コンフォーマルな)ポリシリコン層30を現時点の構造の周りに形成する。一実施形態では、ポリシリコン層30を堆積させる。ポリシリコン層30への任意選択の注入を実施することができる。任意選択の注入は幾つかの形態の内の一つの形態で行なうことができる。注入は同一の元素の、又はホウ素、リン、又は砒素などから異なる元素(すなわちN型及びP型)の、複数回の注入とすることができる。注入元素のドーズ量、方向、及びエネルギーを変えて、チャネル14の左側及び右側に位置する、ポリシリコン層30内部の領域の導電型を決定することができる。ポリシリコン層30の不純物タイプが第3ゲート18の不純物とは異なる場合、これによって、非対称ダブルゲートトランジスタの場合のように、チャネルしきい値電圧の制御が可能になる。他の形態では、ポリシリコン層30は、シリコンゲルマニウム、窒化チタン、タンタルシリコン窒化物、又はシリサイド、或いはこれらの材料の組み合わせのような他の材料を用いて形成することができる。ポリシリコン層30の上を反射防止コーティング(ARC)層32が覆う。一実施形態では、ARC層32は窒化膜である。ここで、ARC層32は任意選択の層であることを理解されたい。ARC層32はこの時点の構造に沿ったコンフォーマルな形状であり、デポジションにより形成される。スピン塗布レジスト層34を電界効果トランジスタ10上に、窒化膜層22の上面の高さよりも最初の時点では高くなる高さにまで塗布し、次にエッチバックしてARC層32の一部を露出させる。このエッチングは等方性エッチング又は異方性エッチングのいずれかとすることができる。スピン塗布したレジスト層34はフィンFETのフィン領域上のARC窒化膜層32を露出させ
、かつARC層32の他の部分を覆う。スピンオンガラスのような他のスピン塗布材料をスピン塗布レジスト層34に使用することができる。別の構成として、スピン塗布レジスト層34を従来のスピン塗布法又は堆積法を使用して所望の高さに形成することができる。
【0009】
図4に示すのは、図3の電界効果トランジスタ10に対して行われる後続の処理である。図4では、電界効果トランジスタ10にエッチングを行ってARC層32の露出部分及びポリシリコン層30の一部を除去する。エッチングによって第1ゲート44及び第2ゲート42が形成される。このエッチングは種々のポイントで停止させることができる。別の形態では、CMP研磨工程を使用し、そして研磨によって第1ゲート44の上面がエッジ52となる。エッチングを行なうと、第1ゲート44及び第2ゲート42の上面は、エッジ52、又はエッジ55のような更に低い位置のような種々の位置に位置させることができる。第1ゲート44及び第2ゲート42の上面の位置によって、第3ゲート18と第1ゲート44及び第2ゲート42の各々との間にどのくらい大きな容量結合が生じるかが決まる。従って、或る適用形態では、第1ゲート44及び第2ゲート42の上面が第3ゲート18の下側表面よりも低くなるときにエッチングを停止することが一般的により望ましい。他の適用形態では、第3ゲートと第1ゲート及び第2ゲートの各々との間に或る大きさの容量結合が生じることが望ましい。従って、エッチングによって、第1ゲート44及び第2ゲート42のサイズを制御する際の柔軟性が大きくなる。スピン塗布レジスト層34及びARC窒化膜層32を従来のウェットエッチング工程を使用して除去する。更に、ARC窒化膜層32は従来のウェットエッチング工程により除去することができる。更に、適切な材料をスピン塗布レジスト層34に、そして窒化物をARC層32及び窒化膜層22に使用してゲートとの電気的コンタクトを行なう場合、これらの層をエッチング除去してしまうのではなく、適切な位置に保持することができる。例えば、スピン塗布レジスト層34にスピンオン誘電体を用い、かつ第1ゲート、第2ゲート、及び第3ゲートの各々がシリサイド又は金属である場合、スピン塗布レジスト層34、ARC層32、及び窒化膜層22はエッチングにより全てを除去する必要はない。
【0010】
図5に示すのは、図4の電界効果トランジスタ10の斜視図である。第1ゲート44、第2ゲート42、第3ゲート18、窒化膜層22、及び酸化膜層20をリソグラフィによりパターニングし、そして従来のフォトリソグラフィを使用してエッチングする。このパターニングによって、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18の各々のゲート長を図5に示すように画定する。フォトレジストをマスクとして使用して、ポリシリコン層30、窒化膜層22、酸化膜層20、及び第3ゲート18の各部分を除去する。酸化膜層26及びゲート酸化膜16は、リソグラフィによるこのパターニングを行なうためのエッチングの間、エッチング停止層として機能する。この処理によって、ソース領域70及びドレイン領域72がイオン注入のような従来の不純物ドープ工程により形成される領域が露出する。更に別の処理を実施することができる。例えば、サイドウォールスペーサ(図示せず)は、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18の各々に隣接して形成することができる。また、露出シリコン半導体表面のシリサイド化を行ってシリコン表面の抵抗率を下げることができる。シリサイド化を行なう場合、このシリサイド化によってシリサイド層が第1ゲート44、第2ゲート42、第3ゲート18、ソース領域70、及びドレイン領域72の露出部分の上面に形成される。ここで、本明細書に記載するプロセス工程の順番は変えることができることに留意されたい。例えば、第1ゲート44及び第2ゲート42を形成するためのエッチング(又は別の研磨)は、スペーサ(図示せず)の形成、又は上に記載したシリサイド化の後に行なうことができる。
【0011】
図6に示すのは、電界効果トランジスタ10を更に処理して得られる構造であり、層間誘電体(ILD)66が、酸化膜、窒化膜、低誘電率誘電体、又はこれらの材料の組み合わせを堆積させることにより形成される。ILD66内部の複数のコンタクト孔がリソグ
ラフィによって画定され、そしてエッチングされる。これらのコンタクト孔は、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18の全ての3つのゲートに設ける、又はこれらの3つのゲートの内の選択されるゲートにのみ設けることができる。これらのコンタクト孔が形成されると、金属コンタクト64は第1ゲート44との接続を、上に記載したシリサイド工程により形成されるシリサイド領域63で行なう。同様に、金属コンタクト58は第2ゲート42との接続をシリサイド領域65で、そして金属コンタクト62は第3ゲート18との接続をシリサイド領域61で行なう。タングステン又は窒化チタン、又は他の材料のようないずれかの金属を金属コンタクト58,62,及び64に使用することができる。金属コンタクト64は第1バイアス電圧VBIAS 1に接続される。金属コンタクト58は第2バイアス電圧VBIAS 2に接続される。金属コンタクト62は第3バイアス電圧VBIAS 3に接続される。これらの3つのバイアス電圧は同じ電圧とする、又は異なる電圧とする、或いはこれらのバイアス電圧の内の2つのバイアス電圧のみを同じとすることができる。
【0012】
トランジスタは、3つの電気的に絶縁されるゲート電極、すなわち第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18を有するように形成されている。これらの3つ全てのゲートによってチャネル14を個々に制御することができる。金属コンタクト58,62,及び64の各々を異なる電位で別々にバイアスしてしきい値電圧、「オン」電流、及び「オフ」電流のような特性を制御することができる。更に、これらの3つの電気的に絶縁されるゲートの各々の不純物濃度は、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18への注入を行なうために選択されるドープ濃度によって変えることができる。ドープ濃度の違い及びドーピングタイプによって電界効果トランジスタ10のしきい値電圧特性が決まる。
【0013】
図7に示すのは、別の形態の複数の電界効果トランジスタであり、これらのトランジスタはメモリストレージ機能を更に追加した構成の複数の電気的に絶縁されるゲートを有する。特に、不揮発性領域104及び揮発性領域106をウェハ101上に設け、かつそれぞれトランジスタ105及びトランジスタ103によって表わされる。フォトリソグラフィ及びエッチングを使用してトランジスタ105及び103の幅を画定する。ここで、不揮発性領域104のトランジスタの幅は揮発性領域106のトランジスタの幅よりも大きいことに注目されたい。また、トランジスタ105及び103を形成するトランジスタ積層構造の高さは、これらのトランジスタ積層構造が同じ層により形成されるので同じであることに注目されたい。図示の形態では、不揮発性領域104及び揮発性領域106は、2つの領域の間の破断部分で示すように、ウェハ101の異なる領域に位置する。基板107には被覆絶縁層109を設ける。チャネル113が絶縁層109の上に設けられる。電荷蓄積構造は、チャネル113上の誘電体層115、誘電体層115上の電荷蓄積層118、及びコントロールゲート誘電体119により形成される。一の形態では、誘電体層115及びコントロールゲート誘電体119の各々は、熱成長により形成される酸化膜である。別の形態では、誘電体層115は酸窒化膜層又はCVD成長酸化膜である。電荷蓄積層118はナノクラスター層を使用することにより形成される。一の形態では、ナノクラスターとしてシリコンナノ結晶を用いる。別の形態では、ナノクラスターとして電荷捕獲窒化物材料層を用いる。更に別の形態では、ナノクラスターはこれらの材料の組み合わせを使用して形成される。他の電荷蓄積材料を使用することができる。電荷蓄積構造の上には第3ゲート123が位置し、このゲートはコントロールゲート誘電体119を覆う。コントロールゲート誘電体119の上にはパッド酸化膜層127及び窒化膜層131が位置する。
【0014】
不揮発性領域106では、チャネル111が絶縁層109上に設けられる。電荷蓄積構造は、チャネル111上の誘電体層117、誘電体層117上の電荷蓄積層120、及びコントロールゲート誘電体121により形成される。一の形態では、誘電体層117及び
