UV線を用いたシリコン含有膜の低温エピタキシャル成長
シリコン含有及び/又はゲルマニウム含有膜の一括的又は選択的エピタキシャル堆積の清浄な基板表面を調製する方法。更に、シリコン含有及び/又はゲルマニウム含有膜を成長させる方法であって、基板洗浄方法と膜成長方法の双方が750℃未満、典型的には約700℃〜約500℃の温度で行われる前記方法。洗浄方法と膜成長方法は、シリコン含有膜が成長している処理容積において波長が約310nm〜約120nmの範囲にある放射線の使用を用いる。反応性洗浄又は膜形成成分化学種の具体的な分圧範囲と組み合わせたこの放射線の使用は、業界で以前に知られている温度より低い温度で基板洗浄とエピタキシャル膜成長を可能にする。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【0001】
1.発明の分野
[001]本発明は、シリコン含有膜の選択的及び一括的(非選択的)エピタキシャル成長に有用な装置及び方法であって、経済的に実現可能な膜成長速度を与えつつ、約700EC未満の温度でエピタキシャル膜成長を可能にするためにUV線が用いられる前記装置及び方法に関する。
【0002】
2.背景技術の簡単な説明
[002]シリコン含有膜のエピタキシャル成長は、高度なロジックデバイスやDRAMデバイスの新規な用途のためにますます重要になってきた。これらの用途に鍵となる要求は、より低温のプロセスであり、その結果、デバイス特徴部がデバイスの製造中に悪影響を受けない。より低温のプロセスは、また、将来の市場に重要であり、特徴部のサイズは45nm〜65nmの範囲であり、隣接する物質の拡散の回避が重要になる。より低いプロセス温度は、シリコン含有エピタキシャル膜の成長前とエピタキシャル膜の選択的又は一括的な成長中の双方の基板洗浄に必要とされる。選択的な成長とは、一般的には、シリコン含有膜が基板表面上に1を超える物質を含む基板上で成長し、シリコン含有膜が前記基板の第1物質の表面上で選択的に成長し、前記基板の第2物質の表面上では最小限の成長から全く成長しないことを意味する。
【0003】
[003]約700EC未満の温度で成長したSi、SixGel-x、SixGel-x(C)のような膜を含む、選択的及び一括的、非選択的に成長したシリコン含有エピタキシャル膜と、このような膜の歪んだ実施形態が、現在の多くの用途に必要とされる。更に、洗浄時間が十分に短い場合にはより高い温度が許容されうるが、約650EC以下の範囲の温度で達成されるエピタキシャル膜の形成の前に、未変性酸化物と炭化水素を除去することが望ましい。より低い温度処理は、適切に機能するデバイスを得るために重要であるだけでなく、準安定な歪み層の緩和を防止するのを援助し、ドーパント拡散を防止又は最小化するのを援助し、エピタキシャル膜構造内のドーパント又はGe/Cの分離を防止するのを援助する。低温処理(低熱量処理)によって可能となるファセット形成効果や短チャネル効果の抑制は、高性能デバイスを得るために困難である。図10は、表面上に堆積したシリコン含有膜の良好なエピタキシャル成長に必要とされる種類の酸化物のないシリコン表面を生成するために必要とされる条件を示すグラフ100(アレニウスプロット)である。基板の逆温度は軸102にEK-1で示されている。ECの対応する温度は軸104にECで示されている。プロセスチャンバに存在するH2Oの分圧は軸1006にトールで示されている。例えば、酸化物のないシリコン表面を10-6トールで得るためには、基板温度を約800EC以上に上げることが必要であることは容易に明らかである。酸化物のないシリコン表面を約650ECで得ることができるためには、10-8トール未満のH2O分圧が必要であり、それは設備費用の点から実用的でない。
【0004】
[004]ドープされた又はドープされていないSi、SiGe、SiGe(C)膜の選択的又は一括的エピタキシャル成長の現在の技術は、典型的には、減圧CVD(RPCVD又はLPCVDとも呼ばれる)を用いて実施されている。膜堆積の前駆化合物がSiH4、SiH2Cl2(DCS)、Si2H6、GeH4である場合、典型的な減圧プロセスは700ECを超えた温度、典型的には750ECを超えた温度で行われ、許容しうる膜成長速度を得る。選択的な堆積プロセスの場合、これらの前駆化合物は、一例として、Cl2、HCl、任意にHBrのような追加の試薬と合わせる。CH3SiH3のような炭素含有シラン前駆化合物はドーパントとして用いることができる。代替的には、一例として、B2H6、AsH3、PH3のような無機化合物もまた、ドーパントとして用いることができる。
【0005】
[005]ジクロロシラン(DCS)とゲルマン(GeH4)からの一括的SixGel-xエピ膜成長(非選択的成長)のプロットが図1に示されている。SixGel-xエピ膜の成長速度、オングストローム/分は、堆積温度の関数として、堆積プロセスに対する前駆ガスフィード中のDCS:GeH4の比の関数として示されている。このプロットは、約20%〜約28%のゲルマニウムを含有する膜の堆積の場合である。堆積したSixGel-xエピ膜中のゲルマニウム含量の異なる堆積温度でのばらつきを減少させるために、膜の堆積に用いられた前駆ガス中のSi:Ge比を調節する必要があった。図1は、軸108のDCS:GeH4前駆ガス流量比の関数として、また、軸102の温度、ECの関数として、軸104のSixGel-xエピ膜の成長速度Δ/分を示すグラフ100である。図1に示されたデータは、約100sccmのDCSに対する流量と、指示通りに変えられたGeH4に対する流量を用いて、ここで順次記載された種類のプロセスチャンバを用いて作成した。図1に示された膜形成プロセスは、約10トールのプロセスチャンバ圧で実施した。図1は、750ECの約400Δ/分から600ECの約15Δ/分まで成長速度が急速に減少する、約700EC未満の温度のSixGel-xエピ膜成長速度の低下の問題を示している。約700EC未満の温度の膜成長速度のこの激しい低下は、膜成長が熱的に活性化され且つ表面反応が制限されているという事実によるものである。
【0006】
[006]膜成長速度の類似した急速な低下がシリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積にも見られる。温度が減少するにつれて膜成長速度が急速に低下するのは、おそらく、成長する膜表面からSiCl2の脱着を得るために必要とされる活性化エネルギーが高くなり、再結合HCl脱着速度が遅くなり、また、表面移動度が小さくなるためである。
【0007】
[007]シリコン含有基板が、洗浄されて、基板表面から有機物質を除去するとともに未変性酸化物を除去することができることは、当該技術分野において一般的に知られている。ある場合には、このような洗浄は、減圧CVDシステムにおいてUV洗浄の使用が組み込まれた。このような洗浄は、0.002〜10トールの範囲にある圧力の水素下での遠UV線による基板の照射を利用して、約800ECの範囲内の温度で行うことができる。基板洗浄プロセスを行うために用いられる種類の装置は、洗浄されるウエハの裏側が空冷タングステンランプで直接加熱れる水平なコールドウォール空冷石英チャンバであっもよい。900ECまでの上昇時間と200ECまでの冷却時間は、典型的には、それぞれ約5秒と約20秒である。プロセスチャンバのベース圧は、典型的には約2mトールの範囲内である。その圧力に達した後、水素流が設定される。水素流は、一般的には、洗浄プロセス中基板表面の汚染を避けるためのものである。試料の洗浄は、水素下の試料表面において800ECで行われ、その試料表面は短いUV線に1分未満かけられ、その照射の中心はほとんど約253nmである。続いて、エピタキシャル成長シリコン(例えば)膜は、水素で希釈された(約1/1000)電子グレードのSiH4やHClのような反応性ガスから堆積する。典型的には、エピタキシャル成長シリコン膜の堆積中の基板温度は、約800EC以上である。膜堆積の処理温度が800ECを超えた時、最初のインタフェース欠陥がたいてい避けられる。
【0008】
[008]ある場合には、基板洗浄は大気圧で、より高い温度で行われる。エピタキシャルシリコン膜成長の前に、ウエハ基板が900EC〜1,190ECの範囲の温度に上げられ、そのウエハは60秒間水素焼成に供され、続いて、30秒間HClドープした水素ガスでエッチングされ、ウエハ表面から半導体酸化物を除去する。ウエハのエッチング後、チャンバは、水素、続いて、連続するHClガス流とSiHCl3の導入でパージされ、1,130ECの範囲の温度でエピ成長が順次行われ、約5Φ/分(50,000Δ/分)のシリコン膜成長速度が得られる。
【0009】
[009]シリコンのエピタキシャル成長は、膜成長中の対流熱損失を減少させるために急速熱処理技術を用いて行われた。急速熱処理に用いられる反応性ガスは、典型的には、水素と混合した塩素化シリコン源(例えば、SixHyClz)を反応性キャリヤとして含む。アルゴン、ネオン、キセノン又はクリプトンのような不活性キャリヤガスを加えることができる。そのプロセスは、大気圧又は減圧下で750ECを超えるシリコン基板温度で行われる。ジクロロシランガスが前駆物質として用いられる場合、このガスは、基板表面上の境界層で加熱された時にSiCl2とH2に分解すると言われている。SiCl2は表面に拡散し、その後、H2と反応して、HClとシリコンを形成すると言われている。HClは、境界層を通ってチャンバへ脱着され、取り除かれる、と言われている。水素キャリヤガスは、十分な水素濃度を供給することによって堆積速度を改善させて、SiCl2のSiとHClへの分解を増幅させるために添加されると言われている。シリコン基板の前処理は、典型的には、周囲環境としてアルゴン中10%水素による焼成ステップを含んでいる。前焼成温度は、1,050ECで5秒間、続いて、1,000ECで20秒間である。焼成圧は文献では指定されなかった。シリコンエピ堆積は、1,000ECで、50トールのプロセス圧下、アルゴン/水素ガスの反応混合物、18slmの10容積%水素で、90sccmのジクロロシラン流で行われた。
【0010】
[0010]半導体デバイスの形成中のシリコン基板上の単結晶シリコン層の触媒援助成長も、当技術分野で記載されてきた。単結晶シリコン層は、単結晶シリコンと格子整合をもって作成されたシード層上に形成される。シード層は、CVD(化学気相堆積)プロセス中、CAD(触媒援助堆積)によって形成される。結晶サファイアのようなシード物質も用いることができる。
【0011】
[0011]触媒を用いたCADによって単結晶シリコン層を形成する際に、主に水素化シリコンを含有するガスを800-2,000EC、例えば、1600-1800ECに加熱された触媒本体との接触によって分解して基板上に単結晶シリコン層を堆積させることが好ましいと言われている。水素化シリコンは、例えば、モノシラン、ジシラン、又はトリシランのようなシランを意味する。触媒本体は、タングステン、酸化トリウムを含有するタングステン、モリブデン、白金、パラジウム、シリコン、金属がそれに結合したアルミナセラミック、及び炭化シリコンからなるグループより選ばれた少なくとも1種類の物質である。触媒物質は、典型的には、基板上に基板に面してコイルとして形成されている。触媒本体は、活性化し、その融点未満の温度に加熱される抵抗線である。入ってくるときの水素化シリコンガスと、水素、又は必要に応じて含まれるB2H6又はPH3のようなドーピングガスは触媒と接触して入るように導入される。基板上での堆積の前に、基板表面上で触媒熱フィラメントを用い、その熱フィラメント上で膜形成前駆ガスを流すことによって、約100EC-700EC、典型的には、200EC-600ECの温度の基板上にエピタキシャルシリコンシード層を堆積させることが可能であると言われている。しかしながら、汚染が触媒に由来する、膜の金属汚染による問題がある。触媒を用いずにそのような処理温度で形成されたシリコン膜がアモルファスシリコン膜である。
【0012】
[0012]化学気相堆積法を用いて混合基板上にシリコン含有膜を堆積させることについて最近いくつか記載された。SiとSiGe膜の堆積の記載がある。しかしながら、この方法によって製造される膜の正確な結晶組成のデータは提供されていない。そのプロセスではトリシラン(H3SiSiH2SiH3)を用いて、混合基板上に“高品質Si含有膜”の堆積を可能にしている。
【0013】
[0013]最近の文献には、物質搬送制限様式で又はそれに近い薄膜堆積を可能にする化学前駆物質を利用すると言われている化学気相堆積プロセスが記載されている。記載された実施形態は、Si含有膜とGe含有膜の形成に関係している。トリシラン又はジゲルマンと組み合わせたトリシランのような高次前駆物質の使用が、例えば、シラン前駆物質の置換に推奨されている。
【0014】
[0014]基板上にシリコンエピタキシャル成長膜を堆積させる前に、シリコン基板表面の前処理を記載している文献にも説明がある。半導体製造に対して、アドバンスインテグレーテッド(advance integrated)化学気相堆積(AICVD)と呼ばれるプロセスにおいて、基板がUHV-LPCVDプロセスチャンバ内に流れる水素により800EC〜900ECの範囲の温度で10-30分間予備焼成され、シリコン基板表面から未変性酸化物を除去すると言われている。これに続いて、ソースガスとしてジクロロシランを用いて、600EC〜900EC(典型的には700EC-800EC)の範囲の温度で100Δ〜300Δの厚さに中温シリコンエピタキシャル層が成長する。シリコンエピ成長に続いて、ジクロロシランはシランガスに置き換えられるか又は他の水素含有ガスがプロセスチャンバに送られ、温度が400EC未満に下がり、それによって、半導体基板の表面は水素が停止されると言われている。
【0015】
[0015]未変性酸化物層を除去するために記載された他の方法においては、水素ガスが処理試薬として用いられる。基板の表面上へのレーザ投影が水素の反応を高めるために用いられる。照射の具体的な波長は言及されていない。投影されたレーザが基板表面に局部的加熱を与えることは明らかである。
【0016】
[0016]上述の背景技術の概説及び半導体製造の分野において既知の他の技術は、750EC未満、好ましくは約700EC未満の温度でシリコン含有エピタキシャル成長膜の一括的及び選択的双方の堆積を可能にする方法が連続して求められていることを示している。更に、シリコン含有膜堆積と同じか又はより低い温度で行うことができ、その結果、膜が堆積されている基板中のデバイスが基板の洗浄や膜の堆積によって影響されない基板洗浄手順(シリコン含有膜の堆積の調製において)が求められている。
【発明の概要】
【0017】
