薄膜トランジスタおよびその製造方法、ならびに電子機器
【課題】ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と性能の確保とを両立させることが可能な薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタは、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成された有機半導体層と、互いに離間されたソース電極およびドレイン電極と、有機半導体層とソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において有機半導体層とソース電極およびドレイン電極との間に挿入され、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成された有機導電層とを備える。
【解決手段】薄膜トランジスタは、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成された有機半導体層と、互いに離間されたソース電極およびドレイン電極と、有機半導体層とソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において有機半導体層とソース電極およびドレイン電極との間に挿入され、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成された有機導電層とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、有機半導体層を備えた薄膜トランジスタおよびその製造方法、ならびにその薄膜トランジスタを用いた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、多様な電子機器に、スイッチング用の素子などとして薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：thin film transistor）が用いられている。このＴＦＴとしては、最近では、チャネル層である半導体層の形成材料として無機半導体材料を用いた無機ＴＦＴに代えて、有機半導体材料を用いた有機ＴＦＴが有望視されている。塗布法を用いてチャネル層を形成可能であるため、低コスト化を図ることができるからである。また、蒸着法などよりも低い温度でチャネル層を形成可能であるため、支持基体として低耐熱性でフレキシブルなプラスチックフィルムなどを用いることができるからである。
【０００３】
有機ＴＦＴは、チャネル層である有機半導体層と共に、その有機半導体層に接続されたソース電極およびドレイン電極を備えており、そのソース電極およびドレイン電極は、金属材料などにより形成されている。有機半導体層とソース電極およびドレイン電極との位置関係は２種類に分類されるが、中でも、ソース電極およびドレイン電極が有機半導体層の上側に重なるように配置されるトップコンタクト型が一般的である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
この有機ＴＦＴでは、金属材料であるソース電極およびドレイン電極と有機材料である有機半導体層とが接続されるため、それらの電荷注入効率が十分でない場合がある。そこで、有機半導体層の上にホール注入層などの有機導電層を形成して、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層との間に有機導電層を介在させることが提案されている（例えば、特許文献２，３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−０８５２００号公報
【特許文献２】特開２００６−２５３６７５号公報
【特許文献３】特開２００５−３２７７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、有機半導体層の上において有機導電層がソース電極からドレイン電極に至る領域に延在していると、電荷注入効率は向上するが、その有機導電層の存在に起因して電極間にリーク電流が生じやすくなる。そこで、有機導電層の不要部分を除去してリーク電流を防止するために、ソース電極およびドレイン電極をマスクとして有機導電層をドライエッチングすることが検討されている。ところが、有機導電層をエッチングしようとすると、その有機導電層だけでなく有機半導体層までエッチングされるため、電流経路が切断されやすくなる。よって、いずれの場合においても、電荷注入効率が向上する一方で、有機ＴＦＴの性能が低下してしまう。
【０００７】
本技術はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と性能の確保とを両立させることが可能な薄膜トランジスタまたはその製造方法、あるいは電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本技術の薄膜トランジスタは、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成された有機半導体層と、互いに離間されたソース電極およびドレイン電極と、有機半導体層とソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において有機半導体層とソース電極およびドレイン電極との間に挿入され、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成された有機導電層とを備えたものである。また、本技術の電子機器は、上記した本技術の薄膜トランジスタを備えたものである。
【０００９】
本技術の薄膜トランジスタの製造方法は、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料を用いて有機半導体層を形成し、その有機半導体層の上に、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料を用いて有機導電層を形成し、その有機導電層の上に互いに離間されたソース電極およびドレイン電極を形成し、エッチングガスを用いてソース電極およびドレイン電極をマスクとして有機導電層をエッチングするようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
本技術の薄膜トランジスタまたはその製造方法、あるいは電子機器によれば、金属含有材料により形成された有機半導体層とソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において、それらの間に非金属含有材料により形成された有機導電層が挿入されている。これにより、ソース電極およびドレイン電極をマスクとして有機導電層がエッチングされる。よって、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と性能の確保とを両立させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本技術の一実施形態における薄膜トランジスタの構成を表す断面図である。
【図２】薄膜トランジスタの製造方法を説明するための断面図である。
【図３】図２に続く工程を説明するための断面図である。
【図４】比較例の薄膜トランジスタの構成を表す断面図である。
【図５】薄膜トランジスタの構成に関する変形例を表す断面図である。
【図６】薄膜トランジスタの構成に関する他の変形例を表す断面図である。
【図７】薄膜トランジスタの適用例である液晶表示装置の構成を表す断面図である。
【図８】図７に示した液晶表示装置の回路図である。
【図９】薄膜トランジスタの適用例である有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）表示装置の構成を表す断面図である。
【図１０】図９に示した有機ＥＬ表示装置の回路図である。
【図１１】薄膜トランジスタの適用例である電子ペーパー表示装置の構成を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本技術の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明する順序は、以下の通りである。
１．薄膜トランジスタの構成
２．薄膜トランジスタの製造方法
３．変形例
４．薄膜トランジスタの適用例（電子機器）
４−１．液晶表示装置
４−２．有機ＥＬ表示装置
４−３．電子ペーパー表示装置
【００１３】
＜１．薄膜トランジスタの構成＞
まず、本技術の一実施形態の薄膜トランジスタの構成について説明する。図１は、薄膜トランジスタの断面構成を表している。
【００１４】
ここで説明する薄膜トランジスタは、チャネル層として有機半導体層４を備えた有機ＴＦＴである。この有機ＴＦＴは、例えば、支持基体１の上に、ゲート電極２と、ゲート絶縁層３と、有機半導体層４と、有機導電層５，６と、ソース電極７およびドレイン電極８とがこの順に積層されたものである。すなわち、図１に示した有機ＴＦＴは、ソース電極７およびドレイン電極８が有機半導体層４の上側に配置されていると共にゲート電極２が有機半導体層４の下側に配置されているトップコンタクト・ボトムゲート型である。なお、「上側」とは支持基体１から遠い側、「下側」とは支持基体１に近い側をそれぞれ意味している。
【００１５】
支持基体１は、例えば、プラスチック材料、金属材料または無機材料などのいずれか１種類または２種類以上により形成されている。
【００１６】
プラスチック材料は、例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアクリレート（ＰＡＲ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）またはトリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などである。金属材料は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）またはステンレスなどである。無機材料は、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、酸化ケイ素（ＳｉＯx ）、窒化ケイ素（ＳｉＮx ）、酸化アルミニウム（ＡｌＯx ）または他の金属酸化物などである。ただし、酸化ケイ素には、ガラス、石英またはスピンオングラス（ＳＯＧ）なども含まれる。
【００１７】
この支持基体１は、ウェハなどの剛性を有する基板でもよいし、可撓性を有するフィルムまたは箔などでもよい。また、支持基体１の表面には、所定の機能を有する被覆層が設けられていてもよい。この被覆層は、例えば、密着性を確保するためのバッファ層またはガス放出を防止するためのガスバリア層などであり、他の機能を有する層でもよい。
【００１８】
なお、支持基体１は、単層でもよいし、多層でもよい。多層の場合には、上記した各種材料の層が２層以上積層されている。このように単層でも多層でもよいことは、ゲート電極２、ゲート絶縁層３、有機半導体層４、有機導電層５，６、ソース電極７およびドレイン電極８についても同様である。
【００１９】
ゲート電極２は、支持基体１の上に設けられており、例えば、金属材料、無機導電性材料、有機導電性材料または炭素材料などのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。
【００２０】
金属材料は、例えば、アルミニウム、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）またはそれらを含む合金などである。無機導電性材料は、例えば、酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）または酸化亜鉛（ＺｎＯ）などである。有機導電性材料は、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）、ポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）またはポリアニリン（ＰＡＮＩ）などである。炭素材料は、例えば、グラファイトなどである。なお、ゲート電極２は、例えば、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳなどの多層でもよい。
【００２１】
ゲート絶縁層３は、少なくともゲート電極２を覆うように設けられており、例えば、無機絶縁性材料または有機絶縁性材料などのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。無機絶縁性材料は、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ハフニウム（ＨｆＯx ）またはチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）などである。有機絶縁性材料は、例えば、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、ポリメタクリル酸アクリレート、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）、フッ素樹脂、感光性ポリイミド、感光性ノボラック樹脂またはポリパラキシリレンなどである。
【００２２】
有機半導体層４は、ゲート絶縁層３の上に設けられており、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方（以下、「金属元素等」という。）を構成元素として含む材料（金属含有材料）を含んでいる。
【００２３】
金属含有材料は、有機ＴＦＴの製造工程において、任意のエッチングガスを用いたドライエッチング法によりエッチングされた場合に、金属元素等とエッチングガスの成分との反応物を形成できる材料である。この反応物は、後述するように、エッチング時において有機半導体層４の表面に堆積されることで、そのエッチング処理の進行を実質的に停止させる機能、すなわちエッチングストッパとしての機能を果たす。
【００２４】