コントロールゲート誘電体121の各々は、熱成長により形成される酸化膜である。別の形態では、誘電体層117は酸窒化膜層又はCVD成長酸化膜である。電荷蓄積層120はナノクラスター層を使用することにより形成される。一の形態では、ナノクラスターとしてシリコンナノ結晶を用いる。別の形態では、ナノクラスターとして電荷捕獲窒化物材料層を用いる。更に別の形態では、ナノクラスターはこれらの材料の組み合わせを使用して形成される。他の電荷蓄積材料を使用することができる。電荷蓄積構造の上には第3ゲート125が位置し、このゲートはコントロールゲート誘電体121を覆う。コントロールゲート誘電体121の上にはパッド酸化膜層129、及び一の形態では窒化膜である誘電体層133が位置する。
【0015】
図8に示すのは、図7の電界効果トランジスタを更に処理したときの構造である。誘電体層135及び139はチャネル113及び第3ゲート123のサイドウォールの上にそれぞれ形成される。同様に、誘電体層137及び誘電体層141はチャネル111及び第3ゲート125のサイドウォールの上にそれぞれ形成される。ナノクラスター層143は、全ての露出表面の上に、従来のCVD法を使用して形成される。上に記載したように、ナノクラスター143は多種多様な異なる電荷蓄積材料の内のいずれかの材料とすることができる。ナノクラスター143の上は誘電体層145が覆う。誘電体層145は堆積又は成長のいずれかにより形成することができ、一の形態では、窒化膜層、酸化膜層、又は酸窒化膜層の内の一つである。
【0016】
図9に示すのは、図7の電界効果トランジスタを更に処理したときの構造である。任意選択の異方性エッチングを使用してナノクラスター領域143を構造の露出水平面から全て、そしてトランジスタ積層構造のエッジに隣接する縦方向に一部エッチング除去する。図9は、ナノクラスター143をトランジスタ積層構造のサイドウォールに沿って第3ゲート123及び125の下方のポイントまでエッチングする様子を示しているが、サイドウォールからエッチングするナノクラスターの量は窒化膜層131のサイドウォールに沿ったいずれかのポイントから下方にチャネル113のサイドウォールに沿ったいずれかのポイントまで変化し得る。このエッチングによって、別々の誘電体層145及び誘電体層146がトランジスタ105及び103に関してそれぞれ形成される。同様に、別々のナノクラスター143及び144がトランジスタ105及び103に関してそれぞれ形成される。これ以降、ナノクラスター143のエッチングは行なわず、図9の処理は行なわない。
【0017】
図10に示すのは、図7のトランジスタを更に処理したときの構造である。ゲート層147を、層がトランジスタ105及び103の形状に忠実に沿って形成されるようにこれらのトランジスタの上に堆積させる。ゲート層147はポリシリコン、シリコンゲルマニウム、金属、又はこれらの材料の組み合わせとすることができる。ゲート層147の上は窒化膜層149が覆う。他の誘電体を窒化膜の代わりに使用することができる。窒化膜層149はARC層として機能する。この段階で、フォトリソグラフィを使用して所定のゲート材料領域をウェハ101上に画定することができ、これらの領域には第1ゲート、第2ゲート、及び第3ゲートが連続して位置することになる。この段階では、窒化膜層149を保護するゲートパターニングが行われていない領域において、窒化膜層149、ゲート層147、窒化膜層131、酸化膜層127、第3ゲート123、及び電荷蓄積構造(コントロールゲート誘電体119、電荷蓄積層118、及び誘電体層115)を除去することができる。スピン塗布レジスト層151を電界効果トランジスタ105及び103の上に、最初は窒化膜層149の上面の高さよりも高い高さになるまで塗布し、次にエッチバックして窒化膜層149の一部を露出させる。エッチングは等方性エッチング又は異方性エッチングのいずれかとすることができる。スピン塗布レジスト層151によって、フィンFETのフィン領域上の窒化膜層149が露出し、かつ窒化膜層149の他の部分が覆われる。スピンオンガラスのような他のスピン塗布材料をスピン塗布レジスト層151
に使用することができる。
【0018】
図11には、電界効果トランジスタ105及び103をエッチングして窒化膜層149の露出部分及びゲート層147の一部を除去する。エッチングによってトランジスタ105の第1ゲート層153及び第2ゲート層155が形成され、更にトランジスタ103の第1ゲート層157及び第2ゲート層159が形成される。ここでも同じく、このエッチング工程は図11に示す特定ポイントを除く種々のポイントで停止することができる。スピン塗布レジスト層151及び窒化膜層149の残った部分は従来の方法により除去する。しかしながら、スピン塗布レジスト層151、窒化膜層149、及び窒化膜層131は、スピンオンガラスのような適切な材料をスピン塗布レジスト層151に使用する場合に、しかるべき位置に残すことができることに注目されたい。別の形態では、窒化膜層131は、窒化膜層149を除去する同じ工程で除去することができる。不揮発性領域104のトランジスタ105は揮発性領域106のトランジスタ103と同じ縦方向寸法を有するので、トランジスタ105及びトランジスタ103の形状は、前に述べたゲート幅が異なることを除いて同じである。
【0019】
図12に示すのは、図11に示す状態のトランジスタ103及びトランジスタ105の各々の上面図である。ゲートコンタクト領域173がトランジスタ105の窒化膜層131の上に設けられる。ゲートコンタクト領域175及びゲートコンタクト領域177がトランジスタ103の第1ゲート157及び第2ゲート159の上にそれぞれ設けられる。ソースコンタクト領域179がトランジスタ105のソース拡散領域の上に設けられ、そしてドレインコンタクト領域181がトランジスタ105のドレイン拡散領域の上に設けられる。同様に、ソースコンタクト領域185がトランジスタ103のソース拡散領域の上に位置し、そしてドレインコンタクト領域183がトランジスタ103のドレイン拡散領域の上に位置する。上面図から分かるように、揮発性領域106のトランジスタ103のチャネルの幅は通常、不揮発性領域104のトランジスタ105のチャネルの幅よりも狭いが、必ずしも狭い必要はない。不揮発性の蓄積トランジスタを形成するトランジスタ105の幅は、第3ゲート123と電気コンタクトするために必要な面積の大きさによって主として決まる。トランジスタ105の幅も、トランジスタ105を不揮発性にするために電荷蓄積層118内部に必要な電荷蓄積面積の大きさによって変わる。別の表現をすると、トランジスタ105の幅は、第3ゲート123へのバイアス電圧の供給を止めたときに電荷蓄積層118にその電荷を維持させるために十分に大きくする必要がある。それとは異なり、トランジスタ103は狭い幅を有することができる、というのは、蓄積特性は、電荷蓄積層120の幅ではなく、チャネル111のサイドウォールの電荷蓄積素子144によって決まるからである。更に、トランジスタ103との電気コンタクトは上部第3ゲート125において行なう必要はない。従って、トランジスタ103の高さ、及び誘電体層137及び誘電体層146の電気特性によってトランジスタ103の記憶保持特性を制御し、トランジスタ105の幅、及びコントロールゲート誘電体119及び誘電体層115の電気特性によってトランジスタ105の記憶保持特性を制御する。第1ゲート153、第2ゲート155、及び第3ゲート123の各々との追加コンタクト(図示せず)を任意選択の形で設けることができる。このようなコンタクトを使用してチャネル113及び114、及び電荷蓄積層143のナノクラスター層、及び電荷蓄積層144又は電荷蓄積層118及び電荷蓄積層120のナノクラスター層に対する追加のバイアスを行なうことができる。
【0020】
図13に示すのは、シリサイドコンタクトビアがトランジスタの所定のゲートに形成されているトランジスタ105及び103の断面図である。1つのゲートコンタクトを不揮発性領域104の各トランジスタに対して行なう。不揮発性領域104の各トランジスタとのコンタクトを行なうためのゲートはチャネル上に位置する被覆ゲート又は上部ゲートである。2つのゲートコンタクトを揮発性領域106の各トランジスタに対して行なう。
揮発性領域106の各トランジスタとのコンタクトを行なうための複数のゲートはトランジスタのサイドウォールに隣接する。コンタクトがコンタクト173,175,及び177によって行われる場合、下層シリサイド領域165,167,及び171をそれぞれ形成する。不揮発性領域104の各トランジスタを1つの電圧をチャネル上のゲートに印加してプログラム(すなわち書き込み)バイアスし、そしてナノクラスター層143の電荷を維持するためにチャネル幅を十分に広くすることにより、トランジスタ105が不揮発性の電荷蓄積素子として機能する。同様に、トランジスタ103を、トランジスタ111のサイドウォールに隣接するゲートの両方でバイアスすると、トランジスタ103のナノクラスター層144が充電され、そして電源を第1ゲート157又は第2ゲート159のいずれかでリフレッシュする、又は維持しながら充電状態を維持する。
【0021】
図14に示すのは、2つの異なるタイプのメモリを有する集積回路180であり、これらのメモリは同じ処理を使用して形成されて、不揮発性領域104のトランジスタ105、3ゲートトランジスタを備える回路を有する領域105における、図1〜6に具体化されるトランジスタ10のようなトランジスタ、及び揮発性領域106のトランジスタ103のようなトランジスタを実現する。DRAMのようなダイナミックメモリを揮発性領域106の蓄積素子タイプとして指定することができる、フラッシュメモリアレイのような他のタイプの揮発性メモリアレイを用いることができる。ロジック回路、アナログ回路、及びデジタル回路を含むいずれかのタイプの回路を領域105に3ゲートトランジスタを使用して実現することができる。種々の回路モジュール(図示せず)の内の他のいずれかの回路モジュールを、ここに記載する一つのタイプの、又は全ての3つのタイプ(NVM3ゲートトランジスタ構造、揮発性メモリ3ゲートトランジスタ構造、及び不揮発性メモリ3ゲートトランジスタ構造)を使用する集積回路180の内部に設けることができる。ここで、図14に指定する3つの回路カテゴリーの内の一つ、又は2つのみを使用する集積回路を実現することができることは明らかである。