[0017]我々は、エピタキシャル成長シリコン含有膜の堆積に対して清浄で不動態化したシリコン含有基板表面を調製する方法を開発した。シリコン含有基板洗浄/不動態化方法は、少なくとも膜堆積中に(及び任意に洗浄と堆積中に)、基板表面がUV線に曝されている、シリコン含有膜を堆積させる方法と組み合わせて使用できる。典型的には、有機物質と酸素の大部分を除去するための主要な洗浄が、最初に当該技術分野で一般的に知られている種類の水性HF浸漬(エッチング)を用いて行われる。これにより、少量の残りの酸化物を除去するとともに基板上でのシリコン含有膜のエピタキシャル成長に好ましい表面構造を得るために用いられる本発明の洗浄/不動態化方法が続けられる。本発明の洗浄/不動態化方法は、典型的には約1,000EC〜約500ECの範囲の温度で行われ、その温度は、洗浄プロセス中にUV線が用いられるかに左右される。UV線を用いない場合、洗浄及び不動態化方法は、典型的には、できるだけ短い時間(典型的には2分で)で行われ、エピタキシャル成長に適切な表面を与える。UV線を用いる場合、放射の波長は約310nm〜120nm、好ましくは約180nm〜約120nmであり、放射は、一般的には、基板表面に隣接して配置された放射線源から基板の表面上に適用される。UV線の使用により、基板表面の洗浄及び不動態化がより低い温度、典型的には約700EC〜約500ECの温度で行われることが可能になる。約10トール未満の水素雰囲気が、典型的には、基板の洗浄及び不動態化中の基板表面上で適用される。
【0018】
[0018]堆積チャンバ内の典型的な全圧が約1トール〜約80トールの範囲にあり、UV線の波長が約310nm〜約120nmの範囲にある場合、シリコン含有膜の堆積は750EC未満、典型的には700EC未満、好ましくは約650EC未満の温度で行われる。指示は、我々が商業的に許容しうる成長速度(毎分約60Δを超える)、約650ECの範囲の温度、及び具体的なUV線源と膜前駆ガスの組み合わせの使用においてより低い温度で、エピタキシャル成長シリコン含有膜を堆積させることを予想しうることである。膜の成長速度を高めるためにUV線をより良好に利用することができる構造を含む前駆物質から一括的及び選択的シリコンエピ膜を堆積させることにより、より低温の膜堆積が可能になる。例えば、高次クロロシラン、ブロモシラン、及びジクロロシラン(DCS)又はヘキサクロロジシラン(HCD)前駆物質のようなシランの使用により、一般的には、より低温で成長速度が改善される。UV線の波長は、個々の前駆物質の吸収断面を一致させ且つ基板表面の活性化を高めるために選ばれ、その結果、前駆物質の吸収断面と基板表面の活性化は許容しうる処理温度で最も有益である。SixGel-xエピタキシャル膜を生成するためにゲルマニウム含有前駆物質をもつクロロシランとシランの反応生成物もまた、具体的な基板上に選択的堆積を得るように調整することができる。
【0019】
[0019]シリコン含有基板表面は、典型的には単結晶シリコン又はシリコン・ゲルマニウムであるが、基板表面上でのエピタキシャル膜成長を可能にする機能をもつ他のシリコン含有基板に拡張することができる。
【0020】
[0020]洗浄/不動態化方法及びシリコン含有膜成長方法は、触媒の使用を必要としない。代わりに、それらの方法は、反応性洗浄/不動態化及び/又は膜形成成分化学種の具体的な分圧範囲と組み合わせて具体的な波長範囲に対するUV線の使用を用い、基板の洗浄/不動態化とシリコン含有膜のエピタキシャル膜成長を750EC未満の温度、典型的には650EC未満の温度で可能にする。
【0021】
[0021]基板表面での反応を可能にするために所望されるエネルギーを与える放射線波長は、約310nm〜約120nmの範囲内にある。約180nmよりも小さい波長は、本明細書で順次記載される膜前駆物質に非常に有効であることが証明された。放射線は、塩化キセノン(λ=308nm)、フッ化クリプトン(λ=248nm)、フッ化アルゴン(λ=193nm)、キセノン(λ=172nm)、アルゴン(Ar++)(λ=257nm)、クリプトン(λ=146nm)のエキシマによって、また、キセノン(λ=147nm)、クリプトン(λ=117〜124nm)、N2アーク(λ□150nm)、D2(λ=121nm)を用いるランプによって供給することができる。これらは放射線源の例であり、使用しうる唯一の放射線源とは考えられていない。異なる波長のUV線源の組み合わせも用いることができる。
【0022】
[0022]我々は、シリコン・ゲルマニウム膜の選択的及び一括的堆積中、これらの波長の放射線は、シリコンと水素化ゲルマニウムと塩素化シランを励起されたラジカル(イオンではない)に解離するだけでなく、前駆物質の吸着速度と反応副生成物の脱着速度を増加することによって、基板上の表面反応も高めることを発見した。例えば、シリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積において、SiCl2脱着速度(例えば)、再結合HCl脱着速度、表面移動度の要素すべてが、入るときの化学種の活性部位を生じるように作用する。
【0023】
[0023]放射線は、成分ガスと反応性化学種の層を通って基板の表面に進むので、成分ガス(そこから、洗浄又は膜形成化学種が生成する)の分圧を制御することによって、我々は、より多くの化学種が、基板上の気相中で形成されるか又は反応するか又は基板表面で形成されるか又は反応するように反応を促進させることができる。これによって、基板表面で同時に起こる化学種の吸着と脱着において、気相中での化学種の生成と前駆物質形成の最適化が可能になり、その結果、沈殿した又は凝集した物質の島は基板表面上で形成されない。約170nmまでの波長範囲に対する放射線の適用によって、約500EC〜約700ECの範囲の温度で約100Δ/分〜約500Δ/分の範囲の成長速度で高品質エピタキシャルシリコン含有膜が生成される。
【0024】
[0024]各成分ガスの分圧は達成すべき仕事に左右され、洗浄/不動態化や異なる化学組成の膜の堆積が変わる。詳細なデータは、本明細書の詳細な説明に実験で証明された様々な実施形態ついて示されている。当業者は、本明細書の教示と説明を読む際に、少ない実験で、膜を堆積する前駆物質、成分ガスの分圧、放射線の波長、放射線の出力密度を調整して、最適化されたエピタキシャル成長シリコン含有膜を得ることができる。
【0025】
例示的な実施形態の詳細な説明
[0037]下で示される詳細な説明の前置きとして、本明細書と添付の特許請求の範囲に用いられるように、特にことわらない限り、単数形は複数の対象を含むことを留意すべきである。
【0026】
[0038]我々は、エピタキシャル成長シリコン含有膜の堆積のために清浄で不動態化したシリコン含有基板表面を調製する方法を開発した。シリコン含有基板洗浄方法は、少なくとも膜堆積中に(及び任意に洗浄と堆積双方中に)、基板表面がUV線に曝されている、シリコン含有膜を堆積させる方法と組み合わせて用いることができる。シリコン含有基板洗浄/不動態化方法は、典型的には、UV線が用いられない場合、約1,000EC〜約750ECの範囲の温度で行われる。この場合、基板が曝される時間は、基板表面上で所望されるエピタキシャル成長を可能にするのに必要な時間に最小化される。洗浄プロセス中にUV線が用いられる場合、洗浄と不動態化プロセスが行われる温度を低下させることが可能である。例えば、処理温度は、750EC未満〜、典型的には、700EC未満〜約500ECの範囲にあってもよい。基板表面を囲む処理容積内の典型的な総プロセス圧は、約0.1トール〜約80トール(典型的には、約0.1トール〜約30トール)の水素の範囲にある。不活性ガスが少量で存在するも可能である。
【0027】
[0039]洗浄と不動態化プロセス中の一般的な目標は、それらの存在が基板上のシリコン含有膜のエピタキシャル成長を妨害するので、シリコン含有基板からの炭化水素と酸化物の除去である。図10は、処理チャンバ内のH2Oの分圧、処理チャンバ内温度(K度)、シリコン基板の表面上の酸化物の存在の間の関係を示すグラフである。図10から明らかなように、温度が約750ECより低い場合、酸化物のないシリコン表面を有するためには、約10-7トールの範囲内にあるプロセスチャンバ内のH2Oの分圧が必要である。この圧力の要求は満たすのが難しく、非常にコストがかかる装置が必要となる。
【0028】
[0040]我々は、UV線の存在下の水素を含む雰囲気中でシリコン基板を処理することによって、処理を行わなければならない温度を低下するか又は表面を洗浄するのに必要な時間を短縮するか、又はそれらの双方の組み合わせが可能となることを発見した。典型的には、望ましい処理ウィンドウを得るために、シリコンを含む基板表面の洗浄と不動態化中、処理チャンバ内の総圧は約0.1〜約80(上記のように)の範囲にある。処理中の基板温度は約550EC〜約750EC、典型的には約550EC〜約700ECの範囲にある。UV線の出力密度は、典型的には、約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲にある。
【0029】
[0041]シリコン含有膜の堆積は、UV線の波長が約310nm〜約170nmの範囲である場合、750EC未満の温度、典型的には700EC、好ましくは約650EC以下の温度で行われる。我々は、170nm未満、即ち、約170nm〜約120nmの範囲内の波長を与えるUV線源の発生の完了時に、商業的に許容しうる成長速度を与えつつ、約550ECの範囲内の温度、おそらくより低い温度でエピタキシャル成長膜を堆積させることを予想する。更に、基板表面に反応種の容易な吸着と基板表面からの反応副生成物の容易な脱離を促進する点で、UV線に十分に応答する高次シランベース前駆物質の使用が、より低い温度でエピタキシャル膜成長を可能にするためにも用いることができる。UV線の波長は、一定の前駆物質と基板活性化の組合せについて最適に調節することができる。
【0030】
[0042]シリコン含有基板は、典型的には、単結晶シリコン又は単結晶シリコン・ゲルマニウムであるが、これら2つの基板の1つに限られるようには意図されていない。
【0031】
[0043]洗浄/不動態化方法とシリコン含有膜成長方法は触媒の使用を必要としない。代わりに、これらの方法は、具体的な波長範囲に対するUV線の使用を、反応性洗浄/不動態化及び/又は膜形成成分化学種の具体的な分圧範囲と組み合わせて用いて、750EC未満の温度、典型的には650EC未満の温度でシリコン含有膜の基板洗浄/不動態化とエピタキシャル膜成長が可能になる。
【0032】
[0044]基板表面での反応を可能にするために所望されるエネルギーを供給する放射線の波長は、約310nm〜約120nmの範囲内であり、典型的には、約180nm〜約120nmである。我々は、シリコン・ゲルマニウム膜(又はシリコン膜)の一括的な堆積中、膜堆積中にUV線を用いることにより、一定の堆積速度で膜堆積中の基板温度を下げることが可能であることを発見した。更に、我々は、シリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積中、これらの波長での放射線が、シリコンと水素化ゲルマニウムと塩素化シランを励起されたラジカル(イオンではない)に解離するだけでなく、SiCl2脱着速度(例えば)、再結合HCl脱着速度、表面移動度を増加することによって基板上の表面反応をも高めて、入るときの化学種の活性部位を生じることも発見した。
【0033】
[0045]放射線は、成分ガスと反応種の層を通って基板の表面に進むので、我々は、成分ガス(そこから洗浄又は膜形成化学種が生成する)の分圧を制御することによって、化学種の反応を促進させ、その結果、より多くの化学種が基板表面の基板反応物上の気相中で形成される。これによって、基板表面で同時に化学種の吸着と脱着において、気相中での化学種の生成の最適化が可能になり、その結果、凝集した物質が基板表面上に形成されない。高品質エピタキシャルシリコン含有膜は、約600EC〜約700ECの範囲の温度で、約100Δ/分〜500Δ/分の成長速度で得られた。
【0034】
I.本発明を実施するための装置
[0046]本明細書に記載される実施形態例のエッチングプロセスを、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社から入手できるEpiCENTURA7総合処理システムで行った。本発明に関するこの装置の具体的な特徴は下で詳しく記載されるが、膜のエピタキシャル成長に業界で知られている他の装置が本発明を実施するために用いることができることは企図される。
【0035】
[0047]図2Aは、CENTURA7総合処理システムの部分として用いられる200mmEpi堆積チャンバを示す概略断面図である。CENTURA7総合処理システムは、完全に自動化された半導体製造システムであり、単一ウエハ、複数チャンバ、200-mm又は300-mmウエハを収容するモジュラー設計を用いている。図2Aに示されるように、Epi膜堆積プロセスチャンバは、プロセスチャンバ200の様々な機能要素を取り囲む316リットルのステンレス鋼ハウジング構造201を含んでいる。装置の詳細な説明は製造業者から入手することができ、本発明の理解に重要である要素だけが本明細書に述べられる。石英チャンバ230は、UV線源208を含む上部チャンバ205と、処理容積218を含む下部チャンバ224とを含んでいる。反応種が処理容積218に供給され、処理副生成物が処理容積218から除去される。基板214はシリコン被覆グラファイトペデスタル217の上に置かれ、反応種は基板214の表面216に適用され、次に、副産物が表面216から除去される。基板214と処理容積218を加熱すると赤外ランプ210が用いられる。赤外ランプ210からの放射線は、石英上部チャンバ205の上部石英ウィンドウ204を通り、また、下部石英チャンバ224の下部石英部分203を通って進む。上部石英チャンバ205用の冷却ガスは、入口211を通って入り、出口228を通って213を出る。前駆反応物質と、下部石英チャンバ224用の希釈、パージ、通気ガスは、入口220を通って入り、出口238を通って222を出る。出口228と238は、同じ真空ポンプで連通しているか又は別々のポンプを用いて同じ圧力になるように制御され、その結果、上部石英チャンバ205と下部石英チャンバ224の圧力は等しくする。図2Aにおいて、UV線源208は出口フランジ228からオフセットされている(図示せず)ことに留意のこと。
【0036】
[0048]反応種にエネルギーを与え、基板214の表面216への反応種の吸収と基板214の表面216からのプロセス副生成物の脱着を援助するために用いられる低波長放射線は、典型的には、約310nm〜約120nmの範囲にあり、種々の波長の組み合わせが供給され、エピタキシャルに成長している膜の組成に左右される。図2Aに示される実施形態においては、この放射線は、上部石英チャンバ205内に位置するエキシマランプ208によって供給され、放射線はUV線透過ウィンドウ206を通過して、基板214に達する。(UV線透過ウィンドウは、一例として、ドープされた合成石英、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、サファイア、フッ化ランタンのような他のUV線透明物質から形成することができる。)上部石英チャンバ205内のエキシマランプ208の間隔は、基板214の表面216上に一様に均一な放射線を供給するように設計されている。UV線源と基板214の上面216の間の間隔“d”は、エピタキシャルに成長している膜の具体的な組成に必要とされるプロセスパラメータの要求を適合させるために調整することができる。本明細書に記載される例の実施形態の場合、UV線源と基板214の上面216との間の間隔は約5cm〜約15cmの範囲であり、典型的には約5cm〜約10cmの範囲であった。用いられた出力密度は約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲であり、典型的には約2mW/cm2〜約10mW/cm2の範囲であった。
