半導体装置およびその製造方法
【課題】高速かつ低消費電力、高記憶密度な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板中のp型およびn型ウェル上にLa、Al、Oからなる第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成し、第1、第2非晶質絶縁膜上に、その酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が第2非晶質絶縁膜の酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい第1ゲート電極を形成し、その後形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理し、その後、第1ゲート電極上に金属膜を形成し、第1ゲート電極と金属膜を固相反応させ、第2ゲート電極を形成する。
【解決手段】半導体基板中のp型およびn型ウェル上にLa、Al、Oからなる第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成し、第1、第2非晶質絶縁膜上に、その酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が第2非晶質絶縁膜の酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい第1ゲート電極を形成し、その後形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理し、その後、第1ゲート電極上に金属膜を形成し、第1ゲート電極と金属膜を固相反応させ、第2ゲート電極を形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、MIS(MOS)構造を備える半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
シリコン超集積回路は、将来の高度情報化社会を支える基盤技術の一つである。集積回路の高機能化には、その構成要素であるMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)、CMISFET(Complementary MISFET)、NANDフラッシュメモリ等の半導体素子の高性能化が必要である。素子の高性能化は基本的には比例縮小則により行われてきたが、近年、種々の物性的限界により素子の極微細化による高性能化が困難な状況にある。
【0003】
例えば、従来のゲート絶縁膜SiONは近年の薄膜化の要請に応えることが出来なくなると予測されている。そこで、SiONよりも比誘電率の高い、いわゆるHigh-kゲート絶縁膜の導入が検討されている。これまで、HfO2、HfSiONなどの、Hfを含High-Kゲート絶縁膜が開発されてきた。一方、La−Al−Oからなるゲート絶縁膜技術があった(非特許文献1参照)。La−Al−Oゲート絶縁膜は、Hf系のHigh-kゲート絶縁膜よりもSiO2換算膜厚が低く出来るという特質を有しているので、将来のCMISFETに適している。しかし、La−Al−Oゲート絶縁膜は、Hf系のHigh-kゲート絶縁膜よりもトランジスタのキャリア移動度が低いという課題があった(非特許文献1参照)。キャリアの移動度が低いとMISFETのスピードが劣化する。
【0004】
また、La2O3からなる、SiO2換算膜厚を低くするのに適したゲート絶縁膜技術があった(非特許文献2参照)。La2O3には空気中の水分吸収による絶縁膜の比誘電率性能劣化という課題がある(非特許文献3参照)。
【0005】
情報処理を担う上記MISFETに加え、情報を記憶するメモリ素子の高密度化が重要である。特に、NANDタイプのファイルメモリとして、MONOS積層構造が開発されている。MONOS構造においては、中央の”N”層、すなわちトラップ層に電荷を出し入れして情報を記憶する。”M”層はゲート電極である。ゲート電極とトラップ層に挟まれる”O”層はブロック層と呼ばれ、トラップ層の電荷がゲート電極に散逸するのを防ぎつつ、ゲート電極とトラップ層の電気的結合を強く保つような性質が求められる。すなわち、漏れ電流密度が低く、比誘電率が高い材料が必要である。
【非特許文献1】M.Suzuki et al., "Ultra-thin (EOT=3Å) and low leakage dielectrics of La-aluminate directly on Si substrate fabricated by high temperature deposition", 2004 IEDM, p.p.445-448
【非特許文献2】K.Ohmori et al., "Wide Controllability if Flatband Voltage in La2O3 Gate Stack Structures - Remarkable Advantages of La2O3 over HfO2", 2006 SSDM, p.p.210-211
【非特許文献3】Yi Zhao et al., "Moisture-absorption-induced permittivity deterioration and surface roughness enhancement of lanthanaum oxide films on silicon", Appl.Phys.Lett.88, 2006, p.p.072904-1~3
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記のように、将来の高速・低消費電力半導体に必要な、大きなゲート絶縁膜容量を有するゲート絶縁膜として、La−Al−Oなどの直接接触型ゲート絶縁膜が有望である。しかし、直接接触界面構造に起因したキャリア散乱によってMISFETの性能向上が部分的に阻害されていた。また、MONOS構造のゲートスタック型メモリにおいてはLa−Al−Oからなるブロック層とその下方に位置するトラップ層の絶縁膜界面に電荷とラップ、固定電荷が生じた場合、意図しないしきい値シフトや書込み条件の変動が起きてしまう。
【0007】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、高品質な絶縁膜界面制御を行うことで、界面のキャリア散乱要因を低減化し、MISFET性能を向上させるとともに、MONOSメモリの意図しないしきい値シフトや書込み条件の変動を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置の製造方法の第1は、半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、前記酸素雰囲気での熱処理後、前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極上に金属膜を形成する工程と、前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極と第2ゲート電極を固相反応させ、第2ゲート電極を形成する工程とを具備することを特徴とする。
【0009】
本発明の半導体装置の製造方法の第2は、半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、前記p型半導体領域上に位置する前記第1ゲート電極を除去する工程と、前記第1ゲート電極を除去する工程後、前記p型半導体領域上に、第2ゲート電極を形成する工程とを具備することを特徴とする。
【0010】
本発明の半導体装置の製造方法の第3は、半導体領域上に少なくともシリコン、酸素を含む下部絶縁膜を形成する工程と、前記下部絶縁膜上に電荷を捕獲する機能を有する中間部絶縁膜を形成する工程と、前記中間部絶縁膜上にLa、Al、Oを含む非晶質の上部絶縁膜を形成する工程と、前記上部絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記上部絶縁膜の1酸素原子あたりの標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含むゲート電極を形成する工程と、前記半導体領域、下部絶縁膜、中部絶縁膜、上部絶縁膜、ゲート電極の積層構造を酸素雰囲気で熱処理する工程とを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、絶縁膜界面の固定電荷密度を低減した半導体装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
本発明は、La−Al−Oからなるゲート絶縁膜、ブロック層絶縁膜の、半導体あるいは絶縁体との界面近傍欠陥を有効に減少させるために、通常の製造方法の一部を改良し、低温酸素アニールを施すことに特徴がある。実施形態の説明に先立ち、半導体上に絶縁膜を形成した場合の具体的な実験結果を元に、本発明の概要を説明する。
【0013】
先ず、シリコンからなる半導体上に、通常の工程でLa−Al−Oからなるゲート絶縁膜を形成する。シリコン基板の温度を200〜600℃程度に保ったままLa−Al−O膜を堆積後、400℃の熱処理を施す。続いて、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成し、通常の工程で水素を含む雰囲気中、400〜500℃程度の条件で加熱処理を行う。
【0014】
図1は、水素を含む雰囲気中の熱処理(FGA:Forming Gas Anneal)前後での、MISキャパシタのフラットバンド電圧VfbとSiO2換算膜厚Teffの関係を示したものである。実験データを最小自乗法でフィッティングした結果を実線で示す。なお、MISキャパシタの電極にはPtを使用しており、φeffは仕事関数を表わす。
【0015】
図1に示すように、この実線が直線的であることは、今回評価したMISキャパシタ構造において、余剰な電荷はゲート絶縁膜/シリコン基板界面に局在していることを示唆している。また、この直線の傾きは上記界面に局在化した電荷の符号と量を反映している。上記MIS構造の場合には、界面電荷の符号は正であり、水素雰囲気熱処理を行う前の界面電荷密度は4×1012/cm2であり、水素雰囲気熱処理後の界面電荷密度は2×1012/cm2であった。これは、La−Al−O/Si界面の欠陥が水素によって終端されたためと推定される。一方、水素雰囲気熱処理後の界面電荷密度はSiO2/Si系の典型的な電荷密度よりもはるかに大きい。
【0016】
水素を含む雰囲気における熱処理(FGA)は、従来のSiO2/Si系でも用いられている工程であり、その役割はSiO2/Si界面に残留する構造欠陥(シリコンのダングリングボンドなど)の水素による終端とそれに基づく電気的不活性化である。すなわち、図1の実験結果は、La−Al−Oゲート絶縁膜と半導体シリコンの界面欠陥の中には、水素では終端できない特質を有するものが含まれていることを示唆する。
