酸化物半導体ターゲット及びそれを用いた酸化物半導体装置の製造方法
【課題】高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成の酸化物半導体ターゲット及びそれを用いた酸化物半導体装置を提供する。
【解決手段】Zn/(Zn+Sn)組成が0.6〜0.8である亜鉛錫複合酸化物焼結体をターゲットとする。また、ターゲット自体の抵抗率を1Ωcm以上の高抵抗とする。更に、不純物の合計濃度を100ppm以下に制御する。
【解決手段】Zn/(Zn+Sn)組成が0.6〜0.8である亜鉛錫複合酸化物焼結体をターゲットとする。また、ターゲット自体の抵抗率を1Ωcm以上の高抵抗とする。更に、不純物の合計濃度を100ppm以下に制御する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、酸化物半導体材料を成膜するための酸化物半導体ターゲット材料に関するもので、特に、スパッタリングに用いる焼結体ターゲットの材料技術に関するものである。また、本発明には上記のターゲット材料を用いて製作する液晶ディスプレイや有機ELディスプレイのスイッチング素子として利用される酸化物半導体薄膜トランジスタの製造法に関する技術他も含まれる。
【背景技術】
【0002】
近年表示デバイスはブラウン管を用いた表示から液晶パネルやプラズマディスプレイといったフラットパネルディスプレイ(FPD)と呼ばれる平面型表示デバイスへと急速な進化を遂げた。液晶パネルでは、液晶による表示切り替えに関わる装置として、a−Siやポリシリコンの薄膜トランジスタをスイッチング素子として利用している。最近では、更なる大面積化やフレキシブル化を目的として有機ELを用いたFPDが期待されている。
【0003】
しかし、この有機ELディスプレイは有機半導体層を駆動して直接発光を得る自発光デバイスであるため、従来の液晶ディスプレイとは異なり、薄膜トランジスタには電流駆動デバイスとしての特性が要求されている。
【0004】
一方、今後のFPDには更なる大面積化やフレキシブル化といった新機能の付与も求められており、画像表示デバイスとして高性能であることはもちろん、大面積プロセスへの対応やフレキシブル基板への対応も要求されている。この様な背景から、近年表示デバイス向け薄膜トランジスタとして、バンドギャップが3eV前後と大きく、透明な酸化物半導体の適用が検討されており、表示デバイスの他に薄膜メモリ、RFID等への適用も期待されている。(例えば特許文献1や2、非特許文献1や2参照)なお、酸化物材料を透明導電膜や透明電極に用いる技術に関しては、例えば特許文献3〜6に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特表2006−165532号公報(段落[0009]〜[0052])
【特許文献2】特開2006−173580号公報(段落[0009]〜[0032])
【特許文献3】特開2006−196200号公報(段落[0009]〜[0032])
【特許文献4】特開2006−194926号公報(段落[0009]〜[0030])
【特許文献5】特開2007−277075号公報(段落[0009]〜[0058])
【特許文献6】特開2007−250369号公報(段落[0005]〜[0006])
【非特許文献】
【0006】
【非特許文献1】H. Q. Chiang 外3名,“High mobility transparent thin-film transistors with amorphous zinc tin oxide channel layer” APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol. 86, 013503 (2005)
【非特許文献2】M. G. McDowell 外2名,“Combinatorial study of zinc tin oxide thin-film transistors” APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol. 92, 013502 (2008)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
近年自発光かつ高精細ディスプレイとして期待される有機ELディスプレイに用いられる薄膜トランジスタには、電流駆動デバイスとしての機能が求められるため、しきい電位シフトの抑制や耐久性の面で大きな信頼性が要求される。しかしながら、従来液晶ディスプレイのスイッチングに主に用いられていたa−Siでは、しきい電位のシフトが補正回路による制御が容易な2V前後を大きく超えるため、有機EL向けの薄膜トランジスタとしては適用困難と考えられる。
【0008】
一方、特許文献1や2には、古くから知られていた酸化亜鉛や酸化錫を用いた透明酸化物トランジスタに代えて、例えば酸化亜鉛の欠点であるしきい電位シフトが抑制できるIGZO(インジウムガリウム亜鉛複合酸化物)を用いた薄膜トランジスタが記述されており、薄膜プロセスによる新しい半導体デバイス実現の可能性が期待される。特に、IGZOに関してはサブスレッショルド特性がポリシリコン以上の良好なものも確認されており、ディスプレイ応用に留まらず、超低電圧動作や超低消費電力を必要とするデバイスへの応用も期待される。
【0009】
例えば、IGZO等の酸化物半導体をチャネル層に用いた薄膜トランジスタは、移動度にして1〜50cm2/Vs程度、オンオフ比として106以上と液晶ディスプレイや有機ELディスプレイのスイッチング・電流駆動デバイスとして十分な特性を備えている。しかも、スパッタ等常温でのプロセスが可能なため、フレキシブル化が容易等の複合的利点が存在する。つまり、スパッタ法のような常温プロセスにより高温処理が必要なポリシリコン並の高品位薄膜トランジスタが低コストで実現可能であることを示している。
【0010】
しかしながら、IGZOやITO、IZO、IGO等の酸化物半導体材料は、希少金属であり、コスト的に高価なインジウムを含むため汎用性に欠ける。
【0011】
そこで、資源面やコスト面で有利な酸化物半導体材料を求めることになるが、その第一候補である酸化亜鉛は安定供給やコスト面では問題ない材料であるが、亜鉛自体が元来蒸気圧の高い材料系であり、成膜後の安定性などの面で難がある。今回の半導体膜とは異なる応用分野であるが、ITO(インジウム錫複合酸化物)に代わる透明導電膜や透明電極として以前よりアルミニウムやガリウムを添加した酸化亜鉛材料が期待されているものの、ITOを完全に代替するまでに至る良好な酸化亜鉛系材料は未だ実用化されていない。特に、水分や酸素などの使用環境により抵抗率が大きく影響を受けることが大きな課題となっている。
【0012】
透明電極のようにキャリアを必要としない半導体応用では、不純物を添加しない酸化亜鉛が用いられるが、この場合においても、しきい電位シフトや移動度が水分や酸素による環境影響を受けることが知られている。また、酸化亜鉛はウルツ鉱型結晶構造を有するため六角柱形状のグレインが基板に垂直方向に成長しやすい微結晶材料であり、基板に水平な方向に結晶粒界を多数有するため、粒界散乱による移動度の劣化やしきい電位のシフトも大きな欠点である。
【0013】
そのため、資源的な制約が少ない材料系で、且つ、しきい電位シフトの抑制と高移動度を実現する新規酸化物半導体材料を提供する必要がある。近年、例えば、非特許文献1に記載されているように、粒界のないアモルファス系ZTO(亜鉛錫複合酸化物)を用いた薄膜トランジスタで、20〜50cm2/Vsという高移動度を実現した例があり、この材料系であれば、資源面やコスト面と半導体特性を両立する可能性がある。
【0014】
しかし、上記非特許文献1では亜鉛と錫の組成が1:1と比較的錫組成の高いスパッタリングターゲットを使用してスパッタリング法により成膜しているため、通常用いられるウエットエッチングによる加工が現実的には困難という課題があった。
【0015】
また、一方で例えば、非特許文献2に記載されているように、亜鉛と錫の組成をコンビナトリアル手法(異なる組成のマトリックスを大量一括に作成・評価・最適化する手法)を用いて検討した例もある。Zn/(Zn+Sn)組成0.3付近または0.7付近のみで良好な移動度(10cm2/Vs前後)が得られているが、装置構成上の問題で単純に膜密度が良好となるサンプル位置とそれに対応するZn/(Zn+Sn)組成で良好な特性を得ている可能性が高く、真に物性的解析ができたものとは言い難い。
【0016】
また、Zn/(Zn+Sn)組成0.7付近ではしきい電位が15V以上と非常に高く、到底低消費電力デバイスの実用には適さない。同組成が0.3ではしきい電位は8V程度ではあるが、前記の例同様Sn組成の大きな領域では加工が困難であり、これらの公知例では未だ実用に適するZTO材料組成は見いだされていない。
【0017】
本願の目的は、高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成を提供することにある。さらに、その材料ターゲットを実現し、次世代有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのスイッチング、電流駆動用薄膜トランジスタ等として有望な良好な酸化物半導体デバイスの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0018】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【0019】
薄膜酸化物半導体膜を形成することを目的とした、酸化亜鉛と酸化錫(IVまたはVI)を主成分とする酸化物焼結体であり、且つ、亜鉛と錫の組成(亜鉛/(亜鉛+錫))が0.6〜0.8であり、且つその焼結体の電気抵抗率が1Ωcm以上であることを特徴とする酸化物半導体ターゲットとする。
【0020】
また、上記酸化物半導体ターゲットを用い、高周波を用いたスパッタリング方法によりチャネル層となる酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法とする。
【発明の効果】
【0021】
高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成を提供することができる。さらに、その材料ターゲットを実現し、次世代有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのスイッチング、電流駆動用薄膜トランジスタ等として有望な良好な酸化物半導体装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットにおけるZn/(Zn+Sn)組成と薄膜トランジスタの特性(移動度、しきい電位シフト)の関係を示すグラフである。
【図2】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットにおけるZn/(Zn+Sn)組成とシュウ酸系エッチング液によるエッチング速度の関係を示すグラフである。
【図3】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットの半導体特性評価に用いた薄膜トランジスタの概略断面図である。
【図4】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットを利用してRFスパッタリング法により形成した薄膜トランジスタの代表的な半導体特性を示すグラフである。
【図5】亜鉛錫複合酸化物ターゲットについて、半導体用途に用いる場合の高抵抗ターゲット(白色)と透明電極用途に用いる導電性ターゲット(黒色)の外観の違いを示す写真である。
【図6】実施例1に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットを用いるスパッタリング装置の模式図である。
【図7】実施例1に係るボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタの断面図である。