【0037】
[0049]基板表面を洗浄/不動態化するために又はエピタキシャルに成長しているシリコン含有膜を形成するために用いられる成分ガスは、220で示される入口ポートを介して処理容積218に入り、222で示されるポートを通って出る。成分ガスの組み合わせは、典型的には、処理容積に入る前に混合される。処理容積218中の全体的な圧力は、流れ222に対して出口ポート238の弁(図示せず)によって決定される。
【0038】
[0050]上部石英チャンバ205内の温度とUV線透過ウィンドウ206の温度は、上部石英チャンバ204の上に位置づけられている赤外ランプ210からの放射線と組み合わせた冷却ガスの流れ(ポート211を通って入り、ポート228を通って出る)によって、約300EC〜約600ECの温度範囲内に制御される。下部石英チャンバ224内の温度は、示されていない(しかし、下部石英チャンバ224を通って空気又は冷却ガスを循環させ、このようなガスはポート220に入りポート238を出る)送風機ユニットの速度を調整することよって、また、下部石英チャンバ224の下の赤外ランプ210からの放射によって、約600EC〜約300ECの温度範囲内に制御される。
【0039】
[0051]基板214の表面216の温度は、下部石英チャンバ224内の下部ランプモジュール210bに電源を設定することによって又は上部石英チャンバ204の上に横たわる上部ランプモジュール210aと下部石英チャンバ224内の下部ランプモジュール210bの双方に電源を設定することによって制御される。
【0040】
[0052]図2Bは、図2Aに示される種類のプロセスチャンバ内のUV線源ランプの配置を示す一実施形態の概略平面図である。冷却ガスは、入口ポート211(図2Aに図示した)から上部石英チャンバ容積205(UV線源208を含む)に入る。出ていく冷却ガス213は、出口ポート228(図2Aに図示した)から出る。出口ポート228は出口ポート238(図2Aに図示した)と連通し、出口ポート238から堆積チャンバ副生成物222が出て、又は両出口ポートの圧力は各ポートに取り付けられた別々の真空ポンプ(図示せず)を用いて釣り合い、その結果、前述のように、上部石英チャンバ容積204の圧力は下部チャンバ容積224(図2Aに図示した)の圧力と等しくなる。出ていくガスを制御するために別々のポンプを用いると、独立した容積205と224の二次汚染が最小になる。
【0041】
[0053]図2Cは、UV線透過ウィンドウ206と石英上部チャンバウィンドウ204の間の容積205を含むUV線チャンバ230の側面図である。図2Cは、また、UV透過ウィンドウ206と基板214の間に存在する処理容積218を含むプロセスチャンバ224を示している。距離“d”は、基板表面216とUV線源の間の間隔を表す。この距離“d”は、基板214の表面216で所望されるUV線密度を得るために設定される。
【0042】
[0054]図2A〜図2Cに示されたプロセスチャンバは、基板について、赤外線加熱ランプとエキシマランプの配置が示されているものと異なるように変更することができる。更に、異なるプロセスチャンバの設計は、要求が異なってもよい。重要なことは、プロセスを加熱するように用いられる赤外線ランプの配置、又は他のデバイスが基板にさえ加熱し、基板温度について正確で厳密な制御を可能にすることである。更に、約310nm〜約120nmの放射線のエキシマランプ又は他の熱源は基板に均一な放射線を供給し、気相と基板の表面に十分なエネルギーの導入を可能にし、商業的に実行可能な成長速度で高品質エピタキシャル成長膜を生成するのに必要なエピタキシャル膜成長副生成物の対応する脱離において、反応性化学種の生成と反応種の吸着を可能にしなければならない。上述のように、我々の現在のデータは、高品質シリコン含有膜のエピタキシャル成長に対する基板表面での出力密度の要求は、1mW/cm2〜25mW/cm2の範囲であることを示している。エピタキシャル膜成長化学種のソースとして用いられる典型的なシリコン含有成分ガスは、SiH2Cl2又はSiH4又はSi2H6又はそれらの組合せを含み、シリコン/ゲルマニウム膜を生成する場合、GeH4又はGe2H6と組み合わせて用いられ、選択的膜堆積を必要とする場合、シリコン及び/又はゲルマニウムのこれらの成分ガス源が、典型的には、HCl又はCl2又はHBr、又はそれらの組合せと組み合わせて用いられる。これらの前駆物質のために用いられる典型的な出力密度は、約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲である。好ましくは、出力密度は、約2mW/cm2〜約10mW/cm2の範囲である。図2Aについて、基板216が置かれているペデスタル215を回転するために、シャフト240を回転することによってUV線源208に相対して基板216を回転させることができる。これによって、UV線源208に対して放射状に対称の放射線が得られる。シャフト240は、典型的には、約12rpm〜約90rpmの範囲の速度で回転する。
【0043】
[0055]一定の熱プロセスの活性化エネルギーを減少させるために、イオン、電子又は光子(エピタキシャルに成長したシリコン含有膜が生成される場合、約180nm未満の波長をもつ)によって非熱エネルギーを供給することができる。ほとんどの原子について、重要な考察は約10eVより大きい光子エネルギーに対してイオン化が生じることである。このことは、約10eV未満のエネルギーをもつ光子が純粋に量子効果(化学的及び/又は物理的プロセスに関与している原子、分子、ラジカル等の励起された状態)をもたらすことができ、悪影響は見られないことを意味する。しかしながら、エピ成長の前に、未変性酸化物が除去され、ダングリングボンドが水素で不動態化される表面洗浄/不動態化反応を高めるために、追加のエネルギーを用いることが望ましく、10eVかそれよりわずかに高い総エネルギーが有利なものである。
【0044】
[0056]180nm以下の低波長の光子の使用は、シリコン含有エピタキシャル成長膜の形成によって生じた反応副生成物を脱着しつつ、反応種を吸収する基板表面の能力が驚くべきことに増加する。このような低波長放射線を生成することができるエキシマランプの動作の基礎をなす原理は、Ar2*(λ=126nm、9.84eV)、Kr2*(λ=146nm、8.49eV)、又は、Xe2*(λ=172nm、7.21eV)のような希ガス又はArF*(λ=193nm、6.42eV)、KrCl*(λ=222nm、5.58eV)、KrF*(λ=248nm、5.01eV)のような分子の希ガスハライド複合物中の誘電体バリヤ放電(無音放電)によって生じたエキシマ(励起二量体)状態の放射分解による。Ar2*、Kr2*、Xe2*エキシマランプは、それぞれ126nm、146nm、172nmで強い放射線を供給し、光援助エピタキシャル成長シリコン含有膜堆積用の有望な光源である。高エネルギー強度によって、基板表面からH2、SiCl2、HClの脱着を増大させつつ、気相成分が反応性化学種に解離され且つ表面移動度が大きくなる。
【0045】
[0057]高次シランやクロロシランがシリコン源として用いることができ、一例として限定としてではなく、ジクロロシラン、ヘキサクロロジシラン、ジブロモシラン、それらの誘導体を含むものがシリコン源として用いることができ、一例として限定としてでなく、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2が、ゲルマニウム源として用いることができる。シリコンとゲルマニウムのこれらの前駆物質源は、基板温度が約350EC〜約550ECの範囲にある場合に許容しうる成長速度を示し、基板温度が約550EC〜約650ECである場合に高成長速度を示す。
【0046】
[0058]膜成長プロセスを援助するために172nmUV線を用いることによって、550ECの基板温度で26%Ge含有SiGe膜の一括的な膜成長に対して35%以上の成長速度増加が達成された。このことは、本明細書で後に図4によって述べられる。
【0047】
II.実施例
実施例1
[0059]基板上のシリコン含有膜のエピタキシャル成長の前に、清浄な不動態化した表面にシリコン含有エピ膜の続いての成長を得るために、表面格子構造に影響を与える基板表面上の未変性酸化物を除去するとともに水素とのダングリングボンドを停止させることが必要である。しばしば、基板は、ウエハ表面上に未変性酸化物を有するシリコンウエハである。未変性酸化物の大部分は、ウェット化学プロセス、典型的には、水性HF浸漬を用いて除去される。未変性酸化物の大部分の除去に続いて、我々は残留酸化物と炭化水素を除去するために、また、シリコン含有膜のエピタキシャル成長の前に基板表面を不動態化するために、コーティング堆積チャンバ内で行われるインサイチュ洗浄/不動態化プロセスを用いた。インサイチュ洗浄/不動態化方法の間、基板は処理容積内で水素雰囲気に曝され、同時に約180nm以下の波長の放射線に曝される。本明細書に前に記載された処理装置において、水素流量は25slm〜50slmの範囲であった。基板表面の温度は、約1分間〜約5分間、500EC〜650ECの範囲であった。処理容積中の圧力は、約0.1トール〜約100トールの範囲であってもよく、典型的には約5トール〜約30トールの範囲である。出力密度は、約2mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲であり、典型的には約2mW/cm2〜約10mW/cm2の範囲である。基板表面と放射線源の間の間隔“d”は、典型的には約5cm〜約20cm、好ましくは約5cm〜約10cmの範囲である。基板の処理時間は、典型的には、約1分間〜約5分間の範囲である。
実施例2
[0060]図3は、550EC〜750ECの範囲にある温度で堆積した膜に対して、膜堆積プロセス容積内で172nm放射線の利点を含んで、また、それを含まずにシリコン/ゲルマニウム膜のエピタキシャル成長速度を示すグラフ300である。基板温度℃は目盛り302で示され、成長速度Δ/分は目盛り304で示される。曲線308は、172nm放射線の利点を含まない膜成長速度の代表例である。曲線306は、172nm放射線の利点を含む膜成長速度の代表例である。172nm放射線が存在した場合、基板表面の出力密度は約2mW/cm2であった。堆積プロセスガスのシリコン含有成分は、SiH2Cl2であり、ゲルマニウム含有成分はGeH4であり、シリコン:ゲルマニウムの比は約1:20の範囲内であった。基板214の上面216と放射線源208の間の間隔“d”(図2Aに示されるように)は約5cmであった。プロセス容積218は約7500ccであった。プロセス容積218へのプロセスガスの総流量は約30slmであった。SiH2Cl2の流量は100sccmであり、水素中の1容積%GeH4の流量は、300sccm〜500sccmに変化できた(3sccm〜5sccmのGeH4を供給する)。プロセス容積218内の圧力は10であった。加えられた出力密度は2mW/cm2であった。
実施例3
[0061]図4は、膜形成中にプロセス容積内で172nm放射線を用いることによる、シリコン/ゲルマニウム膜の成長速度の増加を示すグラフ400である。成長速度は、膜成長が行われる基板温度の関数として示される。プロセス条件は上記図3の条件であった。基板温度は目盛り402に℃で示され、シリコン/ゲルマニウム膜の成長速度の増加は目盛り404で示され、曲線406は、プロセス容積内の172nm放射線の存在により、より低い温度で有益な効果が増加することを示す関係を表している。
実施例4
[0062]図5は、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、プロセス容積内で172nmUV線を用いて、また、それを用いずにシリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積の膜成長速度を示すグラフ500である。この流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。基板温度は650ECであり、プロセス容積内の圧力は10であり、出力密度は2mW/cm2であった。SiH2Cl2の流量は100sccmであり、水素中のGeH4の流量は約300sccm〜約500sccmであり、プロセスガスフィード中のSi:Geの容積比は、約100:3〜約100:5であった。HCl:(DCS+GeH4(水素中1%で)の容積流量比は目盛り502で示され、膜成長速度Δ/分は目盛り504で示される。曲線508は、いかなる172nmの放射線入力もない場合の関係を表す。曲線506は、172nm放射線が2mW/cm2の出力密度で適用されている関係を表す。堆積は、HCl:(DCS+GeH4)比が増加するにつれて、より選択的である。HCl又はCl2又はHBrとシリコン含有前駆物質との容積比は、約0.05:1〜約50:1の範囲であってもよく、少なくとも0.05:1である。
【0048】
[0063]図6は、プロセス容積内で172nm放射線を用いて、また、それを用いずに生成した膜に対して、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、図5によって述べたプロセス条件下で生成した選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜中のゲルマニウムのパーセントを示すグラフ600である。この流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。容積流量比は目盛り602に示され、シリコン/ゲルマニウム膜中のゲルマニウムパーセントは目盛り604に示される。曲線608は、プロセス容積への放射線入力なしで形成されたシリコン/ゲルマニウム膜の代表例である。曲線606は、172nm放射線が2mW/cm2の出力密度で存在した場合に形成されたシリコン/ゲルマニウム膜の代表例である。本発明の方法によって堆積した膜のゲルマニウム含量は、約1%〜約90%の範囲でもよく、典型的には約5%〜約40%の範囲である。
実施例5