【0022】
次に、3つの独立ゲートを有するトランジスタ構造を提供してきたことを理解されたい。一の形態では、このトランジスタは世界共通のメモリアーキテクチャを実現するように構成することができ、このメモリアーキテクチャでは、不揮発性メモリセル及び揮発性メモリセルを同じ集積回路に同じ半導体プロセスを使用して設けることができる。ここに記載するトランジスタ構造が汎用性を有することによって、フラッシュ又はDRAMのようなメモリをROM又はSRAMと一緒に同じチップの上に製造するためのコストを大きく下げることができる。従来から、異なる処理工程を使用して形成される、異なるメモリモジュールは集積回路の上で実現する必要がある。3つの独立したゲートを有することにより、トランジスタはチャネルに電気的影響を与えて変調を生じさせる3つの異なるソースを実現するように機能する。チャネル電流制御を厳しくすると、トランジスタのしきい値電圧を更に正確に制御することができる(すなわち、しきい値電圧を、複数のゲートを組み合わせる形で、これらのゲートに対するバイアスを変えることにより動的に大きくする、又は小さくすることができる)。トランジスタのしきい値電圧はまた、チャネルを3つのゲートと結合させるために使用されるゲート誘電体のサイズ及びタイプによって変わる形で、かつゲートのサイズ及び不純物、及びゲートの材料組成によって変わる形で設定することができる。第3ゲートには従来のイオン注入又はin−situドープにより不純物をドープすることができる。第1及び第2ゲートには、同じ元素又は異なる元素を斜めからイオン注入することができる。第1及び第2ゲートにin−situドープして同じ導電型の領域を形成することもできる。
【0023】
一タイプの記憶保持材料を電荷蓄積層118に使用し、かつ異なるタイプの記憶保持材料を電荷蓄積層143を使用することにより、異なる読み出し及び書き込み記憶機構を構築することができる。詳細には、トランジスタ105に対して、被覆第3ゲートを使用することによるホットキャリア注入(HCI)によりプログラムを行ない(すなわち書き込
み)、そしてトンネリング、又はソースとドレインとの間のキャリア伝導によるホットホールキャリアによって消去を行なうことができる。トランジスタ103に対して、トンネリングを使用することにより、又は第1ゲート157及び第2ゲート159を使用するチャネルホットキャリア注入で行なう書き込み(warm channel programming)により書き込みを行なうことができる。トランジスタ103に対して、3つのゲートの内のいずれかからのトンネル電流を使用することにより、又はソースドレインを適切にバイアスすることにより消去を行なうことができる。
【0024】
これまでの明細書では、本発明を特定の実施形態について説明してきた。しかしながらこの技術分野の当業者であれば、種々の変形及び変更を、以下の請求項に示す本発明の技術範囲から逸脱しない範囲において加え得ることが分かるであろう。例えば、上に記載したエッチング工程及び除去工程の後に、窒化膜層22の下方に位置するチャネル14及び第3ゲート18にサイドウォールエッジにおいて凹部を形成することができる。電荷蓄積層143を図8において形成した後、ウェハ101の一部をマスクすることができ、かつ電荷蓄積層143及び誘電体層145を、ウェハ101の内、マスクされていない領域から除去することができる。これらの領域は、電荷蓄積位置を周辺(側部及び上部)に持たないトランジスタとして使用することができる。更に、トランジスタ103の第3ゲート積層構造のエッチングを行って電荷蓄積層143、誘電体層145、誘電体層133、酸化膜層129、第3ゲート125、誘電体層141、コントロールゲート誘電体121、及び電荷蓄積層120を除去することができる。結果として得られる構造は、複数の側面を有するチャネルを有するトランジスタである。また、3つのゲート領域は、幾つかのゲート領域がポリシリコンであり、かつ他のゲート領域が金属であるといった異なる材料特性を有することができる。
【0025】
従って、本明細書及び図は、本発明を制限するのではなく、例示としてのみ捉えられるべきであり、かつこのような変形の全ては本発明の技術範囲に含まれるべきものである。効果、他の利点、及び技術的問題に対する解決法について、特定の実施形態に関して上に記載してきた。しかしながら、効果、利点、及び問題解決法、及びこのような効果、利点、又は問題解決法をもたらし、又はさらに顕著にし得る全ての要素(群)が、いずれかの請求項又は全ての請求項の必須の、必要な、又は基本的な特徴又は要素であると解釈されるべきではない。本明細書で使用されるように、「comprises」、「comprising」という用語、又は他の全てのこれらの変形は包括的な意味で適用されるものであり、一連の要素を備えるプロセス、方法、製品、又は装置がこれらの要素のみを含むのではなく、明らかには列挙されていない、又はそのようなプロセス、方法、製品、又は装置に固有の他の要素も含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図2】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図3】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図4】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図5】図4の電界効果トランジスタを斜視図。
【図6】電気コンタクトを有する図4の電界効果トランジスタを断面図。
【図7】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図8】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図9】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図10】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図11】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図12】図11の揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタを上面図。
【図13】電気コンタクトを有する図11の揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタを断面図。
【図14】図11の揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタを使用することによって異なるタイプのメモリアレイを実現する集積回路の平面図。
【技術分野】
【0001】
本発明は半導体に関し、特にメモリに使用するトランジスタに関する。
【背景技術】
【0002】
トランジスタ形状の寸法が非常に小さくなってサブミクロンにまでなっているので、小さくなった寸法によって生じる素子物性への悪影響により、トランジスタ構造を変えざるを得なくなっている。特に、トランジスタのチャネルは極めて小さくなっている。チャネル長が短くなることによって、ゲート電極が制御機構になるのではなく、トランジスタのドレイン電極がチャネル内部の電流伝導を悪い形で制御するようになっている。この問題は多くの文献によって文書化され、かつ一般的に短チャネル効果と呼ばれる。短チャネル効果の問題を緩和するために、他の技術者は、ゲート電極がチャネルの反対側に位置する構成のトランジスタ構造を提案している。このアプローチによって短チャネル効果問題が大きく緩和されるが、このような構造の大量生産を可能にする手段が問題となる、というのは、反対側に位置するゲートを正しい位置に形成することが大量生産において非常に難しいからである。別の構成として、ゲート電極によって取り囲まれる縦方向シリコンチャネルを有するトランジスタ構造が、短チャネル効果を低減するために提案されている。このようなトランジスタは、フィンFET(FinFET)及びダブルゲートトランジスタを含む幾つかの異なる名前で呼ばれる。フィンFETトランジスタの或る実施形態は1つのゲート電極を有するが、他の実施形態は2つの電気絶縁ゲート電極を使用してトランジスタしきい値電圧の制御を含む性能を向上させる。チャネルの周りの2つのゲート電極を電気的に絶縁するために、化学的機械研磨(CMP)又は研磨工程を使用している。これらのトランジスタの小さいフィン構造に起因して、研磨工程ではトランジスタ素子の不均一な研磨又は「ディッシング(dishing)」を生じ易い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
トランジスタ構造を小さくすると不揮発性メモリアレイ(例えば、リードオンリメモリ及びフラッシュ)及び揮発性メモリアレイ(DRAM及びSRAM)の両方をシステムオンチップ(system on chip:SOC)用途に組み込むことも可能になっている。通常、異なるプロセスにより実現する、異なるトランジスタ構造は、不揮発性メモリアレイ及び揮発性メモリアレイの両方を実現する必要がある。例えば、フラッシュメモリトランジスタは、チャネルとコントロールゲートとの間に位置するフローティングゲート構造を用いることにより得られる。これとは異なり、DRAMメモリトランジスタはディープトレンチキャパシタを制御するプレーナトランジスタを用いて得られる。プレーナトランジスタには1つの平面チャネルを使用し、この平面チャネルはソース及びドレインを分離し、かつ上に位置するゲートによって制御される。従って、揮発性メモリアレイ及び不揮発性メモリアレイの両方を1つの集積回路に搭載するためには大きなコストが更に生じる、というのは、異なるプロセス及び構造を用いる必要があるからである。更に、必要とされる、異なるトランジスタ構造に起因して、同じ集積回路の複数のトランジスタの動作特性が大きく異なる可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