【図8】実施例1に係るボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタの製造方法を説明するフロー図である。
【図9】実施例1に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットを用いる電子ビーム蒸着装置の模式図である。
【図10】実施例2に係る有機EL素子、酸化物半導体薄膜トランジスタ集積構造を説明する断面図である。
【図11】実施例3に係る一回書き込み可能薄膜メモリ素子(ボトムゲートトップコンタクト型)の断面図である。
【図12】実施例3に係る薄膜メモリ素子に応用するアクティブマトリクス回路の模式図である。
【図13】実施例3に係る薄膜メモリ素子に応用するアクティブマトリクス回路の鳥瞰図である。
【図14】実施例3に係る薄膜メモリの一形態を示す図であり、(a)はドレイン電極側に容量素子を用いたボトムゲートトップコンタクト型酸化物半導体薄膜トランジスタを説明する回路図、(b)は断面図である。
【図15】実施例3に係る薄膜メモリの一形態を示す図であり、(a)はゲート絶縁膜に強誘電体を用いたボトムゲートトップコンタクト型酸化物半導体薄膜トランジスタを説明する回路図、(b)は断面図である。
【図16】実施例3に係る一回書き込み可能薄膜メモリ素子を基本構造として、積層化による集積化を行った薄膜半導体積層メモリを説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
本発明の実施の形態について説明する。
本願の酸化物半導体ターゲットには、不純物の添加を行わないZTO(亜鉛錫複合酸化物)を用いる。原料となる金属亜鉛、錫ともクラーク数は0.004%で、比較的多量に地殻中に存在し、現状コスト、供給量的に問題ない金属材料といえる。
【0024】
酸化亜鉛は六方晶系であり、酸化錫は正方晶系であるため、両者の混合物となるZTOは単一の結晶構造を維持することができず、基本的にはアモルファス状態となる。そのため、コスト面、資源供給面や粒界散乱の影響としては問題のない材料系であることは明らかである。
【0025】
図1はこのZTOターゲットを用いて薄膜トランジスタを形成した際の、ターゲットにおけるZn/(Zn+Sn)組成と薄膜トランジスタ特性の関係を調査した結果である。まず、移動度については、Zn/(Zn+Sn)組成が高い方が良好な傾向にあり、概ね5cm2/Vs以上の移動度が見込まれる0.6〜0.8が良好な組成範囲と考えられる。0.8より高い組成範囲では移動度の低下が見られるが、これはZn組成が高くなることにより六方晶系が支配的となり、粒界が増大することによるものと推定される。
【0026】
一方、しきい電位シフトについてはZn/(Zn+Sn)組成0.5が最も安定しており、許容可能な2V以内のしきい電位シフトの範囲内で考えると0.3〜0.8の組成範囲が良好と考えられる。従ってデバイス特性から判断すると良好なZn/(Zn+Sn)組成は0.6〜0.8と考えられる。但し、錫組成が大きくなるとデバイス製造に不可欠なエッチング加工が困難となる傾向にあり、これを考慮した組成設計が必要になる。
【0027】
図2は透明電極として一般的に用いられているITOの加工に用いるシュウ酸系エッチング液を用いてZTO膜のエッチング速度とZn/(Zn+Sn)組成の関係を調査したものである。実効的なプロセススループットを考慮すると最低でも5nm/min以上のエッチング速度が求められるが、それを満足できるのは組成0.6以上であることが分かる。従って、上記の結果から、十分なしきい電位安定性や高移動度特性を満たしながら、エッチング加工条件も満たすZn/(Zn+Sn)組成は0.6〜0.8の範囲であることが分かった。この組成領域で焼結したターゲットが半導体ターゲットとして有効である。
【0028】
また、従来からこれらの酸化物材料は透明導電膜や透明電極の候補として議論されており、特許文献3〜6に示されるような透明電極や焼結体の公知例が存在する。本願は、これらと同一視できるものではなく、例えば、主に上記公知例が透明電極の形成を目指すものであり、成膜速度の高いDCスパッタリングを利用するため、不純物添加等による導電性の高い(実効的にはターゲット自体の抵抗率が1×10−3Ωcm以下)ターゲットであるのに対し、DCスパッタリングでは放電不可能な高抵抗のターゲットである。
【0029】
仮に、過剰なキャリアが存在する透明電極形成用のターゲットで成膜した場合には、導電性膜であるためゲートバイアスによるオフ状態を実現できず、半導体デバイスとしての動作が不可能であり、このような抵抗値の高い半導体膜の形成には、高抵抗なターゲット材料でも放電が可能なRFスパッタリング、ビームを利用した成膜方法等が必要である。
【0030】
本願のZTOターゲットについては、主にキャリア発生に関与する不純物(ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、ビスマス)の合計濃度を100ppm以下に抑制する。また、ストイキオメトリに近い酸素量を導入することで、1Ωcm以上の高抵抗が実現される。
【0031】
また、成膜時に起こる酸素の組成ずれを抑制するため、一般的にスパッタリングガスとして利用されるArガス中に10%以上の割合の酸素ガスを添加することも良好な特性を有する半導体膜形成に有効である。前述のターゲット材料を利用し、上記のような条件で成膜することにより、1×10−1Ωcm以上の抵抗率を有するZTO半導体膜が形成でき、ディスプレイを主とする薄膜トランジスタとして機能できる。
【0032】
なお、上記の酸化物半導体ターゲットを形成する方法は概ね以下の通りである。まず、原料となる高純度(99.999%以上)の酸化亜鉛と酸化錫の混合粉末に水系溶媒を加え、数時間以上混合してスラリーとする。このスラリーにバインダーとなるポリビニルアルコール等を加え、乾燥後、造粒した造粒粉を型枠に入れて成形し、固形物中のバインダーを取り除くため大気中600℃前後で数時間焼成する。
【0033】
この固形物を更に大気中または酸素雰囲気中で1300℃前後の温度で数時間以上焼結し、ターゲット材料の原料体とする。大気中での焼結により、ストイキオメトリに近い酸素量をターゲット材料中に導入することができる。得られた焼結体を研磨により求める形状、大きさに成形し、ターゲット材が完成となる。スパッタリングターゲットとして使用する場合には、スパッタリング装置のカソード電極側の金属裏板にボンディング処理を行い、スパッタリングターゲットとして使用できる。
【0034】
次に、本実施の形態に係るZn/(Zn+Sn)組成0.7のターゲットを利用し、RFスパッタリング成膜により図3に示すような薄膜トランジスタ構造を作製した場合の電流−電圧特性を図4示す。
【0035】
しきい電位も0V付近に存在し、オンオフ比としても106以上の良好な半導体特性を示している。しきい電位が0V付近にあることで回路設計が容易になる副次的効果も生まれる。また、アモルファス状態で粒界散乱の影響を受けにくいため、チャネル層厚が25nm程度と薄膜ながら移動度としても20cm2/Vs以上が得られている。ディスプレイ等の表示デバイスに適用する場合に課題となるしきい電位の安定性についても、概ね±1V以内に抑制されており、薄膜トランジスタの信頼性という点でも十分な特性といえる。
【0036】
更に、本実施の形態に係るZn/(Zn+Sn)組成0.7を採用することで、室温におけるシュウ酸系のウエットエッチング液によるエッチング速度が20nm/minと制御性やスループットの良好な条件を確保できるため、量産プロセスに用いる従来のホトプロセスによりデバイス製作も容易に行うことができる。
【0037】
また、本実施の形態に係る酸化物半導体ターゲットを用いた薄膜トランジスタの形成方法は、a−Siなどの高温度のCVD(化学気相法)による成膜に比較して、大面積・均一性に優れるものであり、且つ、低温プロセスを実現するものである。従って、高温処理が困難なフレキシブル大面積基板への薄膜トランジスタ形成の実現が可能になる他、現行のガラス基板上での薄膜トランジスタ製造プロセスにおいても低コスト化が可能になる。
【0038】
薄膜トランジスタのチャネル層成膜工程のみ、RFスパッタリング等の設備を導入するか、透明電極形成用のDCスパッタリング装置にRF電源を付与する等の改造程度ですみ、その他の工程は基本的に、現行の液晶テレビ用薄膜トランジスタ製造プロセスとほぼ同じ装置で製造可能であるため、導入時の設備コスト面も抑制が可能である。
【0039】
以下、実施例で詳細に説明する。
【実施例1】
【0040】
第1の実施例について、図5〜8を用いて説明する。なお、発明を実施するための形態の欄に記載され、本実施例に未記載の事項は発明を実施するための形態の欄と同様である。
【0041】
図5は本実施例に係る半導体用スパッタリングターゲットと透明電極用スパッタリングターゲットの外観の違いを示す写真である。図6は本実施例に係るスパッタリングターゲットを適用したRFスパッタリング装置の模式図、図7は本実施例に係るスパッタリングターゲットを応用して形成した酸化物半導体チャネル層を利用した薄膜トランジスタの構造を示す断面図である。図8はその薄膜トランジスタの製造方法を示すフロー図である。
【0042】
本実施例に係る酸化物半導体スパッタリングターゲットの製造方法について説明する。まず、従来技術により高純度化(99.9999%)した酸化亜鉛および酸化錫粉末をZn/(Zn+Sn)組成が0.7となるようなモル分率の量にそれぞれの粉末を秤量し、ミル等を利用して水系溶媒によりスラリー状に混合する。混合する時間は5時間以上とし、十分な混合後、ポリビニルアルコール等のバインダーを加え、乾燥後、造粒した造粒粉を型枠により成形、バインダーを除去する目的で、大気中600℃前後で数時間加熱処理を行い、固化させる。この固形物をさらに、大気中または酸素雰囲気中1300℃前後で5時間以上焼成処理を行い、相対密度99%以上の焼結体とする。
【0043】
その後、研磨により求められる形状に成形し、スパッタリング装置のカソード電極裏板にボンディング処理を行えば、スパッタリングターゲットとして完成である。図5に示すように、この方法により完成したZTOターゲットの色味はつやがあり、白みがかった灰色を呈し、透明電極形成用のターゲットとして一般的に用いられる酸素欠損の多い酸化物ターゲットが深い黒色を呈するのに比較して一目瞭然に区別ができる。このターゲットの抵抗率は四探針法による測定で、概ね1Ωcm以上の抵抗率を示し、一般に1×10−3Ωcm以下の抵抗率が必要な透明電極用ターゲットとはこの点でも大きな差を有する。
【0044】
このようにして製作したZTO酸化物半導体ターゲットは、DCバイアスによる放電が困難なため、RFバイアスによるスパッタリング成膜を行う。例えば、図6に示すようなRFスパッタリング装置を用い、本実施例に係るZTOスパッタリングターゲット11により、スパッタリングガスとして15%前後の酸素ガスを添加したアルゴンガスを用い、圧力0.5Pa、RF電力密度2.65W/cm2、電極間距離80mmの条件にて成膜したZTO薄膜の抵抗率は2.5Ωcmであった。ここで、符号10はカソード電極(ターゲット裏板)、符号12は対向電極(サンプルホルダ兼用)、符号13はマッチングボックス、符号14はRF電源、符号15はマスフローコントローラ、符号16はクライオポンプ、又は分子ターボポンプ、符号17はドライポンプ、又はロータリーポンプである。
【0045】
さらに、図7に示すようなボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタ構造を本実施例に係るZTOターゲットを用いた成膜技術を用い、図8に示すようなプロセスフローにて作製した。まず、例えばガラス基板、石英基板、サファイア基板、樹脂基板、フィルム等の支持基板20を用意する。次に、これらの支持基板20上に蒸着法やスパッタ法等により金属薄膜、例えばAl(250nm)とMo(50nm)の積層膜等を形成、リフトオフプロセスやエッチングプロセスによるパタニングを行い、ゲート電極21を形成する。その後、その上層にスパッタリングやCVD法、蒸着法等により、例えば厚さ100nm程度の酸化膜や窒化膜、例えばシリコン酸化膜やシリコン窒化膜等、から形成されるゲート絶縁膜22を堆積する(図8(a))。