[0064]図7は、膜堆積が行われた温度の関数として、また、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚の変化パーセントを示すグラフ700である。この流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。プロセス容積中の圧力は10であり、出力密度は2mW/cm2であった。SiH2Cl2の流量は100sccmであり、水素中1容積%のGeH4流量は約300sccm〜約500sccmであり、プロセスガスフィード中のSi:Geの容量比は、約100:3〜約100:5であった。HCl:(DCS+GeH4(水素中1%で)の容量流量比は目盛り702に示され、膜厚の増加パーセント(膜成長速度の表示)は目盛り704に示されている。曲線706は、膜堆積中の基板温度700ECに対する関係を示し、曲線710は、膜堆積中の基板温度650ECに対する関係を示している。より低い温度での膜堆積中のUV線の使用は膜成長速度に対する影響が非常に大きいことは容易に明らかである。
【0049】
[0065]図8は、膜堆積中に加えられたUV線の出力密度の関数として、一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚を示すグラフ800である。UV線が適用された場合には、172nm放射線であった。172nm放射線の存在の影響は、基板(ウエハ)の中心からmmとして、全基板表面にわたって示されている。基板の中心からの距離mmは目盛り802に示され、シリコン/ゲルマニウム膜厚オングストロームは目盛り804に示されている。曲線806は、172nm放射線が処理容積に存在しなかったときの関係を表している。曲線808は、172nm放射線が基板表面に約1.3mW/cm2の出力密度で存在したときの関係を表している。曲線810は、172nm放射線が基板表面に約2.0mW/cm2の出力密度で存在したときの関係を表している。他のプロセス条件は、本質的には図3について述べたものと同じであり、膜堆積中の基板温度は650ECであった。
【0050】
[0066]出力密度は2.0mW/cm2密度をかなり超えて増加することができ、膜成長速度の対応するかなりの増加が生じることが予想される。出力密度の適用に対する都合のよい上限は、装置が本明細書に前述した場合、約25mW/cm2の範囲内である。
実施例6
[0067]図9は、シリコン源に用いられた前駆物質の関数として、また、172nm放射線の形で加えられた出力の関数として、一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜厚の増加パーセントを示すグラフである。加えた出力量は目盛り902にmW/cm2で示され、膜厚の増加は目盛り904に示されている。曲線906は、UV強化しない膜堆積と比べて、SiH4ベースのプロセスの場合の膜厚の増加パーセントを示し、曲線908は、UV線を膜成長速度の増加を可能にするために用いたときのSiH2Cl2ベースプロセスの場合の膜厚の増加パーセントを示している。塩素含有シリコン前駆物質成分が用いられる場合、膜成長速度がより速いことは容易に明らかである。基板温度は650ECであり、プロセス容積の圧力は10であり、SiH2Cl2の流量は100sccmであり、GeH4(水素中1%で)の流量は300sccmであった。SiH4の流量は100sccmであり、GeH4(水素中1%で)の流量は300sccmであった。これらの流量は、シリコン含有前駆物質がDCSであった場合、SiGe膜中ゲルマニウム原子濃度が約17.5%であり、シリコン含有前駆物質がSiH4であった場合、約10%であった。
【0051】
[0068]上述の例示的な実施形態は、当業者が、本開示を考慮して、下で特許請求される発明の内容と対応するような実施形態を拡張することができるように、本発明の範囲を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【0052】
【図1】図1は、膜堆積中、UV線の利点を含まないシリコン/ゲルマニウム膜のエピタキシャル成長速度を示すグラフである。膜成長速度は、前駆物質材料の流量比の関数として、また、摂氏温度での温度の関数として、オングストローム/分で示されている。発明者らは、GeH4は水素中1%GeH4であるガスの流量であると言わなかったが、私はこれが他の実施例のすべてのケースであったと考える。
【図2A】図2Aは、本発明の基板洗浄方法とシリコン含有膜堆積方法を実施するために使用しうる種類のプロセスチャンバの断面図の概略図である。
【図2B】図2Bは、図2Aに示した種類のプロセスチャンバ内のUV線源ランプの位置づけを示す一実施形態の概略平面図であり、冷却ガスがUV線源を含む容積に入り、図2Aに示した通気装置と連通している通気装置(図示せず)に出る。
【図2C】図2Cは、石英UV線透過ウィンドウ206の底部と基板214が配置されている支持ペデスタル215の間の処理/反応容積218を含むUV線チャンバ205の側面図である。UV線源208と基板214の上面216との間の距離dも示されている。
【図3】図3は、550EC〜750ECの範囲の温度で堆積した膜に対して、膜堆積プロセスチャンバ内で、172nmの放射線の利点を含んで、また、それを含まずに一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜のエピタキシャル成長速度を示すグラフである。シラン含有前駆物質はジクロロシランであり、ゲルマニウム源はゲルマンであり、172nm放射線は約2mW/cm2の出力密度で存在した。
【図4】図4は、膜成長が行われる基板温度の関数として、UV線を用いた(曲線306)図3に示された一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の成長速度の促進を示すグラフである。
【図5】図5は、膜堆積プロセス中のHCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数としてUV線を用いて、また、それを用いずに、選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜成長速度を示すグラフである。HCl:DCS+GeH4(水素中1%で)の流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。前駆物質フィードガス中のゲルマニウムとシリコンとの比は、約15〜35slmの総前駆ガス流(水素を含む)で、約1:20であり、UV線は約2mW/cm2の出力密度で172nmの波長であった。
【図6】図6は、データが図5に示されている、選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜中のゲルマニウムのパーセントを示すグラフである。SixGel-x膜中のゲルマニウムの割合は、UV線を用いた、また、それを用いない膜成長が示されている。膜中のゲルマニウムのパーセントは、膜堆積プロセス中のHCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として示されている。HCl:DCS+GeH4(水素中1%で)の流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。前駆物質フィードガス中のゲルマニウムとシリコンとの比は、約15〜35slmの範囲の総前駆ガス流(水素を含む)で約1:20であり、UV線は約2mW/cm2の出力密度で172nmの波長であった。
【図7】図7は、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、また、EC(650ECと700ECで)での温度の関数として、膜堆積プロセス中にUV線が適用されたときのSixGel-x膜厚の変化パーセントを示すグラフである。HCl:DCS+GeH4(水素中1%で)の流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。前駆物質フィードガス中のゲルマニウムとシリコンとの比は、約15〜35slmの範囲の総前駆ガス流(水素を含む)で約1:20であり、UV線は約2mW/cm2の出力密度で172nmの波長であった。
【図8】図8は、172nmの放射線の形で適用された出力の関数として一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚を示すグラフであり、172nmの放射線の存在の影響が、基板(ウエハ)の中心からのmmとして全基板表面にわたって示されている。堆積のための前駆ガス中のGe:Siの比は、約1:20であった。UV線は172nmの波長であった。図2Aを参照すると、-150mmは位置A(図2Aでは)であり、0mmは位置Bであり、150mmは位置Cであった。
【図9】図9は、用いられるシリコン含有前駆物質の関数として、また、mW/cm2での出力密度の関数として、一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚(成長速度)の増加パーセントを示すグラフである。
【図10】図10は、単結晶シリコン基板表面上に存在する酸化物量に関する一定温度での処理チャンバ内に存在するH2O分圧の影響を示すグラフである。このグラフは、上に横たわるシリコン含有膜のエピタキシャル成長に先立つ基板表面の洗浄に関する。
【符号の説明】
【0053】
100…堆積チャンバ、200…プロセスチャンバ、201…ハウジング構造、205…上部チャンバ、206…U.V.透過ウィンドウ、208…UV線源、210…赤外ランプ、210a…上部ランプモジュール、210b…下部ランプモジュール、211…入口ポート、214…基板、216…表面、217…ペデスタル、218…処理容積、222…フロー、224…下部チャンバ、228…出口ポート、230…石英チャンバ、238…出口、240…シャフト。
【発明の背景】
【0001】
1.発明の分野
[001]本発明は、シリコン含有膜の選択的及び一括的(非選択的)エピタキシャル成長に有用な装置及び方法であって、経済的に実現可能な膜成長速度を与えつつ、約700EC未満の温度でエピタキシャル膜成長を可能にするためにUV線が用いられる前記装置及び方法に関する。
【0002】
2.背景技術の簡単な説明
[002]シリコン含有膜のエピタキシャル成長は、高度なロジックデバイスやDRAMデバイスの新規な用途のためにますます重要になってきた。これらの用途に鍵となる要求は、より低温のプロセスであり、その結果、デバイス特徴部がデバイスの製造中に悪影響を受けない。より低温のプロセスは、また、将来の市場に重要であり、特徴部のサイズは45nm〜65nmの範囲であり、隣接する物質の拡散の回避が重要になる。より低いプロセス温度は、シリコン含有エピタキシャル膜の成長前とエピタキシャル膜の選択的又は一括的な成長中の双方の基板洗浄に必要とされる。選択的な成長とは、一般的には、シリコン含有膜が基板表面上に1を超える物質を含む基板上で成長し、シリコン含有膜が前記基板の第1物質の表面上で選択的に成長し、前記基板の第2物質の表面上では最小限の成長から全く成長しないことを意味する。
【0003】
[003]約700EC未満の温度で成長したSi、SixGel-x、SixGel-x(C)のような膜を含む、選択的及び一括的、非選択的に成長したシリコン含有エピタキシャル膜と、このような膜の歪んだ実施形態が、現在の多くの用途に必要とされる。更に、洗浄時間が十分に短い場合にはより高い温度が許容されうるが、約650EC以下の範囲の温度で達成されるエピタキシャル膜の形成の前に、未変性酸化物と炭化水素を除去することが望ましい。より低い温度処理は、適切に機能するデバイスを得るために重要であるだけでなく、準安定な歪み層の緩和を防止するのを援助し、ドーパント拡散を防止又は最小化するのを援助し、エピタキシャル膜構造内のドーパント又はGe/Cの分離を防止するのを援助する。低温処理(低熱量処理)によって可能となるファセット形成効果や短チャネル効果の抑制は、高性能デバイスを得るために困難である。図10は、表面上に堆積したシリコン含有膜の良好なエピタキシャル成長に必要とされる種類の酸化物のないシリコン表面を生成するために必要とされる条件を示すグラフ100(アレニウスプロット)である。基板の逆温度は軸102にEK-1で示されている。ECの対応する温度は軸104にECで示されている。プロセスチャンバに存在するH2Oの分圧は軸1006にトールで示されている。例えば、酸化物のないシリコン表面を10-6トールで得るためには、基板温度を約800EC以上に上げることが必要であることは容易に明らかである。酸化物のないシリコン表面を約650ECで得ることができるためには、10-8トール未満のH2O分圧が必要であり、それは設備費用の点から実用的でない。
【0004】
[004]ドープされた又はドープされていないSi、SiGe、SiGe(C)膜の選択的又は一括的エピタキシャル成長の現在の技術は、典型的には、減圧CVD(RPCVD又はLPCVDとも呼ばれる)を用いて実施されている。膜堆積の前駆化合物がSiH4、SiH2Cl2(DCS)、Si2H6、GeH4である場合、典型的な減圧プロセスは700ECを超えた温度、典型的には750ECを超えた温度で行われ、許容しうる膜成長速度を得る。選択的な堆積プロセスの場合、これらの前駆化合物は、一例として、Cl2、HCl、任意にHBrのような追加の試薬と合わせる。CH3SiH3のような炭素含有シラン前駆化合物はドーパントとして用いることができる。代替的には、一例として、B2H6、AsH3、PH3のような無機化合物もまた、ドーパントとして用いることができる。
【0005】
[005]ジクロロシラン(DCS)とゲルマン(GeH4)からの一括的SixGel-xエピ膜成長(非選択的成長)のプロットが図1に示されている。SixGel-xエピ膜の成長速度、オングストローム/分は、堆積温度の関数として、堆積プロセスに対する前駆ガスフィード中のDCS:GeH4の比の関数として示されている。このプロットは、約20%〜約28%のゲルマニウムを含有する膜の堆積の場合である。堆積したSixGel-xエピ膜中のゲルマニウム含量の異なる堆積温度でのばらつきを減少させるために、膜の堆積に用いられた前駆ガス中のSi:Ge比を調節する必要があった。図1は、軸108のDCS:GeH4前駆ガス流量比の関数として、また、軸102の温度、ECの関数として、軸104のSixGel-xエピ膜の成長速度Δ/分を示すグラフ100である。図1に示されたデータは、約100sccmのDCSに対する流量と、指示通りに変えられたGeH4に対する流量を用いて、ここで順次記載された種類のプロセスチャンバを用いて作成した。図1に示された膜形成プロセスは、約10トールのプロセスチャンバ圧で実施した。図1は、750ECの約400Δ/分から600ECの約15Δ/分まで成長速度が急速に減少する、約700EC未満の温度のSixGel-xエピ膜成長速度の低下の問題を示している。約700EC未満の温度の膜成長速度のこの激しい低下は、膜成長が熱的に活性化され且つ表面反応が制限されているという事実によるものである。
【0006】
[006]膜成長速度の類似した急速な低下がシリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積にも見られる。温度が減少するにつれて膜成長速度が急速に低下するのは、おそらく、成長する膜表面からSiCl2の脱着を得るために必要とされる活性化エネルギーが高くなり、再結合HCl脱着速度が遅くなり、また、表面移動度が小さくなるためである。