一実施形態では、本明細書において、半導体デバイスを形成する方法が提供される。半導体構造が形成され、この場合、半導体構造は上面、第1サイドウォール、及び第1サイドウォールと反対側の第2サイドウォールを含む。第1ゲート構造及び第2ゲート構造が形成され、この場合、第1ゲート構造は第1サイドウォールに隣接して位置し、かつ第2ゲート構造は第2サイドウォールに隣接して位置する。第3ゲート構造は上面の上に位置
し、この場合、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は物理的に互いから分離している。第1ゲート構造及び第2ゲート構造は、ゲート材料層を第3ゲート構造及び基板の両方の上に堆積させ、そしてゲート材料層の内、第3ゲート構造の上に位置する部分を除去して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成することにより形成される。別の形態では、第1ゲート構造及び第2ゲート構造は、半導体構造の上面の上のゲート材料層を研磨以外の方法でエッチングすることにより形成される。ほぼ平坦な層は、ゲート材料層の上面の高さよりも低い位置で基板を覆うように形成される。ほぼ平坦な層をマスク層として使用して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する。別の形態では、第3ゲート構造及び半導体構造は1つのパターニング工程により形成される。半導体構造及び第3ゲート構造を分離する第1誘電体材料は、1つのパターニング工程により、第3ゲート構造上の少なくとも2つの追加層と一緒にパターニングされる。第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域は、第1ゲート構造及び第2ゲート構造の側面に直交する半導体構造の反対側で半導体構造から延びるようにして形成され、この場合、第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域を形成する操作では更に、第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域に対応する位置の集積回路に不純物をドープする。第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域は、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造をパターニングして第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域を露出させることにより形成される。第1ゲート構造及び第2ゲート構造は、第1ソース/ドレイン領域及び第2ソース/ドレイン領域を形成した後に、ほぼ平坦な層をゲート材料層の上面の高さよりも低い位置で基板を覆うように形成し、そしてほぼ平坦な層をマスク層として使用して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成することにより形成される。一の形態では、第1誘電体層は半導体構造の第1サイドウォール及び第2サイドウォールを取り囲み、かつ半導体構造を第1ゲート構造及び第2ゲート構造から電気的に絶縁する形で形成される。第2誘電体層は半導体構造の上面の上に、第1誘電体層を形成するために使用する工程とは異なる処理工程により形成される。一の形態では、第1誘電体層は第1誘電体材料を用いて形成され、そして第2誘電体層は第2誘電体材料を用いて形成され、第2誘電体材料は第1誘電体材料とは異なる少なくとも一つの物理特性を有する。別の形態では、少なくとも一つの物理特性は、誘電体層厚さ、誘電体電気伝導率、又は誘電率から選択される一つである。別の実施形態では、電荷蓄積構造が形成され、電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置し、電荷蓄積構造はナノクラスターを含む。一の形態では、ナノクラスターは、シリコンナノ結晶、ゲルマニウムナノ結晶、シリコン−ゲルマニウム合金ナノ結晶、金ナノ結晶、銀ナノ結晶、及び白金ナノ結晶の内の少なくとも一つを含む。一の実施形態では、電荷蓄積構造は電荷捕獲誘電体を含み、かつ電荷捕獲誘電体は、シリコン窒化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、シリコンリッチ酸化物、及びアルミニウム酸化物の内の少なくとも一つを含む。一の形態では、第1電荷蓄積構造は第1サイドウォールに隣接する位置に形成され、第1ゲート構造は、第1電荷蓄積構造の内、第1サイドウォールとは反対側の第1電荷蓄積構造に隣接して位置する。第2電荷蓄積構造は、第2サイドウォールに隣接する位置に形成され、第2ゲート構造は、第2電荷蓄積構造の内、第2サイドウォールとは反対側の第2電荷蓄積構造に隣接して位置する。別の実施形態では、第3電荷蓄積構造が形成され、第3電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置する。別の形態では、電気コンタクトが、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造の内の2つのゲート構造にのみ形成される。別の形態では、電気コンタクトを、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造の内の1つのゲート構造に対してのみ取る。一の形態では、第3ゲート構造は結果的に第1導電型を有する。別の形態では、第1ゲート構造及び第2ゲート構造に不純物をドープしてこれらの構造が結果的に第2導電型を有するようにし、第1導電型は第2導電型とは逆の導電型である。別の形態では、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造の各々に不純物をドープしてこれらの構造が異なる導電型を有するようにする。別の実施形態では、第1ゲート構造及び第2ゲート構造には、異なるドーピング条件で斜めイオン注入することにより不純物をドープする。更に別の形態では、半導体
デバイスは、上面、第1サイドウォール、及び第1サイドウォールとは反対側の第2サイドウォールを有する半導体構造を含む。第1ゲート構造は第1サイドウォールに隣接して位置する。第2ゲート構造は第2サイドウォールに隣接して位置する。第3ゲート構造は上面の上に位置する。一の形態では、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は物理的に互いから離れている。ソース領域及びドレイン領域は、第1ゲート構造及び第2ゲート構造の側面に直交する半導体構造の反対側で半導体構造から延びる。第1ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第1サイドウォールに隣接して位置する。第2ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第2サイドウォールに隣接して位置し、そして第3ゲート構造は、ソースとドレインとの間の上面の上に位置する。別の実施形態では、第1誘電体層は半導体構造の第1サイドウォール及び第2サイドウォールを取り囲み、かつ半導体構造を第1ゲート構造及び第2ゲート構造から電気的に絶縁する。第2誘電体層は半導体構造の上面の上に設けられる。一の形態では、第1誘電体層及び第2誘電体層は、少なくとも一つの異なる物理特性を有し、そして少なくとも一つの異なる物理特性は、誘電体層厚さ、誘電体電気伝導率、又は誘電率の内の一つを含む。電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置する。一の形態では、電荷蓄積構造はナノクラスターを含み、ナノクラスターは、シリコンナノ結晶、ゲルマニウムナノ結晶、シリコン−ゲルマニウム合金ナノ結晶、金ナノ結晶、銀ナノ結晶、及び白金ナノ結晶の内の少なくとも一つを含む。別の形態では、電荷蓄積構造は電荷捕獲誘電体であり、かつ電荷捕獲誘電体は、シリコン窒化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、シリコンリッチ酸化物、及びアルミニウム酸化物の内の一つを含む。別の形態では、第1電荷蓄積構造は第1サイドウォールに隣接し、かつ第1ゲート構造は、第1電荷蓄積構造の内、第1サイドウォールとは反対側の第1電荷蓄積構造に隣接する。第2電荷蓄積構造は、第2サイドウォールに隣接して位置し、かつ第2ゲート構造は、第2電荷蓄積構造の内、第2サイドウォールとは反対側の第2電荷蓄積構造に隣接して位置する。一の実施形態では、第1電荷蓄積構造及び第2電荷蓄積構造はナノクラスターを含み、ナノクラスターは、シリコンナノ結晶、ゲルマニウムナノ結晶、シリコン−ゲルマニウム合金ナノ結晶、金ナノ結晶、銀ナノ結晶、及び白金ナノ結晶の内の少なくとも一つを含む。第1電荷蓄積構造及び第2電荷蓄積構造は電荷捕獲誘電体を含み、電荷捕獲誘電体は、シリコン窒化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、シリコンリッチ酸化物、及びアルミニウム酸化物の内の少なくとも一つを含む。第3電荷蓄積構造は上面と第3ゲート構造との間に位置し、第3電荷蓄積構造は第1電荷蓄積構造及び第2電荷蓄積構造とは異なる少なくとも一つの特性を有する。一の形態では、第3ゲート構造に不純物をドープしてこれらの構造が第1導電型を有するようにし、かつ第1ゲート構造及び第2ゲート構造に不純物をドープしてこれらの構造が第2導電型を有するようにする。別の形態では、第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は異なる導電型を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0005】
本発明は実施によって例示されるが、添付の図に限定されるものではない。図面において同様の参照記号は同様の構成要素を指す。当業者であれば、これらの図における構成要素は説明を簡単かつ明瞭にするために示されるものであって、必ずしも寸法通りには描かれていないことを理解するであろう。例えば、これらの図における幾つかの構成要素の寸法を他の構成要素に対して誇張して描いて本発明の実施形態を理解し易くしている。