【0046】
この後、ZTOターゲットを用いてRFスパッタ法によりZTO半導体チャネル層23を形成、レジストプロセスによるマスク形成を行い、シュウ酸系エッチング液または塩酸系エッチング液によるエッチングを行なう(図8(b))。この際、スパッタリングガスとして酸素を15%添加したアルゴンガスを用いた。酸素は、アルゴンガスがスパッタリングガスとしての機能を損なわない範囲で10%以上添加することができる。ZTO半導体チャネル層23の厚さは、適用するデバイスによっても異なるが、概ね10nm〜75nm程度が望ましい。なお、エッチング液としては、シュウ酸や酢酸等の有機酸を含有するエッチング液、又は、ハロゲン系や硝酸系等の無機酸を含有するエッチング液を用いることができる。また、ウエットエッチングに代えてドライエッチングを行なう場合には、ハロゲン系ガスを用いればよく、特にフッ素系ガスが好適である。
【0047】
次に、このZTO酸化物半導体チャネル層23上に、ソース・ドレイン電極24となる電極層を蒸着法やスパッタリング等により形成、レジストプロセスを用いたリフトオフ法やエッチングプロセスによるパタニングを施し(図8(c))、パッシベーション膜25の形成工程(図8(d))と配線26形成工程(図8(e))を経て、ボトムゲートトップコンタクト型酸化物半導体薄膜トランジスタが完成する。ソース・ドレイン電極24はITOやIZO、AZO(アルミニウムドープ酸化亜鉛)、GZO(ガリウムドープ酸化亜鉛)等の透明導電膜を用いても良いし、従来の金属材料、例えば、AlやTi/Au積層膜などでも構わない。
【0048】
さらに、上述のRFスパッタ法に代えて、RFマグネトロンスパッタ法による成膜技術を用いて同構造のZTO薄膜トランジスタを試作した。ZTO半導体チャネル層は25nm厚で、成膜条件は上述の通りで、成膜時には回転速度5rpmの基板回転を用いている。ゲート電極がAl(250nm)/Mo(50nm)積層膜、ソース・ドレイン電極が150nmのスパッタリングによるITO透明電極を用いている。この薄膜トランジスタは、しきい電位シフトが100時間連続使用について0.5V以下に抑制されており、その他の基本的特性も移動度20cm2/Vs以上、オンオフ比106以上と良好な値が得られている。
【0049】
同薄膜トランジスタをアレイ構造としてアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ駆動用トランジスタとして適用したところ、十分な特性を備えており、実用に耐えることが明らかとなった。パネル製作のコストについても、従来のCVDを用いたa−Siの薄膜トランジスタに比較して、大面積・高均一・低温プロセスを実現できるため、ほぼターゲットのみのコストで済むため10〜20%程度の削減が見込まれる。
【0050】
なお、本実施例においては、Zn/(Zn+Sn)組成0.7の場合を用いて説明を行ったが、別段この組成に限定されるものではなく、請求項にて規定した0.6〜0.8のZn/(Zn+Sn)組成を利用すれば、ウエットエッチングの特性に多少の変化は出るものの、薄膜トランジスタ自体の特性はほぼ同等の値を得ることができる。
【0051】
成膜方法としては、RFスパッタ法、RFマグネトロンスパッタ法を使用したが、リング状にターゲットを成形し、ECR(電子サイクロトロン共鳴)スパッタ法等の高周波を用いたスパッタリング方式を用いてもほぼ同様な結果を得ることができる。また、本実施例においてはボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタの例を用いて記述したが、別段この構造に限定するものではなく、他のボトムゲートボトムコンタクト型、トップゲートトップコンタクト型、トップゲートボトムコンタクト型のいずれの構造の薄膜トランジスタにおいてもほぼ同等な特性を得ることが可能である。
【0052】
また、本実施例では、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ駆動用トランジスタとして応用した例を述べたが、チャネル層厚やゲート絶縁膜厚等を最適設計することで有機EL用電流駆動デバイスとしても問題なく利用可能である。
【0053】
以上、本実施例によれば、高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成を提供することができる。また、その材料ターゲットを実現し、次世代有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのスイッチング、電流駆動用薄膜トランジスタ等として有望な良好な酸化物半導体装置の製造方法を提供することができる。
【実施例2】
【0054】
第2の実施例について図9〜10を用いて説明する。なお、発明を実施するための形態の欄や実施例1に記載され、本実施例に未記載の事項は発明を実施するための形態の欄や実施例1と同様である。
【0055】
図9は本実施例に係る低密度酸化物ターゲットを蒸発源に用いた電子ビーム蒸着装置の模式図である。ここで、符号30は蒸発源、符号31は酸化物ターゲット、符号32は電子ビーム源、符号33はイオン源(イオンアシスト用)、符号34は基板ホルダ、符号35は基板揺動装置、符号36はマスフローコントローラ、符号37はクライオポンプ、又は分子ターボポンプ、符号38はドライポンプ、又はロータリーポンプを示す。
【0056】
また、図10は本実施例に係る酸化物半導体ターゲットを用いて作製した薄膜トランジスタを駆動用トランジスタに用いた有機ELディスプレイの基本構造の一部を示す断面図である。ここで、符号40はバックパネル、符号41は有機EL素子電極、符号42は有機EL素子、符号43は有機EL素子電極(エミッション側)、符号44はソース・ドレイン電極、符号45は有機絶縁膜層、符号46は相関絶縁膜層、符号47はZTO半導体チャネル層、符号48はゲート絶縁膜、符号49はゲート電極、符号50はパッシベーション膜を示す。
【0057】
ビームを応用するターゲットの場合には、それほど密度の高いターゲットは必要ではなく、また、ビーム径の観点からサイズ的にもそれほど大きな形状は要求されない。基本的なターゲットの作製方法は、実施例1とほぼ同様であるが、高密度を必要としない場合には、バインダーを混合する工程や1300℃の高温焼成工程を省略しても実用的には問題ない。また、単純に高純度の酸化亜鉛、酸化錫粉末をZn/(Zn+Sn)組成0.6〜0.8となるように正確に混合し、それに求める形状に高圧圧縮して成形することでも十分実用可能である。
【0058】
上記の方法で作製した20mmφ、厚さ10mmのターゲットを図9に示すような電子ビーム蒸着装置に適用する。実施例1のスパッタリングターゲット同様、透明電極に用いるターゲットは酸素欠損の多い黒色を呈するのに対し、半導体用途に用いるZTOターゲットは酸素欠損の少ない白色系の色味を呈するので、一目瞭然に確認可能である。ターゲット自体の抵抗率も導電膜用途が1×10−2Ωcm以下であるのに対し、10Ωcmと高い抵抗率を示すのが半導体用ターゲットの特徴である。
【0059】
本実施例に係るZTO半導体ターゲット31を蒸発源30にセットし、加速電圧6kV、ビーム電流70mAでおよそ5nm/minの成膜速度が得られる。成膜時にイオン源33より酸素イオンアシストを導入することでさらに高密度な成膜も可能である。また、基板側は冷却することでほぼ常温での成膜も可能である。
【0060】
上記の本実施例に係るZTOターゲット(Zn/(Zn+Sn)組成0.65)を蒸発源に利用した電子ビーム蒸着により成膜したZTO酸化物半導体層を利用し、実施例1と基本的には同様な方法で薄膜トランジスタを形成した。ただし、本実施例ではボトムエミッション型有機EL素子との集積構造とするため、トップゲートボトムコンタクト型薄膜トランジスタ構造を採用している。ZTOチャネル層47は50nm厚で、成膜条件は、上述の通りで、成膜時には成膜分布を向上する目的で基板揺動装置35を用いている。ゲート電極49がAl(250nm)/Mo(50nm)積層膜、ソース・ドレイン電極44が150nmのスパッタリングによるAZO透明電極を用いている。
【0061】
この薄膜トランジスタは、しきい電位シフトが100時間連続使用について0.7V以下に抑制されており、その他の基本的特性も移動度30cm2/Vs以上、オンオフ比107以上と良好な値が得られている。同薄膜トランジスタをアレイ構造として図10に基本構造を示すようなアクティブマトリクス型有機ELディスプレイ駆動用トランジスタとして適用したところ、十分な特性を備えていることが確認できた。
【0062】
なお、本実施例では電子ビーム蒸着法による成膜を示したが、同様にビームを蒸着源として利用するイオンプレーティングやパルスレーザー蒸着法を用いてもほぼ同様な効果が期待できる。また、もちろんアクティブマトリクス型液晶ディスプレイのスイッチング素子としても問題なく利用可能である。
【0063】
以上、本実施例によれば、実施例1と同様の効果がある。更に、電子ビームを用いて酸化物半導体膜を成膜するため、ターゲット密度を低くすることができ、酸化物半導体ターゲットの製造工程を簡略化できるためターゲットの低コスト化が図れる。
【実施例3】
【0064】
第3の実施例について図11〜14を用いて説明する。なお、発明を実施するための形態の欄や実施例1に記載され、本実施例に未記載の事項は発明を実施するための形態の欄や実施例1と同様である。
【0065】
図11は実施例1や2に係るZTOターゲットを用いて形成したボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタを基本構造とする一回書き込み可能メモリセルの断面図、図12は本実施例に係る酸化物半導体メモリの構成図、図13は本実施例に係る酸化物半導体薄膜トランジスタアレイの鳥瞰図、図14は酸化物半導体薄膜トランジスタを用い、ドレイン電極側に容量素子を組み込んだ書き換え可能メモリ素子の回路図と素子断面図、図15は酸化物半導体薄膜トランジスタを用い、ゲート絶縁膜に強誘電体を利用し、ゲート容量の変化によりメモリ動作を行う書き換え可能強誘電体メモリ素子の回路図と断面図、図16は本実施例に係る酸化物半導体メモリを多層構造化、集積化した場合の断面図である。
【0066】
実施例1や2に係るZTOターゲット、実施例1や2と同様の成膜技術を用い、図11に示すような薄膜トランジスタ構造を基本構造とする薄膜トランジスタアレイを形成する。薄膜トランジスタアレイの構成は図12、13に示す通りである。ここで、符号70は支持基板、符号71はデータ線駆動回路、符号72はゲート線駆動回路、符号73はゲート線、符号74はデータ線、符号75はドレイン電極(ディスプレイの画素電極相当)、符号76はZTO薄膜トランジスタを示す。
【0067】
メモリとしての適用にはゲート絶縁膜62の膜厚としては10nm〜50nm程度が好ましい(図11参照)。その後、ZTO酸化物半導体チャネル層63をRFスパッタ法や電子ビーム蒸着法により形成する。ZTO成膜条件については、酸素添加割合以外は実施例1と同様である。メモリとしての特性を考えた場合、完全に空乏化が可能なチャネル層厚は5〜15nmであり、これらを考慮した膜厚の組み合わせを選択する必要がある。
【0068】
その後、ソース・ドレイン電極64層を蒸着法やスパッタ法により形成した後、レジストプロセスとエッチングもしくはリフトオフ法によりソース・ドレイン電極64パタンを形成する。さらに、この上にシリコン酸化膜/シリコン窒化膜とから形成される抵抗膜65を形成、これに近接する位置に配線層66を置く。
【0069】
抵抗膜65と配線層66の膜厚を、周知の技法により上手く設定することにより、初期に高めの電圧印加によりこの抵抗膜65が破壊し、導通するようになるため、これを利用した一回書き込み可能メモリの実現が可能である。なお、符号60は支持基板、符号61はゲート電極、符号67は層間絶縁膜層、符号68は配線層(ソース側)を示す。
【0070】