【0007】
[007]シリコン含有基板が、洗浄されて、基板表面から有機物質を除去するとともに未変性酸化物を除去することができることは、当該技術分野において一般的に知られている。ある場合には、このような洗浄は、減圧CVDシステムにおいてUV洗浄の使用が組み込まれた。このような洗浄は、0.002〜10トールの範囲にある圧力の水素下での遠UV線による基板の照射を利用して、約800ECの範囲内の温度で行うことができる。基板洗浄プロセスを行うために用いられる種類の装置は、洗浄されるウエハの裏側が空冷タングステンランプで直接加熱れる水平なコールドウォール空冷石英チャンバであっもよい。900ECまでの上昇時間と200ECまでの冷却時間は、典型的には、それぞれ約5秒と約20秒である。プロセスチャンバのベース圧は、典型的には約2mトールの範囲内である。その圧力に達した後、水素流が設定される。水素流は、一般的には、洗浄プロセス中基板表面の汚染を避けるためのものである。試料の洗浄は、水素下の試料表面において800ECで行われ、その試料表面は短いUV線に1分未満かけられ、その照射の中心はほとんど約253nmである。続いて、エピタキシャル成長シリコン(例えば)膜は、水素で希釈された(約1/1000)電子グレードのSiH4やHClのような反応性ガスから堆積する。典型的には、エピタキシャル成長シリコン膜の堆積中の基板温度は、約800EC以上である。膜堆積の処理温度が800ECを超えた時、最初のインタフェース欠陥がたいてい避けられる。
【0008】
[008]ある場合には、基板洗浄は大気圧で、より高い温度で行われる。エピタキシャルシリコン膜成長の前に、ウエハ基板が900EC〜1,190ECの範囲の温度に上げられ、そのウエハは60秒間水素焼成に供され、続いて、30秒間HClドープした水素ガスでエッチングされ、ウエハ表面から半導体酸化物を除去する。ウエハのエッチング後、チャンバは、水素、続いて、連続するHClガス流とSiHCl3の導入でパージされ、1,130ECの範囲の温度でエピ成長が順次行われ、約5Φ/分(50,000Δ/分)のシリコン膜成長速度が得られる。
【0009】
[009]シリコンのエピタキシャル成長は、膜成長中の対流熱損失を減少させるために急速熱処理技術を用いて行われた。急速熱処理に用いられる反応性ガスは、典型的には、水素と混合した塩素化シリコン源(例えば、SixHyClz)を反応性キャリヤとして含む。アルゴン、ネオン、キセノン又はクリプトンのような不活性キャリヤガスを加えることができる。そのプロセスは、大気圧又は減圧下で750ECを超えるシリコン基板温度で行われる。ジクロロシランガスが前駆物質として用いられる場合、このガスは、基板表面上の境界層で加熱された時にSiCl2とH2に分解すると言われている。SiCl2は表面に拡散し、その後、H2と反応して、HClとシリコンを形成すると言われている。HClは、境界層を通ってチャンバへ脱着され、取り除かれる、と言われている。水素キャリヤガスは、十分な水素濃度を供給することによって堆積速度を改善させて、SiCl2のSiとHClへの分解を増幅させるために添加されると言われている。シリコン基板の前処理は、典型的には、周囲環境としてアルゴン中10%水素による焼成ステップを含んでいる。前焼成温度は、1,050ECで5秒間、続いて、1,000ECで20秒間である。焼成圧は文献では指定されなかった。シリコンエピ堆積は、1,000ECで、50トールのプロセス圧下、アルゴン/水素ガスの反応混合物、18slmの10容積%水素で、90sccmのジクロロシラン流で行われた。
【0010】
[0010]半導体デバイスの形成中のシリコン基板上の単結晶シリコン層の触媒援助成長も、当技術分野で記載されてきた。単結晶シリコン層は、単結晶シリコンと格子整合をもって作成されたシード層上に形成される。シード層は、CVD(化学気相堆積)プロセス中、CAD(触媒援助堆積)によって形成される。結晶サファイアのようなシード物質も用いることができる。
【0011】
[0011]触媒を用いたCADによって単結晶シリコン層を形成する際に、主に水素化シリコンを含有するガスを800-2,000EC、例えば、1600-1800ECに加熱された触媒本体との接触によって分解して基板上に単結晶シリコン層を堆積させることが好ましいと言われている。水素化シリコンは、例えば、モノシラン、ジシラン、又はトリシランのようなシランを意味する。触媒本体は、タングステン、酸化トリウムを含有するタングステン、モリブデン、白金、パラジウム、シリコン、金属がそれに結合したアルミナセラミック、及び炭化シリコンからなるグループより選ばれた少なくとも1種類の物質である。触媒物質は、典型的には、基板上に基板に面してコイルとして形成されている。触媒本体は、活性化し、その融点未満の温度に加熱される抵抗線である。入ってくるときの水素化シリコンガスと、水素、又は必要に応じて含まれるB2H6又はPH3のようなドーピングガスは触媒と接触して入るように導入される。基板上での堆積の前に、基板表面上で触媒熱フィラメントを用い、その熱フィラメント上で膜形成前駆ガスを流すことによって、約100EC-700EC、典型的には、200EC-600ECの温度の基板上にエピタキシャルシリコンシード層を堆積させることが可能であると言われている。しかしながら、汚染が触媒に由来する、膜の金属汚染による問題がある。触媒を用いずにそのような処理温度で形成されたシリコン膜がアモルファスシリコン膜である。
【0012】
[0012]化学気相堆積法を用いて混合基板上にシリコン含有膜を堆積させることについて最近いくつか記載された。SiとSiGe膜の堆積の記載がある。しかしながら、この方法によって製造される膜の正確な結晶組成のデータは提供されていない。そのプロセスではトリシラン(H3SiSiH2SiH3)を用いて、混合基板上に“高品質Si含有膜”の堆積を可能にしている。
【0013】
[0013]最近の文献には、物質搬送制限様式で又はそれに近い薄膜堆積を可能にする化学前駆物質を利用すると言われている化学気相堆積プロセスが記載されている。記載された実施形態は、Si含有膜とGe含有膜の形成に関係している。トリシラン又はジゲルマンと組み合わせたトリシランのような高次前駆物質の使用が、例えば、シラン前駆物質の置換に推奨されている。
【0014】
[0014]基板上にシリコンエピタキシャル成長膜を堆積させる前に、シリコン基板表面の前処理を記載している文献にも説明がある。半導体製造に対して、アドバンスインテグレーテッド(advance integrated)化学気相堆積(AICVD)と呼ばれるプロセスにおいて、基板がUHV-LPCVDプロセスチャンバ内に流れる水素により800EC〜900ECの範囲の温度で10-30分間予備焼成され、シリコン基板表面から未変性酸化物を除去すると言われている。これに続いて、ソースガスとしてジクロロシランを用いて、600EC〜900EC(典型的には700EC-800EC)の範囲の温度で100Δ〜300Δの厚さに中温シリコンエピタキシャル層が成長する。シリコンエピ成長に続いて、ジクロロシランはシランガスに置き換えられるか又は他の水素含有ガスがプロセスチャンバに送られ、温度が400EC未満に下がり、それによって、半導体基板の表面は水素が停止されると言われている。
【0015】
[0015]未変性酸化物層を除去するために記載された他の方法においては、水素ガスが処理試薬として用いられる。基板の表面上へのレーザ投影が水素の反応を高めるために用いられる。照射の具体的な波長は言及されていない。投影されたレーザが基板表面に局部的加熱を与えることは明らかである。
【0016】
[0016]上述の背景技術の概説及び半導体製造の分野において既知の他の技術は、750EC未満、好ましくは約700EC未満の温度でシリコン含有エピタキシャル成長膜の一括的及び選択的双方の堆積を可能にする方法が連続して求められていることを示している。更に、シリコン含有膜堆積と同じか又はより低い温度で行うことができ、その結果、膜が堆積されている基板中のデバイスが基板の洗浄や膜の堆積によって影響されない基板洗浄手順(シリコン含有膜の堆積の調製において)が求められている。
【発明の概要】
【0017】
[0017]我々は、エピタキシャル成長シリコン含有膜の堆積に対して清浄で不動態化したシリコン含有基板表面を調製する方法を開発した。シリコン含有基板洗浄/不動態化方法は、少なくとも膜堆積中に(及び任意に洗浄と堆積中に)、基板表面がUV線に曝されている、シリコン含有膜を堆積させる方法と組み合わせて使用できる。典型的には、有機物質と酸素の大部分を除去するための主要な洗浄が、最初に当該技術分野で一般的に知られている種類の水性HF浸漬(エッチング)を用いて行われる。これにより、少量の残りの酸化物を除去するとともに基板上でのシリコン含有膜のエピタキシャル成長に好ましい表面構造を得るために用いられる本発明の洗浄/不動態化方法が続けられる。本発明の洗浄/不動態化方法は、典型的には約1,000EC〜約500ECの範囲の温度で行われ、その温度は、洗浄プロセス中にUV線が用いられるかに左右される。UV線を用いない場合、洗浄及び不動態化方法は、典型的には、できるだけ短い時間(典型的には2分で)で行われ、エピタキシャル成長に適切な表面を与える。UV線を用いる場合、放射の波長は約310nm〜120nm、好ましくは約180nm〜約120nmであり、放射は、一般的には、基板表面に隣接して配置された放射線源から基板の表面上に適用される。UV線の使用により、基板表面の洗浄及び不動態化がより低い温度、典型的には約700EC〜約500ECの温度で行われることが可能になる。約10トール未満の水素雰囲気が、典型的には、基板の洗浄及び不動態化中の基板表面上で適用される。
【0018】
[0018]堆積チャンバ内の典型的な全圧が約1トール〜約80トールの範囲にあり、UV線の波長が約310nm〜約120nmの範囲にある場合、シリコン含有膜の堆積は750EC未満、典型的には700EC未満、好ましくは約650EC未満の温度で行われる。指示は、我々が商業的に許容しうる成長速度(毎分約60Δを超える)、約650ECの範囲の温度、及び具体的なUV線源と膜前駆ガスの組み合わせの使用においてより低い温度で、エピタキシャル成長シリコン含有膜を堆積させることを予想しうることである。膜の成長速度を高めるためにUV線をより良好に利用することができる構造を含む前駆物質から一括的及び選択的シリコンエピ膜を堆積させることにより、より低温の膜堆積が可能になる。例えば、高次クロロシラン、ブロモシラン、及びジクロロシラン(DCS)又はヘキサクロロジシラン(HCD)前駆物質のようなシランの使用により、一般的には、より低温で成長速度が改善される。UV線の波長は、個々の前駆物質の吸収断面を一致させ且つ基板表面の活性化を高めるために選ばれ、その結果、前駆物質の吸収断面と基板表面の活性化は許容しうる処理温度で最も有益である。SixGel-xエピタキシャル膜を生成するためにゲルマニウム含有前駆物質をもつクロロシランとシランの反応生成物もまた、具体的な基板上に選択的堆積を得るように調整することができる。
【0019】
[0019]シリコン含有基板表面は、典型的には単結晶シリコン又はシリコン・ゲルマニウムであるが、基板表面上でのエピタキシャル膜成長を可能にする機能をもつ他のシリコン含有基板に拡張することができる。
【0020】
[0020]洗浄/不動態化方法及びシリコン含有膜成長方法は、触媒の使用を必要としない。代わりに、それらの方法は、反応性洗浄/不動態化及び/又は膜形成成分化学種の具体的な分圧範囲と組み合わせて具体的な波長範囲に対するUV線の使用を用い、基板の洗浄/不動態化とシリコン含有膜のエピタキシャル膜成長を750EC未満の温度、典型的には650EC未満の温度で可能にする。
【0021】
[0021]基板表面での反応を可能にするために所望されるエネルギーを与える放射線波長は、約310nm〜約120nmの範囲内にある。約180nmよりも小さい波長は、本明細書で順次記載される膜前駆物質に非常に有効であることが証明された。放射線は、塩化キセノン(λ=308nm)、フッ化クリプトン(λ=248nm)、フッ化アルゴン(λ=193nm)、キセノン(λ=172nm)、アルゴン(Ar++)(λ=257nm)、クリプトン(λ=146nm)のエキシマによって、また、キセノン(λ=147nm)、クリプトン(λ=117〜124nm)、N2アーク(λ□150nm)、D2(λ=121nm)を用いるランプによって供給することができる。これらは放射線源の例であり、使用しうる唯一の放射線源とは考えられていない。異なる波長のUV線源の組み合わせも用いることができる。
【0022】
[0022]我々は、シリコン・ゲルマニウム膜の選択的及び一括的堆積中、これらの波長の放射線は、シリコンと水素化ゲルマニウムと塩素化シランを励起されたラジカル(イオンではない)に解離するだけでなく、前駆物質の吸着速度と反応副生成物の脱着速度を増加することによって、基板上の表面反応も高めることを発見した。例えば、シリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積において、SiCl2脱着速度(例えば)、再結合HCl脱着速度、表面移動度の要素すべてが、入るときの化学種の活性部位を生じるように作用する。
【0023】
[0023]放射線は、成分ガスと反応性化学種の層を通って基板の表面に進むので、成分ガス(そこから、洗浄又は膜形成化学種が生成する)の分圧を制御することによって、我々は、より多くの化学種が、基板上の気相中で形成されるか又は反応するか又は基板表面で形成されるか又は反応するように反応を促進させることができる。これによって、基板表面で同時に起こる化学種の吸着と脱着において、気相中での化学種の生成と前駆物質形成の最適化が可能になり、その結果、沈殿した又は凝集した物質の島は基板表面上で形成されない。約170nmまでの波長範囲に対する放射線の適用によって、約500EC〜約700ECの範囲の温度で約100Δ/分〜約500Δ/分の範囲の成長速度で高品質エピタキシャルシリコン含有膜が生成される。
【0024】
[0024]各成分ガスの分圧は達成すべき仕事に左右され、洗浄/不動態化や異なる化学組成の膜の堆積が変わる。詳細なデータは、本明細書の詳細な説明に実験で証明された様々な実施形態ついて示されている。当業者は、本明細書の教示と説明を読む際に、少ない実験で、膜を堆積する前駆物質、成分ガスの分圧、放射線の波長、放射線の出力密度を調整して、最適化されたエピタキシャル成長シリコン含有膜を得ることができる。
【0025】
例示的な実施形態の詳細な説明
[0037]下で示される詳細な説明の前置きとして、本明細書と添付の特許請求の範囲に用いられるように、特にことわらない限り、単数形は複数の対象を含むことを留意すべきである。
【0026】