【0017】
上記の実験結果から、発明者らは、界面に存在する水素で終端できない構造欠陥を不活性化することが、同界面の電気的特性向上のために不可欠であるという結論を得た。ここで、La−Al−O/Si界面を例に、界面の原子結合の様子を考えてみる。La−Al−O膜において、La、Alは常にOと結合している。また、Siとの界面では、La、Alは直接Siに結合するのではなく、Oを介して結合していると推定される。その方がエネルギー的に安定なためである。ここで、図1で観測された、水素では終端できない界面の欠陥は、La,AlとSiの間を架橋する酸素がその位置から逸脱しているものであるという仮定が成り立つ。La、Al、Siなどに比べてOは固体中を移動しやすい性質を持ち、系の外部に散逸できる可能性が高いためである。
【0018】
発明者らは、上記仮定に基づいて、図1の実験に加え、同構造を酸素雰囲気で熱処理し、界面電荷の低減を試みた。図2にその実験結果を示す。この場合の酸素熱処理条件は、一気圧の酸素雰囲気、400℃、30分であった。酸素熱処理後の界面電荷密度Nfは2×1011/cm2と、一桁あまり低減した。この結果は、上記仮説がある程度的を射たものであることを示唆している。同様の効果は、ゲート電極をAuに変えた場合の同様な実験でも得られた。その結果を図3に示す。
【0019】
ここで、酸素熱処理後のSiO2換算膜厚が若干厚くなっている点には注意が必要である。なぜならば、酸素熱処理によって、La−Al−O/Si界面に厚いSiO2が成長しているのであれば、図2、3の実験結果はLa−Al−O/Si界面における欠陥終端・不活性化の反映と言うよりは、SiO2/Si界面の特性を見ていると言うべきであり、界面電荷密度は低下して然るべき、と言えるからである。ここで、酸素雰囲気熱処理によって得られる界面固定電荷密度の低減効果が、La−Al−O/Si界面の欠陥回復によって得られるのかという点が重要である。
【0020】
図4は、Au/La−Al−O/Si−MIS構造において、上記酸素熱処理を施したときの容量―電圧特性の変化である。ここで、酸素熱処理によって2つの変化が起きている。一つは、フラットバンド電圧Vfbの大きな正電圧側へのシフト(〜0.42eV)である。これは図3にも矢印で示したとおりのものであり、酸素熱処理後のフラットバンド電圧Vfbは、Au本来の真空仕事関数と半導体Siのフェルミレベルから計算される理想的な値に近い。すなわち、MIS構造内部に余剰な電荷が極めて少ないことを示唆している。
【0021】
図4のもう一点の特徴は、SiO2換算膜厚(Teff)の増加である。この場合、酸素熱処理によって約0.3nmのSiO2換算膜厚増加(Teff:5.3→5.6nm)が起きていることがわかった。これはLa−Al−O/Si界面に供給された酸素に起因したものと推定される。ここで、Sio2/Si界面遷移領域(原子層にして1層程度)の厚みが0.3nm程度であることを考慮すると、本実施形態の酸素熱処理によるTeffの増加は界面の原子層1層程度のごくわずかな構造変化を反映したものと言える。
【0022】
以上のように、図3より、SiO2換算膜厚にして界面構造遷移層程度の高々0.3nmの増加に対して、著しい界面固定電荷密度の低減作用が得られていることが示唆された。これは、La−Al−O/Si系の界面電荷を低減するためには、界面においてごくわずかの酸素を供給して欠陥を修復すれば十分であることを意味する。LaあるいはAlとSiを架橋する部分の酸素欠損を補填することにより、本実施形態の固定電荷削減効果が発揮されるとと推定される。
【0023】
温度、時間、酸化種の形態などの条件に関しては、上記のように、界面近傍の欠陥が修復されるように適宜選択される。
【0024】
本発明の最大の特徴は、ゲート電極の形成後、酸素熱処理を施す点にあるといえる。実験手順を見直してみると、La−Al−O膜の堆積後に、400℃、一気圧での酸素熱処理を行っている。しかし、図1、2に示すように、La−Al−O膜の堆積後酸素アニールを施したとしても、その界面電荷密度は4×1012/cm2 と非常に大きい。すなわち、ゲート電極形成後に系に酸素を導入したときにだけ、図2に示すような界面電荷の低減が実現する。これは、ゲート電極である金属膜の存在によって、酸素がエネルギー的に活性な状態へと励起され、La−Al−O/Si界面の欠陥を効率的に修復するためだと思われる。
【0025】
また、本発明のゲート電極の満たすべき性質として、ゲート電極を構成する金属の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が、La−Al−Oのそれよりも小さいことがあげられる。この条件を満たすゲート電極であれば、LSIの製造工程、特に本実施形態に固有なゲート電極形成後の酸素雰囲気熱処理工程に際しても、La−Al−Oを還元することがない。これにより、固定電荷低減によるトランジスタ動作速度の向上効果を確実に獲得しつつ、リーク電流の増大などの副作用を防ぐことができる。ゲート絶縁膜La−Al−Oを還元する作用を有さない金属としては、例に挙げたPt,Auのほかに、Ni,Ag,Ir,In,W、Mo、Ta,Ruが挙げられる。これら金属材料の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーを図5にまとめる。
【0026】
特にPtはその表面で酸素分子を解離吸着する作用を有しており、活性な酸素原子の供給を効率的に行えるため、界面電荷の低減を効果的に行うことができる。また、Wは酸素を励起状態にさせ化学反応を効率的に進行させる触媒作用を有しているため、界面欠陥の修復による界面電荷の低減を効率的に行うことができる。
【0027】
トランジスタ製造工程を通してゲート電極の物性が安定していることが望ましい。この観点からPt、Au、Ag、Ir、Pd、Re、W、Mo、Ta、Ruがよい。また、W、Mo、Taの窒化物、炭化物、および硼化物のいずれか、Pt、Ag,Ir、Pd、Re、W、Mo、Taの珪化物或いは窒素珪化物、Ruの酸化物、酸化珪化物、珪化物および窒素珪化物のいずれかなどは耐熱性を向上させる観点から望ましい。
【0028】
本発明の原理から言えば、ゲート電極を形成した後の通常酸素処理でなく、La−Al−Oなどのゲート絶縁膜の堆積後熱処理において、活性な酸素を用いた処理を行えば、界面電荷は著しく低減するものと推定できる、しかしながら、ゲート電極の形成工程はMIS構造に対し欠陥を導入し得る。本発明のように、メタルゲート工程の後に界面電荷を低減するための酸素熱処理を行うことは、ゲート電極工程において導入された界面欠陥をも修復できるというメリットを有する。
【0029】
ここで、非特許文献2と本発明の差異について解説する。非特許文献2では、Pt−W合金/La2O3/SiからなるMIS構造を後酸化し、Pt−W合金比に応じた容量−電圧特性の変化を調べている。この文献によると、La2O3は、ゲート電極側が多結晶状態となり、Si側はLa2O3膜へのSi拡散によって非晶質となっている。La2O3にSiが拡散することは、絶縁膜の比誘電率を低下させることにつながるため、望ましくない。
【0030】
また、上部La2O3層が多結晶化していることは、結晶粒界において酸素の局所的な拡散速度の上昇をもたらすので、MIS構造の基板面内方向に不均質な酸素の供給、ひいては不均一なSi基板酸化が引き起こされる。空間的に不均一なSi基板酸化は、構造的な凹凸による界面欠陥の発生、SiO2換算膜厚のデバイス間揺らぎの原因となり、好ましくない。
【0031】
これに対し、本発明で用いたLa−Al−Oでは、製造工程を通して非晶質の状態を維持し、Siが膜中に拡散することはない。このため、非特許文献2のような問題は原理的に生じない。
【0032】
また、La2O3は吸湿による比誘電率の劣化という本来的な課題を有するが、La−Al−Oには、このような性質は無く好ましい。
【0033】
本発明のプロセスの効果は、La,AlとSiの間を架橋する酸素がその位置から逸脱した欠陥を、ゲート電極の作用によって活性化された酸素によって修復する、というものであった。この観点からは、本発明の効果はLa−Al−O/Si直接接合界面だけでなく、La−Al−OとSiの界面にSiO2、SiONなどのシリコンを含むバッファ層が存在する場合にも有効である。
【0034】
MONOSのブロック層にLa−Al−Oを用い、トラップ層にシリコン窒化膜を用いた場合について述べる。発明の原理は上記のCMISの場合と同様である。すなわち、ゲート電極/La−Al−O/シリコン窒化膜(トラップ層)/トンネル酸化膜/半導体構造を低温酸化処理することによって、La−Al−O/シリコン窒化膜界面のSi−O−(LaあるいはAl)のOが欠損した部分の補修が行われ、同界面の電荷トラップ、固定電荷などの不安定要因を取り除くことができる。
【0035】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図面は、発明の説明とその理解を促すための模式図であり、その形状や寸法、比などは実際の装置と異なる個所があるが、これらは以下の説明と公知の技術を参酌して適宜、設計変更することができる。
【0036】
(第1実施形態)
図6は、第1の実施形態に係る半導体装置の断面図である。本実施形態の半導体装置は、CMISFETであって、図6はそのゲート長方向の断面を示す。
【0037】
図6に示すようにシリコン基板1中に、p型ウェル領域2と、n型ウェル領域3とが形成され、これらウェル領域2,3はSiO2などからなる素子分離層4によって電気的に絶縁されている。p型ウェル領域2にはnチャネルMISトランジスタが形成され、n型ウェル領域3にはpチャネルMISトランジスタが形成されている。
【0038】
nチャネルMISトランジスタは、p型ウェル領域2上に形成されたゲート絶縁膜5と、ゲート絶縁膜5上に形成されたゲート電極6と、ゲート電極6の側部に形成されたゲート側壁絶縁膜8と、ゲート電極6の両側のp型ウェル領域2に形成されたn型エクステンション層9と、ゲート側壁絶縁膜8の両側のp型ウェル領域2に形成されたn型拡散層10とを備えている。n型拡散層10は、n型エクステンション層9よりもp型ウェル領域2との接合深さが深くなるように構成され、n型拡散層10およびn型エクステンション層9がnチャネルMISトランジスタのソース・ドレイン領域となる。ここで、ソース・ドレイン領域は、半導体が高濃度にドーピングされた領域であっても良いし、あるいは金属シリサイドであってもよい。
【0039】
pチャネルMISトランジスタは、n型ウェル領域3上に形成されたゲート絶縁膜15と、ゲート絶縁膜15上に形成されたゲート電極16と、ゲート電極16の側部に形成されたゲート側壁絶縁膜18と、ゲート電極16の両側のn型ウェル領域3に形成されたp型エクステンション層19と、ゲート側壁絶縁膜18の両側のn型ウェル領域3に形成されたp型拡散層20とを備えている。p型拡散層20は、p型エクステンション層19よりもn型ウェル領域3との接合深さが深くなるように構成され、p型拡散層20およびp型エクステンション層19がp型MISトランジスタのソース・ドレイン領域となる。nチャネルMISトランジスタおよびpチャネルMISトランジスタは層間絶縁膜24によって覆われている。ゲート絶縁膜5、15は非晶質状態のLa−Al−Oで形成されている。