また、図14に示すように、この部分に十分な容量の容量層80を形成したり、図15に示すようにゲート絶縁膜81をPZT(Pb(Zr,Ti)O3)やSBT(SrBi2Ta2O9)、BLT((Bi,La)4Ti3O12)などの強誘電体とすることで、書き換え可能なメモリとしても利用可能である。この場合、図14に示すようにドレイン電極側に容量層80を設けた時にはヒステリシスによる電流値の違いをメモリとして利用するのに対し、図15に示すようにゲート絶縁膜81を強誘電体等とする場合にはしきい電位の違いをメモリとして利用することになる。
【0071】
さらにポリイミドまたはSOG(Spin On Glass)層から成る層間絶縁膜67を形成、貫通孔形成と配線層68形成によりメモリアレイが完成する。ここで、符号77は容量値参照線、符号78は強誘電体ゲート絶縁膜を用いたZTO薄膜トランジスタを示す。本願の技術は成膜技術を主体としたものであるため、さらに図16に示すように、これらのメモリアレイ(図は一回書き込み可能メモリの例)を上層領域に積み上げることにより、単位面積当たりのメモリ容量の拡大や回路の集積化も可能である。ここで、符号82は層間絶縁膜層(平坦化膜層)を示す。
【0072】
実際に本実施例の方法により作製したZTO薄膜トランジスタの単体セルの電流−電圧特性を調べた結果、サブスレッショルドスウィング72mV/dec、移動度15cm2/Vsという良好なトランジスタ特性を示した。また本トランジスタのしきい電位はほぼ0V付近にあるため、良好なサブスレッショルドスウィング特性とも併せて、超低電圧(1.5V以下)、超低消費電力でのメモリ動作が可能である。なお、ここではボトムゲートトップコンタクト型の薄膜トランジスタを用いて説明したが、その他のトップゲートボトムコンタクト型やトップゲートトップコンタクト型、ボトムゲートボトムコンタクト型などいずれの薄膜トランジスタ構造においてもほぼ同じ効果が得られる。
【0073】
また、ZTOは透明酸化物材料であるため、これらを薄膜トランジスタとして、ゲート絶縁膜にシリコン酸化膜、電極材料にITOやAZO、GZO等の透明導電膜を使用すると、ほとんど透明な回路を形成できる。例えば、電極とアンテナ部分をITO透明導電膜、電源回路や共振回路(ZTO半導体のショットキーダイオードを利用)、図11に示す1回書き込み可能メモリを適用したデジタル回路から構成されるRFIDを本願のZTO薄膜トランジスタで形成した場合、13.56MHzでの送受信を確認できた。
【0074】
特に、このRFIDタグの特徴として、90%以上の非常に透過率の高い材料で構成されるため、従来のRFIDタグのように、Siのチップや金属によるアンテナ等の構造が見える形態ではないため、フィルムやカード上に記載されている意匠を損なうことなく後付することが可能である。本実施例では、ZTO薄膜トランジスタのメモリ応用について述べたが、もちろんその他の回路への応用も可能であり、各々の回路を層毎に積層したデバイスの実現も可能である。
【0075】
本実施例によれば、実施例1、2と同様の効果を得ることができる。更に、低温プロセスのため、積層デバイスを容易に製造することができる。
【0076】
なお、上記各実施例で記載したエッチング液として、シュウ酸系エッチング液を用いたが、他に、酢酸等の有機酸を含有するエッチング液、または、ハロゲン系や硝酸系等の無機酸が使えることを付記しておく。
【0077】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例1〜3で具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【0078】
1…支持基板(ゲート電極兼用)、2…ゲート絶縁膜、3…酸化物半導体チャネル層、4…ソース・ドレイン電極、10…カソード電極(ターゲット裏板)、11…ZTO(亜鉛錫複合酸化物)半導体ターゲット、12…対向電極(サンプルホルダ兼用)、13…マッチングボックス、14…RF電源、15…マスフローコントローラ、16…クライオポンプ、または、分子ターボポンプ、17…ドライポンプ、または、ロータリーポンプ、20…支持基板、21…ゲート電極、22…ゲート絶縁膜、23…ZTO酸化物半導体チャネル層、24…ソース・ドレイン電極、25…パッシベーション層、26…配線層、30…蒸発源、31…ZTO半導体ターゲット、32…電子ビーム源、33…イオン源(イオンアシスト用)、34…基板ホルダ、35…基板揺動装置、36…マスフローコントローラ、37…クライオポンプ、または、分子ターボポンプ、38…ドライポンプ、または、ロータリーポンプ、40…バックパネル、41…有機EL素子電極、42…有機EL素子、43…有機EL素子電極(エミッション側)、44…ソース・ドレイン電極、45…有機絶縁膜層、46…層間絶縁膜層、47…ZTO半導体チャネル層、48…ゲート絶縁膜、49…ゲート電極、
50…パッシベーション層、60…支持基板、61…ゲート電極、62…ゲート絶縁膜、63…ZTO半導体チャネル層、64…ソース・ドレイン電極、65…抵抗膜、66…配線層(ドレイン電極側)、67…層間絶縁膜層、68…配線層(ソース側)、70…支持基板、71…データ線駆動回路、72…ゲート線駆動回路、73…ゲート線、74…データ線、75…ドレイン電極(ディスプレイの画素電極相当)、76…ZTO薄膜トランジスタ、77…容量値参照線、78…強誘電体ゲート絶縁膜を用いたZTO薄膜トランジスタ、80…容量層(蓄電層)、81…強誘電体ゲート絶縁膜、82…層間絶縁膜層(平坦化膜層)。
【技術分野】
【0001】
本発明は、酸化物半導体材料を成膜するための酸化物半導体ターゲット材料に関するもので、特に、スパッタリングに用いる焼結体ターゲットの材料技術に関するものである。また、本発明には上記のターゲット材料を用いて製作する液晶ディスプレイや有機ELディスプレイのスイッチング素子として利用される酸化物半導体薄膜トランジスタの製造法に関する技術他も含まれる。
【背景技術】
【0002】
近年表示デバイスはブラウン管を用いた表示から液晶パネルやプラズマディスプレイといったフラットパネルディスプレイ(FPD)と呼ばれる平面型表示デバイスへと急速な進化を遂げた。液晶パネルでは、液晶による表示切り替えに関わる装置として、a−Siやポリシリコンの薄膜トランジスタをスイッチング素子として利用している。最近では、更なる大面積化やフレキシブル化を目的として有機ELを用いたFPDが期待されている。
【0003】
しかし、この有機ELディスプレイは有機半導体層を駆動して直接発光を得る自発光デバイスであるため、従来の液晶ディスプレイとは異なり、薄膜トランジスタには電流駆動デバイスとしての特性が要求されている。
【0004】
一方、今後のFPDには更なる大面積化やフレキシブル化といった新機能の付与も求められており、画像表示デバイスとして高性能であることはもちろん、大面積プロセスへの対応やフレキシブル基板への対応も要求されている。この様な背景から、近年表示デバイス向け薄膜トランジスタとして、バンドギャップが3eV前後と大きく、透明な酸化物半導体の適用が検討されており、表示デバイスの他に薄膜メモリ、RFID等への適用も期待されている。(例えば特許文献1や2、非特許文献1や2参照)なお、酸化物材料を透明導電膜や透明電極に用いる技術に関しては、例えば特許文献3〜6に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特表2006−165532号公報(段落[0009]〜[0052])
【特許文献2】特開2006−173580号公報(段落[0009]〜[0032])
【特許文献3】特開2006−196200号公報(段落[0009]〜[0032])
【特許文献4】特開2006−194926号公報(段落[0009]〜[0030])
【特許文献5】特開2007−277075号公報(段落[0009]〜[0058])
【特許文献6】特開2007−250369号公報(段落[0005]〜[0006])
【非特許文献】
【0006】
【非特許文献1】H. Q. Chiang 外3名,“High mobility transparent thin-film transistors with amorphous zinc tin oxide channel layer” APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol. 86, 013503 (2005)
【非特許文献2】M. G. McDowell 外2名,“Combinatorial study of zinc tin oxide thin-film transistors” APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol. 92, 013502 (2008)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
近年自発光かつ高精細ディスプレイとして期待される有機ELディスプレイに用いられる薄膜トランジスタには、電流駆動デバイスとしての機能が求められるため、しきい電位シフトの抑制や耐久性の面で大きな信頼性が要求される。しかしながら、従来液晶ディスプレイのスイッチングに主に用いられていたa−Siでは、しきい電位のシフトが補正回路による制御が容易な2V前後を大きく超えるため、有機EL向けの薄膜トランジスタとしては適用困難と考えられる。
【0008】
一方、特許文献1や2には、古くから知られていた酸化亜鉛や酸化錫を用いた透明酸化物トランジスタに代えて、例えば酸化亜鉛の欠点であるしきい電位シフトが抑制できるIGZO(インジウムガリウム亜鉛複合酸化物)を用いた薄膜トランジスタが記述されており、薄膜プロセスによる新しい半導体デバイス実現の可能性が期待される。特に、IGZOに関してはサブスレッショルド特性がポリシリコン以上の良好なものも確認されており、ディスプレイ応用に留まらず、超低電圧動作や超低消費電力を必要とするデバイスへの応用も期待される。
【0009】
例えば、IGZO等の酸化物半導体をチャネル層に用いた薄膜トランジスタは、移動度にして1〜50cm2/Vs程度、オンオフ比として106以上と液晶ディスプレイや有機ELディスプレイのスイッチング・電流駆動デバイスとして十分な特性を備えている。しかも、スパッタ等常温でのプロセスが可能なため、フレキシブル化が容易等の複合的利点が存在する。つまり、スパッタ法のような常温プロセスにより高温処理が必要なポリシリコン並の高品位薄膜トランジスタが低コストで実現可能であることを示している。
【0010】
しかしながら、IGZOやITO、IZO、IGO等の酸化物半導体材料は、希少金属であり、コスト的に高価なインジウムを含むため汎用性に欠ける。
【0011】
そこで、資源面やコスト面で有利な酸化物半導体材料を求めることになるが、その第一候補である酸化亜鉛は安定供給やコスト面では問題ない材料であるが、亜鉛自体が元来蒸気圧の高い材料系であり、成膜後の安定性などの面で難がある。今回の半導体膜とは異なる応用分野であるが、ITO(インジウム錫複合酸化物)に代わる透明導電膜や透明電極として以前よりアルミニウムやガリウムを添加した酸化亜鉛材料が期待されているものの、ITOを完全に代替するまでに至る良好な酸化亜鉛系材料は未だ実用化されていない。特に、水分や酸素などの使用環境により抵抗率が大きく影響を受けることが大きな課題となっている。
【0012】
透明電極のようにキャリアを必要としない半導体応用では、不純物を添加しない酸化亜鉛が用いられるが、この場合においても、しきい電位シフトや移動度が水分や酸素による環境影響を受けることが知られている。また、酸化亜鉛はウルツ鉱型結晶構造を有するため六角柱形状のグレインが基板に垂直方向に成長しやすい微結晶材料であり、基板に水平な方向に結晶粒界を多数有するため、粒界散乱による移動度の劣化やしきい電位のシフトも大きな欠点である。
【0013】