金属元素は、例えば、ベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム、カルシウム（Ｃａ）、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン、バナジウム（Ｖ）、クロム、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル、銅、亜鉛（Ｚｎ）、ガリウム（Ｇａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン、テクネチウム（Ｔｃ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム、銀、カドミウム（Ｃｄ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、バリウム（Ｂａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル、タングステン、レニウム（Ｒｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金、金、水銀（Ｈｇ）、タリウム（Ｔｌ）、鉛（Ｐｂ）、ビスマス（Ｂｉ）およびポロニウム（Ｐｏ）のうちの少なくとも１種であり、他の金属元素でもよい。また、半金属元素は、例えば、ホウ素（Ｂ）、ケイ素、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ヒ素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）およびテルル（Ｔｅ）のうちの少なくとも１種であり、他の半金属元素でもよい。なお、金属元素および半金属元素は、上記した一連の金属元素および半金属元素のうちの少なくとも１種であればよい。
【００２５】
具体的には、金属含有材料は、例えば、金属元素等を含む基（金属含有基）を有する有機半導体材料、またはその金属元素等を含む有機金属錯体などである。金属含有基は、例えば、半金属元素であるケイ素などを含み、その金属含有基の数は、１つでもよいし、２つ以上でもよい。このケイ素を含む金属含有基は、例えば、トリイソプロピルシリルエチニル基（ＴＩＰＳ）またはトリエチルシリルエチニル基（ＴＥＳ）などのシリルアルキル基であり、他のシリルアルキル基でもよい。有機半導体材料の詳細については後述するが、上記した金属含有基を有する有機半導体材料の具体例は、ＴＩＰＳ−ペンタセンまたはＴＥＳ−アントラジチオフェンなどである。有機金属錯体は、例えば、金属フタロシアニン、金属ジチオレート錯体またはトリス（８−キノリノラト）アルミニウム （Ａｌｑ−３）などである。
【００２６】
なお、エッチングガスの組成は、金属元素等の反応物を形成できるものであれば特に限定されないが、中でも、活性ガスを含んでいることが好ましい。活性ガスは反応性に優れているため、反応物を形成しやすいからである。この活性ガスは、例えば、酸素（Ｏ2 ）およびハロゲンのうちの少なくとも１種であり、他の活性ガスでもよい。このハロゲンは、例えば、フッ素（Ｆ2 ）または塩素（Ｃｌ2 ）などのいずれか１種類または２種類以上である。
【００２７】
中でも、エッチングガスが活性ガスである酸素を含む場合には、金属含有材料はケイ素を構成元素として含んでいることが好ましく、より具体的には、金属含有材料はシリルアルキル基を有する有機半導体材料などであることが好ましい。ケイ素は酸素と反応しやすいため、有機半導体層４のエッチング時においてケイ素と酸素との反応物（酸化ケイ素）を形成しやすいからである。また、酸化ケイ素は十分なエッチング耐性を有するため、有機半導体層４が僅かにエッチングされただけでエッチング処理の進行を実質的に停止させることができるからである。
【００２８】
なお、有機半導体材料は、以下の材料のいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。（１）ポリピロール、（２）ポリチオフェン、（３）ポリイソチアナフテンなどのイソチアナフテン、（４）ポリチェニレンビニレンなどのチェニレンビニレン、（５）ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）などのポリ（ｐ−フェニレンビニレン）、（６）ポリアニリン、（７）ポリアセチレン、（８）ポリジアセチレン、（９）ポリアズレン、または（１０）ポリピレンである。（１１）ポリカルバゾール、（１２）ポリセレノフェン、（１３）ポリフラン、（１４）ポリ（ｐ−フェニレン）、（１５）ポリインドール、（１６）ポリピリダジン、（１７）ナフタセン、ペンタセン、ヘキサセン、ヘプタセン、ジベンゾペンタセン、テトラベンゾペンタセン、ピレン、ジベンゾピレン、クリセン、ペリレン、コロネン、テリレン、オバレン、クオテリレンまたはサーカムアントラセンなどのアセン、（１８）アセン類のうちの炭素の一部が窒素（Ｎ）、硫黄（Ｓ）または酸素（Ｏ）などの原子、あるいはカルボニル基などの官能基により置換された誘導体、例えば、トリフェノジオキサジン、トリフェノジチアジンまたはヘキサセン−６，１５−キノンなど、（１９）ポリビニルカルバゾール、ポリフェニレンスルフィドまたはポリビニレンスルフィドなどの高分子材料および多環縮合体、または（２０）上記した高分子材料と同じ繰り返し単位を有するオリゴマーである。（２１）銅フタロシアニンなどの金属フタロシアニン、（２２）テトラチアフルバレン、（２３）テトラチアペンタレン、（２４）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド、Ｎ，Ｎ’−ビス（４−トリフルオロメチルベンジル）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミドと共に、Ｎ，Ｎ’−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロオクチル）、Ｎ，Ｎ’−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロブチル）またはＮ，Ｎ’−ジオクチルナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド誘導体、（２５）ナフタレン２，３，６，７テトラカルボン酸ジイミドなどのナフタレンテトラカルボン酸ジイミド、（２６）アントラセン２，３，６，７−テトラカルボン酸ジイミドなどのアントラセンテトラカルボン酸ジイミド類に代表される縮合環テトラカルボン酸ジイミド、（２７）Ｃ60、Ｃ70、Ｃ76、Ｃ78またはＣ84などのフラーレン、（２８）単層ナノチューブ（ＳＷＮＴ）などのカーボンナノチューブ、（２９）メロシアニン色素またはヘミシアニン色素などの色素、または（３０）２，９−ジナフチル−ペリキサンテノキサンテンなどのペリキサンテノキサンテン化合物である。
【００２９】
この他、有機半導体材料は、上記した一連の材料の誘導体でもよい。誘導体とは、上記した材料に１または２以上の置換基が導入された材料であり、その置換基の種類および導入位置などは、任意である。
【００３０】
有機導電層５，６は、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とにおける電荷注入効率を向上させるものであり、例えば、ホール注入層などである。有機導電層５は、有機半導体層４とソース電極７とが重なる領域において、その有機半導体層４とソース電極７との間に挿入されている。一方、有機導電層６は、有機半導体層４とドレイン電極８とが重なる領域において、その有機半導体層４とドレイン電極８との間に挿入されている。なぜなら、有機導電層５，６は、後述するように、有機半導体層４の表面を覆うように有機導電層９（図２）が形成されたのち、ソース電極６およびドレイン電極７をマスクとして有機導電層９が選択的にエッチングされることにより形成されたものだからである。このため、有機導電層５，６は、互いに離間されている。
【００３１】
この有機導電層５，６は、有機半導体層４とは異なり、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を構成元素として含まない材料（非金属含有材料）を含んでいる。非金属含有材料は、有機ＴＦＴの製造工程において任意のエッチングガスを用いたドライエッチング法によりエッチングされた場合に、上記した反応物を形成できない材料である。このため、有機導電層９（図２）は、エッチングストッパとして機能せず、所望のパターン形状となるようにエッチングされる。これにより、エッチングガスを用いて有機導電層９をドライエッチングする際に、その有機導電層９と有機半導体層４との間に選択比が得られる。
【００３２】
有機導電層５，６は、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とにおける電荷注入効率を向上させるために、有機半導体層４のイオン化ポテンシャルに近い仕事関数を有していることが好ましい。このような性質を有する非金属含有材料は、例えば、導電性高分子、任意のアクセプタ等がドープされた導電性高分子、導電性有機伝導体、および炭素材料のうちの少なくとも１種である。導電性高分子は、例えば、ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳなどの共重合体、またはポリアニリンなどである。任意のアクセプタ等がドープされた導電性高分子は、例えば、酸素がドープされたポリチオフェンなどである。導電性有機伝導体は、例えば、テトラチアフルバレン−７，７，８，８−テトラシアノキノジメタン（ＴＴＦ−ＴＣＮＱ）などである。炭素材料は、例えば、カーボンナノチューブなどである。
【００３３】
なお、上記したように、エッチングガスが酸素を含んでいると共に、金属含有材料がケイ素を構成元素として含んでいる場合には、非金属含有量はケイ素を構成元素として含んでいないことが好ましい。選択比を得るためである。
【００３４】
ソース電極７およびドレイン電極８は、それぞれ有機導電層５，６の上に互いに離間されるように設けられていると共に、例えば、ゲート電極２と同様の材料を含んでいる。ソース電極７およびドレイン電極８のそれぞれは、少なくとも一部においてゲート電極２と重なるように配置されていることが好ましい。
【００３５】
なお、図１に示したＰ１は、有機ＴＦＴにおける電流の経路を表している。この有機ＴＦＴでは、ソース電極７が有機導電層５を介して有機半導体層４に接続されていると共に、ドレイン電極８が有機導電層６を介して有機半導体層４に接続されている。このため、電流は、経路Ｐ１に沿って、ソース電極７から有機導電層５を経由して有機半導体層４に流れたのち、有機導電層６を経由してドレイン電極８まで流れるようになっている。
【００３６】
＜２．薄膜トランジスタの製造方法＞
次に、上記した薄膜トランジスタの製造方法について説明する。図２および図３は、薄膜トランジスタである有機ＴＦＴの製造方法を説明するためのものであり、図１に対応する断面構成を示している。なお、有機ＴＦＴの各構成要素の形成材料については既に詳細に説明したので、以下では、その形成材料の一例を挙げることとする。
【００３７】
有機ＴＦＴを製造する場合には、最初に、図２に示したように、プラスチックフィルムなどの支持基体１の上に、ゲート電極２を形成する。この場合には、例えば、支持基体１の表面を覆うように金属材料層（図示せず）を形成したのち、その金属材料層をパターニングする。
【００３８】
金属材料層の形成材料は、例えば、銅などである。また、金属材料層の形成方法は、例えば、スパッタリング法、蒸着法または化学気相成長（ＣＶＤ）法などの気相成長法であり、そのパターニング方法は、例えば、エッチング法などである。このエッチング法は、イオンミリング法または反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法などのドライエッチング法でもよいし、ウェットエッチング法でもよい。
【００３９】
なお、金属材料層をパターニングする場合には、フォトリソグラフィ法または紫外線描画法などを併用してもよい。この場合には、例えば、金属材料層の表面にフォトレジストを塗布してフォトレジスト膜を形成してから、フォトリソグラフィ法などを用いてフォトレジスト膜をパターニングしたのち、そのフォトレジスト膜をマスクとして金属材料層をエッチングする。ただし、フォトレジスト膜に代えて金属膜などをマスクとして用いてもよい。
【００４０】
続いて、少なくともゲート電極２を覆うようにゲート絶縁層３を形成する。このゲート絶縁層３の形成材料は、例えば、ＰＶＰなどであり、その形成方法は、例えば、スピンコート法などの塗布法である。
【００４１】
続いて、ゲート絶縁層３の上に、その表面を覆うように有機半導体層４を形成する。この有機半導体層４の形成材料は、例えば、金属含有材料であるＴＥＳ−アントラジチオフェンまたはＴＩＰＳ−ペンタセンなどである。また、有機半導体層４の形成方法は、例えば、（１）抵抗加熱蒸着法、スパッタリング、蒸着法またはＣＶＤ法などの気相成長法、（２）スピンコート法、エアドクタコータ法、ブレードコータ法、ロッドコータ法、ナイフコータ法、スクイズコータ法、リバースロールコータ法、トランスファーロールコータ法、グラビアコータ法、キスコータ法、キャストコータ法、スプレーコータ法、スリットオリフィスコータ法、カレンダーコータ法または浸漬法などの塗布法である。これらの形成方法は、有機半導体層４の形成材料などの条件に応じて適宜選択可能である。なお、有機半導体層４の厚さは、特に限定されないが、例えば、５０ｎｍである。
【００４２】
続いて、有機半導体層４の上に、その表面を覆うように有機導電層９を形成する。この有機導電層９は、有機導電層５，６を形成するための準備層であり、その形成材料は、有機導電層５，６の形成材料（非金属含有材料）と同様である。すなわち、有機導電層９の形成材料は、例えば、導電性有機伝導体であるＴＴＦ−ＴＣＮＱなどである。また、有機導電層９の形成方法は、例えば、有機半導体層４の形成方法と同様である。これらの形成方法は、有機導電層９の形成材料などの条件に応じて適宜選択可能である。なお、有機導電層９の厚さは、特に限定されないが、例えば、５ｎｍである。
【００４３】