【0040】
次に、第1の実施形態の半導体装置の製造方法を、図7乃至図11を参照して説明する。先ず、図7に示すように、シリコン基板1に素子分離層4を形成した後、イオン注入によりp型ウェル領域2、n型ウェル領域3を形成する。素子分離は、局所酸化法や、STI(Shallow Trench Isolation)法で形成することもできるし、メサ型でも構わない。続いて、通常のダミーゲートトランジスタプロセスを用いて、ゲート溝26を有する構造を作成する。
【0041】
次に、図8に示すように、ゲート溝26の底部に、ゲート絶縁膜として膜厚2nmのLa−Al−O膜5、15を、例えば、レーザーアブレーション法を用て成膜する。より詳細には、Si基板表面の自然酸化膜を通常のウェットエッチングに除去した後、直ちに成膜用の真空装置に搬送する。LaAlO3に組成比が調整された成膜ターゲットを用い、KrFエキシマレーザー(λ=248nm)を用いてレーザーアブレーション成膜を行う。成膜時の基板温度は400〜800℃に保持され、成膜時には2sccmの酸素ガスを供給する。この際、酸素の供給を行わず、真空中での成膜を行ってもよい。
【0042】
ここで、ゲート絶縁膜の形成はレーザーアブレーションに限定されるわけではなく、分子ビームエピタキシー法、スパッタリング法など、他の方法でもよい。なお、図8ではゲート溝26の底部にのみLa−Al−O膜が形成されているが、ゲート溝20の側面あるいは層間絶縁膜24上にLa−Al−O膜が形成されていても構わない。
【0043】
La−Al−Oの組成は、本実施形態の場合にはLa/Al/O〜1/1/3である。この組成比はLa−Al−O絶縁膜の化学量論比であり、膜が化学的に極めて安定な状態にある。La−Al−Oが非晶質を保ち構造的に安定であることは、トランジスタ特性のばらつきの少なさ、不良率の低さなどにつながるため、La−Al−Oの組成としては1/1/3に近いことが望ましい。La/Alの比率は、膜の化学的安定性の観点から、0.9〜1.1の範囲にあるようにする。
【0044】
また、一般に膜のLa比率が著しく多いと、Siとの界面に正の固定電荷が形成されやすく、逆に膜のAl比率が著しく多いと、Siとの界面に負の固定電荷が形成されやすい。あまりに高密度の固定電荷が形成されると、本実施形態の製造方法においてそれを回復させることが困難となるため、La/Al比率は0.9〜1.1程度が適正である。
【0045】
その後、堆積したゲート絶縁膜の高品質化を目的とした堆積後熱処理を行う。このプロセスは、堆積直後のLa−Al−O膜中に含まれる酸素欠損、ひずんだ結合などの不完全性を回復させるのが目的である。一例として、一気圧の酸素雰囲気で、400℃、5分の熱処理を施す。雰囲気には酸素が含まれていることが不可欠であり、酸素は分子状酸素、原子状酸素、励起状態の酸素、N2O、NO、オゾン等、いずれでも良い。温度は200℃以上、600℃以下が好ましく、400℃以下とするのがより好ましい。
【0046】
その後、図9に示すように、既存の方法によって、例えばRu層21をCVDにより10nm成膜し、ゲート電極21を形成する。続いて、一気圧の酸素雰囲気中で、400℃、30分の熱処理を行う。これにより、先に説明したようにLa−Al−OとSiの界面電荷が著しく減少する。
【0047】
ここで、酸化条件としては、界面酸素欠陥を補うような条件が適宜選ばれる。ただし熱処理温度としては、極端なSi基板の再酸化が起きない条件が相応しく、その観点からは、500℃以下が好ましい。より望ましくは、400℃以下のプロセス条件を採用することで、Si基板の再酸化による絶縁膜容量の低減、これに伴うトランジスタ動作速度の劣化を抑えることが出来る。
【0048】
また、本発明では、金属ゲートによる酸化種の活性化が行われるため、欠陥回復作用に対する酸化雰囲気の影響は軽微である。通常のドライ酸素、NO、N2O、水蒸気、オゾン、UV光で励起された酸素、酸素ラジカル、などを用いることが出来る。もっとも酸素回復の効率がよいのは励起状態の酸素を用いることであり、UV酸素、ラジカル酸素等が良い。
【0049】
さらに、nチャネルMISトランジスタのゲート電極を、nチャネルMISトランジスタを低しきい値電圧化するのに相応しい仕事関数材料へと変性させる。本実施形態では、図10に示すように、公知の手法によってnチャネルMISトランジスタ上部にのみ、Er層22を10nm堆積する。
【0050】
引き続いて、450℃、30分の熱処理によって、nチャネルMISトランジスタ上のRu層21とEr層22を固相反応させ、RuEr合金層23とする。引き続いて、タングステンなどの金属層25を全面に堆積し、表面を平坦化することにより、図11に示す構造を得る。図11の構造は図7の構造と等価であり、図11のゲート電極(23+25)、(21+25)が、図7のゲート電極6,16に相当する。
【0051】
本実施形態においては、Ruを堆積した後の酸素熱処理によって、La−Al−O/Si界面電荷が著しく減少している。図12は、そのプロセスの効果を確認するために行った、MISキャパシタ実験の結果である。横軸は絶縁膜のSiO2換算膜厚Teff(単位nm)、縦軸はMISキャパシタのフラットバンド電圧Vfb(単位V)を示す。ひとつのプロットはひとつのMISキャパシタのSiO2換算膜厚とフラットバンド電圧の関係を示しており、これが複数点あるのは、La−Al−O膜の膜厚を意図的に変化させていることを反映している。
【0052】
図12から分かるように、酸素アニールを施す前のRu/La−Al−O/Si−MISキャパシタの実験プロットは、膜厚変化に対し直線上に乗る傾向を見せ、その傾きは大きい。これはMISキャパシタのLa−Al−O/Si界面に、固定電荷が多量に存在することを示している。
【0053】
一方、酸素アニールを施すことにより、実験プロットのSiO2換算膜厚依存性は直線性を保つが、ほとんど傾きを有さなくなることが分かった。この実験結果は、当初多量に存在したLa−Al−Oを含むMISキャパシタ中の固定電荷が、電極形成後の酸素アニールにより著しく低減していることを示唆している。MIS構造内部の固定電荷が低減化されることにより、MISトランジスタのチャネルを走行するキャリアが散乱される確率が低下し、そのスピードが向上される。これにより、トランジスタのスイッチングスピードが、従来のLa−Al−O系よりも著しく向上する。
【0054】
また、本実施形態ではpチャネルMISトランジスタにRuを用いているが、Ruは5eVあまりの仕事関数を有し、pチャネルMISトランジスタのしきい値電圧を低減化している。一方、合金化で形成したErRu層は4eVあまりの仕事関数を有し、nチャネルMISトランジスタのしきい値電圧を低減化している。
【0055】
上記実施形態ではnチャネルMISトランジスタとpチャネルMISトランジスタのゲート電極に、RuEr合金、Ruをそれぞれ用いた。本発明は、これら金属材料系に限定されるものではなく、具体的には、図13に示すような金属の組合せを用いることも可能であり、ほぼ同様な工程を経ることにより、相補型MISトランジスタを形成することができる。
【0056】
(第2の実施形態)
第1の実施形態は、nチャネルMISトランジスタ、pチャネルMISトランジスタともにLa−Al−O上にRuを堆積し、La−Al−O/Si界面電荷を低減化させる酸素熱処理を施した後、nチャネルMISトランジスタのゲート電極を低仕事関数な材料に変性させるものであった。第2の実施形態は、酸素熱処理前に堆積するゲート電極としてタングステンを用いるものである。
【0057】
第1の実施形態の図7、図8の工程を同様に実施する。続いて、図9と同様に、既存の方法によって、W層21をCVDにより10nm成膜し、ゲート電極21を形成する。続いて、一気圧の酸素雰囲気中で、400℃、30分の熱処理を行う。これにより、La−Al−OとSiの界面電荷が著しく減少する。その後、nチャネルMISトランジスタ上のタングステン電極21を除去し、図14の構造を得る。
【0058】
続いて、nチャネルMISトランジスタ上部にのみ、公知のnチャネルMISトランジスタ低しきい値化にふさわしいゲート電極、例えばHfSiN膜27などを堆積し、図15の構造を得る。さらに第1の実施形態の図11と同様に、タングステンなどの金属層25を図15の構造全面に堆積し、その後表面の平坦化を行うことによって、図7の構造を得ることが出来る。但し、図7のゲート電極6,16は、夫々27+25、21+25となる。
【0059】
第2の実施形態では、第1の実施形態と同等の、ゲート電極形成後酸素熱処理による界面電荷低減効果を得ることが出来る。ただし、nチャネルMISトランジスタに関しては、ゲート電極の堆積し直しを行うので、界面電荷はやや増加傾向を示し、トランジスタ性能はやや劣化する危惧がある。
【0060】
但し、第2の実施形態では、固相反応によらない堆積手法でnチャネルMISトランジスタのゲート電極を製造することが出来る。これにより、2層膜の固相反応による合金層形成にありがちなトランジスタサイズ依存性などの潜在的な問題を回避することが出来る。
【0061】
反面、固相反応に比べると、酸素熱処理前に堆積したゲート電極を、nチャネルMISトランジスタ上部のみ除去する工程が追加されるため、工程数が増加してしまうという欠点がある。
このように、第2の実施形態によっても、大きな電流駆動力を有し、リーク電流が少ない半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
【0062】
なお、第2の実施形態では、図15に示す工程において、nチャネルMISトランジスタ上部にのみnチャネルMISトランジスタ低しきい値化にふさわしいゲート電極の堆積を行った。しかしながら、仕事関数に関与するのはゲート絶縁膜直上のゲート電極なので、nチャネルMISトランジスタ低しきい値化にふさわしいゲート電極は、両チャネルMISトランジスタ上部に堆積しても構わない。この場合、nチャネルMISトランジスタ上部にのみ選択的に堆積させなくてもよいので、製造工程が簡略化し、集積化に向くことが期待される。
【0063】
(第3実施形態)
図16は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の断面図である。第3の実施形態の半導体装置はMONOSスタック型メモリであって、複数のメモリセルを備えるが、図15は1メモリ素子の、ワード線方向に垂直な面で切った摸式的な断面を示す。
【0064】