そのため、資源的な制約が少ない材料系で、且つ、しきい電位シフトの抑制と高移動度を実現する新規酸化物半導体材料を提供する必要がある。近年、例えば、非特許文献1に記載されているように、粒界のないアモルファス系ZTO(亜鉛錫複合酸化物)を用いた薄膜トランジスタで、20〜50cm2/Vsという高移動度を実現した例があり、この材料系であれば、資源面やコスト面と半導体特性を両立する可能性がある。
【0014】
しかし、上記非特許文献1では亜鉛と錫の組成が1:1と比較的錫組成の高いスパッタリングターゲットを使用してスパッタリング法により成膜しているため、通常用いられるウエットエッチングによる加工が現実的には困難という課題があった。
【0015】
また、一方で例えば、非特許文献2に記載されているように、亜鉛と錫の組成をコンビナトリアル手法(異なる組成のマトリックスを大量一括に作成・評価・最適化する手法)を用いて検討した例もある。Zn/(Zn+Sn)組成0.3付近または0.7付近のみで良好な移動度(10cm2/Vs前後)が得られているが、装置構成上の問題で単純に膜密度が良好となるサンプル位置とそれに対応するZn/(Zn+Sn)組成で良好な特性を得ている可能性が高く、真に物性的解析ができたものとは言い難い。
【0016】
また、Zn/(Zn+Sn)組成0.7付近ではしきい電位が15V以上と非常に高く、到底低消費電力デバイスの実用には適さない。同組成が0.3ではしきい電位は8V程度ではあるが、前記の例同様Sn組成の大きな領域では加工が困難であり、これらの公知例では未だ実用に適するZTO材料組成は見いだされていない。
【0017】
本願の目的は、高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成を提供することにある。さらに、その材料ターゲットを実現し、次世代有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのスイッチング、電流駆動用薄膜トランジスタ等として有望な良好な酸化物半導体デバイスの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0018】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【0019】
薄膜酸化物半導体膜を形成することを目的とした、酸化亜鉛と酸化錫(IVまたはVI)を主成分とする酸化物焼結体であり、且つ、亜鉛と錫の組成(亜鉛/(亜鉛+錫))が0.6〜0.8であり、且つその焼結体の電気抵抗率が1Ωcm以上であることを特徴とする酸化物半導体ターゲットとする。
【0020】
また、上記酸化物半導体ターゲットを用い、高周波を用いたスパッタリング方法によりチャネル層となる酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法とする。
【発明の効果】
【0021】
高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成を提供することができる。さらに、その材料ターゲットを実現し、次世代有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのスイッチング、電流駆動用薄膜トランジスタ等として有望な良好な酸化物半導体装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットにおけるZn/(Zn+Sn)組成と薄膜トランジスタの特性(移動度、しきい電位シフト)の関係を示すグラフである。
【図2】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットにおけるZn/(Zn+Sn)組成とシュウ酸系エッチング液によるエッチング速度の関係を示すグラフである。
【図3】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットの半導体特性評価に用いた薄膜トランジスタの概略断面図である。
【図4】実施の形態に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットを利用してRFスパッタリング法により形成した薄膜トランジスタの代表的な半導体特性を示すグラフである。
【図5】亜鉛錫複合酸化物ターゲットについて、半導体用途に用いる場合の高抵抗ターゲット(白色)と透明電極用途に用いる導電性ターゲット(黒色)の外観の違いを示す写真である。
【図6】実施例1に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットを用いるスパッタリング装置の模式図である。
【図7】実施例1に係るボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタの断面図である。
【図8】実施例1に係るボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタの製造方法を説明するフロー図である。
【図9】実施例1に係る亜鉛錫複合酸化物ターゲットを用いる電子ビーム蒸着装置の模式図である。
【図10】実施例2に係る有機EL素子、酸化物半導体薄膜トランジスタ集積構造を説明する断面図である。
【図11】実施例3に係る一回書き込み可能薄膜メモリ素子(ボトムゲートトップコンタクト型)の断面図である。
【図12】実施例3に係る薄膜メモリ素子に応用するアクティブマトリクス回路の模式図である。
【図13】実施例3に係る薄膜メモリ素子に応用するアクティブマトリクス回路の鳥瞰図である。
【図14】実施例3に係る薄膜メモリの一形態を示す図であり、(a)はドレイン電極側に容量素子を用いたボトムゲートトップコンタクト型酸化物半導体薄膜トランジスタを説明する回路図、(b)は断面図である。
【図15】実施例3に係る薄膜メモリの一形態を示す図であり、(a)はゲート絶縁膜に強誘電体を用いたボトムゲートトップコンタクト型酸化物半導体薄膜トランジスタを説明する回路図、(b)は断面図である。
【図16】実施例3に係る一回書き込み可能薄膜メモリ素子を基本構造として、積層化による集積化を行った薄膜半導体積層メモリを説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
本発明の実施の形態について説明する。
本願の酸化物半導体ターゲットには、不純物の添加を行わないZTO(亜鉛錫複合酸化物)を用いる。原料となる金属亜鉛、錫ともクラーク数は0.004%で、比較的多量に地殻中に存在し、現状コスト、供給量的に問題ない金属材料といえる。
【0024】
酸化亜鉛は六方晶系であり、酸化錫は正方晶系であるため、両者の混合物となるZTOは単一の結晶構造を維持することができず、基本的にはアモルファス状態となる。そのため、コスト面、資源供給面や粒界散乱の影響としては問題のない材料系であることは明らかである。
【0025】
図1はこのZTOターゲットを用いて薄膜トランジスタを形成した際の、ターゲットにおけるZn/(Zn+Sn)組成と薄膜トランジスタ特性の関係を調査した結果である。まず、移動度については、Zn/(Zn+Sn)組成が高い方が良好な傾向にあり、概ね5cm2/Vs以上の移動度が見込まれる0.6〜0.8が良好な組成範囲と考えられる。0.8より高い組成範囲では移動度の低下が見られるが、これはZn組成が高くなることにより六方晶系が支配的となり、粒界が増大することによるものと推定される。
【0026】
一方、しきい電位シフトについてはZn/(Zn+Sn)組成0.5が最も安定しており、許容可能な2V以内のしきい電位シフトの範囲内で考えると0.3〜0.8の組成範囲が良好と考えられる。従ってデバイス特性から判断すると良好なZn/(Zn+Sn)組成は0.6〜0.8と考えられる。但し、錫組成が大きくなるとデバイス製造に不可欠なエッチング加工が困難となる傾向にあり、これを考慮した組成設計が必要になる。
【0027】
図2は透明電極として一般的に用いられているITOの加工に用いるシュウ酸系エッチング液を用いてZTO膜のエッチング速度とZn/(Zn+Sn)組成の関係を調査したものである。実効的なプロセススループットを考慮すると最低でも5nm/min以上のエッチング速度が求められるが、それを満足できるのは組成0.6以上であることが分かる。従って、上記の結果から、十分なしきい電位安定性や高移動度特性を満たしながら、エッチング加工条件も満たすZn/(Zn+Sn)組成は0.6〜0.8の範囲であることが分かった。この組成領域で焼結したターゲットが半導体ターゲットとして有効である。
【0028】
また、従来からこれらの酸化物材料は透明導電膜や透明電極の候補として議論されており、特許文献3〜6に示されるような透明電極や焼結体の公知例が存在する。本願は、これらと同一視できるものではなく、例えば、主に上記公知例が透明電極の形成を目指すものであり、成膜速度の高いDCスパッタリングを利用するため、不純物添加等による導電性の高い(実効的にはターゲット自体の抵抗率が1×10−3Ωcm以下)ターゲットであるのに対し、DCスパッタリングでは放電不可能な高抵抗のターゲットである。
【0029】
仮に、過剰なキャリアが存在する透明電極形成用のターゲットで成膜した場合には、導電性膜であるためゲートバイアスによるオフ状態を実現できず、半導体デバイスとしての動作が不可能であり、このような抵抗値の高い半導体膜の形成には、高抵抗なターゲット材料でも放電が可能なRFスパッタリング、ビームを利用した成膜方法等が必要である。
【0030】
本願のZTOターゲットについては、主にキャリア発生に関与する不純物(ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、ビスマス)の合計濃度を100ppm以下に抑制する。また、ストイキオメトリに近い酸素量を導入することで、1Ωcm以上の高抵抗が実現される。
【0031】
また、成膜時に起こる酸素の組成ずれを抑制するため、一般的にスパッタリングガスとして利用されるArガス中に10%以上の割合の酸素ガスを添加することも良好な特性を有する半導体膜形成に有効である。前述のターゲット材料を利用し、上記のような条件で成膜することにより、1×10−1Ωcm以上の抵抗率を有するZTO半導体膜が形成でき、ディスプレイを主とする薄膜トランジスタとして機能できる。
【0032】
なお、上記の酸化物半導体ターゲットを形成する方法は概ね以下の通りである。まず、原料となる高純度(99.999%以上)の酸化亜鉛と酸化錫の混合粉末に水系溶媒を加え、数時間以上混合してスラリーとする。このスラリーにバインダーとなるポリビニルアルコール等を加え、乾燥後、造粒した造粒粉を型枠に入れて成形し、固形物中のバインダーを取り除くため大気中600℃前後で数時間焼成する。
【0033】
この固形物を更に大気中または酸素雰囲気中で1300℃前後の温度で数時間以上焼結し、ターゲット材料の原料体とする。大気中での焼結により、ストイキオメトリに近い酸素量をターゲット材料中に導入することができる。得られた焼結体を研磨により求める形状、大きさに成形し、ターゲット材が完成となる。スパッタリングターゲットとして使用する場合には、スパッタリング装置のカソード電極側の金属裏板にボンディング処理を行い、スパッタリングターゲットとして使用できる。
【0034】
次に、本実施の形態に係るZn/(Zn+Sn)組成0.7のターゲットを利用し、RFスパッタリング成膜により図3に示すような薄膜トランジスタ構造を作製した場合の電流−電圧特性を図4示す。
【0035】
しきい電位も0V付近に存在し、オンオフ比としても106以上の良好な半導体特性を示している。しきい電位が0V付近にあることで回路設計が容易になる副次的効果も生まれる。また、アモルファス状態で粒界散乱の影響を受けにくいため、チャネル層厚が25nm程度と薄膜ながら移動度としても20cm2/Vs以上が得られている。ディスプレイ等の表示デバイスに適用する場合に課題となるしきい電位の安定性についても、概ね±1V以内に抑制されており、薄膜トランジスタの信頼性という点でも十分な特性といえる。
【0036】
更に、本実施の形態に係るZn/(Zn+Sn)組成0.7を採用することで、室温におけるシュウ酸系のウエットエッチング液によるエッチング速度が20nm/minと制御性やスループットの良好な条件を確保できるため、量産プロセスに用いる従来のホトプロセスによりデバイス製作も容易に行うことができる。