続いて、有機導電層９の上に、互いに離間されたソース電極７およびドレイン電極８を形成する。この場合には、例えば、有機導電層９の表面を覆うように金属材料層（図示せず）を形成したのち、その金属材料層をパターニングする。
【００４４】
金属層の形成材料は、例えば、金などである。また、金属材料層の形成方法は、例えば、スパッタリング法、蒸着法または化学気相成長（ＣＶＤ）法などの気相成長法であり、そのパターニング方法は、例えば、エッチング法などである。このエッチング法は、イオンミリング法または反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法などのドライエッチング法でもよいし、ウェットエッチング法でもよい。中でも、パターニング方法は、有機半導体層４および有機導電層９にダメージを及ぼしにくいウェットエッチング法が好ましい。なお、ソース電極７およびドレイン電極８の厚さは、特に限定されないが、例えば、５０ｎｍである。
【００４５】
ここでは、必要に応じて、ソース電極７およびドレイン電極８を形成する前に、有機半導体層４および有機導電層９をパターニングしてもよい。この場合には、フォトリソグラフィ法などを用いて有機導電層９の上にフォトレジスト膜などを形成したのち、そのフォトレジスト膜などをマスクとして有機半導体層４および有機導電層９をパターニングすればよい。このパターニング方法は、例えば、エッチングガスとして四フッ化炭素（ＣＦ4 ）などの活性ガスを用いたドライエッチング法などである。
【００４６】
最後に、ソース電極７およびドレイン電極８をマスクとして有機導電層９をエッチングして、その有機導電層９を選択的に除去することにより、図３に示したように、有機導電層５，６を形成する。このエッチング法は、例えば、エッチングガスとして酸素ガスなどの活性ガスを用いたドライエッチング法である。
【００４７】
このエッチング工程では、有機導電層９がエッチングされたのち、そのエッチング処理が有機半導体層４に到達すると、金属含有材料のうちの金属元素等がエッチングガスの成分と反応するため、反応物１０が生じる。この反応物１０は、例えば、エッチングガスが酸素ガスであると共に金属含有材料がシリルアルキル基を有するＴＥＳ−アントラジチオフェンまたはＴＩＰＳペンタセンなどである場合には、酸化ケイ素である。
【００４８】
この反応物１０が有機半導体層４の表面に生じると、その反応物１０がエッチングストッパ層として機能するため、エッチング速度が急激に減少してエッチング処理は実質的に終了する。これにより、エッチング時に選択比が得られるため、有機導電層５，６を形成するために有機導電層９は完全にエッチング（パターニング）されるのに対して、有機半導体層４はほとんどエッチングされずに残存する。このため、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とが重なる領域において、それらの間に挿入されるように有機導電層５，６が形成される。
【００４９】
なお、有機導電層５，６を形成したのち、反応物１０を残存させてもよいし、その反応物１０を除去してもよい。反応物１０が絶縁性の酸化物などであれば、有機ＴＦＴの性能に影響を与えないため、残存させておいても問題はない。反応物１０を除去する場合には、例えば、ウェットエッチング法などを用いればよい。図１では、反応物１０の図示を省略している。
【００５０】
これにより、有機半導体層４、有機導電層５，６、ソース電極７およびドレイン電極８は、図１に示した電流の経路Ｐ１が得られるように接続されるため、トップコンタクト・ボトムゲート型の有機ＴＦＴが完成する。
【００５１】
［薄膜トランジスタの製造方法に関する作用および効果］
この薄膜トランジスタである有機ＴＦＴおよびその製造方法では、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とが重なる領域において、それらの間に有機導電層５，６が挿入されている。この有機半導体層４は、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成されている。これに対して、有機導電層５，６は、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成されている。よって、以下の理由により、ソース電極７およびドレイン電極８と有機半導体層４とにおける電荷注入効率の向上と有機ＴＦＴの性能の確保とを両立させることができる。
【００５２】
図４は、比較例の有機ＴＦＴの構成および製造方法を説明するためのものであり、図１に対応する断面構成を示している。この比較例の有機ＴＦＴは、金属含有材料により形成された有機半導体層４に代えて、非金属含有材料により形成された有機半導体層１４を備えることを除き、本実施形態の有機ＴＦＴと同様の構成を有している。
【００５３】
まず、技術的な前提事項として、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８との間に有機導電層９を挿入すると（図２）、その有機導電層９の存在に起因して電極間にリーク電流が生じるため、有機ＴＦＴの性能が低下してしまう。なぜなら、有機半導体層４の上において有機導電層９がソース電極７からドレイン電極８に至る領域に延在していると、経路Ｐ１において正規の電流が流れるだけでなく、経路Ｐ２において不要な電流が流れるからである。このため、リーク電流に起因する問題を解消するために、有機導電層９をパターニングすることが検討される。
【００５４】
しかしながら、有機半導体層１４が非金属含有材料により形成されている比較例（図４）では、その有機半導体層１４がエッチング時においてエッチングストッパとして機能できない。これにより、有機半導体層１４が有機導電層９と同様にエッチングされやすいため、選択比が得られず、エッチング処理の進行を制御できない。この場合には、有機導電層９だけをエッチングしようとしても、エッチング処理が過剰に進行して有機半導体層１４までエッチングされるため、電流の経路Ｐ１が狭まってしまう。よって、ソース電極７およびドレイン電極８と有機半導体層１４とにおける電荷注入効率は有機導電層５，６により向上されるが、電流経路Ｐ１の狭窄に起因して有機ＴＦＴの性能が低下してしまう。
【００５５】
これに対して、有機半導体層４が金属含有材料により形成されている本実施形態（図１）では、エッチングストッパとして機能する有機半導体層４により選択比が得られるため、その選択比を利用してエッチング処理の進行度を制御できる。この場合には、有機導電層９だけがエッチングされると共に、有機半導体層４はほとんどエッチングされずに残存するため、有機導電層５，６により電荷注入効率が向上すると共に、電流経路Ｐ１の確保により有機ＴＦＴの性能も維持される。よって、電荷注入効率の向上と電流経路Ｐ１の確保とを両立させることができるのである。
【００５６】
＜３．変形例＞
図１では、有機ＴＦＴが有機導電層５，６に隣接すると共に金属含有材料により形成された有機半導体層４だけを備えているが、例えば、ゲート絶縁層３と有機半導体層４との間に１層または２層の以上の追加有機半導体層を備えていてもよい。
【００５７】
有機半導体層４は、上記したように、エッチングストッパとして機能するために、金属含有材料により形成されていなければならない。これに対して、追加有機半導体層は、エッチングストッパとして機能する必要がないため、金属含有材料により形成されていてもよいし、非金属含有材料により形成されていてもよい。この追加有機半導体層の形成材料（金属含有材料または非金属含有材料）は、有機半導体層４および有機導電層５，６の形成材料と同様である。
【００５８】
具体的には、例えば、図５に示したように、有機ＴＦＴは１層の追加有機半導体層１１を備えていてもよい。この追加有機半導体層１１の形成材料は、例えば、非金属含有材料であり、具体的には２，９−ジナフチル−ペリキサンテノキサンテンなどのペリキサンテノキサンテン化合物である。また、有機半導体層４の形成材料は、例えば、ＴＥＳ−アントラジチオフェンなどの金属含有材料である。有機半導体層４および追加有機半導体層１１のそれぞれの厚さは、特に限定されないが、例えば、それぞれ２０ｎｍおよび３０ｎｍである。この場合においても、追加有機半導体層を備えていない場合（図１）と同様の作用および効果を得ることができる。もちろん、追加有機半導体層は、１層に限らず、２層以上でもよい。
【００５９】
なお、追加有機半導体層１１の形成材料が金属含有材料である場合には、有機半導体層４の形成材料と追加有機半導体層１１の形成材料とは同じでもよいし、異なってもよい。このことは、両者の厚さについても同様である。ただし、例えば、金属含有材料により形成された有機半導体層４よりも、非金属含有材料により形成された追加有機半導体１１を主要な電流の経路Ｐ１とするためには、前者の厚さを後者の厚さよりも小さくすることが好ましい。電流の経路Ｐ１を確保するためには追加有機半導体層１１の厚さを十分に大きくする必要があるのに対して、有機半導体層４の厚さはエッチングストッパとして機能できる厚さであれば済むからである。
【００６０】
また、図１では、有機ＴＦＴをトップコンタクト・ボトムゲート型にしたが、図６に示したように、トップコンタクト・トップゲート型にしてもよい。この有機ＴＦＴは、例えば、支持基体１の上に、有機半導体層４と、有機導電層５，６と、ソース電極７およびドレイン電極８と、ゲート絶縁層３と、ゲート電極２とがこの順に積層されたものである。この有機ＴＦＴの詳細な構成および製造方法は、上記したように各構成要素の積層順が異なることを除き、本実施形態と同様である。この場合においても、トップコンタクト・ボトムゲート型である場合（図１）と同様の作用が得られるため、同様の効果を得ることができる。
【００６１】
＜４．薄膜トランジスタの適用例（電子機器）＞
次に、上記した薄膜トランジスタである有機ＴＦＴの適用例について説明する。この有機ＴＦＴは、例えば、以下で説明するように、いくつかの電子機器に適用可能である。
【００６２】
＜４−１．液晶表示装置＞
有機ＴＦＴは、例えば、液晶表示装置に適用される。図７および図８は、それぞれ液晶表示装置の断面構成および回路構成を表している。なお、以下で説明する装置構成（図７）および回路構成（図８）はあくまで一例であるため、それらの構成は適宜変更可能である。
【００６３】
ここで説明する液晶表示装置は、例えば、有機ＴＦＴを用いたアクティブマトリクス駆動方式の透過型液晶ディスプレイであり、その有機ＴＦＴは、スイッチング（画素選択）用の素子として用いられる。この液晶表示装置は、図７に示したように、駆動基板２０と対向基板３０との間に液晶層４１が封入されたものである。
【００６４】
駆動基板２０は、例えば、支持基板２１の一面に有機ＴＦＴ２２、平坦化絶縁層２３および画素電極２４がこの順に積層されると共に、有機ＴＦＴ２２および画素電極２４がマトリクス状に配置されたものである。ただし、１画素内に含まれる有機ＴＦＴ２２の数は、１つでもよいし、２つ以上でもよい。図７および図８では、例えば、１画素内に１つの有機ＴＦＴ２２が含まれる場合を示している。
【００６５】
支持基板２１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などの透過性材料により形成されており、有機ＴＦＴ２２は、上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有している。プラスチック材料の種類は、例えば、有機ＴＦＴについて説明した場合と同様であり、そのことは、以降で説明する場合においても同様である。平坦化絶縁層２３は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されており、画素電極２４は、例えば、ＩＴＯなどの透過性導電性材料により形成されている。なお、画素電極２４は、平坦化絶縁層２３に設けられたコンタクトホール（図示せず）を通じて有機ＴＦＴ２２に接続されている。
【００６６】
対向基板３０は、例えば、支持基板３１の一面に対向電極３２が全面形成されたものである。支持基板３１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などの透過性材料により形成されており、対向電極３２は、例えば、ＩＴＯなどの透過性導電性材料により形成されている。
【００６７】
駆動基板２０および対向基板３０は、液晶層４１を挟んで画素電極２４と対向電極３２とが対向するように配置されていると共に、シール材４０により貼り合わされている。液晶層４１に含まれる液晶分子の種類は、任意に選択可能である。
【００６８】
この他、液晶表示装置は、例えば、位相差板、偏光板、配向膜およびバックライトユニットなどの他の構成要素（いずれも図示せず）を備えていてもよい。
【００６９】
液晶表示装置を駆動させるための回路は、例えば、図８に示したように、有機ＴＦＴ２２および液晶表示素子４４（画素電極２４、対向電極３２および液晶層４１を含む素子部）と共に、キャパシタ４５を含んでいる。この回路では、行方向に複数の信号線４２が配列されていると共に列方向に複数の走査線４３が配列されており、それらが交差する位置に有機ＴＦＴ２２、液晶表示素子４４およびキャパシタ４５が配置されている。有機ＴＦＴ２２におけるソース電極、ゲート電極およびドレイン電極の接続先は、図８に示した態様に限らず、任意に変更可能である。信号線４２および走査線４３は、それぞれ図示しない信号線駆動回路（データドライバ）および走査線駆動回路（走査ドライバ）に接続されている。
【００７０】
この液晶表示装置では、有機ＴＦＴ２２により液晶表示素子４４が選択され、その画素電極２４と対向電極３２との間に電界が印加されると、その電界強度に応じて液晶層４１における液晶分子の配向状態が変化する。これにより、液晶分子の配向状態に応じて光の透過量（透過率）が制御されるため、階調画像が表示される。
【００７１】
この液晶表示装置によれば、有機ＴＦＴ２２が上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しているので、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と有機ＴＦＴ２２の性能の確保とが両立される。よって、表示性能を向上させることができる。なお、液晶表示装置は、透過型に限らずに反射型でもよい。