【0006】
図1を参照すると、3つの電気絶縁ゲート構造を備える電界効果トランジスタ10を製造するための工程の1つにおける半導体ウェハ12の断面図が示されている。半導体ウェハ12は基板15を備え、この基板は、SOIウェハのような多種多様な半導体材料のいずれか、又はガラス又はサファイア基板のような、機械的強度を有するいずれかの基板を用いて得られる。基板15の上を絶縁層13が覆う。絶縁層13には、いずれかの酸化物又はいずれかの窒化物又はサファイアを用いることができる。絶縁層13の上にはパターニング済みフィン半導体構造が位置し、この構造はフィンFET(フィン電界効果トラン
ジスタ)のチャネル14を形成し、チャネルはシリコン(ポリシリコン、結晶シリコン、アモルファスシリコン、SiGe,ゲルマニウム、又はこれらの材料のいずれかの組み合わせのいずれか)である。チャネル14の上には酸化膜16が位置する。酸化膜16の上には第3ゲート18が設けられる(第1及び第2ゲートは以下に示す)。一実施形態では、第3ゲートはポリシリコンである。別の形態では、第3ゲートは、従来の注入プロセスを使用する不純物ドープ材料とすることができる。第3ゲートの上には酸化膜層20が設けられる。一実施形態では、酸化膜20は二酸化シリコンである。酸化膜層20の上には窒化膜層22が設けられる。一の形態では、窒化膜層22はシリコン窒化物である。電界効果トランジスタ10の図示の構造を形成するために、チャネル14、酸化膜16、第3ゲート18、酸化膜層20、及び窒化膜層22の各々は上記の材料から成る複数の層を熱成長させることにより形成され、又は複数の層を堆積させることにより形成される。これらの層は従来の方法で、層をエッチングすることによりパターニングして電界効果トランジスタ10の構造を形成する。チャネル14、酸化膜16、第3ゲート18、及び窒化膜層22は結果的に露出されたサイドウォールを有する。
【0007】
図2に示すのは、図1の電界効果トランジスタ10に対して行われる後続の処理である。従来の犠牲酸化膜除去工程をエッチングの後に実行する。チャネル14は、図2の断面図において反対側に位置する形で示されるサイドウォールを有する。酸化膜層26をチャネル14のサイドウォール(チャネル14の反対側に位置する図2の第1及び第2サイドウォール)の上に形成し、そして酸化膜層28を第3ゲート18のサイドウォールの上に形成する。ここで、酸化膜層26は実際にはチャネル14の周りの連続材料層であるので、異なる参照番号を左側及び右側に付けるということをしていないことを理解されたい。酸化膜層26及び酸化膜層28は従来の方法によって熱成長させる、又は堆積させることができる。酸化膜層26はゲート誘電体として機能するように設け、そして酸化膜層28は、第3ゲート18が他の表面に接触することがないように第3ゲートを絶縁するように機能するために設ける。ここで、酸化膜層26及び酸化膜層28として使用するために他の材料が適することを理解されたい。例えば、酸窒化物又は、例えばハフニウム酸化物のような高誘電率材料、或いはこれらの材料の組み合わせを酸化膜層26及び酸化膜層28の各々の材料として使用することができる。
【0008】
図3に示すのは、図2の電界効果トランジスタ10に対して行われる後続の処理である。下地の構造に沿って忠実に堆積する(コンフォーマルな)ポリシリコン層30を現時点の構造の周りに形成する。一実施形態では、ポリシリコン層30を堆積させる。ポリシリコン層30への任意選択の注入を実施することができる。任意選択の注入は幾つかの形態の内の一つの形態で行なうことができる。注入は同一の元素の、又はホウ素、リン、又は砒素などから異なる元素(すなわちN型及びP型)の、複数回の注入とすることができる。注入元素のドーズ量、方向、及びエネルギーを変えて、チャネル14の左側及び右側に位置する、ポリシリコン層30内部の領域の導電型を決定することができる。ポリシリコン層30の不純物タイプが第3ゲート18の不純物とは異なる場合、これによって、非対称ダブルゲートトランジスタの場合のように、チャネルしきい値電圧の制御が可能になる。他の形態では、ポリシリコン層30は、シリコンゲルマニウム、窒化チタン、タンタルシリコン窒化物、又はシリサイド、或いはこれらの材料の組み合わせのような他の材料を用いて形成することができる。ポリシリコン層30の上を反射防止コーティング(ARC)層32が覆う。一実施形態では、ARC層32は窒化膜である。ここで、ARC層32は任意選択の層であることを理解されたい。ARC層32はこの時点の構造に沿ったコンフォーマルな形状であり、デポジションにより形成される。スピン塗布レジスト層34を電界効果トランジスタ10上に、窒化膜層22の上面の高さよりも最初の時点では高くなる高さにまで塗布し、次にエッチバックしてARC層32の一部を露出させる。このエッチングは等方性エッチング又は異方性エッチングのいずれかとすることができる。スピン塗布したレジスト層34はフィンFETのフィン領域上のARC窒化膜層32を露出させ
、かつARC層32の他の部分を覆う。スピンオンガラスのような他のスピン塗布材料をスピン塗布レジスト層34に使用することができる。別の構成として、スピン塗布レジスト層34を従来のスピン塗布法又は堆積法を使用して所望の高さに形成することができる。
【0009】
図4に示すのは、図3の電界効果トランジスタ10に対して行われる後続の処理である。図4では、電界効果トランジスタ10にエッチングを行ってARC層32の露出部分及びポリシリコン層30の一部を除去する。エッチングによって第1ゲート44及び第2ゲート42が形成される。このエッチングは種々のポイントで停止させることができる。別の形態では、CMP研磨工程を使用し、そして研磨によって第1ゲート44の上面がエッジ52となる。エッチングを行なうと、第1ゲート44及び第2ゲート42の上面は、エッジ52、又はエッジ55のような更に低い位置のような種々の位置に位置させることができる。第1ゲート44及び第2ゲート42の上面の位置によって、第3ゲート18と第1ゲート44及び第2ゲート42の各々との間にどのくらい大きな容量結合が生じるかが決まる。従って、或る適用形態では、第1ゲート44及び第2ゲート42の上面が第3ゲート18の下側表面よりも低くなるときにエッチングを停止することが一般的により望ましい。他の適用形態では、第3ゲートと第1ゲート及び第2ゲートの各々との間に或る大きさの容量結合が生じることが望ましい。従って、エッチングによって、第1ゲート44及び第2ゲート42のサイズを制御する際の柔軟性が大きくなる。スピン塗布レジスト層34及びARC窒化膜層32を従来のウェットエッチング工程を使用して除去する。更に、ARC窒化膜層32は従来のウェットエッチング工程により除去することができる。更に、適切な材料をスピン塗布レジスト層34に、そして窒化物をARC層32及び窒化膜層22に使用してゲートとの電気的コンタクトを行なう場合、これらの層をエッチング除去してしまうのではなく、適切な位置に保持することができる。例えば、スピン塗布レジスト層34にスピンオン誘電体を用い、かつ第1ゲート、第2ゲート、及び第3ゲートの各々がシリサイド又は金属である場合、スピン塗布レジスト層34、ARC層32、及び窒化膜層22はエッチングにより全てを除去する必要はない。
【0010】
図5に示すのは、図4の電界効果トランジスタ10の斜視図である。第1ゲート44、第2ゲート42、第3ゲート18、窒化膜層22、及び酸化膜層20をリソグラフィによりパターニングし、そして従来のフォトリソグラフィを使用してエッチングする。このパターニングによって、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18の各々のゲート長を図5に示すように画定する。フォトレジストをマスクとして使用して、ポリシリコン層30、窒化膜層22、酸化膜層20、及び第3ゲート18の各部分を除去する。酸化膜層26及びゲート酸化膜16は、リソグラフィによるこのパターニングを行なうためのエッチングの間、エッチング停止層として機能する。この処理によって、ソース領域70及びドレイン領域72がイオン注入のような従来の不純物ドープ工程により形成される領域が露出する。更に別の処理を実施することができる。例えば、サイドウォールスペーサ(図示せず)は、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18の各々に隣接して形成することができる。また、露出シリコン半導体表面のシリサイド化を行ってシリコン表面の抵抗率を下げることができる。シリサイド化を行なう場合、このシリサイド化によってシリサイド層が第1ゲート44、第2ゲート42、第3ゲート18、ソース領域70、及びドレイン領域72の露出部分の上面に形成される。ここで、本明細書に記載するプロセス工程の順番は変えることができることに留意されたい。例えば、第1ゲート44及び第2ゲート42を形成するためのエッチング(又は別の研磨)は、スペーサ(図示せず)の形成、又は上に記載したシリサイド化の後に行なうことができる。
【0011】
図6に示すのは、電界効果トランジスタ10を更に処理して得られる構造であり、層間誘電体(ILD)66が、酸化膜、窒化膜、低誘電率誘電体、又はこれらの材料の組み合わせを堆積させることにより形成される。ILD66内部の複数のコンタクト孔がリソグ
ラフィによって画定され、そしてエッチングされる。これらのコンタクト孔は、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18の全ての3つのゲートに設ける、又はこれらの3つのゲートの内の選択されるゲートにのみ設けることができる。これらのコンタクト孔が形成されると、金属コンタクト64は第1ゲート44との接続を、上に記載したシリサイド工程により形成されるシリサイド領域63で行なう。同様に、金属コンタクト58は第2ゲート42との接続をシリサイド領域65で、そして金属コンタクト62は第3ゲート18との接続をシリサイド領域61で行なう。タングステン又は窒化チタン、又は他の材料のようないずれかの金属を金属コンタクト58,62,及び64に使用することができる。金属コンタクト64は第1バイアス電圧VBIAS 1に接続される。金属コンタクト58は第2バイアス電圧VBIAS 2に接続される。金属コンタクト62は第3バイアス電圧VBIAS 3に接続される。これらの3つのバイアス電圧は同じ電圧とする、又は異なる電圧とする、或いはこれらのバイアス電圧の内の2つのバイアス電圧のみを同じとすることができる。