【0037】
また、本実施の形態に係る酸化物半導体ターゲットを用いた薄膜トランジスタの形成方法は、a−Siなどの高温度のCVD(化学気相法)による成膜に比較して、大面積・均一性に優れるものであり、且つ、低温プロセスを実現するものである。従って、高温処理が困難なフレキシブル大面積基板への薄膜トランジスタ形成の実現が可能になる他、現行のガラス基板上での薄膜トランジスタ製造プロセスにおいても低コスト化が可能になる。
【0038】
薄膜トランジスタのチャネル層成膜工程のみ、RFスパッタリング等の設備を導入するか、透明電極形成用のDCスパッタリング装置にRF電源を付与する等の改造程度ですみ、その他の工程は基本的に、現行の液晶テレビ用薄膜トランジスタ製造プロセスとほぼ同じ装置で製造可能であるため、導入時の設備コスト面も抑制が可能である。
【0039】
以下、実施例で詳細に説明する。
【実施例1】
【0040】
第1の実施例について、図5〜8を用いて説明する。なお、発明を実施するための形態の欄に記載され、本実施例に未記載の事項は発明を実施するための形態の欄と同様である。
【0041】
図5は本実施例に係る半導体用スパッタリングターゲットと透明電極用スパッタリングターゲットの外観の違いを示す写真である。図6は本実施例に係るスパッタリングターゲットを適用したRFスパッタリング装置の模式図、図7は本実施例に係るスパッタリングターゲットを応用して形成した酸化物半導体チャネル層を利用した薄膜トランジスタの構造を示す断面図である。図8はその薄膜トランジスタの製造方法を示すフロー図である。
【0042】
本実施例に係る酸化物半導体スパッタリングターゲットの製造方法について説明する。まず、従来技術により高純度化(99.9999%)した酸化亜鉛および酸化錫粉末をZn/(Zn+Sn)組成が0.7となるようなモル分率の量にそれぞれの粉末を秤量し、ミル等を利用して水系溶媒によりスラリー状に混合する。混合する時間は5時間以上とし、十分な混合後、ポリビニルアルコール等のバインダーを加え、乾燥後、造粒した造粒粉を型枠により成形、バインダーを除去する目的で、大気中600℃前後で数時間加熱処理を行い、固化させる。この固形物をさらに、大気中または酸素雰囲気中1300℃前後で5時間以上焼成処理を行い、相対密度99%以上の焼結体とする。
【0043】
その後、研磨により求められる形状に成形し、スパッタリング装置のカソード電極裏板にボンディング処理を行えば、スパッタリングターゲットとして完成である。図5に示すように、この方法により完成したZTOターゲットの色味はつやがあり、白みがかった灰色を呈し、透明電極形成用のターゲットとして一般的に用いられる酸素欠損の多い酸化物ターゲットが深い黒色を呈するのに比較して一目瞭然に区別ができる。このターゲットの抵抗率は四探針法による測定で、概ね1Ωcm以上の抵抗率を示し、一般に1×10−3Ωcm以下の抵抗率が必要な透明電極用ターゲットとはこの点でも大きな差を有する。
【0044】
このようにして製作したZTO酸化物半導体ターゲットは、DCバイアスによる放電が困難なため、RFバイアスによるスパッタリング成膜を行う。例えば、図6に示すようなRFスパッタリング装置を用い、本実施例に係るZTOスパッタリングターゲット11により、スパッタリングガスとして15%前後の酸素ガスを添加したアルゴンガスを用い、圧力0.5Pa、RF電力密度2.65W/cm2、電極間距離80mmの条件にて成膜したZTO薄膜の抵抗率は2.5Ωcmであった。ここで、符号10はカソード電極(ターゲット裏板)、符号12は対向電極(サンプルホルダ兼用)、符号13はマッチングボックス、符号14はRF電源、符号15はマスフローコントローラ、符号16はクライオポンプ、又は分子ターボポンプ、符号17はドライポンプ、又はロータリーポンプである。
【0045】
さらに、図7に示すようなボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタ構造を本実施例に係るZTOターゲットを用いた成膜技術を用い、図8に示すようなプロセスフローにて作製した。まず、例えばガラス基板、石英基板、サファイア基板、樹脂基板、フィルム等の支持基板20を用意する。次に、これらの支持基板20上に蒸着法やスパッタ法等により金属薄膜、例えばAl(250nm)とMo(50nm)の積層膜等を形成、リフトオフプロセスやエッチングプロセスによるパタニングを行い、ゲート電極21を形成する。その後、その上層にスパッタリングやCVD法、蒸着法等により、例えば厚さ100nm程度の酸化膜や窒化膜、例えばシリコン酸化膜やシリコン窒化膜等、から形成されるゲート絶縁膜22を堆積する(図8(a))。
【0046】
この後、ZTOターゲットを用いてRFスパッタ法によりZTO半導体チャネル層23を形成、レジストプロセスによるマスク形成を行い、シュウ酸系エッチング液または塩酸系エッチング液によるエッチングを行なう(図8(b))。この際、スパッタリングガスとして酸素を15%添加したアルゴンガスを用いた。酸素は、アルゴンガスがスパッタリングガスとしての機能を損なわない範囲で10%以上添加することができる。ZTO半導体チャネル層23の厚さは、適用するデバイスによっても異なるが、概ね10nm〜75nm程度が望ましい。なお、エッチング液としては、シュウ酸や酢酸等の有機酸を含有するエッチング液、又は、ハロゲン系や硝酸系等の無機酸を含有するエッチング液を用いることができる。また、ウエットエッチングに代えてドライエッチングを行なう場合には、ハロゲン系ガスを用いればよく、特にフッ素系ガスが好適である。
【0047】
次に、このZTO酸化物半導体チャネル層23上に、ソース・ドレイン電極24となる電極層を蒸着法やスパッタリング等により形成、レジストプロセスを用いたリフトオフ法やエッチングプロセスによるパタニングを施し(図8(c))、パッシベーション膜25の形成工程(図8(d))と配線26形成工程(図8(e))を経て、ボトムゲートトップコンタクト型酸化物半導体薄膜トランジスタが完成する。ソース・ドレイン電極24はITOやIZO、AZO(アルミニウムドープ酸化亜鉛)、GZO(ガリウムドープ酸化亜鉛)等の透明導電膜を用いても良いし、従来の金属材料、例えば、AlやTi/Au積層膜などでも構わない。
【0048】
さらに、上述のRFスパッタ法に代えて、RFマグネトロンスパッタ法による成膜技術を用いて同構造のZTO薄膜トランジスタを試作した。ZTO半導体チャネル層は25nm厚で、成膜条件は上述の通りで、成膜時には回転速度5rpmの基板回転を用いている。ゲート電極がAl(250nm)/Mo(50nm)積層膜、ソース・ドレイン電極が150nmのスパッタリングによるITO透明電極を用いている。この薄膜トランジスタは、しきい電位シフトが100時間連続使用について0.5V以下に抑制されており、その他の基本的特性も移動度20cm2/Vs以上、オンオフ比106以上と良好な値が得られている。
【0049】
同薄膜トランジスタをアレイ構造としてアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ駆動用トランジスタとして適用したところ、十分な特性を備えており、実用に耐えることが明らかとなった。パネル製作のコストについても、従来のCVDを用いたa−Siの薄膜トランジスタに比較して、大面積・高均一・低温プロセスを実現できるため、ほぼターゲットのみのコストで済むため10〜20%程度の削減が見込まれる。
【0050】
なお、本実施例においては、Zn/(Zn+Sn)組成0.7の場合を用いて説明を行ったが、別段この組成に限定されるものではなく、請求項にて規定した0.6〜0.8のZn/(Zn+Sn)組成を利用すれば、ウエットエッチングの特性に多少の変化は出るものの、薄膜トランジスタ自体の特性はほぼ同等の値を得ることができる。
【0051】
成膜方法としては、RFスパッタ法、RFマグネトロンスパッタ法を使用したが、リング状にターゲットを成形し、ECR(電子サイクロトロン共鳴)スパッタ法等の高周波を用いたスパッタリング方式を用いてもほぼ同様な結果を得ることができる。また、本実施例においてはボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタの例を用いて記述したが、別段この構造に限定するものではなく、他のボトムゲートボトムコンタクト型、トップゲートトップコンタクト型、トップゲートボトムコンタクト型のいずれの構造の薄膜トランジスタにおいてもほぼ同等な特性を得ることが可能である。
【0052】
また、本実施例では、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ駆動用トランジスタとして応用した例を述べたが、チャネル層厚やゲート絶縁膜厚等を最適設計することで有機EL用電流駆動デバイスとしても問題なく利用可能である。
【0053】
以上、本実施例によれば、高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないZTO(亜鉛錫複合酸化物)系酸化物半導体材料の適正なZn/(Zn+Sn)組成を提供することができる。また、その材料ターゲットを実現し、次世代有機ELディスプレイや液晶ディスプレイのスイッチング、電流駆動用薄膜トランジスタ等として有望な良好な酸化物半導体装置の製造方法を提供することができる。
【実施例2】
【0054】
第2の実施例について図9〜10を用いて説明する。なお、発明を実施するための形態の欄や実施例1に記載され、本実施例に未記載の事項は発明を実施するための形態の欄や実施例1と同様である。
【0055】
図9は本実施例に係る低密度酸化物ターゲットを蒸発源に用いた電子ビーム蒸着装置の模式図である。ここで、符号30は蒸発源、符号31は酸化物ターゲット、符号32は電子ビーム源、符号33はイオン源(イオンアシスト用)、符号34は基板ホルダ、符号35は基板揺動装置、符号36はマスフローコントローラ、符号37はクライオポンプ、又は分子ターボポンプ、符号38はドライポンプ、又はロータリーポンプを示す。
【0056】
また、図10は本実施例に係る酸化物半導体ターゲットを用いて作製した薄膜トランジスタを駆動用トランジスタに用いた有機ELディスプレイの基本構造の一部を示す断面図である。ここで、符号40はバックパネル、符号41は有機EL素子電極、符号42は有機EL素子、符号43は有機EL素子電極(エミッション側)、符号44はソース・ドレイン電極、符号45は有機絶縁膜層、符号46は相関絶縁膜層、符号47はZTO半導体チャネル層、符号48はゲート絶縁膜、符号49はゲート電極、符号50はパッシベーション膜を示す。
【0057】
ビームを応用するターゲットの場合には、それほど密度の高いターゲットは必要ではなく、また、ビーム径の観点からサイズ的にもそれほど大きな形状は要求されない。基本的なターゲットの作製方法は、実施例1とほぼ同様であるが、高密度を必要としない場合には、バインダーを混合する工程や1300℃の高温焼成工程を省略しても実用的には問題ない。また、単純に高純度の酸化亜鉛、酸化錫粉末をZn/(Zn+Sn)組成0.6〜0.8となるように正確に混合し、それに求める形状に高圧圧縮して成形することでも十分実用可能である。
【0058】
上記の方法で作製した20mmφ、厚さ10mmのターゲットを図9に示すような電子ビーム蒸着装置に適用する。実施例1のスパッタリングターゲット同様、透明電極に用いるターゲットは酸素欠損の多い黒色を呈するのに対し、半導体用途に用いるZTOターゲットは酸素欠損の少ない白色系の色味を呈するので、一目瞭然に確認可能である。ターゲット自体の抵抗率も導電膜用途が1×10−2Ωcm以下であるのに対し、10Ωcmと高い抵抗率を示すのが半導体用ターゲットの特徴である。
【0059】
本実施例に係るZTO半導体ターゲット31を蒸発源30にセットし、加速電圧6kV、ビーム電流70mAでおよそ5nm/minの成膜速度が得られる。成膜時にイオン源33より酸素イオンアシストを導入することでさらに高密度な成膜も可能である。また、基板側は冷却することでほぼ常温での成膜も可能である。