【００７２】
＜４−２．有機ＥＬ表示装置＞
有機ＴＦＴは、例えば、有機ＥＬ表示装置に適用される。図９および図１０は、それぞれ有機ＥＬ表示装置の断面構成および回路構成を表している。なお、以下で説明する装置構成（図９）および回路構成（図１０）はあくまで一例であるため、それらの構成は適宜変更可能である。
【００７３】
ここで説明する有機ＥＬ表示装置は、例えば、有機ＴＦＴをスイッチング用の素子として用いたアクティブマトリクス駆動方式の有機ＥＬディスプレイである。この有機ＥＬ表示装置は、駆動基板５０と対向基板６０とが接着層７０を介して貼り合わされたものであり、例えば、対向基板６０を経由して光を放出するトップエミッション型である。
【００７４】
駆動基板５０は、例えば、支持基板５１の一面に有機ＴＦＴ５２、保護層５３、平坦化絶縁層５４、画素分離絶縁層５５、画素電極５６、有機層５７、対向電極５８および保護層５９がこの順に積層されたものである。有機ＴＦＴ５２、画素電極５６および有機層５７は、マトリクス状に配置されている。ただし、１画素内に含まれる有機ＴＦＴ５２の数は、１つでもよいし、２つ以上でもよい。図９および図１０では、例えば、１画素内に２つの有機ＴＦＴ５２（選択用ＴＦＴ５２Ａおよび駆動用ＴＦＴ５２Ｂ）が含まれる場合を示している。
【００７５】
支持基板５１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などにより形成されている。トップエミッション型では対向基板６０から光が取り出されるため、支持基板５１は、透過性材料または非透過性材料のいずれにより形成されていてもよい。有機ＴＦＴ５２は、上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しており、保護層５３は、例えば、ＰＶＡまたはポリパラキシリレンなどの高分子材料により形成されている。平坦化絶縁層５４および画素分離絶縁層５５は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されている。この画素分離絶縁層５５は、例えば、形成工程を簡略化すると共に所望の形状に形成可能にするために、光パターニングまたはリフローなどにより成形可能な感光性樹脂材料により形成されていることが好ましい。なお、保護層５３により十分な平坦性が得られていれば、平坦化絶縁層５４は省略されてもよい。
【００７６】
画素電極５６は、例えば、アルミニウム、銀、チタンまたはクロムなどの反射性材料により形成されており、対向電極５８は、例えば、ＩＴＯまたはＩＺＯなどの透過性導電性材料により形成されている。ただし、カルシウム（Ｃａ）などの透過性の金属材料またはその合金や、ＰＥＤＯＴなどの透過性の有機導電性材料により形成されていてもよい。有機層５７は、例えば、赤色、緑色または青色などの光を発生させる発光層を含んでおり、必要に応じて正孔輸送層および電子輸送層などを含む積層構造を有していてもよい。発光層の形成材料は、発生させる光の色に応じて任意に選択可能である。画素電極５６および有機層５７は、画素分離絶縁層５５により分離されながらマトリクス状に配置されているのに対して、対向電極５８は、有機層５７を介して画素電極５６に対向しながら各画素を経由するように連続的に延在している。保護層５９は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、ポリパラキシリレンまたはウレタンなどの光透過性誘電材料により形成されている。なお、画素電極５６は、保護層５３および平坦化絶縁層５４に設けられたコンタクトホール（図示せず）を通じて有機ＴＦＴ５２に接続されている。
【００７７】
対向基板６０は、例えば、支持基板６１の一面にカラーフィルタ６２が設けられたものである。支持基板６１は、例えば、ガラスまたはブラスチック材料などの透過性材料により形成されており、カラーフィルタ６２は、有機層５７において発生した光の色に対応する複数の色領域を有している。ただし、カラーフィルタ６２はなくてもよい。
【００７８】
接着層７０は、例えば、熱硬化型樹脂などの接着剤である。
【００７９】
有機ＥＬ表示装置を駆動させるための回路は、例えば、図１０に示したように、有機ＴＦＴ５２（選択用ＴＦＴ５２Ａおよび駆動用ＴＦＴ５２Ｂ）および有機ＥＬ表示素子７３（画素電極５６、有機層５７および対向電極５８を含む素子部）と共に、キャパシタ７４を含んでいる。この回路では、複数の信号線７１および走査線７２が交差する位置に、有機ＴＦＴ５２、有機ＥＬ表示素子７３およびキャパシタ７４が配置されている。選択用ＴＦＴ５２Ａおよび駆動用ＴＦＴ５２Ｂにおけるソース電極、ゲート電極およびドレイン電極の接続先は、図１０に示した態様に限らず、任意に変更可能である。
【００８０】
この有機ＥＬ表示装置では、例えば、選択用ＴＦＴ５２Ａにより有機ＥＬ表示素子７３が選択されると、その有機ＥＬ表示素子７３が駆動用ＴＦＴ５２Ｂにより駆動される。これにより、画素電極５６と対向電極５８との間に電界が印加されると、有機層５７において光が発生する。この場合には、例えば、隣り合う３つの有機ＥＬ表示素子７３において、それぞれ赤色、緑色または青色の光が発生する。これらの光の合成光が対向基板６０を経由して外部へ放出されるため、階調画像が表示される。
【００８１】
この有機ＥＬ表示装置によれば、有機ＴＦＴ５２が上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しているので、液晶表示装置と同様に表示性能を向上させることができる。
【００８２】
なお、有機ＥＬ表示装置は、トップエミッション型に限らず、駆動基板５０を経由して光を放出するボトムエミッション型でもよいし、駆動基板５０および対向基板６０の双方を経由して光を放出するデュアルエミッション型でもよい。この場合には、画素電極５６および対向電極５８のうち、光が放出される側の電極が透過性材料により形成され、光が放出されない側の電極が反射性材料により形成されることになる。
【００８３】
＜４−３．電子ペーパー表示装置＞
有機ＴＦＴは、例えば、電子ペーパー表示装置に適用される。図１１は、電子ペーパー表示装置の断面構成を表している。なお、以下で説明する装置構成（図１１）および図８を参照して説明する回路構成はあくまで一例であるため、それらの構成は適宜変更可能である。
【００８４】
ここで説明する電子ペーパー表示装置は、例えば、有機ＴＦＴをスイッチング用の素子として用いたアクティブマトリクス駆動方式の電子ペーパーディスプレイである。この電子ペーパー表示装置は、例えば、駆動基板８０と電気泳動素子９３を含む対向基板９０とが接着層１００を介して貼り合わされたものである。
【００８５】
駆動基板８０は、例えば、支持基板８１の一面に有機ＴＦＴ８２、保護層８３、平坦化絶縁層８４および画素電極８５がこの順に積層されると共に、有機ＴＦＴ８２および画素電極８５がマトリクス状に配置されたものである。支持基板８１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などにより形成されており、有機ＴＦＴ８２は、上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有している。保護層８３および平坦化絶縁層８４は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されており、画素電極８５は、例えば、銀などの金属材料により形成されている。なお、画素電極８５は、保護層８３および平坦化絶縁層８４に設けられたコンタクトホール（図示せず）を通じて有機ＴＦＴ８２に接続されている。また、保護層８３により十分な平坦性が得られていれば、平坦化絶縁層８４は省略されてもよい。
【００８６】
対向基板９０は、例えば、支持基板９１の一面に対向電極９２および電気泳動素子９３がこの順に積層されると共に、その対向電極９２が全面形成されたものである。支持基板９１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などの透過性材料により形成されており、対向電極９２は、例えば、ＩＴＯなどの透過性導電性材料により形成されている。電気泳動素子９３は、電気泳動現象を利用してコントラストを生じさせるものであり、その構成は任意である。
【００８７】
この他、電子ペーパー表示装置は、例えば、カラーフィルタなどの他の構成要素（図示せず）を備えていてもよい。
【００８８】
電子ペーパー表示装置を駆動させるための回路は、例えば、図８に示した液晶表示装置の回路と同様の構成を有している。電子ペーパー表示装置の回路は、有機ＴＦＴ２２および液晶表示素子４４の代わりに、それぞれ有機ＴＦＴ８２および電子ペーパー表示素子（画素電極８５、対向電極９２および電気泳動素子９３を含む素子部）を含んでいる。
【００８９】
この電子ペーパー表示装置では、有機ＴＦＴ８２により電子ペーパー表示素子が選択され、その画素電極８５と対向電極９２との間に電界が印加されると、その電界に応じて電気泳動素子９３においてコントラストが生じるため、階調画像が表示される。
【００９０】
この電子ペーパー表示装置によれば、有機ＴＦＴ８２が上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しているので、液晶表示装置と同様に表示性能を向上させることができる。
【００９１】
以上、実施形態を挙げて本技術を説明したが、本技術は実施形態で説明した態様に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、本技術の薄膜トランジスタが適用される電子機器は、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置または電子ペーパー表示装置に限らず、他の表示装置でもよい。このような他の表示装置としては、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）表示部（ＭＥＭＳ型ディスプレイ）などが挙げられる。この場合においても、表示性能を向上させることができる。
【００９２】
また、例えば、本技術の薄膜トランジスタは、表示装置以外の他の電子機器に適用されてもよい。このような電子機器としては、例えば、センサマトリクス、メモリセンサ、ＲＦＩＤタグ（Radio Frequency Identification）またはセンサアレイなどが挙げられる。この場合においても、性能向上を図ることができる。
【符号の説明】
【００９３】
１…支持基体、２…ゲート電極、３…ゲート絶縁層、４…有機半導体層、５，６，９…有機導電層、７…ソース電極、８…ドレイン電極、１０…反応物、Ｐ１…電流経路。
【技術分野】
【０００１】
本技術は、有機半導体層を備えた薄膜トランジスタおよびその製造方法、ならびにその薄膜トランジスタを用いた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、多様な電子機器に、スイッチング用の素子などとして薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：thin film transistor）が用いられている。このＴＦＴとしては、最近では、チャネル層である半導体層の形成材料として無機半導体材料を用いた無機ＴＦＴに代えて、有機半導体材料を用いた有機ＴＦＴが有望視されている。塗布法を用いてチャネル層を形成可能であるため、低コスト化を図ることができるからである。また、蒸着法などよりも低い温度でチャネル層を形成可能であるため、支持基体として低耐熱性でフレキシブルなプラスチックフィルムなどを用いることができるからである。
【０００３】
有機ＴＦＴは、チャネル層である有機半導体層と共に、その有機半導体層に接続されたソース電極およびドレイン電極を備えており、そのソース電極およびドレイン電極は、金属材料などにより形成されている。有機半導体層とソース電極およびドレイン電極との位置関係は２種類に分類されるが、中でも、ソース電極およびドレイン電極が有機半導体層の上側に重なるように配置されるトップコンタクト型が一般的である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
この有機ＴＦＴでは、金属材料であるソース電極およびドレイン電極と有機材料である有機半導体層とが接続されるため、それらの電荷注入効率が十分でない場合がある。そこで、有機半導体層の上にホール注入層などの有機導電層を形成して、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層との間に有機導電層を介在させることが提案されている（例えば、特許文献２，３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−０８５２００号公報
【特許文献２】特開２００６−２５３６７５号公報
【特許文献３】特開２００５−３２７７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、有機半導体層の上において有機導電層がソース電極からドレイン電極に至る領域に延在していると、電荷注入効率は向上するが、その有機導電層の存在に起因して電極間にリーク電流が生じやすくなる。そこで、有機導電層の不要部分を除去してリーク電流を防止するために、ソース電極およびドレイン電極をマスクとして有機導電層をドライエッチングすることが検討されている。ところが、有機導電層をエッチングしようとすると、その有機導電層だけでなく有機半導体層までエッチングされるため、電流経路が切断されやすくなる。よって、いずれの場合においても、電荷注入効率が向上する一方で、有機ＴＦＴの性能が低下してしまう。
【０００７】
本技術はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と性能の確保とを両立させることが可能な薄膜トランジスタまたはその製造方法、あるいは電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本技術の薄膜トランジスタは、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成された有機半導体層と、互いに離間されたソース電極およびドレイン電極と、有機半導体層とソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において有機半導体層とソース電極およびドレイン電極との間に挿入され、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成された有機導電層とを備えたものである。また、本技術の電子機器は、上記した本技術の薄膜トランジスタを備えたものである。