[0038]我々は、エピタキシャル成長シリコン含有膜の堆積のために清浄で不動態化したシリコン含有基板表面を調製する方法を開発した。シリコン含有基板洗浄方法は、少なくとも膜堆積中に(及び任意に洗浄と堆積双方中に)、基板表面がUV線に曝されている、シリコン含有膜を堆積させる方法と組み合わせて用いることができる。シリコン含有基板洗浄/不動態化方法は、典型的には、UV線が用いられない場合、約1,000EC〜約750ECの範囲の温度で行われる。この場合、基板が曝される時間は、基板表面上で所望されるエピタキシャル成長を可能にするのに必要な時間に最小化される。洗浄プロセス中にUV線が用いられる場合、洗浄と不動態化プロセスが行われる温度を低下させることが可能である。例えば、処理温度は、750EC未満〜、典型的には、700EC未満〜約500ECの範囲にあってもよい。基板表面を囲む処理容積内の典型的な総プロセス圧は、約0.1トール〜約80トール(典型的には、約0.1トール〜約30トール)の水素の範囲にある。不活性ガスが少量で存在するも可能である。
【0027】
[0039]洗浄と不動態化プロセス中の一般的な目標は、それらの存在が基板上のシリコン含有膜のエピタキシャル成長を妨害するので、シリコン含有基板からの炭化水素と酸化物の除去である。図10は、処理チャンバ内のH2Oの分圧、処理チャンバ内温度(K度)、シリコン基板の表面上の酸化物の存在の間の関係を示すグラフである。図10から明らかなように、温度が約750ECより低い場合、酸化物のないシリコン表面を有するためには、約10-7トールの範囲内にあるプロセスチャンバ内のH2Oの分圧が必要である。この圧力の要求は満たすのが難しく、非常にコストがかかる装置が必要となる。
【0028】
[0040]我々は、UV線の存在下の水素を含む雰囲気中でシリコン基板を処理することによって、処理を行わなければならない温度を低下するか又は表面を洗浄するのに必要な時間を短縮するか、又はそれらの双方の組み合わせが可能となることを発見した。典型的には、望ましい処理ウィンドウを得るために、シリコンを含む基板表面の洗浄と不動態化中、処理チャンバ内の総圧は約0.1〜約80(上記のように)の範囲にある。処理中の基板温度は約550EC〜約750EC、典型的には約550EC〜約700ECの範囲にある。UV線の出力密度は、典型的には、約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲にある。
【0029】
[0041]シリコン含有膜の堆積は、UV線の波長が約310nm〜約170nmの範囲である場合、750EC未満の温度、典型的には700EC、好ましくは約650EC以下の温度で行われる。我々は、170nm未満、即ち、約170nm〜約120nmの範囲内の波長を与えるUV線源の発生の完了時に、商業的に許容しうる成長速度を与えつつ、約550ECの範囲内の温度、おそらくより低い温度でエピタキシャル成長膜を堆積させることを予想する。更に、基板表面に反応種の容易な吸着と基板表面からの反応副生成物の容易な脱離を促進する点で、UV線に十分に応答する高次シランベース前駆物質の使用が、より低い温度でエピタキシャル膜成長を可能にするためにも用いることができる。UV線の波長は、一定の前駆物質と基板活性化の組合せについて最適に調節することができる。
【0030】
[0042]シリコン含有基板は、典型的には、単結晶シリコン又は単結晶シリコン・ゲルマニウムであるが、これら2つの基板の1つに限られるようには意図されていない。
【0031】
[0043]洗浄/不動態化方法とシリコン含有膜成長方法は触媒の使用を必要としない。代わりに、これらの方法は、具体的な波長範囲に対するUV線の使用を、反応性洗浄/不動態化及び/又は膜形成成分化学種の具体的な分圧範囲と組み合わせて用いて、750EC未満の温度、典型的には650EC未満の温度でシリコン含有膜の基板洗浄/不動態化とエピタキシャル膜成長が可能になる。
【0032】
[0044]基板表面での反応を可能にするために所望されるエネルギーを供給する放射線の波長は、約310nm〜約120nmの範囲内であり、典型的には、約180nm〜約120nmである。我々は、シリコン・ゲルマニウム膜(又はシリコン膜)の一括的な堆積中、膜堆積中にUV線を用いることにより、一定の堆積速度で膜堆積中の基板温度を下げることが可能であることを発見した。更に、我々は、シリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積中、これらの波長での放射線が、シリコンと水素化ゲルマニウムと塩素化シランを励起されたラジカル(イオンではない)に解離するだけでなく、SiCl2脱着速度(例えば)、再結合HCl脱着速度、表面移動度を増加することによって基板上の表面反応をも高めて、入るときの化学種の活性部位を生じることも発見した。
【0033】
[0045]放射線は、成分ガスと反応種の層を通って基板の表面に進むので、我々は、成分ガス(そこから洗浄又は膜形成化学種が生成する)の分圧を制御することによって、化学種の反応を促進させ、その結果、より多くの化学種が基板表面の基板反応物上の気相中で形成される。これによって、基板表面で同時に化学種の吸着と脱着において、気相中での化学種の生成の最適化が可能になり、その結果、凝集した物質が基板表面上に形成されない。高品質エピタキシャルシリコン含有膜は、約600EC〜約700ECの範囲の温度で、約100Δ/分〜500Δ/分の成長速度で得られた。
【0034】
I.本発明を実施するための装置
[0046]本明細書に記載される実施形態例のエッチングプロセスを、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社から入手できるEpiCENTURA7総合処理システムで行った。本発明に関するこの装置の具体的な特徴は下で詳しく記載されるが、膜のエピタキシャル成長に業界で知られている他の装置が本発明を実施するために用いることができることは企図される。
【0035】
[0047]図2Aは、CENTURA7総合処理システムの部分として用いられる200mmEpi堆積チャンバを示す概略断面図である。CENTURA7総合処理システムは、完全に自動化された半導体製造システムであり、単一ウエハ、複数チャンバ、200-mm又は300-mmウエハを収容するモジュラー設計を用いている。図2Aに示されるように、Epi膜堆積プロセスチャンバは、プロセスチャンバ200の様々な機能要素を取り囲む316リットルのステンレス鋼ハウジング構造201を含んでいる。装置の詳細な説明は製造業者から入手することができ、本発明の理解に重要である要素だけが本明細書に述べられる。石英チャンバ230は、UV線源208を含む上部チャンバ205と、処理容積218を含む下部チャンバ224とを含んでいる。反応種が処理容積218に供給され、処理副生成物が処理容積218から除去される。基板214はシリコン被覆グラファイトペデスタル217の上に置かれ、反応種は基板214の表面216に適用され、次に、副産物が表面216から除去される。基板214と処理容積218を加熱すると赤外ランプ210が用いられる。赤外ランプ210からの放射線は、石英上部チャンバ205の上部石英ウィンドウ204を通り、また、下部石英チャンバ224の下部石英部分203を通って進む。上部石英チャンバ205用の冷却ガスは、入口211を通って入り、出口228を通って213を出る。前駆反応物質と、下部石英チャンバ224用の希釈、パージ、通気ガスは、入口220を通って入り、出口238を通って222を出る。出口228と238は、同じ真空ポンプで連通しているか又は別々のポンプを用いて同じ圧力になるように制御され、その結果、上部石英チャンバ205と下部石英チャンバ224の圧力は等しくする。図2Aにおいて、UV線源208は出口フランジ228からオフセットされている(図示せず)ことに留意のこと。
【0036】
[0048]反応種にエネルギーを与え、基板214の表面216への反応種の吸収と基板214の表面216からのプロセス副生成物の脱着を援助するために用いられる低波長放射線は、典型的には、約310nm〜約120nmの範囲にあり、種々の波長の組み合わせが供給され、エピタキシャルに成長している膜の組成に左右される。図2Aに示される実施形態においては、この放射線は、上部石英チャンバ205内に位置するエキシマランプ208によって供給され、放射線はUV線透過ウィンドウ206を通過して、基板214に達する。(UV線透過ウィンドウは、一例として、ドープされた合成石英、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、サファイア、フッ化ランタンのような他のUV線透明物質から形成することができる。)上部石英チャンバ205内のエキシマランプ208の間隔は、基板214の表面216上に一様に均一な放射線を供給するように設計されている。UV線源と基板214の上面216の間の間隔“d”は、エピタキシャルに成長している膜の具体的な組成に必要とされるプロセスパラメータの要求を適合させるために調整することができる。本明細書に記載される例の実施形態の場合、UV線源と基板214の上面216との間の間隔は約5cm〜約15cmの範囲であり、典型的には約5cm〜約10cmの範囲であった。用いられた出力密度は約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲であり、典型的には約2mW/cm2〜約10mW/cm2の範囲であった。
【0037】
[0049]基板表面を洗浄/不動態化するために又はエピタキシャルに成長しているシリコン含有膜を形成するために用いられる成分ガスは、220で示される入口ポートを介して処理容積218に入り、222で示されるポートを通って出る。成分ガスの組み合わせは、典型的には、処理容積に入る前に混合される。処理容積218中の全体的な圧力は、流れ222に対して出口ポート238の弁(図示せず)によって決定される。
【0038】
[0050]上部石英チャンバ205内の温度とUV線透過ウィンドウ206の温度は、上部石英チャンバ204の上に位置づけられている赤外ランプ210からの放射線と組み合わせた冷却ガスの流れ(ポート211を通って入り、ポート228を通って出る)によって、約300EC〜約600ECの温度範囲内に制御される。下部石英チャンバ224内の温度は、示されていない(しかし、下部石英チャンバ224を通って空気又は冷却ガスを循環させ、このようなガスはポート220に入りポート238を出る)送風機ユニットの速度を調整することよって、また、下部石英チャンバ224の下の赤外ランプ210からの放射によって、約600EC〜約300ECの温度範囲内に制御される。
【0039】
[0051]基板214の表面216の温度は、下部石英チャンバ224内の下部ランプモジュール210bに電源を設定することによって又は上部石英チャンバ204の上に横たわる上部ランプモジュール210aと下部石英チャンバ224内の下部ランプモジュール210bの双方に電源を設定することによって制御される。
【0040】
[0052]図2Bは、図2Aに示される種類のプロセスチャンバ内のUV線源ランプの配置を示す一実施形態の概略平面図である。冷却ガスは、入口ポート211(図2Aに図示した)から上部石英チャンバ容積205(UV線源208を含む)に入る。出ていく冷却ガス213は、出口ポート228(図2Aに図示した)から出る。出口ポート228は出口ポート238(図2Aに図示した)と連通し、出口ポート238から堆積チャンバ副生成物222が出て、又は両出口ポートの圧力は各ポートに取り付けられた別々の真空ポンプ(図示せず)を用いて釣り合い、その結果、前述のように、上部石英チャンバ容積204の圧力は下部チャンバ容積224(図2Aに図示した)の圧力と等しくなる。出ていくガスを制御するために別々のポンプを用いると、独立した容積205と224の二次汚染が最小になる。
【0041】
[0053]図2Cは、UV線透過ウィンドウ206と石英上部チャンバウィンドウ204の間の容積205を含むUV線チャンバ230の側面図である。図2Cは、また、UV透過ウィンドウ206と基板214の間に存在する処理容積218を含むプロセスチャンバ224を示している。距離“d”は、基板表面216とUV線源の間の間隔を表す。この距離“d”は、基板214の表面216で所望されるUV線密度を得るために設定される。
【0042】
[0054]図2A〜図2Cに示されたプロセスチャンバは、基板について、赤外線加熱ランプとエキシマランプの配置が示されているものと異なるように変更することができる。更に、異なるプロセスチャンバの設計は、要求が異なってもよい。重要なことは、プロセスを加熱するように用いられる赤外線ランプの配置、又は他のデバイスが基板にさえ加熱し、基板温度について正確で厳密な制御を可能にすることである。更に、約310nm〜約120nmの放射線のエキシマランプ又は他の熱源は基板に均一な放射線を供給し、気相と基板の表面に十分なエネルギーの導入を可能にし、商業的に実行可能な成長速度で高品質エピタキシャル成長膜を生成するのに必要なエピタキシャル膜成長副生成物の対応する脱離において、反応性化学種の生成と反応種の吸着を可能にしなければならない。上述のように、我々の現在のデータは、高品質シリコン含有膜のエピタキシャル成長に対する基板表面での出力密度の要求は、1mW/cm2〜25mW/cm2の範囲であることを示している。エピタキシャル膜成長化学種のソースとして用いられる典型的なシリコン含有成分ガスは、SiH2Cl2又はSiH4又はSi2H6又はそれらの組合せを含み、シリコン/ゲルマニウム膜を生成する場合、GeH4又はGe2H6と組み合わせて用いられ、選択的膜堆積を必要とする場合、シリコン及び/又はゲルマニウムのこれらの成分ガス源が、典型的には、HCl又はCl2又はHBr、又はそれらの組合せと組み合わせて用いられる。これらの前駆物質のために用いられる典型的な出力密度は、約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲である。好ましくは、出力密度は、約2mW/cm2〜約10mW/cm2の範囲である。図2Aについて、基板216が置かれているペデスタル215を回転するために、シャフト240を回転することによってUV線源208に相対して基板216を回転させることができる。これによって、UV線源208に対して放射状に対称の放射線が得られる。シャフト240は、典型的には、約12rpm〜約90rpmの範囲の速度で回転する。
【0043】
[0055]一定の熱プロセスの活性化エネルギーを減少させるために、イオン、電子又は光子(エピタキシャルに成長したシリコン含有膜が生成される場合、約180nm未満の波長をもつ)によって非熱エネルギーを供給することができる。ほとんどの原子について、重要な考察は約10eVより大きい光子エネルギーに対してイオン化が生じることである。このことは、約10eV未満のエネルギーをもつ光子が純粋に量子効果(化学的及び/又は物理的プロセスに関与している原子、分子、ラジカル等の励起された状態)をもたらすことができ、悪影響は見られないことを意味する。しかしながら、エピ成長の前に、未変性酸化物が除去され、ダングリングボンドが水素で不動態化される表面洗浄/不動態化反応を高めるために、追加のエネルギーを用いることが望ましく、10eVかそれよりわずかに高い総エネルギーが有利なものである。