【0060】
上記の本実施例に係るZTOターゲット(Zn/(Zn+Sn)組成0.65)を蒸発源に利用した電子ビーム蒸着により成膜したZTO酸化物半導体層を利用し、実施例1と基本的には同様な方法で薄膜トランジスタを形成した。ただし、本実施例ではボトムエミッション型有機EL素子との集積構造とするため、トップゲートボトムコンタクト型薄膜トランジスタ構造を採用している。ZTOチャネル層47は50nm厚で、成膜条件は、上述の通りで、成膜時には成膜分布を向上する目的で基板揺動装置35を用いている。ゲート電極49がAl(250nm)/Mo(50nm)積層膜、ソース・ドレイン電極44が150nmのスパッタリングによるAZO透明電極を用いている。
【0061】
この薄膜トランジスタは、しきい電位シフトが100時間連続使用について0.7V以下に抑制されており、その他の基本的特性も移動度30cm2/Vs以上、オンオフ比107以上と良好な値が得られている。同薄膜トランジスタをアレイ構造として図10に基本構造を示すようなアクティブマトリクス型有機ELディスプレイ駆動用トランジスタとして適用したところ、十分な特性を備えていることが確認できた。
【0062】
なお、本実施例では電子ビーム蒸着法による成膜を示したが、同様にビームを蒸着源として利用するイオンプレーティングやパルスレーザー蒸着法を用いてもほぼ同様な効果が期待できる。また、もちろんアクティブマトリクス型液晶ディスプレイのスイッチング素子としても問題なく利用可能である。
【0063】
以上、本実施例によれば、実施例1と同様の効果がある。更に、電子ビームを用いて酸化物半導体膜を成膜するため、ターゲット密度を低くすることができ、酸化物半導体ターゲットの製造工程を簡略化できるためターゲットの低コスト化が図れる。
【実施例3】
【0064】
第3の実施例について図11〜14を用いて説明する。なお、発明を実施するための形態の欄や実施例1に記載され、本実施例に未記載の事項は発明を実施するための形態の欄や実施例1と同様である。
【0065】
図11は実施例1や2に係るZTOターゲットを用いて形成したボトムゲートトップコンタクト型薄膜トランジスタを基本構造とする一回書き込み可能メモリセルの断面図、図12は本実施例に係る酸化物半導体メモリの構成図、図13は本実施例に係る酸化物半導体薄膜トランジスタアレイの鳥瞰図、図14は酸化物半導体薄膜トランジスタを用い、ドレイン電極側に容量素子を組み込んだ書き換え可能メモリ素子の回路図と素子断面図、図15は酸化物半導体薄膜トランジスタを用い、ゲート絶縁膜に強誘電体を利用し、ゲート容量の変化によりメモリ動作を行う書き換え可能強誘電体メモリ素子の回路図と断面図、図16は本実施例に係る酸化物半導体メモリを多層構造化、集積化した場合の断面図である。
【0066】
実施例1や2に係るZTOターゲット、実施例1や2と同様の成膜技術を用い、図11に示すような薄膜トランジスタ構造を基本構造とする薄膜トランジスタアレイを形成する。薄膜トランジスタアレイの構成は図12、13に示す通りである。ここで、符号70は支持基板、符号71はデータ線駆動回路、符号72はゲート線駆動回路、符号73はゲート線、符号74はデータ線、符号75はドレイン電極(ディスプレイの画素電極相当)、符号76はZTO薄膜トランジスタを示す。
【0067】
メモリとしての適用にはゲート絶縁膜62の膜厚としては10nm〜50nm程度が好ましい(図11参照)。その後、ZTO酸化物半導体チャネル層63をRFスパッタ法や電子ビーム蒸着法により形成する。ZTO成膜条件については、酸素添加割合以外は実施例1と同様である。メモリとしての特性を考えた場合、完全に空乏化が可能なチャネル層厚は5〜15nmであり、これらを考慮した膜厚の組み合わせを選択する必要がある。
【0068】
その後、ソース・ドレイン電極64層を蒸着法やスパッタ法により形成した後、レジストプロセスとエッチングもしくはリフトオフ法によりソース・ドレイン電極64パタンを形成する。さらに、この上にシリコン酸化膜/シリコン窒化膜とから形成される抵抗膜65を形成、これに近接する位置に配線層66を置く。
【0069】
抵抗膜65と配線層66の膜厚を、周知の技法により上手く設定することにより、初期に高めの電圧印加によりこの抵抗膜65が破壊し、導通するようになるため、これを利用した一回書き込み可能メモリの実現が可能である。なお、符号60は支持基板、符号61はゲート電極、符号67は層間絶縁膜層、符号68は配線層(ソース側)を示す。
【0070】
また、図14に示すように、この部分に十分な容量の容量層80を形成したり、図15に示すようにゲート絶縁膜81をPZT(Pb(Zr,Ti)O3)やSBT(SrBi2Ta2O9)、BLT((Bi,La)4Ti3O12)などの強誘電体とすることで、書き換え可能なメモリとしても利用可能である。この場合、図14に示すようにドレイン電極側に容量層80を設けた時にはヒステリシスによる電流値の違いをメモリとして利用するのに対し、図15に示すようにゲート絶縁膜81を強誘電体等とする場合にはしきい電位の違いをメモリとして利用することになる。
【0071】
さらにポリイミドまたはSOG(Spin On Glass)層から成る層間絶縁膜67を形成、貫通孔形成と配線層68形成によりメモリアレイが完成する。ここで、符号77は容量値参照線、符号78は強誘電体ゲート絶縁膜を用いたZTO薄膜トランジスタを示す。本願の技術は成膜技術を主体としたものであるため、さらに図16に示すように、これらのメモリアレイ(図は一回書き込み可能メモリの例)を上層領域に積み上げることにより、単位面積当たりのメモリ容量の拡大や回路の集積化も可能である。ここで、符号82は層間絶縁膜層(平坦化膜層)を示す。
【0072】
実際に本実施例の方法により作製したZTO薄膜トランジスタの単体セルの電流−電圧特性を調べた結果、サブスレッショルドスウィング72mV/dec、移動度15cm2/Vsという良好なトランジスタ特性を示した。また本トランジスタのしきい電位はほぼ0V付近にあるため、良好なサブスレッショルドスウィング特性とも併せて、超低電圧(1.5V以下)、超低消費電力でのメモリ動作が可能である。なお、ここではボトムゲートトップコンタクト型の薄膜トランジスタを用いて説明したが、その他のトップゲートボトムコンタクト型やトップゲートトップコンタクト型、ボトムゲートボトムコンタクト型などいずれの薄膜トランジスタ構造においてもほぼ同じ効果が得られる。
【0073】
また、ZTOは透明酸化物材料であるため、これらを薄膜トランジスタとして、ゲート絶縁膜にシリコン酸化膜、電極材料にITOやAZO、GZO等の透明導電膜を使用すると、ほとんど透明な回路を形成できる。例えば、電極とアンテナ部分をITO透明導電膜、電源回路や共振回路(ZTO半導体のショットキーダイオードを利用)、図11に示す1回書き込み可能メモリを適用したデジタル回路から構成されるRFIDを本願のZTO薄膜トランジスタで形成した場合、13.56MHzでの送受信を確認できた。
【0074】
特に、このRFIDタグの特徴として、90%以上の非常に透過率の高い材料で構成されるため、従来のRFIDタグのように、Siのチップや金属によるアンテナ等の構造が見える形態ではないため、フィルムやカード上に記載されている意匠を損なうことなく後付することが可能である。本実施例では、ZTO薄膜トランジスタのメモリ応用について述べたが、もちろんその他の回路への応用も可能であり、各々の回路を層毎に積層したデバイスの実現も可能である。
【0075】
本実施例によれば、実施例1、2と同様の効果を得ることができる。更に、低温プロセスのため、積層デバイスを容易に製造することができる。
【0076】
なお、上記各実施例で記載したエッチング液として、シュウ酸系エッチング液を用いたが、他に、酢酸等の有機酸を含有するエッチング液、または、ハロゲン系や硝酸系等の無機酸が使えることを付記しておく。
【0077】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例1〜3で具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【0078】
1…支持基板(ゲート電極兼用)、2…ゲート絶縁膜、3…酸化物半導体チャネル層、4…ソース・ドレイン電極、10…カソード電極(ターゲット裏板)、11…ZTO(亜鉛錫複合酸化物)半導体ターゲット、12…対向電極(サンプルホルダ兼用)、13…マッチングボックス、14…RF電源、15…マスフローコントローラ、16…クライオポンプ、または、分子ターボポンプ、17…ドライポンプ、または、ロータリーポンプ、20…支持基板、21…ゲート電極、22…ゲート絶縁膜、23…ZTO酸化物半導体チャネル層、24…ソース・ドレイン電極、25…パッシベーション層、26…配線層、30…蒸発源、31…ZTO半導体ターゲット、32…電子ビーム源、33…イオン源(イオンアシスト用)、34…基板ホルダ、35…基板揺動装置、36…マスフローコントローラ、37…クライオポンプ、または、分子ターボポンプ、38…ドライポンプ、または、ロータリーポンプ、40…バックパネル、41…有機EL素子電極、42…有機EL素子、43…有機EL素子電極(エミッション側)、44…ソース・ドレイン電極、45…有機絶縁膜層、46…層間絶縁膜層、47…ZTO半導体チャネル層、48…ゲート絶縁膜、49…ゲート電極、
50…パッシベーション層、60…支持基板、61…ゲート電極、62…ゲート絶縁膜、63…ZTO半導体チャネル層、64…ソース・ドレイン電極、65…抵抗膜、66…配線層(ドレイン電極側)、67…層間絶縁膜層、68…配線層(ソース側)、70…支持基板、71…データ線駆動回路、72…ゲート線駆動回路、73…ゲート線、74…データ線、75…ドレイン電極(ディスプレイの画素電極相当)、76…ZTO薄膜トランジスタ、77…容量値参照線、78…強誘電体ゲート絶縁膜を用いたZTO薄膜トランジスタ、80…容量層(蓄電層)、81…強誘電体ゲート絶縁膜、82…層間絶縁膜層(平坦化膜層)。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
薄膜酸化物半導体膜を形成することを目的とした、酸化亜鉛と酸化錫(IVまたはVI)を主成分とする酸化物焼結体であり、且つ、亜鉛(Zn)と錫(Sn)の組成(Zn/(Zn+Sn))が0.6〜0.8であり、且つその焼結体の電気抵抗率が1Ωcm以上であることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項2】
請求項1記載の酸化物半導体ターゲットにおいて、
前記組成(Zn/(Zn+Sn))が0.65〜0.7であることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項3】
請求項1又は2に記載の酸化物半導体ターゲットにおいて、
前記酸化物焼結体は、ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、ビスマスの合計濃度が100ppm以下であることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項4】
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の酸化物半導体ターゲットにおいて、
前記薄膜酸化物半導体膜は、薄膜トランジスタやヘテロ構造電界効果トランジスタのチャネル層として用いられることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項5】
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の酸化物半導体ターゲットを用い、高周波を用いたスパッタリング方法によりチャネル層となる酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項6】