【０００９】
本技術の薄膜トランジスタの製造方法は、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料を用いて有機半導体層を形成し、その有機半導体層の上に、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料を用いて有機導電層を形成し、その有機導電層の上に互いに離間されたソース電極およびドレイン電極を形成し、エッチングガスを用いてソース電極およびドレイン電極をマスクとして有機導電層をエッチングするようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
本技術の薄膜トランジスタまたはその製造方法、あるいは電子機器によれば、金属含有材料により形成された有機半導体層とソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において、それらの間に非金属含有材料により形成された有機導電層が挿入されている。これにより、ソース電極およびドレイン電極をマスクとして有機導電層がエッチングされる。よって、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と性能の確保とを両立させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本技術の一実施形態における薄膜トランジスタの構成を表す断面図である。
【図２】薄膜トランジスタの製造方法を説明するための断面図である。
【図３】図２に続く工程を説明するための断面図である。
【図４】比較例の薄膜トランジスタの構成を表す断面図である。
【図５】薄膜トランジスタの構成に関する変形例を表す断面図である。
【図６】薄膜トランジスタの構成に関する他の変形例を表す断面図である。
【図７】薄膜トランジスタの適用例である液晶表示装置の構成を表す断面図である。
【図８】図７に示した液晶表示装置の回路図である。
【図９】薄膜トランジスタの適用例である有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）表示装置の構成を表す断面図である。
【図１０】図９に示した有機ＥＬ表示装置の回路図である。
【図１１】薄膜トランジスタの適用例である電子ペーパー表示装置の構成を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本技術の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明する順序は、以下の通りである。
１．薄膜トランジスタの構成
２．薄膜トランジスタの製造方法
３．変形例
４．薄膜トランジスタの適用例（電子機器）
４−１．液晶表示装置
４−２．有機ＥＬ表示装置
４−３．電子ペーパー表示装置
【００１３】
＜１．薄膜トランジスタの構成＞
まず、本技術の一実施形態の薄膜トランジスタの構成について説明する。図１は、薄膜トランジスタの断面構成を表している。
【００１４】
ここで説明する薄膜トランジスタは、チャネル層として有機半導体層４を備えた有機ＴＦＴである。この有機ＴＦＴは、例えば、支持基体１の上に、ゲート電極２と、ゲート絶縁層３と、有機半導体層４と、有機導電層５，６と、ソース電極７およびドレイン電極８とがこの順に積層されたものである。すなわち、図１に示した有機ＴＦＴは、ソース電極７およびドレイン電極８が有機半導体層４の上側に配置されていると共にゲート電極２が有機半導体層４の下側に配置されているトップコンタクト・ボトムゲート型である。なお、「上側」とは支持基体１から遠い側、「下側」とは支持基体１に近い側をそれぞれ意味している。
【００１５】
支持基体１は、例えば、プラスチック材料、金属材料または無機材料などのいずれか１種類または２種類以上により形成されている。
【００１６】
プラスチック材料は、例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアクリレート（ＰＡＲ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）またはトリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などである。金属材料は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）またはステンレスなどである。無機材料は、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、酸化ケイ素（ＳｉＯx ）、窒化ケイ素（ＳｉＮx ）、酸化アルミニウム（ＡｌＯx ）または他の金属酸化物などである。ただし、酸化ケイ素には、ガラス、石英またはスピンオングラス（ＳＯＧ）なども含まれる。
【００１７】
この支持基体１は、ウェハなどの剛性を有する基板でもよいし、可撓性を有するフィルムまたは箔などでもよい。また、支持基体１の表面には、所定の機能を有する被覆層が設けられていてもよい。この被覆層は、例えば、密着性を確保するためのバッファ層またはガス放出を防止するためのガスバリア層などであり、他の機能を有する層でもよい。
【００１８】
なお、支持基体１は、単層でもよいし、多層でもよい。多層の場合には、上記した各種材料の層が２層以上積層されている。このように単層でも多層でもよいことは、ゲート電極２、ゲート絶縁層３、有機半導体層４、有機導電層５，６、ソース電極７およびドレイン電極８についても同様である。
【００１９】
ゲート電極２は、支持基体１の上に設けられており、例えば、金属材料、無機導電性材料、有機導電性材料または炭素材料などのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。
【００２０】
金属材料は、例えば、アルミニウム、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）またはそれらを含む合金などである。無機導電性材料は、例えば、酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）または酸化亜鉛（ＺｎＯ）などである。有機導電性材料は、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）、ポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）またはポリアニリン（ＰＡＮＩ）などである。炭素材料は、例えば、グラファイトなどである。なお、ゲート電極２は、例えば、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳなどの多層でもよい。
【００２１】
ゲート絶縁層３は、少なくともゲート電極２を覆うように設けられており、例えば、無機絶縁性材料または有機絶縁性材料などのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。無機絶縁性材料は、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ハフニウム（ＨｆＯx ）またはチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）などである。有機絶縁性材料は、例えば、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、ポリメタクリル酸アクリレート、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）、フッ素樹脂、感光性ポリイミド、感光性ノボラック樹脂またはポリパラキシリレンなどである。
【００２２】
有機半導体層４は、ゲート絶縁層３の上に設けられており、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方（以下、「金属元素等」という。）を構成元素として含む材料（金属含有材料）を含んでいる。
【００２３】
金属含有材料は、有機ＴＦＴの製造工程において、任意のエッチングガスを用いたドライエッチング法によりエッチングされた場合に、金属元素等とエッチングガスの成分との反応物を形成できる材料である。この反応物は、後述するように、エッチング時において有機半導体層４の表面に堆積されることで、そのエッチング処理の進行を実質的に停止させる機能、すなわちエッチングストッパとしての機能を果たす。
【００２４】
金属元素は、例えば、ベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム、カルシウム（Ｃａ）、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン、バナジウム（Ｖ）、クロム、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル、銅、亜鉛（Ｚｎ）、ガリウム（Ｇａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン、テクネチウム（Ｔｃ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム、銀、カドミウム（Ｃｄ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、バリウム（Ｂａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル、タングステン、レニウム（Ｒｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金、金、水銀（Ｈｇ）、タリウム（Ｔｌ）、鉛（Ｐｂ）、ビスマス（Ｂｉ）およびポロニウム（Ｐｏ）のうちの少なくとも１種であり、他の金属元素でもよい。また、半金属元素は、例えば、ホウ素（Ｂ）、ケイ素、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ヒ素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）およびテルル（Ｔｅ）のうちの少なくとも１種であり、他の半金属元素でもよい。なお、金属元素および半金属元素は、上記した一連の金属元素および半金属元素のうちの少なくとも１種であればよい。
【００２５】
具体的には、金属含有材料は、例えば、金属元素等を含む基（金属含有基）を有する有機半導体材料、またはその金属元素等を含む有機金属錯体などである。金属含有基は、例えば、半金属元素であるケイ素などを含み、その金属含有基の数は、１つでもよいし、２つ以上でもよい。このケイ素を含む金属含有基は、例えば、トリイソプロピルシリルエチニル基（ＴＩＰＳ）またはトリエチルシリルエチニル基（ＴＥＳ）などのシリルアルキル基であり、他のシリルアルキル基でもよい。有機半導体材料の詳細については後述するが、上記した金属含有基を有する有機半導体材料の具体例は、ＴＩＰＳ−ペンタセンまたはＴＥＳ−アントラジチオフェンなどである。有機金属錯体は、例えば、金属フタロシアニン、金属ジチオレート錯体またはトリス（８−キノリノラト）アルミニウム （Ａｌｑ−３）などである。
【００２６】
なお、エッチングガスの組成は、金属元素等の反応物を形成できるものであれば特に限定されないが、中でも、活性ガスを含んでいることが好ましい。活性ガスは反応性に優れているため、反応物を形成しやすいからである。この活性ガスは、例えば、酸素（Ｏ2 ）およびハロゲンのうちの少なくとも１種であり、他の活性ガスでもよい。このハロゲンは、例えば、フッ素（Ｆ2 ）または塩素（Ｃｌ2 ）などのいずれか１種類または２種類以上である。
【００２７】
中でも、エッチングガスが活性ガスである酸素を含む場合には、金属含有材料はケイ素を構成元素として含んでいることが好ましく、より具体的には、金属含有材料はシリルアルキル基を有する有機半導体材料などであることが好ましい。ケイ素は酸素と反応しやすいため、有機半導体層４のエッチング時においてケイ素と酸素との反応物（酸化ケイ素）を形成しやすいからである。また、酸化ケイ素は十分なエッチング耐性を有するため、有機半導体層４が僅かにエッチングされただけでエッチング処理の進行を実質的に停止させることができるからである。
【００２８】