本実施形態に係るメモリセルは、半導体基板30上にトンネル絶縁膜32、トラップ層33、ブロック層34、ゲート電極35がこの順に積層されたゲート積層構造(以下、メモリゲートスタックともいう)を備えている。また、メモリゲートスタックの側部には側壁酸化膜36が設けられている。側部が側壁酸化膜36で被覆されたメモリゲートスタックは、層間絶縁膜37で覆われている。メモリゲートスタックの両側の半導体基板30にはソース・ドレイン領域31が設けられている。個々のスタック型メモリセルは素子分離絶縁膜37で互いに隔てられている。
【0065】
本実施形態では、ブロック層34がLa−Al−O膜で形成されている。これにより、本実施形態のスタック型メモリセルは、漏れ電流が小さく、かつゲート電極35とトラップ層33の電気的容量結合の強い構造となっている。
【0066】
次に、第3の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。通常の工程により、図17に示すようなLa−Al−Oをブロック層に用いたMONOSスタック型メモリセルを形成する。
【0067】
ここで、第1の実施形態と同様にして、MONOSスタック構造を酸素雰囲気で熱処理する。これにより、La−Al−Oブロック層34とシリコン窒化物トラップ層33の界面に存在する(LaあるいはAl)−O−Si連鎖における酸素欠損構造を修復し、これに起因した意図しない電荷トラップ、固定電荷などを消すことができる。
【0068】
酸素熱処理条件については、界面酸素欠陥を補うような条件が適宜選ばれる。熱処理温度としては、第1の実施例と比べて高い温度に設定することが出来る。本実施例ではLa−Al−Oの下部はSi窒化膜であり、Si基板と異なり、著しい酸化が起きることはないためである。ただしあまり高い温度での酸化工程を経ると、金属ゲートの酸化、それに伴うゲート電極はがれなどの問題が発生し、好ましくない。この観点からは、酸化温度は800℃以下程度で実施されることが望ましい。
【0069】
また、本発明では、金属ゲートによる酸化種の活性化が行われるため、欠陥回復作用に対する酸化雰囲気の影響は軽微である。通常のドライ酸素、NO、N2O、水蒸気、オゾン、UV光で励起された酸素、酸素ラジカル等を用いることが出来る。もっとも酸素回復の効率がよいのは励起状態の酸素を用いることであり、UV酸素、ラジカル酸素などが良い。
【0070】
本実施形態のゲート電極35はMONOSスタックセルの製造工程に耐える耐熱性材料である必要があり、W、Mo、Ta、Ruのいずれかからなる金属、あるいはW、Mo、Taの窒化物、炭化物、硼化物、珪化物、および窒素珪化物のいずれか、あるいはRuの酸化物、酸化珪化物、珪化物、および窒素珪化物のいずれかなどで構成できる。これらの材料はいわゆる高融点材料であり、1000℃に迫る本実施形態の製造工程を経ても、それ自体が融解しデバイスの破壊に至ることはない。また、高融点であるが故にスタック構造の界面の安定性も向上する。
【0071】
ここで、MONOSスタックセルのゲート電極の仕事関数が高い方が望ましい。ブロック層の漏れ電流を低く抑える作用があるためである。この観点からは、Wおよびその窒化物、Moおよびその窒化物、Ruおよびその酸化物、酸化珪化物、珪化物、窒素珪化物のいずれかなどが望ましい。
【0072】
La−Al−Oの組成は、本実施例の場合にはLa/Al/O〜1/1/3であった。この組成比はLa−Al−O絶縁膜の化学量論比であり、膜が化学的に極めて安定な状態にある。本実施形態においても、La−Al−Oが非晶質を保ち構造的に安定であることが要件であるので、La−Al−Oの組成としては1/1/3に近いことが望ましい。La/Alの比率としては、0.5〜2の範囲にあればよい。下部がシリコン窒化膜なので、第1実施形態におけるSiとの界面形成の場合と比較して、La−Al−O化学量論比からの組成乖離による固定電荷発生はSi上ほど顕著ではない。したがって、La/Al比率0.5〜2の範囲であれば、本発明の方法で界面欠陥を修復できる。
【0073】
側壁絶縁膜36はシリコン酸化膜でもよいが、シリコン窒化膜も用いることが出来る。図17の構造を酸化処理する際に、シリコン30とトンネル酸化膜32の界面、あるいはトンネル酸化膜32とトラップ層33の界面などに意図しない形で酸素が導入され、これら界面の特性が変動するのを防ぐ目的からすれば、シリコン窒化膜を用いた方が良い。
【0074】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限られず、特許請求の範囲に
記載の発明の要旨の範疇において様々に変更可能である。また、本発明は、実施段階では
その要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。さらに、上記実施形態に
開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【0075】
【図1】本発明の水素雰囲気熱処理によるPt/La−Al−O/Si界面電荷の変化を示す実験結果。
【図2】本発明の酸素雰囲気熱処理によるPt/La−Al−O/Si界面電荷の変化を示す実験結果。
【図3】本発明の水素、酸素雰囲気熱処理によるAu/La−Al−O/Si界面電荷の変化を示す実験結果。
【図4】本発明の酸素雰囲気熱処理によるAu/La−Al−O/Si−MIS構造の容量ー電圧特性の変化を示す実験データ。
【図5】本実施形態に用いることが出来るpチャネルMISトランジスタ用ゲート電極の酸化物の酸素原子数で規格化した標準生成エンタルピーを示す図表。
【図6】本発明の第1実施形態によるCMISFETの断面図。
【図7】第1実施形態によるCMISFETの製造工程を示す断面図。
【図8】図7に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図9】図8に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図10】図9に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図11】図10に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図12】第1の実施形態によって、MISキャパシタの特性が改善されることを示す特性図。
【図13】第1実施形態におけるnチャネルMISトランジスタ、pチャネルMISトランジスタのゲート電極材料組合せを示す図表。
【図14】本発明の第2実施形態に係るCMISFETの製造工程を示す断面図。
【図15】図13に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図16】本発明の第3実施形態に係るMONOS型スタックメモリセルの断面図。
【図17】第3実施形態に係るMONOS型スタックメモリセルの製造工程を説明するための断面図。
【符号の説明】
【0076】
1…シリコン基板
2…p型ウェル領域
3…n型ウェル領域
4…素子分離層
5、15…La−Al−O膜(ゲート絶縁層)
6…ゲート電極
8、18…ゲート側壁
9、19…エクステンション層
10、20…拡散層
16、35…ゲート電極
21…Ru層(pチャネルMISトランジスタ用ゲート電極)
22…Er層(nチャネルMISトランジスタ用ゲート電極変性用電極)
23…Ru−Er合金(nチャネルMISトランジスタ用ゲート電極)
24、37…層間絶縁膜
25…W層
26…溝
27…HfSiN膜
30…半導体層
31…ソース・ドレイン領域
32…トンネル酸化膜
33…トラップ絶縁層
34…ブロック絶縁層
36…側壁絶縁膜
【技術分野】
【0001】
本発明は、MIS(MOS)構造を備える半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
シリコン超集積回路は、将来の高度情報化社会を支える基盤技術の一つである。集積回路の高機能化には、その構成要素であるMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)、CMISFET(Complementary MISFET)、NANDフラッシュメモリ等の半導体素子の高性能化が必要である。素子の高性能化は基本的には比例縮小則により行われてきたが、近年、種々の物性的限界により素子の極微細化による高性能化が困難な状況にある。
【0003】
例えば、従来のゲート絶縁膜SiONは近年の薄膜化の要請に応えることが出来なくなると予測されている。そこで、SiONよりも比誘電率の高い、いわゆるHigh-kゲート絶縁膜の導入が検討されている。これまで、HfO2、HfSiONなどの、Hfを含High-Kゲート絶縁膜が開発されてきた。一方、La−Al−Oからなるゲート絶縁膜技術があった(非特許文献1参照)。La−Al−Oゲート絶縁膜は、Hf系のHigh-kゲート絶縁膜よりもSiO2換算膜厚が低く出来るという特質を有しているので、将来のCMISFETに適している。しかし、La−Al−Oゲート絶縁膜は、Hf系のHigh-kゲート絶縁膜よりもトランジスタのキャリア移動度が低いという課題があった(非特許文献1参照)。キャリアの移動度が低いとMISFETのスピードが劣化する。
【0004】
また、La2O3からなる、SiO2換算膜厚を低くするのに適したゲート絶縁膜技術があった(非特許文献2参照)。La2O3には空気中の水分吸収による絶縁膜の比誘電率性能劣化という課題がある(非特許文献3参照)。
【0005】
情報処理を担う上記MISFETに加え、情報を記憶するメモリ素子の高密度化が重要である。特に、NANDタイプのファイルメモリとして、MONOS積層構造が開発されている。MONOS構造においては、中央の”N”層、すなわちトラップ層に電荷を出し入れして情報を記憶する。”M”層はゲート電極である。ゲート電極とトラップ層に挟まれる”O”層はブロック層と呼ばれ、トラップ層の電荷がゲート電極に散逸するのを防ぎつつ、ゲート電極とトラップ層の電気的結合を強く保つような性質が求められる。すなわち、漏れ電流密度が低く、比誘電率が高い材料が必要である。
【非特許文献1】M.Suzuki et al., "Ultra-thin (EOT=3Å) and low leakage dielectrics of La-aluminate directly on Si substrate fabricated by high temperature deposition", 2004 IEDM, p.p.445-448
【非特許文献2】K.Ohmori et al., "Wide Controllability if Flatband Voltage in La2O3 Gate Stack Structures - Remarkable Advantages of La2O3 over HfO2", 2006 SSDM, p.p.210-211
【非特許文献3】Yi Zhao et al., "Moisture-absorption-induced permittivity deterioration and surface roughness enhancement of lanthanaum oxide films on silicon", Appl.Phys.Lett.88, 2006, p.p.072904-1~3