【0044】
[0056]180nm以下の低波長の光子の使用は、シリコン含有エピタキシャル成長膜の形成によって生じた反応副生成物を脱着しつつ、反応種を吸収する基板表面の能力が驚くべきことに増加する。このような低波長放射線を生成することができるエキシマランプの動作の基礎をなす原理は、Ar2*(λ=126nm、9.84eV)、Kr2*(λ=146nm、8.49eV)、又は、Xe2*(λ=172nm、7.21eV)のような希ガス又はArF*(λ=193nm、6.42eV)、KrCl*(λ=222nm、5.58eV)、KrF*(λ=248nm、5.01eV)のような分子の希ガスハライド複合物中の誘電体バリヤ放電(無音放電)によって生じたエキシマ(励起二量体)状態の放射分解による。Ar2*、Kr2*、Xe2*エキシマランプは、それぞれ126nm、146nm、172nmで強い放射線を供給し、光援助エピタキシャル成長シリコン含有膜堆積用の有望な光源である。高エネルギー強度によって、基板表面からH2、SiCl2、HClの脱着を増大させつつ、気相成分が反応性化学種に解離され且つ表面移動度が大きくなる。
【0045】
[0057]高次シランやクロロシランがシリコン源として用いることができ、一例として限定としてではなく、ジクロロシラン、ヘキサクロロジシラン、ジブロモシラン、それらの誘導体を含むものがシリコン源として用いることができ、一例として限定としてでなく、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2が、ゲルマニウム源として用いることができる。シリコンとゲルマニウムのこれらの前駆物質源は、基板温度が約350EC〜約550ECの範囲にある場合に許容しうる成長速度を示し、基板温度が約550EC〜約650ECである場合に高成長速度を示す。
【0046】
[0058]膜成長プロセスを援助するために172nmUV線を用いることによって、550ECの基板温度で26%Ge含有SiGe膜の一括的な膜成長に対して35%以上の成長速度増加が達成された。このことは、本明細書で後に図4によって述べられる。
【0047】
II.実施例
実施例1
[0059]基板上のシリコン含有膜のエピタキシャル成長の前に、清浄な不動態化した表面にシリコン含有エピ膜の続いての成長を得るために、表面格子構造に影響を与える基板表面上の未変性酸化物を除去するとともに水素とのダングリングボンドを停止させることが必要である。しばしば、基板は、ウエハ表面上に未変性酸化物を有するシリコンウエハである。未変性酸化物の大部分は、ウェット化学プロセス、典型的には、水性HF浸漬を用いて除去される。未変性酸化物の大部分の除去に続いて、我々は残留酸化物と炭化水素を除去するために、また、シリコン含有膜のエピタキシャル成長の前に基板表面を不動態化するために、コーティング堆積チャンバ内で行われるインサイチュ洗浄/不動態化プロセスを用いた。インサイチュ洗浄/不動態化方法の間、基板は処理容積内で水素雰囲気に曝され、同時に約180nm以下の波長の放射線に曝される。本明細書に前に記載された処理装置において、水素流量は25slm〜50slmの範囲であった。基板表面の温度は、約1分間〜約5分間、500EC〜650ECの範囲であった。処理容積中の圧力は、約0.1トール〜約100トールの範囲であってもよく、典型的には約5トール〜約30トールの範囲である。出力密度は、約2mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲であり、典型的には約2mW/cm2〜約10mW/cm2の範囲である。基板表面と放射線源の間の間隔“d”は、典型的には約5cm〜約20cm、好ましくは約5cm〜約10cmの範囲である。基板の処理時間は、典型的には、約1分間〜約5分間の範囲である。
実施例2
[0060]図3は、550EC〜750ECの範囲にある温度で堆積した膜に対して、膜堆積プロセス容積内で172nm放射線の利点を含んで、また、それを含まずにシリコン/ゲルマニウム膜のエピタキシャル成長速度を示すグラフ300である。基板温度℃は目盛り302で示され、成長速度Δ/分は目盛り304で示される。曲線308は、172nm放射線の利点を含まない膜成長速度の代表例である。曲線306は、172nm放射線の利点を含む膜成長速度の代表例である。172nm放射線が存在した場合、基板表面の出力密度は約2mW/cm2であった。堆積プロセスガスのシリコン含有成分は、SiH2Cl2であり、ゲルマニウム含有成分はGeH4であり、シリコン:ゲルマニウムの比は約1:20の範囲内であった。基板214の上面216と放射線源208の間の間隔“d”(図2Aに示されるように)は約5cmであった。プロセス容積218は約7500ccであった。プロセス容積218へのプロセスガスの総流量は約30slmであった。SiH2Cl2の流量は100sccmであり、水素中の1容積%GeH4の流量は、300sccm〜500sccmに変化できた(3sccm〜5sccmのGeH4を供給する)。プロセス容積218内の圧力は10であった。加えられた出力密度は2mW/cm2であった。
実施例3
[0061]図4は、膜形成中にプロセス容積内で172nm放射線を用いることによる、シリコン/ゲルマニウム膜の成長速度の増加を示すグラフ400である。成長速度は、膜成長が行われる基板温度の関数として示される。プロセス条件は上記図3の条件であった。基板温度は目盛り402に℃で示され、シリコン/ゲルマニウム膜の成長速度の増加は目盛り404で示され、曲線406は、プロセス容積内の172nm放射線の存在により、より低い温度で有益な効果が増加することを示す関係を表している。
実施例4
[0062]図5は、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、プロセス容積内で172nmUV線を用いて、また、それを用いずにシリコン・ゲルマニウム膜の選択的堆積の膜成長速度を示すグラフ500である。この流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。基板温度は650ECであり、プロセス容積内の圧力は10であり、出力密度は2mW/cm2であった。SiH2Cl2の流量は100sccmであり、水素中のGeH4の流量は約300sccm〜約500sccmであり、プロセスガスフィード中のSi:Geの容積比は、約100:3〜約100:5であった。HCl:(DCS+GeH4(水素中1%で)の容積流量比は目盛り502で示され、膜成長速度Δ/分は目盛り504で示される。曲線508は、いかなる172nmの放射線入力もない場合の関係を表す。曲線506は、172nm放射線が2mW/cm2の出力密度で適用されている関係を表す。堆積は、HCl:(DCS+GeH4)比が増加するにつれて、より選択的である。HCl又はCl2又はHBrとシリコン含有前駆物質との容積比は、約0.05:1〜約50:1の範囲であってもよく、少なくとも0.05:1である。
【0048】
[0063]図6は、プロセス容積内で172nm放射線を用いて、また、それを用いずに生成した膜に対して、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、図5によって述べたプロセス条件下で生成した選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜中のゲルマニウムのパーセントを示すグラフ600である。この流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。容積流量比は目盛り602に示され、シリコン/ゲルマニウム膜中のゲルマニウムパーセントは目盛り604に示される。曲線608は、プロセス容積への放射線入力なしで形成されたシリコン/ゲルマニウム膜の代表例である。曲線606は、172nm放射線が2mW/cm2の出力密度で存在した場合に形成されたシリコン/ゲルマニウム膜の代表例である。本発明の方法によって堆積した膜のゲルマニウム含量は、約1%〜約90%の範囲でもよく、典型的には約5%〜約40%の範囲である。
実施例5
[0064]図7は、膜堆積が行われた温度の関数として、また、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚の変化パーセントを示すグラフ700である。この流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。プロセス容積中の圧力は10であり、出力密度は2mW/cm2であった。SiH2Cl2の流量は100sccmであり、水素中1容積%のGeH4流量は約300sccm〜約500sccmであり、プロセスガスフィード中のSi:Geの容量比は、約100:3〜約100:5であった。HCl:(DCS+GeH4(水素中1%で)の容量流量比は目盛り702に示され、膜厚の増加パーセント(膜成長速度の表示)は目盛り704に示されている。曲線706は、膜堆積中の基板温度700ECに対する関係を示し、曲線710は、膜堆積中の基板温度650ECに対する関係を示している。より低い温度での膜堆積中のUV線の使用は膜成長速度に対する影響が非常に大きいことは容易に明らかである。
【0049】
[0065]図8は、膜堆積中に加えられたUV線の出力密度の関数として、一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚を示すグラフ800である。UV線が適用された場合には、172nm放射線であった。172nm放射線の存在の影響は、基板(ウエハ)の中心からmmとして、全基板表面にわたって示されている。基板の中心からの距離mmは目盛り802に示され、シリコン/ゲルマニウム膜厚オングストロームは目盛り804に示されている。曲線806は、172nm放射線が処理容積に存在しなかったときの関係を表している。曲線808は、172nm放射線が基板表面に約1.3mW/cm2の出力密度で存在したときの関係を表している。曲線810は、172nm放射線が基板表面に約2.0mW/cm2の出力密度で存在したときの関係を表している。他のプロセス条件は、本質的には図3について述べたものと同じであり、膜堆積中の基板温度は650ECであった。
【0050】
[0066]出力密度は2.0mW/cm2密度をかなり超えて増加することができ、膜成長速度の対応するかなりの増加が生じることが予想される。出力密度の適用に対する都合のよい上限は、装置が本明細書に前述した場合、約25mW/cm2の範囲内である。
実施例6
[0067]図9は、シリコン源に用いられた前駆物質の関数として、また、172nm放射線の形で加えられた出力の関数として、一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜厚の増加パーセントを示すグラフである。加えた出力量は目盛り902にmW/cm2で示され、膜厚の増加は目盛り904に示されている。曲線906は、UV強化しない膜堆積と比べて、SiH4ベースのプロセスの場合の膜厚の増加パーセントを示し、曲線908は、UV線を膜成長速度の増加を可能にするために用いたときのSiH2Cl2ベースプロセスの場合の膜厚の増加パーセントを示している。塩素含有シリコン前駆物質成分が用いられる場合、膜成長速度がより速いことは容易に明らかである。基板温度は650ECであり、プロセス容積の圧力は10であり、SiH2Cl2の流量は100sccmであり、GeH4(水素中1%で)の流量は300sccmであった。SiH4の流量は100sccmであり、GeH4(水素中1%で)の流量は300sccmであった。これらの流量は、シリコン含有前駆物質がDCSであった場合、SiGe膜中ゲルマニウム原子濃度が約17.5%であり、シリコン含有前駆物質がSiH4であった場合、約10%であった。
【0051】
[0068]上述の例示的な実施形態は、当業者が、本開示を考慮して、下で特許請求される発明の内容と対応するような実施形態を拡張することができるように、本発明の範囲を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【0052】
【図1】図1は、膜堆積中、UV線の利点を含まないシリコン/ゲルマニウム膜のエピタキシャル成長速度を示すグラフである。膜成長速度は、前駆物質材料の流量比の関数として、また、摂氏温度での温度の関数として、オングストローム/分で示されている。発明者らは、GeH4は水素中1%GeH4であるガスの流量であると言わなかったが、私はこれが他の実施例のすべてのケースであったと考える。
【図2A】図2Aは、本発明の基板洗浄方法とシリコン含有膜堆積方法を実施するために使用しうる種類のプロセスチャンバの断面図の概略図である。
【図2B】図2Bは、図2Aに示した種類のプロセスチャンバ内のUV線源ランプの位置づけを示す一実施形態の概略平面図であり、冷却ガスがUV線源を含む容積に入り、図2Aに示した通気装置と連通している通気装置(図示せず)に出る。
【図2C】図2Cは、石英UV線透過ウィンドウ206の底部と基板214が配置されている支持ペデスタル215の間の処理/反応容積218を含むUV線チャンバ205の側面図である。UV線源208と基板214の上面216との間の距離dも示されている。
【図3】図3は、550EC〜750ECの範囲の温度で堆積した膜に対して、膜堆積プロセスチャンバ内で、172nmの放射線の利点を含んで、また、それを含まずに一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜のエピタキシャル成長速度を示すグラフである。シラン含有前駆物質はジクロロシランであり、ゲルマニウム源はゲルマンであり、172nm放射線は約2mW/cm2の出力密度で存在した。
【図4】図4は、膜成長が行われる基板温度の関数として、UV線を用いた(曲線306)図3に示された一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の成長速度の促進を示すグラフである。
【図5】図5は、膜堆積プロセス中のHCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数としてUV線を用いて、また、それを用いずに、選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜成長速度を示すグラフである。HCl:DCS+GeH4(水素中1%で)の流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。前駆物質フィードガス中のゲルマニウムとシリコンとの比は、約15〜35slmの総前駆ガス流(水素を含む)で、約1:20であり、UV線は約2mW/cm2の出力密度で172nmの波長であった。