なお、有機半導体材料は、以下の材料のいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。（１）ポリピロール、（２）ポリチオフェン、（３）ポリイソチアナフテンなどのイソチアナフテン、（４）ポリチェニレンビニレンなどのチェニレンビニレン、（５）ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）などのポリ（ｐ−フェニレンビニレン）、（６）ポリアニリン、（７）ポリアセチレン、（８）ポリジアセチレン、（９）ポリアズレン、または（１０）ポリピレンである。（１１）ポリカルバゾール、（１２）ポリセレノフェン、（１３）ポリフラン、（１４）ポリ（ｐ−フェニレン）、（１５）ポリインドール、（１６）ポリピリダジン、（１７）ナフタセン、ペンタセン、ヘキサセン、ヘプタセン、ジベンゾペンタセン、テトラベンゾペンタセン、ピレン、ジベンゾピレン、クリセン、ペリレン、コロネン、テリレン、オバレン、クオテリレンまたはサーカムアントラセンなどのアセン、（１８）アセン類のうちの炭素の一部が窒素（Ｎ）、硫黄（Ｓ）または酸素（Ｏ）などの原子、あるいはカルボニル基などの官能基により置換された誘導体、例えば、トリフェノジオキサジン、トリフェノジチアジンまたはヘキサセン−６，１５−キノンなど、（１９）ポリビニルカルバゾール、ポリフェニレンスルフィドまたはポリビニレンスルフィドなどの高分子材料および多環縮合体、または（２０）上記した高分子材料と同じ繰り返し単位を有するオリゴマーである。（２１）銅フタロシアニンなどの金属フタロシアニン、（２２）テトラチアフルバレン、（２３）テトラチアペンタレン、（２４）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド、Ｎ，Ｎ’−ビス（４−トリフルオロメチルベンジル）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミドと共に、Ｎ，Ｎ’−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロオクチル）、Ｎ，Ｎ’−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロブチル）またはＮ，Ｎ’−ジオクチルナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド誘導体、（２５）ナフタレン２，３，６，７テトラカルボン酸ジイミドなどのナフタレンテトラカルボン酸ジイミド、（２６）アントラセン２，３，６，７−テトラカルボン酸ジイミドなどのアントラセンテトラカルボン酸ジイミド類に代表される縮合環テトラカルボン酸ジイミド、（２７）Ｃ60、Ｃ70、Ｃ76、Ｃ78またはＣ84などのフラーレン、（２８）単層ナノチューブ（ＳＷＮＴ）などのカーボンナノチューブ、（２９）メロシアニン色素またはヘミシアニン色素などの色素、または（３０）２，９−ジナフチル−ペリキサンテノキサンテンなどのペリキサンテノキサンテン化合物である。
【００２９】
この他、有機半導体材料は、上記した一連の材料の誘導体でもよい。誘導体とは、上記した材料に１または２以上の置換基が導入された材料であり、その置換基の種類および導入位置などは、任意である。
【００３０】
有機導電層５，６は、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とにおける電荷注入効率を向上させるものであり、例えば、ホール注入層などである。有機導電層５は、有機半導体層４とソース電極７とが重なる領域において、その有機半導体層４とソース電極７との間に挿入されている。一方、有機導電層６は、有機半導体層４とドレイン電極８とが重なる領域において、その有機半導体層４とドレイン電極８との間に挿入されている。なぜなら、有機導電層５，６は、後述するように、有機半導体層４の表面を覆うように有機導電層９（図２）が形成されたのち、ソース電極６およびドレイン電極７をマスクとして有機導電層９が選択的にエッチングされることにより形成されたものだからである。このため、有機導電層５，６は、互いに離間されている。
【００３１】
この有機導電層５，６は、有機半導体層４とは異なり、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を構成元素として含まない材料（非金属含有材料）を含んでいる。非金属含有材料は、有機ＴＦＴの製造工程において任意のエッチングガスを用いたドライエッチング法によりエッチングされた場合に、上記した反応物を形成できない材料である。このため、有機導電層９（図２）は、エッチングストッパとして機能せず、所望のパターン形状となるようにエッチングされる。これにより、エッチングガスを用いて有機導電層９をドライエッチングする際に、その有機導電層９と有機半導体層４との間に選択比が得られる。
【００３２】
有機導電層５，６は、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とにおける電荷注入効率を向上させるために、有機半導体層４のイオン化ポテンシャルに近い仕事関数を有していることが好ましい。このような性質を有する非金属含有材料は、例えば、導電性高分子、任意のアクセプタ等がドープされた導電性高分子、導電性有機伝導体、および炭素材料のうちの少なくとも１種である。導電性高分子は、例えば、ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳなどの共重合体、またはポリアニリンなどである。任意のアクセプタ等がドープされた導電性高分子は、例えば、酸素がドープされたポリチオフェンなどである。導電性有機伝導体は、例えば、テトラチアフルバレン−７，７，８，８−テトラシアノキノジメタン（ＴＴＦ−ＴＣＮＱ）などである。炭素材料は、例えば、カーボンナノチューブなどである。
【００３３】
なお、上記したように、エッチングガスが酸素を含んでいると共に、金属含有材料がケイ素を構成元素として含んでいる場合には、非金属含有量はケイ素を構成元素として含んでいないことが好ましい。選択比を得るためである。
【００３４】
ソース電極７およびドレイン電極８は、それぞれ有機導電層５，６の上に互いに離間されるように設けられていると共に、例えば、ゲート電極２と同様の材料を含んでいる。ソース電極７およびドレイン電極８のそれぞれは、少なくとも一部においてゲート電極２と重なるように配置されていることが好ましい。
【００３５】
なお、図１に示したＰ１は、有機ＴＦＴにおける電流の経路を表している。この有機ＴＦＴでは、ソース電極７が有機導電層５を介して有機半導体層４に接続されていると共に、ドレイン電極８が有機導電層６を介して有機半導体層４に接続されている。このため、電流は、経路Ｐ１に沿って、ソース電極７から有機導電層５を経由して有機半導体層４に流れたのち、有機導電層６を経由してドレイン電極８まで流れるようになっている。
【００３６】
＜２．薄膜トランジスタの製造方法＞
次に、上記した薄膜トランジスタの製造方法について説明する。図２および図３は、薄膜トランジスタである有機ＴＦＴの製造方法を説明するためのものであり、図１に対応する断面構成を示している。なお、有機ＴＦＴの各構成要素の形成材料については既に詳細に説明したので、以下では、その形成材料の一例を挙げることとする。
【００３７】
有機ＴＦＴを製造する場合には、最初に、図２に示したように、プラスチックフィルムなどの支持基体１の上に、ゲート電極２を形成する。この場合には、例えば、支持基体１の表面を覆うように金属材料層（図示せず）を形成したのち、その金属材料層をパターニングする。
【００３８】
金属材料層の形成材料は、例えば、銅などである。また、金属材料層の形成方法は、例えば、スパッタリング法、蒸着法または化学気相成長（ＣＶＤ）法などの気相成長法であり、そのパターニング方法は、例えば、エッチング法などである。このエッチング法は、イオンミリング法または反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法などのドライエッチング法でもよいし、ウェットエッチング法でもよい。
【００３９】
なお、金属材料層をパターニングする場合には、フォトリソグラフィ法または紫外線描画法などを併用してもよい。この場合には、例えば、金属材料層の表面にフォトレジストを塗布してフォトレジスト膜を形成してから、フォトリソグラフィ法などを用いてフォトレジスト膜をパターニングしたのち、そのフォトレジスト膜をマスクとして金属材料層をエッチングする。ただし、フォトレジスト膜に代えて金属膜などをマスクとして用いてもよい。
【００４０】
続いて、少なくともゲート電極２を覆うようにゲート絶縁層３を形成する。このゲート絶縁層３の形成材料は、例えば、ＰＶＰなどであり、その形成方法は、例えば、スピンコート法などの塗布法である。
【００４１】
続いて、ゲート絶縁層３の上に、その表面を覆うように有機半導体層４を形成する。この有機半導体層４の形成材料は、例えば、金属含有材料であるＴＥＳ−アントラジチオフェンまたはＴＩＰＳ−ペンタセンなどである。また、有機半導体層４の形成方法は、例えば、（１）抵抗加熱蒸着法、スパッタリング、蒸着法またはＣＶＤ法などの気相成長法、（２）スピンコート法、エアドクタコータ法、ブレードコータ法、ロッドコータ法、ナイフコータ法、スクイズコータ法、リバースロールコータ法、トランスファーロールコータ法、グラビアコータ法、キスコータ法、キャストコータ法、スプレーコータ法、スリットオリフィスコータ法、カレンダーコータ法または浸漬法などの塗布法である。これらの形成方法は、有機半導体層４の形成材料などの条件に応じて適宜選択可能である。なお、有機半導体層４の厚さは、特に限定されないが、例えば、５０ｎｍである。
【００４２】
続いて、有機半導体層４の上に、その表面を覆うように有機導電層９を形成する。この有機導電層９は、有機導電層５，６を形成するための準備層であり、その形成材料は、有機導電層５，６の形成材料（非金属含有材料）と同様である。すなわち、有機導電層９の形成材料は、例えば、導電性有機伝導体であるＴＴＦ−ＴＣＮＱなどである。また、有機導電層９の形成方法は、例えば、有機半導体層４の形成方法と同様である。これらの形成方法は、有機導電層９の形成材料などの条件に応じて適宜選択可能である。なお、有機導電層９の厚さは、特に限定されないが、例えば、５ｎｍである。
【００４３】
続いて、有機導電層９の上に、互いに離間されたソース電極７およびドレイン電極８を形成する。この場合には、例えば、有機導電層９の表面を覆うように金属材料層（図示せず）を形成したのち、その金属材料層をパターニングする。
【００４４】
金属層の形成材料は、例えば、金などである。また、金属材料層の形成方法は、例えば、スパッタリング法、蒸着法または化学気相成長（ＣＶＤ）法などの気相成長法であり、そのパターニング方法は、例えば、エッチング法などである。このエッチング法は、イオンミリング法または反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法などのドライエッチング法でもよいし、ウェットエッチング法でもよい。中でも、パターニング方法は、有機半導体層４および有機導電層９にダメージを及ぼしにくいウェットエッチング法が好ましい。なお、ソース電極７およびドレイン電極８の厚さは、特に限定されないが、例えば、５０ｎｍである。
【００４５】
ここでは、必要に応じて、ソース電極７およびドレイン電極８を形成する前に、有機半導体層４および有機導電層９をパターニングしてもよい。この場合には、フォトリソグラフィ法などを用いて有機導電層９の上にフォトレジスト膜などを形成したのち、そのフォトレジスト膜などをマスクとして有機半導体層４および有機導電層９をパターニングすればよい。このパターニング方法は、例えば、エッチングガスとして四フッ化炭素（ＣＦ4 ）などの活性ガスを用いたドライエッチング法などである。
【００４６】
最後に、ソース電極７およびドレイン電極８をマスクとして有機導電層９をエッチングして、その有機導電層９を選択的に除去することにより、図３に示したように、有機導電層５，６を形成する。このエッチング法は、例えば、エッチングガスとして酸素ガスなどの活性ガスを用いたドライエッチング法である。
【００４７】
このエッチング工程では、有機導電層９がエッチングされたのち、そのエッチング処理が有機半導体層４に到達すると、金属含有材料のうちの金属元素等がエッチングガスの成分と反応するため、反応物１０が生じる。この反応物１０は、例えば、エッチングガスが酸素ガスであると共に金属含有材料がシリルアルキル基を有するＴＥＳ−アントラジチオフェンまたはＴＩＰＳペンタセンなどである場合には、酸化ケイ素である。
【００４８】
この反応物１０が有機半導体層４の表面に生じると、その反応物１０がエッチングストッパ層として機能するため、エッチング速度が急激に減少してエッチング処理は実質的に終了する。これにより、エッチング時に選択比が得られるため、有機導電層５，６を形成するために有機導電層９は完全にエッチング（パターニング）されるのに対して、有機半導体層４はほとんどエッチングされずに残存する。このため、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とが重なる領域において、それらの間に挿入されるように有機導電層５，６が形成される。
【００４９】
なお、有機導電層５，６を形成したのち、反応物１０を残存させてもよいし、その反応物１０を除去してもよい。反応物１０が絶縁性の酸化物などであれば、有機ＴＦＴの性能に影響を与えないため、残存させておいても問題はない。反応物１０を除去する場合には、例えば、ウェットエッチング法などを用いればよい。図１では、反応物１０の図示を省略している。
【００５０】
これにより、有機半導体層４、有機導電層５，６、ソース電極７およびドレイン電極８は、図１に示した電流の経路Ｐ１が得られるように接続されるため、トップコンタクト・ボトムゲート型の有機ＴＦＴが完成する。
【００５１】
［薄膜トランジスタの製造方法に関する作用および効果］
この薄膜トランジスタである有機ＴＦＴおよびその製造方法では、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８とが重なる領域において、それらの間に有機導電層５，６が挿入されている。この有機半導体層４は、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成されている。これに対して、有機導電層５，６は、エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成されている。よって、以下の理由により、ソース電極７およびドレイン電極８と有機半導体層４とにおける電荷注入効率の向上と有機ＴＦＴの性能の確保とを両立させることができる。
【００５２】
図４は、比較例の有機ＴＦＴの構成および製造方法を説明するためのものであり、図１に対応する断面構成を示している。この比較例の有機ＴＦＴは、金属含有材料により形成された有機半導体層４に代えて、非金属含有材料により形成された有機半導体層１４を備えることを除き、本実施形態の有機ＴＦＴと同様の構成を有している。
【００５３】
まず、技術的な前提事項として、有機半導体層４とソース電極７およびドレイン電極８との間に有機導電層９を挿入すると（図２）、その有機導電層９の存在に起因して電極間にリーク電流が生じるため、有機ＴＦＴの性能が低下してしまう。なぜなら、有機半導体層４の上において有機導電層９がソース電極７からドレイン電極８に至る領域に延在していると、経路Ｐ１において正規の電流が流れるだけでなく、経路Ｐ２において不要な電流が流れるからである。このため、リーク電流に起因する問題を解消するために、有機導電層９をパターニングすることが検討される。