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記のように、将来の高速・低消費電力半導体に必要な、大きなゲート絶縁膜容量を有するゲート絶縁膜として、La−Al−Oなどの直接接触型ゲート絶縁膜が有望である。しかし、直接接触界面構造に起因したキャリア散乱によってMISFETの性能向上が部分的に阻害されていた。また、MONOS構造のゲートスタック型メモリにおいてはLa−Al−Oからなるブロック層とその下方に位置するトラップ層の絶縁膜界面に電荷とラップ、固定電荷が生じた場合、意図しないしきい値シフトや書込み条件の変動が起きてしまう。
【0007】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、高品質な絶縁膜界面制御を行うことで、界面のキャリア散乱要因を低減化し、MISFET性能を向上させるとともに、MONOSメモリの意図しないしきい値シフトや書込み条件の変動を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置の製造方法の第1は、半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、前記酸素雰囲気での熱処理後、前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極上に金属膜を形成する工程と、前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極と第2ゲート電極を固相反応させ、第2ゲート電極を形成する工程とを具備することを特徴とする。
【0009】
本発明の半導体装置の製造方法の第2は、半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、前記p型半導体領域上に位置する前記第1ゲート電極を除去する工程と、前記第1ゲート電極を除去する工程後、前記p型半導体領域上に、第2ゲート電極を形成する工程とを具備することを特徴とする。
【0010】
本発明の半導体装置の製造方法の第3は、半導体領域上に少なくともシリコン、酸素を含む下部絶縁膜を形成する工程と、前記下部絶縁膜上に電荷を捕獲する機能を有する中間部絶縁膜を形成する工程と、前記中間部絶縁膜上にLa、Al、Oを含む非晶質の上部絶縁膜を形成する工程と、前記上部絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記上部絶縁膜の1酸素原子あたりの標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含むゲート電極を形成する工程と、前記半導体領域、下部絶縁膜、中部絶縁膜、上部絶縁膜、ゲート電極の積層構造を酸素雰囲気で熱処理する工程とを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、絶縁膜界面の固定電荷密度を低減した半導体装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
本発明は、La−Al−Oからなるゲート絶縁膜、ブロック層絶縁膜の、半導体あるいは絶縁体との界面近傍欠陥を有効に減少させるために、通常の製造方法の一部を改良し、低温酸素アニールを施すことに特徴がある。実施形態の説明に先立ち、半導体上に絶縁膜を形成した場合の具体的な実験結果を元に、本発明の概要を説明する。
【0013】
先ず、シリコンからなる半導体上に、通常の工程でLa−Al−Oからなるゲート絶縁膜を形成する。シリコン基板の温度を200〜600℃程度に保ったままLa−Al−O膜を堆積後、400℃の熱処理を施す。続いて、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成し、通常の工程で水素を含む雰囲気中、400〜500℃程度の条件で加熱処理を行う。
【0014】
図1は、水素を含む雰囲気中の熱処理(FGA:Forming Gas Anneal)前後での、MISキャパシタのフラットバンド電圧VfbとSiO2換算膜厚Teffの関係を示したものである。実験データを最小自乗法でフィッティングした結果を実線で示す。なお、MISキャパシタの電極にはPtを使用しており、φeffは仕事関数を表わす。
【0015】
図1に示すように、この実線が直線的であることは、今回評価したMISキャパシタ構造において、余剰な電荷はゲート絶縁膜/シリコン基板界面に局在していることを示唆している。また、この直線の傾きは上記界面に局在化した電荷の符号と量を反映している。上記MIS構造の場合には、界面電荷の符号は正であり、水素雰囲気熱処理を行う前の界面電荷密度は4×1012/cm2であり、水素雰囲気熱処理後の界面電荷密度は2×1012/cm2であった。これは、La−Al−O/Si界面の欠陥が水素によって終端されたためと推定される。一方、水素雰囲気熱処理後の界面電荷密度はSiO2/Si系の典型的な電荷密度よりもはるかに大きい。
【0016】
水素を含む雰囲気における熱処理(FGA)は、従来のSiO2/Si系でも用いられている工程であり、その役割はSiO2/Si界面に残留する構造欠陥(シリコンのダングリングボンドなど)の水素による終端とそれに基づく電気的不活性化である。すなわち、図1の実験結果は、La−Al−Oゲート絶縁膜と半導体シリコンの界面欠陥の中には、水素では終端できない特質を有するものが含まれていることを示唆する。
【0017】
上記の実験結果から、発明者らは、界面に存在する水素で終端できない構造欠陥を不活性化することが、同界面の電気的特性向上のために不可欠であるという結論を得た。ここで、La−Al−O/Si界面を例に、界面の原子結合の様子を考えてみる。La−Al−O膜において、La、Alは常にOと結合している。また、Siとの界面では、La、Alは直接Siに結合するのではなく、Oを介して結合していると推定される。その方がエネルギー的に安定なためである。ここで、図1で観測された、水素では終端できない界面の欠陥は、La,AlとSiの間を架橋する酸素がその位置から逸脱しているものであるという仮定が成り立つ。La、Al、Siなどに比べてOは固体中を移動しやすい性質を持ち、系の外部に散逸できる可能性が高いためである。
【0018】
発明者らは、上記仮定に基づいて、図1の実験に加え、同構造を酸素雰囲気で熱処理し、界面電荷の低減を試みた。図2にその実験結果を示す。この場合の酸素熱処理条件は、一気圧の酸素雰囲気、400℃、30分であった。酸素熱処理後の界面電荷密度Nfは2×1011/cm2と、一桁あまり低減した。この結果は、上記仮説がある程度的を射たものであることを示唆している。同様の効果は、ゲート電極をAuに変えた場合の同様な実験でも得られた。その結果を図3に示す。
【0019】
ここで、酸素熱処理後のSiO2換算膜厚が若干厚くなっている点には注意が必要である。なぜならば、酸素熱処理によって、La−Al−O/Si界面に厚いSiO2が成長しているのであれば、図2、3の実験結果はLa−Al−O/Si界面における欠陥終端・不活性化の反映と言うよりは、SiO2/Si界面の特性を見ていると言うべきであり、界面電荷密度は低下して然るべき、と言えるからである。ここで、酸素雰囲気熱処理によって得られる界面固定電荷密度の低減効果が、La−Al−O/Si界面の欠陥回復によって得られるのかという点が重要である。
【0020】
図4は、Au/La−Al−O/Si−MIS構造において、上記酸素熱処理を施したときの容量―電圧特性の変化である。ここで、酸素熱処理によって2つの変化が起きている。一つは、フラットバンド電圧Vfbの大きな正電圧側へのシフト(〜0.42eV)である。これは図3にも矢印で示したとおりのものであり、酸素熱処理後のフラットバンド電圧Vfbは、Au本来の真空仕事関数と半導体Siのフェルミレベルから計算される理想的な値に近い。すなわち、MIS構造内部に余剰な電荷が極めて少ないことを示唆している。
【0021】
図4のもう一点の特徴は、SiO2換算膜厚(Teff)の増加である。この場合、酸素熱処理によって約0.3nmのSiO2換算膜厚増加(Teff:5.3→5.6nm)が起きていることがわかった。これはLa−Al−O/Si界面に供給された酸素に起因したものと推定される。ここで、Sio2/Si界面遷移領域(原子層にして1層程度)の厚みが0.3nm程度であることを考慮すると、本実施形態の酸素熱処理によるTeffの増加は界面の原子層1層程度のごくわずかな構造変化を反映したものと言える。
【0022】
以上のように、図3より、SiO2換算膜厚にして界面構造遷移層程度の高々0.3nmの増加に対して、著しい界面固定電荷密度の低減作用が得られていることが示唆された。これは、La−Al−O/Si系の界面電荷を低減するためには、界面においてごくわずかの酸素を供給して欠陥を修復すれば十分であることを意味する。LaあるいはAlとSiを架橋する部分の酸素欠損を補填することにより、本実施形態の固定電荷削減効果が発揮されるとと推定される。
【0023】
温度、時間、酸化種の形態などの条件に関しては、上記のように、界面近傍の欠陥が修復されるように適宜選択される。
【0024】
本発明の最大の特徴は、ゲート電極の形成後、酸素熱処理を施す点にあるといえる。実験手順を見直してみると、La−Al−O膜の堆積後に、400℃、一気圧での酸素熱処理を行っている。しかし、図1、2に示すように、La−Al−O膜の堆積後酸素アニールを施したとしても、その界面電荷密度は4×1012/cm2 と非常に大きい。すなわち、ゲート電極形成後に系に酸素を導入したときにだけ、図2に示すような界面電荷の低減が実現する。これは、ゲート電極である金属膜の存在によって、酸素がエネルギー的に活性な状態へと励起され、La−Al−O/Si界面の欠陥を効率的に修復するためだと思われる。
【0025】
また、本発明のゲート電極の満たすべき性質として、ゲート電極を構成する金属の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が、La−Al−Oのそれよりも小さいことがあげられる。この条件を満たすゲート電極であれば、LSIの製造工程、特に本実施形態に固有なゲート電極形成後の酸素雰囲気熱処理工程に際しても、La−Al−Oを還元することがない。これにより、固定電荷低減によるトランジスタ動作速度の向上効果を確実に獲得しつつ、リーク電流の増大などの副作用を防ぐことができる。ゲート絶縁膜La−Al−Oを還元する作用を有さない金属としては、例に挙げたPt,Auのほかに、Ni,Ag,Ir,In,W、Mo、Ta,Ruが挙げられる。これら金属材料の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーを図5にまとめる。