【図6】図6は、データが図5に示されている、選択的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜中のゲルマニウムのパーセントを示すグラフである。SixGel-x膜中のゲルマニウムの割合は、UV線を用いた、また、それを用いない膜成長が示されている。膜中のゲルマニウムのパーセントは、膜堆積プロセス中のHCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として示されている。HCl:DCS+GeH4(水素中1%で)の流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。前駆物質フィードガス中のゲルマニウムとシリコンとの比は、約15〜35slmの範囲の総前駆ガス流(水素を含む)で約1:20であり、UV線は約2mW/cm2の出力密度で172nmの波長であった。
【図7】図7は、HCl:GeH4(水素中1容積%で)の流量比の関数として、また、EC(650ECと700ECで)での温度の関数として、膜堆積プロセス中にUV線が適用されたときのSixGel-x膜厚の変化パーセントを示すグラフである。HCl:DCS+GeH4(水素中1%で)の流量比が約0.1未満である場合、堆積は非選択的、一括的SixGel-x膜成長になる。前駆物質フィードガス中のゲルマニウムとシリコンとの比は、約15〜35slmの範囲の総前駆ガス流(水素を含む)で約1:20であり、UV線は約2mW/cm2の出力密度で172nmの波長であった。
【図8】図8は、172nmの放射線の形で適用された出力の関数として一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚を示すグラフであり、172nmの放射線の存在の影響が、基板(ウエハ)の中心からのmmとして全基板表面にわたって示されている。堆積のための前駆ガス中のGe:Siの比は、約1:20であった。UV線は172nmの波長であった。図2Aを参照すると、-150mmは位置A(図2Aでは)であり、0mmは位置Bであり、150mmは位置Cであった。
【図9】図9は、用いられるシリコン含有前駆物質の関数として、また、mW/cm2での出力密度の関数として、一括的に堆積したシリコン・ゲルマニウム膜の膜厚(成長速度)の増加パーセントを示すグラフである。
【図10】図10は、単結晶シリコン基板表面上に存在する酸化物量に関する一定温度での処理チャンバ内に存在するH2O分圧の影響を示すグラフである。このグラフは、上に横たわるシリコン含有膜のエピタキシャル成長に先立つ基板表面の洗浄に関する。
【符号の説明】
【0053】
100…堆積チャンバ、200…プロセスチャンバ、201…ハウジング構造、205…上部チャンバ、206…U.V.透過ウィンドウ、208…UV線源、210…赤外ランプ、210a…上部ランプモジュール、210b…下部ランプモジュール、211…入口ポート、214…基板、216…表面、217…ペデスタル、218…処理容積、222…フロー、224…下部チャンバ、228…出口ポート、230…石英チャンバ、238…出口、240…シャフト。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
シリコン含有膜のエピタキシャル成長を可能にする表面を得るために基板表面を洗浄及び不動態化する方法であって、前記洗浄及び不動態化する方法が、前記基板表面と接触させた水素化学種の使用を、前記洗浄及び不動態化方法が行われる処理容積内において波長が約310nm〜約120nmの範囲にある放射線の使用と組み合わせて含み、ここで、前記放射線の出力濃度が少なくとも1mW/cm2であり、前記洗浄及び不動態化方法が750EC未満の温度で行われる、前記方法。
【請求項2】
前記洗浄及び不動態化方法が行われる処理容積において前記放射線の波長が約180nm〜約120nmの範囲にある、請求項1記載の方法。
【請求項3】
前記出力濃度が約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲にあり、前記洗浄及び不動態化方法が約700EC〜約500ECの範囲にある温度で行われる、請求項1記載の方法。
【請求項4】
基板処理容積内の全圧が約0.1〜約80の範囲にある、請求項2記載の方法。
【請求項5】
前記温度が、前記洗浄及び不動態化方法の間、一定である、請求項3又は請求項4記載の方法。
【請求項6】
所望の構造を有するシリコン含有膜のエピタキシャル成長を可能にする表面上でシリコン含有膜を成長させる方法であって、前記膜を成長させる方法が、前記膜成長方法が行われる処理容積において波長が約310nm〜約120nmの範囲にある放射線の使用を含み、ここで、前記放射線の出力密度が少なくとも1mW/cm2であり、前記膜成長方法が約300EC〜約750ECの範囲にある温度で行われる、前記方法。
【請求項7】
前記膜成長方法が、約500EC〜約700ECの範囲にある温度で行われる、請求項6記載の方法。
【請求項8】
前記膜成長方法が、波長が約180nm〜約120nmの範囲にある放射線を用いて行われる、請求項7記載の方法。
【請求項9】
前記出力密度が、約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲にある、請求項6、又は請求項7、又は請求項8記載の方法。
【請求項10】
前記シリコン含有膜の成長速度が、約60Δ/分を超える、請求項9記載の方法。
【請求項11】
前記処理容積の全圧が、約1トール〜約80トールの範囲にある、請求項6、又は請求項7、又は請求項8記載の方法。
【請求項12】
前記シリコン含有膜がシリコン・ゲルマニウム膜であり、エピタキシャル成長膜におけるゲルマニウムの原子パーセントが約1%〜約99%の範囲内で一定である、請求項11記載の方法。
【請求項13】
前記シリコン含有膜がシリコン・ゲルマニウム膜であり、エピタキシャル成長膜におけるゲルマニウムの原子パーセントが5%〜約40%の範囲内で一定である、請求項12記載の方法。
【請求項14】
前記シリコン・ゲルマニウム膜が一括的に堆積され、前記エピタキシャル成長膜にシリコンを供給する前駆物質が、シラン、クロロシラン、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項13記載の方法。
【請求項15】
前記前駆物質が、ジクロロシラン、ジブロモシラン、ヘキサクロロジシラン、及びそれらの誘導体からなるグループより選ばれる、請求項14記載の方法。
【請求項16】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項14記載の方法。
【請求項17】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる、請求項15記載の方法。
【請求項18】
前記シリコン・ゲルマニウム膜が選択的に堆積され、前記選択的に堆積されるエピタキシャル成長膜にシリコンを供給する前駆物質が、シラン、クロロシラン、ブロモシラン、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項12記載の方法。
【請求項19】
前記前駆物質が、ジクロロシラン、ジブロモシラン、ヘキサクロロジシラン、及びそれらの誘導体からなるグループより選ばれる、請求項18記載の方法。
【請求項20】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項18記載の方法。
【請求項21】
HCl又はHBr又はCl2、又はそれらの組合せが、前記シリコン・ゲルマニウム膜の前記選択的堆積中に少なくとも0.05:1の前記シリコン含有前駆物質との容積比で存在する、請求項18記載の方法。
【請求項22】
HCl又はHBr又はCl2、又はそれらの組合せが、前記シリコン・ゲルマニウム膜の前記選択的堆積中に約0.05:1〜約50:1の範囲内の前記シリコン含有前駆物質との容積比で存在する、請求項21記載の方法。
【請求項23】
前記前駆物質が、ジクロロシラン、ヘキサクロロジシラン、及びそれらの誘導体からなるグループより選ばれる、請求項21記載の方法。
【請求項24】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項18記載の方法。
【請求項25】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる、請求項23記載の方法。
【請求項1】
シリコン含有膜のエピタキシャル成長を可能にする表面を得るために基板表面を洗浄及び不動態化する方法であって、前記洗浄及び不動態化する方法が、前記基板表面と接触させた水素化学種の使用を、前記洗浄及び不動態化方法が行われる処理容積内において波長が約310nm〜約120nmの範囲にある放射線の使用と組み合わせて含み、ここで、前記放射線の出力濃度が少なくとも1mW/cm2であり、前記洗浄及び不動態化方法が750EC未満の温度で行われる、前記方法。
【請求項2】
前記洗浄及び不動態化方法が行われる処理容積において前記放射線の波長が約180nm〜約120nmの範囲にある、請求項1記載の方法。
【請求項3】
前記出力濃度が約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲にあり、前記洗浄及び不動態化方法が約700EC〜約500ECの範囲にある温度で行われる、請求項1記載の方法。
【請求項4】
基板処理容積内の全圧が約0.1〜約80の範囲にある、請求項2記載の方法。
【請求項5】
前記温度が、前記洗浄及び不動態化方法の間、一定である、請求項3又は請求項4記載の方法。
【請求項6】
所望の構造を有するシリコン含有膜のエピタキシャル成長を可能にする表面上でシリコン含有膜を成長させる方法であって、前記膜を成長させる方法が、前記膜成長方法が行われる処理容積において波長が約310nm〜約120nmの範囲にある放射線の使用を含み、ここで、前記放射線の出力密度が少なくとも1mW/cm2であり、前記膜成長方法が約300EC〜約750ECの範囲にある温度で行われる、前記方法。
【請求項7】
前記膜成長方法が、約500EC〜約700ECの範囲にある温度で行われる、請求項6記載の方法。
【請求項8】
前記膜成長方法が、波長が約180nm〜約120nmの範囲にある放射線を用いて行われる、請求項7記載の方法。
【請求項9】
前記出力密度が、約1mW/cm2〜約25mW/cm2の範囲にある、請求項6、又は請求項7、又は請求項8記載の方法。
【請求項10】
前記シリコン含有膜の成長速度が、約60Δ/分を超える、請求項9記載の方法。
【請求項11】
前記処理容積の全圧が、約1トール〜約80トールの範囲にある、請求項6、又は請求項7、又は請求項8記載の方法。
【請求項12】
前記シリコン含有膜がシリコン・ゲルマニウム膜であり、エピタキシャル成長膜におけるゲルマニウムの原子パーセントが約1%〜約99%の範囲内で一定である、請求項11記載の方法。
【請求項13】
前記シリコン含有膜がシリコン・ゲルマニウム膜であり、エピタキシャル成長膜におけるゲルマニウムの原子パーセントが5%〜約40%の範囲内で一定である、請求項12記載の方法。
【請求項14】
前記シリコン・ゲルマニウム膜が一括的に堆積され、前記エピタキシャル成長膜にシリコンを供給する前駆物質が、シラン、クロロシラン、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項13記載の方法。
【請求項15】
前記前駆物質が、ジクロロシラン、ジブロモシラン、ヘキサクロロジシラン、及びそれらの誘導体からなるグループより選ばれる、請求項14記載の方法。
【請求項16】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項14記載の方法。
【請求項17】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる、請求項15記載の方法。
【請求項18】
前記シリコン・ゲルマニウム膜が選択的に堆積され、前記選択的に堆積されるエピタキシャル成長膜にシリコンを供給する前駆物質が、シラン、クロロシラン、ブロモシラン、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項12記載の方法。
【請求項19】
前記前駆物質が、ジクロロシラン、ジブロモシラン、ヘキサクロロジシラン、及びそれらの誘導体からなるグループより選ばれる、請求項18記載の方法。
【請求項20】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項18記載の方法。
【請求項21】
HCl又はHBr又はCl2、又はそれらの組合せが、前記シリコン・ゲルマニウム膜の前記選択的堆積中に少なくとも0.05:1の前記シリコン含有前駆物質との容積比で存在する、請求項18記載の方法。
【請求項22】
HCl又はHBr又はCl2、又はそれらの組合せが、前記シリコン・ゲルマニウム膜の前記選択的堆積中に約0.05:1〜約50:1の範囲内の前記シリコン含有前駆物質との容積比で存在する、請求項21記載の方法。
【請求項23】
前記前駆物質が、ジクロロシラン、ヘキサクロロジシラン、及びそれらの誘導体からなるグループより選ばれる、請求項21記載の方法。
【請求項24】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなるグループより選ばれる、請求項18記載の方法。
【請求項25】
前記エピタキシャル成長膜にゲルマニウムを供給する前駆物質が、GeH4、Ge2H6、GeCl4、GeH2Cl2、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる、請求項23記載の方法。
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【公表番号】特表2008−502580(P2008−502580A)
【公表日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−527784(P2007−527784)
【出願日】平成17年6月9日(2005.6.9)
【国際出願番号】PCT/US2005/020601
【国際公開番号】WO2005/124838
【国際公開日】平成17年12月29日(2005.12.29)
【出願人】(390040660)アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
【Fターム(参考)】
【公表日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年6月9日(2005.6.9)
【国際出願番号】PCT/US2005/020601
【国際公開番号】WO2005/124838
【国際公開日】平成17年12月29日(2005.12.29)
【出願人】(390040660)アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
【Fターム(参考)】
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