【0012】
トランジスタは、3つの電気的に絶縁されるゲート電極、すなわち第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18を有するように形成されている。これらの3つ全てのゲートによってチャネル14を個々に制御することができる。金属コンタクト58,62,及び64の各々を異なる電位で別々にバイアスしてしきい値電圧、「オン」電流、及び「オフ」電流のような特性を制御することができる。更に、これらの3つの電気的に絶縁されるゲートの各々の不純物濃度は、第1ゲート44、第2ゲート42、及び第3ゲート18への注入を行なうために選択されるドープ濃度によって変えることができる。ドープ濃度の違い及びドーピングタイプによって電界効果トランジスタ10のしきい値電圧特性が決まる。
【0013】
図7に示すのは、別の形態の複数の電界効果トランジスタであり、これらのトランジスタはメモリストレージ機能を更に追加した構成の複数の電気的に絶縁されるゲートを有する。特に、不揮発性領域104及び揮発性領域106をウェハ101上に設け、かつそれぞれトランジスタ105及びトランジスタ103によって表わされる。フォトリソグラフィ及びエッチングを使用してトランジスタ105及び103の幅を画定する。ここで、不揮発性領域104のトランジスタの幅は揮発性領域106のトランジスタの幅よりも大きいことに注目されたい。また、トランジスタ105及び103を形成するトランジスタ積層構造の高さは、これらのトランジスタ積層構造が同じ層により形成されるので同じであることに注目されたい。図示の形態では、不揮発性領域104及び揮発性領域106は、2つの領域の間の破断部分で示すように、ウェハ101の異なる領域に位置する。基板107には被覆絶縁層109を設ける。チャネル113が絶縁層109の上に設けられる。電荷蓄積構造は、チャネル113上の誘電体層115、誘電体層115上の電荷蓄積層118、及びコントロールゲート誘電体119により形成される。一の形態では、誘電体層115及びコントロールゲート誘電体119の各々は、熱成長により形成される酸化膜である。別の形態では、誘電体層115は酸窒化膜層又はCVD成長酸化膜である。電荷蓄積層118はナノクラスター層を使用することにより形成される。一の形態では、ナノクラスターとしてシリコンナノ結晶を用いる。別の形態では、ナノクラスターとして電荷捕獲窒化物材料層を用いる。更に別の形態では、ナノクラスターはこれらの材料の組み合わせを使用して形成される。他の電荷蓄積材料を使用することができる。電荷蓄積構造の上には第3ゲート123が位置し、このゲートはコントロールゲート誘電体119を覆う。コントロールゲート誘電体119の上にはパッド酸化膜層127及び窒化膜層131が位置する。
【0014】
不揮発性領域106では、チャネル111が絶縁層109上に設けられる。電荷蓄積構造は、チャネル111上の誘電体層117、誘電体層117上の電荷蓄積層120、及びコントロールゲート誘電体121により形成される。一の形態では、誘電体層117及び
コントロールゲート誘電体121の各々は、熱成長により形成される酸化膜である。別の形態では、誘電体層117は酸窒化膜層又はCVD成長酸化膜である。電荷蓄積層120はナノクラスター層を使用することにより形成される。一の形態では、ナノクラスターとしてシリコンナノ結晶を用いる。別の形態では、ナノクラスターとして電荷捕獲窒化物材料層を用いる。更に別の形態では、ナノクラスターはこれらの材料の組み合わせを使用して形成される。他の電荷蓄積材料を使用することができる。電荷蓄積構造の上には第3ゲート125が位置し、このゲートはコントロールゲート誘電体121を覆う。コントロールゲート誘電体121の上にはパッド酸化膜層129、及び一の形態では窒化膜である誘電体層133が位置する。
【0015】
図8に示すのは、図7の電界効果トランジスタを更に処理したときの構造である。誘電体層135及び139はチャネル113及び第3ゲート123のサイドウォールの上にそれぞれ形成される。同様に、誘電体層137及び誘電体層141はチャネル111及び第3ゲート125のサイドウォールの上にそれぞれ形成される。ナノクラスター層143は、全ての露出表面の上に、従来のCVD法を使用して形成される。上に記載したように、ナノクラスター143は多種多様な異なる電荷蓄積材料の内のいずれかの材料とすることができる。ナノクラスター143の上は誘電体層145が覆う。誘電体層145は堆積又は成長のいずれかにより形成することができ、一の形態では、窒化膜層、酸化膜層、又は酸窒化膜層の内の一つである。
【0016】
図9に示すのは、図7の電界効果トランジスタを更に処理したときの構造である。任意選択の異方性エッチングを使用してナノクラスター領域143を構造の露出水平面から全て、そしてトランジスタ積層構造のエッジに隣接する縦方向に一部エッチング除去する。図9は、ナノクラスター143をトランジスタ積層構造のサイドウォールに沿って第3ゲート123及び125の下方のポイントまでエッチングする様子を示しているが、サイドウォールからエッチングするナノクラスターの量は窒化膜層131のサイドウォールに沿ったいずれかのポイントから下方にチャネル113のサイドウォールに沿ったいずれかのポイントまで変化し得る。このエッチングによって、別々の誘電体層145及び誘電体層146がトランジスタ105及び103に関してそれぞれ形成される。同様に、別々のナノクラスター143及び144がトランジスタ105及び103に関してそれぞれ形成される。これ以降、ナノクラスター143のエッチングは行なわず、図9の処理は行なわない。
【0017】
図10に示すのは、図7のトランジスタを更に処理したときの構造である。ゲート層147を、層がトランジスタ105及び103の形状に忠実に沿って形成されるようにこれらのトランジスタの上に堆積させる。ゲート層147はポリシリコン、シリコンゲルマニウム、金属、又はこれらの材料の組み合わせとすることができる。ゲート層147の上は窒化膜層149が覆う。他の誘電体を窒化膜の代わりに使用することができる。窒化膜層149はARC層として機能する。この段階で、フォトリソグラフィを使用して所定のゲート材料領域をウェハ101上に画定することができ、これらの領域には第1ゲート、第2ゲート、及び第3ゲートが連続して位置することになる。この段階では、窒化膜層149を保護するゲートパターニングが行われていない領域において、窒化膜層149、ゲート層147、窒化膜層131、酸化膜層127、第3ゲート123、及び電荷蓄積構造(コントロールゲート誘電体119、電荷蓄積層118、及び誘電体層115)を除去することができる。スピン塗布レジスト層151を電界効果トランジスタ105及び103の上に、最初は窒化膜層149の上面の高さよりも高い高さになるまで塗布し、次にエッチバックして窒化膜層149の一部を露出させる。エッチングは等方性エッチング又は異方性エッチングのいずれかとすることができる。スピン塗布レジスト層151によって、フィンFETのフィン領域上の窒化膜層149が露出し、かつ窒化膜層149の他の部分が覆われる。スピンオンガラスのような他のスピン塗布材料をスピン塗布レジスト層151
に使用することができる。
【0018】
図11には、電界効果トランジスタ105及び103をエッチングして窒化膜層149の露出部分及びゲート層147の一部を除去する。エッチングによってトランジスタ105の第1ゲート層153及び第2ゲート層155が形成され、更にトランジスタ103の第1ゲート層157及び第2ゲート層159が形成される。ここでも同じく、このエッチング工程は図11に示す特定ポイントを除く種々のポイントで停止することができる。スピン塗布レジスト層151及び窒化膜層149の残った部分は従来の方法により除去する。しかしながら、スピン塗布レジスト層151、窒化膜層149、及び窒化膜層131は、スピンオンガラスのような適切な材料をスピン塗布レジスト層151に使用する場合に、しかるべき位置に残すことができることに注目されたい。別の形態では、窒化膜層131は、窒化膜層149を除去する同じ工程で除去することができる。不揮発性領域104のトランジスタ105は揮発性領域106のトランジスタ103と同じ縦方向寸法を有するので、トランジスタ105及びトランジスタ103の形状は、前に述べたゲート幅が異なることを除いて同じである。
【0019】
図12に示すのは、図11に示す状態のトランジスタ103及びトランジスタ105の各々の上面図である。ゲートコンタクト領域173がトランジスタ105の窒化膜層131の上に設けられる。ゲートコンタクト領域175及びゲートコンタクト領域177がトランジスタ103の第1ゲート157及び第2ゲート159の上にそれぞれ設けられる。ソースコンタクト領域179がトランジスタ105のソース拡散領域の上に設けられ、そしてドレインコンタクト領域181がトランジスタ105のドレイン拡散領域の上に設けられる。同様に、ソースコンタクト領域185がトランジスタ103のソース拡散領域の上に位置し、そしてドレインコンタクト領域183がトランジスタ103のドレイン拡散領域の上に位置する。上面図から分かるように、揮発性領域106のトランジスタ103のチャネルの幅は通常、不揮発性領域104のトランジスタ105のチャネルの幅よりも狭いが、必ずしも狭い必要はない。不揮発性の蓄積トランジスタを形成するトランジスタ105の幅は、第3ゲート123と電気コンタクトするために必要な面積の大きさによって主として決まる。トランジスタ105の幅も、トランジスタ105を不揮発性にするために電荷蓄積層118内部に必要な電荷蓄積面積の大きさによって変わる。別の表現をすると、トランジスタ105の幅は、第3ゲート123へのバイアス電圧の供給を止めたときに電荷蓄積層118にその電荷を維持させるために十分に大きくする必要がある。それとは異なり、トランジスタ103は狭い幅を有することができる、というのは、蓄積特性は、電荷蓄積層120の幅ではなく、チャネル111のサイドウォールの電荷蓄積素子144によって決まるからである。更に、トランジスタ103との電気コンタクトは上部第3ゲート125において行なう必要はない。従って、トランジスタ103の高さ、及び誘電体層137及び誘電体層146の電気特性によってトランジスタ103の記憶保持特性を制御し、トランジスタ105の幅、及びコントロールゲート誘電体119及び誘電体層115の電気特性によってトランジスタ105の記憶保持特性を制御する。第1ゲート153、第2ゲート155、及び第3ゲート123の各々との追加コンタクト(図示せず)を任意選択の形で設けることができる。このようなコンタクトを使用してチャネル113及び114、及び電荷蓄積層143のナノクラスター層、及び電荷蓄積層144又は電荷蓄積層118及び電荷蓄積層120のナノクラスター層に対する追加のバイアスを行なうことができる。