請求項5記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記酸化物半導体膜は、1×10−1Ωcm以上の抵抗率となることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項7】
請求項5記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記高周波を用いたスパッタリング方法に用いられるスパッタリングガスは、10%以上の酸素ガスを含むことを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項8】
請求項5項記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記高周波を用いたスパッタリング方法は、RFスパッタ、RFマグネトロンスパッタ、或いは電子サイクロトロン共鳴スパッタであることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項9】
請求項7又は8に記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記スパッタリングガスは、アルゴンが主成分であることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項10】
請求項5記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記高周波を用いたスパッタリング方法に代えて、ビームを応用した成膜方法により成膜を行うことを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項11】
請求項10記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記ビームを応用した成膜方法は、酸素存在雰囲気下での電子ビーム蒸着、イオンプレーティング、パルスレーザー蒸着であることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項12】
請求項5乃至11のいずれか1項に記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記酸化物半導体膜は、有機酸を主成分とするエッチング液、または無機酸を主成分とするエッチング液によりエッチングされる工程を含むことを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項13】
請求項12記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記有機酸はシュウ酸あるいは酢酸であり、前記無機酸はハロゲン系あるいは硝酸系であることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項14】
請求項5乃至11のいずれか1項に記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記酸化物半導体膜は、ドライエッチングにより加工される工程を有することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項15】
請求項14記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記ドライエッチングで用いるエッチングガスは、ハロゲン系ガスであることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項16】
請求項15記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記ドライエッチングで用いるエッチングガスは、フッ素を含有することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項17】
亜鉛(Zn)と錫(Sn)の組成(Zn/(Zn+Sn))が0.6〜0.8であり、
電気抵抗率が1Ωcm以上であり、
ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、窒素、リン、ヒ素、アンチモンおよびビスマスの合計濃度が100ppm以下であり、
酸化亜鉛と酸化錫を主成分とする酸化物焼結体であることを特徴とする薄膜酸化物半導体膜成膜用の酸化物半導体ターゲット。
【請求項1】
薄膜酸化物半導体膜を形成することを目的とした、酸化亜鉛と酸化錫(IVまたはVI)を主成分とする酸化物焼結体であり、且つ、亜鉛(Zn)と錫(Sn)の組成(Zn/(Zn+Sn))が0.6〜0.8であり、且つその焼結体の電気抵抗率が1Ωcm以上であることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項2】
請求項1記載の酸化物半導体ターゲットにおいて、
前記組成(Zn/(Zn+Sn))が0.65〜0.7であることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項3】
請求項1又は2に記載の酸化物半導体ターゲットにおいて、
前記酸化物焼結体は、ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、ビスマスの合計濃度が100ppm以下であることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項4】
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の酸化物半導体ターゲットにおいて、
前記薄膜酸化物半導体膜は、薄膜トランジスタやヘテロ構造電界効果トランジスタのチャネル層として用いられることを特徴とする酸化物半導体ターゲット。
【請求項5】
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の酸化物半導体ターゲットを用い、高周波を用いたスパッタリング方法によりチャネル層となる酸化物半導体膜を成膜することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項6】
請求項5記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記酸化物半導体膜は、1×10−1Ωcm以上の抵抗率となることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項7】
請求項5記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記高周波を用いたスパッタリング方法に用いられるスパッタリングガスは、10%以上の酸素ガスを含むことを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項8】
請求項5項記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記高周波を用いたスパッタリング方法は、RFスパッタ、RFマグネトロンスパッタ、或いは電子サイクロトロン共鳴スパッタであることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項9】
請求項7又は8に記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記スパッタリングガスは、アルゴンが主成分であることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項10】
請求項5記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記高周波を用いたスパッタリング方法に代えて、ビームを応用した成膜方法により成膜を行うことを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項11】
請求項10記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記ビームを応用した成膜方法は、酸素存在雰囲気下での電子ビーム蒸着、イオンプレーティング、パルスレーザー蒸着であることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法。
【請求項12】
請求項5乃至11のいずれか1項に記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記酸化物半導体膜は、有機酸を主成分とするエッチング液、または無機酸を主成分とするエッチング液によりエッチングされる工程を含むことを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項13】
請求項12記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記有機酸はシュウ酸あるいは酢酸であり、前記無機酸はハロゲン系あるいは硝酸系であることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項14】
請求項5乃至11のいずれか1項に記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記酸化物半導体膜は、ドライエッチングにより加工される工程を有することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項15】
請求項14記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記ドライエッチングで用いるエッチングガスは、ハロゲン系ガスであることを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項16】
請求項15記載の酸化物半導体装置の製造方法において、
前記ドライエッチングで用いるエッチングガスは、フッ素を含有することを特徴とする酸化物半導体装置の製造方法
【請求項17】
亜鉛(Zn)と錫(Sn)の組成(Zn/(Zn+Sn))が0.6〜0.8であり、
電気抵抗率が1Ωcm以上であり、
ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、窒素、リン、ヒ素、アンチモンおよびビスマスの合計濃度が100ppm以下であり、
酸化亜鉛と酸化錫を主成分とする酸化物焼結体であることを特徴とする薄膜酸化物半導体膜成膜用の酸化物半導体ターゲット。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図2】
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【図4】
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【図11】
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【図14】
【図15】
【図16】
【公開番号】特開2010−248547(P2010−248547A)
【公開日】平成22年11月4日(2010.11.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−96937(P2009−96937)
【出願日】平成21年4月13日(2009.4.13)
【出願人】(000005083)日立金属株式会社 (2,051)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年11月4日(2010.11.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年4月13日(2009.4.13)
【出願人】(000005083)日立金属株式会社 (2,051)
【Fターム(参考)】
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