【００５４】
しかしながら、有機半導体層１４が非金属含有材料により形成されている比較例（図４）では、その有機半導体層１４がエッチング時においてエッチングストッパとして機能できない。これにより、有機半導体層１４が有機導電層９と同様にエッチングされやすいため、選択比が得られず、エッチング処理の進行を制御できない。この場合には、有機導電層９だけをエッチングしようとしても、エッチング処理が過剰に進行して有機半導体層１４までエッチングされるため、電流の経路Ｐ１が狭まってしまう。よって、ソース電極７およびドレイン電極８と有機半導体層１４とにおける電荷注入効率は有機導電層５，６により向上されるが、電流経路Ｐ１の狭窄に起因して有機ＴＦＴの性能が低下してしまう。
【００５５】
これに対して、有機半導体層４が金属含有材料により形成されている本実施形態（図１）では、エッチングストッパとして機能する有機半導体層４により選択比が得られるため、その選択比を利用してエッチング処理の進行度を制御できる。この場合には、有機導電層９だけがエッチングされると共に、有機半導体層４はほとんどエッチングされずに残存するため、有機導電層５，６により電荷注入効率が向上すると共に、電流経路Ｐ１の確保により有機ＴＦＴの性能も維持される。よって、電荷注入効率の向上と電流経路Ｐ１の確保とを両立させることができるのである。
【００５６】
＜３．変形例＞
図１では、有機ＴＦＴが有機導電層５，６に隣接すると共に金属含有材料により形成された有機半導体層４だけを備えているが、例えば、ゲート絶縁層３と有機半導体層４との間に１層または２層の以上の追加有機半導体層を備えていてもよい。
【００５７】
有機半導体層４は、上記したように、エッチングストッパとして機能するために、金属含有材料により形成されていなければならない。これに対して、追加有機半導体層は、エッチングストッパとして機能する必要がないため、金属含有材料により形成されていてもよいし、非金属含有材料により形成されていてもよい。この追加有機半導体層の形成材料（金属含有材料または非金属含有材料）は、有機半導体層４および有機導電層５，６の形成材料と同様である。
【００５８】
具体的には、例えば、図５に示したように、有機ＴＦＴは１層の追加有機半導体層１１を備えていてもよい。この追加有機半導体層１１の形成材料は、例えば、非金属含有材料であり、具体的には２，９−ジナフチル−ペリキサンテノキサンテンなどのペリキサンテノキサンテン化合物である。また、有機半導体層４の形成材料は、例えば、ＴＥＳ−アントラジチオフェンなどの金属含有材料である。有機半導体層４および追加有機半導体層１１のそれぞれの厚さは、特に限定されないが、例えば、それぞれ２０ｎｍおよび３０ｎｍである。この場合においても、追加有機半導体層を備えていない場合（図１）と同様の作用および効果を得ることができる。もちろん、追加有機半導体層は、１層に限らず、２層以上でもよい。
【００５９】
なお、追加有機半導体層１１の形成材料が金属含有材料である場合には、有機半導体層４の形成材料と追加有機半導体層１１の形成材料とは同じでもよいし、異なってもよい。このことは、両者の厚さについても同様である。ただし、例えば、金属含有材料により形成された有機半導体層４よりも、非金属含有材料により形成された追加有機半導体１１を主要な電流の経路Ｐ１とするためには、前者の厚さを後者の厚さよりも小さくすることが好ましい。電流の経路Ｐ１を確保するためには追加有機半導体層１１の厚さを十分に大きくする必要があるのに対して、有機半導体層４の厚さはエッチングストッパとして機能できる厚さであれば済むからである。
【００６０】
また、図１では、有機ＴＦＴをトップコンタクト・ボトムゲート型にしたが、図６に示したように、トップコンタクト・トップゲート型にしてもよい。この有機ＴＦＴは、例えば、支持基体１の上に、有機半導体層４と、有機導電層５，６と、ソース電極７およびドレイン電極８と、ゲート絶縁層３と、ゲート電極２とがこの順に積層されたものである。この有機ＴＦＴの詳細な構成および製造方法は、上記したように各構成要素の積層順が異なることを除き、本実施形態と同様である。この場合においても、トップコンタクト・ボトムゲート型である場合（図１）と同様の作用が得られるため、同様の効果を得ることができる。
【００６１】
＜４．薄膜トランジスタの適用例（電子機器）＞
次に、上記した薄膜トランジスタである有機ＴＦＴの適用例について説明する。この有機ＴＦＴは、例えば、以下で説明するように、いくつかの電子機器に適用可能である。
【００６２】
＜４−１．液晶表示装置＞
有機ＴＦＴは、例えば、液晶表示装置に適用される。図７および図８は、それぞれ液晶表示装置の断面構成および回路構成を表している。なお、以下で説明する装置構成（図７）および回路構成（図８）はあくまで一例であるため、それらの構成は適宜変更可能である。
【００６３】
ここで説明する液晶表示装置は、例えば、有機ＴＦＴを用いたアクティブマトリクス駆動方式の透過型液晶ディスプレイであり、その有機ＴＦＴは、スイッチング（画素選択）用の素子として用いられる。この液晶表示装置は、図７に示したように、駆動基板２０と対向基板３０との間に液晶層４１が封入されたものである。
【００６４】
駆動基板２０は、例えば、支持基板２１の一面に有機ＴＦＴ２２、平坦化絶縁層２３および画素電極２４がこの順に積層されると共に、有機ＴＦＴ２２および画素電極２４がマトリクス状に配置されたものである。ただし、１画素内に含まれる有機ＴＦＴ２２の数は、１つでもよいし、２つ以上でもよい。図７および図８では、例えば、１画素内に１つの有機ＴＦＴ２２が含まれる場合を示している。
【００６５】
支持基板２１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などの透過性材料により形成されており、有機ＴＦＴ２２は、上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有している。プラスチック材料の種類は、例えば、有機ＴＦＴについて説明した場合と同様であり、そのことは、以降で説明する場合においても同様である。平坦化絶縁層２３は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されており、画素電極２４は、例えば、ＩＴＯなどの透過性導電性材料により形成されている。なお、画素電極２４は、平坦化絶縁層２３に設けられたコンタクトホール（図示せず）を通じて有機ＴＦＴ２２に接続されている。
【００６６】
対向基板３０は、例えば、支持基板３１の一面に対向電極３２が全面形成されたものである。支持基板３１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などの透過性材料により形成されており、対向電極３２は、例えば、ＩＴＯなどの透過性導電性材料により形成されている。
【００６７】
駆動基板２０および対向基板３０は、液晶層４１を挟んで画素電極２４と対向電極３２とが対向するように配置されていると共に、シール材４０により貼り合わされている。液晶層４１に含まれる液晶分子の種類は、任意に選択可能である。
【００６８】
この他、液晶表示装置は、例えば、位相差板、偏光板、配向膜およびバックライトユニットなどの他の構成要素（いずれも図示せず）を備えていてもよい。
【００６９】
液晶表示装置を駆動させるための回路は、例えば、図８に示したように、有機ＴＦＴ２２および液晶表示素子４４（画素電極２４、対向電極３２および液晶層４１を含む素子部）と共に、キャパシタ４５を含んでいる。この回路では、行方向に複数の信号線４２が配列されていると共に列方向に複数の走査線４３が配列されており、それらが交差する位置に有機ＴＦＴ２２、液晶表示素子４４およびキャパシタ４５が配置されている。有機ＴＦＴ２２におけるソース電極、ゲート電極およびドレイン電極の接続先は、図８に示した態様に限らず、任意に変更可能である。信号線４２および走査線４３は、それぞれ図示しない信号線駆動回路（データドライバ）および走査線駆動回路（走査ドライバ）に接続されている。
【００７０】
この液晶表示装置では、有機ＴＦＴ２２により液晶表示素子４４が選択され、その画素電極２４と対向電極３２との間に電界が印加されると、その電界強度に応じて液晶層４１における液晶分子の配向状態が変化する。これにより、液晶分子の配向状態に応じて光の透過量（透過率）が制御されるため、階調画像が表示される。
【００７１】
この液晶表示装置によれば、有機ＴＦＴ２２が上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しているので、ソース電極およびドレイン電極と有機半導体層とにおける電荷注入効率の向上と有機ＴＦＴ２２の性能の確保とが両立される。よって、表示性能を向上させることができる。なお、液晶表示装置は、透過型に限らずに反射型でもよい。
【００７２】
＜４−２．有機ＥＬ表示装置＞
有機ＴＦＴは、例えば、有機ＥＬ表示装置に適用される。図９および図１０は、それぞれ有機ＥＬ表示装置の断面構成および回路構成を表している。なお、以下で説明する装置構成（図９）および回路構成（図１０）はあくまで一例であるため、それらの構成は適宜変更可能である。
【００７３】
ここで説明する有機ＥＬ表示装置は、例えば、有機ＴＦＴをスイッチング用の素子として用いたアクティブマトリクス駆動方式の有機ＥＬディスプレイである。この有機ＥＬ表示装置は、駆動基板５０と対向基板６０とが接着層７０を介して貼り合わされたものであり、例えば、対向基板６０を経由して光を放出するトップエミッション型である。
【００７４】
駆動基板５０は、例えば、支持基板５１の一面に有機ＴＦＴ５２、保護層５３、平坦化絶縁層５４、画素分離絶縁層５５、画素電極５６、有機層５７、対向電極５８および保護層５９がこの順に積層されたものである。有機ＴＦＴ５２、画素電極５６および有機層５７は、マトリクス状に配置されている。ただし、１画素内に含まれる有機ＴＦＴ５２の数は、１つでもよいし、２つ以上でもよい。図９および図１０では、例えば、１画素内に２つの有機ＴＦＴ５２（選択用ＴＦＴ５２Ａおよび駆動用ＴＦＴ５２Ｂ）が含まれる場合を示している。
【００７５】
支持基板５１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などにより形成されている。トップエミッション型では対向基板６０から光が取り出されるため、支持基板５１は、透過性材料または非透過性材料のいずれにより形成されていてもよい。有機ＴＦＴ５２は、上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しており、保護層５３は、例えば、ＰＶＡまたはポリパラキシリレンなどの高分子材料により形成されている。平坦化絶縁層５４および画素分離絶縁層５５は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されている。この画素分離絶縁層５５は、例えば、形成工程を簡略化すると共に所望の形状に形成可能にするために、光パターニングまたはリフローなどにより成形可能な感光性樹脂材料により形成されていることが好ましい。なお、保護層５３により十分な平坦性が得られていれば、平坦化絶縁層５４は省略されてもよい。
【００７６】
画素電極５６は、例えば、アルミニウム、銀、チタンまたはクロムなどの反射性材料により形成されており、対向電極５８は、例えば、ＩＴＯまたはＩＺＯなどの透過性導電性材料により形成されている。ただし、カルシウム（Ｃａ）などの透過性の金属材料またはその合金や、ＰＥＤＯＴなどの透過性の有機導電性材料により形成されていてもよい。有機層５７は、例えば、赤色、緑色または青色などの光を発生させる発光層を含んでおり、必要に応じて正孔輸送層および電子輸送層などを含む積層構造を有していてもよい。発光層の形成材料は、発生させる光の色に応じて任意に選択可能である。画素電極５６および有機層５７は、画素分離絶縁層５５により分離されながらマトリクス状に配置されているのに対して、対向電極５８は、有機層５７を介して画素電極５６に対向しながら各画素を経由するように連続的に延在している。保護層５９は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、ポリパラキシリレンまたはウレタンなどの光透過性誘電材料により形成されている。なお、画素電極５６は、保護層５３および平坦化絶縁層５４に設けられたコンタクトホール（図示せず）を通じて有機ＴＦＴ５２に接続されている。
【００７７】
対向基板６０は、例えば、支持基板６１の一面にカラーフィルタ６２が設けられたものである。支持基板６１は、例えば、ガラスまたはブラスチック材料などの透過性材料により形成されており、カラーフィルタ６２は、有機層５７において発生した光の色に対応する複数の色領域を有している。ただし、カラーフィルタ６２はなくてもよい。
【００７８】
接着層７０は、例えば、熱硬化型樹脂などの接着剤である。
【００７９】
有機ＥＬ表示装置を駆動させるための回路は、例えば、図１０に示したように、有機ＴＦＴ５２（選択用ＴＦＴ５２Ａおよび駆動用ＴＦＴ５２Ｂ）および有機ＥＬ表示素子７３（画素電極５６、有機層５７および対向電極５８を含む素子部）と共に、キャパシタ７４を含んでいる。この回路では、複数の信号線７１および走査線７２が交差する位置に、有機ＴＦＴ５２、有機ＥＬ表示素子７３およびキャパシタ７４が配置されている。選択用ＴＦＴ５２Ａおよび駆動用ＴＦＴ５２Ｂにおけるソース電極、ゲート電極およびドレイン電極の接続先は、図１０に示した態様に限らず、任意に変更可能である。
【００８０】
この有機ＥＬ表示装置では、例えば、選択用ＴＦＴ５２Ａにより有機ＥＬ表示素子７３が選択されると、その有機ＥＬ表示素子７３が駆動用ＴＦＴ５２Ｂにより駆動される。これにより、画素電極５６と対向電極５８との間に電界が印加されると、有機層５７において光が発生する。この場合には、例えば、隣り合う３つの有機ＥＬ表示素子７３において、それぞれ赤色、緑色または青色の光が発生する。これらの光の合成光が対向基板６０を経由して外部へ放出されるため、階調画像が表示される。
【００８１】