【0020】
図13に示すのは、シリサイドコンタクトビアがトランジスタの所定のゲートに形成されているトランジスタ105及び103の断面図である。1つのゲートコンタクトを不揮発性領域104の各トランジスタに対して行なう。不揮発性領域104の各トランジスタとのコンタクトを行なうためのゲートはチャネル上に位置する被覆ゲート又は上部ゲートである。2つのゲートコンタクトを揮発性領域106の各トランジスタに対して行なう。
揮発性領域106の各トランジスタとのコンタクトを行なうための複数のゲートはトランジスタのサイドウォールに隣接する。コンタクトがコンタクト173,175,及び177によって行われる場合、下層シリサイド領域165,167,及び171をそれぞれ形成する。不揮発性領域104の各トランジスタを1つの電圧をチャネル上のゲートに印加してプログラム(すなわち書き込み)バイアスし、そしてナノクラスター層143の電荷を維持するためにチャネル幅を十分に広くすることにより、トランジスタ105が不揮発性の電荷蓄積素子として機能する。同様に、トランジスタ103を、トランジスタ111のサイドウォールに隣接するゲートの両方でバイアスすると、トランジスタ103のナノクラスター層144が充電され、そして電源を第1ゲート157又は第2ゲート159のいずれかでリフレッシュする、又は維持しながら充電状態を維持する。
【0021】
図14に示すのは、2つの異なるタイプのメモリを有する集積回路180であり、これらのメモリは同じ処理を使用して形成されて、不揮発性領域104のトランジスタ105、3ゲートトランジスタを備える回路を有する領域105における、図1〜6に具体化されるトランジスタ10のようなトランジスタ、及び揮発性領域106のトランジスタ103のようなトランジスタを実現する。DRAMのようなダイナミックメモリを揮発性領域106の蓄積素子タイプとして指定することができる、フラッシュメモリアレイのような他のタイプの揮発性メモリアレイを用いることができる。ロジック回路、アナログ回路、及びデジタル回路を含むいずれかのタイプの回路を領域105に3ゲートトランジスタを使用して実現することができる。種々の回路モジュール(図示せず)の内の他のいずれかの回路モジュールを、ここに記載する一つのタイプの、又は全ての3つのタイプ(NVM3ゲートトランジスタ構造、揮発性メモリ3ゲートトランジスタ構造、及び不揮発性メモリ3ゲートトランジスタ構造)を使用する集積回路180の内部に設けることができる。ここで、図14に指定する3つの回路カテゴリーの内の一つ、又は2つのみを使用する集積回路を実現することができることは明らかである。
【0022】
次に、3つの独立ゲートを有するトランジスタ構造を提供してきたことを理解されたい。一の形態では、このトランジスタは世界共通のメモリアーキテクチャを実現するように構成することができ、このメモリアーキテクチャでは、不揮発性メモリセル及び揮発性メモリセルを同じ集積回路に同じ半導体プロセスを使用して設けることができる。ここに記載するトランジスタ構造が汎用性を有することによって、フラッシュ又はDRAMのようなメモリをROM又はSRAMと一緒に同じチップの上に製造するためのコストを大きく下げることができる。従来から、異なる処理工程を使用して形成される、異なるメモリモジュールは集積回路の上で実現する必要がある。3つの独立したゲートを有することにより、トランジスタはチャネルに電気的影響を与えて変調を生じさせる3つの異なるソースを実現するように機能する。チャネル電流制御を厳しくすると、トランジスタのしきい値電圧を更に正確に制御することができる(すなわち、しきい値電圧を、複数のゲートを組み合わせる形で、これらのゲートに対するバイアスを変えることにより動的に大きくする、又は小さくすることができる)。トランジスタのしきい値電圧はまた、チャネルを3つのゲートと結合させるために使用されるゲート誘電体のサイズ及びタイプによって変わる形で、かつゲートのサイズ及び不純物、及びゲートの材料組成によって変わる形で設定することができる。第3ゲートには従来のイオン注入又はin−situドープにより不純物をドープすることができる。第1及び第2ゲートには、同じ元素又は異なる元素を斜めからイオン注入することができる。第1及び第2ゲートにin−situドープして同じ導電型の領域を形成することもできる。
【0023】
一タイプの記憶保持材料を電荷蓄積層118に使用し、かつ異なるタイプの記憶保持材料を電荷蓄積層143を使用することにより、異なる読み出し及び書き込み記憶機構を構築することができる。詳細には、トランジスタ105に対して、被覆第3ゲートを使用することによるホットキャリア注入(HCI)によりプログラムを行ない(すなわち書き込
み)、そしてトンネリング、又はソースとドレインとの間のキャリア伝導によるホットホールキャリアによって消去を行なうことができる。トランジスタ103に対して、トンネリングを使用することにより、又は第1ゲート157及び第2ゲート159を使用するチャネルホットキャリア注入で行なう書き込み(warm channel programming)により書き込みを行なうことができる。トランジスタ103に対して、3つのゲートの内のいずれかからのトンネル電流を使用することにより、又はソースドレインを適切にバイアスすることにより消去を行なうことができる。
【0024】
これまでの明細書では、本発明を特定の実施形態について説明してきた。しかしながらこの技術分野の当業者であれば、種々の変形及び変更を、以下の請求項に示す本発明の技術範囲から逸脱しない範囲において加え得ることが分かるであろう。例えば、上に記載したエッチング工程及び除去工程の後に、窒化膜層22の下方に位置するチャネル14及び第3ゲート18にサイドウォールエッジにおいて凹部を形成することができる。電荷蓄積層143を図8において形成した後、ウェハ101の一部をマスクすることができ、かつ電荷蓄積層143及び誘電体層145を、ウェハ101の内、マスクされていない領域から除去することができる。これらの領域は、電荷蓄積位置を周辺(側部及び上部)に持たないトランジスタとして使用することができる。更に、トランジスタ103の第3ゲート積層構造のエッチングを行って電荷蓄積層143、誘電体層145、誘電体層133、酸化膜層129、第3ゲート125、誘電体層141、コントロールゲート誘電体121、及び電荷蓄積層120を除去することができる。結果として得られる構造は、複数の側面を有するチャネルを有するトランジスタである。また、3つのゲート領域は、幾つかのゲート領域がポリシリコンであり、かつ他のゲート領域が金属であるといった異なる材料特性を有することができる。
【0025】
従って、本明細書及び図は、本発明を制限するのではなく、例示としてのみ捉えられるべきであり、かつこのような変形の全ては本発明の技術範囲に含まれるべきものである。効果、他の利点、及び技術的問題に対する解決法について、特定の実施形態に関して上に記載してきた。しかしながら、効果、利点、及び問題解決法、及びこのような効果、利点、又は問題解決法をもたらし、又はさらに顕著にし得る全ての要素(群)が、いずれかの請求項又は全ての請求項の必須の、必要な、又は基本的な特徴又は要素であると解釈されるべきではない。本明細書で使用されるように、「comprises」、「comprising」という用語、又は他の全てのこれらの変形は包括的な意味で適用されるものであり、一連の要素を備えるプロセス、方法、製品、又は装置がこれらの要素のみを含むのではなく、明らかには列挙されていない、又はそのようなプロセス、方法、製品、又は装置に固有の他の要素も含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図2】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図3】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図4】本発明の第1の形態による電界効果トランジスタを断面図。
【図5】図4の電界効果トランジスタを斜視図。
【図6】電気コンタクトを有する図4の電界効果トランジスタを断面図。
【図7】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図8】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図9】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図10】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図11】電界効果トランジスタの第2の形態を使用する揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタのメモリへの適用形態を断面図。
【図12】図11の揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタを上面図。
【図13】電気コンタクトを有する図11の揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタを断面図。