【0026】
特にPtはその表面で酸素分子を解離吸着する作用を有しており、活性な酸素原子の供給を効率的に行えるため、界面電荷の低減を効果的に行うことができる。また、Wは酸素を励起状態にさせ化学反応を効率的に進行させる触媒作用を有しているため、界面欠陥の修復による界面電荷の低減を効率的に行うことができる。
【0027】
トランジスタ製造工程を通してゲート電極の物性が安定していることが望ましい。この観点からPt、Au、Ag、Ir、Pd、Re、W、Mo、Ta、Ruがよい。また、W、Mo、Taの窒化物、炭化物、および硼化物のいずれか、Pt、Ag,Ir、Pd、Re、W、Mo、Taの珪化物或いは窒素珪化物、Ruの酸化物、酸化珪化物、珪化物および窒素珪化物のいずれかなどは耐熱性を向上させる観点から望ましい。
【0028】
本発明の原理から言えば、ゲート電極を形成した後の通常酸素処理でなく、La−Al−Oなどのゲート絶縁膜の堆積後熱処理において、活性な酸素を用いた処理を行えば、界面電荷は著しく低減するものと推定できる、しかしながら、ゲート電極の形成工程はMIS構造に対し欠陥を導入し得る。本発明のように、メタルゲート工程の後に界面電荷を低減するための酸素熱処理を行うことは、ゲート電極工程において導入された界面欠陥をも修復できるというメリットを有する。
【0029】
ここで、非特許文献2と本発明の差異について解説する。非特許文献2では、Pt−W合金/La2O3/SiからなるMIS構造を後酸化し、Pt−W合金比に応じた容量−電圧特性の変化を調べている。この文献によると、La2O3は、ゲート電極側が多結晶状態となり、Si側はLa2O3膜へのSi拡散によって非晶質となっている。La2O3にSiが拡散することは、絶縁膜の比誘電率を低下させることにつながるため、望ましくない。
【0030】
また、上部La2O3層が多結晶化していることは、結晶粒界において酸素の局所的な拡散速度の上昇をもたらすので、MIS構造の基板面内方向に不均質な酸素の供給、ひいては不均一なSi基板酸化が引き起こされる。空間的に不均一なSi基板酸化は、構造的な凹凸による界面欠陥の発生、SiO2換算膜厚のデバイス間揺らぎの原因となり、好ましくない。
【0031】
これに対し、本発明で用いたLa−Al−Oでは、製造工程を通して非晶質の状態を維持し、Siが膜中に拡散することはない。このため、非特許文献2のような問題は原理的に生じない。
【0032】
また、La2O3は吸湿による比誘電率の劣化という本来的な課題を有するが、La−Al−Oには、このような性質は無く好ましい。
【0033】
本発明のプロセスの効果は、La,AlとSiの間を架橋する酸素がその位置から逸脱した欠陥を、ゲート電極の作用によって活性化された酸素によって修復する、というものであった。この観点からは、本発明の効果はLa−Al−O/Si直接接合界面だけでなく、La−Al−OとSiの界面にSiO2、SiONなどのシリコンを含むバッファ層が存在する場合にも有効である。
【0034】
MONOSのブロック層にLa−Al−Oを用い、トラップ層にシリコン窒化膜を用いた場合について述べる。発明の原理は上記のCMISの場合と同様である。すなわち、ゲート電極/La−Al−O/シリコン窒化膜(トラップ層)/トンネル酸化膜/半導体構造を低温酸化処理することによって、La−Al−O/シリコン窒化膜界面のSi−O−(LaあるいはAl)のOが欠損した部分の補修が行われ、同界面の電荷トラップ、固定電荷などの不安定要因を取り除くことができる。
【0035】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図面は、発明の説明とその理解を促すための模式図であり、その形状や寸法、比などは実際の装置と異なる個所があるが、これらは以下の説明と公知の技術を参酌して適宜、設計変更することができる。
【0036】
(第1実施形態)
図6は、第1の実施形態に係る半導体装置の断面図である。本実施形態の半導体装置は、CMISFETであって、図6はそのゲート長方向の断面を示す。
【0037】
図6に示すようにシリコン基板1中に、p型ウェル領域2と、n型ウェル領域3とが形成され、これらウェル領域2,3はSiO2などからなる素子分離層4によって電気的に絶縁されている。p型ウェル領域2にはnチャネルMISトランジスタが形成され、n型ウェル領域3にはpチャネルMISトランジスタが形成されている。
【0038】
nチャネルMISトランジスタは、p型ウェル領域2上に形成されたゲート絶縁膜5と、ゲート絶縁膜5上に形成されたゲート電極6と、ゲート電極6の側部に形成されたゲート側壁絶縁膜8と、ゲート電極6の両側のp型ウェル領域2に形成されたn型エクステンション層9と、ゲート側壁絶縁膜8の両側のp型ウェル領域2に形成されたn型拡散層10とを備えている。n型拡散層10は、n型エクステンション層9よりもp型ウェル領域2との接合深さが深くなるように構成され、n型拡散層10およびn型エクステンション層9がnチャネルMISトランジスタのソース・ドレイン領域となる。ここで、ソース・ドレイン領域は、半導体が高濃度にドーピングされた領域であっても良いし、あるいは金属シリサイドであってもよい。
【0039】
pチャネルMISトランジスタは、n型ウェル領域3上に形成されたゲート絶縁膜15と、ゲート絶縁膜15上に形成されたゲート電極16と、ゲート電極16の側部に形成されたゲート側壁絶縁膜18と、ゲート電極16の両側のn型ウェル領域3に形成されたp型エクステンション層19と、ゲート側壁絶縁膜18の両側のn型ウェル領域3に形成されたp型拡散層20とを備えている。p型拡散層20は、p型エクステンション層19よりもn型ウェル領域3との接合深さが深くなるように構成され、p型拡散層20およびp型エクステンション層19がp型MISトランジスタのソース・ドレイン領域となる。nチャネルMISトランジスタおよびpチャネルMISトランジスタは層間絶縁膜24によって覆われている。ゲート絶縁膜5、15は非晶質状態のLa−Al−Oで形成されている。
【0040】
次に、第1の実施形態の半導体装置の製造方法を、図7乃至図11を参照して説明する。先ず、図7に示すように、シリコン基板1に素子分離層4を形成した後、イオン注入によりp型ウェル領域2、n型ウェル領域3を形成する。素子分離は、局所酸化法や、STI(Shallow Trench Isolation)法で形成することもできるし、メサ型でも構わない。続いて、通常のダミーゲートトランジスタプロセスを用いて、ゲート溝26を有する構造を作成する。
【0041】
次に、図8に示すように、ゲート溝26の底部に、ゲート絶縁膜として膜厚2nmのLa−Al−O膜5、15を、例えば、レーザーアブレーション法を用て成膜する。より詳細には、Si基板表面の自然酸化膜を通常のウェットエッチングに除去した後、直ちに成膜用の真空装置に搬送する。LaAlO3に組成比が調整された成膜ターゲットを用い、KrFエキシマレーザー(λ=248nm)を用いてレーザーアブレーション成膜を行う。成膜時の基板温度は400〜800℃に保持され、成膜時には2sccmの酸素ガスを供給する。この際、酸素の供給を行わず、真空中での成膜を行ってもよい。
【0042】
ここで、ゲート絶縁膜の形成はレーザーアブレーションに限定されるわけではなく、分子ビームエピタキシー法、スパッタリング法など、他の方法でもよい。なお、図8ではゲート溝26の底部にのみLa−Al−O膜が形成されているが、ゲート溝20の側面あるいは層間絶縁膜24上にLa−Al−O膜が形成されていても構わない。
【0043】
La−Al−Oの組成は、本実施形態の場合にはLa/Al/O〜1/1/3である。この組成比はLa−Al−O絶縁膜の化学量論比であり、膜が化学的に極めて安定な状態にある。La−Al−Oが非晶質を保ち構造的に安定であることは、トランジスタ特性のばらつきの少なさ、不良率の低さなどにつながるため、La−Al−Oの組成としては1/1/3に近いことが望ましい。La/Alの比率は、膜の化学的安定性の観点から、0.9〜1.1の範囲にあるようにする。
【0044】
また、一般に膜のLa比率が著しく多いと、Siとの界面に正の固定電荷が形成されやすく、逆に膜のAl比率が著しく多いと、Siとの界面に負の固定電荷が形成されやすい。あまりに高密度の固定電荷が形成されると、本実施形態の製造方法においてそれを回復させることが困難となるため、La/Al比率は0.9〜1.1程度が適正である。
【0045】
その後、堆積したゲート絶縁膜の高品質化を目的とした堆積後熱処理を行う。このプロセスは、堆積直後のLa−Al−O膜中に含まれる酸素欠損、ひずんだ結合などの不完全性を回復させるのが目的である。一例として、一気圧の酸素雰囲気で、400℃、5分の熱処理を施す。雰囲気には酸素が含まれていることが不可欠であり、酸素は分子状酸素、原子状酸素、励起状態の酸素、N2O、NO、オゾン等、いずれでも良い。温度は200℃以上、600℃以下が好ましく、400℃以下とするのがより好ましい。
【0046】
その後、図9に示すように、既存の方法によって、例えばRu層21をCVDにより10nm成膜し、ゲート電極21を形成する。続いて、一気圧の酸素雰囲気中で、400℃、30分の熱処理を行う。これにより、先に説明したようにLa−Al−OとSiの界面電荷が著しく減少する。
【0047】
ここで、酸化条件としては、界面酸素欠陥を補うような条件が適宜選ばれる。ただし熱処理温度としては、極端なSi基板の再酸化が起きない条件が相応しく、その観点からは、500℃以下が好ましい。より望ましくは、400℃以下のプロセス条件を採用することで、Si基板の再酸化による絶縁膜容量の低減、これに伴うトランジスタ動作速度の劣化を抑えることが出来る。
【0048】
また、本発明では、金属ゲートによる酸化種の活性化が行われるため、欠陥回復作用に対する酸化雰囲気の影響は軽微である。通常のドライ酸素、NO、N2O、水蒸気、オゾン、UV光で励起された酸素、酸素ラジカル、などを用いることが出来る。もっとも酸素回復の効率がよいのは励起状態の酸素を用いることであり、UV酸素、ラジカル酸素等が良い。
【0049】
さらに、nチャネルMISトランジスタのゲート電極を、nチャネルMISトランジスタを低しきい値電圧化するのに相応しい仕事関数材料へと変性させる。本実施形態では、図10に示すように、公知の手法によってnチャネルMISトランジスタ上部にのみ、Er層22を10nm堆積する。
【0050】
引き続いて、450℃、30分の熱処理によって、nチャネルMISトランジスタ上のRu層21とEr層22を固相反応させ、RuEr合金層23とする。引き続いて、タングステンなどの金属層25を全面に堆積し、表面を平坦化することにより、図11に示す構造を得る。図11の構造は図7の構造と等価であり、図11のゲート電極(23+25)、(21+25)が、図7のゲート電極6,16に相当する。
【0051】