この有機ＥＬ表示装置によれば、有機ＴＦＴ５２が上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しているので、液晶表示装置と同様に表示性能を向上させることができる。
【００８２】
なお、有機ＥＬ表示装置は、トップエミッション型に限らず、駆動基板５０を経由して光を放出するボトムエミッション型でもよいし、駆動基板５０および対向基板６０の双方を経由して光を放出するデュアルエミッション型でもよい。この場合には、画素電極５６および対向電極５８のうち、光が放出される側の電極が透過性材料により形成され、光が放出されない側の電極が反射性材料により形成されることになる。
【００８３】
＜４−３．電子ペーパー表示装置＞
有機ＴＦＴは、例えば、電子ペーパー表示装置に適用される。図１１は、電子ペーパー表示装置の断面構成を表している。なお、以下で説明する装置構成（図１１）および図８を参照して説明する回路構成はあくまで一例であるため、それらの構成は適宜変更可能である。
【００８４】
ここで説明する電子ペーパー表示装置は、例えば、有機ＴＦＴをスイッチング用の素子として用いたアクティブマトリクス駆動方式の電子ペーパーディスプレイである。この電子ペーパー表示装置は、例えば、駆動基板８０と電気泳動素子９３を含む対向基板９０とが接着層１００を介して貼り合わされたものである。
【００８５】
駆動基板８０は、例えば、支持基板８１の一面に有機ＴＦＴ８２、保護層８３、平坦化絶縁層８４および画素電極８５がこの順に積層されると共に、有機ＴＦＴ８２および画素電極８５がマトリクス状に配置されたものである。支持基板８１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などにより形成されており、有機ＴＦＴ８２は、上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有している。保護層８３および平坦化絶縁層８４は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されており、画素電極８５は、例えば、銀などの金属材料により形成されている。なお、画素電極８５は、保護層８３および平坦化絶縁層８４に設けられたコンタクトホール（図示せず）を通じて有機ＴＦＴ８２に接続されている。また、保護層８３により十分な平坦性が得られていれば、平坦化絶縁層８４は省略されてもよい。
【００８６】
対向基板９０は、例えば、支持基板９１の一面に対向電極９２および電気泳動素子９３がこの順に積層されると共に、その対向電極９２が全面形成されたものである。支持基板９１は、例えば、ガラスまたはプラスチック材料などの透過性材料により形成されており、対向電極９２は、例えば、ＩＴＯなどの透過性導電性材料により形成されている。電気泳動素子９３は、電気泳動現象を利用してコントラストを生じさせるものであり、その構成は任意である。
【００８７】
この他、電子ペーパー表示装置は、例えば、カラーフィルタなどの他の構成要素（図示せず）を備えていてもよい。
【００８８】
電子ペーパー表示装置を駆動させるための回路は、例えば、図８に示した液晶表示装置の回路と同様の構成を有している。電子ペーパー表示装置の回路は、有機ＴＦＴ２２および液晶表示素子４４の代わりに、それぞれ有機ＴＦＴ８２および電子ペーパー表示素子（画素電極８５、対向電極９２および電気泳動素子９３を含む素子部）を含んでいる。
【００８９】
この電子ペーパー表示装置では、有機ＴＦＴ８２により電子ペーパー表示素子が選択され、その画素電極８５と対向電極９２との間に電界が印加されると、その電界に応じて電気泳動素子９３においてコントラストが生じるため、階調画像が表示される。
【００９０】
この電子ペーパー表示装置によれば、有機ＴＦＴ８２が上記した有機ＴＦＴと同様の構成を有しているので、液晶表示装置と同様に表示性能を向上させることができる。
【００９１】
以上、実施形態を挙げて本技術を説明したが、本技術は実施形態で説明した態様に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、本技術の薄膜トランジスタが適用される電子機器は、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置または電子ペーパー表示装置に限らず、他の表示装置でもよい。このような他の表示装置としては、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）表示部（ＭＥＭＳ型ディスプレイ）などが挙げられる。この場合においても、表示性能を向上させることができる。
【００９２】
また、例えば、本技術の薄膜トランジスタは、表示装置以外の他の電子機器に適用されてもよい。このような電子機器としては、例えば、センサマトリクス、メモリセンサ、ＲＦＩＤタグ（Radio Frequency Identification）またはセンサアレイなどが挙げられる。この場合においても、性能向上を図ることができる。
【符号の説明】
【００９３】
１…支持基体、２…ゲート電極、３…ゲート絶縁層、４…有機半導体層、５，６，９…有機導電層、７…ソース電極、８…ドレイン電極、１０…反応物、Ｐ１…電流経路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成された有機半導体層と、
互いに離間されたソース電極およびドレイン電極と、
前記有機半導体層と前記ソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において前記有機半導体層と前記ソース電極およびドレイン電極との間に挿入され、前記エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成された有機導電層とを備えた、
薄膜トランジスタ。
【請求項２】
前記エッチングガスは酸素（Ｏ2 ）およびハロゲンのうちの少なくとも１種の活性ガスを含み、
前記金属元素および非金属元素はベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、カルシウム（Ｃａ）、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）、ガリウム（Ｇａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、テクネチウム（Ｔｃ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、カドミウム（Ｃｄ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、バリウム（Ｂａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、レニウム（Ｒｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、水銀（Ｈｇ）、タリウム（Ｔｌ）、鉛（Ｐｂ）、ビスマス（Ｂｉ）、ポロニウム（Ｐｏ）、ホウ素（Ｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ヒ素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）およびテルル（Ｔｅ）のうちの少なくとも１種である、
請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項３】
前記金属含有材料は、前記金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む基を有する有機半導体材料であり、
前記非金属含有材料は、前記金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない有機導電性材料または有機半導体材料である、
請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項４】
前記エッチングガスは酸素を含み、
前記金属含有材料はケイ素（Ｓｉ）を構成元素として含み、
前記非金属含有材料はケイ素を構成元素として含まない、
請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項５】
前記有機導電層は、前記ソース電極およびドレイン電極と前記有機半導体層との電荷注入効率を向上させるためのホール注入層である、請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項６】
エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料を用いて、有機半導体層を形成し、
前記有機半導体層の上に、前記エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料を用いて、有機導電層を形成し、
前記有機導電層の上に、互いに離間されたソース電極およびドレイン電極を形成し、
前記エッチングガスを用いて、前記ソース電極およびドレイン電極をマスクとして前記有機導電層をエッチングする、
薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項７】
前記請求項１ないし請求項５に記載した薄膜トランジスタを用いた電子機器。
【請求項１】
エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料により形成された有機半導体層と、
互いに離間されたソース電極およびドレイン電極と、
前記有機半導体層と前記ソース電極およびドレイン電極とが重なる領域において前記有機半導体層と前記ソース電極およびドレイン電極との間に挿入され、前記エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料により形成された有機導電層とを備えた、
薄膜トランジスタ。
【請求項２】
前記エッチングガスは酸素（Ｏ2 ）およびハロゲンのうちの少なくとも１種の活性ガスを含み、
前記金属元素および非金属元素はベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、カルシウム（Ｃａ）、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）、ガリウム（Ｇａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、テクネチウム（Ｔｃ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、カドミウム（Ｃｄ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、バリウム（Ｂａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、レニウム（Ｒｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、水銀（Ｈｇ）、タリウム（Ｔｌ）、鉛（Ｐｂ）、ビスマス（Ｂｉ）、ポロニウム（Ｐｏ）、ホウ素（Ｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ヒ素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）およびテルル（Ｔｅ）のうちの少なくとも１種である、
請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項３】
前記金属含有材料は、前記金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む基を有する有機半導体材料であり、
前記非金属含有材料は、前記金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない有機導電性材料または有機半導体材料である、
請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項４】
前記エッチングガスは酸素を含み、
前記金属含有材料はケイ素（Ｓｉ）を構成元素として含み、
前記非金属含有材料はケイ素を構成元素として含まない、
請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項５】
前記有機導電層は、前記ソース電極およびドレイン電極と前記有機半導体層との電荷注入効率を向上させるためのホール注入層である、請求項１記載の薄膜トランジスタ。
【請求項６】
エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含む金属含有材料を用いて、有機半導体層を形成し、
前記有機半導体層の上に、前記エッチングガスと反応可能な金属元素および半金属元素のうちの少なくとも一方を含まない非金属含有材料を用いて、有機導電層を形成し、
前記有機導電層の上に、互いに離間されたソース電極およびドレイン電極を形成し、
前記エッチングガスを用いて、前記ソース電極およびドレイン電極をマスクとして前記有機導電層をエッチングする、
薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項７】
前記請求項１ないし請求項５に記載した薄膜トランジスタを用いた電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−４５６４（Ｐ２０１３−４５６４Ａ）
【公開日】平成２５年１月７日（２０１３．１．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１３１１０３（Ｐ２０１１−１３１１０３）
【出願日】平成２３年６月１３日（２０１１．６．１３）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月７日（２０１３．１．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月１３日（２０１１．６．１３）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]