【図14】図11の揮発性メモリトランジスタ及び不揮発性メモリトランジスタを使用することによって異なるタイプのメモリアレイを実現する集積回路の平面図。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
上面と、第1サイドウォールと、該第1サイドウォールに対向する第2サイドウォールとを有した半導体構造を形成する工程と、
前記第1サイドウォールに隣接して設けられる第1ゲート構造及び、前記第2サイドウォールに隣接して設けられる第2ゲート構造を形成する工程と、
第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造が互いに物理的に離間しているように、第3ゲート構造を上面の上方に形成する工程とを備える、半導体デバイスの製造方法。
【請求項2】
第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する前記工程は、ゲート材料層を前記第3ゲート構造及び基板の上に堆積させる工程と、前記ゲート材料層の内、第3ゲート構造の上方にある部分を除去することによって第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する工程とを備える、請求項1に記載の方法。
【請求項3】
第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する前記工程は、前記半導体構造の上面の上方にあるゲート材料層を研磨以外の方法でエッチングする工程をさらに備える、請求項2に記載の方法。
【請求項4】
ゲート材料層の上面の高さよりも低い位置まで基板を覆うようにほぼ平坦な層を形成する工程と、ほぼ平坦な層をマスク層として使用して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する工程とをさらに備える、請求項3に記載の方法。
【請求項5】
第1電荷蓄積構造を第1サイドウォールに隣接する位置に形成することによって、前記第1ゲート構造が前記第1電荷蓄積構造の第1サイドウォールとは反対側に隣接して設けられる、第1電荷蓄積構造の形成工程と、
第2電荷蓄積構造を第2サイドウォールに隣接する位置に形成することによって、前記第2ゲート構造が前記第2電荷蓄積構造の第2サイドウォールとは反対側に隣接して設けられる、第2電荷蓄積構造の形成工程とをさらに備える、請求項1に記載の方法。
【請求項6】
第3電荷蓄積構造を上面と第3ゲート構造との間に位置するように形成する工程をさらに備える、請求項5に記載の方法。
【請求項7】
半導体構造と、該半導体構造は上面と、第1サイドウォールと、該第1サイドウォールと対向する第2サイドウォールと、
前記第1サイドウォールに隣接して設けられる第1ゲート構造と、
第2サイドウォールに隣接して設けられる第2ゲート構造と、
前記上面の上方に設けられる第3ゲート構造とを備え、
前記第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は互いに物理的に離間している、半導体デバイス。
【請求項8】
前記半導体構造から、前記第1ゲート構造及び第2ゲート構造の側面に直交する方向に、半導体構造の反対側へ延伸しているソース領域及びドレイン領域をさらに備え、
前記第1ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第1サイドウォールに隣接して位置し、
前記第2ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第2サイドウォールに隣接して位置し、及び
前記第3ゲート構造はソースとドレインとの間の上面の上に位置する、請求項7に記載の半導体デバイス。
【請求項9】
半導体構造の第1サイドウォール及び第2サイドウォールを取り囲み、かつ半導体構造を第1ゲート構造及び第2ゲート構造から電気的に絶縁する第1誘電体層と、
半導体構造の上面の上方の第2誘電体層とをさらに備え、第1誘電体層及び第2誘電体層は少なくとも一つの異なる物理特性を有する、請求項7に記載の半導体デバイス。
【請求項10】
第1サイドウォールに隣接して設けられた第1電荷蓄積構造と、前記第1ゲート構造は、第1電荷蓄積構造の第1サイドウォールとは反対側に隣接して設けられることと、
第2サイドウォールに隣接して位置する第2電荷蓄積構造と、前記第2ゲート構造は第2電荷蓄積構造の第2サイドウォールとは反対側に隣接して設けられることとを備える、請求項7記載の半導体デバイス。
【請求項1】
上面と、第1サイドウォールと、該第1サイドウォールに対向する第2サイドウォールとを有した半導体構造を形成する工程と、
前記第1サイドウォールに隣接して設けられる第1ゲート構造及び、前記第2サイドウォールに隣接して設けられる第2ゲート構造を形成する工程と、
第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造が互いに物理的に離間しているように、第3ゲート構造を上面の上方に形成する工程とを備える、半導体デバイスの製造方法。
【請求項2】
第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する前記工程は、ゲート材料層を前記第3ゲート構造及び基板の上に堆積させる工程と、前記ゲート材料層の内、第3ゲート構造の上方にある部分を除去することによって第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する工程とを備える、請求項1に記載の方法。
【請求項3】
第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する前記工程は、前記半導体構造の上面の上方にあるゲート材料層を研磨以外の方法でエッチングする工程をさらに備える、請求項2に記載の方法。
【請求項4】
ゲート材料層の上面の高さよりも低い位置まで基板を覆うようにほぼ平坦な層を形成する工程と、ほぼ平坦な層をマスク層として使用して第1ゲート構造及び第2ゲート構造を形成する工程とをさらに備える、請求項3に記載の方法。
【請求項5】
第1電荷蓄積構造を第1サイドウォールに隣接する位置に形成することによって、前記第1ゲート構造が前記第1電荷蓄積構造の第1サイドウォールとは反対側に隣接して設けられる、第1電荷蓄積構造の形成工程と、
第2電荷蓄積構造を第2サイドウォールに隣接する位置に形成することによって、前記第2ゲート構造が前記第2電荷蓄積構造の第2サイドウォールとは反対側に隣接して設けられる、第2電荷蓄積構造の形成工程とをさらに備える、請求項1に記載の方法。
【請求項6】
第3電荷蓄積構造を上面と第3ゲート構造との間に位置するように形成する工程をさらに備える、請求項5に記載の方法。
【請求項7】
半導体構造と、該半導体構造は上面と、第1サイドウォールと、該第1サイドウォールと対向する第2サイドウォールと、
前記第1サイドウォールに隣接して設けられる第1ゲート構造と、
第2サイドウォールに隣接して設けられる第2ゲート構造と、
前記上面の上方に設けられる第3ゲート構造とを備え、
前記第1ゲート構造、第2ゲート構造、及び第3ゲート構造は互いに物理的に離間している、半導体デバイス。
【請求項8】
前記半導体構造から、前記第1ゲート構造及び第2ゲート構造の側面に直交する方向に、半導体構造の反対側へ延伸しているソース領域及びドレイン領域をさらに備え、
前記第1ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第1サイドウォールに隣接して位置し、
前記第2ゲート構造は、半導体構造の内、ソースとドレインとの間の位置の第2サイドウォールに隣接して位置し、及び
前記第3ゲート構造はソースとドレインとの間の上面の上に位置する、請求項7に記載の半導体デバイス。
【請求項9】
半導体構造の第1サイドウォール及び第2サイドウォールを取り囲み、かつ半導体構造を第1ゲート構造及び第2ゲート構造から電気的に絶縁する第1誘電体層と、
半導体構造の上面の上方の第2誘電体層とをさらに備え、第1誘電体層及び第2誘電体層は少なくとも一つの異なる物理特性を有する、請求項7に記載の半導体デバイス。
【請求項10】
第1サイドウォールに隣接して設けられた第1電荷蓄積構造と、前記第1ゲート構造は、第1電荷蓄積構造の第1サイドウォールとは反対側に隣接して設けられることと、
第2サイドウォールに隣接して位置する第2電荷蓄積構造と、前記第2ゲート構造は第2電荷蓄積構造の第2サイドウォールとは反対側に隣接して設けられることとを備える、請求項7記載の半導体デバイス。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【公表番号】特表2007−511090(P2007−511090A)
【公表日】平成19年4月26日(2007.4.26)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−539531(P2006−539531)
【出願日】平成16年10月20日(2004.10.20)
【国際出願番号】PCT/US2004/034810
【国際公開番号】WO2005/048299
【国際公開日】平成17年5月26日(2005.5.26)
【出願人】(504199127)フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド (806)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成19年4月26日(2007.4.26)
【国際特許分類】
【出願日】平成16年10月20日(2004.10.20)
【国際出願番号】PCT/US2004/034810
【国際公開番号】WO2005/048299
【国際公開日】平成17年5月26日(2005.5.26)
【出願人】(504199127)フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド (806)
【Fターム(参考)】
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