本実施形態においては、Ruを堆積した後の酸素熱処理によって、La−Al−O/Si界面電荷が著しく減少している。図12は、そのプロセスの効果を確認するために行った、MISキャパシタ実験の結果である。横軸は絶縁膜のSiO2換算膜厚Teff(単位nm)、縦軸はMISキャパシタのフラットバンド電圧Vfb(単位V)を示す。ひとつのプロットはひとつのMISキャパシタのSiO2換算膜厚とフラットバンド電圧の関係を示しており、これが複数点あるのは、La−Al−O膜の膜厚を意図的に変化させていることを反映している。
【0052】
図12から分かるように、酸素アニールを施す前のRu/La−Al−O/Si−MISキャパシタの実験プロットは、膜厚変化に対し直線上に乗る傾向を見せ、その傾きは大きい。これはMISキャパシタのLa−Al−O/Si界面に、固定電荷が多量に存在することを示している。
【0053】
一方、酸素アニールを施すことにより、実験プロットのSiO2換算膜厚依存性は直線性を保つが、ほとんど傾きを有さなくなることが分かった。この実験結果は、当初多量に存在したLa−Al−Oを含むMISキャパシタ中の固定電荷が、電極形成後の酸素アニールにより著しく低減していることを示唆している。MIS構造内部の固定電荷が低減化されることにより、MISトランジスタのチャネルを走行するキャリアが散乱される確率が低下し、そのスピードが向上される。これにより、トランジスタのスイッチングスピードが、従来のLa−Al−O系よりも著しく向上する。
【0054】
また、本実施形態ではpチャネルMISトランジスタにRuを用いているが、Ruは5eVあまりの仕事関数を有し、pチャネルMISトランジスタのしきい値電圧を低減化している。一方、合金化で形成したErRu層は4eVあまりの仕事関数を有し、nチャネルMISトランジスタのしきい値電圧を低減化している。
【0055】
上記実施形態ではnチャネルMISトランジスタとpチャネルMISトランジスタのゲート電極に、RuEr合金、Ruをそれぞれ用いた。本発明は、これら金属材料系に限定されるものではなく、具体的には、図13に示すような金属の組合せを用いることも可能であり、ほぼ同様な工程を経ることにより、相補型MISトランジスタを形成することができる。
【0056】
(第2の実施形態)
第1の実施形態は、nチャネルMISトランジスタ、pチャネルMISトランジスタともにLa−Al−O上にRuを堆積し、La−Al−O/Si界面電荷を低減化させる酸素熱処理を施した後、nチャネルMISトランジスタのゲート電極を低仕事関数な材料に変性させるものであった。第2の実施形態は、酸素熱処理前に堆積するゲート電極としてタングステンを用いるものである。
【0057】
第1の実施形態の図7、図8の工程を同様に実施する。続いて、図9と同様に、既存の方法によって、W層21をCVDにより10nm成膜し、ゲート電極21を形成する。続いて、一気圧の酸素雰囲気中で、400℃、30分の熱処理を行う。これにより、La−Al−OとSiの界面電荷が著しく減少する。その後、nチャネルMISトランジスタ上のタングステン電極21を除去し、図14の構造を得る。
【0058】
続いて、nチャネルMISトランジスタ上部にのみ、公知のnチャネルMISトランジスタ低しきい値化にふさわしいゲート電極、例えばHfSiN膜27などを堆積し、図15の構造を得る。さらに第1の実施形態の図11と同様に、タングステンなどの金属層25を図15の構造全面に堆積し、その後表面の平坦化を行うことによって、図7の構造を得ることが出来る。但し、図7のゲート電極6,16は、夫々27+25、21+25となる。
【0059】
第2の実施形態では、第1の実施形態と同等の、ゲート電極形成後酸素熱処理による界面電荷低減効果を得ることが出来る。ただし、nチャネルMISトランジスタに関しては、ゲート電極の堆積し直しを行うので、界面電荷はやや増加傾向を示し、トランジスタ性能はやや劣化する危惧がある。
【0060】
但し、第2の実施形態では、固相反応によらない堆積手法でnチャネルMISトランジスタのゲート電極を製造することが出来る。これにより、2層膜の固相反応による合金層形成にありがちなトランジスタサイズ依存性などの潜在的な問題を回避することが出来る。
【0061】
反面、固相反応に比べると、酸素熱処理前に堆積したゲート電極を、nチャネルMISトランジスタ上部のみ除去する工程が追加されるため、工程数が増加してしまうという欠点がある。
このように、第2の実施形態によっても、大きな電流駆動力を有し、リーク電流が少ない半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
【0062】
なお、第2の実施形態では、図15に示す工程において、nチャネルMISトランジスタ上部にのみnチャネルMISトランジスタ低しきい値化にふさわしいゲート電極の堆積を行った。しかしながら、仕事関数に関与するのはゲート絶縁膜直上のゲート電極なので、nチャネルMISトランジスタ低しきい値化にふさわしいゲート電極は、両チャネルMISトランジスタ上部に堆積しても構わない。この場合、nチャネルMISトランジスタ上部にのみ選択的に堆積させなくてもよいので、製造工程が簡略化し、集積化に向くことが期待される。
【0063】
(第3実施形態)
図16は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の断面図である。第3の実施形態の半導体装置はMONOSスタック型メモリであって、複数のメモリセルを備えるが、図15は1メモリ素子の、ワード線方向に垂直な面で切った摸式的な断面を示す。
【0064】
本実施形態に係るメモリセルは、半導体基板30上にトンネル絶縁膜32、トラップ層33、ブロック層34、ゲート電極35がこの順に積層されたゲート積層構造(以下、メモリゲートスタックともいう)を備えている。また、メモリゲートスタックの側部には側壁酸化膜36が設けられている。側部が側壁酸化膜36で被覆されたメモリゲートスタックは、層間絶縁膜37で覆われている。メモリゲートスタックの両側の半導体基板30にはソース・ドレイン領域31が設けられている。個々のスタック型メモリセルは素子分離絶縁膜37で互いに隔てられている。
【0065】
本実施形態では、ブロック層34がLa−Al−O膜で形成されている。これにより、本実施形態のスタック型メモリセルは、漏れ電流が小さく、かつゲート電極35とトラップ層33の電気的容量結合の強い構造となっている。
【0066】
次に、第3の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。通常の工程により、図17に示すようなLa−Al−Oをブロック層に用いたMONOSスタック型メモリセルを形成する。
【0067】
ここで、第1の実施形態と同様にして、MONOSスタック構造を酸素雰囲気で熱処理する。これにより、La−Al−Oブロック層34とシリコン窒化物トラップ層33の界面に存在する(LaあるいはAl)−O−Si連鎖における酸素欠損構造を修復し、これに起因した意図しない電荷トラップ、固定電荷などを消すことができる。
【0068】
酸素熱処理条件については、界面酸素欠陥を補うような条件が適宜選ばれる。熱処理温度としては、第1の実施例と比べて高い温度に設定することが出来る。本実施例ではLa−Al−Oの下部はSi窒化膜であり、Si基板と異なり、著しい酸化が起きることはないためである。ただしあまり高い温度での酸化工程を経ると、金属ゲートの酸化、それに伴うゲート電極はがれなどの問題が発生し、好ましくない。この観点からは、酸化温度は800℃以下程度で実施されることが望ましい。
【0069】
また、本発明では、金属ゲートによる酸化種の活性化が行われるため、欠陥回復作用に対する酸化雰囲気の影響は軽微である。通常のドライ酸素、NO、N2O、水蒸気、オゾン、UV光で励起された酸素、酸素ラジカル等を用いることが出来る。もっとも酸素回復の効率がよいのは励起状態の酸素を用いることであり、UV酸素、ラジカル酸素などが良い。
【0070】
本実施形態のゲート電極35はMONOSスタックセルの製造工程に耐える耐熱性材料である必要があり、W、Mo、Ta、Ruのいずれかからなる金属、あるいはW、Mo、Taの窒化物、炭化物、硼化物、珪化物、および窒素珪化物のいずれか、あるいはRuの酸化物、酸化珪化物、珪化物、および窒素珪化物のいずれかなどで構成できる。これらの材料はいわゆる高融点材料であり、1000℃に迫る本実施形態の製造工程を経ても、それ自体が融解しデバイスの破壊に至ることはない。また、高融点であるが故にスタック構造の界面の安定性も向上する。
【0071】
ここで、MONOSスタックセルのゲート電極の仕事関数が高い方が望ましい。ブロック層の漏れ電流を低く抑える作用があるためである。この観点からは、Wおよびその窒化物、Moおよびその窒化物、Ruおよびその酸化物、酸化珪化物、珪化物、窒素珪化物のいずれかなどが望ましい。
【0072】
La−Al−Oの組成は、本実施例の場合にはLa/Al/O〜1/1/3であった。この組成比はLa−Al−O絶縁膜の化学量論比であり、膜が化学的に極めて安定な状態にある。本実施形態においても、La−Al−Oが非晶質を保ち構造的に安定であることが要件であるので、La−Al−Oの組成としては1/1/3に近いことが望ましい。La/Alの比率としては、0.5〜2の範囲にあればよい。下部がシリコン窒化膜なので、第1実施形態におけるSiとの界面形成の場合と比較して、La−Al−O化学量論比からの組成乖離による固定電荷発生はSi上ほど顕著ではない。したがって、La/Al比率0.5〜2の範囲であれば、本発明の方法で界面欠陥を修復できる。
【0073】
側壁絶縁膜36はシリコン酸化膜でもよいが、シリコン窒化膜も用いることが出来る。図17の構造を酸化処理する際に、シリコン30とトンネル酸化膜32の界面、あるいはトンネル酸化膜32とトラップ層33の界面などに意図しない形で酸素が導入され、これら界面の特性が変動するのを防ぐ目的からすれば、シリコン窒化膜を用いた方が良い。
【0074】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限られず、特許請求の範囲に
記載の発明の要旨の範疇において様々に変更可能である。また、本発明は、実施段階では
その要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。さらに、上記実施形態に
開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【0075】
【図1】本発明の水素雰囲気熱処理によるPt/La−Al−O/Si界面電荷の変化を示す実験結果。
【図2】本発明の酸素雰囲気熱処理によるPt/La−Al−O/Si界面電荷の変化を示す実験結果。
【図3】本発明の水素、酸素雰囲気熱処理によるAu/La−Al−O/Si界面電荷の変化を示す実験結果。
【図4】本発明の酸素雰囲気熱処理によるAu/La−Al−O/Si−MIS構造の容量ー電圧特性の変化を示す実験データ。
【図5】本実施形態に用いることが出来るpチャネルMISトランジスタ用ゲート電極の酸化物の酸素原子数で規格化した標準生成エンタルピーを示す図表。
【図6】本発明の第1実施形態によるCMISFETの断面図。
【図7】第1実施形態によるCMISFETの製造工程を示す断面図。
【図8】図7に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図9】図8に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図10】図9に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図11】図10に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図12】第1の実施形態によって、MISキャパシタの特性が改善されることを示す特性図。
【図13】第1実施形態におけるnチャネルMISトランジスタ、pチャネルMISトランジスタのゲート電極材料組合せを示す図表。
【図14】本発明の第2実施形態に係るCMISFETの製造工程を示す断面図。
【図15】図13に続く工程を示すCMISFETの断面図。
【図16】本発明の第3実施形態に係るMONOS型スタックメモリセルの断面図。
【図17】第3実施形態に係るMONOS型スタックメモリセルの製造工程を説明するための断面図。
【符号の説明】
【0076】
1…シリコン基板
2…p型ウェル領域
3…n型ウェル領域
4…素子分離層
5、15…La−Al−O膜(ゲート絶縁層)
6…ゲート電極
8、18…ゲート側壁
9、19…エクステンション層
10、20…拡散層
16、35…ゲート電極
21…Ru層(pチャネルMISトランジスタ用ゲート電極)
22…Er層(nチャネルMISトランジスタ用ゲート電極変性用電極)
23…Ru−Er合金(nチャネルMISトランジスタ用ゲート電極)
24、37…層間絶縁膜
25…W層
26…溝
27…HfSiN膜
30…半導体層
31…ソース・ドレイン領域
32…トンネル酸化膜
33…トラップ絶縁層
34…ブロック絶縁層
36…側壁絶縁膜
【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、
前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、
前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、
前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、
前記酸素雰囲気での熱処理後、前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極上に金属膜を形成する工程と、
前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極と第2ゲート電極を固相反応させ、第2ゲート電極を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項2】
半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、
前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、
前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、
前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、
前記p型半導体領域上に位置する前記第1ゲート電極を除去する工程と、
前記第1ゲート電極を除去する工程後、前記p型半導体領域上に、第2ゲート電極を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項3】
前記第2ゲート電極がPt、Au、Ag、Ir、In、W、Mo、Ta,Ruのいずれかの金属、W、Mo、Taの窒化物或いは炭化物或いは硼化物、Pt、Ag、Ir、Pd、Re、W、Mo、Taのいずれかの珪化物或いは窒素珪化物、Ruの酸化物或いは酸化珪化物のいずれかで形成されることを特徴とする請求項1或いは2記載の半導体装置の製造方法。
【請求項4】
前記第1ゲート電極がRu,Wのいずれかで形成されることを特徴とする請求項1或いは2記載の半導体装置の製造方法。
【請求項5】
前記第1及び第2の非晶質絶縁膜中のLa/Al比が0.9〜1.1であることを特徴とする請求項1或いは2に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項6】
半導体領域上に少なくともシリコン、酸素を含む下部絶縁膜を形成する工程と、
前記下部絶縁膜上に電荷を捕獲する機能を有する中間部絶縁膜を形成する工程と、
前記中間部絶縁膜上にLa、Al、Oを含む非晶質の上部絶縁膜を形成する工程と、
前記上部絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記上部絶縁膜の1酸素原子あたりの標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含むゲート電極を形成する工程と、
前記半導体領域、下部絶縁膜、中部絶縁膜、上部絶縁膜、ゲート電極の積層構造を酸素雰囲気で熱処理する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項7】
前記ゲート電極がW、Mo、Ta或いはRuのいずれか、W、Mo、Taの窒化物、炭化物、硼化物、珪化物或いは窒素珪化物のいずれか、Ruの酸化物、酸化珪化物、珪化物或いは窒素珪化物のいずれかで形成されることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項8】
前記酸素雰囲気で熱処理する工程は、励起状態の酸素を用いることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項1】
半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、
前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、
前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、
前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、
前記酸素雰囲気での熱処理後、前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極上に金属膜を形成する工程と、
前記p型半導体領域上に形成された第1ゲート電極と第2ゲート電極を固相反応させ、第2ゲート電極を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項2】
半導体基板中に互いに絶縁分離されたp型半導体領域とn型半導体領域を形成する工程と、
前記p型およびn型半導体領域上にLa、Al、Oを含む第1および第2非晶質絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、
前記第1、第2非晶質絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記第2非晶質絶縁膜の1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含む第1ゲート電極を形成する工程と、
前記第1ゲート電極を形成後、形成された構造体全体を酸素雰囲気で熱処理する工程と、
前記p型半導体領域上に位置する前記第1ゲート電極を除去する工程と、
前記第1ゲート電極を除去する工程後、前記p型半導体領域上に、第2ゲート電極を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項3】
前記第2ゲート電極がPt、Au、Ag、Ir、In、W、Mo、Ta,Ruのいずれかの金属、W、Mo、Taの窒化物或いは炭化物或いは硼化物、Pt、Ag、Ir、Pd、Re、W、Mo、Taのいずれかの珪化物或いは窒素珪化物、Ruの酸化物或いは酸化珪化物のいずれかで形成されることを特徴とする請求項1或いは2記載の半導体装置の製造方法。
【請求項4】
前記第1ゲート電極がRu,Wのいずれかで形成されることを特徴とする請求項1或いは2記載の半導体装置の製造方法。
【請求項5】
前記第1及び第2の非晶質絶縁膜中のLa/Al比が0.9〜1.1であることを特徴とする請求項1或いは2に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項6】
半導体領域上に少なくともシリコン、酸素を含む下部絶縁膜を形成する工程と、
前記下部絶縁膜上に電荷を捕獲する機能を有する中間部絶縁膜を形成する工程と、
前記中間部絶縁膜上にLa、Al、Oを含む非晶質の上部絶縁膜を形成する工程と、
前記上部絶縁膜上に、その1酸素原子あたりの酸化物標準生成エンタルピーの絶対値が前記上部絶縁膜の1酸素原子あたりの標準生成エンタルピーの絶対値よりも小さい金属を含むゲート電極を形成する工程と、
前記半導体領域、下部絶縁膜、中部絶縁膜、上部絶縁膜、ゲート電極の積層構造を酸素雰囲気で熱処理する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項7】
前記ゲート電極がW、Mo、Ta或いはRuのいずれか、W、Mo、Taの窒化物、炭化物、硼化物、珪化物或いは窒素珪化物のいずれか、Ruの酸化物、酸化珪化物、珪化物或いは窒素珪化物のいずれかで形成されることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項8】
前記酸素雰囲気で熱処理する工程は、励起状態の酸素を用いることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【公開番号】特開2008−243996(P2008−243996A)
【公開日】平成20年10月9日(2008.10.9)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−79970(P2007−79970)
【出願日】平成19年3月26日(2007.3.26)
【出願人】(000003078)株式会社東芝 (54,554)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年10月9日(2008.10.9)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年3月26日(2007.3.26)
【出願人】(000003078)株式会社東芝 (54,554)
【Fターム(参考)】
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